따라서 , 플러드 기체 는 기체 공급 튜브 ( 29 ) 를 통해 메인 채널 ( 28 ) 속 에 도달 하 며 여기 로부터 측면 채널 ( 20 내지 27 ) 들 에 도달 하 며 , 이 측면 채널 들 은 플러드 채널 ( 16 , 17 ) 들 에서 종단 된다 . 여기 로부터 플러드 기체 는 홀 ( 14 , 15 ) 들 을 통과 하 고 기판 ( 11 ) 에 부딪친다 . 기판 ( 11 ) 은 두 개 의 플러드 채널 ( 16 , 17 ) 들 로부터 동시 에 바람 을 맞 는다 .