[ 0037 ] 프로파일 ( 320 b ) 은 기판 의 에지 지역 이 기판 의 중심부 와 비교 하 여 프로세싱 가스 / 플 라즈 마 에 유사 한 노출 을 수용 하 는 것 을 나타내 는 에지 플랫 성능 ( edge flat performance ) 이 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에서 , 기판 ( 301 ) 의 상단 표면 과 에지 표면 사이 의 작 은 포지티브 높이 차이 ( 313 b ) 는 320 b 와 유사 한 에지 성능 을 달성 하 는 데 사용 된다 . 일 실시 예 에서 , 요구 되 는 두께 의 에지 링 ( 312 b ) 이 작 은 포지티브 높이 차이 ( 313 b ) 를 얻 기 위해 상단 플레이트 ( 310 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 작 은 포지티브 높이 차이 는 대략 0 . 5 inch 보다 작 을 수 있 다 .