도 1 a 내지 도 1 c 를 참조 하 면 , 상기 챔버 ( 40 ) 의 내벽 에 인접 한 상기 지지대 ( 30 ) 의 외주 면 상 에 복수 의 제 1 돌출 편들 ( P 1 ) 이 제공 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 챔버 ( 40 ) 의 내벽 에 인접 하 여 둘러싸인 상기 지지대 ( 30 ) 의 외주 면 을 따라 상기 복수 의 제 1 돌출 편들 ( P 1 ) 이 제공 될 수 있 다 .