그래서 , 표시 장치 제조 용 으로서 사용 되 는 노광 장치 의 성능 을 살리 면서 , 포토 마스크 에 새로운 기능 을 탑재 함 으로써 , 종래 이상 으로 미세 한 패턴 을 , 피전 사체 상 에 확실 하 고 안정 되게 전사 하 여 , 양호 한 프로 파일 을 갖 는 레지스 트 패턴 을 형성 할 수 있 는 수단 에 대하 여 , 본 발명자 들 은 검토 하 고 , 본 발명 을 완성 하 였 다 .