본 발명자 들 은 , 상기 목적 을 달성 하 기 위해 예의 검토 를 거듭 한 결과 , 실라 놀 기 , 수산기 혹은 카르복실기 를 갖 는 유기 기 , 또는 산 , 열 중 어느 하나 또는 양쪽 의 작용 에 의해 실 라 놀 기 , 수산기 혹은 카르복실기 를 발생 시키 는 유기 기 를 갖 는 열경화성 규소 함유 재료 와 , 1 분자 내 에 음 이온 부위 와 양 이온 부위 를 갖 는 베타 인형 화합물 을 함유 하 는 규소 함유 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 로부터 형성 되 는 레지스 트 하층 막 은 , 상층 의 레지스 트 패턴 에 접하 는 부분 의 상기 하층 막 표면 의 접촉각 을 낮 게 함 으로써 양호 한 패턴 밀착 성 을 가지 며 , 또한 상기 베타 인형 화합물 유래 의 발생 산 의 확산 거리 가 작 기 때문 에 , 상층 레지스 트 의 LWR 및 CDU 를 개선 할 수 있 는 것 을 발견 하 여 , 본 발명 을 완성 시키 기 에 이르 렀다 .