실리콘 산화 막 ( 5 ) 은 반사 된 광이 포토레지스트 에 작용 하 는 것 을 방지 하 기 위한 반사 방지 막 의 역할 도 한다 . 실리콘 산화 막 ( 5 ) 은 코팅 형 실리콘 산화 막 보다 는 CVD 에 의해 피착 된 실리콘 화합 물막 일 수 있 다 . 제 2 실리콘 함유 막 은 실리콘 산화 막 ( 5 ) 에 국한 되 지 않 고 , 실리콘 을 함유 하 지만 제 1 실리콘 함 유막 의 재료 와 는 상이 한 재료 에 의해 형성 될 수 있 다 .