또한 , 상기 프로그램 에 있 어서 , 상기 처 리부 를 , 기억 매체 로부터 서비스 파 라 미터 를 판독 하 여 , 당해 서비스 파라미터 에 정의 되 어 있 지 않 은 파라미터 에 대하 여 , 대응 되 는 고객 운용 파라미터 를 기억 매체 로부터 판독 하 고 , 상기 서비스 파라미터 에 도 상기 고객 운용 파라미터 에 도 정의 되 어 있 지 않 은 파라미터 에 대하 여 , 대응 되 는 디폴트 파라미터 를 기억 매체 로부터 판독 하 여 , 당해 판독 한 복수 의 파라미터 에 따라서 반도체 제조 프로세스 를 실행 하 기 위한 동작 을 행하 도록 기능 시키 는 것 은 매우 적합 하 다 .