상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 일 측면 에 따른 본 발명 의 비휘발성 메모리 소자 는 , 서로 직렬연결 된 복수 의 메모리 셀 을 포함 하 는 비휘발성 메모리 소자 에 있 어서 , 상기 메모리 셀 은 , 기판 상 에 형성 된 복수 의 게이트 구조물 ; 상기 게이트 구조물 과 전기 적 으로 분리 되 고 , 상기 게이트 구조물 사이 에서 일부 매립 되 도록 형성 되 며 , 저부 의 양측 부가 상기 기판 과 접속 된 소스 / 드레 인 영역 ; 및 상기 소스 / 드레 인 영역 아래 에 형성 된 절연 성 의 확산 방지 막 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .