제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 ) 에서 처리 된 기판 ( W ) 은 , 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 에 의해 다른 쪽 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 2 ) 에 반송 되 거나 , 또는 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 ) 에 되돌려진다 ( 기판 ( W ) 은 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 를 거치 는 경우 도 있 고 , 하나 의 챔버 만 을 거치 고 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 ) 에 되돌려 지 는 경우 도 있 다 ) . 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 ) 로 되돌아간 기판 ( W ) 은 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 에 의해 포트 ( 21 - 1 ) 상 의 카세트 ( 78 ) 에 되돌려진다 . 오리 엔터 ( 61 ) 로부터 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 을 경유 해서 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 에 이르 는 기판 ( W ) 의 반송 경로 길이 는 , 2 개 의 제 2 로드 록 챔버 ( 291 , 29 - 2 ) 의 어느 하나 를 경유 해도 실질 적 으로 동일 길이 가 되 도록 설정 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이런 경우 , 2 대 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 의 어느 쪽 을 사용 해도 , 오리 엔터 ( 61 ) 로부터 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 까지 기판 ( W ) 을 반송 하 는 시간 을 거의 동일 하 게 할 수 있 고 , 프로세스 처리 전후 의 반송 시간 을 동일 하 게 하 여 , 프로세스 처리 에 있 어서 의 호환 성 을 높일 수 있 다 .