이어서 , 제 2 실시 형태 에 대해서 설명 한다 . 본 실시 형태 는 , 제 1 영구 자석 대신 에 , 자성체 재료 에 의해 형성 된 자성체 회 전부 를 사용 한 것 이 다 . 구체 적 으로 는 , 도 14 및 도 15 에 도시 된 바 와 같이 , 매니폴드 ( 90 ) 의 하측 개구부 ( 92 ) 에 는 , 자성체 회 전부 ( 267 ) 가 넣 어 져 있 고 , 자성체 회 전부 ( 267 ) 는 , 스 페이서 ( 169 ) 를 개재 하 여 , 홀더 ( 161 ) 의 하측 의 고정부 ( 161 g ) 에 , 나사 ( 168 ) 에 의해 고정 되 어 있 다 . 도 14 는 , 본 실시 형태 에서 의 기판 처리 장치 의 가스 도입 기구 부 의 단면 사시도 이 며 , 도 15 는 , 가스 도입 기구 부 의 내부 유닛 이 설치 되 어 있 는 상태 의 단면 사시도 이 다 .