이 에 따라 , 상부 세정액 공급 관 ( 3 ) 으로부터 상부 세정액 분배 관 ( 1 a ) 으로 세정액 이 공급 되 어 상부 노즐 ( 1 c ) 로 향함 과 동시 에 , 하부 세정액 공급 관 ( 4 ) 으로부터 하부 세정액 분배 관 ( 1 b ) 으로 세정액 이 공급 되 어 하부 노즐 ( 2 c ) 로 향한다 . 이 와 더불 어 , 상부 에어 공급 관 ( 5 ) 으로부터 상부 에어 분배 관 ( 1 b ) 으로 에어 가 공급 되 어 상부 노즐 ( 1 c ) 로 향하 고 , 하부 에어 공급 관 ( 6 ) 으로부터 하부 에어 분배 관 ( 2 b ) 으로 에어 가 공급 되 어 하부 노즐 ( 2 c ) 로 향한다 . 이때 , 상부 노즐 ( 1 c ) 로부터 분사 되 는 세정액 과 에어 가 혼합 되 어 버블 상태 가 되 고 , 하부 노즐 ( 2 c ) 로부터 분사 되 는 세정액 과 에어 도 서로 혼합 되 어 버블 상태 를 이룸 으로써 기판 에 분사 가 된다 .