도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 기판 ( 100 ) 을 구리 시드 층 증착 장비 에 장착 하 고 , 구리 시드 층 의 증착 을 수행 하 여 , 기판 ( 100 ) 상 에 구리 시드 층 ( 201 , 203 ) 을 형성 한다 . 이때 , 증착 장비 는 대략 - 25 ℃ 의 저온 으로 기판 ( 100 ) 온도 를 유지 할 수 있 는 수 퍼 저온 정전 척 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 공정 챔버 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 구비 할 수 있 고 , 또한 , 구리 시드 층 ( 201 , 203 ) 의 증착 을 위한 구리 타 겟 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 구비 할 수 있 다 .