어쨌든 중요 한 것 은 , 고분자 로 제작 된 연마 패드 와 같이 , 전해액 을 보유 하 는 재료 이 어서 는 안 된다 . 화학 기계 연마 에서 사용 되 는 연마 패드 는 발포 폴리 우레 탄 등 으로 구성 되 지만 , 이것 은 연마재 를 안 에 함유 한다 . 그 때문 에 , 다른 연마 재료 를 다른 전해액 으로 가공 할 때 , 연마 패드 내부 에 포함 된 전 의 전해액 이 배 어 나와 , 새로운 다른 전해액 과 반응 하 는 경우 도 있 다 .