폴리 아크릴산 계 폴리머 로서 는 , 폴리 아크릴산 , 폴리 아크릴아미드 , 아미노 폴리 아크릴아미드 , 폴리 아크릴산 암모늄염 , 폴리 아크릴산 나트륨 염 등 을 들 수 있 다 . 이 중 에서 도 특히 폴리 아크릴산 암모늄염 이 , 연마 대상 의 기체 ( 基體 ) 가 반도체 집 적 회로 용 실리콘 기판 등 의 경우 는 , 상기 알칼리 금속 , 알칼리 토류 금속 , 할로겐화물 등 에 의해 오염 되 지 않 기 때문 에 바람직 하 다 .