상기 뉴트럴 라이저 ( 200 ) 는 방전 챔버 내 에 공급 되 는 반응 가스 의 공급 압력 과 RF 파워 가 일정 수준 까지 높 아 질수록 쉽 게 점 화 ( Ignition ) 될 수 있 다 . 따라서 , 점 화 성능 을 향상 시키 기 위해서 는 상대 적 으로 높 은 압력 의 반응 가스 를 방전 챔버 로 도입 하 고 , 높 은 RF 파워 를 RF 코일 에 공급 하 는 것 이 바람직 하 나 , 단순히 RF 파워 를 높이 는 경우 에 는 피드 스루 유닛 ( 230 ) 의 전기 적 인 부하 가 상승 하 게 되 어 잦 은 유지 보수 의 원인 이 된다 .