연마 헤드 ( 30 ) 의 거리 대신 에 , 연마 액 이 다시 튀 는 것 을 방지 하 기 위해 연마 헤드 ( 30 ) 의 경사 각도 를 조절 하 는 것 이 가능 하 다 . 특히 , 도 36 A 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 30 ) 는 전방 이 하방 을 향하 도록 경사 진다 . 이러 한 방식 으로 연마 헤드 ( 30 ) 를 경사지 게 하 여 , 연마 헤드 ( 30 ) 상 에 충돌 하 는 연마 액 이 하방 으로 유동 한다 . 이 경우 에 도 , 작동 제어기 ( 69 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 회전 속도 로부터 연마 헤드 ( 30 ) 의 경사 각도 를 결정 할 수 있 다 . 도 36 B 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 30 ) 의 전방 은 슈라우드 커버 ( 175 ) 의 내부 원주 표면 과 대체로 동일 한 위치 [ 즉 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 동일 한 반경 방향 거리 ] 에 놓이 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 배열 의 목적 은 슈라우드 커버 ( 175 ) 와 연마 헤드 ( 30 ) 사이 의 단차 ( 즉 , 반경 방향 위치 차이 ) 를 최소 화 하 여 , 연마 액 이 다시 튀 는 것 을 방지 하 는 것 이 다 . 또한 , 도 36 C 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 30 ) 는 전방 이 상방 을 향하 도록 경사 질 수 있 다 . 이 경우 도 , 연마 헤드 ( 30 ) 에 충돌 하 는 연마 액 이 하방 으로 유동 하 게 할 수 있 다 .