시스템 소프트웨어 는 많 은 상이 한 방식 들 로 설계 되 거나 구성 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 다양 한 챔버 컴포넌트 서브루틴 들 또는 제 어 객체 들 은 본 발명 의 증착 프로세스 들 을 수행 하 는 데 필요 한 챔버 컴포넌트 들 의 동작 을 제어 하 도록 작성 될 수 도 있 다 . 이 목적 을 위한 프로그램 들 또는 프로그램 섹션 들 의 예 들 은 기판 포지셔닝 코드 , 프로세스 가스 제어 코드 , 압력 제어 코드 , 히터 제어 코드 , 및 플 라즈 마 제어 코드 를 포함 한다 .