본 발명 은 평탄 하 면서 도 오염 되 어 있 지 않 은 표면 을 가지 는 정공 주입 층 을 구비 하 는 유기 EL 디바이스 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 제조 방법 은 , 기판 상 에 양극 을 형성 하 는 스텝 과 , 상기 양극 상 에 정공 주입 층 을 형성 하 는 스텝 과 , 상기 기판 및 상기 정공 주입 층 상 에 무기 막 을 형성 하 는 스텝 과 , 상기 정공 주입 층 상 에 형성 된 상기 무기 막 의 적어도 일부 가 노출 되 도록 상기 무기 막 상 에 뱅크 를 형성 하 는 스텝 과 , 상기 뱅크 를 마스크 로 하 여 상기 노출 된 무기 막 을 에칭 하 여 , 상기 정공 주입 층 을 노출 시키 는 스텝 과 , 상기 노출 된 정공 주입 층 상 에 유기 발광 재료 를 도포 하 여 , 유기 발광 층 을 형성 하 는 스텝 을 가진다 . 또 상기 정공 주입 층 은 , 산화 텅스텐 또는 산화 몰리브덴 을 포함 한다 .