이상 으로부터 , 본 실시 예 에 관한 성막 장치 에 있 어서 는 , 제 2 동작 모드 에 의한 동작 을 행함 으로써 , 마스크 ( 220 ) 에 부착 되 는 파티클 의 양 을 절감 할 수 있 고 , 마스크 ( 220 ) 를 세정 하 기 위해 진공 챔버 ( 200 ) 로부터 마스크 ( 220 ) 을 꺼내 는 빈도 를 줄일 수 있 다 . 따라서 , 생산 성 을 높일 수 있 다 .