상기 웨이퍼 의 에칭 처리 가 완료 되 고 나 면 , 상기 캐소드 구동 부 ( 125 ) 가 수직 하강 함 에 따라 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 도 수직 하강 한다 . 이때 , 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 는 상기 웨이퍼 의 이송 을 위해 상기 하부 챔버 ( 120 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 도시 안 됨 ) 사이 의 웨이퍼 진출 / 진입 구 의 레벨 까지 하강 한다 .