본 발명 은 상승 된 온도 에서 의 공정 또는 동작 동안 에 증발 하 기 쉬운 휘발 성 활물질 들 을 포함 하 는 전기 적 소자 들 에 관련 된 것 이 다 . 더욱 상세 하 게 는 , 본 발명 은 제조 또는 동작 동안 에 활물질 들 의 증발 을 방지 하 도록 설계 된 보호 단계 들 을 포함 하 는 전기 적 소자 들 을 만드 는 방법 들 에 관련 된 것 이 다 . 가장 상세 하 게 는 , 본 발명 은 이후 의 고온 공정 또는 동작 동안 에 휘발 성 활물질 을 국한 시키 는 봉쇄 층 의 저온 증착 을 포함 하 는 칼 코 게나 이드 ( chalcogenide ) 또는 상 - 변화 메모리 또는 스위칭 소자 들 을 만드 는 방법 에 관한 것 이 다 .