출발 원료 로서 평균 입자경 이 0 . 03 μ m 이 고 열 플 라즈 마 CVD 로 합성 된 β - SiC 형 의 탄화 규소 ( β - SiC ) 입자 와 , 평균 입자경 이 0 . 1 μ m 이 며 금속 불순물 함유량 이 산화 알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 입자 의 총 질량 에 대하 여 95 ppm 인 산화 알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 입자 를 이용 했 다 .