포토레지스트 는 방사선 의 조사 에 따른 현상액 에 대한 용해도 의 차이 에 따라 포지티브 ( positive ) 포토레지스트 와 네거티브 ( negative ) 포토레지스트 로 구분 한다 . 포지티브 포토레지스트 는 노광 된 부분 의 용해도 가 증가 하 는 것 에 의해 현상 이 이루어지 며 , 네거티브 포토레지스트 는 노광 된 부분 의 경화 에 의해 용해도 가 감소 하 여 현상 후 패턴 으로 남 게 된다 .