또 다른 실시 예 에서 , 돌출 하 는 피처 들 은 탄소 돌출 하 는 피처 들 또는 포토레지스트 돌출 하 는 피처 들 이 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 돌출 하 는 피처 들 은 탄탈룸 옥사이드 ( TaO ) , 티타늄 옥사이드 ( TiO ) , 텅스텐 옥사이드 ( WO ) , 지르코늄 옥사이드 ( ZrO ) , 및 하프늄 옥사이드 ( HfO ) 로 구성 된 그룹 으로부터 선택 된 금속 옥사이드 돌출 하 는 피처 들 이 다 .