에지 영역 ( 158 ) 의 거리 를 가장 짧 게 하 기 위해서 는 , 코어 ( 154 ) 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 에 들어가 고 나 서 나올 때 까지 의 동안 , 코어 ( 154 ) 의 중앙 점 ( 182 ) 이 직경 ( 190 ) 위 를 이동 하 고 , 또한 제 2 방향 ( 148 ) 이 항시 직경 ( 190 ) 과 직교 하 도록 , 코어 ( 154 ) 가 직경 ( 190 ) 위 를 이동 하 는 것 이 필요 하 다 . 이 최량 의 경우 와 비교 하 여 , 도 6 에서 는 코어 ( 154 ) 전체 가 웨이퍼 ( WH ) 내 로 들어갈 때 까지 의 거리 , 그리고 코어 ( 154 ) 전체 가 웨이퍼 ( WH ) 로부터 나올 때 까지 의 거리 가 길 어 진다 . 결과 적 으로 , 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 의 센서 출력 의 상승 과 , 저하 가 느려 진다고 하 는 문제 가 발생 한다 .