이 와 같이 , 세정 공정 은 기판 표면 의 청정 화 를 위한 공정 으로 일례 로 약액 처리 공정 과 린스 공정 과 건조 공정 으로 이루어지 고 , 특히 약액 처리 공정 은 기판 표면 의 파티클 및 오염 물질 의 제거 를 위하 여 기판 표면 에 탈 이온 수 ( deionized water ) 나 케미 칼 ( chemical ) 등 의 세정액 을 처리 하 는 공정 이 다 .