또한 , 상기 제 1 산화아연 층 의 형성 은 Ar / O 2 분위기 에서 수행 될 수 있 다 . 특히 , 이 때 상기 Ar 과 O 2 의 몰 비 는 99 : 1 내지 50 : 50 일 수 있 다 . 선택 적 으로 , 상기 p - 도 펀트 가 도핑 된 도 펀트 층 의 도 펀트 농도 는 1018 내지 1022 / cm 3 일 수 있 다 . 선택 적 으로 , 상기 도 펀트 층 의 도 펀트 농도 는 1018 내지 1020 / cm 3 일 수 있 다 .