또 , 도 12 에 예 를 나타내 는 바 와 같이 , 약액 처리 에 있 어서 는 , 간극 영역 ( 180 ) 의 Z 방향 의 폭 이 , 단차 부 ( 170 A ) 보다 직경 방향 의 외측 ( 즉 , 간극 영역 ( 180 ) 의 Z 방향 의 폭 이 가장 좁 은 지점 ) 에서 , 예 를 들 어 , 0 . 1 ㎜ 이상 , 또한 , 1 . 0 ㎜ 이하 가 되 도록 , 제 어부 ( 7 ) 의 제어 에 의해 이 동부 ( 190 ) 가 이면 차 단판 ( 170 ) 을 승강 시킨다 . 또 , 약액 처리 에 있 어서 는 , 기판 ( W ) 은 , 예 를 들 어 , 100 rpm 이상 , 또한 , 2000 rpm 이하 의 회전수 로 회전 하 도록 , 제 어부 ( 7 ) 의 제어 에 의해 스핀 모터 ( 51 D ) 가 구동 된다 .