상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 의 연장 라인 ( L 1 ) 과 상기 연장 라인 ( L 1 ) 과 이웃 하 는 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 간 의 간격 은 3 F 가 되 도록 한다 . 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 의 연장 라인 ( L 1 ) 과 상기 연장 라인 ( L 1 ) 과 이웃 하 는 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 c ) 간 의 간격 은 3 F 가 되 도록 한다 . 또한 , 상기 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 c ) 과 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 간 의 간격 도 3 F 가 되 도록 한다 .