그러나 , 고농 도 불순물 도핑 은 높 은 불순물 농도 로 인해서 후속 의 열 공정 으로 인한 불순물 의 횡 적 확산 ( lateral diffusion ) 을 유발 하 여 단 채널 효과 ( short channel effect ) 등 과 같 은 문제 를 발생 시킬 수 있 다 . 한편 , 불순물 확산 은 소오 스 드레 인 영역 의 불순물 농도 를 낮추 어 소오 스 드레 인 영역 과 콘 택 플러그 사이 의 오 믹 콘 택 형성 을 어렵 게 하 고 , 여전히 소오 스 드레 인 영역 이 높 은 내부 저항 을 가지 도록 한다는 문제 가 있 다 .