ITO ( indium tin oxide ) 가 1300 Å 의 두께 로 박막 코팅 된 유리 기판 을 세제 를 녹인 증류수 에 넣 고 초음파 로 세척 하 였 다 . 이 때 , 세제 로 는 피셔 사 ( Fischer Co . ) 제품 을 사용 하 였으며 , 증류수 로 는 밀리 포어 사 ( Millipore Co . ) 제품 의 필터 ( Filter ) 로 2 차 로 걸러진 증류수 를 사용 하 였 다 . ITO 를 30 분 간 세척 한 후 증류수 로 2 회 반복 하 여 초음파 세척 을 10 분 간 진행 하 였 다 . 증류수 세 척 이 끝난 후 , 이소프로필 알콜 , 아세톤 , 및 메탄올 의 용제 로 초음파 세척 을 하 고 건조 시킨 후 플라 즈 마 세 정기 로 수송 시켰 다 . 또한 , 산소 플 라즈 마 를 이용 하 여 상기 기판 을 5 분 간 세정 한 후 진공 증착 기 로 기판 을 수송 시켰 다 .