이제 , 논의 된 방법 은 처리 동안 의 불 균일성 들 의 국부 적 인 효과 들 을 완화 하 는 수단 을 제공 한다 . 치수 변동 들 , 물질 불 균일성 들 , 장치 비대칭 들 등 은 프로세스 챔버 의 특정 영역 들 이 다른 영역 들 보다 더 많 은 강한 플 라즈 마 작용 을 갖 게 할 수 있 다 . 이러 한 효과 들 은 시스템 내 에서 국부 화 되 거나 일반 화 될 수 있 는데 ; 즉 , 일부 프로세스 불 균일성 들 은 사전 에 예측 하 기 어려운 개별 위치 들 에 영향 을 미칠 수 있 는 반면 , 다른 불 균일성 들 은 도파 로 ( 210 ) 의 원통 형태 에 대해 예측 가능 하 게 방사상 또는 방위각 일 수 있 다 . 이러 한 효과 들 이 발생 할 때 , 플 라즈 마 에 의해 처리 되 는 작업 물 ( 50 ) 의 대응 하 는 영역 들 이 불 균일 하 게 처리 될 수 있 다 .