ID 블록 ( 2 ) 은 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 또는 제 2 처리 블록 ( 5 ) 으로부터 반송 된 기판 ( W ) 을 예 를 들 면 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로 되돌린다 . 기판 ( W ) 을 되돌리 는 캐리어 ( C ) 는 , 처리 전 에 ( 즉 취 출하 기 전 에 ) 수납 되 어 있 었 던 캐리어 ( C ) 이 다 .