제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 소스 기체 및 반응 기체 가 주입 될 수 있 다 . 그리고 제 2 주 입부 ( 142 ) 에서 플라 즈 마 발생 을 위한 별도 의 플 라즈 마 기체 가 주입 될 수 있 다 . 즉 먼저 제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 소스 기체 를 주입 할 때 이 와 동시 에 또는 그 전 에 제 2 주 입부 ( 142 ) 에서 별도 의 플 라즈 마 기체 를 주입 하 여 플 라즈 마 발생 부 ( 190 ) 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 발생 한다 . 이러 한 플라 즈 마는 기판 ( 101 ) 방향 으로 이동 하 고 소스 기체 를 여기 시 킨다 . 그리고 나 서 제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 반응 기체 를 주입 할 때 도 플 라즈 마 발생 부 ( 190 ) 에서 발생 한 플 라즈 마가 반응 기체 를 여기 시 킨다 . 이 때 소스 기체 와 반응 기체 의 혼합 을 방지 하 도록 소스 기체 와 반응 기체 는 각각 다른 제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 주입 되 도록 한다 . 즉 , 측면 부재 ( 131 ) 의 일 측 에 배치 된 제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 소스 기체 가 주입 되 도록 하 고 이 와 마주 보 는 타 측 에 배치 된 제 1 주 입부 ( 141 ) 를 통하 여 반응 기체 가 주입 되 도록 한다 .