실시 예 2 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 에 있 어서 , 예 를 들 면 도 40 A 및 도 40 B 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 몰드 ( M ) 를 가압 하 는 위치 마다 , 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 과 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 이 평행 해 지 도록 , 몰드 ( M ) 의 경사 를 조정 해도 좋 다 . 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 수평면 에 대한 제 2 원판 부재 ( 334 ) 및 이 에 고정 된 헤드 ( 2033 H ) 의 경사 각도 를 조정 하 는 것 에 의해 , 몰드 ( M ) 의 경사 를 조정 한다 . 여기 서 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 제 1 원판 부재 ( 332 ) 와 제 2 원판 부재 ( 334 ) 사이 에 개재 하 는 3 개 의 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 를 각각 Z 축 방향 으로 신축 시키 는 것 에 의해 , 헤드 ( 2033 H ) 의 경사 각도 를 조정 한다 . 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 실시 예 2 에서 설명 한 수지 성형 처리 중 , 예 를 들 면 스텝 S 204 의 몰드 ( M ) 의 프리 얼라인먼트 를 실행 하 는 처리 , 혹은 , 스텝 S 206 의 몰드 ( M ) 에 탑재 된 수지 ( R 1 ) 가 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 에 접촉 한 상태 로 액침 얼라인먼트 를 실행 하 는 처리 를 할 때 , 몰드 ( M ) 의 경사 를 조정 해도 좋 다 . 3 개 의 압 전 액 츄 에 이터 ( 333 ) 는 , 예 를 들 면 도 40 A 및 도 40 B 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( WT ) 의 중앙부 에 몰드 ( M ) 를 가압 하 는 경우 와 기판 ( WT ) 의 둘레 부 에 몰드 ( M ) 를 가압 하 는 경우 에 , 몰드 ( M ) 의 자세 ( 경사 ) 를 다르 게 한다 . 또한 , 수지 성형 장치 는 , 몰드 ( M ) 를 , 몰드 ( M ) 에 탑재 된 수지 를 통해 기판 ( WT ) 에 접촉 시킨 상태 에서 , 기판 ( WT ) 에 대한 몰드 ( M ) 의 위치 및 자세 를 보정 해도 좋 다 . 또한 , 수지 성형 장치 는 , 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 과 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 사이 의 거리 에 기초 하 여 , 형성 면 ( WTf ) 과 평탄면 ( MF ) 사이 의 거리 와 평탄면 ( MF ) 의 형성 면 ( WTf ) 에 대한 경사 중 의 적어도 하나 를 조정 해도 좋 다 .