상술 된 타입 의 밸브 는 종래 기술 에서 다른 실시 예 로 알려져 있 는 것 이 며 , 특히 , 가능 한 오염 입자 가 없 는 보호 분위기 에서 작업 이 이루어져야 만 하 는 IC 그리고 반도체 제조 지역 에서 사용 된다 . 진자 밸브 는 예 를 들 어 , 공정 실과 진공 펌프 사이 에 가스 흐름 을 제어 하 는 역할 을 한다 . 활주 게이트 밸브 는 예 를 들 면 , 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판 을 제조 하 는 생산 설비 의 제 조실 간 에 연결 통로 에 설치 된다 . 상기 활주 게이트 밸브 에 의해 , 일 제 조실 에서 다음 제 조실 로 고 민감 반도체 또는 액정 소자 를 전달 하 기 위해 연결 통로 를 개방 할 수 있 고 그리고 각각 의 제 조 단계 가 실시 되 어 진 후 에 는 가스 기밀 하 게 폐쇄 할 수 있 다 .