그런 다음 , 상기 플러그 ( 204 ) 를 포함 한 층간 절 연막 ( 202 ) 상 에 확산 방지 막 ( 206 ) , 금속 막 및 ARC ( Anti - Reflective Coating ) 막 ( 210 ) 을 차례 로 증착 하 고 , 그리고 나 서 , 상기 ARC 막 ( 210 ) 과 금속 막 및 확산 방지 막 ( 206 ) 을 식각 하 여 상기 플러그 ( 204 ) 와 콘 택 되 는 하부 금속 배선 ( 208 ) 을 형성 한다 . 상기 확산 방지 막 ( 206 ) 은 Ti / TiN 막 으로 형성 한다 .