하지 ( 200 b ) 및 보호막 ( 200 e ) 각각 의 표면 에 Si 를 선택 적 으로 흡착 시킨 후 , 밸브 ( 243 g ) 를 닫 아 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 의 SiH 3 R 가스 의 공급 을 정지 한다 . 그리고 , 스텝 A 에서 의 퍼지 와 마찬가지 의 처리 수순 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 가스 등 을 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 배제 한다 .