또한 , 식각 공정 은 고온 예컨대 , 100 ℃ ~ 500 ℃ 범위 의 온도 에서 실시 할 수 있 다 . 이때 , 식각 공정 을 고온 ( 100 ℃ ~ 500 ℃) 에서 진행 하 는 이유 는 , 자 유막 ( 42 A ) , 핀 드 막 ( 44 A ) 및 피닝 막 ( 45 A ) 을 구성 하 는 금속 화합물 의 끓는점 이 1000 ℃ 이상 으로 매우 높 기 때문 이 다 . 잘 알려진 바 와 같이 , 높 은 끓는점 을 갖 는 물질 을 식각 하 는 과정 에서 발생 된 식각 부산물 은 휘발 성 이 낮 은데 , 고온 ( 100 ℃ ~ 500 ℃) 에서 식각 공 정 을 진행 함 으로써 , 식각 부산물 의 휘발 성 을 증가 시킬 수 있 다 .