하드 마스크 패턴 ( 23 A ) 과 스 페이서 ( 25 ) 가 제거 된 후 의 결과 를 살펴보 면 , 절 연막 ( 22 ) 에 는 1 차 홀 ( 22 A ) 과 3 차 홀 ( 22 C ) 로 이루어진 콘 택 홀 ( 100 ) 이 최종 적 으로 형성 된다 . 그리고 , 3 차 홀 ( 22 C ) 의 선폭 ( CD 3 ) 이 1 차 홀 ( 22 A ) 의 선폭 ( CD 1 ) 보다 더 크 므로 , 콘 택 홀 ( 100 ) 의 바닥 선폭 은 상부 선폭 보다 더 크 다 . 이 처럼 , 바닥 선폭 이 크 므로 콘 택 저항 을 감소 시킬 수 있 다 .