상기 와 같이 상기 촬상부 ( 120 ) 의 위치 를 이동 하 더라도 상기 정렬 마크 ( 12 ) 가 확인 되 지 않 으면 , 알람 부 ( 170 ) 는 알람 을 발생 한다 ( S 200 ) . 상기 알람 이 발생 하 면 , 작업자 는 상기 정렬 마크 검색 공정 을 중단 하 고 상기 정렬 마크 ( 12 ) 가 확인 되 지 않 는 원인 을 파악 한다 . 상기 원인 의 예 로 는 , 상기 대상물 ( 10 ) 의 로딩 불량 또는 상기 대상물 ( 10 ) 의 정렬 마크 ( 12 ) 이상 등 을 들 수 있 다 . 따라서 , 작업자 는 상기 원인 을 제거 하 고 상기 정렬 마크 확인 공정 을 다시 수행 한다 . 또는 , 작업자 가 촬상부 ( 120 ) 를 수동 조작 하 여 정렬 마크 를 바로 확인 할 수 도 있 다 .