촬상 유닛 ( 12 ) 은 , CCD ( Charge 　 Coupled 　 Device ) 나 CMOS ( Complementary 　 Metal 　 Oxide 　 Semiconductor ) 등 의 이미지 센서 를 탑재 한 전자 현미경 이 다 . 촬상 유닛 ( 12 ) 은 , 척 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 11 a ) 상 에 유지 된 웨이퍼 ( 100 ) 의 표면 ( 101 ) 을 촬상 한다 . 촬상 유닛 ( 12 ) 은 , 저 배율 ( Lo ) 의 매크로 촬상 또는 고배 율 ( Hi ) 의 미크 로 촬상 으로 전환 하 고 , 웨이퍼 ( 100 ) 의 표면 ( 101 ) 을 촬상 가능 하 게 되 어 있 다 . 촬상 유닛 ( 12 ) 에 의해서 취득 한 화상 정보 ( 키 패턴 ) 를 기초 로 절삭 해야 할 영역 부분 ( 스트리트 ) 이 검출 되 어 , 가공 유닛 ( 13 ) 에 의한 가공 동작 의 위치 부여 에 이용 된다 . 촬상 유닛 ( 12 ) 은 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 척 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 11 a ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 100 ) 의 표면 에 조명 광 을 조사 하 는 광원 ( 23 ) 을 구비 한다 . 이 광원 ( 23 ) 은 , 웨이퍼 ( 100 ) 를 바로 위 에서 조명 하 는 낙사 광원 ( 231 ) 과 , 경사 방향 으로부터 조명 하 는 사광 광원 ( 232 ) 으로 이루어진다 .