그러나 , 이 와 같 은 방법 은 전류 의 평균값 으로 연마 여부 를 결정 하 므로 웨이퍼 의 어딘가 는 금속 막 이 잔류 하 고 있 을 가능 성 이 있 을 뿐 만 아니 라 , 웨이퍼 를 연마 패드 에 접촉 시키 어 한 번 에 연마 를 실시 하 므로 , 웨이퍼 가 연마 패드 에 접촉 되 는 순간 단차 가 발생 하 면 , 연마 공정 진행 과정 에서 단차 를 극복 하 기 어럽 다 .