전술 한 구성 에서 , 상기 테스트 보드 와 상기 테스트 헤드 는 포고 핀 블록 에 의해 전기 적 으로 접촉 되 는 것 이 바람직 하 다 . 한편 , 상기 테스트 보 드 는 상기 속 챔버 -> 상기 테스트 챔버 -> 상기 디 속 챔버 의 경로 를 따라 이송 된다 . 또한 상기 로딩 측 정렬 스테이션 의 전방 에 는 상기 테스트 보드 에 적재 될 반도체 디바이스 에 대한 DC 테스트 를 수행 하 는 DC 테스터 가 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 .