유전 막 ( 450 ) 상 에 컨트롤 게이트 ( 460 ) 를 형성 한다 . 컨트롤 게이트 ( 460 ) 는 스퍼터링 공정 , 화학 기상 증착 ( CVD ) 공정 , 원자 층 적층 ( ALD ) 공정 , 펄스 레이저 증착 ( PLD ) 공정 , 전자 빔 증착 공정 등 을 이용 하 여 형성 될 수 있 다 . 또한 , 컨트롤 게이트 ( 450 ) 는 폴리 실리콘 , 금속 또는 도전 성 금속 질화물 을 사용 하 여 형성 될 수 있 다 .