이 에 따라 , 상기 챔버 ( 100 ) 는 소정 의 두께 를 갖 는 높 은 강성 을 가진 재질 로 구성 되 며 , 온도 와 압력 의 변화 를 견디 기 위한 높 은 내열 성 및 내압 성 과 , 세정제 또는 건조제 에 반응 하 여 변질 되 거나 부식 이 일어나 기판 처리 공정 에 영향 을 미치 는 것 을 방지 하 기 위한 내 화학 성 및 내 식성 을 가지 는 재질 로 이루어질 수 있 다 .