일부 예 에서 는 제 1 보정 조치 가 수행 될 경우 , 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 S - D 피 처리 웨이퍼 의 제 1 개수 와 가용 처리 요소 의 제 1 개수 간 의 차이 를 이용 하 여 제 1 개수 의 지연 된 S - D 웨이퍼 들 을 결정 하 도록 구성 될 수 있 으며 , 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 내 의 하나 이상 의 이송 요소 ( 104 ) 는 제 1 시간 동안 제 1 개수 의 지연 된 웨이퍼 들 을 보관 및 / 또는 지연 시키 도록 구성 될 수 있 다 .