처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 레시피 취득 부 ( 26 ) 에 의해 취득 되 는 처리 레시피 정보 , 구제 레시피 정보 및 보완 레시피 정보 에 기초 하 여 , 기판 반송 장치 ( 17 ) 및 각 처리 유닛 ( 16 ) 을 제어 한다 . 처리 레시피 정보 는 통상 의 기판 처리 프로세스 의 내용 을 나타내 고 , 구제 레시피 정보 는 구제 처리 프로세스 의 내용 을 나타내 고 , 보완 레시피 정보 는 보완 처리 프로세스 의 내용 을 나타낸다 . 이상 이 발생 하 지 않 은 처리 유닛 ( 16 ) 에 대해서 는 , 처리 레시피 정보 에 기초 하 는 기판 처리 ( 즉 , 기판 처리 프로세스 ) 가 행하 여진다 . 한편 , 이상 이 발생 한 처리 유닛 ( 16 ) ( 이하 , 「 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 」 이 라고 도 칭함 ) 에 대해서 는 , 구제 레시피 정보 에 기초 하 는 기판 처리 ( 즉 , 구제 처리 프로세스 ) 가 행하 여진다 . 또한 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 처리 를 받 고 있 던 웨이퍼 ( W ) ( 이하 , 「 구제 웨이퍼 ( 구제 기판 ) 」 라고 도 칭함 ) 는 , 다른 처리 유닛 ( 16 ) ( 이하 , 「 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 」 이 라고 도 칭함 ) 에 있 어서 보완 레시피 정보 에 기초 하 는 기판 처리 ( 즉 , 보완 처리 프로세스 ) 를 받 는다 .