( 3 ) 각각 의 실시 예 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 하 기 위한 시트 재의 예 로서 , 지지 용 점착 테이프 ( DT ) 를 예 로 들 어 설명 하 였 지만 , 시트 재 는 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 회로 보호용 점착 테이프 ( 보호 테이프 ) 등 다른 용도 에 사용 되 는 점착 테이프 를 사용 해도 된다 . 본 발명 에서 는 시트 재 로서 , 점착력 을 갖 는 점착 재 또는 접착력 을 갖 는 접착 재 를 구비 하 는 , 시트 , 테이프 , 또는 필름 등 을 적용 할 수 있 다 .