제 4 단계 ( ST 400 ) 는 제 2 지지 홈 에 기판 의 소정 의 공정 이 진행 될 영역 에 대응 하 는 제 2 관통 홀 을 구비 하 는 커버 를 배치 하 는 단계 이 다 . 커버 는 제 2 지지 홈 에 기판 의 소정 의 공정 이 진행 될 영역 을 제외 한 나머지 영역 과 중첩 되 도록 배치 된 후 기판 이 움직이 지 않 도록 고정 한다 . 이때 , 커버 의 기판 과 중첩 되 지 않 는 부분 에 는 복수 의 고정 핀 을 꽂 아 , 커버 가 제 2 지지 홈 에 더욱 단단히 고정 될 수 있 도록 한다 .