광원 부 ( 12 ) 는 , 예 를 들 면 , 광원 으로서 파장 약 193 nm 의 ArF 엑 시머 레이저 또는 파장 약 248 nm 의 KrF 엑 시머 레이저 를 사용 할 수 가 있 다 . 단 , 광원 의 종류 는 , 엑 시머 레이저 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 파장 약 157 nm 의 F 2 레이저 를 사용 해도 괜찮 다 . 또 , 광원 부 ( 12 ) 에 는 어떤 광원 의 개수 든 사용 할 수 있 다 .