제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 및 제 2 측 분무 제트 어레이 는 각각 9 mm 의 차 폐부 매니폴드 갭 ( 403 ) 만큼 개개 의 차 폐부 들 ( 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 및 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) ) 로부터 이격 된다 . 차 폐부 매니폴드 갭 ( 403 ) 은 ( 예컨대 , 비 - 대칭 기판 을 스 피닝 할 때 ) 예상 되 는 진동 고려 사항 들 및 전반 적 인 기계 가공 공차 들 과 같 은 다수 의 인자 들 에 기반 하 여 용이 하 게 조정 될 수 있 다 .