또한 전술 한 헤드 유닛 ( 162 B , 162 A ) 은 , 각각 이 구비 하 는 5 개 의 Y 헤드 ( 164 i , 165 j ; i , j = 1 ∼ 5 ) 와 동일 한 X 위치 에 , 단 Y 위치 를 어긋나 게 하 여 , 각각 5 개 의 Z 헤드 ( 74 i , 76 j ; i , j = 1 ∼ 5 ) 를 구비 하 고 있 다 . 여기 서 , 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 의 각각 에 속하 는 외측 의 4 개 의 Z 헤드 ( 762 ∼ 765 , 741 ∼ 744 ) 는 , 기준 축 ( LH ) 으로부터 + Y 방향 으로 소정 거리 떨어져 기준 축 ( LH ) 과 평행 으로 배치 되 어 있 다 . 또한 , 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 의 각각 에 속하 는 가장 내측 의 Z 헤드 ( 761 , 745 ) 는 , 투영 유닛 ( PU ) 의 + Y 측 에 배치 되 어 있 다 . 그리고 , 헤드 유닛 ( 162 B , 162 A ) 의 각각 에 속하 는 5 개 의 Z 헤드 ( 74 i , 76 j ; i , j = 1 ∼ 5 ) 는 , 서로 기준 축 ( LV 0 ) 에 관하 여 대칭 으로 배치 되 어 있 다 .