사이드 컵 ( 42 ( 42 R , 42 L ) ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 로 의 이온 주입 처리 중 에 이온 빔 의 빔 전류 를 측정 하 도록 구성 된다 . 도 2 에 나타나 는 바 와 같이 , 사이드 컵 ( 42 R , 42 L ) 은 , 빔 라인 ( A ) 상 에 배치 되 는 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 좌우 ( x 방향 ) 로 어긋나 게 배치 되 어 있 고 , 이온 주입 시 에 웨이퍼 ( W ) 를 향하 는 이온 빔 을 차단 하 지 않 는 위치 에 배치 된다 . 이온 빔 은 , 웨이퍼 ( W ) 가 위치 하 는 범위 를 초과 하 여 x 방향 으로 주사 되 기 때문 에 , 이온 주입 시 에 있 어서 도 주사 되 는 빔 의 일부 가 사이드 컵 ( 42 R , 42 L ) 에 입사 한다 . 이 로 인하 여 , 이온 주입 처리 중 의 빔 전 류량 이 사이드 컵 ( 42 R , 42 L ) 에 의하 여 계측 된다 .