반도체 공장 등 에서 는 , 실리콘 웨이퍼 등 의 기판 이 수용 된 용기 를 이용 함 으로써 , 공장 내 에 있 어서 기판 의 반송 · 보관 을 행한다 . 반도체 제조 장치 의 분야 에서 는 , 일반 적 으로 , 소위 국소 환경 ( mini environment ) 방식 ( 국소 청정 화 방식 ) 이 적용 되 고 있 으며 , 용기 의 내부 를 높 은 청 정도 로 유지 하 는 것 이 가능 해 지 고 있 다 .