빔 전 류량 측정 공정 ( S 122 ) 으로서 , 묘 화 제 어부 ( 118 ) 의 제어 에 의하 여 , 멀티 빔 의 각 빔 을 1 개 씩 패러데이 컵 ( 107 ) 에 조사 하 여 , 각 빔 의 전 류량 을 측정 한다 . 멀티 빔 의 개개 의 빔 의 전 류량 은 , 성형 애퍼처 부재 를 조명 하 는 빔 의 전류 밀도 의 분포 또는 , 성형 애퍼처 부재 의 개구 의 편차 또는 분포 에 의하 여 , 균일 하 지 않 다 . 이 에 , 빔 마다 의 전 류량 을 구하 여 , 그 차이 를 노광 시간 으로 보정 할 필요 가 있 다 . 대상 빔 을 빔 온 으로 하 고 , 그 밖 의 빔 은 빔 오프 가 되 도록 , 블 랭킹 플레이트 ( 204 ) 를 동작 시키 면 된다 . 근접 하 는 복수 의 빔 을 동시 에 온 으로 하 고 , 이 들 전 류량 의 합계 를 측정 해도 된다 . 또한 상술 한 바 와 같이 , 각 빔 의 조사 위치 는 위치 이탈 량 을 가지 고 있 으나 , 통상 , 패러데이 컵 ( 107 ) 의 입사 구 는 , 빔 어레이 의 사이즈 보다 충분히 크 므로 , 측정 에 영향 은 없 다 .