도 1 은 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 를 개략 적 으로 나타낸 평면도 이 다 . 도 2 는 도 1 에 나타낸 A - A 선 에 따라서 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 를 개략 적 으로 나타낸 단면도 이 다 . 도 1 및 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 는 정 전척 ( 101 ) , 접착 층 ( 105 ) , 및 베이스 플레이트 ( 106 ) 를 포함 한다 . 정 전척 ( 101 ) 은 베이스 바디 ( 102 ) 와 정전 전극 ( 103 ) 을 구비 한 쿨롱력 정전 척 이 다 . 베이스 바디 ( 102 ) 는 접착 층 ( 105 ) 을 통해 베이스 플레이트 ( 106 ) 에 고정 되 어 있 다 . 베이스 바디 ( 102 ) 는 세라믹 으로 형성 된다 .