( D ) 성분 의 억제제 는 , 광산 발생 제 에서 발생 하 는 산 등 이 레지스 트 막 중 에 확산 될 때 의 확산 속도 를 억제 할 수 있 는 화합물 이 적합 하 고 , 이러 한 억제제 의 배합 에 의해 , 레지스 트 감도 의 조정 이 용이 해질 뿐 만 아니 라 , 레지스 트 막 중 에서 의 산 의 확산 속도 가 억제 되 어 해상도 가 향상 되 어 , 노광 후 의 감도 변화 를 억제 하 거나 , 기판 이나 환경 의존 성 을 적 게 하 여 , 노광 여유도 나 패턴 프로파일 등 을 향상 시킬 수 있 다 .