그런데 , 포토 마스크 제조 과정 에서 원 하 는 선폭 보다 작 은 CD 를 가진 패턴 이 형성 되 면 , 수정 공정 이 어려워 포토 마스크 를 폐기 처분 하 고 다시 재 제작 하 는 방법 이 이용 되 고 있 다 . 이 를 방지 하 기 위해 , 본 발명 의 실시 예 에서 는 포토 마스크 상 에 형성 되 는 패턴 을 원하 는 CD 보다 큰 CD 를 갖 도록 형성 한 후 , 추가 적 인 CD 보정 공정 을 수행 하 여 원 하 는 CD 를 가진 패턴 으로 구현 할 수 있 다 .