도 5 에서 와 같이 , 원통형 격벽 ( 410 ) 은 기판 반송 장치 ( 310 ) 가 기판 지지 부 ( 210 ) 에 / 로부터 기판 이 로딩 . 언 로딩 될 수 있 도록 기판 지지 부 ( 210 ) 의 주변 을 개방 할 수 있 는 대기 위치 로 이동 될 수 있 다 . 대기 위치 는 원통형 격벽 ( 410 ) 하단 이 기판 이 로딩 . 언 로딩 되 는 높이 보다 높 게 위치 되 는 것 이 바람직 하 다 .