본 발명 의 식각 액 조성물 은 전체 100 중량 % 에 대하 여 , 상기 알 킬 아미노 테트라 졸 0 . 1 내지 5 . 0 중량 %; 상기 불소 화합물 0 . 01 내지 2 . 0 중량 %; 상기 과황산염 0 . 5 내지 20 중량 %; 상기 무기산 , 이 의 염 또는 이 들 의 혼합물 0 . 1 내지 15 중량 %; 상기 유기산 0 . 1 내지 30 . 0 중량 %; 상기 유기 산염 0 . 1 내지 10 . 0 중량 %; 상기 술 팜 산 0 . 1 내지 6 . 0 중량 %; 상기 글라이신 0 . 1 내지 5 . 0 중량 %; 및 잔부 의 물 을 포함 할 수 있 다 .