상기 한 바 와 같 은 액정 표시 소자 를 포함 한 대부분 의 평판 표시 소자 를 제조 함 에 있 어 , 기판 상 에 적층 되 는 박막 물질 은 포토 리소그래피 ( Photorithography ) 공정 으로 패 터닝 되 는데 , 이러 한 포토 리소그래피 공정 은 일반 적 으로 포토레지스트 ( Photoresist ) 의 도포 , 마스크 정렬 , 노광 , 현상 및 세정 을 포함 하 는 일련 의 사진 공정 으로 이루어진다 . 이 와 같 은 포토 리소그래피 공정 이 완료 되 면 , 기판 은 반송 계 에 의해 에칭 및 스트립 공정 등 을 위한 다른 챔버 로 반송 된다 . 특히 , 액정 표시 소자 의 제 조시 하나 의 챔버 에서 다른 챔버 로 기판 을 반송 시켜 주 는 반송 계 는 다양 한 종류 가 사용 되 고 있 는데 , 일예 로 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 롤러 와 샤프트 로 이루어진 반송 계 가 사용 되 고 있 다 .