따라서 , 제 1 유체 통로 ( 111 ) 로 공급 된 세정액 과 제 2 유체 통로 ( 112 ) 로 공급 된 건 조 공기 는 각 슬릿 ( S 1 , S 2 ) 를 통하 여 분사 되 되 , 제 2 슬릿 ( S 2 ) 이 제 1 슬릿 ( S 1 ) 측 으로 인접 되 어 제 1 슬릿 ( S 1 ) 의 단부 측 으로 건조 공기 를 분사 하 므로 세정액 과 건조 공기 는 외부 에서 상호 교차 분사 되 는 동시 에 상호 혼합 되 어 이 류체 를 생성 하 고 , 이렇게 혼합 생성 된 이 류체 는 버블 형태 로 기판 ( S ) 표면 에 충돌 하 여 기판 ( S ) 표면 의 파티클 및 오염 물질 을 제거 한다 .