본 발명 의 상기 태양 에 따른 진공 챔버 에 따르 면 , 제 1 블록 체 와 제 2 블록 체 사이 의 간극 을 덮 는 커버 를 설치 함 으로써 , 제 1 블록 체 와 제 2 블록 체 사이 의 간극 에 퇴적 한 파티클 이 진공 챔버 의 내부 에 비산 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 그 결과 , 반송 대상 의 기판 에 대한 파티클 의 부착 을 방지 할 수 있 다 .