즉 , 티탄 이나 알루미늄 등 의 산소 와 의 결합력 이 강한 재료 가 존재 하 였 다고 하 여도 , 이러 한 재료 는 반도체 기판 계면 의 산화물 층 으로부터 산소 원자 를 빼앗 는 것 보다 도 , 산소 공급 층 으로부터 산소 를 빼앗 는 쪽 이 화학 반응 상 , 에너지 적 으로 안정 되 어 있 기 때문 에 , 상술 한 바 와 같이 산화물 층 과 반도체 기판 의 계면 층 ( 계면 산화물 ) 은 보호 되 고 , 암전 류 의 발생 을 억제 할 수 있 는 것 이 다 .