감광성 조성물 을 소정 의 기판 ( 예컨대 , 유리 기판 또는 보호막 ( e . g . , SiNx ) 가 소정 의 두께 ( 예 를 들 어 500 내지 1500 Å ) 의 두께 로 도포 되 어 있 는 유리 기판 ) 위 에 스핀 코팅 , 슬릿 코팅 등 의 적당 한 방법 을 사용 하 여 , 소정 의 두께 ( 예컨대 , 2 ㎛ 이상 또는 3 ㎛ 이상 및 30 ㎛ 이하 또는 20 ㎛ 이하 의 두께 ) 로 도포 하 여 막 을 형성 한다 . 형성 된 막 은 선택 에 따라 소정 의 온도 ( 예컨대 , 사용 된 용매 의 비점 부근 의 온도 에서 ) 프리 베 이크 를 거칠 수 있 다 . 프리 베 이크 의 온도 와 시간 , 분위기 등 적절히 선택 할 수 있 다 .