도 1 a 내지 1 d 와 관련 하 여 본원 에 기술 된 선택 적 유전체 증착 또는 유전체 증착 은 5 개 이하 의 단계 에서 수행 될 수 있 다 . ( 1 ) 전처리 단계 , ( 2 ) 제 1 표면 상 에 유기 패 시베이 션 층 을 선택 적 증착 하 는 단계 , " ( 3 ) "" 클린 - 업 "" 식각 으로 도 불리 며 ", 제 2 표면 으로부터 임의 의 유기 재료 를 부분 적 으로 에치 백 하 는 단계 , ( 4 ) 제 2 표면 상 에 유전체 를 선택 적 으로 증착 하 는 단계 , 및 ( 5 ) 제 1 표면 으로부터 유기 패 시베이 션 층 을 제거 하 는 단계 .