본 발명 의 제 4 형태 는 , 복수 의 카세트 를 배치 가능 한 복수 의 포트 가 마련 됨 과 아울러 , 포트 에 배치 된 카세트 내 의 기판 을 반송 하 는 대기 반송 로봇 이 마련 되 는 로더 모듈 과 , 상기 로더 모듈 에 연결 되 어 , 상기 대기 반송 로봇 에 의해 기판 이 반송 되 는 로드 록 챔버 와 , 상기 로드 록 챔버 에 반송 된 기판 을 , 처리 를 실행 하 기 위한 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 1 진공 반송 로봇 이 마련 되 는 제 1 트랜스퍼 챔버 와 , 상기 제 1 트랜스퍼 챔버 에 연결 되 는 진공 의 연결 챔버 와 , 상기 연결 챔버 에 연결 되 어 , 상기 제 1 진공 반송 로봇 에 의해 상기 연결 챔버 에 반송 되 는 기판 을 , 처리 를 실행 하 기 위한 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 2 진공 반송 로봇 이 마련 되 는 제 2 트랜스퍼 챔버 를 구비 하 고 , 상기 제 1 트랜스퍼 챔버 와 상기 제 2 트랜스퍼 챔버 는 상하 방향 으로 높이 가 다른 위치 에 마련 되 고 , 연결 챔버 내 에 마련 된 기판 승강 기구 에 의해 기판 을 서로 수수 가능 하 게 하 고 , 상기 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 와 상기 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 는 상하 방향 으로 겹치 지 않 는 기판 처리 시스템 이 다 .