여기 서 , 제 1 에칭 은 드라이 에칭 또는 웨트 에칭 을 이용 하 면 좋 다 . 또한 , 제 1 에칭 을 드라이 에칭 에 의해 행하 는 경우 에 는 , 하나 의 공정 으로 행하 는 것 이 가능 하 지만 , 제 1 에칭 을 웨트 에칭 에 의해 행하 는 경우 에 는 , 복수 의 공정 에 의해 제 1 에칭 을 행하 여도 좋 다 . 또한 , 제 2 에칭 은 드라이 에칭 또는 웨트 에칭 을 이용 하 면 좋 다 . 그러나 , 상기 와 같이 , 제 2 에칭 에서 는 제 1 도 전막 이 사이드 에칭 될 필요 가 있 다 . 따라서 , 제 2 에칭 에 는 웨트 에칭 을 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .