상술 한 바 와 같이 본 발명 은 기판 지지 부 의 몸체 의 중심 에 기판 지지 를 위한 전극 을 마련 하 고 , 몸체 의 가장자리 에 고주파 인가 를 위한 전극 을 마련 하 여 , 기판 지지 부 의 기판 파 지력 을 유지 하 면서 , 기판 에지 영역 에서 의 플 라즈 마 를 이용 한 식각 능력 을 향상 시킬 수 있 고 , 기판 중심 영역 의 플 라즈 마 손상 을 방지 할 수 있 다 .