전단 액 처리 챔버 ( 3602 ) 는 기판 ( W ) 상 에 제 1 액 을 도포 하 고 , 후단 액 처리 챔버 ( 3604 ) 는 기판 ( W ) 상 에 제 2 액 을 도포 한다 . 제 1 액 과 제 2 액 은 서로 상이 한 종류 의 액 일 수 있 다 . 일 실시 예 에 의하 면 , 제 1 액 은 반사 방지 막 이 고 , 제 2 액 은 포토레지스트 이 다 . 포토레지스트 는 반사 방지 막 이 도포 된 기판 ( W ) 상 에 도포 될 수 있 다 . 선택 적 으로 제 1 액 은 포토레지스트 이 고 , 제 2 액 은 반사 방지 막 일 수 있 다 . 이 경우 , 반사 방지 막 은 포토레지스트 가 도포 된 기판 ( W ) 상 에 도포 될 수 있 다 . 선택 적 으로 제 1 액 과 제 2 액 은 동일 한 종류 의 액 이 고 , 이 들 은 모두 포토레지스트 일 수 있 다 .