일부 실시 예 에서 , CNT 시드 층 ( 214 ) 은 질 회 티탄 , 질화 탄탈 , 니켈 , 코발트 , 철 등 과 같이 CNT 물질 형성 을 촉진 하 는 도전 층 일 수 있 다 . 한 특정 의 실시 예 에서 , CNT 시드 층 ( 214 ) 는 화학 기계식 연마 ( CMP ) 또는 또 다른 적합 한 공정 에 의해 요철 표면 을 갖 도록 되 는 질화 티탄 또는 질화 탄탈 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 요철 표면 또는 매끄러운 질화 티탄 , 질화 탄탈 또는 유사 한 층 에 CNT 물질 형성 을 촉진 하 는 니켈 , 코발트 , 철 등 의 금속 촉매 층 이 피복 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , CNT 시드 층 ( 214 ) 은 단순히 CNT 물질 형성 을 촉진 하 는 니켈 , 코발트 , 철 등 과 같 은 금속 촉매 층 일 수 있 다 .