도 6 은 투영 광학계 의 베스트 포커스 위치 에 있 어서 의 , 2 개 의 다른 조명조 건하 에서 의 투영 광학계 의 코마수차 에 대한 시프트 위치 의 변화 를 나타낸 것 이 다 . 도 6 의 실선 ( 27 ) 은 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 조명 조리개 가 윤대 조리개 를 가질 때 의 시프트 위치 를 플롯 한 그래프 이 다 . 상기 그래프 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 코마수차 에 대해서 시프트 위치 는 일정 하 다 . 한 편 , 도 6 의 점선 ( 28 ) 은 조명 값 ( σ ) 이 0 . 3 일 때 의 시프트 위치 를 플롯 한 그래프 이 다 . 상기 그래프 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 코마수차 에 대해서 이 들 시프트 위치 도 일정 하 다 . 즉 , 도 6 의 투영 광학계 의 베스트 포커스 위치 에 있 어서 의 2 개 의 다른 조명조 건하 에서 , 코마수차 에 대한 시프트 차이 가 발생 하 지 않 기 때문 에 ( 또는 발생 하 여도 시프트 차이 가 작 기 때문 에 ) , 상기 시프트 차이 로부터 투영 광학계 의 코마수차 를 측정 할 수 없 게 된다 .