[ 0051 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 는 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 를 둘러쌀 수 있 다 . 특히 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 의 적어도 일 섹션 ( section ) 이 , 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 에 의해 인 클로징 ( enclose ) 될 수 있 다 . 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 의 안쪽 볼륨 은 대기 환경 ( 180 ) 과 유체 연결 될 수 있 다 . 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 와 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 간 의 원주 방향 볼륨 은 , 진공 챔버 ( 130 ) 의 주 볼륨 과 유체 연결 될 수 있 다 . 따라서 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 에 연결 된 스티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 의 안쪽 볼륨 은 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 의 대기 케이싱 과 유체 연결 될 수 있 다 .