반응 로 ( 110 ) 의 내부 온도 가 공정 온도 에 도달 되 면 , 소스 가스 가 반응 로 ( 110 ) 의 내부 공간 으로 공급 된다 . 소스 가스 는 열분해 에 의해 라디칼 로 분해 되 며 , 라디칼 들 이 기판 ( 10 ) 위 에 도포 된 촉매 와 반응 하 여 탄소 나노 튜브 를 합성 한다 . 반응 로 ( 110 ) 에서 의 탄소 나노 튜브 합성 공정 이 완료 되 면 , 가스 공급 부재 ( 140 ) 로부터 소스 가스 공급 이 중단 된다 .