이 와 같이 샷 내 의 각 영역 에서 서로 상이 한 프로 파일 을 갖 는 패턴 이 형성 되 는 것 을 렌즈 ( 4 ) 결함 에 따른 디 포커스 ( defocus ) 에 기인 한다 . 즉 , 상기 렌즈 ( 24 ) 를 경유 한 빛 이미지 의 초점 이 상기 웨이퍼 상 에 균일 하 게 형성 되 지 않 기 때문 이 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 영역 은 웨이퍼 의 내면 에 초점 이 위치 되 고 , 상기 제 2 및 제 3 영역 은 상기 웨이퍼 의 표면 에 초점 이 위치 되 며 , 상기 제 4 영역 은 상기 웨이퍼 의 표면 으로부터 이격 되 어 초점 이 위치 된다 .