연마 테이프 ( 23 ) 를 고정 각도 연마 헤드 조립 체 ( 140 C ) 에 공급 하 고 연마 테이프 ( 23 ) 를 고정 각도 연마 헤드 조립 체 ( 140 C ) 로부터 회수 하 기 위한 테이프 공급 및 회수 기구 는 도 26 에 도시 된 테이프 공급 및 회수 기구 와 동일 한 구조 를 가지 며 동일 한 위치 에 배치 된다 . 테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 A , 142 B , 142 C , 142 D , 142 E ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 반경 방향 에 대해 , 5 개 의 고정 각도 연마 헤드 조립 체 ( 140 A , 140 B , 140 C , 140 D , 140 E ) 의 외측 에 배열 된다 . 테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 A , 142 B , 142 C , 142 D , 142 E ) 는 연 마실 ( 21 ) 외측 에 위치 되 고 , 상술 된 테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A , 2 B , 2 C , 2 D ) 와 동일 한 구조 를 갖 는다 .