검사 대상 기판 ( P ) 은 , 판상 또는 시트 상 이 다 . 검사 대상 기판 ( P ) 으로서 는 , 예 를 들 어 프린트 기판 을 들 수 있 다 . 이 프린트 기판 으로서 는 , 예 를 들 어 박막 상 의 기판 위 에 복수 의 기능 부가 형성 되 고 , 각 기능 부 를 포함 하 는 부분 을 잘라 내 어 복수 의 전자 부품 을 형성 가능 한 것 을 들 수 있 다 .