상기 연마 공정 은 , 1 액 식 연마제 를 사용 하 여 , 산화 규소 막 중 적어도 일부 를 연마 하 여 제거 하 는 공정 이 라도 되 고 , 복수 액 식 연마제 에 있 어서 의 슬러리 와 첨 가액 을 혼합 하 여 얻 어 지 는 연마제 를 사용 하 여 , 산화 규소 막 중 적어도 일부 를 연마 하 여 제거 하 는 공정 이 라도 되 고 , 연마제 용 저장액 을 물 로 희석 하 여 얻 어 지 는 연마제 를 사용 하 여 산화 규소 막 중 적어도 일부 를 연마 하 여 제거 하 는 공정 이 라도 된다 .