본 발명 의 유용 한 실시 예 에 따르 면 , 반송 배관 ( 100 ) 의 적어도 일부 를 포함 하 는 회로 에서 의 공기 의 순환 이 , 상기 회로 내 에 배치 된 밸브 요소 들 ( 120 , 122 , 124 , 125 , 126 , 127 , VA , VB , VC , VD ) 과 같 은 게이트 / 조절 요소 에 의하 여 조절 ( regulated ) 및 / 또는 제 어 및 / 또는 개방 또는 폐쇄 된다 .