웨이퍼 ( W ) 가 절삭 가공 된 후 , 도 1 에 나타내 는 척 테이블 ( 20 ) 및 이동판 ( 21 ) 은 , 절삭 이송 기구 에 의해 지지대 ( 10 ) 상 으로 복귀 된다 . 그리고 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 는 , 반송 수단 ( 30 ) 에 의해 , 척 테이블 ( 20 ) 로부터 , 척 테이블 ( 20 ) 의 안쪽 의 스피너 세정 유닛 ( 24 ) 으로 보내 진다 .