상기 오 목부 는 상기 연 마면 에 평행 한 단면 이 기하 도형 , 예 를 들 어 원 , 다각형 , 모서리 가 둥근 다각형 등 의 형상 을 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 오 목부 는 상기 연 마면 에 평행 한 단면 이 원 의 형상 을 가질 수 있 다 . 상기 원 의 형상 은 다각형 형상 보다 모서리 에 의한 반도체 기판 표면 의 결함 발생 을 최소 화 하 는 데 유리 하 다 .