희생 막 ( 114 ) 이 제 1 패턴 들 ( 104 ) 사이 를 채우 면서 제 1 패턴 들 ( 104 ) 을 커버 함 으로써 , 상기 식각 공정 을 수행 하 는 동안 제 1 트렌치 ( 110 ) 는 실질 적 으로 식각 되 지 않 는다 . 또한 , 희생 막 ( 114 ) 은 제 2 패턴 들 ( 106 ) 사이 를 완전 해 채우 지 않 으며 , 제 2 패턴 들 ( 106 ) 의 상부 및 측벽 상 에 부분 적 으로 형성 된다 . 전술 한 바 와 같이 예비 제 2 트렌치 ( 112 ) 는 상부 의 폭 이 하부 의 폭 보다 넓 기 때문 에 희생 막 ( 114 ) 이 제 2 패턴 들 ( 106 ) 의 상부 및 측벽 에 부분 적 으로 형성 되 더라도 , 이러 한 부분 의 희생 막 ( 114 ) 의 두께 가 예비 제 2 트렌치 ( 112 ) 의 상부 및 하부 폭 차이 보다 작 아 상기 식각 공정 을 수행 하 는 동안 제 2 트렌치 ( 116 ) 측벽 에 단차 가 생성 되 지 않 는다 .