구체 적 으로 는 , 제 1 실시 예 와 동일 한 방법 으로 , 무 알칼리 유리판 ( 판 두께 0 . 7 ㎜) 상 에 Al － Ni － La 합금 층 ( 두께 : 약 100 ㎚) 및 ITO 막 ( 두께 : 약 50 ㎚) 을 형성 하 였 다 . 단 , 제 1 실시 예 와 달리 , 열처리 는 행하 지 않 았 다 . 그 대신 에 , 스 패 터 가스 의 Ar 에 대해 체적 유량 비로 12 ％ 의 N 2 가스 를 첨가 하 여 ITO 를 성막 하 여 , 본 발 명예 의 시료 를 얻 었 다 . 비교 를 위해 , ITO 의 성막 을 Ar 가스 분위기 만 으로 행한 비교 예의 시료 도 준비 하 였 다 .