본 발명 의 제 8 형태 에 따르 면 , 기판 ( P ) 을 노광 하 는 노광 방법 으로서 제 1 소정면 ( K 1 ) 의 제 1 영역 ( IA 1 ) 으로부터 의 제 1 노광 광 ( EL ) 을 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 하 고 ( S 1 ) , 제 2 소정면 ( K 2 ) 의 제 2 영역 ( IA 2 ) 으로부터 의 제 2 노광 광 ( EL ) 을 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 하 는 것 ( SS 2 ) 과 , 제 1 소정면 ( K 1 ) 및 제 2 소정면 ( K 2 ) 을 통한 빛 ( Ls ) 을 검출 하 는 것 ( SS 3 ) 과 , 검출 결과 에 의거 하 여 제 1 영역 ( IA 1 ) 에 배치 되 어 있 는 제 1 패턴 ( PA 1 ) 과 , 제 2 영역 ( IA 2 ) 에 배치 되 어 있 는 제 2 패턴 ( PA 2 ) 과 의 위치 관계 에 관한 정보 를 취득 하 는 것 ( SS 4 ) 을 포함 하 는 노광 방법 이 제공 된다 .