반면 에 , 루테늄 산화 막 상 에서 는 유전 막 이 증착 공정 시 상술 한 바 와 같 은 우선 배향 성 을 갖 고 결정 화 되 어 등 가 산화 막 두께 를 8 Å 이하 로 낮추 는데 유리 할 뿐 만 아니 라 , 일함수 ( work funtion ) 값 이 5 . 2 eV 수준 으로 루테늄 막 ( 4 . 8 eV ) 에 비해 크 다 . 이 로써 , 쇼트 키 장벽 높이 ( schottky barrier height ) 가 커서 누설 전류 억제력 이 우수 하 다 .