그런데 , 나이프 에 지링 ( 16 ') 의 손상 이나 , 지지대 ( 12 ') 가 기울어져서 웨이 퍼 ( 10 ') 의 수평 이 맞 지 않 는 등 의 원인 으로 나이프 에 지링 ( 16 ') 과 웨이퍼 ( 10 ') 와 의 간격 이 멀 어 지 면 현상액 이 웨이퍼 ( 10 ') 의 중심 방향 으로 흘러들 어서 후면 을 오염 시키 는 문제점 이 발생 되 었 다 .