여기 서 , 상기 서 셉 터 ( 30 ) 는 상기 복수 의 웨이퍼 ( W ) 가 동일 한 평면 상 에 배치 되 도록 상기 웨이퍼 ( W ) 가 안착 된다 . 즉 , 상기 웨이퍼 ( W ) 는 박막 이 증착 될 면 이 상부 를 향하 도록 상기 서 셉 터 ( 30 ) 상 에 그 이면 이 안착 되 고 , 상기 복수 의 웨이퍼 ( W ) 가 상기 서 셉 터 ( 30 ) 상 에 방사상 으로 배치 된다 .