이 때문 에 , 해당 반도체 장치 를 구성 하 는 반도체 소자 ( LSI 칩 ) 에서 는 , 그 동작 속도 가 고속 화 되 는 동시 에 외부 접속 단자 수 ( 數 ) 가 증가 하 고 , 또한 해당 외부 접속 단자 사이 의 간격 이 보다 좁 게 되 고 있 다 . 특히 , 시스템 LSI 소자 에서 는 이 경향 이 현저 해서 , 해당 시스템 LSI 소자 에 대해서 높 은 신뢰 성 을 가지 고 시험 을 행하 는 것 이 곤란 해 지 고 있 다 .