도 5 는 하나 의 예시 적 인 구현 에서 , 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 내부 에 존재 하 는 미립자 오염 물질 들 의 실시간 검출 을 구현 하 는 시스템 ( 500 ) 의 개략 도 이 며 , 여기 서 퇴적 챔버 의 크기 에 비해 작 은 윈도우 와 함께 단일 광원 이 사용 된다 . 조명 의 균일 도 U 의 앞 의 추정 으로부터 나오 는 바 와 같이 , 투명 윈도우 의 크기 가 작 은 a ≪ d 인 구현 들 에서 , 균일 도 U 는 1 에 가깝 다 . 이러 한 조건 들 하 에서 , 빔 의 범위 는 비교 적 작 고 , 단일 광원 으로 만 시야 를 조명 하 는 것 으로 충분 할 수 있 다 . 챔버 ( 102 ) 전체 에 걸쳐 오염 물질 들 의 농도 가 충분히 균일 한 상황 에서 는 작 은 윈도우 를 통해 챔버 환경 을 모니터링 하 는 것 이 적절 하 게 수행 될 수 있 다 .