이 와 같이 , 본 실시 예 에서 도 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 로 전달 된 후 에 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 에 있 는지 여부 가 확인 된다 . 따라서 , 허용 되 는 연마 폭 을 초과 하 여 연마 되 는 불량 웨이퍼 W 의 발생 을 방지 할 수 있 다 .