유지 보수 장치 ( 100 ) 는 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 의 제 2 게이트 ( 95 ) 에 대응 하 는 사이즈 의 개구부 ( 101 A ) 가 형성 된 케이스 ( 101 ) 를 갖 는다 . 케이스 ( 101 ) 는 개구부 ( 101 A ) 의 주위 의 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 와 접촉 하 는 부분 에 O 링 등 이 마련 되 어 있 다 . 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 제 2 게이트 ( 95 ) 에 개구부 ( 101 A ) 를 대응 시켜서 배치 하 고 , 나사 고정 하 는 것 등 에 의해 , 제 2 게이트 ( 95 ) 에 대하 여 기밀 성 을 유지 하 면서 개구부 ( 101 A ) 가 장착 된다 .