폴리 카르복실 레이트 폴리머 또는 에 톡 실화 된 폴리아민 을 함유 한 본 발명 의 용액 으로 세정 한 후 에 , 모든 폴리 카르복실 레이트 폴리머 , 또는 모든 에 톡 실화 된 폴리아민 을 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 . 일반 적 으로 , 이 는 린 싱 을 통해 적절 하 게 이루어질 수 있 다 . 특히 폴리 카르복실 레이트 폴리머 용액 을 사용 한 후 에 절대 적 으로 가장 낮 은 수준 의 잔류 가 요구 되 는 경우 , 두 단계 세정 이 사용 될 수 있 다 . 제 1 단계 는 NH 4 OH 를 기초 로 한 세정 이 며 ; 제 2 단계 는 HCl 을 기초 로 한 세정 이 다 ( 또는 HCl 린스 수 ( HCl rinse water ) 가 간단히 사용 될 수 있 다 ) . 대안 적 으로 , NH 4 OH 를 기초 로 한 단계 는 생략 될 수 있 으며 , 린 싱 은 HCl 로 산성화 될 수 있 다 . 이 는 에 톡 실화 된 폴리아민 용액 에 대해 특히 유용 하 다 . NH 4 OH 에 대안 으로서 , 임의 의 다른 염기 가 또한 사용 될 수 있 다 .