다음 으로 , 도 8 d 에 나타낸 바 와 같이 알루미늄 산화 막 ( 117 ) 위 에 백금 막 ( 118 ) , PZT 막 ( 119 ) 및 이리듐 산화 막 ( 120 ) 을 순차 적 으로 형성 한다 . 한편 , PZT 막 ( 119 ) 의 형성 과 이리듐 산화 막 ( 120 ) 의 형성 사이 에 열처리 ( RTA ) 를 행한다 . 또한 , 이리듐 산화 막 ( 120 ) 은 2 층 구조 로 하 고 , 하측 의 층 을 형성 한 후 에 도 열처리 ( RTA ) 를 행한다 .