그리고 , 도어 잠금 장치 ( 도 4 의 264 , 270 ) 를 구성 하 는 암 ( 도 4 의 266 ) 은 도어 홀더 ( 264 ) 의 일면 에 고정 결합 되 고 , 암 ( 266 ) 은 지지 부재 ( 204 ) 에 설치 된 구동 부 ( 도 4 의 268 ) 에 의해 상하 그리고 전후 방향 으로 이동 된다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 로부터 도어 ( 140 ) 가 열리 면 , 암 ( 266 ) 은 도어 홀더 ( 264 ) 를 일정 거리 후진 및 하강 시켜 도어 ( 140 ) 를 기판 컨테이너 ( 100 ) 의 몸체 ( 도 6 의 120 ) 로부터 분리 시킬 수 있 다 .