실시 예 에서 , 제 1 기여 도 / 핑거 프린트 는 초점 이 며 , 따라서 실시 예 에서 제 1 기여 도 / 핑거 프린트 는 전체 ( across ) 기판 초점 맵 이 다 . 실시 예 에서 , 제 1 기여 도 / 핑거 프린트 는 기판 을 패 터닝 하 기 위해 사용 되 는 리소그래피 장치 로부터 얻 어 진 데이터 에 기초 하 여 생성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 리소그래피 장치 는 초점 맵 을 구성 하 기 위해 초점 정보 ( 예 를 들 어 , 초점 잔류 오차 등 ) 및 / 또는 고주파 스테이지 이동 ( 예 를 들 어 , MSD ) 의 특성 을 제공 할 수 있 다 . 도 14 는 패 터닝 공정 에 대한 예시 적 인 초점 맵 ( 1800 ) 을 보여 주 고 있 으며 , 여기 서 상이 한 음영 들 은 공칭 초점 ( 예 들 들 어 , 최적 초점 , 평균 초점 등 ) 로부터 의 상이 한 변화 량 을 개략 적 으로 나타내 고 있 다