제 6 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 대해 도 21 을 참조 하 여 설명 한다 . 여기 서 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 와 는 상이 한 개소 를 중심 으로 설명 하 고 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 와 동일 한 부위 에 는 , 동일 한 부호 를 붙이 고 , 상세 한 설명 은 생략 한다 . 도 21 은 제 6 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 일부 를 도시 한 사시도 이 다 . 한편 , 여기 서 는 , 우측 아암 ( 5 R ) 을 일례 로서 설명 하 지만 , 좌측 아암 ( 5 L ) 에 있 어서 도 동일 한 구성 을 갖 는다 .