표 5 의 결과 는 웨이퍼 W 상 의 에칭 형상 의 균일성 을 확인 하 기 위해 , 이하 의 방법 으로 디바이스 에 있 어서 의 홈 의 측벽 의 경사각 도 차 를 계측 한 것 이 다 . 측벽 경사 각도 차 는 도 9 ( b ) 에 나타내 는 밀 한 부위 의 오 목부 ( 305 ) 의 측벽 의 경사각 도 θ 1 과 소인 부위 의 오 목부 ( 305 ) 의 측벽 의 경사각 도 θ 2 를 측정 하 고 , 그 차 [ ( 소인 부위 의 측벽 경사 각도 θ 2 ) - ( 밀한 부위 의 측벽 경사 각도 θ 1 ) ] 로부터 산출 하 였 다 .