본 개시 의 다양 한 구 현예 는 기판 표면 상 에 재료 를 증착 하 는 방법 및 상기 재료 를 증착 하 기 위한 장치 에 관한 것 이 다 . 본 개시 의 다양 한 구 현예 가 이전 의 방법 의 문제점 을 해결 하 는 방식 은 이하 에서 보다 상세히 논의 되 면서 , 일반 적 으로 본 개시 의 예시 적 인 구 현예 는 고 종횡비 의 리세 스 를 증착 재료 로 이음매 없이 충 진하 는 방법 및 / 또는 고품질 의 재료 를 증착 하 는 개선 된 방법 과 장치 를 제공 한다 . 이하 에서 더욱 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 예시 적 인 방법 은 증착 된 재료 의 성장 속도 를 억제 하 거나 느리 게 하 기 위해 기판 의 표면 을 처리 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 성장 속도 의 억제 는 , 증착 된 재료 의 품질 을 개선 하 고 / 개선 하 거나 증착 된 재료 로 리세 스 를 이음매 없이 충 진하 는 것 을 수월 하 게 하 는 것 으로 생각 된다 . 추가 적 으로 , 고 품질 의 재료 는 , 증착 된 재료 의 후처리 어닐링 없이 증착 될 수 있 고 , 이 는 증착 된 재료 의 품질 을 개선 하 기 위해 종종 달리 수행 된다 .