우선 , 러핑 펌프 ( 12 ) 를 이용 하 여 진공 용기 ( 10 a ) 의 내부 를 1 ㎩ 정도 까지 거칠 게 진공 흡인 을 행한다 . 크라이 오 펌프 ( 20 ) 는 , 어느 정도 의 진공 이상 이 아니 면 , 기체 분자 의 열전도 에 의하 여 상온 으로부터 의 입 열량 이 크 서 냉각 이 불 가능 하 다 . 이 로 인하 여 , 반드시 기계 적 인 펌프 ( 12 ) 를 이용 하 여 진공 용기 ( 10 a ) 를 진공 흡인 할 필요 가 있 다 .