교반 날개 가 부착 된 1000 ml 의 세 퍼 러블 플라스크 를 질소 치환 하 고 , 그 플라스크 에 , 합성 예 1 에서 얻 어 진 폴리에스테르 아미드 산 ( A ) 용액 을 40 . 00 g , 중합 성 이중 결합 을 갖 는 화합물 로서 M - 402 를 60 . 00 g , 분자량 조정 제 로서 2 - 히드록시 - 1 , 4 - 나프 토 퀴논 을 0 . 06 g , 광중합 개시제 로서 NCI - 930 을 1 . 2 g , 에 폭 시기 를 갖 는 중합체 ( D ) 용액 을 12 . 00 g , 에폭시 화합물 로서 EHPE 3150 을 1 . 2 g , 에폭시 경화제 로서 트리 멜 리트 산 무수물 ( 이하 , 「 TMA 」 라고 약기 ) 을 2 . 0 g , 첨가제 로서 3 - 글 리시 딜 옥시 프로필 트리 메 톡 시 실란 의 중합체 ( 상품명 ; COATOSIL MP 200 , 모 멘 티 브 · 퍼포먼스 · 머티 리얼 합동 회사 ) 를 1 . 92 g , NT - 200 ( 상품명 ; 도요 합성 공업 주식회사 ) 을 0 . 64 g , 및 ADK STAB AO - 60 ( 상품명 ; 주식회사 ADEKA ) 을 0 . 06 g , 용제 로서 탈수 정제 한 MMP 를 4 . 1 g , 및 PGMEA 를 22 . 0 g 넣 고 , 실온 에서 3 시간 교반 하 여 , 균일 하 게 용해 시켰 다 . 이어서 , 메 가 팍 크 F - 556 ( 상품명 ; DIC 주식회사 ) 0 . 02 g 을 투입 하 고 , 실온 에서 1 시간 교반 하 여 , 멤 브레인 필터 ( 0 . 2 ㎛) 로 여과 하 여 감광성 조성물 을 조제 했 다 .