기판 핸들러 ( 6 ) 로 하여금 회전식 기판 테이블 ( 17 ) 에서 상기 기판 을 픽업 하 고 , 상기 기판 을 리 쏘 입력 / 출력 포트 ( 5 ) 를 통해 , 예 를 들 어 리 쏘 입력 / 출력 포트 ( 5 ) 의 제 1 및 제 2 기판 테이블 ( 16 ) 을 통해 상기 리 쏘 그래피 투영 장치 로 이동 시키 도록 제어 할 수 있 다 . 리 쏘 그래피 투영 장치 에서 노광 복사선 을 이용 하 여 복사선 개질 가능 층 을 국부 적 으로 개질 한 후 , 기판 은 리 쏘 입출력 포트 ( 5 ) 를 통해 기판 처리 장치 로 다시 이송 될 수 있 다 .