상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 을 처리 하 는 장치 에 있 어서 , 기판 을 지지 하 고 , 상하 방향 으로 핀홀 이 형성 되 는 서 셉 터 , 상기 핀홀 을 따라 승강 하 도록 제공 되 는 리프트 핀 구조 체 및 상기 리프트 핀 구조 체 를 상하 방향 으로 구동 하 는 구 동기 를 포함 하 되 , 상기 리프트 핀 구조 체 는 , 상기 기판 을 지지 하 는 리프트 핀 및 상기 리프트 핀 의 하부 에 제공 되 는 탄성 부재 를 포함 한다 .