도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 기판 의 스 크라이 브 레인 ( 203 ) 상 에 얼라인먼트 키 ( 210 ) 와 상기 얼라인먼트 키 ( 210 ) 주변 에 형성 된 복수 개 의 더미 키 ( dummy key ) ( 211 ) 가 형성 되 어 있 다 . 여기 서 는 , 상기 더미 키 ( 211 ) 는 십자 ( +) 형태 로 형성 되 어 있 다 .