한편 , 챔버 ( 6 ) 의 내벽 하부 에 는 열처리 공간 ( 65 ) 내 의 기체 를 배기 하 는 가스 배기 구멍 ( 86 ) 이 형성 되 어 있 다 . 가스 배기 구멍 ( 86 ) 은 , 오 목부 ( 62 ) 보다 하측 위치 에 형성 되 어 있 으며 , 반사 링 ( 69 ) 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 가스 배기 구멍 ( 86 ) 은 챔버 ( 6 ) 의 측벽 내부 에 원환 형 으로 형성 된 완충 공간 ( 87 ) 을 통해 가스 배기관 ( 88 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 . 가스 배기관 ( 88 ) 은 배기 부 ( 190 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 가스 배기관 ( 88 ) 의 경로 도중 에 는 밸브 ( 89 ) 가 끼워져 있 다 . 밸브 ( 89 ) 가 개방 되 면 , 열처리 공간 ( 65 ) 의 기체 가 가스 배기 구멍 ( 86 ) 으로부터 완충 공간 ( 87 ) 을 거쳐 가스 배기관 ( 88 ) 으로 배출 된다 . 또한 , 가스 공급 구멍 ( 81 ) 및 가스 배기 구멍 ( 86 ) 은 , 챔버 ( 6 ) 의 둘레 방향 을 따라 복수 설치 되 어 있 어도 되 고 , 슬릿 형 의 것 이 어도 된다 .