이어서 , 제 1 트렌치 ( T 1 ) 의 내부 를 채우 도록 제 5 스 페이서 ( 145 ) 가 형성 될 수 있 다 . 이 경우 , 제 5 스 페이서 ( 145 ) 의 상면 은 제 2 프리 절 연막 ( 128 p ) 의 상면 상 에 형성 된 제 1 프리 스 페이서 막 ( 141 p ) 의 상면 과 동일 평면 상 에 형성 될 수 있 다 . 다만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .