위 에서 설명 한 타 겟 ( 400 , 501 ) 에서 와 마찬가지 로 , 오버레이 타 겟 ( 800 ) 은 타 겟 의 구성 타 겟 구조물 의 공통 대칭 중심 에 대해 180 도 회전 대칭 을 갖 고 , 타 겟 ( 800 ) 의 개별 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 802 a . .. 812 d ) 는 각각 의 개별 패턴 요소 의 대칭 중심 에 대해 180 도 회전 대칭 을 갖 는 것 으로 또한 인정 된다 .