이어서 , 도전 막 ( 102 ) 상 에 완충 막 ( 103 ) 을 형성 한다 . 이때 , 완충 막 ( 103 ) 은 후속 하드 마스크 ( 104 ) 형성 공정 시 가해 지 는 스트레스 ( stress ) 로부터 도전 막 ( 102 ) 을 보호 하 는 기능 을 수행 한다 . 예컨대 , 도전 막 ( 102 ) 이 폴리 실리콘 막 으로 형성 된 경우 폴리 실리콘 막 표면 손상 을 최소 화 하 기 위해 산화 공정 을 통해 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 으로 형성 한다 . 물론 , 전이 금속 또는 희토류 금속 을 사용 하 는 경우 에 도 산화물 층 을 형성 한다 .