배기 장치 ( 500 ) 와 연결 되 어 유해 물질 입자 를 흡입 배출 하 는 입자 배출 모듈 ( 300 ) 은 고진공 압 으로 작동 하 는 것 이 아니 라 저 진공 압 으로 작동 하 여 유해 물질 입자 가 노출 챔버 ( 101 ) 에서 충분히 확산 되 도록 구성 된다 . 따라서 , 배기 장치 ( 500 ) 와 연결 되 는 배출 파이프 ( 310 ) 의 일단 으로부터 타단 까지 동일 한 진공 압 이 전달 되 지 않 고 , 이 와 더불 어 배출 파이프 ( 310 ) 의 내부 에서 유동 저항 등 이 발생 하 게 되 므로 , 배출 파이프 ( 310 ) 의 전체 구간 에서 유동 속도 가 동일 하 게 나타나 지 않 는다 . 즉 , 배출 파이프 ( 310 ) 의 일단 에서 는 상대 적 으로 유동 속도 가 빠르 고 타단 에서 는 유동 속도 가 느리 게 나타난다 . 이러 한 현상 은 배출 파이프 ( 310 ) 가 동일 한 내부 직경 을 갖 는 상태 에서 나타난다 . 따라서 , 동일 한 내부 직경 을 갖 는 배출 파이프 ( 310 ) 에 대해 길 이 방향 을 따라 복수 개 의 흡입 배출 포트 ( 320 ) 를 형성 하 게 되 면 , 각각 의 흡입 배출 포트 ( 320 ) 에 작용 하 는 흡입 압력 이 달라 유해 물질 입자 에 대한 흡입 유량 이 서로 다르 게 나타날 수 있 다 . 특히 , 배출 파이프 ( 310 ) 의 타단 ( 배기 장치 ( 500 ) 와 연결 되 는 일단 의 반대쪽 끝단 ) 쪽 에 위치 한 흡입 배출 포트 ( 320 ) 의 흡입 유량 이 상대 적 으로 작 을 수 있 다 .