워크 를 흡착 패드 에 흡착 시켜서 소정 위치 에 반송 하 는 흡착 반송 장치 는 예 를 들 면 , 반도체 칩 등 의 전자 부품 을 흡착 해서 기판 상 에 탑재 하 는 경우 등 에 널리 사용 되 고 있 다 . 이러 한 흡착 반송 장치 에 있 어서 는 진공 압 ( 부압 ) 이 공급 된 흡착 패드 에 워크 를 흡착 시켜서 소정 위치 까지 반송 하 고 , 그 소정 위치 에서 , 흡착 패드 에 공급 하 는 유체 압 을 진공 파괴 압 ( 정압 ) 으로 스위칭 함 으로써 워크 를 흡착 패드 로부터 이탈 시키 도록 되 어 있 다 .