수지 부착기 ( 1 ) 는 , 도 1 , 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 두께 측 정부 ( 10 ) 에 대한 미리 정해진 위치 에 설치 되 고 , 웨이퍼 직경 보다 작 은 직경 을 가지 고 웨이퍼 ( 200 ) 를 유지 하 는 유지 면 ( 11 - 1 ) 을 갖 는 임시 배치 테이블 ( 11 ) 을 더 구비 한다 . 임시 배치 테이블 ( 11 ) 은 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 상면 에 평탄 한 유지 면 ( 11 - 1 ) 을 형성 하 는 흡착 부 ( 11 - 2 ) 와 , 흡착 부 ( 11 - 2 ) 를 상면 중앙부 의 오 목부 에 끼워 넣 어 고정 하 는 프레임 ( 11 - 3 ) 을 구비 한다 . 흡착 부 ( 11 - 2 ) 는 , 다수 의 다공성 구멍 을 구비 한 다공성 세라믹스 등 으로 구성 된 원반 형상 을 구비 하 고 , 도시 하 지 않 은 진공 흡인 경로 를 통해 도시 하 지 않 은 진공 흡 인원 과 접속 되 고 , 유지 면 ( 11 - 1 ) 전체 에서 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 흡인 유지 한다 .