또한 , 불 산 에 의해 제 1 게이트 절 연막 패턴 ( 22 C ) 및 기판 ( 21 ) 의 계면 특성 이 향상 되 어 핫 캐리어 면역 ( Hot Carrier Immunity ) 등 의 신뢰 성 도 향상 되 고 , 불 산 은 제 1 게이트 절 연막 패턴 ( 22 C ) 의 단독 층 또는 제 1 게이트 절 연막 패턴 ( 22 C ) 과 제 2 게이트 절 연막 패턴 ( 22 D ) 의 적층 구조 와 관계없이 침투 하 기 때문 에 게이트 재산 화시 제 1 게이트 절 연막 패턴 ( 22 C ) 의 두께 가 증가 되 지 않 은 부분 을 충분히 커버 할 수 있 다 .