구체 적 으로 , 상기 영구 결합 층 ( 550 ) 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 기판 ( 560 ) 에 영구 결합 필름 ( 미 도시 ) 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 영구 결합 필름 을 패 터닝 하 여 상기 영구 결합 필름 에 캐 비티 ( 551 ) 를 형성 하 고 , 나머지 상기 영구 결합 필름 을 상기 영구 결합 층 ( 550 ) 으로 사용 하 는 단계 를 포함 한다 .