가공 유닛 ( 13 ) 은 , 척 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 11 a ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 100 ) 를 회전 하 는 링 형상 의 극 박 의 절삭 블레이드 ( 24 ) 에 의해서 스트리트 ( 103 ) 를 따라서 절삭 하 여 절삭 홈 ( 커 프 ) 을 형성 하 는 것 이 다 . 촬상 유닛 ( 12 ) 은 , 가공 유닛 ( 13 ) 용 의 하우징 ( 25 ) 의 일부 에 장착 되 어 지지 됨 으로써 일체화 되 고 , 볼 나사 , 너트 , 펄스 모터 ( 26 ) 등 에 의한 Z 축 이동 수단 ( 15 ) 에 의해서 Z 축 방향 으로 이동 가능 하 게 설치 되 고 있 다 . 또한 , 척 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 11 a ) 에 대해서 촬상 유닛 ( 12 ) 이나 가공 유닛 ( 13 ) 을 상대 적 으로 Y 축 방향 으로 이동 시키 는 Y 축 이동 수단 ( 27 ) 은 , 볼 나사 ( 28 ) , 너트 , 펄스 모터 ( 29 ) 등 으로 이루어지 고 , X 축 이동 수단 ( 22 ) 과 함께 구동 수단 ( 14 ) 을 구성 한다 .