다시 말 해서 , 상기 제 4 단계 공정 에서 보 는 바 와 같이 , Chromemask 의 UV ( Ultraviolet ) 차단 기능 을 이용 한 상기 감광제 ( AZ 4620 , 500 ) 의 패 터닝 공정 실시 를 UV Process 에서 10 mJ / ㎤ 60 sec 실시 하 듯이 , 패 터닝 공정 을 실시 한다 . 이때 패 터닝 공정 실시 에 따른 마스크 ( Mask ) 의 크기 가 변동 될 수 있 으나 , Chromemask 의 UV 차단 기능 을 이용 하 기 때문 에 상기 PDMS ( 200 ) 와 금 ( Gold , 400 ) 층 은 그대로 유지 될 수 있 는 특징 이 있 다 .