지금 부터 본 발명 에 따른 저항 조절 시스템 의 동작 이 더욱 자세 하 게 설명 될 것 이 다 . 우선 , 미처리 초 순수 가 입구 ( 111 ) 를 통해 흐름 안내 장치 ( 10 ) 로 도입 된다 . 이산화 탄소 는 이산화 탄소 가스관 ( 14 ) 으로 도입 된다 . 압력 조절 밸브 / 체크 밸브 복합체 ( 16 ) 에 의하 여 , 이산화 탄소 의 압력 이 일정 레벨 로 유지 되 고 , 그 결과 이산화 탄소 는 압력 저항 소자 ( 15 ) 및 개구부 ( 13 ) 를 통과 하 여 흐름 안내 장치 ( 10 ) 로 도입 되 며 미처리 초 순수 와 혼합 된다 . 동시 에 , 초 순수 는 일정 농도 의 이산화 탄소 를 포함 한다 . 이후 가스 액체 혼합물 은 혼합 장치 ( 12 ) 로 도입 된다 . 혼합 장치 ( 12 ) 에서 는 , 가스 액체 혼합물 이 균일 하 게 혼합 되 고 이온 화 되 어 조절 된 저항 을 갖 는 초 순수 ( 이하 , 저항 조절 초 순수 이 라 한다 ) 가 된다 . 저 항조 절 초 순수 는 출구 ( 112 ) 를 통해 배출 된다 . 후방 설비 들 의 실제 의 유속 을 파악 하 기 위하 여 유량계 ( F 1 ) 가 저항 조절 초 순수 의 유속 을 감시 한다 .