상기 이온 빔 은 이온 을 함유 하 는 플 라즈 마 를 생성 한 후 , 그리드 전극 들 ( grids ) 에 전압 을 걸 어 플 라즈 마 챔버 의 플 라즈 마로 부터 이온 을 뽑아낸다 . 이 경우 , 뽑아낸 상기 이온 을 집속 ( focusing ) 여부 에 따라 , 집속 이온 빔 ( focused ion beam ) 과 이온 샤워 ( ion shower ) 의 형태 로 구분 할 수 있 다 .