또한 , 로드 포트 ( 330 ) 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 의 일 측 에 배치 될 수 있 다 . 로드 포트 ( 330 ) 의 설치 시 , 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 연결 되 어 있 던 노광 모듈 ( 400 ) 을 분리 시킨 후 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 로드 포트 ( 330 ) 를 설치 함 은 당연 하 다 . 로드 포트 ( 330 ) 는 복수 개 가 제공 될 수 있 으며 , 로드 포트 ( 330 ) 들 은 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 일렬 로 배열 될 수 있 다 . 그리고 , 로드 포트 ( 330 ) 는 인라인 ( In - line ) 방식 과 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 간 의 전환 시 노광 모듈 ( 400 ) 의 설치 또는 분리 를 위해서 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 탈 부착 가능 하 게 설치 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 와 같이 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 로드 포트 ( 330 ) 를 설치 하 고 , 도포 모듈 ( 220 ) 과 현상 모듈 ( 240 ) 을 분리 함 으로써 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 도포 공정 과 현상 공정 을 진행할 수 있 게 된다 .