도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 적어도 하나 의 증착 사이클 ( 단계 110 내지 130 ) 이후 , 상기 증착 된 재료 를 에칭 하 는 단계 ( 140 ) 가 수행 된다 . 단계 ( 140 ) 는 , 증착 된 재료 의 에칭 속도 가 오 목부 의 하부 영역 ( 예 , 주 입량 이 중첩 되 지 않 는 영역 ) 에 비해 오 목부 의 상부 ( 예 , 중첩 ) 영역 에서 더 높 도록 구성 될 수 있 다 . 루프 ( 170 ) 에 비해 루프 ( 150 , 160 ) 를 다수 반복 하 는 것 은 , 예 를 들 어 오 목부 의 치수 ( 예 , 높이 , 폭 , 또는 종횡비 ) , 구성 ( 예 , 오 목부 가 얼마나 함께 가까이 있 는 정도 ) , 및 / 또는 기하 구조 ( 예 , 오 목부 벽 의 형상 및 / 또는 오 목부 개구 의 형상 ) 에 기초 하 여 조절 될 수 있 다 .