- 패 터닝 디바이스 ( MA ) 에 의하 여 방사선 빔 ( B ) 에 부여 된 패턴 을 기판 ( W ) 의 ( 예 를 들 어 , 하나 이상 의 다이 를 포함 하 며 , 흔히 필드 ( field ) 로 지칭 되 는 ) 타 겟 부분 ( C ) 상 으로 투영 하 도록 구성 되 며 , 기준 프레임 ( RF ) 상 에 지지 된 투영 시스템 ( 예 를 들 어 , 굴절 투영 렌즈 시스템 ) ( PS ) 을 포함 하 고 있 다 .