즉 , 상기 구동 부 ( 500 ) 에 의해 가 압부 ( 400 ) 가 후방 측 으로 이동 함 과 동시 에 접촉 부 ( 420 ) 가 하측 으로 회전 되 는 것 을 방지 하 기 위한 것 으로 , 상기 가 압부 ( 400 ) 가 후방 측 으로 이동 하 더라도 상기 텐션 스프링 ( 440 ) 에 의해 상기 접촉 부 ( 420 ) 는 기판 을 가압 시키 던 높이 를 일정 시간 유지 시켜 , 상기 가 압부 ( 400 ) 에 의한 웨이퍼 의 손상 을 방지 하 게 되 는 것 이 다 .