예시 적 인 실시 예 들 에서 , 이웃 하 는 트렌치 부 ( 151 ) 사이 의 간격 ( 151 D ) 은 트렌치 부 ( 151 ) 의 폭 ( 151 W ) 과 같 거나 또는 보다 클 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이웃 하 는 트렌치 부 ( 151 ) 사이 의 간격 ( 151 D ) 은 트렌치 부 ( 151 ) 의 폭 ( 151 W ) 의 약 1 배 내지 약 2 배 사이 일 수 있 다 .