당업자 는 챔버 에 존재 하 는 원 하 지 않 는 물질 및 전처리 된 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 의 구체 적 인 성분 을 포함 하 는 다수 의 요인 에 따라 구체 적 인 반응 및 형성 되 는 구체 적 인 반응 생성물 이 다양 할 수 있 음 을 인식 할 것 이 다 . 이러 한 방식 으로 , 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 상술 한 제 1 온도 미만 으로 유지 하 고 챔버 ( 100 ) 내 에 플 라즈 마 를 발생 시키 지 않 으면서 도 , 원 하 지 않 는 물질 ( 101 ) 이 챔버 ( 100 ) 의 표면 으로부터 세정 된다 .