배기 미로 ( 272 ) 는 미로 ( 272 ) 의 최 상부 표면 ( 277 ) 을 통해 , 볼트 ( 284 ) 에 의해 함께 결합 되 는 복수 의 배 플 ( 283 ) 을 구비 한 채널 ( 278 ) ( 예컨대 , 고리 형 채널 ) 로 , 연장 되 는 단일 포트 ( 276 ) ( 예컨대 , 고리 형 포트 ) 을 포함 한다 . 채널 ( 278 ) 은 챔버 의 내부 영역 으로부터 사용 된 기체 들 을 제거 하 도록 구성 된 배기 도관 ( 274 ) 및 배기 포트 들 에 연결 된다 .