도 13 a 내지 도 13 e 는 , 본 실시 형태 에 있 어서 사용 되 는 제 1 패턴 의 제조 방법 을 도시 하 는 모식 단면도 이 다 . 여기 서 일례 로서 설명 하 는 열가 소형 열 나노 임 프린트법 에서 는 , 예 를 들 어 웨이퍼 상 에 형성 된 수지 ( 열가소성 수지 ) 에 , 나노 사이즈 의 요철 ( 제 2 패턴 ) 이 형성 된 몰드 를 압박 하 고 , 수지 를 변형 시켜 패턴 ( 제 3 패턴 ) 을 형성 한다 . 다음 에 , 이 변형 된 수지 를 보호막 으로 하 여 , 웨이퍼 상 에 패턴 ( 제 1 패턴 ) 을 형성 한다 . 그 후 에 수지 를 제거 한다 .