플라 즈 마 처리 를 2 단계 에서 수행 하 는 경우 , 제 1 플 라즈 마는 적어도 하나 의 C - H 결합 을 갖 는 적어도 하나 의 유기 실란 을 포함 하 는 성분 으로부터 유도 되 고 , 상기 C - H 결합 은 sp 3 , sp 2 또는 sp C - H 결합 일 수 있 다 . 전형 적 으로 , 유기 실란 은 여러 개 의 C - H 결합 , 예 를 들 어 , 적어도 2 개 , 적어도 3 개 , 적어도 5 개 , 적어도 9 개 , 및 / 또는 심지어 적어도 12 개 의 C - H 결합 , 또는 그 이상 을 갖 는다 . 전형 적 으로 , 유기 실란 ( 들 ) 은 , 플 라즈 마가 형성 되 는 플 라즈 마 처리 조건 하 에 충분 한 증기압 을 갖 도록 선택 된다 .