표 1 에 나타낸 바 와 같이 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 에서 는 , 정전 전극 ( 103 ) 에 4 , 000 V 의 DC 전압 이 인가 된 경우 , 가스 충 진부 ( 109 ) 에 충 진 되 는 He 의 압력 이 예 를 들 면 , 40 Torr 일 때 , He 의 누설 은 허용 가능 한 범위 ( 5 sccm 이하 ) 내 일 수 없 다 . 그러나 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에서 는 , 정전 전극 ( 13 ) 에 3 , 500 V 의 DC 전압 이 인가 된 경우 , 가스 충 진부 ( 19 ) 에 충 진 되 는 He 의 압 력 이 예 를 들 면 , 40 Torr 일 때 , He 의 누설 은 허용 가능 한 범위 ( 5 sccm 이하 ) 내 일 수 있 다 .