구체 적 으로 는 , 적용 하 는 수단 으로서 는 , 딥 코트 법 , 에 어 나이프 코트 법 , 커튼 코트 법 , 와이어 바 코트 법 , 그라비어 코트 법 , 익스 트루 젼 코트 법 , 스프레이 코트 법 , 스핀 코트 법 , 슬릿 코트 법 , 및 잉크젯 법 등 이 예시 된다 . 감광성 수지 조성물 층 의 두께 의 균일성 의 관점 에서 , 보다 바람직 하 게 는 스핀 코트 법 , 슬릿 코트 법 , 스프레이 코트 법 , 잉크젯 법 이 다 . 방법 에 따라 적절 한 고형분 농도 나 도포 조건 을 조정 함 으로써 , 원 하 는 두께 의 수지 층 을 얻 을 수 있 다 . 또 , 기판 의 형상 에 의해서 도 도포 방법 을 적절히 선택 할 수 있 고 , 웨이퍼 등 의 원형 기판 이 면 스핀 코트 법 이나 스프레이 코트 법 , 잉크젯 법 등 이 바람직 하 며 , 직사각 형 기판 이 면 슬릿 코트 법 이나 스프레이 코트 법 , 잉크젯 법 등 이 바람직 하 다 . 스핀 코트 법 의 경우 는 , 예 를 들 면 500 ~ 2000 rpm 의 회전수 로 , 10 초 ~ 1 분 정도 적용 할 수 있 다 .