제 1 및 제 2 도핑 영역 들 ( 311 , 312 ) 사이 의 영역 에서 , 절연 물질 들 ( 112 ) , 필라 들 ( 113 ) , 그리고 기판 ( 111 ) 의 노출 된 표면 을 따라 절 연막 ( 116 ) 이 제공 된다 . 예 시 적 으로 , 제 2 방향 을 따라 마지막 절연 물질 ( 112 ) 의 제 2 방향 쪽 의 노출면 에 제공 되 는 절 연막 ( 116 ) 은 제거 될 수 있 다 .