반사 방지 막 을 구비 하 는 직경 약 30 cm ( 12 인치 ) 의 실리콘 웨이퍼 상 에 , 각 약액 을 적하 했 다 . 그 후 , 얻 어 지 는 레지스 트 막 의 두께 가 8 . 5 nm 가 되 도록 , 상기 레지스 트 조성물 을 직접 도포 했 다 . 또한 , 도포 에 는 , " 스핀 코터 ( 상품명 "" LITHIUS """, 도쿄 일렉트론 사제 ) 를 이용 했 다 . 얻 어 진 레지스 트 막 은 90 ℃ 에서 베 이크 했 다 . 베 이크 후 의 레지스 트 막 에 대하 여 , 다 이 닛폰 스크린 사제 막 두께 측정 장치 Lambda Ace 를 이용 하 여 59 포인트 map 측정 하 고 , " 레지스 트 막 의 두께 의 표준 편차 ( 이하 "" σ "" 라고도 함 ) 를 구했 다 . 다음 으로 ", 표준 편차 로부터 3 σ 를 구했 다 .