대기 반 송실 ( 40 ) 내 는 , 대기 분위기 로 되 어 있 고 , 예 를 들 어 청정 공기 의 다운 플로우 가 형성 되 어 있 다 . 또한 , 대기 반 송실 ( 40 ) 에 는 , 반송 기구 ( 41 ) 가 마련 되 어 있 다 . 반송 기구 ( 41 ) 는 , 로드 로크 실 ( 31 , 32 ) , 로드 포트 ( 51 내지 53 ) 의 캐리어 ( C ) 에 대하 여 웨이퍼 ( W ) 를 반송 한다 . 또한 , 반송 기구 ( 41 ) 의 동작 은 , 제 어 장치 ( 70 ) 에 의해 제어 된다 .