또한 , 기판 반 입실 ( 101 ) 에 는 반송 모듈 a ( 301 a ) , 반 전실 ( 102 ) 에 는 반송 모듈 b ( 30 lb ) , 얼라인먼트 실 ( 103 ) 에 는 반송 모듈 c ( 301 c ) , 가속 실 ( 104 ) 에 는 반송 모듈 d ( 301 d ) , 증착 실 ( 105 ) 에 는 반송 모듈 e ( 301 e ) 가 마련 되 어 있 다 . 상기 이외 의 각 실에 도 , 각각 반송 모듈 ( 301 N ) 이 마련 되 어 있 다 . 각 장치 에 배치 되 어 있 는 반송 모듈 ( 301 ) 에 는 , 유리 기판 ( G ) 및 반송 캐리어 ( 302 ) 의 반송 방향 을 따라 , 복수 의 구동 용 코일 이 라인 형상 으로 배치 되 어 있 다 . 각 반송 모듈 ( 301 ) 에 마련 된 인코더 의 값 에 따라 , 각 구동 용 코일 에 흐르 는 전류 또는 전압 을 제어 함 으로써 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 구동 이 제어 된다 . 반송 캐리어 ( 302 ) 에 라인 형상 으로 배치 된 자석 과 , 반송 모듈 ( 301 ) 에 반송 캐리어 ( 302 ) 의 자석 에 대향 하 도록 배치 된 코일 이 협동 하 여 기판 을 반송 하 는 것 으로부터 , 반송 캐리어 ( 302 ) 와 반송 모듈 ( 301 ) 을 합쳐서 기판 반송 유닛 ( 300 ) ( 반송 기구 ) 이 라고 생각 해도 된다 .