상기 구동 기구 는 , 상기 챔버 에 장착 되 는 베이스 부재 와 . 상기 베이스 부재 에 소정 간격 을 두 고 회전 가능 하 게 지 지 되 고 , 상기 챔버 내 로 돌출 된 선단 에 상기 구동 롤러 가 착 탈 가능 하 게 설치 되 는 복수 개 의 구동축 과 , 상기 구동축 의 상기 챔버 의 외부 에 위치 하 는 후단 에 설치 되 어 구 동원 으로부터 의 동력 을 상기 구동축 에 전달 하 여 상기 구동축 을 회전 시키 는 동력 전달 부재 에 의해 구성 되 어 있 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 의 처리 장치 이 다 .