상기 배관 들 은 , 상기 공급 제 어부 의 파이널 밸브 로부터 가스 또는 케미컬 을 입력 받 아 상기 공정 챔버 로 공급 하 는 제 2 배관 과 ; 상기 제 2 배관 을 통해 공급 된 가스 또는 케미컬 이 상기 공정 챔버 로 공급 완료 후 , 상기 제 2 배관 에 잔류 하 는 가스 또는 케미컬 을 상기 공정 챔버 가 아닌 외부 로 배출 하 기 위한 제 3 배관 을 구비 할 수 있 다 . 상기 제 3 배관 은 상기 제 2 배관 과 비교 하 여 적어도 동일 하 거나 큰 크기 로 구비 될 수 있 다 .