하나 이상 의 메시지 가 하나 이상 의 컨트롤러 ( 414 , 424 , 434 , 444 및 454 ) 에 의해 실시간 으로 처리 될 수 있 다 . 하나 이상 의 웨이퍼 는 하나 이상 의 서브시스템 ( 410 , 420 , 430 , 440 및 450 ) 에 의해 실질 적 으로 동시 에 처리 될 수 있 다 . 하나 이상 의 메시지 는 각 웨이퍼 마다 처리 시퀀스 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 로드 락 요소 ( 415 ) 를 이용 하 여 제 1 웨이퍼 가 제 1 처리 요소 ( 410 ) 에 이송 될 수 있 고 , 제 2 로드 락 요소 ( 425 ) 를 이용 하 여 제 2 웨이퍼 가 제 2 처리 요소 ( 420 ) 에 이송 될 수 있 으며 , 제 3 로드 락 요소 ( 435 ) 를 이용 하 여 제 3 웨이퍼 가 제 3 처리 요소 ( 430 ) 에 이송 될 수 있 고 , 제 4 로드 락 요소 ( 445 ) 를 이용 하 여 제 4 웨이퍼 가 제 4 처리 요소 ( 440 ) 에 이송 될 수 있 으며 , 제 5 로드 락 요소 ( 455 ) 를 이용 하 여 제 5 웨이퍼 가 제 5 처리 요소 ( 450 ) 에 이송 될 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 메시지 는 웨이퍼 데이터 , 레시피 데이터 , 프로파일 데이터 , 모델링 데이터 , 툴 데이터 및 / 또는 처리 데이터 를 포함 할 수 있 다 .