본 실시 형태 에 있 어서 의 순수 정제 유닛 ( 6 ) 은 , 지지대 ( 6 a ) 와 , 지지대 ( 6 a ) 의 안측 에 세워 형성 된 자외선 조사 유닛 ( 6 b ) 과 , 바로 앞 측 에 배치 되 며 이온 교환 수지 를 내장 한 제 1 이온 교환 유닛 ( 6 c ) 및 제 2 이온 교환 유닛 ( 6 d ) 과 , 자외선 조사 유닛 ( 6 b ) 에 인접 하 여 배치 형성 된 정밀 필터 ( 6 e ) 와 , 자외선 조사 유닛 ( 6 b ) 및 정밀 필터 ( 6 e ) 측 과 , 제 1 이온 교환 유닛 ( 6 c ) 및 제 2 이온 교환 유닛 ( 6 d ) 측 을 구획 하 는 구획 판 ( 6 f ) 을 구비 하 고 있 다 .