제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 압력 이 공정 압력 에 도달 하 면 , 제 2 플레이트 ( 240 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 기 설정 된 온도 로 가열 한다 . 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 면 , 제 1 공정 ( 에칭 ) 후 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 남 아 있 는 물질 들 은 증발 ( vaporization ) 하 며 , 기체 상태 로 제 2 배기 라인 ( 260 ) 을 통해 외부 로 배출 된다 .