상기 이송 스테이지 ( 160 ) 와 이송 기구 ( 162 , 162 '), 그리고 센서 모듈 ( 130 ) 및 높이 조절 기구 ( 112 ) 등 의 구조물 들 은 모두 베이스 ( 110 ) 상 에 설치 되 며 , 상기 이송 스테이지 ( 160 ) 의 상측 에 는 PIMA 차트 ( 182 ) 와 광원 ( 180 ) 이 설치 된 상부 보드 ( 170 ) 가 위치 한다 . 상기 광원 ( 180 ) 으로부터 나온 빛 은 조리개 ( 144 ) 를 통해 그 양 이 조절 된 후 , 웨이퍼 렌즈 ( 144 ) 의 화상 ( 畵 像 ) 을 만들 어 이 를 이미지 센서 ( 134 ) 에 전달 하 게 된다 . 상기 상부 보드 ( 170 ) 의 좌우 에 는 하측 으로 연장 된 각 한 쌍 의 지주 ( 174 ) 가 연결 되 고 , 상기 지주 ( 174 ) 의 하단 에 는 받침대 ( 176 ) 가 설치 되 어 상기 상부 보드 ( 170 ) 를 지탱 한다 . 상기 상부 보드 ( 170 ) 의 취급 이 용이 하 도록 상부 보드 ( 170 ) 의 상면 에 는 손잡이 ( 172 ) 가 설치 될 수 도 있 다 .