단위 사이클 2 는 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 을 증착 하 기 위한 원자 층 증착 법 의 다른 예 를 설명 하 기 위한 것 으로서 , [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 을 원자 층 증착 법 에 의해 형성 할 때 Zr 원자 와 Nb 원자 가 하나 의 분자 로 구성 된 단일 분자 소스 를 이용 하 는 방법 이 다 .