상기 플 라즈 마 질화 공정 에 있 어서 , 질소 를 포함 하 는 제 4 반응 가스 를 상기 공정 챔버 내 에 로딩 된 대 상체 ( 300 ) 상 으로 공급 한 후 , 상기 제 4 반응 가스 에 약 1 , 000 ∼ 2 , 000 W 정도 의 전력 을 인가 하 여 대 상체 ( 300 ) 상부 에 질소 플 라즈 마 를 형성 할 수 있 다 . 상기 질소 플 라즈 마 를 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 과 반응 시킴 에 따라 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 이 상부 산화 막 ( 330 ) 으로 변화 되 면서 상부 산화 막 ( 330 ) 상 에 상부 질화 막 ( 335 ) 이 형성 된다 . 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 의 일부 가 상부 질화 막 ( 335 ) 으로 변화 되 기 때문 에 상부 산화 막 ( 330 ) 은 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 에 비하 여 상부 질화 막 ( 335 ) 의 두께 만큼 감소 된 두께 를 가진다 .