도 28 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ') 의 - Y 단면 , - X 단면 에 는 반사면 ( 17 a ) , 반사면 ( 17 b ) 이 형성 되 어 있 다 . 도 29 에 도시 된 바 와 같이 , 간섭계 시스템 ( 118 ) ( 도 32 참조 ) 의 Y 간섭계 ( 16 ) , 그리고 3 개 의 X 간섭계 ( 126 ∼ 128 ) 는 , 이 들 반사면 ( 17 a , 17 b ) 에 각각 간섭계 빔 ( 측장 빔 ) ( B 41 , B 42 , B 51 , B 52 , B 6 , B 7 ) 등 을 조사 한다 . 그리고 , Y 간섭계 ( 16 ) , 그리고 3 개 의 X 간섭계 ( 126 ∼ 128 ) 는 각각 의 반사광 을 수 광 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 를 계측 하 고 , 이 계측 한 위치 정보 를 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 한다 . 본 제 2 실시 형태 에서 도 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 간섭계 ( 16 ) 및 X 간섭계 ( 126 또는 127 ) 의 계측 결과 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ') ( 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ) 의 X , Y 위치 에 추가 하 여 , θ x 방향 의 회전 정보 ( 즉 피칭 ) , θ y 방향 의 회전 정보 ( 즉 롤링 ) 및 θ z 방향 의 회전 정보 ( 즉 요 잉 ) 도 산출 할 수 있 다 .