도 7 에서 보 는 것 처럼 , 박스 플롯 ( Boxplots ) 을 그려 보 았 을 때 KrF PR 대비 ArF PR 이 평균 ( 약 3 nm ) 및 편차 ( variation ) 가 우수 한 결과 를 보이 며 , 6 sigma 의 분석 ( Two - sample T 분석 ) 결과 또한 P - 값 이 0 . 031 로 상호 유의 하 다는 결과 를 보인다 . 이 로부터 ArF PR 의 LER 이 KrF 대비 상대 적 으로 양호 하 다는 결과 를 얻 을 수 있 었 다 .