본 발명 은 공간 적 및 / 또는 시간 적 코 히 어 런 트 광원 ( spatially and / or temporally coherent light source ) 을 이용 하 는 조사 시스템 의 분야 에 관한 것 이 다 . 보다 구체 적 으로 , 본 발명 은 코 히 어 런 트 광원 을 이용 하 여 특히 스페클 ( speckle ) 을 감소 시키 기 위해 변형 가능 미러 를 이용 하 여 , 디스플레이 된 이미지 , 조사 된 영역 및 획득 된 이미지 에서 관측 되 는 스페클 및 / 또는 다른 간섭 패턴 을 감소 시키 는 것 에 관한 것 이 다 .