상술 한 바 와 같이 본 발명 에 의하 면 , 모터 축 과 풀리 축 을 결합 시키 면서 제 1 요철 및 제 2 요철 이 서로 맞물려 결합 되 도록 형성 된 요철 플랜지 축이음 장치 를 이용 하 여 스핀들 포크 에 지지 되 는 웨이퍼 를 회전 시키 는 주축 에 비해 모터 의 회전 비 가 과도 하 게 크 게 요구 되 더라도 상기 요철 플랜지 축이음 장치 의 자체 파손 을 방지 할 수 있 고 , 상기 스핀들 포크 의 회전 에 의해 이송 되 는 웨이퍼 의 이송 불량 을 방지 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 효과 가 있 다 .