数ミクロン以下のレントゲンやX線CTは、X線顕微鏡或いはマイクロCTという名前でも呼ばれています。本法は、大きく図1の3種類に分類することができます。シンプルな方法は平行ビーム照射型で、サンプルとX線カメラをできるだけ近づけてボケを小さくし、ミクロンオーダーの高い分解能はX線カメラで確保する方法です。X線光学素子が不要なために、X線強度のロスが少なく、かつ視野も比較的広いことが特徴です。このため、サイズがmmオーダーのサンプルの観察に適しています。2)を開発し[1]、この方法を中心として開発を進めています[2](図2)。走査型X線顕微鏡は、全反射ミラーやフレネルゾーンプレート(FZP)などの集光光学素子を用いてミクロン以下に集光したX線を、サンプル上で走査し、各照射点における各種物性を計測する方法です。利用した化学状態分析などを行うことができます。当センターでは、白色X線を利用することでX線強度を確保し、実用的な計測時間のX線顕微鏡の実現を目指しています[3](図3)。結像型X線顕微鏡は、X線集光素子を用いてサンプルを透過したX線を拡大して、後段のX線カメラで検出する方法です。nmを切る分解能で観察を行うことが可能です。非常に強いX線に加えて、長いカメラ長が必要なことから、当センターでは本形式の顕微鏡の開発を当面見送る予定です。