도 5 또는 도 6 은 본 발명 에 관한 전해 가공 유닛 장치 ( 1 ) 의 다른 배치 예 로서 , 가공 처리 실 ( 5 ) 에 전해 가 공부 ( 2 ) , 세 정부 ( 3 ) 및 건 조부 ( 4 ) 를 원호 형상 또는 직선 형상 으로 배치 한 것 이 다 . 이 전 해 가 공부 ( 2 ) , 세 정부 ( 3 ) 및 건 조부 ( 4 ) 에 의 웨이퍼 ( W ) 의 이송 은 , 임의 방향 으로 동작 ( 직선 동작 및 선회 동작 을 포함 ) 가능 한 더블 암 형 로봇 ( 27 ) 에 의해 행해진다 . 또한 , 전해 가 공부 ( 2 ) , 세 정부 ( 3 ) 및 건 조부 ( 4 ) 는 도 7 에 나타내 는 바 와 같이 , 상호 독립 적 으로 동작 가능 하 게 배치 한 2 대 의 로봇 ( 27 , 27 ) 을 사이 에 두 고 양측 으로 각각 형성 하 는 것 도 가능 하 다 .