여기 서 는 , 서브 마운트 기판 ( 500 ) 하부 에 상기 서브 마운트 기판 ( 100 ) 과 반대 의 극성 을 갖 는 제 1 및 제 2 확산 층 ( 521 ) ( 522 ) 을 상기 실장 용 홀 ( 510 ) 을 사이 에 두 고 상호 이격 하 여 형성 함 으로써 , 백 투 백 제너 다이오드 를 형성 하 였으나 , 서브 마운트 기판 ( 500 ) 하부 에 확산 층 을 하나 만 형성 함 으로써 , 역방향 으로 만 제너 항복 이 일어나 는 pn 제너 다이오드 를 형성 할 수 도 있 다 .