도 4 는 , 멀티 빔 의 조사 영역 과 묘화 대상 화소 와 의 일예 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 4 에서 , 스트라이프 영역 ( 32 ) 에 는 , 예 를 들 면 , 기판 ( 101 ) 면 상 에서 의 멀티 빔 의 빔 사이즈 의 피치 로 격자 형상 으로 배열 되 는 복수 의 제어 그리드 ( 27 ) 가 설정 된다 . 예 를 들 면 , 10 nm 정도 의 배열 피치 로 하 면 바람직 하 다 .