다음 에 , 초고압 수은 등 을 구비 한 프록시 미터 형 노광기 ( 히타치 하이테크 덴 시 엔지니어링 사 제품 의 ) 를 사용 하 고 , 마스크 ( 화상 패턴 을 갖 는 석영 노광 마스크 ) 와 감광성 수지 층 K 1 이 형성 된 무 알칼리 유리 기판 을 수직 으로 세운 상태 에서 마스크 면 과 감광성 수지 층 K 1 의 표면 사이 의 거리 를 200 ㎛ 로 하 여 노광량 300 mJ / ㎠ 로 전면 노광 했 다 .