생산 효율 향상 의 유효 한 수단 으로서 , 특허 문헌 1 에 기재 된 다 계조 포토 마스크 는 매우 유용 하 다 . 예 를 들 어 , 표시 장치 의 구동 을 제어 하 는 TFT , 즉 S / D ( 소스 ㆍ드레인 ) 및 채널 을 형성 하 는 공정 은 , 표시 장치 의 생산 공정 중 에서 도 긴요 한 부분 이 지만 , 다 계조 포토 마스크 를 사용 할 수 있 다 . 한편 , 휴대 단말기 의 화질 이나 동작 속도 , 전력 절약 등 에 대한 강한 요구 에 수반 하 여 , 패턴 의 미세화 요구 가 현저 하 다 . 예 를 들 어 , 상기 TFT 에 있 어서 의 채널 폭 ( channel length ) 의 설계 치수 는 , 점점 미세 화 되 는 경향 이 있 다 .