도 27 을 참조 하 면 , 제 2 절연 층 ( 122 ) 상 에 및 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 의 내벽 상 에 배치 되 는 게이트 절연 층 ( 132 ) 과 예비 게이트 전극 층 ( 130 P ) 부분 을 제거 할 수 있 고 , 이 에 따라 복수 의 게이트 공간 ( 130 GS ) 내 에 게이트 절연 층 ( 132 ) 과 게이트 전극 ( 130 ) 이 형성 될 수 있 다 .