( 3 ) 　 세 척 : 식각 후 의 도형 기판 을 10 ％ ~ 30 ％( 질량 백분율 ) 유산 용액 에 집 어 넣 어 15 ~ 25 분 초음파 처리 하 고 , 현미경 으로 　 관찰 했 을 때 완전히 깨끗 하 게 된 후 , 기판 을 추출 하 여 다시 아세톤 , 에탄올 에 각각 8 - 15 분 초음파 처리 하 고 , 그 후 이온 수 로 깨끗히 씻 어 내 면 된다 .