도 1 은 마스터 폼 ( master form ) ( 3 ) 의 평면도 를 도시 하고 , 도 2 는 마스터 폼 ( 3 ) 의 한 영역 의 측 단면도 를 도시 한다 . 마스터 폼 ( 3 ) 은 캐 비티 ( 23 ) 를 포함 하 고 , 스 페이서 웨이퍼 제조 공정 중 일어나 는 임의 의 수축 을 보상 하 기 위해 몇몇 치수 ( x , y , z ) 가 확장 되 는 것 을 제외 하 고는 , 본질 적 으로 최종 스 페이서 웨이퍼 와 동일 한 형상 을 갖 는다 . 전형 적 으로 , 스 페이서 웨이퍼 의 높이 또는 두께 가 특정 높이 를 초과 하 지 않 는 한 , 단지 웨이퍼 의 높이 ( z 치수 ) 에서 의 수축 만 이 보상 될 필요 가 있 으며 , 평면 ( x 및 y 치수 ) 내 에서 의 수축 은 무시 될 수 있 다 . 예컨대 특정 재료 에 대해 1 mm 를 초과 하 는 보다 두꺼운 스 페이서 웨이퍼 에 대해서 , 웨이퍼 는 큐어 링 ( curing ) 중 또는 큐어 링 후 휘어질 수 있 다 . 마스터 폼 ( 3 ) 은 금속 또는 유리 또는 다른 재료 로 제조 되 는 고 정밀 기계 가공 된 부품 일 수 있 다 . 스 페이서 웨이퍼 를 제조 하 는 본 목적 을 위해서 , 마스터 폼 은 바람직 하 게 는 강재 또는 유리 로부터 마스터 스 페이서 웨이퍼 를 제조 한 다음 에 그것 을 강재 또는 유리 로 제조 된 평탄 한 표면 상 에 접착 시킴 으로써 생성 된다 . 마스터 폼 은 몰드 도구 제조 단계 중 몰드 도구 ( 2 ) 의 더욱 우수 한 이 형 ( release ) 을 위해 점착 방지 코팅 으로 처리 될 수 있 다 . 캐 비티 ( 23 ) 는 수직 측벽 들 을 구비 한 원형 인 것 으로 도시 되 지만 , 다른 형상 및 경사진 벽 들 을 또한 포함 할 수 있 어 , 이 에 상응 하 게 형성 되 는 스 페이서 를 형성 할 수 있 다 . 캐 비티 ( 23 ) 또는 스 페이서 웨이퍼 상 의 다른 특징 부 는 예 를 들 어 매 2 mm 내지 3 mm 내지 5 mm 마다 반복 되 는 그리드 를 형성 한다 .