제 어부 ( 20 ) 는 , 챔버 ( 4 ) 일 측 에 마련 되 어 챔버 ( 4 ) 내부 에 발생 되 는 플라 즈 마 쉬스 의 형상 에 대한 정보 를 계측 하 는 플 라즈 마 계측 장치 ( 21 ) 로부터 전달 받 은 정보 와 메모리 ( 22 ) 에 미리 저장 되 어 있 는 데이터 를 이용 하 여 쉬스 의 형상 을 판단 하 고 , 판단 결과 에 따라 유도 코일 ( 2 ) 과 챔버 ( 4 ) 에 인가 되 는 전원 의 세기 를 제어 하 기 위한 제어 신호 를 제 1 , 2 전원 공급 부 ( 6 , 7 ) 에 전달 한다 .