즉 , 종래 웨이퍼 트랜스퍼 장치 는 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 100 ) 상 에 나란 하 게 병렬 로 위치 되 어 회동 가능 하 게 결합 된 한 쌍 의 회전축 ( 112 A , 112 B ) , 상기 한 쌍 의 회전축 ( 112 A , 112 B ) 에 각각 회전 가능 하 게 결합 된 한 쌍 의 제 1 암 ( 120 A , 120 B ) , 상기 한 쌍 의 제 1 암 ( 120 A , 120 B ) 에 각각 회전 가능 하 게 결합 된 한 쌍 의 제 2 암 ( 130 A , 130 B ) , 상기 한 쌍 의 제 2 암 ( 130 A , 130 B ) 에 각각 회전 가능 하 게 결합 된 한 쌍 의 제 3 암 ( 140 , 150 ) , 및 상기 한 쌍 의 제 3 암 ( 140 , 150 ) 에 각각 결합 된 웨이퍼 핸드 ( 140 a , 150 a ) 로 이루어진다 .