그런데 , 상기 와 같 은 대 규모 이 면서 고속 으로 분석 을 가능 하 게 하 는 DNA 마이크 로 어레이 를 제조 하 기 위해서 는 , 마이크 로 어레이 제작 용 기판 상의 DNA 쇄 의 고정 이 미소 공간 에 대하 여 위치 선택 적 으로 또한 박리 등 의 문제 를 일으키 지 않 도록 행해야 한다 . DNA 를 비롯 한 생물 기능 분자 의 분석 을 위해 , 이 들 을 금속 상 에 2 차원 적 으로 고정 화 시키 는 방법 은 , 금 표면 상 에서 황 원자 의 특이 적 흡착 을 사용 하 는 방법 이 알려져 있 고 , 예 를 들 면 특허 문헌 1 에 도 기재 되 어 있 다 . 한편 , 고정 화 된 분자 가 박리 를 일으키 지 않 으면서 확실 하 게 효소 를 반도체 상 에 고정 시키 도록 , 기판 상 에 산화 규소 쇄 를 갖 는 단분자막 을 형성 하 고 , 규소 원자 로부터 신장 되 는 알킬 쇄 에 효소 를 고정 시키 는 방법 은 상당히 이전 부터 알려져 있 고 , 특허 문헌 3 에 개시 되 어 있 다 . 또한 , 이 방법 은 상기 특허 문헌 2 에서 도 적용 가능 한 것 으로 언급 되 어 있 다 .