모니터 회로 ( 134 ) 는 레퍼런스 설 정부 ( 136 ) , 비교 판 정부 ( 138 ) 및 모니터 출력 부 ( 140 ) 를 갖 고 있 다 . 레퍼런스 설 정부 ( 136 ) 는 , 제 어부 ( 94 ) 로부터 주어지 는 각종 설정 치 ( RSb ) 에 포함 되 는 모니터링 용 의 기준치 또는 레퍼런스 데이터 ( RHB ) 를 비교 판 정부 ( 138 ) 에 부여 한다 . 막 두께 모니터링 인 경우 , 레퍼런스 데이터 ( RHB ) 는 , 수 광부 ( 132 ) 로부터 얻 어 지 는 스펙트럼 반사 율 신호 ( SHB ) 가 갖 는 정해진 속성 에 관해서 설정 치 또는 기준치 를 부여 한다 .