고압 기기실 ( 4 ) 에서 는 , 고압 기기실 ( 4 ) 과 고압 모선 실 ( 2 ) 과 의 온도 차 에 의한 차압 조정 으로 내부 의 오손 이나 결로 로부터 내부 의 기기 를 보호 하 기 위하 여 , 제 3 흡배기 구 ( 13 ) 및 제 4 흡배기 구 ( 15 ) 의 개구 면적 은 , 제 2 흡기 구 ( 11 ) 의 개구 면적 보다 작 고 , 제 3 필터 ( 14 ) 및 제 4 필터 ( 16 ) 는 , 분자 레벨 에서 의 기체 ( 예 를 들 면 , 0 . 1 ㎛ 이하 의 것 ) 를 투과 하 는 필터 입도 를 가지 고 있 다 . 예 를 들 면 , 기체 투과막 을 사용 할 수 있 다 .