도 1 에 도시 된 국내 등록 특허 10 - 1583277 호 는 , MEMS 기반 의 주파수 분리기 를 이용 한 광섬유 스캐닝 프로브 에 관한 것 으로 스캐너 자체 의 비대칭 성 을 통한 공진 주파수 의 변조 를 이용해 공진 주파수 변조 를 위한 추가 적 인 구조물 없이 하나 의 입력 신호 로 2 차원 구동 을 구현 할 수 있 는 2 차원 광학 스캐닝 을 위한 스캐너 를 제공 하 는 구성 이 개시 된다 .