상부 커버 판 ( 302 ) 은 베이스 판 ( 304 ) 의 상부 ( 312 ) 에 형성 된 리 세스 ( 310 ) 에 배치 된다 . 리세 스 ( 310 ) 의 깊이 는 상부 커버 판 ( 302 ) 의 상부 면 ( 328 ) 이 베이스 판 ( 304 ) 의 상부 ( 312 ) 와 실질 적 으로 동일 평면 상 에 있 도록 선택 될 수 있 다 . 정전 척 ( 188 ) ( 도 3 에 도시 안 됨 ) 은 상부 커버 판 ( 302 ) 의 적어도 하나 의 상부 면 ( 328 ) 을 지지 한다 .