보정 스 페이서 ( 160 ) 는 제 1 기판 ( 110 ) 과 제 2 기판 ( 120 ) 사이 에서 나노 와이어 ( 156 ) 에 해당 되 는 길이 가 각 컬럼 의 나노 와이어 ( 156 ) 와 동일 한 물질 로 형성 된 보정 층 ( 163 ) 과 , 보정 층 ( 163 ) 및 전극 ( 112 , 122 ) 사이 의 물질 층 ( 161 , 162 ) 은 컬럼 ( 141 , 142 ) 의 물질 과 동일 한 물질 로 형성 되 거나 , 나노 와이어 ( 156 ) 와 다른 재질 이 지만 비슷 한 열팽창 계수 를 갖 는 물질 로 형성 될 수 있 다 . 보정 스 페이서 ( 160 ) 는 온도 변화 에 따른 나노 갭 의 간극 변화 가 일어나 지 않 도록 보정 하 는 기능 을 수행 한다 . 이러 한 보정 스 페이서 ( 160 ) 의 조성 은 각 컬럼 ( 141 , 142 ) 의 열팽창 / 수축 을 가장 잘 모사 하 는 것 이 다 .