상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 의한 진공 환경 작업 용 반송 로봇 은 , 진공 챔버 의 저 벽 에 형성 된 설치 공 에 기밀 고정 됨 과 아울러 중앙 에 일정 크기 의 통공 을 갖 는 플랜 지부 와 ; 상기 플랜 지부 의 하면 에 상기 저 벽 의 아래 방향 으 로 설치 되 는 로봇 지지 통과 ; 상기 플랜 지부 의 통공 을 관통 하 여 수직 으로 평행 하 게 배치 되 며 , 상부 일부 는 진공 챔버 내 에 위치 되 고 , 하부 일부 는 상기 로봇 지지 통내 에 위치 되 며 , 상하 일정 한 길이 를 가지 며 , 평행 하 게 배치 되 는 한 쌍 의 제 1 , 제 2 수직 전달 축 과 ; 상단 부 에 상기 통공 내 에 승하 강 및 회전 가능 하 게 삽입 되 는 가압 링 부 와 , 상기 가압 링 부 에 상기 로봇 지지 통 의 하부 측 으로 연장 되 는 통체 부 와 , 상기 통체 부 의 하단 부 에 형성 되 는 지지 링 부 로 이루어져 , 상기 로봇 지지 통 의 내부 에 설치 되 는 승 하강 견인 통체 와 ; 상기 승 하강 견인 통체 를 감싸 도록 설치 되 어 , 상단 은 상기 플랜 지부 에 기밀 결합 되 고 , 하단 은 상기 지지 링 부 에 기밀 결합 되 는 상하 신축 가능 한 벨로우즈 와 ; 상기 통체 부내 에 승하 강 및 회전 가능 하 게 삽입 되 는 소외 경부 와 , 상기 가압 링 부 가 밀착 되 도록 상기 소외 경부 와 단차 진 단 턱 부 를 가지 고 상기 통공 내 에 승하 강 및 회전 가능 하 게 삽입 되 는 대 외경부 를 가지 며 , 상기 제 1 및 제 2 수직 전달 축 이 회전 가능 하 게 삽입 되 는 제 1 , 제 2 수직 전달 축 삽 입공 이 상하 방향 으로 관통 형성 되 며 , 내부 에 진공 챔버 와 로봇 지지 통간 의 공기 소통 을 차단 하 는 자성 유체 실 수단 을 갖 는 전달 축 지 지체 와 ; 상기 전달 축 지지 체내 에서 상기 제 1 , 제 2 수직 전달 축 을 개별 적 으로 회전 되 도록 하 는 제 1 , 제 2 수직 전달 축 구동 모터 와 ; 상기 승 하강 견인 통체 에 대해 상기 제 1 , 제 2 수직 전달 축 구동 모터 와 상기 전달 축 지 지체 가 회전 되 도록 하 는 지 지체 회전 모터 를 갖 는 지 지체 회전수 단과 ; 상기 지 지체 회전 모터 를 포함 하 는 지 지체 회전 수단 과 상기 제 1 , 제 2 수직 전달 축 구동 모터 와 상기 승 하강 견인 통체 와 상기 전달 축 지 지체 및 상기 벨로우즈 가 함께 승 하강 되 도록 하 는 승 하강 모터 를 갖 는 승 하강 수단 을 포함 하 며 , 상기 제 1 , 제 2 수직 전달 축 구동 모터 와 , 상기 지 지체 회전 모터 를 갖 는 지 지체 회전수 단과 , 승 하강 수단 은 상기 로봇 지지 통내 에 설치 되 는 것 을 특징 으로 한다 .