상기 감광성 수지판 초음파 세정 장치 는 본 체부 와 ; 상기 본 체부 에 배치 되 며 , 세정액 이 수용 되 고 , 상기 세정액 에 설정 된 초음파 를 발생 시키 는 세 정부 와 ; 상기 세 정부 의 상부 에 배치 되 도록 상기 본 체부 에 설치 되 며 , 상기 세정액 에 상기 감광성 수지판 을 함침 하 는 그립 부 와 ; 상기 그립 부 에 설치 되 며 , 함침 된 상기 감광성 수지판 을 회전 시키 는 회 전부 ; 및 , 설정 된 세정 시간 동안 , 상기 세 정부 , 상기 그립 부 , 상기 회 전부 의 구동 을 제어 하 는 제 어부 ; 를 포함 한다 .