중합 된 싸이클 로 핵산 ( PPCHex ) 박막 을 기판 위 에 증착 하 는 방법 은 다음 과 같 다 . 기판 ( 3 ) 을 증착 챔버 에 넣 기 전 에 트리클로로에틸렌 ( trichloroethylene ) , 아세톤 ( acetone ) 및 메탄올 ( methanol ) 순 으로 세척 한 다음 , 반응 챔버 ( 1 ) 의 기판 받침대 ( 4 ) 위 에 올려 놓 는다 . 이후 , 상기 진공 수단 ( 7 ) 을 통해 상기 플 라즈 마 반응 챔버 ( 1 ) 내부 의 압력 을 조절 하 고 , 상기 거품기 ( 9 ) 를 통해 전구체 인 싸이클 로 핵산 을 운송 가스 와 함께 상기 플 라즈 마 반응 챔버 ( 1 ) 내 로 주입 하 고 , 상기 기판 받침대 ( 4 ) 의 하부 에 배치 되 는 히터 를 통해 상기 플 라즈 마 반응 챔버 내부 의 온도 를 상승 시킨다 . 이러 한 상태 에서 상기 R . F 생성기 ( 6 ) 로 상기 외부 전극 ( 2 ) 및 상기 내부 전극 ( 4 ) 에 ICP 파워 와 SB 파워 를 인가 하 면 , 상기 외부 전극 ( 2 ) 및 받침대 ( 4 ) 에 의해 생성 된 플라 즈 마들 이 상기 기판 ( 3 ) 과 상기 플 라즈 마 반응 챔버 ( 1 ) 사이 에 형성 된다 . 이 때 , 생성 된 상기 플 라즈 마 에 의해 상기 전구체 인 싸이클 로 핵산 이 중합 되 면서 싸이클 로 핵산 박막 ( PPCHex ) 이 기판 ( 3 ) 상 에 균일 하 게 증착 된다 .