도시 된 실시 예 에서 , 가동 액추에이터 ( 33 ) 는 고정 단부 [ 예 를 들 어 , 고정부 ( 38 ) ] 및 가동 단부 ( 37 ) 를 갖 는 캔틸레버 비 임 ( cantilever beam ) 으로 구현 되 고 , 이 캔틸레버 비 임 은 기판 전극 ( 36 ) 과 가동 액추에이터 ( 33 ) 사이 에 전 압차 의 인 가시 에 기판 ( 32 ) 을 향해 편향 된다 . 그러나 , 본 명세서 의 교시 는 도면 에 도시 된 것 들 이외 의 다른 형태 의 MEMS 의 스위치 에 유사 하 게 적용 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 가동 액추에이터 ( 33 ) 는 브리지 또는 다이어프램 형 스위치 와 유사 하 게 2 개 이상 의 단부 또는 측면 에서 고정 될 수 있 다 . 유사 하 게 , 가동 액추에이터 ( 33 ) 의 작동 은 도면 에 도시 된 바 와 같이 실질 적 으로 평면 외 ( 예 를 들 어 , 기판 에 수직 임 ) 이 거나 , 또는 실질 적 으로 평면 내 ( 예 를 들 어 , 기판 에 평행 함 ) 일 수 있 다 .