도 4 에 예시 한 증착 장치 ( 200 A ) 는 유체 전달 부 ( 210 ) 와 , 상기 유체 전달 부 ( 210 ) 에 있 는 원료 용기 ( 212 ) 로부터 공급 되 는 공정 가스 를 사용 하 여 기판 ( W ) 상 에 박막 을 형성 하 기 위한 퇴적 공정 이 수행 되 는 박막 형성 부 ( 250 ) 와 , 상기 박막 형성 부 ( 250 ) 에서 반응 에 사용 되 고 남 은 가스 또는 반응 부산물 들 을 배출 시키 기 위한 배기 시스템 ( 270 ) 을 포함 한다 .