이송 챔버 ( 500 ) 의 면적 내지 공간 이 로드 락 챔버 ( 300 ) 보다 넓 어 기판 얼라 이너 ( 506 ) 는 이송 챔버 ( 500 ) 내 에 설치 될 수 있 다 . 아울러서 , 공정 챔버 ( 700 ) 에서 제조 공정 이 완료 된 기판 ( 102 ) 은 기판 얼라 이너 ( 506 ) 를 거치 지 않 고 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 기판 스테이지 ( 306 ) 로 이송 될 수 있 다 .