그러므로 본 발명 의 평판 표시 소자 제조 장치 의 리프트 핀 모듈 에 의한 기판 디 척 킹 하 는 과정 은 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 상기 기판 ( S ) 이 안착 되 는 하부 전극 ( 114 ) 과 의 접촉 부위 에서 압력 차 에 의해 기판 ( S ) 이 파손 되 는 것 을 방지 할 수 있 도록 상기 리프트 핀 ( 120 ) 의 외부 에 결합 되 는 핀 하우징 ( 122 ) 에 방사상 의 홈 부 ( 122 b ) 가 형성 되 되 상기 확 장부 ( 122 a ) 에 간격 형성 돌기 ( 122 c ) 가 형성 되 어 하부 전극 ( 114 ) 으로부터 간격 이 발생 된 상태 에서 상기 홈 부 ( 122 b ) 를 따라 기판 ( S ) 과 하부 전극 ( 114 ) 의 사이 로 가스 또는 에어 가 공급 되 어 기판 ( S ) 의 외부 압력 과 기판 ( S ) 의 내부 압력 이 동일 하 게 된다 .