상기 셀 간 절연 막 은 실리콘 산화 막 일 수 있 다 . 상기 스 페이서 절연 막 은 실리콘 산화 막 계 저 유전율 절 연막 , 유기 고분자 막 , 또는 실리콘 계 고분 자막 ( silicone based polymeric layer ) 일 수 있 다 . 상기 실리콘 산화 막 계 저 유전율 절연 막 은 플로린 - 도핑 된 실리콘 산화 막 , 탄소 - 도핑 된 실리콘 산화 막 , 다공성 실리콘 산화 막 , 또는 다공성 탄소 - 도핑 된 실리콘 산화 막 일 수 있 다 . 상기 유기 고분자 막 은 폴리 이미드 , 폴리 노보 렌 , 벤조 사이클 로 부 텐 고분자 , 또는 PTFE ( polytetrafluoroethylene ) 일 수 있 다 . 상기 실리콘 계 고분자 막 은 HSQ ( hydrogen silsesquioxane ) 또는 MSQ ( methyl silsesquioxane ) 일 수 있 다 .