따라서 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 가 완전히 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 에 의해 밀폐 된 경우 에 는 , 도 11 b 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 의 연마 종료 이후 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 기 시작 하 는 시점 ( to ) 으로부터 짧 은 시간 ( 제 1 바닥 면 이 개구 를 밀폐 시키 는 데 소요 되 는 시간 ) 이 경과 한 시점 ( tc ) 까지 만 제 1 통로 ( 129 ) 내 의 압력 이 낮 아 질 뿐 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 를 막 아 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 로부터 차 단시 긴 시점 ( tc ) 이후 에 는 제 1 통로 ( 129 ) 의 압력 ( Pe ) 은 변동 없이 일정 하 게 유지 된다 .