도 4 d 는 쉘로우 트렌치 ( 406 ) 내부 에 형성 되 는 라이너 산화물 층 ( 407 ) 을 도시 하고 있 다 . 라이너 산화물 층 ( 407 ) 은 통상 적 으로 고온 산화 노 내 에서 열 적 으로 성장 된다 . 라이너 산화물 층 ( 407 ) 의 목적 은 기판 ( 401 ) 과 내부 충 진 될 트렌치 산화물 ( 409 ) 사이 의 계면 을 개선 하 는 것 이 다 .