다른 양태 에서 , 유기 층 증착 을 위한 장치 가 제공 된다 . 상기 장치 는 제 1 유기 반응물 을 기화 시켜 반응물 증기 를 형성 하 도록 구성 된 제 1 용기 및 제 2 유기 반응물 을 기화 시켜 반응물 증기 를 형성 하 도록 구성 된 제 2 용기 를 포함 한다 . 상기 장치 는 수소 및 불활성 기체 소스 와 연통 하 는 플 라즈 마 소스 및 기판 을 수용 하 고 제 1 및 제 2 용기 와 유체 연통 하 도록 구성 된 반응 공간 을 더 포함 한다 . 제 어 시스템 은 제 1 및 제 2 용기 로부터 나온 증기 를 전달 하 여 기판 상 에 유기 층 을 증착 하 고 , 플라 즈 마 소스 를 가동 시켜 유기 층 을 에치 백 하 도록 구성 된다 .