부연 하 여 , CMP 공정 중 발생 하 는 진동 은 상기 에서 나열 한 연마 헤드 ( 10 ) , 에 어 컴 프레 셔 ( 30 ) 및 진공 펌프 ( 40 ) , 밸브 부 ( 120 ) 뿐 만 아니 라 모터 , 연마 입자 와 웨이퍼 간 마찰 , 연마 입자 와 연마 PAD 간 의 마찰 로부터 도 발생 하 며 , 이 들 다양 한 진동 발생 원 들 로부터 발생 한 진동 은 서로 다른 주파수 와 진폭 을 갖 게 되 는데 , 이 들 은 각각 공 압 진동 을 유발 하 게 되 고 공 압 라인 을 통해서 압력 챔버 ( 11 ) 로 유입 됨 으로써 압력 챔버 내 에 다양 한 주파수 와 진폭 의 공 압 진동 이 동시 에 존재 하 게 되 므로 정밀 한 연마 제어 를 방해 하 는 요소 로 작용 하 고 있 다 .