半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、各種素材など-120°Cから350°C温度変化による熱変形をレーザー三次元測定機による非接触にて測定することを目的としたチャンバです。流量制御された液体窒素と高精度温調器のヒーター出力制御による高精度の温度制御と温度保持精度±0.2°C以内を実現しています。試料ステージにはクライオ処理、アニール処理による熱歪みを最小限に抑えた熱伝導性の高い純銀を使用しており、表面温度を均一に保つことができます。よる機械精度の平面度を確保しています。各種レーザー三次元測定機メーカーを問わず取付脱着が可能です。徹底により、高品質で低価格にて提供しております。テストの工程全てを自社で行い、特注品の製作も数多く手がけております。高温度使用時においても水冷によるチャンバケースは常温に保っており、火傷などの危険に対する配慮がなされています。低温度使用時においては、液体窒素の流れる配管をSUS製テーパーネジ止めによる割れ、脱落、漏れがない接続ができ、凍傷の危険に対する配慮がなされています。N2過圧式による液体窒素の供給においても一定圧を超えると圧力を逃す精密減圧弁をサイフォンに設けており、安全に液体窒素の供給ができます。液体窒素供給ホースには安全性の高い(SUS+シリコン)専用ブレードホースを使用しています。対物レンズからサンプルまでの距離。試料の厚さにより変更可能です。オプションにより設置可能です。サーモコントローラー、LN2流量コントローラーの詳細をご覧いただく場合は、製品の写真をクリックしてください。