도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 유도 결합 형 플 라즈 마 처리 장치 는 챔버 ( 100 ) , 플라 즈 마 발생 용 RF 전원 ( 102 ) 에 접속 되 는 안테나 코일 ( 110 ) , 챔버 ( 100 ) 내부 에 반응 가스 를 공급 하 는 상부 플레이트 ( 104 ) , 바이어스 발생 용 RF 전원 ( 106 ) 에 접속 하 는 하부 전극 ( 108 ) , 가스 공급 수단 ( 112 ) 및 펌핑 부 ( 114 ) 를 포함 할 수 있 다 .