또한 , 상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 또 다른 실린더 형 캐 패 시터 제조 방법 은 , 기판 상 에 도전 플러그 를 갖 는 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 층간 절 연막 상 에 식각 정지 막 및 제 1 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 도전 플러그 를 노출 시키 도록 상기 제 1 절 연막 및 상기 식각 정지 막 을 패 터닝 하 여 스토리지 전극 영역 을 형성 하 는 단계 ; 기판 결과물 의 전면 에 스토리지 전극 용 도전 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 스토리지 전극 용 도전 막 상 에 상기 스토리지 전극 영역 을 매립 하 는 제 2 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 절 연막 의 상부 표면 이 노출 될 때 까지 평탄 화 공 정 을 수행 하 여 노드 가 분리 된 실린더 형 의 스토리지 전극 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 절 연막 및 상기 제 2 절 연막 을 소정 깊이 제거 하 여 상기 스토리지 전극 의 상부 일부 를 돌출 시키 는 단계 ; 돌출 된 상기 스토리지 전극 측벽 에 스 페이서 형태 의 제 4 절 연막 을 형성 하 되 , 상기 제 4 절연 막 은 돌출 된 상기 스토리지 전극 의 상부 표면 으로부터 소정 정도 하향 되 어 위치 하 도록 형성 되 는 단계 ; 상기 제 4 절 연막 을 포함 하 는 돌출 된 상기 스토리지 전극 측벽 에 제 3 절 연막 및 상기 제 3 절 연막 을 보호 하 기 위한 보호막 으로 이루어진 스 페이서 를 형성 하 는 단계 ; 및 잔류 하 는 상기 제 1 절 연막 및 상기 제 2 절 연막 을 제거 하 면서 , 상기 제 4 절 연막 을 함께 제거 하 는 단계 를 포함 한다 .