광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 는 , 기판 ( 13 ) 의 표면 ( 13 a ) 측 [ 광 디바이스 ( 17 ) 측 , 시트 ( 31 ) 측 ] 이 유지 면 ( 42 a ) 과 대향 하 고 , 기판 ( 13 ) 의 이면 ( 13 b ) 측 이 상방 에 노출 되 도록 , 유지 테이블 ( 42 ) 상 에 배치 된다 . 이 상태 로 , 유지 면 ( 42 a ) 에 흡 인원 의 부압 을 작용 시키 면 , 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 가 유지 테이블 ( 42 ) 에 의해 흡인 유지 된다 .