이상 , 설명 한 실시 형태 와 관련 되 는 웨이퍼 의 가공 방법 은 , 웨이퍼 ( 11 ) 를 환형 프레임 ( 12 ) 의 개구 에 점착 테이프 ( 13 ) 로 고정 하 여 , 프레임 유닛 ( 1 ) 을 준비 하 는 프레임 유닛 준비 단계 와 , 에칭 챔버 ( 41 ) 내 의 정전 척 테이블 ( 6 ) ( 척 테이블 ) 에 , 프레임 유닛 ( 1 ) 의 웨이퍼 ( 11 ) 를 점착 테이프 ( 13 ) 를 통해 흡인 유지 하 는 프레임 유닛 유지 단계 와 , 환형 프레임 ( 12 ) 및 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) 을 커버 부재 ( 5 ) 로 덮 어 , 외부 공간 으로부터 차폐 하 는 차폐 단계 와 , 프레임 유닛 유지 단계 및 차폐 단계 실시 후 , 에칭 챔버 ( 41 ) 에 가스 ( 45 ) 를 공급 하 여 , 웨이퍼 ( 11 ) 를 드라이 에칭 하 는 드라이 에칭 단계 를 구비 한다 .