우선 , 리저 버 ( 112 ) 와 , 챔버 ( 114 ) 와 , 리스트 릭터 ( 113 ) 에 상응 하 여 제 1 플레이트 ( 110 ) 를 가공 한다 ( S 11 ) . 제 1 플레이트 ( 110 ) 를 대상 으로 화학 적 가공 또는 기계 적 가공 등 을 수행 함 으로써 , 제 1 플레이트 ( 110 ) 에 상술 한 구성 에 상응 하 는 형상 이 형성 되 도록 하 는 것 이 다 . 이렇게 가공 된 제 1 플레이트 ( 110 ) 의 모습 이 도 3 의 ( a ) 에 도시 되 어 있 다 .