반응 공간 은 ALD 에 의한 박막 성장 의 효과 를 가져오 기 위해 그 내부 의 조건 들 을 조정 할 수 있 는 반응기 또는 반응 챔버 , 또는 그 안 에 임의 로 정의 된 부피 를 가리키 기 위해 사용 된다 . 통상 상기 반응 공간 은 정상 동작 동안 동반 흐름 ( entrained flow ) 또는 확산 에 의해 모든 반응 가스 의 펄스 들 의 영향 을 받 게 되 는 표면 들 을 포함 한다 . 상기 반응 가스 의 펄스 들 로부터 가스 들 또는 입자 들 이 기판 으로 흐를 수 있 다 .