광 투과 패턴 ( 352 _ 3 ) 의 만입 패턴 부 ( IDP 4 , IDP 5 ) 가 배치 된 영역 의 제 1 방향 ( DR 1 ) 의 폭 은 만입 패턴 부 ( IDP 4 , IDP 5 ) 가 배치 되 지 않 은 영역 의 제 1 방향 ( DR 1 ) 의 폭 ( W 352 a ) 보다 작 을 수 있 다 . 제 2 메인 패턴 부 ( 352 a _ 1 ) 의 제 2 방향 ( DR 2 ) 연장선 으로부터 만입 된 폭 은 인접 한 돌출 패턴 ( 351 d , 353 c ) 의 폭 과 동일 할 수 있 다 . 다만 , 이 에 제한 되 지 않 고 제 2 메인 패턴 부 ( 352 a _ 2 ) 의 제 2 방향 ( DR 2 ) 연장선 으로부터 만입 된 폭 은 인접 한 돌출 패턴 ( 351 d , 353 c ) 의 폭 보다 작 을 수 있 다 .