여기 서 , 특허 문헌 1 에 기재 된 흑연 제 전해 가공 용 전극 은 , 거의 일정 한 온도 환경 하 에서 사용 되 는 것 을 전제 로 하 고 있 다 . 한편 , 상기 한 반도체 제조 등 의 용도 에 있 어서 는 , 가열 및 냉각 이 반복 하 여 행해 지 기 때문 에 , 흑연 기재 와 열분해 탄소 층 사이 에 심한 히트 사이클 이 가해진다 . 이 때문 에 , 박리 에 대해서 는 더욱 엄격 한 환경 하 에 노출 되 어 있 다 .