게이트 전극 ( 120 ) 상 에 는 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 이 배치 될 수 있 다 . 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 은 게이트 전극 ( 120 ) 의 상면 을 커버 하 며 제 2 방향 ( 도 1 의 Y 방향 ) 을 따라 연장 될 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 은 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 은 자기 정렬 콘 택 ( self - aligned contact ) 형성 을 위한 마스크 로 작용 할 수 있 다 .