반송 로봇 ( 119 ) 으로부터 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 으로 기판 ( 10 ) 을 전달 하 는 경우 에 는 , 예 를 들 면 , 다음 과 같이 행해진다 . 전달 전 의 상태 에서 는 , 각각 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 , 모든 협지 기구 ( 211 ) 의 높이 ( Z 방향 의 위치 ) 가 같 게 되 도록 배치 되 고 , 그리고 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 , 이 들 협지 기구 ( 211 ) 의 높이 가 소정 의 수취 위치 가 되 도록 배치 된다 . 그리고 , 전달 동작 이 개시 되 면 , 각각 의 압 압 구 Z 액 츄 에 이터 ( 211 c ) 에 의해 , 모든 압 압 구 ( 211 b ) 가 상승 하 고 , 지지 구 ( 211 a ) 로부터 이격 된 상태 가 된다 . 이 상태 에서 , 반송 로봇 ( 119 ) 에 의해 지지 구 ( 211 a ) 와 압 압 구 ( 211 b ) 의 사이 로 기판 ( 10 ) 이 보내 진 후 , 각각 의 압 압 구 Z 액 츄 에 이터 ( 211 c ) 에 의해 , 모든 압 압 구 ( 211 b ) 가 하강 하 여 , 기판 ( 10 ) 에 눌려 접촉 된다 . 이 에 의해 , 모든 압 압 구 ( 211 b ) 와 지 지구 ( 211 a ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 이 협지 되 어 , 보유 지지 된다 .