도 5 a 는 본 발명 에 따라 , 접착 촉진제 를 웨이퍼 의 가장자리 영역 에 만 도포 한 경우 를 나타내 는 도면 으로서 , 웨이퍼 ( 105 ) 가장자리 영역 에 만 접착 촉진제 ( 140 ) 를 도포 하 고 , 그 상부 에 BARC ( 110 ) , 포토레지스트 ( 120 ) 및 탑 코트 막 ( 130 ) 를 순차 적 으로 도포 한 것 을 나타낸다 . 이때 접착 촉진제 는 웨이퍼 ( 105 ) 상부 전체 가 아닌 가장자리 영역 ( E ) 에 만 도포 된다 ( 도 5 b 참조 ) .