다음 에 , 도 7 ( b ) 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 1 ) 가 , 화살표 로 나타낸 바 와 같이 , 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 에서 워크 처 리부 ( 14 ) 로 이동하 여 , 노광 처리 가 개시 된다 . 또한 , 워크 처리 가 행해 지 고 있 는 영역 을 사선 으로 나타낸다 . 이 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 에서 워크 처 리부 ( 14 ) 로 의 이 동시 , X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 , 21 - 5 ) , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 , 22 - 6 ) 에서 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 4 , 21 - 8 ) , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 4 , 22 - 9 ) , 계속 해서 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 3 , 21 - 8 ) , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 4 , 22 - 8 ) , 계속 해서 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 3 , 21 - 7 ) , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 3 , 22 - 8 ) 의 순 으로 전환 된다 .