폴리 싱하 우징 ( 110 ) 은 외부 의 진공 공급 부 ( 미 도시 ) 와 에 어공 급부 ( 미 도시 ) 로부터 선택 적 으로 공급 되 는 진공 이나 에어 를 하측 에 형성 되 는 다수 의 백사이드 홀 ( 111 ) 로 분산 되 어 공급 되 도록 내측 에 유로 ( 미 도시 ) 가 형성 되 며 , 백 사이드 홀 ( 111 ) 의 형성 면 하측 에 웨이퍼 ( W ) 를 유연 하 게 흡착 하 거나 가압 하 도록 다수 의 홀 을 가지 는 백 킹 필름 ( 112 ) 이 부착 되 고 , 회전 을 위한 회전축 ( 113 ) 이 상측 에 고정 된다 .