상기 진공 펌프 ( 400 ) 는 상기 벨로우즈 ( 300 ) 의 하단 에 연결 된 배기 배관 ( 410 ) 을 포함 한 것 으로서 , 상기 집합 배관 ( 200 ) 에 공급 된 배기가스 등 을 진공 펌프 ( 400 ) 의 구동 에 의해 배기 배관 ( 410 ) 을 통해 내부 공간 에 배기가스 등 을 흡입 하 는 역할 을 한다 . 이러 한 진공 펌프 ( 400 ) 의 내부 공간 에 유입 된 배기가스 나 이 물질 등 을 진공 펌프 ( 400 ) 의 작동 에 의해 이 에 연결 된 세 관기 ( 521 ) 에 강제 적 으로 배출 할 수 있 는 것 이 다 .