상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 패턴 의 형성 방법 은 a ) 감광성 수지 조성물 을 기재 의 일 면 상 에 도포 하 는 단계 ; b ) 상기 도포 된 감광성 수지 조성물 을 건조 및 소프트 베 이크 하 는 단계 ; c ) 상기 소프트 베 이크 된 감광성 수지 조성물 에 광 을 조사 하 는 단계 ; d ) 상기 광이 조사 된 감광성 수지 조성물 을 현상액 으로 현상 한 후 , 수세 처리 하 는 단계 ; 및 e ) 상기 수세 처리 된 감광성 수지 조성물 을 포스트 베 이크 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 패턴 의 제조 방법 에 있 어서 , 상기 c ) 단계 가 이루어지 는 공간 내 의 기체 중 산소 의 농도 가 10 부피 % 이하 인 것 을 특징 으로 한다 .