한편 , 본 도면 에 는 도시 되 지 않 았 으나 , 제 2 텅스텐 막 ( 29 ) 의 증착 전 에 제 1 텅스텐 막 ( 24 ) 과 의 계면 저항 을 낮추 기 위하 여 제 1 텅스텐 막 ( 24 ) 상 에 베리 어 금속 막 ( 미도 시 됨 ) 을 더 증착 할 수 도 있 다 . 이 베리어 금속 막 으로 는 Ti 막 , TiN / Ti 막 , WSix 막 또는 WSiN 막 중 선택 된 하나 이상 의 막 을 사용 할 수 있 다 .