확장 캡 핑 층 ( 158 ) 은 복수 의 절연 스 페이서 구조 체 ( 150 ) 의 상단 의 제 2 절연 스 페이서 ( 154 ) 의 상면 을 덮 을 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 확장 캡 핑 층 ( 158 ) 을 형성 하 기 전 에 제 2 절연 스 페이서 ( 154 ) 를 제거 한 후 , 확장 캡 핑 층 ( 158 ) 이 복수 의 절연 스 페이서 구조 체 ( 150 ) 의 상단 의 제 1 절연 스 페이서 ( 152 ) 의 상면 및 제 3 절연 스 페이서 ( 156 ) 의 상면 을 함께 덮 어서 , 제 1 절연 스 페이서 ( 152 ) , 제 3 절연 스 페이서 ( 156 ) , 및 확장 캡 핑 층 ( 158 ) 에 의하 여 한정 되 는 에 어 스 페이서 를 형성 할 수 있 다 .