그리드 의 종횡비 ( 즉 , h / w ) 는 1 . 0 이하 , 0 . 8 이하 , 0 . 6 이하 , 0 . 5 이하 , 0 . 4 이하 , 0 . 1 이상 , 0 . 2 이상 , 0 . 3 이상 , 0 . 35 이상 , 또는 이러 한 비율 값 의 임의 의 조합 일 수 있 다 . 특히 , 종횡비 는 0 . 1 내지 0 . 8 , 바람직 하 게 는 0 . 2 내지 1 . 0 , 바람직 하 게 는 0 . 2 내지 0 . 6 의 범위 에 있 을 수 있 다 . 종횡비 는 보다 바람직 하 게 는 0 . 3 내지 0 . 5 , 바람직 하 게 는 0 . 35 내지 0 . 4 의 범위 에 있 을 수 있 다 . 가장 바람직 하 게 는 , 종횡비 는 약 0 . 375 이 다 . 이론 에 구속 되 지 않 고 , 본 발명 의 저 종횡비 그리드 ( 즉 , 종횡비 1 . 0 이하 ) 는 스퍼터링 된 물질 의 물리 적 시준 을 제공 하 고 , 웨이퍼 에 도달 하 는 고 에너지 종 의 수 를 감소 시키 는 것 으로 여겨진다 . 그리드 의 종횡비 의 신중 한 선택 에 의해 , 증착 된 막 의 웨이퍼 내 응력 범위 는 놀랍 게 도 상당히 감소 될 수 있 다 .