장치 설치대 31 은 , 매트릭스 모양 으로 배치 한 , 예 를 들 면 9 개 의 지주 41 과 , 이 들 을 서로 연결 하 고 있 는 보 42 를 구비 하 고 있 고 , 각 지주 41 의 두부 ( 頭部 ) 에 방진 마운트 ( 防振 mount ) 43 을 통하 여 스테이지 반 33 이 수평 으로 지지 되 어 있 다 . 스테이지 반 33 은 전후 방향 ( Y 축 방향 ) 으로 긴 사각형 형상 을 하 고 있 고 , 그 상면 의 양측 부분 에 는 각각 전후 방향 으로 평행 하 게 연장 되 는 한 쌍 의 직선 모양 의 가이드 레일 44 가 배치 되 어 있 다 . 좌우 의 가이드 레일 44 의 사이 가 검사 대상 인 액정 패널 ( 도면 에 는 나타내 지 않 는다 ) 을 싣 기 위한 직사각 형 의 스테이지 면 32 로 되 어 있 다 .