유로 ( 20 , 120 ) 에 냉매 를 흘린 경우 , 냉매 에 는 , 물리 현상 으로서 열 조 주 구간 이 형성 된다 . 이 때문 에 , 열 전달 계수 가 균일 한 유로 를 만드 는 것 은 곤란 하 다 . 이 때문 에 , 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 기재 ( 2 a ) 에 , 상면 ( 2 b ) 과 일정 한 두께 ( tw ) 로 유로 ( 120 ) 를 형성 한 경우 , 웨이퍼 ( 8 ) 의 온도 는 유로 ( 120 ) 의 냉매 가 흐르 는 위치 ( xi ) 로부터 위치 ( xe ) 를 따라 상승 한다 . 또한 , 유로 ( 120 ) 의 도입 구 ( 120 a ) 부근 에 는 열 전달 계수 가 높 은 열 조 주 구간 이 형성 되 기 때문 에 , 콜드 스폿 이 발생 한다 .