플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 통 형 상부 ( 28 , 29 ) 를 더 구비 할 수 도 있 다 . 통 형 상부 ( 28 ) 는 지지대 ( 16 ) 및 지 지체 ( 18 ) 의 외주 를 따라 연장 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 28 ) 는 통 형 상부 ( 29 ) 상 에 구비 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 28 ) 는 내부 식성 을 갖 는 절연체 로 형성 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 28 ) 는 , 예 를 들 어 , 석영 으로 형성 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 29 ) 는 지 지체 ( 18 ) 의 외주 를 따라 연장 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 29 ) 는 내부 식성 을 갖 는 절연체 로 형성 되 어 있 다 . 통 형 상부 ( 29 ) 는 , 예 를 들 어 , 석영 으로 형성 되 어 있 다 .