레티 클 스테이지 ( RST ) 상 에 는 , 회로 패턴 등 이 그 패턴 면 ( 도 1 에 있 어서 의 하 면 ) 에 형성 된 레티 클 ( R ) 이 , 예 를 들 어 진공 흡착 에 의해 고정 되 어 있 다 . 레티 클 스테이지 ( RST ) 는 , 예 를 들 어 리니어 모터 등 을 포함 하 는 레티 클 스테이지 구동 계 ( 11 ; 도 1 에서 는 도시 생략 , 도 6 참조 ) 에 의해 , XY 평면 내 에서 미소 구동 가능 함 과 함께 , 주사 방향 ( 도 1 에 있 어서 의 지면 내 좌우 방향 인 Y 축 방향 ) 으로 소정 의 주사 속도 로 구동 할 수 있 도록 되 어 있 다 .