코팅 프로세스 또는 장치 의 최적 화 는 예 를 들 어 본 발명 에 개시 된 임의 의 펌프 들 과 같 은 다양 한 펌프 들 을 갖춘 장치 를 구성 하 는 단계 , 앞서 본 발명 에 개시 된 코팅 프로세스 를 수행 하 는 단계 , 및 산출 되 는 가스 격리 비율 을 평가 하 는 단계 를 수반 한다 . 성공 적 인 최적 화 는 예 를 들 어 , 본 발명 에서 개 시 또는 고려 되 는 가스 격리 비율 결과 와 다른 팩 터 들 간 에 허용 가능 한 밸런스 를 찾 는 단계 를 수반 한다 . 단지 예 로써 , 약 2 내지 약 3 개 또는 4 개 의 터보 분자 형 펌프 들 은 프로세스 에 적합 한 가스 격리 결과 를 제공 하 는 , ( 터보 분자 형 펌프 들 의 상대 적 으로 높 은 비용 면 에서 낮 은 수 가 바람직 한 ) 본 발명 에 개시 된 또는 고려 되 는 코팅 프로세스 또는 장치 에 서 확산 펌프 의 위치 에 성공 적 으로 이용 될 수 있 다 .