실시 예 에서 , 작업 물 을 처리 하 기 위해 플 라즈 마 를 생성 하 기 위한 방법 은 하나 이상 의 프로세스 가스 를 프로세스 챔버 내 에 도입 하 는 단계 를 포함 한다 . 프로세스 챔버 는 , 프로세스 챔버 의 배기 에 대응 하 는 압력 차이 를 지지 할 수 있 는 유전체 플레이트 에 의해 적어도 부분 적 으로 밀봉 된다 . 방법 은 또한 , 전자기 방사선 을 , 프로세스 챔버 에 인접 하 여 배치 된 도파 로 공동 내 로 전파 하 는 단계 를 포함 한다 . 도파 로 공동 은 , 프로세스 챔버 와 대면 하 고 프로세스 챔버 로부터 도파 로 공동 에 걸친 제 1 전도성 플레이트 , 및 도파 로 공동 과 유전체 플레이트 사이 의 제 2 전도성 플레이트 에 의해 적어도 부분 적 으로 경계 가 정해진다 . 제 2 전도성 플레이트 는 , 전자기 방사선 이 제 2 전도성 플레이트 를 통해 , 유전체 플레이트 를 통해 챔버 내 로 전파 되 는 것 을 허용 하 는 애 퍼 쳐들 을 형성 한다 . 방법 은 , 프로세스 가스 들 로부터 플 라즈 마 를 점 화 하 는 단계 , 및 제 2 전도성 플레이트 의 애 퍼 쳐 들 을 통해 프로세스 챔버 내 로 전파 된 전자기 방사선 에 의해 공급 된 전력 으로 플 라즈 마 를 유지 하 는 단계 를 더 포함 한다 .