마이크 로 요동 소자 어레이 Y 3 의 구동 시 에 는 , 모든 마이크 로 요동 소자 X 3 에서 의 요 동부 ( 10 ') 의 구동 전극 ( 17 ) 에 대해 공통 적 으로 소정 의 기준 전위 가 부여 된 상태 에서 , 선택 된 마이크 로 요동 소자 X 3 의 구동 전극 ( 26 ) 에 대해 소정 의 구동 전위 가 부여 된다 . 이 에 의해 , 각 마이크 로 요동 소자 X 3 의 요 동부 ( 10 ') 또는 랜드 부 ( 11 ) 가 개별 로 요동 구동 되 고 , 각 마이크 로 요동 소자 X 3 의 랜드 부 ( 11 ) 위 에 설치 된 미러 면 ( 11 a ) 에서 반사 되 는 광 의 반사 방향 을 적절 하 게 절환 할 수 있 다 . 각 마이크 로 요동 소자 X 3 의 구동 방법 에 대해서 는 , 구체 적 으로 는 제 4 실시 형태 에 관하 여 상술 한 바 와 같 다 .