다양 한 실시 예 들 에서 , 다른 두 개 의 간섭계 빔 들 ( RSZ 3 및 RSZ 4 ) 은 레티 클 스테이지 ( 602 ) 상 의 표면 들 로부터 반사 되 도록 위치 된다 . 상기 반사 표면 들 의 구성 에 대해 많 은 선택 이 존재 한다 . 몇몇 실시 예 들 에서 , 레티 클 스테이지 ( 602 ) 의 ( 예 를 들 어 , 지점 ( 622 ) 을 갖 는 ) 제 1 반사 표면 은 Z 위치 피드백 을 제공 하 기 위해 X - Y 평면 에 방위 잡히 거나 또는 그 와 평행 할 수 있 다 . 그 후 , 레티 클 스테이지 ( 602 ) 의 ( 예 를 들 어 , 지점 ( 624 ) 을 갖 는 ) 제 2 반사 표면 은 X - Y 평면 에 방위 잡히 거나 또는 그 와 평행 할 수 있 다 . 레티 클 스테이지 ( 602 ) 의 제 2 반사 표면 이 Y - Z 평면 에 방위 잡히 거나 또는 그 와 평행 할 수 있 는 대안 적 인 구성 들 이 가능 하 다 . 그 후 , 제 2 표면 은 Ry 스테이지 위치 정보 를 산출 한다 . 또 다른 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 계산 값 들 이 Z 및 Ry 값 들 을 산출 하 는 다양 한 다 늘 방위 들 이 존재 한다 . 리소그래피 툴 은 통상 적 으로 X 또는 Z 방향 들 로 간격 을 갖 는 2 개 의 간섭계 들 [ 예 를 들 어 , 이중 간섭계 ( 610 ) 또는 간섭계 들 ( 610 A 및 610 B ) ] 사이 의 차이 를 알 것 이 다 .