그러나 , 약액 과 공정 모듈 ( 200 ) 이 IPA 및 건조 장비 에 한정 되 지 아니함 에 유의 하 여야 할 것 이 다 . 즉 , 약액 과 공정 모듈 ( 200 ) 각각 이 에 천 트 와 에칭 장비 일 수 있 는 등 그 구체 적 인 적용 은 구체 적 인 웨이퍼 가공 공정 에 따라 임의 적 이 다 . 또한 , 공정 모듈 ( 200 ) 은 본 실시 에 에서 는 하나 만 이 구비 된 경우 를 예 를 들 었 지만 그 수 는 임의 적 으로서 2 개 이상 구비 될 수 있 다 .