또 다른 실시 예 에 있 어서 , 상기 스 크 라 이브 헤드 는 ; 상기 하우징 의 상기 내부 공간 에 설치 되 는 원통형 의 상기 몸체 와 ; 상기 몸체 내부 에 배치 되 어 상기 커터 휠 로 초음파 를 발생 하 는 상기 초음파 진동자 와 ; 상기 몸체 로부터 연장 되 어 팁 형태 로 제공 되 는 홀더 및 ; 상기 홀더 에 고정 설치 되 어 기판 표면 에 스 크 라 이브 선 을 형 성 하 는 상기 커터 휠 을 포함 한다 .