예시 적 인 프로세싱 방법 에서 , 웨이퍼 는 LPM ( 542 ) 내 FOUP 들 ( 534 ) 중 하나 에 배치 된다 . 프론트엔드 로봇 ( 532 ) 은 FOUP ( 534 ) 로부터 웨이퍼 ( 526 ) 로 하여금 에칭 되 거나 프로세싱 되 기 전 에 적절히 중심 에 위치 되게 하 는 , 얼라 이너 ( 544 ) 로 웨이퍼 를 이송 한다 . 정렬 된 후 , 웨이퍼 ( 526 ) 는 프론트엔드 로봇 ( 532 ) 에 의해 에어록 ( 530 ) 내 로 이동 된다 . 에어록 ( 530 ) 이 ATM ( 540 ) 와 VTM ( 538 ) 사이 의 분위기 를 매칭 하 는 능력 을 갖 기 때문 에 , 웨이퍼 ( 526 ) 는 손상 되 지 않 고 두 압력 분위기 들 사이 에서 이동 할 수 있 다 . 에어록 ( 530 ) 으 로부터 , 웨이퍼 ( 526 ) 는 로봇 ( 522 ) 에 의해 VTM ( 538 ) 을 통해 프로세싱 모듈 들 ( 520 a 내지 520 d ) 중 하나 내로 이동 된다 . 이 웨이퍼 이동 을 달성 하 기 위해 , 로봇 ( 522 ) 은 암 들 각각 의 엔드 이펙터 들 ( 524 ) 을 사용 한다 . 일단 웨이퍼 ( 526 ) 가 프로세싱 되 면 , 웨이퍼 는 로봇 ( 522 ) 에 의해 프로세싱 모듈 들 ( 520 a 내지 520 d ) 로 부터 에어록 ( 530 ) 으로 이동 된다 . 여기 서부터 , 웨이퍼 ( 526 ) 는 프론트엔드 로봇 ( 532 ) 에 의해 FOUP 들 ( 534 ) 중 하나 또는 얼라 이너 ( 544 ) 로 이동 될 수 도 있 다 .