삼 불화 질소 ( NF 3 ) 제조 용 전해조 의 상판 ( 11 ) 에 전해질 성분 의 기화 를 억제 하 기 위한 냉각관 ( 13 ) 을 설치 하 고 , 추가 적 으로 전해조 의 측면 에 도 냉각관 ( 12 ) 을 설치 하 였 다 . 전해조 상판 및 측면 냉각관 ( 12 , 13 ) 의 냉각 용 냉매 는 편의 에 따라 선택 하 여 사용 이 가능 한 바 , 메틸 알콜 , 에틸 알콜 , 에틸렌글리콜 중 에틸렌글리콜 을 사용 하 였 다 . 냉매 온도 를 조절 하 여 상판 ( 11 ) 의 온도 를 10 ℃ 가 되게 유지 하 였 다 .