상기 와 같이 하 여 형성 되 는 SiC 막 단체 구조 체 는 기능 면 이 CVD 법 에 의한 기상 성 장면 이 된다 . 기상 성장 에 의한 막 의 두께 는 기재 의 부위 나 기재 를 배치 하 는 위치 에 따라서 도 다르 다 . 이 때문 에 , 기재 에 요철 이 있 는 경우 에 는 특히 , 기상 성장 시 에 막 의 부착 방법 , 즉 완성 후 의 SiC 막 단체 구조 체의 막 상태 를 예측 하 여 기재 형상 을 정할 필요 가 있 어 , 원 하 는 형상 과 완성 형상 사이 에 차이 가 생기 게 된다 . 또한 , 복잡 한 표면 형상 을 갖 는 기재 를 사용 한 경우 에 는 , 협 애 ( 狹隘 ) 부분 에서 심부 ( 深部 ) 의 막 두께 가 얇 아 진다는 경향 이 있 다 . 이러 한 제품 정밀도 나 막 두께 의 분포 차 는 제품 용도 에 따라 그 기능 에 크 게 영향 을 미치 는 경우 가 있 다 .