상기 한 실시 형태 1 내지 5 에서 는 , 증착 유닛 ( 50 ) 의 상방 에 기판 ( 10 ) 을 배치 했 지만 , 증착 유닛 ( 50 ) 과 기판 ( 10 ) 의 상대 적 위치 관계 는 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 증착 유닛 ( 50 ) 의 하방 에 기판 ( 10 ) 을 배치 해도 되 고 , 또는 , 증착 유닛 ( 50 ) 과 기판 ( 10 ) 을 수평 방향 으로 대향 해서 배치 해도 된다 .