한편 , 상술 한 LRW 공정 은 낮 은 배선 저항 을 만족 하 는 반면 에 그레인 사이즈 ( size ) 의 균일성 ( uniformity ) 과 모 폴 로지 ( morphology ) 특성 이 우수 하 지 못하 여 비트 라인 ( bit - line ) 을 형성 하 기 위한 패 터닝 ( Patterning ) 공정 시 에러 ( Error ) 의 발생 과 상대 적 으로 취약 한 특정 부위 에서 페일 ( fail ) 이 발생 한다 .