본 실시 형태 에 있 어서 , 대전량 센서 ( 810 ) 는 , 복수 의 리프트 핀 ( 81 ) 중 어느 것 의 선단 에 마련 되 어 있 다 . 또한 , 대전량 센서 ( 810 ) 는 , 각각 의 리프트 핀 ( 81 ) 의 선단 에 마련 되 어도 된다 . 대전량 센서 ( 810 ) 가 각각 의 리프트 핀 ( 81 ) 의 선단 에 마련 되 는 경우 , 제 어 장치 ( 200 ) 는 , 각각 의 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된 대전량 의 최대 값 또는 평균값 을 대전량 으로서 채용 한다 . 또한 , 정 전척 ( 40 ) 이 복수 의 존 에 분할 되 어 있 고 , 각각 의 존 에 전극 ( 40 a ) 이 1 개 씩 배치 되 어 있 는 경우 , 대전량 센서 ( 810 ) 는 , 각각 의 존 에 적어도 1 개 배치 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이 경우 도 , 제 어 장치 ( 200 ) 는 , 각각 의 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된 대전량 의 최대 값 또는 평균값 을 대전량 으로서 채용 한다 .