본 실시 예 에서 는 , 상기 프로브 ( 131 ) 의 하측 에 보강 필름 ( 170 ) 을 설치 한다 . 상기 보강 필름 ( 170 ) 에 는 상기 프로브 ( 131 ) 가 고정 된다 . 그러면 , 상기 보강 필름 ( 170 ) 에 의해 상기 프로브 ( 131 ) 의 강성 이 강화 되 어 , 웨이퍼 와 접촉 시 상기 프로브 ( 131 ) 의 변형 이 방지 될 수 있 다 .