구동 부재 ( 470 ) 는 노즐 암 지지 부재 들 ( 472 a , 472 b ) 과 , 가이드 부재 ( 474 ) , 그리고 구 동기 들 ( 476 a , 476 b ) 을 포함 한다 . 제 1 노즐 암 ( 440 ) 의 일단 에 는 제 1 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 가 결합 되 고 , 제 2 노즐 암 ( 440 ') 의 일단 에 는 제 2 노즐 암 지지 부재 ( 472 b ) 가 결합 된다 . 제 1 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 는 제 1 노즐 암 ( 440 ) 과 직각 을 유지 하 도록 수직 방향 으로 배치 된 이동 로드 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 제 2 노즐 암 지지 부재 ( 472 b ) 는 제 2 노즐 암 ( 440 ') 과 직각 을 유지 하 도록 수직 방향 으로 배치 된 이동 로드 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 제 1 및 제 2 노즐 암 지지 부재 들 ( 472 a , 472 b ) 의 하단 부 는 가이드 부재 ( 474 ) 에 각각 연결 된다 . 가이드 부재 ( 474 ) 는 대기 포트 들 ( 480 , 480 ') 및 보관 포트 들 ( 490 , 490 ') 의 배열 방향 과 평행 을 이루 도록 기판 지지 부재 ( 410 ) 의 일 측 에 배치 된다 . 가이드 부재 ( 474 ) 는 가이드 레일 형상 으로 제공 될 수 있 으며 , 제 1 및 제 2 노즐 암 지지 부재 들 ( 472 a , 472 b ) 의 직선 이동 을 안내 한다 . 그리고 , 제 1 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 에 는 제 1 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 를 직선 운동 시키 는 제 1 구 동기 ( 476 a ) 가 연결 되 고 , 제 2 노즐 암 지지 부재 ( 472 b ) 에 는 제 2 노즐 암 지지 부재 ( 472 b ) 를 직선 운동 시키 는 제 2 구 동기 ( 476 b ) 가 연결 된다 . 제 1 및 제 2 구 동기 ( 476 a , 476 b ) 로 는 실린더 와 같 은 직선 왕복 운동 기구 가 사용 될 수 있 으며 , 이외 에 도 모터 와 기어 의 조합 으로 이루어진 어셈블리 등 이 사용 될 수 도 있 다 .