지지 유닛 ( 310 ) 은 기판 ( W ) 을 지지 및 회전 시킨다 . 지지 유닛 ( 310 ) 은 지지 플레이트 ( 312 ) 및 회전 구동 부재 ( 313 ) 를 포함 한다 . 지지 플레이트 ( 312 ) 는 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 지지 플레이트 ( 312 ) 는 원형 의 판 형상 을 가지 도록 제공 될 수 있 다 . 지지 플레이트 ( 312 ) 는 기판 ( W ) 보다 작 은 직경 을 가질 수 있 다 . 지지 플레이트 ( 312 ) 의 지지 면 에 는 흡착 홀 ( 316 ) 이 형성 되 며 , 흡착 홀 ( 316 ) 에 는 음압 이 제공 될 수 있 다 . 기판 ( W ) 은 음압 에 의해 지 지 면 에 진공 흡착 될 수 있 다 .