상기 하드 마스크 막 을 패 터닝 하 여 예비 하드 마스크 패턴 ( 304 ) 을 형성 한다 . 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 304 ) 은 끊어진 라인 을 형성 하 기 위한 부위 에 위치 하 며 , 패드 형상 을 갖 는다 . 형성 하 고자 하 는 제 1 내지 제 3 라인 패턴 의 선폭 이 F 인 경우 , 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 304 ) 은 4 F 의 폭 을 갖 는다 .