또한 본 실시 형태 에서 는 , 후술 하 는 세 컨 더리 얼라이먼트 계 의 베이스 라인 계 측시 등 에 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 , AL 24 ) 에 X 축 방향 에서 인접 하 는 Y 헤드 ( 673 , 682 ) 가 FD 바 ( 46 ) 의 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 각각 대향 하 고 , 그 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 대향 하 는 Y 헤드 ( 673 , 682 ) 에 의해 , FD 바 ( 46 ) 의 Y 위치 가 각각 의 기준 격자 ( 52 ) 의 위치 에서 계측 된다 . 이하 에서 는 , 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 에 각각 대향 하 는 Y 헤드 ( 673 , 682 ) 에 의해 구성 되 는 인코더 를 Y 인코더 ( 70 E 2 , 70 F 2 ) 라고 하 며 , 이것 과 의 식별 을 위해서 전술 한 Y 스케일 ( 39 Y 2 , 39 Y 1 ) 에 대향 하 는 Y 헤드 ( 67 , 68 ) 에 의해 구성 되 는 Y 인코더 ( 70 E , 70 F ) 를 Y 인코더 ( 70 E 1 , 70 F 1 ) 라고 한다 .