진공 밸브 ( 50 U , 50 L ) 및 진공 펌프 ( 50 P ) 는 제 어부 ( 100 ) 에 접속 된다 . 제 어부 ( 100 ) 는 진공 밸브 ( 50 U , 50 L ) 의 개폐 동작 을 개별 적 으로 제어 한다 . 예 를 들 면 , 제 어부 ( 100 ) 는 진공 밸브 ( 50 U ) 만 을 열 고 , 진공 밸브 ( 50 L ) 만 을 닫 을 수 있 다 . 이 경우 , 진공 펌프 ( 50 P ) 와 상측 내부 공간 ( 11 U ) 이 연통 하 여 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 의 기체 가 배기 되 고 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) 을 진공 분위기 로 하 는 것 이 가능 하 다 . 한편 , 진공 밸브 ( 50 L ) 가 닫힌 상태 에서 , 가스 공급 부 ( 13 c ) 에서 벤트 가스 를 하측 내부 공간 ( 11 L ) 으로 공급 함 으로써 , 하측 내부 공간 ( 11 L ) 을 대기압 분위기 로 하 는 것 이 가능 하 다 .