본 발명 에 따른 세정 단계 는 유동층 반응기 에서 수행 될 수 있 다 . 유동층 반응기 는 당업자 에게 공지 되 어 있 다 . 이 유형 의 반응기 에서 , 유체 ( 보통 가스 또는 액체 , 바람직 하 게 는 액체 ) 는 고체 의 적어도 일부분 을 현 탁 시켜서 그것 이 마치 유체 인 것 처럼 거동 하 도록 하 기에 충분 한 속도 로 정제 될 석영 분말 의 슬러리 를 통과 한다 . 이 공정 은 유동 화 ( fluidisation ) 로서 알려져 있 다 . 본 발명 에서 , 유동층 반응기 를 반응 성 유체 , 예컨대 플루오르화 수소산 과 함께 사용 하 고 , 세정 중 에 석영 입자 의 표면 에서 에칭 반응 을 수행 하 는 것 이 가능 하 다 . 대안 적 으로 , 현 탁 된 분말 을 물 과 같 은 비활성 유체 로 처리 하 고 , 분말 과 유체 와 의 임의 의 반응 의 부재 하 에서 세정 을 수행 하 는 것 또한 가능 하 다 .