상기 제 1 챔버 ( 4 ) 는 테스트 트레이 ( T ) 를 수평 상태 로 이동 시키 는 제 1 엘레 베 이터 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 포함 하 여 이루어지 며 , 테스트 할 반도체 소자 가 장착 된 테스트 트레이 ( T ) 를 상기 제 1 엘레 베이 터 에 의해 1 스탭 씩 상측 으로 이동 시키 면서 테스트 조건 에 상응 하 는 온도 로 가열 또는 냉각 한다 .