일 실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 격실 은 펌프 격실 과 접하 는 프로세스 격실 로부터 의 펌핑 가스 와 관련 된 펌프 격실 의 영역 과 펌프 격실 과 접하 는 또 다른 프로세스 격실 로부터 의 펌핑 가스 와 관련 된 펌프 격실 의 또 다른 영역 을 분리 하 는 적어도 하나 의 배 플 을 포함 할 수 있 다 . 또 다른 실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 격실 은 펌프 격실 을 통한 기판 의 통과 와 관련 된 통로 로부터 의 펌핑 가스 와 관련 된 펌프 격실 의 영역 과 펌프 격실 과 접하 는 적어도 하나 의 프로세스 격실 로부터 의 펌핑 가스 와 관련 된 펌프 격실 의 또 다른 영역 을 분리 하 는 적어도 하나 의 배 플 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 펌프 격실 들 의 예 가 도 6 - 8 에 제공 된다 .