본 제 4 실시 형태 에서 는 , 상기 서술 한 2 D 헤드 ( 164 i , 165 j , 1661 , 1662 , 167 p , 168 q ) 로 는 , 예 를 들 어 X 축 방향 및 Y 축 방향 에 배치 된 2 쌍 의 고정 스케일 을 갖 고 , 각 쌍 의 고정 스케일 에서 2 차원 격자 ( 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) ) 로 부터 발생 하 는 직교 2 축 방향 의 동일 차수 의 회절 광 을 각각 공통 의 인덱스 스케일 에 집광 하 는 3 격자 회절 간섭 방식 의 인코더 가 사용 되 고 있 다 . 단 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 단일 헤드 로 웨이퍼 테이블 의 XY 2 차원 방향 의 위치 를 계측 할 수 있 다면 , 어떤 구성 의 2 D 헤드 를 사용 해도 된다 .