반응 관 ( 203 ) 의 하부 에 는 , 가스 노즐 ( 233 ) 이 반응 관 ( 203 ) 을 관통 하 도록 설치 된다 . 가스 노즐 ( 233 ) 에 는 제 1 가스 공급 관 ( 232 a ) 이 접속 되 고 , 제 1 가스 공급 관 ( 232 a ) 에 는 제 3 가스 공급 관 ( 232 c ) 이 접속 된다 . 또한 , 반응 관 ( 203 ) 에 는 제 2 가스 공급 관 ( 232 b ) 이 접속 된다 . 이 와 같이 , 반응 관 ( 203 ) 에 는 3 개 의 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b , 232 c ) 이 설치 되 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 복수 의 종류 , 여기 에서 는 3 종류 의 가스 를 공급 하 도록 구성 된다 .