그리고 , 정 전척 ( 20 ) 내 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 안착 시키 거나 이탈 시키 기 위해서 승하 강 작동 되 는 다 수개 의 리프트 핀 ( lift pin ) ( 24 ) 이 구비 되 며 , 각 리프트 핀 ( 24 ) 은 도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 상부 연결 축 ( 24 a ) 과 자 중체 ( 24 b ) 와 하부 연결 축 ( 24 c ) 으로 일체 로 구성 되 고 , 그 상부 연결 축 ( 24 a ) 의 상단 부 를 통해 웨이퍼 ( W ) 의 배면 에 접촉 되 며 , 그 하부 연결 축 ( 24 c ) 의 하단 부 는 미도 시 한 구동 실린더 와 연결 되 게 된다 .