본 제 2 실시 형태 의 노광 장치 ( 500 ) 에서 는 , 도 30 및 도 31 에 도시 된 바 와 같이 , 기준 축 ( LV 0 ) 상 에서 광축 ( AX ) 으로부터 - Y 측 으로 소정 거리 떨어진 위치 에 검출 중심 을 갖 는 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 가 배치 되 어 있 다 . 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 를 사이 에 두 고 X 축 방향 의 일 측 과 타 측 에 는 , 기준 축 ( LV 0 ) 에 관하 여 거의 대칭 으로 검출 중심 이 배치 되 는 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 , AL 22 와 AL 23 , AL 24 ) 가 각각 형성 되 어 있 다 .