대물 렌즈 ( 5 ) 는 , 그 광축 ( 6 ) 과 평행 한 방향 으로 이동 가능 한 Z 주사 스테이지 ( 7 ) 에 고정 되 어 있 다 . 피검 물 ( 3 ) 은 , 2 차원 광 편 향기 ( 9 ) 의 주사 방향 θ x 방향 과 평행 한 방향 으로 이동 가능 한 스테이지 장치 ( 4 ) 에 설치 된다 . 스테이지 장치 ( 4 ) 및 Z 주사 스테이지 ( 7 ) 에 는 , 그 이동 거리 를 판독 하 기 위한 제 1 , 제 2 변위 계 ( 24 , 25 ) 가 구비 되 어 있 다 .