2 대 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 이 각각 담당 하 는 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 는 미리 정해져 있 다 . 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 은 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 에 배치 된 카세트 에 대한 기판 ( W ) 의 출납 을 실행 함 과 아울러 , 기판 ( W ) 을 오리 엔터 ( 61 ) 에 싣 는다 . 오리 엔터 ( 61 ) 에서 얼라인먼트 된 기판 은 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 중 어느 하나 에 의해 취 출 되 어 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 또는 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 어느 하나 에 반송 된다 . 여기 에서 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 의 한쪽 이 기판 ( W ) 을 오리 엔터 ( 61 ) 에 실 은 후 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 의 다른 쪽 이 오리 엔터 ( 61 ) 로부터 해당 기판 을 취 출하 도록 해도 좋 다 .