단계 S 168 에서 공정 완료 상태 되 는지 를 판별 하 고 , 공정 이 완료 되 면 이 수순 은 단계 S 160 으로 진행 하 여 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 을 교차 척 킹 하 도록 단계 S 160 내지 단계 S 166 을 반복 처리 한다 . 그리고 공정 이 완료 되 면 단계 S 170 으로 진행 하 여 유체 분사 를 중지 시키 고 단계 S 172 에서 스핀 척 ( 104 ) 의 회전 을 중지 시킨다 .