한편 , 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 의 하 면 측 에 는 , 불활성 가스 도입 로 ( 77 ) 와 각 불활성 가스 공급 로 ( 78 ) 를 연통 시키 는 불활성 가스 분배 공간 을 형성 하 기 위한 분배 공간 형성 부재 ( 700 ) 가 마련 되 어 있 다 . 분배 공간 형성 부재 ( 700 ) 에 는 , 상면 을 향하 여 개구 되 는 오 목부 ( 73 ) 가 형성 되 며 , 이 오 목부 ( 73 ) 를 향하 여 불활성 가스 도입 로 ( 77 ) 및 각 불활성 가스 공급 로 ( 78 ) 의 하단 부가 개구 되 도록 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 와 분배 공간 형성 부재 ( 700 ) 를 접속 한다 .