상술 한 바 와 같이 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 의 상부 면 을 형성 하 며 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 의 하 부면 을 형성 한다 . 일 실시 형태 에서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에 접지 전극 을 제공 한다 . 일 실시 형태 에서 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 및 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 대략 1 대 1 파워 / 접지 표면 영역 을 형성 한다 .