대한민국 공개 특허 특 2002 - 3850 호 는 세정 장치 의 점유 스페이스 를 감소 시키 기 위하 여 세정 기판 저면 에 세정액 공급 노즐 을 갖추 고 이 에 간섭 하 지 않 도록 승강 이동 시키 는 지 지체 승강 구동 장치 를 갖 도록 기판 세정 장치 가 구성 되 는데 , 이 는 고정 형 워싱 유닛 이 설치 된 공장 에 적용 할 수 없 는 기술 인 점 에서 한계 가 있 다 .