그리고 , 상기 제 1 및 제 2 수직 전달 축 ( 400 ) ( 410 ) 은 , 상기 플랜 지부 ( 300 ) 의 통공 ( 310 ) 을 관통 하 여 수직 으로 평행 하 게 배치 되 며 , 상부 일부 는 진공 챔버 ( 200 ) 내 에 위치 되 고 , 하부 일부 는 상기 로봇 지지 통 ( 330 ) 내 에 위치 되 며 , 상하 일정 한 길이 를 가지 며 , 평행 하 게 배치 되 는 한 쌍 으로 이루어진다 .