예 를 들 면 , 입출력 장치 ( 16 ) 의 조작 표시 화면 ( 18 ) 을 개재 하 여 입력 부 ( 160 ) 에 의하 여 , 레시피 를 설정 하 기 위한 데이터 나 해당 레시피 에 대한 유저 ( 작업자 ) 의 조작 권한 등 의 데이터 ( 입력 데이터 ) 가 입력 되 면 , 해당 입력 데이터 ( 입력 지시 ) 는 , 기억 부 ( 166 ) 에 격납 됨 과 동시 에 표시 제 어부 ( 164 ) 를 개재 하 여 표시 부 ( 162 ) 에 표시 되 고 , 또한 표시 제 어부 ( 164 ) 에 의하 여 PMC ( 14 ) 의 송수신 처 리부 ( 146 ) 에 송신 된다 . CPU ( 140 ) 는 , 입력 데이터 를 RAM ( 144 ) 에 격납 하 고 , 예 를 들 면 ROM ( 142 ) 에 격납 된 레시피 나 당 레시피 에 대한 유저 ( 작업자 ) 의 조작 권한 등 의 설정 입력 을 확정 시킨다 . CPU ( 140 ) 는 , 시퀀스 프로그램 을 기동 하 고 , 당 시퀀스 프로그램 에 따라서 , 예 를 들 면 RAM ( 144 ) 에 격납 된 레시피 의 커맨드 를 불러 들여 실행 함 으로써 , 스텝 이 차례 차례 로 실행 되 고 , I / O 제 어부 ( 148 ) 를 개재 하 여 온도 제 어부 ( 150 ) , 가스 제 어부 ( 152 ) , 압력 제 어부 ( 154 ) 및 반송 제 어부 ( 156 ) 에 대하 여 기판 을 처리 하 기 위한 제어 지시 가 송신 된다 . 온도 제 어부 ( 150 ) 등 의 컨트롤러 는 , CPU ( 140 ) 로부터 의 제어 지시 에 따라서 기판 처리 장치 ( 10 ) 내 의 각 부 [ 히터 ( 338 ) , MFC ( 342 ) 및 밸브 ( 348 ) 등 ] 의 제어 를 실시 한다 . 이 에 따라 , 상술 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 처리 가 이루어진다 .