상기 표준 신호 발생기 ( 51 ) 는 고정 전압 을 발생 시키 기 위해 고정 주파수 를 가진 신호 를 출력 하 며 , 100 ㎑ 이상 의 주파수 를 가진 표준 신호 를 발생 시킨다 . 예 를 들 면 13 . 56 MHz , 27 . 12 MHz , 54 . 24 MHz 및 2 . 45 GHz 중 의 어느 하나 의 주파수 를 가진 신호 를 발생 시킨다 . 상용 고주파 발생 용 표준 신호 발생기 는 13 . 56 MHz 주파수 를 발생 시키 는 것 이 일반 적 이 며 , 실제 박막 증착 공정 에 도 많이 사용 되 고 있 다 .