본 발명 의 일 실시 예 에 따른 박막 증착 장치 는 진공 용기 상판 에 나란히 설치 된 복수 의 접지 전극 ; 상기 접지 전극 사이 에 배치 된 전원 전극 ; 상기 복수 의 접지 전극 과 상기 전원 전극 은 교대 로 형성 되 고 , 상기 전원 전극 과 상기 접지 전극 사이 에 제 1 가스 를 공급 하 는 제 1 노즐 ; 및 상기 제 1 노즐 과 교대 로 형성 되 고 , 상기 제 1 가스 와 다른 제 2 가스 가 상기 접지 전극 을 관통 하 여 분사 하 는 제 2 노즐 을 포함 한다 .