한편 , 종래 기술 에서 와 마찬가지 로 볼트 ( 50 ) 는 히터 플레이트 ( 36 ) 의 엣지 부분 을 따라 배치 되 어 체결 되 며 , 진공 러버 프레스 ( 210 ) 의 경우 에 는 메탈 플레이트 ( 38 ) 상 에 볼트 ( 50 ) 가 결합 되 는 엣지 부분 을 제외 한 전체 면 에 러버 플레이트 ( 39 ) 가 추가 로 본드 접착 되 어 형성 된다 . 또한 , 상 부척 ( 34 ) 과 하 부척 ( 35 ) 의 평단 면 형상 은 기판 ( 10 ) 의 형상 의 따라 사각형 또는 다른 형상 을 가진다 ( 도 2 참조 ) .