조명 광학계 ( 400 ) 는 광원 ( 401 ) 으로부터 방출 되 는 광 을 집광 하 여 광 밀도 를 높임 과 아울러 , 다수 의 집 광점 을 가지 는 광 패턴 을 형성 하 여 영사 장치 ( 490 ) 에 공급 한다 . 노광 장치 에 광 을 공급 하 는 조명 광학계 ( 400 ) 는 높 은 에너지 밀도 를 가지 는 광 을 형성 하 기 위해 광원 ( 401 ) 으로부터 의 광 을 집광 하 여 소수 의 집 광점 을 형성 하 게 된다 . 그리고 , 집광 된 광 은 재 집광 및 회절 광 의 제거 를 통해 기판 ( 492 ) 에 조사 된다 . 이 를 위해 , 조명 광학계 ( 400 ) 는 광원 ( 401 ) , 회절 광학계 ( 420 ) , 부 가 광학계 ( 440 ) 및 DMD 미러 장치 ( 460 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .