지지 부 ( 128 ) 는 플레이트 ( 201 ) 의 우측 일단 ( 201 a ) 에 고정 연결 된다 . 지지 부 ( 128 ) 는 링크 바 ( 120 ) 의 동작 에 의거 하 여 플레이트 ( 201 ) 의 우측 일단 ( 201 a ) 을 상향 인 D 1 방향 으로 상승 시키 거나 하향 인 D 2 방향 으로 하강 시킨다 . 이 로써 , 기판 이송 기구 ( 200 ) 경사 변환 된다 . 한편 , 플레이트 ( 201 ) 가 D 2 방향 으로 하향 되 는 경우 베이 스 ( 110 ) 에 설치 된 스톱 퍼 ( 140 ) 에 의해 D 2 방향 으로 의 하향 이동 이 정지 되 어 플레이트 ( 201 ) 가 수평 상태 를 유지 하 게 된다 .