척 테이블 ( 2 ) 의 유지 면 ( 2 a ) 상 에 웨이퍼 ( 1 ) 와 , 프레임 ( 7 ) 을 놓 은 후 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 이면 ( 1 b ) [ 또는 표면 ( 1 a ) ] 과 , 프레임 ( 7 ) 의 외주 에 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 배치 한다 . 도 3 은 폴리에스테르 계 시트 배치 공정 을 모식 적 으로 나타낸 사시도 이 다 . 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 ( 1 ) 와 프레임 ( 7 ) 을 덮 도록 양자 위 에 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 배치 한다 .