이 와 같이 척부 ( 511 ) 의 중심 에 제 1 전극 ( 520 ) 을 배치 하 여 기판 지지 부 ( 500 ) 의 기판 ( 10 ) 파 지력 을 일정 하 게 유지 할 수 있 고 , 척부 ( 511 ) 의 가장자리 에 제 2 전극 ( 530 ) 을 배치 하 여 기판 에지 영역 의 플 라즈 마 밀도 를 증대 시킬 수 있 다 . 물론 이 에 한정 되 지 않 고 , 복수 의 블록 으로 나뉜 제 1 전극 ( 520 ) 중 일부 의 블록 이 제 2 전극 ( 530 ) 으로 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 도 2 에서 제 2 전극 블록 이 제 2 전극 ( 530 ) 으로 사용 되 고 , 제 1 전극 블록 만 이 제 1 전극 ( 520 ) 으로 사용 될 수 도 있 다 .