마찬가지 로 , 따라서 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 반도체 제조 설비 의 제어 방법 은 공정 챔버 ( 200 ) 에 비해 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 진공 압 을 동일 또는 유사 하 거나 높 게 설정 하 고 , 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 의 공기 펌핑 시 에 상기 공정 챔버 ( 200 ) 와 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 를 연통 시키 는 슬릿 밸브 ( 120 ) 의 개폐 동작 에 무관 하 게 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 를 항시 오픈 시켜 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 의 잦 은 개폐 동작 으로 인해 발생 되 는 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 의 수명 단축 을 방지 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 성 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 다 .