상부 챔버 ( 43 ) 는 , 하부 챔버 ( 42 ) 와 함께 챔버 ( 41 ) 내 에 처리 공간 ( S ) 을 형성 하 는 덮개 체이 다 . 상부 챔버 ( 43 ) 가 하부 챔버 ( 42 ) 에 접촉 함 으로써 , 챔버 ( 41 ) 내 에 처리 공간 ( S ) 이 형성 된다 . 상부 챔버 ( 43 ) 는 , 상부 판 ( 43 a ) 과 , 측벽 ( 43 b ) 을 갖 고 있 어도 좋 다 .