비휘발성 메모리 소자 는 집 적 회로 기판 상 에 실리콘 - 함유 층 을 증착 시킴 으로써 형성 될 수 도 있 다 . 집 적 회로 기판 은 실리콘 또는 다른 적절 한 재료 로 형성 될 수 도 있 다 . 비휘발성 메모리 소자 의 하나 이상 의 적층 된 층 은 실리콘 - 함유 층 이 증착 되 기 전 에 집 적 회로 기판 상 에 제조 될 수 도 있 다 . 실리콘 - 함유 층 은 폴리 실리콘 또는 실리콘 을 함유 하 는 임의 의 다른 적절 한 재료 로부터 형성 될 수 도 있 다 .