먼저 , 국내 특허 공개 제 1997 - 0009471 호 에 개시 된 가열로 는 승강 핀 과 승 각판 , 핫 플레이트 및 급 기관 을 포함 하 는 구조 로 이루어져 있 는데 , 이러 한 가열로 는 승강 핀 에 의해 기판 이 상기 핫 플레이트 에 접근 시키 는 방식 으로 예열 및 본 가열 을 하 는 것 을 개시 한 것 일 뿐 , 상기 의 문제점 들 을 해결 할 수 있 는 구조 를 개시 한 것 은 아니 다 .