이상 과 같이 , 본 실시 예 에서 는 복수 의 펄스 형 레이저 빔 ( L 1 , L 2 , L 3 , L 4 ) 을 시간 적 , 공간 적 으로 결합 하 여 펄스폭 이 가변 된 가변 레이저 빔 ( L ) 을 생성 하 고 , 이러 한 가변 레이저 빔 ( L ) 을 이용 하 여 레이저 어닐링 공정 을 수행 할 수 있 다 . 여기 서 , 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 은 레이저 빔 들 ( L 1 , L 2 , L 3 , L 4 ) 의 펄스 사이 의 간격 을 조절 함 으로써 원 하 는 형상 으로 제어 할 수 있 다 . 그리고 , 레이저 어닐링 공정 전 에 는 빔 프로파일러 ( 264 ) 및 측정 빔 검출 유닛 ( 260 ) 을 이용 하 여 가변 레이저 빔 ( L ) 의 균일 도 , 펄스 형상 및 출력 을 측정 하 고 , 이 를 설정 된 값 과 비교 하 여 제어 함 으로써 레이저 어닐링 공정 의 진행 여부 를 결정 할 수 있 다 . 또한 , 레이저 어닐링 공정 중 에 는 측정 빔 검출 유닛 ( 260 ) 을 이용 하 여 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 및 출력 을 실시간 으로 측정 하 고 , 이 를 설정 된 값 과 비교 하 여 실시간 으로 제어 함 으로써 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 및 출력 을 레이저 어닐링 공정 에 최적 화 된 펄스 형상 및 출력 으로 조절 할 수 있 다 .