본 실시 형태 에서 는 , 도 12 에서 검정 색 으로 칠해져 있 는 16 개 의 쇼트 영역 ( S 2 , S 4 , S 6 , S 18 , S 20 , S 22 , S 24 , S 26 , S 51 , S 53 , S 55 , S 57 , S 59 , S 71 , S 73 , S 75 ) 이 , 웨이퍼 얼라이먼트 ( EGA ; Enhanced Global Alig ㎚ ent ) 의 샘플 쇼트 영역 ( 얼라이먼트 쇼트 영역 ) 으로서 오퍼레이터 에 의해 지정 되 어 있 는 것 으로 한다 . 상기 16 개 의 샘플 쇼트 영역 중 3 개 의 쇼트 영역 ( S 71 , S 73 , S 75 ) 이 퍼스트 얼라이먼트 쇼트 영역 , 5 개 의 쇼트 영역 ( S 51 , S 53 , S 55 , S 57 , S 59 ) 이 세컨드 얼라이먼트 쇼트 영역 , 5 개 의 쇼트 영역 ( S 18 , S 20 , S 22 , S 24 , S 26 ) 이 서드 얼라이먼트 쇼트 영역 , 3 개 의 쇼트 영역 ( S 2 , S 4 , S 6 ) 이 포스 얼라이먼트 쇼트 영역 이 다 .