또한 , 상술 한 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 플 라즈 마 처리 로서 에칭 을 행하 는 플 라즈 마 처리 장치 였 지만 , 임의 의 플 라즈 마 처리 를 행하 는 플 라즈 마 처리 장치 에 채용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 화학 기상 성장 ( CVD ) , 원자 층 퇴적 ( ALD ) , 물리 기상 성장 ( PVD ) 등 을 행하 는 매 엽 식 퇴적 장치 여도 되 고 , 플라 즈 마 어 닐 , 플 라즈 마 임 플랜테이션 등 을 행하 는 플 라즈 마 처리 장치 여도 된다 .