그러나 , 종래 기술 은 하드 마스크 로 사용 되 는 하드 마스크 폴리 실리콘 ( 13 ) 의 증착 온도 가 500 ℃ 이상 에서 증착 하 는 고온 공정 이 므로 , 하드 마스크 폴리 실리콘 ( 13 ) 증착 시 알루미늄 막 ( 11 ) 이 녹 는 문제 가 발생 하 여 , 미세 선폭 ( 50 nm 이하 의 라인 선폭 ) 의 알루미늄 패턴 을 형성 하 기 가 어렵 다 .