쿨롱 형 정전 척 의 경우 유전체 상 · 하면 에 존재 하 는 서로 다른 전하 를 가지 는 입자 들 간 의 정전기 적 인 인력 을 이용 하 여 웨이퍼 를 고정 하 는 방식 으로 사용 되 는 유전체 의 체적 저항 값 이 1 . 0 × 1015 Ω · cm 이상 이 고 양호 한 웨이퍼 탈착 성능 을 나타내 지만 웨이퍼 와 같 은 피 흡착 물 의 크기 가 커지 면 , 충분히 큰 정전 흡착 력 을 피 흡착 물 접촉면 전체 에 균일 하 게 제공 하 지 못한다는 문제점 이 있 다 .