다른 특징 들 에서 , 기판 상 에 갭 충 진 재료 를 증착 하 는 단계 는 , 기판 상 에 컨 포 멀 한 실리콘 나이트 라이드 층 을 증착 하 는 단계 , 및 실리콘 나이트 라이드 층 상 에 실리콘 다 이옥 사이드 를 증착 하 는 단계 를 포함 한다 . 기판 상 에 갭 충 진 재료 를 증착 하 는 단계 는 기판 상 에 실리콘 나이트 라이드 를 증착 하 는 단계 를 포함 한다 .