도 3 의 ( A ) 는 고정부 로서 의 반송 모듈 ( 301 ) , 가동 부 로서 의 반송 캐리어 ( 302 ) 로 이루어지 는 기판 반송 유닛 ( 300 ) 을 도 1 의 화살표 A 로 나타내 는 반송 방향 에서 본 정면도 이 다 . 도 3 의 ( B ) 는 도 3 의 ( A ) 에 있 어서 의 틀 S 로 둘러싸 는 요부 의 확대도 , 도 3 의 ( C ) 는 반송 캐리어 ( 302 ) 의 측면 도 , 도 4 는 반송 캐리어 의 분해 사시도 이 다 . 반송 모듈 ( 301 ) 은 , 제조 라인 ( 100 ) 의 전역 에 걸쳐 복수 개 배열 되 어 반 송로 를 구성 한다 . 각 반송 모듈 ( 301 ) 의 구동 용 코일 에 공급 하 는 전류 를 제어 함 으로써 , 복수 의 반송 모듈 전체 를 1 개 의 반 송로 로서 제어 하 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 연속 해서 이동 시킬 수 있 다 .