다시 말 해서 , 본 발명 방법 에서 사용 되 는 플 라즈 마장 치 ( 300 ) 는 최대 파워 가 4 kw 이상 인 한 쌍 의 펄스 형 마이크로파 발생기 ( 4 ) 로부터 마이크로파 분기 구 ( 52 ) 를 통해 공진기 ( 5 ) 내부 로 입사 된 마이크로파 가 전 , 후방 의 내측 부 에 대칭 적 으로 설치 된 유전체 창 ( 6 ) 을 통해 반응 조 ( 1 ) 내 의 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 에 입사 되 어 부 전자석 ( 3 ) 내측 주변 부 에 일정 한 간격 으로 산소 기체 가 유입 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 고 . 전구체 노즐 ( 7 ) 에서 는 테트라 메틸 틴 ( TMT ) , 디 메틸 아연 ( DMZ ) , 또는 메틸 피 롤리 딘 알란 ( MPA ) 등 과 같 은 금속 전구체 를 유입 시키 고 , C 3 F 6 의 불소 화합물 을 전구체 노즐 ( 7 ) 을 통하 여 도입 한다 .