이 때 , 제 1 기판 이송 장치 ( 120 ) 로부터 이송 되 어 제 2 기판 이송 장치 ( 220 ) 로 공급 되 는 기판 ( S ) 들 은 서로 밀착 된 상태 즉 , 설정 된 간격 을 유지 한 상태 로 공급 이 이루어지 는 것 이 바람직 하 지만 , 여러 가지 요인 에 의해 2 장 의 기판 ( S ) 들 은 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 간격 이 벌어진 상태 로 제 2 스테이지 로 이송이 이루어질 수 있 게 된다 .