각 실시 예 및 비교 예의 연마 액 의 조제 , 충전 , 보관 , 및 분석 은 모두 ISO 클래스 2 이하 를 충족 시키 는 레벨 의 클린 룸 에서 행했 다 . 또 , 각 실시 예 및 비 교예 에 있 어서 사용 한 용기 는 , 각각 의 실시 예 또는 비교 예의 연마 액 으로 세정 한 후 에 이용 했 다 . 측정 정밀 도 향상 을 위하 여 , 금속 성분 의 함유량 의 측정 및 물 의 함유량 의 측정 은 , 통상 의 측정 에서 검출 한계 이하 인 것 의 측정 은 , 체적 환산 으로 100 분 의 1 로 농축 하 여 측정 을 행하 고 , 농축 전 의 연마 액 의 농도 로 환산 하 여 함유량 의 산출 을 행했 다 .