유지 보수 장치 ( 100 ) 는 , 케이스 ( 101 ) 내부 에 , 처리 용기 ( 30 ) 내 의 소모 파트 의 분리 , 처리 용기 ( 30 ) 내 에 의 소모 파트 의 장착 , 처리 용기 ( 30 ) 내 의 청소 중 적어도 하나 를 실행 하 는 유지 보수 기구 가 마련 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 , 유지 보수 기구 로서 , 로봇 아암 ( 110 ) 과 , 포커스 링 ( 35 ) 의 분리 를 실행 하 는 분리 유닛 ( 120 ) 과 , 처리 용기 ( 30 ) 내 의 청소 를 실행 하 는 청소 유닛 ( 130 ) 과 , 처리 용기 ( 30 ) 내 에 의 포커스 링 ( 35 ) 의 장착 을 실행 하 는 장착 유닛 ( 140 ) 이 마련 되 어 있 다 .