일반 적 인 이온 빔 주입 후 시간 이 지남 에 따라 대상물 의 표면 저항 은 다시 증가 하 게 된다 . 이 는 주입 된 이온 에 의한 표면 의 특성 변화 가 중화 작용 에 의해 다시 원래 대로 돌아가 기 때문 이 다 . 이 를 방지 하 기 위하 여 이온 빔 이 주입 된 대상물 의 표면 에 주입 된 이온 이 중화 되 는 것 을 억제 할 수 있 는 캡 핑 층 을 구성 할 수 있 다 .