중공 샤프트 ( 5 ) 가 케이싱 ( 12 ) 에 대해 상승 될 때 , 볼 스플라인 베어링 ( 6 ) 과 레이디얼 베어링 ( 18 ) 을 연 마실 ( 21 ) 로부터 격리 유지 하 기 위해 , 중공 샤프트 ( 5 ) 와 케이싱 ( 12 ) 의 상부 단부 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 수직 방향 으로 신축 가능 한 풀무 ( 19 ) 에 의해 서로 커플링 된다 . 도 2 는 중공 샤프트 ( 5 ) 가 낮 아 진 위치 에 있 고 , 보유 스테이지 ( 4 ) 가 연마 위치 에 있 는 상태 를 도시 한다 . 연마 공정 후 , 공기 실린더 ( 15 ) 는 보유 스테이지 ( 4 ) 및 중공 샤프트 ( 5 ) 와 함께 웨이퍼 ( W ) 를 전달 위치 로 상승 시키 기 위해 작동 되 며 , 이때 웨이퍼 ( W ) 는 보유 스테이지 ( 4 ) 로부터 방출 된다 .