제 어부 ( 150 ) 는 가 열부 ( 140 ) 가 반응 로 ( 120 ) 의 온도 를 기 설정 된 온도 로 조절 하 도록 가 열부 ( 140 ) 를 제어 한다 . 반응 챔버 ( 100 ) 에 는 반응 로 ( 120 ) 의 제 1 내지 제 3 영역 ( 122 , 124 , 126 ) 의 온도 를 감지 할 수 있 는 복수 의 감지 부재 들 ( 미도 시 됨 ) 이 설치 될 수 있 다 . 제 어부 ( 150 ) 는 상기 감지 부재 들 로부터 반응 로 ( 120 ) 각각 의 영역 별 로 온도 를 감지 한 신호 를 전송 받 아 , 가 열부 ( 120 ) 가 반응 로 ( 120 ) 의 내부 온도 를 기 설정 된 공정 온도 로 유지 하 도록 제어 한다 .