본 발명 의 또 다른 양태 는 생물학 적 샘플 의 미시 적 특성 을 측정 함 으로써 질병 검출 에 응용 하 기 위한 마이크 로 - 디바이스 ( 마이크 로 - 프로브 및 마이크 로 - 압입 프로브 ( micro - indentation probe ) 를 포함 함 ) 를 제조 하 기 위한 일련 의 새로운 공정 흐름 에 관한 것 이 다 . 마이크 로 - 디바이스 는 미시 적 수준 에서 한 가지 이상 의 특성 을 측정 하 기 위한 서브 - 장비 유닛 으로서 본 발명 의 검출 장치 에 통합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 암 세포 는 정상 세포 와 는 다른 경도 ( 더 단단 함 ) , 밀도 ( 더 밀집 함 ) 및 탄성 을 가질 수 있 다 .