그리고 , k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 ( k + 3 , 1 , 1 ) 에서 는 , x 방향 의 트랙 킹 제어 는 k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 와 동일 하 면서 , + y 방향 으로 1 빔 간 피 치분 이탈 된 영역 ( 21 ) 의 트랙 킹 제어 를 행한다 . k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 , 트랙 킹 이 개시 되 는 시점 에서 의 조사 영역 ( 34 ) 에 대응 하 는 묘화 대상 스트라이프 영역 ( 32 ) 내 의 영역 ( 21 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 에 대하 여 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 에 추종 하 도록 , 트랙 킹 편향 을 행한다 . 트랙 킹 이 개시 되 는 시점 ( 시각 t = 0 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 는 , t = 4 T 의 시점 에서 - x 방향 으로 , 예 를 들 면 , 8 빔 간 피치 이동 한다 . 그 동안 , 주편 향기 ( 208 ) 는 트랙 킹 을 계속 한다 . 그리고 , t = 3 T + Ttr 의 시점 에서 트랙 킹 을 리셋 함 으로써 빔 이 되돌려 지 고 , 도 14 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 다음 의 트랙 킹 제어 가 개시 되 는 시점 에서 , 조사 영역 ( 34 ) 에 대응 하 는 묘화 대상 스트라이프 영역 ( 32 ) 내 의 영역 ( 21 ) 은 , 전회 의 영역 으로부터 + x 방향 의 오프셋 분 을 제외 한 x 방향 으로 7 빔 간 피치 이간 된 영역 으로 되돌려진다 . 동시 에 , + y 방향 의 오프셋 분 을 제외 한 - y 방향 으로 1 빔 간 피치 이간 된 영역 에 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 빔 편향 에 의해 이행 한다 . 그리고 , 다음 의 k + 4 번 째 의 트랙 킹 제어 가 개시 된다 . 이러 한 동작 을 반복 함 으로써 트랙 킹 사이클 이 실시 된다 . 또한 , t = 3 T + Ttr 의 시점 에서 트랙 킹 리셋 하 고 나 서 주편 향 세틀 링 을 개시 하 고 , 시각 ( t = 4 T ) 을 포함 하 는 주편 향 세틀 링 시간 이 경과 한 후 ( t = 4 T +△ Ts ) 가 , 다음 의 트랙 킹 제어 가 개시 되 는 시점 이 된다 . 그 동안 에 도 XY 스테이지 ( 105 ) 는 등속 이동 하 고 있 으므로 , 트랙 킹 리셋 시 에 , △ Ts 에 XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 속도 를 곱한 거리 분 을 여분 으로 되돌리 는 것 은 말 할 필요 도 없 다 .