본원 발명자 들 이 실험 에 의해서 확인 한 바 , 유기 EL 패널 의 가장자리 부 를 , 동등 사이즈 의 액정 표시 용 패널 의 경우 와 동일 하 게 스테이지 로부터 20 mm 비어져 나오 게 하 여 유지 한 경우 , 가장 자리 부 에 처짐 이 생기 고 , 이 처짐 에 의해서 얼라인먼트 마크 의 위치 에 , 수평 방향 ( 스테이지 측 으로 향하 여 ) 으로 약 4 ㎛ 의 위치 어긋남 이 생기 고 있 음 이 확인 되 었 다 . 더구나 , 유기 EL 패널 의 가장자리 부가 아래 로 처진 경우 , 얼라인먼트 마크 가 수평 상태 에 대하 여 기울어지 게 된다 . 경사져 있 는 얼라인먼트 마크 를 바로 아래 에서 촬상한 경우 , 촬상된 얼라인먼트 마크 의 경사 방향 에 있 어서 의 길이 가 수평 상태 에서 촬상된 경우 와 비교 해서 짧 게 촬상 된다 . 즉 , 경사진 만큼 촬상 되 는 얼라인먼트 마크 의 형상 이 변형 된다 . 그 결과 , 미리 기억 되 어 있 는 기준 마크 와 의 형상 의 차이 가 생기 고 , 이 에 의해서 도 얼라인먼트 마크 의 인식 위치 에 오 차 가 생기 게 된다 .