그리고 본 실시 예 에 따른 지지 핀 ( 14 ) 은 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( S ) 의 측면 과 하면 을 동시 에 지 s 지 할 수 있 는 단차 부 ( 14 b ) 를 가지 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 이 단차 부 ( 14 b ) 는 기판 ( S ) 의 하 면 일부 를 지지 하 여 기판 이 회전 플레이트 ( 12 ) 로부터 일정 간격 이격 된 상태 를 유지 하 게 한다 . 한편 이 단차 부 ( 14 b ) 는 기판 ( S ) 의 측면 도 지지 하 여 회전 과정 에서 기판 이 수평 위치 를 유지 하 도록 고정 한다 .