" 상기 제 1 실리콘 반응물 펄스 는 가스 형태 로 공급 되 는 것 이 바람직 하 다 . 만일 상기 종 ( species ) 이 공정 조건 에서 상기 종 을 노출 된 표면 을 포화 시키 기 에 충분 한 농도 로 가공 대상물 에 전달 하 기 에 충분 한 증기압 을 보인다면 상기 실리콘 반응물 가스 는 본 발명 의 상세 한 설명 의 목적 상 "" 휘발 성 "" 으로 고려 된다 . "