도 2 의 예 에서 는 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 는 , 정전 척 ( 20 A ) 의 제 3 영역 ( 20 c ) 상 에 탑재 된다 . 또한 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 는 , 정전 척 ( 20 A ) 에 의해 제공 된 공간 ( 20 g ) 내 에 수용 된다 . 즉 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 전부 가 , 공간 ( 20 g ) 에 노출 되 는 기판 ( W ) 의 외주 부 의 하면 과 제 3 영역 ( 20 c ) 의 상면 사이 의 공간 ( A ) 에 배치 되 어 있 다 . 단 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 적어도 일부 가 , 공간 ( A ) 에 배치 되 어도 좋 다 .