예컨대 , 다이폴 ( dipole ) 조명 계 와 같 은 비대칭 성 어퍼 처 ( aperture ) 를 채용 하 는 노광 과정 은 , 조명 계 의 방향 성 에 의존 하 여 패턴 의 연장 방향 에 따라 선폭 이 달라질 수 있 다 . 다이폴 조명계 가 수직 ( 또는 수평 ) 방향 의 방향 성 또는 비대칭 성 을 가지 는 경우 , 시뮬레이션 윈도 ( 307 ) 는 수평 방향 으로 연장 되 는 패턴 을 포함 하 는 영역 과 수직 방향 으로 연장 되 는 패턴 을 포함 하 는 영역 으로 각각 설정 될 수 있 다 .