절연성 분리 패턴 ( 335 ) 은 제 2 개 구 ( 260 ) 내부 에 형성 되 어 상기 제 3 방향 으로 연장 될 수 있 으며 , 제 2 층간 절 연막 ( 330 ) 의 저면 과 접촉 할 수 있 다 . 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 은 제 2 층간 절 연막 ( 330 ) 과 일체 적 으로 형성 될 수 있 으며 ( 도 18 a 참조 ) , 이 에 따라 제 2 층간 절 연막 ( 330 ) 으로부터 상기 제 1 방향 으로 돌출 된 것 으로 볼 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 은 상기 제 2 방향 으로 서로 이웃 하 는 2 개 의 CSL 들 ( 310 ) 사이 에서 상기 제 2 방향 을 따라 서로 이격 되 도록 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 도면 상 에서 는 서로 이웃 하 는 2 개 의 CSL 들 ( 310 ) 사이 에 형성 된 2 개 의 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 이 도시 되 어 있 으나 , 본 발명 의 개념 은 이 에 한정 되 지 는 않 는다 .