도 10 을 참조 하 면 , 이어 , 마스크 패턴 ( PRT ) 을 식각 마스크 로 이용 하 여 리프트 오프 층 ( LOL ) 을 식각 한다 . 리프트 오프 층 ( LOL ) 의 식각 은 습식 식각 과 같 은 등방성 식각 으로 이루어질 수 있 다 . 리프트 오프 층 ( LOL ) 이 불소 중합체 를 포함 하 는 경우 , 불소 를 포함 하 는 용매 로서 히 드로 플 루 오로 에 테르 ( hydrofluoroether ) 를 포함 하 는 용매 를 식각 용액 으로 이용 하 여 리프트 오프 층 ( LOL ) 을 식각 할 수 있 다 .