도 1 에 따른 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 솔레노이드 코일 인 외주 코일 ( 81 ) 및 미들 코일 ( 83 ) 을 이용 한 유자 장 평행 평판 형 의 플라스마 처리 장치 이 다 . 본 실시 예의 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 진공 용기 ( 10 ) 를 갖 고 , 이 진공 용기 ( 10 ) 내부 의 공간 이 며 처리 대상 의 시료 가 재치 되 고 처리 용 가스 가 공급 되 어 플라스마 가 내부 에 형성 되 는 처리 실 ( 40 ) 이 형성 되 어 있 다 .