우선 도 1 및 도 3 을 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 마이크 로 가스 센서 는 실리 콘 기판 ( 101 ) 과 , 열 손실 을 최소 화 하 기 위해 소정 의 깊이 로 상기 기판 ( 101 ) 에 형성 된 열린 공동 ( 105 ) 과 , 전기 적 절연 을 용이 하 게 하 기 위해 소정 의 깊이 로 상기 기판 ( 101 ) 에 형성 된 전극 패드 분리 홈 ( 114 ) 과 , 센서 소자 를 용이 하 게 분리 하 기 위해 소정 의 깊이 로 상기 기판 ( 101 ) 에 형성 된 다이 분리 선 ( 115 ) 과 , 부양 되 는 구조 를 고정 하 기 위해 상기 기판 ( 101 ) 에 형성 된 고정부 ( 111 ) 와 , 상기 열린 공동 ( 105 ) 의 상부 에 형성 되 어 부양 되 는 구조 를 상기 기판 ( 101 ) 과 전기 적 으로 절연 시키 는 절 연막 ( 도 3 의 102 ) 과 , 상기 절 연막 ( 102 ) 위 에 도전 막 ( 103 ) 을 적층 하 여 높 은 열전도도 와 내구 성 을 갖 도록 형성 된 지지막 ( 104 ) 과 , 상기 절 연막 ( 102 ) 위 에 상기 도전 막 ( 103 ) 으로 형성 되 어 상기 열린 공동 ( 105 ) 의 위쪽 에 브리지 ( bridge ) 구조 로 부양 된 채 로 열 을 발산 하 는 마이크 로 히터 ( 106 ) 와 , 상기 절 연막 ( 102 ) 위 에 상기 도전 막 ( 103 ) 으로 형성 되 어 상기 마이크 로 히터 ( 106 ) 의 양쪽 측면 에 부착 되 어 열 발 산기 로서 의 역할 을 수행 함 과 함께 1 개 이상 복수 의 외팔보 ( cantilever ) 구조 인 미세 전극 가지 ( 110 ) 들 로 구성 된 중앙부 감지 전극 ( 107 ) 과 , 로 그 한쪽 끝단 이 상기 중앙부 감지 전극 ( 107 ) 에 대향 되 어 ( counterpart ) 1 쌍 의 IDE ( interdigitated electrode ) 감지 전극 을 구성 하 고 , 다른 쪽 끝단 은 절 연막 ( 102 ) 을 통해 고정부 ( 111 ) 에 의해 기판 ( 101 ) 에 고정 되 는 상기 열린 공동 ( 105 ) 의 위쪽 에 부양 되 는 좌측 감지 전극 ( 108 ) 및 우측 감지 전극 ( 109 ) 과 , 상기 절 연막 ( 102 ) 위 에 상기 도전 막 ( 103 ) 으로 형성 되 어 상기 마이크 로 히터 ( 106 ) 의 양 끝단 과 상기 감지 전극 ( 107 , 108 , 109 ) 들 의 한쪽 끝단 에 연결 되 어 소자 의 외부 의 전기 도선 과 도통 하 기 위한 4 개 의 전극 패드 ( 112 ) 와 , 상기 열린 공동 ( 105 ) 의 상부 중앙 부위 에 부양 된 마이크 로 히터 ( 106 ) , 중앙부 감지 전극 ( 107 ) , 좌측 감지 전극 ( 108 ) , 우측 감지 전극 ( 109 ) 의 표면 과 접촉 하 여 연결 되 며 금속 산화물 , 금속 , 반도체 , 폴리머 , 나노 물질 등 을 포함 하 는 물질 중 어느 하나 로 구성 되 는 가스 감응 막 ( 113 ) 을 포함 하 여 이루어진다 .