도 1 내지 도 3 을 참조 하 면 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 인덱스 모듈 ( 20 , index module ) , 처리 모듈 ( 30 , treating module ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 40 , interface module ) 을 포함 한다 . 일 실시 예 에 의하 며 , 인덱스 모듈 ( 20 ) , 처리 모듈 ( 30 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 40 ) 은 순차 적 으로 일렬 로 배치 된다 . 이하 , 인덱스 모듈 ( 20 ) , 처리 모듈 ( 30 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 40 ) 이 배열 된 방향 을 제 1 방향 ( 12 ) 이 라 하 고 , 상부 에서 바라볼 때 제 1 방향 ( 12 ) 과 수직 한 방향 을 제 2 방향 ( 14 ) 이 라 하 고 , 제 1 방향 ( 12 ) 및 제 2 방향 ( 14 ) 에 모두 수직 한 방향 을 제 3 방향 ( 16 ) 이 라 한다 .