반송 플레이트 ( 3240 ) 는 대체로 원판 형상 을 제공 되 고 , 기판 ( W ) 과 대응 되 는 직경 을 가진다 . 반송 플레이트 ( 3240 ) 의 가장자리 에 는 노치 ( 3244 ) 가 형성 된다 . 노치 ( 3244 ) 는 상술 한 반송 로봇 ( 3422 ) 의 핸드 ( 3420 ) 에 형성 된 돌기 ( 3429 ) 와 대응 되 는 형상 을 가질 수 있 다 . 또한 , 노치 ( 3244 ) 는 핸드 ( 3420 ) 에 형성 된 돌기 ( 3429 ) 와 대응 되 는 수 로 제공 되 고 , 돌기 ( 3429 ) 와 대응 되 는 위치 에 형성 된다 . 핸드 ( 3420 ) 와 반송 플레이트 ( 3240 ) 가 상하 방향 으로 정렬 된 위치 에서 핸드 ( 3420 ) 와 반송 플레이트 ( 3240 ) 의 상하 위치 가 변경 하 면 핸드 ( 3420 ) 와 반송 플레이트 ( 3240 ) 간 에 기판 ( W ) 의 전달 이 이루어진다 . 반송 플레이트 ( 3240 ) 는 가이드 레일 ( 3249 ) 상 에 장착 되 고 , 구 동기 ( 3246 ) 에 의해 가이드 레일 ( 3249 ) 을 따라 제 1 영역 ( 3212 ) 과 제 2 영역 ( 3214 ) 간 에 이동 될 수 있 다 . 반송 플레이트 ( 3240 ) 에 는 슬릿 형상 의 가이드 홈 ( 3242 ) 이 복수 개 제공 된다 . 가이드 홈 ( 3242 ) 은 반송 플레이트 ( 3240 ) 의 끝단 에서 반송 플레이트 ( 3240 ) 의 내부 까지 연장 된다 . 가이드 홈 ( 3242 ) 은 그 길 이 방향 이 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 제공 되 고 , 가이드 홈 ( 3242 ) 들 은 제 1 방향 ( 12 ) 을 따라 서로 이격 되게 위치 된다 . 가이드 홈 ( 3242 ) 은 반송 플레이트 ( 3240 ) 와 가열 유닛 ( 3230 ) 간 에 기판 ( W ) 의 인수인계 가 이루어질 때 반송 플레이트 ( 3240 ) 와 리프트 핀 ( 1340 ) 이 서로 간섭 되 는 것 을 방지 한다 .