절 연막 ( 103 a ) 으로서 는 , 예 를 들 어 질화 실리콘 막 , 질화 산화 실리콘 막 , 질화 알루미늄 막 , 질화 하프늄 막 등 질소 를 포함 한 절 연막 을 사용 할 수 있 다 . 특히 , 절 연막 ( 103 a ) 으로서 플라스마 CVD 장치 를 사용 하 여 성막 한 치밀 한 질화 실리콘 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 질소 를 포함 한 절 연막 을 사용 함 으로써 , 두께 가 얇 은 경우 에 도 , 피형 성면 측 으로부터 불순물 이 확산 되 는 것 을 적합 하 게 억제 할 수 있 다 .