이어서 , As 등 의 불순물 로 도핑 된 금속 막 ( 32 ) , 예컨대 티타늄 ( Ti ) 막 을 PR 과 드레 인 ( 14 ) 영역 상부 에 증착 시킨다 . 증착 은 물리 적 인 증착 방법 , 즉 스퍼터링 ( sputtering ) , 증기 증착 법 ( evaporation method ) , MBE ( molecular beam epitaxy ) , ICP ( ionized cluster beam deposition ) , 또는 레이저 를 활용 한 물리 증착 법 등 으로 증착 할 수 있 다 . 또한 , 증착 된 금속 막 ( 32 ) 의 두께 는 예컨대 , 약 30 nm 일 수 있 다 . -