이 구성 에 의하 면 , 전동 밸브 가 제 1 공급 배관 에 설치 되 어 있 다 . 전동 밸브 는 , 밸브 체가 밸브 시트 로부터 떨어진 열림 위치 로부터 밸브 체가 밸브 시트 에 접촉 하 는 닫 힘 위치 까지 의 범위 의 임의 의 위치 에 밸브 체 를 정지 시키 는 전동 액추에이터 를 구비 하 고 있 다 . 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 음 에 도 불구 하 고 공통 배관 으로부터 제 1 공급 배관 에 처리 액 이 공급 되 는 이상 이 발생 하 면 , 제 어 장치 는 , 전동 액추에이터 로 하여금 밸브 체 를 닫힘 위치 로 이동 하 게 한다 . 이것 에 의해 , 제 1 공급 배관 이 막 아지므로 , 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 음 에 도 불구 하 고 제 1 노즐 이 처리 액 을 연속 적 으로 토출 하 는 것 을 확실히 방지 할 수 있 다 .