본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 상기 여유 공간 형성 부 는 , 상기 기판 이 상기 단 턱 부 상 에 안착 될 시 상기 디스크 로부터 상기 기판 으로 열전달 을 돕 도록 그 바닥 면 으로부터 상기 단 턱 부 와 동일 한 높이 로 돌출 되게 형성 되 고 상기 제 1 열 전달 부 로부터 상기 배기 통로 방향 으로 이격 되게 형성 되 는 제 2 열 전달 부 ; 를 포함 할 수 있 다 .