10 : 기판 , 20 : 하부 거울 층 , 22 : 제 1 반도체 층 , 24 : 제 2 반도체 층 , 32 : 하부 전극 층 , 34 : 광학 이득 층 , 36 : 상부 전극 층 , 40 : 상부 거울 층 , 42 : 제 3 반도체 층 , 44 : 제 4 반도체 층 , 50 : 마스크 패턴 , 60 : 메사 구조 , 70 : 식각 기체 , 100 : 적층 구조 , 102 : 측벽 , 104 : 식각 면 .