Z 간섭계 ( 18 Z 1 , 18 Z 2 ) 각각 으로부터 , 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , Y 축 방향 의 측장 빔 ( B 1 ) 이 이동경 ( 43 ) 의 상측 반사면 ( 경사면 ) 을 향하 여 조사 됨 과 함께 , Y 축 방향 의 측장 빔 ( B 2 ) 이 이동경 ( 43 ) 의 하측 반사면 ( 경사면 ) 을 향하 여 조사 되 도록 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 상측 반사면 에서 반사 된 측장 빔 ( B 1 ) 과 직교 하 는 반사면 을 갖 는 고 정경 ( 47 A ) 및 하측 반사면 에서 반사 된 측장 빔 ( B 2 ) 과 직교 하 는 반사면 을 갖 는 고 정경 ( 47 B ) 이 , 투영 유닛 ( PU ) 으로부터 + Y 방향 으로 소정 거리 떨어진 위치 에 측장 빔 ( B 1 , B 2 ) 과 간섭 하 지 않 는 상태 로 각각 X 축 방향 으로 연장 되 어 있 다 . 고 정경 ( 47 A , 47 B ) 은 , 예 를 들 어 투영 유닛 ( PU ) 을 지지 하 는 경통 정반 에 형성 된 동일 한 지 지체 ( 도시 생략 ) 에 지지 된다 .