이 때 상기 하드 마스크 막 ( 4 ) 은 포토레지스트 ( 5 ) 보다 두께 가 얇 고 상기 차광막 ( 2 ) 과 서로 다른 식각 특성 을 가져야 한다 . 상기 의 특성 을 만족 하 기 위하 여 차광막 ( 2 ) 이 크롬 ( Cr ) 을 주성분 으로 하 는 물질 이 고 하드 마스크 막 ( 4 ) 이 탄 탈륨 ( Ta ) 계열 의 물질 이 거나 또는 , 차광막 ( 2 ) 이 탄 탈륨 ( Ta ) 계열 의 물질 이 고 하드 마스크 막 ( 4 ) 이 크롬 ( Cr ) 계열 의 물질 인 것 이 더욱 바람직 하 다 .