예 를 들 면 , 기판 처리 장치 ( 201 ) 에 있 어서 , 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , ID 블록 ( 202 ) 이 일단 ( 一端 ) 에 배치 되 고 , ID 블록 ( 202 ) , 제 1 처리 블록 ( 203 ) , 제 2 처리 블록 ( 205 ) 이 이 순서 대로 수평 방향 으로 배치 되 어 있 다고 한다 . 기판 은 , ID 블록 ( 202 ) 으로부터 제 1 처리 블록 ( 203 ) , 제 2 처리 블록 ( 205 ) 의 순서 대로 반송 된다 . 이 때 , 제 1 처리 블록 에서 는 , 기판 에 제 1 처리 가 행해 지 고 , 또 , 제 2 처리 블록 에서 는 , 기판 에 제 2 처리 가 행해진다 . 그 후 , 기판 은 , 제 1 처리 블록 을 통과 하 여 ID 블록 ( 202 ) 으로 되돌려진다 . 이러 한 제 1 처리 블록 을 통과 시키 는 기판 반송 은 , 제 1 처리 블록 의 스루풋 을 저하 시키 고 있 을 가능 성 이 있 다 . 또 , 기판 처리 장치 ( 201 ) 전체 로서 도 스루풋 을 저하 시키 고 있 을 가능 성 이 있 다 .