더욱이 , 챔버 본체 의 상부 개구 를 덮개 로 폐색 하 는 종래 구조 와 는 달리 , 본 발명 의 상기 태양 에 따른 진공 챔버 는 환 형상 의 개구 공간 이 연통 함 으로써 형성 된 내부 공간 을 가진다 . 즉 , 리드 리스 ( lidless ) 구조 를 실현 할 수 있 다 . 이 구성 으로 인해 , 챔버 본체 와 덮개 사이 의 씰 부재 에서 파티클 이 발생 하 는 종래 구조 의 문제 를 해결 할 수 있 다 .