이 「 패턴 」 열화 에 관해서 는 , 용해 속도 가 낮 은 폴리 실록 산 을 사용 함 으로써 방지 할 수 있 다 . 그러나 , 특허 문헌 6 에 기재 되 어 있 는 바 와 같이 , 폴리 실록 산 의 분자량 을 크 게 하 여 , 2 . 38 % TMAH 수용액 의 현상액 에 난용 해 성 으로 해 버리 면 , 현상 후 의 용해 되 고 남 은 것 에 의한 해상도 의 저하 , 또는 저감 도 등 의 문제 를 야기 해 버린다 .