본 실시 형태 에 있 어서 , 4 종 의 세정 , 즉 , 가스 퍼지 , 질소 가스 송풍 에 의한 제트 가스 세정 , 스팀 송풍 에 의한 스팀 세정 및 드라이 아이스 입자 가 혼합 된 에어 의 송풍 에 의한 드라이 아이스 세정 을 이용 하 여 이 물질 을 제거 한다 . 이 들 4 종 의 세정 을 모두 할 필요 는 없 다 . 필요 하 다면 가스 퍼지 이외 의 세정 을 선택 하 여도 좋 다 . 예 를 들 면 , 가스 퍼지 와 그 외 의 상기 3 종 의 세정 방법 중 어느 하나 와 의 조합 , 또는 ( 가스 퍼지 와 그 외 의 상기 3 종 의 세정 방법 중 ) 어느 2 종과 의 조합 으로 수행 해도 좋 다 . 가스 퍼지 를 상시 행하 여도 좋 고 , 가스 퍼지 이외 에 상기 3 종 의 세정 을 필요 에 따라 간헐 적 으로 행해 도 좋 다 . 간헐 적 으로 세정 하 기 위해 , 상기 3 종 의 세정 을 동시 에 행하 여도 좋 고 , 또는 각각 의 세정 을 순서 대로 순차 적 으로 행하 여도 좋 다 .