종래 의 CVD 기술 과 대비 하 여 , ALD 기술 을 적용 한 본 발명 에 따른 실시 예 들 의 개선 효과 를 SEM ( scanning electron microscopy ) 으로 확인 할 수 있 다 . CVD 기술 을 사용 하 여 형성 한 Ti 막 표면 의 SEM 사진 의 경우 , 상기 Ti 막 표면 의 곳곳 에 패인 곳 이 드러난다 . 이 와 같이 불량 한 모 폴 로 지 는 상기 Ti 막 단면 의 SEM 사진 에서 도 표면 의 요철 형상 을 통하 여 관찰 될 수 있 다 . 이 에 반하 여 , ALD 기술 을 적용 한 본 발명 의 실시 예 에 따른 Ti 막 의 경우 , 표면 SEM 사진 이나 단면 SEM 사진 모두 에서 상기 Ti 막 이 균일 한 모 폴 로지 를 가지 는 것 을 관찰 할 수 있 다 .