도 6 은 반도체 소자 의 오버레이 ( overlay ) 불량 및 틸 트 ( tilt ) 불량 의 일 예 를 보여 주 는 단면도 이 다 . 도 6 을 참조 하 면 , 오버레이 불량 은 상부 콘 택 홀 ( H 2 ) 이 하부 콘 택 홀 ( H 1 ) 로 부 터 일정 거리 쉬프 트 되 는 경우 의 불량 이 다 . 틸 트 불량 은 상부 콘 택 홀 ( H 2 ) 이 하부 콘 택 홀 ( H 1 ) 에 비해 경사지 게 형성 되 는 경우 의 불량 이 다 . 도면 에 도시 되 지 않 았 지만 , 폴리곤 불량 은 콘 택부 내부 의 형태 가 정상 적 인 원형 형태 를 갖 지 않 는 경우 를 나타낸다 .