도 1 에 예시 되 는 바 와 같이 , 순환 경로 ( 20 ) 에는 , 처리 액 ( 30 ) 을 흐르 게 하 기 위한 펌프 ( 42 ) 와 , 순환 경로 ( 20 ) 로부터 처 리조 ( 14 ) 에 귀환 하 는 처리 액 ( 30 ) 을 가열 하 기 위한 히터 ( 44 ) 와 , 순환 경로 ( 20 ) 를 흐르 는 처리 액 ( 30 ) 에 있 어서 의 파티클 을 제거 하 기 위한 필터 ( 46 ) 가 배치 된다 . 또한 , 순환 경로 ( 20 ) 에 있 어서 의 펌프 ( 42 ) , 히터 ( 44 ) , 및 , 필터 ( 46 ) 의 배치 위치 는 , 도 1 에 예시 되 는 경우 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .