기판 ( 410 ) 은 반도체 기판 이 며 , 절연 층 ( 420 ) 은 식각 정지 층 ( etch stop layer ) 으로서 증착 되 며 , 희생 층 으로 사용 되 는 물질 을 식각 하 는 에 천트 ( 여기 서 에 천트 는 식각 가스 또는 식각 용액 임 ) 에 대해서 선택 비 가 높 은 물질 로 형성 된다 . 여기 서 절연 층 ( 420 ) 상 에 는 입사광 을 반사 하 기 위해 반사 층 ( 420 ( a ) , 420 ( b ) ) 이 형성 될 수 있 다 .