이러 한 웨이퍼 의 제조 방법 에 의하 면 , 표면 에 형성 된 레지스 트 의 전체 노광 샷 영역 중 적어도 1 개소 의 노광 샷 영역 에 제 1 레티 클 을 사용 한 다른 노광 샷 영역 과 상이 한 패턴 이 제 2 레티 클 을 사용 하 여 노광 된다 . 이것 에 의해 , 제 1 및 제 2 레티 클 을 사용 하 여 노광 을 행한 각각 의 노광 샷 영역 의 웨이퍼 위 와 는 상이 한 패턴 형상 을 갖 는 칩 이 형성 되 고 , 예 를 들 어 화상 인식 처리 등 에 의해 , 이 들 의 식별 을 용이 하 게 행할 수 있 게 된다 .