매니폴드 ( 209 ) 의 하방 에 는 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 개구 를 기밀 하 게 폐색 가능 한 노구 덮개 로서 의 시일 캡 ( 219 ) 이 설치 되 어 있 다 . 시일 캡 ( 219 ) 은 , 예 를 들 어 SUS 등 의 금속 재료 에 의해 구성 되 고 , 원반 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 시일 캡 ( 219 ) 의 상면 에 는 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 과 맞닿 는 시일 부재 로서 의 O 링 ( 220 b ) 이 설치 되 어 있 다 . 시일 캡 ( 219 ) 의 하방 에 는 , 후술 하 는 보트 ( 217 ) 를 회전 시키 는 회전 기구 ( 267 ) 가 설치 되 어 있 다 . 회전 기구 ( 267 ) 의 회전축 ( 255 ) 은 , 시일 캡 ( 219 ) 을 관통 해서 보트 ( 217 ) 에 접속 되 어 있 다 . 회전 기구 ( 267 ) 는 , 보트 ( 217 ) 를 회전 시킴 으로써 웨이퍼 ( 200 ) 를 회전 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 시일 캡 ( 219 ) 은 , 반응 관 ( 203 ) 의 외부 에 설치 된 승강 기구 로서 의 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 수직 방향 으로 승강 되 도록 구성 되 어 있 다 . 보트 엘리베이터 ( 115 ) 는 , 시일 캡 ( 219 ) 을 승강 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 실 ( 201 ) 내외 에 반입 및 반출 ( 반송 ) 하 는 반송 장치 ( 반송 기구 ) 로서 구성 되 어 있 다 . 또한 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하방 에 는 , 시일 캡 ( 219 ) 을 강하 시켜 보트 ( 217 ) 를 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 반출 한 상태 에서 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 개구 를 기밀 하 게 폐색 가능 한 노구 덮개 로서 의 셔터 ( 219 s ) 가 설치 되 어 있 다 . 셔터 ( 219 s ) 는 , 예 를 들 어 SUS 등 의 금속 재료 에 의해 구성 되 고 , 원반 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 셔터 ( 219 s ) 의 상면 에 는 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 과 맞닿 는 시일 부재 로서 의 O 링 ( 220 c ) 이 설치 되 어 있 다 . 셔터 ( 219 s ) 의 개폐 동작 ( 승강 동작 이나 회동 동작 등 ) 은 셔터 개폐 기구 ( 115 s ) 에 의해 제어 된다 .