본 발명 은 , 실리콘 웨이퍼 를 조연 마하 였을 때 , 단부 의 늘어짐 이 저감 되 고 , 또한 전체 의 평탄 성 이 향상 된 실리콘 웨이퍼 를 제공 하 는 것 이 가능 한 연마 용 조성물 을 제공 한다 . 본 발명 은 , 실리콘 웨이퍼 를 조 연마 하 는 용도 로 사용 되 는 연마 용 조성물 이 며 , 지 립 과 , 수용성 고분자 와 , 염기 성 화합물 과 , 물 을 포함 하 고 , 상기 수용성 고분자 는 , 실리콘 에 대한 에칭 억제 능 이 상이 한 2 종 이상 을 포함 하 는 연마 용 조성물 이 다 .