Bitte erzeugen Sie eine JSON-Darstellung der Prozessgase, die für die amorphe Kohlenstoffabscheidung in PECVD verwendet werden, mit der molekularen Formel als Schlüssel, dem in der Beschreibung enthaltenen Gasnamen und einem "Dep-Rate"-Schlüssel, der die wahrscheinlichste Wirkung auf die Kohlenstoffabscheidungsrate nach Erhöhung des Gasanteils in einem Prozess (mit Werten von "Erhöhung", "Verringerung" oder "Unzutreffend") anzeigt.
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