본 발명 의 제 1 실시 예 에 의한 액체 공급 장치 ( 100 ) 는 기판 처리 장치 ( 20 ) 로 액체 를 공급 하 는 약액 탱크 ( 10 ) , 약액 탱크 ( 10 ) 와 순환 배관 ( 33 ) 으로 연결 된 냉각 탱크 ( 30 ) , 냉각 탱크 ( 30 ) 로 냉매 를 공급 하 는 냉매 배관 ( 40 ) 및 냉매 배관 ( 40 ) 과 연결 되 어 냉각 탱크 ( 30 ) 의 압력 을 일정 이하 로 유지 하 는 압력 조 절부 ( 60 a ) 를 포함 한다 .