도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 에 약액 을 토출 시킬 때 에 는 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 , 제 1 토출 밸브 ( 34 A ) 를 제 1 토출 정지 상태 로부터 제 1 토출 실행 상태 로 전환 한다 . 이것 에 의해 , 제 1 리턴 배관 ( 32 A ) 에서 의 압력 손실 이 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에서 의 압력 손실 보다 커진다 . 그 때문 에 , 공통 배관 ( 29 ) 내 의 약액 은 , 공통 배관 ( 29 ) 으로부터 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에 공급 되 고 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 으로부터 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 에 공급 된다 . 이것 에 의해 , 약액 이 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로부터 기판 ( W ) 을 향해 토출 된다 .