일반 적 으로 반도체 를 제조 함 에 있 어서 반도체 에 불순물 을 첨가 하 여 필요 한 전도 형 과 비저항 을 갖 는 반도체 를 얻 기 위한 공정 을 행하 게 되 는데 , 이때 침투 시킬 불순물 을 이온 화 하 고 이것 에 고전 계 ( 50 - 50 Kev ) 를 걸어서 웨이퍼 에 두들겨 넣 는 방법 을 이온 주입 법 이 라 하 며 , 이 와 같 은 이온 주입 공정 에 사용 되 는 장비 가 이온 주입 장치 이 다 .