전술 한 바 와 같이 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 는 정 전척 ( 101 ) 의 베이스 바디 ( 102 ) 의 복수 돌기 부 ( 102 c ) 와 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 의 상부 면 에 흡착 상태 로 기판 ( 107 ) 을 고정 한다 . 또한 , 베이스 바디 ( 102 ) 와 기판 ( 107 ) 사이 의 열전도도 를 향상 시키 기 위해 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 베이스 바디 ( 102 ) 의 상부 면 ( 102 a ) 의 외측 모서리 부분 에 설치 된 , 평면도 에서 의 환상 ( 環狀 ) 돌기 부 분 인 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 은 가스 충 진부 ( 109 ) 에 충 진 된 불활성 가스 가 가스 충 진부 ( 109 ) 의 외부 로 누설 되 는 것 을 방지 한다 . 또한 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 베이스 플레이트 ( 106 ) 에 내장 된 히터 ( 미 도시 ) 또는 수로 ( 104 ) 는 기판 ( 107 ) 의 온도 를 조절 한다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 참조 ) .