마스크 제작 후 의 그 레이톤 부 ( 15 ) 에서 의 분광 투과율 을 , 분광 광도계 ( 히타치 제작소 사제 : U - 4100 ) 에 의해 측정 하 였 다 . 그 결과 , 노광 광원 의 파장 에서 의 투과율 은 365 ㎚( i 선 ) 에서 27 . 6 ％, 406 ㎚( h 선 ) 에서 31 . 4 ％, 436 ㎚( g 선 ) 에서 33 . 6 ％ 로 , i 선 ∼ g 선 에 걸치 는 파장 대역 에서 파장 변화 에 대한 투과율 변화 가 커서 , i 선 ∼ g 선 에 걸치 는 파장 대역 에서 플랫 한 분광 특성 을 갖 고 있 지 않 았 다 .