가스 배기 포트 ( 20 ) 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 내 를 배기 하 는 진공 배 기계 ( 30 ) 가 접속 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 진공 배 기계 ( 30 ) 는 , 가스 배기 포트 ( 20 ) 에 연결 되 는 예 를 들 어 스테인리스강 에 의해 형성 되 는 금속제 의 가스 배기관 ( 31 ) 을 갖 고 있 다 . 또한 , 가스 배기관 ( 31 ) 도중 에 는 , 개폐 밸브 ( 32 ) , 버터플라이 밸브 등 의 압력 조정 밸브 ( 33 ) 및 진공 펌프 ( 34 ) 가 순차 마련 되 어 있 어 , 처리 용기 ( 10 ) 내 의 압력 을 조정 하 면서 배기 할 수 있 다 . 또한 , 가스 배기 포트 ( 20 ) 의 내경 은 , 가스 배기관 ( 31 ) 의 내경 과 동일 해 지 도록 형성 되 어 있 다 .