이상 에서 상세히 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마장 치 의 연마 패드 제작 방법 에 의하 면 이 형성 몰드 를 사용 함 으로써 피연 마물 과 반대 의 형상 을 지닌 연마 패드 를 신속 하 게 제작 할 수 있 고 또한 이러 한 역 형상 의 연마 패드 를 사용 함 으로써 더욱 높 은 연마 속도 를 얻 을 수 있 는 효과 가 있 다 .