기판 에 대한 낮 은 힘 작용 은 특히 챔버 에서 처리 단계 를 수행 한 후 및 기판 의 후속 리프팅 동안 에 도 매우 중요 하 다 . 기판 은 통상 적 으로 , 배치 시 에 캐리어 와 접촉 하 고 그 위 에 안착 하 는 비교 적 부드러운 표면 을 갖 는다 . 이러 한 방식 으로 , 기판 과 캐리어 사이 에서 작용 하 는 부분 적 진공 으로 인해 기판 을 캐리어 로부터 분리 하 려는 시도 동안 , 예 를 들 어 , 공기 인클로저 들 에 의해 야기 되 는 일종 의 접착 이 도출 될 수 있 다 . 기판 이 캐리어 로부터 과도 하 게 신속 하 게 가압 되 면 , 접착력 들 이 적어도 특정 지지 점 들 에서 극복 되 거나 해제 될 수 없 기 때문 에 , 이러 한 경우 기판 의 균열 이 발생 할 수 있 다 . 또한 , 지지 핀 들 과 기판 사이 에 접촉 이 존재 하 기 때문 에 , 이러 한 경우 에 발생 하 는 기판 에 대한 충격 은 원 하 지 않 는 응력 ( 또는 균열 ) 을 초래 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 상 의 대응 하 는 힘 작용 은 챔버 내부 에서 의 기판 취급 에서 중요 한 팩터 이 다 .