샷 공정 ( S 128 ) 으로서 , 묘화 기구 ( 150 ) 는 , k 회 째 ( k 는 자연수 ) 의 트랙 킹 제어 를 행하 면서 , 1 회 의 트랙 킹 제어 당 트랙 킹 제어 기간 중 에 각 빔 으로 , 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 로 둘러싸인 서로 상이 한 서브 조사 영역 ( 29 ) ( 직사각 형 영역 ) 내 에서 시프트 된 화소 를 각각 조사 한다 ( 2 샷 째 의 빔 조사 를 행한다 ) .