- 스캔 모드 에서 는 , " 주어진 타 겟 부 ( C ) 가 단일 "" 플래시 "" 로 노광 되 지 않 는 것 을 제외 하 고 는 기본 적 으로 동일 한 시나리오 가 적용 된다 . 그 대신 에 "," 마스크 테이블 ( MT ) 은 v 의 속도 로 주어진 방향 ( 소위 "" 스캔 방향 """, 예 를 들 어 y 방향 ) 으로 이동 가능 하 여 , 투영 빔 ( PB ) 이 마스크 이미지 전체 에 걸쳐 스캐닝 하 도록 유도 된다 ; 동시 발생 적 으로 , 기판 테이블 ( WT ) 은 속도 V = Mv 로 동일 한 방향 또는 그 반대 방향 으로 동시 에 이동 되 며 , 여기 서 M 은 렌즈 ( PL ) 의 배율 ( 통상 적 으로 , M = 1 / 4 또는 1 / 5 ) 이 다 . 이러 한 방식 으로 , 분해능 을 떨어뜨리 지 않 고 도 비교 적 넓 은 타 겟 부 ( C ) 가 노광 될 수 있 다 .