여기 서 , 상기 탐침 빔 발생 장치 ( 51 ) 의 일 측 에 탐침 빔 발생 장치 ( 51 ) 에서 방 출 되 는 탐침 빔 의 경로 를 조절 하 기 위한 제 3 미러 ( 54 ) 가 구비 된다 . 이때 , 상기 제 3 미러 ( 54 ) 는 상기 탐침 빔 발생 장치 ( 51 ) 를 통하 여 발생 및 방출 되 는 탐침 빔 의 입사 경로 가 글러브 박스 ( 30 ) 의 제 2 광학 용 창 ( 35 ) 을 향하 도록 소 정각 도 경사지 게 설치 된다 .