이상 으로 설명 한 바 와 같이 , 일 실시 형태 에서 는 , 환형 부재 ( 26 ) 를 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 와 제 2 환형 부재 ( 26 b ) 의 2 개 로 분할 하 였 지만 , 3 개 이상 으로 분할 하 여도 좋 다 . 공간 ( A ) 의 유전율 을 조정 하 는 공정 은 , 제 2 환형 부재 ( 26 b ) 의 유전 율 에 대한 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 유전율 의 비율 을 조정 하 여도 좋 다 . 레시피 , 프로세스 조건 또는 제 2 환형 부재 ( 26 b ) 의 소모량 중 적어도 어느 하나 에 따라 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 유전율 ( ε r ) 또는 두께 를 변경 하 여도 좋 다 .