도 2 는 도 1 에 도시 된 복수 개 의 패턴 들 을 포함 하 는 마스크 레이아웃 을 보정 하 는 방법 의 플로우 차트 이 다 . 도시 된 바 와 같이 먼저 , 마스크 에 포함 된 복수 개 의 패턴 들 ( 2 , 4 , 6 ) 의 목표 선폭 ( Critical Dimension : CD ) 을 결정 하 고 ( 제 100 단계 ) , 상기 목표 선폭 을 소정 의 간격 으로 변화 시켜 가 면서 복수 개 의 테스트 마스크 를 제작 한다 ( 제 110 단계 ) . 예컨대 , 마스크 에 포함 된 제 1 패턴 ( 2 ) 에 대한 목표 선폭 을 100 nm 로 설정 할 때 , 제 1 패턴 ( 2 ) 의 목표 선폭 에 10 nm , 20 nm , - 10 nm , - 20 nm 만큼 을 더 한 선폭 을 가지 도록 테스트 마스크 를 제작 하 는 것 이 다 .