박리 폐각 기구 ( 96 ) 는 유리 기판 ( 24 ) 에 감광성 수지 층 ( 28 ) 을 남긴 상태 에서 가요 성 베이스 필름 ( 26 ) 의 일단 부를 파지 하 고 , 가요 성 베이스 필름 ( 26 ) 을 감광성 적층 체 ( 92 ) 로부터 화살표 X 방향 으로 박리 하 는 척 ( 98 a , 98 b ) 과 , 감광성 적층 체 ( 92 ) 의 측 부 에 배치 되 고 , 박리 된 가요 성 베이스 필름 ( 26 ) 이 적재 되 는 한 쌍 의 적재 대 ( 100 a , 100 b ) 와 , 적재 대 ( 100 a , 100 b ) 의 하부 에 배치 되 고 , 박리 된 다수 의 가요 성 베이스 필름 ( 26 ) 을 적층 상태 에서 수용 하 는 베이스 필름 수 용부 ( 102 ) ( 지 지체 수 용부 ) 를 구비 한다 .