베이스 와 , 베이스 로부터 진퇴 가능 하 게 설치 되 고 , 기판 ( W ) 을 유지 하 는 유지 부 ( 3 A ) 와 , 유지 부 ( 3 A ) 가 기판 ( W ) 을 유지 한 상태 에서 후퇴 했 을 때 에 , 유지 부 ( 3 A ) 가 유지 하 고 있 는 기판 ( W ) 의 주연 부 의 위치 를 , 각각 상이 한 위치 에서 검출 하 는 4 개 이상 의 검 출부 ( 5 ) 와 , 검 출부 ( 5 ) 가 주연 부 의 위치 를 검출 한 검출 값 에 기초 하 여 , 검 출부 ( 5 ) 중 어느 것 이 기판 ( W ) 의 주연 부 의 절 결 이 형성 된 부분 ( WN ) 을 검출 했 는지 여부 를 판정 하 여 , 하나 의 검 출부 ( 5 ) 가 절 결 이 형성 된 부분 ( WN ) 을 검출 했 다고 판정 했 을 때 에 , 하나 의 검 출부 ( 5 ) 이외 의 3 개 의 검 출부 ( 5 ) 의 검출 값 에 기초 하 여 , 다음 처리 유닛 에 반송 할 때 에 처리 유닛 의 기판 ( W ) 의 전달 위치 에 보정 하 는 , 제 어부 를 갖 는다 .