프로세스 가스 ( 110 ) 는 프로세스 가스 플리 넘 ( 212 ) 에 의 유입 부 포트 ( 206 ) 로 유입 된다 . 프로세스 가스 플리 넘 ( 212 ) 은 유입 부 포트 들 ( 212 A ) 로 프로세스 가스 ( 110 ) 를 분배 한다 . 유입 부 포트 들 ( 212 A ) 은 프로세스 가스 ( 110 ) 를 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 로 보낸다 . 프로세스 가수 유입 부 포트 들 ( 212 A ) 은 프로세스 챔버 유출 부 ( 220 ) 과 정렬 되 거나 또는 프로세스 챔버 유출 부 ( 220 ) 로부터 오프셋 될 수 있 다 . 프로세스 가스 유입 부 포트 들 ( 212 A ) 및 / 또는 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 페라이트 들 ( 204 ) 사이 에 위치 되 거나 페라이트 들 과 정렬 되 거나 또는 그 들 의 조합 일 수 있 다 .