기판 지지 용 스테이지 가 개시 된다 . 본 발명 의 기판 지지 용 스테이지 는 , 기판 을 지지 하 는 다수 의 패드 ; 및 다수 의 패드 가 규칙 적 인 이격 간격 을 가지 고 상호 간 접근 및 이격 될 수 있 도록 다수 의 패드 를 이동 가능 하 게 지지 하 는 이 동지 지부 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 본 발명 에 의하 면 , 기판 이 손상 되 거나 지지 된 기판 에 처짐 이 발생 하 는 현상 을 저지 하 면서 도 다양 한 사이즈 ( size ) 를 갖 는 기판 들 을 보다 안정 적 으로 지지 할 수 있 다 .