상술 된 장치 에서 , 펌프 격실 은 펌프 들 을 경유 하 는 펌핑 가스 를 위한 통로 및 2 개 의 프로세스 격실 들 과 동작 가능 하 게 연통 된다 . 펌프 격실 은 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 서로 를 기준 으로 하나 의 프로세스 격실 과 관련 된 가스 및 또 다른 프로세스 격실 과 관련 되 는 가스 를 근사 적 으로 격리 시키 기 에 충분 하 다 . 펌프 격실 은 통로 길이 가 하나 의 프로세스 격실 과 관련 된 경로 길이 의 2 배 미만 일 때 충분 하 며 , 경로 길이 는 다른 프로세스 격실 과 관련 되 거나 또는 2 개 경로 길이 의 평균 이 다 . 장치 는 하나 의 프로세스 격실 과 관련 된 가스 의 압력 과 또 다른 프로세스 격실 과 관련 된 가스 의 비율 이 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 약 35 대 1 로 제공 되 기 에 충분 할 수 있 다 .