각 가스 공급 로 ( 212 A ~ 212 D ) 에 는 , 각각 유통 하 는 가스 의 유량 을 조정 하 는 유량 제어기 의 일례 로서 매스 플로 컨트롤러 ( MFC ) ( 230 A ~ 230 D ) 가 마련 되 어 있 다 . 각 매스 플로 컨트롤러 ( MFC ) ( 230 A ~ 230 D ) 의 상류 측 과 하류 측 에 는 , 각각 상류 측 개폐 밸브 ( 제 1 개 폐 밸브 ) ( 220 A ~ 220 D ) 와 , 하류 측 개폐 밸브 ( 제 2 개 폐 밸브 ) ( 240 A ~ 240 D ) 가 마련 되 어 있 다 .