먼저 ZrO 2 의 증착 에 대해 설명 하 면 , Zr ( O - tBu ) 4 , Zr [ N ( CH 3 ) 2 ] 4 , Zr [ N ( C 2 H 5 ) ( CH 3 ) ] 4 , Zr [ N ( C 2 H 5 ) 2 ] 4 , Zr ( tmhd ) 4 , Zr ( OiC 3 H 7 ) ( tmhd ) 또는 Zr ( OtBu ) 4 중 에서 선택 되 는 어느 하나 의 Zr 소스 를 0 . 1 torr ∼ 10 torr 의 압력 과 100 ℃∼ 350 ℃ 의 기판 온도 를 유지 하 는 챔버 내부 로 0 . 1 초 ∼ 3 초간 플로우 시켜 Zr 소스 를 흡착 시킨다 . 다음 에 , 미 반응 Zr 소스 를 제거 하 기 위해 질소 ( N 2 ) 가스 를 0 . 1 초 ∼ 5 초간 플로우 시키 는 퍼지 과정 을 수행 한다 . 이어서 , 산소 공급원 인 O 3 가스 를 0 . 1 초 ∼ 3 초간 플로우 시켜 흡착 된 Zr 소스 와 O 3 사이 의 반응 을 유도 하 여 ZrO 2 원자 층 을 증착 한다 . 마지막 으로 , 미 반응 O 3 및 반응 부산물 을 제거 하 기 위해 질소 ( N 2 ) 가스 를 0 . 1 초 ∼ 5 초간 플로 우 시키 는 퍼지 과정 을 수행 한다 .