얻 어 진 감광성 조성물 을 두께 1 mm 의 청정 한 표면 을 가지 는 유리 기판 상 에 스핀 코터 ( spin coater ) ( TR 25000 ： 토쿄 오카 ( 주 ) 제조 ) 를 이용 하 여 건조 막 두께 가 1 . 2 μ m 가 되 도록 도포 하 고 , 90 ℃ 에서 2 분 간 건조 시켜 감광성 조성물 의 막 ( 감광층 ) 을 형성 하 였 다 . 다음 에 이 막 에 네 가티 브 마스크 ( negative mask ) 를 개재 하 여 자외선 을 선택 적 으로 조사 하 였 다 . 그 후 0 . 5 질량 % 탄산 나트륨 수용액 으로 25 ℃, 60 초간 스프레이 ( spray ) 현상 함 으로써 선폭 20 μ m 의 라인 ( line ) 을 포함 하 는 블랙 매트릭스 패턴 을 형성 하 였 다 . 그 후 220 ℃－ 30 min 순환 식 오븐 ( oven ) 에서 포스트 베 이크 ( postbake ) 를 하 였 다 . 제조 된 각 블랙 매트릭스 의 막 두께 는 1 . 0 μ m 였 다 .