또한 , 제 1 실시 형태 에서 는 , 모델 생 성부 ( 51 ) 및 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 는 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 형상 의 측정 에 활용 되 었 다 . 그러나 , 반드시 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 본 실시 형태 에서 는 , 모델 생 성부 ( 51 ) 가 고 공간 주파수 성분 을 포함 하 지 않 는 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 함 으로써 , 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 가 높 은 산출 정밀도 로 시뮬레이션 강도 분포 를 산출 할 수 있 다 . 그리고 , 그 시뮬레이션 강도 분포 는 , 패턴 측정 뿐 만 아니 라 , 다른 용도 에 활용 되 어도 된다 . 다른 활용 방법 의 구체 예 는 제 2 실시 형태 에서 서술 한다 .