液体窒素送り温度の精密制御。照射開始0分から15分以内に安定化。照射前と照射後の温度差は安定化には関係ない。X線分解能テストチャートの観察などの集光ビーム評価を実施した。本研究での実験により、以下の性能をもつ集光ビームがユーザーに提供可能となった。以下の真空度で運用され、コンタミの発生防止に役立てられている。ワイヤを利用したナイフエッジスキャン法により集光ビームプロファイルを評価した。(FWHM)に対して増大して観察された。倍に向上し、設計通りの集光フォトン数を確認した。以下の集光を実現するために十分安定な振動レベルを有すること確認した。集光ビームプロファイル測定結果。100%)として計算した結果と、2枚のミラーによる反射率の実測値が数%の誤差で一致していることを確認し、入射X線エネルギーに対して設計通りの反射率が得られることが分かった。以上あることを確認した。以上の集光サイズ時は、水平方向のみ2次光源スリットを使用し、垂直方向集光に関してはアンジュレータ光源を直接投影する光学系とした。X線エネルギーで示された(図5)。集光ビームサイズと集光フォトン数の関係。2次光源スリットサイズの調整により、集光ビームサイズと集光フォトン数の調整可能。おいて観察した(図6)。s/line)、測定時間60分で取得した。s/line)、測定時間122分で取得した。以下の構造を分解できた。ラインアンドスペース構造が分解できた。製テストチャートの透過像。(a)(b)の集光ビームにより取得した場合。ラインアンドスペース構造である。検出器を同期させて取得した。透過光の取得強度(I/I0)は、試料走査ステージ搭載のリニアスケール値に基づき描画した。ナイフエッジスキャン法によるプロファイル評価では、1点あたりの強度取得時間が短い場合、微分プロファイルがなめらかに描けず、また、集光ビームにワイヤを半分挿入した状態で、下流側に設置したカメラにより像を観察した際に、集光ビームの垂直方向の位置振動が観察されるなど、これは垂直方向集光ビームの位置振動が原因であると考えられる。(a)のプロファイルは、1点あたり2秒の強度取得時間であり集光ビームの位置振動に対して十分に時間平均されている。強度取得レート、すなわち、2ミリ秒の強度取得時間であるため、2ミリ秒間のビームサイズや位置を反映した像となり、水平方向プロファイルと比べると垂直方向プロファイルは集光ビームの垂直方向の振動の影響により滑らかではないテストチャート像として観察された。像の歪が観察される程度であり、像の取得開始と終了時に特に分解能の悪化は観察されず、安定な顕微システムが構築できていることを確認した。まで使用することができる。おいて、反射ビームの水平方向の位置ドリフトが観測された。これは、クランプ面の平坦化のため結晶ホルダを簡素化した際に、散乱X線シールドの機能を果たしていた部品を取り外したためと考えられる。次回のビームライン運転停止時にシールド部品の追加を行う。高分解能かつ高強度ビームを安定して利用するために、二結晶分光器の低振動化対策として液体窒素流路の改良を実施する。