일실 시예 에서 , 웨이퍼 로딩 / 언로 딩 챔버 들 을 위한 상기 2 개 의 인접 하 는 측면 들 은 , 상기 웨이퍼 핸들링 챔버 들 의 상기 축 및 웨이퍼 로딩 / 언로 딩 챔버 들 을 위한 상기 2 개 의 인접 하 는 측면 들 중 어느 하나 의 중심 을 지나 는 선 과 상기 웨이퍼 핸들링 챔버 의 상기 축 과 웨이퍼 로딩 / 언로 딩 챔버 들 을 위한 상기 2 개 의 인접 하 는 측면 들 중 다른 하나 의 중심 을 지나 는 선 사이 에서 측정 되 는 각 C , 예 를 들 면 도 3 의 각 A 4 를 형성 하 고 , 상기 각 C 는 상기 각 B 보다 더 작 다 . 일실 시예 에서 , 각 C 는 ( 10 %, 30 %, 40 % 및 이 들 중 선택 된 임의 의 2 개 의 숫자 사이 의 값 을 포함 하 는 ) 3 % 내지 50 % 일 수 있 다 . 상기 다각형 베이스 가 7 개 의 측면 을 갖 는 경우 에 , 각 C 는 각 B 보다 33 % 내지 39 % 더 작 을 수 있 다 .