이 실시 형태 에 관련 된 디바이스 제조 시스템 에 있 어서 는 , 제 1 노광 장치 ( EX 3 ) 및 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 의 2 대 의 노광 장치 를 구비 하 고 있 지만 , 적어도 1 대 의 노광 장치 를 구비 하 고 있 으면 되 고 , 노광 장치 의 대수 는 반송 장치 ( 90 ) 에 있 어서 의 단위 시간 당 기판 의 반송 매수 에 기초 하 여 결정 된다 . 여기 서 , 반송 장치 ( 90 ) 에 있 어서 의 단위 시간 당 기판 의 반송 매수 는 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD 2 ) 가 구비 하 는 도포 부 ( C ) 에 의한 처리 능력 ( 처리 시간 ) 에 기초 하 여 설정 된다 .