본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 에 대하 여 상이 한 패턴 으로 노광 을 수행 하 도록 구성 되 는 제 1 노광 장치 및 제 2 노광 장치 ; 및 제 1 노광 장치 및 제 2 노광 장치 로 기판 을 반송 하 고 제 1 노광 장치 및 제 2 노광 장치 로부터 기판 을 반송 하 도록 구성 되 는 기판 반송 장치 를 포함 하 고 , 기판 반송 장치 는 , 제 1 노광 장치 에 대하 여 기판 을 반입 및 반출 하 도록 구성 되 는 제 1 트랜스퍼 ; 제 2 노광 장치 에 대하 여 기판 을 반입 및 반출 하 도록 구성 되 는 제 2 트랜스퍼 ; 제 1 트랜스퍼 및 제 2 트랜스퍼 사이 에 배치 되 며 제 1 트랜스퍼 및 제 2 트랜스퍼 로 기판 을 순차 적 으로 반송 하 도록 구성 되 는 제 3 트랜스퍼 및 제 4 트랜스퍼 ; 및 제 3 트랜스퍼 및 제 4 트랜스퍼 사이 에서 배치 되 며 적어도 2 단 으로 복수 의 기판 을 이송 하 도록 구성 되 는 다단 이송기 를 포함 할 수 있 다 .