컵 체 ( 2 ) 의 외주 측 부분 ( 24 ) 에 는 상부 가 개방 된 2 개 의 원환 형상 의 오 목부 ( 241 , 242 ) 가 컵 체 ( 2 ) 의 둘레 방향 을 따라 형성 되 어 있 다 . 오 목부 ( 241 , 242 ) 의 사이 는 원환 형상 의 분리 벽 ( 243 ) 에 의해 구획 되 어 있 다 . 외측 의 오 목부 ( 241 ) 의 저부 에 배액 로 ( 244 ) 가 접속 되 어 있 다 . 또한 내측 의 오 목부 ( 242 ) 의 저부 에 는 배기구 ( 247 ) 가 마련 되 어 있 고 , 이 배기구 ( 247 ) 에 배 기 로 ( 245 ) 가 접속 되 어 있 다 . 배기 로 ( 245 ) 에 는 이 젝 터 혹은 진공 펌프 등 의 배기 장치 ( 246 ) 가 접속 되 어 있 고 , 이 에칭 장치 ( 1 ) 의 동작 중 에 는 , 배기 로 ( 245 ) 를 개재 하 여 컵 체 ( 2 ) 의 내부 공간 이 상시 흡인 되 어 , 내측 의 오 목부 ( 242 ) 내 의 압력 이 컵 체 ( 2 ) 외부 의 하우징 ( 11 ) 내 의 압력 보다 낮 게 유지 되 고 있 다 .