이상 의 반응 장치 ( 110 ) 는 도 22 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 기판 ( 300 ) , 제 2 기판 ( 400 ) , 제 3 기판 ( 500 ) , 제 4 기판 ( 600 ) 및 제 ５ 기판 ( 700 ) 을 이 순서 로 적층 해서 접합 하 여 형성 되 어 있 다 . 즉 , 제 1 기판 ( 300 ) 의 이면 과 제 2 기판 ( 400 ) 의 표면 이 접합 되 고 , 제 2 기판 ( 400 ) 의 이면 과 제 3 기판 ( 500 ) 의 표면 이 접합 되 며 , 제 3 기판 ( 500 ) 의 이면 과 제 4 기판 ( 600 ) 의 표면 이 접합 되 고 , 제 4 기판 ( 600 ) 의 이면 과 제 ５ 기판 ( 700 ) 의 표면 이 접합 되 어 있 다 .