상기 한 바 와 같이 , 클리닝 실 ( 5 ) 에서 는 서 셉 터 ( S ) 를 회전 시키 면서 히터 ( 208 ) 로 가열 하 여 클리닝 처리 를 실시 한다 . 즉 , 서 셉 터 ( S ) 가 회전 한 상태 에서 , 도입 구 ( 20 ) 로부터 샤워 플레이트 ( 220 ) 의 관 통공 ( 221 ) 을 통하 여 챔버 ( 201 ) 내 에 에칭 가스 ( 225 ) 를 공급 한다 . 라이너 ( 202 ) 의 헤드 부 ( 231 ) 는 , 서 셉 터 ( S ) 가 재치 되 는 라이너 ( 202 ) 의 동체 부 ( 230 ) 보다 내경 이 작 게 되 어 있 어 , 에칭 가스 ( 225 ) 는 헤드 부 ( 231 ) 를 통과 하 여 서 셉 터 ( S ) 의 표면 을 향해 유하 된다 .