테트라 에 톡 시 실란 ( TEOS ) 224 g , 물 108 g 및 에탄올 50 g 을 혼합 하 고 이 들 의 혼합물 에 pH 2 가 되 도록 염산 을 첨가 하 고 교반 하 여 가수 분해 반응 을 수행 하 였 다 . 그 후 암모늄 하이드 록 사이드 를 첨가 하 여 pH 5 . 3 으로 조절 한 후 겔 화 시킨 후 , 50 ℃ 에서 2 일 간 숙성 하 여 습윤 겔 을 얻 었 다 . 상기 습윤 겔 내부 에 포함 되 어 있 는 미 반응 물 을 제거 하 기 위해 용매 치환 하 였 다 . 용매 치환 은 메탄올 에 상기 습윤 겔 을 상온 에서 24 시간 동안 침지 하 여 행하 였 다 . 용매 치환 이 끝난 시료 는 하 기 와 같 은 초임계 방법 으로 건조 하 였 다 .