히터 바디 ( 21 ) 는 , 알루미늄 , 스테인리스 강 또는 다른 금속 과 같 은 주조 금속 ( cast metal ) 한 덩어리 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 히터 장치 ( 20 ) 의 상부 에 열 의 균등 한 배열 을 이루 기 위해 일정 한 부피 및 높이 의 바디 ( 21 ) 가 사용 되 는 것 이 바람직 하 고 , " 기판 ( 12 ) 을 통해 바디 ( 21 ) 로부터 가열 층 ( 14 ) 으로 열 을 전달 하 기 위해 상부 는 기판 ( 12 ) 에 연결 된다 . 2 . 5 "" 기판 을 임프 린트 하 는데 사용 되 는 임프 린트 공정 에 는 "," 적어도 2 . 5 "" 바람직 하 게 는 3 "" 또는 그 이상 의 직경 을 갖 고 적어도 1 센티 미터 바람직 하 게 는 2 내지 3 센티미터 의 두께 를 갖 는 "," 히터 바디 ( 21 ) 가 사용 된다 . 6 "" 기판 들 을 임프 린트 하 는데 사용 되 는 임프 린트 공정 에 는 "," 적어도 6 "" 바람직 하 게 는 7 "" 또는 그 이상 의 직경 을 갖 고 적어도 2 센티미터 바람직 하 게 는 적어도 3 내지 4 센티미터 의 두께 를 갖 는 ", 히터 바디 ( 21 ) 가 사용 된다 . 모든 공정 에서 낮 은 온도 로 도 충분 할 것 이 지만 , 히터 장치 ( 20 ) 는 히터 바디 ( 21 ) 를 200 내지 300 ℃ 에 이르 는 온도 로 가열 할 수 있 는 것 이 바람직 하 다 .