다른 실시 예 에서 , 일 방법 이 제공 된다 . 본 방법 은 기판 을 제공 하 는 단계 와 기판 상 에 밀도 X 를 갖 는 복수 의 기둥 을 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 기둥 들 상 에 재료 를 블랭킷 퇴적 하 여 기둥 들 의 레벨 상 에 적어도 X 의 밀도 를 갖 는 홀 들 의 패턴 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .