작업자 는 다양 한 공정 조건 을 충족 시키 기 위하 여 유도 결합 플라스마 소스 와 축전 결합 플라스마 소스 를 선택 적 으로 사용 할 수 있 다 . 즉 , 유도 결합 플라스마 소스 만 을 사용 하 거나 축전 결합 플라스마 소스 만 을 사용 할 수 있 으며 , 두 가지 소스 를 함께 사용 할 수 있 다 . 유도 결합 플라스마 소스 와 축전 결합 플라스마 소스 는 플라스마 생성 원리 가 서로 다르 므로 , 각각 에 의하 여 생성 된 플라스마 는 서로 다른 특성 을 가진다 . 따라서 , 두 가지 플라스마 소스 를 이용 하 여 다양 한 공정 조건 에 부응 하 는 플라스마 를 생성 할 수 있 다 .