이때 , 광학 적 지연 회로 ( 52 c ) 는 , 빔 스플리터 ( 52 a ) 를 통해 입력 되 는 조사 광이 빔 스플리터 ( 52 b ) 로 출력 되 는 타이밍 을 , 집광 렌즈 ( 53 b ) 를 통해 빔 스플리터 ( 52 b ) 에 광이 입력 되 는 타이밍 에 맞추 기 위해 , 상기 조사 광 을 광학 적 으로 지연 시키 면서 출력 한다 . 이 에 의해 , 광학 적 지연 회로 ( 52 c ) 로부터 출력 되 는 조사 광과 , 집광 렌즈 ( 53 b ) 로부터 출력 되 는 광은 , 동일 한 타이밍 에 있 어서 빔 스플리터 ( 52 b ) 에 입력 된다 .