앞서 도 1 a 내지 도 1 k 방법 에 따라 형성 된 기판 ( 100 ) 은 도 2 a 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 상면 단자 ( 120 ) , 하 면 단자 ( 130 ) , 내부 배선 ( 140 ) , 및 범프 ( 150 ) 을 포함 한다 . 여기 서 범프 ( 150 ) 는 도 1 a 내지 도 1 k 방법 에 따라 형성 된 전도성 박 막 ( 104 ) 과 범프 ( 114 ) 로 이루어진 것 으로 한다 .