또한 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 는 , 16 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 . 도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 는 , 2 개 의 이 송부 ( SN 1 , SN 2 ) 및 2 개 의 복귀 부 ( RT 1 , RT 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 이 송부 ( SN 1 , SN 2 ) 는 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 2 개 의 복귀 부 ( RT 1 , RT 2 ) 는 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 . 버퍼 부 ( BU 1 ) 와 동일 하 게 , 버퍼 부 ( BU 2 ) 는 , 2 개 의 이 송부 ( SN 3 , SN 4 ) 및 2 개 의 복귀 부 ( RT 3 , RT 4 ) 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 이 송부 ( SN 3 , SN 4 ) 는 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 2 개 의 복귀 부 ( RT 3 , RT 4 ) 는 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 .