본 발명 의 실시 예 들 에 따른 하드 마스크 용 조성물 은 하드 마스크 의 표면 특성 , 접착성 향상 을 위해 계면 활성제 를 더 포함 할 수 도 있 다 . 계면 활성제 로 는 알킬벤젠설폰산염 , 알킬 피리 디 늄 염 , 폴리에틸렌글리콜 류 , 4 차 암모늄염 등 을 사용 할 수 있 으나 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 상기 계면 활성제 의 함량 은 예 를 들 면 , 상기 중축 합체 100 중량 부 에 대하 여 약 0 . 1 내지 10 중량 부 일 수 있 다 .