도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 막 두께 50 [ nm ] 의 다결정 실리콘 에서 는 , 그 저면 부근 에서 , 전체 P 농도 는 3 . 2 × 1020 [ cm - 3 ] , 활성 화 된 p 농도 는 8 . 3 × 1019 [ cm - 3 ] 이 며 , 활성 화 율 은 22 . 1 [ ％] 이 다 . 또한 , 실리콘 결정 의 입경 은 41 [ nm ] 이 다 . 이 에 대해 , 막 두께 120 [ nm ] 의 다결정 실리콘 에서 는 , 그 저면 부근 에서 , 전체 P 농도 는 4 . 0 × 1020 [ cm - 3 ] , 활성 화 된 p 농도 는 1 . 7 × 1020 [ cm - 3 ] 이 며 , 활성 화 율 은 42 . 5 [ ％] 이 다 . 또한 , 실리콘 결정 의 입경 은 70 [ nm ] 이 다 .