에어 가 진공 흡착 홈 측 으로 흐르 면 , 이 에어 의 흐름 에 수반 하 여 처리 액 이 흡착 스테이지 의 상면 과 기판 의 하 면 사이 에 들어가 게 되 므로 , 기판 의 하면 이 처리 액 에 의해 처리 되 게 될 뿐 만 아니 라 , 에어 와 함께 분위기 중 의 먼지 도 유입 되 고 , 기판 의 하면 에 부착 되 어 오염 의 원인 이 될 수 도 있 다 .