웨이퍼 W 의 편심 량 은 , 수 광부 ( 62 ) 에 의해 측정 되 는 광량 에 반비례 한다 . 바꾸 어 말 하 면 , 광량 이 최소 가 되 는 웨이퍼 W 의 각도 는 , 웨이퍼 W 의 편심 량 이 최대 가 되 는 각도 다 . 상술 한 기준 광량 RD 는 , 기준 직경 ( 예 를 들 어 직경 300 . 00 ㎜) 을 갖 는 기준 웨이퍼 ( 기준 기판 ) 를 그 중심 이 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 상 에 있 는 상태 에서 측정 된 광량 이 다 . 이 기준 광량 RD 는 , 처 리부 ( 65 ) 에 미리 저장 되 어 있 다 . 또한 , 광량 과 , 웨이퍼 W 의 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 의 관계 를 나타내 는 데이터 ( 테이블 , 관계식 등 ) 가 처 리부 ( 65 ) 에 미리 저장 되 어 있 다 . 기준 광량 RD 에 대응 하 는 편 심량 은 0 이 다 . 처 리부 ( 65 ) 는 , 데이터 에 기초 하 여 광량 의 측정값 으로부터 웨이퍼 W 의 편심 량 을 결정 한다 .