전술 한 바 와 같 은 과제 를 해결 하 기 위하 여 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 트리플 게이트 구조 의 이온 전계 효과 트랜지스터 기반 고 성능 바이오 센서 는 삼중 으로 구성 된 복수 의 게이트 를 포함 하 며 , 서로 상이 한 용량 을 갖 는 두 영역 을 갖 는 제 1 절연 층 ; 및 제 1 절연 층 과 서로 상이 한 용량 을 갖 는 제 2 절연 층 을 포함 하 는 트리플 게이트 구조 의 ISFET ; 및 트리플 게이트 구조 의 ISFET 의 복수 의 게이트 중 최상 측 에 배치 된 게이트 와 연결 되 는 금속 전극 , 금속 전극 상 에 배치 되 는 감지 막 및 챔버 를 포함 하 는 확장 게이트 를 포함 한다 . 이 에 , 트리플 게이트 구조 의 ISFET 을 이용 함 으로써 용량 성 커플링 비율 을 증가 시킴 으로써 감도 를 효과 적 으로 증폭 시킬 수 있 다 .