[ 006 ] 또 다른 실시 예 들 에서 , 로드 포트 도어 오프너 와 기판 캐리어 도어 사이 의 볼륨 으로부터 공기 를 퍼 징하 는 방법 이 제공 된다 . 방법 은 , 퍼지 가스 유입 포트 , 적어도 하나 의 배기 배출 포트 , 및 도킹 된 기판 캐리어 와 협력 하 여 둘레 채널 을 정의 하 는 리지 벽 을 갖 는 도어 오프너 를 포함 하 는 로드 포트 를 제공 하 는 단계 ― 리지 벽 은 포트 들 에 근접 한 개구 들 을 가짐 ―; 기판 캐리어 를 도어 오프너 에 대해 도킹 하 여 , 둘레 채널 을 포함 하 는 , 기판 캐리어 와 도어 오프너 사이 의 볼륨 내 에 공기 를 포획 ( entrapping ) 하 는 단계 ; 퍼지 가스 를 퍼지 가스 유입 포트 를 통해 볼륨 내 로 주입 하 는 단계 ; 퍼지 가스 유입 포트 에 근접 한 리지 벽 의 개구 를 통해 퍼지 가스 를 둘레 채널 내 로 지향 시키 는 단계 ; 및 적어도 하나 의 배기 배출 포트 를 통해 볼륨 으로부터 공기 및 퍼지 가스 를 배기 시키 는 단계 를 포함 한다 .