예시 적 인 세정 동작 의 시작 에서 , 기판 의 전면 측 , 후면 측 , 및 가장 자리 ( 들 ) 상 에 실질 적 으로 동시 에 충돌 하 는 다수 의 액체 스트림 들 을 통한 기판 의 세정 을 용이 하 게 하 기 위해 , 기판 은 먼저 느리 게 회전 된다 . 이러 한 세정 동작 동안 , 기판 으로부터 제거 될 오염물 들 의 유형 에 따라 다수 의 액체 들 이 사용 될 수 있 다 .