정렬 키 영역 ( AK ) 은 스 크 라인 브레인 ( Scribe lane ) 에 배치 될 수 있 다 . 정렬 키 영역 ( AK ) 의 기판 ( 201 ) 상 에 는 더미 스택 ( 212 L , 212 U ) 이 형성 될 수 있 다 . 더미 스택 ( 212 L , 212 U ) 은 하부 더미 스택 ( 212 L ) 과 상부 더미 스택 ( 212 U ) 이 적층 될 수 있 다 . 하부 더미 스택 ( 212 L ) 과 상부 더미 스택 ( 212 U ) 은 각각 서로 다른 절연 층 들 , 즉 복수 의 제 1 절연 층 ( 213 ) 및 복수 의 제 2 절연 층 ( 214 ) 이 교대 로 번갈 아 적층 될 수 있 다 . 하부 더미 스택 ( 212 L ) 은 하부 단차 형 정렬 키 ( 215 ) 를 포함 할 수 있 고 , 하부 단차 형 정렬 키 ( 215 ) 의 저면 및 측벽 들 에 는 하부 정렬 키 패턴 ( 216 ) 이 형성 될 수 있 다 . 하부 단차 형 정렬 키 ( 215 ) 는 트렌치 형상 일 수 있 고 , 하부 정렬 키 패턴 ( 216 ) 은 U 자 형상 일 수 있 다 . 상부 더미 스택 ( 212 U ) 의 일부 는 하부 단차 형 정렬 키 ( 215 ) 의 내부 를 채울 수 있 다 . 상부 더미 스택 ( 212 U ) 은 상부 단차 형 정렬 키 ( 217 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상부 단차 형 정렬 키 ( 217 ) 는 하부 단차 형 정렬 키 ( 215 ) 로부터 유도 될 수 있 다 .