다음 으로 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 , 압력 이 원 하 는 온도 , 압력 으로 유지 된 상태 에서 , 제 1 처리 가스 공급원 으로서 의 SiH 2 Cl 2 가스 공급원 ( 271 ) , 제 2 처리 가스 공급원 으로서 의 NH 3 가스 공급원 ( 272 ) 으로부터 , 제 1 처리 가스 로서 의 SiH 2 Cl 2 가스 , 제 2 처리 가스 로서 의 NH 3 가스 가 각각 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된다 . 즉 , 밸브 ( 262 a , 261 a , 262 b , 261 b ) 가 개방 됨 으로써 SiH 2 Cl 2 가스 공급원 ( 271 ) , NH 3 가스 공급원 ( 272 ) 으로부터 각각 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 내 에 공급 된 SiH 2 Cl 2 가스 , NH 3 가스 는 , 각각 MFC ( 241 a , 241 b ) 에서 원 하 는 유량 이 되 도록 제어 된 후 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 을 지나 , 노즐 ( 230 a , 230 b ) 로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 도입 된다 .