도 2 는 제조 라인 ( 100 ) 의 제어 블록 의 개념 도 이 다 . 제 어 블록 은 , 제조 라인 ( 100 ) 의 전체 의 가동 정보 를 관리 하 는 가동 관리 제 어부 ( 700 ) 와 , 운행 컨트롤러 ( 20 ) 를 포함 한다 . 또한 , 제조 라인 ( 100 ) 을 구성 하 는 기판 반 입실 ( 101 ) , 반 전실 ( 102 ) , 얼라인먼트 실 ( 103 ) , 가속 실 ( 104 ) , 증착 실 ( 105 ) 등 의 각 실 ( 각 장치 ) 에 는 , 각 실 내부 의 구동 기구 를 제어 하 는 구동 제 어부 가 마련 되 어 있 다 . 즉 , 기판 반 입실 ( 101 ) 에 는 기판 반 입실 제 어부 ( 701 a ) , 반 전실 ( 102 ) 에 는 반 전실 제 어부 ( 70 lb ) , 얼라인먼트 실 ( 103 ) 에 는 얼라인먼트 실 제 어부 ( 701 c ) , 가속 실 ( 104 ) 에 는 가속 실 제 어부 ( 701 d ) , 증착 실 ( 105 ) 에 는 증착 실 제 어부 ( 701 e ) 가 마련 되 어 있 다 . 상기 이외 의 각 장치 ( 각 실 ) 에 도 , 각각 제 어부 ( 701 N ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 들 구동 제 어부 와 전체 를 관리 하 는 가동 관리 제 어부 ( 700 ) 는 , 제 어 수단 에 포함 시켜 생각 해도 된다 . 또한 , 운행 컨트롤러 ( 20 ) 도 , 제 어 수단 에 포함 시켜 생각 해도 된다 .