이하 의 표 1 은 이 와 같이 하 여 형성 된 제 1 산화 이리듐 ( IrOx ) 막 ( 16 ) 및 제 2 산화 이리듐 ( IrOy ) 막 ( 17 ) 에 대해서 , HRBS ( 고 분해능 러더퍼드 후방 산란 스펙 트 로 메트리 ( high - resolution Rutherford backscattering spectrometry ) ) 에 의해 구한 , 상기 도 5 g 의 열처리 공정 후 에 있 어서 의 산소 조성 파라미터 x , y 를 정리 하 여 나타낸다 .