또 다른 실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 들 은 펌프 격실 , 펌프 격실 과 접하 는 프로세스 격실 및 펌프 격실 과 접하 는 또 다른 프로세스 격실 을 통한 기판 의 통과 와 관련 된 통로 로부터 의 가스 를 펌핑 하 기 위해 펌프 격실 을 상부 를 통해 펌프 격실 과 동작 가능 하 게 연통 하 는 터보 분자 형 펌프 들 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 펌핑 구성 의 예 가 도 8 에 제공 된다 .