절연 플레이트 ( 230 ) 는 상부 고정 부시 부재 ( 410 ) 와 상부 고정 핀 부재 ( 420 ) 를 통해 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 하면 에 맞닿 아 고정 된다 . 이때 , 절연 플레이트 ( 230 ) 는 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 에 연결 된 상태 에서 Z 축 방향 으로 의 유동 없이 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 과 일체 로 고정 된다 .