상술 한 예시 들 과 같 은 활성 층 ( 140 ) 을 형성 하 기 위한 소스 원료 에 대해 설명 하 면 , 아연 ( Zn ) 를 포함 하 는 소스 원료 는 디 에틸 징크 ( Diethyl Zinc ; Zn ( C 2 H 5 ) 2 ) ( DEZ ) , 디 메틸 징크 ( Dimethyl Zinc ; Zn ( CH 3 ) 2 ) ( DMZ ) 등 을 이용 할 수 있 고 , 인듐 ( In ) 을 포함 하 는 소스 원료 로 는 트리 메틸 인듐 ( Trimethyl Indium ; In ( CH 3 ) 3 ) ( TMIn ) , 디 에 틸 아미노 프로필 디 메틸 인듐 ( Diethylamino Propyl Dimethyl Indium ) ( DADI ) 등 을 이용 할 수 있 으며 , 갈륨 ( Ga ) 을 포함 하 는 소스 원료 는 트리 메틸 갈륨 ( Trimethyl Gallium ; Ga ( CH 3 ) 3 ) ( TMGa ) 등 을 이용 할 수 있 다 .