도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 로드 락 챔버 ( 10 ) ( 진공 챔버 ) 는 대기 반송 로봇 ( 3 a ) 과 트랜스퍼 챔버 ( 2 ) 사이 에 배치 된다 . 대기 반송 로봇 ( 3 a ) 과 로드 락 챔버 ( 10 ) 사이 에 는 O 링 등 ( 씰 부재 ) 을 통해 대 기 측 게이트 밸브 ( AG ( AG 1 , ( AG 2 ) ) 가 설치 되 어 있 다 . 트랜스퍼 챔버 ( 2 ) 와 로드 락 챔버 ( 10 ) 사이 에 는 O 링 등 을 통해 진공 측 게이트 밸브 ( VG ( VG 1 , VG 2 ) ) 가 설치 되 어 있 다 .