그리고 , 처리 용기 ( 4 ) 의 천장부 는 개구 되 어 있 으며 , 여기 에 , 마이크로파 에 대해 투과성 을 갖 는 천장 판 ( 36 ) 이 , O 링 등 의 시일 ( seal ) 부재 ( 38 ) 를 거쳐서 기밀 하 게 마련 되 어 있 다 . 천 장판 ( 36 ) 은 모재 로서 , 예 를 들 면 석 영판 이나 Al 2 O 3 등 의 세라믹 재로 이루어진다 . 또한 , 천 장판 ( 36 ) 의 두께 는 내압 성 을 고려 해서 , 예 를 들 면 20 ㎜ 정도 로 설정 되 어 있 다 .