마찬가지 로 , 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 은 , 기판 ( P ) 위 의 복수 의 조사 영역 ( 52 a ~ 52 h ) 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 하 고 , 그 조사 영역 에 패턴 상 을 생성 한다 . 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 은 , 복수 의 조사 영역 ( 52 a ~ 52 h ) 에 의해 구성 된다 .