상술 한 바 와 같이 , 추가 노광 장치 ( 16 B ) 는 , 기판 ( 800 ) 상 의 감광성 수지 막 을 노광 및 현상 함 으로써 형성 되 어 있 는 패턴 ( 801 ) 을 추가 로 노광 하 기 위한 것 이 다 . 패턴 ( 801 ) 은 , 예 를 들 면 , 상면 에서 볼 때 ( 도시 하 지 않 음 ) 격자 형 ( 매트릭스 형 ) 으로 배치 되 어 각각 이 직사각 형 형상 을 갖 는 복수 의 패턴 이 다 . 추가 노광 장치 ( 16 B ) 는 , 반송 기구 ( 500 ) 와 광원 유닛 ( 100 ) 을 갖 고 있 다 .