플라 즈 마 처리 장치 가 기판 의 플 라즈 마 처리 를 위하 여 이용 되 고 있 다 . 플 라즈 마 처리 장치 로서 는 , 일본 공개 특허 공보 2018 - 78010 호 ( 이하 , " "" 특허 문헌 1 "" 이라고 함 ) 에 기재 되 어 있 는 바 와 같이 ", 마이크로파 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 생성 하 는 것 이 알려져 있 다 . 특허 문헌 1 에 기재 된 플 라즈 마 처리 장치 는 , 챔버 , 안테나 , 및 마이크로파 발생기 를 구비 하 고 있 다 . 안테나 는 , 마이크로파 를 챔버 내 에 방사 한다 . 마이크로파 발생기 와 안테나 는 , 직사각 형 도파관 및 동축 관 을 통하 여 접속 되 어 있 다 . 직사각 형 도파관 과 동축 관 의 사이 에 는 , 마이크로파 의 모드 를 변환 하 는 변환기 가 필요 하 다 .