도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 가 결합 된 모습 을 보이 는 단면도 이 고 , 도 2 는 도 1 에 도시 된 A 부분 에 대한 확대도 이 고 , 도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 가 분해 된 모습 을 보이 는 단면도 이 고 , 도 4 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 를 구성 하 는 덮개판 부재 의 뒤집 어 진 모습 을 보이 는 사시도 이 고 , 도 5 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 를 구성 하 는 덮개판 부재 를 아래 에서 올려다본 저 면도 이 고 , 도 6 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 를 구성 하 는 슬리브 부재 를 위 에서 비스듬히 내려다본 사시도 이 고 , 도 7 은 도 6 에 도시 된 B 부분 에 대한 확대도 이 다 .