상기 챔버 본체 ( 110 ) 는 상측 이 개방 된 그릇 형태 를 가지 며 , 기판 ( 10 ) 이 입출 될 수 있 는 게이트 ( 101 , 102 ) 가 하나 이상 형성 된다 . 본 실시 예 에서 는 실질 적 으로 직사각 형 형상 을 가지 는 챔버 본체 ( 110 ) 에서 한 쌍 의 게이트 ( 101 , 102 ) 들 이 서로 대향 되 도록 형성 된다 .