본 발명 은 전술 한 문제점 을 해결 하 기 위하 여 안출 된 것 으로서 , 본 발명 의 목적 은 음각 의 광도 파로 코어 패턴 에서 이격 되 어 일정 거리 이상 의 영역 을 식각 영역 으로 확보 하 여 식각 하 고 , 목적 하 는 코어 높이 와 동일 한 두께 의 실리카 코어 층 및 연마 보호 층 을 증착 한 후 코어 층 상부 일부 를 화학 기계 연마 로 제거 함 으로써 , 광도 파로 코어 상부 가 정밀 하 게 평탄 화 될 수 있 도록 한 광도 파로 소자 및 그 제조 방법 을 제공 하 는데 있 다 .