하우징 ( 110 ) 의 바닥 면 에 는 배기 홀 ( 102 ) 이 형성 된다 . 배기 홀 ( 102 ) 은 배기 라인 ( 151 ) 과 연결 된다 . 공정 과정 에서 발생 한 반응 부산물 및 하우징 ( 110 ) 의 내부 공간 에 머무르 는 가스 는 배기 라인 ( 151 ) 을 통해 외부 로 배출 될 수 있 다 . 배기 과정 에 의해 하우징 ( 110 ) 내부 는 소정 압력 으로 감압 된다 .