추가 의 실시 형태 에 있 어서 , 타 겟 ( 800 ) 의 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 802 a . .. 812 d ) 는 각각 복수 의 하위 요소 ( sub - element ) ( 803 ) 를 포함 한다 . 예 를 들 면 , 도 8 에 도시 된 것 처럼 , 각 패턴 요소 ( 802 a . .. 812 d ) 는 3 개 의 평행 한 얇 은 직사각 형 형상 을 가지 며 주기 적 으로 간격 을 둔 하위 요소 ( 803 ) 를 포함 할 수 있 다 . 도 8 에 도시 된 하위 요소 ( 803 ) 의 형상 및 배열 은 제한 되 는 것 이 아니 고 예시 하 는 것 으로 해석 되 어야 한다는 점 에 주목 한다 .