동일 선폭 에서 의 밀착 향상 에 는 , 광 증감제 를 감량 하 여 , 레지스 트 투과율 을 증가 시키 는 것 이 유효 하 다 . 이 로써 , 레지스 트 탑 과 보텀 의 흡수 노광량 의 차 가 작아지 기 때문 이 다 . 그러나 , 투과율 의 증가 는 흡수 노광량 의 절대값 그 자체 를 저하 시키 기 때문 에 , 감도 가 낮 아 지 는 것 이 문제 가 된다 .