도 7 a 를 참조 하 면 실리콘 기판 ( 60 ) 의 상면 ( 60 a ) 과 글래스 기판 ( 50 ) 의 상면 ( 50 a ) 을 본 딩 하 는데 , 이 때 제 1 전극 부 ( 52 ) 와 제 2 전극 부 ( 64 ) 가 접촉 되 어 연결 되 도록 한다 . 제 1 전극 부 ( 52 ) 에 연결 된 제 2 전극 부 ( 64 ) 가 후술 하 는 식각 공정 에 의해 노출 되 어 상기 코일 ( 62 ) 에 전류 를 인가 하 는 전극 패드 ( 65 ) 가 된다 .