본 실시 예 에 따른 노즐 유닛 ( 200 ) , 및 이 를 구비 하 는 도가니 ( 10 X ) , 증발원 ( 10 ) 및 증착 장치 ( 1 ) 에 의하 면 , 노즐 유닛 ( 200 ) 에 있 어서 의 중판 부재 ( 220 ) 의 관통 구멍 ( 223 c ) 을 통과 한 증착 재료 가 , 직선 적 으로 기판 ( 40 ) 의 증착 면 에 도달 하 는 일 이 없 다 . 따라서 , 도가니 ( 10 X ) 내 에서 , 스플래시 가 생기 더라도 , 액체상 또는 고체상 의 증착 재료 가 기판 ( 40 ) 의 증착 면 에 도달 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 성막 중 의 막 이 파손 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .