빔 파크 장치 ( 24 ) 는 , 빔 라인 ( A ) 으로부터 이온 빔 을 일시 적 으로 퇴피 하 고 , 하류 의 주입 처리 실 ( 16 ) ( 또는 웨이퍼 ( W ) ) 을 향하 는 이온 빔 을 차폐 하 도록 구성 된다 . 빔 파크 장치 ( 24 ) 는 , 빔 라인 ( A ) 의 도중 의 임의 의 위치 에 배치 할 수 있 지만 , 예 를 들 면 질량 분석 렌즈 ( 22 ) 와 질량 분석 슬릿 ( 23 ) 의 사이 에 배치 할 수 있 다 . 질량 분석 렌즈 ( 22 ) 와 질량 분석 슬릿 ( 23 ) 의 사이 에 는 일정 한 거리 가 필요 하 기 때문 에 , 그 사이 에 빔 파크 장치 ( 24 ) 를 배치 함 으로써 , 다른 위치 에 배치 하 는 경우 보다 빔 라인 ( A ) 의 길이 를 짧 게 할 수 있 어 , 이온 주입 장치 ( 10 ) 의 전체 를 소형 화 할 수 있 다 .