파일 일람 표시 부 ( 404 ) 에 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 에 파일 로서 격납 되 어 있 는 복수 의 레시피 등 이 일람 표시 되 도록 되 어 있 다 . 한편 , 레시피 에 국한 하 지 않 고 , 소정 의 처리 를 하 기 위한 파일 을 표시 하 도록 해도 된다 . 예 를 들 면 , 이 파일 일람 표시 부 ( 404 ) 에 는 , 프로세스 레시피 , 서브 레시피 및 알람 레시피 등 이 표시 된다 . 한편 , 파일 일람 표시 부 ( 404 ) 에 는 , 표시 절체 ( 切 替 ) 버튼 ( 408 ) 이 있 어 , 레시피 의 일람 이 한 화면 에 표시 할 수 없 는 경우 에 는 , 필요 에 따라 절체 표시 또는 스크롤 ( scroll ) 표시 시킬 수 있 도록 되 어 있 다 .