도 3 은 비 교예 1 의 TEM 및 EDX 분석 이미지 , 도 4 a 는 비 교예 2 의 TEM 및 EDX 분석 이미지 , 도 4 b 는 비 교예 2 의 SIMS 측정 결과 , 도 5 a 는 실시 예 1 의 TEM 및 EDX 분석 이미지 , 도 5 b 는 실시 예 1 의 SIMS 측정 결과 이 다 . 상기 도 3 , 4 a 및 5 a 에서 TEM 이미지 내 의 흰색 , 빨간색 , 노란색 선 은 각각 Ge , O , Ti 를 나타내 는 EDX 측정 결과 이 다 . 상기 도 4 a 으로부터 확인 할 수 있 는 바 와 같이 , TiO 2 를 증착 하 고 산화 를 진행 한 비 교예 2 의 경우 에 도 , TiO 2 층 아래 GeO 2 가 제대로 성장 한 것 을 확인 할 수 있 었 다 .