이 와 는 달리 , 상기 단결정 층 ( 60 ) 상 에 원소 소스 가스 를 포함 하 는 공정 가스 로 화학 기상 증착 공정 또는 에피택시 얼 성장 공정 을 수행 하 여 상기 게터 링 층 ( 365 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 경우 에 , 상기 게터 링 층 ( 365 ) 내 에 는 다수 의 분산질 이 형성 되 어 상기 사이트 들 ( 370 ) 이 형성 된다 .