상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 리프트 핀 업 / 다운 에 따른 반도체 웨이퍼 위치 감지 장치 는 , 웨이퍼 지지대 의 지 지구 를 통해 삽입 되 는 리프트 핀 에 리프트 핀 의 정상 적 인 업 / 다운 여부 판단 을 위해 웨이퍼 의 중량 을 감지 하 도록 부착 된 중량 센서 ; 상기 중량 센서 에 의해 감지 된 웨이퍼 의 중량 에 의해 리프트 핀 의 업 / 다운 을 판단 함 으로써 웨이퍼 의 위치 틀 어 짐 을 판단 하 는 제 어부 ; 및 상기 제 어부 의 판단 결과 에 따라 경고 음 을 발생 하 는 알람 부 로 구성 된 것 을 특징 으로 한다 .