상기 보조 셔틀 부 ( 300 ) 는 , 하나 이상 으로 설치 되 어 검사 될 소자 ( 1 ) 들 이 적재 된 트레이 ( 20 ) 로부터 소자 ( 1 ) 를 로딩 하 고 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 언 로딩 하 는 로딩 / 언로 딩 위치 ( P 1 ) 와 메인 셔틀 부 ( 200 ) 와 소자 ( 1 ) 를 교환 하 는 소자 교환 위치 ( P 2 ) 사이 를 이동 하 는 구성 으로서 다양 한 구성 이 가능 하 다 .