한편 , 상기 가이드 블록 에 의해 덮인 히터 블록 부 는 표면 에 서모 커플 ( thermocouple ) 이 부착 된 것 이 적합 하 고 , 상기 예비 히터 부 는 , 피 검사 모듈 보드 가 세워져 고정 되 는 복수 개 의 슬릿 부 와 , 상기 슬릿 부들 사이 에 수직 으로 세워져 피 검사 모듈 보드 의 양면 에서 복사열 을 인가 할 수 있 는 복수 개 의 히터 블록 부를 구비 하 는 것 이 적합 하 다 .