높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 은 , 예컨대 , 레이저 빔 ( L 1 ) 을 이용 하 여 , 대상 의 높이 를 측정 하 는 레이저 변위 계 에 의해 실장 된다 . 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 은 , 척 테이블 ( 14 ) 의 유지 면 ( 16 ) 의 높이 를 비 접촉 으로 측정 할 수 있 다 . 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 은 , 가공 유닛 ( 18 ) 에 장착 되 며 , X 축 이동 유닛 및 각 가공 유닛 이동 기구 ( 22 ) 를 이동 시켜 측정 한 유지 면 ( 16 ) 의 복수 의 좌표 ( X , Y ) 에 있 어서 의 높이 ( Z ) 를 높이 데이터 로서 측정 한다 .