도 8 은 실시 형태 에 따른 시뮬레이션 결과 의 일례 를 나타내 는 도 이 다 . 도 8 의 횡축 은 도입 구 ( 20 a ) 로부터 의 위치 ( x ) 를 나타내 고 있 다 . 종축 은 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 를 나타내 고 있 다 . 비 교예 에 따른 유로 ( 120 ) 는 , 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 가 위치 ( xi ~ xe ) 의 범위 에서 상승 한다 . 이 에 의해 , 배치 대 ( 2 ) 는 배치 면 ( 6 e ) 의 면내 에서 온도 차 가 생기 고 , 배치 된 웨이퍼 ( 8 ) 의 면내 에서 온도 차 를 일으킨다 .