스텝 S 102 에서 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 케미컬 에칭 의 일례 인 COR 처리 를 실행 한다 . 또한 , 케미컬 에칭 은 , 플라스마 를 사용 하 지 않 는 반응 성 가스 에 의한 에칭 이 며 , 등방 적 인 에칭 이 다 . 이 때문 에 , 복잡 한 형상 을 갖 는 트렌치 ( 403 ) 저부 의 자연 산화 막 ( 404 ) 을 제거 할 수 있 다 . 케미컬 에칭 으로서 는 , 케미컬 가스 로서 NH 3 가스 와 HF 가스 를 사용 하 는 COR 처리 가 적합 하 다 .