이러 한 파이프 들 은 상기 그라운드 부 ( 562 ) 및 승강 지지 부 ( 563 ) 내측 으로 연장 된다 . 이 에 상기 그라운드 부 ( 562 ) 와 승강 지지 부 ( 563 ) 을 관통 하 는 복수 의 관통 홀 들 이 마련 된다 . 즉 , 도 8 에 도시 된 바 와 같이 고주파 라인 용 파이프 ( 564 a ) 가 관통 하 는 고주파 관통 홀 ( 564 b ) 과 , 직류 라인 용 파이프 ( 565 a ) 가 관통 하 는 직류 관통 홀 ( 565 b ) 과 , 냉매 파이프 가 관통 하 는 냉매 관통 홀 ( 566 ) 과 , 리프트 핀 용 파이프 가 관통 하 는 리프트 관통 홀 ( 568 ) 을 포함 한다 . 그리고 , 몸 체부 ( 510 ) 의 히팅 을 위한 부재 가 그 내측 으로 연장 되 는 히팅 관통 홀 ( 567 ) 이 더 구비 된다 .