전술 한 상태 검 출부 ( 420 ) 는 제어 장치 ( 900 ) 에 접속 되 어 있 으며 , 상태 검 출부 ( 420 ) 에 의해 검출 된 신호 는 제어 장치 ( 900 ) 에서 처리 된다 . 상태 검 출부 ( 420 ) 의 검출기 를 위한 제어 장치 ( 900 ) 는 , 스테이지 ( 400 ) , 연마 헤드 ( 500 ) , 및 보유 지지 아암 ( 600 ) 의 동작 을 제어 하 는 제어 장치 ( 900 ) 와 동일 한 하드웨어 를 사용 해도 되 고 , 다른 하드웨어 를 사용 해도 된다 . 스테이지 ( 400 ) , 연마 헤드 ( 500 ) , 및 보유 지지 아암 ( 600 ) 의 동작 을 제어 하 는 제어 장치 ( 900 ) 와 , 검출기 를 위한 제어 장치 ( 900 ) 에서 각각 의 하드웨어 를 사용 하 는 경우 , 기판 Wf 의 연마 처리 와 기판 Wf 의 표면 상태 의 검출 및 후속 의 신호 처리 에 사용 하 는 하드웨어 자원 을 분산 할 수 있 어 , 전체 적 으로 처리 를 고속 화 할 수 있 다 .