이때 , 상기 무기 반사 방지 막 은 , 상기 한 O 2 플 라즈 마 가스 를 이용 한 애 싱 공정 에서 쉽 게 제거 되 지 않 기 때문 에 , 상기 유전 막 ( 203 ) 표면 에 잔류 하 여 , 상기 애 싱 공정 에 의해 상기 유전 막 ( 203 ) 의 표면 이 손상 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 그리고 , 상기 무기 반사 방지 막 은 , 난반사 를 방지 하 여 정확 한 MIM 캐 패 시터 의 패턴 을 얻 을 수 있 게 한다 .