이상 상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 의하 면 , 트렌치 의 내부 또는 양각 의 주변 에서 고착 된 슬러리 ( 150 ) 에서 기인 되 는 가시 광 의 회절 또는 산란 에 의해 일부 의 선폭 이 변화 되 어 상기 촬 상부 에서 촬상 되 는 오버레이 패턴 영상 을 데이터 베이스 에 미리 저장 되 어 일정 한 선폭 을 갖 는 오버레이 패턴 영상 과 비교 하 고 , 상기 오버레이 패턴 영상 을 오버레이 패턴 에 대응 되 도록 복원 시켜 상기 가시 광 의 회절 또는 산란 에 의해 왜곡 되 어 얻 어 진 상기 오버레이 패턴 영상 으로부터 보다 정확 한 오버레이 보정 값 을 산출 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 효과 가 있 다 .