막 의 제조 방법 에 있 어서 는 , 패턴 을 형성 하 는 공정 을 더 포함 하 고 있 어도 된다 . 패턴 형성 방법 으로서 는 , 포토 리소그래피 법 을 이용 한 패턴 형성 방법 이나 , 드라이 에칭 법 을 이용 한 패턴 형성 방법 을 들 수 있 다 . 또한 , 본 발명 의 막 을 평탄 막 으로서 이용 하 는 경우 에 는 , 패턴 을 형성 하 는 공정 을 행하 지 않 아도 된다 . 이하 , 패턴 을 형성 하 는 공정 에 대하 여 상세 하 게 설명 한다 .