또한 , 산화 물막 ( 104 ) 중 에 , 이트륨 등 의 3 족 원소 , 하프늄 등 의 4 족 원소 , 알루미늄 등 의 13 족 원소 등 의 불순물 원소 를 포함 시킴 으로써 , 나중 에 얻 어 지 는 절연성 산화물 층 ( 104 b ) 의 에너지 갭 을 확대 시켜 절연 성 을 높여 도 좋 다 . 이 들 의 불순물 을 포함 하 지 않 는 산화 갈륨 의 에너지 갭 은 4 . 9 eV 인데 , 상술 한 불순물 을 , 예 를 들 어 0 을 초과 해서 20 원자 ％ 이하 정도 포함 시킴 으로써 , 그 의 에너지 갭 을 6 eV 정도 까지 확대 할 수 있 다 .