카보닐 플 루오 라이드 , 질소 및 아르곤 을 모두 를 함유 하 는 혼합물 을 적용 하 는 것 이 매우 바람직 하 다 . 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 다 . 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 50 vol % 이하 이 다 . 아르곤 의 함량 은 바람직 하 게 5 vol % 이상 이 다 . 바람직 하 게 , 아르곤 의 함량 은 50 vol % 이하 , 특히 는 40 vol % 이하 이 다 . 질소 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 며 ; 바람직 하 게 는 80 vol % 이하 이 다 . 일 구 현예 에서 , 혼합물 은 카보닐 플 루오 라이드 , 질소 및 아르곤 으로 구성 된다 .