상기 캡 제 조부 는 캡 부재 를 로딩 하 는 로딩 챔버 ( 253 ) 와 , 상기 캡 부재 에 부착 된 수분 또는 유기물 을 제거 하 기 위한 2 개 의 플 라즈 마 챔버 ( 252 ) 와 , 플라 즈 마 챔버 ( 252 ) 로 반송 하 기 위한 제 3 반송 모듈 ( 251 ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 이 로써 수분 또는 유기물 이 제거 된 캡 부재 를 임시 보관 하 는 버퍼 챔버 ( 261 ) 와 , 상기 버퍼 챔버 ( 261 ) 를 통해 상기 캡 부재 를 반입 하 는 제 4 반송 모듈 ( 241 ) 과 , 상기 제 4 반송 모듈 ( 241 ) 에 각각 이웃 하 여 2 개 의 흡습제 부착 모듈 ( 242 ) 과 , 2 개 의 접착제 도포 모듈 ( 243 ) 이 위치 하 고 있 다 .