한편 , 스테이지 ( 3 ) 를 제 1 내지 제 3 히터 ( 41 내지 43 ) 에 의해 , 미리 설정 된 설정 온도 에 기초 하 여 , 예 를 들 어 제 1 온도 ( T 1 ) 이하 의 온도 , 예 를 들 어 상온 에서부터 열처리 시 의 온도 , 예 를 들 어 700 ℃ 내지 800 ℃ 까지 점차 승 온 시킨다 . 이때 , 열전쌍 ( 51 ) 및 파이로미터 ( 52 ) 에 의해 , 스테이지 ( 3 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 는 온도 를 측정 하 여 , 각각 의 측정 온도 ( TL ) 및 측정 온도 ( TH ) 를 , 가열 제 어부 ( 61 ) 의 온도 산 출부 ( 611 ) 에 출력 한다 .