이하 의 설명 에 있 어서 는 , 투영 광학계 ( 6 ) 의 광축 방향 과 일치 하 는 방향 을 Z 축 방향 으로 부르 고 , Z 축 방향 과 수직 인 평면 내 에서 레티 클 ( 1 ) 이 웨이퍼 ( 3 ) 와 동기 하 여 이동하 는 주사 방향 을 Y 축 방향 으로 부르 고 , Z 축 방향 및 Y 축 방향 과 수직 인 비 주사 방향 을 X 축 방향 으로 부른다 . 또한 , X 축 , Y 축 , 및 Z 축 주위 의 회전 방향 을 각각 , θ X , θ Y , 및 θ Z 방향 으로 부른다 .