도 10 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 기판 ( 10 ) 은 보유 지지 장치 ( 54 ) 에 의해 보유 지지 된다 . 보유 지지 장치 ( 54 ) 로서 는 , 예 를 들 어 기판 ( 10 ) 의 피 증착 면 ( 10 e ) 과 는 반대 측 의 면 을 정전기력 으로 보유 지지 하 는 정전 척 을 사용 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 ( 10 ) 의 자중 에 의한 휨 이 실질 적 으로 없 는 상태 에서 기판 ( 10 ) 을 보유 지지 할 수 있 다 . 단 , 기판 ( 10 ) 을 보유 지지 하 는 보유 지지 장치 ( 54 ) 는 정전 척 에 한정 되 지 않 고 , 이 이외 의 장치 이 어도 된다 .