도 7 d 를 참조 하 면 , 제 1 및 제 2 채널 홀 들 ( 714 a , 714 b ) 의 측벽 과 파이프 게이트 도전 층 ( 704 ) 의 트렌치 ( 706 ) 의 내면 을 포함 한 전체 구조 상 에 절 연막 ( 722 , 726 ) 과 전하 저 장막 ( 724 ) 을 포함 하 는 다층막 ( 728 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 어 , 다층막 ( 728 ) 은 산화 막 / 질화 막 / 산화 막 의 적층 구조 로 형성 할 수 있 다 .