단계 S 37 에서 임프 린트 재의 경화 및 몰드 의 분리 가 행해진 경우 에 , 단계 S 38 에서 는 기판 ( 2 ) 상 의 복수 의 샷 영역 중 아직 임프 린트 처리 가 행해 지 지 않 은 샷 영역 이 있 는지 에 대한 판단 이 이루어진다 . 예 를 들 어 , 제 1 샷 영역 에 대한 임프 린트 처리 가 완료 되 면 , 처리 플로우 는 단계 S 32 로 복귀 되 어 제 2 샷 영역 에 대한 임프 린트 처리 를 행한다 . 즉 , 제 2 샷 영역 에 대해 미리 설정 된 압인 프로파일 에 따라 제 2 샷 영역 에 대해서 임프 린트 처리 가 실행 된다 .