도 9 a 및 도 9 b 에서 알 수 있 는 바 와 같이 , 기판 이송 챔버 ( 210 ) 는 코어 모듈 ( 200 M 2 ) , 및 2 : 1 의 길이 ( L ) 대 폭 ( W ) 종횡비 를 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 제공 하 도록 선택 된 2 개 의 인서 트 모듈 ( 200 M 4 ) 을 포함 한다 . 여기 에서 , 인서 트 모듈 ( 200 M 4 ) 중 하나 는 코어 모듈 의 제 1 단부 ( 200 M 2 E 1 ) 에 결합 되 는 반면 에 , 다른 인서 트 모듈 ( 200 M 4 ) 은 2 : 1 종횡비 를 제공 하 는 동시 에 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 각각 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 에서 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 가지 는 기판 이송 챔버 ( 210 ) 를 제공 하 도록 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 제 2 단부 ( 200 M 2 E 2 ) 에 결합 된다 . 도면 에 도시 되 지 않 았 을지라도 , 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 제 2 단부 ( 200 M 2 E 2 ) 에 결합 된 인서 트 모듈 ( 200 M 4 ) 이 인서 트 모듈 ( 200 M 6 ) 로 대체 될 수 있 어서 , 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 는 도 8 에 도시 된 것 과 실질 적 으로 유사 한 방식 으로 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 단부 벽 ( 210 E 1 ) 에 만 제공 된다 .