チルトセンサ(レーザーオートコリメータ)などの光学傾斜センサでの半導体業界向けの事例集をご紹介いたします。限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちのお客様がいらっしゃいましたらお気軽にお問合わせください。下記からご連絡お待ちいたしております。お問い合わせはこちら本光学センサは対象物の位置(X-Y)を非接触、高精度に測定することが可能です。X-Y方向の移動機構の測定、検査に最適な光学センサです。レンズシフトやセンサーシフト方式の手ぶれ補正機能付きアクチュエータ検査にご採用いただいています。仕様は下記をご参照ください。※なお仕様および製品名などは変更になる場合がございます。製品のお問合せなどございましたら、営業担当または下記よりお問い合わせください。測定するターゲットが複雑になるばかりか、システムをくみ上げる観点からするとあまりシンプルな手法ではありません。弊社ではX-Y軸の変位に加え、回転方向の測定が可能なセンサーを2020年8月に販売を開始しました。Z方向の変位、チルトX、チルトYも同時に測定可能なため6軸同時測定が可能です。測定の様子は下記をご覧ください。ご興味おありでしたら下記からコンタクトいただけますようお願いします。お問い合わせはこちら1台のセンサで平行ビームの様々な特性を測定することができます。コリメート光源の検査、調整用としてお使いいただけます。測定項目は1強度分布2平行度3光軸角度等です。今では自動運転などに使用されているLiDARの投光ビームを調整する技術として展開しております。LiDAR、平行ビームの調整でお困りの際、お問い合わせ下さい。マウント精度を測定することができます。付属する観察光学系を使えば、角度測定点を確認することも可能です。微小光学部品のマウントでお困りの際はお問い合わせください。お問い合わせはこちらレンズを組み立てる際光軸合わせは重要な調整項目です。当社のチルトセンサ(光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサ)を使えば組立時のレンズの角度を測定することができます。(レンズのコバ面にレーザを照射、反射光から角度を測定など)工程ごとにレンズの角度を確認、調整することで光軸傾きの無いレンズを作ることができます。群レンズ、レンズユニットなどレンズ測定でお困りの際はお問い合わせください。お問い合わせはこちらスマートフォンに搭載される光学手ぶれ補正(OIS)アクチュエータの評価装置を販売してます。アクチュエータメーカからカメラメーカ、スマホメーカに至る全ての評価シーンでご使用いただけます。OISアクチュエータの評価に必要なほとんどの評価測定項目をサポートしています。ホール素子の測定、アクチュエータの抵抗測定も行えます。OISアクチュエータ固定治具も付属します。「お客様はOISアクチュエータを準備いただく」だけで評価可能な装置をご提供します。詳しい内容はお問い合わせください。