또한 , 제 1 처리 예 및 제 2 처리 예 에서 는 , 집합 배관 ( 31 ) 내 에서 소수 화제 ( 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 ) 와 희석 용제 가 혼합 된다 . 즉 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 는 기판 ( W ) 에 공급 되 기 직전 에 희석 용제 에 의해 희석 된다 . 따라서 , 희석 용제 에 의해 희석 됨 으로서 활성 이 점차 적 으로 저하 되 는 소수 화제 가 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 로서 사용 되 는 경우 에 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 활성 이 대폭 저하 되 는 것 이 방지 된다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 .