또한 , 도 7 F 에 나타내 는 공정 에 있 어서 는 , 불소 나 불소 화합물 을 함유 하 는 잔사 ( 313 ) 가 만 에 하나 존재 하 고 있 었 음 을 상정 하 여 , 잔사 ( 313 ) 를 충분히 제거 할 수 있 는 조건 으로 실시 해야 한다 . 그래서 , 잔사 ( 313 ) 의 제거 반응 을 촉진 시키 기 위해 , 웨이퍼 ( W ) 는 본 예 와 같이 가열 한 채 로 행해 지 는 것 이 좋 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 온도 의 일례 는 100 내지 200 ℃ 이 다 . 처리 압력 도 , 잔사 ( 313 ) 의 기화 를 촉진 시키 기 위해 , 낮 은 압력 하 에서 행해 지 는 것 이 좋 다 . 처리 압력 의 일례 는 500 내지 1000 mTorr 이 다 .