건 조부 ( 50 ) 는 , 복수 의 기체 분 출부 ( 51 ) 를 갖 는다 . 이 건 조부 ( 50 ) 는 , 건조 처리 실 ( 23 ) 내 에 설치 되 고 , 반송로 ( H 1 ) 를 이동 하 는 기판 ( W ) 에 각 기체 분 출부 ( 51 ) 로부터 건조 용 의 기체 ( 예컨대 , 공기 또는 질소 가스 ) 를 분출 하 여 공급 한다 . 각 기체 분 출부 ( 51 ) 는 , 반송 부 ( 30 ) 에 의한 기판 ( W ) 의 반송 을 방해 하 지 않 고 , 반송로 ( H 1 ) 를 사이 에 두 고 이격 되 어 대향 하 도록 반송로 ( H 1 ) 의 상하 에 하나 씩 설치 된다 . 이 들 기체 분 출부 ( 51 ) 는 , 반송로 ( H 1 ) 를 통과 하 는 기판 ( W ) 을 향해 고압 으로 기체 를 분출 하 여 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 세정액 을 날려 버려 기판 ( W ) 의 상면 및 하면 의 양면 을 건조 시킨다 .