펄스 동안 총 주 입량 과 부분 압력 이 별도 제어 될 수 있 는 펄스 화 방법 을 사용 한 시스템 구성 은 , 대면 적 기판 을 균일 하 게 에칭 하 는 것 을 보조 할 수 있 다 . 주 입량 이 공정 에서 EPC 를 결정 할 수 있 는 반면 에 , 펄스 동안 의 부분 압력 거동 은 에칭 의 균일성 을 결정 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 부분 압력 / 총 압력 펄스 화 는 연속 적 흐름 에칭 대신 에 사용 된다 . 에칭 반응물 을 반응기 내 로 펄스 화 하 면 , 반응기 내 의 대류 및 확산 이동 속도 를 증가 시킬 수 있 고 , 따라서 연속 적 흐름 ( 안정 상태 ) 에칭 공정 보다 더 등각 성 인 에칭 을 초래 할 수 있 다 .