특히 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 밀착 부 ( 130 ) 와 마찬가지 로 , 탄성 링 이 구비 된 밀착 부 ( 130 ') 에 의하 여 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 은 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 를 전체 적 으로 접촉 하 여 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 를 전부 막 는 현상 이 유도 되 는 경우 에 는 , 도 13 b 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 은 급격히 낮 아지므로 , 정상 적 으로 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 는 경우 에 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 이 설정 압력 ( Po ) 에 도달 하 는 데 까지 소요 되 는 시간 ( t 1 ) 에 비하 여 더 짧 은 시간 ( Te ) 이 경과 하 더라도 , 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 이 설정 압력 ( Po ) 에 도달 하 게 된다 .