도 7 의 마스크 척 ( 70 ) 의 진공 흡착 부 ( 71 ) 는 , 마스크 ( 20 ) 가 안착 되 도록 마스크 척 ( 70 ) 의 저면 에 오목 하 게 형성 되 는 안착 부 ( 72 ) 와 , 안착 부 ( 72 ) 와 외부 를 연결 하 도록 마스크 척 ( 70 ) 내부 에 형성 되 는 공기 유로 ( 73 ) 로 이루어진다 . 공기 유로 ( 73 ) 는 , 안착 부 ( 72 ) 의 전체 에 대향 하 는 하나 의 공간 으로 이루어진 제 1 공기 유로 ( 74 ) 와 , 제 1 공 기유 로 ( 74 ) 와 진공 펌프 ( 40 ) 에 연결 되 는 제 2 공기 유로 ( 75 ) 로 이루어진다 .