또한 , 상기 피스톤 ( 64 ) 은 외 둘레 면 에 전체 적 으로 굴곡진 형태 를 갖 는 요 홈 부 ( 65 ) 가 형성 된다 . 상기 요 홈 부 ( 65 ) 는 상기 피스톤 ( 64 ) 의 승강 시 상기 다이어프램 ( 60 ) 의 측면 과 굴곡 되게 접촉 된다 . 여기 에서 , 상기 요 홈 부 ( 65 ) 는 상기 다이어프램 ( 60 ) 의 접촉 이 완만 하 게 이루어지 도록 상기 피스톤 ( 64 ) 의 외경 이 상단 부 에 하 단부 로 갈수록 완만 하 게 작아지 는 형태 로 이루어진다 .