상기 열악 환경 조성부 ( 140 ) 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 상기 온 도조 절부 ( 141 ) 를 이용 하 여 상기 유기 금속 전구체 가 담긴 용기 ( 110 ) 의 온도 를 조절 하 거나 , 상기 초음파 발생기 ( 143 ) 를 이용 하 여 상기 용기 ( 110 ) 에 초음파 의 주파수 , 초음파 의 진폭 , 초음파 의 세기 또는 초음파 의 인가 시간 , 또는 이 들 의 조합 을 조절 하 여 인가 하 거나 , 상기 진동 발생기 ( 142 ) 를 이용 하 여 상기 용기 ( 110 ) 에 진동 의 크기 , 진동 의 세기 또는 진동 의 인가 시간 , 또는 이 들 의 조합 을 조절 하 여 인가 하 거나 , 상기 주입 파이프 ( 120 ) 를 통해 유기 금속 전구체 와 반응 하 는 반응 기체 를 주입 하 거나 , 이 들 의 조합 을 이용 하 여 열악 환경 을 조성 하 게 된다 .