세정 동작 의 종료 시 , 분무 제트 들 ( 219 ) ( 예컨대 , 도 6 참조 ) 로부터 방출 되 는 액체 스트림 들 ( 정상 상태 또는 맥동 중 어느 하나 ) 이 중단 되 고 , 챔버 ( 100 ) 내로 의 저압 고속 가스 유동 에 의해 시작 된 건 조 동작 을 용이 하 게 하 기 위해 다른 시간 기간 ( 예컨대 , 이러 한 예 에서 는 , 동작 ( 701 ) 에서 의 습윤 단계 의 종료 를 지나 15 초 에서 대략 적 으로 30 초 까지 ) 동안 가스 가 계속 된다 .