도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 막 증착 장치 ( 110 ) 는 챔버 ( 115 ) , 가스 공급계 ( 120 ) , 발열체 ( 130 ) , 및 전기장 인가 부 ( 190 ) 를 포함 한다 . 이러 한 막 증착 장치 ( 110 ) 를 이용 하 여 , 본 발명 에 따른 막 증착 방법 에서 는 결정 화 실리콘 막 , 탄소 나노 튜브 , 나노 와이어 등 을 증착 할 수 있 으며 , 특히 결정 화 실리콘 막 의 증착 에 대해서 는 후술 하 는 실험 예 에서 상세히 설명 하 기 로 한다 .