상기 송액 부 는 , 상기 필터 를 개재 하 여 상기 보충 부 와 상기 토출 부 를 접속 하 는 송액 관 과 , 상기 송액 관 을 거쳐서 상기 보충 부 로부터 상기 처리 액 을 받아들여 , 상기 송액 관 을 거쳐서 상기 토출 부 에 상기 처리 액 을 송출 하 는 토출 용 압송 부 와 , 상기 송액 관 과 상기 토출 용 압송 부 사이 를 개폐 하 는 접속 밸브 와 , 상기 필터 와 상기 토출 용 압송 부 사이 의 압력 을 측정 하 는 압력 측 정부 를 더 갖 고 ,