성막 조건 의 일례 로서 , 기판 과 타깃 사이 와 의 거리 를 60 ㎜, 압력 을 0 . 4 ㎩, 직류 ( DC ) 전원 을 0 . 5 ㎾, 기판 온도 를 400 ℃, 성막 분위기 를 산소 ( 산소 유량 비율 100 ％) 분위기 로 한다 . 또한 , 펄스 직류 전원 을 이용 하 면 , 성막 시 에 발생 하 는 분말 형상 물질 ( 파티클 , 먼지 라고 도 함 ) 을 경감 할 수 있 고 , 막 두께 분포 도 균일 하 게 되 기 때문 에 바람직 하 다 .