플라 즈 마 처리 장치 에서 는 , 복수 의 처리 가스 를 처리 실 내 에 공급 하 여 , 피 처리 기판 에 대하 여 성막 이나 에칭 등 의 처리 를 행하 고 있 다 . 이 와 같 은 플 라즈 마 처리 장치 에서 는 , 처리 가스 의 유량 을 제어 하 기 위해 , 매스 플로 컨트롤러 ( 이하 , MFC 라고 한다 ) 등 의 유량 제어기 가 이용 되 고 있 다 .