이상 에서 상세히 설명 한 바 와 같이 본 발명 의 MEMS 스위치 는 이동판 부 의 열 적 변형 을 억제 하 여 신뢰 성 을 개선 시키 는 깊 은 주름 을 이동판 부 에 형성 하 고 이동판 부 의 중앙부 에 기판 과 의 간격 을 유지 하 기 위한 지지 돌출부 를 형성 함 으로써 , 접촉 수단 과 신호 라인 의 접촉 이 안정 적 으로 이루어져 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 다 .