구체 적 으로 , 상기 자외선램프 ( 300 ) 는 상기 제 1 박막 ( 22 ) 상 에 존재 하 고 상기 전 사막 ( 30 ) 으로부터 유래 하 는 폴리머 재질 의 잔류물 ( 22 a ) 에 자외선 을 조사 하 여 , 상기 잔류물 ( 22 a ) 을 모노머 ( monomer ) 로 변환 하 고 상기 잔류물 ( 22 a ) 을 상기 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 이탈 시킬 수 있 다 .