主としたメーカーです。お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。他社製品でのメンテナンスでお困りの場合でも対応できますので、お気軽にお声がけください。カセットレス自動洗浄装置カセットレス自動洗浄装置は、ウエハーのみを保持し洗浄する装置です。Φ300まで対応可能です。引き上げ300mmウエハ自動洗浄装置300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。Φ300まで対応可能です。枚様式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します。