상기 플 라즈 마 발생 장치 는 제 1 케이스 ; 상기 제 1 케이스 의 일면 을 관통 하 여 고정 되 며 , 상기 가스 공급 라인 과 연결 되 어 상기 가스 의 전달 경로 를 제공 하 는 가스유 입구 가 형성 된 외부 연결기 ; 일 측 이 개구 되 고 타 측 이 밀폐 되 어 투광 부 를 형성 하 는 관 형태 로 형성 되 고 , 개구부 가 상기 외부 연결기 의 상기 가스유 입구 를 통해 가스 를 제공 받 아 수용 하 는 사파이어 튜브 ; 상기 사파이어 튜브 의 상기 투 광부 에 상기 제 1 케이스 의 타면 을 관통 하 여 고정 되 는 어댑터 ; 상기 사파이어 튜브 에 자계 를 형성 하 기 위해 상기 사파이어 튜브 와 나란 한 방향 으로 배치 되 는 자계 발생기 ; 상기 사파이어 튜브 에 고주파 신호 를 공급 하 기 위한 코일 ; 및 상기 고주파 신호 를 생성 하 고 , 상기 코일 과 전기 적 으로 연결 되 어 상기 고주파 신호 를 상기 코일 에 제공 하 는 고주파 발생 부 ; 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .