제 1 수 평관 ( 67 A ) 은 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 ( X 축 방향 ) 으로 연장 되 는 중공 의 봉 이 며 , Y 축 방향 으로 간격 을 두 고 복수 개 배치 되 어도 된다 . 제 1 토출구 ( 68 A ) 는 제 1 존 ( ZA ) 에 배치 되 고 , 제 2 존 ( ZB ) 에 배치 되 지 않 는다 . 즉 , 제 1 액 공급 부 ( 6 A ) 는 제 1 존 ( ZA ) 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 고 , 제 2 존 ( ZB ) 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 지 않 는다 .