더욱 상세 하 게 는 , 미세 입자 를 포함 하 는 매질 이 유입 되 는 유입 부 ( 110 ) 및 상기 미세 입자 간 응집 되 어 형성 된 조대 입자 가 제거 된 매질 이 배출 되 는 배 출부 ( 120 ) 를 포함 하 는 메인 챔버 ( 100 ) 가 있 으며 , 상기 메인 챔버 ( 100 ) 에 접하 며 , 상기 미세 입자 를 포함 하 는 매질 에 음압 을 인가 하 기 위한 음파 를 발생 시키 는 액추에이터 ( 200 ) 가 있 다 .