도 11 a 내지 도 11 e 는 본 발명 의 실시 예 6 에 따른 패턴 구조물 의 형성 방법 을 나타내 는 평면도 들 이 다 . 도 12 a 내지 도 12 f 는 도 11 e 에 도시 된 패턴 구조물 의 형성 방법 을 나타내 는 단면도 들 이 다 . 도 12 a 내지 도 12 f 는 도 11 b 의 II - II ' 부위 를 절단 하 였을 때 보여 지 는 단면도 들 이 다 .