상기 광 투 과부 ( 550 ) 는 그 크기 에 따라 형성 방법 을 달리 할 수 있 는데 , 제 1 기 판 이 과도 하 게 두껍 지 않 고 광 투 과부 크기 가 상대 적 으로 작 다면 화학 적 식각 등 의 방법 에 의하 여 형성 할 수 도 있 으며 , 이 와 달리 제 1 기판 의 두께 가 과도 하 거나 광 투 과부 면적 이 큰 것 이 요구 되 면 물리 적 내지 기계 적 인 방법 으로 제 1 기판 을 관통 시켜 형성 할 수 도 있 을 것 이 다 .