그러나 , 전술 한 종래 기술 의 경우 에 는 , 소망 하 는 캐 패 시터 의 용량 을 확보 하 기 위해 높이 가 증가 한 스토리지 노드 용 홀 의 식각 공정 에 어려움 이 있 다 . 또한 , 상기 캐 패 시터 의 형성 후 에 금속 배선용 콘 택 홀 이 형성 되 는데 , 캐 패 시터 의 용량 을 확보 하 기 위해 높이 가 증가 된 스토리지 노드 의 높이 만큼 상기 콘 택 홀 의 높이 도 함께 증가 하 는 바 , 그 식각 공정 에 어려움 이 있 다 .