또한 , 관 통공 ( 110 ) 은 스테이지 ( 100 ) 하방 에 배치 된 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 또는 발광 부 ( 미도 시 됨 ) 에서 방출 된 빛 이 관 통공 ( 110 ) 을 통과 한 후 에 스테이지 ( 100 ) 상부 에 안착 된 기판 ( 700 ) 에 형성 된 정렬 마크 ( 710 ) 를 통과 하 거나 정렬 마크 ( 710 ) 에서 반사 , 산란 , 굴절 또는 회절 되 어 스테이지 ( 100 ) 상방 에 배치 된 카메라 ( 400 ) 에 도달 할 수 있 도록 한다 .