금속 산화 물막 ( 114 f ) 의 성막 시 에 성막 장치 의 성막 실 내 에 도입 하 는 성막 가스 의 유량 전체 에 대한 산소 유량 의 비율 ( 산소 유량 비 ) 또는 성막 실 내 의 산소 분압 이 높 을수록 절연 층 ( 110 ) 내 에 공급 되 는 산소 를 증가 시킬 수 있 다 . 산소 유량 비 또는 산소 분압 은 예 를 들 어 50 % 이상 100 % 이하 , 바람직 하 게 는 65 % 이상 100 % 이하 , 더 바람직 하 게 는 80 % 이상 100 % 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 90 % 이상 100 % 이하 로 한다 . 특히 산소 유량 비 를 100 % 로 하 고 , 성막 실 내 의 산소 분압 을 가능 한 한 100 % 에 가깝 게 하 는 것 이 바람직 하 다 .