프로세싱 챔버 의 다양 한 컴포넌트 사이 의 머시닝 및 / 또는 제조 허용 오차 로 인하 여 , 단부 이펙터 에 의해 정의 된 중심 ( 여기 서 , " "" 단부 이펙터 중심 "" 또는 단부 이펙터 정의 중심 "" 이 라 칭함 ) 은 소정 의 프로세싱 모듈 에서 척 의 중심 에 대해 약간 오프셋 되 는 것 이 가능 하 다 . 그 결과 ", 로봇 제어기 가 웨이퍼 배치 를 위해 정확 한 위치 로 여기 는 로봇 팔 위치 에서 단부 이펙터 정의 중심 이 척 의 중심 과 정확 하 게 정렬 되 지 않 을 수 도 있 다는 것 이 가능 하 다 . 이러 한 단부 이펙터 / 척 오 정렬 이 생산 동안 보상 되 지 않 으면 , 웨이퍼 는 웨이퍼 프로세싱 동안 척 중심 에 대해 부정확 하 게 배치 될 수 도 있 다 .