이번 개시 된 일 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 및 플 라즈 마 처리 장치 는 , 모든 점 에 있 어서 예시 이 며 제한 적 인 것 은 아니 라고 생각 되 어야 하 는 것 이 다 . 상기 의 실시 형태 는 , 첨부 된 청구 범위 및 그 의 주지 를 일탈 하 지 않 고 , 다양 한 형태 로 변형 및 개량 이 가능 하 다 . 상기 복수 의 실시 형태 에 기재 된 사항 은 , 모순 되 지 않 는 범위 에서 다른 구성 도 취할 수 있 고 , 또한 모순 되 지 않 는 범위 에서 조합 할 수 있 다 .