O - 아실 옥심 화합물 로서 는 , N - 벤조일 옥시 - 1 -( 4 - 페닐 술파 닐 페닐 ) 부탄 - 1 - 온 - 2 - 이민 , N - 벤조일 옥시 - 1 -( 4 - 페닐 술파 닐 페닐 ) 옥탄 - 1 - 온 - 2 - 이민 , N - 벤조일 옥시 - 1 -( 4 - 페닐 술파 닐 페닐 ) - 3 - 시클 로 펜틸 프로판 - 1 - 온 - 2 - 이민 , N - 아세 톡 시 - 1 -[ 9 - 에틸 - 6 -( 2 - 메틸 벤조일 ) - 9 H - 카르바졸 - 3 - 일 ] 에 탄 - 1 - 이민 , N - 아세 톡 시 - 1 -[ 9 - 에틸 - 6 -{ 2 - 메틸 - 4 -( 3 , 3 - 디 메틸 - 2 , 4 - 디 옥사 시 클로 펜타닐 메틸 옥시 ) 벤조일 }- 9 H - 카르바졸 - 3 - 일 ] 에 탄 - 1 - 이민 , N - 아세 톡 시 - 1 -[ 9 - 에틸 - 6 -( 2 - 메틸 벤조일 ) - 9 H - 카르바졸 - 3 - 일 ] - 3 - 시클 로 펜틸 프로판 - 1 - 이민 , N - 벤조일 옥시 - 1 -[ 9 - 에틸 - 6 -( 2 - 메틸 벤조일 ) - 9 H - 카르바졸 - 3 - 일 ] - 3 - 시클 로 펜틸 프로판 - 1 - 온 - 2 - 이민 , N - 아세틸 옥시 - 1 -[ 4 -( 2 - 히드록시 에 틸 옥시 ) 페닐 술파 닐 페닐 ] 프로판 - 1 - 온 - 2 - 이민 , N - 아세틸 옥시 - 1 -[ 4 -( 1 - 메틸 - 2 - 메 톡 시 에 톡 시 ) - 2 - 메틸 페닐 ] - 1 -( 9 - 에틸 - 6 - 니트로 - 9 H - 카르바졸 - 3 - 일 ) 메탄 - 1 - 이민 등 을 들 수 있 다 . 이 르 가 큐어 ( 등록 상표 ) OXE 01 , 동 ( 同 ) OXE 02 , 동 OXE 03 ( 이상 , BASF 사제 ) , N - 1919 , NCI - 930 , NCI - 831 ( 이상 , ADEKA 사제 ) 등 의 시판 품 을 이용 해도 된다 . 이 들 의 O - 아실 옥심 화합물 은 , 리소그래피 성능 을 향상 시킬 수 있 는 점 에서 유리 하 다 .