플라 즈 마를 공정 챔버 내 에서 발생 시키 거나 공정 챔버 외부 에서 발생 시키 는 방법 이 있 는데 , 이 중 에서 공정 챔버 외부 에서 플라 즈 마를 발생 하 는 방법 으로 는 리모트 플 라즈 마 발생기 를 이용 하 는 것 이 있 다 . 리모트 플 라즈 마 발생기 ( Remote plasma generator ) 는 중성 가스 ( Argon ) 에 높 은 전계 를 인가 하 여 중성 가스 의 일부분 이 양성자 와 전자 로 분리 되 고 , 전계 의 에너지 에 의해 중성 기체 와 전자 및 양성자 가 혼합 된 플 라즈 마 를 발생 시키 는 장비 이 다 .