우선 , TMA 가스 를 도입 하 여 , 목적물 인 반사막 의 표면 의 OH 기와 TMA 를 반응 시킨다 ( 제 1 반응 ) . 다음 으로 , 잉여 가스 를 배기 한다 . 그 후 , H 2 O 가스 를 도입 하 여 , 제 1 반응 에 의해 OH 기와 결합 한 TMA 와 H 2 O 를 반응 시킨다 ( 제 2 반응 ) . 다음 으로 , 잉여 가스 를 배기 한다 . 그리고 , 제 1 반응 , 배기 , 제 2 반응 및 배기 를 1 사이클 로서 , 이 를 반복 함 으로써 , 소정 의 막 두께 의 Al 2 O 3 을 형성 할 수 있 다 .