증착 원 개구 ( 61 ) 로부터 확산 성 을 갖 고 방출 된 증착 입자 는 , 증착 원 개구 ( 61 ) 의 바로 위 의 제 어 공간 ( 81 ) 외 에 , 그 양옆 의 제 어 공간 ( 81 ) 에 도 입사 하 였 다 . 그러나 , 본 실시 예 에서 는 , 증착 원 개구 ( 61 ) 로부터 방출 된 증착 입자 중 , 당해 증착 원 개구 ( 61 ) 의 바로 위 의 제 어 공간 ( 81 ) 이외 의 제 어 공간 ( 81 ) 에 입사 한 증착 입자 는 , 제어판 ( 80 ) 에 충돌 하 고 포착 되 어 제어 공간 ( 81 ) 을 통과 할 수 없 다 . 이것 을 실현 하 기 위한 조건 은 ,