상기 노광 후 , 노광 후 베이 킹 ( PEB ) 을 행하 고 , 레지스 트 막 의 노광 된 부분 에 있 어서 , 노광 에 의해 [ B ] 산발 생체 등 으로부터 발생 한 산 에 의한 [ A ] 중합체 등 이 갖 는 산 해리성 기 의 해리 를 촉진 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 이 PEB 에 의해 , 노 광부 와 미노 광부 에서 현상액 에 대한 용해 성 의 차 를 증대 시킬 수 있 다 . PEB 의 온도 의 하한 으로서 는 , 50 ℃ 가 바람직 하 고 , 80 ℃ 가 보다 바람직 하 다 . 상기 온도 의 상한 으로서 는 , 180 ℃ 가 바람직 하 고 , 130 ℃ 가 보다 바람직 하 다 . PEB 의 시간 의 하한 으로서 는 , 5 초 가 바람직 하 고 , 10 초 가 보다 바람직 하 다 . 상기 시간 의 상한 으로서 는 , 600 초 가 바람직 하 고 , 300 초 가 보다 바람직 하 다 .