X 축 슬라이드 테이블 ( 16 ) 의 이동 에 의해 , 프로브 ( 33 ) 의 선단 구 형부 의 주행 방향 의 후방 측면 이 공작물 표면 ( Ws ) 의 X 축 방향 플러스 측 단부 에지 로부터 완전 하 게 이탈 되 면 , 프로브 ( 33 ) 는 Z 축 방향 으로 자유 롭 게 전진 한다 . 제 어 장치 ( 35 ) 는 , 단계 S 5 에서 연산 된 프로브 ( 33 ) 의 Z 축 방향 의 이동 속도 ( Vz ) 가 소정 속도 ( Vc ) 이상 으로 되 었 는지 여부 를 판정 하 고 ( 단계 S 6 ) , 소정 속도 ( Vc ) 이상 으로 되 었 을 때 의 X 축 슬라이드 테이블 ( 16 ) 의 위치 ( Xs 1 ) 를 기억 한다 ( 단계 S 7 ) .