그 후 , 현상액 을 사용 하 여 평탄 화 막 ( 14 ) 을 현상 함 으로써 , 도 14 의 ( c ) 에 나타낸 바 와 같이 , 평탄 화 막 ( 14 ) 의 상면 으로부터 돌출 부분 ( 14 A ) 을 제거 하 고 , 평탄 화 막 ( 14 ) 의 상면 에 오 목부 ( 7 ) 를 형성 한다 . 오 목부 ( 7 ) 는 , 노광 마스크 ( 29 ) 의 개구 ( 28 B ) 를 통해 노광 된 부분 에 오목 한 형상 으로 형성 된다 .