도 1 a 및 1 b 를 참조 하 여 , 상기 연마 패드 의 연마 층 은 연 마면 에 , 중심 을 공유 하 는 원 형상 을 갖 는 복수 의 그루브 ( 110 ) 를 포함 한다 . 상기 그루브 는 CMP 공정 에 사용 되 는 슬러리 의 유동 성 을 제어 하 여 연마 효율 을 높일 수 있 다 . 구체 적 으로 상기 그루브 ( 110 ) 의 상기 연 마면 에 평행 한 단면 은 원 의 형상 , 보다 구체 적 으로 원 의 둘레 선 또는 속 이 빈 원 의 형상 을 가질 수 있 다 .