상기 열처리 단계 는 약 10 초 내지 약 200 초 의 시간 동안 진행 될 수 있 다 . 자세 하 게 , 상기 열처리 단계 는 약 15 초 내지 약 100 초 의 시간 동안 진행 될 수 있 다 . 더 자세 하 게 , 상기 열처리 단계 는 약 20 초 내지 약 50 초 의 시간 동안 진행 될 수 있 다 . 상기 열처리 시간 이 약 10 초 미만 인 경우 , 상기 금속 층 ( 721 ) 이 상기 제 2 패턴 층 ( 722 ) 으로 변형 되 는 것 이 미미 할 수 있 다 . 또한 , 상기 열처리 시간 이 약 200 초 를 초과 할 경우 , 상기 금속 층 ( 721 ) 의 변형 이 지나칠 수 있 다 .