이 실시 예 에 따른 편심 검지기 ( 170 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 형성 된 노치 부분 또는 오리엔테이션 플랫 ( orientation flat ) 을 검지 하 는 데 도 사용 될 수 있 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 편심 이 검지 되 면 , 편심 검지기 ( 170 ) 는 웨이퍼 ( W ) 에 의해 차단 된 광 의 일부 의 길이 를 계측 하 기 위해 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 로부터 노치 부분 과 오리엔테이션 플랫 을 제외 시킨다 . 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 기 전 에 노치 부분 또는 오리엔테이션 플랫 을 검출 하 고 웨이퍼 ( W ) 를 약간 회전 시켜 , 검출 된 노치 부분 또는 오리엔테이션 플랫 이 전달 기구 의 핸드 와 대면 하 지 않 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 작동 에서 , 전달 기구 의 핸드 에 의해 노치 부분 또는 오리엔테이션 플랫 을 보유 함 으로써 유발 될 수 있 는 전달 오류 가 방지 될 수 있 다 .