또한 , 상기 실시 형태 에서 는 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 을 카세트 스테이션 ( 10 ) 과 처리 스테이션 ( 20 ) 사이 에 배치 한 경우 에 대해서 설명 하 였으나 , 반드시 이러 한 배치 형태 로 할 필요 는 없 다 . 예컨대 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 을 , 연달 아 설치 하 는 카세트 스테이션 ( 10 ) 과 처리 스테이션 ( 20 ) 에 대하 여 평면 에서 보 아 직교 하 도록 하 여 카세트 스테이션 ( 10 ) 에 연달 아 설치 하 는 것 도 가능 하 다 .