본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 하부 구조물 을 형성 하 는 프레임 ( 10 ) 과 , 상기 프레임 의 상부 에 위치 하 며 처리 될 기판 이 로딩 되 는 스테이지 ( 20 ) 와 , 상기 프레임 ( 10 ) 의 상부 를 가로질러 설치 되 는 헤드 유닛 지지대 ( 30 ) 와 , 상기 헤드 유닛 지지대 ( 30 ) 에 X 축 방향 으로 이동 가능 하 게 구비 되 는 복수 의 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 과 , 상기 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 에 구비 되 는 토출 물질 시 린지 의 교체 를 수행 하 는 시린지 교체 로봇 ( 50 ) 을 포함 한다 .