도 5 는 , 실시 형태 1 에서 의 멀티 빔 의 조사 영역 과 묘화 대상 화소 와 의 일예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 5 에서 , 스트라이프 영역 ( 32 ) 은 , 예 를 들 면 , 멀티 빔 의 빔 사이즈 로 메 쉬 형상 의 복수 의 메 쉬 영역 으로 분할 된다 . 이러 한 각 메 쉬 영역 이 , 묘화 대상 화소 ( 36 ) ( 단위 조사 영역 , 혹은 묘화 위치 ) 가 된다 . 화소 ( 36 ) 의 사이즈 는 , 빔 사이즈 로 한정 되 는 것 은 아니 고 , 빔 사이즈 와 는 관계없이 임의 의 크기 로 구성 되 는 것 이 여도 상관없 다 . 예 를 들 면 , 빔 사이즈 의 1 / n ( n 는 1 이상 의 정수 ) 의 사이즈 로 구성 되 어도 상관없 다 . 도 5 의 예 에서 는 , 시료 ( 101 ) 의 묘화 영역 이 , 예 를 들 면 , y 방향 으로 , 1 회 의 멀티 빔 ( 20 ) 의 조사 로 조사 가능 한 조사 영역 ( 34 ) ( 묘화 필드 ) 의 사이즈 와 실질 적 으로 같 은 폭 사이즈 로 복수 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 으로 분할 된 경우 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 스트라이프 영역 ( 32 ) 의 폭 은 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 조사 영역 ( 34 ) 의 n 배 ( n 는 1 이상 의 정수 ) 의 사이즈 이 면 바람직 하 다 . 도 5 의 예 에서 는 , 512 Х 512 열 의 멀티 빔 의 경우 를 나타내 고 있 다 . 그리고 , 조사 영역 ( 34 ) 내 에 , 1 회 의 멀티 빔 ( 20 ) 의 샷 으로 조사 가능 한 복수 의 화소 ( 28 ) ( 빔 의 묘화 위치 ) 가 도시 되 어 있 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 서로 이웃 하 는 화소 ( 28 ) 간 의 피치 가 멀티 빔 의 각 빔 간 피치 ( P ) 가 된다 . 도 5 의 예 에서 는 , 서로 이웃 하 는 4 개 의 화소 ( 28 ) 로 둘러싸 임 과 동시 에 , 4 개 의 화소 ( 28 ) 중 하나 의 화소 ( 28 ) 를 포함 하 는 직사각 형 의 영역 에서 1 개 의 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 구성 한다 . 도 5 의 예 에서 는 , 각 서브 조사 영역 ( 29 ) 은 , 4 Х 4 화소 로 구성 되 는 경우 를 나타내 고 있 다 .