제 3 가스 공급원 ( 220 c ) 은 제 3 공정 가스 를 수용 할 수 있 다 . 제 3 공정 가스 는 도우 펀트 가스 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 3 공정 가스 는 B 2 H 6 을 포함 할 수 있 다 . 이 와 달리 , 제 3 공정 가스 는 BCl 3 , PH 3 , AsH 3 등 을 포함 할 수 있 다 . 도시 하 지 않 았 으나 , 제 3 가스 공급원 ( 220 c ) 은 복수 개 로 제공 될 수 있 다 .