반도체 웨이퍼 에 대해 1 개 마다 열 처리 를 실시 하 는 낱장 식 의 열 처리 장치 를 예 로 들 어 설명 하 면 , 진공 배기 가능 하 게 이루어진 처리 용 기내 에 , 예 를 들 면 텅스텐 ( tungsten ) 이나 몰리브덴 ( molybdenum ) 등 의 고 융점 금속 으로 이루어지 는 저항 가 열 히터 가 내장 된 탑재 대가 설치 되 어 있 다 . 해당 열 처리 장치 에서 는 탑재 대 의 상면 에 반도체 웨이퍼 가 탑재 된 상태 에서 , 소정 의 처리 가스 가 흘려 져 , 소정 의 프로세스 조건 하 에서 웨이퍼 에 각종 열처리 가 실시 되 도록 되 어 있 다 .