상기 표 2 에 의할 때 , 실시 예 1 및 2 는 비 교예 1 내지 7 에 비하 여 현상 시간 이 짧 으면서 도 테이퍼 각도 가 90 ° 이하 이 고 , 직진 성 이 매우 우수 한 것 을 확인 할 수 있 다 . 이 는 본 명세서 에 따른 아크릴 가용성 바인더 수지 가 친수성기 를 포함 하 고 있 는 페녹 시알 킬 아크릴 레이트 계 단량체 와 알칼리 현상 이 가능 한 아크릴 레이트 계 단량체 의 공중 합체 를 포함 함으써 , 알칼리 현상액 에 대한 현상 성 이 매우 우수 하 기 때문 이 다 . 또한 , 상기 알칼리 가용성 바인더 수지 가 메타크릴 레이트 ( methacrylate ) 계 단량체 가 아닌 아크릴 레이트 ( acrylate ) 계 단량체 를 포함 하 여 , 낮 은 유리 전이 온도 ( Tg ) 로 인해 흐름 성 이 우수 하 다 . 그리고 , 본 명세서 의 일 실시 상태 에 따른 알칼리 가용성 수지 가 말레 이미드 계 단량체 및 스티렌 계 단량체 의 공중 합체 를 포함 함 으로써 , 공정 성 이 우수 하 다 .