주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 주제 어부 ( 6 ) 는 , 도 11 에 나타내 는 바 와 같이 , 1 개 의 기판 상 에 노광 하 는 패턴 및 노광 위치 를 포함 하 는 노광 정보 가 입력 되 는 입력 부 ( 64 ) 와 , 입력 된 정보 에 기초 하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 하 기 위한 노광 데이터 를 작성 하 는 데이터 작성 부 ( 66 ) 와 , 작성 된 노광 데이터 를 출력 하 는 출력 부 ( 68 ) 를 구비 한다 . 예 를 들 어 , 2200 ㎜ × 2400 ㎜ 의 유리 기판 을 3 개 의 42 인치 의 화면 ( 쇼트 영역 ) 과 2 개 의 37 인치 의 화면 ( 쇼트 영역 ) 을 포함 하 는 레이아웃 으로 노광 하 는 것 을 상정 ( 想定 ) 한다 . 이 경우 , 입력 부 ( 64 ) 에는 , 사용자 로부터 그 들 의 화면 사이즈 및 화면 수 등 의 정보 가 입력 된다 . 도 2 에 나타내 는 바 와 같 은 레이아웃 정보 로서 입력 되 어도 된다 . 도 2 에 는 , 예 를 들 어 42 인치 의 화면 ( R 1 ∼ R 3 ) 과 37 인치 의 화면 ( R 4 및 R 5 ) 이 배치 되 는 엉성 한 레이아웃 이 나타나 있 다 . 데이터 작성 부 ( 66 ) 에서 는 , 그러 한 엉성 한 레이아웃 이 노광 시스템 으로 노광 될 수 있 는지 여부 를 판단 하 여 , 가능 하 다고 판단 하 였으면 , 입력 된 정보 에 기초 하 여 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 하 는 데이터 를 작성 한다 .