도 23 을 참조 하 면 , 투 광판 ( 21 ) 의 표면 에 는 차광막 ( 3 ) 이 형성 되 어 있 다 . 동 위상 개구부 ( 3 a , 3 c ) 에서 는 , 투 광판 ( 21 ) 의 주 표면 이 배치 되 어 있 다 . 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 에서 의 투광 판 ( 21 ) 의 표면 에 는 , 각각 오 목부 ( 22 ) 가 형성 되 어 있 다 . 오 목부 ( 22 ) 는 , 반전 위상 개구부 ( 3 b , 3 d ) 를 통과 하 는 광 의 위상 이 반 파장 어긋나 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 파장 이 반전 하 도록 형성 되 어 있 다 . 오 목부 ( 22 ) 는 , 언더컷 부 ( 22 a ) 를 가진다 .