처리 액 공급 기구 ( 4 ) 는 2 개 의 소수 화제 공급 유닛 ( 16 , 17 ) 과 , 용제 밸브 ( 18 ) ( 용제 공급 유닛 ) 가 개재 된 용제 공급 배관 ( 19 ) 과 , 린스 액 밸브 ( 20 ) 가 개재 된 린스 액 공급 배관 ( 21 ) 을 포함 한다 . 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 은 각 소수 화제 공급 유닛 ( 16 , 17 ) , 용제 공급 배관 ( 19 ) , 및 린스 액 공급 배관 ( 21 ) 에 접속 되 어 있 다 . 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 16 ) ( 소수 화제 공급 유닛 , 제 1 소수 화제 공급 유닛 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 에 는 , 제 1 소수 화제 ( 액체 ) 가 공급 된다 . 제 2 소수 화제 공급 유닛 ( 17 ) ( 소수 화제 공급 유닛 , 제 2 소수 화제 공급 유닛 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 에 는 , 제 2 소수 화제 ( 액체 ) 가 공급 된다 . 또한 , 용제 밸브 ( 18 ) 가 열리 면 , 용제 ( 액체 ) 가 용제 공급 배관 ( 19 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 으로 공급 된다 . 마찬가지 로 , 린스 액 밸브 ( 20 ) 가 열리 면 , 린스 액 이 린스 액 공급 배관 ( 21 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 으로 공급 된다 .