스케일 부재 ( 46 A ') 는 , 투영 유닛 ( PU ) 의 - X 측 에 X 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 고 , 또한 , 그 길 이 방향 에 수직 인 방향 의 중심선 ( 길 이 방향 으로 연장 되 는 중심선 ) 의 연장선 이 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 과 직교 하 는 상태 로 배치 되 어 있 다 . 스케일 부재 ( 46 A ') 의 표면 ( - Z 측 의 면 ) 에는 , X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 소정 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 의 반사 형 회절 격자 가 전술 과 동일 하 게 하 여 형성 되 어 있 다 .