한편 , 개별 챔버 부 ( 100 ) 는 온도 테스트 직 후 에 하우징 ( 110 a ) 의 개구 ( 110 b ) 개방 할 경우 , 히터 ( 125 ) 가 가열 된 채 로 외부 로 노출 되 는 것 을 차단 하 도록 히터 ( 125 ) 로 공급 되 는 전류 를 차단 하 는 안전 센서 ( 300 , 도 3 참조 ) 를 구비 한다 . 이러 한 안전 센서 ( 300 ) 는 다수 의 개별 챔버 부 ( 110 ) 각각 에 설치 된다 . 또한 , 안전 센서 ( 300 ) 는 커버 부 ( 120 ) 가 개구 ( 110 b ) 를 폐쇄 한 상태 에서 는 지지대 ( 126 a ) 에 의해 가압 되 어 오프 ( OFF ) 상태 로 유지 되 다가 , 개구 ( 11 b ) 를 개방 시키 기 위해 커버 부 ( 120 ) 를 선회 시키 면 안전 센서 ( 300 ) 에 가해 지 던 가압 력 이 해제 되 면서 안전 센서 가 온 ( ON ) 상태 로 전환 되 면서 히터 ( 125 ) 로 공급 되 는 전류 를 차단 하 여 히터 ( 125 ) 를 오프 ( OFF ) 시킨다 .