日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。ES5100電子スキャン(=フェーズドアレイ方式)で最大周波数75MHzを実現した超音波映像装置です。効率が飛躍的に向上します。例)30mm角のICパッケージを0.1mmピッチで探傷した場合、約4秒で終了します。圧倒的な高速性により、これまで困難であった量産時の全数検査が可能になりました。ローダー、アンローダーといったハンドリンク機構を構築することで、インラインでの導入も可能です。検査体を個別ID化して探傷データを収録・保存することで、不合格品(NG品)の傾向、生産ロットごとの割合、その他統計処理により解析・評価方法が広がり、品質改善を支援します。電子スキャン方式ならではの使いやすさAスコープと同時にBスコープ(断面図)がリアルタイムで見られるので、手間のかかる測定準備(キャリブレーション)作業が格段に容易になります。電子制御により超音波の焦点および観察深さを順次移動させ、平面画像を高速にサムネイル表示できます。