증착 / 스퍼터 비율 은 , 증착 의 증착 에 따라 증가 되 고 스퍼터링 의 증가 에 따라 감소 된다 . D / S 의 정의 에서 사용 된 바 와 같이 , " "" 순 증착 속도 "" 는 "," 증착 과 스퍼터링 이 동시 에 발생 되 는 때 측정 된 증착 속도 를 의미 한다 . "" 총 스퍼터링 속도 "" 는 ", 프로세스 방법 ( recipe ) 이 증착 가스 없이 수행 되 는 때 측정 된 스퍼터 속도 이 다 ; 프로세스 챔버 내 압력 은 증착 중 압력 으로 조절 될 수 있 고 , 스퍼터 속도 는 전체 ( blanket ) 온도 산화물 에서 측정 된다 .