예 를 들 면 유리 기판 ( G ) 가 레지스 트 도포 처리 유 니트 ( 24 ) 의 스테이지 ( 70 ) 상 에 반송 되 기 전 에 , 도 2 에 나타나 는 바 와 같이 노즐 ( 80 ) 이 대기 부 ( 91 ) 로부터 회전 롤 ( 90 ) 상 으로 이동해 , 도 5 에 나타나 는 바 와 같이 노즐 ( 80 ) 의 토출구 ( 80 a ) 가 회전 롤 ( 90 ) 의 최 상부 에 근접 된다 . 이 때 회전 롤 ( 90 ) 이 수용 되 고 있 는 프레임 체 ( 110 ) 에서 는 배기구 ( 150 ) 으로부터 약한 배기 가 행해 지 고 프레임 체 ( 110 ) 내 에 는 , 통기구 ( 112 ) 로부터 배기구 ( 150 ) 에 향하 여 완만 한 기류 가 형성 되 고 있 다 .