본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 는 다수 의 이로운 특징 을 포함 한다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 , 예컨대 , 에너지 케이블 ( 2322 ) 이 연결 되 지 않 고 , 하나 이상 의 냉 각판 더 모 커플 ( 2395 ) 또는 냉각 경로 더 모 커플 ( 2326 ) 이 연결 되 지 않 을 때 , 하나 이상 의 냉 각판 더 모 커플 ( 2395 ) 에서 측정 된 온도 가 예컨대 45 ℃ 와 같 은 소정 의 한계 치를 초과 할 때 , 냉각제 챔버 ( 2360 ) 의 온도 를 나타낼 수 도 있 는 냉각 경로 더 모 커플 ( 2326 ) 에서 측정 된 온도 가 예컨대 45 ℃ 와 같 은 소정 한계 치를 초과 할 때 , 증폭기 ( 2306 ) 에 장애 가 있 을 때 , 반사 된 파워 가 예컨대 19 . 5 와트 와 같 은 소정 의 한계 치를 초과 할 때 와 같이 , 장애 상태 가 검출 되 는 경우 에 치료 를 개시 하 지 않 거나 중단 할 것 이 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 , 예컨대 , 마이크로파 체인 ( 2403 ) 외부 로 의 파워 가 소정 의 범위 내 에 유지 되 지 않 을 때 , 마이크로파 체인 ( 2403 ) 외부 로 의 파워 가 코 맨 트 의 400 ms 이내 에 설정 되 지 않 을 때 , 마이크로파 체인 ( 2403 ) 외부 로 의 파워 가 예컨대 요청 된 파워 의 ± 13 와트 와 같 은 소정 범위 내 에 유지 되 지 않 을 때 , 지향 성 커플러 ( 2406 ) 에서 측정 된 순방향 파워 에 대한 반사 된 파워 의 비율 이 소정 의 한계 치를 초과 할 때 와 같이 , PWM 서버 회로 에서 장애 상태 가 검출 되 는 경우 에 치료 를 개시 하 지 않 거나 중단 할 것 이 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 , 예컨대 , 하나 이상 의 냉 각판 더 모 커플 ( 2395 ) 또는 냉각 경로 더 모 커플 ( 2325 ) 에서 측정 된 온도 증가 또는 온도 감소 의 비율 이 소정 의 한계 치를 초과 할 때 , 하나 이상 의 냉 각판 더 모 커플 ( 2395 ) 또는 냉각 경로 더 모 커플 ( 2325 ) 에서 측정 된 온도 의 비율 증가 또는 감소 가 소정 의 한계 치를 초과 할 때 와 같이 , 장애 상태 가 검출 되 는 경우 에 치료 를 개시 하 지 않 거나 중단 할 것 이 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 출력 파워 를 40 내지 100 와트 의 범위 로 전달 할 수 있 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 출력 파워 를 5 와트 의 변동 량 으로 증가 시키 거나 감소 시킬 수 있 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 출력 파워 범위 내 에서 ± 3 와트 의 정확도 를 유지 할 수 있 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 제너 레이터 ( 2301 ) 는 5 . 8 ㎓ 의 출력 주파수 를 ± 25 ㎑ 로 유지 할 수 있 다 . 본 발명 의 일실 시예 에 따라 , 칠러 ( 2310 ) 는 냉각 유체 ( 2361 ) 의 온도 를 대략 - 5 ℃ 내지 대략 600 ℃ 의 범위 내 에서 대략 ± 2 . 50 ℃ 의 정확도 로 제어 할 수 있 다 .