실시 예 1 , 비 교예 1 , 2 , 3 으로서 도 3 에 나타난 형상 의 서 셉 터 를 제조 하 고 , 이 들 을 사용 하 여 에피 택 셜 웨이퍼 를 제조 하 였 다 . 도 3 ( a ) 는 , 종래 형상 의 기상 성 장용 서 셉 터 로서 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 홈 깊이 는 전면 일 률 로 0 . 1 mm 이 다 ( 비교 예 1 ) . 또한 , 도 3 ( b ) 에 나타난 서 셉 터 는 전면 일 률 0 . 02 mm 로 하 였 다 ( 비교 예 2 ) . 또한 , 도 3 ( c ) 에 나타난 바 와 같이 , 홈 깊이 는 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 직경 180 mm 까지 의 중앙부 영역 에서 0 . 1 mm 로 하 고 , 직경 180 mm 보다 외측 은 홈 이 없 는 형상 의 서 셉 터 ( 비교 예 3 ) 로 제조 하 였 다 . 또한 , 도 3 ( d ) 에 나타나 는 바 와 같이 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 홈 깊이 를 직경 180 mm 까지 의 중앙부 영역 에서 0 . 1 mm 으로 하 고 , 그곳 에서부터 외주 측 을 향하 여 0 . 02 mm 로 경사 적 으로 변화 시킨 형상 을 가지 는 서 셉 터 ( 실시 예 1 ) 를 제조 하 였 다 .