이 와 같이 제 1 MFC ( 31 ) 및 제 2 MFC ( 32 ) 를 이용 하 여 2 차 에 걸친 희석 에 의해 고배 율 의 희석 이 이루어질 뿐 만 아니 라 필요량 이상 의 희석 가스 에 대해서 는 제 1 내지 제 2 워터 트립 ( 41 , 42 ) 을 통해 방출 하 여 버림 으로써 필요 유량 에 따라 유연 하 게 희석 배 율 및 유량 을 조절 할 수 있 게 된다 .