주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 간섭계 ( 18 Y ) 의 측장 빔 ( B 41 , B 42 ) 에 대응 하 는 측 장축 의 계측 값 의 평균값 에 기초 하 여 반사면 ( 17 Y ) , 즉 웨이퍼 테이블 ( WTB ) ( 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ) 의 Y 위치 , 즉 Y 축 방향 의 변위 Δ Yo 를 산출 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 반사면 ( 17 Y ) 및 이동경 ( 43 ) 의 중앙 반사면 에 있 어서 의 Y 위치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 축 둘레 의 회전 방향 ( θ x 방향 ) 의 변위 ( 피 칭량 ) Δ Xo 를 산출 한다 .