본 발명 은 반도체 웨이퍼 처리 장치 에 관한 것 으로 , 반도체 웨이퍼 를 고정 시키 는 지지대 ( 2 ) 가 연결 된 구동 수단 ( 4 ) 과 ; 상기 구동 수단 ( 4 ) 을 고정 시키 기 위해 설치 되 며 , 중심부 를 통해 상기 지지대 ( 2 ) 가 관통 결합 되 는 보호 부재 ( 6 ) 와 ; 상기 보호 부재 ( 6 ) 의 중심부 에 장착 되 되 상기 지지대 ( 2 ) 의 하부 에 설치 되 며 , 냉각 가스 를 분사 하 여 냉각 시키 는 차단 블럭 ( 8 ) 과 ; 상기 차단 블럭 ( 8 ) 에 냉각 가스 를 공급 하 는 냉각 가스 공급 부 로 구성 된 것 이 며 , 구동 수단 에서 발생 된 열 이 지지대 로 전달 되 지 않 도록 차단 하 고 냉각 함 으로써 웨이퍼 의 열 변형 을 방지 할 수 있 어 불량 율 를 현저히 감소 시킬 수 있 다 .