상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 목적 은 , 스핀들 포크 ( 20 ) 에 지지 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 를 회전 시키 는 주축 ( 40 ) 에 비해 모터 ( 70 ) 의 회전 비 가 과도 하 게 크 게 요구 되 더라도 회전 동력 을 생성 하 는 상기 모터 ( 70 ) 에서 연결 되 는 모터 축 ( 72 ) 과 , 상기 모터 ( 70 ) 에서 생성 된 회전 동력 을 상기 주축 ( 40 ) 에 전달 시키 는 벨트 ( 50 ) 및 제 2 풀리 ( 60 ) 에 연결 되 는 풀리 축 ( 62 ) 을 결합 시키 는 스프로킷 축이음 장치 ( 80 ) 가 파손 되 는 것 을 방지 하 고 , 상기 스핀들 포크 ( 20 ) 의 회전 에 의해 이송 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 이송 불량 을 방지 토록 하 여 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 스핀 들 어셈블리 를 제공 하 는 데 있 다 .