조 절부 ( 256 ) 는 기판 ( 10 ) 에 대한 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 수평 상태 를 유지 할 수 있 도록 , 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 수평 도 를 조절 하 도록 마련 된다 . 이 와 같이 , 조 절부 ( 256 ) 를 마련 하 고 , 기판 ( 10 ) 에 대한 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 수평 상태 를 유지 되 도록 하 는 것 에 의하 여 , 유체 를 매개 로 한 기판 ( 10 ) 의 흡착 력 이 기판 ( 10 ) 전체 에 균일 하 게 형성 되 게 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .