위 와 같 은 산소 이온 주입 공정 에 의해 필라 구조물 ( 101 ) 을 덮 고 있 는 제 2 캡 핑 막 ( 44 ) 의 일부 가 산화 변형 막 ( 44 A ) 으로 변형 되 며 , 특히 틸 트 에 의한 이온 주입 의 영향 을 받 아서 필라 구조물 ( 101 ) 의 상부 면 및 일 측 측벽 에서 주로 변형 이 진행 된다 . 따라서 , 이온 주입 이 진행 되 지 않 은 타 측 측벽 의 제 2 캡 핑 막 ( 44 ) 은 여전히 변형 되 지 않 고 실리콘 질화 막 의 성질 을 갖 는다 .