플라 즈 마 제조 프로세스 는 워크 피스 의 표면 상 에서 높 은 공간 적 균일성 을 갖 고 수행 되 는 것 이 중요 하 다 . 즉 , 증착 프로세스 는 증착 된 물질 이 워크 피스 의 표면 상 에 모든 위치 들 에서 균일 한 두께 및 품질 을 갖 도록 수행 되 어야 한다 . 마찬가지 로 , 에치 프로세스 는 그러 한 모든 위치 들 에서 균일 한 레이트 로 물질 을 에칭 해야 한다 .