보 틀 네 크 장치 추출 지원 장치 ( 10 ) 의 제조 라인 실적 정보 수집 부 ( 52 ) 는 , 상기 한 웨이퍼 제조 라인 에 설치 된 장치 상태 ㆍ실적 모니터 ( 40 ) 로부터 , 유저 가 지정 한 생산 지표 의 값 을 , 각 제조 장치 마다 및 / 또는 각 공정 마다 , 유저 가 지정 한 기간 간격 ( 데이터 수집 시간 구간 ) Tg 의 빈도 로 수집 하 여 , 상기 기억 부 ( 60 ) 의 제조 라인 실적 정보 기억 영역 ( 62 ) 에 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 예 를 들 면 제품 ( 품종 ) 명 및 생산 지표 마다 의 데이터 테이블 로 나누 어 기억 한다 . 이 실적 정보 수집 처리 는 , 본 실시 예 에서 는 , 유저 가 지정 한 기간 간격 ( 데이터 수집 시간 구간 ) Tg 가 2 시간 이 며 , 데이터 수집 시각 이 , 10 : 00 , 12 : 00 , 14 : 00 , 16 : 00 등 과 같이 , 2 시간 마다 설정 하 고 있 다 . 그리고 , 각 장치 상태 ㆍ실적 모니터 ( 40 ) 가 보고 하 는 정보 는 , 각 제조 장치 의 생산 지표 의 실적 을 , 2 시간 의 기간 간격 에서 수집 하 여 보 고 하 는 정보 이 다 . 즉 , 데이터 수집 시각 10 : 00 의 정보 는 , 08 : 00 내지 10 : 00 동안 의 각 제조 장치 의 생산 지표 의 실적 값 으로 한다 . 단 , 제조 라인 의 가동 시간 에 , 야간 등 의 정지 시간 이 있 는 경우 에 는 , 어느 날 의 가동 개시 시간 이 09 : 00 로부터 이 라면 , 데이터 수집 시각 10 : 00 의 정보 는 , 09 : 00 내지 10 : 00 동안 의 생산 지표 의 실적 값 외 에 , 전일 의 최종 의 1 시간 의 생산 지표 의 실적 값 을 더한 2 시간 의 기간 간격 의 정보 를 보 고 하 는 것 으로 한다 . 또한 , 제조 장치 에 야간 정지 가 있 었 던 이벤트 정보 도 보 고 한다 .