도 4 는 본 개시 내용 의 양태 에 따른 검출기 를 예시 한 저 면도 이 다 . 도 2 a , 도 2 b 및 도 4 에서 동일 한 요소 는 동일 한 참조 번호 로 지시 되 고 , 도 2 a , 도 2 b 및 도 4 에 예시 된 동일 한 요소 의 상세 는 간결 성 을 위해 도 4 의 설명 에서 생략 됨 을 알 아야 한다 . 도 4 에 예시 된 바 와 같이 , 검출기 ( 100 d ) 가 제공 된다 . 검출기 ( 100 d ) 는 전술 한 것 과 유사 한 구성 요소 를 포함 할 수 있 으므로 , 그 차이점 만 상세히 설명 된다 . 전술 한 바 와 같이 , 검출기 ( 100 d ) 는 도전 층 ( 120 ) 및 절연 층 ( 130 ) 을 통해 연장 되 는 복수 의 관통 비아 ( 150 - 1 및 150 - 2 내지 150 - n ) 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 일부 실시 예 에서 4 개 의 관통 비아 ( 150 - 1 , 150 - 2 , 150 - 3 , 150 - 4 ) 가 존재 한다 . 관통 비아 ( 150 - 1 , 150 - 2 , 150 - 3 , 150 - 4 ) 는 모두 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 에 결합 되 지만 , 도 4 에 예시 된 바 와 같이 서로 분리 된다 . 또한 , 관통 비아 ( 150 - 1 , 150 - 2 , 150 - 3 , 150 - 4 ) 는 서로 정렬 되 어 직선 을 이룰 수 있 으나 , 본 개시 내용 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 .