또한 , 여기 에서 는 한 쌍 의 금속 화합물 영역 ( 124 a , 124 b ) 과 접촉 하 는 소스 층 ( 130 a ) 및 드레 인 층 ( 130 b ) 만 을 나타내 고 있 지만 , 이 공정 에 있 어서 , 배선 으로서 기능 하 는 전극 층 ( 예 를 들 어 , 도 12 에 있 어서 의 전극 층 ( 130 c ) ) 등 을 합쳐 형성 할 수 있 다 . 소스 층 ( 130 a ) 및 드레 인 층 ( 130 b ) 으로서 사용 할 수 있 는 재료 에 대하 여 특별히 한정 은 없 고 , 각종 도전 재료 를 사용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 몰리브덴 , 티타늄 , 크롬 , 탄탈 , 텅스텐 , 알루미늄 , 구리 , 네오디뮴 , 스칸듐 등 의 도전 성 재료 를 사용 할 수 있 다 .