" 폴리에틸렌 용기 ( "" Clean Container """, AICELLO CHEMICAL 제품 ) 중 에서 , 폴리머 ( A ) 1 . 00 g 및 반응 혼합물 ( A ) 을 함유 하 는 용액 3 . 00 g 에 시클로헥사논 6 . 00 g 을 완전히 용해 하 여 도포 액 을 제조 하 였 다 . 이 도포 액 을 1 주간 보존 하 였 다 . 얻 어 진 도포 액 을 0 . 1 ㎛ 의 폴리테트라플루오로에틸렌 제 필터 를 통해 여과 한 후 , 실리콘 웨이퍼 상 에 스핀코팅 하 였 다 . 질소 가스 기류 하 에 핫플레이트 상 에서 200 ℃ 에서 60 초간 가열 한 후 , 400 ℃ 의 질소 퍼지 된 오븐 중 에서 60 분 간 베이 킹 하 여 , " 두께 0 . 5 ㎛ 의 시 딩 이 없 는 균일 한 막 을 얻 었 다 . 상기 막 에 대해서 각각 2 mm 각의 4 × 4 격자 를 그리 면서 테이프 풀 테스트 ( tape pull test ) 를 행하 였 다 . 박리 는 발생 하 지 않 았 다 . 막 의 비유전율 을 수은 프로브 ( Four Demensions 제품 ) 및 LCR 미터 "" HP 4285 A ""( 상품명 ; Yokogawa HewlettPackard 제품 ) 을 사용 하 여 1 MHz 에서 의 용량 치 로부터 산출 한 바 ", 2 . 40 이 었 다 .