헤드 유닛 ( 62 A , 62 C ) 이 각각 구비 하 는 5 개 의 Z 헤드 ( 76 j , 74 i ) 중 인접 하 는 Z 헤드 ( 보다 정확 하 게 는 , 각 Z 헤드 가 발하 는 계측 빔 의 스케일 상 의 조사 점 ) 의 X 축 방향 의 간격 은 , Y 헤드 ( 65 , 64 ) 의 X 축 방향 의 간격 ( WD ) 과 동일 하 게 설정 되 어 있 다 . 따라서 , 노광 시 등 에 는 , Y 헤드 ( 65 j , 64 i ) 와 동일 하 게 , 각각 5 개 의 Z 헤드 ( 76 j , 74 i ) 중 적어도 각 1 개 가 항상 대응 하 는 Y 스케일 ( 39 Y 1 , 39 Y 2 ) 에 대향 한다 .