도 4 는 저압 분위기 를 유지 하 기 위한 프로세스 챔버 바디 ( 402 ) 를 갖 는 ALD 프로세스 스테이션 ( 400 ) 의 실시 예의 개략 적 예시 를 도시 한다 . 복수 의 ALD 프로세스 스테이션 들 ( 400 ) 은 공통 저압 프로세스 툴 분위기 내 에 포함 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 도 5 는 멀티 - 스테이션 프로세싱 툴 ( 500 ) 의 실시 예 를 도시 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 이하 에 상세히 논의 된 것 들 을 포함 하 는 ALD 프로세스 스테이션 ( 400 ) 의 하나 이상 의 하드웨어 파라미터 들 은 하나 이상 의 컴퓨터 제어기 들 ( 450 ) 에 의해 프로그램 적 으로 조정 될 수 도 있 다 .