Y 베이스 ( 73 ) 상 에 는 Y 축 방향 에 축 을 갖 는 볼 나사 ( 733 ) 를 회전 시키 는 서보 모터 ( 732 ) 와 , 카드 링 ( 735 ) 을 회전 이 자유 롭 게 지지 하 는 접속 링 ( 734 ) 이 설치 되 어 있 다 . 카드 링 ( 735 ) 의 일부 에 는 볼 나사 ( 733 ) 가 나사 결합 되 어 있 는 나사 결합 부 ( 736 ) 가 형성 되 어 있 다 . 프로브 카드 ( 8 ) 는 4 개 의 핀 ( 82 ) 에 의해 상기 카드 링 ( 735 ) 에 착 탈 이 자유 롭 게 설치 되 어 있 다 .