電極の位置にそのまま対応していると考えて良い。電極付近で系統的にズレているのが見られる。減少すると、線幅が増大しているのも分かる。回折においても観測された。減少して格子定数が長くなっていると同時に、線幅が増大している。構造が歪みを受けていることを示唆している。定量解析はこれから行う予定であるが、電極付近で素子の構造が変化していることが分かった。回折の強度マッピング。HWHMのZ方向依存性。今後の課題:今後は定量解析を進めるとともに、更に高角領域の反射データを取得して、構造変化、或いは歪みの情報について、より精度の高い情報を引き出すことが必要である。実材料の構造が微視的にどのように変化しているか、その変化と誘電特性の変化がどのように対応しているか、解明につなげて行くことが必要である。