도 12 를 참조 하 면 , S 2 단계 에서 , 두 개 의 전극 ( 10 ) 을 서로 마주 보 도록 패 터닝 하 고 , S 5 단계 에서 , 식각 을 통하 여 투명 전극 층 ( 12 ) 하부 에서 이격 공간 ( S ) 을 형성 한 것 을 제외 하 고 나머지 는 도 9 에서 설명 한 바 와 동일 하 다 . 도 12 는 S 5 단계 에서 이격 공간 ( S ) 을 형성 하 는 것 을 보여 주 는데 반드시 S 5 단계 에서 이격 공간 ( S ) 을 형성 할 필요 는 없 으며 S 1 내지 S 5 단계 중 어느 하나 의 단계 에서 이격 공간 ( S ) 을 형성 할 수 있 다 .