축소 투영 노광 장치 로 전사 할 수 있 는 최소 의 치수 ( 해상도 ) 는 , 노광 에 이용 하 는 빛 의 파장 에 비례 하 고 , 투영 광학계 의 개구수 ( NA ) 에 반비례 한다 . 따라서 , 파장 을 짧 게 하 면 할수록 , 또 NA 를 증가 시키 면 증가 시킬수록 , 해상도 는 높 아 진다 . 이 때문 에 , 최근 에 는 , 반도체 소자 의 미세화 에 의 요구 에 응답 해 , 노광 광 의 단파장 화 가 진행 되 었 다 . 이 와 같이 , 노광 에 이용 되 는 자외선 의 파장 을 짧 게 하 기 위해서 , KrF 엑 시머 레이저 ( 파장 = 약 248 nm ) 보다 는 , ArF 엑 시머 레이저 ( 파장 = 약 193 nm ) 를 이용 한다 .