본 발명 의 웨이퍼 이송 로봇 ( 100 ) 은 일반 대기 환경 ( atmospheric environment ) 및 진공 환경 ( vacuum environment ) 에 도 견딜 수 있 도록 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 . 진공 환경 의 경우 웨이퍼 이송 로봇 ( 100 ) 의 작 동시 발생 하 는 오염 물질 로 인하 여 웨이퍼 ( 400 ) 공정 불량 이 발생 하 지 않 도록 파티클 ( particle ) , 불순물 , 작동 유체 , 윤활제 등 의 누출 을 막 을 수 있 는 씰 링 ( sealing ) 부재 가 적절 한 위치 에 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 .