또한 가스 분배 판 ( 42 ) 및 후방 플레이트 ( 44 ) 와 , 상부 챔버 ( 10 ) 의 벽 간 을 전기 적 절전 상태 로 유지 시키 기 위하 여 , 도 1 및 도 2 에 자세히 도시 된 바 와 같이 , 가스 분배 판 ( 42 ) 과 상부 챔버 ( 10 ) 의 벽 사이 , 그리고 후방 플레이트 ( 44 ) 와 상부 챔버 ( 10 ) 의 벽 사이 에 테 프론 ( Tefron ) 재질 의 인 슐레이터 ( 17 , Insulator ) 가 마련 된다 .