따라서 , 제 1 부압 ( n * Po ) 에 해당 하 는 값 을 미리 제 어부 에 저장 하 여 두 고 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 부압 이 인가 된 이후 에 소정 의 작동 시간 ( t 1 ) 이 경과 한 상태 에서 , 도 10 b 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 통로 ( 129 ) 에서 의 압력 이 설정 부압 ( Po ) ~ 제 1 부압 ( n * Po ) 의 설정 범위 ( Ap ) 에 속하 면 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 개구 ( 130 x ) 에 밀착 하 지 않 았 으므로 , 정상 적 으로 웨이퍼 ( W ) 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 척 킹 된 상태 라는 것 을 감지 할 수 있 다 . 이 때 , 소정 의 작동 시간 ( t 1 ) 은 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 을 인가 하 여 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 다른 압력 챔버 의 바닥 판 에 대하 여 상측 으로 이동 시키 는 힘 에 의하 여 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 사이 에 진공 에 의한 흡입력 이 작용 하 는 데 필요 한 소요 시간 으로 정해진다 .