일 실시 예 에 따르 면 , 코팅 막 ( 60 ) 은 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 상 에 약 800 Å 내지 1000 Å 의 두께 로 코팅 한 후 , 약 100 ∼ 500 ℃ 의 온도 조건 에서 약 30 ∼ 300 초 동안 베 이크 ( bake ) 하 여 형성 될 수 있 다 . 이 때 , 베 이크 공정 은 서로 다른 온도 조건 에서 1 회 이상 수행 될 수 있 다 .