본 발명 은 기판 과 마스크 정렬 장치 에 관한 것 으로 , 진공 챔버 와 , 상기 진공 챔버 내 의 기판 안착 수단 과 , 상기 기판 안착 수단 을 지지 하 는 지지 수단 을 포함 하 고 , 상기 지지 수단 은 , 지지 축 과 지지 판 으로 구성 되 고 , 상기 기판 안착 수단 과 상기 지지 판 사이 에 복수 개 의 상기 지지 축 이 마련 되 고 , 상기 복수 개 의 지지 축 중 적어도 하나 에 길이 를 조절 하 는 조절 수단 을 포함 하 는 정렬 장치 를 제공 한다 . 이 와 같이 본 발명 은 기판 안착 수단 을 지지 하 는 지지 수단 에 미세 높이 조정 이 가능 한 조절 수단 을 두어 기판 과 마스크 프레임 사이 의 평행 을 조절 할 수 있 고 , 조절 수단 을 통해 진공 상태 에서 도 기판 과 마스크 프레임 사이 의 수평 및 밀착 정도 를 조절 할 수 있 다 .