도 1 은 본 실시 형태 에 관한 보관 장치 ( 1 ) 를 평면 에서 보 았 을 경우 의 단면도 다 . 도 2 는 본 실시 형태 에 관한 보관 장치 ( 1 ) 를 좌측면 에서 보 았 을 경우 의 단면도 이 다 . 도 1 및 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 보관 장치 ( 1 ) 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수납 하 는 수 납실 ( 13 ) 과 , 해당 수납 실 ( 13 ) 의 상류 측 에 설치 된 입구 필터 ( 40 ) 및 내부 필터 ( 50 ) 와 , 해당 입구 필터 ( 40 ) 및 내부 필터 ( 50 ) 에 의해서 정화 된 기체 를 해당 수납 실 ( 13 ) 에 송풍 하 는 송풍기 ( 60 ) 와 , 해당 수납 실 ( 13 ) 에 송풍 된 정화 기체 를 순환 시키 기 위해서 해당 수납 실 ( 13 ) 의 주위 에 설치 된 순환 유로 부 ( 30 ) 를 구비 하 고 있 다 .