페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 를 통과 하 는 유동 경로 의 유체 출구 가 도 12 의 부분 단면도 에 도시 된다 . 유체 출구 구멍 ( 1202 ) 은 하부 플레 넘 ( 344 ) 을 배수 하 도록 바닥 커버 판 ( 308 ) 을 통하 여 형성 된다 . 출구 구멍 ( 1202 ) 은 일반 적 으로 입 구 구멍 ( 398 ) 근처 에 위치 된다 . 도 12 의 입구 보스 ( 1204 ) 및 출구 보스 ( 1206 ) 로서 도시 된 , 바닥 커버 판 ( 308 ) 상 에 형성 된 보스 들 ( 702 ) 중 두 개 의 보스 는 구멍 ( 398 , 1202 ) 을 통하 여 유동 경로 ( 300 ) 로 의 유체 연결 을 제공 하 도록 이용 된다 . 일 실시 예 에서 , 보스 ( 1204 ) 는 열 전달 유체 소스 ( 182 ) 로 결합 되 고 보스 ( 1206 ) 는 배 출부 로 결합 되 거나 유체 소스 ( 182 ) 를 통하 여 역 으로 재순환 된다 . 유동 경로 ( 300 ) 를 통하 여 제공 된 냉각 유체 의 열 전달 매체 의 압력 , 유량 , 온도 , 밀도 및 구성 은 페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 를 통한 열 전달 프로파일 의 강화 된 제어 를 제공 한다 . 더욱이 , 유동 경로 ( 300 ) 내 의 유체 의 밀도 , 압력 및 유량 이 기판 ( 150 ) 의 처리 동안 인 - 시 츄 ( in - situ ) 제어 될 수 있 을 때 , 기판 ( 150 ) 의 온도 제어 는 처리 성능 을 추가 로 강화 하 도록 처리 동안 변경 될 수 있 다 .