상기 반응 챔버 ( 110 ) 는 증착 반응 이 일어나 는 반응 실 ( R ) 을 내부 에 가지 는 대략 실린더 형상 의 용기 이 며 , 개구 된 상단 에 는 가스 공급 부 ( 130 ) 가 장착 된다 . 이 와 같이 , 반응 챔버 ( 110 ) 와 가스 공급 부 ( 130 ) 가 서로 결합 됨 으로써 밀폐 된 공간 인 반응 실 ( R ) 을 형성 하 게 된다 .