증착 챔버 ( 46 ) 내 에서 유기 박막 을 증착 하 는 공정 이 진행 되 려면 , 일정 한 패턴 이 형성 된 마스크 를 기판 에 정렬 시켜 부착 하 여야 한다 . 이 를 위해 증착 챔버 ( 46 ) 로 마스크 를 제공 하 고 회수 하 는 마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 가 증착 챔버 ( 46 ) 에 인접 하 게 배치 된다 . 그리고 , 마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 와 증착 챔버 ( 46 ) 의 인접 한 격벽 들 에 는 마스크 가 이동 될 수 있 도록 개구부 ( 302 ) 가 형성 된다 .