중공 음극 방전 에 의한 스퍼터링 은 주로 평면 기판 상 에 박막 을 형성 하 기 위해 사용 되 어 왔 다 . 중공 음극 방전 증착 에 의해 파이프 내벽 에 코팅 층 을 형성 하 는 방법 은 가와 사 끼 의 논문 을 들 수 있 다 ( Kawasaki , et al . , Materials Science & Engineering , vol . A 140 , pp . 682 - 686 , " entitled "" High Speed Pipe Inner Coatings Using Magnetron Hollow - Cathode Discharge in a Magnetic Field ""). 가와 사 끼 등 은 ", 그 의 논문 에서 , 4 개 의 막대기 금속 전극 을 파이프 내부 에 배치 하 고 , 4 개 의 금속 전극 에 직류 전압 을 인가 하 여 파이프 내벽 코팅 을 수행 하 고 있 다 . 그러나 , 상기 논문 에 제시 된 방법 은 다음 과 같 은 단점 을 갖 고 있 다 .