상부 의 스위치 트랜지스터 ( 202 _ 1 ) 의 채널 길이 ( L ) 는 소스 전극 ( 142 a ) 및 드레 인 전극 ( 142 b ) 의 하단 부 의 간격 에 의해 결정 된다 . 또한 , 채널 길이 ( L ) 가 25 nm 미만 인 트랜지스터 를 형성 하 는 경우 에 사용 하 는 마스크 형성 의 노광 을 행할 때 에 는 , 수 nm 내지 수십 nm 로 파장 이 짧 은 초 자외선 을 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .