기체 주입 배관 ( 441 ) 의 유입 단부 에 는 제 2 기체 공급원 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 연결 되 고 , 제 2 기체 공급원 은 기체 주입 배관 ( 441 ) 에 기체 를 제공 한다 . 기체 주입 배관 ( 441 ) 의 유출 단부 는 액 저장실 의 하부 영역 에 배치 되 어 액 저장실 에 저장 된 처리 액 내 에 위치 된다 . 이 에 , 기체 주입 배관 ( 441 ) 으로부터 의 기체 는 액 저장실 에 저장 된 처리 액 내 로 주입 되 고 액 저장실 에 저장 된 처리 액 내 에 기포 를 형성 하 며 액 저장실 에 저장 된 처리 액 의 액 표면 으로 떠오르 면서 액 저장실 에 저장 된 처리 액 을 교반 한다 . 제 2 기체 공급원 이 제공 하 는 기체 는 처리 액 내 에 기포 를 형성 하 고 처리 액 의 액 표면 으로 떠오르 면서 처리 액 을 교반 할 수 있 다면 어떠 한 것 이 라도 이용 할 수 있 다 .