기판 으로부터 적층 방향 을 향해 관찰 하 면 도 11 에 도시 되 는 바 와 같 은 형상 을 갖 는 트레일 링 실드 층 ( 14 ) 은 , 예컨대 부상 면 ( 20 ) 의 폭 ( WA ) 이 24 . 0 ㎛ 이 고 , 코너 부 ( AR ) 와 , 코너 부 ( BR ) 로부터 부 상면 ( 20 ) 에 그은 수선 이 부 상면 ( 20 ) 과 교차 하 는 부분 ( BR ') 과 의 거리 ( WAR ) , 및 코너 부 ( AL ) 와 , 코너 부 ( BL ) 로부터 부 상면 ( 20 ) 에 그은 수선 이 교차 하 는 부분 ( BL ') 과 의 거리 ( WAL ) 가 각각 15 . 0 ㎛ 이 고 , 부상 면 ( 20 ) 과 높이 면 ( 21 ) 과 의 간격 ( L ) 이 5 . 0 ㎛ 이 다 . 또한 코너 부 ( C 2 ) 와 코너 부 ( C 3 ) 와 의 거리 는 18 . 0 ㎛ 이 며 , 코너 부 ( C 2 ) 및 코너 부 ( C 3 ) 로부터 높이 면 ( 21 ) 에 그은 수선 의 길이 ( LCH 1 , 및 LCH 2 ) 는 각각 4 . 85 ㎛ 이 고 , 코너 부 ( C 1 ) 와 , 코너 부 ( C 2 ) 로부터 높이 면 ( 21 ) 에 그은 수 선 이 부상 면 ( 20 ) 과 교차 하 는 부분 과 의 거리 ( LCW 1 ) , 및 코너 부 ( C 4 ) 와 , 코너 부 ( C 3 ) 로부터 높이 면 ( 21 ) 에 그은 수선 이 부 상면 ( 20 ) 과 교차 하 는 부분 과 의 거리 ( LCW 2 ) 는 각각 12 . 0 ㎛ 이 다 .