도 19 에 도시 된 바 와 같이 , 모듈 ( 300 ') 은 사용 시 에 도금 용액 을 수용 하 는데 적합 한 중앙 증착 챔버 를 둘러싸 는 적층 구성 으로 제공 되 는 3 개 의 하우징 부분 , 즉 상부 하우징 ( 301 A ) , 중간 하우징 ( 301 B ) , 및 하부 하우징 ( 301 C ) 을 가지 는 하우징 ( 301 ) 에 의해 한정 된다 . 카트리지 ( 320 ) 는 도시 된 바 와 같이 가공물 ( 311 ) 와 밀접 하 게 정렬 된 CPS ( 200 ) , 및 교반 플레이트 ( 312 ) 를 포함 한다 . 하부 하우징 ( 301 C ) 상 의 모듈 ( 300 ') 의 베이스 에 근접 하 여 위치 된 애노드 조립 체 ( 302 ) 는 복수 의 애노드 세그먼트 ( 324 ) 를 포함 한다 . 멤 브레인 지지 부 ( 328 ) 에 의해 유지 되 는 멤 브레인 ( 327 ) 은 하부 하우징 ( 301 C ) 내 의 하부 캐 비티 ( 343 ) 에 있 는 도금 유체 ( 도금 용액 ) 를 중앙 하우징 ( 301 B ) 내 의 상부 캐 비티 ( 344 ) 에 있 는 유체 로부터 분리 한다 . 카트리지 ( 320 ) 는 가공물 ( 311 ) 과 밀접 한 정렬 을 유지 하 기 위해 중앙 하우징 ( 301 B ) 에 제공 된 프로파일 특징 부들 에 의해 지지 된다 . 가공물 ( 311 ) 은 중앙 하우징 ( 301 B ) 내 에서 지지 되 는 캐리어 ( 338 ) 에 의해 유지 되 며 , 이 는 가공물 ( 311 ) 의 가장자리 에서 전기 연결부 및 유체 밀봉 부 모두 를 제공 한다 . 상부 하우징 ( 301 A ) 은 소비 된 유체 를 위한 배출 매니폴드 ( 329 ) 를 지지 한다 .