소프트 몰드 ( 134 ) 는 탄성 이 큰 고무 재료 예컨대 , 폴 리디 메틸 실록 세인 ( Polydimethylsiloxane , PDMS ) 등 으로 제작 되 며 에치 레지스 트 등 과 1 차 적 으로 접촉 되 는 기준면 ( 134 b ) 과 기준면 을 기준 으로 함입 된 홈 ( 134 a ) 을 구비 한다 . 여기 서 , 홈 ( 134 a ) 은 기판 ( 131 ) 상 에 잔류 시킬 패턴 과 대응 되 고 , 홈 ( 134 a ) 과 기준면 ( 134 b ) 은 소수 성 또는 친수 성 으로 표면 처리 된다 . 이하 , 본 발명 에서 는 소프트 몰드 ( 134 ) 가 소수성 인 경우 를 예 를 들 어 설명 한다 .