예 를 들 면 , 비 교예 에서 는 , 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 의 가장자리 로부터 깊이 측 에 100 ㎚ 의 언더컷 부 ( 23 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 반전 위상 개구부 ( 3 b ) 와 반전 위상 개구부 ( 3 d ) 의 거리 는 400 ㎚ 이 다 . 이 경우 에 는 , 차광막 ( 3 ) 과 투광 판 ( 21 ) 의 접촉 폭 ( L 5 ) 은 , 200 ㎚ 로 된다 . 이 와 같이 , 접촉 폭 ( L 5 ) 과 반전 위상 개구부 ( 3 b ) 및 반전 위상 개구부 ( 3 d ) 의 거리 와 의 비율 이 1 / 2 이하 로 된 경우 , 언더컷 부가 상호 대향 하 면 차광막 ( 3 ) 과 투광 판 ( 21 ) 의 접촉 면적 이 작아져 버려서 , 부분 적 으로 차광막 의 박리 가 발생 하 는 경우 가 있 다 . 특히 , 선 패턴 등 의 미세화 가 진행 되 어 , 개구부 끼리 의 거리 가 작아지 면 , 차광막 이 부분 적 으로 박리 되 는 문제점 이 현저 하 게 발생 한다 .