특히 , 상기 복수 개 의 흡착 수단 중 적어도 하나 는 웨이퍼 의 흡 착시 길이 가 가변 되 어 웨이퍼 의 흡 착면 에 대해 나머지 흡착 수단 과 상이 한 거리 를 형성 하 는 구성 으로 개시 될 수 있 다 . 이때 , 상기 길이 가 가변 되 는 흡착 수단 은 본체 와 이 본체 의 말 단부 에 조립 되 어 상기 웨이퍼 의 흡 착면 에 접촉 하 는 패드 를 포함 하 되 , 상기 본체 가 벨로우즈 구조 로 이루어져 길이 가 가변 되 는 구성 으로 이루어질 수 있 다 . 또 , 상기 길이 가 가변 되 는 흡착 수단 은 본체 와 이 본체 의 말 단부 에 조립 되 어 상기 웨이퍼 의 흡 착면 에 접촉 하 는 패드 를 포함 하 되 , 상기 패드 가 벨로우즈 구조 로 이루어져 길이 가 가변 되 는 구성 으로 이루어질 수 도 있 다 .