본 발명 에 있 어서 의 상기 구리 막 은 불소 수지 필름 과 접해 있 는 측 으로부터 구리 막 1 , 구리 막 2 의 2 층 으로 이루어지 고 , 구리 막 1 은 이러 한 불소 수지 필름 위 에 스퍼터링 법 으로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 구리 막 1 을 형성 하 기 전 에 불소 수지 표면 에 플 라즈 마 처리 하 는 것 이 바람직 하 다 . 불소 수지 필름 의 표면 에 는 안정 적 으로 불소 원자 가 존재 하 여 금속 과 의 결합 을 저해 한다 . 그래서 , 스퍼터링 법 이나 플 라즈 마 처리 에 의해 불소 수지 필름 표면 의 불소 를 괴리 시키 고 , 대신 에 관능기 를 생성 하 여 이 관능기 의 극성 이나 반응 성 에 의해 금속 층 과 의 사이 의 밀착 성 을 개선 시킨다 . 단 , 스퍼터링 법 이나 플 라즈 마 처리 를 행할 때 , 불소 원자 를 괴리 시키 는 에너지 를 불소 수지 표면 에 계속 해서 주 면 , 불소 수지 표면 은 대미지 를 받 으므로 플 라즈 마 처리 및 스퍼터링 법 에 의한 구리 막 1 형성 도 불소 수지 대미지 를 주 지 않 고 , 또한 불소 괴리 량 을 최소한 으로 억제 하 기 위해서 최소한 으로 억제 할 필요 가 있 다 .