표 1 을 참조 하 건대 , 제 1 산화 이리듐 막 ( 16 ) 에서 는 상기 산소 조성 파라미터 x 가 20 ℃ 의 기판 온도 에서 성막 했 을 경우 에 1 . 20 내지 1 . 50 , 300 ℃ 의 기판 온도 에서 성막 했 을 경우 에 는 1 . 92 의 값 을 갖 고 , 상기 제 2 산화 이리듐 막 ( 17 ) 에서 는 상기 산소 조성 파라미터 y 가 20 ℃ 내지 60 ℃ 의 기판 온도 에서 성막 했 을 경우 에 는 2 . 10 의 값 을 , 300 ℃ 의 기판 온도 에서 성막 했 을 경우 에 는 2 . 05 의 값 을 갖 는다는 것 을 알 수 있 다 .