본 발명 은 가요성 어레이 기판 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 우선 , 경질 기판 을 제공 하 고 , 그 경질 기판 에 버퍼 층 을 형성 한다 . 상기 버퍼 층 상 에 가요 성 기판 을 부착 하 여 , 기판 모듈 을 형성 한다 . 그 후 , 상기 가요 성 기판 상 에서 박막 형성 공정 을 수행 한다 . 특히 , 경질 기판 상 에 버퍼 층 을 형성 하 는 것 에 의하 여 야기 된 응력 상태 와 버퍼 층 의 물리 적 성질 은 상기 박막 형성 공정 중 에 열팽창 수축 으로 인한 가요 성 기판 의 밴 딩 을 감소 시킬 수 있 다 . 상기 박막 형성 공정 을 수행 한 이후 에 , 가요 성 기판 은 용이 하 게 밴 딩 되 거나 변형 되 지 않 아 , 가요성 어레이 기판 의 공정 수율 을 향상 시킬 수 있 다 .