도 1 b 를 참조 하 면 , 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 위 에 제 1 마스크 층 ( 130 ) 을 형성 한다 . 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 은 폴리 실리콘 막 , 또는 SiON , SiN , SiBN , BN 등 과 같 은 질화 막 으로 이루어질 수 있 다 . 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 이 질화 막 으로 이루어진 경우 , 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 은 산화 막 또는 폴리 실리콘 막 으로 이루어질 수 도 있 다 .