도 1 및 도 6 을 참조 하 면 , 먼저 , 제 1 스테이지 ( 100 ) 로 검사 대상 ( S ) 을 반입 한다 ( S 110 ) . 반입 된 검사 대상 ( S ) 은 제 1 레 일부 ( 110 ) 에 길 이 방향 으로 배치 될 수 있 다 . 예컨대 , 검사 대상 ( S ) 은 그 단 측면 이 제 1 레 일부 ( 110 ) 의 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 과 평행 하 도록 제 1 레 일부 ( 110 ) 에 배치 될 수 있 다 .