나노 임프 린트 에 있 어서 는 , 노광기 를 사용 한 리소그래프 와 는 달리 , 노광기 의 분해능 에 기인 하 는 러프 니스 의 최소 주기 라고 하 는 것 을 결정 할 수 는 없 지만 , 프로세스 에 기인 하 는 러프 니스 , 상정 되 는 결함 사이즈 등 에 따라 , 평활 화 를 거쳐도 문제 가 없 는 제 1 사이즈 를 임의 로 결정 하 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 제 2 사이즈 에 관해서 는 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 검사 에 사용 하 는 전자 빔 의 빔 직경 정도 의 적당 한 값 을 선택 하 는 것 이 가능 하 다 .