상기 스퍼터링 방법 이란 , 금속판 에 아르곤 등 의 불활성 원소 를 부딪쳐서 금속 분자 를 쫓아낸 후 표면 에 막 을 부착 하 는 기술 로서 박막층 의 제조 방법 중 하나 이 다 . 진공 이 유지 된 챔버 ( Chamber ) 내 에 스퍼터링 기체 로 불활성 물질 인 아르곤 ( Ar ) 가스 를 흘려 주 면서 타 겟 에 직류 전원 을 인가 하 면 , 증착 하 고자 하 는 기판 과 타 겟 사이 에서 플 라즈 마가 발생 한다 . 즉 , 상기 아르곤 가스 가 양 이온 으로 이온 화 되 고 , 이 는 직류 전류계 에 의해 음극 으로 가속 되 어 타 겟 표면 과 충돌 하 며 , 이 로 인해 타 겟 물질 의 원자 가 표면 으로부터 탈출 하 여 기판 에 박막층 을 형성 하 게 된다 .