파워 인가 단계 ( S 511 ) 에서 는 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 의 가스 분사 모듈 ( 230 ) 에 플 라즈 마 화 를 위한 파워 가 인가 된다 . 이때 , 플 라즈 마 화 를 위한 파워 는 50 W ( Watt ) 내지 600 W 로 가스 분사 모듈 ( 230 ) 에 인가 될 수 있 다 . 또한 , RF 파워 나 DC 파워 가 인가 될 수 있 다 . 플 라즈 마 화 를 위한 파워 는 가스 분사 모듈 ( 230 ) 의 1 곳 의 미리 정해진 위치 에 파워 를 인가 할 수 있 다 . 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 가 대형 인 경우 에 는 효율 적 인 파워 인가 를 위하 여 2 곳 이상 의 위치 에 파워 를 인가 할 수 있 다 .