자세 하 게 는 , 제 2 게이트 패턴 ( 107 B ) 상부 에 형성 된 제 2 보호막 ( 112 A ) 이 제 1 게이트 패턴 ( 107 A ) 과 의 높이차 를 감소 시켜 정상 적 인 랜딩 플러그 ( 113 A ) 를 형성 시킬 수 있 는 것 이 다 . 여기 서 , 제 1 게이트 패턴 ( 107 A ) 상부 에 도 제 2 보호막 ( 112 A ) 이 형성 되 나 , 연마 타 겟 은 제 1 게이트 패턴 ( 107 A ) 으로 정해진 것 이 므로 , 제 1 게이트 패턴 ( 107 A ) 상부 에 형성 된 제 2 보호막 ( 112 A ) 은 연마 공정 에서 제거 된다 .