1 차 Anodizing 면 에 용사 로 금속 층 을 형성 시킬 때 1 차 Anodizing 면 의 절연 이 파괴 되 지 않 도록 주의 를 해야 한다 . 용사 를 통해서 형성 시킨 DC - Power 전극 층 에 일정 두께 의 Anodizing 을 실시 한다 . 본 특허 에서 용사 를 통해서 형성 시킨 DC - Power 전극 층 에 형성 시킨 Anodizing 을 2 차 Anodizing 이 라고 명명 한다 . 결과 적 으로 위 와 같이 해서 작업 을 진행 하 면 1 차 및 2 차 Anodizing 면 에 금속 층 이 절연 물질 인 Anodizng 에 둘러싸인 구조 를 갖 게 되 고 DC - Power 전극 층 에 DC - Power 공급 장치 를 통해서 일정 한 전하 를 충전 시킬 수 있 는 구조 가 형성 되 어 ESC ( Electrostatic Chuck ) 의 기능 을 할 수 있 게 된다 .