롤 ( ROLL ) 상태 로 권 취 되 어 있 는 폴리 이미드 필름 을 진공 챔버 ( 101 ) 의 롤 고정부 ( 107 ) 에 삽입 하 여 고정 한다 . 그리고 진공 펌프 ( 103 ) 로 상기 진공 챔버 ( 101 ) 의 압력 을 10 - 4 ~ 10 - 1 Torr 로 감압 하 고 , 히터 ( 109 ) 로 상기 진공 챔버 ( 101 ) 의 온도 를 60 ~ 160 ℃ 로 유지 되 도록 가열 한다 . 이러 한 감압 및 가열 조건 을 120 분 이상 유지 하 여 진공 챔버 ( 101 ) 내부 의 폴리 이미드 필름 을 건조 처리 한다 .