이어서 , 상기 트렌치 가 매립 되 도록 소자 분리 막 ( 204 ) 을 형성 한다 . 이때 , 소자 분리 막 ( 204 ) 은 단층 구조 로 형성 하 거나 , 높 은 종횡비 를 고려 하 여 적층 구조 로 형성 할 수 있 다 . 예컨대 , 단층 구조 의 경우 , 매립 특성 이 우수 한 HDP ( High Density Plasma ) 막 으로 형성 한다 . 적층 구조 의 경우 , HDP 막 - SOG ( Spin On Glass ) 막 - HDP 막 이 순차 적 으로 적층 된 적층 구조 로 형성 한다 . 여기 서 , SOG 막 으로 는 PSZ ( polisilazane ) 막 을 사용 할 수 있 다 .