형상 가변 거울 에 는 일체 거울 형 인 것 ( 예컨대 , 특허 문헌 1 을 참조 ) 과 분할 거울 형 인 것 ( 예컨대 , 특허 문헌 3 을 참조 ) 이 있 는데 , 모두 다수 의 구동 소자 , 예컨대 피에조 액 츄 에 이터 ( Piezo Actuator ) 를 구동 시켜 경면 ( 鏡面 ) 형상 을 변화 시키 고 있 다 . 또한 , 정전기력 에 의해 구동 하 는 구동 소자 를 사용 하 는 것 도 보 고 되 어 있 다 ( 예컨대 , 특허 문헌 2 참조 ) . 이 들 은 다수 의 구동 소자 를 갖 기 때문 에 , 변형 의 자유도 가 높 고 , 구동 소자 수 가 충분히 많 으면 임의 형상 의 반사면 을 작성 할 수 있 어 , 임의 형상 의 파면 왜곡 을 보정 할 수 있 다 .