상기 조사 에 사용 되 는 광원 은 190 ∼ 450 nm 영역 의 UV 광선 , 전자선 및 X 선 일 수 있 으며 , 예컨대 g 라인 ( 파장 : 436 ㎚), i 라인 ( 파장 : 365 ㎚) 등 을 사용 할 수 있 다 . 상기 포토 마스크 는 광선 을 차광 시키 기 위한 것 으로 , 포토 마스크 의 형태 에 따라 노광 부 / 비노 광부 의 영역 이 정의 된다 .