" 용어 "" 원자 층 증착 "" 은 기상 증착 공정 을 지칭 할 수 있 고 ", 여기 서 증착 사이클 , 전형 적 으로 복수 의 연속 증착 사이클 은 공정 챔버 에서 수행 된다 . 본원 에서 사용 된 용어 원자 층 증착 은 , 전 구체 ( 들 ) / 반응 가스 ( 들 ) , 및 퍼지 ( 예 , 불활성 캐리어 ) 가스 ( 들 ) 의 교번 펄스 로 수행 되 는 경우 , 화학 기상 원자 층 증착 , 원자 층 에피택시 ( ALE ) , 분자 빔 에피택시 ( MBE ) , 가스 공급원 MBE , 또는 유기 금속 MBE , 및 화학 적 빔 에피택시 와 같 은 관련 용어 들 에 의해 지정 된 공정 을 포함 하 는 것 을 또한 의미 한다 .