도 5 의 그래프 로부터 불활성 가스 의 주 입량 이 증가 할수록 생산 수율 이 증가 하 는 것 을 알 수 있 었 으며 , 다만 , 최대 비표 면적 은 N 0 . 1 주 입시 에 달성 할 수 있 었 다 . 생산 수율 과 비표 면적 을 함께 고려 하 게 되 면 , 산화 시 N 0 . 25 를 주입 하 는 경우 가 가장 바람직 하 다고 할 수 있 을 것 이 다 .