프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 되 는 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 축심 으로부터 의 편심 량 이 허용 범위 내 에 있 는 경우 에 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 웨이퍼 W 의 주연 부 의 연마 를 실행 한다 ( 도 20 의 스텝 10 참조 ) . 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 되 는 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 축심 으로부터 의 편심 량 이 허용 범위 밖 인 경우 에 는 , 도 2 및 도 3 을 참조 하 여 설명 된 바 와 같이 , 센터 링 동작 의 횟수 N 이 반복수 NA 에 도달 할 때 까지 , 센터 링 동작 을 반복 한다 .