도 6 및 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 센서 ( 6 ) 는 , 예컨대 , 외부 광 을 차광 가능 하 고 하부 측 에 측정 광 ( L 1 ) 을 통과 가능 하 게 하 는 개구 ( 630 ) 가 형성 된 케이스 ( 63 ) 를 구비 하 고 있 고 , 케이스 ( 63 ) 는 , 예컨대 , 테이블 이동 수단 ( 13 ) 에 의한 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 이동 방향 인 X 축 방향 에 직교 하 는 Y 축 방향 으로 연장 하 고 있 다 .