도 14 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 가 1 회전 하 는 동안 에 취득 된 광량 의 일례 를 나타내 는 그래프 다 . 도 14 에 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 에 미리 저장 된 소정 의 허용 범위 가 도시 되 어 있 다 . 이 허용 범위 는 , 웨이퍼 W 의 주연 부 의 연마 폭 의 어긋남 의 허용 값 에 기초 하 여 산출 된 광량 의 허용 범위 이 며 , 미리 결정 되 어 있 다 . 도 14 에서 는 , 소정 의 허용 범위 내 에 있 는 광량 을 굵 은 실선 으로 그렸 고 , 소정 의 허용 범위 밖 에 있 는 광량 을 일 점 쇄선 으로 그렸 고 , 허용 범위 를 정하 는 상한 및 하한 의 광량 을 굵 은 점선 으로 그렸 다 .