도 9 는 피검 광학계 ( TOS ) 의 상면 에 형성 되 는 측정 패턴 ( 210 ) 의 투영 상 의 광 강도 분포 ( 단면 ) 를 도시 한 그래프 이 다 . 측정 패턴 ( 210 ) 의 투영 상 에 대해서 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 를 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 으로 이동 시키 면서 , 광량 센서 ( 340 ) 를 사용 하 여 측정 패턴 의 투영 상 에 관한 광량 을 측정 함 으로써 , 도 9 에 도시 된 바 와 같 은 광 강도 분포 를 얻 을 수 있 다 . 측정 패턴 ( 210 ) 의 차 광부 ( 212 ) 에 의 해 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 를 차광 하 는 영역 에서 의 광량 을 E 1 로 놓 는다 . 광량 ( E 1 ) 은 측정 패턴 ( 210 ) 에 대응 하 는 로컬 플레어 의 강도 에 상당 한다 . 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 를 측정 패턴 ( 210 ) 의 차 광부 ( 212 ) 에 의해 차광 하 지 않 는 영역 에서 의 광량 을 E 2 로 놓 는다 . 그러면 , 로컬 플레어 율 은 E 1 / E 2 × 100 [ %] 로 주어질 수 있 다 . 단 , 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 의 방향 이 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 의 방향 과 정확 하 게 일치 하 지 않 으면 , 광량 ( E 1 ) 을 정확 하 게 측정 할 수 없 다 . 예 를 들 면 , 측정 패턴 ( 210 ) 의 차 광부 ( 212 ) 가 개구부 ( 322 ) 의 길 이 방향 으로 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 로부터 어긋나 있 는 경우 에 는 , 광량 ( E 1 ) 은 실제 값 보다 큰 측정값 을 갖 는다 . 이 경우 에 , 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 또는 차광판 ( 320 ) ( 개구부 ( 322 ) ) 을 이동 시키 면서 광량 ( E 1 ) 을 측정 해서 , 그 최소치 를 채용 한다 .