이어서 , 비트 라인 패턴 ( 26 ) 사이 의 식각 멈춤 막 ( 28 ) , 제 3 층간 절 연막 ( 27 ) , 제 2 층간 절 연막 ( 25 ) 을 식각 하 여 랜딩 플러그 콘 택 ( 24 ) 상부 를 개방 시키 는 스토리지 노드 콘 택 홀 을 형성 한 후 , 스토리지 노드 콘 택 홀 에 매립 되 는 스토리지 노드 콘 택 ( 29 ) 을 형성 한다 .