분무기 또는 주입기 ( 5 ) 는 액체 반응물 을 액체 주입 라인 ( 7 ) 을 따라 제공 될 수 있 고 기화기 ( 10 ) 에 전달 될 고속 분무 로 액체 반응물 을 분무 한다 . 본원 에 기술 된 바 와 같이 , 기화기 ( 10 ) 의 압력 및 온도 는 , 주입 된 액체 반응물 이 반응물 증기 로 기화 되 도록 제어 될 수 있 다 . 반응물 증기 는 , 제 1 반응물 증기 공급 라인 ( 8 ) 을 따라 필터 ( 4 ) 로 공급 될 수 있 다 . 필터 는 , 불 완전 한 기화 또는 응축 으로 인해 존재 하 는 임의 의 액적 을 포획 하 고 기화 시키 도록 구성 될 수 있 다 .