그러나 비피 에 스지 ( BPSG ) 막 ( 104 ) 의 유동 성 을 증가 시키 기 위해서 는 일정 온도 이상 에서 열처리 를 수행 해야 함 으로써 비피 에 스지 ( BPSG ) 막 ( 104 ) 내 첨가 된 불순물 , 예컨대 보론 ( B ; Boron ) 및 포스 포 러스 ( P ; Phosphorus ) 가 막 전체 로 확산 될 수 있 다 . 비피 에 스지 ( BPSG ) 막 ( 104 ) 내 첨가 된 불순물 이 막 전체 로 확산 되 면 도전 막 패턴 ( 102 ) 주위 를 둘러싸 고 있 는 산화물 및 질화물 과 반응 하 여 일부 불순물 , 특히 포스 포 러스 ( P ) 가 일정 한 농도 로 전 박막 사이 에 분포 하 면서 일정 한 양 의 전류 가 흐르 게 하 는 전기 적 채널 을 형성 하 게 된다 .