제 어부 ( 90 ) 는 , 도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , MPU ( Micro Processing Unit ) ( 901 ) 와 , 메인 기억 부 ( 902 ) 와 , 보조 기억 부 ( 903 ) 와 , 인터페이스 ( 904 ) 와 , 각 부 를 접속 하 는 버스 ( 905 ) 를 구비 한다 . 메인 기억 부 ( 902 ) 는 , 휘발 성 메모리 로부터 구성 되 고 , MPU ( 901 ) 의 작업 영역 으로서 사용 된다 . 보조 기억 부 ( 903 ) 는 , 비휘발성 메모리 로부터 구성 되 고 , MPU ( 901 ) 가 실행 하 는 프로그램 을 기억 한다 . 또한 , 보조 기억 부 ( 903 ) 는 , 후술 하 는 칩 반송 부 ( 39 ) 의 플레이트 ( 391 ) 의 회전 각도 를 나타내 는 정보 도 기억 한다 . 인터페이스 ( 904 ) 는 , 공급 칩 촬상부 ( 15 ) , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) , 제 2 촬상부 ( 41 ) 로부터 입력 되 는 촬영 화상 신호 를 촬영 화상 정보 로 변환 하 여 버스 ( 905 ) 에 출력 한다 . 또한 , MPU ( 901 ) 는 , 보조 기억 부 ( 903 ) 가 기억 하 는 프로그램 을 메인 기억 부 ( 902 ) 에 리딩 하 여 실행 하 는 것 에 의해 , 인터페이스 ( 904 ) 를 통해 , Z 방향 구동 부 ( 34 ) , θ 방향 구동 부 ( 37 ) , 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) , X 방향 구동 부 ( 321 ) , Y 방향 구동 부 ( 323 ) , 플레이트 구동 부 ( 392 ) , 흡착 부 ( 391 b ) , 칩 반 전부 ( 131 ) , 칩 전달 부 ( 132 ) , 절 출 기구 ( 111 ) , 테이프 유지 부 구동 부 ( 113 ) , 반송 로봇 ( 71 ) 각각 에 제어 신호 를 출력 한다 .