웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 에 는 웨이퍼 보유 대 ( 8 ) 와 일체 회전 하 는 6 개 의 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 이 착 탈 가능 하 게 부착 되 고 , 이 들 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 은 웨이퍼 ( W ) 의 외주 방향 에 등 간격 을 가지 고 배치 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 은 , 웨이퍼 보유 대 ( 8 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 외 주부 에 대하 여 진퇴 동작 가능 하 고 , 상하 위치 조정 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . 또한 , 각 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 의 내측 에 는 각각 , 웨이퍼 ( W ) 에 전기 를 공급 하 기 위한 급전 전극 ( A ∼ F ) 이 제공 되 고 , 각 급전 전극 ( A ∼ F ) 의 주위 는 액체 등 이 침입 하 지 않 도록 시 일재 로 봉지 보호 되 어 있 다 . 또한 , 각각 의 급전 전극 ( A ∼ F ) 사이 에 는 상호 의 전기 저항 을 측정 하 기 위한 테스터 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 짜넣 어 져 있 다 . 또는 , 하나 의 테스터 에 대하 여 순차 적 으로 전극 을 전환 하 여 급전 전극 ( A ∼ F ) 간 의 저항 을 체크 할 수 있 는 기구 로 하 고 있 다 .