제 1 절 연막 이 형성 된 기판 상 에 폴리 실리콘 ( 230 ) 을 형성 한다 ( 도 11 ) . 폴리 실리콘 의 일정 영역 에 불순물 을 주입 하 여 마이크 로 히터 ( 241 ) 를 형성 하 고 , 전원 전극 ( 251 ) 과 온도 측정 전극 ( 252 ) 을 형성 한다 ( 도 12 ) . 그리고 마이크 로 히터 ( 241 ) 를 덮 는 제 2 절 연막 ( 260 ) 을 형성 한 ( 도 13 ) 후 , 감지 물질 ( 270 ) 을 형성 한다 ( 도 14 ) . 다음 으로 감지 물질 ( 270 ) 을 가로질러 감지 전극 ( 280 ) 을 형성 하 고 , 마지막 으로 기판 뒷면 을 식각 하 여 캐 비티 ( 243 ) 를 형성 하 면 , 마이크 로 히터 가 포함 된 폴리 실리콘 멤 브레인 ( 242 , 도 10 참조 ) 을 포함 하 는 마이크 로 가스 센서 가 완성 된다 ( 도 15 ) .