또한 , 상기 와 같 은 특징 을 갖 는 SiC 막 구 조체 에서 는 , 상기 덮개 체 를 SiC 막 으로 구성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 특징 을 갖 는 것 에 따르 면 , SiC 막 구 조체 를 SiC 단체 ( 單體 ) 에 의해서 구성 할 수 있 다 . 또한 , 본체 와 덮개 체 와 의 열 팽창 율 을 일치 시킬 수 있 기 때문 에 , 온도 변화 에 따른 왜곡 을 일으킬 우려 가 없 다 .