동작 ( 705 ) 에서 , 스 피닝 되 는 기판 의 회전 속력 은 습윤 단계 의 시작 에서 더 높 은 속력 으로 상승 되 고 , 질소 의 유동 이 감소 되 거나 제거 된 후 몇 초 동안 ( 예컨대 , 이러 한 예 에서 는 약 37 초 까지 ) 계속 된다 . 동작 ( 707 ) 에서 , 가스 배기 는 실질 적 으로 스핀 동작 ( 705 ) 과 계속 일치 한다 . 그런 다음 , 챔버 들 ( 100 , 200 ) 이 개방 되 고 , 기판 ( 119 ) 은 로봇 ( 도시 되 지 않 음 ) 의 ( 예컨대 , " "" 더러운 "" 기판 을 배치 하 는 데 사용 된 동일 한 엔드 이펙터 가 아니 라 ) 별개 의 청정 엔드 이펙터 에 의해 클램 핑 메커니즘 으로부터 제거 된다 . 위 의 최종 단계 에서 ", 기판 은 고속 으로 회전 되 고 , 그 에 의해 , 원심력 을 사용 하 여 기판 이 건조 된다 . 고속 으로 회전 하 는 차 폐부 들 은 , 높 은 배기 와 결합 되 어 , 물 / 화학 물질 자국 이 없 는 , 또는 실질 적 으로 자국 이 없 는 건 조한 기판 을 산출 한다 .