정상 흡착 패드 ( 521 a ) 는 도 6 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 쏘 팅 픽커 ( 520 ) 가 하강 하 여 흡착 패드 ( 521 a ) 의 하면 이 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 에 접촉 될 때 , 흡착 패드 ( 521 a ) 의 하면 과 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 사이 에 공간 이 발생 되 지 않 게 된다 . 따라서 , 흡착 패드 ( 521 a ) 의 하면 과 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 사이 에 진공 리크 가 발생 하 지 않 아 , 공 압 센서 ( 550 ) 에서 측정 된 쏘 팅 픽커 ( 520 ) 흡착 패드 의 공 압 은 기 설정 된 목표 공 압 이상 이 된다 .