또한 , 처 리조 에 공급 된 세정액 이 웨이퍼 에 골고루 분사 하 기 위해 웨이퍼 를 회전 하 기 위한 별도 의 구동 장치 를 설치 하 는 방법 이 제시 된 바 있 다 . 그러나 , 이러 한 방법 은 외부 에서 지지대 를 회전 시키 기 위한 구동 부분 과 처 리조 내부 에서 지지대 가 회전 하 기 위한 회전 부분 이 필요 하 며 , 처 리조 의 내부 와 외부 에 따로 설치 되 어 구조 가 복잡 하 다 . 또한 , 내부 에 설치 된 장치 는 처 리조 내부 로 공급 된 세정액 에 의해 손상 을 입 을 수 있 다 .