그리고 , 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 노볼락 수지 의 비율 은 10 질량 % 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 15 질량 % 이상 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 20 질량 % 이상 인 것 이 더욱 바람직 하 며 , 65 질량 % 이하 이 고 , 60 질량 % 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 55 질량 % 이하 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 50 질량 % 이하 인 것 이 더욱 바람직 하 고 , 45 질량 % 이하 인 것 이 특히 바람직 하 다 . 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 노볼락 수지 의 비율 이 10 질량 % 이상 이 면 , 레지스 트 패턴 의 측벽 에 이상 한 돌기 가 생기 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 한편 , 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 노볼락 수지 의 비율 이 65 질량 % 이하 이 면 , 폴리비닐 페놀 수지 의 비율 이 충분히 확보 되 어 레지스 트 패턴 의 잔류 수분 및 잔류 유 기분 을 충분히 저감 할 수 있 다 . 또한 , 포스트 현상 베 이크 에 의해 레지스 트 패턴 의 선폭 이 대폭 수축 하 는 문제 , 및 / 또는 레지스 트 패턴 이 역 테이퍼 형상 을 유지 할 수 없 는 등 의 문제 가 발생 하 는 일 도 없 다 .