그 다음 , 상기 순환 펌프 부 ( 300 ) 에서 는 상기 수조 ( 200 ) 로 부 터 의 냉각수 ( H 2 O ) 와 상기 오존 발생 부 ( 100 ) 로 부 터 의 오존 ( O 3 ) 을 공급 받 아 이 를 혼합 한 후 배출 하 고 , 상기 분사 펌프 부 ( 400 ) 는 상기 순환 펌프 부 ( 300 ) 로부터 배출 되 는 오존 ( O 3 ) 과 냉각수 ( H 2 O ) 의 혼합물 을 공급 받 아 분사 하 여 배출 한다 .