본 발명 에 따른 액정 표시 장치 용 어레이 기판 의 제조 방법 은 , 기판 상 에 게이트 전극 과 게이트 배선 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 게이트 전극 및 게이트 배선 위 로 게이트 절 연막 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 게이트 절 연막 위 로 제 1 두께 의 제 1 순수 비정질 실리콘 층 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 제 1 순수 비정질 실리콘 층 을 폴리 실리콘 층 으로 결정 화 하 는 단계 와 ; 상기 폴리 실리콘 층 을 패 터닝 하 여 제 1 실리콘 층 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 패 터닝 된 제 1 실리콘 층 위 로 순차 적 으로 제 2 순수 비정질 실리콘 층 과 불순물 비정질 실리콘 층 과 금속 층 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 금속 층 과 그 하부 의 불순물 및 제 2 순수 비정질 실리콘 층 을 패 터닝 하 여 상기 게이트 배선 과 교차 하 여 화소 영역 을 정의 하 는 데이터 배선 과 서로 이격 하 는 소스 및 드레 인 전극 과 , 상기 소스 및 드레 인 전극 하부 로 이 와 동일 한 형태 를 갖 는 오 믹 콘 택 층 및 상 기 제 1 실리콘 층 의 끝단 을 완전히 덮 는 형태 로 서로 이격 하 는 제 2 실리콘 층 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 데이터 배선 과 소스 및 드레 인 전극 위 로 상기 드레 인 전극 을 노출 시키 는 보호 층 을 형성 하 는 단계 와 ; 상기 보호 층 위 로 상기 화소 영역 에 상기 드레 인 전극 과 접촉 하 는 화소 전극 을 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .