플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 스테이지 ( 14 ) 를 더 구비 할 수 있 다 . 스테이지 ( 14 ) 는 , 처리 공간 ( S ) 내 에 마련 되 어 있 다 . 스테이지 ( 14 ) 는 , 연직 방향 에 있 어서 유전체 창 ( 20 ) 과 대면 하 고 있 다 . 또 , 스테이지 ( 14 ) 는 , 유전체 창 ( 20 ) 과 해당 스테이지 ( 14 ) 의 사이 에 처리 공간 ( S ) 을 사이 에 두 도록 마련 되 어 있 다 . 스테이지 ( 14 ) 는 , 그 위 에 재치 되 는 피 가 공물 ( WP ) ( 예 를 들 면 , 웨이퍼 ) 을 지지 하 도록 구성 되 어 있 다 . 피 가 공물 ( WP ) 은 , 예 를 들 면 원반 형상 을 가질 수 있 다 .