또한 , 상술 한 바 와 같이 , 연산 처 리부 ( 61 ) 는 , 반송 아암 ( A 3 ) 의 진퇴 기구 ( 33 A , 33 B ) , 베이스 ( 31 ) , 승강대 ( 34 ) , 회전 기구 ( 32 ) 에 설치 된 모터 ( M 1 ∼ M 5 ) , 인코더 ( 38 ) 나 카운터 ( 39 ) 등 에 대하 여 소정 의 제어 신호 를 보내 어 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 기억 부 ( 62 ) 에 는 본 실시 형태 에 따른 기판 반송 방법 을 실행 하 기 위한 프로그램 이 포함 되 어 있 다 .