가이드 부 ( 230 ) 는 이송 되 는 기판 , 특히 고속 반송 되 는 기판 등 과 의 충돌 에 의해 회전 암 ( 240 ) 에 규정 치 이상 의 회전 이 발생 됨 으로써 , 브라 켓 ( 210 ) 의 소정 위치 등 에 얹혀 지 는 등 의 상황 이 발생 되 어 회전 암 ( 240 ) 이 더 이상 작동 되 지 못하 는 상황 을 방지 하 는 기능 을 수행 한다 .