본 발명 의 세정제 조성물 은 , 성분 ( A ) 로서 상기 일반식 ( 1 ) ∼ ( 4 ) 로 나타내 는 화합물 로 이루어지 는 군 에서 선택 되 는 적어도 1 종 의 화합물 을 함유 하 면 된다 . 그 중 에서 도 , 기판 표면 의 잔류물 저감 효과 가 우수 한 것 으로부터 , 성분 ( A ) 로서 상기 일반식 ( 1 ) 및 / 또는 상기 일반식 ( 3 ) 으로 나타내 는 화합물 을 함유 하 는 것 이 바람직 하 고 , 성분 ( A ) 로서 상기 일반식 ( 1 ) 로 나타내 는 화합물 을 함유 하 는 것 이 더욱 바람직 하 다 .