도 2 f 에 도시 된 바 와 같이 , CMP 공정 에 의해 상기 PMD 막 ( 27 ) 이 노출 되 도록 상기 금속 물 ( 31 ') 질 을 평탄 화 한다 . 이 에 따라 , 상기 금속 물질 ( 31 ') 은 제 1 콘 택 홀 ( 28 ) 내부 에 만 존재 하 게 되 는데 , 상기 제 1 콘 택 홀 ( 28 ) 내 에 존재 하 는 금속 물질 ( 31 ') 에 의해 제어 게이트 ( 31 ) 가 형성 된다 .