상기 워드 라인 들 ( WLn ) 은 활성 영역 ( 12 ) 상 에 형성 된 터널 절 연막 ( Tox ) 및 상기 터널 절 연막 ( Tox ) 상 에 형성 된 부유 게이트 ( FG ) , 그리고 상기 부유 게이트 ( FG ) 상 에 형성 되 어 상기 활성 영역 들 을 가로지르 는 제어 게이트 전극 ( CG ) 를 포함 한다 . 상기 부유 게이트 ( FG ) 및 상기 제어 게이트 전극 ( CG ) 사이 에 게이트 간 유전 막 ( Gd ) 가 개재 되 어 있 다 .