스퍼터 성막 하 여 얻 어 진 막 을 갖 는 유리 기판 을 , 어닐링 로 ( 爐 ) 에 넣 고 , 먼저 로 내 의 대기 를 로터리 펌프 등 으로 1 × 10 - 2 ㎩ 까지 배기 한 후 에 , 순 산소 가스 를 도입 하 여 , 소정 의 300 ℃ 까지 약 1 분 간 승 온 한 후 에 10 분 간 유지 시키 고 , 그 후 에 는 노 냉 시켜 강온 함 으로써 산화물 박막 을 어닐링 하 였 다 . 막 의 캐리어 농도 를 홀 측정 한 결과 , 어닐링 전 에 는 8 . 0 × 1018 ㎝- 3 , 어닐링 후 에 는 9 . 8 × 1016 ㎝- 3 였 다 .