이 때 매핑 센서 는 , 기판 의 촬상 화상 을 취득 하 면서 하강 이동 을 행한다 . 즉 , 발광 부가 기판 을 향해 촬상용 광 을 조사 함 과 더불 어 , 촬상부가 발광 부 에 의해서 조사 된 광 의 반사광 의 촬상 을 행하 여 촬상 화상 을 취득 한다 . 이 에 의해 , 매핑 센서 측 으로부터 기판 을 본 시점 에 있 어서 의 촬상 화상 을 취득 할 수 있 고 , 예 를 들 면 1 장 혹은 복수 장 의 기판 의 외 주단 이 찍힌 촬상 화상 을 취득 할 수 있 다 . 따라서 , 촬상 화상 에 의거 해 , 예 를 들 면 기판 의 수용 상태 를 파악 할 수 있 다 .