냉각 장치 ( 13 ) 는 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 의 하류 측 에 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 와 인접 하 도록 배치 되 어 있 다 . 냉각 장치 ( 13 ) 는 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 에서 가열 된 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 를 냉각 시킨다 . 냉각 장치 ( 13 ) 는 , 제 1 냉각 롤 ( 34 ) 과 , 제 2 냉각 롤 ( 35 ) 과 , 냉각 케이싱 ( 36 ) 을 구비 한다 .