이 에 , 복수 개 의 진동판 ( 144 ) 들 이 각각 파원 으로서 의 역할 을 함 에 따라 , 에칭 배스 ( 110 ) 에 채워진 에칭 액 에 파동 이 발생 하 기 시작 한다 . 이때 , 진동판 ( 144 ) 들 은 진 동축 ( 143 ) 을 기준점 으로 하 여 돌출 된 길이 가 모두 동일 하 도록 하 여 보강 및 상쇄 효과 에 의해 파동 의 진폭 이 더욱 커질 수 있 도록 하 며 , 특히 진동 모터 ( 142 ) 의 진동 세기 및 진동판 ( 144 ) 의 개수 를 조절 하 여 유리 기판 ( P ) 높이 이상 의 진폭 을 갖 는 파동 이 형성 되 도록 하 는 것 이 바람직 할 것 이 다 .