도면 부호 545 에서 , 선택 된 사이트 를 이용 하 여 S - D 웨이퍼 가 평가 될 수 있 다 . 일부 의 경우 , 제 1 웨이퍼 검증 데이터 가 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 로부터 획득 될 수 있 다 . 제 1 웨이퍼 검증 데이터 는 S - D 측정 요소 에서 수행 된 S - D 측정 프로시저 및 / 또는 S - D 검사 요소 에서 수행 된 제 1 S - D 검사 프로시저 를 이용 하 여 획득 될 수 있 는 제 1 S - D 측정 데이터 및 / 또는 제 1 S - D 검사 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 다음 으로 , 제 1 피 검증 데이터 가 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 고 , 그 제 1 피 검증 데이터 는 이력 데이터베이스 및 / 또는 실시간 데이터베이스 로부터 획득 될 수 있 는 제 1 피 검증 측정 데이터 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 그리고 , 제 1 신뢰 도 값 이 제 1 웨이퍼 검증 차이 를 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 고 , 제 1 웨이퍼 검증 차이 는 제 1 웨이퍼 검증 데이터 및 제 1 피 검증 데이터 를 이용 하 여 계산 될 수 있 다 .