챔버 ( 100 ) 는 챔버 바디 ( 110 ) 와 유전체 커버 ( 120 ) 를 포함 한다 . 챔버 바디 ( 110 ) 는 상면 이 개방 되 고 , 내부 에 공간 이 형성 된다 . 챔버 바디 ( 110 ) 의 바닥 벽 에 는 배기 홀 ( 113 ) 이 형성 된다 . 배기 홀 ( 113 ) 은 배기 라인 ( 117 ) 과 연결 되 며 , 챔버 바디 ( 110 ) 내부 에 머무르 는 가스 와 공정 과정 에서 발생 한 반응 부산물 이 외부 로 배출 되 는 통로 를 제공 한다 . 배기 홀 ( 113 ) 은 챔버 바디 ( 110 ) 의 바닥 벽 가장자리 영역 에 복수 개 형성 될 수 있 다 .