이러 한 구성 에서 는 , 구획 공간 ( S ) 에서 웨이퍼 ( W ) 의 온도 조정 처리 , 예 를 들 면 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 에 있 어서 진공 처리 를 행하 기 전 에 웨이퍼 ( W ) 를 예비 적 으로 가열 하 는 처리 가 행해진다 . 이하 에 이 예비 가열 처리 에 대해서 도 11 A ~ 도 13 을 참조 하 면서 설명 한다 . 우선 , 도 11 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 덮개 체 ( 7 ) 에 의해 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 기밀 하 게 막 아 이 들 에 의해 구획 공간 ( S ) 을 형성 하 고 , 이 구획 공간 ( S ) 을 배 기 로 ( 79 a ) 를 통하 여 진공 배기 유닛 ( 79 ) ( 도 10 ) 에 의해 제 2 반 송실 ( 3 ) 과 동일 한 압력 까지 진공 배기 한다 . 또한 이때 , 유로 ( 41 b ) 에 소정 온도 로 조정 된 온도 조정 유체 를 흘려 둔다 .