일실 시예 로서 , 상기 유량 측정기 는 상기 센서 유닛 을 상기 공정 챔버 에 고정 하 는 고정 유닛 및 상기 각 센서 유닛 과 전기 적 으로 연결 되 어 상기 센서 유닛 에 대한 구동 신호 를 공급 하 는 선택 자 ( selector ) 를 포함 한다 . 상기 센서 유닛 은 상기 증발기 와 대향 하 는 하 면 및 상기 지지대 와 대향 하 는 상면 을 구비 하 는 몸체 , 상기 하 면 에 배치 되 며 서로 일정 한 거리 만큼 이격 되 어 형성 된 개구 의 내부 에 위치 하 는 유량 센서 및 상기 개구 의 개폐 를 조절 하 여 상기 유량 센서 의 작동 을 제어 할 수 있 는 셔 터 ( shutter ) 를 포함 한다 . 이때 , 상기 몸체 는 원판 디스크 형상 을 갖 고 상기 유량 센서 는 상기 원판 의 반경 보다 작 은 일정 한 반경 을 갖 도록 상기 몸체 의 하면 에 형성 된 원주 상 을 따라 배치 된다 . 상기 센서 유닛 은 상기 원주 를 따라 12 개 가 위치 하 는 12 점 센서 를 포함 한다 . 상기 센서 유닛 은 상기 셔터 를 작동 하 기 위한 구동 신호 를 공급 하 는 제 1 신호 라인 및 상기 유량 센서 에서 측정 한 증착 가스 의 유량 에 관한 데이터 를 전송 하 기 위한 제 2 신호 라인 을 더 포함 한다 . 상기 제 1 및 제 2 신호 라인 은 상기 고정 유닛 의 내부 에 배치 되 어 상기 선택 자 와 전기 적 으로 연결 된다 . 상기 선택 자 와 전기 적 으로 연결 되 어 상기 유량 센서 의 동작 에 관한 제어 신호 를 생성 하 는 제 어부 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 다수 의 센서 유닛 은 상기 증발기 를 따라 일정 한 간격 으로 일렬 로 배치 된다 .