도 8 은 기판 이송 장치 ( 805 ) 의 또 다른 예시 적 인 실시 예 를 도시 한다 . 본 예시 적 인 실시 예 에서 , 회전자 들 ( 215 , 220 ) 은 이 들 의 각각 의 고정자 들 ( 220 , 205 ) 에 대해 동심 으로 위치 하 고 수평 으로 정렬 된다 . 엔드 이펙터 ( 210 ) , 제 1 암 ( 225 ) 및 제 2 암 ( 230 ) 은 회전자 들 ( 215 , 220 ) 및 고정자 들 ( 200 , 205 ) 로부터 수직 으로 오프셋 된다 . 본 예시 적 인 실시 예 에서 , 기판 이송 장치 ( 805 ) 및 / 또는 이송 챔버 ( 120 ) 는 상술 된 바 와 같이 Z - 방향 으로 적절 하 게 지지 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 이송 챔버 ( 120 ) 및 / 또는 기판 이송 장치 ( 805 ) 는 임의 의 적절 한 방식 으로 적절 하 게 수직 으로 지지 될 수 있 다 .