ID 블록 ( 2 ) 은 , 반사 방지 막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 처리 층 ( A 1 ) 의 계층 ( 1 층 ) 으로 이동 시킨다 . 즉 , ID 블록 ( 2 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 버퍼 부 ( BU 3 ) 의 이 송부 ( SN 6 ) 로부터 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 이 송부 ( SN 1 ) 로 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 이 에 의해 , 처리 층 ( A 1 ) 이 기판 ( W ) 을 수취 할 수 있 는 상태 가 된다 . 또한 , 기판 ( W ) 을 처리 층 ( C 2 ) 에서 처리 했 을 경우 는 , 기판 ( W ) 은 , 버퍼 부 ( BU 3 ) 의 이 송부 ( SN 7 ) 로부터 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 2 ) 로 반송 된다 . 이 에 의해 , 처리 층 ( A 2 ) 이 기판 을 수취 할 수 있 는 상태 가 된다 .