탄소 나노 튜브 의 제조 에 있 어서 철 , 코발트 , 니켈 등 의 전이 금속 이 촉매 로 사용 될 수 있 는데 , 그 이온 자체 는 촉매 로 작용 할 수 없 기 때문 에 촉매 나노 입자 의 형태 로 제공 되 어야 한다 . 일반 적 으로 기판 위 에 금속 촉매 또는 그 들 의 합금 박막 을 형성 하 고 , 열처리 및 / 또는 에칭 을 통하 여 박막 의 나노 입자 화 를 유도 한다 . 이 에 있 어서 철 / 규소 의 나노 콤 포 짓 의 졸 - 겔 연소 를 이용 하 는 방법 , 유기 화합물 과 촉매 의 질산염 을 혼합 및 가열 하 여 산화물 입자 의 혼합물 을 이용 하 는 방법 , 촉매 전구체 를 지지대 위 에서 하소 시켜 이온 - 교환 침전 을 이용 하 는 방법 , 기판 위 에 금속 을 기화 또는 스퍼터 시켜 증착 시키 는 물리 적 증착 법 , 전기 도 금법 ( Electroplating ) , 무전 해도 금법 ( Electroless Plating ) 등 의 방법 이 있 다 .