제 어부 ( 6 ) 는 , 각 구성 부 , 구체 적 으로 는 밸브 , 전원 , 히터 , 펌프 등 을 제어 하 는 마이크로프로세서 ( 컴퓨터 ) 를 구비 한 프로세스 컨트롤러 와 , 유저 인터페이스 와 , 기억 부 를 갖 고 있 다 . 프로세스 컨트롤러 에 는 성막 장치 의 각 구성 부가 전기 적 으로 접속 되 어 제어 되 는 구성 으로 되 어 있 다 . 유저 인터페이스 는 , 프로세스 컨트롤러 에 접속 되 어 있 고 , 오퍼레이터 가 성막 장치 의 각 구성 부를 관리 하 기 위해서 커맨드 의 입력 조작 등 을 행하 는 키보드 나 , 성막 장치 의 각 구성 부 의 가동 상황 을 가시 화 해서 표시 하 는 디스플레이 등 으로 이루어져 있 다 . 기억 부도 프로세스 컨트롤러 에 접속 되 어 있 다 . 기억 부 에 는 , 성막 장치 에서 실행 되 는 각종 처리 를 프로세스 컨트롤러 의 제어 로 실현 하 기 위한 제어 프로그램 이나 , 처리 조건 에 따라서 성막 장치 의 각 구성 부 에 소정 의 처리 를 실행 시키 기 위한 제어 프로그램 , 즉 처리 레시피 나 , 각종 데이터베이스 등 이 저장 되 어 있 다 . 또한 , 기억 부 에 는 , 과거 에 처리 용기 ( 1 ) 내 에 WCl 6 가스 를 공급 해서 처리 를 행했 을 때 의 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 의 압력 이 , 처리 레시피 마다 저장 되 어 있 다 . 처리 레시피 는 기억 부 중 의 기억 매체 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 기억 되 어 있 다 . 기억 매체 는 , 하드 디스크 등 의 고정 적 으로 마련 되 어 있 는 것 이 어도 되 고 , CDROM , DVD , 반도체 메모리 등 의 가반 성 의 것 이 어도 된다 . 또한 , 다른 장치 로부터 , 예 를 들 어 전용 회선 을 통해서 레시피 를 적절 하 게 전송 시키 도록 해도 된다 . 필요 에 따라 , 유저 인터페이스 로부터 의 지시 등 으로 소정 의 처리 레시피 를 기억 부 로부터 호출 해서 프로세스 컨트롤러 에 실행 시킴 으로써 , 프로세스 컨트롤러 의 제 어 하 에 , 성막 장치 에서 의 원 하 는 처리 가 행하 여진다 .