흡착 테이블 에 는 , 호스 를 통하 여 진공 펌프 등 의 흡인 장치 가 접속 되 어 있 어 , 그 흡인 장치 에 의한 흡인력 에 의하 여 흡착 테이블 상 의 기판 등 의 판상 부재 를 흡착 테이블 의 재치 면 에 고정 시키 고 있 다 . 그 흡인 을 위하 여 흡인 장치 가 작동 하 면 , 흡인 장치 와 흡착 테이블 을 접속 하 는 호스 내 에 주기 적 인 압력 의 변동 이 발생 하 여 , 진공 압 ( 眞空 壓 ) 에 오 차 가 발생 하 여 버리 게 된다 . 이러 한 주기 적 인 압력 의 오 차 가 그대로 흡착 테이블 상 의 판상 부재 까지 전달 되 면 , 그 오 차 가 판상 부재 에 전달 되 어 진동 ( 振動 ) 해 버리 게 된다 . 그 결과 , 그 진동 에 따라 판상 부재 의 높이 방향 의 위치 어긋남 이 발생 하 여 , 미리 설정 되 어 있 는 광학 식 검사 장치 의 광 빔 ( 光 beam ) 의 도달 거리 나 전기식 검사 장치 의 높이 방향 ( z 방향 ) 의 이동 에 어긋남 이 발생 하 게 된다 . 이 때문 에 , 이 어긋남 에 의하 여 촬영 한 화상 이 흐트러지 거나 , 전기 적 접속 을 가능 하 게 하 는 치구 ( 治具 ) 와 판상 부재 가 안정 되게 접촉 하 지 않 는 상황 이 발생 하 고 있 었 다 .