본 실시 형태 에 따르 면 , 제 1 접촉 부재 ( 21 ) 의 접촉면 ( A ) 의 압력 의 최대 값 및 최소 값 을 각각 Pmax 및 Pmin 으로 하 였을 때 에 , Pmin ≥ 0 . 4 Pmax 를 만족 하 도록 , 적층 체 ( 10 ) 를 고정 하 고 있 기 때문 에 , 적층 체 ( 10 ) 의 단부 면 근방 을 전체 둘레 에 걸쳐 균일 한 힘 으로 고정 할 수 있 어 , 가공 시 의 각 필름 의 단부 의 어긋남 이 억제 되 어 , 가공 정밀도 가 향상 한다 .