도 1 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 광학 적 웨이퍼 엔드 포인트 이중 검사 장치 의 단면도 , 도 2 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 플 래 튼 의 평면도 , 도 3 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 광 모듈 의 확대도 , 도 4 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 하부 프레임 의 평면도 , 도 5 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 플 래 튼 의 확대도 , 도 6 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 제 어부 의 블럭 도 이 다 .