플라 즈 마 감도 측 정부 ( 160 ) 는 상기 챔버 ( 110 ) 일 측면 에 형성 된 윈도우 ( 114 ) 에 구비 되 고 , 상기 플 라즈 마로 부터 방출 되 는 광 의 파장 별 의 세기 를 실시간 으로 검출 하 여 상기 파장 별 세기 를 전압 신호 로 감지 하 는 역할 을 한다 . 상기 플 라즈 마 감도 측 정부 는 일 예 로서 상기 플 라즈 마로 부터 방출 되 는 광 을 포커 싱하 는 집광 렌즈 와 상기 집광 렌즈 의 일 측면 에 구비 되 고 , 상기 집광 렌즈 ( 미 도시 ) 에서 포 커싱 된 광 을 제공 받 아 상기 광 의 파장 세기 를 검출 한 후 상기 파장 별 세기 를 전압 신호 로 생성 하 는 검 출부 ( 미 도시 ) 를 포함 하 는 구성 을 갖 는다 .