기대 ( 12 ) 및 정전 척 ( 40 ) 에 는 , He 가스 나 Ar 가스 등 의 전열 가스 를 반도체 웨이퍼 ( W ) 와 정 전척 ( 40 ) 의 사이 에 공급 하 기 위한 배관 ( 54 ) 이 마련 되 어 있 다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 와 정 전척 ( 40 ) 의 사이 에 공급 되 는 전열 가스 의 압력 을 제어 함 으로써 , 정 전척 ( 40 ) 과 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 사이 의 열 의 전달 률 을 제어 할 수 있 다 .