상술 한 플 라즈 마 장치 를 이용한 플라 즈 마 제 어 방법 은 상기 광 의 파장 별 세기 를 상기 플 라즈 마 상태 를 나타내 는 전압 신호 값 으로 생성 하 고 , 상기 전압 신호 값 을 이용 하 여 상기 플 라즈 마 상태 를 실시간 으로 모니터링 한 이후 에 상기 플 라즈 마 상태 의 모니터링 값 을 제공 받 아 상기 플 라즈 마 형성 요소 들 의 변화 값 을 제어 하 는 데 그 특징 이 있 다 . 이러 한 방법 은 기존 의 실시간 결함 분석 모니터링 기술 에 접목 되 어 상기 플 라즈 마 세기 또는 감도 를 실시간 으로 모니터링 및 제어 할 수 있 다 . 그 결과 상기 플 라즈 마 식각 공정 의 이상 을 여부 를 정확 하 게 감지 할 수 있 다 .