根據這段文字，需要多少架波音747才能運輸10臺ASML最暢銷的EUV裝置？
經過幾十年的發展，ASML在2013年發貨了第一臺生產用極紫外光刻機。這些機器在高能鐳射聚焦在微小的熔融錫液滴上產生等離子體時，產生13.5奈米波長範圍內的光。然後，光被反射到世界上最平坦的蔡司鏡子上，再投射到矽晶圓的表面上，以傳遞晶片的設計。ASML最暢銷的EUV產品是Twinscan NXE:3600D，售價高達2億美元。發貨需要40個運輸集裝箱、20輛卡車和3架波音747。截至2022年，ASML已經發貨了約140個EUV系統，它是唯一製造這些系統的公司。

ASML正在研發下一代EUV系統，預計2023年底將首次向客戶發貨進行研發。該平臺被指定為High-NA，因為它將把數值孔徑（NA）從0.33提高到0.55，每個系統預計將耗資3億美元。
最暢銷的 EUV 是 Twinscan NXE:3600D，每臺 EUV 需要 3 架波音 747，因此需要 30 架波音 747 才能運輸 10 臺 Twinscan NXE:3600D。