이때 , 구획 공간 ( S ) 을 기밀 하 게 구성 하 고 , 구획 공간 ( S ) 에 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 ( 가스 공급 로 ( 78 a ) 와 가스 공급원 ( 78 ) ) 나 , 구획 공간 ( S ) 을 감압 으로 배기 하 는 진공 배기 유닛 ( 79 ) 을 형성 하 고 있 기 때문 에 , 구획 공간 ( S ) 은 제 2 반 송실 ( 3 ) 과 는 독립 하 여 압력 조정 이나 가스 의 공급 / 배기 를 행할 수 있 다 . 따라서 , 이 부속 모듈 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 예비 가열 처리 이외 에 , 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 에서 진공 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 냉각 하 는 처리 나 , 웨이퍼 ( W ) 의 탈 가스 처리 등 을 행할 수 있 어 , 부속 모듈 에서 행해 지 는 처리 의 자유도 를 높일 수 있 다 . 또한 , 온도 조정기 로서 는 , 펠티에 ( peltier ) 소자 등 을 이용 할 수 도 있 다 .