도 2 e 를 참조 하 면 , 하드 마스크 막 ( 212 ; 도 2 d 참조 ) 를 이용 한 식각 공정 을 실시 하 여 금속 배선 을 형성 하 고자 하 는 영역 의 트렌치 절 연막 ( 210 ) 을 제거 한다 . 이때 B 영역 에서 는 식각 정지 막 ( 208 ) 이 에치 스탑 퍼 역할 을 하 며 트렌치 절 연막 ( 210 ) 에 트렌치 가 형성 될 수 있 다 . 이후 에 하드 마스크 막 ( 212 ) 을 제거 한다 . 이때 A 영역 에서 는 드레 인 콘 택 플러그 ( 212 a ) 상부 의 일부 가 제거 되 어 트렌치 절 연막 ( 210 ) 에 트렌치 가 형성 될 수 있 다 .