또한 , 제 1 가스 공급 유닛 ( 210 ) 은 복수 개 의 가스 충전 용기 로 구성 되 며 , 이때 상기 제 1 가스 제어 장치 ( 213 ) 는 각각 의 가스 충전 용기 로부터 공급 되 는 가스 가 유입 되 는 복수 의 가스 유입 구 및 각각 의 가스 를 제어 하 기 위한 복수 의 가스 제어 장치 를 구비 하 고 , 상기 복수 의 가스 제어 장치 에서 의 제어 를 통해 복수 의 가스 가 합류 되 어 하나 의 가스 배출구 로부터 배출 되 는 가스 가 소정 의 유속 과 유량 을 갖 도록 구성 할 수 있 게 된다 .