금속 산화물 층 ( 114 ) 은 절연 층 ( 110 ) 내 에 산소 를 공급 하 는 기능 을 가진다 . 또한 도전 층 ( 112 ) 으로서 산화 되 기 쉬운 금속 또는 합금 을 포함 한 도전 막 을 사용 한 경우 에 는 , 금속 산화물 층 ( 114 ) 은 절연 층 ( 110 ) 내 의 산소 로 인하 여 도전 층 ( 112 ) 이 산화 되 는 것 을 방지 하 는 배리어 층 으로서 기능 시킬 수 도 있 다 . 또한 금속 산화물 층 ( 114 ) 을 도전 층 ( 112 ) 의 형성 전 에 제거 함 으로써 , 도전 층 ( 112 ) 과 절연 층 ( 110 ) 이 접하 는 구성 으로 하 여도 좋 다 . 또한 금속 산화물 층 ( 114 ) 은 불 필요 한 경우 에 는 제공 하 지 않 는 구성 으로 하 여도 좋 다 .