또한 , 도금 조 의 탄성 받침 부재 에 안치 지지 된 웨이퍼 를 하방 으로 누르 는 승강 캡 부 에 웨이퍼 에 전달 되 는 충격 을 방지 하 는 완충 푸 셔 와 함께 질소 가스 분사 노즐 을 체결 한 구조 를 제공 함 으로서 도금 시 웨이퍼 가 도금 조 의 하방 으로 내려가 면서 도금액 이 넘쳐 분출 되 기 때문 에 도금 된 후 에 원위치 로 복귀 되 어 도금액 밖 으로 드러난 웨이퍼 표면 에 묻 어 있 는 도금액 및 미세 이물질 을 질소 가스 를 분사 하 여 손쉽 게 제거 할 수 있 는 효과 가 있 다 .