( 3 ) 상기 한 실시 형태 에서 는 , 검사 시스템 ( 4 ) 에 제 1 투광 장치 ( 25 ) 와 제 2 투광 장치 ( 26 ) 를 구비 하 는 구성 을 예 로 들 어 설명 하 였 다 . 그러나 , 이 와 같 은 구성 에 한정 되 지 않 는다 . 검사 시스템 ( 4 ) 에 구비 하 는 투광 장치 의 수 는 적절히 변경 해도 된다 . 예 를 들 면 , 기준면 F 에 대향 하 는 측 으로부터 투광 하 도록 제 3 투광 장치 ( 28 ) 를 설치 해도 된다 . 예 를 들 면 , 도 10 에 나타낸 바 와 같이 , 하우징 ( 20 ) 의 하면 을 기준면 F 으로 하 여 , 그 기준면 F 에 대향 하 는 하방 측 으로부터 투광 하 도록 제 3 투광 장치 ( 28 ) 를 설치 해도 된다 . 또는 , 하우징 ( 20 ) 의 하나 의 측면 을 기준면 F 으로 하 여 , 그 기준면 F 에 대향 하 는 측방 측 으로부터 투광 하 도록 제 3 투광 장치 ( 28 ) 를 설치 해도 된다 . 또한 , 검사 시스템 ( 4 ) 이 , 이 들 투광 장치 를 구비 하 지 않 는 구성 으로 해도 된다 .