PCによる監視システム・遠隔操作ソフトまでをカバーし、お客様に満足いただける受注体制を心がけております。CVD装置、CVDガス系BOXやドライポンプ、ターボ分子ポンプを用いた排気系ユニット、圧力コントローラによるチャンバー内圧力制御まで対応できます。50kW~500kW以上対応のクーリングタワー利用冷却ユニットから30°C~-30°C冷却可能のチラーユニット、高周波電源の冷却に必要な純水循環装置などを製作しています。各種機械装置の冷却水配管も対応可能です。PCによる監視・遠隔操作ソフト比較的安価で汎用性の高いPCをベースに生産ラインや各種研究装置の監視ソフトを設計・製作いたします。表示データをデータベース化して保存することも可能です。産官学金ビジネス大交流会にて事例発表します。冷却装置までその一式全てを自社で手掛ける完全な一貫生産体制の装置メーカーです。