半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。クリーンルーム仕様で、ドラフト構造になっています。出来るだけ分けた状況での排気が可能。塩化鉄)と、有機溶剤(アセトン)は付設の専用タンクへ一括排出。純水槽にはN2ガス散気システムを装備。高レベルの洗浄効果を発揮。●薬液槽はすべてPVC製トレイ上に設置。液ダレやオーバーフロー、排水への薬液混入に対処。●処理工程プログラムは、10パターンを任意で設定可能。複雑な処理工程も、多彩なワークで対応。●自動消火システムと炎検知センサーにより、万が一の発火にも、CO2ガス噴射ですばやい消火が可能。お気軽にお問い合わせくださいオリジナル装置のご相談はオーエヌ電機株式会社にお任せください。