도 9 는 도 3 에 도시 된 EUV 광원 ( 10 ') 에서 사용 하 고 , 도 6 에 도시 된 배치 를 공통 으로 하 여 하나 이상 의 컴포넌트 를 구비 하 고 , " 광학 거리 "" c "" 의 길이 가 조정 가능 한 디바이스 ( 1014 로 라벨 링 됨 ) 의 또 다른 실시 예 를 도시 한다 . 특히 ", 도 9 는 상술 되 고 , 도시 된 바 와 같이 배치 된 , 완전 반사 미러 ( 1604 a , b ) , 전기 - 작동식 소자 ( 1606 ) , 증폭기 ( 1602 ) , 편광기 ( 1612 , 1616 ) , PRM ( 1620 ) , 미러 ( 1622 ) 및 스위치 ( 1610 , 1628 ) 를 구비 한 레이저 오실 레이터 ( 1600 ) 를 디바이스 ( 1014 ) 가 포함 하 는 것 을 도시 한다 . 또한 도시 된 바 와 같이 , 4 개 의 터닝 미러 ( 1650 a - d ) 가 편광기 ( 1612 ) 와 편광기 ( 1616 ) 사이 에서 광학 경로 길이 를 따라서 설치 되 고 , 미러 ( 1650 c 및 1650 d ) 는 광학 길이 ( c ) 의 조정 을 허용 하 기 위해 화살표 ( 1652 ) 방향 으로 이동 가능 하 다 . 이러 한 배치 로 , 미러 ( 1604 a ) 는 전기 - 작동식 소자 ( 1606 ) 를 통해 이동 되 고 및 / 또는 미러 ( 1650 c , d ) 는 , Lcombined =( N + x ) * L 0 ( 여기 서 , " "" N "" 은 정수 이 고 "," "" x "" 는 예 를 들 면 ", 0 . 4 내지 0 . 6 사이 의 0 . 5 ) , Lcombined =( a + 2 b + c + d + e ) 및 L 0 =( a + b ) 가 되 도록 이동 될 수 있 다 .