도 6 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 비정질 실리콘 막 과 비 교예 에 따른 비정질 실리콘 막 의 품질 을 비교 하 는 그래프 이 다 . 도 6 에서 비 교예 ( Ref . ) 는 제 2 RF 전력 이 연속파 로 공급 되 는 경우 이 고 , 실시 예 1 ( Pf _ 1000 Hz , 10 ) , 실시 예 2 ( Pf _ 1000 Hz , 50 ) , 실시 예 3 ( Pf _ 1000 Hz , 90 ) , 실시 예 4 ( Pf _ 10000 Hz , 10 ) , 실시 예 5 ( Pf _ 10000 Hz , 50 ) 및 실시 예 6 ( Pf _ 10000 Hz , 90 ) 은 모두 제 2 RF 전력 이 펄스 파로 공급 되 는 경우 를 나타낸다 . 실시 예 들 에서 , Pf _ 1000 Hz 는 펄스 파 의 주파수 가 1 KHz 임 을 나타내 고 , Pf _ 10000 Hz 는 펄스 파 의 주파수 가 1 MHz 임 을 나타내 고 , ' 10 ' 은 펄스 파 의 듀티 비 가 10 % 임 을 나타내 고 , ' 50 ' 은 펄스 파 의 듀티 비 가 50 % 임 을 나타내 고 , ' 90 ' 은 펄스 파 의 듀티 비 가 90 % 임 을 나타낸다 .