덮개 ( 60 ) 보다 도 상방 에 는 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 가 마련 되 어 있 다 . 웨이퍼 보트 ( 80 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 하 기 위한 기판 보유 지지 구 이 며 , 연직 방향 으로 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 이격 한 상태 로 보유 지지 할 수 있 도록 형성 되 어 있 다 . 웨이퍼 보트 ( 80 ) 가 보유 지지 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 매수 는 특별히 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 예 를 들 어 50 매 내지 150 매 로 할 수 있 다 .