베어링 ( 13 ) 은 , 하우징 ( 14 ) 의 동체 부 ( 14 a ) 를 지지 하 고 있 다 . 베어링 ( 13 ) 의 중심축 ( 축 ( A ) ) 은 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 과 평행 하 게 배치 된다 . 베어링 ( 13 ) 은 , 검사 대상 기판 ( P ) 과 근접 하 여 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 . 베어링 ( 13 ) 과 검사 대상 기판 ( P ) 의 거리 의 상한 으로서 는 , 180 ㎜ 가 바람직 하 고 , 125 ㎜ 가 보다 바람직 하 고 , 100 ㎜ 가 더욱 바람직 하 다 . 상기 거리 를 상기 상한 이하 로 함 으로써 , 베어링 ( 13 ) 의 기울기 에 기인 하 는 검사 대상 기판 ( P ) 의 측정 점 에 대한 복수 의 프로브 ( 11 a ) 의 위치 어긋남 을 충분히 작 게 할 수 있 다 . 이 로써 , 당해 전기 검사 장치 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 전기 검사 정밀도 를 충분히 높일 수 있 다 . 한편 , 상기 거리 의 하한 으로서 는 , 특별히 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 예 를 들 어 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 검사 대상 기판 ( P ) 의 의도 하 지 않 은 접촉 을 억제 하 는 관점 에서 , 10 ㎜ 로 할 수 있 다 . 또한 , 「 베어링 과 검사 대상 기판 의 거리 」 란 , 베어링 과 검사 대상 기판 의 측정 점 의 평균 거리 를 의미 하 고 , 예 를 들 어 검사 대상 기판 의 법선 방향 에 있 어서 의 베어링 과 임의 의 5 개 의 측정 점 의 거리 의 평균값 을 말 한다 .