가스 공급 부재 ( 140 ) 는 소스 가스 공급원 ( 141 ) , 불활성 가스 공급원 ( 142 ) , 가스 공급 라인 ( 143 ) , 그리고 노즐 부 ( 144 ) 를 포함 한다 . 반응 로 ( 110 ) 의 전단 에 설치 된 플랜지 ( 112 a ) 에 는 가스 공급 부재 ( 140 ) 로부터 의 가스 공급 을 위한 가스 유입 포트 ( 114 ) 가 장착 된다 . 노즐 부 ( 144 ) 는 가스 유입 포트 ( 114 ) 를 통해 반응 로 ( 110 ) 내부 에 위치 된다 . 소스 가스 로 는 아세틸렌 , 에틸렌 , 메탄 , 벤젠 , 크실렌 , 일산 화 탄소 및 이산화 탄소 로 이루어지 는 그룹 에서 선택 된 적어도 하나 의 가스 가 사용 될 수 있 다 . 소스 가스 는 열분해 에 의해 라디칼 로 분해 되 며 , 라디칼 들 이 기판 ( 10 ) 위 에 도포 된 촉매 와 반응 하 여 탄소 나노 튜브 를 합성 한다 . 불활성 가스 로 는 아르곤 가스 또는 질소 가스 등 이 사용 될 수 있 다 .