반송 부 ( 86 ) 는 , 두께 측 정부 ( 10 ) 로 두께 ( 210 ) 및 웨이퍼 직경 을 측정 하 고 , 중심 위치 맞춤 및 방향 위치 맞춤 을 실시 한 웨이퍼 ( 200 ) 를 임시 배치 테이블 ( 11 ) 로부터 유지 부 ( 20 ) 에 반송 하 는 것 과 함께 , 표면 ( 201 ) 에 수지 ( 302 ) 를 피복 한 웨이퍼 ( 200 ) 를 유지 부 ( 20 ) 로부터 잉여 부분 제 거부 ( 110 ) 에 반송 한다 .