기판 ( 102 ) 은 수평 방향 인 제 1 방향 ( X 방향 ) 및 제 2 방향 ( Y 방향 ) 으로 연장 되 는 주면 ( main surface ) ( 102 M ) 을 가질 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 기판 ( 102 ) 은 Si , Ge , 또는 SiGe 를 포함 할 수 있 다 . 다른 일부 실시 예 들 에서 , 기판 ( 102 ) 은 SOI ( silicon - on - insulator ) 기판 , 또는 GeOI ( germanium - on - insulator ) 기판 을 포함 할 수 있 다 .