도 10 은 도 6 의 액 처리 챔버 의 일 예 를 개략 적 으로 보여 주 는 도면 이 다 . 도 10 을 참조 하 면 , 액 처리 챔버 ( 3600 ) 는 하우징 ( 3610 ) , 처리 용기 ( 3620 ) , 기판 지지 유닛 ( 3640 ) , 그리고 액 공급 유닛 ( 1000 ) 을 가진다 . 하우징 ( 3610 ) 은 대체로 직육면체 의 형상 으로 제공 된다 . 하우징 ( 3610 ) 의 측벽 에 는 기판 ( W ) 이 출입 되 는 반 입구 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 형성 된다 . 반 입구 는 도어 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 개폐 될 수 있 다 . 처리 용기 ( 3620 ) , 기판 지지 유닛 ( 3640 ) , 그리고 액 공급 유닛 ( 1000 ) 은 하우징 ( 3610 ) 내 에 제공 된다 . 하우징 ( 3610 ) 의 상벽 에 는 하우징 ( 3260 ) 내 에 하강 기류 를 형성 하 는 팬 필터 유닛 ( 3670 ) 이 제공 될 수 있 다 . 처리 용기 ( 3620 ) 는 상부 가 개방 된 컵 형상 으로 제공 된다 . 처리 용기 ( 3620 ) 는 내부 에 기판 을 처리 하 는 처리 공간 을 가진다 . 기판 지지 유닛 ( 3640 ) 은 처리 공간 내 에 배치 되 며 , 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 기판 지지 유닛 ( 3640 ) 은 액 처리 도중 에 기판 ( W ) 이 회전 가능 하 도록 제공 된다 . 액 공급 유닛 ( 1000 ) 은 기판 지지 유닛 ( 3640 ) 에 지지 된 기판 ( W ) 으로 액 을 공급 한다 .