특정 실시 형태 에서 , 제 1 온도 범위 는 약 200 ℃ 내지 약 600 ℃ 이 고 , 제 2 온도 범위 는 약 700 ℃ 내지 약 1050 ℃ 이 고 , 제 3 온도 범위 는 약 800 ℃ 내지 약 1100 ℃ 이 다 . 다른 특정 실시 형태 에서 , 층 들 을 제 1 , 제 2 , 및 제 3 온도 범위 중 적어도 하나 로 유지 하 는 것 은 , 층 들 을 제 1 온도 로 유지 하 고 , 그 후 , 층 들 을 제 1 온도 와 는 구별 되 는 제 2 온도 로 유지 하 는 것 을 포함 한다 . 다른 특정 실시 형태 에서 , 코트 1 및 코트 2 는 약 30 분 내지 약 300 분 , 구체 적 으로 는 , 약 30 분 내지 약 60 분 의 시간 동안 제 1 , 제 2 , 및 제 3 온도 범위 각각 으로 유지 된다 .