제 3 실시 형태 에 대해 도 6 을 참조 하 여 설명 한다 . 한편 , 본 실시 형태 에서 는 , 제 1 또는 제 2 실시 형태 와 의 상이점 ( 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 외부 직경 ) 에 대해 설명 하 고 , 그 외 의 설명 은 생략 한다 . 한편 , 기판 ( W ) 의 반송 방향 ( A 1 ) 에 직교 하 고 , 샤프트 ( 31 b , 31 d ) 에 평행 한 반송 롤러 ( 31 A ) , 가압 롤러 ( 31 B ) 의 늘 어 섬 을 열 이 라고 부른다 . 또한 , 상기 한 바 와 같이 반송 롤러 ( 31 A ) 는 롤러 ( 31 a ) 와 샤프트 ( 31 b ) 를 갖 고 , 가압 롤러 ( 31 B ) 는 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 와 샤프트 ( 31 d ) 를 갖 는다 . 본 실시 형태 에서 는 , 롤러 ( 31 a ) 의 외부 직경 이 반송 롤러 ( 31 A ) 의 외부 직경 에 상당 하 고 , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 외부 직경 이 가압 롤러 ( 31 B ) 의 외부 직경 에 상당 하 며 , 롤러 ( 31 a ) 와 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 이격 거리 가 , 반송 롤러 ( 31 A ) 와 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 에 상당 한다 .