높 은 선택 비 를 확보 하 기 위해서 는 , 데포 ( depot ) 성 이 좋 은 프로세스 조건 을 사용 하 여 텅스텐 층 상 에 보호막 을 형성 하 는 것 이 하나 의 방법 이 다 . 예 를 들 어 , 특허 문헌 1 은 , 산화층 을 에칭 할 때 에 에칭 정지 층 표면 에 보호막 을 형성 할 수 있 으며 , 홀 개구 의 폐색 을 억제 할 수 있 는 플 라즈 마 처리 방법 을 제안 한다 .