마이크 로 머신 ( Micromachine ) 은 육안 으로 식별 이 어려운 극히 소형 의 기계 를 의미 한다 . 멤 스 ( MEMS : Micro Electro Mechanical System ) 라고 도 하 며 , 초 소형 전기 기계 시스템 또는 소자 라고 부를 수 있 다 . 주로 반도체 제조 기술 을 응용 하 여 만든 다 . 미소 광학 및 극한 소자 를 이용 하 여 자기 ( 磁氣 ) 및 광 헤드 와 같 은 각종 정보 기기 부품 에 응용 하 며 , 여러 종류 의 마이크 로 유체 제어 기술 을 이용 하 여 생명 의학 분야 와 반도체 제조 공정 등 에 도 응용 한다 . 마이크 로 머신 은 그 역할 에 따라서 감지 소자 의 기능 을 하 는 마이크 로 센서 , 구동 장치 인 마이크 로 액추에이터 및 기타 에너지 의 전달 역할 을 하 는 미니어처 기계 등 으로 나눌 수 있 다 .