본 실시 형태 에 따른 연마 액 은 , 산화제 에 의해 산화 된 텅스텐 재료 의 용해 를 촉진 하 고 , 텅스텐 재료 의 연마 속도 를 향상 시키 는 관점 에서 , 산화 금속 용해제 를 함유 한다 . 산화 금속 용해제 로서 는 , 산화 된 텅스텐 재료 를 물 에 용해 시킬 수 있 으면 , 특별히 제한 은 없 지만 , 예 를 들 면 , 포름산 , 아세트산 , 프로피온산 , 부티르산 , 발레 르 산 , 2 - 메틸 부티르산 , n - 헥산 산 , 3 , 3 - 디 메틸 부티르산 , 2 - 에틸 부티르산 , 4 - 메틸 펜 탄산 , n - 헵탄 산 , 2 - 메틸 헥산 산 , n - 옥탄산 , 2 - 에틸 헥산 산 , 벤조산 , 글리콜산 , 살리실산 , 글리세린산 , 옥살산 , 말론산 , 숙신산 , 글루타르산 , 아디프산 , 피멜 산 , 말레산 , 프탈산 , 말산 , 타르타르산 , 시트르산 , p - 톨루엔 술폰산 등 의 유기산 ; 상기 유기산 의 유기산 에스테르 ; 상기 유기산 의 암모늄염 ; 염산 , 황산 , 질산 등 의 무기산 ; 상기 무기산 의 암모늄염 ( 과 황산 암모늄 , 질산 암모늄 , 염화암모니아 , 크롬산 등 ) 이 있 다 . 이 들 중 에서 는 , 실용 적 인 연마 속도 를 유지 하 면서 , 에칭 을 효과 적 으로 억제 하 기 쉬운 관점 에서 , 유기산 이 바람직 하 고 , 포름산 , 말론산 , 말산 , 타르타르산 , 시트르산 , 살리실산 , 및 아디프산 으로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종이 보다 바람직 하 다 . 산화 금속 용해제 는 , 1 종류 를 단독 으로 사용 할 수 도 있 고 , 2 종류 이상 을 병용 할 수 도 있 다 .