본 발명 에 따른 , 초저주파 RF 전원 에 의해 구동 되 는 용량 결합 형 플 라즈 마 식각 반응기 의 구성 은 도 1 에 나타낸 구성 과 유사 하 고 , 차이점 은 저 주파 RF 전원 ( LF ) 의 주파수 를 초저주파 로 하 고 주파수 의 구체 적 인 범위 가 10 KHz 이상 이 고 300 KHz 이하 인 것 에 있 다 . 물론 , 본 발명 에 제공 된 식각 반응기 에서 , 고주파 RF 전원 ( HF ) 은 상부 전극 ( 11 ) ( 또는 가스 샤워 헤드 ) 에 배치 될 수 있 으며 , 마찬가지 로 저주파 RF 전원 ( LF ) 의 주파수 를 초저주파 로 하 고 구체 적 인 범위 는 10 KHz 이상 이 고 300 KHz 이하 이 다 . 이런 설정 역시 본 발명 범위 내 의 것 이 다 .