최초 에 , 도 1 및 도 2 를 참조 하 여 , 본 개시 된 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 의 일 예 에 대해서 설명 한다 . 여기 에서 , 도 1 은 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 의 일 예 를 도시 하 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 2 는 도 1 의 Ⅱ 부분 의 확대도 로서 , 실시 형태 에 따른 제 1 도전 성 부재 와 제 2 도전 성 부재 의 접합 구조 체의 일 예 를 도시 하 는 종단 면도 이 다 .