본 실시 형태 의 제 어부 ( 18 ) ( 예 를 들 어 처리 실행 부 ( 25 ) ) 는 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 구제 웨이퍼 가 이상 의 발생 직전 까지 받 은 처리 의 내용 에 기초 하 여 , 구제 웨이퍼 에 대한 보완 처리 프로세스 를 실행 할지 여부 를 결정 한다 . 보완 처리 프로세스 를 실행 하 는 것 으로 결정 한 경우 , 제 어부 ( 18 ) 는 , 구제 웨이퍼 를 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에 반송 해서 보완 처리 프로세스 를 실행 하 도록 , 보완 레시피 정보 에 따라서 기판 반송 장치 ( 17 ) 및 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 을 제어 한다 . 한편 , 보완 처리 프로세스 를 실행 하 지 않 는 것 으로 결정 한 경우 , 제 어부 ( 18 ) 는 , 구제 웨이퍼 에 대하 여 보완 처리 프로세스 가 아니 라 완결 처리 프로세스 를 실행 하 도록 , 완결 레시피 정보 에 따라서 기판 반송 장치 ( 17 ) 및 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 을 제어 한다 . 완결 레시피 정보 는 , 레시피 취득 부 ( 26 ) 에 의해 , 기본 레시피 정보 ( D ) 에 기초 하 여 취득 된다 . 레시피 취득 부 ( 26 ) 는 , 이상 발생 시 에 구제 웨이퍼 가 받 고 있 던 처리 에 기초 하 여 , 완결 레시피 정보 를 작성 해도 된다 .