제 2 도전 패턴 ( 145 ) 상 에 제 3 도전 패턴 ( 190 ) 이 위치 하 고 , 제 3 도전 패턴 ( 190 ) 상 에 제 1 금속 배선 ( 195 ) 이 위치 한다 . 제 1 금속 배선 ( 195 ) 은 데이터 라인 ( 즉 , 비트 라인 ) 일 수 있 다 . 제 3 도전 패턴 ( 190 ) 은 제 2 및 제 3 절 연막 들 ( 160 , 170 ) 을 관통 하 여 상부 전극 인 제 2 도전 패턴 ( 145 ) 과 제 1 금속 라인 ( 195 ) 을 전기 적 으로 연결 시키 는 상부 전극 콘 택 일 수 있 다 . 제 3 도전 패턴 ( 190 ) 은 W , TiN , TaN , WN , MoN , NbN , TiSiN , TiAlN , TiBN , ZrSiN , WSiN , WBN , ZrAlN , MoSiN , MoAlN , TaSiN , TaAlN , Ti , W , Mo , Ta , TiSi , TaSi , TiW , TiON , TiAlON , WON , TaON , 탄소 원소 ( C ) 를 함유 하 는 도전 성 물질 또는 구리 원소 ( Cu ) 를 함유 하 는 도전 성 물질 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 의 물질 을 포함 할 수 있 다 .