:日納義郎)は、液晶パネル基板の大型化に対応するスピンレスフォトレジスト塗布装置を開発し販売を開始しました。大型パネル製造用の装置として、国内や海外の大手液晶パネルメーカーに既に採用されています。液晶パネルを使った次世代大型テレビの需要は拡大しており、今年中にも国内や韓国の大手液晶パネルメーカーで第6世代や第7世代といわれる大型の基板を使った生産が開始されます。した動きに合わせて、今回開発したスピンレス方式のフォトレジスト塗布装置も、新規の注文や引合いが増加しています。この需要増に対応するため、液晶カラーフィルター用のレジスト塗布装置ではトップシェアのタツモと、装置に組み込む超精密XYステージを製造する住友重機械は、レジスト塗布装置の一貫組立ラインを住友重機械の岡山製造所内(岡山県倉敷市)に新設することを決定しました。昨年12月に着工し、本年2月末に竣工予定です。液晶パネル製造用フォトレジスト塗布装置は、素子、電極などのパターンの形成や、カラーフィルターの形成のために、ガラス基板にフォトレジストを塗布する装置です。フォトレジストは最適な露光条件を維持するために、パネル基板上に1~3μmの膜厚を均一に塗布することが求められます。従来の塗布方法は、フォトレジストを基板に滴下し、基板全体を回転(スピン)させ、遠心力で膜を引き延ばす回転塗布方式(スピンコーター方式)が主流でした。液晶テレビへの用途拡大に伴って基板のサイズが年々拡大し、スピンコーター方式による塗布は限界にきています。そのため、今後スピンコーター方式から、スキャニング方式を採用したスピンレスフォトレジスト塗布方式に置き換わることは確実となっていますが、現在本格的に採用されているのは両社の開発した装置のみです。今後タツモと住友重機機械は、一貫専用ラインによって工期を短縮し、競争力を高めると同時に、協業によるシナジー効果で液晶パネル基板の一層の大型化に向けた技術開発を推進推進していきます。通じて積極的に拡販していきます。