본 발명 의 실시 예 에 따른 전자 빔 검사 방법 을 진행 하 기 위하 여 기판 ( 10 ) 은 포크 ( 20 ) 등 의 이송 로봇 에 의하 여 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 로 이송 된다 . 기판 ( 10 ) 이 로드 락 챔버 ( 100 ) 로 이송 되 면 도 6 a 와 도 7 a 에 도시 된 바 와 같이 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 의 제 1 지지 트레이 ( 130 ) 또는 제 2 지지 트레이 ( 140 ) 상 으로 기판 ( 10 ) 이 이송 된다 . 이 기판 ( 10 ) 을 제 1 지지 트레이 ( 130 ) 에 안착 시키 기 위하 여 엔드 이펙터 ( 132 ) 가 엔드 이펙터 승강 리프트 ( 134 ) 에 의하 여 최대한 상승 한다 ( 도 7 b 참조 ) . 그러면 기판 ( 10 ) 은 엔드 이펙터 ( 132 ) 의 상부 에 안착 된다 .