도 1 은 본 실시 형태 에 따른 분단 의 대상 인 마더 기판 ( 10 ) 의 개략 평면도 이 다 . 도 2 는 도 1 에 나타낸 마더 기판 ( 10 ) 의 소정 부분 영역 ( RE ) 의 양상 을 나타낸 도면 이 다 . 도 1 에 있 어서 는 , 마더 기판 ( 10 ) 의 한쪽 주면 내 에 있 어서 오리엔테이션 플랫 ( オリフラ ) ( 10 f ) 에 따른 방향 과 해당 방향 에 수직 인 방향 을 각각 x 축 방향 , y 축 방향 으로 하 고 , 해당 주면 에 수직 인 방향 을 z 축 방향 으로 하 는 , 오른손 계 의 xyz 좌표 를 부여 하 고 있 다 . 이후 의 도면 에 있 어서 도 , 해당 좌표계 를 따르 는 것 으로 한다 .