여기 서 서로 이웃 하 는 하부 트렌치 금속 배선 ( 151 , 153 , 157 ) 사이 에 는 기생 커패시턴스 ( C 1 , C 2 ) 가 존재 한다 . 그러나 앞서 설명 한 바 와 같이 , 이웃 하 는 하부 트렌치 금속 배선 ( 151 , 153 , 157 ) 이 중첩 함 으로써 발생 하 는 기생 커패시턴스 ( C 1 , C 2 ) 의 유전체 ( dielectric ) 가 저 유전 물질 인 low - k 물질 로 구성 되 어 있 으므로 반도체 소자 동작 에 영향 을 거의 미치 지 않 는다 .