본 발명 의 전형 적 인 실시 예 에 의하 면 , 상기 와 같이 경시 변화 에 의해 투영 광학계 의 코마수차 가 발생 하 여도 , 투영 광학계 의 코마수차 를 측정 할 수 있 다 . 코마수차 에 대해서 시프트 위치 가 항상 일정 한 조명조 건하 에서 의 기준 위치 와 , 코마수차 에 대해서 시프트 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 코마수차 측정 용 의 조명조 건하 에서 의 시프트 위치 사이 의 차분 으로부터 투영 광학계 의 코마수차 를 측정 할 수 있 다 . 본 실시 예 에 의하 면 , 코마수차 에 대해서 시프트 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 코마수차 측정 용 의 조명 조건 은 투영 광학계 의 코마수차 측정 용 디 포커스 위치 에서 코마수차 를 측정 하 는 조명 조건 이 다 .