한편 , 상기 제어 모드 5 의 경우 , 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 은 제 2 가스 ( G 2 ) 를 분사 하 지 않 고 , 제 1 가스 ( G 1 ) 만 을 활성 화 시켜 분사 하 므로 제 1 가스 ( G 1 ) 만 을 활성 화 시켜 분사 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 은 , 도 7 또는 도 8 에 도시 된 구성 에서 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 없이 구성 되 거나 , 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 에 제 1 가스 ( G 1 ) 가 공급 되 도록 구성 될 수 있 다 .