도 3 e 는 제 5 공정 단계 ( 204 ) 를 도시 한다 . 상부 정렬 마크 ( 5 ol , 5 or ) 가 상부 렌즈 ( 7 ol , 7 or ) 의 시야 ( 6 ol , 6 or ) 내 에 위치 하 고 정확 하 게 중심 이 맞 도록 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 는 로딩 되 고 고정 된 상부 기판 ( 4 o ) 을 위치 를 설정 한다 . 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 는 x 방향 및 y 방향 으로 만 이동 할 수 있 고 z 방향 으로 이동 할 수 없 도록 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상부 기판 홀더 ( 1 c ) 상 에 상부 기판 ( 4 o ) 을 로딩 하 여 상부 정렬 마크 ( 5 ol , 5 or ) 는 피사 계 심도 ( t ) 범위 에 이미 위치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 , 작 은 높이 오차 를 보상 하 기 위해 상부 기판 홀더 ( 4 o ) 가 적어도 짧 은 거리 를 가로 질러 z 방향 으로 이동 할 수 있 은 장치 가 고려 될 수 있 다 .