각 반송 롤러 ( 31 A ) 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 각각 , 3 개 의 롤러 ( 31 a ) 와 , 1 개 의 샤프트 ( 31 b ) 를 갖 는다 . 3 개 의 롤러 ( 31 a ) 는 원형 이 며 동일 한 직경 을 갖 고 , 예컨대 고무 나 수지 를 소재 로 하 는 롤러 이 며 , 1 개 의 샤프트 ( 31 b ) 의 양단 과 중앙 에 개별 적 으로 부착 되 고 , 반송 되 는 기판 ( W ) 의 하면 에 접촉 하 여 기판 ( W ) 을 지지 하 는 롤러 로서 각각 기능 한다 . 샤프트 ( 31 b ) 는 , 기판 ( W ) 의 폭 [ 반송 방향 ( A 1 ) 에 수평면 내 에서 직교 하 는 방향 의 폭 ] 보다 길 게 형성 되 고 , 처리 실 ( 20 ) 내 에 회전 가능 하 게 설치 된다 . 샤프트 ( 31 b ) 가 회전 하 면 , 그 샤프트 ( 31 b ) 에 부착 된 각 롤러 ( 31 a ) 는 샤프트 ( 31 b ) 를 회전축 으로 하 여 회전 한다 .