그 다음 에 , 전극 패드 ( 41 ) 와 접촉 된 포스 프로브 ( 2 ) 에 의해 반도체 디바이스 ( 4 ) 에 전압 이 인가 된다 . 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 전압 은 , 포스 프로브 ( 2 ) 의 종단 부 ( 21 ) 와 접촉 된 센스 프로브 ( 3 ) 에 의해 측정 된다 . 따라서 , 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 전기 적 특성 이 반도체 검사 장치 ( 1 ) 에 의해 측정 될 수 있 다 .