종래 의 센서 에 있 어서 제 2 방향 ( 148 ) 으로 길 게 하 는 이유 는 , 와전류 센서 에 의한 웨이퍼 의 도전 성 막 ( 예 를 들 어 , 도금 막 ) 의 막 두께 의 측정 정밀도 를 향상 시키 기 위해서 이 다 . 측정 정밀도 를 향상 시키 기 위해서 는 , 와전류 센서 의 외경 을 크 게 하 여 , 즉 외경 면적 을 크 게 하 여 , 도전 성 막 에 와전류 를 많이 발생 시켜 , 검지 코일 에 의한 와전류 의 검지 출력 을 상승 시키 는 것 이 유효 하 다 . 그 때문 에 , 종래 의 센서 에 있 어서 제 2 방향 ( 148 ) 으로 코어 ( 154 ) 를 길 게 하 여 , 외경 면적 을 크 게 하 고 있 다 . 본 실시 형태 의 와전류 센서 ( 50 ) 는 , 외경 면적 이 종래 의 센서 보다 작 다 . 그러나 와전류 센서 ( 50 ) 의 출력 을 증폭 시킴 으로써 , 검지 코일 에 의한 와전류 의 검지 출력 을 상승 시킬 수 있 다 .