한편 , 연마 헤드 의 몸체 내부 에 반고체 상태 의 겔 이 주입 되 는 경우 는 겔 이 공기 에 비해 강 성 은 큰 반면 에 유동 성 및 수축 성 의 크기 는 작 아 웨이퍼 의 연마 과정 에서 발생 하 는 미세 한 진동 이나 기울어짐 의 영향 을 흡수 하 지 못하 고 웨이퍼 의 가공 표면 에 이러 한 영향 을 전달 하 여 가공 정밀도 가 저하 되 는 문제점 을 가진다 .