또한 , 기배 치 컨버전 키트 ( 111 ) 의 제거 시 에 는 테이블 모듈 ( 11 ) 의 컨버전 키트 ( 111 ) 를 흡입 하 는 테이블 용 키트 함몰 부 ( 1122 a ) 에서 는 진공 흡착 이 해제 되 어 있 을 수 있 고 , 픽커 모듈 의 컨버전 키트 ( 111 ) 를 흡입 하 는 픽커 용 키트 함몰 부 ( 1122 b ) 은 컨버전 키트 ( 111 ) 의 이송 을 위한 컨버전 키트 ( 111 ) 의 흡착 을 위해 진공 흡착 이 가능 하 다 .