상기 컴퓨팅 장치 ( 200 ) 의 저 장부 ( 220 ) 는 계측 이미지 데이터 따른 각종 불량 정보 를 저장 하 고 있 다 . 예 를 들 어 , 반사광 ( L 2 _ 1 , L 2 _ 2 ) 의 회전각 의 변화 및 그 에 따른 간섭 광 ( L 2 I ) 의 인 텐 서티 ( intensity ) 등 에 따라 , 오버레이 불량 인지 , 틸 트 불량 인지 , 폴리곤 불량 인지 , 나아가 오버레이 정도 및 틸 트 각도 와 같 은 세부 적 인 정보 들 을 저장 할 수 있 다 .