여기 서 , 산화물 층 과 밀착 층 의 사이 에 배치 되 고 , 산화물 층 을 구성 하 는 재료 의 산화 엔탈피 보다 도 작 은 산화 엔탈피 를 나타내 는 재료 로 구성 된 산소 공급 층 에 의해 , 산화물 층 과 반도체 기판 의 계면 층 ( 계면 산화물 ) 이 보호 되 어 데미지 를 받 는 일 이 없 어 지 고 , 계면 준위 의 형성 에 의한 암전 류 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .