아울러 , 이러 한 문제 를 해결 하 기 위해 도 1 c 에서 처럼 , ( a ) 건식 식각 을 이용 하 는 방법 에서 는 투명 기판 상 에 건식 식각 용 물질 막 ( 210 ) 을 형성 하 고 , 투명 기판 의 하부 에 는 지지막 을 형성 한다 . 이후 상기 건식 식각 용 물질 막 ( 210 ) 상부 에 포토레지스트 를 도포 하 고 , 이 를 패 터닝 한다 .