제 1 조명 빔 ( IB 1 ) 및 제 2 조명 빔 ( IB 2 ) 각각 은 스침 각 입사 ( grazing incidence ) 하 에 있 기 때문 에 , 복합 격자 ( 들 ) 외측 의 표면 구역 들 ( 즉 , 제품 영역 ) 에서 반사 되 어 나가 는 광 은 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 렌즈 ( L 1 , L 2 , L 3 , L 4 ) 로 이루어진 시스템 을 통해 이미지 검출기 ( ID ) 에 도달 하 기 는 쉽 지 않 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에서 , 제 1 조명 빔 ( IB 1 ) 및 / 또는 제 2 조명 빔 ( IB 2 ) 은 격자 외측 의 표면 에서 반사 되 어 나가 는 광과 복합 격자 에 의하 여 회절 되 는 광 간 에 간섭 을 야기 하 지 않 고 기판 상 의 복합 격자 ( 110 , 120 ) 보다 큰 단면 을 가질 수 도 있 다 .