상기 제 2 얼라 인부 ( 600 ) 에 의해 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 얼 라인 시키 는 방법 은 먼저 , 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 상기 제 2 이 송암 ( 50 ) 에 의해 상기 프레임 ( 200 ) 의 내 부 로 이송 시킨다 . 이때 , 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 는 상면 이 실질 적 으로 , 회로 가 형성 되 는 부분 이 므로 , 이 송시 180 도 뒤집 어 지 면서 이송 될 수 있 다 . 이 는 , 상기 제 2 얼라 인부 ( 600 ) 의 제 2 회 전척 ( 620 ) 과 결합 하 는 면 이 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 의 하면 이 되 도록 하 여 상기 제 2 회 전척 ( 620 ) 에 의한 불량 을 방지 하 기 위해서 이 다 .