그리고 , 상기 웨이퍼 ( 2 , 2 ) 의 로딩 이 종료 되 면 , 상기 덮개 회동 부 ( 270 ) 의 닫 힘 작동 에 의해서 회동 아암 ( 271 ) 에 연결 된 상부 덮개 ( 211 ) 를 위치 고정 된 하부 덮개 ( 212 ) 에 대하 여 도면 상 시계 방향 으로 회동 함 으로서 , 상기 상 , 하부 덮개 ( 211 , 212 ) 는 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 그 외측 테두리 에 접하 도록 배치 되 는 환 고리 형 의 삽입부 재 ( 261 ) 를 매개 로 합 형 되 며 , 이 에 따라 , 상기 상 , 하부 덮개 ( 211 , 212 ) 와 삽입부 재 ( 261 ) 사이 에 는 밀폐 된 일정 크기 의 내부 공간 을 형성 하 게 된다 . ,