즉 , 도 1 및 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 밸브 체 ( 76 v ) 는 제 1 밸브 체 ( 210 ) 및 제 2 밸브 체 ( 220 ) 를 구비 한다 . 제 2 밸브 체 ( 220 ) 는 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) 와 마찬가지 로 , 열전도 성 이 좋 은 전열 재료 , 즉 , 알루미늄 등 과 같 은 금속 으로 형성 된다 . 제 1 밸브 체 ( 210 ) 는 , 제 1 데포 실드 ( 110 ) 와 마찬가지 로 , 제 2 밸브 체 ( 220 ) 보다 열전도 율 이 낮 은 재료 , 예 를 들 어 , 석영 ( SiO 2 ) 등 과 같 은 세라믹 으로 형성 되 는 , 제 2 밸브 체 ( 220 ) 의 내 주면 을 따라 배치 되 는 라이너 이 다 . 또한 , 제 1 밸브 체 ( 210 ) 의 내주 면은 플 라즈 마가 생성 되 는 내부 공간 ( 10 s ) 에 노출 된다 . 제 1 밸브 체 ( 210 ) 과 제 2 밸브 체 ( 220 ) 사이 에 는 시일 부재 ( 251 , 252 ) 가 배치 되 어 , 제 1 밸브 체 ( 210 ) , 제 2 밸브 체 ( 220 ) , 시일 부재 ( 251 , 252 ) 로 둘러싸인 틈 새부 ( 230 ) 가 형성 된다 . 또한 , 제 2 밸브 체 ( 220 ) 및 축 체 ( 76 s ) 에 는 , 틈 새부 ( 230 ) 로부터 축 체 ( 76 s ) 내부 로 연장 되 는 공급 유로 ( 240 ) 가 형성 되 어 있 다 . 한편 , 밸브 체 ( 76 v ) 와 축 체 ( 76 s ) 의 맞닿 음 부 에 는 , 공급 유로 ( 240 ) 를 둘러싸 도록 시일 부재 ( 253 ) 가 구비 되 어 있 다 . 틈 새부 ( 230 ) 에 는 , 공 급기 ( 78 ) 로부터 축 체 ( 76 s ) 및 공급 유로 ( 240 ) 를 통해 열전 도 매체 로서 의 가스 ( 예 를 들 어 , 헬륨 가스 ) 가 공급 되 어 봉입 된다 . 이 로써 , 플 라즈 마 로부터 제 1 밸브 체 ( 210 ) 로 열 이 들어오 면 , 열전 도 매체 를 통해 제 2 밸브 체 ( 220 ) 로 전열 된다 . 제 2 밸브 체 ( 220 ) 로 전달 된 열 은 축 체 ( 76 s ) 를 통해 챔버 본체 ( 12 ) 외부 로 방출 된다 . 또한 , 제 2 밸브 체 ( 220 ) 는 제 2 데포 실드 ( 120 ) 와 접촉 하 고 있 어서 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) 를 통해 부재 ( 64 ) 로 전열 되 어 유로 ( 64 f ) 를 흐르 는 냉매 로 방열 된다 . 이 와 같이 데포 실드 ( 100 ) 뿐 아니 라 , 데포 실드 ( 100 ) 의 개구 ( 100 p ) 를 개폐 하 는 밸브 체 ( 76 v ) 에 도 상기 구성 을 적용 함 으로써 , 내부 공간 ( 10 s ) 를 둘러싸 는 내 벽면 의 온도 를 전체 적 으로 안정 화 시킬 수 있 다 .