본 발명 은 , 제 8 관점 에서 보 면 , 실질 적 으로 소정 평면 을 따라 이동하 는 이 동체 에 유지 된 물체 를 에너지 빔 으로 노광 하 는 노광 방법 으로서 , 상기 이 동체 가 대향 하 는 상기 소정 평면 과 평행 한 제 1 면 상 에 , 제 1 방향 을 길 이 방향 으로 하 고 , 또한 상기 제 1 방향 또는 그 제 1 방향 에 수직 인 제 2 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 제 1 격자 가 형성 된 제 1 스케일 과 , 상기 제 2 방향 을 길 이 방향 으로 하 고 , 또한 상기 제 1 격자 와 주기 방향 이 직교 하 는 제 2 격자 가 형성 된 제 2 스케일 이 배치 되 고 , 상기 이 동체 의 상기 소정 평면 에 실질 적 으로 평행 한 제 2 면 에 상기 제 2 방향 의 위치 를 상이 하 게 하 여 배치 된 상기 제 1 격자 의 주기 방향 을 계측 방향 으로 하 는 복수 의 제 1 헤드 를 포함 하 는 제 1 헤드 군 과 , 상기 이 동체 의 상기 제 2 면 에 상기 제 1 방향 의 위치 를 상이 하 게 하 여 배치 된 상기 제 2 격자 의 주기 방향 을 계측 방향 으로 하 는 복수 의 제 2 헤드 를 포함 하 는 제 2 헤드 군 중 , 상기 제 1 스케일 에 대향 하 는 상기 제 1 헤드 의 출력 과 , 상기 제 2 스케일 에 대향 하 는 상기 제 2 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 상기 이 동체 의 상기 제 1 및 제 2 방향 을 포함 하 는 상기 소정 평면 내 의 적어도 2 자유 도 방향 의 위치 정보 를 산출 하 는 계측 공정 과 ; 상기 계측 공정 에서 산출 된 위치 정보 에 기초 하 여 , 상기 이 동체 를 상기 소정 평면 을 따라 구동 하 는 구동 공정 을 포함 하 는 제 2 노광 방법 이 다 .