회합 도 1 ~ 3 의 콜로 이달 실리카 의 함유량 이 상기 범위 에 있 으면 , 피연 마면 에서 의 디싱 이 보다 발생 하 기 어렵 고 , 또 보다 우수 한 연마 속도 가 얻 어 진다 . 그 중 에서 도 , 회합 도 1 ~ 3 의 콜로 이달 실리카 의 함유량 이 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 0 . 5 ~ 3 질량 % 의 범위 에 있 으면 , 디싱 의 발생 이 보다 더 억제 된다 .