좀 더 상세 하 게 는 , 예비 적 으로 H 2 O 증기 를 포토레지스트 패턴 ( 33 ) 의 제거 가 수행 되 는 챔버 내 로 1 차 플로우 ( flow ) 시킨다 . 여기 서 , 1 차 플로 우시 챔버 의 압력 은 1500 ~ 2500 mT 정도 로 유지 하 고 , H 2 O 증기 의 유량 은 2000 ~ 3000 sccm 정도 가 됨 이 바람직 하 다 . 이어서 , 포토레지스트 패턴 ( 33 ) 을 제거 하 기 위하 여 O 2 및 N 2 가스 와 H 2 O 증기 를 챔버 내 로 2 차 플 로우 시 킨다 . 여기 서 , 2 차 플로우 과정 은 4500 ~ 6000 W 의 탑 파워 를 인가 한 조건 에서 수행 되 고 , O 2 가스 의 유량 은 5000 sccm 이상 이 되 고 , N 2 가스 의 유량 은 500 ~ 1000 sccm 정도 가 되 며 , H 2 O 증기 의 유량 은 300 ~ 600 sccm 정도 가 됨 이 바람직 하 다 .