제 4 트렌치 ( TR 4 ) 를 채우 는 상부 도전 라인 ( UCL ) 이 제공 될 수 있 다 . 상부 도전 라인 ( UCL ) 은 제 2 절연 층 ( 260 ) 을 관통 하 여 식각 저 지막 ( ESL ) 의 상면 에 접할 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 상부 도전 라인 ( UCL ) 의 하 면 ( UCLB ) 은 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 의 상면 ( 252 ) 에 접할 수 있 다 . 상부 도전 라인 ( UCL ) 은 비아 ( VA ) 를 통해 제 2 하부 도전 라인 ( LCL 2 ) 에 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 과 유사 하 게 , 상부 도전 라인 ( UCL ) 및 비아 ( VA ) 는 금속 라인 ( ME ) 및 배리 어막 ( BA ) 을 포함 할 수 있 다 . 비아 ( VA ) 와 상부 도전 라인 ( UCL ) 은 이하 의 제조 방법 에서 설명 하 는 것 과 같이 동시 에 형성 되 는 구조 체의 부분 들 일 수 있 다 .