화상 표시 장치 의 스위칭 소자 로서 , 비정질 반도체 막 을 사용 한 박막 트랜지스터 , 결정 입경 이 100 nm 이상 인 다결정 반도체 막 을 사용 한 박막 트랜지스터 등 이 사용 된다 . 다 결정 반도체 막 의 형성 방법 으로서 는 , 펄스 발진 엑 시머 레이저 빔 을 광학계 에 의하 여 선 형상 으로 가공 하 고 , 비정질 실리콘 막 에 대하 여 선형 빔 을 주사 시키 면서 조사 하 여 결정 화 하 는 기술 이 알려져 있 다 .