이 와 같이 , 반응 후 잔존 하 는 소스 가스 및 반응 가스 등 을 반응 챔버 ( 110 ) 또는 반응 실 ( R ) 의 상부 를 통해 배기 함 으로써 , 소스 가스 와 반응 가스 가 서로 혼합 되 어 파티클 등 의 불순물 이 생기 더라도 이러 한 불순물 에 의해 기판 ( W ) 의 표면 이 손상 되 어 성막 품질 이 저하 되 는 것 을 줄일 수 있 다 .