상기 발명 ( 1 ~ 4 ) 에서 클리닝 부재 는 연마재 이 어도 좋 고 ( 발명 5 ) , 브러시 여도 좋 다 ( 발명 6 ) . 클리닝 부재 가 브러시 일 경우 , 상기 TCP 핸들링 장치 는 상기 브러시 또는 상기 접속 단자 에 대하 여 세정액 을 공급 할 수 있 는 세정액 공급 장치 를 구비 하 여도 좋 다 ( 발명 7 ) . 이러 한 발명 에 따르 면 , 접속 단자 의 더러움 을 효과 적 으로 없애 접속 단자 를 깨끗 하 게 할 수 있 다 .