일 예시 에서 , 간섭 성 방사선 ( 102 ) 은 방사선 소스 ( 도시 되 지 않 음 ) 로부터 방사선 빔 을 수용 하 는 일루 미네 이터 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 생성 된다 . 일 예시 에서 , 방사선 소스 는 : 적어도 5 nm , 예 를 들 어 적어도 10 nm , 적어도 13 nm , 적어도 50 nm , 적어도 100 nm , 적어도 150 nm , 적어도 175 nm , 적어도 200 nm , 적어도 250 nm , 적어도 275 nm , 적어도 300 nm , 적어도 325 nm , 적어도 350 nm , 또는 적어도 360 nm 의 파장 을 갖 는 방사선 을 제공 할 수 있 다 . 일 예시 에서 , 방사선 소스 에 의해 제공 된 방사선 은 : 최대 ( at most ) 450 nm , 예 를 들 어 최대 425 nm , 최대 375 nm , 최대 360 nm , 최대 325 nm , 최대 275 nm , 최대 250 nm , 최대 225 nm , 최대 200 nm 또는 최대 175 nm 의 파장 을 갖 는다 . 일 예시 에서 , 상기 방사선 은 436 nm , 405 nm , 365 nm , 355 nm , 248 nm , 193 nm , 157 nm 및 / 또는 126 nm 를 포함 하 는 파장 을 갖 는다 . 일 예시 에서 , 상기 방사선 은 365 nm 근처 또는 약 355 nm 근처 의 파장 을 포함 한다 . 일 예시 에서 , 상기 방사선 은 , 예 를 들 어 365 , 405 및 436 nm 를 포괄 하 는 광 대역 의 파장 들 을 포함 한다 . 355 nm 레이저 소스 가 사용 될 수 도 있 다 .