상기 발광 층 상 에 화합물 E 1 과 하 기 LiQ 화합물 을 1 : 1 의 중량 비 로 진공 증착 하 여 350 Å 의 두께 로 전자 주입 및 수송 층 을 형성 하 였 다 . 상기 전자 주입 및 수송 층 상 에 순차 적 으로 10 Å 의 두께 로 리튬 플 루오 라이드 ( LiF ) 와 1000 Å 두께 로 알루미늄 을 증착 하 여 음극 을 형성 하 였 다 . 상기 의 과정 에서 유기물 의 증착 속도 는 0 . 4 내지 0 . 9 Å / sec 를 유지 하 였 고 , 음극 의 리튬 플 루오 라이드 는 0 . 3 Å / sec , 알루미늄 은 2 Å / sec 의 증착 속도 를 유지 하 였으며 , 증착 시 진공도 는 1 Х 10 - 7 내지 5 Х 10 - 5 torr 를 유지 하 여 , 유기 발광 소자 를 제조 하 였 다 .