재결합 은 또한 플 라즈 마 프로세싱 동안 일어난다 . 재결합 은 재결합 산물 ( 120 ) 을 생성 한다 . 재결합 은 통상 적 으로 , 플 라즈 마 ( 112 ) 로부터 라디칼 및 뉴트럴 들 이 상부 전극 ( 104 ) 의 하부 표면 과 같 은 표면 들 에 충돌 ( impact ) 할 때 일어난다 . 다음 으로 , 재결합 산물 ( 120 ) 은 , 플라 즈 마 부산물 ( 118 ) 과 유사 하 게 , 기판 ( 102 ) 의 측면 으로부터 펌프 들 ( 108 ) 속 으로 인출 된다 . 플 라즈 마 재결합 산물 들 ( 120 ) 은 하나 이상 의 벽 또는 표면 반응 들 ( 예 를 들 면 , F + CF → CF 2 , 및 / 또는 H + H → H 2 , 및 / 또는 O + O → 02 , 및 / 또는 N + N → N 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 플 라즈 마 재결합 산물 ( 120 ) 은 또한 , CFx 가 챔버 ( 100 ) 의 벽 또는 다른 내부 표면 상 에 폴리머 를 형성 하 는 성막 을 포함 할 수 있 다 .