인터페이스 블록 ( S 3 ) 은 , 도 1 에 도시 된 것 과 같이 , 인터페이스 아암 ( F ) 을 갖 는다 . 인터페이스 아암 ( F ) 은 처리 블록 ( S 2 ) 의 선반 유닛 ( U 2 ) 근방 에 설치 된다 . 선반 유닛 ( U 2 ) 의 각 처리 모듈 끼리 사이 및 노광 장치 ( S 4 ) 와 의 사이 에서 는 , 인터페이스 아암 ( F ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 반송 된다 .