이 에 의해 , 촬상 수단 ( 42 ) 을 실장 위치 ( P 3 ) 로 이동 시키 는 경우 보다 , 실장 후 의 전자 부품 ( 2 ) 과 기판 ( 3 ) 의 정확 한 위치 어긋남 을 검사 할 수 있 다 . 즉 , 촬상 수단 ( 42 ) , 특히 , 10 배 를 넘 는 것 같 은 고배 율 의 촬상 수단 ( 42 ) 은 , 렌즈 부분 이 델리케이트 한 구조 로 형성 되 어 있 다 . 이러 한 렌즈 부분 을 포함 하 는 촬상 수단 ( 42 ) 을 , 실장 위치 ( P 3 ) 와 검사 위치 ( P 4 ) 사이 의 이동과 같 은 , 핀트 조정 등 의 미소 량 의 이동과 비교 하 여 훨씬 큰 거리 의 이동 을 행하 게 한 경우 , 렌즈 부분 에 큰 부하 가 생긴다 . 렌즈 부분 은 , 이동 을 전제 로 하 여 구성 된 기판 스테이지 ( 33 ) 등 과 는 다르 게 , 큰 부하 를 반복 해서 받 음 으로써 파손 이나 오 차 를 발생 시키 기 쉽 다 . 이 결과 , 정확 한 위치 어긋남 의 검사 를 행할 수 없 게 될 우려 가 있 다 . 이 에 대하 여 , 촬상 수단 ( 42 ) 에 의한 검사 위치 ( P 4 ) 를 고정 으로 하 고 , 실장 위치 ( P 3 ) 와 검사 위치 ( P 4 ) 사이 에서 기판 스테이지 ( 33 ) 를 이동 시키 는 구성 으로 함 으로써 , 전술 한 문제점 을 회피 할 수 있 기 때문 에 , 정확 한 위치 어긋남 검사 를 행할 수 있 다 .