진공 챔버 ( 10 ) 는 연결 된 진공 펌프 ( P ) 의 구동 을 통하 여 설 정압 의 진공 을 형성 하 여 , 제 1 기판 ( S 1 ) 과 제 2 기판 ( S 2 ) 의 진공 접합 공간 을 제공 한다 . 서로 접합 되 는 제 1 , 제 2 기판 ( S 1 , S 2 ) 의 대향 면 들 사이 에 허용 되 는 잔류 기포 의 범위 에 따라 진공 펌프 ( P ) 가 선택 된다 .