상기 수평 구 조체 ( HS ) 를 형성 하 는 단계 는 상기 리세 스 영역 들 ( 205 , 210 ) 을 차례 로 채우 는 수평 막 및 도전 막 을 차례 로 형성 한 후 , 상기 트렌치 들 ( 200 ) 내 에서 상기 도전 막 을 제거 하 여 상기 리세 스 영역 들 ( 205 , 210 ) 내 에 상기 도전 패턴 ( 230 ) 을 남기 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .