도 6 을 참조 하 면 , 먼저 공정 챔버 로부터 전달 받 은 제 1 약액 을 제 1 탱크 에서 일차 적 으로 가열 하 고 ( S 100 ) , 연결 라인 을 통하 여 상기 가열 된 제 1 약액 을 분리 벽 을 기준 으로 타 측 에 배치 된 제 2 탱크 로 전달 하 며 ( S 200 ) , 제 2 탱크 에서 상기 전달 받 은 제 1 약액 과 이전 에 저장 된 제 2 약액 의 혼합 약액 을 이 차 적 으로 가열 시켜 외부 로 공급 한다 ( S 300 ) .