바람직 하 게 는 , 상기 제 1 노즐 부 및 제 2 노즐 부 와 연결 되 어 상기 제 1 소스 및 상기 제 2 소스 를 상기 튜브 외부 에서 상기 튜브 내부 로 주입 하 는 제 1 주 입부 및 제 2 주 입부 , 상기 공정 튜브 외부 에서 상기 제 1 주 입부 및 상기 제 2 주 입부 와 각각 연결 되 며 , 상기 박막 형성 을 위한 제 1 소스 및 제 2 소스 를 각각 공급 하 는 제 1 소스 공급 부 와 제 2 소스 공급 부 를 더 포함 할 수 있 다 . 또한 바람직 하 게 는 상기 제 1 소스 공급 부 에 , 액체 로 된 소스 물질 을 기상 소스 인 상기 제 1 소스 로 기화 시키 는 소스 기화 부를 포함 할 수 있 다 .