에지 링 ( 25 ) 은 기판 ( W ) 의 바깥 가장자리 쪽 뒷면 에 대향 하 는 단차 면 ( 250 ) 을 갖 는다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 상면 보다 에지 링 ( 25 ) 의 단차 면 ( 250 ) 이 조금 아랫 쪽 에 배치 된다 . 그러므로 , 기판 ( W ) 을 제 1 정전 척 ( 21 ) 에 거치 했 을 때 에 , 기판 ( W ) 의 뒷면 과 에지 링 ( 25 ) 의 단차 면 ( 250 ) 사이 에 는 약간 의 간극 이 있 다 .