기판 을 제 2 공정 챔버 ( 27 ) 로 로딩 한 후 , 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 은 기판 의 제 2 면 을 식각 한다 . 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 이 복수 의 기판 들 을 각각 수용 하 는 복수 의 제 2 공정 챔버 내 에 배치 될 경우 , 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 은 복수 의 기판 들 의 제 2 면 들 을 복수 의 제 2 공정 챔버 내 에서 동시 에 식각 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 의 제 2 면 을 식각 하 는 공정 이 상대 적 으로 신속 하 게 진행 될 수 있 다 .