본 실시 예 에서 는 기판 ( 1 ) 의 가장자리 를 가압 하 는 제 2 외측 챔버 ( Z 4 ) 의 크기 를 가장 작 게 형성 하 고 , 제 2 외측 챔버 ( Z 4 ) 에 가장 큰 압력 을 인가 할 수 있 다 . 그러나 본 발명 이 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 중앙 챔버 ( Z 1 ) 에서 제 1 외측 챔버 ( Z 5 ) 로 갈수록 순차 적 으로 크기 가 작아지 도록 형성 하 고 , 제 1 외측 챔버 ( Z 5 ) 의 크기 를 가장 작 게 형성 할 수 도 있 다 .