일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 20 원자 % 미만 , 약 10 원자 % 미만 , 약 7 원자 % 미만 , 약 5 원자 % 미만 , 약 3 원자 % 미만 , 약 2 원자 % 미만 , 또는 약 1 원자 % 미만 의 불순물 , 즉 , Cu , Ni 또는 Co 이외 의 원소 또는 목적 하 는 금속 막 의 금속 을 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 20 원자 % 미만 , 약 10 원자 % 미만 , 약 5 원자 % 미만 , 약 2 원자 % 미만 , 또는 약 1 원자 % 미만 의 수소 를 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 10 원자 % 미만 , 약 5 원자 % 미만 , 약 2 원자 % 미만 , 약 1 원자 % 미만 또는 약 0 . 5 원자 % 미만 의 탄소 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 5 원자 % 미만 , 약 2 원자 % 미만 , 약 1 원자 % 미만 , 약 0 . 5 원자 % 미만 , 또는 약 0 . 2 원자 % 미만 의 질소 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 15 원자 % 미만 , 약 10 원자 % 미만 , 약 5 원자 % 미만 , 약 3 원자 % 미만 , 약 2 원자 % 미만 , 또는 약 1 원자 % 미만 의 산소 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 상기 구리 , 니켈 또는 코발트 의 표면 에 평균 약 30 원자 % 미만 , 약 20 원자 % 미만 , 약 20 원자 % 미만 , 약 5 원자 % 미만 , 또는 약 3 원자 % 미만 의 산소 를 포함 할 수 있 으며 , 이때 표면 은 최 상부 표면 으로부터 약 20 nm 미만 의 두께 인 것 으로 이해 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 화학 양론 적 또는 비 - 화학 양론 적 산화 구리 , 산화니켈 또는 산화코발트 를 재료 의 최 상부 표면 가까이 에 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 하 는 박막 은 약 80 원자 % 초과 , 약 90 원자 % 초과 , 약 93 원자 % 초과 , 약 95 원자 % 초과 , 약 97 원자 % 초과 , 또는 약 99 원자 % 초과 의 구리 , 니켈 또는 코발트 를 포함 할 수 있 다 . 비 제한 적 인 예 로서 , 도 4 는 본 발명 의 구 현예 에 따라 형성 된 구리 막 의 비행 시간 탄성 반동 검파 분석 ( TOF - ERDA ) 을 나타내 는 그래프 를 예시 한다 .