도시 하 지 않 지만 , 정전 척 은 , 절연체 와 전극 을 갖 고 있 으며 , 기부 ( 21 ) 에 배치 되 어 있 다 . 정전 척 은 , 전극 에 전압 이 가해짐 으로써 , 적 재면 ( 21 a ) 에 적재 된 기판 ( 3 ) 을 보유 지지 한다 . 기판 ( 3 ) 을 기판 적 재 대 ( 5 ) 에 보유 지지 하 기 위한 척 으로서 는 , 정전 척 에 한정 되 지 않 고 , 기판 ( 3 ) 을 기계 적 으로 보유 지지 하 는 척 이 사용 되 어도 된다 .