각각 의 동심 디스크 ( 407 A ) 및 다수 의 동심 링 들 ( 407 B / 407 C ) 은 거기 를 통해 연장 하 는 홀 들 의 복수 의 패턴 들 을 각각 포함 한다 . 각각 의 홀 들 의 복수 의 패턴 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에서 상이 한 세트 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 과 정렬 하 여 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 에 관하 여 특정 회전 위치 에서 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 상 의 각각 의 동심 디스크 ( 407 A ) 및 동심 링 들 ( 407 B / 407 C ) 의 배치 가 , 홀 들 의 복수 의 패턴 들 중 특정 하나 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 그 대응 세트 와 의 정렬 에 대응 한다 . 동심 디스크 ( 407 A ) 및 동심 링 들 ( 407 B / 407 C ) 을 통해 연장 하 는 홀 들 의 복수 의 패턴 들 의 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에서 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 상이 한 개수 또는 상이 한 공간 패턴 을 노출 시키 도록 정의 된다 .