한편 , 패턴 의 CD 차이 에 따라 , 패턴 사이 의 간격 차이 가 유발 될 수 있 는데 이때 , 분사 되 는 폴리머 의 양 을 조절 하 여 투과율 조절 막 ( 130 ) 을 두껍 게 또는 얇 게 도포 하 여 투과 되 는 광량 을 조절 할 수 있 다 . 투과율 조절 막 ( 130 ) 의 두께 가 두 꺼 울 수록 투과 율 이 낮 아지므로 , 패턴 간격 에 따라 적절히 조절 한다 . 바람직 하 게 는 , 투과율 조절 막 ( 130 ) 은 5000 ~ 5500 Å 의 두께 로 형성 할 수 있 다 .