또 , 클리닝 실 ( 5 ) 에는 가열 수단 이 설치 되 어 있 어 , 클리닝 처리 시 에 서 셉 터 ( S ) 를 가열 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 가열 수단 으로 는 , 예 를 들 어 , SiC 재료 를 사용 하 여 구성 된 저항 가열 용 히터 를 들 수 있 으며 , 클리닝 실 ( 5 ) 내 에 재치 된 서 셉 터 ( S ) 를 하방 으로부터 가열 하 도록 구성 할 수 있 다 .