글라스 기판 ( 코닝 사 제 : 220 ㎝ × 250 ㎝) 에 흡착 지퍼 구멍 을 사용 하 여 고정 하 고 층간 절 연막 형성 용 도포 액 ( 1 ) 을 슬릿 코터 로 도포 를 실시 하 였 다 . 그 후 글라스 기판 을 지지 핀 으로 들 어 올려 롤러 에 태워 이동 시키 고 이어서 지 지 핀 에 실 어 350 ℃ 에서 10 분 간 소성 을 실시 하 고 층간 절 연막 ( 1 ) 을 형성 하 였 다 .