클러스터 툴 ( 1100 ) 은 프로세스 모듈 ( 1115 ) 을 또한 포함 할 수 있 다 . 프로세스 모듈 ( 1115 ) 은 밸브 ( 1110 c ) 에 의해 이송 챔버 에 또한 연결 된다 . 툴 ( 1100 ) 은 다중 프로세스 모듈 들 ( 1115 ) 및 다중 로드 록 챔버 들 ( 1105 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 도시 된 구성 은 제한 되 지 않 는다 . 로드 록 챔버 ( 1105 ) 는 밸브 ( V 1 ) 에 의해 로드 록 챔버 ( 1105 ) 에 또한 연결 되 는 러프 펌프 ( RP 1 ) 를 포함 할 수 있 다 . 각각 의 로드 록 챔버 ( 1105 ) , 이송 챔버 ( 1110 ) , 및 프로세스 모듈 ( 1115 ) 은 하나 이상 의 진공 펌프 ( Vp 1 , Vp 2 , 및 Vp 3 ) 를 포함 할 수 있 다 . 진공 펌프 는 극저온 진공 펌프 일 수 있 고 , 또는 터보 펌프 또는 수증기 펌프 와 같 은 다른 펌프 일 수 있 다 . 다양 한 펌핑 구성 들 이 가능 하 며 본 개시 의 범주 내이 다 .