다음 으로 , ARC TiN ( 24 ) 상 에 하드 마스크 텅스텐 ( 25 ) 을 200 Å ∼ 300 Å 두께 로 증착 한다 . 이때 , 하드 마스크 텅스텐 ( 25 ) 도 증착 온도 를 알루미늄 막 ( 22 ) 이 녹 지 않 도록 저온 으로 해야 하 는데 , 이 를 위해 물리 기상 증착 법 ( Physical Vapor Deposition ; PVD ) 을 이용 한다 . 이 와 같이 물리 기상 증착 법 을 이용 하 여 하드 마스크 텅스텐 ( 25 ) 을 증착 하 면 , 200 ℃ 이하 ( 바람직 하 게 는 , 100 ℃∼ 200 ℃) 의 저온 에서 도 200 Å ∼ 300 Å 두께 로 증착 할 수 있 다 .