가열 부재 ( 270 ) 는 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 및 블로커 조립 체 ( 230 ) 를 포함 하 는 전달 조립 체 ( 220 ) 의 부품 이 서로 각각 전도 성 있 게 연결 되 기 때문 에 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 의 온도 를 조절 한다 . 프로세싱 챔버 에 대한 부가 적 인 설명 은 2005 년 2 월 22 일 출원 되 고 US 2005 - 0230350 으로 공개 된 U . S . 시리얼 넘버 제 11 / 063 , 645 호 에서 찾 을 수 있 으며 , 이 는 본원 에 참조 에 의해 통합 된다 .