제조 라인 실적 정보 수집 부 ( 52 ) 는 , 각 데이터 수집 시각 에 , 모든 제조 장치 의 생산 지표 의 실적 값 의 보고 를 받 고 , 그 들 의 정보 를 , 제품 ( 품종 ) 명 , 및 생산 지표 마다 , 도 6 에 도시 한 데이터 테이블 에 저장 한다 . 제조 라인 실적 정보 ( 62 ) 는 , 데이터 항목 이 , 적어도 데이터 ID , 제조 장치명 , 공정 명칭 , 데이터 수집 일시 , 생산 지표 수집 실적 값 으로 이루어지 는 데이터 레코드 형식 으로 기록 된다 . 도 6 의 예 에서 는 , 제품 ( 품종 ) 명 이 ASIC 2007 , 생산 지표 가 스루풋 ( 생산량 ) 의 실적 정보 의 경우 이 며 , 생산 지표 수집 실적 값 은 웨이퍼 매수 를 나타내 고 있 다 .