또한 , 본 실시 형태 에 특징 적 인 구성 으로서 , 흡착 기구 ( 2 ) 는 , 패드 ( 30 ) 의 외주 부 ( 30 c ) 에 압접 시킴 에 의해 . 당해 패드 ( 30 ) 를 지지벽 ( 26 ) 및 베이스 면 ( 22 a ) 의 양방 에 밀착 시켜서 고정 하 는 고정부 ( 32 ) 를 구비 하 는 구성 으로 하 고 있 다 . 한 예 로서 , 고정부 ( 32 ) 는 본 체부 ( 22 ) 에 부착 되 는 구성 으로 하 고 있 다 .