製造をメインに、設計・製作からメンテナンスまで一貫したサービスを行っております。今回はφ200/300mm対応のマスクアライナーや、卓上サイズのデスクトップアライナー、フォトマスクを必要としないマスクレス露光装置をメインとして、各種露光装置をパネルや動画にて展示・ご紹介いたします。現在、一括の投影露光装置も開発しており、今回のセミコンジャパンにてパネル出展いたします。他には研究、試作に最適なデスクトップアライナーに関しては実機展示もいたしますので、実際に操作して触って頂くことも可能です。露光装置をお探しの方、また露光工程でお困りの方がおられましたら、是非当社ブースにお立ち寄りください。皆様のご来場を心よりお待ちしております。出展製品マスクレス露光装置フォトマスクを必要とせず、パターンを直接高速描画。研究用途だけに限らず、搬送系をつけた自動機へのカスタマイズも可能。解像力のラインナップもあり、電子部品、パッケージング向けなど使用用途は多彩。Seriesφ300mmに対応した全自動タイプのマスクアライナ。φ2"~φ300mm、角基板やシートタイプの基板など、累計600台以上の納入実績を誇るベストセラー製品。Info・独自の高速画像処理技術でウェハとマスクを高精度にアライメント・オートマスクチェンジャを搭載。・非接触プリアライナを搭載。卓上におけるような小型の安価なアライナーを開発。光源はUV-LEDを採用し、環境にも配慮。専門メーカである大日本科研が一括露光タイプの投影露光装置を開発。開発中ではあるが、セミコンジャパンにてパネル出展。φ300mm用手動露光装置あらたにφ300mm用の手動露光装置をラインナップ。従来タイプよりも装置をCompact化し、操作性も向上。