또한 , 상술 에서 는 , 원료 가스 로서 실리콘 함유 가스 , 반응 가스 로서 질소 함유 가스 를 사용 하 여 , 실리콘 질화 막 을 형성 하 는 예 를 나타냈 지만 , 다른 가스 를 사용 한 성막 에 도 적용 가능 하 다 . 예 를 들 어 , 산소 함 유막 , 질소 함 유막 , 탄소 함 유막 , 붕소 함 유막 , 금속 함 유막 과 이 들 의 원소 가 복수 함유 된 막 등 이 있 다 . 또한 , 이 들 막 으로서 는 , 예 를 들 어 AlO 막 , ZrO 막 , HfO 막 , HfAlO 막 , ZrAlO 막 , SiC 막 , SiCN 막 , SiBN 막 , TiN 막 , TiC 막 , TiAlC 막 등 이 있 다 .