더욱 구체 적 으로 , Y 간섭계 ( 17 ) 는 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) 과 얼라인먼트 계 ( ALG ) 의 검출 중심 을 연결 하 는 Y 축 에 평행 한 직선 ( 기준 축 ) ( LV 0 ) 으로부터 ± X 방향 으로 동일 하 게 이격 되 어 , Y 축 에 대해 평행 한 2 개 의 계측 빔 ( B 171 및 B 172 ) 을 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 반사면 ( 27 b ) 에 조사 하 고 , 계측 빔 ( B 171 및 B 172 ) 의 반사광 을 수 광 하 여 , 계측 빔 ( B 171 및 B 172 ) 의 조사 점 에서 의 반사면 ( 27 b ) 의 Y 축 방향 의 변위 ( 제 1 및 제 2 위치 정보 로서 기능 한다 ) 를 계측 한다 . 제 1 및 제 2 위치 정보 는 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 된다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 1 및 제 2 위치 정보 의 평균치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 Y 축 방향 에서 의 위치 ( Y 위치 ) 를 산출 한다 . 즉 , Y 간섭계 ( 17 ) 의 Y 축 방향 에 관한 실질 적 인 계측 축 은 , 기준 축 ( LV 0 ) 과 일치 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 1 및 제 2 위치 정보 간 의 차이 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 θ z 방향 의 회전 정보 ( 요잉 ( yawing ) 량 ) 를 산출 한다 .