바람직 하 게 RF 전력 분배 기 의 제 1 출력 부 와 제 2 출력 부 의 전력 레벨 들 사이 의 차 는 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 거나 워크 피스 상 에서 수행 중 인 플 라즈 마 제조 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 도록 설정 된다 . RF 전력 레벨 들 에서 의 차 에 대한 최적 값 은 플 라즈 마 제조 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 이 전력 차 의 다양 한 값 들 에 대하 여 측정 되 는 루틴 한 실험 에 의하 여 설정 될 수 있 다 .