또한 , 척 테이블 ( 14 ) 은 , X 축 이동 유닛 에 의해 가공 유닛 ( 18 ) 의 하방 의 가공 영역 과 , 가공 유닛 ( 18 ) 의 하방 으로부터 이격 하 여 피 가 공물 ( 11 ) 이 반 입출 되 는 반 입출 영역 에 걸쳐 , X 축 이동 유닛 에 의해 X 축 방향 으로 이동 이 자유 롭 게 마련 된다 . 척 테이블 ( 14 ) 은 , 도시 하 지 않 는 모터 등 의 회전 구 동원 에 의해 Z 축 방향 과 평행 한 축심 둘레 로 회전 이 자유 롭 게 마련 된다 . 척 테이블 ( 14 ) 은 , 도시 하 지 않 는 진공 흡 인원 과 접속 되 고 , 진공 흡 인원 에 의해 흡인 됨 으로써 , 유지 면 ( 16 ) 에 배치 되 는 피 가 공물 ( 11 ) 을 흡인 , 유지 한다 .