반응 가스 를 NO 발생 시스템 으로 도입 하 기 위해 다양 한 성분 들 이 사용 될 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 반응 가스 는 도 X 에 도시 된 바 와 같이 가스 필터 를 통과 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 가스 필터 는 0 . 22 미크론 공극 크기 를 갖 는다 . 필터 는 공기 를 플 라즈 마 에 노출 시키 기 전 에 대기 로부터 미립자 를 제거 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 반응 가스 필터 는 사용 단계 를 감소 시킴 으로써 장치 의 사용 을 단순 화 하 기 위해 NO 2 세 정기 카트리지 와 결합 된다 .