여기 서 , 상기 검사 속도 ( Vinsp ) 는 상기 검사 모듈 ( 100 ) 이 상기 검사 대상물 ( T ) 에 형성 된 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 을 검사 하 는 데 소요 되 는 시간 동안 , 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 이 지속 적 으로 이송 되 는 상태 에서 상기 검사 영역 ( A ) 내 에 머무르 기 위한 이동 속도 를 의미 한다 .