최근 평판 디스플레이 패널 ( Flat Display Pannel : FDP ) 이 대형 화 됨 에 따라 제조 라인 이 대형 화 되 어 , 평판 디스플레이 패널 의 글래스 기판 의 이송 이나 핸드 링 이 더욱 어려워 지 고 있 는 실정 이 다 . 이러 한 대형 의 글래스 기판 의 포 토리 소그라 피 공정 을 처리 하 는 기판 처리 장치 는 대형 의 글래스 기판 을 이송 하 기 위하 여 각 프로세스 를 처리 하 는 유닛 들 간 에 기판 을 수평 방향 으로 이송 한다 .