이어서 , 식각 정지 막 ( 103 ) 상 에 희생 막 ( 104 ) 을 형성 한다 . 이 희생 막 ( 104 ) 은 산화 막 계열 의 물질 막 으로써 , 예 를 들 면 BPSG ( boron phosphorus silicate glass ) 막 , TEOS ( tetra ethyl ortho silicate ) 막 및 SOD ( spin on dielectric ) 막 중 어느 하나 또는 이 들 의 적층 막 일 수 있 다 .