구체 적 으로 는 , 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 에 는 , 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 와 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 가 1 열 로 나란히 되 어 있 다 . 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 ＩＤ 부 ( 1 ) 측 에 배치 되 며 , 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 ＩＦ 부 ( 5 ) 측 에 배치 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 에 는 , 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 와 주 반송 기구 ( Ｔ ４ ) 가 1 열 로 나란히 되 어 있 으며 , 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 는 ＩＤ 부 ( 1 ) 측 에 배치 되 고 , 주 반송 기구 ( Ｔ ４ ) 는 ＩＦ 부 ( 5 ) 측 에 배치 되 어 있 다 .