상기 커버 는 상기 처리 챔버 의 상부 에 힌지 결합 된 커버 플레이트 를 포함 하 며 , 상기 커버 플레이트 가 개방 된 상태 를 유지 하 기 위한 고정 부재 가 상기 커버 플레이트 의 상부 면 부위 에 배치 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 고정 부재 는 상기 커버 플레이트 의 회전축 ( rotational axis ) 과 평행 한 회전축 을 갖 도록 상기 커버 플레이트 의 상부 면 부위 에 힌지 결합 되 는 한 쌍 의 로드 들 과 , 상기 로드 들 의 자유단 부위 들 에 결합 되 어 상기 커버 플레이트 의 힌지 부 와 인접 하 는 지점 에 놓여 지 는 고정 바 ( bar ) 를 포함 할 수 있 다 .