중판 부재 ( 220 ) 는 , 원통 부 ( 221 ) 와 , 원통 부 ( 221 ) 의 상단 에 연결 되 도록 설치 되 는 평판 부 ( 222 ) 과 , 평판 부 ( 222 ) 의 중앙 에 설치 되 는 볼록 형 상부 ( 223 ) 로 구성 된다 . 본 실시 예 에 있 어서 는 , 볼록 형 상부 ( 223 ) 는 , 노즐 부재 ( 210 ) 측 으로 돌출 되 어 있 다 . 이 볼록 형 상부 ( 223 ) 는 , 원추 사다리꼴 형상 의 부분 으로 구성 되 어 있 다 . 즉 , 볼록 형 상부 ( 223 ) 는 , 선단 측 의 원판 형상 의 천 판부 ( 223 a ) 와 , 테이퍼 형상 의 측벽 ( 223 b ) 으로 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 측벽 ( 223 b ) 에 , 증착 재료 가 통과 하 는 복수 의 관통 구멍 ( 223 c ) 이 설치 되 어 있 다 . 복수 의 관통 구멍 ( 223 c ) 의 개구 면적 의 총합 은 , 노즐 부재 ( 210 ) 에 있 어서 의 방 출구 ( 212 a ) 의 개구 면적 이상 이 되 도록 설정 되 어 있 다 .