도시 된 바 처럼 , 인접 하 는 플 라즈 마 챔버 들 ( 310 A - 310 E ) 의 페라이트 들 ( 204 A - 204 E ) 이 영역 ( 332 A - 332 D ) 들 에 나타낸 바 처럼 약간 오버랩 될 수 있 다 . 예 로서 , 페라이트 ( 204 B ) 의 내부 에지 들 은 영역 ( 332 A ) 에서 페라이트 들 ( 204 A ) 의 외부 에지 들 에 오버랩 된다 . 유사 하 게 , 페라이트 ( 204 B ) 의 외부 에지 들 은 영역 ( 332 B ) 에서 페라이트 들 ( 204 C ) 의 내부 에지 들 에 오버랩 된다 . 오버랩 되 는 페라이트 들 ( 204 A - 204 E ) 은 동심 플 라즈 마 챔버 들 ( 310 A - 310 E ) 이 멀티 존 플라 즈 마 소스 ( 330 ) 에서 더 조밀 하 게 충전 되 는 것 을 허용 한다 . 따라서 오직 4 개 동심 링 들 ( 310 A - 310 D ) 을 갖 는 도 3 b 및 도 3 c 에 도시 된 오버랩 되 지 않 는 페라이트 실시 형태 와 같 은 직경 에 더 많 은 동심 링 들 ( 310 A - 310 E ) ( 예 를 들 면 , 5 개 동심 링 들 ) 이 포함 되 는 것 을 허용 한다 . 후술 되 는 바 처럼 , 각 링 ( 310 A - 310 E ) 은 바이어스 , 가스 흐름 , 농도 , RF 전력 등 에서 개별 적 으로 제어 될 수 있 다 . 따라서 , 더 많 은 수 의 동심 링 들 ( 310 A - 310 E ) 이 프로세스 챔버 ( 230 ) 에서 기판 ( 102 ) 의 직경 에 걸쳐 프로세스 의 더 미세 한 튜닝 제어 ( fine tuning control ) 를 제공 한다 .