웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 2 ) 는 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 의 검출 중심 을 통과 하 는 X 축 방향 의 측장 축 을 따라 측장 빔 을 반사면 ( 17 X ) 에 대하 여 조사 하 고 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 의 측면 에 고정 된 고정 경 의 반사면 을 기준 으로 하 는 이동경 의 반사면 ( 17 X ) 의 변위 를 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 축 방향 에 관한 위치 정보 로서 계측 한다 .