본 실시 형태 에서 는 두께 가 0 . 2 mm 인 알루미늄 제 의 판 ( 차광성 부재 ) 에 직경 ( Ds ) 이 0 . 4 mm 인 원형 상 의 관 통공 ( 3 a ) 을 형성 함 으로써 분리 부재 ( 3 ) 를 구성 하 고 있 다 . 그리고 , 구동 계 ( 3 c ) 의 이동 가능 한 스테이지 에 분리 부재 ( 3 ) 를 고정 하 고 , 측 정광 ( 즉 핀홀 상 을 형성 하 는 광 ) 만 이 광통 공 ( 3 a ) 을 통과 하 면서 도 배 경광 이 차 폐부 ( 3 b ) 에 의해서 차단 되 도록 결상 광학계 ( 10 ) 의 상면 상 의 소요 위치 에 분리 부재 ( 3 ) 의 관 통공 ( 3 a ) 을 위치 결정 한다 .