이후 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 에 장착 된 감광액 노즐 들 ( 442 a , 442 b ) 중 어느 하나 의 감광액 노즐 ( 442 a ) 을 이용 하 여 기판 ( W ) 상 에 감광액 을 토출 한다 . 이때 , 기판 ( W ) 은 회전 하 고 있 다 . 감광액 노즐 ( 442 a ) 을 통한 감광액 의 토출 이 완료 되 면 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 은 대기 포트 ( 480 ) 의 대기 위치 로 이동 한다 . 감광액 노즐 들 ( 442 a , 442 b ) 과 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 은 , 도 15 에 도시 된 바 와 같이 , 대기 포트 ( 480 ) 에 제공 된 노즐 수용 공간 들 ( 482 a , 482 b , 482 c ) 에 수용 된다 . 노즐 수용 공간 ( 482 a , 482 c ) 에 는 감광액 이 채워 지 지 않 고 , 노즐 수용 공간 ( 482 b ) 에 는 감광액 이 채워진다 . 감광액 을 토출 한 감광액 노즐 ( 442 a ) 내 의 감광액 은 제 1 흡입 부재 ( 도 8 의 도면 참조 번호 453 a ) 의 흡입 작용 에 의해 토출 방향 의 반대 방향 으로 후퇴 한다 . 노즐 수용 공간 들 ( 482 a , 482 b , 482 c ) 에 수용 된 노즐 들 ( 442 a , 442 b , 442 c ) 중 감광액 을 토출 하 는 도포 공정 에 사용 된 감광액 노즐 ( 442 a ) 과 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 은 공기 중 에 노출 된 상태 로 유지 된다 . 그리고 감광액 도포 공정 에 사용 되 지 않 은 감광액 노즐 ( 442 b ) 의 선단 은 유기 용제 내 에 잠긴다 . 이 는 일정 시간 동안 사용 되 지 않 은 감광액 노즐 ( 442 c ) 내 의 감광액 이 공기 와 접촉 하 여 경화 되 는 것 을 방지 하 기 위함 이 다 .