또한 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 핫 플레이트 ( 21 ) 로 전력 공급 을 개시 하 여 , 핫 플레이트 ( 21 ) 상면 의 전역 또는 거의 전역 을 발열 시키 며 , 핫 플레이트 ( 21 ) 의 상면 을 소정 의 가열 온도 까지 온도 상승 시킨다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 을 균일 하 게 가열 할 수 있 다 . 가열 온도 는 제 2 액체 의 비점 이상 이 다 . 또한 , 가열 온도 는 제 1 액체 의 비점 이상 이 다 .