정보 접수부 ( 260 f ) 가 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 하 면 , 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 그 접수 후 부터 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 처리 중 인 기판 처리 가 완료 될 때 까지 , 또한 구체 적 으로 는 처리 중 의 m 번 째 의 로트 에서 의 n 매 째 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 기판 처리 가 완료 될 때 까지 그 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 기판 처리 를 계속 해서 수행 한다 . 즉 처리 중 인 로트 를 구성 하 는 모든 웨이퍼 ( 200 ) 의 기판 처리 가 완료 될 때 까지 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 기판 처리 를 계속 해서 수행 한다 . 따라서 예컨대 하나 의 포드 ( 2001 ) 에 격납 된 복수 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 하나 의 로트 로 하 는 경우 라면 , 그 포드 ( 2001 ) 에 격납 된 모든 웨이퍼 ( 200 ) 의 기판 처리 가 완료 될 때 까지 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 의 기판 처리 를 계속 하 게 된다 .