기판 이 연직 방향 으로부터 경사 각도 ( θ ) 기울어져 반송 롤러 의 측면 상 에 얹혀 지 고 , 반송 롤러 의 회전 에 의해 그 상태 로 이동 할 때 에 , 기판 의 이동 에 수반 하 여 , 상부 롤러 와 , 하부 롤러 와 , 가압 롤러 가 기판 표면 과 슬라이딩 하 지 않 고 회전 하 도록 , 상부 롤러 와 하부 롤러 와 가압 롤러 가 배치 되 어 있 다 . 이 로써 , 기판 에 스크래치 가 생기 거나 더스트 가 발생 하 지 않 는다 .