또한 , 지지 페데 스탈 ( 416 ) 은 내부 및 외부 온도 조절 구역 ( 474 , 476 ) 을 포함 할 수 있 다 . 각각 의 구역 ( 474 , 476 ) 은 페데 스탈 상 에 배치 된 기판 의 원형 온도 그라 디언 트 ( radial temperature gradient ) 가 제어 될 수 있 도록 , 냉각제 순환 을 위한 도관 또는 저항성 히터 와 같 은 적어도 하나 의 온도 조절 장치 를 포함 할 수 있 다 .