단계 125 에서 , 제 1 종 을 기판 에 주입 하 는 경우 에 대한 제 1 세트 의 주입 파라 메터 가 선택 된다 . 이온 주입 장치 의 자석 과 다른 구성 요소 역시 주입 할 도 펀트 의 소망 하 는 질량 과 에너지 를 선택 하 기 에 적절 할 수 있 게 재 조정 될 수 있 다 ( 예컨대 이온 주입 장치 의 가속 전압 및 자기장 이 조정 될 수 있 음 ) . 선택 되 는 특정 주입 파라 메터 는 기판 에서 의 소망 하 는 농도 및 주입 깊이 , 주입 할 종 , 사용 되 는 소스 가스 및 다른 요인 을 포함 하 는 많 은 요인 에 따라 변할 수 있 다 . 탄소 가 주입 할 제 1 종 이 고 , CH 4 소스 가스 가 컨테이너 ( 52 ) 에 포함 되 는 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 주입 에 너지 는 대략 10 내지 500 나노미터 의 깊이 에서 대략 1014 내지 1015 이온 / ㎠ 의 기판 에서 의 농도 를 얻 기 위해 1 내지 50 keV 값 을 갖 도록 선택 될 수 있 다 .