정전 전극 ( 13 ) 은 박막 의 전극 으로서 베이스 바디 ( 12 ) 에 내장 되 어 있 다 . 정전 전극 ( 13 ) 은 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 의 외부 에 설치 된 DC 전원 ( 미 도시 ) 에 접속 되 어 있 고 , 소정 전압 이 인가 되 는 경우 기판 과 같 은 흡착 대상 ( 미 도시 ) 과 정전 전극 사이 의 쿨롱력 발생 에 의해 , 복수 의 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 에 흡착 대상 ( 미 도시 ) 을 흡착 고정 한다 . 정전 전극 ( 13 ) 에 인가 되 는 전압 이 커질수록 흡착 - 고 정력 은 더 강해진다 . 정전 전극 ( 13 ) 은 단극 형태 ( unipolar shape ) 또는 양극 형태 ( bipolar shape ) 로 형성 될 수 있 다 . 정전 전극 ( 13 ) 의 재료 로서 는 , 예 를 들 면 , 텅스텐 등 을 사용 할 수 있 다 .