실리콘 전구체 ( 50 ) 는 예 를 들 면 , BEMAS ( bisethylmethylaminosilane ) , BDMAS ( bisdimethylaminosilane ) , BEDAS , TEMAS ( t e t r a kisethylmethylaminosilane ) , TDMAS ( t e t rakisidimethylaminosilane ) , TEDAS 와 같 은 아미노 계 실란 , 또는 HCD ( hexachlorinedisilan ) 와 같 은 염화 계 실란 일 수 있 으며 , 실리콘 과 수소 를 포함 하 는 실란 계열 의 전구체 일 수 도 있 다 .