이 에 의해 , 각 증발원 ( 23 ) 의 증착 위치 ( 232 ) 를 향하 고 있 는 성막 레이트 측 정부 가 예열 위치 ( 237 ) 를 향하 고 있 는 성막 레이트 측 정부 보다 성막 장치 의 연직 방향 으로 높 은 위치 에 설치 되 며 , 증발원 셔터 ( 26 ) 의 방해 를 받 지 않 고 증발원 ( 23 ) 의 증착 위치 ( 232 ) 에 있 는 도가니 ( 231 ) 로부터 의 증발 레이트 / 성막 레이트 를 높 은 정밀도 로 측정 할 수 있 다 . 각 성막 레이트 측 정부 는 , 대응 하 는 증발원 셔터 ( 26 ) 가 개방 위치 에 있 는 경우 에 도 , 폐쇄 위치 에 있 는 경우 에 도 , 증발 레이트 / 성막 레이트 를 측정 할 수 있 다 .