모세 관력 리소그래피 공정 은 다음 과 같이 이루어진다 . 먼저 , 유리 기판 ( 1 ) 을 준비 한다 ( 도 1 a ) . 그리고 상기 유리 기판 ( 1 ) 위 에 폴리스타이렌 층 ( 2 ) 을 회전 도포 한다 ( 도 1 b ) . 다음 에 , PDMS 도장 ( 3 ) 을 그 위 에 올려 놓 고 120 ℃ 에서 20 분 간 놓아둔다 ( 도 1 c ) . 이 와 같이 , PDMS 도장 ( 3 ) 을 상기 와 같 은 온도 조건 에서 폴리스타이렌 층 ( 2 ) 위 에 올려 두 면 , 폴리스타이렌 층 ( 2 ) 이 물렁 해 지 면서 모세관 오름 현상 에 의하 여 도장 ( 3 ) 의 빈 공간 을 채운다 ( 도 1 d ) . 약 20 분 경과 후 꺼내 어 상온 에서 식힌 후 PDMS 도장 ( 2 ) 을 기판 에서 떼 어 내 면 원 하 는 패턴 을 얻 을 수 있 다 ( 도 1 e ) .