여기 서 , 상기 열 을 이루 는 상기 열 을 이루 는 미소 전극 ( 20 ) 인 미소 전 극열 은 하나 이상 다 수개 형성 되 되 , 상기 미소 전극 열 은 유동 방향 에 수직 하 도록 이루어지 며 , 상기 미소 전 극열 의 각 앞단 의 미소 전극 ( 20 ) 간 에 일정 한 거리 를 가지 며 이격 되 며 , 전압 원 및 접지 로 하나 의 쌍 으로 이루어지 는 각 미소 전극 ( 20 ) 간 의 거리 도 동일 하 도록 배치 된다 .