도 24 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 연마 장치 의 다른 실시 예 를 도시 한 평면도 이 다 . 도 24 에 도시 된 바 와 같이 , 이 예 에서 는 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 C , 70 D ) 이 도 22 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 에 부가 하 여 제공 된다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 C , 70 D ) 은 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 과 동일 한 구조 를 갖 는다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 화살표 로 지시 된 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 을 향한 방향 과 상기 노치 부분 으로부터 멀 어 지 는 방향 으로 선행 이동 기구 에 의해 이동 될 수 있 다 .