다른 예 에서 는 , 평가 프로시저 가 수행 될 경우 , 추가 S - D 웨이퍼 상 의 사이트 를 이용 할 수 있 다 . 예컨대 , 하나 이상 의 S - D 웨이퍼 상 의 사이트 들 로부터 의 데이터 를 이용 하 여 평가 결정 을 수행 할 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 웨이퍼 데이터 , 프로세스 상태 데이터 , 필수 검증 사이트 의 개수 , 시찰 한 검증 사이트 의 개수 , 필수 검증 사이트 의 개수 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 S - D 웨이퍼 세트 내 의 추가 S - D 웨이퍼 에 대한 추가 프로시저 검증 시퀀스 를 확립 하 고 , 추가 S - D 웨이퍼 에 대한 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 결정 하 도록 구성 될 수 있 으며 , 이 제 1 미 검증 S - D 프로시저 는 추가 프로시저 검증 시퀀스 를 이용 하 여 결정 되 고 하나 이상 의 처리 프로 시저 를 포함 한다 .