상기 금속 링 과 상기 금속 영역 사이 의 실리콘 및 질소 부유층 - 상기 실리콘 및 질소 부유층 내 의 실리콘 원자 백분율 은 상기 금속 링 및 상기 금속 영역 둘 다 내 의 실리콘 원자 백 분 율 보다 더 높 고 , 상기 실리콘 및 질소 부유층 내 의 제 1 질소 원자 백분율 은 상기 금속 링 및 상기 금속 영역 내 의 제 2 질소 원자 백 분 율 보다 더 높 음 -