도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 증발 챔버 ( 200 ) 내부 의 온도 를 일정 하 게 유지 하 기 위해 발열체 로 이루어진 가열 수단 ( 230 ) 들 이 상하 방향 으로 적층 배치 되 어 있 다 . 증발 챔버 ( 200 ) 내부 영역 을 상하 로 3 개 의 영역 으로 분리 할 경우 , 상기 가열 수단 ( 230 ) 은 제 1 영역 , 제 2 영역 및 제 3 영역 각각 발열체 의 가장자리 가 서로 교차 하 도록 배치 된다 . 이 를 통해 , 증발 챔버 ( 200 ) 내부 는 전 영역 에서 일정 한 반응 온도 를 유지 할 수 있 는 효과 가 있 다 . 가열 수단 의 이러 한 배치 는 상기 증발 챔버 ( 200 ) 뿐 만 아니 라 산화 반응 챔버 ( 300 ) 에 구성 된 제 2 가열 수단 ( 330 ) 의 경우 도 마찬가지 로 적용 된다 .