예컨대 도 1 a 에 나타낸 바 와 같이 , 투광 기판 ( 11 ) 위 에 차광 층 패턴 ( 12 ) 이 형성 된 포토 마스크 ( 10 ) 에 대해 빛 을 조사 하 게 되 면 , 차 광층 패턴 ( 12 ) 이 없 는 투광 영역 에 는 일정 한 세기 의 빛 이 투과 된다 . 그러나 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 투광 기판 ( 11 ) 의 배면 에 스크래치 ( 13 ) 가 있 는 경우 , " 도면 에서 "" A "" 로 나타낸 바 와 같이 ", 다른 투광 영역 보다 낮 은 세기 의 빛 이 투과 되 고 , 이 와 같 은 불 균일 정도 가 크 게 되 면 패턴 전사 가 원 하 는 형태 로 이루어지 지 않 을 수 있 다 .