도 7 은 기판 이송 장치 ( 705 ) 의 다른 예시 적 인 실시 예 를 도시 한다 . 본 실시 예 에서 , 고정자 들 ( 200 , 205 ) 은 이송 챔버 ( 120 ) 의 바깥 에 위치 하 며 , 이송 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 위치 하 는 회전자 들 ( 215 , 220 ) 과 수직 으로 정렬 된다 . 엔드 이펙터 ( 210 ) , 제 1 암 ( 225 ) 및 제 2 암 ( 230 ) 은 회전자 들 ( 215 , 220 ) 사이 에 개재 된 상태 를 유지 한다 . 다시 , 본 예시 적 인 실시 예 에서 , 이송 챔버 및 / 또는 기판 이송 장치 ( 705 ) 및 이 의 구동 장치 는 , 예컨대 , 자석 들 및 / 또는 도 2 를 참조 로 상술 된 바 와 같 은 Z - 구동 유닛 에 의해 , 임의 의 적절 한 방식 으로 처리 챔버 들 ( 110 ) 과 정렬 되 고 적절 하 게 지지 될 수 있 다 .