성막 장치 ( 10 ) 는 , 스테이지 ( 16 ) 의 위쪽 에 복수 의 타 겟 ( 캐소드 타 겟 ) ( 20 ) 을 구비 하 고 있 다 . 복수 의 타 겟 ( 20 ) 각각 은 , 대략 직사각 형 의 평판 형상 을 갖 고 있 다 . 이 들 복수 의 타 겟 ( 20 ) 은 , 축선 ( AX 1 ) 을 중심 으로 하 는 원 을 따라 대략 균등 하 게 배치 되 어 있 다 . 또한 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 은 , 타 겟 ( 20 ) 의 표면 [ 후술 하 는 도 2 의 스퍼터 면 ( 111 ) 참조 ] 이 스테이지 ( 16 ) 를 향하 도록 , 축선 ( AX 1 ) 에 대하 여 경사지 게 배치 되 어 있 다 . 또한 , 타 겟 ( 20 ) 의 재료 는 , 성막 해야 할 막 의 종별 에 따라 임의 로 선택 되 는 것 이 며 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 각각 에서 서로 다른 금속 재료 여도 좋 고 , 일부 또는 전부 가 동일 한 금속 재료 여도 좋 다 .