상기 적어도 하나 의 업 / 다운 조절 유닛 은 , 상기 폴리 싱 롤 의 마모 량 에 기초 한 상기 기판 에 대한 상기 롤 폴리 싱 유닛 의 상대 적 인 간격 을 감지 하 는 감지 부 ; 상기 롤 폴리 싱 유닛 에 결합 되 는 업 / 다운 구동 부 ; 및 상기 감지 부 의 감지 결과 에 기초 하 여 상기 업 / 다운 구동 부 의 동작 을 제어 하 는 제 어부 를 포함 할 수 있 다 .