그러나 , 웨이퍼 가이드 ( 20 ) 에 웨이퍼 ( 10 ) 를 수납 한 상태 로 웨트 스테이션 의 약액 조 및 건 조부 로 이동 시킬 경우 , 공간 이동 에 따라 발생 되 는 진동 으로 인해 웨이퍼 가 흔들리 게 되 고 , 최악 의 경우 웨이퍼 가 드롭 되 어 브로큰 될 우려 가 있 다 . 따라서 , 본 분야 에서 는 안정 적 인 웨이퍼 홀딩 을 위하 여 , 웨이퍼 가이드 의 슬롯 부 에 웨이퍼 ( 10 ) 를 깊숙이 수납 시키 는 방식 을 취하 였 다 . 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 웨이퍼 가이드 ( 20 ) 의 슬롯 부 ( 26 ) 에 깊숙이 수납 시킬 경우 , 웨이퍼 ( 10 ) 가 안정 적 으로 홀딩 되 는 효과 는 얻 을 수 있 었 다 .