[ 0026 ] 프로세스 가스 서플라이 ( 125 ) 는 가스 유입 구 ( 130 ) 를 통해 프로세스 체적 ( 103 ) 내 로 프로세스 가스 를 공급 한다 . 가스 유입 구 ( 130 ) 는 플랫 천정 ( 110 ) 상 의 중심 에 놓일 수 있 고 프로세스 체적 ( 103 ) 의 상이 한 지역 들 로 가스 가 향하 게 하 는 다수 의 가스 주입 포트 들 을 갖 는다 . 일 실시 예 에서 , 가스 유입 구 ( 130 ) 는 프로세스 체적 ( 103 ) 내 에 프로세싱 가스 의 바람직 한 분포 를 달성 하 기 위해 프로세스 체적 ( 103 ) 의 상이 한 지역 들 에 프로세스 가스 의 개별 적 으로 조절 가능 한 유동 을 공급 하 도록 구성 될 수 있 다 .