상기 표면 활성화제 를 제조 하 는 단계 ( S 20 ) 는 , 활성화제 로서 로디 움 트리 클로라이드 ( rhodium trichloride ) , 디아민 팔라듐 히 드 록 사이드 ( diamine palladium hydroxide ) , 플 레티 늄 클로라이드 ( platinum chloride ) , 팔라듐 클로라이드 ( palladium chloride ) 중 적어도 한 가지 이상 을 사용 한다 .