본 발명 의 일 태양 의 멀티 빔 묘화 장치 는 , 시료 를 재치 하 는 , 연속 이동 가능 한 스테이지 와 , 멀티 빔 을 방출 하 는 멀티 빔 방출 원 과 , 멀티 빔 의 각 빔 의 조사 시간 을 제어 하 는 조사 시간 제어 회로 와 , 멀티 빔 의 각 빔 을 한꺼번에 스테이지 의 이동 에 추종 하 도록 , k 회 째 ( k 는 자연수 ) 의 트랙 킹 제어 를 행하 도록 상기 멀티 빔 을 편향 하 는 제 1 편 향기 와 , 1 회 의 상기 트랙 킹 제어 당 트랙 킹 제어 기간 중 에 , 각 빔 이 각각 대응 하 는 시료 상 에서 의 빔 간 피치 사이즈 로 둘러싸인 직사각 형 의 조사 영역 내 를 , 동시 에 시프트 하 면서 복수 회의 빔 샷 을 행하 도록 상기 멀티 하전 입자 빔 을 편향 하 는 제 2 편 향기 와 , k 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 이 경과 한 후 , k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 의 개시 위치 로서 , 트랙 킹 위치 를 n 회 째 의 트랙 킹 제어 가 개시 된 트랙 킹 개시 위치 에 , 빔 간 피치 사이즈 의 정수 배 의 오프셋 을 붙인 위치 까지 더 되돌리 도록 상기 제 1 편 향기 를 제어 하 는 편향 제어 회로 를 구비 한 것 을 특징 으로 한다 .