그리고 , 상기 반도체 웨이퍼 ( 10 ) 상 에 유기 실리카 용액 ( 14 a ) 을 도포 하 기 이전 에 상기 반도체 웨이퍼 ( 10 ) 상 에 잔류 하 는 자연 산화 막 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 제거 하 는 공정 을 더 수행 할 수 도 있 다 . 그 이유 는 , 상기 자연 산화 막 내 에 금속 오염원 이 존재 할 경우 표준 시료 를 사용 한 금속 오염원 의 분석 에 따른 데이터 의 신뢰도 에 영향 을 끼치 기 때문 이 다 .