다음 에 , 절연 층 ( 122 ) 상 에 마스크 를 형성 하 고 , 절연 층 ( 122 ) 이 불순물 영역 ( 126 ) 과 중첩 되 는 영역 의 일부 를 제거 함 으로써 , 게이트 절연 층 ( 122 a ) 을 형성 한다 ( 도 19 d 참조 ) . 절연 층 ( 122 ) 의 제거 방법 으로서 , 웨트 에칭 또는 드라이 에칭 등 의 에칭 처리 를 이용 할 수 있 다 .