관련 기술 분야 의 당업자 는 상이 한 수 및 종류 의 전구체 반응물 공급원 및 퍼지 가스 공급원 을 포함 하 는 본 반응 시스템 의 다른 구성 이 가능 함 을 이해 한다 . 또한 , 당업자 는 가스 를 반응 챔버 ( 302 ) 내 로 선택 적 으로 공급 하 는 목적 을 달성 하 는 데 사용 될 수 있 는 밸브 , 도관 , 전 구체 공급원 , 퍼지 가스 공급원 의 다수 의 배열 이 존재 함 을 이해 할 것 이 다 . 또한 , 반응 시스템 의 도식 적 표현 으로서 , 도면 의 단순 화 를 위해 다수 의 부품 이 생략 되 어 있 으며 , 이러 한 부품 들 은 예 를 들 면 다양 한 밸브 , 매니폴드 , 정화 기 , 가열기 , 용기 , 벤트 , 및 / 또는 우회로 를 포함 할 수 있 다 .