[ 형태 6 ] 형태 6 에 의하 면 , 형태 4 를 인용 하 는 형태 5 에 의한 연마 장치 에 있 어서 , 상기 제 2 구동 기구 에 의해 발생 하 는 상기 제 2 운동 방향 에 있 어서 의 연마 부재 의 운동 속도 는 , 상기 제 3 구동 기구 에 의한 연마 부재 의 운동 속도 , 및 상기 제 4 구동 기구 에 의한 상기 연마 부재 에 대한 상기 스테이지 의 운동 속도 보다 도 크 다 .