액체 홀딩 부 ( 244 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( 245 ) 에 의해 지지 된 웨이퍼 ( 240 ) 의 주위 에 배치 된다 . 액체 홀딩 부 ( 244 ) 는 , 웨이퍼 ( 240 ) 의 표면 과 같 은 높이 의 표면 을 갖 는 판 이 다 . 또한 , 액체 홀딩 부 ( 244 ) 는 , 웨이퍼 ( 240 ) 의 외주 부근 의 샷 영역 을 노광 할 때 에 , 웨이퍼 ( 240 ) 의 외측 의 영역 에서 액체 LW 를 홀드 한다 .