도 1 및 도 2 에 있 어서 , 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 의 하나 의 코너 에 있 는 스테이지 기준 플레이트 ( 11 ) 는 웨이퍼 ( 3 ) 표면 과 실질 적 으로 동일 한 높이 에 배치 되 어 있 다 . 상기 스테이지 기준 플레이트 ( 11 ) 는 웨이퍼 얼라인먼트 검출 계 ( 16 ) 에 의해 검출 된 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 와 레티 클 얼라인먼트 검출 계 ( 14 ) 에 의해 검출 된 레티 클 얼라인먼트 기준 마크 ( 17 ) 를 포함 하 고 있 다 .