그 후 , 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 다시 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ ) 에 액세스 해서 상술 한 동작 을 반복 하 여 행한다 . 한편 , 이 동작 은 제 3 컨트롤러 ( 95 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 이 에 의해 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ Ａ ) 에 재치 된 순번 대로 기판 ( Ｗ ) 이 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ａ ) 에서 꺼내 진다 . 마찬가지 로 , 또한 , 기판 ( Ｗ ) 을 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ｂ ) 에 재치 된 순번 대로 기판 ( Ｗ ) 이 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ Ｂ ) 에서 꺼내 진다 .