가드 ( 54 ) 는 스핀 척 ( 5 ) 을 감싸 는 원통 부 ( 55 ) 와 , 원통 부 ( 55 ) 의 상단 부 에서 회전축 선 ( A 1 ) 을 향해 기울 기 상 으로 연장 되 는 원환 형상 의 천 정부 ( 56 ) 를 포함 한다 . 복수 의 천 정부 ( 56 ) 는 상하 로 중첩 되 고 , 복수 의 원통 부 ( 55 ) 는 동심원 형상 으로 배치 되 어 있 다 . 천 정부 ( 56 ) 의 원환 형상 의 상단 은 평면 시 에서 기판 ( W ) 및 스핀 베이스 ( 16 ) 를 감싸 는 가드 ( 54 ) 의 상단 ( 54 u ) 에 상당 한다 . 복수 의 컵 ( 53 ) 은 각각 복수 의 원통 부 ( 55 ) 의 하방 에 배치 되 어 있 다 . 컵 ( 53 ) 은 가드 ( 54 ) 에 의해 하방 으로 안내 된 처리 액 을 받 는 환형 상 의 수액 홈 을 형성 하 고 있 다 .