압력 을 포함 하 는 부가 적 인 챔버 조건 들 이 금속 함유 물질 의 식각 률 과 같 은 수행 되 는 동작 들 에 영향 을 주 도록 조정 될 수 있 다 . 실시 예 들 에서 , 챔버 내 의 압력 은 약 50 mTorr 내지 약 10 Torr 로 유지 될 수 있 다 . 압력 은 또한 , 약 5 Torr 또는 그 미만 , 약 3 Torr 또는 그 미만 , 약 2 Torr 또는 그 미만 , 약 1 Torr 또는 그 미만 , 약 900 mTorr 또는 그 미만 , 약 800 mTorr 또는 그 미만 , 약 700 mTorr 또는 그 미만 , 약 600 mTorr 또는 그 미만 , 약 500 mTorr 또는 그 미만 , 약 400 mTorr 또는 그 미만 , 약 300 mTorr 또는 그 미만 , 약 200 mTorr 또는 그 미만 , 약 100 mTorr 또는 그 미만 , 약 90 mTorr 또는 그 미만 , 약 80 mTorr 또는 그 미만 , 약 70 mTorr 또는 그 미만 , 약 60 mTorr 또는 그 미만 , 약 50 mTorr 또는 그 미만 , 또는 그 미만 으로 유지 될 수 있 다 . 부가 적 으로 , 일부 실시 예 들 에서 , 압력 은 약 100 mTorr 내지 약 1 Torr 로 유지 될 수 있 고 , 약 100 mTorr 내지 약 800 mTorr , 약 100 mTorr 내지 약 600 mTorr , 또는 약 200 mTorr 내지 약 400 mTorr 로 유지 될 수 있 다 .