덧붙여 , 상술 한 3 종류 의 구체 적 인 파워 서플라이 는 공히 상온 에서 100 ℃ 의 처리 온도 범위 를 유지 하 도록 처리 시간 을 제한 하 도록 하 되 , 처리 시간 이 길 어 져 부득이 하 게 100 ℃ 이상 이 되게 되 면 자체 냉각수 단인 칠러 ( Chiller ) 와 온도 센서 및 제 어 유닛 을 이용 하 여 온도 를 낮추 도록 제 어함 이 바람직 하 다 .