도 4 의 ( c ) 와 도 4 의 ( d ) 를 비교 한다 . 여기 에서 , 상기 도 4 의 ( c ) , 상기 도 4 의 ( d ) 모두 이 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 의 극 최 표면 인 포인트 A 의 도달 온도 는 1300 ℃ 까지 승 온 되 는 것 으로서 설정 하 고 있 지만 , 이 경우 , 포인트 B , 포인트 C 에서 의 도달 온도 는 상기 도 4 의 ( c ) , 상기 도 4 의 ( d ) 에서 각각 다른 값 이 된다 .