또 , 챔버 측 부 ( 61 ) 의 내측 의 벽면 의 상부 에 는 반사 링 ( 68 ) 이 장착 되 며 , 하부 에 는 반사 링 ( 69 ) 이 장착 되 어 있 다 . 반사 링 ( 68 , 69 ) 은 , 모두 원환 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 상측 의 반사 링 ( 68 ) 은 , 챔버 측 부 ( 61 ) 의 상측 으로부터 끼워 넣 음 으로써 장착 된다 . 한편 , 하측 의 반사 링 ( 69 ) 은 , 챔버 측 부 ( 61 ) 의 하측 으로부터 끼워 넣 어 도시 생략 한 나사 로 고정 함 으로써 장착 된다 . 즉 , 반사 링 ( 68 , 69 ) 은 , 모두 착 탈 가능 하 게 챔버 측 부 ( 61 ) 에 장착 되 는 것 이 다 . 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 내측 공간 , 즉 상측 챔버 창 ( 63 ) , 하측 챔버 창 ( 64 ) , 챔버 측 부 ( 61 ) 및 반사 링 ( 68 , 69 ) 에 의해 둘러싸이 는 공간 이 열처리 공간 ( 65 ) 으로서 규정 된다 .