그리고 상술 한 챔버 ( 10 ) 의 소정 부분 에 는 기판 ( S ) 처리 에 이미 사용 된 처리 가스 와 그 부산물 등 을 제거 하 는 배기 수단 ( 도면 에 미 도시 ) 이 더 구비 된다 . 물론 이 배기 수단 은 챔버 ( 10 ) 내부 를 진공 분위기 로 형성 시키 기 위하 여 챔버 ( 10 ) 내부 의 기체 를 배기 하 는 경우 에 도 사용 된다 . 더욱이 , 상기 하부 전극 ( 14 ) 에 는 기판 ( S ) 을 정전기력 에 의해 흡착 시키 는 정전 척 ( ESC : 도면 에 미 도시 ) 이 구비 된다 .