제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 에서 소정 의 처리 가 끝나 면 , 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 은 , 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 내 에 인입 한 후 , 다음 처리 를 실행 하 는 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 의 다른 쪽 또는 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 어느 하나 에 기판 ( W ) 을 넘겨 준다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 에 기판 ( W ) 이 넘겨 지 면 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 측 의 게이트 밸브 ( 52 ) 를 닫 을 수 있 다 . 이후 , 기판 ( W ) 을 반입 한 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 가 대기압 으로 복귀 하 고 나 서 , 대기 반 송실 ( 25 ) 측 의 게이트 밸브 ( 51 ) 를 열 수 있 다 . 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 또는 60 - 2 ) 은 , 대기압 하 에서 , 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 로부터 취 출하 고 , 취 출한 기판 ( W ) 을 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 상 의 어느 하나 의 카세트 에 되돌린다 .