도 1 은 종래 다층 반도체 기판 의 정렬 도 ( alignment ) 측정 을 위한 오버레이 키 를 도시 한 것 이 다 . 위 도 1 을 참조 하 면 , 레이어 간 정렬 도 측정 을 위해서 는 위 도 1 에서 보여 지 는 바 와 같이 현재 레이어 의 바 ( bar ) 타입 내부 박스 형태 의 오버레이 키 ( overlay key ) ( 100 ) 간 오버레이 정렬 을 측정 하 게 된다 .