각 활성 영역 상 에 터널 절 연막 들 ( TI ) 이 제공 된다 . 각 활성 영역 에서 , 터널 절 연막 들 ( TI ) 은 제 3 방향 을 따라 특정 거리 만큼 이격 되 어 제공 된다 . 예 를 들 면 , 각 터널 절 연막 ( TI ) 은 열 산화 막 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 각 터널 절 연막 ( TI ) 은 산화 막 을 포함 할 수 있 다 .