상술 한 과제 를 해결 하 고 , 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 의 웨이퍼 의 가공 방법 은 , 웨이퍼 를 환형 프레임 의 개구 에 점착 테이프 로 고정 하 여 , 프레임 유닛 을 준비 하 는 프레임 유닛 준비 단계 와 , 에칭 챔버 내 의 척 테이블 에 , 상기 프레임 유닛 의 웨이퍼 를 상기 점착 테이프 를 통해 흡인 유지 하 는 프레임 유닛 유지 단계 와 , 상기 환형 프레임 및 / 또는 상기 환형 프레임 과 상기 웨이퍼 의 사이 에 노출 되 는 상기 점착 테이프 의 환형 영역 을 커버 부재 로 덮 어 , 외부 공간 으로부터 차폐 하 는 차폐 단계 와 , 상기 프레임 유닛 유지 단계 및 상기 차폐 단계 실시 후 에 , 상기 에칭 챔버 에 가스 를 공급 하 여 , 상기 웨이퍼 를 드라이 에칭 하 는 드라이 에칭 단계 를 구비 한다 .