도 4 a 내지 도 4 e 는 본 발명 의 제 3 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한 단면도 이 다 . 도면 을 참조 하 면 , 본 실시 예 에서 는 상기 제 1 실시 예 내지 제 2 실시 예 와 달리 차광막 ( 2 a ) 과 반사 방지 막 ( 3 ) 의 역할 을 동시 에 수행 하 는 차광막 ( 2 b ) 을 적층 하 고 상기 와 같이 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 더 적층 하 여 패턴 을 형성 하 는 방법 에 대하 여 설명 한다 . 본 실시 예 에서 는 상기 차광막 ( 2 a ) 과 반사 방지 막 ( 3 ) 의 역할 을 동시 에 수행 하 는 차광막 ( 2 b ) 으로 탄 탈륨 계열 의 막 으로 적층 하 고 본 발명 의 제 1 실시 예 와 같이 하드 마스크 막 ( 4 ) 으로 크롬 계열 의 물질 을 사용 하 여 적층 하 였 다 . 상기 와 같이 단일 막 의 차광막 ( 2 b ) 을 적층 하 게 되 면 블랭크 마스크 제조 공정 이 단축 되 는 효과 가 있 다 .