300 mm 의 2 장 의 실리콘 웨이퍼 를 , 일단 , HF 세정 에 의해 자연 산화 막 을 완전히 제거 한 후 , 실시 예 5 와 동일 한 방법 및 조건 으로 처리 하 여 , 두께 0 . 5 nm 의 산화 막 을 형성 하 고 , 직접 접합 시켰 다 . 산화 막 의 두께 는 , 엘 립 소 메트리 법 에 의해 측정 하 여 , 확인 하 였 다 . 그 후 , 실시 예 1 과 동일 한 방법 으로 접합 웨이퍼 를 제작 하 였 다 . 제작 한 , 접합 웨이퍼 의 표면 을 눈 으로 검사 하 였 다 . 그 결과 , 접합 계면 에 국소 적 인 산화물 은 발생 해 있 지 않 는 것 이 확인 되 었 다 ( 도 1 참조 ) .