도 24 a 및 도 24 b , 도 25 a 및 도 25 b , 도 26 a , 도 27 a 내지 도 27 d , 및 도 28 a 내지 도 28 d 는 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 또 다른 실시 예 들 에 따른 집적회로 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 확대 단면도 들 이 고 , 도 24 c , 도 25 c , 도 26 b , 도 27 e , 및 도 28 e 는 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 또 다른 실시 예 들 에 따른 집적회로 소자 를 설명 하 기 위한 확대 단면도 들 이 다 . 구체 적 으로 , 도 24 a 내지 도 28 e 는 도 21 의 P 2 로 표시 한 점선 영역 에 대응 하 는 위치 를 도시 한 확대 단면도 들 로 , 도 21 내지 도 23 f 에 대한 설명 과 중복 되 는 내용 은 생략 될 수 있 다 .