예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 기판 ( 110 ) 상 에 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 보다 더 큰 폭 을 갖 는 광폭 희생 게이트 ( wide sacrificial gate ) ( 도시 생략 ) 가 더 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 상기 광폭 희생 게이트 는 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 보다 제 1 방향 ( 도 4 의 X 방향 ) 을 따른 폭 이 더 클 수 있 다 . 또는 핀 형 활성 영역 ( FA 1 ) 과 상기 광폭 희생 게이트 사이 의 접촉 면적 이 핀 형 활성 영역 ( FA 1 ) 과 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 사이 의 접촉 면적 보다 더 클 수 있 다 . 상기 광폭 희생 게이트 는 예 를 들 어 고전압 용 트랜지스터 를 위한 희생 게이 트일 수 있 다 .