상기 가이드 레일 ( 4 d ) 은 상기 반송 장치 ( 2 ) 에 지지 된 워크 ( W ) 상 에 후술 하 는 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 가 배치 되 는 설치 위치 에 상기 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 가 배열 설치 된 상태 에서 는 , 그 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 전후 방향 에서 의 양단 부를 하방 에서 떠받치 는 한편 , 후술 하 는 바 와 같이 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 가 상기 설치 위치 로부터 인출 될 때 에 는 후술 하 는 롤러 부재 ( 21 b ) 가 그 위 를 구르 는 레일 로서 기능 한다 . 이 가이드 레일 ( 4 d ) 은 상기 양 수평 연결부 ( 4 c , 4 c ) 의 서로 대향 하 는 측면 에 각각 설치 되 어 있 으며 , 양 가이드 레일 ( 4 d , 4 d ) 은 같 은 높이 위치 에 배열 설치 되 어 있 다 . 그리고 , 각 가이드 레일 ( 4 d ) 은 수평 연결부 ( 4 c ) 와 평행 , 즉 좌우 방향 으로 수평 으로 연장 되 어 있 음 과 아울러 , 수평 연결부 ( 4 c ) 의 길 이 방향 의 전역 에 걸쳐 설치 되 어 있 다 .