비아 ( V ) 와 트렌치 ( T ) 의 측벽 에 는 덮개 막 ( 108 ) 이 형성 되 어 있 고 , 덮개 막 ( 108 ) 위 에 장벽층 ( 110 ) 이 형성 되 어 있 다 . 덮개 막 ( 108 ) 은 SiN 으로 이루어지 고 , 장벽층 ( 110 ) 은 TaN , Ta , WN , Ti , TiN , TiSiN , TaSiN 등 으로 이루어질 수 있 으며 , 조합 하 여 복 층 으로 형성 될 수 있 다 .