등방성 흑연 재료 를 , 50 × 50 × 5 mm 의 사이즈 로 되 도록 가공 하 고 , 흑연 기재 로 하 였 다 . 얻 어 진 흑연 기재 를 CVD 로 내 에 두 고 , 진공 펌프 로 감압 하 면서 1200 ℃ 이상 으로 가열 하 고 , 탄화수소 를 포함 하 는 원료 가스 를 , CVD 로 내 의 가스 압 이 1 kPa 이하 로 되 도록 공급 하 여 , 열분해 탄소 층 의 형성 을 개시 시켰 다 .