시스템 ( 1100 , 1200 ) 은 콘트 라스트 의 레벨 을 개선 하 기 위해 함께 사용 할 수 있 는 것 으로 또한 예상 된다 . 이 점 에서 , 본 발명 은 타 겟 의 대칭 점 에서 낮 은 강도 레벨 을 보장 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 본 발명 의 구조 화 조명 및 교차 편광 양태 의 조합 은 도 13 에 도시 된 조명 동공 ( illumination pupil ) 을 이용 하 여 구현 될 수 있 는 것 으로 인정 된다 . 예 를 들 면 , 적합 한 조명 동공 은 십자 형상 ( 1302 ) , 수직선 형상 ( 1304 ) ( 예 를 들 면 , Y - 방향 ) , 또는 수평선 형상 ( 1306 ) ( 예 를 들 면 , X - 방향 ) 을 가질 수 있 다 . 더욱이 , 조명 동공 ( 1302 , 1304 , 1306 ) 은 조명 편광자 및 촬상 편광자 와 함께 구현 될 수 있 다 . 제 1 실시 형태 에 있 어서 , 동공 ( 1302 - 1306 ) 은 시스템 의 조명 경로 ( 예 를 들 면 , 1115 또는 1205 ) 내 에 배치 된 X - 편광자 및 시스템 의 촬상 경로 ( 예 를 들 면 , 1107 또는 1207 ) 내 에 배치 된 Y - 편광자 와 제휴 하 여 구현 될 수 있 다 . 제 2 실시 형태 에 있 어서 , 동공 ( 1302 - 1306 ) 은 시스템 의 조명 경로 내 에 배치 된 Y - 편광자 및 시스템 의 촬상 경로 내 에 배치 된 X - 편광자 와 제휴 하 여 구현 될 수 있 다 .