도 17 에 제시 된 순서도 에 있 어서 , 시작 은 로봇 ( 6 ) 의 핸드 ( 66 ) 가 웨이퍼 ( 9 ) 를 턴테이블 ( 71 ) 에 재치 하 여 , 얼라 이너 ( 7 ) 의 척 ( 72 ) 이 웨이퍼 ( 9 ) 의 외주 를 유지 한 상태 이 다 . 이때 , 제 2 모터 ( 43 ) 및 제 2 인코더 ( 44 ) 는 원점 위치 ( 기준 위치 ) 에서 정지 하 고 있 다 .