상기 제어기 는 증착 장치 의 모든 행동 을 제어 할 수 있 다 . 상기 시스템 제어기 실행 시스템 은 타이밍 , 기체 의 혼합 , 챔버 압력 , 챔버 온도 , 웨이퍼 온도 , RF 전력 레벨 , 웨이퍼 척 , 페데 스 털 위치 및 그 밖 의 다른 특정 공정 의 매개변수 를 제어 하 기 위한 인스트 럭 션 의 세트 를 포함 하 는 소프트웨어 를 제어 한다 . 일부 실시 예 에서 , 상기 제어기 와 연계 되 는 메모리 장치 에 저장 되 는 그 밖 의 다른 프로그램 이 사용 될 수 있 다 .