도 12 의 단면도 ( 1200 ) 에서 도시 된 바 와 같이 , 상부 전극 ( 118 ) 과 하드 마스크 ( 120 ) 를 규정 하 도록 제 1 패 터닝 공정 이 수행 된다 . 상부 전극 ( 118 ) 과 하드 마스크 ( 120 ) 를 규정 하 기 위해 제 1 패 터닝 공정 은 하드 마스크 층 ( 도 11 d 의 1112 ) 과 상부 전극 층 ( 도 11 d 의 1108 ) 을 마스킹 층 ( 1202 ) ( 예 를 들 어 , 포토레지스트 물질 , 하드 마스크 등 ) 에 따라 에 천트 ( 1204 ) 에 선택 적 으로 노출 시킨다 .