노광 장치 ( 1000 ) 는 , 조명계 ( 10 ) , 조명계 ( 10 ) 로부터 의 조명 광 ( IL ) 에 의해 조명 되 는 레티 클 ( R ) 을 유지 하 는 레티 클 스테이지 ( RST ) , 레티 클 ( R ) 로부터 사출 된 조명 광 ( IL ) 을 웨이퍼 상 에 조사 하 는 투영 광학계 ( PL ) 를 포함 하 는 투영 유닛 ( PU ) , 2 개 의 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 포함 하 는 스테이지 장치 ( 1050 ) , 국소 액침 장치 ( 8 ) , 및 이 들 의 제 어계 등 을 구비 하 고 있 다 . 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 상 에 는 웨이퍼 ( W 1 , W 2 ) 가 각각 유지 되 어 있 다 .