웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 밖 인 경우 에 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 다시 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞추 는 리 트라이 동작 을 실행 한다 . 즉 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 웨이퍼 W 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로부터 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로 전달 하 여 , 보유 지지 시키 고 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검 출부 ( 60 ) ( 또는 편심 검 출부 ( 60 A ) ) 를 동작 시켜 , 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 , 얼라 이너 를 동작 시켜서 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞추 어 , 스테이지 승강 기구 ( 51 ) 를 동작 시켜서 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 하 여 , 보유 지지 시키 고 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검 출부 ( 60 ) ( 또는 편심 검 출부 ( 60 B ) ) 를 동작 시켜서 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 내 에 있 는지 여부 를 확인 하 는 스텝 을 실행 한다 . 리트 라 이 동작 에서 는 , 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 는 동작 을 생략 해도 된다 . 이 경우 에 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 전회 의 센터 링 동작 후 에 취득 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 에 기초 하 여 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 를 회전 시켜서 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로부터 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 웨이퍼 W 를 전달 하 고 , 또한 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 를 이동 시킨다 .