기울임 플레이트 ( 94 ) 는 기울임 샤프트 ( 100 ) 에 고정 된다 . 그 결과 , 기울임 샤프트 ( 100 ) 의 회전 은 선형 안 내부 ( 95 ) 를 거쳐 기울임 플레이트 ( 94 ) 에 커플링 된 진동 플레이트 ( 93 ) 의 회전 을 유발 하 여 , 진동 플레이트 ( 93 ) 에 고정 된 연마 헤드 ( 90 ) 의 회전 을 유발 한다 . 모터 ( M 8 ) 는 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 소정 각도 를 회전 하 도록 제어 된다 . 따라서 , 모터 ( M 8 ) 가 통전 되 면 , 도 15 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 연마 테이프 ( 75 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 의 접촉 위치 주위 를 소정 각도 회전 한다 [ 즉 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 기울어진다 ) . 이 실시 예 에서 , 기울임 기구 는 풀리 ( p 11 , p 12 ) , 벨트 ( b 6 ) , 모터 ( M 8 ) , 기울임 샤프트 ( 100 ) , 기울임 플레이트 ( 94 ) 및 다른 요소 로 구성 된다 .