상기 일 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 식각 장치 는 기판 의 주변 부 를 식각 하 는 제 1 식각 모듈 , 상기 제 1 식각 모듈 에 인접 하 여 , 상기 기판 의 이면 을 식각 하 는 제 2 식각 모듈 및 상기 제 1 및 제 2 식각 모듈 들 에 상기 기판 을 유출 입 시키 는 이송 모듈 을 포함 한다 . 여기 서 , 상기 이송 모듈 은 몸 체부 및 상기 몸 체부 와 연결 되 어 회전 가능 한 블레이드 를 포함 할 수 있 다 .