따라서 , 본 발명 은 폴리 실리콘 멤 브레인 에 불순물 들 을 일정 농도 로 도핑 을 하 여 마이크 로 히터 를 폴리 실리콘 멤 브레인 내부 에 형성 하 여 , 요철 형태 의 구조물 을 형성 하 지 않 음 으로써 , 장시간 작동 에 도 내 구성 이 우수 하 며 , 고밀도 어레이 감지 물질 형성 이 용이 하 여 가스 감지 감도 가 우수 한 마이크 로 가스 센서 및 제조 방법 을 제공 함 에 목적 이 있 다 .