S - D 프로시저 는 웨이퍼 상 의 특정 위치 에서 특정 결과 를 산출 할 수 있 다 . 프로세스 가 완료 될 때 , 신뢰 도 값 은 높 아야 하 고 , 최 소개 의 웨이퍼 만 이 평가 를 필요 로 해야 하 며 , 웨이퍼 상 의 하나 의 사이트 가 웨이퍼 및 / 또는 웨이퍼 그룹 을 선언 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 프로세스 가 완료 될 때 , 웨이퍼 상 의 모든 사이트 로부터 의 프로세스 결과 는 동일 해야 한다 ( 균일성 한계 내 에서 ) . 생산품 이 개발 중 일 때 에 는 , 저 리스크 프로시저 를 확립 하 기 위해 다수 의 사이트 에서 의 평가 특징 부 / 특성 / 구조물 이 이용 될 수 있 다 .