다음 으로 , 상기 제 1 랜딩 플러그 ( 5 ) 와 제 2 랜딩 플러그 ( 6 ) 를 포함 한 기판 전면 상 에 제 1 층간 절 연막 ( 6 ) 을 증착 한 후 , 이 를 CMP 하 여 상기 제 1 랜딩 플러그 ( 5 ) 와 제 2 랜딩 플러그 ( 6 ) 를 노출 시킨다 . 이어서 , 상기 제 1 층간 절 연막 ( 4 ) 상 에 제 2 층간 절 연막 ( 7 ) 및 제 1 랜딩 플러그 ( 5 ) 와 콘 택하 는 비트 라인 ( 8 ) 을 차례 로 형성 한다 . 여기 서 , 상기 비트 라인 ( 8 ) 은 베리 어막 ( 8 a ) 과 배선용 도전 막 ( 8 b ) 및 하드 마스크 막 ( 8 c ) 으로 이루어진다 .