단 , 「 n 」 이 커지 면 , 도 16 으로부터 이해 할 수 있 는 바 와 같이 , 증착 원 개구 ( 61 ) 로부터 본 , 제어판 ( 80 ) 에 의해 차폐 되 는 각도 영역 ( 83 ) 이 증가 하 므로 , 증착 레이트 나 재료 이용 효율 이 저하 한다 . 따라서 , 그러 한 문제점 으로부터 는 「 n 」 은 작 은 쪽 이 바람직 하 고 , 상기 실시 예 2 에 도시 한 바 와 같이 , n = 1 이 가장 바람직 하 다 .