상기 저항 값 측정 단계 ( S 810 ) 에서 는 공정 챔버 , 제 1 전극 및 제 2 전극 을 포함 하 는 전극 부 , 기판 지지 부 및 RF 전원 공급 부 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에서 저항 측정기 를 이용 하 여 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극 의 저항 값 을 측정 할 수 있 다 . 즉 , RF 전원 이 공급 되 지 않 는 상태 에서 저항 측정기 의 프로브 ( probe ) 를 제 1 전극 또는 제 2 전극 에 접촉 시켜 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극 의 저항 값 을 측정 할 수 있 다 . 이때 측정 되 는 제 1 전극 또는 제 2 전극 의 저항 은 구체 적 으로 는 제 1 전극 또는 제 2 전극 의 절연 저항 일 수 있 다 .