본원 에 개시 된 증착 방법 은 하나 이상 의 퍼지 가스 를 포함 할 수 있 다 . 소비 되 지 않 은 반응물 및 / 또는 반응 부산물 을 퍼 징 시키 기 위해 사용 되 는 퍼지 가스 는 전구체 와 반응 하 지 않 는 불활성 가스 이 다 . 예 시 적 인 퍼지 가스 는 아르곤 ( Ar ) , 질소 ( N 2 ) , 헬륨 ( He ) , 네온 , 수소 ( H 2 ) , 및 이 들 의 혼합물 을 포함 하 지만 , 이 로 제한 되 지 않 는다 . 특정 구체 예 에서 , Ar 과 같 은 퍼지 가스 는 반응기 에 약 10 내지 약 2000 sccm 범위 의 유량 으로 약 0 . 1 내지 1000 초 동안 공급 되 어 , 반응기 에 잔류 할 수 있 는 미 반응 된 물질 및 임의 의 부산물 을 퍼 징시 킨다 .