상술 한 바 와 같이 , 투영 광학계 의 구면 수차 가 검출 되 었 을 경우 , 실제로 패턴 을 노광 하 고 , 현상 하 여 , 패턴 시프트 나 형상 을 주사 형 전자 현미경 ( SEM ) 등 에 의해 측정 함 으로써 수 차량 을 추정 하 여 보다 고정 밀도 로 수차 를 측정 하 고 , 조정 하 여도 된다 . 이 방법 은 본 발명 에 의한 투영 광학계 의 구면 수차 측정 을 수차 검출 용 으로 사용 해서 , 상기 측정값 이 임계 값 을 초과 한 때 에 만 패턴 을 실제로 노광 하 고 현상 해서 투영 광학계 의 수차 를 조정 한다 .