본 레지스 트 재료 에 는 , 스핀 코트 후 의 레지스 트 막 의 표면 의 발수성 을 향상 시키 기 위한 발수성 향상 제 를 배합 하 여도 좋 다 . 상기 발수성 향상 제 는 , 톱 코트 를 이용 하 지 않 는 액침 리소그래피 에 이용 할 수 있 다 . 적합 한 발수성 향상 제 로서 는 , 불화 알킬기 를 포함 하 는 폴리머 또는 특정 구조 의 1 , 1 , 1 , 3 , 3 , 3 - 헥사 플 루 오로 - 2 - 프로판올 잔기 를 포함 하 는 폴리머 를 포함 하 고 , 이 는 예 를 들 어 JP - A 2007 - 297590 및 JP - A 2008 - 111103 에 기재 되 어 있 다 . 레지스 트 재료 에 첨가 되 는 발수성 향상 제 는 현상액 으로서 유기 용제 에 용해 성 이 어야 한다 . 특정 구조 의 1 , 1 , 1 , 3 , 3 , 3 - 헥사 플 루 오로 - 2 - 프로판올 잔기 를 갖 는 발수성 향상 제 는 현상액 에 의 용해 성 이 양호 하 다 . 반복 단위 로서 공중합 된 아미노기 또는 아민 염 을 갖 는 폴리머 는 발수성 향상 제 로서 역할 을 할 수 있 고 , PEB 과정 에서 산 의 증발 을 막 는 데 효과 적 이 며 , 이 에 따라 현상 후 의 홀 패턴 의 개구 불량 을 방지 하 는 효과 가 높 다 . 발수성 향상 제 의 적절 한 함유량 은 , 베이스 폴리머 100 질 량부 에 대하 여 0 ∼ 20 질 량부 가 바람직 하 고 , 0 . 5 ∼ 10 질 량부 가 보다 바람직 하 다 .