본 실시 예 에 있 어서 , 상기 구동 기구 는 , 승강 가능 한 제 1 자성체 와 , 상기 제 1 자성체 의 승강 에 의해 직선 운동 하 는 제 1 기어 와 , 상기 제 1 자성체 와 상기 제 1 기어 사이 에 배치 되 어 신축 하 는 탄성체 를 포함 하 는 부재 와 ; 상기 제 1 기어 의 직선 운동 을 전달 받 아 회전 하 는 제 2 기어 와 , 상기 제 2 기어 의 회전 운동 을 상기 스핀 척 으로 전달 하 는 제 3 기어 를 포함 하 는 회전축 과 ; 상기 제 1 자성체 와 의 사이 에 척력 이 발생 하 는 승강 가능 한 제 2 자성체 를 포함 한다 .