플라 즈 마 챔버 가 단계 ( 404 ) 에서 웨이퍼 로 적재 된 후 , 공정 은 안정 화 단계 ( 406 ) 로 진행 되 고 , 여기 서 챔버 는 밀봉 되 어 플 라즈 마 에칭 을 돕 기 위해 비교 적 낮 은 압력 으로 설정 된다 . 예정 된 시간 에 걸쳐 지속 되 는 , 안정 화 단계 중 에 , 챔버 에 연결 된 가스 소스 ( source ) 들 은 챔버 로 유동 하 여 펌핑 되 고 소정 의 압력 설정 값 에서 안정 화 된다 . 아래 에 보다 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 챔버 에 유입 되 는 것 이 허용 된 가스 소스 들 은 바람직 한 주 에칭 제 및 필요 할 수 있 는 임의 의 첨가제 에 따른 선택 의 문제 이 다 .