이 에 더 하 여 , 제 1 토출 밸브 ( 34 A ) 가 완전히 닫히 지 않 는 , 즉 , 개도 가 가장 작 을 때 에 도 밸브 체 ( 43 ) 가 밸브 시트 ( 44 ) 에 접촉 하 지 않 는 경우 에 도 , 제 1 토출 밸브 ( 34 A ) 에 가동 부가 존재 하 므로 , 파티클 이 제 1 토출 밸브 ( 34 A ) 에서 발생 할 수 있 다 . 즉 , 제 1 리턴 배관 ( 32 A ) 을 흐르 는 약액 에 파티클 이 혼입 될 수 있 다 . 그러나 , 제 1 리턴 배관 ( 32 A ) 을 흐르 는 약액 은 , 탱크 ( 24 ) 로 되돌아와 , 순환 배관 ( 25 ) 을 순환 한다 . 약액 에 포함 되 는 이물 은 , 순환 배관 ( 25 ) 을 순환 하 고 있 는 동안 에 필터 ( 28 ) 에 의해 제거 된다 . 따라서 , 제 1 토출 밸브 ( 34 A ) 에서 발생 한 파티클 이 약액 과 함께 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로부터 토출 되 는 것 을 회피 할 수 있 어 , 기판 ( W ) 의 오염 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 .