본 발명 은 또한 본원 에 기술 된 연마 공구 를 사용 하 여 표면 을 연마 하 는 방법 들 을 포함 한다 . 예 를 들 어 , 일부 구 현예 에서 는 , 가공 면 이 연마 공구 에 접촉 되 어 연마 부스러기 가 생성 된다 . 이러 한 연마 부스러기 는 연마 용품 및 인터페이스 패드 를 통과 하 여 , 그리고 지지 공구 내부 로 전달 된다 . 예 를 들 어 , 일 구 현예 에서 , 연마 공구 는 ( a ) 복수 의 제 1 개 구들 을 한정 하 는 천공 연마 용품 ; ( b ) 복수 의 제 2 개 구들 을 한정 하 는 연마 용품 지지 면 및 복수 의 제 2 개 구들 중 둘 이상 과 유체 소통 을 이루 는 하나 이상 의 통로 를 포함 하 는 , 인터페이스 패드 ; 및 ( c ) 복수 의 제 3 개 구들 을 한정 하 는 지지 공구 를 포함 하 며 , 여기 서 연마 부스러기 는 복수 의 제 1 개 구들 , 복수 의 제 2 개 구들 , 통로 들 및 복수 의 제 3 개 구들 을 통해 전달 된다 . 바람직 하 게 , 인터페이스 패드 에 형성 된 개구 들 과 통로 들 은 연마 공정 도중 에 생성 된 부스러기 가 연마 용품 지지 면 의 개구 들 과 , 통로 들 을 통해 효과 적 으로 이송 되 어 지 지 공구 의 분진 추출 시스템 에 이르 도록 구성 된다 .