데이터 캡 핑 층 ( 142 ) 은 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 을 상부 에서 덮 어 보호 한다 . 데이터 캡 핑 층 ( 142 ) 은 데이터 도전 층 ( 140 ) 의 상부 에 배치 되 는 층 이나 제조 공정 ( 예컨대 , 제 3 컨 택 홀 ( CNT 3 ) 형성 공정 ) 중 에 사용 되 는 에 천트 나 기타 화학 물질 로부터 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 을 보호 하 는 역할 을 할 수 있 다 . 또 , 공정 과정 에서 상부 의 비아 층 ( 165 ) 이 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 과 직접 접촉 하 는 것 을 방지 하 여 , 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 이 비아 층 ( 165 ) 의 물질 에 의해 부식 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 데이터 캡 핑 층 ( 142 ) 은 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 을 이루 는 물질 ( 예컨대 , 구리 ) 이 인접 한 상부 막 측 으로 확산 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 데이터 캡 핑 층 ( 142 ) 은 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 과 직접 접촉 할 수 있 다 .