평가 / 검사 / 측정 프로시저 는 시간 소모적 일 수 있 으며 처리 시스템 의 처리 량 에 영향 을 미칠 수 있 다 . 프로세스 실행 시 에 , 제조 업자 는 웨이퍼 를 작성 하 여 평가 하 는 데 사용 된 시간 을 최소 화 하 기 를 원할 수 있 다 . S - D 프로시저 는 콘 텍스트 기반 형 일 수 있 고 , 상이 한 S - D 프로시저 가 웨이퍼 의 콘 텍스트 에 기초 하 여 수행 될 수 있 다 . 예컨대 , 하나 이상 의 웨이퍼 가 측정 및 / 또는 검사 될 수 없 고 , S - D 프로시저 는 평가 계획 에 포함 된 평가 사이트 의 서브 세트 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 .