도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 실린더 ( 64 d ) 의 내압 은 단계 적 으로 높 아 진다 . 그 때문 에 , 무 단계 로 실린더 ( 64 d ) 의 내압 을 높이 는 경우 에 비해 , 세 정구 ( 63 ) 가 웨이퍼 ( W ) 에 근접 한 시점 ( 제 5 단계 ( S 5 ) 의 종료 시 ) 에서 의 세 정구 ( 63 ) 의 하강 속도 가 억제 된다 . 그 때문 에 , 세 정구 ( 63 ) 가 관성 에 의해 웨이퍼 ( W ) 에 충돌 하 는 것 을 피할 수 있 다 .