여기 서 , 노 광광 으로서 는 , 300 내지 500 nm 의 범위 내 의 파장 을 갖 는 광이 적용 되 며 , 구체 적 으로 는 i 선 , h 선 , g 선 중 어느 것 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 보다 구체 적 으로 는 , 복수 의 파장 을 포함 하 는 광원 ( 브로드 파장 광원 이 라고 도 함 ) 을 사용 할 수 있 으며 , 예 를 들 어 i 선 , h 선 및 g 선 중 , 2 파장 , 또는 3 파장 전부 를 포함 하 는 파장 영역 에 걸친 광원 을 사용 하 는 경우 가 있 다 . 이것 은 , 표시 장치 의 생산 효율 상 바람직 하 다 . 이 중 , 대표 파장 은 , 노광 광 에 포함 되 는 파장 영역 중 어느 파장 으로 할 수 있 으며 , 예 를 들 어 i 선 으로 할 수 있 다 .