여기 에 도시 된 바 와 같이 제 1 내지 제 4 샘플 가스 를 선택 적 으로 공급 할 수 있 도록 제 1 내지 제 4 샘플 가스 유입 로 에 각각 설치 된 제 1 내지 제 4 솔레노이드 밸 브 ( 11 ∼ 14 ) 와 , 제 1 내지 제 4 솔레노이드 밸브 ( 11 ∼ 14 ) 에 의해 선택 된 샘플 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 1 MFC ( 31 ) 와 , 제로 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 3 MFC ( 33 ) 및 제 4 MFC ( 34 ) 와 , 제 1 MFC ( 31 ) 와 제 3 MFC ( 33 ) 를 통해 유입 된 샘플 가스 와 제 로 가스 를 혼합 하 여 희석 된 1 차 희석 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 2 MFC ( 32 ) 와 , 제 2 MFC ( 32 ) 의 입력단 에 설치 되 어 제 2 MFC ( 32 ) 의 유입량 을 초과 하 는 1 차 희석 가스 를 버리 기 위한 제 1 워터 트랩 ( 41 ) 과 , 제 2 MFC ( 32 ) 와 제 4 MFC ( 34 ) 를 통해 유입 된 1 차 희석 가스 와 제 로 가스 를 혼합 하 여 2 차 희석 하 여 출력 하 는 출력 단 ( 60 ) 과 , 입력 된 희석 비율 및 필요 유량 에 따라 제 1 내지 제 4 솔레노이드 밸브 ( 11 ∼ 14 ) 및 제 1 내지 제 4 MFC ( 31 ∼ 34 ) 를 작동 을 제어 하 기 위한 제 어부 ( 70 ) 로 이루어진다 .