상기 제 1 저유 전막 ( 214 ) 을 형성 하 기 위한 SOD 방식 은 무기 및 유기 SOG ( Spin - On Glass ) 계열 , 또는 , 유기 폴리머 계열 의 저유 전체 를 사용 하 여 수행 하 며 , 상기 저유 전체 로서 SiLK , T - 22 , FOX , Type - 12 , HSG - R 7 , Type - 9 , T - 18 , HOSP , FLARE , Cyclotone , Velox , Alcap , PQ - 600 및 PQ - 100 중 선택 된 적어도 하나 이상 의 물질 을 사용 한다 .