상기 의 도 11 및 도 12 에 나타낸 XY θ 이동 스테이지 에 있 어서 , 평면 플레이트 ( 6 ) 에 놓여 지 는 기판 ( 워크 ) 이 대형 화 하 여 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 이동 범위 가 커지 면 , 추력 발생 수단 ( 2 ) 이 3 개 밖에 배치 되 어 있 지 않 은 경우 는 , 도 17 에 나타낸 바 와 같이 , 평면 플레이트 ( 6 ) 가 그 이동 범위 의 단 까지 이동 하 면 , 3 개 의 추력 발생 수단 ( 2 ) 은 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 단부 에 위치 하 게 된다 . 이러 한 위치 관계 에서 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 를 이동 시키 기 위해서 힘점 이 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 모서리 ( 도 17 에서 는 평면 플레이트 ( 6 ) 의 좌측 아래 ) 가 되 므로 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 힘점 부근 의 미소 한 이동 이 , 대각선 상 의 반대 측 ( 도 17 에서 는 평면 플레이트 ( 6 ) 의 우측 위 ) 에서 는 큰 이동 이 되 어 나타나 므로 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 미소 한 이동 제어 가 곤란 해진다 . 또한 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 이 동시 , 큰 모멘트 가 생기 므로 , 추력 발생 수단 ( 2 ) 은 , 평면 스테이지 ( 5 ) 를 제동 하 기 위해서 매우 큰 힘 이 필요 해 지 고 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 미소 한 이동 제어 가 점점 더 곤란 해진다 .