스테이션 부 ( 200 ) 에 는 그 내부 로 질소 , 아르곤 등 과 같 은 불활성 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부재 ( 280 ) 가 설치 된다 . 불활성 가스 는 스테이션 부 ( 200 ) 내부 에 공기 ( 특히 , 산소 ) 를 제거 하 고 스테이션 부 ( 200 ) 내부 를 비활성 가스 분위기 를 유지 한다 . 이 는 스테이션 부 ( 200 ) 내 에 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 합성 기판 ( 10 ) 이 언 로딩 될 때 , 합성 기판 ( 10 ) 상 에 생성 된 고온 의 탄소 나노 튜브 ( 30 ) 가 산소 와 접촉 되 는 것 을 방지 한다 . 가스 공급 부재 ( 280 ) 는 제 1 영역 ( 240 ) 에 제공 되 는 것 이 바람직 하 다 .