반도체 장치 제조 산업 에서 , 장치 제조사 들 은 보다 양호 하 며 및 / 또는 보다 빠른 프로세스 와 하드웨어 구성 을 설계 하 는 프로세스 툴 제조사 들 에 의존 함 으로써 더욱 엄밀 한 허용 오차 를 갖 는 프로세스 와 재료 사양 ( specification ) 으로 전환 하 려 하 였 다 . 그러나 , 장치 형상 들 이 나노미터 스케일 로 축소 됨 에 따라 , 제조 프로세스 의 복잡 성 이 증가 하 고 , 프로세스 와 재료 사양 들 을 충족 하 는 것 도 더욱 어려워졌 다 .