더욱이 , 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 460 ) 과 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 470 ) 은 처리 시퀀스 , 이송 시퀀스 , 작동 상태 , 웨이퍼 및 / 또는 처리 상태 , 처리 시간 , 현재 시간 , 웨이퍼 데이터 , 웨이퍼 상 의 사이트 개수 , 웨이퍼 상 의 사이트 타입 , 필수 사이트 의 개수 , 완료 된 사이트 의 개수 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 , 신뢰 도 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 기초 하 여 웨이퍼 를 로드 , 캐리 및 / 또는 언 로드 할 수 있 다 .