지환 식기 는 단 환식 또는 다환식 이 어도 좋 다 . 지환 식기 는 시클 로 펜틸기 , 시클 로 헥 실기 또는 시클 로 옥 틸 기 와 같 은 단환 의 시 클로 알킬기 , 또는 노르 보르 닐 기 , 트리시 클로 데카 닐 기 , 테트라 시클 로 데카 닐 기 , 테트라 시클 로 도 데카 닐 기 또는 아 다만 틸 기 와 같 은 다 환 의 시 클로 알킬기 가 바람직 하 다 . 그 중 에서 도 탄소 원자 수 7 개 이상 의 벌키 구조 를 가진 지환 식기 , 즉 노르 보르 닐 기 , 트리시 클로 데카 닐 기 , 테트라 시클 로 데카 닐 기 , 테트라 시클 로 도 데카 닐 기 및 아 다만 틸 기 가 노광 후 베이 킹 ( PEB ) 단계 에서 의 막중 확산 성 을 억제 해서 마스크 에러 증가 요소 ( MEEF ) 를 향상 시킨다는 관점 에서 바람직 하 다 .