또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 반송 수단 ( 30 ) 에 의한 워크 셋 트 ( W 1 ) 의 반송 동작 의 예 로서 , 척 테이블 ( 20 ) 의 유지 면 ( 23 ) 으로부터 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 제거 하 는 동작 에 대해서 설명 하 고 있 다 . 이 에 관하 여 , 도 1 에 나타낸 스피너 세정 유닛 ( 24 ) 에 있 어서 의 스피너 테이블 ( 27 ) 의 스피너 유지 면 ( 28 ) 으로부터 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 제거 할 때 에 도 , 반송 수단 ( 30 ) 및 이오 나이저 ( 51 ) 는 , 동일 한 동작 을 실시 한다 .