이 실시 예 에 따른 연마 장치 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 형성 된 노치 부분 의 연마 에 사용 하 기 에 적절 하 다 . 도 14 에 도시 된 바 와 같이 , 이 연마 장치 는 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 과 , 웨이퍼 ( W ) 를 보유 및 회전 하 도록 구성 된 회전 보유 기구 ( 3 ) 를 포함 한다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 과 회전 보유 기구 ( 3 ) 는 하우징 ( 71 ) 내 에 수납 된다 . 하우징 ( 71 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 하우징 ( 71 ) 내외 로 운반 하 는 데 사용 되 는 전달 개구 ( 71 a ) 를 갖 는다 . 셔터 ( 72 ) 는 전달 개구 ( 71 a ) 를 덮 도록 제공 된다 . 하우징 ( 71 ) 은 연마 테이프 교체 에 사용 되 는 작업 창 ( 71 b ) 을 갖 는다 . 셔터 ( 73 ) 는 작업 창 ( 71 b ) 을 폐쇄 하 도록 제공 된다 .