본 발명 의 일실 시예 에 따른 프로브 시트 제조 방법 에 따르 면 , 일렬 로 배열 된 다수 의 도전 볼 및 상기 도전 볼 을 고정 시키 는 탄성체 베이스 를 포함 하 는 접촉 단자 를 를 제조 한다 . 다음 으로 , 제 1 면 및 상기 제 1 면 에 대향 하 는 제 2 면 을 포함 하 는 베이스 기판 , 상기 베이스 기판 의 상기 제 1 면 에 형성 된 제 1 단자 , 상기 베이스 기판 의 상기 제 2 면 에 형성 된 제 2 단자 및 상기 제 1 단자 와 상기 제 2 단자 를 전기 적 으로 연결 하 는 도전 패턴 을 포함 하 는 공간 변환기 를 제조 한다 . 이후 , 상기 접촉 단자 를 상기 제 1 단자 에 부착 한다 .