노광 장치 ( 100 ) 는 , 조명계 ( 10 ) , 레티 클 스테이지 ( RST ) , 투영 유닛 ( PU ) , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 및 계측 스테이지 ( MST ) 를 갖 는 스테이지 장치 ( 50 ) , 및 이 들 의 제 어계 등 을 구비 하 고 있 다 . 도 1 에 있 어서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 상 에 는 웨이퍼 ( W ) 가 탑재 되 어 있 다 .