본 고안 은 진공 흡입 펌프 가 장착 된 반도체 웨이퍼 용 세척장 치 에 관한 것 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 반도체 웨이퍼 를 기밀 이 가능 하 도록 장착 되 게 구성 하 고 , 상기 반도체 웨이퍼 의 상방 에서 물 을 분사 하 고 , 하방 에서 는 진공 흡입 펌프 로 흡입 하 여 반도체 웨이퍼 의 통공 이 세척 되 도록 구성 한 진공 흡입 펌프 가 장착 된 반도체 웨이퍼 용 세척장 치 에 관한 것 이 다 .