도 5 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 , 상부 플 라즈 마 ( 501 ) 및 하부 플 라즈 마 ( 503 ) 를 갖 는 도 1 의 챔버 를 나타낸다 . 상부 플 라즈 마 ( 501 ) 로부터 의 프로세스 가스 들 은 화살표 505 로 나타낸 바 와 같이 , 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으로부터 배출 채널 ( 125 ) 을 통하 여 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 배출 된다 . 하부 플 라즈 마 ( 503 ) 로부터 의 프로세스 가스 들 은 화살표 507 로 나타낸 바 와 같이 , 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 통하 여 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 배출 된다 . 프로세스 가스 들 은 화살표 509 로 나타낸 바 와 같이 , 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로부터 배출 포트 ( 135 ) 를 통하 여 배출 된다 .