또한 , 본 실시 예 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 에 화학 적 연마 및 기계 적 연마 를 실시 하 는 대신 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 에 세라믹 의 경도 보다 도 낮 은 경도 를 가진 막 을 마련 한다 . 이 경우 에 , 탑 재면 의 미세 한 볼록 부를 접촉면 에 확실히 박히 게 하 여 제거 할 수 있 고 , 이 로 인해 보다 확실 하 게 탑 재면 을 평활 한 모양 으로 할 수 있 다 .