래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 는 고주파 인가 부 ( 31 ) 로부터 일 방향 ( a ) 을 따라 일정 거리 이격 되게 배치 된다 . 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 에 는 래퍼 런 스 전압 이 인가 되 며 , 특히 본 실시 예 에서 는 접지 되 어 0 ( V ) 의 전압 이 인가 된다 . 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 는 고주파 인가 부 ( 31 ) 와 동일 한 형상 으로 형성 된다 . 즉 , 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 는 평판 형상 으로 이루어지 며 , 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 의 가장자리 는 도 4 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 원주 의 일부 로 형성 되 어 있 다 .