집광 렌즈 로부터 출사 하 는 레이저 빔 의 집 광점 은 , 예컨대 , 웨이퍼 의 표면 에 위치 된다 . 집 광점 의 위치 는 , 집광 렌즈 의 설계 값 등 에 의해서 결정 되 지만 , 집광 렌즈 와 척 테이블 의 간격 이 고 정밀 로 특정 되 지 않 는 경우 에 는 , 척 테이블 에 유지 된 웨이퍼 에 대해서 집 광점 을 적정 하 게 위치 시킬 수 없 다고 하 는 문제 가 있 다 .