도 1 의 플 라즈 마 소스 ( 1 ) 는 서로 인접 하 는 복수 개 의 선형 유도 코일 ( 2 ) 로 구성 되 는 ICP 소스 ( 3 ) 를 내부 에 포함 하 고 , 플 라즈 마가 발생 되 는 공간 을 형성 하 는 챔버 ( 4 ) 를 구비 한다 . 상기 내장 형 ICP 소스 ( 3 ) 에 대한 상세 한 설명 은 참고 문헌 에 개시 되 어 있 으므로 자세 한 설명 은 생략 한다 .