일부 실시 예 들 에서 , 데이터 포인트 들 ( 110 ) 은 수율 데이터 ( 예 를 들 어 , 프로세스 데이터 가 측정 되 는 동안 의 일괄 ( batch ) 용 수율 데이터 ) 에 대응 하 며 프로세스 데이터 를 나타내 는 순서 화 된 데이터 의 쌍 들 의 일부 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 데이터 포인트 들 ( 110 ) 은 하나 또는 그 이상 의 데이터 매트릭스 의 엔트리 들 을 나타낸다 . 예 를 들 어 , 프로세스 데이터 는 X 매트릭스 라고 도 칭하 는 제 1 데이터 매트릭스 의 엔트리 들 일 수 있 다 . X 매트릭스 는 N 개 의 로우 ( 관찰 이 라고 도 칭함 ) 와 K 개 의 컬럼 ( 변수 라고 도 칭함 ) 을 포함 하 는 N x K 매트릭스 일 수 있 다 . 수율 데이터 는 Y 매트릭스 라고 도 칭하 는 제 2 데이터 매트릭스 의 엔트리 들 일 수 있 다 . Y 매트릭스 는 N 개 의 로우 와 M 개 의 컬럼 을 포함 하 는 N x M 매트릭스 일 수 있 다 .