반도체 소자 의 고집 적 화 가 진행 됨 에 따라 소자 의 크기 를 축소 시키 는 것 외 에 도 소자 의 성능 을 향상 시키 기 위한 연구 가 진행 되 고 있 다 . 현재 대부분 의 반도체 장치 의 배선 공정 은 단일 배선 만 으로 는 고집 적 소자 의 동작 시 요구 되 는 신호 를 신속 하 게 전달 하 는 데 어려움 이 있 기 때문 에 이 를 극복 하 기 위해 다층 배선 구조 를 채택 하 고 있 다 .