이어서 , 하드 마스크 막 ( 23 ) 상 에 감광막 ( Photoresist ) 을 도포 하 고 노광 및 현상 으로 패 터닝 하 여 콘 택 마스크 ( Contact Mask , 24 ) 를 형성 한다 . 이때 , 콘 택 마스크 ( 24 ) 은 일정 선폭 의 개구 ( 24 A ) 을 갖 는데 , 이 개구 는 콘 택 홀 을 정의 하 기 위한 것 이 다 . 그리고 , 개구 ( 24 A ) 의 DICD 는 후술 하 겠 지만 , 습식 케미컬 을 이용한 바텀 선폭 확장 과정 이 진행 되 므로 , 작 은 DICD 를 가져도 된다 .