비 교예 1 의 고온 스트레스 에 의한 문턱 전압 특성 의 열화 와 실험 예 1 , 2 및 4 의 고온 스트레스 에 의한 문턱 전압 특성 의 열화 를 비교 하 면 , 실험 예 1 , 2 및 4 의 경우 에 고온 스트레스 에 의해 문턱 전압 이 덜 영향 을 받 는 것 을 알 수 있 다 . 즉 폴리 실리콘 막 상 에 탄 탈륨 질화 막 을 증착 한 경우 , 폴리 실리콘 만 을 사용 한 경우 에 비해 데이터 유지 특성 이 개선 됨 을 알 수 있 다 .