[ 0061 ] 기능 적 으로 , 정전 척 및 시스 는 직렬 로 연결 된 2 개 의 캐 패시 터 들 로서 작용 하 며 , 정전 척 캐 패 시터 의 전극 들 중 하나 에 인가 되 는 입력 전압 파형 이 제어 되 기 때문 에 , 총 인가 전압 이 캐 패시 터 들 사이 에서 어떻게 분배 될 것 인지 그리고 시스 상 에 얼마나 큰 전압 이 있 게 될 것 인지 를 결정 하 기 위해 , 양자 의 캐 패 시 턴 스 값 들 이 알려져 있 을 필요 가 있 다 .