상기 도면 에 따르 는 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 는 크 게 히터 플레이트 ( 100 ) 와 세라믹 디스크 ( 110 ) 와 , 상부 플랜지 ( 120 ) 와 , 하부 플랜지 ( 130 ) 와 , 중심관 체 ( 140 ) 와 , 전원 라인 ( 150 ) 들 과 , T . C 라인 ( 161 ) ( 162 ) 및 그 지지 구조 ( 160 ) 로 이루어진다 .