본 발명 은 플 라즈 마 가공 장치 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 다수 의 웨이퍼 안착 홈 이 형성 된 트레이 와 상기 트레이 와 트레이 커버 부 및 척 을 고정 시키 는 클램프 부 , 웨이퍼 를 냉각 시키 는 냉각기 체공 급부 및 상기 냉각 기체 가 유출 되 는 것 을 방지 하 기 위해 상기 척 과 트레이 사이 와 상기 트레이 의 웨이퍼 안착 홈 에 실링 부재 를 각각 설치 하 여 클램프 부 에 의해 트레이 커버 와 트레이 및 척 을 견고 하 게 고정 시 킬 수 있 고 , 상기 트레이 에 의해 다수 의 웨이퍼 를 동시 에 거치 및 가공 할 수 있 음 으로 작업 시간 을 단 축시 킬 수 있 으며 , 상기 척과 트레이 및 상기 웨이퍼 안착 홈 에 실링 부재 가 각각 설치 됨 으로 , 냉각기 체가 유출 되 는 것 을 방지 하 여 웨이퍼 의 온도 조절 을 용이 하 게 할 수 있 음 은 물론 , 비용 을 절감 시킴 으로 작업 의 효율 성 을 향상 시킬 수 있 는 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 에 관한 것 이 다 .