도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 경사 변환 장치 ( 200 ) 는 기판 ( S ) 을 이송 시키 는 기판 이송 기구 ( 100 ) 의 경사 를 변환 시켜 기판 ( S ) 을 기울어지 게 하 는 장치 이 다 . 기판 이송 기구 ( 100 ) 는 다 수개 의 롤러 ( 203 ) 가 끼워진 샤프트 ( 202 ) 와 , 샤프트 ( 202 ) 가 설치 된 플레이트 ( 201 ) 를 포함 하 여 구성 된다 . 기판 ( S ) 은 샤프트 ( 202 ) 상 에 올려 지 고 샤프트 ( 202 ) 의 회전 에 의해 이송 된다 . 경사 변환 장치 ( 200 ) 는 기판 이송 기구 ( 100 ) 와 구조 적 으로 조합 되 어 기판 이송 기구 ( 100 ) 의 일 측 을 상승 시켜 기판 ( S ) 을 기울어진 상태 에 놓이 게 하 거나 , 기판 ( W ) 을 기울어진 상태 로 유지 시켜 이송 한다 .