각각 의 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 는 , 도 3 내지 도 5 에 자세히 도시 된 바 와 같이 , 판 형상 의 플레이트 본체 ( 62 ) 와 , 플레이트 본체 ( 62 ) 의 연부 를 따라 배치 되 어 플레이트 본체 ( 62 ) 와 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 간 을 이격 시키 는 복수 개 의 이격 부재 ( 63 ) 와 , 복수 개 의 이격 부재 ( 63 ) 의 단부 에서 이격 부재 ( 63 ) 의 길 이 방향 에 가로 로 마련 되 며 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 와 상판 부 ( 13 ) 간 을 결합 시키 는 스크루 ( 68 , Screw ) 가 체결 되 기 위한 제 1 통공 ( 67 ) 이 형성 되 어 있 는 브래킷 부재 ( 65 ) 를 구비 한다 .