본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 처리 챔버 의 커버 는 상기 안내 플레이트 의 힌지 부 에 인접 하 여 배치 되 며 상기 커버 플레이트 가 상기 개방 된 상태 보다 더 개방 되 는 동안 상기 고정 바 가 상기 안내 플레이트 의 상부 면 을 따라 이동 할 수 있 도록 안내 하 는 경사면 을 갖 는 경사 면 플레이트 를 더 포함 할 수 있 다 .