로봇 핸드 ( RH 3 ) 는 2 개 구비 하 여 2 개 의 기판 ( WA ) 을 이송 할 수 있 다 . 기판 ( WA ) 은 도 1 내지 도 3 의 기판 ( 102 ) 에 해당 할 수 있 다 . 회전축 ( CX 3 ) 은 로봇 암 ( AR 3 ) 에 연결 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 이송 로봇 ( 430 ) 은 로봇 암 ( AR 3 ) 이 좌우 로 연장 될 경우 좌우 방향 ( 또는 전후 방향 ) 으로 이동 할 수 있 다 . 이송 로봇 ( 430 ) 은 회전축 ( CX 3 ) 이 회전 함 에 따라 회전 방향 으로 회전 할 수 있 다 . 이송 로봇 ( 430 ) 은 회전축 ( CX 3 ) 이 상하 방향 으로 이동 할 경우 상하 방향 으로 이동 할 수 있 다 .