포커스 링 ( 10 ) 은 , 온도 조절 용 베이스 부 ( 3 ) 의 주연 부 에 재치 되 는 평면 에서 보 았 을 때 원환 상 의 부재 이 다 . 포커스 링 ( 10 ) 은 , 예 를 들 면 재치 면 에 재치 되 는 판상 시료 ( W ) ( 웨이퍼 ) 와 동등 한 전기 전도 성 을 갖 는 재료 를 형성 재료 로 하 고 있 다 . 이 와 같 은 포커스 링 ( 10 ) 을 배치 함 으로써 , 웨이퍼 의 주연 부 에 있 어서 는 , 플 라즈 마 에 대한 전기 적 인 환경 을 웨이퍼 와 대략 일치 시킬 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 의 중앙부 와 주연 부 에서 플라 즈 마 처리 의 차나 편향 을 발생 하 기 어렵 게 할 수 있 다 .