도 16 을 참조 하 면 , 상기 콘트롤 게이트 패턴 ( 220 a ) , 제 2 도전 패턴 ( 220 b ) , 제 3 도전 패턴 ( 220 c , 220 d ) 사이 의 갭 부위 와 상부 를 덮 는 층간 절 연막 ( 228 ) 을 형성 한다 . 상기 층간 절 연막 ( 228 ) 을 형성 한 다음 , 상기 층간 절 연막 ( 228 ) 의 상부 를 평탄 화 하 기 위한 화학 기계 적 연마 공정 을 더 수행 할 수 도 있 다 .