지 지체 ( 38 ) 는 천 정판 ( 36 ) 상 에 구비 되 어 있 다 . 지 지체 ( 38 ) 는 천 정판 ( 36 ) 을 탈착 가능 하 도록 지지 하 고 있 다 . 지 지체 ( 38 ) 는 , 예 를 들 어 , 알루미늄 으로 형성 되 어 있 다 . 지 지체 ( 38 ) 에 는 유로 ( 38 f ) 가 형성 되 어 있 다 . 유로 ( 38 f ) 는 지 지체 ( 38 ) 내 에서 , 예 를 들 어 , 소용돌이 형상 으로 연장 되 어 있 다 . 냉매 가 칠러 유닛 ( 40 ) 으로부터 유로 ( 38 f ) 에 공급 된다 . 칠러 유닛 ( 40 ) 은 챔버 ( 10 ) 의 외부 에 구비 되 어 있 다 . 칠러 유닛 ( 40 ) 은 액상 의 냉매 ( 예 를 들 어 , 냉각수 ) 를 유로 ( 38 f ) 로 공급 한다 . 유로 ( 38 f ) 로 공급 된 냉매 는 칠러 유닛 ( 40 ) 으로 돌아간다 . 이러 한 칠러 유닛 ( 40 ) 은 , 예 를 들 어 , 냉매 를 4 L / min 이상 의 유량 으로 유로 ( 38 f ) 에 공급 할 수 있 다 .