상기 기판 처리 공정 은 챔버 ( 201 ) 또는 처 리조 내 에서 수행 될 수 있 다 . 상기 챔버 ( 201 ) 는 예시 적 으로 도시 된 것 이 며 , 이 와 유사 한 처리 챔버 들 이 일렬 로 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 평판 형 기판 ( 10 ) 이 상기 처리 챔버 들 을 통해 이송 되 는 동안 식각 , 세정 , 스트립 , 현상 등 과 같 은 처리 공정 과 , 처리 된 기판 에 대한 세정 공정 , 린스 공정 , 건조 공정 등 이 순차 적 으로 수행 될 수 있 다 .