살펴본 바 와 같이 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 는 제 1 전극 과 제 2 전극 및 기 판지 지부 각각 의 온도 와 , 제 1 전극 의 온도 와 제 2 전극 의 온도 의 온도 차이 값 이나 제 1 전극 의 온도 와 기판 지지 부 의 온도 의 온도 차이 값 이나 제 1 전극 과 제 2 전극 사이 의 전극 간거리 및 제 1 전극 또는 제 2 전극 의 저항 값 이 사용 자 의 각각 의 설정 범위 에 있 지 아니한 비상 상황 에서 인터 락 신호 및 알람 을 발생 시켜 RF 전원 이 공급 되 지 않 도록 하 는 것 을 특징 으로 한다 .