또한 , 표 1 에 나타내 는 비 교예 3 ∼ 비 교예 4 의 다른 조성 의 타 겟 에 대하 여도 , 상기 제조 조건 과 기본 적 으로 동일 한 공정 에 의해 제조 를 행했 다 . 단 , 비 교예 4 의 경우 는 , 조성 비율 을 고려 하 여 준비 한 알루미늄 ( 잉곳 ) , 미리 용제 ( 溶 製 ) 한 Ni - C 합금 ( 펠 렛 ) 을 원료 로서 , 1600 ℃ 용해 하 고 , 상기 실시 예 1 ( Al - 5 . 0 at % Ni - 0 . 4 at % B ) 과 동일 한 주조 온도 에서 타 겟 을 제작 했 다 . 또한 , 비 교예 5 의 경우 는 , 조성 비율 을 고려 한 알루미늄 ( 잉곳 ) , 니켈 ( 펠 렛 ) , 네오디뮴 ( 펠 렛 ) 을 원료 로서 , 1200 ℃ 에서 용해 하 고 , 상기 실시 예 1 ( Al - 5 . 0 at % Ni - 0 . 4 at % B ) 과 동일 한 주조 온도 에서 타 겟 을 제작 했 다 .