이러 한 본 발명 은 다 이 머 페럴 린 을 기화 시키 는 기화 단계 ( S 10 ) ; 기화 된 다이 머 페럴 린 을 분 해부 ( 20 ) 로 이송 하 는 제 1 이송 단계 ( S 20 ) ; 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 를 통해 다 이 머 페럴 린 을 가열 하 여 모노머 페럴 린 으로 변환 시키 는 분해 단계 ( S 30 ) ; 분해 부 ( 20 ) 의 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 이송 하 는 제 2 이송 단계 ( S 40 ) ; 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 확산 시켜 대상물 표면 에 폴리머 필름 막 을 형성 하 는 증착 단계 ( S 50 ) ; 및 상기 분해 단계 ( S 30 ) 또는 증착 단계 ( S 50 ) 를 마치 고 이송 된 페럴 린 부산물 을 응축 시키 는 냉각 단계 ( S 60 ) ; 를 포함 한다 .