본 실시 예 에 따른 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 에 있 어서 는 , 외주 코일 ( 81 ) 의 부근 에 는 단면 형상 이 L 자형 인 외주 요크 ( 82 ) 가 외주 코일 ( 81 ) 을 둘러싸 도록 배치 되 어 있 다 . 또한 , 외주 요크 ( 82 ) 의 내측 에 는 미들 코일 ( 83 ) 과 , 미들 코일 ( 83 ) 을 둘러싸 도록 단면 이 ㄷ 자형 인 미들 요크 ( 84 ) 가 배치 되 어 있 다 . 단면 형상 이 L 자형 인 외주 요크 ( 82 ) 와 단면 이 ㄷ 자형 인 미들 요크 ( 84 ) 는 , 서로 접촉 하 지 않 도록 배치 되 어 있 다 .