마찬가지 로 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 가 결함 빔 의 빔 25 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 25 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 25 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 그리고 , 아래 로부터 3 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 25 을 대신 하 여 정상 빔 의 빔 26 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 그리고 , 아래 로부터 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 25 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 26 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 빔 의 되돌림 양 과 , 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 가 모두 , 8 빔 간 피치 로 일치 되 어 버리 는 경우 에 도 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 내 의 전체 16 화소 가 , 모두 결함 빔 에 의해 묘화 되 지 않 고 , 결함 빔 에 의해 묘화 되 는 화소 수 를 사선 으로 나타낸 4 화소 , 즉 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 1 / 4 로 저감 할 수 있 다 .