투영 광학계 ( 30 ) 의 최종 면 과 웨이퍼 ( 40 ) 와 의 사이 의 공간 에 액체 L 1 의 액 막 을 형성 시킨 후 에 , 액체 L 2 의 액체 공급 및 회수 장치 ( 70 ) 는 , 액체 L 1 의 액체 공급 및 회수 기구 ( 60 ) 에 의해 공급 된 액체 L 1 의 외측 에 공급 노즐 71 을 이용 해서 액체 L 2 를 공급 한다 . 또 , 액체 공급 및 회수 기구 ( 70 ) 는 액체 L 2 의 공급 노즐 61 의 외측 에 배치 된 회수 노즐 72 를 이용 해서 액체 L 2 를 회수 한다 . 그 후 에 , 액체 공급 및 회로 기구 ( 70 ) 는 액체 L 2 를 순환 시킨다 .