또한 , 코발트 금속 층 의 퇴적 속도 는 원료 화합물 의 공급 조건 ( 예 들 들 면 , 기화 온도 및 기화 압력 ) , 반응 온도 , 반응 압력 등 을 조절 하 여 제어 할 수 있 다 . 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 코발트 금속 층 의 선택 적 형성 방법 에 있 어서 , 코발트 금속 층 의 퇴적 속도 는 약 0 . 01 nm / 분 내지 약 100 nm / 분 , 예 를 들 면 약 1 nm / 분 내지 약 50 nm / 분 의 범위 내 에서 선택 될 수 있 으나 , 상기 예시 된 바 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .