단계 S 204 에 있 어서 , 특이점 검 출부 ( 224 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 의 측정 점 마다 근접 하 는 소정수 의 측정 점 의 측정 결과 로부터 표준편차 분 의 차 가 있 는지 아닌지 를 판정 한다 . 근접 하 는 소정수 의 측정 점 의 측정 결과 로부터 표준편차 분 의 차 가 있 는 측 정점 은 특이점 으로서 검출 된다 . 근접 하 는 소정수 의 측정 점 의 측정 결과 로부터 표준편차 분 의 차 가 없 는 측 정점 은 특이점 으로서 검출 되 지 않 는다 .