로드 포트 ( 10 ) , 이 에프 이 엠 ( 20 ) , 로드 락 챔버 ( 30 ) , 제 1 내지 제 3 처리 유닛 ( 40 , 50 , 60 ) 은 순차 적 으로 일렬 로 배치 된다 . 그리고 , 제 1 버퍼 부 ( 100 ) 는 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 과 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 사이 에 배치 되 고 , 제 2 버퍼 부 ( 200 ) 는 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 과 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 사이 에 배치 된다 .