상기 복합 입자 ( 118 ) 을 제조 하 는 단계 는 , 상기 제 2 혼합물 ( 110 ) 을 열처리 하 여 , 상기 무기 바인더 ( 102 ) 가 경화 된 상기 무기 코팅 층 ( 116 ) 에 의해 상기 필러 ( 106 ) 의 표면 에 상기 열전 도 물질 ( 108 ) 이 코팅 된 상기 복합 입자 ( 118 ) 를 제조 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .