이어서 , 게이트 절연 층 ( 146 ) , 절연 층 ( 150 ) 및 절연 층 ( 152 ) 에 , 소스 전극 ( 142 a ) 에 까지 도달 하 는 개구 를 형성 한 후 , 개구 에 전극 ( 156 ) 을 형성 하 고 , 절연 층 ( 152 ) 위 에 전극 ( 156 ) 에 접하 는 배선 ( 158 ) 을 형성 한다 ( 도 12 d 참조 ) . 해당 개구 의 형성 은 마스크 등 을 이용 한 선택 적 인 에칭 에 의해 행해진다 .