가스 공급 수단 ( 408 ) 은 실란 , 게르만 으로 대표 되 는 반도체 재료 가스 또는 희가스 등 프로세스 에 사용 하 는 가스 가 충전 되 는 실린더 ( 410 ) , 스톱 밸브 ( 411 , 412 ) , 매스 플로 컨트롤러 ( 413 ) 등 으로 구성 되 어 있 다 . 가스 공급 수단 ( 408 g , 408 i , 408 b , 408 n , 408 f ) 은 반응 실 ( 400 a ) 에 접속 된다 .