1 , 500 Å 의 두께 로 ITO 가 박막 코팅 된 유리 기판 을 증류수 초음파 로 세척 하 였 다 . 증류수 세 척 이 끝나 면 아세톤 , 메탄올 , 이소프로필 알코올 등 의 용제 로 초음파 세척 을 하 고 건조 시킨 후 UV 세 정기 에서 UV 를 이용 하 여 5 분 간 UVO 처리 하 였 다 . 이후 기판 을 플 라즈 마 세 정기 ( PT ) 로 이송 시킨 후 , 진공 상태 에서 ITO 일함수 및 잔 막 제거 를 위해 플 라즈 마 처리 를 하 여 , 유기 증착 용 열 증착 장비 로 이송 하 였 다 .