상기 HARP 공정 은 오존 - TEOS 막 형성 공정 의 일종 으로서 , 일반 적 인 오존 - TEOS 막 형성 공정 에 비하 여 막 의 증착 속도 가 느리 고 하부 층 에 대한 의존 성 이 거의 없 기 때문 에 , 단차 피복성 이 매우 우수 하 다 . 그러므로 , 상기 HARP 공정 에 의한 산화 막 , 즉 , HARP 막 을 매립 절 연막 으로 적용 하 게 되 면 , 도 1 의 B 영역 에 해당 하 는 좁 은 지역 의 트렌치 를 보이 드 없이 용이 하 게 매립 할 수 있 다 .