그리고 , 본 발명 의 청구 항 3 의 광학 소자 는 청구 항 2 에 기재 된 광학 소자 로서 , 상기 슬라이딩 면은 상기 광학 막 이 평면 화 되 는 입도 로 문질러 져 있 는 것 을 특징 으로 한다 . 피 슬라이딩 면 이 형성 되 면 막 응력 을 완화 할 수 있 지만 , 최적 의 입도 로 슬라이딩 면 을 형성 함 으로써 광학 막 을 평면 화 에 가깝 게 할 수 있 다 . 슬라이딩 면 의 형성 을 행할 때 의 입도 는 거칠 면 크 게 응력 을 작용 시키 고 , 세밀 하 면 작용 되 는 응력 이 작 다 . 그래서 , 광학 막 의 막 응력 에 따른 최적 의 입도 를 선택 하 면 평면 화 에 가깝 게 할 수 있 다 .