도 7 에 도시 하 는 바 와 같이 , 지지 핀 ( 16 ) 대신 에 지주 ( 15 ) 에 새겨 형성 된 복수 의 홈 ( 15 a ) 을 지지 부 ( 적 재부 ) 로 하 여 , 홈 ( 15 a ) 의 저면 ( 15 b ) 상 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 ( 적재 ) 해도 된다 . 본 실시 형태 의 제 1 변형 예 에서 의 지주 ( 15 ) 는 , 실시 형태 와 마찬가지 로 , 금속 산화 막인 CrO 막 으로 코팅 되 어 있 다 . 특히 , 홈 ( 15 a ) 의 반원 상 의 저면 ( 15 b ) 중 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 가 지지 되 는 부분 ( 즉 , 접촉 개소 ( 접촉 부 ) ) 은 , CrO 막 으로 코팅 하 도록 구성 되 어 있 다 .