도 4 에 도시 하 는 바 와 같이 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 는 , 스테이지 승강 기구 ( 51 ) ( 도 1 참조 ) 에 의해 상승 위치 까지 상승 된다 . 이 상승 위치 에서 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 은 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 보다 높 은 위치 에 있 다 .