상술 한 종래 기술 에 따른 반도체 소자 의 오버레이 측정 방법 에서 , 레이저 빔 을 이용 한 오버레이 측정 방법 은 반도체 기판 의 성질 이나 두께 반 사도 에 따라 오버레이 값 의 정확도 가 저하 되 며 , 정확도 가 떨어지 는 오버레이 데 이타 를 가지 고 오버레이 보정 을 진행 하 게 되 면 후속 공정 에서 오 정렬 ( Mis - align ) 이 발생 할 수 있 어 소자 의 특성 이 저하 되 는 문제 가 있 다 .