이러 한 목적 은 , 알칸 , 알켄 , 알킨 및 방향 족 으로 이루어진 군 중 하나 이상 의 휘발 성 유기 화합물 과 SiX 4 및 / 또는 유기 할로겐 실란 RnSiX 4 - n ( X = F , Cl , Br 또는 I ; n = 1 - 4 ; R = 알킬 , 알케 닐 , 알키 닐 , 아릴 ) 의 혼합물 을 플 라즈 마로 활성 화 시켜 , 일반식 R 1 mR 2 oSiX 4 - p ( X = F , Cl , Br 또는 I ; p = 1 - 4 ; p = m + o ; m = 1 - 4 ; o = 0 - 3 ; R 1 , R 2 = 알킬 , 알케 닐 , 알키 닐 , 아릴 ) 의 유기 할로겐 실란 , 및 / 또는 일반식 R 3 qSiX 3 - qCH 2 SiR 4 rX 3 - r ( X = F , Cl , Br 또는 I ; q = 0 - 3 ; r = 0 - 3 ; R 3 , R 4 = 알킬 , 알케 닐 , 알키 닐 , 아릴 ) 의 카보 실란 을 제조 하 는 방법 에 의해 달성 된다 .