스테이지 ( 10 ) 는 진공 을 사용 하 여 대상물 ( P ) 을 흡착 하 도록 구성 될 수 있 다 . 스테이지 ( 10 ) 에 는 스테이지 ( 10 ) 를 X 축 방향 으로 이동 시키 도록 구성 되 는 제 1 이 동 유닛 ( 51 ) 이 연결 될 수 있 다 . 또한 , 스테이지 ( 10 ) 에 는 스테이지 ( 10 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 시키 도록 구성 되 는 제 2 이 동 유닛 ( 52 ) 이 연결 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 이 동 유닛 ( 51 ) 또는 제 2 이 동 유닛 ( 52 ) 은 공 압 또는 유압 에 의하 여 작동 하 는 액추에이터 , 전자기 적 상호 작용 에 의해 작동 되 는 리니어 모터 , 또는 볼 스 크류 기구 와 같 은 직선 이동 기구 로 구성 될 수 있 다 . 제 1 이 동 유닛 ( 51 ) 및 제 2 이 동 유닛 ( 52 ) 에 의해 스테이지 ( 10 ) 가 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 이동 될 수 있 으며 , 이 에 따라 , 스테이지 ( 10 ) 에 탑재 된 대상물 ( P ) 이 헤드 조립 체 ( A ) 에 대향 하 는 적절 한 위치 에 위치 될 수 있 다 .