상기 척 ( 100 ) 의 상단 부 에 는 트레이 ( 200 ) 가 설치 되 고 , 상기 트레이 ( 200 ) 의 상측 을 덮 는 트레이 커버 부 ( 300 ) 가 설치 되 며 , 상기 트레이 커버 부 ( 300 ) 와 트레이 ( 200 ) 를 상기 척 ( 100 ) 에 고정 시키 는 클램프 부 ( 400 ) 가 상기 척 ( 100 ) 주변 을 따라 다 수개 형성 되 고 , 상기 척 ( 100 ) 에 냉각 기체 를 공급 하 는 냉각기 체공 급부 ( 500 ) 및 상기 척 ( 100 ) 과 트레이 ( 200 ) 에 각각 설치 되 는 다수 의 실링 부재 ( 600 ) 로 구성 된다 .