도 5 및 도 6 은 스테이지 장치 또는 리소그래피 장치 에서 적용 될 수 있 는 장착 디바이스 및 측정 시스템 의 일 실시 예의 측면 도 및 저 면도 를 나타내 며 , 상기 측정 시스템 은 일반 적 으로 참조 번호 ( 1 ) 로 도시 된다 . 측정 시스템 ( 1 ) 은 소위 메트 롤 로지 프레임 또는 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에 대해 기판 ( 2 a ) 을 지지 하 는 기판 스테이지 ( 2 ) , 일반 적 으로 는 대상물 테이블 의 위치 를 측정 하 도록 구성 된다 . 메트로 - 프레임 ( 3 ) 은 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 이 고 , 여기 에 렌즈 기둥 ( 4 ) 일반 적 으로 는 투영 시스템 이 장착 된다 . 이 에 대해 , 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 은 실질 적 으로 정지상 태인 위치 에 수동 적 으로 또는 능동 적 으로 유지 되 는 여 하한 의 프레임 일 수 있 다는 것 을 주의 한다 . 종래 리소그래피 장치 의 메트로 - 프레임 ( 3 ) 은 , 작업 현장 에서 의 진동 과 같 은 여 하한 의 외 적 외란 들 을 제거 하 기 위해 수동 또는 능동 에어 - 마운트 ( air - mount ) 들 을 이용 하 여 베이스 프레임 에 장착 된다 . 이 방식 으로 , 렌즈 기둥 은 실질 적 으로 정지상 태인 위치 에 유지 된다 . 기판 스테이지 의 스캐닝 이동 시 , 렌즈 기둥 에 대한 기판 스테이지 의 위치 를 아 는 것 이 바람직 하 다 . 그러므로 , 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에 대한 기판 스테이지 의 위치 가 결정 될 수 있 는 위치 측정 시스템 ( 1 ) 이 제공 된다 .