실시 예 1 에서 는 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 가 , 각각 , 동축 조명 계 의 광원 으로부터 출사 되 는 조명 광 ( 예 를 들 면 적 외광 ) 의 반사광 을 이용 하 여 , 칩 ( CP ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 와 , 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 취득 하 는 예 에 대해 기재 했 다 . 다만 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 측 과 는 반대 측 에 마련 된 광원 으로부터 칩 ( CP ) 을 투과 시키 는 투과광 을 이용 하 여 , 칩 ( CP ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 와 , 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 취득 하 는 구성 이 어도 좋 다 . 예 를 들 면 , 기판 ( WT ) 의 연직 상방 에 배치 된 제 2 촬상부 ( 41 ) 가 , 칩 ( CP ) 의 하측 에 입사 하 는 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 의 동축 광 을 이용 하 여 , 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b , MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 취득 하 는 구성 이 어도 좋 다 . 혹은 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 가 , 기판 ( WT ) 의 연직 상방 에 배치 된 제 2 촬상부 ( 41 ) 로부터 출사 되 는 동축 광 을 이용 하 여 , 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b , MC 2 a , MC 2 b ) 를 포함 하 는 화상 을 취득 하 는 구성 이 어도 좋 다 . 또한 , 기판 ( WT ) 이 가시 광 에 대해 투명 한 경우 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 또는 제 2 촬상부 ( 41 ) 로부터 출사 되 는 동축 광이 , 가시 광 이 어도 좋 다 .