이 실시 형태 에서 는 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 와 덮개 체 ( 82 ) 에 의해 형성 된 구획 공간 ( S ) 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 의 탈 가스 처리 나 표면 처리 , 어 닐 처리 나 에칭 처리 등 의 진공 처리 등 을 행할 수 있 다 . 바꿔 말 하 면 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 와 덮개 체 ( 82 ) 에 의해 기판 에 대하 여 진공 처리 를 행하 는 처리 챔버 가 구성 되 어 있 다 .