도 14 a 를 보 면 , 장치 ( 500 ) 는 기판 ( 501 ) 상 에 증착 한 구리 배 선부 ( copper feature ) ( 502 ) 의 위 에 유전체 ( 504 ) 를 증착 한 막 구조 의 예 를 나타낸다 . 유전체 ( 504 ) 는 높이 에 차이 가 나 는 비 균일 한 외측 표면 ( 506 ) 을 포함 한다 . 장치 ( 500 ) 로부터 취득 되 는 간섭 신호 는 표면 ( 506 ) , 구리 배 선부 ( 502 ) 와 유전체 ( 504 ) 사이 의 계면 ( 508 ) , 및 기판 ( 501 ) 과 유전체 ( 504 ) 사이 의 계면 ( 510 ) 으로 형성 되 는 계면 패턴 을 포함 할 수 있 다 . 장치 ( 500 ) 는 간섭 패턴 을 생성 하 는 다수 의 다른 배 선부 를 포함 할 수 있 다 .