베이스 플레이트 ( 2 ) 에 는 측 벽체 ( 3 ) 의 상면 에 유지 된 상기 기판 W 의 주변 부 를 제외 한 부분 을 유지 하 는 복수 개 의 지지 핀 ( 6 ) 이 행렬 형 으로 설치 되 어 있 다 . 이 지지 핀 ( 6 ) 은 높이 조정 가능 한 구조 로 되 어 있 으므로 , 그 높이 를 조정 함 으로써 , 상기 기판 W 를 아래쪽 으로 휘 지 않 도록 지 지 가능 하 도록 되 어 있 다 .