한편 , 깨 짐 판 정부 ( 32 ) 가 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 깨져 있 다고 판정 했 을 때 에 는 , 제 어부 ( 3 ) 가 열처리 장치 ( 1 ) 에 있 어서 의 처리 를 중단 한다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 깨졌 다고 판정 되 어 처리 가 중단 되 었 을 경우 에 는 , 분위기 치환 도 행해 지 지 않 으며 , 챔버 ( 6 ) 에 대한 가스 공급 및 배 기 도 정지 된다 . 또한 , 챔버 ( 6 ) 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 반 출입 하 는 반송 계 의 동작 도 정지 한다 . 또한 , 제 어부 ( 3 ) 가 표시 부 ( 33 ) 에 웨이퍼 깨 짐 발생 의 경고 를 발보 하 도록 해도 된다 . 이것 에 의해 , 깨진 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 파편 은 , 깨 짐 에 의해 발생 한 파티클 과 함께 , 밀폐 공간 인 챔버 ( 6 ) 내 에 갇힌다 .