검사 툴 은 고해상도 이미 징 모드 또는 에어리얼 이미 징 모드 에서 셋 업 될 수 있 다 . 즉 , 검출 된 신호 는 고해상도 이미지 또는 저 해상도 에어리얼 이미지 의 형태 를 취할 수 있 다 . 일반 적 으로 , 포토 리소그래피 툴 의 광학 은 레티 클로 부터 검출 된 신호 에 기초 하 여 에어리얼 이미지 를 생성 하 도록 에뮬레이션 된다 . 예 를 들 어 , 고해상도 모드 에 대한 NA ( numerical aperture ) 는 일반 적 으로 약 0 . 5 와 0 . 9 사이 인 반면 , 에어리얼 이미 징 ( 저해 상도 ) 모드 에 대한 NA 는 일반 적 으로 약 0 . 1 과 0 . 35 사이 이 다 .