상기 분리 영역 ( SA ) 내 에 는 적어도 하나 의 분리 소자 ( 700 ) 가 위치 할 수 있 다 . 각 분리 소자 ( 700 ) 는 광폭 패턴 들 ( 710 ) 및 협 폭 패턴 들 ( 720 ) 이 반복 적층 된 구조 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 광폭 패턴 들 ( 710 ) 은 순서 대로 적층 된 제 1 광폭 패턴 ( 711 ) , 제 2 광폭 패턴 ( 712 ) 및 제 3 광폭 패턴 ( 713 ) 을 포함 하 고 , 상기 협 폭 패턴 들 ( 720 ) 은 상기 제 1 광폭 패턴 ( 711 ) 과 상기 제 2 광폭 패턴 ( 712 ) 사이 에 위치 하 는 제 1 협 폭 패턴 ( 721 ) 및 상기 제 2 광폭 패턴 ( 712 ) 과 상기 제 3 광폭 패턴 ( 713 ) 사이 에 위치 하 는 제 2 협 폭 패턴 ( 722 ) 을 포함 할 수 있 다 . 각 협 폭 패턴 ( 720 ) 의 폭 ( w 2 ) 은 각 광폭 패턴 ( 710 ) 의 폭 보다 작 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 각 협 폭 패턴 ( 720 ) 의 폭 ( w 2 ) 은 상기 제 1 광폭 패턴 ( 711 ) 의 폭 ( w 1 ) 보다 작 을 수 있 다 . 각 분리 소자 ( 700 ) 는 상기 광폭 패턴 들 ( 710 ) 과 상기 협 폭 패턴 들 ( 720 ) 의 폭 차이 에 의한 적어도 하나 의 언더 컷 구조 를 포함 할 수 있 다 .