일부 구 현예 에서 , 불순물 의 영역 선택 적 포함 에 의해 측벽 이 두꺼운 TS - SiO 에서 , 비 실리콘 가스 는 탄화수소 가스 , 할로겐 가스 , 및 할로겐화 가스 로 이루어진 군 으로부터 선택 된다 . 예 를 들 어 , 이러 한 비 실리콘 가스 는 CH 4 , C 2 H 6 , Cl 2 , Br 2 , CCl 4 등 , 또는 다른 탄화수소 , 할로겐 , 및 전형 적 으로 액체 이 고 10 토르 이상 의 증기압 을 갖 는 할로겐화 가스 를 포함 하나 이 에 제한 되 지 않 는다 . 또한 , 일부 구 현예 에서 , RF 전력 은 300 mm 웨이퍼 에 대해 계산 된 대로 600 W 내지 1 , 000 W 이 고 , 1 내지 100 Pa 의 압력 하 에서 인가 된다 .