본 발명 의 적층 체의 제조 방법 은 , 가열 공정 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 가열 공정 에서 는 , 복소 환 함유 폴리머 전구체 의 환화 반응 이 진행 된다 . 또 , 본 발명 의 감광성 수지 조성물 이 라디칼 중합 성 화합물 을 포함 하 는 경우 , 미 반응 의 라디칼 중합 성 화합물 의 경화 등 도 진행 된다 . 가열 온도 ( 최고 가열 온도 ) 로서 는 , 50 ~ 450 ℃ 가 바람직 하 고 , 140 ~ 400 ℃ 가 보다 바람직 하 며 , 160 ~ 350 ℃ 가 더 바람직 하 다 .