반 전실 ( 108 ) 에서 반전 된 후 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 반송 모드 가 , 자기 부상 반송 모드 로부터 다시 롤러 반송 모드 로 전환 된다 . 계속 해서 , 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 롤러 반송 에 의해 , 기판 배출 위치 ( P 4 ) 의 유리 기판 배출 실 ( 109 ) 로 반송 된다 . 기판 배출 위치 ( P 4 ) 에서 는 , 유리 기판 ( G ) 의 마스크 척이 해제 되 며 , 유리 기판 ( G ) 은 도시 하 지 않 는 배출 기구 에 의해 다음 공정 으로 반송 된다 .