처리 용기 ( 1 ) 의 측 부 내측 에 는 , 내 벽면 을 따라 퇴적물 실드 ( 86 ) 가 마련 되 어 있 다 . 퇴적물 실드 ( 86 ) 는 처리 용기 ( 1 ) 에 에칭 부생 성물 ( 퇴적물 ) 이 부착 하 는 것 을 방지 한다 . 퇴적물 실드 ( 86 ) 의 웨이퍼 ( 8 ) 와 대략 동일 한 높이 위치 에 는 , 그라운드 에 대한 전위 가 제어 가능 하 게 접속 된 도전 성 부재 ( GND 블록 ) ( 89 ) 가 마련 되 어 있 으며 , 이 에 의해 이상 방전 이 방지 된다 . 또한 , 퇴적물 실드 ( 86 ) 의 하단 부 에 는 , 내벽 부재 ( 3 a ) 를 따라 연장 되 는 퇴적물 실드 ( 87 ) 가 마련 되 어 있 다 . 퇴적물 실드 ( 86 , 87 ) 는 착 탈 가능 하 게 되 어 있 다 .