스테이지 조립 체 및 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 는 아암 ( 80 ) 을 거쳐 서로 커플링 된다 . 모터 ( M 6 ) 는 소정 의 각도 를 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 를 회전 시키 도록 제어 된다 . 그 결과 , 모터 ( M 6 ) 가 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 를 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 회전 시키 면 , 스테이지 조립 체도 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 회전 한다 . 제 1 중공 샤프트 ( 5 - 1 ) 의 축 과 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 의 축 은 서로 정렬 되 지 않 는다 . 보유 스테이지 ( 4 ) 상 에 보유 된 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 은 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 의 연장선 에 놓인다 . 그 결과 , 모터 ( M 6 ) 가 통전 되 면 , 웨이퍼 ( W ) 는 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 소정 각도 를 수평 평면 내 의 노치 부분 주위 를 회전 한다 [ 즉 , 웨이퍼 ( W ) 가 스윙 한다 ] . 이 실시 예 에서 , 웨이퍼 ( W ) 를 웨이퍼 의 노치 부분 주위 로 스윙 시키 기 위한 스윙 기구 가 풀리 ( p 7 , p 8 ) , 벨트 ( b 4 ) , 모터 ( M 6 ) , 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) , 아암 ( 80 ) 및 다른 요소 들 로 구성 된다 .