텅스텐 재료 의 연마 속도 는 , 연마 시간 을 짧 게 할 수 있 는 관점 에서 , 10 nm / min 이상 이 바람직 하 고 , 12 nm / min 이상 이 보다 바람직 하 고 , 15 nm / min 이상 이 더욱 바람직 하 다 . 텅스텐 재료 의 연마 속도 는 , 더욱 양호 한 평탄 성 이 얻 기 쉬운 관점 에서 , 40 nm / min 이하 가 바람직 하 다 . 이러 한 관점 에서 , 텅스텐 재료 의 연마 속도 는 , 10 ∼ 40 nm / min 이 바람직 하 고 , 12 ∼ 40 nm / min 이 보다 바람직 하 고 , 15 ∼ 40 nm / min 이 더욱 바람직 하 다 .