기판 포지셔닝 프로그램 은 페데 스탈 또는 척 상 에 기판 을 로딩 하 고 기판 과 가스 유입 부 및 / 또는 타깃 과 같 은 챔버 의 다른 부분 들 사이 의 간격 을 제어 하 도록 사용 된 챔버 컴포넌트 들 을 제어 하 기 위한 프로그램 코드 를 포함 할 수 도 있 다 . 프로세스 가스 제어 프로그램 은 가스 조성 및 플로우 레이트 들 을 제어 하 기 위한 코드 및 선택 가능 하 게 챔버 내 압력 을 안정 화 하 기 위해 증착 전 에 챔버 내 로 가스 를 흘리 기 위한 코드 를 포함 할 수 도 있 다 . 필터 모니터링 프로그램 은 미리 결정 된 값 ( 들 ) 으로 측정 된 차 ( 들 ) 를 비교 하 는 코드 및 / 또는 통로 들 을 스위칭 하 기 위한 코드 를 포함 한다 . 압력 제어 프로그램 은 예 를 들 어 , 챔버 의 배기 시스템 내 쓰 로 틀 밸브 를 조절 함 으로써 챔버 내 압력 을 제어 하 기 위한 코드 를 포함 할 수 도 있 다 . 히터 제어 프로그램 은 전구체 시스템 의 컴포넌트 들 , 가열 엘리먼트 들 , 가열 코일 ( 들 ) , 기판 및 / 또는 시스템 의 다른 부분 들 을 가열 하 기 위한 가열 유닛 들 로 의 전류 를 제어 하 기 위한 코드 를 포함 할 수 도 있 다 . 대안 적 으로 , 히터 제어 프로그램 은 웨이퍼 척 으로 헬륨 과 같 은 열 전달 가스 의 전달 을 제어 할 수 도 있 다 .