금속 산화물 코팅 층 ( 121 ) 은 쇄편 ( 120 ) 사이 공간 에 코팅 될 수 있 는 금속 산화물 로 이루어지 며 , 대표 적 으로 Al 2 O 3 , TiO 2 , SiO 2 , Ta 2 O 5 , WO , Ga 2 O 3 , In 2 O 3 , ZrO 2 등 을 예 로 들 수 있 다 . 금속 산화물 코팅 층 ( 121 ) 을 형성 하 는 방법 으로서 원자 층 증착 ( ALD , Atomic Layer Deposition ) , 화학 기상 증착 ( CVD , Chemical Vapor Deposition ) , 습식 공정 등 을 이용 할 수 있 다 . 이 중 에서 , 금속 산화물 코팅 층 ( 121 ) 을 원자 층 증착 층 이나 화학 기상 증착 층 의 형태 로 구현 하 는 경우 절연성 이 우수 한 치밀 한 막 구조 를 얻 을 수 있 다 . 이 와 달리 습식 공정 을 이용 하 여 금속 산화물 코팅 층 ( 121 ) 을 형성 하 는 경우 금속 산화물 코팅 층 ( 121 ) 은 쇄편 ( 120 ) 의 표면 에 입자 들 이 달라붙 은 형태 를 가질 수 있 다 .