BROCHURE引用を要求PCT-150CRSについてPCT-150CRSは、フォトリソグラフィープロセス向けの最先端のコーターおよび開発者ツールセットです。GEM準拠が含まれます。このシステムは、高信頼性、高スループット、フットプリントの削減、ユーザーフレンドリーで柔軟なプロセスフロー、さまざまなインターフェイスツール、簡単なメンテナンス、化学物質とエネルギーの節約に重点を置いて設計されています。当社のツールセットは、所有権、運用、スペアパーツおよびサービスに対して費用効果があります。8インチ、スクラバー、リフトオフ、フィルムフレームクリーナー、マスククリーナー、スタンドアロンのコーターまたは現像剤またはホットプレートなどの他のツールセットもあります。