상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 을 복수 개 를 그룹 단위 ( 122 , 124 ) 로 분할 설정 하 고 , 분할 설정 된 각각 의 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 을 교차 로 척 킹 하 도록 구동 함 으로써 , 척 킹 핀 ( 120 ) 들 주변 에서 공정 에 필요 한 유체 들 의 흐름 을 원할하 게 한다 . 그러므로 세정 효과 를 향상 시킬 수 있 으며 , 후속 공정 에서 의 기판 ( W ) 의 손상 을 방지 하 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .