그 결과 는 전기 적 상호 접속 및 / 또는 전압 기준 평면 을 제공 하 는 다결정 규소 의 제 1 층 , 및 간단 한 외팔보 빔 으로부터 복잡 한 전자 기계 시스템 에 이르 는 범위 의 기능 적 요소 를 형성 하 기 위하 여 사용 될 수 있 는 기계 적 다결정 규소 의 추가 층 으로 일반 적 으로 이루어진 구성 시스템 이 다 . 전체 구조 는 기판 에 대해 평면 내 위치 된다 . 본 명세서 에 사용 되 는 바 와 같이 , " 용어 "" 평면 내 "" 는 기판 의 표면 에 대체로 평행 한 구성 을 말 하 며 "," 용어 "" 평면 외 ""( out - of - plane ) 는 기판 의 표면 에 대하 여 0 도 초과 내지 약 90 도 인 구성 을 말 한다 . "