도 6 c 를 참조 하 면 , 세정액 이 웨이퍼 의 외곽 부분 으로 갈수록 높 아 지 는 형태 가 된다 . 이때 , 세정액 의 높 은 층 이 웨이퍼 의 외곽 부분 으로 계속 이동 하 면서 세정액 의 표면 장력 이 웨이퍼 의 표면 에 작용 하 게 되 고 , 이 로 인해 웨이퍼 상 의 결함 들 이 웨이퍼 에서 떨어지 게 되 는 것 이 다 . 이 는 TEL 사 의 PDR Nozzel ( Physical Defect Reduction Nozzel ) 의 원리 를 이용 한 것 이 다 .