광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 ) 에 대하 여 기체 ( 204 ) 를 내뿜 으면 , 도 2 a 에 도시 한 바 와 같이 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 의 근방 에 는 , 주변 의 기체 와 의 속도 경사도 나 점성 작용 에 의해 , 소용돌이 ( 206 ) ( 기류 의 흐트러짐 ) 가 발생 한다 . 일반 적 으로 는 , 속도 경사도 가 클수록 , 소용돌이 ( 206 ) 는 커지 는 경향 이 있 다 . 소용돌이 ( 206 ) 는 , 주변 의 공기 ( 본 실시 형태 에서 는 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 ( 205 ) ) 를 말려들 게 하 는 특성 을 가지 고 있 다 . 따라서 , 소용돌이 ( 206 ) 가 챔버 ( 110 ) 의 내부 에 근접 하 고 있 을 경우 , 낮 은 청 정도 의 기체 ( 205 ) 가 개구 ( 202 ) 를 통해 소용돌이 ( 206 ) 에 말려들 어 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 이 기체 ( 205 ) 에 노출 될 가능 성 이 높 아 진다 .