반사 미러 ( 17 ) 와 스테이지 ( 12 ) 사이 에 는 2 개 의 조리개 ( 18 , 19 ) 가 배치 된다 . 조리개 ( 18 , 19 ) 의 작용 에 의해 레이 저광 의 광량 이 조정 된다 . 조리개 ( 19 ) 와 스테이지 ( 12 ) 사이 에 는 렌즈 ( 21 ) 가 배치 된다 . 렌즈 ( 21 ) 의 작용 에 의해 레이 저광 은 스테이지 ( 12 ) 상 의 워크 에 미리 결정 된 스폿 으로 조사 된다 .