플라스마 생 성부 ( 91 ) 는 가스 공급 관 ( 92 ) 으로부터 공급 된 염소 가스 를 플라스마 원 에 의해 활성 화 한다 . 플라스마 원 으로서 는 , 염소 가스 를 활성 화 하 는 것 이 가능 하 면 , 특별히 한정 되 는 것 은 아니 다 . 플라스마 원 으로서 는 , 예 를 들 어 유도 결합 형 플라스마 ( ICP : Inductively Coupled Plasma ) , 용량 결합 형 플라스마 ( CCP : Capacitively Coupled Plasma ) , 표면파 플라스마 ( SWP : Surface Wave Plasma ) 를 사용 할 수 있 다 .