다음 에 광 조사 장치 15 로부터 광 빔 ( 光 beam ) 을 출력 한다 . 그 빔 은 분광기 18 a 에 의하 여 직교 하 는 2 방향 으로 분광 되 고 , 반사 미러 18 b , 18 c 에 의하 여 반사 되 어서 검사 기판 28 상 의 소정 의 위치 로 광 이 모아진다 . 그 때 에 , 도면 에 나타내 지 않 는 광경 로 의 차단 장치 에 의하 여 경로 11 또는 12 의 일방 의 경로 의 광이 검사 기판 28 에 도달 하 도록 한다 . 검사 기판 28 의 소정 의 위치 로부터 반사 된 광은 ＣＣＤ 19 에 의하 여 촬영 되 고 , 제 어 장치 16 이 그 촬영 신호 에 의거 하 여 기판 의 상태 를 판정 하 고 그것 을 출력 한다 .