이때 , 불소 ( Fluorine ) 가 함유 된 TEOS ( F - TEOS ) 막 을 형성 하 는 단계 는 , 챔버 압력 을 통상 의 PECVD 에 적합 한 증착 가능 한 압력 으로 낮춰 주 는 단계 , C 3 F 8 등 불화 탄소 계열 의 가스 를 가령 , 600 sccm 수준 으로 수 초 ( sec ) 간 흘려 증착 챔버 내 에 불소 포함 공정 환경 을 형성 하 는 단계 , 테오스 가스 의 흐름 및 증착 온도 와 같 은 공정 조건 을 안정 화 하 는 단계 , 본격 적 으로 F - TEOS 막 증착 을 위해 플 라즈 마 인가 용 에너지 , 가령 고주파 전계 를 인가 하 여 기판 에 원하 는 두께 의 F - TEOS 막 을 증착 하 는 단계 를 구비 하 여 이루어질 수 있 다 .