압력 은 전구체 들 중 임의 의 전구체 의 펄스 시간 에 기반 하 여 조정 될 수 있 다 . 예컨대 , 전 구체 의 펄스 시간 을 증가 시키 는 것 은 챔버 내 의 압력 을 증가 시킬 수 있 다 . 압력 은 , 챔버 를 펌핑 함 으로써 물질 의 펄스 에 후속 하 여 감소 될 수 있 거나 , 증가 된 압력 으로 유지 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 수증기 의 펄스 시간 을 증가 시킴 으로써 , 전체 식각 시간 은 영향 을 받 지 않 을 수 있 다 . 그러나 , 공정 처리 구역 내 의 펄스 시간 및 압력 을 증가 시키 는 것 은 금속 함유 물질 상 에 형성 되 는 산화물 층 의 두께 를 증가 시킬 수 있 다 . 예컨대 , 산소 함유 전구체 펄스 시간 을 약 0 . 5 초로 부터 약 2 초 까지 증가 시키 고 압력 이 약 400 mTorr 로부터 약 800 mTorr 까지 증가 될 수 있 게 하 는 것 은 산화물 두께 를 2 nm 넘 게 증가 시킬 수 있 고 , 두께 를 3 nm 넘 게 또는 그 보다 많이 증가 시킬 수 있 다 .