다섯째 , 본 발명 의 한 실시 예인 Al 2 O 3 : N 박막 의 경우 150 oC 이하 에서 성장 한 경우 에 도 유전 상수 가 8 . 0 내외 로서 SiO 2 의 유전 상수 에 비해 2 배 이상 큰 동시 에 파손 강도 ( breakdown strength ) 와 누설 전류 ( leakage current ) 특성 도 우수 하 여 게이트 절 연막 의 두께 를 수천 Å 에서 500 Å 의 범위 에서 모두 사용 가능 한 장점 이 있 다 .