도 2 b 는 , 검출기 ( 21 ) 의 구성 예 를 도시 한 도면 이 다 . 검출기 ( 21 ) 는 , 광원 ( 61 ) 으로부터 출사 된 빛 을 웨이퍼 ( 3 ) 에 조명 하 는 조명계 와 , 웨이퍼 ( 3 ) 위 에 설치 된 마크 ( 32 ) 의 상 을 결상 하 는 결상 계 를 포함 할 수 있 다 . 조명 계 는 , 조명 광학계 62 , 63 , 66 , 조명 개구 조리개 ( 64 ) , 미러 M 2 , 릴레이 렌즈 ( 67 ) , 편광 빔 스플리터 ( 68 ) , λ / 4 판 ( 70 ) , 대물 광학계 ( 71 ) 를 포함 할 수 있 다 . 결상 계 는 , 대물 광학계 ( 71 ) , λ / 4 판 ( 70 ) , 검출 개구 조리개 ( 69 ) , 편광 빔 스플리터 ( 68 ) , 결상 광학계 ( 74 ) 를 포함 하 고 , 마크 ( 32 ) 로부터 의 반사광 을 센서 ( 75 ) 에 결상 하 도록 구성 되 어 있 다 . 제 어부 ( 1100 ) 는 , 간섭계 ( 81 ) 에 의해 측정 된 웨이퍼 스테이지 WS 의 위치 정보 와 , 검출기 ( 21 ) 에 의해 검출 된 신호 파형 에 근거 하 여 마크 의 좌표 위치 를 구할 수 있 다 .