WO 2017 / 080612 A 1 은 피드 방향 및 다른 자유도 에서 상호 이동 가능 한 2 개 의 물체 의 상대 위치 를 측정 하 기 위한 위치 측정 장치 를 개시 한다 . 이 위치 측정 장치 는 피드 방향 으로 길 게 연장 되 는 프리즘 형 지 지체 를 포함 하 고 , 지 지체 는 각각 측정 눈금 을 지지 하 는 복수 의 표면 및 이 에 대해 이동 가능 하 며 측정 눈금 들 을 스캐닝 하 기 위한 복수 의 스캐닝 유닛 을 갖 는 스캐닝 조립 체 를 포함 한다 .