블레이드 유 니트 ( 200 ) 는 웨이퍼 이송 로봇 ( 100 ) 의 고속 동작 시 웨이퍼 ( 400 ) 의 낙 하 및 이탈 을 방지 하 기 위하 여 진공 흡 착력 에 의하 여 웨이퍼 ( 400 ) 를 고정 시키 는 흡착 포트 ( 260 ) 를 구비 할 수 있 다 . 진공 흡착 방식 을 사용 하 는 상기 실시 예 외 에 도 , 블레이드 와 웨이퍼 ( 400 ) 접촉면 의 오염 ( contamination ) 을 최소 화 하 기 위하 여 웨이퍼 ( 400 ) 의 가장 자리 만 을 핸들링 함 으로써 웨이퍼 ( 400 ) 를 이송 하 는 에지 그립 ( edge grip ) 방식 을 사용 할 수 있 다 . 생산 성 을 감안 하 여 에지 그립 ( edge grip ) 방식 으로 웨이퍼 ( 400 ) 를 핸들링 ( handling ) 하 는 것 이 더욱 바람직 할 것 이 다 . 이 를 위하 여 싱글 블레이드 ( 210 ) 및 멀티 블레이드 ( 220 ) 의 단부 측 에 마련 되 는 제 1 그립 부 ( 251 ) 와 회동 부 ( 230 ) 측 에 마련 되 는 제 2 그립 부 ( 252 ) 가 구비 된다 . 제 1 그립 부 ( 251 ) 및 제 2 그립 부 ( 252 ) 는 웨이퍼 ( 400 ) 의 가장 자리 에 만 접촉 됨 으로써 웨이퍼 ( 400 ) 및 블레이드 의 접촉면 을 최소 화 할 수 있 다 . 흡착 포트 ( 260 ) , 제 1 그립 부 ( 251 ) 및 제 2 그립 부 ( 252 ) 를 모두 구비 한 실시 예 도 물론 가능 하 다 .