도 2 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 챔버 ( 100 ) 의 다른 구성 을 나타낸다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 은 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 와 유체 연통 한다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 프로세스 가스 는 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 으로부터 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 을 통해 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내부 로 직접 배출 된다 . 챔버 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내 의 플 라즈 마 프로세스 가스 는 펌프 ( 137 ) 에 의해 배출 포트 ( 135 ) 를 통해 제거 된다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 는 배출 매니폴드 로서 작용 한다 . 이 로써 , 도 1 a 및 도 1 b 의 실시 형태 의 외부 구조 부재 ( 104 ) 가 제거 된다 . 그리고 , 상부 플레이트 ( 100 A ) 는 밸브 ( 101 ) 및 펌프 ( 102 ) 로 의 접속 을 포함 하 지 않 는 상부 플레이트 ( 100 E ) 에 의해 교체 된다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내 의 압력 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 내 의 압력 에 대해 제어 되 어 , 결국 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 을 통한 플 라즈 마 프로세스 가스 배출 플로우 레이트 를 제어 할 수 있 다 .