여기 서 , 상기 콘 택 플러그 ( 110 ) 및 패드 ( 112 ) 는 일체 형 으로 형성 되 며 , 또한 , 상기 패드 ( 112 ) 상 에 는 하드 마스크 ( 114 ) 가 배치 된다 . 특히 , 상기 콘 택 플러그 ( 110 ) 를 포함 한 패드 ( 112 ) 는 식각 마스크 로서 상기 하드 마스크 ( 114 ) 를 이용 한 패 터닝 공정 을 통해 형성 된다 .