인터페이스 블록 ( 6 ) 은 , 노광 장치 ( 3 ) 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 전달 을 행한다 . 예컨대 인터페이스 블록 ( 6 ) 은 , 전달 아암 을 포함 하 는 반송 장치 ( A 8 ) 를 내장 하 고 있 고 , 노광 장치 ( 3 ) 에 접속 된다 . 반송 장치 ( A 8 ) 는 , 선반 유닛 ( U 11 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 노광 장치 ( 3 ) 에 건네 준다 . 반송 장치 ( A 8 ) 는 , 노광 장치 ( 3 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 하 여 선반 유닛 ( U 11 ) 으로 복귀 시킨다 .