교정 처리 실 ( 21 ) 에서 는 , 도 1 에 도시 된 휘어진 기판 ( W ) 이 교정 처리 실 ( 21 ) 내 에 삽입 되 면 , 회전 하 는 각 반송 롤러 ( 31 A ) 에 의해 반송 방향 ( A 1 ) 으로 반송 되 어 , 반송로 ( H 1 ) 를 따라 이동 해 간다 . 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 가 반송 방향 ( A 1 ) 의 하류 측 이 될수록 짧아진다 . 이 때문 에 , 기판 ( W ) 의 이동 에 따라 , 각 반송 롤러 ( 31 A ) 상 의 휘어진 기판 ( W ) 의 하류 측 ( 선단 측 ) 의 상면 이 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 순차 접촉 해 가 면 , 기판 ( W ) 은 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 서서히 가압 되 어 간다 . 이때 , 기판 ( W ) 의 휘어짐 상태 가 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( W ) 의 하류 측 의 단부 및 상류 측 ( 후단 측 ) 의 단부 가 상방 을 향해 휘어져 있 는 상태 인 경우 , 기판 ( W ) 의 하류 측 의 상면 이 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 서서히 가압 되 어 가 면 , 기판 ( W ) 의 상류 측 의 상면 도 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 근접 하 여 접촉 하 기 때문 에 , 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 가압 된다 ( 도 1 참조 ) . 휘어진 기판 ( W ) 이 반송로 ( H 1 ) 를 따라 이동 해 가 면 , 기판 ( W ) 의 하류 측 으로부터 서서히 평평 한 상태 로 교정 되 고 , 교정 된 기판 ( W ) 은 , 그 후 , 각각 의 이격 거리 가 일정 하 게 되 며 , 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 와 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 협지 ( 挾持 ) 되 어 , 그대로 평평 한 상태 에서 다음 의 세정 처리 실 ( 22 ) 로 반송 되 어 간다 . 한편 , 휘어져 있 지 않 은 기판 ( W ) 은 , 교정 할 필요 가 없 고 , 처음 부터 평평 한 상태 에서 다음 의 세정 처리 실 ( 22 ) 로 반송 되 어 간다 .