현재 , 표시 장치 를 구동 시키 는 스위칭 소자 로서 는 , 실리콘 계 반도체 막 을 이용 한 소자 가 주류 를 차지 하 고 있 는데 , 그것 은 , 실리콘 박막 의 안정 성 , 가공 성 의 장점 외 에 , 스위칭 속도 가 빠른 등 , 여러 가지 성능 이 양호 하 기 때문 이 다 . 그리고 , 이러 한 실리콘 계 박막 은 일반 적 으로 화학 증기 석출 ( CVD ) 법 에 의해 제조 되 고 있 다 .