도 19 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 트랜지스터 구조 ( TSc ) 를 보여 주 는 단면도 이 다 . 도 15 , 도 16 , 그리고 도 19 를 참조 하 면 , 필라 ( 113 _ 2 ) 는 채널 막 ( 114 ) , 내부 물질 ( 115 ) , 제 1 서브 절 연막 ( 117 _ 1 ) , 그리고 제 2 서브 절 연막 ( 118 _ 1 ) 을 포함 한다 .