마이크 로 렌즈 ( 50 ) 의 표면 이 곡면 을 갖 도록 하 기 위해 열에너지 를 상기 반도체 기판 ( 10 ) 에 가할 때 , 상기 마이크 로 렌즈 ( 50 ) 에 유동 성 이 생기 게 되 는데 , 이 때 마이크 로 렌즈 ( 50 ) 가 인접 한 마이크 로 렌즈 ( 50 ) 와 붙 기 때문 에 , 불 균일 한 마이크 로 렌즈 ( 50 ) 가 형성 된다 .