이어서 다시 본 발명 에 따른 장치 검증 방법 의 제 2 실시 형태 를 도시 한 도 3 을 참조 한다 . 제 1 실시 형태 와 도 5 a , 도 5 b , 도 5 c , 도 5 d 및 도 5 e 에서 이미 설명 한 특징 은 도 3 과 동일 한 것 으로 , 도 3 의 부호 에 대한 표시 나 생략 에 대해서 는 더 이상 설명 하 지 않 기 로 한다 . 제 2 실시 형태 와 제 1 실시 형태 에 따른 주요 방법 에 있 어서 , 그 차이점 은 제 1 실시 형태 에 따른 e 단계 ( e ) 이후 에 e 1 단계 ( e 1 ) , e 11 단계 ( e 11 ) 및 e 12 단계 ( e 12 ) 를 추가 하 는 것 에 있 다 .