하나 의 특징 에 의하 면 본 발명 은 , 피 처리 기판 표면 에 금속 카보닐 원료 의 기상 분자 를 공급 하 여 상기 피 처리 기판 표면 근방 에서 분해 시킴 으로써 상기 피 처리 기판 표면 에 금속 막 을 퇴적 하 는 성막 방법 으로서 , 상기 피 처리 기판 표면 에 금속 층 을 퇴적 할 때 에 , 상기 피 처리 기판 의 외주 부 에 인접 하 는 영역 에서 상기 금속 카보닐 원료 를 우선 적 으로 분해 시키 는 공정 을 포함 하 고 , 상기 피 처리 기판 외 주부 근방 에서 분위기 중 의 CO 농도 를 국소 적 으로 증대 시켜 , 상기 외주 부로 의 금속 막 의 퇴적 을 억제 하 는 것 을 특징 으로 하 는 성막 방법 을 제공 한다 .