제 2 버퍼 로봇 ( 560 ) 은 버퍼 ( 520 ) , 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) , 그리고 에지 노광 챔버 ( 550 ) 간 에 기판 ( W ) 을 운반 한다 . 제 2 버퍼 로봇 ( 560 ) 은 에지 노광 챔버 ( 550 ) 와 버퍼 ( 520 ) 사이 에 위치 된다 . 제 2 버퍼 로봇 ( 560 ) 은 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 과 유사 한 구조 로 제공 될 수 있 다 . 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) 와 에지 노광 챔버 ( 550 ) 는 도포 모듈 ( 401 ) 에서 공정 이 수행 된 기판 들 ( W ) 에 대해 후속 공정 을 수행 한다 . 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) 는 도포 모듈 ( 401 ) 에서 공정 이 수행 된 기판 ( W ) 을 냉각 한다 . 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) 는 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 의 냉각 챔버 ( 350 ) 과 유사 한 구조 를 가진다 . 에지 노광 챔버 ( 550 ) 는 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) 에서 냉각 공정 이 수행 된 기판 들 ( W ) 에 대해 그 가장자리 를 노광 한다 . 버퍼 ( 520 ) 는 에지 노광 챔버 ( 550 ) 에서 공정 이 수행 된 기판 ( W ) 들 이 후술 하 는 전처리 모듈 ( 601 ) 로 운반 되 기 전 에 기판 ( W ) 을 일시 적 으로 보관 한다 . 제 2 냉각 챔버 ( 540 ) 는 후술 하 는 후처리 모듈 ( 602 ) 에서 공정 이 수행 된 기판 들 ( W ) 이 현상 모듈 ( 402 ) 로 운반 되 기 전 에 기판 들 ( W ) 을 냉각 한다 . 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) 은 현상 모듈 ( 402 ) 와 대응 되 는 높이 에 추가 된 버퍼 를 더 가질 수 있 다 . 이 경우 , 후처리 모듈 ( 602 ) 에서 공정 이 수행 된 기판 들 ( W ) 은 추가 된 버퍼 에 일시 적 으로 보관 된 후 현상 모듈 ( 402 ) 로 운반 될 수 있 다 .