이 어 , 제 1 감광막 ( 350 ) 과 하부 비아 금속 배선 ( 141 , 143 ) , 그리고 일부 노출 된 하부 층간 절 연막 ( 110 ) 위 에 하부 트렌치 배리 어막 ( 160 ) 을 형성 하 고 , 하부 트렌치 배리 어막 ( 160 ) 위 에 하부 트렌치 씨드 막 ( 170 ) 을 형성 하 고 , 하부 트렌치 씨드 막 ( 170 ) 위 에 제 2 금속 박막 ( 180 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 2 금속 박막 ( 180 ) 은 역경 사 를 갖 는 제 1 감광막 ( 350 ) 에 의해 제 1 감광막 ( 350 ) 상부 표면 에 존재 하 며 , 제 1 , 제 2 및 제 3 트렌치 ( 351 , 353 , 357 ) 내부 를 어느 정도 채운다 .