또한 , 상기 고 비점 용제 를 사용 하 는 경우 , 고 비점 용제 의 배 합량 은 , 비점 180 ℃ 미만 의 용제 100 질 량부 에 대하 여 1 ∼ 30 질 량부 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 배 합량 이 라면 , 배 합량 이 지나치 게 적 어 베 이크 시 에 충분 한 열 유동 성 을 부여 할 수 없 게 되 거나 , 배 합량 이 지나치 게 많 아 막 중 에 잔존 하 여 에칭 내성 등 의 막 물 성 의 열화 로 이어지 거나 할 우려 가 없 다 .