이 상태 에서 로드 락 ( 232 ) 양 측면 의 입구 및 출구 가 폐쇄 됨 과 동시 에 상기 로드 락 ( 132 ) 이 진공 상태 로 되 면 , 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 위 의 기판 ( 201 ) 이 이송 챔 버 및 공정 챔버 로 투입 되 어 공정 을 진행 한다 . 그 후 , 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 의 기판 ( 201 ) 이 이송 챔버 및 공정 챔버 로 투입 되 어 공정 을 진행 한다 . 즉 , 복수 의 기판 이 연속 투입 되 어 공정 을 진행 하 는 것 이 다 . 또한 , 기판 ( 201 ) 역시 2 층 의 로드 락 컨베이어 ( 250 a , 250 b ) 에 의해 연속 적 으로 진행 된다 . 이 와 같이 , 이 실시 예 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 에서 는 기판 의 연속 투입 에 의해 공정 을 진행 하 므로 , 공정 속도 가 대폭 향상 되 는 것 이 다 .