더우기 , 이 식각 액 조성물 을 이용 하 여 소스 / 드레 인 층 으로 사용 되 는 Mo / AlNd / Mo 를 식각 하 는 경우 에 , 도 1 d 에서 와 같이 , 상부 Mo 의 오버행 ( overhang ) 과 , AlNd 및 하부 Mo 의 언더컷 현상 이 발생 하 지 않 았 으며 , 경사각 이 50 ∼ 70 ° 의 테이퍼 를 갖 는 양호 한 프로 파일 을 나타내 었 다 .