b'\n_START_ARTICLE_\nMikrofabrikation\n_START_PARAGRAPH_\nMicrofabrication \xc3\xa4r processen att skapa miniatyrstrukturer i mikrometerskala (en miljondels meter) eller mindre. Ur historisk synvinkel utvecklades mikrofabrikationsprocesser f\xc3\xb6r att skapa integrerade kretsar, \xc3\xa4ven kallat "halvledartillverkning" eller "halvledarfabrikation". Under de senaste tre \xc3\xa5rtiondena har dessa processers anv\xc3\xa4ndningsomr\xc3\xa5de expanderat till att inkludera mikroelektromekaniska system (f\xc3\xb6rkortat MEMS, amerikansk terminologi), mikrosystem (europeisk terminologi), mikromaskiner (japansk terminologi) och deras delf\xc3\xa4lt: mikrofluidik/lab-on-a-chip, optiska MEMS (MOEMS), radiofrekvens-MEMS (RF MEMS), PowerMEMS, BioMEMS och deras utvidgning ner\xc3\xa5t nanoskalan (till exempel NEMS f\xc3\xb6r nanoelectromechanical systems). Mikrofabrikationsprocesserna har \xc3\xa5teranv\xc3\xa4nts, men ocks\xc3\xa5 anpassats och utvidgats. Vid tillverkning av plattsk\xc3\xa4rmar och solceller anv\xc3\xa4nds \xc3\xa4ven liknande tekniker. _NEWLINE_Miniatyrisering av diverse strukturer inneb\xc3\xa4r utmaningar inom flera vetenskaps- och ingenj\xc3\xb6rsgrenar: fysik, kemi, materialvetenskap, datavetenskap, ultraprecisionsteknik, tillverkningsprocesser och design. Det ger ocks\xc3\xa5 upphov till olika former av interdisciplin\xc3\xa4r forskning. De grundl\xc3\xa4ggande koncepten och metoderna inom mikrofabrikation \xc3\xa4r mikrolitografi, dopning, tunnfilmsbel\xc3\xa4ggning, v\xc3\xa5tetsning, torretsning, bondning and polering.'