촬상부 ( 52 A ) 의 촬상축 ( Od ) 과 개구부 ( 15 ) 의 개구 면 ( 150 ) 이 이루 는 각도 ( 좌우 방향 에 대한 촬상축 ( Od ) 의 경사 각도 ) Θ 5 는 , Θ 5 ＜ 90 도 이 며 , 바람직 하 게 는 Θ 5 ＜ 88 도 이 며 , 더욱 바람직 하 게 는 80 ＜ Θ 5 ＜ 85 도 이 다 . 또 , 용기 본체 ( 3 ) 의 제 1 내 벽면 ( 31 ) 과 , 개구부 ( 15 ) 의 개구 면 ( 150 ) 과 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 외주 연부 가 대략 평행 하 게 되 어 있 는 경우 , 촬상부 ( 52 A ) 의 촬상축 ( Od ) 과 용기 본체 ( 3 ) 의 제 1 내 벽면 ( 31 ) 이 이루 는 각도 Θ 6 , 및 촬상부 ( 52 A ) 의 촬상축 ( Od ) 과 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 외주 연부 가 이루 는 각도 Θ 7 에 대해서 도 상기 범위 와 동일 해진다 .