스퍼터 성막 하 여 얻 어 진 막 을 갖 는 유리 기판 을 소정 온도 로 설정 할 수 있 는 노 에 넣 고 , 먼저 노 내 의 대기 를 로터리 펌프 등 에 의해 배기 한 후 에 , 순 산소 또는 소정 의 종류 와 농도 를 갖 는 가스 를 도입 하 여 , 소정 의 온도 ( 일반 적 으로 는 100 ∼ 600 ℃, 어닐링 의 효과 를 충분히 발현 시키 기 위해 , 또한 막 이 결정 화 되 지 않 게 하 는 이유 로부터 바람직 하 게 는 200 ∼ 400 ℃) 에 이 를 때 까지 승 온 한 후 , 일정 시간 ( 일반 적 으로 는 1 ∼ 60 분 , 지나치 게 장시간 어닐링 을 실시 해도 효과 가 포화 되 는 점 에서 바람직 하 게 는 1 ∼ 20 분 ) 유지 시키 고 , 강온 함 으로써 산화물 박막 을 어닐링 할 수 있 다 . 그 때 에 중요 한 점 은 , 산화물 박막 을 설치 하 는 로 내 의 대기 를 배기 하 는 것 이 며 , 이것 이 불 충분 하 면 , 소정 의 종류 와 농도 를 갖 는 가스 중 에서 의 어닐링 이 이루어지 지 않 아 , 대기 중 의 잔류 산소 나 질소 의 영향 을 받 게 된다 .