단계 ( 210 내지 250 ) 는 전술 한 것 들 과 동일 하 거나 유사 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 잠재 적 성장 반응물 은 유기 금속 을 , 예 를 들 어 트리 메틸 알루미늄 ( TMA ) 과 같 은 유기 알루미늄 을 포함 할 수 있 다 . 잠재 적 성장 반응물 이 유기 금속 을 , 예 를 들 어 트리 메틸 알루미늄 ( TMA ) 과 같 은 유기 알루미늄 을 포함 하 는 경우 , 실질 적 인 저 성장 반응물 은 오존 을 포함 할 수 있 다 . 트리 메틸 알루미늄 과 조합 하 는 오존 은 , 오 목부 상부 에서 낮 은 성장 결과 를 가질 수 있 다 .