이 구성 에 의하 면 , 제 1 공급 배관 의 상 승부 에 처리 액 이 있 는지 여부 가 , 제 1 액체 검출 센서 에 의해 검출 된다 . 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 을 때 에 는 , 상 승부 가 비 어 있 을 것 이 다 . 또 , 처리 액 의 토출 을 실행 하 고 있 을 때 에 는 , 상 승부 가 처리 액 으로 채워질 것 이 다 . 처리 액 의 토출 을 정지 한 후 에 는 , 상 승부 에 잔류 하 고 있 는 처리 액 이 , 공통 배관 으로부터 제 1 리턴 배관 으로 흐르 는 처리 액 에 기인 하 는 흡인력 과 중력 으로 제 1 리턴 배관 에 흘러 , 상 승부 가 비 게 될 것 이 다 .