증착 챔버 ( 14 ) 의 상부 면 에 설치 된 다 수개 의 수정 진동자 센서 ( 26 ) 중 에서 셔터 ( 28 ) 의 개구부 를 통해 오픈 된 새로운 수정 진동자 센서 ( 26 ) 에서 유기물 증착 두께 에 따라 변화 된 공명 진동수 값 을 증착 두께 검 출부 ( 24 ) 에 전달 하 고 , 증착 두께 검 출부 ( 24 ) 에서 는 수정 진동자 의 센서 ( 26 ) 에서 검출 된 값 을 유기물 박막 의 증착 두께 값 으로 수치 환산 하 여 제 어부 ( 22 ) 에 제공 한다 .