제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 및 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 는 지지 부재 ( 40 , 41 ) 에 의해 지지 된다 . 제 1 지지 부재 ( 41 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 의 배면 측 을 따라 바닥 면 으로부터 상방 으로 연장 하 여 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 를 지지 한다 . 제 2 지지 부재 ( 40 ) 는 , 좌우 한 쌍 의 지주 ( 40 a ) 및 이 들 의 지주 ( 40 a ) 의 사이 에 수평 으로 가설 해 놓 은 빔 ( 40 b ) 을 가지 는 문형 으로 형성 되 고 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 를 빔 ( 40 b ) 위 에 실 어 지 지 한다 . 제 1 지지 부재 ( 41 ) 를 로더 모듈 ( 22 ) 의 배면 측 을 따르 게 하 고 , 제 2 지지 부재 ( 40 ) 를 문형 으로 형성 함 으로써 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 아래쪽 에 유지 보수 스페이스 를 만들 수 있 다 .