또한 , 첨가 하 는 이온 은 수소 에 한정 되 지 않 는다 . 헬륨 등 의 이온 을 첨가 하 여도 좋 다 . 또한 , 첨가 하 는 이온 은 1 종류 에 한정 되 지 않 고 , 복수 종류 의 이온 을 첨가 하 여도 좋 다 . 예 를 들 어 , 이온 도핑 장치 를 사용 하 여 수소 와 헬륨 을 동시 에 조사 하 는 경우 는 , 수소 와 헬륨 을 각각 다른 공정 에 의하 여 조사 하 는 경우 와 비교 하 여 공 정수 를 저감 할 수 있 는 것 과 함께 , 이후 의 단결정 반도체 층 의 표면 거칠 기 를 억제 할 수 있 다 .