함침 된 고체 500 g 을 인코넬 로 만들 어 진 관상 반응기 에 넣 는다 . 우선 , 저온 에서 및 이 후 320 ℃ 까지 의 온도 에서 , 질소 가 유입 되 는 동안 상기 촉매 를 건조 시킨다 . 이어서 , 불화 수소산 / 질소 혼합물 ( 질소 중 상기 산 이 5 내지 10 부피 % 인 농도 ) 의 존재 하 , 320 ℃ 및 이 후 390 ℃ 이하 에서 상기 촉매 를 불소 화 한다 . 그리고 나 서 HF 공급 을 중단 한다 . 390 ℃ 에서 15 분 동안 질소 의 공급 을 유지 시키 고 , 이어서 질소 가 유입 되 는 동안 촉매 를 60 ℃ 로 냉각 한다 .