퍼징 단계 ( 40 ) 는 질화로 의 내부 분위기 를 질화 단계 ( 30 ) 에서 산화 단계 ( 50 ) 로 전환 시키 기 위한 잔류 가스 제거 공정 으로 , 즉 질화로 의 내부 에 질소 ( N 2 ) 가스 를 주입 하 여 질화 단계 ( 30 ) 에서 잔류 되 는 암모니아 ( NH 3 ) , 아산화질소 ( N 2 O ) 가스 등 을 소정 시간 동안 배기 시키 면서 내부 온도 를 10 ~ 30 ℃ 범위 로 냉각 시키 게 된다 .