도 1 및 도 2 에 도시 된 것 과 같 은 코팅 기 는 기판 이 타 겟 을 지나 이동 함 에 따라 기판 상 에 실린더 형 또는 평면형 타 겟 으로부터 타 겟 물질 의 스퍼터링 을 수반 하 는 코팅 프로세스 에 이용 될 수 있 다 . 대형 기판 들 상 에 타 겟 물질 의 스퍼터링 은 예 를 들 어 , 과잉 가열 방지 와 같 은 , " 적절 한 열 적 제어 를 위한 냉각수 사용 및 스퍼터 링 에 적합 한 고전 력 전기 공급 부 의 사용 을 수반 할 수 있 다 . 실린더 형 타 겟 또는 마그네트론 을 통해 물질 을 증착 하 는 시스템 및 방법 은 본 발명 에서 참조 되 는 "" 컴 플 리언 트 드라이브 시스템 을 갖춘 실린더 형 AC / DC 마그네트론 및 개선 된 전기 및 열 격리 "" 이 란 명칭 의 U . S . 특허 No . 6 ", 736 , " 948 호 에 개시 되 어 있 다 . 평면형 타 겟 또는 마그네트론 을 통해 물질 을 증착 하 는 시스템 및 방법 은 본 발명 에서 참조 되 는 "" 스퍼터링 프로세스 및 장치 "" 란 명칭 의 U . S . 특허 No . 4 ", 166 , 018 호 에 개시 되 어 있 다 .