또한 , 다이어프램 ( 213 ) 과 O 링 ( 227 ) 에 의해 구획 된 공간 을 폐쇄 공간 ( S ) 으로 하 여 , 그 내부 의 압력 을 검출 함 으로써 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 검지 하 였 지만 , 다이어프램 ( 213 ) 에 의해 떨어짐 과 아울러 , 리크 포트 ( LP ) 가 마련 된 유체 제어기 ( 2 ) 내 의 밀폐 공간 이 면 , 이 밀폐 공간 을 폐쇄 공간 ( S ) 으로 하 여 압력 을 검출 함 으로써 , 다이어프램 ( 213 ) 의 파손 등 의 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 검지 할 수 있 다 .