이 어 , 상기 제 2 이 송암 ( 50 ) 에 의해 상기 제 2 블 레이트 ( 60 ) 를 상기 프레임 ( 200 ) 의 외부 로 이송 시킨다 . 이 어 , 상기 제 2 회 전척 ( 620 ) 을 이용 하 여 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 중 상면 의 중심 을 고정 한다 . 이 어 , 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 의 제 2 정열 홈 ( 42 ) 을 상기 제 2 얼라 인부 ( 600 ) 의 제 2 센서 ( 610 ) 를 통해 감지 한다 . 만약 , 상기 제 2 정열 홈 ( 42 ) 이 감지 되 지 않 을 경우 에 는 이 와 연결 된 상기 제 2 회 전척 ( 620 ) 을 이용 하 여 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 연속 적 으로 회전 시키 면서 다시 상기 제 2 정열 홈 ( 42 ) 을 감지 한다 .