원판 부 ( 172 ) 는 소정 위치 에 유체 가 유입 되 는 유입공 ( 173 ) 과 유출 되 는 유출공 ( 174 ) 들 이 형성 되 어 있 다 . 유입공 ( 173 ) 에 는 공기 압축기 ( 미 도시 ) 와 같 은 외부 의 유체 공급 장치 와 연결 되 는 노즐 ( 175 ) 이 원판 부 ( 172 ) 와 일체 로 형성 되 어 있 다 . 또한 , 원판 부 ( 172 ) 는 후방 덮개 ( 171 ) 를 하우징 ( 150 ) 에 체결 할 때 미끄럼 을 방지 하 기 위하 여 외주 면 이 오톨도톨 하 게 처리 되 어 있 다 .