복수 의 타깃 ( 20 ) 과 스테이지 ( 16 ) 사이 에 는 , 개구 ( AP ) 를 갖 는 셔터 ( SH ) 가 마련 되 어 있 다 . 셔터 ( SH ) 는 , 축선 ( AX 1 ) 을 중심 축선 으로 하 는 원추면 을 따르 는 형상 을 가지 며 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 의 표면 에 대치 하 도록 연장 되 어 있 다 . 개구 ( AP ) 는 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 중 하나 의 타 겟 ( 20 ) 을 스테이지 ( 16 ) 에 대하 여 선택 적 으로 노출 시킬 수 있 다 . 셔터 ( SH ) 의 중앙 부분 에 는 , 회전축 ( RS ) 이 결합 되 어 있 다 . 회전축 ( RS ) 은 대략 기둥 형상 의 부재 이 다 . 회전축 ( RS ) 의 중심 축선 은 , 축선 ( AX 1 ) 에 대략 일치 하 고 있 다 . 회전축 ( RS ) 의 일단 은 , 처리 용기 ( 12 ) 의 내부 에 있 어서 , 셔터 ( SH ) 의 중앙 부분 과 결합 되 어 있 다 . 또한 , 회전축 ( RS ) 은 , 처리 용기 ( 12 ) 의 내부 로부터 처리 용기 ( 12 ) 의 상부 를 통과 하 여 처리 용기 ( 12 ) 의 외부 까지 연장 되 어 있 다 . 처리 용기 ( 12 ) 의 외부 에 있 어서 , 회전축 ( RS ) 의 타단 은 , 구동 장치 ( RD ) 에 접속 되 어 있 다 . 구동 장치 ( RD ) 는 , 회전축 ( RS ) 을 회전 시키 는 동력 을 발생 한다 . 이 동력 에 의해 회전축 ( RS ) 이 축선 ( AX 1 ) 중심 으로 회전 함 에 따라 , 셔터 ( SH ) 는 축선 ( AX 1 ) 중심 으로 회전 할 수 있 다 . 셔터 ( SH ) 의 회전 에 의해 , 개구 ( AP ) 의 둘레 방향 의 위치 를 조정 하 는 것 이 가능 해 지 고 있 다 .