일반 적 으로 , 프로브 카드 ( probe card ) 등 과 같 은 전기 검사 장치 는 반도체 소자 등 과 같 은 미세 전자 소자 의 전기 적 신뢰 성 을 측정 하 기 위한 기계 장치 로써 , 최근 에 는 반도체 소자 등 과 같 은 피검 사체 를 한 번 에 검사 할 수 있 는 원 - 터치 ( one - touch ) 구조 를 갖 는 방향 으로 개발 중 에 있 다 . 즉 , 8 인치 반도체 웨이퍼 또는 12 인치 반도체 웨이퍼 등 과 같 은 피검 사체 를 한 번 에 검사 하 는 원 - 터치 프로브 카드 를 개발 중 에 있 는 것 이 다 . 이때 , 언급 한 원 - 터치 프로브 카드 의 경우 에 는 주로 멤 스 ( MEMS : micro electro mechanical systems ) 기술 을 적용 하 여 제조 된다 .