주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에서 , 각각 상이 한 패턴 을 갖 는 마스크 를 사용 해도 되 지만 , 이 실시 형태 에서 는 동일 한 패턴 을 갖 는 마스크 를 사용 하 는 것 으로 하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에서 는 각각 동일 패턴 이 감광 기판 에 노광 된다 . 상이 한 패턴 이 형성 되 어 있 는 복수 의 마스크 를 스톡 하 는 마스크 라이브러리 , 마스크 를 반송 하 는 마스크 반송 부 등 ( 도시 생략 ) 은 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 각각 구비 하 도록 해도 되 고 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 대하 여 1 개 구비 하 도록 해도 된다 .