밸브 ( 314 ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 310 ) 내 에 제 1 가스 ( 원료 가스 ) 인 TMA 가스 를 흘린다 . TMA 가스 는 , MFC ( 312 ) 에 의해 유량 조정 되 어 , 노즐 ( 410 ) 의 가스 공급 구멍 ( 410 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 . 이때 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대하 여 TMA 가스 가 공급 되 게 된다 . 이때 동시 에 밸브 ( 514 ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 510 ) 내 에 N 2 가스 등 의 불활성 가스 를 흘려도 된다 . 가스 공급 관 ( 510 ) 내 를 흐른 N 2 가스 는 , MFC ( 512 ) 에 의해 유량 조정 되 어 , TMA 가스 와 함께 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 . N 2 가스 는 , 가스 공급 관 ( 320 ) , 노즐 ( 420 ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 .