스테이지 베이스 ( 71 ) 는 , 평판 형상 의 외형 을 갖 는 부재 로 이루어지 고 , 그 상면 은 평탄 도 가 매우 높 게 마무리 되 며 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 이 동시 의 가이드 면 으로 되 어 있 다 . 스테이지 베이스 ( 71 ) 의 내부 에 는 , XY 2 차원 방향 을 행 방향 , 열 방향 으로 하 여 매트릭스 형상 으로 배치 된 복수 의 코일 을 포함 하 는 코일 유닛 이 수용 되 어 있 다 .