이제 도 2 를 참조 하 면 , 외측 챔버 ( 200 ) 에 더 하 여 도 1 의 수직 기판 세정 및 건조 챔버 메커니즘 ( 100 ) 의 부가 적 인 세부 사항 들 을 도시 하 는 도면 이 도시 된다 . 도 2 는 외측 챔버 ( 201 ) , 제 1 모터 ( 105 ) 에 전기 적 으로 , 광학 적 으로 , 또는 기계 적 으로 결합 되 는 제 1 서보 메커니즘 ( 203 ) 및 제 2 모터 ( 107 ) 에 전기 적 으로 , 광학 적 으로 , 또는 기계 적 으로 결합 되 는 제 2 서보 메커니즘 ( 205 ) , 예컨대 , 탈 이 온 수 또는 다른 수성 계 또는 용매 계 세정 용액 들 또는 화학 물질 들 을 포함 하 는 , 기판 ( 119 ) 을 세정 하 는 데 사용 되 는 세정 유체 들 을 수용 하 는 하나 이상 의 유체 탱크 또는 저 장소 ( 207 ) ( 하나 만 이 도시 됨 ) , 하나 이상 의 유체 펌프 ( 209 ) ( 이 들 중 하나 만 이 도시 됨 ) , 및 펌프 제어 메커니즘 ( 211 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 된다 .