또한 , 각 수 용부 ( 50 a ) 내 에 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 가 수용 가능 하 고 , 또한 , 각 수 용부 ( 50 a ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 2 장 씩 수용 하 는 예 를 나타내 었 으나 , 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예컨대 , 각 수 용부 ( 50 a ) 에 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 도록 해도 좋 다 . 각 수 용부 ( 50 a ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 수용 하 는 경우 에 는 , 다른 웨이퍼 ( W ) 사이 에서 의 파티클 의 전사 를 확실 하 게 방지 할 수 있 다 .