일 실시 예 에서 , 인 코 히 어 런 트 중첩 의 시간 적 변경 을 행하 도록 구성 된 광학 시스템 은 , 미러 표면 을 갖 는 미러 와 , 미러 표면 의 적어도 일부 의 틸 트 를 생성 하 도록 구성 된 액 츄 에 이터 를 포함 한다 . 미러 표면 의 적어도 일부 를 틸팅 함 으로써 , 조명 광선 다발 은 틸 트 될 뿐 아니 라 광학 적 분기 에 비스듬 하 게 충격 을 가한다 . 이것 은 후속 의 다중 미러 어레이 에 생성 된 강도 분포 의 측면 시프트 를 가져 온다 . 광학 적 분기 가 허니콤 콘덴서 의 2 개 의 채널 판 을 포함 하 면 , 조명 광선 서브 다발 에 의해 조명 되 는 제 2 판 의 채널 에서 표면 영역 을 변화 시킬 수 있 다 . 이것 은 제 1 채널 판 이 조명 광선 서브 - 다발 을 제 2 채 널판 에 포커스 하 면 발생 하 는 매우 높 은 강도 에 의해 발생 될 수 있 는 제 2 채 널판 에서 의 손상 을 방지 할 수 있 다 .