일반 적 으로 , 플라 즈 마 소스 는 기밀 챔버 내부 에 도입 된 반응 가스 의 입자 를 이온 화 하 여 플 라즈 마 상태 로 만들 고 , 처리 하 고자 하 는 기판 을 상기 생성 된 플 라즈 마 에 직접 노출 시키 거나 또는 상기 플 라즈 마로 부터 추출 한 이온 빔 ( 또는 중성 빔 ) 을 기판 에 조사 함 으로써 이온 의 에너지 와 화학 작용 을 이용 하 여 상기 기판 에 식각 등 의 필요 한 처리 를 수행 하 는 장치 이 다 .