양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 의 우측 스크럼 포지션 으로 이동한 상태 에서 는 , 도 19 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 처마 부 ( 23 a ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 처마 부 ( 23 b ) 가 계합 하 여 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 처마 부 ( 23 a 및 23 b ) 를 통해 근접 또는 접촉 하 는 스크럼 상태 로 이동 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 이 스크럼 상태 를 유지 하 면서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 를 - X 방향 으로 구동 한다 . 이 때 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 각각 에 탑재 된 2 D 인코더 ( E 1 및 E 2 ) 를 이용 하 여 위치 계측 을 수행 하 고 , 그 계측 결과 에 기초 하 여 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 를 구동 한다 .