상기 와 같 은 열악 환경 조성부 ( 140 ) 에 의해 액상 의 유기 금속 전구체 에 가해 지 는 열악 환경 에 따른 유기 금속 전구체 의 분해 도 및 안정 성 을 실시간 으로 평가 할 수 있 도록 , 상기 용기 ( 110 ) 에 구비 된 분광 수단 ( 150 ) , 배출 파이프 ( 130 ) 의 타 측 과 연결 되 어 구비 되 는 질량 분석 장치 ( 230 ) , 포집 장치 ( 210 ) 또는 GC - MS ( 미 도시 ) , 또는 이 들 의 조합 을 이용 한다 .