도 18 을 참조 하 면 , 연결 비아 ( V 1 ) 는 트렌치 ( T ) 의 내부 를 전부 채울 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 연결 비아 ( V 1 ) 의 상면 의 폭 ( W 2 ) 은 전도성 필라 ( 425 ) 의 폭 ( W 1 ) 보다 클 수 있 다 . 연결 비아 ( V 1 ) 의 하면 의 폭 ( W 3 ) 은 전도성 필라 ( 425 ) 의 폭 ( W 1 ) 과 동일 할 수 있 다 . 연결 비아 ( V 1 ) 의 상면 의 폭 ( W 2 ) 은 하면 의 폭 ( W 3 ) 보다 클 수 있 다 .