본 발명 의 한 실시 예 에 따른 프로브 카드 의 제조 방법 은 기판 상 에 프로브 ( 또는 전기 접촉 소자 ) 의 범프 를 형성 한 후 , 범프 를 둘러싼 탄성 층 을 형성 하 고 , 범프 와 탄성 층 상부 에 몸 체부 를 형성 하 고 , 몸 체부 의 일정 영역 에 프로브 의 팁 부 를 위한 기단 부 를 형성 하 고 , 별도 의 희생 기판 에 프로브 의 팁 부 의 상단 을 형성 한 후 , 희생 기판 에 형성 된 프로브 의 팁 부 의 상단 을 기판 상 에 형성 된 프로브 의 팁 부 의 기단 부 에 접촉 시킨 후 희생 기판 을 제거 하 는 공정 을 포함 한다 .