판 정부 ( 53 A ) 에는 , 참조 데이터 ( RD 1 A ) 도 입력 된다 . 참조 데이터 ( RD 1 A ) 는 , 정규 의 포토 마스크 ( 80 ) 를 사용 하 여 기판 을 노광 했 을 때 의 당해 기판 상 의 광 의 강도 분포 ( 이하 , 참조 강도 분포 라고 부른다 ) 를 나타내 는 데이터 이 다 . 참조 데이터 ( RD 1 A ) 는 예 를 들 어 미리 설정 된다 .