도 5 a 의 FTIR 을 보 면 , SB 신호 가 10 W 와 30 W 에서 완만 한 신호 가 3400 cm - 1 와 1650 cm - 1 에 나타났 는데 , 이 는 10 W 와 30 W 에서 증착 한 플 라즈 마 중합 된 싸이클 로 핵산 ( PPCHex ) 박막 표면 에 대기 중 의 수분 이 흡착 된 때문 이 다 . 3400 cm - 1 와 1650 cm - 1 에서 이 신호 가 크 게 나타난 것 은 표면 에 - OH 가 있 음 을 의미 하 고 있 는데 이 는 표면 의 산화 로부터 형성 된 것 이 다 . 플라 즈 마 SB 파워 가 10 W 부터 30 W 까지 낮 은 파워 일 때 는 , 싸이클 로 핵산 전구체 들 이 덜 분해 되 어서 단량체 형태 로 증착 되 었 다 . 또한 이때 의 박막 은 조밀 하 지 못하 다 . 이 는 박막 을 상온 의 대기 중 에 노출 시켰 을 때 , 수분 이나 물 이 박막 표면 에 흡착 된다는 것 을 나타낸다 .