상기 상부 전극 ( 1510 ) 은 제 1 내지 제 5 상부 전극 ( 1510 a 내지 1510 e ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 5 상부 전극 ( 1510 a 내지 1510 e ) 은 각각 전기 적 으로 분리 될 수 있 다 . 상기 제 1 상부 전극 ( 1510 a ) 은 상기 상부 기판 ( 1511 ) 의 중심 에 가장 인접 한 원형 띠 형상 으로 형성 될 수 있 다 .