일 실시 예 에서 , 상기 제 1 사이클 을 수행 하 는 단계 에서 , 상기 주석 전구체 를 제공 한 후 , 제 1 퍼지 가스 를 제공 하 고 , 상기 산소 소스 를 제공 한 후 , 제 2 퍼지 가스 를 제공 할 수 있 다 . 상기 제 2 사이클 을 수행 하 는 단계 에서 , 상기 탄 탈륨 전구체 를 제공 한 후 , 제 1 퍼지 가스 를 제공 하 고 , 상기 산소 소스 를 제공 한 후 , 제 2 퍼지 가스 를 제공 할 수 있 다 .