플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 에 는 , 증기 생성 장치 ( 60 ) 로부터 Al 을 포함 하 는 증기 를 공급 할 뿐 만 아니 라 , 가스 도입부 ( 82 ) 로부터 어시스트 가스 를 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 . 어시스트 가스 를 이용 함 으로써 , 어시스트 가스 를 이용 하 지 않 는 경우 에 비하 여 , 플라 즈 마 생 성실 ( 78 ) 에 있 어서 의 플 라즈 마의 생성 을 안정 화 할 수 있 다 . 또 , 어시스트 가스 의 공급량 을 조정 함 으로써 , 플라 즈 마 생 성실 ( 78 ) 에서 생성 되 는 플 라즈 마 밀도 를 조정 할 수 있 어 , 플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 로부터 인출 되 는 이온 빔 ( IB ) 의 전 류량 을 조정 하 기 쉬워진다 . 또한 , 어시스트 가스 의 종류 에 따라서 는 , 아크 챔버 ( 72 ) 의 내면 에 대한 오염 의 부착 을 억제 할 수 있 어 , 플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 의 수명 을 향상 시킬 수 있 다 . 특히 , 불화물 가스 를 어시스트 가스 로서 이용 함 으로써 , 아크 챔버 ( 72 ) 의 내면 에 대한 오염 의 부착 을 적절히 억제 할 수 있 다 .