또 , 열 흡수 막 ( 32 b ) 으로서 보다 적격 인 비정질 반도체 재료 에 Ta - Si - O - N 계 의 막 이 있 다 . 도 8 에 저항 율 이 1 . 0 m Ω · cm , 5 . 5 m Ω · cm 의 Ta - Si - O - N 계 막 에 대해서 0 . 5 ∼ 3 . 5 eV ( 파장 약 2 . 48 μ m ∼ 350 nm ) 에 있 어서 의 흡수 계수 ( cm - 1 ) 를 측정 한 결과 를 나타낸다 . 저항 율 이 1 . 0 m Ω · cm 의 막 은 이 측정 범위 내 에서 흡수 계수 가 약 100000 / cm 이상 으로 되 어 있 어 열 흡수 막 ( 32 b ) 의 재료 로 할 수 있 다 .