플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 의 천 정부 ( 14 ) 는 또한 부재 ( 66 ) 를 포함 하 고 있 다 . 부재 ( 66 ) 는 대략 환형 형상 의 판 이 다 . 부재 ( 66 ) 는 , 천 정판 ( 36 ) 의 직경 방향 바깥쪽 영역 에서 둘레 방향 으로 연장 되 며 , 내부 공간 ( 10 s ) 에 노출 되 어 있 으므로 플 라즈 마 에 노출 된다 .