본 발명 에 따르 면 건식 처 리부 ( 20 ) 가 상기 챔버 ( 11 ) 에 발생 하 는 분진 을 진공 흡입기 ( 25 ) 로 포집 하 도록 설치 된다 . 건식 처 리부 ( 20 ) 는 연 마수 와 같 은 작동 유체 를 기반 으로 하 지 않 고 피 가 공물 의 가공 을 조력 한다 . 진공 흡입기 ( 25 ) 로 포집 되 는 분진 은 진공 흡입기 ( 25 ) 를 통하 여 집진 탱크 ( 28 ) 에 수집 된다 . 진공 흡입기 ( 25 ) 는 챔버 ( 11 ) 의 측면 이나 상면 으로 연결 되 는 진공 펌프 를 구비 한다 . 집진 탱크 ( 28 ) 상 에 는 분진 의 불 필요 한 축적 또는 외부 유출 을 방지 하 는 다수 의 필터 ( 26 ) 가 설치 된다 . 이 와 같 은 필터 ( 26 ) 는 외부 에서 교체 가 가능 한 구조 로 설치 하 는 것 이 좋 다 .