도 18 에 , 본 실시 예 에서 의 하프톤 형 마스크 의 개략 평면도 를 도시 한다 . 하프톤 형 마스크 는 , 투 광판 ( 19 ) 을 포함 한다 . 투 광판 ( 19 ) 의 표면 에 는 , 차 광부 ( 6 a , 6 c ) 가 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 6 a , 6 c ) 는 , 광 을 조금 통과 시키 도록 형성 되 어 있 다 . 투 광판 ( 19 ) 의 표면 에 는 , 하프톤 부 ( 6 b , 6 d , 6 e ) 가 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 6 a , 6 c ) 는 , 레벤 손 형 마스크 의 개구부 에 대응 하 도록 형성 되 어 있 다 . 하프톤 부 ( 6 b , 6 d ) 는 , 레지스 트 패턴 ( 11 , 12 ) 의 제 2 패턴 부 ( 11 b , 12 b ) 에 각각 대응 하 도록 형성 되 어 있 다 . 하프톤 부 ( 6 e ) 는 , 레지스 트 패턴 ( 13 ) 에 대응 하 도록 형성 되 어 있 다 ( 도 16 참조 ) . 이 와 같이 , 하프톤 형 마스크 로 노광 을 행하 는 레지스 트 패턴 ( 13 ) 의 직선 형상 의 부분 은 , 레벤 손 형 마스크 로 노광 을 행하 는 레지스 트 패턴 ( 11 , 12 ) 의 제 1 패턴 부 ( 11 a , 12 a ) 에 끼워져 있 다 .