다음 에 , 패턴 컬 랩스 ( pattern collapse ) 및 패턴 브리지 ( pattern bridge ) 가 발생 하 는 노광 조건 을 확인 하 기 위한 테스트 마스크 를 제작 한 후 이 에 대한 패턴 컬 랩스 가 발생 하 는 노광 조건 ( Ec ) 및 패턴 브리지 가 발생 하 는 노광 조건 ( Eb ) 을 측정 한다 ( 단계 406 ) . 여기 에서 , 노광 조건 은 , 에너지 ( E ) 로 표시 할 수 있 고 , 그 단위 는 mJ / s , s 등 으로 나타낼 수 있 으며 , 도우즈 량 등 을 포함 할 수 있 다 .