제 3 성능 치 기억 부 ( 167 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 예측 한 성능 을 나타내 는 행렬 인 제 3 성능 치 를 기억 한다 . 제 3 성능 치 는 , 제 2 성능 치 와 실적 치 의 행렬식 의 승산 에 의해 구하 여진다 . 도 12 는 본 실시 형태 에 있 어서 의 예측 한 플 라즈 마 처리 장치 의 성능 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 12 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 성능 치 ( 305 ) 를 실적 치 ( 310 ) 에 적용 하 는 것 에 의해 , 제 3 성능 치 ( 311 ) 가 구하 여진다 . 실적 치 ( 310 ) 는 , 각 장치 성능 항목 의 표준편차 의 중심 치를 열 방향 으로 배열 한 행렬 이 다 . 제 3 성능 치 ( 311 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 예측 한 장치 성능 을 행 , 유량 제어기 의 개수 N 을 열 로 한 행렬 이 다 . 다시 말 해 , 제 3 성능 치 ( 311 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 실제 의 값 ( 절대치 ) 으로 나타낸 행렬 이 다 .