표 1 에 나타낸 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에서 는 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 에 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 어 있 지 않 지만 , He 의 누 설량 은 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 He 누 설량 보다 작 거나 동일 하 다 . 즉 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에 는 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 에 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 어 있 지 않 지만 , 그 흡 착력 이 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 흡 착력 과 실질 적 으로 동일 하 다는 것 이 증명 되 었 다 .