( 9 ) 본 발명 은 또 , ( 1 ) ∼ ( 5 ) 중 어느 하나 에 기재 된 감광성 수지 조성물 을 기판 에 도포 하 고 , 광 조사 에 의해서 상기 감광성 수지 조성물 을 경화 시키 는 , 기판 상 에 형성 된 차광막 의 제조 방법 에 있 어서 , 차광막 으로서 의 광학 농도 를 0 . 5 / ㎛ 이상 4 / ㎛ 이하 로 하 기 위한 막 두께 H 1 과 , 스 페이서 기능 을 담당 하 는 차광막 의 막 두께 H 2 에 대해서 , H 2 가 1 ∼ 7 ㎛ 일 때 , Δ H = H 2 - H 1 이 0 . 1 ∼ 6 . 9 인 막 두께 H 1 과 막 두께 H 2 의 차광막 을 동시 에 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 는 차광막 의 제조 방법 이 다 .