또한 , 본 발명 의 실시 예 에 의하 면 상기 하부금 속배 선 ( 120 ) 과 제 1 층간 절연 층 ( 130 ) 사이 에 형성 되 는 캡 핑 막 ( 140 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 캡 핑 막 ( 140 ) 은 금속 의 확산 을 방지 하 는 역할 을 하 며 , 상기 캡 핑 막 ( 140 ) 은 금속 이 층간 절연 층 으로 확산 하 여 층간 절연 층 을 열화 시키 는 것 을 막 는다 . 이때 , 상기 캡 핑 막 ( 140 ) 은 SiN 을 형성 될 수 있 으며 금속 의 확산 을 차단 할 수 있 는 다른 물질 로 도 형성 이 가능 하 다 .