도 1 내지 도 4 는 다양 한 펄스 화 방법 을 포함 한 시스템 구성 ( 1 ) 을 나타낸다 . 일부 구 현예 에서 , 시스템 구성 ( 1 ) 은 캐리어 가스 라인 ( 2 ) , 캐리어 가스 라인 ( 2 ) 의 하류 에 있 고 이 와 유체 연통 하 는 반응물 공급원 ( 3 ) , 공급원 ( 3 ) 의 하류 에 있 는 중간 챔버 ( 4 ) , 중간 챔버 ( 4 ) 의 하류 에 있 는 반응기 ( 5 ) , 및 복수 의 밸브 ( V 1 , V 2 , 및 V 3 ) 를 포함 한다 . 반응물 공급 라인 ( 6 ) 은 공급원 ( 3 ) 을 중간 챔버 ( 4 ) 에 연결 하 고 , 밸브 ( V 1 ) 는 공급원 ( 3 ) 과 중간 챔버 ( 4 ) 사이 의 반응물 공급 라인 ( 6 ) 상 에 설치 된다 . 반응물 공급 라인 ( 6 ) 은 중간 챔버 ( 4 ) 를 반응기 ( 5 ) 에 연결 하 고 , 밸브 ( V 2 및 V 3 ) 는 중간 챔버 ( 4 ) 와 반응기 ( 5 ) 사이 의 반응물 공급 라인 ( 6 ) 상 에 설치 된다 . 밸브 ( V 1 , V 2 , 및 V 3 ) 는 임의 의 적합 한 유형 의 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 다양 한 구 현예 에서 , 밸브 ( V 1 및 V 2 ) 는 복수 의 흐름 컨덕턴스 를 갖 는 조절 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 밸브 ( V 1 및 V 2 ) 는 두 부분 의 온 / 오프 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 밸브 ( V 3 ) 는 원 하 는 흐름 컨덕턴스 로 조절 될 수 있 는 니들 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 도 1 내지 도 4 에 나타낸 바 와 같이 , 제 어 시스템 ( 7 ) 은 밸브 ( V 1 , V 2 , V 3 ) 의 작동 ( 예 , 개방 및 / 또는 폐쇄 ) 및 / 또는 시스템 의 다른 구성 요소 , 예컨대 반응기 의 구성 요소 의 작동 을 제어 하 도록 구성 된 처리 회로 를 포함 할 수 있 다 . 나타내 지 않 았 지만 , 제 어 시스템 ( 7 ) 은 또한 다양 한 유형 의 센서 와 전기 적 으로 통신 할 수 있 고 , 예 를 들 어 중간 챔버 ( 4 ) , 공급원 ( 3 ) , 반응기 ( 5 ) , 또는 상기 시스템 의 임의 의 다른 적합 한 구성 요소 또는 가스 라인 의 압력 을 모니터링 하 도록 구성 된 압력 센서 를 포함 한다 . 제 어 시스템 ( 7 ) 은 히터 와 같 은 다른 구성 요소 와 전기 적 으로 통신 할 수 있 다 . 또한 , 나타내 지 않 았 지만 , 필터 는 시스템 ( 1 ) 에 , 예 를 들 어 중간 챔버 ( 4 ) 의 상류 에 그리고 / 또는 밸브 ( V 1 , V 2 , V 3 ) 중 어느 하나 의 상류 에 제공 될 수 있 다 .