고 에너지 선 으로서 자외선 을 사용 해도 좋 다 . 상기 자외선 의 방사선 파장 범위 는 190 ~ 400 nm 가 바람직 하 고 , 상기 기판 바로 위로 의 출력 은 0 . 1 ~ 2 , 000 mWcm - 2 이 바람직 하 다 . 상기 자외선 으로 의 노광 시 의 기판 온도 는 250 ~ 450 ℃ 가 바람직 하 고 , 250 ~ 400 ℃ 가 더욱 바람직 하 며 , 250 ~ 350 ℃ 가 특히 바람직 하 다 . 본 발명 의 중합물 의 산화 를 방지 하 는 관점 으로부터 , 상기 기판 주위 의 분위기 로서 , Ar , He 또는 질소 등 의 불활성 가스 의 분위기 가 바람직 하 다 . 이 때 압력 은 0 ~ 133 kPa 가 바람직 하 다 .