또한 , 의사 촉매 로서 는 , 베어 웨이퍼 대신 에 Si 제 플레이트 ( Si 플레이트 ) , Si 제 칩 ( Si 칩 ) , Si 제 피스 ( Si 피스 ) , Si 제 블록 ( Si 블록 ) 등 을 사용 하 도록 해도 된다 . 이 들 을 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 도 , 베 어 웨이퍼 를 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 와 마찬가지 로 , 이 들 의 최 표면 에 형성 된 자연 산화 막 을 제거 하 여 , 그 최 표면 에 있 어서 , Si 소재 가 노출 된 상태 를 만들 어 낼 필요 가 있 다 .