또한 , 실시 예 1 및 실시 예 2 양쪽 모두 , 클리닝 ( 에칭 , 트리트 먼 트 ) 후 의 처리 실 ( 201 ) 내부 나 가스 유통 경로 내 에 있 어서 금속 부재 , 예 를 들 면 매니폴드 ( 209 ) , 씰 캡 ( 219 ) , 회전축 ( 255 ) , 배기관 ( 231 ) , 압력 조정 장치 ( 242 ) 등 의 부식 이 발생 하 지 않 음 을 확인 할 수 있 었 다 . 또한 , 처리 실 ( 201 ) 내부 의 석영 부재 [ 프로세스 튜브 ( 203 ) 나 보트 ( 217 ) 등 ] 의 침식 이나 파손 이 발생 하 지 않 음 을 확인 할 수 있 었 다 .