트렌치 측벽 의 경사 는 임의 의 각도 를 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이 각 은 약 0 내지 약 90 도 , 약 45 도 내지 약 90 도 , 약 60 도 내지 약 90 도 , 75 도 내지 약 90 도 , 약 80 도 내지 약 90 도 일 수 있 다 . 트렌치 는 기판 구조 의 수평 표면 에 대해 대략 수직 또는 약 90 도 ( 예 를 들 어 , 80 도 내지 90 도 , 85 도 내지 90 도 , 또는 88 도 내지 90 도 ) 인 똑바른 측벽 을 가질 수 있 다 . 특정 실행 예 에서 , 상기 각도 는 90 도 초과 일 수 있 다 . 추가 로 , 측벽 은 완전히 매끄럽 거나 똑 바를 수 있 거나 , 그렇 지 않 을 수 있 다 .