반응 용기 ( 11 ) 의 외측 에 는 , 반응 용기 ( 11 ) 내 에 수용 된 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 기 위한 가열 수단 으로서 의 통형 히터 ( 25 ) 가 반응 용기 ( 11 ) 의 주위 를 둘러싸 는 상태 로 설치 되 어 있 다 . 통형 히터 ( 25 ) 에 는 , 선형 의 저항 발열체 가 내면 에 나선 형 또는 사행 형 으로 배치 된 원통형 의 단열재 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 설치 되 어 있 고 , 이 저항 발열체 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 미리 설정 된 온도 상태 가 되 도록 공급 해야 할 전력 의 크기 를 제어 하 는 제어 장치 에 접속 되 어 있 다 .