투영 계 ( PL ) 는 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 광학 적 으로 공역 인 위치 ( 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 패턴 의 중간상 이 각각 형성 되 는 후 술 의 제 1 , 제 2 공역 위치 ( CP 1 , CP 2 ) 의 근방 에 배치 되 고 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 종단 광학 소자 ( FL ) 로 이끄 는 중간 광학계 ( 30 ) 를 가지 고 있 다 . 중간 광학계 ( 30 ) 는 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 로부터 의 노광 광 을 각각 반사 하 는 두 개 의 반사면 을 가지 고 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 중간 광학계 ( 30 ) 는 프리즘 을 포함 한다 .