이렇게 상기 탐침 빔 발생 장치 ( 51 ) 를 통하 여 방출 되 는 탐침 빔 은 탐침 빔 발생 장치 ( 51 ) 의 일 측 에 구비 되 되 , 소 정각도 로 경사지 게 설치 되 는 제 3 미러 ( 54 ) 를 통하 여 경로 가 변경 되 고 ( S 14 - 1 ) , 상기 제 3 미러 ( 54 ) 를 통하 여 경로 가 변경 된 탐침 빔 이 글러브 박스 ( 30 ) 에 구비 되 는 제 2 광학 용 창 ( 35 ) 으로 입사 되 어 글러브 박스 ( 30 ) 내부 로 입사 된다 ( S 14 - 2 ) .