도 16 으로부터 , CF 4 유량 에 대해서 는 설정 한 조건 범위 내 에서 유량 을 증가 시킴 에 따라 , 패턴 의 소밀 에 의한 측벽 경사 각도 차 가 축소 하 는 경향 을 확인 할 수 있 었 다 . 마찬가지 로 , 도 17 로부터 , O 2 유량 에 대해서 도 설정 한 조건 범위 내 에서 유량 을 증가 시킴 에 따라 , 상기 측벽 경사 각도 차 가 축소 하 는 경향 을 확인 할 수 있 었 다 . 따라서 , CF 4 유량 및 / 또는 O 2 유량 을 조정 하 는 것 에 의해서 , 패턴 의 소밀 에 의한 측벽 경사 각도 차 를 제어 할 수 있 는 것 이 판명 하 였 다 .