또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 패턴 ( PA 1 ) 과 제 2 패턴 ( PA 2 ) 과 의 위치 관계 에 관한 정보 를 취득 하 기 위한 노광 광 ( EL ) 은 , 먼저 제 1 마스크 ( M 1 ) 에 조사 되 어 제 1 광학계 ( 31 ) , 제 2 광학계 ( 32 ) 및 제 2 마스크 ( M 2 ) 를 통하 여 수광 장치 ( 82 ) 에서 수광 되 나 , 노광 장치 ( EX ) 는 제 2 조명계 ( IL 2 ) 에 의해서 , 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) ( 제 2 마스크 M 2 ) 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 해도 된다 . 제 2 조명계 ( IL 2 ) 에 , 예 를 들 면 상술 한 광학 기구 ( BR 1 ) 와 동일 한 구성 의 광학 기구 를 설치 하 고 , 제 4 조명 영역 의 위치 및 / 또는 크기 를 조정 가능 으로 함 으로써 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 , 제 2 조명계 ( IL 2 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) 에 조사 할 수 있 다 . 제 1 광학계 ( 31 ) 와 제 2 광학계 ( 32 ) 와 는 거의 동일 구성 이 며 , 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) ( 제 2 마스크 M 2 ) 에 조사 된 노광 광 ( EL ) 은 , 제 2 광학계 ( 32 ) 및 제 1 광학계 ( 31 ) 를 통하 여 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 에 조사 된다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 , 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 으로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 수광 장치 ( 82 ) 로 수광 하고 , 그 수 광한 결과 를 이용 하 여 제 1 패턴 ( PA 1 ) 과 제 2 패턴 ( PA 2 ) 과 의 위치 관계 에 관한 정보 를 취득 할 수 있 다 .