그러나 , 상기 의 종래 의 웨이퍼 이송 장치 에서 , 6 매 의 웨이퍼 가 각각 의 프로세스 모듈 에서 처리 되 더라도 실질 적 으로 는 로드 락 모듈 에서 동시 에 2 매 의 웨이퍼 가 이송 되 고 , 2 매 의 웨이퍼 만 이 동시 에 처리 될 수 있 는 것 이 어서 , 동시 에 4 ~ 6 매 의 웨이퍼 를 동시 에 처리 할 수 는 없 게 되 어 있 다 .