프로세싱 챔버 ( 100 ) 는 다양 한 플 라즈 마 프로세스 들 을 위해 사용 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 프로세싱 챔버 ( 100 ) 는 하나 또는 그 초과 의 에칭 제 들 을 이용 하 여 건식 에칭 을 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예컨대 , 프로세싱 챔버 는 전구체 CxFy ( 여기 에서 , x 및 y 는 상이 한 허용 되 는 조합 들 일 수 있 음 ) , O 2 , NF 3 , 또는 이 들 의 조합 들 로부터 의 플 라즈 마의 점 화 를 위해 사용 될 수 있 다 .