케이스 ( 101 ) 의 개구부 ( 101 A ) 의 반대 측 의 측면 에 는 , 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 을 리니어 스테이지 ( 150 ) 에 착 탈 하 기 위한 핸들 ( H 3 L , H 3 R ) 이 마련 되 어 있 다 . 핸들 ( H 3 L ) 은 회전축 ( 190 L ) 에 의해 볼록 결합 부 ( 191 L ) 와 동축 으로 접속 되 어 있 다 . 핸들 ( H 3 R ) 은 회전축 ( 190 R ) 에 의해 볼록 결합 부 ( 191 R ) 와 동축 으로 접속 되 어 있 다 . 회전축 ( 190 L , 190 R ) 은 O 링 등 에 의해 기밀 성 을 유지 한 채 , 회전 시키 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 볼록 결합 부 ( 191 L ) 는 핸들 ( H 3 L ) 을 회전 시키 는 것 에 의해 회전 한다 . 볼록 결합 부 ( 191 R ) 는 핸들 ( H 3 R ) 을 회전 시키 는 것 에 의해 회전 한다 . 핸들 ( H 3 L ) , 회전축 ( 190 L ) 및 볼록 결합 부 ( 191 L ) 는 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 가 우측 단 에 위치 할 때 에 , 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 의 , 도 13 a 에 있 어서 상측 이 되 는 연결부 ( 161 ) 의 오목 결합 부 ( 167 ) 와 결합 하 는 위치 에 배치 되 어 있 다 . 핸들 ( H 3 R ) , 회전축 ( 190 R ) 및 볼록 결합 부 ( 191 R ) 는 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 가 우측 단 에 위치 할 때 에 , 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 의 , 도 13 a 에 있 어서 하측 이 되 는 연결부 ( 161 ) 의 오목 결합 부 ( 167 ) 와 결합 하 는 위치 에 배치 되 어 있 다 .