[ 0001 ] 본 기술 은 반도체 프로세싱 ( semiconductor processing ) 에서 의 세정 동작 들 에 관한 것 이 다 . 보다 구체 적 으로 , 본 기술 은 전기 도금 시스템 들 ( electroplating systems ) 에서 헹굼 ( rinse ) 및 회수 ( recover ) 동작 들 을 수행 하 는 시스템 들 및 방법 들 에 관한 것 이 다 .