도 1 j 를 참조 하 면 , 상기 제 2 마스크 패턴 ( 150 b ) 을 식각 마스크 로 하 여 상기 버퍼 층 ( 140 ) 의 노출 된 부분 과 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 을 덮 고 있 는 버퍼 마스 크 패턴 ( 132 a ) 을 제거 하 여 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 의 상면 을 노출 시킨다 . 그 결과 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 의 상면 및 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 의 상면 이 동시 에 노출 되 는 구조 가 얻 어 진다 .