도 12 를 참조 하 면 , 회절 격자 ( 113 ) 아래 의 반도체 기판 ( 100 ) 내 에 복수 의 반사체 들 ( 235 ) 이 배치 된다 . 상기 반사체 들 ( 235 ) 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 대하 여 경사진 반사면 을 포함 한다 . 상기 각 반사체 들 ( 235 ) 의 폭 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 과 평행 한 일 방향 을 따라 갈수록 증가 된다 . 상기 반사체 들 ( 235 ) 의 아랫부분 들 은 서로 연결 될 수 있 다 . 상기 반사체 들 ( 235 ) 은 도 9 의 반사체 ( 220 a ) 와 동일 한 물질 로 형성 될 수 있 다 .