다음 에 , 유지 테이블 ( 30 ) 에 의해 유지 된 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 에 시트 ( 33 ) 를 접착 한다 . 구체 적 으로 는 , 먼저 , 시트 ( 33 ) 를 , 점착 층 ( 39 ) 측 이 기판 ( 13 ) 의 표면 ( 13 a ) 측 [ 광 디바이스 ( 17 ) 측 ] 에 대향 하 도록 , 기판 ( 13 ) 의 상방 에 배치 한다 . 그리고 , 시트 ( 33 ) 를 기판 ( 13 ) 의 표면 ( 13 a ) 측 에 압박 하 여 , 기판 ( 13 ) 에 접착 한다 .