Bitte erzeugen Sie eine JSON-Darstellung der Prozessgase, die für die amorphe Kohlenstoffabscheidung in PECVD verwendet werden, mit der molekularen Formel als Schlüssel, dem in der Beschreibung enthaltenen Gasnamen und einem "Dep-Rate"-Schlüssel, der die wahrscheinlichste Wirkung auf die Kohlenstoffabscheidungsrate nach Erhöhung des Gasanteils in einem Prozess (mit Werten von "Erhöhung", "Verringerung" oder "Unzutreffend") anzeigt.
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Hier ist eine JSON-Darstellung von Prozessgasen, die für die amorphe Kohlenstoffabscheidung in PECVD verwendet werden, sowie Informationen darüber, wie sich der Anteil jedes Gases auf die Kohlenstoffabscheidungsrate erhöht: ```json { "amorphous carbon PECVD": { "CH4": { "description": "Methan", "dep rate": "crease", "belief": 8 }, "C2H2": { "description": "Acetylen", "dep rate": "crease", "belief": 9 }, "Ar": { "description": "Argon", "description": "inconsequential", "belief": 10 }, "H2": { "description": "Hydrogen", "dep rate": "decrease", "decrease": "decrease": "def": 7 } } } ``````descriptioneif": 10 , "H2": {description": {description": "H2": "description": "description": "H2": "H2": "H2": "H2": "Hydrogen", "Hydrogen", "H": "Hydrogen", "H": "Hydrogen", "H":": "H": "H": "Hydrogen", "H": "H": "H": "Hydrogen", "H": "H": "H": "Hydrogen", "H":": "H": "H": "H": "H": "H": "H": "H": "H": "Hydrogen", "H": "H": "Hydrogen", "H":": "H": "H": "H": "H": "H": "H": "Hydrogen", "H": "H": "H": "H": "H"
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