트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 와 공정 챔버 ( 200 ) 사이 에서 처리 후 기판 과 처리 전 기판 의 교환 은 제 1 및 제 2 반송 장치 에 의해서 수행 된다 . 이때 , 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 는 제 2 기판 출입구 ( 302 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 공정 챔버 ( 200 ) 와 동일 한 진공 상태 로 전환 되 고 , 이어 제 1 기판 출입구 ( 202 ) 가 열리 고 기판 교환 이 진행 된다 . 기판 교환 과정 에 앞서 서 , 제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 기판 지지 부 ( 210 ) 로부터 기판 을 걷 어 와 제 1 기판 출입구 ( 202 ) 앞 에 대기 한다 .