에 어 실린더 ( 220 ) 는 도시 하 지 않 은 에어 실린더 제 어부 의 구동 제어 에 의한 공기압 의 유입 및 배출 을 통해 피스톤 로드 ( 222 ) 를 진퇴 시킨다 . 피스톤 로드 ( 222 ) 의 진퇴 운동 에 연동 하 여 피스톤 로드 ( 222 ) 에 연결 된 가 동바 ( 230 ) 가 진퇴 되 고 , 이 에 따라 가 동체 ( 230 ) 에 힌지 축들 ( 214 ) 을 통해 회동 가능 하 게 결속 된 링크 들 ( 210 ) 도 고정축 들 ( 216 ) 을 기준 으로 회동 하 게 된다 . 링크 들 ( 210 ) 의 중심 부들 ( 212 ) 에 는 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 각각 이 관통 되 어 고정 되 므로 , 링크 들 ( 210 ) 의 회동 에 의해 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 각각 이 회전 하 게 된다 . 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 이 회전 되 면 , 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 각각 에 연결 된 하부 경사 노즐 들 ( 134 ) 의 방향 도 변화 되 므로 , 결과 적 으로 피스톤 로드 ( 222 ) 의 진퇴 량 조절 을 통해 기판 ( 110 ) 을 역방향 으로 도 이송 시킬 수 있 게 된다 . 예 를 들 어 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 이송 장치 는 도 10 과 같이 피스톤 로드 ( 222 ) 의 진퇴 량 조절 을 통해 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 각각 을 제 1 경사각 ( θ 1 ) 으로부터 기판 ( 110 ) 의 저면 에 수직 한 방향 을 기준 으로 제 1 경사각 ( θ 1 ) 과 동위각 을 이루 는 제 2 경사각 ( θ 2 ) 까지 회전 시킬 수 있 게 된다 . 여기 서 , 제 1 경사각 ( θ 1 ) 이 기판 ( 110 ) 을 왼쪽 으로 이송 시키 기 위한 회전 각도 라면 , 제 2 경사각 ( θ 2 ) 은 기판 ( 110 ) 을 오른쪽 으로 이송 시키 기 위한 회전 각도 이 다 . 제 1 및 제 2 경사각 ( θ 1 , θ 2 ) 은 기판 ( 110 ) 을 충분히 이송 시킬 수 있 는 각도 , 즉 기판 ( 110 ) 의 저면 에 수직 한 방향 을 기준 으로 각각 양쪽 으로 15 ° ~ 45 ° 사이 에서 조정 됨 이 바람직 하 다 .