비록 이 들 시스템 들 은 잘 작동 하 지만 , 일부 는 뉴트럴 종 들 의 중심 - 대 - 에 지간 불 균일 성 을 낳 고 이 불 균일 성 은 , 에지 에서 존재 하 는 , 흐름 속도 , 유효 가스 체류 시간 및 하나 이상 의 가스 화학 물 과 비교 하 여 기판 의 중심 에서 의 존재 하 는 흐름 속도 , 유효 가스 체류 시간 , 및 하나 이상 의 가스 화학 물 들 중 하나 이상 의 차이 로부터 발생 한다 . 하나 이상 의 가스 화학 물 들 은 가스 상 해리 , 교환 및 재결합 반응 들 에 의해 야기 될 수 있 다 .