저온 공정 을 진행 하 기 위해 사용 하 는 냉각 장치 ( 200 ) 는 그 온도 가 영하 20 ㅀ C 로 제어 되 고 있 다 . 상부 모듈 온도 제어 장치 ( 300 ) 는 저온 공정 에 영향 을 끼치 지 않 는 냉매 배출 라인 ( 310 ) 의 저온 의 열에너지 를 재 활용 함 으로써 , 상부 모듈 ( 190 ) 내부 의 윈도우 부재 ( 191 ) 뿐 만 아니 라 안테나 부재 ( 192 ) 까지 냉각 시키 는 온도 제어 시스템 ( temp control system ) 으로 구현 될 수 있 다 .