상기 제 1 소스 / 드레 인 영역 및 상기 제 2 소스 / 드레 인 영역 모두 상 에 제 1 실리사이드 를 형성 하 는 단계 - 상기 제 1 실리사이드 는 금속 이 부유 하 고 , 상기 제 1 실리사이드 를 형성 하 는 단계 는 상기 제 2 실리사이드 전구체 가 아닌 상기 제 1 실리사이드 전구체 로 상기 제 1 실리사이드 를 형성 하 며 , 상기 제 1 실리사이드 는 제 1 상 ( phase ) 을 가짐 - ;