텅스텐 재료 를 포함 하 는 피연 마면 을 연마 하 기 위한 연마 액 으로서 , 연마 입자 와 , 말단 에 양 이온 성기 를 가지 는 중합체 와 , 산화제 와 , 산화 금속 용해제 와 , 물 을 함유 하 고 , 상기 중합체 가 , 불포화 카르복시산 에 유래 하 는 구조 단위 를 가지 고 , 상기 중합체 의 중량 평균 분자량 이 20000 이하 이 며 , pH 가 5 . 0 미만 인 , 연마 액 .