이송 챔버 ( 422 ) 의 양측 에 위치 하 는 공정 챔버 ( 423 ) 는 이송 챔버 ( 422 ) 를 기준 으로 서로 대칭 이 되 도록 제공 될 수 있 다 . 이때 공정 챔버 ( 423 ) 는 이송 챔버 ( 422 ) 의 길 이 방향 ( 즉 , 제 1 방향 ( 11 ) ) 을 따라 배치 될 수 있 으며 , 제 3 방향 ( 13 ) 을 따라 서로 적층 되 도록 배치 될 수 도 있 다 .