따라서 , 기판 지지대 ( 100 ) 의 포켓 홈 부 ( 30 ) 에 기판 ( S ) 이 안착 되 면 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 에 의해 기판 ( S ) 의 하부 에 여유 공간 ( V ) 이 형성 될 수 있 다 . 이때 , 공정 챔버 ( 600 ) 의 하측 에 형성 된 배기 포트 ( E ) 를 통해 공정 챔버 ( 600 ) 내부 의 공기 를 흡입 하 면 , 여유 공간 ( V ) 내부 의 공기 가 배기 통로 ( 40 ) 를 통해 배기 포트 ( E ) 로 배기 되 면서 여유 공간 ( V ) 에 진공 압 이 발생 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 진공 압 이 포켓 홈 부 ( 30 ) 에 안착 된 기판 ( S ) 의 하면 을 잡아당기 는 힘 을 발생 시켜 , 기판 ( S ) 의 처리 공정 중 기판 ( S ) 이 포켓 홈 부 ( 30 ) 로부터 이탈 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .