「新しい波」を興しながら現在も進化をつづけ、未来の新たなライフスタイルを創出することが期待されています。本ブログでは、MEMS産業化を支援する一般財団法人マイクロマシンセンターやMEMS協議会の活動状況を「MEMSの波」として紹介していきます。半導体業界だけでなくMEMS分野においても、必要な技術、設備、人財の全てを、自前で内部から調達する「クローズドイノベーション」にはもはや限界が来ており、リソースを広く外部からも含めて調達する「オープンイノベーション」への転換が必要との認識は産官学共通のものとなってきています。MNOICはその社会的要請に応えるソリューションのひとつです。所有する世界最先端のMEMS研究施設をR&Dプラットフォームとして活用することにより、参加機関の自主研究・試作を支援するサービスをこの8月から開始しました。設備面では世界最先端の8/12インチMEMS試作研究ライン;ニックネーム”TKB812”がご利用いただけます。ウェハの洗浄、リソグラフィー、成膜、エッチングなどの前工程プロセスから、接合実装、デバイスチップ切断、実装用配線などの後工程プロセス、さらに、デバイス表面及び内部の形状評価までカバーする一貫ラインです。前工程プロセス装置は、3次元マイクロ加工からサブハーフミクロン加工まで対応しており、実績あるセンサ等のMEMSから最先端レベルのデバイスの試作が可能です。MEMS量産現場で実績を積んだ加工装置メーカーによる国内第1号の12インチ対応装置も備わっています。8/12インチプロセス試作が始まったところです。本格的な稼働はこれからですので、MEMS開発に関する課題をお持ちの方々は是非ご一報をお寄せください。詳細については、マイクロマシンセンターの該当ホームページへどうぞ。"TKB812"ご紹介ビデオへのリンクはこちら。技術展示のご報告(2022年11月14日~16日)(2022.11.28)コメントコメントを書く名前:メールアドレス:(ウェブ上には掲載しません)アドレス(URL):この情報を登録するコメントは記事投稿者が公開するまで表示されません。バックナンバー2024年11月2024年10月2024年9月2024年8月2024年7月2024年5月2024年4月2024年3月2024年2月2024年1。