피에조 저항 영역 ( 152 ) 은 , 반도체 층 ( 151 ) 에 형성 된 p 형 의 불순물 이 도입 된 영역 이 다 . 반도체 층 ( 151 ) 은 , 예컨대 , 실리콘 으로 구성 되 어 있 다 . 반도체 층 ( 151 ) 은 , 예컨대 , 실리콘 기판 의 표면 측 의 부분 이 다 . 또한 , 반도체 층 ( 151 ) 은 , 잘 알려져 있 는 SOI ( Silicon on Insulator ) 의 표면 실리콘 층 이 어도 좋 다 . 피에조 저항 영역 ( 152 ) 은 , 실리콘 을 포함 하 는 반도체 층 ( 151 ) 에 , p 형 불순물 인 붕소 ( B ) 가 도입 된 p 형 의 영역 이 다 .