상기 패턴 층 을 형성 하 는 단계 는 도 4 내지 도 6 과 같이 패 터닝 된 제 1 마스크 ( 810 ) 를 이용 하 여 상기 버퍼 층 ( 200 ) 의 상면 ( 201 ) 상 에 설정 된 패턴 으로 패 터닝 된 패턴 층 ( 710 ) 을 형성 하 는 단계 일 수 있 다 . 또한 , 상기 패턴 층 을 형성 하 는 단계 는 도 7 내지 도 9 와 같이 제 2 마스크 ( 820 ) 를 이용 하 여 상기 버퍼 층 ( 200 ) 의 상면 ( 201 ) 상 에 금속 층 ( 721 ) 을 형성 하 고 , 상기 금속 층 ( 721 ) 을 열처리 하 여 제 2 패턴 층 ( 722 ) 를 형성 하 는 단계 일 수 있 다 .