제 어부 ( 7 ) 는 , 각각 의 기판 처리 장치 의 작동 부 ( 예 를 들 어 , 약액 밸브 ( 56 ) , 순환 밸브 ( 58 ) , 린스 액 밸브 ( 62 ) , 세정액 밸브 ( 66 ) , 셔터 ( 50 C ) , 스핀 모터 ( 51 D ) , 가스 공급 부 ( 170 B ) , 가스 공급 부 ( 170 D ) , 샤프트 ( 190 B ) , 세정액 토출 부 ( 170 G ) 또는 촬상부 ( 200 ) 등 ) , 반송 기구 ( 31 ) 를 구동 시키 는 구동 부 ( 예 를 들 어 , 반송 기구 ( 31 ) 의 왕복 이동 을 위한 모터 등 ) , 인 덱 서 로봇 ( 23 ) 의 작동 부 ( 예 를 들 어 , 다 관절 아암 ( 23 B ) 을 구동 시키 기 위한 모터 등 ) , 반송 로봇 ( 33 ) 의 작동 부 ( 예 를 들 어 , 수평 모터 ( 133 C ) , 회동 모터 ( 133 D ) 또는 연직 모터 ( 133 H ) 등 ) 에 접속 되 어 있 고 , 그것 들 의 동작 을 제어 한다 .