이때 , 세척액 분사 부 ( 145 a , 145 b ) 는 , 도 4 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 도시 생략 된 공급 펌프 등 의 작동 에 의해 세척액 을 공급 받 는 공급 관 ( 146 a , 146 b ) 과 상기 공급 관 ( 146 a , 146 b ) 의 일 측 에 설치 되 어 세척액 이 유리 기판 ( 180 ) 에 미세 한 입자 의 상태 로 분사 될 수 있 도록 하 는 분사 노즐 ( 147 a , 147 b ) 등 으로 이루어진다 .