본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 예시 적 인 선택 적 증착 장치 ( 11 ) 는 플 라즈 마 생성기 ( 146 ) 를 선택 적 으로 추가 포함 할 수 있 다 . 플 라즈 마 생성기 ( 146 ) 는 산소 기상 전구체 로부터 플라 즈 마를 발생 시키 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 음 으로써 , 반응 챔버 ( 12 ) 에 산소 원자 , 산소 이온 , 산소 라디칼 , 및 산소 여기 종 중 하나 이상 을 제공 하 고 , 이 에 의해 플 라즈 마 생성기 ( 146 ) 에 의해 생성 된 산소계 플라 즈 마는 기판 ( 15 ) 위 에 배치 된 층 ( 106 ) 과 반응 할 수 있 다 .