도 4 를 참조 하 여 본 발명 에 따른 CMP 장비 의 웨이퍼 연마 헤드 ( 100 ) 의 내부 구조 를 살펴보 면 , 연마 헤드 ( 100 ) 는 양단 이 관통 되 어 몸체 내부 에 중 공부 를 갖 는 원통형 으로 이루어져 연마 헤드 ( 100 ) 의 측면 몸체 를 구성 하 되 , 중 공부 의 내 주연 을 따라 돌출부 ( 152 ) 가 형성 된 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 와 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 의 하단 으로 몸체 의 일부 가 삽입 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 가 흡착 되 는 흡착 패드 ( 192 ) 와 , 웨이퍼 ( W ) 의 측면 을 감싸 고정 시키 는 리 테이 너링 ( retainer ring ; 194 ) 으로 구성 된 템 플레이트 ( 190 ) 가 하 면 에 결합 하 는 척 플레이트 ( 180 ) 와 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 의 상단 으로 몸체 전체 가 삽입 되 며 몸체 의 하면 이 척 플레이트 ( 180 ) 의 상부 와 소정 거리 이격 되 어 그 사이 공간 에 혼합 유체 가 주입 될 수 있 는 제 2 압력 실 ( 220 ) 을 형성 하 고 , 상면 에 제 1 압력 실 ( 210 ) 을 위한 경로 가 되 는 홈 이 형성 되 어 있 는 헤드 하부 몸체 ( 140 ) 와 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 의 하단 으로 삽입 된 척 플레이트 ( 180 ) 의 상면 가장자리 를 따라 수직 으로 체결 되 어 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 와 헤드 하부 몸체 ( 140 ) 가 이탈 되 지 않 도록 하 는 다 수개 의 회전 핀 ( 160 ) 과 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 에 상단 으로 삽입 되 어 , 헤드 하부 몸체 ( 140 ) 의 상면 에 형성 된 홈 을 밀폐 시키 는 헤드 상부 몸체 ( 120 ) 와 , 헤드 상부 몸체 ( 120 ) 의 상면 가장자리 에 형성 된 관 통구 에 몸체 가 삽입 되 어 제 1 압력 실 ( 210 ) 을 밀폐 시키 는 다 수개 의 핀 커버 ( 170 ) 및 헤드 상부 몸체 ( 120 ) 의 상면 중앙부 에 결합 되 어 회전력 ( R 1 ) 과 수직 압력 ( P ) 을 가하 는 구동축 ( 110 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .