본 개시 내용 은 , 접합 층 을 보호 하 는 거치대 및 기판 처리 장치 를 제공 하 며 , 거치대 는 , 베이스 와 , 상기 베이스 의 상면 에 구비 되 는 기판 거치 부 와 , 상기 베이스 의 상면 에서 상기 기판 거치 부 의 바깥쪽 에 구비 되 는 환상 부재 거치 부 와 , 상기 베이스 와 상기 기판 거치 부 를 접합 시키 는 제 1 접합 층 과 , 상기 베이스 와 상기 환상 부재 거치 부 를 접합 시키 는 제 2 접합 층 과 , 상기 환상 부재 거치 부 에 거치 되 는 환상 부재 와 , 상기 제 1 접합 층 및 상기 제 2 접합 층 을 보호 하 는 시일 부재 를 포함 한다 .