山梨県Japanhttp://www.harmotec.com小間番号5515ホーム出展製品25年以上に渡る特殊ウェーハ搬送の専門メーカがあらゆる薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)の搬送問題を解決します。一般的に取り扱いが困難とされる、極薄・反り・歪み・微細加工(穴あき)・両面デバイスウェーハの搬送問題を解決いたします。今回新たに、外観検査用ウェーハ非接触ステージの実機展示も行います。パワーデバイス工程で使用されるTAIKOウェーハの表裏非接触搬送が可能なロボットハンドやピンセットなども展示いたします。ロボットハンド用FORK、ステージ間搬送用CIRCLE、ウェーハ矯正ステージ用CIRCLE等、様々なハンドを取り揃え、顧客殿のウェーハ搬送の目的やウェーハの癖に合わせて全てのハンドをご提案いたします。ウェーハに合わせて全ての装置をご提案いたします。(2~12インチ)の実績が有ります。検査機器メーカ様の検査ユニットに弊社のウェーハローダユニットを供給いたします。全て顧客殿の使い勝手の良いようカスタム仕様にて対応いたします。☆ドライクリーニング装置のご提案ウェーハプローブ工程前にウェーハ上の異物クリーニングを行います。本装置の導入によりプローブ工程での不良率低減、及びプローブカードの破損を未然に防ぎます。ウェーハ出荷前で表裏目視検査が可能でありながら、更に並び替え機能を付加し出荷前のウェーハ検査にて活用いただいております。出展製品ウェーハ検査機用、非接触ウェーハ保持ステージTAIKO、極薄ウェーハなどの保持が困難なウェーハを非接触にて保持することにより検査ステージとしての活用が可能です。InfoTAIKO、極薄ウェーハなどの保持が困難なウェーハを非接触にて保持することにより検査ステージとしての活用が可能です。非接触TAIKO&極薄ウェーハ搬送用ロボットハンドTAIKOウェーハの表面(プロセス面)及び裏面(グラインド面)に触れる事無く、浮上保持搬送が可能です。追加仕様で未研削ウェーハも同様に浮上保持搬送が可能となり、1本のハンドで3種類の異なる形状のウェーハに対応することが可能です。極薄ウェーハの非接触搬送も可能です。InfoTAIKOウェーハの表面(プロセス面)及び裏面(グラインド面)に触れる事無く、浮上保持搬送が可能です。追加仕様で未研削ウェーハも同様に浮上保持搬送が可能となり、1本のハンドで3種類の異なる形状のウェーハに対応することが可能です。極薄ウェーハの非接触搬送も可能です。全て顧客仕様に基づき、ウェーハの移載、並べ替え、梱包、開封等の装置製作が可能です。顧客殿のウェーハ形状、反り等、様々な癖を診断し構想提案いたします。Info全て顧客仕様に基づき、ウェーハの移載、並べ替え、梱包、開封等の装置製作が可能です。顧客殿のウェーハ形状、反り等、様々な癖を診断し構想提案いたします。