아울러 약액 을 공급 하 는 단계 에서 , 기판 이 수용 되 는 내조 ( 20 ) 에 고농 도 약액 이 직접 공급 될 경우 에 는 고농 도 약액 에 의해 기판 이 손상 될 우려 가 있 기 때문 에 , 약액 이 외조 ( 30 ) 로 먼저 공급 되 도록 한 후 , 외조 ( 30 ) 로 공급 된 약액 이 순환 수 단 ( 90 ) 을 거치 면서 기존 세정액 과 혼합 된 후 내조 ( 20 ) 로 공급 될 수 있 도록 구성 함 이 바람직 하 다 .