도 1 및 도 2 의 구 현예 에서 , 제 1 압력 변환기 ( 14 ) 는 제 1 변환기 라인 ( 15 ) 을 통해서 기화기 ( 10 ) 내 의 압력 을 모니터링 할 수 있 다 . 제 2 압력 변환기 ( 16 ) 는 제 2 변환기 라인 ( 17 ) 을 통해서 공정 제어 챔버 ( 20 ) 내 의 압력 을 모니터링 할 수 있 다 . 제 1 피드백 회로 ( 25 ) 는 제 1 압력 변환기 ( 14 ) 를 제 1 밸브 ( 11 ) 와 전기 적 으로 연결 시킬 수 있 다 . 제 2 피드백 회로 ( 26 ) 는 제 2 변환기 ( 16 ) 를 제 2 밸브 ( 12 ) 와 전기 적 으로 연결 시킬 수 있 다 . 제 어 시스템 ( 34 ) 은 장치 ( 1 ) 의 다양 한 구성 요소 의 작동 을 제어 할 수 있 다 . 제 어 시스템 ( 34 ) 은 , 제 1 밸브 ( 11 ) , 제 2 밸브 ( 12 ) , 제 1 압력 변환기 ( 14 ) , 제 2 변환기 ( 16 ) , 제 3 밸브 ( 13 ) , 반응기 ( 21 ) ( 및 그 내부 의 다양 한 구성 요소 ) , 및 진공 펌프 ( 24 ) 중 하나 이상 의 작동 을 제어 하 도록 구성 된 프로세싱 전자 장치 를 포함 할 수 있 다 .