또 , 본 발명 은 ( 1 ) 상기 서술 한 본 발명 의 감광성 수지 조성물 을 기판 상 에 도포 함 으로써 수지 층 을 그 기판 상 에 형성 하 는 공정 과 , ( 2 ) 그 수지 층 을 노광 하 는 공정 과 , ( 3 ) 그 노광 후 의 수지 층 을 현상 하 여 릴리프 패턴 을 형성 하 는 공정 과 , ( 4 ) 그 릴리프 패턴 을 가열 처리 함 으로써 경화 릴리프 패턴 을 형성 하 는 공정 을 포함 하 는 , 경화 릴리프 패턴 의 제조 방법 을 제공 한다 . 이하 , 각 공정 의 전형 적 인 양태 에 대하 여 설명 한다 .