도 10 은 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 우측 면도 이 다 . 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 각각 , 8 개 의 도포 유닛 ( SC ) 을 구비 하 고 있 다 . 8 개 의 도포 유닛 ( SC ) 은 , 상하 방향 으로 2 단 × 수평 방향 으로 4 열 로 배치 되 어 있 다 . 또 , 도 10 에 있 어서 , 도포 유닛 ( SC ) 은 , 포토레지스트 를 도포 하 는 도포 유닛 ( PR ) 이 다 . 또 , 처리 층 ( B 1 ~ B 3 ) 은 각각 , 8 개 의 현상 유닛 ( DEV ) 을 구비 하 고 있 다 . 8 개 의 현상 유닛 ( DEV ) 은 , 2 단 × 4 열 로 배치 되 어 있 다 . 도포 유닛 ( SC ) 및 현상 유닛 ( DEV ) 의 개수 는 적절히 변경 된다 .