( F ) 성분 의 질량 평균 분자량 ( Mw ) ( 겔 퍼 미 에 이 션 크로마토그래피 에 의한 폴리스티렌 환산 기준 ) 은 , 1000 ∼ 50000 이 바람직 하 고 , 5000 ∼ 40000 이 보다 바람직 하 고 , 10000 ∼ 30000 이 가장 바람직 하 다 . 이 범위 의 상한 값 이하 이 면 , 레지스 트 로서 사용 하 는 데 에 레지스 트 용 용제 에 대한 충분 한 용해 성 이 있 고 , 이 범위 의 하한 값 이상 이 면 , 내 드라이 에칭 성 이나 레지스 트 패턴 단면 형상 이 양호 하 다 .