이 와 같이 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 소수 의 위치 이탈 데이터 로부터 소수 의 기준 계수 데이터 를 사전 에 산출 해 두 고 , 조사 영역 의 파라미터 값 ( 기판 상면 높이 ) 에 따른 보정 용 계수 데이터 를 , 기준 계수 데이터 의 보 간 처리 로 구한다 . 그 때문 에 , 묘화 처리 중 에 파라미터 의존 으로 위치 이탈 맵 이 변화 하 는 경우 에 도 , 패턴 을 고정 밀도 로 묘화 할 수 있 다 .