우선 , 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 기울기 검 출부 ( 30 ) 가 , 항상 , 기판 ( W ) 이 놓인 상측 핸드 부 ( 11 ) 의 선 단부 ( 11 a ) 의 기울기 를 검출 하 고 있 다 . 즉 , 기울기 검 출부 ( 30 ) 의 어긋남 량 검 출부 ( 32 a ) 가 , 조사 부 ( 31 a ) 가 조사 하 는 광선 의 수광 위치 ( C ) 와 미리 정한 수광 기준 위치 ( D ) 의 어긋남 량 을 항상 검출 하 고 있 다 .