IZO 막 성막 에서 는 , 성막 조건 에서 극력 산소 도입 을 억제 하 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 함 으로써 , 접속 배선 층 의 최상층 인 티탄 에 대해서 , IZO 막 성막 시 의 표면 산화 를 최소한 으로 멈출 수 있 다 . S 35 에 대응 하 는 구조도 는 도 8 이 며 , 이 도면 에서 몰리브덴 막 ( 72 ) 을 IZO 막 으로 대체 함 으로써 , IZO 막 이 접속 배선 층 ( 70 ) 위 에 전체 면 에 성막 되 어 있 는 모습 을 알 수 있 다 .