최근 , 반도체 디바이스 공장 이나 액정 등 의 전자 부품 제조 공장 에서 의 제품 의 세정 은 , 제조 프로세스 의 복잡화 , 회로 패턴 의 미세화 에 따라 점점 더 고도 화 하 고 있 다 . 예컨대 , 기능 수 ( 초 순수 등 ) 에 고순 도 가스 또는 고순 도 가스 와 약품 을 용해 한 특수 한 액체 ( 세정액 이 라고 불림 ) 를 사용 하 여 , 실리콘 웨이퍼 에 부착 된 미립자 , 금속 , 유기물 등 을 제거 하 고 있 다 .