멤 스 ( MEMS : Micro Electro Mechanical System ) 는 초 소형 전기 기계 시스템 또는 소자 를 말 하 며 , 멤 스 ( MEMS ) 기술 은 반도체 제조 기술 을 이용 해 실리콘 기판 위 에 3 차원 의 구조물 을 형성 하 는 기술 이 다 . 이러 한 멤 스 ( MEMS ) 는 다양 한 응용 분야 의 하나 로서 광학 분야 에 응용 되 고 있 다 . 멤 스 ( MEMS ) 기술 을 이용 하 면 1 mm 보다 작 은 광학 부품 을 제작 할 수 있 으며 , 이 를 통해 초 소형 광 시스템 을 구현 할 수 있 다 . 초소형 광 시스템 에 해당 하 는 광변조기 소자 , 마이크 로 렌즈 등 의 마이크 로 광학 부품 은 빠른 응답 속도 와 작 은 손실 , 집적 화 및 디지털 화 의 용이성 등 의 장점 으로 인하 여 통신 장치 , 디스플레이 및 기록 장치 에 채택 되 어 응용 되 고 있 다 .