즉 본 발명 은 스탬 핑 공 정상 의 불량 이 웨이퍼 의 일정 영역 에 있 는 렌즈 열 전체 에 일어날 가능 성 이 높 다는 것 을 고려 하 여 , 웨이퍼 상 에 열 을 이루 어 형성 된 다수 의 렌즈 군 중 각각 의 열 에서 일부 의 렌즈 만 을 평가 하 거나 , 웨이퍼 의 영역 을 중심 영역 및 좌우 영역 의 세 부분 으로 나누 어 상기 각각 의 영역 중 의 일부 렌즈 만 을 평가 하 거나 , 또는 웨이퍼 의 중심 을 기준 으로 사분면 으로 영역 을 분할 한 후 각각 의 영역 중 의 일부 렌즈 만 을 평가 하 는 방식 을 사용 할 수 있 도록 하 였으며 , 이 에 따라 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 의 평가 를 보다 효율 적 으로 수행 할 수 있 게 된다 .