본 발명 은 또한 기판 이 입출 되 는 게이트 가 각각 형성 되 며 상기 게이트 들 이 서로 마주 보 도록 설치 된 제 1 챔버 및 제 2 챔버 와 ; 상기 제 1 챔버 및 제 2 챔버 사이 에 설치 되 는 밸브 하우징 과 ; 상기 밸브 하우징 에 설치 되 어 상기 제 2 챔버 의 게이트 를 개폐 하 는 밸브 부재 와 , 상기 밸브 부재 와 결합 되 어 상기 밸브 부재 를 상기 제 2 챔버 의 상기 게이트 로 밀착 되 도록 압력 을 가하 는 가압 모듈 과 , 상기 가압 모듈 과 결합 되 어 상기 가압 모듈 이 상기 밸브 부재 에 압력 을 가할 때 상기 제 1 챔버 의 외벽 에 지지 되 어 상기 가압 모듈 을 지지 하 는 지지 부재 를 포함 하 는 밸브 본체 와 ; 상기 밸브 부재 가 상기 게이트 를 개폐 할 수 있 도록 상기 밸브 본체 와 결합 되 어 상기 밸브 본체 를 이동 시키 는 이동 모듈 을 포함 하 는 게이트 밸브 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 진공 처리 장치 를 개시 한다 .