오존 가스 처 리부 ( 150 ) 에서 는 오존 ( O 3 ) 가스 를 희석 불 산 에 접촉 시켜 용해 시킬 수 있 다 . 오존 가스 처 리부 ( 150 ) 로 공급 된 희석 불 산 에 오존 가스 가 용해 되 어 오존 화 된 희석 불 산 ( ozonated DHF ) 가 형성 된다 . 형성 된 오존 화 된 희석 불 산 은 오존 화 된 희석 불 산 공급 관 ( 170 ) 을 통해 기판 처리 장치 ( 300 ) 로 공급 된다 .