각각 의 제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 은 배리 어막 ( BA ) 및 금속 라인 ( ME ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 금속 라인 ( ME ) 의 측벽 들 및 하면 을 상기 배리 어막 ( BA ) 이 컨 포 멀 하 게 덮 을 수 있 다 . 일 예 로 , 배리 어막 들 ( BA ) 은 Ta , TaN , Ti , TiN , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 . 일 예 로 , 금속 라인 들 ( ME ) 은 Cu , W , Al , 또는 Co 를 포함 할 수 있 다 .