또한 , 각 밸브 ( 69 , 72 , 75 , 79 ) , 아암 ( 65 ) , 유지 기구 ( 62 ) , 각 처리 액원 등 은 제어 장치 ( 20 ) 에 접속 되 어 있 다 . 그리고 , 처리 유닛 ( 20 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 처리 [ 구체 적 으로 는 , 처리 액 의 공급 , 기체 의 공급 , 유지 기구 ( 62 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 유지 , 상방 노즐 의 위치 등 ] 는 제어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 된다 .