지지 블록 ( 130 ) 이 도 8 에 도시 된 바 와 같이 가이드 레일 ( 120 ) 의 측면 을 통해 네 점 접촉 을 구성 하 거나 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 가이드 레일 ( 120 ) 의 상부 와 측면 을 통해 네 점 접촉 을 구성 하 는 경우 , 반송 유닛 ( 110 ) 의 베이스 ( 111 ) 는 도 9 및 도 11 에 도시 된 바 와 같이 다 리부 ( 111 a ) 를 구비 하 는 테이블 형태 로 형성 되 어 , 지지 블록 ( 130 ) 의 상부 및 측면 에 접촉 되 도록 형성 될 수 있 다 . 도 9 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 반송 장치 에서 지지 블록 상 에 베이스 가 설치 된 모습 을 보여 주 는 단면도 이 며 , 도 11 은 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 기판 반송 장치 에서 지지 블록 상 에 베이스 가 설치 된 모습 을 보여 주 는 단면도 이 다 .