상기 식각 정지 막 을 CF 4 , CHF 3 , CH 2 F 2 , CH 3 F , Ar , O 2 를 단일 가스 를 사용 하 거나 또는 이 를 혼합 한 혼합 가스 를 사용 하 며 , 상기 식각 정지 막 을 CCP 타입 장비 에서 20 mT 내지 70 mT 의 압력 , 500 W 내지 1500 W 의 소오 스 파워 , 50 W 내지 700 W 의 바이어스 파워 를 이용 하 여 식각 한다 .