그런데 , 상기 한 디 가스 ( degas ) 공정 을 진행 하 는 중 에 장비 트러블 ( trouble ) 로 인해 외부 리크 ( leak ) 가 발생 하 게 되 면 제 1 챔버 에 대기 중 의 산소 가 유입 되 고 , 유입 된 산소 가 상기 한 듀얼 다 마신 패턴 에 의해 노출 된 하부 의 구리 배선 과 반응 하 여 구리 배선 의 표면 에 산화 구리 막 이 형성 된다 .