반도체 기판 ( 100 ) 은 , 시판 의 반도체 기판 을 사용 할 수 있 고 , 예 를 들 면 단결정 의 실리콘 기판 이나 게르마늄 기판 , 갈륨 비소 나 인듐 인 등 의 화합물 반도체 기판 을 사용 할 수 있 다 . 시판 의 실리콘 기판 으로서 는 , 직경 5 인치 ( 125 mm ) , 직경 6 인치 ( 150 mm ) , 직경 8 인치 ( 200 mm ) , 직경 12 인치 ( 300 mm ) 사이즈 의 원형 의 것 이 대표 적 이 다 . 또한 , 형상 은 원형 에 한정 되 지 않 고 사각 형상 등 으로 가공 한 실리콘 기판 을 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 이하 의 설명 에서 는 , 반도체 기판 ( 100 ) 으로서 , 단결정 실리콘 기판 을 사용 하 는 경우 에 대해서 나타낸다 .