기판 ( 7 ) 이 하부 롤러 ( 33 ) 와 가압 롤러 ( 38 ) 사이 에 끼인 상태 에서 는 , 가압 롤러 ( 38 ) 의 회전 축선 ( g ) 은 , 하부 롤러 ( 33 ) 의 회전 축선 ( f ) 과 평행 해 지 도록 구성 되 어 있 고 ( 도 6 ( b ) ) , 따라서 반송 롤러 ( 23 ) 상 에 얹혀진 반송 자세 의 기판 ( 7 ) 이 , 상부 롤러 ( 45 ) 에 의지 하 면서 반송 직선 ( c ) 방향 으로 이동 하 면 , 하부 롤러 ( 33 ) 와 가압 롤러 ( 38 ) 는 기판 ( 7 ) 의 아래 표면 ( 47 ) 과 윗 표면 ( 48 ) 에 각각 접촉 하 면서 슬라이딩 하 지 않 고 회전 하 고 , 이 로써 기판 ( 7 ) 의 하부 는 하부 롤러 ( 33 ) 와의 접촉 이 유지 되 어 , 기판 ( 7 ) 이 반송 롤러 ( 23 ) 상 으로부터 탈락 되 지 않 는다 .