도면 부호 730 에서 , 하나 이상 의 피 처리 S - D 웨이퍼 를 이송 하 거나 및 / 또는 지연 시키 거나 할 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 피 처리 S - D 웨이퍼 는 사이트 검증 , 프로시저 검증 , 웨이퍼 검증 , 특징 부 검증 , 이미지 검증 , 라이브러리 검증 , 프로세스 검증 웨이퍼 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 웨이퍼 일 수 있 다 . 피 처리 S - D 웨이퍼 는 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 있 을 경우 에 하나 이상 의 평가 서브시스템 에 연결 된 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 하나 이상 의 평가 서브시스템 내 의 S - D 평가 요소 로 이송 될 수 있 고 , 피 처리 S - D 웨이퍼 는 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 없 는 경우 에 , 하나 이상 의 평가 서브시스템 에 연결 된 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 지연 될 수 있 다 .