도 13 은 , 제 8 실시 형태 에 따른 노광 장치 ( EX ) 를 나타내 는 개략 구성도 이 다 . 본 실시 형태 의 노광 장치 ( EX ) 는 , 상술 의 제 4 실시 형태 로 설명 한 노광 장치 ( EX ) 와 거의 동등 한 구성 을 가지 고 있 고 , 도 13 은 도 5 에서 나타낸 광학 유 니트 ( U ) 를 포함 하 는 노광 장치 ( EX ) 를 모식 적 으로 나타낸 것 이 다 . 이하 의 설명 에 있 어서 , 상술 한 실시 형태 와 동일 또는 동등 한 구성 부분 에 대해서 는 동일 한 부호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 간략 혹은 생략 한다 .