처 리원 으로서 플 라즈 마 표면 처리 용 플 라즈 마 소스 또는 식각 원 으로서 플 라즈 마 표면 처리 용 플 라즈 마 소스 가 사용 된 경우 에 도 분체 와 근접 배치 됨 으로 인하 여 처리 효율 을 향상 시킬 수 있 고 , 단축 된 플 라즈 마 플럼 ( plump ) 을 사용 하 더라도 분체 의 처리 가 가능 할 수 있 으므로 공정 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .