이렇게 하 여 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 자체 의 오염도 를 측정 할 수 있 다 . 한편 , 도 2 에서 도시 한 바 와 같이 별도 의 광 센서 ( 210 ) 를 사용 하 여 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 의 오염도 를 측정 하 지 않 고 , 분광 분석기 ( 120 ) 나 광학 프로브 ( 130 ) 를 사용 하 여 본래 기능 인 플 라즈 마 측정 과 는 별도 로 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 의 투과 도 변화 를 측정 하 여 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 의 오염도 를 측정 할 수 있 다 .