스퍼터링 법 은 일반 적 으로 , 아르곤 가스 를 분위기 가스 로 하 고 , 기판 을 양극 , 스퍼터링 타깃 을 음극 으로 하 여 , 전압 을 인가 하 여 , 글 로우 방전 에 의해 발생 한 아르곤 플라스마 내 의 아르곤 양이온 이 음극 의 스퍼터링 타깃 에 충돌 하 여 , 스퍼터링 타깃 으로부터 튀겨 날라간 입자 가 , 기판 상 에 퇴적 되 어 박막 을 형성 하 는 방법 이 다 . 스퍼터링 법 은 아르곤 플라스마 발생 방법 에 의해 2 종류 로 분류 되 고 , 고주파 플라스마 를 사용 하 는 것 은 고주파 스퍼터링 법 ( RF 스퍼터링 법 ) , 직류 플라스마 를 사용 하 는 것 은 직류 스퍼터링 법 ( DC 스퍼터링 법 ) 이 라고 한다 .