도 17 은 도 13 의 제 2 - 4 단계 ( S 24 ) 를 나타내 는 도면 이 다 . 제 2 감광제 패턴 ( 140 ) 은 나노 패턴 의 금형 제작 을 위한 감광제 패턴 으로서 , 일정 한 두께 의 감광제 가 도포 된 노광용 기판 에 위상 마스크 ( 130 ) 를 위치 시키 고 , 자외선 을 조사 하 여 현상 공정 을 거치 는 나노 노광 공정 을 수행 하 여 구현 한다 .