본 개시 에서 「 웨이퍼 」 라는 말 을 사용 한 경우 에 는 , 웨이퍼 그 자체 를 의미 하 는 경우 나 , 웨이퍼 와 그 표면 에 형성 된 소정 의 층 이나 막 의 적층 체 를 의미 하 는 경우 가 있 다 . 본 개시 에서 「 웨이퍼 의 표면 」 이 라는 말 을 사용 한 경우 에 는 , 웨이퍼 그 자체 의 표면 을 의미 하 는 경우 나 , 웨이퍼 상 에 형성 된 소정 의 층 등 의 표면 을 의미 하 는 경우 가 있 다 . 본 개시 에서 「 웨이퍼 상 에 소정 의 층 을 형성 한다 」 라고 기재 한 경우 에 는 , 웨이퍼 그 자체 의 표면 상 에 소정 의 층 을 직접 형성 하 는 것 을 의미 하 는 경우 나 , 웨이퍼 상 에 형성 되 어 있 는 층 등 의 위 에 소정 의 층 을 형성 하 는 것 을 의미 하 는 경우 가 있 다 . 본 개시 에서 「 기판 」 이 라는 말 을 사용 한 경우 도 , 「 웨이퍼 」 라는 말 을 사용 한 경우 와 동의 이 다 .