본 반송 방법 에서 는 , 우선 , 제 어부 ( 60 ) 에 의해 선회 용 모터 ( 53 a ) 및 신축 용 모터 ( 53 b ) ( 도 4 참조 ) 중 적어도 한쪽 이 제어 되 어 , 반송 아암 ( 521 ) 의 선회 및 신장 돌출 중 적어도 한쪽 이 실행 된다 . 이 에 의해 , 반송 아암 ( 521 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 가 도 7 의 ( A ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 반 송실 ( 321 ) 내 의 미리 정해진 위치 까지 반송 된다 . 상기 미리 정해진 위치 란 , 탑재 대 ( 43 ) 의 위치 로부터 보 아 , 게이트 밸브 ( G 11 ) 를 거쳐서 웨이퍼 ( W ) 의 처리 실 ( 421 ) 측 전체 가 노출 되 는 위치 이 다 .