( A ) 일반식 ( I ) 으로 표시 되 는 산분 해성 반복 단위 를 갖 고 산 의 작용 에 의해 알칼리 현상액 에 대한 용해도 가 증가 하 는 수지 ; ( B ) 활성 광선 또는 방사선 의 조사 시 산 을 발생 하 는 화합물 ; ( C ) 알칼리 현상액 에 대해 불용 이 고 , 불 소원 자 및 규소 원자 중 적어도 1 개 를 갖 는 소수성 수지 ; 및 ( D ) 용제 를 함유 하 는 포지티브 감광성 조성물 .