서브 진공 배관 ( 36 ) 은 메인 진공 배관 ( 34 ) 으로부터 분기 된다 . 본 실시 예 에서 , 서브 진공 배관 ( 36 ) 은 적어도 2 개 이상 일 수 있 고 , 서브 진공 배관 ( 36 ) 들 은 메인 진공 배관 ( 34 ) 의 양쪽 으로 분기 될 수 있 다 . 또한 , 서브 진공 배관 ( 36 ) 들 은 메인 진공 배관 ( 34 ) 에 병렬 방식 으로 배치 될 수 있 다 .