또한 , 상기 상부 프레임 ( 1850 ) 의 하면 에 는 상부 구동 부 ( 1860 ) 와 상기 상부 구동 부 ( 1860 ) 에 의해 구동 되 는 히터 장치 ( 1600 ) 가 구비 되 고 , 중간 프레임 ( 1830 ) 에 는 트레이 안착 부 ( 1500 ) , 하부 프레임 ( 1810 ) 의 상부 면 에 는 하부 구동 부 ( 1710 ) 와 , 상기 하부 구동 부 ( 1710 ) 에 의해 구동 되 어 전기 적 특성 을 검사 할 수 있 는 검사 장치 ( 1700 ) 가 구비 된다 .