이 어 , 상기 나이트 라이드 막 식각 조건 으로 상기 옥사이드 막 ( 250 ) 을 EPD ( End Point Detector ) 로 검출 한 후 , 추가 로 동일 조건 을 적용 하 여 식각 을 수행 시키 게 되 는데 , 이 와 같 은 식각 공정 을 통해 도 2 b 에서 보여 지 는 바 와 같이 나이트 라이드 잔존물 ( 240 ) 을 완전히 제거 할 수 있 다 .