기판 ( S ) 이 부상 스테이지 ( 100 ) 에 진입 이 완료 되 면 진공 흡 입부 ( 600 ) 가 진공 에어 홀 ( 210 ) 에서 에어 를 흡입 할 수 있 다 . 이 때 , 기판 ( S ) 이 이 동부 ( 200 ) 에 흡착 하 거나 흡착 되 지 못할 수 있 다 . 기판 ( S ) 이 이 동부 ( 200 ) 에 흡착 된 경우 사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 동작 하 지 않 고 여전히 사이드 공 급부 ( 400 ) 가 동작 할 수 있 다 . 한편 , 기판 ( S ) 이 이 동부 ( 200 ) 에 흡착 되 지 않 은 경우 사이드 공 급부 ( 400 ) 의 동작 이 중단 되 고 사이드 흡 입부 ( 500 ) 가 동작 할 수 있 다 .