이어서 , 공정 챔버 ( 102 ) 에 제 1 프리 코팅 막 을 형성 하 는 단계 ( S 16 ) 가 수행 될 수 있 다 . 제 1 프리 코팅 막 은 저유 전막 과 관련 성 이 있 는 박막 에서 선택 될 수 있 고 , 예 를 들 어 , 저유 전막 이 실리콘 을 포함 하 는 경우 , 제 1 프리 코팅 막 도 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 나아가 , 제 1 프리 코팅 막 은 공정 챔버 ( 102 ) 내 에서 파티클 이 발생 하 는 것 을 억제 하 도록 접착력 ( adhesion ) 및 밀도 가 비교 적 높 은 박막 일 수 있 고 , 예컨대 실리콘 산화 막 ( SiOx ) 을 포함 할 수 있 다 .