상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명인 슬러리 공급 장치 는 , 연마 액 이 제조 및 보관 되 는 연마 액 탱크 ( 100 ) ; 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 연마 액 제조 에 사용 되 는 원료 와 , 세정 에 사용 되 는 세정 물질 을 공급 하 는 공급 부 ( 200 ) ; 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 에서 제조 된 연마 액 을 이송 하 는 순환 펌프 ( 300 ) ; 상기 순환 펌프 ( 300 ) 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 하 는 제 1 순환 부 ( 400 ) ; 상기 순환 펌프 ( 300 ) 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 피 공급 장치 ( M ) 를 거쳐 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 시키 는 제 2 순환 부 ( 500 ) ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .