이때 , 화학 적 기계 적 연마 ( CMP : Chemical Mechanical Polishing ) 공정 을 이용 해 제 1 금속 층 ( 51 ) 이 연마 될 수 있 다 . 화학 적 기계 적 연마 에 따르 면 , 제 2 금속 층 ( 52 ) 의 두께 조절 이 가능 하 다 . 이 에 따라 , 제 2 금속 층 ( 52 ) 의 두께 는 정밀 한 값 을 가질 수 있 다 . 제 2 금속 층 ( 52 ) 의 미리 설정 된 두께 는 , 플레이트 ( 110 ) 의 두께 값 을 의미 할 수 있 다 .