[ 나노 코리아 2019 ] ' 나노 코리아 어워드 ' 국무총리 상 
 # ' 나노 코리아 2019 ' 첫 날 행사 에서 는 우수 기술 에 대한 시상 과 나노 산업 유공자 포상 이 함께 이뤄졌 다 . 나노 코리아 어워드 는 나노 산업 기술 상 과 나노 연구 혁신 상 2 개 부문 으로 나뉜다 . 산업 기술 분야 에서 는 ' 30 nm 이하 나노 소자 측정 이 가능 한 반도체 인라인 용 3 D 원자 현미경 ' 을 출품 한 파크 시스템스 가 , 연구 혁신 분야 에서 는 광 신호 전달 과정 의 공간 · 시간 적 대칭 성 을 붕괴 시킬 수 있 는 새로운 개념 을 도입 해 나노 광소자 의 설계 · 구현 기술 을 실용화 단계 까지 발전 시킨 송석호 한양 대학교 교수 가 각각 국무총리 상 을 수상 한다 . 이 밖 에 과기 정통부 장관 상 ( 5 점 ) , 산업 부 장관 상 ( 5 점 ) 등 이 수여 된다 . 
 ◆ 나노 산업 기술 상 부문 
 ◇ 국무총리 상 
 △ 파크 시스템스 
 파크 시스템스 는 ' 30 nm 이하 나노 소자 용 인라인 3 D - AFM ' 으로 나노 산업 기술 상 부문 국무총리 상 을 수상 했 다 . 
 파크 시스템스 는 원자 현미경 ( AFM ) 을 개발 · 생산 · 판매 하 는 나노 계측 기기 전문 기업 이 다 . 원자 현미경 은 시료 의 형상 과 물 성 을 나노미터 수준 에서 측정 하 고 분석 할 수 있 는 장비 로 나노 기술 시대 를 열 어 가 는 중요 한 도구 다 . 첨단 분석 계측 기기 90 % 이상 을 수입 에 의존 하 는 국내 현실 에서 세계 1 위 를 바라보 는 원자 현미경 의 존재 는 국가 적 으로 큰 의미 를 지닌다 . 
 최근 반도체 구조 가 핀 펫 ( FinFET ) 과 같 은 3 D 적층 구조 로 변화 하 면서 비 파괴 적 인 3 D 형상 측정 , 성분 분석 , 평가 시스템 이 필요 해졌 다 . 파크 시스템스 는 반도체 공정 라인 에서 새롭 게 대두 되 고 있 는 MENV ( Mini - Environment ) 에 대응 하 는 신규 시스템 과 국제 클린 룸 규격 에 부합 하 는 청 정도 개선 모듈 을 통해 인라인 완전 자동 화 3 D 원자 현미경 시스템 구축 에 성공 했 다 . 
 아울러 인공지능 형 자동 측정 , 분석 및 보 고 프로세스 를 비롯 해 반도체 생산 자동 화 프로세스 , 웨이퍼 이동 모듈 OHT ( Overhead Hoist Transport ) 동기 화 프로세스 등 3 D - AFM 측정 자동 화 기술 개발 성과 를 거뒀 다 . 
 ◇ 산업 통상 자원 부장 관상 
 △ 바이 오 시 네 틱 스 
 바이 오 시 네 틱 스 ' 생체 이용 율 과 수분 산 성 이 강화 된 나노 입자 기능 성 소재 ' 로 산업 통상 자원 부 장관 상 을 수상 했 다 . 
 바이 오 시 네 틱 스 는 전 세계 적 으로 특허 화 된 원천 나노 기술 을 바탕 으로 의약품 , 식품 , 화장품 난용성 소재 를 수 분산 이 용이 한 나노 입자 로 개발 하 고 이 를 바탕 으로 개발 된 나노 제품 을 기술 이전 하 는 것 을 주 사업 으로 한다 . 
 바이 오 시 네 틱 스 의 SENSTM ( Saccharide Employing Nanoparticle System ) 기술 은 수분 산 이 어려운 난용성 식품 , 화장품 , 의약품 유기 화합 물질 을 나노 입자 로 만드 는 특허 화 된 나노 기술 이 다 . 뛰어난 효능 을 지님 에 도 난용성 문제 로 제품 화 를 할 수 없 었 던 난용성 원료 의 제품 화 에 유용 하 게 쓰일 수 있 다 . 해당 기술 을 사용 해 고부 가 가치 를 지닌 ' 생체 이용 률 과 수 분산 성 이 강화 된 나노 입자 기능 성 소재 ' 를 제조 할 수 있 다 . 이 를 활용 한 주요 제품 으로 는 HydroCeramide , HydroCurcumin , HydroCoQ 10 등 이 있 다 . 
 △ 에 이치 피케이 
 에이치 피케이 는 ' 나노 급 미세 공정 과 비 열 가공 이 가능 한 OLED 디스플레이 불량 전극 복원 시스템 ' 으로 산업 부 장관 상 을 수상 했 다 . 
 에이치 피케이 는 레이저 를 이용 한 반도체 · 디스플레이 공정 장비 , 카메라 모듈 검사 자동 화 시스템 , 자동차 장비 전문 업체 다 . 주요 제품 은 레이저 기반 초 정밀 가공 , 카메라 비전 기술 기반 품질 검사 및 생산 자동 화 장비 다 . 
 에이치 피케이 가 개발 한 ' OLED 디스플레이 패널 불량 화소 복원 기술 ' 은 핀홀 모듈 을 적용 , 레이저 빔 의 다중 수차 의 에너지 피크 를 제거 해 회절 패턴 의 최대 중 심부 만 투과 한 매끄러운 가우 시안 빔 의 나노 스케일 선택 적 가공 기술 이 다 . 
 펨토 초 레이저 를 이용 해 디스플레이 백 플레인 의 하부 레이어 에 손상 없이 소스 · 드레 인 전극 만 선택 적 으로 절제 하 는 기술 로 , 1 ㎛ 이하 두께 전극 을 100 nm 급 스텝 으로 반복 적 으로 공정 을 수행 한다 . 
 잔류물 불량 은 식각 공정 에서 예기 치 않 게 전극 이 잔류 해 발생 한 불량 으로 정상 패턴 의 모양 이 되 도록 레이저 를 이용 해 패 터닝 하 는 기술 을 사용 한다 . 
 △ 엔 젯 
 엔 젯 은 기존 반도체 진공 공정 을 친환경 적 대기압 용액 공정 으로 대체 하 는 솔루션 을 제공 한다 . 잉크젯 프린터 등 일반 적 인 용액 공정 의 초미세 패 터닝 한계 를 극복 하 기 위해 EHD ( Electrohydrodynamics ) 기술 을 바탕 으로 세계 최초 초 정밀 프린팅 과 스프레이 코팅 을 디스플레이 양산 공정 에 구현 했 다 . 
 이번 에 수상 한 1 ㎛ 급 이하 초 정밀 및 초미세 패 터닝 을 위한 eNanoJet 프린터 는 초 정밀 기계 제 어 , 유체 제 어 , 광학 기술 을 이용 해 1 ㎛ 급 선폭 , 100 nm 이상 두께 를 가진 나노 잉크 를 정밀 하 게 토출 하 고 전극 을 형성 할 수 있 다 . 현재 고 정밀 · 고해상도 를 필요 로 하 는 반도체 · 디스플레이 분야 에 응용 된다 . 
 핵심 기술 인 iEHD 기술 은 유도 전기장 을 이용 해 잉크 및 약액 을 토출 시키 는 기술 로 전압 제어 를 통한 프린팅 및 스프레이 를 구현 할 수 있 다 . 
 이 를 활용 해 OLED 디스플레이 의 공정 중 에서 중요 한 TFT 배선 수리 기술 을 성공 적 으로 개발 했으며 , 차세대 디스플레이 로 각광 받 는 마이크 로 LED 디스플레이 공정 에 요구 되 는 LED 칩 본더 장비 도 개발 에 성공 했 다 . 향후 퀀텀 닷 OLED TV 공정 , 스마트 글라스 미세 전극 형성 등 에 도 적용 할 예정 이 다 . 
 △ 이정수 LG 전자 소재 기술원 원장 
 이정수 LG 전자 소재 · 생산 기술원 소재 기술 원장 전무 는 나노 소재 기반 제품 양산 화 에 성공 하 고 나노 코리아 전시 위원장 으로서 나노 산업 확장 에 기여 한 공로 로 산업 부 장관 상 을 수상 했 다 . 소재 R & D 분야 에 26 년 간 종사 하 며 나노 소재 · 소자 · 물성 분석 연구 를 진행 했으며 광소자 · 에너지 · 환경 소재 분야 나노 소재 개발 및 제품 적용 을 통한 사업 화 를 진행 해 수 건 의 양산 화 를 성공 했 다 . 
 특히 나노 소재 와 물성 분석 분야 전문가 로 형광체 , 그래핀 등 나노 물질 개발 과 응용 연구 를 리드 했으며 에너지 및 광소자 분야 나노 기술 적용 을 통해 세계 최고 · 최초 제품 개발 및 양산 화 를 진행 했 다 . 
 대표 기술 로 는 세계 최고 성능 고 휘도 황색 형광체 를 개발 했 다 . 기존 최고 수준 의 일본 니 치아 YAG 형광체 대비 고 휘도 , 고연 색성 , 고 신뢰 성 을 갖 는 질화물 계 신조 성 형광체 ( Li - α - SiAlON ) 를 독자 개발 해 관련 사인 LG 이 노 텍 과 고출력 LED 패키지 개발 협력 을 통해 상용 화 했 다 . 
 세계 최고 고품질 · 대 면적 CVD 그래핀 도 개발 했 다 . 기존 의 생산 방식 은 CVD 배치 ( Batch ) 타입 으로 생산 성 이 낮 고 고가 일 뿐 만 아니 라 결함 이 많 아 성능 과 품질 균일성 이 떨어져 산업 적 으로 적용 하 는 데 제한 이 있 었 다 . 이러 한 문제 를 해결 하 기 위해 대량 생산 이 가능 한 세계 최대 폭 ( 400 ㎜) 의 수직 형 롤 투 롤 합성 장비 를 개발 했으며 생산 성 극대 화 를 위해 고속 ( 30 m / hr ) 으로 동시 에 더블 롤 공정 이 가능 한 합성 기술 을 확보 했 다 . 
 △ 최순복 대전광역시 과학 산업 국 미래 성장산업 과 바이오 나노 산업 팀 주무관 
 최순복 주무관 은 대전 지역 나노 융합 산업 발전 에 기여 하 고 현장 맞춤 형 인력 지원 을 통해 기업 에 우수 인력 지원 공로 를 인정받 아 산업 부 장관 상 을 수상 했 다 . 
 T 2 B 활용 나노 융합 R & BD 촉진 사업 의 대전 나노 기업 근접 지원 을 위한 ' 대전 나노 융합 T 2 B 센터 ' 를 설치 하 고 나노 기업 대상 으로 나노 코리아 등 국내외 전시회 참가 를 지원 해 대전 나노 융합 기업 발굴 과 홍보 를 통한 나노 기업 의 비지니스 창출 기회 를 확대 했 다 . 
 또 대전 나노 기업 들 과 출연 연과 연계 를 통한 기업 맞춤 형 지원 사업 추진 을 통해 중소 벤처 기업 대상 시제품 지원 및 애 로 기술 지도 등 사업 화 활동 을 지원 했 다 . 
 나노 종합 기술원 과 미국 드렉셀 대 연구 소간 한 · 미나노 기술 공동 연구 센터 를 설치 하 고 국제 나노 산업 도시 와 네트워크 를 활용 한 실질 적 기술 교류 와 해외 마케팅 도 지원 해 기업 글로벌 화 에 노력 했 다 . 
 나노 분야 지역 기업 은 우수 인력 수급 부분 을 최대 애 로 사항 으로 지목 하 고 있 다 . 최 주무관 은 특성 화고 인력 양성 과정 과 이공 계 대졸자 대상 나노 전문 인력 양성 을 통한 양질 의 현장  춤 형 일자리 를 지원 했 다 . 
 ◆ 나노 연구 혁신 상 
 ◇ 국무총리 상 
 △ 송석호 한양 대학교 교수 
 송석호 한양대 자연 과학 대학 물리학 과 교수 는 나노 광학 분야 에서 세계 적 인 연구 성과 를 창출 하 고 나노 광소자 의 설계 및 구현 기술 을 실용화 단계 까지 발전 시키 는 데 에 크 게 이바지 한 점 을 인정받 아 연구 부문 최고상 인 국무총리 상 을 수상 했 다 . 
 송 교수 연구 팀 은 나노 광소자 기술 분야 에서 탁월 한 연구 성과 를 거두 고 있 다 . 모든 광통 신 주파수 대역 에서 작동 이 가능 한 광다이오드 소자 를 세계 최초 로 개발 하 는 등 나노 기술 과 정보 통신 기술 을 융합 해 차세대 광컴퓨터 및 신경 회로망 구성 에 핵심 이 되 는 나노 광소자 구현 기술 을 실용화 단계 까지 발전 시키 고 있 다 . 
 특히 지난 20 여 년 동안 나노 광학 기술 발전 의 큰 장애 요인 이 었 던 국소 영역 에서 의 에너지 손실 문제 를 해결 할 수 있 는 최근 의 연구 결과 를 통해 세계 최고 권위지 인 네이처 및 관련 자매지 등 에 다수 의 연구 논문 을 게재 하 는 등 세계 적 인 연구 성과 를 내 고 있 다 . 
 송 교수 는 종래 의 광학 분야 에 열린 양자 역학 이론 및 수학 적 대칭 성 또는 특이 성 을 도입 해 기존 물리 적 한계 를 극복 하 려는 시도 와 함께 열린 양자 역학 이 라는 이론 을 실험 적 으로 검증 하 고 발전 시키 기 위한 새로운 광 과학 영역 을 개척 하 는 연구 를 창의 적 연구 를 수행 하 고 있 다 . 
 ◇ 과학 기술 정보 통신부 장관 상 
 △ 정우철 KAIST 교수 
 정우철 KAIST 공과 대학 신 소재 공학 과 교수 는 고온 전기 화학 소자 를 위한 나노 촉매 합성 · 분석 기술 을 개발 해 나노 소재 의 새로운 응용 분야 를 개척 하 고 연료전지 및 수소 생산 분야 에 기여 한 공로 로 연구 부문 과학 기술 정보 통신부 장관 상 을 수상 했 다 . 
 KAIST 부임 후 고온 작동 에너지 변환 소자 용 금속 나노 촉매 기술 에서 지속 적 으로 세계 적 인 연구 성과 를 창출 해 국가 나노 분야 학문 발전 과 관련 소자 의 성능 향상 에 크 게 이바지 한 점 을 인정받 았 다 . 
 10 nm 이하 작 은 크기 를 갖 는 금속 나노 입자 를 기반 으로 한 불균일계 촉매 는 극도 로 적 은 양 으로 도 뛰어난 활성 을 발현 해 다양 한 분야 에서 널리 사용 되 고 있 지만 열 적 안정 성 이 부족 해 연료전지 , 수전 해 장치 , 센서 등 세라믹 기반 고온 전기 화학 소자 에 적용 이 크 게 제한 되 는 한계 가 있 었 다 . 
 정 교수 는 이러 한 한계 를 극복 해 금속 나노 입자 의 전기 화학 반응 성 을 정밀 하 게 평가 할 수 있 는 새로운 나노 단위 분석 기법 을 개발 하 고 세계 최초 로 고온 촉매 의 반응 활성 기구 를 규명 하 는 데 성공 했 다 . 
 또 내 구성 이 우수 한 금속 나노 입자 를 산화물 전극 표면 에 자발 적 으로 합성 하 는 공정 기법 을 개발 하 고 극소량 의 나노 입자 만 으로 세계 최고 수준 의 고 성능 을 실현 한 나노 구조 전극 을 구현 하 는 등 고온 전기 화학 소자 에 대한 금속 나노 촉매 응용 이 라는 새로운 분야 를 개척 하 고 있 다 . 
 △ 박준우 KIT 그룹 장 
 박준우 안전성 평가 연구소 경남 환경 독성 본부 환경 생물 연구 그룹 박사 는 나노 물질 이 환경 에 노출 돼 발생 하 는 유해 성 평가 , 독성 기전 규명 , 독성 평가 기법 개발 , 나노 물질 평가 에 대한 표준 시험법 제안 등 나노 안전성 연구 를 통해 국내 나노 기술 발전 에 공헌 한 점 과 나노 코리아 나노 안전성 분과 위원 으로 활동 하 면서 구두 · 포스터 발표 등 나노 코리아 심포지엄 발전 에 기여 한 점 을 인정받 아 과학 기술 정보 통신부 장관 상 을 수상 했 다 . 
 환경 분야 유명 저널 인 Environmental Science & Technology 를 포함 한 나노 안전 성 관련 국내외 14 편 의 연구 논문 을 발표 했으며 나노 물질 을 포함 한 다양 한 화학 물질 의 안전 성 과 독성 을 평가 하 는 연구 를 진행 하 며 국내외 논문 40 여 편 및 여러 국제 학술 대회 에서 발표 를 수행 하 는 등 우수 한 연구 실적 을 보유 하 고 있 다 . 
 또 10 여 년 간 나노 기술 발전 근간 이 되 는 나노 안전성 연구 를 수행 하 면서 나노 코리아 의 나노 안전성 분과 위원 , 국가 나노 종합 발전 계획 표준 화 분과 간사 , 국가 나 노기 술지 도 안전 성분 과 위원 , 산업 부 국가 기술 표 준원 의 나노 전문 위원 과 OECD WPMN 한국 대표 등 활동 을 통해 국내 나노 기술 의 방향 을 정하 는 국가 정책 개발 에 도 참여 했 다 . 
 현재 는 관련 연구 기술 을 활용 해 ISO TC 229 Nanotechnologies 에서 나노 물질 의 환경 독성 을 평가 하 는 표준 시험법 을 제안 하 고 미국 과 공동 으로 표준 문건 작성 을 진행 하 는 등 국내외 나노 물질 의 환경 독성 평가 분야 에서 표준 화 선도 에 주도 적 인 역할 을 하 고 있 다 . 
 △ 진용완 삼성전자 종합 기술원 마스터 
 진용완 삼성전자 종합 기술원 마스터 는 나노 물질 을 활용 한 디스플레이 및 이미지 센서 기술 분야 에서 세계 적 인 연구 성과 를 창출 하 고 기술 산업 화 를 수행 해 국가 의 나노 분야 기술 발전 과 신규 응용 기술 발굴 에 크 게 이바지 한 점 을 인정받 았 다 . 
 진용완 마스터 연구 팀 은 나노 복합체 를 융합 한 인쇄 전자 소자 기술 분야 에서 탁월 한 연구 성과 를 거뒀 다 . 탄소 나노 튜브 페이스트 를 활용 해 세계 최초 로 38 인치 인쇄 형 대면 적 디스플레이 구현 , CNT 백라이트 , 나노 잉크 를 활용 한 고 정세 잉크젯 패 터닝 및 반사 형 소재 기술 을 개발 했 다 . 
 또 유기 반도체 소재 분자 설계 를 통해 선택 적 녹색 흡광 기술 을 확보 하 고 나노 플 러 렌 소재 와 복합 화 해 실리콘 CMOS 이미지 센서 위 에 적층 함 으로써 유기 - 무기 전자 소자 제작 기술 을 확보 했 고 이 를 이용 해 고감 도 및 고 정세 이미지 센서 를 개발 했 다 . 
 개발 기술 을 기반 으로 사이언스 , 네이처 , 나노 레터 스 , PNAS 등 에 83 편 의 우수 논문 을 게재 하 고 118 건 의 해외 특허 를 출원 하 는 등 세계 적 인 연구 성과 를 내 고 있 다 . 
 △ 최창환 한양 대학교 교수 
 최창환 한양 대학교 공과 대학 신 소재 공학부 교수 는 웨이퍼 레벨 의 차세대 저 전력 나노 소자 , 모노 리틱 3 차원 집 적 공정 및 뉴로 모 픽 시스템 구현 에 대한 연구 성과 를 창출 해 국가 나노 분야 학문 발전 에 크 게 이바지 한 점 을 인정받 았 다 . 
 최 교수 연구 팀 은 웨이퍼 레벨 의 3 차원 소자 및 집 적 공정 기술 분야 에서 탁월 한 연구 성과 를 거두 고 있 다 . 저 온 단위 공정 과 이온 주입 방식 을 통한 나노 모노 리틱 3 차원 공정 기술 개발 을 나노 종합 기술원 과 국내 대학 최초 로 개발 했 고 나노 소재 원천 기술 개발 사업 연구 책임자 로 3 차원 집 적 공정 기술 을 통한 뉴로 모 픽 시스템 구현 에 대한 연구 를 진행 했 다 . 
 또 원자 층 증착 법 을 활용 한 고유 전 상수 유전 박막 과 금속 박막 을 활용 한 웨이퍼 레벨 차세대 저 전력 나노 전자 소자 에 대한 연구 를 진행 했 다 . 
 최 교수 는 최근 3 년 간 네이처 , 어드밴스 드 머티 리 얼스 , 어드밴스 드 펑셔널 머티 리 얼스 , 나노 스케일 , NPG 아시아 머티 리 얼스 등 에 40 편 이상 우수 논문 을 게재 하 고 21 건 의 국내외 특허 를 등록 및 출원 하 는 등 우수 한 연구 성과 를 내 고 있 다 . 
 또 반도체 소자 스케일링 의 어려움 을 극복 하 기 위해 새로운 3 차원 집 적 공정 방식 의 연구 를 진행 해 향후 반도체 분야 에서 새로운 소자 , 재료 및 공정 기술 에 혁신 적 결과 가 예상 되 는 연구 를 수행 하 고 있 다 . 
 △ 김희연 KIER 책임 연구원 
 김희연 한국 에너지 기술 연구원 에너지 효율 소재 연구 본부 책임 연구원 은 나노 촉매 소재 설계 및 합성 기술 을 기반 으로 수소 생산 및 연료전지 시스템 , 촉매 전환 공정 의 효율 을 최대 화 하 기 위한 세계 최고 수준 의 나노 촉매 원천 기술 개발 에 기여 한 공로 를 인정받 았 다 . 
 김 책임 연구원 은 나노 촉매 소재 의 설계 및 합성 분야 에서 세계 최고 수준 의 연구 성과 및 지식 재산 권 을 창출 했 다 . 
 김 박사 는 수소 생산 을 위한 메탄 개질 촉매 , 이 차 전지 전극 및 연료전지 전극 용 촉매 , 메탄 의 직접 전환 공정 용 촉매 등 을 지속 적 으로 연구 하 고 , 해당 촉매 공정 의 효율 을 최대 화 하 기 위한 세계 최고 수준 의 나노 촉매 원천 기술 을 개발 하 고 있 다 . 
 연구 개발 결과 를 기반 으로 네이처 나노 테크놀로지 , 어드밴스 드 머티 리 얼스 , ACS 나노 , 나노 레터 스 등 에 우수 논문 을 게재 하 고 110 여건 의 국내외 특허 를 등록 하 는 등 세계 최고 수준 의 연구 성과 를 창출 하 고 있 다 .