온도 계측 부 ( 22 ) 는 , 이 들 온도 센서 ( 20 ) 의 형광 으로부터 히터 엘리먼트 ( 5 ) 의 온도 를 측정 한다 . 온도 계측 부 ( 22 ) 는 , 일례 로서 여기 부 ( 23 ) 와 , 형광 검출기 ( 24 ) 와 , 제 어부 ( 25 ) 로 구성 되 어 있 다 . 여기 부 ( 23 ) 는 , 온도 조절 용 베이스 부 ( 3 ) 의 설치 구멍 ( 21 ) 의 외측 ( 하측 ) 에 상기 형광체 층 에 대하 여 여기 광 을 조사 한다 . 형광 검출기 ( 24 ) 는 , 형광체 층 으로부터 발 해진 형광 을 검출 한다 . 제 어부 ( 25 ) 는 , 여기 부 ( 23 ) 및 형광 검출기 ( 24 ) 를 제어 한다 . 또한 제 어부 ( 25 ) 는 , 상기 형광 에 근거 하 여 주 히터 의 온도 를 산출 한다 .