알칼리 현상 성 감광성 수지 조성물 을 알루미늄 기판 에 # 3 의 바 코터 로 약 1 ㎛ 의 두께 로 도포 하 였 다 . 60 ℃ 에서 15 분 간 프리 베이 킹 ( prebaking ) 을 행한 후 , 니혼 분코 가부 시 키가 이샤 제품 인 분광 조사 장치 CT - 25 CP 에 의해 광원 으로서 초고압 수은 램프 를 이용 해서 노광 하 고 , 이어서 2 . 5 질량 % 탄산 나트륨 용액 에 25 ℃ 에서 침지 하 여 현상 하 고 , 잘 수세 하 여 , 365 nm 및 405 nm 각각 에서 의 분광 감도 를 측정 하 였 다 . 감도 는 365 nm 및 405 nm 각각 의 빛 에 있 어서 경화 에 필요 한 최소 의 경화 에너지 를 , 알루미늄 기판 상 에 남 은 경화 막 단수 와 365 nm 및 405 nm 각각 의 사출 광량 으로부터 구하 였 다 .