하드 마스크 는 고온 식각 공정 에 대한 충분 한 내 에칭 성 ( 또는 식각 내성 ) , 내열 성 을 가질 필요 가 있 으며 , 또한 스핀 - 온 코팅 공정 에 의해 균일 한 두께 로 형성 될 필요 가 있 다 . 그러므로 하드 마스크 용 조성물 은 1 ) 용해 성 , 2 ) 내 에 칭 성 , 3 ) 내열 성 및 4 ) 평탄 성 이 동시 에 요구 되 는데 , 일반 적 으로 용해 성 과 평탄 성 은 내 에칭 성 과 trade - off 관계 를 보이 므로 , “ 용해 성 , 평탄 성 및 내 에칭 성 을 동시 에 만족 시키 기 는 어렵 다 .