도 9 를 참조 하 면 , 제 2 컨 택 플러그 ( 314 ) 가 형성 된 제 2 층간 절 연막 ( 306 ) 위 에 스토리지 노드 절 연막 ( 316 ) 을 형성 한다 . 스토리지 노드 절 연막 ( 316 ) 은 높 은 종횡비 를 갖 는 스토리지 노드 패턴 이 형성 될 만큼 충분 한 높이 를 갖 도록 형성 한다 . 이때 , 스토리지 노드 절 연막 ( 316 ) 은 산화 막 으로 형성 할 수 있 다 .