본 발명 에 따르 면 , 진공 펌프 장치 , 배기 가스 처리 장치 또는 접속 파이프 에 부착 되 어 있 는 분말 의 미리 정해진 양 을 검출 함 으로써 , 분말 부착 의 발생 을 지시 하 는 신호 가 배기 시스템 내 의 이 들 장치 로부터 제조 장치 에 출력 된다 . 신호 를 수신 한 제조 장치 는 HF , ClF 3 또는 NF 3 와 같 은 세정 가스 를 제조 장치 의 출구 에 방출 한다 . 배기 시스템 내 의 분말 부착 은 압력 ( 진공 펌프 의 배기 압력 , 배기 가스 처리 장치 의 입구 압력 등 ) , 진공 펌프 의 부하율 , 가스 의 종류 및 제조 장치 로부터 가스 의 방출 시간 등 으로부터 검출 될 수 있 다 . 본 발명 에 따르 면 , 분말 에 의해 발생 된 파이프 의 폐색 또는 진공 펌프 의 정지 가 방지 될 수 있 고 , 분말 을 세정 하 기 위한 시간 이 단축 될 수 있 다 .