캐 핑 막 ( 30 ) 을 형성 한 다음 , 구리 도금 층 ( 20 ) 의 열처리 공정 을 진행 하 면 , 캐 핑 막 ( 30 ) 을 구성 하 는 금속 원자 가 구리 도금 층 ( 20 ) 의 내부 로 확산 하 게 된다 . 즉 , 도 4 a 에서 보 듯이 , 구리 도금 층 ( 20 ) 의 결정상 , 특히 그레인 바운더리 ( Grain Boundary ) 를 따라 금속 원자 가 확산 하 게 된다 . 여기 서 , 도면 부호 20 G 는 구리 의 그레인 ( Grain ) 을 가리키 며 , 도면 부호 20 GB 는 그레인 바운더리 를 가리킨다 . 금속 원자 ( 32 a ) 는 구리 의 그레인 바운더리 를 따라 위치 하 게 된다 . 또한 , 금속 원자 ( 32 a ) 는 구리 도금 층 ( 20 ) 의 열처리 공정 동안 에 구리 원자 가 그레인 바운더리 를 따라 이동 하 는 것 을 방해 한다 . 따라서 , 열처리 공정 동안 에 힐 락 이 발생 하 는 것 이 효과 적 으로 방지 될 수 있 다 .