또한 바람직 하 게 는 상기 박막 은 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 일 수 있 고 , 상기 제 1 소스 부 에서 공급 되 는 상기 제 1 소스 는 지르코늄 터 셔 리부 톡 사이드 ( ZTB ) , 테트라 키스 에틸 메틸 아미노 지르코늄 ( TEMAZ ) , 테트라 키스 디메틸아미노 지르코늄 ( TDMAZ ) , 테트라 키스 디에 틸 아미노 지르코늄 ( TDEAZ ) , 또는 지르코늄 테트라 염화물 ( Zirconium Tetrachloride ) 일 수 있 다 .