이러 한 양태 에 의해 , 도 11 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( W ) 의 휘어짐 에 의해 , 상면 에서 보 았 을 때 에 , 면적 이 좁 아 져 있 는 휘어짐 기판 ( W ) 상 의 패턴 ( P ) 이외 의 비 패턴 형성 부 를 , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 로 가압 하 는 것 을 가능 하 게 하 면서 , O - 링 ( 31 e ) 과 기판 ( W ) 상 에 형성 된 패턴 ( P ) 이 접촉 하 는 것 을 방지 하 여 , 반송 을 행할 수 있 다 .