한편 , 본 발명 의 바람직 한 일 실시 형태 에 따르 면 , 마이크 로 가스 센서 의 제작 방법 은 기판 상부 에 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 절 연막 위 에 감광막 을 도포 한 후 마이크 로 히터 , 전극 패드 분리 홈 및 다 이 분리 선 을 한 장 의 패턴 마스크 로 상기 절 연막 을 패 터닝 하 는 단계 ; 상기 패 터닝 된 절 연막 을 식각 마스킹 층 으로 하 여 노출 된 기판 의 표면 에서 수직 방향 의 비등방 적 인 ( anisotropic ) 방향 으로 상기 노출 된 기판 을 식각 하 여 일정 깊이 의 실리콘 트렌치 ( trench ) 구조 를 형성 하 는 단계 ; 상기 실리콘 트렌치 ( trench ) 구조 의 기판 을 등방 적 인 ( isotropic ) 방향 으로 추가 식각 하 여 열린 공동 , 전극 패드 분리 홈 , 다 이 분리 선 및 상기 열린 공동 의 상부 에 부양 되 는 절 연막 으로 이루어진 마이크 로 히터 패턴 및 복수 의 감지 전극 패턴 을 동시 에 형성 하 는 단계 ; 상기 절 연막 에 도전 막 을 적층 하 여 동일 한 평면 상 에 상기 마이크 로 히터 , 복수 의 감지 전극 및 복수 의 전극 패드 를 동시 에 형성 하 는 단계 ; 및 상기 복수 의 감지 전극 들 이 형성 하 는 미세 간극 들 사이 에 액체 전구체 를 적정 하 여 상기 액체 전구체 의 모세관 력 및 표면장력 에 의해 상기 기판 의 하부 와 닿 지 않 고 상기 마이크 로 히터 및 상기 복수 의 감지 전극 의 표면 과 접촉 하 도록 가스 감응 막 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .