또한 , 도 14 에 도시 된 위치 에 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 있 을 때 , Z 헤드 ( 743 , 763 ) ( 도 14 중 에 원 으로 둘러싸여 도시 되 어 있 다 ) 가 각각 Y 스케일 ( 39 Y 2 , 39 Y 1 ) 에 대향 하 고 있 다 . 그 때문 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 헤드 ( 743 , 763 ) 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 ( Z , θ y ) 제어 를 실행 하 고 있 다 . 여기 서 , 도 14 에 도시 된 위치 로부터 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 + X 방향 으로 이동 하 면 , Z 헤드 ( 743 , 763 ) 는 대응 하 는 Y 스케일 로부터 벗어나 고 , 대신 에 Z 헤드 ( 744 , 764 ) ( 도면 중 에 파선 의 원 으로 둘러싸여 도시 되 어 있 다 ) 가 각각 Y 스케일 ( 39 Y 2 , 39 Y 1 ) 에 대향 한다 . 그래서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 헤드 ( 744 , 764 ) 를 사용 하 는 스테이지 제어 로 전환 한다 .