[ 0026 ] 본 개시 내용 에서 , " "" 마스크 캐리어 "" 는 마스크 를 홀딩 하 도록 구성 된 캐리어 로서 이해 되 어야 한다 . 예컨대 ", 마스크 는 에지 배제 마스크 또는 새 도우 마스크 일 수 있 다 . 에지 배제 마스크 는 , 기판 의 하나 또는 그 초과 의 에지 영역 들 을 마스킹 하 고 , 이 로써 , 기판 의 코팅 동안 에 하나 또는 그 초과 의 에지 영역 들 상 에 재료 가 증착 되 지 않 도록 구성 된 마스크 이 다 . 새 도우 마스크 는 , 기판 상 에 증착 될 복수 의 피처 들 을 마스킹 하 도록 구성 되 기 위한 마스크 이 다 . 예컨대 , 새 도우 마스크 는 복수 의 작 은 개구부 들 , 예컨대 , 작 은 개구부 들 의 그리드 를 포함 할 수 있 다 .