하 부막 ( 20 ) 에 형성 되 는 하부 개구부 들 ( LH ) 의 평면 적 은 도 1 및 도 6 을 참조 하 여 설명 된 제 1 및 제 2 마스크 패턴 들 ( 42 , 72 ) 의 피치 와 선폭 에 따라 달라질 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 도 1 및 도 6 에서 , 제 1 및 제 2 마스크 패턴 들 ( 42 , 72 ) 의 피치 와 선폭 이 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 이 와 달리 , 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 의 피치 와 선폭 은 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 의 피치 와 선폭 과 다를 수 있 다 .