그러나 , 상기 문헌 에 개시 된 기술 에서 는 산소 분압 의 약간 의 차이 에 의해 막 의 캐리어 농도 가 크 게 변화 하 여 , 안정 적 으로 원 하 는 캐리어 농도 를 갖 는 a - IGZO 막 을 얻 을 수 없 다는 문제 가 있 다 . 즉 , 종래 의 방법 에 의해 일정 한 캐리어 농도 를 얻 기 위해서 는 , 산소 농도 의 매우 고 정밀 한 제어 가 요구 되 는데 , 실제 상 으로 는 요구 되 는 정도 의 정밀도 에서 의 산소 농도 제어 는 불 가능 하 기 때문 에 , 막 의 캐리어 농도 가 성막 시 마다 불 규칙 하 여 고재 현성 으로 캐리어 농도 가 일정 한 막 을 얻 을 수 없 다 . 그 때문 에 , 공업 적 생산 이 라는 관점 에서 는 여전히 개선 의 여지 가 남 아 있 다 .