상기 와 같 은 과제 를 해결 하 기 위해 , 본 발명 에 따른 기판 처리 챔버 내 바 형태 의 이오 나이저 의 장착 구조 는 , 수직 방향 을 길 게 형성 되 는 결합 홈 을 구비 하 는 고정 구조물 ; 상기 결합 홈 에 고정 되 고 , 상기 이오나 이 저 를 수평 인 상태 또는 경사진 상태 로 고정 하 는 브라 켓 ; 상기 브 라켓 에 의해 상기 고정 구조물 에 고정 되 는 바 형태 의 이오나 이 저 를 포함 한다 .