ソフトウェアのダウンロードダウンロードについては、お問い合わせください。LinkEFEMを内蔵した自動化Hellerはウエハーと大型ガラスパネルを装備するためEFEMを内蔵しています。デュアルEFEMとリターンコンベア付きシングルEFEM構成オプションもご用意しています。USAお問い合わせ1-973-377-6800help@hellerindustries.comグローバルサポート世界各地にHellerのオフィスが点在。