예 를 들 면 , 일본 특허 공개 제 2006 - 78807 호 공보 ( 특허 문헌 2 ) 는 , 차광막 을 구성 하 는 층 중 적어도 1 층 이 주성분 으로서 규소 와 전이 금속 을 포함 하 고 , 또한 규소 와 전이 금속 과 의 원 자비 가 규소 : 금속 = 4 내지 15 : 1 인 재료 를 이용 함 으로써 , 차광 성능 과 가공 성 이 우수 한 ArF 노광용 차광막 이 얻 어 지 는 것 을 나타내 고 있 다 . 또한 , 추가 로 규소 와 전이 금속 을 포함 하 는 차광막 을 이용 하 여 , 추가 로 고정 밀도 의 가공 성 을 얻 기 위해 , 크롬 계 재료 로 형성 된 박막 을 하드 마스크 막 으로서 사용 하 는 방법 이 일본 특허 공개 제 2007 - 241060 호 공보 ( 특허 문헌 3 ) 에 나타나 있 다 .