증착 설비 는 증착 챔버 , 복수 의 기판 지지 부 , 복수 의 마스크 , 회전 형 증착 장치 를 포함 한다 . 복수 의 기판 지지 부 는 증착 챔버 내 에서 제 1 위치 를 중심 으로 서로 간 제 1 각도 를 두 고 방사형 으로 배치 된다 . 복수 의 마스크 는 복수 의 기판 지지 부 각각 에 고정 된 복수 의 기판 과 각각 마주 한다 . 회전 형 증착 장치 는 증착 챔버 내 에 위치 하 는 회 전부 와 , 서로 간 제 2 각도 를 두 고 회 전부 에 결합 된 제 1 이 동부 및 제 2 이 동부 와 , 제 1 이 동부 및 제 2 이 동부 에 각각 결합 되 며 복수 의 기판 중 두 개 의 기판 과 각각 마주 하 는 제 1 증착 원 및 제 2 증착 원 을 포함 한다 .