실시 예 11 에서 설명 한 것 과 같이 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 110 a ) 을 형성 하 는 공정 에서 상기 페리 영역 에 제 2 마스크 패턴 ( 110 b ) 을 함께 형성 함 으로써 페리 용 라인 ( 114 d ) 또는 패드 들 ( 114 d ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 방법 은 실시 예 2 내지 5 에 도 동일 하 게 적용 하 여 각각 페리 용 라인 ( 114 d ) 또는 패드 들 ( 114 d ) 을 형성 할 수 있 다 .