예컨대 , 압력 을 받 은 다이어프램 의 휨 량 , 즉 변위 로부터 압력 값 을 출력 하 는 압력 센서 는 , 반도체 설비 를 비롯 하 여 , 공업 용도 로 널리 사용 되 고 있 다 . 반도체 장치 의 제조 에 있 어서 는 , 기상 성장 에 의한 여러 가지 성막 장치 나 , 드라이 에칭 장치 가 이용 되 고 있 다 . 이러 한 제조 장치 에서 는 , ㎚ 단위 의 두께 의 박막 을 형성 하 기 위해 , 처리 실 내 의 압력 이나 프로세스 가스 의 분압 등 을 정확 하 게 제어 하 고 있 으며 , 압력 을 정확 하 게 계측 하 는 것 이 중요 하 다 . 이러 한 압력 의 계측 을 위해 , 압력 센서 가 이용 되 고 있 다 .