상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 는 상기 샤프트 ( 311 ) 에 의해 수직 또는 수평 으로 회전 이동 된다 . 즉 , 상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 는 기판 ( 307 ) 이 반입 될 때 에 는 수평 으로 유지 된다 . 이 에 따라 , 상기 기판 ( 307 ) 이 상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 에 안착 된다 . 이때 , 상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 상 에 안착 된 기판 ( 307 ) 이 움직이 지 않 도록 하 기 위해 상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 상 의 소정 부분 에 구비 된 클램프 ( 미 도시 ) 에 의해 상기 기판 ( 307 ) 이 고정 될 수 있 다 . 상기 기판 ( 307 ) 이 안착 된 상기 기판 유지 플레이트 ( 310 ) 는 상기 샤프트 ( 311 ) 에 의해 수직 으로 회전 이동 되 어 상기 실드 마스크 ( 312 ) 상 에 대면 된다 . 상기 실드 마스크 ( 312 ) 는 상기 기판 유지 부 ( 308 ) 와 상기 스퍼터링 부 ( 309 ) 사이 를 구획 하 기 위해 몸체 ( 313 ) 내부 면 을 따라 형성 된다 . 상기 기판 ( 307 ) 을 제외 한 나머지 부분 은 상기 실드 마스크 ( 32 ) 에 가려 지 게 된다 .