도 5 는 , 도 4 에 나타낸 가공 방법 의 절삭 스텝 을 모식 적 으로 나타내 는 단면도 이 다 . 절삭 스텝 ST 1 은 , 절삭 블레이드 ( 21 ) 로 피 가 공물 ( 200 ) 을 절삭 하 는 스텝 이 다 . 절삭 스텝 ST 1 에서 는 , 가공 장치 ( 1 ) 는 , 반송 유닛 이 카세트 내 로부터 피 가공물 ( 200 ) 을 반 입출 영역 의 척 테이블 ( 10 ) 로 반송 하 고 , 점착 테이프 ( 210 ) 를 개재 하 여 이면 ( 205 ) 측 을 척 테이블 ( 10 ) 의 유지 면 ( 11 ) 에 흡인 유지 한다 .