정전 척 들 및 그 사용 방법 에 대한 실시 예 들 이 본 명세서 에 제공 된다 . 본 발명 의 장치 는 위 에 배치 된 기판 이 신속 하 게 가열 및 냉각 됨 과 동시 에 신속 하 게 가열 및 냉각 될 수 있 으며 , 이 에 따라 , 기판 처리 에 있 어서 증대 된 처리 량 과 처리 유연 성 을 제공 하 는 정전 척 을 유리 하 게 제공 할 수 있 다 . 본 발명 의 정전 척 은 처리 중 에 정전 척 과 기판 의 열 팽창 의 차이 들 로 인한 마찰 로부터 유발 되 는 기판 에 대한 손상 을 더 유리 하 게 저감 하 거나 제거 할 수 있 다 .