락 챔버 들 이 약 1 ㆍ 10 - 3 hPa 의 처리 실 압력 수준 으로부터 대기압 까지 채워 지 므로 , 정압 은 고정 값 이 아니 다 . 이것 은 플 러딩 봉 ( 41 내지 50 ) 들 이 수평 또는 수직 으로 배치 되 는지 에 무관 하 다 . 그러나 , 플 러딩 봉 ( 41 내지 50 ) 들 을 통한 기체 흐름 이 기판 ( 53 ) 에 대해 대칭 적 으로 도입 되 고 , 기판 ( 53 ) 에 대해 안정 적 이 고 감쇠 적 인 영향 을 주 며 , 정압 증강 이 기판 ( 53 ) 을 손상 시킬 수 없 도록 남 아 있 는 챔버 체적 이 플 러딩 되 는 것 이 중요 하 다 .