기판 지지 부 ( 800 ) 는 하부 면 에 기판 을 지지 하 는 기판 지지대 및 상기 기판 지지대 를 이동 시키 는 구동 부를 포함 할 수 있 다 . 기판 지지대 는 기판 의 형상 과 대응 되 는 형상 으로 형성 될 수 있 으며 , 예 를 들 어 기판 이 원형일 경우 에 는 기판 지지대 는 이 와 대응 되 는 원형 형상 으로 형성 될 수 있 으며 , 기판 이 다각형 일 경우 에 는 기판 지지대 는 이 와 대응 되 는 다각형 의 형상 으로 형성 될 수 있 다 . 또한 , 기판 지지대 에 지지 되 는 기판 은 일 방향 으로 연장 된 롤 - 투 - 롤 ( Roll - to - Toll ) 기판 일 수 있 다 .