[ 0044 ] 일부 구현 들 에서 , 가열기 ( 314 ) 는 그 가열기 ( 314 ) 의 외측 주변 부 상 에 배치 된 선택 적 인 포커스 링 ( focus ring ) ( 338 ) 을 지지 할 수 있 다 . 포커스 링 ( 338 ) 은 프로세싱 동안 기판 ( 308 ) 을 에워싼다 . 일 예 에서 , 포커스 링 ( 338 ) 은 석영 으로 제작 된다 .