일 실시 형태 에서 , 시스템 은 또한 연결부 들 ( 237 , 235 , 및 241 ) 각각 을 통해 세정 재료 전달 제 어부 ( 209 ) , 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) , 및 회전 기구 ( 239 ) 와 각각 전기 소통 하 는 연산 시스템 ( 233 ) 을 포함 한다 . 세정 재료 전달 제 어부 ( 209 ) , 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) , 및 회전 기구 ( 239 ) 는 각각 연산 시스템 ( 223 ) 으로부터 제어 신호 를 수신 하 고 수신 된 제어 신호 에 따라 동작 을 명령 하 도록 구성 된 각각 의 데이터 획득 / 제 어 디바이스 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 연산 시스템 ( 223 ) 은 세정 재료 전달 제 어부 ( 209 ) , 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) , 및 회전 기구 ( 239 ) 각각 을 제어 하 기 위해 가상 의 제어 를 제공 하 도록 정의 된 그래픽 사용 자 인터페이스 ( GUI ) 를 실행 하 도록 동작 될 수 있 다 . 또한 , 연산 시스템 ( 233 ) 은 미리 규정 된 기판 세정 레시피 에 따라 세정 재료 전달 제 어부 ( 209 ) , 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) , 및 회전 기구 ( 239 ) 의 동작 을 명령 하 도록 프로그래밍 될 수 있 다 .