그러나 , 기판 의 대형 화 에 따라 , 마스크 를 자력 에 의해 기판 에 흡착 시키 기 위한 자석 의 수 가 증가 함 으로써 , 개개 의 자력 편차 나 조립 정밀도 의 편차 에 의해 마스크 에 대한 흡 착력 분포 가 원 하 는 범위 내 로 들어가 지 않 는 상태 가 되 는 경우 가 있 었 다 . 이 와 같이 , 마스크 에 대한 흡 착력 분포 가 원 하 는 범위 내 로 들어가 지 않 는 상태 가 되 면 , 마스크 가 기판 에 흡착 될 때 , 자력 의 편차 에 의해 의도 하 지 않 은 흡착 의 형태 로 마스크 를 흡착 시켜 버리 기 때문 에 , 마스크 와 기판 사이 에 틈 이 생겨 버린다 . 그 때문 에 , 특허 문헌 1 에 기재 된 방법 에 의하 더라도 , 국소 적 으로 마스크 와 기판 사이 에 틈 이 생겨 버리 는 경우 가 있 었 다 . 마스크 와 기판 사이 에 틈 이 생긴 상태 로 성막 하 면 , 막 두께 의 불 균일 로 이어지 기 때문 에 , 개선 이 요구 되 고 있 었 다 .