하부 기판 ( 142 ) 상 에 스퍼터링 방법 등 의 증착 방법 을 통해 게이트 금속 층 이 형성 된다 . 이어서 , 마스크 를 이용 한 포 토리 쏘 그래피 공정 과 식각 공정 으로 게이트 금속 층 이 패 터닝 됨 으로써 게이트 라인 ( 102 ) , 게이트 전극 ( 108 ) , 게이트 패드 하부 전극 ( 128 ) 를 포함 하 는 게이트 패턴 들 이 형성 된다 . 게이트 금속 으로 는 크롬 ( Cr ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 알루미늄 계 금속 등 이 단일 층 또는 이중층 구조 로 이용 된다 .