활성 광선 또는 방사선 의 예 로 는 적외선 , 가시광선 , 자외선 , 원자외선 , X 선 및 전자 빔 을 들 수 있 지만 , 방사선 은 바람직 하 게 는 파장 250 ㎚ 이하 의 원자외선 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 220 ㎚ 이하 이 다 . 그 구체 예 로 는 KrF 엑 시머 레이저 광 ( 248 ㎚), ArF 엑 시머 레이저 광 ( 193 ㎚), F 2 엑 시머 레이저 광 ( 157 ㎚), X 선 및 전자 빔 을 들 수 있 고 , ArF 엑 시머 레이저 광 , F 2 엑 시머 레이저 광 , EUV ( 13 ㎚) 및 전자 빔 이 바람직 하 다 .