이 분리 에 의해 , 도 3 , 9 및 및 10 의 발명 에 따르 는 동공 형성 유닛 , 도 4 내지 8 및 16 내지 27 의 발명 에 따르 는 광학 시스템 , 및 도 11 내지 14 의 발명 에 따르 는 광학 조절 유닛 을 갖 는 투사 노광 장치 에 의해 생성 되 는 오브젝트 필드 포인트 의 출사 동공 내 의 강도 분포 가 , 중심 각도 값 , 타원 율 및 폴 밸런스 에 대해 원 하 는 강도 분포 로부터 약간 만 벗어나 는 것 이 가능 해진다 .