이것 에 의하 면 , 스케일 에 대향 하 는 2 차원 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 이 동체 의 제 1 및 제 2 방향 을 포함 하 는 소정 평면 내 의 적어도 2 자유 도 방향 의 위치 정보 가 산출 되 고 , 그 계측 시스템 에 의해 산출 된 위치 정보 에 기초 하 여 이 동체 가 소정 평면 을 따라 구동 된다 . 따라서 , 이 동체 의 이동 범위 전역 에 대응 하 여 스케일 ( 격자 ) 을 배치 하 지 않 고 , 이 동체 의 이동 범위 전역 에서 , 계측 시스템 의 계측 값 에 기초 하 여 , 이 동체 를 소정 평면 을 따라 양호 한 정밀도 로 구동 할 수 있 게 되 고 , 나아가 서 는 , 이 동체 에 유지 된 물체 에 대한 고 정밀 한 노광 이 가능 해진다 .