후처리 온도 가 너무 높 으면 Ⅲ - Ⅴ 족 화합물 반도체 의 구성 원소 가 열해리 ( thermal dissociation ) 될 수 있 다 . 따라서 , 후 열처리 온도 의 상한 은 Ⅲ - Ⅴ 족 화합물 반도체 의 열해리 온도 ( thermal dissociation temperature ) 를 넘 지 않 도록 결정 된다 . 전술 한 조건 을 감안 하 여 , 후 열처리 온도 는 예 를 들 어 , 400 ~ 850 ℃ 정도 일 수 있 다 .