가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 교환 가능 한 컴포넌트 로서 정의 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 다른 버전 들 / 구성 들 이 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 의 상이 한 배열 을 갖 도록 정의 될 수 있 다 . 추가 로 , 플 라즈 마가 가스 분배 유닛 ( 115 ) 또는 그 기능 성 을 열화 시키 는 이벤트 에서 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 이 교체 될 수 있 다 .