또한 , 지지 핀 ( 16 ) 의 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 와 의 접촉 개소 ( 접촉 부 ) 는 , 금속 산화 막인 CrO 막 으로 코팅 되 어 있 다 . 지지 핀 ( 16 ) 의 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 와 의 접촉 개소 를 , CrO 막 이 아니 라 , 금속 원소 를 포함 하 지 않 는 비금속 물 의 막 ( 비금 속막 ) 인 실리콘 산화 막 ( SiO 막 ) 으로 코팅 해도 된다 .