도 20 은 분리 된 분리 유닛 ( 120 ) 을 반송 하 는 동작 을 도시 하고 있 다 . 도 20 은 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 단면도 이 다 . 예 를 들 면 , 수동 아암 ( 200 ) 으로부터 분리 된 분리 유닛 ( 120 ) 은 미 도시 의 반송 기구 에 의해 하강 시킨 후 ( 도 20 의 ( 1 ) ) , 수직 방향 으로 회전 시키 고 ( 도 20 의 ( 2 ) ) , 처리 완료 의 유닛 으로서 , 케이스 ( 101 ) 내 의 개구부 ( 101 A ) 와 반대 의 측면 쪽 으로 반송 된다 ( 도 20 의 ( 3 ) ) .