상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 실시 예 들 에 의하 면 , 고온 의 기판 지지 부재 로부터 배출 되 는 고온 폐수 의 처리 가 효율 적 으로 이루어질 수 있 다 . 구체 적 으로 , 열 교환 튜브 내부 에서 냉각수 와 상기 고온 폐수 가 혼합 됨 으로써 상기 고온 폐수 의 온도 를 충분히 낮출 수 있 다 . 또한 , 안전 밸브 및 체크 밸브 를 이용 하 여 고온 폐수 및 수증기 의 역류 를 방지 할 수 있 으며 , 상기 고온 폐수 의 급격 한 비등 ( boiling ) 에 의하 여 발생 되 는 수증기 및 압력 변화 에 의한 충격파 를 완화 시킬 수 있 다 .