또한 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 ( 5 ) 의 기부 ( 21 ) 에 는 , 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 연통 하 는 연결로 ( 29 b ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 내측 영역 ( F 2 ) 내 에서 , 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 흐르 는 전열 가스 가 , 연결로 ( 29 b ) 를 개재 하 여 , 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 에 서로 흐르 는 것 이 가능 해진다 . 이 때문 에 , 내측 영역 ( F 2 ) 내 에서 의 전열 가스 의 압력 을 더욱 균일화 하 여 , 기판 ( 3 ) 의 온도 분포 제어 의 정밀도 를 높일 수 있 다 .