이 에 따라 , 각 제 1 게이트 전극 들 ( 292 ) 에 포함 된 제 1 게이트 도전 패턴 ( 292 a ) 의 측벽 , 제 1 게이트 도전 패턴 ( 292 a ) 의 상하 면 및 일부 측벽 을 커버 하 는 제 1 게이트 배리 어 패턴 ( 292 b ) 의 측벽 , 및 제 1 게이트 배리 어 패턴 ( 292 b ) 의 상하 면 및 일부 측벽 을 커버 하 는 제 2 블로킹 패턴 ( 285 ) 의 측벽 이 제 2 개 구 ( 320 ) 를 통해 노출 될 수 있 으며 , 제 2 개 구 ( 320 ) 에 의해 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 은 상기 제 2 방향 으로 분리 될 수 있 다 .