일부 실시 예 에서 , S - D 데이터 는 층 제조 정보 를 포함 할 수 있 고 , 그 층 제조 정보 는 상이 한 층 마다 상이 할 수 있 다 . 신규 S - D 층 데이터 는 S - D 프로시저 시 에 취득 될 수 있 고 , 프로세스 레시피 를 업데이트 및 / 또는 최적 화 하 는 데 이용 될 수 있 으며 , 프로세스 모델 을 업데이트 및 / 또는 최적 화 하 는 데 이용 될 수 있 고 , 프로파일 데이터 를 업데이트 및 / 또는 최적 화 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 또한 , S - D 프로시저 는 신규 S - D 층 데이터 를 공장 시스템 및 / 또는 다른 서브시스템 내 의 컨트롤러 에 송신 할 수 있 다 . 예컨대 , 신규 S - D 데이터 는 신규 웨이퍼 두께 데이터 및 / 또는 균일성 데이터 를 포함 할 수 있 다 .