상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 목적 은 , 웨이퍼 중심 부분 과 가장자리 부분 의 연마 속도 가 동일 또는 유사 해질 수 있 는 패드 컨디 셔 너 의 스 위 핑 속도 의 가감 속 시키 는 조건 을 찾 기 위한 신뢰 성 을 높여 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 화학 적 기계 적 연마 설비 및 그 의 제어 방법 을 제공 하 는 데 있 다 .