그런데 , 도 1 내지 도 6 의 제조 공정 에 따른 이중 패 터닝 기술 로 미세 패턴 을 형성 할 때 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 을 해상도 조절 방향 과 직교 하 는 방향 , 즉 도 7 의 제 2 방향 으로 끊 어야 ( 단선 ) 할 필요 가 있 거나 반도체 제조 공정 상 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 이 끊어진 경우 가 발생 한다 . 이 에 대하 여 , 도 8 내지 도 11 을 참조 하 여 자세히 설명 한다 .