도 1 b 는 성장 챔버 ( 41 ) 내 의 도관 ( 13 ') 포트 의 또 다른 예시 적 간격 , 크기 . 배열 및 그 루핑 ( grouping ) 을 도시 한다 . 그 외 에 , 도관 ( 13 ') 및 챔버 ( 41 ) 는 도 1 a 의 도관 및 챔버 와 유사 하 다 . 여기 서 , 네 개 의 예시 적 도관 포트 ( 실제 는 복수 의 도관 포트 의 그룹 ) 는 성장 기판 을 통해 3 개 의 개스 를 분배 한다 . 상기 성장 기판 이 상기 자 화기 에 의해 회전 된다고 가정 하 면 , 포트 ( 33 및 37 ) 는 개스 A 및 개스 C 를 각각 분배 하 며 , 상기 성장 기판 으로부터 이격 되 어 상기 기판 의 환형 부 에 걸쳐 바람직 한 개스 분배 를 달성 하 도록 배열 된다 . 포트 ( 31 및 39 ) 는 개스 B 를 얇 은 , 원뿔형 풋 프린트 에 분배 하 는데 , 이 풋 프린트 는 기판 가장자리 를 개스 A 및 C 로부터 보호 한다 . 포트 ( 35 ) 는 개스 A 를 개스 C 로부터 분리 하 는 역할 을 하 는 개스 b 커튼 을 기판 중심 에 분배 한다 .