측정 대 상체 ( 70 ) 는 이온 주입 공정 에 이용 되 는 에너지 퓨리티 모듈 의 전극 로드 에 증착 된 불순물 ( dopant ) 일 수 있 다 . 이온 주입 공정 은 진공 챔버 내 에서 불순물 을 이온 화 하 고 추출 된 불순물 이온 ( dopant ion ) 을 충분 한 에너지 로 가속 하 여 원 하 는 깊이 만큼 웨이퍼 에 주입 한다 . 일례 로 , 이온 주입 공정 의 불순물 로 인 ( phosphorus ) , 붕소 ( boron ) 등 이 이용 될 수 있 다 .