예 를 들 면 , 침 지법 에 있 어서 레지스 트 를 도포 한 후 프리 베 이크 하 고 , 마스크 패턴 을 통해 노광 하 고 , 현상 한 기판 ( 피 처리 물 ) 을 레지스 트 박리 액 으로 채워진 처리 조 에 침지 하 고 , 상기 기판 의 이면 으로부터 초음파 를 인가 해서 상기 기판 의 표면 의 세정 을 행한다 . 기판 의 하면 에 전파 된 초음파 진동 은 박리 액 중 에 거의 감쇠 되 지 않 고 전파 되 어 상면 에 부착 된 레지스 트 및 레지스 트 잔사 를 박리 할 수 있 다 . 기판 의 하면 에 전파 된 처 리조 에 는 초음파 발진기 및 상기 기판 을 유지 하 고 , 상기 초음파 발진기 로부터 의 초음파 가 조사 되 도록 한 유지 구가 비치 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 처리 층 에 대해서 는 일본 특허 공개 2002 - 222787 에 개시 되 어 있 는 세정 장치 가 포함 된다 .