주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 또한 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ １ ) 과 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 으로 이동 한다 . 그리고 , 레지스 트 막 이 형성 된 기판 ( Ｗ ) 을 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ １ ) 에 반입 하 고 , 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ １ ) 에서 처리 가 끝난 기판 ( Ｗ ) 을 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 에 옮김 과 아울러 , 이 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 에서 처리 가 끝난 기판 ( Ｗ ) 을 받아들인다 . 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ １ ) 과 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 은 각각 미처리 된 기판 ( Ｗ ) 에 소정 처리 를 행한다 ( 스텝 Ｓ ７ ａ - 가 열 / 냉각 처리 ( Ｔ ６ ｕ ) , 스텝 Ｓ ８ ａ - 냉각 처리 ( Ｔ ７ ｕ ) ) .