세라믹 용사 층 으로 DC - Power 전극 층 을 전열 시킬 경우 에 있 어서 세라믹 이 갖 는 다공성 때문 에 실링 처리 를 하 지 않 으면 DC - Power 전극 층 의 전하 가 빠져 나가 게 되 서 ESC 의 기능 이 현저히 떨어진다 . 하 지만 본 특허 의 경우 조직 이 매우 치밀 한 Al - Anodizing 으로 DC - Power 전극 층 절연 시키 고 있 기 때문 에 누설 전류 가 극히 적 으며 Plasma 내식성 이 매우 뛰어난 특성 을 갖 고 있 어 기존 전극 대비 수명 이 길 어 질 것 으로 예상 된다 .