이 와 같이 하 여 , 액 유로 부 ( 30 ) 가 형성 된 하측 금속 시트 ( 10 ) 가 얻 어 진다 . 또한 , 제 1 하프 에칭 공정 과 는 별도 의 공정 인 제 2 하프 에칭 공정 으로서 , 액 유로 부 ( 30 ) 를 형성 함 으로써 , 하측 증기 유로 오 목부 ( 12 ) 의 깊이 h 0 과 는 다른 깊이 로 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 및 연락 홈 ( 51 내지 54 ) 을 용이 하 게 형성 하 는 것 이 가능 해진다 . 그러나 , 하측 증기 유로 오 목부 ( 12 ) 와 , 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 및 연락 홈 ( 51 내지 54 ) 은 , 동일 한 하프 에칭 공정 에서 형성 하 도록 해도 된다 . 이 경우 에 는 , 하프 에칭 공정 의 횟수 를 삭감 할 수 있 어 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 제조 비용 을 저감 가능 해진다 .