도시 된 실시 예 에서 , 샤워 헤드 ( 253 ) 는 , 관통 홀 들 ( 256 ) 을 통해 , 플라 즈 마 증기 / 가스 뿐 만 아니 라 여기 되 지 않 은 전구체 들 을 함유 하 는 공정 가스 들 을 분배 할 수 있 다 . 부가 적 으로 , 샤워 헤드 ( 253 ) 는 , 더 작 은 홀 들 ( 255 ) 을 통해 , 플라 즈 마 구역 ( 220 ) 과 별개 로 유지 되 는 부가 적 인 전구체 들 을 분배 할 수 있 다 . 공정 가스 또는 가스 들 은 , 전 구체 들 이 공정 처리 구역 ( 270 ) 에 별개 로 진입 할 때 까지 샤워 헤드 ( 253 ) 를 통해 유체 적 으로 분리 되 어 유지 될 수 있 다 . 전 구체 들 은 , 전 구체 들 이 일단 공정 처리 구역 에 진입 하 면 서로 접촉 하 여 반응 할 수 있 거나 , 원자 층 공정 처리 를 수행 하 기 위해 순차 적 으로 제공 되 어 전달 들 사이 에서 퍼징 될 수 있 다 .