전술 한 실시 예 들 중 임의 의 것 에 대하 여 , 임의 의 적절 한 검사 툴 을 사용 하 여 동일 한 설계 레티 클 중 하나 또는 둘 모두 의 이미지 를 얻 을 수 있 다 . 예 로서 , 다음 툴 들 , 즉 , 임의 의 유형 의 하전 입자 빔 툴 ( 예 를 들 어 , 이미 징 전자 현미경 , 주사 전자 또는 이온 현미경 , 예컨대 헬륨 이온 현미경 ) , 전자기 검사 또는 코 히 어 런 트 회절 이미 징 툴 , EUV 검사 툴 , 스캔 터널 링 현미경 ( scanning tunneling microscope , STM ) , 원자력 현미경 ( atomic force microscope , AFM ) , 화학 현미경 등 중 하나 이상 이 사용 될 수 있 다 . 이러 한 툴 중 임의 의 것 은 다수 의 레티 클 의 다수 의 이미지 를 효율 적 으로 얻 기 위하 여 둘 이상 의 빔 이 동시 에 두 개 이상 의 레티 클 에 충돌 할 수 있 도록 , 하나 이상 의 입사 및 수집 채널 을 포함 할 수 있 다 .