도 14 내지 도 16 을 참조 하 면 , 기판 ( 10 ) 상 에 하부 개구부 들 ( LH ) 을 갖 는 하부 패턴 ( 22 ) 이 형성 될 수 있 다 . 하부 패턴 ( 22 ) 은 상술 한 것 처럼 , 반도체 물질 , 절연 물질 및 도전 물질 로 형성 될 수 있 다 . 또한 하부 패턴 ( 22 ) 은 복수 개 의 막 들 이 적층 된 적 층막 일 수 있 다 . 하부 패턴 ( 22 ) 는 도 9 를 참조 하 여 설명 한 것 처럼 , 일 방향 ( y 축 방향 ) 으로 연장 되 는 제 1 부분 들 ( 22 a ) 과 , 제 1 부분 들 ( 22 a ) 사이 에서 서로 이격 되 어 국소 적 으로 배치 되 는 제 2 부분 들 ( 22 b ) 을 포함 할 수 있 다 .