일예 로 , 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 은 25 장 의 웨이퍼 를 격납 할 수 있 고 , 제 1 로봇 ( 111 ) 의 핸드 ( 240 ) 에 구비 된 슬롯 ( 250 ) 이 4 개 라면 , 제 1 로봇 ( 111 ) 은 한 번 에 4 매 의 웨이퍼 를 이송 할 수 있 다 . 이 경우 , 제 1 로봇 ( 111 ) 은 최초 4 매 의 웨이퍼 를 슬롯 ( 250 ) 에 로딩 하 여 로드 락 모듈 ( 120 ) 로 이송 한 후 에 , 주회 전축 ( 220 ) 이 수직 방향 으로 상승 또는 하강 하 여 , 다음 4 매 의 웨이퍼 를 슬롯 ( 250 ) 에 로딩 하 게 된다 .