다음 으로 , 도 9 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 비정질 탄소막 ( 130 ) 상부 에 감광막 ( 140 ) 을 형성 한 후 소정 의 패턴 이 각인 된 마스크 ( 150 ) 를 통해 예 를 들 어 ArF 레이저 ( A ) 를 조사 하 여 감광막 ( 140 ) 을 노광 한다 . 그리고 , 도 9 ( d ) 에 도시 된 바 와 같이 감광막 ( 140 ) 의 노광 된 부분 을 현상액 을 이용 하 여 현상 한다 .