여기 서 는 , 반도체 막 ( 47 ) 으로서 , 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 반도체 막 을 형성 한다 . 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 반도체 막 을 플 라즈 마 CVD 법 혹은 스퍼터링 법 에 의하 여 형성 한다 . 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 에 는 , 도너 원소 로서 인 , 비소 , 혹은 안티몬 을 사용 한다 . 또한 , 반도체 막 으로서 는 , 비정질 반도체 막 혹은 미결정 반도체 막 을 형성 한다 . 또한 , 비정질 반도체 막 혹은 미결정 반도체 막 으로서 는 , 실리콘 혹은 게르마늄 을 함유 하 는 비정질 반도체 혹은 미결정 반도체 막 을 형성 한다 .