제 2 실시 형태 에 대해서 설명 한다 . 도 6 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 투영 광학계 ( 11 ) 를 도시 하 는 모식도 다 . 본 실시 형태 의 기류형 성부 ( 21 ) 는 , 도 2 에서 도시 한 제 1 실시 형태 와 아울러 , 구동 기구 ( 31 ) ( 진퇴 부 ) 를 구비 한다 . 한편 , 도 5 에서 도시 한 실시 형태 에 구동 기구 ( 31 ) 를 설치 함 으로써 , 본 실시 형태 를 실현 하 는 것 도 가능 하 다 . 구동 기구 ( 31 ) 는 , 볼록면 거울 ( 14 ) 로부터 메니스커스 렌즈 ( 18 ) 를 향하 는 축 방향 ( Y 방향 ) 으로 전후 하 는 조정 기구 를 포함 한다 . 바꿔 말 하 면 , 구동 기구 ( 31 ) 는 , 취 출구 ( 24 ) 를 진퇴 시키 는 것 으로 취 출구 ( 24 ) 와 메니스커스 렌즈 ( 18 ) 와 의 거리 를 변경 한다 .