본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 노광 장치 는 , 노광 광 의 전파 지연 을 산출 하 는 기능 , 노광 광 의 전파 지연 과 주사 속도 에 의거 해 제어 목표치 보정 량 을 산출 하 는 기능 , 및 제 어 목표치 보정 량 에 의거 해 보정 된 새로운 제어 목표치 에 따라 스테이지 를 제어 하 는 제어 기능 을 갖 는다 . 또 , 노광 장치 는 제어 목표치 의 보정 이 가미 된 동기 정밀도 를 산출 하 는 기능 및 주사 중 에 얼라인먼트 계측 에서 얻 은 계측 값 이 빛 의 전파 지연 에 기인 한 보정 을 필요 로 하 는 경우 에 이 계측 값 을 보정 하 는 기능 을 갖 는다 .