따라서 제 어부 ( 230 ) 는 복수 개 의 센서 ( 220 ~ 226 ) 들 로부터 감지 된 온도 정보 를 이용 하 여 개별 적 으로 히터 ( 210 ~ 218 ) 들 을 제어 하 여 기판 의 온도 를 조절 하 거나 , 각각 의 센서 ( 220 ~ 226 ) 양측 또는 일 측 에 위치 하 여 플 래 이트 ( 208 ) 의 특정 영역 의 온도 에 영향 을 받 는 주변 의 히터 ( 210 ~ 218 ) 들 을 하이브리드 제어 가 가능 하 다 .