일 실시 예 에 따르 면 제습 장치 는 , 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 ; 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 상단 에 설치 되 어 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 를 냉각 시키 는 열 교환 시스템 ; 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 에 마주 보 는 방향 에 배치 되 는 상대 전극 ; 및 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 및 상기 상대 전극 사이 에 위치 하 는 제습 부를 포함 하 고 , 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 는 , 상기 솔리드 마이크 로 노즐 어레이 를 관통 하 며 상기 상대 전극 을 향하 여 노출 되 도록 형성 된 분 무 전극 을 포함 할 수 있 다 .