서브 광체 ( 119 ) 는 포드 반송 장치 ( 118 ) 나 회전식 포드 선반 ( 105 ) 의 설치 공간 으로부터 유체 적 으로 격절 ( 隔絶 ) 된 이재실 ( 124 ) 을 구성 하 고 있 다 . 이재실 ( 124 ) 의 전측 ( 前 側 ) 영역 에 는 웨이퍼 이재 기구 ( 기판 이재 기구 ) ( 125 ) 가 설치 되 어 있 고 , 웨이퍼 이재 기구 ( 125 ) 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 수평 방향 으로 회전 내지 직동 ( 直 動 ) 할 수 있 는 웨이퍼 이재 장치 ( 기판 이재 장치 ) ( 125 a ) 및 웨이퍼 이재 장치 ( 125 a ) 를 승강 시키 기 위한 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터 ( 기판 이재 장치 승강 기구 ) ( 125 b ) 로 구성 되 어 있 다 . 도 2 에 모식 적 으로 나타낸 바 와 같이 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터 ( 125 b ) 는 내압 광체 ( 111 ) 우측 단부 ( 端部 ) 와 서브 광체 ( 119 ) 의 이재실 ( 124 ) 전방 영역 우단 부와 의 사이 에 설치 되 어 있 다 . 이 들 , 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터 ( 125 b ) 및 웨이퍼 이재 장치 ( 125 a ) 의 연속 동작 에 의하 여 , 웨이퍼 이재 장치 ( 125 a ) 의 트 위저 ( tweezer , 기판 보 지체 ) ( 125 c ) 를 웨이퍼 ( 200 ) 의 재 치부 로 하 고 , 보트 ( 기판 보 지구 ) ( 217 ) 에 대하 여 웨이퍼 ( 200 ) 를 장전 ( charging ) 및 탈장 ( discharging ) 하 도록 구성 되 어 있 다 .