추가 의 바람직 한 실시 예 에서 , 동심원 함몰 부 , 특히 채널 이 기판 으로부터 멀 어 지 는 방향 으로 홀더 의 측면 상 에 형성 될 수 있 는데 , 이러 한 함몰 부 에서 , 특히 홀더 로부터 의 최소 자유 거리 를 갖 는 전극 이 배치 되 어 , 기판 으로부터 의 정전식 전극 의 크기 를 최소 화 할 수 있 다 . 따라서 , 채널 내 에 기판 측 에 있 지 않 은 홀더 의 표면 과 전극 사이 의 거리 가 1 mm 미만 , 바람직 하 게 는 500 마이크로미터 미만 , 특히 바람직 하 게 는 200 마이크로미터 미만 , 최적 의 경우 는 100 마이크로미터 미만 , 이상 적 인 경우 는 10 마이크로미터 미만 이 다 .