본 발명 의 하나 의 실시 형태 에 따른 서브 워드 라인 구동 방법 은 메인 워드 라인 구동 신호 에 응답 하 여 부스 팅 노드 를 제 1 전압 으로 프리 차지 시키 는 단계 , 서브 워드 라인 구동 신호 에 응답 하 여 상기 부스 팅 노드 를 제 2 전압 으로 승압 시키 고 서브 워드 라인 에 상기 서브 워드 라인 구동 신호 를 제공 하 는 단계 , " 및 상기 서브 워드 라인 구동 신호 의 로직 "" 하이 "" 상태 의 전압 레벨 인 승압 전압 보다 낮 은 제 3 전압 에 응답 하 여 상기 메인 워드 라인 구동 신호 를 상기 서브 워드 라인 에 제공 하 는 단계 를 포함 한다 . "