자기 변형 박막 의 정확 한 자기 변형 계수 ( magnetostrictive coefficient ) 측정 은 자기 변형 현상 을 응용 하 는 MEMS 작 동기 의 설계 에 있 어 매우 중요 하 다 . 자기 변형 계수 는 측정 하 고자 하 는 자기 변형 박막 이 증착 된 캔틸레버 의 횡 방향 변위 를 측정 함 으로써 측정 할 수 있 는데 이것 은 캔틸레버 의 횡 방향 변위 가 자기 변형 계수 에 선형 적 으로 의존 하 기 때문 이 다 . 최근 까지 캔틸레버 의 횡 방향 변위 를 자기 변형 계수 , 탄성 계수 , 포 와 송 비 등 의 함수 로 보다 정확 하 게 표현 하 려는 이론 적 인 연구 가 지속 적 으로 진행 되 어 왔 다 . 그러나 이러 한 대부분 의 연구 는 ‘ 자기 변형 박막 의 두께 가 기판 ( substrate ) 에 비해 훨씬 작 기 때문 에 자기 변형 박막 의 탄성 에너지 는 무시 할 수 있 다 ’ 고 가정 하 고 있 다 . 그러나 이러 한 가정 의 타당 성 은 지금 까지 전혀 검증 된 바 가 없 다 . 또한 Honda 등 에 의해 제작 된 Tb - Fe 박막 과 Sm - Fe film 박막 이 증착 된 캔틸레버 의 경우 역시 회전 자기장 을 인가 하 고 캔틸레버 의 횡 방향 변위 를 측정 하 였 지만 Honda 등 은 그 들 의 논문 에서 기판 및 자기 변형 재료 의 기계 적 물 성 을 보 고 하 지 않 았 다 . 따라서 자기 변형 재료 의 기계 적 물 성 을 파악 하 고 탄성 에너지 를 고려 한 정확 한 자기 변형 계수 를 구 할 수 있 는 새로운 방법 이 모색 되 어야 한다 .