이 에 따라 , 도 7 의 시뮬레이션 결과 와 같이 , 여유 공간 ( V ) 의 바닥 면 ( 21 ) 과 배기 통로 ( 40 ) 가 동일 한 깊이 로 형성 된 2 단 포켓 ( Pocket ) 의 경우 에 기판 ( S ) 의 상면 과 하면 의 압력 차이 가 - 1 . 02 N 으로 나타난 것 보다 , 배기 통로 ( 40 ) 가 여유 공간 ( V ) 바닥 면 ( 21 ) 의 제 1 깊이 ( D 1 ) 보다 더 깊 은 제 3 깊이 ( D 3 ) 로 형성 된 3 단 포켓 의 경우 에 기판 ( S ) 의 상면 과 하면 의 압력 차이 가 - 1 . 3 N 으로 더욱 크 게 나타난 것 과 같이 , 포켓 홈 부 ( 30 ) 내부 에 형성 되 는 여유 공간 ( V ) 보다 더 깊 게 형성 되 는 배기 통로 ( 40 ) 에 의해 포켓 홈 부 ( 30 ) 의 기판 ( S ) 흡 착력 을 더욱 증가 시키 는 효과 를 가질 수 있 다 .