도 1 a 내지 도 1 c 를 참조 하 면 , 일반 적 인 멀티 챔버 방식 의 기판 처리 장치 ( 1 ') 는 로드 포트 ( 10 ) , 설비 전방 종단 모듈 ( EFEM : Equipment Front End Module : 이하 , ' 이 에프 이 엠 ')( 20 ) , 로드 락 챔버 ( 30 ) , 제 1 내지 제 3 처리 유닛 들 ( 40 , 50 , 60 ) , 그리고 제 1 및 제 2 버퍼 부 ( 70 , 80 ) 을 포함 한다 . 로드 포트 ( 10 ) 는 공정 시 복수 의 기판 들 ( W ) 을 수납 하 는 수납 부재 ( C ) 를 안착 시킨다 . 이 에프 이 엠 ( 20 ) 은 로드 포트 ( 10 ) 와 로드 락 챔버 ( 30 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 제 1 내지 제 3 처리 유닛 들 ( 40 , 50 , 60 ) 각각 은 트랜스퍼 챔버 와 두 개 의 공정 챔버 를 가진다 . 제 1 및 제 2 버퍼 부 ( 70 , 80 ) 는 공정 시 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 정렬 을 위해 기판 ( W ) 을 회전 시킨다 .