여기 서 , 상기 제 1 분사 노즐 ( 122 ) , 제 2 분사 노즐 ( 132 ) 및 제 3 분사 노즐 ( 142 ) 이 틸 트 되 거나 2 단 으로 꺾이 는 경우 , 기울어진 각도 가 서로 같 아야 만 하 는 것 은 아니 며 , 기판 에 대한 증착 균일 도 나 증착 프로파일 ( profile ) 에 따라 적절 한 각도 로 설정 되 는 것 이 바람직 하 다 .