그리고 , 제 어 장치 ( 20 ) 는 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 동시 에 반송 되 어 처 리조 ( 40 ) 로 반입 된 2 장 의 웨이퍼 마다 처리 경과 시간 을 계측 한다 . 제 어 장치 ( 20 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 처리 경과 시간 이 미리 설정 된 처리 시간 에 도달 하 면 , 상기 웨이퍼 ( W ) 를 처 리조 ( 40 ) 로부터 반출 하 도록 반송 장치 ( 30 ) 에 대하 여 신호 를 송신 한다 . 동시 에 , 제 어 장치 ( 20 ) 는 제 1 구동 수단 ( 81 a , 81 b ) 및 제 2 구동 수단 ( 82 ) 에 도 신호 를 송신 하 고 , 반출 해야 할 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 의 상방 에 개구 ( 88 ) 를 형성 한다 . 이상 과 같이 해서 , 처 리조 ( 40 ) 에 동시 에 반입 된 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 처 리조 ( 40 ) 에서 의 처리 가 종료 된다 .