또한 본 발명 에서 상기 이 동척 이 동부 는 , 상기 로딩 스테이지 의 설치 홈 에 설치 되 는 스 크류 ; 상기 스 크류 에 결합 되 어 상기 스 크류 의 회전 에 의하 여 상기 이동 판넬 을 수평 이동 시키 는 연결 수단 ; 상기 스 크류 의 회전축 에서 연장 되 어 상기 고정부 재 외측 으로 노출 되 도록 설치 되 며 , 상기 스 크류 를 회전 시키 는 회전 부재 와 체결 되 는 스 크류 체 결구 ; 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .