제 3 반응물 은 , ( 직접 식 또는 원 격식 ) 플 라즈 마 에 의해 활성 화 될 수 있 는 , 물 , 과산화수소 , 산소 분자 및 오존 으로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 반응물 과 같 은 산화제 를 포함 할 수 있 다 . 실란 아민 ( 예 , N , N , N ', N '- 테트라에틸 실란 디아민 과 같 은 실란 디아민 ) 과 조합 한 산소 는 , 갭 하부 에 비교 적 높 은 성장 결과 를 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 재료 를 증착 하 기 위한 주기 적 인 반복 반응 에서 N , N , N ', N '- 테트라에틸 실란 디아민 , N 플라 즈 마 및 그 다음 O 플 라즈 마 를 제공 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 재료 를 증착 하 기 위한 주기 적 인 반복 반응 에서 , N 플 라즈 마 , N , N , N ', N '- 테트라에틸 실란 디아민 및 그 다음 O 플 라즈 마 를 제공 할 수 있 다 .