상기 개시 한 분석 은 단순 한 박막 ( 이 경우 , 예 를 들 어 가변 의 관심 파라미터 는 막 두께 , 막 의 굴절 률 , 기판 의 굴절 률 , 또는 이 들 의 조합 이 될 수 있 다 ) ; 다층 박막 ; 회절 하 거나 복잡 한 간섭 효과 를 다른 방식 으로 생성 하 는 날카로운 에지 및 표면 특성 ; 분해 되 지 않 는 표면 거칠 기 ; 분해 되 지 않 는 표면 특성 , 예 를 들 어 평탄 한 표면 상 의 서브 파장 폭 그루브 ; 이 형 재료 ( 예 를 들 어 , 표면 은 박막 과 고체 금속 의 조합 을 포함 할 수 있 으며 , 이 경우 , 라이브러리 는 양쪽 타입 의 표면 구조 를 모두 포함 할 수 있 으며 , 대응 하 는 주파수 영역 스펙트럼 에 대한 매칭 에 의해 박막 또는 고체 금속 을 자동 으로 식별 할 수 있 다 ) ; 형광 등 의 광학 적 캐 비티 ; 컬러 및 파장 의존 적 반사 율 과 같 은 표면 의 분광 속성 ; 표면 의 편광 의존 적 속성 ; 표면 의 편향 , 진동 또는 움직임 이나 간섭 신호 가 동요 되 는 변형 가능 한 표면 특성 ; 간섭계 신호 를 완전히 포함 하 지 않 는 데이터 취득 윈도우 등 의 데이터 취득 과정 에 관련 된 데이터 왜곡 을 포함 하 는 다양 한 표면 분석 문제 에 적용 될 수 있 다 .