도 4 는 상기 기술 된 시스템 의 다양 한 컴포넌트 들 을 제어 하 기 위한 예시 적 인 제어 모듈 ( 600 ) 을 도시 한다 . 일 실시 예 에서 , 제 어 모듈 ( 600 ) 은 프로세서 , 메모리 및 하나 이상 의 인터페이스 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 센싱 된 값 들 에 부분 적 으로 기초 하 여 시스템 의 디바이스 들 을 제어 하 도록 채용 될 수 도 있 다 . 단지 예 를 들 면 , 제 어 모듈 ( 600 ) 은 센싱 된 값 들 및 다른 제어 파라미터 들 에 기초 하 여 , 밸브 들 ( 602 ) , 필터 히터 들 ( 604 ) , 펌프 들 ( 606 ) , 리프트 메커니즘 들 및 다른 디바이스 들 ( 즉 , 프로세스 입력 및 제 어 디바이스 들 ) ( 608 ) 중 하나 이상 을 제어 할 수 도 있 다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 단지 예 를 들 면 , 압력계 들 ( 610 ) , 유량계 들 ( 612 ) , 온도 또는 열 센서 들 ( 614 ) , 및 / 또는 다른 센서 들 ( 616 ) 로부터 센싱 된 값 들 을 수신 한다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 또한 전 구체 전달 및 막 의 증착 동안 프로세스 조건 들 을 제어 하 도록 채용 될 수 도 있 다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 통상 적 으로 하나 이상 의 메모리 디바이스 들 및 하나 이상 의 프로세서 들 을 포함 할 것 이 다 .