가스 분사 부 ( 130 ) 는 챔버 리드 ( 115 ) 에 형성 된 제 1 내지 제 4 모듈 설치 부 ( 115 a , 115 b , 115 c , 115 d ) 각각 에 삽입 설치 된다 . 이러 한 가스 분사 부 ( 130 ) 는 기판 지지 부 ( 120 ) 의 회전 에 따라 회전 되 는 복수 의 기판 ( W ) 상 에 제 1 및 제 2 가스 를 공간 적 으로 분리 하 여 분사 한다 .