오브젝트 필드 면 ( 7 ) 은 , 투사 노광 장치 의 , 조명 광학 기기 와 투사 광학 기기 , 예컨대 , 투사 대물렌즈 ( 8 ) 사이 의 분할 면 을 나타낸다 . 조명 광학 기기 는 뚜렷 한 에지 들 에 의해 범위 가 정해 지 는 필드 를 균질 하 게 조명 하 는 임무 를 갖 고 , 그 에 의해 사양 에 따른 오브젝트 필드 포인트 의 요구 되 는 조명 각도 분포 또는 출사 동공 을 생성 한다 .