도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 증착 챔버 ( 46 ) 는 기판 상 에 유기 박막 을 증착 하 는 공정 이 진행 되 는 공간 을 제공 한다 . 증착 챔버 ( 46 ) 의 내측 에 는 증착 챔버 들 ( 46 ) 간 또는 증착 챔버 ( 46 ) 내 에서 기판 ( S 1 , S 2 ) 을 이동 시키 는 기판 이송 유닛 ( 200 ) 이 설치 된다 . 증착 챔버 ( 46 ) 내 의 기판 이송 유닛 ( 200 ) 과 마주 보 는 위치 에 는 기판 ( S 1 , S 2 ) 의 증착 면 으로 유기 물질 을 공급 하 는 선형 의 유기 물질 증착 원 ( 100 ) 이 설치 된다 . 선형 증착 원 ( 100 ) 은 증착 챔버 ( 46 ) 의 도어 ( 47 ) 내벽 에 설치 될 수 있 다 . 선형 증착 원 ( 100 ) 이 도어 ( 47 ) 내벽 에 고정 설치 되 고 , 기판 ( S 1 , S 2 ) 이 기판 이송 유닛 ( 200 ) 에 의해 도 1 의 지면 에 수직 한 방향 으로 이동 하 면서 기판 의 증착 면 에 유기 박막 을 증착 하 는 공정 이 진행 된다 .