기판 ( 700 ) 으로서 , 예 를 들 어 , 바륨 붕 규산 유리 나 , 알루미노 붕 규산 유리 등 의 유리 기판 , 석영 기판 , 세라믹 기판 등 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 스테인리스 기판 을 포함 한 금속 기판 , 또는 실리콘 기판 등 의 반도체 기판 을 사용 하 여도 좋 다 . 플 라스 틱 등 의 가요 성 을 가지 는 합성 수지 로 된 기판 은 상기 기판 과 비교 하 여 내열 온도 가 일반 적 으로 낮 은 경향 이 있 지만 , 제조 공정 에 있 어서 의 처리 온도 에 견딜 수 있 는 것 이 라면 사용 할 수 있 다 .