여기 서 , 도 5 가 예시 하 는 광변조기 소자 에서 는 희생 층 ( 130 ) 의 일부 만 이 식각 되 므로 희생 층 ( 130 ) 이 절연 층 ( 120 ) 의 양 측 단 상 에 위치 하 여 구조물 층 ( 140 ) 을 지지 하 고 있 지만 , 희생 층 ( 130 ) 은 후술 할 공정 ( 도 7 의 ( f ) 참조 ) 을 통해 그 전부 가 식각 될 수 도 있 다 . 이러 한 경우 희생 층 ( 130 ) 은 구조물 층 ( 140 ) 을 지지 하 는 역할 은 하 지 않 으며 , 구조물 층 ( 140 ) 이 상하 로 움직일 수 있 는 구동 공간 을 확보 하 는 역할 만 을 할 수 도 있 다 . 즉 , 희생 층 ( 130 ) 의 식각 공정 에 상응 하 여 확보 되 는 구동 공간 의 위치 가 달라질 수 있 다 . 또한 , 확보 되 는 구동 공간 의 위치 가 달라지 는 경우 에 는 이 에 상응 하 여 구조물 층 ( 140 ) 중 리본 의 위치 도 달라질 수 있 음 은 물론 이 다 .