또한 , 상기 편광 필름 ( 8 ) 에 투명 도전 막 ( 83 ) 을 증착 시켜 주 는 플 라즈 마장 치 ( 300 ) 는 펄스 형 마이크로파 의 합성 을 이용 한 대면 적 전자 싸이클 로 트론 공진 플라 즈 마장 치 로써 , 내부 에 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 이 형성 된 구성 을 갖 는 저면 이 트여 진 사각 함 체 형상 의 반응 조 ( 1 ) 와 ;