도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 9 ) 는 유량 설 정부 ( 97 ) 와 , 송액 제 어부 ( 98 ) 를 가진다 . 유량 설 정부 ( 97 ) 는 복수 의 수조 내 온도 센서 ( 81 D , 81 U ) 의 측정값 ( BPV ) 에 기초 하 여 수조 내 온도 의 연직 방향 분포 를 구하 고 , 구한 연직 방향 분포 에 기초 하 여 송액 기구 ( 62 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 유량 의 목표 값 ( FSV ) 을 설정 한다 . 연직 방향 분포 는 , 예 를 들 면 연직 방향 에 있 어서 의 온도 구배 ( 단위 길이 당 온도 변화 ) 로 나타내 진다 . 송액 제 어부 ( 98 ) 는 유량 의 목표 값 ( FSV ) 에 기초 하 여 , 송액 기구 ( 62 ) 를 제어 한다 .