파장 193 ㎚ 의 레이저 에 대한 투명 성 의 관점 에서 탑 코트 는 방향 족 부위 를 풍부 하 게 포함 하 지 않 는 폴리머 로 이루어진 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 폴리머 로서 는 , 예 를 들 면 탄화수소 폴리머 , 아크릴산 에스테르 폴리머 , 폴리 메타크릴산 , 폴리 아크릴산 , 폴리비닐 에 테르 , 실리콘 계 폴리머 , 플 루 오로 폴리머 등 을 예시 할 수 있 다 . 상술 한 임의 의 소수성 수지 ( HR ) 는 탑 코트 로서 적합 하 게 사용 될 수 있 고 , 시판 탑 코트 재료 도 적합 하 게 사용 될 수 있 다 .