캐리어 블록 ( S 1 ) 으로부터 의 웨이퍼 ( W ) 는 , 선반 유닛 ( U 1 ) 의 하나 의 전달 모듈 , 예 를 들 면 제 2 블록 ( BCT 층 ) ( B 2 ) 에 대응 하 는 전달 모듈 ( CPL 2 ) 에 , 전달 수단 ( C ) 에 의해 순차 반송 된다 . 전달 모듈 ( CPL 2 ) 에 반송 된 웨이퍼 ( W ) 는 , 제 2 블록 ( BCT 층 ) ( B 2 ) 의 반송 아암 ( A 2 ) 에 전달 되 고 , 반송 아암 ( A 2 ) 을 통해 각 처리 모듈 ( 도포 모듈 및 가열 · 냉 각계 의 처리 모듈 군 의 각 처리 모듈 ) 에 반송 되 어 , 각 처리 모듈 에서 처리 가 이루어진다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 ( W ) 에 반사 방지 막 이 형성 된다 .