위상 반 전막 ( 104 ) 을 형성 하 는 각 박막 ( 104 a , . .. 104 n ) 들 은 상호 동일 조성 으로 구성 되 거나 , 혹은 경 원소 가 다른 조성 을 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 2 층 으로 구성 되 는 위상 반 전막 의 경우 MoSiN , MoSiN 으로 동일 조성 으로 구성 할 수 있 으며 , MoSiN , MoSiON 으로 다른 조성 으로 도 구성 할 수 있 다 . 또한 , 박막 들 이 동일 조성 을 갖 는 경우 , 구성 물질 이 다른 조성 비 를 갖 도록 형성 할 수 있 다 .