제 어계 회로 ( 160 ) 에서 는 , 컴퓨터 인 제어 계산기 ( 110 ) 가 , 버스 ( 120 ) 를 통하 여 , 위치 회로 ( 107 ) , 전개 회로 ( 111 ) , 스테이지 제어 회로 ( 114 ) , 렌즈 제어 회로 ( 124 ) , 블 랭킹 제어 회로 ( 126 ) , 편향 제어 회로 ( 128 ) , 화상 보존 부 ( 132 ) , 필터 회로 ( 139 ) , 윤곽 추출 회로 ( 140 ) , 비교 회로 ( 141 ) , 가이드 화상 생성 회로 ( 142 ) , 분할 회로 ( 143 ) , 위치 정렬 회로 ( 144 ) , 자기 디스크 장치 등 의 설계 데이터 보존 부 ( 109 ) , 모니터 ( 117 ) , 메모리 ( 118 ) , 프린터 ( 119 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , XY 스테이지 ( 105 ) 는 , 스테이지 제어 회로 ( 114 ) 의 제어 하 에 구동 기구 ( 127 ) 에 의해 구동 된다 . 구동 기구 ( 127 ) 에서 는 , 예 를 들 어 X 방향 , Y 방향 , θ 방향 으로 구동 하 는 3 축 ( X - Y - θ ) 모터 와 같 은 구동 계 가 구성 되 며 , XY 스테이지 ( 105 ) 가 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 이 들 의 , 도시 하 지 않 은 X 모터 , Y 모터 , θ 모터 는 , 예 를 들 어 스텝 모터 를 사용 할 수 있 다 . XY 스테이지 ( 105 ) 는 , XY θ 각 축 의 모터 에 의해 수평 방향 및 회전 방향 으로 이동 가능 하 다 . 그리고 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 위치 는 레이저 측장 시스템 ( 122 ) 에 의해 측정 되 어 , 위치 회로 ( 107 ) 에 공급 된다 . 레이저 측장 시스템 ( 122 ) 은 , 미러 ( 216 ) 로부터 의 반사광 을 수 광 함 으로써 , 레이저 간섭법 의 원리 로 XY 스테이지 ( 105 ) 의 위치 를 측장 한다 .