또한 , 이 광학 모니터 장치 ( 100 ) 는 , 상기 한 것 과 같이 , 유전체 창 ( 52 ) 및 유전체 판 ( 56 ) 에 있 어서 모니터링 용 의 광 도파 로 ( 104 ) 가 통과 하 는 부분 ( 52 a , 56 a ) 을 단파장 의 광 ( 특히 자외선 ) 에 대하 여 투과 율 이 높 은 합성 석영 으로 구성 하 고 있 기 때문 에 , 예컨대 185 nm ∼ 785 nm 의 와이드 레인지 의 다 파장 을 포함 하 는 비 코 히 어 런 트 의 모니터 광 ( LB ) 및 반사광 ( HB ) 을 이용 하 는 막 두께 모니터링 의 정밀도 를 한층 더 향상 시키 고 있 다 .