본 발명자 들 이 검토 한 바 , 특허 문헌 1 에 기재 된 바 와 같이 , 흑 층 과 백층 을 일괄 해서 노광 현상 할 경우 에 는 , 광 ( 光 ) 이 하층 ( 下層 ) 까지 충분히 도달 하 지 않 고 , 하층 의 경화 ( 硬化 ) 가 불 충분 하 게 되 는 것 을 알 게 되 었 다 . 그 결과 , 경화 가 불 충분 한 하층 은 상층 에 비하 여 현상 시 에 제거 되 는 양 이 많 아 지 게 되 고 , 현상 후 의 상태 에서 , 상층 의 폭 에 대하 여 하층 의 폭 이 작아지 게 된다 . 그 와 같 은 버스 전극 의 현상 후 의 단면 모식도 를 도 3 에 나타낸다 .