도면 에 는 도시 하 지 않 았 으나 , 전계 형성 유닛 ( 100 ) 에 는 대상 기판 ( SUB ) 상부 의 온도 를 감지 하 고 상기 온도 를 조절 하 는 제어 장치 를 더 포함 할 수 있 다 . 열처리 유닛 ( 950 ) 에서 조사 되 는 열 또는 적외선 에 의해 대상 기판 ( SUB ) 의 온도 가 일정 수준 이상 으로 상승 하 면 상기 제어 장치 에 의해 대상 기판 ( SUB ) 이 냉각 될 수 도 있 다 .