또한 , 본 발명 의 실시 예 들 은 가상 마크 생성 장치 가 빛 을 발산 하 는 제 1 발 광부 및 발산 된 빛 을 특정 한 지점 에 수렴 하 여 가상 마크 를 생성 하 는 제 1 렌즈 부를 포함 하 고 , 카메라 는 제 1 렌즈 부 에 의해 특정 한 지점 에서 수렴 된 후 에 다시 발산 된 빛 을 수렴 하 여 가상 마크 가 촬상 되 도록 하 는 제 2 렌즈 부를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 을 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .