예 를 들 어 , 도 4 를 참조 하 면 도 4 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 , 히터 일체 형 플 라즈 마 방전 소자 의 구성 을 예시 적 으로 나타낸 것 으로 , 도 4 의 ( a ) 는 상기 히터 일체 형 플 라즈 마 방전 소자 의 일면 을 나타낸 것 으로 , 사파이어 기판 ( 100 ) 상 에 메 쉬 형 전극 층 ( 110 ) 이 형성 되 고 , 도 4 의 ( b ) 는 상기 히터 일체 형 플 라즈 마 방전 소자 의 타면 을 나타낸 것 으로 , 사파이어 기판 ( 100 ) 상 에 단면 형 전극 층 ( 210 ) 이 형성 되 고 , 단면 형 전극 층 ( 210 ) 상 에 절연 층 ( 220 ) 및 절연 층 ( 220 ) 상 에 순차 적 으로 발열 전극 층 ( 230 ) 이 적층 된 것 일 수 있 다 .