상기 제 1 셀 에 대한 결함 검출 이 완료 되 면 상기 제 2 셀 또는 제 3 셀 을 제 1 셀로 설정 하 여 상기 한 결함 검출 방법 을 반복 수행 함 으로써 다른 위치 에 대한 결함 을 검출 할 수 있 다 . 그리고 , 상기 검사 영역 ( 15 ) 에 대해 순차 적 으로 상기 결함 검출 단계 를 반복 적 으로 수행 한다 . 여기 서 , 상기 블록 이 달라지 는 경우 에 는 셀 사이즈 를 다르 게 적용 한다 .