도시 되 지 는 않 았 으나 , 기판 ( 100 ) 상 에 는 기판 ( 100 ) 의 하부 로부터 수분 또는 산소 의 침투 를 방지 하 기 위한 배리어 층 이 형성 될 수 있 으며 , 배리어 층 은 표면 을 평탄 화 하 기 역할 을 동시 에 수행 할 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 배리어 층 은 질화 규소 ( SiNx ) 막 , 산화 규소 ( SiO 2 ) 막 , 산질 화 규소 ( SiOxNy ) 막 중 어느 하나 가 사용 될 수 있 다 . 그러나 , 배리어 층 은 필수 적 인 구성 은 아니 며 , 필요 에 따라 생략 될 수 도 있 다 .