일례 의 실시 예 로 , 광 도파관 은 실리콘 부분 및 실리콘 부분 상 에 위치 한 실리콘 질화물 부분 을 포함 할 수 있 다 . 실리콘 부분 은 실리콘 부분 의 폭 을 감소 시키 는 테이퍼 를 포함 할 수 있 다 . 실리콘 질화물 부분 은 실리콘 부분 에서 광 도파관 을 통해 이동하 는 광 신호 를 가둘 수 있 다 . 실리콘 질화물 부분 은 테이퍼 의 길이 를 따라 연장 되 어 있 고 테이퍼 의 길이 를 따라 실질 적 으로 동일 하 게 유지 하 는 폭 을 포함 할 수 있 다 . 실리콘 부분 은 테이퍼 의 제 1 면 의 제 1 폭 및 제 1 면 의 맞은편 의 테이퍼 의 제 2 면 의 제 2 폭 을 포함 할 수 있 다 . 테이퍼 는 로딩 된 단일 모드 또는 다중 모드 도파관 에서 단일 모드 도파관 으로 광 도파관 을 전이 할 수 있 다 . 광 도파관 은 로딩 된 단일 모드 또는 다중 모드 도파관 에서 단일 모드 도파관 으로 전이 될 수 있 다 .