도 11 에 있 어서 , 각 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 의 하단 의 2 개 의 도포 유닛 ( SC ) 은 , 예 를 들 면 도포 유닛 ( BARC ) 이 며 , 상단 의 2 개 의 도포 유닛 ( SC ) 은 , 예 를 들 면 도포 유닛 ( RESIST ) 이 다 . 또한 , 각 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 의 하단 의 3 개 의 도포 유닛 ( SC ) 은 , 예 를 들 면 도포 유닛 ( BARC ) 이 며 , 상단 의 3 개 의 도포 유닛 ( SC ) 은 , 예 를 들 면 도포 유닛 ( RESIST ) 이 다 . 도포 유닛 ( BARC ) 는 , 기판 ( W ) 에 반사 방지 막 을 형성 하 는 것 이 다 . 도포 유닛 ( RESIST ) 은 , 기판 ( W ) 에 포토레지스트 등 의 레지스 트 막 을 형성 하 는 것 이 다 .