도 1 을 참조 하 면 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 매 엽 식 세정 설비 로서 , 세정 공정 처리 하 는 챔버 ( 2 ) 내부 에 하나 의 웨이퍼 가 로딩 되 는 스핀 헤드 ( 또는 척 플레이 트 ) ( 4 ) 와 , 복수 개 의 노즐 ( 20 , 30 ) 들 을 포함 한다 . 그리고 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 노즐 ( 20 , 30 ) 들 을 구동 시키 는 각각 의 구동 부 ( 22 , 32 ) 와 , 이 들 구동 부 ( 22 , 32 ) 를 제어 하 는 제 어부 ( 미도 시 됨 ) 을 포함 한다 .