그리고 , 웨이퍼 반 출입 수단 ( 56 ) 에 있 어서 는 , 흡 인원 으로 유지 편 ( 72 ) 의 편면 에 흡인력 을 생성 하 는 것 에 의해 유지 편 ( 72 ) 의 편면 에서 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 고 , 또한 , 액 츄 에 이터 로 다 관절 암 ( 70 ) 을 작동 시키 는 것 에 의해 , 유지 편 ( 72 ) 의 편면 에서 흡인 유지 한 연삭 가공 전 의 웨이퍼 ( W ) 를 제 1 카세트 ( 52 a ) 로부터 임시 배치 수단 ( 58 ) 에 반출 하 고 , 또한 , 유지 편 ( 72 ) 의 편면 에서 흡인 유지 한 연삭 가공 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 세정 수단 ( 66 ) 으로부터 제 2 카세트 ( 52 b ) 에 반입 하 도록 되 어 있 다 .