하우징 의 내부 에 진공 상태 가 형성 되 도록 하 는 펌핑 라인 을 히팅 시키 는 로드 락 챔버 및 이 를 구비 하 는 기판 처리 시스템 을 제공 한다 . 상기 로드 락 챔버 는 , 하우징 ; 하우징 의 내부 에 설치 되 며 , 기판 이 대기 하 는 공간 을 제공 하 는 버퍼 스테이지 ; 하우징 의 하부 에 설치 되 며 , 하우징 의 내부 를 진공 상태 로 형성 하 는 펌핑 부재 ; 및 하우징 의 하부 에 설치 되 며 , 하우징 의 내부 를 대기압 상태 로 형성 하 는 벤트 부재 를 포함 하 며 , 펌핑 부재 는 , 진공 펌프 ; 진공 펌프 와 하우징 을 연결 하 는 펌핑 라인 ; 및 펌핑 라인 의 표면 에 설치 되 며 , 펌핑 라인 을 히팅 시키 는 히팅 부재 를 포함 한다 .