예 를 들 어 , 웨이퍼 와 같 은 기판 의 가이 딩 은 , 예 를 들 어 이송 밸브 가 제공 될 수 있 는 처리 챔버 의 개구 를 통해 가 이 딩 될 수 있 는 , 대응 적 으로 설계 되 고 제어 된 로봇 아암 을 사용 하 여 이루어진다 . 그 다음 , 처리 챔버 의 구비 는 로봇 아암 을 사용 하 여 기판 을 파지 하 고 , 기판 을 처리 챔버 로 이동 시키 고 , 기판 을 챔버 내 에 정의 된 배치 에 의해 발생 한다 . 처리 챔버 를 비우 는 것 은 대응 하 는 방식 으로 이루어진다 .