상기 제 2 상부 절 연막 ( 12 ) 상 에 제 3 상부 절 연막 ( 13 ) 및 제 4 상부 절 연막 ( 14 ) 이 차례 로 제공 될 수 있 다 . 상기 제 3 상부 절 연막 ( 13 ) 내 에 제 1 비아 들 ( V 1 ) 이 제공 될 수 있 다 . 상기 제 4 상부 절 연막 ( 14 ) 내 에 제 2 배선 구조 체 ( 40 ) 가 제공 될 수 있 다 . 상기 제 2 배선 구조 체 ( 40 ) 는 도 1 , 도 2 및 도 4 에 도시 된 것 과 같이 , 그리드 형상 을 가질 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 제 2 배선 구조 체 ( 40 ) 는 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 연장 되 는 제 3 서브 배선 들 ( 41 ) 및 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 연장 되 는 제 4 서브 배선 들 ( 42 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 3 서브 배선 들 ( 41 ) 은 상기 제 1 서브 배선 들 ( 31 ) 각각 과 오버랩 될 수 있 다 . 상기 제 4 서브 배선 들 ( 42 ) 은 상기 제 2 서브 배선 들 ( 32 ) 각각 과 오버랩 될 수 있 다 . 상기 제 4 서브 배선 들 ( 42 ) 은 상기 제 1 비아 들 ( V 1 ) 을 통하 여 상기 제 2 서브 배선 들 ( 32 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 상기 제 3 서브 배선 들 ( 41 ) 과 상기 제 1 서브 배선 들 ( 31 ) 사이 에 는 상기 제 1 비아 들 ( V 1 ) 이 제공 되 지 않 을 수 있 으나 , 이 와 는 달리 상기 제 3 서브 배선 들 ( 41 ) 과 상기 제 1 서브 배선 들 ( 31 ) 사이 에 도 상기 제 1 비아 들 ( V 1 ) 이 제공 될 수 있 다 .