나노 다공성 LKD 재료 ( 110 ) 는 사전 에 에칭 된 개구 ( 130 ) ( 예 를 들 어 , 트렌치 또는 비아 ) 를 포함 한다 . 상부 마스크 층 의 사전 에칭 및 / 또는 제거 로 인해 , 유전체 층 ( 110 ) 의 노출 된 표면 이 에칭 손상 된다 . 도 5 a 에 는 도시 되 지 않 지만 , 나노 다공성 LKD 재료 ( 110 ) 는 배리어 층 및 도전 성 또는 반 도전 성 층 과 같 은 중간층 위 에 놓여 있 을 수 있 다 .