본 발명 에 따른 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 는 안테나 , 적어도 하나 의 윈도우 , 적어도 하나 의 윈도우 를 지지 하 는 윈도우 프레임 , 유전체 창 을 수용 하 고 유전체 창 의 배치 위치 를 기준 으로 상호 독립 적 으로 구획 되 며 진공 분위기 로 기판 이 공정 처리 되 는 공정 공간 이 형성 된 제 1 챔버 및 대기압 분위기 로 안테나 를 수용 하 는 수용 공간 이 형성 된 제 2 챔버 를 갖 는 챔버 , 안테나 가 수용 공간 으로 인입 및 수용 공간 으로부터 인출 되 는 제 2 챔버 의 개방 영역 을 커버 하 는 리드 ( lid ) , 일 측 은 유전체 창 에 연결 되 고 타 측 은 리드 와 결합 및 분리 가능 하 게 연결 되 며 유전체 창 의 자중 에 의한 처짐 을 제한 하 는 복수 개 의 서포터 및 리드 의 하부 배치 되 고 수용 공간 에 수용 되 는 안테나 와 리드 를 상호 연결 하 여 유전체 창 의 판면 으로부터 일정 간격 을 두 고 안테나 를 유지 시키 는 복수 개 의 서 스펜 딩 ( suspending ) 부를 포함 하 며 , 안테나 는 리드 와 복수 개 의 서포터 가 상호 분리 될 때 수용 공간 으로부터 리드 와 일체 로 이탈 되 는 것 을 특징 으로 한다 .