수소 플 라즈 마 에칭 을 위한 플라 즈 마는 다양 한 ( 낮 고 높 은 ) 주파수 들 을 사용 하 여 생성 될 수 있 다 . 적합 한 주파수 들 의 예 들 은 400 ㎑, 2 ㎒, 13 . 56 ㎒, 27 ㎒ 또는 2 . 45 ㎓ 를 포함 한다 . 플라 즈 마 생 성 에 사용 된 전력 은 일부 실시 예 들 에서 , 약 0 . 0018 내지 0 . 36 W / ㎠ 의 전력 밀도 에 대응 하 는 약 50 W 내지 1 , 000 W 의 범위 일 수 있 다 . 기판 에서 바이어스 는 선택 가능 하 고 , 바이어스 전력 은 약 0 내지 500 W 의 범위 일 수 있 다 . ( 일 300 ㎜ 웨이퍼 를 프로세싱 하 기 위해 ) 적합 한 샤워 헤드 당 가스 플로우 레이트 들 은 :