그리고 , 도 8 에 도시 된 바 와 같이 , 냉각 유닛 ( 40 ) 이 가열 플레이트 ( 31 ) 와 커버 ( 34 ) 사이 의 공간 내 로 진입 하 면 , 리프트 핀 ( 32 ) 에 의해 상승 된 기판 ( S ) 이 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 와 제 2 냉각 플레이트 ( 42 ) 사이 의 기판 수용 공간 ( 44 ) 내 에 수용 된다 . 이때 , 리프트 핀 ( 32 ) 은 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 에 형성 된 가이드 홀 ( 418 ) 에 삽입 된다 .