도 1 은 , 금속 방식제 , 폴리 아크릴산 계 폴리머 및 금속 산화제 로서 의 과산화수소 를 포함 하 고 , 과산화수소 의 농도 만 을 바꾼 복수 의 연마 액 을 준비 하 고 ( 과산화수소 농도 4 중량 %, 11 중량 % 및 18 중량 %), 이 에 20 mm× 20 mm 의 크기 로 자른 구리 웨이퍼 의 칩 을 , 10 분 간 담그 었 을 때 의 에칭 속도 ( 등방 적 인 구리 용해 속도 ) 를 나타낸다 . 도 1 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 과산화수소 농도 가 상승 하 면 , 에칭 은 억제 된다 .