본 발명 의 수차 측정 장치 는 결상 광학계 의 수차 를 측정 한다 . 상기 장치 는 조명계 , 분리 부재 , 및 측 정부 를 구비 한다 . 조명 계 는 상기 결상 광학계 의 수차 의 측정 에 사용 되 는 측 정광 과 이 측정 광과 는 다른 배 경광 을 상기 결상 광학계 에 공급 한다 . 분리 부재 는 결상 광학계 를 통과 한 상기 측 정광 과 배 경광 을 분리 한다 . 상기 측 정부 는 상기 분리 부재 에 의해 분리 된 상기 측정 광 에 기초 하 여 상기 결상 광학계 의 수차 를 측정 한다 .