단계 604 에서 , 전자 검출기 ( 예 를 들 어 , 전자 검출 디바이스 ( 244 ) ) 는 웨이퍼 에 의해 방출 되 거나 산란 된 이 차 또는 후방 산란 전자 ( 예 를 들 어 , 전자 빔 ( 236 , 238 및 240 ) ) 를 포함 하 는 하나 이상 의 전자 빔 을 검출 할 수 있 다 . 검출기 는 설정 주기 내 에서 전자 감지 요소 에 의해 받아들여진 복수 의 전자 에 기초 하 여 신호 를 생성 하 도록 구성 된 복수 의 전자 감지 요소 를 포함 할 수 있 다 .