도 8 a 에 있 어서 , 성막 실 ( 801 ) 은 , 진공 챔버 이 며 , 제 1 게이트 밸브 ( 802 ) , 및 제 2 게이트 밸브 ( 803 ) 에 의해 다른 처리 실과 연결 되 어 있 다 . 또한 성막 실 ( 801 ) 안 에 는 , 증착 용 기판 지지 기구 ( 804 ) 와 , 피 성막 기판 지지 기구 ( 805 ) 와 광원 ( 810 ) 을 적 어도 갖 고 있 다 .