04.2は、エッチングやCVDなどの腐食性の高いプロセスに特に適しています。L-VATとは、単一軸の圧空アクチュエータによってゲートをJ字型に動かす技術です。このJ字型の動きでは、ゲートをバルブ本体に接触させることなく垂直方向に閉位置まで移動させてから、さらに水平方向に移動させてゲートシートに押し付け、接続された空気圧に関連する一定の力でシールをゲートシートに接触させます。sealが装着されています。この仕組みは、標準的なOリングシーリングよりも信頼性が高く、耐久性も高いシーリングソリューションですが、標準のOリングシーリングもオプションとして利用可能です。シャフトフィードスルーは、耐久性の高い金属製の溶接ベローズで密閉されています。04.2を空気圧で閉位置と開位置にロックできます。04.2HV角型ゲートバルブL-VATは、メンテナンスフリーの動作期間が長くなるように設計されています(第1回サービスまでのサイクル数は最大300万サイクル)。04.2は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。04.2はあらゆる面で信頼できる製品です。HV角型ゲートバルブL-VATはすべて、お客様の仕様に合わせて作られています。リアサイドの開口部が異なる2つのバルブタイプと、内側または外側チャンバーバルブシートを備えた2つのインサートタイプ、合わせて4つの所定の基本構造があります。バルブ本体の材質は、アルミニウム、硬質アルマイトまたはニッケルメッキからお選びいただけます。ゲートとボンネットのシールはFKMまたはFFKMです。標準以外のシーリング材はご要望にお応えします。見積書を入手したり、特定のCADデータをダウンロードしたりするための要件を指定するには、製品の詳細を参照してください。見るカスタマイズ済みソリューションカスタマイズしたソリューションを指定します。仕様を収集するのに役立つスペックシートをダウンロードしてください。仕様書をお持ちの場合は、アップロードして送信してください。見積もりをお送りします。製造は、専用のプロセスチャンバーで何段階かに分けて行われます。薄膜コーティング薄膜のコーティングには、CVD、PVD、MOCVD、PECVDなど、さまざまなプロセスが用いられます。分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。