이때 , 상기 제 1 상부 전극 ( 130 ) 의 상기 유전 플레이트 ( 136 ) 는 상기 챔버 ( 101 ) 의 외측 면 상 에 구비 되 며 , 가스 제 공부 ( 150 ) 와 연통 된다 . 상기 유전 플레이트 ( 136 ) 의 중앙부 에 는 가스 홀 ( 152 ) 이 형성 되 고 , 가스 홀 ( 152 ) 에 는 가스 제 공부 ( 150 ) 가 연결 되 어 챔버 ( 101 ) 내부 로 반응 가스 를 공급 한다 .