도 2 를 참조 하 면 , 가열 부재 ( 225 ) 와 히터 전원 ( 225 a ) 사이 에 는 필터 유닛 ( 225 c ) 이 위치 된다 . 가열 부재 ( 225 ) 는 공정 진행 중 기판 ( W ) 을 공정 온도 로 유지 한다 . 가열 부재 ( 225 ) 는 열선 으로 제공 될 수 있 다 . 가열 부재 ( 225 ) , 히터 전원 ( 225 a ) 및 필터 유닛 ( 225 c ) 은 기판 의 온도 를 제어 하 는 가열 유닛 을 구성 한다 .