고선명 화 와 대형화 가 진행 하 는 디스플레이 용 의 노광 장치 에 대하 여 , 광학계 의 소형 화 와 고 성능 화 와 의 양립 에 유리 한 광학계 로서 일본 특허 공개 2018 - 63406 호 공보 에 기재 된 투영 광학계 가 있 다 . 특허 문헌 1 에서 는 원호 형 의 물 체면 의 축 외 의 점 으로부터 의 광 을 , 제 1 오 목면 미러 , 제 1 볼록면 미러 , 제 2 오 목면 미러 , 제 1 볼록면 미러 , 제 3 오 목면 미러 의 순 으로 5 회 반사 시키 는 투영 광학계 가 제시 되 어 있 다 .