그리고 , 상기 사 입사 조명 을 구현 하 기 위한 방법 으로 는 광 투과 영역 이 원형 인 컨벤셔널 어퍼 처 ( conventional aperture ) 대신 광 투과 영역 이 에 눌러 , 디아 폴 과 같 은 변형 어퍼 처 를 노광 장치 에 채용 하 는 방법 이 있 다 . 이러 한 방법 들 은 상기 어퍼 처 로 조사 되 는 광 의 수직 성분 을 차단 하 고 경사진 성분 ( 사 입사 성분 ) 만 을 통과 시켜 마스크 상 에 조사 되 게 한다 . 여기 서 , 상기 각각 의 어퍼 처 들 은 상기 광 을 서로 다른 크기 의 상기 광 투과 영역 을 통과 시켜 마스크 로 조사 되 는 광의 사 입사각 ( 상기 마스크 로 조사 되 는 사 입사 성분 의 광축 과 상기 수직 성분 의 광축 과 의 각도 ) 을 서로 다르 게 형성 한다 .