연마 용 조성물 이 그대로 연마 액 으로서 사용 되 는 경우 , 염기 성 화합물 의 함유량 은 , 연마 용 조성물 에 대하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 01 중량 ％ 이상 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 05 중량 ％ 이상 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 1 중량 ％ 이상 이 다 . 이러 한 범위 이 면 , 높 은 연마 속도 를 유지 할 수 있 기 때문 에 , 조 연마 공정 에 있 어서 적합 하 게 사용 할 수 있 다 . 또한 , 염기 성 화합물 의 함유량 의 증가 에 의해 , 안정 성 도 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 연마 용 조성물 이 그대로 연마 액 으로서 사용 되 는 경우 , 상기 염기 성 화합물 의 함유량 의 상한 은 , 1 중량 ％ 이하 로 하 는 것 이 적당 하 고 , 표면 품질 등 의 관점 에서 , 바람직 하 게 는 0 . 5 중량 ％ 이하 이 다 . 또한 , 2 종 이상 을 조합 하 여 사용 하 는 경우 에 는 , 상기 함유량 은 2 종 이상 의 염기 성 화합물 의 합계 함유량 을 가리킨다 .