또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 도어 부 ( 14 ) 에 1 개 의 매핑 센서 ( 20 ~ 20 E ) 를 장착 했 는데 , 매핑 센서 ( 20 ~ 20 E ) 의 수 는 1 개 로 한정 되 는 것 이 아니 라 , 복수 장착 해도 무방 하 다 . 이 경우 , 예 를 들 면 복수 의 매핑 센서 ( 20 ~ 20 E ) 로 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 동일 시야 를 촬상 하 도록 구성 해도 무방 하 고 , 상이 한 시야 를 촬상 하 도록 구성 해도 무방 하 다 .