[ 0026 ] 도 2 를 참조 하 면 , 본 기술 의 일부 실시 예 들 에 따른 , 전기 도금 장치 ( 200 ) 의 양상 들 을 포함 하 는 챔버 의 부분 적 인 단면도 가 도시 되 어 있 다 . 전기 도금 장치 ( 200 ) 는 전술 한 시스템 ( 100 ) 을 포함 하 는 전기 도금 시스템 과 통합 될 수 있 다 . 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 전기 도금 시스템 의 도금 욕 용기 ( 205 ) 가 헤드 ( 210 ) 와 함께 도시 되 어 있 으며 , 헤드 ( 210 ) 는 그 와 결합 된 기판 ( 215 ) 을 갖 는다 . 기판 은 일부 실시 예 들 에서 헤드 상 에 통합 된 시일 ( 212 ) 과 결합 될 수 있 다 . 헹굼 프레임 ( 220 ) 은 도금 욕 용기 ( 205 ) 위 에 결합 될 수 있 고 , 도금 동안 용기 내 로 헤드 를 수용 하 도록 구성 될 수 있 다 . 헹굼 프레임 ( 220 ) 은 도금 욕 용기 ( 205 ) 의 상부 표면 주위 로 원주 방향 으로 연장 되 는 림 ( rim ) ( 225 ) 을 포함 할 수 있 다 . 헹굼 채널 ( 227 ) 은 림 ( 225 ) 과 도금 욕 용기 ( 205 ) 의 상부 표면 사이 에 한정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 림 ( 225 ) 은 경사 프로파일 ( sloping profile ) 로 특징지 어 지 는 내부 측벽 들 ( 230 ) 을 포함 할 수 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 기판 으로부터 슬링 된 헹굼 유체 는 측벽 들 ( 230 ) 과 접촉 할 수 있 고 , 전기 도금 장치 ( 200 ) 로부터 의 헹굼 유체 를 수집 하 기 위해 림 주위 로 연장 되 는 플리 넘 ( plenum ) ( 235 ) 에 수용 될 수 있 다 . 위어 ( 240 ) 는 슬링 된 유체 가 도금 욕 으로 복귀 하 는 것 을 더욱 제한 하 기 위해 , 도금 욕 용기 ( 205 ) 주위 로 연장 될 수 있 고 플 리 넘 ( 235 ) 또는 수집 채널 과 유체 적 으로 결합 될 수 있 다 . 위어 ( 240 ) 는 전기 도금 장치 를 가로지르 는 평면 ( 245 ) 을 한정 할 수 있 으며 , 이 평면 ( 245 ) 을 통과 하 여 헤드 ( 210 ) 는 도금 욕 용기 ( 205 ) 로 진입 하 도록 연장 될 수 있 고 , 이 평면 ( 245 ) 을 통과 하 여 헤드 는 헹굼 동작 을 수행 하 도록 복귀 할 수 있 다 .