이 후 , 라이너 산화 막 ( 107 ) 을 포함 한 전체 구조 상 에 소자 분리 용 절 연막 ( 108 ) 을 형성 하 여 트렌치 ( 105 ) 내부 를 갭 필 한다 . 소자 분리 용 절 연막 ( 108 ) 은 갭 필 특성 이 우수 한 HDP 산화 막 을 사용 하 여 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상술 한 갭 필 공정 은 1 차 HDP 산화 막 증착 공정 을 실시 하 여 트렌치 ( 105 ) 의 측벽 및 저면 에 HDP 산화 막 을 증착 한 후 , 습식 식각 공정 을 실시 하 여 트렌치 ( 105 ) 의 개구부 를 넓혀 오버행 ( overhang ) 을 제거 한다 . 습식 식각 공정 은 HF 를 이용 하 여 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 후 , 2 차 HDP 산화 막 증착 공정 을 실시 하 여 트렌치 ( 105 ) 를 매립 한다 . 1 , 2 차 HDP 산화 막 증착 공정 각각 은 10 ~ 200 sccm 유량 의 SiH 4 , 10 ~ 500 sccm 유량 의 O 2 , 10 ~ 1000 sccm 유량 의 He , 10 ~ 1000 sccm 유량 의 H 2 가스 를 사용 하 여 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 1 , 2 차 HDP 산화 막 증착 공정 각각 은 LF ( Low Frequency ) Power 를 10 ~ 10000 Watt , HF ( High Frequency ) Power 를 10 ~ 10000 Watt 사용 하 여 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 1 , 2 차 HDP 산화 막 증착 공정 은 최종 적 으로 5000 Å 내지 8000 Å 두께 의 HDP 산화 막 이 증착 되 어 트렌치 ( 105 ) 를 매립 하 도록 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .