도 2 는 도 1 의 I - I 선 에 따른 단면도 로서 , 로드 락 챔버 ( 30 ) 에 기판 카세트 ( 50 ) 가 인입 되 는 경우 를 나타낸 도면 이 다 . 이 경우 에 는 이송 챔버 ( 10 ) 의 이송 로봇 ( 12 ) 이 기판 카세트 ( 50 ) 의 기판 ( s ) 을 픽업 하 거나 기판 카세트 ( 50 ) 에 기판 ( s ) 을 안치 하 기 용이 하 도록 기판 카세트 승강 수단 ( 60 ) 이 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 내부 에 설치 된다 .