그러나 , 모듈 간 이동 공정 + 노치 회피 공정 ( 단계 S 50 ) 에서 , 절 결부 ( WN ) 가 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 에 검출 되 지 않 도록 포크 ( 3 A ) 를 상대 이동 시키 고 있 기 때문 에 , 절 결부 ( WN ) 는 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 것 과 도 겹치 고 있 지 않 다 . 따라서 , 재차 검출 공정 ( 단계 S 51 ) 부터 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 53 ) 에서 는 , 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 3 개 를 이용 하 더라도 웨이퍼 ( W ) 의 위치 의 어긋남 량 ( Δ X , Δ Y ) 을 정밀 도 좋 게 검출 할 수 있 다 .