레티 클 스테이지 ( 25 ) 는 , 레티 클 ( 20 ) 을 지지 하 고 , ( 도시 하 지 않 은 ) 이동 기구 에 의해 이동 된다 . 레티 클 ( 20 ) 및 투영 광학계 ( 30 ) 는 , 예 를 들 면 , 베이스 프레임 에 의해 댐퍼 를 통해서 지지 되 는 경통 정반 상 에 배치 된다 . 이 베이스 프레임 은 예 를 들 면 마루 바닥 위 에 설치 된다 . 레티 클 스테이지 ( 25 ) 는 , 당업 계 주지 의 어떠 한 구성 이 든 괜찮 다 . 이동 기구 는 , 예 를 들 면 리니어 모터 로 구성 된다 . 이 이동 기구 는 XY 방향 으로 레티 클 스테이지 ( 25 ) 를 구동 하 는 것 으로 , 레티 클 ( 20 ) 을 이동 시킬 수 가 있 다 .