또한 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 100 ) 의 각 구성 부 는 CPU 를 구비 한 프로세스 콘트 롤러 ( 50 ) 에 접속 되 어 제어 되 는 구성 으로 되 어 있 다 . 프로세스 콘트 롤러 ( 50 ) 에 는 공정 관리자 가 플 라즈 마 에칭 장치 ( 100 ) 를 관리 하 기 위해 커맨드 의 입력 조작 등 을 실행 하 는 키보드 나 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 100 ) 의 가동 상황 을 가시 화 해서 표시 하 는 디스플레이 등 으로 이루어지 는 사용 자 인터페이스 ( 51 ) 가 접속 되 어 있 다 .