한편 , 기판 측 으로부터 입사 한 입사광 의 일부 는 차광막 과 투명 기판 의 계면 에서 반사 되 고 , 투명 기판 표면 ( 투명 기판 과 분위기 기체 의 계면 ) 에서 재차 반사 되 어 , 차광 패턴 이 없 는 부분 을 통과 하 여 레지스 트 막 에 도달 하 는 성분 도 고려 된다 . 예 를 들 면 차광막 을 극한 까지 얇 게 하 기 위해 , 차광막 전체 를 경원 소 가 전혀 들어가 지 않 는 완전 한 금속 막 으로 한 경우 , 차광막 과 투명 기판 의 계면 에서 의 파장 193 nm 의 노 광광 의 반사율 은 50 ％ 를 초과 하 는 값 이 되 어 , 고스트 패턴 을 제공 할 위험 성 이 있 다 . 특히 , 노광기 가 변형 조명 등 경사 입사 계 를 이용 하 고 있 을 때 , 재 반사 된 노 광광 은 차광막 이 존재 하 지 않 은 부분 을 제외 시킬 가능 성 이 높 아 져 , 그 문제 는 커진다 . 따라서 , 이면 측 에 다중 반사 를 이용 하 여 반사광 을 감쇠 시키 는 반사 방지 막 을 형성 하 여 반사 율 을 억제 하 는 것 이 제안 되 어 있 다 ( 특허 문헌 4 : 국제 공개 제 2008 / 139904 호 공보 ) .