그리고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 가 제 2 스크럼 개시 위치 에 도달 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 포커스 매핑 을 종료 하 고 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 각 검 출점 에 대한 면 위치 정보 를 동시 에 읽 어 들인 Z 헤드 ( 171 p , 173 q ) 에 의한 면 위치 정보 를 기준 으로 하 는 데이터 로 전술 과 동일 하 게 하 여 환산 한다 .