구체 적 으로 , 상기 제 2 이 송부 ( 440 ) 는 상기 제 1 이 송부 ( 430 ) 의 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 상기 지지 부 ( 210 ) 로 이송 하 거나 , 상기 지지 부 ( 210 ) 에서 상기 칩 들 ( 20 ) 이 픽업 된 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 상기 제 1 이 송부 ( 430 ) 로 이송 한다 . 예 를 들 면 , 상기 제 2 이 송부 ( 440 ) 는 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 파지 하 여 이송 하 는 그립 퍼 일 수 있 다 . 이 와 달리 상기 제 2 이 송부 ( 440 ) 는 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 밀 어 이송 하 는 푸 셔 일 수 도 있 다 .