또한 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 저부 ( 30 ) 의 구조 를 변경 함 으로써 , 세정 모듈 ( 4 ) 을 추가 할 수 있 고 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) , 로드 록 실 ( 22 , 23 ) , 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 등 의 진공 처리 장치 ( 2 ) 의 다른 부분 의 구성 을 변경 할 필요 가 없 기 때문 에 , 시스템 변경 을 최소한 으로 그칠 수 있 어 , 장치 설계 가 용이 해진다 . 이때 , 앞서 서술 한 바 와 같이 제 2 반 송실 ( 3 ) 이 Y 방향 으로 길 게 형성 되 고 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 이 Y 방향 을 따라 이동 가능 하 게 구성 되 는 경우 에 는 , 반송 영역 에 반송 아암 ( 32 ) 이 위치 하 지 않 는 빈 영역 이 형성 되 기 때문 에 , 이 빈 영역 에 세정 모듈 ( 4 ) 을 형성 하 는 것 은 , 스페이스 의 유효 한 활용 이 된다 .