이어서 , 도 8 을 참조 하 면 , 제 3 절 연막 ( 130 ) 을 스 페이서 ( 230 ) , 마스크 패턴 ( 220 ) 및 제 2 절 연막 ( 120 ) 상 에 증착 한다 . 제 3 절 연막 ( 130 ) 은 화학 기계 적 평탄 화 ( CMP ) 또는 에치 백 등 의 공정 으로 평탄 화 할 수 있 다 . 제 3 절 연막 ( 130 ) 은 제 1 절 연막 ( 110 ) 또는 제 2 절 연막 ( 120 ) 과 실질 적 으로 동일 한 물질 로 형성 될 수 있 다 .