도 1 및 도 2 에 도시 된 기판 처리 장치 ( 10 ) 에서 는 , 반송 부 ( 30 ) 의 각 반송 롤러 ( 31 A ) 및 각 가압 롤러 ( 31 B ) 가 동기 해서 회전 하 여 , 각 반송 롤러 ( 31 A ) 상 의 기판 ( W ) 은 반송 방향 ( A 1 ) 으로 반송 되 어 반송로 ( H 1 ) 를 따라 이동하 여 , 교정 처리 실 ( 21 ) , 세정 처리 실 ( 22 ) 및 건조 처리 실 ( 23 ) 을 통과 한다 .