카세트 안착 부 ( 120 ) 가 수평 위치 로부터 5 ° 초과 하 여 기울어지 면 , 회전 되 는 웨이퍼 들 ( W ) 과 카세트 ( C ) 의 슬롯 들 사이 에 과도 한 마찰 이 발생 될 수 있 고 , 카세트 안착 부 ( 120 ) 가 수평 위치 로부터 4 ° 미만 으로 기울어지 면 , 회전 되 는 웨이퍼 들 ( W ) 사이 에 마찰 이 발생 될 수 있 으므로 , 틸팅 구동 부 ( 130 ) 의 작동 을 적정 범위 내 에서 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .