이 를 이후 에 설명 할 도 4 a 내지 도 7 에서 살펴 보 기 로 한다 . 즉 , ( b ) 단계 에 의한 웨이퍼 의 매크로 검사 는 도 4 a 및 도 4 b 를 통해 설명 하 고 , ( c ) 단계 에 의한 웨이퍼 의 미크 로 검사 는 도 5 a 내지 도 5 c 를 통해 설명 한다 . 또한 , ( e ) 단계 에 의한 웨이퍼 의 측면 검사 는 도 6 을 통해 설명 하 고 , ( f ) 단계 에 의한 웨이퍼 의 AOI 검사 는 도 7 을 통해 설명 한다 . 나머지 ( a ) 및 ( d ) 단계 는 상술 한 검사 에서 공통 적 으로 적용 되 는 단계 이 다 .