바람직 한 실시 예의 방법 및 그 변경 은 컴퓨터 가 판독 가능 한 명령어 를 저장 하 는 컴퓨터 가 판독 가능 한 매체 를 내장 하 도록 구성 된 기계 를 통해 , 적어도 부분 적 으로 실시 및 / 또는 구현 될 수 있 다 . 명령어 는 리소그래피 시스템 과 , 이 를 통해 구현 된 한 부분 이상 의 프로세서 , 및 / 또는 컨트롤러 가 결합 되 어 , 컴퓨터 가 실행 가능 한 구성 요소 에 의해 실행 되 는 것 이 바람직 하 다 . 컴퓨터 가 판독 가능 한 매체 는 RAM , ROM , 플래시 메모리 , EEPROM , 광학 장치 ( CD 또는 DVD ) , 하드 드라이브 , 플로피 드라이브 , 또는 임의 의 적절 한 디바이스 와 같 은 임의 의 적절 한 컴퓨터 가 판독 가능 한 매체 에 저장 될 수 있 다 . 컴퓨터 가 실행 가능 한 구성 요소 는 범용 또는 특정 어플리케이션 프로세서 인 것 이 바람직 하 지만 , 임의 의 적절 한 전용 하드웨어 또는 하드웨어 / 펌웨어 결합 디바이스 에 의해 선택 적 으로 또는 추가 적 으로 명령어 가 실행 될 수 있 다 .