제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 은 제 1 버퍼 ( 320 ) 와 제 2 버퍼 ( 330 ) 간 에 기판 ( W ) 을 이송 시킨다 . 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 은 핸드 ( 361 ) , 아암 ( 362 ) , 그리고 지지대 ( 363 ) 를 가진다 . 핸드 ( 361 ) 는 아암 ( 362 ) 에 고정 설치 된다 . 아암 ( 362 ) 은 신축 가능 한 구조 로 제공 되 어 , 핸드 ( 361 ) 가 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 이동 가능 하 도록 한다 . 아암 ( 362 ) 은 지지대 ( 363 ) 를 따라 제 3 방향 ( 16 ) 으로 직선 이동 가능 하 도록 지지대 ( 363 ) 에 결합 된다 . 지지대 ( 363 ) 는 제 2 버퍼 ( 330 ) 에 대응 되 는 위치 부터 제 1 버퍼 ( 320 ) 에 대응 되 는 위치 까지 연장 된 길이 를 가진다 . 지지대 ( 363 ) 는 이 보다 위 또는 아래 방향 으로 더 길 게 제공 될 수 있 다 . 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 은 단순히 핸드 ( 361 ) 가 제 2 방향 ( 14 ) 및 제 3 방향 ( 16 ) 을 따른 2 축 구동 만 되 도록 제공 될 수 있 다 .