또한 , 지지 판재 ( 82 ) 는 처 리조 ( 40 ) 및 린스 조 ( 51 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 배열 방향 을 따라 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 도 5 에 도시 하 는 예 에 있 어서 , 지지 부재 ( 82 ) 는 모터 등 의 제 2 구동 수단 ( 83 ) 에 접속 되 고 , 이 구동 수단 ( 83 ) 에 의해 이동 하 도록 되 어 있 다 . 이 에 따라 , 처 리조 ( 40 ) 내 및 린스 조 ( 51 ) 내 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 해야 할 위치 의 상방 또는 처 리조 ( 40 ) 내 및 린스 조 ( 51 ) 내 에서 취 출 되 어야 할 웨이퍼 ( W ) 가 수용 되 어 있 는 위치 의 상방 에 , 한 쌍 의 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 사이 에 형성 되 는 개구 ( 88 ) 가 위치 하 도록 할 수 있 다 .