그런데 상기 제 1 변 ( 11 ) 및 상기 제 2 변 ( 12 ) 은 공정 상 의 가공 오 차 에 의하 여 거친 표면 을 구비 할 수 있 다 . 즉 , 상기 주사선 S 1 에 의하 여 측정 된 상기 시디 값 ( CD 1 ) 은 상기 라인 패턴 ( 10 ) 의 평균 폭 과 오차 를 보일 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 측정 윈도우 ( 20 ) 의 설정 된 폭 ( W 1 ) 내 에서 상기 주사선 S 1 을 평행 이동 하 여 반복 측정 된 시디 값 ( CD 1 ) 의 평균치 를 채택 하 는 것 이 측정 정확 도 측면 에서 유리 하 다 . 그러므로 상기 측정 윈도우 ( 20 ) 의 폭 ( W 1 ) 은 클수록 측정 정확 도 측면 에서 유리 할 수 있 다 . 또한 , 상기 측정 윈도우 ( 20 ) 의 길이 ( L 1 ) 는 상기 제 1 변 ( 11 ) 및 상기 제 2 변 ( 12 ) 간 의 거리 보다 길 어야 한다 .