상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 초 소형 비행 시간 질량 분석기 의 제조 방법 은 , 이온 발생기 및 이온 가속기 를 포함 하 는 초 소형 비행 시간 질량 분석기 를 제조 하 는 방법 에 있 어서 , 실리콘 기판 상 에 탄소 나노 파티클 을 적재 시켜 , 상기 탄소 나노 파티클 로부터 방출 되 는 전자 를 시료 와 충돌 시켜 이온 화 시키 는 이온 발생기 를 장착 한 하판 을 제조 하 는 단계 ; 이온 화 된 시료 를 가속 시키 는 이온 가속기 를 유리 기판 상 에 장착 한 상판 을 제조 하 는 단계 : 및 상기 상판 및 하판 을 정렬 한 후 , 상기 상판 과 하판 사이 의 공간 을 진공 으로 유지 시키 면서 결합 하 는 단계 를 포함 한다 .