질소 - 함유 화합물 없이 SF 6 및 O 2 로 에칭 을 실시 하 면 트렌치 측벽 을 상당 분 부식 시킬 수 있 고 , 트렌치 측벽 이 불 규칙 해 지 거나 V - 자형 트렌치 베이스 들 이 생길 수 있 다 . 그러나 , 플라 즈 마 에칭 화학 물질 에 질소 - 함유 화합물 을 첨가 하 면 트렌치 측벽 이 매끄럽 고 직선형 으로 생성 되 며 , 트렌치 베이스 가 평탄 해짐 을 확인 할 수 있 었 다 . 그러나 , 이러 한 결과 를 본 발명 에서 꼭 요구 하 는 것 은 아니 다 . 더우기 , 플 라즈 마 에서 의 질소 의 존재 는 NFx 종 을 생성 시킬 수 있 으며 , 이 는 직선형 측벽 및 평탄 한 베이스 의 형성 을 촉진 시킬 수 도 있 고 그렇 지 않 을 수 도 잇 다 .