또한 , 상술 한 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 상측 유로 벽부 ( 22 ) 가 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 제 1 방향 X 를 따라 가늘 고 긴 형 으로 연장 되 어 있 는 예 에 대하 여 설명 했 다 . 그러나 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 의 형상 은 임의 이 다 . 예 를 들 어 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 는 원기둥 형 의 보스 로서 형성 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 에 있 어서 도 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 는 하측 유로 벽부 ( 13 ) 에 평면 으로 보 아 겹치 도록 배치 하 고 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 의 하 면 ( 22 a ) 을 , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 에 맞닿 게 하 는 것 이 적합 하 다 .