상기 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 의 분진 차단 기능 을 가진 에이치 빔 인출 용 이형제 도포 장치 는 에이치 빔 의 상부 면 을 따라 활주 하 는 본 체부 와 , 상기 본 체부 에 설치 되 어 에이치 빔 의 상부 면 에 이 형제 를 분무 하 는 중앙 노즐 와 , 하부 가 개방 되 고 상기 중앙 노즐 을 감싸 도록 상기 본 체부 의 전방 에 설치 되 어 상기 중앙 노즐 로부터 발생 되 는 이형제 분진 이 대기 중 으로 확산 되 는 것 을 차단 하 는 분진 차단 커버 를 포함 한다 .