도 4 a 는 본 발명 의 일실 시예 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 4 a 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 는 기판 ( 101 ) 이 공급 됨 에 따라 진공 상태 에서 패턴 형성 등 의 실제 공정 이 진행 되 는 복수 의 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 와 , 상기 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 사이 에 설치 되 어 입력 되 는 기판 ( 101 ) 을 각 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 로 투입 하 는 이송 챔버 ( 133 ) 와 , 상기 이송 챔버 ( 133 ) 전단 에 설치 되 어 외부 로부터 입력 되 는 기판 ( 101 ) 에게 진공 환경 을 제공 하 는 로드 락 ( 132 ) 과 , 상기 로드 락 ( 132 ) 의 양 측면 에 설치 되 어 이전 공정 이 종료 되 어 이송 되 어 온 기판 ( 101 ) 을 상기 로드 락 ( 32 ) 의 양 측면 에 설치 된 입구 ( 137 a ) 와 출구 ( 137 b ) 를 통해 상기 로드 락 ( 32 ) 에 공급 하 고 취 출하 는 컨베이어 ( 153 , 154 ) 로 구성 된다 .