흡입 장치 는 어떠 한 플라 즈 마 또는 코팅 챔버 에 도 상호 교환 적 으로 제공 될 수 있 는 별도 의 장치 로서 또는 코팅 챔버 내 에 영구 적 으로 통합 된 컴포넌트 로서 구현 될 수 있 다 . 따라서 , 본 발명 은 한 편 으로 는 흡입 장치 ( 흡입 프레임 ) 자체 에 관한 것 이 고 다른 한 편 으로 는 대응 하 여 구비 된 플라 즈 마 또는 코팅 챔버 에 관한 것 이 다 .