본 발명 에서 상기 기판 척 은 , 상기 회전 축 과 결합 되 어 회전 축 과 함께 회전 하 며 , 다 수개 의 핀 설치 홈 을 가지 는 회전 플레이트 ; 상기 핀 설치 홈 에 탈착 가능 하 게 결합 되 며 , 상기 기판 을 지지 하 는 지지 핀 ; 을 포함 하 는 것 이 , 간단 한 구조 를 가지 면서 도 다양 한 크기 의 기판 을 장착 할 수 있 어서 바람직 하 다 .