또한 상기 온도 제 어부 ( 23 B ) 의 외측 에 는 , 상기 기판 유지 대 ( 23 ) 의 외주 부를 구성 하 는 외주 부재 ( 23 C ) 가 형성 되 고 , 또한 상기 외주 부재 ( 23 C ) 의 외측 에 는 , 상기 외주 부재 ( 23 C ) 의 측벽 면 및 상면 , 또한 상기 온도 제 어부 ( 23 B ) 의 상면 의 대부분 을 덮 어 커버링 ( 23 D ) 이 마련 되 어 있 다 .