도 2 은 본 발명 에 따른 금속 유기 화학 기상 증착 장치 의 제 1 실시 예 가 닫혀진 상태 를 단면도 이 고 , 도 3 은 본 발명 에 따른 금속 유기 화학 기상 증착 장치 의 제 1 실시 예 가 열려진 상태 를 단면도 이 며 , 도 4 는 본 발명 에 따른 금속 유기 화학 기상 증착 장치 의 제 1 실시 예 에서 반응 가스 의 공급 및 배기 흐름 을 도시 한 상태도 이 고 , 도 5 는 도 4 의 4 - 4 ' 선 을 따라 절단 한 상태 에서 상부 에서 바라본 평면도 이 다 .