이 에 본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위한 것 으로서 , 상대 적 으로 설치 공간 을 적 게 차지 할 뿐 만 아니 라 와이어 의 어닐링 시 와이어 가 히터 내 관 에 접촉 되 는 것 을 방지 할 수 있 으며 또 한 히터 내 대기 순환 이 원활 하 게 이루어질 수 있 도록 된 수직 어닐링 히터 및 이 를 이용 한 수직 어닐링 장치 를 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .