에피택시 프로세스 후 에 , 에피택시 영역 ( 142 , 242 ) 은 또한 n - 형 불순물 및 p - 형 불순물 이 각각 주입 될 수 도 있 어 , 도면 부호 142 및 242 를 각각 사용 하 여 또한 나타내 는 소스 영역 및 드레 인 영역 을 형성 한다 . 본 개시 내용 의 대안 적 인 실시 예 에 따르 면 , 주입 프로세스 는 에피택시 영역 ( 142 , 242 ) 이 에피택시 중 에 n - 형 및 p - 형 불순물 로 인 - 시튜 도핑 될 때 스킵 된다 .