도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 바이패스 단계 ( S 41 ) 를 진행 하 여 상기 제 1 이 송관 ( P 3 ) 과 연결 된 제 1 바이패스 부 ( 61 ) 가 작동 하 면 , 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 의 모노머 페럴 린 및 다 이 머 페럴 린이 증착 챔버 ( 30 ) 로 이송 되 지 않 고 콜드 트랩 ( 40 ) 으로 바이패스 되 어 , 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 의 재료 및 조건 으로 생성 된 모노머 페럴 린 및 다 이 머 페럴 린이 증착 되게 된다 .