도 11 의 ( a ) 는 에이징 작동 에 있 어서 의 본딩 헤드 ( 2 ) 의 이격 상태 및 접촉 상태 의 타이밍 을 도시 하 는 타임 차트 이 고 , ( b ) 는 에이징 작동 에 있 어서 의 본딩 헤드 ( 2 ) 의 온도 변화 를 모식 적 으로 도시 하 는 그래프 이 고 , ( c ) 는 에이징 작동 에 있 어서 의 본딩 스테이지 ( 3 ) 의 온도 변화 를 모식 적 으로 도시 하 는 그래프 이 다 .