이후 에 , 기판 ( 10 ) 전면 에 식각 방지 막 ( 19 ) 과 층간 절 연막 ( 20 ) 을 증착 한 후 에 , 사진 식각 공정 으로 소오 스 / 드레 인 영역 ( 17 a , 17 b ) 및 게이트 전극 ( 13 a ) 이 드러나 도록 콘 택 홀 을 형성 한 후 , 콘 택 홀 을 포함 한 층간 절 연막 ( 20 ) 전면 에 텅스텐 을 증착 한 후 , 콘 택 홀 에 만 남 도록 콘 택 플러그 ( 21 ) 들 을 형성 한다 .