도 2 및 도 3 은 진공 용기 ( 1 ) 내 의 구조 를 설명 하 기 위한 도면 이 고 , 설명 의 편의 상 , 천 장판 ( 11 ) 의 도시 를 생략 하 고 있 다 . 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 상방 에 는 각각 , 예 를 들 어 석영 으로 이루어지 는 반응 가스 노즐 ( 31 ) , 반응 가스 노즐 ( 32 ) , 반응 가스 노즐 ( 33 ) 및 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 이 진공 용기 ( 1 ) 의 주위 방향 [ 회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 방향 ( 도 3 의 화살표 A ) ] 으로 서로 간격 을 두 고 배치 되 어 있 다 . 도시 의 예 에서 는 , 후술 하 는 반 송구 ( 15 ) 로부터 시계 방향 [ 회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 방향 ] 으로 , 분리 가스 노즐 ( 41 ) , 반응 가스 노즐 ( 31 ) , 분리 가스 노즐 ( 42 ) , 반응 가스 노즐 ( 32 ) 및 반응 가스 노즐 ( 33 ) 이 이 순서 로 배열 되 어 있 다 . 이것 들 의 노즐 ( 31 , 32 , 33 , 41 , 42 ) 은 각 노즐 ( 31 , 32 , 33 , 41 , 42 ) 의 기단 부인 가스 도입 포트 ( 31 a , 32 a , 33 a , 41 a , 42 a ) ( 도 3 ) 를 용기 본체 ( 12 ) 의 외주 벽 에 고정 함 으로써 , 진공 용기 ( 1 ) 의 외주 벽 으로부터 진공 용기 ( 1 ) 내 로 도입 되 고 , 용기 본체 ( 12 ) 의 반경 방향 을 따라 회전 테이블 ( 2 ) 에 대하 여 수평 으로 연신 되 도록 설치 되 어 있 다 .