가드 링 ( 100 , 200 , 300 , 400 ) 을 이루 는 각각 의 금속 링 을 직사각 형 또는 역사 다리 꼴 형상 을 가지 도록 함 으로써 종래 가드 링 ( 10 ) 형성 을 위해 실시 하 였 던 트렌치 형성 공정 을 생략 하 고 비 아홀 형성 공정 만 실시 하 도록 하 여 가드 링 ( 100 , 200 , 300 , 400 ) 의 제조 공정 을 단순 화 하 여 수율 증대 에 기여 한다 .