일부 구 현예 에서 , 회분 식 반응기 가 사용 될 수 있 다 . 적합 한 회분 식 반응기 는 , 이 들 에 한정 되 지 는 않 지만 , A 400 및 A 412 PLUS 라는 상표명 으로 ASM Europe B . V ( 네덜란드 , 알메르 ) 사 로부터 상업 적 으로 구매 가능 한 Advance ® 400 시리즈 반응기 를 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 처리 를 하 는 동안 보트 ( boat ) 가 회전 하 는 수직 회분 식 반응기 , 예컨대 A 412 이 사용 된다 . 이 처럼 , 일부 구 현예 에서 , 웨이퍼 는 처리 중 에 회전 한다 . 다른 구 현예 에서 , 회분 식 반응기 는 10 개 이하 의 웨이퍼 , 8 개 이하 의 웨이퍼 , 6 개 이하 의 웨이퍼 , 4 개 이하 의 웨이퍼 또는 2 개 의 웨이퍼 를 수용 하 도록 구성 된 소형 회분 식 반응기 를 포함 한다 . 회분 식 반응기 가 사용 되 는 일부 구 현예 에서 , 웨이퍼 대 웨이퍼 균일 도 는 3 %( 1 시그마 ) 미만 , 2 % 미만 , 1 % 미만 또는 심지어 0 . 5 % 미만 이 다 .