에러 가 해소 된 것 이 검출 되 면 ( 시점 t 21 ) , 펌프 ( 30 ) 의 회전수 가 양쪽 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 에 처리 액 을 흘리 는데 적합 한 고회 전 ( RW ) 까지 상승 되 고 , 개방 도 조정 기능 을 구비 한 개폐 밸브 ( 26 A ) 가 열린다 . 이 에 의해 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 도 처리 액 이 유입 되게 되 어 , 제 1 및 제 2 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 양쪽 에 처리 액 이 흐르 게 된다 .