구체 적 으로 , 반송 메커니즘 의 엔드 이펙터 는 레벨 링 센서 ( 300 ) 를 지지 한 상태 에서 챔버 ( 20 ) 내부 의 기판 플레이트 상부 로 슬라이딩 할 수 있 다 . 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 은 상승 하 여 레벨 링 센서 ( 300 ) 를 지지 하 고 , 상기 엔드 이펙터 는 후퇴 할 수 있 다 .