도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 판 두께 와 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 판두 계 는 대략 같 도록 되 어 있 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 은 제 1 접합 층 ( 23 ) 에 의해 하부 전극 ( 18 ) 상 에 접합 되 어 있 다 . 제 2 정전 척 ( 22 ) 은 제 2 접합 층 ( 24 ) 에 의해 하부 전극 ( 18 ) 의 둘레 부 상 에 접합 되 어 있 다 . 제 1 접합 층 ( 23 ) 및 제 2 접합 층 ( 24 ) 은 , 예 를 들 어 , 실리콘 , 에폭시 등 으로 된 접착제 를 사용 할 수 있 다 .