잉여 부분 제거 동작 에서 는 , 다음 에 , 잉여 부분 제 거부 ( 120 ) 가 , 도 10 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 테이블 ( 121 ) 에 의해서 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 외연 을 따라서 수직 방향 의 하방 에 , 수지 ( 302 ) 를 향해서 커터 ( 122 ) 로 절 입 을 넣 는다 . 잉여 부분 제거 동작 에서 는 , 그 후 , 잉여 부분 제 거부 ( 120 ) 가 , 수지 ( 302 ) 를 향해서 절 입 을 넣 은 상태 의 커터 ( 122 ) 를 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 외연 을 따라서 원주 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 을 절제 한다 . 또한 , 잉여 부분 제거 동작 에서 는 , 미리 커터 ( 122 ) 를 , 수지 ( 302 ) 를 넘 어 시트 ( 92 ) 까지 절 입 을 넣 어 둠 으로써 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 의 절제 에 맞춰서 , 시트 ( 92 ) 의 잉여 부분 도 한 번 에 절제 할 수 있 다 . 또한 , 잉여 부분 제거 동작 에서 는 , 수지 ( 302 ) 의 잉여 부분 이 없 는 경우 에서 도 , 시트 ( 92 ) 의 잉여 부분 의 절제 를 위해서 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .