공작물 의 단부 에지 를 검출 하 기 위하 여 , 상기 특허 문헌 1 에 기재 된 기준점 검출 장치 에서 는 , 접촉자 가 비 측정 면 을 주사 했 을 때 의 주사 궤적 의 복수 개 의 좌표 데이터 와 , 촉 침자 선단 반경 으로부터 접촉점 의 좌표 를 추정 하 고 , 추정 한 접촉점 좌표 의 밀도 로부터 피 측정 물 의 단부 에지 위치 를 검출 하 므로 , 단부 에 지부 의 형상 , 예 를 들 면 , 단부 에 지부 에 형성 된 모따 기 의 형상 , 치수 등 이 단부 에지 위치 의 검출 정밀도 에 크 게 영향 을 미친다 . 또한 , 단부 에지 위치 의 검출 정밀도 를 높이 기 위해서 는 , 주사 궤적 의 복수 개 의 좌표 데이터 의 수 를 증가 시킬 필요 가 있 고 , 좌표 데이터 의 취득 , 접촉점 좌표 의 추정 연산 에 막대 한 시간 을 필요 하 게 된다 .