본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 라인 패턴 은 짝 수개 의 라인 을 갖 고 , 상기 각각 의 제 2 희생 마스크 패턴 들 은 끊어진 형상 을 갖 는 희생 라인 및 상기 희생 라인 의 끊어진 일 단부 로부터 이웃 하 는 상기 제 1 희생 마스크 패턴 들 을 수평 연결 시키 는 수평 연결 라인 을 포함 하 여 , 상기 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 의 연결 부위 에서 π 자 형상 을 갖 도록 형성 할 수 있 다 .