상기 반송 장치 ( 2 ) 는 워크 ( W ) 를 지지 하 면서 상기 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 후술 하 는 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 하방 으로 반송 하 는 것 이 다 . 이 반송 장치 ( 2 ) 는 그 반송 방향 이 전후 방향 이 되 도록 설치 되 어 있 으며 , 그 반송 방향 을 따라 배치 된 복수 개 의 반송 롤러 ( 2 a ) 를 구비 하 고 있 다 . 그리고 , 반송 장치 ( 2 ) 는 도시 생략 한 구동 수단 을 가지 고 있 으며 , 이 구동 수단 에 의해 반송 롤러 ( 2 a ) 를 구동 함 으로써 워크 ( W ) 를 반송 하 도록 구성 되 어 있 다 .