일부 실시 예 들 에서 , 추가 보정 조치 는 , 하나 이상 의 측정 웨이퍼 상 에서 추가 S - D 평가 특징 부 를 선택 하 는 단계 와 , 추가 S - D 특징 부 로부터 추가 S - D 피 측정 신호 데이터 를 포함 한 추가 측정 데이터 를 획득 하 는 단계 와 , S - D 측정 데이터 [ 회절 신호 ] 및 연관 된 구조물 의 라이브러리 로부터 추가 S - D 최적 추정 신호 데이터 및 연관 된 추가 S - D 최적 추정 구조물 을 선택 하 는 단계 와 , 추가 S - D 피 측정 신호 데이터 와 추가 S - D 최적 추정 신호 데이터 간 의 추가 S - D 차이 를 계산 하 는 단계 와 , 추가 S - D 차이 를 이용 하 여 하나 이상 의 측정 웨이퍼 에 대한 추가 S - D 신뢰 도 데이터 를 확립 하 는 단계 와 , 추가 S - D 신뢰 도 데이터 를 추가 S - D 생산품 요건 에 비교 하 는 단계 와 , 추가 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 면 하나 이상 의 측정 웨이퍼 를 추가 고 신뢰 도 웨이퍼 로서 식별 하 고 처리 를 계속 하 거나 , 또는 추가 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 지 않 으면 상기 선택 , 계산 , 확립 , 비교 및 식별 을 정지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .