가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 에 유체 연결 된 내부 가스 공급 채널 들 을 포함 한다 . 이 들 내부 가스 공급 채널 들 은 하나 이상 의 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 ) 에 유체 연결 된다 . 내부 가스 공급 채널 들 및 관련 된 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 플 라즈 마 프로세스 가스 가 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 에 분배 되 고 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에 분배 되 지 않 도록 스루홀 들 ( 117 ) 의 배열 사이 에 정의 됨 을 알 아야 한다 . 일 실시 형태 에서 , 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 에 대한 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에 대한 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 116 ) 로부터 분리 되 어 , 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 들 의 플로우 레이트 들 이 독립 적 으로 제어 가능 함 을 알 아야 한다 . 일 실시 형태 에서 , 하나 이상 의 공유 된 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 은 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 양쪽 모두 에 대해 이용 될 수 있 다 . 그러나 , 이 실시 형태 에서 , 각각 의 공유 된 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 부 로부터 의 플 라즈 마 프로세스 가스 플로우 들 은 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 각각 에 대하 여 개별 적 으로 각각 제어 된다 . 또한 , 몇몇 실시 형태 들 에서 는 가스 공급 소스 들 ( 118 ) 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통과 하 는 플로우 에 적절 한 가스 들 및 / 또는 가스 혼합물 들 의 선택 을 제공 하 는 다수 의 가스 공급 부들 및 / 또는 가스 박스 들 을 나타냄 을 알 아야 한다 .