이렇게 회전 테이블 ( 21 ) 의 지지 핀 ( 25 ) 상 에 기판 ( 미 도시 ; 도 2 b 의 31 ) 이 로딩 되 면 , 일정 각도 만큼 회전 이 동한 상태 에서 기판 얼라 인 수단 ( 11 ) 이 상승 하 여 얼라 인 바 ( 15 ) 들 의 상호 연관 동작 을 통해 기판 을 정 위치 로 정렬 시킨 후 로봇 ( 미 도시 ) 이 기판 을 언 로딩 시키 는 시스템 으로 이루어진다 .