이어서 , 도 16 부 터 도 19 를 참조 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 이상 의 검지 방법 에 관해서 설명 한다 . 도 16 및 도 18 은 웨이퍼 ( W ) 의 이상 에 대해서 설명 하 기 위한 도면 으로 , 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 고 있 는 포크 ( 3 A ) 를 확대 하 여 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 16 및 도 18 에 는 , 도시 를 용이 하 게 하 기 위해서 , 유지 클로 ( 4 A , 4 B , 4 C , 4 D ) 및 절 결부 ( WN ) 의 도시 가 생략 되 어 있 다 . 도 17 및 도 19 는 웨이퍼 ( W ) 의 이상 판정 에 관해서 설명 하 기 위한 도면 으로 , 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 의 화소 번호 와 수광량 의 관계 를 모식 적 으로 도시 하 는 그래프 이 다 .