또한 상기 가열 처리 는 불 필요 하 면 수행 하 지 않 아도 된다 . 또한 여기 서 는 가열 처리 를 수행 하 지 않 고 , 추후 의 공정 에서 수행 되 는 가열 처리 로 상기 가열 처리 를 겸하 여도 좋 다 . 또한 추후 의 공정 에서 의 고온 하 의 처리 ( 예 를 들 어 성막 공정 등 ) 등 으로 상기 가열 처리 를 겸할 수 있 는 경우 도 있 다 .