도 15 g 에 도시 한 바 와 같이 , 초기 제 3 절연 층 ( IL 3 - A ) 에 제 1 컨 택 홀 ( CH 1 ) 을 형성 할 수 있 다 . 초기 제 3 절연 층 ( IL 3 - A ) 을 관통 하 도록 제 1 컨 택 홀 ( CH 1 ) 을 형성 한다 . 제 1 컨 택 홀 ( CH 1 ) 은 초기 제 2 도전 패턴 ( CP 2 - A ) 와 중첩 하 도록 형성 한다 . 제 1 컨 택 홀 ( CH 1 ) 은 초기 제 2 도전 패턴 ( CP 2 - A ) 의 적어도 일부 를 노출 시키 도록 형성 한다 .