상기 지지 부 ( 210 ) 는 웨이퍼 링 ( 26 ) 을 지지 한다 . 구체 적 으로 , 상기 칩 들 ( 20 ) 로 분할 된 웨이퍼 ( 22 ) 가 시트 ( 24 ) 에 부착 되 고 , 상기 시트 ( 24 ) 의 가장자리 를 따라 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 이 장착 된다 . 상기 칩 들 ( 20 ) 은 상기 전극 이 구비 된 면 이 상기 시트 ( 24 ) 에 접착 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 지지 부 ( 210 ) 는 상기 칩 들 ( 20 ) 을 지지 할 수 있 다 .