상기 제 1 필터 전극 ( 8 ) , 상기 제 1 검출 전극 ( 10 ) 및 상기 제 1 히터 전극 ( 12 ) 은 상기 상부 인쇄 회로 기판 ( 2 ) 의 하면 에 구성 되 고 , 상기 이온 화원 ( 16 ) , 상기 제 2 필터 전극 ( 18 ) , 상기 제 2 검출 전극 ( 20 ) , 상기 제 2 히터 전극 ( 22 ) 및 상기 온도 센서 ( 24 ) 는 상기 하부 인쇄 회로 기판 ( 14 ) 의 상면 에 형성 된다 .