챔버 ( 1 ) 에 는 , 가스 도입부 ( 14 및 15 ) 가 상하 2 단 으로 마련 되 어 있 다 . 각 가스 도입부 ( 14 및 15 ) 는 성막 원료 가스 나 플라 즈 마 여기 용 가스 를 공급 하 는 가스 공급 기구 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또 , 가스 도입부 ( 14 및 15 ) 는 노즐 형상 또는 샤워 형상 으로 마련 되 어도 좋 다 .