불순물 원소 ( 140 ) 의 원료 가스 로서 상기 불순물 원소 를 포함 한 가스 를 사용 할 수 있 다 . 붕소 를 공급 하 는 경우 에 는 대표 적 으로 는 B 2 H 6 가스 나 BF 3 가스 등 을 사용 할 수 있 다 . 또한 인 을 공급 하 는 경우 에 는 대표 적 으로 는 PH 3 가스 를 사용 할 수 있 다 . 또한 이 들 원료 가스 를 희가스 로 희석 한 혼합 가스 를 사용 하 여도 좋 다 .