반도체 장치 에 생기 는 응력 분포 는 , 응력 해석 소프트 등 , 일반 적 으로 사용 되 는 계산기 시뮬레이션 에 의해 구할 수 있 다 . 반도체 장치 를 구성 하 는 부품 으로부터 해석 모델 을 작성 하 고 , 컴퓨터 의 응력 해석 소프트 에 , 해석 모델 의 각 구성 부품 의 크기 , 형상 , 영률 , 푸아송 비 ( poisson ratio ) , 하중 그 밖 의 파라미터 를 입력 하 여 , 굴곡 에 의한 영향 으로 각 부품 에 어떠 한 응력 분포 가 발생 하 는지 를 해석 한다 . 여기 에서 말 하 는 부품 이란 , 절 연막 , 보강 막 , 반도체 막 , 게이트 절 연막 , 게이트 전극 과 같 은 상기 한 것 이외 에 도 , 반도체 장치 를 구성 하 는 모든 요소 를 포함 한다 . 본 실시 예 에서 는 , 응력 해석 소프트 로서 , 상품명 「 ANSYS 」 ( 사이버 넷 시스템 사제 ) 를 사용 하 여 행하 였 다 .