이러 한 직류 플 라즈 마 를 이용한 스퍼터링 법 에 있 어서 성막 시 아 킹 ( arcing ) 이나 타 겟 표면 에 노듈 ( nodule ) 이 발생 하 게 되 어 박막 중 이 물 혼입 의 원인 이 되 고 , 성막 속도 가 저해 되 는 문제 가 발생 한다 . 특히 , 이러 한 아 킹 및 노듈 은 성막 시간 이 경과 할수록 그 수 가 크 게 증가 하 여 타 겟 을 장기간 사용 할 수 없 게 한다 .