상이 하 고 바람직 한 실시 예 에서 , 함몰 부 는 , 기판 으로부터 먼 쪽 으로 향하 는 홀더 의 측면 상 에 배열 되 는데 , 이러 한 함몰 부 에서 , 전극 이 배열 되 고 , 함몰 부 는 특히 동심원 적 으로 및 / 또는 채널 로서 구성 된다 . 결과 적 으로 , 전극 과 홀딩 표면 사이 의 간격 은 감소 될 수 있 다 . 또한 , 전극 은 , 원 하 는 , 특히 균일 하 게 분산 된 유지 력 을 생성 하 기 위해 , 최적 으로 분산 될 수 있 다 .