본원 에서 사용 되 는 바 와 같이 , 용어 기판 은 , 형성 하 기 위해 사용 될 수 있 는 , 또는 그 위 에 소자 , 회로 , 또는 막 이 형성 될 수 있 는 , 임의 의 하부 재료 또는 재료 들 을 지칭 할 수 있 다 . 기판 은 , 실리콘 ( 예 , 단결정 실리콘 ) 과 같 은 벌크 재료 를 포함 하 거나 벌크 재료 의 위 에 놓이 는 하나 이상 의 층 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 기판 은 , 기판 의 층 의 적어도 일부 내 에 또는 그 위 에 형성 된 다양 한 토폴로지 , 예컨대 리세 스 , 비아 , 라인 등 을 포함 할 수 있 다 .