단계 S 23 에서 , 옵션 사항 으로 , 계측 장치 의 계측 레시피 및 교정 은 획득 되 는 측정 결과 에 비추 어 업데이트 된다 . 상기 의 도 5 및 도 6 의 논의 를 다시 참조 하 면 , 계측 레시피 는 가장 신뢰 가능 한 비대칭 성 측정 을 위해 회절 스펙트럼 의 어떤 부분 을 비교 할지 를 명시 할 수 도 있 을 것 이 다 . 레시피 는 , 예 를 들 면 , SXR 방사선 의 편광 을 제어 하 기 위해 , 레이저 방사선 전달 시스템 의 설정 을 또 한 명 시 할 수 도 있 다 .