다시 도 1 을 참조 하 면 , 상변화 물질 ( 113 ) 은 제 2 도 전체 ( 120 ) 에 인접 한 개구부 ( 70 ) 의 상부 측벽 을 따라 제공 된다 . 예 를 들 어 상변화 물질 ( 113 ) 은 개구부 ( 70 ) 의 상부 측벽 ( 또는 제 2 절 연막 ( 103 ) 의 상부 측면 ) 을 따라 일정 한 두께 ( t 1 ) 로 형성 될 수 있 다 . 마찬가지 로 , 제 1 도 전체 ( 95 ) 의 제 2 부분 ( 93 s ) 역시 개구부 ( 70 ) 의 하부 측벽 ( 또는 제 2 절 연막 ( 103 ) 의 하부 측면 ) 을 따라 일정 한 두께 ( t 2 ) 로 형성 될 수 있 다 . 여기 서 상변화 물질 ( 113 ) 및 제 1 도 전체 ( 95 ) 의 제 1 부분 ( 90 b ) 과 관련 하 여 언급 된 ' 두께 ' 는 개구부 ( 70 ) 의 측벽 으로부터 측정 한 치수 ( 혹은 제 2 절 연막 ( 103 ) 의 측면 으로부터 측정 한 치수 ) 를 가리킨다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상변화 물질 ( 113 ) 의 두께 ( t 1 ) 와 제 1 도 전체 ( 95 ) 의 제 1 부분 ( 90 b ) 의 두께 ( t 2 ) 는 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 상변화 물질 ( 113 ) 의 상부 면은 실질 적 으로 제 2 절 연막 ( 103 ) 의 상부 면 그리고 / 또는 제 1 절 연막 ( 60 ) 의 상부 면 과 동일 한 높이 를 나타낼 수 있 다 .