또한 , 진공 반 송실 의 저부 또는 천 정부 에 형성 된 오 목부 와 , 당해 오 목부 의 개구부 를 막 는 덮개 체 에 의해 구간 공간 을 형성 하 고 , 여기 에서 기판 의 대기 ( wait ) 나 , 기판 의 처리 를 행하 도록 함 으로써 , 장치 의 점유 면적 의 증대 를 억제 하 면서 , 기판 의 대기 나 기판 처리 를 행하 는 기능 을 추가 할 수 있 다 .