검사 대 상체 파라미터 의 예 에 는 , 표면 구조 를 설명 하 는 파라미터 가 포함 된다 . 표면 구조 는 , 예 를 들 어 간섭 현미경 에 의해 광학 적 으로 분해 될 수 있 는 표면 높이 특성 , 복잡 한 표면 구조 의 특성 에 의한 특징 을 가질 수 있 다 . 본 명세서 에서 , 복잡 한 표면 구조 는 , 검사 대상 체의 내부 구조 와 간섭 현미경 으로 광학 적 으로 분해 될 수 없 는 표면 구조 가 포함 된다 . 표면 높이 특성 의 파라미터 에 는 , 표면 높이 자체 가 포함 된다 . 내부 구조 의 파라미터 에 는 박막 데이터 ( 예 를 들 어 , 박막 층 의 두께 , 굴절 률 , 개수 ) 가 포함 된다 . 분해 되 지 않 는 표면 구조 의 파라미터 에 는 , 분해 되 지 않 는 회절 격자 구조 , 단차 높이 구조 , 및 단차 의 위치 와 같 은 분해 되 지 않 는 특성 데이터 가 포함 된다 .