얇 은 블록 킹 층 은 부분 적 으로 질화 될 수 있 다 . 그러므로 화학 양론 적 인 형태 가 아니 라 MNy 타입 의 서브 화학 양론 적 인 형태 로 증착 되 는데 , 여기 서 M 은 물질 을 나타내 고 , y 는 질화물 의 화학 양론 미만 의 수 이 고 , y 는 바람직 하 게 는 질화물 의 통상 의 화학 양론 의 0 . 75 배 내지 0 . 99 배 이 다 .