동체 부 ( 14 a ) 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 측 의 단부 에 확 경부 ( 14 e ) 를 갖 는다 . 동체 부 ( 14 a ) 는 , 바람직 하 게 는 원통 상 이 다 . 동체 부 ( 14 a ) 의 중심축 은 , 베어링 ( 13 ) 의 축 ( A ) 과 일치 하 고 있 다 . 동체 부 ( 14 a ) 는 , 그 내부 에 전환 유닛 ( 12 ) 을 수용 하 기 위한 수용 스페이스 를 갖 는다 .