상기 의 기술 적 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 진공 열처리 장치 는 , 핵융합로 에 사용 되 는 관 내연 선도체 의 열처리 를 통한 초전도 화 과정 에서 진공도 를 조절 하 여 관내 연선 도체 의 크랙 발생 을 방지 하 는 진공 열처리 장치 에 있 어서 , 초전 도 자석 의 코일 을 수용 하 는 진공 챔버 와 , 상기 진공 챔버 의 상하부 에 개폐 되 는 상하부 커버 를 포함 하 여 구성 된 열처리 챔버 ; 와 상기 열처리 챔버 내부 를 진공 으로 만드 는 진공 펌프 부 ; 와 상기 열처리 챔버 내부 에 설치 되 어 온도 를 각각 독립 적 으로 제어 하 도록 하나 이상 의 열선 셋 트 가 포함 된 온도 제 어부 ; 와 진공 챔버 내 에 설치 되 는 초전 도 자석 코일 내부 에 초 순수 ( 99 . 9995 %) 아르곤 가스 를 연속 적 으로 흘려 주 어 아르곤 에 포함 된 산소 및 수분 의 농도 가 일정 수준 이하 로 유지 되 도록 구성 된 가스 퍼지 부 ; 와 열처리 챔버 에서 수집 된 정보 중 열처리 온도 , 진공도 , 가스 의 농도 , 잔여 가스 분석기 , 수온 을 모니터링 하 는 운전 제어 및 모니터링 부가 포함 되 는 것 을 특징 으로 한다 .