여기 서 , 플라 즈 마 발생 용 RF 전원 ( 312 ) 및 바이어스 발생 용 RF 전원 ( 316 ) 은 각각 RF 전력 반사 를 방지 하 는 매칭 회로 ( 317 ) 를 통해 안테나 코일 ( 314 ) 및 하부 전극 ( 304 ) 에 접속 된다 . 또한 플 라즈 마 발생 용 RF 전원 ( 312 ) 및 바이어스 발생 용 RF 전원 ( 316 ) 의 주파수 는 13 . 56 MHz , 바이어스 발생 용 RF 전원 ( 316 ) 의 주파수 는 3 . 39 MHz 일 수 있 으나 반드시 이 에 한정 되 지 는 않 는다 .