상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( 30 ) 은 제 1 말 단부 ( 30 A ) 와 제 2 말 단부 ( 30 B ) 사이 에서 종축 ( H - H ) 을 따라 연장 된 바디 ( 30 C ) 를 포함 하 고 , 상기 제 2 말 단부 ( 30 B ) 는 상기 반도체 웨이퍼 ( 33 ) 상 에 집적 된 피검 소자 의 상기 콘 택 패드 들 ( 32 ) 에 콘 택할 수 있 도록 구성 된다 .