여기 서 , 상기 고정부 ( 400 ) 는 상기 광원 ( 200 ) 을 고정 할 수 있 는 프레임 이 고 , 그 회전 중심 이 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 의 중심축 ( C ) 과 동일 선상 에 배치 되 므로 , 상기 고정부 ( 400 ) 가 회전 됨 으로써 , 상기 광원 ( 200 ) 이 회전 될 수 있 다 . 특히 , 마스크 스테이지 ( 150 ) 는 상기 제 1 회전축 ( 513 ) 에 연결 되 고 , 제 1 회전축 ( 513 ) 이 회전 되 지 않 음 으로써 원 위치 에서 대기 된 상태 이 다 .