본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위해 창출 된 것 으로 , 진공 챔버 가 외부 로부터 오염 되 지 않 도록 공기 의 소통 을 차단 하 는 것 을 기본 으로 하 며 , 상하 신축 가능 한 벨로우즈 와 자성 유체 실수 단의 설치 위치 를 변경 하 되 , 벨로우즈 의 내부 쪽 에 자성 유체 실 수단 을 두 고 , 벨로우즈 를 진공 챔버 의 내부 와 외부 간 의 공기 소통 을 차단 하 는 기능 및 승하 강 에 관여 하 는 기능 으로 만 한정 되 도록 구성 하 여 이 벨로우즈 에 가해 지 는 부하 를 제거 할 수 있 도록 한 진공 환경 작업 용 반송 로봇 을 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .