그 후 , 승강 캡 부 ( 560 ) 의 상하 승강 및 회동 부재 ( 580 ) 의 제 2 실린더 ( 597 ) 승강 노드 를 상승 구동 시키 면 힌지 축 ( 598 ) 을 중심 으로 회 동바 ( 596 ) 의 단부 에 체결 된 승강 캡 ( 570 ) 이 하강 하 여 상기 탄성 받침 부재 ( 524 ) 에 안치 지지 된 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 눌러 하강 시켜 압 압 한다 . 한편 , 상하 승강 및 회동 부재 ( 580 ) 의 제 1 실린더 ( 591 ) 승강 노드 를 추가 로 상승 구동 시켜 승 강바 ( 590 ) 가 하강 하 면서 승 강바 와 체결 고정 된 승강 캡 부 ( 560 ) 의 승강 캡 ( 570 ) 이 하강 하 여 상기 탄성 받침 부재 ( 524 ) 에 안치 지지 된 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 눌러 하강 시켜 압 압 되 도록 제어 할 수 있 다 .