구체 적 으로 는 , 본 실시 형태 에서 는 , 도 2 a 에 도시 한 바 와 같이 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 대하 여 , 기체 ( 204 ) 를 내뿜 는 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 경통 ( 107 ) 에 설치 하 고 있 다 . 내뿜 기 부 ( 203 ) 는 , 경통 ( 107 ) 에 보유 ( 고정 ) 되 어 , 케미 칼 필터 로 화학 물질 을 제거 ( 여과 ) 한 높 은 청 정도 의 기체 ( 204 ) 를 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는다 . 기체 ( 204 ) 는 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 의 청 정도 , 게다가 , 경통 ( 107 ) 의 내부 의 기체 의 청 정도 보다 도 높 은 청 정도 를 가진다 . 또한 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 는 , 기체 ( 204 ) 로서 , 질소 , 헬륨 , 아르곤 등 의 순도 가 높 은 불활성 가스 를 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 어도 좋 다 . 내뿜 기 부 ( 203 ) 로부터 의 기체 ( 204 ) 는 , 도 2 a 에 도시 한 바 와 같이 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 충돌 한다 . 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 충돌 한 기체 ( 204 ) 의 일부 는 , 표면 ( 201 A ) 을 따라 흘러 , 제 2 배기 부 ( 109 ) 를 통하 여 , 경통 ( 107 ) 의 외부 에 배출 된다 .