한편 , 매 사이클 마다 웨이퍼 ( 10 ) 가 접촉 하 는 연마 패드 ( 40 ) 의 부위 가 동일 하 게 되 면 웨이퍼 ( 10 ) 와 연마 패드 ( 40 ) 의 접촉 부위 의 단차 로 인해 연마 균 일도 가 떨어지 는 바 , 이전 사이클 에서 웨이퍼 ( 10 ) 가 접촉 된 연마 패드 ( 40 ) 의 부위 와 다음 사이클 에서 웨이퍼 가 ( 10 ) 가 접촉 하 는 연마 패드 ( 40 ) 의 부위 가 다르 게 되 도록 한다 .