본 발명 의 방법 은 플 라즈 마 를 포함 하 는 오존 또는 산소 - 함유 공급원 을 사용 하 는 ALD 공정 을 통해 수행 되 며 , 여기 서 , 플라 즈 마는 하 기 가스 들 중 하나 이상 과 같 은 불활성 가스 를 추가 로 포함 할 수 있 다 : 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 산소 플 라즈 마 , 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 수증기 플 라즈 마 , 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 질소 산화물 ( 예 를 들 어 , N 2 O , NO , NO 2 ) 플라 즈 마 , 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 탄소 산화물 ( 예 를 들 어 , CO 2 , CO ) 플라 즈 마 , 및 이 들 의 조합 .