어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 26 ) 에서 는 , 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 17 ) 과 마찬가지 로 , 산출 한 중심 위치 o ' 의 좌표 ( X ', Y ') 와 , 기준 위치 o 에 있 어서 의 웨이퍼 ( W ) 의 좌표 o ( X , Y ) 사이 의 어긋남 량 ( Δ X , Δ Y ) 을 , 식 ( 16 ) 및 식 ( 17 ) 에 의해 구한다 . 계속 해서 , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 27 ) 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 포크 ( 3 A ) 에 유지 한 상태 에서 , 반송 아암 ( A 3 ) 을 앞 의 처리 모듈 에서 다음 처리 모듈 로 이동 시킨다 . 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 28 ) 은 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 26 ) 과 같 은 식 으로 하 여 행할 수 있 다 . 한편 , 판정 공정 ( 단계 S 25 ) 에서 4 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 것 도 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 하 고 있 지 않 다고 판정 했 을 때 는 , 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 28 ) 을 생략 하 더라도 좋 다 .