상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 의한 기판 처리 장치 는 , 기판 을 처리 하 는 장치 에 있 어서 , 기판 처리 공정 이 진행 되 는 공간 을 제공 하 며 , 상기 공간 이 외부 와 통하 도록 개구부 가 형성 된 공정 챔버 와 ; 상기 공정 챔버 의 개구부 를 개폐 하 는 도어 부재 와 ; 상기 개구부 가 형성 된 상기 공정 챔버 의 벽체 와 상기 도어 부재 의 사이 에 제공 되 는 실링 부재 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .