열 전달 특성 이 빠른 적외선 조사 방식 을 이용 해 포스트 베 이크 공정 을 대체 하 고 , 이 를 통해 수율 및 생산 효율 을 높일 수 있 는 컬러 필터 기판 의 제조 방법 및 그 를 위한 적외선 소성 장치 가 제공 된다 . 컬러 필터 기판 의 제조 방법 은 기판 의 전면 에 컬러 레지스 트 를 증착 하 는 단계 , 기판 위 에 마스크 를 위치 시킨 후 노광 하 는 단계 , 노광 된 컬러 레지스 트 층 을 현상 하 여 컬러 필터 패턴 을 형성 하 는 단계 , 기판 에 적외선 을 조사 하 여 컬러 필터 패턴 을 경화 하 는 단계 를 포함 한다 . 적외선 소성 장치 는 주 몸 체부 , 주 몸 체부 의 내부 공간 상 에 서로 마주 보 도록 설치 되 어 기판 에 적외선 을 조사 하 는 적외선 방사 히터 , 주 몸 체부 의 내벽 에 설치 되 어 적외선 방사 히터 로부터 방사 되 는 적외선 을 집속 시키 는 적외선 반사체 , 기판 의 가 열 시 배출 되 는 가스 를 외부 로 배출 시키 기 위한 배기 부 , 기판 의 가열 시간 을 제어 하 는 제 어부 를 포함 한다 .