도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 산화물 분말 제조 장치 ( 100 ) 는 고상 의 반응 물질 을 가열 하 여 액 적 상태 의 산화물 로 증발 시키 는 증발 챔버 ( 200 ) 와 , 상기 증발 챔버 ( 200 ) 상측 에 배치 되 어 상기 증발 챔버 ( 200 ) 에서 발생 한 반응 물질 의 증기 를 분말 화 시키 는 산화 반응 챔버 ( 300 ) 와 , 상기 산화 반응 챔버 ( 300 ) 에 생성 된 분말 을 이동 시키 는 이 송관 ( 130 ) 과 , 이동 된 산화물 분말 을 포집 하 는 적어도 하나 이상 의 포집 수단 ( 120 ) 을 포함 한다 .