한편 , 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 압력 챔버 ( 510 ) 내부 에 는 복수 의 홀 ( 517 a ) 이 형성 된 분배 플레이트 ( 517 ) 가 구비 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 분배 플레이트 ( 517 ) 는 멤 브레인 ( 513 ) 과 평행 하 도록 구비 되 어서 압력 챔버 ( 510 ) 내부 공간 을 상하 2 개 의 평행 한 공간 으로 구획 한다 . 그리고 분배 플레이트 ( 517 ) 에 의해서 분할 된 공간 중 상측 공간 을 통해서 압력 챔버 ( 510 ) 내부 로 공기 를 공급 하 게 된다 . 이 와 같이 구성 함 으로써 , 압력 챔버 ( 510 ) 는 내부 로 공급 되 는 공기 의 압력 을 일정 하 게 유지 할 수 있 고 , 멤 브레인 ( 513 ) 및 연마 패드 ( 12 ) 에 보다 균일 하 게 압력 을 인가 할 수 있 다 .