본 발명 의 제 1 관점 에서 의 플 라즈 마 처리 장치 는 , 적어도 일부 에 유전체 창 을 갖춘 진공 배기 가능 한 처리 용기 와 , 상기 처리 용기 내 에서 피 처리 기판 을 유지 하 는 기판 유지 부 와 , 상기 기판 에 원하 는 플 라즈 마 처리 를 실시 하 기 위해서 , 상기 처리 용기 내 에 원하 는 처리 가스 를 공급 하 는 처리 가스 공급 부 와 , 상기 처리 용기 내 에 마이크로파 를 방사 하 기 위한 하나 또는 복수 의 슬롯 을 갖 고 , 상기 유전체 창 위 에 설치 되 는 도체 의 슬롯 판과 , 마이크로파 방전 에 의한 상기 처리 가스 의 플 라즈 마 를 생성 하 기 위해서 , 상기 슬롯 판 및 상기 유전체 창 을 통해 상기 처리 용기 내 에 마이크로파 를 공급 하 는 마이크로파 공급 부 와 , 상기 슬롯 판 에 형성 된 메 쉬 형 투과 구멍 과 상기 유전체 창 을 통해 상기 처리 용기 내 의 상기 기판 의 표면 을 광학 적 으로 감시 또는 계측 하 는 광학 모니 터부 를 갖 고 , 상기 광학 모니 터부 는 , 모니터 광 을 발생 시키 는 광원 과 , 상기 모니터 광 에 대한 상기 기판 으로부터 의 반사광 을 전기 신호 로 변환 시키 기 위한 수 광부 와 , 상기 수 광부 로부터 의 전기 신호 에 정해진 신호 처리 를 하 여 모니터 정보 또는 모니터 결과 를 출력 하 는 모니터 회로 와 , 상기 모니터 광 을 , 상기 슬롯 판 의 메 쉬 형 투과 구멍 및 상기 유전체 창 을 통해 상기 기판 유지 부 상 의 상기 기판 의 표면 에 조사 하 여 , 상기 기판 의 표면 으로부터 의 반사광 을 상기 유전체 창 및 상기 메 쉬 형 투과 구멍 을 통해 받아들이 는 모니터 헤드 와 , 상기 광원 으로부터 상기 모니터 헤드 까지 상기 모니터 광 을 전송 하 기 위한 모니터 광 전송 부 와 , 상기 모니터 헤드 로부터 상기 수 광부 까지 상기 반사광 을 전송 하 기 위한 반사광 전송 부 를 갖 고 , 상기 모니터 헤드 는 , 상기 슬롯 판 의 위쪽 에 배치 된 밀폐 가능 한 도체 로 이루어지 는 하우징 과 , 상기 하우징 내 에서 상기 모니터 광 또는 상기 반사광 이 지나 는 위치 에 배치 되 어 있 는 정해진 광학 부품 과 , 상기 하우징 내 에 퍼징 가스 를 공급 하 는 퍼징 가스 공급 부 와 , 상기 하우징 안 을 배기 하 는 배기 부 를 갖 는다 .