상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 플 라즈 마 발생 장치 는 챔버 ; 상기 챔버 로 소스 가스 를 공급 하 기 위한 가스 라인 ; 제어 신호 에 응답 하 여 마이크로웨이브 를 발생 하 는 가변 주파수 발생기 ; 조합 제어 신호 에 응답 하 여 상기 가변 주파수 발생기 로부터 출력 된 마이크로웨이브 의 위상 과 진폭 과 주파수 중 에서 적어도 하나 를 변조 하 고 변조 결과 에 상응 하 는 마이크로웨이브 를 발생 하 는 변조기 ; 상기 변조기 로부터 출력 된 마이크로웨이브 를 수신 하 여 증폭 하 는 증폭기 ; 상기 증폭기 의 출력 신호 를 전송 하 기 위한 적어도 하나 의 도파 장치 ; 및 상기 적어도 하나 의 도파 장치 에 접속 되 고 , 상기 챔버 내 의 소스 가스 를 여기 ( exciting ) 시켜 플 라즈 마로 변환 시키 기 위해 상기 챔버 내 로 마이크로웨이브 를 제공 하 는 다수 의 안테나 들 을 구비 한다 .