계속 해서 , 본 발명 의 또 다른 실시 형태 에 대해서 도 15 를 참조 하 면서 설명 한다 . 이 실시 형태 에 있 어서 도 , 부속 모듈 은 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 기밀 하 게 막 는 덮개 체 ( 82 ) 와 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 와 덮개 체 ( 82 ) 에 의해 형성 된 구획 공간 ( S ) 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 는 재 치부 ( 84 ) 를 구비 하 여 , 구획 공간 ( S ) 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 에 처리 가 행해 지 도록 구성 되 어 있 다 .