또한 , 상기 제 1 가스 제어 장치 ( 213 ) 로 는 가스 레 귤 레이터 ( Gas Regulator ) , 가스 유량 제어기 ( Gas Flow Control Meter ) , 질량 유량 제어기 ( MFC : Mass Flow Controller ) , 디지털 표시 부 일체 형 질량 유량 디지털 조절기 ( MFM : Mass Flow Meter ) 등 이 하나 이상 구성 되 어 제 1 가스 의 유속 과 유량 을 조절 할 수 있 도록 이루어진다 .