도 3 a 내지 도 3 e 는 본 발명 의 제 2 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한 단면도 이 다 . 도면 을 참조 하 면 , 본 발명 의 블랭크 마스크 는 차광막 ( 2 a ) 을 구성 하 는 물질 과 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 구성 하 는 물질 이 상호 간 에 습식 및 건 식식 각비 가 크 고 각각 의 내 화학 성 이 모두 우수 하 기 때문 에 혼용 하 여 사용 하 는 것 이 가능 하 다 . 본 실시 예 에서 는 상기 제 1 실시 예 와 달리 차광막 ( 2 a ) 및 반사 방지 막 ( 3 ) 을 크롬 계열 의 물질 로 적층 하 고 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 탄 탈륨 계열 의 물질 로 적층 하 는 것 만 다르 도록 하 였 다 . 상기 차광막 ( 2 a ) 및 반사 방지 막 ( 3 ) 물질 과 하드 마스크 막 ( 4 ) 물질 이 다르 기 때문 에 식각 공정 이 상기 제 1 실시 예 와 다르 다 . 이하 도면 을 참조 하 여 상세히 설명 한다 .