베이스 플레이트 ( 24 ) 는 예 를 들 어 , 평면 적 으로 볼 때 원형 이 다 . 베이스 플레이트 ( 24 ) 는 베이스 플레이트 ( 24 ) 를 두께 방향 으로 관통 하 는 관 통공 ( 24 x ) 을 포함 한다 . 관 통공 ( 24 x ) 에 는 , 급전 전극 ( 25 ) 이 배치 된다 . 급전 전극 ( 25 ) 은 흡착 전극 ( 22 ) 과 전기 적 으로 연결 된다 . 베이스 플레이트 ( 24 ) 의 재료 로 는 알루미나 세라믹 ( Al 2 O 3 ) 을 사용 할 수 있 다 . 이 베이스 플레이트 ( 24 ) 의 열팽창 률 은 400 ℃ 이하 의 범위 에서 7 . 2 × 0 - 6 / K 이 다 . 베이스 플레이트 ( 24 ) 를 구성 하 는 Al 2 O 3 의 체적 저항 값 은 1 . 0 × 1014 Ω ㅇ cm 이상 이 다 . 급전 전극 ( 25 ) 의 재료 로서 는 , 예 를 들 면 , 상기 흡착 전극 ( 22 ) 과 동일 한 재료 를 사용 할 수 있 다 .