액정 기판 등 의 드라이 세정 을 행하 는 광 세정 장치 에 는 , 유전체 배리 어 방전 램프 가 이용 되 고 있 다 . 이 광 세정 장치 는 , 석영 글래스 관 에 엑 시머 생성 가스 를 봉입 한 엑 시머 램프 에 고주파 전압 을 인가 해서 글래스 관 내 를 방전 시키 고 , 엑 시머 생성 가스 를 엑 시머 상태 로 해서 파장 172 nm 의 단일 파장 의 광 을 조사 한다 . 대기 중 에 파장 172 nm 의 자외선 을 조사 함 으로써 , 대기 중 의 산소 가 분해 하 여 활성 산소 를 생성 한다 . 결합 이 절단 된 유기 화합물 이 활성 산소 와 반응 하 여 , 탄산 가스 ( CO 2 ) 나 물 ( H 20 ) 등 을 생성 하 고 , 유기 화합물 의 제거 를 행한다 .