가변 용량 디바이스 를 반전 구동 했 을 때 의 플러스 측 과 마이너스 측 과 의 정전 용량 의 변동 을 억제 한다 . 서로 대향 하 는 2 개 의 전극 을 갖 고 또한 그 들 사이 에 유전체 층 이 형성 되 어 이루어지 는 마이크 로 머신 디바이스 의 구동 제어 방법 으로서 , 2 개 의 전극 사이 에 정부 극성 이 교호 로 반전 하 는 방형파 의 제어 전압 을 인가 하 고 ( # 31 ) , 제 어 전압 의 인가 에 의해 마이크 로 머신 디바이스 에 흐르 는 전류 를 정부 각각 에 대하 여 검출 하 고 ( # 32 ) , 검출 한 전류 에 기초 하 여 , 마이크 로 머신 디바이스 의 정전 용량 에 관련 되 는 파라미터 를 정부 각각 에 대하 여 취득 하 고 ( # 33 ) , 정부 각각 에 대하 여 취득 한 파라미터 가 서로 일치 하 도록 , 제 어 전압 을 제어 한다 ( # 34 ) .