한편 , 본 발명 의 광 을 변조 하 면서 상대 주사 하 는 별도 의 대표 적 인 방법 으로서 는 폴리곤 미러 를 사용 하 는 방법 을 들 수 있 다 . 폴리곤 미러 ( polygon mirror ) 란 주위 에 일련 의 평면반 사면 을 갖 는 회전 부재 이 다 . 수지 층 상 에 광원 으로부터 의 광 을 반사 시켜 조사 하 지만 , 반사광 의 광점 은 상기 평면경 의 회전 에 의해 주사 된다 . 이 주사 방향 에 대하 여 직각 으로 기판 을 상대 이동 시킴 으로써 기판 상 의 수지 층 의 전면 을 노광 할 수 있 다 . 광원 으로부터 의 광 의 강도 를 적절 한 방법 으로 온 - 오프 또는 중간 조 로 제어 함 으로써 화상 패턴 을 형성 할 수 있 다 . 또한 광원 으로부터 의 광 을 복수 개 로 함 으로써 주사 시간 을 단축 할 수 있 다 .