제 2 사후 처리 하 는 단계 ( S 30 ) 는 실질 적 으로 제 1 사후 처리 하 는 단계 ( S 20 ) 와 동일 할 수 있 다 . 따라서 , 제 2 사후 세정 하 는 단계 와 제 2 포스트 코팅 막 을 형성 하 는 단계 는 제 1 사후 세정 하 는 단계 와 제 1 포스트 코팅 막 을 형성 하 는 단계 를 각각 참조 할 수 있 다 . 한편 , 도 2 에 는 제 1 내지 제 4 기판 들 ( W 1 , W 2 , W 3 , W 4 ) 을 처리 하 는 공정 에 대해서 도시 되 었 지만 , 이러 한 단계 가 반복 되 어 복수 의 기판 들 을 처리 하 는 공정 으로 확장 될 수 있 다 .