이상 의 결과 ( 도 14 ～ 도 21 ) 를 종합 하 면 , 패턴 의 소밀 에 의한 측벽 경사 각도 차 및 면내 위치 에 있 어서 의 CD 차 를 개선 하 기 위해서 는 CF 4 의 유량 을 조절 하 는 것 이 유효 하 고 , 이 목적 을 위해서 는 예 를 들 면 CF 4 의 유량 을 20 ～ 40 ㎖/ min ( sccm ) 에 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 패턴 의 소밀 에 의한 측벽 경사 각도 차 를 개선 하 기 위해서 는 O 2 의 유량 을 조절 하 는 것 도 유효 하 며 , 이 목적 을 위해서 는 예 를 들 면 O 2 의 유량 을 6 ～ 15 ㎖/ min ( sccm ) 으로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .