상기 현상 공정 종료 후 , 열 경화 ( 포스트 베 이크 ) 공정 을 행하 여 , 솔 더 레지스 트 를 형성 한다 . 포스트 베 이크 공정 으로서 는 , 고압 수은 램프 에 의한 자외선 조사 공정 이나 클린 오븐 을 사용 한 가열 공정 등 을 들 수 있 다 . 자외선 을 조사 시키 는 경우 에 는 필요 에 따라 그 조사량 을 조정 할 수 있 고 , 예 를 들 어 0 . 05 J / ㎠ 내지 10 J / ㎠ 정도 의 조사량 으로 조사 를 행할 수 있 다 . 또한 가열 의 조건 은 , 감광성 수지 조성물 중 의 수지 성분 의 종류 , 함유량 등 에 따라서 적절히 선택 하 면 좋 지만 , 바람직 하 게 는 150 ℃ 내지 220 ℃ 에서 20 분 간 내지 180 분 간 의 범위 , 보다 바람직 하 게 는 160 ℃ 내지 200 ℃ 에서 30 분 간 내지 120 분 간 의 범위 에서 선택 된다 .