이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 웨이퍼 의 오염 을 감지 하 는 셈 장치 는 셈 장치 내부 로 이송 되 는 웨이퍼 의 오염 상태 를 감지 하 여 오염 된 웨이퍼 에 의해 셈 장치 의 고장 및 셈 장치 의 오염 을 사전 에 방지 하 며 , 상기 셈 장치 의 작동 정지 로 인한 생산 성 의 저하 를 방지 하 고 , 웨이퍼 의 추가 적 인 오염 을 방지 하 는 효과 가 있 다 .