다음 으로 , 도 7 의 ( b ) 에 도시 되 는 공정 에서 는 , 굴곡 부 ( 135 ) 를 형성 하 는 부분 의 유전체 가 레이저 가공 에 의하 여 제거 되 어 유전체 기판 ( 105 ) 에 오 목부 ( 195 ) 가 형성 된다 . 이때 , 전술 한 전극 ( 190 ) 보다 도 상부 의 유전체 만 이 레이저 에 의하 여 제거 된다 . 즉 , 전극 ( 190 ) 은 , 레이저 가공 시 에 레이저 를 차단 하 기 위한 가드 전극 으로서 기능 한다 . 이것 에 의하 여 , 유전체 기판 ( 105 ) 을 평면 으로 본 경우 에 전극 ( 190 ) 이 노출 된다 . 이 전극 ( 190 ) 에 의하 여 굴곡 부 ( 135 ) 의 원 하 는 두께 가 확보 된다 . 또한 평탄부 ( 131 ) 에 이르 는 급전 배선 ( 171 ) 은 당해 전극 ( 190 ) 보다 도 하 면 측 의 층 에 형성 되 어 있 다 .