한편 , 기판 은 연마 영역 에 구비 된 정반 에 배치 된 상태 에서 연마 공정 이 행해 지 는데 , 정반 상 에 배치 되 는 기판 의 위치 가 조금 이 라도 틀어지 게 되 면 , 기판 의 연마 정확도 와 연마 균 일도 가 저하 되 는 문제점 이 있 고 , 기판 을 이송 하 는 중 에 주변 부품 과 의 간섭 에 의해 기판 에 손상 이 발생 할 수 있 기 때문 에 , 기판 이 의도 된 위치 에 정확 하 게 배치 될 수 있 어야 한다 .