이 결과 로부터 , 샘플 5 , 6 , 7 이 에칭 없 음 의 경우 ( 샘플 8 ) 와 동등 한 전류 밀도 특성 을 얻 을 수 있 고 , 배리어 메탈 에 이용 되 는 탄탈 과 의 강한 밀착 성 을 더 얻 을 수 있 었 던 것 이 이해 된다 . 샘플 5 에서 도 개선 이 보였 다 . HMDS , DTDS , BTSM 에서 밀착 강도 가 양호 한 결과 를 부여 하 지 않 는 것 은 , 표면 의 소수 화 를 행하 여도 , 밀착 강도 가 저하 되 었 기 때문 이 라고 생각 된다 .