상기 빔 프로파일러 는 상기 스테이지 와 연동 하 여 움직이 도록 마련 될 수 있 다 . 레이저 어닐링 공정 의 수행 전 에 는 상기 빔 프로파일러 가 상기 가공 빔 의 광경 로 상 에 위치 하 여 상기 가공 빔 의 균 일도 를 측정 하 고 , 레이저 어닐링 공정 의 수행 중 에 는 상기 가공 대상물 이 상기 가공 빔 의 광경 로 상 에 위치 할 수 있 다 .