큰 세기 ( intensity ) 의 텅스텐 또는 할로겐 램프 들 을 열 복사선 공급원 으로서 이용 한다 . 반사기 플레이트 가 웨이퍼 의 후 방부 ( back ) 로부터 방출 된 열 복사선 을 웨이퍼 를 향해서 다시 반사 하 기 때문 에 , 반사기 플레이트 ( 도 2 에서 도시 되 고 이하 에서 추가 로 설명 되 는 바 와 같 다 ) 는 온도 균일성 을 유지 하 는데 있 어서 도움 이 된다 .