플라 즈 마 처리 가 종료 된 후 , 정 전척 ( 40 ) 으로부터 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 이탈 시킬 때 에 는 , 전열 가스 의 공급 이 정지 되 고 , 정 전척 ( 40 ) 의 전극 ( 40 a ) 으로 의 전압 의 공급 이 정지 된다 . 그리고 , 리프트 핀 ( 81 ) 이 상승 함 으로써 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 정전 척 ( 40 ) 으로부터 들 어 올려진다 . 그리고 , 게이트 밸브 ( 30 ) 가 열리 고 , 도시 하 지 않 은 반송 아암 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 넘겨 받 아 져 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 처리 용기 ( 10 ) 내 로부터 반출 된다 .