DB ( 203 ) 에 는 , 초기 하중 값 ( L 0 ) , 초기 대전량 ( Q 0 ) , 하중 문턱 값 ( Lth ) 및 대전 문턱 값 ( Qth ) 이 저장 된다 . 초기 하중 값 ( L 0 ) 은 , 정 전척 ( 40 ) 과 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 사이 에 잔류 흡착 력 이 없 는 상태 에 있 어서 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 들 어 올릴 때 에 리프트 핀 ( 81 ) 에 걸리 는 하중 값 이 다 . 초기 하중 값 ( L 0 ) 은 , 예 를 들 면 , 프로세스 가 실행 되 기 전 에 , 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 밀 어 올려졌 을 때 에 하중 센서 ( 84 ) 에 의해 측정 된다 .