상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마장 치 의 연마 패드 부착 방법 은 화학 적 기계 적 으로 연마장 치 에 사용 되 는 연마 패드 를 플레이튼 에 부착 시키 되 , 상기 연마 패드 와 상기 플레이튼 사이 에 제공 되 는 접착 필름 의 두께 를 30 ㎛ 이하 로 하 여 상기 연마 패드 를 상기 플레이튼 에 부착 한다 .