도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 각 가스 유로 ( 41 내지 43 ) 의 상류 측 단부 에 는 각각 사염 화 티탄 ( TiCl 4 ) 가스 공급원 ( 54 ) , 암모니아 ( NH 3 ) 가스 공급원 ( 55 ) 및 치환 가스 인 아르곤 ( Ar ) 가스 공급원 ( 56 ) 이 마련 되 어 있 다 . 또한 , 실리콘 ( Si ) 계 의 막 을 성막 하 는 경우 에 는 , 질소 ( N 2 ) , 모노 실란 ( SiH 4 ) , 디 실란 ( Si 2 H 6 ) 등 의 가스 공급원 이 마련 된다 . 도 1 중 의 각 가스 유로 ( 41 내지 43 ) 에 마련 되 어 있 는 도면 부호 ( V 41 내지 V 43 ) 는 밸브 이 며 , 도면 부호 ( M 41 내지 M 43 ) 는 유량 조 절부 이 다 . 또한 , 가스 공급 배관 ( 4 ) 은 예 를 들 면 도시 하 지 않 은 테이프 히터 에 의해 가열 되 도록 구성 되 어 있 다 .