高性能な機器で信頼性と精度に優れたソリューションを提供しますナガセテクノエンジニアリングは最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにお応えします。半導体/MEMS/LED/フラットパネル/ディスク/バイオ/フォトリソグラフィー/太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。薄ウエハにも対応可能な卓上型のウエハ一括移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。接着材なしで、あらゆる基盤を瞬時に接着・剥離するモバイル静電キャリアを展示デモいたします。オープンクリーンシステムKOACH:オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。今年は3製品を新しくリリースします。レベリングを測定できるウエハ型の測定器を展示いたします。ドライポンプ省電力化モジュール:ドライポンプの排気口に取り付け消費電力を削減する装置です。卓上型超音波スプレーコーター:超音波噴霧化ノズル技術に基づいた均一性と制御性の高い超音波スプレーコーターを展示いたします。静電モバイルキャリア剛性で再利用可能なモバイル静電キャリアです。壊れやすい非標準の基盤や小型デバイスを汚染なくハンドリングを可能にします。接着剤やクリーン工程は不要です。プロセス用メタルカセット/樹脂カセット/洗浄用PFAカセット、フォトマスク用ツールを展示いたします。InfoH-Square社製の各種装置を展示デモいたします。ウエハ一括水平移載装置ウエハアライナーウエハリフターポータブル真空ピンセット非接触ハンドリングツールウエハ外縁ピックフォトマスク搬送ピック各種プロセス用/搬送用カセット様々なご要望にお応えいたします。作り出す画期的なクリーンユニットです。超極微細高性能フィルター技術と高精度な整流技術により密閉されていないオープンな環境下でも、短時間・低コスト・低消費電力で世界最高水準のクリーン空間を実現します。Info<特長>・稼動後、短時間で清浄空間を実現します。・作業空間が囲われていないオープン構造で作業がしやすい。・作業空間のコンタミを素早く排出し空間内の清浄度を維持します。・コンパクトで設置場所を選びません。・研究室でも生産現場でも使いたい場所に設置が可能。均一性と制御性の高いコーティングが可能、膜厚は数十ナノから数十ミクロンまで制御可能です。液滴サイズとスプレー幅に対応する超音波ノズルを各種ご用意しています。高温プレートが使用可能です。InfoUC330型超音波スプレーコーターは、薄膜コーティングの研究開発または少量生産に最適な超音波スプレーコーターです。バイオセンサー用、半導体フォトレジスト塗布などの様々な用途に対応します。