दशकों के विकास के बाद, एएसएमएल ने 2013 में पहली उत्पादन चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी मशीन भेजी। ये मशीनें 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य रेंज में प्रकाश उत्पन्न करती हैं जब एक उच्च ऊर्जा लेजर प्लाज्मा का उत्पादन करने के लिए पिघले हुए टिन की सूक्ष्म बूंदों पर केंद्रित होता है, जो तब ईयूवी उत्सर्जित करता है रोशनी। चिप के लिए डिज़ाइन प्रदान करने के लिए प्रकाश को ज़ीस दर्पणों से, जो दुनिया के सबसे चपटे दर्पण हैं, सिलिकॉन वेफर की सतह पर उछाल दिया जाता है। ASML का सबसे अधिक बिकने वाला EUV उत्पाद ट्विन्सकैन NXE:3600D रहा है, जिसकी कीमत $200 मिलियन तक है। मशीन की शिपिंग के लिए 40 शिपिंग कंटेनर, 20 ट्रक और तीन बोइंग 747 की आवश्यकता होती है। 2022 तक, ASML ने लगभग 140 EUV सिस्टम भेजे हैं, और यह उनका निर्माण करने वाली एकमात्र कंपनी है।

एएसएमएल ईयूवी सिस्टम की अगली पीढ़ी पर काम कर रहा है, आर एंड डी उद्देश्यों के लिए ग्राहकों को पहली शिपमेंट 2023 के अंत में होने की उम्मीद है। प्लेटफॉर्म को हाई-एनए नामित किया गया है क्योंकि यह संख्यात्मक एपर्चर (एनए) को 0.33 से बढ़ा देगा। 0.55, और प्रत्येक प्रणाली की लागत $300 मिलियन होने की उम्मीद है।
सबसे अधिक बिकने वाली ईयूवी ट्विनस्कैन एनएक्सई:3600डी है, और इसमें प्रति ईयूवी 3 बोइंग 747 लगते हैं, इसलिए दस ट्विनस्कैन एनएक्सई:3600डी भेजने के लिए 30 बोइंग 747 की आवश्यकता होती है।
दशकों के विकास के बाद, एएसएमएल ने 2013 में पहली उत्पादन चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी मशीन भेजी। ये मशीनें 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य रेंज में प्रकाश उत्पन्न करती हैं जब एक उच्च ऊर्जा लेजर प्लाज्मा का उत्पादन करने के लिए पिघले हुए टिन की सूक्ष्म बूंदों पर केंद्रित होता है, जो तब ईयूवी उत्सर्जित करता है रोशनी। चिप के लिए डिज़ाइन प्रदान करने के लिए प्रकाश को ज़ीस दर्पणों से, जो दुनिया के सबसे चपटे दर्पण हैं, सिलिकॉन वेफर की सतह पर उछाल दिया जाता है। ASML का सबसे अधिक बिकने वाला EUV उत्पाद ट्विन्सकैन NXE:3600D रहा है, जिसकी कीमत $200 मिलियन तक है। मशीन की शिपिंग के लिए 40 शिपिंग कंटेनर, 20 ट्रक और तीन बोइंग 747 की आवश्यकता होती है। 2022 तक, ASML ने लगभग 140 EUV सिस्टम भेजे हैं, और यह उनका निर्माण करने वाली एकमात्र कंपनी है।

एएसएमएल ईयूवी सिस्टम की अगली पीढ़ी पर काम कर रहा है, आर एंड डी उद्देश्यों के लिए ग्राहकों को पहली शिपमेंट 2023 के अंत में होने की उम्मीद है। प्लेटफॉर्म को हाई-एनए नामित किया गया है क्योंकि यह संख्यात्मक एपर्चर (एनए) को 0.33 से बढ़ा देगा। 0.55, और प्रत्येक प्रणाली की लागत $300 मिलियन होने की उम्मीद है।