통상 반도체 제조 장치 에 사용 되 는 종래 의 유량계 는 , 유량계 의 몸체 내부 중앙 에 장착 되 는 회전 터빈 을 고정 시키 기 위한 고정 터빈 이 유량계 몸체 내부 에 나 사식 으로 삽입 고정 되 도록 구성 되 어 있 어 나 사식 으로 삽입 이 될 때 편심 으로 결합 되 는 경우 가 자주 발생 하 여 동심도 를 유지 할 수 없 기 때문 에 미세 한 유량 까지 측정 할 수 없 는 문제점 이 있 었 던 것 이 다 . 또한 , 고정 터빈 은 유량 이 통과 하 는 통로 가 동일 한 직경 으로 테이퍼 를 형성 하 여 회전 하 도록 하 였 기 때문 에 , 유량 이 접촉 하 는 전면 에 는 표면적 이 넓 어 부력 이 생김 으로써 유량 의 흐름 이 원활 하 게 이루어지 지 않 아 유량 측정 의 범위 가 좁 은 문제점 이 있 었 다 .