기판 컨테이너 ( 100 ) 에 탑재 된 기판 ( 102 ) 은 화살표 로 표시 한 바 와 같이 제 1 이송 로봇 ( 304 ) 을 이용 하 여 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 기판 스테이지 ( 306 ) 로 로딩 될 수 있 다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 에 탑재 된 기판 ( 102 ) 은 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 되 기 때문 에 기판 스테이지 ( 306 ) 는 반도체 제조 장치 ( 1 ) 에서 필요 한 구성 요소 일 수 있 다 . 아울러서 , 공정 챔버 ( 700 ) 로부터 제조 공정 이 완료 된 기판 ( 102 ) 도 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 되 기 때문 에 기판 스테이지 ( 306 ) 는 반도체 제조 장치 ( 1 ) 에서 필요 한 구성 요소 일 수 있 다 .