ID 블록 ( 2 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 예 를 들 면 오프너 ( 11 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 꺼낸다 . 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 꺼낸 기판 ( W ) 을 예 를 들 면 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 이 송부 ( SN 1 ) 에 반송 한다 . 이 에 의해 , 처리 층 ( A 1 ) 이 기판 ( W ) 을 수취 하 는 것 이 가능 한 상태 로 만든 다 .