한편 , 본 발명 의 제 2 태양 에 관한 타 겟 에서 는 , 추가 로 , Sn ( 주석 ) , Ge ( 저마늄 ) , Si ( 실리콘 ) , Ti ( 타이타늄 ) , Zr ( 지르코늄 ) 및 Hf ( 하프늄 ) 로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 1 이상 의 원소 를 100 내지 10000 ppm 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 들 원소 를 포함 하 면 , 타 겟 의 밀도 의 향상 , 강도 의 향상 , 저항 의 저하 , 색 불 균일 의 감소 , 균일성 의 향상 , 이상 방전 이나 옐로 플레이크 ( yellow flake ) 의 감소 등 의 효과 가 있 어 , 반도체 용 타 겟 으로서 품질 이 향상 되 는 것 을 기대 할 수 있 다 .