도금 장치 ( 1 ) 에 는 , 기판 홀더 ( 18 ) 를 기판 ( W ) 과 함께 반송 하 는 기판 홀더 반송 장치 ( 40 ) 가 구비 되 어 있 다 . 기판 홀더 반송 장치 ( 40 ) 는 , 예 를 들 어 리니어 모터 방식 이 며 , 기판 착 탈 부 ( 20 ) 및 상기 각 조 의 측방 에 위치 한다 . 기판 홀더 반송 장치 ( 40 ) 는 , 제 1 트랜스포터 ( 42 ) 및 제 2 트랜스포터 ( 44 ) 를 갖 고 있 다 . 제 1 트랜스포터 ( 42 ) 는 , 기판 착 탈 부 ( 20 ) 와 스토커 ( 24 ) 사이 에서 기판 을 반송 한다 . 제 2 트랜스포터 ( 44 ) 는 , 스토커 ( 24 ) , 프리 웨트 조 ( 26 ) , 프리 소크 조 ( 28 ) , 수세 조 ( 30 a , 30 b ) , 블로 우조 ( 32 ) 및 도금 조 ( 34 ) 와 의 사이 에서 기판 을 반송 한다 . 또한 , 상기 반송 경로 는 , 일례 이 며 , 제 1 트랜스포터 ( 42 ) 및 제 2 트랜스포터 ( 44 ) 각각 은 , 다른 반송 경로 를 채용 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 제 2 트랜스포터 ( 44 ) 를 구비 하 는 일 없이 , 제 1 트랜스포터 ( 42 ) 만 을 구비 하 도록 해도 된다 .