우선 , 트렌치 ( 22 ) 측벽 의 보잉 발생 을 방지 하 기 위해서 는 폴리머 를 발생 시키 는 가스 를 다량 포함 하 는 식각 가스 를 이용 하 여 식각 을 수행 하 여야 한다 . 좀 더 상세 하 게 는 , 폴리머 를 발생 시키 는 가스 로 HBr 가스 를 200 ~ 600 sccm 정도 포함 하 는 식각 가스 를 이용 하 여 반도체 기판 ( 20 ) 을 식각 함 이 바람직 하 다 . 이때 , 반도체 기판 ( 20 ) 이 안착 된 정전 척 ( ESC : Electro Static Chuck ) 의 온도 를 조절 함 으로써 폴리머 의 발생 정도 를 조절 할 수 있 다 .