콜 릿 교체 방법 과 이 를 이용 하 는 다이 이송 방법 및 다 이 본딩 방법 이 개시 된다 . 상기 콜 릿 교체 방법 에 따르 면 , 콜 릿 이 장착 된 피커 를 이용 하 여 다이 를 픽업 하 기 위해 상기 콜 릿 을 기 설정 된 픽업 높이 로 하강 시키 고 , 상기 피커 에 진공 을 제공 하 여 상기 다이 를 상기 콜 릿 의 하부 면 에 진공 흡착 시킨다 . 이어서 , 상기 다 이 가 상기 콜 릿 의 하부 면 에 진공 흡착 되 는 상기 피커 의 높이 를 검출 하 고 , 상기 검출 된 높이 와 상기 기 설정 된 픽업 높이 를 비교 하 여 상기 콜 릿 을 교체 할 것 인지 여부 를 결정 한다 .