프로세스 모듈 들 을 분리 하 는 슬릿 밸브 챔버 들 의 슬릿 밸브 들 은 프로세싱 동안 하나 의 프로세스 모듈 에서 또 다른 프로세스 모듈 로 의 기판 통과 를 허용 하 기 위해 개방 될 수 있 다 . 따라서 , 프로세스 모듈 은 슬릿 밸브 개구 를 통해 이웃 하 는 프로세스 모듈 과 또는 다수 의 슬릿 밸브 개구 들 을 통해 다수 의 이웃 하 는 프로세싱 모듈 들 과 유체 통신 할 수 있 다 . 이러 한 유체 통신 은 다양 한 방식 으로 감소 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 슬릿 밸브 개구 또는 개구 들 은 프로세스 모듈 들 간 의 이러 한 유체 통신 을 감소 시키 기 위해 , 예 를 들 어 기판 의 통과 를 허용 하 면서 실행 가능 한 또는 가능 한 범위 로 크기 가 제한 될 수 있 다 . 또한 예 를 들 어 , 기판 통과 선 을 따라 통과 하 는 기판 들 간 의 갭 또는 공간 은 기판 통과 선 을 따라 갭 에 의해 또는 기판 통과 선 에서 운반 될 수 있 는 유체 의 양 을 감소 시키 기 위해 , 실행 가능 한 또는 가능 한 범위 로 제한 될 수 있 다 .