제 1 주 입부 ( 310 ) 및 제 2 주 입부 ( 410 ) 는 튜브 ( 110 ) 내부 의 제 1 노즐 부 ( 300 ) 및 제 2 노즐 부 ( 400 ) 와 각각 결합 되 어 , 튜브 ( 110 ) 외부 로 연결 된다 . 제 1 주 입부 ( 310 ) 는 튜브 ( 110 ) 외부 에서 제 1 소스 공급 부 ( 330 ) 와 연결 될 수 있 으며 , 제 2 주 입부 ( 410 ) 는 튜브 ( 110 ) 외부 에서 제 2 소스 공급 부 ( 430 ) 와 연결 될 수 있 다 . 즉 제 1 소스 는 제 1 소스 공급 부 ( 330 ) 에서 제 1 주 입부 ( 310 ) 를 통하 여 제 1 노즐 부 ( 300 ) 로 공급 된다 . 또한 제 2 소스 는 제 2 소스 공급 부 ( 430 ) 에서 제 2 주 입부 ( 410 ) 를 통하 여 제 2 노즐 부 ( 400 ) 로 공급 된다 . 제 1 소스 공급 부 ( 330 ) 에서 액체 로 된 소스 물질 을 이용 하 여 기상 소스 인 제 1 소스 를 공급 하 는 경우 , 제 1 소스 공급 부 ( 330 ) 에 는 상기 액체 로 된 소스 물질 을 기상 소스 로 기화 시키 는 소스 기화 부 ( 335 ) 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 1 소스 또는 제 2 소스 가 제 1 노즐 부 ( 320 ) 또는 제 2 노즐 부 ( 420 ) 를 통하 여 튜브 ( 110 ) 내부 로 공급 된 후 잉여 소스 는 다른 소스 가 공급 되 기 전 에 배 출부 ( 600 ) 를 통하 여 튜브 ( 110 ) 외부 로 배출 될 수 있 다 .