본 발명 은 MEMS 를 이용 한 압 전 소자 마이크 로 스피커 및 그 제조 방법 에 관한 것 으로 , 본 발명 에 따른 MEMS 를 이용 한 압 전 소자 마이크 로 스피커 는 기판 ; 상기 기판 상 에 형성 된 탄성 박막 ; 상기 탄성 박막 상 에 형성 된 압전체 층 ; 상기 압전체 층 의 상부 또는 상 , 하부 에 형성 된 전극 층 ; 및 상기 기판 의 하부 가 식각 되 어 노출 된 상기 탄성 박막 의 하부 에 형성 되 어 공진 주파수 를 변경 시키 는 공진 변경 부 를 포함 한다 .