한편 진공 처리 장치 의 처리 공간 내 의 압력 은 진공 압 에서 대기압 으로 상승 하 거나 진공 압 으로 하강 하 게 되 는데 , 처리 공간 내 의 압력 의 상승 또는 하강 에 따라서 상부 하우징 ( 210 ) 과 하부 하우징 ( 220 ) 사이 에 설치 된 실링 부재 가 팽창 또는 수축 하 게 되 고 상부 하우징 ( 210 ) 은 하부 하우징 ( 220 ) 에 대하 여 미세 하 게 이 동시 킬 필요 가 있 다 .