또한 , 본 제 2 실시 형태 에서 는 , 도 39 에 도시 된 웨이퍼 얼라이먼트 를 개시 하 기 까지 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 와 계측 스테이지 ( MST ) 는 스크럼 상태 로 이행 하 고 있 다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 스크럼 상태 를 유지 하 면서 , 양 스테이지 ( WST , MST ) 를 + Y 방향 으로 구동 한다 . 그 후 , 액침 영역 ( 14 ) 의 물 은 , 계측 테이블 ( MTB ) 상 으로부터 웨이퍼 테이블 ( WTB ') 상 으로 이동 한다 .