본 발명 의 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 제 1 연마 공정 에 사용 되 는 상기 제 1 슬러리 조성물 은 연마제 , 산화제 , 유기산 및 용매 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 슬러리 조성물 은 연마제 0 . 1 내지 2 중량 %, 산화제 0 . 12 내지 5 중량 %, 유기산 0 . 1 내지 5 중량 % 및 여분 의 용매 를 포함 할 수 있 다 .