여기 서 , 상기 PDMS 용액 과 경화제 를 10 : 1 비율 로 혼합 되 며 , 혼합 시 발생 되 는 버블 ( Bubble ) 제거 를 위해서 는 진공 펌프 ( Vacuum Pump ) 를 사용 하 여 제거 한다 . 또한 , 상기 Glass 위 에 PDMS 용액 을 스핀 코팅 처리 하 기 위해서 는 스핀 코터 ( Spin Coater ) 를 사용 하 여 1 , 000 rpm ~ 3 , 000 rpm 으로 30 sec 동안 코팅 을 실시 한다 . 또한 , 상기 스핀 코팅 한 후 상기 유리 기판 ( Glass Substrate , 100 ) 위 에 PDMS ( 200 ) 가 잘 접합 되 도록 하 기 위해서 는 상온 에서 는 하루 동안 유지 하 여 양생 시키 며 , UV ( Ultraviolet ) 자외선 을 사용 할 경우 에 는 10 [ mJ / ㎤] 에서 10 분 동안 조사 하 여 양생 시키 고 , 핫플레이트 ( Hotplat ) 를 사용 할 경우 에 는 80 ˚ C / 30 min , 110 ˚ C / 20 min , 150 ˚ C / 10 min 동안 유지 하 여 양생 시킨다 . 이러 한 양생 공정 을 추가 로 실시 하 는 이유 는 후술 되 는 폴리 이미드 ( PI - 2545 , 300 ) 를 상기 폴 리디 메틸 실록 산 ( PDMS , 200 ) 상 에 용이 하 게 스핀 코팅 이 이루어지 도록 하 는 특징 이 있 다 .