또한 , 상술 한 발명 에서 , 상기 제 어부 는 , 일부 기판 처리 열 에서 는 , 종류 가 다른 복수 의 처리 로 이루어지 는 제 1 공정 으로 하 면서 , 다른 기판 처리 열 에서 는 종류 가 다른 복수 의 처리 로 이루어지 고 , 또 , 제 1 공정 과 다른 제 2 공정 으로 하 는 것 이 가능 한 것 이 바람직 하 다 . 일부 기판 처리 열 , 및 , 다른 기판 처리 열 에서 , 서로 다른 복수 종류 의 처리 를 기판 에 행할 수 있 다 .