마더 기판 ( 10 ) 이 분단 대상 으로 될 경우 , 마더 기판 ( 10 ) 은 , 패턴 ( 2 ) 이 구비 되 는 한쪽 주면 측 을 상부 면 ( 스 크라 이브 대상 면 ) 으로 하 고 , 다른 쪽 주면 측 을 스테이지 ( 101 ) 에 대한 재치 면 ( 載 置 面 ) 으로 하 는 양상 으로 , 스테이지 ( 101 ) 에 재치 고정 되 어 , 위치 결정 된다 .