이러 한 문제 를 해결 하 기 위하 여 최근 에 는 게이트 의 저항 을 낮추 기 위해 폴리 실리콘 및 텅스텐 실리사이드 의 적층 구조 인 폴리 사이드 게이트 전극 을 사용 하 고 있 다 . 나아가 , 폴리 사이드 게이트 전극 보다 낮 은 저항 을 갖 는 폴리 실리콘 , 텅스텐 질화 막 및 텅스텐 의 적층 구조 인 텅스텐 폴리 메탈 ( tungsten polymetal ) 게이트 전극 구조 를 사용 하 고 있 다 .