( 5 ) 각각 의 실시 예 에 있 어서 , 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 중 적어도 한 쪽 을 생략 해도 된다 . 또한 , 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 는 환상 인 구성 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 일례 로서 편평 형상 이 어도 된다 . 즉 , 웨이퍼 ( W ) 또는 점착 테이프 ( DT ) 전체 를 가열 하 는 구성 이 어도 된다 . 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 를 배치 하 는 위치 는 웨이퍼 ( W ) 또는 보호 테이프 ( PT ) 를 가열 하 는 한 , 적절 하 게 변경 할 수 있 다 .