상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 헤이즈 검출 장치 는 고출력 빔 을 방출 하 는 레이저 와 , 상기 빔 의 모양 을 결정 하 는 빔 형성 텔 레스코프 와 , 상기 빔 의 강도 를 균일 한 에너지 분포 로 형성 하 는 균질기 와 , 포토 마스크 표면 에 도달 할 빔 의 초점 을 맞추 고 빔 의 크기 를 결정짓 는 초점 광학계 와 , 상기 포토 마스크 에 도달 하 는 빔 의 에너지 의 세기 를 빔 스프리 터 를 이용 하 여 실시간 으로 측정 하 는 에너지 검출기 와 , 헤이즈 생성 유무 를 실시간 으로 검출 하 는 광 위상 간섭계 로 작동 하 는 헤이즈 검출기 , 및 상기 포토 마스크 표면 의 변화 및 헤이즈 생성 위치 제어 를 위한 현미경 을 포함 하 여 구성 됨 을 특징 으로 한다 .