그 후 , 오토클레이브 에 도입 하 기 전 의 단계 에서 질소 가스 에 의해 95 용량 ％ 로 희석 된 염소 가스 및 마찬가지 로 질소 가스 로 60 용량 ％ 로 희석 된 불소 가스 를 혼합 하 여 , 오토클레이브 내 에 장착 된 가스 도입 관 에 의해 액상 부 로부터 압력 0 . 7 ㎫ 로 도입 하 여 반응 을 개시 하 고 , 2 시간 반응 시켰 다 . 2 시간 경과 후 오토클레이브 의 기 상부 로부터 주로 희석 가스 인 질소 가스 를 퍼지 하 고 , 그 후 상기 한 95 용량 ％ 염소 가스 와 60 용량 ％ 불소 가스 의 혼합 가스 를 액상 부 로부터 압력 0 . 7 ㎫ 로 도입 하 는 조작 을 반복 하 고 , 최종 적 으로 는 반응 온도 를 40 ℃ 로 올려 60 용량 ％ 불소 가스 만 으 로 반응 을 실시 하 여 , 반응 을 완료 시켰 다 .