그런 다음 , 금속화 패턴 ( 130 ) 과 , 시일 링 링 ( 140 ) 의 제 2 층 ( 140 A ) 이 동시 에 형성 된다 . 금속화 패턴 ( 130 ) 과 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 유전체 층 ( 128 ) 의 주표 면 상 에서 주 표면 을 따라 연장 되 는 라인 부분 을 포함 한다 . 금속화 패턴 ( 130 ) 과 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 , 유전체 층 ( 128 ) 을 통해 연장 되 어 금속화 패턴 ( 126 ) 및 제 1 시 일 링 링 층 ( 140 A ) 를 물리 적 으로 그리고 전기 적 으로 각각 결합 시키 는 비아 부분 을 더 포함 한다 . 금속화 패턴 ( 130 ) 및 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 금속화 패턴 ( 126 ) 및 제 1 시 일 링 링 층 ( 140 A ) 과 동일 한 방식 및 동일 한 재료 로 형성 될 수 있 다 . 일부 실시 형태 에서 , 금속화 패턴 ( 130 ) 은 금속화 패턴 ( 126 ) 과 는 상이 한 사이즈 를 갖 는다 . 예 를 들 어 , 금속화 패턴 ( 130 ) 의 전도성 라인 및 / 또는 비아 는 금속화 패턴 ( 126 ) 의 전도성 라인 및 / 또는 비아 보다 더 넓 거나 더 두 꺼 울 수 있 다 . 또한 , 금속화 패턴 ( 130 ) 은 금속화 패턴 ( 126 ) 보다 더 큰 피치 로 형성 될 수 있 다 . 반면 , 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 제 1 시 일 링 링 층 ( 140 A ) 과 동일 한 사이즈 이 다 . 구체 적 으로 , 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 제 1 시 일 링 링 층 ( 140 A ) 과 동일 한 전체 높이 ( H 2 ) , 비아 폭 ( W 2 ) , 비아 높이 ( H 4 ) , 라인 폭 ( W 3 ) , 및 라인 높이 ( H 3 ) 를 갖 는다 . 또한 , 제 2 시 일 링 링 층 ( 140 B ) 은 스 크 라 이브 라인 영역 ( 100 S ) 으로부터 거리 ( D 3 ) 만큼 분리 되 고 , 금속화 패턴 ( 130 ) 의 전도성 피처 로부터 거리 ( D 4 ) 만큼 분리 된다 . 금속화 패턴 ( 130 ) 의 전도성 피처 가 금속화 패턴 ( 126 ) 의 전도성 피처 보다 작 은 실시 형태 에서 는 , 거리 ( D 4 ) 가 거리 ( D 2 ) 보다 크다 ( 도 9 b 참조 ) . 금속화 패턴 ( 130 ) 의 전도성 피처 가 금속화 패턴 ( 126 ) 의 전도성 피처 보다 큰 실시 형태 에서 는 , 거리 ( D 4 ) 가 거리 ( D 2 ) 보다 작 다 ( 도 9 b 참조 ) . 예 를 들 어 , 거리 ( D 4 ) 는 약 20 ㎛ 내지 약 30 ㎛ 의 범위 일 수 있 고 , 예컨대 약 20 ㎛ 이 다 .