도 1 을 참조 하 여 , 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 내부 에 기판 이 놓이 는 서 셉 터 ( 11 ) 가 마련 되 고 , 상부 면 에 적어도 두 개 의 홀 ( 13 , 14 ) 이 형성 된다 . 프로세스 챔버 ( 10 ) 의 상부 에 는 플 라즈 마 방전 을 위한 C 형상 의 외부 방전관 ( 20 ) 이 연결 된다 . 외부 방전관 ( 20 ) 의 양단 ( 21 , 22 ) 은 프로세스 챔버 ( 10 ) 상부 의 두 개 의 홀 ( 13 , 14 ) 에 연결 된다 . 외부 방전관 의 주간 상부 에 는 가스 입구 ( 23 ) 가 연결 된다 . 가스 입구 ( 23 ) 는 공정 가스 공급원 ( 미 도시 ) 에 연결 된다 .