사이드 공 급부 ( 400 ) 에서 공급 된 에어 는 사이드 공급 배관 ( 410 ) 및 사이드 배관 ( 450 ) 을 통해 이동하 여 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 분사 될 수 있 다 . 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 가 분사 됨 에 따라 이 동부 ( 200 ) 에 인접 한 기판 ( S ) 의 가장자리 에 힘 이 작용 하 고 , 기판 ( S ) 과 이 동부 ( 200 ) 간 의 충돌 이 방지 될 수 있 다 .