[ 0062 ] 플라 즈 마 소스 전력 은 한 세트 의 코일 안테나 들 에 의해 프로세싱 구역 ( 501 ) 내 에 유도 성 커플링 되 며 , 그 한 세트 의 코일 안테나 들 은 내측 코일 안테나 ( 540 ) , 중간 코일 안테나 ( 550 ) , 및 선택 적 으로 는 외측 또는 측 부 코일 안테나 ( 560 ) 를 포함 하 고 , 이 들 안테나 들 모두 는 서로 에 대하 여 동심 으로 배치 되 고 , 측벽 ( 505 ) 의 대칭 축 과 동축 이 다 . 덮개 조립 체 ( 510 ) 는 디스크 - 형상 유전체 윈도우 ( 512 ) 를 포함 하 며 , 그 디스크 - 형상 유전체 윈도우 ( 512 ) 를 통해 , 내측 코일 안테나 ( 540 ) 및 중간 코일 안테나 ( 550 ) 가 RF 플 라즈 마 소스 전력 을 프로세싱 구역 ( 501 ) 내 에 유도 성 커플링 시킨다 . 디스크 - 형상 유전체 윈도우 ( 512 ) 는 그 주변 부 에서 환상 상단 가스 플레이트 ( 523 ) 에 의해 지지 된다 . 환상 상단 가스 플레이트 ( 523 ) 는 개구 ( 504 ) 를 둘러싼다 . 디스크 - 형상 유전체 윈도우 ( 512 ) 는 측벽 ( 505 ) 과 동축 이 고 , 그리고 기판 지지 표면 ( 521 ) 의 평면 과 평행 한 디스크 - 평면 을 갖 는다 . 측 부 코일 안테나 ( 560 ) 는 원통형 유전체 측 부 윈도우 ( 506 ) 를 통해 RF 플 라즈 마 소스 전력 을 프로세싱 구역 ( 501 ) 내 에 유도 성 커플링 시킨다 .