일 동작 실시 형태 에서 , 하부 플 라즈 마 챔버 ( 114 ) 의 압력 제어 링 ( 131 ) 이 폐쇄 되 고 상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 가 배출 단독 구성 으로 설정 된다 . 이 실시 형태 에서 , 플라 즈 마는 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에서 생성 되 지 않 는다 . 이 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 프로세스 가스 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 을 통과 하 여 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로 플로우 한다 . 또한 , 이 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 프로세스 가스 는 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 스루홀 들 ( 117 ) 을 통하 여 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으로 배출 한 다음 배출 채널 ( 125 ) 에서 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 배출 된다 .