하지만 , 수정 진동자 는 자체 적 인 용량 한계 에 의해 증착 되 는 물질 이 많 아 질수록 박막 내 에 응력 이 작용 하 여 박막 이 박리 되 거나 노이즈 가 증가 하 는 등 의 문제 가 발생 하 여 수정 진동자 를 교체 해야 만 한다 . 증착 챔버 내 에 설치 된 수정 진동자 를 교체 하 기 위해서 는 증착 공정 을 중단 하 고 증착 챔버 내 의 수정 진동자 를 교체 한 후 에 진공 챔버 를 펌핑 ( pumping ) 해서 진공 상태 로 만들 어야 하 기 때문 에 증착 챔버 가 가동 되 기 까지 오랜 시간 이 소요 되 는 단점 이 있 었 다 .