도 2 를 참조 하 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 진공 척 ( 100 ) 은 예컨대 대면 적 글 래스 기판 ( 200 ) 상 에 특정 물질 을 도포 하 는 도포 장치 에 사용 될 수 있 다 . 본 실시 예의 진공 척 ( 100 ) 은 대체로 직사각 형 형태 의 정반 ( 110 ) 의 상면 에 대체로 사각형 형태 의 다 수개 의 그루브 라인 ( 112 - 115 ) 이 형성 되 어 있 다 . 정반 ( 110 ) 은 가령 석정 반 및 기타 이 와 유사 한 것 으로서 글래스 기판 과 같 은 기판 ( 200 ) 을 장착 하 고 지지 하 기 에 적합 한 것 이 면 어떤 것 이 든지 불문 한다 . 정반 ( 110 ) 상 에 형성 된 사각형 , 가령 직사각 형 형태 의 그루브 라인 ( 112 - 115 ) 의 모서리 부 , 또는 모서리 부 와 변 에 는 다 수개 의 진공 홀 ( 119 ) 이 배치 되 어 있 다 . 전체 적 으로 , 진공 홀 ( 119 ) 은 정반 ( 110 ) 의 중앙부 에서 모서리 부 쪽 으로 갈수록 간격 이 넓 어 지 는 형태 를 지닌다 . 진공 영역 은 정반 ( 110 ) 의 중심부 와 가장자리 부 를 구분 시키 지 아니하 고 하나 로 구성 한다 .