이 로써 다양 한 두께 를 갖 는 한 층 의 TiAlN 막 과 한 층 의 BN 막 으로 구성 된 박막 단위체 의 두께 ( 주기 ) 가 각각 1 . 7 nm ( 실시 예 1 ) , 3 . 1 nm ( 실시 예 2 ) , 3 . 3 nm ( 실시 예 3 ) , 3 . 5 nm ( 실시 예 4 ) , 3 . 8 nm ( 실시 예 5 ) , 4 . 1 nm ( 비교 예 1 ) , 4 . 7 nm ( 비교 예 2 ) , 10 . 9 nm ( 비교 예 3 ) , 12 . 3 nm ( 비교 예 4 ) 가 되 도록 하 였 다 . 이러 한 박막 단위체 가 적층 되 어 박막 의 전체 두께 는 대략 1 . 5 ㎛ 가 되 도록 증착 을 하 였 다 .