도 1 과 도 2 를 참조 하 면 , 도면 부호 ( 44 ) 로 표시 되 는 3 개 의 등 간격 의 지지 보스 들 은 서 셉 터 몸체 ( 20 ) 의 하부 표면 ( 26 ) 으로부터 바깥 으로 연장 된다 . 도 3 a 내지 도 3 c 와 도 4 를 참조 하 면 , 보스 들 ( 44 ) 중 의 하나 가 상세 하 게 도시 되 어 있 으며 각각 의 보스 들 의 구조 는 동일 하 다는 전 제하 에서 후술 할 상세 한 설명 은 이 하나 의 보스 를 참조 하 여 설명 된다 . 보스 ( 44 ) 는 축 을 중심 으로 서 셉 터 몸체 ( 20 ) 의 하부 표면 ( 26 ) 을 향하 여 ( 예 를 들 어 , 가상 의 축 A 1 을 따라 - 도 4 ) 연장 되 는 직사각 형 또는 레이스 트랙 모양 의 개구 ( 50 ) 를 정의 하 는 내부 주변 표면 ( interior peripheral surface ; 48 ) 을 갖 는 벽 ( 46 ) 을 포함 한다 . 개구 ( 50 ) 는 본 발명 의 범위 를 벗어나 지 않 는 한도 에서 다른 모양 을 가질 수 있 다 . 개구 ( 50 ) 는 증착 챔버 ( 14 ) 의 지지대 ( 16 ) 중 하나 의 자유단 을 수용 할 수 있 게끔 크기 와 모양 이 조정 되 는데 , 이하 에서 더 설명 될 것 이 다 .