도 7 d 및 도 7 e 를 참조 하 면 , 채널 홀 ( CHH ) 내 에 노출 되 는 제 1 커버 희생 층 ( SCL 1 a ) 상 에 제 2 커버 층 ( CVL 2 a ) 을 형성 한다 . 제 2 커버 층 ( CVL 2 a ) 은 제 1 커버 희생 층 ( SCL 1 a ) 을 산화 시켜 형성 할 수 있 으며 , 제 1 커버 층 ( CVL 1 a ) 상 에 는 형성 되 지 않 을 수 있 다 . 제 2 커버 층 ( CVL 2 a ) 을 형성 한 후 , 제 1 커버 층 ( CVL 1 a ) 을 제거 한다 .