상기 플 라즈 마 질화 공정 동안 , 상기 공정 챔버 는 약 400 ∼ 600 ℃ 정도 의 상대 적 으로 낮 은 제 4 온도 및 약 0 . 5 ∼ 1 . 5 Torr 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 4 압력 으로 유지 되 며 , 상기 제 4 반응 가스 는 약 1 ∼ 3 분 동안 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 상 으로 제공 될 수 있 다 . 상기 제 4 반응 가스 는 캐리어 가스 와 함께 상기 공정 챔버 내 로 도입 될 수 있 으며 , 상기 제 4 반응 가스 에 대한 상기 캐리어 가스 의 유량 비 는 약 1 . 0 : 10 ∼ 15 정도 가 될 수 있 다 . 상기 질소 플 라즈 마 를 생성 하 기 위한 제 4 반응 가스 는 질소 가스 또는 암모니아 가스 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .