그리고 , 상기 제 1 통로 내부 의 압력 을 리셋 하 기 위하 여 상기 제 1 통로 와 대기 를 연통 시키 는 개폐 밸브 가 구비 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 제 1 압력 챔버 에 부압 이 인가 되 면서 제 1 통로 내 의 압력 이 낮 아 지 면 , 개폐 밸브 를 개방 하 여 대기 와 연통 시키 는 것 에 의하 여 , 제 1 압력 챔버 에 인가 되 는 부압 과 충분히 압력 차이 를 유지 함 으로써 , 장시간 동안 반복 하 여 사용 하 더라도 제 1 통로 의 압력 감지 를 통해 웨이퍼 의 척 킹 여부 를 정확 하 게 확인 할 수 있 다 .