그 결과 , N 2 가스 를 첨가 하 여 ITO 를 성막 한 본 발 명예 의 시료 에서 는 , 산화물 층 ( 제 2 층 ) 의 최 박부 의 두께 는 8 ㎚ 이 고 , [ O ] / [ Al ] 비 는 0 . 15 이 고 , 접촉 저항 치 는 50 내지 70 μΩ / ㎠ 였 다 . 이 에 대해 N 2 가스 를 첨가 하 지 않 고 ITO 를 성막 한 비교 예의 시료 에서 는 , 산화물 층 ( 제 2 층 ) 의 최 박부 의 두께 는 18 ㎚ 이 고 , [ O ] / [ Al ] 비 는 0 . 35 이 고 , 접촉 저항 치 는 500 내지 800 μΩ / ㎠ 였 다 .