전술 한 챔버 ( 10 ) 의 제 2 결합 홈 ( 13 ) 에 는 제 2 전극 ( 40 ) 이 결합 되 어 챔버 ( 10 ) 의 하 부면 을 폐쇄 시키 는데 , 이 제 2 전극 ( 40 ) 은 챔버 ( 10 ) 의 내부 에서 발생 된 플 라즈 마 가 다수 의 토출 영역 을 통해 토출 되 어 처리 대상물 ( 3 ) 에 제공 되 도록 하 는 것 으로 , 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 의 분기 된 하단 과 상응 하 는 위치 상 에 는 챔버 ( 10 ) 내부 에서 형성 된 플 라즈 마 를 챔버 ( 10 ) 의 하부 로 토출 시키 는 다수 의 플 라즈 마 토출 공 ( 43 ) 이 배열 형성 된다 . 제 2 전극 ( 40 ) 의 양측 에 는 챔버 ( 10 ) 의 제 2 결합 홈 ( 13 ) 에 끼워져 결합 가능 한 결합 돌기 ( 41 ) 가 형성 된다 .