그런데 , 텅스텐 재료 와 동시 에 절연 재료 를 연마 하 는 경우 ( 예 를 들 면 , 마무리 연마 공정 ) 가 있 지만 , 본 발명자 들 은 , 본 발명 에서 의 상기 중합체 가 , 텅스텐 재료 에 뿐 만 아니 라 절연 재료 에 대하 여 적절 한 흡착 능 을 가지 는 보호막 형성 제 로서 작용 함 으로써 , 텅스텐 재료 의 에칭 속도 를 저감 하 면서 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 를 충분 한 연마 속도 로 연마 가능 한 것 을 발견 하 였 다 . 본 발명 에 따른 연마 액 에 의하 면 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 충분 한 연마 속도 를 유지 하 면서 텅스텐 재료 의 에칭 을 억제 할 수 있 다 .