림 형성 막 ( 52 ) 은 , 예 를 들 어 Cr 화합물 ( 산화물 , 질화물 , 탄화물 , 산화 질화물 , 또는 산화 질화 탄화물 ) 이 어도 되 고 , 또는 Si 의 상기 화합물 로 해도 된다 . 림 형성 막 ( 52 ) 은 , Mo , W , Ta , Ti , Zr 중 어느 금속 의 실리사이드 , 또는 해당 실리사이드 의 상기 화합물 이 어도 된다 . 림 형성 막 ( 52 ) 의 성막 방법 으로서 는 , 스퍼터링 법 등 공지 의 방법 을 적용 할 수 있 다 .