검증 부 ( 30 e ) 는 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로부터 수집 된 공정 파라미터 들 로부터 고주파 유닛 ( 30 ) 을 검증 한다 . 실시 예 에서 , 검증 부 ( 30 e ) 는 수집 된 공정 파라미터 들 을 기 설정 된 기준 공정 파라미터 들 과 비교 하 는 등 의 방식 으로 고주파 유닛 ( 30 ) 을 검증 할 수 있 다 . 검증 부 ( 30 e ) 는 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로부터 수집 된 공정 파라미터 들 로부터 임피던스 정합 부 ( 22 ) 를 검증 한다 .