한편 , 기판 지지 부재 ( 100 ) 의 둘레 에 는 기판 지지 부재 ( 100 ) 를 둘러싸 도록 바울 ( Bowl ) 부 ( 300 ) 가 배치 된다 . 바울 부 ( 300 ) 는 대체로 원통 형상 을 가진다 . 구체 적 으로 바울 부 ( 300 ) 는 원형 의 하부 벽 ( 302 ) 과 , 하부 벽 ( 302 ) 상부 로 연장 되 는 측벽 ( 304 ) 을 가진다 . 하부 벽 ( 302 ) 에 는 배기 홀 ( 306 ) 이 형성 되 고 , 배기 홀 ( 306 ) 에 는 배기관 ( 310 ) 이 연통 설치 된다 . 배기관 ( 310 ) 상 에 는 펌프 와 같 은 배기 부재 ( 320 ) 가 배치 되 며 , 배기 부재 ( 320 ) 는 기판 ( W ) 의 회전 에 의해 비산 된 약액 을 포함 하 는 용기 내부 의 공기 를 배기 시키 도록 음압 을 제공 한다 .