본 발명 에 따른 필터 장치 ( 1 ) 는 예 를 들 면 , 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 워크 를 흡착 패드 ( 10 ) 에 흡착 시켜서 소정 위치 에 반송 하 는 흡착 반송 장치 등 에 사용 되 는 것 으로서 , 부압 원 ( 13 ) 및 정압 원 ( 14 ) 을 , 전자 파일 롯 식 스위칭 밸브 ( 11 , 12 ) 에 의해 선택 적 으로 스위칭 되 어 연통 되 는 유로 ( 15 ) 에 설치 하 고 , 상기 유로 ( 15 ) 를 흐르 는 공기 등 의 기체 를 여과 하 기 위한 것 이 다 . 여기 서 , 상기 부압 원 ( 13 ) 으로서 는 대기압 보다 낮 은 압력 을 공급 하 는 진공 압 발생 장치 ( 이 젝 터 장치 등 ) 를 사용 할 수 있 고 , 정압 원 ( 14 ) 으로서 는 대기압 보다 높 은 압력 을 공급 하 는 컴프레서 등 을 사용 할 수 있 다 .