본 실시 형태 에서 는 , 웰 주입 으로서 , P ( 인 이온 ) 를 , 200 kev ∼ 900 kev 의 가속 전압 하 , 5 . 0 ×lO 12 ㎝- 2 ∼ 1 . 0 × 1014 ㎝- 2 의 도우즈 량 으로 이온 주입 한다 . 계속 해서 , 채널 주입 으로서 , P ( 인 이온 ) 또는 As ( 비소 이온 ) 를 , 20 kev ∼ 200 kev 의 가속 전압 하 , 1 . 0 × 1011 ㎝- 2 ∼ 1 . 0 × 1014 ㎝- 2 의 도우즈 량 으로 주입 한다 .