도 7 은 본 발명 의 일실 시예 에 따른 3 차원 전극 장치 의 제조 방법 의 전체 공정 예 시도 이 고 , 도 8 은 본 발명 의 일실 시예 에 따른 3 차원 전극 장치 의 제조 방법 중 웨이퍼 의 사시도 이 며 , 도 9 는 본 발명 의 일실 시예 에 따른 3 차원 전극 장치 의 제조 방법 중 웨이퍼 의 일면 에 금속 층 을 증착 한 상태 를 나타낸 사시도 이 다 .