이어서 , 도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 , 저유 전상수 물질 ( 23 ) 상부 를 캡 핑 하 는 저유 전상수 캡 핑 층 ( 24 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 저유 전상수 캡 핑 층 ( 24 ) 은 층간 절 연막 인 저유 전상수 물질 ( 23 ) 의 수분 흡수 나 후속 공정 에 의한 손상 을 방지 하 기 위하 여 형성 하 는 것 으로서 , 도 1 을 참조 하 여 설명 한 종래 기술 에서 도 제 2 저유 전상수 물질 ( 13 b ) 의 상부 에 형성 하 기 도 한다 .