본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 1 ) 와 웨이퍼 Y 간섭계 ( 18 Y ) 는 , 웨이퍼 의 노광 동작 시 에 사용 되 는 인코더 시스템 의 캘리 브레이 션 에 사용 됨 과 함께 , 웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 2 ) 와 웨이퍼 Y 간섭계 ( 18 Y ) 는 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 에 의한 마크 검출 시 에 사용 된다 . 또한 본 실시 형태 에 있 어서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 단면 에 반사면 ( 17 X , 17 Y ) 을 형성 하 는 대신 에 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 단부 에 이동경 ( 평면 미러 ) 을 고정 시켜도 된다 .