이상 , 광학 리소그래피 와 관련 하 여 본 발명 의 실시 예 들 의 특정 사용 예 를 언급 하 였 지만 , 본 발명 은 다른 적용 예 들 , 예 를 들 어 임프 린트 리소그래피 에 사용 될 수 있 으며 , 본 명세서 가 허용 한다면 광학 리소그래피 로 제한 되 지 않 는다는 것 을 이 해 할 것 이 다 . 임프 린트 리소그래피 에서 , 패 터닝 디바이스 내 의 토포 그래피 ( topography ) 는 기판 상 에 생성 된 패턴 을 정의 한다 . 패 터닝 디바이스 의 토포 그래피 는 전자기 방사선 , 열 , 압력 또는 그 조합 을 인가 함 으로써 레지스 트 가 경화 되 는 기판 에 공급 된 레지스 트 층 으로 가압 될 수 있 다 . 패 터닝 디바이스 는 레지스 트 가 경화 된 후 에 그 안 에 패턴 을 남기 는 레지 스트로 부터 이동 된다 .