3 . 또 다른 모드 에서 , 패 터닝 디바이스 지 지체 ( 예 를 들 어 , " 마스크 테이블 ) ( MT ) 또는 "" 마스크 지 지체 "" 는 프로그램 가능 한 패 터닝 디바이스 를 유지 하 여 기본 적 으로 정지 된 상태 로 유지 되 며 "," 방사선 빔 에 부여 된 패턴 이 타 겟 부 ( C ) 상 에 투영 되 는 동안 기판 테이블 ( WT ) 또는 "" 기판 지 지체 "" 가 이동 되 거나 스캐닝 된다 . 이 모드 에서 는 ", 일반 적 으로 펄스 화 된 방사선 소스 ( pulsed radiation source ) 가 채택 되 며 , " 프로그램 가능 한 패 터닝 디바이스 는 기판 테이블 ( WT ) 또는 "" 기판 지 지체 "" 가 각각 이동한 후 ", 또는 스캔 중 에 계속 되 는 방사선 펄스 사이 사이 에 필요 에 따라 업데이트 된다 . 이 작동 모드 는 앞서 언급 된 바 와 같 은 타입 의 프로그램 가능 한 거울 어레이 와 같 은 프로그램 가능 한 패 터닝 디바이스 를 이용 하 는 마스크 없 는 리소그래피 ( maskless lithography ) 에 용이 하 게 적용 될 수 있 다 .