화학식 A 내지 화학식 E 를 갖 는 적어도 하나 의 규소 전구체 ( 들 ) 가 용매 를 포함 하 는 조성물 에 사용 되 는 그러 한 구체 예 에 대하 여 , 선택 된 용매 또는 이 들 의 혼합물 은 규소 전구체 와 반응 하 지 않 는다 . 조성물 에서 용매 의 중량 % 의 양 은 0 . 5 중량 % 내지 99 . 5 중량 %, 또는 10 중량 % 내지 75 중량 % 의 범위 이 다 . 이러 한 또는 다른 구체 예 에서 , 용매 는 화학식 A 내지 화학식 E 의 규소 전구체 와 비등점 ( b . p . ) 과 유사 한 b . p . 를 가 거나 , 용매 의 b . p . 와 화학식 A 내지 화학식 E 의 규소 전구체 의 b . p . 간 의 차이 는 40 ℃ 이하 , 30 ℃ 이하 , 또는 20 ℃ 이하 , 또는 10 ℃ 이 다 . 대안 적 으로 , 비등점 들 간 의 차이 는 하 기 종결 점 들 중 임의 의 하나 이상 의 범위 이 다 : 0 , 10 , 20 , 30 , 또는 40 ℃. b . p . 차이 의 적합 한 범위 의 예 는 비 제한 적 으로 , 0 내지 40 ℃, 20 ℃ 내지 30 ℃, 또는 10 ℃ 내지 30 ℃ 이 다 . 조성물 에서 적합 한 용매 의 예 는 에테르 ( 예 를 들 어 , 1 , 4 - 디옥산 , 디 부틸 에테르 ) , 3 차 아민 ( 예 를 들 어 , 피리딘 , 1 - 메틸 피 페리 딘 , 1 - 에틸 피 페리 딘 , N , N '- 디 메틸 피페라진 , N , N , N ', N '- 테트라메틸 에틸렌디아민 , 니트릴 ( 예 를 들 어 , 벤조니트릴 ) , 알킬 탄화수소 ( 예 를 들 어 , 옥탄 , 노난 , 도데 칸 , 에틸 사이클 로 헥산 ) , 방향 족 탄화수소 ( 예 를 들 어 , 톨루엔 , 메시틸렌 ) , 3 차 아미노 에 테르 ( 예 를 들 어 , 비스 ( 2 - 디메틸아미노 에틸 ) 에테르 ) , 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 하 지만 , 이 로 제한 되 지 않 는다 .