본 특허 명세서 내 에서 , RF 전력 공급 부 의 비 접지 출력 부 에 직접 으로 또는 간접 적 으로 접속 되 는 - 즉 , " RF 전력 공급 부 로부터 RF 전력 을 수신 하 는 - 플라 즈 마 챔버 의 임의 의 전극 을 지칭 하 는데 "" RF - 전력 공급 된 전극 "" 이 라는 용어 를 사용 한다 . 접지 된 전극 들 은 본 발명 의 정의 의 일부 가 아니 기 때문 에 ", 명료 성 을 위하 여 , 발명자 들 은 전극 이 특별히 접지 된 것 으로 개시 되 지 않 는 한 , " "" 전극 "" 이 란 용어 는 RF - 전력 공급 된 전극 을 의미 하 는데 또한 사용 한다 . 발명자 들 이 비 접지 된 출력 부 인지 또는 접지 된 출력 부 인지 여부 를 명시 하 지 않 고 "," RF 전력 공급 부 의 "" 출력 부 "" 를 지칭 할 때 마다 ", 의도 된 의미 는 비 접지 ( RF 핫 ) 출력 부 ( 31 ) 이 다 .