또한 , 상기 제 4 실시 형태 와 동일 하 게 Y 방향 스크럼 을 채용 하 는 경우 라도 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 Y 축 방향 의 측면 으로부터 기구 부 의 일부 가 다른 부분 보다 외측 으로 돌출 되 는 경우 도 생각 할 수 있 다 . 이 와 같 은 경우 에 는 , 그 들 의 돌출부 가 또 다른 일방 의 웨이퍼 스테이지 의 일부 와 접촉 하 지 않 을 정도 의 길이 로 , 계측 부 및 FD 바 의 Y 축 방향 의 치수 , 및 / 또는 스크럼 시 의 오프셋 량 등 을 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .