그 다음 에 는 , 위상 반전 용 식각 층 ( 130 ) 상부 에 정전기 방지 막 ( Anti - Static ) ( 140 ) 을 형성 한다 . 이때 , 정전기 방지 막 은 루테늄 산화 막 ( RuO 2 ) 또는 ITO ( Indium Tin Oxide ) , 이리듐 산화 막 ( IrO 2 ) 및 이 들 의 혼합물 중 선택 된 어느 하나 를 이용 하 여 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .