헤드 유닛 ( 62 C ') 은 , 도 31 에 도시 된 바 와 같이 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ) 의 - X 측 으로 기준 축 ( LA ) 상 에 간격 ( WD ) 과 거의 동일 한 간격 으로 배치 된 3 개 의 헤드 ( 1671 ∼ 1673 ) 와 , 기준 축 ( LA ) 으로부터 + Y 방향 으로 소정 거리 떨어진 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ) 의 + Y 측 에 배치 된 헤드 ( 1674 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 헤드 ( 1673 , 1674 ) 사이 의 X 축 방향 의 간격 은 WD 보다 약간 좁 게 설정 되 어 있 다 .