일산 화 탄소 플 라즈 마가 니켈 산화물 과 반응 하 므로 , 휘발 성 니켈 카르보닐 부산물 이 형성 되 고 , 이 는 형성 될 때 배출 된다 . 상술 한 것 으로부터 , 부산물 이 가스 이 므로 플 라즈 마 에칭 기 로부터 빠르 고 쉽 게 배기 될 수 있 어 깨끗 하 게 에칭 된 최종 제품 이 남 는 것 을 알 수 있 다 . 공정 은 에칭 완료시 종료 단계 ( 410 ) 에서 끝난다 .