하 기 표 1 과 같이 제조 된 포토레지스트 제거 용 박리 액 조성물 에 대하 여 포토레지스트 용해 력 을 평가 하 기 위해 , 150 ° C 핫플레이트 에서 4 시간 동안 포토레지스트 ( AZEM , DTR - 300 ) 을 건조 하 여 포토레지스트 파우더 를 제조 하 였 다 . 건조 된 포토레지스트 파우더 를 60 ° C 항온 상태 의 박리 액 조성물 에 300 rpm 스터링 조건 하 에서 2 중량 % 을 투입 하 여 20 분 간 스터링 하 여 용해 시킨 후 , 10 마이크 로 필터 ( 기공 이 10 ㎛ 인 PTFE ) 를 통과 시켜 용해 력 을 평가 하 였 다 . 포토레지스트 2 중량 % 가 20 분 내 에 완전히 용해 되 어 필터링 후 잔량 이 측정 되 지 않 은 경우 100 % 로 하 고 , 높 은 값 을 가질수록 많 은 양 의 포토레지스트 를 녹일 수 있 어 처리 매수 가 높 다고 할 수 있 다 . 용해 력 은 다음 식 에 의해 계산 될 수 있 다 .