한편 , 상기 이송 수단 ( 1 , 2 ) 은 상기 현상 챔버 ( D 1 , D 2 ) 와 세정 챔버 ( S 1 , S 2 ) 의 상부 에 배치 되 는 제 1 및 제 2 이송 수단 ( 1 , 2 ) 으로 이루어진다 . 상기 제 1 이송 수단 ( 1 ) 은 외부 로부터 기판 을 이송 하 여 제 1 현상 챔버 ( D 1 ) 로 이송 하 고 , 제 2 이송 수단 ( 2 ) 은 제 2 현상 챔버 ( D 2 ) 에서 픽업 된 기판 을 제 1 세정 챔버 ( S 1 ) 로 이송 시키 는 역할 을 수행 한다 .