도 3 은 본 발명 에 따른 반도체 제조 장치 의 일 실시 예의 처 리부 ( 108 ( 2 ) ) 를 나타내 는 도면 이 다 . 반도체 제조 장치 의 처 리부 ( 108 ( 2 ) ) 는 기기 를 제어 하 는 처리 를 행하 고 , 기기 제 어부 ( 210 ) 와 , 반송 시스템 용 의 처 리부 ( 108 ( 1 ) ) 와 , 다른 기계 제 어부 ( 1501 , … , 150 n ) 와 , 상기 처 리부 ( 108 ( 2 ) ) , 상기 반송 시스템 용 의 처 리부 ( 108 ( 1 ) ) 및 다른 기계 제 어부 ( 1501 , … , 150 n ) 를 상호 접속 하 는 네트워크 또는 버스 ( 200 ) 에 의해 구성 된다 .