상기 냉각 단계 ( S 2 ) 에서 상기 회전체 ( 30 a ) 는 구리판 , 크롬 이 도금 된 구리판 , 철판 중 어느 하나 인 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같 은 재질 을 사용 하 는 것 이 바람직 한 이유 는 상기 실리콘 계 합금 분말 을 제조 하 는 장치 ( 10 a ) 의 구조 를 서술 하 면서 이미 서술 하 였으므로 중복 서술 은 생략 하 기 로 한다 . 상기 냉각 단계 ( S 2 ) 에서 상기 회전체 ( 30 a ) 는 상기 챔버 ( 40 ) 외부 로부터 공급 되 어 그 회전체 ( 30 a ) 에 분사 되 는 액체 아르곤 또는 액체 헬륨 에 의해 더욱 효과 적 으로 냉각 될 수 있 다 . 또한 , 상기 냉각 단계 ( S 2 ) 에서 형성 된 합금 분말 입자 의 산화 를 방지 하 기 위하 여 , 상기 챔버 ( 40 ) 내부 에 는 그 챔버 ( 40 ) 외부 로부터 기체 아르곤 또는 기체 헬륨 이 공급 되 는 것 이 더욱 효과 적 이 다 . 이 와 같이 상기 액체 아르곤 또는 액체 와 같 은 냉각 매체 가 공급 되 거나 , 기체 아르곤 이나 기체 헬륨 과 같 은 산화 방지 기체 가 공급 되 는 경우 에 는 상기 진공 펌프 ( 60 ) 의 작동 은 멈추 어도 된다 . 이 경우 에 는 상기 챔버 ( 40 ) 내부 의 압력 이 대기 의 압력 보다 높 아 질 수 있 으며 , 그 경우 에 는 상기 챔버 ( 40 ) 에 적절 한 배출 밸브 를 설치 하 여 그 챔버 ( 40 ) 내부 의 압력 이 지나치 게 높 아 지 지 않 도록 할 수 있 다 .