기판 이송 장치 챔버 는 , 기판 이송 장치 챔버 내 의 불활성 공간 ( 55 ) 을 만들 기 위해 불활성 공간 생성 시스템 , 예 를 들 어 질소 퍼지 시스템 , 진공 배기 시스템 , 또는 저 산소 시스템 을 구비 할 수 있 다 . 기판 이송 장치 챔버 ( 53 ) 내 의 불활성 공간 은 , 조명 시스템 ( 41 ) 에 의한 처리 를 위해 제 2 반응기 ( 7 ) 로 이송 하 는 중 에 제 1 반응기 ( 6 ) 내 의 기판 ( 13 ) 상 에 증착 된 층 의 산화 를 피하 게 할 수 있 다 .