도 29 및 도 30 에 도시 된 바 와 같이 , 복수 의 중심 설정 안 내부 ( 165 , centering guide ) ( 이 실시 예 에서 는 4 개 ) 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 를 거쳐 선형 액추에이터 ( 이동 기구 ) ( 67 ) 에 커플링 된다 . 특히 , 중심 설정 안 내부 ( 165 ) 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 의 각각 의 이동 기부 ( 61 ) 의 상부 부분 에 제공 되 어 , 중심 설정 안 내부 ( 165 ) 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 와 함께 선형 액추에이터 ( 67 ) 에 의해 이동 된다 . 따라서 , 중심 설정 안 내부 ( 165 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 를 향한 방향 그리고 웨이퍼 의 주연 부 로부터 멀 어 지 는 방향 으로 선형 액추에이터 ( 67 ) 에 의해 이동 된다 . 중심 설정 안 내부 ( 165 ) 는 수직 으로 연장 하 는 안내 표면 ( 165 a ) 을 각각 갖 는다 . 안내 표면 ( 165 a ) 은 웨이퍼 의 전달 위치 에 위치 되 어 회전식 보유 기구 ( 3 ) 의 회전 축 과 대면 한다 .