한편 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 박막 증착 장치 는 복수 의 챔버 를 포함 하 며 , 복수 의 상기 챔버 중 어느 하나 는 상기 기판 이 외부 로 출입 하 는 출입 챔버 이 며 , 복수 의 상기 챔버 중 다른 하나 는 기판 상 에 박막 을 증착 하 는 공정 이 수행 되 는 공정 챔버 이 고 , 상기 출입 챔버 및 상기 공정 챔버 를 포함 하 는 복수 의 상기 챔버 중 어느 하나 의 상기 챔버 에 결합 되 며 증착 된 상기 박막 상 에 태양광 을 조사 하 여 증착 된 상기 박막 을 에이징 시키 는 광원 을 포함 한다 .