확산 기 표면 ( 120 ) 은 고 굴절 률 물질 및 하나 이상 의 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 . 고 굴절 률 물질 은 확산 기 표면 ( 120 ) 의 총량 에 대해 , 다량 으로 , 즉 , 50 % 초과 로 확산 기 표면 ( 120 ) 에 존재 할 수 있 다 . 다른 물질 은 확산 기 표면 ( 120 ) 의 총량 에 대해 , 소량 으로 , 즉 , 50 % 미만 으로 확산 기 표면 ( 120 ) 에 존재 할 수 있 다 . 하나 의 양상 에서 , 확산 기 표면 ( 120 ) 은 고 굴절 률 물질 및 다양 한 원소 의 추적 량 및 / 또는 화합물 을 포함 할 수 있 다 . 실시 예 로서 , 확산 기 표면 ( 120 ) 은 수소 화 규소 , 그리고 질소 , 산소 , 수산화 규소 , 오산 화 니오븀 ( Nb 2 O 5 ) , 산화 니오븀 티타늄 ( NbTiOx ) ( x 는 1 내지 6 의 정수임 ) 및 SiC : H 로부터 선택 된 적어도 하나 의 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 . 특히 , 확산 기 표면 ( 120 ) 은 수소 화 규소 , 질소 , 및 산소 를 포함 할 수 있 다 . 확산 기 표면 ( 120 ) 은 수소 화 규소 그리고 질소 , 산소 , 수산화 규소 및 수소 로 도핑 된 탄화규소 ( SiC : H ) 로부터 선택 된 하나 이상 의 다른 물질 의 추적 량 을 포함 할 수 있 다 .