도 7 은 도 3 의 제 2 공정 모듈 ( 10 b ) 에서 측정 한 웨이퍼 ( W ) 의 온도 변화 를 나타내 는 그래프 이 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 는 다양 한 영역 에서 측정 되 었 다 . 도 7 의 좌측 그래프 는 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 가 진공 상태 일 때 웨이퍼 ( W ) 의 온도 변화 를 나타내 며 , 도 7 의 우측 그래프 는 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 가 고압 상태 일 때 웨이퍼 ( W ) 의 온도 변화 를 나타낸다 .