도 1 을 참조 하 면 , 제 1 영역 및 제 2 영역 이 구분 되 는 기판 ( 100 ) 이 구비 된다 . 상기 기판 ( 100 ) 의 제 1 영역 은 끊어진 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 들 및 끊어진 라인 들 양 측 과 이웃 하 는 제 2 라인 패턴 ( 114 b ) 들 이 형성 되 는 영역 이 다 . 또한 , 상기 제 2 영역 은 제 1 영역 이외 의 나머지 영역 으로 라인 및 스페이스 가 반복 되 는 제 3 라인 패턴 ( 114 c ) 들 이 형성 되 는 영역 이 다 .