하지만 , 기판 스테이지 ( 2 ) 의 이동 시 기판 스테이지 ( 2 ) 의 작업 공간 내 에 공기 가 변위 된다 . 결과 로서 , 압력 파 들 이 작업 공간 을 통해 전파 될 수 있 다 . 이 압력 파 들 은 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 이동 들 및 / 또는 변형 들 을 야기 할 수 있 는데 , 이 는 특히 그리드 플레이트 의 장착 디바이스 가 그리드 플레이트 의 지 지체 에 약간 의 유연 성 을 도입 하 기 때문 이 다 . 하지만 , 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 더 견고 한 장착 이 사용 될 경우 에 도 , 압력 파 들 은 그리드 플레이트 ( 6 ) 를 이동 시키 거나 변형 시킬 수 있 다 .