또한 , 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 상 에 배치 된 코팅 ( 291 ) 은 램프 들 ( 221 A , 221 B ) 로부터 전달 된 열 로부터 본체 ( 300 ) 를 절연 시키 려는 경향 을 갖 는다 . 위 에 주지 된 바 와 같이 , 코팅 ( 291 ) 의 증가 된 복사 율 로 인해 , 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 는 코팅 되 지 않 은 샤워 헤드 조립 체 보다 더 많 은 열 에너지 를 흡수 할 것 이 다 . 따라서 , 코팅 ( 291 ) 의 고 복사 율 및 절연 특성 들 로 인해 , 프로세싱 체적 ( 208 ) 에 인접 한 코팅 ( 291 ) 의 표면 ( 293 ) 은 코팅 되 지 않 은 금속 샤워 헤드 보다 더 높 은 표면 온도 를 가질 것 이 며 , 이 는 동일 한 프로세스 를 수행 하 는 코팅 되 지 않 은 샤워 헤드 에 비해 프로세스 런 들 사이 에 수행 되 는 인시 튜 세척 프로세스 를 더욱 효율 적 이 고 효과 적 이 게 할 수 있 다 .