도 7 은 핸드 부 ( 10 ) 의 확대 측면도 이 다 . 도 1 내지 도 3 에서 는 도시 를 생략 하 였 지만 , 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 포크 부재 ( 11 c , 12 c ) 의 각 상면 ( 11 d , 12 d ) 에 는 기판 흡착 부재 ( 13 ) 가 복수 설치 된다 . 여기 서 는 상측 핸드 부 ( 11 ) 에 대해서 만 설명 하 지만 , 하측 핸드 부 ( 12 ) 도 동일 한 구성 이 다 .