상부 전극 ( 137 ) 은 , 샤워 헤드 로 되 어 있 고 , 체임버 ( 130 ) 내 에 에칭 가스 를 도입 하 는 개구 가 복수 형성 되 어 있 다 . 또한 , 상부 전극 ( 137 ) 의 중공 부분 에 공급 하 는 에칭 가스 는 가스 공급 관 및 밸브 를 통하 여 연결 되 어 있 는 가스 공급 기구 ( 139 ) 로부터 공급 된다 . 또한 , 가스 공급 기구 ( 139 ) 는 가스 공급원 ( 138 ) 과 연결 되 어 있 다 .