일반 적 인 스테이지 장치 는 스테이지 의 평면 상 에 형성 된 X 축 및 Y 축 방향 으로 스테이지 를 미세 직선 이동 시켜 평면 상 의 위치 를 정렬 시키 도록 구성 되 고 있 는데 , 최근 에 는 이러 한 직선 이동 방식 을 통한 위치 정렬 기능 이외 에 도 스테이지 의 평면 상 에서 스테이지 를 수평 회전 이동 시켜 평면 상 의 위치 를 정렬 시키 는 회전 이동 방식 을 통한 위치 정렬 기능 이 요구 되 고 있 다 .