유전 체관 ( 22 ) 의 가스 도입 구 ( 22 a ) 에 는 , 개폐 밸브 ( 28 ) 를 거쳐 , 일산 화 탄소 가스 또는 수소 가스 와 같 은 환원 가스 ( G 1 ) 및 질소 또는 아르곤 등 의 캐리어 가스 ( Ca ) 가 안내 가능 하 다 . 유전 체관 ( 22 ) 은 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 그 플 라즈 마 분사구 ( 22 b ) 가 배선 ( 14 ) 을 형성 해야 하 는 절연 기판 ( 12 ) 의 표면 으로 향해 있 다 .