조사량 제 어부 인 블 랭킹 플레이트 ( 204 ) 에 는 , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 의 각 개구 ( 22 ) 의 배치 위치 에 맞추 어 빔 의 통과 홀 이 형성 되 어 있 다 . 각 통과 홀 에 는 , 쌍 이 되 는 2 개 의 전극 의 조 ( 블 랭 커 ) 가 각각 배치 된다 . 각 통과 홀 을 통과 하 는 전자 빔 은 , 블 랭 커 에 인가 되 는 전압 에 의하 여 빔 온 또는 빔 오프 상태 로 빔 마다 독립 적 으로 제어 된다 . 빔 온인 경우 , 블 랭 커 의 대향 하 는 전극 은 동 전위 로 제어 되 고 , 블 랭 커 는 빔 을 편향 하 지 않 는다 . 빔 오프 인 경우 , 블 랭 커 의 대향 하 는 전극 은 서로 상이 한 전위 로 제어 되 고 , 블 랭 커 는 빔 을 편향 한다 . 이 와 같이 , 복수 의 블 랭 커 가 , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 의 복수 의 개구 ( 22 ) 를 통과 한 멀티 빔 중 , 각각 에 대응 하 는 빔 의 블 랭킹 편향 을 행함 으로써 빔 오프 상태 로 제어 한다 .