[ E ] 중합체 의 불소 원자 의 질량 함유율 의 하한 으로서 는 , 1 질량 ％ 가 바람직 하 고 , 2 질량 ％ 가 보다 바람직 하 고 , 3 질량 ％ 가 더욱 바람직 하 다 . 상기 질량 함유율 의 상한 으로서 는 , 60 질량 ％ 가 바람직 하 고 , 50 질량 ％ 가 보다 바람직 하 고 , 40 질량 ％ 가 더욱 바람직 하 다 . 불소 원자 의 질량 함유율 을 상기 범위 로 함 으로써 , [ E ] 중합체 의 레지스 트 막 에 있 어서 의 편재화 를 보다 적당 하 게 조정 할 수 있 다 . 또한 , 중합체 의 불소 원자 의 질량 함유율 은 , 13 C - NMR 스펙트럼 측정 에 의해 중합체 의 구조 를 구하 여 , 그 구조 로부터 산출 할 수 있 다 .