제 2 냉각 라인 ( 232 ) 은 분배 라인 ( 224 ) 의 하부 에 위치 하 며 , 도 9 에 도시 한 바 와 같이 , 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 은 냉각 가스유 로 ( 222 ) 를 감싸 도록 배치 된 나선 형상 이 다 . 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 은 지지 플레이트 ( 220 ) 의 온도 를 기 설정 된 온도 로 냉각 한다 . 앞서 말 한 바 와 같이 , 증착 공정 , 특히 고밀 도 플라스마 화학 기상 증착 공정 에서 발생 한 고온 의 열 로 인하 여 지 지 플레이트 ( 220 ) 의 온도 가 상승 할 수 있 다 . 따라서 , 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 을 이용 하 여 지 지 플레이트 ( 220 ) 를 냉각 시킨다 .