본 실시 형태 에서 는 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 교대 로 기판 ( P ) 을 반송 장치 ( 90 ) 와 의 사이 에서 수수 하 면서 , 각각 기판 ( P ) 을 노광 하 도록 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 하 는 제어 모드 ( 제 1 제어 모드 또는 교대 제어 모드 ) 를 갖 고 있 었 지만 , 이하 와 같이 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 중 일방 만 을 구동 하 는 제어 모드 ( 제 3 제어 모드 또는 단독 제어 모드 ) 를 제 1 제어 모드 와 전환 할 수 있 도록 갖 고 있 어도 된다 . 즉 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 노광 에 소요 되 는 시간 등 의 처리 정보 , 장치 의 고장 정보 등 의 장치 정보 를 포함 하 는 기판 처리 정보 에 따라 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 중 일방 , 예 를 들 어 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 선택 하 여 , 종제 어부 ( 8 ) 및 반송 장치 ( 90 ) 에 대하 여 선택 된 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해서 만 노광 을 실시 하 는 것 을 지시 할 수 도 있 다 . 또한 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 노광 에 소요 되 는 시간 등 의 처리 정보 , 장치 의 고장 정보 등 의 장치 정보 를 포함 하 는 기판 처리 정보 에 따라 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 중 일방 , 예 를 들 어 주 노광 장치 ( EX 1 ) 를 선택 하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 의해서 만 노광 을 실시 하 도록 제어 할 수 도 있 다 . 즉 , 장치 의 고장 등 의 특별 한 사정 이 발생 한 경우 에 는 , 반송 장치 ( 90 ) 에 대하 여 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 만 기판 을 반입 하 도록 지시 하 고 , 종제 어부 ( 8 ) 에 대하 여 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 대한 기판 의 반입 지시 를 허가 하 지 않 도록 반송 장치 ( 90 ) 및 종제 어부 ( 8 ) 를 제 어 해도 된다 . 또한 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의한 노광 을 실시 할 수 없 을 때 에 는 , 종제 어부 ( 8 ) 는 , 주제 어부 ( 6 ) 에 대하 여 노광 을 실시 할 수 없 다는 취지 를 알려 주 어도 된다 . 또한 , 노광 에 소요 되 는 시간 등 의 처리 정보 는 , 조명 계 의 조도 열화 에 의한 노광 시간 의 장시간 화 , 얼라이먼트 나 기판 의 반송 , 유지 에 관련 된 동작 의 지연 에 의해 외관상 의 노광 에 소요 되 는 시간 이 장시간 화 되 는 정보 를 포함 한다 . 이 와 같이 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 통상 적 으로 는 제조 라인 전체 의 스루풋 을 향상 시키 기 위해 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 교대 로 반송 장치 ( 90 ) 를 통하 여 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 와 의 사이 에서 기판 의 수수 를 실시 하 지만 ( 제 1 제어 모드 ) , 특별 한 경우 에 는 일방 의 노광 장치 만 을 구동 하 도록 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 할 수 있 다 ( 제 3 제어 모드 ) . 이렇게 함 으로써 , 제 1 제어 모드 ( 기판 교대 수수 모드 ) 에 비해 제조 라인 의 스루풋 은 저하 되 지만 , 제조 라인 을 정지 시키 지 않 고 디바이스 를 제조 할 수 있 다 .