일반 적 으로 , 기판 세정 장비 는 대면 적 기판 에 세 정수 또는 세 정수 와 공기 가 혼합 된 이 류체 를 분사 하 여 세정 하 는 장비 이 다 . 이때 사용 된 세 정수 는 대부분 기판 세정 장비 의 저면 측 에 마련 된 유출 관 을 통해 탱크 에 집수 되 며 , 그 일부 는 미스트 ( mist ) 화 되 어 그 기판 세정 장비 의 배기구 를 통해 배기 된다 .