세정 공정 에서 는 세 정수 공급 부 ( 33 ) 에 있 어서 의 세 정수 공급 노즐 승강 수단 ( 35 ) 에 의해 , 세 정수 공급 노즐 ( 34 ) 이 소정 의 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 세 정수 공급 노즐 ( 34 ) 이 세 정수 공급원 에 연통 되 어 세 정수 공급 노즐 ( 34 ) 로부터 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 세 정수 가 공급 ( 예 를 들 어 펄스 급수 ) 된다 . 이 로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 세 정수 에 의해 세정 된다 .