플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 절연 영역 ( 27 ) 을 더 구비 할 수 있 다 . 절연 영역 ( 27 ) 은 , 기판 지지기 ( 16 ) 를 둘러싸 도록 기판 지지기 ( 16 ) 에 대하 여 직경 방향 외측 에서 둘레 방향 으로 연재 되 어 있 다 . 절연 영역 ( 27 ) 은 , 지지 부 ( 17 ) 를 둘러싸 도록 지 지 부 ( 17 ) 에 대하 여 직경 방향 외측 에서 둘레 방향 으로 연재 되 어 있 어도 된다 . 절연 영역 ( 27 ) 은 , 석영 과 같 은 절연체 로 형성 되 어 있 다 . 에지 링 ( ER ) 은 , 절연 영역 ( 27 ) 및 정전 척 ( 20 ) 의 에지 링 재치 영역 상 에 재치 된다 .