건조 공정 은 웨이퍼 ( W ) 를 , 그 중심 을 축 으로 하 여 회전 시켜 건조 시킨다 . 본 실시 형태 에 있 어서 의 건조 공정 은 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 건조 유닛 ( 51 ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 를 건조 시킨다 . 도 10 및 도 11 에 나타내 는 바 와 같이 , 건조 유닛 ( 51 ) 은 용기 ( 52 ) 내 에 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 를 유지 하 는 유지 테이블 ( 53 ) , 및 유지 테이블 ( 53 ) 을 회전 시키 는 회 전부 ( 57 ) 를 구비 하 고 있 다 .