실릴 기 는 치환 또는 비 치환 된 실릴 기 일 수 있 고 , 알킬기 는 치환 또는 비 치환 된 탄소 수 1 이상 20 이하 의 알킬기 일 수 있 고 , 시클 로 알킬기 는 치환 또는 비 치환 된 탄소 수 3 이상 30 이하 의 시 클로 알킬기 일 수 있 다 . 아릴기 는 치환 또는 비 치환 된 고리 형성 탄소 수 6 이상 30 이하 의 아릴기 일 수 있 고 , 헤테로 아릴기 는 치환 또는 비 치환 된 고리 형성 탄소 수 2 이상 30 이하 의 헤테로 아릴기 일 수 있 다 .