반도체 층 ( 108 ) 에 는 , 결정 성 을 가지 는 금속 산화 물막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 후술 하 는 CAAC ( c - axis aligned crystal ) 구조 , nc ( nano crystal ) 구조 , 다 결정 구조 , 미결정 구조 등 을 가지 는 금속 산화 물막 을 사용 할 수 있 다 . 결정 성 을 가지 는 금속 산화 물막 을 반도체 층 ( 108 ) 에 사용 함 으로써 , 반도체 층 ( 108 ) 내 의 결함 준위 밀도 를 저감 할 수 있 어 , 신뢰 성 이 높 은 반도체 장치 를 실현 할 수 있 다 .