예컨대 도 5 를 참조 하 면서 , 서 셉 터 ( 9 ) 의 상류 와 하류 에 위치 한 하부 표면 부 ( 3 ) 는 서 셉 터 ( 9 ) 보다 낮 은 온도 를 가진다는 점 을 지적 할 만 하 다 . 왜냐하면 그것 들 은 각각 가스 입 구 및 가스 출구 에 가까이 에 위치 하 기 때문 이 다 ( 이 는 성장 의 감소 를 유발 한다 ) . 게다가 서 셉 터 ( 9 ) 의 하류 부분 ( 즉 오른쪽 ) 으로부터 떨어져 나온 파티클 은 가스 출구 로 바로 소실 되 므로 어떠 한 손상 도 입히 지 않 는다 . 결국 서 셉 터 ( 9 ) 의 상류 부분 ( 즉 왼쪽 ) 으로부터 떨어져 나온 파티클 이 반응 가스 흐름 에 의해 이송 되 는 경향 이 있 고 , 서 셉 터 ( 9 ) 내 또는 위 에 수용 된 기판 들 에 는 떨어지 지 않 는다 .