예 를 들 어 , 연마 패드 교체 부 ( 15 ) 는 유지 보수 위치 ( MP ) 에서 한 쌍 의 롤러 ( 131 , 132 ) 사이 의 간격 을 조절 함 으로써 연마 패드 ( 12 ) 의 장력 을 조절 할 수 있 다 . 상세 하 게 는 , 도 4 내지 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 연마 패드 교체 부 ( 15 ) 는 유지 보수 위치 ( MP ) 에서 한 쌍 의 롤러 ( 131 , 132 ) 중 어느 하나 의 롤러 를 화살표 ' A ' 방향 으로 이동 시킴 으로써 한 쌍 의 롤러 ( 131 , 132 ) 사이 의 간격 을 조절 하 여 연마 패드 ( 12 ) 에 가해 지 는 장력 을 줄이 거나 제거 할 수 있 다 . 즉 , 연마 패드 교체 부 ( 15 ) 는 액추에이터 ( 151 , 152 ) 중 하나 의 액추에이터 ( 152 ) 를 이용 하 여 일 측 롤러 ( 132 ) 를 타 측 롤러 ( 131 ) 에 가까워 지 도록 이동 시키 면 , 롤러 ( 131 , 132 ) 사이 의 거리 가 줄어들 면서 연마 패드 ( 12 ) 에서 장력 이 감소 하 게 된다 .