제 2 이송 모듈 ( 300 ) 은 제 1 이송 모듈 ( 100 ) 과 마주 보 는 프로세스 모듈 ( 200 ) 의 타 측 에 설치 된다 . 제 2 이송 모듈 ( 300 ) 은 현상 모듈 ( 240 ) 과 노광 모듈 ( 400 ) 간 에 기판 을 이송 하 는 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 을 가진다 . 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 는 기판 을 이송 하 기 위한 인터페이스 로봇 ( 322 ) 과 , 인터페이스 로봇 ( 322 ) 이 제 2 방향 ( 14 ) 으로 직선 이동 되 도록 인터페이스 로봇 ( 322 ) 의 이동 을 안내 하 는 가이드 레일 ( 324 ) 이 제공 된다 .