제 1 노광 공정 에서 , 동 위상 개구부 ( 1 a ) 를 통과 한 광은 , 위상 이 변하 지 않 고 노광 이 행해진다 . 반전 위상 개구부 ( 1 b ) 를 통과 한 광 은 위상 이 반전 한다 . 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 의 부분 에서 는 광 의 간섭 이 발생 한다 . 이 때문 에 , 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 의 부분 이 노광 되 는 것 을 억제 할 수 있 어 , 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 에서 의 치수 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 . 또는 , 미세 한 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 를 형성 할 수 있 다 .