또한 , 본 발명 의 다른 하나 의 실시 예 에 따르 면 , 베이스 와 , 상기 베이스 로부터 진퇴 가능 하 게 설치 되 고 , 기판 을 유지 하 는 유지 부 와 , 상기 유지 부가 기판 을 유지 한 상태 에서 후퇴 했 을 때 에 , 상기 유지 부가 유지 하 고 있 는 상기 기판 의 주연 부 의 위치 를 각각 상이 한 위치 에서 검출 하 는 4 개 이상 의 검 출부 를 갖 는 기판 반송 장치 에 있 어서 의 기판 반송 방법 으로서 , 상기 검 출부 가 상기 주연 부 의 위치 를 검출 한 검출 값 에 기초 하 여 , 상기 검 출부 중 어느 것 이 상기 기판 의 주연 부 로서 절 결 이 형성 된 부분 을 검출 했 는지 여부 를 판정 하 는 판정 공정 을 포함 하 고 , 하나 의 검 출부 가 상기 절 결 이 형성 된 부분 을 검출 했 다고 판정 했 을 때 에 , 상기 하나 의 검 출부 이외 의 3 개 의 검 출부 의 상기 검출 값 에 기초 하 여 , 다음 처리 유닛 으로 반송 할 때 에 상기 처리 유닛 의 기판 의 전달 위치 에 보정 하 는 기판 반송 방법 이 제공 된다 .