도 4 ( a ) 의 부호 는 기판 ( 7 ) 의 아래 표면 이 위치 하 는 아래 평면 을 나타내 고 있 으며 , 아래 평면 ( ) 은 반송 롤러 ( 23 ) 의 원주 측면 과 교차 하 고 있 다 . 상부 롤러 ( 45 ) 는 그 측면 이 아래 평면 ( ) 과 접촉 하 도록 위치 하 고 있 다 . 따라서 , 기판 ( 7 ) 이 반송 자세 로 반송 직선 ( c ) 을 따른 방향 으로 이동 하 면 , 도 4 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( 7 ) 의 표면 중 아래 표면 ( 47 ) 이 상부 롤러 ( 45 ) 의 측면 과 접촉 하 고 , 상부 롤러 ( 45 ) 는 슬라이딩 하 지 않 고 기판 ( 7 ) 의 이동 에 수반 하 여 회전 한다 .