그 후 , 도 5 a 내지 5 i 에 의해 내부 에 프로브 팁 부 ( 226 ) 가 형성 된 희생 기판 ( 200 ) 을 도 4 a 내지 도 4 f 에 의해 프로브 몸 체부 ( 113 ) 가 형성 된 기판 ( 100 ) 상부 에 정렬 시킨다 . 이때 , 프로브 팁 부 ( 226 ) 가 프로브 몸 체부 ( 113 ) 의 영역 중 대응 하 는 영역 에 위치 하 도록 희생 기판 ( 200 ) 과 기판 ( 100 ) 의 위치 를 정렬 한다 .