퍼지 가스 공급 부 ( 517 ) 는 , 배관 ( 517 a ) , 지지 부 ( 505 a ) 와 온도 조절 재킷 ( 508 ) 의 구멍 부 의 간극 , 스테이지 ( 505 ) 와 단 열 링 ( 507 ) 의 사이 에 형성 되 어 직경 방향 외측 을 향해서 연장 되 는 유로 , 스테이지 ( 505 ) 의 외주 부 에 형성 된 상하 방향 의 유로 에 퍼지 가스 를 흘린다 . 그리고 , 이 들 유로 를 통해서 , 환상 부재 ( 514 ) 의 하면 과 스테이지 ( 505 ) 의 상면 의 사이 에 , 예 를 들 어 일산 화 탄소 ( CO ) 가스 등 의 퍼지 가스 를 공급 한다 . 이 에 의해 , 환상 부재 ( 514 ) 의 하면 과 스테이지 ( 505 ) 의 상면 사이 의 공간 에 프로세스 가스 가 유입 되 는 것 을 방지 하 여 , 환상 부재 ( 514 ) 의 하면 이나 스테이지 ( 505 ) 의 외주 부 의 상면 에 성막 되 는 것 을 방지 한다 .