그 다음 으로 , 상기 제 2 층간 절 연막 ( 230 ) 상 에 비 아홀 형성 영역 을 정의 하 는 제 1 감광막 패턴 ( 미도 시 함 ) 을 형성 한 다음 , 상기 제 1 감광막 패턴 을 식각 마스크 로 상기 제 2 층간 절 연막 ( 230 ) 과 식각 정지 막 ( 220 ) 및 제 1 층간 절 연막 ( 210 ) 을 순차 식각 하 여 상기 제 1 층간 절 연막 ( 210 ) 의 중심부 에 비 아홀 ( 240 ) 을 형성 한다 .