본 발명 은 기판 이송 장치 및 이 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에 관한 것 이 다 . 보다 상세 하 게 는 , 액정 디스플레이 장치 , 플라 즈 마 디스플레이 장치 , OLED ( Organic Light Emitting Diode ) 디스플레이 장치 등 과 같 은 평판 디스플레이 장치 의 제조 를 위한 평판 형 기판 을 이송 하 기 위한 장치 및 이 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에 관한 것 이 다 .