다른 양태 에 있 어서 , 타 겟 ( 400 ) 의 개별 패턴 요소 는 각 패턴 요소 ( 402 a - 402 b , 404 a - 404 b 등 ) 가 개별 패턴 요소 의 대칭 중심 ( 112 ) 에 대한 180 ° 회전 에 대하 여 불 변체 로 되 도록 설계 된다 . 타 겟 ( 300 ) 과 는 대조 적 으로 , 타 겟 ( 400 ) 의 개별 패턴 요소 는 개별 패턴 요소 의 대칭 중심 ( 112 ) 에 대한 90 ° 회전 에 대하 여 불 변체 가 아닌 점 에 주목 한다 . 그래서 , 단일 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 402 a ) 는 X - 오버레이 및 Y - 오버레이 를 둘 다 측정 하 는 데 사용 될 수 없 다 . 따라서 , 각 개별 패턴 요소 는 X - 오버레이 와 Y - 오버레이 중 어느 하나 를 측정 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 타 겟 ( 400 ) 의 타 겟 구조물 은 X - 오버레이 를 위하 여 지정 된 패턴 요소 쌍 및 Y - 오버레이 를 위하 여 지정 된 패턴 요소 쌍 으로 이루어진 패턴 요소 의 쌍 들 을 포함 한다 . 도 4 에 도시 된 패턴 요소 의 형상 들 은 , 본 발명 의 구현 에 적합 한 180 도 회전 대칭 ( 그러나 90 도 회전 대칭 은 아님 ) 을 가진 다수 의 다른 패턴 요소 형상 이 존재 할 수 있 기 때문 에 , 제한 하 는 것 으로 해석 되 지 않 는다 .