전극 ( 11 ') 은 특히 , 적어도 하나 의 소스 및 적어도 하나 의 드레 인 의 연결 로 , 정전식 유지 력 을 생성 할 수 있 다 . 한 쌍 보다 많 은 전극 ( 11 ') 이 사용 된다면 , 기판 ( 4 ) 은 평평 하 게 당겨질 수 있 고 , 그 다음 바람직 한 순서 로 연결 된 전극 ( 11 ') 을 사용 하 여 유지 될 수 있 다 . 특히 , 상호 적 으로 반대 전극 이 연결 되 어서 , 연속 적 인 롤링 아웃 과 홀딩 이 발생 할 수 있 다 .