제 1 장벽층 ( 108 ) 을 형성 하 기 위한 반응 기체 는 ertbutylimido ( trisdiethylamide ) tantalum ( TBTDET ) , pentakis ( diethylamide ) tantalum ( PDEAT ) , pentakis ( dimethylaminde ) tantalum ( PDMAT ) 또는 pentakis ( ethylmethylamino ) tantalum ( PEAMT ) 따위 를 사용 할 수 있 다 .