( 5 ) 본 제 1 실시 형태 에서 는 , 온도 가 낮 아 지 는 제 1 비아 ( V 1 ) 와 온도 가 높 아 지 는 제 3 발열체 ( H 3 ) 가 일부 가 겹치 게 배치 되 고 , 또한 , 온도 가 낮 아 지 는 제 2 비아 ( V 2 ) 와 온도 가 높 아 지 는 제 1 발열체 ( H 1 ) 가 일부 가 겹치 게 배치 되 어 있 다 . 따라서 , 각 가열 존 ( KZ ) 의 평면 방향 에 있 어서 의 온도 분포 를 균일화 시킬 수 있 다 .