상기 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 있 어서 , 사이드 에칭 을 수반 하 는 조건 에 의해 제 2 에칭 을 행하 는 것 은 매우 중요 하 다 . 제 2 에칭 이 제 1 도 전막 ( 102 ) 의 사이드 에칭 을 수반 하 는 것 에 의해 , 게이트 전극 층 ( 116 ) 에 의해 구성 되 는 인접 한 게이트 배선 과 용량 배선 을 절연 시킬 수 있 기 때문 이 다 ( 도 17 참조 ) .