또한 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 가공 방법 에서 는 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 와 , 시트 재치 단계 ( ST 12 ) 와 , 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 와 , 수지 공급 단계 ( ST 14 ) 의 실시 순서 는 , 이 순서 로 한정 되 지 않 는다 . 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 가공 방법 에서 는 , 구체 적 으로 는 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 의 후 에 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 가 실시 되 고 , 또한 , 시트 재치 단계 ( ST 12 ) 의 후 에 수지 공급 단계 ( ST 14 ) 가 실시 되 면 좋 고 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 와 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 의 일련 의 웨이퍼 ( 200 ) 측 의 처리 와 , 시트 재치 단계 ( ST 12 ) 와 수지 공급 단계 ( ST 14 ) 의 일련 의 테이블 ( 30 ) 측 의 처리 는 , 어느 쪽 이 먼저 실시 되 고 어느 쪽 이 나중 에 실시 되 어도 좋 고 , 평행 하 게 실시 되 어도 좋 다 . 수지 피복 단계 ( ST 15 ) 는 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 로부터 수지 공급 단계 ( ST 14 ) 까지 의 모든 처리 가 실시 된 후 에 실시 된다 .