상기 고리 내 질소 를 포함 하 는 3 차 아민 은 본 발명 의 금속 막 식각 액 조성물 총 중량 에 대하 여 , 0 . 5 ~ 3 중량 % 포함 될 수 있 다 . 고리 형 3 차 상기 범위 내 로 포함 할 경우 , 실리콘 산화 막 을 효과 적 으로 보호 할 수 있 으며 , 실리콘 저 매 늄 식각 속도 가 저하 되 는 문제점 을 해결 할 수 있 다 . 또한 , 산 과 반응 하 여 발열 반응 이 일어나 는 문제점 을 해결 할 수 있 다 .