연마 액 을 상기 제 2 연마 에 적용 하 는 경우 , 연마 액 중 의 유기산 의 함유량 은 특별히 제한 되 지 않 으며 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 , 0 . 01 ~ 30 질량 % 가 바람직 하 고 , 0 . 01 ~ 12 질량 % 가 보다 바람직 하 며 , 0 . 01 ~ 5 질량 % 가 보다 바람직 하 며 , 0 . 01 ~ 0 . 3 질량 % 가 더 바람직 하 다 . 또한 , 2 종 이상 의 유기산 을 사용 하 는 경우 에 는 , 합계 함유량 이 상기 범위 내 인 것 이 바람직 하 다 .