도 14 를 참조 하 면 , 노광 된 포토레지스트 필름 은 현상액 에 의하 여 현상 되 고 , 이 결과 광 에 의하 여 노광 된 포토레지스트 필름 은 현상액 에 의하 여 용해 되 어 포토레지스트 필름 로부터 제거 된다 . 따라서 , 보호막 상 에 는 상면 의 폭 보다 밑면 의 폭 이 넓 은 제 1 및 제 2 보조 패턴 ( 192 , 194 ) 들 이 형성 되 고 , 제 1 및 제 2 보조 패턴 ( 192 , 194 ) 들 의 단면 은 삼각형 형상 을 가질 수 있 다 . 이 와 다르 게 , 회절 패턴 의 간격 을 넓힘 으로써 제 1 및 제 2 보조 패턴 ( 192 , 194 ) 들 의 단면 은 사다리꼴 형상 을 가질 수 있 다 .