캐리어 보관 선반 ( 18 ) 의 저면 에 도 , 로드 포트 ( 14 ) 와 동일 하 게 공급 노즐 및 배기 노즐 을 설치 하 고 , 캐리어 보관 선반 ( 18 ) 상 에 적재 된 캐리어 ( C ) 내부 의 불활성 가스 치환 을 행하 도록 해도 된다 . 캐리어 보관 선반 ( 18 ) 상 에서 의 불활성 가스 치환 에 있 어서 , 캐리어 ( C ) 에 공급 되 는 불활성 가스 의 유량도 , 로드 포트 ( 14 ) 와 마찬가지 이 어도 되 고 , N 2 가스 를 예 로 들 면 , 1 ( l / min ) 이상 은 필요 하 다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 어 10 내지 20 ( l / min ) 의 범위 , 바람직 하 게 는 13 내지 17 ( l / min ) 의 범위 , 보다 바람직 하 게 는 15 ( l / min ) 이 어도 된다 .