진공 챔버 ( 200 ) 는 측정 대상 계 ( 250 ) 및 광학계 ( 210 ) 가 내설 되 며 진공 상태 를 유지 하 는 한다 . 진공 챔버 ( 200 ) 는 측정 대상 계 ( 250 ) 뿐 만 아니 라 광학계 ( 210 ) 도 진공 상태 로 유지 되게 하 므로 , 기존 열팽창 계수 측정 간섭계 와 는 달리 외부 의 공기 를 차단 하 기 위한 측정 대상 계 ( 250 ) 의 항온 챔버 ( 252 ) 의 관 통공 에 유리판 이 설치 될 필요 가 없 다 . 이 에 따라 본 발명 에 따른 열팽창 계수 측정 간섭계 는 온도 에 따른 유리판 의 변형 으로 발생 되 는 오차 가 발생 되 지 않 는다 . 즉 기존 의 열팽창 계수 측정 간섭계 에서 온도 에 따른 유리판 의 변형 으로 맥놀이 신호 가 변화 되 고 이 로 인해 산출 되 는 측정 대상물 의 길 이 변화 량 에 오 차 가 발생 하 지만 , 본 발명 에 따른 열팽창 계수 측정 간섭계 에서 맥놀이 신호 를 변화 시키 는 유리판 이 없 어 오차 없이 정확 하 게 측정 대상물 의 길 이 변화 량 을 산출 할 수 있 다 .