또한 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 계측 시스템 ( 200 ) 이 간섭계 시스템 ( 118 ) 과 인코더 시스템 ( 150 ) 의 양방 을 포함 하 는 것 으로 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 계측 시스템 은 간섭계 시스템 ( 118 ) 과 인코더 시스템 ( 150 ) 중 일방 만 을 포함 하 고 있 어도 된다 . 특히 , 인코더 시스템 만 을 포함 하 는 경우 에 는 , 그 인코더 시스템 은 , 2 D 헤드 를 포함 하 는 2 차원 인코더 가 아니 어도 된다 .