그 중 에서 도 , 수송 중 이나 보존 중 등 에 있 어서 의 안전 성 또는 용액 의 안정 성 등 의 문제 에서 2 액 계 이상 의 다액 계 , 특히 안정 성 · 간편 성 이 라는 점 에서 2 액 계 가 바람직 하 고 , 구체 적 으로 는 , 예 를 들 면 , 과산화수소 의 분해 에 의한 에칭 액 의 성능 저하 의 억제 , 염기 성 화합물 ( 알칼리 화합물 ) 과 공존 시키 는 것 에 의한 과산화수소 의 불 안정 성 을 회피 하 는 관점 에서 ( 1 ) 과산화수소 를 함유 하 는 용액 과 , ( 2 ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 및 염기 성 화합물 과 , 동 방식제 또는 / 및 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 이외 의 산화력 을 갖 지 않 는 2 종 이상 의 음 이온 종 을 포함 하 는 용액 으로 이루어지 는 에칭 제 조 제액 ( 이하 , 「 본 발명 에 관련 되 는 에칭 제 조 제액 」 으로 약기 하 는 경우 가 있 음 ) 으로 이루어지 는 2 액 계 인 것 이 바람직 하 다 .