코팅 막 ( 60 ) 은 제 1 희생 막 ( 30 ) 에 형성 된 트렌치 들 ( T ) 을 채울 수 있 으며 , 스핀 온 코팅 방법 에 의해 형성 되 므로 코팅 막 ( 60 ) 의 상면 의 거칠 기 ( roughness ) 가 작 을 수 있 다 . 즉 , 코팅 막 ( 60 ) 은 제 1 희생 막 ( 30 ) 의 트렌치 들 ( T ) 을 채우 면서 실질 적 으로 평탄 한 상면 을 가질 수 있 다 . 이 를 위해 , 코팅 막 ( 60 ) 은 제 1 희생 막 ( 30 ) 에 정의 된 트렌치 ( T ) 의 깊이 보다 두껍 게 코팅 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 코팅 막 ( 60 ) 은 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 상 에서 약 800 Å 내지 1000 Å 의 두께 를 가질 수 있 다 .