[ 0036 ] 프로파일 ( 320 a ) 은 기판 의 에지 지역 이 기판 의 중심부 와 비교 하 여 프로세싱 가스 / 플 라즈 마 에 더 많 은 노출 을 수용 하 는 것 을 나타내 는 강한 에지 성능 ( edge intense performance ) 이 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에서 , 기판 ( 301 ) 의 상단 표면 과 상단 플레이트 ( 310 ) 의 에지 표면 사이 의 포지티브 ( positive ) 높이 차이 ( 313 a ) 는 320 a 와 유사 한 에지 성능 을 달성 하 는 데 사용 된다 .