φ300SiウエハやFPD用ガラスなどの大型基板への成膜が可能です。APC-SR*表中には成膜可能な元素例を記載しております。*膜厚分布および温度分布は±10%となります。膜質・成分状況によりこの範囲外となる場合がございます。CONTACTお問い合わせこんな内容もお気軽にお問い合わせください受託成膜ではどれくらいのウエハサイズまで成膜可能ですか?また、何°Cまでアニールできますか?使用済みのビート皿があります。リサイクルして新しい製品を製造できますか?硝酸Ruの価格と最近の地金相場が知りたいです。