[ 해결 수단 ] 반도체 웨이퍼 는 할로겐 램프 에 의해 예비 가열 된 후 , 플래시 램프 로부터 의 플래시 광 조사 에 의해 가열 된다 . 할로겐 램프 에 의한 예비 가열 은 플래시 램프 가 소등 한 후 에 도 잠시 계속 된다 . 반도체 웨이퍼 의 표면 및 이면 의 온도 는 방사 온도계 에 의해 측정 되 고 있 다 . 플래시 광 의 조사 개시 부터 반도체 웨이퍼 의 가열 이 종료 할 때 까지 의 기간 에 측정 된 반도체 웨이퍼 의 온도 를 적산 하 여 온도 적 산치 가 산정 된다 . 산정 된 온도 적 산치 가 미리 설정 된 상한 치 와 하한 치 의 사이 의 범위 에서 벗어나 있 을 때 에 는 , 플래시 광 조사 시 에 반도체 웨이퍼 가 깨졌 다고 판정 된다 .