저해 층 ( 104 ) 은 , Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 일부 를 덮 는 피복 영역 과 , 피복 영역 의 내부 에 Si 웨이퍼 ( 102 ) 를 덮 지 않 는 개구 영역 ( 106 ) 을 갖 는다 . 즉 , Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 일부 가 저해 층 ( 104 ) 으로 덮인 영역 은 피복 영역 의 일례 여도 좋 고 , 저해 층 ( 104 ) 의 중앙부 에 는 Si 웨이퍼 ( 102 ) 를 덮 지 않 는 개구 영역 ( 106 ) 이 형성 된다 . 하나 의 개구 영역 ( 106 ) 의 면적 으로서 , 1 ㎜ 2 이하 를 예시 할 수 있 고 , 바람직 하 게 는 0 . 25 ㎜ 2 미만 을 예시 할 수 있 다 .