본 발명 은 , 기판 을 처리 하 는 기판 처리 시스템 및 , 이 기판 처리 시스템 의 기판 반송 방법 에 관한 것 이 다 . 기판 은 , 예 를 들 면 , 반도체 기판 , FPD ( Flat Panel Display ) 용 의 기판 , 포토 마스크 용 유리 기판 , 광디스크 용 기판 , 자기 디스크 용 기판 , 세라믹 기판 , 태양 전지용 기판 등 을 들 수 있 다 . FPD 는 , 예 를 들 면 , 액정 표시 장치 , 유기 EL ( electroluminescence ) 표시 장치 등 을 들 수 있 다 .