소스 변환 유닛 ( 212 ) 은 이미지 형성 요소 의 어레이 ( 도 2 에서 는 보여 지 지 않 음 ) 및 빔 - 제한 개구 의 어레이 ( 도 2 에서 는 보여 지 지 않 음 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이미지 형성 요소 의 어레이 는 마이크 로 - 편 향기 또는 마이크 로 - 렌즈 의 어레이 를 포함 할 수 있 다 . 이미지 형성 요소 의 어레이 는 일차 전자 빔 ( 210 ) 의 복수 의 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 으로 크로스오버 ( 208 ) 의 복수 의 평행 한 이미지 ( 가상 또는 실제 ) 를 형성 할 수 있 다 . 빔 - 제한 개구 의 어레이 는 복수 의 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 을 제한 할 수 있 다 .