상기 흡착 스테이지 의 상면 에 기판 을 탑재 했 다면 , 상기 진공 흡착 홈 에 흡인력 을 발생 시키 고 , 기판 을 흡착 스테이지 의 상면 에 진공 흡착 한다 . 그 다음 에 , 에 어 분출구 에 에 어 공급 하 면 , 그 에어 는 흡착 스테이지 의 상면 과 기판 의 둘레 부 하면 의 간극 으로부터 외측 을 향해 토출 된다 . 이 에 따라 기판 의 상면 을 처리 액 에 의해 처리 하 고 있 을 때 , 그 처리 액 이 흡착 스테이지 의 상면 과 기판 사이 에 들어가 는 것 을 방지 할 수 있 다 .