송신 간격 테이블 데이터 는 , 도 8 에 도시 하 는 테이블 이 며 , 데이터 종별 ( 데이터 의 중요도 ) 마다 , 부하 레벨 별 로 송신 간격 이 설정 된 테이블 이 다 . 송신 간격 은 , 데이터 종별 ( 데이터 중요도 ) , 부하 레벨 의 적어도 어느 것 에 설정 된다 . 도 8 에서 는 , 데이터 종별 과 부하 레벨 양쪽 에서 설정 한 테이블 을 나타내 고 있 다 . 도 8 에서 는 , 송신 간격 은 , 1 , 2 , 3 … X ( X 는 자연수 ) 로 설정 되 어 있 다 . X 는 작 을수록 송신 간격 이 좁 고 , X 가 클수록 송신 간격 이 넓 게 설정 된다 . 여기 서 , 송신 간격 이 좁 다는 것 은 , 실시간 통신 에 가까운 것 을 의미 한다 . 예 를 들 어 , 알람 데이터 ( 중요 도 1 ) 에 는 , 부하 레벨 에 관계 없이 , 송신 간격 이 「 1 」 로 설정 되 어 있 다 . 이 와 같이 , 중요도 가 높 은 데이터 가 부하 레벨 에 관계 없이 , 항상 동일 한 간격 으로 송신 된다 . 예 를 들 어 , 정기 점검 데이터 ( 중요 도 4 ) 에서 는 , 부하 레벨 에 따라 , 송신 간격 이 변화 하 도록 설정 되 어 있 다 . 또한 , 이 송신 간격 은 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 유저 나 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 의 유저 가 설정 가능 하 게 구성 되 어 있 어도 된다 . 유저 가 설정 가능 하 게 구성 되 어 있 는 경우 , 조작 부 ( 274 ) 나 , 입출력 장치 ( 269 ) 는 , 이 테이블 을 표시 가능 하 게 구성 된다 .