본 명세서 에 기재 한 「 트리 알 킬 실릴 기 」 의 구체 예 로서 는 , - Si ( G 3 ) ( G 3 ) ( G 3 ) 으로 표시 되 는 기 이 며 , 여기 서 , G 3 은 구체 예 군 G 3 에 기재 한 「 알킬기 」 이 다 . - Si ( G 3 ) ( G 3 ) ( G 3 ) 에 있 어서 의 복수 의 G 3 은 상호 동일 하 거나 또는 다르 다 . 「 트리 알 킬 실릴 기 」 의 각 알킬기 의 탄소 수 는 , 본 명세서 에 별도 기재 가 없 는 한 , 1 ∼ 50 이 며 , 바람직 하 게 는 1 ∼ 20 이 고 , 보다 바람직 하 게 는 1 ∼ 6 이 다 .