또한 , 상기 공정 챔버 와 동일 또는 유사 한 진공 압 에서 상기 공정 챔버 내부 에 웨이퍼 를 로딩 또는 언로 딩 시키 도록 형성 된 로드 락 챔버 가 형성 되 어 있 다 . 상기 로드 락 챔버 는 상기 공정 챔버 에 웨이퍼 를 로딩 또는 언로 딩 시키 는 로봇 암 을 구비 하 며 , 다 수개 의 웨이퍼 를 탑재 한 웨이퍼 카세트 를 내부 에 수용 하 거나 대기 중 에 노출 되 는 상기 웨이퍼 카세트 로부터 다 수개 의 웨이퍼 를 낱장 으로 장입 토록 형성 되 어 있 다 .