도 3 , 도 4 를 참조 한다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , ID 블록 ( 인 덱 서 블록 ) ( 2 ) , 제 1 처리 블록 ( 3 ) , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 및 캐리어 버퍼 장치 ( 8 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) , ID 블록 ( 2 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , 이 순서 로 수평 방향 으로 직선 형상 으로 연결 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 은 , ID 블록 ( 2 ) 에 대하 여 수평 방향 ( X 방향 ) 으로 연결 되 어 있 다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , ID 블록 ( 2 ) 을 끼워 넣 도록 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 반대 측 에 배치 되 어 , ID 블록 ( 2 ) 에 연결 되 어 있 다 .