( c ) 상기 공정 ( b ) 에서 얻 어 진 분 산액 을 습식 분급 장치 에 제공 하 고 , 적어도 0 . 5 ㎛ 미만 의 입자 지름 을 갖 는 다공질 실리카 계 입자 를 포함 한 상등 액 ( 上 澄 液 ) 을 분리 · 제거 하 는 것 에 의해 , 주로 0 . 5 ∼ 50 ㎛ 의 입자 지름 을 갖 는 다공질 실리카 계 입자 를 포함 한 분 산액 을 얻 는 공정 ,