도 1 은 액 처리 장치 의 제 1 실시 형태 를 도시 하고 있 다 . 액 처리 장치 는 , 처리 액 공급 기구 를 갖 고 , 처리 액 공급 기구 는 , 처리 액 공급 부 ( 70 ) 로부터 공급 되 는 처리 액 을 저류 하 는 탱크 ( 10 ) 와 , 탱크 ( 10 ) 에 접속 된 순환 통로 ( 20 ) 를 구비 한다 . 순환 통로 ( 20 ) 에 마련 된 펌프 ( 30 ) 가 탱크 ( 10 ) 로부터 출발 해서 순환 통로 ( 20 ) 를 통해서 탱크 ( 10 ) 로 되돌아가 는 처리 액 의 순환류 를 형성 한다 .