액정 디스플레이 소자 또는 플 라즈 마 디스플레이 소자 의 패널 로 쓰이 는 글래스 기판 을 가공 하 기 위해선 도 1 과 같 은 진공 척 ( 10 ) 상 에 글래스 기판 ( 20 ) 을 진공 흡착 시켜 가공 처리 공정 을 진행 한다 . 진공 척 ( 10 ) 은 석정 반 ( 11 ) 상 에 격자 형태 의 라인 으로 가공 된 그루브 ( 12 ) 가 배치 되 고 , 그루브 ( 12 ) 에 의해 정의 되 는 격자 와 격자 사이 에 진공 홀 ( 13 ) 이 배치 된 형태 이 다 . 진공 홀 ( 13 ) 을 통해 공기 를 흡입 하 여 진공 상태 를 유지 함 으로써 석정 반 ( 11 ) 상 에 글래스 기판 ( 20 ) 가 장착 되 게 한다 .