도 2 를 살펴보 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 웨이퍼 이송 장치 ( 100 ) 의 동작 에 대한 분석 결과 를 그래프 로 나타낸 것 이 다 . 즉 , 웨이퍼 를 교체 하 는 데 소요 되 는 시간 을 가로 방향 은 프로세스 시간 ( Process Time ) 을 세로 방향 은 UPEH ( Unit Per Equipment Hour , 단위 생산 당 장비 가동 률 ) ( 매 / h ) 로 도시 한 것 이 다 .