이상 과 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 적재 대 ( 20 ) 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 를 당해 적재 대 ( 20 ) 에서 가열 하 는 성막 장치 ( 1 ) 에 있 어서 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 적재 대 ( 20 ) 의 하면 보다 하측 에 플랜 지부 ( 31 a ) 가 마련 되 고 , 핀 지지 부재 ( 100 ) 가 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 플랜 지부 ( 31 a ) 와 의 걸림 결합 에 의해 당해 리프트 핀 ( 30 ) 을 지지 하 고 있 다 . 결국 , 리프트 핀 ( 30 ) 이 핀 지지 부재 ( 100 ) 등 에 고정 되 어 있 지 않 다 . 그 때문 에 , 적재 대 ( 20 ) 의 열팽창 등 의 영향 으로 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 파손 이나 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 원활 한 승강 동작 이 손상 될 가능 성 이 낮 다 . 그리고 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 이 삽입 관통 되 는 적 재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) ( 특히 그 상단 부 ) 이 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 플랜 지부 ( 31 a ) 보다 가늘 게 형성 되 어 , 종래 의 리프트 핀 보다 도 세경 의 리프트 핀 으로 할 수 있 다 . 따라서 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 예 를 들 어 특허 문헌 1 과 같 은 형태 에 비하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 에 대응 하 는 부분 의 온도 가 저하 되 는 것 을 억제 할 수 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 의 면내 균일성 을 개선 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 이 , 플랜 지부 ( 31 a ) 를 포함 하 는 제 1 부재 ( 31 ) 와 , 제 1 부재 ( 31 ) 와 는 별 체임 과 함께 삽입 관 통부 ( 32 a ) 를 포함 하 는 제 2 부재 ( 32 ) 를 갖 고 , 제 1 부재 ( 31 ) 가 , 제 2 부재 ( 32 ) 가 적재 되 어 당해 제 2 부재 ( 32 ) 를 미끄럼 이동 가능 하 게 지지 하 는 미끄럼 이동면 ( 31 b ) 을 갖 는다 . 따라서 , 적재 대 ( 20 ) 의 열팽창 등 의 영향 으로 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 파손 이나 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 원활 한 승강 동작 이 손상 될 가능 성 을 더욱 저감 할 수 있 다 . 특히 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 꺾임 을 방지 할 수 있 다 .