상기 실리콘 막 ( 200 ) 은 순수 실리콘 또는 도전 성 물질 을 도핑 한 실리콘 을 포함 한다 . 본 발명 에서 사용 되 는 도핑 한 실리콘 은 도전 성 물질 이 도핑 된 실리콘 을 말 한다 . 상기 실리콘 에 도핑 되 는 도전 성 물질 은 원소 의 주기율표 에서 3 족 또는 5 족 원소 를 포함 하 며 , 구체 적 으로 알루미늄 ( Al ) 또는 붕소 ( B ) 인 것 이 바람직 하 다 .