산화 규소 막 의 열 원자 층 증착 을 실험실 스케일 ALD 가공 툴 상 에서 수행 하 였 다 . 규소 전구체 를 증기 드로우 ( vapor draw ) 에 의해 챔버 로 전달 하 였 다 . 모든 가스 ( 예 를 들 어 , 퍼지 및 반응물 가스 또는 전 구체 및 산소 공급원 ) 를 증착 구역 으로 진입 하 기 전 에 100 ℃ 로 예열 하 였 다 . 가스 및 전 구체 유량 을 고속 으로 작동 하 는 ALD 다이 아프 램 밸브 ( ALD diaphragm valve ) 로 조절 하 였 다 . 증착 에서 사용 되 는 기판 은 12 - 인치 - 길이 의 규소 스트립 이 었 다 . 기판 온도 를 확인 하 기 위해 열전대 ( thermocouple ) 를 샘플 홀더 상 에 부착 시켰 다 . 증착 을 산소 공급원 가스 로서 오존 을 사용 하 여 수행 하 였 다 . 일반 증착 공정 및 파라미터 를 표 2 에 나타내 었 다 .