본 발명 에 있 어서 의 패 터닝 공정 은 지 지체 상 에 형성 된 감광성 수지 층 을 노광 및 현상 해서 패 터닝 한다 . 패 터닝 공정 의 구체 예 로서 는 일본 특허 공개 2006 - 64921 호 공보 의 단락 번호 [ 0071 ] ∼[ 0077 ] 에 기재 된 형성 예 나 , 일본 특허 공개 2006 - 23696 호 공보 의 단락 번호 [ 0040 ] ∼[ 0051 ] 에 기재 된 공정 등 이 본 발명 에 있 어서 도 적절 한 예 로서 들 수 있 다 .