따라서 , 마스크 층 제거 유닛 ( 41 ) 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 흘러넘쳐 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 간극 으로부터 흘러 떨어지 는 제 1 액 , 제 2 액 및 용해 된 수지 를 , 마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 에 의해 회수 하 는 것 이 가능 하 다 . 이 때문 에 , 제 1 액 , 제 2 액 및 용해 된 수지 를 , 웨이퍼 ( W ) 의 주위 에 비산 시키 는 것 을 억제 하 면서 , 용이 하 게 회수 할 수 있 다 .