보다 구체 적 으로 는 , 유기 금속 전구체 와 이 와 화학 적 으로 반응 하 지 않 는 루이스 염기성 용매 로 이루어진 초임계 상태 또는 이 에 준하 는 상태 의 용액 에서 , 유기 금속 전구체 는 완전히 분자 상태 로 용해 되 어 있 기 때문 에 이미 종전 의 물 성 으로 인하 여 사용 의 제한 을 받 아 오 던 문제 가 완전히 해결 된다 . 즉 , 유기 금속 전구체 가 분자 상태 로 용액 에 용해 되 어 있 을 때 전구체 분자 주변 이 용매 분자 들 로 둘러싸이 게 되 어 , 순수 전구체 물질 에서 나타나 는 분자 간 의 전기 적 입체 적 상호 작용 에 의한 융점 또는 비등점 같 은 물 성 이 사라진다 . 이러 한 현상 은 두 액체 가 용액 으로 혼합 될 때 공비점 ( azeotropic point ) 이 나타나 는 것 과 같 다 . 이러 한 초임계 상태 또는 이 에 준하 는 상태 의 원료 용액 을 공급 수단 인 분사기 를 통해 박막 증착 챔버 에 분사 하 는 순간 유기 금속 전구체 는 용매 분자 들 에 의해 둘러싸여 분자 상태 의 기체 로 존재 하 게 된다 .