또한 , 상기 제 1 선택 적 에피택시 얼 성장 은 상기 제 1 온도 라는 제한 적 요소 뿐 만 아니 라 제 1 시간 동안 제 1 유량 의 소스 가스 를 플로우 시키 는 제한 적 요소 도 갖 는다 . 여기 서 , 상기 제 1 시간 은 후술 하 는 제 2 시간 에 비해 긴 것 이 바람직 하 고 , 상기 제 1 유량 은 후술 하 는 제 2 유량 에 비해 적 은 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 , 상기 제 1 시간 은 약 20 내지 30 초 인 것 이 바람직 하 고 , 상기 제 1 유량 은 약 70 내지 90 sccm 인 것 이 바람직 하 다 . 아울러 , 상기 제 1 유량 으로 제공 되 는 소스 가스 의 경우 에 는 획득 하 는 제 1 박막 ( 27 ) 에 따라 그 종류 를 달리 한다 . 만약 , 상기 제 1 박막 ( 27 ) 이 단결정 실리콘 박막 인 경우 에 는 상기 소스 가스 의 예 로서 SiH 4 , Si 2 H 6 , Si 3 H 8 , SiH 3 Cl , Si 2 H 2 Cl 2 , SiHCl 3 , 등 을 들 수 있 다 . 그리고 , 상기 제 1 박막 ( 27 ) 이 단결정 게르마늄 박막 인 경우 에 는 상기 소스 가스 의 예 로서 GeH 4 , GeF 4 등 을 들 수 있 다 .