상기 유전 막 ( 212 ) 상 에 금속 질화 막 ( 214 ) 을 형성 한다 . 상기 금속 질화 막 은 4 . 5 eV 이상 의 일함수 를 가지 는 물질 로 형성 된다 . 또한 , 상기 금속 질화 막 은 하부 의 유전 막 의 특성 이 변하 지 않 도록 하 는 물질 로 형성 된다 . 구체 적 으로 , 상기 금속 질화 막 은 탄 탈륨 질화물 또는 티타늄 질화물 로 이루어질 수 있 다 .