[ 0075 ] 프로세싱 챔버 ( 714 ) 는 기판 으로부터 재료 를 에칭 하 도록 구성 된 에칭 챔버 일 수 있 다 . 예컨대 , 프로세싱 챔버 ( 714 ) 는 플 라즈 마 챔버 , 이를테면 , 도 5 에 도시 된 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 와 유사 한 ICP 플 라즈 마 챔버 일 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 프로세싱 챔버 ( 714 ) 는 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 로부터 입수 가능 한 Centura ® AdvantedgeTM MesaTM 에칭 챔버 이 다 . 프로세싱 챔버 ( 714 ) 는 블록 ( 108 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같 은 에칭 - 관련 프로세스 를 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 다 .