본 발명 은 구리 전해 도금 에 있 어서 단차 평탄 화 를 위한 신규 한 평탄 제 및 이 를 이용 하 는 구리 전해 도금 방법 에 관한 것 으로 , 보다 상세 하 게 는 여러 가지 종횡비 를 갖 는 트렌치 가 미세 결함 없이 초등 각 전착 을 이루 며 단차 차이 가 없이 평탄 한 구리 박막 을 제공 할 수 있 는 평탄 제 및 이 를 이용 하 는 구리 전해 도금 방법 에 관한 것 이 다 .