반응 성 스퍼터링 공정 에서 또 다른 긍정 적 인 효과 는 ( 해당 요소 들 에 의해 타깃 의 표면 에 가까운 보다 집중 된 상호 작용 영역 들 에서 ) 증가 된 에너지 밀도 로 인해 타깃 표면 의 손상 ( poisoning ) 이 보다 어렵 다는 것 이 다 . 반응 가스 ( 예 를 들 어 , N 2 ) 와 의 타깃 의 열악 한 전기 전도성 반응 생성물 들 의 형성 및 타깃 표면 상 에 그것 들 의 잔류 ( 이 는 타깃 의 알려진 손상 으로 이어짐 ) 는 보다 어렵 게 된다 . 그러 한 생성물 들 이 형성 되 는 경우 , 이 들 은 증가 된 수 의 존재 하 는 Ar 이온 들 에 의해 즉시 다시 제거 되 고 , 이 에 따라 타깃 은 ( 대기 중 의 비교 적 높 은 N 2 함량 에서 도 ) 원 하 는 금속 스퍼터링 모드 에 더 오래 유지 된다 .