도 1 d 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 , 세정 용액 ( 105 ') 내 에 유화 된 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 을 갖 는 액체 세정 재료 ( 100 ') 를 나타낸다 . 세정 용액 ( 105 ') 은 또한 작 고 고립 된 폴리머 ( 106 ) 를 함유 할 수 있 다 . ADS 와 같 은 계면 활성제 가 세정 용액 ( 105 ') 에 추가 되 어 , 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 이 세정 용액 ( 105 ') 전체 에 균일 하 게 분산 되 는 것 을 돕 는다 . 도 1 d 의 예시 의 실시 형태 에서 , 세정 용액 ( 105 ') 과 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 사이 에 는 경계 ( 141 ) 가 발생 한다 . 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 은 소프트 하 고 , 기판 표면 상 의 디바이스 피처 주변 에서 변형 된다 . 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 이 디바이스 피처 주변 에서 변형 되 기 때문 에 , 방울 은 디바이스 피처 상 에 해로운 힘 을 가하 지 않 는다 . 일 실시 형태 에서 , 겔 - 형 폴리머 방울 ( 140 ) 의 직경 은 약 0 . 1 ㎛ ( 마이크로미터 ) 에서 약 100 ㎛ 까지 의 범위 내 에 있 다 .