( 2 ) 또한 , 청구 항 1 에 기재 된 발명 에 따르 면 , 스무 딩 처리 블록 내 에 발생 하 는 용제 증기 의 분위기 ( 용제 분위기 ) 가 반 출입 블록 내 로 누설 되 는 것 을 방지 할 수 있 기 때문 에 , 상기 ( 1 ) 에 더 하 여 , 스무 딩 처리 유닛 의 도포 · 현상 처리 유닛 에 의 통합 을 더욱 용이 하 게 할 수 있 고 , 장치 의 신뢰 성 의 향상 을 도모 할 수 있 다 .