도 1 에 도시 한 바 와 같이 종래 기판 세정 장비 의 배기 장치 는 , 상면 에 공기 유입 구 ( 11 ) 를 구비 함 과 아울러 저 면부 에 는 세 정수 와 파티클 을 배출 하 는 세 정수 배출구 ( 12 ) 를 구비 하 고 , 그 측면 부 에 는 정화 된 공기 를 배출 하 는 공기 배출구 ( 13 ) 를 포함 하 는 본체 ( 10 ) 와 , 상기 본체 ( 10 ) 를 사선 방향 으로 분할 하 되 상기 본체 ( 10 ) 의 공기 유입 구 ( 11 ) 측 을 상기 세 정수 배출구 ( 12 ) 및 공기 배출구 ( 13 ) 측 으로부터 분리 하 는 격벽 ( 20 ) 과 , 상기 격벽 ( 20 ) 에 마련 된 다수 의 통공 ( 21 ) 과 , 사이 격벽 ( 20 ) 에 의해 분할 된 영역 중 상기 공기 유입 구 ( 11 ) 를 통해 공기 가 유입 되 는 영역 에 마련 되 어 유입 된 공기 로부터 세 정수 및 파티클 을 필터 링 하 는 필터 ( 30 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .