한편 , RF 전원 의 공급 이 중단 ( off ) 되 어 플 라즈 마가 발생 되 지 않 는 구간 에서 는 반응 원료 가 해리 되 지 않 으며 , 실리콘 옥사이드 ( SiO 2 ) 막 이 형성 되 지 않 는다 . 따라서 , 반응 원료 와 소스 원료 가 상호 반응 하 지 않 으며 , 이 에 박막 즉 실리콘 옥사이드 ( SiO 2 ) 막 즉 , 게이트 절 연막 ( 130 ) 이 형성 되 지 않 는다 .