제 4 실시 형태 에 관하 여 상술 한 바 와 같이 , 각 마이크 로 요동 소자 X 3 에서 는 구동 전극 ( 17 ) 의 전극 치 ( 17 a , 17 f ) 외 에 실드 전극 부 ( 14 , 21 a ', 21 b ') 도 전계 흡수 효과 를 발휘 할 수 있 다 . 실드 전극 부 ( 14 , 21 a ', 21 b ') 의 각각 의 전계 흡수 효과 도 , 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 3 에서 의 하나 의 마이크 로 요동 소자 X 3 의 구동 기구 ( 구동 전극 ( 17 , 26 ) ) 로부터 의 누출 전계 가 , 인접 하 는 다른 마이크 로 요동 소자 X 3 의 구동 특성 에 부당 한 영향 을 주 는 것 을 억제 하 는 데 에 이바지 한다 .