도 23 의 ( a ) 왼쪽 은 , 결함 이 없 을 경우 의 복수 플러그 화상 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 3 개 나열 된 패턴 은 , 왼쪽 부터 소스 컨 택트 , 게이트 컨 택트 , 드레 인 컨 택트 를 나타내 고 있 다 . 빔 조사 조건 A ( 후술 하 는 빔 조사 조건 B 보다 상대 적 으로 전하 가 축적 되 기 쉬운 조사 조건 , 예 를 들 면 빔 조사 조건 B 보다 상대 적 으로 펄스 빔 의 차단 시간 이 짧 은 빔 ) 에서 빔 을 조사 하 면 , 중앙 의 게이트 컨 택트 는 대전 이 축적 되 어 , 명도 가 낮 아 진다 . 또 , 사선 으로 나타난 패턴 은 , 백색 으로 나타난 패턴 에 대해 , 상대 적 으로 명도 가 낮 은 상태 를 나타내 고 있 다 . 한편 , 게이트 컨 택트 에 전하 가 축적 되 면 , 게이트 가 열린 상태 가 되 기 때문 에 , 소스 컨 택트 와 드레 인 컨 택트 간이 도통 하 여 , 좌우 의 플러그 는 명도 가 높 아 진다 .