본 발명 은 , 슬롯 안테나 를 사용 해서 마이크로파 플라스마 를 생성 할 경우 에 , 고정 밀도 의 플라스마 밀도 분포 제어 를 행할 수 있 는 기술 을 제공 한다 . 마이크로파 플라스 마원 ( 20 ) 은 , 마이크로파 를 발진 함 과 함께 , 마이크로파 의 발진 주파수 가 가변 인 마이크로파 발진기 ( 40 ) 와 , 마이크로파 발진기 ( 40 ) 에서 발진 된 마이크로파 를 전파 하 는 도파 로 ( 39 , 38 , 37 ) 와 , 도파 로 를 전파 한 마이크로파 를 챔버 ( 1 ) 내 에 방사 하 는 슬롯 안테나 ( 31 ) , 및 슬롯 안테나 로부터 방사 된 마이크로파 를 투과 하 는 유전체 로 이루어지 는 마이크로파 투 과판 ( 28 ) 을 갖 는 안테나 부 ( 30 ) 와 , 챔버 ( 1 ) 내 에 플라스마 가 생성 되 어 있 을 때 , 안테나 부 ( 30 ) 의 챔버 밖 에서 의 복수 의 위치 의 온도 를 검출 하 는 온도 검출기 ( 51 , 52 ) 와 , 온도 검출기 의 검출 신호 에 기초 하 여 , 플라스마 밀도 분포 가 원 하 는 분포 로 되 도록 , 마이크로파 발진기 ( 40 ) 의 발진 주파수 를 제어 하 는 주파수 제어기 ( 50 ) 를 갖 는다 .