이렇게 반도체 소자 와 테스터 의 연결 을 위한 검사 장치 는 소켓 보드 , 프로브 카드 및 커넥터 등 으로 구분 된다 . 이때 , 소켓 보 드 는 반도체 소자 가 반도체 패키지 형태 인 경우 에 사용 되 고 , 프로브 카드 는 반도체 소자 가 반도체 칩 상태 인 경우 에 사용 되 며 , 커넥터 는 일부 개별 소자 ( discrete device ) 에서 반도체 소자 와 테스터 를 연결 하 는 검사 장치 로 이용 된다 .