유사 하 게 , 제 3 서브 검사선 ( STL 3 ) 은 제 1 도전 층 ( L 1 ) 에 형성 된 제 1 서브 부분 검사선 ( STL 3 - 1 ) 및 제 3 도전 층 ( L 3 ) 에 형성 된 제 2 서브 부분 검사선 ( STL 3 - 2 ) 를 포함 하 고 , 제 1 서브 부분 검사선 ( STL 3 - 1 ) 및 제 2 서브 부분 검사선 ( STL 3 - 2 ) 은 제 2 비아 ( VIA 2 ) 를 통해 연결 될 수 있 다 . 즉 , 제 3 서브 검사선 ( STL 3 ) 은 제 1 도전 층 ( L 1 ) 및 제 3 도전 층 ( L 3 ) 을 경유 하 여 형성 될 수 있 다 .