또한 , 하부 의 금속 표면 과 유전체 표면 사이 의 경계 와 같 은 기판 상 의 다른 특징 부들 에 대해 선택 적 으로 증착 된 층 에 대한 에지 프로파일 및 에지 위치 를 제어 하 기 위한 구 현예 가 제공 된다 . 따라서 , 비싼 리소그래피 패 터닝 을 할 필요 없이 선택 층 에지 의 상대 적 인 위치 설정 이 제어 된다 . 선택 층 이 증착 이 최소 화 된 재료 와 중첩 되 는 실시 예 ; 증착 이 최소 화 된 재료 로부터 선택 층 을 이격 시키 는 갭 을 갖 는 선택 층 이 형성 되 는 실시 예 ; 및 선택 층 의 에지 가 두 개 의 이질 적 인 하부 재료 사이 의 경계 와 정렬 되 는 실시 예 를 포함 하 는 실시 예 들 이 이러 한 제어 를 위한 응용 예 를 도시 한다 .