본 발명 의 과제 는 , 코발트 함유층 을 포함 하 는 피연 마 체의 CMP 에 적용 했 을 때 에 , 피연 마면 에 디싱 및 결함 이 발생 하 기 어려운 연마 액 을 제공 하 는 것 이 다 . 또 , 본 발명 의 다른 과제 는 , 연마 액 의 제조 방법 , 연마 액 원액 , 연마 액 원액 수용체 , 및 화학 적 기계 적 연마 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .