이 처럼 , 상기 아웃 개 싱 ( outgassing ) 에 의해서 생긴 공극 은 CWVG ( Catalitic water vapor generation ) 방식 ( 촉매 방식 으로 H 2 와 O 2 를 촉매 반응 을 일으키 는 장치 속 으로 흘러보내 서 H 20 을 발생 시키 는 방식 ) 을 이용 하 는 SOD 절 연막 의 치밀 화 공정 시 , 즉 , SOD 절 연막 의 큐어 링 ( curing ) 공정 시 충분 한 산화 가 이루어져야 하 는데 , 공극 이 생긴 SOD 절 연막 에 대해 충분 한 산화 가 이루어지 지 않 으면 상기 SOD 절 연막 의 습식 에치 - 백 ( etch - back ) 진행시 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , SOD 절 연막 의 손실 이 증대 해져 모트 ( moat ) 가 생성 하 게 된다 .