이하 도 3 을 참조 하 여 본 발명 의 제 3 실시 예 를 설명 한다 . 도 3 은 본 발명 의 제 3 실시 예 에 의한 액체 공급 장치 를 개략 적 으로 도시 한 구성도 이 다 . 설명 의 편의 상 , 상기 제 1 실시 예의 도면 에 나타낸 각 부재 와 동일 기능 을 갖 는 부재 는 동일 부 호로 나타내 고 , 따라서 그 설명 은 생략 한다 . 본 실시 예의 액체 공급 장치 ( 102 ) 는 도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 실시 예의 액체 공급 장치 ( 100 ) 와 다음 을 제외 하 고 는 기본 적 으로 동일 한 구조 를 갖 는다 .