한편 , 도 6 에 나타낸 그래프 에 있 어서 의 , Defocus =- 90 ㎛∼- 120 ㎛ 의 제 2 범위 만 [ 웨이퍼 ( 1 ) 의 깊 은 위치 만 ] 에 관한 상기 ( 2 ) 식 은 , 도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , 이 하의 ( 2 c ) 식 과 같이 되 고 , 정수 ( a ) 및 정수 ( b ) 는 , 각각 , a =- 4 . 1372 및 b = 42 . 902 이 다 .