특히 , 상기 에 지링 ( 20 ) 은 정전 척 ( 10 ) 과 매우 근접 한 위치 에 설치 되 기 때문 에 에 지링 ( 20 ) 의 표면 으로부터 떨어져 나온 폴리머 는 웨이퍼 ( W ) 를 오염 시킬 수 있 고 , 상기 웨이퍼 ( W ) 를 냉각 시키 기 위한 헬륨 ( He ) 가스 가 누출 되 면 공정 에러 가 발생 하 게 되 는 문제점 이 있 다 .