본 발명 에서 개시 된 또는 고려 되 는 것 처럼 펌프 격실 을 포함 하 는 장치 를 평가 하 기 위해 , 펌프 격실 과 접하 는 2 개 의 코팅 또는 프로세스 격실 들 간 에 달성 되 는 가스 격리 평가 가 취해질 수 있 다 . 단지 일례 로 , 이러 한 평가 는 2 개 의 코팅 격실 들 에서 적절 한 진공 조건 , 이를 테 면 예 를 들 어 약 8 x 10 - 6 Torr 의 베이스 압력 을 생성 하 는 단계 , 프로세스 압력 , " 이를 테 면 예 를 들 어 약 3 x 10 - 3 Torr 의 프로세스 압력 을 설정 하 기 위해 코팅 격실 들 중 하나 ( "" 격실 1 "") 에 프로세스 가스 를 제공 하 는 단계 ", 펌프 격실 과 관련 된 펌프 들 을 동작 시키 는 단계 를 포함 하 는 코팅 프로세스 를 수행 하 는 단계 , " 및 코팅 격실 들 중 다른 하나 ( "" 격실 2 "") 에서 프로세스 가스 를 측정 하 는 단계 를 포함 한다 . 이러 한 평가 는 프로세스 가스 가 격실 2 에 제공 되 고 격실 1 에서 측정 된다는 것 을 제외 하 고 ", 이전 의 프로세스 를 수반 할 수 있 다 . 이러 한 측정 들 로부터 , 앞 허 개시 된 가스 격리 비율 이 결정 될 수 있 으며 , 주어진 프로세스 에 적합 한 또는 앞서 개시 된 가스 격리 비율 들 을 참조 로 성공 여부 가 결정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 본 발명 에 개시 된 또는 고려 되 는 장치 를 사용 하 여 달성 되 는 가스 격리 레벨 들 은 도 4 및 도 5 를 참조 로 개시 되 는 모듈러 코팅 기 를 사용 하 여 달성 되 는 것 과 거의 동일 한 또는 보다 나 을 수 있 다 .