즉 , 제 1 더미 패턴 적층 체 ( 115 _ 1 ) 의 최상면 및 제 1 더미 게이트 구 조체 ( 120 _ 1 ) 의 상면 사이 의 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 의 폭 은 인접 하 는 제 1 더미 게이트 구 조체 ( 120 _ 1 ) 및 제 2 더미 게이트 구 조체 ( 220 _ 1 ) 사이 의 폭 과 동일 할 수 있 다 .