기판 의 구조 의 상태 의 x - 선 기반 평가 를 위한 방법 으로서 , 방법 은 , 기판 의 구역 의 전자 이미지 를 취득 하 는 단계 ― 구역 은 구조 를 포함 함 ―; 구조 의 x - 선 이미지 를 취득 하 는 단계 ; 및 구조 의 상태 를 평가 하 는 단계 를 포함 할 수 있 으며 , 평가 하 는 단계 는 , 구조 로부터 방출 된 x - 선 광자 수 에 적어도 기반 한다 .