데이터 선 ( 171 ) , 드레 인 전극 ( 175 ) 및 고립 된 금속편 ( 178 ) 은 몰리브덴 , 크롬 , 탄 탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 ( refractory metal ) 또는 이 들 의 합금 으로 만들 어 지 는 것 이 바람직 하 며 , 내화성 금속 막 ( 도시 하 지 않 음 ) 과 저 저항 도전 막 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 포함 하 는 다 중막 구조 를 가질 수 있 다 . 다 중막 구조 의 예 로 는 크롬 또는 몰리브덴 ( 합금 ) 하 부막 과 알루미늄 ( 합금 ) 상부 막 의 이 중막 , 몰리브덴 ( 합금 ) 하 부막 과 알루미늄 ( 합금 ) 중간막 과 몰리브덴 ( 합금 ) 상부 막 의 삼 중막 을 들 수 있 다 . 그러나 데이터 선 ( 171 ) , 드레 인 전극 ( 175 ) 및 고립 된 금속편 ( 178 ) 은 이외 에 도 여러 가지 다양 한 금속 또는 도전체 로 만들 어 질 수 있 다 .