본 발명 의 감광성 실록 산 조성물 의 도막 을 형성 한 후 , 당해 도막 의 건조 , 또한 용제 잔존 량 을 감소 시키 기 위해서 , 당해 도막 을 프리 베 이크 ( 가열 처리 ) 하 는 것 이 바람직 하 다 . 프리 베 이크 공정 은 , 일반 적 으로 70 내지 150 ℃, 바람직 하 게 는 90 내지 120 ℃ 의 온도 로 , 핫플레이트 에 의한 경우 에 는 10 내지 180 초간 , 바람직 하 게 는 30 내지 90 초간 , 크린 오븐 에 의한 경우 에 는 1 내지 30 분 간 실시 할 수 있 다 .