처리 실 내 의 잔류 수분 을 제거 하 기 위해서 는 , 흡착 형 의 진공 펌프 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 저 온 펌프 , 이온 펌프 , 티타늄 서 블 리메 이 션 펌프 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 배기 수단 으로서 는 , 터보 펌프 에 콜드 트랩 을 첨가 한 것 일 수 있 다 . 저 온 펌프 를 이용 하 여 배기 한 성막 실은 , 예 를 들 어 수소 원자 나 , 물 ( H 2 O ) 등 수소 원자 를 포함 하 는 화합물 등 이 제거 되 어 있 기 때문 에 , 당해 성막 실 에서 형성 한 보호 절연 층 ( 144 ) 에 포함 되 는 불순물 의 농도 를 저감 할 수 있 다 .