수조 내 온도 의 목표 분포 는 , 미리 기억 매체 ( 92 ) 에 기억 된 것 을 읽 어 내 이용 한다 . 수조 내 온도 의 목표 분포 는 균일 한 분포 여도 , 불 균일 한 분포 여도 되 며 , 처리 액 ( 3 ) 으로 처리 된 후 의 기판 ( 2 ) 의 검사 결과 에 기초 하 여 적절히 갱신 된다 . 수조 내 온도 의 목표 분포 는 , 기판 ( 2 ) 의 처리 불량 을 저감 시킬 수 있 도록 결정 되 며 , 일부러 불 균일 한 분포 로 결정 되 는 경우 도 있 다 .