저속 알 피엠 ( RPM ) 공정 에서 도 약액 을 회수 할 수 있 는 기판 처리 장치 가 제공 된다 . 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 기판 이 고정 되 고 , 기판 에 관한 처리 공정 이 이루어지 는 스핀 헤드 , 스핀 헤드 를 회전 시키 는 구동 부 및 기판 에 약액 을 분사 하 는 노즐 부를 포함 하 는 기판 처리 장치 에 있 어서 , 스핀 헤드 의 가장자리 에 약액 이 스핀 헤드 의 아래 로 배출 되 도록 유로 가 형성 된다 .