이상 상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 면 웨이퍼 의 리소그래피 공정 과 동일 한 환경 에서 기존 의 수백 시간 에 걸친 노광 과 별도 의 검사 장비 를 이용 하 여 헤이즈 생성 유무 를 파악 하 는 것 을 수 시간 만 으로 단축 시키 는 효과 를 나타내 며 , 챔버 의 환 경 제어 와 , 노광 에너지 의 측정 및 생성 된 헤이즈 의 실시간 검출 이 가능 해짐 으로써 헤이즈 가 생성 되 는 원인 을 정량 적 으로 분석 할 수 있 는 장점 이 있 으며 , 별도 의 고 가 장비 를 이용 해서 헤이즈 생성 유무 를 오랜 시간 에 걸쳐 검사 하 는 것 을 생 성 과 동시 에 실시간 으로 검출 하 는 장점 이 있 다 .