도 22 에 도시 된 마스크 ( MSK 1 ) 형상 을 사용 하 여 배 선부 를 패 터닝 하 는 경우 돌출 부재 의 엣지 ( DM - E ) 에 중첩 하 는 부분 에서 마스크 ( MSK 1 ) 의 투광 부 ( OTA ) 가 제 1 폭 ( M 1 ) 또는 제 2 폭 ( M 2 ) 보다 작 은 제 3 폭 ( M 3 ) 을 갖 도록 디자인 하 여 배 선부 들 간 의 쇼트 현상 을 방지 할 수 있 다 . 마스크 ( MSK 1 ) 의 투광 부 ( OTA ) 가 돌출 부재 ( DAM ) 의 엣지 ( DM - E ) 에 중첩 하 는 부분 에서 돌출 부재 ( DAM ) 와 중첩 하 는 부분 과 비교 하 여 작 은 제 3 폭 ( M 3 ) 을 갖 도록 하 여 , 제 3 폭 ( M 3 ) 의 마스크 투 광부 ( OTA ) 를 투과 한 광 에 의하 여 형성 된 유기 층 의 두께 를 작 게 할 수 있 다 . 따라서 , 이후 에칭 공정 에 의하 여 형성 된 배 선부 는 돌출 부재 의 엣지 ( DM - E ) 에 중첩 하 는 부분 에서 이웃 하 는 배 선부 사이 가 충분히 이격 될 수 있 어 배 선부 간 의 쇼트 문제 가 개선 될 수 있 다 .