도 7 f 를 참조 하 면 , 각층 에 형성 된 도전 층 들 ( 712 a ~ 712 d ) 을 분리 하 여 한 쌍 의 워드 라인 들 을 정의 하 기 위해 , 절연 층 들 ( 710 a ~ 710 e ) 및 도전 층 들 ( 712 a ~ 712 d ) 의 일부분 을 식각 하 여 트렌치 ( 716 ) 를 형성 한다 . 트렌치 ( 716 ) 를 제 1 및 제 2 수직 채널 층 ( 730 a , 730 b ) 사이 에서 라인 형태 로 형성 되 며 , 비트 라인 방향 과 교차 하 는 방향 으로 형성 된다 .