또한 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 빔 편향 에 의해 x 방향 으로 의 오프셋 은 행하 지 않 고 , y 방향 으로 의 오프셋 만 을 행하 는 것 으로 도 , 결함 빔 에 의해 묘화 되 는 서브 조사 영역 ( 29 ) 내 의 화소 수 를 저감 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , k 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 는 , 오프셋 ( 0 , 0 ) , k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 는 오프셋 ( 0 , 1 ) , k + 2 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 는 오프셋 ( 0 , 2 ) , k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 는 오프셋 ( 0 , 3 ) 이 여도 된다 . 괄호 내 의 수치 는 , 트랙 킹 개시 위치 에서 의 x , y 방향 으로 의 오프셋 양 이 되 는 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 의 배수 의 값 을 나타낸다 . 단 , y 방향 으로 의 오프셋 양 ( 거리 ) 이 커지 면 , 조사 영역 ( 34 ) 이 스트라이프 영역 ( 32 ) 으로부터 이탈 되 어 버리 는 거리 가 커져 버리 므로 , y 방향 으로 의 오프셋 양 ( 거리 ) 은 , 예 를 들 면 , 1 배 등 의 작 은 쪽 이 바람직 하 다 .