실시 예 1 에서 는 , 2 개 의 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 에 의해 , 기판 ( WT ) 과 칩 ( CP ) 에 마련 된 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b , MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 촬영 하 는 구성 에 대해 설명 했 다 . 다만 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 스테이지 ( 31 ) 의 상방 에 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 와 는 달리 2 개 의 촬상부 ( 미 도시 ) 가 배치 된 구성 이 어도 좋 다 . 이 경우 , 2 개 의 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 에 의해 칩 ( CP ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 를 포함 하 는 화상 을 촬영 하 고 , 다른 2 개 의 촬상부에 의해 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 촬영 하 도록 해도 좋 다 .