하나 이상 의 한계 가 충족 될 경우 , S - D 평가 특징 부 , 구조물 , 데이터 , 웨이퍼 , 프로시저 및 / 또는 이미지 가 검증 될 수 있 다 . 복수 의 사이트 및 / 또는 웨이퍼 가 평가 될 경우 , 신뢰 도 및 / 또는 리스크 데이터 가 개별 웨이퍼 에 대해 및 / 또는 웨이퍼 그룹 에 대해 확립 될 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 데이터 가 이용 될 수 도 있 다 . 예컨대 , 신뢰 도 데이터 값 의 범위 는 0 부터 9 까지 일 수 있 으며 , 여기 서 0 은 결함 상태 를 나타내 고 9 는 가장 정확 한 성능 을 나타낸다 . 또한 , 리스크 데이터 값 의 범위 는 0 부터 9 까지 일 수 있 으며 , 0 은 결함 또는 고 리스크 상태 를 나타내 고 9 는 최저 리스크 상태 를 나타낸다 . 대안 으로 , 다른 범위 가 이용 될 수 도 있 다 . 범위 는 다 치 신뢰 도 데이터 및 / 또는 리스크 데이터 를 제공 하 도록 한계 에 대해 확립 될 수 있 다 .