상기 형성 한 포지티브 형 레지스 트 패턴 에 대해서 , 조작 ( 1 ) 에서 행한 경우 의 막 두께 가 0 이 되 는 전자선 노광량 을 E 1 ( μ C / ㎠) 이 라 하 고 , 조작 ( 2 ) 에서 행한 경우 의 막 두께 가 0 이 되 는 전자선 노광량 을 E 2 ( μ C / ㎠) 라 했 을 때 , ( E 2 / E 1 ) ＜ 0 . 8 이 된 경우 를 A ( 증감 효과 있 음 ) , ( E 2 / E 1 ) ≥ 0 . 8 이 된 경우 를 B ( 증감 효과 가 작 거나 혹은 증감 효과 없 음 ) 라 평가 했 다 . 평가 결과 를 하 기 표 5 에 나타낸다 .