반도체 소자 는 반도체 기판 상 에 다양 한 구조 의 패턴 들 로 이루어진 단위 소자 들 이 배치 되 어 이 들 의 전기 적 연결 을 통해 구동 하 는 장치 이 다 . 통상 적 으로 , 반도체 소자 를 구성 하 는 패턴 들 , 즉 , 반도체 패턴 들 은 노광 공정 에 의하 여 정의 된다 . 즉 , 레디 클 ( reticle ) 등 을 이용 한 노광 공정 으로 감광막 패턴 을 형성 함 으로써 , 반 도 체 패턴 을 정의 할 수 있 다 .