또 , 높이 계측 부 ( 60 ) 의 조사 부 ( 61 a , 61 b ) 는 , 본 실시 형태 에서 는 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 선 단부 ( 11 a , 12 a ) 에 설치 하 는 것 으로 하 였 지만 , 기판 ( W ) 의 실제 반송 높이 를 보다 정확 하 게 검출 하 기 위해 , 핸드 부 ( 10 ) 의 소재 등 에 따라 변화 하 는 휨 의 정도 에 따라 장착 위치 를 임의 로 변경 해도 된다 . 예 를 들 면 , 조사 부 ( 61 a , 61 b ) 는 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 선 단부 ( 11 a , 12 a ) 와 근원 측 ( 후 단부 ) ( 11 b , 12 b ) 사이 의 중간 위치 에 설치 할 수 있 다 .