본 발명 은 신규 인 티오피 란 유도체 , 상기 티오피 란 유도체 를 구성 성분 으로 하 는 중합체 , 및 상기 중합체 를 포함 하 는 레지스 트 조성물 에 관한 것 이 다 . 자세 하 게 는 , 노광 장치 에서 투영 렌즈 와 웨이퍼 사이 에 굴절 률 ( n ) 이 공기 ( n = 1 ) 보다 큰 액체 를 채움 으로써 , 종래 보다 해상도 를 향상 시킬 수 있 는 액침 노광 기술 에서 , 적합 하 게 사용 가능 한 고 굴절 률 을 갖 는 레지스 트 조성물 에 관한 것 이 다 .