한 실시 양태 에서 , 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 를 , 가압 용기 또는 밀폐 컨테이너 와 같 은 통상 적 인 유형 의 반응기 일 수 있 는 반응기 ( 105 ) 에서 전처리 한다 . 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 를 반응기 ( 105 ) 에 도입 하 여 불소 공급원 ( 103 ) 으로부터 불소 가 해리 되 도록 반응 시킴 으로써 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 중 에 활성 불소 종 을 생성 한다 . 일부 실시 양태 에서 , 반응 은 반응기 를 약 300 ℃ 내지 약 1000 ℃, 바람직 하 게 는 약 500 ℃ 로 가열 하 는 열 분 해 유형 의 반응 일 수 있 다 . 일부 실시 양태 에서 , 반응 은 불소 를 해리 시키 기 위해 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 를 플 라즈 마 에 노출 시킴 으로써 개시 할 수 도 있 다 .