척 테이블 ( 10 ) 은 , 원반 형상 이 고 , 피 가 공물 ( 200 ) 을 유지 하 는 유지 면 ( 11 ) 이 포 러스 세라믹 등 으로 형성 되 어 있 다 . 또 , 척 테이블 ( 10 ) 은 , X 축 이동 유닛 ( 31 ) 에 의해 절삭 유닛 ( 20 ) 의 하방 의 가공 영역 과 , 절삭 유닛 ( 20 ) 의 하방 으로부터 이간 되 어 피 가 공물 ( 200 ) 이 반 입출 되 는 반 입출 영역 에 걸쳐 X 축 방향 으로 자유 롭 게 이동 할 수 있 도록 형성 되 고 , 또한 회전 이동 유닛 ( 34 ) 에 의해 Z 축 방향 과 평행 한 축심 둘레 로 자유 롭 게 회전 할 수 있 도록 형성 되 어 있 다 . 척 테이블 ( 10 ) 은 , 유지 면 ( 11 ) 이 도시 되 지 않 은 진공 흡 인원 과 접속 되 어 , 진공 흡 인원 에 의해 흡인 됨 으로써 , 유지 면 ( 11 ) 에 재치 ( 載 置 ) 된 피 가 공물 ( 200 ) 을 흡인 , 유지 한다 . 실시 형태 에서 는 , 척 테이블 ( 10 ) 은 , 점착 테이프 ( 210 ) 를 개재 하 여 피 가 공물 ( 200 ) 의 이면 ( 205 ) 측 을 흡인 , 유지 한다 .