예 59 : 기판 세정 및 건조 메커니즘 에서 기판 을 세정 및 건조 시키 기 위한 방법 에서 , 기판 세정 및 건조 메커니즘 은 세정 및 건조 동작 들 둘 모두 를 위한 단일 챔버 를 갖 고 , 방법 은 , 기판 세정 및 건조 메커니즘 에 수직 으로 기판 을 장착 하 는 단계 ; 제 1 회전 속도 로 기판 을 회전 시키 는 단계 ; 기판 의 적어도 제 1 면 상 에 적어도 하나 의 액체 를 분무 하 는 단계 ; 제 1 차 폐부 회전 속도 로 제 1 회전 가능 차 폐부 를 스 피닝 하 는 단계 ; 제 2 차 폐부 회전 속도 로 제 2 회전 가능 차 폐부 를 스 피닝 하 는 단계 ; 및 기판 의 제 1 회전 속도 를 증가 시킴 으로써 기판 을 건조 시키 는 단계 를 포함 한다 .