일부 구 현예 에서 , 공급원 ( 3 ) 은 액체 또는 고체 물질 을 증기 로 변환 하 도록 구성 된 기화기 를 포함 한다 . 예 를 들 어 , 공급원 ( 3 ) 은 버블 러 , 기화기 , 액체 주입기 , 고체 공급원 승화기 등 을 포함 할 수 있 다 . 공급원 ( 3 ) 은 기화 된 반응물 을 반응물 공급 라인 ( 6 ) 에 공급 할 수 있 다 . 다양 한 구 현예 에서 , 공급원 ( 3 ) 은 에칭 공정 용 반응물 ( 예 , 에 천트 ) 을 포함 할 수 있 다 . 캐리어 가스 는 , 나타낸 바 와 같이 기화기 와 함께 사용 될 수 있 고 , 자연 적 으로 가스 인 반응물 을 운반 / 희석 하 기 위해 사용 될 수 도 있 다 . 다른 구 현예 에서 , 캐리어 가스 는 사용 되 지 않 는다 .