각각 의 카메라 들 ( 114 ) 은 기판 ( W ) 의 전단 가장자리 영역 일부 를 촬영 하 도록 배치 된다 . 즉 , 공정 시 각각 의 카메라 들 ( 114 ) 이 촬영 하 는 촬영 영역 ( 114 a ) 은 기판 ( W ) 이 촬영 위치 에 위치 하 였을 때 , 촬영 영역 ( 114 a ) 에 기판 ( W ) 의 전단 가장자리 가 걸쳐서 위치 되 도록 한다 . 따라서 , 기판 ( W ) 이 정상 적 으로 기준 위치 ( 114 c ) 에 위치 하 였을 때 에 는 촬영 영역 ( 114 a ) 에 는 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 일부 만 이 촬영 된다 . 이 는 기판 ( W ) 의 가장자리 라인 을 기준 으로 하 여 기판 ( W ) 이 기 설정 된 기준 위치 ( 114 c ) 로부터 기판 ( W ) 이 어느 정도 의 좌표 값 을 벗어나 는지 를 판단 하 기 위함 이 다 . 만약 , 카메라 들 ( 114 ) 의 촬영 영역 ( 114 a ) 에 기판 ( W ) 의 가장자리 일부 만 이 아닌 기판 ( W ) 처리 면 이 전부 촬영 되 거나 기판 ( W ) 의 처리 면 이 전혀 촬영 되 지 않 으면 , 기판 ( W ) 의 정렬 상태 가 보정 을 수행 할 수 있 는 정도 를 벗어난 것 으로 인지 하 여 제어기 ( 110 ) 는 로봇 암 ( 42 ) 의 기판 ( W ) 이송 을 중지 시키 고 , 작업자 가 이 를 인지 할 수 있 도록 표시 한다 .