그리고 , 코일 부재 ( 30 ) 와 보조 코일 부재 ( 30 a ) 는 매칭 네트워크 ( 60 ) 에 전기 적 으로 연결 되 어 있 어서 , 고주파 전원 공급 장치 ( 50 ) 로부터 고주파 전원 을 인가 받 는다 . 또한 , 코일 부재 ( 30 ) 와 보조 코일 부재 ( 30 a ) 에 는 래퍼 런 스 전압 이 인가 되 며 , 특히 본 실시 예 에서 는 접지 되 어 0 ( V ) 가 인가 된다 .