본 실시 형태 에서 는 , c 축 배향 하 고 , 또한 ab 면 , 표면 또는 계면 의 방향 으로부터 보 아 삼각 형상 또는 육각 형상 의 원자 배열 을 갖 고 , c 축 에 있 어서 는 금속 원자 가 층상 또는 금속 원자 와 산소 원자 가 층상 으로 배열 되 어 있 고 , ab 면 에 있 어서 는 a 축 또는 b 축 의 방향 이 다른 ( c 축 을 중심 으로 회전 했 다 ) 결정 ( CAAC : C Axis Aligned Crystal 이 라고 도 한다 ) 을 포함 하 는 산화물 에 대하 여 설명 한다 .