또한 , 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 노광 이 완료 된 웨이퍼 를 유지 하 는 웨이퍼 스테이지 의 대응 하 는 로딩 포지션 을 향한 귀환 경로 를 따른 이동 을 가장 효율 적 으로 개시 할 수 있 도록 , 웨이퍼 스테이지 ( WS 1 , WST 2 ) 의 스크럼 개시 시의 X 축 방향 의 오프셋 량 이 결정 되 어 있 는 것 으로 했 지만 , 이것 대신 에 , 혹은 이것 과 함께 , 다음 의 노광 대상 인 웨이퍼 의 노광 의 개시 를 가장 효율 적 으로 실시 할 수 있 도록 , 웨이퍼 스테이지 ( WS 1 , WST 2 ) 의 스크럼 개시 시의 X 축 방향 의 오프셋 량 이 결정 되 어 있 어도 된다 .