/ 분 으로 증가 되 며 , 상기 막 두께 균일 도 는 약 ± 2 % d 부터 ± 3 % 로 바람직 하 지 않 게 증가 하 며 , 이 는 산업 제조 기준 들 하 에 허용 되 지 않 는 다 . 상기 홀 가공 영역 을 감소 시켜 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 막 두께 균 일 도 에 대한 의도 하 지 않 은 해결 을 발견 하 였 다 . 상기 홀 가공 영역 을 감소 시키 고 홀 들 을 통하 여 일직선 및 균일 한 직경 을 이용 하 여 상기 세정 속도 를 실질 적 으로 개선 하 는 것 을 의도 하 지 않 게 발견 하 였 다 .