한편 도 1 내 도 6 에 도시 된 소자 검사 장치 는 , 상하 로 적층 된 테스트 모듈 ( 110 ) 로 소자 를 전달 함 에 있 어서 상하 로 배치 된 테스트 모듈 ( 110 ) 들 사이 로 메인 셔틀 플레이트 ( 210 ) 를 이동 하 도록 구성 되 는 바 , 테스트 모듈 ( 110 ) 들 의 상하 배치 높이 가 지나치 게 높 아 지 는 문제점 이 있 다 .