질소 함유 전구체 의 양 은 공정 의 식각 률 에 영향 을 줄 수 있 고 , 금속 함유 물질 상 에 형성 되 는 산화물 두께 에 의존 할 수 있 다 . 예컨대 , 질소 함유 전구체 의 펄스 는 특정 양 의 개질 된 금속 함유 물질 만 을 제거 할 수 있 다 . 그러나 , 부가 적 인 질소 함유 전구체 를 공정 처리 구역 내 로 유동 시킴 으로써 , 질소 함유 전구체 의 제 1 펄스 로 완전히 제거 되 지 않 은 잔류 개질 된 물질 이 존재 하 는 경우 , 추가 적 인 양 의 개질 된 금속 함유 물질 이 제거 될 수 있 다 . 따라서 , 공정 대기 열 시간 들 은 , 금속 함유 물질 을 더 큰 깊이 까지 개질 하 고 그런 다음 개질 된 금속 함유 물질 의 층 들 을 순차 적 으로 식각 및 제거 하 기 위해 질소 함유 전구체 전달 의 다수 의 사이클 들 을 수행 함 으로써 감소 될 수 있 다 . 따라서 , 산소 함유 전구체 를 공정 처리 챔버 내 로 유동 시키 고 제 1 시간 기간 동안 유지 를 수행 하 는 모든 각각 의 동작 에 대해 , 질소 함유 전구체 를 유동 시키 는 다수 의 동작 들 이 수행 될 수 있 다 .