또한 , 일반 적 인 실리콘 웨이퍼 는 웨이퍼 의 전면 으로부터 후면 에 이르 기 까지 전위 , 적층 결함 및 산소 석출 물 등 이 존재 하 지 않 는 디누 드 존 ( Denuded Zone ; DZ ) 이 표면 으로부터 소정 깊이 까지 확보 되 어야 한다 . 그러나 , 일반 적 으로 실리콘 웨이퍼 는 표면 영역 에 산 소석 출물 이 발생 되 어 누설 전류 의 소오 스 ( Source ) 로서 작용 하 게 된다 .