잔류 가스 검출 부재 ( 160 ) 는 반응 로 ( 110 ) 내 에 소스 가스 가 잔류 하 는가 의 여부 를 검출 하 여 , 반응 로 ( 110 ) 로부터 기판 ( 10 ) 의 반출 을 단속 하 기 위한 것 이 다 . 잔류 가스 검출 부재 ( 160 ) 는 가스 검출기 ( 162 ) 와 제 어부 ( 168 ) 를 포함 한다 . 가스 검출기 ( 162 ) 는 잔류 가스 의 농도 를 검출 하 고 , 제 어부 ( 168 ) 는 가스 검출기 ( 162 ) 에서 검출 된 잔류 가스 의 농도 값 에 따라 제 1 게이트 밸브 ( 212 ) 의 잠금 상태 를 유지 또는 해제 하 게 된다 . 예 를 들 어 , 가스 검출기 ( 162 ) 에서 잔류 가스 의 수소 농도 값 이 일정 값 이상 검출 되 면 , 제 어부 ( 168 ) 는 제 1 게이트 밸브 ( 212 ) 의 잠금 상태 를 계속 유지 시킨다 . 반대 로 , 가스 검출기 ( 162 ) 에서 잔류 가스 의 수소 농도 값 이 일정 값 이하 로 검출 되 면 , 제 어부 ( 168 ) 는 제 1 게이트 밸브 ( 212 ) 의 잠금 상태 를 해제 시킨다 .