따라서 , 종래 에 는 이 를 보완 하 기 위하 여 도 1 c 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 소자 분리 막 ( 130 ) 의 내 측벽 및 바닥 부 에 보론 ( Boron ) 을 이온 주입 하 여 NCST 불순물 영역 ( 150 , N Channel STop Implant ) 을 형성 한다 . 여기 서 미 설명 한 도면 부호 140 은 이온 주입 마스크 이 다 .