또한 , 스퍼터링 을 이용 한 종래 의 금속 실리사이드 막 을 형성 하 는 방법 은 , 박막 의 게이트 절 연막 상 에 데미지 ( damage ) 를 형성 하 여 누설 전류 를 유발 할 수 있 으나 상기 와 같이 몰리브덴 과 같 은 금속 막 을 형성 시 화학 증착 법 을 이용 함 으로써 , PCT ( Plasma Charge Trap ) 사용 없이 도 데미지 ( damage ) 없이 균일 하 게 금속 막 을 증착 할 수 있 다 .