본 발명 은 전자 빔 을 생성 하 는 전자 칼럼 의 디플렉터 에 관한 것 으로 , 보다 상세 하 게 는 자기장 을 이용 하 여 전자 빔 을 디 플렉 팅 하 거나 수차 보 정기 ( stimgator ) 역할 을 할 수 있 는 디플렉터 에 관한 것 이 다 . 본 발명 에 따른 디플렉터 는 도체 또는 반도체 로 이루어진 코어 및 상기 코어 를 둘러싸 는 코일 을 포함 하 는 디플렉터 전극 을 하나 이상 포함 한다 .