한편 , " 피복 형성 재료 를 이용 한 미세 패턴 형성 방법 이 미국 공개 특허 US 2005 / 0123851 호 에 "" 미세 패턴 피복 재료 및 이것 을 이용 한 미세 패턴 형성 방법 ( Coating material for pattern fineness enhancement and method of forming fine pattern with the same ) "" 이 라는 제목 으로 신 보리 ( Shinbori ) 에 의해 개시 된 바 있 다 . "