제 1 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 와 공정 챔버 ( 40 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 하 는 제 1 이송 모듈 ( first transfer module ) 을 포함 한다 . 도 4 및 도 5 를 참조 하 면 , 제 1 이송 모듈 은 하우징 ( 102 ) , 제 1 로봇 ( first robot ) ( 110 ) , 그리고 제 2 로봇 ( second robot ) ( 120 ) 을 가진다 . 하우징 ( 102 ) 은 내부 에 제 1 로봇 ( 110 ) 및 제 2 로봇 ( 120 ) 이 설치 되 는 공간 을 제공 한다 . 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 의 전면 에 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 가 배치 되 고 , 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 의 양측 에 는 제 1 공정 챔버 ( 42 ) 가 배치 된다 . 또한 , 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 의 후면 에 는 후술 할 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 200 ) 가 배치 된다 .