가스 공급 포트 들 ( 119 ) 에 대한 유체 플로우 압력 은 직접 제어 가능 하 기 때문 에 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 내부 로 의 플 라즈 마 침입 을 본질 적 으로 방지 하 기 에 충분히 작 은 크기 를 갖 도록 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 를 정의 하 는 것 이 가능 하 다 . 그러나 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 을 통한 초음속 유체 플로우 를 일으킬 만큼 작 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 을 정의 하 는 것 을 회피 하 는 것 이 적절 하 다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로부터 초음속 유체 플로우 를 회피 하 기 위해 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하부 표면 으로부터 의 그 들 의 출구 에서 확산 기 형상 을 갖 도록 정의 될 수 있 다 . 도 3 c 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 가스 공급 포트 ( 119 ) 단면 을 나타낸다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 으 로부터 그 출구 위치 에서 확산 기 형상 ( 307 ) 을 갖 는 가스 공급 포트 ( 119 ) 가 나타나 있 다 .