[ 0060 ] 도 5 는 블록 들 ( 102 , 106 , 108 , 및 110 ) 에서 발견 되 는 프로세스 들 중 임의 의 프로세스 를 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 는 ICP 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 의 단면도 이 다 . 도 5 에 도시 된 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 는 상부 부분 ( 528 ) 및 하부 부분 ( 530 ) 을 포함 한다 . 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 는 측벽 ( 505 ) 및 덮개 조립 체 ( 510 ) 를 갖 는다 . 측벽 ( 505 ) 은 원통 과 같 은 축 대칭 형상 을 갖 는다 . 측벽 ( 505 ) 은 , 금속 으로 형성 될 수 있 는 챔버 라이너 ( 507 ) 및 축 대칭형 ( 예컨대 , 원통형 ) 유전체 측 부 윈도우 ( 506 ) 를 포함 한다 . 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 내부 의 기판 지지 부 ( 515 ) 는 기판 ( 210 ) 을 홀딩 하 기 위한 , 덮개 조립 체 ( 510 ) 와 대면 하 는 기판 지지 표면 ( 521 ) 을 갖 는 페데 스탈 ( 520 ) , 및 페데 스탈 ( 520 ) 을 지지 하 는 지주 ( post ) ( 525 ) 를 포함 한다 . 플 라즈 마 챔버 ( 500 ) 의 프로세싱 구역 ( 501 ) 은 덮개 조립 체 ( 510 ) , 페데 스탈 ( 520 ) , 및 측벽 ( 505 ) 에 의해 한정 된다 .