레지스 트 도포 처리 유 니트 ( 24 ) 의 스테이지 ( 70 ) 상 에 는 유리 기판 ( G ) 에 레지스 트 액 을 토출 하 는 노즐 ( 80 ) 이 설치 되 고 있 다 . 노즐 ( 80 ) 은 예 를 들 면 도 3 및 도 4 에 나타나 는 바 와 같이 X 방향 을 향해 긴 대략 직방체 형상 으로 형성 되 고 있 다 . 노즐 ( 80 ) 은 예 를 들 면 유리 기판 ( G ) 의 X 방향 의 폭 보다 길 게 형성 되 고 있 다 . 노즐 ( 80 ) 의 하단 부 에 는 도 4 에 나타나 는 바 와 같이 슬릿 형상 의 토출구 ( 80 a ) 가 형성 되 고 있 다 . 노즐 ( 80 ) 의 상부 에 는 레지스 트 액 공급원 ( 81 ) 에 통하 는 레지스 트 액 공급 관 ( 82 ) 가 접속 되 고 있 다 .