도 5 및 도 6 a 를 참조 하 면 , 기판 ( 10 ) 상 에 계면 층 ( 21 ) 이 형성 될 수 있 다 . 형성 된 ( as - formed ) 계면 층 ( 21 ) 의 두께 는 약 1 Å 내지 약 8 Å 일 수 있 다 . 계면 층 ( 21 ) 은 예 를 들 어 , 자연 산화 ( native oxidation ) , 열 산화 ( thermal oxidation ) , 또는 원자 층 퇴적 ( atomic layer deposition , ALD ) 에 의해 형성 될 수 있 다 ( S 1100 ) . 일부 실시 예 에서 , 계면 층 ( 21 ) 은 강유 전 층 ( 22 ) 을 형성 할 때 ( S 1200 ) 강유 전 층 ( 22 ) 과 함께 형성 될 수 있 다 .