도 10 a 및 도 10 b 를 참조 하 면 , 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 및 반사 방지 층 ( 400 ) 상 에 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 과 다른 식각 선택 비 를 갖 는 재료 를 이용 하 여 제 2 마스크 층 을 형성 하 고 , 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 이 노출 되 도록 평탄 화 공정 으로 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 상 에 형성 된 제 2 마스크 층 을 제거 하 여 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 의 개구 내 에 제 2 마스크 패턴 ( 600 ) 을 형성 한다 . 제 2 마스크 패턴 ( 600 ) 의 제 2 방향 ( SD ) 으로 의 폭 은 1 F 일 수 있 다 .