이하 , 도 1 내지 도 5 를 참조 하 여 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 가 용이 한 기판 연마 장치 ( 10 ) 에 대해서 상세 하 게 설명 한다 . 참고 적 으로 , 도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 연마 장치 ( 10 ) 의 사시도 이 고 , 도 2 는 기판 연마 장치 ( 10 ) 의 평면도 이 다 . 그리고 도 3 은 기판 연마 장치 ( 10 ) 에서 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 동작 을 설명 하 기 위한 도면 들 로서 , 도 3 과 도 4 는 유지 보수 위치 ( MP ) 에서 의 기판 연마 장치 ( 10 ) 의 평면도 들 이 고 , 도 5 는 도 4 의 기판 연마 장치 ( 10 ) 에서 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 동작 을 설명 하 기 위한 측면도 이 다 .