또한 , 상기 와 같이 저장 용기 ( 500 ) 를 제 1 방향 즉 , X 축 방향 및 제 2 방향 즉 , Y 축 방향 으로 연장 되 는 판형 의 형상 을 가지 도록 구성 하 는 경우 증착 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 설치 되 는 히터 는 제 1 방향 및 제 2 방향 을 포함 하 는 면 을 따라 형성 될 수 있 다 . 즉 , 공급 챔버 ( 200 ) 로부터 증착 챔버 ( 100 ) 로 저장 용기 ( 500 ) 를 이동 시키 고 , 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 챔버 ( 300 ) 로 저장 용기 ( 500 ) 를 이동 시킴 에 있 어서 , 히터 에 의한 간섭 발생 을 방지 하 기 위하 여 증착 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 설치 되 는 히터 를 X 축 방향 및 Y 축 방향 을 포함 하 는 면 , 즉 Z 축 에 수직 한 면 을 따라 형성 시키 고 , X 축 또는 Y 축 방향 에 수직 한 면 에 는 히터 가 설치 되 지 않 도록 구성 할 수 있 다 . 이러 한 경우 에 도 저장 용기 ( 500 ) 는 X 축 방향 과 Y 축 방향 으로 연장 되 는 판형 의 형상 을 가지 므로 히터 에 의하 여 넓 은 면적 을 가지 는 면 만 을 가열 시킴 으로써 원료 물질 을 증발 시키 는데 있 어 전혀 문제 가 발생 하 지 않 는다 .