또 , 상술 한 각 실시 형태 에 있 어서 는 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 을 통과 하 는 동안 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 각각 에 노광 광 ( EL ) 의 조사 가 계속 되 나 , 적어도 한쪽 의 노광 영역 에 있 어서 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 통과 하 는 동안 의 일부 의 기간 만 으로 노광 광 ( EL ) 이 조사 되 도록 해도 된다 . 즉 , 쇼트 영역 ( SH ) 내 의 일부 만 다중 ( 이중 ) 노광 하 도록 해도 된다 .