따라서 , 가스 공 급구 ( 11 a ) 로부터 희석 가스 를 웨이퍼 ( W ) 를 향해 공급 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 할 때 에 당해 미소 한 공극 에 희석 가스 가 들어가 , 웨이퍼 ( W ) 하방 의 분위기 의 승화 물 농도 를 저하 시킬 수 있 다 . 이 로써 , 흡 인구 ( 31 ) , 흡 인관 ( 32 ) , 그리고 포집 용기 ( 40 ) 의 내부 의 흡인 유로 등 이 , 승화 물 에 의해 막히 는 것 을 억제 할 수 있 다 .