상기 질화 알루미늄 소 결체 에 포함 되 는 질화 알루미늄 ( AlN ) 은 높 은 열전도 성 및 높 은 전기 절연 성 을 갖 고 있 어 상기 질화 알루미늄 소 결체 가 고열 전도 성 및 고 절연 성 의 특성 을 갖 게 하 는 역할 을 한다 . 따라서 상기 질화 알루미늄 을 포함 하 는 본 발명 의 질화 알루미늄 소 결체 는 반도체 제조 공정 에서 웨이퍼 를 고정 시켜 주 는 정전 척 또는 웨이퍼 를 고정 시켜 주 면서 동시 에 가열 하 는 히터 등 의 플레이트 ( 110 ) 의 용도 로 사용 될 수 있 다 .