매핑 센서 ( 20 ) 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 검출 한다 . 도 1 및 도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 매핑 센서 ( 20 ) 는 , 도어 부 ( 14 ) 의 상단 가장자리 부 에 일체 적 으로 고정 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 매핑 센서 ( 20 ) 는 , 도어 부 ( 14 ) 의 상단 가장자리 부 중 좌우 방향 의 중앙 에 위치 하 는 부분 에 , 예 를 들 면 도시 하 지 않 은 체결 수단 등 에 의해서 고정 되 어 있 다 .