화성 - 평택 - 아산 , 삼성 新 반 · 디 3 각 벨트 로 ‘ 퀀텀 점프 ’ 
 2017 . 07 . 04 11 : 03 : 48 / 이수환 shulee @ ddaily . co . kr 
 사진 으로 보 는 삼성전자 평택 반도체 단지 
 위용 갖춘 삼성전자 평택 반도체 공장 … 8 부 능선 넘 었 다 
 삼성 이 경기도 평택 과 화성 , 충청남도 아산 , 그리고 중국 산시성 시안 에 총 37 조 원 이상 의 반도체 · 디스플레이 투자 를 추진 한다 . 이 를 위해 세계 최대 규모 의 반도체 생산 라인 인 평택 에서 는 4 세대 ( 64 단 ) 3 D 낸드 플래시 ‘ V 낸드 ’ 제품 출하 식과 함께 본격 적 인 양산 에 돌입 했 다 . 지난 2014 년 15 조 6000 억 원 규모 의 투자 를 통해 3 년 만 에 완공 된 평택 사업장 은 향후 삼성전자 낸드 플래시 생산 의 중추 적 역할 을 담당 하 는 ‘ 마더 팹 ( Fab ) ’ 역할 을 수행 하 게 된다 . 
 화성 사업장 에서 양산 되 는 4 세대 V 낸드 는 당분간 그대로 유지 되 겠 지만 평택 사업장 의 1 기 라인 2 단계 투자 , 2 기 라인 상황 에 따라 상황 이 바뀔 수 있 다 . 당초 내년 6 월 에 는 2 기 라인 건설 을 시작 함 과 동시 에 램프 업 ( 생산량 확대 ) 을 추진 할 계획 이 었 으나 예비 전력 확보 에 어려움 을 겪 으면서 당분간 탄력 조정 이 불가피 할 전망 이 다 . 
 화성 사업 장 은 6 조 원 을 투입 해 시스템 반도체 , 특히 위탁 생산 ( 파운드리 ) 에 집중 한다 . 내년 말 까지 화성 17 라인 유휴 공간 에 건설 하 는 신규 공장 이 대상 이 다 . 최초 로 극자외선 ( Extreme Ultra Violet , EUV ) 노광 기술 이 상용 화 된다는 점 에서 의미 가 있 다 . 이 를 위해 네덜란드 ASML 로부터 신 형 노광 장비 인 ‘ NXE 3400 B ’ 를 1 차 로 3 대 도입 했 다 . 이 장비 는 기존 보다 출력 을 250 와트 ( W ) 로 높였으며 웨이퍼 투입 기준 월 3 만장 목표 에 충분히 달성 할 수 있 다는 계산 이 다 . 
 포토 리소그래피 ( Photo Lithography ) 라 부르 는 노광 ( 露 光 ) 공정 은 빛 을 이용 해 웨이퍼 에 회로 패턴 을 그리 는 과정 이 다 . EUV 는 빛 의 파장 이 13 . 5 nm 에 불과 하 다 . 현재 주력 으로 사용 하 고 있 는 이 머 전 ( Immersion , 액침 ) 불과 아르곤 ( ArF ) 은 193 nm 에 그치 고 있 다 . EUV 를 활용 하 면 두 번 , 혹은 세 번 이상 의 패 터닝 ( 더블 , 트리플 ) 을 거칠 필요 가 없 다 . 
 반도체 투자 는 국내 에 만 그치 지 않 고 중국 산시성 시안 까지 이뤄 진다 . 이번 에 는 2 단계 라인 확보 차원 으로 2015 년 부터 계획 된 중 장기 계획 의 일환 이 다 . 시안 공장 은 최대 3 개 라인 을 지 을 수 있 는 부지 가 마련 돼 있 다 . 1 단계 에서 는 월 10 만 장 을 처리 할 수 있 는 규모 로 가동 률 을 초기 50 % 수준 에서 지난해 100 % 까지 끌어올렸 다 . 2 단계 투자 는 바로 옆 에 마련 된 부지 에서 이뤄 진다 . 1 단계 설비 투자 ( CAPEX ) 가 4 조 6400 억 원 이 었 다는 점 과 추가 로 소요 되 는 공장 건설 비용 ( 1 조 5000 억 원 추정 ) 을 더 하 면 6 조 원 이상 의 투자 가 예상 된다 . 
 핵심 은 플렉시블 OLED 이 다 . 올해 만 CAPEX 가 10 조 원 에 달할 전망 이 다 . 신 공장 건설 을 감안 하 면 내년 까지 13 조 ~ 16 조 원 가량 이 예상 된다 . 10 조 원 에 달하 는 투자 를 결정 할 수 있 던 원동력 은 애플 차세대 아이폰 ( 가칭 아이폰 7 S 프로 · 아이폰 8 ) 덕분 이 다 . 
 지난해 삼성 디스플레이 는 올해 출시 될 아이폰 에 플렉시블 OLED 공급 을 결정 하 면서 A 3 팹 의 최종 완성 형 인 신규 설비 투자 를 진행 하 고 있 다 . 현재 생산 능력 은 ‘ A 2 ’ 월 3 만 6000 장 을 더 해 6 만 6000 장 이 지만 L 7 - 1 생산 라인 ( A 3 E ) 을 플렉시블 OLED 로 갈아타 는 중 이 고 이 작업 이 마무리 되 면 월 3 만 ~ 4 만 5000 장 이 추가 된다 . 이 경우 내년 까지 생산 할 수 있 는 플렉시블 OLED 는 월 9 만 6000 장 ~ 11 만 1000 장 이 다 . 
 결국 애플 은 물론 삼성전자 물량 까지 소화 하 려면 추가 로 ‘ A 4 ’, 혹은 ‘ A 5 ’ 와 같 은 완전히 새로운 신규 팹 건설 이 필수 적 이 다 . 
 삼성전자 는 “ 이번 대 규모 투자 를 통해 경기도 기흥 · 화성 · 평택 과 충청도 아산 에 이르 는 첨단 부품 클러스터 구축 으로 국내 장비 · 소재 산업 과 의 동반 성장 은 물론 후방 산업 생태 계 활성 화 를 통해 연구 개발 ( R & D ) 및 서비스 등 고급 기술 인력 수요 도 확대 될 전망 ” 이 라고 설명 했 다 .