본 발명 은 유해 가스 처리 를 위한 플 라즈 마 가스 스 크 러버 에 관한 것 으로 , 반도체 공정 또는 화학 공정 이 이루어지 는 소정 의 챔버 로부터 유해 가스 를 유입 하 고 내부 에서 ( +)(-) 전극 의 스파크 에 의한 불꽃 을 형성 하 여 처리 대상 유해 가스 를 고온 의 플 라즈 마 상태 로 만들 어 상기 유해 가스 를 연소 시키 는 플 라즈 마 처리 기 ; 상기 유해 가스 연소 후 에 상기 플 라즈 마 처리 기 에서 유출 되 는 고온 의 연소 가스 를 냉각 시키 고 상기 연소 가스 에 포함 된 수용성 가스 를 제거 함 과 동시 에 상기 플 라즈 마 처리 기 에서 생성 된 연소 찌꺼기 를 세 척하 도록 냉각 매체 를 분사 하 는 적어도 하나 의 제 1 분사 노즐 을 구비 하 는 냉각 세척 챔버 ; 상기 냉각 세척 챔버 로부터 1 차 로 냉각 된 연소 가스 를 제공 받 아 2 차 로 냉각 시키 도록 냉각 매체 를 분사 하 는 적어도 하나 의 제 2 분사 노즐 을 구비 하 는 냉각 챔버 ; 및 상기 냉각 세척 챔버 및 상기 냉각 챔버 사이 에 구비 되 어 상기 냉각 세척 챔버 로부터 수용성 가스 가 혼합 된 폐수 와 연소 찌꺼기 를 제공 받 아 수용 하 는 저장조 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 아울러 , 유해 가스 처리 를 위한 플 라즈 마 가스 스 크 러버 의 제어 방법 을 통해 사용 자 의 편리 성 을 증대 시키 며 , 운전 성 을 향상 시킬 수 있 는 장점 이 있 다 .