다음 으로 , 단계 ( S 2 ) 에 있 어서 , 도 6 의 ( B ) 와 같이 , 반 전실 ( 102 ) 로부터 얼라인먼트 실 ( 103 ) 로 , 기판 을 보유 지지 한 반송 캐리어 ( 302 ) 가 자기 부상 반송 모드 에서 반입 된다 . 여기 서 의 반송 방향 A 는 , 안쪽 에서부터 전방 을 향하 는 방향 으로 한다 . 얼라인먼트 실 제 어부 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 의 인코더 의 값 으로부터 위치 를 검출 하 고 , 소정 의 얼라인먼트 위치 에서 반송 캐리어 ( 302 ) 를 정지 시킨다 . 이 때 의 마스크 ( M ) 와 유리 기판 ( G ) 의 클리어런스 ( 틈 ) 를 CLS 2 로 한다 . 예 를 들 면 , CLS 2 = 68 mm 이 다 .