또한 , 도 3 에서 , 웨이퍼 입 / 출력 챔버 들 ( 5 , 6 ) 의 폭 ( W 6 ) 는 종래 의 정칠 각 구성 에서 해당 폭 보다 더 작 다 ( 도 2 ) . 각 ( A 3 ) 의 경우 와 동일 한 방식 으로 정의 되 는 , 웨이퍼 입 / 출력 챔버 들 ( 5 , 6 ) 에 의해 형성 되 는 각 ( A 4 ) 는 도 2 의 각 ( A 2 ) 보다 작 은 33 . 0 ° 이 다 . 각 ( A 4 ) 가 작 을수록 , 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 1 , 7 ) 이 더욱 내측 으로 밀 어 질 수 있 는 형상 을 설정 하 기 가 용이 해 지 며 , 그 결과 폭 ( W 3 ) 가 감소 된다 . 이 와 같이 감소 된 폭 은 웨이퍼 입 / 출력 챔버 들 ( 5 , 6 ) 및 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 1 , 7 ) 사이 의 간격 을 증가 시키 는 역할 을 하 여 , 그 에 따라 , 유지 보수성 이 개선 된다 .