또한 엄밀 하 게 는 , 에칭 액 은 점 이 아닌 면 에서 웨이퍼 ( W ) 의 표면 상 에 착 액 한다 . 즉 , 약액 노즐 ( 71 ) 로부터 토출 된 에칭 액 의 액주 ( 液 柱 ) 와 웨이퍼 ( W ) 의 표면 과 의 교선 에 의해 둘러싸인 도형 은 대략 원형 또는 대략 타원 형 이 며 유한 의 면적 을 가지 고 있 다 . 그러나 본 명세서 에서 는 , 설명 의 편의 상 , 상기 의 교선 으로 둘러싸인 도형 전체 를 ' 착 액 점 ' 이라고 부르 고 있 다 .