상기 실시 형태 에서 는 , 로더 모듈 은 바닥 면 위 에 배치 되 어 있 지만 , 천 장면 가까이 에 배치 되 어도 좋 다 . 이런 경우 , 로더 모듈 의 아래쪽 을 , 프로세스 챔버 를 배치 하 는 스페이스 로서 이용 해도 좋 다 . 또한 , 로더 모듈 이 공장 의 위층 에 설치 되 고 , 제 1 및 제 2 반송 유닛 , 및 제 1 및 제 2 프로세스 챔버 가 공장 의 아래층 에 배치 되 어도 좋 다 .