이때 , 상기 고정부 ( 400 ) 의 회전반 경 은 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 의 중심축 ( C ) 과 상기 광원 ( 200 ) 과 의 거리 이 고 , 상기 광원 ( 200 ) 의 회전 중심 은 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 의 중심축 ( C ) 선상 과 동일 하 다 . 따라서 , 상기 광원 ( 200 ) 은 상기 중심축 ( C ) 을 회전 중심 으로 회전 운동 을 할 수 있 다 .