무엇 보다 도 , 상기 밀착 부 는 상기 멤 브레인 바닥 판과 접촉 하 는 표면 이 탄성 변형 되 는 재질 로 형성 된 탄성 링 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 제 1 압력 챔버 에 부압 이 인가 되 고 멤 브레인 바닥 판 과 웨이퍼 사이 에 공극 통로 ( 88 ) 가 형성 되 어 , 제 1 바닥 면 이 비 정상 적 으로 과도 하 게 상방 으로 볼록 한 휨 변형 이 생겨 제 1 통로 의 개구 에 도달 하 게 되 면 , 탄성 링 이 제 1 바닥 면 에 눌리 는 형태 로 밀착 되 므로 , 탄성 링 과 제 1 바닥 면 의 사이 의 기체 통로 가 부분 적 으로 막히 지 않 고 보다 전체 적 으로 막히 기 쉬운 상태 가 된다 . 따라서 , 웨이퍼 가 멤 브레인 바닥 판 에 밀착 된 상태 인지 여부 를 보다 정확 하 게 감지 할 수 있 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .