본 개시 의 일 양태 는 , 기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 이 며 , 상하 방향 으로 관통 하 는 관통 구멍 을 갖 고 , 상면 에 기판 이 적재 됨 과 함께 적재 된 당해 기판 의 가열 및 냉각 중 적어도 어느 한 쪽 을 행하 는 적 재 대 와 , 상기 관통 구멍 에 삽입 관통 되 는 삽입 관 통부 가 마련 되 고 , 당해 삽입 관 통부 가 상기 적 재 대 의 상면 으로부터 상기 관통 구멍 을 통해서 돌출 가능 하 게 구성 된 기판 지지 핀 과 , 상기 기판 지지 핀 을 지지 가능 하 게 구성 된 핀 지지 부재 를 구비 하 고 , 상기 기판 지지 핀 은 , 상기 적 재 대의 하 면 보다 하측 에 위치 하 는 플랜 지부 가 마련 되 고 , 상기 핀 지지 부재 는 , 상기 플랜 지부 와 의 걸림 결합 에 의해 상기 기판 지지 핀 을 지지 하 고 , 상기 적 재 대 의 상기 관통 구멍 은 , 상기 기판 지지 핀 의 상기 플랜 지부 보다 가늘 고 , 상기 기판 지지 핀 은 , 상기 플랜 지부 를 포함 하 는 제 1 부 재와 , 상기 제 1 부 재와 는 별체 이 며 또 한 상기 삽입 관 통부 를 포함 하 는 제 2 부재 를 갖 고 , 상기 제 1 부재 는 , 상기 제 2 부재 가 적재 되 어 당해 제 2 부재 를 미끄럼 이동 가능 하 게 지지 하 는 미끄럼 이동면 을 갖 는다 .