상기 제 1 활 성부 ( 105 a ) 의 상부 면 상 에 제 1 계면 층 ( 107 a ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 2 활 성부 ( 105 b ) 의 상부 면 상 에 제 2 계면 층 ( 107 b ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 계면 층 들 ( 107 a , 107 b ) 은 실질 적 으로 동일 한 두께 로 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 계면 층 들 ( 107 a , 107 b ) 은 산화 공정 에 의하 여 형성 될 수 있 다 .