특히 , 상기 제 3 용액 의 경우 에 는 상기 염산 과 과산화수소 각각 을 단독 으로 사용 하 거나 상기 염산 과 과산화수소 를 혼합 하 여 사용 한다 . 또한 , 상기 제 3 용액 의 온도 가 약 50 ℃ 미만 이 면 상기 순수 한 산화 막 의 형성 이 용이 하 게 이루어지 지 않 기 때문 에 바람직 하 지 않 고 , 약 100 ℃ 초과 이 면 상기 순수 한 산화 막 의 형성 에 따른 공정 제어 가 용이 하 게 이루어지 지 않 기 때문 에 바람직 하 지 않 다 . 따라서 , 상기 제 3 용액 은 약 50 내지 100 ℃ 의 온도 를 갖 도록 조정 하 는 것 이 바람직 하 고 , 약 70 내지 90 의 온도 를 갖 도록 조정 하 는 것 이 보다 바람직 하 다 .