반입 출부 ( 2 ) 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 는 반송 아암 ( 11 a , 11 b ) 에 의해 유지 되 고 , 제 1 웨이퍼 반송 기구 ( 11 ) 의 구동 에 의해 대략 수평면 내 에서 직진 이동 , 또한 승강 됨 으로써 , 원 하 는 위치 로 반송 된다 . 그리고 , 탑재 대 ( 13 ) 상 의 캐리어 ( C ) , 오리 엔터 ( 14 ) , 로드 로크 실 ( 3 ) 에 대하 여 각각 반송 아암 ( 11 a , 11 b ) 이 진퇴 함 으로써 , 반 입출 되 도록 되 어 있 다 .