제 1 도 와 같 은 패턴 형태 에서 선폭 의 오류 정도 를 찾아내 기 위해서 , 목표 크기 ( Target Size ) ± 10 % 를 벗어나 는 부분 이 있 으면 그 패턴 을 오류 패턴 으로 정의 할 수 있 다 . 양변 이 비대칭 구조 인 패턴 내 에서 오류 를 찾 아 낸다고 했 을 때 , 예상 선폭 이미지 를 파악 하 기 위해 컨 투어 ( Contour : 3 ) 를 그려 보 면 A 로 표시 된 부분 의 선폭 은 목표 크기 ( Target Size ) ± 10 % 이내 에 들어오 기 때문 에 오류 로 분류 되 지 않 고 , B 로 표시 된 부분 의 선폭 은 목표 크기 ( Target Size ) ± 10 % 범위 를 벗어나 기 때문 에 오류 로 분류 된다 . 여기 서 Ca 와 Cb 는 컨 투어 ( 3 ) 가 수평 패턴 과 만나 는 위치 ( 점 ) 를 나타낸다 .