만일 박막 증착 공정 동안 불활성 기체 가 흐르 지 않 는다면 , 불 필요 한 박막 이 증착 될 수 있 으며 , 박막 이 증착 되 면 , 기판 ( 370 ) 의 이송 을 위하 여 되풀이 되 는 기계 적 인 접촉 및 충격 에 의해 박막 이 분리 되 어 불순물 입자 가 반응기 내부 에 발생 할 가능 성 이 있 다 . 본 발명 의 실시 예 에 따른 증착 장치 에서 는 박막 증착 공정 동안 계속 하 여 불활성 기체 를 흐르 게 함 으로써 박막 및 불순물 입자 의 생 성 을 방지 한다 .