도 1 내지 도 11 은 반도체 기판 의 제조 방법 을 나타내 는 모식도 이 다 . 도 1 내지 도 11 에 있 어서 , ( a ) 는 모식 평면도 이 고 , ( b ) 는 ( a ) 에서 의 A - A ' 단면 에 따른 모식 단면도 이 다 . 이하 , 반도체 기판 의 제조 방법 을 도 1 내지 도 11 을 참조 하 면서 설명 한다 . 또한 , 반도체 기판 은 SOI 소자 가 형성 된 SOI 구조 와 벌크 소자 가 형 성 된 벌크 구조 가 혼재 ( 混 載 ) 하 는 구조 를 형성 하 도록 SOI 소자 형성 영역 과 벌크 소자 형성 영역 을 갖 는다 . 이하 , 반도체 기판 의 제조 방법 을 SOI 소자 형성 영역 에서 의 형성 방법 을 주로 설명 한다 .