상기 제 1 지지대 ( 420 ) 는 실질 적 으로 , 상기 상하 방향 ( z ) 을 따라 유동 하 여 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 지지 한다 . 이때 , 상기 제 1 지지대 ( 420 ) 는 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 와 의 접촉 을 최소 화 하 기 위하 여 복수 의 돌기 ( 422 ) 들 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 지지대 ( 420 ) 가 단독 으로 사용 될 경우 , 상기 돌기 ( 422 ) 들 은 삼각형 이상 의 다각형 구도 를 갖 기 위해 적어도 세 개 이상 형성 될 필요 성 이 있 다 .