소스 막 ( 11 ) 은 채널 막 들 ( 15 ) 의 연결 패턴 들 ( 15 C ) 및 지지대 들 ( 18 ) 의 하부 에 위치 될 수 있 다 . 소스 막 ( 11 ) 은 차례 로 적층 된 금속 막 ( 11 A ) , 제 1 폴리 실리콘 막 ( 11 B ) 및 제 2 폴리 실리콘 막 ( 11 C ) 을 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 금속 막 ( 11 A ) 은 티타늄 질화 막 일 수 있 고 , 제 1 폴리 실리콘 막 ( 11 B ) 은 제 1 농도 의 N 타입 불순물 을 포함 하 는 폴리 실리콘 막 일 수 있 고 , 제 2 폴리 실리콘 막 ( 11 C ) 은 제 1 농도 보다 낮 은 제 2 농도 의 N 타입 불순물 을 포함 하 는 폴리 실리콘 막 일 수 있 다 . 본 도면 에 는 도시 되 지 않 았 으나 , 소스 막 ( 11 ) 의 하부 에 주변 회로 등 의 하부 구조물 이 위치 될 수 있 다 .