바꿔 말 하 면 , 전술 한 4 개 의 헤드 군 ( 641 ∼ 645 , 646 ∼ 6410 , 661 ∼ 665 및 666 ∼ 6610 ) 의 배치 영역 은 , 그 길이 ( 예 를 들 어 헤드 군 ( 641 ∼ 645 ) 의 경우 , 헤드 ( 641 ) 와 헤드 ( 645 ) 의 거리 ) 가 적어도 웨이퍼 ( W ) 의 전체 면 을 주사 노광 할 때 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 스트로크 ( 이동 범위 ) 전역 을 커버 하 도록 ( 본 실시 형태 에서 는 모든 쇼트 영역 에서 , 적어도 주사 노광 중 과 주사 노광 전후 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 가감 속 및 동기 정정 ( 整 定 ) 기간 중 에 , 4 개 의 헤드 군 ( 641 ∼ 645 , 646 ∼ 6410 , 661 ∼ 665 및 666 ∼ 6610 ) ( 계측 빔 ) 의 적어도 1 개 가 대응 하 는 스케일 부재 ( 회절 격자 ) 로부터 벗어나 지 않 도록 , 즉 계측 불능 이 되 지 않 도록 ) , 웨이퍼 ( W ) 의 크기 ( 직경 ) 보다 길 게 설정 되 어 있 다 .