佐賀県Japanhttp://www.ee.saga-u.ac.jp/plasma/小間番号7707ホームプレスリリース本研究室では、半導体デバイスの製造装置として利用されているプラズマ装置の研究開発を行っております。スパッタ装置、PECVD装置用の新しい方式の高周波プラズマ装置の開発を目指しております。本展示会では、最近、開発した装置の原理や特徴などを詳細にご説明いたします。プラズマの計測方法(静電プローブ)などについて、教育セミナーや基礎実験受託などをお引き受けいたします。ご遠慮なくお問い合わせください。