연마 헤드 ( 100 ) 가 인상 되 어 웨이퍼 ( W ) 의 연 마면 이 연마 패드 ( 2 ) 로부터 분리 된 상태 에서 도 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 제 1 압력 센서 ( 129 S ) 의 압력 측정값 을 모니터링 하 고 동시 에 제 1 접촉 센서 ( 128 ) 의 측정값 을 모니터링 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 연마 패드 ( 2 ) 로부터 분리 될 때 에 연마 패드 ( 2 ) 에 잔류 하 는 액체 의 장력 에 의하 여 웨이퍼 ( W ) 가 연마 헤드 ( 100 ) 와 함께 이동 하 지 못하 고 연마 패드 ( 2 ) 상 에 남 아 있 는지 를 다시 한 번 감지 한다 .