어댑터 ( 96 ) 를 분리 했 을 경우 , 작업자 는 , 핸들 ( H 1 ) 을 , 분리 시 와 반 대로 회전 시켜서 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 및 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 을 당초 의 위치 로 이동 시킨다 . 도 13 a 및 도 13 b 는 어댑터 를 분리 한 상태 를 도시 하고 있 다 . 도 13 a 는 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 13 b 는 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 13 b 는 도 13 a 의 파선 A - A 를 도 13 a 의 하측 으로부터 투영 한 단면도 이 다 . 분리 된 어댑터 ( 96 ) 는 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 에 보 지 되 어 , 우측 으로 이동 하 고 있 다 .