재 치대 ( 16 ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 상방 에 배치 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 13 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 보다 위 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 2 개 의 오프너 ( 12 , 14 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 는 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 보다 위 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 13 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 상면 또는 옥상 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 2 개 의 오프너 ( 12 , 14 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 는 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 상면 또는 옥상 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 예 를 들 면 , 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , ID 블록 ( 202 ) 의 측면 에 재 치대 ( 216 ) ( 오프너 ) 가 배치 되 어 있 으면 , 재 치대 ( 216 ) 가 배치 된 만큼 , 기판 처리 장치 ( 201 ) 의 풋 프린트 가 커진다 . 이러 한 점 에서 , 재 치대 ( 16 ) 가 , ID 블록 ( 2 ) , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 중 적어도 어느 하나 와 , 평면 에서 보 았 을 때 에 겹친다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 풋 프린트 의 증가 를 억제 할 수 있 다 .