다만 , 설정 부압 ( Po ) 이 대기압 에 비하 여 크 게 낮 거나 ( 예 를 들 어 , - 2 . 0 psi ~ - 4 . 0 psi ) 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 의 저면 이 웨이퍼 와 밀착 특성 이 낮 은 재질 이나 표면 거칠 기 인 경우 에 는 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 은 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 약간 상방 으로 돌출 되 는 변형 이 생길 수 도 있 지만 , 도 12 a 및 도 14 에 도시 된 바 와 같이 대부분 작 은 높이 의 변형 이 생기 면서 웨이퍼 ( W ) 와 의 사이 에 진공 공간 ( Cx ) 이 형성 된다 .