이것 에 의하 여 , 기판 에 대하 여 제 1 처리 및 제 2 처리 를 행할 수 있 다 . 제 1 처리 블록 으로부터 제 2 처리 블록 으로 의 기판 의 반송 은 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 을 이용 하 지 않 고 , 기판 버퍼 를 통하 여 행할 수 있 다 . 그 때문 에 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 의 부하 를 경감 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 기판 반송 을 효율 적 으로 행할 수 있 어 , 스루풋 의 저하 를 방지 할 수 있 다 .