연마 용 조성물 중 의 콜로 이달 실리카 의 평균 이 차 입경 은 또한 150 nm 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 120 nm 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 100 nm 이하 이 다 . 콜로 이달 실리카 의 평균 이 차 입경 이 작 아 짐 에 따라서 , 연마 용 조성물 을 이용 하 여 연마 한 후 의 연마 대상물 의 표면 에 스크래치 가 생기 는 것 을 억제 할 수 있 는 이점 이 있 다 . 또한 , 콜로 이달 실리카 의 평균 이 차 입경 의 값 은 , 예 를 들 면 레이저 광 을 이용 한 광 산란 법 으로 측정 할 수 있 다 .