상기 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 에 의하 면 , 수평 방향 일 측 에 개방 부 ( 120 ) 가 구비 된 하우징 ( 100 ) 과 상기 개방 부 ( 120 ) 를 개폐 하 는 도어 ( 200 ) 로 이루어진 챔버 를 제공 하 여 , 상기 챔버 의 내부 압력 에 의해 상기 챔버 가 분리 되 는 방향 으로 작용 하 는 힘 을 최소 화 함 으로써 클램 핑 에 소요 되 는 에너지 를 절약 할 수 있 다 .