상기 버퍼 막 은 산화 막 일 수 있 다 . 상기 게이트 용 도전 층 패턴 은 폴리 실리콘 일 수 있 다 . 상기 금속 장벽층 은 제 1 금속 장벽 층 및 제 2 금속 장벽 층 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 금속 장벽층 은 티탄 ( Ti ) 막 과 질화 티탄 ( TiN ) 막 을 포함 하 고 , 상기 제 2 금속 장벽층 은 텅스텐 실리사이드 ( WSi ) 막 과 텅스텐 나이트 라이드 ( WN ) 막 을 포함 할 수 있 다 . 상기 게이트 용 금속 층 은 텅스텐 으로 형성 될 수 있 다 .