도 1 ( A ) 에서 , 노광 마스크 ( 400 ) 는 , Cr 등 의 금속 막 으로 이루어지 는 차 광부 ( 401 b ) 와 , 광 강도 저감 기능 을 가지 는 보조 패턴 으로서 , 슬릿 이 설치 된 반투 과부 ( 401 a ) 가 설치 되 어 있 다 . 노광 마스크 ( 400 ) 의 단면도 에서 , 차 광부 ( 401 b ) 의 폭 을 t 2 라고 나타내 고 , 반투 과부 ( 401 a ) 의 폭 을 t 1 과 t 3 이 라고 나타낸다 . 여기 에서 는 노광 마스크 의 일부 로서 그레이 톤 를 사용 한 예 를 나타냈 지만 , 반투막 을 사용 하 는 하프톤 을 사용 해도 좋 다 .