또한 , 상기 연마 용 조성물 은 , 일단 연마 에 사용 하 면 쓰 고 버리 는 양태 ( 소위 「 흘려보냄 식 」 ) 로 사용 되 어도 되 고 , 순환 시켜 반복 사용 되 어도 된다 . 연마 용 조성물 을 순환 사용 하 는 방법 의 일례 로서 , 연마 장치 로부터 배출 되 는 사용 완료 된 연마 용 조성물 을 탱크 내 에 회수 하 고 , 회수 한 연마 용 조성물 을 다시 연마 장치 에 공급 하 는 방법 을 들 수 있 다 . 연마 용 조성물 을 순환 사용 하 는 경우 에 는 , 흘려보냄 식 으로 사용 하 는 경우 에 비하 여 , 폐액 으로서 처리 되 는 사용 완료 의 연마 용 조성물 의 양 이 줄어듦 으로써 환경 부하 를 저감 할 수 있 다 . 또한 , 연마 용 조성물 의 사용량 이 줄어듦 으로써 비용 을 억제 할 수 있 다 . 여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 을 순환 사용 하 는 경우 , 그 사용 중 인 연마 용 조성물 에 , 임의 의 타이밍 에 새로운 성분 , 사용 에 의해 감소 된 성분 또는 증가 시키 는 것 이 바람직 한 성분 을 첨가 해도 된다 .