챔버 층 ( 20 ) 은 상술 한 바 와 같이 기판 ( 10 ) 상 에 적층 되 며 , 토출 될 잉크 가 채워지 는 잉크 챔버 ( 21 ) 가 형성 된다 . 여기 서 , 잉크 챔버 ( 21 ) 의 바닥 을 이루 는 기판 ( 10 ) 의 표면 에 는 잉크 챔버 ( 21 ) 에 채워진 잉크 를 가열 하 여 버블 을 발생 시키 기 위한 히터 ( 13 ) 가 형성 된다 . 히터 ( 13 ) 와 기판 ( 10 ) 사이 에 는 절연 을 위하 여 통상 실리콘 산화물 로 이루어진 절연 층 ( Insulation layer , 미 도시 ) 이 형성 된다 . 또 , 히터 ( 13 ) 상 에 는 이 히터 ( 13 ) 에 전류 를 인가 하 기 위한 도체 ( 미 도시 ) 가 형성 되 며 , 히터 ( 13 ) 와 도체 의 표면 에 는 이 들 을 보호 하 여 산화 되 거나 잉크 와 직접 적 으로 접촉 되 는 것 을 방지 하 기 위한 보호 층 ( Passivation layer , 미 도시 ) 이 형성 된다 .