도포 방법 으로 는 , 예 를 들 어 스핀 코트 , 유연 도포 법 , 롤 도포 법 , 슬릿 앤드 스핀 코트 또는 슬릿 코트 법 등 에 의해 실시 될 수 있 다 . 도포 후 가열 건조 ( 프리 베 이크 ) , 또는 감압 건조 후 에 가열 하 여 용제 등 의 휘발 성분 을 휘발 시킨다 . 여기 에서 가열 온도 는 통상 70 내지 200 ℃, 바람직 하 게 는 80 내지 130 ℃ 이 다 . 가열 건조 후 의 도막 두께 는 통상 1 내지 8 ㎛ 정도 이 다 . 이렇게 하 여 얻 어 진 도막 에 목적 으로 하 는 패턴 을 형성 하 기 위한 마스크 를 통해 자외선 을 조사 한다 . 이 때 , 노 광부 전체 에 균일 하 게 평행 광선 이 조사 되 고 , 또한 마스크 와 기판 의 정확 한 위치 맞춤 이 실시 되 도록 마스크 얼라 이너 나 스 테퍼 등 의 장치 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 자외선 을 조사 하 면 , 자외선 이 조사 된 부위 의 경화 가 이루어진다 .