본 발명 은 임프 린트 용 스탬프 제조 방법 에 관한 것 으로 유리 기판 위 에 상기 유리 기판 보다 건식 식각 률 이 높 은 실리콘 화합물 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 형성 된 실리콘 화합물 막 의 상부 면 에 패턴 이 정의 된 마스크 층 을 형성 하 는 단계 ; 상기 마스크 층 을 사용 하 여 상기 실리콘 화합물 막 을 건식 식각 하 여 상기 패턴 을 상기 실리콘 화합물 막 으로 전사 하 는 단계 ; 및 상기 마스크 층 을 제거 하 는 단계 를 포함 하 며 , 이 에 따라 고가 의 쿼츠 ( quartz ) 대신 저가 의 유리 를 기판 으로 사용 하 여 스탬프 의 제작 비용 을 줄일 수 있 다 . 또한 , 유리 보다 식각 률 이 높 은 실리콘 화합물 막 에 원하 는 패턴 을 만들 어 스탬프 로 사용 하 므로 스탬프 의 제조 공정 시간 을 줄일 수 있 으며 스탬프 의 제작 이 용이 하 다 .