본 발명 에 의하 면 PLC 에 대해 요구 되 는 열처리 온도 를 견딜 수 있 는 피마 킹 체가 제공 된다 . 하부 클래드 층 , 피마 킹 체 , 원통형 상부 , 매설 층 및 상부 클래드 층 이 실리콘 기판 상 에 적층 된다 . 피마 킹 체 는 실리콘 산화 막 으로 된 매설 층 에 형성 되 는 공동 으로 형성 된다 . 그러므로 , 금속 등 으로 된 피마 킹 체의 경우 와 비교 하 여 내열 성 을 대폭 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 공동 내 의 굴절 율 은 대략 1 이 므로 , 공동 주변 부 재료 의 회절 지수 와 공동 내 의 회절 지수 사이 에 충분 한 차이 를 갖 는 것 이 가능 하 다 . 이렇게 하 면 높 은 콘트 라스트 의 피마 킹 체 를 얻 을 수 있 다 .