불소 , 플루오르화물 기체 , 수소 중 의 적어도 하나 이상 을 도입 하 고 고주파 전원 을 인가 함 으로써 , 수소 플 라즈 마 , 불소 플 라즈 마가 발생 된다 . 수소 플라 즈 마는 반응 실 내 에 수소 를 도입 하 여 플 라즈 마 를 발생 시킨다 . 불소 플라 즈 마는 반응 실 내 에 불소 혹은 플루오르화물 을 도입 하 여 플 라즈 마 를 발생 시킨다 . 플루오르화물 가스 로서 는 HF , SiF 4 , SiHF 3 , SiH 2 F 2 , SiH 3 F , Si 2 F 6 , GeF 4 , GeHF 3 , GeH 2 F 2 , GeH 3 F , Ge 2 F 6 등 이 있 다 . 또한 , 불소 , 플루오르화물 기체 , 수소 외 에 희소 가스 를 반응 실 내 에 도입 하 여 희소 가스 플 라즈 마 를 발생 시켜 도 좋 다 .