도 2 h 를 참조 하 면 , 통상 적 인 전기 도금 공정 을 이용 하 여 노출 되 어 있 는 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 을 시드 로 영역 ( 172 ) 상 에 지지 부 ( 180 ) 를 형성 한다 . 원활 한 지 지부 ( 180 ) 형성 을 위하 여 노출 되 어 있 는 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 의 표면 을 플 라즈 마 세정 할 수 있 다 . 지지 부 ( 180 ) 는 구리 또는 알루미늄 과 같 은 금속 을 포함 할 수 있 다 . 이때 , 영역 ( 174 ) 상 에 는 제 4 ( 150 ) 및 제 5 패턴 ( 160 ) 이 보호막 으로 작용 하 여 전기 도금 이 진행 되 지 않 고 , 영역 ( 176 ) 상 에 는 제 5 패턴 ( 160 ) 이 보호막 으로 작용 하 여 전기 도금 이 진행 되 지 않 는다 . 전기 도금 공정 시 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 용 전극 ( 144 a ) 에 는 접지 전극 이 연결 된다 . 통상 적 인 전기 도금 공정 은 이미 공지 의 기술 이 므로 본 명세서 에서 는 이 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .