가스 주입기 ( 247 ) 는 가스 소스 ( 152 ) 와 관련 되 어 각 진 가스 소스 돌출부 ( 205 ) 를 갖 는다 . 일 구 현 에서 , 각 진 가스 소스 돌출부 ( 205 ) 는 삼각형 형상 이 다 . 일 구 현 에서 , 각 진 가스 소스 돌출부 ( 205 ) 의 개구 는 약 137 도 내지 141 도 인 각도 ( 242 ) 로 배치 된다 . 일 구 현 에서 , 가스 채널 ( 249 ) 은 , 가스 또는 라디칼 들 의 가스 가 , 가스 채널 ( 249 ) 을 빠져나간 이후 에 , 기판 ( 101 ) 의 에지 에 실질 적 으로 접하 거나 , 기판 지 지체 ( 138 ) 의 기판 지지 표면 의 에지 에 실질 적 으로 접하 는 방향 으로 유동 하 도록 구성 된다 . 가스 채널 ( 249 ) 의 각도 는 , 측면 가스 유동 ( 248 ) 이 기판 ( 101 ) ( 또는 기판 지 지체 ( 138 ) ) 의 중심 을 향하 여 , 기판 ( 101 ) ( 또는 기판 지 지체 ( 138 ) ) 의 주변 부 에 근접 하 여 , 또는 임의 의 원 하 는 위치 에서 기판 ( 101 ) ( 또는 기판 지 지체 ( 138 ) ) 상 에 공간 적 으로 분포 되 어 유동 하 도록 조정 될 수 있 는 것 이 예상 된다 .