갠트리 ( 200 ) 는 가이드 부재 ( 110 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 갠트리 ( 200 ) 는 기판 이 동부 재 ( 120 ) 를 사이 에 두 고 양쪽 에 이격 되 어 배치 된 가이드 부재 ( 110 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 갠트리 ( 200 ) 는 기판 이 동부 재 ( 120 ) 상 에서 이동 할 수 있 다 . 갠트리 ( 200 ) 는 리니어 모션 레일 을 따라 이동하 는 리니어 모션 블록 ( LM block ) 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 갠트리 ( 200 ) 는 수동 으로 선형 운동 할 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 갠트리 ( 200 ) 는 모터 , 실린더 등 을 구비 하 여 자동 으로 선형 운동 할 수 있 다 .