본 발명 에 따른 다중 간섭 현상 을 이용 한 미세 패턴 의 형성 방법 은 포토 레지스터 가 도포 된 기판 상 에 미세 패턴 을 형성 하 기 위한 미세 패턴 의 형성 방법 에 있 어서 , 다중 간섭 현상 에 의해 다중 간섭 신호 가 싱크 파형 을 발생 하 도록 상기 포토 레지스터 에 노광 하 는 단계 ; 및 상기 노광 상태 에서 다중 간섭 신호 와 기판 간 의 상대 위치 를 연속 적 으로 변경 시킴 으로써 기판 에 제작 되 는 미세 패턴 의 선폭 이 조절 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .