그런데 , 상술 한 바 와 같 은 부착 막 제거 장치 에서 는 노즐 헤드 의 회전 운동 에 대한 세정 건 의 이동 속도 가 중요 해진다 . 구체 적 으로 는 , 세정 건 의 이동 속도 가 노즐 헤드 의 회전 속도 에 대해 지나치 게 빠르 면 성막 장치 용 부품 ( 이하 , 워크 라 함 ) 에 퇴적 된 부착 막 을 다 제거 할 수 없 어 제막 여분 이 발생 하 게 된다 . 반대 로 , 세정 건 의 이동 속도 를 늦춘 경우 에 는 워크 위 의 부착 막 이 제거 된 부위 에 대해서 도 재차 고압 수 를 분사 하 기 때문 에 시간 낭비 와 워크 손상 으로 연결 된다는 문제 가 있 다 .