상기 한 바 와 같이 본 발명 에 따른 양면 연마 방법 의 종래 기술 과 의 차이 는 , 양면 연마 가공 단계 중 연마제 로서 파이널 슬러리 를 사용 하 는 단계 를 추가 하 여 연마 를 한다는 것 이 다 . 이때 의 연마 하중 은 스톡 슬러리 를 사용 하 는 연마 가공 단계 들 중 가장 높 은 하중 의 30 ∼ 50 % 의 압력 을 사용 하 고 , 상부 및 하부 정반 ( 11 , 13 ) 의 rpm 및 캐리어 ( 12 ) 의 rpm 은 스톡 슬러리 를 사용 하 는 연마 가공 단계 들 중 연마 하중 이 가장 높 은 단계 와 같 은 rpm 을 사용 하 여도 무방 하 다 .