또한 , 산화물 반도체 는 불순물 에 대해 둔감 하 고 , 막 중 에 는 상당 한 금속 불순물 이 포함 되 어 있 어도 문제 가 없 고 , 나트륨 과 같 은 알칼리 금속 이 다량 으로 포함 되 는 저렴 한 소다 석회 유리 도 사용 할 수 있 다고 지적 되 고 있 다 ( 카미야 , 노무라 , 호소노 , 「 어모퍼스 산화물 반도체 의 물성 ( 物性 ) 과 장치 개발 의 현상 」 , 고체 물리 , 2009 년 9 월 호 , Vol ． 44 , pp ． 621 - 633 ) 는 점 을 주목 하 라 . 그러나 , 이 와 같 은 지적 은 적절 하 지 않 다 . 알칼리 금속 은 산화물 반도체 를 구성 하 는 원소 가 아니 기 때문 에 , 불순물 이 다 . 알칼리 토류 금속 도 , 산화물 반도체 를 구성 하 는 원소 가 아닌 경우 에 , 불순물 이 된다 . 특히 , 알칼리 금속 중 Na 는 , 산화물 반도체 막 에 접하 는 절 연막 이 산화물 인 경우 , 이 절 연막 중 에 확산 해서 Na + 가 된다 . 또한 , Na 는 , 산화물 반도체 막 내 에서 , 산화물 반도체 를 구성 하 는 금속 과 산소 의 결합 을 분석 하 고 , 또는 , 그 결합 안 에 끼 어 든다 . 그 결과 , 예 를 들 어 , 문턱 전압 이 마이너스 방향 에 이동 하 는 것 에 의한 노 멀리온 ( normally - on ) 화 , 이동도 의 저하 등 의 , 트랜지스터 의 특성 의 열화 가 일어난다 . 또한 특성 의 편차 도 생겨난다 . 이 불순물 에 의해 야기 되 는 트랜지스터 의 특성 의 열화 와 , 특성 의 편차 는 , 산화물 반도체 막 중 의 수소 의 농도 가 충분히 낮 은 경우 에 현저 하 게 나타난다 . 따라서 , 산화물 반도체 막 중 의 수소 의 농도 가 5 × 1019 cm - 3 이하 , 특히 5 × 1018 cm - 3 이 하인 경우 에 는 , 상기 불순물 의 농도 를 저감 하 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 , 이 차 이온 질량 분석법 에 의한 Na 농도 의 측정값 은 , 5 × 1016 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1016 / cm 3 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 . 마찬가지 로 , Li 농도 의 측정값 은 , 5 × 1015 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 . 마찬가지 로 , K 농도 의 측정값 은 , 5 × 1015 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 .