본 개시 가 현재 의 기술 개발 에 대한 특별 한 관심 의 예 로서 1 내지 100 nm 사이 의 SXR 방사선 을 제시 하 지만 , 더 엄밀 한 x 선 범위 내 의 더 짧 은 파장 , 1 nm 미만 및 잠재 적 으로 0 . 1 nm 미만 . 방사선 의 반사 에 의한 검사 가 예 로서 설명 되 지만 , 본 개시 의 원리 는 또한 , 투과성 장치 에 , 특히 더 짧 은 x 선 방사선 이 전체 기판 을 관통 할 수 있 는 경우 에 적용 될 수 도 있 다 .