산화물 절 연막 위 에 산화물 반도체 막 을 형성 하 고 , 산화물 반도체 막 에 포함 되 는 수소 를 탈리 시키 며 , 산화물 절 연막 에 포함 되 는 산소 의 일부 를 탈리 시키 는 온도 로 가열 함 으로써 , 산화물 절 연막 에 포함 되 는 산소 의 일부 를 산화물 반도체 막 으로 확산 시키 는 것 과 함께 산화물 반도체 막 에 포함 되 는 수소 를 탈리 시킬 수 있 다 . 또한 , 산화물 반도체 막 으로 확산 된 산소 는 , 산화물 반도체 막 의 산소 결손 을 보상 ( 補償 ) 하 기 때문 에 산화물 반도체 막 의 산소 결손 이 저감 된다 . 또한 , 산화물 반도체 막 은 , 산화물 절 연막 으로부터 외부 로 의 산소 탈리 의 블로킹 막 으로서 기능 하 기 때문 에 , 산화물 절 연막 으로부터 과잉 의 산소 탈리 가 발생 되 지 않 고 산화물 절 연막 에 산소 가 잔존 한다 . 이 로써 , 캐리어 원 이 되 는 수소 및 산소 결손 의 농도 를 저감 시키 며 , 산화물 반도체 막 및 산화물 절 연막 의 계면 에 있 어서 의 결함 을 저감 할 수 있 다 .