하부 챔버 ( 17 ) 의 측벽 ( 15 ) 에 는 , 하부 챔버 ( 17 ) 에 대해서 기판 ( G ) 을 반입 · 반출 하 기 위한 반입 · 반 출구 ( 18 ) 가 개설 되 어 있 으며 , 반입 · 반 출구 ( 18 ) 는 게이트 밸브 ( 24 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 하부 챔버 ( 17 ) 에 는 반송 기구 를 내포 하 는 반 송실 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) 이 인접 하 고 있 으며 , 게이트 밸브 ( 24 ) 를 개폐 제어 하 여 , 반송 기구 에서 반입 · 반 출구 ( 18 ) 를 거쳐서 기판 ( G ) 의 반입 · 반출 이 실행 된다 .