노광 동작 시 등 에 는 , 고정 스케일 ( 39 A ', 39 B ') 에 헤드 ( 172 , 174 ) 가 적어도 각 1 개 각각 대향 한다 . 즉 , 헤드 ( 172 , 174 ) 가 발하 는 계측 빔 ( 인코더 빔 ) 중 적어도 각 1 개 의 계측 빔 이 항상 고정 스케일 ( 39 A ', 39 B ') 에 조사 된다 . 이 헤드 ( 172 , 174 ) ( 즉 , 이 들 헤드 ( 172 , 174 ) 에 의해 구성 되 는 인코더 ( 170 A ', 170 B ')) 에 의해 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 위치 , Y 위치 및 θ z 회전 이 계측 된다 .