본 발명 의 실시 예 들 에 따른 하드 마스크 용 조성물 은 카바졸 계열 화합물 및 비페닐 올 계열 화합물 을 사용 하 여 형성 된 중축 합체 를 포함 할 수 있 다 . 고 탄소 함량 을 갖 는 상기 카바졸 계열 화합물 로부터 하드 마스크 의 내 에칭 성 과 같 은 기계 적 강도 를 향상 시킬 수 있 으며 , 상기 비페닐 올 계열 화합물 로부터 상기 중축 합체 의 용해 성 , 및 조성물 의 코팅 성 을 확보 할 수 있 다 .