스테이션 부 ( 200 ) 는 제 1 영역 ( 220 ) 과 제 2 영역 ( 240 ) 을 가진다 . 제 1 영역 ( 220 ) 은 반응 챔버 ( 100 ) 와 인접 하 게 배치 되 며 , 제 1 영역 ( 220 ) 에 는 기판 저 장부 ( 400 ) 가 제공 된다 . 제 2 영역 ( 240 ) 은 제 1 영역 ( 220 ) 의 타 측 에 반응 챔버 ( 100 ) 와 일렬 로 정렬 되 도록 배치 된다 . 제 2 영역 ( 240 ) 에 는 제 1 이송 장치 ( 300 ) 가 제공 된다 . 제 1 영역 ( 220 ) 은 전단 영역 ( 222 ) 과 후단 영역 ( 224 ) 을 가진다 . 전단 영역 ( 222 ) 은 반응 챔버 ( 100 ) 및 제 2 영역 ( 240 ) 과 일렬 로 정렬 되 도록 배치 되 는 영역 이 고 , 후단 영역 ( 224 ) 은 전단 영역 ( 222 ) 으로부터 반응 챔버 ( 100 ) 및 제 2 영역 ( 240 ) 의 정렬 방향 과 수직 한 방향 으로 연장 되 는 영역 이 다 .