혼 합부 ( 52 ) 는 신규 가스 와 재 활용 가스 를 혼합 하 는 역할 을 한다 . 혼 합부 ( 52 ) 는 혼합 챔버 ( 521 ) 와 혼합 챔버 ( 521 ) 로 유입 되 는 신규 가스 와 재 활용 가스 의 비율 을 조절 하 는 밸브 ( 522 ) 를 포함 할 수 있 다 . 재 활용 가스 는 정화 챔버 ( 511 ) 와 혼합 챔버 ( 521 ) 를 연결 하 는 제 2 배관 ( 56 ) 을 통해서 혼 합부 ( 52 ) 로 유입 되 며 , 신규 가스 는 신규 가스 공급 장치 ( 미 도시 ) 와 혼합 챔버 ( 521 ) 를 연결 하 는 제 3 배관 ( 57 ) 을 통해서 혼 합부 ( 52 ) 로 유입 된다 . 수증기 를 공급 할 필요 가 있 는 경우 에 는 제 3 배관 ( 57 ) 에 신규 가스 가 통과 할 수 있 는 항온조 인 웨 터 ( 54 ) 를 설치 할 수 있 다 . 웨 터 ( 54 ) 가 오염 되 는 것 을 방지 하 기 위해서 수증기 는 신규 가스 와 함께 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 . 밸브 ( 522 ) 는 제 2 제 3 배관 ( 57 ) 에 설치 될 수 있 다 .