도 1 을 참조 하 여 니켈 막 ( Ni ) 의 증착 에 대해 설명 하 면 , 운송 가스 인 Ar 가스 를 이용 하 여 Ni [ OC ( CH 3 ) ( C 2 H 5 ) CH 2 N ( CH 3 ) 2 ] , C 10 H 10 Ni , C 10 H 14 NiO 4 , C 10 H 1 F 12 NiO 4 H 2 O 및 Bi ( methylcyclopentadienyl ) niclel ( 2 ) 으로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 적어도 어 느 하나 의 Ni 소스 , 즉 Ni 금속 유기전 구체 를 1 ~ 4 Torr 의 압력 과 200 ~ 400 ℃ 의 기판 온도 를 유지 하 는 챔버 내부 로 100 ~ 200 sccm 의 유량 으로 플로우 시켜 Ni 금속 유기전 구체 를 흡착 시킨다 . 이어서 , 미 반응 Ni 금속 유기전 구체 를 제거 하 기 위해 N 2 가스 를 200 ~ 500 sccm 의 유량 으로 플로우 시키 는 퍼지 공정 을 진행 한다 . 계속 해서 , 반응 가스 인 H 2 가스 를 200 ~ 500 sccm 의 유량 으로 플로우 시켜 Ni 금속 유기전 구체 의 리간드 ( lignad ) 를 제거 한다 . 이 로써 , 니켈 막 이 증착 된다 . 마지막 으로 미 반응 Ni 금속 유기전 구체 의 리간드 와 미 반응 H 2 가스 를 제거 하 기 위해 퍼지 가스 를 200 ~ 500 sccm 의 유량 으로 플로우 시키 는 퍼지 공정 을 진행 한다 .