진공 증착 법 은 , 양질 의 막 을 기판 에 대하 여 균일 하 게 성막 할 수 있 고 , 적층 화 가 용이 하 며 우수 한 특성 의 발광 소자 가 얻 기 쉽 고 , 제작 프로세스 유래 의 불순물 의 혼입 이 극히 적 은 것 등 의 이점 이 있 어 , 현재 실용 화 되 어 있 는 유기 EL 소자 의 대부분 은 저 분자 재료 를 사용 한 진공 증착 법 에 의한 것 이 다 . 한편 , 진공 증착 법 에서 사용 하 는 진공 증착 장치 는 일반 적 으로 고가 이 며 , 연속 생산 이 어렵 고 , 모든 공정 을 진공 중 에서 행하 면 , 제조 비용 이 높 은 문제 가 있 다 .