본 발명 에 의하 면 , 배기 수단 에 의해 챔버 내 에 일단 측 이 접속 된 배기관 을 통해 챔버 내 로부터 배기 된 기체 는 , 혼합 수단 에 의해 순수 와 혼합 되 어 , 기 액 분리 수단 에 취입 된다 . 따라서 , 챔버 로부터 배기 된 기체 에 용제 증기 가 포함 되 어 있 어도 , 용제 증기 는 순수 에 용해 되 므로 , 기 액 분리 수단 으로부터 배기 되 는 기체 에 포함 되 는 용제 의 농도 를 저감 할 수 있 다 .