본 실시 예 에서 는 , 레벤 손 형 마스크 의 개구부 의 종류 및 크기 를 설정 하 는 계산기 프로그램 을 이용 하 고 있 다 . 소자 분리 영역 에 형성 되 는 패턴 중 , 레벤 손 형 마스크 에 의해 형성 되 는 패턴 끼리 끼워 지 는 부분 이 있 어 , 상기 한 소정 의 거리 내 에 있 는 경우 에 는 , 더미 활성 영역 을 설정 해서 개구부 를 확장 한다 . 더미 활성 영역 을 설정 함 으로써 , 용이 하 게 확장 한 동 위상 개구부 또는 반전 위상 개구부 를 형성 할 수 있 다 .