이어서 , 생 데이터 의 집합체 로부터 , 학습 완료 모델 을 구축 ( 및 갱신 ) 하 기 위하 여 필요 한 학습 용 데이터 세트 를 제작 한다 . 가령 , 판정 기준 을 과잉 으로 엄격 하 게 설정 한 경우 , 웨이퍼 W 의 릴리스 성공 률 은 높 아 지 지만 , 제 어 장치 ( 5 ) 에 의한 에러 판정 의 비율 도 높 아 져 버린다 . 결과 로서 , 기판 처리 장치 의 스루풋 은 저하 되 어 버린다 . 반대 로 , 판정 기준 을 과잉 으로 완만 하 게 설정 한 경우 , 제 어 장치 ( 5 ) 에 의한 에러 판정 의 비율 은 저하 되 지만 , 웨이퍼 W 의 릴리스 성공 률 도 낮 아 져 버린다 . 결과 로서 , 기판 처리 장치 의 스루풋 은 저하 되 어 버린다 .