본 발명 은 이송 챔버 및 공정 챔버 와 결합 되 는 슬릿 밸브 에 관하 여 아래 설명 된다 . 전형 적 인 이송 챔버 , 공정 챔버 , 및 로드 록 챔버 는 미국 캘리포니아 산타 클라라 에 소재 하 는 어 플 라이드 머 티어리 얼스 , 인 코포 레이티 드 의 자회사 인 AKT 로부터 입수 가능 하 다 . 본 발명 은 다른 제조자 에 의해 생산 되 는 것 을 포함 하 는 다른 이송 챔버 , 처리 챔버 및 로드 록 챔버 에 균등 하 게 적용 가능 하 다 . 또한 , 본 상세 한 설명 은 이송 챔버 및 처리 챔버 와 결합 되 는 슬릿 밸브 를 논의 하 지만 , 슬릿 밸브 가 이송 챔버 , 공정 챔버 , 로드 록 챔버 , 및 이 들 의 조합 물 을 포함 하 는 임의 의 두 개 의 챔버 들 사이 에 결합 될 수 있 다는 것 을 이해 되 도록 한다 .