이러 한 문제점 을 해결 하 기 위하 여 도 3 에 도시 한 바 와 같이 설치 공간 ( 100 ) 내 의 기류 는 스테이지 ( 20 ) 의 상부 에서 측면 을 향하 게 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 설치 공간 ( 100 ) 의 상부 에 는 작업 가스 공급 부 ( 102 A , 102 B ) 가 구비 되 고 , 설치 공간 ( 100 ) 의 측면 하부 에 는 작업 가스 배 출부 ( 104 A , 104 B ) 가 구비 될 수 있 다 . 작업 가스 공급 부 ( 102 A , 102 B ) 는 스테이지 ( 20 ) 를 향하 여 작업 가스 를 공급 한다 . 작업 가스 가 하방 을 향하 도록 하 기 위하 여 작업 가스 공급 부 ( 102 A , 102 B ) 가 형성 된 측면 에 는 설치 공간 ( 100 ) 천정 에서 하방 으로 향하 도록 배치 된 기류 차 단벽 ( 106 ) 이 형성 될 수 있 다 .