본 명세서 에 있 어서 i 형 반도체 란 , 상기 반도체 에 포함 되 는 p 형 또는 n 형 을 부여 하 는 불순물 이 1 × 1020 cm - 3 이하 의 농도 이 고 , 산소 및 질소 가 1 × 1020 cm - 3 이하 의 농도 이 고 , 암 전도도 에 대하 여 광 전도도 가 100 배 이상 인 반도체 를 가리킨다 . 이 i 형 반도체 에 는 주기표 제 13 족 또는 제 15 족 의 불순물 원소 가 포함 되 는 것 을 포함 한다 . 즉 , i 형 반도체 는 가전자 제어 를 목적 으로 한 불순물 원소 를 의도 적 으로 첨가 하 지 않 을 때 에 약한 n 형 의 전기 전도 성 을 나타내 기 때문 에 , i 형 반도체 층 에 있 어서 는 p 형 을 부여 하 는 불순물 원소 를 성막 과 동시 에 , 또는 성막 후 에 , 의도 적 또는 비 의도 적 으로 첨가 된 것 을 포함 한다 .