여기 서 , 상기 제 1 , 2 온도 측정기 ( 116 , 155 ) 를 통해 측정 된 온도 로부터 고온 의 N 2 와 저온 의 N 2 를 이용 하 여 원 하 는 온도 를 제어 한다 . 즉 , 온도 가 소정 온도 ( 400 ~ 700 ℃) 이상일 경우 에 는 제 2 가스 주 입부 ( 160 ) 로부터 제 2 가스 공급 관 ( 165 ) 을 통해 저온 의 N 2 를 공급 하 여 온도 를 소정 온도 로 다시 설정 하 고 , 온도 가 400 ℃ 이하일 경우 에 는 제 1 가스 주 입부 ( 120 ) 로부터 제 1 가스 공급 관 ( 125 ) 을 통해 고온 의 N 2 를 공급 하 여 온도 를 소정 온도 로 다시 설정 한다 .