절 연막 ( 103 a ) 및 절 연막 ( 103 c ) 은 모두 가능 한 한 얇 은 것 이 바람직 하 지만 , 성막 장치 의 성능 에 맞추 어 편차 가 작 은 조건 에서 성막 가능 한 것 이 매우 중요 하 다 . 그러므로 , 절 연막 ( 103 a ) 및 절 연막 ( 103 c ) 각각 에 는 편차 가 충분히 작 게 되 는 최저한도 의 두께 를 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 .