여기 서 , " 복수 의 냉각 라인 ( 241 """," 243 ') 들 에 각각 냉각 유체 를 전달 하 는 이동 경로 를 제공 하 는 공급 관 ( 262 "") 의 일단 은 냉각 장치 ( 260 ) 의 냉각 유체 공 급단 ( 266 ) 에 연결 된다 . 그리고 "," 공급 관 ( 262 "") 의 타단 에 연결 된 냉각 라인 ( 241 """," 243 "") 들 은 기판 ( W ) 의 영역 별 냉각 이 가능 하 도록 기판 지지 부재 ( 240 ) 의 중심부 와 가장자리 부 에 분리 형성 된다 . 기판 지지 부재 ( 240 ) 의 중심부 에 는 제 1 냉각 라인 ( 241 "") 이 나선 모양 으로 형성 되 고 "," 가장자리 부 에 는 제 1 냉각 라인 ( 241 "") 을 에워싸 도록 제 2 냉각 라인 ( 243 "") 이 나선 모양 으로 형성 되 어 있 다 . 제 1 냉각 라인 ( 241 "") 및 제 2 냉각 라인 ( 243 "") 은 각각 상이 한 크기 의 유동 단면적 을 가지 도록 형성 될 수 있 다 . 제 1 냉각 라인 ( 241 "") 및 제 2 냉각 라인 ( 243 "") 에 각각 연결 되 어 냉각 라인 ( 241 """," 243 "") 들 을 순환 한 냉각 유체 를 배출 시키 는 배출관 ( 264 a ", 264 b ) 들 은 냉각 장치 ( 260 ) 의 냉각 유체 인 입단 ( 268 ) 에 합류 되 도록 설치 된다 . 이러 한 구성 에 의해 단일 의 냉각 장치 로 기판 의 온도 를 영역 별 로 분리 하 여 제어 할 수 있 게 되 며 , 또한 영역 별 로 공급 되 는 냉각 유체 의 유속 을 달리 하 여 기판 의 온도 를 제어 할 수 있 다 .