제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 는 S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 가용 평가 요소 의 제 1 개수 이하 인 경우 에 제 1 S - D 이송 시퀀스 를 이용 하 여 하나 이상 의 평가 서브시스템 ( 135 , 150 ) 내 의 제 1 개수 의 가용 평가 요소 ( 137 , 152 ) 에 이송 될 수 있 다 . 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 은 검사 서브시스템 ( 135 ) 과 평가 서브시스템 ( 150 ) 에 연결 될 수 있 다 .