단계 ( 101 ) 에서 , 본 발명 의 실시 양태 에 따르 면 , 스퍼터 표적 은 실온 에서 약 10 - 4 S / cm 이상 의 전도도 를 지닌 전기 전도 성 또는 적어도 반 전도성 표적 물질 로부터 제조 된다 . 본 발명 의 경우 , 그 전도도 는 실온 에서 10 - 8 S / cm 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 실온 에서 1 S / cm 이상 인 것 이 가장 바람직 하 다 . 스퍼터 표적 에 적합 한 물질 을 사용 하 고 그 물질 을 반응 성 가스 환경 에서 작동 시킴 으로써 , 전기 절연성 이 지만 리튬 이온 전도성 인 막 이 증착 될 수 있 다 . 이러 한 효과 는 반응 성 스퍼터 가스 환경 을 이용 함 으로써 주입 된 표적 물질 이 서로 반응 하 고 스퍼트 플 라즈 마의 중성 및 / 또는 이온 화 구성 성분 의 일부 하부 세트 와 반응 하 여 기판 상 에 신규 한 화학 적 화합물 을 형성 시키 는 것 에 의존 한다 . 단계 ( 107 ) 에서 , 반응 성 스퍼터 가스 대기 중 에서 의 증착 은 리튬 이온 전도성 스퍼터 표적 으로부터 스퍼터링 된 물질 을 전기 절연 성 의 리튬 이온 전도 성 전해질 막 으로 전환 시킬 수 있 다 . 단계 ( 107 ) 에서 , 가능 한 기체 구성 성분 은 화학 적 원소 또는 화학 적 화합물 로서 가스 형태 로 스퍼터 반응기 내 로 도입 되 는 산소 , 질소 , 불소 , 염소 , 브롬 , 요오드 , 황 , 셀레늄 , 텔루르 , 인 , 비소 , 안티몬 , 비스무트 , 납 , 탄소 , 수소 , 규소 , 리튬 , 나트륨 , 마그네슘 , 및 지르코늄 을 포함 한다 . 가능 한 표적 구성 성분 은 리튬 , 인 , 산소 , 질소 , 불소 , 염소 , 브롬 , 요오드 , 황 , 셀레늄 , 텔루르 , 비소 , 안티몬 , 비스무트 , 납 , 탄소 , 수소 , 규소 , 나트륨 , 마그네슘 및 지르코늄 뿐 만 아니 라 리튬 포스 페이트 ( Li 3 PO 4 ) , 질화 리튬 포스 페이트 , 리튬 포스 파이 드 및 서브 - 포스 파이 드 ( LixP , 1 ≤ x ≤ 100 ) , 리튬 니트 라이드 및 서브 - 니트 라이드 ( LixN , 3 ≤ x ≤ 100 ) , 인 옥사이드 및 서브 - 옥사이드 ( POx , x ≤ 2 . 5 ) , 인 니트 라이드 및 서브 - 니트 라이드 ( PNx , x ≤ 1 . 7 ) , 및 리튬 옥사이드 및 서브 - 옥사이드 ( LixO , 1 ≤ x ≤ 100 ) 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 물질 을 포함 한다 . 그 물질 시스템 은 또한 스퍼터 가스 와 의 반응 결과 로서 표적 의 표면 상 에 형성 할 수 있 는 임의 의 절연 막 이 실질 적 으로 후속 증착 을 방해 하 지 않 도록 선택 되 기 도 한다 . 스퍼터링 된 구성 성분 및 가스 구성 성분 이 전해질 막 으로 전환 되 는 것 을 유도 하 는 반응 은 그 막 의 표면 상 에서 막 이 증착 됨 에 따라 발생 한다 .