SDIの特許取得済みのマイクロとマクロの両方のコロナ-ケルビン法を単一プラットフォームに統合しており、最先端研究開発や厳しい大量生産環境をサポートできます。SPVは、マニュアルタイプの金属汚染検査装置です。オプションで、非接触CV測定ヘッドを搭載可能です。水銀CV測定装置MCV-2200/2500は、全自動の水銀CV測定装置です。3~12インチのウェハーの測定が可能です。I-VFAaST350は、デュアルFOUPタイプのインライン非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。