또한 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 2 개 의 다 관절 아암 ( 65 , 66 ) 및 2 개 의 파지 부 ( 67 , 68 ) 를 구비 하 고 있 는데 , 1 개 또는 3 개 이상 의 다 관절 아암 및 , 1 개 또는 3 개 이상 ( 다 관절 아암 의 개수 와 동일 한 수 ) 의 파지 부를 구비 하 고 있 어도 된다 . 또 , 승강 구동 부 ( 69 ) 는 , 지지 부 ( 70 A ) 에 대해서 연직 축 ( Z 방향 의 축 ) 둘레 로 회전 구동 되 도록 구성 되 어 있 어도 된다 . 또 , 레일 ( 77 ) 은 , 임의 의 위치 의 상방 을 통과 하 도록 구성 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 , 레일 ( 77 ) 의 하방 에 , 입력 포트 ( 71 ) 및 출력 포트 ( 72 ) 가 설치 된다 . 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 의 개수 및 종류 는 적절히 변경 된다 .