도 4 는 , 연마 될 웨이퍼 W 를 반송 기구 의 핸드 ( 90 ) 가 반송 하 는 동작 을 도시 하 는 도면 이 며 , 도 5 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 가 웨이퍼 W 를 보유 지지 하 는 동작 을 도시 하 는 도면 이 다 . 도 4 및 도 5 에서 는 , 핸드 ( 90 ) , 센터 링 스테이지 ( 10 ) , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 및 편심 검 출부 ( 60 ) 이외 의 구성 요소 는 생략 되 어 있 다 .