도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 박막 증착 장치 를 개략 적 으로 도시 한 종단 면도 이 고 , 도 2 는 도 1 의 절 단선 Ⅱ - Ⅱ 에 따른 단면도 로서 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 분리 배기 부 가 형성 된 가스 공급 부 를 도시 한 도면 이 며 , 도 3 은 도 1 의 절 단선 Ⅲ - Ⅲ 에 따른 단면도 로서 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 박막 증착 장치 의 반응 챔버 내부 와 분리 배기 부 의 관계 를 도시 한 도면 이 다 .