상기 에 설명 한 바 와 같이 , 본 실시 예 에서 는 , 단면 형상 이 L 자형 인 외주 요크 ( 82 ) 를 플라스마 생성 영역 위쪽 에 배치 하 여 자속 이 중앙 으로부터 외주 측 으로 돌아가 는 경로 를 만들 고 , 웨이퍼 미들 영역 바로 위 에 아래쪽 이 개방 된 ㄷ 자형 미들 요크 ( 84 ) 를 설치 함 과 함께 내부 에 미들 코일 ( 83 ) 을 배치 했 다 . 외주 요크 ( 82 ) 의 인 측 단부 ( 8201 ) 로부터 나오 는 자속 을 미들 요크 ( 84 ) 경유 로 외주 요크 ( 82 ) 의 아웃 측 단부 ( 8202 ) 로 되돌리 고 , 미들 요크 ( 84 ) 의 단부 ( 8401 ) 로부터 나오 는 자속 을 미들 요크 ( 84 ) 로 되돌리 기 위해 , 외주 요크 ( 82 ) 를 미들 요크 ( 84 ) 의 위쪽 이 며 외주 에 배치 하 는 구성 으로 했 다 .