베이스 플레이트 ( 30 ) 는 챔버 ( 11 ) 의 저면 에 고정 되 는 경우 도 있 고 , 구동 수단 ( 미 도시 ) 에 의해 상하 로 승강 할 수 도 있 다 . 승강 이 가능 한 경우 에 는 도 1 에 도시 된 바 와 같이 베이스 플레이트 ( 30 ) 의 하부 에 벨로우즈 ( 40 ) 를 설치 하 여 승강 도중 에 도 챔버 ( 11 ) 내부 의 진공 을 유지 할 수 있 도록 하 여야 한다 .