도 5 는 본 발명 의 실시 형태 에 따른 에칭 챔버 를 예시 한다 . 도 5 에서 , 실시 형태 의 이해 와 관련 되 는 엘리먼트 를 노출 시키 기 위해 일부 엘리먼트 는 절단 되 어 있 고 일부 는 제거 되 어 있 다 . 전체 어셈블리 는 , 캐리어 이송 을 위한 이송 챔버 로서 기능 하 는 하위 부분 ( 522 ) 및 디스크 제조 , 즉 , 에칭 에 전용 되 는 상위 부분 ( 532 ) 을 갖 는 메인 챔버 바디 ( 500 ) 상 에 탑재 된다 . 이러 한 도면 에서 , 이송 챔버 ( 522 ) 에 일반 적 으로 상주 하 는 트랙 및 선형 모터 는 더 명확 한 도면 을 제공 하 기 위해 제거 되 었 다 . 전 구체 가스 전달 은 메인 챔버 바디 ( 500 ) 의 일 측 으로부터 행해 지 며 , RF 에너지 커플링 이 타 측 으로부터 제공 된다 . 이러 한 실시 형태 에서 , 전 구체 가스 는 샤워 헤드 어셈블리 ( 562 ) 를 사용 하 여 챔버 에 전달 된다 . RF 에너지 커플링 은 디스크 에 매우 근접 하 게 오 지만 디스크 를 터치 하 지 않 는 이동 가능 한 전극 어셈블리 를 사용 하 여 달성 된다 . 전극 어셈블리 는 디스크 모션 동안 은 접힌 모드 에 그리고 에칭 동안 은 펼친 모드 에 있 도록 모션 어셈블리 ( 585 ) 를 사용 하 여 이동 된다 ( 도 4 a 및 4 b 참조 ) .