하부 공간 ( H 1 ) 및 상부 공간 ( H 2 ) 이 소정 의 기압 까지 감압 되 면 , 제 어부 ( 102 ) 는 , 전자 밸브 ( 96 ) 를 폐쇄 함 과 함께 , 진공 장치 ( 95 ) 의 작동 을 정지 한다 . 그리고 제 어부 ( 102 ) 는 상부 공간 ( H 2 ) 의 기압 보다 하부 공간 ( H 1 ) 의 기압 쪽 이 높 아 지 도록 , 전자 밸브 ( 96 , 97 , 98 , 100 ) 의 각각 의 개방 도 를 조정 한다 .