여기 서 , 상기 소스 가스 배기 라인 ( 141 ′) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ′) 은 복수 개 로 형성 될 수 도 있 다 . 소스 가스 배기 라인 ( 141 ′) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ′) 에 는 가스 를 배기 하 기 위한 배기 슬릿 ( 141 c , 142 c ) 이 각각 형성 될 수 있 다 . 배기 슬릿 ( 141 c , 142 c ) 대신 배기 홈 ( 미 도시 ) 이 형성 될 수 도 있 다 .