열 판 히터 ( 22 ) 는 , 열 판 ( 21 ) 의 온도 를 상승 시킨다 . 열 판 히터 ( 22 ) 는 , 열 판 ( 21 ) 의 내부 에 설치 되 어 있 어도 좋 고 , 열 판 ( 21 ) 상 에 설치 되 어 있 어도 좋 다 . 열 판 히터 ( 22 ) 는 , 저항 발열체 에 의해 구성 되 어 있 어도 좋 다 . 열 판 히터 ( 22 ) 에 대해 전류 가 흐름 으로써 , 열 판 히터 ( 22 ) 는 발열 한다 . 그리고 , 열 판 히터 ( 22 ) 로부터 의 열 이 전열 하 여 , 열 판 ( 21 ) 의 온도 가 상승 한다 . 열 판 히터 ( 22 ) 에 는 , 제 어 장치 ( 100 ) 로부터 의 지시 에 따른 값 의 전류 가 흘러도 좋 고 , 제 어 장치 ( 100 ) 로부터 의 지시 에 따른 값 의 전압 이 인가 되 어 , 상기 전압 값 에 따른 전류 가 흘러도 좋 다 .