이미지 센서 ( 27 ) 는 예 를 들 어 CCD 이미지 센서 등 으로서 , 자신 의 촬상면에 결상 된 광 에 기초 하 여 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 을 생성 하 고 , 그 촬상 화상 ( IM 1 ) 을 제 어부 ( 50 ) 에 출력 한다 . 요컨대 , 이미지 센서 ( 27 ) 는 , 포토 마스크 ( 80 ) 로부터 소정 의 광학계 ( 대물 렌즈 ( 21 ) 및 결상 렌즈 ( 22 ) 등 ) 를 경유 한 광이 촬상 면 에서 결상 함 으로써 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 을 취득 한다 . 이미지 센서 ( 27 ) 는 예 를 들 어 모노크롬 의 이미지 센서 이 다 .