이어서 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 에 접하 도록 소스 층 ( 142 a ) 및 드레 인 층 ( 142 b ) 을 형성 한다 ( 도 14 의 ( f ) 참조 ) . 소스 층 ( 142 a ) 및 드레 인 층 ( 142 b ) 은 산화물 반도체 층 ( 140 ) 을 덮 도록 도전 층 을 형성 한 후 , 당해 도전 층 을 선택 적 으로 에칭 함 으로써 형성 할 수 있 다 .