가스 체로 충 진 되 는 것 이 아니 라 , 공동 의 내부 가 진공 으로 만들 어 질 수 있 다 . 공동 내부 를 진공 으로 만들 기 위해 , 예 를 들 어 진공 어닐링 에 의해 매설 층 의 재 유동 이 수행 된다 . 이 경우 에 , 어닐링 을 수행 하 기 전 에 공동 이 형성 되 지 않 는 기술 이 사용 되 고 , 매설 층 은 그 형상 이 어느 정도 후드 형상 으로 형성 되 도록 증착 된다 . 이 기술 을 사용 하 여 매설 층 을 연화 시켜 공동 을 형성 함 으로써 , 내부 가 진공 인 공동 을 제공 할 수 있 다 .