최근 에 는 기판 의 패턴 을 정밀 하 게 연마 하 기 위한 방법 의 일환 으로서 , 기계 적 인 연마 와 화학 적 인 연마 가 병행 되 는 화학 기계 적 연마 ( CMP ) 방식 으로 기판 의 패턴 을 연마 하 는 기술 이 개시 되 고 있 다 . 여기 서 , 화학 기계 적 연마 라 함 은 , 기판 을 연마 패드 에 회전 접촉 시켜 연마 시킴 과 동시 에 화학 적 연마 를 위한 슬러리 가 함께 공급 되 는 방식 이 다 .