표 1 을 참고 하 면 , 질소 플 라즈 마 를 발생 한 경우 ( A - 1 ) 증착 이 이루어지 지 않 았 으며 , 암모니아 플 라즈 마 를 발생 한 경우 ( A - 3 ) 증착 율 이 가장 높 았 으며 , 플라 즈 마 없이 암모니아 를 사용 한 경우 ( A - 2 ) 에 비하 여 증착 율 이 매우 높 았 다 . 따라서 , 암모니아 에 비해 암모니아 플 라즈 마가 반응 성 이 높 다는 것 을 알 수 있 었 다 . 이 처럼 , 본원 발명 의 실시 예 에 따른 질화 규소 막 증착 방법 과 같이 , 암모니아 플 라즈 마 를 발생 하 여 원자 층 증착 방법 을 이용 하 여 질화 규소 막 을 증착 하 면 , 증착 속도 가 향상 됨 을 알 수 있 다 .