처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 의 밸브 ( 261 a , 261 b ) 보다 하류 측 으로서 , 불활성 가스 공급 관 ( 232 c , 232 d ) 과 의 접속 부 보다 하류 측 에 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 를 클리닝 하 는 클리닝 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 하 는 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e , 232 f ) 이 각각 접속 된다 . 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e ) 의 처리 가스 공급 관 ( 232 a ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( 241 e ) 를 개재 하 여 , 클리닝 가스 공급원 으로서 의 F 2 가스 공급원 ( 274 ) 이 접속 된다 . 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e ) 의 MFC ( 241 e ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 e , 261 e ) 가 설치 된다 . 클리닝 가스 공급 관 ( 232 f ) 의 처리 가스 공급 관 ( 232 b ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( 241 f ) 를 개재 하 여 F 2 가스 공급원 ( 274 ) 이 접속 된다 . 정확 하 게 는 , 클리닝 가스 공급 관 ( 232 f ) 의 상류 측 은 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e ) 의 밸브 ( 262 e ) 보다 상류 측 에 접속 되 고 , 클리닝 가스 공급 관 ( 232 f ) 은 밸브 ( 262 e ) 보다 상류 측 에서 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e ) 으로부터 분기 하 도록 설치 된다 . 클리닝 가스 공급 관 ( 232 f ) 의 MFC ( 241 f ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 f , 261 f ) 가 설치 된다 . 주로 클리닝 가스 공급 관 ( 232 e , 232 f ) , MFC ( 241 e , 241 f ) , 밸브 ( 262 e , 261 e , 262 f , 261 f ) , F 2 가스 공급원 ( 274 ) 에 의해 클리닝 가스 공급계 가 구성 된다 .