이때 , 상기 와 같이 샤프트 ( 400 ) 가 상승 하 게 되 면 동시 에 승강 가이 더 ( 421 ) 가 상승 하 게 되 는 것 으로 , 이 에 그 승강 가이 더 ( 421 ) 에 장착 된 제 1 이 젝 터 ( 200 ) 와 제 2 이 젝 터 ( 300 ) 가 상승 하 게 되 며 , 이때 제 1 이 젝 터 ( 200 ) 의 상부 가 시트 후드 ( 110 ) 의 상부 로 약 100 ~ 500 ㎛ 돌출 되게 되 는 것 인 바 , 긴장 상태 의 웨이퍼 시트 ( 10 ) 와 하나 의 반도체 다이 ( 11 ) 를 상승 시키 게 된다 .