상기 광원 은 I 선 ( 365 nm ) , KrF ( 248 nm ) , ArF ( 193 nm ) , EUV ( 157 nm ) 중 하나 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 레티 클 과 상기 웨이퍼 는 같 은 방향 으로 회전 시켜 정렬 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 레티 클 및 상기 웨이퍼 를 정렬 시키 는 단계 는 상기 레티 클 및 상기 웨이퍼 각각 을 상기 다이폴 Y 조명계 사용 시 보다 일 방향 으로 90 ° 회전 시켜 정렬 시키 는 것 이 바람직 하 다 .