반응 용기 ( 12 ) 에 는 , 반응 용기 ( 12 ) 내 에 원료 가스 ( 예 를 들 어 , 트리 클로로 실란 ) 및 캐리어 가스 ( 예 를 들 어 , 수소 ) 를 포함 하 는 기상 성 장용 가스 를 서 셉 터 의 상측 영역 에 도입 하 여 서 셉 터 상 의 웨이퍼 의 주표 면 상 에 공급 하 는 기상 성 장용 가스 도입 관 ( 14 ) 이 마련 되 어 있 다 . 또한 , 반응 용기 의 기상 성 장용 가스 도입 관 이 마련 된 측 과 동일 한 측 에 는 반응 용기 에 퍼지 가스 ( 예 를 들 어 , 수소 ) 를 서 셉 터 의 하측 영역 에 도입 하 는 퍼지 가스관 ( 15 ) 이 마련 되 어 있 다 .