이어서 , 도 2 의 ( c ) 에 도시 하 는 본 발명 의 실시 예 1 의 포토 마스크 를 사용 하 여 , 참고 예 1 과 마찬가지 로 , 약 2 . 4 ㎛ 정도 의 Panel CD 를 얻 는 경우 에 대하 여 시뮬레이션 을 행하 였 다 . 이 포토 마스크 는 , OD 3 이상 의 광학 농도 를 갖 는 완전 차 광부 ( 21 ) 의 외연 에 접하 여 , 반 투광 성 림 부 ( 22 ) 가 형성 되 어 있 다 ( 도 3 의 ( d - 3 ) 참조 ) .