실리사이드 형성 금속 층 ( 312 ) 의 형성 에 이어 , 상부 도체 ( 208 ) 가 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 도전 층 ( 315 ) 의 증착 에 앞서 실리사이드 형성 금속 층 ( 312 ) 상 에 하나 이상 의 장벽층 들 및 / 또는 부착 층 들 ( 314 ) 이 형성 될 수 있 다 . 도전 층 ( 315 ) , 장벽층 ( 314 ) 및 실리사이드 형성 금속 층 ( 312 ) 이 함께 패 터닝 되 고 및 / 또는 에칭 되 어 상부 도체 ( 208 ) 를 형성 할 수 있 다 .