이 방법 에서 도 , 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 된 후 에 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 에 있 는지 여부 가 확인 된다 . 따라서 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 고정 밀도 로 맞출 수 있 으므로 , 정확 한 연마 폭 으로 웨이퍼 W 의 주연 부 를 연마 할 수 있 다 . 또한 , 이 방법 에 따르 면 , 센터 링 스테이지 회전 기구 ( 36 ) 를 생략 할 수 있 다 .