반사 방지 층 ( 108 a ) 은 흡수 층 ( 106 ) , 버퍼 층 ( 104 ) 및 반사 층 ( 102 ) 이 식각 되 어 투명 기판 ( 100 ) 이 노출 되 도록 구비 되 는데 , EUV 가 노광 마스크 로 입사 되 더라도 EUV 는 투명 기판 ( 100 ) 에 도달 되 어 반사 되 지 않 게 된다 . 따라서 , 경계 영역 ( E ) 에서 EUV 가 반사 되 는 것 을 방지 하 여 노광 공정 이 수행 되 는 동안 이 와 이웃 하 는 영역 으로 EUV 가 반사 되 어 기존 에 형성 된 패턴 에 영향 을 주 어 CD 를 변화 시키 는 문제 를 방지 할 수 있 다 .