도 5 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 실리콘 박막 을 증착 한 모습 을 나타내 는 단면도 이 다 . 도 5 를 참조 하 면 , 도 4 a 내지 도 4 c 에서 보인 단계 를 반복 하 여 , 복수 의 실리콘 층 ( 112 , 114 , 116 ) 을 기판 ( 100 ) 상 에 증착 하 여 , 비정질 의 실리콘 또는 다결정 성 을 가지 는 폴리 실리콘 으로 이루어지 는 실리콘 박막 ( 110 ) 을 형성 한다 .