본 발명 의 양호 한 양태 에 있 어서 , 연마 장치 는 회전식 보유 기구 에 의해 보유 된 기판 의 상부 표면 에 연마 액 을 공급 하 도록 구성 된 상부 공급 노즐 과 , 회전식 보유 기구 에 의해 보유 된 기판 의 하부 표면 에 연마 액 을 공급 하 도록 구성 된 하부 공급 노즐 과 , 연마 헤드 에 세척액 을 공급 하 도록 구성 된 적어도 하나 의 세 척 노즐 을 더 포함 한다 .