하나 의 예시 적 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 장치 는 , 다른 전원 장치 를 더 구비 하 고 있 어도 된다 . 다른 전원 장치 는 , 기판 의 전위 가 0 이상 인 기간 에 있 어서 에지 링 의 전위 를 기판 의 전위 보다 높 은 전위 로 설정 하 도록 , 기판 의 전위 가 0 이상 인 그 기간 에 있 어서 에지 링 에 양극 성 의 전압 을 인가 하 도록 구성 되 어 있 다 .