FT - IR 로 측정 한 탄소 농도 와 DLTS 로 측정 한 탄소 농도 의 상관 관계 는 0 . 9929 로 매우 유사 하 게 측정 됨 을 알 수 있 었 다 . 따라서 , FT - IR 로 측정 이 어려운 탄소 농도 가 1 × 1014 at о ms / cm 3 이하 의 저 농도 의 실리콘 웨이퍼 에 대하 여 , DLTS 로 탄소 농도 를 정확 하 게 측정 할 수 있 다 .