또한 , 상기 기판 지지 핀 ( 10 ) 의 경사진 방향 이동 으로 인해 이 에 의해 지지 되 는 기판 과 기판 지지 핀 ( 10 ) 의 상단 ( 11 ) 의 접촉면 적 이 현저히 작아질 수 있 고 , 이 로 인해 기판 에 국부 적 으로 가 압력 이 집중 될 수 있 다 . 이러 한 기판 에 대한 가압 력 집중 현상 은 기판 의 파손 등 불량 발생 의 원인 이 된다 .