본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 9 단계 의 PI 에칭 작업 추가 수행 은 , O 2 플 라즈 마 를 이용 하 여 Gold 의 옆면 부분 의 폴리 이미드 스핀 코팅 을 실시 하 되 , 상기 O 2 플 라즈 마는 Power 200 W , Pressure 200 mtorr , O 2 10 sccm , Time 1200 sec 조건 으로 수행 되 는 것 을 특징 으로 한다 .