각 경우 ( A - 1 , A - 2 , A - 3 ) 에서 , 실리콘 원료 기체 는 헥사 클로 로디 실란 을 이용 하 였으며 , 질화 규소 막 증착 은 300 ℃ 의 온도 와 3 torr 의 압력 하 여서 수행 하 였 고 , 질소 원료 기체 는 400 sccm 의 유량 으로 공급 하 였 다 . 또한 플 라즈 마 발생 시 , 600 W 의 전력 을 인가 하 였 다 .