위 와 같 은 구조 를 가지 는 폴리 싱 헤드 는 구동축 에서 가해진 힘 을 웨이퍼 의 전면 에 고르 게 분산 시켜 전달 할 수 는 있 지만 , 웨이퍼 의 연마 가공 시 웨이퍼 의 이탈 을 방지 하 기 위해 웨이퍼 의 위치 를 고정 시키 는 흡착 패드 와 리 테이 너링 으로 이루어진 템 플레이트 에 가해 지 는 힘 을 제어 하 기 위해 복잡 한 구조 로 이루어지 는 문제점 을 가진다 .