일부 구 현예 에서 , 황 함유 첨가제 는 세정 조성물 의 적어도 약 0 . 01 중량 %( 예 를 들 어 , 적어도 약 0 . 02 중량 %, 적어도 약 0 . 04 중량 %, 적어도 약 0 . 05 중량 %, 적어도 약 0 . 06 중량 % 또는 적어도 약 0 . 08 중량 %) 및 / 또는 최대 약 0 . 15 중량 %( 예 를 들 어 , 최대 약 0 . 14 중량 %, 최대 약 0 . 12 중량 %, 최대 약 0 . 1 중량 %, 최대 약 0 . 08 중량 % 또는 최대 약 0 . 07 중량 %) 의 양 으로 존재 할 수 있 다 . 이론 에 얽매이 지 않 고 것 인 세정 조성물 에 상기 명시 된 양 의 황 함유 첨가제 를 포함 시키 는 것 은 에칭 후 및 / 또는 애 싱 후 잔류물 을 제거 하 기 위한 조성물 의 세정 능력 을 향상 시키 고 / 시키 거나 세정 공정 동안 제거 되 지 않 도록 한 노출 된 기판 재료 ( 예 를 들 어 , 노출 된 금속 또는 유전체 재료 ) 에 대한 세정 조성물 의 에칭 률 을 낮출 수 있 는 것 으로 여겨진다 .