기체 소스 ( 14 ) 는 기체 분배 요소 ( 12 ) 로 프로세스 기체 들 및 캐리어 기체 들 을 공급 하 도록 작동 되 며 , 따라서 이 기체 들 은 웨이퍼 캐리어 및 웨이퍼 들 을 향하 여 아래 로 흐르 고 , 캐리어 의 최 상부 표면 ( 34 ) 위 로 그리고 웨이퍼 들 의 노출 된 최 상부 표면 들 ( 74 ) 위 로 일반 적 으로 방사상 의 외부 방향 으로 흐른다 . 챔버 ( 10 ) 의 벽 및 기체 분배 요소 ( 12 ) 는 이 표면 들 에서 기체 들 의 반응 을 금지 하 기 위해 상대 적 으로 낮 은 온도 들 에서 유지 된다 .