제 3 연직 관 ( 69 C ) 은 내조 ( 51 ) 의 수조 내 중 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 단부 에 설치 된다 . 제 3 연직 관 ( 69 C ) 은 연직 방향 으로 연장 되 는 중공 의 봉 이 며 , Y 축 방향 으로 간격 을 두 고 복수 개 배치 되 어도 된다 . 제 3 토출구 ( 68 C ) 는 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 을 향해 처리 액 ( 3 ) 을 토출 한다 .