침지액 에 난용성 인 막 ( 이하 , " "" 탑 코트 "" 라고 함 ) 은 상기 레지스 트 막 이 상기 침지액 과 직접 접촉 하 는 것 을 방지 하 기 위해서 침지액 과 본 발명 의 레지스 트 조성물 을 사용 하 여 형성 된 레지스 트 필름 사이 에 형성 될 수 있 다 . 탑 코트 에 요구 되 는 기능 은 레지스 트 상층부 에 대한 도포 적정 ", 방사선 , 특히 193 nm 의 파장 을 갖 는 것 에 대한 투명 성 및 침지액 에 대한 난용 성 을 포함 한다 . 상기 탑 코트 는 레지스 트 와 혼합 하 지 않 고 , 레지스 트 표면 에 균일 하 게 도포 되 는 것 이 바람직 하 다 .