세라믹 타일 제조 및 RF 표적 여기 의 관련 용도 와 연관 되 어 있 는 문제 를 비추 어 볼 때 , 가능 하 다면 세라믹 표적 타일 을 금속 성 표적 타일 로 전환 시키 는 것 이 바람직 하 며 , 이 는 금속 성 타일 의 경우 에서 필요 한 반응 성 스퍼터 증착 에 관하 여 , 두께 가 약 1 / 4 인치 인 금속 성 플레이트 가 대형 면적 으로 보다 용이 하 게 제조 될 수 있 기 때문 이 다 . 세라믹 표적 에 비하 여 금속 성 표적 을 사용 하 는 또 다른 고유 한 이점 은 훨씬 더 전연 성 있 는 금속 표적 이 훨씬 더 높 은 증착 전력 및 증착 속도 로 스퍼터링 될 수 있 으며 , 이 는 금속 표적 타일 이 취성 세라믹 타일 과 비교 하 여 훨씬 더 용이 하 게 처리 할 수 있 는 스퍼터 표적 타일 내부 에 응력 성 온도 구배 를 형성 할 수 있 다는 사실 에 기초 한다 .