x 방향 으로 배열 된 빔 의 일부 만 을 사용 하 여 모든 화소 를 조사 하 는 것 도 가능 하 다 . 일예 를 도 6 에 도시 한다 . 여기 에서 는 , 2 열 을 조사 한 후 , 다른 빔 피치 폭 의 영역 을 반복 하 는 동작 을 행함 으로써 , 2 개 의 빔 ( c , d ) 으로 모든 화소 를 조사 하 고 있 다 . 이 때 , 다른 2 개 의 빔 ( a , b ) 에 의한 조사 를 , 빔 ( c , d ) 에 의한 조사 와 병행 하 여 행할 수 있 다 . 이 경우 , 스테이지 진행 방향 에 대하 여 상류 측 에 있 는 빔 ( a , b ) 으로 조사 한 화소 를 빔 ( c , d ) 으로 조사 함 으로써 , 모든 화소 가 2 회 씩 조사 되게 된다 . 환언 하 면 , 빔 어레이 를 x 방향 으로 2 분할 하 여 제어 함 으로써 , 모든 화소 가 2 회 조사 된다 . 일반 적 으로 는 , 빔 어레이 를 N 분할 하 여 제어 함 으로써 , 모든 화소 가 N 회 또는 N 회 이상 조사 된다 .