마지막 으로 , 게이트 전극 ( 37 ) 으로 폴리 실리콘 막 을 사용 하 고 , 워드 라인 으로 사용 된 금속 막 ( 48 ) 은 금속 실리사이드 막 또는 금속 막 예컨대 , 텅스텐 실리사이드 막 , TiN , W , Al , Cu , Au 및 Ru 로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 를 포함 한다 . 그리고 , 게이트 전극 ( 37 ) 과 워드 라인 ( 48 ) 사이 에 형성 된 배리 어막 ( 47 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 배리 어막 ( 47 ) 은 TiN , TaCN , TaC , WN , WSiN , TaN , Ti 및 WSix 로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 를 포함 할 수 있 다 .