상기 도가니 ( 114 ) 는 흑연 이나 PBN ( Pyrolytic Boron Nitride ) 등 의 물질 로 형성 되 며 , 내측 에 중 공부 ( 116 ) 가 형성 되 어 있 고 , 상단 부 는 캡 부재 ( 140 ) 의 하단 부 와 결합 되 며 , 하 단부 는 내부 가 막혀 있 는 원통형 으로 되 어 상기 증착 물질 ( 40 ) 이 수용 되 고 , 내측 에 는 인 너 플레이트 ( 120 ) 가 삽입 고정 된다 .