원시 피처 맵 은 일반 적 으로 세선 골격 피처 만 을 포함 하 도록 설계 되 거나 또는 , 좀 더 구체 적 으로 , 이러 한 세선 피처 에 대응 하 는 영역 을 포함 하 도록 설계 된다 . 앞 에서 입증 된 바 와 같이 , " 이 설계 기준 은 종종 규칙 - 기반 의 "" 디 센싱 "" 접근 법 으로 는 달성 되 지 않 는다 . "" 원시 "" 피처 맵 의 골격 피처 는 이후 ", 피처 크기 , 위치 , 피처 맵 과 검사 된 이미지 간 의 정렬 공차 의 다양 성 에 대해 수용 하 는 , 세선 피처 주위 의 일부 연장 경계선 을 생성 하 기 위해 크기 면 에서 확대 된다 ( 즉 , 넓 어 진다 ) . 확대 된 피처 는 최종 피처 맵 을 형성 하 고 , " 이 는 결국 검사 된 이미지 를 "" 디 센싱 "" 하 기 위해 사용 된다 . 구체 적 으로 ", 더 낮 은 감도 가 피처 맵 의 확대 된 영역 에 적용 된다 . 상술 한 설명 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 규칙 - 기반 접근 법 은 매우 복잡 하 고 현대 의 IC 에 적용 될 때 특히 중요 한 한계 를 가진다 .