도포 공정 을 진행 하 는 모듈 로 는 , 어 드 히 젼 ( Adhesion ) 공정 을 진행 하 는 모듈 , 기판 의 냉각 공정 을 진행 하 는 모듈 , 감광액 도포 공정 을 진행 하 는 모듈 , 그리고 소프트 베 이크 ( Soft Bake ) 공정 을 진행 하 는 모듈 등 을 예 로 들 수 있 다 . 현상 공정 을 진행 하 는 모듈 로 는 , 노광 된 기판 을 소정 온도 로 가열 하 는 모듈 , 기판 을 냉각 하 는 모듈 , 기판 상 에 현상액 을 공급 하 여 노광 된 영역 또는 그 반대 영역 을 제거 하 는 모듈 , 하드 베 이크 ( Hard Bake ) 공정 을 수행 하 는 모듈 등 을 예 로 들 수 있 다 .