또한 , 적절 한 타이밍 에 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 를 작동 시켜 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 및 프레스 테이블 ( 63 ) 을 승 온 시킨다 . 미리 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 를 작동 시켜 둠 으로써 , 이후 의 공정 에 있 어서 , 승 온 된 보유 지지 테이블 ( 5 ) 및 프레스 테이블 ( 63 ) 에 의해 내측 구 석부 ( Hf ) 에 있 어서 의 웨이퍼 ( W ) 및 점착 테이프 ( DT ) 가 가열 된다 .