상기 소스 ( LA ) [ 예 를 들 어 , 수은 램프 또는 엑 시머 레이저 ( excimer laser ) ] 는 방사선 빔 을 생성 한다 . 상기 빔 은 곧바로 또는 , 예 를 들 어 빔 익스팬더 ( Ex ) 와 같 은 컨 디셔 닝 수단 을 거친 다음 에 조명 시스템 ( 일루 미네 이터 ) ( IL ) 으로 공급 된다 . 상기 일루 미네 이터 ( IL ) 는 빔 내 의 세기 분포 의 외반 경 및 / 또는 내 반경 크기 ( 통상 적 으로 , 각각 외측 - σ 및 내측 - σ 라 함 ) 를 설정 하 는 조정 수단 ( AM ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 이 는 일반 적 으로 인티 그 레이터 ( IN ) 및 콘덴서 ( CO ) 와 같 은 다양 한 다른 구성 요소 들 을 포함 할 것 이 다 . 이러 한 방식 으로 , 마스크 ( MA ) 에 입사 하 는 빔 ( PB ) 은 그 단면 에 원하 는 균일성 및 세기 분포 를 갖 는다 .