상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 양태 는 기판 의 주연 부 를 연마 하 기 위한 연마 장치 를 제공 하 는 것 이 다 . 상기 장치 는 기판 을 수평 으로 보유 하 고 기판 을 회전 하 도록 구성 된 회전식 보유 기구 와 , 회전식 보유 기구 에 의해 보유 된 기판 주위 에 제공 된 복수 의 연마 헤드 조립 체 와 , 복수 의 연마 헤드 조립 체 에 연마 테이프 를 공급 하 고 복수 의 연마 헤드 조립 체로 부터 연마 테이프 를 회수 하 도록 구성 된 복수 의 테이프 공급 및 회수 기구 와 , 복수 의 연마 헤드 조립 체 를 회전식 보유 기구 에 의해 보유 된 기판 의 반경 방향 으로 이동 시키 도록 구성 된 복수 의 이동 기구 를 포함 한다 . 복수 의 연마 헤드 조립 체 각각 은 기판 의 주연 부 에 대해 연마 테이프 를 가압 하 도록 구성 된 연마 헤드 와 , 연마 헤드 를 기판 의 접선 에 평행 한 축 에 대해 회전 시키 도록 구성 된 기울 임 기구 를 포함 한다 . 연마 헤드 는 연마 테이프 를 보유 하 고 연마 테이프 를 소정 의 속도 로 종 방향 으로 송출 하 도록 구성 된 테이프 송출 기구 와 , 기판 의 접선 에 수직 인 방향 으로 연마 테이프 의 이동 방향 을 안내 하 도록 배열 된 안내 롤러 를 포함 한다 . 테이프 공급 및 회수 기구 는 기판 의 반경 방향 으로 복수 의 연마 헤드 조립 체 의 외측 에 위치 되 고 , 테이프 공급 및 회수 기구 는 위치 가 고정 된다 .