여기 서 , 격자무늬 생성 수단 ( 110 ) 은 광원 으로부터 발생 한 빛 을 변형 시켜 검사 대상 ( P ) 표면 에 격자무늬 를 생성 하 는 것 으로서 , 검사 대상 ( P ) 표면 반 사도 에 따라 각 화소 별 밝기 제어 를 실시 하 여 임의 의 격자무늬 를 생성 하 는 화소 별 디스 플레 이 제어 수단 ( 111 ) 과 , 화소 별 디스플레이 제어 수단 ( 111 ) 을 통해 형성 된 격자무늬 패턴 을 검사 대상 ( P ) 표면 에 투영 시키 는 투영 렌즈 ( 112 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .