척 ( 107 B ) 의 전극 부분 은 RF 전원 ( 111 ) 으로부터 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 으로 RF 전력 을 공급 하 도록 정의 된다 . RF 전원 ( 111 ) 은 척 ( 107 B ) 의 전극 부분 으로 의 RF 전력 의 전송 을 가능 하 게 하 도록 매칭 네트워크 를 통해 접속 된다는 것 을 알 아야 한다 . 이미 논의 된 바 와 같이 , 일 실시 형태 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 기준 접지 전위 에 전기 적 으로 접속 되 어 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 이 플 라즈 마 발생 체적 들 ( 109 ) 에 대한 RF 전력 리턴 경로 에서 기준 접지 전극 으로서 작용 한다 .