레지스 트 패턴 형성 장치 는 , 도 1 및 도 2 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 캐리어 블록 ( S 1 ) , 처리 블록 ( S 2 ) , 인터페이스 블록 ( S 3 ) 을 갖 는다 . 또한 , 레지스 트 패턴 형성 장치 의 인터페이스 블록 ( S 3 ) 측 에 , 노광 장치 ( S 4 ) 가 설치 된다 . 처리 블록 ( S 2 ) 은 캐리어 블록 ( S 1 ) 에 인접 하 도록 설치 된다 . 인터페이스 블록 ( S 3 ) 은 , 처리 블록 ( S 2 ) 의 캐리어 블록 ( S 1 ) 측 과 반대 측 에 , 처리 블록 ( S 2 ) 에 인접 하 도록 설치 된다 . 노광 장치 ( S 4 ) 는 , 인터페이스 블록 ( S 3 ) 의 처리 블록 ( S 2 ) 측 과 반대 측 에 , 인터페이스 블록 ( S 3 ) 에 인접 하 도록 설치 된다 .