플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 에서 는 , 플 라즈 마 로부터 의 열 이 웨이퍼 ( 8 ) , 배치 대 ( 2 ) 를 통하 여 유로 ( 120 ) 내 의 냉매 에 전해 지 고 , 냉매 의 온도 가 유로 ( 120 ) 를 따라 상승 한다 . 이 에 의해 , 기재 ( 2 a ) 의 상면 ( 2 b ) 의 온도 는 유로 ( 120 ) 를 따라 상승 한다 . 이 에 의해 , 배치 대 ( 2 ) 는 배치 면 ( 6 e ) 의 면내 에서 온도 차 가 생기 고 , 배치 된 웨이퍼 ( 8 ) 의 면내 에서 온도 차 를 일으킨다 .