진공 장비 전문 업체 인 ATS 엔지니어링 ( 대표 김경수 ) 은 업계 최초 로 11 세대 이상 LCD 및 태양광 장비 에 적용 가능 한 ‘ 진공 게이트 밸브 ( Vacuum Gate Valve ) ’ 를 개발 , 시험 공급 을 완료 했 다고 29 일 밝혔 다 . 　 진공 게이트 밸브 는 LCD , 태양광 , 유기 발광 다이오드 ( OLED ) 용 패널 주요 공정 인 식각 및 증착 이 이뤄지는 진공 챔버 ( Chamber ) 를 밀폐 시키 는 문 이 다 . 공정 안정 성 을 위해 밀폐 성 과 내 화학 성 및 내 플 라즈 마 성질 이 높 고 , 미세 공정 에 부응 하 기 위해 미세먼지 생성 도 억제 돼야 한다 . 초대면 적 화 가 요구 되 는 LCD 업체 수요 에 대응 하 기 위해 초대 형 ( 4000 ㎜) 문 이 10 초 이내 에 빨리 열리 고 닫 혀야 해 높 은 기술 수준 이 요구 된다 . 　 ATS 엔지니어링 측 은 지난 2005 년 7 세대 급 게이트 밸브 국산화 에 성공 , 일본 및 스위스 등 에서 수입 하 던 제품 을 대체 해 왔 다고 밝혔 다 . 또 계속 대형 화 되 고 있 는 진공 장비 시장 에 향후 5 년 이상 대응 할 수 있 는 초대 형 사이즈 게이트 밸브 를 개발 함 으로써 , 차별 적 인 경쟁력 을 확보 했 다고 덧붙였 다 . 　 김경수 사장 은 “ 초대 형 진공 게이트 밸브 개발 을 바탕 으로 내년 부터 LCD , OLED 및 태양광 으로 적용 범위 를 확대 할 계획 ” 이 라며 “ 합리 적 인 가격 과 빠른 고객 서비스 로 부품 국산화 에 일조 할 것 ” 이 라고 말 했 다 . 　 LCD 용 진공 게이트 밸브 시장 은 올해 7000 만 달러 ( 약 775 억 원 ) 에 달하 며 매년 4 % 이상 성장 할 전망 이 다 . 양종석 기자 jsyang @ etnews . com [ HOT 이슈 ] ㆍ현금 다음 으로 좋 은 추석 선물 은 ? ㆍ KT 이석채 " 예정 대로 9 월 에 2 G 종료 . .. 복안 있 다 " ㆍ삼성 , 갤럭시 탭 10 . 1 호 주 판매 보류 , 결국 9 월 말 로 연장 . .. 출시 차질 계속 ㆍ카카오톡 대항마 삼성 ` 챗온 ` 마침내 공개 . .. 10 월 부터 정식 서비스 ' No . 1 IT 포털 ETNEWS ' Copyright ⓒ 전자 신문 & 전자 신문 인터넷 , 무단 전재 및 재 배포 금지