전극 물질 은 전극 으로부터 스퍼터링 되 고 벤 틸 레이터 기류 로 유입 될 수 있 으며 , 이 는 전극 물질 이 독성 인 경우 환자 에게 해로울 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 전극 조립 체 접지 전극 쉘 은 비 독성 강철 및 / 또는 철 로 제조 될 수 있 다 . 철 및 강철 도 자성 이 므로 , 스퍼터링 된 자성 전극 입자 를 수집 하 기 위해 자석 이 전극 조립 체로 부터 하류 에 시스템 에 배치 될 수 있 다 .