레이저 유닛 ( 12 ) 은 , 웨이퍼 ( 1 ) 를 레이저 가공 하 기 위한 장치 이 다 . 레이저 유닛 ( 12 ) 은 , 척 테이블 ( 43 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 1 ) 를 레이저 광선 에 의해 가공 하 는 가공 유닛 ( 18 ) 과 , 가공 유닛 ( 18 ) 을 사이 에 두 도록 마련 된 한 쌍 의 두께 측정 수단 ( 16 ) 및 한 쌍 의 상면 높이 측정 수단 ( 17 ) 을 가지 고 있 다 .