본 발명 은 상부 하우징 의 하단 에 교체 가능 하 게 결합 된 상부 강 화처 리부 , 하부 하우징 의 상단 에 교체 가능 하 게 결합 되 어 상부 강 화처 리부 와 개폐 가능 하 게 결합 되 는 하부 강 화처 리부 , 하부 강 화처 리부 와 상부 강 화처 리부 의 결합 면 에 구비 된 실링 부 , 유기 용제 로 습윤 된 패턴 이 형성 되 어 있 는 기판 이 배치 되 는 기판 배치 판 , 건조 용 초임계 유체 의 공급 경로 를 제공 하 는 상부 공급 포트 및 초기 가압 용 초임계 유체 의 공급 경로 및 건조 용 초임계 유체 에 유기 용제 가 용해 된 혼합 유체 의 배출 경로 를 제공 하 는 일체 형 공급 / 배출 포트 를 포함 한다 .