자기 흡착 척 ( 307 ) 의 척 본체 ( 307 x ) 는 , 사각 형상 의 틀 체 ( 307 x 1 ) 에 마스크 ( M ) 에 형성 된 차폐 패턴 에 대응 하 는 패턴 의 격자 형상 의 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 과 , 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 에 부착 되 는 흡착 마그넷 ( 31 ) ( 도 9 내지 도 14 ) 을 포함 하 는 자기 흡착 기구 를 구비 한 구성 으로 되 어 있 다 . 흡착 마그넷 ( 31 ) 은 , 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 에 요크 판 ( 30 ) ( 도 9 내지 도 14 ) 을 통하 여 격자 를 따라 S 극 , N 극 의 마그넷 이 교대 로 라인 형상 으로 배열 되 어 있 다 . 자기 흡착 기구 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 .