제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) 에 는 상류 방향 부터 순서 대로 제 1 가스 공급원 ( 243 b ) , 유량 제어기 ( 유량 제 어부 ) 인 매스 플로우 컨트롤러 ( MFC ) ( 243 c ) 및 개폐 밸브 인 밸브 ( 243 d ) 가 설치 된다 . 그리고 제 1 가스 공급원 ( 243 b ) 으로부터 제 1 원소 를 함유 하 는 가스 ( 제 1 처리 가스 ) 가 MFC ( 243 c ) , 밸브 ( 243 d ) , 제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) , 공통 가스 공급 관 ( 242 ) 을 개재 하 여 처리 실 ( 201 ) 에 공급 된다 .