각각 의 로드 포트 ( 100 ) 에 복수 의 기판 이 적재 되 면 , 기판 은 제 1 이송용 로봇 ( 210 ) 에 의해 프런트 엔드 모듈 ( 200 ) 을 거쳐 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 된다 . 프런트 엔드 모듈 ( 200 ) 은 기판 을 정렬 시켜서 , 로드 포트 ( 100 ) 로부터 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 하 는 역할 을 한다 . 로드 락 챔버 ( 300 ) 는 프런트 엔드 모듈 ( 200 ) 을 거쳐 기판 이 이송 되 면 불순물 을 제거 하 기 위해 내부 기체 를 착 출하 여 진공 상태 로 만든 다 . 진공 상태 가 이루어지 면 기판 은 전달 챔버 ( 400 ) 를 통하 여 제 2 이송용 로봇 ( 410 ) 에 의해 각각 의 공정 챔버 ( 500 ) 로 이송 되 며 , 공정 챔버 ( 500 ) 에서 애 싱 공정 이 이루어진다 . 공정 챔버 ( 500 ) 에서 애 싱 공정 이 완료 되 면 기판 은 다시 제 2 이송용 로봇 ( 410 ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 된다 . 기판 이 이송 되 면 , 로드 락 챔버 ( 300 ) 는 상압 으로 맞추 는 공정 과 더불 어 기판 에 대한 냉각 공정 을 함께 수행 한다 .