금속 층 ( 40 ) 은 수 나노미터 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 함 으로써 전 착시 미세 선폭 의 트렌치 ( 20 a ) 에 효과 적 으로 들어가 트렌치 ( 20 a ) 를 효과 적 으로 채울 수 있 다 . 이 에 따라 보이 드 없 는 미세 선폭 을 가지 는 금속 구조물 을 효과 적 으로 형성 할 수 있 고 이 에 따라 보이 드 없 는 미세 배선 을 형성 하 는 데 효과 적 으로 적용 할 수 있 다 .