은 ( silver ) 은 전극 ( 21 , 24 ) 의 물질 에 대하 여 양호 한 선택 이 지만 , 빛 , 공기 및 고온 에 노출 되 었 을 때 산화 를 겪 는 경향 때문 에 실리콘 웨이퍼 제조 과정 에 포함 되 기 에 는 곤란 하 다 . 이러 한 문제 를 회피 하 도록 요부 내 에 불활성 도전 물질 ( 예 를 들 면 Pt 또는 Au ) 을 넣 고서 장치 를 제조 하 고 , 다음 에 불활성 도전 물질 의 특성 또는 표면 유형 을 변화 시킬 수 있 는데 , 여기 에 이용 되 는 방법 은 전기 도금 , 전기 중합 ( electropolymerization ) , 무전 해 도금 , 플라 즈 마 변조 , 화학 적 반응 및 당해 기술 분야 에 공지 된 다른 코팅 방법 을 포함 하 지만 그 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .