도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 잔류물 ( 123 ) 을 전부 제거 함 으로써 신뢰 성 저하 문제 를 감소 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 상방 에서 보 았 을 때 , 전도성 필라 ( 125 ) 의 폭 ( W 1 ) 을 설계 값 에 대응 하 도록 형성 할 수 있 으므로 전도성 필라 ( 125 ) 는 후속 공정 에서 얼라인 키 로 활용 될 수 있 다 .