상기 하우징 의 일 측면 에 는 이동 스테이지 의 이동 위치 를 감지 하 는 센서 부 가 설치 되 고 , 상기 센 서부 는 상기 하우징 의 측면 에 고정 되 는 센서 레일 과 , 상기 센서 레일 에 슬라이드 이동 가능 하 게 장착 되 는 복수 의 센서 와 , 상기 이동 스테이지 의 측면 에 장착 되 어 복수 의 센서 가 이동 스테이지 의 위치 를 감지 하 도록 하 는 센서 도그 와 , 상기 복수 의 센서 를 감싸 게 장착 되 고 외부 에서 복수 의 센서 의 위치 를 조정 할 수 있 도록 센서 위치 조정 홀 이 형성 되 는 센서 커버 를 포함 할 수 있 다 .