그런 다음 , 상기 상기 제 2 층간 절 연막 ( 230 ) 상 에 트렌치 형성 영역 을 정의 하 는 제 2 감광막 패턴 ( 미도 시 함 ) 을 형성 한 다음 , 상기 제 2 감광막 패턴 을 식각 마스크 로 제 2 층간 절 연막 ( 230 ) 을 식각 하 여 상기 비 아홀 ( 240 ) 상 에 트렌치 ( 230 ) 을 형성 함 으로써 , 상기 비 아홀 ( 240 ) 과 트렌치 ( 250 ) 로 이루어진 듀얼 다 마신 구조 를 형성 한다 .