상술 한 바 와 같이 , 탄성 백 ( 46 ) 의 내부 를 대기 개방 한 상태 에서 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 이 밀 어 올림 핀 ( 146 ) 에 의해 밀 어 올려 지 면 , 탄성 백 ( 46 ) 의 내부 에 잔류 하 는 공기 에 기인 하 여 리 테 이너 링 ( 40 ) 이 웨이퍼 W 보다 도 상방 의 위치 까지 , 완전히 이동 하 지 않 을 우려 가 있 다 . 이 상태 에서 , 웨이퍼 W 가 릴리스 되 면 , 웨이퍼 W 가 리 테 이너 링 ( 40 ) 에 접촉 하 여 , 웨이퍼 W 가 파손 될 우려 가 있 다 .