다음 에 , 플래시 가 열부 ( 160 ) 의 구성 에 대해서 설명 한다 . 도 3 은 , 플래시 가 열부 ( 160 ) 의 구성 을 나타내 는 종단 면도 이 다 . 플래시 가 열부 ( 160 ) 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 여 가열 처리 를 행하 는 프로세스 챔버 ( 6 ) 와 , 복수 의 플래시 램프 ( FL ) 를 내장 하 는 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 와 , 복수 의 할로겐 램프 ( HL ) 를 내장 하 는 할로겐 램프 하우스 ( 4 ) 를 구비 한다 . 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 상측 에 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 가 설치 됨 과 함께 , 하측 에 할로겐 램프 하우스 ( 4 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또 , 플래시 가 열부 ( 160 ) 는 , 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 내부 에 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수평 자세 로 유지 하 는 유지 부 ( 7 ) 와 , 유지 부 ( 7 ) 와 반송 로봇 ( 150 ) 사이 에서 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 수도 를 행하 는 이재 기구 ( 10 ) 를 구비 한다 .