앞선 기재 내용 에서 , 리소그래피 장치 의 메트로 - 프레임 에 대한 그리드 플레이트 의 이동 및 / 또는 변형 의 보상 이 설명 되 었 다 . 또한 , 보상 기 는 각각 의 시스템 부분 이 장착 되 는 프레임 에 대한 측정 시스템 들 의 다른 시스템 부분 들 의 이동 또는 변위 의 보상 을 위해 사용 될 수 도 있 다 . 이러 한 실시 예 들 은 본 발명 의 범위 내 에 포함 된다 .