이 점 에 관해서 , 특허 문헌 1 에 개시 된 마이크로파 플 라즈 마 처리 장치 에 탑재 되 는 광학 모니터 장치 는 , 마이크로파 발생기 로부터 발생 되 는 마이크로파 를 처리 용기 를 향해 전송 하 는 마이크로파 전송 선로 의 최종 구간 이 , 슬롯 안테나 의 중심 에서 연직 방향 으로 바로 위 로부터 종단 하 는 동축 ( 同 軸 ) 선로 인 것 을 이용 한다 . 동축 선로 의 내부 도체 는 중 공관 으로 구성 된다 . 이 중 공관 속 에 광 을 통과 시킴 으로써 , 처리 용기 내 에서 행해 지 는 프로세스 를 인시 츄 로 광학 적 으로 모니터 하 도록 되 어 있 다 .