광학계 는 직경 이 작 고 표면 이 매우 깨끗 하 고 , 직선 또는 곡면 의 형상 을 가지 고 있 으며 , 작 은 직경 으로 엑스선 을 입사 시켜 전반사 시키 는 광학 소자 이 다 . 엑스선 발생 장치 에 광학계 를 연결 하 면 1 차 형광 엑스선 을 아주 작 은 마이크로미터 단위 의 영역 으로 집광 시킬 수 있 다 . 집광 된 1 차 형광 엑스선 은 높 은 에너지 강도 와 각 원소 에너지 별 높 은 분해능 을 보여준다 .