본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 예시 적 인 선택 적 증착 장치 ( 11 ) 는 , 예 를 들 어 제 2 전구체 기화기 와 같 은 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 을 포함 할 수 있 다 . 보다 상세 하 게 , 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 은 제 2 전구체 의 증기 를 제공 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 은 제 2 전구체 를 기화 시키 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 는 제 2 전구체 기화기 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 은 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 과 동일 하 거나 실질 적 으로 동일 할 수 있 고 , 따라서 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 에 관한 세부 사항 은 간결 함 을 위해 생략 된다 .