본 발명 은 전극 물질 로 루테늄 막 과 루테늄 산화 막 을 이용 하 되 캐 패 시터 의 하부 전극 구조 를 미세 반구형 의 그레인 이 형성 된 표면 을 가진 기둥 으로 제조 하 여 표면적 을 증대 시켜 고집 적 소자 동작 에 요구 되 는 충분 한 캐 패 시터 용량 을 확보 할 수 있 는 공정 신뢰도 가 높 은 캐 패 시터 의 제조 방법 에 관한 것 으로 , 이 를 위해 본 발명 은 , 복수 개 의 오픈 영역 을 갖 는 희생 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 오픈 영역 의 내부 단차 를 따라 루테늄 산화 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 루테늄 산화 막 상 에 상기 오픈 영역 이 채워 지 도록 루테늄 막 을 형성 하 는 단계 , 하부 전극 분리 공정 으로 상기 오픈 영역 에 루테늄 산화 막 과 상기 루테늄 막 을 매립 하 는 단계 , 상기 희생 막 을 제거 하 는 단계 및 상기 루테늄 산화 막 을 루테늄 막 으로 환원 시켜 하부 전극 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 캐 패 시터 의 제조 방법 을 제공 하 여 , 표면적 을 극대 화 시킨 3 차원 기둥 구조 의 캐 패 시터 를 구현 함 으로써 실린더 구조 보다 더 높 은 종횡비 에서 무너짐 현상 이 발생 하 지 않 으면서 , 동시 에 높 은 충전 용량 을 확보 할 수 있 다 .