이 와 같 은 플 라즈 마장 치 ( 300 ) 의 형태 는 화학 기상 성 장법 ( chemical vapor deposition ; CVD 법 ) 을 이용 한 평면 표시 장치 ( FPD ) 등 에 대한 대형 시료 의 처리 를 가능 하 게 하 는 편광 필름 ( 8 ) 이동 장치 를 구비 하 여 시료 가 이 이동 장치 에 의해 시료 실 내 를 소정 의 속도 로 이동 하 면서 처리 됨 으로써 시료 전체 면 에 증착 이 된다 .