최초 에 , 스텝 S 102 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 구동 용 가스 배관 ( 172 ) 으로 의 구동 용 가스 의 공급 이 정지 되 어 있 는 상태 에서 , 제 1 구동 용 가스 배관 ( 171 ) 에 구동 용 가스 를 공급 하 여 , 풍차 ( 167 ) 를 회전 시켜서 , 홀더 ( 161 ) 및 인 젝 터 ( 110 ) 를 회전 시킨다 . 홀더 ( 161 ) 는 , 홀더 ( 161 ) 에 마련 된 돌기 부 ( 161 f ) 가 핀 ( 96 a ) 에 접촉 할 때 까지 회전 하 고 , 돌기 부 ( 161 f ) 가 핀 ( 96 a ) 에 접촉 한 후 에 는 홀더 ( 161 ) 의 회전 은 정지 한다 . 또한 , 처리 가스 가 반응 성 이 강한 가스 일 경우 에 , 홀더 ( 161 ) 의 회전 이 정지 한 후 에 도 , 구동 용 가스 를 공급 함 으로써 , 처리 가스 가 , 풍차 ( 167 ) 나 베어링 ( 166 ) 등 이 마련 되 어 있 는 영역 에 진입 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 풍차 ( 167 ) 나 베어링 ( 166 ) 등 이 처리 가스 에 의해 부식 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .