이 스폿 형상 의 광은 , 피검 물 ( 3 ) 상 에서 도 2 에 도시 한 바 와 같 은 궤 적 으로 주사 된다 . 이것 은 일반 적 으로 래스터 스캔 이 라 불리 는 방법 이 며 , 2 차원 광 편 향기 ( 9 ) 의 θ x , θ y 의 주사 가 각각 도 2 의 X 방향 , Y 방향 의 주사 에 대응 한다 . 이 주사 방법 에서 는 θ x 방향 으로 는 고속 으로 , θ y 는 그 보다 도 저속 의 주사 가 행해 지 고 있 지만 , 이 와 같 은 주사 에 적합 한 기구 로서 예 를 들 면 고속 의 θ x 주사 에 는 공진 갈바 노 미러 , 저속 의 θ y 주사 에 는 갈바 노 미러 등 이 이용 된다 .