상기 의 기술 적 과제 를 위한 본 발명 의 일 관점 은 , 액침 리소그래피 장비 에 테스트 웨이퍼 를 장착 하 고 노광 필드 ( field ) 별로 순차 적 으로 시험 노광 하 는 단계 , 상기 시험 노광 되 는 테스트 웨이퍼 의 온도 를 열 감 지부 를 이용 하 여 감지 하 여 상기 노광 필드 별 온도 변화 분포 를 얻 는 단계 , 상기 노광 필드 별 온도 변화 분포 를 보상 할 냉각 온도 분포 를 추출 하 는 단계 , 및 상기 액침 리소그래피 장비 에 공정 웨이퍼 를 장착 하 고 , 상기 추출 된 냉각 온도 분포 를 웨이퍼 냉 각부 에 피드백 ( feed back ) 하 여 상기 공정 웨이퍼 를 노광 필드 별 로 국부 적 냉각 시키 며 공정 노광 하 는 단계 를 포함 하 는 액침 리소그래피 방법 을 제시 한다 .