기판 의 경우 원형 의 형상 을 가지 며 , 속 이 비 어 있 는 형태 가 아니 기 때문 에 원형 의 중심부 에 로봇 의 핸드 를 장착 하 여 반송 함 으로써 , 핸드 를 이용 한 반송 시 에 안정 적 인 반송 이 가능 하 다 . 그러나 , 링 부재 의 경우 링 형상 의 특성 상 가운데 가 비 어 있 으며 접촉 이 가능 한 면적 이 기판 의 경우 에 비해 작 기 때문 에 접착력 의 측면 에서 차이 가 있 고 , 핸드 를 이용 한 반송 시 에 잘 접착 되 지 아니하 며 , 안정 적 이 지 않 은 문제점 이 있 었 다 . 본 발명 에서 는 상기 와 같 은 문제 를 해결 하 기 위해 링 부재 의 형상 에 대응 하 는 크기 를 가지 는 별도 의 캐리어 를 이용 하 는 링 부재 의 반송 방법 및 기판 처리 장치 를 제안 한다 . 또한 단지 캐리어 만 을 이용 할 경우 링 이 미끄러져 반송 시 추락 할 위험 을 고려 하 여 , 링 에 대응 하 는 부분 의 캐리어 의 상면 에 미끄럼 방지 부재 를 부착 함 으로써 보다 더 안정 적 인 반송 이 가능 하 도록 하 는 효과 가 있 다 .