수평 구동 부 ( 33 A ) 는 , 스테이지 ( 133 A ) 를 연직 방향 을 따르 는 회동 축선 ( Z 1 ) 둘레 로 회동 시키 는 회동 모터 ( 133 D ) 를 구비 한다 . 회동 모터 ( 133 D ) 에 의해 , 핸드 ( 33 C ) 및 핸드 ( 33 D ) 는 , 회동 축선 ( Z 1 ) 둘레 로 , 지주 ( 33 E ) 에 간섭 하 지 않 는 범위 에서 회동 할 수 있 다 .