제 1 리니어 트랜스포터 ( 6 ) 와 , 제 2 리니어 트랜스포터 ( 7 ) 와 , 세 정부 ( 4 ) 사이 에 는 스윙 트랜스포터 ( 12 ) 가 배치 되 어 있 다 . 스윙 트랜스포터 ( 12 ) 는 , 제 4 반송 위치 ( TP 4 ) 와 제 5 반송 위치 ( TP 5 ) 사이 를 이동 가능 한 핸드 를 갖 고 있 다 . 스윙 트랜스포터 ( 12 ) 는 , 제 1 리니어 트랜스포터 ( 6 ) 로부터 제 2 리니어 트랜스포터 ( 7 ) 로 웨이퍼 를 전달 한다 . 웨이퍼 는 , 제 2 리니어 트랜스포터 ( 7 ) 에 의해 제 3 연마 유닛 ( 3 C ) 및 제 4 연마 유닛 ( 3 D ) 중 적어도 한쪽 으로 반송 된다 . 연 마부 ( 3 ) 에서 연마 된 웨이퍼 는 스윙 트랜스포터 ( 12 ) 를 경유 하 여 세 정부 ( 4 ) 로 반송 된다 .