수취 공정 ( 단계 S 41 ) , 후퇴 공정 ( 단계 S 42 ) , 검출 공정 ( 단계 S 43 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 44 ) , 판정 공정 ( 단계 S 45 ) , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 46 ) , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 47 ) 및 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 48 ) 은 , 각각 제 2 실시 형태 에 있 어서 의 수취 공정 ( 단계 S 21 ) , 후퇴 공정 ( 단계 S 22 ) , 검출 공정 ( 단계 S 23 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 24 ) , 판정 공정 ( 단계 S 25 ) , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 26 ) , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 27 ) 및 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 28 ) 과 같 은 식 으로 할 수 있 다 .