제 1 방법 으로 열분해 를 생각 할 수 있 다 . 열분해 는 , 규소 가 이미 유기 기에 연결 을 형성 하 여 , 다수 의 화합물 이 상당 한 증기압 을 갖 는 , 실란 을 포함 하 는 물질 의 전체 등급 을 상승 시킨다는 사실 에 기초 한다 . 충분 한 고온 의 산화 대기 중 에서 , " 규소 는 산화 규소 로 잔존 하 고 유기 기 는 "" 연소 "" 될 수 있 다는 것 은 명백 하 다 . 불행 하 게 도 ", 용이 하 게 입수 할 수 있 는 실란 , 예 를 들 면 테트라 에 톡 시실 란 또는 헥사 메틸 디 실란 의 열분해 는 700 ℃ 초과 의 고온 이 필요 하 다 ( [ 5 ] : 문헌 [ A . C . ADAMS et al . , Journal Electrochemical Society , vol . 126 , 1979 , page 1042 ] ) . 또한 , 침착 이 매우 불 균일 하 게 일어나 기 때문 에 상술 한 적용 에 있 어서 매우 심각 한 문제점 이 야기 될 수 있 다는 증거 가 있 다 ( [ 6 ] : 문헌 [ SURYA et al . , Journal Electrochemical Society , vol . 137 , 1990 , page 624 ] )