도 1 을 참조 하 면 , 비정질 탄소막 증착 공정 에서 비정질 탄소막 증착 후 , 챔버 내부 를 세정 하 는 시스템 ( 100 ) 은 제 1 가스 공급 라인 ( 110 ) , 제 2 가스 공급 라인 ( 120 ) , 제 3 가스 공급 라인 ( 130 ) , 샤워 헤드 ( 140 ) , 파워 인가 부 ( 150 ) 및 반응 챔버 ( 160 ) 를 구비 한다 .