이후 , 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 의 바닥 부 에 다시 노출 된 기판 ( 110 ) 내부 에 불순물 을 주입 하 여 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 바닥 부 에 배치 되 는 기판 ( 110 ) 부분 에 공통 소스 영역 ( 112 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이후 , 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 의 측벽 상 에 절연 스 페이서 ( 182 ) 를 형성 하 고 , 절연 스 페이서 ( 182 ) 상 에 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 내부 를 채우 는 공통 소스 라인 ( 180 ) 을 형성 할 수 있 다 .