[ 0085 ] 몇몇 실시 예 들 에서 , 하나 또는 그 초과 의 추가 적 인 능동 자기 엘리먼트 들 ( 513 ') 은 기판 캐리어 제어기 ( 530 ) 에 의해 제어 될 수 있 다 . 추가 적 인 능동 자기 엘리먼트 들 ( 513 ') 은 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 123 ) 와 상호 작용 한다 . 예컨대 , 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 123 ) 는 , 도 5 a 의 수평 화살표 에 의해 예시 적 으로 표시 되 는 바 와 같 은 구동력 을 생성 하 기 위해 , 교번 하 는 영구 자석 들 의 세트 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 구동력 을 제공 하 기 위해 동시 적 으로 제어 되 는 추가 적 인 능동 자기 엘리먼트 들 ( 513 ') 의 개수 는 1 내지 3 또는 그 초과 일 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 포지션 에서 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 능동 자기 엘리먼트 들 의 제 1 그룹 아래 에 포지셔닝 되 고 , 추가 적 인 상이 한 포지션 에서 , 기판 은 능동 자기 엘리먼트 들 의 추가 적 인 상이 한 그룹 아래 에 포지셔닝 된다 . 전형 적 으로 , 기판 캐리어 제어기 ( 530 ) 는 , 어느 능동 자기 엘리먼트 들 이 , 각각 의 포지션 에 대해 공중 부양력 을 제공 하 는지 를 제어 하 도록 구성 된다 . 예컨대 , 공중 부양력 은 , 기판 캐리어 ( 120 ) 가 이동 하 는 동안 , 후속 하 는 능동 자기 엘리먼트 들 에 의해 제공 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 능동 자기 엘리먼트 들 의 하나 의 세트 로부터 , 능동 자기 엘리먼트 들 의 다른 세트 로 인계 될 ( handed over ) 수 있 다 .