제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 이 갭 필 절 연막 ( 133 ) 상 에 배치 될 수 있 으며 , 게이트 구 조체 들 ( GS ) 의 상면 들 을 덮 을 수 있 다 . 갭 필 절 연막 ( 133 ) 및 제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 은 게이트 스 페이서 들 ( 121 ) 에 대해 식각 선택 성 을 갖 는 절연 물질 로 형성 될 수 있 으며 , 예 를 들 어 , 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산 화질 화 막 또는 저유 전막 들 중 의 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .