도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 웨이퍼 이송 장치 ( 100 ) 는 EFEM ( Equipment Front End Module , 110 ) , 로드 락 모듈 ( Loadlock Module , 120 ) , 복수 개 의 트랜스퍼 모듈 ( Transfer Module , 130 ) 및 복수 개 의 프로세스 모듈 ( Process Module , 140 ) 을 구비 하 여 이루어진다 .