이 와 같이 , 웨이퍼 의 전해 연마 에 있 어서 , 공정 마다 의 각 모듈 에 웨이퍼 를 순차 반송 하 여 가공 한 경우 , 어느 하나 의 모듈 에서 일단 문제 가 발생 하 면 그 문제 는 큰 문제 를 일으키 게 된다 . 예 를 들 면 , 가공 처리 중 에 세정 공정 의 모듈 에서 문제 가 발생 했 을 때 , 오퍼레이터 가 알아차리 지 못하 고 이 문제 에 대한 대응 이 늦 어 진 경우 에 는 , 세정 공정 의 모듈 에서 웨이퍼 의 반송 계 가 정체 하 고 , 그 영향 이 다른 공정 의 복수 의 모듈 에 도 미치 게 된다 . 그 결과 , 다른 복수 의 모듈 의 반송 계 가 정체 하 기 때문 에 , 가공 처리 라인 을 흐르 고 있 던 모든 웨이퍼 가 정체 하 고 , 이 정체 한 웨이퍼 가 외부 공기 나 처리 액 과 장시간 접촉 하 여 , 산화 열화 나 부식 등 의 결함 을 일으킨다는 문제 가 있 었 다 .