증착 된 필름 은 텅스텐 과 그 아래 위치 하 는 전도성 영역 간 의 확산 장벽 필름 기능 을 수행 한다 . 또한 텅스텐 - 풍부 필름 은 실리콘 / 실리사이드 에 잘 접착 되 는데 , 이 는 상기 텅스텐 - 풍부 필름 은 , 통상 적 으로 티타늄 접착 필름 을 필요 로 하 는 TiN 필름 과 달리 , 접착 층 , 또는 라이너 로서 기능 할 수 있 다는 것 을 의미 한다 . 20 - 50 옹스트롬 두께 의 유기 금속 텅스텐 필름 상 의 두꺼운 CVD W 를 이용한 스 크라 이브 테 잎 테스트 ( scribe tape test ) 에 의해 측정 된 습식 접착 도 과 건식 접착 도 모두 바람직 하 다고 발견 되 었 다 . 특정 이론 에 구속 되 지 않 고 , 카바이드 결합 ( carbide linkage ) 은 필름 이 아래 위치 하 는 옥사이드 와 , 상부 에서 텅스텐 에 고착 되 는 것 을 도움 을 줘서 바람직 한 접착 을 제공 한다고 알려져 있 다 . 이 로 인해서 , 텅스텐 - 풍부 필름 의 매우 얇 은 층 이 증착 될 수 있 다 .