그리고 , CMP 시 상기 고분자 화합물 을 중화 및 활성 화 시키 기 위하 여 포타슘 하이드 록 사이드 ( Potassium Hydroxide ) , 암모늄 하이드 록 사이드 ( Ammonium Hydroxide ) , 모노 에탄올 아민 ( Monoethanol Amine ) , 디 에 탄 올 아민 ( Diethanol Amine ) , 트리 에 탄 올 아민 ( Triethanol Amine ) 중 어느 하나 또는 상기 물질 을 혼합 한 물질 을 더 첨가 할 수 있 다 .