단계 ( 712 ) 에서 는 , 새로운 정렬 편향 구동 ( Va ') 을 결정 하 도록 CPB 가 기준 위치 에 대해 스캐닝 된다 . 예 를 들 어 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 빔 편 향기 는 주축 으로부터 변위 된 기준 애퍼처 를 스캔 하 도록 CPB 를 구동 시킨다 . CPB 스캔 은 단계 ( 704 ) 에서 로딩 된 현재 의 정렬 편향 구동 에 기초 한다 . 예 를 들 어 , 빔 편 향기 는 , 정렬 편향 구동 값 에 부가 된 진동 스캔 신호 를 빔 편 향기 에 제공 함 으로써 기준 애퍼처 를 스캔 하 도록 구동 될 수 있 다 . 기준 애퍼처 는 주축 으로부터 변위 된 검출기 에 의해 정의 될 수 있 다 . CPB 를 스캐닝 하 는 동안 , 기준 애퍼처 를 통과 하 는 스캐닝 빔 의 편향 구동 값 들 및 대응 하 는 빔 전류 가 기록 될 수 있 다 . 정렬 편향 구동 값 들 은 기록 된 빔 전류 에 기초 하 여 결정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 정렬 편향 구동 값 들 은 검출 된 최대 빔 전류 에 대응 하 는 편향 구동 값 들 이 다 .