도 2 는 , 본 실시 형태 에 따른 성막 방법 을 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 3 은 , TiN 막 상 에 텅스텐 막 을 성막 했 을 때 의 개략 단면도 이 다 . 도 4 는 , 경과 시간 과 버퍼 탱크 내 의 압력 과 의 관계 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 4 중 , 횡축 은 경과 시간 ( 초 ) 을 나타내 고 , 종축 은 버퍼 탱크 내 의 압력 ( Torr ) 을 나타내 고 있 다 .