한편 , 유체 안내 수단 ( 124 ) 은 가변 플레이트 ( 122 ) 의 중앙 부분 에서 가변 플레이트 ( 122 ) 의 일단 또는 가변 플레이트 ( 122 ) 의 중앙 부분 에서 가변 플레이트 ( 122 ) 의 타단 측 으로 형성 된 분출공 ( 126 ) 과 동일 한 개수 를 가지 며 일렬 로 배열 되 는 다수 의 부상 밸브 ( 130 a ) 와 , 마찬가지 로 가변 플레이트 ( 122 ) 의 중앙 부분 에서 가변 플레이트 ( 122 ) 의 일단 또는 가변 플레이트 ( 122 ) 의 중앙 부분 에서 가변 플레이트 ( 122 ) 의 타단 측 으로 형성 된 그루브 ( 128 ) 와 동일 한 개수 를 가지 며 일렬 로 배열 됨 과 아울러 부상 밸브 ( 130 a ) 와 동일 한 구성 을 가지 는 다수 의 흡착 밸브 ( 130 b ) 와 , 일렬 로 배열 된 부상 밸브 ( 130 a ) 를 순차 적 으로 개폐 하 는 부상 밸브 개폐 스위치 ( 132 a ) 와 , 일렬 로 배열 된 흡착 밸브 ( 130 b ) 를 순차 적 으로 개폐 함 과 아울러 부상 밸브 개폐 스위치 ( 132 a ) 와 동일 한 구성 을 가지 는 흡착 밸브 개폐 스위치 ( 132 b ) 를 구비 한다 .