본 실시 형태 에 따른 연마제 는 , 실리카 입자 를 포함 하 는 연마 입자 를 함유 한다 . 실리카 입자 는 , 실리카 를 포함 하 는 입자 이 다 . 실리카 입자 에서 의 실리카 의 함유량 은 , 실리카 입자 전량 을 기준 으로 하 여 , 50 질량 % 이상 이 라도 되 고 , 70 질량 % 이상 이 라도 되 고 , 90 질량 % 이상 이 라도 되 고 , 95 질량 % 이상 이 라도 되 고 , 98 질량 % 이상 이 라도 된다 . 실리카 입자 는 , 실리카 로 이루어지 는 입자 ( 실질 적 으로 입자 의 100 질량 % 가 실리카 인 입자 ) 라도 된다 .