보조 기억 장치 ( 3 e ) 는 복수 의 레시피 를 기억 하 고 있 다 . 레시피 는 기판 ( W ) 의 처리 내용 , 처리 조건 , 및 처리 순서 를 규정 하 는 정보 이 다 . 복수 의 레시피 는 기판 ( W ) 의 처리 내용 , 처리 조건 , 및 처리 순서 의 적어도 하나 에 대해 서로 상이 하 다 . 제 어 장치 ( 3 ) 는 호스트 컴퓨터 ( HC ) 에 의해 지정 된 레시피 에 따라 기판 ( W ) 이 처리 되 도록 기판 처리 장치 ( 1 ) 를 제어 한다 . 제 어 장치 ( 3 ) 는 이후 에 기술 하 는 기판 처리 예 를 실행 하 도록 프로그램 되 어 있 다 .