본 발명 에 따르 면 , 실제 정렬 공정 이전 에 감지 유닛 의 교정 이 수행 되 는 것 이 유리 하 다 . 교정 의 목적 은 , 특히 서로 마주 보 게 위치 한 두 개 의 감지 장치 의 광학 축 들 의 교차점 을 교정 기판 의 정렬 마킹 의 중심 에 배열 하 는 것 이 다 . 상기 교정 은 바람직 하 게 감지 유닛 의 모든 렌즈 에 대해 개별 적 으로 발생 한다 . 상기 교정 에 의해 감지 유닛 의 마주 보 는 ( 상부 및 하부 ) 렌즈 들 이 공통 의 초점 범위 , 즉 공통 또는 적어도 대체로 중첩 ( superimposing ) 되 는 피사 계 심도 및 공통 또는 적어도 대체로 중첩 된 시야 를 가지 는 것 이 보장 된다 . 문헌 의 추가 과정 에서 , 정확 한 피사 계 심도 및 / 또는 시야 가 제공 되 어 초점 을 맞추 는 대상 , 특히 정렬 마크 를 가능 한 한 양호 하 게 표시 하 는 것 을 초점 맞추 기 ( focusing ) 으로 이해 한다 .