이러 한 구성 을 갖 는 크라이 오 펌프 ( 50 ) 에서 공정 챔버 ( 40 ) 내 의 가스 를 응축 하 여 포집 하 기 위해서 크라이 오 펌프 ( 50 ) 의 어 레이 들 ( 51 , 52 ) 을 냉각 시킨 후 공정 챔버 ( 40 ) 와 크라이 오 펌프 ( 50 ) 를 연결 하 는 배기관 ( 60 ) 의 게이트 밸브 ( 61 ) 를 편측 으로 일부분 만 개방 시킨다 .