도 1 에 따르 면 , 기판 처리 시스템 ( 100 ) 은 하우징 ( 110 ) , 지지 유닛 ( 120 ) , 플라 즈 마 생 성 유닛 ( 130 ) , 샤워 헤드 유닛 ( 140 ) , 제 1 가스 공급 유닛 ( 150 ) , 제 2 가스 공급 유닛 ( 160 ) , 라이너 ( liner ; 170 ) , 배 플 유닛 ( baffle unit ; 180 ) 및 상부 모듈 ( 190 ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .