도 5 a 내지 도 5 c 는 도 4 에 나타낸 프로브 검사 장치 ( 190 ) 의 형성 과정 을 나타내 는 도면 으로서 , 도 5 a 는 도 4 에 나타낸 프로브 검사 장치 ( 190 ) 의 외곽 프레임 을 나타내 는 사시도 이 고 , 도 5 b 는 도 5 a 의 프로브 검사 장치 ( 190 ) 의 외곽 프레임 에 프로브 핀 을 체결 하 는 과정 을 나타내 는 사시도 이 며 , 도 5 c 는 도 5 b 의 외곽 프레임 ( 191 a , 191 b ) 에 프로브 핀 ( 191 ) 을 형성 한 상태 를 나타내 는 사시도 이 다 .