일부 구 현예 에서 , 열적 ALD 의 한 사이클 은 그 사이클 을 통하 여 연속 적 으로 반응물 을 반응 챔버 에 공급 하 는 단계 를 포함 하 고 , 이 반응물 은 에탄올 , H 2 O , 및 O 3 로 구성 되 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 하나 의 가스 이 다 . 반응물 의 반응 성 이 높 지 않 을 때 , 반응물 은 반응 챔버 를 통해 연속 적 으로 흐를 수 있 다 . 그러나 , 반응 성 이 낮 기 때문 에 , 원 하 는 두께 를 갖 는 막 의 증착 을 완료 하 는 데 긴 시간 이 걸린다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 열적 ALD 의 한 사이클 은 촉매 가스 를 펄스 로 반응 챔버 에 공급 하 는 단계 를 포함 하 고 , 이 촉매 가스 는 전구체 및 반응물 이외 의 가스 이 고 그 사이클 에서 산화 막 의 증착 을 촉진 시킬 수 있 다 . 촉매 가스 를 공급 함 으로써 , 열적 ALD 에 대한 막 증착 율 은 상당히 개선 될 수 있 고 , 반응 성 이 낮 을 수 있 는 반응물 가스 를 연속 적 으로 흐를 수 있 게 한다 . PEALD 에서 뿐 만 아니 라 ALD 에서 반응물 이 연속 적 으로 흐르 면 , 열적 ALD 및 PEALD 를 위해 상이 한 반응물 들 이 요구 될 수 있 지만 , 반응 챔버 내 의 압력 은 열적 ALD 의 사이클 및 PEALD 의 사이클 에 걸쳐서 실질 적 으로 일정 하 게 된다 .