[ 0007 ] 본 개시 내용 의 다른 양상 에 따르 면 , 프로세싱 시스템 에서 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 이송 하 기 위한 이송 시스템 이 제공 된다 . 이송 시스템 은 , 제 1 방향 으로 연장 되 고 그리고 기판 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 을 포함 하 며 , 기판 캐리어 는 기판 표면 을 갖 는 기판 을 홀딩 하 도록 구성 된다 . 또한 , 이송 시스템 은 , 제 1 방향 으로 연장 되 고 그리고 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 을 포함 한다 . 제 1 트랙 및 제 2 트랙 은 기판 표면 과 동일 평면 상 의 평면 에서 오프셋 거리 만큼 오프셋 된다 .