실시 예 에 따른 반도체 소자 의 세정 방법 은 마그네슘 , 마그네슘 합금 , 아연 , 아연 합금 중 하나 이상 의 물질 을 포함 하 는 양극 성 금속 이 부착 된 세정 탱크 에 반도체 소자 가 수납 되 는 단계 ; 상기 양극 성 금속 이 잠기 도록 상기 세정 탱크 에 세정액 이 채워지 는 단계 ; 및 상기 반도체 소자 및 상기 양극 성 금속 측 으로 세정액 이 분사 되 는 단계 를 포함 한다 .