서 셉 터 ( 13 ) 의 상면 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 정전 흡착 력 으로 보 지 하 기 위한 정전 척 ( ESC ) ( 14 ) 이 배치 되 어 있 다 . 정전 척 ( 14 ) 은 도전 막 으로 이루어지 는 전 극판 ( 15 ) 과 , 전 극판 ( 15 ) 을 협지 하 는 한 쌍 의 절연 층 , 예 를 들 면 Y 2 O 3 , Al 2 O 3 , AlN 등 의 유전체 로 이루어지 며 , 전 극판 ( 15 ) 에 는 직류 전원 ( 16 ) 이 접속 단자 를 거쳐서 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 이 정전 척 ( 14 ) 은 , 직류 전원 ( 16 ) 에 의해 인가 된 직류 전압 에 기인 하 는 쿨롱력 또는 존슨 · 라벡 ( Johnsen - Rahbek ) 력 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 보 지 한다 .