본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 진동체 스프레이 노즐 을 이용 한 미립자 제조 방법 을 제공 함 으로써 분무 건조 된 입자 의 입도 를 제어 할 수 있 음 과 동시 에 입 도 분포 를 고르 게 할 수 있 는 효과 가 있 다 . 이 를 위해 특히 본 발명 의 일 실시 예 는 , 진동체 스프레이 노즐 을 이용 한 미립자 제조 방법 에 있 어서 , 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 스프레이 노즐 에 공급 되 는 공급 단계 ( S 10 ) ; 및 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 스프레이 노즐 을 통해 소정 건조 챔버 에 수용 된 가열 건조 된 기체 에 액 적 으로 토출 되 는 토출 단계 ( S 20 ) ; 를 포함 하 되 , 공급 단계 ( S 10 ) 및 토출 단계 ( S 20 ) 에서 , 진동체 스프레이 노즐 은 , 다수 의 토출 홀 이 형성 된 진동체 하판 및 진동체 하판 상부 에 결합 되 는 진동체 상판 을 포함 하 는 것 이 고 , 공급 단계 ( S 10 ) 는 , 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 하판 과 진동체 상판 사이 에 형성 된 유로 로 유입 되 는 단계 이 고 , 그리고 토출 단계 ( S 20 ) 는 , 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 스프레이 노즐 의 진동 에 기반 하 여 다수 의 토출 홀 을 통해 토출 되 는 단계 인 것 을 특징 으로 하 는 진동체 스프레이 노즐 을 이용 한 미립자 제조 방법 을 포함 한다 .