도 3 a 에 의해 도시 된 바 와 같이 , 제 1 방법 은 도면 번호 301 을 사용 하 여 일반 적 으로 지정 되 는 흐름 도 로서 제공 된다 . 정렬 공정 의 세트 는 먼저 예 를 들 어 증착 공급원 으로부터 물질 의 증착 을 위해 사용 되 는 제조 장치 ( 302 ) 의 하나 이상 의 축 을 연결 하 는 데 수행 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 전술 한 분 할 - 축 시스템 에 대해 , " "" x - 축 "" 차원 "," "" y - 축 "" 차원 "," 및 "" z - 축 "" 차원 중 하나 이상 에서 이 들 시스템 을 연결 하 기 위해 ", 하나 이상 의 모션 시스템 에 대해 교정 이 수행 될 수 있 다 . 일례 에서 , x 및 y 이송 메커니즘 은 보정 되 어야 한다고 가정 되 지만 , 다른 차원 도 기술 된 기술 을 사용 하 여 교정 될 수 있 다 . 두 개 의 상이 한 이송 경로 에서 의 각각 의 어셈블리 는 먼저 미리 결정 된 위치 로 이동 되 고 , 예 를 들 어 두 개 의 이송 경로 가 교차 할 것 으로 예상 되 는 예상 된 원래 지점 까지 이동 된다 ( 303 ) . 각각 의 경로 에 대한 이송 된 어셈블리 는 공통 의 기준 프레임 ( 304 ) 을 식별 하 는 데 사용 되 는 통합 센서 를 가지 며 ; 필요 한 경우 , 대강 의 정렬 에 따라 기준 점 을 정확히 위치 시키 기 위해 , 검색 알고리즘 이 도면 번호 305 에 따라 선택 적 으로 결합 될 수 있 다 . 또한 선택 적 으로 , 위치 피드백 은 공통 지점 에서 트랙 또는 가이드 위치 를 측정 하 기 위해 , 도면 번호 309 에 따라 이송 경로 또는 다중 축 각각 에 대해 얻 어 지 며 ; 도면 번호 310 으로 표시 된 바 와 같이 , 이러 한 피드백 은 선택 적 으로 각각 의 이송 경로 와 관련 된 정렬 마크 에 의해 제공 될 수 있 다 . 선택 적 으로 , 번호 311 , 312 및 313 으로 표시 된 바 와 같이 , 정렬 공정 은 각각 의 센서 를 중간 지점 ( 예 를 들 어 , 제조 테이블 또는 이전 에 참조 된 레티 클 과 관련 된 고정 된 기준 ) 으로 독립 적 인 정렬 , 하나 의 센서 를 다른 것 ( 예 를 들 어 , 레티 클 이 센서 들 중 하나 에 의해 장착 되 거나 , 반대 로 이미지 화 기술 이 다른 센서 를 찾 는데 사용 됨 ) 으로 정렬 또는 공통 광축 을 정의 하 는 동축 광학 정렬 ( 예 를 들 어 , 두 개 의 센서 의 각각 에 의해 생성 된 이미지 가 정렬 될 때 까지 오버레이 됨 ) 을 특징 으로 할 수 있 다 . 다른 기술 도 또한 가능 하 다 . 정렬 이 달성 되 는 지점 에서 , 각각 의 개별 이송 경로 상 의 어셈블리 의 위치 는 도면 번호 315 에 따라 증착 / 제조 를 위한 좌표 시스템 을 , 즉 공통 축 에 정렬 된 이송 경로 로 설정 하 는 데 사용 된다 . 도면 번호 316 으로 표시 된 바 와 같이 , 이러 한 공정 은 추가 축 을 함께 또는 원 하 는 대로 기존 좌표 시스템 ( 예 를 들 어 , z - 축 높이 또는 다른 크기 또는 크기 세트 ) 에 연결 / 정렬 하 도록 수행 될 수 있 다 . 원 하 거나 필요 한 정렬 공정 의 수 가 수행 되 면 , 시스템 은 그것 이 보정 된 상태 에 있 다 ( 317 ) .