그러나 이러 한 종래 의 프로브 검사 장치 ( 90 ) 에 있 어서 , 그 내부 로 는 일종 의 도전 성 와이어 와 같 은 프로브 핀 ( 90 a ) 이 형성 되 는데 , 이러 한 프로브 핀 ( 90 a ) 은 박막 트랜지스터 어레이 기판 ( 31 ) 상 의 패드 부 ( 31 a ) 와 일대일 ( 1 : 1 ) 로 대응 하 여 전기 신호 를 전달 하 게 된다 .