가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 의 각 구성 부 들 의 상태 는 검증 유닛 ( 30 ) 의 표시 부 , 출력 부 등 에 의해 사용 자 가 확인 할 수 있 다 . 사용자 가 검증 장치 를 작동 시 항시 각 구성 부 로부터 수집 된 로그 데이터 ( log data ) 가 저장 되 고 , 이러 한 값 들 은 실시간 으로 검증 유닛 ( 30 ) 의 제어 PC 에서 각 구성 부 별로 수치 로 표현 될 수 있 으며 , 사용 자 가 원 하 는 공정 파라미터 는 그래프 등 의 형태 로 실시간 모니터링 할 수 있 다 .