제 2 로드 록 모듈 및 제 2 트랜스퍼 모듈 의 동작 은 이하 와 같 다 . 도 9 에 도시 하 는 바 와 같이 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 또는 60 - 2 ) 이 기판 ( W ) 을 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 에 반입 하 면 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 의 대기 반 송실 ( 25 ) 측 의 게이트 밸브 ( 73 또는 74 ) 를 닫 을 수 있 어 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 는 진공 배기 된다 . 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 가 진공 상태 가 되 면 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 측 의 게이트 밸브 ( 71 또는 72 ) 를 열 수 있 어 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 가 연통 한다 . 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 은 , 감압 하 에서 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 에 인입 ( 반출 ) 하 고 , 반출 한 미처리 의 기판 ( W ) 을 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 또는 24 - 2 ) 에 반입 한다 .