본 실시 형태 에서 는 , 질소 가스 배관 ( 191 ) 으로부터 , 베어링 ( 166 ) 을 향해서 질소 가스 가 공급 된다 . 이 에 의해 , 인 젝 터 ( 110 ) 로부터 공급 되 는 처리 가스 가 반응 성 이 강한 가스 일 경우 에 , 베어링 ( 166 ) 이 마련 되 어 있 는 영역 에 , 처리 가스 가 진입 하 는 것 을 방지 할 수 있 어 , 베어링 ( 166 ) 이 처리 가스 에 의해 부식 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .