다시 말 해 , 본 발명 은 반응 가스 로부터 전하 를 띤 나노 입자 의 생성 거동 을 반응 가스 의 반응 조건 에 의하 여 변화 시킬 수 있 음 과 동시 에 이러 한 생 성 거동 과 별도 로 , 일단 기상 에서 생성 된 전하 를 띤 입자 들 의 전하 특성 을 이용 하 여 전기장 을 인가 하 여 줌 으로써 증착 거동 또한 개별 적 으로 조절 하 는 것 이 다 . 또한 , 본 발명 은 전기 적 으로 도체 인 기판 은 물론 , 전기 적 으로 부도체 이 며 낮 은 반응 온도 를 요구 하 는 플라스틱 기판 , 전기 적 전기장 이 관통 하 지 못하 는 세라믹 과 같 은 부도체 위 에서 도 박막 및 후막 의 증착 거동 을 제어 하 여 증착 속도 및 결정 화 도 조절 이 가능 해진다 .