본 실시 형태 에 따른 연마 액 은 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 충분 한 연마 속도 를 얻 는 관점 에서 , 연마 입자 를 함유 한다 . 연마 입자 는 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 충분 한 연마 속도 를 얻 기 쉬운 관점 에서 , 실리카 , 알루미나 , 세리아 , 티타니아 , 지르 코니 아 , 게르마니아 , 및 이 들 의 변성 물 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 실리카 를 포함 하 는 연마 입자 로서 는 , 콜로 이달 실리카 를 사용 할 수 도 있 다 . 알루미나 를 포함 하 는 연마 입자 로서 는 , 콜로 이달 알루미나 를 사용 할 수 도 있 다 .