또한 , 처리 블록 ( Ｂａ ) 의 양측 쪽 에 처리 블록 ( Ｂｂ ) 과 ＩＤ 부 ( 1 ) 를 인접 시키 고 있 으므로 , 도포 처리 유닛 ( 31 ) 에서 처리 한 기판 ( Ｗ ) 을 , 처리 블록 ( Ｂａ ) 으로부터 처리 블록 ( Ｂｂ ) 에 반송 시킴 으로써 , 기판 ( Ｗ ) 에 처리 액 을 도포 하 는 처리 와 , 기판 ( Ｗ ) 에 현상액 을 공급 하 는 처리 를 포함 하 는 일련 의 처리 를 원활 하 게 행할 수 있 다 . 또한 , 도포 처리 유닛 ( 31 ) 에서 처리 한 기판 ( Ｗ ) 을 , 처리 블록 ( Ｂａ ) 으로부터 ＩＤ 부 ( 1 ) 에 기판 ( Ｗ ) 을 반송 시킴 으로써 , 기판 ( Ｗ ) 에 처리 액 을 도포 하 는 처리 만 을 행하 여 , 신속 하 게 카세트 ( Ｃ ) 에 되돌릴 수 있 다 .