이 때 , 도 38 에 도시 된 바 와 같이 , 2 개 의 헤드 ( 1683 , 1672 ) ( 도면 중 에 원 으로 둘러싸여 도시 되 어 있 다 ) 가 각각 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 대향 하 게 된 다 . 그래서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 으로부터 인코더 시스템 ( 150 ) ( 인코더 ( 170 D , 170 C ) ) 을 사용 한 스테이지 제어 로 전환 한다 . 간섭계 시스템 ( 118 ) 은 다시 보조 적 으로 사용 된다 . 또한 , 3 개 의 X 간섭계 ( 126 , 127 , 128 ) 중 X 간섭계 ( 127 ) 가 사용 된다 .