상기 실시 예 6 ∼ 11 , 비 교예 4 ∼ 8 에서 조제 한 착색 감광성 수지 조성물 을 8 인치 웨이퍼 에 도포 하 고 , 상기 실시 예 6 ∼ 11 , 비 교예 4 ∼ 8 과 마찬가지 의 조건 에서 형성 한 도막 ( 막 두께 : 약 1 μ m ) 에 대해서 , 「 KLA － 213 X 」 ( KLA － Tencor 주식회사 제조 ) 를 이용 하 여 표면 의 결함 을 검사 하 고 웨이퍼 면적 내 의 결함수 를 측정 함 으로써 , 응 집물 의 발생 의 정도 를 평가 하 였 다 . 결과 를 표 3 에 나타낸다 . 결함수 는 제품 의 품질 상 20 미만 인 것 이 바람직 하 다 .