한편 , 채널 홀 구조물 ( 170 ) 을 구성 하 는 제 1 내지 제 3 채널 홀 들 ( 130 , 150 , 160 ) 내 에 형성 된 채널 ( 225 ) 부분 들 은 각각 제 1 내지 제 3 부분 들 로 지칭 될 수 있 고 , 채널 ( 225 ) 의 상기 각 제 1 내지 제 3 부분 들 은 일정 한 기울기 를 가지 되 , 기판 ( 100 ) 상면 에 대해 수직 하 지 않 은 측벽 을 가질 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 채널 ( 225 ) 의 상기 제 1 내지 제 3 부분 들 은 각각 하부 에서 상부 로 갈수록 점차 증가 하 는 폭 을 가질 수 있 다 .