여기 서 , 상기 버퍼 층 ( 210 ) 은 스퍼터링 ( Sputtering ) 법 , 전자 빔 증착 ( E - Beam Evaporation ) 법 , MOCVD ( Metal Organic Chemical Vapor Deposition ) 법 , MBE ( Molecular Beam Epitaxy , MBE ) 법 , 펄스 레이저 증착 ( Pulsed Laser Deposition , PLD ) 법 중 어느 하나 의 방법 을 통해 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .