공정 챔버 들 은 트랜스퍼 챔버 의 둘레 를 따라 배치 된다 . 트랜스퍼 챔버 는 각각 의 공정 챔버 로 / 로부터 기판 을 반입 및 반출 시킨다 . 트랜스퍼 챔버 내부 에 는 로봇 암 이 설치 된다 . 트랜스퍼 챔버 에 구비 되 는 로봇 암 은 공정 시 로드 락 챔버 로부터 기판 을 이송 받 아 공정 챔버 들 중 어느 하나 로 기판 을 반입 시켜 공정 챔버 내부 에 설치 되 는 척 ( chuck ) 에 기판 을 안착 시킨다 . 기판 이 척 에 안착 되 면 , 공정 챔버 는 기판 표면 에 소정 의 공정 을 수행 한다 . 공정 이 완료 되 면 , 로봇 암 은 다시 공정 챔버 로부터 기판 을 반출 한다 .