모델 생 성부 ( 51 ) 는 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 한다 . 모델 데이터 ( MD 1 ) 는 , 어느 패턴 형상 을 갖 는 패턴 ( P 1 ) 을 투과 한 광 의 분포 ( 이하 , 광 분포 ) 를 이 산값 으로 나타낸다 . 여기 서 말 하 는 광 분포 란 , 광 의 강도 분포 및 위상 분포 를 포함 하 는 정보 ( 예 를 들 어 복소수 로 나타내 는 정보 ) 이 다 .