스테이지 ( 120 ) 는 반도체 기판 에 대응 하 는 형상 을 갖 는다 . 예 를 들 면 , 스테이지 ( 120 ) 는 디스크 형상 을 가질 수 있 다 . 또한 , 스테이지 ( 120 ) 는 반도체 기판 의 직경 보다 작 은 직경 을 가진다 . 따라서 , 스테이지 ( 120 ) 가 반도체 기판 을 지지 할 경우 , 반도체 기판 의 주변 부 , 즉 반도체 기판 의 제 1 면 의 가장자리 , 측면 및 제 2 면 의 가장자리 는 노출 된다 . 반도체 기판 의 주변 부 가 노출 됨 에 따라 , 후술 하 는 플 라즈 마 상태 로 여기 된 공정 가스 가 반도체 기판 의 주변 부 와 접촉 하 게 되 고 반도체 기판 의 주변 부 가 상기 공정 가스 에 의하 여 식각 된다 .