일 실시 예 에서 , 챔버 ( 402 ) 는 전도성 챔버 벽 ( 430 ) 및 바닥 부 ( 408 ) 를 갖 는 진공 챔버 바디 ( 410 ) 를 포함 한다 . 챔버 벽 ( 430 ) 은 전기 적 접지 ( 434 ) 와 접속 된다 . 리드 ( 470 ) 는 챔버 바디 ( 410 ) 내 에 한정 된 내부 볼륨 ( 478 ) 이 동봉 되 도록 챔버 벽 ( 430 ) 상 에 배치 된다 . 적어도 하나 의 솔레노이드 세그먼트 ( 412 ) 가 챔버 벽 ( 430 ) 외부 에 위치 된다 . 솔레노이드 세그먼트 ( 들 ) ( 412 ) 는 플 라즈 마 프로세스 를 위해 프로세싱 챔버 ( 402 ) 내부 에 형성 된 제어 노브 ( knob ) 를 제공 하 도록 적어도 5 V 를 생성 할 수 있 는 DC 전력 원 ( 454 ) 에 의해 선택 적 으로 활성 화 될 수 있 다 .