외부 로부터 고주파 전력 을 인가 받 는 금속 으로 된 고주파 접속 단자 ( 166 ) 는 샤워 헤드 체적 조절판 ( 140 ) 및 기체 분산 그리드 ( 142 ) 와 전기 적 으로 연결 되 기 위해 외부 로부터 반응 기벽 ( 122 ) 을 관통 하 여 설치 되 며 , 반응 기벽 ( 122 ) 과 는 전기 적 으로 차단 되 어야 하 므로 고주파 접속 단자 ( 166 ) 를 감싸 는 절연 덮개 ( 5168 ) 가 동시 에 부착 설치 된다 . 한편 , 교류 파형 고주파 전위 가 걸리 는 샤워 헤드 ( 130 ) 의 대응 극 ( opposite electrode ) 으로 작동 하 게 되 는 기판 ( 156 ) 및 기판 지지대 ( 160 ) 는 전기 적 으로 반응 기벽 ( 122 ) 을 통해 접지 ( 194 ) 처리 된다 . 고주파 접속 단자 ( 166 ) 를 통하 여 기체 분산 그리드 ( 142 ) 에 고주파 전력 을 인가 하 면 반응 실 ( 154 ) 내 존재 하 는 공정 기체 가 플 라즈 마 로 변해서 기판 ( 156 ) 에 박막 이 증착 되 는 것 을 돕 는다 .