일부 실시 예 들 에서 , 피 검증 데이터 는 트랜지스터 내 의 게이트 구조물 , 트랜지스터 내 의 드레 인 구조물 , 트랜지스터 내 의 소스 구조물 , 커패시터 구조물 , 비아 구조물 , 트렌치 구조물 , 2 차원 메모리 구조물 , 3 차원 메모리 구조물 , 측벽 각 , 임계 치수 ( CD ) , 어레이 , 주기 적 구조물 , 정렬 특징 부 , 도핑 특징 부 , 스트레인 특징 부 , 손상 된 구조물 , 기준 구조물 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 대한 피 검증 , 피 예측 , 피 시뮬레이션 및 / 또는 라이브러리 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 피 검증 데이터 는 평가 데이터 , 측정 데이터 , 검사 데이터 , 정렬 데이터 , 검증 데이터 , 프로세스 데이터 , 웨이퍼 데이터 , 라이브러리 데이터 , 이력 데이터 , 실시간 데 이터 , 광학 데이터 , 층 데이터 , 온도 데이터 , 시간 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 데이터 가 이용 될 수 있 다 .