이 와 같 은 두 번 째 스캔 ( 2 nd scan ) 이 수행 될 때 , 첫 번 째 스캔 ( 1 st scan ) 의 제 3 패턴 부 ( 3 AE ) 와 두 번 째 스캔 ( 2 nd scan ) 의 제 1 패턴 부 ( 1 AE ) 는 서로 오버랩 된다 . 이때 , 첫 번 째 스캔 ( 1 st scan ) 의 제 3 패턴 부 ( 3 AE ) 는 두 번 째 스캔 ( 2 nd scan ) 의 제 1 패턴 부 ( 1 AE ) 와 서로 반대 되 는 패턴 을 가지 므로 , 첫 번 째 스캔 ( 1 st scan ) 의 제 3 패턴 부 ( 3 AE ) 와 두 번 째 스캔 ( 2 nd scan ) 의 제 1 패턴 부 ( 1 AE ) 가 서로 오버랩 되 더라도 , 레이저 빔 이 기판 ( 10 ) 상 의 한 위치 에 중복 하 여 조사 되 는 경우 가 발생 되 지 않 는다 .