제 2 반응물 은 화학 흡착 된 재료 를 형성 하 기 위해 반응 챔버 에 도입 될 수 있 다 . 제 2 반응물 은 , 예 를 들 어 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 예 로서 , 제 2 반응물 은 실란 아민 ( 아미노 실란 ) , 실록 산 아민 , 및 실라 잔 아민 중 하나 이상 을 포함 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 제 2 반응물 은 클로라이드 또는 요오드화물 ( 예 , 클로 로 실란 또는 요오드 실란 ) 과 같 은 할 라이드 를 포함 할 수 있 다 . 특정 예 로서 , 제 2 반응물 은 N , N , N ', N '- 테트라에틸 실란 디아민 과 같 은 실란 디아민 이 거나 이 를 포함 할 수 있 다 .