실리카 입자 는 , 절 연막 의 높 은 연마 속도 를 유지 하 면서 연 마흔 을 용이 하 게 저감 할 수 있 는 관점 에서 , 콜로 이달 실리카 , 흄 드 실리카 및 이 들 의 변성 물 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 콜로 이달 실리카 를 포함 하 는 것 이 보다 바람직 하 다 . 상기 콜로 이달 실리카 로서 는 , 시판 품 을 용이 하 게 입수 할 수 있 다 .