도전 층 은 , 단층 구조 이 어도 되 고 , 2 층 이상 의 적층 구조 로 하 여도 된다 . 예 를 들 어 , 티타늄 막 이나 질화 티타늄 막 의 단층 구조 , 실리콘 을 함유 하 는 알루미늄 막 의 단층 구조 , 알루미늄 막 상 에 티타늄 막 이 적층 된 2 층 구조 , 질화 티타늄 막 상 에 티타늄 막 이 적층 된 2 층 구조 , 티타늄 막 과 알루미늄 막 과 티타늄 막 이 적층 된 3 층 구조 등 을 들 수 있 다 . 또한 , 도전 층 을 , 티타늄 막 이나 질화 티타늄 막 의 단층 구조 로 하 는 경우 에 는 , 테이퍼 형상 을 갖 는 소스 전극 ( 142 a ) 및 드레 인 전극 ( 142 b ) 에 의 가공 이 용이 하 다고 하 는 장점 이 있 다 .