상기 실시 형태 의 플 라즈 마 처리 장치 에서 는 , 마이크로파 발생기 와 안테나 가 동축 도파 로 에서 서로 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 도파관 과 동축 관 의 사이 에서 마이크로파 의 모드 를 변환 하 는 변환기 가 불 필요 하 다 . 따라서 , 이 플 라즈 마 처리 장치 에 의하 면 , 마이크로파 발생기 와 안테나 의 사이 의 도파 로 를 배치 하 는 스페이스 를 작 게 하 는 것 이 가능 해진다 . 또 , 마이크로파 발생기 와 안테나 가 동축 도파 로 에서 서로 접속 되 어 있 으므로 , 안테나 에 공급 하 는 마이크로파 의 전계 분포 의 편향 을 적 게 하 는 것 이 가능 하 다 . 또 , D + d ≤ 76 . 3 mm 를 충족 시킴 으로써 , 2500 MHz 보다 큰 주파수 를 갖 는 고차 모드 의 발생 이 억제 된다 . 또 , d ≥ 21 mm 를 충족 시킴 으로써 , 4 kW 이상 의 허용 전력 이 얻 어 진다 . 또 , D ≥ 3 . 71 × ( R + 1 ) / log 10 ( R ) 을 충족 시킴 으로써 , 동축 도파 로 내 에서 의 단위 길이 당 마이크로파 의 감쇠 율 이 1 % 이하 가 된다 . 또한 , 상기 식 ( 1 ) , 식 ( 2 ) , 및 식 ( 3 ) 을 충족 시키 는 경우 에 는 , 10 kW 이상 에서 의 방전 전력 이 얻 어 지 고 있 다 .