특허 문헌 2 에 개시 된 바 와 같이 , 베이스 바디 ( 102 ) 의 상부 면 ( 102 a ) 에 설치 된 복수 돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 직경 ( φ 1 ) 을 가능 한 한 작 게 설정 하 여 기판 ( 107 ) 과 복수 돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 사이 의 접촉 면적 을 감소 시키 는 방식 으로 , 복수 돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 과 접촉 하 는 부분 에서 의 기판 ( 107 ) 의 대향 면 에 부착 된 파티클 을 감소 시키 는 것 이 가능 하 지만 , 대부분 의 파티클 들 이 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 의 상부 면 과 접촉 하 는 부분 에서 의 기판 ( 107 ) 의 대향 면 에 부착 되 는 것 이 관측 된다 . 따라서 , 단지 복수 돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 직경 ( φ 1 ) 을 가능 한 한 작 게 만드 는 것 만 으로 는 , 파티클 들 이 기판 ( 107 ) 의 대향 면 에 쉽 게 부착 되 는 문제점 을 해결 할 수 없 다 .