실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 의 틈 을 실링 한다 . 실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 중 어느 하나 에 설치 된다 . 본 실시 예 에 의하 면 실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 인터페이스 모듈 ( 40 ) 에 설치 되 는 것 으로 설명 한다 .