차분 산 출부 ( 120 ) 가 , 각 빔 의 위치 이탈 량 과 , 대응 하 는 각 분 할 영역 의 y 좌표 의 위치 이탈 량 ( XA , YA ) 의 평균값 과 의 차분 ( X ´, Y ´) 을 산출 한다 ( 스텝 S 14 ) . 즉 , 위치 ( x , y ) 에 있 는 빔 이 분할 영역 ( R 2 ) 에 속하 는 경우 , 분할 영역 ( R 2 ) 에서 의 위치 ( y ) 에서 의 위치 이탈 량 ( XA , YA ) 과 , 해당 빔 의 위치 이탈 량의 x 성분 , y 성분 과 의 차분 으로부터 X ´, Y ´ 를 산출 한다 .