다른 실시 예 에서 , 상기 제 2 수직 홀 은 상기 제 1 수직 홀 과 상기 기판 ( 10 ) 의 상면 ( 10 s ) 에 수직 한 z 방향 에서 정렬 되 지 않 을 수 있 다 . 이 에 의해 , 상기 제 2 수직 홀 의 하단 은 상기 중간 층간 절연 층 ( 115 ) 과 일부 접촉 할 수 있 고 , 상기 제 2 리세 스 ( RC 2 ) 는 상기 중간 층간 절연 층 ( 115 ) 와 일부 접촉 할 수 있 다 .