케이싱 ( 52 ) 의 X 축 방향 의 한쪽 ( 오른쪽 ) 측 에 는 , 촬상 유닛 ( 56 ) 이 설치 되 어 있 다 . 촬상 유닛 ( 56 ) 은 , 척 테이블 ( 32 ) 의 상방 에 위치 하 고 있 다 . 촬상 유닛 ( 56 ) 은 , 예컨대 , 대물 렌즈 ( 도시 하 지 않 음 ) 와 , 대물 렌즈 를 통해 웨이퍼 ( 11 ) 등 의 피사체 를 촬상 하 는 촬상 소자 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 가진다 .