복수 의 점 ( B ) 은 , 가공 흔적 ( 21 ) 의 윤곽 에 의해서 규정 되 는 도형 의 중심 ( 23 ) 에 대해서 , 미리 정해진 각도 위치 에 도시 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 웨이퍼 ( 11 ) 를 상면 시 ( 上面 視 ) 했 을 경우 의 미리 정해진 위치 ( 도 6 에서 는 0 시 의 위치 ) 를 0 도 로 하 여 30 도 마다 , 점 ( B ) 이 붙여져 있 다 .