미세먼지 유량 조절기 가 캐리어 가스 를 유입 받 고 , 캐리어 가스 를 일정 한 유량 으로 조절 하 여 미세먼지 발생기 로 유입 시키 는 단계 ( S 401 ) 는 미세먼지 유량 조절기 ( 100 ) 가 캐리어 가스 를 유입 받 고 , 유입 받 은 캐리어 가스 를 일정 한 유량 으로 조절 하 여 미세먼지 공 급기 ( 200 ) 로 유입 시키 는 단계 이 다 .