이제 도 8 을 참조 하 면 , 기판 ( 119 ) ( 도 1 참조 , 기판 ( 119 ) 은 도 8 에 도시 되 지 않 음 ) 을 유지 하 기 위한 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 에 대한 분리도 ( 800 ) 의 예 가 도시 된다 . 수직 기판 세정 및 건조 메커니즘 에 사용 되 는 기판 의 형상 에 따라 , 적재 및 하적 동작 들 을 용이 하 게 하 기 위해 하나 의 핑거 / 단부 - 캡 조합 만 이 기판 으로부터 멀 어 지 게 이동 가능 할 필요 가 있 다 . 예컨대 , 원형 기판 ( 예컨대 , 반도체 웨이퍼 ) 을 유지 하 고 클램 핑 하 는 데 사용 되 는 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 의 실시 예 에서 , 기판 을 유지 하 는 3 개 의 핑거 가 존재 하 며 , 핑거 들 각각 은 서로 로부터 약 120 도 이격 된다 . 이러 한 예 에서 , 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 들 중 하나 만 이 이 동 가능 할 필요 가 있 다 ( 그렇 지만 , 로봇 ( 도시 되 지 않 음 ) 의 엔드 이펙터 들 의 다양 한 조합 들 을 수용 하 기 위해 하나 초과 의 핑거 가 이동 가능 할 수 있 음 ) .