플라 즈 마 차 폐부 ( 300 ) 는 몸체 의 하부 중앙 에 돌출부 가 마련 된다 . 상기 돌출부 는 기판 ( 10 ) 의 배면 식각 시 기판 ( 10 ) 전면 의 중앙 영역 에 인접 하 게 위치 되 어 기판 ( 10 ) 전면 의 중앙 영역 으로 플 라즈 마가 유입 되 는 것 을 방지 하 는 역할 뿐 아니 라 국부 적 인 플 라즈 마 발생 을 유도 할 수 있 다 . 또한 , 상기 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 는 기판 ( 10 ) 전면 의 에지 영역 으로 반응 가스 를 공급 하 는 제 2 공 급구 ( 311 ) 및 기판 ( 10 ) 전면 의 중앙 영역 으로 비 반응 가스 를 공급 하 는 제 3 공 급구 ( 312 ) 를 구비 한다 . 상기 제 2 공 급구 ( 311 ) 의 일 측 은 챔버 ( 100 ) 외측 으로 연장 되 어 제 2 가스 공급 부 ( 321 ) 와 연통 되 고 , 상기 제 3 공 급부 ( 312 ) 의 일 측 은 챔버 ( 100 ) 외측 으로 연장 되 어 제 3 가스 공급 부 ( 322 ) 와 연통 된다 . 이때 , 챔버 ( 100 ) 외측 에서 공급 된 가스 가 기판 방향 으로 분사 되 기 전 에 복수 의 경로 로 분기 되 도록 제 2 , 제 3 공 급구 ( 311 , 312 ) 의 타단 즉 , 기판 분사 방향 의 입구 는 복수 로 구성 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 기판 ( 10 ) 전면 의 에지 영역 또는 중앙 영역 에 균일 한 가스 공급 이 가능 하 다 .