이하 에서 는 , 상술 한 바 와 같이 구성 된 본 발명 의 이송 장치 에 의한 구체 적 인 동작 을 , ( 1 ) 인입 용 로드 락 챔버 ( 200 ) 를 중심 으로 한 웨이퍼 인입 과정 과 ( 2 ) 인출 용 로드 락 챔버 ( 300 ) 를 중심 으로 한 웨이퍼 인출 과정 을 구분 하 여 설명 한 후 , ( 3 ) 공정 완료 후 웨이퍼 의 인출 및 인입 의 동시 동작 과정 에 대하 여 설명 한다 . ( 참고 로 , 이하 에서 는 로봇 ( 400 ) 이 각각 의 웨이퍼 를 하나 씩 이송 하 는 경우 에 대하 여 설명 하 였으며 , 슬롯 카세트 ( 210 , 310 ) 전체 를 이송 하 는 경우 에 대한 설명 은 생략 하 기 로 한다 . )