그런데 , 종래 의 평면 디스플레이 용 화학 기상 증착 장치 에 있 어서 는 , 증착 공정 시 챔버 내부 의 열 이 상승 함 에 따라 상부 챔버 및 하부 챔버 의 외벽 들 이 가열 되 며 , 상부 챔버 와 일체 로 결합 된 지지 플레이트 또한 가열 되 는데 , 뜨겁 게 가열 된 상부 챔버 및 지지 플레이트 는 재질 의 특성 상 원래 의 온도 로 복귀 하 는데 적어도 하루 이상 의 시간 이 소요 되 며 , 따라서 상부 챔버 의 상부 에 결합 되 어 있 는 요소 들 , 가령 가스 공급 부 및 고주파 전원 부 등 으로 의 접근 이 용이 하 지 않 아 가스 공급 부 및 고주파 전원 부 등 의 유지 보수 가 요구 되 는 경우 이 더라도 일정 한 시간 을 기다려야 하 는 불편 함 및 비 효율 적 인 측면 이 있 었 다 .