증착 을 상기 표 5 에 기술 된 바 와 같 은 조건 하 에서 규소 전구체 로서 2 - 디에 틸 아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 및 O 2 플 라즈 마로 수행 하 였 다 . 전 구체 를 200 sccm 의 운반 가스 Ar 흐름 과 함께 챔버 로 전달 하 였 다 . 단계 b 내지 단계 e 를 계측 을 위한 산화 규소 의 요망 되 는 두께 를 얻 기 위해 여러 차례 반복 하 였 다 .