특히 , 한 챔버 가 다단 으로 구성 되 어 있 어 , 복수 의 기판 ( 10 ) 을 한 챔버 내 에 투입 하 고 , 투입 된 기판 ( 10 ) 에 대한 포스트 베 이크 공정 을 한 번 에 수행 하 게 되 는 경우 , 온도 상승 에 필요 한 시간 이 큰 폭 으로 증가 하 게 되 고 , 각 단 에 기판 ( 10 ) 을 투입 하 거나 그 로부터 배출 시키 기 위해 반송 로봇 이 사용 되 어야 하 는 불편 이 있 다 .