본 발명 의 세정 제형 물 을 이용 하 는 식각 율 은 Mitsubishi Loresta AP Super - Intelligent Resistivity Meter Model MCP T 400 을 이용 하 여 결정 된다 . 특정 실시 예 로서 , 표 1 에서 6 번 으로 지정 된 세정 제형 물 1000 그램 을 상기 설명 된 바 와 같이 제조 하 였 다 . 블랭킷 웨이퍼 세그먼트 ( 크기 = 1 . 5 x 1 . 5 인치 ) 의 두께 를 초기 에 결정 하 고 , 이어서 웨이퍼 세그먼트 를 약 400 ㎖ 의 제 형물 에 담지 시키 고 , 자석 교반기 에서 400 rpm 으로 규정 된 온도 에서 10 분 동안 교반 하 였 다 . 상기 웨이퍼 세그먼트 를 이어서 물 로 세정 하 고 , 건조 하 고 , 다시 두께 를 측정 하 였 다 . 정확 성 을 위해 , 세 개 의 별개 의 샘플 로 시험 하 였 고 , 그 결과 를 평균 화 하 였 다 . 이어서 식각 율 을 두께 에서 의 평균 변화 를 10 으로 나누 어서 결정 하 였 다 .