상기 자외선 이 조사 된 박막 을 pH 10 . 5 의 KOH 수용액 현상 용액 에 2 분 동안 담궈 현상 한 후 , 증류수 를 이용 하 여 세척 한 다음 질소 가스 를 불 어 표면 의 증류수 를 제거 하 였 다 . 그 후 , 230 ℃ 의 가열 오븐 에서 20 분 동안 가열 하 여 패턴 을 형성 하 였 따 . 이 때 , 형성 된 패턴 의 필름 두께 는 2 . 0 ㎛ 였 다 .