상기 성분 ( A ) 의 수지 는 히드록실 또는 시아노 함유 반복 단위 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 반복 단위 를 갖 는 상기 수지 는 기판 에 대한 부착 및 현상액 에 대한 친화도 를 향상 시킨다 . 상기 히드록실 또는 시아노 함유 반복 단위 는 히드록실기 또는 시아노기 로 치환 된 지 환족 탄화수소 구조 를 갖 는 반복 단위 인 것 이 바람직 하 다 . 히드록실기 또는 시아노기 로 치환 된 상기 지환 족 탄화수소 구조 의 상기 지환 족 탄화수소 구조 는 아 다만 틸 기 , 디아 만 틸 기 또는 노르 보르 난기 인 것 이 바람직 하 다 .