센스 프로브 ( 3 ) 는 센스 프로브 ( 3 ) 의 종단 부 ( 31 ) 가 뾰족 하 게 되 도록 삼각형 으로 형성 된 종단 부 ( 31 ) 를 갖 는다 . 종단 부 ( 31 ) 는 경사진 위쪽 방향 으로 연장 하 고 , 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 주면 ( 42 ) 과 의 각도 는 포스 프로브 ( 2 ) 의 경사 면 보다 크 다 . 센스 프로브 ( 3 ) 는 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 주면 ( 42 ) 에 실질 적 으로 평행 하 게 되 도록 종단 부 ( 31 ) 로부터 굽 어 지 고 , 센스 프로브 ( 3 ) 는 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 측면 방향 으로 연장 한다 . 그 다음 에 , 센스 프로브 ( 3 ) 의 종단 부 ( 31 ) 는 포스 프로브 ( 2 ) 의 종단 부 ( 21 ) 의 상 측면 의 어떤 부분 과 ( 이 예 에서 는 중앙 부분 ) 접촉 되 어 , 센스 프로브 ( 3 ) 와 포스 프로브 ( 2 ) 가 서로 접촉 되 도록 한다 .