또한 , 워드 라인 ( 31 ) 을 구성 하 는 물질 이 금속 막 - 배선 패턴 ( 13 ) - 뿐 만 아니 라 , 금속 막 보다 저항 이 높 은 폴리 실리콘 막 - 게이트 전극 ( 12 A ) - 을 포함 하 고 있 기 때문 에 워드 라인 ( 31 ) 의 저항 은 더욱 증가 하 게 된다 . 더불 어 , 배선 패턴 ( 13 ) 과 게이트 전극 ( 12 A ) 간 의 접촉면 적 이 부족 하 여 접촉 저항 이 증가 하 게 된다 . 즉 , 게이트 전극 ( 12 A ) 의 일부 와 배선 패턴 ( 13 ) 이 접촉 하 기 때문 에 접촉면 적 이 부족 하 다 . 따라서 , 접촉 저항 이 증가 하 게 되 고 , 이 에 따라 워드 라인 ( 31 ) - 게이트 전극 ( 12 A ) 과 배선 패턴 ( 13 ) 을 포함 - 의 저항 은 더욱 증가 하 게 된다 .