출원인 은 사용 시 에 특징 부 패 터닝 의 길 이 스케일 에 대한 균일성 제어 를 가능 하 게 하 기 위해 가공물 에 충분히 근접 한 대안 적 인 형태 의 차폐물 이 엄격 한 균일성 제어 를 요구 하 는 응용 에 유리 할 것 이 라고 제안 한다 . 이러 한 차폐물 은 특정 가공물 패턴 과 함께 사용 하 도록 특별히 설계 된 개구 들 의 패턴 을 가질 것 이 다 .