이어서 , 면적 율 산 출부 ( 111 ) 는 , 근접 메 쉬 영역 마다 , 근접 효과 를 보정 하 기 위한 근접 효과 보정 계수 ( Dp ( x ) ) ( 보정 조사량 ) 를 산출 한다 . 미지 의 근접 효과 보정 계수 ( Dp ( x ) ) 는 , 후방 산란 계수 ( η ) , 역치 모델 의 조사량 역치 ( Dth ) , 패턴 면적 밀도 ( ρ ´), 및 분포 함수 ( g ( x ) ) 를 이용한 , 종래 수법 과 같 은 근접 효과 보정 용 의 역치 모델 에 의하 여 정의 할 수 있 다 .