상기 한 증착 유닛 ( 50 ) 과 , 기판 ( 10 ) 과 , 기판 ( 10 ) 을 보유 지지 하 는 보유 지지 장치 ( 54 ) 와 , 기판 ( 10 ) 을 이동 시키 는 이동 기구 ( 56 ) 는 , 도시 하 지 않 은 진공 챔버 내 에 수납 된다 . 진공 챔버 는 밀봉 된 용기 이 며 , 그 내부 공간 은 감압 되 어 소정 의 저 압력 상태 로 유지 된다 .