여기 서 , 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 의 리크 가 발생 되 지 않 을 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 진공도 로 유지 될 수 있 으나 , 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 의 리크 가 발생 될 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 값 이하 의 진공도 로 유지 될 수 있 다 . 이때 , 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) 의 리크 가 확인 되 고 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) 가 조치 되 었 음 으로 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 의 리크 가 발생 되 더라도 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 를 통해 유동 되 는 상기 반응 가스 에 의한 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) 의 오염 을 최소 화 할 수 있 다 . 왜냐하면 , 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) 를 통해 유동 되 는 세정 가스 와 상기 반응 가스 가 서로 만날 수 없 기 때문 에 상기 세정 가스 및 상기 반응 가스 의 반응 에 의한 파우더 의 유발 을 방지 토록 할 수 있 다 .