린스 액 노즐 ( 32 ) 에서 토출 된 린스 액 은 린스 액 공급 속도 ( 100 rpm 이상 , 1000 rpm 미만 ) 로 회전 하 는 기판 ( W ) 의 상면 과 충돌 한 후 , 원심력 에 의해 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐른다 . 기판 ( W ) 상 의 약액 은 린스 액 노즐 ( 32 ) 에서 토출 된 린스 액 으로 치환 된다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 상면 전역 을 덮 는 린스 액 의 액막이 형성 된다 . 린스 액 노즐 ( 32 ) 이 린스 액 을 토출 할 때 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 노즐 이동 유닛 ( 39 ) 을 제어 하 여 , 기판 ( W ) 의 상면 에 대한 린스 액 의 착 액 위치 가 중앙부 와 외주 부 를 지나 도록 착 액 위치 를 이동 시켜 도 좋 고 , 기판 ( W ) 의 상면 의 중앙부 에서 착 액 위치 를 정지 시켜 도 좋 다 .