또한 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 간섭계 ( 18 Z 1 , 18 Z 2 ) 의 계측 결과 에 기초 하 여 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2007 / 083758 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 출원 공개 제 2007 / 0288121 호 명세서 ) 등 에 개시 된 수법 에 의해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Z 축 방향 , Y 축 방향 , θ z 방향 및 θ y 방향 의 변위 ( Δ Zo , Δ Yo , Δθ z 및 Δθ y ) 를 산출 할 수 있 다 .