또한 , 가공 장치 ( 1 ) 는 , 시험편 용 척 테이블 ( 60 ) 을 구비 한다 . 시험편 용 척 테이블 ( 60 ) 은 , 테이블 유닛 ( 2 ) 의 테이블 커버 ( 3 ) 에 형성 되 고 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 사각형 상 으로 형성 되 고 상면 ( 61 ) 이 평탄 한 금속재 에 의해 구성 되 어 있 다 . 실시 형태 에서 는 , 시험편 용 척 테이블 ( 60 ) 의 길 이 방향 은 , Y 축 방향 과 평행 이 다 . 시험편 용 척 테이블 ( 60 ) 은 , 상면 ( 61 ) 에 도 2 에 나타내 는 시험편 ( 70 ) 이 재치 된다 . 시험편 ( 70 ) 은 , 피 가 공물 ( 200 ) 의 기판 ( 204 ) 과 동일 한 재료 로 구성 되 고 , 평면형 이 상면 ( 61 ) 과 동형 인 사각형 의 평판 상 으로 형성 되 어 있 다 .