로컬 플레어 가 패턴 의 선폭 에 끼치 는 영향 을 정량 적 으로 결정 하 기 위해서 는 , 로컬 플레어 가 발생 되 는 입사광 의 위치 와 그것 에 의해 영향 을 받 는 패턴 의 위치 간 의 거리 를 파라미터 로서 사용 하 여 로컬 플레어 를 측정 한다 . 상기 상황 하 에서 , 라인 패턴 의 주변 에 복수 종류 의 원형 형상 의 개구부 를 형성 한 측정 패턴 을 레지스 트 에 노광 에 의해 전사 해서 , 라인 패턴 의 선폭 과 개구부 의 크기 간 의 관계 에 의거 하 여 , 로컬 플레어 를 정량 적 으로 측정 하 는 기술 이 제안 되 어 있 다 . 이 기술 의 상세 에 대해서 는 일본국 특개 2004 - 64024 호 공보 ( 이하 , " "" 참고 문헌 l "" 이라고 칭함 ) 를 참조 한다 . "