상기 작업 전극 의 제조 방법 은 다음 과 같 다 . 즉 , 깨끗 한 PET 플라스틱판 상 에서 먼저 마그네트론 스퍼터링 으로 한 층 의 구리 필름 을 스퍼터링 하 며 , 구리 필름 의 두께 는 약 100 nm 로 스퍼터링 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그 후 텅스텐 필름 상 에서 다시 마그네트론 스퍼터링 으로 한 층 의 산화 텅스텐 층 을 스퍼터링 하 며 , 산화 텅스텐 층 의 두께 는 150 nm 내지 400 nm 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .