잉여 부 ( Tm ) 에 의해 점착 테이프 ( DT ) 의 장력 을 저감 하 는 효과 에 대해 , 도 32 의 ( c ) 및 도 32 의 ( d ) 를 사용 하 여 설명 한다 . 도 32 의 ( c ) 및 도 32 의 ( d ) 는 , 도 32 의 ( b ) 에 있 어서 의 좌측 단부 의 확대도 이 다 . 도 32 의 ( c ) 는 , 점착 테이프 ( DT ) 가 맞닿 아 있 는 프레스 테이블 ( 63 ) 을 웨이퍼 ( W ) 에 근접 시키 고 있 는 상태 를 도시 하 는 도면 이 고 , 도 32 의 ( d ) 는 점착 테이프 ( DT ) 가 프레스 테이블 ( 63 ) 로부터 이격 되 어 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 되 는 상태 를 도시 하 는 도면 이 다 .