상부 리드 ( 138 ) 에 설치 되 어 있 는 다수 의 제 1 관통 홀 ( 160 ) 을 통한 공기 의 유입 을 방지 하 기 위하 여 , 다수 의 제 1 볼트 ( 144 ) 상 에 각각 볼트 캡 ( 172 ) 을 설치 한다 . 볼트 캡 ( 172 ) 과 상부 리드 ( 138 ) 의 사이 에 는 O - 링 과 같 은 밀폐 수단 을 개재 하 여 밀폐 시 킨다 . 다수 의 제 1 볼트 ( 114 ) 가 통과 하 는 상부 리드 ( 138 ) 와 후방 플레이트 ( 114 ) 의 사이 에 는 기밀 을 유지 하 기 위한 벨로우즈 ( 146 ) 를 설치 한다 . 벨로우즈 ( 146 ) 는 상부 리드 ( 138 ) 와 후방 플레이트 ( 114 ) 의 간격 이 조절 됨 에 따라 , 팽창 및 수축 할 수 있 는 기밀유지 수단 인 벨로우즈 ( 146 ) 를 사용 한다 . 후방 플레이트 ( 114 ) 와 챔버 몸체 ( 142 ) 의 사이 는 공정 을 진행 하 기 위한 진공 상태 이 므로 , 상압 상태 의 상부 리드 ( 138 ) 와 후방 플레이트 ( 114 ) 사이 의 공간 에 의한 영향 을 방지 하 기 위하 여 벨로우즈 ( 146 ) 을 설치 한다 .