도 1 에 나타나 있 는 바 와 같이 , 흡착 테이블 22 에 는 오목 부가 형성 되 어 있 고 , 그 오 목부 에 는 판상 의 진동 흡수 장치 24 가 배치 되 어 있 다 . 또한 그 진동 흡수 장치 24 의 상면 에 는 시트 상 부재 ( sheet 狀 部材 ) 인 무 진지 ( 無 塵 紙 ) 26 이 배치 되 어 있 다 . 진동 흡수 장치 24 는 , 상세 하 게 는 후술 하 는 바 와 같이 다공질 금속 부재 ( 多孔 質 金 屬 部材 ) 로 이루어지 고 , 그 다공질 금속 부재 는 상면 과 하면 을 연결 시키 는 통기 로 ( 通氣 路 ) 를 구비 한다 . 그 통기 로 는 , 크기 가 다양 한 개구 지름 의 다수 의 소공 ( 小 孔 ) 을 구비 하 고 있 고 , 그 소공 을 통하 여 에어 ( 공기 ) 의 흡인 이 이루어진다 . 무진 지 26 은 , 진동 흡수 장치 24 의 소공 보다 가 는 틈 ( 간격 ) 을 구비 하 고 있 어서 , 검사 기판 에 대한 에어 의 흡인 이 균등 하 게 이루어지 도록 한다 .