"[ 0039 ] 본원 에서 사용 되 는 "" 기판 "" 이 라는 용어 는 특히 ", 실질 적 으로 비 가요 성 ( inflexible ) 인 기판 들 , 예컨대 , 웨이퍼 , 사파이어 등 과 같 은 투명 한 크리스털 의 슬라이스 ( slice ) 들 , 또는 유리 플레이트 를 포괄 할 수 있 다 . 그러나 , 본 개시 내용 은 이 들 로 제한 되 지 않 으며 , " "" 기판 "" 이 라는 용어 는 또한 ", 웹 ( web ) 또는 포일 ( foil ) 과 같 은 가요 성 기판 들 을 포괄 할 수 있 다 . 예컨대 , 기판 은 , 증착 프로세스 에 의해 코팅 될 수 있 는 유리 ( 예컨대 , 소다 - 석회 유리 ( soda - lime glass ) , 보로 실리케이트 유리 등 ) , 금속 , 폴리머 , 세라믹 , 화합물 재료 들 , 탄소 섬유 재료 들 또는 임의 의 다른 재료 또는 재료 들 의 조합 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 되 는 재료 로 제조 될 수 있 다 .