또한 , 갠트리 부 ( 9 ) 는 , X 축 방향 으로 분할 가능 하 게 구성 되 고 , 분할 면 ( 12 , 13 ) 은 , 각각 의 안내 슬라이더 ( 7 ) 보다 도 외측 영역 에 형성 되 어 있 어 , 가이드 레일 ( 4 ) 과 마찬가지 로 , 특히 조립 정밀도 가 요구 되 는 부분 인 안내 슬라이더 ( 7 ) 가 스테이지 장치 ( 1 ) 의 본 체부 ( 1 a ) 측 에 설치 되 어 있 기 때문 에 , 조립 시 , 스테이지 장치 ( 1 ) 의 분할 부 ( 1 b , 1 c ) 를 본 체부 ( 1 a ) 에 연결 시킬 때 의 위치 결정 정밀도 달성 작업 을 용이 하 게 행할 수 있 다 .