본 실시 예 에서 는 검출 부재 ( 110 ) 의 카메라 들 ( 114 ) 이 기판 ( W ) 의 전단 가장자리 영역 들 을 촬영 하 는 것 을 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 카메라 들 ( 114 ) 이 촬영 하 는 기판 ( W ) 의 영역 및 카메라 들 ( 114 ) 의 배치 등 은 다양 하 게 변경 될 수 있 다 . 예컨대 , 카메라 들 ( 114 ) 은 기판 ( W ) 의 전단 부분 만 이 아닌 기판 ( W ) 의 가장자리 를 모두 촬영 하 도록 환형 으로 배치 될 수 있 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 의 모든 가장자리 영역 을 촬영 함 으로써 기판 ( W ) 의 정렬 상태 를 정밀 하 게 판단 할 수 있 다 . 그러나 , 이 경우 에 는 카메라 들 ( 114 ) 의 개수 가 증가 하 여 제작 비용 이 증가 한다 .