액정 표시 패널 ( 12 ) 은 그 전극 ( 14 ) 을 위쪽 을 향한 자세 로 배면 으로부터 백라이트 장치 ( 30 ) 로부터 의 빛 의 조사 를 받 도록 , 사각형 틀 ( 20 ) 의 안쪽 가장자리 위 에 가장 자리 를 올려 지지 된다 . 이 지지 상태 로 전극 ( 14 ) 에 접속 되 는 프로브 유닛 ( 26 ) 으로부터 검사 를 위한 전력 이 액정 표시 패널 ( 12 ) 에 공급 된다 . 스테이지 ( 16 ) 는 종래 잘 알려져 있 는 바 와 같이 , 스테이지 면 위 의 X 축 , Y 축 및 이 들 에 수직 인 Z 축 의 각 축 방향 으로 이동 가능 하 고 Z 축 의 주위 로 각도 θ 로 회전 가능 하 다 .