진공 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 중공 음극 방전 반응기 ( 20 ) 가 배치 된다 . 진공 챔버 ( 10 ) 의 일 측면 에 형성 된 가스 배출구 ( 101 ) 는 진공 펌프 ( 미 도시 ) 에 연결 되 어 있 다 . 진공 펌프 ( 미 도시 ) 의 작동 하 에 , 진공 챔버 ( 10 ) 의 내부 가 진공 상태 ( 약 1 mTorr ~ 10 Torr ) 로 유지 된다 . 그 후 , 진공 챔버 ( 10 ) 의 타 측면 에 형성 된 가스 주입구 ( 102 ) 를 통해 방전 가스 가 주입 된다 .