이어서 , 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 을 통해 제 2 물질 막 들 ( 223 ) 및 제 4 물질 막 들 ( 233 ) 을 제거 한다 . 이 로써 , 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 각각 과 수직 베리어 ( 250 ) 사이 에서 적층 방향 으로 서로 이웃 한 제 1 물질 막 들 ( 221 ) 사이 , 적층 방향 으로 서로 이웃 한 제 1 물질 막 ( 221 ) 과 제 2 물질 막 ( 231 ) 사이 , 및 적층 방향 으로 서로 이웃 한 제 2 물질 막 들 ( 231 ) 사이 에서 게이트 영역 들 ( 253 ) 이 개구 될 수 있 다 .