이 와 같 은 처리 시스템 의 일례 로서 는 , 도 12 에 나타내 는 바 와 같이 , 수소 가스 공급원 ( 101 ) 으로부터 유량 조정 밸브 ( 102 ) 를 통하 여 챔버 ( 20 ) 에 수소 가스 를 공급 하 는 가스 공급 로 ( 103 ) 를 구비 한 수소 가스 ( H 2 ) 공급 기구 ( 104 ) 를 챔버 ( 20 ) 에 접속 하 도록 하 면 된다 .