이 에 더 하 여 , 도 9 에 도시 된 것 처럼 , 본 발명 에 따르 면 , 상기 전류 분산 홀 들 ( 200 ) 은 서로 다른 크기 를 갖 도록 형성 될 수 있 다 . 이 실시 예 에 따르 면 , 작 은 크기 의 전류 분산 홀 들 은 상기 하부 전극 영역 ( 10 ) 주변 에 형성 되 고 , 큰 크기 의 전류 분산 홀 들 은 상기 상부 전극 영역 ( 20 ) 주변 에 형성 된다 . 하지만 , 이러 한 크기 - 배치 관계 는 변형 되 거나 뒤바뀔 수 도 있 다 .