예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 희생 게이트 스택 ( 220 ) 의 제거 공정 은 습식 식각 공정 을 포함 할 수 있 다 . 상기 습식 식각 을 수행 하 기 위하 여 예 를 들 면 , HNO 3 , DHF ( diluted fluoric acid ) , NH 4 OH , TMAH ( tetramethyl ammonium hydroxide ) , KOH , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어지 는 에 천 트 를 사용 할 수 있 다 .