제 1 및 제 2 의 본 발명 에 있 어서 , 층간 배선 에 충전 되 는 도전 성 페이스트 조성물 은 도전 분말 과 , 바인더 성분 을 함유 하 고 , 그 도전 분말 및 그 바인더 성분 의 질량비 가 90 / 10 이상 98 / 2 미만 이 며 , 상기 도전 분말 이 , 제 1 합금 입자 와 제 2 금속 입자 로 이루어지 고 , 그 제 1 합금 입자 가 130 ℃ 이상 260 ℃ 미만 의 융점 을 갖 는 납 프리 땜납 입자 이 며 , 그 제 2 금속 입자 가 Au , Ag , Cu 로 이루어지 는 군 에서 선택 되 는 적어도 1 종 이상 이 고 , 그 제 1 합금 입자 와 그 제 2 금속 입자 의 질량비 가 76 / 24 이상 90 / 10 미만 이 며 , 바인더 성분 이 가열 에 의해 경화 되 는 중합 성 단량체 의 혼합물 이 며 , 납 프리 땜납 입자 의 융점 이 바인더 성분 의 경화 온도 범위 에 포함 되 고 , 납 프리 땜납 입자 의 융점 에서 의 , 절연 기재 를 구성 하 는 열가소성 수지 조성물 의 저장 탄성 률 이 10 ㎫ 이상 5 ㎬ 미만 인 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 도전 성 페이스트 조성물 을 사용 함 으로써 , 비 아홀 ( 30 ) 중 및 비 아홀 ( 30 ) 과 도체 패턴 ( 20 ) 사이 에서 의 금속 확산 접합 을 보다 효과 적 으로 발생 시킬 수 있 다 .