본 실시 형태 에서 는 , 도 2 , 도 3 및 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 상측 증기 유로 오 목부 ( 21 ) 내 에 , 상측 증기 유로 오 목부 ( 21 ) 의 저면 ( 21 a ) 으로부터 하방 ( 저면 ( 21 a ) 에 수직 인 방향 ) 으로 돌출 되 는 복수 의 상측 유로 벽부 ( 22 ) ( 제 2 유로 벽부 ) 가 마련 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 가 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 제 1 방향 X ( 도 5 에 있 어서 의 좌우 방향 ) 를 따라 가늘 고 긴 형 으로 연장 되 어 있 는 예 가 나타나 있 다 . 이 상측 유로 벽부 ( 22 ) 는 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 상면 ( 10 a ) ( 더 구체 적 으로 는 , 상술 한 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) ) 에 맞닿 음 과 함께 액 유로 부 ( 30 ) 를 덮 는 평탄 형 의 하 면 ( 22 a ) ( 제 2 맞닿 음 면 , 돌출 단부 면 ) 을 포함 하 고 있 다 . 또한 , 각 상측 유로 벽부 ( 22 ) 는 등 간격 으로 이격 되 어 , 서로 평행 하 게 배치 되 어 있 다 . 이 와 같이 하 여 , 각 상측 유로 벽부 ( 22 ) 의 주위 를 작 동액 ( 2 ) 의 증기 가 흘러 , 상측 증기 유로 오 목부 ( 21 ) 의 주연 부 를 향해 증기 가 수송 되 도록 구성 되 어 있 어 , 증기 의 흐름 이 방해 받 는 것 을 억제 하 고 있 다 . 또한 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 는 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 대응 하 는 하측 유로 벽부 ( 13 ) 에 평면 으로 보 아 겹치 도록 배치 되 어 있 어 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 기계 적 강도 의 향상 을 도모 하 고 있 다 . 또한 , 상측 유로 벽부 ( 22 ) 의 폭 , 높이 는 상술 한 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 폭 w 0 , 높이 h 0 과 동일 한 것 이 적합 하 다 . 여기 서 , 상측 증기 유로 오 목부 ( 21 ) 의 저면 ( 21 a ) 은 도 3 등 에 도시 한 바 와 같 은 하측 금속 시트 ( 10 ) 와 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 상하 배치 관계 에서 는 , 천 장면 이 라고 도 할 수 도 있 지만 , 상측 증기 유로 오 목부 ( 21 ) 의 안쪽 면 에 상당 하 기 때문 에 , 본 명세서 에서 는 , 저면 ( 21 a ) 이 라고 기재 한다 .