그러나 , 스 페이서 부 를 갖 는 수지 는 스 페이서 부 를 갖 지 않 는 수지 에 비해서 유리 전이 온도 가 높 고 , 산 확산 율 이 매우 높 아 선폭 100 ㎚ 이하 의 미세 패턴 형성 시 에 노광 래티튜드 ( EL ) 가 악화 된다고 하 는 문제점 이 있 었 다 . 스 페이서 부분 을 갖 는 반복 단위 를 도입 한 수지 인 경우 에 도 특히 패턴 붕괴 를 개선 하 는 것 이 매우 곤란 하 다 . 이러 한 관점 에서 개선 이 요구 된다 .