TEMAZ 가스 를 소정 시간 공급 한 후 , 밸브 ( 314 ) 를 닫 아 , TEMAZ 가스 의 공급 을 정지 한다 . 이때 , 배기관 ( 231 ) 의 APC 밸브 ( 243 ) 는 개방 한 채 로 두 고 , 진공 펌프 ( 246 ) 에 의해 처리 실 ( 201 ) 내 를 진공 배기 하 여 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 미반 응 혹은 반응 에 기여 한 후 의 TEMAZ 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 배제 한다 . 이때 밸브 ( 524 ) 는 개방 한 채 로 두 어 , N 2 가스 의 처리 실 ( 201 ) 내 에 의 공급 을 유지 한다 . N 2 가스 는 퍼지 가스 로서 작용 한다 .