또 , 세라믹스 판 ( 1010 ) 의 내부 에 는 , 도전 성 재료 ( 예 를 들 어 , 텅스텐 이나 몰리브덴 등 ) 에 의해 형성 된 저항 발열체 로 구성 된 히터 ( 1050 ) 가 형성 되 어 있 다 . 히터 ( 1050 ) 에 전원 ( 도시 생략 ) 으로부터 전압 이 인가 되 면 , 히터 ( 1050 ) 가 발열 함 으로써 세라믹스 판 ( 1010 ) 이 데워 져 , 세라믹스 판 ( 1010 ) 의 흡 착면 ( S 1 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 1500 ) 가 데워 진다 . 이 로써 , 웨이퍼 ( 1500 ) 의 온도 제어 가 실현 된다 . 또한 , 히터 ( 1050 ) 는 , 세라믹스 판 ( 1010 ) 의 흡 착면 ( S 1 ) 을 가능 한 한 골고루 데우 기 위해 , 예 를 들 어 Z 방향 에서 보 았 을 때 대략 동심원 상 으로 배치 되 어 있 다 .