슬러리 는 연마 패드 위 에 공급 될 수 있 으며 , 화학 기계 적 연마 는 금속 층 ( 40 ) 의 표면 과 연마 패드 를 접촉 시키 고 회전 시켜 수행 할 수 있 다 . 연마 를 수행 하 는 단계 에서 소정 의 압력 이 인가 될 수 있 으며 , 예컨대 약 1 psi 내지 5 psi , 약 1 . 2 psi 내지 3 psi , 약 1 . 3 psi 내지 3 psi , 약 2 psi 내지 2 psi 또는 약 1 . 3 psi 내지 2 . 3 psi 의 압력 이 인가 될 수 있 다 .