여기 서 , 클램프 부 ( 120 ) 는 제 1 클램프 ( 121 ) 와 제 2 클램프 ( 122 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 클램프 ( 121 ) 는 기판 ( 110 ) 의 상면 을 고정 하 고 , 제 2 클램프 ( 122 ) 는 기판 ( 110 ) 의 하면 을 고정 할 수 있 다 . 또한 , 클램프 부 ( 120 ) 가 고정 하 는 기판 ( 110 ) 의 영역 은 더미 영역 으로서 , 회로 적 으로 작동 하 지 않 아 외관 을 검사 할 필요 가 없 는 영역 일 수 있 다 . 또한 , 제 1 클램프 ( 121 ) 및 제 2 클램프 ( 122 ) 가 파지 하 는 기판 의 영역 이 손상 되 지 않 도록 , 제 1 클램프 ( 121 ) 및 제 2 클램프 ( 122 ) 의 기판 파지 부분 에 예 를 들 어 , 고무 등 과 같 은 완충 부재 를 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .