도 1 을 참조 하 면 , 베 이크 챔버 ( 1 ) 에 는 베 이크 공정 시 기판 ( S ) 상 에 도포 된 감광액 ( photoresist ) 을 가열 하 는 과정 에서 흄 ( fume ) 등 의 부산물 들 을 포함 하 는 배기 가스 가 발생 되 며 , 이러 한 배기 가스 는 베 이크 챔버 ( 1 ) 상부 에 설치 된 배기관 ( 2 ) 을 통해 배기 된다 .