今日の出勤は曇り気味で暑さも緩和した感じ。2枚目から再度やりなおそうと一旦アンロード。近くでパリンチャリーンと派手な音がした。ステージを上げる前に確認しると言われてたのを怠っていた。ウェハー表面を窒素ガスでブローしてまた測定したり。2003.9.9」のキルマーク(?)を作成し測定機に貼っておく。SEMは見たい断面が出てなくて夕方に再度見る。断面に近そうなところを撮影し、1時間半の残業で撤退。基板と金属で硬さが違うので。夕食をスーパーで買ってきたもので済ませた後、Web&IRC。