제 2 버퍼 부 ( 200 ) 는 제 1 버퍼 부 ( 100 ) 와 동일 한 구성 및 구조 를 가진다 . 즉 , 제 2 버퍼 부 ( 200 ) 는 상술 한 제 1 지지 부재 ( 110 ) 및 제 2 지지 부재 ( 120 ) 와 동일 한 제 1 지지 부재 ( 210 ) 및 제 2 지지 부재 ( 220 ) 를 가진다 . 제 1 지지 부재 ( 210 ) 및 제 2 지지 부재 ( 220 ) 는 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 로부터 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 로 , 또는 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 으로부터 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 으로 기판 ( W ) 이 이송 되 기 전 에 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 54 ) 과 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 64 ) 사이 에서 기판 ( W ) 을 대기 시킨다 . 제 1 지지 부재 ( 210 ) 및 제 2 지지 부재 ( 220 ) 는 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 54 ) 와 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 64 ) 사이 에 고정 설치 된다 .