( 1 ) 성분 100 질 량부 에 대한 [ D ] 산 확산 제 어제 의 함유량 의 하한 으로서 는 , 0 . 1 질 량부 가 바람직 하 고 , 0 . 5 질 량부 가 보다 바람직 하 고 , 1 질 량부 가 더욱 바람직 하 다 . 상기 함유량 의 상한 으로서 는 20 질 량부 가 바람직 하 고 , 10 질 량부 가 보다 바람직 하 고 , 5 질 량부 가 더욱 바람직 하 다 . [ D ] 산 확산 제 어제 의 함유량 이 상기 하한 이상 이 면 레지스 트 패턴 의 형상 이 보다 양호 한 것 이 되 기 쉽 고 , 한편 , 상기 상한 이하 이 면 충분 한 감도 가 얻 어 지 기 쉽 다 .