일 실시 예 에 있 어서 , 모스 펫 소자 는 , 실리콘 기판 ; 상기 실리콘 기판 상 에 형성 된 산화 막 ; 상기 산화 막 상 에 형성 된 실리콘 층 ; 상기 실리콘 층 상 에 형성 된 게이트 ; 및 상기 게이트 양측 의 실리콘 층 내 에 형성 된 소오 스 / 드레 인 영역 ; 을 포함 하 는 모스 펫 소자 에 있 어서 , 상기 실리콘 층 및 산화 막 과 상기 실리콘 기판 의 일부 두께 가 리세 스 되 어 게이트 용 홈 이 구비 되 고 , 상기 게이 용 홈 을 포함 한 실리콘 층 상 에 는 상기 게이트 용 홈 의 프로 파일 을 따라 실리콘 에 피층 이 형성 되 며 , 상기 게이트 는 상기 게이트 용 홈 의 실리콘 에 피층 상 에 형성 되 고 , 상기 소오 스 / 드레 인 영역 은 상기 실리콘 에 피층 을 포함 하 여 실리콘 층 내 에 상승 된 ( Elevated ) 구조 로 형성 된다 .