午前中はフォトリソグラフィーのシミュレーション。今日は四角い穴の列であった。午後にはパッドに変な模様ができているところをSEM観察。なにやら膜が浮き上がっているような感じだな。それから夕方にかけて、測定条件のファイル書き。キーレスポンスが妙に悪くてちょっちささくれたり。30分ほど経過してしまい残業に。夕食は雨の中を自動車でふー太へ。帰宅してWeb巡り&IRC流し。うひょぉーB4サイズのVAIOもんのすっごくでかい罠(ぉ。A4の用紙切れだというのでカセットにA4を追加したがやっぱりエラーが出る。カセットをよく見ると、紙をセットするのは奥のほうであった。A4の紙をセットしたらA4分のスペースが余るに決まっているのだった。