또한 , 텅스텐 의 산화물 은 WOX 로 나타내 어 진다 . X 는 2 이상 3 이하 의 범위 내이 고 , X 가 2 인 경우 ( WO 2 ) , X 가 2 . 5 인 경우 ( W 2 O 5 ) , X 가 2 . 75 인 경우 ( W 4 O 11 ) , X 가 3 인 경우 ( WO 3 ) 가 된다 . 텅스텐 의 산화물 을 형성 할 때 , X 의 값 에 특별히 제약 은 없 고 , 에칭 레이트 등 을 기초 로 X 의 값 을 정하 면 좋 다 .