상기 버퍼 층 ( 213 ) 은 상기 기판 ( 211 ) 과 질화물 계열 의 반도체 층 과 의 격자 상수 의 차이 를 완화 시켜 주 기 위해 형성 될 수 있 으며 , 결함 제어 층 으로 정의 될 수 있 다 . 상기 버퍼 층 ( 213 ) 은 상기 기판 ( 211 ) 과 질화물 계열 의 반도체 층 사이 의 격자 상수 사이 의 값 을 가질 수 있 다 . 상기 버퍼 층 ( 213 ) 은 ZnO 층 과 같 은 산화물 로 형성 될 수 있 으며 , 이 에 대해 한정 하 지 는 않 는다 . 상기 버퍼 층 ( 213 ) 은 30 ~ 500 nm 범위 로 형성 될 수 있 으며 , 이 에 대해 한정 하 지 는 않 는다 .