도 9 a 및 도 9 b 를 참조 하 면 , 제 1 개 구부 들 ( OP 1 ) 및 제 2 개 구부 들 ( OP 2 ) 내 에 제 2 희생 막 ( 37 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 어 , 제 1 개 구부 들 ( OP 1 ) 및 제 2 개 구부 들 ( OP 2 ) 이 채워 지 도록 제 2 희생 막 ( 37 ) 을 형성 한다 . 제 2 희생 막 ( 37 ) 은 적층 물 ( ST ) 의 상부 에 도 형성 될 수 있 다 . 제 2 희생 막 ( 37 ) 은 제 1 및 제 2 물질 막 들 ( 35 , 36 ) 에 대해 식각 선택 비 가 높 은 물질 로 형성 된다 . 예 를 들 어 , 제 2 희생 막 ( 37 ) 은 SOC ( Spin On Coating ) 막 일 수 있 다 .