이어서 , 도 2 e 에 도시 된 바 와 같이 , 다 마신 ( damascene ) 공정 을 수행 하 기 위하 여 드러난 제 1 게이트 하드 마스크 ( 25 ) 를 선택 적 으로 제거 하 여 제 1 텅스텐 막 ( 24 ) 을 노출 시키 는 홈 ( B ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 게이트 하드 마스크 ( 25 ) 의 제거 는 습식 또는 건식 식각 으로 수행 된다 .