도 3 은 , 본 발명 의 구 현예 에 따른 한 사이클 에서 PEALD 의 개략 적 인 공정 시퀀스 와 조합 된 한 사이클 에서 열적 ALD 의 개략 적 인 공정 시퀀스 를 나타내 며 , 회색 의 셀 은 온 상태 를 표시 하 고 , 반면 흰색 의 셀 은 오프 상태 를 표시 하나 , 각 컬럼 의 폭 이 각 공정 의 지속 시간 을 표시 하 는 것 은 아니 다 . 하나 의 사이클 에 열적 ALD 및 PEALD 가 결합 된 이러 한 연속 공정 시퀀스 에서 , " 열적 ALD 는 "" 피드 1 """," "" 퍼지 1 """," "" 리 액트 1 "" 및 "" 퍼지 2 "" 를 포함 하 고 "," 이 들 은 각각 도 2 에 도시 된 "" 피드 """," "" 퍼지 1 """," "" 리 액트 """," 및 "" 퍼지 2 "" 에 대응 한다 . 상기 사이클 을 m 번 ( m 은 1 내지 3000 ", 바람직 하 게 는 1 내지 500 의 정수 ) 반복 한 후 , " 도 4 에 도시 된 "" 피드 """," "" 퍼지 1 """," "" RF """," 및 "" 퍼지 2 "" 에 각각 실질 적 으로 대응 하 는 "" 피드 2 """," "" 퍼지 3 """," "" RF """," 및 "" 퍼지 4 "" 를 포함 하 는 PEALD 가 시작 된다 . 상기 한 사이클 은 n 번 ( n 은 1 내지 1000 ", 바람직 하 게 는 1 내지 150 의 정수 ) 반복 될 수 있 다 . n / m 의 비 는 0 . 1 내지 3 , 바람직 하 게 는 0 . 2 내지 1 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 .