그리고 , 후술 하 는 좌표 데이터 와 접촉 부들 각각 의 위치 를 비교 할 때 접촉 부들 을 갖 는 전기 검사 장치 를 지지 고정 시키 지 않 을 경우 에 는 좌표 데이터 와 접촉 부들 각각 의 위치 비교 를 용이 하 게 수행 할 수 없 기 때문 에 바람직 하 지 않 다 . 그러므로 , 접촉 부들 을 갖 는 전기 검사 장치 를 지지 고정 할 수 있 는 부재 등 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 에 , 본 발명 에서 는 언급 한 접촉 부들 을 갖 는 전기 검사 장치 를 스테이지 ( stage ) 상 에 위치 시킨다 . 여기 서 , 전기 검사 장치 가 위치 하 는 스테이지 는 X 축 , Y 축 그리고 Z 축 으로 이동 이 가능 한 것 이 바람직 하 다 . 이 는 , 좌표 데이터 와 접촉 부들 각각 의 위치 를 비교 할 때 전기 검사 장치 를 계속 적 으로 이동 시키 기 위함 이 다 . 즉 , 접촉 부 들 이 형성 된 위치 를 계속 적 으로 변경 시키 기 위함 이 다 . 다시 말 해 , 언급 한 좌표 데이터 와 접촉 부들 각각 의 위치 에 대한 비교 가 특정 영역 의 접촉 부들 을 대상 으로 하 는 것 이 아니 라 전기 검사 장치 전 영역 의 접촉 부들 을 대상 으로 하 기 때문 에 X 축 , Y 축 그리고 Z 축 으로 이동 이 가능 한 스테이지 를 사용 하 는 것 이 다 . 아울러 , 스테이지 의 X 축 , Y 축 그리고 Z 축 으로 이동은 스테이지 와 연결 되 는 콘트 롤러 ( controller ) , 조이스틱 ( joystick ) 등 을 사용 함 에 의해 달성 할 수 있 다 . 즉 , 본 발명 에서 는 스테이지 의 X 축 , Y 축 그리고 Z 축 으로 이동 을 자동 이동 방식 을 채택 하 는 것 이 다 .