다음 스텝 ( 106 ) 은 하나 이상 의 다이 [ 분리 웨이퍼 ( 200 ) 로부터 ] 를 기판 ( 210 ) 에 접합 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 도 5 를 참조 하 면 , 기판 ( 210 ) 에 접합 을 위한 준비 가 위치 되 는 플립 칩 다이 ( 216 ) [ 상기 검토 된 구리 기둥 범프 ( 204 ) 를 가짐 ] 의 일실 시예 가 예시 된다 . 일 실시 형태 에 의하 면 , 접합 스텝 ( 106 ) 은 열 기계 에너지 가 다이 ( 216 ) 와 기판 ( 210 ) 사이 의 접속 을 이루 기 위해 사용 되 는 열 기계 적 다이 접합 처리 를 포함 할 수 있 다 . 그러 한 또는 유사 한 기계 는 통상 의 GGI 본더 가 열 기계 에너지 를 가하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 기판 ( 210 ) , 및 다이 ( 216 ) 는 접합 기계 ( GGI 처리 동안 이루어질 때 ) 의 압력 헤드 에 배치 될 수 있 다 . 압력 헤드 가 기계 적 에너지 를 공급 하 여 다이 ( 216 ) 를 기판 ( 210 ) 에 프레싱 하 는 동안 , 기계 는 열 에너지 를 제공 하 여 구리 기둥 범프 ( 204 ) 의 솔 더 캡 ( 208 ) 을 용융 하 도록 제어 될 수 있 다 . 열 기계 에너지 의 조합 은 접합 캡 ( 208 ) 을 충분히 변형 시켜 구리 기둥 범프 가 기판 ( 210 ) 의 도전 성 패드 ( 212 ) 에 접합 되 고 기판 ( 210 ) 에 다이 ( 216 ) 의 접속 을 이루 게 한다 . 예 를 들 면 , 접합 캡 ( 208 ) 이 솔 더 캡 이 면 충분 한 열 에너지 와 기계 적 압력 의 조합 이 인가 되 어 , 솔 더 캡 ( 208 ) 을 적어도 부분 적 으로 용융 시켜서 구리 기둥 범프 를 기판 ( 210 ) 의 도전 성 패드 ( 212 ) 에 접합 한다 .