챔버 ( 100 ) 는 내부 에 기판 처리 공정 이 수행 되 는 처리 공간 을 제공 할 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 는 내부 에 처리 공간 을 가지 며 , 밀폐 된 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 는 금속 재질 로 제공 될 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 챔버 ( 100 ) 는 알루미늄 재질 로 제공 될 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 는 접지 될 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 의 바닥 면 에 는 배기 홀 ( 102 ) 이 형성 될 수 있 다 . 배기 홀 ( 102 ) 은 배기 라인 ( 151 ) 과 연결 될 수 있 다 . 공정 과정 에서 발생 한 반응 부산물 및 챔버 의 내부 공간 에 머무르 는 가스 는 배기 라인 ( 151 ) 을 통해 외부 로 배출 될 수 있 다 . 배기 과정 에 의해 챔버 ( 100 ) 의 내부 는 소정 압력 으로 감압 될 수 있 다 .