또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 적재 대 본체 ( 21 ) 의 하면 보다 하측 에 플랜 지부 ( 31 ) 가 마련 되 고 , 핀 지지 부재 ( 100 ) 가 리프트 핀 ( 30 ) 의 플랜 지부 ( 31 ) 와 의 걸림 결합 에 의해 당해 리프트 핀 ( 30 ) 을 수평 방향 으로 이동 가능 하 게 지지 하 고 있 다 . 즉 , 리프트 핀 ( 30 ) 이 핀 지지 부재 ( 100 ) 등 에 고정 되 어 있 지 않 다 . 따라서 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 열팽창 등 의 영향 으로 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 파손 이나 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 원활 한 승강 동작 이 손상 되 지 않 는다 . 그리고 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 이 삽입 관통 되 는 적 재 대 본체 ( 21 ) 의 관통 구멍 ( 21 b ) ( 특히 그 상단 부 ) 이 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 플랜 지부 ( 31 ) 보다 가늘 게 형성 되 어 있 다 . 따라서 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 예 를 들 어 적재 대 본체 ( 21 ) 의 적 재면 측 에서 리프트 핀 을 현수 지지 하 는 종래 의 형태 에 비하 여 관통 구멍 ( 21 b ) 에 상당 하 는 부분 의 직경 을 작 게 할 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 의 관통 구멍 ( 21 b ) 에 대응 하 는 부분 의 온도 가 저하 되 는 것 을 억제 할 수 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 의 면내 균일성 을 개선 할 수 있 다 .