본 발명 의 다른 측면 에 따르 면 , 기판 의 배면 에 형성 된 자연 산화 막 을 에칭 하 기 위한 장치 로서 , 에칭 액 이 담긴 배스 ( bath ) ; 상기 에칭 액 에 잠기 도록 배치 되 는 한 쌍 의 하부 구동 롤러 ; 상기 하부 구동 롤러 의 상측 에 이격 되 어 배치 되 는 한 쌍 의 상부 구동 롤러 ; 상기 상부 구동 롤러 및 하부 구동 롤러 에 감겨 구동 되 며 , 상기 기판 의 배면 을 지지 하 여 이송 하 는 벨트 를 포함 하 는 기판 배면 에칭 장치 가 제공 된다 . 이 때 , 상기 벨트 는 상기 기판 의 배면 에 상기 에칭 액 을 공급 하 게 된다 .