온도 제 어부 ( 122 ) 는 상기 케이스 ( 102 ) 의 내부 에 부착 될 수 있 으며 상기 가열 장치 ( 110 ) 와 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 상기 온도 제 어부 ( 122 ) 는 온도 측정 장치 ( 122 a ) 를 구비 할 수 있 다 . 상기 온도 측정 장치 ( 122 a ) 는 상기 도입 관 ( 106 ) 에 부착 될 수 있 다 . 특히 상기 가열 장치 ( 110 ) 에 의해 가열 된 상기 초 순수 의 온도 를 측정 할 수 있 도록 상기 온도 측정 장치 ( 122 a ) 는 상기 도입 관 ( 106 ) 의 내부 에 부착 될 수 있 다 . 상기 온도 제 어부 ( 122 ) 는 상기 초 순수 가 80 ℃∼ 99 ℃ 정도 의 온도 로 가열 될 수 있 도록 상기 가열 장치 ( 110 ) 의 동작 을 제어 하 는 역할 을 한다 .