5000 　㎍/ g 미만 의 , 바람직 하 게 는 3000 ㎍/ g 미만 의 , 타깃 내 산소 함량 이 층 특성 에 특히 유리 한 것 으로 또한 밝혀졌 다 . 증착 된 나노 결정질 PVD 층 의 특성 면 에서 , 높 은 산소 함량 은 입계 의 강도 의 약화 ( 계면 의 연화 ) 로 이어지 며 , 이 는 결국 층 의 경도 및 탄성 계수 ( E modulus ) 의 감소 로 이어진다 .