ID 블록 ( 2 ) 은 , 기판 버퍼 ( BF ) 에 있 어서 , 하 층막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 처리 층 ( B 1 ) 의 계층 으로부터 처리 층 ( B 2 ) 의 계층 에 반송 함 으로써 , 처리 층 ( B 2 ) 이 기판 ( W ) 을 수취 할 수 있 는 상태 로 한다 . 구체 적 으로 설명 한다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 이 송부 ( SN 12 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 ( W ) 을 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 4 ) 에 반송 한다 .