본 발명 에 사용 하 는 산화물 소 결체 는 , 주로 인듐 ( In ) , 갈륨 ( Ga ) , 아연 ( Zn ) 및 산소 ( O ) 를 구성 원소 로 하 고 , 인듐 과 갈륨 의 합량 에 대한 인듐 의 원자 수비 [ In ] / ( [ In ] ＋ [ Ga ] ) 가 20 ％ ∼ 80 ％, 인듐 과 갈륨 과 아연 의 합량 에 대한 아연 의 원자 수비 [ Zn ] / ( [ In ] ＋ [ Ga ] ＋ [ Zn ] ) 가 10 ％ ∼ 50 ％ 이 며 , 비저항 이 1 . 0 × 10 - 1 Ω ㎝ 이하 인 산화물 소결 체이 다 . 여기 에서 [ In ] 은 인듐 의 원자 수 , [ Ga ] 는 갈륨 의 원자 수 , [ Zn ] 은 아연 의 원자 수 를 각각 나타낸다 .