특히 , 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 실리콘 단차 가 높 거나 폭 이 좁 은 종횡비 가 높 은 구조 의 경우 에 는 노출 된 상기 핀 의 측면 에서 살리 사이드 형성 을 위 한 코발트 또는 니켈 그리고 몰리브덴 과 같 은 금속 들 의 측면 에서 단차 피복성 불량 이 발생 하 여 소오 스 / 드레 인 영역 과 같 은 접합 영역 과 관련 되 어 그 에 따른 전기 적 특성 안정 화 가 어려워진다 .