상기 와 같 은 본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 맵 핑 암 을 회전 시키 기 위한 구동력 을 제공 하 는 구동 모터 의 작동 이 상기 맵 핑 암 의 회전 을 감지 하 는 근접 센서 및 제어기 에 의해 적절 하 게 제어 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 맵 핑 암 을 포함 하 는 기판 이송 장치 에서 고장 발생 이 억제 되 고 사용 수명 이 용이 하 게 연장 될 수 있 다 .