이어서 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 내 에 소스 픽업 라인 ( 46 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 어 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 을 채우 도록 도전 막 을 형성 한 후 , 적층 물 ( ST ) 의 상부 면 이 노출 될 때 까지 도전 막 을 평탄 화 하 여 소스 픽업 라인 ( 46 ) 을 형성 한다 . 이 를 통해 , 연결 패턴 ( 39 C ) 및 소스 막 ( 31 ) 과 직접 접하 는 소스 픽업 라인 ( 46 ) 이 형성 된다 . 여기 서 , 소스 픽업 라인 ( 46 ) 은 N 타입 의 불순물 을 포함 한 도전 막 일 수 있 으며 , 폴리 실리콘 막 또는 실리사이드 ( silicide ) 를 포함 한 금속 막 일 수 있 다 .