도 4 를 참조 한다 . 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 은 , 입력 포트 ( 71 ) , 출력 포트 ( 72 ) , 미처리 기판 캐리어 선반 ( 73 ) , 빈 캐리어 선반 ( 74 ) 및 처리 완료 기판 캐리어 선반 ( 75 ) 을 구비 하 고 있 다 . 입력 포트 ( 71 ) 는 , 미처리 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 를 외부 반송 기구 ( OHT ) ( Overhead Hoist Transport ) 로부터 수취 하 기 위한 선반 이 다 . 외부 반송 기구 ( OHT ) 는 , 공장 내 에서 캐리어 ( C ) 를 반송 하 는 것 이 다 . 미처리 란 , 본 실시 예 에 있 어서 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 의한 처리 가 행해 지 지 않 은 것 을 말 한다 . 2 개 의 입력 포트 ( 71 ) 및 2 개 의 출력 포트 ( 72 ) 는 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 옥상 의 길 이 방향 ( X 방향 ) 의 일단 에 설치 되 어 있 다 . 2 개 의 입력 포트 ( 71 ) 및 2 개 의 출력 포트 ( 72 ) 는 , 길 이 방향 으로 직교 하 는 단변 방향 ( Y 방향 ) 으로 늘 어서 있 다 . 2 개 의 입력 포트 ( 71 ) 및 2 개 의 출력 포트 ( 72 ) 의 상방 에 는 , 외부 반송 기구 ( OHT ) 의 레일 ( 77 ) 이 설치 되 어 있 다 . 외부 반송 기구 ( OHT ) 는 , 2 개 의 입력 포트 ( 71 ) 중 어느 하나 에 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 .