조작 계 는 , 조작 인터페이스 ( 41 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 . 도 2 에 본 실시 예 에서 사용 한 시료 의 단면도 를 나타낸다 . 플러그 ( 51 ) 는 , 실리콘 기판 ( 53 ) 으로부터 전기 적 으로 부유 ( 浮遊 ) 하 고 있 는 배선 ( 52 ) 에 컨 택트 하 고 있 다 . 플러그 ( 54 ) 는 완전히 배선 ( 52 ) 에 컨 택트 하 고 있 지 않 은 결함 플러그 이 다 . 플러그 ( 55 ) 는 전기 저항 을 갖 고 배선 ( 52 ) 과 결합 하 고 있 는 결함 플러그 이 다 . 본 실시 예 에서 는 , 상기 2 종류 의 결함 을 분류 , 검사 한다 .