그런 다음 에 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 들 은 도 7 에 도시 된 바 와 같이 설정 된 각도 로 회전 하 여 , 스탬프 척 ( 110 ) 과 기판 척 ( 120 ) 이 위치 한 지점 으로 상호 근접 하 여 위치 한다 . 그리고 , 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 들 의 CCD 카메라 ( 161 , 162 ) 는 스탬프 척 ( 110 ) 과 기판 척 ( 120 ) 의 각 위치 를 파악 하 여 , 아래 에서 후술 할 작동 제 어부 ( 170 ) 로 정보 제공 한다 . 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 들 은 단층 패 터닝 위치 정렬 뿐 만 아니 라 , 다층 패 터닝 의 정렬 에 더욱 유용 하 다 .