여기 서 , 로딩 부 ( 미 도시 ) 는 기판 ( 110 ) 을 클램프 부 ( 120 ) 까지 이송 시킬 수 있 도록 , 예 를 들 어 , 진공 흡착 장치 또는 기판 ( 110 ) 을 파지 할 수 있 는 지그 형태 등 으로 구성 될 수 있 다 . 또한 , 언로 딩 부 ( 미 도시 ) 는 기판 ( 110 ) 을 클램프 부 ( 120 ) 에서부터 반출 할 수 있 도록 로딩 부 ( 미 도시 ) 와 상응 하 는 부재 를 이용 할 수 있 다 .