각각 의 프로세스 에서 , " 도 펀트 들 로 주입 될 영역 은 주입 이전 에 또는 주입 동안 "" 비정질 화 ( amorphized ) "" 될 수 있 다 . 영역 을 비정질 화 하 는 것 은 기판 의 결정 구조 를 혼란 ( disrupt ) 시키 고 ", 도 펀트 원자 들 또는 이온 들 이 기판 에 침투 하 도록 도관 ( conduit ) 들 을 생성 한다 . 비정질 화 는 일반 적 으로 , 도 펀트 들 이 비정질 화 없이 주입 될 때 보다 표면 근처 에서 더 적 은 충돌 들 을 하 기 때문 에 , 결과 적 으로 보다 깊 게 주입 된다 . 이것 은 깊 은 주입 이 요구 될 때 유리 할 수 있 다 .