예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 복수 의 층 들 에 각각 형성 된 절연 패턴 들 ( 115 ) 은 상기 제 3 방향 으로 연장 될 수 있 고 , 상기 제 2 방향 을 따라 복수 개 로 형성 되 어 제 1 개 구 ( 260 ) 에 의해 서로 이격 될 수 있 으며 , 제 1 게이트 전극 들 ( 292 ) 사이 및 이 들 의 상하부 에 형성 된 절연 패턴 들 ( 115 ) 은 제 2 개 구 ( 320 ) 에 의해 상기 제 2 방향 을 따라 서로 이격 될 수 있 다 . 절연 패턴 들 ( 115 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 과 같 은 산화물 을 포함 할 수 있 다 .