이 에 , 기판 에 열 적 손상 ( thermal damage ) 을 주 지 않 고 a - Si 막 만 을 결정 화 시킬 수 있 는 방법 으로서 엑 시머 레이저 ( Excimer Laser ) 를 이용 하 는 저온 다결정 화 방법 이 제안 되 었 다 . 이 엑 시머 레이저 를 이용 하 는 저온 다결정 화 방법 은 엑 시머 레이저 어 닐 장치 에서 발생 된 레이저 를 어 닐 챔버 내 의 비정질 실리콘 박막 에 조사 하 여 이루어지 게 된다 .