도 4 a 를 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 진공 회전 핀 ( Vacuum Rotation Pin ) ( 260 ) 을 포함 하 는 웨이퍼 스테이지 ( 210 ) 를 이용 하 여 식각 공정 을 수행 하 는 일 실시 예 를 개략 적 으로 도시 된 것 이 다 . 여기 서 는 , 기체 공급 부 ( 270 ) 와 , 플라 즈 마 발생기 ( 280 ) 및 펌핑 포트 ( 290 ) 를 더 포함 하 는 건식 식각 챔퍼 ( 200 ) 를 설명 하 는 것 으로 한다 .