표 4 에 나타낸 동일 한 번호 의 실시 예 및 비 교예 에 있 어서 , 실시 예 에서 는 [ A ] 중합체 를 , 비 교예 에서 는 락톤 골격 을 갖 는 비교 예의 중합체 를 사용 한 것 이외 에 는 , 다른 성분 을 동일 한 비율 로 배합 한 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 로부터 형성 한 레지스 트 하 층막 을 사용 하 여 패턴 을 형성 하 였 다 . 모든 조합 에 있 어서 비 교예 에 비해 실시 예의 레지스 트 하 층막 이 붕괴 치수 가 짧 았 다 . 해당 레지스 트 형성 조성물 로부터 얻 어 진 레지스 트 하 층막 을 사용 하 여 패턴 형성 을 행한 경우 에 는 , 비 교예 에 비해 패턴 붕괴 를 억제 할 수 있 다는 것 을 알 수 있 었 다 .