복수 의 전기자 코일 ( 57 ) 은 , 정반 ( 12 ) 의 상면 을 구성 하 는 평판 모양 부재 ( 58 ) 에 의해 덮인다 . 평판 모양 부재 ( 58 ) 의 상면 은 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) ( 및 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) ) 의 이동 가이드 면 및 에 어 슬라이더 ( 54 ) 가 구비 하 는 에어 베어링 으로부터 의 가압 공기 의 수압 면 ( pressure receiving surface ) 을 구성 한다 .