한편 , 플래시 메모리 를 제조 할 때 에 는 다수 의 소스 및 드레 인 영역 과 금속 배선 들 을 연결 하 는 콘 택 플러그 ( contact plug ) 를 형성 하 는 것 이 필요 하 다 . 그런데 플래시 메모리 가 점차 고집 적 화 됨 에 따라 이러 한 콘 택 플러그 와 금속 배선 을 미세 하 게 형성 하 면서 도 최소한 의 저항 을 갖 도록 형성 하 는 기술 이 중요 하 게 대두 되 고 있 다 .