이어서 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 주변 스캔 노광 을 속행 하 면서 , 도 70 에 개시 된 제 2 스크럼 개시 위치 로 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 및 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 이동 시킨다 . 이 에 앞서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 의 계측 에 사용 되 는 인코더 는 , 인코더 ( 170 C , 170 D ) 로부터 인코더 ( 170 E , 170 F ) 로 전환 되 어 있 다 .