즉 , 상기 패드 오픈 홀 ( 61 ) 형성 은 챔버 내 에 소스 파워 는 27 MHz 의 600 ~ 1400 W 로 인가 하 고 바이어스 파워 는 2 MHz 의 0 ~ 500 W 로 인가 하 여 수행 하 고 , CxHyFz ( x = 1 , y = 0 , z = 4 ) 종류 의 식각 가스 와 Ar , He , O 2 및 N 2 와 같 은 불활성 기체 를 이용 하 여 수행 되 도록 할 수 있 다 .