상기 제 2 공기실 ( 220 ) 은 제 1 통기구 ( 221 ) 와 제 2 통기구 ( 222 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 2 공기실 ( 220 ) 내부 에 설치 된 팬 ( 230 ) 의 회전 에 의해 상기 제 2 공기실 ( 220 ) 의 측면 에 형성 된 제 2 통기구 ( 222 ) 를 통해 제 1 공기실 ( 210 ) 의 내부 로 유입 된다 . 그리고 , 유입 된 공기 는 상기 제 1 공기실 ( 210 ) 의 내부 공간 을 통해 상승 하 여 분사구 ( 211 ) 를 통해 분사 됨 으로써 기판 ( S ) 을 부상 시킨 후 , 제 1 통기구 ( 221 ) 를 통해 제 2 공기실 ( 220 ) 로 유입 된다 .