자기 적 으로 침투 가능 한 토로 이드 코어 들 ( 142 , 142 ') 이 외부 재 진입 도관 들 ( 140 , 140 ') 중 대응 하 는 하나 의 도관 의 일부 를 둘러싼다 . 전도성 코일 들 ( 144 , 144 ') 은 각각 의 임피던스 정합 회로 들 또는 엘리먼트 들 ( 148 , 148 ') 을 통해 각각 의 RF 플 라즈 마 소스 전력 발생기 ( power generator ) 들 ( 146 , 146 ') 에 연결 된다 . 각각 의 외부 재 진입 도관 ( 140 , 140 ') 은 , 각각 의 외부 재 진입 도관 들 ( 140 , 140 ') 의 2 개 의 단부 들 ( 140 a , 140 b ) ( 및 140 a ', 140 b ') 간 에 만약 그렇 지 않 으면 연속 적 인 전기 적 경로 를 인터럽트 ( interrupt ) 하 는 절연 환상 ( annular ) 고리 ( 150 , 150 ') 각각 에 의해 인터럽트 되 는 속 이 빈 전도성 튜브 이 다 . 기판 표면 에서 의 이온 에너지 는 임피던스 정합 회로 또는 엘리먼트 ( 156 ) 를 통해 기판 지지 어셈블리 ( 128 ) 에 연결 된 RF 플 라즈 마 바이어스 전력 발생기 ( 154 ) 에 의해 제어 된다 .