본 발명 의 다른 실시 예 는 자기 조립 물질 을 사용 하 여 장치 를 제조 하 는 방법 에 관한 것 이 다 . 자기 조립 물질 층 은 하나 이상 의 장치 층 위 에 형성 된다 . 자기 조립 물질 은 하나 이상 의 장치 층 의 제 1 표면 을 노출 하 는 복수 의 개구 를 형성 한다 . 하드 마스크 물질 층 은 하드 마스크 물질 이 상기 자기 조립 물질 내 의 복수 의 개구 를 충전 하 도록 상기 자기 조립 물질 층 위 에 형성 된다 . 하드 마스크 물질 은 상기 하드 마스크 물질 패턴 이 상기 복수 의 개구 안 에 남 아 있 고 상기 자기 조립 물질 층 의 상면 이 노출 되 도록 제거 된다 . 남 은 자기 조립 물질 층 이 제거 된다 . 하나 이상 의 장치 층 은 상기 하드 마스크 패턴 을 복수 의 필러 형상 장치 를 형성 하 도록 마스크 로 사용 하 여 에칭 된다 .