유리 형성 원료 인 Si 전구체 및 Ti 전구체 를 화염 가수 분해 시켜서 얻 어 지 는 TiO 2 - SiO 2 유리 미립자 를 기재 에 퇴적 및 성장 시켜서 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 형성 한다 . 유리 형성 원료 로서 는 기화 가능 한 원료 인 한 특별히 한정 되 지 는 않 는다 . Si 전구체 의 예 는 규소 할 라이드 , 예 를 들 어 염화물 ( 예 를 들 어 , SiCl 4 , SiHCl 3 , SiH 2 Cl 2 , SiH 3 Cl 등 ) , 불화물 ( 예 를 들 어 , SiF 4 , SiHF 3 , SiH 2 F 2 등 ) , 브롬화물 ( 예 를 들 어 , SiBr 4 , SiHBr 3 등 ) , 요오드화물 ( 예 를 들 어 , SiI 4 등 ) , 및 RnSi ( OR ) 4 - n ( 여기 서 , R 은 탄소 원자 가 1 내지 4 인 알킬기 를 나타내 고 , n 은 0 내지 3 의 정수 를 나타냄 ) 로 나타내 어 지 는 알 콕 시 실란 을 들 수 있 다 . 또한 Ti 전구체 의 예 는 티탄 할 라이드 ( 예 를 들 어 TiCl 4 , TiBr 4 등 ) ; 및 RnTi ( OR ) 4 - n ( 여기 서 , R 은 탄소 원자 가 1 내지 4 인 알킬기 를 나타내 고 , n 은 0 내지 3 의 정수 를 나타냄 ) 로 나타내 어 지 는 알 콕 시 티탄 을 들 수 있 다 . 또한 , Si 전구체 및 Ti 전구체 로서 , 실리콘 티탄 더블 알 콕 시드 와 같 은 Si 와 Ti 의 화합물 을 사용 할 수 있 다 .