본 발명 의 다른 측면 에서 제공 되 는 반도체 제조 용 플 라즈 마 식각 장치 부품 제조 방법 에 의하 여 제조 되 는 플 라즈 마 식각 장치 부품 은 예 를 들 어 , 노즐 ( nozzle ) , 인 젝 터 ( injector ) , 링 ( ring ) 류 일 수 있 으나 이 에 제한 되 는 것 은 아니 고 , 반도체 제조 용 플 라즈 마 식각 장치 에서 내 플 라즈 마성 이 요구 되 는 모든 부품 일 수 있 다 .