본 실시 예 에서 는 두 개 의 전극 패드 ( 내부 전극 ( 26 ) 과 소자 표면 전극 ( 27 ) ) 가 형성 되 지만 , 적어도 두 개 의 전극 패드 만 형성 하 면 된다는 점 에 주목 한다 . 예 를 들 어 , 내부 전극 ( 26 ) 과 소자 표면 전극 ( 27 ) 사이 의 층간 절 연막 ( 13 ) 에 하나 의 전극 패드 또는 복수 의 전극 패드 를 배치 할 수 도 있 다 . 또한 , 층간 절 연막 ( 13 ) 에 상호 접속 부 ( 14 ) 가 세 개 의 층 으로 형성 된다는 점 에 주목 한다 .