이하 에 , ( 1 ) 식 의 도출 예 를 나타낸다 . 이 예 에서 는 , 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 산 출부 ( 64 ) 는 , 미리 정해진 기준 위치 로부터 의 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 ( Defocus ) 를 , - 6 ㎛∼- 34 ㎛ 의 제 1 범위 내 에서 15 가지 로 , 또한 , - 90 ㎛∼- 120 ㎛ 의 제 2 범위 내 에서 16 가지 로 바꾸 면서 , 웨이퍼 ( 1 ) 내의 31 개소 에 개질 층 을 형성 하 고 , 각 개질 층 의 깊이 ( Depth ) 를 나타내 는 측 정점 을 , 전술 한 좌표 축 에 플롯 하 고 있 다 . 이 예 에 있 어서 의 웨이퍼 ( 1 ) 의 두께 는 , 700 ㎛ 이 다 .