제 2 용제 린스 공정 ( S 206 ) 이 행하 여진 후 는 , 제 2 소수 화제 ( 증기 ) 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 2 소수 화 처리 ( 소수 화 공정 , 증기 공급 공정 , 제 2 소수 화 공정 , 제 2 증기 공급 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 207 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 제 2 소수 화제 공급 유닛 ( 217 ) 을 제어 함 으로써 , 차 단판 ( 3 ) 을 처리 위치 에 위치 시킨 상태 에서 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 제 2 소수 화제 의 증기 를 토출 시킨다 . 제 2 소수 화제 의 증기 가 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 바깥쪽 으로 흐름 으로써 , 제 2 소수 화제 의 증기 가 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 되 어 , 제 2 소수 화제 의 증기 가 패턴 ( P ) 의 내부 로 들어간다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 이 소수 화 된다 ( 제 2 소수 화 처리 ) . 그리고 , 제 2 소수 화 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 제 2 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 을 제어 하 여 , 제 2 소수 화제 의 증기 의 토출 을 정지 시킨다 .