몇몇 실시 예 에 따르 면 , 유기 또는 무기 알칼리 ( 들 ) 및 산화제 는 동일 한 에칭 화학 물 내 에서 혼합 되 어 돌출 반도체 핀 ( 226 ') 을 에칭 한다 . 다른 실시 예 에 따르 면 , 유기 또는 무기 알칼리 ( 들 ) 및 산화제 는 개별 용액 내 에 있 고 , 산화제 가 먼저 돌출 반도체 핀 ( 126 ', 226 ') 을 산화 하 여 산화물 을 형성 하 는 데 사용 된다 . 알칼리 용액 이 이어서 웨이퍼 ( 10 ) 상 에 도포 되 어 생성 된 산화물 을 제거 하 고 , 이어서 알칼리 용액 의 제거 가 이어진다 . 산화제 도포 및 알칼리 도포 를 포함 하 는 사이클 은 반복 될 수 도 있 고 또는 반복 되 지 않 을 수 도 있 다 .