제형 FE - 7 내지 FE - 12 를 노출 된 코발트 를 함유 하 는 패턴 화 된 규소 기판 을 사용 하 여 일반 절차 2 에 따라 물질 상용 성 에 대해 시험 하 였 다 . 제형 FE - 7 내지 FE - 9 , FE - 11 및 FE - 12 는 65 ℃ 에서 4 분 동안 규소 기판 상 의 블랭킷 필름 을 사용 하 여 일반 절차 3 에 따라 물질 상용 성 에 대해 시험 하 였 다 . 세정 조성물 에 의한 패턴 화 된 규소 기판 상 의 노출 된 코발트 의 손실 ( 즉 것 인 세정 조성물 에 의해 제거 된 노출 된 코발트 의 수 ) 을 측정 하 고 , 이 를 표 4 에 나타내 었 다 . 세정 제형 에 의한 규소 기판 상 의 블랭킷 필름 으로서 W 합금 , Co , AlOx , TiOx , 및 TiN 의 에칭 률 ( etch rate , ER ) ( 옹스트롬 / 분 ) 을 표 5 에 나타내 었 다 .