처리 유닛 ( 2 ) 은 , 스핀 척 ( 10 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 향해 린스 액 을 하방 으로 토출 하 는 린스 액 노즐 ( 16 ) 을 포함 한다 . 린스 액 노즐 ( 16 ) 은 , 린스 액 밸브 ( 18 ) 가 개재 된 린스 액 배관 ( 17 ) 에 접속 되 어 있 다 . 처리 유닛 ( 2 ) 은 , 린스 액 노즐 ( 16 ) 로부터 토출 된 린스 액 이 기판 ( W ) 에 공급 되 는 처리 위치 와 린스 액 노즐 ( 16 ) 이 평면 으로부터 봐서 기판 ( W ) 으로부터 떨어진 퇴피 위치 사이 에서 린스 액 노즐 ( 16 ) 을 수평 으로 이동 시키 는 노즐 이동 유닛 을 구비 하 고 있 어도 된다 .