영역 ( 420 ) 내 에 위치 된 전자 감지 요소 의 출력 을 제외 하 는 것 은 크로스 토크 로 인한 노이즈 를 줄일 수 있 는 반면 에 , 제외 는 또한 빔 스폿 에 대해 생성 된 세기 값 을 감소 시킨다 . 결과 적 으로 , 동일 한 웨이퍼 구조 로부터 방출 된 빔 스폿 은 상이 한 세기 값 을 가질 수 있 다 . 이 차이 는 세기 값 을 갖 는 웨이퍼 구조 의 표현 에 있 어서 왜곡 으로 이어질 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 왜곡 의 영향 을 경감 하 기 위하 여 , 처리 시스템 은 센서 표면 상 의 모든 빔 스폿 의 일 차 경 계부 를 수축 시키 기 위하 여 스케일링 계수 를 결정 할 수 있 으며 , 스케일링 계수 는 ( 일차 경 계부 ( 312 e ) 로부터 크기 가 조정 된 ( scaled ) ) 업데이트 된 일차 경 계부 ( 312 ee ) 와 ( 일차 경 계부 ( 312 f ) 로부터 의 크기 가 조정 된 ) 업데이트 된 일차 경 계부 ( 312 ff ) 가 더 이상 영역 ( 420 ) 에서 중첩 되 지 않 도록 결정 된다 .