プラント機器までをカバーする総合機械メーカーです。本展示会ではクライオポンプ、レーザアニール装置、真空ステージ、減速機を出展します。出展製品クライオポンプおよび真空ロボット省エネに特化したクライオポンプ(実機展示)および真空ロボット(パネル展示)を行っておりますので、是非当社ブースへお越しください。皆様のご来場を心よりお待ち申し上げます。独自のダブルパルスプロセスを可能にした固体レーザと長波長レーザを搭載したハイブリットアニール装置です。固体レーザの特徴である、高繰り返し高パルスエネルギ安定性、メンテナンスフリー、コンパクト設計を備え、半導体分野の次世代プロセスの開発を促進します。SiCオーミック・コンタクト生成、活性化など非照射面の温度上昇を抑えつつ、メタル-SiC界面を高温に加熱し、OPTSWING※(独自の高速スキャン方式)でオーミック・コンタクトの生成を実現します。バックラッシュといった特徴を持つ変速機を参考出展致します。Infoデモ品を展示しておりますので、是非お手に取って感触をお確かめ下さい。