이 외관 검사 부 ( 9 ) 는 , 전자 부품 ( Wx ) 의 외형 , 전자 부품 ( Wx ) 의 표면 구조 , 전자 부품 ( Wx ) 의 마크 의 적어도 1 개 를 검사 하 는 것 이 다 . 여기 서 , 전자 부품 ( Wx ) 의 마크 란 , 예 를 들 면 , 제조 번호 등 의 각인 ( 刻印 ) 이나 봉지 완료 기판 ( W ) 을 전자 부품 ( Wx ) 으로 개편 화 할 때 의 얼라 인 머 트 마크 ( alignment mark ) 이 다 . 검사 의 방법 으로서 는 , 예 를 들 면 , 외관 검사 부 ( 9 ) 가 , 촬상 화상 에 있 어서 의 전자 부품 ( Wx ) 의 외형 , 표면 구조 , 또는 마크 와 , 그 들 의 기준 이 되 는 견본 데이터 를 비교 하 는 것 에 의해 , 그 들 의 적어도 1 개 를 검사 하 는 것 이 생각 된다 . 또한 , 견본 데이터 는 , 미리 외관 검사 부 ( 9 ) 에 기억 되 어 있 다 . 또 , 이 외관 검사 부 ( 9 ) 는 , 제 어부 ( CTL ) 에 마련 된 것 이 더라도 좋 고 , 제 어부 ( CTL ) 와 는 따로 ( 별도 로 ) 마련 된 것 이 더라도 좋 다 .