ITO ( 인듐 주석산 화물 ) 가 1000 Å 두께 로 박막 코팅 된 유리 기판 ( corning 7059 glass ) 을 , 분산제 를 녹인 증류수 에 넣 고 초음파 로 세척 하 였 다 . 세제 는 Fischer Co . 의 제품 을 사용 하 였으며 , 증류수 는 Millipore Co . 제품 의 필터 ( Filter ) 로 2 차 걸러진 증류수 를 사용 하 였 다 . ITO 를 30 분 간 세척 한 후 , 증류수 로 2 회 반복 하 여 초음파 세척 을 10 분 간 진행 하 였 다 . 증류수 세 척 이 끝난 후 이소프로필 알콜 , 아세톤 , 메탄올 용제 순서 로 초음파 세척 을 하 고 건조 시켰 다 .