이때 , 액티브 영역 들 ( A 1 내지 An + 1 ) 중 적어도 둘 이상 이 연결 된 액티브 영역 들 에 의해 폐쇄 된 필드 영역 들 ( F 1 내지 Fn ) 중 에서 는 소자 분리 막 ( 120 ) 형성 시 흐름 성 이 있 는 SOD 물질 을 적용 하 더라도 필드 영역 들 ( F 1 내지 Fn ) 의 양 끝 단부 ( E 1 ) 에서 기존 과 같이 증착 물질 이 흘러내리 지 않 으므로 필드 영역 들 ( F 1 내지 Fn ) 의 중앙부 뿐 만 아니 라 양 끝 단부 ( E 1 ) 에서 도 트렌치 ( 110 ) 갭 필 특성 이 향상 될 수 있 다 .