따라서 이 실시 예 에서 , 냉각액 은 연마 테이프 ( 23 ) 를 냉각 하 기 위해 연마 테이프 ( 23 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 의 접촉 부분 에 공급 된다 . 특히 , 냉각액 은 회전식 보유 기구 ( 3 ) 에 의해 회전 되 는 웨이퍼 ( W ) 상 에 공급 되 고 , 원심력 에 의해 웨이퍼 ( W ) 의 표면 상 에서 이동 되 어 연마 테이프 ( 23 ) 와 접촉 한다 . 냉각액 은 연마 중 발생 된 열 을 연마 테이프 ( 23 ) 로부터 제거 한다 . 그 결과 , 연마 테이프 ( 23 ) 의 연마 성능 이 유지 될 수 있 고 , 연마 율 ( 제거율 ) 이 낮 아 지 는 것 이 방지 된다 .