상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 기판 을 유지 하 고 상기 기판 과 일체 로 회전 하 는 스핀 헤드 ; 상기 스핀 헤드 를 회전 시키 는 구동 부 ; 및 상기 기판 의 상부 에서 상기 기판 을 향하 여 약액 또는 기체 를 분사 하 는 복수 의 노즐 을 포함 하 며 , 상기 복수 의 노즐 각각 은 개별 적 으로 상기 기판 의 상부 에서 이동 이 가능 하 다 .