한편 , 상기 처리 챔버 ( 20 ) 의 상부 면 부위 에 는 상기 안내 부재 ( 340 ) 가 배치 되 는 홈 ( 20 a ) 이 형성 되 어 있 으며 , 상기 안내 부재 ( 340 ) 는 안내 플레이트 ( 342 ) 의 상부 면 이 상기 처리 챔버 ( 20 ) 의 상부 면 과 동일 한 높이 에 위치 되 도록 상기 홈 ( 20 a ) 내 에 배치 될 수 있 다 . 따라서 , 도 6 에 도시 된 바 와 같 은 경사 면 플레이트 ( 146 ) 가 없 는 상태 에서 도 용이 하 게 고정 바 ( 124 ; 도 1 참조 ) 가 상기 안내 플레이트 ( 342 ) 및 영구 자석 ( 344 ) 상 으로 이동 될 수 있 다 .