로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 에 는 , 프론트 로드 부 ( 20 ) 의 나열 에 따라 주행 기구 ( 21 ) 가 부설 되 어 있 다 . 주행 기구 ( 21 ) 상 에 는 , 웨이퍼 카세트 의 배열 방향 을 따라 이동 가능 한 2 대 의 반송 로봇 ( 로더 ) ( 22 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반송 로봇 ( 22 ) 은 , 주행 기구 ( 21 ) 상 을 이동 함 으로써 프론트 로드 부 ( 20 ) 에 탑재 된 웨이퍼 카세트 에 액세스 할 수 있 다 . 각 반송 로봇 ( 22 ) 은 , 상부 및 하부 에 핸드 를 구비 하 고 있 다 . 반송 로봇 ( 22 ) 은 , 상부 의 핸드 를 , 처리 된 웨이퍼 를 웨이퍼 카세트 로 복귀 시킬 때 에 사용 한다 . 반송 로봇 ( 22 ) 은 , 하부 의 핸드 를 , 처리 전 의 웨이퍼 를 웨이퍼 카세트 로부터 취 출 할 때 에 사용 한다 . 반송 로봇 ( 22 ) 의 하부 의 핸드 는 , 그 축심 주위 로 회전 함 으로써 , 웨이퍼 를 반전 시킬 수 있 다 .