2 . 스캔 모드 에서 , 마스크 테이블 ( MT ) 및 기판 테이블 ( WT ) 은 방사선 빔 에 부여 된 패턴 이 타 겟 부 ( C ) 상 에 투영 되 는 동안 에 동기 적 으로 스캐닝 된다 [ 즉 , 단일 동적 노광 ( single dynamic exposure ) ] . 마스크 테이블 ( MT ) 에 대한 기판 테이블 ( WT ) 의 속도 및 방향 은 투영 시스템 ( PS ) 의 확대 ( 축소 ) 및 이미지 반전 특성 에 의하 여 결정 될 수 있 다 . 스캔 모드 에서 , 노광 필드 의 최대 크기 는 단일 동적 노광 시 타 겟 부의 ( 스캐닝 되 지 않 는 방향 으로 의 ) 폭 을 제한 하 는 반면 , 스캐닝 동작 의 길이 는 타 겟 부의 ( 스캐닝 방향 으로 의 ) 높이 를 결정 한다 .