상세히 설명 하 면 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 및 제 2 희생 막 들 ( 62 ) 을 덮 는 제 2 마스크 층 을 형성 한다 . 또한 , 제 2 마스크 층 상 에 는 제 2 포토레지스트 패턴 들 ( 84 ) 이 형성 될 수 있 으며 , 제 2 마스크 층 과 제 2 포토레지스트 패턴 ( 84 ) 사이 에 는 제 2 반사 방지 패턴 ( 82 ) 이 형성 될 수 있 다 .