각 시너 토출구 ( 11 ) 에 는 부상 부재 ( 10 ) 내 에 형성 된 시너 공급 로 ( 13 ) 이 접속 되 고 있 어 이 들 시너 공급 로 ( 13 ) 은 공통 의 시너 공급 배관 ( 14 ) 에 접속 되 고 있 고 이 시너 공급 배관 ( 14 ) 에 는 시너 공급원 ( 15 ) 가 접속 되 고 있 다 . 시너 공급원 ( 15 ) 는 예 를 들 면 도 3 에 나타나 는 바 와 같이 액체 형상 의 시너 ( L ) 을 저장 하 는 시너 저장 용기 ( 16 ) 과 시너 저장 용기 ( 16 ) 내 의 시너 ( L ) 에 버블 링 가스 ( 예 를 들 면 N 2 가스 ) 를 공급 하 는 버블 링 가스 공급 배관 ( 17 ) 을 가지 고 있 고 시너 ( L ) 에 버블 링 가스 를 공급 함 으로써 시너 를 기화 시켜 기화 된 시너 를 시너 공급 배관 ( 14 ) 에 이 끈다 . 버블 링 가스 공급 배관 ( 17 ) 에 는 매스 플로우 콘트 롤러 등 의 유량 제어기 ( 17 a ) 가 설치 되 고 이것 에 의해 버블 링 가스 의 유량 을 제어 해 시너 의 기화 량 , 즉 기화 된 시너 의 유량 을 제어 가능 하 게 되 어 있 다 .