또한 흡인 을 행하 는 흡인 기구 의 흡인 압력 , 밸브 ( V 3 ) 의 개방 도 등 의 조정 에 의해 , 흡인 압력 은 제어 가능 하 다 . 따라서 웨이퍼 를 흡인 하 는 경우 에 는 , 예 를 들 어 가열 처리 의 초기 의 경우 에 는 , 흡인력 을 상대 적 으로 강하 게 하 고 , 가열 처리 의 후기 에 는 , 이미 SOC 막 은 건 조 , 경화 되 어 있 는 것 이 라고 간주 하 고 , 흡인력 을 상대 적 으로 약하 게 하 거나 , 혹은 흡인 자체 를 정지 하 도록 해도 된다 . 이 와 같이 흡인력 의 강약 이나 작동 자체 를 제어 함 으로써 , 흡인 량 을 절감 할 수 있 다 .