흡착 테이블 22 는 , 예 를 들 면 후술 하 는 도 4 에 나타나 있 는 바 와 같이 기판 검사 용 의 광학 검사 장치 10 의 검사 기판 지지 장치 20 에 설치 할 수 있 고 , 그 흡착 테이블 22 상 에 는 검사 기판 28 이 재치 된다 . 이 도면 의 실시 예 에서 는 검사 기판 을 검사 대상 으로 하 고 하 지만 , 검사 내용 에 따라 기타 의 판상 부재 를 검사 대상 으로 할 수 있 다 .