세 정기 ( 10 ) 는 , 제 1 측벽 과 제 2 측벽 을 가지 는 세 정실 ( 19 ) , 천 장판 ( 33 ) , 세정 위치 ( 12 ) 와 퇴피 위치 ( 24 ) 사이 에서 천 장판 ( 33 ) 을 승강 시키 는 리프터 ( 71 ) , 세 정축 ( 21 ) 을 따라 왕복 가능 한 제 1 슬라이드 샤프트 ( 57 ) , 대상물 ( 3 ) 에 당 접하 는 제 1 클램프 샤프트 ( 59 ) , 제 1 슬라이드 샤프트 ( 57 ) 를 왕복 시키 는 제 1 클램프 구동 장치 ( 63 ) , 제 1 클램프 샤프트 ( 59 ) 를 회전 하 는 모터 ( 67 ) , 세 정축 ( 21 ) 을 따라 왕복 가능 한 제 2 슬라이드 샤프트 ( 157 ) , 대상물 ( 3 ) 에 당 접하 는 제 2 클램프 샤프트 ( 159 ) , 제 2 슬라이드 샤프트 ( 157 ) 를 왕복 시키 는 제 2 클램프 구동 장치 ( 163 ) , 세정 노즐 ( 15 ) 을 포함 한다 .