이하 , 본 발명 의 실시 형태 에 따른 장치 에 대해 도면 에 기초 하 여 설명 한다 . 장치 는 제 1 연마 수단 과 제 2 연마 수단 을 포함 한다 . 이 들 각 수단 은 브러시 형 툴 을 이용 한다 . 브러시 형 툴 은 , 표 2 에 나타낸 바 와 같이 연마 그레인 을 함유 하 는 수지 와이어 로 이루어진 브러시 다발 을 갖 는다 . 제 1 연마 수단 은 부재 의 평면 연마 용 한 쌍 의 황 삭 수단 과 , 부재 의 평면 연마 용 두 쌍 의 정삭 수단 을 포함 한다 . 두 쌍 의 정삭 수단 의 연마 그레인 의 크기 는 상이 하 다 . 제 2 연마 수단 은 부재 의 모서리 부 연마 용 한 쌍 의 황 삭 수단 과 , 부재 의 모서리 부 연마 용 한 쌍 의 정삭 수단 을 포함 한다 .