그리고 , 300 도 ( ℃) 와 350 도 ( ℃) 의 온도 에서 열 적 활성 화 를 시킨 후 에 DLTS 로 탄소 를 검출 하 면 , 도 4 에 도시 된 바 와 같 은 농도 의 탄소 를 검출 할 수 있 었 다 . 이때 , 열처리 시간 이 짧 을수록 높 은 수준 의 탄소 농도 가 검출 됨 을 알 수 있 었 으며 , 300 도 ( ℃) 에서 의 열처리 가 350 도 ( ℃) 에서 의 열처리 가 DLTS 를 이용 한 탄소 검출 에 보다 효율 적 이 고 , 또한 열처리 시간 은 10 분 이내 로 바람직 하 게 는 5 분 정도 인 것 이 가장 효율 적 인 것 을 알 수 있 었 다 .