[ 배경 ] 반도체 집 적 회로 ( IC ) 소자 의 제조 에서 , 절연 층 , 도전 층 , 반도체 층 등 과 같 은 다양 한 소자 특징 부가 반도체 기판 상 에 형성 된다 . 이 들 특징 부 가 형성 되 는 공정 은 제조 된 IC 소자 의 품질 에 영향 을 미치 는 요소 인 것 으로 잘 알려져 있 다 . 또한 , 제조 된 소자 의 품질 및 IC 소자 가 처리 되 는 제조 환경 의 청 정도 는 결국 IC 제조 공정 의 수율 에 영향 을 미치 는 요인 이 다 .