본 발명 의 실시 예 들 은 감소 된 스트레스 및 강화 된 화학 적 저항성 과 같이 , 개선 된 특성 을 갖 는 실리콘 으로 이루어진 부품 들 을 제조 하 는 방법 을 제공 한다 . 본 명세서 에서 사용 되 는 것 처럼 , 실리콘 은 단결정 실리콘 및 폴리 실리콘 모두 를 포함 한다 . 개선 된 실리콘 부품 들 은 본 발명 의 개선 된 실리콘 성장 프로세스 또는 본 발명 의 개선 된 후 ( post ) - 기계가공 어닐링 프로세스 중 적어도 하나 를 포함 하 는 방법 을 이용 하 여 제조 될 수 있 다 . 이러 한 개선 된 프로세스 들 은 제조 된 부품 들 또는 실리콘 결정 들 의 성능 개선 을 위해 , 단독 으로 , 또는 서로 조합 되 어 사용 될 수 있 다 .