여기 서 , 상기 패드 컨디 셔 너 ( 50 ) 는 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 를 소정 의 속도 로 회전 시키 면서 상기 연마 패드 ( 30 ) 의 상태 를 양호 하 게 유지 토록 할 수 있 다 . 예컨대 , 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 는 소정 의 속도 로 회전 되 는 다이아몬드 디스크 를 포함 하 여 이루어진다 . 또한 , 상기 패드 컨디 셔 너 ( 50 ) 는 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 를 상기 연마 패드 ( 30 ) 의 상부 또는 상기 클린 컵 ( 60 ) 으로 이동 시키 도록 지지 하 는 컨디 셔 너 바디 ( 54 ) 를 포함 하 여 이루어진다 . 상기 컨디 셔 너 바디 ( 54 ) 는 상기 플레이튼 ( 20 ) 의 일 측 에 고정 되 어 있 고 , 타 측 의 말단 에 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 가 고정 되 도록 형성 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 컨디 셔 너 바디 ( 54 ) 는 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 를 상기 플레이튼 ( 20 ) 상부 로 이동 시키 거나 상기 플레이튼 ( 20 ) 에 인접 하 는 상기 클린 컵 ( 60 ) 으로 이동 시키 도록 형성 되 어 있 다 . 도 2 에서 표시 된 화살표 는 상기 컨디 셔 너 바디 ( 54 ) 및 상기 컨디 셔 너 헤드 ( 52 ) 가 이동 되 는 방향 을 나타낸다 .