그러나 , 도 1 a 에서 같 은 정상 적 인 실린더 커패시터 에 디 포커스 의 발생 시 웨이퍼 에지 에서 디 포커스 가 발생 하 게 된다 . 따라서 , 도 1 b 에서 와 같이 딥 - 아웃 ( Dip out ) 이후 에 버텀 선폭 ( Bottom CD ) 이 작아지 거나 아예 확보 되 지 않 는 경우 가 발생 하 게 된다 . 이 에 따라 , 실린더 커패시터 가 쓰러지 게 되 고 , 도 2 에서 와 같 은 붕괴 ( Collapse ) 가 발생 하 여 결함 의 원인 이 됨 으로써 반도체 소자 의 수율 을 감소 시키 게 된다 . 이러 한 결함 이 실린더 커패시터 의 패 터닝 시 해결 해야 할 큰 문제점 중 의 하나 가 된다 .