또한 , 상기 하부 챔버 ( 2 ) 의 하방 에 는 도가니 ( 7 ) 를 지지 하 기 위한 도가니 축 ( 14 ) 이 있 고 , 상기 도가니 축 ( 14 ) 은 도가니 축 ( 14 ) 에 접속 된 도가니 이동 기구 ( 도시 안함 ) 에 의해 상하 로 움직일 수 있 으며 , 또한 회전 할 수 있 다 . 한편 , 상기 하부 챔버 ( 2 ) 에 는 하부 챔버 ( 2 ) 밖 으로 불순물 또는 오염물 을 배출 하 기 위한 가스 배기 라인 ( 12 ) 이 부착 되 어 있 고 , 상기 가스 배기 라인 ( 12 ) 에 는 각각 쓰 로 들 밸브 ( 4 c ) 를 포함 한 유량 압력 조절 기구 가 있 다 . 따라서 하부 챔버 ( 2 ) 내부 의 가스 유량 과 압력 을 소망 하 는 값 으로 조정 할 수 있 다 .