유해 물질 용 해부 ( 20 ) 에 도입 되 는 공기 는 저온 의 용매 를 공급 하 는 용매 공급 장치 의 노즐 ( 24 ) 에서 분사 되 는 용매 에 의해 세척 되 어 공기 중 에 포함 된 탄산가스 등 유해 물질 이 용매 에 녹 게 되 므로 유해 물질 의 농도 가 낮 아 지 게 되 고 , 미세먼지 나 세균 도 용매 에 의해 세척 되 어 용매 와 함께 용매 수집 배관 ( 22 ) 을 통해 용매 수집 부 ( 70 ) 로 수집 된다 .