일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 상이 한 탄소 동소체 를 포함 하 는 탄소 나노 입자 및 응 집체 는 마이크로파 플라스마 반응기 를 사용 하 여 생산 되 고 가스 흐름 은 1 slm ( 분당 표준 리터 ) 내지 1000 slm 또는 , 2 slm 내지 1000 slm , 또는 5 slm 내지 1000 slm , 또는 1 slm 초과 또는 2 slm 초과 , 또는 5 slm 초과 , 또는 10 slm 초과 , 또는 100 slm 초과 이 다 . 일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 탄소 나노 입자 및 응 집체 는 마이크로파 플라스마 반응기 를 사용 하 여 생성 되 고 가스 체류 시간 은 0 . 001 초 내지 100 초 , 또는 0 . 01 초 내지 100 초 , 또는 0 . 1 초 내지 100 초 , 또는 0 . 001 초 내지 10 초 , 또는 0 . 01 초 내지 10 초 또는 0 . 1 초 내지 10 초 이 다 .