레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 , 중합체 , 레지스 트 하 층막 , 패턴 형성 방법 및 반도체 장치 의 제조 방법 { COMPOSITION FOR FORMING RESIST LOWER LAYER FILM , POLYMER , RESIST LOWER LAYER FILM , PROCESS FOR FORMING PATTERN AND PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE }