이 를 방지 하 기 위하 여 , 예 를 들 면 , 플라 즈 마 처리 후 에 정전 척 으로 의 공급 전압 을 오프 로 하 고 , 그 후 에 정전 척 의 전극 으로부터 흐르 는 전류 와 리프트 핀 에 가해 지 는 토크 와 의 상관 관계 로부터 , 정 전척 의 전극 에 공급 하 는 카운터 전압 을 산출 하 는 기술 이 알려져 있 다 . 이 기술 에서 는 , 처리 실 내 에 가스 를 도입 하 여 플 라즈 마 를 생성 시키 면서 , 카운터 전압 을 정전 척 에 공급 함 으로써 , 정 전척 의 잔류 전하 를 저감 할 수 있 다 .