도 9 는 , 방전 램프 유닛 ( 101 X ) 의 메탈 핼 라이드 램프 의 파장 스펙트럼 ( SX ) 을 나타내 는 그래프 도 이 다 . 파장 스펙트럼 ( SX ) 은 , 추가 노광 에 있 어서 특히 유용 한 파장 ( LI ) = 365 nm ( i 선 ) 뿐 만 아니 라 , 다른 많 은 파장 을 갖 고 있 다 . 따라서 에너지 효율 이 낮 다 . 또한 , 이 들 다른 파장 에 의해 기판 ( 800 ) 의 온도 가 불 필요 하 게 상승 하 는 경우 가 있 고 , 그 결과 , 공정 에 악영향 을 미치 는 경우 가 있 다 .