또한 , 상기 이미지 센서 제조 방법 에 있 어서 , 상기 제 1 에피 성 장막 을 형성 하 는 단계 이전 에 , 상기 트렌치 가 형성 된 결과물 에 라운 딩 열 산화 공정 을 진행 하 는 단계 를 더 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 상기 트렌치 가 형성 된 결과물 에 라운 딩 열 산화 공정 을 진행 하 는 단계 이전 에 , 상기 트렌치 와 인접 한 패드 산화 막 의 일부분 을 식각 하 여 제거 하 는 단계 를 더 포함 한다 . 이 에 따라 , 상기 트렌치 형성 을 위한 식각 공정 시 , 트렌치 내벽 에 형성 된 결함 을 이완 시키 는 동시 에 트렌치 의 상부 모서리 를 라운 딩 지 게 형성 할 수 있 다 .