또한 , 대기압 반송 장치 ( 21 ) 의 Y 방향 정 방향 ( 도 1 의 상 방향 ) 측 에 는 , 게이트 밸브 ( G 1 , G 2 ) 를 거쳐서 로드 록 실 ( 12 , 13 ) 이 접속 되 어 있 다 . 또한 , 로드 록 실 ( 12 , 13 ) 의 Y 방향 정 방향 측 에 는 게이트 밸브 ( G 3 , G 4 ) 를 거쳐서 처리 스테이션 ( 11 ) 의 진공 반송 장치 ( 30 ) , 구체 적 으로 는 후술 의 진공 반 송실 ( 311 ) 이 접속 되 어 있 다 .