접지 전극 들 ( 120 ) 은 상기 전원 전극 ( 110 ) 의 양 측면 에 배치 될 수 있 다 . 상기 접 지 전극 ( 120 ) 은 상기 가스 분배 판 의 하부 면 에서 돌출 되 어 제 1 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 또는 상기 접 지 전극 ( 120 ) 은 상기 가스 분배 판 ( 160 ) 의 하부 면 에 장착 되 어 제 1 방향 으로 연장 될 수 있 다 .