패드 패턴 을 사용 하 는 대신 에 라인 패턴 이 형성 되 고 광 투 과부 가 그 주변 에 형성 된 측정 패턴 을 레지스 트 에 노광 에 의해 전사 해서 , 노광 에 의해 형성 된 라인 패턴 의 선폭 의 변화 에 의거 하 여 , 로컬 플레어 를 정량 적 으로 측정 하 는 기술 도 제안 되 어 있 다 . 이 기술 의 상세 에 대해서 는 일본국 특개 2004 - 296648 호 공보 ( 이하 , " "" 참고 문헌 3 "" 이라고 칭함 ) 를 참조 한다 . "