현미경 ( 230 ) 의 아래쪽 공간 ( 233 ) 에 는 웨이퍼 의 자유 로운 이동 이 가능 한 공간 이 제공 된다 . 종래 의 검사 장치 에서 는 이 공간 ( 233 ) 에 웨이퍼 를 지지 하 고 , 검사 조건 에 맞추 어 배치 를 변경 시키 기 위한 상하 X , Y 축 이동 가능 한 스테이지 ( stage ) 가 필요 하 였 지만 , 본 발명 에 따른 웨이퍼 검사 장치 에서 는 6 축 로봇 이 이러 한 기능 을 수행 하 므로 종래 의 스테이지 가 필요 없 어 진다 .