도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 본 실시 예 에서 , 상기 캐 비티 ( 151 ) 를 형성 하 는 단계 에서 , 또한 상기 영구 결합 필름 ( 155 ) 에 상기 제 2 서브 전도성 홀 ( 131 ) ( 도 11 에 도시 된 바 와 같 음 ) 과 서로 관통 되 는 제 1 서브 전도성 홀 ( 152 ) 을 형성 하 고 , 상기 제 1 서브 전도성 홀 ( 152 ) 과 상기 제 2 서브 전도성 홀 ( 131 ) 은 제 3 전도성 홀 ( 표시 되 지 않 음 ) 을 구성 한다 .