회전 롤 ( 90 ) 의 상부 는 덮개 ( 111 ) 과 동일 한 정도 의 높이 에 위치 하 고 , 덮개 ( 111 ) 의 개구부 ( 111 a ) 측 의 내 측면 ( 111 b ) 와 회전 롤 ( 90 ) 의 표면 의 사이 에 는 통기구 ( 112 ) 가 형성 되 고 있 다 . 덮개 ( 111 ) 의 내 측면 ( 111 b ) 는 회전 롤 ( 90 ) 의 표면 의 형상 을 따른 원호 형상 으로 형성 되 고 있 어 통기구 ( 112 ) 의 간격 은 , 일정 하 게 형성 되 고 있 다 . 통기구 ( 112 ) 의 간격 은 예 를 들 면 1 mm 이 하 , 바람직 하 게 는 100 ~ 300 μ m 정도 로 설정 되 어 있 다 . 통기구 ( 112 ) 에 의해 , 프레임 체 ( 110 ) 의 외부 의 기체 를 프레임 체 ( 110 ) 의 내부 에 도입 할 수 가 있 다 . 회전 롤 ( 90 ) 에 대해서 노즐 ( 80 ) 의 토출 위치 ( E ) 측 ( Y 방향 정 방향 측 ) 에 있 는 통기구 ( 112 a ) 는 역 측 ( Y 방향 부 방향 측 ) 의 통기구 ( 112 b ) 보다 넓 게 설정 되 어 있 다 . 이것 에 의해 , 회전 롤 ( 90 ) 에 대해서 Y 방향 정 방향 측 의 통기구 ( 112 a ) 로부터 보다 많 은 기체 를 유입 할 수 있 다 .