또한 , 케이스 ( 56 ) 의 일 측 부 ( 56 a ) 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 반입 출구 ( 56 b ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 반입 출구 ( 56 b ) 에 는 도시 하 지 않 은 개폐 기구 에 의해 반입 출구 ( 56 b ) 를 개폐 하 는 셔터 ( 56 c ) 가 배치 되 어 있 다 . 또한 , 케이스 ( 56 ) 의 하부 측방 에 는 배기구 ( 56 d ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 배기구 ( 56 d ) 는 , 배기관 ( 56 e ) 을 통해 배기 수단 , 예컨대 배기 펌프 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 다 .