본 발명 에서 사용 되 는 공중 합체 [ A ] 는 화합물 ( a 1 ) 로부터 유도 되 는 구성 단위 를 , 화합물 ( a 1 ) , ( a 2 ) , ( a 3 ) 및 ( a 4 ) 로부터 유도 되 는 반복 단위 의 합계 에 기초 하 여 , 바람직 하 게 는 1 내지 80 중량 ％, 특히 바람직 하 게 는 5 내지 40 중량 ％ 함유 하 고 있 다 . 이 구성 단위 가 1 중량 ％ 미만 인 경우 에 는 , 얻 어 지 는 층간 절 연막 이나 마이크 로 렌즈 의 밀착 성 이 저하 되 는 경향 이 있 고 , 한편 이 구성 단위 의 양 이 80 중량 ％ 를 초과 하 는 경우 에 는 감방 사선 성 수지 조성물 의 보존 안정 성 이 저하 되 는 경향 이 있 다 .