플라 즈 마 에너지 는 암모니아 가스 및 삼 불화 질소 가스 를 반응 종 들 로 해리 시키 며 , 상기 반응 종 들 은 불화 암모늄 ( NH 4 F ) 및 / 또는 산 성 불화 암모늄 ( NH 4 F · HF 2 ) 과 같 은 반응 성 가스 들 을 형성 하 기 위해서 결합 한다 . 가스 들 의 이러 한 혼합물 은 자연 실리콘 산화물 층 과 같 은 산화물 층 을 포함 하 는 기판 표면 과 반응 하 도록 가스 분배 플레이트 ( 225 ) 의 홀 ( 225 A ) 을 통하 여 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 를 통해 유동 한다 . 일 실시 예 에서 , 캐리어 가스 가 프로세싱 챔버 ( 100 ) 내측 으로 우선 도입 되 며 , 캐리어 가스 의 플 라즈 마가 발생 되 고 , 그 다음 반응 성 가스 들 , 암모니아 및 삼 불화 질소 가 플 라즈 마 에 첨가 된다 .