1 , 2 , 3 , 4 , 5 , 6 : 반도체 메모리 소자 , 110 : 기판 , 112 : 제 1 절 연막 패턴 , 114 : 제 2 절 연막 패턴 , 116 : 소자 분리 막 , 118 : 활성 영역 , 120 : 워드 라인 , 120 T : 워드 라인 트렌치 , 122 : 게이트 유전 막 , 124 : 메 몰 절 연막 , 140 , 140 a : 비트 라인 구조 체 , 150 : 절연 스 페이서 구조 체 , 170 : 베리드 콘 택 , 180 , 180 a , 180 b : 절연 펜스 , 190 : 랜딩 패드 , 200 : 커패시터 구조 체 , 210 : 하부 전극 , 220 : 커패시터 유전 막 , 230 : 상부 전극