상기 반응 챔버 ( 254 ) 에서 사용 된 공정 가스 및 폐기 용 반응 부산물 들 은 배기 시스템 ( 270 ) 을 통해 외부 로 배출 될 수 있 다 . 상기 배기 시스템 ( 270 ) 은 반응 챔버 ( 254 ) 에 연결 된 배기 라인 ( 272 ) 과 , 상기 배기 라인 ( 272 ) 에 설치 된 진공 펌프 ( 274 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상기 진공 펌프 ( 274 ) 는 반응 챔버 ( 254 ) 로부터 배출 되 는 공정 가스 및 폐기 용 반응 부산물 들 을 제거 하 는 역할 을 할 수 있 다 .