[ A ] 중합체 에서 구조 단위 ( I ) 의 함유율 은 5 몰 ％ 이상 60 몰 ％ 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 10 몰 ％ 이상 50 몰 ％ 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다 . 구조 단위 ( I ) 의 함유율 을 상기 특정 범위 로 함 으로써 , 해당 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 로부터 얻 어 지 는 레지스 트 하층 막 은 에칭 속도 및 레지스 트 막 에 대한 에칭 선택 비 가 우수 하 다 .