도 13 은 본 발명 의 일실 시예 에 따른 고 효율 저 유체 유발 진동 단일 채널 펌프 의 설계 방법 에서 최종 목적 함수 값 을 도출 하 는 단계 의 순서도 이 고 , 도 14 는 본 발명 의 일실 시예 에 따른 고 효율 저 유체 유발 진동 단일 채널 펌프 의 설계 방법 에서 실험 점 에 대한 펌프 효율 - 유 체력 분포 영역 , 펌프 효율 - 중심 거리 , 유체 력 분포 영역 - 중심 거리 의 그래프 이 다 .