유량 설 정부 ( 97 ) 는 모든 액 공급 부 ( 6 ) 에 공통 의 목표 값 ( FSV ) 을 설정 해도 되 지만 , 본 실시 형태 에서 는 액 공급 부 ( 6 ) 마다 목표 값 ( FSV ) 을 설정 한다 . 구체 적 으로 , 유량 설 정부 ( 97 ) 는 제 1 존 ( ZA ) 내 에서 의 연직 방향 분포 와 그 목표 분포 와 의 편차 를 구하 고 , 구한 편차 에 기초 하 여 제 1 송액 기구 ( 62 A ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 유량 의 목표 값 ( FSV ) 을 설정 한다 . 또한 , 유량 설 정부 ( 97 ) 는 제 2 존 ( ZB ) 내 에서 의 연직 방향 분포 와 그 목표 분포 와 의 편차 를 구하 고 , 구한 편차 에 기초 하 여 제 2 송액 기구 ( 62 B ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 유량 의 목표 값 ( FSV ) 을 설정 한다 . 액 공급 부 ( 6 ) 마다 처리 액 ( 3 ) 의 유량 을 조정 할 수 있 으므로 , 수조 내 온도 의 연직 방향 분포 를 용이 하 게 조정 할 수 있 다 .