이 와 같 은 부식 억제제 는 플루오린 에 의해 발생 되 는 갈바 닉 에 의한 금속 부식 과 실리콘 산화물 의 손상 을 최소 화 할 수 있 다 . 이 는 테트라 히 드로퍼 퓨 릴 알코올 및 테트라 히 드로퍼 퓨 릴 아민 을 하 기 화학식 2 내지 3 으로 나타낸 바 와 같이 하 부막 의 금속 또는 산화물 층 과 의 배위 결합 을 통해 표면 에 유기 보호막 을 형성 하 기 때문 에 플루오린 에 의한 부식 과 손상 을 방지 하 게 된다 . 이 들 유기 막 은 물 과 잘 섞이 므로 후속 공정 인 물 에 의한 세정 에 의해서 용이 하 게 제거 될 수 있 다 .