도 8 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 의 주요부 를 도시 하 는 횡단면 도 이 며 , 도 7 에서 의 C - C 선 을 따른 횡단면 도 이 다 . 도 9 는 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 의 주요부 를 확대 해서 도시 하 는 단면도 이 다 . 도 7 및 도 9 에 도시 하 는 바 와 같이 , 외측 확산 부 ( 38 a ) 는 , 외측 유로 ( 26 ) 와 연통 해서 기부 ( 21 ) 의 내부 에 마련 되 어 있 다 . 또한 , 내측 확산 부 ( 38 b ) 는 , 내측 유로 ( 27 ) 와 연통 해서 기부 ( 21 ) 의 내부 에 마련 되 어 있 다 .