상기 제 1 부 재 는 용기 본체 의 벽부 이 며 , 상기 중간 부재 는 상기 벽부 에 형성 된 개구부 를 둘러싸 도록 마련 되 어 있 어도 좋 고 , 이 경우 예 를 들 면 상기 중간 부재 로 둘러싸여 져 있 는 내측 공간 이 대기 분위기 이 며 , 상기 제 2 부 재 는 진공 용기 내 에서 플라 즈 마를 발생 시키 기 위한 전극 이 며 , 상기 중간 부재 는 이 전극 을 상기 용기 본체 의 벽부 에 대하 여 절연 하 기 위한 절연재 에 의해 구성 되 어 있 다 . 또한 , 이 경우 , 상기 전극 은 FPD ( Flat Panel Display ) 용 의 유리 기판 을 플 라즈 마 처리 하 기 위한 평행 평판 형 플 라즈 마 장치 의 전극 이 어도 좋 다 .