제어 유닛 ( 60 ) 은 , 화상 해 석부 ( 64 ) 로 산출 된 결과 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 표면 ( 11 a ) 에 형성 된 복수 의 가공 흔적 의 미리 정해진 형상 으로부터 의 어긋남 을 정량 적 으로 비교 하 는 비 교부 ( 66 ) 를 더 포함 한다 . 비 교부 ( 66 ) 는 , 예컨대 , 상술 의 CPU 등 의 처리 장치 에 판독 됨 으로써 실행 되 는 프로그램 등 의 소프트웨어 이 다 .