투과 형 전자 현미경 사진 에 있 어서 , 열처리 한 시료 번호 27 ( 본 발 명예 , 도 4 ) 은 열처리 를 하 고 있 지 않 은 시료 번호 2 ( 비교 예 , 도 5 ) 의 것 에 비해 , Al 산화물 층 ( AlOx ) 이 평활 하 다 . 이 는 , [ O ] / [ Al ] 비 가 0 . 30 이 하인 Al 산화물 층 이 형성 됨 으로써 , ITO 성막 시의 Al 및 O ( 산소 ) 의 상호 확산 이 저해 되 었 기 때문 이 라고 생각 된다 .