본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 는 최소한 의 가스 공급 라인 및 전력 공급 라인 을 사용 한다 . 이 에 따라 , 진공 유지 를 위한 복잡 한 구조 를 피할 수 있 다 . 또한 , 전력 을 분배 하 는 제 1 배선 ( 140 ) 및 제 2 배선 ( 130 ) 은 가스 분배 판 ( 160 ) 에 배치 되 어 가스 흐름 을 방해 하 지 않 고 , 기구 적 안정 성 및 유지 보수 편리 성 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 증착 소스 가스 인 제 2 가스 는 기판 에 제 2 노즐 을 통하 여 공간 적 으로 균일 하 게 복수 의 위치 에서 공급 되 고 , 제 2 가스 는 플 라즈 마 에 직접 노출 되 지 않 아 , 기판 에 플 라즈 마 손상 이 적 은 박막 이 형성 될 수 있 다 .