[ 0055 ] 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 도 3 a 의 예 에 예시 된 바 와 같이 , 동일 한 홀딩 디바이스 들 이 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 는 데 에 사용 될 수 있 다 . 추가 적 인 실시 예 들 에서 , 도 4 a 및 4 b 의 예 에 예시 된 바 와 같이 , 상이 한 홀딩 디바이스 들 이 , 각각 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 는 데 에 사용 될 수 있 다 .