다시 한 번 설명 하 면 , 연마 액 제조 에 사용 되 는 용액 을 공급 한 는 주 입부 의 유로 단면적 이 넓 어 질수록 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 다량 의 용액 을 보다 빠르 게 공급 할 수 있 고 , 주 입부 의 유로 단면적 이 좁 아 질수록 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 되 는 용액 의 양 을 정밀 하 게 조절 할 수 있 으므로 , 본 발명 에서 는 상기 제 1 주 입부 ( P 1 ) 상 에 A 유로 단면적 을 가지 는 제 1 분기 유로 ( P 1 - 1 ) 와 , A / 4 의 유로 단면적 을 가지 는 제 2 분기 유로 ( P 1 - 2 ) 를 형성 하 고 , 제 2 주 입부 ( P 2 ) 상 에 B 유로 단면적 을 가지 는 제 3 분기 유로 ( P 2 - 1 ) 와 , B / 4 의 유로 단면적 을 가지 는 제 4 분기 유로 ( P 2 - 2 ) 를 형성 하 여 , 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 하 기 시작 할 때 는 제 1 분기 유로 ( P 1 - 1 ) 와 제 3 분기 유로 ( P 2 - 1 ) 를 사용 하 여 단위 시간 동안 많 은 양 의 용액 을 빠르 게 공급 하 고 , 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 일정 이상 의 용액 이 주입 된 후 에 는 제 2 분기 유로 ( P 1 - 2 ) 와 제 4 분기 유로 ( P - 4 ) 를 사용 하 여 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 되 는 용액 의 양 을 정밀 하 게 조절 할 수 있 게 한 것 이 다 .