일 구체 예 에서 , 제 1 및 제 2 가스 공급원 인 634 A 및 634 B , 및 제 1 및 제 2 가스 흐름 제어기 인 635 A ' 및 635 B ' 은 가스 전달 라인 ( 638 ) ( 일부 만 도시 됨 ) 을 통해 가스 고리 ( 637 ) 내 플레 넘 ( 636 ) 에 가스 를 제공 한다 . 가스 고리 ( 637 ) 는 기판 에 걸쳐 가스 의 균일 한 흐름 을 제공 하 는 , 다수 의 공급원 가스 노즐 ( 639 ) ( 이 의 단지 하나 만 예시 목적 으로 도시 되 어 있 음 ) 을 가진다 . 노즐 길 이 및 노즐 각 은 개별 챔버 내 특정 공정 을 위한 가스 활용 효능 및 균일 한 프로파일 의 맞춤 을 가능 하 게 하 도록 변화 될 수 있 다 . 바람직 한 구체 예 에서 , 가스 고리 ( 637 ) 는 알루미늄 산화물 세라믹 으로 만들 어 진 12 개 의 공급원 가스 노즐 을 가진다 .