일 실시 예 에 따르 면 , 상기 게터 링 영역 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 절연 층 상 에 마스크 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 마스크 막 을 패 터닝 하 여 상기 절연 층 의 일부 를 노출 시키 는 개구부 를 형성 하 는 단계 ; 상기 노출 된 절연 층 에 상기 원소 이온 들 을 주입 하 여 상기 게터 링 영역 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 패 터닝 된 마스크 막 을 제거 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .