진공 용기 ( 1 ) 의 저부 ( 14 ) 는 , 코 어부 ( 21 ) 에 접근 하 도록 상방 측 으로 돌출 되 어 돌출부 ( 12 a ) 를 이루 고 있 다 . 상기 돌출부 ( 12 a ) 와 코 어부 ( 21 ) 의 사이 는 좁 은 공간 으로 되 어 있 고 , 상기 케이스 체 ( 20 ) 에 는 퍼지 가스 인 N 2 가스 를 상술 한 좁 은 공간 내 에 공급 하 여 퍼지 하 기 위한 퍼지 가스 공급 관 ( 72 ) 이 설치 되 어 있 다 . 또한 , 진공 용기 ( 1 ) 의 저부 ( 14 ) 에 는 , 히터 유닛 ( 7 ) 의 하방 측 위치 에서 둘레 방향 의 복수 부위 에 , 히터 유닛 ( 7 ) 의 배치 공간 을 퍼지 하 기 위한 퍼지 가스 공급 관 ( 73 ) 이 설치 되 어 있 다 . 상기 히터 유닛 ( 7 ) 과 회전 테이블 ( 2 ) 의 사이 에 는 , 당해 히터 유닛 ( 7 ) 이 설치 된 영역 으로 의 가스 의 침입 을 억제 하 기 위해서 , 상술 한 외측 부재 ( 71 b ) 의 내 주벽 에서부터 돌출부 ( 12 a ) 의 상단 부와 의 사이 를 둘레 방향 에 걸쳐 접속 하 는 , 예 를 들 어 석영 으로 이루어지 는 덮개 부재 ( 7 a ) 가 설치 되 어 있 다 .