또한 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대한 플 라즈 마 처리 가 종료 된 경우 , 전극 ( 40 a ) 은 , 스위치 ( 43 ) 에 의해 접 지 전위 에 접속 되 고 , 전극 ( 40 a ) 에 잔류 하 고 있 는 전하 가 빠져 나간다 . 그러나 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 는 , 플라 즈 마 처리 의 과정 에서 전하 가 잔류 하 여 , 전극 ( 40 a ) 이 접 지 전위 에 접속 되 어도 , 정 전척 ( 40 ) 과 반도체 웨이퍼 ( W ) 와 의 흡착 력 이 감소 하 지 않 는 경우 가 있 다 .