그런데 상기 의 열처리 에 는 수소 나 물 등 을 제거 하 는 효과 가 있 기 때문 에 , 상기 열처리 를 , 탈수 화 처리 나 탈수소 화 처리 등 이 라고 부를 수 도 있 다 . 상기 열처리 는 , 예 를 들 면 , 산화물 반도체 층 을 섬 형상 으로 가공 하 기 전 , 게이트 절연 층 형성 후 등 의 타이밍 에 있 어서 행하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 이러 한 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 , 1 회 로 한정 되 지 않 고 복수 회 행해 도 좋 다 .