본 발명 의 제 2 실시 형태 에 따르 면 , ( C ) 단계 는 동도금 된 표면 위 로 액상 의 감광성 레지스 트 를 도포 한 후 경화 시키 는 것 을 특징 으로 하 며 , ( D ) 단계 는 : ( D - 1 ) 도포 된 감광성 레지스 트 를 부분 적 으로 노광 하 는 단계 ; 및 ( D - 2 ) 노광 된 감광성 레지스 트 를 현상 하 여 패턴 화 하 는 단계 ; 를 포함 하 고 , 이때 ( D - 1 ) 단계 의 노광 은 블라인드 홀 내부 를 제외 한 베이스 기판 의 표면 에 대해서 실시 되 는 것 을 특징 으로 한다 .