본 발명 의 다른 목적 은 간단 한 식각 공정 에 의해 원활 한 식각 면 을 가지 는 다층 구조 의 반도체 층 으로 이루어지 는 거울 층 을 제공 함 으로써 높 은 신뢰 성 을 제공 할 수 있 으며 , 1 회 의 식각 공정 에 의해 다양 한 기능 을 가지 는 여러 층 들 을 동시 에 식각 하 는 단순 화 된 공정 에 의해 신뢰 성 높 은 고 효율 장파장 의 수직 공진 형 표면 방출 레이저 를 제조 하 는 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .