이때 , 진공 척 ( 120 ) 의 기판 안착 부 ( 121 ) 의 상면 에 등 간격 으로 형성 된 복수 의 엠보싱 ( 122 ) 은 기판 ( S ) 흡 착시 , 기판 ( S ) 과 진공 척 ( 120 ) 의 접촉면 적 을 감소 시켜 진공 척 ( 120 ) 의 수명 을 연장 할 수 있 도록 하 는 역할 을 한다 . 또한 엠보싱 ( 122 ) 사이 로 헬륨 가스 가 공급 되 어 기판 ( S ) 과 진공 척 ( 120 ) 사이 에 분포 하 도록 하 여 공정 에 적정 한 온도 와 압력 이 일정 하 게 유지 되 도록 하 는 역할 도 하 게 된다 . 즉 , 헬륨 가스 는 진공 척 ( 120 ) 과 기판 ( S ) 사이 에 유입 되 어 엠보싱 ( 122 ) 들 사이 의 유로 를 따라 순환 되 면서 기판 의 온도 제어 를 보조 하 는 기능 을 하 게 된다 .