첨부 된 도 1 을 참조 하 면 , 교환 챔버 ( 4 ) 상 에 설치 되 며 , 웨이퍼 의 하 측면 을 감지 하 여 이 물질 및 오염 상태 를 감지 하 는 감지 부 ( 10 ) ; 및 상기 감지 부 ( 10 ) 에서 감지 된 신호 를 입력 받 아 오염 된 웨이퍼 의 메인 챔버 ( 6 ) 로 의 진입 을 제어 하 는 제 어부 ( 20 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .