그 다음 , 웨이퍼 ( W ) 를 원하 는 성장 온도 ( 예 를 들 어 , 1060 ~ 1150 ℃) 까지 강온 시키 고 , 기상 성 장용 가스 도입 관 ( 14 ) 을 통해 웨이퍼 ( W ) 의 주표 면 상 에 원료 가스 ( 예 를 들 어 , 트리 클로로 실란 ) 를 , 퍼지 가스 도입 관 ( 15 ) 을 통해 퍼지 가스 ( 캐리어 가스 : 예 를 들 어 , 수소 ) 를 각각 대략 수평 으로 공급 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 주표 면 상 에 에피 택 셜 층 을 기상 성장 하 여 에피 택 셜 웨이퍼 를 제조 한다 . 또한 , 퍼지 가스 는 원료 가스 보다 고압 으로 공급 된다 . 이 는 반응 용기 ( 12 ) 와 서 셉 터 ( 13 ) 사이 의 극간 으로부터 하측 의 공간 으로 의 원료 가스 의 진입 을 방지 하 기 위해서 이 다 .