이 각종 서브시스템 으로부터 노광 장치 에 의 조립 공정 전 에 , 각 서브시스템 개개 의 조립 공정 이 있 음 은 말 할 것 도 없 다 . 각종 서브시스템 의 노광 장치 에 의 조립 공정 이 종료 하 면 종합 조정 이 행해 지 고 , 노광 장치 전체 로서 의 각종 정밀도 가 확보 된다 . 또한 , 노광 장치 의 제조 는 온도 및 클린 도 등 이 관리 된 클린 룸 에서 행하 는 것 이 바람직 하 다 .