이중상 감법 은 층간 절 연막 에 비아 및 트렌치 를 위한 패 터닝 을 함께 진행 한 후 에 배선 을 위한 금속 층 을 상기 패턴 된 부분 에 매립 하 고 불 필요 한 부분 의 금속 층 을 CMP ( chemical mechanical polish ) 등 의 방법 에 의하 여 제거 하 는 공정 을 말 하 며 , 공정 의 단순 화 및 비용 절감 의 장점 이 있 어 최근 많이 적용 되 는 금속 배선 형성 방법 이 다 .