한편 , 본 예 와 같 은 다이렉트 다이어프램 구조 , 즉 다이어프램 ( 213 ) 이 시트 ( 212 ) 에 접촉 이반 됨 으로써 유입 로 ( 211 a ) 로부터 유출 로 ( 211 b ) 로 유체 를 유통 시키 거나 유통 을 차단 시키 는 구조 에서 는 , 액추에이터 몸체 ( 22 ) 내 의 부피 변화 가 적 다 . 그 때문 에 , 본 예의 이상 검지 장치 ( 1 ) 에 의해 리크 포트 ( LP ) 를 외부 와 차단 한 상태 이 어도 , 유체 제어기 ( 2 ) 는 문제 없이 개폐 동작 을 행할 수 있 다 . 따라서 , 본 예의 이상 검지 장치 ( 1 ) 는 다이렉트 다이어프램 구조 로 이루어지 는 유체 제어기 ( 2 ) 에 적합 한 것 이 라고 할 수 있 다 .