그러면 , 도 3 d 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 질화 막 ( 211 ) 은 상기 트렌치 ( 201 ) 의 내벽 을 따라 형성 되 고 , 상기 소자 분리 막 ( 212 ) 은 상기 트렌치 ( 201 ) 의 내부 에 매립 된다 . 이 에 따라 , 상기 기판 ( 200 ) 에 는 STI ( Shallow Trench Insulator ) 구조 의 필드 산화 막 이 형성 된다 .