여기 서 , 2 차 후처리 를 실시 하 는 이유 는 , 제 2 패턴 ( 32 ) 을 형성 하 기 위한 식각 공정 시 발생 한 식각 부산물 중 휘발 되 지 않 고 제 2 패턴 ( 30 ) 의 표면 및 쇼트 방지 막 ( 31 ) 의 표면 에 재 증착 된 식각 부산물 을 제거 함 과 동시 에 핀 드 막 ( 23 A ) 을 구성 하 는 금속 화합물 의 금속 성분 의 산화 또는 부식 을 방지 하 기 위함 이 다 .