본 기재 의 또 다른 특징 에 따르 면 , 유리 - 계 물질 을 갖 는 기판 을 포함 하 는 제품 이 제공 된다 . 필름 은 기판 상 에 배치 된다 . 상기 필름 은 알루미늄 , 질소 , 및 산소 를 포함 한다 . 상기 산소 는 약 4 원자 % 내지 약 24 원자 % 의 필름 내 의 농도 를 포함 한다 . 상기 필름 내 의 잔류 응력 은 약 - 200 MPa 내지 약 0 MPa 이 다 .