도 3 을 참조 하 면 , 증착 원 ( 40 ) 은 한 쌍 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 으로서 , 본 발명 의 실시 예 에서 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 은 마그네트론 소스 ( 미 도시 ) 가 장착 된 한 쌍 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 일 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 한 쌍 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 에 장착 된 마그네트론 소스 가 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 상호 간 에 구속자 계 가 형성 되 도록 하 여 그 자계 내 에서 의 플 라즈 마 생 성 효율 을 더욱 향상 시킬 수 있 도록 구성 된다 .