도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 상부 공급 노즐 ( 36 ) 이 웨이퍼 ( W ) 위 에 제공 된다 . 상부 공급 노즐 ( 36 ) 은 회전식 보유 기구 ( 3 ) 에 의해 보유 된 웨이퍼 ( W ) 의 상부 표면 의 중심 에 연마 액 을 공급 한다 . 하부 공급 노즐 ( 37 ) 은 웨이퍼 ( W ) 의 후방 표면 ( 즉 , 하부 표면 ) 과 회전식 보유 기구 ( 3 ) 의 보유 스테이지 ( 4 ) [ 즉 , 보유 스테이지 ( 4 ) 의 주연 부 ] 사이 의 경계 로 연마 액 을 공급 하 도록 제공 된다 . 통상 적 으로 , 순수 한 물 이 연마 액 으로 사용 된다 . 대안 으로 는 , 실리카 가 연마 테이프 ( 23 ) 의 연마 결정 으로 사용 되 는 경우 에 는 암모니아 가 사용 될 수 있 다 .