도 6 a 는 , 마스크 스테이지 ( 103 ) 가 이동 하 지 않 고 있 는 상태 를 도시 하고 있 다 . 도 6 a 에 도시 한 바 와 같이 , 경통 ( 107 ) 에 형성 된 개구 ( 202 ) 의 부근 에 마스크 스테이지 ( 103 ) 가 존재 하 고 있 지 않 기 때문 에 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 ( 205 ) 의 흐름 이 흐트러지 지 않 고 있 다 . 따라서 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 가 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는 기체 ( 204 ) 의 유량 을 감소 시킴 과 아울러 , 개구 ( 202 ) 의 단부 와 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 의 사이 의 거리 ( 207 ) 가 짧 아 지 도록 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 방향 으로 이동 시킨다 .