본 명세서 에서 ' 기판 ' 또는 ' 반도체 기판 ' 또는 ' 반도체 층 ' 은 실리콘 표면 을 가지 는 임의 의 반도체 기반 구조 ( semiconductor based structure ) 를 가리킬 수 있 다 . 또 , 임의 의 도전 영역 그리고 / 또는 절연 영역 이 형성 된 반도체 기반 구조 를 가리킬 수 있 다 . 이 와 같 은 반도체 기반 구조 는 예 를 들 어 실리콘 , 절연체 상 의 실리콘 ( SOI ) , 실리콘 - 게르마늄 ( SiGe ) , 게르마늄 , 갈륨 - 아세 나 이드 ( GaAs ) , 도핑 또는 도핑 되 지 않 은 실리콘 , 반도체 구조 에 의해 지지 가 되 는 실리콘 에피 탁 시얼 층 , 또는 다른 임의 의 반도체 구조물 들 을 가리킬 수 있 다 .