이하 에서 는 , 검출 장치 ( 100 ) 를 구비 한 노광 장치 ( 1 ) 를 사용 한 노광 방법 에 대해서 상세 하 게 설명 한다 . 도 8 a 는 , 노광 장치 ( 1 ) 에 의한 노광 처리 를 나타낸 흐름 도 이 다 . 스텝 S 101 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 웨이퍼 ( 3 ) 를 노광 장치 ( 1 ) 내 에 반입 한다 . 스텝 S 102 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 웨이퍼 ( 3 ) 에 대하 여 검출 장치 ( 100 ) 중 적어도 1 개 의 검출기 를 구동 시킬 것 인지 아닌지 를 판단 한다 . 이 판단 은 , 예 를 들 면 , 유저 에 의해 미리 노광 장치 에 등록 된 , " "" 계측 대상 의 마크 의 배치 정보 """," "" 계측 대상 의 마크 의 수 """," "" 직전 에 실시 한 노광 레시피 """," "" 높 은 생산 성 이나 정밀도 가 요구 되 는지 "" 등 의 정보 에 근거 해서 행해진다 . 스텝 S 102 에서 검출기 의 구동 이 필요 하 다고 판단 되 었 을 경우 에 는 스텝 S 103 으로 처리 를 진행 하 고 ", 제 어부 ( 1100 ) 는 , 검출 장치 ( 100 ) 에 있 어서 의 구동 기구 를 제어 해서 검출기 의 구동 및 고정 을 행한다 . 검출기 의 구동 에 앞서 , " 유저 에 의해 미리 등록 된 "" 계측 대상 의 마크 의 배치 정보 "" 에 근거 하 여 ", 복수 의 마크 를 동시 에 검출 가능 한 검출기 의 위치 가 결정 된다 . 그리고 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 검출 장치 ( 100 ) 의 구동 기구 에 의해 X 방향 을 따라 적어도 1 개 의 검출기 의 검출 영역 을 이동 시킨다 . 스텝 S 103 의 완료 후 , 처리 는 스텝 S 104 로 진행 한다 . 스텝 S 102 에서 검출 장치 의 구동 이 필요 하 지 않 다고 판단 되 었 을 경우 도 , 처리 는 스텝 S 104 로 진행 한다 .