이 에 대해서 , 집광 렌즈 ( 54 a ) 가 제 1 높이 ( Z 1 ) 에 있 을 때 , 레이저 빔 ( L ) 의 집 광점 ( P ) 은 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 표면 ( 11 a ) 보다 하방 에 위치 한다 ( 디 포커스 ) . 또한 , 집광 렌즈 ( 54 a ) 가 제 2 높이 ( Z 2 ) 에 있 을 때 , 레이저 빔 ( L ) 의 집 광점 ( P ) 은 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 표면 ( 11 a ) 보다 상방 에 위치 한다 ( 디 포커스 ) .