상기 에서 는 , 도 2 등 에 도시 된 바 와 같이 , 인 젝 터 ( 110 ) 의 구조 가 원형 의 통상 인 경우 에 대해서 설명 했 지만 , 인 젝 터 ( 110 ) 는 , 도 11 및 도 12 에 도시 된 바 와 같이 , 타원 의 통상 인 것 이 어도 된다 . 예 를 들 어 , 인 젝 터 ( 110 ) 의 타원 의 긴 직경 ( Ra ) 은 30 mm 이 며 , 짧 은 직경 ( Rb ) 은 20 mm 이 다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 근방 에서 가스 를 공급 하 기 위해서 웨이퍼 ( W ) 와 인 젝 터 ( 110 ) 의 가스 구멍 ( 111 ) 을 접근 시킨 경우 에 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 를 회전 시키 면 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 의 지주 와 인 젝 터 ( 110 ) 가 충돌 하 는 경우 가 있 다 . 이 때문 에 , 도 11 및 도 12 에 도시 한 바 와 같 은 타원 의 인 젝 터 ( 110 ) 를 사용 하 는 경우 에 는 , 인 젝 터 ( 110 ) 를 회전 시킴 으로써 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 의 지주 와 인 젝 터 ( 110 ) 가 충돌 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .