[ 0040 ] 헤드 는 또한 일부 실시 예 들 에서 임의 의 이 들 기간 들 동안 수직 으로 병진 이동 될 수 있 고 , 제 1 유체 의 전달 동안 조정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 유체 는 헤드 가 회전 하 는 동안 기판 의 중심 을 향해 또는 기판 의 중심 으로 전달 되 어 , 기판 을 가로질러 유체 를 반경 방향 외측 으로 흡인 할 수 있 다 . 이러 한 전달 동안 , 헤드 는 제 2 포지션 을 향해 상승 되 거나 이동 되 지만 , 여전히 위어 에 의해 한정 되 는 평면 아래 에 유지 될 수 있 으며 , 이 는 기판 의 표면 을 따라 유체 를 더욱 가압 하 거나 보낼 수 있 게 한다 . 추가 의 장점 들 이 또한 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 추가 의 제 1 유체 가 도금 욕 내 에 수용 가능 할 수 있 는 곳 과 같 은 , 일부 실시 예 들 에서 제 1 유체 로 헹궈 질 수 있 는 틈새 ( crevice ) 에 의해 특징지 어 질 수 있 는 , 기판 이 시일 과 만나 는 기판 의 반경 방향 외부 에지 에서 의 포지션 에 충돌 할 수 있 고 , 제 1 유체 가 기판 을 따른 반경 방향 외측 경로 를 따라 충돌 할 수 있 도록 , 헤드 는 이러 한 전달 동안 상승 되 거나 이동 될 수 있 다 . 추가 적 으로 , 헤드 가 이동 함 에 따라 , 기판 으로부터 슬링 된 제 1 유체 는 챔버 의 용기 부분 의 측벽 들 을 따라 상향 으로 연장 되 지만 , 여전히 위어 에 의해 한정 되 는 평면 아래 에 남 아 있 을 수 있 으며 , 위어 의 내부 표면 들 및 노즐 들 을 헹굴 수 있 다 . 이것 은 이 들 표면 들 상 에서 건조 하 는 욕 유체 를 제한 할 수 있 으며 , 이 욕 유체 는 챔버 의 표면 들 상 에서 결정 화 되 어 퇴적물 들 을 형성 할 수 있 다 .