도 4 는 종래 의 임피던스 매칭 네트워크 ( 40 ) 에 접속 되 는 RF 전력 공급 부 ( 30 ) 의 출력 부 를 도시 한다 . 임피던스 매칭 네트워크 의 출력 부 는 2 개 출력 부들 ( 71 , 72 ) 을 갖 는 RF 전력 분배 기 ( 70 ) 의 입력 부 ( 77 ) 에 접속 된다 . RF 전력 분배 기 의 제 1 출력 부 ( 71 ) 는 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 상 에 2 개 의 RF 구동 포인트 들 ( 51 , 52 ) 에 접속 된다 . RF 전력 분배 기 의 제 2 출력 부 ( 72 ) 는 전극 의 제 2 절반 부 ( 62 ) 상 에 2 개 의 RF 구동 포인트 들 ( 53 , 54 ) 에 접속 된다 .