특히 , 메 쉬 전극 ( 14 ) 에 고주파 전압 이 인가 되 는 경우 , 외부 통전 부재 ( 18 ) 로부터 접속 부재 ( 16 ) 를 통하 여 메 쉬 전극 ( 14 ) 에 흐르 는 고주파 전류 에 의해 접속 부재 ( 16 ) 자신 이 발열 하 기 쉽 지만 , 상술 한 바 와 같이 접속 부재 ( 16 ) 와 메 쉬 전극 ( 14 ) 사이 의 저항 값 이 낮 아 지 기 때문 에 , 접속 부재 ( 16 ) 자신 의 발열 이 억제 된다 .