본 발명 은 플라 즈 마 강화 된 코팅 프로세스 를 지원 하 기 위한 장치 ( 8 ) 에 관한 것 이 며 , 상기 장치 는 플 라즈 마 및 / 또는 코팅 될 기판 및 / 또는 플라 즈 마 생 성 을 위하 여 제공 된 전극 근처 에 배치 가능 하 며 , 여기 에 는 플 라즈 마 영역 , 또는 기판 또는 상기 기판 을 운반 하 는 운반 구성 요소 가 배치 될 수 있 는 평면 , 또는 전극 들 중 하나 또는 그 일부 의 변 또는 면 을 적어도 부분 적 으로 둘러싸 거나 제한 하 고 , 가스 상태 의 매질 이 흡입 될 수 있 는 하나 또는 수 개 의 흡입 구멍 들 ( 10 ) 을 갖 는 공동 ( cavity ) 또는 흡입 채널 ( 13 ) 을 포함 하 는 프레임 이 제공 된다 .