도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 기밀 하 게 구성 되 고 , 접지 된 챔버 ( 1 ) 를 갖 고 있 다 . 챔버 ( 1 ) 의 저 벽 ( 1 a ) 의 대략 중앙부 에 는 개구부 ( 10 ) 이 형성 되 어 있 고 , 저 벽 ( 1 a ) 에 는 이 개구부 ( 10 ) 와 연통 하 여 , 하방 을 향해서 돌출 되 는 배 기실 ( 11 ) 이 설치 되 어 있 다 .