따라서 , 실시 예 에서 , 예 를 들 어 계측 효율 을 개선 하 는 것 을 돕 기 위한 방법 이 제공 된다 . 이 방법 에서 , 복수 의 소스 로부터 의 계측 데이터 는 기판 에 걸친 복수 의 위치 각각 에 대한 하나 이상 의 패 터닝 공정 매개변수 ( 예 를 들 어 , CD , 초점 , 오버레이 , 에지 배치 등 ) 의 정확 한 추정 값 을 유도 하 기 위하 여 조합 되 고 다루 어 진다 . 실시 예 에서 , 예 를 들 어 패 터닝 공정 에서 처리 된 모든 기판 에 대한 및 예 를 들 어 패 터닝 공정 에서 이러 한 기판 상 에서 처리 된 모든 층 에 대한 ( 예 를 들 어 , 각 제곱 밀리미터 에 대한 ) 치밀 한 계측 데이터 가 제공 된다 .