제 1 순환 유로 ( 231 ) 는 열전달 매체 공급 라인 ( 231 b ) 을 통해 열전달 매체 저 장부 ( 231 a ) 와 연결 될 수 있 다 . 열전달 매체 저 장부 ( 231 a ) 에 는 열전달 매체 가 저장 될 수 있 다 . 열전달 매체 는 불활성 가스 를 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에 의하 면 , 열전달 매체 는 헬륨 ( He ) 가스 를 포함 할 수 있 다 . 헬륨 가스 는 공급 라인 ( 231 b ) 을 통해 제 1 순환 유로 ( 231 ) 에 공급 될 수 있 으며 , 제 2 공급 유로 ( 233 ) 와 제 1 공급 유로 ( 221 ) 를 순차 적 으로 거쳐 기판 ( W ) 저면 으로 공급 될 수 있 다 . 헬륨 가스 는 플 라즈 마 에서 기판 ( W ) 으로 전달 된 열 을 정 전척 ( 210 ) 으로 전달 시키 는 매질 역할 을 한다 .