상기 표 2 에서 , SiLKTM , BCB , FLARETM , FOx , HOSP , JSR 등 은 각각 제 품명 을 나타낸다 . 또한 , ' SOG ' 는 ' Spin On Glass ', ' CVD ' 는 ' Chemical Vapor Deposition ', ' HSSQ ' 는 ' Hydrogen SilSesQuioxane ', ' MSSQ ' 는 ' Methyl SilSesquioxane ' 를 의미 한다 .