또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에서 는 , 하부 전극 으로서 의 서 셉 터 ( 13 ) 에 하부 정합 기 ( 58 ) 를 거쳐서 하부 고주파 전원 ( 제 1 고주파 전원 ) ( 59 ) 이 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 하부 정합 기 ( 58 ) 는 , 하부 고주파 전원 ( 59 ) 의 내부 ( 또는 출력 ) 임피던스 에 부하 임피던스 를 정합 시키 기 위한 것 으로 , 챔버 ( 10 ) 내 의 플 라즈 마 생 성 공간 ( S ) 에 플 라즈 마가 생성 되 고 있 을 때 에 하부 고주파 전원 ( 59 ) 의 내부 임피던스 와 부하 임피던스 가 외관상 일치 하 도록 기능 한다 . 또한 , 하부 전극 에 는 , 다른 제 2 하부 고주파 전원 ( 제 2 고주파 전원 ) 을 접속 하 여도 좋 다 .