다음 , 웨이퍼 ( W ) 의 에지 검사 완료 된 다음 , 후속 공정 을 위하 여 웨이퍼 들 ( W ) 의 노치 정렬 을 위해서 노치 정렬 버튼 ( 173 ) 을 누르 면 , 에 어 실린더 ( 162 ) 가 정렬 바 ( 142 ) 를 이동 시키 고 , 회전 구동 부 ( 150 ) 의 구동 모터 가 서서히 지지 로드 ( 141 ) 를 회전 시킬 수 있 다 .