본 실시 예 에서 제 1 판 체 ( 11 ) 와 제 2 판 체 ( 12 ) 는 규칙 적 인 형상 , 예 하 면 정방 형 및 직사각 형 의 형상 을 가질 수 있 다 . 제 1 판 체 ( 11 ) 와 제 2 판 체 ( 12 ) 는 확산 접합 방식 으로 결합 될 수 있 는데 이 에 한정 되 지 않 는다 . 수용 챔버 ( C ) 를 구성 하 기 위하 여 제 1 판 체 ( 11 ) 의 제 1 내 표면 ( 112 ) 과 제 2 판 체 ( 12 ) 의 제 2 내 표면 ( 122 ) 사이 에 는 환형 장벽 ( 15 ) 이 구비 되 고 환형 장벽 ( 15 ) 은 다수 의 제 1 금속 범프 ( 1121 ) 와 다수 의 제 2 금속 범프 ( 1221 ) 를 에워싼다 . 진일보 로 설명 하 면 환형 장벽 ( 15 ) 의 상반부 는 제 1 판 체 ( 11 ) 와 일체 로 성형 될 수 있 고 환형 장벽 ( 15 ) 의 하반부 는 제 2 판 체 ( 12 ) 와 일체 로 성형 될 수 있 는데 이 에 한정 되 지 않 는다 . 기타 실시 예 에서 환형 장벽 ( 15 ) 은 전체 가 제 1 판 체 ( 11 ) 또는 제 2 판 체 ( 12 ) 와 일체 로 형성 될 수 있 다 . 환형 장벽 ( 15 ) 의 두께 는 제 1 판 체 ( 11 ) 와 제 2 판 체 ( 12 ) 의 접합 에 유리 하 도록 3 미크론 내지 6 미크론 일 수 있 다 .