캡 핑 막 ( 205 ) 은 1 ~ 10 nm 의 두께 를 가지 며 , 바람직 하 게 는 1 ~ 5 nm 의 두께 를 갖 는다 . 캡 핑 막 ( 205 ) 은 그 두께 가 1 ㎚ 이하 인 경우 그 상부 의 흡수 막 ( 206 ) 의 패 터닝 공정 시 식각 조건 ( 예 를 들 어 , Over Etching 등 ) 을 고려 하 였을 때 하부 에 형성 된 반사막 ( 204 ) 을 보호 하 기 어려우 며 , 그 두께 가 10 ㎚ 이상 인 경우 13 . 5 ㎚ 의 노 광광 의 반사 율 이 감쇄 되 어 최종 적 으로 이미지 감도 ( Image Contrast ) 가 감소 하 는 문제 를 유발 한다 .