공정 챔버 를 진공 으로 유지 하 기 위한 배기관 과 연결 된 인입 관 을 통해 상기 공정 챔버 내 의 가스 를 별도 의 셀프 플라 즈 마 챔버 내 로 인입 시켜 플 라즈 마 상태 로 만든다 ( S 510 ) . 그리고 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 가스 를 플 라즈 마 상태 로 만드 는 고 주파 전원 을 측정 한다 ( S 520 ) . 이 와 함께 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마 로부터 의 광선 빔 을 감지 하 여 플 라즈 마 광 의 고주파 특성 변화 를 측정 한다 ( S 530 ) . 또한 , 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마 로부터 의 광선 빔 을 감지 하 여 파장 영역 별 로 방출 감도 를 측정 한다 ( S 540 ) .