제 어부 ( 6 b ) 는 , CPU ( Central Processing Unit ) , ROM ( Read Only Memory ) , RAM ( Random Access Memory ) , 입출력 포트 등 을 갖 는 마이크 로 컴퓨터 나 각종 의 회로 를 포함 한다 . 제 어부 ( 6 b ) 는 , 기억 부 ( 6 a ) 에 기억 된 프로그램 을 판독 하 여 실행 함 으로써 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 을 제어 한다 .