아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 상 에 남 은 더미 게이트 스택 ( 166 ) 은 더미 게이트 전극 층 ( 181 ) 및 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 을 포함 한다 . 더미 게이트 전극 층 ( 181 ) 은 제어 게이트 전극 ( 138 ) 과 동일 한 두께 및 조성 을 갖 고 , 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 은 제어 게이트 유전체 ( 160 ) 와 동일 한 두께 및 조성 을 갖 는다 . 일부 실시 예 에서 , 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 은 상부 산화물 층 ( 704 u ) 에 대응 하 는 상부 산화물 층 ( 183 u ) , 중간 질화물 층 ( 704 m ) 에 대응 하 는 중간 질화물 층 ( 183 m ) , 및 하부 산화물 층 ( 704 l ) 에 대응 하 는 하부 산화물 층 ( 183 l ) 을 포함 한다 .