복수 개 의 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 각각 은 전부 가 독립 모듈 로서 구성 될 수 있 으며 , 또한 , 일부 또는 전체 가 2 개 의 모듈 이 결합 된 형태 의 트윈 모듈 로 구성 될 수 있 다 . 이 와 마찬가지 로 , 복수 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 각각 도 , 상술 한 복수 개 의 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 과 마찬가지 로 , 전부 가 독립 모듈 로서 구성 될 수 있 으며 , 또한 , 일부 또는 전체 가 2 개 의 모듈 이 결합 된 형태 의 트윈 모듈 로 구성 될 수 있 다 .