가열 온도 설 정부 ( 95 ) 는 복수 의 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 의 측정값 ( BPV ) 에 기초 하 여 수조 내 온도 의 분포 를 구하 고 , 구한 분포 와 그 목표 분포 와 의 편차 에 기초 하 여 가열 기구 ( 63 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 가열 온도 의 목표 값 ( HSV ) 을 설정 한다 . 목표 값 ( HSV ) 은 상기 편차 를 제로 로 하 도록 연산 으로 구해진다 . 그 연산 에 는 예 를 들 면 PI 연산 또는 PID 연산 등 이 이용 된다 .