주 쇄 에 인데 노 플 루 오렌 구조 가 도입 된 중합체 를 이용 함 으로써 탄소 밀도 가 향상 되 고 , 에칭 내성 이나 비틀림 내성 이 우수 한 유기 막 을 형성 할 수 있 음 과 더불 어 , W 1 의 구조 를 적절 하 게 선택 함 으로써 용제 용해 성 이나 매립 / 평탄 화 특성 , 성막 성 , 기판 에 대한 밀착 성 등 을 요구 성능 에 따라 조정 할 수 있 게 된다 .