공정 챔버 ( 100 ) 는 내부 에 기판 이 처리 되 는 처리 공간 을 가진다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 공정 챔버 ( 100 ) 는 처리 실 ( 120 ) 과 플 라즈 마 발생 실 ( 140 ) 을 제공 할 수 있 다 . 처리 실 ( 120 ) 은 플 라즈 마 에 의해 기판 ( 10 ) 이 처리 되 는 공간 을 제공 한다 . 플라 즈 마 발생 실 ( 140 ) 은 가스 공급 유닛 ( 300 ) 이 공급 한 가스 로부터 플 라즈 마가 발생 되 는 공간 을 제공 한다 .