또한 , 기판 이 대형 화 되 면 , 그 기판 을 반송 하 는 반송 롤러 가 설치 된 반 송축 이 길 어 지 며 , 기판 상 에 공급 되 는 처리 액 이 많 아 지 고 , 기판 상 의 처리 액 의 양 에 따라 상기 반 송축 이 받 는 가중 이 커지 므로 , 그 에 수반 하 여 반 송축 의 휨 이 증대 한다 . 그러므로 , 반 송축 이 휘 게 되 면 , 기판 에 대하 여 균일 한 처리 를 행할 수 없 는 경우 가 있 다 .