해당 발광 소자 ( 100 ) 와 그 해당 발광 소자 ( 100 ) 의 주변 에 위치 한 복수 의 수 광소자 ( 200 x 1 , 200 x 2 , 200 y 1 , 200 y 2 ) 로 구성 된 발광 소자 - 수광 그룹 세트 가 객체 ( O ) 가 정해진 발광 소자 ( 100 ) 의 수직 방향 광 조사 와 객체 ( O ) 의 미세 움직임 에 의한 광 반사 방향 변화 로부터 객체 ( O ) 의 해당 지점 에 대한 미세 움직임 을 측정 할 수 있 다 .