이 와 같이 하 여 , 화소 부 ( 14 ) 에서 는 최상층 에 티탄 을 갖 는 화소 용 접속 배선 ( 24 ) 위 에 화소 용 투명 도전 막 ( 28 ) 이 배치 되 고 , 이것 이 화소 전극 으로서 이용 된다 . 그리고 , 단자 부 ( 20 ) 에서 는 단자 용 투명 도전 막 ( 128 ) 과 단자 용 접속 배선 ( 124 ) 사이 에 , 단자 용 IZO 막 이 배치 된다 . 이 구성 에 의해 , 투명 도전 막 을 성막 할 때 의 열 이력 에 의해 단자 용 접속 배선 ( 124 ) 의 최상층 의 티탄 이 산화 되 는 것 을 억제 할 수 있 어 , 단자 용 투명 도전 막 ( 128 ) 과 단자 용 접속 배선 ( 124 ) 사이 의 계면 저항 의 증가 를 억제 할 수 있 다 .