마이크 로 요동 소자 어레이 Y 1 에서 , 프레임 ( 21 ) 의 제 1 층 부 ( 21 a ) 는 모든 마이크 로 요동 소자 X 1 에 걸쳐 연속 되 어 있 고 , 따라서 모든 마이크 로 요동 소자 X 1 에서 의 구동 전극 ( 12 ) 과 , 요 동부 ( 10 ) 의 실드 전극 부 ( 14 ) 와 , 프레임 ( 21 ) 의 실드 전극 부 ( 21 a ', 21 b ')( 제 1 층 부 ( 21 a ) 및 제 2 층 부 ( 21 b ) ) 와 , 실드 전극 부 ( 24 ) 는 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .