상기 의 액체 로서 , 예 를 들 어 , ArF 엑 시머 레이저 빔 ( 파장 193 nm 의 광 ) 이 투과 하 는 순수 가 이용 된다 . 또한 , ArF 엑 시머 레이저 빔 에 대한 순수 의 굴절 률 n 은 , 대략 1 . 44 정도 이 고 , 순수 에서 는 , 조명 광 ( IL ) 의 파장 이 193 nm× 1 / n , 즉 , 134 nm 정도 로 단파장 화 된다 .