그 한편 으로 , 상기 제 1 포트 ( 20 ) 에 정압 이 공급 되 었 을 때 에 는 상기 제 1 포트 ( 20 ) 와 상기 정압 측 유로 ( 50 ) 사이 의 연통 이 개방 되 어서 상기 제 2 포트 ( 30 ) 로부터 상기 정압 이 출력 되 고 , 그것 과 동시 에 , 상기 제 1 포트 ( 20 ) 와 상기 부압 측 유로 ( 40 ) 사이 의 연통 이 차단 된다 . 그 때 , 제 1 포트 ( 20 ) 로부터 필터 장치 ( 1 ) 내 에 도입 된 기체 가 , 정압 측 필터 ( 5 ) 의 필터 엘리먼트 ( 51 ) 로 여과 된 후 에 , 제 2 포트 ( 30 ) 로부터 유출 된다 .