한편 , 상부 절연 층 ( 37 ) 은 또한 기판 ( 21 ) 의 가장자리 를 따라 하부 절연 층 ( 33 ) 의 가장자리 를 덮 을 수 있 으며 , 기판 ( 21 ) 의 가장자리 근처 의 일부 영역 을 노출 시킬 수 있 다 . 상부 절연 층 ( 37 ) 의 가장자리 는 연결부 들 ( 35 ab ) 로부터 적어도 11 um , 나아가 적어도 15 um 이격 되 도록 형성 될 수 있 다 .