제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에 입사 된 레이저 빔 ( L ) 은 가공 빔 ( LA ) 과 측정 빔 ( LB ) 으로 분할 된다 . 예 를 들 면 , 상기 레이저 빔 ( L ) 의 일부 가 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에서 반사 됨 으로써 가공 빔 ( LA ) 을 형성 하 며 , 레이저 빔 ( L ) 의 나머지 가 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 를 투과 함 으로써 측정 빔 ( LB ) 을 형성 할 수 있 다 . 여기 서 , 가공 빔 ( LA ) 은 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에 입사 되 는 레이저 빔 ( L ) 출력 의 대부분 , 예 를 들 면 99 % 이상 을 차지 할 수 있 으며 , 측정 빔 ( LB ) 은 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에 입사 되 는 레이저 빔 ( L ) 출력 의 1 % 미만 을 차지 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 레이저 빔 ( L ) 의 출력 대부분 이 가공 빔 ( LA ) 으로 사용 될 수 있 으므로 , 레이저 어닐링 가공 을 위한 빔 출력 손실 이 발생 될 염려 가 없 다 . 이 와 같이 , 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에서 반사 된 가공 빔 ( LA ) 은 가공 대상물 ( 171 ) 에 조사 됨 으로써 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 게 된다 .