주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 에 액세스 한다 . 그리고 , 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 에서 소정 처리 가 행해진 기판 ( Ｗ ) 을 받아들임 과 아울러 , 냉각 된 기판 ( Ｗ ) 을 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 에 반입 한다 . 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 은 반입 된 기판 ( Ｗ ) 을 회전 시키 면서 , 도시 생략 된 광조 사부 로부터 기판 ( Ｗ ) 의 주연 부 ( 周緣 部 ) 에 광 ( 光 ) 을 조사 한다 . 이 에 의해 기판 ( Ｗ ) 의 주변 을 노광 한다 ( 스텝 Ｓ １０ ａ - 에지 노광 ( Ｔ ８ ｕ ) ) .