도 6 을 참조 하 면 , 도포 블럭 ( 30 a ) 은 열처리 챔버 ( 3200 ) , 반송 챔버 ( 3400 ) , 액 처리 챔버 ( 3600 ) , 그리고 버퍼 챔버 ( 3800 ) 를 가진다 . 열처리 챔버 ( 3200 ) 는 기판 ( W ) 에 대해 열처리 공정 을 수행 한다 . 열처리 공정 은 냉각 공정 및 가열 공정 을 포함 할 수 있 다 . 액 처리 챔버 ( 3600 ) 는 기판 ( W ) 상 에 액 을 공급 하 여 액 막 을 형성 한다 . 액 막 은 포토레지스트 막 또는 반사 방지 막 일 수 있 다 . 반송 챔버 ( 3400 ) 는 도포 블럭 ( 30 a ) 내 에서 열처리 챔버 ( 3200 ) 와 액 처리 챔버 ( 3600 ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 .