단계 319 에서 는 , 도 4 의 ( 9 ) 에 도시 된 것 처럼 , 벌크 에칭 ( bulk etching ) 을 수행 함 으로써 , 마이크 로 기둥 주형 부 를 형성 하 기 위한 초기 홈 을 확대 시키 고 , 몰드 베이스 ( 40 ) 를 상면 으로부터 함몰 시켜 노즐 부 주형 부 를 형성 할 수 있 다 . 벌크 에칭 으로 는 , 예 를 들 어 , 이방성 에칭 ( anisotropic etching ) 방식 을 이용 할 수 있 다 . 단계 318 을 통하 여 형성 된 몰드 에 이방성 에칭 을 수행 할 경우 , 마이크 로 기둥 주형 부 가 형성 될 부분 및 노즐 부 주형 부 가 형성 될 부분 은 그 초기 형상 의 차이 로 인하 여 , 도 4 의 ( 9 ) 에 도시 된 것 처럼 서로 다른 형태 의 모양 을 가질 수 있 다 .