또한 각 반송 모듈 에 는 글래스 기판 또는 캡 을 이송 하 는 반송 로봇 ( 260 ) 이 구비 되 어 있 는데 , 상기 반송 로봇 ( 260 ) 은 통상 적 으로 가이드 레일 ( 265 ) 과 , 상기 가이드 레일 ( 265 ) 을 따라 수평 이 송 하 는 하부 지그 ( 261 ) 와 , 상기 하부 지그 ( 261 ) 의 상부 에서 회전 운동 하 는 상부 지그 ( 262 ) 와 , 상기 상부 지그 에 고정 된 신축 가능 한 링크 부재 ( 263 ) 와 , 상기 링크 부재 ( 263 ) 의 단부 에 결합 된 암 ( arm , 264 ) 을 포함 하 여 이루어진다 .