또한 , 보조 지주 ( 18 ) 의 직경 은 , 지주 ( 15 ) 의 직경 보다 작 고 , 지지 핀 ( 16 ) 을 갖 지 않 도록 구성 되 어 있 다 . 이것 은 , 보조 지주 ( 18 ) 는 , 보조 적 인 지주 이 기 때문 이 다 . 그 개수 도 4 개 가 아니 어도 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 3 개 의 지주 ( 15 ) 와 4 개 의 보조 지주 ( 18 ) 가 , 지주 ( 15 ) 와 보조 지주 ( 18 ) 의 사이 , 또는 보조 지주 ( 18 ) 간 에서 웨이퍼 ( 200 ) 의 원주 방향 으로 균등 하 게 마련 되 지만 , 이 형태 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .