이러 한 SiC 막 으로 구성 되 는 구조 체 ( 이하 , SiC 막 구 조체 라 칭함 ) 는 평면 형상 뿐 만 아니 라 , 입체 적 형상 인 것 도 제조 할 수 있 다 . 그 구체 적 인 제조 방법 으로서 는 , 예 를 들 면 특허 문헌 1 에 개시 되 어 있 는 바 와 같 은 것 이 알려져 있 다 . 특허 문헌 1 에 개시 되 어 있 는 SiC 막 구 조체 의 제조 방법 은 우선 , 카본 ( 그라 파이트 ) 등 으로 구성 된 기재 를 제작 한다 . 다음 으로 , 기재 의 표면 에 CVD ( chemical vapor deposition : 화학 기상 성장 ) 법 을 통해 SiC 막 을 형성 한다 .