도 16 d 를 참조 하 면 , 상기 패턴 구조물 은 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 446 a ) 이 제거 된 부위 및 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 446 a ) 들 의 연장 라인 ( L 1 ) 사이 의 갭 부위 에 끊겨 진 제 1 라인 패턴 ( 452 a ) 이 형성 된다 . 3 개 의 상기 제 1 라인 패턴 들 ( 452 a ) 은 각 단부 의 위치 가 서로 다를 수 도 있 고 , 동일 할 수 도 있 다 .