또 , 상술 한 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 다음 과 같이 구성 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 2 처리 장치 는 , 상기 인 덱 서 블록 에 연결 되 는 제 2 처리 블록 과 , 상기 제 2 처리 블록 에 연결 되 고 , 외부 장치 에 대해서 기판 의 반출 및 반입 을 행하 는 인터페이스 블록 을 구비 한다 . 상기 제 2 처리 블록 은 , 기판 에 대해서 제 2 처리 를 행하 는 제 2 처리 층 과 , 상기 제 2 처리 층 과 는 상이 한 계층 에서 제 3 처리 를 행하 는 제 3 처리 층 을 구비 한다 . 상기 제 2 처리 층 은 , 상기 제 1 처리 장치 가 상기 기판 버퍼 에 반송 한 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 제 2 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 2 처리 층 은 , 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 인터페이스 블록 에 반송 한다 . 상기 인터페이스 블록 은 , 상기 제 2 처리 층 에 의해 반송 된 기판 을 상기 외부 장치 에 반출 하 고 , 또 , 상기 외부 장치 에서 처리 된 기판 을 반입 한다 . 상기 제 2 처리 층 은 , 상기 인터페이스 블록 으로부터 상기 외부 장치 에서 처리 된 기판 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 기판 버퍼 에 있 어서 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 제 2 처리 층 의 계층 으로부터 상기 제 3 처리 층 의 계층 으로 이동 시킴 으로써 , 상기 제 3 처리 층 이 기판 을 수취 할 수 있 는 상태 로 만든 다 . 상기 제 3 처리 층 은 , 상기 기판 버퍼 로부터 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 제 3 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 3 처리 층 은 , 상기 제 3 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 3 처리 층 에서 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 상기 캐리어 로 되돌린다 .