인 덱 서 섹션 ( 2 ) 은 , 복수 장 의 기판 ( W ) 을 적층 상태 로 수용 가능 한 기판 수용기 ( 21 ) 와 , 기판 수용기 ( 21 ) 를 지지 하 는 스테이지 ( 22 ) 와 , 기판 수용기 ( 21 ) 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 수 취하 고 , 또 , 처리 섹션 ( 3 ) 에 있 어서 처리 가 완료 된 기판 ( W ) 을 기판 수용기 ( 21 ) 에 전달 하 는 인 덱 서 로봇 ( 23 ) 을 구비 한다 .