또한 , 상기 설명 에 있 어서 , 계측 위치 또는 교환 위치 에서 , 혹은 노광 위치 , 계측 위치 , 및 교환 위치 중 하나 의 위치 로부터 다른 위치 로 의 웨이퍼 스테이지 의 이동 중 에 , 전술 한 인코더 시스템 을 사용 하 는 웨이퍼 스테이지 의 위치 제어 가 중단 될 때 에 는 , 그 인코더 시스템 과 는 별도 의 계측 장치 ( 예 를 들 어 간섭계 , 인코더 등 ) 를 사용 하 여 , 상기 각 위치 혹은 이동 중 에 웨이퍼 스테이지 의 위치 제어 를 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .