이때 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 설정 범위 는 100 ℃ 내지 120 ℃ 의 범위 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 고 , 제 2 전극 ( 231 ) 의 설정 범위 는 200 ℃ 내지 220 ℃ 의 범위 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 며 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 의 설정 범위 는 350 ℃ 내지 380 ℃ 의 범위 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .