조사 장치 ( 81 ) 로부터 사출 되 어 제 1 마스크 ( M 1 ) , 투영 계 ( PL ) 의 일부 및 제 2 마스크 ( M 2 ) 를 통한 검 출광 ( Ls ) 은 , 수광 장치 ( 82 ) 에 입사 한다 . 제 3 , 제 4 조명 영역 ( IA 3 , IA 4 ) 의 각각 에 제 1 , 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 1 ) ( 예 를 들 면 RM 17 ) , RM 2 ( 예 를 들 면 RM 27 ) 가 배치 된 경우 , 투 과부 ( 86 ) 및 광학계 를 통하 여 제 1 , 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 1 , RM 2 ) 로부터 의 검 출광 ( Ls ) 이 수 광소자 ( 84 ) 에 입사 하 며 , 그 수 광면 에 는 , 제 1 , 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 1 ) ( 예 를 들 면 RM 17 ) , RM 2 ( 예 를 들 면 RM 27 ) 의 상 이 형성 된다 .