본 발명 은 알칼리 성 에칭 제 ( etching agent ) 및 또한 적어도 하나 의 저 - 휘발 성 유기 화합물 을 포함 하 는 , 단결정 ( monocrystalline ) 웨이퍼 의 표면 처리 용 액체 약품 ( liquid agent ) 에 관한 것 이 다 . 이 유형 의 시스템 은 단일 에칭 단계 에서 웨이퍼 표면 의 세정 , 손상 에치 ( damage etch ) 및 텍 스쳐 링 ( texturing ) 에 , 또한 다른 표면 품질 을 가지 는 실리콘 웨이퍼 의 텍 스쳐 링 ( texturing ) 에 모두 사용 될 수 있 으며 , 이 는 높 은 표면 손상 을 가지 는 또는 최소 손상 밀도 를 가지 는 화학 적 으로 연마 된 ( polished ) 표면 을 가지 는 와이어 - 소운 ( wire - sawn ) 웨이퍼 일 수 있 다 .