다음 에 , 탄화수소 가스 를 챔버 ( 11 ) 내 에 공급 하 고 , 고주파 전력 을 인가 하 여 탄화수소 가스 의 플 라즈 마 를 생성 하 여 , 챔버 ( 11 ) 내벽 의 군 C 및 제 12 족 및 제 13 족 금속 원소 군 ( 이하 , 「 군 B 」 라고 한다 . ) 을 제거 한다 ( 스텝 S 15 ) . 군 B 는 , 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , Zn ( 아연 ) , Cd ( 카드뮴 ) , Hg ( 수은 ) , Al ( 알루미늄 ) , Ga ( 갈륨 ) , In ( 인듐 ) , Tl ( 탈륨 ) 의 금속 원소 로 이루어진다 . 탄화수소 가스 는 , 메틸기 ( - CH 3 ) 를 갖 는 화학식 CnH 2 n + 2 로 표시 되 는 알케인 중 , CH 4 , C 2 H 6 , C 3 H 8 , C 2 H 4 , C 2 H 2 , 및 C 2 H 6 중 적어도 어느 하나 여 도 된다 . 탄화수소 가스 의 다른 예 로서 는 , 이하 를 들 수 있 다 .