기판 이송 유닛 ( 400 ) 은 캐리어 테이블 ( 300 ) 에 놓인 캐리어 ( C ) 로부터 세정 처리 될 기판 을 세정 챔버 들 ( 500 ) 로 이송 하 거나 , 세정 챔버 들 ( 500 ) 에서 세정 처리 된 기판 을 캐리어 테이블 ( 300 ) 에 놓인 캐리어 ( C ) 로 이송 한다 . 기판 이송 유닛 ( 400 ) 은 캐리어 이송 유닛 ( 200 ) 의 중앙부 에 수직 한 방향 으로 형성 된 통로 ( 410 ) 를 가진다 . 통로 ( 410 ) 의 내측 에 는 통로 ( 410 ) 의 길 이 방향 을 따라 이송 가이드 ( 420 ) 가 설치 되 고 , 세정 챔버 들 ( 500 ) 에 기판 을 반 출입 하 는 이송 로봇 ( 430 ) 이 이송 가이드 ( 420 ) 에 의해 안내 되 어 통로 ( 410 ) 의 길 이 방향 을 따라 이동 한다 . 또한 , 이송 로봇 ( 430 ) 은 복 층 구조 로 배치 된 세정 챔버 들 ( 500 ) 에 대응 하 도록 수직 가이드 ( 미 도시 ) 에 의해 안내 되 어 상하 방향 으로 이동 할 수 있 다 .