웨이퍼 스테이지 ( 45 ) 의 액체 지지 판 ( 50 ) 은 , 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( 45 ) 에 의해 지지 된 웨이퍼 ( 40 ) 를 둘러싸 도록 배치 되 어 있 다 . 웨이퍼 ( 40 ) 의 단부 로부터 노광 을 개시 하 기 위해서 는 , 웨이퍼 ( 40 ) 의 단부 가 노광 영역 ( 노광 광이 조사 되 는 영역 ) 에 도달 하 기 전 에 투영 광학계 ( 30 ) 의 최종 면 아래 의 공간 에 액체 를 채울 필요 가 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( 40 ) 의 외측 에 , 웨이퍼 ( 40 ) 의 표면 과 거의 같 은 높이 의 표면 을 가진 액체 지지 판 ( 50 ) 을 배치 하 는 것 으로 , 웨이퍼 ( 40 ) 의 외측 에 도 액막이 형성 된다 .