액침 영역 ( 14 ) 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 테이블 본체 ( 34 ) ) 상 으로 의 이동 이 완료 되 고 , 도 58 에 도시 된 위치 ( 계측 플레이트 ( 30 ) 가 투영 광학계 ( PL ) 의 바로 아래 에 위치 하 는 위치 ) 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 도달 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 + Y 방향 에 관한 구동력 을 제로 로 한다 . 이 로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 는 정지 되 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 는 도 58 중 의 흰색 큰 화살표 로 도시 된 바 와 같이 + X 방향 에 대한 구동 이 개시 되 게 된다 .