압력 차 발생 부 ( 560 ) 는 , 유입 구 ( 540 ) 로부터 배출구 ( 550 ) 로 기체 를 흘리 기 위한 압력 차 를 발생 시킨다 . 일례 로서 , 본 실시 형태 의 압력 차 발생 부 ( 560 ) 는 , 유입 구 ( 540 ) 로부터 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 의 내부 로 기체 를 송풍 하 는 유입 송풍기 이 다 . 즉 , 본 실시 형태 의 압력 차 발생 부 ( 560 ) 는 유입 구 ( 540 ) 에 마련 되 어 있 다 . 그러나 , 유입 송풍기 와 는 별도 로 또는 유입 송풍기 와 함께 , 배출구 ( 550 ) 로부터 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 의 외부 로 기체 를 송풍 하 는 배출 송풍기 가 , 배출구 ( 550 ) 및 배기관 ( 551 ) 중 적어도 어느 것 에 마련 되 어 있 어도 된다 . 즉 , 압력 차 발생 부 ( 560 ) 는 , 유입 구 ( 540 ) 로부터 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 의 내부 에 유입 되 는 기체 의 경로 , 및 배출구 ( 550 ) 로부터 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 의 외부 로 배출 되 는 기체 의 경로 중 적어도 어느 것 에 마련 되 어 있 으면 된다 .