그런데 , 이 와 같이 동작 하 는 종래 의 이재 로봇 시스템 은 이재 로봇 ( 120 ) 이 미리 입력 된 이재 위치 ( teaching point ) 에서 이 재 동작 을 반복 하 게 되 는데 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 카세트 ( 100 ) 가 일정 한 위치 에 정확 하 게 안착 되 지 않 고 소정 각도 만큼 틀어지 거나 들뜬 경우 , 또는 이 재 로봇 ( 120 ) 의 열화 , 로봇 암 ( 140 ) 의 떨림 정도 및 소프트웨어 나 하드웨어 적 인 문제 로 인하 여 이 재 위치 가 변경 된 경우 에 , 이 재 동작 을 수행 하 게 되 면 카세트 ( 100 ) 와 이재 위치 가 맞 지 않 게 되 어 기판 이 파손 하 게 되 는 문제점 이 있 다 .