상기 기술 적 과제 는 본 발명 에 따라 , 플라 즈 마 공정 챔버 의 이상 여부 를 검출 하 는 플 라즈 마 모니터링 장치 에 있 어서 , 상기 공정 챔버 를 진공 으로 유지 하 기 위한 배기관 과 연결 되 어 상기 공정 챔버 내 의 가스 를 인입 시켜 플 라즈 마 상태 로 만드 는 공간 을 형성 하 는 셀프 플라 즈 마 챔버 ; 상기 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 가스 를 플 라즈 마 상태 로 만드 는 고주파 전원 을 공급 하 는 고주파 발생 부 ; 및 상기 고주파 전원 을 발생 시키 는 전압 과 전류 를 측정 하 는 고주파 프로브 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 플 라즈 마 모니터링 장치 에 의해서 달성 된다 .