본 발명 은 , 매립 특성 이 양호 한 루테늄 막 을 형성 할 수 있 는 기술 을 제공 한다 . 본 개시 의 일 형태 에 의한 루테늄 막 의 형성 방법 은 , 절 연막 을 포함 하 는 오 목부 를 갖 는 기판 에 염소 함유 가스 를 공급 해서 상기 오 목부 의 상부 에 하부 보다 도 고밀도 로 염소 를 흡착 시키 는 공정 과 , 상기 염소 가 흡착 된 상기 오 목부 에 Ru 함유 전구체 를 공급 해서 상기 오 목부 에 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 을 갖 는다 .