도 24 를 참조 하 면 , 비 교예 로서 의 레벤 손 형 마스크 는 , 개구부 에서 , 동 위상 개구부 및 반전 위상 개구부 의 설정 방법 이 상이 하 다 . 동 위상 개구부 ( 3 a ) 와 반전 위상 개구부 ( 3 b ) 가 쌍 으로 되 어 있 다 . 또한 , 동 위상 개구부 ( 3 c ) 와 반전 위상 개구부 ( 3 d ) 가 쌍 으로 되 어 있 다 . 비교 예의 레벤 손 형 마스크 에서 는 , 2 개 의 쌍 끼리 대향 하 는 개구부 가 , 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 에 설정 되 어 있 다 . 레지스 트 패턴 ( 13 ) 의 양측 에 대응 하 는 개구부 가 , 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 에 설정 되 어 있 다 .