기존 의 기판 처리 장치 에서 는 임피던스 정합 부 ( 22 ) 또는 고주파 케이블 의 효율 측정 및 분석 이 불가 하 여 , 이 에 대한 성능 검증 에 어려움 이 존재 하 였 다 . 또한 , 임피던스 정합 부 ( 22 ) 또는 가상 챔버 의 임피던스 분석 역시 불가 한 문제점 이 있 었 다 . 본 발명 에서 는 기판 처리 장치 의 고주파 유닛 검증 장치 를 제공 함 으로써 상기 와 같 은 문제점 을 해결 할 수 있 다 . 본 발명 에 따른 고주파 유닛 검증 장치 의 자세 한 구성 은 이하 에서 상세히 서술 된다 .