소스 전극 층 ( 405 a ) , 드레 인 전극 층 ( 405 b ) 에 사용 하 는 도전 층 으로서 는 , 예 를 들 어 Al , Cr , Cu , Ta , Ti , Mo , W 로부터 선택 된 원소 또는 상술 한 원소 를 성분 으로 하 는 합금 이나 , 상술 한 원소 를 조합 한 합금 막 등 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , Al , Cu 등 의 금속 층 의 하측 또는 상측 의 한 쪽 또는 양쪽 에 Ti , Mo , W 등 의 고 융점 금속 층 을 적층 시킨 구성 으로 해도 좋 다 . 또한 , Al 막 에 발생 하 는 힐 록 이나 위스 커 의 발생 을 방지 하 는 원소 ( Si , Nd , Sc 등 ) 가 첨가 되 어 있 는 Al 재료 를 사용 함 으로써 내열 성 을 향상 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 .