탑 재면 이 숫돌 에 의해서 연마 된 만큼 의 ESC ( 13 ) 를 갖 는 기판 처리 장치 ( 10 ) 를 준비 하 고 , 그 기판 처리 장치 ( 10 ) 에 의해서 웨이퍼 ( W ) 에 에칭 처리 를 실시 하 고 , 그 에칭 처리 에 있 어서 의 웨이퍼 ( W ) 의 온도 를 측정 했 다 . 그 측정 된 온도 는 웨이퍼 ( W ) 의 중심 으로부터 100 ㎜ 에서 대략 52 ℃∼ 55 . 5 ℃ 이 며 , 평균 온도 는 대략 54 ℃ 였 다 .