임프 린트 헤드 ( 4 ) ( 몰드 보유 지지 유닛 ) 는 , 예 를 들 어 몰드 척 ( 4 a ) 및 몰드 구동 유닛 ( 4 b ) 을 포함 하 고 , 몰드 ( 1 ) 를 보유 지지 하 면서 이동 하 도록 구성 된다 . 몰드 척 ( 4 a ) 은 , 예 를 들 어 진공 흡착 력 또는 정전기력 을 이용 하 여 몰드 ( 1 ) 를 보유 지지 한다 . 몰드 구동 유닛 ( 4 b ) 은 , 몰드 척 ( 4 a ) ( 몰드 ( 1 ) ) 의 Z 방향 의 위치 및 XY 평면 에 대한 기울기 를 변경 할 수 있 도록 구성 된다 . 또한 , 몰드 구동 유닛 ( 4 b ) 은 , 몰드 ( 1 ) 의 XY 방향 의 위치 를 조정 할 수 있 도록 구성 될 수 도 있 다 .