한편 , 사이드 로브 의 크기 는 감쇠 형 PSM 마스크 ( 300 ) 의 투과율 에 따라 도 7 및 도 8 에 제시 된 바 와 같이 조절 될 수 있 다 . 도 7 은 180 ° 위상 시프트 패턴 ( 330 ) 이 대략 6 % 정도 의 투과율 을 가지 는 경우 이 고 , 도 8 은 대략 20 % 정도 의 투과율 을 가지 는 경우 이 다 . 투과율 에 따라 사이드 로브 정도 가 달라지 고 , 이 에 따라 , 마이크 로 렌즈 들 사이 에 잔류 하 는 렌즈 물질 의 잔류 정도 가 달라진다 .