상기 도파관 조립 체 100 , 및 특히 상기 부스터 는 예 를 들 어 , 하우징 측벽 151 을 형성 하 는 튜브 155 상 에 처리 챔버 하우징 으로부터 도파관 조립 체 를 진동 적 으로 분리 하 도록 구성 된 ( 작동 도중 초음파 적 으로 진동 하 는 ) 마운 팅 멤버 ( 나타내 지 않 음 ) 에 의해 이 의 상위 단부 에 챔버 하우징 상 에 적절히 장착 된다 . 즉 , 상기 마운 팅 멤버 는 챔버 하우징 의 내부 공간 38 내 에 도파관 조립 체 ( 및 특히 호른 조립 체 133 ) 의 원 하 는 횡 방향 위치 를 유지 하 고 , 챔버 하우징 내 에서 호른 조립 체 의 종 방향 및 횡 방향 이동 을 모두 가능 케 하 면서 , 챔버 하우징 에 대한 도파관 조립 체 100 의 종 방향 및 횡 방향 기계 적 진동 의 전달 을 억제 한다 . 상기 마운 팅 멤버 는 또한 적어도 부분 적 으로 ( 예 , 부스터 , 호른 조립 체 의 하위 단부 , 및 / 또는 클로저 163 과 함께 ) 챔버 12 의 출구 포트 단부 122 를 패 쇄 한다 . 적절 한 마운 팅 멤버 배열 형태 의 예 는 미국 특허 제 6 , 676 , 003 호 에 도시 되 고 기술 되 어 있 으며 , 이 는 본 명세서 에 본 발명 과 일관 성 있 는 정도 로 참고 문헌 으로 편입 된다 .