도 9 d 를 참조 하 면 , 절 연막 ( 151 ) 일정 부분 을 식각 하 여 지지대 메탈 ( 112 ) 을 노출 시키 고 개방 부 ( 미 도시 ) 의 신호 라인 ( 110 ) 양 끝단 과 접촉 할 수 있 는 위치 에 접촉 수단 ( 130 ) 을 형성 한다 . 접촉 수단 ( 130 ) 은 절 연막 ( 151 ) 및 희생 막 ( 121 ) 상층부 일부 를 식각 하 고 도전 성 물질 을 매립 하 여 절 연막 ( 151 ) 하부 로 돌출 되게 형성 한다 .