도 7 에서 보 듯이 제 1 및 제 2 소 결체 ( 10 , 20 ) 와 함께 제 2 소 결체 ( 20 ) 의 하부 에 제 1 소 결체 ( 10 ) 와 유사 한 순도 로 제작 된 제 3 소 결체 ( 30 ) 를 가압 접합 함 에 의해 휨 변형 이 없 는 고순 도 정 전척 을 얻 을 수 있 다 . 제 1 소 결체 ( 10 ) 는 순도 99 . 9 % 이상 , 제 2 소 결체 ( 20 ) 는 순도 98 %, 제 3 소 결체 ( 30 ) 는 순도 99 . 5 % 이 었 다 .