이후 , 노출 된 게이트 간 절연 층 ( 192 ) 상부 를 소정 의 두께 만큼 제거 하 기 위한 리세 스 공정 이 수행 될 수 있 다 . 도 14 에 예시 적 으로 도시 된 것 과 같이 , 게이트 간 절연 층 ( 192 ) 상부 가 소정 의 두께 만큼 제거 되 는 동안 희생 게이트 스택 ( 220 ) , 절연 라이너 ( 160 ) 및 라인 매립 절연 층 ( 190 ) 은 제거 되 지 않 을 수 있 다 .