제 어부 ( 30 ) 에 는 , 제 1 의 수 광부 ( 20 ) 와 제 1 의 광검 출부 ( 21 ) 를 포함 하 는 ＰＥＭ 과 , 광원 ( 10 ) 과 투광 부 ( 11 ) 와 수 광부 ( 12 ) 와 제 2 의 광검 출부 ( 13 ) 를 포함 하 는 흡광도 측 정부 가 접속 되 어 있 다 . 제 어부 ( 30 ) 는 , ＰＥＭ 에서 검출 한 광 강도 의 값 으로부터 성막 속도 Ｒp 를 산출 하 는 제 1 의 연산 부 ( 22 ) 와 , 흡광도 측 정부 에서 검출 한 흡광도 의 값 으로부터 성막 속도 Ｒa 를 산출 하 는 제 2 의 연산 부 ( 14 ) 를 가지 고 있 다 . 도 2 의 플로우 에 따라 , ＰＥＭ 및 흡광도 측 정부 에 의해 취득 되 는 성막 속도 에 근거 하 여 , 반응 성 가스 의 도입 량 과 투입 전력 을 제어 한다 . 구체 적 으로 는 아래 와 같 다 .