도 6 을 참조 하 면 , 베 이크 챔버 ( 420 ) 는 공정 챔버 ( 423 ) , 냉각 플레이트 ( 422 ) , 그리고 가열 처리 유닛 ( 421 ) 을 포함 할 수 있 다 . 공정 챔버 ( 423 ) 는 내부 에 열처리 공간 ( 802 ) 을 제공 할 수 있 다 . 공정 챔버 ( 423 ) 는 직육면체 형상 을 가지 도록 제공 된다 . 냉각 플레이트 ( 422 ) 는 가열 처리 유닛 ( 421 ) 에 의해 가열 처리 된 기판 을 냉각 처리 한다 . 냉각 플레이트 ( 422 ) 는 열 처리 공간 ( 802 ) 에 위치 된다 . 냉각 플레이트 ( 422 ) 는 원형 의 판 형상 으로 제공 된다 . 냉각 플레이트 ( 422 ) 의 내부 에 는 냉각수 또는 열전 소자 와 같 은 냉각 수단 이 제공 될 수 있 다 . 예컨대 , 냉각 플레이트 ( 422 ) 는 가열 된 기판 을 상온 으로 냉각 시킬 수 있 다 .