본 발명 의 실시 예 들 에 있 어서 , 희생 막 ( 114 ) 은 애 싱 ( ashing ) 공정 및 스트립 핑 ( stripping ) 공정 으로 제거 될 수 있 다 . 상기 애 싱 공정 에 있 어서 , 희생 막 ( 114 ) 은 연소 되 어 기상 형태 로 제거 되 며 , 플라 즈 마를 이용 할 수 있 다 . 상기 스트립 핑 공정 에 있 어서 , 상기 애 싱 공정 후 잔류 하 는 희생 막 ( 114 ) 을 식각 용액 을 이용 하 여 제거 한다 .