스퍼터링 에 의해 180 nm 의 두께 로 성막 한 ITO 를 150 nm 까지 연마 한 , 26 mm× 28 mm× 0 . 7 mm 의 유리 기판 ( ( 주 ) 오프 토 사이언스 제조 ) 을 투명 지지 기판 으로 했 다 . 이 투명 지지 기판 을 시판 하 고 있 는 증착 장치 ( 조슈 ( 長 州 ) 산업 ( 주 ) 제조 ) 의 기판 홀더 에 고정 하 고 , HI , HAT - CN , HT - 1 , HT - 2 , 화합물 ( 3 - 181 - O ) , 화합물 ( 1 - 41 ) , ET - 1 및 ET - 2 를 각각 넣 은 탄탈 제 증착 용 보트 , Liq , LiF 및 알루미늄 을 각각 넣 은 질화 알루미늄 제 증착 용 보트 를 장착 했 다 .