이하 , 본 명세서 에서 는 , 설명 의 편의 상 , XYZ 직교 좌표계 를 도입 한다 . 이러 한 좌표계 에서 , 실리콘 기판 ( 61 ) 의 상면 ( 주면 ) 에 평행 하 고 서로 직교 하 는 2 개 의 방향 을 X 방향 및 Y 방향 으로 하 고 , X 방향 및 Y 방향 의 양쪽 에 직교 하 는 방향 , 즉 , 유전체 층 ( 64 ) 및 전극 층 WL 의 적층 방향 을 Z 방향 으로 한다 .