이 구성 에 따르 면 , 전해 가공 유닛 장치 를 구성 하 는 전 해 가 공부 , 세 정부 및 건 조부 를 원호 형상 또는 직선 형상 으로 나열 되 도록 배치 하 였으므로 , 이 전 해 가 공부 , 세 정부 및 건 조부 에 웨이퍼 를 이송 할 때 는 , 상기 원호 또는 직선 의 방향 으로 동작 가능 한 로봇 1 대 로 웨이퍼 의 이송 을 행할 수 있 다 .