도 1 을 참조 하 면 , 스핀들 ( 40 ) 은 스핀들 ( 40 ) 의 중심축 ( 42 ) 이 위 방향 및 아래 방향 으로 연장 되 도록 그 챔버 내 에 배열 된다 . 스핀 들 이 중심축 ( 42 ) 에 대하 여 회전 할 수 있 도록 , 스핀 들 이 베어링 들 및 씰 들 을 결합 한 통상 적 인 회전 통과 디바이스 ( rotary pass - through device ) ( 44 ) 에 의해 챔버 에 장착 되 고 , 챔버 ( 12 ) 의 기저 플레이트 ( 24 ) 와 스핀들 ( 40 ) 사이 에 씰 을 유지 한다 . 스핀들 ( 40 ) 은 그 최 상부 단부 , 즉 기체 인입 매 니 폭 드 ( 14 ) 에 최근 접한 스핀 들 의 단부 에서 피팅 ( fitting ) ( 46 ) 을 구비 한다 . 피팅 ( 46 ) 은 웨이퍼 캐리어 ( 50 ) 를 착 탈 가능 하 게 ( releasably ) 인 게 이징 ( engage ) 하 도록 조절 된다 . 도시 된 특정 실시 예 에서 , 피팅 ( 46 ) 은 스핀들 ( 40 ) 의 최 상부 단부 를 향하 여 테이퍼 링 하 고 평탄 한 최 상부 표면 을 종결 하 는 일반 적 인 원뿔대 요소 ( frustoconical element ) 이 다 .