상술 한 바 와 같 은 두 실시 예 를 정리 해 보 면 , 본 발명 은 미세 한 반구형 의 그레인 이 형성 된 표면 을 가진 기둥 형태 로 하부 전극 을 형성 하 므로써 , 표면적 을 증대 시켜 고집 적 소자 의 동작 에 요구 되 는 충분 한 캐 패 시터 용량 을 확보 할 수 있 다 . 또한 , 기둥 형태 로 하부 전극 을 형성 하 므로 무너짐 현상 이 발생 하 지 않 는다 . 그리고 , 열 안정 성 이 우수 한 루테늄 막 을 하부 전극 물질 로 사용 하 므로써 신뢰도 가 높 은 캐 패 시터 의 하부 전극 을 얻 을 수 있 다 .