처리 대상 의 기판 이 금속 막 을 포함 하 는 기판 인 경우 , 금속 막 을 포함 하 는 기판 에 소수 화제 가 공급 되 어 , 그 기판 의 금속 막 이 소수 화 된다 . 그 후 , 기판 이 건조 된다 . 처리 대상 의 기판 은 소수 화 되 고 나 서 건조 할 때 까지 물 이 접촉 되 지 않 는 상태 로 유지 된다 . 금속 막 을 소수 화 시키 는 소수 화제 에 의해 소수 화 된 기판 에 물 이 접촉 되 면 , 기판 의 소수성 이 대폭 저하 하 여 버릴 경우 가 있 다 . 따라서 , 이러 한 소수 화제 가 기판 에 공급 된 경우 이 어도 , 기판 의 소수성 이 대폭 저하 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 패턴 의 도괴 를 억제 또는 방지 할 수 있 다 .