또한 , 변형 된 일 실시 양태 에 있 어서 는 , 미리 세 정구 ( 63 ) 를 회전 시키 면서 기판 ( W ) 에 세 정구 ( 63 ) 를 접촉 시키 도록 해 두 고 , 이어서 로드 셀 에 의해 하중 대신 에 「 토크 」 를 검지 하 면서 , 토크 의 측정값 에 기초 하 여 세 정구 의 상하 방향 의 위치 가 변경 되 도록 , 세 정구 ( 63 ) 가 하강 할 때 의 속도 를 제어 해도 된다 . 이 에 의해 , 결과 적 으로 , 세 정구 ( 63 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 에 가해 지 는 하중 의 상승 값 의 관리 를 행해도 된다 .