그렇지만 , 마크 검출 장치 에 대한 기판 의 자세 를 변화 시켜서 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 마크 를 정렬 하 는 경우 에 는 , 기판 의 자세 변화 에 따라 마크 의 계측 값 이 변화 된다 . 이 때문 에 , 기판 위 의 복수 의 마크 의 계측 값 이 시프트 하 고 , 기판 과 노광 광 의 얼라인먼트 정밀도 가 저하 할 수 있 다 .