이어서 , 도 6 및 도 7 에서 와 같이 수소 분위기 에서 2 차례 에 걸친 어닐링 공정 을 실시 하 여 패턴 홀 ( 20 ) 형성 을 위한 식각 공정 시 기판 ( 10 ) 표면 에 발생 하 는 결함 을 제거 한다 . 여기 서 , 실시 하 는 2 차례 의 어닐링 공정 은 도 2 및 도 3 에서 전술 한 공정 과 동일 한 공정 으로 그 레시피 ( recipe ) 또한 동일 하 고 , 이 에 대한 효과 또한 동일 하 므로 더 이상 의 언급 은 생략 하 기 로 한다 .