DLC 코팅 에 대하 여 다양 한 첨가제 가 사용 될 수 있 다 . 이 들 첨가제 는 질소 , 산소 , 불소 또는 규소 중 하나 이상 을 포함 할 수 있 다 . 불소 의 부가 는 DLC 코팅 의 분산 성 을 비롯 한 배리어 및 표면 특성 을 증강 시키 는 데 특히 유용 하 다 . 불소 의 공급원 에 는 탄소 테트라 플 루오 라이드 ( CF 4 ) , 황 헥사 플 루오 라이드 ( SF 6 ) , C 2 F 6 , C 3 F 8 및 C 4 F 10 과 같 은 화합물 이 포함 된다 . DLC 코팅 에 규소 및 산소 의 부가 는 코팅 의 광학 투명 성 및 열 안정 성 을 향상 시키 는 경향 이 있 다 . 질소 의 부가 는 내산 화성 의 증강 및 전기 전도 성 의 증가 를 위해 사용 될 수 있 다 . 산소 의 공급원 에 는 산소 기체 ( O 2 ) , 수증기 , 에탄올 및 과산화수소 가 포함 된다 . 규소 의 공급원 에 는 바람직 하 게 는 실란 , 이를 테 면 SiH 4 , Si 2 H 6 및 헥사 메틸 다 이 실록 산 이 포함 된다 . 질소 의 공급원 에 는 질소 기체 ( N 2 ) , 암모니아 ( NH 3 ) 및 하이드라진 ( N 2 H 6 ) 이 포함 된다 .