이러 한 구성 의 장치 에서 는 , 우선 , 기판 을 보유 지지 한 보유 지지 기구 를 처리 위치 로 이동 시켜 , 순수 에 침지 시킨 상태 에서 기판 을 순수 세정 한다 . 그리고 , 노즐 로부터 이소프로필 알콜 의 증기 를 공급 하 여 챔버 내 를 용제 분위기 로 한 후 , 기판 을 보유 지지 한 보유 지지 기구 를 처리 위치 로부터 건조 위치 로 이동 시킨다 . 이어서 , 배기펌프 에 의해 챔버 내 의 기체 를 배기 해서 감압 하 여 , 기판 에 부착 되 어 있 는 이소프로필 알콜 의 증기 를 건조 시켜 기판 을 건조 시킨다 .