도 17 및 18 에서 알 수 있 다시피 , 다른 예시 적 인 실시 예 들 에서 , 이송 장 치 ( 1400 , 1400 ') 는 이송 챔버 의 중앙 또는 숄더 에 회전 가능 하 게 장착 되 는 제 2 SCARA 타입 의 이송 장치 ( 1400 '', 1400 ''') 를 가질 수 있 다 . 도면 들 에 도시 된 SCARA 타입 의 이송 장치 들 은 단지 본원 에 개시 되 는 구송 시스템 의 예시 적 인 어플리케이션 이 며 상기 구동 시스템 은 임의 의 특정 암 / 이송 장치 구성 으로 한정 되 지 않 음 을 알 아야 한다 . 이송 장치 들 ( 1400 '', 1400 ''') 은 도 12 에 도시 되 고 이송 장치 ( 1100 ) 에 대해 논의 된 방식 과 실질 적 으로 유사 한 방식 으로 이송 챔버 내 에 장착 될 수 있 다 . 이송 장치 들 ( 1400 '', 1400 ''') 은 이송 장치 들 ( 1400 , 1400 ') 에 대해 위 에서 설명 된 방식 과 실질 적 으로 동일 한 방식 으로 동작 할 수 있 다 . 이것 은 듀얼 SCARA 암 이송 장치 및 기판 의 빠른 교환 을 가능 하 게 할 것 이 다 . 듀얼 SCARA 암 들 은 , 도 11 b 를 참조 로 위 에서 상술 된 방식 과 실질 적 으로 유사 한 방식 으로 , 챔버 의 중앙 을 중심 으로 독립 적 으로 회전 하 거나 일치 하 여 회전 할 수 있 다 .