本装置はフィルム、ガラスとシリコン、金属といった試料2枚を高精度で位置合わせし、密着させる機能を有する試料アライメント装置です。2枚の試料を上下に配置させ、上側試料に対して下側試料をXYZθ軸方向にアライメントする方式です。アライメントが完了した上下試料はアライメント状態を保持したままホルダごと取り出せるようになっており、装置外部で各種接着など様々な処理を施すことが可能です。ホルダは約300°Cの耐熱性があり熱硬化型接着剤に対応できます。上側試料ホルダは紫外線を透過する合成石英製で試料全面に紫外線照射が可能です。搭載された双対物2視野顕微鏡は左右対物レンズを最小35~最大160mmまで調整でき最大φ6インチ試料に対応します。試料接合面同士の平行を調整する機構を持ち、微動近接からハードコンタクトまで調整可能です。試料ホルダ部(上下)をそれぞれマスクホルダ、試料台に交換することによりφ6インチ対応のマスクアライナーとしても使用できます。本装置では上面からのみの観察になりますのでアライメントできるのは上面から下側試料のアライメントマークが観察できる上下試料の組み合わせとなります。(参考値)※露光できる最小L&Sはご使用のレジスト・マスク・ウェハ、露光前後工程等の諸条件により異なることがあります。突起部含まず※別置きの真空ポンプおよびランプ電源装置の設置場所を確保してください。「この製品のpdfカタログ」上にマウスポインタを合わせて右クリックします。ショートカットメニューの中から「対象をファイルに保存」を左クリックします。「ファイル名を付けて保存」ダイアログボックスで任意の保存場所を指定し、ファイル名を付けて「保存」をクリックします。上記で指定した保存場所にダウンロードしたファイルがコピーされます。※「この製品のPDFカタログ」を左クリックするとブラウザ内でカタログを表示します。Readerが必要です。