참고 로 , 하부 챔버 ( 30 ) 외부 에 는 박막 증착 시 박막 의 결정학 적 방위 를 인시 츄 ( in - situ ) 로 관찰 하 기 위해 필요 한 표면 구조 분석 장치 의 하나 인 고속 전자선 회절 ( RHEED ; Reflection High Energy Electron Diffraction ) 장비 가 설치 된다 . 고속 전자선 회절 장비 ( 300 ) 는 금속 선재 ( 1 ) 의 표면 에 1 - 3 도 정도 의 작 은 각 으로 빔 을 입사 시키 는 건 ( gun ) ( 310 ) 과 , 반사 / 회절 된 빔 이 건 의 반대편 에 있 는 스크린 ( screen ) ( 320 ) 에 맞 으면 이 를 촬영 하 는 씨씨 디 ( CCD ) 카메라 ( 330 ) 를 포함 한다 .