실시 예 에서 , 디바이스 제조 공정 을 수행 하 는 중 에 , 측정 된 정렬 데이터 의 제 1 분포 를 결정 하 는 것 ; 디바이스 제조 공정 에서 처리 매개변수 로부터 유도 된 정렬 데이터 의 제 2 분포 를 결정 하 는 것 ; 및 하드웨어 컴퓨터 시스템 에 의하 여 , 제 1 및 제 2 분포 의 함수 로서 디바이스 제조 공정 과 관련 된 정렬 데이터 의 분포 를 결정 하 는 것 을 포함 하 는 방법 에 제공 된다 .