[ 디지털 데일리 김도현 기자 ] 국내 극자외선 ( EUV ) 분야 발전 을 위해 산학 이 협력 한다 . 국내외 대학 과 연구소 가 기업 들 에 기술 및 정보 를 제공 하 는 방식 이 다 .   27 일 한양 대학교 EUV - IUCC ( Industry - University Cooperation Center ) 는 서울 성동구 한양대 학교 에서 ‘ EUV 노광 기술 생태 계 조성 을 위한 산학 협력 포럼 ’ 을 개최 했 다 . 이 자리 에 는 반도체 전문가 들 이 모여 , EUV 발전 방향 을 논의 했 다 .   EUV 는 반도체 미세 공정 의 핵심 으로 꼽힌다 . 빛 의 파장 이 13 . 5 나노미터 ( nm ) 에 불과 하 다 . 기존 불화 아르곤 ( ArF ) 공정 ( 193 . 5 nm ) 대비 14 분 의 1 이 다 . 더욱 미세 한 회로 구현 이 가능 하 다 . 붓 이 얇 아 질수록 섬세 한 그림 을 그릴 수 있 는 것 과 같 은 원리 다 . 삼성전자 와 TSMC 정도 만 생산 라인 에 도입 한 상황 이 다 . EUV 장비 는 ASML 이 독점 공급 하 고 있 다 . 상용 화 에 성공 했 지만 , 여전히 갈 길 이 멀 다 . 국내 반도체 업계 도 준비 가 미흡 한 상태 다 . 한양대 는 이 를 해결 하 기 위해 EUV - IUCC 를 설립 했 다 . 학교 자체 지원 으로 운영 되 는 산학 협력 연구 센터 다 . 센터 장인 안진호 한양대 교수 를 비롯 한 국내외 EUV 전문가 들 이 참여 한다 .   EUV - IUCC 는 회원 기업 에 다양 한 혜택 을 제공 할 계획 이 다 . 삼성전자 , ASML , 에프 에스티 , 에스 앤 에스 텍 , 이 솔 등 이 등록 된 상태 다 . 구체 적 으로 EUV 관련 ▲ 기술 정보망 구축 ▲ 연구 개발 및 사업 화 ▲ 전문 인력 양성 등 을 수행 한다 .   아울러 현재 EUV 관련 기술 을 다수 보유 하 고 있 다 . EUV - IUCC 가 확보 한 기술 로 는 EUV 마스크 및 펠리 클 광학 검사 기술 , 웨이퍼 열변 형 특성 및 수명 예측 , 방사광 기반 첨단 분석 EUV 레지스 트 특성 평가 등 이 있 다 . EUV 공정 은 비용 , 소재 미흡 , 기술 적 한계 등 의 문제점 을 안 고 있 다 . ASML 이 공급 하 는 EUV 장비 1 대 가격 은 1500 억 원 에 달한다 . 노광 공정 에서 ‘ 모양 자 ’ 역할 을 하 는 포토 마스크 역시 EUV 용 은 5 억 원 으로 가격 이 높 다 . 포토 마스크 를 보호 하 는 펠리 클 을 활용 하 면 비용 절감 이 가능 하 지만 , EUV 용 개발 은 아직 이 다 . EUV - IUCC 는 이 같 은 문제점 을 기업 과 협력 해 해결 하 겠 다는 의지 다 . 안 교수 는 “ 학교 에서 23 억 원 을 투입 해 만들 었 다 . 사립 대학 입장 에서 는 큰 투자 ” 라며 “ 단계 적 으로 국내외 전문가 가 함께 하 는 내셔널 센터 로 거듭날 것 ” 이 라고 강조 했 다 . < 김도현 기자 > dobest @ ddaily . co . kr [ 제 15 회 ] 2020 년 전망 , 금융 IT 컨퍼런스 개최 ! 뉴스 채널 설정 - 네이버 메인 에서 디지털 데일리 뉴스 를 볼 수 있 어요 . IT 정보 의 즐거운 업그레이드 [ 딜라이트 닷넷 ] < 저작권자 © 디지털 데일리 무단 전재 - 재 배포 금지 >