이어서 , 도 6 내지 도 8 을 참조 하 면서 , 플라스마 발생기 ( 80 ) 에 대하 여 설명 한다 . 도 6 은 회전 테이블 ( 2 ) 의 반경 방향 을 따른 플라스마 발생기 ( 80 ) 의 개략 단면도 이 고 , 도 7 은 회전 테이블 ( 2 ) 의 반경 방향 과 직교 하 는 방향 을 따른 플라스마 발생기 ( 80 ) 의 개략 단면도 이 고 , 도 8 은 플라스마 발생기 ( 80 ) 의 개략 을 도시 하 는 상면 도 이 다 . 도시 의 편의 상 , 이것 들 의 도면 에 있 어서 일부 의 부재 를 간략 화 하 고 있 다 .