상기 성분 은 , 방사선 조사 ( 노광 ) 에 의해 감방 사선 성 증 감체 와 산 을 발생 하 는 성분 이 다 . 상기 성분 은 , ( a ) 감방 사선 성 산 - 증 감체 발생 제 , ( b ) 감방 사선 성 증 감체 발생 제 및 ( c ) 감방 사선 성 산 발생 제 의 3 개 의 성분 중 , ( a ) 성분 , ( a ) 내지 ( c ) 성분 중 임의 의 2 개 의 성분 , 또는 ( a ) 내지 ( c ) 성분 모두 를 함유 한다 . 즉 , 레지스 트 재료 중 에서 , 상기 ( 2 ) 성분 은 상기 ( 1 ) 베이스 성분 과 블 렌 드 되 어 있 다 . 또한 , ( a ) 감방 사선 성 산 - 증 감체 발생 제 , ( b ) 감방 사선 성 증 감체 발생 제 및 ( c ) 감방 사선 성 산 발생 제 는 , 저 분자 화합물 이 어도 되 고 , 산 및 증 감체 를 발생 하 는 기 를 갖 는 중합체 , 증 감체 를 발생 하 는 기 를 갖 는 중합체 또는 산 을 발생 하 는 기 를 갖 는 중합체 여도 된다 .