먼저 상부 베이스 를 상승 시켜서 상부 베이스 와 하부 베이스 사이 에 공간 을 형성 시키 는 단계 , 패턴 이 기록 될 고분자 레지스 트 를 기판 공급 수단 에 의해 금속 스탬프 와 지지 판재 사이 에 안치 시키 는 단계 , 압력 조절 수단 을 가동 하 여 챔버 의 압력 ( 진 공도 ) 을 조절 하 는 단계 , 사각 스프링 형상 의 나선 형 코일 에 고주파 를 흘려 금속 스탬프 와 금속 지지 판 을 급속 가열 하 는 단계 , 가열 된 금속 스탬프 와 금속 지지 판재 에 의해서 고분자 레지스 트 가 순간 적 으로 표면 만 가열 된 상태 에서 금속 스탬프 와 금속 지지 판재 를 가압 함 으로써 금속 스탬프 에 기록 된 패턴 이 고분자 레지스 트 에 전사 되 는 단계 , 가열 가압 후 코일 의 전류 를 차단 하 고 상부 및 하부 지지 판 에 냉각수 를 흘려 금속 스탬프 와 금속 지지 판 을 냉각 하 여 고분자 레지스 트 를 냉각 하 는 단계 , 상부 베이스 를 상승 시키 는 단계 , 금속 스탬프 와 지지 판재 를 열 고 성형물 을 추출 하 는 단계 로 이루어져 있 다 .