세정 동작 후 약 13 초 내 에 가스 유량 이 증가 되 는 것 과 대략 적 으로 동시 에 , 차 폐부 들 및 결과 적 으로 는 기판 은 회전 속력 이 대략 적 으로 1500 내지 약 2200 rpm 으로 상승 된다 . 기판 의 건조 는 실질 적 으로 기판 의 고속 스 피닝 을 통해 수행 되 는 한편 , 기판 주위 의 영역 은 중앙 배기 및 가스 분배 시스템 들 에 의해 제어 된다 . 특정 배기 값 들 은 제어 소프트웨어 파라미터 들 로서 설정 되 므로 , 예컨대 , 배기 가 사전 프로그래밍 된 범위 를 벗어나 는 경우 , 시스템 은 정정 될 때 까지 기본 모드 에 진입 할 수 있 다 .