일부 실시 예 들 에서 , 검사 대상 ( S ) 은 직육면체 구조 , 또는 그 에 근사 될 수 있 는 구조 를 가질 수 있 다 . 예컨대 , 검사 대상 ( S ) 은 X - Y 평면 상 으로 장변 과 단변 을 갖 는 직사각 형 형태 를 가지 며 , Z 방향 으로 소정 두께 를 갖 는 직육면체 구조 를 가질 수 있 다 . 검사 대상 ( S ) 서로 반대 되 는 제 1 면 ( F 1 ) 및 제 2 면 ( F 2 ) 을 포함 하 고 , 서로 반대 된 2 개 의 장 측면 들 및 서로 반대 된 2 개 의 단 측면 들 을 포함 할 수 있 다 . 여기 서 장 측면 이란 제 1 면 ( F 1 ) 또는 제 2 면 ( F 2 ) 의 장변 에 이웃 한 측면 을 의미 하 고 단 측면 이란 제 1 면 ( F 1 ) 또는 제 2 면 ( F 2 ) 의 단변 에 이웃 한 측면 을 의미 할 수 있 다 .