제어 계산기 ( 110 ) 는 , 빔 위치 측 정부 ( 111 ) , 분할 부 ( 112 ) , 위치 이탈 량 평균값 산 출부 ( 113 ) , 위치 보 정부 ( 114 ) , 조사량 산 출부 ( 115 ) , 데이터 처 리부 ( 116 ) , 및 묘 화 제 어부 ( 117 ) 를 가진다 . 제 어 계산기 ( 110 ) 의 각 부 는 , 전기 회로 등 의 하드웨어 로 구성 되 어도 되 고 , 이 들 기능 을 실행 하 는 프로그램 등 의 소프트웨어 로 구성 되 어도 된다 . 혹은 , 하드웨어 와 소프트웨어 의 조합 에 의하 여 구성 되 어도 된다 .