배기 구멍 ( 204 a ) 은 , 복수 의 웨이퍼 ( 200 ) 와 대향 하 는 위치 ( 바람직 하 게 는 보트 ( 217 ) 의 상부 로부터 하부 와 대향 하 는 위치 ) 에 마련 되 어 있 고 , 가스 공급 구멍 ( 410 a , 420 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 근방 에 공급 된 가스 는 , 수평 방향 , 즉 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 과 평행 방향 을 향해서 흐른 후 , 배기 구멍 ( 204 a ) 을 통해서 배기 로 ( 206 ) 내 에 흐른다 . 즉 , 처리 실 ( 201 ) 에 잔류 하 는 가스 는 , 배기 구멍 ( 204 a ) 을 통해서 웨이퍼 ( 200 ) 의 주면 에 대하 여 평행 하 게 배기 된다 . 또한 , 배기 구멍 ( 204 a ) 은 , 슬릿 상 의 관통 구멍 으로서 구성 되 는 경우 에 한하 지 않 고 , 복수 개 의 구멍 에 의해 구성 되 어 있 어도 된다 .