첨부 도면 중 도 3 a 는 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 정면 분해 사시도 이 고 , 도 3 b 는 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 저면 을 보인 분해 사시도 이 고 , 도 4 는 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 단면도 이 고 , 도 5 는 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 다른 방향 단면도 이 다 .