그리고 , 상기 검사 영역 ( A ) 을 통과 하 여 전달 되 는 상기 검사 대상물 ( T ) 에서 결함 으로 판단 된 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 을 수정 한다 . 이때 , 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 의 수정 을 위해 상기 제어 모듈 ( 200 ) 에서 전달 되 는 상기 위치 정보 와 , 상기 위치 보정 모듈 ( 300 ) 에서 전달 되 는 상기 보정 정보 를 반영 하 여 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 의 결함 위치 를 정확 하 게 판단 하 여 수정 한다 .