유사 하 게 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 , 제 2 대기 영역 ( AW 2 ) 을 경유 하 여 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 으 로부터 제 2 로딩 포지션 및 얼라인먼트 영역 ( AA ) 으로 이동 하 는 이동 경로 의 + X 측 단부 및 또한 + Y 측 의 단부 의 위치 에 위치 할 때 에 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 에 탑재 된 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 , 2 D 스케일 ( S 2 ) 의 주 영역 과 대향 한다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 의 계측 치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 XY 평면 내 에서 의 위치 를 산출 한다 . 또한 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 2 D 스케일 ( S 2 ) 의 연장 된 영역 에 대향 하 는 경우 에 도 동일 하 게 설명 할 수 있 다 . 또한 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 2 D 스케일 ( S 2 ) 로부터 벗어날 때 에 는 , 이 에 앞서 , 전술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 경우 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 위치 계측 은 간섭계 ( 118 ) 를 이용 하 는 계측 으로 전환 된다 .