이 처럼 , 정전 척 장치 ( 23 ) 의 급전 단자 부 ( 32 ) 를 자력 인가 수단 ( 24 ) 의 자력 발생 부 ( 241 ) 가 배치 되 는 영역 의 외측 에 설치 함 으로써 , 정전 척 장치 ( 23 ) 의 급전 단자 부 ( 32 ) 또는 이 에 전원 을 공급 하 기 위한 급전선 이 자력 발생 부 ( 241 ) 가 배치 되 는 영역 을 관통 하 지 않 게 된다 . 이 에 따라 , 자력 인가 수단 ( 24 ) 내 에 자력 발생 부 ( 241 ) 가 빠지 는 영역 이 없이 , 복수 의 자력 발생 부 ( 241 ) 가 연속 적 으로 배치 될 수 있 게 되 며 , 자력 인가 수단 ( 24 ) 에 의해 발생 되 는 자력 내지 자장 이 균일 하 게 된다 .