실드 전극 부 ( 14 ) 는 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 제 2 실리콘 층 에 유래 하 는 부위 이 며 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 절연 층 ( 15 ) 을 개재 하 여 구동 전극 ( 12 ) 에 접합 하 고 있 다 . 실드 전극 부 ( 14 ) 및 구동 전극 ( 12 ) 은 , 절연 층 ( 15 ) 을 관통 하 는 도전 비아 ( 16 ) 를 통하 여 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 이 와 같 은 실드 전극 부 ( 14 ) 는 , 본 발명 에서 의 제 1 실드 전극 부 에 해당 한다 .