기판 지지 부 ( 100 ) 에 지지 된 기판 ( S ) 에 대하 여 탈 이 온 수 이 류체 , 고압 탈 이 온 수 및 건조 기체 를 이용 한 세정 이 모두 수행 될 수 있 다 . 기판 ( S ) 의 이동 과정 이 생략 되 기 때문 에 기판 ( S ) 과 이 를 이동 시키 는 롤러 간 의 마찰 이 제거 되 어 파티클 의 발생 이 방지 될 수 있 다 . 또한 , 단일 의 장치 만 으로 복수 의 서로 다른 세정 유체 를 이용 한 세정 작업 이 수행 되 기 때문 에 장치 의 운용 을 위한 공간 활용 도 가 향상 될 수 있 다 .