도 16 은 , 도 1 및 도 3 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 이용 할 수 있 는 연마 패드 ( 502 ) 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 단 , 도 16 은 , 도시 의 명료 화 를 위해서 연마 패드 ( 502 ) 와 기판 Wf 만 을 간략 적 으로 나타내 고 있 으며 , 다른 구성 은 생략 하 여 도시 하고 있 다 . 도 16 의 연마 패드 ( 502 ) 는 , 도 12 에 도시 된 연마 패드 ( 502 ) 와 마찬가지 로 구형 상 의 일부 를 구비 하 는 형상 이 다 . 도 16 의 연마 패드 ( 502 ) 의 회전축 ( 502 A ) 은 기판 Wf 의 표면 에 평행 하 다 . 전술 한 바 와 같이 , 연마 패드 ( 502 ) 는 , 회전 운동 에 의해 기판 Wf 에 대해서 제 1 운동 방향 ( 도 16 에 있 어서 는 지면 에 수직 인 방향 ) 으로 운동 하 고 , 또한 , 제 1 운동 방향 으로 수직 이 며 또 한 기판 Wf 의 표면 에 평행 한 제 2 운동 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 된다 . 단 , 도 16 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 12 의 실시 형태 와 는 달리 , 제 2 운동 방향 으로 의 이동은 , 연마 패드 ( 502 ) 로부터 벗어나 서 상방 에 위치 하 는 지 지점 ( 522 A ) 을 중심 으로 진자 운동 함 으로써 실현 된다 . 도 17 은 , 도 16 에 도시 된 연마 패드 ( 502 ) 에 진자 운동 을 부여 하 는 구동 기구 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 패드 ( 502 ) 는 , 회전 샤프트 ( 510 ) 에 고정 되 어 있 다 . 회전 샤프트 ( 510 ) 는 , 모터 및 벨트 에 의해 회전 구동 된다 . 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 패드 ( 502 ) 는 , 회전 샤프트 ( 510 ) 와 함께 진자 지지 부재 ( 522 ) 에 보유 지지 되 어 있 다 . 진자 지지 부재 ( 522 ) 는 , 지지 점 ( 522 A ) 을 중심 으로 모터 에 의해 회전 운동 을 부여 할 수 있 다 . 진자 지지 부재 ( 522 ) 의 회전 중심축 은 , 연마 패드 ( 502 ) 의 회전 중심축 에 직교 하 도록 구성 되 어 있 다 . 그 로 인해 , 진자 운동 에 의해 , 연마 패드 ( 502 ) 에 제 1 운동 방향 으로 수직 이 며 또 한 기판 Wf 의 표면 에 평행 한 제 2 운동 방향 으로 운동 을 부여 할 수 있 다 .