도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 유연 막 ( 25 ) 의 상기 주변 부 ( 25 B ) 는 상기 지지 플레이트 ( 23 ) 에 접촉 하 는 반면 , 상기 유연 막 의 중앙부 ( 25 A ) 는 적어도 하나 의 지지 부 ( 28 ) 에 연결 되 는데 , 상기 지지 부 ( 28 ) 는 바람직 하 게 는 판상 형 이 다 . 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 있 어서 , 상기 유연 막 ( 25 ) 이 배치 되 는 상기 지지 부 ( 28 ) 는 복수 의 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( micro contact probes ) ( 30 ) 을 슬라이딩 방식 으로 수용 할 수 있 도록 구성 된 복수 의 가이드 홀 들 ( 28 h ) 을 포함 하 고 - 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( 30 ) 은 반도체 웨이퍼 ( 33 ) 상 의 피검 소자 의 콘 택 패드 들 ( 32 ) 에 콘 택할 수 있 도록 구성 됨 -, 상기 유연 막 ( 25 ) 은 상기 콘 택 요소 들 ( 22 ) 과 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( 30 ) 사이 에 개재 된다 .