우선 , 일 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 에 대해 , 도 1 을 이용 하 여 설명 한다 . 도 1 은 , 일 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 10 ) 의 일례 를 나타내 는 단면 모식도 이 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 10 ) 는 , 일 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 을 실행 하 는 플 라즈 마 처리 장치 의 일례 이 다 .