일반 적 으로 반도체 제조 공정 에서 사용 되 는 온도 조절 시스템 중 의 하나 인 칠러 ( Chiller ) 는 반도체 제조 공정 에서 사용 되 는 반도체 제조 설비 로서 척 ( Chuck ) 상부 에 웨이퍼 를 위치 시키 고 정해진 공정 ( Process ) , 특히 에칭 ( Etching ) 및 화학 기상 증착 ( CVD ; Chemical Vapor Deposition ) 을 진행 하 는데 있 어서 적용 되 며 제조 공정 시 발생 되 는 열 을 일정 한 온도 조건 하 에서 제어 하 여 효과 적 으로 제거 함 으로써 반도체 소자 의 제조 불량 을 개선 하 기 위해 사용 되 고 있 다 .