상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 처리 방법 은 로드 락 챔버 , 기판 처리 공정 을 수행 하 는 제 1 처리 유닛 과 , 상기 로드 락 챔버 와 멀 어 지 는 방향 으로 상기 제 1 처리 유닛 에서 연장 되 는 제 2 처리 유닛 을 구비 하 여 기판 을 처리 하 되 , 상기 로드 락 챔버 와 상기 제 1 처리 유닛 에 구비 되 는 공정 챔버 상호 간 의 기판 이송 은 상기 제 1 처리 유닛 에 제공 되 는 하나 의 로봇 에 의해 이루어지 고 , 상기 로드 락 챔버 와 상기 제 2 처리 유닛 상호 간 의 기판 이송 은 상기 제 1 처리 유닛 에 설치 되 는 다른 하나 의 로봇 에 의해 이루어진다 .