아미노 실란 계 가스 로서 는 , 예 를 들 어 조성식 중 에 ( 1 분자 중 에 ) 1 개 의 아미노기 를 포함 하 는 원료 인 모노 아미노 실란 ( SiH 3 R ) 가스 를 사용 할 수 있 다 . 여기 서 , R 은 , 1 개 의 N 원자 에 , 1 개 이상 의 C 원자 를 포함 하 는 탄화수소기 가 1 개 또는 2 개 배 위한 아미노기 ( NH 2 로 표현 되 는 아미노기 의 H 의 한 쪽 또는 양쪽 을 1 개 이상 의 C 원자 를 포함 하 는 탄화수소기 로 치환 한 것 ) 를 나타내 고 있 다 . 아미노기 의 일부 를 구성 하 는 탄화수소기 가 1 개 의 N 에 2 개 배위 하 고 있 을 경우 에 는 , 그 2 개 가 동일 한 탄화수소기 이 어도 되 고 , 다른 탄화수소기 이 어도 된다 . 또한 , 탄화수소기 는 , 이중 결합 이나 삼중 결합 등 의 불포화 결합 을 포함 하 고 있 어도 된다 . 또한 , 아미노기 는 환상 구조 를 갖 고 있 어도 된다 . 아미노기 는 , SiH 3 R 분자 의 중심 원자 인 Si 에 결합 하 고 있 으므로 , 이 아미노기 를 , 리간드 ( 배위자 ) 또는 아미노 리간드 라고 도 한다 .