[ 0097 ] 본 개시 내용 에서 , " "" 진공 프로세싱 챔버 "" 는 진공 챔버 또는 진공 증착 챔버 로서 이해 되 어야 한다 . 본원 에서 사용 되 는 바 와 같 은 "" 진공 "" 이 라는 용어 는 ", 예컨대 , 10 mbar 미만 의 진공 압력 을 갖 는 기술 적 진공 의 의미 로 이해 될 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 진공 챔버 에서 의 압력 은 , 10 - 5 mbar 내지 약 10 - 8 mbar , 특히 10 - 5 mbar 내지 10 - 7 mbar , 그리고 더 특히 약 10 - 6 mbar 내지 약 10 - 7 mbar 일 수 있 다 . 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 진공 챔버 에서 의 압력 은 , 진공 챔버 내 의 증발 된 재료 의 부분 압력 또는 총 압력 ( 이 는 , 증착 될 컴포넌트 로서 오직 , 증발 된 재료 만 이 진공 챔버 에 존재 하 는 경우 에 , 대략 적 으로 동일 할 수 있 음 ) 인 것 으로 간주 될 수 있 다 . 몇몇 실시 예 들 에서 , 진공 챔버 에서 의 총 압력 은 , 특히 , 증발 된 재료 이외 에 제 2 컴포넌트 ( 예컨대 , 가스 , 등 ) 가 진공 챔버 에 존재 하 는 경우 에 , 약 10 - 4 mbar 내지 약 10 - 7 mbar 의 범위 일 수 있 다 .