도 14 를 참조 하 면 , 먼저 처리 실 ( 400 ) 의 개구 ( 402 a ) 를 통해 기판 ( W ) 이 처리 실 ( 400 ) 로 반입 되 고 , 반입 된 기판 ( W ) 은 기판 지지 부재 ( 410 ) 상 에 놓인다 . 이후 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 이 결합 된 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 가 가이드 부재 ( 474 ) 에 의해 안내 되 어 직선 이동 함 에 따라 제 1 노즐 암 ( 440 ) 이 기판 상부 공간 으로 이동 한다 . 도시 되 지 않 은 구동 부재 에 의해 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 가 상하 방향 으로 이동 하 고 , 이 에 따라 제 1 노즐 암 ( 440 ) 이 상하 방향 으로 이동하 여 제 1 노즐 암 ( 440 ) 에 장착 된 노즐 들 ( 442 ) 이 기판 지지 부재 ( 410 ) 에 놓인 기판 과 일정 간격 을 유지 한다 .