본 발명 의 실시 예 에 따른 원자 층 증착 기 의 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 에 고주파 접속 단자 ( 325 ) 를 통하 여 고주파 전력 이 인가 되 면 , 전기 적 으로 접지 되 어 있 는 기판 지지대 ( 360 ) 와 기체 분산 기구 의 분산 판 ( 335 ) 사이 에서 플 라즈 마가 발생 하 여 , 기판 ( 370 ) 에 박막 이 증착 된다 .