본 발명 의 또 다른 실시 예 에서 는 다층 상호 연결 소자 를 제조 하 는 방법 으로서 , 기판 을 제공 하 는 단계 와 ; 상기 기판 상 에 다층 상호 연결 구조 를 형성 하 는 단계 로서 , 상기 다층 상호 연결 기판 구조 는 부분 영역 에서 상기 기판 에 접착 되 는 단계 와 ; 상기 다층 상호 연결 구조 를 절단 하 여 , 절단 된 후 상기 다층 상호 연결 소자 를 상기 기판 으로부터 분리 하 는 단계 를 포함 하 는 다층 상호 연결 소자 를 제조 하 는 방법 을 제공 한다 . 상기 부분 영역 은 상기 기판 의 주변 영역 이 거나 , 또는 스폿 또는 그리드 형태 내부 일 수 있 다 .