열전 소자 ( 153 ) 는 , 외부 로부터 전압 을 인가 받 아 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 ( 11 ) 를 냉각 시킬 수 있 다 . 열전 소자 ( 153 ) 는 , 히트 싱크 ( 152 ) 에 접촉 되 는 발열 부 ( 1531 ) 와 , 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 ( 11 ) 에 맞닿 도록 배치 되 는 냉 각부 ( 1532 ) 를 포함 할 수 있 다 .