상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 이송 챔버 ( 200 ) 내 에 배치 되 어 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 실질 적 으로 , 상기 지지대 ( 330 ) 에 안착 되 었 는지 그 존재 여부 를 감지 한다 . 구체 적 으로 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 상부 에 배치 된다 . 이 에 대한 바람직 한 구조 는 상기 센 서부 ( 400 ) 를 상기 이송 챔버 ( 200 ) 중 상기 이 송부 ( 300 ) 가 고정 된 바닥 ( 210 ) 과 반대 되 는 상판 ( 220 ) 에 고정 하 는 것 이 다 . 이 는 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 상기 지지대 ( 330 ) 의 상부 에 배치 되 어 있 기 때문 이 다 . 이 와 달리 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 상기 지지대 ( 330 ) 의 하부 에 배치 되 어 있 을 경우 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 이송 챔버 ( 200 ) 의 상기 바닥 ( 210 ) 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 별도 의 센서 로드 를 상기 이송 챔버 ( 200 ) 의 측벽 ( 230 ) 에 연결 하 여 상기 센서 로드 에 고정 배치 될 수 있 다 .