도 3 을 참조 하 면 , 프로브 유닛 ( 30 ) 은 패널 푸 셔 ( 32 ) , 프레임 ( 34 ) , 헤드 ( 35 ) 및 프로브 블록 ( 36 ) 을 포함 한다 . 프레임 ( 34 ) 및 헤드 ( 35 ) 는 도 2 에 제시 된 실시 예의 MNP 에 해당 하 고 그리고 이미 설명 을 한 것 처럼 프로브 블록 ( 36 ) 은 니 들 타입 , MEMS 타입 , 블레이드 타입 , 또는 필름 타입 과 같 은 이 분야 에서 공지 된 임의 의 타입 이 될 수 있 다 . 도 3 의 아래쪽 에 도시 된 패널 푸 셔 ( 32 ) 의 상세도 를 참조 하 면 , 패널 푸 셔 ( 32 ) 는 전체 외형 을 유지 하 는 몸체 ( 321 ) , 견고 하 게 고정 되 거나 또는 제거 가능 하 도록 프로브 블록 ( 36 ) 에 결합 되 는 가이드 플레이트 ( 322 ) , 프로브 유닛 ( 30 ) 에 의하 여 전달 되 는 수직 방향 을 힘 을 몸체 ( 321 ) 에 전달 하 기 위한 탄성체 ( 323 ) , 선택 적 으로 설치 가능 한 보호 플레이트 ( 324 ) 를 포함 한다 . 가이드 플레이트 ( 322 ) 의 프로브 블록 ( 36 ) 에 대한 결합 을 위하 여 나사 결합 과 같이 이 분야 에서 공지 된 임의 의 수단 이 사용 될 수 있 다 . 가이드 플레이트 ( 322 ) 는 몸체 ( 321 ) 에 형성 된 결합 홈 ( 326 ) 에 결합 될 수 있 도록 수직 방향 으로 연장 된 결합 돌기 ( 325 ) 를 가진다 . 가이드 플레이트 ( 322 ) 는 결합 돌기 ( 325 ) 에 의하 여 상하 방향 으로 이동 가능 하 도록 몸체 ( 321 ) 에 결합 된다 . 탄성체 ( 323 ) 는 프로브 유닛 ( 30 ) 의 압력 을 패널 에 전달 할 수 있 는 임의 의 형태 를 가질 수 있 지만 바람직 하 게 는 반원형 의 판스프링 이 될 수 있 다 . 탄성체 ( 323 ) 는 가이드 플레이트 ( 322 ) 의 아래쪽 면 에 부착 되 고 그리고 몸체 ( 321 ) 의 아래쪽 부분 에 의하 여 지 지 되 어 몸체 에 아래쪽 방향 으로 향하 는 압력 을 가할 수 있 다 . 몸체 ( 321 ) 의 아래쪽 부분 은 원기둥 또는 다각형 기둥 형태 가 되 고 기둥 의 위쪽 면 에 탄성체 ( 323 ) 를 지지 하 기 위한 지지 면 ( BS ) 이 형성 된다 . 그리고 기둥 형태 의 아래쪽 면 은 패널 ( 도 2 참조 ) 과 가능 한 넓 은 면적 으로 접촉 하 여 압력 을 가할 수 있 도록 하 기 위하 여 편평 한 면 으로 형성 이 될 수 있 다 . 선택 적 으로 몸체 ( 321 ) 의 아래쪽 면 에 보호 플레이트 ( 324 ) 가 설치 될 수 있 다 . 보호 플레이트 ( 324 ) 는 고무 , 실리콘 또는 플라스틱 과 같 은 부드러운 재질 의 얇 은 탄성 소재 로 제조 되 어 접착제 또는 이 분야 에서 공지 된 임의 의 수단 을 이용 하 여 몸체 ( 321 ) 에 부착 될 수 있 다 . 이 와 같이 패널 푸 셔 ( 32 ) 는 탄성체 ( 323 ) 를 이용 하 여 패널 을 워크 테이블 에 편평 한 상태 로 고정 되 도록 할 수 있 지만 대안 으로 패널 푸 셔 ( 32 ) 에 아래쪽 면 에 직접 탄성 재질 의 가 압 요소 가 부착 될 수 있 다 .