일부 구 현예 에서 , 금속 막 을 포함 하 는 박막 을 증착 하 기 위한 증착 공정 은 복수 의 증착 주기 , 예 를 들 면 ALD 주기 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 순환 증착 은 하이브리드 ALD / CVD 또는 순환 CVD 공정 일 수 있 다 . 예 를 들 면 , 일부 구 현예 에서 , ALD 공정 의 성장 속도 는 CVD 공정 에 비해 낮 을 수 있 다 . 성장 속도 를 증가 시키 는 하나 의 접근 법 은 ALD 공정 에서 통상 적 으로 사용 되 는 것 보다 높 은 기판 온도 에서 작동 시켜 , 화학 적 증기 증착 공정 을 유발 할 수 있 지만 전구체 의 순차 적 도입 을 여전히 이용 하 는 방법 일 수 있 으며 , 이러 한 공정 을 순환 CVD 라고 한다 .