발명자 의 연구 에 의해 , VT / ( VC × cos φ × cos θ ) 의 값 이 커지 면 , 약액 노즐 ( 71 ) 로부터 토출 된 에칭 액 ( CHM ) 은 , 착 액 점 ( PF ) 에 착 액 하 면 즉시 웨이퍼 ( W ) 로부터 이탈 하 고 , 착 액 점 ( PF ) 을 출발점 으로서 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 확산 되 지 않 는 것 이 발견 되 었 다 . 이러 한 에칭 액 의 거동 을 에칭 액 의 ' 즉시 이탈 ' 이라고 부르 고 , 에칭 액 의 즉시 이탈 이 생기 는 조건 을 즉시 이탈 조건 이 라고 부른다 . 또한 , 에칭 액 이 즉시 이탈 할 때 에 는 , 에칭 액 은 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 의해 되튀 긴 것 처럼 보인다 .