상기 열전쌍 ( 130 ) 은 , 기판 ( 111 ) 의 상측 에서 유동 하 는 유체 의 온도 를 측정 하 기 위한 것 으로서 , 제 1 전도 선 ( 131 ) 과 , 제 2 전도 선 ( 132 ) 과 , 열전쌍 접합 점 ( 133 ) 을 구 비 한다 . 상기 제 1 전도 선 ( 131 ) 및 제 2 전도 선 ( 132 ) 은 니켈 , 크롬 등 의 금속 소재 중 서로 다른 종류 의 금속 으로 이루어져 있 는데 , 예컨대 제 1 전도 선 ( 131 ) 이 니켈 로 이루어져 있 는 경우 에 는 제 2 전도 선 ( 132 ) 은 니켈 이 아닌 다른 금속 , 예컨대 크롬 으로 이루어져 있 다 . 본 실시 예 에 있 어서 , " 제 1 전도 선 ( 131 ) 과 제 2 전도 선 ( 132 ) 은 "" ㄱ "" 자 형상 으로 접합 되 어 전기 적 으로 연결 되 어 있 으며 ", 그 꼭지점 부분 에 는 열전쌍 접합 점 ( 133 ) 이 위치 한다 . 상기 제 1 전도 선 ( 131 ) 과 제 2 전도 선 ( 132 ) 의 단부 에 는 열전쌍 전극 ( 136 ) ( 137 ) 이 마련 되 어 있 다 . 상기 열전쌍 전극 ( 136 ) ( 137 ) 은 , 그 양 전극 ( 136 ) ( 137 ) 사이 의 전압 을 측정 하 기 위한 전압 측정 장치 ( 미 도시 ) 에 연결 된다 . 상기 제 1 전도 선 ( 131 ) , 제 2 전도 선 ( 132 ) 및 열전쌍 전극 ( 136 ) ( 137 ) 는 전자 빔 증착 또는 스퍼터링 방법 을 통하 여 증착 되 며 , 포토 리소그래피 와 리프트 - 오프 방식 또는 에칭 용액 을 이용 한 습식 식각 을 통하 여 평면 적 형태 가 형성 된다 .