따라서 본 발명 의 목적 은 플라 즈 마 강화 된 코팅 프로세스 들 이 대면 적 기판 들 의 균일 하 고 균질 한 코팅 이 획득 될 정도 로 향상 될 수 있 게 하 는 , 플라 즈 마 또는 코팅 챔버 를 위한 장치 , 및 대응 플 라즈 마 또는 코팅 챔버 를 이용 가능 하 게 하 는 것 이 다 . 또한 , 대응 하 는 장치 및 플라 즈 마 또는 코팅 챔버 는 설계 가 간단 해 지 고 , 작동 이 용이 하 며 , 사용 시 다 목적 으로 될 수 있 다 .