프로파일 형상화 페이즈 ( 304 ) 에서 , 증착 층 ( 215 ) 은 프로파일 형상 화 가스 를 사용 하 여 형상 화 되 거나 또는 에칭 백 ( etch back ) 되 어 , 적어도 마스크 피쳐 들 ( 210 ) 의 저부 상 의 증착 층 ( 215 ) 이 제거 된다 . 프로파일 형상화 페이즈 ( 304 ) 는 , 프로파일 형상 화 가스 를 제공 하 는 것 , 및 증착 층 의 프로 파일 을 형상 화 하 기 위해 프로파일 형상 화 가스 로부터 프로파일 형상 화 플 라즈 마 를 생성 하 는 것 을 포함 한다 . 프로파일 형상 화 가스 는 증착 가스 와 상이 하 다 . 도 3 에 예시 된 바 와 같이 , 증착 페이즈 ( 302 ) 및 프로파일 형상화 페이즈 ( 304 ) 는 상이 한 시간 들 에서 발생 한다 . 이 예 에서 , 프로파일 형상 화 가스 는 , CH 4 , CHF 3 및 CH 2 F 2 와 같 은 탄화 플루오르 케미스트리 를 함유 한다 . O 2 , N 2 및 H 2 와 같 은 다른 가스 들 이 사용 될 수 도 있 다 .