뿐 만 아니 라 종래 의 패드 조립 체 ( 120 ) 는 기판 접촉 본체 ( 124 ) 의 두께 ( H 1 ) 가 상대 적 으로 작 아 아암 ( 114 ) 의 표면 으로부터 의 돌출 높이 가 작 다 . 위 의 장비 에서 기판 접촉 본체 ( 124 ) 의 두께 ( H 1 ) 는 대략 3 mm 정도 이 다 . 따라서 쉽 게 마모 될 수 있 고 , 이 로 인해 유리 기판 이 직접 이송 로봇 의 아암 ( 114 ) 에 부딪혀 손상 이 발생 될 수 있 다 .