일부 제조 환경 에서 , S - D 프로시저 는 이전 에 이용 불 가능 하 였 던 S - D 데이터 를 제공 할 수 있 고 , 고속 처리 를 제공 할 수 있 으며 , 보다 철저 한 프로세스 의 이해 를 제공 할 수 있 고 , 유해 한 방법 을 대체 할 수 있 으며 , 고 신뢰 도 웨이퍼 를 제공 할 수 있 고 , 고속 의 이송 속도 를 제공 할 수 있 으며 , 균일성 을 향상 시킬 수 있 고 , 리스크 시 웨이퍼 의 수 를 줄일 수 있 으며 , 프로세스 및 / 또는 툴 일탈 ( excursion ) 에 더 짧 은 반응 시간 을 제공 할 수 있 다 .