상기 기판 ( 10 ) 은 x 방향 과 y 방향 으로 연장 되 는 상면 ( 10 s ) 을 가질 수 있 다 . 상기 기판 ( 10 ) 은 반도체 물질 , 예컨대 Ⅳ 족 반도체 , Ⅲ - Ⅴ 족 화합물 반도체 또는 Ⅱ - Ⅵ 족 화합물 반도체 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , Ⅳ 족 반도체 는 실리콘 , 게르마늄 또는 실리콘 - 게르마늄 을 포함 할 수 있 다 . 상기 기판 ( 10 ) 은 다 결정 실리콘 층 또는 에피 택 셜 층 으로 제공 될 수 있 다 . x 방향 및 y 방향 은 상기 기판 ( 10 ) 의 상기 상면 ( 10 s ) 에 평행 할 수 있 다 . x 방향 및 y 방향 은 서로 수직 교차 할 수 있 다 .