또한 , 이 실시 형태 에서 는 , 재 치부 ( 84 ) 에 온도 조정 유체 를 공급 함 으로써 , 재 치부 ( 84 ) 의 온도 를 조정 하 고 , 재 치부 ( 84 ) 의 열 을 웨이퍼 ( W ) 로 전달 시켜 웨이퍼 ( W ) 의 예비 가열 처리 나 냉각 처리 를 행하 도록 해도 좋 다 . 또한 , 도 10 에 나타내 는 구성 과 동일 하 게 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 벽부 에 온도 조정 유체 의 유로 를 형성 하 고 , 여기 에 소정 온도 로 조정 된 온도 조정 유체 를 흘려 , 구획 공간 ( S ) 에 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 온도 조정 을 행하 도록 해도 좋 다 . 또한 , 재 치부 ( 84 ) 를 형성 하 지 않 고 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 있 어서 승강 로드 ( 87 ) 로 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 면서 , 소정 의 처리 를 행하 도록 해도 좋 다 .