플라 즈 마 가스 는 10000 ∼ 15000 K 의 고 온부 를 갖 는 열 플 라즈 마 영역 을 유지 하 는 기능 이 있 고 , 쉬 스 가스 는 반응 용기 내 에 있 어서 의 석영 토치 의 내 벽면 을 차 게 하 여 , 석영 토치 의 용해 를 방지 하 는 기능 이 있 다 . 또 , 플라 즈 마 가스 와 쉬 스 가스 는 플 라즈 마 영역 의 형상 에 영향 을 미치 기 때문 에 , 이 들 가스 의 유량 을 조정 함 으로써 플 라즈 마 영역 의 형상 제어 를 실시 할 수 있 다 . 또 , 캐리어 가스 유량 과 원료 공급 속도 를 조정 함 으로써 , 생성 미립자 의 생성 시간 을 제어 하 는 것 이 중요 하 다 .