상기 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 수행 한 후 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 통하 여 상기 챔버 층 및 희생 층 의 상면 을 평탄 화 시키 는 단계 가 더 포함 될 수 있 다 . 이러 한 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 사용 되 는 슬러리 에 는 평균 입자 크기 가 50 nm ~ 500 nm 인 연마 입자 들 이 포함 될 수 있 다 .