도 1 에 도시 하 는 단계 1300 은 노광 에 의해 패턴 전사 가 이루어지 며 , 다른 실시 예 에서 는 나노 임프 린트 에 의해 패턴 전사 가 이루어진다 . 이 경우 , 마스크 ( 30 ) 는 요철 패턴 ( 36 ) 을 형성 한 몰드 ( 35 ) 로 치환 된다 . 이하 , 도 18 및 도 19 의 ( e ) 를 참조 하 여 , 이러 한 실시 예 에 대해서 설명 한다 . 도 18 은 이러 한 실시 예의 제조 방법 의 흐름 도 이 다 .