일 실시 형태 에서 , 개시 된 기술 은 분할 - 축 이송 시스템 을 정렬 하 는 개선 된 방법 으로서 제시 된다 . 각각 의 이송 경로 에 장착 된 이미지 화 시스템 또는 다른 센서 는 서로 ( 및 / 또는 제조 척 ( manufacturing chuck ) 과 같 은 기준 의 공통 프레임 ) 정렬 되 고 , 위치 피드백 시스템 은 시스템 을 구동 하 기 위해 정밀 한 위치 정확도 를 제공 하 기 위해 각각 의 이송 경로 에 사용 되 어 , 마이크 론 또는 보다 나 은 위치 구별 을 가능 하 게 한다 . 개시 된 기술 은 바람직 하 게 증착 기판 과 증착 된 물질 의 공급원 사이 에서 마이크 론 또는 보다 나 은 높이 결정 ( 예 를 들 어 , z - 축 결정 ) 을 선택 적 으로 가능 하 게 하 여 , 위치 정확도 를 더욱 향상 시킨다 .