상기 열처리 유닛 ( 53 ) 은 , 도 7 에 도시 하 는 바 와 같이 , 케이스 ( 53 a ) 내 에 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 고 가열 하 는 열 판 ( 53 b ) 을 구비 하 고 있 다 . 열 판 ( 53 b ) 내 에 는 , 급전 에 의해 발열 하 는 히터 ( 53 c ) 가 내장 되 어 있 다 . 히터 ( 53 c ) 의 전원 ( 53 d ) 은 , 히터 제 어부 ( 53 e ) 에 의해 제어 되 고 , 히터 제 어부 ( 53 e ) 는 , 상기 컨트롤러 ( 100 ) 와 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 컨트롤러 ( 100 ) 로부터 의 제어 신호 에 기초 하 여 히터 ( 53 c ) 의 발열량 을 조절 해서 열 판 ( 53 b ) 의 온도 를 제어 할 수 있 다 . 또한 , 케이스 ( 53 a ) 의 측 부 에 는 웨이퍼 반입 출구 ( 53 f ) 가 형성 되 고 , 이 웨이퍼 반입 출구 ( 53 f ) 에 는 , 도시 하 지 않 은 개폐 기구 에 의해 개폐 가능 한 셔터 ( 53 g ) 가 설치 되 어 있 다 .