HDAM 은 다양 한 목적 을 위하 여 사용 될 수 있 다 . 예 시 적 인 사용 은 패 터닝 공정 의 제어 에 대한 입력 으로서 의 사용 이 다 . 예 를 들 어 , HDAM 은 리소그래피 장치 의 패턴 전사 의 제어 에 대한 입력 일 수 있 다 . 그 점 에 있 어서 , 이 는 리소그래피 장치 내 에서 의 보정 을 결정 하 기 위해 사용 되 는 필드 간 및 / 또는 필드 내 기판 정렬 모델 에 대한 입력 으로서 사용 될 수 있 다 . 조합 된 치밀 정렬 기판 맵 은 필드 간 및 필드 내 레벨 모두 에서 치밀 계측 정보 를 제공 하 며 , 따라서 정렬 데이터 가 단독 으로 사용 되 는 경우 보다 제어 루프 의 일부 로서 고차 기판 정렬 모델 의 사용 을 지원 할 수 있 다 .