한편 , 상기 절연 층 ( 131 ) 은 산화 공정 을 통해 그 내부 까지 완전히 산화 될 수 있 는 얇 은 두께 로 형성 되 는 한 , 상기 방전 전극 ( 135 ) 과 상하 양쪽 면 으로 단차 ( d 1 , d 2 ) 를 형성 하 거나 , 대안 으로 상기 방전 전극 ( 135 ) 의 일면 과 는 깊 은 단차 를 형성 하 되 , 방전 전극 ( 135 ) 의 타면 과 는 동일 한 높이 의 평탄면 을 구성 하 는 변형 도 가능 하 다 .