마찬가지 로 , 2 개 의 내부 공간 ( 11 ) 중 하방 에 위치 하 는 하측 내부 공간 ( 11 L ) 의 반송 방향 ( TD ) 에서 의 양측 에 는 대기 측 게이트 밸브 ( AG 2 ) 및 진공 측 게이트 밸브 ( VG 2 ) 가 설치 되 어 있 다 . 대기 측 게이트 밸브 ( AG 2 ) 및 진공 측 게이트 밸브 ( VG 2 ) 양쪽 이 닫힘 으로써 하측 내부 공간 ( 11 L ) 이 밀폐 된다 . 이 상태 에서 , 하측 내부 공간 ( 11 L ) 의 분위기 는 대기압 분위기 와 진공 분위기 로 전환 가능 하 다 .