상방 조명 부 는 기판 위치 부 의 상방 에 설치 되 어 , 기판 표면 상 에 결함 이 있 는지 여부 를 검사 하 기 위하 여 기판 표면 에 빛 을 조사 하 는 역할 을 하 며 , 광원 부 , 반 사 부 , 집 광부 , 산란 부 로 구성 된다 . 광원 부 는 기판 표면 에 조사 되 는 빛 을 최초 로 생성 하 는 구성 요소 이 며 , 반 사 부 는 광원 부 에서 조사 되 는 빛 의 방향 을 집 광부 로 변경 시키 는 역할 을 하 며 , 기판 외관 검사 장치 의 높이 가 높 아 지 는 것 을 방지 한다 . 또한 , 집 광부 는 반사 부 로부터 조사 되 는 확산광 을 집속 하 는 역할 을 하 며 , 산란 부 는 전원 의 인가 여부 에 따라 빛 을 그대로 통과 시키 거나 산란 시켜서 기판 검사 자 의 기판 검사 를 용이 하 게 하 는 역할 을 한다 .