이어서 , 슬릿 ( 131 ) 의 측벽 상 에 측벽 절 연막 ( 145 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 로써 , 슬릿 ( 131 ) 을 향하 는 도전 패턴 들 ( 143 ) 의 측벽 들 이 측벽 절 연막 ( 145 ) 으로 덮일 수 있 다 . 이 때 , 슬릿 ( 131 ) 의 바닥 면 상 에 배치 된 제 2 블로킹 절 연막 ( 141 ) 의 일부 가 제거 되 어 하부 적층 체 ( 110 ) 의 희생 막 ( 105 ) 이 노출 될 수 있 다 .