도 24 의 단면도 ( 2400 ) 에 의해 예시 된 바 와 같이 , 도 23 의 단면도 ( 2300 ) 에 의해 예시 된 구조물 위 의 제 1 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 그리고 제 1 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 위 에 하부 반사 방지 코팅 ( BARC ; bottom anti - reflective coating ) ( 2401 ) 이 형성 될 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 제 1 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 은 폴리 실리콘 이 지만 , 또 다른 적합 한 재료 ( 들 ) 가 대신 에 사용 될 수 있 다 . 제 1 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 은 부분 적 으로 그것 이 덮 는 표면 에 따를 수 있 다 . 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 은 CVD , PVD , 또 다른 적합 한 퇴적 프로세스 ( 들 ) , 전술 한 바 의 임의 의 조합 등 에 의해 형성 될 수 있 다 . BARC ( 2401 ) 는 , 평면 또는 실질 적 으로 평면 인 상부 표면 을 제공 하 도록 더미 캐 핑 층 ( 2304 ) 위 에 스핀 온 되 는 액상 코팅 으로부터 형성 될 수 있 다 . 더미 BARC ( 2401 ) 가 스핀 온 된 후 에 , 더미 BARC ( 2401 ) 를 경화 시키 도록 베 이킹 단계 가 수행 될 수 있 다 .