薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。発生した磁界がサンプル内に循環電流(渦電流)を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定します。内蔵距離センサー(キャパシタンス測定に基づく)により、測定ヘッドがサンプルの上を一定の高さで移動します。その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプルとの間の距離にも左右されるため、シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。低価格+手法が比較的簡単なため、有機層を含むデバイスの製造方法として非常に魅力的です。印刷層の均一性が、従来の方法で製造された層よりはるかに低くなるのが一般的になります。セミラボでは、1回の測定で1サブピクセル内のOLED構造全層を数秒で特定できるメトロロジーを開発しました。横方向分解能は最高5μmであるため、印刷プロセスの精密な微調整が可能です。詳細を見る製品ラインナップFPTFPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。FPTシリーズフラットパネルディスプレイ用の検査装置です。最大10.5Gまでのパネルの測定に対応しています。