유기 막 잔여 패턴 ( PR 11 b ) 은 제 1 유기 막 패턴 ( PR 1 b ) 의 일부 가 잔존 하 는 패턴 인 바 , 제 1 유기 막 패턴 ( PR 1 b ) 보다 폭 이 좁 을 수 있 다 . 따라서 제 3 도전 물질 층 ( 43 c ) 의 돌출 패턴 ( 43 ct ) 은 유기 막 잔여 패턴 ( PR 11 b ) 에 의해 커버 되 지 않 고 일부 또는 전부 가 노출 될 수 있 다 .