도 10 및 도 18 을 참조 하 면 , 상기 개구부 ( 210 ) 의 저면 에 노출 된 기판 표면 아래 로 불순물 을 주입 함 으로써 제 1 불순물 영역 ( 212 ) 을 형성 한다 . 이 와 같이 , 제 1 콘 택 플러그 가 형성 될 부위 의 기판 에 불순물 을 주입 시켜 제 1 불순물 영역 ( 212 ) 을 형성 하 므로 , 상기 콘 택 플러그 와 제 1 불순물 영역 ( 212 ) 은 미스 얼라인 이 발생 되 지 않 는다 .