CAAC - OS 는 결정 성 이 높 은 산화물 반도체 이 다 . 한편 , CAAC - OS 에서 는 명확 한 결정립계 를 확인 하 기 어렵 기 때문 에 , 결정립계 에 기인 하 는 전자 이동도 의 저하 가 일어나 기 어렵 다고 할 수 있 다 . 또한 산화물 반도체 의 결정 성 은 불순물 의 혼입 이나 결함 의 생성 등 으로 인하 여 저하 되 는 경우 가 있 기 때문 에 , CAAC - OS 를 불순물 이나 결함 ( 산소 결손 ( VO : oxygen vacancy 라고 도 함 ) 등 ) 이 적 은 산화물 반도체 라고 할 수 도 있 다 . 따라서 , CAAC - OS 를 가지 는 산화물 반도체 는 물리 적 성질 이 안정 된다 . 그러므로 CAAC - OS 를 가지 는 산화물 반도체 는 열 에 강하 고 신뢰 성 이 높 다 .