웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 은 , 스테이지 본체 ( 91 ) 상 에 , 스테이지 구동 계 ( 124 ) 의 일부 를 구성 하 는 Z 레벨 링 기구 ( mechanism ) ( 예 를 들 어 , 보이스 코일 모터 등 을 포함 ) 를 통해 설치 되 어 있 다 . 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 은 , Z 레벨 링 기구 에 의해 , 스테이지 본체 ( 91 ) 에 대해 Z 축 방향 , θ x 방향 및 θ y 방향 으로 미소 구동 된다 . 따라서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 은 , 평면 모터 ( 51 ) 와 Z 레벨 링 기구 를 포함 하 는 스테이지 구동 계 ( 124 ) 에 의해 , 정반 ( 12 ) 에 대해 6 자유 도 방향 ( X , Y , Z , θ x , θ y , 및 θ z ) 으로 구동 가능 하 게 구성 되 어 있 다 .