또한 , 센서 ( 241 ) 는 온도 센서 및 압력 센서 등 을 포함 할 수 있 으며 다양 한 반도체 공정 환경 을 센싱 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 센서 ( 241 ) 는 반도체 공정 진단 센서 장치 가 로딩 된 챔버 내부 상태 ( 온도 , 압력 및 기체 등 ) 나 챔버 에 로딩 된 반도체 공정 진단 센서 장치 의 자체 상태 ( 온도 등 ) 를 센싱 할 수 있 다 .