현상 공정 은 현상액 을 이용 하 여 포토레지스트 의 비 경화 지역 을 제거 하 는 공정 으로 알려져 있 으며 , 이러 한 현상액 을 이용한 레지스 트 ( 22 ) 의 비 경화 지역 ( 22 B ) 을 제거 한다 . 바람직 하 게 , 현상액 은 황산 ( H 2 SO 4 ) 과 과산화수소수 ( H 2 O 2 ) 의 혼합액 인 SPM ( Sulfuric acid / hydrogen Peroxide Mixture ) 를 이용 한다 .