또한 이 와 마찬가지 로 구리 배리어 ( barrier ) 막 ( 305 ) 의 탄 탈륨 막 ( Ta ) ( 304 ) 으로 확산 ( diffusion ) 된 실리콘 ( Si ) 은 상기 도 5 에서 보여 지 는 바 와 같이 구리 시드 막 ( 310 ) 과 접촉 된 구리 배리 어막 ( 305 ) 의 탄 탈륨 막 ( 304 ) 경계 부위 에 탄 탈륨 실리사이드 ( 320 ) 를 형성 시켜 구리 시드 막 ( 310 ) 과 구리 배리 어막 ( 305 ) 간 접촉 특성 을 향상 시키 게 된다 .