상술 한 바 와 같이 노광 전후 처리 모듈 ( 600 ) 에서 전처리 모듈 ( 601 ) 과 후처리 모듈 ( 602 ) 은 서로 간 에 완전히 분리 되 도록 제공 된다 . 또한 , 전처리 모듈 ( 601 ) 의 반송 챔버 ( 630 ) 와 후처리 모듈 ( 602 ) 의 반송 챔버 ( 680 ) 는 동일 한 크기 로 제공 되 어 , 상부 에서 바라볼 때 서로 간 에 완전히 중첩 되 도록 제공 될 수 있 다 . 또한 , 보호막 도포 챔버 ( 610 ) 와 세정 챔버 ( 660 ) 는 서로 동일 한 크기 로 제공 되 어 상부 에서 바라볼 때 서로 간 에 완전히 중첩 되 도록 제공 될 수 있 다 . 또한 , 베 이크 챔버 ( 620 ) 와 노광 후 베 이크 챔버 ( 670 ) 는 동일 한 크기 로 제공 되 어 , 상부 에서 바라볼 때 서로 간 에 완전히 중첩 되 도록 제공 될 수 있 다 .