또한 , 네거티브 형 레지스 트 용 현상액 의 개발 도 진척 되 고 있 고 , 예 를 들 면 특허 문헌 5 에 는 고감도 이 며 또 한 트렌치 패턴 의 해상 성 이 우수 하 고 , 또한 소밀 의 존성 이 양호 한 패턴 을 형성 하 기 위해서 현상액 으로서 금속 불순물 의 함유율 이 소정 값 이하 인 유기 용제 를 함유 하 는 네거티브 형 현상액 을 사용 하 는 것 이 개시 되 어 있 다 .