상기 디 메틸 알루미늄 하이드라이드 는 높 은 증기압 ( 25 ℃ 에서 2 torr ) 과 상온 에서 무색 액체 인 전구체 로 수소 가스 를 사용 하 는 증착 조건 에 따라 비교 적 낮 은 증착 온도 인 230 ℃ 근처 에서 고 순도 의 알루미늄 박막 을 증착 할 수 있 었 다 . 그러나 , 어려운 제조 공정 때문 에 높 은 가격 으로 경제 성 이 취약 하 고 , 점도 가 높 아 전구체 의 전달 속도 의 조절 이 용이 하 지 않 은 단점 도 함께 가지 고 있 다 .