보정 용 계수 데이터 를 재 계산 및 갱신 하 는 간격 은 , 빔 위치 이탈 량 의 변화 가 묘화 정밀도 에 영향 을 주 지 않 을 정도 로 설정 한다 . 예 를 들 면 , 기판 표면 의 높이 의 변화 율 이 작 은 경우 에 는 , 복수 의 스트라이프 영역 ( 34 ) 마다 보정 용 계수 데이터 를 재 계산 한다 . 기판 표면 높이 의 변화 율 이 큰 경우 에 는 , 1 개 의 스트라이프 영역 ( 34 ) 을 복수 로 분할 한 영역 ( 단 , 멀티 빔 의 빔 어레이 치수 보다 는 큰 영역 ) 마다 보정 용 계수 데이터 를 재 계산 한다 .