본 실시 형태 에 관한 편심 을 없애 는 프로그램 은 , 이 재 장치 ( 30 ) 에 지시 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 배치 위치 ( 티칭 포지션 ) 를 후술 하 는 바 와 같이 최적 화 하 는 것 이 다 . 이 재 장치 ( 30 ) 는 지시 된 티칭 포지션 에 따라서 , 지지 아암 ( 33 ) 을 전후 방향 및 회전 방향 으로 조금 씩 이동 시켜 웨이퍼 ( W ) 를 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 의 지지 부 ( 84 ) 상 에 배치 한다 .