대물 렌즈 ( 416 ) 는 하프 미러 ( 415 ) 와 제 2 레티 클 스테이지 ( 412 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 대물 렌즈 ( 416 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 레티 클 ( R ) 의 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 에 조사 할 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 에 포 커싱 될 수 있 다 . 또한 , 포 커싱 된 레이저 빔 ( 413 ) 은 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 으로부터 반사 되 어 대물 렌즈 ( 416 ) 에 제공 될 수 있 다 . 대물 렌즈 ( 416 ) 는 반사 된 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 하프 미러 ( 415 ) 에 제공 할 수 있 다 . 하프 미러 ( 415 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 접안 렌즈 ( 418 ) 에 투과 할 수 있 다 .