또한 , 세정 공정 에서 는 파티클 및 오염 물질 제거 를 위하 여 세정액 을 기판 에 처리 하 되 세정력 이 향상 되 도록 세정액 에 건조 공기 ( Clean Dry Air ) 를 혼합 하 여 이 류체 ( 二流體 ) 를 생성 하 고 , 생성 된 이 류체 를 증폭 하 여 버블 ( buble ) 형태 로 기판 표면 에 충돌 시키 는 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 ( 이하 이 류체 분사 모듈 ) 이 구비 된 기판 세정 장치 가 제시 된 바 있 다 .