복수 의 히터 케이블 ( 226 a ~ d ) 은 필 터부 ( 228 ) 와 히터 들 ( 225 ) 간 에 연결 되 고 , 히터 전원 공급 부 ( 229 ) 로부터 인가 된 발열 전원 들 을 히터 들 ( 225 ) 로 전달 한다 . 히터 케이블 들 ( 226 a ~ d ) 은 연결 부재 ( 273 ) 의 내부 공간 을 통해 하부 커버 ( 270 ) 내부 로 연장 될 수 있 다 . 히터 들 ( 225 ) 은 히터 케이블 ( 226 a ~ d ) 과 전기 적 으로 연결 되 며 , 히터 케이블 ( 226 a ~ d ) 로부터 인가 되 는 발열 전원 ( 전류 ) 에 저항 함 으로써 열 을 발생 시킨다 . 발생 된 열 은 지지 판 ( 220 ) 을 통해 기판 ( W ) 으로 전달 된다 . 히터 들 ( 225 ) 에서 발생 된 열 에 의해 기판 ( W ) 은 소정 온도 로 유지 된다 .