한편 , 도 10 은 메 쉬 값 의 제 1 그라인더 로 만 평탄 화 를 수행 한 질화 갈륨 기판 을 평탄 화 하 는 과정 에서 기판 을 그라인더 에 대하 여 접근 시키 는 공급 속도 에 따른 표면 거칠 기 의 관계 를 보여 주 는 그래프 이 다 . 특히 , 도 10 은 270 메 쉬 값 의 그라인더 로 그라인딩 하 는 과정 에서 질화 갈륨 기판 을 그라인더 표면 에 대하 여 접근 시키 는 속도 또는 그라인더 표면 을 질화 갈륨 기판 의 표면 에 접근 시키 는 속도 ( feed rate ) 에 따른 표면 거칠 기 를 도시 하고 있 다 .