한편 , 상기 구리 및 구리 합금 은 싱글 다 마신 ( single damascene ) 또는 듀얼 다 마신 ( dual damascene ) 구조 를 갖 는 비 아홀 ( 또는 콘 택 홀 ) 과 트렌치 ( trench ) 에 구리 를 증착 하 여 플러그 와 금속 배선 을 동시 에 형성 한 후 에 불 필요 한 웨이퍼 표면 의 구리 를 화학 적 기계 적 연마 공정 으로 제거 시킨다 .