도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 처리 로 ( 202 ) 는 가열 수단 ( 가열 기구 ) 으로서 의 히터 ( 207 ) 를 포함 한다 . 히터 ( 207 ) 는 원통 형상 이 고 , 보 지 판 으로서 의 히터 베이스 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 지지 됨 으로써 수직 으로 설치 된다 . 한편 , 히터 ( 207 ) 는 후술 하 는 바 와 같이 가스 를 열 로 활성 화 하 는 활성 화 기구 로서 도 기능 한다 .