제 1 도 전막 ( 22 ) 은 제 1 원소 와 제 2 원소 가 혼합 된 혼합물 로 형성 하 기 위해 물리 기상 증착 법 ( PVD ) 을 사용 하 여 형성 한다 . 구체 적 으로 , 제 1 도 전막 ( 22 ) 은 스퍼터링 법 ( Sputtering ) 을 사용 하 여 형성 한다 . 제 1 도 전막 ( 22 ) 은 5 nm 내지 100 nm 범위 의 두께 를 갖 도록 형성 할 수 있 다 .