약액 아암 ( 152 ) 은 , 회전 구 동원 ( 152 A ) 에 의해 축 체 ( 152 B ) 가 회전 함 으로써 , 아 암부 ( 152 C ) 의 선단 에 장착 된 약액 노즐 ( 52 ) 이 , 스핀 척 ( 51 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 이동 가능 해진다 . 즉 , 아 암부 ( 152 C ) 의 선단 에 장착 된 약액 노즐 ( 52 ) 이 , 수평 방향 으로 이동 가능 해진다 . 여기 서 , 회전 구 동원 ( 152 A ) 의 구동 은 , 후술 하 는 제 어부 에 의해 제어 된다 .