반도체 장치 나 FPD ( Flat Panel Display ) 등 의 전자 기기 의 보급 이 현저 하 다 . 이 와 같 은 전자 기기 를 제조 할 때 에 는 기판 에 금속 막 이나 절 연막 등 의 박막 을 형성 하 기 위해 스퍼터링 장치 나 CVD ( Chemical Vapor Deposition ) 장치 등 의 진공 성막 장치 가 사용 되 고 있 다 .