주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 는 재 치부 ( ＰＡＳＳ ３ ) 에 대향 하 는 위치 로 이동 한다 . 이때 , 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 는 직전 에 재 치부 ( ＰＡＳＳ ４ Ｂ ) 로부터 받아들인 기판 ( Ｗ ) 을 한쪽 지지 아암 ( 57 ) ( 예 를 들 면 57 b ) 으로 지지 하 고 있 다 . 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 는 지지 하 고 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 재 치부 ( ＰＡＳＳ ３ Ｂ ) 에 재치 함 과 아울러 ( 스텝 Ｓ ２２ ｂ ) , 다른 쪽 지지 아암 ( 57 ) ( 예 를 들 면 57 a ) 으로 재 치부 ( ＰＡＳＳ ３ Ａ ) 에 재치 되 어 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 지지 한다 ( 스텝 １ ｂ ) .