그 수행 시간 은 10 ~ 30 분 정도 로 시행 하 게 되 며 , 본 실시 예 에서 는 15 분 동안 내부 온도 가 10 ℃ 정도 하강 되 도록 하 여 질화 로 내부 온도 가 515 ℃ 에 도달 될 까지 시행 하 였 다 . 이때 , 잔류 가스 를 제거 하 도록 주입 되 는 질소 ( N 2 ) 가스 의 주입 압력 은 40 mbar 이상 이 바람직 하 다 .