그리고 , 상기 한 여러 종류 의 세정액 을 이용 한 세정 과정 을 완료 한 후 에 는 순수 ( DI water ) 를 린스 과정 을 거치 게 된다 . 이러 한 린스 과정 을 거쳐 웨이퍼 표면 에 묻 어 있 는 세정액 을 제거 하 게 된다 . 그리고 , 이러 한 린스 과정 을 거친 후 에 는 , IPA 드라이어 를 이용 한 건 조 과정 을 거치 게 되 는 것 이 다 . 이때 , 상기 IPA 드라이어 건조 과정 전 의 전처리 공정 은 순수 를 이용 한 파이널 린스 공정 으로서 , 이러 한 파이널 린스 공정 에 이용 되 는 순수 의 온도 는 23 ~ 25 ℃ 사이 로 유지 하 는 것 이 바람직 하 다 .