활성 광선 또는 방사선 으로 의 노광 시 , 상기 감광성 막 과 렌즈 사이 에 공기 보다 높 은 굴절 률 을 갖 는 액 을 채워서 노광 ( 침지 노광 ) 이 행해 지 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 침지 노광 에 의해서 , 해상도 가 향상 될 수 있 다 . 침지 매체 는 공기 보다 높 은 굴절 률 을 갖 는 한 어떠 한 액체 여도 좋 지만 , 순수 한 물 이 바람직 하 다 . 상기 침지 매체 와 상기 감광성 막 이 침지 노광 동안 에 직접 접촉 하 는 것 을 방지 하 기 위해서 , 오버코트 층 이 상기 감광 성 막 상 에 제공 되 어도 좋 다 . 이것 은 상기 감광성 막 으로부터 침지 매체 로 의 조성물 의 방출 을 방지 하 여 현상 결함 을 감소 시킬 수 있 게 한다 .