한편 , 슬라이딩 면 을 형성 한 것 에 의한 응력 이 막 응력 을 초과 해서 거친 쪽 의 면 ( 성막 면 의 반대 의 면 ) 에 볼 록 의 변형 을 발생 시킨 경우 에 는 , 보다 세밀 한 입도 로 다시 슬라이딩 면 을 연마 해서 슬라이딩 면 의 형성 에 의한 응력 을 경감 시켜 광학 막 의 평면 화 를 도모 한다 . 슬라이딩 면 을 형성 하 는 것 에 의한 응력 이 부족 할 경우 또는 과잉 으로 작용 시킨 경우 에 는 슬라이딩 면 을 형성 한 후 에 다시 거친 입 도 또는 세밀 한 입도 로 슬라이딩 면 을 연마 함 으로써 , 섬세 하 고 치밀 한 미세 조정 의 보정 을 할 수 있 어 광학 막 의 평면 화 를 도모 할 수 있 다 . 즉 , 슬라이딩 면 형성 후 에 거친 입 도 또는 세밀 한 입도 로 슬라이딩 면 을 연마 한다는 것 은 응력 의 과 부족분 을 미세 조정 해서 보정 을 행하 고 있 는 것 으로 된다 .