마찬가지 로 , 도 1 에서 는 도시 가 생략 되 어 있 지만 , 노광 장치 ( 100 ) 는 , 예 를 들 어 미국 특허 제 5 , 448 , 332 호 명세서 등 에 개시 된 것 과 동일 한 조사 계 ( 42 a ) 와 수광 계 ( 42 b ) ( 도 4 참조 ) 로 이루어지 는 사 입사 ( 斜 入射 ) 방식 의 다점 초점 위치 검출 계 를 추가 로 구비 하 고 있 다 .