반응 영역 에 낮 은 압력 을 유지 시키 는 것 은 또한 낮 은 수소 함량 을 유지 하 는 것 을 돕 는다 . 압력 의 증가 는 평균 자유 경로 ( mean free path ) 를 감소 시키 고 그래서 이온 화 분획 및 가스 - 상 역학 을 변화 시키 며 , 실리콘 질화물 네트워크 로부터 수소 의 제거 를 방해 한다 . 반응 영역 의 압력 은 , 상이 한 구체 예 에서 , 40 mTorr 25 mTorr , 15 mTorr , 10 mTorr 또는 5 mTorr 또는 그 미만 일 수 있 다 .