이때 , 위 90 nm 플 래쉬 공정 에서 와 같이 , 구리 배선 공정 을 사용 해야 하 는 공정 에서 는 , 종래 프로 빙 ( Probing ) 을 위한 패드 ( PAD ) 형성 시 알루미늄 ( AL ) 배선 에서 톱 메탈 레이어 ( Top metal layer ) 를 프로 빙 패드 ( Probing pad ) 로 쓰 는 것 과 달리 , 톱 메탈 레이 어인 구리 메탈 ( Cu metal ) 위 에 추가 로 알루미늄 ( Al ) 패드 를 만들 어 이 를 프로 빙 패드 로 사용 하 고 있 다 .