기존 의 레이저 를 이용 한 노광 장치 의 경우 , 광원 에 대해 고가 의 고체 펄스 레이저 하나 를 이용 하 여 , 멀티 헤드 시스템 에서 레이저 를 분기 하 고 특정 패턴 마킹 을 위하 여 AO 모듈 레이터 ( acoustic optical modulator ) 를 사용 하 여 레이저 를 제어 하 였 기 때문 에 그 제어 방식 과 구성 이 복잡 하 고 많 은 비용 이 소요 되 었 으나 , 본 발명 은 각각 의 멀티 헤드 에 대응 하 는 각각 의 광원 을 사용 하 여 그 제어 가 용이 하 고 비용 을 절감 할 수 있 는 장점 이 있 다 .