여기 서 , 상기 등 가 회로 를 이루 는 저항 , 커패시턴스 및 인덕턴스 의 값 의 추출 은 예 를 들 면 , 상기 정의 한 테스트 구조 들 의 s 파라미터 를 측정 을 통해 얻 고 , 그 s 파라미터 의 결과 를 상기 제작 한 테스트 구조 의 전기 적 등 가 모델 에 피팅 ( fitting ) 시켜 각 PE 의 저항 , 커패시턴스 및 인덕턴스 의 값 을 추출 한다 .