본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 2 전극 ( 150 ) 의 양 단부 에 상기 제 1 전극 ( 140 ) 에 대향 하 는 돌출부 ( 151 ) 가 형성 될 수 있 다 . 따라서 , 제 1 전극 ( 140 ) 및 돌출부 ( 151 ) 가 상호 대향 함 으로써 , 기판 ( W ) 의 주변 부 에 플 라즈 마가 집중 적 으로 형성 될 수 있 다 .