일 예 에 의하 면 , 액 처리 장치 ( 400 ) 들 은 반송 장치 ( 300 ) 의 양측 에 배치 되 고 , 세정 장치 ( 500 ) 들 은 반송 장치 ( 300 ) 의 양측 에 배치 되 며 , 액 처리 장치 ( 400 ) 들 은 세정 장치 ( 500 ) 들 보다 버퍼 유닛 ( 200 ) 에 더 가까운 위치 에 배치 될 수 있 다 . 반송 장치 ( 300 ) 의 일 측 에서 액 처리 장치 ( 400 ) 들 은 제 1 방향 ( 92 ) 및 제 3 방향 ( 96 ) 을 따라 각각 A X B ( A , B 는 각각 1 또는 1 보다 큰 자연수 ) 배열 로 제공 될 수 있 다 . 또한 , 반송 장치 ( 300 ) 의 일 측 에서 세정 장치 ( 500 ) 들 은 제 1 방향 ( 92 ) 및 제 3 방향 ( 96 ) 을 따라 각각 C X D ( C , D 는 각각 1 또는 1 보다 큰 자연수 ) 개 가 제공 될 수 있 다 . 상술 한 바 와 달리 , 반송 장치 ( 300 ) 의 일 측 에 는 액 처리 장치 ( 400 ) 들 만 제공 되 고 , 그 타 측 에 는 세정 장치 ( 500 ) 들 만 제공 될 수 있 다 .