또한 , 상기 회전체 는 상기 회전축 에 연결 된 모터 에 의하 여 회전 되 고 , 상기 크리 닝 부 는 상기 공 급기 와 상기 모터 와 전기 적 으로 연결 된 제어기 를 구비 하 되 , 상기 제어기 는 상기 모터 에 의하 여 회전 되 는 상기 회전체 의 회전 속도 에 따라 상기 공 급기 를 제어 하 여 , 상기 챔버 로 공급 되 는 세정 물질 의 공급량 을 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .