다른 실시 예 들 에서 , 1 이상 의 센서 는 실질 적 으로 정지상 태인 프레임 상 에 배치 될 수 있 는 한편 , 그리드 플레이트 또는 그리드 플레이트 들 은 대상물 테이블 상 에 배치 된다 . 이러 한 실시 예 들 에서 , 이동 가능 한 대상물 에 대한 그리드 플레이트 의 이동 및 / 또는 변형 을 보상 하 기 위해 각각 의 그리드 플레이트 에 보상 기 가 제공 될 수 있 다 . 이러 한 이동 / 변형 들 은 이동 가능 한 대상물 의 이동 으로 인한 압력 파 들 과 같 은 외란 들 에 의해 야기 될 수 있 다 . 이러 한 다른 실시 예 들 은 본 발명 의 범위 내 에 포함 되 는 것 으로 여겨진다 .