제 2 케이스 ( 103 ) 는 내부 에 분광 장치 ( 160 ) 와 중앙 통제부 ( 180 ) 를 수용 하 고 , 일 측 에서 플라 즈 마 발생기 ( 110 ) 의 제 1 케이스 ( 102 ) 와 결합 된다 . 이 제 2 케이스 ( 103 ) 는 제조 환경 의 오염물 및 충격 과 같 은 외부 환경 으로부터 내부 의 분광 장치 ( 160 ) 및 중앙 통제부 ( 180 ) 를 보호 한다 . 특히 , 제 2 케이스 ( 103 ) 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 의 제 1 케이스 ( 102 ) 와 결합 되 어 , 플라 즈 마 검사 장치 ( 100 ) 가 하나 의 모듈 로 구성 되 도록 한다 . 이 를 통해 , 제 2 케이스 ( 103 ) 는 내부 에 수납 되 는 분광 장치 ( 160 ) , 중앙 통제부 ( 180 ) 및 기타 수용품 의 불량 , 고장 , 유지 및 점검 시 에 용이 한 분리 및 재결합 이 가능 하 도록 하 여 플 라즈 마 검사 장치 ( 100 ) 의 제조 설비 에 대한 적응성 을 높이 게 된다 . 아울러 , 이 제 2 케이스 ( 103 ) 에 는 플 라즈 마 검사 장치 ( 100 ) 와 외부 장치 간 의 연결 을 위한 입출력 포트 ( 190 ) 가 설치 될 수 있 으나 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 이 제 2 케이스 ( 103 ) 에 설치 되 는 입출력 포트 ( 190 ) 로 는 외부 디스플레이 장치 를 연결 할 수 있 는 비디오 포트 , 랜 또는 인터넷 의 연결 을 위한 네트워크 포트 , 프린터 포트 , 외장 메모리 슬롯 , USB 포트 및 이의 등 가 입출력 포트 가 구성 될 수 있 으며 , 입출력 포트 ( 190 ) 는 무선 통신 모듈 로 대체 할 수 도 있 으나 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 아울러 , 제 2 케이스 ( 103 ) 의 입출력 포트 ( 190 ) 는 중앙 통제부 ( 180 ) 의 IO 케이블 ( 197 ) 과 연결 된다 . 여기 서 , 도 1 내지 도 3 에 도시 된 제 2 케이스 ( 103 ) 의 크기 는 플 라즈 마 발생기 ( 110 ) 에 비해 다소 큰 크기 로 제조 될 수 있 다 . 그리고 , 플라 즈 마 발생기 ( 110 ) 와 제 2 케이스 ( 103 ) 의 결합 시 케이스 ( 103 ) 의 크기 차이 로 인해 생기 는 잔여 공간 은 광섬유 ( 170 ) , 케이블 ( 197 , 198 ) 의 설치 공간 및 방열 을 위한 공기 유통 공간 으로 활용 이 가능 하 다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 며 , 제 2 케이스 ( 103 ) 의 형태 는 다양 하 게 변형 이 가능 하 다 . 본 발명 의 실시 예 들 을 설명 하 기 위해 제시 된 도면 들 에 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 가 외부 에서 개구부 를 밀폐 하 는 형태 로 제 2 케이스 ( 103 ) 와 결합 되 과 , 분광 장치 ( 160 ) 및 중앙 통제부 ( 180 ) 는 제 2 케이스 ( 103 ) 내부 에 수용 되 는 예 를 도시 하 였 다 . 하지만 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) , 분광 장치 ( 160 ) 및 중앙 통제부 ( 180 ) 가 하나 의 케이스 내부 에 수용 되 는 형태 로 이용 하 는 것 도 가능 하 며 , 이 들 을 각각 의 케이스 에 수납 한 후 각 케이스 를 결합 하 는 형태 , 이 와 같이 결합 된 형태 를 다시 하나 의 케이스 내부 에 수용 하 는 형태 등 케이스 의 형태 는 다양 하 게 변경 및 적용 하 는 것 이 가능 하 다 . 즉 , 본 발명 의 플 라즈 마 검사 장치 ( 100 ) 는 사용 의 편리 , 공간 의 절약 과 같 은 목적 을 위해 분광 장치 ( 160 ) , 중앙 통제부 ( 180 ) 및 플 라즈 마 발생기 ( 110 ) 는 일체 형 으로 조립 되 어 하나 의 모듈 을 이루 도록 구성 될 수 있 다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 .