식별 마크 ( 20 ) 를 찍 어 낸 화상 취득 이 완료 된 단계 에서 , 웨이퍼 ( 1 ) 는 흡착 부 ( 2 f ) 의 흡착 패드 ( 2 e ) 에 접촉 되 어 다시 흡착 보유 지지 되 는 동시 에 반송 부 ( 9 ) 로 운반 된다 . 그리고 , 반송 부 ( 9 ) 에 의해 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 에 적재 된 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 의 슬롯 에 수납 된다 . 이 때 , 웨이퍼 ( 1 ) 는 판독 된 식별 마크 ( 20 ) 에 따 른 소정 의 슬롯 에 수납 된다 . 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 의 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 에 대해 상기 와 동일 한 조작 을 반복 하 여 행함 으로써 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 는 예 를 들 어 식별 마크 ( 20 ) 의 숫자 가 오름차순 이나 내림차순 이 되 도록 정렬 되 어 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 에 수납 된다 .