제어 장치 ( 22 ) 는 제 1 밸브 ( 27 ) , 제 2 밸브 ( 29 ) , 및 밸브 ( 234 ) 를 열 고 , 또한 히터 ( 233 ) 에 의해 집합 배관 ( 31 ) 을 가열 시킨다 . 제 1 밸브 ( 27 ) 및 제 2 밸브 ( 29 ) 가 열림 으로써 , 제 1 소수 화제 ( 액체 ) 및 희석 용제 ( 액체 ) 가 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된다 . 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된 제 1 소수 화제 및 희석 용제 는 집합 배관 ( 31 ) 내 에서 혼합 된 후 , 히터 ( 233 ) 에 의해 가열 된다 . 이 에 의해 , 제 1 소수 화제 및 희석 용제 의 혼합액 이 증발 하 여 , 희석 된 제 1 소수 화제 의 액체 가 증기 로 변화 된다 . 그리고 , 집합 배관 ( 31 ) 내 에서 생성 된 제 1 소수 화제 의 증기 는 캐리어 가스 공급 배관 ( 235 ) 으로부터 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된 캐리어 가스 에 의해 중심축 노즐 ( 14 ) 을 향하 여 흐르 게 된다 . 이 에 의해 , 제 1 소수 화제 의 증기 가 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 토출 된다 .