성막 장치 에서 는 기판 에 성막 되 는 성막 재료 의 두께 및 / 또는 성막 레이트 를 측정 및 제어 하 기 위해 , 수정 진동자 모니터 를 사용 한다 . 즉 , 성막 장치 에서 는 , 수정 진동자 의 공진 주파수 와 수정 진동자 의 전극 상 에 퇴적 되 는 성막 재료 의 두께 간 의 관계 를 이용 하 여 기판 상 에 성막 된 성막 재료 의 두께 및 성막 레이트 를 산출 한다 .