도 2 는 본 발명 의 타 겟 용 위치 가 변유 니트 를 갖 는 반도체 소자 제조 용 펄스 파 레이저 증착 설비 를 보여 주 는 구성도 이 다 . 도 3 은 본 발명 에 따르 는 타 겟 고 정체 를 보여 주 는 사시도 이 다 . 도 4 는 본 발명 에 일 실시 예 를 따르 는 타 겟 용 위치 가 변유 니트 에 의하 여 회전 되 는 타 겟 고 정체 및 타 겟 홀더 를 보여 주 는 도면 이 다 . 도 5 는 본 발명 에 다른 실시 예 를 따르 는 타 겟 용 위치 가 변유 니트 에 의하 여 회전 되 는 타 겟 고 정체 및 타 겟 홀더 를 보여 주 는 도면 이 다 .