조사 유닛 ( 6 ) 은 , 기판 ( 2 ) 상 의 임프 린트 재 를 경화 시키 는 단계 에서 , 임프 린트 재 를 경화 시키 는 광 ( 자외선 ) 을 기판 ( 2 ) 에 조사 한다 . 본 실시 형태 에서 는 , 조사 유닛 ( 6 ) 으로부터 사출 된 광이 , 빔 스플리터 ( 12 ) ( 밴드 필터 ) 에 의해 반사 되 고 , 릴레이 광학계 ( 13 ) 및 몰드 ( 1 ) 를 통해서 기판 ( 2 ) 에 조사 된다 .