예시 적 으로 , 도 15 및 도 16 , 도 46 내지 도 51 , 그리고 도 58 및 도 59 를 참조 하 여 설명 된 메모리 블록 들 ( BLKb ~ BLKg ) 에서 , 필라 들 ( 113 , 또는 113 a 및 113 b ) 이 생성 된 후 에 제 1 도전 물질 들 ( 211 ~ 291 , 212 ~ 292 , 213 ~ 293 ) 이 생성 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 도전 물질 들 ( 211 ~ 291 , 212 ~ 292 , 213 ~ 293 ) 은 식각 이 불 가능 한 금속 물질 을 포함 할 수 있 다 .