상기 실시 예 1 에서 와 동일 하 게 LiNiO 2 박막 을 제조 하 였 다 . 그 후 에 , 상기 LiNiO 2 박막 상 에 Mo 타 겟 을 이용 하 여 DC 반응 성 스퍼터링 으로 MoO 3 를 증착 하 였 다 . 증착 조건 은 DC 파워 1 kW , 아르곤 / 산소 가스 의 공급량 40 / 40 sccm , 작업 압력 10 mTorr 이 었 다 . 증착 된 MoO 3 박막 의 두께 는 10 내지 20 ㎚ 이 었 다 .