이어서 , 도 3 a 내지 도 4 를 참조 하 여 로드 락 챔버 ( 10 ) 의 내부 구조 ( 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 구조 ) 에 대해서 설명 한다 . 또한 , 하측 내부 공간 ( 11 L ) 의 내부 구조 는 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 구조 와 동일 하 므로 , 그 설명 을 생략 한다 . 또한 , 도 3 a 에서 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) 에 배치 되 는 기판 은 부호 S 로 나타낸다 .