산화물 도전 층 ( 404 a ) , 산화물 도전 층 ( 404 b ) 의 성막 방법 은 , 스퍼터링 법 이나 진공 증착 법 ( 전자 빔 증착 법 등 ) 이나 , 아크 방전 이온 플 레이팅 법 이나 , 스프레이 법 을 사용 한다 . 산화물 도전 층 의 재료 로서 는 , 산화아연 , 산화아연 알루미늄 , 산질 화 아연 알루미늄 , 산화아연 갈륨 , 산화 규소 를 포함 하 는 인듐 주석산 화물 ( ITSO ) 등 을 적용 할 수 있 다 . 또한 , 상기 재료 에 산화 규소 를 포함 시켜 도 좋 다 .