이때 , 상기 비정질 텅스텐 핵 생 성층 ( 104 ) 형성 공정 은 약 375 ∼ 400 ℃ 의 공정 온도 에서 진행 되 고 약 30 ∼ 50 Å 의 두께 로 형성 되 며 , 상기 WF 6 가스 주입 , 퍼지 , B 2 H 6 가스 주입 및 퍼지 공정 을 1 사이클 ( Cycle ) 라고 정의 했 을 경우 , 약 4 사이클 정도 진행 하 여 형성 된다 . 그리고 , 상기 비정질 텅스텐 핵 생 성층 ( 104 ) 형성 공정 은 B 2 H 6 가스 를 700 ∼ 900 sccm 의 유량 으로 퍼지 시간 을 2 ∼ 3 초 동안 수행 한다 . 또한 , LRW 공정 으로 형성 된 비정질 핵 생 성층 ( 104 ) 에 의해 그 상부 에 형성 되 는 벌크 텅스텐 막 의 막 균일성 ( Uniformity ) 및 모 폴 로지 ( Morphology ) 특성 을 개선 하 기 위하 여 , 웨이퍼 의 후면 으로 백사이드 쿨링 가스 로 아르곤 ( Ar ) 가스 를 800 ∼ 1200 sccm 유량 으로 공급 한다 .