마무리 연마 용 연마 액 의 경우 , 거친 연마 에서 의 텅스텐 재료 의 연마 속도 가 절연 재료 의 연마 속도 이상 인 경우 가 많 으므로 , 거친 연마 의 종료 시점 ( 마무리 연마 의 개시 시점 ) 에서 , 디싱 이 생긴 상태 , 또는 , 평탄 한 상태 인 경향 이 있 다 . 이 때문 에 , 절연 재료 에 대한 텅스텐 재료 의 연마 속도 비 는 , 마무리 연마 후 의 평탄 성 을 양호 하 게 하 는 관점 에서 , 1 . 5 보다 작 은 것 이 바람직 하 고 , 1 . 2 이하 가 보다 바람직 하 고 , 1 . 0 이하 가 더욱 바람직 하 다 .