SiO 2 , SiC , SiN , SiOC , SiNO , SiCNO , 및 SiCN 재료 들 은 도핑 되 거나 도핑 되 지 않 을 수 도 있 고 , 선택 가능 하 게 수소 를 포함 할 수 도 있 다 . 도 펀트 는 , 존재 한다면 , 통상 적 으로 10 원자 ％ ( 수소 를 제외 하 고 ) 의 농도 를 초과 하 지 않 는다 . 이 들 재료 들 은 다양 한 방법 들 , 예컨대 CVD , PECVD 및 ALD 를 사용 하 여 증착 될 수 있 다 . 다양 한 실리콘 함유 전구체 들 이 실란 , 테트라 알킬 실란 들 , 트리 알킬 실란 들 , TEOS , 등 을 포함 하 는 이 들 재료 들 의 증착 에 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , SiO 2 는 실리콘 함유 전구체 로서 TEOS 또는 실란 을 사용 하 여 증착 될 수 도 있 다 .