이제 , 도면 을 참조 하 여 본 발명 의 실시 형태 를 설명 할 것 이 다 . 도 1 은 본 발명 의 실시 형태 에 따라 패 터닝 된 하드 디스크 를 제조 하 는 시스템 의 일부 를 예시 한다 . 도 1 에서 , 3 개 의 프로세싱 챔버 ( 100 , 105 및 110 ) 가 도시 되 어 있 지만 , 각 측면 에서 의 3 개 의 점 은 , 임의 의 수 의 챔버 가 사용 될 수 도 있 다는 것 을 나타낸다 . 또한 , 여기 에 3 개 의 특정 한 챔버 가 도시 되 어 있 지만 , 여기 에 도시 된 챔버 배열 이 이용 되 는 것 이 필요 하 지 는 않 다 . 오히려 , 다른 챔버 배열 이 사용 될 수 도 있 으며 , 다른 타입 의 챔버 가 도시 된 바 와 같이 챔버 들 사이 에 개재 될 수 도 있 다 .