일 예 로서 , 이하 상기 포토레지스트 패턴 의 형성 방법 을 구체 적 으로 설명 한다 . 상기 유기 반사 방지 막 이 형성 된 기판 상 에 잔류 하 는 오염물 등 을 제거 하 기 위해 상기 기판 의 표면 을 세정 한다 . 이후 세정 처리 된 기판 상 에 포토레지스트 조성물 을 코팅 하 여 예비 포토레지스트 막 을 형성 한다 . 일 예 로서 , 상기 포토레지스트 조성물 은 메타 아크릴 레이트 또는 아크릴 레이트 수지 , 광산 발생 제 ( Photo Acid Generator ) 및 유기 용매 ( Solvent ) 를 포함 할 수 있 다 .