복수 의 존 ( ZA , ZB ) 은 , 상기 한 바 와 같이 내조 ( 51 ) 의 수조 내 를 , 예 를 들 면 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 ( X 축 방향 ) 으로 구분 한 것 이 다 . 복수 의 기판 ( 2 ) 을 배열 방향 에 복수 의 그룹 으로 나누 어 그룹 마다 기판 ( 2 ) 의 처리 조건 을 조정 할 수 있 다 . 특정 한 그룹 의 기판 ( 2 ) 에 처리 불량 이 생기 는 경우 에 , 그 그룹 의 기판 ( 2 ) 의 처리 조건 을 변경 할 수 있 어 , 수율 을 향상 시킬 수 있 다 .