광 도파관 은 실리콘 부분 및 실리콘 부분 상 에 위치 하 는 실리콘 질화물 부분 을 포함 할 수 있 다 . 실리콘 부분 은 실리콘 부분 의 폭 을 감소 시키 는 테이퍼 를 포함 할 수 있 다 . 광 도파관 은 로딩 된 단일 모드 또는 다중 모드 도파관 에서 단일 모드 도파관 으로 의 전 이 부를 포함 할 수 있 다 . 실리콘 질화물 부분 은 실리콘 부분 에서 광 도파관 을 통해 이동하 는 광 신호 를 가둘 수 있 다 .