또한 , 상기 질소 용해 된 세정 용액 의 온도 는 상온 상태 ( 25 ℃) 로 유지 시키 고 , 세정 시간 은 5 분 내지 15 분 미만 동안 수행 할 수 있 다 . 이때 , 상기 세정 용액 의 온도 는 일반 적 으로 고온 으로 갈수록 화학 반응 이 빨라 지나 상기 금속 막 패턴 과 쉽 게 반응 하 여 패턴 이 끊 어 지 는 손상 을 발생 시키 므로 식각 부산물 의 제거 력 과 금속 막 패 턴 의 표면 과 의 반응 정도 에 따라 상기 세정 시간 은 적절 하 게 조정 될 수 있 다 .