상부 전극 ( 20 ) 에 는 RF 전원 이 연결 되 며 , RF 전원 에서 공급 되 는 RF 전력 에 의해 상부 전극 ( 20 ) 과 전기 적 으로 연결 된 가스 분배 판 ( 30 ) 및 그 하부 의 기판 안 치대 ( 40 ) 사이 에 RF 전기장 이 형성 된다 . 이러 한 RF 전기장 에 의해 가속 된 전자 가 중성 기체 와 충돌 하 면서 이온 과 활성 종 의 혼합체 인 플 라즈 마가 형성 된다 .