도 11 은 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 좌측면 도 이 다 . 3 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 각각 , 24 개 의 열처리 부 ( 37 ) 를 구비 하 는 것 이 가능 하 다 . 이 경우 , 24 개 의 열처리 부 ( 37 ) 는 , 4 단 × 6 열 로 배치 하 는 것 이 가능 하 다 . 마찬가지 로 , 3 개 의 처리 층 ( B 1 ~ B 3 ) 은 각각 , 24 개 의 열처리 부 ( 37 ) 를 구비 하 는 것 이 가능 하 다 . 이 경우 , 24 개 의 열처리 부 ( 37 ) 는 , 4 단 × 6 열 로 배치 하 는 것 이 가능 하 다 .