계속 해서 , 게이트 절연 층 ( 402 ) 에 산소 를 공급 하 는 처리 를 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 산소 를 공급 하 는 처리 로서 는 , 산소 분위기 에 있 어서 의 열처리 , 산소 도프 처리 등 이 있 다 . 또는 , 전계 에서 가속 된 산소 이온 을 조사 하 고 , 산소 를 첨가 해도 좋 다 . 또한 , 본 명세서 등 에 있 어서 , 산소 도프 처리 란 , 산소 를 벌크 하 게 첨가 하 는 것 을 말 하 고 , 상기 벌크 라는 용어 는 , 산소 를 박막 표면 뿐 만 아니 라 박막 내부 에 첨가 하 는 것 을 명확 하 게 하 는 취지 로 사용 하 고 있 다 . 또한 , 산소 도프 에 는 , 플 라즈 마 화 한 산소 를 벌크 하 게 첨가 하 는 산소 플 라즈 마 도프 가 포함 된다 .