여기 서 , 자 버니어 ( 130 ) 는 바 ( Bar ) 형 노광 패턴 으로 정의 되 며 , 일 방향 에 대한 측벽 모양 이 쐐기 패턴 ( 140 ) 이 일렬 로 배열 된 톱니 형 으로 정의 된다 . 이때 , 본 발명 에서 기술 하 는 일 방향 은 자 버니어 ( 130 ) 의 네 변 을 기준 으로 각각 X ( +), X ( -), Y ( +), Y ( -) 방향 으로 분류 할 때 , 상기 네 방향 중 선택 된 어느 하나 또는 X 및 Y 의 조합 중 어느 한 방향 을 뜻 한다 . 도시 된 자 버니어 ( 130 ) 는 X ( +) 방향 에 대하 여 쐐기 패턴 ( 140 ) 이 구비 된 것 이 다 .