도 88 은 저 장소 구성 의 실시 예 를 도시 하고 , 도 89 는 송풍기 흐름 ( 1120 ) , 플라 즈 마 공기 흐름 ( 1122 ) 및 NO 레벨 ( 1124 ) 을 비교 한 그래프 를 도시 한다 . 이 구성 은 2 개 의 중복 유동 경로 ( 1100 , 1102 ) 를 포함 한다 . 각각 의 유로 는 저장조 ( RES ) ( 1104 , 1106 ) 및 제 1 압력 센서 ( P 1 , P 3 ) 를 채워 저장조 내 의 압력 을 감지 하 는 펌프 를 포함 한다 . 피드백 루프 가 존재 하 여 펌프 가 각 저 장소 의 압력 에 따라 제어 된다 . 가변 유량 제한 기 ( FR 1 , FR 2 ) 는 벤 틸 레이터 흡기 유량 센서 ( 1108 ) 에서 측정 된 유량 에 기초 하 여 저장실 로부터 스파크 챔버 를 통한 가스 의 유량 을 조정 하 는 데 사용 된다 . 유량 센서 FS 1 , FS 2 는 가변 유량 제한 기 설정 을 조정 하 기 위해 제어 시스템 에 피드백 하 는 데 사용 된다 . 유속 은 예 를 들 어 0 내지 4 lpm 으로 변할 수 있 다 . 추가 압력 센서 ( P 2 및 P 4 ) 는 전체 NO 발생 제어 알고리즘 에 대한 입력 으로서 플 라즈 마 챔버 ( 1110 , 1112 ) 내 의 압력 을 측정 한다 . 공기 는 제어기 의 재 사용 가능 한 부분 인 매니폴드 에 위치 한 플 라즈 마 챔버 에서 스캐빈저 카트리지 로 흐르 며 여기 에서 스캐빈저 카트리지 는 필터 / 스캐빈저 / 필터 ( FSF ) 를 통해 흐른다 . 각 경로 의 체크 밸브 는 벤 틸 레이터 흡입구 의 과도 압력 이 NO 발생 경로 의 흐름 을 역전 시키 지 않 도록 한다 .