製品のお問い合わせや技術的なこと・修理のご依頼についてもお気軽にご相談ください。表面処理のメカニズム平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。小型基板対応装置の2機種を用意しています。8インチ以上の大面積処理が可能です。樹脂基板の表面処理にも最適です。処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを配慮したソフトモードを選択できます。