일부 구 현예 에서 , 시스템 구성 ( 1 ) 은 , 히터 또는 다른 가열 장비 에 의해 다양 한 온도 에서 유지 되 는 하나 또는 복수 의 열 구역 을 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 기화기 , 중간 챔버 ( 4 ) , 및 반응 챔버 를 위한 별도 의 열 구역 이 있 을 수 있 고 , 각각 의 열 구역 은 각각 제 1 , 제 2 및 제 3 온도 를 갖 는다 . 일부 구 현예 에서 , 제 1 , 제 2 및 제 3 온도 는 거의 동일 하 다 . 다양 한 구 현예 에서 , 제 2 열 구역 의 제 2 온도 는 제 1 열 구역 의 제 1 온도 보다 높 을 수 있 다 . 다양 한 구 현예 에서 , 예 를 들 어 제 2 온도 는 5 ° C 내지 50 ° C 의 범위 , 5 ° C 내지 35 ° C 범위 , 또는 10 ° C 내지 25 ° C 범위 의 온도 차이 만큼 제 1 온도 보다 높 을 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 제 1 열 구역 의 제 1 온도 는 제 2 열 구역 의 제 2 온도 보다 높 을 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 캐리어 가스 라인 ( 2 ) 의 부분 은 히터 재킷 을 구비 하 여 , 각각 의 열 구역 의 온도 이상 으로 그리고 상기 반응물 응축 온도 를 초과 해서 라인 ( 2 ) 을 유지 할 수 있 다 .