반도체 소자 의 디자인 룰 ( Design Rule ) 이 작 아 짐 에 따라 패턴 쓰러짐 현상 과 해상도 향상 을 위해 감광막 의 두께 가 낮 아 진다 . 이 로 인해 하드 마스크 층 의 두께 도 더 이상 증가 시킬 수 없 게 되 며 , 상기 하드 마스크 층 과 반도체 기판 간 의 식각 선택 비 부족 에 의해 상기 반도체 기판 하부 가 완전히 식각 되 지 않 고 남겨 지 게 되 는 문제점 이 발생 한다 .