다른 한편 , 상기 가스 확산 부재 는 사각 판 형태 의 지지 플레이트 ; 및 상기 지지 플레이트 의 상면 에 형성 되 는 원뿔 을 포함 하 며 , 상기 지지 플레이트 의 각 측면 은 상기 공정 챔버 의 모서리 를 향하 여 배치 될 수 도 있 다 . 이 때 , 상기 제 1 결합 부재 는 , 상기 원뿔 의 중심 과 상기 지지 플레이트 의 모서리 를 통과 하 는 직선 경로 상 에 위치 할 수 있 다 . 상기 서 셉 터 의 내부 에 는 열선 이 내장 될 수 도 있 으며 , 상기 샤워 헤드 는 알루미늄 재질 로 이루어질 수 있 다 .