도면 에서 는 , 도 4 에서 나타낸 컨트롤 게이트 ( CG ) ( 1 ) 가 Y 방향 으로 확대 되 어 도시 되 어 있 다 . 즉 , 범위 S 1 ( y 1 ≤ y ≤ y 2 ) 의 부분 만 이 도시 되 어 있 다 . 실제 의 반도체 소자 에 는 , X 방향 으로 보여진 「 도려낸 부분 」 , 「 오목 부분 」 , 「 둥근 부분 」 등 이 Y 방향 에 도 존재 한다 . 이 들 의 형상 은 , 3 차원 화 할 때 의 Y 방향 의 범위 를 미세 하 게 지정 함 으로써 재현 할 수 있 다 .