기판 세정 장치 ( 10 ) 에서 는 , 제 어부 ( 67 ) 에 의해 세 정구 ( 63 ) 가 하강 할 때 의 속도 를 제어 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 에 도달 하 기 전 의 세 정구 ( 63 ) 의 하강 속도 ( 예 를 들 어 , 제 1 단계 ( S 1 ) 로부터 제 4 단계 ( S 4 ) 까지 의 하강 속도 ) 를 높여 , 세정 처리 의 효율 을 높일 수 있 다 .