본 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 로드 락 챔버 ( 10 ) 에 따르 면 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) ( 하측 내부 공간 ( 11 L ) ) 에 배치 되 는 기판 ( S ) 의 4 개 의 모서리 부 에 대응 하 는 위치 에 위치 결정 기구 ( 41 , 42 , 43 , 44 ) 를 설치 함 으로써 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) ( 하측 내부 공간 ( 11 L ) ) 내 에서 , 기판 ( S ) 의 위치 가 밀리 는 것 을 방지 할 수 있 다 .