이어서 , 웨이퍼 적 재 대 ( 10 ) 의 사용 예 에 대하 여 설명 한다 . 도시 되 지 않 은 챔버 내 에 웨이퍼 적 재 대 ( 10 ) 를 웨이퍼 적 재면 ( 12 a ) 이 위 로 되 도록 배치 하 고 , 웨이퍼 적 재면 ( 12 a ) 에 웨이퍼 를 적재 한다 . 외부 통전 부재 ( 18 ) , 접합 층 ( 20 ) 및 접속 부재 ( 16 ) 을 통하 여 메 쉬 전극 ( 14 ) 에 도시 되 지 않 은 RF 전원 의 교류 고주파 전압 을 인가 함 으로써 , 챔버 내 의 상방 에 설치 된 도시 되 지 않 은 대향 수평 전극 과 웨이퍼 적 재 대 ( 10 ) 에 매설 된 메 쉬 전극 ( 14 ) 으로 이루어지 는 평행 평판 전극 간 에 플라스마 를 발생 시켜 , 그 플라스마 를 이용 하 여 웨이퍼 에 CVD 성막 을 실시 하 거나 에칭 을 실시 하 거나 한다 .