제 5 활성 패턴 적층 체 ( 515 , 515 _ 1 ) 와 , 제 5 핀 - 컷 패턴 적층 체 ( 516 ) 는 기판 의 두께 방향 ( Z ) 으로 이격 되 어 , 제 5 하부 패턴 ( 510 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 각각 의 제 5 활성 패턴 적층 체 ( 515 , 515 _ 1 ) 와 , 제 5 핀 - 컷 패턴 적층 체 ( 516 ) 는 기판 의 두께 방향 ( Z ) 으로 배열 된 적어도 하나 이상 의 시트 패턴 ( 515 NS , 515 NS _ 1 , 516 NS ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 5 활성 패턴 적층 체 ( 515 , 515 _ 1 ) 는 제 5 노 말 패턴 적층 체 ( 515 ) 와 , 제 5 더미 패턴 적층 체 ( 515 _ 1 ) 를 포함 할 수 있 다 .