플라 즈 마 발생 수단 ( 120 ) 은 챔버 ( 100 ) 의 외주 면 에 마련 된 안테나 ( 121 ) 와 , 상기 안테나 ( 121 ) 에 고주파 전원 을 공급 하 는 전원 공급 부 ( 122 ) 를 포함 한다 . 물론 본 실시 예 에서 는 유도 결합 형 플 라즈 마 ( Inductively Coupled Plasma ; ICP ) 타입 의 플 라즈 마 발생 수단 에 관해 설명 하 였 지만 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 다양 한 타입 의 플 라즈 마 발생 수단 을 사용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 축전 결합 형 플 라즈 마 ( Capacitively Coupled Plasma ; CCP ) 를 사용 할 수 도 있 다 .