실드 전극 부 ( 24 ) 는 제 1 실리콘 층 에 유래 하 는 부위 이 며 , 예 를 들 면 도 4 에 도시 한 바 와 같이 절연 층 ( 25 ) 을 개재 하 여 구동 전극 ( 23 ) 의 아암 ( 23 A ) 에 접합 하 고 있 다 . 실드 전극 부 ( 24 ) 및 구동 전극 ( 23 ) 은 전기 적 으로 분리 되 어 있 다 . 또한 , 실드 전극 부 ( 24 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 프레임 ( 21 ) 의 제 1 층 부 ( 21 a ) ( 실드 전극 부 ( 21 a ')) 와 연속 되 고 또 한 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 이 와 같 은 실드 전극 부 ( 24 ) 는 , 본 발명 에서 의 제 2 실드 전극 부 에 해당 한다 .