본 발명 의 일 태양 의 플라스마 처리 장치 는 , 시료 가 플라스마 처리 되 는 처리 실과 자 ( 自 ) 장치 의 상태 를 진단 하 는 장치 진단 장치 를 구비 하 는 플라스마 처리 장치 에 있 어서 , 상기 장치 진단 장치 는 , 자 장치 와 다른 플라스마 처리 장치 에 있 어서 의 제 1 센서 에 의해 취득 된 제 1 센서 값 을 이용 하 여 확률 분포 함수 를 포함 하 는 사전 분포 정보 를 상기 제 1 센서 의 각각 에 대하 여 미리 구하 고 , 상기 미리 구해진 사전 분포 정보 와 , 자 장치 에 있 어서 의 제 2 센서 에 의해 취득 된 제 2 센서 값 을 기초 로 상기 제 1 센서 의 각각 에 대응 하 는 상기 제 2 센서 의 각각 에 있 어서 의 확률 분포 를 추정 하 고 , 상기 추정 된 확률 분포 를 이용 하 여 상기 자장 치 의 상태 를 진단 하 는 것 을 특징 으로 한다 .