하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 은 하나 이상 의 서브시스템 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 내의 S - D 처리 요소 들 ( 112 , 117 , 122 , 127 , 132 , 142 , 147 및 157 ) 중 하나 에 추가 S - D 웨이퍼 를 이송 하 도록 구성 될 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 은 그 S - D 처리 서브시스템 ( 101 , 102 ) 내 의 처리 요소 ( 104 ) 를 이용 하 여 제 2 시간 동안 추가 S - D 웨이퍼 를 지연 시키 도록 구성 될 수 있 고 , 그 이송 요소 ( 104 ) 는 2 개 이상 의 웨이퍼 를 지지 할 수 있 다 . 제 2 시간 후 에 , 추가 S - D 웨이퍼 는 하나 이상 의 서브시스템 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 에서 처리 될 수 있 다 .