도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 반송 유닛 ( 61 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 유지 하 기 위한 클 로부 ( 62 ) , 클 로부 ( 62 ) 를 선회 시키 는 선회 수단 ( 63 ) , 클 로부 ( 62 ) 및 선회 수단 ( 63 ) 을 지지 하 는 아암 ( 64 ) , 아암 ( 64 ) , 선회 수단 ( 63 ) 및 클 로부 ( 62 ) 를 상하 방향 으로 이동 시키 는 승강 수단 ( 65 ) , 및 , 클 로부 ( 62 ) 를 포함 하 는 반송 유닛 ( 61 ) 의 전체 를 레일 ( R ) 을 따라 수평 방향 으로 이동 시키 는 수평 이동 수단 ( 66 ) 을 구비 하 고 있 다 .