상기 제 3 바이패스 부 ( 63 ) 를 통해 , 상기 기화 부 ( 10 ) 에서 기화 된 다이 머 페럴 린 은 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 또는 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 중 에서 선택 하 여 이송 될 수 도 있 고 , 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 에 동시 에 이송 될 수 도 있 다 .