기판 ( W ) 의 회전 속도 가 제 1 패들 속도 로 저하 하 면 , 기판 ( W ) 상 의 제 1 액체 에 더 해 지 는 원심력 이 약해진다 . 이 때문 에 , 제 1 액체 는 기판 ( W ) 의 상면 에서 배제 되 지 않 거나 , 혹은 , 미량 밖 에 배제 되 지 않 는다 . 따라서 , 제 1 액체 의 토출 이 정지 된 후 에 도 기판 ( W ) 의 상면 전역 을 덮 는 제 1 액 막 ( F 1 ) 이 기판 ( W ) 상 에 유지 된다 . 린스 액 의 액 막 을 제 1 액 막 ( F 1 ) 으로 치환 한 후 , 미량 의 린스 액 이 패턴 ( P 1 ) ( 도 5 참조 ) 사이 에 남 아 있 었 다 하 더라도 , 이 린스 액 은 제 1 액체 에 용해 되 어 제 1 액체 중 으로 확산 한다 . 이 로 인해 , 패턴 ( P 1 ) 사이 에 잔류 하 는 린스 액 을 줄일 수 있 다 .