도 7 에 따르 면 , 컨트롤 게이트 픽업 구조 역시 플로팅 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( FG Poly - Si layer , 210 a , 210 b , 210 c ) 상 에 하드 마스크 ( Hard Mask , 280 ) 을 더 포함 한다 . 이때 , 하드 마스크 ( 280 ) 는 산화 막 또는 질화 막 ( Nitride ) , 또는 산화 막 / 질화 막 이 사용 되 는 것 이 바람직 하 다 .