웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 는 웨이퍼 ( 3 ) 를 지지 하 고 , 웨이퍼 ( 3 ) 를 웨이퍼 척 을 개재 해서 유지 하 는 Z 스테이지 , Z 스테이지 를 지지 하 는 XY 스테이지 , 및 XY 스테이지 를 지지 하 는 베이스 를 구비 하 고 있 다 . 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 는 리니어 모터 등 의 웨이퍼 스테이지 구동 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 구동 된다 . 웨이퍼 스테이지 구동 장치 는 제어 장치 에 의해 제어 된다 .