승강 핀 ( 427 ) 은 , 전달 위치 에 있 는 스테이지 ( 420 ) 에 마련 된 관통 구멍 ( 420 a ) 에 삽입 관통 되 어 스테이지 ( 420 ) 의 상면 에 대하 여 돌출 함몰 가능 하 게 되 어 있 다 . 승강 핀 ( 427 ) 을 승강 시킴 으로써 , 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 와 스테이지 ( 420 ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 전달 이 행하 여진다 .