시각 t ＝ 225 초 에서 는 , 현 상부 ( D ) 에서 의 제 2 기판 ( P 2 ) 의 현상 처리 시간 이 50 초 에 이르 고 있 으므로 , 그 곳 에서 의 현상 처리 가 종료 되 고 , 제 2 기판 ( P 2 ) 이 현상 부 ( D ) 로부터 배출 되 어 , 다음 의 처리 , 예 를 들 어 에칭 처 리부 ( ET ) 로 반송 된다 . 또한 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에서 의 제 3 기판 ( P 3 ) 의 노광 처리 가 종료 되 었 으므로 , 주제 어부 ( 6 ) 의 제어 하 에서 , 제 3 기판 ( P 3 ) 이 주 노광 장치 ( EX 2 ) 로부터 현 상부 ( D ) 로 반송 된다 . 이 때 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에서 는 , 제 4 기판 ( P 4 ) 의 노광 처리 중 이 며 , 도포 부 ( C ) 도 제 5 기판 ( P 5 ) 의 도포 중 이 다 .