더욱이 함 질소 화합물 로서 특허 문헌 18 , 19 와 같 은 단 분자 화합물 을 이용 한 중간막 재료 도 예시 되 지만 , 단 분자 화합물 을 이용 하 고 있 기 때문 에 복잡 한 형상 을 갖 는 기판 상 에 의 도포 성 이나 베 이크 시 에 생기 는 저 분자 에 기인 하 는 승화 물 의 문제 등 이 경화 후 의 유기 막 의 내열 성 이나 에칭 내성 의 제반 특성 에 과제 를 남기 는 것 이 었 다 .