도 1 , 도 2 d 및 도 3 d 를 참조 하 면 , 비트 라인 을 다 마신 ( damascene ) 방법 으로 형성 하 기 위하 여 , 먼저 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 와 제 1 절연 층 ( 106 ) 상 에 포토 레지스 트 패턴 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 포토 레지스 트 패턴 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 이용 한 식각 공정 으로 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 의 일부 및 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 사이 에 형성 된 제 1 절연 층 ( 106 ) 의 일부 를 제거 한다 . 이 로써 , 도 1 의 선 B 에 는 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a ) 상부 및 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a ) 사이 의 제 1 절연 층 ( 106 ) 에 트렌치 가 형성 되 고 , 도 1 의 선 C 에 는 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 b ) 사이 의 제 1 절연 층 ( 106 ) 에 트렌치 가 형성 된다 .