도 15 에 , 본 발명 을 파인 메탈 마스크 에 적용 한 경우 의 실시 예 를 나타낸다 . 파인 메탈 마스크 ( FM ) 를 흡착 하 는 자기 흡착 척 ( 307 a ) 은 영구 자석 의 자극 간 의 거리 를 두 고 , 평균 흡착 력 밀도 가 상승 한 만큼 , 영구 자석 의 사용량 을 줄이 고 있 다 . 나아가 , 틈 ( 3072 ) 을 마련 함 으로써 자기 흡착 척 ( 307 a ) 의 경량 화 를 행하 고 있 다 . 또한 , 도 12 를 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 , 흡인력 이 저하 되 는 T 자 교차 부 의 중심 , 및 , 코너 교차 부 의 중심 의 영구 자석 ( 도 15 의 실시 예 에서 는 모든 S 극 ) 을 크 게 함 으로써 , 흡인력 밀도 를 균일 하 게 하 고 있 다 .