한편 , 도 8 및 도 9 를 참조 로 하 면 , 본 발명 에 따르 는 상기 제 1 , 2 분사 홀 들 ( 351 , 352 ) 은 상기 회전축 ( 110 ) 의 회전 방향 ( R ) 과 반대 방향 ( - R ) 을 따라 경사진 홀 일 수 있 다 . 따라서 , 상기 제 1 , 2 분사 홀 들 ( 351 , 352 ) 은 상기 회전 되 는 회전축 ( 110 ) 과 돌출부 ( 120 ) 의 회전 방향 ( R ) 과 반대 방향 ( - R ) 으로 경사지 도록 질소 가스 를 분사 하 기 때문 에 , 상기 회전축 ( 110 ) 과 돌출부 ( 120 ) 의 외면 에 형성 될 수 있 는 파티클 을 상기 회전 방향 ( R ) 과 반대 방향 ( - R ) 으로 밀 어 내 어 제거 할 수 있 다 .