또한 , 전사판 ( 101 ) 을 전사판 홀더 ( 103 ) 에 지지 시키 기 위한 수단 으로서 는 , 진공 흡착 수단 이 채용 되 어 있 다 . 즉 , 이 진공 척 흡착 수단 은 , 전사판 홀더 ( 103 ) 의 하면 에 설치 된 복수 개 의 흡인 구멍 ( 103 f ) 과 전사판 홀더 ( 103 ) 의 외주 면 에 마련 된 흡인 구멍 ( 103 e ) 을 연결 하 는 홀더 내 흡인 통로 ( 103 g ) 와 , 도시 하 지 않 은 진 공원 에 접속 된 흡인 튜브 ( 108 ) 에 의해 , 전사판 ( 101 ) 을 흡착 하 도록 구성 되 어 있 다 .