유량 감지 센서 ( 110 ) 는 제 1 도포 액 공급 관 ( 113 ) 상 에 설치 되 어 상기 저장 용기 ( 104 ) 로부터 의 도포 액 ( 105 ) 공급 이 원활 한지 여부 를 감지 하 는데 , 도포 액 ( 105 ) 을 직접 감지 하 거나 제 1 도포 액 공급 관 ( 113 ) 내부 에 흐르 는 유체 의 성분 에 기포 성분 을 감지 함 으로써 도포 액 ( 105 ) 의 유무 를 알 수 있 게 한다 .