이 와 같이 본 발명 은 이중 패 터닝 기술 을 이용 하 여 미세 패턴 ( 25 ) 을 형성 할 때 , 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 을 제 2 방향 으로 단선 하 고 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 과 인접 한 제 2 라인 패턴 들 ( 22 a ) 을 제 1 방향 으로 연결 한다 . 그리고 , 연결 된 제 2 라인 패턴 ( 22 a ) 을 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 의 일 측 에 형성 된 조그 패턴 ( 14 b ) 을 이용 하 여 제 2 방향 으로 단선 시킨다 . 이 에 따라 , 해상도 조절 방향 에 구애 됨 이 없이 제 1 패턴 ( 15 ) 및 제 2 패턴 ( 23 ) 을 포함 하 는 미세 패턴 ( 25 ) 을 용이 하 게 형성 할 수 있 다 . 도 13 은 이러 한 패턴 들 을 8 개 의 컨트롤 게이트 를 가지 는 어레이 형태 로 만든 레이아웃 이 다 .