본 명세서 에 사용 되 는 바 와 같이 , " "" 미세 기계 소자 "" 는 마이크로미터 - 크기 의 기계 적 ", 광 기계 적 , 전자 기계 적 , 또는 광전자 기계 적 소자 를 말 한다 . 미국 노스 캐롤라 이나 주 리서치 트라이앵글 파크 에 위치 한 크로노스 인 테 그레 이티 드 마이크 로 시스템스 ( Cronos Integrated Microsystems ) 로부터 의 멀티 - 유저 MEMS 프로세스 ( Multi - User MEMS Process ) ( MUMP ) 를 이용 하 는 , " 미세 기계 소자 를 제작 하 기 위한 다양 한 기술 이 이용 가능 하 다 . 조립 절차 에 대한 한 가지 설명 이 크로노스 인 테 그레 이 티즈 마이크 로 시스템스 로부터 입수 가능 한 문헌 [ "" MUMPs Design Handbook """, revision 5 . 0 ( 2000 ) ] 에 개시 되 어 있 다 .