층간 절 연막 ( 106 ) 은 산화 막 계열 의 물질 막 , 예컨대 BSG ( Boro Silicate Glass ) 막 , BPSG ( Boro Phopho Silicate Glass ) 막 , PSG ( Phospho Silicate Glass ) 막 , TEOS ( Tetra Ethyl Ortho Silicate ) 막 , HDP ( High Density Plasma ) 산화 막 및 SOG ( Spin On Glass ) 막 으로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 로 형성 한다 . 예 를 들 면 , TEOS 막 과 PSG 막 이 적층 된 구조 일 수 있 다 .