다음 으로 , S 11 에 있 어서 , 도 8 의 ( B ) 와 같이 , 자기 부상 제어 를 ON 으로 하 고 , 마스크 트레이 ( 205 ) 로부터 , 마스크 ( M ) 가 보유 지지 된 반송 캐리어 ( 302 ) 를 부상 시킨다 . 즉 , 반송 모듈 ( 301 ) 의 구동 용 코일 ( 306 ) 과 반송 캐리어 ( 302 ) 의 구동 용 마그넷 ( 305 ) 사이 의 흡인력 에 의해 , 반송 캐리어 ( 302 ) 가 마스크 트레이 ( 205 ) 로부터 소 정량 부상 한다 . 상승 량 은 , 예 를 들 면 , 0 . 5 mm 정도 이 다 . 즉 , 이 때 의 마스크 트레이 ( 205 ) 와 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 캐리어 스탠드 부 ( 302 A 1 ) 의 하단 의 사이 의 클리어런스 를 CLS 11 이 라고 하 면 , 예 를 들 면 CLS 11 = 0 . 5 mm 이 다 .