예 를 들 면 상술 한 실시 형태 에서 는 , 온도 조정 장치 로서 , 배치 대 ( 2 ) 를 예 로 하 고 , 웨이퍼 ( 8 ) 또는 배치 면 ( 6 e ) , 기재 ( 2 a ) 의 상면 ( 2 b ) 에 대하 여 , 면내 에서 온도 차 를 작 게 하 는 경우 를 예 로 설명 했 다 . 그러나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 다른 부분 에 적용 해도 된다 . 예 를 들 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 상부 전극 을 냉각 하 기 위하 여 , 상부 전극 에 유로 를 마련 하 여 냉매 를 순환 시켜 온도 제어 를 행하 는 경우 가 있 다 . 또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 처리 용기 ( 1 ) 를 균일 하 게 냉각 하 기 위하 여 , 처리 용기 ( 1 ) 의 측벽 내 에 유로 를 마련 하 여 냉매 를 순환 시켜 온도 제어 를 행하 는 경우 가 있 다 . 이 와 같이 온도 제어 를 행하 는 유로 에 실시 형태 의 설계 방법 을 적용 해도 된다 . 도 12 는 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 구성 의 다른 일례 를 나타내 는 개략 단면도 이 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 상부 전극 으로서 의 기능 을 가지 는 샤워 헤드 ( 16 ) 가 마련 되 어 있 다 . 도 12 에서 는 , 샤워 헤드 ( 16 ) 가 온도 조정 장치 에 대응 한다 . 샤워 헤드 ( 16 ) 는 본 체부 ( 16 a ) 와 상부 천판 ( 16 b ) 을 구비 하 고 있 다 . 본 체부 ( 16 a ) 는 하 면 이 평탄 하 게 되 고 , 하면 을 따라 유로 ( 220 ) 가 마련 되 어 있 다 . 유로 ( 220 ) 는 냉매 입 구 배관 ( 221 a ) 에 접속 되 는 도입 구 ( 220 a ) 가 일단 에 마련 되 고 , 냉매 출구 배관 ( 221 b ) 에 접속 되 는 배출구 ( 220 b ) 가 타단 에 마련 되 어 있 다 . 샤워 헤드 ( 16 ) 는 플 라즈 마 로부터 의 입 열 에 의해 고온 이 된다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 유로 ( 220 ) 에 냉매 를 통류 시킴 으로써 , 샤워 헤드 ( 16 ) 의 온도 를 제어 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 이러 한 유로 ( 220 ) 에 실시 형태 의 설계 방법 을 적용 하 여 , 본 체부 ( 16 a ) 의 하면 과 의 두께 가 배출구 ( 220 b ) 로부터 도입 구 ( 220 a ) 를 향해 증가 하 도록 형성 해도 된다 . 이 에 의해 , 유로 ( 220 ) 는 본 체부 ( 16 a ) 의 하면 의 온도 를 대략 균일 하 게 할 수 있 어 , 샤워 헤드 ( 16 ) 의 면내 에서 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 다 .