제 1 전극 정렬 카메라 ( 614 ) 는 제 1 전극 정렬 스테이지 ( 613 ) 의 상측 에 배치 되 어 제 1 전극 ( E 1 ) 의 정렬 상태 를 확인 하 기 위해 제 1 전극 ( E 1 ) 의 모서리 를 촬영 한다 . 물론 제 1 전극 정렬 카메라 ( 614 ) 는 제 1 전극 정렬 스테이지 ( 613 ) 의 하측 에 설치 되 되 , 제 1 전극 정렬 본체 ( 611 ) 상 에 설치 될 수 도 있 다 . 이때 , 제 1 전극 정렬 카메라 ( 614 ) 는 제 1 전극 ( E 1 ) 의 크기 및 형상 에 따라 제 1 전극 정렬 스테이지 ( 613 ) 의 복수 개 가 설치 될 수 도 있 다 .