실시 예 에서 , 작업 매체 는 은 증기 및 은 증기 시드 귀 가스 , 예컨대 He , Ne 또는 Ar 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 실시 예 에서 , 작동 매체 의 전도 성 은 은 증기압 및 작동 매체 의 이온 화 와 같 은 용융 금속 증기압 중 적어도 하나 를 제어 함 으로써 제어 될 수 있 다 . 작동 매체 의 이온 화 는 하이드 리노 반응 전력 , 하이드 리노 반응 에 의해 방출 된 EUV 및 UV 광 의 세기 , 점 화 전압 , 점 화 전류 , 용융 금속 스트림 의 EM 펌핑 속도 , 및 가스 , 전자 , 이온 및 흑체 온도 중 적어도 하나 와 같 은 작동 온도 중 적어도 하나 를 제어 함 으로써 제어 될 수 있 다 . 적어도 하나 의 온도 는 점 화 및 하이드 리노 반응 조건 중 하나 이상 을 제어 함 으로써 제어 될 수 있 다 . 예 시 적 인 하이드 리노 반응 조건 은 가스 압력 및 가스 조성 , 예컨대 H 2 O , H 2 및 불활성 가스 조성 이 다 . 하이드 리노 반응 조건 및 상응 하 는 대 조군 은 본 개시 의 것 또는 다른 적합 한 것 일 수 있 다 .