도 10 a , 도 10 b 을 참조 한다 . 도 10 a 은 도포 처리 유닛 의 평면도 이 고 , 도 10 b 은 도포 처리 유닛 의 단면도 이 다 . 각 도포 처리 유닛 ( 31 ) 은 , 기판 ( Ｗ ) 을 회전 가능 하 게 지지 하 는 회전 지지 부 ( 32 ) 와 , 기판 ( Ｗ ) 주위 에 설치 되 는 컵 ( 33 ) 과 , 기판 ( Ｗ ) 에 처리 액 을 공급 하 는 공급 부 ( 34 ) 등 을 구비 하 고 있 다 .