이때 , 제 2 산화 막 패턴 ( 20 b ) 의 라인 ( LO 2 ) 선폭 은 20 nm ∼ 25 nm 이 된다 . 예 를 들 어 , 제 1 산화 막 패턴 ( 20 a ) 의 간격 이 40 nm 이 고 , 질화 막스 페이서 ( 21 ) 의 두께 가 10 nm 라 하 면 , 제 1 산화 막 패턴 ( 20 a ) 의 간격 ( 40 nm ) 에서 , 질화 막스 페이서 ( 21 ) 의 선폭 ( 10 nm ) 의 2 배 ( 20 nm ) 만큼 줄어든 공간 에 제 2 산화 막 패턴 ( 20 b ) 이 매립 되 므로 , 제 2 산화 막 패턴 ( 20 b ) 의 라인 ( LO 2 ) 선폭 은 20 nm 가 된다 .