본 발명 은 가스 센서 에 관한 것 으로 , 보다 자세 하 게 는 가스 감지 물질 하부 에 위치 한 폴리 실리콘 멤 브레인 의 특정 영역 에 이온 또는 불순물 을 주입 하 여 멤 브레인 내부 에 형성 된 마이크 로 히터 를 구비 함 으로써 , 열 적 인 안정 성 , 가스 감지 물질 형성 용이성 이 우수 한 , 마이크 로 가스 센서 및 제조 방법 에 관한 것 이 다 .