우선 , 스테이지 ( 4 ) 위 에 기재 ( 10 ) 를 탑재 배치 한다 . 다음 에 , 히터 ( 2 ) 에 의해 샤워 헤드 ( 3 ) 와 포획 부재 ( 5 ) 사이 의 공간 을 , TDMAT 가 열분해 하 는 온도 ( 150 ℃ 정도 ) 이상 으로 가열 한다 . 뒤 이 어 , 샤워 헤드 ( 3 ) 로부터 TDMAT 를 포함 하 는 원료 가스 및 캐리어 가스 를 챔버 ( 1 ) 내 로 방출 한다 . 이 결과 , 챔버 ( 1 ) 내 로 방출 된 TDMAT 가 , 히터 ( 2 ) 에 의해 샤워 헤드 ( 3 ) 와 포획 부재 ( 5 ) 사이 의 공간 에서 TiN , 탄소 ( C ) 및 탄화 수소 ( CHX ) 로 열분해 한다 . 그리고 , TiN , 탄소 및 탄화 수소 는 기재 ( 10 ) 를 향해 이동 한다 . 단 , 기재 ( 10 ) 로 의 이동 경로 에 포획 부재 ( 5 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 탄소 및 탄화 수소 는 포획 부재 ( 5 ) 에 의해 포획 된다 . 한편 , TiN 은 그대로 포획 부재 ( 5 ) 를 빠져나가 , 기재 ( 10 ) 까지 도달 한다 . 이 결과 , 기재 ( 10 ) 의 표면 에서 , 탄소 및 탄화 수소 를 포함 하 지 않 는 TiN 막 이 성장 한다 .