또한 , 도 5 에 도시 하 는 바 와 같이 , 컵 ( 59 ) 의 X 방향 부 방향 ( 負 方向 ) ( 도 5 의 상측 방향 ) 측 의 측방 에 는 , Y 방향 ( 도 5 의 좌우 방향 ) 을 따르 는 레일 ( 72 ) 이 설치 되 어 있 다 . 레일 ( 72 ) 은 , 예컨대 컵 ( 59 ) 의 일단 부측 의 외측 으로부터 타단 부측 의 외측 까지 설치 되 어 있 다 . 레일 ( 72 ) 상 에 는 , 아암 ( 73 ) 이 설치 되 고 , 아암 ( 73 ) 은 , 구동 부 ( 74 ) 에 의해 레일 ( 72 ) 상 을 이동 가능 하 게 형성 되 어 있 다 . 아암 ( 73 ) 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 용제 증기 를 토출 하 는 노즐 로서 의 용제 증기 공급 노즐 ( 71 ) [ 이하 에 용제 공급 노즐 ( 71 ) 이 라고 칭함 ] 이 유지 되 어 있 다 . 따라서 , 용제 공급 노즐 ( 71 ) 은 , 레일 ( 72 ) 을 따라서 컵 ( 59 ) 의 일단 부측 의 외측 으로부터 척 ( 57 ) 상 을 통과 하 여 컵 ( 59 ) 의 타단 부측 의 외측 까지 이동 할 수 있 다 . 또한 , 용제 공급 노즐 ( 71 ) 의 이동은 , 예컨대 구동 부 ( 74 ) 의 동작 을 제어 하 는 구동 제 어부 ( 75 ) 에 의해 제어 되 고 , 이 구동 제 어부 ( 75 ) 에 의해 , 용제 공급 노즐 ( 71 ) 을 Y 방향 으로 소정 의 속도 로 이동 시킬 수 있 다 . 또한 , 구동 부 ( 74 ) 는 , 예컨대 아암 ( 73 ) 을 상하 이동 시키 는 실린더 등 을 구비 하 여 , 용제 공급 노즐 ( 71 ) 의 높이 를 조정 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 레일 ( 72 ) , 아암 ( 73 ) , 구동 부 ( 74 ) 및 구동 제 어부 ( 75 ) 에 의해 이동 기구 가 구성 되 어 있 다 .