또한 , 접속 라인 ( 70 ) , 폐기 라인 ( 74 ) 및 배기 라인 ( 78 ) 은 기판 처리 장치 ( 10 ) 에 포함 된 복수 의 처리 유닛 ( 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 상술 한 바 와 같이 4 개 의 처리 유닛 ) 에서 공통 으로 사용 된다 . 따라서 , 제 1 약액 을 사용 한 처리 를 행하 기 위한 배관 류 를 생략 함 으로써 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 구성 및 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 제어 를 대폭 단순 화 할 수 있 다 .