실험 예 8 에서 얻 어 진 PMMA 도메인 - PAMS 도메인 - PS 도메인 - PAMS 도메인 을 반복 단위 로 구비 하 는 라멜라 형태 의 자기 조립 구조 가 형성 된 블록 공중 합체 층 을 구비 하 는 웨이퍼 상 에 제 1 영역 을 개구 하 고 제 2 영역 을 차폐 시키 는 제 1 광학 마스크 를 배치 한다 . 그 후 , 상기 제 1 광학 마스크 를 마스크 로 하 여 UV ( Hg - Arc lamp , 1 kW ) 를 5 분 간 조사 한다 . UV 조사 는 진공 챔버 내 에서 수행 하 였 다 . 그 결과 , 상기 제 1 광학 마스크 에 의해 개구 된 제 1 영역 내 의 PAMS 도메인 에 선택 적 으로 광분해 반 응 이 일어났 다 . 광분해 반응 이 일어난 웨이퍼 를 10 wt % 의 아세트산 수용액 으로 세척 하 여 , 광분해 된 PAMS 도메인 을 제거 하 였 다 . 상기 PAMS 도메인 이 제거 된 웨이퍼 를 증류수 를 이용 하 여 세척 하 여 산 을 제거 하 였 다 . 세척 된 웨이퍼 를 100 ℃ 에서 60 초 가열 하 여 건조 시켰 다 .