먼저 , 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수납 한 카세트 ( C ) 가 처리 시스템 ( 1 ) 의 카세트 스테이션 ( 10 ) 에 반입 되 고 , 카세트 탑재 대 ( 20 ) 에 탑재 된다 . 그 후 , 대기압 반송 장치 ( 21 ) 의 웨이퍼 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 카세트 ( C ) 로부터 1 매 의 웨이퍼 ( W ) 가 취 출 되 고 , 게이트 밸브 ( G 1 ) 가 개방 되 고 , 상기 웨이퍼 ( W ) 가 로드 록 실 ( 12 ) 내 에 반입 된다 . 로드 록 실 ( 12 ) 내 에 웨이퍼 ( W ) 가 반입 되 면 , 게이트 밸브 ( G 1 ) 가 폐쇄 되 고 로드 록 실 ( 12 ) 내 가 밀폐 되 어 감압 된다 . 그 후 , 게이트 밸브 ( G 3 ) 가 개방 되 고 , 로드 록 실 ( 12 ) 과 미리 진공 분위기 로 된 진공 반 송실 ( 311 ) 이 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 501 ) 의 반송 아암 ( 511 ) 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 로드 록 실 ( 12 ) 로부터 반출 되 고 , 진공 반 송실 ( 311 ) 내 에 반입 된다 .