테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 은 더미 게이트 전극 층 ( 181 ) 에 인접 하 게 놓인 경계 측벽 스 페이서 ( 185 A ) 의 일부 일 수 있 다 . 경계 측벽 스 페이서 ( 185 A ) 의 원래 상부 는 평탄 화 프로세스 에서 제거 되 었 다 . 그 결과 , 경계 측벽 스 페이서 ( 185 ) 는 실질 적 으로 사다리꼴 형상 을 가질 수 있 고 , 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 은 실질 적 으로 삼각형 형상 을 가질 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 의 매끄러운 측벽 은 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 의 표면 에 도달 하 지 않 는다 . 이 들 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 은 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 위 에서 종결 된다 . 그렇지만 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 은 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 에 매우 가까이 도달 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 ) 은 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 의 두께 와 동일 한 거리 만큼 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 로부터 이격 된다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 A ) 은 , 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 의 두께 보다 더 작 은 , 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 의 거리 내 에 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 로부터 의 테이퍼 형 측벽 구조물 ( 187 ) 의 간격 은 , 더미 게이트 유전체 층 ( 183 ) 의 하나 이상 의 층 의 두께 이상 이 다 . 이 들 간격 은 또한 , 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 로부터 의 경계 측벽 스 페이서 ( 185 ) 의 간격 을 반영 할 수 있 다 .