센서 ( 50 ) 에 의해 얻 어 진 막 두께 에 기초 하 여 , 연마 장치 의 각 부 를 제어 하 는 방법 에 대해 이하 설명 한다 . 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 와전류 센서 ( 50 ) 는 , 종점 검출 컨트롤러 ( 246 ) 에 접속 되 고 , 종점 검출 컨트롤러 ( 246 ) 는 , 기기 제어 컨트롤러 ( 248 ) 에 접속 되 어 있 다 . 와전류 센서 ( 50 ) 의 출력 신호 는 , 종점 검출 컨트롤러 ( 246 ) 로 보내 진다 . 종점 검출 컨트롤러 ( 246 ) 는 , 와전류 센서 ( 50 ) 의 출력 신호 에 대해 필요 한 처리 ( 연산 처리 · 보정 ) 를 실시 하 여 모니터링 신호 ( 종점 검출 컨트롤러 ( 246 ) 에 의해 보정 된 막 두께 데이터 ) 를 생성 한다 . 기기 제어 컨트롤러 ( 248 ) 는 , 보정 된 막 두께 데이터 에 기초 하 여 , 톱 링 용 모터 ( 114 ) , 연마 테이블 ( 100 ) 용 모터 ( 도시 생략 ) 등 을 제어 한다 .