광체 ( 111 ) 내 에 있 어서 의 로드 포트 ( 114 ) 와 회전식 포드 선반 ( 105 ) 과 의 사이 에 는 , 포드 반송 장치 ( 기판 수용기 반송 장치 ) ( 118 ) 가 설치 되 어 있 고 , 포드 반송 장치 ( 118 ) 는 , 포드 ( 110 ) 를 보 지 한 상태 로 승강 할 수 있 는 포드 엘리베이터 ( 기판 수용기 승강 기구 ) ( 118 a ) 와 반송 기구 로서 의 포드 반송 기구 ( 기판 수용기 반송 기구 ) ( 118 b ) 로 구성 되 어 있 고 , 포드 반송 장치 ( 118 ) 는 포드 엘리베이터 ( 118 a ) 와 포드 반송 기구 ( 118 b ) 와 의 연속 동작 에 의하 여 , 로드 포트 ( 114 ) , 회전식 포드 선반 ( 105 ) , 포드 오프너 ( 기판 수용기 개체 개폐 기구 ) ( 121 ) 와 의 사이 에서 , 포드 ( 110 ) 를 반송 하 도록 구성 되 어 있 다 .