본 실시 예 1 에서 는 마이크 로 통합 스펙트로미터 를 더 제공 한다 . 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 마이크 로 통합 스펙트로미터 는 상기 광변조 마이크 로 나노 구조 , 광전 검출 층 ( 2 ) 및 신호 처리 회로 를 포함 한다 . 광변조 마이크 로 나노 구조 , 광전 검출 층 ( 2 ) 및 신호 처리 회로 는 위 에서 아래 로 의 수직 방향 으로 연결 되 고 서로 평행 된다 . 이중 , 광변조 마이크 로 나노 구조 는 입사광 에 대해 광변조 를 진행 하 여 변조 후 의 스펙트럼 을 획득 하 기 위한 것 이 다 . 광전 검출 층 ( 2 ) 은 변조 후 의 스펙트럼 을 수신 하 여 변조 후 의 스펙트럼 에 차분 응답 을 제공 하 기 위한 것 이 다 . 신호 처리 회로 층 ( 3 ) 은 알고리즘 을 기반 으로 하 여 차분 응답 을 처리 하 여 오리지널 스펙트럼 을 재 구성 하 여 획득 하 기 위한 것 이 다 .