당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 이 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 방향 으로 직결 되 어 있 으므로 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 작 은 관성 모멘트 로 회전 시킬 수 있 고 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 검사 대상 기판 ( P ) 에 대하 여 빠르 고 또한 고정 밀도 로 위치 결정 할 수 있 다 . 따라서 , 당해 전기 검사 장치 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 전기 검사 효율 을 용이 하 게 높일 수 있 다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 작 은 관성 모멘트 로 회전 시킬 수 있 으므로 , 이 회전 에 기인 하 는 각 부 의 부하 를 작 게 할 수 있 다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 이 직결 되 어 있 으므로 , 전기 적 접속 의 신뢰 성 을 높임 과 함께 , 부품 개수 의 증가 를 억제 하 여 , 장치 의 소형 화 를 도모 할 수 있 다 .