또한 , 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 하 는 것 에 의해 , 기판 ( P ) 위 의 쇼트 영역 ( SH ) 은 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 대해 상대 이동 된다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 도 2 중 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 + Y 측 의 엣지 ( G 2 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 - Y 측 의 엣지 에 도달 했 을 때 에 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 대한 노광 광 ( EL ) 의 조사 를 정지 한다 . 이것 에 의해 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 제 1 주사 노광 이 완료 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 제 1 조명계 ( IL 1 ) 의 마스크 블라인드 계 에 의해서 , 제 1 주사 노광 의 종료 직전 , 즉 엣지 ( G 2 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 + Y 측 의 엣지 에 도달 한 시점 으로부터 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 폭 이 서서히 좁 아 져 가 고 , 엣지 ( G 2 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 - Y 측 의 엣지 에 도달 한 시점 에서 그 폭 이 제로 가 된다 . 이것 에 의해 , 제 1 주사 노광 의 종료 전 에 , 기판 ( P ) 위 에서 쇼트 영역 ( SH ) 에 대해서 + Y 방향 의 쇼트 영역 의 불 필요 한 노광 을 방지 할 수 있 다 .