LM 가이드 와 , 이 LM 가이드 와 나란 하 게 설치 된 스크류바 와 , 이 스크류바 를 회동 시키 기 위한 구동 모터 와 , 상기 스크류바 에 나사 맞춤 됨 과 동시 에 상기 LM 가이드 에 접속 된 이동 블럭 으로 이루어진 구동 부 ; 및 상기 이동 블럭 에 고정 된 그립 플레이트 와 , 상기 이동 블럭 에 고정 되 고 , 전방 으로 파지 플레이트 를 전 , 후진 시키 는 실린더 로 이루어진 파지 부를 포함 하 는 마스크 파지 장치 로서 달성 된다 .