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GaAs का उपयोग प्रायः अन्य III-V अर्धचालकों के एपितैक्सियल विकास के लिए सबस्ट्रेट पदार्थ के रूप में होता है, जैसे इंडियम गैलियम आर्सेनाइड, एल्यूमिनियम गैलियम आर्सेनाइड आदि।
GaAs is often used as a substrate material for the epitaxial growth of other III-V semiconductors, including indium gallium arsenide, aluminum gallium arsenide and others.