본 발명 에 따른 가시성 페럴 린 필름 성막 공정 에 의하 면 , 요구 되 는 특성 에 따라 저온 의 분해 부 를 통해 코팅 부분 에 대해 육안 으로 식별 가능 하 도록 가시성 을 확보 하 도록 성막 할 수 있 으며 , 독립 적 인 온도 제어 가 가능 한 제 1 분 해 챔버 및 제 2 분 해 챔버 를 통해 다층 공정 으로 구동 시 2 종 이상 의 재료 또는 조건 으로 페럴 린 필름 을 동시 에 성막 할 수 있 으므로 가시성 을 가지 면서 우수 한 절연 성 을 동시 에 얻 을 수 있 는 효과 가 있 다 .