구리 배선 은 구리 의 부식성 이 작 아 알미늄 과 같 은 통상 의 막 증착 및 패 터닝 공정 으로 형성 하 기 어려운 문제 가 있 다 . 이 를 극복 하 기 위해 먼저 절 연막 에 홀 이나 트랜 치 를 형성 하 고 , 이 홀 이나 트랜 치 에 구리 를 채워 넣 은 다음 . 홀 이나 트랜 치 영역 을 벗어난 구리 층 을 CMP 공정 으로 제거 하 여 구리 배선 을 남기 는 다마 신 공정 이 사용 되 고 있 다 .