전극 구 조체 들 ( ST ) 각각 은 제 1 방향 ( D 1 ) 및 제 2 방향 ( D 2 ) 에 대해 수직 하 는 제 3 방향 ( D 3 ) 을 따라 적층 된 복수 개 의 전극 들 ( GSE , CE , LSE , USE ) 을 포함 할 수 있 다 . 다시 말 해 , 복수 개 의 전극 들 ( GSE , CE , LSE , USE ) 은 기판 ( 10 ) 상 에 수직 적 으로 적층 될 수 있 으며 , 전극 구 조체 들 ( ST ) 은 전극 들 ( GSE , CE , LSE , USE ) 사이 에 각각 개재 되 는 절 연막 들 ( ILD ) 을 포함 할 수 있 다 .