본 단계 ( S 60 ) 는 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 크롬 접착 층 ( 40 ) 의 상부 로 전자 빔 증착 ( e - beam evaporation ) 을 이용 하 여 홈 ( 301 ) 내부 로 금 ( Au ) 을 증착 시켜 전극 층 ( 50 ) 을 형성 하 는 단계 이 다 . 이때 형성 되 는 상기 전극 층 ( 50 ) 은 pH 센서 의 전극 기능 을 갖 는다 .