본 실시 예의 방법 에 있 어서 , 상기 절 연막 을 형성 하 는 것 은 상기 복수 개 의 셀 스트링 들 을 상기 제 1 수평 방향 으로 이격 시키 며 , 상기 기판 을 노출 시키 는 상기 제 2 수평 방향 으로 연장 된 상기 워드 라인 컷 을 형성 하 고 ; 그리고 상기 워드 라인 컷 의 상부 입 구부 에 절연체 를 오버행 성장 시켜 상기 절 연막 을 형성 하 되 , 상기 절 연막 을 상기 기판 과 접속 하 지 아니하 며 상기 워드 라인 컷 의 상부 입 구부 를 막 는 형태 로 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .