포스트 현상 베 이크 의 시간 은 10 분 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 20 분 이상 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 30 분 이상 인 것 이 더욱 바람직 하 며 , 240 분 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 180 분 이하 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 120 분 이하 인 것 이 더욱 바람직 하 다 . 포스트 현상 베 이크 의 시간 이 10 분 이상 이 면 , 레지스 트 패턴 의 잔류 수분 및 잔류 유 기분 을 한층 저감 할 수 있 다 . 한편 , 포스트 현상 베 이크 의 시간 이 240 분 이하 이 면 , 레지스 트 패턴 의 열 수축 이 억제 되 어 , 당해 레지스 트 패턴 의 단면 에 양호 한 역 테이퍼 형상 을 유지 시킬 수 있 다 .