집 적 회로 ( 100 ) 는 기판 의 제 2 표면 ( 106 ) 상 에 형성 된 하부 BEOL 부분 ( 112 ) 을 더 포함 한다 . 상부 BEOL 부분 ( 110 ) 과 유사 하 게 , 하부 BEOL 부분 ( 112 ) 은 금속 배선 층 , 유전체 층 및 도전 성 비아 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 외부 적 으로 접근 가능 한 단자 는 집 적 회로 ( 100 ) 의 하부 측 에서 전기 적 연결 을 제공 하 기 위해 하부 BEOL 부분 ( 112 ) 의 외측 에 제공 될 수 있 다 . 도시 된 예 에서 , 외부 적 으로 접근 가능 한 기준 전위 단자 ( 120 ) 는 하부 BEOL 부분 ( 112 ) 을 통해 제 2 표면 ( 106 ) 레벨 제어 단자 기준 전위 단자 ( 122 ) 에 전기 적 으로 연결 된다 .