전력 소모 를 줄일 수 있 는 반도체 메모리 장치 의 서브 워드 라인 구동회 로 및 서브 워드 라인 구동 방법 이 개시 되 어 있 다 . 서브 워드 라인 드라이버 는 제 1 트랜지스터 , 제 2 트랜지스터 , " 및 제 3 트랜지스터 를 구비 한다 . 제 1 트랜지스터 는 메인 워드 라인 구동 신호 에 응답 하 여 부스 팅 노드 를 제 1 전압 으로 프리 차지 시킨다 . 제 2 트랜지스터 는 서브 워드 라인 구동 신호 에 응답 하 여 부스 팅 노드 를 제 2 전압 으로 승압 시키 고 서브 워드 라인 에 서브 워드 라인 구동 신호 를 제공 한다 . 제 3 트랜지스터 는 서브 워드 라인 구동 신호 의 로직 "" 하이 "" 상태 의 전압 레벨 인 승압 전압 보다 낮 은 제 3 전압 에 응답 하 여 메인 워드 라인 구동 신호 를 서브 워드 라인 에 제공 한다 . "