전술 한 바 와 같이 , Y 간섭계 ( 16 , 17 , 18 , 및 19 ) 및 XZ 간섭계 ( 116 , 117 , 126 , 및 127 ) 을 포함 하 는 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 함 으로써 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 6 자유도 ( X , Y , Z , θ x , θ y , 및 θ z ) 방향 의 위치 정보 를 계측 할 수 있 다 . 또한 , 개별 간섭계 의 배치 에 기초 하 여 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 에서 는 Y 간섭계 ( 17 ) 와 XZ 간섭계 ( 116 및 126 ) 를 이용 하 는 반면 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 웨이퍼 얼라인먼트 시 에 이동 하 는 얼라인먼트 계 ( ALG ) 근방 의 얼라인먼트 영역 ( AA ) ( 도 9 참조 ) 에서 는 Y 간섭계 ( 19 ) 와 XZ 간섭계 ( 117 및 127 ) 를 이용 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 예 를 들 어 , 도 12 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 노광 시 이동 영역 ( AE ) 과 얼라인먼트 영역 ( AA ) 사이 를 왕래 하 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 위한 제 1 대기 영역 ( 정반 ( 12 ) 상의 - X 측 의 영역 ) ( AW ) 에서 는 Y 간섭계 ( 16 ) 와 XZ 간섭계 ( 116 및 126 , 또는 117 및 127 ) 를 이용 하 는 반면 , 예 를 들 어 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 노광 시 이동 영역 ( AE ) 과 얼라인먼트 영역 ( AA ) 사이 를 왕래 하 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 위한 제 2 대기 영역 ( 정반 ( 12 ) 의 + X 측 의 영역 ) ( AW 2 ) 에서 는 Y 간섭계 ( 18 ) 와 XZ 간섭계 ( 116 및 126 , 또는 117 및 127 ) 를 이용 한다 .