이 에 따라 , 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 로 퍼지 가스 를 공급 할 경우 반도체 소자 의 제조 공정 중 에 기판 ( 도 1 내지 도 4 의 102 ) 이 오염 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 도 1 에서 , 제 1 퍼지 가스 공급 부 ( 124 ) 및 제 2 퍼지 가스 공급 부 ( 126 ) 은 설명 의 편의 상 제 1 및 제 2 순서 를 명기 한 것 이 다 .