도 8 에 도시 한 바 와 같이 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 2 ) 의 표면 은 홈 부 및 돌출부 의 구분 이 뚜렷 하 지 않 고 평탄 화 되 어 있 다 . 도 8 의 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 2 ) 의 표면 조도 는 도 9 에 도시 한 바 와 같이 적정 값 보다 낮 을 수 있 다 . 더욱이 , 도 8 의 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 2 ) 의 표면 은 유리 화 되 어 글레이즈 층 ( glaze layer ) 이 형성 될 수 있 다 . 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 2 ) 의 표면 조도 가 적정 값 보다 낮 아 연마 정밀도 가 낮 고 웨이퍼 평탄 화 의 신뢰 성 이 저하 될 수 있 다 .