한편 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 및 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 는 이동 가능 하 도록 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로부터 반사 된 광 의 반 사량 의 균 일도 를 최적 화 하 기 위하 여 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 또는 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 를 이동 할 수 있 다 .