상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 은 상기 건조 모듈 ( 250 ) 에 의해 건조 된 후 상기 검사 모듈 ( 200 ) 로 이송 될 수 있 다 . 이때 , 상기 검사 모듈 ( 200 ) 은 상기 이송 테이블 ( 210 ) 상 의 반도체 패키지 들 ( 20 ) 을 건조 하 기 위한 에어 나이프 들 ( 230 ) 과 적외선 조명 유닛 들 ( 222 ) 을 구비 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 건조 모듈 ( 250 ) 에 의한 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 건조 상태 가 다소 불량 한 경우 라도 상기 에어 나이프 들 ( 230 ) 과 상기 적외선 조명 유닛 들 ( 222 ) 에 의해 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 이 충분히 건조 될 수 있 으므로 , 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 건조 불량 에 의해 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 검사 오류 가 발생 되 는 문제점 이 해결 될 수 있 다 .