또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 단차 부 ( 170 A ) , 단차 부 ( 172 ) 또는 단 차부 ( 173 ) 는 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 둘레 방향 으로 연장 되 는 단차 형상 이 다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 둘레 방향 전체 에 있 어서 , 압력 이 균일 한 가스 의 배출 을 실현 할 수 있 다 .