XZ 간섭계 ( 116 및 126 ) 에서 , 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) 과 기준 축 ( LV 0 ) 에 직교 하 는 기준 축 ( LH ) 이 X 축 방향 에서 의 계측 축 으로서 기능 한다 . 더욱 구체 적 으로 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , XZ 간섭계 ( 116 ) 는 , 계측 축 ( LH ) 을 따라 계측 빔 ( B 1161 ) 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 반사면 ( 27 a ) 에 조사 하 고 , 반사면 ( 27 a ) 에서 의 계측 빔 ( B 1161 ) 의 반사광 을 수 광 하 여 , 계측 빔 ( B 1161 ) 의 조사 점 에서 의 반사면 ( 27 a ) 의 X 축 방향 의 변위 ( 제 4 위치 정보 로서 기능 한다 ) 를 계측 한다 . 유사 하 게 , XZ 간섭계 ( 126 ) 는 , 계측 축 ( LH ) 을 따라 계측 빔 ( B 1261 ) 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 반사면 ( 27 c ) 에 조사 하 고 , 반사면 ( 27 c ) 에서 의 계측 빔 ( B 1261 ) 의 반사광 을 수 광 하 여 , 계측 빔 ( B 1261 ) 의 조사 점 에서 의 반사면 ( 27 c ) 의 X 축 방향 의 변위 ( 제 5 위치 정보 로서 기능 한다 ) 를 계측 한다 . 제 4 및 제 5 위치 정보 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 된다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 4 및 제 5 위치 정보 에 기초 하 여 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 X 위치 를 산출 한다 .