다음 으로 , 드레 인 전극 ( 12 ) 과 소스 전극 ( 13 ) 은 서로 이격 배치 되 어 장벽층 ( 11 ) 상 에 증착 된다 . 이때 , 드레 인 전극 ( 12 ) 과 소스 전극 ( 13 ) 은 장벽층 ( 11 ) 상 에 형성 된 금속 패턴 이 열처리 를 통해 장벽층 ( 11 ) 과 채널 층 ( 10 ) 으로 확산 되 어 형성 된 것 일 수 있 다 . 이 경우 , 금속 패턴 은 티타늄 ( Ti ) , 알루미늄 ( Al ) , 니켈 ( Ni ) , 금 ( Au ) , 납 ( Pd ) , 구리 ( Cu ) , 코발트 ( Co ) , 백금 ( Pt ) 중 적어도 하나 의 재질 이 거나 이 들 의 합금 일 수 있 다 .