일부 실시 예 에서 , 게이트 구 조체 ( 20 ) 는 산소 확산 배리 어 층 ( 24 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 산소 확산 배리 어 층 ( 24 ) 은 안정 화 층 ( 23 ) 상 에 위치 할 수 있 다 . 산소 확산 배리 어 층 ( 24 ) 은 강유 전 층 ( 22 ) 을 어닐링 하 는 동안 계면 층 ( 21 ) 의 두께 가 증가 하 는 것 을 방지 하 도록 계면 층 ( 21 ) 내로 의 산소 확산 을 방지 할 수 있 다 . 산소 확산 배리 어 층 ( 24 ) 은 예 를 들 어 TiN , AlN , TaN , TiSiN , TiON , TiAlN , WCN , WN , W 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 으나 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 산소 확산 배리 어 층 ( 24 ) 의 두께 는 약 1 Å 내지 약 30 Å , 예컨대 약 5 Å 내지 약 20 Å 일 수 있 으나 , 이 에 제한 되 지 않 는다 .