벨트 를 이용 한 기판 세정 장치 는 벨트 를 기판 의 표면 에 직접 강제 접촉 시켜 기판 의 표면 을 세정 하 기 때문 에 실질 적 으로 세정력 이 우수 하 다 . 이 에 비해 연 마천 을 이용 한 기판 세정 장치 의 경우 에 는 연 마천 이 기판 의 표면 에 강제 접촉 되 지 않 고 홅고 지나가 는 정도 에 불과 하 기 때문 에 벨트 를 이용 한 기판 세정 장치 에 비해 세정력 이 다소 떨어지 는 것 으로 알려진 바 있 다 .