다음 , 상기 결과물 상부 에 제 2 갭 필 산화 막 으로서 SOD 산화 막 을 형성 하 는데 , 이때 SOD 막 을 2000 ~ 7000 Å 두께 로 증착 한 다음 경화 하 고 , 어닐링 하 고 , CMP 를 수행 하 여 HARP 산화 막 ( 32 ) 상부 로부터 트렌치 전체 깊이 에 대하 여 30 ~ 50 % 의 높이 로 SOD 산화 막 ( 34 ) 을 형성 한다 ( 도 1 e 참조 ) .