한 실시 예 에 따르 면 , 제 1 , 2 공기층 ( 732 , 734 ) 은 서로 평행 하 며 , 서로 이격 될 수 있 다 . 한 실시 예 에 따르 면 , 제 1 , 2 공기층 ( 732 , 734 ) 사이 에 는 복수 개 의 도전 성 패턴 들 ( 610 , 612 ) 과 복수 개 의 도전 성 층 들 ( 613 ) 이 위치 하 고 , 각각 의 제 1 , 2 공기층 ( 732 , 734 ) 은 각각 의 도전 성 패턴 층 ( 610 , 612 ) 과 각각 의 제 1 내지 제 3 도전 성 층 ( 614 , 510 , 512 ) 과 서로 평행 할 수 있 다 .