모델링 된 이미지 는 따라서 , 모델 - 기반 피처 맵 을 구축 하 기 위해 사용 된다 . 이 맵 은 구체 적 으로 리소그래피 적 으로 중대 한 피처 및 결함 을 포함 하 는 영역 을 정의 하 고 이 에 초점 을 둔다 . 맵 은 후속 검사 동안 모든 다른 영역 ( 예컨대 , " 상술 한 바 처럼 "" 확대 된 골격 "" 피처 에 대응 하 는 영역 ) 을 "" 디 센싱 "" 하 기 위해 검사 시스템 에 지시 를 제공 하 기 위해 사용 된다 . 이 모델 - 기반 피처 맵 은 ", 포토 마스크 이미지 내 의 피처 를 규칙 으로 정의 된 바 에 따라 정렬 ( sorting ) 하 여 생성 된 규칙 - 기반 피처 맵 과 는 반대 로 , 모델링 된 이미지 ( 예컨대 , 에어리얼 평면 상 의 이미지 ) 로부터 생성 되 기 때문 에 , 모델 - 기반 피처 맵 은 자동 적 으로 리소그래피 적 으로 중요 한 영역 을 고려 하 고 피처 크기 와 관계없이 다른 영역 을 무시 한다 . 즉 , 사용자 - 정의 규칙 은 피처 맵 을 구축 하 는 데 필요 치 않 다 . 대신 , 리소그래피 시스템 또는 포토레지스트 시스템 의 모델 이 , 프린터 블 피처 영역 을 정의 하 는 모델링 된 이미지 를 검색 하 는 데 에 적용 된다 .