전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 제 1 전처리 장치 ( 100 ) 의 게이트 밸브 G 를 개방 하 여 , 반송 기구 ( 306 ) 로 보유 지지 된 기판 W 를 그 제 1 전처리 장치 ( 100 ) 에 반입 한다 . 반송 기구 ( 306 ) 의 반송 암 이 진공 반 송실 ( 301 ) 로 퇴피 한 후 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 게이트 밸브 G 를 폐쇄 하 고 , 그 제 1 전처리 장치 ( 100 ) 에 의해 , COR 처리 를 행한다 .