하 전입 자원 으로부터 방출 된 하전 입자선 을 편향 해서 시료 에 조사 하 는 편 향부 와 , 시료 로부터 발생 하 는 이 차전자 를 반사 시키 는 반사판 과 , 반사판 으로부터 반사 된 이 차전자 를 검출 해서 작성 된 화상 에 의거 하 여 편 향부 를 제어 하 는 제 어부 를 구비 하 는 하전 입자선 장치 이 다 . 편 향부 는 , 자계 에 의해 상기 하전 입자선 을 전자 주사 하 는 전자 편 향부 와 , 전계 에 의해 하전 입자선 을 정전 주사 하 는 정전 편 향부 를 갖 고 , 제 어부 는 , 전자 편 향부 와 정전 편 향부 를 제어 해서 , 전자 주사 에서 생성 되 는 전자 편향 벡터 와 정전 주사 에서 생성 되 는 정전 편향 벡터 를 중첩 시켜 , 적어도 상기 하전 입자선 의 궤도 를 제어 한다 .