그 다음 , 상기 용 존부 ( 1500 ) 에서 는 상기 오존 발생 부 ( 1100 ) 및 / 또는 상기 분사 펌프 부 ( 1400 ) 로부터 배출 되 는 혼합물 ( H 2 O + O 3 ) 을 공급 받 아 상기 오존 ( O 3 ) 과 냉각수 ( H 2 O ) 의 용 존 율 을 높이 기 위해 내부 에서 순환 시켜 상기 수조 ( 1200 ) 로 배출 한다 .