예 로서 , 프로세스 가스 들 이 프로세싱 챔버 의 폭 에 걸쳐 도입 됨 에 따라 , 플 라즈 마 ( 112 ) 는 상부 전극 ( 104 ) 과 하부 전극 ( 106 ) 사이 에 형성 되 고 플 라즈 마가 형성 된다 . 플 라즈 마 부산물 ( 118 ) 은 플 라즈 마 ( 112 ) 에서 의 라디칼 및 뉴트럴 들 과 기판 ( 102 ) 의 표면 과 의 반응 에 의해 형성 된다 . 플 라즈 마 부산물 들 ( 118 ) 은 기판 의 측면 들 로 그리고 펌프 들 ( 108 ) 속 으로 인출 된다 . 플 라즈 마 부산물 은 하나 이상 의 해리 반응 ( 예 를 들 면 , CF 4 + e -→ CF 3 + F + e -) 및 / 또는 하나 이상 의 이온 화 ( 예 를 들 면 , CF 4 + e - → CF 3 + + F ) 및 / 또는 하나 이상 의 여기 ( 예 를 들 면 , Ar → Ar + + e -) 및 / 또는 하나 이상 의 어태치먼트 ( attachment ) ( 예 를 들 면 , CF 4 + e - → CF 3 + F -) 및 / 또는 하나 이상 의 이 성분 반응 ( binary reaction ) ( 예 를 들 면 , CF 3 + H → CF 2 + HF ) 을 포함 할 수 있 다 .