그래서 원통 ( 11 ) 의 표면 을 패 터닝 하 기 위하 여 원통 ( 11 ) 과 페이즈 마스크 장치 ( 13 ) 를 1 nm ~ 1000 mm 의 간격 으로 이격 시킨 후 페이즈 마스크 장치 ( 13 ) 에 빛 을 통과 시켜 원통 ( 11 ) 의 표면 을 패 터닝 한다 . 이때 페이즈 마스크 장치 ( 13 ) 는 도 2 와 같이 차단 영역 ( 15 ) 이 없 을 수 도 있 고 , 도 3 과 같이 차단 영역 ( 15 ) 을 구비 할 수 도 있 다 .