그리고 , 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 폴리비닐 페놀 수지 의 비율 은 35 질량 % 이상 90 질량 % 이하 인 것 이 필요 하 고 , 40 질량 % 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 45 질량 % 이상 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 50 질량 % 이상 인 것 이 더욱 바람직 하 고 , 55 질량 % 이상 인 것 이 특히 바람직 하 며 , 85 질량 % 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 80 질량 % 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다 . 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 폴리비닐 페놀 수지 의 비율 이 35 질량 % 미만 이 면 , 레지스 트 패턴 의 잔류 수분 을 충분히 저감 할 수 없 다 . 또한 , 잔류 유기 분량 이 상승 하 는 경우 가 있 고 , 그리고 포스트 현상 베 이크 에 의해 레지스 트 패턴 의 선폭 이 대폭 수축 하 는 문제 , 및 / 또는 레지스 트 패턴 이 역 테이퍼 형상 을 유지 할 수 없 는 등 의 문제 가 발생 할 우려 가 있 다 . 한편 , 알칼리 가용성 수지 중 에 차지 하 는 폴리비닐 페놀 수지 의 비율 이 90 질량 % 를 초과 하 면 , 레지스 트 패턴 의 측벽 에 이상 한 돌기 가 생기 고 , 단면 이 역 테이퍼 형상 의 레지스 트 패턴 을 양호 하 게 제조 할 수 없 다 .