상기 질소 어닐링 공정 에 있 어서 , 대 상체 ( 380 ) 가 로딩 된 상기 공정 챔버 를 상대 적 으로 높 은 제 2 온도 및 상대 적 으로 높 은 제 2 압력 으로 유지 시킨 후 , 질소 를 포함 하 는 제 2 반응 가스 를 산화 막 ( 385 ) 이 형성 된 대 상체 ( 380 ) 상 으로 제공 한다 . 상기 제 2 온도 는 약 800 ∼ 1 , 000 ℃ 정도 가 될 수 있 으며 , 상기 제 2 압력 은 5 ∼ 15 Torr 정도 가 될 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 열 질화 공정 은 약 900 ℃ 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 2 온도 및 약 10 Torr 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 2 압력 하 에서 진행 될 수 있 다 . 또한 , 질소 를 포함 하 는 상기 제 2 반응 가스 는 약 5 분 ∼ 20 분 동안 산화 막 ( 385 ) 상 으로 제공 될 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 약 10 분 동안 산화 막 ( 385 ) 상 으로 공급 될 수 있 다 .