상기 유량 측정기 ( 400 ) 는 상기 증발기 ( 500 ) 의 상부 에 서로 인접 하 게 위치 하 는 다수 의 센서 유닛 ( 440 ) , 상기 센서 유닛 ( 440 ) 을 상기 공정 챔버 의 몸체 에 고정 하 는 고정 유닛 ( 420 ) 및 상기 각 센서 유닛 ( 440 ) 과 전기 적 으로 연결 되 어 상기 각 센서 유닛 에 대한 구동 신호 를 공급 하 는 선택 자 ( 460 ) 를 포함 한다 .