도 12 는 노광 장치 의 개략 도 이 다 . 조명 광학계 ( 5 ) 로부터 조사 된 조명 광 이 레티 클 ( 1 ) , 투영 광학계 ( 6 ) 를 통하 여 측정 센서 ( 40 ) 에 도달 한다 . 예 를 들 면 , 레티 클 마크 ( A ) 및 레티 클 마크 ( A ) 의 피치 의 반 을 가진 레티 클 마크 ( B ) 가 레티 클 ( 1 ) 상 에 형성 된다 . 이 경우 에 , 레티 클 마크 ( A ) 로부터 2 개 의 회절 광 ( 41 ) 및 ( 42 ) 이 발생 한 상태 에서 , 레티 클 마크 ( A ) 의 피치 의 반 을 가진 레티 클 마크 ( B ) 는 같 은 조명조 건하 에서 회절 광 ( 42 ) 만 을 발생 시킨다 .