이 와 같이 하 여 , 몰드 의 형상 이 전사 된 구조 체 를 기체 상 에 형성 할 수 있 다 . 형성 된 구조 체 는 , 기체 를 에칭 가공 할 때 의 레지스 트 로서 뿐 만 아니 라 , CM 0 S 센서 에 있 어서 의 극소 렌즈 등 으로서 도 이용 할 수 있 다 . 즉 , 본 발명 에서 는 , 몰드 의 형상 을 바꿈 으로써 여러 가지 형상 의 구조 체 를 제조 할 수 있 다 . 특히 제 2 실시 형태 에 있 어서 의 구조 체의 제조 방법 에서 는 , 몰드 박리 후 의 수지 층 에 대해 감압 하 에서 자외선 을 조사 하 기 위해 , 얻 어 지 는 구조 체의 열 안정 성 이 높 다 . 따라서 , 구 조체 에 대해 가열 처리 가 실시 되 는 경우 에 도 형상 변화 가 억제 된다 .