링크 바 ( 120 ) 는 제 3 연결부 ( 124 ) 를 회전축 으로 삼 아 수평축 ( Ⅱ - Ⅱ ) 에서 상향 인 B 1 방향 또는 하향 인 B 2 방향 으로 회전 가능 하 게 설치 된다 . 링크 바 ( 120 ) 의 우측 일단 은 제 4 연결부 ( 126 ) 를 매개 로 기판 이송 기구 ( 100 ) 를 지지 하 는 지 지부 ( 128 ) 와 연결 된다 . 제 4 연결부 ( 126 ) 는 제 3 연결부 ( 124 ) 에 비해 제 4 연결부 ( 126 ) 에 더 가깝 도록 링크 바 ( 120 ) 의 우측 일단 에 설치 된다 .