첫 번 째 3 층 본딩 스킴 이 도 4 에 도시 되 며 , 유사 한 번호 가 유사 한 부분 을 나타낸다 . 도 3 의 제 1 본딩 층 ( 20 ) 이 제 2 본딩 층 ( 32 ) 으로 변경 됐 고 , " "" 세정 "" 또는 리프트 - 오프 층 ( 44 ) 과 제 2 본딩 층 ( 32 ) 사이 에 추가 층 이 추가 된 것 을 제외 하 고 ", 도 4 에 도시 된 실시 예 는 도 3 에 도시 된 것 과 유사 하 다 . 특히 , ( 이전 에 기재 된 것 처럼 , 그리고 도 4 ( a ) 를 참조 하 라 ) 리프트 - 오프 층 ( 44 ) 이 소자 표면 ( 14 ) 상 에 형성 된 후 , 상부 표면 ( 54 ) 과 하부 표면 ( 56 ) 을 갖 는 강성 층 ( rigid layer ) ( 52 ) 이 리프트 - 오프 층 ( 44 ) 의 상부 표면 ( 46 ) 상 에 형성 된다 ( 도 4 ( b ) ) . 본원 에서 사용 될 때 , " "" 강성 "" 은 유동 계 ( rheometer ) 에 의해 판단 될 때 적어도 1 GPa 의 높 은 전단 계수 ( shear modulus ) 를 갖 는 층 을 지칭 한다 . 덧붙이 자면 "," "" 강성 "" 은 공정 온도 ( 일반 적 으로 ", 약 1500 ℃ 내지 약 400 ℃, 바람직 하 게 는 약 200 ℃ 내지 약 300 ℃) 에서 유동 하 지 않 는 층 을 지칭 한다 .