식각 가스 혼합물 의 비율 은 기판 표면 상 의 다양 한 산화물 들 을 선택 적 으로 제거 하 기 위해서 미리 결정 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 식각 가스 혼합물 내 의 가스 들 의 비율 은 열 산화물 들 , 증착 된 산화물 들 , 및 / 또는 자연 산화물 들 과 같 은 다양 한 산화물 들 을 제거 하 기 위해서 조절 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 식각 가스 혼합물 내 의 암모니아 대 삼 불화 질소 의 몰 비 는 자연 산화물 들 을 제거 하 기 위해서 설정 될 수 있 고 본 명세서 에서 NH 3 / NF 3 몰 비 라고 지칭 된다 . 일 실시 예 에서 , 암모니아 대 삼 불화 질소 의 적어도 1 : 1 몰 비 를 가지 는 식각 가스 혼합물 을 제공 하 도록 가스 들 이 첨가 된다 . 다른 실시 예 에서 , 식각 가스 혼합물 의 NH 3 / NF 3 몰 비 는 적어도 약 10 , 바람직 하 게 는 약 15 이상 , 보다 바람직 하 게 는 약 20 이상 , 예 를 들 어 30 이 다 .