도 5 a 를 참고 하 면 , 증착 챔버 ( 10 ) 내부 로 복수 의 기판 ( 61 , 62 , 63 , 64 ) 이 이송 되 어 복수 의 기판 지지 부 ( 20 ) ( 도 1 참조 ) 에 고정 된다 . 편의 상 제 1 증착 원 ( 44 ) 과 마주 하 는 기판 을 제 1 기판 ( 61 ) 이 라 하 고 , 제 1 기판 ( 61 ) 으로부터 시계 방향 을 따라 배열 된 나머지 기판 들 을 각각 제 2 기판 ( 62 ) , 제 3 기판 ( 63 ) , 제 4 기판 ( 64 ) 이 라 한다 . 제 4 기판 ( 64 ) 은 제 2 증착 원 ( 45 ) 과 마주 한다 .