도 4 를 다시 참조 하 면 , 변형 조명 어퍼 처 ( 210 ) 는 비 노광 광원 에 대한 제 2 투 광부 ( 213 ) 들 이 다이폴 어퍼 처 형태 로 일정 방향 , 예컨대 , Y 축 방향 으로 배치 되 게 구성 될 수 있 다 . 즉 , 변형 조명 어퍼 처 ( 210 ) 는 노광 광 에 대한 제 1 투 광부 ( 211 ) 들 이 X 축 방향 으로 배치 되 고 , 비 노광 광 에 대한 제 2 투 광부 ( 213 ) 들 이 수직 한 Y 축 방향 으로 배치 되 게 구성 된다 . 제 2 투 광부 ( 213 ) 는 비 노광 광원 만 이 선택 적 으로 투광 하 는 영역 으로 설정 되 며 , 비 노광 광원 의 Y 축 다이폴 변형 조명계 를 실질 적 으로 투영 렌즈 부 ( 500 ) 에 제공 한다 . 이때 , 변형 조명 어퍼 처 ( 210 ) 의 광차 단부 ( 215 ) 는 노광 광 및 비 노광 광 모두 가 차단 되 는 영역 으로 설정 된다 .