상기 마스크 패턴 ( 110 ) 은 서로 평행 하 게 배치 되 는 2 개 의 연결 라인 ( L 2 ) 을 수직 방향 으로 연결 시키 는 라인 형상 을 갖 는다 . 이 때 , 상기 마스크 패턴 ( 110 ) 은 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 상부 를 덮 지 않 도록 형성 되 어야 한다 . 상기 제 1 갭 ( 108 a ) 은 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 에 의해 이미 분리 가 되 어 있 으나 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 은 상기 연결 라인 ( L 2 ) 에 의해 이웃 하 는 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 과 접촉 되 어 있 다 . 그러므로 , 상기 마스크 패턴 ( 110 ) 을 사용 하 여 상기 연결 라인 ( L 2 ) 이 분리 되 도록 하 여야 한다 .