마찬가지 로 , 상기 제 1 공 압공 급로 의 개구 에 제 2 접촉 센서 가 설치 되 어 , 상기 감지 부 는 , 상기 제 2 접촉 센서 로부터 의 신호 로부터 상기 제 1 바닥 면 이 상기 제 1 공 압공 급로 의 개구 에 접촉 하 였 는지 를 감지 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 제 2 접촉 센서 에 의하 여 상기 제 1 바닥 면 이 상기 제 1 공 압공 급로 의 개구 에 접촉 한 것 으로 감지 하 면 , 상기 감지 부 는 상기 멤 브레인 바닥 판 에 웨이퍼 가 정상 적 으로 척 킹 파지 되 지 않 은 상태 로 감지 한다 .