또한 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 9 ) 와 , 조작 부 ( 10 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 어부 ( 9 ) 는 , 예 를 들 면 중앙 연산 처리 장치 ( CPU ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 어부 ( 9 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 각 구성 을 제어 한다 . 조 작부 ( 10 ) 는 , 표시 부 ( 예 를 들 면 액정 모니터 ) , 기억 부 및 입력 부 를 구비 하 고 있 다 . 기억 부 는 , 예 를 들 면 , ROM ( Read - Only Memory ) , RAM ( Random - Access Memory ) , 및 하드 디스크 중 적어도 1 개 를 구비 하 고 있 다 . 입력 부 는 , 키보드 , 마우스 , 터치 패널 및 각종 버튼 중 적어도 1 개 를 구비 하 고 있 다 . 기억 부 에 는 , 기판 처리 의 각종 조건 및 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 제어 에 필요 한 동작 프로그램 등 이 기억 되 어 있 다 .