이상 설명 한 바 와 같이 본 발명 후프 오프너 의 웨이퍼 이송용 기 잠금 및 이 송장 치는 종래 알려진 구동 모터 방식 과 달리 공 압 실린더 방식 을 채택 하 여 종래 복잡 한 모터 와 웜 기어 및 LM 가이드 등 에 동력 수단 대신 공 압 실린더 를 적용 함 으로서 하나 의 공 압 라인 을 이용 하 여 전 , 후진 이송 은 물론 후프 의 스테이지 위 에서 의 잠금 상태 역시 안정 적 으로 유지 되 는 효과 도 얻 는다 .