그런데 , 제 1 내지 제 4 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 의 폭 w 1 ( 제 2 방향 Y 의 치수 ) 은 , 제 1 내지 제 4 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 폭 w 2 ( 제 2 방향 Y 의 치수 ) 보다 도 큰 것 이 적합 하 다 . 이 경우 , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 에 차지 하 는 제 1 내지 제 4 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 의 비율 을 크 게 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 당해 상면 ( 13 a ) 에 있 어서 의 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 의 유로 밀도 를 증대 시켜 , 액상 의 작 동액 ( 2 ) 의 수송 기능 을 향상 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 내지 제 4 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 의 폭 w 1 을 , 30 ㎛ 내지 200 ㎛, 제 1 내지 제 4 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 폭 w 2 를 , 20 ㎛ 내지 180 ㎛ 로 해도 된다 .