이어서 , 도 1 d 에 도시 된 바 와 같이 , 트렌치 ( 103 , 도 1 c 참조 ) 가 매립 되 도록 게이트 절 연막 ( 104 ) 상 에 게이트 용 도전 막 ( 105 ) 을 형성 한다 . 이때 , 도전 막 ( 105 ) 은 폴리 실리콘 막 , 전이 금속 또는 희토류 금속 중 선택 된 어느 하나 의 막 으로 형성 하 거나 , 또는 이 들 의 적층 막 으로 형성 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 공정 안정 성 이 우수 한 폴리 실리콘 막 으로 형성 한다 . 또한 , 도전 막 ( 105 ) 은 100 ~ 1000 Å 의 두께 로 형성 한다 .