적어도 몇몇 알려진 가속도계 가 미세 전자 기계 시스템 ( micro - electro - mechanical systems , " "" MEMS "") 구조 에서 개발 되 었 다 . 이 들 가속도계 중 일부 는 압 전 기판 상 에 장착 된 검증 질량 ( proof mass ) 을 포함 할 수 있 다 . 검증 질량 이 가속도 의 변화 를 경험 할 때 ", 검증 질량 은 검증 질량 의 가속도 에 비례 하 는 출력 전류 를 생성 하 기 위해 압 전 기판 을 압축 한다 . 다른 공지 된 가속도계 는 광 공진기 에 결합 된 검증 질량 이 가속도 의 변화 를 경험 할 때 , 압 전 기판 처럼 , 압축 된 변형 가능 한 광 공진기 를 포함 할 수 있 다 .