또 , 실시 예 1 A , 22 A ~ 25 A 의 대비 로부터 , 연마 액 의 pH 가 6 . 5 ~ 8 . 0 ( 바람직 하 게 는 6 . 8 ~ 7 . 8 , 보다 바람직 하 게 는 6 . 8 ~ 7 . 2 ) 인 경우 에 , 피연 마면 에서 의 디싱 및 결함 이 보다 발생 하 기 어렵 고 , 경시 안정 성 이 보다 우수 한 것 이 확인 되 었 다 . 또 , 실시 예 1 A , 26 A ~ 29 A 의 대비 로부터 , 상기 일반식 ( 1 ) 로 나타나 는 화합물 의 함유량 이 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 1000 질량 ppb 이하 ( 바람직 하 게 는 , 250 질량 ppb 이하 , 보다 바람직 하 게 는 8 질량 ppb 이하 ) 인 경우 , 피연 마면 에서 의 디싱 및 결함 이 보다 발생 하 기 어렵 고 , 경시 안정 성 이 보다 우수 한 것 이 확인 되 었 다 .