다 마신 구조 에서 나노 다공성 LKD 재료 의 성공 적 인 구현 이전 에 , 몇몇 장애물 을 극복 해야 만 한다 . 먼저 , 에칭 에 의한 개구 ( 130 ) ( 예 를 들 어 , 비아 또는 트렌치 ) 형성 프로세스 및 애 싱에 의한 마스크 층 ( 120 ) 의 제거 는 나노 다공성 LKD 재료 를 잠재 적 으로 손상 시킬 수 있 다 . 둘째 로 , 배리어 재료 ( 140 ; 예 를 들 어 , Ti , TiN , Ta , TaN , Ru 또는 RuOx ) 는 나노 다공성 LKD 재료 ( 110 ) 의 상호 연결 하 는 기공 으로 잠재 적 으로 관통 하 여 , 낮 은 유전체 값 과 타협 할 수 있 다 . 셋째 로 , 수많 은 나노 다공성 LKD 재료 에서 상호 연결 하 는 기공 의 존재 로 인해 , 나노 다공성 LKD 재료 로 형성 된 구조 는 후속 프로세싱 단계 ( 예 를 들 어 , CMP ) 를 위한 기계 적 강도 가 부족 할 수 도 있 다 . 따라서 , 손상 된 나노 다공성 LKD 재료 를 보수 하 여 , 개구 ( 130 ) 의 표면 을 밀봉 할 뿐 만 아니 라 LKD 재료 의 기계 적 강도 를 강화 해야 하 는 필요 성 이 존재 한다 .