반송 아암 ( 74 ) 의 상면 ( 74 a ) 과 연결부 ( 76 ) 의 직경 확대 부 ( 81 ) 사이 에 웨 지부 ( 86 ) 가 진입 해 가 면 , 연결부 ( 76 ) 에 있 어서 의 반송 아암 ( 74 ) 의 기단 측 ( - X 측 ) 의 부분 이 , 웨 지부 ( 86 ) 에 의해 , 서서히 들 어 올려진다 . 그 결과 , 연결부 ( 76 ) 에 지지 되 어 있 는 반송 패드 ( 72 ) 의 흡 착면 ( 73 ) 이 , - X 측 을 높 게 하 도록 , 척 테이블 ( 60 ) 의 유지 면 ( 63 ) 에 대하 여 서서히 기운 다 .