도 1 의 ( a ) 및 ( b ) 에 는 도전 성 패턴 ( 12 ) 이 형성 된 서브 마운트 ( 10 ) 의 평면도 와 단면도 가 도시 되 어 있 다 . 상기 서브 마운트 ( 10 ) 는 Si 또는 AlN 등 과 같 은 비 도전 성 재질 의 기판 으로 형성 된다 . 상기 도전 성 패턴 ( 12 ) 은 마스크 를 이용 한 예 를 들 면 도금 과 같 은 공정 에 의해 형성 되 는 미리 정해진 형상 의 금속 도금 층 으로 이루어진다 . 마스크 에 의해 금속 도금 층 이 형성 되 지 않 은 부분 은 절연 패턴 ( 15 ) 이 된다 .