일부 실시 예 에서 , 핀 하부 구조물 ( 100 A ) 의 상부 표면 으로부터 측정 된 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ') 의 두께 는 약 5 nm 내지 약 25 nm 범위 내 에 있 고 , 다른 실시 예 에서 약 10 nm 내지 약 20 nm 범위 내 에 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ') 의 두께 는 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 108 ') 의 두께 의 약 1 / 10 내지 1 / 5 이 다 . 캡 및 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 의 두께 는 핀 하부 구조물 ( 100 A ) 위 의 평균 두께 이 다 .