단 , 2 개 의 유도 가열 코일 ( 132 a , 132 b ) 은 도시 하 지 않 은 전환 스위치 에 의해 단일 가동 과 상호 가동 을 선택 가능 하 게 해도 된다 . 이러 한 구성 으로 한 경우 , 가동 시키 는 유도 가열 코일 의 조합 에 의해 서 셉 터 ( 152 ) 의 가열 범위 가 변화 하 기 때문 에 웨이퍼 ( 154 ) 면내 에서 의 온도 분포 제어 를 하 는 것 이 가능 해진다 .