상술 한 공정 을 수행 하 는 과정 에서 검출 부재 ( 110 ) 는 공정 챔버 ( 50 ) 로 반입 되 기 전 에 기판 ( W ) 의 위치 를 판단 하 고 , 제어기 ( 120 ) 는 이 에 따라 로봇 암 ( 42 ) 의 이동 경로 를 변경 시킨다 . 즉 , 도 5 를 참조 하 면 , 로봇 암 ( 42 ) 은 공정 챔버 ( 52 ) 의 기판 출입구 ( 54 ) 전방 촬영 위치 에 기판 ( W ) 을 일시 적 으로 정지 시킨다 . 기판 ( W ) 이 촬영 위치 에 위치 되 면 , 검출 부재 ( 110 ) 의 카메라 들 ( 114 ) 각각 은 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 을 촬영 한다 . 촬영 된 영상 데이터 들 은 제어기 ( 120 ) 로 전송 된다 . 제어기 ( 120 ) 는 전송 된 영상 데이터 들 을 판단 하 여 기판 ( W ) 이 촬영 영역 ( 114 c ) 에 설정 된 기준 위치 ( 114 c ) 로부터 어느 정도 벗어나 는지 를 계산 한다 .