도 1 a 내지 1 f 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 노광 마스크 리페 어 방법 을 도시 한 사시도 들 이 다 . 유리 ( Glass ) 또는 석영 ( Quartz ) 과 같 은 기판 ( 110 ) 상부 에 크롬 ( Chrome ) 과 같 은 불 투명 물질 로 원 하 는 패턴 ( 120 ) 을 형성 하 여 노광 마스크 ( 100 ) 를 완성 한다 . 이후 , 노광 마스크 ( 100 ) 의 결함 을 검사 하 여 노광 마스크 ( 100 ) 의 결함 부분 ( 130 ) 의 좌표 등 을 확인 한다 .