회 전부 ( 57 ) 는 , 케이싱 ( 58 ) 내 에 모터 ( 59 ) 를 갖 고 있 다 . 모터 ( 59 ) 의 스핀들 ( 59 a ) 은 , 유지 테이블 ( 53 ) 에 있 어서 의 유지 면 ( 56 ) 의 하면 에 연결 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 예 를 들 어 , 모터 ( 59 ) 의 회전축 ( 스핀들 ( 59 a ) 의 중심 ) 이 웨이퍼 ( W ) 의 중심 을 통과 하 도록 , 유지 면 ( 56 ) 에 유지 된다 .