동작 ( 1045 ) 에서 , 라디칼 및 뉴트럴 들 은 기판 ( 102 ) 및 프로세싱 챔버 ( 230 ) 와 상호 작용 하 여 플 라즈 마 부산물 ( 118 ) 및 재결합 산물 ( 120 ) 을 생성 한다 . 동작 ( 1050 ) 에서 , 플라 즈 마 부산물 ( 118 ) 및 재결합 산물 ( 120 ) 은 하나 이상 의 프로세스 유출 부 포트 들 ( 304 A - 304 E ) 을 통해 프로세싱 챔버 로부터 인출 된다 . 하나 이상 의 프로세스 유출 부 포트 들 ( 304 A - 304 E ) 은 프로세스 챔버 상부 ( 202 ) 의 표면 에 걸쳐 또는 기판 지 지체 ( 106 ) 의 에지 들 을 따라 또는 기판 지 지체 아래 , 이를테면 프로세스 챔버 의 베이스 에 또는 이 들 의 조합 으로 분배 되 고 그 방법 동작 들 은 종료 될 수 있 다 .