상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따르 면 , 스퍼터링 장치 는 , 소정 의 전압 이 공급 된 캐소드 ; 상기 캐소드 상 에 부착 된 다수 의 타 겟 ; 상기 캐소드 의 후방 에 배치 되 어 소정 의 자기장 세기 를 갖 는 다수 의 마그넷 ; 및 상기 각 마 그 넷 을 상기 캐소드 에 대해 수직 방향 으로 이동 가능 하 게 하 는 다수 의 가이드 부재 를 포함 한다 .