또한 , 본 발명 의 기술 적 과제 는 기판 을 하부 하우징 과 상부 하우징 의 결합 면 보다 높 게 위치 하 도록 기판 배치 판 상 에 배치 함 으로써 , 건조 공정 이 완료 되 어 챔버 가 개방 되 는 경우 , 하부 하우징 과 상부 하우징 의 결합 면 에 구비 된 실링 부 주변 의 파티클 이 기판 과 결합 면 의 높이차 에 따른 중력 에 의해 기판 으로 유입 되 는 문제 를 방지 하 는 것 이 다 .