일부 실시 예 들 에서 , 산소 함유 전구체 는 , 개질 된 ( modified ) 금속 함유 물질 을 생성 하 기 위해 금속 함유 물질 과 반응 하 도록 구성 될 수 있 다 . 질소 함유 전구체 는 , 휘발 성 착 물 ( volatile complex ) 을 생성 하 기 위해 , 개질 된 금속 함유 물질 과 반응 하 도록 구성 될 수 있 다 . 산소 함유 전구체 는 물 또는 라디칼 산소 를 포함 할 수 있 고 , 질소 함유 전구체 는 아민 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 아민 은 실시 예 들 에서 디 에틸아민 , 프로필 아민 또는 N - 에틸 메틸아민 을 포함 할 수 있 다 .