휴즈 등 의 ( 참조 로서 포함 된 ) 미국 특허 제 6 , 183 , 831 호 는 진공 챔버 내 의 디스크 의 자기 층 에 증기 상 , 즉 , 가스 상태 의 윤활제 ( 바람직 하 게 는 미국 특허 제 5 , 776 , 577 호 에 개시 된 퍼플 루오 로 폴리에테르 ( PFPE ) ) 를 도포 함 으로써 윤활제 필름 으로 자기 하드 디스크 를 코팅 하 는 방법 및 장치 를 개시 한다 . 자기 디스크 는 진공 챔버 의 내부 및 외부 로 이송 되 는 카세트 에서 디스크 를 리프트 하 는 운반 블레이드 에 의해 증기 의 유동 통로 로 연속 하 여 로딩 된다 . 진공 챔버 내 에 위치 한 소 스 에서 의 액체 형태 의 윤활제 에 충분 한 열 을 공급 함 으로써 증기 가 획득 된다 . 그 결과 발생 한 증기 는 자기 디스크 에 입사 하 기 전 에 증기 체적 을 통해 거기 서부터 가스 디 퓨 저판 을 거쳐 흐른다 . 단일 수정 미량 저울 ( QCM ; quartz crystal microbalance ) 은 , 액체 윤활제 소스 로부터 증발 된 윤활제 증기 의 유속 을 모니터링 하 여 액체 윤활제 소스 에 도포 되 는 열량 을 제어 함 으로써 액체 윤활제 의 온도 및 액체 윤활제 소스 로부터 증발 되 는 증기 윤활제 의 질량 유속 을 제어 하 는 게이지 에 포함 된다 .