또한 , 본 발명 의 제 6 관점 에 따르 면 , 마크 용 대좌 는 사각형 또는 원형 의 평면 형상 의 상부 를 포함 하 고 , 위치 정합 마크 는 수평 방향 의 길 이 및 수직 방 항의 길이 가 마크 용 대좌 의 상부 의 수평 방향 의 길 이 및 수직 방향 의 길이 보다 각각 긴 형상 과 , 마크 용 대좌 의 상부 에 존재 하 는 면적 이 마크 용 대좌 의 상부 의 면적 보다 작 은 형상 을 포함 한다 .