상이 하 고 바람직 한 실시 예 에서 , 위치 결정 , 홀딩 및 이동 시스템 의 구동 부 는 , 비 - 이동 상태 에서 , 작동 전압 및 / 또는 전류 및 / 또는 다른 전력 공급 부 없이 , 각각 의 위치 를 유지 하 고 및 / 또는 정지 할 수 있 도록 제공 된다 . 이 는 , 정의 된 위치 에서 , 기판 및 / 또는 홀더 를 유지 하 는 것 을 바람직 하 게 가능 하 게 한다 .