또한 , 본 제 2 실시 형태 의 웨이퍼 테이블 ( WTB ') 상면 의 + Y 측 단부 의 영역 , 즉 액침 영역 ( 14 ) 이 빈번 하 게 통과 하 는 영역 에 는 , 스케일 을 배치 하 지 않 아도 되 기 때문 에 , 그 영역 에 대한 액체 의 잔존 , 혹은 티끌 의 부착 등 이 있 어도 , 인코더 시스템 의 계측 정밀도 의 저하 가 발생 할 우려 가 없 다 .