일부 실시 예 들 에서 , 방법 은 또한 기판 을 제공 하 는 단계 전 에 , 처리 되 지 않 은 실리콘 나이트 라이드 표면 을 형성 하 도록 실리콘 나이트 라이드 를 증착 하 는 단계 ; 및 1 차 아민 기 들 을 포함 하 는 노출 된 실리콘 나이트 라이드 표면 을 형성 하 도록 처리 되 지 않 은 실리콘 나이트 라이드 표면 을 암모니아 에 노출 시키 고 약 1 초 내지 약 10 초 의 지속 기간 동안 플 라즈 마 를 점 화 하 는 단계 를 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마는 약 150 W 내지 약 6000 W 의 플 라즈 마 전력 을 사용 하 여 점 화 된다 .