기판 은 종횡비 ( AR : aspect ratio ) 2 . 5 : 1 , 트렌치 폭 ( trench width ) 180 nm 형태 로 구조 는 Cu ( 60 nm ) / Ta ( 7 . 5 nm ) / TaN ( 7 . 5 nm ) / Si 이 고 , 상기 제조 된 구리 전해 도금 용액 ( a ) 를 사용 하 여 구리 전해 도금 을 실시 하 였 다 .