상기 한 바 와 같이 , 주가 열 코일 ( 30 ) 과 종속 가열 코일 ( 32 , 34 ) 은 각각 웨이퍼 ( 54 ) 를 올려놓 은 서 셉 터 ( 52 ) 를 수직 방향 으로 적층 시킨 보트 ( 50 ) 를 따라 수직 방향 으로 인접 시켜 배치 되 어 있 다 . 이러 한 구성 으로 함 으로써 보다 많 은 서 셉 터 ( 52 ) 및 웨이퍼 ( 54 ) 를 한 번 에 가열 하 는 것 이 가능 해져 , 웨이퍼 ( 54 ) 의 열처리 를 효율 적 으로 실시 할 수 있 게 된다 . 또한 , 적층 배치 한 유도 가열 코일 에 대한 전력 제어 를 각각 개별 적 으로 실시 하 도록 하 면 , 보트 ( 50 ) 내 에 적층 배치 된 복수 의 서 셉 터 ( 52 ) 에서 의 수직 방향 온도 분포 를 제어 할 수 있 어 , 서 셉 터 ( 52 ) 간 의 온도 불 균일 을 억제 하 는 것 도 가능 해진다 .