검사 시 에 는 우선 , 개폐 밸브 ( 95 ) 를 폐쇄 하 고 , 가스 배기 부 ( 28 ) 를 작동 하 여 처리 영역 ( S ) 내 를 소망 의 진공 분위기 로 한다 . 이어서 , 개폐 밸브 ( 95 ) 를 개방 하 고 , 헬륨 공급원 ( 96 ) 으로부터 대기 도입 관 ( 38 ) 을 거치 고 , 대기 도입 구멍 ( 37 ) 을 거쳐서 , 각 분 할 금속 창 ( 57 ) 의 대기 접속 부 ( 53 ) 에 헬륨 가스 를 제공 한다 .