구체 적 으로 는 , 접속 부재 ( 932 ) 가 제 1 챔버 ( 910 ) 의 진공 측 에 노출 하 는 JIS 타입 의 접속 방식 에서 는 , 접속 부재 ( 932 ) 가 관통 하 는 관 통공 ( 911 b ) 의 외측 이 되 는 외측 씰 영역 ( 933 ) 에 의해 밸브 박스 ( 10 ) 와 제 1 챔버 ( 910 ) 와 의 씰 ( seal ) 을 행할 수 있 다 . 동시 에 , 접속 부재 ( 932 ) 가 제 1 챔버 ( 910 ) 의 대기 측 에 노출 하 는 다이렉트 타입 의 접속 방식 에서 는 , 접속 부재 ( 932 ) 가 관통 하 는 관 통공 ( 911 b ) 의 내측 이 되 는 내측 씰 영역 ( 931 ) 에 의해 밸브 박스 ( 10 ) 와 제 1 챔버 ( 910 ) 와 의 씰 을 행할 수 있 다 .