여기 서 , 본 발명 에 따르 는 크리 닝 부 ( 300 ) 는 상기 돌출부 들 ( 120 ) 의 사이 공간 에 위치 되 어 , 상기 돌출부 들 ( 120 ) 의 외면 과 상기 회전축 ( 110 ) 의 외면 에 누적 된 공정 부산물 을 크 리닝 할 수 있 고 , 상기 상기 돌출부 들 ( 120 ) 의 외면 과 상기 회전축 ( 110 ) 의 외면 에 유막 을 형성 하 여 공정 부산물 들 이 응착 되 지 않 도록 할 수 있 다 .