상기 와 같 은 기술 적 과제 의 해결 을 위한 , 본 발명 의 한 특징 에 따른 프로브 카드 의 제조 방법 은 a ) 기판 내 배 선부 와 연결 되 어 있 는 상기 기판 의 상면 단자 와 연통 하 는 범프 영역 이 제외 되 도록 패 터닝 된 제 1 포토레지스트 층 을 형성 하 는 단계 ; b ) 상기 범프 영역 에 전도성 물질 을 충전 하 여 범프 를 형성 하 는 단계 ; c ) 상기 범프 의 주위 를 감싸 는 탄성 층 을 형성 하 는 단계 ; d ) 상기 범프 로부터 일 방향 이상 으로 연장 되 어 있 는 몸 체부 영역 이 제외 되 도록 패 터닝 된 제 2 포토레지스트 층 을 상기 탄성 층 상부 에 형성 하 는 단계 ; e ) 상기 몸 체부 영역 에 전도성 물질 을 충전 하 여 몸 체부 를 형성 하 는 단계 ; f ) 희생 기판 상 에 트랜 치 를 형성 하 는 단계 ; g ) 상기 트랜 치 에 전도성 물질 을 충전 하 여 팁 부 를 형성 하 는 단계 ; 및 h ) 상기 팁 부를 상기 몸 체부 에 접합 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .