제 1 S - D 피 측정 신호 데이터 와 제 1 S - D 최적 추정 신호 데이터 간 에 제 1 S - D 차이 가 계산 될 수 있 고 , 제 1 S - D 신뢰 도 데이터 는 제 1 S - D 차이 를 이용 하 여 제 1 측정 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 다 . 제 1 S - D 신뢰 도 데이터 는 제 1 S - D 생산품 요건 과 비교 될 수 있 고 , 제 1 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 면 제 1 측정 웨이퍼 는 제 1 고 신뢰 도 웨이퍼 로서 식별 될 수 있 고 처리 가 계속 될 수 있 거나 , 제 1 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 지 않 으면 제 1 보정 조치 가 적용 될 수 있 다 .