또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 , 고객 운용 파라미터 와 서비스 파라미터 의 데이터 의 보유 방식 은 여러 종류 생각 될 수 있 다 . 상기 실시 형태 에 있 어서 , 디폴트 파라미터 의 차분 ( 差分 ) 을 고객 운용 파라미터 로서 유지 하 고 있 었 다 . 또한 , 고객 운용 파라미터 의 차분 의 파라미터 를 서비스 파라미터 로서 유지 하 고 있 었 다 . 그러나 , 고객 운용 파라미터 도 서비스 파라미터 도 동일 한 데이터 구조 로 파라미터 군 이 며 , 독립 된 파라미터 군 으로서 정의 되 어 있 어도 좋 다 . 이러 한 경우 , 예 를 들 면 , 최초 에 ( 출하 시 나 , 최초 의 기 동시 에 ) 디폴트 파라미터 의 파라미터 군 의 각 값 이 고객 운용 파라미터 와 서비스 파라미터 에 복사 되 어 있 다고 하 는 상태 이 다 . 그리고 , 서비스 엔지니어 는 서비스 파라미터 를 조정 하 여 서비스 엔지니어 의 반도체 제조 장치 로 여러 종류 의 지시 를 입력 한다 . 반도체 제조 장치 는 이러 한 지시 의 유무 나 내용 에 따라서 조정한 ( 변경 된 ) 서비스 파라미터 의 값 을 고객 운용 파라미터 에 반영 시키 거나 반영 시키 지 않 거나 한다 .