상기 실시 예 15 ∼ 28 , 및 비 교예 8 ∼ 14 에서 얻 은 포지티브 형 감광성 수지 조성물 을 , 6 인치 실리콘 웨이퍼 상 에 , 스핀 코터 ( 토쿄 일렉트론 사 제조 클린 트랙 Mark 7 ) 에 의해 도포 하 고 , 130 ℃ 에서 180 초간 건조 시킨 후 , 승 온 식 오븐 ( 코요 사모 시스템 사 제조 VF 200 B ) 을 사용 하 여 질소 분위기 하 , 320 ℃ 에서 1 시간 가열 , 막 두께 10 . 0 ㎛ 의 내열성 경화 막 을 얻 었 다 .