상기 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 시스템 에 사용 되 는 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 기술 은 반응 온도 , 압력 , 반응 가스 유량 , 가열 시간 , 플라 즈 마 강도 및 반응 시간 을 조절 하 며 , 반응 온도 는 500 내지 1000 ° C , 압력 은 1 내지 20 Pa 이 고 , 반응 가스 는 탄 소원 가스 와 메탄 , 질소 , 아르곤 , 헬륨 , 수소 등 의 운반 가스 일 수 있 다 . 가스 유량 은 50 내지 1000 sccm , 가열 시간 은 5 분 내지 1 시간 이 고 , 플라 즈 마 전력 5 내지 200 W , 반응 시간 은 60 s 내지 3600 s 이 다 .