상기 몰 리브 데 늄 실리사이드 ( MoSi ) 화합물 또는 크롬 ( Cr ) 화합물 로 구성 된 단층 막 형태 의 위상 반 전막 은 대 면적 에 적합 한 습식 식각 시 등방성 식각 특성 을 가지 며 , 이 에 따라 위상 반 전막 패턴 의 가장자리 부분 의 식각 단면 이 완만 한 경사 를 갖 는 형태 로 형성 된다 . 이 와 같 은 , 상기 패턴 가장자리 부분 의 경사 는 패턴 가장자리 부분 과 그 외 의 부분 에서 투과율 과 위상 반 전량 의 차이 를 발생 시켜 위상 반 전막 패턴 선폭 의 균일성 에 영향 을 미친다 . 그리고 , 패턴 가장자리 부분 에서 위상 반 전막 의 경사 에 의하 여 위상 반 전막 의 경계 가 불분명 하 여 미세 패턴 을 형성 하 기 어렵 다 .