한 쌍 의 가이드 레일 ( 23 ) 은 , Y 축 방향 에 평행 으로 , 베이스 ( 11 ) 의 상면 에 배치 되 어 있 다 . Y 축 테이블 ( 24 ) 은 , 한 쌍 의 가이드 레일 ( 23 ) 상 에 , 이 들 가이드 레일 ( 23 ) 을 따라 슬라이드 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . Y 축 테이블 ( 24 ) 상 에 는 , 가공 이송 유닛 ( 30 ) 및 척 테이블 부 ( 40 ) 가 배치 되 어 있 다 .