이하 표 2 에 나타내 어 진 성분 은 용매 에 용해 되 고 , 7 질량 % 의 고형분 함량 농도 를 갖 는 용액 이 각각 제조 되 었 다 . 상기 용액 은 0 . 1 ㎛ 의 세공 크기 를 갖 는 폴리에틸렌 필터 를 통해서 여과 되 어 포지티브 레지스 트 조성물 이 제조 되 었 다 . 이 로써 제조 된 상기 포지티브 레지스 트 조성물 은 이하 방법 에 의해서 평가 되 었 고 , 그 결과 는 이하 표 에 나타내 어 진다 .