기판 스테이지 ( PST ) 나 마스크 스테이지 ( MST ) 에 리니어 모터 를 사용 하 는 경우 에 는 , 에 어 베어링 을 사용 한 에어 부상 형 , 및 로렌츠 힘 또는 리액턴스 힘 을 사용 한 자기 부상 형 중 어느 쪽 을 사용 해도 된다 . 또한 , 스테이지 는 , 가이드 를 따라 이동하 는 타입 이 어도 되 고 , 가이드 를 형성 하 지 않 는 가이드 리스 타입 이 어도 된다 .