일 본국 공개 특허 공보 특개 2006 - 113533 호 는 , 최종 렌즈 와 최종 렌즈 에 인접 하 는 렌즈 를 , 결정 구조 기인 의 복굴절 의 부호 가 서로 반대 가 되 는 MgO ( 산화 마그네슘 ) 과 CaO ( 산화 칼슘 ) 을 사용 해서 형성 함 으로써 고 굴절 률 결정 유리 재의 결정 구조 기인 의 복굴절 을 보정 하 는 기술 을 개시 하 고 있 다 . 그렇지만 , 일 본국 공개 특허 공보 특개 2006 - 113533 호 는 , 결정 구조 기인 의 복굴절 이 감소 하 는 MgO 및 CaO 의 결정축 의 구체 적 인 배치 에 대해서 규정 하 고 있 지 않 다 . 실제로 , 노광 장치 에 사용 할 수 있 는 고품질 의 MgO 및 CaO 는 존재 하 지 않 고 , 개발 도 행해 지 지 않 고 있 다 .