또한 , 진공 용기 ( 1 ) 의 천 장판 ( 11 ) 의 중심부 에 는 분리 가스 공급 관 ( 51 ) 이 접속 되 어 있 어 , 천 장판 ( 11 ) 과 코 어부 ( 21 ) 의 사이 의 공간 ( 52 ) 에 분리 가스 인 N 2 가스 를 공급 하 도록 구성 되 어 있 다 . 이 공간 ( 52 ) 에 공급 된 분리 가스 는 , 돌출부 ( 5 ) 와 회전 테이블 ( 2 ) 의 좁 은 간극 ( 50 ) 을 통해 회전 테이블 ( 2 ) 의 웨이퍼 적 재 영역 측 의 표면 을 따라 주연 을 향해 토출 되 어 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 중심부 를 통해 반응 가스 ( Si 함유 가스 및 O 3 가스 ) 가 혼합 되 는 것 을 방지 하 고 있 다 .