무기 잔류물 을 제거 하 기 위한 전 - 처리 플 라즈 마 프로세스 ( 단계 110 ) 의 예 는 , 20 내지 200 볼트 의 바이어스 전압 및 1000 내지 2500 와트 의 적용 된 TCP 전력 으로 50 내지 200 mTorr 의 압력 에서 , 100 내지 600 sccm 의 O 2 , 10 내지 100 sccm 의 CF 4 및 / 또는 CHF 3 및 / 또는 CH 3 F , 0 내지 200 sccm 의 Ar 이 다 .