그러나 , 상기 와 같 은 방법 으로 플로팅 게이트 를 형성 하 면 , 소자 가 고집 적 화 되 어 감 에 따라 소자 분리 막 의 폭 이 줄어들 게 되 고 , 이 에 따라 서로 인접 하 는 플로팅 게이트 의 간격 이 줄어들 게 되 어 서로 인접 하 는 플로팅 게이트 에 의한 간섭 현상 이 발생 한다 . 여기 서 , 간섭 현상 은 게이트 방향 의 플로팅 게이트 간 발생 하 는 간섭 현상 과 게이트 에 수직 한 방향 의 플로팅 게이트 간 발생 하 는 간섭 현상 으로 나뉜다 . 이러 한 간섭 현상 을 최소 화 하 기 위한 방법 으로 게이트 와 게이트 사이 의 스페이스 ( space ) 를 늘리 는 방법 이 있 다 .