CPB 시스템 ( 100 ) 은 샘플 ( S ) 을 유지 하 기 위한 이동 가능 한 샘플 홀더 ( 114 ) 를 하우징 하 는 진공 챔버 ( 112 ) 를 포함 한다 . 진공 챔버 ( 112 ) 는 진공 펌프 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 사용 하 여 진공 될 수 있 고 , 통상 적 으로 , CPB 소스 ( 106 ) 및 선택 된 다른 CPB 광학 요소 들 을 포함 하 는 제 1 부피 ( 112 A ) 와 , 샘플 ( S ) 및 이동 가능 한 샘플 홀더 ( 114 ) 를 수용 하 도록 위치 된 제 2 부피 ( 112 B ) 를 정의 한다 . 컬럼 분리 밸브 ( CIV : column isolation valve ) ( 120 ) 는 제 1 부피 ( 112 A ) 및 제 2 부피 ( 112 B ) 를 분리 하 도록 위치 된다 . 대개 , CIV ( 120 ) 는 샘플 교환 동안 제 1 부피 ( 112 A ) 를 제 2 부피 ( 112 B ) 로부터 밀 폐식 으로 분리 하 도록 동작 가능 하 다 . 샘플 홀더 ( 114 ) 는 좌표 시스템 ( 150 ) 에 대해 도시 된 바 와 같이 X - Y 평면 에서 이동 될 수 있 으며 , 여기 서 Y 축 은 도면 의 평면 에 수직 이 다 . 샘플 홀더 ( 114 ) 는 샘플 ( S ) 의 높이 에서 의 변동 을 보상 하 기 위해 수직 으로 ( Z 축 을 따라 ) 더 이동 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , CPB 현미경 ( 102 ) 은 샘플 ( S ) 위 에 수직 으로 배열 될 수 있 고 , 이온 빔 이 샘플 ( S ) 을 처리 하 거나 또는 다르 게 처리 하 는 동안 샘플 ( S ) 을 이미 징하 는 데 에 사용 될 수 있 다 .