예컨대 세로 형 의 열처리로 를 구비 하 는 세로 형 열처리 장치 에서 는 , 웨이퍼 보우 트라고 불리 는 기판 유지 구 에 다 수매 의 기판 을 선반 형 으로 유지 하 고 , 이 웨이퍼 보우 트 를 열처리로 내 에 반입 하 여 성막 처리 를 행한다 . 그런데 , 기판 의 성막 처리 는 , 예컨대 성막 해야 할 박막 의 종류 , 막 두께 등 에 따라서 , 설정 압력 , 히터 설정 온도 , 가스 유량 등 의 처리 조건 으로 이루어진 처리 레시피 ( 처리 파라미터 의 설정 치 ) 에 기초 하 여 행해 지 도록 되 어 있 다 .