본 발명 의 일 양태 에서 , 본 명세서 의 발명자 들 은 레시피 가 ' 진공 환경 ' 에서 생성 되 지 않 는다는 것 을 깨달 았 다 . 대신 에 , 레시피 특히 좋 은 레시피 는 지식 , 기술 , 및 복수 의 변수 들 ( 예 를 들 어 , 레시피 , 프로세스 데이터 , 히스토리 컬 데이터 등 ) 로부터 데이터 소스 들 의 통합 을 요구 할 수 도 있 다 . 또한 , 좋 은 레시피 는 도구 제조사 , 기판 제조사 등 과 같 은 회사 의 내부 및 외부 모두 의 자원 들 로부터 협력 적 노력 을 요구 할 수 도 있 다 .