다른 한쪽 의 분기 유로 BL 1 에 는 , 도 1 에 나타내 듯이 , 상기 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 를 통상 의 사용 방법 과 는 역방향 으로 되 도록 제 2 압력 센서 P 21 가 상류 측 으로 되 도록 배치 되 어 있 고 , 또 다른 한쪽 의 분기 유로 BL 2 에 는 상기 매스 플로우 컨트롤러 MFC 2 를 통상 의 사용 방법 과 같 은 방향 으로 되 도록 상기 유량 제어 밸브 V 2 가 상류 가 되 도록 배치 되 어 있 다 .