두께 측 정부 ( 10 ) 는 , 촬상부 ( 19 ) 에 의한 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 방향 의 형상 의 검출 결과 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 방향 의 크기 인 웨이퍼 직경 을 측정 할 수 있 다 . 또한 , 두께 측 정부 ( 10 ) 는 , 촬상부 ( 19 ) 에 의한 웨이퍼 ( 200 ) 의 중심 의 검출 결과 및 직경 방향 의 형상 의 검출 결과 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 중심 위치 맞춤 및 방향 위치 맞춤 을 실시 한다 .