또한 , 제 1 전극 ( E 1 ) 용 제 2 매거진 유닛 ( 812 ) 에 는 복수 의 제 1 전극 ( E 1 ) 이 수용 되 고 , 매거진 이송 유닛 ( 813 ) 에 의해 전극 적층 스테이지 장치 ( 300 ) 로 공급 되 되 , 제 1 전극 ( E 1 ) 용 제 1 매거진 유닛 ( 811 ) 의 반대쪽 에 설치 된다 . 그 에 따라 , 매거진 이송 유닛 ( 813 ) 은 제 1 전극 ( E 1 ) 용 제 1 매거진 유닛 ( 811 ) 및 제 1 전극 ( E 1 ) 용 제 2 매거진 유닛 ( 812 ) 을 교대 로 후술 하 는 제 1 전극 ( E 1 ) 로딩 장치 ( 910 ) 측 으로 이송 시킨다 .