도 6 은 DC 파워 의 조절 에 따른 온도 및 스트레스 변화 를 도시 한 그래프 로서 , 도시 된 바 와 같이 , 3000 W 의 DC 파워 로 하드 마스크 텅스텐 막 을 증착 하 였을 경우 에 는 낮 은 온도 에서 는 1000 W 의 DC 파워 로 하드 마스크 텅스텐 막 을 증착 하 는 경우 보다 스트레스 가 더 낮 지만 , 열 공정 을 거치 면서 온도 가 상승 하 고 , 다시 세정 공정 을 수행 하 여 온도 가 감소 할 경우 에 는 1000 W 의 DC 파워 로 하드 마스크 텅스텐 막 을 증착 하 는 경우 에 스트레스 가 더 낮 게 형성 되 는 것 을 확인 할 수 있 다 .