본 실시 예 에서 의 레벤 손 형 마스크 는 , 투 광판 ( 21 ) 의 표면 에 차광막 ( 3 ) 을 구비 한다 . 차광막 ( 3 ) 은 , 광 을 차단 하 도록 형성 되 어 있 다 . 차광막 ( 3 ) 은 , 동 위상 개구부 ( 3 a , 3 c ) 와 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 를 가진다 . 본 실시 예 에서 는 , 동 위상 개구부 ( 3 a , 3 c ) 끼리 인접 하 도록 형성 되 어 있 다 .