본 발명 에 따른 산화알루미늄 pH 센서 는 반도체 분야 에서 사용 되 는 전자 빔 증착 ( e - beam evaporation ) 을 사용 하 여 제조 되 는 것 으로서 , 제작 및 구조 가 간단 하 면서 도 전자 빔 증착 ( e - beam evaporation ) 장비 를 이용 하 여 표면 에 굴곡 이 없 도록 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 막 을 일정 두께 로 증착 시킴 으로써 높 은 민감 도 ( sensitivity ) 및 안정 적 인 pH 측정 이 가능 하 여 , 수질 측정 , 산성도 및 염기 성도 를 갖 는 용액 에 대한 pH 측정 의 정확도 가 높 아 결과 의 높 은 신뢰도 를 가질 수 있 어 산업 상 이용 가능 성 이 크 다 .