박리 계기 형성 공정 의 박리 계기 형성 가공 에 있 어서 는 , 잉곳 ( 2 ) 과 집 광점 ( FP ) 을 상대 적 으로 이동 하 면 되 고 , 예 를 들 어 상기 서술 한 도 5 에 나타내 는 경우 에 는 , 집 광점 ( FP ) 을 이동 시키 지 않 고 집 광점 ( FP ) 에 대해 척 테이블 ( 14 ) 을 상방 으로부터 보 아 반시 계 방향 ( 시계 방향 이 어도 된다 . ) 으로 소정 의 회전 속도 로 레이저 가공 장치 ( 12 ) 의 회전 수단 에 의해 회전 시키 면서 , 단결정 SiC 에 대해 투과성 을 갖 는 파장 의 펄스 레이저 광선 ( LB ) 을 집광기 ( 16 ) 로부터 잉곳 ( 2 ) 에 조사 하 여 크랙 ( 20 ) 을 성장 시킬 수 도 있 다 .