촬영 대상물 이 반송 로봇 ( 3422 ) 일 경우 에 는 도 9 및 도 10 과 같이 , 카메라 ( 920 ) 가 기판 ( W ) 을 반입 하 거나 반출 하 는 반송 중 인 반송 로봇 ( 3422 ) 을 촬영 한다 . 촬영 영역 은 반송 로봇 ( 3422 ) 의 이동과 동기 하 여 변경 된다 . 촬영 영역 은 반송 로봇 ( 3422 ) 의 핸드 ( 3420 ) 일 수 있 다 . 예컨대 , 기판 ( W ) 을 반입 하 는 중 에 는 촬영 영역 이 하우징 ( 810 ) 의 개구 에서 기판 지지 유닛 ( 830 ) 까지 연장 되 는 경로 일 수 있 다 . 또한 기판 ( W ) 을 반출 하 는 중 에 는 촬영 영역 이 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에서 하우징 ( 810 ) 의 개구 로 연장 되 는 경로 일 수 있 다 . 이 에 따라 기판 ( W ) 이 반송 되 는 중 에 기판 ( W ) 의 위치 이탈 , 반송 로봇 ( 3422 ) 과 주변 장치 간 의 충돌 , 기판 ( W ) 손상 등 을 감지 할 수 있 다 .