본 기재 의 또 다른 특징 에 따르 면 , 다음 단계 를 포함 하 는 방법 이 제공 된다 : 유리 - 계 물질 을 포함 하 는 기판 상 에 필름 을 증착 하 는 단계 ; 상기 필름 내 에 압축 - 응력 발생 성분 물질 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 필름 내 에 인장 - 응력 발생 성분 물질 을 형성 하 는 단계 , 여기 서 상기 필름 은 상기 형성 단계 후 약 - 200 MPa 내지 약 200 MPa 의 잔류 응력 을 포함 한다 .