또한 , 상기 락킹 부 는 상부 락킹 부 및 상기 상부 락킹 부 와 상대 회전 에 의해 상호 체결 되 는 하부 락킹 부 를 포함 하 고 , 상기 상부 락킹 부 는 상기 프로브 카드 구조 체 하부 에 설치 되 는 상부 락킹 몸체 및 상기 상부 락킹 몸체 하부 에 형성 된 상부 락 커 를 포함 하 고 , 상기 하부 락킹 부 는 상기 외부 몸체 상부 에 설치 되 어 상기 외부 몸체 와 동시 에 회전 되 며 내측 에 상기 웨이퍼 척이 위치 하 는 하부 락킹 몸체 및 상기 상부 락킹 몸체 상부 에 형성 되 어 상기 상부 락 커 와 체결 및 해제 되 는 하부 락 커 를 포함 할 수 있 다 .