상술 한 바 와 같이 , 상기 공정 챔버 의 가스 또는 케미컬 공급 장치 에 있 어서 , 상기 공급 제 어부 와 상기 공정 챔버 사이 의 배관 에 3 웨이 밸브 와 외부 방향 으로 배관 을 더 추가 함 으로써 , 상기 반도체 제조 설비 의 총 동작 소요 시간 을 단축 하 고 , 인력 낭비 를 줄여 상기 반도체 제조 설비 의 효율 성 을 증대 시킬 수 있 다 .