한편 , 압력 센서 ( 60 ) 는 공정 챔버 ( 10 ) 내 의 가스 를 인입 시키 는 인입 관 ( 50 ) 에 부착 되 어 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 의 압력 을 측정 한다 . 이 경우 제 어부 ( 140 ) 는 고주파 프로브 ( 110 ) , 분광 분석기 ( 120 ) , 광학 프로브 ( 130 ) 로부터 의 측정 결과 를 보정 하 여 이상 여부 를 판단 한다 . 예 를 들 어 , 동일 성분 의 물질 들 이 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 의 압력 변화 에 대해 스펙트럼 이 어떻 게 변화 하 는지 에 대한 데이터 를 미리 가지 고 있 다가 , 실제 압력 변화 를 측정 하 여 스펙트럼 측정값 을 보정 함 으로써 압력 변화 에 의한 스펙트럼 변동 값 을 제거 하 고 실제 성분 의 변동비 만 을 가지 고 이상 여부 를 판단 함 으로써 보다 정확 한 판단 이 가능 하 다 .