한편 , 소자 의 기입 및 소거 동작 의 열화 에 가장 나쁜 영향 을 미치 는 활성 영 역 의 모서리 , 즉 트렌치 상부 모서리 부위 와 접하 는 전하 이동 방지 막 ( 105 ) 을 두껍 게 형성 함 으로써 이 부위 에 걸리 는 전기장 을 감소 시켜 F - N 터널 링 이 일어나 지 않 도록 제어 한다 . 이 로써 , STI 공정 에 노출 되 지 않 아 손상 되 지 않 는 터널 링 절 연막 ( 104 ) 에 만 높 은 전기장 이 걸리 게 하 여 소자 의 기입 및 소거 동작 특성 을 개선 시킬 수 있 다 .