전 극막 은 플 라즈 마 프리 로 제작 하 는 것 이 바람직 하 다 . 플 라즈 마 프리 로 이 들 전 극막 을 제작 함 으로써 , 전 극막 이 형성 되 는 기판 에 플 라즈 마 가 주 는 영향 이 저감 되 고 , 광전 변환 소자 의 광전 변환 특성 을 양호 하 게 할 수 있 다 . 여기 에서 , 플라 즈 마 프리 란 , 전 극막 의 성막 시 에 플 라즈 마가 발생 하 지 않 는지 , 또는 플 라즈 마 발생 원 에서 기판 까지 의 거리 를 2 ㎝ 이상 , 바람직 하 게 는 10 ㎝ 이상 , 더욱 바람직 하 게 는 20 ㎝ 이상 으로 함 으로써 , 기판 에 도달 하 는 플 라즈 마 가 줄여 지 는 바 와 같 은 상태 를 의미 한다 .