다른 예시 로서 , 자 가 정렬 블록 ( SAB ) 구조물 들 의 제조 가 자 가 정렬 이중 패 터닝 ( SADP ) , 자 가 정렬 사중 패 터닝 ( SAQP ) , 및 자 가 정렬 다중 패 터닝 ( SAMP ) 의 다른 변형 들 에서 의 중요 한 단계 가 되 어 가 고 있 다 . SAB 흐름 의 부분 으로서 , 실리콘 질화물 맨드렐 이 산화물 스 페이서 에 대한 선택 비 로 이방성 으로 ( anisotropically ) 에칭 된다 . 실리콘 질화물 맨드렐 을 에칭 하 기 위한 현재 의 접근 법 들 은 , 산화물 스 페이서 를 손상 시키 지 않 고 맨드렐 을 에칭 하 기 위한 15 를 초과 하 는 [ 즉 , 실리콘 질화물 의 에칭 레이트 가 실리콘 산화물 의 에칭 레이트 보다 15 배 큼 ] 요구 되 는 선택 비 를 갖 지 않 는다 .