즉 , 본 실시 예 에 따른 청정 유지 시스템 에서 는 제 1 기류 유도 유닛 ( 120 ) 과 제 2 기류 유도 유닛 ( 130 ) 은 각각 수평 및 수직기 류 를 형성 하 여 , 작업 대상 을 이 물질 로부터 보호 하 고 , 특히 , 제 2 기류 유도 유닛 ( 130 ) 은 챔버 유닛 ( 110 ) 외부 의 기체 가 챔버 유닛 ( 110 ) 내부 로 유입 되 는 것 을 방지 하 도록 챔버 유닛 ( 110 ) 내부 의 압력 을 정해진 압 력 으로 유지 할 수 있 다 .