용기 본체 ( 10 a ) 의 측벽 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 반입 출구 ( 11 ) 가 마련 되 어 있 고 , 이 반입 출구 ( 11 ) 에 는 , 당해 반입 출구 ( 11 ) 를 개폐 하 는 게이트 밸브 ( 12 ) 가 마련 되 어 있 다 . 반입 출구 ( 11 ) 보다 도 상부 측 에 는 , 용기 본체 ( 10 a ) 의 측벽 의 일부 를 이루 는 , 후술 하 는 배기 덕트 ( 60 ) 가 마련 되 어 있 다 . 용기 본체 ( 10 a ) 의 상부 에 는 , 즉 배기 덕트 ( 60 ) 에 는 , 개구 ( 10 b ) 가 마련 되 어 있 고 , 이 개구 ( 10 b ) 를 막 도록 덮개 ( 13 ) 가 설치 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 60 ) 와 덮개 ( 13 ) 사이 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 내 를 기밀 하 게 유지 하 기 위한 O 링 ( 14 ) 이 마련 되 어 있 다 .