챔버 ( 110 ) 는 , 노광 장치 ( 100 ) 의 각부 를 수용 하 고 , 장치 내 의 기체 ( 공기 ) 의 청 정도 , 온도 , 습도 등 을 포함 하 는 장치 내 환경 을 적절 하 게 유지 한다 . 제 1 급기 부 ( 111 ) 는 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 에 , 광학 부품 의 흐림 의 원인 이 되 는 화학 물질 을 케 미칼 필터 로 제거 ( 여과 ) 한 높 은 청 정도 를 갖 는 기체 , 예 를 들 면 , 클린 드라이 에어 를 공급 한다 . 또한 , 제 1 급기 부 ( 111 ) 로부터 챔버 ( 110 ) 의 내부 에 공급 되 는 기체 는 , 노광 장치 ( 100 ) 의 광학 성능 을 유지 하 기 위해서 , 적절 한 온도 및 습도 로 조정 되 고 , 또한 , 제진 필터 로 먼지 가 제거 된 기체 다 . 제 1 배기 부 ( 112 ) 는 , 제 1 급기 부 ( 111 ) 로부터 공급 된 기체 를 포함 하 는 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 를 챔버 ( 110 ) 의 외부 에 배출 한다 ( 배기 한다 ) .