바람직 하 게 는 , 상기 웨이퍼 트랜스퍼 는 , 웨이퍼 가 상부 에 안착 되 는 트랜스퍼 암 ; 및 상기 트랜스퍼 암 을 슬롯 카세트 에서 웨이퍼 스테이지 까지 전 후진 시키 는 트랜스퍼 실린더 를 포함 하 되 , 상기 트랜스퍼 암 상부 에 슬롯 카세트 의 하강 시 최 하위 슬롯 에 수납 된 웨이퍼 부터 차례 로 안착 시키 거나 , 트랜스퍼 암 상 에 안착 된 웨이퍼 를 슬롯 카세트 의 상 승시 최상위 슬롯 부터 차례 로 수납 하 도록 구성 한다 .