도 1 내지 도 4 는 본 발명 에 따라 형성 되 는 위치 측정 장치 의 제 1 실시 예 를 도시 한다 . 이러 한 위치 측정 장치 는 피드 방향 ( X ) 및 다른 자유도 ( Y , Z , RX , RY , RZ ) 에서 상호 이동 가능 한 2 개 의 물체 의 상대 위치 를 측정 하 기 위해 역할 한다 . 3 개 의 자유도 ( X , Y , Z ) 는 선형 자유도 이 고 , 자유도 ( RX , RY , RZ ) 는 각각 의 선형 축 ( X , Y , Z ) 둘레 에서 회전 자유도 이 다 . 피드 방향 ( X ) 은 주 측정 방향 이 고 , 다른 자유도 ( Y , Z , RX , RY , RZ ) 는 각각 의 위치 ( X ) 에서 위치 측정 장치 를 이용 하 여 측정 가능 한 편차 이 다 .