보다 특정 하 게 , 제 1 및 제 2 감쇠기 들 ( 41 , 43 ) 의 개별 적 인 전기 임피던스 들 은 제 1 감쇠기 ( 41 ) 를 통해 전력 분배 기 입력 부 ( 77 ) 로부터 전극 의 제 1 절반 부상 의 RF 구동 포인트 ( 51 ) 로 결합 되 는 RF 전력 레벨 이 제 2 감쇠기 ( 43 ) 를 통해 전력 분배 기 입력 부 ( 77 ) 로부터 전극 의 제 2 절반 부상 의 RF 구동 포인트 ( 53 ) 에 결합 되 는 RF 전력 레벨 보다 크 도록 설정 되 거나 조정 된다 .