처리 실 ( 421 ) 내 에 있 어서 , 탑재 대 ( 43 ) 는 , 선 ( L 11 및 L 12 ) 이 선 ( L 1 및 L 2 ) 보다 반송 실열 ( 31 ) 에 가깝 도록 , 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 ( P 5 ) 이 반송 실열 ( 31 ) 에 가깝 게 위치 되 도록 배치 된다 . 환언 하 면 , 처리 실 ( 421 ) 내 에 있 어서 , 탑재 대 ( 43 ) 는 그 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 ( P 5 ) 이 상술 의 선 ( L 1 ) 과 선 ( L 2 ) 의 교점 ( Q 1 ) 보다 반송 실열 ( 31 ) 측 에 위치 하 도록 마련 되 어 있 다 . 이것 은 , 탑재 대 ( 43 ) 를 그 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 ( P 5 ) 이 상기 교점 ( Q 1 ) 과 일치 하 도록 마련 하 는 경우 에 비해 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 풋 프린트 의 면적 을 저감 시키 기 때문 이 다 .