일 양태 에서 는 , 리 테 이너 링 과 , 상기 리 테 이너 링 이 설치 된 톱 링 본체 를 , 구비 한 톱 링 과 , 상기 리 테 이너 링 의 높이 분포 를 직접 적 또는 간접 적 으로 측정 하 는 측정 장치 와 , 상기 측정 장치 에 접속 되 어 , 프로그램 을 저장 한 기억 장치 와 , 상기 프로그램 에 따라 연산 을 실행 하 는 처리 장치 를 구비 한 제어 장치 를 구비 하 고 , 상기 프로그램 은 , 상기 리 테 이너 링 의 높이 분포 와 소정 의 판정 기준 을 비교 하 는 동작 을 상기 처리 장치 에 실행 시켜 , 상기 리 테 이너 링 의 높이 분포 와 상기 판정 기준 의 비교 결과 에 기초 하 여 , 상기 리 테 이너 링 의 , 상기 톱 링 본체 로 의 설치 이상 을 판단 하 는 동작 을 상기 처리 장치 에 실행 시키 는 , 기판 처리 시스템 이 제공 된다 .