처리 효율 을 향상 시키 기 위해서 , 일반 적 으로 , 다수 의 프로세스 챔버 에서 동시 에 기판 의 처리 를 실행 하 는 멀티 챔버 식 의 기판 처리 시스템 이 채용 되 고 있 다 . 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 종래 의 멀티 챔버 식 의 기판 처리 시스템 의 일례 로서 , 프로세스 챔버 ( 1 ) 에 로드 록 챔버 ( load - lock chamber ) ( 2 ) 를 일 대 일 로 대응 시켜 , 로더 모듈 ( loader module ) ( 3 ) 에 세트 를 이루 는 복수 의 로드 록 챔버 ( 2 ) 및 프로세스 챔버 ( 1 ) 를 연결 한 기판 처리 시스템 이 알려져 있 다 ( 특허 문헌 1 참조 ) . 로더 모듈 ( 3 ) 에 는 , 복수 의 카세트 포트 ( 4 ) 가 마련 된다 . 로더 모듈 ( 3 ) 내 의 대기 반송 로봇 ( 5 ) 은 , 카세트 ( 6 ) 내 의 기판 을 로드 록 챔버 ( 2 ) 에 반송 한다 . 로드 록 챔버 ( 2 ) 의 내부 는 , 진공 상태 와 대기 상태 가 교대 로 전환 된다 . 로드 록 챔버 ( 2 ) 에 는 , 로드 록 챔버 ( 2 ) 에 반송 된 기판 을 프로세스 챔버 ( 1 ) 에 반송 하 는 진공 반송 로봇 ( 7 ) 이 마련 된다 . 대기 반송 로봇 ( 5 ) 이 기판 을 로드 록 챔버 ( 2 ) 에 반송 할 때 는 , 로드 록 챔버 ( 2 ) 의 내부 는 대기 상태 로 되 고 , 진공 반송 로봇 ( 7 ) 이 기판 을 프로세스 챔버 ( 1 ) 에 반송 할 때 는 , 로드 록 챔버 ( 2 ) 의 내부 는 진공 상태 로 된다 .