상기 버너 부 ( 100 ) 는 예 를 들 어 반도체 제조 장치 ( 미 도시 ) 와 연결 되 도록 설비 되 어 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 상기 반도체 제조 장치 에서 배출 되 는 유해 배기 가스 를 공급 받 는다 . 상기 버너 부 ( 100 ) 에 는 버너 ( 110 ) 가 구비 되 며 , 상기 버너 ( 110 ) 에 의해 발생 된 화염 이 상기 반도체 제조 장치 로부터 공급 되 는 배기 가스 에 포함 된 유해 가스 를 연소 시켜 제거 한다 .