챔버 ( 11 ) 내 의 압력 은 , 배기 장치 ( 22 ) 에 의해 설정 치 로 감압 되 어 , 챔버 ( 11 ) 의 내부 가 진공 상태 로 제어 된다 . 소정 의 가스 가 샤워 헤드 ( 20 ) 로부터 샤워 상 으로 챔버 ( 11 ) 내 로 도입 되 고 , 소스 파워 및 바이어스 파워 가 재 치대 ( 12 ) 에 인가 되 어 , 플 라즈 마가 생성 된다 . 플 라즈 마의 작용 에 의해 기판 ( W ) 상 의 막 에 에칭 등 이 실시 된다 . 에칭 이 완료 된 후 , 기판 ( W ) 은 , 반송 암 상 에 보 지 되 어 , 챔버 ( 11 ) 의 외부 로 반출 된다 .