벨로우즈 ( 414 ) 는 공정 챔버 ( 200 ) 의 외부 로 노출 되 는 원통형 격벽 ( 410 ) 을 둘러싸 도록 설치 되 어 , 원통형 격벽 ( 410 ) 이 관통 되 는 공정 챔버 ( 200 ) 의 오프닝 ( 206 ) 을 통해 진공 이 누설 되 는 것 을 차단 한다 . 벨로우즈 ( 414 ) 의 상단 은 공정 챔버 ( 200 ) 의 바닥 면 ( 204 ) 과 수평 플레이트 ( 490 ) 에 밀착 설치 되 며 , 하단 은 지지 링 ( 412 ) 에 밀착 설치 된다 . 벨로우즈 ( 414 ) 는 원통형 격벽 ( 410 ) 이 대기 위치 ( 도 3 참조 ) 에서 격리 위치 ( 도 4 참조 ) 로 이동 하 게 되 면 수축 작용 하 며 , 격리 위치 에서 대기 위치 로 이동 하 게 되 면 팽창 작용 하 게 된다 . 도면 에 는 도시 되 어 있 지 않 지만 , 수평 플레이트 ( 490 ) 에 는 진공 라인 과 연결 되 는 배기 부가 구비 되 며 , 배기 부 를 통해 플 라즈 마 처리 공간 ( b ) 의 진공도 를 조절 하 거나 공정 처리 과정 에서 발생 되 는 미 반응 가스 및 부산물 등 을 배출 하 게 된다 .