大型化するディスプレイに応じて回路パターンを形成するフォトマスクも大型化しています。フォトマスク上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理・エッチング処理を行う装置です。マスクプロセッサーは、ローダー/アンローダー、搬送機、スピン現像装置、スピンエッチング装置で構成された装置になります。複数のサイズを設定可能(マスクサイズについてはご相談ください。180KVADIW205lpmCDA500slpmN2650slpm排気357m3/minお問い合わせお気軽にお問い合わせください。