도 9 에서 , ( a ) 및 ( b ) 의 두 가지 동작 모드 에서 의 하이브리드 계측 시스템 을 볼 수 있 다 . 시스템 의 본체 내 에서 , 제 1 조명 시스템 ( IL 1 ) 및 제 1 검출 시스템 ( DET 1 ) 은 제 1 검사 장치 를 형성 하 는데 , 제 1 검사 장치 는 EUV 분광 반사계 일 수 도 있 고 , EUV 분광 반사계 는 도 3 에서 예시 되 는 바 와 같 은 제 1 검사 장치 ( 300 ) 일 수 도 있 다 . 이 들 컴포넌트 사이 에 , 예 를 들 면 , 제 2 검사 장치 ( 400 ) 일 수 도 있 는 제 2 검사 장치 를 형성 하 기 위해 , 제 2 조명 시스템 ( IL 2 ) 및 제 2 검출 시스템 ( DET 2 ) 이 제공 된다 . 도 9 ( a ) 에서 , 제 1 검사 장치 는 HHG 소스 를 사용 하 여 동작 하 고 있 다 . 이동 가능 한 미러 ( 902 ) 는 , 펌프 레이저 ( LAS ) 로부터 의 펌프 방사선 을 제 1 HHG 셀 ( 332 ) 로 지향 시키 도록 배치 된다 . SXR 방사선 이 상기 에서 설명 되 는 바 와 같이 그렇게 HHG 셀 내 에서 생성 되 고 , 그 다음 , 제 1 조명 시스템 ( IL 1 ) 안 으로 전달 된다 . 도 9 ( b ) 에서 , 제 2 검사 장치 는 , 상기 에서 설명 되 는 방식 으로 , 제 2 HHG 셀 ( 432 ) 내 의 두 개 이상 의 소스 위치 에서 SXR 방사선 을 생성 하 기 위해 HHG 소스 를 사용 하 여 동작 하 고 있 다 . 이동 가능 미러 ( 902 ) 는 펌프 레이저 ( LAS ) 로부터 의 방사선 이 제 2 HHG 셀 에 진입 하 도록 제 2 위치 로 이동 된다 . 이것 은 , 상기 에서 설명 되 는 바 와 같이 , 제 1 및 제 2 타 겟 ( Ta 및 Tb ) 을 조명 하 기 위해 , 제 2 조명 시스템 ( IL 2 ) 에 공급 될 제 1 및 제 2 방사선 을 생성 한다 .