즉 , 도 9 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 반송 방향 ( A 1 ) 과 직교 하 는 방향 에 있 어서 , 휘어짐 을 갖 는 기판 ( W ) 의 경우 에 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 과 직교 하 는 방향 의 폭 이 좁 아 진다 . 그러나 , 휘어짐 을 갖 지 않 는 기판 ( W ) 의 폭 에 맞춰 , 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 설정 되 어 있 으면 [ 도 9 의 ( b ) 참조 ] , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 가 기판 ( W ) 의 단 을 가압 할 수 없 을 가능 성 이 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 최초 로 휘어짐 기판 ( W ) 과 접촉 하 는 열 의 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 좁 고 , 거기 서부터 수열 , 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 순서 대로 넓 어 짐 으로써 , 휘어짐 이 있 는 기판 ( W ) 의 단 을 가압 하 여 , 휘어짐 을 교정 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 와 , 상기 한 제 1 , 제 2 또는 제 3 실시 형태 를 조합 함 으로써 , 반송 방향 ( A 1 ) 및 반송 방향 ( A 1 ) 과 직교 하 는 방향 의 양방향 으로 휘어짐 을 갖 는 기판 ( W ) 을 교정 할 수 있 다 .