KrF 엑 시머 레이저 ( 파장 : 248 nm ) 리소그래피 시스템 , 또는 전자 빔 및 극자외선 과 같 은 고 에너지 레이저 가 노광 시스템 으로서 사용 되 는 경우 , 페놀 성 히드록시기 를 갖 는 구조 단위 ( a 2 ) 를 포함 하 는 수지 가 바람직 하 다 . ArF 엑 시머 레이저 ( 파장 : 193 nm ) 가 노광 시스템 으로서 사용 되 는 경우 , 알코올 성 히드록시기 를 갖 는 구조 단위 ( ａ ２ ) 를 포함 하 는 수지 가 바람직 하 고 , 하 기 에 기재 된 구조 단위 ( a 2 - 1 ) 을 포함 하 는 수지 가 더 바람직 하 다 .