상기 한 본 고안 의 제 1 실시 예 에 따르 면 , 예비 토출 된 약액 예컨대 , 감광액 을 받아들인 롤러 ( 310 ) 를 세정 하 기 위한 수단 으로서 , 감광액 희석 을 위해 솔 벤트 와 같 은 용매 를 공급 하 는 용매 공급 관 ( 410 ) 과 , 용매 공급 관 ( 410 ) 을 통해 제공 된 용매 ( 100 ) 가 회전 하 는 롤러 ( 310 ) 표면 으로 공급 될 수 있 도록 용매 의 흐름 을 유도 하 는 경사 플레이트 ( 420 ) 를 포함 한 세정 모듈 이 적용 된다 . 이때 , 상기 세정 모듈 중 경사 플레이트 ( 420 ) 는 용매 공급 관 ( 410 ) 으로부터 공급 된 용매 ( 100 ) 가 롤러 ( 310 ) 표면 에 불 필요 하 게 초과 공급 되 는 것 을 방지 하 기 위해 용매 를 임시 수용 하 는 함몰 된 요 홈 부 ( 422 - 1 ) 를 구비 하 고 있 다 .