예 를 들 어 , 기판 배치 판 지지 부 ( 70 ) 에 의해 하부 하우징 ( 20 ) 의 바닥 면 ( 22 ) 과 기판 배치 판 ( 40 ) 사이 에 존재 하 는 제 1 이격 공간 ( R 1 ) 은 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) 를 통해 공급 되 는 초기 가압 용 초임계 유체 가 기판 배치 판 ( 40 ) 의 하면 을 따라 이동 하 여 기판 ( W ) 이 배치 된 처리 영역 으로 점진 적 으로 확산 하 도록 유도 하 는 기능 을 수행 할 수 있 다 .