F - TEOS 증착 시 에 는 PE CVD 법 을 사용 하 며 , 두께 는 약 1500 Å 정도 를 증착 하 며 , 증착 온도 는 400 ℃ 내외 로 한다 . F - TEOS 막 의 굴절 율 은 1 . 44 ~ 1 . 55 를 유지 하 도록 하 여 공정 변경 에 따른 외부 요인 을 최소 화 한다 . 이후 주된 PMD 막 으로 BPSG ( Boro - Phospho - Silicate Glass ) 혹은 PSG ( Phospho - Silicate Glass ) 를 증착 함 으로써 층간 절 연막 을 형성 하 게 된다 ( 212 ) .