상기 내식 성 및 절연 특성 의 충족 을 위해 정전 척 은 고순 도 , 고밀도 의 세라믹 으로 제조 된다 . 고순 도 세라믹 으로 제조 된 정전 척 은 내식성 이 우수 하 여 식각 공정 중 에 정전 척 에 기인 한 파티클 의 발생 률 을 낮추 고 또 한 유전 손실 이 적 어 장시간 척 킹 력 을 유지 할 수 있 다 . 고순 도 및 고밀도 세라믹 으로 제조 된 정전 척 은 절연 특성 혹은 내전압 특성 이 우수 하 다 .