단계 S 24 에서 , 오버레이 또는 다른 성능 파라미터 의 측정치 가 소망 되 는 값 과 비교 되 고 , 리소그래피 제조 시스템 내 의 리소그래피 장치 및 / 또는 다른 장치 의 설정 을 업데이트 하 기 위해 사용 된다 . 조명 검출 단계 당 두 배 많 은 타 겟 을 측정 할 수 있 는 검사 장치 를 제공 하 는 것 에 의해 , 주어진 측정 오버헤드 에 대해 더 많 은 측정치 가 획득 될 수 있 다 . 이것 은 , 결국 에 는 , 측정 의 결과 가 리소그래피 장치 의 추가 적 인 제어 에서 그리고 추가 적 인 측정 에서 적용 될 때 , 더 나 은 성능 으로 이어질 수 있 다 .