즉 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 상이 한 복수 의 자세 로 변화 시키 고 , 각 자세 에 대하 여 간섭계 시스템 ( 118 ) 의 계측 결과 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 자세 를 유지 한 상태 에서 , 헤드 ( 165 , 164 ) 로 부터 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 의 특정 영역 에 검 출광 을 조사 하 면서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 Z 축 방향 으로 소정 스트로크 범위 에서 이동 시키 고 , 그 이동 중 에 인코더 의 계측 결과 를 샘플링 한다 . 이 로써 , 각 자세 에 대한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동면 과 직교 하 는 방향 ( Z 축 방향 ) 의 위치 에 따른 인코더 의 계측 값 의 변화 정보 ( 오 차 특성 곡선 ) 가 얻 어 진다 . 그리고 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 이 샘플링 결과 , 즉 각 자세 에 대한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Z 축 방향 의 위치 에 따른 인코더 의 계측 값 의 변화 정보 에 기초 하 여 소정 의 연산 을 실시 함 으로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 비 계측 방향 의 위치 정보 에 따른 인코더 의 계측 값 의 보정 정보 를 구한다 . 따라서 , 간단 한 방법 으로 비 계측 방향 에 관한 헤드 와 이동 스케일 의 상대 변화 에서 기인 되 는 인코더 의 계측 오차 를 보정 하 는 스테이지 위치 기인 오 차 보정 정보 를 결정 할 수 있 다 .