펜 타 플 루오 로 에탄 의 제조 공정 이 기술 된다 . 이 공정 은 플루오르화 촉매 존재 하 의 반응기 또는 제 1 복수 의 반응기 들 내 에서 기상 ( vapour phase ) 에서 퍼 클로 로 에틸렌 을 불화 수소 와 반응 시켜 디 클로로 트리플 루 오로 에 탄 , 염화수소 , 미 반응 불화 수소 및 퍼 클로 로 에틸렌 을 포함 하 는 조성물 을 생성 하 는 단계 를 포함 한다 . 이 조성물 은 분리 단계 를 겪 어 조성물 내 의 유기 화합물 의 총 중량 을 기준 으로 95 중량 % 이상 의 디 클로로 트리플 루 오로 에 탄 및 0 . 5 중량 % 미만 의 화학식 C 2 Cl 6 - xFx 를 가지 는 화합물 ( 여기 서 x 는 0 내지 6 의 정수임 ) 을 포함 하 는 정제 된 조성물 을 산출 한다 . 분리 단계 로부터 의 조성물 은 그 후 플루오르화 촉매 존재 하 의 제 2 반응기 또는 제 2 복수 의 반응기 들 내 에서 기상 에서 불화 수소 와 반응 하 여 펜 타 플 루 오로 에 탄 및 조성물 내 의 유기 화합물 의 총 중량 을 기준 으로 0 . 5 중량 % 미만 의 클로로 펜 타 플 루오 로 에탄 을 포함 하 는 조성물 을 생성 한다 .