근래 , 액정 패널 등 의 배선 재료 로서 , 알루미늄 ( 이하 , Al 이 라 한다 ) 계 합금 막 이 주목 받 고 있 다 . 이 Al 계 합금 막 은 , 내열 성 이나 저 ( 低 ) 저항성 등 의 특성 을 구비 한 재료 이 고 , 그 중 에서 도 알루미늄 에 니켈 ( 이하 , Ni 라 한다 ) 을 함유 한 Al - Ni 계 합금 은 , 내열성 , 저 저항성 이 뛰어난 것 으로서 알려져 있 다 ( 특허 문헌 1 ∼ 3 참조 ) .