상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 집 적 회로 장치 는 반도체 기판 , 반도체 기판 상 에 평행 하 게 연장 되 어 형성 된 복수 개 의 배선 , 배선 상 에 형성 되 며 제 1 마스크 패턴 및 제 1 마스크 패턴 의 양 측벽 에 형성 된 제 2 마스크 패턴 을 포함 하 는 마스크 패턴 , 마스크 패턴 과 배선 의 양 측벽 에 형성 된 스 페이서 및 복수 개 의 배선 중 일부 배선 사이 를 매립 하 여 형성 된 콘 택 을 포함 한다 .