정 전척 장치 ( 23 ) 의 상부 에 는 금속제 마스크 ( 221 ) 에 자력 을 인가 하 여 마스크 의 처짐 을 방지 하 고 마스크 ( 221 ) 와 기판 ( 10 ) 을 밀착 시키 기 위한 자력 인가 수단 ( 24 ) 이 설치 된다 . 자력 인가 수단 ( 24 ) 은 영구 자석 또는 전자석 등 의 복수 의 자력 발생 부 ( 241 ) 를 포함 한다 .