도 2 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 증착 챔버 의 구성 을 개략 적 으로 도시 한 단면도 이 고 , 도 3 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 증착 챔버 에서 스캔 방향 으로 도가니 , 선형 증발원 및 분사 노즐 을 도시 한 정면도 이 고 , 도 4 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 증착 챔버 에서 노즐 방향 으로 도가니 , 선형 증발원 및 분사 노즐 을 도시 한 측면도 이 고 , 도 5 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 증착 챔버 에서 선형 증발원 을 포함 한 전체 구성 들 의 결합 관계 를 나타낸 단면도 이 다 .