다음 으로 , S 10 에 있 어서 , 도 8 의 ( A ) 와 같이 , 마스크 척 ( 311 ) 으로 마스크 ( M ) 가 보유 지지 된 상태 로 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 부상 개시 위치 까지 상승 시킨다 . 반송 캐리어 ( 302 ) 의 상승 은 마스크 트레이 ( 205 ) 의 승강 장치 에 의해 행한다 . 부상 개시 위치 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 의 구동 용 코일 ( 306 ) 과 반송 캐리어 ( 302 ) 의 구동 용 마그넷 ( 305 ) 의 간격 이 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 부상 시킬 수 있 는 정도 의 흡인력 이 되 는 거리 이 다 . 이 단계 에서 는 , 예 를 들 면 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 0 . 7 mm 정도 상승 시킨다 .