도 3 은 본 개시 내용 의 양태 에 따른 검출기 를 예시 한 저 면도 이 다 . 도 2 a , 도 2 b 및 도 3 에서 동일 한 요소 는 동일 한 참조 번호 로 지시 되 고 , 도 2 a , 도 2 b 및 도 3 에 예시 된 동일 한 요소 의 상세 는 간결 성 을 위해 도 3 의 설명 에서 생략 됨 을 알 아야 한다 . 도 3 에 예시 된 바 와 같이 , 검출기 ( 100 c ) 가 제공 된다 . 검출기 ( 100 c ) 는 전술 한 것 과 유사 한 구성 요소 를 포함 할 수 있 으므로 , 그 차이점 만 상세히 설명 된다 . 일부 실시 예 에서 , 패턴 의 제 1 부분 과 제 2 부분 은 서로 정렬 되 지 않 는다 . 도 3 에 예시 된 바 와 같이 . 일부 실시 예 에서 , 제 1 부분 ( 122 a - 1 ) 과 제 2 부분 ( 122 b - 1 ) 은 서로 직교 하 며 , 관통 비아 ( 150 - 1 ) 에 의해 서로 분리 된다 . 제 1 부분 ( 122 a - 2 ) 과 제 2 부분 ( 122 b - 2 ) 은 서로 직교 하 며 , 관통 비아 ( 150 - 2 ) 에 의해 서로 분리 되 어 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 제 1 부분 ( 122 a - 1 , 122 a - 2 ) 은 서로 평행 할 수 있 고 , 제 2 부분 ( 122 b - 1 , 122 b - 2 ) 은 서로 평행 할 수 있 지만 , 본 개시 내용 은 이것 에 제한 되 지 않 음 을 알 아야 한다 . 패턴 의 제 1 부분 ( 122 a - 1 , 122 a - 2 ) 및 제 2 부분 ( 122 b - 1 , 122 b - 2 ) 은 상이 한 제품 설계 에 따라 배열 될 수 있 으며 , 이러 한 상세 는 간결 성 을 위해 생략 된다는 것 을 이해 해야 한다 . 일부 실시 예 에서 , 관통 비아 ( 150 - 1 ) 와 관통 비아 ( 150 - 2 ) 는 도 3 에 예시 된 바 와 같이 서로 평행 하 다 .