이러 한 웨이퍼 이송 동작 중 혹은 동작 이 이루어지 지 않 는 상태 에서 실린더 의 수리 가 필요 한 경우 체결 공 ( 64 ) 을 통해 타 장치 와 결합 된 상태 를 해 체한 후 실린더 몸체 ( 50 ) , 상부 캡 ( 60 ) 및 하부 캡 ( 70 ) 을 분리 하 여 적절 한 조치 를 취한 후 다시 이 들 구성 부분 들 을 재결합 하 여 체결 공 ( 64 ) 을 통해 타 장치 와 결합 시키 면 된다 .