반도체 소자 는 기판 상 에 소정 의 패턴 을 형성 함 으로써 제조 될 수 있 다 . 기판 상 에 소정 의 패턴 을 형성 할 때 에 는 증착 공정 ( depositing process ) , 사진 공정 ( lithography process ) , 식각 공정 ( etching process ) 등 다수 의 공정 이 반도체 제조 공정 에 사용 되 는 설비 내 에서 연속 적 으로 수행 될 수 있 다 .