상기 챔버 ( 110 ) 의 내측 하측 에 상기 기판 안착 수단 ( 120 ) 이 마련 되 고 , 챔버 ( 110 ) 의 내측 상부 에 원료 공급 부 ( 170 ) 가 배치 되 고 , 상기 기판 안착 수단 ( 120 ) 과 원료 공급 부 ( 170 ) 사이 에 마스크 안착 수단 ( 120 ) 이 배치 되 는 것 이 효과 적 이 다 . 기판 안착 수단 ( 120 ) 의 상 측면 에 기판 ( 121 ) 이 안착 되 는 것 이 바람직 하 다 .