단계 ( 108 ) 중 에 , 제 3 반응물 은 반응 챔버 내 에 도입 된다 . 이 단계 중 에 , 제 2 활성 종 은 제 2 압력 에서 제 3 펄스 시간 동안 기판 에 생성 될 수 있 다 . 제 2 활성 종 은 화학 흡착 된 재료 와 반응 하 여 증착 된 재료 를 형성 할 수 있 다 . 제 2 활성 종 은 바람직 하 게 는 등방성 플 라즈 마 조건 을 사용 하 여 형성 되 어 , 제 2 활성 종 을 화학 흡착 된 재료 와 효율 적 으로 쉽 게 반응 시킬 수 있 다 . 제 2 활성 종 은 , 예 를 들 어 화학 흡착 된 재료 와 반응 하 고 화학 흡착 된 재료 로부터 리간드 를 제거 함 으로써 증착 된 재료 를 형성 할 수 있 다 .