본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 한 바 와 같 은 액 공급 유닛 을 이용 하 여 상기 액 토출 유닛 으로 처리 액 을 공급 하 는 방법 으로 , 상기 액 저장실 에 저장 된 상기 처리 액 을 상기 액 토출 유닛 으로 공급 하 는 때 에 는 상기 기체 도입 배관 과 상기 액 공급 배관 을 개방 함 과 아울러 상기 기체 주입 배관 과 상기 배기 배관 을 폐쇄 하 고 , 상기 액 저장실 에 저장 된 상기 처리 액 을 상기 액 토출 유닛 으로 공급 하 지 않 는 때 에 는 상기 기체 주입 배관 과 상기 배기 배관 을 개방 함 과 아울러 상기 기체 도입 배관 과 상기 액 공급 배관 을 폐쇄 하 는 것 을 특징 으로 하 는 , 액 공급 방법 이 제공 될 수 있 다 .