도 2 는 , ( a ) 도 1 에서 도시 되 는 생산 설비 내 의 예시 적 인 하이브리드 계측 장치 에서 의 계측 장치 의 일반 적 인 배열 과 데이터 플로우 및 ( b ) 예시 적 인 장치 에서 의 오버레이 타 겟 구 조체 와 의 스침 입사 방사선 ( grazing incidence radiation ) 및 수직 입사 방사선 ( normal incidence radiation ) 의 상호 작용 을 도시 하고 ;