크 래들 ( 10 ) 은 제 2 층 ( 302 ) 에 배치 된 제 2 이 송부 ( 115 ) 에 제공 될 수 있 다 . 제 2 층 ( 302 ) 에 배치 된 제 3 이송 로봇 ( 142 ) 은 크 래들 ( 10 ) 에 저장 된 제 2 가스 실린더 ( 22 ) 를 제 2 가스 실린더 ( 22 ) 단위 로 분리 할 수 있 다 . 제 3 이송 로봇 ( 142 ) 은 이송 로봇 ( 140 ) 과 동일 한 이송 로봇 일 수 있 다 .