제 1 더미 패턴 적층 체 ( 115 _ 1 ) 의 최상면 에서 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 제 1 폭 ( W 11 ) 을 가질 수 있 다 . 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 의 상면 에서 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 제 2 폭 ( W 12 ) 을 가질 수 있 다 . 몇몇 실시 예 들 에 따른 반도체 장치 에서 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 폭 ( W 11 ) 은 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 2 폭 ( W 12 ) 와 동일 할 수 있 다 .