제 2 가스 분사 모듈 ( 430 b ) 은 기판 지지 부 ( 120 ) 상 에 국부 적 으로 정의 된 제 2 분 할 공간 ( DS 2 ) 에 중첩 되 는 제 2 모듈 설치 부 ( 115 b ) 에 삽입 설치 되 어 제 2 분 할 공간 ( DS 2 ) 에 퍼지 가스 ( G 3 ) 를 활성 화 시켜 제 2 분 할 공간 ( DS 2 ) 에 분사 한다 . 이때 , 제 2 가스 는 플 라즈 마 , 극초단파 , 열 원 , 레이저 등 에 의해 활성 화 될 수 있 으며 , 이하 본 발명 에서 는 플 라즈 마 에 의해 활성 화 되 는 것 으로 가정 하 여 설명 하 기 로 한다 .