웨이퍼 를 가로질러 다중 의 패스 를 구성 함 으로써 , " 디바이스 형성 영역 및 베벨 영역 을 외 삽 하 고 베벨 영역 이 웨이퍼 에 대해 동심 인지 를 확인 할 수 있 다 . 웨이퍼 의 중심 과 베벨 영역 인 동심 "" 링 "" 의 중심 사이 에 오프셋 이 존재 하 면 ", 이러 한 오프셋 은 베벨 에칭 정확도 에 따라 문제 를 제시 할 수 도 있 고 , 인 - 시 츄 데이터 가 에칭 정확 도 이슈 를 다루 기 위한 피드백 으로서 이용 될 수 도 있 다 .