또 , 이하 의 설명 에서 는 , 하전 입자선 을 시료 위 에 조사 하 고 , 이 차 하전 입자 를 검출 하 여 화상 을 생성 하 는 하전 입자선 장치 의 일례 로서 , 전자선 을 시료 위 에 조사 하 고 , 이 차 전자 를 검출 하 여 화상 을 생성 하 는 주사 전자 현미경 을 예 로 들 어 설명 하 지만 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 이온 빔 을 시료 위 에 조사 하 고 , 이 차 이온 이나 이 차 전자 를 검출 하 여 화상 을 생성 하 는 이온 빔 장치 등 을 화상 취득 툴 로서 이용 할 수 도 있 다 .