대 상체 ( 380 ) 상 에 예비 산질 화 막 ( 390 ) 을 형성 한 후 , 제 2 퍼지 공정 을 통하 여 상기 공정 챔버 를 퍼지 한다 . 상기 제 2 퍼지 공정 은 제 2 퍼지 가스 를 사용 하 여 수행 된다 . 상기 제 2 퍼지 가스 는 아르곤 가스 , 질소 가스 및 / 또는 헬륨 가스 와 같 은 불활성 가스 를 포함 할 수 있 다 . 상기 제 2 퍼지 가스 는 약 0 . 5 ∼ 4 . 5 slm 정도 의 유량 으로 약 1 ∼ 3 분 동안 상기 공정 챔버 내 로 도입 될 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 2 퍼지 가스 는 질소 를 포함 할 수 있 으며 , 약 2 분 동안 상기 공정 챔버 내 로 도입 되 어 상기 공정 챔버 를 퍼지 할 수 있 다 .