하지만 , 본 발명 의 권리 범위 가 이 에 제한 되 는 것 은 아니 므로 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 , 30 , 40 ) 은 2 개 가 마련 되 어도 좋 고 , 혹은 6 개 이상 마련 되 어도 좋 다 . 뿐 만 아니 라 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 , 30 , 40 ) 은 1 개 가 구비 되 어도 좋 다 . 이 처럼 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 , 30 , 40 ) 이 1 개 마련 될 경우 , 기판 ( G ) 은 그 양면 중 에서 어느 일면 만 이 세정 될 수 있 을 것 이 다 .