여기 서 , 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 은 상기 이온 빔 ( 100 ) 을 수집 하 기 위해 상기 이온 빔 ( 100 ) 이 입사 되 는 방향 으로 일 측 이 개방 된 그릇 모양 을 갖 도록 형성 되 어 있 다 . 예컨대 , 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 은 내부 로 입사 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 전하 를 흡수 할 수 있 는 도전 성 이 우수 한 알루미늄 과 같 은 금속 재질 로 형성 되 어 있 다 . 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 에 입사 된 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 전 하 는 단위 시간 당 전하량 으로 카운터 링 되 어 전류계 ( 117 ) 에 나타난다 . 이때 , 상기 전류계 ( 117 ) 는 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 과 접 지단 ( 119 ) 사이 에 직렬 로 연결 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 은 양 의 전하량 을 갖 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 을 수집 하 여 전류계 ( 117 ) 로 하여금 전류 가 검출 되 도록 할 수 있 다 .