이 에 , 도시 된 바 와 같이 , 서 셉 터 ( 30 ) 의 기판 로딩 부 ( 31 ) 하부 에 는 복수 개 의 서 셉 터지 지 대 ( 40 ) 가 마련 되 어 서 셉 터 ( 30 ) 의 기판 로딩 부 ( 31 ) 를 떠받치 고 있 다 . 기판 로딩 부 ( 31 ) 는 대형 유리 기판 ( G ) 의 크기 보다 좀 더 크 게 형성 되 므로 중심 의 컬럼 ( 32 ) 에서부터 반경 방향 외측 으로 갈수록 처짐 이 심하 게 발생 한다 .