웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 가 스크럼 상태 를 유지 한 채 로 상기 서술 한 각각 의 이동 방향 으로 이동 함 에 따라 , 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 사이 에 형성 되 어 있 던 액침 영역 ( 14 ) 은 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 으로부터 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 으로 이동 한다 . 도 71 에 는 , 이 이동 도중 에 , 액침 영역 ( 14 ) 이 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 으로부터 그 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 계측 부 ( 138 ) , 및 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 FD 바 ( 46 ) 를 통해 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 테이블 본체 ( 34 ) 상 에 건네 받 기 직전 의 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 상태 가 도시 되 어 있 다 .