에너지 슬릿 ( 38 ) 은 , 각도 에너지 필터 ( 36 ) 의 하류 측 에 마련 되 고 , 각도 에너지 필터 ( 36 ) 와 함께 웨이퍼 ( W ) 에 입사 하 는 이온 빔 의 에너지 분석 을 한다 . 에너지 슬릿 ( 38 ) 은 , 빔 주사 방향 ( x 방향 ) 으로 가로 방향 의 슬릿 으로 구성 되 는 에너지 제한 슬릿 ( EDS ; Energy Defining Slit ) 이 다 . 에너지 슬릿 ( 38 ) 은 , 원 하 는 에너지 값 또는 에너지 범위 의 이온 빔 을 웨이퍼 ( W ) 를 향하 여 통과 시키 고 , 그 이외 의 이온 빔 을 차폐 한다 .