ArF 리소그래피 에서 는 , 정밀 하 고 고가 인 광학계 재료 의 열화 를 방지 하 기 위해 , 적 은 노광량 으로 충분 한 해상 성 을 발휘 할 수 있 는 감 도 높 은 레지스 트 재료 가 요구 되 고 있 고 , 실현 하 는 방책 으로 는 , 그 각 성분 으로서 파장 193 nm 에서 매우 투명 한 것 을 선택 하 는 것 이 가장 일반 적 이 다 . 예 를 들 어 베이스 수지 에 관해서 는 , 폴리 아크릴산 및 그 유도체 , 노르 보르 넨 - 무수 말레산 교호 중합체 , 폴리노 르 보르 넨 및 개환 복분해 ( metathesis ) 중합체 , 개환 복분해 중합체 수소 첨가물 등 이 제안 되 고 있 고 , 수지 단체 의 투명 성 을 높인다고 하 는 점 에서 는 어느 정도 의 성과 를 얻 고 있 다 .