또한 , 처리 실 ( 421 ) 로부터 반 송실 ( 321 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 반출 하 는 경우 도 , 웨이퍼 ( W ) 를 보 지 한 반송 아암 ( 521 ) 이 도 6 을 이용 하 여 설명 한 궤적 과 는 반대 의 궤적 을 그리 도록 선회 용 모터 ( 53 a ) , 신축 용 모터 ( 53 b ) 가 제어 된다 . 이 웨이퍼 ( W ) 의 반출 을 위해서 , 웨이퍼 ( W ) 를 보 지 하 고 있 지 않 은 반송 아암 ( 521 ) 을 처리 실 ( 421 ) 에 삽입 할 때 는 , 상기 반송 아암 ( 521 ) 이 도 6 을 이용 하 여 설명 한 궤적 과 동일 한 궤적 을 그리 도록 선회 용 모터 ( 53 a ) , 신축 용 모터 ( 53 b ) 가 제어 된다