높이 검 출부 ( 41 ) 는 , 본딩 헤드 ( 31 ) 에 마련 되 어 있 다 . 높이 검 출부 ( 41 ) 는 , 본딩 헤드 ( 31 ) 에 의해 전자 부품 ( 2 ) 을 기판 ( 3 ) 에 실장 하 였을 때 의 높이 를 검출 한다 . 높이 검 출부 ( 41 ) 가 검출 하 는 높이 의 검출 개소 는 , 흡착 노즐 ( 31 a ) 의 선단 의 높이 이 다 . 이 높이 검 출부 ( 41 ) 는 , 기판 스테이지 ( 33 ) 의 높이 를 검출 할 수 도 있 다 . 즉 , 높이 검 출부 ( 41 ) 는 , 흡착 노즐 ( 31 a ) 이 접촉 한 대상물 의 높이 를 검출 한다 . 높이 검 출부 ( 41 ) 로서 는 , 본딩 헤드 ( 31 ) 의 이 동량 을 검출 하 는 센서 와 , 흡착 노즐 ( 31 a ) 의 대상물 에 의 접촉 을 검지 하 는 센서 를 조합 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예컨대 , 본딩 헤드 ( 31 ) 의 이 동량 을 검출 하 는 인코더 와 , 본딩 헤드 ( 31 ) 에 대한 흡착 노즐 ( 31 a ) 의 상대 이동 에 의해 대상물 과 의 접촉 을 검지 하 는 갭 센서 를 이용 할 수 있 다 . 이 경우 , 흡착 노즐 ( 31 a ) 과 대상물 의 접촉 을 갭 센서 가 검지 하 면 , 본딩 헤드 ( 31 ) 는 , 흡착 노즐 ( 31 a ) 에 대하 여 약간 이동 하 여 정지 한다 . 그리고 , 인코더 에 의해 검출 되 는 본딩 헤드 ( 31 ) 의 이 동량 으로부터 , 갭 센서 에 의해 검출 되 는 흡착 노즐 ( 31 a ) 의 상대 이 동량 을 뺌 으로써 , 대상물 의 높이 를 검출 할 수 있 다 . 접촉 을 검지 하 는 센서 로서 는 , 압력 센서 를 이용 하 여도 좋 다 . 또한 , 높이 검 출부 ( 41 ) 에 이용 하 는 센서 는 , 레이저 변위 계 이외 의 저렴 한 센서 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .