世界的に半導体製造ガスの制御に対して多くの実績がある製品をご紹介してます。Sensors社のUL991対応圧力スイッチや微差圧モニターを出展致します。基づく厳格な品質管理の下で生産された製品であり、迅速な納期で提供いたします。これらのメーカーはカスタマイズが得意で、「お客様の研究テーマや生産現場に則した機器及び問題解決の提案」を積極的に行っておりますので、流体制御に関するご相談はぜひ弊社までお問合せ下さい。ライン用の小型減圧弁_OEMガスシステムのための製品です。超高感度の圧力調整でMFC性能を強化。流量は2sccmから120SLPMまで対応。ステンレス316L※他の材質を使用したモデルも御座います。_64-2600シリーズ■ガスキャビネット、フックアップ、VMB/P対応のコンパクトな減圧弁_超高純度流体用の製品です。汚染物の発生が最少になるよう設計。流路部分からテフロン®のフリクションスリーブを排除した構造。ラインフィルターです。Info1.5nm、9LRV対応の高いパーティクル除去性能で、超高純度のガス供給に最適な製品です。■マスフローコントローラーなど流量制御装置の代替として採用されています。Infoオリフィス等による流量調整器に比べると、焼結金属全面で流体を受けるため乱流が起きにくく、長寿命です。ECHOLINE®ガスキャビネットの排気を監視し、予期せぬシステムのシャットダウンを防止します。