헤드 구동 부 ( 36 ) 는 , 헤드 ( 2033 H ) 를 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 는 위치 ( Pos 2 ) 에 대향 시킨 후 헤드 ( 2033 H ) 를 연직 상방 ( + Z 방향 ) 으로 이동 시키 는 것 에 의해 , 헤드 ( 2033 H ) 를 스테이지 ( 2031 ) 에 접근 시켜 수지 부 ( R ) 의 연직 하방 ( - Z 방향 ) 으로부터 몰드 ( M ) 를 가압 한다 . 촬상부 ( 2041 ) 는 , 헤드 ( 2033 H ) 를 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 는 위치 에 대향 시킨 상태 에서 , 몰드 ( M ) 의 연직 상방 ( + Z 방향 ) 으로부터 , 후술 하 는 몰드 ( M ) 의 얼라인먼트 마크 ( 제 3 얼라인먼트 마크 ) ( MM 1 a , MM 1 b ) 와 , 후술 하 는 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( 제 4 얼라인먼트 마크 ) ( MM 2 a , MM 2 b ) 를 촬상 한다 .