하지만 , 하나 의 웨이퍼 가 대기 중 에서 로드 락 챔버 를 거쳐 공정 챔버 에 이송 되 는 과정 에서 상기 로드 락 챔버 와 진공 펌프 사이 에 연결 되 는 펌핑 밸브 가 도어 및 벤트 밸브 와 연동 되 어 개폐 동작 되 고 , 슬릿 밸브 와 연동 되 어 개폐 동작 됨 으로서 상기 도어 및 상기 슬릿 밸브 에 비해 잦 은 개폐 동작 으로 인해 펌핑 밸브 의 수명 이 줄어들 기 때문 에 종래 기술 에 따른 반도체 제조 설비 및 그 의 제조 방법 은 생산 성 이 떨어지 는 문제점 이 있 었 다 .