또한 , 상기 제 1 소수 화 공정 은 상기 제 1 소수 화제 의 증기 를 상기 기판 에 공급 하 는 제 1 증기 공급 공정 을 포함 하 고 있 어도 좋 고 , 상기 제 2 소수 화 공정 은 상기 제 2 소수 화제 의 증기 를 상기 기판 에 공급 하 는 제 2 증기 공급 공정 을 포함 하 고 있 어도 좋 고 , 상기 건조 공정 은 상기 기판 에 부착 되 어 있 는 상기 제 2 소수 화제 를 증발 시키 는 증발 공정 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 .