이어서 , 상기 트렌치 의 계면 상태 가 후속 공정 에서 문제 될 소지 가 있 으므로 , 고온 의 퍼니스 ( Purnace ) 에서 산화 공정 을 수행 해서 , 트렌치 표면 에 측벽 산화 막 ( 106 ) 을 형성 한 후 , 상기 측벽 산화 막 ( 106 ) 상 에 후속 공정 에 의한 열팽창 계수 , 스트레스 및 접착력 문제 를 해결 하 기 위해 선형 질화 막 ( 108 ) 및 선형 산화 막 ( 110 ) 을 형성 한다 .