도 1 b 에 도시 된 바 와 같이 , 게이트 패턴 사이 가 채워 지 도록 층간 절 연막 ( 16 ) 을 형성 한 후 , 층간 절 연막 ( 16 ) 상부 에 포토레지스트 패턴 ( 17 ) 을 형성 한다 . 이후 포토레지스트 패턴 ( 17 ) 을 식각 장벽 으로 층간 절 연막 ( 16 ) 을 식각 하 여 접합 영역 이 형성 된 기판 ( 11 ) 을 노출 시키 는 콘 택 홀 ( 18 ) 을 형성 한다 .