이 동부 ( 200 ) 는 부상 스테이지 ( 100 ) 에 안착 된 기판 을 진공 흡착 방식 으로 파지 하 여 이동 시킬 수 있 다 . 이 동부 ( 200 ) 는 부상 스테이지 ( 100 ) 의 양측 가장자리 에 인접 하 여 배치 될 수 있 다 . 즉 , 2 개 의 이 동부 ( 200 ) 가 부상 스테이지 ( 100 ) 의 양측 가장자리 에 배치 될 수 있 는 것 으로서 , 일 측 이 동부 ( 200 ) , 부상 스테이지 ( 100 ) 및 타 측 이 동부 ( 200 ) 가 순차 적 으로 배치 될 수 있 다 .