도 4 에 나타내 는 에칭 유닛 ( 21 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 에칭 액 을 모아 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 을 에칭 한다 . 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 에칭 유닛 ( 21 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 재치 하 기 위한 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) , 에칭 액 을 공급 하 기 위한 에칭 액 공급 부 ( 23 ) , 및 , 에칭 액 을 회수 하 기 위한 에칭 액 회수 부 ( 26 ) 를 구비 하 고 있 다 .