본 발명 의 조성물 은 약 50 마이크 로 미터 또는 그 이하 , 또는 약 10 마이크로미터 이하 와 같 은 흡입 에 의한 전달 에 적합 한 크기 로 미세 화 될 수 있 다 . 이러 한 크기 의 입자 는 나선 형 제트 밀링 , 유동층 제트 밀링 , 나노 입자 형성 을 위한 초임계 유체 처리 , 고압 균질 화 또는 분무 건조 와 같 은 당업자 에게 공지 된 분쇄 방법 을 사용 하 여 제조 될 수 있 다 .