즉 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 개폐 동작 에 의해 구 동압 으로서 의 에어 의 압력 은 변화 하 고 , 이 에 의해 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 가 일어난다 . 그 때문 에 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 개폐 동작 을 검지 함 에 의해서 도 , 보정 처 리부 ( 532 ) 에 소정 의 문턱 값 을 보정 시킴 으로써 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 개폐 에 의한 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 와 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 에 의해 야기 된 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 를 구별 하 여 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 판별 할 수 있 다 .