제 3 고 신뢰 도 웨이퍼 세트 는 , 1 c ) S - D 현상 프로시저 시 에 하나 이상 의 현상 종속 적 사이트 로부터 S - D 신뢰도 ( 맵 핑 ) 데이터 를 획득 하 는 단계 와 , 2 c ) 제 2 고 신뢰 도 웨이퍼 세트 의 각 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰도 ( 맵 핑 ) 데이터 를 , 하나 이상 의 현상 종속 적 사이트 에 대해 확립 된 하나 이상 의 신뢰도 ( 맵 핑 ) 요건 에 비교 하 는 단계 , 및 3 c ) 제 1 현상 관련 신뢰도 ( 맵 핑 ) 요건 이 충족 하 면 제 2 고 신뢰 도 웨이퍼 세트 내 의 웨이퍼 를 제 3 고 신뢰 도 웨이퍼 세트 내 의 멤버 로서 식별 하 는 단계 에 의해 확립 될 수 있 다 .