다음 에 , 본 실시 형태 에 따른 웨이퍼 ( 1 ) 의 가공 방법 의 각 공정 에 대해서 설명 한다 . 우선 , 웨이퍼 ( 1 ) 와 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 와 프레임 ( 7 ) 을 일체 화 시키 기 위한 준비 를 위해 , 폴리올레핀 계 시트 배치 공정 을 실시 한다 . 도 2 는 척 테이블 ( 2 ) 의 유지 면 ( 2 a ) 상 에 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 을 위치 시키 는 모습 을 모식 적 으로 나타낸 사시도 이 다 . 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 폴리올레핀 계 시트 배치 공정 은 , 상부 에 유지 면 ( 2 a ) 을 구비 하 는 척 테이블 ( 2 ) 상 에서 실시 된다 .