또한 , 덮개 부 ( 33 b ) 의 일 측 에 는 밸브 ( 48 ) 에 의해 개폐 가능 한 제 2 진공 펌프 접속구 ( 39 ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 2 진공 펌프 접속구 ( 39 ) 에 는 도시 되 지 않 은 진공 펌프 가 접속 되 어 있 다 . 이 진공 펌프 ( 예 를 들 면 터보펌프 ) 에 의해 진공 흡인 되 고 , 이 로써 성막 공간 ( 51 ) 은 스퍼터링 프로세스 가능 한 레벨 의 진공도 까지 빠르 게 감압 된다 .