PI 막 ( 6 ) 의 패 터닝 후 에 는 , 재 배선 ( 7 ) 이나 댐 층 ( 8 ) 의 형성 에 이용 하 는 시드 메탈 ( 14 ) 을 스퍼터링 에 의해서 전체 면 에 형성 한다 . 시드 메탈 ( 14 ) 은 , Si 기판 ( 2 ) 이나 PI 막 ( 6 ) 과 의 밀착 성 을 고려 하 여 , 예 를 들 면 , 하층 측 에 티탄 ( Ti ) , 티탄 텅스텐 ( TiW ) , 크롬 ( Cr ) 등 을 스퍼터 한 후 , 그 상층 측 에 Cu 를 스퍼터 하고 , 상하 층 의 합계 막 두께 가 약 0 . 2 ㎛~ 약 1 ㎛ 로 되 도록 하 여 형성 한다 .