도 6 의 ( a ) 와 같 은 센서 의 배치 에 관하 여 , 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 의 센서 출력 이 상승 할 때 의 거리 와 , 저하 될 때 의 거리 를 도 6 의 ( b ) 에 나타낸다 . 본 도면 에 있 어서 , 횡축 은 , 센서 의 이동 거리 ( ㎜) 이 고 , 종축 은 센서 의 출력 이 다 . 시각 t 1 에 센서 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 검지 하 기 시작 하 여 , 시각 t 2 에 센서 의 출력 이 최대 가 된다 . 시각 t 2 와 시각 t 1 의 차 t 5 가 입사 시 의 에지 영역 ( 158 ) 에서 의 이행 시간 이 다 . 시각 t 3 에 센서 의 출력 이 최대 이 고 , 그 직후 에 센서 의 일부 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 로부터 나오 기 시작 한다 . 시각 t 4 에 센서 출력 이 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 검지 하 지 않 게 된다 . 시각 t 4 와 시각 t 3 의 차 t 6 이 탈출 시 의 에지 영역 ( 158 ) 에서 의 이행 시간 이 다 . 도 6 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 코어 ( 154 ) 를 설치 하 면 , 도 6 의 ( b ) 에 도시 하 는 바 와 같이 차 t 5 와 차 t 6 이 동등 해진다 .