모터 에 의해 제 1 및 제 2 구동 아암 ( 143 , 144 ) 을 반대 방향 으로 회전 시키 면 , 한쪽 의 와족 식 의 반송 기구 가 신장 하 여 , 한쪽 의 유지 플레이트 ( 147 ) 가 방사 방향 으로 이동 한다 . 한쪽 의 유지 플레이트 ( 147 ) 에 유지 된 기판 은 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 슬릿 으로부터 취 출 되 고 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 또는 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 에 들어간다 . 이 때 , 다른 쪽 의 와족 식 의 반송 기구 는 형상 을 거의 변화 시키 는 일 없이 , 유지 플레이트 ( 147 ) 가 약간 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 중심 으로 접근 하 게 될 뿐 이 다 . 모터 에 의해 제 1 및 제 2 구동 아암 ( 143 , 144 ) 을 동일 방향 으로 회전 시키 면 , 한 쌍 의 와족 식 의 반송 기구 가 수평면 내 를 선회 하 고 , 유지 플레이트 ( 147 ) 에 유지 된 기판 ( W ) 도 수평면 내 를 선회 한다 . 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 에 는 , 와족 식 의 반송 기구 에 한정 되 지 않 고 , 스칼라 형 로봇 이나 원통 좌표계 의 로봇 을 사용 해도 좋 다 . 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 은 한 쌍 의 와족 식 의 반송 기구 를 승강 하 게 하 는 Z 축 이동 기구 를 구비 해도 좋 다 .