척 테이블 ( 20 ) 을 사이 에 두 도록 마련 되 는 이오 나이저 ( 51 ) 는 , 척 테이블 ( 20 ) 에 송 풍구 ( 53 ) 를 향하 도록 하 여 배치 된다 . 이 들 이오 나이저 ( 51 ) 는 , 척 테이블 ( 20 ) 의 유지 면 ( 23 ) 을 향하 여 , 이온 화 에어 를 분출 한다 . 따라서 , 이오 나이저 ( 51 ) 는 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 가 유지 면 ( 23 ) 으로부터 이격 될 때 에 는 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 에 있 어서 의 다 이싱 테이프 ( T 1 ) 의 하면 을 향하 여 , 이온 화 에어 를 분출 한다 . 이 에 의해 , 이오 나이저 ( 51 ) 는 , 다 이싱 테이프 ( T 1 ) 에 대전 되 는 정전기 를 제거 한다 .