오버레이 정확도 ( overlay accuracy ) 란 , 전 ( 前 ) , 후 ( 後 ) 공정 에서 형성 된 상 , 하부 층 패턴 간 의 정렬 상태 를 나타내 는 지수 로서 , 소자 의 고집 적 화 에 따라 중요 한 변수 로서 작용 한다 . 오버레이 정확도 는 웨이퍼 의 스 크 라 이브 라인 ( scribe line ) 에 형성 되 는 오버레이 버니어 ( overlay vernier ) 를 이용 하 여 측정 한다 . 오버레이 버니어 는 전 공정 에서 형성 된 모 ( 母 ) 버니어 와 후 공정 에서 형성 되 는 자 ( 子 ) 버니어 로 이루어진다 .