본 발명 은 가스 공급 장치 에 관한 것 으로 , 본 발명 가스 공급 장치 는 공정 가스 를 저장 하 는 가스 용기 와 , 상기 가스 용기 로부터 공급 되 는 공정 가스 의 압력 을 다 단계 로 감압 하 여 , 그 감압 후 온도 보상 이 이루어질 수 있 도록 하 는 압력 조 절부 와 , 상기 압력 조 절부 를 통해 압력 이 조절 된 공정 가스 를 공정 장치 를 공급 하 는 가스 공급 관 을 포함 한다 . 이 와 같이 구성 된 본 발명 은 고압 의 가스 를 공정 압력 까지 감압 하 여 공급 할 때 , 그 감압 이 다 단계 로 이루어지 도록 하 고 , 각 감압 단계 후 외부 공기 에 의한 공급 가스 의 온도 보상 이 이루어질 수 있 도록 함 으로써 , 가스 공급 관 의 동결 을 방지 할 수 있 게 된다 .