또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 액침 영역 ( 14 ) 의 전달 을 위해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 X 축 방향 으로 일부 접촉 또는 근접 하 는 스크럼 상태 를 유지 하 면서 X 축 방향 으로 구동 되 는 경우 에 대해 설명 하 였 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 더욱 구체 적 으로 , 액침 영역 ( 14 ) 의 전달 을 위해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 Y 축 방향 으로 일부 접촉 또는 근접 하 는 스크럼 상태 를 유지 하 여 Y 축 방향 으로 구동 되 는 구성 을 채용 할 수 있 다 .