도 14 에 나타낸 제작 방법 과 도 15 에 나타낸 제작 방법 에서 는 , 산화물 반도체 층 ( 144 ) 과 전극 ( 142 a ) 및 전극 ( 142 b ) 의 제작 방법 이 다르 다 . 도 15 에 나타낸 제작 방법 에 있 어서 , 산화물 반도체 층 ( 144 ) 과 전극 ( 142 a ) 및 전극 ( 142 b ) 의 제작 방법 이외 의 제작 방법 은 도 14 에 나타낸 제작 방법 과 동일 하 기 때문 에 설명 은 생략 한다 .