도 18 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 은 제 1 소수 화제 ( 액체 ) 가 저류 된 제 1 탱크 ( 23 ) 와 , 희석 용제 ( 액체 ) 가 저류 된 제 2 탱크 ( 24 ) 를 포함 한다 . 또한 , 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 은 집합 배관 ( 31 ) 에 개재 된 히터 ( 233 ) 와 , 밸브 ( 234 ) 가 개재 된 캐리어 가스 공급 배관 ( 235 ) 을 포함 한다 . 캐리어 가스 공급 배관 ( 235 ) 은 집합 배관 ( 31 ) 에 접속 되 어 있 다 . 히터 ( 233 ) 의 온도 는 제어 장치 ( 22 ) ( 도 3 참조 ) 에 의해 제어 된다 . 또한 , 밸브 ( 234 ) 의 개폐 는 제어 장치 ( 22 ) 에 의해 제어 된다 . 밸브 ( 234 ) 가 열리 면 , 캐리어 가스 가 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된다 . 캐리어 가스 로서 는 예 를 들 면 , 질소 가스 나 아르곤 가스 등 의 불활성 가스 를 들 수 있 다 .