상기 한 바 와 같 은 본 발명 의 목적 을 실현 하 기 위하 여 , 본 발명 의 바람직 한 실시 예 는 현상액 혹은 세정액 이 저장 되 어 기판 을 디 핑 방식 에 의하 여 처리 하 는 적어도 하나 이상 의 챔버 ; 상기 기판 을 각 챔버 로 이송 시키 기 위한 적어도 하나 이상 의 이송 수단 ; 그리고 상기 이송 수단 에 각각 구비 되 며 , 기판 을 픽업 / 틸팅 시켜 상기 챔버 중 어느 한 챔버 로 디 핑 시키 기 위한 틸팅 수단 을 포함 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 .