또한 , " 상기 데이터 라인 ( 117 ) 및 데이터 패드 라인 ( 117 p ) 하부 에 는 각각 상기 비정질 실리콘 박막 과 n + 비정질 실리콘 박막 으로 이루어지 며 상기 데이터 라인 ( 117 ) 및 데이터 패드 라인 ( 117 p ) 과 동일 한 형태 로 패 터닝 된 제 1 비정질 실리콘 박막 패턴 ( 120 ') 과 제 2 n + 비정질 실리콘 박막 패턴 ( 125 "") 및 제 2 비정질 실리콘 박막 패턴 ( 120 "") 과 제 3 n + 비정질 실리콘 박막 패턴 ( 125 '"") 이 형성 되 게 된다 . "