도 19 는 게이트 트렌치 ( 예컨대 도 9 의 69 A , 69 B , 69 C 참조 ) 내 에 그리고 제 1 ILD ( 90 ) 의 상부 면 위 에 배치 된 금속 게이트 ( 97 A ) 의 다양 한 층 ( 예컨대 , 82 , 84 , 85 , 87 , 및 93 ) 을 도시 한다 . 전기 전도성 재료 ( 93 ) 가 도 19 의 게이트 트렌치 의 잔류 부분 을 충전 한다 . 일부 실시 형태 에서 , 게이트 트렌치 가 매우 좁 은 경우 , 게이트 트렌치 는 글루 층 ( 87 ) 이 형성 된 후 에 완전히 충전 되 고 , 이 에 , 글루 층 ( 87 ) 의 상부 면 위 에 전기 전도성 재료 ( 93 ) 가 형성 된다 . 다시 말 해 , 게이트 트렌치 가 매우 좁 은 일부 실시 형태 에서 는 , 도 19 에서 점선 ( 87 A ) ( 글루 층 ( 87 ) 의 상부 면 을 따름 ) 아래 에 도시 되 는 전기 전도성 재료 ( 93 ) 의 부분 이 형성 되 지 않 고 , 대신 에 글루 층 ( 87 ) 이 게이트 트렌치 의 중심 부분 을 충전 한다 . 좁 은 게이트 트렌치 로 인한 금속 게이트 의 유사 한 변형 이 다른 금속 게이트 ( 예컨대 , 97 B , 97 C ) 의 경우 에 도 가능 하 며 , 이 에 대한 상세 설명 이 이하 에서 반복 되 지 않 는다 .