본 발명 은 상기 와 같 은 본 발명 의 목적 을 달성 하 기 위하 여 창출 된 것 으로서 , 본 발명 은 처리 공간 을 형성 하 도록 서로 분리 가능 하 게 결합 되 는 상부 하우징 및 하부 하우징 과 ; 회전 에 의하 여 상기 상부 하우징 과 하부 하우징 을 분리 또는 결합 시키 는 캠 부를 포함 하 는 착 탈 부 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 진공 처리 장치 를 개시 한다 .