또한 , 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 에 수집 되 는 이온 빔 ( 100 ) 은 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 의 표면 과 충돌 되 는 과정 에서 2 차 전자 를 발생 시킬 수 있 다 . 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 에서 상기 2 차 전자 는 상기 페러 데이 시스템 ( 110 ) 에 인접 한 웨이퍼 ( W ) 로 튀 어 이온 빔 ( 100 ) 의 에너지 에 영향 을 줄 수 있 다 . 따라서 , 상기 억제 전극 ( 114 ) 을 이용 하 여 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 내부 에서 발생 되 는 2 차 전자 를 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 내부 에 가두 어 둘 수 가 있 다 . 예컨대 , 상기 억제 전극 ( 114 ) 은 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 입구 ( 111 ) 를 둘러싸 는 링 ( ring ) 모양 으로 형성 되 어 있 으며 , 상기 2 차 전자 의 방출 을 방지 토록 하 기 위해 외부 의 전원 전압 단 ( 118 ) 에서 공급 되 는 소정 크기 의 음 의 직류 전압 이 인가 된다 .