다음 에 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에 있 어서 에칭 을 실행 하 는 경우 에 는 , 우선 게이트 밸브 ( 52 ) 및 밸브 체 ( 81 ) 를 개방 한 상태 로 하 여 가공 대상 의 웨이퍼 ( W ) 를 챔버 ( 10 ) 내 에 반입 하 고 , 서 셉 터 ( 13 ) 상 에 탑재 한다 . 그리고 , 처리 가스 공급원 ( 38 ) 으로부터 처리 가스 , 예 를 들 면 C 4 F 8 가스 및 아르곤 ( Ar ) 가스 의 혼합 가스 를 소정 의 유량 및 유량 비 로 중심 버퍼 실 ( 35 ) 및 주변 버퍼 실 ( 36 ) 에 도입 한다 . 또한 , APC 밸브 ( 48 ) 및 TMP ( 49 ) 에 의해 챔버 ( 10 ) 내 의 플 라즈 마 생 성 공간 ( S ) 의 압력 을 에칭 에 적절 한 값 , 예 를 들 면 수 m Torr 내지 1 Torr 의 범위 내 중 어느 하나 의 값 으로 설정 한다 .