반송 공정 ( 단계 S 75 ) 에서 는 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 에서 계산 한 어긋남 량 은 사용 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 어 긋 남량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 후 , 제 3 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 74 ) 전 에 , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 71 ) 에 있 어서 반송 어긋남 이 발생 하 고 있 을 우려 가 있 기 때문 이 다 . 단 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 에서 계산 한 어긋남 량 과 , 제 3 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 74 ) 에서 계산 한 어긋남 량 이 같 은 경우 에 는 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 에서 계산 한 어긋남 량 을 이용 하 더라도 좋 다 .