본 발명 은 다수 의 약액 들 을 공정 처리 후 회수 하 는 적어도 하나 의 약액 포집 장치 를 구비 하 는 기판 처리 장치 및 그 의 약액 포집 방법 에 관한 것 이 다 . 기판 처리 장치 는 세정 및 건조 공정 을 처리 하 기 위하 여 서로 다른 약액 들 을 공급 받 는다 . 기판 처리 장치 는 공정 처리 시 , 사용 된 약액 들 을 회수 하 기 위하 여 약액 들 에 대응 하 는 적어도 하나 의 약액 포집 장치 들 을 구비 한다 . 이러 한 기판 처리 장치 는 공정 처리 시 , 스핀 헤드 에 기판 이 로딩 되 고 , 공정 위치 로 이동 되 면 , 스핀 헤드 와 해당 약액 포집 장치 를 동일 한 방향 으로 회전 시킨다 . 따라서 본 발명 에 의하 면 , 약액 회수 시 , 스핀 헤드 와 약액 포집 장치 를 동시 에 동일 한 방향 으로 회전 시킴 으로써 , 약액 이 리바운드 되 어 공정 에 영향 을 끼치 는 현상 을 방지 할 수 있 다 .