기상 루이스 염기 아민 또는 유기산 촉매 와 커플링 된 기상 단일 - 작용 성 , 이 - 작용 성 또는 삼 - 작용 성 알 콕 시실 란 제 를 이용 하 여 에칭 손상 된 나노 다공성 LKD 재료 를 보수 및 / 또는 밀봉 하 는 신규 의 방법 이 본 명세서 에 개시 되 어 있 다 . 일반 적 으로 , 보수제 및 밀봉 제 는 Si ( R ) x ( OR ') y 로서 나타낼 수 있 고 , 여기 서 y ≥ 1 , x + y = 4 , R 은 알킬기 , 아릴기 또는 히드록실기 이 고 , R ' 는 알킬기 또는 아릴기 , 바람직 하 게 는 메틸 또는 에틸 이 다 .