이러 한 단시간 이 어도 지지층 이 가열 되 면 , 지지층 과 절연 산화 막 층 과 의 계면 근방 에 존재 하 는 산소 석출 물 이 열전도 의 장해 가 되 어 , 이 계면 근방 에 높 은 응력 을 발생 시켜 , 여기 서부터 고 밀도 인 슬립 전위 ( slip dislocation ) 를 발생 하 여 절연 산화 막 층 바로 아래 가 소성 ( 塑性 ) 변형 을 하 는 것 을 알 았 다 .