도 6 ( a ) 에 도시 한 파장 가변 광원 소자 ( 500 ) 는 반도체 기판 ( 501 ) , 예컨대 InP 에 반도체 광 증폭기 ( SOA , semiconductor optical amplifier , 510 ) , 빔 조종기 ( 520 , beam steering unit ) , 및 오목 회절 격자 ( 530 ) 가 단일 집적 되 어 구현 된다 .