비 교예 3 과 4 는 TiAlN 막 층 의 두께 에 따른 경도 값 변화 를 확인 한 것 이 다 . 비 교예 3 과 실시 예 3 를 대비 하 거나 비 교예 4 와 비 교예 2 를 대비 해 보 면 , BN 막 층 의 두께 가 서로 같 고 TiAlN 막 층 의 두께 가 클 경우 인데 , 경도 값 이 감소 함 을 확인 할 수 있 다 . 즉 , 경도 값 을 보상 하 는 TiAlN 막 층 일지 라도 두께 가 너무 두꺼운 경우 는 , 얇 은 BN 막 층 을 반복 적 으로 삽입 하 더라도 경도 향상 효과 가 미미 하 고 , 특히 비 교예 4 와 같이 BN 막 층 의 두께 가 2 nm 정도 로 두꺼우 면 TiAlN 단일 막 에 비해 경도 가 현격히 감소 됨 을 확인 할 수 있 었 다 . 따라서 다층 박막 의 경도 향상 을 위해서 는 BN 막 층 의 두께 를 임계 치 이하 로 얇 게 조절 하 는 것 도 중요 하 지만 , TiAlN 막 층 의 두께 도 10 nm 이하 로 조절 하 는 것 이 바람직 하 다 .