제 1 막 ( 32 a ) , 제 2 막 ( 32 b ) , 및 제 3 막 ( 32 c ) 이 각각 , 실리콘 을 포함 하 는 막 , 실리콘 을 포함 하 는 막 , 금속 막인 경우 , 제 1 처리 예 에서 는 , 예 를 들 면 , 실리콘 계 소수 화제 또는 메탈 계 소수 화제 가 제 1 소수 화제 로서 사용 된다 . 따라서 , 실리콘 을 포함 하 는 막 또는 금속 막 이 소수 화 된다 . 도시 하 지 않 았 지만 , 제 1 막 ( 32 a ) , 제 2 막 ( 32 b ) , 및 제 3 막 ( 32 c ) 이 각각 , 금속 막 , 실리콘 을 포함 하 는 막 , 실리콘 을 포함 하 는 막인 경우 에 도 , 제 1 처리 예 에서 는 , 예 를 들 면 , 실리콘 계 소수 화제 또는 메탈 계 소수 화제 가 제 1 소수 화제 로서 사용 된다 .