이상 과 같이 , 본 발명 의 실시 예 들 은 원료 를 기화 하 는 기화기 및 상기 기화기 로부터 유체 가 유입 되 는 유입 구 , 상방 으로 돌출 된 제 1 플레이트 , 하방 으로 돌출 된 제 2 플레이트 , 상기 제 1 플레이트 와 제 2 플레이트 의 하부 에 배치 되 고 제 1 플레이트 와 결합 되 며 배수구 가 형성 되 는 중 간판 및 상기 유체 의 기체 성분 을 배출 하 는 배기구 를 포함 하 여 구성 되 는 액체 포집 장치 를 포함 하 고 , 상기 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트 는 상기 유입 구와 배기구 사이 에 교대 로 배치 되 고 상기 배수구 는 상기 제 1 플레이트 주변 또는 제 2 플레이트 가 향하 는 지점 의 주변 에 형성 되 는 것 을 특징 으로 하 는 기체 분사 시스템 을 제공 함 으로써 , 액체 성분 을 간단 하 고 효과 적 으로 포집 할 수 있 고 파이프 교체 비용 을 줄여 유지관리 비용 을 감소 시킬 수 있 고 파이프 교체 시 설비 가동 중지 에 따른 손실 도 감소 시킬 수 있 으며 기화 불량 , 재액 화 등 으로 인하 여 기판 상 에 파티클 이 발생 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .