스텝 108 에서 , 검사 영역 내 의 구조 의 존재 는 재귀 반사 광의 얻 어 진 측정치 로 결정 된다 . 특히 , 특정 된 후방 산란 시 그 너 처 ( backscattered signature ) 는 재귀 반사 광 의 측정치 로 발생 될 수 있 다 . 나노 젯 이 검사 영역 내 의 구조 와 만나 는 경우 , 후방 산란 시 그 너 처 의 몇 차수 크기 의 변경 이 관찰 될 수 있 다 . 따라서 , 구조 의 존재 는 나노 젯 내 의 구조 없이 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 를 앞서 얻 어 진 후방 산란 시 그 너 처 와 비교 함 으로써 결정 될 수 있 다 . 변형 적 으로 , 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 는 나노 젯 내 의 구조 가 있 고 없 는 상태 에서 시 뮬 레이트 또는 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 의 라이브러리 와 비교 될 수 있 다 . 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 가 나노 젯 내 의 구조 가 있 는 상태 에서 시 뮬 레이트 또는 측정 된 라이브러리 로부터 의 후방 산란 시 그 너 처 와 정합 하 는 경우 , 구조 는 존재 하 는 것 으로 결정 된다 . 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 가 나노 젯 내 의 구조 가 없 는 상태 에서 시 뮬 레이트 또는 측정 된 라이브러리 로부터 의 후방 산란 시 그 너 처 와 정합 하 는 경우 , 구조 는 존재 하 지 않 는 것 으로 결정 된다 .