본 발명 의 제 6 양태 에 관련 된 기억 매체 는 , 컴퓨터 상 에서 동작 하 고 , 기판 처리 장치 를 제어 하 는 제어 프로그램 이 기억 된 컴퓨터 판독 가능 한 기억 매체 로서 , 상기 제어 프로그램 이 , 실행 시 에 , 상기 제 5 양태 또는 제 6 양태 중 어느 하나 에 관련 된 기판 처리 방법 이 행해 지 도록 컴퓨터 에 상기 기판 처리 장치 를 제어 시킨다 .