본 고안 은 기판 부상 패드 및 이 를 이용 한 대면 적 기판 부상 장치 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 기판 의 하면 으로 공기 를 분사 하 는 복수 개 의 제 1 분사 홀 , 상면 의 양단 측 모서리 에 경사지 게 형성 되 어 기판 의 하면 으로 공기 를 분사 하 는 복수 개 의 제 2 분사 홀 및 상기 제 1 분사 홀 과 제 2 분사 홀 에서 분사 된 공기 를 외부 로 배기 하 는 배기 홈 을 포함 하 는 기판 부상 패드 에 관한 것 이 다 .