그러면 비아 ( V ) 와 트렌치 ( T ) 에 제 2 예 비막 이 형성 된다 . 제 2 예비 막 은 Ta 와 F 가 반응 한 화합물 이 아니 고 Ta 와 F 가 혼합 되 어 있 는 막 이 다 . 이후 B 2 H 6 기체 를 주입 하 여 제 2 예 비막 의 F 와 B 2 H 6 를 반응 시켜 F 를 제거 한다 . 따라서 제 2 예비 막 은 Ta 만 으로 이루어지 며 , 0 . 5 ~ 10 Å 의 두께 로 형성 한다 .