두께 75 ㎛ 의 FEP 필름 ( Toray Advanced Film Co . , Ltd . 제 , " "" 토요 플 론 ( 등록 상표 ) "" 의 편면 에 플 라즈 마 처리 를 했 다 . 플 라즈 마 처리 로서 는 실시 예 1 과 동일 한 조건 에서 실시 했 다 . 이어서 ", 플라 즈 마 처리 한 FEP 필름 표면 에 전자 빔 증착 법 에 의해 구리 를 성막 속도 2 . 0 ㎛· m / min , 라인 속도 4 . 0 m / min 으로 0 . 5 ㎛ 의 두께 로 구리 막 2 를 진공 증착 하 여 금속화 필름 을 얻 었 다 .