도 12 로부터 이해 할 수 있 는 바 와 같이 , 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 하 는 증착 입자 류 ( 92 ) 는 임의 의 확산 성 을 갖 고 있 다 . 따라서 , 도 12 에 도시 한 A 1 - A 1 선 보다 도 상측 ( 제어판 ( 80 ) 으로부터 먼 측 ) 에서 는 , 2 개 이상 의 증착 입자 류 ( 92 ) 의 적어도 일부 가 서로 겹친다 . A 1 - A 1 선 보다 도 상측 의 영역 에 기판 ( 10 ) 의 피 증착 면 ( 10 e ) 을 배치 함 으로써 , 피막 ( 90 ) 의 적어도 일부 를 , 상이 한 2 이상 의 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 한 증착 입자 에 의해 형성 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 마스크 개구 ( 71 ) 의 위치 에 관계없이 , 피 증착 면 ( 10 e ) 의 임의 의 위치 에 피막 ( 90 ) 을 형성 할 수 있 다 . 또한 , 피막 ( 90 ) 의 두께 의 균일성 을 향상 시킬 수 있 다 .