정전 척 ( ESC ) 은 기판 지 지체 상 에 기판 을 정전기 적 으로 유지 하 기 위해 흔히 사용 된다 . 통상 적 으로 , ESC 는 하나 또는 그 초과 의 전극 들 이 그 내부 에 배치 된 세라믹 본체 를 포함 한다 . 본 발명자 들 은 , 통상 의 ESC 의 높 은 열 관성 ( 예컨대 , 낮 은 열 전달 률 ) 으로 인하 여 , ESC 의 가열 및 냉각 속도 들 이 실질 적 으로 제한 되 며 , 이 에 따라 , ESC 를 이용 한 처리 들 의 효율 을 제한 한다는 것 을 발견 하 였 다 .