상기 분자 층 을 제 2 반응물 펄스 로 완전히 포화 시키 고 반응 시키 기 에 충분 한 시간 주기 이후 에 , 상기 반응 공간 으로부터 과량 의 제 2 반응물 이 제거 된다 . 제 1 반응물 의 제거 에서 와 마찬가지 로 , 이 단계 는 제 2 반응물 의 흐름 을 차단 시키 는 단계 및 캐리어 가스 의 흐름 을 , 과량 의 반응물 들 및 제 2 반응물 펄스 로부터 의 휘발 성 반응 부산물 들 이 반응 공간 으로부터 확산 되 어 나가 거나 또는 퍼지 되 어 나가 기에 충분 한 시간 주기 동안 계속 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 들 에서 , 과 량 반응물 의 제거 는 제 2 반응물 펄스 의 흐름 을 차단 한 후 약 0 . 1 초 내지 약 20 초 동안 퍼지 가스 의 흐름 을 계속 하 는 단계 를 포함 한다 . 상기 제 2 반응물 펄스 와 제거 는 함께 예시 된 공정 에서 제 2 단계 로 표시 되 며 , 산화 단계 ( oxidation phase ) 로 고려 될 수 도 있 다 .