버퍼 부 ( 54 ) 는 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 내부 에서 기판 ( W ) 을 대기 시킨다 . 버퍼 부 ( 54 ) 는 제 1 버퍼 부 ( first buffer member ) ( 54 a ) 및 제 2 버퍼 부 ( second buffer member ) ( 54 b ) 를 가진다 . 제 1 버퍼 부 ( 54 a ) 는 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 에서 공정 이 수행 되 기 전 에 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 으로부터 이송 된 기판 ( W ) 을 대기 시키 고 , 제 2 버퍼 부 ( 54 a ) 는 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 에서 공정 이 완료 된 기판 ( W ) 을 대기 시킨다 . 제 1 버퍼 부 ( 54 a ) 및 제 2 버퍼 부 ( 54 b ) 는 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 와 후술 할 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 200 ) 사이 에 배치 된다 .