다음 에 , 로드 / 언로 드실 ( 422 ) 의 카세트 에 장전 되 는 기판 을 , 화살 표시 a 1 로 도시 하 는 바 와 같이 , 공 통실 ( 423 ) 의 반송 기구 ( 426 ) 에 의해 반응 실 ( 400 a ) 에 반송 한다 . 다음 에 , 반응 실 ( 400 a ) 에서 , 기판 위 에 게이트 절 연막 , 여기 에서 는 산화 질화규소 막 을 성막 ( S 463 ) 한다 .