제 1 반응기 ( 6 ) 는 , 기판 을 조사 하 기 위해 제 2 반응기 로 이송 하 기 전 에 랙 ( 12 ) 내 의 기판 상 의 층 내 로 제 1 전구체 와 반응 하 는 제 2 전구체 를 제 1 반응기 ( 6 ) 에 제공 하 도록 구성 되 고 배열 된 유입 구 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 전구체 는 , 제 1 반응기 의 기판 상 에 질소 를 포함 하 는 층 을 증착 하 기 위해 질소 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 반응기 는 NH 3 , N 2 H 4 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 전구체 는 , 제 1 반응기 의 기판 상 에 옥사이드 를 증착 하 기 위해 산소 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 전구체 는 H 2 O , O 3 , N 2 O , 및 / 또는 H 2 O 2 를 포함 할 수 있 다 .