이 들 워드 라인 ( 110 ) 은 층간 절 연막 ( ILD ) 에 의해 서로 분리 될 수 있 다 . 일례 로서 , 제 1 층 의 워드 라인 ( 110 - 1 ) 은 자신 을 덮 는 제 1 층간 절 연막 ( ILD 1 ) 에 의하 여 서로 분리 되 면서 제 2 층 의 워드 라인 ( 110 - 2 ) 과 도 분리 될 수 있 다 . 유사 하 게 , 제 2 층 의 워드 라인 ( 110 - 2 ) 은 제 2 층간 절 연막 ( ILD 2 ) 에 의하 여 서로 분리 되 면서 제 3 층 의 워드 라인 ( 110 - 3 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 3 층 의 워드 라인 ( 110 - 3 ) 은 제 3 층간 절 연막 ( ILD 3 ) 에 의하 여 서로 분리 되 면서 제 4 층 의 워드 라인 ( 110 - 4 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 4 층 의 워드 라인 ( 110 - 4 ) 은 제 4 층간 절 연막 ( ILD 4 ) 에 의하 여 서로 분리 될 수 있 다 .