또한 , 도전 층 의 에칭 은 , 건식 에칭 , 습식 에칭 의 어느 것 을 사용 해도 좋 지만 , 미세화 를 위해서 는 , 제 어성 이 좋 은 건식 에칭 을 사용 하 는 것 이 적합 하 다 . 또한 , 형성 되 는 소스 전극 ( 142 a ) 및 드레 인 전극 ( 142 b ) 이 테이퍼 형 형상 으로 되 도록 행해도 된다 . 테이퍼 각 은 , 예 를 들 어 30 ° 이상 60 ° 이하 로 할 수 있 다 .