여기 서 , 제 1 가스 공급 부 , 제 2 가스 공급 부 , 제 3 가스 공급 부 각각 을 구성 하 는 MFC , 밸브 는 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 되 어 , 각각 , 이하 의 데이터 를 송수신 한다 . MFC : 유량 데이터 , 밸브 : 개방 도 데이터 . 또한 , 제 1 가스 공급 부나 , 제 2 가스 공급 부 에 기화기 , RPU 를 포함 해서 구성 해도 된다 . 기화기 나 RPU 도 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 되 어 , 각각 , 이하 의 데이터 를 송수신 한다 . 기화기 : 기화 량 데이터 , RPU : 전력 데이터 .