이상 과 같 은 배기 수단 을 사용 해서 배기 한 성막 실은 , 수소 분자 나 , 물 ( H 2 O ) 등 의 수소 원자 를 포함 하 는 화합물 등 이 ( 보다 바람직 하 게 는 탄소 원자 를 포함 하 는 화합물 과 함께 ) 제거 되 어 있 기 때문 에 , 당해 성막 실 에서 성막 한 산화 물막 ( 104 ) 에 포함 되 는 불순물 의 농도 를 저감 시킬 수 있 다 .