상기 제 어부 ( 80 ) 는 , 상기 제 1 농도 측 정부 ( 50 ) 에 의해 측정 된 농도 값 이 기 설정 된 값 보다 낮 을 경우 , 상기 제 2 밸브 부 ( 72 ) 가 개방 되 도록 하 고 , 이 에 따라 상기 제 3 연결 라인 ( L 3 ) 을 통해 이동 되 는 처리 수 는 , 상기 순환 라인 ( R ) 을 통해 상기 제 2 연결 라인 ( L 2 ) 으로 순환 되 어 재차 상기 제 2 나노 필 터부 를 통과 하 게 된다 .