적재 대 ( 20 ) 는 , 상면 에 웨이퍼 ( W ) 가 수평 하 게 적재 되 는 적 재 대 본체 ( 21 ) 를 갖 는다 . 적재 대 본체 ( 21 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 기 위한 히터 ( 21 a ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 의 냉각 이 필요 한 경우 에 는 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 내부 에 냉각 기구 가 마련 된다 . 적재 대 본체 ( 21 ) 의 내부 에 히터 ( 21 a ) 와 냉각 기구 양쪽 을 마련 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 가열 과 냉각 양쪽 을 행할 수 있 도록 해도 된다 .