상기 필터 장치 ( 1 ) 는 상기 스위칭 밸브 ( 11 , 12 ) 에 의해 , 상기 부압 원 ( 13 ) 및 정압 원 ( 14 ) 에 대하 여 선택 적 으로 스위칭 되 어 연통 되 기 위한 제 1 포트 ( 20 ) 와 , 상기 제 1 포트 ( 20 ) 로부터 입력 된 부압 및 정압 을 , 흡착 패드 ( 10 ) 등 의 외부 의 유체 압 기기 에 대하 여 출력 하 기 위한 제 2 포트 ( 30 ) 를 갖 고 있 다 . 또한 , 이 들 제 1 포트 ( 20 ) 와 제 2 포트 ( 30 ) 사이 에 는 부압 측 필터 ( 4 ) 를 갖 는 부압 측 유로 ( 40 ) 및 정압 측 필터 ( 5 ) 를 갖 는 정압 측 유로 ( 50 ) 가 설치 되 어 있 고 , 이 들 부압 측 유로 ( 40 ) 및 정압 측 유로 ( 50 ) 는 상기 제 1 및 제 2 포트 ( 20 , 30 ) 에 대하 여 병렬 로 접속 되 어 있 다 .