각각 의 약액 포집 장치 ( 110 : 112 ~ 116 ) 는 중앙 에 포집 공간 이 형성 된 원통 형상 을 가진다 . 예 를 들 어 , 복수 개 의 식각 액 을 포집 하 는 제 1 및 제 2 약액 포집 장치 ( 114 ~ 116 ) 는 공정 챔버 ( 106 ) 의 안쪽 에 순차 적 으로 배치 되 고 , 세정액 을 포집 하 는 제 3 약액 포집 장치 ( 112 ) 는 공정 챔버 ( 106 ) 의 외곽 에 배치 된다 . 이러 한 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 은 내부 에 약액 이 포집 되 는 공간 이 스핀 헤드 ( 130 ) 를 감싸 도록 배치 되 고 , 각각 의 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 은 순차 적 으로 외곽 으로 적층 된다 . 또 각각 의 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 은 하부 에 약액 들 이 회수 되 도록 배출 하 는 배출 배관 ( 150 : 152 ~ 156 ) 과 연결 된다 .