의사 촉매 로서 는 , 예 를 들 어 최 표면 이 자연 산화 막 ( SiO 막 ) 으로 덮여 있 지 않 은 고체 의 Si , 즉 , 최 표면 에서 Si 소재 가 노출 되 어 드러나 게 된 Si 부재 를 사용 할 수 있 다 . 이러 한 부재 로서 는 , 예 를 들 어 DHF 세정 등 에 의해 최 표면 에 형성 된 자연 산화 막 이 제거 된 Si 제 웨이퍼 , 예 를 들 어 베 어 Si 웨이퍼 ( 이하 , 베어 웨이퍼 ) 를 사용 할 수 있 다 . 또한 , 대기 중 에서 보관 되 는 베어 웨이퍼 의 최 표면 에 는 자연 산화 막 이 형성 되 어 있 고 , 그 최 표면 에 는 , Si 소재 가 드러나 있 지 않 아 , 그대로 의 상태 로 는 , 베 어 웨이퍼 를 의사 촉매 로서 사용 할 수 없 다 . 베 어 웨이퍼 를 의사 촉매 로서 작용 시키 기 위해서 는 , 스텝 C 를 행할 때 , 베어 웨이퍼 의 최 표면 에 형성 된 자연 산화 막 을 제거 하 여 , 그 최 표면 에 있 어서 , Si 소재 가 노출 된 상태 로 할 필요 가 있 다 .