이때 , 집 적 광학 소자 가 물리 적 으로 파손 되 거나 , 또는 광도 파 로 특성 에 영향 을 미치 지 않 는 범위 에서 레이저 의 펄스 와 출력 을 조절 하 여 상기 그루브 표면 에 레이저 의 열 에너지 에 의한 비정질 영역 ( 601 ) 형성 및 마이크 로 크랙 ( 701 ) 형성 등 과 같 은 표면 개질 효과 가 크 게 발생 할 수 있 도록 조절 한다 . 마이크 로 크랙 또는 비정질 영역 이 클수록 집 적 광학 소자 의 편광 소광 특성 은 향상 된다 .