본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 상기 커버 플레이트 는 , 상기 플레이트 몸체 의 하면 으로부터 돌출 되게 형성 되 고 , 내부 에 기판 리프트 핀 을 수용 하 도록 관통 홀 이 형성 된 제 2 돌출부 ; 를 포함 하 고 , 상기 여유 공간 형성 부 는 , 상기 제 2 돌출부 에 대응 되 는 위치 에 그 바닥 면 으로부터 오목 하 게 형성 되 고 , 상기 제 2 돌출부 를 수용 하 는 오목 홈 부 ; 를 포함 할 수 있 다 .