이 실시 형태 에서 는 , 도 1 및 도 2 에 나타낸 디바이스 제조 시스템 의 노광 시스템 ( SS ) 을 사용 하 여 , 1 장 의 기판 을 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해 분담 하 여 노광 하 는 형태 를 설명 한다 . 즉 , 노광 시스템 ( SS ) 은 , 주제 어부 ( 6 ) 의 제 2 제어 모드 에 기초 하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 의해 기판 의 소정 의 제 1 영역 ( 적어도 1 개 의 쇼트 영역 을 포함 함 ) 을 노광 하 고 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해 소정 의 제 1 영역 이외 의 제 2 영역 ( 적어도 1 개 의 쇼트 영역 을 포함 하 고 , 사이즈 및 / 또는 노광 되 는 패턴 이 제 1 영역 과 상이 함 ) 을 노광 할 수 있 다 . 이하 의 설명 에 있 어서 , 제 1 실시 형태 와 동일 또는 동등 한 구성 부분 에 대해서 는 동일 한 부호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 간략 하 게 하 거나 생략 한다 .