본 실시 형태 에 관한 이상 검지 장치 ( 1 ) 가 적용 되 는 유체 제어기 ( 2 ) 로서 , 다이렉트 다이어프램 밸브 를 도 4 에 나타낸다 . 이 유체 제어기 ( 2 ) 는 외관상 밸브 몸체 ( 21 ) , 밸브 몸체 ( 21 ) 의 상단 에 배치 된 대략 원통형 의 액추에이터 몸체 ( 22 ) , 액추에이터 몸체 ( 22 ) 의 상단 에 장착 된 액추에이터 캡 ( 23 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 .