잉여 부분 제거 단계 ( ST 17 ) 에서 는 , 다음 에 , 잉여 부분 제 거부 ( 110 ) 가 , 도 11 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 테이블 ( 111 ) 에 의해 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 외연 에 따라 연직 방향 의 하방 에 , 수지 ( 302 ) 를 향해 커터 ( 112 ) 로 칼자국 을 낸다 . 잉여 부분 제거 단계 ( ST 17 ) 에서 는 , 그 후 , 잉여 부분 제 거부 ( 110 ) 가 , 수지 ( 302 ) 를 향해 칼자국 을 낸 상태 의 커터 ( 112 ) 를 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 외연 에 따라 원주 방향 으로 이동 시키 는 것 으로 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 을 절제 ( 切除 ) 한다 . 또한 , 잉여 부분 제거 단계 ( ST 17 ) 에서 는 , 미리 커터 ( 112 ) 를 , 수지 ( 302 ) 를 초과 하 여 시트 ( 92 ) 까지 칼자국 을 내 는 것 에 의해 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 의 절제 에 맞추 어 , 시트 ( 92 ) 의 잉여 부분 도 한 번 에 절제 할 수 있 다 . 또한 , 잉여 부분 제거 단계 ( ST 17 ) 에서 는 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 이 없 는 경우 라도 , 시트 ( 92 ) 의 잉여 부분 의 절제 를 위해 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .