보다 구체 적 으로 는 , 가장 하방 에 배치 되 는 링크 ( 52 a ) 의 기단 부가 회전축 ( 52 d ) 을 거쳐서 기대 ( 51 ) 에 수평면 내 에서 회전 가능 하 게 장착 되 어 있 다 . 또한 , 링크 ( 52 a ) 의 선 단부 에 는 , 그 상방 에 배치 되 는 링크 ( 52 b ) 의 기단 부가 회전축 ( 52 e ) 을 거쳐서 수평면 내 에서 회전 가능 하 게 장착 되 어 있 다 . 링크 ( 52 b ) 의 선 단부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 탑재 되 고 상기 웨이퍼 ( W ) 를 보 지 가능 한 핀셋 으로서 구성 된 엔드 이펙터 ( 52 c ) 의 기단 부가 회전축 ( 52 f ) 을 거쳐서 수평면 내 에서 회전 가능 하 게 장착 되 어 있 다 .