도 1 을 참조 하 면 , 구동 모터 ( 10 ) 에서 발생 된 회전력 이 벨트 ( 12 ) 에 의해 중공축 ( 20 ) 주위 의 스핀들 ( 30 ) 로 전달 되 어 스핀 헤드 ( 40 ) 가 회전 된다 . 이 에 따라 , 스핀 헤드 ( 40 ) 상 에 장착 된 기판 ( W ) 이 회전 한다 . 기판 ( W ) 은 스핀 헤드 ( 40 ) 상 에서 웨이퍼 척 ( 42 ) 에 의해 고정 되 고 지 지 핀 ( 44 ) 에 의해 지지 된다 . 중공축 ( 20 ) 내 에 는 백 노즐 ( 50 ) 이 구비 되 어 있 어 기판 ( W ) 의 배면 에 약액 을 분사 한다 .