도면 부호 635 에서 는 하나 이상 의 S - D 작성 프로시저 가 제대로 수행 되 었 는지 의 여부 를 결정 하 기 위한 질의 가 수행 될 수 있 다 . 하나 이상 의 S - D 작성 프로시저 가 제대로 수행 되 었 다면 , 프로시저 ( 600 ) 는 단계 640 으로 이행 될 수 있 고 , 하나 이상 의 S - D 작성 프로시저 가 제대로 수행 되 지 않 았 다면 , 프로시저 ( 600 ) 는 단계 690 으로 이행 될 수 있 다 . 예컨대 , 툴 데이터 , 챔버 데이터 , 입자 데이터 , 이미지 데이터 및 / 또는 결함 데이터 를 이용 할 수 있 다 .