세 척 프레임 ( 40 ) 이 슬리브 ( 22 ) 의 표면 을 따라 원활히 이동 할 수 있 도록 하 기 위하 여 , 세 척 프레임 ( 40 ) 에 는 , 세 척 프레임 ( 40 ) 이 지지 프레임 ( 14 ) 에 슬라이딩 가 능하 도록 결합 되 게 하 는 가이드 링 ( 43 ) 이 구비 될 수 있 다 . 세 척 프레임 ( 40 ) 의 일 측 은 가이드 블록 ( 42 ) 에 의해 제 1 프레임 ( 11 ) 을 따라 슬라이딩 하 고 , 타 측 및 중앙부 는 가이드 링 ( 43 ) 에 의해 지 지 프레임 ( 14 ) 을 따라 슬라이딩 함 으로써 , 세 척 프레임 ( 40 ) 에 구비 되 는 와이퍼 ( 41 ) 가 슬리브 ( 22 ) 에 충격 을 주 지 않 고 표면 을 따라 이동 할 수 있 게 된다 .