본 발명 은 연마 입자 , 초 순수 및 분산제 를 마련 하 는 단계 , 상기 연마 입자 , 초 순수 및 분산제 의 혼합물 을 밀링 하 는 단계 및 상기 혼합물 을 숙성 하 여 슬러리 를 안정 화 시키 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 숙성 공정 을 통해 상기 연마 입자 의 평균 입도 를 80 내지 300 ㎚ 로 제어 하 는 것 을 특징 으로 하 는 연마 용 슬러리 의 제조 방법 및 이 에 따라 제조 된 것 을 특징 으로 하 는 연마 용 슬러리 를 제공 한다 .