본 발명 은 자기 변형 캔틸레버 를 대상 으로 자기 변형 박막 의 탄성 에너지 가 자기 변형 상수 의 측정 에 미치 는 의 영향 을 정량 적 으로 검증 하 고 이 를 바탕 으로 자기 변형 작 동기 의 거동 예측 을 위한 2 차원 비선형 유한 요소 해석 코드 를 개발 것 이 다 . 최근 MEMS 기술 의 발달 과 더불 어 MEMS 소자 의 기본 이 되 는 자기 변형 계수 와 이 에 따른 변위 를 측정 법 이 요구 되 고 있 다 .