실드 부 외측 공간 ( 즉 , 분리 영역 ( D ) ) 에 마련 된 안테나 부 ( 410 ) 에 고주파 전원 을 인가 하 고 , 차 폐부 ( 300 ) 측면 의 상측 전극 부 ( 310 ) 와 , 기판 지지 부 ( 500 ) 측면 의 하측 전극 부 ( 510 ) 에 접 지 전원 을 인가 하 면 이 들 사이 공간 즉 , 실드 부 ( 200 ) 내측 공간 에 플 라즈 마가 발생 한다 . 즉 , 예 를 들 어 안테나 부 ( 410 ) 에 2 MHz 의 주파수 를 갖 고 1 . 5 KW 의 전력 을 갖 는 고주파 전원 을 공급 하 여 기판 에지 영역 에 플 라즈 마 를 발생 시킨다 .