네 가티 브 형 액상 포토 레지스 트 를 제조 하 여 스핀코팅 후 건조 하 고 네오 마스크 가 없 는 코오롱 아트워크 를 사용 하 여 노광 후 현상 한 다음 자이스 ( ZEISS ) 사 의 레이저 주사 현미경 ( Laser Scanning Microscope ) 을 사용 하 여 1 / 1 해상도 를 측정 하 였 다 . 1 / 1 해상도 측정 시 에 는 노광 된 부분 이 손상 없이 완전 하 게 동판 ( copper layer ) 에 붙 어 있 으며 , 미 노광 된 부분 은 현상액 에 의하 여 깨끗 하 게 제거 되 어 동판 이 완전히 드러난 상태 의 값 을 읽 었 다 .