방전 램프 유닛 ( 101 X ) 은 , 방전 램프 로서 메탈 핼 라이드 램프 를 갖 고 있 다 . 이러 한 방전 램프 는 , 온 된 직후 는 광 강도 가 안정 되 지 않 으며 , 예 를 들 면 , 안정 화 에 20 분 정도 를 필요 로 한다 . 따라서 , 광 조사 의 온 오프 의 단시간 으로 의 전환 을 위해 방전 램프 자체 를 단시간 에 온 오프 하 는 것 은 바람직 하 지 않 고 , 그 목적 을 위해 셔터 ( 151 ) 가 이용 된다 . 셔터 는 구동 부 ( 152 ) 에 의해 구동 되 고 , 그 때 의 마찰 에 의해 발진 이 발생 할 수 있 다 . 이 발진 에 의해 기판 ( 800 ) 이 오염 되 는 경우 가 있 다 .