노광 공정 에 있 어서 는 , 소정 의 전극 패턴 을 갖 는 노광 마스크 ( 네거티브 마스크 ) ( 31 ) 를 이용한 , 접촉 노광 및 비 접촉 노광 을 실시 하 는 것 이 가능 하 다 . 노광 광원 ( 光源 ) 으로서 는 , 할로겐 램프 , 고압 수은등 , 로저 광 , 메탈 핼 라이드 램프 , 블랙 램프 , 또는 무전극 램프 등 을 이용 할 수 있 다 . 노광량 은 , 50 ∼ 1000 mJ / ㎠ 정도 가 바람직 하 다 . 현상 은 , 탄산 나트륨 , 수산화 나트륨 , 수산화 칼슘 수용액 등 과 같 은 금속 알칼리 수용액 을 이용 해서 스프레이 법 또는 침지 ( 浸漬 ) 법 으로 실시 된다 .