동작 ( 1806 ) 에서 , 하부 절연 구조물 이 하부 유전체 구조물 위 에 형성 된다 . 하부 절연 구조물 은 복수 의 하부 상호 연결 층 들 의 상호 연결 구조물 위 에 놓이 는 개구 들 을 갖 도록 형성 된다 . 도 9 와 도 10 은 동작 ( 1806 ) 에 대응 하 는 일부 실시 예 들 의 단면도 들 ( 900 ~ 1000 ) 을 나타낸 것 이 다 .