다음 에 도 5 d 의 공정 에서 상기 강유전체 막 ( 15 ) 위 에 두께 가 20 nm 내지 75 nm 의 산화 이리듐 막 ( 16 ) 을 스퍼터 법 에 의해 퇴적 한다 . 예 를 들 면 이러 한 스퍼터 처리 는 150 ℃ 이상 이 고 350 ℃ 이하 의 , 예 를 들 면 300 ℃ 의 온도 에서 , 0 . 3 Pa 의 압력 아래 Ar 가스 및 산소 가스 를 각각 140 sccm 및 60 sccm 의 유량 으로 공급 하 고 , 약 1 kW 의 스퍼터 파워 를 투입 함 으로써 실행 할 수 있 다 . 이 와 같이 하 여 형성 된 산화 이리듐 막 ( 16 ) 은 결정 상태 로 있 고 , 산소 조성 을 표현 하 는 조성 파라미터 x 가 1 . 92 ( x = 1 . 92 ) 인 비 화학량론 조성 IrOx 를 갖 고 있 다 .