レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。著書は、感光性フォトレジスト材料の評価、リソグラフィー技術・その40年、ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化(いずれもS&T出版)講演多数セミナーの趣旨EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。