다음 으로 , 오프닝 ( 103 ) 이 형성 될 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 은 몰드 층 ( 102 ) 에 형성 될 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 을 형성 하 기 위해 마스크 ( 도시 생략 ) 를 이용 하 여 몰드 층 ( 102 ) 의 일부 를 식각 할 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 의 저면 은 기판 ( 101 ) 의 표면 을 노출 시킬 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 은 수직 형 홀 을 포함 할 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 은 복수 개 가 어 레이 될 수 있 다 . 복수 의 오프닝 ( 103 ) 은 지그재그 로 어 레이 될 수 있 다 . 복수 의 오프닝 ( 103 ) 은 균일 한 크기 를 가질 수 있 다 . 오프닝 ( 103 ) 은 콘 택 홀 , 비 아홀 또는 수직 홀 이 라고 지칭 할 수 있 다 .