도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 제 4 샘플 ( 도 7 에서 꽉 찬 정사각형 ) , 즉 , 증착 된 JSR LKD - 5109 의 탄소 대 실리콘 비율 은 약 0 . 55 였 다 . 제 3 샘플 ( 도 7 에서 텅 빈 정사각형 ) 에 대해서 는 , 트렌치 의 에칭 및 포토레지스트 제거 가 완성 된 이후 에 , 탄소 대 실리콘 비율 은 약 0 . 45 내지 약 0 . 55 까지 감소 되 었 다 . 그러나 , 제 2 샘플 ( 도 7 에서 텅 빈 원 ) 에 대해서 는 , 탄소 대 실리콘 비율 은 증착 된 JSR LKD - 5109 의 탄소 대 실리콘 비율 보다 높 은 약 0 . 6 내지 0 . 8 로 증가 되 었 다 . 이 는 , 보수 프로세스 가 유실 된 메틸기 ( - CH 3 ) 를 프로필기 ( - C 3 H 7 ) 로 대체 하 여 이 에 따라 손상 된 영역 에서 탄소 대 실리콘 비율 을 증가 시키 기 때문 이 다 . 제 1 샘플 ( 도 7 에서 꽉 찬 원 ) 에 대해서 는 , 약 1 . 45 까지 의 탄소 대 실리콘 비율 의 상당 한 증가 가 있 다 . 이 는 , 기상 보수 가 다공성 표면 의 밀봉 및 / 또는 n - PTMS 를 더욱 효과 적 으로 강화 하 는 가능 성 의 표시 이 다 .