投稿者handotaiコメントする人間の耳には聞こえない20kHz以上の超音波でウエハーの表面に付着した汚染やパーティクルを弾性的に弾き飛ばす作用。液中にキャビテーション(微小の泡)を生じさせ、破裂時の衝撃波でウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。液中に振動を生じさせ、大きな運動量によりウエハー上の汚染・微粒子を弾き飛ばす。コメントをキャンセルメールアドレスが公開されることはありません。*サイト次回のコメントで使用するためブラウザーに自分の名前、メールアドレス、サイトを保存する。date*日本語が含まれない投稿は無視されますのでご注意ください。装置部品の変遷Top。