기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 의 공정 챔버 에 형성 된 통로 를 개폐 하 는 방법 , 그리고 기판 을 처리 하 는 방법 { substrate processing apparatus and method for opening and closing the passage formed in process chamber of the substrate processing apparatus , method for processing substrate }