표 4 에서 , 본 발명 의 방법 에 의하 면 , 노광 시 의 부분 적 인 차광 에 의해 형성 하 는 오 목부 의 효과 에 의해서 , 돌출 량 을 저감 할 수 있 고 , 그 결과 , 스파크 불량 을 저감 할 수 있 는 것 을 알 수 있 었 다 . 또한 , 특히 , 간격 L 을 1 ㎛≤ L ≤ 10 ㎛ 로 하 고 , 폭 T 를 2 ㎛≤ T ≤ 10 ㎛ 의 범위 로 해서 제작 한 , 돌출 량 이 2 ㎛ 이하 인 샘플 에 대해서 는 , 스파크 불량 률 이 1 % 이하 라고 하 는 결과 를 얻 었 다 . 이것 은 , 스파크 불량 률 1 . 7 % 라고 하 는 비 교예 에 비하 여 , 매우 양호 한 결과 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 돌출 량 과 스파크 불량 률 의 관계 를 나타내 는 그래프 를 , 도 10 으로 해서 나타낸다 .