상세 하 게 는 , 상기 배기 부 ( 140 ) 는 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 와 연통 되 는 복수 의 배기 홀 ( 142 ) 이 형성 된 배기 챔버 ( 141 ) 와 상기 배기 챔버 ( 141 ) 내 에 부압 을 제공 하 여 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 내 의 배기가스 를 상기 배기 챔버 ( 141 ) 내 로 흡입 시키 는 배기 라인 ( 145 ) 을 포함 한다 .