이어서 , 도 2 e 에 도시 된 바 와 같이 , 보호막 ( 204 ) 을 제거 한다 . 이때 , 보호막 ( 204 ) 은 터널 링 절 연막 ( 201 ) 은 물론 도전 막 ( 202 ) 과 도 높 은 식각 선택 비 를 갖 는 조건 으로 실시 한다 . 예컨대 , 보호막 ( 204 ) 을 질화 막 으로 형성 한 경우 , 보호막 ( 204 ) 제거 공정 은 인산 ( H 3 PO 4 ) 을 이용 하 여 실시 할 수 있 다 .