통상 적 으로 구동 소자 어레이 기판 공정 및 컬러 필터 기판 등 은 주로 진공 챔버 내 에서 이루어진다 . 즉 , 패턴 의 형성 등 이 진공 챔버 내 에서 이루어지 는 것 이 다 . 따라서 , 액정 표시 소자 제조 라인 에 는 다수 의 진공 챔버 가 설치 되 며 , 각각 의 진공 챔버 에 의해 공정 이 종료 되 면 이후 의 징 공 챔버 로 이송 되 어 해당 공정 을 진행 하 게 된다 .