이러 한 감방 사선 성 수지 조성물 에 는 , 해상 성 및 레지스 트 패턴 의 단면 형상 의 직사각 형성 이 우수 할 것 , LWR ( Line Width Roughness ) 성능 이 우수 할 것 , 초점 심도 가 우수 할 것 , 고정 밀도 인 패턴 을 높 은 수 율 로 얻 어 질 것 이 요구 된다 . 이 요구 에 대하 여 , 감방 사선 성 수지 조성물 에 함유 되 는 중합체 의 구조 가 각종 검토 되 고 있 다 . 예 를 들 어 중합체 가 부티 로 락톤 구조 , 노르 보르 난 락톤 구조 등 의 락톤 구조 를 가짐 으로써 , 레지스 트 패턴 의 기판 에 대한 밀착 성 을 높임 과 함께 , 이 들 성능 을 향상 시킬 수 있 는 것 이 알려져 있 다 ( 일본 특허 공개 평 11 - 212265 호 공보 , 일본 특허 공개 제 2003 - 5375 호 공보 및 일본 특허 공개 제 2008 - 83370 호 공보 참조 ) .