상기 3 차 지방족 아민 화합물 은 , 활성 광선 을 노광 한 후 에 포토레지스트 패턴 의 단면 프로 파일 을 향상 시키 고 이 의 안정 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 3 차 지방족 아민 화합물 은 트리메틸아민 , 트리 에틸아민 , 트리 - n - 프로필 아민 , 트리 이소프로필 아민 , 트리 - n - 부틸 아민 , 트리 이소부 틸 아민 , 트리 - tert - 부틸 아민 , 트리 펜틸 아민 , 트리 에탄올아민 , 트리 부탄올 아민 , 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .