이상 서술 한 바 와 같이 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 기울기 보 정부 ( 40 ) 가 기울 기 검 출부 ( 30 ) 에서 검출 된 기울기 를 캔 슬 하 도록 , 수평 방향 에 대해 핸드 부 ( 10 ) 및 이 동부 ( 20 ) 를 기울어지 게 하 기 때문 에 , 핸드 부 ( 10 ) 의 휨 을 보정 하 면서 핸드 부 ( 10 ) 상 에 놓인 기판 ( W ) 을 수평 상태 로 보다 간 이 하 게 반송 할 수 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 상측 핸드 부 ( 11 ) 의 포크 부재 ( 11 c ) 는 묶음 부재 ( 11 d ) 에 의해 상방 으로부터 지지 되 고 , 하측 핸드 부 ( 12 ) 의 포크 부재 ( 12 c ) 는 묶음 부재 ( 12 d ) 에 의해 하방 으로부터 지지 되 는 것 으로 하 였 지만 , 포크 부재 ( 11 c , 12 c ) 모두 하방 또는 상방 으로부터 지지 되 는 구조 로 해도 상관없 다 .