시뮬레이션 모델 작성 부 ( 51 ) 는 , 시뮬레이션 처리 에 앞서 서 , 도 13 에 도시 한 생산 지표 변동 초기 정보 설정 화면 을 유저 에게 제시 하 여 , 생산 지표 변동 을 의도 적 으로 발생 시키 는 초기 정보 의 설정 입력 을 접수 한다 . 유저 는 , 어떤 제조 장치 에 , 어떤 생산 지표 가 , 어느 일시 동안 에 , 어떠 한 파형 에 의해 변동 을 일으킬지 를 , 풀 다운 형식 의 선택 메뉴 로부터 , 및 시스템 이 제공 하 는 툴 에 의해서 , 임의 의 파형 의 변동 을 설정 입력 하 는 것 이 가능 하 다 . 도 13 A 는 , 성막 장치 B 에서 , 12 월 1 일 22 : 00 내지 12 월 2 일 02 : 00 까지 의 동안 , 단위 시간 당 의 생산 수 ( 스루풋 ) 가 , 웨이퍼 34 매 / hr 로부터 18 매 / hr 에 저하 되 는 변동 이 발생 하 였 다고 설정 입력 한 예 이 다 . 또한 , 도 13 B 는 , 제조 장치 : 노광 C 에서 , 단위 시간 당 의 가동 률 이 , 12 월 5 일 10 : 00 에서 11 : 00 까지 , 100 ％ 에서 38 ％ 까지 저하 되 고 , 계속 해서 12 : 00 까지 100 ％ 로 회복 하 는 변동 이 발생 하 였 다고 설정 입력 한 예 이 다 . 이상 의 파형 입력 은 , 스텝 형상 , 또는 직선 근사 의 파형 외 에 , 시스템 이 제공 하 는 툴 이 서포트 하 는 임의 형상 의 파형 입력 을 가능 하 게 한다 .