도 11 및 12 를 다시 참조 하 면 , 게이트 유전체 막 GD 는 적층 체 ML 2 보다 하층 의 적층 체 ML 1 에 형성 된 관통 홀 의 내 주벽 에 관 형상 으로 형성 되 고 , 실리콘 필러 SP 는 게이트 유전체 막 GD 의 내측 에 매립 된다 . 따라서 , 실리콘 필러 SP 가 채널 로서 기능 하 고 , 그 주위 의 하부 선택 게이트 LSG 가 게이트 전극 으로서 기능 하 는 하부 선택 트랜지스터 LST 가 적층 체 ML 1 내 에 제공 된다 .