제 16 실시 예 에서 , 본 발명 은 , 현미경 ; 이미지 데이터 를 기록 하 는 이미지 센서 로서 , 상기 이미지 센서 는 픽셀 로우 및 픽셀 컬럼 을 포함 하 는 , 상기 이미지 센서 ; XY 변환 스테이지 ; XY 병진 스테이지 상 에 있 고 이미지 센서 에 의해 보여 지 는 표본 으로서 , XY 병진 스테이지 는 이미지 센서 에 대해 표본 을 이동 시키 기 위해 x - 방향 및 y - 방향 으로 이동 가능 하 고 , 이미지 센서 는 픽셀 로우 및 픽셀 컬럼 을 정의 하 기 위해 배열 된 복수 의 픽셀 들 을 가지 며 , 표본 은 XY 병진 스테이지 의 x - 방향 에 대한 오프셋 의 각도 를 정의 하 기 위해 XY 병진 스테이지 의 x - 방향 으로부터 각도 로 오프셋 되 는 x '- 방향 을 따라 피처 들 을 나타내 며 , 표본 은 제 1 초점 피처 및 제 2 초점 피처 를 더 포함 하 는 , 상기 표본 , 프로세서 로서 , 픽셀 로우 가 표본 의 x '- 방향 에 평행 하 도록 표본 에 대해 이미지 센서 를 회전 시키 고 , XY 병진 스테이지 를 이동 시키 고 ; XY 병진 스테이지 의 x - 방향 과 비교 하 여 x '- 방향 의 오프셋 의 각도 를 결정 하 고 ; 픽셀 로우 가 x '- 방향 에 평행 할 때 이미지 센서 에 대한 표본 에 대해 제 1 위치 를 확립 하 는 단계 로서 , 제 1 위 치 는 이미지 센서 의 시야 내 에 표본 의 적어도 일부 를 배치 하 는 , 상기 확립 하 는 단계 ; 및 원 하 는 x '- 방향 을 따라 제 2 위치 로 XY 병진 스테이지 로 표본 을 이동 시키 고 , 제 2 위 치 는 이미지 센서 의 시야 내 에 표본 의 적어도 제 2 부분 을 배치 시키 고 , 제 2 위 치 는 표본 의 y '- 방향 으로 실질 적 으로 이동 되 지 않 으며 , y '- 방향 은 표본 의 x '- 방향 에 직교 하 고 , 이동은 프로세서 에 의해 결정 된 오프셋 의 각도 에 기초 하 는 , 상기 이동 시키 는 단계 에 의해 , 원 하 는 x '- 방향 으로 표본 에 걸쳐 스캔 하 는 , 상기 프로세서 를 포함 한다 .