실릴 에테르 기 는 바람직 하 게 는 기 OSi ( R 6 ) 3 이 며 , 여기 서 각각 의 R 6 은 독립 적 으로 상기 정의 된 바 와 같 은 지방족 , 헤테로 지방족 , 지환 족 , 헤테로 지환 족 , 아릴 또는 헤테로 아릴 기 일 수 있 다 . 특정 구 현예 에서 , 각각 의 R 6 은 독립 적 으로 비 치환 된 지방족 , 지환 족 또는 아릴 일 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 각각 의 R 6 은 선택 적 으로 치환 된 페닐 , 또는 메틸 , 에틸 , 프로필 또는 부틸 로부터 선택 된 , 선택 적 으로 치환 된 알킬 기 ( 예컨대 , n - 부틸 또는 tert - 부틸 ( tBu ) ) 이 다 . 예 시 적 인 실릴 에테르 기 는 OSi ( Me ) 3 , OSi ( Et ) 3 , OSi ( Ph ) 3 , OSi ( Me ) 2 ( tBu ) , OSi ( tBu ) 3 및 OSi ( Ph ) 2 ( tBu ) 를 포함 한다 .