이 와 같이 하 면 , 간극 G 의 유로 저항 이 큰 경우 라도 , 상기 간극 G 에 공급 된 가압 기체 를 상부 액체 공급 홈 ( 27 ) 으로부터 유출 시키 도록 함 으로써 , 상부 기체 공급 홈 ( 26 ) 으로부터 유출 시키 도록 한 경우 에 비해 저항 이 작아진다 . 그러므로 , 간극 G 에 공급 된 가압 기체 는 기판 W 의 주위 둘레 보다 확실 하 게 유출 되 어 처리 액 이 들어가 는 것 을 방지 한다 .