도 4 로 되돌아와 , 기대 링 ( 71 ) 에 세워 설치 된 4 개 의 연결부 ( 72 ) 와 서 셉 터 ( 74 ) 의 유지 플레이트 ( 75 ) 의 주연 부 가 용접 에 의해 고착 된다 . 즉 , 서 셉 터 ( 74 ) 와 기대 링 ( 71 ) 은 연결부 ( 72 ) 에 의해 고정 적 으로 연결 되 어 있 다 . 이러 한 유지 부 ( 7 ) 의 기대 링 ( 71 ) 이 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 벽면 에 지지 됨 으로써 , 유지 부 ( 7 ) 가 프로세스 챔버 ( 6 ) 에 장착 된다 . 유지 부 ( 7 ) 가 프로세스 챔버 ( 6 ) 에 장착 된 상태 에 있 어서 는 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 유지 플레이트 ( 75 ) 는 수평 자세 ( 법선 이 연직 방향 과 일치 하 는 자세 ) 가 된다 . 즉 , 유지 플레이트 ( 75 ) 의 유지 면 ( 75 a ) 은 수평면 이 된다 .