메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 후 , 제 1 제어 형태 에서 는 처리 중 인 로트 의 모든 웨이퍼 ( 200 ) 가 완료 될 때 까지 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 의 기판 처리 를 계속 하 지만 , 제 2 제어 형태 에서 는 처리 중 인 로트 에서 의 미처리 웨이퍼 ( 200 ) 의 매수 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 계속 해서 수행 하 는 기판 처리 의 처리 매수 를 결정 한다 .