본 발명 의 스토리지 노드 컨 택 형성 을 위한 포토 마스크 는 , 투명 기판 위 의 셀 어레이 영역 및 셀 어레이 영역 주변 의 셀 어레이 경계 영역 에 배치 되 는 광차 단막 패턴 과 , 셀 어레이 영역 내 의 광차 단막 패턴 내 에서 상호 이격 되 면서 어레이 형태 로 배치 되 는 광 투과 영역 들 과 , 그리고 셀 어레이 경계 영역 내 의 광차 단막 패턴 내 배치 되 는 필러 형태 의 스 캐 터 스페이스 를 구비 하 되 , 스 캐 터 스페이스 의 장축 은 광 투과 영역 의 장축 에 수직 한 방향 으로 위치 한다 .