도 2 및 도 3 을 동시 에 참조 하 면 , 도 17 은 , 챔버 의 외부 쉘 , 외부 챔버 의 내측 벽 , 10 ° 의 예시 적 인 각도 에서 의 좌측 핀 ( 1101 ) ( 좌측 회전 가능 차 폐부 ) 과 우측 핀 ( 1103 ) ( 우측 회전 가능 차 폐부 ) 의 하부 측 , 기판 의 크기 ( 예컨대 , 웨이퍼 의 직경 ) , 및 챔버 의 수직 벽 으로부터 의 다양 한 거리 들 에서 의 핑거 - 단부 캡 들 로부터 의 거리 사이 의 관계 를 결정 하 는 데 사용 되 는 노모그램 ( 1700 ) 의 예시 적 인 실시 예 를 도시 한다 . 모든 치수 들 은 밀리미터 단위 로 주어진다 . 통상 의 기술자 는 , 본원 에서 제공 되 는 개시 내용 을 읽 고 이해 할 시 , 주어진 기판 기하학 적 구조 에 대해 수직 기판 세정 및 건조 챔버 를 설계 하 기 위해 노모그램 ( 1700 ) 을 사용 하 는 방식 을 인식 할 것 이 다 .