다시 도 9 내지 도 13 을 참조 하 면 , 복수 의 체결 부 ( 450 ) 는 가스 캐비닛 ( 410 ) 의 측벽 상 에 배치 될 수 있 다 . 체 결부 ( 450 ) 는 가스 실린더 ( 20 ) 의 가스 분사 노즐 ( 24 ) 의 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 의 측면 에 배치 될 수 있 다 . 체 결부 ( 450 ) 는 체결 부 ( 450 ) 의 외측 면 으로 돌출 된 CGA 홀더 부 ( 452 ) 와 엔드 캡 홀더 부 ( 454 ) 를 포함 할 수 있 다 . CGA 홀더 부 ( 452 ) 는 반도체 제조 공정 라인 과 연결 된 가스 배관 과 연결 될 수 있 다 . 엔드 캡 홀더 부 ( 454 ) 는 가스 실린더 ( 20 ) 의 가스 분사 노즐 ( 24 ) 에 결합 된 엔드 캡 과 결합 될 수 있 다 .