본 실시 형태 의 검사 장치 및 검사 방법 에서 는 , 조인트 양방향 필터 를 사용 하 여 , 제 1 검사 화상 의 제 1 윤곽 에 평행 인 방향 으로 제 1 사이즈 를 갖 고 , 제 1 윤곽 에 수직 인 방향 으로 제 1 사이즈 보다 작 은 제 2 사이즈 를 갖 는 국소 영역 을 사용 하 여 평활 화 를 행한다 . 조인트 양방향 필터 를 사용 함 으로써 , 패턴 의 윤곽 에 수직 인 방향 과 , 패턴 의 윤곽 에 평행 인 방향 에서 , 필터 강도 를 제어 하 는 것 이 가능 하 게 된다 . 이 에 의해 , 에지 의 패턴 을 필요 이상 으로 희미 하 게 하 지 않 고 , 충분 한 노이즈 저감 이 가능 하 게 되 고 , 검사 에 필요 한 전자 수 를 삭감 하 는 것 이 가능 하 게 되 므로 , 요구 되 는 검사 시간 ( 검사 속도 ) 의 실현 이 가능 하 게 된다 .