상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 목적 은 , Y 축 방향 으로 이동 되 면서 이온 빔 의 선폭 변화 에 따른 이온 빔 의 도즈 량 을 모니터링 하 고 , 상기 Y 축 방향 으로 가변 되 는 상기 이온 빔 의 선폭 변화 에 따른 이온 주입 불량 을 방지 토록 하 여 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 페러 데이 시스템 및 그 를 이용 한 이온 주입 설비 를 제공 하 는 데 있 다 .