샘플 6 내지 11 로부터 형성 된 테스트 타워 의 치수 정밀도 를 아래 에 설명 된 곡률 반 경법 을 사용 하 여 측정 하 였 다 . 또한 , 테스트 타워 의 모서리 에서 의 뒤틀림 을 측정 하 여 샘플 6 내지 11 의 테스트 타워 에 대한 뒤틀림 플롯 을 얻 었 다 . 실험 데이터 는 도 5 및 도 6 ( a ) 내지 ( d ) 를 참조 하 여 하 기 표 10 에 요약 한다 .