기판 상 에 박막 을 형성 하 는 대표 적 예 는 스퍼터링 시스템 이 다 . 상기 시스템 은 전극 에 음 의 고전압 을 인가 하 여 방전 가스 로부터 플 라즈 마 를 생성 한다 . 생성 된 플 라즈 마 이온 은 전 극판 과 충돌 하 여 , 전 극판 으로부터 원자 들 을 떼 어 낸다 . 얻 어 진 원자 들 은 기판 과 접촉 하 여 기판 의 표면 에 코팅 층 을 형성 하 게 된다 .