도면 의 중간 상단 에서 , 2 개 의 독립 적 인 유로 ( 1366 , 1368 ) 는 2 개 의 펌프 에 반응 가스 를 제공 한다 . 펌프 는 2 개 의 독립 적 인 저 장소 ( 1370 , 1372 ) 를 목표 압력 으로 가압 한다 . 일 실시 예 에서 , 목표 압력 은 2 기압 이 다 . 각각 의 회로 에서 , 저장조 를 지나 서 저 장통 압력 에서 폐쇄 루프 피드백 을 위한 압력 센서 ( 1372 , 1374 ) 가 존재 한다 . 이 센서 는 또한 저 장소 와 유체 연통 하 는 한 저 장소 앞 또는 저 장소 내 에 있 을 수 있 다 . 비례 밸브 ( 1376 , 1378 ) 는 각 저 장소 로부터 의 배출 흐름 을 조절 한다 . 유량 센서 는 비례 밸브 에 대한 폐쇄 루프 피드백 에 사용 된다 . 가스 는 플 라즈 마 챔버 ( 1380 , 1382 ) 를 통과 한다 . 도시 된 플 라즈 마 챔버 는 챔버 벽 에 온도 센서 ( 1338 , 1386 ) 를 포함 하 며 , 이 는 장치 인클로저 팬 에 대한 NO 알고리즘 튜닝 및 폐 루프 피드백 에 사용 될 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 와 유체 소통 하 는 압력 센서 는 NO 생성 을 계산 하 기 위해 제어 알고리즘 에 입력 으로 사용 된다 .