다른 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 처리 장치 를 위한 복합 샤워 헤드 전극 어셈블리 를 위한 컴포넌트 들 을 연결 하 는 방법 이 제공 된다 . 경화 되 지 않 은 탄성 중합체 접착제 의 시트 의 제 1 표면 을 , 결합 되 지 않 고 남 아 있 는 영역 을 제외 하 고 결합 될 영역 의 미리 결정 된 패턴 으로 백 킹 부재 의 하부 표면 에 적용 하 는 단계 로서 , 백 킹 부재 는 상부 표면 과 , 상부 표면 과 하부 표면 사이 에 연장 된 복수 의 제 1 가스 통로 를 구비 하 고 그리고 결합 되 지 않 은 영역 에서 출구 를 갖 는다 . 전극 의 상부 표면 을 , 결합 될 영역 의 미리 결정 된 패턴 으로 경화 되 지 않 은 탄성 중합체 시트 접착제 의 제 2 표면 에 적용 하 는 단계 로서 , 전극 은 플 라즈 마 노출 된 하부 표면 과 , 전극 의 상부 표면 과 하부 표면 사이 로 연장 되 는 복수 의 제 2 가스 통로 를 구비 하 고 , 제 2 가스 통로 는 전극 의 상부 표면 의 결합 되 지 않 은 영역 에서 입구 를 갖 는다 . 전극 의 상부 표면 이 탄성 중합체 시트 접착제 에 의해 백 킹 부재 의 하부 표면 에 결합 되 고 , 제 2 가스 통로 는 제 1 가스 통로 를 이용 하 여 유체 소통 한다 .