다양 한 구 현예 에서 , 본원 에 개시 된 바 와 같이 , 반응물 및 기화 된 용매 의 혼합물 일 수 있 는 반응물 증기 는 , 별도 의 비활성 캐리어 가스 공급 을 사용 하 지 않 고 , 제 1 공급 라인 ( 8 ) 을 따라 공급 될 수 있 다 . 제 1 공급 라인 ( 8 ) 을 통해 반응물 증기 를 운반 하 기 위한 별도 의 비활성 가스 소스 를 생략 하 면 , 유익 하 게 도 장치 ( 1 ) 와 연관 된 비용 및 복잡 성 을 감소 시킬 수 있 다 . 또한 , 전술 한 바 와 같이 , 기화기 ( 10 ) 의 부피 가 커질 수 있 어서 기화기 ( 10 ) 의 반복 된 퍼지 는 처리 량 을 감소 시킨다 . 나타낸 구 현예 에서 , 액체 반응물 과 함께 공급 된 용매 증기 는 반응물 을 운반 하 고 기화기 ( 10 ) 로부터 반응물 증기 의 일부 를 형성 하 는 역할 을 할 수 있 으며 , 이 는 기화기 ( 10 ) 로 별도 의 캐리어 가스 를 공급 할 필요 성 을 제거 할 수 있 다 .