제 2 단계 ( ST 20 ) 는 기판 지지대 의 소정 의 공정 이 진행 되 는 영역 의 반대 측면 에서 관통 홀 의 외곽 에 기판 의 크기 에 대응 하 는 제 1 지지 홈 을 형성 하 는 단계 이 다 . 이때 , 기판 의 소정 의 공정 이 진행 될 영역 과 제 1 지지 홈 이 겹치 지 않 도록 주의 하 여 제 1 지지 홈 에 기판 을 배치 한다 . 도 3 을 참조 한 본 발명 의 실시 예 에서 는 기판 지지대 의 뒷부분 , 즉 , 결정 화 공정 을 위한 레이저 빔 이 조사 되 는 영역 의 반대 측면 에서 제 1 지지 홈 을 형성 한다 .