이 로써 , 제 1 이 송암 ( 20 ) 이 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 가 로딩 된 상기 제 1 블 레이트 ( 20 ) 를 프레임 ( 200 ) 의 내부 로 이송 한 후 , 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 가 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 방향 으로 상승 함 으로써 , 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 를 지지 할 수 있 다 .