바람직 한 또 다른 구 현예 로서 , 상기 보상 수단 은 : 기판 이 안착 되 는 히트 블럭 상 의 XY 테이블 과 ; 기판 의 패턴 과 동일 한 스케일 의 패턴 이 실제 존재 하 는 포지션 스케일 테이블 과 ; 상기 XY 테이블 에 포지션 스케일 테이블 이 안착 된 상태 에서 , 포지션 스케일 테이블 의 패턴 간 거리 값 을 인식 하 는 상기 광학 옵틱 과 ; 상기 XY 테이블 용 모터 ( Table Motor ) 의 엔 코더 ( Encoder Scale Pulse ) 값 과 , 상기 포지션 스케일 테이블 에 형성 된 패턴 간 의 간격 을 광학 옵틱 에서 인식 하 는 거리 값 의 매 칭 ( Matching ) 여부 를 확인 하 는 매핑 하 는 동시 에 그 어긋난 위치 편차 ( Error ) 를 보상 해 주 는 제 어부 를 포함 하 여 구성 된 것 을 특징 으로 한다 .