집적도 를 향상 시킨 3 차원 플래시 메모리 및 그 제조 방법 이 개시 된다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 3 차원 플래시 메모리 는 , 기판 상 에 일 방향 으로 연장 형성 되 는 적어도 하나 의 수직 스트링 - 상기 적어도 하나 의 수직 스트링 은 , 상기 일 방향 으로 연장 형성 되 는 채널 층 및 상기 채널 층 을 둘러싸 도록 상기 일 방향 으로 연장 형성 되 는 전하 저장 층 을 포함 함 -; 상기 적어도 하나 의 수직 스트링 에 대해 수직 적 으로 연결 되 도록 적층 되 는 복수 의 전극 층 들 ; 및 상기 기판 에 매몰 되 며 형성 되 는 소스 라인 을 포함 한다 .