SiO 2 , SiC , SiN , SiOC , SiNO , SiCNO , 및 SiCN 재료 들 이 다양 한 방법 들 , 예컨대 CVD , PECVD 및 ALD 를 사용 하 여 증착 될 수 있 다 . 증착 은 실리콘 - 함유 전구체 와 반응 물질 ( 예 를 들 어 , 산소 - 함유 반응 물질 , 질소 - 함유 반응 물질 , 또는 탄소 - 함유 반응 물질 ) 간 의 반응 을 포함 할 수 있 다 . 다양 한 실리콘 - 함유 전구체 들 실란 , 테트라 알킬 실란 들 , 트리 알킬 실란 들 , TEOS ( tetraethylorthosilicate ) , 등 을 포함 하 는 이 들 재료 들 의 증착 을 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , SiO 2 는 실리콘 - 함유 전구체 로서 TEOS 또는 실란 을 사용 하 여 증착 될 수 도 있 다 .