마이크 로 디 펙 판 정부 ( 320 - 5 ) 는 합 산부 ( 320 - 4 ) 에서 합산 된 값 ( c ( x ) ) 과 제 4 임계 값 ( TH 4 ) 을 비교 하 여 , 합산 된 값 ( c ( x ) ) 이 제 4 임계 값 ( TH 4 ) 을 초과 하 는 경우 에 고주파 성분 의 마이크 로 디 펙 ( micro defect ) 이 발생 된 것 으로 판정 하 는 신호 를 생성 시킨다 .