반도체 공정 시 사용 되 는 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 ( 100 ) 은 정확 하 고 도 정밀 한 온도 를 가지 는 냉매 를 반도체 장비 ( 180 ) 에 공급 하 기 위하 여 냉동기 ( 110 ) 의 제 3 및 제 4 솔레노이드 밸브 ( Vs 3 , Vs 4 ) 를 완전 개방 한 상태 에서 흡열 시켜 원 하 는 온도 , 예 를 들 면 대략 - 20 ℃ 의 공정 온도 를 맞추 기 위해 초기 에 냉동기 ( 110 ) 의 압축기 및 부대 기기 가 최대한 의 에너지 를 출력 하 게 된다 . 이때 , 어느 정도 일정 한 시간 이 흐르 면 공정 온도 에 도달 함 으로써 열 원 기기 로서 사용 되 는 냉동기 ( 110 ) 의 주구 성품 인 압축기 및 냉매 탱크 ( 150 ) 내 의 히터 ( 152 ) 가 온도 를 감지 한 후 , 초기 가동 시 출력 보다 에너지 출력 이 감소 하 면서 일정량 의 에너지 를 출력 하 고 최종 적 으로 안정 적 인 공정 온도 에 도달 하 게 된다 .