상기 하부 유전체 층 은 제 2 기판 ( 30 ) 의 열팽창 계수 보다 α 만큼 큰 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 과 , 제 2 기판 ( 30 ) 의 열팽창 계수 보다 α 만큼 작 은 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 을 포함 한다 . 따라서 제 2 기판 ( 30 ) 과 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 사이 의 열팽창 계수 의 차이 로 인한 응력 을 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 에 의해 완화 하 여 제 2 기판 ( 30 ) 의 손상 을 방지 할 수 있 다 . 본 실시 예 에서 는 제 2 기판 ( 30 ) 상 에 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 및 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 순 으로 형성 함 을 예시 하 였으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 제 2 기판 ( 30 ) 에 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 및 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 의 순 으로 형성 될 수 도 있 다 .