도 1 은 접촉 비아 의 저항 에 대한 기여 분 을 보여 주 는 기본 다이어그램 이 다 . Rc 는 접촉 저항 을 나타내 고 , R 1 b 와 R 2 b 는 접촉 부 와 플러그 사이 의 장벽 층 의 저항 을 나타내 며 , Rp 는 플러그 의 저항 을 나타내 며 , R 3 은 플러그 의 길이 만큼 뻗 어 있 을 때 의 장벽 층 의 저항 을 나타낸다 . 총 저항 은 Rtotal = Rc + R 1 b ( 1 / Rp + 1 / R 2 b ) - 1 로서 주어진다 . 저항 은 ρ L / A 와 동일 하 고 , 이때 , ρ 는 물질 의 저항률 이 고 , L 은 전류 흐름 의 방향 으로 의 층 의 길이 이 고 , A 는 전류 흐름 에 수직 인 단면 영역 이 다 . 따라서 Rb 1 = 4 ρ bt / [ π ( w - 2 t ) 2 ] , Rp = ρ ( H - t ) / A 2 , A 2 = π [ ( w / 2 ) 2 -( w / 2 - t ) 2 ] , 그리고 Rb 2 = ρ b ( H - t ) / [ π ( w / 2 - t ) 2 ] 이 다 . 도 1 b 는 라인 의 저항 에 대한 기여 분 을 보여 주 는 기본 다이어그램 이 다 . 전류 는 라인 의 길이 를 따라 흐르 고 , 따라서 총 저항 은 Rtotal =( 1 / Rline + 1 / Rb ) - 1 이 며 , 여기 서 Rline = ρ L / [ w - 2 t ) ( H - t ) ] 및 Rb = ρ bL / [ 2 Ht +( w - 2 t ) ( t ) ] 이 다 .