또한 , 상기 세 정부 ( 3 ) 에서 는 , 전해 가공 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 펜 브 러쉬 에 의해 세정 한다 . 펜 브 러쉬 는 , 폴리비닐 알코올 ( PVA ) 로 만들 어 진 스펀지 등 이 적합 하 게 사용 된다 . 먼저 , 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 표면 중앙부 부근 에 세정 약액 혹은 물 을 공급 한다 . 그 후 , 펜 브 러쉬 를 웨이퍼 ( W ) 상 에서 스캔 함 으로써 , 웨이 퍼 ( W ) 표면 을 깨끗 하 게 세정 하 는 것 이 가능 하 게 된다 ( 1 차 세정 ) .