도 1 b 를 참조 하 면 , 상기 제 1 감광막 패턴 ( 24 ) 을 마스크 로 상기 반사 방지 막 ( 22 ) , 상기 제 3 하드 마스크 층 ( 20 ) 및 상기 제 2 하드 마스크 층 ( 18 ) 을 식각 하 여 반사 방지 막 패턴 ( 미 도시 ) , 제 3 하드 마스크 층 패턴 ( 20 a ) , 제 2 하드 마스크 층 패턴 ( 18 a ) 을 형성 한다 .