여기 서 , 하부 층간 절 연막 ( 110 ) 과 상부 층간 절 연막 ( 210 ) 은 FSG ( fluoride - doped silicate glass ) , PSG ( phosphorous - doped silicate glass ) , USG ( undoped silicate glass ) , BPSG ( boron phosphorous doped silicate glass ) 및 산화 규소 물질 등 으로 구성 되 어 있 으며 , 1 , 000 Å 이상 의 두께 를 가지 는 것 이 바람직 하 다 .