기판 처리 방법 의 일 실시 예 는 , 제 1 박막 을 목적 기판 상 에 배치 하 는 전사 단계 ; 전 사막 을 상기 제 1 박막 으로부터 이탈 시키 는 전 사막 이탈 단계 ; 및 상기 제 1 박막 상 에 존재 하 고 상기 전 사막 으로부터 유래 하 는 폴리머 재질 의 잔류물 에 자외선 을 조사 하 여 , 상기 잔류물 을 모노머 로 변환 하 고 상기 잔류물 을 상기 제 1 박막 으로부터 이탈 시키 는 자외선 조사 단계 를 포함 할 수 있 다 .