또한 , 컨 택트 영역 ( 154 a , 154 b ) 은 , 피에조 저항 영역 ( 152 ) 에 접속 하 여 , 보호 영역 이 형성 되 어 있 는 영역 이외 에 반도체 층 ( 151 ) 의 표면 에 도달 하 여 형성 된 p 형 의 불순물 이 도입 된 영역 이 다 . 전극 ( 155 a , 155 b ) 은 , 반도체 층 ( 151 ) 의 표면 측 에서 , 컨 택트 영역 ( 154 a , 154 b ) 의 각각 에 옴 접속 한다 . 전극 ( 155 a , 155 b ) 은 , 예컨대 , Au , Cu , Al 등 의 금속 으로 구성 되 어 있 다 .