상기 연마 입자 의 평균 입경 의 측정 은 , 주사 전자 현미경 분석 또는 동 적광 산란 으로 측정 될 수 있 는 시야 범위 내 에 있 는 복수 의 입자 의 입경 의 평균값 이 다 . 상기 연마 입자 가 10 nm 미만 일 경우 에 는 연마 입자 의 크기 에 대한 연마 율 이 감소 하 고 , 선택 비 구현 이 어려운 문제점 이 있 을 수 있 고 , 200 nm 초과 인 경우 에 는 과잉 연마 가 이루어져 선택 비 조절 이 어려워 지 고 , 디싱 , 침식 및 표면 결함 이 발생 할 가능 성 이 있 다 .