상기 금속 원자 를 함유 하 는 금속 불순물 은 , 연마 액 중 에 첨가 되 어도 되 고 , 연마 액 의 제조 공정 에 있 어서 불가피 하 게 약액 중 에 혼합 되 는 것 이 어도 된다 . 연마 액 의 제조 공정 에 있 어서 불가피 하 게 혼합 되 는 경우 로서 는 , 예 를 들 면 상기 금속 원자 를 함유 하 는 금속 불순물 이 , 연마 액 의 제조 에 이용 하 는 원료 ( 예 를 들 면 , 유기 용제 ) 에 함유 되 어 있 는 경우 , 및 연마 액 의 제조 공정 에서 혼합 되 는 ( 예 를 들 면 , 컨 테미 네이션 ) 등 을 들 수 있 지만 , 상기 에 제한 되 지 않 는다 .