또한 , 도 2 및 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 유지 플레이트 ( 75 ) 에 는 , 상하 로 관통 하 여 개구부 ( 78 ) 가 형성 되 어 있 다 . 개구부 ( 78 ) 는 , 방사 온도계 ( 120 ) ( 도 1 참조 ) 가 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 하면 으로부터 방사 되 는 방사광 ( 적 외광 ) 을 수 광 하 기 위해 설치 되 어 있 다 . 즉 , 방사 온도계 ( 120 ) 가 개구부 ( 78 ) 를 통해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 하면 으로부터 방사 된 광 을 수 광 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 온도 를 측정 한다 . 또한 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 유지 플레이트 ( 75 ) 에 는 , 후술 하 는 이재 기구 ( 10 ) 의 리프트 핀 ( 12 ) 이 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 수도 를 위해 관통 하 는 4 개 의 관통 구멍 ( 79 ) 이 뚫려 있 다 .