본 실시 예 에 의하 면 , 설비 ( 1 ) 의 대형 화 를 방지 함 과 동시 에 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 가 복사열 에 의해 손상 되 는 것 을 방지 하 기 위해 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 와 반응 챔버 ( 100 ) 사이 에 열 차 단부 재 ( 190 ) 가 설치 된다 . 열 차 단부 재 ( 190 ) 로 는 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 로 전해 지 는 복사열 을 차단 하 기 위한 알루미나 와 같이 열전도 율 이 낮 은 재질 의 차 단판 이 사용 될 수 있 다 . 또한 , 일반 금속 재질 로 차 단판 을 사용 할 경우 금속 차 단판 의 열변 형 및 차단 효율 을 높이 기 위해 냉각수 를 공급 할 수 있 다 .