이 경우 , 소수 화제 가 기판 에 공급 된 후 에 , 기판 으로부터 액체 가 제거 된다 . 이 에 의해 , 기판 이 건조 된다 . 그리고 , 소수 화제 의 공급 이 종료 되 고 나 서 기판 의 건조 가 종료 될 때 까지 의 동안 , 기판 에 대한 물 의 접촉 이 방지 된다 . 즉 , 소수 화제 의 공급 이 종료 되 고 나 서 기판 의 건조 가 종료 될 때 까지 의 동안 물 을 포함 하 는 액체 또는 증기 가 기판 에 공급 되 지 않 는다 . 따라서 , 소수 화제 가 공급 된 기판 에 대한 물 의 접촉 에 의해 , 기판 에 대한 처리 액 의 접촉각 이 감소 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 을 건조 시킬 때 에 , 패턴 에 가해 지 는 힘 ( 패턴 을 도괴 시키 는 힘 ) 이 커지 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 .