계속 해서 , 보호 절 연막 ( 407 ) 에 산소 도프 등 의 산소 를 공급 하 는 처리 를 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 스퍼터링 법 을 사용 하 여 보호 절 연막 ( 407 ) 을 성막 할 때 에 , 산소 가스 , 또는 , 불활성 기체 ( 예 를 들 면 , 아르곤 등 의 희가스 , 또는 , 질소 ) 와 산소 의 혼합 가스 를 도입 함 으로써 , 보호 절 연막 ( 407 ) 에 산소 를 공급 해도 좋 다 .