세정 동작 을 계속 하 면서 , 펌프 캐비닛 ( 도시 되 진 않 지만 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에게 용이 하 게 이해 가능 함 ) 에 배치 된 배기 팬 에 의해 추가 로 증대 되 는 제조 설비 로부터 높 은 배기 가 견인 된다 . 다양 한 도면 들 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 의 양측 들 상 의 배기 튜브 들 이 배기 를 견인 함 에 따라 , 이 들 은 , 중앙 매니폴드 로부터 분배 되 는 가스 및 챔버 위 의 필터 유닛 들 ( 501 , 503 ) ( 도 5 참조 ) 로부터 견인 되 는 보충 청정 건조 공기 둘 모두 에 의해 균형 을 이루 는 챔버 에서 의 음 의 유동 을 생성 한다 . 가스 의 압력 및 유동 제어 를 통해 두 시스템 들 모두 의 균형 을 이룸 으로써 , 세정 및 건조 동작 들 동안 , 챔버 내 에서 개선 된 또는 최적 의 수분 제어 환경 이 달성 된다 .