본 발명 은 처리 액 을 공급 하 는 유닛 을 제공 한다 . 상기 처리 액 공급 유닛 은 처리 액 을 토출 하 는 복수 개 의 노즐 들 , 상기 복수 개 의 노즐 들 이 장착 되 고 상기 노즐 들 에 처리 액 을 공급 하 는 처리 액 배관 들 이 내장 된 노즐 암 , 그리고 상기 노즐 암 내 로 온도 조절 유체 를 공급 하 여 상기 처리 액 배관 들 을 통해 흐르 는 처리 액 의 온도 를 조절 하 는 온도 조절 부재 를 포함 한다 .