도 1 은 순차 적 μ CP 와 DFGP 에 의해 마이크 로 패턴 을 생성 하 는 절차 를 나타낸다 . 포토 리소그래피 를 사용 하 여 μ CP 용 PDMS 스탬프 의 마스터 몰드 ( master mould ) 를 만들 었 다 . 감광성 유기 폴리머 ( 포토레지스트 ) 의 박막 을 UV 광 에 선택 적 으로 노출 시켜 반대 의 ( inverse ) 마스터 몰드 를 생성 함 으로써 실리콘 웨이퍼 의 마이크 로 패턴 을 만들 었 다 . 릴리프 마이크 로 구조 의 종횡비 ( 길 이 또는 반경 / 높이 ) 는 스탬프 의 기계 적 왜곡 에 의한 인쇄 중 압축력 에 견딜 수 있 도록 1 . 4 ( 원형 패턴 : 직경 70 μ m 및 높이 50 μ m ) 로 하 였 다 . 다음 으로 , 도 1 에 나타난 바 와 같이 , 순차 적 μ CP - DFGP 방식 으로 패턴 화 된 표면 을 제조 하 였 다 . 1 차 잉크 패 터닝 에 앞서 , PDMS 스탬프 를 플루오레세인 이소 티오시 아 네이트 ( FITC ) - 표지 된 BSA ( FITC - BSA ) 에 담근 후 유리 슬라이드 위 에 5 분 동안 놓 아 두 었 다 . 그 후 , PDMS 스탬프 를 진공 데시케이터 에서 15 분 동안 탈기 시키 고 , 패 시베이 션 ( passivation ) 을 위한 2 차 잉크 를 마이크 로 피펫 으로 주입구 의 시작 부분 에 분배 하 였 다 . 1 시간 인 큐 베이 션 한 후 , PDMS 스탬프 를 제거 하 고 3 번 헹구 었 다 . 그 다음 , 패턴 화 된 유리 를 형광 현미경 으로 관찰 하 였 다 . μ CP - DFGP 에 는 두 가지 상호 작용 이 중요 하 다 . 하나 는 PDMS 스탬프 와 1 차 잉크 간 의 상호 작용 이 고 , 다른 하나 는 잉크 와 기판 사이 의 접착 이 다 . 개질 되 지 않 은 PDMS 는 매우 소수성 이 기 때문 에 , PDMS 로부터 기판 으로 1 차 잉크 가 용이 하 게 전달 되게 하 기 위하 여 PDMS 의 소수성 표면 을 산소 플 라즈 마 처리 에 의해 친수성 표면 으로 쉽 게 개질 하 였 다 . 또한 , 본 발명 에서 는 PDMS 의 고유 한 특성 인 , 모세 관력 - 구동 흐름 을 위한 기판 의 표면 변형 없이 유체 를 작동 시키 는 가스 의 용해도 를 기반 으로 한 DFGP 기술 을 채용 하 였 다 .