도 21 d 는 도 21 b 와 유사 하 지만 함몰 부 를 충전 하 는 더 두꺼운 패 시베이 션 층 ( 2504 ) 을 갖 는 일부 구 현예 의 함몰 된 제 1 표면 을 도시 한다 . 이 경우 , 패 시베이 션 층 ( 2504 ) 의 제거 후 , 제 2 표면 상 에 선택 적 으로 증착 된 유전체 층 ( 2502 ) 과 제 1 표면 사이 에 갭 이 남 는다 . 이 경우 , 상기 갭 은 제 2 표면 의 수직 측벽 의 형태 를 취하 고 , 이어서 후속 처리 에 노출 된다 .