도 11 은 , 보완 처리 프로세스 가 필요 한 것 으로 판정 된 경우 에 행하 여 지 는 구제 처리 프로세스 의 처리 예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 12 는 , 보완 처리 프로세스 가 불 필요 한 것 으로 판정 된 경우 에 행하 여 지 는 완결 처리 프로세스 의 처리 예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 11 및 도 12 는 , 제 1 기판 약액 처리 에서 사용 되 는 제 1 약액 과 , 제 2 기판 약액 처리 에서 사용 되 는 제 2 약액 이 서로 다른 경우 이 며 , 제 1 기판 약액 처리 에 대해서 이상 이 발생 한 경우 를 예시 한다 .