이 후 , 도 7 c 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 채널 보호막 ( 121 ) 을 가진 기판 상 에 보호막 ( 118 ) 을 형성 한다 . 이 어 , 상기 보호막 ( 118 ) 및 게이트 절 연막 ( 112 ) 을 패 터닝 하 여 상기 게이트 패드 하부 전극 ( 152 ) , 드레 인 전극 ( 110 ) 및 데이터 패드 하부 전극 ( 162 ) 을 노출 하 는 각각 의 제 1 , 제 2 및 제 3 콘 택 홀 들 ( 118 H 1 ) ( 118 H 2 ) ( 118 H 3 ) 을 형성 한다 .