상기 프리 웨 팅 탱크 ( 10 ) 는 상하 를 뒤집 는 회전 이 가능 하 며 , 저면 측 에 위치 하 는 기판 ( 10 ) 으로 압력 을 가할 수 있 는 구조 이 다 . 이러 한 프리 웨 팅 탱크 ( 10 ) 는 , 기판 ( 20 ) 의 패턴 형성 부 에 웨 팅 솔루션 을 가압 하 여 그 패턴 형성 부 의 콘 택 홀 내부 의 공기 를 제거 하 고 , 그 콘 택 홀 내부 를 프리 웨 팅 할 수 있 다 .