본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 가동 액추에이터 로부터 기판 전극 을 전통 적 으로 분리 하 는 종래 의 유전 성 절 연기 가 제거 되 어 있 는 MEMS 스위치 및 스위치 어레이 가 설명 된다 . 본 발명 의 다양 한 실시 예 에 따르 면 , 가동 액추에이터 에 전기 적 으로 결합 되 고 , 가동 액추에이터 와 기판 접점 과 의 접촉 을 허용 하 면서 가동 액추에이터 와 기판 전극 과 의 접촉 을 방지 하 도록 구성 된 도전 성 스토퍼 가 제공 된다 . 도전 성 스토퍼 가 가동 액추에이터 와 기판 전극 과 의 접촉 을 방지 하 기 때문 에 , 종래 의 MEMS 스위치 에 사용 된 유전 성 절 연기 가 제거 될 수 있 어 이 에 의해 바람직 하 지 않 은 전하 축적 의 소스 를 제거 하 고 본 명세서 에 설명 된 MEMS 스위치 의 스탠드오프 전압 을 증가 시킬 수 있 다 . 더욱이 , 가동 액추에이터 와 도전 성 스토퍼 를 전기 적 으로 결합 함 으로써 , 이 들 은 동일 한 전기 전위 에서 유지 될 수 있 어 이 에 의해 종래 의 MEMS 스위치 에서 발생 할 수 있 는 가동 액추에이터 와 도전 성 스토퍼 사이 의 아크 발생 의 가능 성 을 최소 화 할 수 있 다 .