본 발명 의 변형 된 실시 예 에 따른 박막 증착 방법 은 RF 전원 ( 180 ) 으로부터 전력 을 제공 받 아 전력 을 분배 하 여 복수 의 전원 전극 ( 110 ) 에 제공 하 는 단계 , 상기 전원 전극 ( 110 ) 의 양 측면 에 대향 하 도록 배치 된 접지 전극 ( 120 ) 과 상기 전원 전극 ( 120 ) 사이 에 제 1 가스 를 제공 하 는 단계 , 제 1 가스 공급 라인 ( 163 ) 을 통하 여 상기 접지 전극 ( 120 ) 과 상기 전원 전극 ( 110 ) 사이 에 공급 된 제 1 가스 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 는 단계 , 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 및 상기 접 지 전극 ( 120 ) 을 통하 여 공급 된 제 2 가스 를 이용 하 여 상기 플 라즈 마 와 상호 작용 하 는 반응 영역 ( 109 ) 에 제 2 가스 를 공급 하 는 단계 , 및 상기 반응 영역 ( 109 ) 에 배치 된 기판 ( 108 ) 에 박막 을 형성 하 는 단계 를 포함 한다 . 상기 제 2 가스 는 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 직접 분사 되 지 않 을 수 있 다 .