도 1 은 본 발명 에 따른 비접 촉식 기판 반송 용 척 을 나타낸 분해 사시도 이 고 , 도 2 는 본 발명 에 따른 비접 촉식 기판 반송 용 척 을 나타낸 저면 사시도 이 며 , 도 3 은 본 발명 에 따른 비접 촉식 기판 반송 용 척 에 있 어 , 하부 플레이트 에 노즐 부 가 결합 된 상태 를 나타낸 사시도 이 고 , 도 4 는 본 발명 에 따른 비접 촉식 기판 반송 용 척 에 있 어 , 상부 플레이트 를 나타낸 저면 사시도 이 며 , 도 5 는 본 발명 에 따른 비접 촉식 기판 본 송용 척 에 있 어 , 하부 플레이트 를 나타낸 저면 사시도 이 고 , 도 6 은 본 발명 에 따른 비 접촉 식 기판 반송 용 척 에 있 어 , 노즐 부 를 나타낸 저면 사시도 이 다 .