상기 큐어 링 가스 로 H 2 O , O 2 , NH 3 , N 2 O , NO , N 2 , Ar , He 를 사용 하 여 실시 하 며 , 상기 H 2 O 가스 는 습식 산화 ( torch type ) , WVG ( water vapor generator ) , CWVG ( catalytic water vapor generator ) , 래디컬 산화 방식 을 사용 하 여 생성 한다 .