적어도 하나 의 규소 전구체 는 다양 한 방식 으로 플 라즈 마 강화 사이 클릭 CVD 또는 PEALD 반응기 또는 배치 로 타입 반응기 와 같 은 반응 챔버 로 전달 될 수 있 다 . 일 구체 예 에서 , 액체 전달 시스템 이 사용 될 수 있 다 . 대안 적 인 구체 예 에서 , 결합 된 액체 전달 및 플래시 기화 공정 유닛 , 예 를 들 어 저 휘발 성 물질 을 부피 적 으로 전달 되게 하 여 전구체 의 열 적 분해 없이 재현 가능 한 운송 및 증착 을 야기 시키 기 위한 MSP Corporation ( Shoreview , MN ) 에 의해 제작 된 터보 기화기 가 사용 될 수 있 다 . 액체 전달 포 뮬 레이 션 에서 , 본원 에 기술 된 전구체 는 순수 한 액체 형태 로 전달 될 수 있 거나 , 대안 적 으로 이 를 포함 한 용매 포 뮬 레 이 션 또는 조성물 중 에 사용 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 특정 구체 예 에서 , 전 구체 포 뮬 레이 션 은 기판 상 에 막 을 형성 시키 기 위해 제공 된 최종 용도 적용 에서 바람직 하 고 유리 할 수 있 는 적합 한 특징 의 용매 성분 ( 들 ) 을 포함 할 수 있 다 .