도 4 는 층류 반응기 에서 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 에 의해 증착 된 PEALD 산화 규소 막 의 TEM 이미지 를 제공 한 것 으로서 , 이 는 단차 피복 ( step coverage ) 이 우수 하 고 , 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 이 고정 기 ( anchoring group ) 를 갖 고 있 는 바 PEALD 산화 규소 에 대한 양호 한 전구체 일 수 있 음 을 나타낸다 .