도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 처 리조 ( 40 ) 및 외조 ( 42 ) 는 처리 조용 싱크 ( 43 ) 내 에 배치 되 어 있 다 . 처리 조용 싱크 ( 43 ) 는 대략 직육면체 의 윤곽 을 가지 며 , 상방 개구 가 형성 되 어 있 다 . 또한 , 처리 조용 싱크 ( 43 ) 의 상방 개구 에 는 판 형상 부재 로 이루어지 는 한 쌍 의 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 가 설치 되 어 있 다 . 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 는 처리 조용 싱크 ( 43 ) 상 에서 , 즉 , 처 리조 ( 40 ) 의 상방 개구 ( 40 a ) 의 상방 에서 이동 가능 하 다 . 따라서 , 반송 장치 ( 30 ) 와 처 리조 ( 40 ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 기 위하 여 , 처 리조 ( 40 ) 내 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 해야 할 위치 또는 처 리조 ( 40 ) 내 에서 집 어 올려야 할 웨이퍼 ( W ) 가 수용 된 위치 의 상방 이 개방 되 도록 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 의 구성 에 대해서 는 후술 한다 .