또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 제 2 부재 ( 32 ) 의 삽입 관 통부 ( 32 a ) 의 길이 ( L 1 ) 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 제 2 부재 ( 32 ) 에서 의 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 을 통과 할 수 있 는 부분 의 길이 ( L 0 ) 의 1 . 1 배 내지 1 . 5 배 로 설정 되 어 있 다 . 즉 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 삽입 관 통부 ( 32 a ) 의 길이 ( L 1 ) 는 , 최대한 짧 게 설정 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 승강 시 등 에 당해 리프트 핀 ( 30 ) 이 적재 대 ( 20 ) 에 맞닿 았 더라도 제 2 부재 ( 32 ) 에 생기 는 응력 이 작 다 . 따라서 , 해당 응력 에 의한 제 2 부재 ( 32 ) 의 파손 이 생기 기 어려우므로 , 제 2 부재 ( 32 ) 의 직경 을 가늘 게 할 수 있 고 , 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 의 내경 을 가늘 게 할 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 의 면내 균일성 을 더욱 개선 할 수 있 다 .