이때 , 화학 전구체 는 무기 화합물 ( in - organic ) 이나 유기 금속 화합물 ( metal organic ) 을 주로 사용 하 는데 , 특히 반도체 생산 라인 등 에서 는 최근 전구체 로 많이 사용 하 는 유기 금속 화합물 의 경우 분해 가 매우 쉽 기 때문 에 생산품 의 재현 성 , 신뢰 성 및 생산 성 에 있 어 문제 의 심각 성 을 더 해 가 고 있 다 .