다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 구동 하 여 , 계측 플레이트 ( 30 ) 상 의 기준 마크 ( FM ) 를 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 의 검출 시야 내 에 위치 결정 하 고 , 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 의 베이스 라인 계측 의 기준 위치 를 결정 하 는 Pri - BCHK ( 프라이머리 · 베이스 라인 · 체크 ) 의 전반 처리 를 실시 한다 .