상기 이송 라인 ( 50 ) 은 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 각각 이 별도 의 설치 판 ( 28 ) 상면 에 , 전 , 후 로 LM 가이드 등 에 의해 이동 가능 토록 한 상태 에서 , 상기 설치 판 ( 28 ) 전체 가 실린더 부재 ( 51 ) 에 의해 좌 , 우로 형성 된 별도 의 이송 레일 을 좌 , 우로 이동 가능 하 게 되 는 것 이 다 .