도 7 은 , 실시 예 및 비 교예 에서 의 텅스텐 막 의 스텝 커버리지 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 7 에서 , 좌측 도면 은 실시 예 에서 의 텅스텐 막 의 단면 의 주사 전자 현미경 ( SEM : Scanning Electron Microscope ) 상 을 나타내 고 , 우측 도면 이 비 교예 에서 의 텅스텐 막 의 단면 의 SEM 상 을 나타낸다 . 또한 , 상단 및 하단 은 , 각각 홀 의 톱 위치 및 보텀 위치 를 나타낸다 .