산 안정 단량체 로서 , " 히드록시기 또는 락톤 환 을 갖 는 단량체 가 바람직 하 다 . 히드록시기 를 갖 는 산 안정 단량체 ( 이하 이러 한 산 안정 단량체 를 "" 산 안정 단량체 ( a 2 ) "" 로 칭함 ) 또는 락톤 환 을 갖 는 산 안정 단량체 ( 이하 이러 한 산 안정 단량체 를 "" 산 안정 단량체 ( a 3 ) "" 으로 칭함 ) 로부터 유도 되 는 구조 단위 를 함유 하 는 수지 가 사용 되 는 경우 ", 기판 에 대한 레지스 트 의 접착성 및 레지스 트 의 해상 성 이 향상 되 는 경향 이 있 다 .