시스템 컨트롤러 ( 195 ) 는 데이터 전송 서브시스템 ( 106 ) 을 이용 하 여 , 제 1 리소그래피 서브시스템 ( 110 ) , 스캐너 서브시스템 ( 115 ) , 제 2 리소그래피 서브시스템 ( 120 ) , 제 3 리소그래피 서브시스템 ( 125 ) , 열처리 서브시스템 ( 130 ) , 검사 서브시스템 ( 135 ) , 에칭 서브시스템 ( 140 ) , 증착 서브시스템 ( 145 ) , 평가 서브시스템 ( 150 ) , 및 재 공정 서브시스템 ( 155 ) 에 연결 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 리소그래피 서브시스템 ( 120 ) 은 ( 침지 후 ) 세정 서브시스템 ( 도시 생략 ) 을 포함 할 수 있 다 .