또한 , 각 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 돌출 지지 부 ( 83 , 84 ) ( 즉 기판 처리 장치 ( 1 ) ) 에 장착 하 는 경우 는 , 단계 S 21 , 22 를 반대 의 순서 로 행한다 . 즉 , 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 각각 , 돌출 지지 부 ( 83 , 84 ) 에 장착 한다 . 그 후 , 조작자 는 , ID 블록 ( 2 ) 으로부터 나오 고 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 의 각각 의 2 개 의 핸드 ( 21 ) 및 진퇴 구동 부 ( 23 ) 를 소정 의 위치 로 되돌리 는 등 의 동작 을 행한다 .