I / O 포트 ( 260 d ) 는 게이트 밸브 ( 1490 ) , 승강 기구 ( 218 ) , 압력 조정기 ( 227 ) , 배기 조정 밸브 ( 228 ) , 진공 펌프 ( 223 ) , 압력 센서 ( 229 ) , MFC ( 243 c , 244 c , 245 c , 246 c , 247 c ) , 밸브 ( 243 d , 244 d , 245 d , 246 d , 247 d ) , 온도 조정부 ( 213 c , 213 d ) , 정 합기 ( 251 ) , 고주파 전원 ( 252 ) , 진공 반송 로봇 ( 2700 ) , 대기 반송 로봇 ( 2220 ) 등 에 접속 된다 .