모든 후속 공정 에서 x 및 / 또는 y 방향 으로 초기 의 위치 설정 이후 에 하부 기판 홀더 가 상부 기판 홀더 에 대해 z 방향 으로 만 상대 운동 을 수행 하 는 예시 적 인 실시 예 가 설명 되 고 도시 된다 . 상기 바람직 한 해결책 대신 에 , 기판 홀더 는 공정 영역 으로부터 완전히 벗어나 이동 할 수 있 고 매우 정밀 하 게 공정 영역 으로 다시 귀환 할 수 있 다 . 특히 , 결합 되 어야 하 는 후속 기판 에 대한 기판 스택 의 정확 한 조정 을 보장 하 기 위한 옵션 으로서 기판 홀더 상 에서 기판 스택 의 제 1 기판 을 새로 교정 하 는 작업 이 공개 된다 . 일반 적 으로 , 하부 기판 홀더 의 이동 에 의해 하부 기판 또는 기판 스택 이 x 및 / 또는 y 축 으로 매번 이동한 후 에 광학 축 에 대한 제 1 기판 의 정렬 마크 의 새로운 위치 설정 이 수행 되 어야 한다 . 특히 제 1 기판 의 정렬 마크 가 하부 측 부 에 위치 하 여 렌즈 에 직접 접근 할 때 상기 위치 설정 은 매우 쉽 게 일어난다 . 제 1 기판 의 정렬 마크 가 추가 기판 들 에 의해 덮이 면 , 스택 이 이미 구성 되 었 기 때문 에 , 제 1 기판 또는 제 1 기판 상 에 적층 된 추가 기판 은 감지기 및 렌즈 가 작동 하 는 파장 범위 에서 투명 해야 한다 . 특히 기판 스택 이 서로 다른 작업실 , 기계 , 회사 또는 국가 들 사이 에서 이송 되 어야 할 때 상기 교정 은 필요 하 다 .