하나 의 예시 적 인 구현 에서 , 가스 주입기 ( 247 ) 는 가스 채널 ( 249 ) 이 처리 챔버 ( 100 ) 의 가스 주입 측 , 예 를 들 어 슬릿 밸브 ( 137 ) 를 향하 도록 구성 된다 . 즉 , 가스 채널 ( 249 ) 은 처리 챔버 의 가스 주입 측 을 향하 는 방향 을 따라 연장 된다 . 이러 한 방식 으로 , 가스 의 대부분 은 측면 가스 유동 ( 248 ) 을 따라 처리 챔버 ( 100 ) 의 가스 주입 측 을 향하 여 유동 하 고 , 기판 ( 101 ) ( 또는 기판 지 지체 ( 138 ) 의 기판 지지 표면 ) 의 에지 에서 또는 그 에지 근처 에서 주입 카트리지 ( 149 ) ( 도 1 b ) 밖 으로 나오 는 처리 가스 ( 들 ) 와 반응 한다 .