실시 예 , 비 교예 에 따라 형성 한 레지스 트 패턴 을 임의 의 개소 에서 절단 하 고 , 그 단면 에 있 어서 의 임의 의 3 개소 를 , 주사 형 전자 현미경 ( 배율 : 5000 배 ) 를 사용 하 여 관찰 하 였 다 . 그리고 , 레지스 트 패턴 측벽 으로부터 돌출 된 이상 한 돌기 의 유무 를 확인 하 고 , 이하 의 기준 으로 평가 하 였 다 .