또한 , 유로 스위칭 부 ( 472 ) 의 하류 에 는 표면 세정 유로 ( 24 ) 와 , 분무 용 유로 ( 25 ) 가 설치 되 어 있 다 . 표면 세정 유로 ( 24 ) 는 도수 부 ( 20 ) 를 통해 급 수원 ( 10 ) 으로부터 공급 된 물 이나 전해조 유닛 ( 450 ) 에 있 어서 생성 된 기능 수 를 노즐 세 정부 ( 478 ) 의 토수 부 로 유도 한다 . 분무 용 유로 ( 25 ) 는 도수 부 ( 20 ) 를 통해 급 수원 ( 10 ) 으로부터 공급 되 는 물 이나 전해조 유닛 ( 450 ) 에 있 어서 생성 된 기능 수 를 분무 노즐 ( 479 ) 에 유도 한다 .