본원 에 청구 된 발명 은 헬싱키 대학교 와 ASM Microchemistry Oy 간 의 공동 연구 협약 에 의해 , 또는 이 를 대신 하 여 , 그리고 / 또는 이 와 관련 하 여 작성 되 었 다 . 상기 협약 은 청구 된 발명 이 작성 된 날짜 이전 에 효력 이 있 었 으며 , 청구 된 발명 은 협약 범위 내 에서 수행 된 활동 의 결과 로서 작성 되 었 다 .