이 에 반해 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 해당 하 는 도 4 a 를 참조 하 면 , 자기 정렬 콘 택 ( SAC ) 식각 시 , 상부 면 이 평탄 하 여 외부 에 넓 은 면적 ( W 1 ) 으로 노출 된 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 상부 면 에 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 식각 부산물 ( POL ) 이 잔류 하 게 되 어 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 손실 ( loss ) 이 줄인다 .