공용 로더 ( 400 ) 에 구비 된 슬롯 ( 410 ) 의 개수 는 제 1 로봇 에 구비 된 슬롯 ( 250 ) 의 개수 와 동일 할 수 있 다 . 그러나 이 경우 EFEM ( 110 ) 으로부터 복수 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 의 웨이퍼 이송 및 복수 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 로부터 EFEM ( 110 ) 으로 의 웨이퍼 의 이송 은 동시 에 일어날 수 없 는 문제 가 있 을 수 있 다 . 따라서 , 공용 로더 ( 400 ) 에 구비 된 슬롯 ( 410 ) 의 개수 는 제 1 로봇 ( 111 ) 에 구비 된 슬롯 ( 250 ) 의 개수 의 2 배 인 것 이 바람직 하 다 . 여기 서 , 공용 로더 ( 121 ) 에 구비 된 복수 개 의 슬롯 ( 410 ) 중 일부 는 , EFEM ( 110 ) 에서 이송 되 는 웨이퍼 를 안착 하 기 위한 슬롯 들 이 고 , 다른 일부 는 , 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 에서 이송 되 는 웨이퍼 를 안착 하 기 위한 슬롯 들 이 다 .