본 발명 은 , 제 4 관점 에서 보 면 , 에너지 빔 의 조사 에 의해 물체 에 패턴 을 형성 하 는 노광 장치 로서 , 상기 물체 에 상기 에너지 빔 을 조사 하 는 패 터닝 장치 와 ; 본 발명 의 제 1 , 제 2 이 동체 구동 시스템 중 어느 하나 를 구비 하 고 , 상기 에너지 빔 과 상기 물체 의 상대 이동 을 위해서 , 상기 이 동체 구동 시스템 에 의한 상기 물체 가 탑재 되 는 이 동체 의 구동 을 실시 하 는 제 1 노광 장치 이 다 .