인터페이스 스테이션 ( 5 ) 에 는 예 를 들 면 냉각 기능 을 갖 고 유리 기판 ( G ) 의 수수 를 실시 하 는 익스텐션 · 쿨링 유 니트 ( 60 ) 과 유리 기판 ( G ) 를 일시 적 으로 수용 하 는 버퍼 카 셋 트 ( 61 ) 과 외부 장치 블럭 ( 62 ) 가 설치 되 고 있 다 . 외부 장치 블럭 ( 62 ) 에 는 기판 ( G ) 에 생산 관리 용 의 코드 를 노광 하 는 타이틀 러 와 유리 기판 ( G ) 의 주변 부 를 노광 하 는 주변 노광 장치 가 설치 되 고 있 다 . 인터페이스 스테이션 ( 5 ) 에 는 상기 익스텐션 · 쿨링 유 니트 ( 60 ) , 버퍼 카 셋 트 ( 61 ) , 외부 장치 블럭 ( 62 ) 및 노광 장치 ( 4 ) 에 대해서 , 유리 기판 ( G ) 를 반송 가능 한 기판 반 송체 ( 63 ) 이 설치 되 고 있 다 .