이어서 , 제 5 단계 로 , 위 의 제 4 단계 를 통하 여 얻 은 데이터 를 조정 ( fitting ) 하 여 게이트 전압 ( Vg ) 의 변경 에 따라 게이트 채널 이 반전 상태 인 반전 영역 ( inversion region ) 으로부터 게이트 채널 이 축적 상태 인 축 적 영역 ( accumulation region ) 까지 게이트 전압 ( Vg ) 의 변화 에 따른 게이트 정전 용량 곡선 을 얻 는다 .