여기 서 , 상기 입사각 가변 부 는 상기 광 의 입사각 을 가변 시키 도록 상기 마스크 스테이지 를 회전 시키 는 제 1 구 동부 와 , 상기 제 1 구 동부 와 전기 적 으로 연결 되 는 제 어부 를 구비 하 되 , 상기 제 어부 는 상기 광 의 입사각 이 , 원 하 는 각도 로 되 도록 상기 제 1 구 동부 의 동작 을 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .