종래 의 ECP 장치 는 전체 프레임 에 해당 하 는 수조 ( 10 ) 와 , 상기 수조 ( 10 ) 에 채워지 는 전해질 용액 ( 14 ) 을 포함 하 는 클램 셀 ( E - Field Shaping Clamshell , 15 ) 과 , 상기 클램 셀 ( 15 ) 과 웨이퍼 ( 16 ) 를 전기 적 으로 연결 하 기 위해 상기 클램 셀 ( 15 ) 내부 에 상기 웨이퍼 ( 16 ) 와 접촉 되 는 부분 인 전기 적 콘 택 부재 ( 20 ) , 상기 클램 셀 ( 15 ) 의 하 방향 바닥 면 에 설치 되 는 애노드 챔버 ( 13 ) 와 , 상기 애노드 챔버 ( 13 ) 내 의 구리 애노드 ( 12 ) 와 대향 되 도록 설치 되 는 웨이퍼 ( 16 ) 와 , 상기 웨이퍼 ( 16 ) 상 에 증착 되 는 구리 시드 막 ( 17 ) 으로 구성 된다 . 웨이퍼 ( 16 ) 는 운반 대 ( 18 ) 에 의해 전해질 용액 ( 14 ) 속 으로 침지 되 거나 , 침지 된 전해질 용액 ( 14 ) 속 에서 빠져 나올 수 있 다 .