본 실시 예 에서 는 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 이 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 과 동일 한 높이 및 구성 들 을 가지 는 경우 를 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 은 제 2 처 리유 닛 ( 50 ) 의 높이 와 상이 하 도록 배치 될 수 있 다 . 또한 , 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 은 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 과 상이 한 구성 들 을 가질 수 있 다 . 예컨대 , 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 에 제공 되 는 제 3 공정 챔버 들 ( 62 ) 중 일부 또는 전부 는 제 1 및 제 2 공정 챔버 들 ( 42 , 52 ) 과 상이 한 공정 을 수행 할 수 있 다 . 또한 , 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 의 제 3 공정 챔버 들 ( 62 ) 의 개수 를 다양 하 게 변경 될 수 있 다 .