한편 , 단계 S 702 에서 , 미리 정해진 주기 가 경과 하 였 다고 판정 한 경우 에 는 ( 단계 S 702 에서 Yes 의 경우 에 는 ) , 단계 S 703 으로 진행 한다 . 단계 S 703 에서 , 표시 제 어부 ( 304 ) 는 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 에 대하 여 가동 률 의 산출 을 지시 한다 . 또한 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 는 , 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 었 는지 의 여부 를 나타내 는 데이터 항목 에 대응 하 는 데이터 내용 으로서 , 표시 제 어부 ( 304 ) 로부터 통지 된 대상 구간 의 데이터 내용 을 , 데이터 저 장부 ( 310 ) 로부터 읽 어 낸다 .