도 3 을 참조 하 면 , 반사체 ( 130 ) 가 회절 격자 ( 113 ) 아래 의 피복층 ( 102 ) 내 에 배치 된다 . 상기 반사체 ( 130 ) 는 격자 형태 ( grating - shaped ) 를 가질 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 반사체 ( 130 ) 는 상기 피복층 ( 102 ) 내 에 평판 형태 의 기 저부 상기 기 저부 의 상부 면 으로 위 로 돌출 된 돌출부 들 을 포함 한다 . 상기 반사체 ( 130 ) 의 돌출부 들 은 상기 반도체 기판 에 평행 한 일 방향 을 따라 서로 옆 으로 이격 된다 . 상기 돌출부 들 의 상부 면 들 은 서로 동일 한 높이 일 수 있 다 . 상기 돌출부 들 의 양측 벽 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 대하 여 수직 할 수 있 다 . 이 와 는 다르 게 , 상기 돌출부 들 의 양측 벽 들 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 대하 여 경사 질 수 도 있 다 . 상기 반사체 ( 130 ) 의 반사면 은 상기 반사체 ( 130 ) 의 돌출부 들 의 상부 면 들 및 양 측벽 들 과 , 상기 돌출부 들 사이 의 상기 기 저부 의 상부 면 들 을 포함 한다 . 상기 격자 형태 의 반사체 ( 130 ) 는 상기 광도 파로 ( 112 ) 아래 로 투과 된 광 을 반사 시켜 상기 회절 격자 커플러 ( 115 ) 의 커플링 효율 성 을 증가 시킬 수 있 다 . 상기 반사체 ( 130 ) 는 도 1 의 반사체 ( 120 a ) 와 동일 한 물질 로 형성 될 수 있 다 .