한편 , 플라 즈 마 처리 가 행해진 후 에 정전 척 에 잔류 하 는 흡 착력 은 , 정전기력 에 기인 하 는 흡 착력 만 이 아니 다 . 예 를 들 면 , 특정 원소 를 포함 하 는 퇴적물 이 정전 척 에 퇴적 한 경우 , 퇴적물 에 포함 되 는 원소 와 정전 척 상 에 배치 된 반도체 웨이퍼 에 포함 되 는 원소 가 분자간력 에 의해 결합 하 는 경우 가 있 다 . 예 를 들 면 , 정전 척 에 퇴적 한 퇴적물 에 불소 가 포함 되 어 있 는 경우 , 불소 의 미 결합 손 과 , 반도체 웨이퍼 에 포함 되 어 있 는 실리콘 의 미 결합 손 이 결합 하 는 경우 가 있 다 .