예 2 에서 , 표면 소수 화 층 ( 12 , 20 ) 을 예 1 의 샘플 7 을 이용 하 여 제작 하 고 , 그 외 는 완전히 같 게 하 여 3 층 배선 을 형성 하 였 다 . 시험 삼 아 만든 다층 배선 을 이용 하 여 전류 밀도 를 1 MA / ㎝ 2 로 하 여 비아 의 EM 을 측정 한 바 , 500 시간 경과 하 여도 불량 의 발생 은 없 었 다 .