시뮬레이션 윈도 ( 307 ) 별로 목표 패턴 레이아웃 ( 도 3 의 301 ) 과 제 1 시뮬레이션 컨 투어 ( 305 ) 사이 의 CD 차이 를 계산 한다 . 이후 에 , 도 4 에 제시 된 바 와 같이 측정 된 선폭 차이 와 도즈 오프셋 값 의 상관 관계 그래프 를 이용 하 여 , 이러 한 CD 차이 를 보상 할 노광 에너지 의 도즈 오프셋 값 을 추출 한다 ( 도 1 의 106 ) . 예컨대 , CD 차이 가 목표 패턴 레이아웃 ( 301 ) 대비 제 1 시뮬레이션 컨 투어 ( 305 ) 가 10 ㎚ 더 크 다면 , 도 4 의 그래프 에 제시 된 데이터 에 의해 , 예컨대 + 6 % 의 도즈 오프셋 값 이 선폭 보상 을 위해 추출 될 수 있 다 .