상기 로봇 의 예시 적 인 내부 구조 는 도 4 c - 4 d 에 도식 적 으로 묘사 된다 . 상기 로봇 아암 ( 208 ) 은 로봇 구동 유닛 ( 206 ) 에 의해 구동 될 수 있 다 . 이 예시 적 인 실시 예 에서 , 상기 로봇 구동 유닛 ( 206 ) 은 , 네 개 의 동축 샤프트 들 , 예컨대 외부 T 1 샤프트 ( 224 ) , T 2 샤프트 ( 226 ) , T 3 샤프트 ( 228 ) 및 내부 T 4 샤프트 ( 230 ) 를 가진 4 - 축 스핀들 ( 222 ) 을 포함 한다 .