도 33 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 복수 개 의 레이저 주사선 ( 82 ) 으로 구성 되 는 멀티 레이저 스캐닝 라인 은 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 들 사이 에 형성 된 전기장 에 위치 되 는 구조 를 취할 수 있 다 . 또는 , 도 33 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 멀티 레이저 스캐닝 라인 은 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 과 몸체 ( 11 ) 의 내부 의 지지대 ( 206 ) 사이 로 위치 하 는 구조 일 수 있 다 . 또는 , 도 33 의 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 멀티 레이저 스캐닝 라인 은 몸체 ( 11 ) 로 반응 가스 를 유입 하 는 가스 분사 홀 ( 32 ) 과 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 사이 에 위치 하 는 구조 를 취할 수 있 으며 이 경우 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 전극 장착 판 ( 34 ) 과 일정 간격 을 두 고 이격 되 어 설치 된다 .