상기 케미컬 공급 장치 ( 100 ) 는 , 벽체 ( 700 ) 의 내측 에 는 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 와 질소 용 수 커넥터 ( 미 도시 ) 가 구비 되 고 , 상기 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 와 질소 용 수 커넥터 ( 미 도시 ) 및 이 들 에 연결 된 케미컬 용 호스 ( 500 ) 와 질소 용 호스 ( 600 ) 를 거치 하 기 위한 거 치부 ( 150 ) 가 구비 되 며 , 이송용 하우징 ( 105 ) 의 내측 에 는 상기 수 커넥터 ( 510 ) 와 질소 용 수 커넥터 ( 미 도시 ) 를 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) 와 질소 용 암 커넥터 ( 미 도시 ) 측 으로 이송 하 기 위한 이송 유닛 ( 180 ) 이 구비 되 고 , 하우징 본체 ( 200 ) 의 내부 에 는 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) 와 질소 용 암 커넥터 ( 미 도시 ) 및 케미컬 용 호스 ( 500 ) 를 통해 공급 된 케미컬 을 케미컬 저장 탱크 ( 미 도시 ) 로 분배 하 거나 , 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) 와 질소 용 암 커넥터 를 세정 하 기 위한 구성 들 이 구비 된다 .