[ 0059 ] 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 하나 또는 그 초과 의 정렬 액 츄 에이 터 들 은 , 제 1 운송 어 레인지 먼 트 와 제 2 운송 어 레인지 먼 트 사이 에 제공 될 수 있 다 . 특히 , 하나 또는 그 초과 의 정렬 액 츄 에이 터 들 은 기판 캐리어 ( 120 ) 와 마스크 캐리어 ( 140 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 하나 또는 그 초과 의 정렬 액 츄 에이 터 들 은 , 장치 의 풋 프린트 ( footprint ) 를 감소 시키 는 공간 - 절약 방식 으로 구현 될 수 있 다 .