자계 발생기 ( 125 ) 는 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 투광 부 ( 119 ) 부근 에 배치 되 어 사파이어 튜브 ( 120 ) 에 자계 에 의한 척력 장 을 제공 한다 . 이 를 통해 자계 발생기 ( 125 ) 는 척력 장 에 의해 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 의 잔류물 이 투광 부 ( 119 ) 에 침착 되 는 것 을 방지 하 여 광 전달 효율 의 저하 를 방지 한다 . 플라 즈 마 상태 의 이온 화 된 입자 는 전자 가 분리 된 양극 입자 형태 로 존재 하 게 된다 . 이때 플 라즈 마 상태 로 변한 입자 들 은 시간 이 지남 에 따라 활성 이 저하 되 고 , 이 로 인해 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 내부 에 침착 하 게 된다 . 이 를 해소 하 기 위해 본 발명 에서 자계 발생기 ( 125 ) 로 하여금 사파이어 튜브 ( 120 ) 에 척력 장 을 제공 함 으로써 , 입자 들 의 활성 을 유지 또는 증가 시킨다 . 이 에 따라 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 의 입자 들 은 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 내부 에 침착 하 지 않 게 되 어 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 수명 을 연장 하 는 것 이 가능 해진다 . 이 를 위해 , 본 발명 의 일 실시 예 에서 는 이 를 이용 하 여 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 투광 부 ( 119 ) 부근 에 둘 이상 의 동극 자석 을 배치 하 여 투광 부 ( 119 ) 에 입자 에 의한 침착 이 발생 하 는 것 을 방지 하 였 다 . 이 에 따라 투광 부 ( 119 ) 의 광 전달 효율 을 장기간 에 걸쳐 안정 적 인 수준 에서 유지 할 수 있 게 되 어 , 플라 즈 마 검사 장치 의 신뢰 성 을 향상 시키 는 것 이 가능 해진다 . 이 를 위해 , 자계 발생기 ( 125 ) 는 동일 한 극성 을 가지 는 전자석 또는 영구 자석 으로 구성 되 며 적어도 2 개 이상 이 투광 부 ( 119 ) 부근 에 배치 된다 . 여기 서 , 2 개 의 자계 발생기 ( 125 ) 가 배치 되 는 경우 마주 보 도록 배치 되 며 , 3 개 이상 인 경우 균등 한 자기장 을 생성 하 도록 정삼각형 , 정사각형 과 같이 등 간격 으로 배치 된다 . 본 발명 에서 는 자계 발생기 ( 125 ) 로 영구 자석 이 사용 된 예 를 제시 하 였으나 전자석 에 의한 구성 도 가능 하 며 , 전자석 에 의해 구성 되 는 경우 전자석 을 구동 하 기 위한 회로 가 더 포함 되 어 구성 될 수 있 다 . 또한 , 자계 발생기 ( 125 ) 로 전자석 을 사용 하 는 경우 별도 의 전원 을 공급 해야 하 기 때문 에 플 라즈 마 발생기 의 구조 가 복잡 해질 수 있 으므로 , 영구 자석 에 의한 간소 하 게 구성 하 는 것 이 바람직 할 수 있 으나 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 그리고 , 영구 자석 으로 는 사마륨 코발트 ( Sm - Co ) , 네오디뮴 ( Nd - Fe - B ) 을 포함 하 는 희토류 , 바륨 ( Ba ) , 스트론튬 ( Sr ) 을 포함 하 는 페라이트 류 , 고무 자석 및 플라스틱 류 중 적어도 어느 한 종류 또는 이 들 의 조합 을 이용 할 수 있 으나 , 플라 즈 마 발생기 ( 110 ) 내부 의 온도 가 높 아 지 는 점 을 고려 하 여 고열 에서 도 우수 한 자계 형성 능력 을 가지 는 종류 를 선택 하 여 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 아울러 , 본 실시 예 에서 는 투광 부 ( 119 ) 부근 에 자계 발생기 ( 125 ) 가 배치 되 는 것 으로 도시 하 였 지만 , 본 발명 이 이 에 국한 되 는 것 은 아니 다 . 즉 , 자계 발생기 ( 125 ) 는 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 의 침착 을 방지 하 기 위하 여 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 길 이 방향 어느 곳 에 든 설치 가 가능 하 다 .