그리고 , 상기 입사각 가변 부 는 제 1 입사각 가변 부 와 제 2 입사각 가변 부 를 구비 하 되 , 상기 제 1 입사각 가변 부 는 상기 마스크 스테이지 에 연결 된 제 1 회전축 과 , 상기 제 1 회전축 에 연결 되 어 동력 을 제공 함 으로써 상기 마스크 스테이지 를 회전 시켜 상기 광 의 입사각 을 가변 시키 는 제 1 모터 와 , 상기 제 1 모터 에 장착 되 며 , 상기 마스크 스테이지 의 회전각 을 검출 하 는 제 1 엔 코더 를 구비 하 며 , 상기 제 2 입사각 가변 부 는 상기 광원 과 연결 되 는 제 2 회전축 과 , 상기 제 2 회전축 과 연결 되 는 제 2 모터 와 , 상기 제 2 모터 에 장착 되 며 , 상기 고정부 의 회전각 을 검출 하 는 제 2 엔 코더 를 구비 하 는 것 이 바람직 하 다 .