特徴コスパッタ成膜2元・3元でのコスパッタによる成膜が可能です。材料探索に最適カソードがφ2インチと小さい為、安価な初期費用で材料探索が行えます。高温成膜600°Cの高温成膜が可能であり、圧電体膜や各種配向膜の試作が行えます。仕様メタルターゲットを使用して、酸化膜・窒化膜の成膜が可能です。;Ar、O2、N2*混合ガス対応も可能です。Al-1.0wt.%Si-0.5wt.%Cu*表中には成膜可能な元素例を記載しております。CONTACTお問い合わせこんな内容もお気軽にお問い合わせください受託成膜ではどれくらいのウエハサイズまで成膜可能ですか?また、何°Cまでアニールできますか?使用済みのビート皿があります。リサイクルして新しい製品を製造できますか?硝酸Ruの価格と最近の地金相場が知りたいです。