이러 한 기판 처리 방법 에 있 어서 , 상기 처 리조 내 에 동시 에 반송 된 1 이상 의 기판 별 로 , 상기 린스 장치 내 에 동시 에 반송 되 도록 해도 좋 다 . 이러 한 기판 처리 방법 에 따르 면 , 처 리조 에 동시 에 반송 되 는 1 이상 의 기판 마다 , 처 리조 내 에서 의 처리 , 처 리조 로부터 린스 장치 로 의 반송 , 및 린스 장치 내 에서 의 린스 처리 가 행해져 간다 . 따라서 , 피 처리 기판 의 취급 및 관리 가 단순 화 될 수 있 다 . 또한 , 이러 한 기판 처리 방법 의 상기 린스 장치 내 에서 린스 처리 하 는 공정 에 있 어서 , 상기 기판 이 수용 된 상기 하나 의 수 용부 에 보급 되 는 물 의 양 은 다른 수 용부 에 보급 되 는 물 의 양 과 는 독립 적 으로 설정 되 도록 해도 좋 다 . 이러 한 기판 처리 방법 에 따르 면 , 수 용부 내 에서 의 처리 상황 에 따라 , 수용 부로 의 물 보급량 이 적절히 변경 될 수 있 다 . 따라서 , 기판 을 신속 하 게 린스 처리 할 수 있 으며 린스 처리 에 사용 되 는 물 사용량 을 저감 할 수 있 다 .