상기 소오 스 / 드레 인 영역 과 상기 게이트 전극 의 표면 에 살리 사이드 층 을 형성 하 는 단계 , 상기 소오 스 / 드레 인 영역 과 상기 게이트 전극 의 일 영역 에 콘 택 홀 을 갖 도록 상기 게이트 전극 을 포함 한 전면 에 식각 방지 막 과 층간 절 연막 을 적층 형성 하 는 단계 , 상기 콘 택 홀 에 각각 콘 택 플러그 를 형성 하 는 단계 를 더 포함 함 을 특징 으로 한다 .