또 , 상기 실시 형태 의 노광 장치 는 , 비 발광 형 화상 표시 소자 를 구비 하 는 가변 형 마스크 에 대신 하 고 , 자 발광 형 ( 自發 光 型 ) 화상 표시 소자 를 포함 하 는 패턴 형성 장 치 를 구비 하 도록 해도 된다 . 이 경우 , 조명 계 는 불 필요 해진다 . 여기 서 자 발광 형 화상 표시 소자 로서 는 , 예 를 들 면 , CRT ( Cathode Ray Tube ) , 무기 EL 디스플레이 , 유기 EL 디스플레이 ( 또는 OLED : Organic Light Emitting Diode ) , LED 디스플레이 , LD 디스플레이 , 전계 방출 디스플레이 ( FED : Field Emission Display ) , 플라스마 디스플레이 ( PDP : Plasma Display Panel ) 등 을 들 수 있 다 . 또 , 패턴 형성 장치 가 구비 하 는 자 발광 형 화상 표시 소자 로서 , 복수 의 발광 점 을 가지 는 고체 광원 칩 , 칩 을 복수 개 어레이 형상 으로 배열 한 고체 광원 칩 어레이 , 또는 복수 의 발광 점 을 한 장 의 기판 에 만들 어 넣 은 타입 의 것 등 을 사용 하 고 , 이 고체 광원 칩 을 전기 적 으로 제어 하 여 패턴 을 형성 해도 된다 . 또한 , 고체 광원 소자 는 , 무기 , 유기 를 불문 한다 .