도 1 은 , 본 실시 의 형태 에 있 어서 의 코터 디벨로 퍼 시스템 ( 1 ) ( 기판 처리 시스템 ) 의 구성 을 개략 적 으로 나타내 는 평면도 이 다 . 코터 디벨로 퍼 시스템 ( 1 ) 은 , 제 어부 ( 60 ) 와 , 그 에 따라 제어 되 는 복수 의 장치 를 갖 고 있 다 . 이 들 장치 는 , 인 덱 서 장치 ( 11 ) , 세정 장치 ( 12 ) , 탈 수 베 이크 장치 ( 13 ) , 레지스 트 도포 장치 ( 14 ) , 프리 베 이크 장치 ( 15 ) , 패 터닝 노광 장치 ( 16 A ) , 현상 장치 ( 17 ) , 추가 노광 장치 ( 16 B ) 및 포스트 베 이크 장치 ( 18 ) 를 포함 한다 .