여기 광 조명 장치 ( 6 ) 는 , 전자 부품 ( Wx ) 및 재치 부재 ( 5 ) 에 여기 광인 자외선 을 조사 하 는 것 이 고 , 전자 부품 ( Wx ) 의 위쪽 ( 上方 ) 으로부터 여기 광 을 조사 하 는 동축 조명 부 ( 61 ) 를 가지 고 있 다 . 이 동축 조명 부 ( 61 ) 는 , 촬상 장치 ( 7 ) 의 촬상축과 동일 방향 으로부터 여기 광 을 조사 하 는 것 이 다 . 구체 적 으로 동축 조명 부 ( 61 ) 는 , 자외선 을 사출 하 는 LED 등 의 자 외 광원 ( 611 ) 과 , 당해 자 외 광원 ( 611 ) 으로부터 의 자외선 을 반사 하 는 하프 미러 ( 612 ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 하프 미러 ( 612 ) 는 , 자 외 광원 ( 611 ) 으로부터 의 자외선 을 촬상 장치 ( 7 ) 의 촬 상축 에 대해 동축 에 낙사 ( 落 射 ) 하 는 것 이 다 .