실시 예 3 - 1 의 산화물 박막 이외 에 , 실시 예 3 - 1 의 성막 조건 중 산소 농도 비 를 0 . 8 ％, 0 ％ 로 변경 함 으로써 2 종류 의 캐리어 농도 의 산화물 박막 을 제조 하 여 , 전부 3 종류 의 산화물 박막 을 준비 하 였 다 . 이 들 산화물 박막 에 대해 표 2 에 기재 된 바 와 같이 적절히 어닐링 조건 을 변경 하 여 어닐링 을 실시 하 였 다 . 어닐링 후 의 막 의 캐리어 농도 는 표 2 에 기재 된 바 와 같 다 .