도 3 e 를 참조 하 면 , 평탄 화 공정 을 수행 하 여 수소 주입 층 ( 25 ) 의 표면 이 평탄 화 된다 . 상기 평탄 화 공정 에 의해 수소 주입 층 ( 20 ) 이 절단 될 때 발생 할 수 있 는 수소 주입 층 ( 25 ) 표면 의 러프 니스 ( roughness ) 가 제거 될 수 있 다 . 상기 평탄 화 공정 의 수행 에 의해 제거 되 는 수소 주입 층 ( 25 ) 표면 의 두께 가 1000 Å 정도 임 을 고려 할 때 , 수소 주입 층 ( 25 ) 을 형성 하 기 위해 주입 되 는 수소 이온 의 깊이 ( Rp ) 는 1000 ~ 7000 Å 인 것 이 바람직 하 다 .