여기 서 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 264 a ) 은 제 1 영역 의 기판 상 에 형성 되 며 , 끊어진 3 개 의 제 1 라인 패턴 및 끊어진 제 1 라인 패턴 과 이웃 하 는 제 2 라인 패턴 을 형성 하 기 위한 것 이 다 . 또한 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 264 b ) 은 제 2 영역 의 기판 상 에 형성 되 며 , 끊 어 지 지 않 고 연장 되 는 제 3 라인 패턴 들 을 형성 하 기 위한 것 이 다 .