제 3 통부 ( 23 ) 의 내부 에 는 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 를 사이 에 두 고 대향 하 도록 타 겟 ( 13 ) 과 기판 홀더 ( 16 ) 가 배설 되 어 있 다 . 타 겟 ( 13 ) 은 타 겟 홀더 ( 14 ) 에 유지 되 어 있 고 , 해당 타 겟 홀더 ( 14 ) 는 제 1 홀더 부 ( 14 a ) 와 제 1 지지 부 ( 14 b ) 를 갖 고 있 다 . 제 1 지지 부 ( 14 b ) 는 덮개 부 ( 33 a ) 를 기밀 하 게 그리고 왕복 이 자유 롭 게 관통 하 고 , 도시 되 지 않 은 구동 기구 와 접속 되 어 있 고 , Y 축 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 타 겟 홀더 ( 14 ) 는 바이어스 전원 ( 18 ) 과 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 바이어스 전원 ( 18 ) 은 제 1 홀더 부 ( 14 a ) 에 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 에 대하 여 음 ( -) 바이어스 전압 을 인가 한다 . 또한 타 겟 홀더 ( 14 ) 의 제 1 지지 부 ( 14 b ) 와 덮개 부 ( 33 a ) 는 절연 되 어 있 다 . 한편 , 기판 홀더 ( 16 ) 는 기판 ( 15 ) 을 유지 하 는 것 이 다 . 해당 기판 홀더 ( 16 ) 는 제 2 홀더 부 ( 16 a ) 와 제 2 지지 부 ( 16 b ) 를 갖 고 있 다 . 제 2 지지 부 ( 16 b ) 는 덮개 부 ( 33 b ) 를 기밀 적 으로 또한 습 동 자유자재 로 관통 하 고 , 도시 되 지 않 은 구동 기구 와 접속 되 어 있 고 , Y 축 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 기판 홀더 ( 16 ) 는 바이어스 전원 ( 19 ) 과 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 바이어스 전원 ( 19 ) 은 제 2 홀더 부 ( 16 b ) 에 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 에 대하 여 음 ( -) 바이어스 전압 을 인가 한다 . 또한 기판 홀더 ( 16 ) 의 제 2 지지 부 ( 16 b ) 와 덮개 부 ( 33 b ) 는 절연 되 고 접속 되 어 있 다 . 또한 여기 서 는 타 겟 홀더 ( 14 ) 와 접속 하 는 바이어스 전원 ( 18 ) 과 , 기판 홀더 ( 16 ) 와 접속 하 는 바이어스 전원 ( 19 ) 을 각각 설치 하 였 지만 , 이것 들 을 1 개 의 공통 바이어스 전원 으로 구성 하 는 것 도 가능 하 다 . 더욱이 , 주 전원 ( 17 ) 에 타 겟 홀더 ( 14 ) 와 기판 홀더 ( 16 ) 가 각각 접속 되 는 구성 으로 할 수 도 있 다 . 단 상술 한 바 와 같이 , 타 겟 홀더 ( 14 ) 와 기판 홀더 ( 16 ) 에 각각 바이어스 전원 을 설치 함 으로써 타 겟 ( 14 ) 과 기판 ( 16 ) 사이 의 거리 를 자유 롭 게 설정 할 수 가 있 고 , 또한 음 바이어스 전압 을 타 겟 ( 14 ) 과 기판 ( 16 ) 의 양측 에 인가 할 수 가 있 다 . 그 결과 스퍼터 효율 이 향상 된다 .