파워 모듈 ( 102 ) 은 , " 플라 즈 마 부하 ( 106 ) 에 있 어서 플 라즈 마 를 구동 하 기 위해 아크 처리 하드웨어 ( 104 ) 를 통해 전압 "" v "" 로 전류 "" i "" 를 제공 한다 . 플 라즈 마 부하 ( 106 ) 에 인가 되 는 파워 는 ", DC ( direct current ) , LF ( low frequency ) 또는 RF ( radio frequency ) 로 될 수 있 다 . 이 들 모든 파워 의 응용 은 , 플라 즈 마 처리 동작 동안 챔버 에 형성 되 는 전하 의 불 균형 으로 인해 플 라즈 마 에서 일어나 는 전하 들 이 아크 상태 로 되 도록 한다 .