상기 와 같이 , 상기 반도체 디스플레이 제조 용 진공 배관 관통 홀 마감 유닛 ( 100 ) 이 상기 덮개 플레이트 부재 ( 110 ) 와 , 상기 관통 홀 삽입 부재 ( 120 ) 와 , 상기 관통 홀 채움 부재 ( 140 ) 를 포함 함 에 따라 , 상기 덮개 플레이트 부재 ( 110 ) 가 상기 바닥 체 ( 10 ) 중 상기 진공 배관 관통 홀 의 주변 부 에 걸리 면서 , 상기 관통 홀 채움 부재 ( 140 ) 가 상기 진공 배관 관통 홀 에 삽입 된 상태 가 되 고 , 그 에 따라 폐공 이 된 상기 진공 배관 관통 홀 이 상기 반도체 디스플레이 제조 용 진공 배관 관통 홀 마감 유닛 ( 100 ) 에 의해 막혀서 , 상기 진공 배관 관통 홀 이 화염 번 짐 의 통로 가 되 는 현상 이 방지 될 수 있 게 되 고 , 누수 및 화재 시 의 연기 까지 도 번짐 방지 될 수 있 으며 , 상기 진공 배관 관통 홀 의 재 사용 시 에 간편 하 게 철거 될 수 있 게 된다 .