이때 , 상기 선형 편광판 ( 14 ) 에 의하 여 에너지 가 조절 된 레이저 빔 중 빔 스플리터 ( 15 ) 로 입사 되 는 약 4 % 의 레이저 빔 이 에너지 측정기 ( 19 ) 로 반사 되 어 입사 되 고 ( S 11 - 3 a ) , 상기 에너지 측정기 ( 19 ) 에 의해 입사 되 는 레이저 빔 의 에너지 가 측정 된다 ( S 11 - 3 b ) . 즉 , 상기 선형 편광판 ( 14 ) 에 의하 여 빔 스플리터 ( 15 ) 로 입사 되 는 레이저 빔 중 대부분 은 빔 스플리터 ( 15 ) 를 투과 하나 , 그 중 약 4 % 의 레이저 빔 이 소 정각도 로 경사지 게 위치 하 는 빔 스플리터 ( 15 ) 에서 반사 되 어 에너지 측정기 ( 19 ) 로 입력 된 후 상기 에너지 측정기 ( 19 ) 에 의하 여 레이저 빔 의 에너지 가 측정 된다 .