도 2 의 ( a ) 를 참조 하 면 , 비아 ( 211 ) 는 압전성 웨이퍼 ( 210 ) 를 관통 하 여 형성 된다 . 비아 를 형성 하 는 방법 과 비아 에 충전 되 는 물질 은 앞서 언급 된 바 와 같 다 . 도 2 에서 는 비아 ( 211 ) 는 패턴 ( 220 , 221 ) 이 형성 되 기 이전 에 형성 될 수 있 다 . 이 경우 패턴 이 형성 되 는 과정 에서 발생 하 는 열 과 그 에 따라 발생 하 는 전기 가 비아 ( 211 ) 를 통해 방출 될 수 있 다 .