본 발명 의 이동판 부 ( 150 ) 는 넓 은 면적 을 가지 기 때문 에 지지대 메탈 ( 112 ) 에서 상대 적 으로 먼 거리 에 위치 하 는 중심 부분 은 정전 압 이 가해 지 지 않 은 상태 에서 도 쉽 게 변형 될 수 있 다 . 따라서 , 본 발명 은 기판 ( 100 ) 상 에 트렌치 ( 120 ) 를 형성 하 고 이동판 부 ( 150 ) 에 트렌치 ( 120 ) 에 삽입 될 수 있 는 깊 은 주름 ( 160 ) 을 형성 시킴 으로써 , 이동판 부 ( 150 ) 의 고유 스프링 상수 를 변형 시키 지 않 으면서 도 이동판 부 ( 150 ) 의 열 적 변형 을 억제 할 수 있 다 . 깊 은 주름 ( 160 ) 은 이동판 부 ( 150 ) 의 상하 이동 이 신뢰 성 을 갖 도록 이동판 부 ( 150 ) 의 여러 부분 에 형성 될 수 있 다 . 또한 , 본 발명 은 쇄기 형상 의 지지 돌출부 ( 141 ) 를 접 지 라인 위 에 형성 하 여 동작 과정 에서 발생 하 는 이동판 부 와 접지 라인 간 의 스틱 션 을 방지 하 여 안정 성 과 신뢰 성 이 향상 시킨다 .