도 41 및 도 42 를 참조 하 면 , 일 실시 예 에 따른 광 조사 장치 ( 500 _ 11 ) 는 제 1 방향 ( DR 1 ) 및 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이동 할 수 있 는 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 제 2 지지 부 ( 510 _ 11 ) 는 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 에 연결 됨 으로써 , 광 조사 유닛 ( 530 _ 11 ) 은 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 의 이동 에 따라 대상 기판 ( SUB ) 상 에서 제 1 방향 ( DR 1 ) 및 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이동 할 수 있 다 . 본 실시 예 는 광 조사 장치 ( 500 _ 11 ) 가 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 를 더 포함 하 는 점 에서 도 1 의 실시 예 와 차이 가 있 다 . 이하 에서 는 중복 되 는 설명 은 생략 하 고 , 차이점 을 중심 으로 설명 하 기 로 한다 .