전술 한 바 와 같 은 내열 성 의 문제 로 인하 여 전도성 접착제 ( 50 ) 의 특성 이 변화 될 경우 , 도전 패드 ( 25 ) 와 커넥터 ( 40 ) 의 접착 신뢰 성 을 저하 되 어 두 부재 의 전기 적 연결 이 끊어질 수 도 있 다 . 이 는 곧 , 전극 ( 30 ) 으로 안정 적 인 파워 가 공급 되 지 못함 을 의미 한다 . 따라서 기판 이 불량 하 게 척 킹 되 거나 , 플라스마 가 불량 하 게 생성 되 거나 , 대상물 이 불 균일 하 게 가열 되 는 등 과 같 은 문제 들 이 발생 될 수 있 다 .