도면 을 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 양면 연마장 치 의 캐리어 구조 는 , 상부 정반 ( 15 ) 과 , 이 상부 정반 ( 15 ) 의 하부 에 상부 정반 ( 15 ) 과 대향 되게 설치 된 하부 정반 ( 11 ) 과 , 상기 상부 정반 ( 15 ) 과 하부 정반 ( 11 ) 사이 에 설치 되 어 연마 되 는 웨이퍼 ( 10 ) 가 삽입 되 는 삽입 홀 이 형성 된 캐리어 ( 13 ) 와 , 이 캐리어 ( 13 ) 와 결합 하 여 일정 하 게 회동 시키 는 기어 장치 를 포함 하 여 구성 된다 .