microscopy(走査型マイクロ波顕微鏡法)という言葉がよく出てくる(例えば、走査型マイクロ波顕微鏡法(SMM)モード)。走査型マイクロ波顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡の原理とベクトル・ネットワーク・アナライザを組み合わせたものである。プローブで試料表面を走査(スキャン)しながら、振幅/位相が既知のマイクロ波の入射信号を微小な探針(プローブ)に伝送し、プローブと試料の表面の間の終端(微小な間隙)で生じる反射波の振幅/位相を測定することにより、試料表面の局所的な反射係数(終端インピーダンス)の変化を、走査型プローブ顕微鏡の原子レベルの分解能でイメージング(可視化)することができる。ように半導体表面を走査して、キャリア分布を可視化できる。投稿者:S.Y.コメントは受け付けていません。