다음 으로 , 제 어부 ( 89 ) 는 , 증기 밸브 ( 25 ) 를 닫 는 동시 에 , 진공 펌프 ( 39 ) 를 정지 시킨다 . 이때 챔버 ( 11 ) 내 의 감압 이 유지 되 어 , 기판 ( W ) 에 대해 감압 건조 가 계속 적 으로 행해 지 고 있 다 . 그 소정 시간 후 , 불활성 가스 밸브 ( 35 ) 를 개방 하 여 불활성 가스 노즐 ( 19 ) 로부터 불활성 가스 를 챔버 ( 11 ) 내 에 도입 하 는 동시 에 , 호흡 밸브 ( 45 ) 를 개방 하 여 , 챔버 ( 11 ) 내 의 압력 을 대기압 으로 되돌린다 .