상기 저 분자 화합물 의 분자량 하한 으로서 는 , 300 이 바람직 하 고 , 500 이 보다 바람직 하 다 . 상기 분자량 의 상한 으로서 는 3 , 000 이 바람직 하 고 , 2 , 000 이 보다 바람직 하 다 . 상기 저 분자 화합물 은 , 전체 면 조사 후 의 가열 공정 중 의 산 촉매 반응 에 의해 , 현상 공정 에 있 어서 일부 조사 부가 현상액 에 가 용 또는 불용 이 되 는 것 이 다 .