이 경우 에 부상 부재 ( 60 ) 의 기준면 ( 60 a ) 에 는 전면 에 복수 의 부상 가스 토출구 ( 61 ) 및 흡 인구 ( 62 ) 가 형성 되 고 있 기 때문 에 유리 기판 ( G ) 는 휘어진 상태 가 없 는 평탄 한 상태 로서 부상 량 을 제어 가능 하 다 . 이 때문 에 , 유리 기판 ( G ) 를 시너 토출 부재 ( 50 ) 의 기준면 ( 50 a ) 에 매우 가까이 근접 시킬 수 가 있 다 . 이 때 의 근접 거리 는 시너 토출 부재 ( 50 ) 의 기준면 ( 50 a ) 에 의존 하 고 , 안전 성 의 관점 으로부터 제 1 의 실시 형태 보다 다소 큰 거리 가 되 지 않 을 수 없 지만 , 수밀 리미터 정도 , 예 를 들 면 1 ~ 5 mm 정도 로 종래 에 비교 하 면 현저 하 게 작 게 할 수 가 있 다 . 따라서 , 시너 토출구 ( 51 ) 과 유리 기판 ( G ) 의 거리 를 매우 작 게 해 , 고농도 의 시너 에 의해 지극히 효율 적 으로 , 단시간 에 균일 한 리플 로우 처리 를 실시 할 수 가 있 다 .