"[ 0018 ] 본원 에서 사용 되 는 바 와 같 은 "" 기판 "" 이 라는 용어 는 특히 ", 실질 적 으로 비 가요 성 기판 들 , 예컨대 유리 평판 들 및 금속 평판 들 을 포괄 할 수 있 다 . 그러나 , 본 개시 내용 은 이 들 로 제한 되 지 않 으며 , " "" 기판 "" 이 라는 용어 는 또한 "," 웹 또는 포일 과 같 은 가요 성 기판 들 을 포괄 할 수 있 다 . "" 실질 적 으로 비 가요 성 "" 이 라는 용어 는 "" 가요 성 "" 과 구별 되 는 것 으로 이해 된다 . 구체 적 으로 ", 실질 적 으로 비 가요 성 기판 은 소정 의 정도 의 유연 성 , 예컨대 0 . 5 mm 또는 그 미만 의 두께 를 갖 는 유리 평판 을 가질 수 있 으며 , 실질 적 으로 비 가요 성 기판 의 유연 성 은 가요 성 기판 들 에 비해 작 다 . 본원 에서 설명 되 는 실시 예 들 에 따르 면 , 기판 은 재료 증착 에 적합 한 임의 의 재료 로 제조 될 수 있 다 . 예컨대 , 기판 은 , 증착 프로세스 에 의해 코팅 될 수 있 는 유리 ( 예컨대 , 소다 - 석회 유리 ( soda - lime glass ) , 보로 실리케이트 유리 등 ) , 금속 , 폴리머 , 세라믹 , 화합물 재료 들 , 탄소 섬유 재료 들 또는 임의 의 다른 재료 또는 재료 들 의 조합 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 되 는 재료 로 제조 될 수 있 다 .