이 에 따라 , 종래 에 는 박막 이 형성 되 는 타 겟 기판 등 에 얼라 인 마크 ( 또는 얼라 인 키 ) 등 을 형성 하 여 타 겟 기판 과 장비 또는 장치 와 의 배열 을 도모 하 였 는데 , 통상 얼라 인 마크 는 유기 또는 무기 막 과 같 은 절 연막 상 에 형성 하 였 기 때문 에 정확 한 위치 선정 을 하 는 데 많 은 어려움 이 발생 하 였 다 .