전 사막 ( 30 ) 이탈 단계 ( S 140 ) 에서 는 , 상기 전 사막 ( 30 ) 을 상기 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 이탈 시킬 수 있 다 . 가열 수단 을 사용 하 여 목적 기판 ( 21 ) , 제 1 박막 ( 22 ) 및 전 사막 ( 30 ) 의 접합체 를 약 100 ℃ 정도 로 가열 하 면 전 사막 ( 30 ) 은 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 분리 되 어 이탈 될 수 있 다 .