본 실시 예 또한 전술 한 실시 예 들 의 구성 에 부가 하 여 , 상하 로 일시 부착 된 웨이퍼 ( w , w ') 들 을 보다 원활 하 게 분리 하 기 위한 수단 을 개시 하 되 , 이 수단 은 웨이퍼 ( w ) 의 흡 착면 일부 가 그 아래쪽 웨이퍼 ( w ') 로부터 들춰 질 때 형성 되 는 틈새 ( g ) 를 가르 는 나이프 ( 16 ) 로 개시 되 어 있 다 .