그러나 다공성 층간 절연 막 은 층간 절 연막 의 표면 에 까지 기공 이 존재 하 여 표면 의 평탄 도 가 떨어져 상부 막 이 제대로 증착 되 지 않 는다 . 그리고 상부 막 이 확산 방지 막일 경우 에 는 구리 가 확산 되 는 문제 를 유발 한다 . 또한 , 후속 공정 시 에 사용 하 는 화학 물질 들 이 기공 으로 침투 하 여 소자 의 전기 적 특성 이 감소 한다 .