문제점 7 ) 보이드 ( Void ) 형성 에 의한 평면 비아 단절 의 문제 : 또 다른 문제 는 구리 일렉트로 미 그레이 션 ( EM : Electromigration ) 과 같 은 다양 한 원인 에 기인 하 는 비아 ( 미 도시 ) 또는 아래 의 컨 덕 터 ( 도 2 B 참조 ) 에 형성 되 는 보이드 에 의해 발생 된다 . 도 2 b 에 도시 되 는 바 와 같이 , 상기 Mx 로부터 비아 ( 203 a ) 를 단절 시킬 정도 로 큰 보이드 ( 209 ) 를 컨 덕 터 Mx ( 101 ) 가 가지 는 경우 , 상기 평면 적 비아 는 Mx ( 101 ) 로 부터 Mx + 1 ( 201 ) 로 또는 Mx + 1 ( 201 ) 로부터 Mx ( 101 ) 로 충분 한 전류 를 이동 시키 지 못한다 .