도 15 는 공정 온도 별 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 산화물 반도체 박막 들 내 산소 음 이온 ( O 1 s ) 의 비율 을 나타내 는 그래프 이 다 . 도 14 를 참조 하 여 설명 된 바 와 같이 , 본 발명 의 제 6 , 제 7 , 및 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 들 에 대하 여 , X 선 흡수 에 의한 산소 음 이온 ( O 1 s ) 의 결합 에너지 에 따른 발광 강도 를 측정 한 후 , metal - O ( peak A ) , oxygen deficiency ( peak B ) , - OH group ( peak C ) 에 포함 된 area ratio ( %) 를 나타내 었 다 .