본 발명 에 의해 얻 어 지 는 장점 은 , 특히 , 고속 기체 유동 에 의한 신속 한 플 러딩 을 통해 , 기판 이 이송 시스템 으로부터 떨어져서 락 챔버 벽 을 지지 하 지 않 는다는 것 이 다 . 그럼 으로써 기판 에서 서로 상쇄 되 는 유동 력 ( flow force ) 들 이 기판 에 작동 되 며 , 기판 을 전복 ( overturn ) 시킬 수 있 는 힘 이 전혀 없 다 .