액 처리 챔버 ( 3602 , 3604 ) 은 모두 동일 한 구조 를 가지 며 , 전단 액 처리 챔버 ( 3602 ) 를 일 예 로 설명 한다 . 도 7 은 도 3 의 액 처리 챔버 의 일 예 를 개략 적 으로 보여 주 는 도면 이 고 , 도 8 은 도 7 의 액 처리 챔버 를 보여 주 는 평면도 이 다 . 도 8 을 참조 하 면 , 전단 액 처리 챔버 ( 3602 ) 는 기판 상 에 액 막 을 형성 하 는 장치 ( 800 ) 로 제공 된다 . 전단 액 처리 챔버 ( 3602 , 800 ) 는 하우징 ( 810 ) , 기류 제공 유닛 ( 820 ) , 기판 지지 유닛 ( 830 ) , 처리 용기 ( 850 ) , 승강 유닛 ( 890 ) , 액 공급 유닛 ( 840 ) , 촬영 유닛 ( 900 ) , 그리고 제어기 ( 980 ) 를 포함 한다 .