블록 공중 합체 를 이용 한 미세 패턴 형성 방법 을 제공 한다 . 상기 미세 패턴 형성 방법 에서 는 기판 상 에 서로 다른 반복 단위 ( repeating unit ) 를 갖 는 제 1 고분자 블록 , 제 2 고분자 블록 및 제 3 고분자 블록 을 갖 는 블록 공중 합체 층 을 형성 한다 . 상기 블록 공중 합체 층 을 상 분리 시켜 , 제 1 고분자 블록 을 함유 하 는 복수 개 의 제 1 도메인 ( domain ) , 제 2 고분자 블록 을 함유 하 는 복수 개 의 제 2 도메인 및 제 3 고분자 블록 을 함유 하 는 복수 개 의 제 3 도메인 을 형성 한다 . 상기 제 1 내지 제 3 도메인 들 중 적어도 한 도메인 을 선택 적 으로 제거 하 여 미세 마스크 패턴 을 형성 한다 .