더욱이 , 삼중 결합 을 경화 성 수지 의 분자 사이 가 교기 로서 적용 하 고 있 는 재료 가 알려져 있 다 . 예컨대 특허 문헌 5 ∼ 10 등 이 알려져 있 다 . 이 들 재료 에서 는 , 상술 한 메틸 올 유래 의 가교 뿐 만 아니 라 삼중 결합 의 중합 에 의한 가교 에 의해 , 용제 내성 을 갖 는 경화 막 이 형성 되 고 있 다 . 그러나 , 이 들 유기 막 형성 용 재료 는 기판 에 형성 된 패턴 의 매립 특성 이나 평탄 화 특성 이 충분 하 지 않 았 다 .