도 3 내지 도 7 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 시스템 ( 200 ) 은 공정 챔버 ( 201 ) , 복수 의 척 들 ( 210 ) , 복수 의 서포터 들 ( 220 ) , 제 1 지지대 ( 250 ) , 플레이트 ( 240 ) , 제 2 지지대 ( 260 ) , 제 1 구동축 ( 270 ) , 제 2 구동축 ( 280 ) 및 구동 유닛 ( 290 ) 을 포함 한다 .