IO 스테이지 ( 2100 ) 는 대기 반 송실 ( 2200 ) 에 인접 한다 . 대기 반 송실 ( 2200 ) 내 에 는 웨이퍼 ( 200 ) 를 이재 하 는 제 1 반송 로봇 으로서 의 대기 반송 로봇 ( 2220 ) 이 설치 된다 . 대기 반 송실 ( 2200 ) 에 는 IO 스테이지 ( 2100 ) 와 는 다른 측 에 로드 록 실 ( 2300 ) 이 연결 된다 .