주 된 PMD 막 은 통상 의 BSG , PSG , BPSG 막 으로 형성 될 수 있 다 . 이 들 불순물 을 함유 한 실리콘 산화 막 은 TMB ( Tri - Methyl - Borate ) , TMP ( Tri - Methyl - Phosphate ) , TEPO ( Tri - Ethyl - Phosphate ) 또는 TEB ( Tri - Ethyl - Borate ) 로 이루어지 는 그룹 중 에서 선택 되 는 물질 과 TEOS ( Tetra - Ethyl - Ortho - Silicate ) 및 산소 소오 스 가스 , 가령 산소 나 오존 을 반응 시켜 증착 되 는 것 일 수 있 다 .