제 1 제조 클러스터 ( 1204 ) 는 웨이퍼 상 에서 제조 프로세스 를 수행 하 도록 구성 된다 . 제 2 제조 클러스터 ( 1214 ) 도 또한 웨이퍼 상 에서 제조 프로세스 를 수행 하 도록 구성 된다 . 예 를 들 면 , 제 1 제조 클러스터 ( 1204 ) 및 제 2 제조 클러스터 ( 1214 ) 는 포토 리소그래피 , 에칭 , 열처리 , 금속화 , 주입 , 화학 증착 , 화학 기계 연마 , 등 을 수행 하 도록 구성 될 수 있 다 .