사이드 흡 입부 ( 500 ) 의 압력 에 의해 이 동부 ( 200 ) 에 인접 한 기판 ( WS ) 의 가장자리 에 힘 이 작용 하 여 이 동부 ( 200 ) 측 으로 휘어질 수 있 다 . 기판 ( WS ) 의 가장자리 가 이 동부 ( 200 ) 측 으로 휘어짐 에 따라 기판 ( WS ) 의 가장자리 와 이 동부 ( 200 ) 간 의 간격 이 좁혀 지 고 , 진공 에어 홀 ( 210 ) 로 흡입 되 는 에어 의 흡입력 이 기판 ( WS ) 에 작용 하 여 기판 ( WS ) 이 이 동부 ( 200 ) 에 밀착 할 수 있 다 .