펌프 ( 216 ) 는 , 처리 액 을 수용 하 는 수용 실과 , 수용 실 을 수축 시키 는 수축 부 를 갖 는다 . 펌프 ( 216 ) 는 , 수축 부 에 의해 수용 실 을 확대 해서 처리 액 을 받아들이 고 , 수축 부 에 의해 수용 실 을 수축 시켜서 처리 액 을 송출 한다 . 펌프 ( 216 ) 로서 , 예 를 들 어 튜브 프 램 펌프 , 다이어프램 펌프 , 또는 벨로우즈 펌프 가 사용 되 어도 된다 . 출력 밸브 ( 218 ) 는 송액 관 ( 212 ) 에 마련 되 어 있 고 , 제 어 장치 ( 100 ) 의 동작 지시 에 기초 하 여 , 송액 관 ( 212 ) 내 의 유로 를 개폐 한다 . 출력 밸브 ( 218 ) 는 , 예 를 들 어 에어 오퍼레이션 밸브 이 다 .