이러 한 제조 단계 중 상기 제 1 산화 막 을 형성 하 는 단계 및 제 2 산화 막 을 형성 하 는 단계 각각 은 베이스 기판 ( 131 ) 의 측면 부 및 상면 일부 를 더 식각 하 여 상기 제 1 연장 부 ( 1323 , 1333 ) 및 제 2 연장 부 ( 1324 , 1334 ) 를 갖 도록 제 1 산화 막 및 제 2 산화 막 을 형성 할 수 있 다 .