도 2 에서 는 RF 전원 공급 부 ( 250 ) 가 상기 제 1 전극 ( 231 ) 에 연결 된 것 을 예 로 들 어 설명 하 였으나 , RF 전원 공급 부 ( 250 ) 가 제 2 전극 ( 232 ) 에 연결 되 거나 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 과 상기 제 2 전극 ( 232 ) 에 모두 연결 된 상태 로 상기 제 1 전극 ( 231 ) 과 상기 제 2 전극 ( 232 ) 에 인가 되 는 RF 전원 의 전압 을 달리 하 여 구성 할 수 도 있 다 .