제 2 가스 공급 라인 ( 162 ) 은 제 2 가스 공급원 ( 161 ) 과 샤워 헤드 유닛 ( 140 ) 을 연결 하 는 것 이 다 . 제 2 가스 공급 라인 ( 162 ) 은 제 2 가스 공급원 ( 161 ) 을 통해 공급 되 는 공정 가스 를 샤워 헤드 유닛 ( 140 ) 으로 이송 하 여 , 에칭 가스 가 하우징 ( 110 ) 의 내부 로 유입 될 수 있 도록 한다 .