한편 , 도 4 b 에서 는 분리 작업 시 리프트 핀 ( 110 ) 과 분사 노즐 ( 121 ) 의 가동 이 동시 에 개시 되 는 경우 를 예시 하 였 는데 , 이 를 순차 적 으로 가동 하 며 운용 할 수 도 있 다 . 즉 , 도 5 a 에 도시 된 바 와 같이 리프트 핀 ( 110 ) 은 그대로 두 고 먼저 분사 노즐 ( 121 ) 만 가동 하 여 유체 압력 에 의해 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 300 ) 에서 약간 이격 되 도록 한다 . 그리고 나 서 , 도 5 b 와 같이 리프트 핀 ( 110 ) 을 상승 시켜서 푸싱 압력 을 더 하 여 완전히 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 300 ) 에서 떨어지 게 하 는 것 이 다 . 따라서 , 이 와 같이 리프트 핀 ( 110 ) 과 분사 노즐 ( 121 ) 가동 의 개시 시점 을 시간 차 를 두 고 운용 할 수 도 있 다 . 물론 , 반대 로 리프트 핀 ( 110 ) 을 먼저 가동 하 고 분사 노즐 ( 121 ) 을 나중 에 가동 할 수 도 있 다 .