한편 , 제 1 스텝 ( 박막 의 에칭 공정 ) 에 있 어서 처리 실 ( 201 ) 내부 의 압력 ( 제 1 압력 ) 및 제 2 스텝 ( 트리트 먼 트 공정 ) 에 있 어서 처리 실 ( 201 ) 내부 의 압력 ( 제 2 압력 ) 은 , 50 Torr 이상 200 Torr 이하 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 제 1 압력 및 제 2 압력 을 이 범위 내 의 값 으로 하 면 , 에칭 을 충분히 진행 시키 는 것 이 가능 해짐 과 동시 에 , 에칭 의 균일성 을 높이 는 것 이 가능 해진다 . 제 1 압력 , 제 2 압력 이 너무 저압 ( 低壓 ) 이 면 제 1 스텝 , 제 2 스텝 시 에 에칭 레이트 가 낮 아 지 고 , 에칭 이 충분히 진행 하 지 않 게 된다 . 이러 한 압력 을 50 Torr ( 6650 Pa ) 이상 으로 함 으로써 에칭 을 충분히 진행 시키 는 것 이 가능 해진다 . 또한 , 제 1 압력 , 제 2 압력 이 너무 고압 ( 高壓 ) 이 면 에칭 레이트 가 높 아 지 기 는 하지만 에칭 이 치우쳐 버려 불 균일 하 게 에칭 되게 된다 . 이러 한 압력 을 200 Torr ( 26600 Pa ) 이하 로 함 으로써 , 에칭 의 균일성 을 높이 는 것 이 가능 해진다 .