한편 , MEMS 와 같이 구조물 의 크기 가 작아지 면서 발생 하 는 스케일링 ( scaling ) 효과 를 살펴보 면 , 관성 ( inertia ) 의 역할 이 현격 하 게 줄어드 는 반면 , 스퀴즈 댐 핑 은 가장 영향 이 커지 는 변수 중 의 하나 로 작용 한다 . 그러나 기존 의 광 스캐너 장치 는 그룹 A 와 같이 미러 의 사이즈 가 작 거나 또는 그룹 B 와 같이 저속 구동 을 하 기 때문 에 구 동체 ( 110 ) 의 하부 및 측면 의 공간 사이즈 에 대한 고민 이 특별히 필요 하 지 아니하 였 다 . 그러나 그룹 C 와 같이 큰 사이즈 의 미러 를 고속 으로 구동 할 때 는 이 와 같 은 스퀴즈 댐 핑이 광 스캐너 의 구 동각 에 영향 을 줄 정도 로 커지 게 된다 .