( 6 ) 각각 의 실시 예 에 있 어서 , 워크 로서 , 이른바 TAIKO ( 등록 상표 ) 웨이퍼 를 일례 로 하 는 , 환상 볼록 부 의 내측 의 저면 이 평탄 한 웨이퍼 ( W ) 를 예시 하 여 설명 하 였 지만 , 웨이퍼 ( W ) 의 형상 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 즉 , 도 33 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 의 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 이 곡면 으로 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 를 워크 로서 사용 해도 된다 . 또한 , 도 33 의 ( b ) 에 도시 하 는 바 와 같이 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 구 석부 ( Kf ) 가 둥그스름 하 게 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 내측 구 석부 ( Kf ) 가 종단면 으로 보 아 직각 으로 되 어 있 는 구성 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 일례 로서 둔각 으로 되 어 있 어도 된다 . 또한 도 33 의 ( c ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 에 복수 의 단차 가 형성 되 어 있 어도 된다 .