또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 + X 측 의 면 과 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 - X 측 의 면 을 대향 시키 는 것 을 전제 로 하 여 , 이 들 의 면 에 만 서로 계합 하 게 되 는 처마 부 ( 23 a 및 23 b ) 를 설치 하 는 것 으로 하 였었 다 . 하지만 , 이러 한 구성 외 에 도 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 - X 측 단면 과 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 + X 측 단면 을 서로 대향 시킬 수 있 는 경우 에 는 , 이 들 면 에 도 서로 계합 하 는 처마 부 를 설치 하 여 , 그 처마 부들 을 통해 2 개 의 스테이지 가 근접 또는 접촉 하 도록 할 수 있 음 은 물론 이 다 .