반면 , 도 8 ( b ) 에 나타낸 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에 기판 ( 17 ) 이 놓인 때 에 는 , 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 어 있 지 않 으므로 , 기판 ( 17 ) 대향 면 의 외측 모서리 부분 에 는 파티클 ( 20 ) 이 집중 적 으로 부착 되 지 않 는다 . 또한 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 의 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 직경 ( φ 2 ) 은 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 돌 기부 ( 102 c ) 의 상부 면 직경 ( φ 1 ) 보다 더 작 으므로 , 기판 ( 17 ) 의 대향 면 에 부착 되 는 파티클 ( 20 ) 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 다 .