상기 노즐 부 ( 4 ) 는 상기 체결 공 ( 31 ) 에 삽입 , 고정 되 어 상기 분기 홀 ( 32 ) 로부터 압축 공기 를 전달 받 아 이 동시 킬 기판 ( 도시 생략 ) 을 부상 , 고정 시키 는 것 으로 , 이 에 이 와 같 은 노즐 부 ( 4 ) 는 상기 공기 유로 ( 33 ) 와 연통 되 도록 연결 홈 ( 411 ) 이 형성 된 관통 된 구조 의 끼움 관부 ( 41 ) 가 형성 되 고 그 끼움 관부 ( 41 ) 의 하부 에 는 플랜 지부 ( 42 ) 가 형성 되 어 상기 안착 홈 ( 35 ) 에 안착 되 고 , 상기 플랜 지부 ( 42 ) 에 는 그 안착 홈 ( 35 ) 의 체결 홈 ( 351 ) 에 볼트 ( B ) 체결 되 도록 다 수개 의 관 통공 ( 421 ) 이 형성 된다 .