상기 와 같 은 전극 구성 상태 에서 반응 챔버 ( 18 a , 18 b ) 의 내부 로 가스 공급 수단 ( 미 도시 ) 을 통해 플 라즈 마 발생 용 가스 를 공급 하 고 , 플러스 전극 ( 12 a , 12 b ) 에 는 고전압 을 인가 하 면 플 라즈 마가 발생 하 게 된다 . 반응 챔버 ( 18 a , 18 b ) 내 에서 발생 된 플 라즈 마 ( 19 a , 19 b ) 는 프레임 ( 17 a , 17 b ) 의 하부 에 복수 개 로 형성 되 어 있 는 홀 ( 162 a , 162 b ) 을 통과 한 후 인쇄 회로 기판 ( 1 ) 또는 금속 와이어 ( 7 ) 상 에 도달 하 여 인쇄 회로 기판 ( 1 ) 또는 금속 와이어 ( 7 ) 의 표면 을 세정 한다 .