1 개 의 존 에 복수 조 의 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 가 수평 방향 으로 이간 하 여 배치 되 는 경우 , 복수 조 로부터 선택 되 는 1 조 의 측정값 이 송액 기구 ( 62 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 유량 의 제어 에 이용 되 어도 된다 . 복수 조 로부터 1 조 를 선택 하 는 선택 방법 은 특별히 한정 되 지 않 지만 , 예 를 들 면 기판 ( 2 ) 의 처리 불량 이 생기 는 개소 에 가장 가까운 것 이 선택 되 어도 되 고 , 기판 ( 2 ) 의 검사 결과 에 기초 하 여 적절히 갱신 되 어도 된다 . 또한 , 복수 조 의 측정값 의 평균 이 , 송액 기구 ( 62 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 유량 의 제어 에 이용 되 어도 된다 .