도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 에 는 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 에 잔존 하 는 유해 가스 를 배출 하 기 위한 유출공 ( 12 ) 이 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 유출공 ( 12 ) 은 챔버 ( 10 ) 의 저부 에 형성 될 수 있 다 . 다만 , 본 발명 은 유출공 ( 12 ) 이 형성 되 는 위치 에 한정 되 지 않 는다 . 유출공 ( 12 ) 은 배기 라인 ( 87 ) 을 통하 여 배기 장치 ( 88 ) 에 연결 될 수 있 다 . 배기 장치 ( 88 ) 는 진 공원 을 포함 할 수 있 다 . 배기 장치 ( 88 ) 는 유출공 ( 12 ) 에 부압 을 형성 함 으로써 , 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 에 잔존 하 는 유해 가스 를 흡입 하 여 배출 하 도록 구성 될 수 있 다 .