챔버 ( 11 ) 를 형성 시킨 후 , 웨이퍼 ( W ) 의 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 의 형상 에 따른 소정 의 형상 으로 점착 테이프 ( DT ) 를 변형 시키 는 공정 을 개시 한다 . 제 어부 ( 102 ) 는 , 도 12 에 도시 하 는 전자 밸브 ( 97 , 98 , 100 ) 를 폐쇄 한 상태 에서 , 진공 장치 ( 95 ) 를 작동 시켜 하부 공간 ( H 1 ) 내 의 기압 과 상부 공간 ( H 2 ) 내 의 기압 을 감압 한다 . 이때 , 하부 공간 ( H 1 ) 및 상부 공간 ( H 2 ) 이 동일 한 속도 로 감압 해 가 도록 , 전자 밸브 ( 96 ) 의 개방 도 를 조정 한다 .