유기 박막 증착 공정 이 수행 되 면 , 하나 의 측정 용 개구 만 개방 되 고 나머지 모든 측정 용 개구 는 상기 셔터 ( 49 ) 에 의해 폐쇄 된다 . 따라서 , 상기 공급 용 개구 ( 52 ) 를 통하 여 분출 된 상기 증착 가스 는 개방 된 상기 개구 ( 46 ) 에 배치 된 센서 ( 48 ) 에 의해 감지 되 어 유량 이 측정 된다 . 측정 된 증착 가스 의 유량 은 상기 공정 챔버 의 외부 에 배치 된 제어 유닛 ( CU ) 으로 입력 되 어 상기 박막 증착 장치 를 최적 하 게 가동 하 기 위한 기초 데이터 로 이용 된다 .