반송 챔버 ( 630 ) 는 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) 의 제 1 냉각 챔버 ( 530 ) 와 제 1 방향 ( 12 ) 으로 나란 하 게 위치 된다 . 반송 챔버 ( 630 ) 내 에 는 전처리 로봇 ( 632 ) 이 위치 된다 . 반송 챔버 ( 630 ) 는 대체로 정 사각 또는 직사각 의 형상 을 가진다 . 전처리 로봇 ( 632 ) 은 보호막 도포 챔버 들 ( 610 ) , 베 이크 챔버 들 ( 620 ) , 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) 의 버퍼 ( 520 ) , 그리고 후술 하 는 인터페이스 모듈 ( 700 ) 의 제 1 버퍼 ( 720 ) 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 전처리 로봇 ( 632 ) 은 핸드 ( 633 ) , 아암 ( 634 ) , 그리고 지지대 ( 635 ) 를 가진다 . 핸드 ( 633 ) 는 아암 ( 634 ) 에 고정 설치 된다 . 아암 ( 634 ) 은 신축 가능 한 구조 및 회전 가능 한 구조 로 제공 된다 . 아암 ( 634 ) 은 지지대 ( 635 ) 를 따라 제 3 방향 ( 16 ) 으로 직선 이동 가능 하 도록 지지대 ( 635 ) 에 결합 된다 .