이어서 , 식각 배리 어막 ( 24 ) 에서 식각 이 정지 하 도록 제 1 분리 절 연막 ( 25 ) 을 식각 하 고 , 연속 해서 식각 배리 어막 ( 24 ) 을 식각 하 여 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 표면 을 오픈 시키 는 제 1 패턴 ( 26 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 패턴 ( 26 ) 은 제 1 하부 전극 이 형성 될 홀 ( Hole ) 패턴 이 다 .