참고 적 으로 이오나 이 저 를 소크 챔버 , 테스트 챔버 , 디 소크 챔버 등 과 같이 닫힌 공간 에 설치 함 으로써 반도체 소자 들 로부터 정전기 또는 잔존 전하 를 제거 하 는 방법 도 고려 될 수 있 다 . 다만 , 고가 의 이오나 이 저 보다 는 간단 하 고 설치 성 이 좋 은 전도성 브러시 ( 91 ) 를 이용 한 도 9 의 정전기 또는 잔 존전 하 제 거기 ( 90 ) 가 설치 나 생산 성 면 에서 뛰어나 기 때문 에 더 바람직 하 다 .