전 구체 분배 시스템 은 , 제 1 전구체 의 증기 를 반응 챔버 ( 12 ) 내 로 , 및 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 이 위 에 배치 된 기판 ( 15 ) 위 에 디스 펜싱 하 도록 구성 되 는 가스 디 스펜서 ( 132 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 고 , 가스 디 스펜서 ( 132 ) 는 가스 라인 ( 126 , 128 , 130 ) 과 유체 연통 하 는 것 에 더 하 여 가스 라인 ( 124 ) 과 유체 연통 한다 .