도 3 에 있 어서 , 201 은 챔버 , 202 는 챔버 내벽 을 피복 하 여 보호 하 는 중공 통 형상 의 라이너 , 203 a , 203 b 는 챔버 를 냉각 시키 는 냉각수 의 유로 , 20 은 ClF 3 가스 를 도입 하 는 도입 구 , 21 은 반응 후 의 ClF 3 가스 의 배기구 , S 는 서 셉 터 , 208 은 지지 부 ( 도시 생략 ) 에 지지 되 어 서 셉 터 ( S ) 를 가열 하 는 히터 , 209 는 챔버 ( 201 ) 의 상하부 를 연결 하 는 플랜 지부 , 210 은 플랜 지부 ( 209 ) 를 시일 하 는 패킹 , 211 은 배기구 ( 21 ) 와 배관 을 연결 하 는 플랜 지부 , 212 는 플랜 지부 ( 211 ) 를 시일 하 는 패킹 이 다 .