마이크로파 발생기 ( 60 ) 로부터 출력 된 마이크로파 는 , 상기 와 같 은 마이크로파 전송 선로 ( 58 ) 의 도파관 ( 62 ) , 도파관 - 동축관 변환기 ( 64 ) 및 동축관 ( 66 ) 을 전파 하 여 , 래디 얼 라인 슬롯 안테나 ( 55 ) 의 유전체 판 ( 56 ) 에 급전 된다 . 그리고 , 유전체 판 ( 56 ) 내 에서 파장 을 단축 하 면서 반경 방향 으로 넓 어 진 마이크로파 는 , 래디 얼 라인 슬롯 안테나 ( 55 ) 의 각 슬롯 쌍 ( 54 a , 54 b ) 으로부터 2 개 의 직교 하 는 편파 성분 을 포함 하 는 원 편파 의 평면파 가 되 어 , 챔버 ( 10 ) 안 을 향해 방사 된다 . 챔버 ( 10 ) 내 에 방사 된 마이크로파 는 , 부근 의 가스 를 전리 시켜 , 고밀도 이 며 또 한 전자 온도 가 낮 은 플 라즈 마 를 생성 한다 . 한편 , 마이크로파 전계 ( 표면파 의 전계 ) 는 , 유전체 창 ( 52 ) 의 표면 과 플 라즈 마 에 따라서 래디 얼 방향 으로 전파 한다 .