카메라 ( 112 ) 는 캡 처 된 이미지 들 을 아 날로 그 또는 디지털 형태 로 저장 할 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 카메라 ( 112 ) 는 카메라 ( 112 ) 의 다양 한 광 센서 들 에 대한 산란 된 광 의 강도 를 나타내 는 머신 판독 가능 데이터 ( 예 를 들 어 , 디지털 데이터 ) 를 포함 하 는 데이터 파일 을 생 성 및 저장 할 수 있 다 . 카메라 ( 112 ) 는 광 산란 데이터 를 생성 하 기 위해 머신 판독 가능 데이터 를 프로세싱 디바이스 ( 116 ) 에 제공 할 수 있 다 . 광 산란 데이터 는 카메라 렌즈 의 초점 거리 , 카메라 렌즈 로부터 챔버 까지 의 거리 , 카메라 렌즈 의 초점 거리 등 과 같 은 카메라 의 파라미터 들 에 기초 하 여 , 산란 된 광 의 강도 를 카메라 내부 의 실제 물리 적 위치 들 에 매핑 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 산란 데이터 는 동일 한 뷰 내 의 카메라 ( 112 ) 의 시야 내 의 2 개 의 직교 좌표 의 함수 ( 또는 2 개 의 각도 , 즉 극 각 및 방위각 의 함수 ) 로서 의 산란 된 광 의 강도 의 이미지 일 수 있 다 . 프로세싱 디바이스 는 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 의 조명 된 영역 내부 의 입자 분포 를 또한 결정 할 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 카메라 ( 112 ) 는 무선 또는 유선 네트워크 를 통해 컴퓨팅 디바이스 ( 116 ) 에 연결 될 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 컴퓨팅 디바이스 ( 116 ) 는 카메라 ( 112 ) 에 통합 될 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 프로세싱 디바이스 는 입자 들 ( 106 ) 의 분포 에 기초 하 여 웨이퍼 ( 104 ) 상 에서 성장 되 고 있 는 산출 재료 의 품질 을 추론 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 컴퓨팅 디바이스 ( 116 ) 는 카메라 ( 112 ) 의 메모리 디바이스 또는 컴퓨팅 디바이스 ( 116 ) 의 메모리 디바이스 로부터 산란 데이터 를 입력 하 는 소프트웨어 프로그램 을 실행 할 수 있 다 . 소프트웨어 프로그램 은 챔버 ( 102 ) 의 조명 된 영역 내 의 입자 들 ( 106 ) 의 밀도 를 결정 할 수 있 다 . 입자 들 의 밀도 는 챔버 의 단위 용적 내부 의 또는 챔버 의 단위 단면적 내 의 입자 들 의 수 를 지칭 할 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 소프트웨어 프로그램 은 산란 데이터 에 기초 하 여 , 용적 밀도 ( n ( d ) ) 를 웨이퍼 까지 의 거리 ( d ) 의 함수 로서 결정 할 수 있 다 . 입자 들 의 밀도 ( n ( d ) ) 를 측정 하 기 위해 , 카메라 는 챔버 ( 102 ) 내부 의 상이 한 깊이 들 에서 연속 적 으로 초점 을 맞출 수 있 다 . 추가 로 , 거리 ( d ) 의 각각 의 증분 에 대해 , 광원 ( 108 ) 은 카메라 ( 112 ) 를 위한 최상 의 이미 징 조건 들 을 제공 하 기 위해 카메라 ( 112 ) 의 대응 하 는 깊이 들 에 재 위치 될 수 있 다 . 다음 으로 , 소프트웨어 프로그램 은 메모리 디바이스 로부터 의 캘 리브레 이 션 데이터 에 액세스 하 고 , 캘 리브레 이 션 데이터 에 기초 하 여 챔버 ( 102 ) 에 의해 생성 되 고 있 는 산출 재료 의 품질 을 설명 하 는 하나 이상 의 파라미터 를 예측 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 재료 의 품질 을 설명 하 는 파라미터 들 은 재료 에 존재 하 는 결함 들 의 크기 , 농도 및 유형 을 포함 할 수 있 다 .