또한 , 3 개 의 측면 유로 ( 31 ) 중 , 1 개 의 아래쪽 유로 ( 31 c ) 에 있 어서 는 다른 서로 대향 하 는 왼쪽 유로 ( 31 a ) 및 오른쪽 유로 ( 31 b ) 에 비해서 , 정화 기체 의 통풍 저항 이 작 게 되 고 있 다 . 이 때문 에 , 정화 기체 를 , 측면 유로 ( 31 ) 중 아래쪽 유로 ( 31 c ) 를 우선 적 으로 통과 시켜서 , 수 납실 ( 13 ) 의 하류 측 에서부터 상류 측 까지 순환 시킬 수 있 다 . 따라서 , 보관 장치 ( 1 ) 에 있 어서 의 정화 기체 의 순환 을 저 비용 으로 효과 적 으로 행할 수 있 다 .