도 99 를 보 면 , 제 1 마이크 로 LED 어 레이 들 을 박리 하 는 흡착 홀 들 은 채널 1 을 통해 진공 조절 부 에 연결 되 고 , 제 2 마이크 로 LED 어 레이 들 을 박리 하 는 흡착 홀 들 은 채널 2 를 통해 진공 조절 부 에 연결 되 고 , 제 3 마이크 로 LED 어 레이 들 을 박리 하 는 흡착 홀 들 은 채널 3 을 통해 진공 조절 부 에 연결 되 고 , 제 4 마이크 로 LED 어 레이 들 을 박리 하 는 흡착 홀 들 은 채널 4 를 통해 진공 조절 부 에 연결 된 상태 에서 진공 형성 및 해제 상태 를 이루 게 한다 .