도 4 는 본 발명 의 와이어 본딩 부 의 압착 볼 검출 방법 의 다른 실시 형태 를 도시 하 며 , 도 3 의 패드 ( 10 A , 10 B , 10 C , 10 D ) 에서 검출 하 는 폭 ( f ( Gx ) , f ( Gy ) ) 의 일례 를 나타낸다 . 상기 실시 형태 는 임의 의 하나 의 패드 , 예컨대 패드 ( 10 A ) 의 인접 하 는 두 변 ( 11 , 12 ) 부터 이 두 변 ( 11 , 12 ) 에 대응 하 는 명확 한 에지 ( 21 , 22 ) 까지 의 폭 ( Gx 1 , Gy 1 ) 을 검출 하 였 다 . 본 발명 은 이 검출 방법 에 한정 되 지 않 는다 . 요컨대 , X 축 방향 의 명확 한 에지 와 Y 축 방향 의 명확 한 에지 의 대응 하 는 변 부터 의 폭 을 검출 하 면 된다 . 즉 , 하나 의 패드 의 인접 하 는 두 변 이 아니 라 , 다른 패드 를 설정 할 수 도 있 다 . 예컨대 , X 축 방향 은 도 4 ( a ) 에 도시 한 패드 ( 10 A ) 의 에지 ( 21 ) 가 명확 하 므로 패드 ( 10 A ) 를 선택 하 고 , Y 축 방향 은 도 4 ( b ) 에 도시 한 패드 ( 10 B ) 의 에지 ( 24 ) 가 명확 하 므로 패드 ( 10 B ) 를 선택 한다 . 그리고 , 패드 ( 10 A ) 의 변 ( 11 ) 부터 에지 ( 21 ) 까지 의 폭 ( Gx 1 ) 을 검출 하 고 , 또한 패드 ( 10 B ) 의 변 ( 14 ) 부터 에지 ( 24 ) 까지 의 폭 ( Gy 2 ) 을 검출 한다 . 따라서 , 상기 한 실시 형태 와 마찬가지 로 , 검출 값 ( Gx 1 , Gy 2 ) 이 허용 범위 ( Qx 및 Qy ) 내 인지 를 비교 하 여 오프셋 량 을 보정 한다 . 이 와 같이 검출 하 는 폭 은 Gx 1 , Gx 2 , Gx 3 , Gx 4 중 어느 하나 와 Gy 1 , Gy 2 , Gy 3 , Gy 4 중 어느 하나 ( G ) 를 검출 하 면 된다 .