또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 성막 시스템 ( 100 ) 이 실행 하 는 성막 프로세스 로서 ALD 법 에 의한 성막 프로세스 에 대해 설명 하 였 다 . 그러나 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 이외 의 성막 프로세스 를 실행 해도 좋 다 . 혹은 , 성막 시스템 ( 100 ) 이외 의 기판 처리 시스템 이 , 다른 반도체 프로세스 를 실행 해도 좋 다 .