또한 , 개시 된 실시 예 에서 의 빔 세기 결정 은 많 은 수 의 전자 감지 요소 에 대응 하 는 신호 를 그룹 화 함 으로써 수행 될 수 있 다 . 전자 감지 요소 표면 의 오염 , 또는 예기 치 않 은 사고 ( 예 를 들 어 , 전자 광학 서브 - 시스템 이 수용 되 어 있 는 진공 챔버 내 에서 의 심한 아크 ) 에 의해 야기 된 전자 감지 요소 손상 , 또는 제조 공정 에서 도입 된 결함 으로 발생 한 전자 감지 요소 의 오작동 으로 인하 여 그룹 의 전자 감지 요소 들 중 하나 또는 일부 가 적절 하 게 작동 하 지 않 는 경우 , 작동 하 지 않 는 전자 감지 요소 를 그룹 에서 배제 시킴 으로써 그룹 은 빔 세기 결정 기능 을 계속 해서 달성 할 수 있 다 . 이 는 검출 시스템 의 신뢰 성 및 불량 허용 오차 를 개선 할 수 있 다 .