예 를 들 면 , 멀티 빔 을 사용 한 묘화 장치 가 있 다 . 1 개 의 전자 빔 으로 묘화 하 는 경우 에 비하 여 , 멀티 빔 을 이용 함 으로써 한 번 ( 1 회 의 샷 ) 에 많 은 빔 을 조사 할 수 있 으므로 스루풋 을 대폭 향상 시킬 수 있 다 . 이러 한 멀티 빔 방식 의 묘화 장치 에서 는 , 예 를 들 면 , 전자 총 으로부터 방출 된 전자 빔 을 복수 의 홀 을 가진 마스크 를 통하 여 멀티 빔 을 형성 하 고 , 각각 , 블 랭킹 제어 되 어 , 차폐 되 지 않 은 각 빔 이 광학계 로 축소 되 고 , 편 향기 로 편향 되 어 시료 상 의 원 하 는 위치 에 조사 된다 .