열처리 는 산소 분위기 중 에서 행할 수 있 지만 , 우선 질소 혹은 불활성 가스 또는 감압 하 에서 열처리 를 행하 고 나 서 산소 를 포함 하 는 분위기 중 에서 열처리 를 행해 도 좋 다 . 처음 에 탈수 화 · 탈수소 화 를 행하 고 나 서 산소 를 산화물 반도체 에 첨가 함 으로써 , 열처리 의 효과 를 더 높일 수 있 다 . 또한 , 후 에 산소 를 첨가 하 기 위해서 는 , 산소 이온 을 전계 로 가속 하 여 산화물 반도체 막 에 주입 하 는 방법 을 적용 해도 좋 다 .