도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 씨 일재 경화 장비 ( 500 ) 는 씨 일재 ( 530 ) 를 사이 에 두 고 합착 된 기판 ( 510 , 520 ) 을 흡착 하 여 고정 하 고 반전 이 가능 한 반전 장치 ( 400 ) 와 , 상기 반전 장치 ( 400 ) 와 일정 한 간격 을 갖 고 수직 방향 으로 UV 를 조사 하 는 UV 조사 장치 ( 600 ) 와 , 상기 반전 장치 ( 400 ) 와 UV 조사 장치 ( 600 ) 사이 에 수직 방향 으로 장착 되 는 마스크 ( 700 ) 를 포함 하 여 구성 되 어 있 다 .