또한 , 피드포워드 및 / 또는 피드백 워드 APC 시스템 및 연관 된 S - D 이송 서브시스템 은 사이트 에 따른 기술 과 함께 이용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , S - D 이송 서브시스템 은 특정 처리 요소 에 웨이퍼 를 이송 하 는 데 이용 될 수 있 고 , APC 조정 은 웨이퍼 의 특정 사이트 에 대해 이루어질 수 있 다 . 또한 , 제조 프로세스 및 이송 시퀀스 는 웨이퍼 의 특정 사이트 에서 수행 된 프로세스 로부터 수집 된 사이트 에 따른 정보 에 기초 하 여 개발 될 수 있 다 .