그러나 Ti 층 이 최 상부 에 위치 할 경우 소스 전극 및 드레 인 전극 을 형성 한 후 의 후속 공정 이 질소 분위기 에서 이루어질 경우 Ti 층 이 질화 되 거나 , 후속 공정 중 식각 등 의 공정 을 거칠 경우 Ti 층 이 산화 된다는 문제점 이 있 었 다 . 소스 전극 및 드레 인 전극 의 최 상부 층 인 Ti 층 의 질화 또는 산화 는 이후 소스 전극 및 드레 인 전극 중 어느 한 전극 에 전기 적 으로 연결 되 는 발광 소자 등 의 화소 전극 ( 21 ) 과 의 소스 전극 및 드레 인 전극 사이 의 컨 택 저항 이 커져 평판 디스플레이 장치 의 품질 을 저하 시킨다는 문제 가 있 었 다 .