한편 본 실시 예 에서 상기 기판 공급 부 ( 110 ) 와 상기 촉매 층 증착 부 ( 120 ) 사이 에 는 1 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 유연 기판 ( 1 ) 의 표면 을 개질 하 는 기판 전처 리부 ( 150 ) 가 더 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 . 여기 에서 상기 기판 전처 리부 ( 150 ) 는 , 구체 적 으로 상기 기체 차단 형 필름 통과 부 ( 160 ) 에 설치 되 어 이 를 통과 하 는 상기 유연 기판 ( 1 ) 표면 에 플 라즈 마 를 조사 하 여 처리 하 는 플 라즈 마 처리 장치 인 것 이 더욱 바람직 하 다 .