도 3 d 를 참조 하 면 , 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상기 타면 ( b ) 상 에 상기 패드 ( 104 ) 를 노출 시키 는 마스크 패턴 ( 109 ) 를 형성 한다 . 상기 마스크 패턴 ( 109 ) 을 식각 마스크 로서 이용 하 여 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상기 타면 ( b ) 으로부터 상기 패드 ( 104 ) 를 일부 노출 시키 는 비 아홀 ( V ) 을 형성 한다 .