그 결과 , 전 웨이퍼 의 평균치 로 7 . 53 μ m 와 실시 예 1 보다 는 나쁜 결과 였 지만 , 종래 의 와이어 쏘 로 절단 한 웨이퍼 의 Warp 에 비해 개선 되 어 있 었 다 . 실시 예 1 에 비해 Warp 의 개선 이 적 은 것 은 , 절단 중 에 공급 하 는 슬러리 의 공급 온도 의 상승 폭 을 실시 예 1 보다 작 게 했 기 때문 에 , 워크 에 그려지 는 절단 궤적 을 보다 직선 적 으로 하 기 위한 효과 가 낮 았 기 때문 이 다 .