본 발명 의 특징 들 및 이 점 들 은 후속 하 는 논의 와 도면 을 참조 하 여 더욱 양호 하 게 이해 될 수 도 있 다 . 도 2 는 본 발명 의 실시 형태 에 따라 , 척 ( 204 ) 을 갖 는 프로세싱 모듈 ( 202 ) 에서 의 인 - 시 츄 광학 측정 장치 의 상부 에서 본 도면 을 도시 한다 . 인 - 시 츄 광학 측정 장치 는 , 이러 한 예 에서 , 트래 버 서 바 ( 208 ) 및 레이저 어셈블리 ( 210 ) 를 포함 하 는 레이저 - 트래 버 싱 어셈블리 를 포함 한다 . 트래 버 서 바 ( 208 ) 는 도시 된 바 와 같이 척 의 표면 상 의 방향 X 에서 ( 상이 한 애플리케이션 에 대해 변화 할 수 도 있 는 ) 일정 한 속도 로 이동 하 도록 구성 된다 . 레이저 어셈블리 ( 210 ) 는 트래 버 서 바 ( 208 ) 상 의 방향 Y 를 따라 진행 하 도록 구성 되 며 , 척 ( 204 ) 의 상부 표면 에 의해 형성 되 는 평면 에 수직 인 방향 에서 광 빔 을 방출 하 도록 구성 된 통합 레이저 및 센서 어셈블리 를 나타낸다 . 통합 센서 는 , 레이저 어셈블리 ( 210 ) 가 도 2 의 예 에서 경로 ( 220 , 222 및 224 ) 를 따라 트래버스 할 때 광 빔 으로부터 의 반사 율 데이터 를 기록 한다 .