또한 , 상술 한 반송 장치 ( 30 ) 의 제 1 및 제 2 포크 ( 35 a , 35 b ) 에 는 , 처 리조 ( 50 ) 내 에 저류 된 약액 및 린스 조 ( 51 ) 내 에 저류 된 순수 가 부착 된다 . 즉 , 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 면 , 건조 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 에 다시 액체 가 부착 된다 . 한편 , 전달 장치 ( 13 ) 의 포크 ( 13 a ) 에 는 액체 가 부착 되 는 일 이 없 기 때문 에 , 처리 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 를 적시 지 않 고 반출 하 는 것 이 가능 해진다 .