상기 식각 기체 ( 70 ) 를 구성 하 는 혼합 가스 는 그 총량 을 기준 으로 1 ∼ 99 부피 % 의 Cl 2 , 1 ∼ 99 부피 % 의 Ar , 1 ∼ 99 부피 % 의 CH 4 , 및 1 ∼ 99 부피 % 의 H 2 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 혼합 가스 중 Cl 2 와 Ar 의 부 피비 는 1 : 1 이 고 , CH 4 와 H 2 의 부 피비 는 5 : 2 로 할 수 있 다 . 또한 예 를 들 면 , 상기 혼합 가스 중 Cl 2 및 Ar 의 총량 과 , CH 4 및 H 2 의 총량 을 동일 하 게 하 여 사용 할 수 있 다 .