본 발명 은 측정 물 에 대하 여 동축 조명 과 낙사 조명 을 각각 제공 하 는 주 광원 과 보조 광원 을 각각 구비 하 고 , 각 광원 의 점 등 을 선택 적 으로 단속 하 며 2 차원 정보 를 획득 할 수 있 으며 , 획득 된 정보 로부터 3 차원 검사 영역 을 추출 한 후 추출 된 검사 영역 에 대해서 만 3 차원 검사 를 수행 함 으로써 , 단일 장비 를 이용 하 여 2 차원 과 3 차원 정보 를 모두 획득 할 수 있 어 장비 를 간소 화 할 수 있 는 이점 이 있 다 .