이상 과 같이 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 종래 의 산출 수법 과 는 상이 한 수법 으로 선폭 ( W 1 ) 을 산출 하 고 있 다 . 구체 적 으로 는 , 시뮬레이션 강도 분포 와 실제 의 촬상 강도 분포 가 대략 동일 해질 때 의 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 특정 함 으로써 , 그 모델 데이터 ( MD 1 ) 에서 채용 된 패턴 형상 ( 여기 서 는 선폭 ( W 1 ) ) 을 측정 형상 ( 측정값 ) 으로서 구하 고 있 다 . 이 로써 , 해상 한계 근처 에서 촬상 화상 의 휘도 분포 의 형상 이 어떻 게 변화 되 어도 , 변화 형상 에 상관없이 , 양호 한 정밀도 로 선폭 ( W 1 ) 을 측정 할 수 있 다 .