필터 유닛 ( 300 ) 은 공극 의 크기 가 큰 필터 부터 작 은 필터 로 연속 하 여 적어도 3 단 이상 으로 배치 되 는 복수 의 필터 로 구성 될 수 있 다 . 다시 말 해 , 이 복수 의 필터 는 검출 챔버 ( 100 ) 의 입 구부 ( 101 ) 에서 출구 부 ( 102 ) 로 이격 배치 되 는 3 단 이상 으로 배치 될 수 있 고 , 각각 의 필터 는 이동하 는 시료 의 이동 흐름 에 맞추 어 유로 ( 110 ) 상 에서 크기 가 점차 작아지 는 공극 을 갖 을 수 있 다 .