도 9 b 를 참조 하 면 , 트렌치 ( 120 ) , 지지대 메탈 ( 112 ) , 접지 라인 ( 111 ) 및 신호 라인 ( 110 ) 이 형성 된 기판 전면 으로 소정 두께 로 희생 막 ( 121 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 면 , 희생 막 ( 121 ) 은 스핀 코팅 법 으로 약 2 ㎛ 두께 로 형성 하 게 되 는데 , 트렌치 ( 120 ) 내부 의 하부 로 는 약 3 ㎛ 정도 의 두께 가 되 며 , 양 측벽 은 그 보다 얇 게 형성 된다 . 희생 막 ( 121 ) 형성 후 , 식각 에 의해 지지대 메탈 ( 112 ) 과 접지 라인 ( 111 ) 의 일정 부분 노출 시킨다 . 접지 라인 ( 111 ) 이 노출 된 부분 ( 103 ) 은 차후 에 지지 돌출부 를 형성 한다 .