일 실시 예 에 따른 두께 측정 방법 은 , 레이저 가 레이저 빔 을 반도체 공정 용 챔버 내 의 석영 유리 를 통해서 측정 대 상체 에 조사 하 는 단계 ; 제 1 수광 센서 가 상기 석영 유리 에서 반사 된 제 1 반사광 의 강도 를 감지 하 는 단계 ; 제 2 수광 센서 가 상기 석영 유리 를 투과 한 상기 레이저 빔 이 상기 측정 대 상체 에서 반사 된 제 2 반사광 의 강도 를 감지 하 는 단계 ; 및 제어기 가 상기 제 1 반사광 의 강도 와 상기 제 2 반사광 의 강도 를 비교 하 여 상기 측정 대 상체 의 반사 율 을 연산 하 고 , 상기 반사율 과 사전 에 설정 된 두께 별 반사 율 을 비교 하 여 상기 측정 대 상체 의 두께 를 측정 하 는 단계 ; 를 포함 할 수 있 다 .