혹은 , 영역 AR 에 있 는 화소 에 이상 이 발생 했 을 때 를 생각 한다 . 이 때 , 도 22 에 도시 된 것 과 같이 , 영역 AR 에 있 는 화소 의 검출 값 이 제 1 값 ( n 1 ) 으로 되 기 때문 에 , 검출 값 이 제 1 값 ( n 1 ) 과 제 2 값 ( n 2 ) 사이 에서 변화 되 는 위치 ( E ) 가 , 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 이상 이 발생 하 고 있 지 않 을 때 의 위치 ( E 0 ) 로부터 어긋난다 . 즉 , 검출 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 가 , 화소 에 이상 이 발생 하 지 않 을 때 의 위치 에서 어긋난다 . 따라서 , 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 이상 이 발생 하 고 있 지 않 을 때 의 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 ( E 0 ) 를 미리 기억 하 고 있 고 , 기억 한 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 ( E 0 ) 와 검출 한 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 ( E ) 가 상이 할 때 , 제 어부 ( 6 ) 는 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 이상 이 발생 하 고 있 다고 판정 할 수 있 다 .