상술 한 바 와 같이 , 공정 STb 및 공정 ST 2 는 , 챔버 ( 10 ) 내 에서 플 라즈 마가 생성 되 고 있 는 상태 로 실행 된다 . 공정 STb 에서 는 , 바이어스 전원 ( 62 ) 으로부터 바이어스 ( BE ) 가 하부 전극 ( 18 ) 에 공급 된다 . 그 결과 , 도 7 에 나타내 는 바 와 같이 기판 ( W ) 의 전위 가 주기 적 으로 변동 한다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 C ) 가 이용 되 는 경우 에 , 공정 ST 2 에서 는 , 양극 성 의 전압 이 전원 장치 ( 76 ) 로부터 도전 성 부재 ( 74 ) 에 인가 된다 . 구체 적 으로 , 양극 성 의 전압 은 , 기판 ( W ) 의 전위 가 음인 기간 에 있 어서 도전 성 부재 ( 74 ) 에 인가 된다 .