이러 한 단점 을 극복 하 기 위해 플 라즈 마 를 이용 한 건식 방법 이 사용 되 기 도 한다 . 건식 플 라즈 마 방법 의 하나 로서 , 상부 전극 과 웨이퍼 가 장착 된 척 의 역할 을 겸하 는 하부 전극 상 에 장착 되 는 웨이퍼 간 의 간격 을 최소 화 한 후 상부 전극 과 하부 전극 에 플 라즈 마 소오 스 파워 ( pasma source power ) 로서 가령 13 . 56 Mhz 의 고주파 전력 을 인가 하 여 이 들 사이 에 플 라즈 마 촉발 을 유도 하 면 웨이퍼 의 가장자리 를 따라 플 라즈 마가 발생 하 는 것 을 이용한 베벨 식각 이 사용 된다 .