도 7 의 노광 필드 별 온도 분포 그래프 ( 710 ) 는 , 도 6 에 제시 된 바 와 같이 , 침윤 매질 ( 630 ) 을 수반 하 여 도입 되 는 노광 부 ( 640 ) 에 의한 노광 후 의 웨이퍼 ( 620 ) 의 온도 를 열 감 지부 ( 655 ) 에 의해 측정 함 으로써 얻 어 질 수 있 다 . 이후 에 , 얻 어 진 노광 필드 별 온도 분포 그래프 ( 710 ) 를 보상 할 냉각 온도 분포 ( 730 ) 를 추출 한다 . 냉각 온도 분포 ( 730 ) 는 노광 공정 시 기준 온도 로 설정 되 는 300 . 00 K 를 기준 온도 로 설정 하 고 , 노광 필드 별 온도 분포 그래프 ( 710 ) 의 온도 분포 가 이러 한 기준 온도 로 조정 되 도록 냉각 제어 할 온도 분포 로 계산 된다 .