다음 으로 , 이상 과 같 은 구성 으로 이루어지 는 기판 처리 장치 ( 10 ) 를 사용 해서 웨이퍼 ( W ) 를 처리 하 는 방법 의 일례 에 대하 여 설명 한다 . 또한 , 이하 에 설명 하 는 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 각 구성 요소 의 동작 은 미리 프로그램 기록 매체 ( 21 ) 에 저장 된 프로그램 에 기초 한 제어 장치 ( 20 ) 로부터 의 제어 신호 에 의해 제어 되 어 있 다 .