상기 와 같이 , 제 1 위치 센서 ( 142 ) 와 제 2 위치 센서 ( 144 ) 에 의해 적어도 웨이퍼 ( 1 ) 의 3 군대 이상 이 측정 되 면 제 어부 ( 150 ) 에서 변경 위치 를 설정 하 여 상기 이동 모듈 ( 130 ) 을 작동 시켜 로봇 암 ( 100 ) 의 핑거 ( 120 ) 가 웨이퍼 ( 1 ) 의 중심부 하측 에 위치 되 도록 하 는 것 이 다 .