웨이퍼 내 에 산소 가 존재 하 는 경우 , 반도체 소자 의 제조 공정 중 발생 할 수 있 는 실리콘 격자 결함 , 예 를 들 어 공극 ( vacancy ) 이 , 후속 열처리 공정 중 에 공극 - 산소 복합체 결함 ( vacancy - oxygen defect ) 으로 성장 할 수 있 다 . 이러 한 공극 - 산소 복합체 결함 으로 인해 전류 누설 ( leakage ) 이 유도 될 수 있 고 , 이 로 인해 소자 의 특성 및 신뢰 성 이 저하 될 수 있 다 .