통상 적 으로 불소 가스 는 반도체 제조 분야 에서 빠질 수 없 는 기간 가스 이 며 , 그 중 에서 도 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 가스 는 반도체 의 클리닝 가스 나 드라이 에칭 가스 로서 반도체 및 TFT - LCD 제조 에 광범위 하 게 사용 되 어 지 고 있 다 . 최근 들어서 는 반도체 산업 및 FPD 산업 의 활성 화 에 따라 챔버 클리닝 용 가스 로서 의 그 수요 가 급격히 증가 하 고 있 는 추세 이 다 .