폴리 실록 산 ( Ib ) 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 는 , 막 두께 나 현상 속도 , 또는 첨가 되 는 감광제 의 감도 에 따라서 도 상이 하 지만 , 1 , 000 내지 100 , 000 Å 의 막 두께 에 대해서 는 100 Å / 초 이상 인 것 이 바람직 하 며 , 더욱 상세 하 게 는 , 5 , 000 Å 에서 50 , 000 Å 의 막 두께 에 대해서 는 , 500 Å / 초 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 폴리 실록 산 ( Ib ) 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 가 100 Å / 초 미만 이 면 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 와 ( Ib ) 의 혼합물 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 를 10 내지 1 , 000 Å / 초 로 하 기 위해서 는 , 난용성 인 폴리 실록 산 ( Ia ) 의 함유량 을 적 게 할 필요 가 있 지만 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 의 함유량 이 적 으면 패턴 의 열 열화 방지 의 관점 에서 바람직 하 지 못하 다 .