이상 의 스퍼터링 과정 은 챔버 ( 410 ) 내부 가 일정 수준 의 고진공 상태 ( 10 - 7 mtorr 이상 ) 로 조절 된 상태 에서 수행 될 수 있 다 . 또한 , 챔버 ( 410 ) 내부 는 아르곤 ( Ar ) , 크립톤 ( Kr ) , 크세논 ( xenon ) 으로 이루어진 군 에서 선택 된 어느 하나 를 포함 하 는 가스 분위기 로 조절 될 수 있 다 . 이 는 원활 한 글 로 방전 ( Glow discharge ) 을 형성 하 여 효율 적 인 스퍼터링 공정 을 수행 하 기 위한 조건 이 다 .