전환 밸브 ( 71 ) 는 , 제 1 접속 밸브 ( 67 ) 및 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 의 적어도 한쪽 의 개방 도 변화 율 보다 도 작 은 개방 도 변화 율 로 개폐 해도 된다 . 개방 도 변화 율 이란 , 단위 시간 당 밸브 의 개방 도 변화 의 비율 이 다 . 밸브 가 폐쇄 상태 에서 개방 상태 로 전환 될 경우 , 개방 도 변화 율 은 , 밸브 의 개방 도 의 증가 율 이 다 . 밸브 가 개방 상태 에서 폐쇄 상태 로 전환 될 경우 , 개방 도 변화 율 은 , 밸브 의 개방 도 의 감소 율 이 다 . 예 를 들 어 , 전환 밸브 ( 71 ) 로서 , 제 1 접속 밸브 ( 67 ) 및 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 의 적어도 한쪽 의 동작 속도 보다 도 느린 동작 속도 로 개폐 하 는 밸브 가 사용 되 어도 된다 . 혹은 , 제 어 장치 ( 100 ) 에 의해 , 제 1 접속 밸브 ( 67 ) 및 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 의 적어도 한쪽 의 동작 속도 보다 도 느려 지 도록 , 전환 밸브 ( 71 ) 의 개폐 동작 이 제어 되 어도 된다 . 제 어 장치 ( 100 ) 에 의해 , 개방 도 가 점차 변화 하 도록 전환 밸브 ( 71 ) 의 개폐 동작 이 제어 됨 으로써 , 상기 개방 도 변화 율 의 관계 가 충족 되 어도 된다 .