한편 , 본 발명 의 부착 막 제거 방법 은 고 압수 를 분사 하 는 노즐 이 배치 된 노즐 헤드 와 , 이 노즐 헤드 가 설치 된 고 압수 분사 장치 와 , 상기 노즐 에 대향 하 도록 피처 리 물 이 재치 되 는 스테이지 를 구비 한 부착물 제거 장치 를 사용 하 여 상기 피 처리 물 에 퇴적 된 부착물 을 상기 고압 수 로 제거 하 는 부착물 제거 방법 으로서 , 상기 스테이지 와 평행 한 제 1 방향 을 따라서 상기 고 압수 분사 장치 를 상기 스테이지 에 대해 상대 이동 시킬 때 에 상기 노즐 헤드 를 상기 스테이지 와 평행 하 게 또한 상기 제 1 방향 과 교차 되 는 제 2 방향 을 따라서 직선 형태 로 진동 시키 면서 상기 노즐 에서 상기 부착물 을 향해 상기 고압 수 를 분사 한다 .