도 2 를 참조 하 면 , 노광 장치 ( 20 ) 는 EUV 스캐너 , 또는 EUV 노광기 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 노광 장치 ( 20 ) 는 챔버 ( 210 ) , EUV 소스 ( 220 ) , 광학계 ( 230 ) , 제 1 레티 클 스테이지 ( 240 ) , 기판 스테이지 ( 250 ) , 및 고속 교환 장치 ( rapid exchange device , 260 ) 를 포함 할 수 있 다 .