여기 서 는 , 가스 제어 수단 ( 100 b ) 에 의해 MFC ( 109 ) 를 제어 하 고 , 유량 이 10 ～ 500 sccm 이 되 도록 기체 의 포름산 을 처리 용기 내 에 공급 했 다 . 또한 , 압력 제어 수단 ( 100 c ) 에 의해 압력 조정 밸브 ( 105 A ) 를 제어 하 고 , 처리 공간 ( 101 A ) 의 압력 이 , 10 ～ 2000 Pa 가 되 도록 했 다 . 본 실시 예의 경우 , 포름산 의 유량 을 100 sccm , 처리 공간 ( 101 A ) 의 압력 이 100 Pa , 기판 온도 가 250 ℃ 가 되 도록 했 다 . 이러 한 처리 압력 과 가스 공급 을 실행 한 상태 에서 피 처리 기판 ( W ) 을 유지 대 ( 103 ) 상 에 5 분 간 유지 하 여 처리 를 실시 했 다 . 그 후 , 밸브 ( 108 ) 를 닫 아 , 배기펌프 ( 106 ) 에 의해 , 처리 공간 ( 101 A ) 내 에 잔존 하 는 처리 가스 를 배기 하 여 처리 를 완료 시키 고 , 피 처리 기판 ( W ) 을 반출 했 다 .