다음 에 , 본 발명 에 따른 다른 압력 센서 에 대해서 , 도 6 , 도 7 을 참조 하 여 설명 한다 . 또한 , 도 7 은 도 6 의 xx ' 선 에 있 어서 의 단면 을 나타내 고 있 다 . 이 압력 센서 는 , 반도체 층 ( 151 ) 에 형성 된 다이어프램 ( 159 ) 과 , 다이어프램 ( 159 ) 의 응력 ( 변형 ) 을 측정 하 는 피에조 소자 ( 측 정부 ) ( 150 ) 를 구비 한다 . 피에조 소자 ( 150 ) 에 의해 , 다이어프램 ( 159 ) 의 변형 을 계측 함 으로써 , 다이어프램 ( 159 ) 에 인가 되 는 압력 을 측정 한다 .