제 어부 ( 2090 ) 는 , 도 17 에 나타내 는 바 와 같이 , MPU ( Micro Processing Unit ) ( 901 ) 와 , 메인 기억 부 ( 902 ) 와 , 보조 기억 부 ( 903 ) 와 , 인터페이스 ( 2904 ) 와 , 각 부 를 접속 하 는 버스 ( 905 ) 를 구비 한다 . 한편 , 도 17 에 있 어서 , 실시 예 1 과 동일 한 구성 에 대해서 는 도 8 과 동일 한 부호 를 부여 하 고 있 다 . 인터페이스 ( 2904 ) 는 , 거리 측 정부 ( 511 ) 로부터 입력 되 는 측정 신호 를 측정 정보 로 변환 하 여 버스 ( 905 ) 에 출력 한다 . 또한 , 인터페이스 ( 2904 ) 는 , 촬상부 ( 2041 ) 로부터 입력 되 는 촬영 화상 신호 를 촬영 화상 정보 로 변환 하 여 버스 ( 905 ) 에 출력 한다 . MPU ( 901 ) 는 , 보조 기억 부 ( 903 ) 가 기억 하 는 프로그램 을 메인 기억 부 ( 902 ) 에 리딩 하 여 실행 하 는 것 에 의해 , 인터페이스 ( 2904 ) 를 통해 , Z 방향 구동 부 ( 34 ) , θ 방향 구동 부 ( 37 ) , 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) , X 방향 구동 부 ( 321 ) , Y 방향 구동 부 ( 323 ) , 디 스펜서 구동 부 ( 521 ) , 토출 제 어부 ( 523 ) , 자외선 조사 부 ( 53 ) , 지지 부 ( 55 ) 각각 에 제어 신호 를 출력 한다 .