본 발명 에 의하 면 , 유기 금속 이 서 셉 터 에 도달 하 기 전 에 분해 되 어 , 분해 에 의해 생긴 탄소 및 탄화 수소 가 포획 수단 으로 포획 되 기 때문 에 , 기재 위 에 형성 되 는 막 으로 의 탄소 및 탄화 수소 의 혼입 을 방지 할 수 있 다 . 따라서 , 탄소 및 탄화 수소 를 제거 하 기 위한 플 라즈 마 처리 등 을 불 필요 하 게 할 수 있 다 . 또한 , 기재 자체 를 가열 할 필요 가 없 기 때문 에 , 분해 하 는 온도 가 비교 적 높 은 유기 금속 을 사용 하 는 것 도 가능 해진다 .