본 실시 예 에서 는 , 레벤 손 형 마스크 에 의해 형성 되 는 레지스 트 패턴 에 끼워 지 는 레지스 트 패턴 ( 13 ) 에 주목 한다 . 레지스 트 패턴 ( 13 ) 에 의해 형성 되 는 기판 ( 9 ) 의 표면 의 배선 패턴 은 , 예 를 들 면 , 직선 형상 의 부분 의 폭 ( 도 16 의 레지 스토 패턴 ( 13 ) 의 폭 ( L 1 ) 에 대응 하 는 부분 의 폭 ) 이 70 ㎚ 이 다 .