이어서 , 도 7 d 에 나타내 는 바 와 같이 , 진공 반송 로봇 ( 2 a ) 의 승강 기구 ( 2 d ) ) 가 구동 하 고 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 방향 ( UD ) ( 처 리전 기판 ( SP ) 의 하방 위치 에서 상방 위치 로 향한 방향 ) 으로 상승 한다 . 그러면 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 처리 전 기판 ( SP ) 의 하면 을 지지 한다 . 로봇 핸드 ( 2 c ) 가 방향 ( UD ) 으로 상승 하 면 , 처리 전 기판 ( SP ) 은 기판 지지 핀 ( 30 ) ( 30 a , 30 b , 30 c ) 에서 이간 하 고 , 기판 지지 핀 ( 30 ) 에서 로봇 핸드 ( 2 c ) 로 처리 전 기판 ( SP ) 이 수도 된다 . 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 처리 전 기판 ( SP ) 을 유지 한 상태 에서 , 처리 전 기판 ( SP ) 을 상측 내부 공간 ( 11 U ) 에서 트랜스퍼 챔버 ( 2 ) 내 에 반송 한다 . 처 리전 기판 ( SP ) 의 반송 이 종료 하 면 , 진공 측 게이트 밸브 ( VG ) 가 닫힌다 .