냉각 유체 공급 부 ( 530 ) 는 냉각 유체 를 공급 할 수 있 다 . 냉각 유체 공급 부 ( 530 ) 는 냉각 유로 ( 550 ) 를 가지 는 냉각 유체 공급 부 ( 530 ) 에 냉각 유체 를 공급 할 수 있 다 . 냉각 유체 공급 부 ( 530 ) 는 몸체 ( 210 ) 의 내부 공간 에 위치 할 수 있 다 . 냉각 유체 는 공기 나 비활성 가스 또는 냉각수 형태 로 제공 될 수 있 다 .