상기 화학식 1 또는 2 의 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 계 술폰산 에스테르 의 구체 적 인 예 로 는 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 4 - 술폰산 에스테르 , 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 5 - 술폰산 에스테르 , 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 6 - 술폰산 에스테르 등 이 있 고 , 더욱 구체 적 인 예 로 는 하 기 화학식 3 ( * 은 결합 부 를 의미 한다 ) 의 구조 를 갖 는 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 5 - 술폰산 에스테르 이 다 . 1 , 2 - 퀴논 디 아지드 화합물 은 노광 시 에 질소 분자 를 방출 하 여 분자 내 에 카르본 산기 를 생성 함 으로써 , 감광성 수지 막 의 알칼리 현상액 에 대한 용해 성 을 향상 시키 고 , 미 노광 부위 의 감광성 수지 막 의 알칼리 용해 성 을 억제 하 여 , 포지티브 패턴 을 형성 할 수 있 도록 한다 .