전술 한 버퍼 층 ( 130 ) 의 높이 는 제 1 어닐링 단계 ( S 630 ) 이후 15 분 동안 암모니아 , 질소 , 트리 메틸 갈륨 을 챔버 내부 로 공급 하 되 , 챔버 내부 의 압력 이 300 torr 이 고 , 챔버 내부 온도 는 1000 ~ 1100 ℃ 이 며 , 기판 ( 100 ) 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 750 RPM 인 상태 에서 금속 유기 화학 기상 증착 으로 제 2 버퍼 층 ( 132 ) 을 성장 시켰 을 때 의 높이 다 .