평탄 도 개선 제 로서 DBS 의 첨가량 을 달리 하 여 산화 규소 막 의 연마 특성 을 평가 하 였 다 . DBS 첨 가시 다우 코닝 사 DSP 소포제 를 DBS 첨가량 의 50 중량 % 를 첨가 하 였 고 , 나머지 조성 은 실시 예 1 과 동일 하 게 하 였으며 표 2 에 는 DBS 첨가량 에 따른 연마 결과 와 연마 후 의 웨이퍼 연마 평탄 도 를 나타내 었 고 , 도 1 에 산화 규소 막 의 연마 프로 파일 ( profile ) 을 나타내 었 다 .