본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 방향 은 기판 이 상기 로드 락 챔버 에 놓여졌 을 때 기판 의 노치 가 상기 제 1 처리 유닛 에 구비 되 는 로봇 암 을 향하 는 방향 이 고 , 상기 제 2 방향 은 기판 이 상기 로드 락 챔버 에 놓여졌 을 때 기판 의 노치 가 상기 제 1 처리 유닛 에 구비 되 는 로봇 암 과 반대 되 는 방향 이 다 .