상기 용액 을 12 시간 이상 스터링 하 였 다 . 이때 액상 의 전구체 를 1 . 6 MHz 의 초음파 진동자 에 의해 에어로졸 을 형성 시켰 다 . 또한 상기 형성 된 에어로졸 에 공기 를 불 어 넣 어 250 ℃ 의 건조 챔버 로 빠르 게 이동 하 면서 건조 되 도록 함 으로써 일정량 의 미분체 를 형성 시켰 고 , 다음 에어 블로어 ( air blower ) 를 가동 하 여 상기 미분체 를 1000 ℃ 의 불꽃 에 통과 시켜 중공 ( 中空 ) 구조 의 산화물 입자 를 형성 시켰 다 . 상기 생성 된 산화물 입자 를 450 ℃ 에서 3 시간 동안 열처리 하 여 구심 율 이 우수 한 세라믹 중공 구 분 말 을 얻 을 수 있 었 다 .