상기 부식 방지 제 는 금속 의 부식 을 방지 시키 는 역할 을 하 며 , 부식 방지 제 의 함량 은 세정제 총 중량 중 0 . 01 ~ 1 중량 % 이 다 . 만일 부식 방지 제 의 함량 이 0 . 01 중량 % 미만 이 면 금속 의 부식 이 발생 하 며 , 1 중량 % 를 초과 하 면 산화 막 및 / 또는 질화 막 을 금속 으로부터 제거 하 는 것 이 용이 하 지 않 게 된다 . 부식 방지 제 의 구체 적 인 예 는 티오 글리콜 ( Thioglycol ) , 티오 글리세롤 ( thioglycerol ) , 티오 글리콜산 ( Thioglycolic acid ) , 티오디 아세트산 ( Thiodiacetic acid ) , 티오 아세트산 ( thioacetic acid ) , 티오디 에탄올 ( thiodiethanol ) 및 그 혼합물 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 것 을 포함 하 며 , 바람직 하 게 는 티오 글리세롤 이 다 .