그리고 , 세정 수단 ( 66 ) 에 있 어서 는 , 흡 인원 으로 흡착 척 ( 124 ) 의 상면 에 흡인력 을 생성 하 는 것 에 의해 스피너 테이블 ( 122 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 고 , 또한 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 한 스피너 테이블 ( 122 ) 을 회전 시키 면서 , 세 정수 노즐 로부터 세 정수 를 분사 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 세정 하 고 아울러 에 어 노즐 로부터 건조 에어 를 분사 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 건조 시키 도록 되 어 있 다 . 또한 , 세정 수단 ( 66 ) 에 있 어서 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 세정 한 후 , 에 어 공급원 으로부터 흡착 척 ( 124 ) 에 에어 를 공급 하 여 흡착 척 ( 124 ) 의 상면 으로부터 에어 를 분출 하 는 것 에 의해 , 흡착 척 ( 124 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 이격 시키 도록 되 어 있 다 .