구리 배선 을 형성 하 기 위해서 건식 식각 의 방법 을 사용 하 는 데 에 는 문제점 이 있 어서 , 구리 배선 의 형성 을 위해서 는 다 마신 공법 ( damascene ) 을 이용 한다 . 즉 , 저유 전막 인 층간 절 연막 을 선택 적 으로 식각 하 여 비 아홀 과 트렌치 를 형성 한 다음 , 전기 도금 방법 으로 비 아홀 과 트렌치 에 구리 를 채워 넣 어 금속 배선 을 형성 한다 .