기판 의 주 표면 상 에 박막 이 형성 되 어 있 고 , 상기 박막 상 에 레지스 트 막 이 도포 되 어 있 는 포토 마스크 블랭크 로서 , 상기 기판 의 일부 영역 에 불소 ( F ) 를 함유 하 는 재료 를 포함 하 는 도포 방지 막 이 형성 되 어 있 고 , 상기 도포 방지 막 이 형성 된 영역 은 상기 레지스 트 막 이 비 도포 된 영역 인 것 을 특징 으로 하 는 포토 마스크 블랭크 .