도 12 를 참조 하 면 , 이온 전류 보상 부가 플 라즈 마 챔버 ( 1204 ) 에 있 어서 이온 전류 에 대해 보상 하 는 실시 예 를 도시 한 블록 도 이 다 . 출원인 은 , 보다 높 은 에너지 레벨 에서 , 챔버 내 의 이온 전류 의 높 은 레벨 이 기판 표면 전압 에 영향 을 미치 고 , 또한 그 그 에 따라 이온 에너지 분포 에 도 영향 을 준다는 것 을 발견 했 다 . 예컨대 도 15 A - 15 C 는 , 기판 ( 1210 ) 또는 웨이퍼 의 표면 에 나타날 때 의 전압 파형 들 및 이 들 의 IEDF 에 대한 관계 를 나타낸다 .