본 개시 의 일 양태 에 의한 기판 처리 장치 는 , 기판 반송 용기 에 들 어 있 는 복수 매 의 기판 을 기판 유지 구로 이재 하 는 기판 이재기 와 , 상기 기판 유지 구 를 기판 유지 구 이 동기 에 의해 반응 용기 내 에 도입 하 여 , 상기 복수 매 의 기판 의 처리 를 행하 는 기판 처리 장치 에 있 어서 , 적어도 1 장 의 기판 의 처리 결과 로서 막 두께계 의 막 두께 측정 결과 를 입수 하 고 , 상기 막 두께 측정 결과 로부터 미리 작성 된 모델 과 이재 위치 설 정부 에 의해 , 기판 유지 구 에 대한 기판 의 배치 위치 를 결정 하 여 , 기판 이재기 의 동작 을 행하 는 기판 반송 제 어부 와 , 막 두께 측정 결과 를 새롭 게 입수 하 면 편심 ( 偏 芯 ) 상태 해석 부 에 의해 막 두께 변동 상황 으로부터 편심 상태 를 해석 하 는 정보 처 리부 와 , 해석 된 편심 상태 로부터 모델 의 갱신 을 행하 는 학습 기능 부 와 , 갱신 된 모델 과 이재 위치 설 정부 에 의해 기판 의 배치 위치 를 갱신 하 는 최적 화 기능 부 를 갖 는다 .