여기 에서 , 기판 ( 700 ) 의 정렬 마크 ( 710 ) 는 기판 ( 700 ) 을 정렬 하 기 위해 사용 되 는 표시 로서 , 기판 ( 700 ) 에 특정 한 모양 이 양각 또는 음각 으로 형성 된 표시 에 해당 할 수 있 다 . 또한 여기 에서 , 빛 이 기판 ( 700 ) 의 정렬 마크 ( 710 ) 를 통과 한다는 것 은 도 3 과 달리 , 정렬 마크 ( 710 ) 가 기판 에 관 통공 으로 형성 되 어 빛 이 통과 하 는 것 을 의미 할 수 있 다 .