이어서 , 희생 막 ( 105 ) 과 식각 정지 막 ( 104 ) 을 차례 로 식각 하 여 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 103 ) 를 오픈 시키 는 오픈 영역 ( 106 ) 을 형성 한다 . 이때 , 오픈 영역 ( 106 ) 형성 을 위해 먼저 식각 정지 막 ( 104 ) 에서 식각 이 멈출 때 까지 희생 막 ( 105 ) 을 식각 하 고 , 이후 식각 정지 막 ( 104 ) 을 식각 한다 .