그 후 , 제 1 가스 공급 관 ( 232 a ) 의 제 1 밸브 ( 243 a ) 를 닫 아 NO 가스 의 공급 을 정지 한다 . 이 때 , 가스 배기관 ( 231 ) 의 제 4 밸브 ( 243 d ) 는 개방 한 상태 로 하 여 진공 펌프 ( 246 ) 에 의해 처리 실 ( 201 ) 내 를 20 Pa 이하 로 배기 하 고 , 잔류 NO 를 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 배제 한다 . 또한 , 이 때 에 는 N 2 등 의 불활성 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 로 공급 하 면 , 잔류 NO 를 배제 하 는 효과 가 더욱 높 아 진다 .