제어 모드 1 은 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 을 통해 제 1 및 제 2 가스 ( G 1 , G 2 ) 각각 을 활성 화 시켜 분사 한다 . 이때 , 제 1 및 제 2 가스 ( G 1 , G 2 ) 각각 은 전술 한 바 와 같이 플 라즈 마 에 의해 활성 화 된다 . 이러 한 제어 모드 1 의 경우 , 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 은 전술 한 도 7 또는 도 8 에 도시 된 바 와 같이 구성 된다 .