한편 , 세정 공정 의 초기 에서 사용 된 순수 의 오염도 는 상당히 높 지만 , 세정 공정 의 후기 에서 사용 된 순수 의 오염도 는 상대 적 으로 낮 다 . 세정 장치 는 다수 의 탱크 를 보유 하 여 , 서로 다른 오염도 의 순수 를 서로 다른 탱크 에 회수 할 수 있 다 . 그런데 , 이 를 위해서 는 복잡 한 회수 배관 이 필요 하 다 . 뿐 만 아니 라 , 하나 의 챔버 내 에서 순수 를 이용 한 다양 한 방식 의 세정 이 이루 어 진다면 , 서로 다른 오염도 의 순수 를 서로 다른 탱크 에 회수 하 기 는 매우 어렵 다 .