전술 한 바 와 같이 저장 용기 ( 500 ) 는 원료 물질 을 수용 하 기 위한 내부 공간 을 가지 며 , 상단 의 적어도 일부 가 개구 되 는 하우징 ( 501 ) 을 포함 한다 . 여기 서 , 저장 용기 ( 500 ) 는 원료 물질 의 변성 을 방지 하 기 위하 여 하우징 ( 501 ) 의 개구 된 상단 에 탈 부착 가능 하 도록 결합 되 는 밀봉 부재 ( 505 ) 를 더 포함 할 수 있 으며 , 저장 용기 ( 500 ) 는 밀봉 부재 ( 505 ) 가 부착 된 채 로 공급 챔버 ( 200 ) 내 에 공급 될 수 있 다 . 이 에 , 증착 챔버 ( 100 ) 내 에서 저장 용기 ( 500 ) 가 노즐 ( 720 ) 에 부착 되 어 원료 물질 의 증발 에 의한 증착 공정 이 수행 되 기 위하 여 는 하우징 ( 501 ) 으로부터 밀봉 부재 ( 505 ) 를 제거 할 필요 가 있 다 .