”の検索結果テクノロジーについてターボ分子ポンプとは?特徴・原理・メリット・デメリットまで徹底解説。あなたの身の回りにあるスマートフォンやパソコン。これらの高性能な半導体チップを作るためには、想像を超える高い真空度が必要なのです。その実現を支えているのが、「ターボ分子ポンプ」という装置です。この記事では、ターボ分子ポンプの仕組みからメリット・デメリット、そして私たちの生活への貢献まで、わ続きを読むアニール成膜後の膜質改善するアニール装置とは?原理や特徴を解説!アニール装置は、基板への高温熱処理やガス置換、プラズマ処理加工が可能な装置です。スパッタ装置で成膜した後の膜質改善用途として非常に重要な役目を果たします。今回は、菅製作所が製造するアニール装置2種類を解説していきます。製造もおこなってまいりました。その中で、今回は菅製作所のALD装置をご紹介します。きを読むスパッタリング高膜質が可能なスパッタ装置とは?用途別に5種類の特徴解説スパッタ装置とはスパッタリング現象を採用している装置です。Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、それによって叩き出されたターゲット材料がスパッタリング現象によって成膜されます。船舶用機器を提供してまいりました。