지금 까지 는 , 각각 의 액적 으로부터 플 라즈 마 를 생성 하 기 위해 각각 의 액적 이 개별 레이저 펄스 에 의해 조사 되 는 LLP 시스템 이 개시 되 었 다 . 또한 , 각각 의 액적 이 하나 이상 의 광 펄스 에 의해 순차 적 으로 조사 되 는 시스템 들 이 개시 되 었 다 . 일부 경우 에 , " 각각 의 액적 은 소위 "" 프리 - 펄스 "" 및 소위 "" 메인 펄스 "" 에 노출 될 수 있 지만 ", 하나 이상 의 프리 - 펄스 및 하나 이상 의 메인 펄스 가 사용 될 수 있 고 , 상기 프리 - 펄스 와 메인 펄스 의 기능 은 어느 정도 겹쳐 진다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 일반 적 으로 , 프리 - 펄스 ( 들 ) 는 재료 를 팽창 시켜서 , 메인 펄스 와 상호 작용 하 는 재료 의 양 을 증가 시키 는 기능 을 하 고 , 메인 펄스 는 재료 의 대부분 또는 모두 를 플 라즈 마로 변환 시켜 EUV 광 방출 을 산출 하 는 기능 을 한다 . 그러나 , 프리 - 펄스 및 메인 펄스 의 기능 은 어느 정도 겹쳐지 고 , 예 를 들 면 , 프리 - 펄스 ( 들 ) 는 일부 플 라즈 마 등 을 생성 한다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 증가 된 재료 / 펄스 상호 작용 은 펄스 에 노출 된 재료 의 단면 이 더 커 지 고 , 재료 의 밀도 가 감소 되 어 펄스 가 재료 에 더 많이 투과 된 데 에 기인 하 거나 , 또는 그 둘 다 에 기인 할 수 있 다 . 프리 - 펄스 의 또 다른 효익 은 타 겟 을 포 커싱 된 펄스 의 크기 로 팽창 시켜 모든 펄스 가 그 에 참여 할 수 있 도록 허용 한다는 것 이 다 . 이 는 , 상대 적 으로 작 은 액적 이 타 겟 으로 사용 되 고 조사 광이 상기 작 은 액적 의 크기 에 초점 을 맞출 수 없 는 경우 에 , 특히 유용 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 애플리케이션 에서 , 변환 효율 을 증가 시키 고 및 / 또는 상대 적 으로 작 은 , 예 를 들 면 , 소위 질량 이 제한 된 타켓 의 사용 을 허용 하 기 위해 프리 - 펄스 를 사용 하 는 것 이 바람직 할 수 있 다 . 그렇게 되 면 , 상대 적 으로 작 은 타 겟 의 사용 은 찌꺼기 생성 을 감소 시키 고 및 / 또는 소스 재료 소모 를 감소 시키 기 위해 사용 될 수 있 다 .