또한 , 제조 장치 등 의 배기 시스템 에서 , 반응 생성물 이 진공 펌프 , 배기 가스 처리 장치 , 접속 파이프 등 에 분말 형태 로 부착 된다 . 따라서 , 몇몇 경우 에 , 세정 가스 가 배기 시스템 의 각각 의 장치 를 세정 하 도록 제조 장치 로부터 각각 의 장치 로 유동 하 게 된다 . 이 경우 에 , 통상 적 으로 , 세정 가스 는 작동 경험 으로부터 축적 된 데이터 에 기초 하 여 배기 시스템 을 세정 하 도록 유동 되 어 왔 다 . 따라서 , 배기 시스템 은 적절 한 시간 에 세정 되 지 않 았 다 . 세정 의 타이밍 이 지연 되 는 경우 에 , 파이프 의 폐색 또는 진공 펌프 의 정지 가 분말 에 기인 하 여 발생 하 고 , 세정 의 타이밍 이 이른 경우 에 , 세정 가스 의 소비 의 낭비 가 된다 .