불순물 ( DM ) 은 다양 한 물질 을 포함 할 수 있 다 . 불순물 ( DM ) 예 를 들 어 도 펀트 일 수 있 다 . 도 펀트 물질 은 예 를 들 어 , 3 가 원소 를 포함 할 수 있 다 . 이때 , 제 1 반도체 패턴 ( SP 1 ) 은 P 형 반도체 로 형성 될 수 있 다 . 또는 불순물 ( DM ) 은 5 가 원소 를 포함 할 수 있 다 . 이때 , 제 1 반도체 패턴 ( SP 1 ) 은 N 형 반도체 로 형성 될 수 있 다 .