도 1 , 도 6 에 나타내 는 구성 의 열처리 장치 에 있 어서 , 각 열처리 실 의 상하 의 히터 를 사용 하 여 최고 온도 가 600 ℃ 가 되 는 열처리 조건 을 설정 하 고 , 최고 온도 까지 의 온도 상승 조건 으로서 반송 되 는 유리 기판 이 15 ℃/ 분 으로 가열 되 도록 하 였 다 . 유리 기판 의 반송 속도 는 약 15 mm / s 이 다 .