후프 의 개방 은 1 차 적 으로 후프 를 스테이 지상 에 안착 시키 고 후프 테이블 을 이용 하 여 도어 홀더 에 밀착 되 도록 이동 시킨 뒤 이루어진다 . 이 와 같이 밀착 된 후프 는 그 도어 가 오프너 의 도어 홀더 와 밀착 지지 된 상태 에서 열린다 . 도어 가 열리 면 지지 된 도어 를 도어 홀더 는 오프너 후방 으로 이동 시킨 뒤 하방 으로 도어 를 하강 시켜 열린 후프 를 통하 여 로보트 암 에 의하 여 웨이퍼 들 을 차례 로 공정 장비 내 로 인출 하 게 된 다 . 웨이퍼 인출 을 마치 면 도어 홀더 에 밀착 지지 된 도어 를 상방 으로 복귀 시켜 열린 후프 의 개 방단 에 밀착 된 뒤 다시 잠그 어 진다 .