또한 , 결함 빔 의 검출 수법 은 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 면 , 멀티 빔 ( 20 ) 중 , 결함 빔 이 어느 것 인지 식별 가능 하 게 정의 된 정보 를 별도 로 , 묘화 장치 ( 100 ) 가 외부 로부터 입력 하 여 , 기억 장치 ( 144 ) 에 저장 해도 된다 . 혹은 , 빔 을 조사 하 지 않 고 , 평가 데이터 를 각 빔 의 로직 회로 ( 41 ) 로 전송 하 고 , 전송 한 데이터 를 회수 하 고 , 이 데이터 를 설계 값 과 비교 하 여 , 상이 하 면 결함 빔 이 라고 판정 해도 된다 .