도 5 는 도 2 에 있 어서 의 부압 측 및 정압 측 필터 의 확대도 이 고 , ( a ) 는 제 1 포트 에 부압 이 공급 되 었 을 때 의 부압 측 필터 ( 4 ) 내 에 있 어서 의 유체 의 흐름 을 나타내 고 있 고 , ( b ) 는 제 1 포트 에 정압 이 공급 되 었 을 때 의 정압 측 필터 ( 5 ) 내 에 있 어서 의 유체 의 흐름 을 나타내 고 있 다 .