종래 에 는 웨이퍼 를 대기압 상태 에서 진공 상태 의 공정 챔버 로 이송 하 기 위하 여 , 웨이퍼 가 수납 된 카세트 를 내장 하 는 로드 포트 , 로드 포트 의 카세트 에 수납 된 웨이퍼 를 전달 하 기 위하 여 대기압 상태 에서 동작 되 는 대기 로봇 , 대기 로봇 에 의하 여 전달 된 웨이퍼 를 단시간 내 에 진공 상태 를 유지 하 도록 하 는 버퍼 역할 을 하 는 로드 락 챔버 , 로드 락 챔버 로부터 웨이퍼 를 진공 상태 에서 공정 챔버 로 이송 하 기 위한 진공 로봇 등 으로 구성 되 었 다 .