따라서 예전 에 는 1 ft 3 의 면적 에서 0 . 5 μ m 이하 의 입자 가 1000 개 이하 로 유지 되 는 1000 zone 을 목표 로 하 였으나 최근 에 는 그 기준 이 더욱 강화 되 어 0 . 1 μ m 이하 의 입자 가 0 으로 유지 됨 을 목표 로 하 고 있 는데 상기 한 리킹 ( leaking ) , 처짐 또는 벌어짐 등 의 현상 은 큰 문제점 을 유발 하 게 된다 .