도 3 을 참조 하 면 , 본 명세서 에서 테라스 영역 으로 지칭 되 는 계단 영역 ( 300 ) 내 에 단차 형 표면 들 이 형성 된다 . 본 명세서 에 사용 되 는 바 와 같이 , " "" 단차 형 표면 들 "" 은 ", 각각 의 수평 표면 이 수평 표면 의 제 1 에지 로부터 상향 으로 연장 되 는 제 1 수직 표면 에 인접 하 도록 그리고 수평 표면 의 제 2 에지 로부터 하향 으로 연장 되 는 제 2 수직 표면 에 인접 하 도록 하 는 , 적어도 2 개 의 수평 표면 들 및 적어도 2 개 의 수직 표면 들 을 포함 하 는 표면 들 의 세트 를 지칭 한다 . 교번 하 는 스택 ( 32 , " 42 ) 의 부분 들 이 단차 형 표면 들 의 형성 을 통해 제거 되 는 체적 내 에 단차 형 공동 이 형성 된다 . "" 단차 형 공동 "" 은 단차 형 표면 들 을 갖 는 공동 을 지칭 한다 . "