이 와 같이 가스 감응 막 ( 213 ) 은 수직 방향 으로 0 . 3 ㎛ ~ 10 ㎛ 범위 의 깊이 를 가지 는 미세 전극 가지 ( 210 ) 들 간 에 형성 된 미세 간극 들 사이 에 충 진 되 어 형성 된다 . 따라서 중앙부 감지 전극 ( 207 ) , 좌측 감지 전극 ( 208 ) , 우측 감지 전극 ( 209 ) 에 직접 적 으로 접촉 하 는 전체 적 인 표면적 이 대폭 증가 되 어 결국 관심 가스 의 농도 변화 에 대응 하 는 마이크 로 가스 센서 소자 의 출력 , 즉 센서 의 감도 는 향상 되 게 된다 .