액정 패널 등 의 플랫 디스플레이 패널 등 의 검사 , 가공 등 을 하 기 위해서 , 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 가 사용 되 고 있 다 . 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 는 , 장치 설치대 상 에 수평 으로 지지 되 어 있 는 스테이 지반 ( stage 盤 ; 정반 ( 定盤 ) ) 의 상면 에 수평 한 사각형 의 스테이 지면 이 형성 되 어 있 고 , 갠트리 부가 스테이 지면 을 따라 그 장변 방향 ( Y 축 방향 ) 으로 슬라이드 하 도록 부착 되 어 있 다 . 갠트리 부 에 는 , 스테이 지면 을 따라 그 단변 방향 ( X 축 방향 ) 으로 슬라이드 하 도록 검사 유닛 등 의 유닛 이 탑재 된다 . 갠트리 부 및 유닛 을 ＸＹ 의 2 축 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 스테이지 면 에 실리 는 패널 의 임의 의 위치 에 유닛 에 대한 위치 결정 을 할 수 있 다 . 이러 한 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 는 특허 문헌 1 , 2 에 개시 되 어 있 다 .