구체 적 으로 본 실시 예 에서 상기 2 D 물질 로 Graphene 을 증착 하 는 경우 상기 2 D 물질 증착 부 ( 130 ) 는 , 외부 기체 를 차단 한 상태 에서 2 D 물질 증착 공정 을 수행 할 수 있 는 챔버 ( 132 ) 와 , 상기 챔버 ( 132 ) 내부 의 진공 환경 조성 을 위한 펌프 ( 도면 에 미 도시 ) , 그리고 탄소 분 해부 와 기체 분사 부 로 구성 되 는 2 D 물질 증착 소스 공급 부 ( 134 ) 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 상기 탄소 분 해부 ( 도면 에 미 도시 ) 는 탄소 가스 를 분해 하 는 구성 요소 이 며 , 예 를 들 어 탄소 분 해부 는 상기 탄소 가스 를 1000 ℃ 이상 으로 가열 하 는 가열 수단 , DC 플 라즈 마 , RF 플 라즈 마 , ICP 플 라즈 마 , ECR 플 라즈 마 중 에서 선택 되 는 어느 하나 로 구성 될 수 있 다 .