본 명세서 의 실시 예 에 따르 면 , 제 1 층간 절연 층 은 산화 실리콘 ( SiOx ) 물질 로 이루어진 제 1 층간 상부 절연 층 과 질화 실리콘 ( SiNx ) 물질 로 이루어진 제 1 층간 하부 절연 층 을 포함 할 수 있 다 . 그리고 , 제 2 게이트 전극 의 상부 면은 제 1 층간 상부 절연 층 과 접촉 하 며 , 제 1 게이트 전극 의 상부 면은 제 1 층간 하부 절연 층 과 접촉 할 수 있 다 .