한편 , 제 1 접 촉식 세정 유닛 ( 예 를 들 어 , 세정 브 러쉬 ) 에서 세정 처리 된 기판 은 통상 의 이 송암 에 의해 제 2 접 촉식 세정 유닛 으로 이송 될 수 있 다 . 이 송암 은 제 1 접 촉식 세정 유닛 과 제 2 접 촉식 세정 유닛 을 왕복 이동 가능 하 게 제공 되 어 , 제 1 접 촉식 세정 유닛 에서 세정 처리 된 기판 ( 10 ) 을 제 2 접 촉식 세정 유닛 으로 이송 할 수 있 다 . 참고 로 , 제 1 접 촉식 세정 유닛 과 제 2 접 촉식 세정 유닛 에서 각각 서로 다른 기판 ( 10 ) 이 동시 에 세정 되 는 동안 에 는 , 이 송암 이 제 1 접 촉식 세정 유닛 과 제 2 접 촉식 세정 유닛 의 사이 에 제공 되 는 도피 영역 상 에 일시 적 으로 대기 할 수 있 다 .