로드 락 챔버 ( 300 ) 에 는 내부 공간 ( 302 ) 에 제 1 이송 로봇 ( 304 ) 및 기판 스테이지 ( 306 ) 가 위치 할 수 있 다 . 제 1 이송 로봇 ( 304 ) 은 복수 개 의 로봇 핸드 들 ( 312 ) , 지지 부 ( 314 ) , 로봇 암 ( 316 ) 및 회전축 ( 318 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 이송 로봇 ( 304 ) 은 상하 , 즉 Z 축 방향 이나 회전 방향 , 즉 X 축 이나 Y 축 방향 으로 이동 될 수 있 다 .