일체화 공정 에서 는 , 우선 척 테이블 ( 2 ) 의 전 환부 ( 2 c ) 를 작동 시켜 흡 인원 ( 2 b ) 을 척 테이블 ( 2 ) 상부 의 다공질 부재 에 접속 하 는 연통 상태 로 하 고 , 흡 인원 ( 2 b ) 에 의한 부압 을 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 에 작용 시킨다 . 그렇게 하 면 , 대기압 에 의해 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 가 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 대하 여 밀착 된다 .