상기 커 버부 는 상기 챔버 내 에서 공기 의 순환 을 돕 기 위해 공기 를 안내 하 도록 서로 연결 된 제 1 및 제 2 덕트 부 를 형성 하 며 , 상기 제 1 덕트 부 는 상기 공기 냉 각부 와 접하 도록 형성 되 고 , 내측 에 상기 히터 가 설치 되 어 상기 제 2 덕트 부 를 통해 상기 공기 냉 각부 로 유동 하 는 공기 를 가열 하 며 , 상기 제 2 덕트 부 는 상기 하우징 의 개구 의 상측 에 상기 제 1 덕트 부 와 연통 되 도록 배치 되 고 내측 에 상기 송풍 팬 을 설치 함 에 따라 상기 전자 소자 로 부 터 공기 를 흡입 하 여 상기 제 1 덕트 부 로 송풍 할 수 있 다 . 이 경우 , 상기 송풍 팬 은 상기 챔버 내 에서 정압 을 발생 시키 기 위한 전 향각 다 익 횡 유형 송풍 팬 으로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .