유체 분사 부 ( 300 ) 는 기판 의 상부 면 을 따라 이동 하 면서 기판 으로 세정 유체 를 분사 하 는 역할 을 수행 한다 . 유체 분사 부 ( 300 ) 는 기판 의 표면 에서 일정 거리 만큼 이격 된 상태 에서 기판 의 상부 면 에 평행 한 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 즉 , 유체 분사 부 ( 300 ) 는 기판 의 표면 과 의 거리 를 일정 하 게 유지 한 상태 에서 세정 유체 를 분사 하 면서 이동 할 수 있 는 것 이 다 . 이 에 따라 , 기판 의 표면 전반 에 걸쳐 동일 한 양 및 동일 한 압력 으로 세정 유체 가 분사 될 수 있 게 된다 .