약액 처리 시 , 세정액 토출 부 ( 170 G ) 로부터 도 세정액 을 토출 할 수 있 다 . 이 로써 , 세정액 토출 부 ( 170 G ) 에 의한 기판 ( W ) 의 하방 으로부터 의 세정액 의 액막이 장벽 이 되 어 , 기판 ( W ) 의 상방 으로부터 돌 아 들어가 는 약액 이 기판 ( W ) 의 이면 단부 로부터 직경 방향 의 내측 으로 비집 고 들어가 는 것 이 억제 된다 .