도 6 에서 도시 한 바 와 같이 , 위치 센서 ( 140 ) 는 길 이 조절 이 가능 하 도록 센 서조 절부 ( 160 ) 가 더 구비 되 는 것 으로 , 상기 센 서조 절부 ( 160 ) 는 제 1 위치 센서 ( 142 ) 와 제 2 위치 센서 ( 144 ) 의 길 이 조절 을 각각 할 수 있 어 다양 한 크기 의 웨이퍼 ( 1 ) 에 도 로 봇 암 ( 100 ) 을 사용 할 수 있 도록 호환 성 을 향상 시키 는 것 이 다 .