진공 용기 내부 에 도입 된 반송 용 가스 는 , 마그네트론 ( 208 ) 에 의하 여 발생 하 는 전자파 와 솔레노이드 코일 ( 209 ) 에 의하 여 발생 하 는 자장 에 의해 플 라즈 마 화 된다 . 이 때 가스 분자 는 전자 와 라디칼 로 해리 된다 . 그 사이 , 플라 즈 마 처리 에 사용 하 는 복수 의 프로세스 가스 는 질량 유량 제어기 ( 211 a , 211 b ) 에 의해 실제로 사용 하 는 유량 으로 제어 되 고 , 밸브 ( 215 a , 215 b , 214 ) 를 개방 한 상태 , 밸브 ( 216 , 217 ) 를 폐쇄 한 상태 에 하 여 프로세스 가스 를 배기가스 시스템 ( 218 ) 에 흘리 면서 안정 된 설정 유량 으로 제어 한다 . 프로세스 가스 유량 이 안정 된 후 에 는 밸브 ( 213 , 214 ) 를 폐쇄 한 상태 로 , 밸브 ( 216 , 217 ) 를 개방 한 상태 로 함 으로써 처리 실 내 에 의 가스 도입 을 반송 용 가스 로부터 프로세스 가스 로 변환 하 고 , 안정 된 설정 유량 으로 반송 용 가스 로부터 프로세스 가스로 의 연속 된 플 라즈 마 처리 변환 을 가능 하 게 한다 . 이 변환 동안 , 처리 실 내 의 플 라즈 마는 반송 용 가스 의 플 라즈 마로 부터 프로세스 가스 의 플 라즈 마로 변환 되 어 플 라즈 마 상태 는 유지 되 고 , 웨이퍼 ( 시료 ) 의 플 라즈 마 처리 가 실행 된다 .