도 3 에 는 대상물 ( 100 ) 로 주입 되 는 이온 빔 ( 300 ) 을 발생 시키 기 위한 이온 빔 주입기 ( 200 ) 가 도시 되 어 있 다 . 상기 이온 빔 주입기 ( 200 ) 는 가스 가 공급 되 는 프리먼 ( Freeman ) 또는 베르나스 ( Bernas ) 이온 소스 와 같 은 이온 소스 ( 210 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이온 소스 ( 210 ) 에서 생성 된 이온 들 은 추출 전극 어셈블리 에 의해 추출 될 수 있 다 .