따라서 , 웨이퍼 얼라이먼트 동작 종료 후 노광 개시 전 까지 의 동안 에 , 웨이퍼 스테이지 의 XY 평면 내 의 위치 계측 에 사용 하 는 위치 계측 계 를 , 웨이퍼 Y 간섭계 ( 18 Y ) 및 웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 2 ) 로부터 인코더 ( 50 A ∼ 50 D ) 로 전환 하 는 위치 계측 계 의 전환 동작 을 실시 할 필요 가 있 다 . 이 위치 계측 계 의 전환 동작 은 , 대략 다음 의 순서 로 실시 된다 .