본 실시 형태 에 있 어서 도 , 교정 용 튜닝 컵 ( 247 ) 을 마련 함 으로써 , 프로파일러 컵 ( 244 ) 의 빔 전류 측정값 을 적절히 교정 할 수 있 다 . 또 , 준비 공정 및 주입 공정 에 있 어서 교정 용 튜닝 컵 ( 247 ) 에 차폐 부재 ( 243 ) 를 장착 해 둠 으로써 , 교정 공정 이외 에 있 어서 교정 용 튜닝 컵 ( 247 ) 이 이온 빔 조사 에 의하 여 소모 되 거나 오염 되 거나 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .