그러나 , SA - STI 공정 이나 ASA - STI 공정 은 소자 분리 막 이 형성 될 트렌치 를 형성 하 기 전 에 미리 기판 상 에 F - N 터널 링 ( Fouler - Nordheim Tunneling ) 이 일어나 는 터널 링 산화 막 이 형성 된 상태 에서 식각 공정 을 실시 하 여 트렌치 를 형성 하 기 때문 에 식각 공정 에 직접 노출 되 는 터널 링 산화 막 양측 모서리 부위 에서 손상 이 많이 발생 되 는 한편 , 이 와 접하 는 트렌치 상부 모서리 부위 의 활성 영역 또한 손상 이 발생 되 는 문제 가 발생 된다 .