다음 에 기판 ( 500 ) 의 윗면 에 기판 ( 607 ) 을 고정 한다 ( 도 21 참조 ) . 본 실시 예 에서 는 기판 ( 500 ) 과 기판 ( 607 ) 사이 에 는 , 고체 인 수지 ( 608 ) 를 설치 하 고 있 다 . 수지 ( 608 ) 대신 에 , 씰 재 에 의해 불활성 가스 를 기판 ( 500 ) 과 기판 ( 607 ) 안 에 봉입 해도 된다 . 또한 , 대향 전극 ( 605 ) 을 덮 도록 질화 실리콘 막 등 으로 된 보호막 을 형성 해 도 된다 .