광 모듈 로서 , 구동 용 코일 및 기전력 모니터 용 코일 이 가 동부 에 마련 된 전자 구동 방식 의 MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) 미러 를 구비 하 는 것 이 알려져 있 다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 , 2 참조 ) . 이러 한 MEMS 미러 에서 는 , 구동 용 코일 에 로렌츠 력 을 발생 시키 기 위한 자석 의 자계 중 에 있 어서 가동 부 가 요동 하 기 때문 에 , 가 동부 에 마련 된 기전력 모니터 용 코일 에 기전력 이 발생 한다 . 따라서 , 기전력 모니터 용 코일 에 발생 한 기전력 에 기초 하 여 , 미러 가 마련 된 가동 부 의 편 향각 ( deflection angle ) , 즉 , 미러 의 편 향각 에 관한 정보 를 취득 할 수 있 다 .