[ 0019 ] 기판 ( 예컨대 , 실리콘 웨이퍼 ) 프로세싱 기술 들 이 더 작 은 피처 치수 들 로 더 높 은 해상도 들 로 개선 됨 에 따라 , 입자 들 , 수분 , 및 반응 성 가스 들 ( 예컨대 , 산소 ( O 2 ) ) 로부터 의 오염 이 더 문제 가 된다 . 전자 디바이스 제조 시스템 의 장비 전단 모듈 ( EFEM ) ( 때때로 팩토리 인터페이스 ( FI ) 로 지칭 됨 ) 은 , 모든 다른 가스 들 ( 예컨대 , O 2 ) , 수분 , 및 다른 입자 들 을 내보내 기 위해 비 - 반응 성 가스 , 이를테면 , 질소 ( N 2 ) 를 사용 함 으로써 기판 들 의 오염 을 방지 하 는 , 기판 들 에 대해 비교 적 불활성 인 ( 즉 , 비 - 반응 성인 ) 환경 을 생성 하 는 것 을 목표 로 한다 .