이온 화 게이지 ( 100 ) 와 연결 되 어 , 및 클러스터 툴 ( 1100 ) 과 함께 ( 또는 클러스터 툴 ( 1100 ) 없이 ) 사용 될 수 있 는 표면 분석 장비 들 ( 1105 ) 은 스캐닝 전자 현미경 들 , 에너지 분산 X - 선 분광 ( energy dispersive X - ray spectroscopy ) ( EOS / XPS ) 장비 들 , 스캐닝 오거 마이크로분석 ( scanning auger microanalysis ) ( Auger / SAM ) 장비 들 , 글 로우 방전 질량 분광 ( glow discharge mass spectroscopy ) ( GDMS ) 장비 들 , 전자 분광 화학 분석 ( electron spectroscopy for chemical analysis ) ( ESCA ) 장비 들 , 원자력 현미경 / 스캐닝 프로브 현미경 ( atomic force microscopy / scanning probe microscopy ) ( AFM / SPM ) 장비 들 , 푸리 에 변환 적외선 분광 ( Fourier transform infrared spectroscopy ) ( FTIR ) 장비 들 , 파장 분산 X - 선 분광 ( WDS ) 장비 들 , 유도 연결 플 라즈 마 질량 분석 ( inductively coupled plasma mass spectroscopy ) ( ICPMS ) 장치 들 , X - 선 형광 ( x - ray fluorescence ) ( XRP ) 장비 들 , 중성자 활성 화 분석 ( neutron activation analysis instruments ) ( NAA ) 장비 들 , 계측 장비 들 , 및 다른 것 들 을 또한 포함 할 수 있 다 . 이러 한 리스트 는 철저 한 것 은 아니 며 게이지 ( 100 ) 가 리스트 되 지 않 은 다른 장비 들 과 함께 사용 될 수 있 다 .