또한 , 한 쌍 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 은 회전 용기 ( 20 ) 상 에 수용 된 분체 ( S ) 의 표면 에서부터 50 ㎜ 이상 200 ㎜ 이하 이격 되 어 있 을 수 있 다 . 물론 , 분체 ( S ) 의 표면 은 회전 용기 ( 20 ) 에 수용 되 는 분체 ( S ) 의 양 에 따라 회전 용기 ( 20 ) 내 주면 에서부터 의 높이 가 달라지 며 , 따라서 본 명세서 에서 는 증착 원 ( 41 , 42 ) 의 위치 를 분체 ( S ) 표면 에서부터 의 거리 로 설명 한다 .