상기 와 같이 이동 장치 에 설치 됨 과 아울러 외부 의 호스 와 연결 되 어 압축 공기 를 전달 받 는 기판 반송 용 척 ( 1 ) 에 기판 이 부상 , 고정 되 는 작동 상태 를 설명 하 면 먼저 , 이 동장 치 의 구동 에 의해 기판 과 근접 한 거리 로 상기 기판 반송 용 척 ( 1 ) 이 이동 되 고 , 호스 를 통해 압축 공기 가 순차 적 으로 상기 공기 주입구 ( 21 ) 와 상기 분기 홀 ( 32 ) 과 그 분기 홀 ( 32 ) 에서 분기 되 는 다 수개 의 공기 유로 ( 33 ) 를 통해 상기 노즐 부 ( 4 ) 의 끼움 관부 ( 41 ) 의 내부 로 전달 되 는데 , 이때 상기 공기 유로 ( 33 ) 에 는 저면 에 는 경사면 ( 331 ) 이 형성 되 어 압축 공기 가 그 경사면 ( 331 ) 을 따라 보다 용이 하 게 상기 끼움 관부 ( 41 ) 의 연결 홈 ( 411 ) 으로 이동 하 게 된다 . 다시 말 해 상기 공기 유로 ( 33 ) 가 상기 분기 홈 ( 32 ) 에서 상기 연결 홈 ( 411 ) 으로 이동 될수록 그 높이 가 줄어들 게 됨 으로써 , 상기 연결 홈 ( 411 ) 을 지나 는 압축 공기 의 속도 가 상기 분기 홈 ( 32 ) 지나 는 압축 공기 의 속도 보다 빠르 게 되 어 상기 끼움 관부 ( 41 ) 에 내부 로 빠르 게 압축 공기 를 전달 할 수 있 게 된다 .