지지 테이블 ( 2 ) 에 는 정합 기 ( 14 ) 를 거쳐서 플 라즈 마 형성 용 의 고주파 전원 ( 15 ) 이 접속 되 어 있 으며 , 이 고주파 전원 ( 15 ) 으로부터 소정 의 주파수 예 를 들 면 l 3 . 36 ㎒ 의 고주파 전력 이 지지 테이블 ( 2 ) 에 공급 되 도록 되 어 있 다 . 한편 , 지지 테이블 ( 2 ) 에 대향 해서 그 위쪽 에 는 샤워 헤드 ( 20 ) 가 서로 평행 하 게 마련 되 어 있 으며 , 이 샤워 헤드 ( 20 ) 는 접지 되 어 있 다 . 따라서 , 지지 테이블 ( 2 ) 및 샤워 헤드 ( 20 ) 는 한 쌍 의 전극 으로서 기능 한다 .