다른 방법 으로서 , 루테늄 산화 막 ( 207 ) 은 루테늄 막 을 ALD 혹은 CVD 증착 방식 으로 형성 한 후 , O 2 분위기 에서 급속 열처리 하 여 형성 할 수 있 다 . 또는 루테늄 막 을 ALD 혹은 CVD 증착 방식 으로 형성 한 후 , O 2 분위기 에서 퍼니스 열처리 하 여 형성 할 수 있 다 . 여기 서 , 급속 열처리 는 400 ~ 700 ℃ 의 공정 온도 및 30 ~ 300 초 ( sec ) 의 공정 시간 에서 진행 하 고 , 퍼니스 열처리 는 300 ~ 600 ℃ 의 공정 온도 및 10 ~ 60 분 의 공정 시간 에서 진행 하 는 것 이 바람직 하 다 .