따라서 , 유전 율 이 40 정도 로 높 고 밴드 갭 도 약 5 . 5 eV 로 높 은 ZrO 2 와 낮 은 결정 화 온도 에서 도 결정 화 되 어 60 이상 의 높 은 유전율 을 보이 는 Nb 2 O 5 를 고용체 로 섞 거나 ( 나노 스케일 로 혼합 ) 또는 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 를 적층 한 구조 를 사용 하 게 되 면 유전 율 및 누설 전류 측면 에서 우수 한 캐 패 시터 유전 막 을 형성 할 수 있 다 .