유사 하 게 , 제 2 공진기 ( 128 ) 의 제 3 전극 ( 252 ) 은 제 2 검증 질량 ( 212 ) 의 제 1 부분 ( 230 ) 위 에 바이어스 전압 을 인가 하 고 , 제 2 공진기 ( 128 ) 의 제 4 전극 ( 254 ) 은 제 2 검증 질량 ( 212 ) 의 제 2 부분 ( 234 ) 위 에 바이어스 전압 을 인가 한다 . ( 제 2 검증 질량 ( 212 ) 이 바이어스 전압 의 결과 로서 발생 하 는 정전기력 에 의해 끌어당겨 지 고 / 지 거나 반발 되 기 때문 에 ) 이러 한 바이어스 전압 은 예 를 들 어 z - 축 을 따라 제 2 방향 ( 314 ) 으로 제 2 검증 질량 ( 212 ) 의 전기 기계 적 강성 을 증가 시킬 수 있 어서 , 제 2 검증 질량 ( 212 ) 은 제 1 방향 ( 312 ) 또는 제 2 방향 ( 314 ) 중 어느 한 방향 의 가속도 에 응답 하 여 제 2 공진 주파수 에서 발진 한다 .