검사 대 상체 파라미터 는 모델 신호 와 연관 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 표면 높이 의 특징 을 갖 는 파라미터 는 간섭계 신호 와 최상 의 매칭 모델 신호 를 연관 시킴 으로써 판정 될 수 있 다 . 이어서 , 이 상관 은 표면 높이 에 관련 된 주사 좌표 에서 의 피크 를 생성 한다 . 마찬가지 로 , 주파수 영역 에서 , 표면 높이 는 통상 적 인 FDA 분석 을 사용 해서 추출 될 수 있 다 . 복잡 한 표면 특성 의 경우 에 , 최상 의 매칭 모델 신호 를 모델링 하 는 경우 의 모델 파라미터 로서 사용 되 었 던 표면 막 의 두께 를 , 검사 대 상체 의 표면 막 의 판정 된 두께 로 할당 할 수 있 다 .