추가 구체 예 에서 , 폴리 싱 조성물 은 산화 규소 , 세륨 옥사이드 , 또는 산화 규소 및 세륨 옥사이드 를 포함 하 는 복합 입자 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 하나 이상 의 연마 입자 ; 원소 규소 를 포함 하 는 막 의 제거율 을 신장 시키 기 위한 화합물 로서 메틸 이 소티 아 졸리 논 ; 및 아크릴산 기 를 함유 한 폴리머 또는 코 폴리머 를 포함 한다 .