투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 에 입사 한 노광 광 ( EL ) 은 종단 광학 소자 ( FL ) 의 하면 으로부터 각각 사출 되 고 , 기판 ( P ) 위 에 조사 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 를 통하 여 노광 광 ( EL ) 이 조사 되 는 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 은 각각 , 복수 의 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 의 투영 영역 으로부터 구성 된다 .