또한 , 이때 , 도 11 에 나타내 는 바 와 같이 , 척 테이블 ( 60 ) 의 - X 측 에 있 는 이오 나이저 ( 51 ) 가 , 예컨대 보호 테이프 ( T 2 ) 의 일부 가 유지 면 ( 63 ) 으로부터 이격 되 기 시작 할 때 부터 , 보호 테이프 ( T 2 ) 의 하면 에 있 어서 의 유지 면 ( 63 ) 으로부터 의 이격 부분 으로 , 이온 화 에어 ( A 2 ) 를 내뿜 는다 .