여기 서 , 비트 라인 ( 136 ) 의 측벽 에 구비 되 는 스 페이서 절 연막 ( 134 ) 을 더 포함 하 는 것 이 바람직 하 며 , 식각 정지 막 ( 110 ) 과 연결 되 는 비트 라인 ( 136 ) 측벽 에 구비 된 스 페이서 절 연막 ( 134 ) 양측 으로 랜딩 플러그 ( 106 ) 와 연결 되 는 저장 전극 콘 택 플러그 ( 124 ) 를 더 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 랜딩 플러그 ( 106 ) 와 연결 되 는 비트 라인 ( 136 ) 의 측벽 에 구비 된 스 페이서 절 연막 ( 134 ) 양측 으로 는 캡 핑 산화 막 ( 112 ) , 캡 핑 질화 막 ( 114 ) 및 하드 마스크 층 ( 116 ) 의 적층 구조 가 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 .