본 실시 예 에서 는 , 상기 도 5 에 나타내 는 결함 을 분류 하 는 검사 의 공정 의 플로우 차트 를 이용 했 다 . 본 실시 예 에서 는 , 상기 도 9 에 나타내 는 결함 검사 공정 의 조작 인터페이스 를 이용 했 다 . 검사 레시피 설정 공정 에서 설정 한 검사 조건 에 의해 , 정상 플러그인 플러그 ( 121 ) , 결함 플러그인 플러그 ( 122 ) , 플러그 ( 123 ) 를 분류 , 검사 할 수 있 다 .