본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 분석 장치 는 내부 성분 을 분석 하 기 위한 시료 에 광 을 공급 하 는 광원 부 와 상기 광원 부 로부터 공급 받 은 광 의 경로 를 변경 하 는 반 사 부 및 상기 반사 로부터 공급 받 은 상기 광 을 상기 시료 로 공급 하 는 빔 스플리터 를 포함 하 는 광 공급 부재 와 상기 광원 부 에서 공급 된 광이 상기 시료 의 내부 성분 에 반사 한 뒤 되돌아오 는 반사광 의 분석 신호 의 검출 이 용이 하 도록 초점 을 조절 하 는 초점 조절 렌즈 부 와 상기 반사광 의 분석 신호 를 분석 하 도록 상기 반사광 중 일부 를 검출 하 는 광검 출부 및 상기 광검 출부 에서 검출 된 상기 반사광 의 분석 신호 를 분석 하 여 상기 초점 조절 렌즈 부 의 초점 을 조절 하 도록 제어 하 는 초점 제 어부 를 구비 하 는 초점 조절 부재 와 그리고 상기 반사광 의 스펙트럼 을 수집 하 여 상기 시료 의 내부 성분 을 분석 하 는 분석 부재 를 포함 할 수 있 다 .