본 발명 의 웨이퍼 적 재 대 에 있 어서 , 상기 도전 성 분말 은 , 상기 메 쉬 전극 과 동일 한 재료 의 분말 인 것 이 바람직 하 다 . 이렇게 하 면 , 소결 도전체 와 메 쉬 전극 의 열팽창 계수 가 가까운 값 으로 되 기 때문 에 , 열응력 에 의해 세라믹 부재 에 크랙 이 발생 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 도전 성 분말 과 메 쉬 전극 의 열팽창 계수 는 , 세라믹 부재 의 열팽창 계수 에 가까운 값 인 것 이 바람직 하 다 .