본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 트렌치 내 에 라이너 산화 막 을 형성 하 고 SOD 막 의 코팅 후 트렌치 깊이 를 고려 하 여 소스 가스 를 예열 하 여 SOD 큐어 링 공정 을 실시 함 으로써 , 트렌치 깊이 에 상관 없이 안정 적 인 소자 분리 막 을 형성 하 여 소자 의 전기 적 특성 향성 및 안정 한 EFH ( effective field oxide height ) 제어 가 가능 하 다 .