초 소형 비행 시간 질량 분석기 및 그 제조 방법 이 제공 된다 . 본 발명 에 따른 초 소형 비행 시간 질량 분석기 는 , 상판 과 하판 으로 이루어져 있 고 , 상기 상판 과 하판 사이 가 진공 상태 로 유지 되 는 초 소형 비행 시간 질량 분석기 에 있 어서 , 상기 하판 에 형성 된 탄소 나노 파티클 로부터 발생 되 는 전자 와 의 충돌 에 의해 , 상기 상판 에 형성 된 주입구 를 통해 주입 되 는 시료 를 이온 화 시키 는 이온 발생기 ; 상기 상판 에 장착 되 어 , 펄스 로 구동 되 는 반발 전극 에 의해 상기 이온 화 된 시료 를 출발 시켜 가속 전극 에 의해 가속 시키 는 이온 가속기 ; 및 상기 상판 과 하판 에 연결 되 어 설치 되 어 , 상기 이온 화 된 시료 가 도달 하 는 시간 을 측정 하 여 상기 이온 화 된 시료 의 질량 을 분석 할 수 있 는 이온 검출기 를 포함 한다 .