이후 , 도 31 을 참조 하 면 , 제 4 예비 게이트 구조물 ( 168 ) 에 오버랩 되 지 않 는 제 3 마스크 ( 406 ) 를 희생 막 ( 180 ) 상부 에 형성 한다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 제 3 마스크 ( 406 ) 는 각각 제 4 예비 게이트 구조물 ( 168 ) 에 는 오버랩 되 지 않 으면서 제 4 예비 게이트 구조물 ( 168 ) 의 측벽 상 의 제 1 절 연막 ( 170 ) 부분 에 일부 오버랩 되 며 , 상기 제 2 방향 으로 연장 되 는 두 개 의 마스크 패턴 들 을 포함 한다 .