그 후 , 도 4 f 에 도시 된 바 와 같이 , 프로브 의 몸 체부 ( 113 ) 와 제 5 포토레지스트 층 ( 112 ) 상부 에 감광액 을 도포 하 고 몸 체부 ( 113 ) 의 일정 영역 이 노출 되 도록 패 터닝 하 여 제 6 포토레지스트 층 ( 115 ) 을 형성 한다 . 이렇게 패 터닝 된 영역 은 추후 금속 도금 공정 에서 프로브 팁 부 의 기단 부 에 대한 금형 이 된다 .