따라서 , 이 와 같 은 디 펙 트 요인 을 감소 시키 도록 반도체 제조 장치 에서 는 챔버 내부 를 관찰 하 기 위한 뷰 포트 ( View port ) 를 통해 플 라즈 마 와 기판 표면 막 질 의 반응 으로부터 발생 되 는 특정 파장 의 광 을 광 센서 를 통하 여 모니터링 한다 . 건식 스트립 제조 장비 에선 주로 광 을 감지 하 여 공정 의 종료 지점 을 파악 하 는 EPD ( End Point Detection ) 와 광 스 팩 트 럼 을 통해 반응 에 기여 하 는 가스 를 파악 할 수 있 는 OES ( Optical Emission Spectroscopy ) 등 을 활용 한다 .