상대 적 으로 큰 원자량 으로 인하 여 요오드 또는 브롬 은 알칼리 현상액 에서 덜 용해 성 이 다 . 요오드 또는 브롬 은 폴리머 주 쇄 에 결합 한 경우 , 노광 부분 에서 의 레지스 트 막 은 알칼리 용해 성 이 저하 함 으로써 해상 성 이나 감도 가 저하 할 뿐 만 아니 라 , 결함 발생 의 원인 이 된다 . 반복 단위 ( a ) 가 알칼리 현상액 중 에 있 는 경우 , 반복 단위 ( a ) 중 의 요오드 치환 된 또는 브롬 치환 된 페놀 이 현상액 중 의 알칼리 화합물 과 염 을 형성 하 여 폴리머 주 쇄 로부터 떨어진다 . 이 에 따라 충분 한 알칼리 용해 성 을 확보 할 수 있 어 , 결함 형성 을 최소 화 한다 .