도 3 a 및 3 b 는 반도체 재료 층 을 처리 하 기 위한 시스템 을 위한 광학 시스템 ( 30 ) 을 개략 적 으로 도시 하고 있 으며 , 상기 광학 시스템 ( 30 ) 에 의해 평평 한 프로 파일 을 가진 조명 라인 ( 14 ) 이 x - 방향 및 y - 방향 으로 , 즉 조명 라인 ( 14 ) 의 단축 및 장축 을 따라 형성 될 수 있 고 , 반도체 재료 ( 12 ) 상 에 이미 징 될 수 있 다 .