제 1 공정 은 , 우선 650 ℃ 이상 850 이 하 또한 2 kPa 이상 4 kPa 이하 의 조건 하 에 , 제 1 혼합 가스 및 제 2 혼합 가스 를 혼합 함 으로써 혼합 가스 를 얻 는 제 1 조작 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 제 1 조작 에서 는 , Al 을 포함 하 는 원료 가스 , Ti 를 포함 하 는 원료 가스 및 캐리어 가스 를 포함 하 는 제 1 혼합 가스 를 CVD 장치 ( 1 ) 의 도입 구 ( 6 ) 로부터 도입 관 ( 8 ) 에 도입 한다 . 이 제 1 혼합 가스 에 는 C ( 탄소 ) 를 포함 하 는 원료 가스 를 포함 하 는 경우 가 있 다 .