매개변수 화 된 모델 ( 206 ) 내 의 강력 한 변수 와 약한 변수 모두 는 패 터닝 공정 의 하나 이상 의 단계 를 평가 하 기 위하 여 사용자 ( 예 를 들 어 , 인간 , 제 어 시스템 등 ) 에 의해 사용 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 하나 이상 의 약한 변수 는 타 겟 ( 30 ') 또는 다른 기판 상 에 결함 이 있 는지 여부 를 결정 하 는 데 유용 할 수 있 으며 , 이 는 스핀 코팅 , PEB , 현상 , 에칭 , 증착 , 도핑 및 / 또는 패 키 징 과 같 은 , 리소그래피 장치 에서 패턴 전사 에 앞선 또는 후속 하 는 하나 이상 의 공정 에 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 상 의 패턴 의 측벽 각도 가 특정 임계 값 을 초과 하 는 경우 , 후속 에칭 동안 하나 이상 의 결함 이 생성 될 수 있 다 . 이 와 같이 , 기판 상 의 패턴 의 측벽 각도 의 값 에 기초 하 여 에칭 공정 이 일어나 기 전 에 에칭 으로 인한 결함 가능 성 이 예측 될 수 있 다 . 이러 한 예 는 비 제한 적 이 다 .