그리고 본 발명 의 특징 부 를 이루 는 것 으로 , 상기 캐리어 플레이트 ( 11 ) 에 형성 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 유지 하 기 위한 유지 구멍 ( 11 a ) 에 는 웨이퍼 ( 10 ) 와 유지 구멍 ( 11 a ) 가장자리 와 의 접촉 을 방지 하 여 웨이퍼 ( 10 ) 의 외주 부 ( Edge ) 의 변형 을 방지 하 기 위하 여 홀더 ( 12 ) 가 설치 된다 .