첫째 , 종래 의 스핀들 어셈블리 는 , 스핀들 포크 ( 20 ) 에 지지 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 를 회전 시키 는 주축 ( 40 ) 에 비해 모터 ( 70 ) 의 회전 비 가 과도 하 게 크 게 요구 될 경우 , 회전 동력 을 생성 하 는 상기 모터 ( 70 ) 에서 연결 되 는 모터 축 ( 72 ) 과 , 상기 모터 ( 70 ) 에서 생성 된 회전 동력 을 주축 ( 40 ) 에 전달 시키 는 벨트 ( 50 ) 및 제 2 풀리 ( 60 ) 에 연결 되 는 풀리 축 ( 62 ) 을 결합 시키 는 스프로킷 축이음 장치 ( 80 ) 의 체인 벨트 ( 86 ) 가 쉽 게 파손 되 어 상기 스핀들 포크 ( 20 ) 에 의해 회전 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 이송 불량 이 야기 될 수 있 기 때문 에 생산 수율 이 떨어지 는 단점 이 있 었 다 .