열처리 는 산소 분위기 중 에서 실시 할 수 가 있 지만 , 우선 질소 혹은 불활성 가스 , 또는 감압 하 에서 열처리 를 실시 하 고 나 서 산소 를 포함 하 는 분위기 중 에서 열처리 를 실시 하 여도 좋 다 . 처음 에 탈수 화 , 탈수소 화 를 실시 하 고 나 서 산소 를 산화물 반도체 에 부가 함 에 의해 , 열처리 의 효과 를 보다 높일 수 가 있 다 . 또한 , 나중 에 산소 를 부가 하 기 위해서 는 , 산소 이온 을 전계 로 가속 하 여 산화물 반도체 막 에 주입 하 는 방법 을 적용 하 여도 좋 다 .