웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 노광 이 완료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 를 , 도 19 에 도시 된 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 의 각각 의 소정 의 위치 ( 우측 스크럼 포지션 ) 로 구동 한다 . 이 때 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 도 18 에 도시 된 바 와 같이 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 를 이용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 위치 를 계측 하 고 , 그 계측 결과 에 따라 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 와 2 D 스케일 ( S 2 ) 의 배치 에 의해 규정 되 는 제 2 대기 영역 ( AW 2 ) 내 의 경로 ( 직선 경로 ) 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 이동 시킨다 .