개시 된 2 축 구동 스캐너 는 : 베이스 상방 에 설치 된 스테이지 ; 와 , 상기 베이스 및 상기 스테이지 사이 에 설치 되 어서 상기 스테이지 를 2 축 으로 구동 하 는 스테이지 구 동부 ; 를 구비 한다 . 상기 스테이지 구 동부 는 : 소정 형상 의 제 1 고정부 ; 상기 제 1 고정부 를 포위 하 며 , 상기 제 1 고정부 와 의 사이 에 제 1 수평 방향 변형 토션 스프링 이 형성 된 수평 구동 프레임 ; 상기 수평 구동 프레임 을 수평 주사 방향 으로 구동 시키 는 수평 구동 부 ; 상기 수평 구동 프레임 을 포위 하 며 상기 수평 구동 프레임 과 의 사이 에 제 1 수직 방향 변형 토션 스프링 이 형성 된 보조 프레임 ; 상기 보조 프레임 을 포위 하 며 상기 보조 프레임 과 의 사이 에 제 2 수평 방향 변형 토션 스프링 이 형성 된 수직 구동 프레임 ; 상기 수직 구동 프레임 의 제 1 방향 양측 에서 상기 수직 구동 프레임 과 의 사이 에 제 2 수직 방향 변형 스프링 이 형성 된 제 2 고정부 ; 및 상기 수직 구동 프레임 을 수직 구동 하 는 수직 구동 부 ; 를 구비 한다 . 상기 스테이지 는 상기 보조 프레임 상 에 설치 된다 .