무기 막 에 불소 함유 수지 를 포함 한 감광성 수지 조성물 의 막 을 형성 하 려면 , 예 를 들 면 , 불소 함유 수지 조성물 을 스핀 코팅 , 다 이 코팅 , 슬릿 코팅 등 으로 도포 하 여 , 불소 함유 수지 조성물 로 이루어진 막 을 형성 하 고 ; 형성 된 막 을 건조 시키 면 된다 . 건조 조건 은 특별히 한정 되 지 않 지만 , 80 ℃ 에서 2 ~ 3 분 간 방치 하 면 된다 .