또한 상층 에 적층 형성 되 는 막 의 피복 성 을 양호 한 것 으로 하 기 위해서 , 절연물 ( 1314 ) 의 상단 부 또는 하 단부 에 곡 률 을 갖 는 곡면 이 형성 되 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 절연물 ( 1314 ) 의 재료 로서 포지티브 형 감광성 아크릴 수지 를 사용 했 을 경우 , 절연물 ( 1314 ) 의 상단 부 에 곡률 반경 ( 0 . 2 μ m ∼ 3 μ m ) 을 갖 는 곡면 을 갖 게 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 절연물 ( 1314 ) 로서 , 감광 성 의 빛 에 의해 에칭 제 에 불용 해성 이 되 는 네거티브 형 , 또는 빛 에 의해 에칭 제 에 용해 성 이 되 는 포지티브 형 을 모두 사용 할 수 있 고 , 유기 화합물 에 한정 되 지 않 고 무기 화합물 , 예 를 들 면 산화 실리콘 , 산질 화 실리콘 등 의 양쪽 을 사용 할 수 있 다 .