포커스 검출 계 ( 15 ) 는 검 출광 을 웨이퍼 ( 3 ) 표면 에 투사 하 는 광 투사 계 와 그 웨이퍼 ( 3 ) 에 의해 반사 된 광 을 수 광 하 는 수 광계 를 포함 하 고 있 다 . 포커스 검출 계 ( 15 ) 의 검출 결과 는 제어 장치 에 출력 된다 . 제 어 장치 는 포커스 검출 계 ( 15 ) 의 검출 결과 에 의거 해서 Z 스테이지 를 구동 해서 Z 스테이지 에 의해 유지 된 웨이퍼 ( 3 ) 의 Z 축 방향 에 있 어서 의 포커스 위치 및 웨이퍼 ( 3 ) 의 경사각 을 조정 하 는 것 이 가능 하 다 .