이때 , 측벽 산화 막 ( 27 ) 은 30 Å ( 바람직 하 게 는 , 25 ∼ 35 Å 두께 두께 로 형성 하 고 , 라이너 질화 막 ( 28 ) 은 48 Å 두께 ( 바람직 하 게 는 , 45 ∼ 50 Å 두께 ) 로 형성 한다 . 특히 , 측벽 산화 막 ( 27 ) 을 형성 하 기 위한 측벽 산화 공정 은 열 산화 공정 이 아닌 라디칼 산화 ( Radical oxidation ) 방식 을 이용 한다 .