일 측면 에서 , 장치 ( 180 ) 는 회로 에 결합 되 고 , 회로 로부터 측정 된 전기 적 특성 에 관한 정보 를 수신 하 는 프로세서 ( 미 도시 ) 를 포함 한다 . 일 측면 에서 , 정보 는 아날로그 신호 , 예 를 들 어 , 전압 또는 디지털 신호 의 형태 이 다 . 일 측면 에서 , 프로세서 는 센서 ( 184 A 및 184 B ) 에 직접 결합 되 고 , 전기 적 특성 을 직접 측정 하 도록 구성 된다 . 일 측면 에서 , 프로세서 는 수신 된 전기 적 특성 을 SEM 값 으로 변환 하 도록 구성 된다 . 일 측면 에서 , 프로세서 는 프로세서 에 전기 적 으로 결합 된 비 - 일시 적 컴퓨터 판독 가능 매체 상 에 저장 되 는 기계 판독 가능 한 명령어 에 의해 구성 된다 . 일 측면 에서 , 명령 들 은 장치 ( 180 ) 가 파워 온 될 때 매체 로부터 프로세서 로 로딩 된다 .