b'\n_START_ARTICLE_\nSistemas microeletromec\xc3\xa2nicos\n_START_PARAGRAPH_\nSistemas microeletromec\xc3\xa2nicos (MEMS) \xc3\xa9 a tecnologia de dispositivos microsc\xc3\xb3picos, particularmente aqueles com partes m\xc3\xb3veis. Ela funde a escala nano em sistemas nanoeletromec\xc3\xa2nicos (NEMS) e nanotecnologia. MEMS tamb\xc3\xa9m s\xc3\xa3o referidos como microm\xc3\xa1quinas no Jap\xc3\xa3o, ou micro sistemas de tecnologia (MST) na Europa._NEWLINE_Os Sistemas microeletromec\xc3\xa2nicos s\xc3\xa3o sistemas \xe2\x80\x9cinteligentes\xe2\x80\x9d em miniatura, consistindo em um grande numero de dispositivos mec\xc3\xa2nicos integrados a grandes quantidades de elementos el\xc3\xa9tricos, sobre um substrato de sil\xc3\xadcio. Os dispositivos mec\xc3\xa2nicos podem ser de dois tipos: microssensores e microatuadores\xc2\xb9\xe2\x81\xb0._NEWLINE_\xc2\xa0Os microssensores trabalham da seguinte maneira: coletam informa\xc3\xa7\xc3\xb5es do ambiente pela medi\xc3\xa7\xc3\xa3o de fen\xc3\xb4menos mec\xc3\xa2nicos, t\xc3\xa9rmicos, qu\xc3\xadmicos, \xc3\xb3pticos e/ou magn\xc3\xa9ticos. Em seguida os componentes micro-eletr\xc3\xb4nicos processam a informa\xc3\xa7\xc3\xa3o coletada \xc2\xa0pelos sensores e, na sequencia, retornam\xc2\xa0decis\xc3\xb5es que direcionam as respostas dos dispositivos micro-atuadores. Estas respostas podem ser de posicionamento, movimenta\xc3\xa7\xc3\xa3o bombeamento, regulagem ou filtragem. Os dispositivos micro-atuadores incluem eixos, sulcos, engrenagens, motores e membranas, com dimens\xc3\xb5es microsc\xc3\xb3picas, da ordem de apenas alguns micr\xc3\xb4metros de tamanho. Na figura podemos ver uma micrografia eletr\xc3\xb4nica de varredura de um MEMS de acionamento e de redu\xc3\xa7\xc3\xa3o\xc2\xb9\xe2\x81\xb0._NEWLINE_O processamento dos MEMs inclui tecnologias de fotolitografia, implanta\xc3\xa7\xc3\xa3o i\xc3\xb4nica, ataques qu\xc3\xadmicos e deposi\xc3\xa7\xc3\xa3o, al\xc3\xa9m de t\xc3\xa9cnicas de micro-usinagem, no caso de alguns componentes espec\xc3\xadficos. Os componentes que formam um MEMES s\xc3\xa3o extremamente sofisticados, confi\xc3\xa1veis e de dimens\xc3\xb5es diminutas, se caracterizando ainda por ser bastante econ\xc3\xb4mica e eficiente em termos de custo. Contudo h\xc3\xa1 limita\xc3\xa7\xc3\xb5es quanto ao uso de certos materiais nos MEMS, como por exemplo o sil\xc3\xadcio, que apresenta baixa tenacidade \xc3\xa0 fratura (~0,90 MPa), uma temperatura de amolecimento relativamente baixa (600\xc2\xb0C), al\xc3\xa9m de ser altamente reativo na presen\xc3\xa7a de \xc3\xa1gua e oxig\xc3\xaanio\xc2\xb9\xe2\x81\xb0._NEWLINE_Esta tecnologia ja est\xc3\xa1 inserida no dia-a-dia das pessoas, como por exemplo os carros equipados com air-bags , onde os MEMS funcionam como aceler\xc3\xb4metros. Assim, os MEMS medem a acelera\xc3\xa7\xc3\xa3o do ve\xc3\xadculo atrav\xc3\xa9s da oscila\xc3\xa7\xc3\xa3o de um pequeno dispositivo e enviam um impulso el\xc3\xa9trico para um microprocessador. Na fra\xc3\xa7\xc3\xa3o de segundo que antecede o acidente, ocorre uma queda na acelera\xc3\xa7\xc3\xa3o. Isso faz com que a frequ\xc3\xaancia da oscila\xc3\xa7\xc3\xa3o caia e a resposta do microprocessador \xc3\xa9 ativar os air-bags.\xc2\xa0Outra \xc3\xa1rea em que esses pequenos dispositivos s\xc3\xa3o aplicados \xc3\xa9 a medicina, em equipamentos cir\xc3\xbargicos ou que necessitem de muita precis\xc3\xa3o, devido \xc3\xa0 alta Qualidade desses Materiais. Outra fun\xc3\xa7\xc3\xa3o para os MEMS que est\xc3\xa1 sendo estudada \xc3\xa9 na pr\xc3\xb3pria inform\xc3\xa1tica. A utiliza\xc3\xa7\xc3\xa3o de uma esp\xc3\xa9cie de \xe2\x80\x9cmem\xc3\xb3ria mec\xc3\xa2nica\xe2\x80\x9d permitiria a cria\xc3\xa7\xc3\xa3o de mem\xc3\xb3rias para computadores que usaria padr\xc3\xb5es de vibra\xc3\xa7\xc3\xa3o para armazenar informa\xc3\xa7\xc3\xb5es\xc2\xb9\xc2\xb9.\xc2\xa0'