예비 제 2 트렌치 ( 112 ) 는 기판 ( 100 ) 의 주변 영역 ( P ) 에 형성 되 며 , 상기 제 2 폭 과 실질 적 으로 동일 한 상부 폭 을 가지 며 , 하부 로 갈수록 감소 되 는 폭 을 가진다 . 또한 , 예비 제 2 트렌치 ( 112 ) 는 제 2 깊이 를 가진다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 깊이 는 상기 제 1 깊이 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 .