본 개시 의 일 형태 는 , 도포 막 이 형성 된 기판 을 처리 용기 내 에서 가열 하 는 가열 처리 장치 이 며 , 상기 처리 용기 내 에 마련 되 어 , 상기 기판 을 적재 하 는 적 재부 와 , 상기 적 재부 에 적재 된 기판 을 가열 하 기 위한 가열 부 와 , 상기 적 재부 에 형성 된 흡 인구 에 통하 고 , 상기 적 재부 를 관통 하 여 바로 아래 로 연신 되 는 흡 인관 과 , 상기 흡 인관 과 흡인 기구 사이 의 흡인 로 에 마련 된 포집 용기 를 갖 고 , 상기 포집 용기 는 , 평면 으로 보 아 상기 적 재부 의 바로 아래 에 마련 되 어 , 상기 흡 인관 과 접속 되 어 , 상기 처리 용기 내 의 승화 물 을 포집 하 도록 구성 되 어 있 는 , 가열 처리 장치 이 다 .