반도체 장치 를 이용 하 여 전기 적 방법 으로 분석 을 행하 는 경우 , 반도체 장치 로서 는 , 특허 문헌 1 에 개시 된 바 와 같이 캐 패 시터 상 에 고정 을 행하 는 방법 이나 , 특허 문헌 2 에 개시 된 바 와 같이 게이트 전극 또는 게이트 전극 에 접속 된 부유 ( floating ) 전극 표면 에 고정 을 행하 는 방법 등 이 알려져 있 다 .