도 3 은 본 개시 의 원리 들 에 따라 구조 된 IEP 광학 모니터링 시스템 ( 300 ) 의 예의 개략 도 를 나타낸다 . IEP 시스템 ( 300 ) 은 제 자리 환경 의 예 를 제공 하 는데 , 여기 서 , IEP 시스템 ( 300 ) 은 반도체 도구 ( 380 ) 내 의 가공물 을 인터 로 게이팅 하 기 위해 사용 된다 . 일반 적 으로 , IEP 시스템 ( 300 ) 은 시준기 ( 320 ) 에 광학 신호 를 제공 하 는 섬광등 ( 310 ) 을 포함 하 는데 , 시준기 ( 320 ) 는 , 본 개시 에 제공 된 바 와 같이 , 반도체 도구 ( 380 ) 내 의 웨이퍼 ( 390 ) 를 인터 로 게이팅 하 기 위해 사용 된다 . 웨이퍼 ( 390 ) 에서 반사 된 광 은 후 에 분광계 ( 330 ) 에 의해 수집 된다 . 선택 적 으로 , 신호 참조 목적 으로 분광계 ( 330 ) 에 광 을 직접 제공 하 기 위해 , 섬광등 ( 310 ) 이 참조 광학 케이블 ( 310 a ) 에 의해 분광계 ( 330 ) 에 광학 적 으로 결합 될 수 있 다 . 광학 신호 들 은 통상 섬광등 ( 310 ) , 시준기 ( 320 ) , 및 분광계 ( 330 ) 간 에 광섬유 어셈블리 들 ( 340 ) 에 의해 수송 된다 . 광섬유 어셈블리 들 ( 340 ) 중 하나 가 광섬유 케이블 ( 342 ) 로 표시 된다 .