다른 관점 으로서 , 본 발명 의 방법 은 검사 대 상체 ( test object ) 의 다수 의 위치 에서 각각 취득 한 주사 간섭계 신호 ( scanning interferometry signal ) 를 , 검사 대 상체 를 모델링 하 기 위한 상이 한 모델 파라미터 ( model parameter ) 에 대응 하 는 다수 의 모델 신호 ( model signal ) 의 각각 에 비교 하 는 비교 단계 를 포함 한다 . 비교 단계 는 , 검사 대 상체 의 위치 와 모델 신호 의 각각 에 대하 여 , 주사 간섭계 신호 의 주파수 영역 표현 과 모델 신호 의 주파수 영역 표현 에 기초 하 여 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 상관 함수 ( correlation function ) 를 계산 해서 모델 신호 사이 의 표면 높이 오프셋 ( surface - height offset ) 을 식별 하 고 , 공통 의 표면 높이 에 대해 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 유사 성 ( similarity ) 을 나타내 는 높이 오프셋 보상 된 가치 값 을 계산 하 는 단계 를 포함 한다 . 본 방법 은 또한 , 상이 한 검사 대 상체 위치 의 각각 에서 의 상이 한 모델 신호 에 대한 각각 의 가치 값 에 기초 하 여 , 검사 대상 체의 위치 에서 의 하나 이상 의 검사 대 상체 파라미터 를 판정 하 는 단계 를 포함 한다 .