처리 용기 ( 10 ) 의 하단 부 에 는 , 원환 상 의 매니폴드 ( 90 ) 가 배치 되 어 있 다 . 그리고 , 매니폴드 ( 90 ) 를 통해서 , 처리 용기 ( 10 ) 의 하단 부 로부터 , 처리 용기 ( 10 ) 내 에 필요 한 가스 를 도입 한다 . 매니폴드 ( 90 ) 는 , 처리 용기 ( 10 ) 와 는 별도 부품 으로 구성 되 지만 , 처리 용기 ( 10 ) 의 측벽 과 일체 적 으로 마련 되 어 , 처리 용기 ( 10 ) 의 측벽 의 일부 를 형성 하 도록 마련 된다 .