먼저 , 웨이퍼 시트 ( 10 ) 의 흡착 을 수행 하 되 , 이 는 도 6 을 참조 하 여 별도 의 진공 장치 ( 도면 중 미도 시 함 ) 을 통해 본체 ( 100 ) 의 진공로 ( 120 ) 에 진 공력 을 부여 하 게 되 면 그 진공 력 은 시트 후드 ( 110 ) 의 흡착 홀 ( 111 ) 에 작용 하 게 되 는 것 인 바 , 웨이퍼 시트 ( 10 ) 는 시트 후드 ( 110 ) 에 흡착 고정 되 게 된다 .