일부 실시 예 들 에서 , 상기 제 1 스테이지 는 , 검사 대상 을 이송 시키 는 제 1 레 일부 , 상기 검사 대상 의 제 1 면 의 법선 또는 상기 제 2 면 의 법선 을 축 으로 상기 검사 대상 을 회전 시키 는 방향 전환 부 , 및 상기 검사 대상 의 제 1 면 또는 제 2 면 을 검사 하 기 위한 소정 의 위치 에 위치 된 상기 검사 대상 을 고정 시키 는 클램프 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .