본 발명 의 마스크 세정액 조성물 은 은 , 마그네슘 , 칼슘 , 리튬 , 알루미늄 , 이터븀 등 으로 이루어진 군 에서 선택 되 는 1 이상 의 금속 또는 이 의 합금 을 제거 하 기 위 여 사용 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 본 발명 에 따른 마스크 세정액 조성물 은 반도체 소자 제조 공정 중 , 전기 전도성 패턴 을 형성 하 기 위하 여 수행 하 는 금속 증착 공정 에서 이용 되 는 마스크 상 에 함께 증착 되 는 각종 금속 , 더욱 구체 적 으로 은 , 마그네슘 , 칼슘 , 리튬 , 알루미늄 , 이터븀 등 으로 이루어진 군 에서 선택 되 는 1 이상 의 금속 또는 이 의 합금 을 제거 하 기 위하 여 사용 될 수 있 다 .