또 , 상기 공진기 ( 5 ) 의 공진 부 는 양쪽 으로부터 도입 되 는 시스템 을 갖추 고 있 을 뿐 만 아니 라 , 상기 공진 부 ( 53 ) 의 내부 는 수개 의 마이크로파 통과 공 ( 54 a ) 이 천공 된 슬릿 ( 54 ) 을 통해 각각 의 가로 방향 으로 λ g / 2 의 길 이 마다 직렬 로 접속 된 복수 의 공진 유 니트 ( 53 a , 53 b ) 에 의해 마이크로파 들 이 합성 되 며 공진 을 이루 게 되 고 , 상기 한 공진 유 니트 ( 53 a , 53 b ) 들 중 λ g 간격 을 두 고 교호 로 형성 된 도입 공 ( 53 c ) 을 통해 즉 , 개구 된 공진 유 니트 ( 53 b ) 의 도입 공 ( 53 c ) 을 통해 도입 된 후 연장 부 ( 55 ) 와 격벽 ( 56 ) 사이 의 공간 부 에 형성 된 다수 의 도파관 ( 57 ) 을 도파 하 여 최종 적 으로 유전체 창 ( 6 ) 을 거쳐 반응 조 ( 1 ) 의 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 내 로 전송 된다 .