제 1 에어 실 ( 190 ) 에 가해진 수직 압력 ( P 1 ) 은 공 압 에 의해서 에어백 바디 ( 130 ) 에 고르 게 분산 되 어 전달 되 며 , 에어백 바디 ( 130 ) 와 주입구 ( 180 ; 도 3 참조 ) 를 통해 제 2 에어 실 ( 195 ) 에 전달 된 수직 압력 및 공 압 은 하부 에어백 ( 150 ) 내부 에서 고르 게 분산 되 어 하부 방향 으로 힘 을 가해 줘 최종 적 으로 웨이퍼 ( W ) 의 전면 에 고르 게 분산 시켜 힘 을 가해 준다 .