본 발명 의 제 4 양태 에 따르 면 , 기판 을 노광 하 는 노광 시스템 ( SS ) 으로서 , 기판 을 노광 하 는 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 와 , 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 를 제어 하 는 제 어부 ( 6 ) 를 구비 하 고 , 상기 제 어부 ( 6 ) 는 , 제 1 노광 부 와 제 2 노광 부 에서 상이 한 기판 이 반입 되 어 노광 되 고 , 기판 의 노광 과 는 상이 한 처리 를 실시 하 는 외부 처리 장치 ( C , D , 90 ) 로부터 의 기판 의 수용 또는 외부 처리 장치 에 대한 기판 의 배출 을 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부가 교대 로 실시 하 도록 , 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 를 제어 하 는 제 1 제어 모드 와 , 제 1 노광 부 와 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 에서 동일 한 기판 ( P ) 이 반입 되 고 , 그 기판 의 상이 한 영역 이 분담 되 어 노광 되 는 제 2 제어 모드 를 전환 할 수 있 도록 갖 는 노광 시스템 이 제공 된다 .