도 7 과 관련 하 여 , 상기 소스 ( LA ) 는 ( 흔히 상기 소스 ( LA ) 가 , 예 를 들 어 수은 램프 인 경우 에서 처럼 ) 리 소 그패 피 투영 장치 의 하우징 내 에 놓이 지만 , 그것 은 리소그래피 투영 장치 로부터 멀리 떨어져 있 을 수 도 있 으며 , 그것 이 만들 어 낸 방사선 빔 은 ( 예 를 들 어 , 적절 한 지향 거울 의 도움 으로 ) 장치 내부 로 들어올 수 도 있 다는 것 을 유의 하 여야 한다 ; 이 후자 의 시나리오 는 흔히 상기 소스 ( LA ) 가 ( 예 를 들 어 , KrF , ArF 또는 F 2 레이 징 ( lasing ) 에 기초 한 ) 엑 시머 레이저 인 경우 이 다 . 본 발명 은 이 들 시나리오 들 을 모두 포함 한다 .