본 명세서 에 기술 된 것 과 같 은 이종 의 중첩 인터 포저 는 하나 이상 의 공동 을 갖 는 인터 포저 를 포함 한다 . 이 들 공동 에 는 중첩 컴포넌트 가 배치 될 수 있 다 . 하나 이상 의 다이 가 상호 접속 부 에 의해 인터 포저 및 중첩 컴포넌트 에 연결 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 상호 접속 부 는 중첩 컴포넌트 의 패드 와 다 이 사이 그리고 인터 포저 의 패드 와 다 이 사이 에 위치 하 는 중간 패드 를 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 중간 패드 는 비아 에 의해 인터 포저 패드 및 중첩 컴포넌트 패드 에 연결 된다 . 다른 실시 예 에서 , 중간 패드 는 인터 포저 패드 및 중첩 컴포넌트 패드 에 직접 연결 된다 . 중간 패드 ( 및 일부 실시 예 에서 는 비아 ) 는 인터 포저 와 중첩 컴포넌트 사이 의 오 정렬 에 대한 오 정렬 보정 을 제공 한다 . 따라서 , 실시 예 들 은 미세 피치 의 상호 접속 이 사용 될 때 ( 예컨대 , 중첩 컴포넌트 가 두 다이 사이 의 브리지 인 경우 ) 에 도 높 은 수율 및 신뢰도 를 허용 한다 .