한편 , 노광 공정 에서 웨이퍼 의 정확 한 얼라인먼트 를 위하 여 노광 공정 의 첫 단계 는 웨이퍼 상 에 정렬 마크 ( Alignment Mark ) 를 노광 하 는 단계 로 이루어진다 . 그런데 웨이퍼 가 노광 설비 에 로딩 되 기 전 에 웨이퍼 의 정렬 을 위하 여 웨이퍼 를 프리 얼라 이너 ( Pre - aligner ) 에 장착 시키 고 프리 얼라 이너 를 통해 웨이퍼 상 에 형성 된 플랫 존 ( Flat - zone ) 이 설정 된 방향 에 있 도록 프리 얼라인먼트 ( Pre - alignment ) 를 실시 한다 . 이후 , 웨이퍼 를 플랫 존 정렬 상태 가 유지 되게 스테이지 로 이송 시키 고 , 스테이지 를 노광 을 위한 위치 로 이동 시킨 후 스테이지 상 에 놓인 웨이퍼 에 정렬 마크 ( Alignment Mark ) 를 노광 한다 .