도 3 d 및 도 4 d 를 참조 하 면 , 상기 카본 폴리머 막 으로 이루어진 보호막 ( 230 ) 을 에치 백 하 여 액티브 영역 ( A / R ) 에 형성 된 보호막 ( 230 ) 부분 을 제거 한다 . 바람직 하 게 , 상기 보호막 ( 230 ) 의 에치 백 공정 은 상기 액티브 영역 ( A / R ) 상 의 스크린 산화 막 ( 220 ) 이 노출 될 때 까지 수행 한다 .