또한 , 상술 한 실시 형태 에 있 어서 는 , 드라이 클리너 [ 4 ( 30 , 50 ) ] 에 대해 기판 탑 재부 ( 8 ) 가 Y 방향 으로 이동 하 고 있 지만 , 기판 탑 재부 ( 8 ) 에 대해 드라이 클리너 [ 4 ( 30 , 50 ) ] 가 Y 방향 으로 이동 하 도록 해도 좋 다 . 즉 , 드라이 클리너 [ 4 ( 30 , 50 ) ] 를 컨베이어 등 의 반송 수단 에 의해 Y 방향 으로 반송 함 으로써 , 기판 탑 재부 ( 8 ) 에 대 해 드라이 클리너 ( 4 ) 를 Y 방향 으로 이동 하 도록 해도 좋 다 .