상기 구동 부 ( 120 ) 는 상기 지지 부 ( 110 ) 의 하부 에 제공 되 어 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 의 일정 영역 또는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 전면 에 광이 조사 될 수 있 도록 상기 지지 부 ( 110 ) 를 이동 시키 기 위한 구동력 을 제공 한다 . 예 를 들 어 , 상기 구동 부 ( 120 ) 는 상기 지지 부 ( 110 ) 를 임의 의 일 평면 상 에서 X 축 및 Y 축 을 따라 직선 이동 시키 는 모터 일 수 있 다 . 한편 , 도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 지지 부 ( 110 ) 의 하부 에 는 상기 지지 부 ( 110 ) 의 높이 를 조절 하 기 위한 제 2 구 동부 ( 미 도시 ) 가 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 2 구 동부 는 압 전 소자 를 포함 할 수 있 다 .