본 발명 은 또한 , 증착 장치 의 제어 방법 이나 증착 방법 , 박막 을 형성 하 는 성막 장치 및 그 제어 방법 , 및 성막 방법 으로서 도 파악 된다 . 본 발명 은 또한 , 유기 EL 디스플레이 등 의 유기 EL 패널 을 이용 한 전자 디바이스 의 제조 장치 나 전자 디바이스 의 제조 방법 으로서 도 파악 된다 . 본 발명 은 또한 , 제 어 방법 을 컴퓨터 에 실행 시키 는 프로그램 이나 , 해당 프로그램 을 격납 한 기억 매체 로서 도 파악 된다 . 기억 매체 는 , 컴퓨터 에 의해 판독 가능 한 비 일시 적 인 기억 매체 여도 된다 .