평면 에서 봤 을 때 , 복수 의 존 ( ZA 1 , ZA 2 , ZA 3 , ZA 4 , ZB 1 , ZB 2 , ZB 3 , ZB 4 ) 의 각각 에 는 , 1 개 이상 의 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 가 배치 된다 . 따라서 , 수조 내 온도 의 수평 방향 분포 를 측정 할 수 있 다 . 또한 , 존 ( ZA 1 , ZA 2 , ZA 3 , ZA 4 , ZB 1 , ZB 2 , ZB 3 , ZB 4 ) 마다 , 처리 액 ( 3 ) 의 수조 내 온도 를 감시 하 면서 , 가열 기구 ( 63 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 가열 온도 를 조정 할 수 있 다 .