도 7 a 는 본 개시 내용 의 양태 에 따른 검출기 를 형성 하 는 방법 의 단계 를 예시 한 검출기 의 단면도 이 고 , 도 7 b 는 도 7 a 의 검출기 의 상면 도 이 다 . 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 가 기판 ( 110 ) 에 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 는 적절 한 습식 에칭 조작 에 의해 형성 되 지만 , 본 개시 내용 은 이것 에 제한 되 지 않 는다 . 전술 한 바 와 같이 , 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 는 제 2 표면 ( 112 b ) 을 통해 제 1 표면 ( 112 a ) 으로 연장 된다 . 도 7 a 및 도 7 b 에 예시 된 바 와 같이 , 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 는 제 2 표면 ( 112 b ) 에 상부 개구 ( 142 a ) 를 그리고 제 1 표면 ( 112 a ) 에 하부 개구 ( 142 b ) 를 가진다 . 상부 개구 ( 142 a ) 의 폭 은 하부 개구 ( 142 b ) 의 폭 보다 크 다 . 또한 , 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 의 하부 개구 ( 142 b ) 를 통해 절연 층 ( 130 ) 이 노출 된다 .