구체 적 으로 , 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 는 내부 양 측면 에 다수 의 슬롯 가이드 ( 22 ) 들 을 가지 며 , 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 의 플랫 존 ( 26 a ) 이 상기 슬롯 가이드 ( 22 ) 들 에 의해 지지 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 홈 ( 26 b ) 이 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 의 개방 된 일 측 에 위치 할 수 있 다 .