실리콘 웨이퍼 에 박막 을 증착 하 기 위한 박막 증착 장치 에 는 그 증착 방식 에 따라 물리 적 기상 증착 장치 , 화학 적 기상 증착 장치 및 원자 층 증착 장치 등 다양 한 방식 의 박막 증착 장치 가 존재 한다 . 최근 에 는 박막 을 얇 게 증착 할 수 있 을 뿐 만 아니 라 그 박막 의 조성 을 용이 하 게 제어 할 수 있 다는 장점 때문 에 원자 층 증착 장치 가 널리 사용 되 고 있 다 . 이러 한 종래 의 박막 증착 장치 의 일례 가 도 1 에 도시 되 어 있 다 . 도 1 을 참조 하 면 , 종래 의 박막 증착 장치 ( 1 ) 는 챔버 ( 10 ) 와 , 하나 의 서 셉 터 ( 20 ) 와 , 샤워 헤드 ( 30 ) 를 구비 한다 .