또한 , 챔버 ( 11 ) 내 에서 점착 테이프 ( DT ) 를 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 하 고 있 는 동안 에 , 테이프 절단 기구 ( 82 ) 가 작동 한다 . 이때 , 도 21 및 도 22 에 도시 하 는 바 와 같이 , 커터 ( 122 ) 가 링 프레임 ( f ) 에 첩부 된 점착 테이프 ( DT ) 를 링 프레임 ( f ) 의 형상 으로 절단 함 과 함께 , 압박 롤러 ( 124 ) 가 커터 ( 122 ) 에 추종 하 여 링 프레임 ( f ) 상 의 테이프 절단 부위 를 구름 이동 하 면서 압박 해 간다 . 즉 , 상부 하우징 ( 11 B ) 이 하강 하 여 하부 하우징 ( 11 A ) 에 의해 챔버 ( 11 ) 를 구성 하 였을 때 , 도 21 에 도시 하 는 바 와 같이 , 테이프 절단 기구 ( 82 ) 의 커터 ( 122 ) 와 압박 롤러 ( 124 ) 도 절단 작용 위치 에 도달 되 어 있 다 .