고조파 필터링 구조 는 이른바 코 플래너 ( coplanar ) 도파관 구성 을 갖 는 라인 금속 배선 의 후단 에 형성 될 수 있 다 . 이러 한 구성 에서 , 단일 금속 배선 층 은 금속 패드 와 서로 맞물린 연장 된 핑거 를 포함 한다 . 연장 된 핑거 ( elongated finger ) 가 트랜지스터 소자 의 출력 으로부터 전파 되 는 RF 신호 를 전달 하 고 , 금속 패드 가 기준 전위 ( 예컨대 , 접지 ) 에 연결 된다 . 패턴 형상 이 금속 패드 에 형성 되 어 코 플래너 도파관 의 접지 면 을 붕괴 시키 고 결과 적 으로 증폭기 의 출력 에 주파수 의존 임피던스 응답 을 제공 한다 . 유익 하 게 도 , 고조파 동조 필터 를 집 적 회로 에 직접 통합 함 으로써 , 기생 효과 가 최소 가 되 므로 우수 한 성능 을 얻 을 수 있 다 . 또한 , 라인 금속 배선 의 후단 에 고조파 동조 필터 를 형성 하 는 것 은 다른 기술 에 비해 저 비용 및 간단 한 솔루션 을 제공 한다 .