린스 연마 처리 는 , 편면 연마 장치 또는 양면 연마 장치 중 어느 것 을 사용 해도 행할 수 있 다 . 또한 , 상기 연마 장치 는 , 연마 용 조성물 의 토출 노즐 에 추가 하 여 , 린스 연마 용 조성물 의 토출 노즐 을 구비 하 고 있 는 것 이 바람직 하 다 . 연마 장치 의 린스 연마 처리 시 의 가동 조건 은 특별히 제한 되 지 않 으며 , 당업자 라면 적절 하 게 설정 가능 하 다 .