도 1 내지 도 7 을 함께 참조 하 면 , 본 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 ( 100 ) 는 반도체 와 디스플레이 중 적어도 하나 를 제조 할 수 있 는 반도체 디스플레이 제조 설비 에 적용 되 고 바닥 체 ( 10 ) 를 관통 하 여 배치 되 는 진공 배관 ( 20 ) 을 지지 해 줄 수 있 는 것 으로서 , 슬리브 부재 ( 110 ) 와 , 덮개판 부재 ( 130 ) 를 포함 한다 .