상기 잔여물 ( 513 ) 은 에치 백 공정 동안 에 형성 되 며 , 잔여 희생 층 표면 상 에 재 증착 ( Re - deposited ) 된다 . 상기 잔여물 ( 513 ) 은 구리 컨 덕 터 ( 상기 Mx ( 101 ) 가 구리 또는 구리 합금 을 포함 하 는 경우 ) 물질 , 비아 에칭 중단 층 ( 105 ) 의 원소 , 상기 희생 층 의 원소 , 층간 유전체 층 ( 103 ) ( 도 7 A 에서 와 같이 비아 가 언 랜디 드 된다면 ) 의 원소 , 및 이 들 과 에칭 백 공정 의 화합물 들 간 의 반응 에 의한 부산물 들 과 같 은 다양 한 성분 들 을 포함 할 수 있 다 .