도 17 은 , 제 9 실시 형태 에 관한 노광 장치 ( EX ) 를 나타내 는 개략 구성도 이 다 . 상술 한 제 8 실시 형태 와 같이 , 투영 계 ( PL ) 는 , 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 으로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 하 고 , 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 으로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 한다 .