본 발명 의 감광성 수지 조성물 은 , 할로젠 원자 의 함유량 이 , 배선 부식 성 의 관점 에서 , 500 질량 ppm 미만 이 바람직 하 고 , 300 질량 ppm 미만 이 보다 바람직 하 며 , 200 질량 ppm 미만 이 특히 바람직 하 다 . 그 중 에서 도 , 할로젠 이온 상태 로 존재 하 는 것 은 , 5 질량 ppm 미만 이 바람직 하 고 , 1 질량 ppm 미만 이 보다 바람직 하 며 , 0 . 5 질량 ppm 미만 이 더 바람직 하 다 . 할로젠 원자 로서 는 , 염소 원자 및 브로민 원자 를 들 수 있 다 . 염소 원자 및 브로민 원자 , 혹은 염소 이온 및 브로민 이온 의 합계 가 각각 상기 범위 인 것 이 바람직 하 다 .