또한 , 본 개시 에 따른 시일 구 조체 의 다른 예 에 대해서 설명 한다 . 예 를 들 면 도 1 에 도시 하 는 성막 장치 에 있 어서 , 가스 공급 배관 ( 4 ) 의 상류 측 에 가스 공급원 으로부터 공급 되 는 가스 를 혼합 하 는 가스 의 프리 믹스 를 실행 하 는 혼 합부 가 마련 되 는 경우 가 있 다 . 도 8 은 이 와 같 은 가스 의 혼 합부 ( 7 ) 의 일 예 를 도시 한다 . 이하 의 예 는 , 플라 즈 마 처리 장치 에 있 어서 , NH 3 가스 와 H 2 가스 를 미리 혼합 하 여 가스 공급 배관 ( 4 ) 에 공급 하 는 경우 에 대해 설명 한다 . 본 예 에 도시 하 는 혼 합부 ( 7 ) 도 가스 공급 배관 에 상당 한다 .