도 3 은 제 1 실시 예의 잉크젯 기록 헤드 의 절 결 사시도 이 다 . 잉크젯 기록 헤드 에 는 , 전기 열 변환 소자 인 복수 의 히터 ( 400 ) 가 장착 된 소자 기판 ( 110 ) 과 , 소자 기판 ( 110 ) 의 주면 에 적층 되 고 접합 되 어 복수 의 잉크 유로 를 구성 하 는 유로 형성 부재 ( 111 ) 가 제공 된다 . 소자 기판 ( 110 ) 은 , 예 를 들 어 , 글래스 , 세라믹스 , 수지 , 금속 등 에 의해 형성 될 수 있 고 , 일반 적 으로 Si 에 의해 형성 된다 . 소자 기판 ( 110 ) 의 주면 상 에 는 , 각 잉크 유로 에 대해 히터 ( 400 ) 와 , 히터 ( 400 ) 에 전압 을 인가 하 는 전 극 ( 도시 생략 ) 이 제공 되 고 , 또한 전극 에 접속 된 배선 ( 도시 생략 ) 이 소정 의 배선 패턴 으로 각각 제공 된다 . 또한 , 소자 기판 ( 110 ) 의 주면 에 는 , 축 열 의 발산 성 을 향상 시키 기 위한 절 연막 ( 도시 생략 ) 이 히터 ( 400 ) 를 덮 도록 제공 되 고 , 또한 절 연막 에 는 기포 가 소포 했 을 때 에 발생 하 는 캐비테이션 으로부터 의 보호 를 위한 보호막 ( 도시 생략 ) 이 덮혀 있 다 .