진공 펌프 장치 ( 3 ) 의 진공 흡인 프로세스 에서 , 어떠 한 가스 도 챔버 에 공급 되 지 않 기 때문 에 , 진공 흡인 의 작동 프로세스 는 제조 장치 ( 1 ) 로부터 제어기 ( 6 ) 내 에 입력 되 고 , 가스 공급 이 없 고 공급 가스 의 유량 이 0 인 정보 가 제어기 ( 6 ) 에 입력 된다 . 다음 에 , 가스 가 챔버 에 공급 될 때 , 작동 프로세스 , 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 의 정보 가 제조 장치 ( 1 ) 로부터 제어기 ( 6 ) 내 로 입력 된다 . 가스 를 챔버 로 공급 하 는 프로세스 에서 , 제어기 ( 6 ) 는 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 에 따라 진공 펌프 장치 ( 3 ) 내 의 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 회전 속도 의 자동 제어 를 수행 한다 . 따라서 , 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 는 챔버 내 의 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 에 응답 하 여 최적 펌핑 능력 에서 작동 될 수 있 다 . 따라서 , 진공 펌프 장치 ( 3 ) 내 의 전력 소비 가 감소 될 수 있 고 , 에너지 절약 이 성취 될 수 있 다 . 제어기 ( 6 ) 대신 에 , 제조 장치 ( 1 ) 로부터 의 정보 는 진공 펌프 장치 ( 3 ) 를 개별 적 으로 제어 하 기 위한 제어기 내 로 입력 되 어 진공 펌프 장치 ( 3 ) 의 회전 속도 를 제어 할 수 도 있 다 .