또한 , 도 25 b 는 , 도 24 의 A - A 에서 본 도면 이 다 . 도 25 b 에 있 어서 , 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 은 , 캐리어 ( C ) 를 2 단 이상 으로 보관 할 수 있 도록 , 상하 2 단 이상 으로 구성 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 도 25 b 에 있 어서 , 도 25 a 에서 설명 한 4 개 의 오프너 ( 11 ~ 14 ) 를 나타내 고 있 다 . 본 실시 예의 캐리어 버퍼 장치 ( 101 ) 의 측면 은 , 벽 으로 둘러싸여 있 어도 된다 . 또한 , 5 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 , B 1 , B 2 ) 은 각각 , 포토레지스트 막 을 형성 하 고 있 었 지만 , 다른 막 ( 예 를 들 면 반사 방지 막 ) 을 형성 해도 된다 . 5 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 , B 1 , B 2 ) 은 각각 , 현상 처리 또는 세정 처리 를 행해도 된다 .