일반 적 으로 , 실리콘 및 질소 공급원 은 여러 전달 채널 을 통해 도입 되 어서 이 들 은 반응 역 내 또는 근처 에서 혼합 을 시작 한다 . 유동 성 가스 는 도입 되 어 공정 가스 혼합물 의 다른 성분 으로부터 이온 성 종 의 생산 을 용이 하 게 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 아르곤 은 N 2 보다 더욱 용이 하 게 이온 화 되 고 , 일 구체 예 에서 , 플라스마 에 전자 를 제공 할 수 있 으며 , 이 는 그 다음 에 N 2 의 해리 및 이온 화 에 보조 될 수 있 다 . 이 효과 는 화학 반응 의 확률 및 증착 률 을 높인다 . 이 유동 성 가스 는 실리콘 또는 / 및 질소 공급원 으로서 동일 한 전달 채널 을 통해 또는 상이 한 채널 을 통해 함께 도입 될 수 있 다 .