" 오늘날 이용 되 는 플랫 폼 은 제조 "" 섬 ( island ) "" 으로서 기능 한다 . 이것 은 최상 의 CoO 개발 을 감당 하 지 못하 거나 최적 의 프로세스 제어 를 감당 하 지 못한다 . 오늘날 ", 일부 노광 툴 제조 업자 에 의해 가능 하 다면 요구 되 는 처리 량인 시간 당 300 웨이퍼 를 충족 할 수 있 는 300 mm 트랙 설계 는 없 다 .