상기 의 실시 형태 를 참조 하 면서 본 발명 을 설명 했 지만 , 본 발명 은 개시 된 실시 형태 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 특허 청구 된 본 발명 의 범위 내 에서 여러 가지 의 변형 이나 변경 이 가능 하 다 . 예 를 들 면 , 본 발명 은 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 이 슬라이드 이동 하 지 않 는 구성 에 대해서 도 적용 할 수 있 다 . 또한 , 버퍼 모듈 ( 6 ) 이나 덮개 체 ( 7 ) 의 하면 에 형성 된 지지 부재 ( 71 ) 나 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 내 에 형성 된 재 치부 ( 84 ) 의 구성 에 대해서 는 , 전술 의 예 에 한하 지 않 고 적절히 변경 할 수 있 다 . 또한 , 본 발명 은 , 예 를 들 면 플랫 패널 디스플레이 ( FPD ) 기판 등 을 처리 하 는 진공 처리 장치 에 도 적용 할 수 있 다 .