이하 에서 는 비 교부 ( 270 ) 가 측정 부 ( 260 ) 로부터 전달 된 상기 제 1 전극 ( 231 ) 또는 제 2 전극 ( 232 ) 의 저항 값 이 설정 범위 내 에 있 는지 를 비교 하 여 설정 범위 를 벗어나 는 경우 RF 전원 의 공급 을 중지 시키 는 인터 락 신호 ( Si ) 를 생성 하 여 제 어부 ( 280 ) 에 전달 하 는 실시 예 를 설명 하 기 로 한다 .