이제 도면 , 보다 구체 적 으로 도 4 를 참조 하 면 , 전이 금속 또는 전이 금속 화합물 을 에칭 하 기 위해 플 라즈 마 에칭 공정 ( 400 ) 의 순서도 가 도시 되 어 있 고 , 이 방법 ( 400 ) 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른다 . 아래 에 보다 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 공개 된 플 라즈 마 에칭 방법 ( 400 ) 은 일산 화 탄소 또는 일산 화탄 소계 플 라즈 마의 주 에칭 제 와 전이 금속 또는 전이 금속 화합물 의 반응 을 일으키 고 , 이 는 다시 금속 카르보닐 의 휘발 성 부산물 을 형성 하 여 , 생 성시 플라 즈 마 에 칭기 ( etcher ) 로부터 배출 하 여 금속 카르보닐 부산물 을 빠르 고 쉽 게 제거 하 도록 한다 .