이어서 , 도 1 ( d ) 에 나타내 는 것 과 같이 기판 접합체 ( 40 ) 의 압전체 기판 ( 2 ) 과 지지 기판 ( 10 ) 을 압전체 기판 ( 2 ) 내 에 형성 된 결함 층 ( 4 ) 에서 분리 하 고 , 압전체 기판 ( 2 ) 의 표면 ( 2 a ) 과 결함 층 ( 4 ) 의 사이 의 박리 층 ( 3 ) 이 압전체 기판 ( 2 ) 에서 박리 되 어 서 지 지 기판 ( 10 ) 에 접합 된 복합 압 전 기판 ( 30 ) 을 형성 한다 .