세정 챔버 ( 500 ) 의 기밀 이 유지 되 지 못하 면 , 외부 의 파티클 들 이 세정 챔버 ( 500 ) 내 로 유입 되 어 공정 불량 을 야기 하 거나 , 또는 챔버 ( 500 ) 내 의 공기 가 외부 로 누출 되 어 챔버 ( 500 ) 내 에서 압력 손실 이 발생 할 수 있 다 . 여기 서 , 압력 손실 이 라 함 은 팬 필터 유닛 ( 550 ) 으로부터 공급 되 는 청정 공기 에 의해 세정 챔버 ( 500 ) 내 에 형성 된 압력 이 공기 의 누출 로 인하 여 유지 되 지 못하 는 경우 를 말 한다 .