또한 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 상면 에 대한 천 장면 ( 44 ) 의 높이 h 1 은 성막 시 의 진공 용기 ( 1 ) 내 의 압력 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 속도 , 공급 하 는 분리 가스 ( Ar 가스 ) 의 공급량 등 을 고려 하 여 , 분리 공간 H 의 압력 을 공간 ( 481 및 482 ) 의 압력 에 비해 높 게 하 는 데 적합 한 높이 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .