플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 및 제 2 고주파 전원 ( 62 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 은 , 제 1 고주파 전력 을 발생 하 는 전원 이 다 . 제 1 고주파 전력 은 , 플 라즈 마의 생성 에 적합 한 주파수 를 갖 는다 . 제 1 고주파 전력 의 주파수 는 , 예컨대 27 MHz ∼ 100 MHz 범위 내 의 주파수 이 다 . 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 은 , 정 합기 ( 63 ) 및 전극 플레이트 ( 16 ) 를 통해 하부 전극 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 63 ) 는 , 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 의 출력 임피던스 와 부하 측 [ 하부 전극 ( 18 ) 측 ] 의 임피던스 를 정합 시키 기 위한 회로 를 갖 는다 . 또한 , 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 은 , 정 합기 ( 63 ) 를 통해 상부 전극 ( 30 ) 에 접속 되 어도 좋 다 . 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 은 , 일례 의 플 라즈 마 생 성부 를 구성 하 고 있 다 .