기판 ( P ) 의 다른 레이아웃 의 예 를 도 3 에 나타낸다 . 도 3 에 나타내 는 기판 ( P ) 상 의 디바이스 를 형성 하 는 화면 ( 쇼트 영역 ; R 6 , R 7 ) 에 대해서 는 주 노광 장치 ( EX 1 ) ( 또는 종 노광 장치 ( EX 2 ) ) 를 , 디바이스 를 형성 하 는 화면 ( 쇼트 영역 ; R 8 , R 9 ) 에 대해서 는 종 노광 장치 ( EX 2 ) ( 또는 주 노광 장치 ( EX 1 ) ) 를 각각 할당 할 수 있 다 . 이 경우 에 도 , 각각 의 노광 장치 가 노광 하 기 위한 노광 데이터 가 주제 어부 ( 6 ) 에 의해 작성 된다 . 이 와 같이 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 사용 하 여 , 1 개 의 기판 ( P ) 상 에 상이 한 패턴 을 상이 한 영역 에 분할 노광 함 으로써 , 대형 기판 이 어도 높 은 스루풋 으로 노광 할 수 있 고 , 또한 기판 ( P ) 의 사용 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .