또한 , 화학량론 적 조성 비 보다 산소 가 많 은 영역 을 갖 는 절연 막 은 , 산화물 반도체 막 ( 716 ) 에 접한 절 연막 중 , 상층 에 위치 한 절 연막 또는 하층 에 위치 한 절 연막 중 , 어느 한 쪽 만 에 이용 해도 좋 지만 , 양쪽 의 절 연막 에 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 화학량론 적 조성 비 보다 산소 가 많 은 영역 을 갖 는 절 연막 을 , 산화물 반도체 막 ( 716 ) 에 접한 절 연막 의 , 상 층 및 하층 에 위치 한 절 연막 에 이용 하 고 , 산화물 반도체 막 ( 716 ) 을 끼우 는 구성 으로 함 으로써 , 상기 효과 를 보다 높일 수 있 다 .