한 실시 예 에 있 어서 , 상기 스크라이빙 유닛 은 ; 수직 방향 의 중공 형 의 내부 공간 이 형성 된 하우징 과 ; 상기 하우징 의 상기 내부 공간 에 설치 되 고 , 내부 에 배치 되 어 외부 로부터 고주파 전원 을 공급 받 아서 초음파 를 발생 하 는 상기 초음파 진동자 와 , 일단 에 배치 되 어 상기 초음파 진동자 로부터 초음파 를 전달 받 아서 기판 표면 에 스 크 라 이브 선 을 형성 하 는 상기 커터 휠 이 구비 되 는 일체 형 의 상기 몸체 를 갖 는 스 크 라 이브 헤드 와 ; 상기 몸체 의 상부 에 구비 되 어 상기 하우징 내부 에 고정 설치 되 며 , 외부 의 압력 공급 부재 로부터 일정 압력 을 받 아서 상기 몸체 로 전달 하 는 압력 전달 부재 및 ; 상기 하우징 에 제공 되 어 상기 스 크 라 이브 헤드 를 상기 지지대 에 고정 설치 하 는 결합 부재 를 포함 한다 .