다시 도 1 과 도 2 를 참조 하 면 , 기판 ( 210 ) 을 지탱 부품 ( 120 ) 에 고정 하 기 위하 여 , 바람직 하 게 는 본 발명 의 기판 검사 장치 ( 100 ) 는 받침대 ( 130 ) 를 별도 로 포함 하 여 , 반사경 ( 140 ) 위 에 또 두 개 의 지탱 부품 ( 120 ) 의 상면 ( 122 ) 에 걸쳐서 설치 하 고 , 동시 에 검사 개구 ( 131 ) 를 둘러싸 도록 한다 . 검사 할 때 검사원 이 기판 ( 210 ) 을 받침대 ( 130 ) 위 에 놓 으면 , 기판 ( 210 ) 은 자연 스럽 게 검사 개구 ( 131 ) 에 노출 된다 . 이외 에 , 검사원 이 확실 하 게 색깔 이 다른 기판 뒷면 을 보 도록 하 기 위하 여 , 두 개 의 지탱 부품 ( 120 ) 사이 에 광원 ( 150 ) 을 포함 하 고 , 검사 개구 ( 131 ) 의 기판 뒷면 을 밝혀 주 어 , 검사원 이 관측 개구 ( 133 ) 를 통하 여 더 확실 하 게 기판 뒷면 의 결함 을 볼 수 있 게 한다 .