도 1 a 에 도시 된 바 와 같이 , 투명 기판 ( 10 ) 상 에 노 광광 을 반사 하 는 반사 층 ( 12 , reflector ) , 버퍼 층 ( 14 , buffer layer ) 및 노 광광 을 흡수 하 는 흡수 층 ( 16 , absorber ) 이 형성 된다 . 그 다음 도 1 b 에 도시 된 바 와 같이 , 흡수 층 ( 16 ) 상 에 감광막 ( 미 도시 ) 을 형성 한 후 마스크 를 이용 하 여 웨이퍼 상 에 형성 하 고자 하 는 형상 으로 감광막 을 패 터닝 함 으로써 감광막 패턴 ( 18 ) 을 형성 한다 .