기판 안 치대 ( 20 ) 는 챔버 ( 11 ) 의 하부 에 위치 하 는 베이스 플레이트 ( 30 ) 의 상부 에 결합 하 는 몸체 ( 21 ) 와 , 상기 몸체 ( 21 ) 의 상면 에 결합 하 며 내부 에 DC 전극 ( 23 ) 을 내장 하 는 절연 플레이트 ( 22 ) 를 포함 한다 . DC 전극 ( 23 ) 은 외부 의 DC 전원 ( 24 ) 에 연결 되 어 정전기력 을 발생 시킴 으로써 절연 플레이트 ( 22 ) 의 상부 에 기판 ( s ) 이 밀착 되 도록 하 는 역할 을 한다 .