해당 샷 의 빔 조사 개시 로부터 해당 샷 의 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 이 경과 한 후 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의해 트랙 킹 제어 를 위한 빔 편향 을 계속 하 면서 , 트랙 킹 제어 를 위한 빔 편향 과 는 별도 로 , 부편 향기 ( 209 ) 에 의해 멀티 빔 ( 20 ) 을 일괄 적 으로 편향 함 으로써 , 각 빔 의 묘화 위치 ( 전회 의 묘화 위치 ) 를 다음 의 각 빔 의 묘화 위치 ( 금회 의 묘화 위치 ) 로 시프트 한다 . 도 6 의 예 에서 는 , 시각 ( t = Ttr ) 이 된 시점 에서 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 최 하단 의 오른쪽 으로부터 다음 의 묘화 대상 화소 로 의 시프트 를 개시 하 고 , 시각 ( t = T ) 이 된 시점 에서 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 최 하단 의 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 화소 로부터 아래 로부터 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 화소 로 묘화 대상 화소 가 시프트 되 어 있 다 . 그 동안 에 도 XY 스테이지 ( 105 ) 는 정속 이동 하 고 있 으므로 트랙 킹 동작 은 계속 하 고 있 다 .