분리 된 마스크 ( M ) 는 , 상술 한 마스크 승강 장치 와 같 은 기구 에 의해 하강 된다 . 마스크 전달 기구 ( 100 c ) 는 , 하강 된 마스크 ( M ) 를 보유 지지 프레임 으로 수취 하 여 보유 지지 하 고 , 증착 처리 공정 반송 로 ( 100 a ) 와 리턴 반송 로 ( 100 b ) 의 사이 의 퇴피 위치 로 반송 한다 . 그리고 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 상 의 마스크 수취 위치 ( P 6 ) 에 , 기판 배출 후 의 빈 반송 캐리어 ( 302 ) 가 이동해 오 면 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 하방 위치 로 마스크 ( M ) 를 이동 시킨다 . 그리고 , 마스크 승강 장치 와 동일 한 기구 에 의해 마스크 ( M ) 를 반송 캐리어 ( 302 ) 하 면 으로 상승 시키 고 , 자기 척 ( 308 ) 에 보유 지지 시킨다 . 이 와 같이 마스크 ( M ) 를 보유 지지 한 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 공급 측 으로 리턴 반송 된다 .