상기 한 바 와 같이 , 본 발명 의 진공 라인 연결부 구조 에 따르 면 , 오링 이 진공 라인 의 외경 으로 더욱 밀착 적 으로 실링 되 기 때문 에 진공 라인 의 연결 이 보다 기밀 성 있 게 되 는 효과 가 있 다 . 따라서 , 진공 누설 을 최적 으로 보장 하 는 본 발명 에 따르 면 제조 공정 장비 의 무 정지 운전 및 제조 공정 의 안정 화 를 도모 할 수 있 는 부가 적 인 이점 이 있 다 .