상기 SOG 절 연막 ( 206 ) 은 PSZ ( Per - hydro poly - silazane ) , HSQ ( Hydro - silsesquioxane ) , MSQ ( Methyl - silsesquioxane ) , siloxane , silicate 중 어느 하나 의 용액 을 도포 한 후 , 상기 도포 된 막 내 의 솔 벤트 가 제거 되 도록 핫 플레이트 또는 오븐 에서 50 ∼ 350 ℃ 온도 로 베이 킹 하고 , 그리고 나 서 , 상기 베이 킹 된 막 이 경화 및 치밀 화 되 도록 퍼니스 ( furnace ) 에서 300 ∼ 1000 ℃ 의 온도 로 어닐링 하 여 , 형성 한다 . 상기 SOG 절 연막 ( 206 ) 을 PSZ 용액 을 사용 하 여 형성 하 는 경우 에 는 상기 어닐링 을 H 2 , O 2 및 H 2 O 중 어느 하나 또는 이 들 의 혼합 분위기 에서 수행 하 며 , 상기 HSQ , MSQ , siloxane 및 silicate 중 어느 하나 의 용액 을 사용 한 경우 에 는 상기 어닐링 을 N 2 및 O 2 의 단독 또는 혼합 분위기 에서 수행 한다 .