도 5 부 터 도 7 에 도시 된 것 과 같이 , 포크 ( 3 A , 3 B ) 는 , 원호 형 으로 형성 되 어 , 반송 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 주위 를 둘러싸 도록 설치 된다 . 또한 , 포크 ( 3 A , 3 B ) 에 는 , 각각 유지 클로 ( 4 ) 가 형성 되 어 있 다 . 유지 클로 ( 4 ) 는 포크 ( 3 A , 3 B ) 의 내연 으로부터 각각 내측 으로 돌출 되 고 , 내연 을 따라서 서로 간격 을 두 고서 설치 되 어 있 으며 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 가 적재 됨 으로써 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 는 것 이 다 . 유지 클로 ( 4 ) 는 3 개 이상 이 설치 된다 . 도 5 및 도 6 에 도시 된 예 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 4 개소 를 유지 하 기 위해서 , 4 개 의 유지 클로 ( 4 A , 4 B , 4 C , 4 D 가 ) 가 설치 되 어 있 다 .