예 를 들 어 , 상기 검 출부 ( 161 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 으로부터 방출 되 는 이 차 전자 ( secondary electron ) ( 32 ) 를 검출 한다 . 또한 , 상기 검 출부 ( 161 ) 는 상기 검출 된 이 차 전자 ( 32 ) 와 대응 하 는 전류 신호 를 전압 신호 로 변환 시키 고 , 증폭 시키 는 역할 을 한다 . 한편 , 상기 검 출부 ( 161 ) 에 는 상기 이 차 전자 ( 32 ) 를 검출 하 기 위해 바이어스 전압 이 인가 된다 . 또한 , 상기 검 출부 ( 161 ) 는 상기 이 차 전자 ( 32 ) 의 신호 를 증폭 시켜 강한 전기 적 신호 로 변환 시키 기 위한 광증 배관 ( photo multiplier ) ( 미 도시 ) 을 포함 할 수 있 다 .