티칭 포지션 은 , 예컨대 복수 매 의 웨이퍼 ( W ) 를 적재 하 여 1 배치 로 열처리 하 는 경우 에 , 상하 방향 에서 복수 의 설정 개소 에 위치 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 중심 위치 를 , 배치 위치 로서 지시 하 는 것 이 다 . 티칭 포지션 을 지시 하 는 설정 개소 의 수 는 복수 라면 특별히 한정 되 지 않 지만 , 예컨대 2 ∼ 5 개소 이 다 . 예컨대 도 4 에서 는 , 56 장 중첩 된 웨이퍼 ( W ) 중 5 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 티칭 포지션 이 지시 되 는 예 를 나타내 고 있 다 .