저 장부 ( 161 ) 로부터 수용 된 가스 화학 물질 이 확산 기 ( 106 ) 를 사용 하 여 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 내 로 도입 되 기 전 에 확산 될 수 도 있 다 . 확산 기 ( 106 ) 는 별도 의 형상 을 가질 수 도 있 다 . 이전 에 언급 된 바 와 같이 , 일 실시 예 에서 , 확산 기 ( 106 ) 는 라운드 된 하단 섹션 ( 즉 , 컵 형상 섹션 ) 은 실린더 형 상단 섹션 을 가질 수 도 있 고 , 가스 화학 물질 에 노출 될 때 부식 을 견딜 수 있 는 비 도전 성 재료 로 이루어질 수 도 있 다 . 확산 기 ( 106 ) 에 적합 한 재료 들 은 , 예 를 들 어 , 석영 과 같 은 유전체 재료 를 포함 한다 . 확산 기 ( 106 ) 의 실린더 형 상단 섹션 은 가스 화학 물질 이 수용 되 고 저장 되 는 저 장부 에 커플링 되 는 개방 된 단부 를 가질 수 도 있 다 . 확산 기 ( 106 ) 의 실린더 형 상단 섹션 의 외측 직경 은 , 확산 기 ( 106 ) 가 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) 내 로 용이 하 게 수용 될 수 있 도록 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) 의 내측 직경 보다 작 을 수 도 있 다 . 확산 기 ( 106 ) 전체 에 또는 컵 형상 하단 섹션 내 에 방사상 으로 분포 된 주입 개구부 들 ( 182 ) 은 저 장부 로부터 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 로 가스 화학 물질 의 고른 분포 를 허용 한다 . 가스 화학 물질 이 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 내 로 주입 되 는 방식 은 주입 개구부 들 의 수 , 주입 개구부 들 의 위치 , 주입 개구부 들 의 사이즈 , 주입 개구부 들 이 확산 기 의 외측 표면 에 대해 형성 되 는 방향 , 확산 기 의 치수 들 , 등 에 의해 제어 될 수 도 있 다 . 일 실시 예 에서 , 약 30 내지 40 개 의 주입 개구부 들 ( 182 ) 이 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 내 로 실질 적 으로 고르 게 가스 화학 물질 을 주입 하 도록 라운드 된 하단 섹션 을 따라 방사상 으로 고르 게 분포 된다 . 일 예 에서 , 주입 개구부 들 ( 182 ) 은 컵 형상 하단 섹션 의 방사상 섹션 을 따라 고르 게 이격 되 지 않 는다 . 다른 실시 예 들 에서 , 보다 많 거나 보다 적 은 주입 개구부 들 ( 182 ) 은 확산 기 ( 106 ) 의 방사상 또는 세로 축 을 따라 포함 될 수 도 있 다 .