또한 , 상술 한 기판 처리 열 ( Ｌｕ , Ｌｄ ) 에서 의 각 공정 이 기판 처리 를 목적 으로 하 는 것 인 경우 는 , 각각 통상 운전 시 에서 의 공정 이 된다 . 또한 , 기판 처리 열 ( Ｌｕ , Ｌｄ ) 에서 의 공정 이 처리 품질 의 확인 과 시험 , 또는 , 처리 유닛 의 시운전 등 을 목적 으로 하 는 것 인 경우 는 , 시운 전시 에서 의 공정 이 된다 .