도 1 은 웨이퍼 프로 버 스테이션 을 전체 적 으로 도시 한 정면도 이 다 . 도 1 을 참 조 하 면 , 웨이퍼 프로 버 스테이션 은 반도체 웨이퍼 를 폽 ( Foup ) 또는 카세트 ( casette ) 에서 테스트 할 수 있 는 위치 또는 척 ( Chuck ) 위 로 이송 하 는 웨이퍼 로더 ( Loader ) , 웨이퍼 를 테스트 하 기 위하 여 정밀 하 게 이송 하 여 프로브 카드 와 접촉 시키 는 스테이지 ( Stage ) , 및 상기 스테이 지위 의 척 ( Chuck ) 위 에 놓여진 웨이퍼 를 검사 하 는 테스터 ( Tester ) 으로 이루어져 있 다 . 상기 테스터 의 헤더 ( Header ) 에 는 프로브 카드 ( Probe card ) 가 장착 되 어 있 으며 , 상기 프로브 카드 를 이용 하 여 웨이퍼 상 의 칩 에 전기 적 인 신호 를 가하 고 그 결과 를 측정 함 으로써 각 칩 에 대한 이상 유무 또는 불량 여부 를 검사 한다 .