경사 벽 ( 870 ) 은 측벽 ( 866 ) 의 상단 으로부터 외측 컵 ( 862 ) 의 내측 방향 으로 연장 된다 . 경사 벽 ( 870 ) 은 위 로 갈수록 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 가까워 지 도록 제공 된다 . 경사 벽 ( 870 ) 은 링 형상 을 가지 도록 제공 된다 . 경사 벽 ( 870 ) 의 상단 은 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 지지 된 기판 ( W ) 보다 높 게 위치 된다 .