도 6 은 , 본 실시 예의 광 주사 장치 ( 40 ) 의 구성 을 사용 하 여 , 광 주사 장치 ( 40 ) 내 에 설치 된 반사 미러 ( 62 ) 의 진동 특성 을 측정 하 여 얻 은 결과 를 나타내 는 그래프 이 다 . 종축 은 반사 미러 ( 62 ) 의 고유 진동수 인 1 차 고유값 ( Hz ) 을 나타내 고 , 횡축 은 반사 미러 ( 62 ) 의 저면 ( 62 u ) 을 지지 하 는 미러 지지 부 ( 71 , 74 ) 의 볼록 부 의 시트 면 사이 의 거리 를 단축 하 여 얻 은 거리 인 보유 지지 지주 사이 의 거리 ( mm ) 를 나타낸다 . 보유 지지 지주 사이 의 거리 가 0 mm 라는 의미 는 , 도 5 a 에서 , 반사 미러 ( 62 ) 의 저면 ( 62 u ) 을 지지 하 는 미러 지지 부 ( 71 , 74 ) 의 볼록 부 가 각각 71 d 및 74 a 인 경우 를 지칭 하 는데 , 즉 스팬 ( D ) 이 가장 큰 경우 를 지칭 한다 . 반사 미러 ( 62 ) 의 저면 ( 62 u ) 을 지지 하 는 미러 지지 부 ( 71 ) 의 볼록 부가 71 d 로부터 71 c , 71 b , 및 71 a 로 이동 하 고 , 마찬가지 로 미러 지지 부 ( 74 ) 의 볼록 부가 74 a 로부터 74 b , 74 c , 및 74 d ) 로 이동 함 에 따라서 , 보유 지지 지주 사이 의 거리 , 즉 단축 된 거리 가 커진다 . 또한 , 보유 지지 지주 사이 의 거리 가 커지 면 , 스팬 ( D ) 은 작아진다 .