가열 부재 ( 124 ) 및 냉각 부재 ( 125 ) 는 하우징 ( 110 ) 의 내부 에서 식각 공정 이 진행 되 고 있 을 때 에 기판 ( W ) 이 공정 온도 를 유지 할 수 있 도록 제공 되 는 것 이 다 . 가열 부재 ( 124 ) 는 이 를 위해 열선 으로 제공 될 수 있 으며 , 냉각 부재 ( 125 ) 는 이 를 위해 냉매 가 흐르 는 냉각 라인 으로 제공 될 수 있 다 .