[ 0064 ] 몇몇 구현 들 에서 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 진공 챔버 의 바닥 부 벽 및 / 또는 정상부 벽 에 배열 될 수 있 다 . 홀딩 어 레인지 먼 트 는 , 마스크 캐리어 와 기판 캐리어 또는 각각 의 트랙 부분 들 사이 의 갭 내 에 적어도 부분 적 으로 제공 된다 . 예 로서 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 , 바닥 부 벽 으로부터 , 제 1 부분 , 예컨대 , 제 1 트랙 ( 112 ) 과 추가 적 인 제 1 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 1 트랙 ( 132 ) 사이 의 포지션 으로 연장 될 수 있 다 . 유사 하 게 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 , 정상부 벽 으로부터 , 제 2 부분 , 예컨대 , 제 2 트랙 ( 114 ) 과 추가 적 인 제 2 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 2 트랙 ( 134 ) 사이 의 포지션 으로 연장 될 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 , 본 개시 내용 의 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 제 1 트랙 과 제 2 트랙 , 예컨대 , 마스크 트랙 과 캐리어 트랙 사이 의 갭 에 제공 되 는 홀딩 어 레인 지먼 트 는 장치 ( 300 ) 에 제공 될 수 있 으며 , 마스크 캐리어 는 기판 캐리어 보다 더 크 거나 , 또는 역 으로 기판 캐리어 는 마스크 캐리어 보다 더 크 다 . 기판 캐리어 보다 더 큰 마스크 캐리어 를 갖 는 것 은 , 챔버 컴포넌트 들 , 예컨대 , 챔버 벽 의 일 부분 이 재료 로 코팅 되 는 위험 을 감소 시킨다 . 예컨대 , 제 1 트랙 ( 112 ) 과 추가 적 인 제 1 트랙 사이 에 오프셋 ( offset ) 이 존재 할 수 있 다 . 부가 적 으로 또는 대안 적 으로 , 제 2 트랙 ( 114 ) 과 추가 적 인 제 2 트랙 ( 134 ) 사이 에 오프셋 이 존재 할 수 있 다 .