마이크 로 요동 소자 X 2 는 프레임 ( 21 ) 대신 에 프레임 ( 21 ') 을 구비 하 는 점 및 프레임 ( 31 ) 과 , 한 쌍 의 연결부 ( 32 A , 32 B ) 와 , 구동 전극 ( 33 , 34 ) 과 , 실드 전극 부 ( 35 , 36 , 37 ) 를 추가 적 으로 구비 하 는 점 에서 , 제 1 실시 형태 인 마이크 로 요동 소자 X 1 과 상이 하 다 . 마이크 로 요동 소자 X 2 에서 의 요 동부 ( 10 ) , 한 쌍 의 연결부 ( 22 ) , 구동 전극 ( 23 ) 및 실드 전극 부 ( 24 ) 는 마이크 로 요동 소자 X 1 에서 의 요 동부 ( 10 ) , 한 쌍 의 연결부 ( 22 ) , 구동 전극 ( 23 ) 및 실드 전극 부 ( 24 ) 와 마찬가지 이 다 .