종래 의 기술 에서 는 , 노광 결과 에 포함 되 는 변형 오 차 , 진동 , 및 불 균일 한 힘 등 의 여러 가지 의 요인 에 의해 출현 하 는 위치 어긋남 오 차 를 모두 일괄 해 계측 , 산출 , 및 보정 하 고 있 다 . 만약 그 보정 값 의 성분 중 에 큰 오차 성분 이 있 는 경우 에 는 , 작 은 오차 성분 은 불리 하 게 숨겨 지 게 된다 . 큰 오차 성분 이 확정 적 으로 결정 될 수 있 다면 , 확정 오차 로서 큰 오차 성분 을 제거 한 후 에 , 작 은 오차 성분 을 고정 밀도 로 보정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 본 발명 에서 착안 하 는 빛 의 전파 지연 은 확정 적 인 오차 에 해당 하 기 때문 에 , 보정 의 정밀도 를 향상 시키 기 위해서 는 , 다른 오차 요인 과 는 별도 로 미리 빛 의 전파 지연 을 제거 해야 할 것 이 다 .