도 5 는 SF 6 가스 및 O 2 가스 중 O 2 가스 가 차지 하 는 비율 에 따른 실리콘 의 식각 률 을 나타내 는 그래프 이 고 , 도 6 은 SF 6 가스 및 O 2 가스 중 O 2 가스 가 차지 하 는 비율 에 따른 트렌치 ( t ) 프로파일 을 나타내 는 사진 이 다 . 특히 , 도 6 의 ( a ) , ( b ) , ( c ) 는 O 2 가스 의 비율 이 각각 0 %, 5 %, 10 % 인 경우 를 예시 하 고 있 다 .