서 셉 터 지지대 ( 12 ) 의 내부 에 는 , 예 를 들 면 원주 방향 으로 연장 되 는 냉 매실 ( 19 ) 이 배치 되 어 있 다 . 냉 매실 ( 19 ) 에 는 , 외부 의 칠러 유닛 ( 도시 하 지 않 음 ) 으로부터 배관 ( 20 a , 20 b ) 을 거쳐서 소정 온도 의 냉매 , 예 를 들 면 냉각수 가 순환 공급 된다 . 냉 매실 ( 19 ) 은 냉매 의 온도 에 의해 서 셉 터 ( 13 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 처리 온도 를 제어 한다 .