도 2 에 모식 적 으로 나타낸 바 와 같이 , 내압 광체 ( 111 ) 우측 단부 와 서브 광체 ( 119 ) 의 대기 부 ( 126 ) 우단 부와 의 사이 에 는 보트 ( 217 ) 를 승강 시키 기 위한 보트 엘리베이터 ( 기판 보 지 도구 승강 기구 ) ( 115 ) 가 설치 되 어 있 다 . 보트 엘리베이터 ( 115 ) 의 승강대 에 연결 된 연결 도구 로서 의 암 ( arm ) ( 128 ) 에 는 개체 로서 의 씰 캡 ( seal cap ) ( 219 ) 이 수평 으로 설치 되 어 있 으며 , 씰 캡 ( 219 ) 은 보트 ( 217 ) 를 수직 으로 지지 하 고 , 처리 로 ( 202 ) 의 하단 부를 폐색 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .