이온 은 플 라즈 마 챔버 내 에서 기체 를 전기 방전 ( electrical discharge ) 시킴 으로써 발생 될 수 있 다 . 상기 이온 을 전기장 으로 가속 시키 면 이온 빔 ( ion beam ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 이온 빔 은 방향 성 ( directionality ) 을 가질 수 있 으며 , 고 에너지 상태 ( high energy state ) 일 수 있 다 .