투영 광학계 PO 는 , 소정 의 투영 배 율 로 , 마스크 M 에 형성 된 패턴 을 기판 W 위 에 투영 한다 . 투영 광학계 PO 의 투영 배 율 에 따른 속도 비 로 , 마스크 스테이지 MS 및 기판 스테이지 WS 를 , 투영 광학계 PO 의 물 체면 과 평행 한 방향 으로 주사 하 면서 노광 처리 를 행함 으로써 , 마스크 M 에 형성 된 패턴 을 기판 W 위 에 순차 전사 할 수 있 다 .