또한 , 구동 부 ( 20 ) 의 역동작 에 의해 실험 공간 ( 11 ) 이 폐쇄 되 어 실험 공간 ( 11 ) 의 개구부 의 개구 면적 이 최소 화 되 는 경우 , 제 어부 ( 50 ) 는 배기 팬 의 출력 이 최소 화 되 도록 배기 팬 의 동작 을 제어 하 거나 배기구 ( 32 ) 가 최소 로 개방 되 도록 액 츄 에 이터 ( 35 ) 의 동작 을 제어 하 여 배기 부 ( 30 ) 에서 배기 되 는 실험 공간 ( 11 ) 의 공기 배기량 을 최소 로 제어 할 수 있 다 .