레지스 트 재료 에 , 다른 켄 처 가 배합 될 수 있 다 . 상기 다른 켄 처 는 일반 적 으로 종래 형태 의 염기 성 화합물 에서 선택 된다 . 종래 형태 의 염기 성 화합물 은 , 제 1 급 , 제 2 급 , 제 3 급 의 지방족 아민류 , 혼 성 아민류 , 방향 족 아민류 , 복소 환 아민류 , 카르복실기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 술포닐기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 히드록실기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 히드록시 페닐기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 알코올 성 함 질소 화합물 , 아미드 유도체 , 이미드 유도체 , 및 카바 메이트 유도체 를 포함 한다 . JP - A 2008 - 111103 호 단락 [ 0146 ] ∼[ 0164 ] 에 기재 된 제 1 급 , 제 2 급 , 제 3 급 의 아민 화합물 , 특히 히드록실기 , 에테르 결합 , 에스테르 결합 , 락톤 환 , 시아노기 , 또는 술폰산 에스테르 결합 을 갖 는 아민 화합물 및 JP 3790649 호 에 기재 된 카바 메이 트기 를 갖 는 화합물 도 포함 된다 . 염기 성 화합물 의 첨가 는 예컨대 레지스 트 막 내 에서 의 산 의 확산 속도 를 더욱 억제 하 거나 형상 을 보정 하 는 데 효과 적 일 수 있 다 .