도 4 e 내지 도 4 g 에 는 모두 잔류 층 ( 130 R ) 이 도시 되 었 으나 , 도 4 a 에 보인 것 과 같이 잔류 층 ( 130 R ) 이 생략 되 거나 , 잔류 층 ( 130 R ) 대신 에 도 4 c 에 보인 잔류 층 ( 130 Ra ) 으로 대체 될 수 있 거나 , 전하 저 장막 ( 130 ) 및 잔류 층 ( 130 R ) 대신 에 도 4 d 에 보인 전하 저 장막 ( 130 Rb ) 으로 대체 될 수 있 음 은 당업자 에게 자명 하 다 .