본 발명 은 플 라즈 마 에칭 이나 플 라즈 마 화학 기상 성 장법 ( 플라 즈 마 CVD ) 등 에 사용 되 는 플 라즈 마 반응 용 가스 , 불소 함유 의약 중간체 , 하이드로 플 루 오로 카본 계 용제 등 으로서 유용 한 불소화 탄화수소 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 고 순도 화 된 불소화 탄화수소 는 , 특히 플 라즈 마 반응 을 사용 하 는 반도체 장치 의 제조 분야 에 있 어서 , 플라 즈 마 에칭 용 가스 및 플라 즈 마 CVD 용 가스 등 에 호적 하 다 .