이러 한 캡 웨이퍼 ( 120 ) 에 는 상기 패키지 웨이퍼 ( 110 ) 와 의 접합 시 상기 패키지 웨이퍼 ( 110 ) 에 탑재 된 수 정편 ( 130 ) 을 외부 환경 과 차단 하 는 밀폐 공간 을 형성 하 도록 캐 비티 ( C ) 를 형성 하 는 바 , 이러 한 캐비 티 ( C ) 는 상기 캡 웨이퍼 ( 120 ) 의 하부 면 에 하부 로 개방 된 상태 로 구비 된다 .