프로세싱 모듈 의 안 과 밖 으로 웨이퍼 를 이동 시키 기 위해 , 웨이퍼 는 통상 적 으로 단부 이펙터 ( end effector ) 상 에 배치 되 고 척 으로 이송 된다 . 단부 이펙터 는 웨이퍼 이송 동안 웨이퍼 를 지지 하 도록 구성 된 구조 적 컴포넌트 이 다 . 단부 이펙터 는 통상 적 으로 로봇 팔상 에 배치 된다 . 도 1 은 웨이퍼 이송 동안 웨이퍼 ( 104 ) 를 지지 하 는 대표 적 인 종래 기술 의 단부 이펙터 ( 102 ) 를 도시 한다 . 예 시 를 위해 , 로봇 팔 ( 106 ) 의 일부 가 또한 도시 되 어 있 다 .