본 개발 은 규소 및 산소 함유 막 을 증착 시키 기 위한 공정 의 일부 로서 기판 의 표면 에 올리 고 실록 산 단위 를 고정 시키 는 역할 을 하 는 오가노 아미노 기 뿐 만 아니 라 적어도 두 개 의 규소 및 두 개 의 산소 원자 를 갖 는 , 규소 - 및 산소 - 함유 전구체 , 상세 하 게 , 오가노 아미노 - 작용 화 된 선형 및 환형 올리 고 실록 산 을 제공 함 으로써 통상 적 인 전구체 및 공정 과 관련 된 문제점 을 해소 한다 . 본 발명 에 개시 되 는 다중 - 규소 전구체 는 상기 배경 기술 ( Background ) 섹션 에 기술 된 구조 와 비교 하 여 신규 한 구조 를 가지 고 , 이 에 따라 , 전 구체 합성 의 비용 또는 편의 성 , 열 적 안정 성 , 반응 성 또는 휘발 성 을 포함 하 는 전구체 의 물리 적 성질 , 규소 - 함유 막 을 증착 시키 는 공정 , 또는 증착 된 규소 - 함유 막 의 성질 과 관련 하 여 하나 이상 의 양태 의 장점 을 제공 할 수 있 다 .