노즐 부 ( 212 ) 는 , 증발 또는 승화 된 증착 재료 를 기판 ( 40 ) 을 향해 방출 하 기 위한 역할 을 담당 하 고 있 다 . 이 노즐 부 ( 212 ) 의 선단 에 는 , 증착 재료 를 방출 하 는 방 출구 ( 212 a ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 노즐 부 ( 212 ) 는 , 상기 한 바 와 같이 , 원통 부 ( 211 ) 의 하단 에서부터 상방 을 향해 직경 이 작아지 도록 연장 되 는 테이퍼 형상 의 부분 으로 구성 되 어 있 고 , 방 출구 ( 212 a ) 를 향해 증착 재료 를 안내 하 는 안내 벽 으로서 의 기능 을 발휘 한다 . 이 노즐 부 ( 212 ) 의 외주 면 측 에 , 상기 한 바 와 같이 , 용기 본체 ( 100 ) 의 내 주면 을 따라 설치 되 는 수열 용 의 통 형 상부 로서 의 원통 부 ( 211 ) 가 설치 된다 . 한편 , 도시 된 예 에서 는 , 노즐 부 ( 212 ) 가 테이퍼 형상 의 부분 만 으로 구성 되 는 경우 를 나타내 고 있 지만 , 본 발명 은 그러 한 형상 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 예 를 들 면 , 도 7 에 나타내 는 변형 예 에 관한 노즐 부재 ( 210 X ) 와 같이 , 테이퍼 형상 의 부분 의 선단 에 원통 형상 의 부분 ( 221 X ) 을 더 설치 하 여도 된다 . 한편 , 노즐 부재 ( 210 X ) 는 , 상술 한 노즐 부재 ( 210 ) 의 구성 에 대해 , 원통 형상 부분 ( 212 X ) 이 더 설치 되 어 있 는 점 만 다르 다 . 도 7 에 있 어서 는 , 노즐 부재 ( 210 ) 와 동일 한 구성 부분 에 대해서 는 , 동일 한 부호 를 붙여 , 그 설명 은 생략 한다 .