종래 , 멀티 챔버 식 처리 시스템 과 , 대상물 의 반송 시스템 과 , 장치 동작 파라미터 를 격납 하 는 기억 장치 와 , 기계 제 어부 에 장치 동작 파라미터 를 공급 하 는 기기 제어 시스템 을 구비 하 는 반도체 제조 장치 가 있 었 다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 참조 ) . 이러 한 반도체 제조 장치 의 기계 제 어부 는 장치 동작 파라미터 에 기초 하 여 처리 시스템 및 반송 시스템 을 제어 한다 . 기기 제어 시스템 은 장치 동작 파라미터 를 우선 도 가 부여 된 레벨 마다 기억 장치 에 격납 한다 . 또한 , 이 레벨 이 란 장치 에 고유 한 표준 적 인 레벨 에서부터 사용 자 에게 고유 한 특수 한 레벨 까지 있 다 . 기기 제어 시스템 은 기억 장치 에 격납 된 장치 동작 파라미터 를 우선 도 의 순서 로 메모리 에 전개 한다 .