상기 캐소드 ( 132 ) 의 후면 에 는 소정 간격 이격 되 어 다수 의 마그넷 ( 236 a , 236 b , 236 c ) 이 배치 된다 . 이러 한 경우 , 상기 각 마그넷 ( 236 a , 236 b , 236 c ) 은 상기 각 타 겟 ( 131 ) 에 대응 되 어 , 상기 각 타 겟 ( 131 ) 전면 의 플 라즈 마의 밀도 를 제어 하 게 된다 .