이웃 하 는 각각 의 패턴 ( 2 ) 끼리 는 이격 되 어 있 고 , 양자 의 간극 인 스트리트 ( ST ) 에 있 어서 는 , 하 지 기판 ( 1 ) 이 노출 되 어 있 다 . 마더 기판 ( 10 ) 에 있 어서 는 , 스트리트 ( ST ) 로서 , 소형 패턴 ( 2 a ) 끼리 의 간극 인 제 1 스트리트 ( ST 1 ) 와 , 대형 패턴 ( 2 b ) 끼리 의 간극 인 제 2 스트리트 ( ST 2 ) 와 , 소형 패턴 ( 2 a ) 과 대형 패턴 ( 2 b ) 의 간극 인 제 3 스트리트 ( ST 3 ) 가 존재 한다 .