본 발명 은 기판 지지 장치 및 이 를 구비 하 는 기판 에지 식각 장치 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 기판 지지 장치 중심부 에 기판 지지 를 위한 전극 과 기판 지지 장치 가장자리 에 RF 전원 이 제공 되 는 전극 을 배치 시켜 중심부 와 가장자리 의 전원 을 별도 로 제공 할 수 있 는 기판 지지 장치 및 이 를 구비 하 는 기판 에지 식각 장치 에 관한 것 이 다 .