따라서 본 발명 은 갈륨비소 를 생산 하 기 위한 방법 에 있 어서 , 제 1 단계 : 상부 챔버 에 는 비소 ( As ) 를 하부 챔버 에 는 갈륨 ( Ga ) 을 셋 팅 하 고 , 상기 상 , 하부 챔버 에 불활성 기체 를 이용 하 여 압력 을 주 는 단계 와 ; 제 2 단계 : 상기 하부 챔버 를 가온 시켜 챔버 내 의 도가니 에서 갈륨 과 산화 붕소 를 용융 시키 는 1 차 승 온의 단계 와 ; 제 3 단계 : 상기 하부 챔버 를 더 가온 시켜 챔버 내 의 도가니 온도 를 1100 - 1400 ℃ 로 가온 시키 되 , 도가니 하단 기준점 상부 만 으로 한정 시키 는 2 차 승 온의 단계 와 ; 제 4 단계 : 상기 상부 챔버 를 작동 시켜 하부 챔버 의 도가니 로 잠입 비소 투입 용기 속 의 기체 화 된 비소 를 합성 시키 는 단계 와 ; 제 5 단계 : 합성 완료 후 비소 투 입용 를 상승 시키 고 , 하부 챔버 내 의 작동 구 를 회전 시켜 안정 화 시키 는 단계 와 ; 제 6 단계 : 하부 챔버 내 의 도가니 에 합성 용융물 이 생성 된 후 , 도가니 최 하단 의 씨드 를 상승 시켜 기준점 의 상부 로 올려 씨드 를 용융 화 시키 는 단계 와 ; 제 7 단계 : 씨드 용융 화 후 에 온도 를 감온 하 면서 도가니 를 기준점 이하 로 천천히 하향 시키 면서 결정 화 시키 는 단계 ; 들 로 이루어져 고품질 의 잉곳 과 웨이퍼 를 생산 하 는 갈륨비소 잉곳 생산 을 위한 수직 브리지 만 방법 을 제공 하 고자 한다 .