다른 하나 는 액세스 플 루어 중 가공 장비 의 하측 영역 을 에폭시 로 전체 적 으로 도포 하 여 , 가공 장비 에서 누설 되 는 약액 이 액세스 플 루어 를 통해 하층 으로 낙하 하 는 것 을 막 는 기술 이 다 . 그러나 , 이 기술 은 대량 의 에폭시 사용 에 따라 파티클 및 흄 ( Fume ) 이 다량 발생 하 여 클린 룸 내 의 환경 을 오염 시키 는 문제 가 있 다 . 또한 , 가공 장비 의 이설 / 철거 시 에 대면 적 으로 도포 된 에폭시 를 철거 하 기 가 어려운 문제 가 있 다 .