도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 초기 웨이퍼 ( 100 ) 의 제 1 표면 , 즉 전면 ( FS ) 에 인접 할수록 보론 농도 는 증가 한다 . 다시 말 하 면 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 초기 웨이퍼 ( 100 ) 의 전면 ( FS ) 으로부터 깊 어 질수록 보론 농도 는 감소 하 게 된다 . 이 는 초기 웨이퍼 ( 100 ) 의 전면 ( FS ) 측 에 가스 를 제공 하 고 제 1 열처리 공정 을 진행 함 에 따라 , 보론 이 제 1 표면 ( FS ) 측 에서부터 내 확산 ( 210 ) 되 었 기 때문 이 다 .