실험 에 6 에서 얻 어 진 이미지 패턴 층 상 에 상기 PMMA - PS - PAMS 블록 공중 합체 를 1 wt % 의 농도 로 톨루엔 에 녹여 만든 용액 을 스핀코팅 하 여 약 50 nm 의 두께 의 블록 공중 합체 층 을 형성 한 후 , 160 ℃ 의 온도 를 유지 하 는 진공 오븐 에서 24 시간 동안 어닐링 하 여 블록 공중 합체 의 자기 조립 구조 가 형성 되 도록 하 였 다 . 그 후 , 웨이퍼 를 진 공 오븐 에서 꺼내 어 상온 이 되 도록 식힌 후 SEM ( scanning electron microscope ) 및 AFM ( atomic force microscope ) 을 사용 하 여 관찰 하 였 다 . 그 결과 , PMMA 도메인 - PS 도메인 - PAMS 도메인 - PS 도메인 을 반복 단위 로 구비 하 는 라멜라 형태 의 자기 조립 구조 가 형성 된 것 과 , 도메인 들 각각 의 폭 이 35 nm 이 며 상기 도메인 반복 단위 의 피치 가 140 nm 인 것 을 확인 하 였 다 . 또한 , 상기 PMMA 도메인 이 상기 이미지 패턴 층 의 광산화 된 부분 ( 폭 : 35 nm ) 상 에 형성 되 었 으며 , 상기 이미지 패턴 층 의 광산화 되 지 않 은 부분 ( 폭 : 105 nm ) 상 에 PS 도메인 - PAMS 도메인 - PS 도메인 이 차례 로 형성 된 것 을 확인 하 였 다 . 이 로부터 , 상기 이미지 패턴 층 의 광산화 된 부분 을 가이드 로 하 여 도메인 들 이 배향 됨 ( orientation ) 을 알 수 있 었 다 .