상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 , 전 자방 출원 을 갖 는 전자 빔 증착 장치 에 있 어서 , 상기 전자 방출 원 은 기판 상부 에 형성 된 캐소드 전극 과 , 상기 캐소드 전극 상부 에 형성 된 다 수개 의 에 미터 와 , 상기 에 미터 상부 에 스 페이서 에 의해 일정 거리 이격 되 어 형성 된 게이트 전극 으로 구성 된 전계 방출 패널 인 것 을 특징 으로 하 는 전계 방출 패널 을 이용 한 전자 빔 증착 장치 를 제공 한다 .