바람직 한 실시 예 들 에서 , 도관 은 2 개 의 평면 형상 의 ( planar - shaped ) 물질 들 사이 에 형성 되 어 , 그 들 의 부품 의 평면형 물질 에 의해 정의 된 2 D 평면 으로 만 연장 될 수 있 다 . 도 2 b 는 예시 적 인 이 와 같 은 실시 예의 말 단부 ( 즉 , 도관 포트 를 갖 는 부분 ) 을 도시 한다 . 여기 서 1 및 4 사이 의 분리 된 개스 의 운반 이 가능 한 4 개 의 도관 이 하부 평면 물질 ( 55 ) 에 4 개 의 채널 , 채널 59 , 61 , 63 및 65 로 형성 되 어 상부 평면 물질 ( 57 ) 에 의해 밀봉 된다 . 이 채널 들 은 대안 적 으로 , 상부 평면 물질 에 형성 되 거나 양 평면 물질 에 형성 될 수 있 으며 , 장방형 단면 이 아닌 다른 단면 을 가질 수 있 다 . 이 채널 들 각각 은 각각 선형 혹은 구불구불 한 배열 을 가질 수 있 다 . 도시 된 말 단부 는 각각 도관 포트 59 ', 61 ', 63 ' 및 65 ' 를 포함 하 는데 , 각 도관 포트 는 각각 도관 59 , 61 , 63 및 65 와 연통 한다 . 물질 ( 55 및 57 ) 은 동일 하 거나 상이 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 상호 접착 가능 하 며 , 바람직 하 게 는 성장 챔버 내 의 조건 을 잘 견딘다 ( resistant ) .