또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 기판 처리 장치 는 , 기판 ( W ) 을 촬상하기 위한 촬상부 ( 200 ) 를 구비 한다 . 그리고 , 제 어부 ( 7 ) 는 , 촬상부 ( 200 ) 에 의해 촬상된 화상 에 있 어서 의 기판 ( W ) 의 측면 에서 본 형상 에 기초 하 여 , 이 동부 ( 190 ) 의 동작 을 제어 한다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 촬상된 화상 을 사용 하 여 , 기판 ( W ) 의 하면 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 사이 의 거리 를 , 높 은 정밀도 로 제어 할 수 있 다 .