본 발명 에 있 어서 , 정전 척 장치 ( 23 ) 는 , 도 3 을 참조 하 여 후술 하 는 바 와 같이 , 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 에 전력 을 공급 하 기 위한 급전선 이 연결 되 는 급전 단자 부 ( 32 ) 가 자력 인가 수단 ( 24 ) 의 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 외측 에 설치 된다 . 이 에 따라 , 정전 척 장치 ( 23 ) 의 급전선 내지 급전 단자 부 ( 32 ) 가 자력 인가 수단 ( 24 ) 의 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 을 관통 하 지 않 게 된다 .