하나 이상 의 평가 프로시저 는 상이 한 사이트 , 웨이퍼 및 / 또는 로트 마다 손상 된 층 , 특징 부 및 / 또는 구조물 에 대한 데이터 를 포함 할 수 있 는 S - D 손상 평가 데이터 및 / 또는 N - S - D 손상 평가 데이터 를 제공 할 수 있 다 . 하나 이상 의 처리 서브시스템 은 손상 평가 데이터 를 이용 하 여 처리 레시피 데이터 , 프로세스 프로파일 데이터 및 / 또는 모델링 데이터 를 업데이트 및 / 또는 최적 화 할 수 있 다 . 예컨대 , 에칭 서브시스템 ( 140 ) 은 손상 평가 데이터 를 이용 하 여 에칭 화학 반응 및 / 또는 에칭 시간 을 업데이트 및 / 또는 최적 화 할 수 있 다 . 또한 , 증착 서브시스템 ( 145 ) 및 / 또는 리소그래피 서브시스템 ( 110 , 120 및 125 ) 은 손상 평가 데이터 를 이용 하 여 레시피 데이터 , 프로파일 데이터 및 / 또는 모델링 데이터 를 업데이트 및 / 또는 최적 화 할 수 있 다 .