상기 코팅 에 의한 플 라즈 마 부품 ( AP ) 은 다양 하 게 변형 될 수 있 다 . 코팅 에 의해 생성 되 는 플 라즈 마 부품 은 도 1 및 도 2 에 설명 한 플 라즈 마 부품 ( AP ) 이 변형 된 변형 예 로 볼 수 있 다 . 이 에 따라 , 코팅 에 의해 제조 되 는 플 라즈 마 부품 을 제 1 내지 제 3 부품 ( AP 1 , AP 2 , AP 3 ) 로 명명 하 기 로 한다 . 도 3 은 본 발명 의 실시 예 에 의한 플 라즈 마 장치 에 적용 되 는 제 1 부품 ( AP 1 ) 을 나타내 는 단면도 이 다 . 이때 , 플라 즈 마 장치 는 도 1 및 도 2 를 참조 하 기 로 한다 .