입구 필터 ( 40 ) 및 제 1 내부 필터 ( 50 a ) 의 기체 를 흡입 하 는 외표 면적 은 450 ㎜ × 450 ㎜, 두께 ( 기체 가 통과 하 는 방향 에 있 어서 의 길이 ) 는 15 ㎜ 이 며 , 제 2 내부 필터 ( 50 b ) 의 외표 면적 은 450 ㎜ × 450 ㎜, 두께 는 140 ㎜ 이 며 , 제 3 내부 필터 ( 50 c ) 의 외표 면적 은 450 ㎜ × 450 ㎜, 두께 는 65 ㎜ 였 다 .