제 1 내지 제 3 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 1 내지 제 3 터널 절 연막 패턴 들 ( 112 , 114 , 116 ) , 제 1 내지 제 3 플로팅 게이트 들 ( 122 , 124 , 126 ) , 제 1 내지 제 3 유전 막 패턴 들 ( 132 , 134 , 136 ) 및 상기 제 1 내지 제 3 컨트롤 게이트 들 을 각각 포함 할 수 있 다 . 또한 , 제 4 게이트 구조물 ( 228 a ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 4 터널 절 연막 패턴 ( 118 ) , 제 1 내지 제 4 플로팅 게이트 ( 128 ) , 제 4 유전 막 패턴 ( 138 ) , 상기 제 4 컨트롤 게이트 및 제 4 게이트 마스크 패턴 ( 159 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 4 컨트롤 게이트 들 은 제 1 내지 제 4 하부 도전 패턴 들 ( 212 a , 214 a , 216 a , 218 a ) 및 제 1 내지 제 4 상부 도전 패턴 들 ( 202 a , 204 a , 206 a , 208 a ) 을 포함 할 수 있 다 .