상기 희석 탱크 ( 1 ) 의 희석 액 ( L ) 은 상기 희석 액 이송 압력 펌프 ( 10 ) 에 의해 희석 액 유입 배관 ( 10 ') 으로 유입 되 어 희석 액 압력 이 송 배관 ( 11 ) 으로 이송 된다 . 다음 , 이 희석 액 압력 이 송 배관 ( 11 ) 을 통해서 기포 발생 챔버 연결 배관 ( 12 ) 으로 유입 되 어 기포 발생 챔버 ( 4 ) 로 투입 된다 . ( 이때 미세 기포 토출 배관 ( 17 ) 및 미세 기포 바이패스 배관 ( 15 ) 은 닫혀 있 는 상태 )