도 1 에서 , 열처리 장치 의 노 ( 1 ) 는 히터 를 내장 한 측 부 단열 블록 ( 10 ) 과 , 상부 단열 블록 ( 11 ) 으로 구성 되 어 있 다 . 이 노 ( 1 ) 내부 에 는 후술 하 는 노 의 입구 구조물 에 유지 되 고 정상부 가 돔 모양 이 며 수평 단면 이 원형 으로 되 어 있 는 석영 제 열처리 용기 ( 2 ) ( 이하 석영 프로세스 튜브 라고 칭함 ) 가 고정 되 고 , 이 용기 내부 에 기판 유지 기구 ( 3 ) 와 , 기판 유지 기구 ( 3 ) 의 받침대 ( 4 ) 와 , 열 이 하부 로 빠져나가 지 않 도록 하 는 차열 판 구조 ( 5 ) ( 히트 배리어 ) 가 배치 되 어 열처리 가 이루어진다 . 기판 유지 기구 ( 3 ) 와 , 받침대 ( 4 ) 와 , 히트 배리어 ( 5 ) 는 엘리베이터 장치 ( 6 ) 에 의해 모터 구동 되 는 승강 장치 ( 60 ) 를 사이 에 두 어 자유 롭 게 올라가 고 내려가 고 , 하강 하 는 상태 에서 다수 의 피 처리 물 인 기판 ( 7 ) 을 기판 유지 기구 ( 3 ) 에 나란히 설치 하 고 , 그 후 전체 를 상승 시켜서 석영 프로세스 튜브 ( 2 ) 내 에 수납 시킨다 .