스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 열 방향 폭 ( W 1 ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 열 방향 폭 ( W 2 ) 이 동일 한 경우 , 서로 대응 하 는 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 이 행 방향 으로 정렬 되 어 있 다는 것 은 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 상단 ( 또는 하단 ) 과 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 상단 ( 또는 하단 ) 이 행 방향 으로 뻗 는 동일 선상 에 위치 하 는 것 을 의미 할 수 있 다 . 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 열 방향 폭 ( W 1 ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 열 방향 폭 ( W 2 ) 이 서로 다른 경우 , 서로 대응 하 는 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 이 행 방향 으로 정렬 되 어 있 다는 것 은 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 중 열 방향 폭 이 좁 은 쪽 의 상단 및 하단 이 열 방향 폭 이 넓 은 쪽 의 상단 과 하단 사이 에 위치 하 거나 상단 또는 하단 과 행 방향 으로 동일 선상 에 위치 하 는 것 을 의미 할 수 있 다 . 이때 열 방향 폭 이 좁 은 쪽 의 상단 및 하단 은 열 방향 폭 이 넓 은 쪽 의 상단 의 위쪽 및 하단 의 아래쪽 으로 벗어나 지 않 을 수 있 다 . 따라서 서로 대응 하 는 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 및 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 이 행 방향 으로 정렬 되 어 있 지 않 고 어긋나 있 다는 것 은 상기 정렬 된 경우 이외 의 경우 를 의미 할 수 있 다 . 이 는 이후 설명 에서 도 동일 하 게 적용 될 수 있 다 .