우선 , 유리 기판 위 에 , 반사 전극 으로서 은 ( Ag ) 과 팔라듐 ( Pd ) 과 구리 ( Cu ) 의 합금 막 ( Ag - Pd - Cu ( APC ) 막 ) 을 스퍼터링 법 에 의하 여 막 두께 가 100 nm 가 되 도록 형성 한 후 , 투명 전극 으로서 산화 실리콘 을 포함 하 는 인듐 주석 산화물 ( ITSO ) 을 스퍼터링 법 에 의하 여 막 두께 가 85 nm 가 되 도록 성막 하 여 제 1 전극 ( 101 ) 을 형성 하 였 다 . 또한 그 전극 면적 은 4 mm 2 ( 2 mm Х 2 mm ) 로 하 였 다 .