일 실시 예 로서 , 도전 패턴 들 ( 143 ) 을 형성 하 는 단계 는 도 5 c 에 도시 된 제 1 개 구부 들 ( 133 ) 의 표면 들 을 따라 연장 된 베리어 메탈 막 을 형성 하 는 단계 , 도 5 c 에 도시 된 제 1 개 구부 들 ( 133 ) 을 도전 막 으로 채우 는 단계 , 및 베리 어 메탈 막 및 도전 막 을 식각 하 여 베리 어 메탈 막 및 도전 막 을 도전 패턴 들 ( 143 ) 로 분리 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 이 로써 , 도전 패턴 들 ( 143 ) 및 제 1 물질 막 들 ( 111 ) 을 포함 하 는 게이트 적층 체 ( 150 ) 가 하부 적층 체 ( 110 ) 상 에 형성 될 수 있 다 .