또 , 제 1 , 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 A , 3 B ) 는 각각 복수 의 DMD 를 구비 하 여도 좋 다 . 예 를 들 면 , 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 의 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 에 관하 여 조사 영역 ( 51 a ~ 51 h ) 과 광학 적 으로 공역 인 영역 에 각각 대응 하 여 배치 되 는 DMD 를 구비 하 여도 좋 다 . 또한 , 조명계 ( IL 1 , IL 2 ) 는 제 1 , 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 A , 3 B ) 의 일부 , 즉 , 조사 영역 ( 51 a ~ 51 h , 52 a ~ 52 h ) 에 상 이 형성 되 는 패턴 을 생성 하 는 데 필요 한 복수 의 영역 ( 조사 영역 과 공역 인 영역 을 포함 한다 ) 만 노광 광 으로 조명 해도 되 고 혹은 , 그 복수 의 영역 을 포함 하 는 소정 영역 전체 를 노광 광 으로 조명 하 여도 좋 다 . 또 , 본 실시 형태 에서 도 , 상술 의 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 마스크 블라인드 계 및 / 또는 DMD 에 의해서 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 에 의한 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .