폴리 실록 산 ( A - 1 ) 용액 의 양 을 5 . 967 g 으로 하 고 , ( E ) 열 라디칼 발생 제 로서 디 메틸 2 , 2 '- 아조 비스 ( 이소부 티 레이트 ) 0 . 080 g 을 첨가 하 고 , 혼합 용제 를 PGME 1 . 797 g 과 PGMEA 3 . 200 g 이 라고 한 것 이외 에 는 , 실시 예 10 과 마찬가지 로 행하 여 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 20 ) 을 얻 었 다 . 얻 어 진 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 20 ) 을 사용 하 여 실시 예 1 과 마찬가지 로 평가 를 행했 다 .