기계 교반기 , 냉각관 , 1000 ㎖ 적가 깔대 기 , 질소 가스 도입 관 을 구비 한 1 ℓ 의 4 구 플라스크 에 메틸 트리 메 톡 시 실란 ( methyltrimethoxysilane ) 30 . 3 g 과 프로필 트리 메 톡 시 실란 ( propyltrimethoxysilane ) 1 . 5 g 과 메틸 실리케이트 ( methylsilicate : MS - 56 ) 28 . 2 g 을 PGMEA 134 g 에 용해 시킨 후 , 용액 온도 를 60 도로 유지 하 였 다 . 이어서 p - 톨루엔 술폰산 모노 하이드 레이트 ( p - toluenesulfonic acid monohydrate ) 0 . 6 g 을 용해 시킨 이온 교환수 23 . 2 g 을 1 시간 에 걸쳐 용액 에 첨가 하 였 다 . 그 후 , 60 도 에서 4 시간 반응 시킨 후 , 반응 액 을 실온 까지 냉각 하 였 다 . 이 반응 액 으로부터 31 . 3 g 의 메탄올 을 포함 하 는 PGMEA 용액 을 제거 하 여 샘플 을 얻 었 다 .