본 발명 의 마이크 로 폰 또는 스피커 는 반도체 공정 을 근간 으로 하 여 , 진동판 이 불 연속 집중 질량 에 기초 한 선형 진동 을 할 수 있 는 원리 를 이용 한다 . 즉 , 유 연한 판 스프링 구조 와 집중 질량 을 가지 는 진동판 구조 에서 진동판 의 두께 및 질량 을 조절 하 거나 판 스프링 구조 의 폭 , 두께 그리고 길이 를 조절 하 여 고감 도 마이크 로 폰 또는 스피커 를 만들 수 있 다 .