도 4 에 는 도시 하고 있 지 않 지만 유리 기판 ( G ) 를 반송 하 는 반송 기구 ( 80 ) 은 도 5 에 나타나 는 바 와 같이 유리 기판 ( G ) 의 양측 으로 각각 복수 설치 되 고 유리 기 판 ( G ) 의 단부 를 흡착 하 는 복수 의 흡착 부재 ( 81 ) 과 흡착 부재 ( 81 ) 을 지지 함 과 동시 에 유리 기판 ( G ) 를 반송 하 는 한 쌍 의 반 송체 ( 82 ) 와 반 송체 ( 82 ) 를 가이드 하 는 한 쌍 의 가이드 레일 ( 83 ) 과 반 송체 ( 82 ) 를 구동 하 는 구동 기구 ( 84 ) 와 가이드 레일 ( 83 ) 을 승강 하 는 승강 기구 ( 85 ) 를 가지 고 있 다 . 구동 기구 ( 84 ) 및 승강 기구 ( 85 ) 는 제 어부 ( 75 ) 에 의해 제어 된다 . 제 어부 ( 75 ) 는 유리 기판 ( G ) 의 부상 거리 에 대응 해 가이드 레일 ( 83 ) 의 상하 위치 를 제어 하 도록 되 어 있 다 .