상술 한 과제 해결 수단 을 바탕 으로 하 는 본 발명 은 하드 마스크 막 패턴 을 이용 하 여 트렌치 를 형성 한 후 에 추가 로 하드 마스크 막 패턴 의 측벽 을 일부 제거 하 여 트렌치 의 입구 를 확장 시키 므로써 금속 막 형성 시 심이 형성 되 는 것 을 방지 하 는 효과 가 있 다 . 이 에 따라 , 후속 에치 백 공 정시 금속 막 의 언 에 치를 방지 하 여 메 립 게이트 의 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 다 .