계속 해서 , 제 어 장치 ( 70 ) 는 게이트 밸브 ( 61 , 63 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 21 ) 를 제어 하 여 , 처리 실 ( 11 ) 에서 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 처리 실 ( 13 ) 의 스테이지 ( 13 a ) 에 반송 시킨다 . 제 어 장치 ( 70 ) 는 , 게이트 밸브 ( 61 , 63 ) 를 닫 고 , 처리 실 ( 13 ) 을 동작 시킨다 . 이 에 의해 , 처리 실 ( 13 ) 에서 웨이퍼 ( W ) 에 소정 의 처리 ( 예 를 들 어 , 상술 한 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 의 처리 ) 를 실시 한다 .