또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 상면 에 는 , 도 3 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 의 3 개 의 헤드 와 대칭 의 배치 로 , X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 와 Y 헤드 ( EY ) 가 탑재 된다 . 상기 각 인코더 헤드 로서 , 예 를 들 어 , 미국 특허 제 7 , 238 , 931 호 에 개시 되 는 , 간섭 형 의 인코더 헤드 가 이용 된다 .