바람직 하 게 , 상기 탄 탈륨 산화 막 ( Ta 2 O 5 ) , 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) 및 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 의 순서 로 적층 되 어 ZrO 2 / Al 2 O 3 / Ta 2 O 5 ( ZAT ) 구조 를 갖 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 지르코늄 산화 막 의 두께 는 상기 알루미늄 산화 막 과 탄 탈륨 산화 막 보다 두껍 고 , 상기 알루미늄 산화 막 의 두께 는 상기 탄 탈륨 산화 막 보다 얇 은 것 을 특징 으로 하 며 , 상기 탄 탈륨 산화 막 은 20 ∼ 80 Å 두께 이 며 , 상기 알루미늄 산화 막 은 2 ∼ 10 Å 두께 이 고 , 상기 지르코늄 산화 막 은 40 ∼ 100 Å 두께 인 것 을 특징 으로 한다 .