또한 , 종래 에 는 코일 부재 ( 30 ') 가 대기 에 노출 되 도록 설치 되 어 있 어서 외부 의 물리 적 충격 에 의해 코일 부재 가 변형 되 며 , 코일 부재 ( 30 ') 가 고주파 전원 인가 에 의해 장시간 발열 하 게 되 어 코일 부재 의 형상 에 변화 가 발생 하 게 되 는 문제점 도 있 었 다 . 이 와 같이 , 코일 부재 ( 30 ') 가 변형 되 면 , 코일 부재 의 유도 성 리액턴스 가 변하 게 되 어 고주파 플라 즈 마 생 성 에 오 차 가 발생 되 어 , 결국 에 는 식각 불량 을 야기 하 게 된다 .