본 발명 은 이 와 같 은 사정 을 감안 하 여 이루어진 것 으로서 , 정전 척 장치 에 적합 하 게 이용 되 며 , 생산 성 을 향상 가능 하 고 , 높 은 비유전율 과 높 은 내전압 을 양립 하 는 복합 소 결체 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 . 또 , 이 와 같 은 복합 소 결체 를 이용 한 정전 척 부재 및 정전 척 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .