전체 적 으로 공기 의 유동 ( F ! ~ F 10 ) 을 보 면 송풍 팬 ( 113 ) 에 의해 제공 되 는 양 압 챔버 ( 1106 ) 의 높 은 공기압 에 따른 기본 적 인 흐름 은 양 압 챔버 ( 106 ) 에서 작업 챔버 ( 105 ) 로 의 F 1 , 작업 챔버 ( 105 ) 로부터 음압 챔버 ( 107 ) 로 의 흐름 F 2 , 음압 챔버 ( 107 ) 로부터 양 압 챔버 ( 106 ) 로 의 회귀 를 위한 순환 덕트 에서 의 흐름 F 4 , F 6 , F 7 로 나눌 수 있 다 . 여기 에서 F 4 의 흐름 은 오염 공기 의 흐름 이 며 , F 6 는 제 2 필터 ( 112 ) 에 의해 1 차 정화 된 공기 의 흐름 이 며 , F 7 는 양 압 챔버 ( 106 ) 로 유입 되 는 흐름 이 다 .