베이스 부 ( 5 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 보다 조금 큰 지름 을 갖 고 있 다 . 베이스 부 ( 5 ) 는 , 프레임 부 ( 골부 ( 骨 部 ) ) ( 5 a ) , 및 , 프레임 부 ( 5 a ) 의 간극 인 구멍 부 ( 5 b ) 를 갖 는 망목 형상 을 갖 고 있 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 하면 에 부분 접촉 한 상태 에서 , 웨이퍼 ( W ) 를 유지 한다 . 기둥 부 ( 6 ) 는 , 베이스 부 ( 5 ) 에 재치 된 웨이퍼 ( W ) 를 둘러싸 도록 , 베이스 부 ( 5 ) 의 외주 부 에 세워 형성 되 어 있 다 .