스테이지 장치 ( 1050 ) 는 , 도 42 에 도시 된 바 와 같이 , 베이스 반 ( 12 ) 상 에 배치 된 2 개 의 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 시스템 ( 200 ) ( 도 47 참조 ) , 및 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 구동 하 는 스테이지 구동 계 ( 124 ) ( 도 47 참조 ) 등 을 구비 하 고 있 다 . 계측 시스템 ( 200 ) 은 , 도 47 에 도시 된 바 와 같이 , 간섭계 시스템 ( 118 ) , 인코더 시스템 ( 150 ) 및 면 위치 계측 시스템 ( 180 ) 등 을 포함 한다 .