예 를 들 어 , 무기 패턴 또는 유기 패턴 을 구비 하 는 기판 표면 의 세정액 에 의한 세정 처리 로 는 , 종래 , 무기 패턴 또는 유기 패턴 의 세정 처리 에 사용 되 어 온 세정액 을 그대로 채용 할 수 있 고 , 무기 패턴 에 대해서 는 SPM ( 황산 · 과산화수소수 ) , APM ( 암모니아 · 과산화수소수 ) 등 을 들 수 있 고 , 유기 패턴 에 대해서 는 물 , 활성제 린스 등 을 들 수 있 다 .