위 에서 설명 된 챔버 ( 100 ) 의 제어 를 용이 하 게 하 기 위하 여 , CPU ( 192 ) 는 , 다양 한 챔버 들 및 서브 - 프로세서 들 을 제어 하 기 위해 산업 현장 에서 사용 될 수 있 는 임의 의 형태 의 범용 컴퓨터 프로세서 중 하나 , 이를테면 프로그래머 블 로직 제어기 ( PLC ) 일 수 있 다 . 메모리 ( 194 ) 는 CPU ( 192 ) 에 커플링 되 고 , 메모리 ( 194 ) 는 비 - 일시 적 이 고 , 랜덤 액세스 메모리 ( RAM ) , 판독 전용 메모리 ( ROM ) , 플로피 디스크 드라이브 , 하드 디스크 , 또는 근거리 또는 원거리 의 임의 의 다른 형태 의 디지털 저 장소 와 같 은 쉽 게 이용 가능 한 메모리 중 하나 또는 그 초과 일 수 있 다 . 지원 회로 들 ( 196 ) 은 통상 적 인 방식 으로 프로세서 를 지원 하 기 위해 CPU ( 192 ) 에 커플링 된다 . 일반 적 으로 , 대전 된 종 생성 , 가열 , 및 다른 프로세스 들 이 전형 적 으로 소프트웨어 루틴 으로서 메모리 ( 194 ) 에 저장 된다 . 소프트웨어 루틴 은 또한 , CPU ( 192 ) 에 의해 제어 되 고 있 는 프로세싱 챔버 ( 100 ) 로부터 원격 으로 위치 된 제 2 CPU ( 미 도시 ) 에 의해 저장 및 / 또는 실행 될 수 있 다 .