도 30 내지 도 34 에 , 실시 예 3 의 각각 의 경우 에 대해서 , 소자 형성 층 ( 124 ) 의 표면 을 전자 현미경 으로 관찰 한 결과 를 나타낸다 . 도 30 , 도 31 , 도 32 , 도 33 , 도 34 는 각각 피복 영역 의 1 변의 길이 가 4250 ㎛, 2000 ㎛, 1000 ㎛, 500 ㎛, 200 ㎛ 인 경우 의 결과 를 나타낸다 . 도 30 내지 도 34 로부터 피복 영역 의 크기 가 커짐 에 따라 소자 형성 층 ( 124 ) 의 표면 상태 가 악화 되 고 있 는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 실시 예 2 의 결과 와 비교 하 면 , 소자 형성 층 ( 124 ) 의 표면 상태 가 개선 되 고 있 는 것 을 알 수 있 다 .