위 와 같이 이루어지 는 ZrO 2 단위 사이클 과 Nb 2 O 5 단위 사이클 을 각각 m 회 및 n 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 므로써 일정 두께 의 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 를 각각 증착 하 여 적층 하 고 , [ ZrO 2 단위 사이클 ] 과 [ Nb 2 O 5 단위 사이클 ] 을 합친 ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 단위 사이클 을 Q 회 반복 진행 하 여 [ ZrO 2 ] / [ Nb 2 O 5 ] 의 적층 횟수 를 결정 한다 . 예컨대 , 적층 횟수 는 2 층 , 3 층 , 4 층 등 이 될 수 있 다 . 바람직 하 게 , 사이클 수인 Q 의 값 은 ZrO 2 / Nb 2 O 5 적층 구조 의 총 두께 가 사용 하 고자 하 는 소자 ( 캐 패 시터 의 유전 막 , 게이트 유전 막 , RF 소자 의 캐 패 시터 유전 막 ) 의 두께 를 만족 할 때 까지 로 한정 되 며 , 일예 를 든다면 Q = 2 , 3 , 4 , ... N ( N 은 자연수 ) 가 된다 .