반도체 기판 은 임의 의 적합 한 방법 , 예컨대 세정 조성물 을 탱크 내 로 넣 고 , 반도체 기판 을 세정 조성물 내 에 침지 ( immersing ) 및 / 또는 침수 ( submerging ) 시키 거나 , 반도체 기판 상 에 세정 조성물 을 분무 하 거나 , 반도체 기판 상 에 세정 조성물 을 스트리밍 ( streaming ) 하 거나 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 의해 세정 조성물 과 접촉 될 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 반도체 기판 은 세정 조성물 내 로 침지 된다 .