이 와 같 은 실험 결과 를 기초 로 2 단계 급속 열처리 방법 을 제시 한다 . 공정 가스 로 산소 ( O 2 ) 가스 를 사용 할 경우 헤이즈 영역 에 나쁜 영향 을 주 므로 산소 ( O 2 ) 가스 를 사용 하 지 않 고 , 아르곤 ( Ar ) 과 암모니아 ( NH 3 ) 가스 의 혼합 가스 를 사용 하 며 , 암모니아 ( NH 3 ) 가스 는 2 단계 열처리 공정 중 전 구간 에 대하 여 사용 하 지 않 고 공정 단계 중 선택 적 으로 사용 하 여 2 단계 급속 열처리 를 실시 한다 .