몇몇 실시 양태 에서 , 하이드라이드 기능 화 폴리 실록 산 은 약 3 내지 약 45 %, 예 를 들 어 , 약 5 내지 40 %, 약 10 내지 약 35 %, 약 20 내지 약 30 %, 또는 약 26 내지 27 % 의 SiH 함량 퍼센트 를 갖 는다 . 몇몇 실시 양태 에서 , 하이드라이드 기능 화 폴리 실록 산 은 약 26 % 의 SiH 함량 퍼센트 를 갖 는다 .