노치 회피 공정 ( 단계 S 31 ) 에서 포크 ( 3 A ) 를 전방 으로 이동 시키 는 이동 거리 는 , 절 결부 ( WN ) 가 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 검출 되 지 않 도록 하 는 소정 거리 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 절 결부 ( WN ) 의 형상 을 , 웨이퍼 ( W ) 의 직경 방향 을 따른 절 결 깊이 를 , 예 를 들 면 1 mm 로 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 둘레 방향 에 따른 절 결 길이 를 , 예 를 들 면 3 mm 로 하 는 V 자 형상 을 갖 는 것 으로 할 때 , 소정 거리 를 , 예 를 들 면 4 mm 로 할 수 있 다 .