도 11 은 도 4 의 인터페이스 모듈 을 보여 주 는 정면도 이 고 , 도 12 는 도 11 의 실링 어셈블리 를 보여 주 는 사시도 이 며 , 도 13 은 도 12 의 실링 어셈블리 를 위 에서 아래 로 바라본 수평 단면도 이 고 , 도 14 및 도 15 는 실링 부재 ( 5200 ) 의 팽창 및 수축 을 보여 주 는 도면 들 이 다 . 도 11 내지 도 15 를 참조 하 면 , 실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 인덱스 모듈 ( 20 ) 과 공정 모듈 ( 30 ) 의 사이 공간 을 , 그리고 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 의 사이 공간 을 실링 한다 . 이 에 따라 인덱스 모듈 ( 20 ) , 공정 모듈 ( 30 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 40 ) 각각 의 내부 가 외부 에 노출 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 인덱스 모듈 ( 20 ) 과 공정 모듈 ( 30 ) 의 사이 공간 에 , 그리고 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 의 사이 공간 에 각각 제공 된다 . 본 실시 예 에 는 각 모듈 에 사이 에 위치 되 는 실링 어셈블리 ( 5000 ) 는 동일 한 구조 를 가지 므로 , 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 의 사이 에 제공 되 는 실링 어셈블리 ( 5000 ) 에 대해 설명 한다 . 공정 모듈 ( 30 ) 의 후단 에 형성 되 는 개구 를 제 1 개 구 ( 31 ) 로 정의 하 고 , 인터페이스 모듈 ( 40 ) 에 형성 되 는 개구 를 제 2 개 구 ( 41 ) 로 정의 한다 . 제 1 개 구 ( 31 ) 와 제 2 개 구 ( 41 ) 는 동일 한 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 공정 모듈 ( 30 ) 과 인터페이스 모듈 ( 40 ) 은 제 1 개 구 ( 31 ) 와 제 2 개 구 ( 41 ) 가 서로 마주 하 도록 도킹 될 수 있 다 .