도 5 내지 도 7 , 도 12 를 참조 하 여 , 본 실시 예 에 관련 되 는 자기 흡착 기구 에 대해 설명 한다 . 도 5 는 자기 흡착 척 ( 307 ) 에 부착 된 본 실시 예 에 관련 되 는 자기 흡착 기구 의 구성 을 나타낸 분해 사시도 이 다 . 도 6 은 자기 저항 조정부 ( 402 ) 의 구성 을 나타낸 개략 도 이 다 . 도 7 은 자기 저항 조정부 ( 402 ) 에 의한 자기 회로 의 변화 를 나타내 는 모식도 이 다 . 도 12 는 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 하면 도 ( 마스크 ( M ) 측 에서 본 모식도 ) 이 며 , 요크 판 ( 307 x 3 ) 에 있 어서 의 각 흡착 마그넷 ( 401 ) 의 배치 구성 및 자기 저항 조정부 ( 402 ) 의 배치 구성 의 일례 를 나타내 는 모식도 이 다 .