섬광등 ( 310 ) 은 반도체 프로세스 들 의 광학 모니터링 을 위해 사용 되 는 종래 의 광 소스 일 수 있 다 . 섬광등 ( 310 ) 은 , 예 를 들 어 , 액셀 리 타스 ( Excelitas ) 의 시리즈 1100 섬광 등 과 같 은 제논 ( xenon ) 섬광 등 또는 대략 마이크 로 초 광학 펄스 로 광 을 생성 하 는 연속 적 인 소스 또는 다른 펄스 소스 의 한 유형 일 수 있 다 . 섬광등 ( 310 ) 은 광섬유 케이블 ( 342 ) 을 통해 시준기 ( 320 ) 에 인터 로 게이팅 광 을 전달 한다 .