또한 , 본 발명 에서 의 상기 핀 하우징 은 , 원통 형상 으로 중심부 에 상기 리프트 핀 의 외경 과 상응 한 내경 을 갖 고 외주 면 하단 에 상단 직경 보다 확대 되 어 플랜지 형상 의 확 장부 가 형성 되 며 상단 외주 면 에서부터 시작 하 여 확 장부 둘레 면 까지 방사상 으로 절곡 형상 의 홈 부 가 형성 됨 으로써 , 상기 핀 하우징 의 확 장부 가 하부 전극 의 저면 에 밀착 하 여도 상기 홈 부 가 상기 확 장부 와 외주 면 에 일체 로 형성 되 어 홈 부 를 따라 가스 및 에어 가 기판 과 하부 전극 사이 에 공급 되 므로 바람직 하 다 .