기판 ( 51 ) 을 가열 하 는 온도 는 , 기판 ( 51 ) 에 흡착 또는 함유 되 는 수소 를 탈리 시킬 수 있 는 온도 가 바람직 하 다 . 대표 적 으로 는 100 ℃ 이상 기판 의 변형 점 미만 이 다 . 또한 , 기판 ( 51 ) 을 가열 할 때 수소 함유량 이 낮 은 분위기 에서 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 바람직 하 게 는 1 × 10 - 4 Pa 이하 의 고진공 중 에서 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 결과 , 기판 표면 에 흡착 되 는 수소 , 수소 분자 , 물 , 수산기 , 또는 수소화물 등 을 저감 할 수 있 다 .