도 5 a 를 참고 하 면 , 기존 의 증착 장치 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 접촉 한 경우 는 기판 위 의 임의 의 17 개 위치 에서 박막 의 면저항 균일 도 차이 가 크 게 는 약 50 % 에서 약 9 % 까지 분포 하 지만 , 본 발명 의 실시 예 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 이격 시키 고 그 사이 에 불활성 기체 를 흐르 게 한 경우 는 도 5 b 에 도시 한 바 와 같이 , 기판 위 의 임의 의 17 개 위치 에서 박막 의 면저항 균일 도 차이 가 약 9 % 에서 2 % 까지 매우 낮 게 나타남 을 알 수 있 었 다 .