또한 , 갠트리 부 ( 9 ) 를 안내 하 기 위한 부재 인 가이드 레일 ( 4 ) 은 , 베이스 프레임 ( 2 ) 에 대한 조립 정밀도 가 특히 요구 되 는 부분 이 기 때문 에 , 가이드 레일 ( 4 ) 이 스테이지 장치 ( 1 ) 의 분할 부 ( 1 b , 1 c ) 측 에 설치 되 어 있 을 경우 는 , 조립 시 의 위치 결정 정밀도 달성 작업 이 극히 손 이 가 는 것 이 된다 . 그러나 , 본 실시 예 에 관련 되 는 스테이지 장치 ( 1 ) 에서 는 , 분할 면 ( 12 , 13 ) 은 , 각각 의 가이드 레일 ( 4 ) 보다 외측 영역 에 형 성 되 어 있 다 . 이 에 의하 여 , 가이드 레일 ( 4 ) 이 스테이지 장치 ( 1 ) 의 본 체부 ( 1 a ) 측 에 설치 되 는 것 이 되 기 때문 에 , 조립 시 , 스테이지 장치 ( 1 ) 의 분할 부 ( 1 b , 1 c ) 를 본 체부 ( 1 a ) 에 연결 시킬 때 의 위치 결정 정밀도 달성 작업 을 용이 하 게 행할 수 있 다 .