본 실시 형태 에서 는 , 보조 전극 ( 72 ) 은 , 복수 의 보조 전극 ( 즉 , 2 개 의 보조 전극 ( 72 A ) , 2 개 의 보조 전극 ( 72 B ) , 및 4 개 의 보조 전극 ( 72 C ) ) 으로 분할 되 어 있 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 보조 전극 ( 72 ) 은 , 복수 의 보조 전극 을 포함 한다 . 다른 예 에서 는 , 보조 전극 ( 72 ) 은 , 분할 되 지 않 고 연속 된 구성 으로 되 어도 되 고 , 도 3 의 구성 과 는 다르 게 분할 되 어도 된다 . 보조 전극 ( 72 A ) 은 , 개구부 ( 75 ) 의 상변 및 하변 ( 기판 ( W ) 의 상변 및 하변 에 대응 ) 을 따라 배치 되 어 있 다 . 보조 전극 ( 72 B ) 은 , 개구부 ( 75 ) 의 좌변 및 우변 ( 기판 ( W ) 의 좌변 및 우변 ) 을 따라 배치 되 어 있 다 . 또한 , 상 , 하 , 좌 , 우 는 , 도 3 에 있 어서 의 방향 으로 한다 . 보조 전극 ( 72 C ) 은 , 개구부 ( 75 ) 의 각 코너 부 ( 기판 ( W ) 의 각 코너 부 에 대응 , 개구부 또는 기판 의 각 변의 교점 부근 ) 에 각각 배치 되 어 있 다 . 즉 , 보조 전극 ( 72 C ) 은 , 기판 ( W ) 의 각 코너 부 에 대해 배치 되 고 , 기판 ( W ) 의 각 코너 부 에 겹치 도록 배치 된다 . 또한 , 단순히 , 보조 전극 ( 72 C ) 을 기판 ( W ) 의 각 코너 부 에 대해 배치 한다고 언급 하 는 경우 가 있 다 . 도 3 의 예 에서 는 , 보조 전극 ( 72 C ) 은 , 개구부 ( 75 ) 의 코너 부 의 정점 에 대향 하 고 , 개구부 ( 75 ) 의 인접 하 는 2 개 의 변 에 대해 기울어져 배치 되 어 있 다 . 예 를 들 어 , 보조 전극 ( 72 C ) 은 , 개구부 ( 75 ) 의 인접 하 는 2 개 의 변의 각 변 에 대해 45 도 의 기울기 로 배치 할 수 있 다 . 보조 전극 ( 72 C ) 의 기울기 는 , 실제 의 도금 막 의 균일성 이 향상 되 는 기울기 를 실험 등 에 의해 결정 할 수 있 다 .