갠트리 장치 ( 20 ) 는 수용 공간 ( 112 ) 에 마련 되 어 있 는 테이블 ( 10 ) 상 에 위치 하 며 , 일반 적 으로 갠트리 장치 ( 20 ) 는 반도체 의 웨이퍼 ( wafer ) , 액정 표시 패널 ( LCD ) 용 글라스 등 의 정밀 검사 를 위한 스캐닝 작업 이나 표면 증착 작업 및 실 런 트 가 마련 되 어 있 는 액정 표시 패널 의 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러 필터 기판 의 액정 적하 공정 에 사용 될 수 있 다 .