도 5 는 본 발명 의 처리 실 ( 100 ) 내 영역 을 보여준다 . 처리 실 ( 100 ) 내 하단 부터 상부 로 순차 적 으로 알코올 액 영역 ( 182 ) , 건조 영역 ( 184 ) , 냉각 영역 ( 186 ) , 그리고 차단 영역 ( 188 ) 이 제공 된다 . 알코올 액 의 가열 에 의해 건조 영역 ( 184 ) 은 알코올 가스 로 채워 지 고 , 이 로 인해 기판 ( W ) 의 건조 가 이루어진다 . 냉각 영역 ( 186 ) 은 그 영역 내 로 유입 된 알코올 증기 를 냉각 하 고 , 응축 된 알코올 액 은 받침대 ( 140 ) 를 통해 외부 로 배출 된다 . 차단 영역 ( 188 ) 은 냉각 이 이루어지 지 않 은 알코올 증기 가 외부 로 유출 되 는 것 을 방지 한다 . 또한 , 차단 영역 ( 188 ) 은 외부 의 파티클 이나 외부 에서 형성 된 기류 에 의해 배스 ( 130 ) 내 건조 영역 ( 184 ) 이 영향 을 받 는 것 을 방지 하 므로 , 헤 파 필터 및 이송 로봇 의 이송 높이 등 의 제 어시 건조 영역 ( 184 ) 내로 의 파티클 유입 및 건조 영역 ( 184 ) 내 기류 의 영향 등 을 배제 한 상태 에서 제어 할 수 있 으므로 제어 가 용이 하 다 .