또한 , 진공 반 송실 ( 31 ) 에 는 진공 처리 실 ( 40 ) 이나 로드 록 실 ( 12 , 13 ) 에 대한 개구 ( 34 ) 가 복수 마련 되 어 있 으며 , 이 들 개구 ( 34 ) 는 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 와 높이 방향 의 위치 가 동일 하 며 , 즉 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 와 동일 수평면 내 에 있 다 . 그리고 , 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 및 개구 ( 34 ) 와 , 제 2 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 102 ) 및 제 3 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 201 ) 에서 는 높이 방향 의 위치 가 상이 하 다 . 이 높이 방향 의 위치 의 상이 에 대응 하 기 위해 , 각 진공 반 송실 ( 31 ) 의 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 에 는 전술 과 같이 승강 부 ( 52 ) 가 마련 되 어 있 다 . 예 를 들 면 중간 실 ( 322 ) 이나 온도 조절 실 ( 332 ) 로부터 제 2 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 102 ) 나 제 3 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 201 ) 를 거쳐서 반출 된 웨이퍼 ( W ) 를 승강 부 ( 52 ) 에 의해 하방 으로 이동 시킬 수 있 으며 , 이 에 의해 , 상기 웨이퍼 ( W ) 를 개구 ( 34 ) 를 거쳐서 진공 처리 실 ( 40 ) 에 반입 할 수 있 다 .