또한 , 도전 막 ( 719 ) 및 도전 막 ( 720 ) 이 되 는 도전 막 은 , 단층 구조 여도 , 2 층 이상 의 적층 구조 로서 도 좋 다 . 예 를 들 어 , 실리콘 을 포함 한 알루미늄 막 의 단층 구조 , 알루미늄 막 위 에 티 탄막 을 적층 한 2 층 구조 , 티 탄막 과 , 그 티 탄막 위 에 중첩 하 여 알루미늄 막 을 적층 하 고 , 또 그 위 에 티 탄막 을 성막 하 는 3 층 구조 등 을 들 수 있 다 .