도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 글래스 기판 용 외관 검사 장치 는 격자 형태 의 후 면판 ( 300 ) 과 구동 간섭계 ( 400 ) 를 통해 구현 되 는 홀로그램 ( hologram ) 광과 편광 특성 을 이용 하 여 , 패턴 의 중첩 얼룩 ( 조개 얼룩 ) 또는 두께 차 에 의해 발생 하 는 무라 ( mura ) 를 용이 하 게 검출 한다 .