그런데 , 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 을 기판 ( 100 ) 위 에 공급 하 기 에 앞서 전자 공여 화합물 ( ED ) 를 먼저 공급 하 는 점 은 도 5 b 에 도시 된 공급 사이클 과 공통 되 며 , 그 에 따른 효과 도 유사 하 다 . 즉 , 전자 공여 화합물 ( ED ) 의 모노 레이어 는 후속 되 는 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 의 화학 흡착 을 저지 하 여 지연 시키 는 효과 가 있 고 , 산화 막 이 형성 될 피처 ( feature ) 의 표면 ( 즉 기판 ( 100 ) 의 표면 ) 에 걸쳐 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 이 다운 스트림 쪽 으로 더 많이 확산 할 수 있 다 . 따라서 , 산화 막 이 형성 될 피처 표면 에서 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 의 균 일도 가 개선 되 게 된다 .