모 기판 ( 10 ) 이 진공 압 에 의하 여 제 1 모 기판 고정 부재 ( 20 ) 에 견고 하 게 밀착 된 후 작업자 는 개폐 밸브 ( 38 ) 을 닫 은 후 연결 단자 ( 39 ) 를 외부 진공 압 발생 장치 로부터 분리 한다 . 외부 진공 압 발생 장치 로부터 연결 단자 ( 39 ) 를 분리 하 더라도 개폐 밸브 ( 38 ) 가 이미 닫혔 기 때문 에 메인 진공 배관 ( 34 ) , 서브 진공 배관 ( 36 ) 및 진공 홀 ( 24 ) 내부 에 는 진공 압 이 유지 되 고 이 로 인해 모 기판 ( 10 ) 은 제 1 모 기판 고정 부재 ( 20 ) 에 밀착 된 상태 를 유지 할 수 있 다 .