진공 반송 로봇 ( 2700 ) 이 웨이퍼 ( 200 ) 의 반출 을 수행 하 면 , 그 후 반출 한 처리 완료 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 IO 스테이지 ( 2100 ) 상 의 포드 ( 2001 ) 내 에 수용 한다 . 포드 ( 2001 ) 로 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 수용 은 대기 반 송실 ( 2200 ) 내 의 대기 반송 로봇 ( 2220 ) 을 이용 하 여 수행 한다 .