크라이 오 펌프 의 재생 주기 가 초과 되 는 경우 에 는 공정 챔버 내 의 잔류 가스 의 증가 로 인하 여 이온 화 비율 의 증가 와 방전 전압 의 급격 한 감소 를 동반 하 며 , 방전 전압 의 감소 는 하전 입자 의 이동 속도 를 감소 시켜 충돌 아르곤 의 운동 에너지 를 감소 시키 며 , 이 로 인하 여 스퍼터링 효과 의 감소 를 동반 하 는 등 의 문제점 을 유발 한다 .