일 측 의 상면 이 확장 된 구조 를 갖 는 콘 택 플러그 를 포함 하 는 반도체 장치 및 이 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 상기 반도체 장치 는 도전 성 구조물 들 과 , 콘 택 플러그 들 과 , 커패시터 를 포함 한다 . 상기 도전 성 구조물 은 기판 상 에 형성 되 고 , 상기 콘 택 플러그 들 은 상기 기판 의 도전 성 구조물 들 사이 에 위치 하 면서 매트릭스 방향 으로 배열 된다 . 상기 커패시터 는 실린더 형상 을 갖 고 , 상기 콘 택 플러그 들 과 전기 적 으로 연결 된 구조 를 갖 는다 . 특히 , 상기 콘 택 플러그 들 은 홀수 번 째 행 에 위치 하 는 제 1 콘 택 플러그 들 과 짝수 번 째 행 에 위치 하 는 제 2 콘 택 플러그 들 을 포함 하 며 , 상기 제 1 콘 택 플러그 들 과 상기 제 2 콘 택 플러그 들 은 각각 서로 다른 방향 으로 확장 된 일 측 상면 을 갖 는다 . 상술 한 구조 를 갖 는 콘 택 플러그 를 포함 하 는 반도체 장치 는 커패시터 와 콘 택 플러그 간 의 오버랩 마진 이 2 / 3 이상 향상 될 수 있 다 .