일 실시 예 에서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 및 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 의 주변 가장자리 들 ( 가장자리 는 차 폐부 의 베이스 부분 으로부터 멀 어 지 게 연장 되 는 차 폐부 들 의 부분 이 고 , 베이스 부분 은 실질 적 으로 수직 이 고 기판 ( 119 ) 과 평행 함 ) 의 ( 기판 ( 119 ) 의 수직 위치 의 법선 에 대한 ) 각도 는 하나 이상 의 각도 를 갖 도록 설계 될 수 있 다 . 예컨대 , 주변 가장자리 들 은 약 3 ° 내지 약 15 ° 의 각도 를 가질 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 각도 는 약 1 ° 내지 약 3 ° 일 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 각도 는 약 15 ° 내지 약 45 ° 또는 그 초과 일 수 있 다 . 실시 예 들 에서 , 각도 는 연속 적 인 평각 이 아닐 수 있 지만 , 다양 한 직선 부분 들 로 구성 될 수 있 고 , 직선 부분 들 각각 은 상이 한 각도 들 ( 예컨대 , 회전 가능 차 폐부 들 의 가장자리 들 이 개구 들 ( 125 ) 에 접근 함 에 따라 각도 가 증가 함 ) 을 갖 는다 . 또 다른 실시 예 들 에서 , 회전 가능 차 폐부 들 의 주변 가장자리 들 은 만곡 될 수 있 으며 ( 예컨대 , 도 4 참조 ) , 여기 서 , 곡 률 은 일정 한 반경 또는 가변 적 인 반경 들 을 갖 는다 . 부가 적 으로 , 통상 의 기술자 는 , 더 가파른 각도 ( 예컨대 , 5 ° 가 아니 라 15 °) 또는 더 큰 곡률 반경 이 챔버 로부터 의 더 효율 적 인 액체 / 배 출물 제거 를 제공 할 수 있 다는 것 을 인식 할 것 이 다 .