내측 상부 전극 ( 24 ) 은 , 후술 하 는 처리 가스 공급원 ( 38 ) 으로부터 버퍼 실에 도입 된 처리 가스 를 , C / P ( 34 ) 의 C / P 가스 통기 구멍 , 스 페이서 ( 37 ) 의 스 페이서 가스 유로 및 상부 전 극판 ( 32 ) 의 전 극판 가스 통기 구멍 을 거쳐서 , 플라 즈 마 생 성 공간 ( S ) 에 공급 한다 . 여기 에서 , 중심 버퍼 실 ( 35 ) 과 , 그 하방 에 존재 하 는 복수 의 C / P 가스 통기 구멍 , 스 페이서 가스 유로 및 전 극판 가스 통기 구멍 은 중심 샤워 헤드 ( 처리 가스 공급 경로 ) 를 구성 한다 . 또한 , 주변 버퍼 실 ( 36 ) 과 , 그 하방 에 존재 하 는 복수 의 C / P 가스 통기 구멍 , 스 페이서 가스 유로 및 전 극판 가스 통기 구멍 은 주변 샤워 헤드 ( 처리 가스 공급 경로 ) 를 구성 한다 .