일반 적 으로 , 금속 재료 에서 전자 의 이동은 금속 표면 에서 이루어진다 . 따라서 , 소자 가 동작 되 면 , 전자 ( e ) 는 트렌치 ( 14 ) 의 상부 근처 에서 금속 배선 의 표면 을 따라 이동 하 게 된다 . 그러나 , 금속 배선 ( 18 a ) 이 장벽 절 연막 ( 10 ) 과 접촉 해 있 는 영역 ( A ) 에서 는 전자 ( e ) 의 흐름 이 원활 하 지 못하 게 된다 . 장벽 절연 막 은 전기 저항 이 큰 물질 로 형성 되 므로 전자 의 흐름 을 방해 하 게 된다 . 따라서 , 이러 한 조건 에서 소자 의 동작 이 장시간 지속 되 면 금속 배선 의 신뢰 성 이 저하 될 수 있 다 .