또한 , 제 1 투명 도전 패턴 ( 108 ) 중 에서 식각 장벽 패턴 ( 116 a ) 과 접촉 하 는 부위 의 제 1 투명 도전 패턴 ( 108 ) 은 , 예 를 들 어 , 소스 전극 ( 106 c ) 으로부터 소정 간격 , 예 를 들 어 , 0 . 2 ㎛ 내지 1 . 5 ㎛( 또는 , 이 와 유사 한 값 ) 만큼 이격 될 수 있 다 . 이 는 , 상술 한 데이터 금속 막 ( 106 ) 의 습식 식각 임계 치수 바이어스 에 기인 한다 .