상기 제 4 층간 절연 층 ( 75 ) , 상기 제 3 층간 절연 층 ( 65 ) , 상기 제 2 층간 절연 층 ( 36 ) , 및 상기 제 1 층간 절연 층 ( 35 ) 을 관통 하 여 상기 소스 영역 ( 33 ) 에 접속 된 상기 소스 플러그 ( 39 ) 가 형성 될 수 있 다 . 상기 소스 플러그 ( 39 ) 는 폴리 실리콘 , 금속 , 금속 질화물 , 금속 산화물 , 금속 실리사이드 , 도전 성 카본 , 또는 이 들 의 조합 과 같 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 4 층간 절연 층 ( 75 ) 상 에 상기 소스 플러그 ( 39 ) 에 접속 된 상기 소스 라인 ( 79 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 제 4 층간 절연 층 ( 75 ) 상 에 상기 상부 플러그 ( 77 ) 에 접속 된 상기 비트 라인 ( 81 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 소스 라인 ( 79 ) 및 상기 비트 라인 ( 81 ) 은 금속 , 금속 질화물 , 금속 산화물 , 금속 실리사이드 , 도전 성 카본 , 또는 이 들 의 조합 과 같 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 .