상기 평탄 화 층 ( 40 ) 상 에 는 돔 형태 의 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이때 , 상기 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 는 이웃 하 는 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 와 이격 또는 접하 도록 형성 될 수 있 다 . 이때 , 상기 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 는 제 1 절 연막 ( 50 ) 을 증착 하 여 형성 된 것 으로 산화 막 , 질화 막 및 질산화 막 중 어느 하나 로 형성 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 산화 막 이 2 , 000 ~ 6 , 000 Å 의 두께 로 형성 된다 .