정전 척 ( 1000 ) 은 , 대상물 ( 예 를 들 어 웨이퍼 ( 1500 ) ) 을 정전 인력 에 의해 흡착 하 여 유지 하 는 장치 이 고 , 예 를 들 어 반도체 제조 장치 의 진공 챔버 내 에서 웨이퍼 ( 1500 ) 를 고정 시키 기 위해서 사용 된다 . 정전 척 ( 1000 ) 은 , 소정 의 배열 방향 ( 본 실시 형태 에서 는 상하 방향 ( Z 축 방향 ) ) 으로 나열 하 여 배치 된 세라믹스 판 ( 1010 ) 및 베이스 판 ( 1020 ) 을 구비 한다 . 세라믹스 판 ( 1010 ) 과 베이스 판 ( 1020 ) 은 , 세라믹스 판 ( 1010 ) 의 하 면 ( 이하 , 「 세라믹스 측 접착 면 ( S 2 ) 」 이 라고 한다 ) 과 베이스 판 ( 1020 ) 의 상면 ( 이하 , 「 베이스 측 접착 면 ( S 3 ) 」 이 라고 한다 ) 이 상기 배열 방향 으로 대향 하 도록 배치 되 어 있 다 . 정전 척 ( 1000 ) 은 , 추가 로 세라믹스 판 ( 1010 ) 의 세라믹스 측 접착 면 ( S 2 ) 과 베이스 판 ( 1020 ) 의 베이스 측 접착 면 ( S 3 ) 사이 에 배치 된 접착 층 ( 1030 ) 을 구비 한다 .