전술 한 바 와 같 은 과제 를 해결 하 기 위하 여 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 트리플 게이트 구조 의 이온 전계 효과 트랜지스터 기반 고 성능 바이오 센서 의 제조 방법 은 제 1 게이트 와 제 1 게이트 상 에 하부 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 하부 절 연막 상 에 채널 을 형성 하 는 단계 ; 채널 상 에 소스 영역 과 드레 인 영역 을 형성 하 는 단계 ; 채널 상 에 상부 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 제 2 게이트 와 제 3 게이트 를 동시 에 형성 하 는 단계 ; 및 제 2 게이트 의 면적 을 기초 로 상부 절 연막 과 하부 절 연막 사이 의 용량 비 ( coupling ratio ) 를 조절 하 여 제어 게이트 의 문턱 전압 을 자 가 증폭 하 는 단계 를 포함 한다 . 이 에 , 고 성능 센서 를 POC ( Point Of Care ) , 재택 진단 , 연구소 , 환경 모니터링 에 활용 할 수 있 다 .