본 조성물 에 있 어서 , 감광성 디아조 나프 토 퀴논 화합물 에서 의 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐기 로 는 , 5 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐기 또는 4 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐기 모두 바람직 하 게 사용 된다 . 4 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 은 , 수은 등 의 i 선 영역 에 흡수 를 가지 고 있 어 , i 선 노광 에 적절 하 다 . 5 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 은 , 수은 등 의 g 선 영역 까지 흡수 가 신장 되 어 있 어 , g 선 노광 에 적절 하 다 . 본 발명 에서 는 , 노광 되 는 파장 에 의해 4 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 , 5 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 을 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또 , 동일 분자 중 에 4 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐기 , 5 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐기 를 병용 한 , 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 을 얻 을 수 도 있 고 , 4 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 과 5 - 나프 토 퀴논 디 아지드 술포닐 에스테르 화합물 을 혼합 하 여 사용 할 수 도 있 다 .