도 2 는 배기 시스템 ( 2 ) 의 최상류 측 에 제공 된 진공 펌프 장치 ( 3 ) 의 일 예 를 도시 하 는 개략 도 이 다 . 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 진공 펌프 장치 ( 3 ) 는 2 개 의 압 축단 을 갖 는 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 2 개 의 압 축단 을 갖 는 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 로 주로 구성 된다 . 펌프 흡기 포트 ( 11 ) 가 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 내 에 제공 되 고 , 펌프 배기 포트 ( 21 ) 가 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 내 에 제공 된다 . 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 의 배기 포트 ( 18 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 흡기 포트 ( 22 ) 는 접속 파이프 ( 23 ) 에 의해 서로 접속 되 어 있 다 .