이때 , 하부 또는 상부 전극 ( 151 , 153 ) 의 전극 재료 로 는 백금 ( Pt ) , 니켈 ( Ni ) , 금 ( Au ) , 알루미늄 ( Al ) , 티타늄 ( Ti ) , IrO 2 , RuO 2 등 이 사용 될 수 있 으며 , 상술 한 전극 재료 의 조합 중 어느 하나 가 사용 될 수 도 있 다 . 하부 또는 상부 전극 ( 151 , 153 ) 은 0 . 01 ~ 3 ㎛ 범위 에서 스퍼터 ( sputter ) 또는 진공 증착 ( evaporation ) 등 의 방법 으 로 형성 할 수 있 다 .