도 7 을 참조 하 면 , 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의하 여 노출 된 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 을 선택 적 으로 제거 하 여 제 1 리세 스 영역 ( 205 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 리세 스 영역 ( 205 ) 은 상기 트렌치 들 ( 200 ) 로부터 수평 적 으로 연장 되 어 형성 되 는 갭 영역 일 수 있 다 . 상기 제 1 리세 스 영역 ( 205 ) 은 상기 수직 막 ( 150 ) 의 측벽 의 일부 를 노출 할 수 있 다 . 상기 제 1 리세 스 영역 ( 205 ) 은 y 방향 을 따라 연장 되 는 구조 일 수 있 다 . 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 선택 적 제거 는 상기 절 연막 들 ( 120 ) 및 상기 제 2 희생 막 들 ( 130 ) 에 대해 식각 선택 성 을 갖 는 식각 레서피 를 사용 하 여 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 을 수평 적 으로 식각 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 리세 스 영역 ( 205 ) 의 형성 시 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의하 여 노출 된 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 의 측벽 이 일부 제거 될 수 있 다 . 또한 상기 제 2 희생 막 들 ( 130 ) 및 상기 절 연막 들 ( 120 ) 의 서로 다른 에칭 특성 에 의하 여 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의하 여 노출 된 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 의 측벽 은 요철 을 가질 수 있 다 . 상기 최하층 절 연막 ( 121 ) 은 잔존 하 는 것 으로 도시 되 었 으나 , 이 와 는 달리 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 제거 시 일부 가 함께 제거 될 수 있 다 .