우선 , 도 2 ( a ) 에 나타내 는 것 과 같이 복합 압 전 기판 ( 30 ) 을 준비 한다 . 예 를 들 면 , 20 ° Y 컷 LiTaO 3 압전체 기판 과 Si 지지 기판 ( 10 ) 을 사용 해서 실시 예 1 의 공정 1 ~ 5 와 동일 한 공정 으로 Si 지지 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 20 ° Y 컷 의 LiTaO 3 박리 층 ( 3 ) 이 접합 된 복합 압 전 기판 ( 30 ) 을 제작 한다 .