단계 ( 108 ) 중 의 반응 챔버 내 압력 은 , 단계 ( 104 ) 중 의 반응 챔버 내 압력 과 동일 하 거나 더 높 을 수 있 다 . 단계 ( 108 ) 중 의 더 높 은 압력 은 , 등방성 플 라즈 마의 형성 을 용이 하 게 할 수 있 다 . 또한 , 더 높 은 압력 에서 기판 에 충돌 하 는 양이온 의 에너지 가 약해질 수 있 어서 , 그렇 지 않 으면 이음매 형성 에 기여 할 수 있 는 임의 의 전하 축적 이 감소 되 거나 최소 화 될 수 있 다 . 막 품질 에 관하 여 , 단계 ( 108 ) 에서 의 더 높 은 압력 은 비교 적 불량 한 품질 의 막 을 초래 할 수 있 다 . 그러나 , 단계 ( 104 ) 는 이 를 극복 하 여 , 고 품질 의 막 을 얻 을 수 있 다 . 방법 ( 100 ) 이 상이 한 압력 에서 작동 단계 를 포함 하 는 경우 , 반응 챔버 내 의 압력 을 제어 하 기 위해 발 라스트 압력 제어기 를 사용 하 는 것 이 바람직 할 수 있 다 . 역 으로 , 반응 챔버 내 의 압력 이 거의 동일 하 게 ( 예 를 들 어 , 약 10 % 이내 로 ) 유지 되 는 경우 , 반응 챔버 내 의 압력 을 제어 하 기 위해 쓰 로 틀 밸브 를 사용 할 수 있 다 .