제 1 하부 컨 택 ( 175 a ) 및 제 2 하부 컨 택 ( 275 a ) 은 각각 제 2 하부 층간 절 연막 ( 192 a ) 및 제 1 층간 절 연막 ( 191 ) 내 에 형성 될 수 있 다 . 제 1 상부 컨 택 ( 175 b ) 및 제 2 상부 컨 택 ( 275 b ) 는 제 2 상부 층간 절 연막 ( 192 b ) 내 에 형성 될 수 있 다 . 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 제 2 하부 층간 절 연막 ( 192 a ) 내 에 는 배치 되 지만 , 제 2 상부 층간 절 연막 ( 192 b ) 내 에 배치 되 지 않 을 수 있 다 . 즉 , 제 2 상부 층간 절 연막 ( 192 b ) 는 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 상면 을 덮 을 수 있 다 .