구체 적 으로 , 약액 포집 장치 ( 110 ) 는 노즐 부 ( 160 ) 로부터 공급 되 는 약액 들 을 각각 포집 하 여 약액 의 재 사용 이 가능 하 도록 한다 . 약액 포집 장치 ( 110 ) 는 내부 에 스핀 헤드 ( 130 ) 가 배치 되 고 , 스핀 헤드 ( 130 ) 의 복수 개 의 공정 위치 ( P 1 , P 2 등 ) 에 대응 하 여 서로 다른 약액 들 을 포집 하 는 공간 이 형성 된다 . 그러므로 약액 포집 장치 ( 110 ) 는 공정 수행 시 약액 공급 부 ( 170 ) 로부터 공급 되 는 다양 한 약액 들 의 수 와 동일 하 게 제공 되 며 , 여기 서 는 제 1 내지 제 3 약액 에 대응 하 여 제 1 내지 제 3 약액 포집 장치 ( 112 ~ 116 ) 가 구비 된다 .