이러 한 분리 형 방열판 모듈 은 도 4 에 도시 한 바 와 같이 진공 챔버 ( 100 ) 내 의 콜드 플레이트 ( 90 ) 에 설치 되 며 , 이 콜드 플레이트 ( 90 ) 는 도 2 에서 설명 한 바 와 마찬가지 로 콜드 플레이트 몸체 ( 91 ) , 입구 ( 92 a ) 와 출구 ( 92 b ) 를 가지 는 냉 매관 ( 92 ) , 그리고 냉 매관 ( 92 ) 을 지나 는 냉매 ( 미 도시 ) 로 이루어진다 .