연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 은 , 수소 함유 가스 , 예 를 들 어 H 2 가스 의 공급원 인 수소 함유 가스 공급원 GS 7 로부터 연장 되 어 , 수소 함유 가스 공급 라인 L 2 에 접속 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 을 통해 수소 함유 가스 공급 라인 L 2 측 에 H 2 가스 가 공급 된다 . 연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 은 , ALD 법 에 의한 성막 중 에 H 2 가스 를 상시 공급 한다 . 연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 에 는 , 수소 함유 가스 공급원 GS 7 측 으로부터 순서 대로 매스 플로우 컨트롤러 M 7 및 개폐 밸브 V 7 이 마련 되 어 있 다 . 매스 플로우 컨트롤러 M 7 은 , 연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 을 흐르 는 H 2 가스 의 유량 을 제어 한다 .