한편 , 앞서 설명 하 였 듯이 , 기존 의 증착 장치 에서 는 기체 차단 클램프 가 기판 의 가장자리 표면 과 접촉 하 기 때문 에 열 팽창 에 의한 변형 이 적 고 내열성 이 우수 한 세라믹 재료 를 포함 하 는 것 이 일반 적 이 었 으나 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 증착 장치 에서 는 증착 공정 동안 기체 차단 클램프 가 기판 과 이격 되 어 그 사이 에 불활성 기체 가 흐르 기 때문 에 , 세라믹 뿐 만 아니 라 다른 금속 을 포함 할 수 도 있 다 .