공정 챔버 ( 100 ) 의 바닥 벽 에 는 복수 의 배기 홀 들 ( 102 ) 이 형성 되 며 , 배기 홀 들 ( 102 ) 에 는 각각 배기 라인 들 ( 104 ) 이 연결 된다 . 배기 라인 ( 104 ) 상 에 는 펌프 ( 도시 안 됨 ) 가 설치 될 수 있 다 . 배기 라인 들 ( 104 ) 은 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 가스 를 외부 로 배출 하 기 위한 통로 가 된다 . 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에서 발생 된 반응 가스 및 미 반응 가스 , 그리고 반응 부산물 등 은 배기 라인 들 ( 104 ) 을 통하 여 공정 챔버 ( 100 ) 의 외부 로 배출 되 며 , 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 압력 을 진공 상태 로 유지 하 기 위하 여 배기 라인 들 ( 104 ) 을 통하 여 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 가스 를 외부 로 배출 할 수 있 다 .