상기 기판 과 게이트 절 연막 을 표면 처리 하 기 위한 플 라즈 마는 수 ㎛ 이하 의 구경 을 갖 는 개구부 를 구비 하 는 플 라즈 마 발생기 를 이용 하 여 발생 한다 . 상기 게이트 절 연막 을 표면 처리 하 기 위한 플 라즈 마 발생기 의 개구부 의 구경 이 기판 을 표면 처리 하 기 위한 플 라즈 마 발생기 의 개구부 의 구경 과 같 거나 작 은 것 이 바람직 하 다 .