구체 적 으로 , 본 실시 예 는 상기 수용 공간 으로부터 상기 측정 공간 측 으로 대상 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 1 솔레노이드 밸브 ( 30 a ) 와 , 상기 측정 공간 으로부터 상기 수용 공간 측 으로 대상 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 2 솔레노이드 밸브 ( 30 b ) 와 , 상기 측정 공간 으로부터 상기 수용 공간 측 으로 대상 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 1 펌프 ( 50 ) 를 포함 한다 .