스테이지 회전 모듈 ( 22 ) 은 구 동원 으로서 회전 모터 를 포함 할 수 있 다 . 스테이지 이동 모듈 ( 23 ) 은 , 스테이지 회전 모듈 ( 22 ) 이 장착 된 슬라이더 ( 231 ) , 그리고 슬라이더 ( 231 ) 의 Y 축 방향 이동 을 안내 하 는 가이드 ( 232 ) 를 포함 할 수 있 다 . 스테이지 이동 모듈 ( 23 ) 은 슬라이더 ( 231 ) 가 구동 원인 리니어 모터 에 의하 여 이동 될 수 있 다 . 가이드 ( 232 ) 는 Y 축 방향 으로 연장 될 수 있 다 .