그러나 , 본 실시 예 에서 는 벌크 도금 을 진행 하 지 않 는다 . 즉 , 다 마신 패턴 을 완전히 매립 하 지 않 고 그 상부 에 리세 스 ( Recess ) 가 소정 의 깊이 로 형성 될 때 까지 구리 도금 을 진행 한다 . 다시 말 해서 , 구리 도금 층 ( 18 ) 위 에 는 다 마신 패턴 의 일부 가 미처 채워 지 지 않 음 으로 인해 리세 스 ( R ) 가 형성 될 수 있 다 . 따라서 , 도 2 a 에서 보 듯이 , 다 마신 패턴 에 매립 된 구리 도금 층 ( 18 ) 의 상면 이 적어도 층간 절 연막 ( 20 a ) 의 상면 보다 낮 게 형성 된다 .