불소 함유 TiO 2 - SiO 2 유리 는 상기 한 OH 함유 TiO 2 - SiO 2 유리 와 마찬가지 로 수트 법 또는 직접법 을 사용 해서 제조 할 수 있 다 . 그러나 , 수트 법 에 있 어서 , 유리 형성 원료 로 사용 되 는 Si 전구체 와 Ti 전구체 로서 불소 함유 물질 을 사용 하 거나 , 또는 Si 전구체 와 Ti 전구체 를 불소 함유 분위기 에서 화염 가수 분해 혹은 열 분 해 시켜서 불소 함유 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 얻 고 , 이 로써 불소 함유 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 얻 는다 . 또한 , 직접법 에서 , 유리 형성 원료 로서 사용 되 는 Si 전구체 와 Ti 전구체 로서 불소 함유 물질 을 사용 하 거나 , 또는 Si 전구체 와 Ti 전구체 를 불소 함유 분위기 에서 1 , 800 내지 2 , 000 ℃ 의 산수소 화염 으로 가수 분해 및 산화 시키 고 , 이 로써 불소 함유 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 얻 는다 .