공동 공진기 ( 14 ) 내 에 입사 한 전자파 는 , 웨이퍼 ( W ) 표면 의 도전 성막 ( 8 ) 상태 와 공동 공진기 ( 14 ) 로 형성 되 는 특성 임피던스 에 따른 임피던스 정합 상태 에 의해 , 일부 는 투과 전자파 로서 제 2 결 합부 ( 17 b ) 로부터 네트워크 애널라이저 ( 12 ) 의 포트 ( P 2 ) 에 입력 되 어 모니터 된다 . 또한 , 투과 되 지 않 는 전자파 가 반사 전자파 로서 제 1 결 합부 ( 17 a ) 로부터 네트워크 애널라이저 ( 12 ) 의 포트 ( P 1 ) 에 입력 되 어 모니터 된다 .