일부 실시 예 들 은 , 비 - 일시 적 이 고 명령어 들 을 저장 하 는 컴퓨터 판독 가능 매체 를 제공 하 며 , 명령어 들 은 , 일단 컴퓨터 화 된 시스템 에 의해 실행 되 면 , 컴퓨터 화 된 시스템 으로 하여금 , 기판 의 구역 의 전자 이미지 를 취득 하 는 것 ― 구역 은 구조 를 포함 함 ―; 구조 의 x - 선 이미지 를 취득 하 는 것 ; 및 구조 의 상태 를 평가 하 는 것 을 포함 하 는 프로세스 를 실행 하 게 하 고 , 평가 하 는 것 은 , 구조 로부터 방출 된 x - 선 광자 수 에 적어도 기반 한다 .