건식 세정 은 CF 4 와 O 2 의 혼합 가스 를 사용 하 여 진행 하 고 , 습식 세정 은 피 라나 ( piranha , H 2 SO 4 와 H 2 O 2 혼합액 ) 와 BOE ( buffered oxide echant , NH 4 F 와 HF 의 혼합액 ) 세정 을 순차 적 으로 진행 한다 . 즉 , 습식 세정 은 불 산 ( HF ) 이 마지막 으로 적용 되 는 ' HF Last ' 세정 이 다 .