또한 , 청구 항 7 의 발명 은 , 기판 에 플래시 광 을 조사 함 으로써 당해 기판 을 가열 하 는 열처리 장치 에 있 어서 , 기판 을 수용 하 는 챔버 와 , 상기 챔버 내 에서 기판 을 유지 하 는 서 셉 터 와 , 상기 서 셉 터 에 유지 된 상기 기판 에 광 을 조사 하 여 예비 가열 온도 로 가열 하 는 연속 점 등 램프 와 , 상기 기판 의 표면 에 플래시 광 을 조사 하 여 당해 표면 을 가열 하 는 플래시 램프 와 , 상기 기판 의 온도 를 측정 하 는 방사 온도계 와 , 상기 플래시 광 의 조사 개시 부터 상기 기판 에 대한 가열 을 종료 할 때 까지 의 기간 에 상기 방사 온도계 에 의해 측정 된 상기 기판 의 온도 를 적산 하 여 온도 적 산치 를 산정 하 는 산 정부 와 , 상기 온도 적 산치 가 미리 설정 된 상한 치 및 하 한 치 의 범위 에서 벗어나 있 을 때 에 상기 기판 이 깨져 있 다고 판정 하 는 판 정부 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .