본 개시 물 을 검토 해 보 면 다양 한 예시 적 인 실시 예 에 따른 전술 한 방법 이 종래 의 주입 방법 에 비해 다양 한 장점 을 제공 한다는 점 을 이해 할 것 이 다 . 예컨대 , 본 명세서 에서 설명 한 방법 은 보다 효율 적 이 고 보다 덜 노동 집약 적 인 복수 의 주 입종 의 주입 을 제공 하 는데 , 그 이유 는 주입 단계 들 사이 에 이온 소스 를 정지 시키 고 , 배기 하 며 , 재 시작 할 필요 가 없 기 때문 이 다 . 본 명세서 에서 설명 한 다양 한 도 펀트 종 의 주입 은 붕소 가 주입 되 는 기판 에서 의 바람직 하 지 않 은 붕소 확산 을 감소 시키 거나 제거 하 는 효과 적 인 방식 을 제공 할 수 있 다 ( 본 명세서 에서 설명 한 방법 과 종 은 또한 인과 같 은 다른 주입 도 펀트 종 의 바람직 하 지 않 은 확산 을 감소 시키 거나 제거 하 는 데 에서 그 용도 를 찾 을 수 있 음 ) .