예열 링 ( 150 ) 은 공정 챔버 ( 110 ) 의 내부 에 배치 될 수 있 다 . 예열 링 ( 150 ) 은 서 셉 터 ( 120 ) 의 외측 에 서 셉 터 ( 120 ) 를 둘러싸 도록 배치 될 수 있 다 . 도면 에 는 예열 링 ( 150 ) 이 원형 의 링 으로 제공 되 는 것 을 예 로 들 어 도시 하 였으나 , 예열 링 ( 150 ) 의 형상 및 구조 는 이 에 제한 되 지 않 는다 . 예열 링 ( 150 ) 은 인 젝 터 유닛 ( 130 ) 을 통해 내부 공간 ( 105 ) 으로 공급 된 공정 가스 들 이 기판 ( W ) 상 으로 공급 되 기 전 에 , 공정 가스 들 을 예열 할 수 있 다 . 공정 가스 들 을 예열 함 으로써 , 공정 분위기 를 조성 할 수 있 다 . 예열 링 ( 150 ) 은 그래 파이트 를 포함 하 고 , 외면 들 을 감싸 는 코팅 막 을 포함 할 수 있 다 . 코팅 막 은 실리콘 카바이드 를 포함 할 수 있 다 .