기판 회전 부재 ( 130 ) 는 기판 이 동부 재 ( 120 ) 상 에서 회전 할 수 있 다 . 기판 회전 부재 ( 130 ) 가 회전 하 면 , 기판 회전 부재 ( 130 ) 상 에 배치 된 메인 기판 ( S ) 이 회전 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 기판 회전 부재 ( 130 ) 는 메인 기판 ( S ) 이 안착 하 는 스테이지 ( 100 ) 의 일면 에 수직 한 회전축 을 중심 으로 회전 할 수 있 다 . 기판 회전 부재 ( 130 ) 가 메인 기판 ( S ) 이 안착 하 는 스테이지 ( 100 ) 의 일면 에 수직 한 회전축 을 중심 으로 회전 하 면 , 기판 회전 부재 ( 130 ) 상 에 배치 된 메인 기판 ( S ) 도 메인 기판 ( S ) 이 안착 하 는 스테이지 ( 100 ) 의 일면 에 수직 한 회전축 을 중심 으로 회전 할 수 있 다 .