본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 200 ) 는 다수 의 제 1 회전축 들 ( 210 ) 에 회전력 을 제공 하 는 구동 부 ( 260 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이때 , 상기 제 1 회전축 들 ( 210 ) 과 제 1 이송 롤러 들 ( 220 ) 은 평판 형 기판 ( 10 ) 의 처리 를 위한 공정 챔버 ( 201 ) 내 에 배치 될 수 있 으며 , 상기 구동 부 ( 260 ) 는 공정 챔버 ( 201 ) 의 외측 에 배치 될 수 있 다 .