상기 스퍼터링 방법 이란 , 이온 화 된 원자 가 가속 화 되 어 물질 에 충돌 할 때 물질 표면 의 결합 에너지 보다 충돌 에너지 가 더 클 경우 표면 으로부터 원자 가 튀 어 나오 는 현상 을 말 한다 . 스퍼터링 방법 은 이 원리 를 이용 하 여 진공 상태 에서 이온 화 된 입자 ( ex . Ar +) 를 금속 원 에 충돌 시켜 튀어나온 원자 를 기판 에 증착 하 는 방법 이 다 .