d ) 의 용매 는 포지티브 형 감광성 수지 조성물 의 고형분 함량 이 10 내지 50 중량 % 가 되 도록 포함 될 수 있 다 . 고형분 함량 이 10 중량 % 미만 일 경우 에 는 코팅 두께 가 얇 게 되 고 , 코팅 균일성 ( Uniformity ) 이 저하 될 수 있 으며 , 50 중량 % 를 초과 할 경우 에 는 코팅 두께 가 두꺼워 지 고 , 코팅 시 코팅 장비 에 무리 를 줄 수 있 다 . 전체 조성물 의 고형분 함량 이 10 내지 25 중량 % 일 경우 , 슬릿 코터 ( Slit Coater ) 에서 사용 하 는 것 이 용이 하 며 , 25 내지 50 중량 % 일 경우 스핀 코터 ( Spin Coater ) 나 슬릿 앤 스핀 코터 ( Slit & Spin Coater ) 에서 사용 하 는 것 이 용이 하 다 .