상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 일실 시예 에 의하 면 , 유량 센서 로 과도 하 게 증착 가스 가 증착 된다 할지라도 상기 센서 유닛 을 교체 하 기 위해 진행 되 던 증착 공정 의 운전 주기 를 연장 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 공정 챔버 내부 의 공정 조건 에 대한 연속 성 을 연장 할 수 있 으므로 , 센서 유닛 의 교체 후 상기 공정 조건 을 재 조정 하 기 위한 예비 가동 시간 을 줄일 수 있 다 .