본 발명 은 건식 식각 장치 에 관한 것 으로 , 보다 구체 적 으로 는 증착 방지 부 를 절연 체부 와 동일 한 재질 로 형성 하 여 증착 방 지부 에 증착 되 는 식각 부산물 을 절연 체부 상 에 증착 되 는 식각 부산물 과 동일 한 퇴적 상태 로 증착 시킴 으로써 , 챔버 의 클리닝 주기 를 대폭 연장 시킬 수 있 는 건식 식각 장치 에 관한 것 이 다 .