그런데 , 상술 한 바 와 같이 구성 된 식각 장치 ( 100 ') 에 있 어서 는 , 코일 부재 ( 30 ') 가 도 2 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 나선 형 으로 이루어져 있 어서 , 식각 가스 를 플 라즈 마 화 시키 는 과정 에서 대 면적 에 대해서 는 균일 한 플 라즈 마 밀도 를 얻 기 가 어렵 다는 한계 가 있 었 다 . 따라서 , 종래 의 코일 부재 ( 30 ') 로 는 웨이퍼 가 대구경 화 되 는 최근 에 추세 에 부응 하 여 식각 에 의하 여 대구경 의 웨이퍼 에 미세 패턴 을 형성 하 기 가 어렵 운 문제점 이 있 었 다 . 그리고 , 플 라즈 마 가 높 은 밀도 로 형성 될 뿐 만 아니 라 전자 가 고온 으로 형성 되 어 , 웨이퍼 가 손상 되 는 현상 도 빈번 하 게 발생 하 게 되 었 다 .