그리고 , 내부 도전체 의 상단 부측 에 의해 마이크로파 전력 이 수신 되 어 해당 내부 도전체 에 급전 이 행해 지 면 , 내부 도전체 와 외부 도전체 의 하단 부 근방 에 전계 집중 부 가 형성 된다 . 이 상태 에서 상기 처리 가스 가 내부 도전체 와 외부 도전체 사이 의 공간 에 공급 되 면 , 처리 가스 가 여기 되 어 내부 도전체 의 하단 부 부근 에 있 어서 플 라즈 마가 발생 한다 . 이 와 같이 플 라즈 마 화 된 처리 가스 는 공급 되 는 가스 흐름 에 의해 플룸 으로서 플라 즈 마 발생 노즐 ( 18 a ) 의 하단 으로부터 방사 된다 . 이 플 라즈 마 화 되 어 방사 된 가스 에 의해 워크 ( W ) 에 소정 의 처리 , 예컨대 유기물 의 분해 나 제거 , 레지스 트 제거 , 표면 클리닝 , 표면 개질 또는 박막 형성 등 의 처리 가 시여 된다 .