상술 한 바 와 같이 희생 막 ( 114 ) 이 폴리머 를 포함 함 으로써 , 질화물 또는 산화물 을 이용 하 여 형성 된 마스크 보다 그 구조 가 치밀 하 고 단단 하 다 . 따라서 , 후속 되 는 식각 공정 에서 희생 막 ( 114 ) 을 식각 마스크 로 사용 하 는 경우 , 희생 막 ( 114 ) 아래 의 제 1 패턴 들 ( 104 ) 및 제 2 패턴 들 ( 106 ) 이 손상 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .