상술 한 과제 해결 수단 을 바탕 으로 하 는 본 발명 은 , 제 1 원소 와 제 1 원소 의 탈리 를 방지 하 는 제 2 원소 가 혼합 된 제 1 도 전막 을 형성 함 으로써 , 패턴 을 형성 하 기 위한 식각 공정 시 도전 성 부산물 이 생성 되 는 것 을 억제 할 수 있 는 효과 가 있 다 . 이 를 통해 , 도전 성 부산물 에 의하 여 전 극간 전기 적 쇼트 가 발생 하 는 것 을 방지 할 수 있 는 효과 가 있 다 .