또 , 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 한 쪽 을 , 예 를 들 면 위상 ( 位相 ) 시프트 마스크 로 하 고 , 다른 한 쪽 을 크롬 패턴 만 으로 형성 된 바이너리 ( binary ) 마스크 로 할 수 있 다 . 이 경우 , 예 를 들 면 , 위상 시프트 마스크 의 조명 조건 을 소 σ 조명 ( 코 히 런 스 팩터 ( σ 값 ) 가 , 예 를 들 면 0 . 2 ~ 0 . 4 정도 의 통상 조명 ) 으로 하 고 , 바이너리 마스크 의 조명 조건 을 변형 조명 ( 윤대 ( 輪 帶 ) 조명 또는 다극 조명 등 ) 이 라고 하 여도 좋 다 . 또한 , 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 는 각각 위상 시프트 마스크 라도 좋 다 .