따라서 , 본 발명 의 목적 은 , 무게 를 절감 시킬 수 있 으며 또 한 단순 한 구조 를 가지 면서 도 상부 챔버 의 열변 형 에 대해 자유 로울 수 있 고 쉽 게 가열 되 지 않 는 작업 플레이트 를 상부 챔버 의 상부 에 마련 할 수 있 어 상부 챔버 의 상부 에서 작업자 가 안정 적 이 면서 도 용이 하 게 유지 보수 등 의 작업 을 할 수 있 는 평면 디스플레이 용 화학 기상 증착 장치 를 제공 하 는 것 이 다 .