오존 세정 은 , 오존 ( O 3 ) 을 소정 농도 포함 한 순수 ( 純水 ) 를 공급 하 기 위한 장 치 를 구비 한 배치 타입 의 세 정기 , 또는 매 엽 ( 枚 葉 ) 타입 의 세 정기 를 이용 하 여 행할 수 있 다 . 또한 , 오존 세정 은 , 오 존수 를 가온 ( 加溫 ) 하 는 일 이 없이 , 실온 ( 예 를 들 면 , 10 ∼ 30 ℃, 바람직 하 게 는 15 ∼ 25 ℃) 에서 행할 수 있 다 .