캐 패 시터 의 제조 방법 은 , 우선 도 3 a 에 도시 된 바 와 같이 , 워드 라인 , 비트 라인 등 이 형성 된 기판 ( 201 ) 상부 에 층간 절 연막 ( 202 ) 을 형성 한 후 , 콘 택 홀 을 형성 한다 . 여기 서 , 층간 절 연막 ( 202 ) 은 하부 구조물 에 의한 단차 를 완화 시키 기 위해 화학 적 기계 적 연마 ( CMP ) 를 이용 한 평탄 화 가 진행 될 수 있 다 .