예시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 도핑 된 폴리 실리콘 을 포함 하 는 예비 컨트롤 게이트 들 ( 142 , 144 , 146 , 148 ) 부분 이 금속 을 포함 하 는 제 1 및 제 2 도 전막 들 ( 192 , 196 ) 과 반응 하 여 , 금속 실리사이드 막 을 형성 할 수 있 다 . 상기 실리 사 이데이 션 ( silicidation ) 공정 은 열처리 를 통해 수행 될 수 있 다 .