" 제 1 기판 상 에 복수 의 유전체 층 쌍 ( 본 명세서 에서 "" 교번 유전체 스택 "" 으로 도 지칭 됨 ) 이 형성 될 수 있 다 . 교번 유전체 스택 은 제 1 유전체 층 및 제 1 유전체 층 과 상이 한 제 2 유전체 층 의 교번 스택 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 ", 각각 의 유전체 층 쌍 은 실리콘 질화물 층 및 실리콘 산화물 층 을 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 교번 유전체 스택 내 에 는 상이 한 재료 및 상이 한 두께 로 이루어진 유전체 층 쌍 보다 더 많 은 층 이 존재 한다 . 교번 유전체 스택 은 , 화학 적 기상 증착 ( CVD ) , 물리 적 기상 증착 ( PVD ) , 원자 층 증착 ( ALD ) , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 하나 이상 의 박막 증착 공정 에 의해 형성 될 수 있 다 .