패널 3 ) 의 에칭 단계 이후 에 , 희생 마스킹 층 을 선택 적 으로 증착 할 수 있 다 . 희생 마스킹 층 은 , 예 를 들 어 패널 4 a ) 에 나타낸 바 와 같이 복사선 개질 층 부분 ( 411 ) 상 에 또는 패널 4 b ) 에 나타낸 바 와 같이 노광 된 하부 층 상 에 증착 될 수 있 다 . 하부 층 이 존재 하 지 않 는 경우 , 희생 마스킹 층 은 기판 ( 430 ) 상 에 직접 증착 될 수 있 다 ( 구 현예 미 도시 ) . 복사선 개질 층 부분 이 제거 되 고 비 개질 층 부분 이 층 제거 단계 동안 제자리 에 남 는 경우 , 희생 마스킹 층 은 비 개질 층 부분 상 에 증착 될 수 있 다 ( 구 현예 미 도시 ) .