그러면 상기 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 는 수평 으로 배치 되 는 상태 를 유지 하 고 , 다시 상기 모터 ( 23 a ) 의 제어 에 의하 여 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 를 하강 시켜 상기 기판 공급 부 ( 3 ) 와 동일 한 높이 를 맞추 어 새로운 기판 ( 도시 생략 ) 을 공급 받 을 수 있 는 위치 로 이동 되 도록 제어 한다 . 상술 한 바 와 같이 또 다른 기판 ( 도시 생략 ) 을 기판 공급 부 ( 3 ) 로부터 전달 받 는다 .