도 7 은 본 발명 에 따라 제조 된 포토 마스크 블랭크 ( 10 ) 의 개략 적 인 단면도 이 다 . 본 발명 의 포토 마스크 블랭크 ( 10 ) 는 기판 ( 11 ) 의 주 표면 상 에 박막 ( 12 ) 이 형성 되 어 있 고 , 박막 ( 12 ) 상 에 레지스 트 막 ( 13 ) 이 형성 되 어 있 다 . 박막 ( 12 ) 은 하나 이상 의 금속 을 포함 할 수 있 고 , 복수 의 층 으로 형성 될 수 있 다 .