또한 , 상기 콘 택 플러그 를 형성 하 기 위한 식각 공정 에서 층간 절 연막 을 식각 하 여야 하 는 두께 가 증가 하 게 된다 . 그러므로 , 상기 층간 절 연막 의 식각 콘트롤 이 용이 하 지 않 게 되 고 , 이 로 인해 상기 층간 절 연막 을 식각 하 여 하부 의 전극 패턴 을 노출 시키 는 공정 에서 상기 전극 패턴 이 과도 하 게 손상 되 는 등 의 문제 가 발생 되 기 쉽 다 .