본 발명 에 의하 면 , 웨이퍼 재치 면 에 메시 패턴 의 홈 에 의해 형성 된 다수 의 방형 볼록 부 를 가지 는 기상 성 장용 서 셉 터 에 있 어서 , 홈 깊이 가 웨이퍼 재치 면 에서 똑같 지 않 고 , 중앙부 보다 외주 부 쪽 이 얕 아 짐 으로써 , 웨이퍼 외 주부 온도 저하 에 따른 막 두께 저하 , 웨이퍼 재치 시 의 휨 , 웨이퍼 이 면 외주 부로 의 실리콘 퇴적 을 개선 시킬 수 있 다 .