다음 으로 , 비정질 카본 층 ( 23 ) 이 증착 된 상태 에서 하드 마스크 역할 을 하 는 티타늄 나이트 라이드 , 예컨대 ARC TiN ( Anti Reflective Coating TiN , 24 ) 을 증착 한다 . 이때 , ARC TiN ( 24 ) 은 600 Å ∼ 800 Å 두께 로 형성 한다 . 그리고 , ARC TiN ( 24 ) 의 증착 온도 는 알루미늄 막 ( 24 ) 이 녹 지 않 도록 저온 으로 해야 하 는데 , 이 를 위해 물리 기상 증착 법 을 이용 한다 . 이 와 같이 물리 기상 증착 법 을 이용 하 여 ARC TiN ( 24 ) 을 증착 하 면 , 200 ℃ 이하 ( 바람직 하 게 는 , 100 ℃∼ 200 ℃) 의 저온 에서 도 충분히 600 Å ∼ 800 Å 두께 로 증착 할 수 있 다 .