본 개시 의 일 양태 에 의한 처리 액 토출 노즐 은 , 기판 처리 에 이용 하 는 처리 액 을 토출 하 는 처리 액 토출 노즐 이 다 . 처리 액 토출 노즐 은 , 노즐 본 체부 와 , 각도 변경 기구 를 구비 한다 . 노즐 본 체부 는 , 처리 액 공 급로 에 연통 ( 連通 ) 되 는 제 1 유로 가 형성 된 제 1 본 체부 와 , 제 1 유로 에 연통 되 는 제 2 유로 가 형성 되 고 , 제 1 본 체부 에 대해 굴곡 하 는 제 2 본 체부 를 갖 는다 . 각도 변경 기구 는 , 노즐 본 체부 가 고정 되 는 고정 부재 에 대해 , 수평 방향 에 있 어서 의 노즐 본 체부 의 각도 를 변경 한다 .