또한 , 감광막 패턴 ( 34 ) , 실리콘 이 다량 함유 된 하드 마스크 층 ( 33 ) 및 카본 이 다량 함유 된 하드 마스크 층 ( 32 ) 제 거시 불소 계 가스 뿐 아니 라 , 바텀 파워 를 인가 함 으로써 가벼운 식각 을 실시 하 여 실리콘 이 다량 함유 된 하드 마스크 ( 33 ) 층 의 산화 또는 하드 마스크 ( 32 , 33 ) 의 손상 으로 인해 제거 가 어려운 문제 를 방지 할 수 있 는 장점 이 있 다 .