제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 및 제 2 플레이트 반입 반 출부 ( 16 ) 에 는 , 각각 핸들러 ( 19 ) 를 구비 한 제 1 워크 반입 반출 기구 ( 17 ) 및 제 2 워크 반입 반출 기구 ( 18 ) 가 부설 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 워크 반입 반출 기구 ( 17 ) 는 , 핸들러 ( 19 ) 에 의해 처리 전 의 워크 ( 9 - 1 ) 를 유지 하 며 , 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 로 반입 하 고 , 처리 가 종료 된 워크 ( 9 - 1 ) 를 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 에서 장치 외부 로 반출 한다 . 추력 발생 수단 ( 21 , 22 ) 은 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 , 워크 처 리부 ( 14 ) 로부터 그 양쪽 옆 의 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 및 제 2 플레이트 반입 반 출부 ( 16 ) 에 걸쳐 , 27 개 의 이웃 하 는 자극 이 나열 되 는 방향 이 서로 직교 하 는 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 14 ) 과 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 13 ) 이 스테이지 베이스 ( 1 ) 에 고정 되 어 있 고 , 2 장 의 평면 플레이트 ( 6 - 1 , 6 - 2 ) 는 , 각각 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 와 워크 처 리부 ( 14 ) 의 사이 및 제 2 플레이트 반입 반 출부 ( 16 ) 와 워크 처 리부 ( 14 ) 의 사이 를 이동 할 수 있 다 .