도 2 에 있 어서 레시피 ( 230 ) 는 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 를 실행 하 는 경우 에 제 어부 ( 6 ) 에 설정 된다 . 이하 , 도 1 의 성막 시스템 ( 100 ) 과 도 2 의 레시피 ( 230 ) 를 참조 하 면서 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 를 실행 하 는 경우 의 성막 시스템 ( 100 ) 의 동작 [ 주로 , 가스 공급 기구 ( 5 ) 측 의 동작 ] 에 대해 간단히 설명 한다 .