본 발명 은 상기 와 같이 에어 모터 ( 22 ) 에 연결 된 회전 발생 부 ( 23 ) 와 진동 발생 부 ( 24 ) 에 회전축 ( 25 ) 이 구비 되 어 회전 과 진동 을 동시 에 할 수 있 고 , 피세 척 물 ( 29 ) 이 다 수개 삽입 고정 된 지그 ( 27 ) 와 지그 ( 27 ) 를 고정 하 는 지그 고정부 ( 26 ) 가 회전축 ( 25 ) 에 연결 구비 되 므로 지그 ( 27 ) 자체 를 회전 과 동시 에 진동 가능 하 게 한 구성 이 다 .