상기 시디 ( CD ) 의 측정 에 는 주사 전자 현미경 ( scanning electron microscope ; SEM ) 이 널리 사용 된다 . 상기 주사 전자 현미경 ( SEM ) 은 반도체 기판 의 지정 된 위치 에 전자 빔 을 주사 하 고 , 상기 반도체 기판 으로부터 방출 되 는 2 차 전자 ( secondary electron ) 를 검출 하 여 영상 자료 를 얻 는다 . 상기 영상 자료 를 이용 하 여 상기 패턴 의 폭 또는 간격 을 측정 할 수 있 다 .