본 실시 예 에 따른 기판 배면 에칭 장치 는 기판 ( 10 ) 의 배면 에 형성 된 자연 산화 막 ( 도 1 의 16 b ) 을 에칭 하 기 위한 장치 로서 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 에칭 액 ( 110 ) 이 담긴 배스 ( 100 , bath ) ; 일부 가 상기 에칭 액 ( 110 ) 에 잠기 도록 배치 되 는 복수 의 구동 롤러 ( 200 ) ; 상기 복수 의 구동 롤러 ( 200 ) 에 감겨 구동 되 며 , 상기 기판 ( 10 ) 의 배면 을 지지 하 여 이송 하 는 벨트 ( 300 ) 를 포함 한다 . 이 때 , 상기 벨트 ( 300 ) 는 상기 기판 ( 10 ) 의 배면 에 상기 에칭 액 ( 110 ) 을 공급 하 게 된다 .