예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 게이트 전극 은 상기 제 1 방향 을 따라 서로 이격 된 복수 개 의 층 들 에 각각 형성 될 수 있 으며 , 상기 복수 개 의 층 들 에 형성 된 상기 게이트 전극 들 은 게이트 전극 구조물 을 형성 할 수 있 다 . 상기 게이트 전극 구조물 은 기판 ( 100 ) 상면 으로부터 상기 제 1 방향 을 따라 순차 적 으로 적층 된 하나 이상 의 제 3 게이트 전극 ( 296 ) , 복수 의 제 2 게이트 전극 들 ( 294 ) , 및 하나 이상 의 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 을 포함 할 수 있 다 .