본 발명 의 노광 장치 는 빛 을 방출 하 는 광원 , 상기 광원 에서 방출 된 빛 이 평행 하 게 조사 되 도록 모으 는 집광 거울 , 상기 집광 거울 에 의해 평행 하 게 집광 된 빛 의 진로 상 에 구비 되 며 일정 파장 의 빛 은 통과 시키 고 그 외 파장 의 빛 은 반사 하 는 선택 반사 거울 , 상기 선택 반사 거울 을 통과 한 빛 의 진로 또는 상기 선택 반사 거울 에서 반사 된 빛 의 진로 상 에 구비 되 어 있 는 상기 노광 장치 용 광축 확인 기 , 및 상기 광원 의 위치 를 조정 함 으로써 상기 집광 거울 에 의해 평행 하 게 조사 되 는 빛 의 광축 을 정렬 하 는 광축 정렬 부 를 포함 한다 .