한편 , 본 발명 에서 는 기판 반송 장치 ( 310 ) 가 하나 의 스핀들 을 갖 는 것 으로 설명 되 었 으나 , 양측 으로 각각 분리 되 어 기판 반송 장치 가 설치 될 수 있 다 . 도면 에 도시 하 지 는 않 았 지만 , 기판 반송 장치 ( 310 ) 는 로딩 용 암 과 언로 딩 용 암 이 각기 분리 되 어 장착 되 는 상부 와 하부 로 독립 된 스핀들 과 이 를 구동 하 는 상부 와 하부 로 분리 설치 된 구동 부를 구비 할 수 도 있 다 .