도 14 에 , 본 실시 예 에서 의 제 3 시험 의 결과 를 설명 하 는 제 1 그래프 를 나타낸다 . 도 15 에 , 본 실시 예 에서 의 제 3 시험 의 결과 를 설명 하 는 제 2 그래프 를 나타낸다 . 제 3 시험 에서 는 , 제 2 시험 보다 도 레벤 손 형 마스크 의 노광량 을 더욱 상대 적 으 로 적 게 한다 . 제 3 시험 에서 는 , 레벤 손 형 마스크 의 노광량 과 하프톤 형 마스크 의 노광량 의 비 를 0 . 6 : 1 로 해서 시험 을 행하 였 다 .