제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 는 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 보다 도 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 분리 된 위치 에 배치 되 고 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 깊이 방향 ( X 방향 ) 의 길이 는 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 의 깊이 방향 ( X 방향 ) 의 길이 보다 도 길 다 . 이 와 같이 , 제 1 반송 유닛 및 제 2 반송 유닛 은 서로 형상 은 다르 지만 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 내 의 제 1 진공 반송 로봇 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 의 제 2 진공 반송 로봇 은 거의 동일 한 반송 동작 을 실행 한다 . 즉 , 제 1 및 제 2 진공 반송 로봇 모두 , 로드 록 챔버 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 취 출 해서 프로세스 챔버 에 그 기판 을 이송 하 고 , 프로세스 챔버 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 취 출 해서 로드 록 챔버 에 그 기판 ( W ) 을 이송 하 는 반송 동작 을 실행 한다 . 게다가 , 로더 모듈 에 배치 되 는 대기 반송 로봇 도 대기압 하 이 기 는 하 지만 , 카세트 와 로드 록 챔버 의 사이 에서 진공 반송 로봇 과 유사 한 반송 동작 을 실행 하 고 있 다 . 이것 은 , 제 1 및 제 2 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 사이 에서 , 로드 록 챔버 , 트랜스퍼 챔버 , 및 프로세스 챔버 를 거의 동일 한 위치 관계 로 배치 할 수 있 었 기 때문 에 가능 하 게 된 것 이 며 , 그 이유 는 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 적어도 일부 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 일부 를 로더 모듈 ( 22 ) 에 상하 방향 으로 겹치 게 함 으로써 가능 하 게 된 것 이 다 . 이것 에 의해 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 에 있 어서 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 기판 을 이동 시키 는 이동 스테이지 를 마련 할 필요 가 없 어 지 거나 , 제 1 및 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 27 , 30 ) 사이 에서 호환 성 이 있 는 진공 반송 로봇 을 사용 할 수 있 다고 하 는 효과 도 가져온다 . 이 들 ( 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) ) 을 로더 모듈 ( 22 ) 에 겹치 게 하 는 것 의 의의 는 크 다 .