캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 처리 완료 된 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 를 출력 포트 ( 72 ) 또는 처리 완료 기판 캐리어 선반 ( 75 ) 에 반송 한다 . 또한 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 반송 한 캐리어 ( C ) 대신 에 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 의 재 치대 ( 16 ) 또는 빈 캐리어 선반 ( 74 ) 으로부터 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 중 한쪽 의 재 치대 ( 16 ) 에 , 빈 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 . 외부 반송 기구 ( OHT ) 는 , 처리 완료 된 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 를 , 2 개 의 출력 포트 ( 72 ) 중 한쪽 으로부터 예 를 들 면 다른 장치 에 반송 한다 .