h 1 은 암모니아 , 질소 , 트리 메틸 갈륨 의 챔버 내부 로 의 공급 을 중단 하 고 5 분 간 , 챔버 내부 의 압력 이 500 torr 이 고 , 챔버 내부 온도 는 1100 ~ 1200 ℃ 이 며 , 기판 ( 100 ) 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 750 RPM 인 조건 에서 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 이 낮 아 진 높이 다 .