아울러 , 전체 콘트 롤러 ( 200 ) 는 상술 한 제 1 내지 제 3 액추에이터 ( 175 , 185 , 197 ) , 위치 결정 장치 , 흡착 패드 ( 137 ) 등 의 각각 의 센서 ( 미 도시 ) 의 센싱 정보 데이터 에 따라 이 들 구성 요소 들 의 동작 및 기능 을 제어 한다 . 전체 콘트 롤러 ( 200 ) 는 예 를 들 어 , 마이크로프로세서 , 프로그래머 블 로직 컨트롤러 ( PLC ) , 퍼스널 컴퓨터 등 다양 한 형태 의 콘트 롤러 가 사용 될 수 있 다 .