도 5 에 나타내 는 본 발명 에 따른 초음파 진동 혼 ( 8 ) 은 , Y 축 이동 수단 ( 77 ) 에 의해 , 수조 ( 75 ) 의 상방 을 수평 으로 Y 축 방향 으로 왕복 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . Y 축 이동 수단 ( 77 ) 은 , Y 축 방향 으로 연장 되 는 직 동축 ( 770 ) 과 , 직 동축 ( 770 ) 상 을 Y 축 방향 으로 자유 롭 게 슬라이드 이동 가능 한 Y 축 가동 부재 ( 771 ) 를 구비 하 고 있 다 . 그리고 , Y 축 가동 부재 ( 771 ) 에 는 , Z 축 이동 수단 ( 78 ) 을 통해 초음파 진동 혼 ( 8 ) 이 배치 되 어 있 다 .