상기 와 같이 상기 상판 ( 140 a ) 과 하판 ( 140 b ) 이 결합 되 면 , 상기 상판 ( 140 a ) 에 형성 된 수납부 ( 142 ) 에 는 기판 정렬 부재 ( 150 ) 가 안착 되 며 , 상기 수납부 ( 142 ) 와 연통 된 가스 공급 라인 ( 160 ) 의 끝단 일부 를 통해 불활성 가스 , 질소 또는 공기 에 의해 기판 정렬 부재 ( 150 ) 에 공급 된다 .