또한 , 본 발명 의 증착 재료 는 La 2 O 3 나 LaO 라는 산화 란탄 의 함유율 이 5 중량 % 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 산화 란탄 은 흡습성 이 커서 , 함유율 이 5 중량 % 를 초과 하 면 , 공기 중 의 수분 과 반응 하 여 보다 저밀도 의 수산화 란탄 으로 화학 변화 되 어 , 성 형체 , 소 결체 또는 용융 체의 경우 에 는 , 그것 이 팽창 하 여 무너져 분말 형상 으로 되 어 버리 기 때문 이 다 . 이러 한 분말 형상 뿐 아니 라 수산화 란탄 이 많이 포함 되 는 증착 재료 를 그대로 증착 에 사용 하 면 , 가열 시 에 재료 의 스 플 래쉬 가 발생 할 뿐 아니 라 현저 한 수분 의 방출 이 일어나 , 형성 된 막 에 물리 적 결함 이 생기 고 , 또한 , 증착 장치 의 보 수면 에서 도 바람직 하 지 않 다 .