탱크 ( 105 ) 와 혼합기 ( 107 ) 사이 의 배관 ( 105 ) 에 는 약액 의 공급량 을 조절 하 는 기구 ( 106 ) 가 설치 된다 . 이 기구 ( 106 ) 에 의해 탱크 ( 102 ) 에 저장 된 약액 의 공급량 이 조절 되 어 결과 적 으로 는 약액 의 농도 가 임의 대로 그리고 일정 하 게 유지 되 도록 조절 된다 . 이러 한 농도 조절기 ( 106 ) 로 는 약액 의 공급량 내지 농도 를 적절 하 게 조절 할 수 있 는 오리피스 ( orifice ) 를 선택 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 약액 이 공정 모듈 ( 200 ) 에 대량 으로 공급 된다 하 더라도 그 농도 는 일정 하 게 유지 된다 . 또한 , 공정 모듈 ( 200 ) 이 다 수개 설치 되 어 있 더라도 다 수개 의 공정 모듈 ( 200 ) 각각 에 일정 한 농도 를 유지 한 채 로 약액 을 제공 할 수 있 게 된다 .