에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 은 , 도 4 및 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 상부 에 개구 ( 22 a ) 를 갖 고 있 다 . 개구 ( 22 a ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 직경 보다 크 고 , 다리 ( 8 ) 를 통하 여 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 걸 어 맞춤 가능 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 에칭 유닛 ( 21 ) 에서 는 , 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 의 개구 ( 22 a ) 에 , 고정구 ( 9 ) 를 갖 는 다리 ( 8 ) 를 통하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 고 있 는 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 가 걸 어 맞춰진다 .