즉 , S 7 에 있 어서 , 도 10 의 ( B ) 와 같이 , 마스크 ( M ) 를 상승 시켜 유리 기판 ( G ) 에 근접 시킨다 . 마스크 ( M ) 의 상 승시 에 는 , 승강 장치 ( 202 ) 에 의해 마스크 트레이 ( 205 ) 을 상승 시킴 으로써 , 마스크 지지 부 ( 206 ) 에 의해 지 지 되 어 있 는 마스크 ( M ) 가 상승 한다 . 마스크 ( M ) 자체 는 , 도면 에 모식 적 으로 나타내 는 바 와 같이 휘 어 있 고 , 마스크 지지 부 ( 206 ) 에 지지 된 마스크 프레임 ( MF ) 이 상승 하 고 , 유리 기판 ( G ) 과 소정 의 틈 까지 근접 한다 . 이 때 의 마스크 ( M ) 와 유리 기판 ( G ) 의 클리어런스 를 CLS 71 이 라고 하 면 , 예 를 들 면 CLS 71 = 0 . 5 mm 이 다 . 또한 , 반송 캐리어 ( 302 ) 가 자기 부상 하 고 있 는 것 으로부터 , 캐리어 스탠드 부 ( 31 ) 의 하단 과 마스크 트레이 ( 205 ) 의 사이 에 는 클리어런스 CLS 72 가 존재 한다 .