약액 포집 장치 ( 102 ) 는 노즐 부 ( 110 ) 로부터 공급 되 는 다양 한 약액 들 에 대응 하 여 복수 개 의 회수 공간 ( 130 ) 을 형성 하 는 제 1 내지 제 3 바울 ( bowl ) ( 104 ~ 108 ) 을 포함 한다 . 제 1 내지 제 3 바울 ( 104 ~ 108 ) 은 각각 상부 가 개방 되 고 스핀 헤드 ( 120 ) 의 측 부 에서 상하 로 적층 된다 . 제 1 바울 내지 제 2 바울 ( 104 ~ 108 ) 은 내부 에 공정 시 사용 된 제 1 내지 제 3 약액 이 수용 되 는 회수 공간 ( 132 ~ 136 ) 이 제공 된다 . 이러 한 제 1 내지 제 3 바울 ( 104 ~ 108 ) 은 노즐 부 ( 110 ) 로부터 기판 ( W ) 으로 공급 되 는 약액 들 이 공정 처리 된 후 , 각각 의 약액 에 대한 회수 공간 ( 132 ~ 136 ) 에서 회수 된다 . 또 제 1 내지 제 3 바울 ( 104 ~ 108 ) 각각 의 회수 공간 ( 132 ~ 136 ) 과 연결 되 는 배출관 ( 미도 시 됨 ) 들 을 통하 여 약액 들 을 각각 외부 로 배출 한다 .