조정 디바이스 들 ( 410 ) 의 개념 을 예시 하 기 위해 막대 들 및 너트 들 로 이루어진 조정 디바이스 들 이 도시 되 었 지만 , 임의 의 유형 의 기계 또는 전자기 액추에이터 가 , 도시 된 막대 및 너트 조합 을 대체 할 수 있 다는 것 이 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에게 분명 할 것 이 다 . 예 를 들 어 , 기어 식 디바이스 들 , 스프링 장착 식 디바이스 들 , 자기 액추에이터 들 , 스 테퍼 모터 들 , 압 전 액추에이터 들 또는 다른 전자기 디바이스 들 이 대체 할 수 있 다 . 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 는 , 본 개시 내용 을 읽 고 이해 할 때 , 조정 디바이스 들 또는 액추에이터 들 로서 사용 될 수 있 는 대안 들 , 동등 물 들 , 수정 들 , 및 중간 조합 들 을 쉽 게 인식 할 것 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 도 1 의 유전체 플레이트 ( 169 ) 와 관련 하 여 논의 된 바 와 같이 , 플라 즈 마 점 화 를 촉진 하 기 위해 복수 의 중공 영역 들 이 유전체 플레이트 ( 469 ) 의 하부 표면 상 에 형성 된다 .