바이 아스 플라스마 시스템 ( 680 B ) 은 바이 아스 RF ( BRF "") 생성기 ( 631 C ) 및 바이 아스 매칭 네트워크 ( 632 C ) 를 포함 한다 . 바이 아스 플라스마 시스템 ( 680 B ) 은 용량 성 으로 기판 부 ( 617 ) 를 바디 맴 버 ( 622 ) 와 커플링 시키 며 ", 이 는 무료 전극 과 같이 작용 한다 . 바이 아스 플라스마 시스템 ( 680 B ) 은 기판 의 표면 으로 소스 플라스마 시스템 ( 680 A ) 에 의해 만들 어 진 플라스마 종 ( 예 를 들 어 , 이온 ) 의 전달 을 높이 기 위해 제공 된다 . 특이 적 구체 예 에서 , 바이 아스 RF 생성기 는 5 MHz 미만 의 주파수 에서 10 , 000 와트 이하 의 RF 파워 를 제공 한다 , 이 는 아래 에 추가 논의 된다 .