초기 공정 은 , 규화물 영역 ( 64 ) 을 형성 하 기 위해 어닐링 공정 이 수행 되 는 도 1 내지 도 8 , 도 9 a , 도 9 b , 도 10 , 및 도 11 에 도시 된 것 과 근본 적 으로 동일 하 다 . 그 다음 으로 , 금속 층 ( 62 ) 의 반응 되 지 않 은 부분 이 에칭 공정 에서 제거 되 어 , 도 19 에 도시 된 구조물 을 초래 한다 . 규화물 영역 ( 64 ) 은 에칭 되 지 않 는다 . ILD ( 48 ) 의 상단 표면 및 측벽 ( 그리고 가능 하 게 는 CESL ( 46 ) 의 측벽 ) 은 따라서 노출 된다 .