이동경 ( 41 ) 에 대향 하 여 1 쌍 의 Z 간섭계 ( 43 A , 43 B ) 가 형성 되 어 있 다 ( 도 1 및 도 4 참조 ) . Z 간섭계 ( 43 A , 43 B ) 는 , 이동경 ( 41 ) 을 통해 , 예 를 들 어 투영 유닛 ( PU ) 을 지지 하 는 메인 프레임 ( 도시 생략 ) 에 고정 된 고 정경 ( 47 A , 47 B ) 에 각각 2 개 의 측장 빔 ( B 1 , B 2 ) 을 조사 한다 . 그리고 , 각각 의 반사광 을 수 광 하 여 , 측장 빔 ( B 1 , B 2 ) 의 광로 길이 를 계측 한다 . 그 결과 로부터 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 4 자유도 ( Y , Z , θ y , θ z ) 방향 의 위치 를 산출 한다 .