스 페이서 수단 , 예컨대 복수 의 분리 된 스 페이서 또는 US 2003 / 0010431 또는 WO 2004 / 027880 에 개시 된 바 와 같 은 상호 연결 된 스 페이서 매트릭스 에 의해 , 웨이퍼 가 서로 이격 될 수 있 고 , 광학 요소 가 또 한 웨이퍼 들 사이 에서 다른 웨이퍼 를 향하 는 웨이퍼 표면 상 에 배치 될 수 있 다 . 따라서 , 스 페이서 는 상부 웨이퍼 와 하부 웨이퍼 사이 에 개재 된다 . 이러 한 구성 은 추가 웨이퍼 및 중간 스 페이서 에 의해 반복 될 수 있 다 .