공급 된 불활성 기체 는 기체 분산 기구 의 분산 관 ( 330 ) 과 기체 분산 기구 절 연판 ( 340 ) 사이 의 절 연판 하부 기체 통로 ( 342 ) 로 흐름 과 동시 에 기체 분산 기구 절 연판 ( 340 ) 과 기체 흐름 조절판 ( 345 ) 사이 의 절 연판 상부 기체 통로 ( 341 ) 로 도 흐른다 . 절 연판 윗면 과 아랫면 의 기체 통로 ( 341 , 342 ) 를 통과 한 불활성 기체 는 기판 위 를 지난 공정 기체 와 합해져서 , 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 와 반응 실벽 ( 361 ) 의 사이 를 지난 후 조절판 상부 기체 통로 ( 347 ) 를 통과 하 여 외부 로 배기 된다 . 이때 , 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 와 반응 실 내벽 ( 361 a ) 과 외벽 ( 361 b ) 의 사이 의 불활성 기체 통로 ( 362 ) 를 지나온 불활성 기체 중 적어도 일부 는 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 의 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 사이 를 지난 후 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 아래 를 통해 기판 ( 370 ) 과 기체 차단 클램프 ( 369 ) 사이 를 지난 후 에 조절판 상부 기체 통로 ( 347 ) 를 통과 하 여 외부 로 배기 된다 .