처리 액 공급 제 어부 ( 101 ) 는 , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 토출 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 ) 를 제어 한다 . 처리 액 공급 제 어부 ( 101 ) 는 , 예 를 들 어 기능 모듈 로서 , 토출 준비 부 ( 111 ) 와 , 토출 제 어부 ( 112 ) 와 , 벤트 준비 부 ( 113 ) 와 , 벤트 제 어부 ( 114 ) 와 , 보충 준비 부 ( 115 ) 와 , 보충 제 어부 ( 116 ) 를 구비 한다 .