[ P ] 중합체 로서 의 ( P 3 ) 100 질 량부 , ( A ) 증감제 로서 의 ( A 1 ) 10 질 량부 , [ C ] 감방 사선 성 산 발생 제 로서 의 ( C 1 ) 20 질 량부 , [ D ] 산 확산 제 어제 로서 의 ( D 1 ) 0 . 3 질 량부 그리고 [ E ] 용매 로서 의 ( E 1 ) 4 , 300 질 량부 및 ( E 2 ) 1 , 900 질 량부 를 혼합 했 다 . 얻 어 진 혼합액 을 구멍 직경 0 . 20 ㎛ 의 멤 브레인 필터 로 여과 하 고 , 증감제 스크리닝 용 레지스 트 재료 ( S - 1 ) 을 제조 했 다 .