고객 운용 파라미터 격납 부 ( 103 ) 는 고객 운용 파라미터 를 격납 하 고 있 다 . 고객 운용 파라미터 란 제 1 모드 로 로그인한 사용자 로부터 의 입력 에 의해 변경 될 수 있 는 장치 동작 파라미터 이 다 . 제 1 모드 로 로그인 하 기 위한 입력 이란 , 통상 , 제 1 사용자 ID , 제 1 패스워드 의 입력 이 지만 , 아무런 입력 함 이 없이 반도체 제조 장치 의 시동 ( 始動 ) 을 위한 입력 ( 기동 ( 起動 ) 버튼 의 누름 등 ) 이라도 좋 다 . 또한 , 제 1 모드 로 로그인 하 기 위한 입력 은 제 1 사용자 ID 만 의 입력 이라도 좋 다 . 즉 , 반도체 제조 장치 가 제 2 모드 와 제 1 모드 를 구별 할 수 있 도록 입력 하 면 좋 다 . 제 1 모드 는 , 예 를 들 면 , 고객 이 이용 하 는 모드 이 다 . 고객 운용 파라미터 는 , 통상 , 반도체 제조 장치 의 고객 이 반도체 제조 를 위해 이용 하 는 파라미터 군 ( 群 ) 이 지만 , 반드시 고객 이 이용 하 는 파라미터 군일 필요 는 없 고 제 2 모드 로 로그인한 사용 자 가 이용 하 는 서비스 파라미터 와 구별 할 수 있 으면 좋 다 . 고객 운용 파라미터 격납 부 ( 103 ) 는 불휘발성 의 기록 매체 가 매우 적합 하 지만 , 휘발 성 의 기록 매체 라도 실현 가능 하 다 .