일부 구 현예 에서 , 도 6 a 에 도시 된 장치 에 , 불활성 가스 의 흐름 및 전 구체 또는 반응물 가스 의 흐름 을 스위칭 하 는 시스템 이 도 6 b 에 나타나 있 다 ; 이 시스템 은 반응 챔버 의 압력 을 실질 적 으로 요동 시키 지 않 고 전구체 또는 반응물 가스 를 펄스 로 유입 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 도 6 b 는 본 개시 의 구 현예 에 따라 유동 통과 시스템 ( FPS ) 을 사용 하 는 전구체 공급 시스템 을 도시 한다 ( 검은색 밸브 는 밸브 가 닫혔 음 을 표시 함 ) . 도 6 b 의 ( a ) 에 나타난 바 와 같이 , 전 구체 를 반응 챔버 ( 미 도시 ) 에 공급 할 때 , 우선 , Ar ( 또는 He ) 과 같 은 캐리어 가스 가 밸브 ( b 및 c ) 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른 다음 용기 ( 리저 버 ) ( 20 ) 로 진입 한다 . 캐리어 가스 는 용기 ( 20 ) 내부 의 증기압 에 대응 하 는 양 으로 전구체 가스 를 운반 하 면서 용기 ( 20 ) 로부터 흘러 나오 고 , 밸브 ( f 및 e ) 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른 다음 전구체 와 함께 반응 챔버 에 공급 된다 . 이 경우 , 밸브 ( a 및 d ) 는 폐쇄 된다 . 캐리어 가스 ( 예 , 귀 가스 ) 만 을 반응 챔버 에 공급 할 경우 , 도 6 b 의 ( b ) 에 나타낸 바 와 같이 , 캐리어 가스 는 용기 ( 20 ) 를 우회 하 면서 밸브 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른다 . 이 경우 , 밸브 ( b , c , d , e , 및 f ) 는 폐쇄 된다 . 반응물 은 캐리어 가스 의 도움 으로 제공 될 수 있 다 .