또한 , 도 12 및 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 500 ) 의 커버 플레이트 ( 50 ) 는 , 플레이트 몸체 ( 51 ) 의 일 측 으로부터 배기 통로 ( 40 ) 의 형상 과 대응 되 는 형상 으로 연장 되게 형성 되 어 , 배기 통로 ( 40 ) 의 상방 을 커버 하 는 연장 부 ( 55 ) 를 포함 할 수 있 다 .