처음 에 , 제 1 수납 케이스 적 재 대 ( 6 ) 에 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 수납 한 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 가 적재 되 고 , 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 상 에 빈 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 가 적재 된다 . 이어서 , 반송 부 ( 9 ) 를 구동 하 여 제 3 아암 ( 17 c ) 의 2 갈래 형상 의 선 단부 부분 을 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 내 에 삽입 하 고 , 반송 하 는 1 매 의 웨이퍼 ( 1 ) 의 이면 ( 1 b ) 에 지지 부 ( 18 ) 를 접촉 시켜 지 지 부 ( 18 ) 에 웨이퍼 ( 1 ) 를 흡착 보유 지지 시킨다 .