다음 으로 , 도 4 d 에 도시 된 바 와 같이 , 금속 막 ( 101 ) 및 금속 도금 층 ( 103 ) 을 전극 으로 이용 하 여 제 5 포토레지스트 층 ( 112 ) 내 패 터닝 된 금형 부위 를 도금 방법 에 따라 전도성 금속 으로 충전 하 여 몸 체부 ( 113 ) 를 형성 한다 . 이러 한 전도성 금속 으로 는 범프 와 동일 한 금속 이 바람직 하 게 사용 되 며 , 본 실시 예 에서 는 니켈 합금 이 사용 되 었 다 .