상술 한 바 와 같이 본 발명 에 의하 면 , 공정 챔버 로부터 돌출 되 는 배관 의 말단 에 형성 된 진공 센서 와 상기 공정 챔버 사이 의 상기 배관 에 진공 단속 밸브 를 형성 하 여 상기 진공 센서 의 불량 이 발생 되 어 교체 되 더라도 상기 공정 챔버 내부 의 공기 를 펌핑 하 는 진공 펌프 의 펌핑 시간 을 줄여 생산 성 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 효과 가 있 다 .