スパッタカソードと有機EL成膜装置開発で培った真空蒸着法を組み合わせ、反射防止層から防汚層の形成まで同一装置内で一貫成膜が可能で生産効率を最大限に高めることができる装置を提供します。※反射防止膜(AR膜:Anti-Reflection)光の映り込みや反射防止を目的としたコーティング。Print)指紋の付着防止、付着した指紋の拭き取りの容易化を目的としたコーティング。(一般的にはAR膜上にコーティング)タッチパネルを搭載したディスプレイの最表面には、指紋や汚れがつきにくく、容易に拭き取れ、また頻繁に操作をしても、傷つきにくい特性が求められています。従来のウエットコーティング法ではこれらの性能を十分充たすことが困難でしたが、当社の真空蒸着法で形成する最表面(防汚層)は、高い摺動耐久性で防汚機能を長く保つことができます。ロールプロセスでは高い生産性を維持することもできます。※成膜サンプルのご提供も可能です。下記のお問い合わせからご連絡をお願いします。シリーズ特長AR膜とAFP膜をフレキシブル基板に連続成膜する装置です。スパッタと真空蒸着の異なる真空度のプロセスを差圧調整機構を設けることで、連続成膜が可能。AR膜は、独自設計のロータリーカソードを採用することで、長時間運転かつ高出力成膜が可能。AFP膜は、独自設計のノズル型リニアソースを採用することで、高材料利用効率で高膜厚均一性成膜が可能。AFP膜は、独自設計のバルブ機構を採用することで、1)蒸着速度の安定性の維持、2)、非蒸着時の閉め切りが可能、3)蒸着中の材料交換が可能、4)液体材料の蒸着が可能。装置前後にATV機構をつけることで、原反フィルムの交換の際に装置を止めることなく連続稼働が可能となり、生産性の向上に寄与します。縦型回転ドラム式を採用し、ガラス基板やプラスチック基板にAR膜とAFP膜を真空一貫で成膜する装置です。HARD-Fシリーズと共通技術のスパッタ源と蒸発源を搭載しています。長尺基板や湾曲基板など多様な基板へ対応が可能。幅広い波長領域の成膜に対応し、少量、多品種の柔軟な生産が可能。オプションとして、ロードロック機構及び基板自動セットも搭載が可能。