더욱이 , 상기 와 같 은 특징 을 갖 는 SiC 막 구 조체 의 제조 방법 에서 는 , 상기 SiC 막 과 상기 덮개 체 사이 에 가열 에 의해 소실 되 는 스 페이서 를 개재 시킨 상태 에서 상기 봉지 공정 을 실시 하 도록 하 면 좋 다 . 이러 한 특징 을 갖 는 것 에 따르 면 , SiC 막 으로 구성 되 는 본체 와 덮개 체 사이 에 간극 이 구성 되 기 때문 에 , 내부 기체 를 탈기 하 거나 불활성 가스 등 으로 치환 하 는 것 이 가능 해진다 . 또한 , 로 내 에서 봉지 공정 을 실시 하 는 경우 라도 , 봉지 공정 을 실시 할 때 의 가열 에 의해 스 페이서 가 소실 되 어 개구부 가 밀폐 되게 된다 .