이어서 , 구획 공간 ( S ) 의 배기 를 정지 하 고 , 도 12 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 구획 공간 ( S ) 으로 가스 공급원 ( 78 ) ( 도 10 ) 에 의해 가스 공급 로 ( 78 a ) 를 통하 여 불활성 가스 를 소정 의 유량 으로 공급 하 여 , 예 를 들 면 구획 공간 ( S ) 을 대기압 정도 의 압력 까지 압 을 부여 한다 . 이것 에 의해 온도 조정 유체 에 의해 제 2 오 목부 ( 41 ) 는 소정 온도 로 가열 되 어 있 기 때문 에 , 이 열 이 불활성 가스 에 의해 웨이퍼 ( W ) 에 전도 되 어 , 웨이퍼 ( W ) 가 소정 온도 예 를 들 면 200 ℃ 정도 로 가열 된다 .