존슨 - 라벡 형 정전 척 의 경우 유전체 의 체적 저항 값 을 1 . 0 × 108 내지 1 . 0 × 1014 Ω · cm 로 제어 하 면 반도체 웨이퍼 를 흡착 하 고 유지 하 기 에 충분 한 흡착 력 을 제공 할 수 있 다 . 하지만 유전체 의 체적 저항 이 1 . 0 × 1011 Ω · cm 이하 가 되 면 , 누설 전류 로 인해 반도체 제조 공 정상 에 좋 지 않 은 결과 를 초래 하 기 때문 에 , 유전체 의 체적 저항 값 은 1 . 0 × 1011 내지 1 . 0 × 1014 Ω · cm 정도 로 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .