또한 , 반송 캐리어 ( 302 ) 하면 의 척 프레임 ( 309 ) 의 주위 복수 개소 ( 실시 예 에서 는 10 개소 ) 에 는 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 과 는 별개 로 , 마스크 ( M ) 를 보유 지지 하 는 마스크 보유 지지 수단 으로서 의 마스크 척 ( 311 ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 마스크 척 ( 311 ) 은 , 외부 에 배치 되 는 액추에이터 ( 311 m ) 로부터 의 구동력 으로 구동 되 는 구성 이 며 , 반송 캐리어 ( 302 ) 에 는 구 동원 은 탑재 되 어 있 지 않 다 . 마스크 척 ( 311 ) 은 , 마스크 ( M ) 의 주연 의 마스크 프레임 ( MF ) 을 계지 함 으로써 , 유리 기판 ( G ) 을 사이 에 두 고 보유 지지 하 고 있 다 .