도 10 은 본 발명 에 따른 수직 콤 전극 구조 를 제조 하 기 위한 예시 적 인 구성 을 나타내 는 분해 사시도 이 다 . 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 고정 콤 전극 ( 22 ) 을 구비 하 는 하부 실리콘 기판 ( 21 ) 이 베이스 기판 ( 30 ) 위 에 적층 되 며 , 상기 하부 실리콘 기판 ( 21 ) 위 에 는 구동 콤 전극 ( 27 ) 을 구비 하 는 상부 실리콘 기판 ( 24 ) 이 적층 된다 . 도 10 에 는 도시 되 어 있 지 않 지만 , 하부 실리콘 기판 ( 21 ) 과 상부 실리콘 기판 ( 24 ) 사이 에 는 절연 을 위한 산화물 층 이 적층 되 어 있 다 .