본 개시 내용 은 일반 적 으로 전자 디바이스 에 관한 것 으로서 , 특정 실시 예 들 에서 , MEMS 트랜스 듀 서 및 MEMS 트랜스 듀 서 를 동작 하 기 위한 방법 에 관한 것 이 다 . MEMS 트랜스 듀 서 는 에너지 를 하나 의 형태 로부터 다른 형태 로 변환 한다 . MEMS 트랜스 듀 서 들 , 특히 , 차동 ( differential ) MEMS 트랜스 듀 서 들 의 일반 적 인 예 들 은 마이크로폰 들 , 확성기 들 , 위치 및 압력 센서 들 을 포함 한다 . 약어 MEMS 는 Micro - Electro - Mechanical System 의 약칭 이 다 .