상기 기술 적 과제 들 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 노광 장치 를 제공 한다 . 이 장치 는 스테이지 , 상기 스테이지 상 에 수직 으로 놓여진 제 1 거울 면 및 상기 스테이지 상 에 수직 으로 놓여 지 고 , 상기 제 1 거울 면 과 경사각 을 갖 는 제 2 거울 면 을 포함 한다 . 상기 스테이지 , 상기 제 1 거울 면 및 상기 제 2 거울 면 에 평행 광이 입사 되 고 , 상기 평행 광 을 발생 시키 는 광 발생 부 를 포함 한다 .