이 는 , 고압 가스통 ( 200 ) 의 교체 시점 은 이 물질 이 라인 으로 공급 되 는 현상 을 방지 할 목적 으로 잔류 하 는 가스 의 양 이 약 5 % 될 때 , 제 어부 가 이 를 판 단함 에 따라 교체 하 고자 하 는 고압 가스통 에 가스 가 남 아 있 어 남 은 가스 를 가스 공급 라인 을 통해 가스 를 계속 적 으로 공급 하 여 공정 을 진행 하 는 웨이퍼 ( wafer ) 에 불량 이 발생 되 지 않 도록 하 기 위한 조치 이 다 .