연산 처 리부 ( 61 ) 에서 의 처리 를 포함 하 여 , 제 어부 ( 6 ) 내 에서 는 , 검출 값 에 기초 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 위치 를 계측 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 위치 를 산출 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 반경 을 산출 하 여 , 4 개 의 검 출부 ( 5 A ∼ 5 D ) 중 어느 것 도 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 하 고 있 지 않 는지 여부 를 판정 한다 . 그리고 , 4 개 의 검 출부 ( 5 A ∼ 5 D ) 중 1 개 가 절 결부 ( WN ) 를 검출 했 다고 판정 했 을 때 에 , 그 이외 의 3 개 의 검 출부 ( 5 ) 의 검출 값 에 기초 하 여 포크 ( 3 A , 3 B ) 의 위치 를 보정 한다 .