상기 제 1 영역 ( 130 ) 은 결함 이 상대 적 으로 많이 존재 할 것 으로 예상 되 는 영역 이 고 , 상기 제 2 영역 ( 140 ) 은 상기 결함 이 상대 적 으로 작 게 존재 할 것 으로 예상 되 는 영역 이 다 . 상기 기준 노광 조건 과 차이 가 클수록 상기 웨이퍼 시료 에 결함 이 많이 발생 하 므로 , 상기 제 1 영역 ( 130 ) 은 상기 기준 샷 영역 ( 120 ) 과 이격 된 영역 을 포함 한다 . 상기 기준 노광 조건 과 유사 할수록 상기 웨이퍼 시료 ( 100 ) 에 결함 이 작 게 발생 하 므로 , 상기 제 2 영역 ( 140 ) 은 상기 기준 샷 영역 ( 120 ) 및 상기 기준 샷 영역 ( 120 ) 과 인접 한 영역 을 포함 한다 .