그런데 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 위 에 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 주면 과 대략 평행 하 게 설치 하 는 회로 기판 은 계단 형 으로 거듭 설치 해도 좋 다 . 이것 에 대해서 , 도 11 을 참조 하 여 , 본 발명 의 제 2 실시 예 에 관한 반도체 장치 의 시험 장치 의 변형 예 를 도시 하 는 도면 으로서 설명 한다 . 도 11 은 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 개구부 ( 12 ) 에서 잘라서 본 도면 을 도시 한다 . 또한 , 도 11 에서 , 이미 설명 한 장소 와 동일 한 장소 에 는 , 동일 한 번호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 생략 한다 .