그리고 , 제 1 빔 분할기 ( 250 ) 를 투과 한 측정 빔 ( LB ) 은 펄스 형상 검출 센서 ( 262 ) 와 파워 메터 ( 263 ) 를 포함 하 는 측정 빔 검출 유닛 ( 260 ) 에 입사 될 수 있 다 . 제 1 빔 분할기 ( 250 ) 를 투과 한 측정 빔 ( LB ) 은 제 2 빔 분할기 ( 261 ) 를 통해 제 1 및 제 2 측정 빔 ( LB 1 , LB 2 ) 으로 분할 된 다음 , 제 2 빔 분할기 ( 261 ) 를 투과 한 제 1 측정 빔 ( LB 1 ) 은 파워 메터 ( 263 ) 에 입사 되 며 , 제 2 빔 분할기 ( 261 ) 에서 반사 된 제 2 측정 빔 ( LB 2 ) 은 펄스 형상 측정 센서 ( 262 ) 에 입사 된다 . 여기 서 , 파워 메터 ( 263 ) 는 입사 된 제 1 측정 빔 ( LB 1 ) 의 출력 을 측정 하 고 , 펄스 형상 측정 센서 ( 262 ) 는 제 2 측정 빔 ( LB 2 ) 의 펄스 형상 을 측정 한다 .