이러 한 유기 하층 막 으로 는 , 이미 3 층 레지스 트 법용 , 혹은 실리콘 레지스 트 조성물 을 사용 한 2 층 레지스 트 법 용 의 하층 막 으로서 공지 된 것 , 일본 특허 공개 제 2005 - 128509 호 공보 에 기재 된 4 , 4 ’-( 9 - 플 루 오렌 일리 덴 ) 비스 페놀 노볼락 수지 ( 분자량 11 , 000 ) 외 에 , 노볼락 수지 를 비롯 한 다수 의 수지 이 며 , 2 층 레지스 트 법 이나 3 층 레지스 트 법 의 레지스 트 하층 막 재료 로서 공지 된 것 등 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 통상 의 노볼락 보다 내열 성 을 높이 고 싶 은 경우 에 는 , 6 , 6 ’-( 9 - 플 루 오렌 일리 덴 ) - 디 ( 2 - 나프톨 ) 노볼락 수지 와 같 은 다환식 골격 을 넣 을 수 도 있 고 , 또한 폴리 이미드 계 수지 를 선택 할 수 도 있 다 ( 예컨대 , 일본 특허 공개 제 2004 - 153125 호 공보 ) .