도 14 는 제 2 실시 형태 에 관한 기판 반송 장치 ( 200 ) 의 제 어부 ( 300 ) 의 동작 순서 를 도시 하 는 흐름 도 이 다 . 우선 , 단계 S 201 에서 , 기울기 보정 공정 에 의해 핸드 부 ( 10 ) 의 피칭 요동 을 행한 후 , 높이 계측 부 ( 60 ) 에 의해 상측 또는 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 선 단부 ( 11 a , 12 a ) 의 높이 를 계측 한 계측 결과 가 제 어부 ( 300 ) 에 입력 된다 .