플라 즈 마 전자 온도 가 높 을수록 , C 4 F 6 가스 의 해리 가 진행 되 어 , 흡착 계수 가 큰 전구체 는 감소 하 고 흡착 계수 가 작 은 전구체 는 증가 한다 . 그 결과 , 도 8 b 에 나타내 는 바 와 같이 , " 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 개구 에 폴리머 ( 105 ) 가 잘 퇴적 되 기 않 아 폐색 되 기 어렵 게 된다 ( "" A `"" 참조 ) ", 또한 , 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 측면 에서 소비 되 는 전구체 가 적어지 므로 , " 홀 ( H ) 바닥 의 텅스텐 층 ( 130 ) 상 이나 홀 ( H ) 의 깊 은 쪽 측면 에 도달 하 는 전구체 가 많 아 져 폴리머 ( 105 ) 가 텅스텐 층 ( 130 ) 상 에 많이 퇴적 하 게 된다 ( "" B `"" 참조 ) . "