현상액 으로서 사용 되 는 알칼리 성 수용액 으로서 는 , 예 를 들 면 , 수산화 리튬 , 수산화 나트륨 , 수산화 칼륨 등 의 알칼리 금속 수산화물 , 탄산 나트륨 , 중탄산나트륨 등 의 탄산염 또는 중탄산염 , 인산나트륨 , 인산칼륨 등 의 알칼리 금속 인산염 , 피 롤린 산 나트륨 , 피 롤린 산 칼륨 등 의 알칼리 금속 피롤 린 산염 의 수용액 이나 , 수산화 테트라 알킬 암모늄 등 의 금속 이온 을 함유 하 지 않 는 유기염기 의 수용액 을 들 수 있 고 , 금속 이온 을 함유 하 지 않 고 , 반도체 칩 에 영향 을 주 지 않 는다는 점 에서 수산화 테트라메틸 암모늄 ( TMAH ) 의 수용액 이 바람직 하 다 .