도 7 ( a ) 및 도 7 ( b ) 는 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 , 10 ) 를 나타낸 평면도 이 다 . 도 7 ( a ) 는 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 를 나타낸 평면도 이 고 , 도 7 ( b ) 는 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 를 나타낸 평면도 이 다 . 본 도면 에서 , 도 1 및 도 4 와 동일 한 구성 요소 에 대해서 는 동일 한 참조 부호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 생략 하 도록 한다 . 또한 , 도 7 ( a ) 및 도 7 ( b ) 는 돌기 부를 설명 하 기 위해 사용 되 는 것 이 므로 , 가스 배 출부 ( 108 b , 18 b ) 가 생략 되 어 있 다 .