또한 , 기초 가 되 는 금속 막 의 표면 을 산화 시킴 으로써 , 금속 막 과 금속 산화 막 이 적층 된 박리 층 ( 702 ) 을 형성 하 도록 해도 좋 지만 , 금속 막 을 형성 한 후 에 금속 산화 막 을 별도 로 형성 하 도록 하 여도 좋 다 . 예 를 들 어 , 금속 으로서 텅스텐 을 사용 하 는 경우 , 스퍼터링 법 이나 CVD 법 등 에 의해 기초 가 되 는 금속 막 으로서 텅스텐 막 을 형성 한 후 , 그 텅스텐 막 에 플 라즈 마 처리 를 행한다 . 이것 에 의해 , 금속 막 에 상당 하 는 텅스텐 막 과 , 그 금속 막 에 접하 고 , 또한 텅스텐 의 산화물 로 형성 된 금속 산화 막 을 형성 할 수 있 다 .