도 5 c 를 참조 하 면 , 채널 홀 ( CHH ) 내 의 노출 되 는 복수 의 절 연막 ( 110 ) 및 복수 의 희생 막 ( PL ) 의 표면 을 덮 는 블로킹 유전 막 ( 125 ) 을 형성 한다 . 블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 복수 의 희생 막 ( PL ) 및 복수 의 절 연막 ( 110 ) 을 덮 으며 제 3 방향 ( Z 방향 ) 을 따라 굴곡 을 가지 며 연장 되 며 , 복수 의 절 연막 ( 110 ) 의 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 에 향하 는 제 1 홈 ( GR 1 ) 을 가지 도록 형성 될 수 있 다 . 블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 복수 의 희생 막 ( PL ) 의 상면 과 저면 의 일부분 , 및 측벽 ( PLS ) 과 복수 의 절 연막 ( 110 ) 의 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 을 대체 적 으로 컨 포 멀 하 게 덮 을 수 있 다 .