정 얼라인 되 었 을 때 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 406 a ) 은 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 404 ) 의 중심 부위 에 위치 한다 . 그러나 , 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 404 ) 은 좌 , 우로 1 . 5 F 씩 의 미스 얼라 인 마진 을 가지 므로 , 상기 미스 얼라 인 마진 내 의 범위 에서 좌우 로 미스 얼라인 되 더라도 불량 이 발생 되 지 않 는다 .