이상 설명 한 바 와 같이 제 5 제어 형태 에서 는 기판 처리 장치 ( 100 ) 가 메인 터 넌 스 가능 한 상태 가 될 때 까지 의 소요 시간 의 보지 를 수행 하 므로 , 어느 시점 에서 메인 터 넌 스 처리 가 실시 가능 해 지 는지 를 보수 작업자 나 시스템 관리자 등 이 용 이 또한 정확 하 게 인식 할 수 있 다 . 따라서 제 5 제어 형태 에 따르 면 , 보수 작업자 나 시스템 관리자 등 의 입장 에서 매우 편리 성 이 뛰어난 것 이 된다 . 또한 메인 터 넌 스 처리 의 실시 시기 의 적절 화 를 도모 하 는 것 도 가능 해 지 고 , 적절 한 시스템 운용 을 도모 하 는 데 상당히 바람직 한 것 이 된다 .