기판 처리 시스템 ( 50 ) 에서 는 , 주 제 어부 ( 100 ) 는 , 원판 ( 170 ) 에 형성 된 마크 의 위치 나 기판 ( 210 ) 에 형성 된 마크 ( 211 ) 의 위치 에 근거 하 여 , 기판 스테이지 ( 200 ) 의 위치 를 제어 한다 . 바꾸 어 말 하 면 , 주 제 어부 ( 100 ) 는 , 원판 ( 170 ) 과 기판 ( 210 ) 과 의 사이 의 위치 맞춤 , 예 를 들 면 , 글로벌 얼라인먼트 를 행한다 .