회전 테이블 ( 2 ) 의 표면 부 에 는 , 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 회전 방향 ( 둘레 방향 ) 을 따라 복수 장 , 예 를 들 어 5 장 의 기판 인 반도체 웨이퍼 ( 이하 , " "" 웨이퍼 "" 라고 함 ) ( W ) 를 적재 하 기 위한 원 형상 의 오 목부 ( 24 ) 가 형성 되 어 있 다 . 상기 웨이퍼 ( W ) 는 ", 예 를 들 어 직경 치수 가 300 mm 인 실리콘 ( Si ) 으로 구성 되 어 있 으며 , 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 표면 에 는 필러 형상 또는 라인 형상 의 볼록 부 ( 90 ) 가 복수 개소 에 형성 되 어 있 다 . 볼록 부 ( 90 ) 는 폭 ( d ) 을 갖 고 있 다 . 또한 , 도 3 에 는 편의 상 1 개 의 오 목부 ( 24 ) 에 만 웨이퍼 ( W ) 를 그리 고 있 다 .