스퍼터링 과 같 은 종래 의 제조 기술 의 경우 , 저항 스위칭 금속 산화물 에서 달성 될 수 있 는 금속 결함 량 은 제한 되 었 다 . 예 를 들 어 , 니켈 - 계 시스템 에서 , 달성 된 가장 낮 은 니켈 대 산 소비 는 약 0 . 8 : 1 ( 즉 , Ni 0 . 8 O ) 이 었 다 . 이런 타입 의 니켈 산화물 막 은 비교 적 높 은 밀도 ( 즉 , 약 5 . 4 내지 5 . 8 g / cm 3 ) 및 낮 은 저항 율 ( 즉 , 10 ohm - cm 미만 ) 을 나타냈 다 .