또한 도 3 a , 도 3 b , 도 3 c , 도 3 d 를 참조 하 여 , 한 양태 에서 , 이송 장치 ( 245 ) 는 적어도 하나 의 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) , 및 적어도 하나 의 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 을 가지 는 적어도 하나 의 이송 아암 부분 을 포함 한다 . 적어도 하나 의 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 은 임의 의 적절 한 연결부 ( CNX ) 에서 임의 의 적절 한 방식 으로 구동 섹션 ( 300 A - 300 D ) 의 구동 샤프트 에 결합 될 수 있 어서 , 구동 샤프트 의 회전 은 본 명세서 에 기술 된 바 와 같이 적어도 하나 의 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 의 이동 을 수행 한다 . 한 양태 에서 , 적어도 하나 의 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 은 구동 섹션 을 이용 하 여 연결부 ( CNX ) 에서 교체 되 도록 ( swapped ) 다수 의 상이 한 교체 가능 한 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 과 교체 가능 할 수 있 으며 , 여기 에서 각각 의 교체 가능 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 은 , " 구동 섹션 이 예 를 들 어 그 개시 내용 이 그 전체 에 있 어서 참조 에 의해 본원 에 통합 되 는 "" 기판 이송 장치 위치 보상 을 위한 방법 및 장치 "" 라는 명칭 으로 2017 년 1 월 26 일자 출원 된 미국 가 출원 제 62 / 450 ", 818 호 에 개시 된 것 과 실질 적 으로 유사 한 방식 으로 , Z - 방향 으로 보상 아암 운동 을 사용 하 여 처짐 을 보상 할 수 있 도록 관련 된 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 의 아암 처짐 거리 를 기술 하 는 , 상이 한 처짐 특성 및 이 와 관련 된 처짐 거리 레지스터 ( droop distance register ) 를 가진다 .