따라서 , 실시 예 에서 , 하나 이상 의 이 국부 적 인 영향 의 정렬 기여 도 가 결정 되 고 상대 적 으로 낮 은 밀도 에서 정렬 측정 과 조합 되 어 더 높 은 밀도 정렬 핑거 프린트 를 생성 한다 . 다양 한 국부 적 인 영향 중 하나 이상 의 정렬 에 대한 기여 도 는 리 소 셀 에서 의 ( 예 를 들 어 , " 리소그래피 장치 에서 의 ) 다른 계측 측정 으로부터 유도 될 수 있 으며 및 / 또는 "" 오프라인 ( offline ) "" 에서 계산 / 측정 될 수 있 다 ( 즉 ", HDAM 이 결정 되 고 있 는 리 소 셀 을 통하 여 특정 기판 의 처리 중 에 계산 또는 측정 될 필요 가 없 다 ) .