상기 하프늄 산화물 은 단사 정계 ( monoclinic ) 결정 구조 를 가질 때 보다 정방 정계 ( tetragonal ) 결정 구조 를 가질 때 에 60 이상 의 더 큰 유전율 ( k ) 뿐 만 아니 라 더 큰 에너지 밴드 갭 을 갖 기 때문 에 , 정방 정계 결정 구조 의 하프늄 산화물 의 적용 이 더 바람직 하 다 . 그러나 , 상온 에서 하프늄 산화물 의 열역학 적 안정 상 은 단사 정계 결정 구조 이 므로 , 정방 정계 결정 구조 는 쉽 게 단사 정계 결정 구조 로 변하 기 때문 에 실제 정방 정계 결정 구조 의 하프늄 산화물 을 얻 기 어려운 문제점 이 있 다 .