플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 제 어부 ( MC ) 를 더 구비 할 수 있 다 . 제 어부 ( MC ) 는 , 프로세서 , 기억 장치 , 입력 장치 , 표시 장치 등 을 구비 하 는 컴퓨터 이 며 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 의 각부 ( 各部 ) 를 제어 한다 . 제 어부 ( MC ) 는 , 기억 장치 에 기억 되 어 있 는 제어 프로그램 을 실행 하 고 , 해당 기억 장치 에 기억 되 어 있 는 레시피 데이터 에 근거 하 여 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 의 각부 를 제어 한다 . 제 어부 ( MC ) 에 의한 제어 에 의하 여 , 레시피 데이터 에 의하 여 지정 된 프로세스 가 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 에 있 어서 실행 된다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 가 이용 되 는 경우 에 , 방법 MT 는 , 제 어부 ( MC ) 에 의한 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 의 각부 의 제어 에 의하 여 실행 될 수 있 다 .