일반 적 으로 , 혼합물 내 의 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 다 . 일반 적 으로 , 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 99 vol % 이하 이 다 . 이러 한 혼합물 은 반응기 내 에서 형성 될 수 있 거나 , 또는 바람직 하 기 로 는 반응기 에 도입 하 기 이전 에 카보닐 플 루오 라이드 와 비활성 가스 ( 들 ) 의 혼합물 이 형성 된다 . 이 들 가스 가 이러 한 예비 혼합물 ( premixed ) 의 형태 로 반응기 에 도입 되 면 , 균일 한 혼합물 이 반응기 챔버 를 통해 제공 될 수 있 다 .