더욱 구체 적 으로 설명 하 면 , 상부 전극 을 Pt 막 또는 Ir 막 등 에 의해 형성 하 였 을 경우 , 다층 배선 구조 중 의 층간 절 연막 을 형성 할 때 에 사용 되 는 환원 분위기 중 의 수소 가 Pt 막 이나 Ir 막 중 에 침입 하 여 이 들 금속 이 갖 는 촉매 작용 에 의해 활성 화 되 고 , 활성 화 된 수소 에 의해 강유전체 커패시터 중 의 강유전체 막 이 환원 되게 되 는 문제 가 생긴다 . 강유전체 막 이 환원 되 면 강유전체 커패시터 의 동작 특성 은 크 게 열화 하 게 된다 . 이러 한 강유전체 막 의 특성 열화 의 문제 는 , 강유전체 커패시터 가 미세 화 되 고 , 강유전체 커패시터 중 의 커패시터 절 연막 이 미세 화 된 강유전체 막 패턴 으로 구성 되 는 경우 에 특히 현저히 나타난다 .