상기 와 같 은 가스 를 제조 하 는 공정 은 1 에 도시 된 바 와 같이 , 외부 공기 를 흡입 하 여 분진 과 같 은 입자 를 여과 시켜 주 는 공기 흡입 탑 ( 100 ) 과 여과 된 공기 를 압축 하 여 가능 한 많 은 질량 유량 으로 통과 시키 는 압축기 ( 110 ) 및 수세 냉각탑 ( 120 ) , 정제 열 교환기 ( 130 ) , 공기 분리 조 ( 140 ) 를 통하 여 최종 제품 인 가스 ( 150 ) 가 생산 되 는 것 이 다 .