본 발명 의 일실 시예 에 따른 서 셉 터 없 는 ( susceptorless ) 반응 로 시스템 은 반응 로 챔버 ( 10 ) 를 포함 한다 . 챔버 ( 10 ) 는 상류 단부 에 가스 주입 헤드 ( 12 ) 를 가지 며 , 하류 에 인접 하 여 챔버 의 내부 로 개방 되 는 배기 연결부 ( 14 ) 를 가진다 . 반응 로 챔버 ( 10 ) 에 , 대체로 챔버 의 상류 로부터 하류 로 향하 는 방향 으로 연장 되 는 축 ( 18 ) 을 가진 스핀들 ( 16 ) 이 장착 된다 . 스핀들 ( 16 ) 은 스핀들 을 축 ( 18 ) 주위 로 회전 시키 기 위한 모터 구동 장치 ( 20 ) 에 연결 된다 . 스핀들 에 적절 한 진공 밀봉 부 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 장착 된다 . 가열 장치 ( 22 ) 는 상류 단부 에 인접 하 여 스핀들 ( 16 ) 을 둘러싸 도록 챔버 ( 10 ) 내 에서 고정 위치 에 장착 된다 . 예 로서 , 가열 장치 ( 22 ) 는 , 하나 이상 의 전기 저항 가열기 , FR 에너지 를 받 아 FR 에너지 를 열 로 변환 시키 기 에 적합 한 하나 이상 의 부재 , 또는 기본 적 으로 챔버 ( 10 ) 의 내부 를 오염 시키 지 않 으면서 열 을 방출 할 수 있 는 임의 의 다른 장치 를 포함 할 수 있 다 .