도 6 은 요부 ( 5 ) 의 OM 이미지 를 도시 하 는데 , 이것 은 실리콘 의 기판 ( 3 ) 상 에 증기 증착 된 금 의 전극 ( 21 ) 에 걸쳐 SU 8 포토레지스트 의 추가 의 층 ( 4 ) 의 포토 리소그래피 를 이용 하 여 형성 된 것 이 다 . 마찬가지 로 , 도 7 a 및 도 7 b 는 유사 하 게 제조 된 요부 ( 5 ) 의 3 D 및 2 D LP 프로 파일 들 이 다 . 도 8 a 및 도 8 b 는 은의 코팅 ( 38 ) 을 형성 하 는 전기 도금 이후 에 같 은 요부 ( 5 ) 의 3 D 및 2 D LP 프로 파일 들 이 다 . 이 들 이미지 들 은 포토 리소그래피 가 요부 의 기하 형상 및 치수 들 의 높 은 정도 의 제어 를 제공 한다는 점 을 나타낸다 .