다공질 부재 ( 6 ) 에 공급 된 Ar 가스 는 , Ar 가스 의 공급 위치 로부터 다공질 부재 ( 6 ) 의 표면 을 따라서 주연 방향 으로 확산 되 도록 흐르 려고 한다 . 여기 서 도 5 에 도시 하 는 바 와 같이 , 본 예의 다공질 부재 ( 6 ) 에 있 어서 는 , 두께 방향 으로 연통 되 는 다수 의 기공 ( 101 ) 형성 되 어 있 는 한편 , 평면 방향 으로 연통 되 는 기공 ( 101 ) 은 적 다 . 또한 , 다공질 부재 ( 6 ) 와 제 1 배관 부재 ( 4 A ) 및 제 2 배관 부재 ( 4 B ) 와 의 사이 의 간극 도 극히 좁 게 되 어 있 다 . 즉 , 다공질 부재 ( 6 ) 가 마련 되 어 있 는 영역 에서 는 , 시트 형상 의 다공질 부재 ( 6 ) 의 면내 를 따른 방향 을 향하 는 가스 의 흐름 의 컨덕턴스 가 높 게 되 어 있 다고 말 할 수 있 다 .