그런데 , 현재 까지 알려진 구리 계 식각 액 조성물 들 은 사용 자 가 요구 하 는 성능 을 충족 시키 지 못하 고 있 다 . 예컨대 , 기존 의 과산화수소 를 사용 한 구리 막 식각 액 의 경우 , 금속 층 식각 시 용해 되 는 금속 이온 특히 구리 이온 에 의해 과산화수소 의 분해 속도 가 빨라짐 에 따른 과열 현상 으로 식각 액 의 안정 성 이 크 게 저하 되 는 문제점 이 있 다 . 또한 , 다층 금속 막 의 경우 용해 되 는 금속 이온 농도 가 증가 할수록 과산화수소 에 의한 구리 층 의 식각 속도 와 함 불 소 화합물 에 의한 몰리브덴 합금 층 의 식각 속도 차이 및 전기 효과 의 영향 으로 두 금속 층 이 접합 되 어 있 는 계면 에 대한 변형 이 발생 하 여 식각 특성 이 양호 하 지 못하 다는 문제점 이 있 다 .