바람직 하 게 는 , 종래 기술 에서 초저주파 RF 전력 이 사용 되 기 때문 에 , 종래 기술 에 비해 파워 가 더 작 은 초저주파 RF 전력 을 선택 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 본 발명 에서 초저주파 RF 전력 이 4 KW 이상 이 며 , 이 는 10 kW 를 초과 하 는 더 높 은 전력 과 고주 파수 ( 1 MHz 보다 크다 ) 로 만 달성 할 수 있 는 기술 적 효과 를 달성 할 수 있 다 . 따라서 , 본 발명 에서 , 높 은 종횡비 의 식각 을 실행 할 때 , 초저주파 RF 전력 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 다 .