도 3 은 본 발명 의 중공 음극 방전 스퍼터링 시스템 에 사용 되 는 중공 음극 방전 반응기 ( hollow cathode discharge reactor ) ( 20 ) 의 보다 바람직 한 구 현예 를 보여 주 는 사시도 이 고 , 도 4 는 이 의 분해 사시도 이 고 , 도 5 는 상기 도 3 의 중공 음극 방전 스퍼터링 반응기 를 채용 하 는 중공 음극 방전 스퍼터링 시스템 의 단면도 이 다 . 도 3 내지 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 는 상판 ( 211 ) 과 측판 ( 213 ) 이 일체 화 된 음극 몸체 ( cathode body ) ( 21 a ) 와 , 상기 음극 몸체 ( 21 a ) 에 탈착 가능 하 도록 결합 된 음극 바닥 판 ( cathode bottom plate ) ( 212 ) 으로 구성 된다 . 상기 음극 바닥 판 ( 212 ) 과 상기 음극 몸체 ( 21 a ) 의 체결 은 상기 음극 바닥 판 ( 212 ) 의 모서리 에 형성 된 체결 공 ( 215 ) 을 통한 통상 의 연결 부재 ( 216 ) 의 체결 ( 예 : 나사 끼움 ) 에 의해 성취 된다 . 탈착 가능 하 도록 결합 한 음극 바닥 판 ( 212 ) 은 기판 의 형태 , 증착 층 토포 러지 , 증착 속도 등 을 고려 하 여 , 배출구 ( 22 ) 의 패턴 을 적절히 변경 할 수 있 다는 장점 을 갖 는다 . 다시 말 해 , 배출구 ( 22 ) 를 갖 는 음극 바닥 판 ( 212 ) 만 의 교체 에 의해 , 배출구 ( 22 ) 의 패턴 을 적절히 변경 할 수 있 다 .