수평 변위 이 동부 ( 141 ) 는 라이너 크로스 롤러 베어링 ( liner cross roller bearing ) 타입 으로서 , 평면 좌표 상 에서 미세 하 게 이동 한다 . 수평 변위 이 동부 ( 141 ) 는 제 1 방향 을 따라 거동 하 는 제 1 변위 이 동부 ( 142 ) 와 , 제 1 변위 이 동부 ( 142 ) 에 적층 되 면서 제 1 방향 과 교차 하 는 제 2 방향 을 따라 거동 하 는 제 2 변위 이 동부 ( 144 ) 로 구분 된다 . 제 1 변위 이 동부 ( 142 ) 와 제 2 변위 이 동부 ( 144 ) 는 60 mm X 60 mm 크기 의 평면 적 을 갖 는 테이블 부재 로서 , 그 접촉면 사이 에 크로스 롤러 베어링 ( Cross Roller Bearing ) 이 위치 한다 .