여기 서 , Ⅲ ′ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 로 당해 분야 에서 일반 적 으로 사용 되 는 R 3 M 형태 의 전구체 가 사용 될 수 있 다 . 이때 R 은 C 1 ∼ C 6 사이 의 알킬기 이 고 , M 은 Al , In , Ga 에서 선택 되 는 Ⅲ 족 금속 원소 를 나타낸다 . 예 들 들 어 ( C 2 H 5 ) 3 Al ( 또는 TEtAl ) , ( CH 3 ) 3 Al ( 또는 TMeAl ) , ( C 2 H 5 ) 3 In ( 또는 TEtIn ) , ( CH 3 ) 3 In ( 또는 TMeIn ) , ( C 2 H 5 ) 3 Ga ( 또는 TEtGa ) 또는 ( CH 3 ) 3 Ga ( 또는 TMeGa ) 에서 선택 된 것 을 사용 할 수 있 다 . 여기 서 TMe 는 트리 메틸 ( tri - methyl ) 을 나타내 고 , TEt 는 트리 에틸 ( tri - ethyl ) 을 나타낸다 .