또한 , 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 다음 의 단계 들 을 수행 하 도록 구성 될 수 있 으며 , 그 단계 들 은 , 웨이퍼 데이터 , 제 1 S - D 작성 프로시저 로부터 의 데이터 , S - D 웨이퍼 상태 데이터 , S - D 평가 라이브러리 작성 규칙 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 각 S - D 평가 웨이퍼 마다 필수 평가 사이트 의 개수 를 결정 하 는 단계 와 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 수 로부터 제 1 사이트 를 선택 하 는 단계 로서 , 이 제 1 사이트 는 제 1 S - D 작성 프로 시저 를 이용 하 여 작성 되 었 던 그 와 연관 된 제 1 라이브러리 관련 기준 특징 부 를 갖 는 것 인 선택 단계 와 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 로부터 제 1 라이브러리 관련 평가 데이터 를 획득 하 는 단계 로서 , 이 제 1 사이트 는 연관 된 제 1 라이브러리 관련 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 갖 는 것 인 획득 단계 와 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대한 제 1 피 예측 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 제 1 피 예측 데이터 는 피 예측 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 확립 단계 와 , 제 1 라이브러리 관련 평가 데이터 및 제 1 피 예측 데이터 를 이용 하 여 계산 된 제 1 라이브러리 관련 차이 를 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대한 제 1 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대한 제 1 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대한 제 1 합계 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , 제 1 합계 리스크 인자 가 제 1 라이브러리 관련 작성 한계 이하 인 경우 에 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 를 그 와 연관 된 제 1 합계 리스크 인자 를 갖 는 제 1 피 검증 사이트 로서 식별 하 고 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 고 , 제 1 사이트 와 연관 된 데이터 를 피 검증 데이터 로서 S - D 평가 라이브러리 에 저장 하 는 단계 와 , 제 1 합계 리스크 인자 가 제 1 라이브러리 관련 작성 한계 보다 클 경우 에 제 1 사이트 를 그 와 연관 된 제 2 리스크 인자 를 갖 는 제 1 미 검증 사이트 로서 식별 하 고 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 를 포함 하 고 , 제 1 피 검증 사이트 는 그 와 연관 된 피 검증 라이브러리 관련 데이터 를 갖 는다 .