본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 산화 막 은 산소 를 포함 하 는 제 1 반응 가스 를 사용 하 여 형성 될 수 있 으며 , 상기 예비 산질 화 막 은 질소 를 포함 하 는 제 2 반응 가스 를 사용 하 여 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 질소 가스 , 암모니아 가스 , 일산화질소 가스 또는 일산화이질소 가스 를 포함 할 수 있 다 . 이 들 은 단독 으로 또는 서로 혼합 되 어 사용 될 수 있 다 .