검사 툴 에 대한 셋 업 공정 을 통해 , 사용 자 는 각각 의 레티 클 의 어레이 에서 제 1 다이 ( 802 a ) 및 다른 모든 다이 의 범위 를 정의 하 기 위하 여 포인트 ( 804 a 및 804 b ) 를 선택 할 수 있 다 . 각각 의 레티 클 에서 , 사용 자 는 또한 포인트 ( 804 c ) 를 선택 하 여 제 1 다이 ( 802 a ) 및 다른 다이 ( 802 f ) 에 대한 x 및 y 오프셋 을 정의 함 으로써 인접 한 다이 들 사이 의 오프셋 을 정의 할 수 있 다 . 범위 및 오프셋 을 정의 하 기 위하 여 다른 포인트 들 ( 미 도시 ) 이 선택 될 수 도 있 다 . 어레이 크기 는 사용자 에 의해 검사 툴 에 입력 될 수 있 다 .