상기 대상물 ( 100 ) 에 상기 이온 빔 을 균일 하 게 조사 하 기 위하 여 상기 대상물 홀더 ( 233 ) 는 상기 대상물 ( 100 ) 을 이동 시킬 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에서 는 상기 대상물 홀더 ( 233 ) 는 상기 대상물 ( 100 ) 을 평행 이동 시켜 상기 이온 빔 ( 300 ) 에 조사 되 는 영역 을 변경 하 여 상기 대상물 ( 100 ) 에 상기 이온 빔 ( 300 ) 이 균일 하 게 조사 될 수 있 도록 할 수 있 다 .