이 와 같 은 변조 방법 으로 고주파 전압 의 진폭 이나 주기 를 변화 시켜 줌 으로써 라디칼 증착 장치 특성 상 제 1 샤워 헤드 와 제 2 샤워 헤드 사이 의 좁 은 플 라즈 마 발생 공간 ( 3 mm ~ 20 mm ) 에서 발생 되 는 플 라즈 마의 안정 화 를 확보 하 여 균일 한 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 있 다 . 따라서 , 마이크 로 아 킹 과 같 은 현상 을 제어 가능 하 게 된다 . 본 발명 에서 는 이 와 같 은 변조 방식 을 라디칼 증착 장치 에 적용 함 으로써 막 증착 속도 와 막 질 을 향상 시킬 수 있 다 .