상기 의 하드 마스크 막 ( 4 ) 의 식각 및 제 거시 하부 의 차광막 ( 2 ) 또는 반사 방지 막 ( 3 ) 에 손상 을 주 는 것 을 방지 하 기 위하 여 하드 마스크 막 ( 4 ) 이 투명 기판 ( 1 ) , 위상 반 전막 ( 6 ) , 반사 방지 막 ( 3 ) 또는 차광막 ( 2 ) 을 구성 하 는 물질 과 건 식식 각비 가 3 이상 , 습식 식각 비 가 10 이상 이 되 도록 적층 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 건 식식 각비 가 3 미 만 , 또는 습식 식각 비 가 10 미만 이 되 면 식각 저지 막 또는 하드 마스크 막 ( 4 ) 식각 시 투명 기판 ( 1 ) , 위상 반 전막 ( 6 ) , 반사 방지 막 ( 3 ) 또는 차광막 ( 2 ) 이 손상 될 수 있 다 . 일반 적 으로 건식 및 습식 식각 비 는 동일 한 식각 액 또는 식각 가스 에 대하 여 아래 의 식 으로 계산 한다 .