도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 의 리크 가 발생 되 지 않 을 경우 , 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) , 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) , 상기 서브 세정 가스 밸브 ( 52 a , 52 b ) , 상기 제 1 퍼지 가스 밸브 ( 62 a ) , 상기 제 2 퍼지 가스 밸브 ( 62 b ) , 및 상기 제 3 퍼지 가스 밸브 ( 62 c ) 를 닫 고 , 상기 메인 가스 공급 밸브 ( 34 ) 및 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 를 열 어 상기 서 브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 의 리크 유무 를 검출 한다 .