이 는 다양 한 방식 , 예 를 들 어 원자력 현미경 , ( 예 를 들 어 DEKTAK 라는 상품명 으로 VEECO 가 판매 하 는 측정 기기 를 사용 하 는 ) 기계식 스타일러스 시스템 및 광학 간섭계 로 측정 할 수 있 다 . 측정 은 일반 적 으로 원자력 현미경 으로 1 제곱 마이크로미터 의 면적 에 걸쳐 그리고 기계식 스타일러스 시스템 으로 대략 50 제곱 마이크로미터 내지 2 제곱 밀리미터 의 더 큰 면적 에 걸쳐 수행 된다 .