1 차 퍼지 단계 ( S 520 ) 에서 는 1 차 세정 단계 ( S 510 ) 종료 후 , 퍼지 가스 로 퍼지 를 실시 하 여 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 및 반응 챔버 ( 160 ) 내부 에 잔류 하 는 물질 이 배기펌프 ( Pump ) 의 펌핑 에 의하 여 반응 챔버 ( 160 ) 외부 로 제거 된다 . 퍼지 가스 는 질소 ( N 2 ) , 산소 ( O 2 ) , 헬륨 ( He ) , 아르곤 ( Ar ) 등 이 될 수 있 다 .