본 예시 적 인 실시 예 에서 , 고정자 들 ( 1006 ', 1007 ') 은 , 도 16 에서 알 수 있 으며 위 에서 설명 된 바 와 같이 , 이송 챔버 하우징 ( 285 ) 안 으로 통합 또는 내장 될 수 있 으며 , 실질 적 으로 기판 이송 장치 ( 1400 ) 를 둘러싼 링 ( ring ) 을 형성 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 상기 고정자 는 기판 이송 장치 ( 1400 ) 에 대해서 임의 의 적절 한 모양 들 을 형성 할 수 있 다 . 고정자 들 ( 1006 ', 1007 ') 은 도 16 에 도시 된 바 와 같이 서로 동심 으로 적층 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 상기 고정자 들 은 예컨대 , 도 2 및 6 내지 8 에 도시 된 구성 과 같 은 임의 의 다른 원 하 는 구성 을 가질 수 있 다 . 본 예시 적 인 실시 예 들 에서 , 상부 암 ( 1402 ) 은 이송 챔버 ( 120 ) 의 중앙 ( C ) 으로부터 챔버 ( 120 ) 의 벽 들 또는 하우징 ( 285 ) 을 향하 여 , 그리고 고정자 들 ( 1006 ', 1007 ') 을 향하 여 방사상 으로 연장 된다 . 자석 들 ( 1403 A ) 은 상부 암 ( 1402 ) 이 회전자 로 기능 할 수 있 도록 상부 암 ( 1402 ) 의 원위 단부 또는 엘보 우 단부 에 고정 적 으로 장착 될 수 있 다 . 상부 암 ( 1402 ) 및 자석 들 ( 1403 A ) 은 , 예컨대 , 고정자 ( 1007 ') 와 상 호 작용 하 여 제 1 모터 를 형성 한다 . 또한 , 자석 들 ( 1403 B ) 은 상부 암 ( 1405 ) 이 회전자 로 기능 할 수 있 도록 상부 암 ( 1405 ) 의 원위 단부 또는 엘보 우 단부 에 고정 적 으로 장착 될 수 있 다 . 상부 암 ( 1405 ) 및 자석 들 ( 1403 B ) 은 , 예컨대 , 고정자 ( 1006 ') 와 상호 작용 하 여 제 2 모터 를 형성 한다 . 자석 들 ( 1403 A , 1403 B ) 은 이송 장치 들 ( 1000 , 1100 및 1200 ) 에 대해서 위 에서 설명 된 것 과 실질 적 으로 유사 할 수 있 다 .