표 6 에 나타낸 바 와 같이 , 실시 예 3 - 1 ∼ 3 - 17 과 비 교예 3 - 1 을 비교 하 면 CF 4 / CHF 3 계 가스 , O 2 계 가스 의 어느 에칭 시험 에 있 어서 나 , 비교 UDL - 1 에 비해 에칭 후 의 막 의 감소량 이 작 아 , 에칭 내성 이 우수 한 막 이 형성 되 고 있 다는 것 을 알 수 있 다 . 비 교예 3 - 1 과 3 - 2 를 비교 하 면 가교제 를 이용 하 여 경화 막 을 형성 한 비 교예 3 - 2 에 있 어서 는 , 가교제 의 첨가 에 의해 막 의 탄소 함량 이 저하 됨 으로써 에칭 내성 이 약 10 % 손상 되 는 결과 가 되 었 다 . 또한 , 본 발명 의 중합체 를 이용 한 실시 예 3 - 1 ∼ 3 - 17 과 비교 합성 예의 중합체 및 화합물 을 이용 한 비 교예 3 - 1 ∼ 3 - 4 를 비교 하 면 경도 의 측정 결과 로부터 시사 되 는 바 와 같이 , 본 발명 의 중합체 는 고 탄소 밀도 또 한 열 가교 에 의해 치밀 한 경화 막 으로 되 어 있 기 때문 에 에칭 후 의 막 두께 감소 가 억제 되 고 있 고 , 에칭 내성 이 우수 한 결과 가 되 었 다 .