상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 에 따른 기판 이송용 보트 는 기판 에 대한 처리 를 위한 공정 챔버 로 기판 을 반입 / 반출 하 기 위한 것 으로 , 평판 형상 으로 형성 되 며 , 상호 대면 하 도록 이격 되게 배치 되 며 , 그 사이 에 상기 기판 이 탑재 되 는 복수 의 플레이트 와 , 상기 복수 의 플레이트 를 상호 결합 하 는 결합 부 를 포함 하 며 , 상기 복수 의 플레이트 는 도전 성 소재 로 이루어지 되 , 상기 공정 챔버 의 내부 에 설치 된 램프 에서 조사 된 열 을 반사 하 는 반사막 이 표면 에 코팅 되 어 있 는 것 을 특징 으로 한다 .