제조 된 감광성 조성물 을 유리 기판 에 180 rpm 에서 5 초간 스핀 코팅 하 여 필름 을 얻 는다 . 얻 어 진 필름 을 100 도씨 에서 프리 베 이크 한다 . 프리 베 이크 된 필름 에 소정 의 패턴 을 가지 는 마스크 하 에서 광 ( 파장 : 365 nm 세기 : 100 mJ ) 을 1 초간 조사 하 고 , 이 를 수산화 칼륨 수용액 ( 농도 : 0 . 043 %) 으로 50 초간 현상 하 여 패턴 ( 선폭 : 100 um ) 을 얻 는다 . 제조 된 패턴 에 230 도씨 에서 30 분 씩 가열 한다 .