유사 하 게 , 프로세스 들 은 멀티 존 플라 즈 마 소스 ( 200 , 300 , 310 , 320 , 330 ) 의 동심 링 플라 즈 마 챔버 들 ( 310 A - E ) , 및 / 또는 페라이트 들 ( 204 A - E ) , 및 / 또는 반지름 방향 세그먼트 들 ( 334 A - 334 L ) 중 하나 이상 또는 조합 에 의해 정의 되 는 각각 의 영역 들 의 각각 에서 모니터링 및 / 또는 제어 될 수 있 다 . 또한 , 존 들 의 각각 은 , 멀티 존 플라 즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 310 , 320 , 330 ) 이 유효 하 게 단일 존 플라 즈 마 소스 가 되 도록 같 은 방식 및 세트 포인트 들 에서 동작 될 수 있 다는 점 이 이해 되 야 한다 . 또한 , 멀티 존 플라 즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 310 , 320 , 330 ) 의 존 들 중 일부 는 , 멀티 존 플라 즈 마 소스 들 이 더 적 은 존 들 을 갖 도록 같 은 방식 및 세트 포인트 들 에서 동작 될 수 있 다 .