이 와 같 은 상태 에서 흡입구 를 통하 여 유체 가 케이스 ( 190 ) 의 내부 로 유입 되 고 , 이 와 같이 유입 된 유체 는 배출구 를 통하 여 배출 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 도면 에 도시 되 지 는 않 았 지만 흡입구 와 연결 된 공정 챔버 ( 미 도시 ) 의 내부 는 진공 이 형성 될 수 있 다 . 상기 유체 는 상기 공정 챔버 의 내부 에서 유입 되 는 공정 진행 이후 의 가스 일 수 있 다 .