이어서 , 샷 영역 그룹 Group A 및 Group B 각각 에 대해 적어도 하나 이상 의 대표 샷 영역 ( 샘플 샷 ) 이 규정 된다 . 대표 샷 영역 은 , 높이 정보 및 기울기 정보 가 취득 되 며 , 및 / 또는 기판 ( 2 ) 에 관련 된 평탄 도 정보 가 취득 되 는 샷 영역 이 다 . 각 그룹 의 샷 영역 중 에서 , 대표 샷 영역 이 최초 에 임프 린트 처리 를 받 는 것 이 바람직 하 다 . 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 제어 유닛 ( 11 ) 은 , 그룹 의 대표 샷 영역 에 대한 계측 결과 로부터 생성 된 힘 압인 프로 파일 을 사용 하 여 동일 한 그룹 에 속하 는 샷 영역 에 대한 임프 린트 처리 를 수행 할 수 있 기 때문 에 , 모든 샷 영역 에 대해서 동일 한 방식 으로 임프 린트 처리 를 달성 할 수 있 다 .