압력 측 정부 ( 26 ) 로부터 출력 되 는 전압 치 는 , 도 1 에 예시 되 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 28 ) 에 수신 된다 . 제 어부 ( 28 ) 는 , 당해 전압 치 에 기초 하 여 처리 액 ( 30 ) 의 농도 를 산출 한다 ( 도 3 에 예시 되 는 스텝 ST 105 ) . 그리고 , 제 어부 ( 28 ) 는 , 당해 농도 의 값 에 기초 하 여 , 예 를 들 어 , 밸브 ( 34 ) , 및 , 밸브 ( 52 ) 의 개폐 시간 을 조정 한다 ( 도 3 에 예시 되 는 스텝 ST 106 ) . 그렇게 함 으로써 , 제 어부 ( 28 ) 는 , 처 리조 ( 14 ) 내 의 처리 액 ( 30 ) 의 농도 제어 를 실시 한다 .