일부 실시 예 들 에서 , 주석 옥사이드 막 들 이 하드 마스크 들 로서 사용 된다 . 주석 옥사이드 하드 마스크 들 은 리세 스 된 피처 들 의 하단 부 들 에서 노출 된 재료 가 있 는 , 리세 스 된 피처 들 을 갖 는 기판 을 형성 하 도록 패 터닝 될 수 있 다 . 이어서 기판 은 주석 옥사이드 하드 마스크 의 존재 시 프로세싱 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 프로세싱 은 리세 스 된 피처 들 의 하단 부 들 에서 노출 된 재료 의 에칭 을 수반 한다 . 다른 실시 예 들 에서 , 프로세싱 은 재료 를 리세 스 된 피처 들 내 로 증착 하 는 단계 를 수반 할 수 도 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 프로세싱 은 리세 스 된 피처 들 의 하단 부 들 에서 노출 된 재료 를 화학 적 으로 개질 하 는 단계 를 수반 할 수 도 있 다 .