도 2 a 내지 도 2 b 는 기판 페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 의 균일 한 온도 제어 를 제공 하 도록 구성 되 는 냉각 유동 경로 ( 200 ) 를 도시 하 는 기판 페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 의 일 실시 예의 개략 적 인 단면 도 및 평면도 이 다 . 기판 페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 는 베이스 조립 체 ( 114 ) 상 에 배치 되 는 정전 척 ( 188 ) 을 포함 한다 . 유동 경로 ( 200 ) 는 베이스 조립 체 ( 114 ) 를 통하 여 형성 된 하나 또는 둘 이상 의 통로 를 통하 여 루팅 될 수 있 다 . 유동 경로 ( 200 ) 는 일반 적 으로 베이스 조립 체 ( 114 ) 를 통하 여 방사형 배향 ( radial orientation ) 을 가진다 . 비록 소스 ( 182 ) 에 의해 제공 된 열 전달 유체 가 방사형 외측 으로 유동 하 도록 중앙 입구 를 가지 는 도 2 a 내 에 유동 경로 ( 200 ) 가 도시 되 지만 , 유동 의 방향 이 반대 로 될 수 있 다는 것 이 고려 된다 .