상기 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 이 형성 된 후 , " 상기 제 2 마스크 층 ( 150 ) 의 상면 에 형성 되 었 던 그루브 ( A ) 로 인해 상기 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 의 상면 에 도 그 와 유사 하 게 "" B "" 부분 에서 와 같이 그루브 ( B ) 가 형성 될 수 있 다 . 이 경우 ", 상기 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 의 상면 의 높이 가 상기 버퍼 마스크 패턴 ( 132 a ) 의 상면 의 높이 보다 더 낮 아 질 수 있 다 . 따라서 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 의 위 에 상기 버퍼 마스크 패턴 ( 132 a ) 이 형성 되 지 않 은 상태 에서 도 1 f 내지 도 1 h 의 공정 을 진행 한다면 , 상기 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 의 상면 에 형성 되 는 그루브 ( B ) 로 인해 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 과 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 과 의 사이 에 높이 차이 가 발생 되 어 이 로 인해 후속 의 식각 공정 시 식각 불 균일 현상 이 초래 될 수 있 다 .