상기 제 어부 는 , 상기 처리 실과 상기 처리 실 에 인접 하 는 상기 반 송실 사이 에서 의 기판 반입 출시 , 상기 반 송실 의 상기 반송 아암 에 보 지 된 기판 의 중심 이 , 상기 반송 아암 의 선회 축 과 상기 처리 실 내 의 상기 기판 탑재 영역 의 중심 을 연결 하 는 선 의 외측 을 지나 도록 상기 구동 기구 를 제어 하 도록 구성 되 어 있 는 기판 처리 장치 .