본 발명 은 MEMS 가속 도 센서 에 관한 것 으로서 , 특히 유체 의 열대류 를 이용 하 여 가속도 를 측정 하 기 위한 것 으로서 , 기판 ; 상기 기판 상 에 배치 되 며 , 인가 되 는 전류 에 의해 발열 하 는 발열체 ; 상기 기판 상 에 상기 발열체 와 이웃 하 게 배치 되 며 , 상기 유체 의 온도 를 측정 하 기 위한 열전쌍 ; 상기 기판 에 마련 되 며 , 상기 열전쌍 및 발열체 의 하부 로 유체 를 통과 시킬 수 있 는 공동 ; 및 유체 와 접촉 하 는 면적 이 넓 어 지 도록 , 상면 과 , 상기 상면 으로부터 함몰 되 게 형성 되 며 그 상면 전체 에 걸쳐 배열 되 는 다수 의 세공 ( pore ) 을 가지 며 , 상기 발열체 의 상측 에 형성 되 는 나노 구 조체 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 MEMS 가속 도 센서 에 관한 것 이 다 .