상기 도 8 에 나타낸 노광 샷 영역 ( 4 c ) 의 노광 에 , 예 를 들 어 라인 패턴 을 2 개 나열 한 L / S 패턴 이 형성 되 어 있 는 레티 클 을 사용 한 경우 , 노광 샷 영역 ( 4 c ) 의 레지스 트 ( 6 ) 에 는 , 도 9 에 나타낸 바 와 같이 , 그 L / S 패턴 에 대응 한 형상 의 노광 영역 ( 6 b ) 이 형성 된다 .