Si 와 합금 을 형성 할 수 있 는 물질 로 는 예 를 들 어 Ru , Pd , Ti 중 에서 선택 될 수 있 다 . 그리고 Si 과 합금 을 형성 하 지 않 더라도 스터핑 층 ( 3 ) 의 재료 로 사용 될 수 있 는 물질 로 는 제 1 완충 층 ( 2 ) 과 격자 상수 차이 가 나 는 어떠 한 물질 도 사용 될 수 있 다 . 이러 한 재료 들 로 형성 될 수 있 는 스터핑 층 ( 3 ) 은 3 nm ~ 1 μ m 이내 의 두께 를 가질 수 있 다 .