또한 , 실시 예 및 비 교예 에서 형성 한 각각 의 Ru 막 에 대해서 , 형광 X 선 분석 ( XRF : X - ray Fluorescence ) 법 에 의해 막 두께 를 측정 하 였 다 . 또한 , Ru 함유 전구체 의 공급 시간 과 측정 한 Ru 막 의 막 두께 에 기초 하 여 , Ru 함유 전구체 의 공급 의 개시 후 , Ru 막 의 성막 이 시작 될 때 까지 의 시간 의 지연 ( 이하 , 「 인 큐 베이 션 시간 」 이 라고 함 ) 을 평가 하 였 다 .