주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 상기 스크럼 상태 를 유지 한 채 로 , 인코더 ( 170 E , 170 F ) 의 계측 값 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 + Y 방향 으로 구동 함 과 동시 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 간섭계 ( 207 , 226 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 , 도 71 중 의 흰색 큰 화살표 로 도시 된 바 와 같이 + Y 방향 또한 - X 방향 으로 구동 한다 . 이 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 이동 중 에 도 주변 스캔 노광 은 속행 되 고 있 다 .