일실 시예 에 따른 질량 분석 장치 ( 120 ) 는 LDI - TOF 와 수직 비전 시스템 을 간단 한 구조 로 결합 하 여 고화질 영상 분석 과 질량 분석 을 동시 에 수행 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 질량 분석 장치 ( 120 ) 는 5 um 이하 의 고 분해능 레이저 빔 을 이용 한 Laser Desorption / Ionization - Time of flight ( LDI - TOF ) 시스템 으로 , 고 분해능 비젼 부 ( 123 ) 를 포함 할 수 있 다 . 질량 분석 장치 ( 120 ) 는 비젼 부 ( 123 ) 를 이용 하 여 OLED 기판 시료 의 어느 위치 에 레이저 가 조사 되 는지 등 을 확인 할 수 있 는 수단 을 제공 할 수 있 다 .