개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 상기 기판 이송 아암 은 상기 기판 이송 아암 의 사전 결정 된 최대 도달 범위 에 대해 콤팩트 한 풋 프린트 를 가지 며 , 상기 기판 이송 아암 의 연장 방향 과 실질 적 으로 반대 방향 으로 상기 선회 축 으로부터 연장 되 도록 상기 기판 이송 아암 상 에 배치 되 고 상기 선회 축 상 에서 의 기판 이송 아암 처짐 모멘트 의 균형 및 상기 기판 이송 아암 의 콤팩트 한 풋 프린트 내 의 피트 에 기초 하 여 한정 된 구성 및 중량 을 가지 는 밸런스 밸러스트 웨이트 부재 를 가진다 .