필터 제어 유닛 ( 610 , 620 ) 은 필터 ( 630 ) 의 성능 저하 를 방지 할 수 있 다 . 필터 제어 유닛 ( 610 , 620 ) 은 제 1 가변 소자 ( 610 ) , 제 2 가변 소자 ( 620 ) 및 제 어부 ( 미 도시 ) 를 포함 한다 . 제 1 가변 소자 ( 610 ) 는 필터 ( 630 ) 와 직렬 연결 된다 . 제 1 가변 소자 ( 610 ) 는 가변 커패시터 로 제공 될 수 있 다 . 제 1 가변 소자 ( 610 ) 는 제 어부 ( 미 도시 ) 에 의해 임피던스 값 ( 커패시턴스 값 ) 이 조절 되 어 필터 유닛 ( 225 c ) 에 의한 플 라즈 마 발생 유닛 ( 400 ) 의 임피던스 변화 를 보상 할 수 있 다 . 구체 적 으로 , 필터 유닛 ( 225 c ) 은 정전 척 ( 210 ) 과 필터 유닛 ( 225 c ) 을 연결 하 는 케이블 을 포함 할 수 있 다 . 필터 유닛 ( 225 c ) 과 정 전척 ( 210 ) 을 연결 하 는 케이블 에 의해 플 라즈 마 발생 유닛 ( 400 ) 의 임피던스 변화 가 발생 할 수 있 으며 , 이 경우 , 제 1 가변 소자 ( 610 ) 는 임피던스 값 ( 커패시턴스 값 ) 을 조절 하 여 필터 유닛 ( 225 c ) 의 케이블 에 의한 플 라즈 마 발생 유닛 ( 400 ) 의 임피던스 변화 를 보상 할 수 있 다 .