US 3429080 호 에 는 결정질 Si 막 의 제거율 을 신장 시키 기 위해 산화제 를 사용 하 는 것 이 기재 되 어 있 다 . US 2013109182 호 에 는 질화규소 에 비해 높 은 속도 로 폴리 - Si 막 을 폴리 싱하 기 위한 다이 4 차 양이온 ( diquaternary cation ) 을 포함 하 는 조성물 이 기재 되 어 있 다 . US 6533832 호 에 는 알코올 아민 화합물 을 사용 하 여 폴리 - Si 폴리 싱에 대한 증가 된 선택 성 이 기술 되 어 있 다 . US 7585340 호 에 는 다른 막 에 비해 높 은 폴리 Si 제거율 을 산출 하 는 폴리에테르 아민 화합물 을 포함 하 는 조성물 이 기재 되 어 있 다 .