기판 컨테이너 ( 100 ) 는 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 와 밀착 될 수 있 다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 와 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 밀착 은 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 일 측 에 설치 된 클램프 ( 218 ) 에 의해 이루어질 수 있 다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 와 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 가 밀착 할 경우 , 반도체 소자 의 제조 공정 중 에 기판 이 외기 로부터 오염 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .