한편 , 상기 제 1 블 레이트 ( 20 ) 로부터 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 가 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 에 옮겨진 후 , 상기 제 1 블 레이트 ( 20 ) 는 상기 프레임 ( 200 ) 의 외부 로 이동한 후 , 다른 웨이퍼 를 로딩 하 여 다시 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 로 이송 되 거나 , 얼라인 된 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 를 재 로딩 하 여 다른 공정 으로 이송 될 수 있 다 .