본 발명 의 일 관점 에 있 어서 , 상기 제 1 가스 가 복수 로 상기 유량 / 유속 제어 장치 로 제공 되 는 경우 , 사용 가스 는 동일 ( 단일 ) 성분 의 가스 로 이루 어 질 수 있 으며 , 동일 ( 단일 ) 성분 의 사용 가스 는 제 1 가스 충전 용기 가 단일 로 제공 되 는 경우 와 제 1 가스 충전 용기 가 복수 이 면서 동일 ( 단일 ) 성분 의 충전 용기 가 복수 로 제공 되 는 경우 , 상기 유량 / 유속 제어 장치 는 복수 제공 되 는 제 1 가스 각각 의 유량 과 유속 을 제어 한 다음 , 소정 유량 과 유속 을 갖 는 단일 의 제 1 가스 인 동일 ( 단일 ) 성분 의 가스 를 토출 시키 도록 이루어질 수 있 다 .