상기 발열체 ( 180 ) 는 SIC 계열 의 고순 도 규석 과 코우 크 스 를 전기 저 항로 에서 고온 반응 시킨 원료 와 고순 도 규석 과 고순 도 질화규소 를 전기 저 항로 에서 고온 반응 시킨 원료 와 무기 바 인다 ( SiO 2 ) 가 혼합 된 혼합물 로 이루어진 것 으로서 마이크로웨이브 에 반응 하 여 발열 한다 . 여기 서 상기 발열체 ( 180 ) 는 상기 헤드 부 ( 11 ) 의 외면 에서 고정 된다 .