반사 방지 층 ( 110 ) 이 Ti ( 106 ) , TiN ( 107 ) 및 SiON ( 108 ) 의 적층 구조 이 고 금속 층 ( 105 ) 이 알루미늄 ( Al ) 인 경우 반사 방지 층 ( 110 ) 의 제거 와 금속 층 ( 105 ) 의 일부 두께 식각 은 Cl 2 , BCl 3 , Ar , N 2 및 CHF 3 의 혼합 가스 를 사용 하 여 실시 할 수 있 고 , 7 mT ∼ 20 mT 의 압력 , 400 Ｗ ∼ 1000 Ｗ 의 소스 파워 , 50 Ｗ ∼ 200 Ｗ 의 바텀 파워 가 인가 된 조건 에서 실시 할 수 있 는데 , 이때 Cl 2 는 30 sccm ∼ 200 sccm , BCl 3 는 30 sccm ∼ 200 sccm , Ar 은 30 sccm ∼ 150 sccm , N 2 는 1 sccm ∼ 20 sccm , CHF 3 는 15 sccm ∼ 150 sccm 의 유량 을 사용 할 수 있 다 .