구체 적 으로 는 , 린스 액 밸브 ( 18 ) 가 열리 고 , 린스 액 노즐 ( 16 ) 이 순수 의 토출 을 개시 한다 . 기판 ( W ) 의 상면 에 착 액 한 순수 는 , 회전 하 고 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 바깥쪽 으로 흐른다 . 기판 ( W ) 상 의 약액 은 , 린스 액 노즐 ( 16 ) 로부터 토출 된 순수 에 의해 흘러 보내 진다 . 이것 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 전역 을 덮 는 순수 의 액막이 형성 된다 . 린스 액 밸브 ( 18 ) 가 열리 고 나 서 소정 시간 이 경과 하 면 , 린스 액 밸브 ( 18 ) 가 닫히 고 , 순수 의 토출 이 정지 된다 .