그리고 처리 중 인 로트 를 구성 하 는 모든 웨이퍼 ( 200 ) 의 기판 처리 가 완료 되 면 , 그 후 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 처리 완료 된 모든 웨이퍼 ( 200 ) 를 포드 ( 2001 ) 에 격납 시키 는 한편 , 그 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 의 새로운 웨이퍼 ( 200 ) [ 즉 m + 1 번 째 의 로트 에서 의 1 매 째 의 웨이퍼 ( 200 ) ] 의 반송 을 정지 하 고 , 그 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 의 처리 용기 ( 202 ) 내 [ 특히 처리 실 ( 201 ) 내 ] 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 .