또한 , 이하 , 실시 형태 에서 는 , 하전 입자 빔 의 일예 로서 , 전자 빔 을 이용 한 구성 에 대하 여 설명 한다 . 단 , 하전 입자 빔 은 , 전자 빔 으로 한정 되 는 것 은 아니 며 , 이온 빔 등 의 하전 입자 를 이용 한 빔 이 여도 상관없 다 . 또한 , 멀티 빔 은 , 하전 입자 빔 에 한정 되 지 않 고 , 레이저 빔 등 이 여도 적용 할 수 있 다 .