도 8 에 , 본 실시 예 에서 이용한 검사 레시피 를 설정 하 는 공정 의 조작 인터페이스 를 나타낸다 . 조작 인터페이스 는 , 도 4 기재 와 마찬가지 의 SEM 화상 을 표시 하 고 , 시험 검사 화상 으로부터 전기 특성 을 해석 하 는 검사 패턴 을 지정 하 기 위한 , 검사 패턴 설 정부 ( 61 ) 를 갖 고 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 패턴 a , 패턴 b , 및 패턴 c 를 검사 대상 으로서 선택 했 다 . 또한 , 도 4 기재 와 마찬가지 의 광학 조건 및 주사 조건 및 시야 설 정부 ( 62 ) 를 갖 고 있 으며 , 도 4 기재 와 마찬가지 의 가속 전압 설 정부 ( 63 ) , 조사 전류 설 정부 ( 64 ) , 시야 사이즈 설 정부 ( 65 ) , 주사 속도 설 정부 ( 66 ) 를 갖 고 있 다 . 본 실시 예 에서 는 가속 전압 1000 V , 조사 전류 500 pA , 시야 사이즈 3 ㎛, 주사 속도 를 TV 레이트 로 했 다 .