실시 예 2 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 에서 는 , 촬상부 ( 2041 ) 가 , 스테이지 ( 2031 ) 의 상방 에 배치 되 어 있 는 예 에 대해 설명 했 다 . 다만 , 촬상부 ( 41 ) 의 배치 는 이 에 한정 되 는 것 은 아니 고 , 예 를 들 면 도 29 에 나타내 는 바 와 같이 , 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 가 , 스테이지 ( 2031 ) 에 유지 된 기판 ( WT ) 의 하측 에 배치 되 는 구성 이 어도 좋 다 . 한편 , 도 29 에 있 어서 , 실시 예 2 와 동일 한 구성 에 대해서 는 도 16 과 동일 한 부호 를 부여 하 고 있 다 . 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 와 미러 ( 377 ) 로부터 동시 에 좌우 의 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b , MM 2 a , MM 2 b ) 를 취득 가능 한 두 카메라 가 구성 되 어 있 다 . 본 변형 예 에 따른 수지 성형 장치 는 , 스테이지 ( 2031 ) 와 , 헤드 ( 33 H ) 를 구비 하 는 본딩 부 ( 33 ) 와 , 헤드 ( 33 H ) 를 구동 하 는 헤드 구동 부 ( 36 ) 와 , 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 와 , 카메라 F 방향 구동 부 ( 365 ) 와 , 카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 를 구비 한다 . 촬상부 ( 35 a , 35 b ) , 카메라 F 방향 구동 부 ( 365 ) 및 카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 는 , 실시 예 1 에서 설명 한 촬상부 ( 35 a , 35 b ) , 카메라 F 방향 구동 부 ( 365 ) 및 카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 와 동일 한 구성 이 다 .