도면 부호 205 에서 , 하나 이상 의 웨이퍼 가 처리 시스템 ( 100 ) 내 의 하나 이상 의 서브시스템 ( 101 , 102 , 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 에 의해 수납 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 그 하나 이상 의 웨이퍼 는 하나 이상 의 서브시스템 ( 101 , 102 , 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 에 연결 된 하나 이상 의 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 에 의해 수납 될 수 있 다 . 대안 으로 , 하나 이상 의 웨이퍼 는 상이 한 서브시스템 에 의해 수납 될 수 있 다 . 또한 , 시스템 컨 트 롤러 ( 195 ) 는 하나 이상 의 웨이퍼 에 대한 웨이퍼 데이터 를 수신 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 대안 으로 , 웨이퍼 데이터 의 일부 는 상이 한 컨트롤러 에 의해 수신 될 수 있 다 . 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 웨이퍼 데이터 는 하나 이상 의 웨이퍼 에 대한 , 웨이퍼 관련 맵 , 프로세스 관련 맵 , 손상 평가 맵 , 기준 맵 , 측정 맵 , 예측 맵 , 리스크 맵 , 검사 맵 , 검증 맵 , 평가 맵 , 입자 맵 , 및 / 또는 신뢰 도 맵 을 포함 할 수 있 는 S - D 및 / 또는 N - S - D 맵 을 포함 할 수 있 다 . 일부 의 경우 , MES 시스템 ( 180 ) 은 시스템 컨트롤러 ( 195 ) 및 하나 이상 의 서브시스템 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 과 데이터 를 교환 할 수 있 고 , 그 데이터 는 처리 시퀀스 및 / 또는 이송 시퀀스 를 결정 및 / 또는 제어 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 교환 된 데이터 는 각 웨이퍼 마다 이용 할 S - D 및 / 또는 N - S - D 프로시저 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 그 데이터 는 시스템 데이터 , 서브시스템 데이터 , 챔버 데이터 , 생산품 데이터 , 센서 데이터 , 및 이력 데이터 를 포함 할 수 있 다 .