본 발명 에 따른 화학식 A , B , C , D 또는 E 를 갖 는 규소 전구체 화합물 , 및 본 발명 에 따른 화학식 A , B , C , D 또는 E 를 갖 는 규소 전구체 화합물 을 포함 하 는 조성물 에 는 바람직 하 게 , 할 라이드 이온 이 실질 적 으로 존재 하 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 할 라이드 이온 ( 또는 할 라이드 ) , 예 를 들 어 , 클로라이드 ( 즉 , 클로라이드 - 함유 종 , 예 를 들 어 , HCl 또는 적어도 하나 의 Si - Cl 결합 을 갖 는 규소 화합물 ) 및 플 루오 라이드 , 브로마이드 , 및 요오 다 이드 와 관련 하 여 , " 본원 에서 사용 되 는 용어 "" 실질 적 으로 존재 하 지 않 는 "" 은 ICP - MS 에 의해 측정 하 여 5 ppm ( 중량 기준 ) 미만 ", 바람직 하 게 , ICP - MS 에 의해 측정 하 여 3 ppm 미만 , 및 더욱 바람직 하 게 , ICP - MS 에 의해 측정 하 는 경우 1 ppm 미만 , 및 가장 바람직 하 게 , ICP - MS 에 의해 측정 하 는 경우 0 ppm 을 의미 한다 . 클로라이드 는 화학식 A 를 갖 는 규소 전구체 화합물 에 대한 분해 촉매 로서 작용 하 는 것 으로 알려져 있 다 . 최종 산물 중 에서 상당 한 수준 의 클로라이드 는 규소 전구체 화합물 을 분해 시킬 수 있 다 . 규소 전구체 화합물 의 점진 적 분해 는 막 증착 공정 에 직접 적 으로 영향 을 미칠 수 있 어 , 반도체 제조 업체 가 막 사양 을 총 족 시키 는 데 어렵 게 만든 다 . 또한 , 저장 - 수명 또는 안정 성 은 규소 전구체 화합물 의 보다 높 은 분해 률 에 의해 악영향 을 미치 고 , 이 에 의해 1 내지 2 년 저장 - 수명 을 보장 하 는 데 어렵 게 만든 다 . 이 에 따라 , 규소 전구체 화합물 의 가속 화 된 분해 는 이러 한 인화 성 및 / 또는 자연 발화 성 가스 상 부산물 의 형성 과 관련 된 안전 성 및 성능 문제 를 나타낸다 . 화학식 A , B , C , D 또는 E 를 갖 는 규소 전구체 화합물 에 는 바람직 하 게 , Li +, Na +, K +, Mg 2 +, Ca 2 +, Al 3 +, Fe 2 +, Fe 2 +, Fe 3 +, Ni 2 +, Cr 3 + 와 같 은 금속 이온 이 실질 적 으로 존재 하 지 않 는다 . Li , Na , K , Mg , Ca , Al , Fe , Ni , " Cr 와 관련 하 여 본원 에서 사용 되 는 용어 "" 실질 적 으로 존재 하 지 않 는 "" 은 ICP - MS 에 의해 측정 하 는 경우 에 5 ppm ( 중량 기준 ) 미만 ", 바람직 하 게 , 3 ppm 미만 , 및 더욱 바람직 하 게 , 1 ppm 미만 , 및 가장 바람직 하 게 , 0 . 1 ppm 을 의미 한다 . 일부 구체 예 에서 , 화학식 A 를 갖 는 규소 전구체 화합물 에 는 Li +, Na +, K +, Mg 2 +, Ca 2 +, Al 3 +, Fe 2 +, Fe 2 +, Fe 3 +, Ni 2 +, Cr 3 + 와 같 은 금속 이온 이 존재 하 지 않 는다 . 합성 에서 사용 되 는 Li , Na , K , Mg , Ca , Al , Fe , Ni , Cr , 귀금속 , 예 를 들 어 , " 휘발 성 Ru 또는 Pt 착 물 과 관련 하 여 본원 에서 사용 되 는 용어 금속 불순물 이 "" 존재 하 지 않 는 "" 은 ICP - MS 또는 금속 을 측정 하 기 위한 다른 분석 방법 에 의해 측정 하 여 1 ppm 미만 ", 바람직 하 게 0 . 1 ppm ( 중량 기준 ) 을 의미 한다 .