도 25 에 도시 하 는 바 와 같이 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 는 참조 웨이퍼 RW 와 함께 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 을 중심 으로 회전 되 고 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 참조 웨이퍼 RW 의 중심 RC 의 편심 량 및 편심 방향 ( 즉 , 최대 편심 각도 ) 이 편심 검 출부 ( 60 ) 에 의해 취득 된다 ( 도 21 의 스텝 6 참조 ) . 도 26 에 도시 하 는 바 와 같이 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 참조 웨이퍼 RW 의 중심 RC 의 편심 벡터 Pv 가 결정 된다 ( 도 21 의 스텝 7 참조 ) . 편 심량 은 , 편심 벡터 Pv 의 크기 | Pv | 이 며 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 참조 웨이퍼 RW 의 중심 RC 까지 의 거리 에 상당 한다 . 편심 방향 은 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 을 통하 여 , 오프셋 축 OS 에 수직 인 각도 기준선 PL 로부터 의 편심 벡터 Pv 의 각도 β 로 표시 된다 . 도 26 에 도시 하 는 각도 기준선 PL 및 도 23 에 도시 하 는 각도 기준선 RL 은 , 서로 평행 인 수평선 이 다 .