본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 , 패 터닝 된 복사선 개질 가능 재료 , 예컨대 하나 이상 의 특징 부를 포함 한 패 터닝 된 희생 마스킹 층 또는 패 터닝 된 레지스 트 를 포함 할 수 있 다 . 특징 부 는 후속 하 는 에칭 공정 동안 하부 기판 으로 전사 될 수 있 다 . 특징 부 는 노광 및 이 와 연관 된 현상 공정 에 따라 형성 될 수 있 는 임의 의 기하 구조 를 포함 할 수 있 고 , 선 특징 부 , 블록 특징 부 , 개방 포어 특징 부 , 및 원형 특징 부를 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 지 않 는다 .