상기 제 어부 는 , 개 루프 구동 신호 를 생성 하 는 개 루프 신호 생 성부 와 , 상기 센싱 신호 로부터 상기 스캐닝 디바이스 의 동작 상태 의 오차 를 산출 하 고 , 상기 오 차 에 상응 하 는 보정 신호 를 출력 하 는 오차 보 정부 와 , 그리고 상기 보정 신호 에 기초 하 여 피드백 ( feedback ) 제어 되 는 폐 루프 구동 신호 를 생성 하 는 폐 루프 신호 생 성부 를 포함 할 수 있 다 .