한편 , 특허 문헌 1 내지 5 등 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 소 정량 의 산화 인듐 , 산화주석 및 산화아연 으로 이루어지 는 타깃 ( target ) 이나 , 이러 한 타깃 으로 성막 되 어 이루어지 는 투명 전극 ( 이하 , IZO 라 약칭 하 는 경우 가 있 음 ) 이 알려져 있 고 , 약산 에 의한 에칭 가공 이 가능 하 고 또 한 소결 성 이나 투명 성 이 양호 하 므로 널리 사 용 되 고 있 다 .