전술 한 본 발명 의 제 1 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 절연 구조물 의 제조 방법 에 있 어서 , 제 1 산화 공정 으로 대 상체 상 에 산화 막 을 형성 한 후 , 질소 어닐링 공정 으로 상기 산화 막 으로부터 상기 대 상체 상 에 예비 산질 화 막 을 형성 한다 . 제 2 산화 공정 으로 상기 예비 산질 화 막 으로부터 상기 대 상체 상 에 산질 화 막 을 형성 한다 .