또한 , 본 실시 에 에서 는 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 의 제 2 로봇 ( 120 a ) 이 상하 로 적층 되 는 구조 의 블레이드 들 ( 122 a ', 122 a '') 을 가지 는 것 을 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 이 는 제 2 로봇 ( 120 a ) 의 기판 처리 량 을 증가 시키 기 위한 것 이 므로 , 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 은 다양 한 방식 으로 기판 ( W ) 처리 량 을 향상 시킬 수 있 다 . 예컨대 , 제 2 처리 유닛 ( 30 ) 은 두 개 의 제 2 로봇 ( 120 a ) 을 구비 하 여 기판 처리 량 을 향상 시킬 수 있 다 .