상기 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 은 발광 부 ( 134 a ) 및 수 광부 ( 134 b ) 가 상기 도어 오프너 ( 120 ) 에 의해 개방 된 FOUP ( 20 ) 에 수납 된 반도체 기판 들 ( 10 ) 과 인접 하 여 배치 되 거나 또는 이격 되 도록 수평 으로 회전 한다 . 이 를 위해서 , 자세 하 게 도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 을 회전 시키 기 위한 구동력 을 제공 하 는 구동 부 ( 130 a ) 와 , 상기 구동 부 ( 130 a ) 와 상기 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 사이 에서 상기 구동력 을 전달 하 는 기어 조립 체 ( 136 ) 가 구비 된다 . 이 에 따라 , 상기 기어 조립 체 ( 136 ) 는 상기 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 은 상기 구동 부 ( 130 a ) 로부터 전달 되 는 구동력 에 의해 동시 에 회전 한다 . 한편 , 맵 핑 을 수행 하 지 않 을 때 에 는 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 은 일직선 을 이루 는 대기 상태 로 배치 되 어 있 다 .