상기 베이스 기판 ( 101 ) 위 에 게이트 금속 층 을 증착 및 패 터닝 하 여 게이트 금속 패턴 들 을 형성 한다 . 상기 게이트 금속 층 은 예 를 들 면 , 크롬 , 알루미늄 ( Al ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 티타늄 ( Ti ) , 텅스텐 ( W ) , 구리 ( Cu ) , 은 ( Ag ) 등 의 금속 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 하 는 합금 을 포함 하 는 도전 막 으로 스퍼터링 공정 에 의하 여 증착 한 후 , 패 터닝 하 여 게이트 금속 패턴 들 을 형성 한다 .