공급 파이프 ( 30 ) 의 일단 은 상기 분사 파이프 ( 120 ) 의 타단 에 연결 되 어 있 으며 , 타단 은 세정액 공급 펌프 ( 도시 하 지 않 음 ) 또는 세정액 공급 탱크 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 연결 되 어 세정액 을 상기 분사 파이프 ( 120 ) 에 공급 한다 . 상기 공급 파이프 ( 30 ) 에 는 공급 조절 밸브 ( 50 ) 와 온도 조절 밸브 ( 60 ) 가 설치 되 어 있 다 .