또한 , 척 테이블 ( 20 ) 에 있 어서 의 - Y 방향 측 및 + Y 방향 측 에 는 , 한 쌍 의 이오 나이저 ( 51 ) 가 , 척 테이블 ( 20 ) 을 Y 축 방향 을 따라 사이 에 두 도록 마련 된다 . 또한 , 스피너 세정 유닛 ( 24 ) 에 있 어서 의 - Y 방향 측 및 + Y 방향 측 에 도 , 한 쌍 의 이오 나이저 ( 51 ) 가 , 스피너 테이블 ( 27 ) 를 Y 축 방향 을 따라 사이 에 두 도록 마련 된다 .