상변화 물질 층 패턴 의 형성 방법 , 상변화 메모리 장치 의 제조 방법 및 이 에 사용 되 는 상변화 물질 층 연마 용 슬러리 조성물 { METHOD OF FORMING A PHASE - CHANGE MATERIAL LAYER PATTERN , METHOD OF MANUFACTURING A PHASE - CHANGE MEMORY DEVICE AND SLURRY COMPOSITION USED FOR THE METHODS }