첫째 , SC 1 혼합액 ( 과수 : 암모니아 : DIW ) 을 금속 오염 용액 으로 사용 하 는데 , 웨이퍼 에 오염 시키 기 전 에 상기 의 금속 오염 용액 을 적외선 램프 를 이용 하 여 약 50 ℃ 정도 로 가열 한 후 , 가열 된 금속 오염 용액 을 웨이퍼 에 공급 하 는 데 이때 반응 이 나타날 수 있 다 . 이때 , 금속 오염 용액 을 이용 하 여 웨이퍼 에 에 금속 오염 을 시킨 후 별도 의 세정 과정 이 필요 한데 , 이 는 추후 에 동일 한 금속 원소 의 박막 을 증착 할 목적 으로 시행 하 는 공정 이 다 .