모듈러 코팅 기 는 구성 및 재 구성 과 관련 하 여 큰 탄력 성 ( flexibility ) 을 위해 설계 될 수 있 다 . 이러 한 모듈러 코팅 기 의 예 로 는 어 플 라이드 필름스 코 포레이 션 ( 캘리포니아 페어필드 ) 으로부터 상업 적 으로 입수 가능 한 VAC 870 코팅 기 가 있 다 . 모듈러 코 팅기 ( 60 ) 의 구조물 ( 64 ) 의 개략 도 는 코팅 기 의 상부 , 측면 및 하류 단부 의 입면도 로부터 도 5 A 에 도시 된다 . 도시 된 것 처럼 , 격실 들 ( 62 ) 은 프로세스 모듈 들 및 전체 코팅 기 의 구성 및 / 또는 재 구성 이 용이 하 도록 실질 적 으로 균일 한 크기 일 수 있 다 . 이 로써 , 코 팅기 ( 60 ) 는 모듈러 , 격실 - 타입 코팅 기 로 간주 될 수 있 다 . 격실 들 ( 62 ) 은 코팅 , 펌핑 또는 다른 소정 의 목적 여부 에 따라 유사 한 또는 상이 한 목적 을 위해 이용 될 수 있 다 . 격실 코 팅기 ( 60 ) 의 구조물 ( 64 ) 은 상부 구조물 들 또는 커버 들 이 없 고 격실 들 ( 62 ) 에 대한 단부 구조물 들 또는 커버 들 이 없 는 개방 구조 로 도시 된다 . 개방 구조물 ( 64 ) 은 상당히 유연 하 며 ( flexible ) 즉각 적 인 적용 에 적합 한 상부 구조물 및 단부 구조물 을 간단히 추가 시킴 으로써 특정 분야 에 적합 한 방식 으로 구성 또는 재 구성 될 수 있 다 . 단지 예시 적 으로 , 격실 에 대한 액세스 , 이를 테 면 예 를 들 어 펌프 액세스 를 허용 하 면서 , 격실 ( 62 ) 의 상부 를 닫 거나 밀봉 하 는 상부 구조물 ( 미 도시 ) , 및 유사 하 게 , 격실 에 대한 액세스 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 펌프 액세스 를 허용 하 면서 격실 ( 62 ) 의 단부 를 닫 거나 밀봉 하 는 단부 구조물 ( 미 도시 ) 이 개방 구조물 에 부가 될 수 있 다 . 단지 예시 적 으로 , 모듈 들 , 예 를 들 어 펌프 모듈 들 또는 코팅 모듈 들 은 격실 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 본 발명 에서 참조 되 는 2005 년 5 월 20 일 자로 “ 모듈러 코팅 시스템 ” 이 란 명칭 으로 필립 엠 . 페트라치 에 의해 출원 된 미국 가 특허 출원 No . 60 / 682 , 985 호 및 2006 년 5 월 8 일 자로 “ 코팅 시스템 용 모듈러 및 관련 기술 ” 이 란 명칭 으로 필립 엠 . 페트라치 에 의해 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 No . __/__,__ 호에 개시 된 격실 의 상부 와 결합 될 수 있 다 . 도시 된 것 처럼 , 개방 구조물 ( 64 ) 의 격실 들 ( 62 ) 각각 은 격실 을 통한 기판 의 통과 를 위한 개구 또는 슬롯 ( 66 ) 및 격실 과 관련 된 , 이를 테 면 펌핑 과 관련 된 유체 통신 을 위한 개구 들 또는 슬롯 들 을 포함 한다 .