실시 예 에 따라 , 상기 제 1 전극 들 각각 은 , 상기 제 1 방향 을 따라 나열 되 며 각각 적어도 하나 의 개구부 를 포함 하 는 복수 의 제 1 감지 셀 들 과 , 상기 제 1 감지 셀 들 을 상기 제 1 방향 을 따라 연결 하 는 복수 의 제 1 연결부 들 을 포함 하 고 , 상기 제 3 전극 들 각각 은 , 상기 제 1 감지 셀 들 각각 의 개구부 내측 에 제공 된 복수 의 전극 부들과 , 상기 전극 부들 을 상기 제 1 방향 을 따라 연결 하 는 복수 의 연결 라인 들 을 포함 할 수 있 다 .