일 측 에 따르 면 , 상기 연마 패드 의 상부 에 구비 되 어서 상기 연마 패드 의 컨 디셔 닝 을 위한 패드 컨디 셔 너 가 더 구비 되 고 , 상기 제 2 베어링 은 상기 패드 컨디 셔 너 에 대해서 상기 연마 패드 를 가압 할 수 있 다 . 상기 제 2 베어링 은 상기 제 1 베어링 과 상기 압력 챔버 의 크기 와 형태 가 다르 게 형성 될 수 있 다 .