검사 항목 1 의 최적 조명 설정 단계 ( S 60 ) 에서 는 , 2 차 스코어 데이터 획득 단계 ( S 50 ) 후 , 1 차 스코어 데이터 에서 가장 높 은 제 1 스코어 와 , 2 차 스코어 데이터 에서 가장 높 은 스코어 를 획득 한 제 2 스코어 를 비교 하 여 더 높 은 스코어 를 기록 한 것 에 매칭 되 는 채널 및 입력 전압 을 반도체 패키지 의 검사 항목 1 에 적합 한 검사 항목 1 의 최적 조명 으로 설정 하 는 과정 이 수행 된다 .