기판 승강 부 ( 22 ) 는 , 열 판 ( 21 ) 상 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 를 승강 시킨다 . 예컨대 기판 승강 부 ( 22 ) 는 , 복수 개 의 승강 핀 ( 23 ) 과 , 승강 구동 부 ( 24 ) 를 갖 는다 . 복수 개 의 승강 핀 ( 23 ) 은 , 열 판 ( 21 ) 을 아래 에서 위 로 관통 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 지지 한다 . 승강 구동 부 ( 24 ) 는 , 예컨대 전동 모터 또는 에 어 실린더 등 을 동력원 으로 하 여 복수 의 승강 핀 ( 23 ) 을 승강 시킨다 . 이 에 의해 , 열 판 ( 21 ) 상 에 의 승강 핀 ( 23 ) 의 돌출 높이 가 변화 하 여 , 승강 핀 ( 23 ) 의 단부 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 가 승강 한다 .