고정부 는 특히 전자 적 으로 제어 될 수 있 다 . 진공 고정부 는 선호 되 는 고정부 유형 이 다 . 진공 고정부 는 바람직 하 게 , 기판 홀더 의 표면 에서 탈출 하 는 복수 의 진공 경로 를 포함 한다 . 진공 경로 는 바람직 하 게 개별 적 으로 제어 될 수 있 다 . 기술 적 으로 보다 실현 가능 한 응용 예 에서 , 일부 진공 경로 들 이 개별 적 으로 제어 될 수 있 는 진공 경로 세그먼트 를 형성 하 기 위해 결합 되 어 진 공화 ( evacuated ) 되 거나 범람 화 ( flooded ) 될 수 있 다 . 그러나 , 모든 진공 세그먼트 는 다른 진공 세그먼트 와 독립 적 이 다 . 따라서 , 개별 적 으로 제어 가능 한 진공 세그먼트 를 구성 하 는 선택 이 구해진다 . 진공 세그먼트 는 바람직 하 게 원형 으로 구성 된다 . 따라서 , 특히 내부 로부터 외부 로 안내 되 는 특정 반경 방향 대칭 고정부 및 / 또는 기판 홀더 로부터 기판 의 분리 가 형성 될 수 있 다 .