센서 ( 24 ) 는 고주파 생 성부 ( 26 ) 로부터 임피던스 정합 부 ( 22 ) 로 입력 되 는 전력 을 측정 하 여 검증 유닛 ( 30 ) 으로 송신 한다 . 센서 ( 24 ) 는 고주파 생 성부 ( 26 ) 에서 나오 는 전력 값 을 읽 을 수 있 다 . 센서 ( 24 ) 는 검증 작업 시작 전 고주파 생 성부 ( 26 ) 의 전력 캘 리브레 이 션 ( Power Calibration ) 을 진행 하 거나 , 검증 작업 진행 중 임피던스 정합 부 ( 22 ) 로 들어가 는 RF 전력 값 을 확인 하 는 용도 로 사용 될 수 있 다 . 센서 ( 24 ) 의 다양 한 일 실시 예 에 대해서 는 후술 한다 .