상기 패키지 공정 중 에 는 상기 에폭시 수지 로 인한 분진 이나 찌꺼기 등 의 잔류물 이 발생 한다 . 상기 잔류물 은 상기 패키지 공정 의 결함 으로 작용 할 수 있 으므로 , 배관 을 이용 하 여 상기 잔류물 을 흡입 한다 . 상기 배관 은 상기 잔류물 의 흡입 을 위한 개구 를 갖 는다 . 상기 개구 는 배관 개폐 유닛 에 의해 개폐 된다 . 상기 배관 개폐 유닛 은 상기 잔류물 흡 입시 상기 개구 를 개방 하 며 , 그 외 에 는 상기 배관 내부 의 잔류물 이 외부 로 유출 되 지 않 도록 상기 개구 를 차단 한다 .