따라서 , 리프트 핀 ( 30 ) 에 의해 하강 된 기판 은 프록시 미티 핀 ( 22 ) 에 안착 되 고 , 리프트 핀 ( 30 ) 은 핫플레이트 ( 20 ) 의 하측 으로 하강 하 게 된다 . 이때 , 프록시 미티 핀 ( 22 ) 은 핫플레이트 ( 20 ) 의 상면 에서 상방 으로 일부분 이 돌출 된 상태 로 구성 되 며 , 이 에 따라 기판 은 핫플레이트 ( 20 ) 에서 소정 간격 만큼 상측 에 위치 하 게 된다 .