도 10 a 내지 도 10 c 는 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 다른 실시 예 들 에 따른 반도체 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 도면 들 로서 , 도 10 a 는 형성 하 고자 하 는 반도체 소자 의 평면도 이 고 , 도 10 b 는 도 10 a 의 반도체 소자 의 사시도 이 고 , 도 10 c 는 도 10 a 의 X - X ' 선 단면 및 Y - Y ' 선 단면 구성 을 보여 주 는 단면도 이 다 .