>高速、高感度でウエハー表面の欠陥を検出するマクロ検査装置を発売:FAニュース東京エレクトロンデバイスは、化合物半導体ウエハー表面の欠陥を検出するマクロ検査装置「RAYSENS」を発売した。光学技術や独自の検出アルゴリズムにより、高感度かつ高速でウエハーの欠陥を検出する。公開[MONOist]東京エレクトロンデバイスは2020年6月9日、化合物半導体ウエハー表面の欠陥を高感度かつ高速で検出するマクロ検査装置「RAYSENS(レイセンス)」を発売した。これまで人手で実施してきたウエハーの目視検査や抜き取り検査を自動化。検査工数が削減し、全数検査が可能になることで、ウエハーの品質安定化に貢献する。出典:東京エレクトロンデバイスRAYSENSは、超低ノイズのマクロ光学センサーと専用照明で構成される最適な光学系により、化合物半導体ウエハーのように透明、半透明なものやシリコンウエハーなどの非透明なものなど、幅広いワークの表面のわずかな変化を捉える。ベアウエハー、パターン付きウエハーのどちらにも対応可能だ。搬送部は、ウエハーのカセット取り出しから検査、格納まで、ウエハー表面裏面が非接触になっており、ウエハーの異物付着を抑制する。同検査装置の導入を検討しているユーザーには、デモ機によるワーク評価サービスを実施している。実際のワークサンプルを使用し、撮影した画像や欠陥検出結果を確認できる。日系企業がオランダのASMLに敗れた背景や理由について解説した。2016」のIoTイノベーションフォーラムで登壇した東京エレクトロン執行役員の西垣寿彦氏は、半導体製造における“ちり”の管理と、IoTを使った生産性向上の取り組みについて紹介した。2016」で、「ミニマルファブの開発成果を発表。同研究会などが推進するミニマル生産方式による製造装置「ミニマルシリーズ」72台を設置し、半導体製造工程のほとんどをカバーできるようになった成果をアピールした。第4次産業革命で起きていることや、必要となることについて、話題になったトピックなどに応じて解説していきます。第21回となる今回は、IoTやAIを活用することで品質向上への取り組みがどのように変化するのかという点を紹介します。品質不正問題にどう立ち向かうのか、抜本的解決のカギはIoTと検査自動化2017年の製造業を取り巻く動きの中で、最もネガティブな影響を与えたのが「品質不正」の問題だろう。「日本のモノづくり」のブランド力を著しく傷つけたとされるが、2018年はこの問題にどう対応するのかという点は、全ての製造業の命題である。人手不足が加速する中、解決につながる「仕組み」や「ツール」に注目が集まる1年となる。IoT時代にどう立ち向かうか、自動検査の位置付けを変えたマインドセット「検査装置は不具合を見つける装置ではなく、不具合を出さないためのものだ」——。基板実装ラインなどで使われる外観検査装置で好調を続けるサキコーポーレーションだが、成功の土台には「マインドセット」の取り方にあったという。サキコーポレーション社長の秋山咲恵氏の講演の内容をお届けする。SNSFacebookXITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。