압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 는 , 기판 ( WT ) 의 실 장면 ( WTf ) 과 칩 ( CP ) 의 접합면 ( CPf ) 사이 의 거리 와 칩 ( CP ) 의 기판 ( WT ) 의 실 장면 ( WTf ) 에 대한 경사 중 의 적어도 하나 를 조정 한다 . 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 는 , 도 5 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 원판 부재 ( 332 ) 와 제 2 원판 부재 ( 334 ) 사이 에 3 개 존재 하 고 , 각각 의 Z 방향 으로 신축 할 수 있 게 되 어 있 다 . 그리고 , 3 개 의 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 각각 의 신축 정도 를 제어 하 는 것 에 의해 , 수평면 에 대한 제 2 원판 부재 ( 334 ) , 나아가 서 는 헤드 ( 33 H ) 의 경사 각도 가 조정 된다 . 그리고 , 헤드 ( 33 H ) 에 유지 된 칩 ( CP ) 의 접합면 ( CPf ) 의 기판 ( WT ) 의 실 장면 ( WTf ) 과 의 사이 의 거리 와 , 헤드 ( 33 H ) 에 유지 된 칩 ( CP ) 의 접합면 ( CPf ) 의 기판 ( WT ) 의 실 장면 ( WTf ) 에 대한 경사 중 의 적어도 하나 가 조정 된다 . 한편 , 3 개 의 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 는 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 에 관한 조명 광 ( 반사광 을 포함 ) 을 가로막 지 않 는 위치 ( 평면 위치 ) 에 배치 되 어 있 다 .