도 5 c 를 참조 하 면 , 제 1 및 제 2 채널 홀 들 ( 514 a , 514 b ) 의 측벽 과 파이프 게이트 도전 층 ( 504 ) 의 트렌치 ( 506 ) 의 내면 전체 에 절연성 베리 어막 ( 520 ) 을 형성 한다 . 이 로써 , 트렌치 ( 506 ) 가 형성 된 영역 에서 최 하부 절연 층 ( 210 a ) 의 노출 된 저면 에 도 절연성 베리 어막 ( 520 ) 이 형성 된다 .