먼저 201 단계 에서 콘트 롤러 ( 130 ) 는 드라이 크린 주기 가 되 었 는지 검사 하 여 드라이 크린 주기 가 되 었 으면 202 단계 로 진행 한다 . 상기 202 단계 에서 콘트 롤러 ( 130 ) 는 공정 완료 된 웨이퍼 가 정 전척 으로부터 반송 되 었 는지 검사 하 여 웨이퍼 가 정 전척 으로부터 반송 되 었 으면 203 단계 로 진행 한다 . 상기 203 단계 에서 콘트 롤러 ( 130 ) 는 정전 척 구동 부 ( 125 ) 를 구동 시켜 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 를 상승 시키 고 204 단계 로 진행 한다 . 상기 204 단계 에서 크린 개스 를 상부 챔버 ( 110 ) 로 공급 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 여 크린 공정 을 진행 하 고 205 단계 로 진행 한다 . 상기 205 단계 에서 드라이 크린 공정 이 완료 되 었 는지 검사 하 여 드라이 크린 공정 이 완료 되 었 으면 206 단계 로 진행 한다 . 상기 206 단계 에서 캐소드 구동 부 ( 125 ) 를 구동 시켜 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 를 하강 시키 고 207 단계 로 진행 한다 . 상기 207 단계 에서 공정 을 진행 하 기 위해 아이 들 상태 로 진행 한다 .