System.マイクロマシン。半導体の製造技術を活用して、チップの中に微小の機械システムを作り上げたもので、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路をひとつに集積したデバイス。機構部と電子回路部が別チップになったハイブリッドタイプのMEMSもある。コメントをキャンセルメールアドレスが公開されることはありません。*サイト次回のコメントで使用するためブラウザーに自分の名前、メールアドレス、サイトを保存する。date*日本語が含まれない投稿は無視されますのでご注意ください。装置部品の変遷Top。