도 68 은 하부 매니폴드 의 추가 세부 사항 을 제공 한다 . 반응 가스 는 상부 의 가스 유입 구 ( 882 ) 를 통해 매니폴드 로 유입 된다 . 가스 는 전극 매니폴드 ( 884 ) 의 벽 을 통과 하 여 전극 블록 ( 886 ) 외부 의 홈 내 로 통과 한다 . 홈 은 O - 링 ( 888 ) 을 사용 하 여 전극 매니폴드 내 의 보어 에 밀봉 된다 . 홈 은 NO 2 로 변할 수 있 는 정체 된 가스 흐름 을 유지 할 수 있 는 블라인드 통로 를 방지 하 기 위해 전극 블록 의 둘레 주위 에 존재 한다 . 가스 는 플 라즈 마 챔버 로서 기능 하 는 전극 블록 내 에서 홈 으로부터 공극 으로 흐른다 . 전극 조립 체 는 챔버 를 O - 링 시일 로 밀봉 하 기 위해 전극 블록 과 정합 된다 . 전극 블록 은 한 방향 으로 만 전극 블록 에 들어가 도록 인덱싱 된다 . 플 라즈 마 를 통과 한 후 , 생성 가스 는 전극 블록 의 벽 의 구멍 을 통해 제 2 원주 홈 으로 빠져 나간다 . 가스 는 그루브 를 전극 매니폴드 내 로 그리고 이어서 다이버터 매니폴드 내 로 빠져 나가 서 전술 한 바 와 같이 흐름 전환기 를 통과 한다 . 전극 매니폴드 는 나 사식 패스 너 로 다이버터 매니폴드 에 고정 되 며 O - 링 은 각 공 압 연결부 를 밀봉 한다 .