몸체 ( 441 ) 의 내측 에 는 처리 액 배관 들 ( 444 ) 이 내장 된다 . 처리 액 배관 들 ( 444 ) 은 감광액 배관 들 ( 444 a , 444 b ) 과 유기 용제 배관 ( 444 c ) 을 포함 한다 . 감광액 배관 들 ( 444 a , 444 b ) 과 유기 용제 배관 ( 444 c ) 은 몸체 ( 441 ) 의 내측 에 몸체 ( 441 ) 의 길 이 방향 을 따라 배치 된다 . 감광액 배관 ( 444 a ) 의 일단 은 감광액 노즐 ( 442 a ) 에 연결 되 고 , 감광액 배관 ( 444 a ) 의 타단 은 후술 할 감광액 유입 포트 ( 445 a ) 에 연결 된다 . 감광액 배관 ( 444 b ) 의 일단 은 감광액 노즐 ( 442 b ) 에 연결 되 고 , 감광액 배관 ( 444 b ) 의 타단 은 후술 할 감광액 유입 포트 ( 445 b ) 에 연결 된다 . 유기 용제 배관 ( 444 c ) 의 일단 은 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 에 연결 되 고 , 유기 용제 배관 ( 444 c ) 의 타단 은 후술 할 유기 용제 유입 포트 ( 445 c ) 에 연결 된다 .