본 발명 의 바람직 한 실시 예 에서 는 상기 선택 반사 거울 ( 200 ) 이 가시광선 은 통과 시키 고 자외선 은 반사 하 는 형태 로 구비 되 었 으나 , 반드시 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 어 , 상기 선택 반사 거울 ( 200 ) 은 적외선 을 통과 시키 고 , 자외선 및 가시광선 은 반사 하 는 형태 로 구비 될 수 도 있 다 . 이 경우 , 상기 노광 장치 용 광축 확인 기 ( 300 ) 는 상기 선택 반사 거울 ( 200 ) 을 통과 한 적외선 을 이용 하 여 , 상기 집광 거울 ( 100 ) 에 의해 평행 하 게 집광 된 빛 의 광축 을 확인 하 도록 구비 된다 . 이때 , 상기 노광 장치 용 광축 확인 기 ( 300 ) 에 는 적외선 감지 기능 이 추가 적 으로 구비 될 수 도 있 다 .