본 발명 은 , 이 와 같 은 문제 를 방지 하 여 , 만일 문제 가 발생 한 경우 에 도 , 장치 내 에서 순차 적 으로 행해 지 는 공정 이 모두 일시 정지 함 으로써 , 가동 률 을 급속히 저하 시키 도록 하 는 것 이 아니 라 , 각각 의 모듈 이 독립 적 으로 처리 를 행함 으로써 , 하나 의 문제 가 있 어도 , 나머지 모듈 이 가동 함 으로써 , 전체 적 으로 가동 률 을 크 게 떨어뜨리 지 않 고 안정 적 인 가동 률 을 확보 하 고 , 또한 , 복수 의 공정 에 대응 한 복수 의 모듈 을 연결 하 기 위한 웨이퍼 반송 수단 이 불 필요 하 게 되 고 , 그 반송 수단 에 의해 , 장치 전체 의 크기 가 커지 는 것 을 회피 하 는 것 을 목적 으로 한다 .