RF 전원 ( 410 ) 은 플라 즈 마 여기 를 위한 전기장 생성 을 위한 전력 을 제공 한다 . RF 전원 ( 410 ) 은 서 셉 터 ( 200 ) 에 연결 된다 . 일 예 로 , 서 셉 터 ( 200 ) 는 적어도 일부 영역 이 전도성 소재 로 제공 되 고 , RF 전원 ( 410 ) 은 서 셉 터 ( 200 ) 에서 전도성 소재 로 제공 되 는 영역 에 연결 될 수 있 다 . 이 에 따라 , RF 전원 ( 410 ) 이 서 셉 터 ( 200 ) 에 인가 하 는 전력 에 의해 서 셉 터 ( 200 ) 와 전 극판 ( 300 ) 사이 에 는 전기장 이 형성 되 고 , 전기장 에 의해 챔버 ( 100 ) 의 내부 로 공급 된 가스 는 플 라즈 마로 여기 될 수 있 다 .