다만 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따르 면 Ⅵ ′ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 또는 Ⅵ ′ 족 원소 를 함유 하 는 가스 를 함께 사용 하 게 된다 . 여기 서 Ⅵ ′ 족 원소 는 앞 에서 설명 한 바 있 는 Ⅵ 족 원소 와 구별 하 기 위한 것 으로서 , 주기율표 상 같 은 족 에 속하 지만 다른 원자 번호 를 갖 는 원소 를 나타내 는 것 이 다 .