히터 ( 207 ) 의 내측 에 는 , 히터 ( 207 ) 와 동심원 형상 으로 반응 용기 ( 처리 용기 ) 를 구성 하 는 반응 관 ( 203 ) 이 배설 ( 配 設 ) 된다 . 반응 관 ( 203 ) 은 예 를 들 면 석영 ( SiO 2 ) 또는 탄화 실리콘 ( SiC ) 등 의 내열성 재료 로 이루어지 고 , 상단 이 폐색 하 고 하단 이 개구 ( 開口 ) 한 원통 형상 으로 형성 된다 . 반응 관 ( 203 ) 의 통 ( 筒 ) 중 공부 에 는 처리 실 ( 201 ) 이 형성 되 고 , 후술 하 는 보트 ( 217 ) 에 의해 기판 으로서 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 수평 자세 에서 수직 방향 으로 다단 으로 정렬 한 상태 에서 수용 가능 하 게 구성 된다 .