이후 , 9 e 에서 보 는 바 와 같이 , 상기 반도체 소자 ( PKG ) 는 그 상면 이 상기 진공 패드 ( 180 ) 의 하면 에 수평 상태 를 유지 하 면서 밀착 되 는 것 이 다 . 이 는 , 상기 레벨 서포트 ( 190 ) 가 1 차 적 으로 흡입 한 상태 에서 상기 레벨 서포트 ( 190 ) 가 상승 되 면서 상기 진공 패드 ( 180 ) 가 상기 반도체 소자 ( PKG ) 를 2 차 적 으로 흡입 하 게 되 기 때문 이 다 .