본 개시 는 이온 빔 또는 전자 빔 을 이용 하 여 이미 징 및 프로세싱 시스템 과 같 은 CPB 시스템 에서 의 하전 입자 빔 ( CPB : charged - particle beam ) 의 정렬 에 관한 것 이 다 . 일부 예 들 에서 , 자동 화 된 방법 은 기술자 의 도움 없이 전자 현미경 에서 의 CPB 정렬 을 가능 하 게 한다 . 일부 예 들 에서 , 하전 - 입자 빔 ( CPB ) 현미경 은 CPB 를 편향 시키 도록 동작 가능 한 빔 편 향기 와 , 빔 정렬 을 위해 CPB 현미경 의 주축 으로부터 변위 된 검출기 를 포함 한다 . CPB 정렬 모드 에서 동작 하 는 동안 , 정렬 편향 구동 이 빔 편 향기 에 제공 되 어 , CPB 의 적어도 일부 를 주축 으로부터 변위 된 기준 위치 로 지향 시키 는데 , 기준 위치 는 검출기 에 의해 정의 된다 . CPB 는 CPB 의 중심 축 이 기준 위치 를 통과 할 때 기준 위치 를 통과 한다 . 샘플 이미 징 및 샘플 프로세싱 동안 과 같 은 CPB 작업 모드 에서 동작 하 는 동안 , 작업 편향 구동 이 빔 편 향기 에 적용 되 어 , CPB 를 주 빔 축 ( primary beam axis ) 을 따라 지향 시키 는데 , 작업 편향 구동 은 정렬 편향 구동 에 기초 하 여 결정 된다 .