또한 , 세정 공정 에서 는 파티클 과 오염 물질 을 제거 하 기 위하 여 세정액 을 기판 에 분사 하 되 , 세정력 이 향상 되 도록 세정액 과 청 정건조 공기 ( Clean Dry Air , 이하 ' 에어 ' 로 약칭 함 ) 의 이 류체 ( 二流體 ) 를 혼합 및 증폭 함 으로써 버블 ( bubble ) 형태 로 기판 의 표면 에 충돌 시켜 세정 하 게 된다 .