[ 0067 ] 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인 지먼 트 는 기판 캐리어 ( 120 ) 및 / 또는 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 기 위해 구성 된다 . 홀딩 어 레인지 먼 트 는 , 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 또는 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 에 인접 한 , 진공 챔버 의 챔버 벽 ( 201 ) , 예컨대 , 측벽 에 배열 될 수 있 다 .