상기 플 라즈 마 전극 ( 60 ) 은 전 원공 급부 또는 외부 에서 인가 되 는 상기 고주파 파워 를 이용 하 여 상기 이소프렌 가스 를 플 라즈 마 상태 로 만들 어 상기 히터 블록 ( 30 ) 에 의해 지지 되 는 웨이퍼 상 에 비정질 탄소막 을 형성 토록 할 수 있 다 . 예컨대 , 상기 고주파 파워 ( High Frequency power ) 는 약 10 MHz 내지 약 30 MHz 정도 의 주파수 를 갖 는다 .