예 를 들 면 , e - d = 2 ㎛ 이 면 , 개구부 ( 1130 ) 의 주변 부분 에 는 입사광 으로부터 2 ㎛ 의 위치 에 발생 된 로컬 플레어 가 입사 하 지만 , 2 차원 적 으로 동일 한 거리 만큼 모든 방향 으로 입사광 으로부터 떨어진 로컬 플레어 를 측정 할 수 없 다 . 이 와 같이 , 개구부 ( 1130 ) 의 면적 을 크 게 한 것 만 으로 는 , 로컬 플레어 를 정확 하 게 측정 하 는데 불 충분 하 다 . 환언 하 면 , 로컬 플레어 를 정밀 하 게 측정 하 기 위해서 는 , 측정 패턴 의 형상 및 차광판 의 개구부 의 형상 을 최적 화 할 필요 가 있 다 .