그 다음 에 는 , 제 1 및 제 2 트렌치 ( 125 , 160 ) 를 매립 하 는 제 1 산화 막 층 ( 170 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 산화 막 층 ( 170 ) 은 SOD ( Spin - on - dielectric ) 산화 막 , HDP ( High density plasma ) 산화 막 또는 이 들 의 조합 중 선택 된 어느 하나 로 형성 하 며 , 5000 ~ 7000 Å 의 두께 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .