또한 , 도 4 ( d ) 에 도시 한 바 와 같이 , 정전 척 장치 ( 23 ) 의 급전 단자 부 ( 32 ) 가 자력 인가 수단 ( 24 ) 의 자력 발생 부 ( 241 ) 가 배치 되 는 영역 을 통과 하 지 않 고 , 자력 인가 수단 ( 24 ) 의 다른 부분 을 관통 하 도록 설치 될 수 도 있 다 . 이 경우 , 급전 단자 부 ( 32 ) 가 자력 인가 수단 ( 24 ) 을 관통 하 지만 , 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 을 피하 여 관통 하 기 때문 에 , 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 에 영향 을 미치 지 아니하 며 , 균일 한 자장 을 유지 할 수 있 게 된다 .