도 25 는 본 발명 의 제 4 실시 예 에 따른 연마 기구 를 도시 한 평면도 이 며 , 도 26 은 도 25 의 선 ( F - F ) 을 따라 취해진 단면도 이 다 . 제 4 실시 예 에 따른 연마 장치 는 기판 의 경사 부분 의 연마 에 사용 되 기 에 적합 하 다 . 도 25 에 도시 된 바 와 같이 , 이 실시 예 에 따른 연마 장치 는 5 개 의 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D , 140 ) 를 갖 는다 . 특히 , 이러 한 연마 장치 는 연마 헤드 조립 체 ( 140 ) 가 제 1 실시 예 에 따른 연마 장치 에 부가 된 구조 를 갖 는다 . 연마 헤드 조립 체 ( 140 ) 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 B , 1 C ) 사이 에 위치 된다 . 연마 헤드 조립 체 ( 140 ) 는 도 26 에 도시 된 바 와 같이 , 고정 된 경사 각도 를 갖 는 연마 헤드 ( 141 ) 를 갖 는다 . 고정 된 경사 각도 란 연마 헤드 ( 141 ) 의 경사 각도 가 연마 중 변경 될 수 없 다는 것 을 의미 한다 . 하지만 , 웨이퍼 ( W ) 에 대해 연마 헤드 ( 141 ) 의 접촉 각도 를 조절 하 기 위해 , 연마 헤드 ( 141 ) 의 설치 각도 를 변경 하 는 것 은 가능 하 다 . 이 예 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 와 접촉 하 는 연마 테이프 ( 23 ) 의 연마 표면 이 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 수직 하 도록 연마 헤드 ( 141 ) 가 설치 된다 .