가스 공급 관 ( 38 ) 에 는 , 가스 공급 부 ( GS ) 가 접속 되 어 있 다 . 가스 공급 부 ( GS ) 는 , 가스 소스 군 ( 40 ) , 밸브 군 ( 41 ) , 유량 제어기 군 ( 42 ) 및 밸브 군 ( 43 ) 을 포함 한다 . 가스 소스 군 ( 40 ) 은 , 밸브 군 ( 41 ) , 유량 제어기 군 ( 42 ) 및 밸브 군 ( 43 ) 을 통해 가스 공급 관 ( 38 ) 에 접속 되 어 있 다 . 가스 소스 군 ( 40 ) 은 , 복수 의 가스 소스 를 포함 하 고 있 다 . 밸브 군 ( 41 ) 및 밸브 군 ( 43 ) 의 각각 은 , 복수 의 개폐 밸브 를 포함 하 고 있 다 . 유량 제어기 군 ( 42 ) 은 , 복수 의 유량 제어기 를 포함 하 고 있 다 . 유량 제어기 군 ( 42 ) 의 복수 의 유량 제어기 의 각각 은 , 매스 플로우 컨트롤러 또는 압력 제 어식 유량 제어기 이 다 . 가스 소스 군 ( 40 ) 의 복수 의 가스 소스 의 각각 은 , 밸브 군 ( 41 ) 의 대응 개폐 밸브 , 유량 제어기 군 ( 42 ) 의 대응 유량 제어기 , 및 밸브 군 ( 43 ) 의 대응 개폐 밸브 를 통해 , 가스 공급 관 ( 38 ) 에 접속 되 어 있 다 .