도 7 ( a ) 는 , 일 실시 형태 에 따른 군 C 의 수소화물 의 비점 을 나타내 는 도면 이 다 . 점선 의 틀 내 에 나타내 는 군 C 의 수소화물 은 대체로 0 ℃ 보다 낮 은 비점 을 가진다 . 따라서 , 군 C 의 수소화물 은 , 상온 및 상압 에서 기체 이 며 , 용이 하 게 제거 할 수 있 다 . 단 , 군 C 의 잔사 는 H 함유 가스 의 플 라즈 마 에 의해 클리닝 할 수 있 지만 , 군 C 의 수소화물 을 직접 생성 하 는 것 은 곤란 하 다고 예상 된다 . 그래서 , 본 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 에서 는 , 제 2 클리닝 공정 에 있 어서 잔사 를 불화 시키 고 , 그 불화물 을 제 3 클리닝 공정 에 있 어서 수소 환원 시킨다 . 이것 에 의해 , 군 C 의 수소화물 을 생성 할 수 있 다고 생각 하 고 있 다 . 그리고 , 이 때 에 생성 된 수소화물 이 0 ℃ 보다 낮 은 비점 을 가지 기 때문 에 용이 하 게 휘발 되 고 , 이것 에 의해 , 군 C 의 제거 가 가능 하 게 된다 .