지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 에 의한 특이점 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 에 있 는 측 정점 의 막 두께 의 측정 결과 , 측정 점 의 좌표 , 및 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 좌표 를 사용 함 으로써 검출 할 수 있 다 . 도 7 은 지주 및 지지 부 의 영향 에 의한 특이점 을 검출 하 고 , 그 특이점 을 보정 하 는 처리 의 일례 의 플로우 차트 이 다 . 또한 , 도 8 은 특이점 을 보정 하 는 처리 의 일례 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 .