도 5 에 도시 되 는 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 기능 상 의 모듈 ( 이하 , 「 기능 모듈 」 이 라고 함 ) 로서 , 동작 지령 보유 부 ( 102 ) 와 , 제 1 압력 취득 부 ( 103 ) 와 , 제 2 압력 취득 부 ( 104 ) 와 , 유량 취득 부 ( 105 ) 와 , 액 압 취득 부 ( 106 ) 와 , 처리 액 공급 제 어부 ( 101 ) 를 구비 한다 .