그리고 , 상기 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 126 ) 의 상단 부 에 는 웨이퍼 의 가장자리 영역 을 홀딩 하 여 웨이퍼 가 수납 되 도록 하 는 톱니 형태 의 슬롯 부 ( 128 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이때 , 상기 슬롯 부 ( 128 ) 가 형성 되 어 있 는 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 126 ) 는 웨이퍼 의 손상 을 최소 화 할 수 있 는 재질 로서 , 예컨대 쿼 르 츠 , 코팅 된 쿼 르 츠 , 피크 , 또는 테 프론 계열 의 재질 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .