검사 부 ( 300 ) 는 검사 대상 ( S ) 의 외관 에 대한 이미지 를 촬상 할 수 있 다 . 검사 부 ( 300 ) 는 예컨대 , CCD 카메라 일 수 있 다 . 물론 , 검사 부 ( 300 ) 가 CCD 카메라 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예컨대 , 검사 부 ( 300 ) 는 sCMOS ( Scientific CMOS ) 카메라 와 같 은 고성능 의 CMOS 카메라 일 수 도 있 다 . 더 나아가 , 검사 부 ( 300 ) 는 검사 대상 ( S ) 으로부터 반사 된 광 을 수 광 하 여 검사 대상 ( S ) 의 결함 을 검출 할 수 있 는 모든 종류 의 센서 또는 디텍터 를 포함 할 수 있 다 .