이 를 위하 여 회전축 ( 132 ) 의 내부 에 가압 용 내부 유로 ( 156 ) 를 형성 하 고 , 하우징 ( 131 ) 에 는 상기 가압 용 내부 유로 ( 156 ) 와 연통 하 는 가압 용 가스 공급 홀 ( 146 ) 을 형 성 하 며 , 상기 가압 용 가스 공급 홀 ( 146 ) 에 가압 용 가스 공급 관 ( 186 ) 을 연결 한다 . 가압 용 가스 공급 관 ( 186 ) 을 통해서 는 N 2 , Ar 등 의 비 반응 성 가스 를 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 .