이러 한 프리 코팅 막 을 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 의 선택 성장 에서 의 처리 수순 , 처리 조건 은 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 부재 의 표면 에 이 들 막 을 프리 코팅 하 는 것 , 및 스텝 B 를 불 실시 로 하 는 것 이외 는 , 상술 한 양태 의 처리 수순 , 처리 조건 과 마찬가지 로 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 프리 코팅 막 을 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 에 있 어서 도 , 베 어 웨이퍼 를 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 와 마찬가지 의 효과 가 얻 어 진다 . 또한 , 이 경우 의 프리 코팅 막 을 , 의사 촉매 막 이나 의사 촉매 프리 코팅 막이 라고 칭할 수 도 있 다 .