이 와 는 달리 , 도 12 에 도시 한 바 와 같이 제 2 선폭 ( W 2 ) 은 제 3 선폭 ( W 3 ) 과 동일 하 게 형성 되 고 , 제 2 선폭 ( W 2 ) 및 제 3 선폭 ( W 3 ) 은 제 1 선폭 ( W 1 ) 보다 크 게 형성 된다 . 이때 , 제 2 선폭 ( W 2 ) 및 제 3 선폭 ( W 3 ) 은 제 1 선폭 ( W 1 ) 의 1 . 5 배 이하 로 형성 된다 .