그리고 특허 문헌 1 에 개시 되 어 있 는 시트 플 라즈 마 성막 장치 는 시트 플 라즈 마 변형 실 ( 52 ) 과 스퍼터링 실 ( 53 ) 을 서로 전기 적 으로 절연 하 고 , 서로 상이 한 전위 가 되 도록 구성 되 어 있 다 . 이 때문 에 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 에 전류 가 불가피 하 게 흐르 지 않 으므로 전력 손실 이 발생 하 지 않 는다 . 또한 전력 손실 이 발생 하 지 않 기 때문 에 스퍼터링 실 ( 53 ) 에 도입 된 시트 플 라즈 마의 밀도 가 낮 아 지 지 않 고 성막 할 수 가 있 다 .