격벽 ( 4 ) 의 형성 을 위해 사용 되 는 재료 로 는 폴리머 , 무기질 소재 등 이 다양 하 게 적용 될 수 있 다 . 지금 까지 의 격벽 은 주로 포토 공정 에 의해 식각 되 는 과정 이 수반 되 었 기 때문 에 , 격벽 재료 로 는 주로 포토레지스트 ( PR ) 가 가장 널리 사용 되 어 왔 고 , 여기 에 폴리에테르 술폰 ( PES ) , 폴리에틸렌 ( PE ) , 폴리카보네이트 ( PC ) , 폴리프로필렌 ( PP ) 과 같 은 폴리머 이 거나 무기질 재료 가 더 포함 될 수 있 었 다 .