또한 , 지 지체 로 는 , 상기 서술 한 바 와 같 은 기판 상 에 , 무기계 및 / 또는 유기계 의 막 이 형성 된 것 이 어도 된다 . 무기계 의 막 으로 는 , 무기 반사 방지 막 ( 무기 BARC ) 을 들 수 있 다 . 유기계 의 막 으로 는 , 유기 반사 방지 막 ( 유기 BARC ) 이나 , 다층 레지스 트 법 에 있 어서 의 하층 유기 막 등 의 유기 막 을 들 수 있 다 .