또 다른 실시 예 에서 , 일 방법 이 제공 된다 . 본 방법 은 기판 상 에 2 이상 의 행 및 2 이상 의 열 로 정렬 되 는 기둥 들 의 세트 를 제공 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 기둥 들 의 세트 상 에 스 페이서 재료 를 블랭킷 퇴적 하 여 기둥 들 에 인접 한 홀 들 의 패턴 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 스 페이서 재료 를 등방성 에칭 하 여 홀 들 의 폭 을 확장 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 스 페이서 재료 를 이방성 에칭 하 여 기둥 들 을 노출 시키 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .