한편 , 다른 종류 의 반응 가스 가 서로 반응 하 면 파티클 이 형성 되 어 기판 의 증착 품질 을 떨어뜨리 게 되 는데 이러 한 파티클 을 효과 적 으로 제거 하 지 못하 는 문제점 도 있 었 다 . 즉 , 반응 실 의 하부 를 향하 여 배기 를 하 는 경우 에 기판 의 상부 공간 에 존재 하 는 파티클 등 의 불순물 은 배기 되 는 가스 의 기류 에 휩쓸리 며 기판 의 표면 에 상처 를 낼 가능 성 을 배제 할 수 없 었 다 .