또 , 상술 한 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 다음 과 같이 구성 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 1 처리 장치 는 , 기판 에 대해서 제 1 처리 를 행하 는 제 1 처리 블록 을 구비 한다 . 상기 제 2 처리 장치 는 , 기판 에 대해서 제 2 처리 를 행하 는 제 2 처리 블록 을 구비 한다 . 상기 제 1 처리 블록 , 상기 인 덱 서 블록 및 상기 제 2 처리 블록 은 , 이 순서 대로 수평 방향 으로 직선 형상 으로 연결 되 어 있 다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 캐리어 로부터 기판 을 꺼내 고 , 꺼낸 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 1 처리 블록 은 , 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 제 1 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 1 처리 블록 은 , 상기 제 1 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 2 처리 블록 은 , 상기 제 1 처리 블록 이 상기 기판 버퍼 에 반송 한 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 제 2 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 2 처리 블록 은 , 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 상기 캐리어 로 되돌린다 .