하부 전극 ( 21 ) 에 는 , 제 1 정합 기 ( 33 ) 를 통해 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 이 접속 되 며 , 제 2 정합 기 ( 35 ) 를 통해 제 2 고주파 전원 ( 34 ) 이 접속 된다 . 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 은 , 예 를 들 어 , 주파수 27 MHz ~ 100 MHz 의 제 1 고주파 전력 ( 플라 즈 마 생 성용 고주파 전력 ( HF ) ) 을 하부 전극 ( 21 ) 에 인가 한다 . 제 2 고주파 전원 ( 34 ) 은 , 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 의 주파수 보다 낮 은 , 예 를 들 어 , 400 kHz ~ 13 MHz 의 제 2 고주파 전력 ( 이온 끌 어 당김 용 고주파 전력 ( LF ) ) 을 하부 전극 ( 21 ) 에 인가 한다 .