즉 , 예측 결과 추후 형성 된 박막 패턴 에 단선 을 유발 하 거나 악영향 을 줄 것 으로 판단 되 면 제 2 마스크 공정 이 시작 되 기 전 에 세정 공정 , 브러시 클리닝 , 레이저 등 을 이용 하 여 이 물 ( 170 ) 을 제거 하 는 리 페어 공정 을 실시 하 게 된다 . 그리고 , 이 물 ( 175 ) 이 존재 하 더라도 게이트 패턴 의 단선 을 유발 하 지 않 는다면 별도 의 리페 어 공정 은 실시 되 지 않 게 된다 .