본 발명 의 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 희생 막 은 폴리머 형성 가스 를 이용 한 폴리머 부착 공정 에 의해 형성 되 며 , 상기 폴리머 형성 가스 는 에틸렌 ( ethylene ) , 메틸 플로 라이드 ( methyl fluoride ) 또는 메틸 디 플로 라이드 ( methyl difluoride ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 경우 , 상기 폴리머 부착 공정 은 500 내지 800 ℃ 의 온도 에서 수행 될 수 있 다 .