챔버 ( 13 ) 는 , 기밀 성 이 확보 되 면 어떠 한 재질 로 도 형성 될 수 있 지만 , 상기 챔버 ( 13 ) 는 수증기 또는 유기 화합물 을 취급 하 기 때문 에 , 녹 의 발생 의 우려 가 지극히 적 고 , 또한 , 충분 한 강도 를 확보 하 기 쉬운 스테인 레스 스틸 이 바람직 하 다 . ( 14 ) 는 , 기판 반 입구 이 며 , 도시 하 지 않 은 반송 기구 에 의해 기판 ( 1 ) 을 챔버 ( 13 ) 내 에 반입 하 기 위한 개구 이 다 . 또 , ( 15 ) 는 기판 반 출구 이 며 , 도시 하 지 않 은 반송 기구 에 의해 기판 ( 1 ) 을 챔버 ( 13 ) 의 외부 로 반출 하 기 위한 개구 이 다 . 챔버 ( 13 ) 는 , 내부 의 온도 및 습도 를 모니터링 하 고 , 소정 의 값 으로 유지 하 기 위한 환경 제어 기구 ( 16 ) 가 설치 되 어 있 다 . 상기 설명 에서 , 습도 란 , 어떤 온도 에서 챔버 중 에 함유 되 는 수증기 또는 유기 화합물 증기 의 압력 ( 증기 분압 ) 을 , 그 온도 의 포화 증기압 으로 나누 었 을 때 의 비율 이 다 .