도 21 은 게이트 트렌치 ( 예컨대 도 9 의 69 A , 69 B , 69 C 참조 ) 내 에 그리고 제 1 ILD ( 90 ) 의 상부 면 위 에 배치 된 금속 게이트 ( 97 C ) 의 다양 한 층 ( 예컨대 , 82 , 83 , 85 , 87 , 및 93 ) 을 도시 한다 . 금속 게이트 ( 97 C ) 의 P 타입 일함수 층 ( 83 ) 은 금속 게이트 ( 97 A ) 의 P 타입 일함수 층 ( 84 ) 과 는 상이 하 다 .