뿐 만 아니 라 , 상기 보조 챔버 ( 200 ) 의 상측 에 는 램프 냉 각부 ( 220 a , 220 b ) 가 설치 된다 . 도시 된 도면 에서 는 상기 램프 냉 각부 ( 220 a , 220 b ) 를 상기 보조 챔버 ( 200 ) 에 구비 된 것 으로 도시 하 였으나 , 이 램프 냉 각부 ( 220 a , 220 b ) 는 상기 챔버 ( 100 ) 에 구비 될 수 도 있 다 . 다만 , 램프 ( 110 ) 의 하측 에 설치 되 어 상기 램프 ( 110 ) 및 반사판 ( 120 ) 으로 에어 를 분사 하 게 된다 .