상기 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 , MFC 2 는 , 도 2 에 나타내 듯이 , 그 내부 유로 L 1 ( L 2 ) 를 흐르 는 유체 유량 을 제어 하 는 유량 제어 밸브 V 1 ( V 2 ) 과 , 제 1 압력 센서 P 11 ( P 12 ) 과 , 유체 저항 R 1 ( R 2 ) 과 , 제 2 압력 센서 P 21 ( P 22 ) 를 이 순 으로 직렬 로 배치 한 것 이 다 . 통상 의 사용 방법 에서 는 상기 유체 저항 R 1 ( R 2 ) 의 전후 에서 발생 하 는 차압 을 제 1 압력 센서 P 11 ( P 12 ) 과 제 2 압력 센서 P 21 ( P 22 ) 에 의해 검지 하 고 , 그 유체 저항 R 1 ( R 2 ) 을 통과 하 는 유체 의 질량 유량 을 산출 하 여 상기 유량 제어 밸브 V 1 ( V 2 ) 의 제어 에 이용 하 도록 구성 되 어 있 다 .