회전 기구 ( 50 ) 는 , 구동 부 ( 51 ) 와 , 회전축 ( 52 ) 과 , 기대 ( 53 ) 를 구비 한다 . 회전 기구 ( 50 ) 는 , 구동 부 ( 51 ) 에 의해 회전축 ( 52 ) 및 기대 ( 53 ) 를 중심축 C 1 주위 로 회전 시킴 으로써 , 보유 지지 부 ( 41 ) 를 중심축 C 1 주위 로 회전 시킨다 . 회전 기구 ( 50 ) 는 , 보유 지지 부 ( 41 ) 의 회전 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 중심축 C 1 주위 로 회전 시킨다 . 구동 부 ( 51 ) 는 , 예 를 들 어 모터 이 다 .