또한 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 ( 5 ) 에 있 어서 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 에 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 와 기판 ( 3 ) 사이 에 공극 ( G ) 을 두 고 기판 ( 3 ) 을 지지 하 는 복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이렇게 복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 에 의해 기판 ( 3 ) 이 지지 됨 으로써 , 적 재면 ( 21 a ) 에 적재 된 기판 ( 3 ) 의 지지 상태 의 안정 성 을 높일 수 있 다 .