상기 반도체 기판 에 있 어서 , 상기 기능 층 은 , 3 - 5 족 화합물 층 으로서 , 3 족 원소 로서 Al , Ga 및 In 으로 이루어진 군 에서 선택 된 1 이상 의 원소 를 함유 하 고 , 5 족 원소 로서 N , P , As 및 Sb 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 1 이상 의 원소 를 함유 하 여도 좋 다 . 상기 반도체 기판 에 있 어서 , 상기 기능 층 의 산술 평균 거칠 기 는 0 . 02 ㎛ 이하 여도 좋 다 .