지지 판 ( 220 ) 은 지지 유닛 ( 200 ) 의 상단 부 에 위치 한다 . 지지 판 ( 220 ) 은 원판 형상 의 유전체 ( dielectric substance ) 로 제공 된다 . 지지 판 ( 220 ) 의 상면 에 는 기판 ( W ) 이 놓인다 . 지지 판 ( 220 ) 에 는 기판 ( W ) 의 저면 으로 열 전달 가스 가 공급 되 는 통로 로 이용 되 는 제 1 공급 유로 ( 221 ) 가 형성 된다 .