위 에서 언급 한 바 와 같이 , 각각 의 증착 사이클 의 각각 의 펄스 또는 페이즈 는 바람직 하 게 자기 제한 적 이 다 . 민감 한 구조 표면 을 포화 시키 기 위해 각 페이즈 에서 과량 의 반응물 을 공급 할 수 있 다 . 표면 포화 는 이용 가능 한 모든 반응 부위 ( 예 , " 물리 적 크기 또는 "" 입체 장애 "" 제약 조건 을 받 음 ) 의 반응물 점유 를 보장 하 므로 우수 한 단차 피복 도 를 보장 한다 . 일부 구 현예 에서 ", 완전 한 포화 를 달성 하 지 않 고 , 단층 미만 으로 기판 표면 에 흡착 되 도록 , 하나 이상 의 반응물 의 펄스 시간 이 감소 될 수 있 다 .