따라서 본 발명 에서 이루 고자 하 는 기술 적 과제 는 , 초전 도 코일 이 극저온 에서 초전 도 성질 을 가지 기 위하 여 권선 된 코일 을 진공 열처리 장치 의 내부 에 설치 한 후 660 ℃ 의 온도 로 30 일 간 의 반응 처리 시 온 도균 일도 를 유지 하 고 , 관내 연선 도체 의 관 에 크랙 이 발생 되 지 않 도록 산소 농도 0 . 08 ppm 이하 의 내부 진공도 를 유지 할 수 있 는 진공 열처리 장치 및 그 방법 을 제공 하 는데 있 다 .