그리고 , 상기 대상 패널 ( 1 ) 의 취 출 이 완료 되 어 핸드 부 ( 310 ) 가 카세트 ( 10 ) 에 의해 이동 에 간섭 을 받 지 않 는 높이 에 까지 도달 되 면 첨부 된 도 5 d 및 도 5 e 와 같이 제 1 동 작부 ( 322 ) 의 구동 에 의해 상기 핸드 부 ( 310 ) 는 히팅 챔버 ( 100 ) 의 패널 출입구 ( 111 ) 와 대향 되 는 위치 에 까지 이동 된다 .