특히 , 조절 필터 ( 341 ) 는 포토 마스크 ( 330 ) 를 통과 한 광 의 성분 에 따라 투영 되 는 영역 별 로 투과도 를 조절 하 는 투과도 조절 필터 로 이루어질 수 있 다 . 조절 필터 ( 341 ) 는 포토 마스크 ( 330 ) 를 통과 한 광 의 성분 에 따라 투영 되 는 영역 별 로 위상차 를 조절 하 는 위상 조절 필터 로 이루어질 수 있 다 . 조절 필터 ( 341 ) 는 포토 마스크 ( 330 ) 를 통과 한 광 의 성분 에 따라 투영 되 는 영역 별 로 투과도 와 위상차 를 조절 하 는 혼합조 절 필터 로 이루어질 수 있 다 .