일 실시 예 에서 , 초음파 액체 전달 장치 는 , 일반 적 으로 내부 챔버 , 상기 내부 챔버 내 에 액체 를 수용 하 도록 상기 내부 챔버 와 유체 연통 하 는 하나 이상 의 입구 및 상기 내부 챔버 와 유체 연통 하 는 하나 이상 의 배출 포트 를 갖 는 하우징 으로서 , 상기 내부 챔버 내 의 액체 는 상기 하나 이상 의 배출 포트 에서 상기 하우징 으로부터 배출 되 는 , 상기 하우징 을 포함 한다 . 초음파 도파관 조립 체 는 , 상기 하우징 과 분리 되 며 , 상기 액체 가 상기 하나 이상 의 배출 포트 를 통해 상기 하우징 으로부터 배출 되 기 전 에 상기 내부 챔버 내 의 액체 를 초음파 처리 하 도록 상기 하우징 의 내부 챔버 내 에 적어도 부분 적 으로 배치 된다 . 제 어 시스템 은 , 상기 초음파 도파관 조립 체가 초음파 진동 하 도록 여기 되 는 동안 의 여기 모드 ( excitation mode ) 와 상기 초음파 도파관 조립 체가 실질 적 으로 여기 되 지 않 는 아이 들 모드 ( idle mode ) 사이 에서 상기 액체 전달 장치 의 작동 을 제어 한다 . 상기 제어 시스템 은 상기 도파관 조립 체 의 다중 진동 사이클 을 포함 하 는 소정 시간 ( t ) 동안 에 상기 액체 전달 장치 의 여기 모드 에서 상기 초음파 도파관 조립 체 를 여기 하 도록 작동 가능 하 다 .