다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 인코더 ( 170 C , 170 D ) 의 계측 값 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 + Y 방향 으로 소정 거리 이동 시키 고 , 또한 - X 방향 으로 소정 거리 이동 시켜 , 도 69 에 도시 된 위치 에 위치 결정 한다 . 그리고 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 개 의 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 22 ) 를 사용 하 여 , 2 개 의 얼라이먼트 마크 를 거의 동시 에 또한 개별 적 으로 검출 하 고 ( 도 69 중 의 별 마크 참조 ) , 상기 2 개 의 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 22 ) 의 검출 결과 와 그 검 출시 의 인코더 ( 170 C , 170 D ) 의 계측 값 을 관련 시켜 도시 가 생략 된 메모리 에 저장 한다 . 이 때 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 노광 이 종료 된다 . 단 , 이 시점 에서 는 , 전술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 측 의 포커스 매핑 은 속행 되 고 있 다 . 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 노광 종료 위치 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 도달 하 기 전 에 , X 간섭계 ( 226 ) 로부터 의 측장 빔 이 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 a ) 에 닿 기 시작 하 므로 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , X 간섭계 ( 217 ) 의 계측 값 ( 또는 인코더 ( 170 A , 170 B ) 의 계측 값 ) 에 기초 하 여 X 간섭계 ( 226 ) 를 프리 셋 한다 .