감광성 수지 조성물 로서 , 실라 잔 구조 를 갖 는 중합체 를 사용 하 는 경우 , 패턴 형성 후 의 감광성 수지 조성물 층 에 노출 및 가습 처리 를 할 수 있 다 . 이러 한 처리 를 실시 함 으로써 감광성 수지 조성물 층 의 노출 부분 에 산 이 생성 되 며 , 이 와 같이 생성 된 산 에 의해 폴리 실라 잔 의 Si - N 결합 이 개열 되 며 , 또한 분위기 중 의 수분 과 반응 하 여 실란 올 로 된다 . 이 결과 , 실라 잔 구조 를 갖 는 중합체 의 실리카 질 막 으로 의 전환 이 촉진 되 므로 바람직 하 다 .