처리 층 ( B 1 ) 은 , IF 블록 ( 6 ) 으로부터 노광 장치 ( EXP ) 에서 처리 된 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 ID 블록 ( 2 ) 에 반송 한다 . 즉 , 처리 층 ( B 1 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 버퍼 부 ( PSBU 5 ) 로부터 노광 처리 가 행해진 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 그 후 , 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 수취 한 기판 ( W ) 에 대해서 도포 처리 를 행하 지 않 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 최종 적 으로 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 11 ) 에 반송 한다 . 이 송부 SN 11 ( SN 12 ) 은 , 계층 간 의 기판 반송 에 이용 된다 . 또한 , 처리 층 ( B 2 ) 은 , 버퍼 부 ( PSBU 6 ) 로부터 노광 처리 가 행해진 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 최종 적 으로 버퍼 부 ( BU 3 ) 의 이 송부 ( SN 12 ) 에 반송 한다 .