이상 , 본 발명 의 일 실시 형태 에 대해 설명 했 지만 , 본 발명 은 상기 실시 형태 로 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 도 11 의 ( a ) 에 도시 되 는 제 1 변형 예 와 같이 , 상기 실시 형태 에 있 어서 , MEMS 미러 ( 1 ) 는 제 2 가동 부 ( 4 ) , 한 쌍 의 제 2 연결부 ( 6 ) , 및 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 을 구비 하 지 않 아도 된다 . 제 1 변형 예 에서 는 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 는 제 1 축선 X 1 둘레 로 요동 가능 해 지 도록 , 한 쌍 의 제 1 연결부 ( 5 ) 를 통해서 지 지 부 ( 2 ) 에 연결 되 어 있 다 . 한 쌍 의 제 1 연결부 ( 5 ) 는 제 1 가동 부 ( 3 ) 가 제 1 축선 X 1 둘레 로 요동 가능 해 지 도록 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 와 지지 부 ( 2 ) 를 서로 연결 하 고 있 다 . 제 1 연결부 ( 5 ) 에 작용 하 는 응력 의 완화 를 위해서 , 각 제 1 연결부 ( 5 ) 에 있 어서 의 제 1 가동 부 ( 3 ) 측 의 단부 ( 端部 ) 의 폭 은 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 에 가까워질수록 넓 어 져 있 다 . 제 1 변형 예 에서 는 , 각 제 1 연결부 ( 5 ) 에 있 어서 의 제 1 가동 부 ( 3 ) 와 는 반대 측 의 단부 는 , 일정 한 폭 을 가지 고 있 지만 , 제 1 연결부 ( 5 ) 에 작용 하 는 응력 을 더욱 완화 시키 기 위해서 , 각 제 1 연결부 ( 5 ) 에 있 어서 의 제 1 가동 부 ( 3 ) 와 는 반대 측 의 단부 의 폭 은 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 로부터 멀 어 질수록 넓 어 져 있 어도 된다 . 이 와 같이 제 1 연결부 ( 5 ) 에 확 폭부 ( 擴 幅 部 ) ( 응력 완화 부 ) 가 마련 되 어 있 는 경우 , 제 1 연결부 ( 5 ) 의 폭 이란 , 제 1 연결부 ( 5 ) 중 확 폭부 를 제외 한 부분 의 폭 ( 최대 폭 ) 이 다 . 덧붙여 , 마찬가지 로 , 제 2 연결부 ( 6 ) 의 적어도 한쪽 의 단부 에 확 폭부 가 마련 되 어 있 어도 되 고 , 이 경우 , 제 2 연결부 ( 6 ) 의 폭 이란 , 제 2 연결부 ( 6 ) 중 확 폭부 를 제외 한 부분 의 폭 ( 최대 폭 ) 이 다 .