그러나 , 상술 한 바 와 같이 , 종래 의 가공 기술 에서 는 높 은 정밀도 로 가공 하 는 것 은 곤란 하 기 때문 에 , 이 보트 본체 에서 는 , 도 4 와 같 은 3 차원 측정기 를 이용 하 여 지 지 부 ( 2 ) 의 형상 측정 을 실시 했 을 경우 , 각 측정 개소 에 있 어서 여러 가지 Z 좌표 [ 예 를 들 면 , 종형 열처리 보트 ( 1 ) 의 저판 의 이면 을 기준 으로 하 여 , 상기 기준 으로부터 의 높이 ] 를 나타내 는 것 이 된다 . 즉 , 도 1 ( B ) 은 , 도 1 ( A ) 의 보트 전체 도 에 있 어서 , 지지 보조 부재 ( 3 ) 가 떼 어 진 상태 ( 즉 , 보트 본체 ) 의 같 은 한 장 의 웨이퍼 를 지지 하 는 지 지부 ( 2 ) 의 1 조 를 나타내 는 평면도 이 지만 , 도면 중 에 나타내 는 4 개 의 지지 부 [ 2 a ( FL ) , 2 b ( RL ) , 2 c ( RR ) , 2 d ( FR ) ] 의 합계 8 개 의 측정 개소 에서 각각 여러 가지 높이 를 갖 는다 . 그리고 , 이러 한 높이 의 데이터 로부터 얻 을 수 있 는 지 지부 ( 2 a ~ 2 d ) 의 상면 ( 지지 면 ) 모두 에 의한 평면도 가 비교 적 큰 값 을 받 는 경우 , 지지 부 ( 2 a ~ 2 d ) 의 상대 적 위치 ( 높이 ) 에 큰 차이 가 있 는 것 이 므로 , 이러 한 종래 의 보트 본체 에서 만 은 , 웨이퍼 를 지지 했 을 때 , 하중 이 언밸런스 가 되 어 , 웨이퍼 하중 이 각 지지 부 ( 2 a ~ 2 d ) 에 균일 하 게 분산 되 지 않 고 , 그 결과 열처리 했 을 때 에 슬립 전위 가 발생 해 버린다 .