또한 , 본 발명 에서 의 알루미늄 또는 알루미늄 합금 다층막 이 란 알루미늄 막 으로 이루어진 막 을 의미 한다 . 이때 , 알루미늄 막 은 알루미늄 단독 또는 알루미늄 을 주성분 으로 하 여 합금 으로 된 금속 막 을 포함 하 며 , 순수 한 알루미늄 은 화학 물질 에 대한 내성 이 약하 고 후속 공정 에서 배선 결합 문제 를 야기 할 수 있 으므로 통상 알루미늄 합금 의 형태 로 제공 되 며 , 특히 Nd 가 합금 된 Al - Nd 막 이 바람직 하 게 사용 된다 .