본 발명 은 사 입사 조명 장치 , 노광 장비 및 사 입사 조명 방법 을 제공 한다 . 상기 사 입사 조명 장치 는 마스크 와 , 상기 마스크 로 수직 입사 되 도록 광 을 출사 하 는 광원 및 상기 광 의 입사각 을 가변 시키 는 입사각 가변 부 를 구비 한다 . 또한 상기 노광 장비 는 상기 사 입사 조명 장치 에 더 하 여 웨이퍼 스테이지 와 광 검출기 를 더 구비 한다 . 또한 사 입사 조명 방법 은 광원 으로부터 광 을 마스크 로 조사 하 는 단계 와 , 상기 광원 및 상기 마스크 의 위치 를 이동 시켜 상기 마스크 에 대한 상기 광 의 입사각 을 가변 시키 는 단계 를 포함 한다 .