도 7 은 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 증착 챔버 의 구성 을 개략 적 으로 도시 한 단면도 로서 , 상기 제 1 증착 물질 , 제 2 증착 물질 및 제 3 증착 물질 은 하나 의 개구 영역 ( 210 ) 으로 분사 되 며 , 상기 제 1 증착 물질 , 제 2 증착 물질 및 제 3 증착 물질 을 상기 분사 각도 로 증착 하 기 위해 상기 제 1 분사 노즐 ( 122 ) , 제 2 분사 노즐 ( 132 ) 및 제 3 분사 노즐 ( 142 ) 사이 에 각각 각도 제어판 ( 170 ) ( 180 ) 이 설치 된다 .