상기 한 기술 적 과제 들 의 일부 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 양상 ( aspect ) 에 따른 페러 데이 시스템 은 , 이온 빔 의 전류 를 계측 하 여 이온 의 도즈 량 을 검출 하 는 페러 데이 시스템 에 있 어서 : 제 1 방향 으로 진행 되 는 상기 이온 빔 을 수집 하 여 전류 를 발생 시키 는 페러 데이 컵 ; 상기 페러 데이 컵 에 수집 되 는 상기 이온 빔 에 의해 유발 되 는 2 차 전자 의 방출 을 방지 하 기 위해 상기 페러 데이 컵 의 입구 주변 에서 소정 크기 의 전기장 을 형성 하 는 억제 전극 ; 상기 이온 빔 을 상기 페러 데이 컵 으로 통과 시키 는 개방 구 를 구비 하 고 , 상기 억제 전극 및 페러 데이 컵 의 둘레 를 감싸 도록 형성 하우징 ; 및 상기 개방 구 에 통과 되 는 상기 이온 빔 이 진행 되 는 상기 제 1 방향 에 수직 하 는 제 2 방향 으로 상기 하우징 을 이동 시키 고 , 상기 제 1 및 제 2 방향 에 각각 수직 하 는 제 3 방향 으로 상기 개방 구가 이동 되 도록 상기 하우징 을 회전 시키 는 구동 부를 포함 함 을 특징 으로 한다 .