이러 한 레티 클 상 의 패턴 은 동일 한 레이아웃 ( layout ) 패턴 에 대하 여 동일 한 임계 치수 ( Critical Dimension , 이하 ' CD ' 라 한다 . ) 를 가져야 한다 . 즉 패턴 의 충실 성 ( fidelity ) 이 레티 클 제작 에 중요 한 요소 가 되 는 것 이 다 . 최근 반도체 소자 의 선폭 이 감소 함 에 따라 이러 한 충실 성 의 요구 는 더욱더 증대 되 고 있 다 .