즉 , 상기 와 같이 양측 슬라이더 ( 320 ) ( 320 ') 가 수평 이 동시 각각 의 슬라이더 ( 320 ) ( 320 ') 상부 에 돌출 형성 된 분리 툴 ( 321 ) ( 321 ') 이 함께 이동 하 게 되 는 것 으로 , 분리 툴 ( 321 ) ( 321 ') 은 제 1 이 젝 터 ( 200 ) 의 슬라이드 공 ( 210 ) ( 210 ') 을 따라 수평 이동 하 면서 팽팽 한 상태 의 웨이퍼 시트 ( 10 ) 로부터 반도체 다이 ( 11 ) 의 가장자리 로부터 중앙부 를 분리 하 게 된다 .