상기 구성 의 전기 광학 장치 는 화소 부 의 적층 구조 에서 , 투명 도전 막 과 티탄 을 함유 하 는 층 간 에 웨트 에칭 가능 한 도전 재료 로 구성 되 는 화소 용 중간막 이 배치 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 티탄 을 함유 하 는 층 위 에 직접 투명 도전 막 을 형성 하 는 것 보다 도 , 산화 막 의 형성 이 억제 되 어 계면 저항 의 증가 를 억제 할 수 있 다 .