일부 실시 예 에서 , 방출 밸브 ( 들 ) ( 326 ) 는 접촉 표면 ( 609 ) ( 도 6 ) 에서 입력 부 를 그리고 외부 표면 ( 310 ) 에서 출력 부 를 가질 수 있 다 . 추가 적 인 실시 예 에서 , 방출 밸브 ( 들 ) ( 326 ) 의 입력 부 ( 들 ) 중 하나 이상 이 마스크 구조물 ( 301 ) 내 에 내재 될 수 있 고 , 예 를 들 어 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 여과 층 제 1 표면 ( 416 ) 또는 지지 층 제 1 표면 ( 419 ) 에 위치 될 수 있 다 . 한편 , 이러 한 또는 다른 실시 예 에서 , 방출 밸브 ( 들 ) ( 326 ) 의 출력 부 중 하나 이상 이 마스크 구조물 ( 301 ) 내 에 내재 될 수 있 고 여과 층 제 2 표면 ( 417 ) 또는 접촉 층 제 2 표면 ( 423 ) 에 위치 될 수 있 다 .