도 2 는 , 본 발명 의 많 은 실시 예 들 에 의해 제공 되 는 문제 및 그 에 따른 선행 적 아크 처리 를 도시 한 아크 레이트 ( arc rate ) 대 시간 의 그래프 이 다 . 미처리 아크 레이트 ( 202 ) 는 타 겟 재료 를 포함 하 는 저주파 플 라즈 마 챔버 및 상기 타 겟 재료 로 코팅 될 기판 에 의해 나타내 지 는 시간 의 흐름 에 따른 대표 적 인 아크 레이트 를 도시 한다 . 아크 처리 가 아크 를 방지 하 도록 사용 되 지 않 은 경우 아크 레이트 는 공칭 레이트 레벨 로 있 다 . 막 의 증착 공정 이 계속 되 고 타 겟 재료 가 소모 되 면 , 아크 레이트 에서 스파이크 들 ( 204 , 206 ) 이 야기 된다 . 타 겟 재료 의 유효 수명 의 종료 가까이 갈수록 , 아크 레이트 는 미처리 아크 레이트 ( 202 ) 의 영역 ( 208 ) 에 나타낸 바 와 같이 서서히 증가 한다 .