격리 제 또는 착 화제 가 또한 첨가 될 수 있 다 . 바람직 한 격리 제 또는 착화 제 또는 킬레이트제 는 질소 - 함유 카르복실 산 , 예 를 들 어 에틸렌디아민 테트라 아세트산 ( EDTA ) 및 디 에틸렌 트리 아민 펜 타 아세트산 ( DTPA ) 이 다 . 물 로 희석 시킨 후 에 표면 을 세정 하 기 위해 사용 될 때 의 격리 제 농도 는 바람직 하 게 10 ppm 내지 500 ppm 일 것 이 다 . 격리 제 는 입자 제거 효율 을 실질 적 으로 개선 시키 지 않 지만 , 세정 작업 의 금속 성 불순물 침적 을 개선 시키 기 위해 첨가 될 수 있 다 .