이 경우 , 크리 닝 단계 는 헤드 툴 ( T ) 과 는 별도 로 구비 된 크리 닝 툴 을 불량 마이크 로 LED ( 12 ) 가 제거 된 지점 으로 이동 시키 고 , 펄스 방식 으로 레이저 를 해당 지점 에 조사 한 뒤 , 해당 지점 의 기판 ( 10 ) 상 에 잔재 하 는 접합 소재 ( S ) 및 코팅 소재 를 크리 닝 툴 에 마련 된 진공 흡입기 를 통해 제거 할 수 있 다 .