온도 측 정부 ( 410 ) 는 펌핑 라인 ( 212 ) 의 내부 온도 를 측정 하 는 것 이 다 . 이러 한 온도 측 정부 ( 410 ) 는 일정 시간 마다 펌핑 라인 ( 212 ) 의 내부 온도 를 측정 할 수 있 으며 , 제 어부 ( 420 ) 의 제어 에 따라 특정 시간 ( 예 를 들 어 , 기판 처리 시스템 ( 100 ) 의 양산 시간 이 소정 시간 을 초과 하 는 경우 ) 에 펌핑 라인 ( 212 ) 의 내부 온도 를 측정 하 는 것 도 가능 하 다 .