또한 , 본 발명 은 , 포토레지스트 패턴 피복제 를 이용 한 미세 패턴 형성 방법 을 제공 한다 . 이 방법 은 피복제 를 준비 하 는 것 을 포함 한다 . 상기 피복제 는 수용성 폴리머 및 첨가제 ( additive ) 로 이루어진 혼합물 이 다 . 상기 피복제 에 는 가교제 ( cross - linking agent ) 및 물 ( water ) 이 추가 로 혼합 될 수 있 다 . 포토레지스트 패턴 들 을 갖 는 기판 상 에 상기 피복제 를 도포 한다 . 상기 피복제 및 상기 포토레지스트 패턴 들 을 반응 시키 어 상기 포토레지스트 패턴 들 상 에 피복 패턴 들 을 형성 한다 .