모델 은 시뮬레이션 장치 ( 즉 , 컴퓨팅 장치 ) 에 의해서 구현 된다 . 구체 적 으로 , 시뮬레이션 장치 는 챔버 내 의 공정 ( 즉 , 특정 공정 진행 에 따른 챔버 내 의 공정 환경 변화 ) 을 모사 하 기 위한 적어도 하나 의 모듈 을 포함 한다 . 시뮬레이션 장치 는 예 를 들 어 , 챔버 내 의 온도 변화 를 모사 하 기 위한 온도 모듈 , 챔버 내 의 압력 변화 를 모사 하 기 위한 압력 모듈 , 챔버 내 의 약액 / 배경 기체 등 의 움직임 / 밀도 등 을 모사 하 기 위한 약액 모듈 , 약액 / 배경 기체 등 의 움직임 이 발생 되 는 기판 의 형상 ( 예 를 들 어 , 패턴 ) 등 을 모사 하 기 위한 모델링 모듈 , 또한 온도 모듈 , 압력 모듈 , 약액 모듈 , 모델링 모듈 등 을 제어 하 며 약액 의 움직임 ( 증발 , 치환 등 ) 을 예측 하 고 계산 하 기 위한 제어 모듈 등 을 포함 할 수 있 다 .