상기 기화기 ( 102 , 111 , 201 , 211 ) 내 에 는 유기 금속 화합물 이 반응 소스 및 촉매 소스 로서 제공 되 고 , 기화기 내 의 반응 소스 또는 촉매 소스 는 운반 가스 공급 부 ( 120 , 220 ) 로부터 공급 되 는 비활성 운반 가스 에 의해 기화 된 후 반응 로 ( 130 , 230 ) 로 공급 된다 . 상기 한 운반 가스 공 급기 에 사용 되 는 운반 가스 는 아르곤 가스 와 같 은 비활성 가스 인 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 운반 가스 는 반응 소스 또는 촉매 소스 의 공급 및 운반 기능 을 담당 하 는 것 으로서 , 운반 가스 의 흐름 은 10 ~ 5000 sccm 인 것 을 사용 한다 .