그리고 , 본 실시 예 에 따른 기판 지지 부 ( 500 ) 는 몸 체부 ( 510 ) 를 승강 시키 기 위한 승강 부 ( 560 ) 와 , 승강 부 ( 560 ) 에 구동력 을 인가 하 는 스테이 지부 ( 570 ) 를 더 포함 한다 . 그리고 , 챔버 ( 100 ) 의 밀봉 을 위해 몸 체부 ( 510 ) 와 하측 챔버 부 ( 110 ) 의 바닥 면 사이 에 마련 되 어 승 강축 ( 560 ) 을 감싸 는 벨로우즈 부 ( 580 ) 를 더 포함 한다 .