위 에서 언급 한 바 와 같이 , 기판 ( 131 ) 이 컨베이어 ( 미 도시 ) 상 에서 필요 한 공정 을 수행 하 기 위해 이동한 후 원 하 는 위치 로 이동 하 기 위해 회전 이 요구 될 때 로봇 에 의해 회전 수단 ( turn unit ) , 즉 회전 테이블 ( 121 ) 상 에 로딩 한 후 상기 회전 테이블 ( 121 ) 을 회전 시켜 기판 ( 131 ) 을 원하 는 위치 에 오 도록 회전 이 동시 킨다 . 이때 , 상기 회전 테이블 ( 121 ) 의 회전 할 때 그 하면 에 장착 된 얼라 인 수단 의 얼라 인 바 ( 107 ) 들 도 함께 회전 이동 한다 .