이어서 도 1 c 에 따르 면 , 폴리 실리콘 막 ( 60 ) 을 증착 하 여 트렌치 ( 30 ) 를 완전히 매립 한 후 , 도 1 d 에서 는 폴리 실리콘 막 ( 60 ) 을 하드 마스크 ( 20 ) 지점 까지 식각 하 고 , 케미 칼 을 이용 하 여 하드 마스크 ( 20 ) 를 제거 함 으로써 트렌치 ( 30 ) 로부터 폴리 스틱 업 ( 32 ) 부분 이 돌출 형성 된다 .