또한 , 이 들 현상액 및 린스 액 에 대해서 액 중 파티클 센서 KS - 41 A ( 리온 가부 시 키가 이샤 제 ) 를 사용 하 여 입경 이 0 . 3 ㎛ 이상 인 파티클 의 밀도 를 계측 했 다 . 이 측정 은 클래스 1000 의 클린 룸 하 에서 측정 유량 : 10 mL / min 로 행했 다 . 그 결과 를 하 기 표 4 및 표 5 에 함께 나타낸다 .