그 다음 , 플러그 충 진체 ( 250 ) 는 , 수산화 암모늄 , 과산화수소 , 물 , 티록신 5 - 디요 오디 나제 , 질산 ( HNO 3 ) , ( 트리 메틸 실릴 ) 디 메틸 히드라진 ( TDMH ) , 또는 상기 임의 의 조합 중 적어도 하나 의 흐름 을 통해 습식 식각 공정 에서 제거 될 수 있 다 . 상기 흐름 은 다른 실리콘 플러그 를 제거 하 는 것 보다 더 빠른 속도 로 플러그 충 진체 ( 250 ) 를 벗겨낸다 . 플러그 충 진체 ( 250 ) 의 식각 속도 는 0 . 1 내지 10000 옹스트롬 / 분 , 1 내지 1000 옹스트롬 / 분 , 또는 10 내지 100 옹스트롬 / 분 의 범위 일 수 있 다 .