도면 부호 640 에서 , 제 1 S - D 평가 프로시저 를 이용 하 여 , 평가 될 S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 결정 될 수 있 다 . 필수 평가 사이트 의 개수 는 업데이트 된 웨이퍼 데이터 , 업데이트 된 웨이퍼 상태 데이터 , 웨이퍼 데이터 , 웨이퍼 상태 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 각각 의 S - D 평가 웨이퍼 마다 결정 될 수 있 다 .