한편 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 상기 인 장력 을 갖 는 비트 라인 텅스텐 막 , 압축력 을 갖 는 하드 마스크 질화 막 및 인 장력 을 갖 는 하드 마스크 텅스텐 막 들 의 상기 각 스트레스 는 후속 의 열 공정 및 클리닝 공정 을 거치 면서 도 3 에 도시 된 바 와 같이 각각 강한 압축력 , 약한 인장 력 및 강한 압축력 의 스트레스 로 바뀌 게 되 어 상기 막 들 의 필름 의 계면 이 취약 해 지 게 됨 에 따라 도 4 에 도시 된 바 와 같이 SPP ( SNC Poly Plug ) 브릿지 ( bridge ) 를 유발 하 게 된다 .