한편 , 도 4 를 참조 하 면 , 선행 기판 ( S 2 ) 에 비하 여 후행 기판 ( S 1 ) 의 이송 속도 를 빠르 게 하 여 복수 의 기판 ( S ) 들 간격 이 벌어지 지 않 도록 함 에 도 불구 하 고 , 여러 가지 요인 들 에 의해 복수 의 기판 ( S ) 들 간격 이 벌어진 상태 에서 제 2 스테이지 의 제 2 기판 이송 장치 ( 220 ) 에 고정 되 는 경우 가 발생 될 수 있 다 .