한편 , 제 어부 ( 180 ) 는 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 의 온도 가 22 ℃ ± 0 . 5 ℃ 가 되 고 , 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 의 습도 가 5 % 이하 가 되 도록 펠티어 소자 ( 160 ) 및 열 교환기 ( 170 ) , 가스 공급 부 및 냉각수 공급 부 를 제어 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 마스크 수용 용기 ( 120 ) 에 수용 되 는 EUV ( Extreme Ultraviolet ) 용 마스크 의 상태 가 양호 하 게 유지 될 수 있 는 것 이 다 .