이 와 같이 구성 하 면 , 가이드 레일 과 이동 지지 부재 에 의해 플 라즈 마 발생 장치 를 상기 설치 위치 로부터 수평 방향 으로 용이 하 게 인출 가능 한 구조 를 구성 할 수 있 다 . 이 에 따라 상기 가이드 레일 및 이동 지지 부재 를 구비 하 지 않 은 워크 처리 장치 에 비하 여 유지 관리 작업 시 에 플 라즈 마 발생 장치 의 인출 이 보다 용이 해 지 기 때문 에 플 라즈 마 발생 부 의 유지 관리 작업 을 보다 용이 하 게 행할 수 있 다 .