이제 , 공정 기체 의 흐름 에 대하 여 도 3 a 를 참고 로 설명 한다 . 기체 유입 구 ( 311 , 312 , 313 ) 로 각각 유입 된 공정 기체 는 도전 천공판 ( 321 ) 과 절연 천공판 ( 320 ) 과 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 상부 의 미세 구멍 을 통과 한다 . 각각 의 공정 기체 들 의 흐름 은 기판 ( 370 ) 과 평행 한 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 하부 의 좁 은 유도 홈 을 지나 며 시계 방향 또는 시계 반대 방향 으로 회전 한다 . 이러 한 회전 에 의하 여 각각 의 공정 기체 들 은 소용돌이 를 일으키 면서 분 산관 ( 330 ) 내부 로 유입 되 는데 , 이러 한 소용돌이 흐름 에 의하 여 분 산관 ( 330 ) 안 에서 기체 유입 구 ( 311 , 312 , 313 ) 로 각각 유입 된 공정 기체 와 불활성 기체 가 잘 혼합 된다 .