라이브러리 기반 의 프로세스 에서 , 구조 의 높이 와 폭 은 변화 하 는 높이 와 폭 의 구조 에 대응 하 는 후방 산란 시 그 너 처 의 라이브러리 와 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 를 비교 함 으로써 결정 될 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 , 라이브러리 내 의 각 후방 산란 시 그 너 처 는 특정 한 높이 와 폭 을 갖 는 구조 와 연관 된다 . 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 와 라이브러리 내 의 후방 산란 시 그 너 처 중 하나 사이 에 정합 이 이루어지 는 경우 또는 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 와 라이브러리 내 의 후방 산란 시 그 너 처 중 하나 와 의 차 가 미리 설정 된 또는 정합 하 는 기준 내 에 있 는 경우 , 라이브러리 내 의 정합 하 는 후방 산란 시 그 너 처 에 대응 하 는 구조 의 높이 와 폭 은 구조 의 실제 높이 와 폭 인 것 으로 가정 된다 . 라이브러리 내 의 후방 산란 시 그 너 처 는 변화 하 는 높이 와 폭 을 갖 는 구조 에 대하 여 시 뮬 레이트 또는 사전 측정 될 수 있 다 .