도 1 을 참조 하 면 , 실리콘 기판 또는 SOI ( silicon - on - insulator ) 기판 등 과 같 은 반도체 기판 ( 100 ) 상 에 버퍼 산화 막 ( 102 ) 을 형성 한다 . 버퍼 산화 막 ( 102 ) 은 후속 하 여 형성 되 는 하드 마스크 층 ( 104 ) 과 기판 ( 100 ) 사이 에 발생 하 는 스트레스 ( stress ) 를 완화 시키 는 역할 을 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 버퍼 산화 막 ( 102 ) 은 실리콘 산화물 을 사용 하 여 형성 될 수 있 다 . 또한 . 버퍼 산화 막 ( 102 ) 은 화학 기상 증착 ( CVD ) 공정 또는 열 산화 공정 을 이용 하 여 형성 될 수 있 다 .