또한 , 척 테이블 ( 20 ) 의 케이스 ( 12 ) 측 에 는 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 가 배치 하 는 가 배치 수단 ( 18 ) 이 마련 된다 . 푸시풀 수단 ( 17 ) 은 , 카세트 스테이지 ( 16 ) 상 의 카세트 로부터 가 배치 수단 ( 18 ) 에 , 가공 전 의 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 반송 및 배치 한다 . 가 배치 수단 ( 18 ) 은 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 의 X 축 방향 의 위치 결정 을 실시 한다 .