도 7 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 사이클 단계 를 동특성 구간 과 정특성 구간 으로 나누 고 , 정특성 구간 에 속하 는 압력 데이터 와 목표 가스 압력 의 차분 의 평균값 을 산출 한 경우 , 사이클 단계 사이 의 평균값 의 변동 폭 은 작아진다 . 이 때문 에 , 이상 을 검지 하 기 위한 상하 한 값 을 , 화살표 ( 720 ) 로 나타내 는 압력 범위 에 기초 하 여 설정 하 는 것 이 가능 해 지 고 , 화살표 ( 720 ) 로 나타내 는 압력 범위 에 파묻힌 이상 을 정밀 도 좋 게 검지 할 수 있 다 .