복수 의 공동 ( 835 ) 의 형상 은 , 자외선 의 조사량 ( exposure dose ) , 마스크 ( 855 ) 와 포토레지스트 층 ( 830 ) 사이 ( 또는 마스크 패턴 ( 855 ) 와 포토레지스트 층 ( 830 ) 사이 ) 의 갭 ( gap ) , 및 패턴 어레이 ( 855 ) 의 개구 폭 ( opening width ) 중 하나 이상 에 의해 조절 될 수 있 다 .