独自のViPRTM+技術によるレジスト剥離、メタル剥離を高速かつ低CoOで実現ZETATM+シリーズは、レジストやシリサイドその他の膜の剥離とともに一般洗浄にも効率的かつ柔軟に対応するバッチスプレー式洗浄装置です。低コストプロセスを実現します。FEOL/BEOL用ポストエッチ、RCA洗浄、DHFウェットエッチなどのプロセスにも適用が可能で、幅広いアプリケーションに向けて多くの出荷実績を積み上げています。ZETATM+装置仕様には、300/200mm対応の全自動装置と200/150mm対応のセミオート装置の2機種がラインアップしています。+200/300は、最適な搬送清浄度環境を提供するミニエンバイロメント機構を装備したFOUP/SMIF対応の全自動バッチスプレー洗浄装置で、枚葉式洗浄装置と比較してはるかに優れた経済性を発揮します。高温での薬液処理を可能にした独自のViPRTM+技術により高性能、かつ低コストでレジストやシリサイドおよびその他の膜を短時間で剥離します。装置仕様は、最大8種類の薬液供給が可能で、密閉式のシングルチャンバーを備え、各薬液の混合比や濃度および温度をレシピにより設定可能で300mmと200mmウェーハに対応します。FOUP/SMIFなどのウェーハキャリアBoxを使用しないファブ向けのセミオート装置で、高温薬液対応ViPRTM+も含め、全自動装置と同等の薬液対応、アプリケーション対応が可能です。200/150mmウェーハともに簡単なハードウエア変更のみで同一装置でのプロセス処理が可能です。Inc.の米国およびその他の国における登録商標または商標です。Reserved.本ウェブサイトはCookieを利用します本ウェブサイトで利用するCookieには、第三者のCookieも含まれる可能性があります。Cookieの設定は、いつでもご利用のブラウザの設定よりご変更いただけます。このサイトを使用することにより、当社のCookieポリシーに同意したものとみなされます。