그래서 , 본 실시 형태 에서 는 , 도 2 a 에 도시 한 바 와 같이 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 방향 에 있 어서 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 개구 ( 202 ) 의 단부 로부터 떨어지 게 해서 배치 하 고 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 개구 ( 202 ) 와 의 사이 에 미리 정해진 거리 ( 207 ) 를 마련 하 고 있 다 . 이러 한 거리 ( 207 ) 의 범위 에 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 ) 에 대하 여 기체 ( 204 ) 를 내뿜 는 것 으로 발생 하 는 소용돌이 ( 206 ) 를 제한 하 므로 , 낮 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 205 ) 의 말려 듦을 억제 할 수 있 다 .