아울러 , 웨이퍼 이송 로봇 ( 100 ) 은 웨이퍼 ( 400 ) 를 한 장 씩 수납 하 는 경우 싱글 블레이드 ( 210 ) 를 이용 하 여 작업 하 고 복수 의 웨이퍼 ( 400 ) 를 한 번 에 수납 하 는 경우 멀티 블레이드 ( 220 ) 를 이용 하 여 작업 할 수 있 도록 , 싱글 블레이드 ( 210 ) 및 멀티 블레이드 ( 220 ) 중 작업 모드 에 따라 어느 하나 를 선택 하 는 선택 수단 을 구비 한다 .