전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 어느 로드 로크 실 ( 302 ) 의 게이트 밸브 G 1 을 개방 하 여 , 반송 기구 ( 306 ) 로 보유 지지 된 기판 W 를 그 로드 로크 실 ( 302 ) 에 반입 한다 . 반송 기구 ( 306 ) 의 반송 암 이 진공 반 송실 ( 301 ) 로 퇴피 한 후 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 게이트 밸브 G 1 을 폐쇄 하 고 , 로드 로크 실 ( 302 ) 내 를 대기 분위기 로 되돌린다 .