챔버 본체 ( 12 ) 의 바닥 부 상 에 는 , 지지 부 ( 13 ) 가 설치 되 어 있 다 . 지지 부 ( 13 ) 는 , 절연 재료 로 형성 되 고 , 대략 원통 형상 을 갖 는다 . 지지 부 ( 13 ) 는 , 내부 공간 ( 10 s ) 중 에서 , 챔버 본체 ( 12 ) 의 바닥 부 로부터 위쪽 으로 연장 되 어 있 다 . 지지 부 ( 13 ) 는 , 상부 에 지지대 ( 14 ) 를 갖 는다 . 지지대 ( 14 ) 는 , 내부 공간 ( 10 s ) 내 에서 , 기판 ( W ) 을 지지 하 도록 구성 되 어 있 다 .