( D ) 상기 PWM / PID 비례제 어 밸브 에서 CMP 장비 용 연마 헤드 상 에 구비 된 다수 의 압력 챔버 측 공 압 제어 를 위한 작업 명령 을 수행 하 면서 상기 PID 피드백 제어기 로부터 전달 받 은 역위 상 진동 노이즈 신호 와 동일 한 주파수 및 진폭 을 갖 는 공 압 을 발생 시키 고 , 흡기 밸브 와 배기 밸브 를 갖 는 밸브 부 의 개도 상태 를 제어 한다 .