도 10 에 , 본 실시 예 에서 의 제 1 시험 의 결과 를 설명 하 는 제 1 그래프 를 나타낸다 . 도 11 에 , 본 실시 예 에서 의 제 1 시험 의 결과 를 설명 하 는 제 2 그래프 를 나타낸다 . 제 1 시험 에서 는 , 레벤 손 형 마스크 를 이용 해서 행하 는 제 1 노광 공정 의 노광량 과 , 하프톤 형 마스크 를 이용 해서 행하 는 제 2 노광 공정 의 노광량 을 1 : 1 의 비율 로 설정 하 였 다 . 하프톤 형 마스크 의 하프톤 부 의 투과율 을 6 % 부터 0 % 까지 변화 시켰 을 때 의 각각 의 위치 에서 의 노광량 을 구했 다 .