일부 실시 예 에서 , 플라스틱 튜브 는 플 라즈 마 챔버 로부터 적어도 제 1 90 도 굽힘 까지 의 길이 를 따라 전기 전도성 메시 로 덮여 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 금속 성 튜브 는 반응물 및 생 성 가스 를 플 라즈 마 챔버 로 그리 고 플 라즈 마 챔버 로 전달 하 여 EMI 를 흡수 하 는 데 사용 된다 . 일부 실시 예 에서 , 매니폴드 는 금속 으로 제조 되 거나 금속 코팅 을 갖 는다 . 매니폴드 는 EMI 가 빠져 나갈 수 있 는 도관 을 제공 할 매니폴드 외부 에서 플라 즈 마 챔버 로 의 직선 경로 가 없 도록 설계 되 었 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마 챔버 의 상류 및 / 또는 하류 의 가스 경로 에서 하나 이상 의 접지 된 화염 방지기 는 방전 에 의해 발생 된 EMI 를 흡수 하 는 데 사용 될 수 있 다 .