현재 까지 알려진 다공성 실리카 분말 의 제조 방법 은 다음 과 같 다 . 일본 공개 특허 제 1958 - 410777 , 소 62 - 3011 호 는 사염화규소 등 을 원료 로 한 기상 분 해법 으로 제조 하 였 다 . 상기 일본 공개 특허 제 1958 - 410777 , 소 62 - 3011 호 는 반응 시 유독 성 과 부식성 , 그리고 입자 표면 에서 만 의 기공 형성 등 의 단점 이 있 다 .