[ 0040 ] 재료 는 , 코팅 될 기판 ( 10 ) 이 로케 이 팅 되 는 증착 지역 을 향해 , 방출 방향 으로 , 하나 또는 그 초과 의 증착 소스 들 ( 225 ) 로부터 방출 될 수 있 다 . 예컨대 , 하나 또는 그 초과 의 증착 소스 들 ( 225 ) 은 , 하나 또는 그 초과 의 증착 소스 들 ( 225 ) 의 길이 를 따른 적어도 하나 의 라인 에 배열 되 는 복수 의 개구부 들 및 / 또는 노즐 들 을 갖 는 라인 ( linie ) 소스 를 제공 할 수 있 다 . 재료 는 복수 의 개구부 들 및 / 또는 노즐 들 을 통해 분출 될 수 있 다 .