도 2 에 도시 한 것 과 같이 , 진공 처리 시스템 ( 100 ) 의 각 구성 부 는 제 어부 ( 30 ) 에 접속 되 어서 제어 되 는 구성 으로 되 어 있 다 ( 도 1 에서 는 도시 를 생략 ) . 제 어부 ( 30 ) 는 CPU 를 구비 한 제어기 ( 31 ) 와 , 유저 인터페이스 ( 32 ) 와 기억 부 ( 33 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제어기 ( 31 ) 는 , 진공 처리 시스템 ( 100 ) 에 있 어서 , 예 를 들 면 프로세스 챔버 ( 1 a 내지 1 c ) , 반송 장치 ( 15 ) , 반송 장치 ( 23 ) 등 의 각 구성 부를 통괄 하 여 제어 한다 . 유저 인터페이스 ( 32 ) 는 , 공정 관리자 가 진공 처리 시스템 ( 100 ) 을 관리 하 기 위해서 명령 의 입력 조작 등 을 실행 하 는 키보드 나 , 진공 처리 시스템 ( 100 ) 의 가동 상황 을 가시 화 해서 표시 하 는 디스플레이 등 으로 구성 된다 . 기억 부 ( 33 ) 에 는 , 진공 처리 시스템 ( 100 ) 에서 실행 되 는 각종 처리 를 제어기 ( 31 ) 의 제어 로 실현 하 기 위한 제어 프로그램 ( 소프트웨어 ) 이나 처리 조건 데이터 등 이 기록 된 레시피 가 보존 되 어 있 다 . 유저 인터페이스 ( 32 ) 및 기억 부 ( 33 ) 는 제어기 ( 31 ) 에 접속 되 어 있 다 .