여기 서 , 웨이퍼 의 척 킹 오류 의 기준 이 되 는 제 1 유량 편차 는 사용 되 는 기체 의 압축 특성 과 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 크기 및 공 압 공급 로 ( 1551 ) 의 길이 에 따라 다양 하 게 정해질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 를 설정 부압 ( Po ) 에 도달 하 는 데 필요 한 기준 배출 유량 의 70 ~ 95 % 범위 의 값 ( 즉 , 제 1 유량 편차 가 5 %~ 30 %) 인 경우 에 , 기체 의 압력 오차 등 을 고려 하 도 신뢰 성 있 는 웨이퍼 척 킹 상태 를 감지 할 수 있 었 다 .