그 다음 에 , 반도체 기판 ( 500 ) 과 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 을 서로 대향 시켜 , 산화 막 ( 512 ) 을 통해서 서로 밀착 시킨다 . 이 에 의해 , 반도체 기판 ( 500 ) 과 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 이 접합 된다 ( 도 18 의 ( e ) 참조 ) . 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 과 접합 하 는 반도체 기판 ( 500 ) 의 표면 에 산화 막 또는 질화 막 을 성막 할 수 있 다는 점 에 주목 한다 .