CuO 와 Nb 도핑 된 BaTiO 3 산화물 세라믹 이 조합 된 복합 산화물 세라믹 타 겟 은 상기 실시 예 1 과 동일 하 게 준비 하 였으며 , 0 . 5 mm 의 두께 의 SiO 2 / Si 기판 상 에 펄스 레이저 어 블레 이 션 방법 을 통해 나노 결정 복합 산화물 박막 을 제조 하 였 다 . 펄스 레이 져 빔 의 주기 와 복합 산화물 타 겟 의 회전수 를 동기 화 하 여 CuO 산화물 과 Nb 도핑 된 BaTiO 3 산화물 이 교대 로 상기 기판 상 에 증착 되 도록 하 였 다 . 본 실시 예 에서 는 증착 온도 를 실온 , 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 550 ℃ 및 600 ℃ 로 달리 하 고 , 600 oC 에서 열처리 하 여 144 nm 의 두께 로 나노 결정 복합 산화물 박막 들 을 형성 하 였 다 .