일실 시예 에서 , 성공 적 인 접합 은 구리 기둥 범프 를 갖 는 다이 와 골드 패드 를 갖 는 기판 사이 에 이루 어 졌 다 . 이 실시 예 에서 , 순수 주석 땜납 은 솔 더 캡 ( 208 ) 에 대해 이용 되 었 다 . 접합 전 에 , 기판 의 골드 패드 는 플 라즈 마 세정 처리 를 이용 해서 세정 되 었 다 . Panasonic 사 의 PSX 303 플 라즈 마 세정 기계 가 이용 되 었 다 . 기계 는 600 Watts 와 20 Pascals 의 가스 압력 의 작동 전력 으로 세정 에 대해 아르곤 가스 를 이용 한다 . 아르곤 가스 는 30 초 동안 분당 5 millimiters 의 흐름 속도 로 기판 패드 에 적용 되 었 다 . 대략 12 Newtons 의 압력 이 대략 절반 의 Watts 의 초음파 전력 으로 접합 에 이용 되 었 다 . 대략 섭씨 260 ° 의 온도 가 순수 주석 땜납 의 용해 에 이용 되 었 고 , 접합 시간 은 대략 0 . 3 초 이 었 다 . 다른 온도 , 압력 및 / 또는 초음파 에너지 가 순수 주석 외 의 땜납 합금 을 갖 는 구리 기둥 범프 에 대해 필요 하 게 되 는 것 으로 평가 되 고 , 본 발명 은 순수 주석 땜납 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 접합 후 에 , 다이 와 기판 은 다이 와 기판 사이 에 열 기계 적 으로 형성 된 접합 의 기계 적 인 무결성 ( integrity ) 을 시험 하 기 위해 다 이 전단 시험 을 받 게 되 었 다 . 구리 기둥 범프 당 평균 다 이 전단력 은 대략 43 grams 이 었 다 . 고장점 이 주석 땜납 된 것 으로 관찰 되 었 다 .