그런 다음 , ALD 공정 을 이용 하 여 상기 텅스텐 박막 ( 102 ) 이 형성 된 웨이퍼 ( 100 ) 가 로딩 되 어 있 는 공정 챔버 ( Chamber ) 의 내부 로 WF 6 가스 를 주입 하 고 , 퍼지 공정 을 진행 한 후 , 환원 가스 인 B 2 H 6 가스 를 챔버 내부 로 주입 하 여 비정질 텅스텐 핵 생 성층 ( 104 ) 을 형성 한다 .