따라서 , 진동 축 ( 143 ) 의 상 승시 에 는 진동판 ( 144 a ) 이 걸림 돌기 ( 145 ) 에 의해 지지 되 는 지점 까지 하측 으로 회동 하 고 , 그 와 반대 로 진 동축 ( 143 ) 이 상승 을 마친 후 다시 하강 할 때 에 는 진동판 ( 144 ) 이 상측 으로 회동 함 에 따라 , 진동 모터 ( 142 ) 의 기동 토 오크 를 낮출 수 있 도록 함 은 물론 , 완만 한 물결 파동 에 의해 유리 기판 ( P ) 의 표면 이 더욱더 균일 하 게 식각 되 어 진다 .