상기 노즐 암 에 는 프리 웨트 ( Pre - wet ) 공정 을 위한 유기 용제 를 토출 하 는 유기 용제 노즐 이 더 장착 되 고 , 상기 노즐 암 내 에 는 상기 유기 용제 노즐 로 유기 용제 를 공급 하 는 유기 용제 배관 이 더 제공 되 며 , 상기 유기 용제 배관 을 흐르 는 유기 용제 는 상기 동일 한 유로 를 통해 흐르 는 온도 조절 유체 에 의해 설정 온도 로 유지 될 수 있 다 .