에이티 와 재료연구소 는 2 년 간 의 연구 개발 ( R & D ) 끝 에 자체 개발 한 선형 이온 소스 ( LIS ) 및 이온 빔 표면 처리 공정 을 활용 해 건식 세정 방식 개발 에 성공 했 다 . 재료연구소 의 김도근 박사 연구 팀 은 LIS 이온 소스 원천 기술 을 제공 했으며 , 에이티 는 원천 기술 을 제품 화 하 고 시스템 화 하 는 역할 을 했 다 .