일부 실시 예 들 에서 는 , 완료 시간 및 / 또는 실행 시간 이 S - D 및 / 또는 N - S - D 프로시저 에 대해 결정 될 수 있 다 . 완료 시간 및 / 또는 실행 시간 은 업데이트 된 레시피 를 확립 하 기 에 충분 한 시간 이 있 는지 의 여부 를 결정 하 기 위해 측정 및 / 또는 처리 개시 시작 에 비교 될 수 있 다 . 웨이퍼 는 , 완료 시간 및 / 또는 실행 시간 이 처리 개시 시간 보다 적 다면 업데이트 된 측정 레시피 를 이용 하 여 측정 및 / 또는 처리 될 수 있 거나 , 또는 완료 시간 및 / 또는 실행 시간 이 처리 개시 시간 보다 적 지 않 다면 업데이트 되 지 않 은 측정 레시피 를 이용 하 여 측정 및 / 또는 처리 될 수 있 다 .