상기 보호막 ( 460 ) 은 유기 절 연막 으로서 , 벤조 사이클 로 부탄 ( BCB , benzocyclobutene ) , 아크릴 계 ( acryl ) 유기 화합물 , 플루오르 폴리 아릴 에 테르 ( FPAE , fluoropolyarrylether ) , 사이 토프 ( cytop ) 및 퍼 플루오르 사이클 로 부탄 ( PFCB , perfluorocyclobutane ) 으로부터 선택 되 는 유기 절 연막 을 포함 한다 . 또한 , 상기 보 호 막 ( 460 ) 은 질화 막 , 산화 막 또는 질산화 막 과 같 은 무기 절 연막 을 포함 할 수 도 있 다 .