각 마이크 로 미러 ( Mij ) 는 , 전극 에 공급 되 는 구동 신호 에 의해 , 일례 로서 , 도 9 ( A ) 에 도시 된 광원 으로부터 의 광 을 웨이퍼 ( W ) 를 향해 반사 하 는 상태 ( 또는 자세 ) 와 도 9 ( B ) 에 도시 된 광원 으로부터 의 광 을 웨이퍼 ( W ) 에 입사 시키 지 않 는 소정 의 방향 을 향해 반사 하 는 상태 ( 또는 자세 ) 중 어느 하나 로 설정 된다 . 이하 에서 는 , 전자 를 마이크 로 미러 ( Mij ) 의 온 상태 ( 또는 온 자세 ) 라고 하 고 , 후자 를 마이크 로 미러 ( Mij ) 의 오프 상태 ( 또는 오프 자세 ) 라고 한다 .