약액 중 에 있 어서 의 계면 활성제 의 함유량 이 , 10 ~ 10000 질량 ppm 이 면 , 약액 은 보다 우수 한 결함 억제 성능 을 갖 는다 . 계면 활성제 는 , 1 종 을 단독 으로 이용 해도 되 고 , 2 종 이상 을 병용 해도 된다 . 2 종 이상 의 계면 활성제 를 병용 하 는 경우 에 는 , 합계 함유량 이 상기 범위 내 인 것 이 바람직 하 다 .