마이크 로 요동 소자 X 2 의 구동 시 에 는 , 요 동부 ( 10 ) 의 구동 전극 ( 12 ) 및 구동 전극 ( 33 ) 에 소정 의 기준 전위 가 부여 된다 . 구동 전극 ( 12 ) 에 대한 기준 전위 의 부여 는 프레임 ( 31 ) 의 제 1 층 부 ( 31 a ) 의 일부 , 연결부 ( 32 B ) 의 토션 바 ( 32 b ) , 프레임 ( 21 ') 의 제 1 층 부 ( 21 a ) 의 부분 21 f , 도전 비아 ( 21 h ) , 프레임 ( 21 ') 의 제 2 층 부 ( 21 b ) , 도전 비아 ( 21 d ) ( 도 6 에 도시 함 ) , 프레임 ( 21 ') 의 제 1 층 부 ( 21 a ) 의 일부 , 연결부 ( 22 ) 의 토션 바 ( 22 a ) 및 요 동부 ( 10 ) 의 들보 부 ( 13 ) 를 통하 여 실현 할 수 있 다 . 구동 전극 ( 33 ) 에 대한 기준 전위 의 부여 는 프레임 ( 31 ) 의 제 1 층 부 ( 31 a ) 의 일부 , 연결부 ( 32 B ) 의 토션 바 ( 32 b ) 및 프레임 ( 21 ') 의 제 1 층 부 ( 21 a ) 의 부분 21 f 를 통하 여 실현 할 수 있 다 . 기준 전위 는 , 예 를 들 면 그라운드 전위 이 며 , 바람직 하 게 는 일정 하 게 유지 된다 .