일부 실시 예 들 에서 , 하나 이상 의 웨이퍼 는 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 460 ) 및 / 또는 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 470 ) 에 의해 수납 될 수 있 다 . 처리 시퀀스 는 시스템 ( 400 ) 에 의해 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 다 . 예컨대 , 웨이퍼 및 / 또는 프로세스 상태 데이터 는 웨이퍼 가 수납 되 어 처리 시퀀스 가 확립 되 기 전 및 / 또는 확립 될 때 에 이용 될 수 있 다 . 대안 으로 웨이퍼 는 처리 요소 에 의해 수납 될 수 도 있 다 .