웨이퍼 ( W ) 는 노치 연마 유닛 ( 255 ) 내 에서 처리 된 후 , 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 에 의해 차례 로 경사 연마 유닛 ( 256 ) , 세 척 유닛 ( 260 ) 및 건조 유닛 ( 265 ) 으로 연속 적 으로 전달 되 어 , 웨이퍼 ( W ) 는 처리 유닛 에서 처리 된다 . 건조 유닛 ( 265 ) 내 에서 처리 된 후 , 웨이퍼 는 적재 포트 ( 240 ) 상 의 웨이퍼 카세트 내 로 제 1 전달 로봇 ( 245 ) 에 의해 전달 된다 .