그리고 , 하부 전극 ( 201 ) 과 상부 전극 ( 203 ) 사이 에 위치 하 는 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 가 적층 된 ZrO 2 / Nb 2 O 5 ( 202 ) 은 도 4 의 원리 를 이용 하 여 원자 층 증착 법 ( Atomic Layer Deposition ; ALD ) 을 통해 각 막 의 두께 를 적어도 10 Å 이상 의 두께 로 증착 한 것 으로 , 단위 사이클 3 을 이용 하 여 총 25 Å ∼ 200 Å 두께 로 형성 한 것 이 다 .