무엇 보다 , 제 1 상부 방사 온도계 ( 25 ) 또는 제 2 상부 방사 온도계 ( 125 ) 의 남 는 다른 쪽 의 광축 은 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 휨 이 최대 가 되 는 방향 을 따른 직경 과 일치 하 게 되 어 , 온도 측정 에 큰 오차 가 생긴다 . 이 때문 에 , 제 1 상부 방사 온도계 ( 25 ) 또는 제 2 상부 방사 온도계 ( 125 ) 중 어느 하나 의 측정 결과 를 채용 할지 가 문제 가 된다 . 제 3 실시 형태 에 있 어서 는 , 이하 와 같 은 수법 에 의해 , 제 1 상부 방사 온도계 ( 25 ) 또는 제 2 상부 방사 온도계 ( 125 ) 중 어느 하나 의 측정 결과 를 채용 할지 를 결정 하 고 있 다 .