기판 이 너무 이르 게 건조 되 는 것 을 방지 하 기 위해 , 기판 을 습윤 상태 로 유지 하 기 에 만 충분 할 정도 의 저압 으로 기판 의 양측 들 및 가장 자리 ( 들 ) 에 분무 하 도록 제트 들 이 계속 켜 질 수 있 다 . 저압 액체 는 증발 을 통해 기판 의 건조 를 방지 하 는 한편 , 고 - 유동 가스 보조 배기 는 공정 챔버 및 기판 에 근접 한 공동 을 건조 시키 며 , 이 는 차 폐부 들 의 더 저속 의 회전 에 의해 보조 된다 .