引數可以與步驟 10 中相同，但可以使用稍長的蝕刻時間 （40 s） 來確保刪除所有 a-Si。

引數可以與步驟 10 中相同，但可以使用稍長的蝕刻時間 （40 s） 來確保刪除所有 a-Si。

Parametrarna kan vara samma som i steg 10, men en något längre etsning tid (40 s) kan användas för att säkerställa avlägsnande av alla a-Si.
