또한 , 지주 에 비교 적 큰 판 형상 의 지지 부 ( 지지 판 ) 를 마련 하 는 것 으로 웨이퍼 를 안정 한 상태 로 지지 하 는 것 ( 일본 특허 공개 2000 - 53497 호 공보 참조 ) 이나 , 각 지지 부 의 상면 에 단차 를 마련 하 는 것 으로 직경 이 다른 웨이퍼 를 지지 할 수 있 도록 한 것 ( 일본 특허 공개 2005 - 159028 호 공보 참조 ) 등 도 제안 되 어 있 다 .