마찬가지 로 , 처리 실 ( 421 ) 내 에 있 어서 , 탑재 대 ( 43 ) 를 그 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 ( P 5 ) 이 상기 교점 ( Q 1 ) 보다 반송 실열 ( 31 ) 측 에 위치 하 도록 마련 한 경우 , 이하 의 문제 가 있 다 . 즉 , 처리 실 ( 421 ) 과 반 송실 ( 321 ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반 입출 할 때 , 반송 아암 ( 521 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 를 상술 의 선 ( L 11 ) 을 따라서 종래 와 같이 일직선 으로 반송 하 면 , 상기 웨이퍼 ( W ) 가 게이트 밸브 ( G 11 ) 등 에 충돌 하 여 반송 아암 ( 521 ) 으로부터 낙하 되 어 버리 는 일 이 있 다 .