상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 면 , 제 1 가이드 패턴 들 을 형성 하 고 , 마스크 막 을 콘 포말 하 게 형성 하 고 , 제 1 가이드 패턴 양측 의 빈 영역 을 채우 는 제 2 가이드 패턴 을 형성 한다 . 이때 , 서로 인접 한 상기 제 1 및 제 2 가이드 패턴 들 사이 의 마스크 막 의 일부 를 마스크 패턴 으로 사용 한다 . 이 에 따라 , 상기 마스크 패턴 의 선폭 은 상기 마스크 막 의 증착 두께 에 의해 결정 된다 . 그 결과 , 종래 의 노광 공정 으로 야기 되 던 선폭 의 산포 가 증가 하 는 현상 을 방지 할 수 있 다 .