한편 , 본 실시 예 에서 는 상기 상부 및 하부 도전 성막 이 플랫 한 형상 이나 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 상기 상부 및 하부 도전 성막 에 요철 을 주 어 적층 형 소자 의 정전 용량 을 늘일 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 상부 및 하부 도전 성막 중 적어도 하나 에 원기둥 또는 다 각기둥 인 볼록 부를 형성 할 수 있 으며 , 상기 상부 및 하부 도전 성막 중 적어도 하나 에 오목 부를 형성 할 수 도 있 다 .