본 발명 의 목적 은 미세 전자 기계 시스템 을 제조 하 기 위한 개선 된 방법 을 제공 하 는 데 있 다 . 본 발명 의 다른 목적 은 본 발명 의 방법 에 응용 하 기 에 적합 한 신규 의 식각 가스 혼합물 을 제공 하 는 데 있 다 . 본 발명 의 이 들 및 기타 목적 들 은 하 기 에 개략 적 으로 설명 된 바 와 같 은 방법 및 가스 혼합물 에 의해 달성 된다 .