동작 지령 보유 부 ( 102 ) 는 , 액 처리 유닛 ( U 1 ) 에서 실행 되 는 액 처리 수순 을 규정 하 는 동작 지령 을 보유 한다 . 이 동작 지령 에 는 , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 토출 할 때 의 토출 압력 목표 값 ( 설정 값 ) , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 토출 시키 는 실행 시간 , 보충 압력 및 보충 유량 의 목표 값 ( 설정 값 ) , 그리고 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 시키 는 실행 시간 등 이 포함 되 어도 된다 .