플러그 충 진체 ( 170 ) 는 , 폴리 실리콘 , 텅스텐 ( W ) , 티타늄 질화물 ( TiN ) , 알루미늄 산화물 ( AlOx ) , 금속 탄화물 , 텅스텐 탄화물 ( WC ) , 텅스텐 붕소 탄화물 ( WBC ) , 금속 질화물 , 또는 상기 에서 열거 한 임의 조합 물 을 포함 할 수 있 다 . 플러그 충 진체 ( 170 ) 에 사용 되 는 재료 에 따라 , 집적 과 관련 된 불능 으로 인해 불 안정 성 의 위험 증가 및 비용 증가 가 있 을 수 있 다 . 플러그 충 진체 ( 170 ) 는 , 적층 체 ( 140 ) 의 하부 에서 채널 구멍 또는 메모리 구멍 을 보호 하 는 데 사용 되 는 희생 재료 를 포함 할 수 있 다 . 캡 ( 미 도시 ) 은 플러그 충 진체 ( 170 ) 의 상부 상 에 또한 선택 적 으로 배치 될 수 있 다 . 캡 은 , 예 를 들 어 티타늄 질화물 , 텅스텐 질화물 , 또는 알루미늄 질화물 과 같 은 금속 질화물 을 포함 할 수 있 다 .