도 4 에 도시 된 배출 실 ( 4 ) 은 플러드 채널 ( 16 , 17 ) 들 에 대해 직각 으로 연장 되 는 두 개 의 중앙 에 배치 된 기체 공급 부 ( 35 , 36 ) 들 을 포함 한다 . 이러 한 중앙 의 기체 공급 부 ( 35 , 36 ) 들 은 플러드 채널 ( 16 , 17 ) 들 의 하측 및 상측 영역 에 기체 가 균일 하 게 분포 되 는 것 을 보장 한다 .