보강 막 ( 103 ) , 보강 막 ( 109 ) 으로서 사용 하 는 재료 는 , 반도체 막 ( 106 ) 보다 도 영률 이 높 은 재료 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 는 , 질화규소 , 질화 산화 규소 , 금속 산화물 , 금속 질화물 등 의 재료 를 사용 할 수 있 다 . 또한 , 보강 막 ( 103 ) 과 보강 막 ( 109 ) 은 , 같 은 재료 로 형성 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 , 보강 막 ( 103 ) 및 보강 막 ( 109 ) 을 반도체 막 보다 도 영률 이 높 은 재료 로 형성 함 으로써 , 반도체 막 의 성질 을 바꾸 지 않 고 , 반도체 막 의 기계 적 강도 를 향상 시킬 수 있 고 , 반도체 막 의 손상 을 저감 할 수 있 다 .