LA410カタログ詳しい仕様のご相談は【お問い合わせ】へ概要LA410は露光面積最大φ4インチまでの高精度パターン露光装置です。1.5°)を実現しました。顕微鏡、アライメントステージなど主要構成ユニットの選択カスタマイズや積算光量計、UV波長選択フィルターなどのオプションも多数ご選択頂けます。シンプルな構成で多方面で応用が利くベーシックなセットアップから特殊用途に対応する高カスタマイズまで幅広く対応可能です。露光エリアφ4インチ、照度分布±5%以下のインテグレータレンズ方式ランプハウス。露光シャッターを開かずにランプ光軸調整ができるアークモニタ装備。DeepUV光源、UV-LED光源などはご相談下さい。試料裏面観察アライメントや赤外線透過観察は別装置にて承ります。高精度マニュアルXYZθ軸アライメントステージ。オプション項目マスクと試料間のギャップ設定が正確にできるギャップ測長センサー&表示器。最大φ4インチウェハ対応。