CA 2 , 177 , 200 호 는 포토 리소그래피 를 위한 변형 가능 미러 및 굴절 광학 요소 를 채용 하 는 조사 시스템 및 방법 을 개시 하 고 있 으며 , 여기 에서 는 변형 가능 미러 가 균일 한 조사 를 획득 하 기 위해 레이저 빔 의 파면 을 성형 하 도록 배치 되 고 , 스페클 을 감소 시키 기 위해 굴절 또는 확산 광학 요소 의 이동 이 시도 된다 .