한편 , 수많 은 공정 중 의 하나 인 화학 기상 증착 공정 ( Chemical Vapor Deposition Process ) 은 , 자세히 후술 하 는 바 와 같이 , 외부 의 고주파 전원 에 의해 플 라즈 마 ( Plasma ) 화 되 어 높 은 에너지 를 갖 는 ( 비 ) 결정질 실리콘 또는 실리콘 화합물 이 가스 분배 판 으로부터 분출 되 어 유리 기판 상 에 증착 되 는 공정 이 다 . 이러 한 공정 은 그 내부 에 다수 의 구조물 들 이 장착 된 챔버 에서 진행 된다 .