도 10 에 , 레벤 손 형 마스크 에 의해 형성 되 는 레지스 트 패턴 의 제 1 패턴 ( 도 1 참조 ) 의 합성 광학 상 의 그래프 를 나타낸다 . 횡축 은 레벤 손 형 마스크 에 의해 형성 되 는 직선 형상 의 부분 의 폭 방향 의 중심 으로부터 의 거리 를 나타내 고 , 종축 은 광 강도 를 나타낸다 . 하프톤 형 마스크 의 투과율 을 낮춤 으로써 , 위치 0 ㎛ 에서 의 광 강도 가 0 에 근접 한다 .