제 2 마스크 패턴 들 ( 172 ) 은 도 5 를 참조 하 여 설명 한 것 처럼 , 제 1 마스크 패턴 들 ( 142 ) 및 제 2 희생 막 들 ( 162 ) 을 가로질러 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 마스크 패턴 들 ( 172 ) 은 워드 라인 들 ( WL ) 과 평행 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 마스크 패턴 ( 172 ) 은 평면 적 으로 워드 라인 들 ( WL ) 과 중첩 될 수 있 다 . 제 2 마스크 패턴 들 ( 172 ) 은 제 1 마스크 패턴 들 ( 142 ) 및 제 2 희생 막 들 ( 162 ) 의 일부분 과 직접 접촉 될 수 있 다 .