기판 ( S ) 으로 의 성막 이 개시 되 는 시점 에 증발원 셔터 ( 26 ) 는 회전 이동 하 여 증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 의 상방 을 개방 하 여 , 증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 로부터 의 성막 재료 증발 입자 가 기판 ( S ) 을 향해 날아갈 수 있 도록 한다 . 즉 , 증발원 셔터 ( 26 ) 는 , 증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 의 상방 을 막 는 폐쇄 위치 ( 도 2 의 실선 ) 와 증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 로부터 의 증발 입자 가 기판 을 향해 비산 할 수 있 도록 퇴피 하 는 개방 위치 ( 도 2 의 파선 ) 사이 를 회동 한다 .