반도체 , 액정 패널 , LED 등 을 제조 하 기 위한 제조 장치 내 의 작동 프로세스 및 제조 장치 에 공급 된 가스 의 종류 및 가스 의 유량 을 배기 시스템 의 제어기 내 에 입력 함 으로써 최적 작동 조건 하 에서 진공 펌프 , 배기 가스 처리 장치 , 희석 용 N 2 유닛 등 을 작동 할 수 있 고 , 배기 시스템 측 에서 장치 의 유지 보수 요구 를 제조 장치 측 에 출력 함 으로써 적절 한 시간 에 배기 시스템 의 장치 를 유지 보수 할 수 있 는 배기 시스템 을 제공 하 는 것 이 다 .