이어서 , 도 3 d 에 도시 된 바 와 같이 , SAC 2 ( 215 ) 를 포함 하 는 기판 ( 200 ) 상 에 ILD 2 ( 216 ) 을 증착 한다 . 이때 , ILD 2 ( 216 ) 은 ILD 1 ( 214 A ) 과 동일 한 물질 로 형성 하 거나 , BPSG 막 , PSG 막 , USG 막 , TEOS 막 , SOG 막 , CDO 막 및 HDP 막 중 어느 하나 의 막 으로 형성 한다 .