스텝 302 에서 , 투영 광학계 의 코마수차 측정 용 디 포커스 위치 에서 , 코마수차 측정 용 조명 조건 하 에서 의 코마수차 에 대해서 시프트 위치 에 관한 데이터 를 취득 한다 . 이 방법 으로 , 도 7 의 실선 ( 27 ) 과 점선 ( 29 ) 에 대응 하 는 데이터 를 취득 할 수 있 다 . 스텝 301 및 스텝 302 의 순서 는 역 으로 되 어도 된다 .