다음 으로 , 상기 실리콘 기판 에 공동 ( cavity ) 을 형성 하 여 상기 멤 브레인 을 부유 시키 고 , 벤트 홀 을 형성 하 는 제 3 단계 가 수행 된다 . 도 12 내지 도 18 은 제 3 단계 를 순차 적 으로 도시 한다 . 도 12 는 노광 공정 을 통해 감광제 가 패 터닝 된 결과 를 3 차원 구조 로 나타낸 도면 이 고 , 도 13 은 이산화 규소 건식 식각 공정 을 통해 산화 막 을 패 터닝 한 결과 를 3 차원 구조 로 나타낸 도면 이 며 , 도 14 는 실리콘 건식 식각 공정 을 통해 벤트 홀 용 센서 구조물 을 만들 고 감광제 를 제거 한 결과 를 3 차원 구조 로 나타낸 도면 이 다 .