도 4 를 참조 하 면 , 변형 조명 어퍼 처 ( 210 ) 는 , 노광 광원 에 대한 제 1 투 광부 ( 211 ) 들 이 다이폴 어퍼 처 형태 로 일정 방향 , 예컨대 , X 축 방향 으로 배치 되 게 구성 될 수 있 다 . 이러 한 제 1 투 광부 ( 211 ) 들 은 노광 광원 만 이 선택 적 으로 투광 하 는 영역 으로 설정 되 며 , 노광 광원 의 X 축 다이폴 변형 조명계 를 실질 적 으로 투영 렌즈 부 ( 500 ) 에 제공 한다 . 이러 한 제 1 투 광부 ( 211 ) 에 의한 노광 광원 의 X 축 다이폴 변형 조명 계 에 의해 , 투영 렌즈 부 ( 500 ) 에 입사 되 는 변형 노광 광은 , 도 5 에 제시 된 바 와 같이 , 제 1 투 광부 ( 211 ) 의 위치 에 따르 는 투영 렌즈 부 ( 500 ) 상 의 노광 광 집중 영역 ( 501 ) 들 에 집중 적 으로 조사 되 어 , 이러 한 부분 에 대해 집중 적 인 주 된 히팅 작용 을 유도 하 게 된다 .