그리고 상기 캐리어 플레이트 ( 11 ) 에 형성 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 유지 시키 기 위한 유지 구멍 ( 11 a ) 의 개수 는 1 개 ( 매 엽 식 ) 나 , 복수 개 라도 한정 되 지 않 는다 . 이러 한 유지 구멍 ( 11 a ) 의 크기 는 연마 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 크기 에 따라 임의 로 변경 할 수 있 다 . 따라서 후술 하 는 홀더 ( Holder ) ( 12 ) 및 고무 패드 ( 12 a ) 의 크기 도 변경 될 수 있 다 .