상기 분 진막 이 수단 ( 70 ) 은 하우징 ( 40 ) 의 상부 에 퍼지 가스 ( purge gas ) ( 75 ) 가 유입 되 도록 형성 된 퍼지 가스유 입구 ( 74 ) 와 , 상기 퍼지 가스유 입구 ( 74 ) 로 유입 된 퍼지 가스 ( 75 ) 가 배출 되 도록 하우징 ( 40 ) 의 하부 에 형성 된 퍼지 가스 배출구 ( 76 ) 를 포함 한다 .