제 3 내부 필터 ( 50 a ) 로서 는 목적 에 따라서 기체 중 의 소망 의 종류 나 크기 의 입자 를 제거 할 수 있 는 것 이 면 특히 한정 되 지 않 고 임의 인 것 을 선택 해서 이용 할 수 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 제 3 내부 필터 ( 50 a ) 로서 ULPA ( Ultra Low Penetration Air ) 필터 를 이용 하 고 있 다 .