도 3 a 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하 부도 를 나타낸다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 각각 은 개방 상태 에서 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하 부면 을 통하 여 유체 연통 하 도록 정의 된다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 은 스루홀 들 ( 117 ) 의 배열 사이 에 분산 되 어 있 다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 관통 하 여 하나 이상 의 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 ) 로 부설 되 어 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 과 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 스루홀 들 ( 117 ) 사이 에 직접 적 인 유체 연통 이 존재 하 지 않 는다 .