이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 의하 면 , 트렌치 형성 후 그 내부 면 에 확산 방지 막 을 형성 하 고 , 이 를 통해 후속 소자 분리 막 용 절 연막 증착 공정 시 옥 시 던 트 가 활성 영역 으로 확산 되 는 것 을 방지 함 으로써 활성 영역 의 폭 이 감소 되 는 것 을 방지 할 수 있 으며 , 이 를 통해 펀치 쓰루 전압 ( punch - through voltage ) 의 증대 를 방지 하 는 한편 , 접합 영역 의 누설 전류 ( junctiong leakage ) 특성 이 열화 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .