따라서 , 질화 갈륨 기판 을 생성 한 단계 ( S 1 ) 후 에 , 일련 의 연속 공정 으로서 , 질화 갈륨 기판 의 국부 적 표면 의 높이 의 최고 값 과 최저 값 을 확인 하 기 위하 여 표면 의 높이 를 측정 하 는 단계 ( S 2 ) 가 수행 된다 . 기판 표면 의 국부 적 위치 에서 최고점 과 최 저점 높이 를 측정 하 는 것 은 예 를 들 어 , 작업자 가 시야 로 확인 하 여 홈 이 생긴 구간 의 높이 를 측정 하 는 방식 으로 진행 될 수 도 있 고 , 기판 전체 를 스캐닝 하 는 방식 으로 진행 될 수 도 있 으며 , 특정 방식 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .