개구부 ( 125 A ) 는 폭 ( W 1 ) 을 갖 고 , 개구부 ( 125 B ) 는 폭 ( W 2 ) 을 갖 는다 . 폭 ( W 1 ) 은 폭 ( W 2 ) 보다 크 다 . 특히 , 폭 ( W 2 ) 이 작 아서 , 시일 링 링 ( 140 ) 을 위해 후속 형성 되 는 비아 는 작 은 폭 대 높이 종횡비 를 갖 는다 . 예 를 들 어 , 폭 ( W 1 ) 은 약 14 ㎛ 와 같 은 , 약 7 ㎛ 내지 약 50 ㎛ 의 범위 일 수 있 고 , 폭 ( W 2 ) 은 약 7 ㎛ 와 같 은 7 ㎛ 내지 약 25 ㎛ 의 범위 일 수 있 다 .