이하 는 , 약액 노즐 ( 71 ) 의 방향 을 고정 하 여 VC 만 을 변화 시킴 으로써 VC × cos φ × cos θ 를 변화 시킨 경우 에 있 어서 , VC 에 비례 하 는 값 인 노즐 에 공급 되 는 에칭 액 의 유량 과 , VT 에 비례 하 는 값 인 웨이퍼 ( W ) 의 회전 속도 와 의 조합 에 있 어서 , 에칭 액 의 즉시 이탈 이 생겼 는지 ( × 가 부여 되 어 있 음 ) , 에칭 액 의 확산 이 생겼 는지 ( ○ 가 부여 되 어 있 음 ) 에 대하 여 나타내 는 표 이 다 .