도 6 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따라 S - D 평가 라이브러리 를 작성 하 기 위한 방법 의 예시 적 인 흐름 도 이 다 . 제 1 S - D 웨이퍼 세트 가 하나 이상 의 처리 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 처리 요소 에 의해 수납 될 수 있 고 , 하나 이상 의 S - D 처리 요소 는 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 에 연결 될 수 있 다 . 각 웨이퍼 는 그 와 연관 된 웨이퍼 데이터 를 가질 수 있 고 , 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , 웨이퍼 는 상이 한 서브시스템 에 의해 수납 될 수 도 있 다 . 하나 이상 의 웨이퍼 에 대해 웨이퍼 상태 데이터 가 확립 될 수 있 고 , 그 웨이퍼 상태 데이터 는 S - D 데이터 , 칩 종속 적 데이터 및 / 또는 다 이 종속 적 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 처리 시퀀스 가 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 고 , 그 S - D 처리 시퀀스 는 S - D 웨이퍼 상태 데이터 , 칩 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 , 및 / 또는 다 이 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 확립 될 수 있 다 .