여기 서 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 상기 초음파 진동자 ( 130 ) 는 상기 제 2 챔버 ( 122 ) 의 바닥 면 측 에 배치 될 수 있 고 , 상기 적어도 하나 의 히터 ( 140 ) 는 상기 제 2 챔버 ( 122 ) 의 외면 과 적어도 일부 가 접하 도록 배치 될 수 있 으며 , 서로 대면 하 는 제 2 챔버 ( 122 ) 의 외면 과 히터 ( 140 ) 사이 에 는 상기 제 2 공간 ( S 2 ) 으로부터 유입 된 물 이 일정량 저장 될 수 있 는 기화 공간 ( S 4 ) 이 형성 될 수 있 다 .