전자 주입 층 ( 180 ) 은 금속 으로 이루어진 제 1 물질 과 금속 할 라이드 로 이루어진 제 2 물질 을 공 증착 하 여 형성 할 수 있 다 . 이때 , 제 1 물질 과 제 2 물질 은 서로 반응 하 여 치환 반응 이 일어날 수 있 는 물질 들 을 선택 한다 . 예 를 들 면 , 란타넘 족 원소 인 Yb 로 이루어진 제 1 물질 과 금속 할라 이드 인 KI 로 이루어진 제 2 물질 을 공 증착 하 면 , 하 기 반응식 1 , 반응식 2 또는 반응식 3 과 같이 치환 반응 이 일어날 수 있 다 .