본 실시 형태 는 개구부 의 사이즈 가 도 1 과 상이 할 뿐 이 다 . 제 1 실시 형태 에 있 어서 는 , 광학계 의 영향 을 무시 한 예 에 대해 설명 하 였 다 . 그러나 , 실제로 는 , 광학계 의 영향 에 의해 , 화소 이동의 각 노광 에 의한 인화지 상 의 노광 영역 은 , 화소 피치 와 개구부 사이즈 의 비 에 의해 부여 되 는 해상도 배 율 에 기초 하 는 영역 보다 약간 커져 , 각 노광 의 노광 영역 끼리 는 일부 중첩 된다 .