이러 한 가스 배기 부 ( 160 ) 는 상기 상 , 하부 덮개 ( 111 , 121 ) 의 외측 테두리 에 접하 도록 배치 되 는 환 고리 형 의 삽입부 재 ( 161 ) 와 , 상기 반응 챔버 의 내부 공간 측 으로 개구 되 도록 상기 삽입부 재 ( 161 ) 에 구비 되 는 배기구 ( 162 ) 및 상기 배기구 ( 162 ) 와 연결 되 는 배기 라인 ( 163 ) 을 갖추 어 구성 한다 .