실시 예 , 비 교예 에 따라 형성 된 레지스 트 패턴 에 대해서 , 실온 에서부터 350 ℃ 까지 승 온 후 350 ℃ 를 유지 하 고 60 분 간 가열 하 여 , 레지스 트 패턴 으로부터 발생 한 가스 성분 을 , 승 온 탈리 분석 장치 ( 전자 과학사 제조 , 제 품명 「 WA 1000 S / W 」 ) 에 의해 측정 하 였 다 . 검출 된 물 의 피크 면적 값 으로부터 물 의 질량 ( ㎍) 을 구하 고 , 가열 전 의 레지스 트 패턴 의 질량 ( g ) 으로 나눔 으로써 단위 질 량당 의 수분 량 ( ㎍/ g ) 을 산출 하 고 , 이하 의 기준 으로 평가 하 였 다 .