상기 방법 에 의하 여 초점 을 조절 한 이 후 에 , 상기 피크 치 의 화상 평가 치 에 대응 하 는 대물 렌즈 전압 을 상기 대물 렌즈 에 인가 한 상태 에서 전자 를 상기 대물 렌즈 를 통해 상기 피사체 에 주사 함 으로써 상기 피사체 의 이미지 를 획득 하 는 단계 와 , 상기 획득 된 이미지 를 이용 하 여 피사체 에 형성 되 어 있 는 패턴 을 검사 하 는 단계 를 더 수행 할 수 있 다 .