제 1 절연 막 은 제 1 도 전막 상부 보다 제 2 도 전막 상부 에 더 두껍 게 형성 된다 . 제 1 절연 막 은 건식 식각 공정 을 통한 이방성 식각 공정 으로 제거 한다 . 식각 공정 시 제 1 도 전막 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 이 제거 되 는 동안 제 1 도 전막 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 의 두께 만큼 제 2 도 전막 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 이 제거 된다 .