여기 서 , 상기 소스 가스 배기 라인 은 상기 소스 가스 영역 과 상기 제 1 퍼지 가스 영역 사이 의 경계 및 상기 소스 가스 영역 과 상기 제 2 퍼지 가스 영역 사이 의 경계 를 걸쳐서 형성 되 고 , 상기 반응 가스 배기 라인 은 상기 반응 가스 영역 과 상기 제 1 퍼지 가스 영역 사이 의 경계 및 상기 반응 가스 영역 과 상기 제 2 퍼지 가스 영역 사이 의 경계 를 걸쳐서 형성 되 는 것 이 바람직 하 다