도 15 A 에 도시 된 바 와 같이 , II = IC 일 때 , 이온 에너지 ( 1470 ) 의 확산 은 도 15 B 에 도시 된 바 와 같이 II ＞ IC 일 때 의 이온 에너지 의 균일 한 확산 ( 1472 ) 또는 도 15 C 에 도시 된 바 와 같이 II ＜ IC 일 때 의 이온 에너지 의 균일 한 확산 ( 1474 ) 에 비해 비교 적 좁 다 . 이 에 따라 , 이온 전류 보상 부 ( 1260 ) 은 , ( 예컨대 , 이온 전류 의 효과 를 보상 함 으로써 ) 이온 전류 가 높 을 때 이온 에너지 의 좁 은 확산 을 가능 케 하 고 또한 ( 예컨대 , 이온 전류 의 확산 을 갖 는 것 이 바람직 할 때 ) 균일 한 이온 에너지 의 확산 ( 1572 , 1574 ) 의 폭 이 제어 되 도록 할 수 있 다 .