[ 0049 ] 장치 ( 300 ) 는 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 를 포함 한다 . 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 서로 에 대해 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예 로서 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 이동 시키 면서 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 정지 된 상태 로 유지 함 으로써 , 또는 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 이동 시키 면서 기판 캐리어 ( 120 ) 를 정지 된 상태 로 유지 함 으로써 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 서로 에 대해 정렬 시키 도록 구성 될 수 있 다 . 더 추가 적 인 예 들 에서 는 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 둘 모두 가 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 서로 에 대해 포지셔닝 또는 정렬 시키 도록 이동 될 수 있 다 .