본 부착물 제거 장치 는 , 고 압수 를 분사 하 는 노즐 이 배치 된 노즐 헤드 와 , 이 노즐 헤드 가 설치 된 고 압수 분사 장치 와 , 상기 노즐 에 대향 하 도록 피 처리 물 이 재치 되 는 스테이지 를 구비 하 고 , 상기 피 처리 물 에 퇴적 된 부착물 을 상기 고압 수 로 제거 하 는 부착물 제거 장치 로서 , 상기 고 압수 분사 장치 가 상기 스테이지 의 표면 과 평행 한 제 1 방향 을 따라서 상기 스테이지 에 대해 상대 이동 가능 하 며 , 상기 노즐 헤드 가 상기 스테이지 의 표면 과 평행 하 고 또한 상기 제 1 방향 과 교차 되 는 제 2 방향 을 따라서 직선 형태 로 진동 가능 하 다 .