이제 , 도 12 를 참조 하 면 , 다층 오버레이 계측 타 겟 의 콘트 라스트 향상 에 적합 한 시스템 ( 1200 ) 은 조명원 ( 1202 ) , 제 1 편광자 ( 1204 ) , 빔 스플리터 ( 1206 ) , 제 2 편광자 ( 1208 ) 및 하나 이상 의 시료 ( 1212 ) ( 예 를 들 면 , 웨이퍼 로트 의 하나 이상 의 웨이퍼 ) 에서 반사 된 광 을 수신 하 도록 구성 된 검출기 ( 1210 ) 를 포함 할 수 있 다 .