記事内に商品プロモーションを含む場合があります半導体製造にはまだまだ危険なことがあると聞いたママ。確かに使うガスが危ないことは以前説明してもらった(参照:半導体製造には危険がいっぱい)のでわかっているつもりですが、それだけではないんだ、ということをセミオ君から聞いて少し複雑な心境です。ママ半導体は戦争で勝つために進化してきたのだけど・・。いう意味では、核と同じで平和利用が大事よね・・。作るのにも危ないことがそんなにあるなんて・・ママは腕組みをして考えています。難しい顔をしていたママでしたが、ママあっ、もうこんな時間だわ。早いとこ仕込み終わらせなきゃ。商売、商売っとママは何事もなかったように仕事を開始しました。「カランコロン」ミツオおはよう、ママママあら、ミツオちゃん。今日はセミオがこれそうもないから、代わりに、ってわけじゃないけどママまあ、ミツオちゃん、ありがと。ところでセミオちゃん、どうしたのミツオこないだの事故の話がまだ解決してなくてね。上司につかまっているよ。いえば、この前セミオちゃんが来たときにまだほかにも危ないことがあるって言ってたけど・・ミツオああ、多分スクラバーっていう排ガス処理装置の清掃問題だなさて、前回のお話で装置回りの排気ガスの処理のお話をしましたが、まだ、最終処理には至っていません。ミツオ君がいう、スクラバーとはいったい何なのか。スクラバーとは英語で書くと(scrubber)なのでscrubする人です。scrubは「ごしごし洗う」とか「磨く」といった意味なので磨く人、ということです。半導体業界や化学薬品業界ではスクラバーというと、有害なガスなどを水や薬品で中和して、大気に無害にして放出する装置のことです。それでは排ガス処理にはどんなものが使われてるのでしょう。小さな規模であれば、スクラバー付きドラフトチャンバー(局所排気装置)を使用することが多いようですが、工場のような大所帯になると多くのガスが発生するため、大きなファンを使用して一カ所に集めて大量に処理するケースが多いようです。スクラバーにはその処理の仕方によって、乾式と湿式があります。乾式は活性炭のような吸着材を使用してガスから危険なものを取り除く方法です。一般には有機溶剤のように水に不溶なガスの場合に使われます。これに対し、湿式はガスと洗浄液を接触させてガス内の毒性を除去して大気に放出します。先ほどの乾式と違って水溶性のガスに対して使用されます。酸とアルカリの両方のガスが発生するので、それぞれに対応したスクラバーが必要になります。今回、お話するのは、酸に対応するスクラバーで、かつ湿式のものです。前回お話した通り、副生成物は衝撃を与えたり、不用意に空気中にそのままさらすと自然に発火するというものです。副生成物対応のスクラバーは湿式です。スクラバーにアルカリ(苛性ソーダ)を加えて無害化していたこともありました。その後は、大量の水で処理する方法が主流となりました。水を加えると反応が進み、表面にはSIO2の膜ができて、とりあえず自然発火は防げます。膨張するのでその処理が難しくなります。スクラバーの通常時のトラブルのほとんどは排気口の詰まりです。副生成物が膨張して排気されてきたガスの出口をふさいでしまうのです。ファンにひかれた排ガス処理装置に入ってきたガスは最初に水のシャワーを浴びます。しても、水槽の入り口付近に副生成物ができることがあります。これを半ば力ずくで清掃するのですが、その時に爆発的燃焼を起こすことがあります。大きな音とともに火柱があがることもあります。慎重に行う必要があります。常に水で濡れている状態であれば、比較的安全ですが、表面が乾いた状態であれば、(水槽内でも乾いた状態になる)最初に水をかけたときの刺激でも発火します。屋外に設置していますが、周りにはどうしても水素の雰囲気がありますので場合によっては大事故になる可能性もあるのです。私自身、かなりの回数作業をしましたが、毎回ドキドキしながらやっていました。炉で反応したあとの副生成物と反応せずにただ流しただけ(温度があがっていない)の副生成物には違いがありました。高温の中を通ってきていないガスは、高温の中で反応後のガスと比べると比較的安全でした。私見ですが、危険なものは一度熱分解されてしまったもの、比較的安全なのは分解されずにそのまま排出されたものだろうということです。この二つは化学的に性質が違うだろうということは想像がつきます。ママ気にはなってたのよね、そこのところ。最終的に処理できるところってどんなのかな~て。ミツオ装置の近くは反応した直後だから、急激に温度が下がるからより多くの副生成物が成長するんだけど、結局はスクラバーで反応を開始してしまうんだ。ママそこでの一回の副生成物量は少ないけど、性質は変わらない、てことね。繰り返してると危険な状態になるミツオそうなんだ。こまめに掃除していけばなんとかなる、と思ってたんだけど。簡単には綺麗にならなくてね。半導体の製造現場は装置を停止することは悪、みたいな風潮があるから、なかなかつらいとこなんだ。ママ掃除するためには装置を停止しなきゃならない、ってことね。まとめ半導体を人にたとえた場合、今回の件はどう考えればいいでしょうか。半導体を製造していく過程では、今まで紹介してきた通り、危険なものが多く使われ、またそれで新たにできてしまうものにも危険が伴います。半導体はクリーンルームというほとんどゴミがない部屋で作られます。作業する人は全身をクリーンスーツというものに身をつつみ、ボールペンの一本に至るまでゴミや金属に気を使います。一歩その外側に出ると、危険なだけでなく、非常に汚いものや、環境を汚染しかねないものが存在することも事実です。人も生きていくために汚水を飲まざる負えないときがあると思います。表面では綺麗なことを言ったり、行ったりしていても、裏に回ると恥ずかしいことや汚いことをしていることがほとんどではないでしょうか。半導体とはどこか人に似ているような気がします。ママまあ、ミツオちゃんまで。半導体を理解するのに人にたとえるのはいいけど、そんなに似てないわよ。ミツオママ、はっきり言うね~ママだって冷たい言い方をすると半導体は道具よ。ミツオそりゃそうだけどさ。ママ私たちは毎日精一杯生きていくのよ。神様はそんな面倒くさいこと考えてないわミツオママにはかなわないな。ママ世の中はしょせん諸行無常よ。MERUNNER半導体材料のメーカーで長年仕事をしてきました。材料メーカーなので半導体について多くの詳細を知っているわけではありませんがその分七面倒くさい言い方ではなくわかりやすく伝えられると考えています。お時間と興味があれば、読んでみて下さい。コメントをキャンセルメールアドレスが公開されることはありません。飲み屋でうける半導体の。