웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 중앙 에 는 , 웨이퍼 를 진공 흡착 등 에 의해 유지 하 는 웨이퍼 홀더 ( 도시 생략 ) 가 형성 되 어 있 다 . 웨이퍼 홀더 ( 웨이퍼 의 탑재 영역 ) 의 외측 에 는 , 도 43 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 홀더 보다 한층 더 큰 원형 개구 가 중앙 에 형성 되 고 , 또한 직사각 형 형상 의 외형 ( 윤곽 ) 을 갖 는 플레이트 ( 28 ) 가 형성 되 어 있 다 . 플레이트 ( 28 ) 의 표면 은 , 액체 ( Lq ) 에 대하 여 발 액화 처리 되 어 있 다 . 또한 플레이트 ( 28 ) 는 , 그 표면 의 거의 전부 가 웨이퍼 ( W 1 ) 의 표면 과 거의 동일 한 면 이 되 도록 설정 되 어 있 다 . 또한 , FD 바 ( 46 ) 및 계측 부 ( 138 ) 는 , 각각 의 표면 이 플레이트 ( 28 ) 의 표면 과 거의 동일 한 면 이 되 도록 테이블 본체 ( 34 ) 에 장착 되 어 있 다 .