또한 , X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 14 ) 및 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 13 ) 의 구체 적 구성 은 도 13 에 나타낸 것 과 동일 하 므로 설명 을 생략 한다 . 또 , 복수 의 기준 지지 부재 나 보조 지지 부재 는 생략 하 여 도시 되 어 있 지 않 지만 , 그 구체 적 구성 은 각각 도 14 및 도 15 에 설명 한 것 과 동일 하 므로 설명 을 생략 한다 . 또 , XY θ 이동 스테이지 의 이동 원리 도 도 16 에 있 어서 설명 한 것 과 동일 하 므로 설명 을 생략 한다 . 또 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 위치 를 검출 하 기 위한 X 방향 레이저 간섭계 와 Y 방향 레이저 간섭계 도 생략 하 여 도시 되 어 있 지 않 지만 , 이러 한 레이저 간섭계 에 의해 평면 플레이트 ( 6 ) 의 원점 위치 로부터 의 이동 거리 를 검출 한 신호 가 입력 되 는 제 어부 도 생략 하 여 도시 되 어 있 지 않 지만 , 도 2 에 있 어서 설명 한 것 과 동일 하 므로 설명 을 생략 한다 . 또 , 도 6 ∼ 도 10 에 있 어서 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 동작 을 알 기 쉽 게 하 기 위해서 , 평면 플레이트 ( 6 ) 하 에 위치 하 는 추력 발생 수단 ( 21 , 22 ) 은 실제로 는 보이 지 않 지만 보이 도록 나타내 고 있 다 . 또 , 워크 처 리부 ( 14 ) 및 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) , 제 2 플레이트 반입 반 출부 ( 16 ) 에 표시 되 는 4 각 의 점선 은 모두 가 상선 으로 실제로 는 존재 하 지 않 는다 . 또 , 도 6 ∼ 도 10 에 나타낸 스테이지 장치 는 , 노광 장치 에 적용 한 경우 의 구성 이 고 , 워크 처 리부 ( 14 ) 에 있 어서 워크 의 노광 처리 가 행해 지 지만 , 이 스테이지 장치 는 노광 장치 로 의 적용 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 , 검사 장치 에 도 적용 가능 하 다 .