본 발명 의 일 실시 예 는 실리콘 부품 을 제조 하 는 방법 을 제공 하 며 , 상기 방법 은 , ( a ) 주기 적 ( cyclic ) 실리콘 성장 프로세스 를 이용 하 여 실리콘 샘플 을 제공 하 는 단계 ; ( b ) 부품 이 형성 되 도록 실리콘 샘플 을 기계 가공 하 는 단계 ; 및 ( c ) 부품 을 어닐링 하 는 단계 를 포함 한다 . 본 실시 예의 실리콘 성장 프로세스 는 , ( a 1 ) 제 1 시간 기간 동안 제 1 비활성 가스 분위기 에서 실리콘 성장 을 시작 하 는 단계 , ( a 2 ) 제 2 시간 기간 동안 환원 가스 분위기 에서 실리콘 성장 을 지속 하 는 단계 , ( a 3 ) 제 3 시간 기간 동안 제 2 비활성 가스 분위기 에서 실리콘 성장 을 지속 하 는 단계 , 및 ( a 4 ) 실리콘 샘플 에 대해 원 하 는 특성 이 얻 어 질 때 까지 충분 한 회수 의 사이클 동안 ( a 2 ) 및 ( a 3 ) 단계 를 수행 하 는 단계 를 더 포함 한다 .