도 1 에 는 크라이 오 펌프 를 사용 한 스퍼터링 장치 의 개략 적 인 단면도 가 도시 되 어 있 는데 , 이 를 참조 하 면 Ar 이온 이 타 겟 과 충돌 하 면서 타 겟 금속 을 웨이퍼 에 증착 시키 는 공정 챔버 ( 10 ) 와 , 공정 챔버 ( 10 ) 내 의 진공 분위기 를 유지 하 기 위하 여 공정 챔버 ( 10 ) 내 의 가스 들 을 응축 하 여 배기 하 는 크라이 오 펌프 ( cryo pump ; 20 ) 와 , 공 정 챔버 ( 10 ) 와 크라이 오 펌프 ( 20 ) 를 연결 하 여 공정 챔버 ( 10 ) 내 의 가스 들 을 크 라 이오 펌프 ( 20 ) 로 전달 하 는 배기관 ( 30 ) 을 구비 한다 .