또 , 개질 반응 실 ( 161 ) 및 일산 화 탄소 제거 유로 ( 171 ) 는 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 에 1 개 씩 구비 되 어 지 는 것 으로 하 여 설명 했 는데 , 제 1 기판 ( 300 ) 및 제 ５ 기판 ( 700 ) 의 사이 에서 제 2 기판 ( 400 ) ∼ 제 4 기판 ( 600 ) 을 이 순서 로 복수 적층 해 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 를 적층 한 상태 로 제조 함 으로써 , 개질 반응 실 ( 161 ) 및 일산 화탄 소 제거 유로 ( 171 ) 를 복수 설치 하 는 것 으로 해도 괜찮 다 .