제 1 플러그 홀 ( 85 a ) 에 는 제 1 플러그 도전 층 ( 86 a ) 이 형성 된다 . 제 1 배선 홈 ( 85 b ) 에 는 제 1 배선 층 ( 86 b ) 이 형성 된다 . 제 2 플러그 홀 ( 85 c ) 에 는 제 2 플러그 도전 층 ( 86 c ) 이 형성 된다 . 제 2 배선 홈 ( 85 d ) 에 는 제 2 배선 층 ( 86 d ) 이 형성 된다 . 제 3 플러그 홀 ( 85 e ) 에 는 제 2 배선 층 ( 86 d ) 의 상면 에 접촉 하 도록 제 3 배선 층 ( 84 ) 이 하방 으로 돌출 해서 형성 된다 .