도 8 및 도 11 에 도시 한 실시 예 에서 는 마지막 스테이지 ( SRn ) 와 마지막 화 소행 ( PXrn ) 을 연결 하 는 게이트 선 ( Gn ) 은 행 방향 에 평행 하 게 뻗 을 수 있 고 , 마지막 게이트 선 ( Gn ) 나머지 게이트 선 ( G 1 - G ( n - 1 ) ) 은 행 방향 과 점차 적 으로 큰 각 을 이루 며 비스듬 하 게 뻗 을 수 있 다 . 이 에 따라 위쪽 으로 갈수록 게이트 선 ( G 1 - Gn ) 의 팬 아웃 부 ( FO ) 에서 의 길이 는 점차 길 어 질 수 있 다 .