룩 - 업 테이블 ( 310 ) 의 첫 번 째 열 에 는 각 고유 얼라 인 마크 의 좌표 데이터 가 입력 되 는 바 , 11 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 1 , Y 1 ) 이 고 , 12 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 2 , Y 2 ) 이 며 , 13 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 3 , Y 3 ) 이 고 , 14 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 4 , Y 4 ) 이 며 , 15 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 5 , Y 5 ) 이 고 , 16 공정 에서 의 얼라 인 마크 좌표 는 ( X 6 , Y 6 ) 이 다 .