기판 이 통과 하 는 기판 코팅 장치 가 제공 된다 . 기판 코팅 프로세스 와 관련 된 가스 펌핑 장치 , 이를 테 면 기판 코팅 장치 와 조합 되 어 사용 될 수 있 는 장치 가 제공 된다 . 일반 적 으로 이러 한 장치 는 예 를 들 어 , 도 6 - 8 과 관련 하 여 도시 되 고 설명 된 것 처럼 , 펌프 격실 의 제 1 측면 에 인접 한 프로세스 격실 및 펌프 격실 의 제 2 측면 에 인접 한 또 다른 프로세스 격실 과 동작 가능 하 게 연통 하 는 펌프 격실 을 포함 한다 . 펌프 격실 은 펌프 격실 을 통한 기판 통과 를 위한 통로 길이 의 통로 를 포함 한다 . 통로 길이 는 인접 한 프로세스 격실 들 또는 인접 한 프로세스 격실 들 의 길이 의 평균 중 하나 의 길이 의 2 배 미만 이 다 . 또한 장치 는 예 를 들 어 , 도 6 - 8 과 관련 하 여 도시 되 고 개시 된 것 처럼 , 펌프 격실 과 동작 가능 하 게 관련 된 고진공 펌프 들 을 포함 한다 . 고진공 펌프 들 은 인접 한 프로세스 격실 들 중 하나 와 관련 된 가스 와 기판 코팅 프로세스 와 관련 된 또 다른 하나 를 기준 으로 인접 한 프로세스 격실 들 의 또 다른 하나 와 관련 된 가스 를 대략 적 으로 충분히 격리 시킬 수 있 다 . 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 펌프 들 을 통해 2 개 의 인접 한 프로세스 격실 들 및 통로 로부터 의 펌핑 가스 및 기판 코팅 프로세스 와 관련 된 펌핑 가스 를 위한 장치 를 제공 하 는 단계 를 포함 하 는 관련 된 방법 이 제공 된다 .