도 3 d 에 도시 된 바 와 같이 , 에치 백 공정 을 통해 희생 막 패턴 ( 24 A ) 을 제거 한다 . 이때 , 에치 백 공정 은 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 의 표면 이 노출 될 때 까지 진행 하 므로써 , 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 주변 지역 의 층간 절 연막 상부 ( 도면 부호 ' 22 B ') 까지 식각 한다 . 즉 , 희생 막 패턴 ( 24 A ) 의 에치 백공 정시 주변 부 의 층간 절 연막 상부 ( 22 B ) 보다 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 의 표면 이 늦 게 노출 되 므로 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 의 추가 손실 은 최소 화 하 면서 식각 마진 을 충분히 확보 할 수 있 다 .