매칭 네트워크 ( 60 , 61 ) 는 한 쌍 구비 되 며 , 고주파 전원 장치 ( 50 ) 와 코일 부재 ( 30 ) 및 고주파 전원 장치 ( 50 ) 와 안착 부재 ( 20 ) 사이 에 각각 배치 되 어 전기 적 으로 연결 되 어 있 다 . 매칭 네트워크 ( 60 , 61 ) 는 고주파 전원 공급 장치 ( 50 ) 로부터 공급 되 는 고주파 전원 을 정합 하 여 코일 부재 ( 30 ) 및 캐소드 ( 21 ) 에 전달 한다 .