연마 액 의 pH 를 2 . 0 ∼ 4 . 5 의 범위 에서 변화 시킨 실시 예 6 , 7 , 8 , 9 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 , 텅스텐 연마 속도 , 및 산화 규소 연마 속도 가 양호 했 다 . 한편 , pH 가 5 . 0 이상 인 비 교예 5 , 6 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 가 9 . 7 ∼ 10 . 1 nm / min 으로 양호 하 지 않 았 다 . 이 는 , pH 가 일정 이상 높 아 지 면 , 텅스텐 재료 의 부식 경향 이 강해 지 기 때문 인 것 으로 여겨진다 .