도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 분사 홀 들 ( 350 ) 각각 은 그 직경 의 다를 수 있 다 . 즉 , 상기 분사 홀 ( 350 ) 의 직경 은 챔버 ( 311 ) 로부터 그 외측 을 따라 점진 적 으로 벌어지 는 형상 일 수 도 있 고 , 좁 아 지 는 형상 일 수 도 있 다 . 이 에 따라 , 챔버 ( 311 ) 로부터 분사 홀 들 ( 350 ) 을 통해 분사 되 는 세정 물질 의 분사 량 은 조절 될 수 있 다 .