다음 으로 , 상기 제 1 , 제 2 전극 라인 ( 141 ) ( 142 ) 및 제 1 , 제 2 확산 층 ( 121 ) ( 122 ) 과 연결 되 도록 상기 제 1 , 제 2 관통 홀 ( 431 ) ( 432 ) 내부 하측 및 서브 마운트 기판 ( 100 ) 하부 에 상기 C 1 , C 2 영역 사이 의 영역 에서 상호 이격 된 제 1 전극 단자 ( 151 ) 및 제 2 전극 단자 ( 152 ) 를 형성 한다 ( 도 7 e ) .