컨테이너 바디 ( 310 ) 에 전방 개구 ( 311 ) 및 전방 개구 ( 311 ) 와 는 반대쪽 의 후방 개구 ( 예 를 들 어 , 도면 부호 113 ) 가 추가 로 형성 된다 . 전방 개구 ( 311 ) 는 컨테이너 탑재물 ( 예 를 들 어 , 기판 ) 의 통과 를 가능 하 게 하 기 위한 형상 및 크기 로 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 조립 된 필터 부재 ( 330 ) 가 만곡 형 윤곽 ( 예 를 들 어 , 도 9 b 및 도 13 에 보다 명확 하 게 도시 됨 ) 이 제공 된 가스 분배 면 ( 331 ) 을 갖 는다 . 일부 실시 예 에서 , 만곡 형 가스 분배 면 ( 예 를 들 어 , 면 ( 331 ) ) 은 후방 개구 ( 예 를 들 어 , 후방 개구 ( 113 ) ) 를 통해 컨테이너 바디 ( 310 ) 를 향해 연장 되 도록 구성 된다 .