종래 의 웨이퍼 육안 검사 장치 는 웨이퍼 들 ( W ) 이 수납 된 카세트 ( C ) 를 카세트 안착 부 ( 1 ) 내측 에 구비 된 웨이퍼 안착 부 ( 미 도시 ) 에 수직 하 게 올리 면 , 웨이퍼 들 ( W ) 의 하단 이 웨이퍼 안착 부 ( 미 도시 ) 에 지지 되 고 , 작업자 가 수동 으로 카세트 안착 부 ( 1 ) 일 측 의 회전 손잡이 ( 2 ) 를 회전 시키 면 , 웨이퍼 안착 부 ( 미 도시 ) 가 회전 됨 에 따라 웨이퍼 들 ( W ) 이 원주 방향 을 따라 회전 하 게 되 고 , 웨이퍼 들 ( W ) 의 에지 에 대해서 육안 검사 가 이뤄 진다 .