하부 커버 ( 130 ) 는 기판 지지 유닛 ( 100 ) 의 하부 에 위치 할 수 있 다 . 하부 커버 ( 130 ) 는 상면 이 개방 된 공간 이 내부 에 형성 될 수 있 다 . 하부 커버 ( 130 ) 의 상면 은 절연 플레이트 ( 120 ) 에 의해 커버 될 수 있 다 . 하부 커버 ( 130 ) 의 내부 공간 에 는 리프트 핀 ( 210 ) 을 상하 방향 으로 구동 시키 는 리프트 핀 액추에이터 를 포함 하 는 구동 메커니즘 이 배치 될 수 있 다 .