트위스트 각 조정 기구 ( 56 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 회전각 을 조정 하 는 기구 이 며 , 웨이퍼 처리 면 의 법선 을 축 으로 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시킴 으로써 , 웨이퍼 의 외주 부 에 마련 되 는 얼라인먼트 마크 와 기준 위치 의 사이 의 트위스트 각 을 조정 한다 . 여기 서 , 웨이퍼 의 얼라인먼트 마크 란 , 웨이퍼 의 외주 부 에 마련 되 는 노치 나 오리엔테이션 플랫 을 말 하 며 , 웨이퍼 의 결정축 방향 이나 웨이퍼 의 둘레 방향 의 각도 위치 의 기준 이 되 는 마크 를 말 한다 . 트위스트 각 조정 기구 ( 56 ) 는 , 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 와 왕복 운동 기구 ( 54 ) 의 사이 에 마련 되 고 , 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 와 함께 왕복 운동 된다 .