광학 표시 유닛 ( W ) 은 수평 지지 되 므로 , 액체 공급 장치 로부터 액체 를 표면 에 공급 하 는 것 만 으로 , 표면 의 액체 유동 에 의해 치우침 없이 전체 표면 에 접촉 하 도록 액체 가 공급 된다 . 관찰 에리 어 에서 는 , 광학 표시 유닛 ( W ) 을 반송 하 면서 관찰 하 는 것 도 가능 하 지만 , 일단 , 반송 장치 ( R ) 를 정지 하 여 관찰 을 행함 으로써 , 액체 의 요동 을 없앨 수 있 고 , 더욱 검사 의 정밀도 를 높일 수 있 다 . 관찰 에리 어 에서 는 , 육안 에 의해 크레이터 링 이 발생 하 는 부분 의 유무 를 관찰 하 고 , 이 에 기초 하 여 양품 인지 여부 를 판정 하 는 것 도 가능 하 지만 , 검출 이나 판정 을 자동 화 하 는 것 이 바람직 하 다 .