이 와 같이 형성 된 하부 패턴 들 ( 22 ) 은 도 17 g 에 도시 된 것 처럼 , 서로 나란 하 게 배치 되 는 라인 패턴 들 일 수 있 다 . 하부 패턴 들 ( 22 ) 각각 은 서로 다른 폭 을 갖 는 제 1 및 제 2 영역 들 을 포함 할 수 있 다 . 인접 하 는 하부 패턴 들 ( 22 ) 간 의 간격 은 하부 패턴 들 ( 22 ) 의 폭 보다 작 을 수 있 다 . 즉 , 하부 패턴 들 간 의 간격 은 포토 리소그래피 공정 의 한계 해상도 에서 구현 되 는 최소 선폭 보다 작 을 수 있 다 .