본 명세서 에 기술 된 다양 한 실시 예 들 은 표면 온도 를 상온 으로부터 보다 고온 으로 상승 시킴 으로써 챔버 내 에서 입자 퍼포먼스 를 개선 하 기 위한 방식 들 을 제공 한다 . 일 실시 예 에서 , 표면 온도 가 약 150 ℃ 로 상승 될 때 최고 의 입자 퍼포먼스 를 보인다 . 일 실시 예 에서 , 내측 직경 , 스 페이서 의 경계 , 높이 , 측벽 의 조도 , 등 을 포함 하 여 , 스 페이서 의 기하학 적 구조 는 샤워 헤드 , 페데 스탈 과 스 페이서 사이 에 평활 한 플 라즈 마 프로파일 을 형성 하 는 중요 한 양태 들 이 다 . 평활 한 플 라즈 마 프로파일 은 기판 들 상 에 보다 적 은 에지 효과 , 스 페이서 의 측벽 상 에서 반응 라디칼 들 의 보다 적 은 재결합 , 샤워 헤드 , 스 페이서 및 페데 스탈 의 우수 한 온도 프로 파일 을 도입 할 것 이 다 . 가열 엘리먼트 ( 216 ) 의 기하학 적 구조 ( 예 를 들 어 , 튜브 형 코일 ) 는 가열 엘리먼트 ( 216 ) 와 스 페이서 ( 212 ) 의 메인 바디 ( 즉 , 벌크 ) 사이 의 열 전달 효율 성 을 상승 시키 도록 설계 된다 . 스 페이서 ( 212 ) 의 기하학 적 구조 는 최적 의 열적 및 기하학 적 조건 들 로 프로세싱 영역 을 유지 하 는 것 을 보조 하 여 , 증착 물 들 의 보다 적 은 응력 및 박리 를 유발 한다 .