이어서 , 회로 패턴 이 형성 된 레지스 트 상 층막 을 마스크 로 하 여 규소 함유 레지스 트 중간막 에 에칭 으로 패턴 을 전사 한다 . 레지스 트 상 층막 패턴 을 마스크 로 하 여 행하 는 규소 함유 레지스 트 중간막 의 에칭 은 플 루 오로 카본 계 가스 를 이용 하 여 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 로써 , 규소 함유 레지스 트 중간막 패턴 을 형성 한다 .