본 실시 예 에서 는 , 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 피치 P 보다 도 증착 원 개구 ( 62 ) 의 X 축 방향 길이 가 크 다 . 따라서 , 실시 예 1 내지 3 에 있 어서 고려 한 증착 원 개구 ( 61 ) 의 개구 직경 Dn 의 개념 은 본 실시 예 에서 는 존재 하 지 않 는다 . 따라서 , 본 실시 예 에서 는 , 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 한 증착 입자 의 확대 각도 θ 는 , 단순 하 게 제어판 ( 80 ) 에 의해 결정 되 고 ,