다음 으로 , 상기 절 연막 ( 110 ) 상 에 미세 하 게 형성 된 Ru 성분 이 제거 되 도록 상기 Ru 막 ( 130 ) 이 형성 된 기판 ( 100 ) 결과물 에 대해 O 2 플 라즈 마 처리 를 수행 함 이 바람직 하 다 . 상기 O 2 플 라즈 마 처리 는 5 ∼ 2000 W 정도 의 플 라즈 마 파워 를 사용 하 여 1 ∼ 200 초 정도 동안 수행 한다 .