각 수 용부 ( 50 a ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 수용 하 는 경우 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 처 리조 ( 40 ) 내 에 반송 하 도록 해도 좋 다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 반송 하 는 경우 에 는 , 반송 장치 ( 30 ) 가 하나 의 포크 ( 35 a ) 만 을 갖 도록 할 수 도 있 다 . 반송 장치 ( 30 ) 가 하나 의 포크 ( 35 a ) 만 을 가지 며 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 반송 하 는 경우 에 있 어서 도 , 처 리조 ( 40 ) 내 에서 다수 의 웨이퍼 ( W ) 를 병행 하 여 처리 할 수 있 으며 , 린스 장치 ( 50 ) 내 에서 다수 의 웨이퍼 ( W ) 를 병행 하 여 린스 처리 할 수 있 기 때문 에 , 결과 로서 , 단위 시간 당 처리 능력 을 향상 시키 는 것 도 가능 해진다 .