이후 , 식각 공정 을 수행 하 여 상기 몰드 막 ( 110 ) 을 부분 적 으로 식각 하 여 , 상기 콘 택 플러그 ( 106 ) 를 노출 시키 는 개구부 ( 112 ) 를 형성 한다 . 여기 서 , 상기 개구부 ( 112 ) 는 입구 보다 저부 가 좁 도록 소정 의 측벽 기울기 를 가지 면서 형성 될 수 있 다 . 이 는 , 상기 식각 공정 을 수행 할 때 , 로딩 효과 에 의해 상기 개구부 ( 112 ) 의 입구 에 비해 저부 의 식각 율 ( etch rate ) 이 감소 되 기 때문 이 다 .