촬영 부 ( 150 ) 는 노광 스테이지 ( 140 ) 의 하부 에 배치 되 어 , 노광 스테이지 ( 140 ) 의 하 면 일부 영역 또는 전체 영역 을 촬영 하 여 이미지 를 획득 할 수 있 다 . 이러 한 촬영 부 ( 150 ) 는 예 를 들 어 , CCD ( Charge Coupled Device ) 카메라 , CMOS ( complementary metal oxide semiconductor ) 카메라 등 이 사용 될 수 있 다 .