조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 냉각 플레이트 ( 204 ) 를 에워 쌀 수 있 고 , 그 에 따라 , 측 방향 으로 이격 된 갭 ( 258 ) 이 형성 될 수 있 다 . 일 예 에서 , 측 방향 으로 이격 된 갭 ( 258 ) 은 0 인치 를 초과 하 고 , 0 . 03 인치 와 동일 하 거나 또는 그 미만 이 다 . 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 리프트 핀 ( 260 ) 과 인터 페이 싱 한다 . 예컨대 , 리프트 핀 ( 260 ) 은 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 과 동작 가능 하 게 커플링 될 수 있 다 . 리프트 핀 ( 260 ) 은 리프트 메커니즘 ( 182 ) 에 의해 구동 된다 . 몇몇 실시 예 들 에서 , 리프트 핀 ( 260 ) 은 리프트 메커니즘 ( 182 ) 과 독립 적 인 리프트 메커니즘 ( 미 도시 ) 에 의해 구동 될 수 있 다 . 리프트 메커니즘 ( 182 ) 은 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 이 챔버 ( 100 ) 내 에서 수직 으로 이동 되 게 허용 한다 . 튜닝 링 ( 150 ) 의 수직 이동의 결과 로서 , 리프트 메커니즘 ( 182 ) 은 제 2 에지 링 컴포넌트 ( 216 ) 를 상승 시킨다 . 제 2 에지 링 컴포넌트 ( 216 ) 는 제 1 에지 링 컴포넌트 ( 214 ) 위 로 상승 될 수 있 고 , 그 에 따라 , 제 1 에지 링 컴포넌트 의 계단 형 표면 과 제 2 에지 링 컴포넌트 의 계단 형 표면 사이 에 갭 ( 도 4 b 의 299 ) 이 형성 될 수 있 다 .