상기 에서 합성 한 벤 조옥 사졸 전구체 ( A - 1 ) 100 질 량부 에 대하 여 , 나프 토 퀴논 디 아지드 ( DNQ ) 화합물 ( B - 1 ) 10 질 량부 와 하 기 표 1 에 기재 된 가교제 , 실란 커플링 제 ( E - 1 ) 7 질 량부 를 배합 한 후 , 벤 조옥 사졸 전구체 가 30 질량 ％ 가 되 도록 N - 메틸 피 롤리 돈 ( NMP ) 을 첨가 하 여 바니시 로 하 고 , 스핀 코터 를 사용 하 여 실리콘 기판 상 에 도포 하 였 다 . 핫 플레이트 에서 120 ℃ 3 분 건조 시켜 , 감광성 수지 조성물 의 건 조막 을 얻 었 다 . 얻 어 진 건 조 도막 에 고압 수은 램프 를 사용 하 여 1 내지 30 ㎛ 까지 의 패턴 이 새겨진 마스크 를 통해 300 mJ / cm 2 의 브로드 광 을 조사 하 였 다 . 노광 후 2 . 38 ％ 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) 수용액 으로 60 초 현상 하 고 , 물 로 린스 하 여 , 포지티브 형 패턴 을 얻 었 다 .