본 발명 의 금속 용 연마 액 은 지 립 을 함유 할 수 있 다 . 지 립 으로서 는 , 예 를 들 면 , 실리카 , 알루미나 , 지르 코니 아 , 세리아 , 티타니아 , 게르마니아 , 탄화규소 등 의 무기물 연마 입자 , 폴리스티렌 , 폴리아 크릴 , 폴리염화비닐 등 의 유기물 연마 입자 를 들 수 있 다 . 이 들 중 에서 도 , 실리카 , 알루미나 , 지르 코니 아 , 세리아 , 티타니아 , 게르마니아 가 바람직 하 고 , 특히 , 실리카 또는 알루미나 가 특히 바람직 하 다 . 실리카 또는 알루미나 중 에서 도 , 연마 액 중 에서 의 분산 안정 성 이 좋 고 , CMP 에 의해 발생 하 는 연마 상처 ( 스크래치 ) 의 발생 수 가 적 은 , 콜로 이달 실리카 또는 콜로 이달 알루미나 가 바람직 하 다 . 이 들 지 립 은 1 종류 단독 으로 또는 2 종류 이상 혼합 하 여 사용 할 수 있 다 .