[ 003 ] 때때로 팩토리 인터페이스 ( FI ; factory interface ) 들 로 지칭 되 는 장비 전단 모듈 ( EFEM ; equipment front end module ) 들 은 기판 들 을 캐리어 들 로부터 프로세싱 툴 들 로 이송 하 기 위한 비 - 반응 성 환경 을 제공 한다 . 이 는 , EFEM 의 내부 볼륨 을 현실 적 인 양 만큼 밀봉 함 으로써 그리고 기판 재료 들 과 는 비 - 반응 성 인 질소 와 같 은 가스 로 내부 볼륨 을 플 러딩 ( flooding ) 시킴 으로써 달성 된다 . 비 - 반응 성 가스 는 산소 와 같 은 임의 의 반응 성 가스 들 을 EFEM 으로부터 내보낸다 ( force out ) . 기판 캐리어 와 도킹 하 기 위한 로드 포트 는 EFEM 의 전면 에 부착 된다 . 로드 포트 는 로드 포트 상 에 도킹 된 기판 캐리어 로부터 도어 를 제거 하 기 위한 도어 오프너 를 포함 한다 . 도어 오프너 와 캐리어 도어 사이 에 트래핑 된 공기 는 EFEM 내 로 침투 하 여 , 잠재 적 으로 기판 들 을 오염 시킬 수 있 다 . 그러나 , 종래 기술 의 방법 들 및 장치 를 사용 하 면 , 트래핑 된 공기 를 적절히 퍼징 하 는 것 은 어렵 고 , 시간 이 걸리 고 , 그리고 / 또는 고 비용 일 수 있 다 . 따라서 , 트래핑 된 공기 를 퍼 징하 는 것 을 용이 하 게 하 는 로드 포트 도어 오프너 를 위한 시스템 들 , 장치 , 및 방법 들 이 필요 하 다 .