도 13 ( a ) 내지 도 13 ( d ) 는 , 실시 형태 1 에서 의 오프셋 양 을 가변 케 한 경우 의 복수 의 묘화 시퀀스 의 일예 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 도 13 ( a ) 내지 도 13 ( d ) 에서 , 각 테두리 는 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 나타내 고 , 세로 로 배열 된 테두리 는 같 은 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 나타낸다 . 또한 , 테두리 내 의 각 번호 는 빔 번호 를 나타낸다 . 또한 , 사선 의 테두리 는 결함 빔 에서 조사 되 는 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 나타내 고 , 사선 의 테두리 를 조사 하 는 결함 빔 번호 는 , 인접 테두리 의 연속 번호 가 된다 . ( A , B ) 의 A 는 , 트랙 킹 제어 의 회수 를 나타내 며 , B 는 , 오프셋 양 이 되 는 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 의 배수 의 값 을 나타낸다 . 따라서 , 예 를 들 면 , ( k + 1 , 1 ) 란 , k 회 째 의 트랙 킹 리셋 시의 되돌림 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 의 1 배 만큼 + x 방향 으로 오프셋 된 위치 로부터 k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 를 행하 는 경우 를 나타낸다 .