처리 스테이션 ( 11 ) 은 진공 반송 모듈 ( 30 ) 과 , 복수 ( 본 예 에서 는 6 개 ) 의 처리 실 ( 421 내지 426 ) ( 이하 , " 통합 하 여 "" 처리 실 ( 42 ) "" 이 라 하 는 경우 가 있 다 ) 을 갖 고 있 다 . 진공 반송 모듈 ( 30 ) 및 처리 실 ( 42 ) 의 내부 는 각각 ", 기판 처리 장치 ( 1 ) 에서 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 일련 의 처리 중 에 있 어서 , 대기압 보다 감압 된 분위기 ( 진공 분위기 ) 로 유지 된다 .