기판 세정 동작 동안 , 기판 ( 119 ) 은 , 이러 한 실시 예 에서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 에 기계 적 으로 결합 되 므로 , 기판 ( 119 ) 은 제 1 모터 ( 105 ) 에 의해 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 및 제 2 측 분무 제트 어레이 ( 117 ) 둘 모두 에 대해 회전 될 수 있 다 . 독립 적 으로 , 동작 위치 ( 120 ) 에서 의 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 는 제 2 모터 ( 107 ) 에 의해 회전 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 제 1 모터 ( 105 ) 및 제 2 모터 ( 107 ) 는 개개 의 차 폐부 들 을 동일 한 방향 으로 또는 반대 방향 들 로 , 또는 상이 한 시간 프레임 들 에서 두 방향 모두 로 회전 시킬 수 있 다 . 제 1 모터 ( 105 ) 및 제 2 모터 ( 107 ) 는 또한 개개 의 차 폐부 들 을 동일 한 회전 속력 으로 또는 프로그래밍 가능 한 상이 한 회전 속력 들 로 또는 상이 한 시간 프레임 들 에서 둘 모두 로 회전 시킬 수 있 다 .