S - D 이송 시스템 은 전체 처리 량 을 최대 화 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 이송 시퀀스 는 스캐너 서브시스템 등 의 속도 가 느린 서브시스템 으로 인한 처리 량 문제 를 최대 화 하 도록 확립 및 이용 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , S - D 이송 서브시스템 은 신뢰 도 값 이 낮 거나 및 / 또는 리스크 가 높 은 웨이퍼 를 지연 시킬 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , S - D 이송 서브시스템 은 재 공정 처리 시퀀스 가 비교 적 단시간 에 확립 되 어 수행 될 수 있 는 경우 에 , 신뢰 도 값 이 낮 거나 및 / 또는 리스크 가 높 은 웨이퍼 를 재 공정 서브시스템 에 즉시 보낼 수 있 다