실시 예 에서 , SiC 또는 B 4 C 저 장소 와 같이 덜 전기 전도성 이 거나 절연성 이 없 는 저 장소 가 탄소 저 장소 를 대체 할 수 있 다 . 절연 저 장소 는 ( i ) 하부 반구 ( 5 b 41 ) 또는 일체 형 흑체 방열기 돔 ( 5 b 4 ) 에 연결 하 기 위한 상부 의 나사 중 적어도 하나 및 ( ii ) 저 장소 및 저 장소 바닥 이 하나 의 피스 인 저 장소 바닥 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . SiC 저 장소 는 실리콘 을 포함 하 는 개스킷 및 밀봉 제 중 적어도 하나 에 의해 탄소 하부 반구 에 결합 할 수 있 으며 , 실리콘 은 탄소 와 반응 하 여 SiC 를 형성 할 수 있 다 . 당업 계 에 공지 된 다른 밀봉 제 가 또한 사용 될 수 있 다 . 저 장소 바닥 은 Swagelok 패스 너 와 같 은 EM 펌프 튜브 패스 너 를 위한 나사 결합 관 통부 를 포함 할 수 있 다 . 저 장소 바닥 은 금속 을 포함 할 수 있 는 기 저부 판 와 같 은 별도 의 피스 일 수 있 다 . 금속 기 저부 판 은 관 통부 에서 EM 펌프 튜브 에 대한 용접 조인트 를 포함 할 수 있 다 . 기 저부 판 은 슬립 너트 와 같 은 저 장소 의 정합 패스 너 에 연결 되 는 나사 결합 칼라 를 포함 할 수 있 다 . 칼라 는 저 장소 를 수용 하 도록 테이퍼 질 수 있 다 . 칼라 테이퍼 는 내부 에 있 을 수 있 다 . 저 장소 단부 는 가늘 어 질 수 있 다 . 저 장소 테이퍼 는 칼라 내부 에 수용 되 도록 외부 에 있 을 수 있 다 . 패스 너 는 흑연 또는 퍼 마 - 포일 ( Toyo Tanso ) 과 같 은 개스킷 , 육방정계 질화 붕소 또는 실리케이트 개스킷 을 포함 할 수 있 다 . 개스킷 또는 O - 링 은 니켈 , 탄 탈륨 또는 니오브 와 같 은 금속 을 포함 할 수 있 다 . 개스킷 은 다공성 Ni C 6 NC ( Sumitomo Electric ) 와 같 은 Co , Ni 또는 Ti 를 포함 하 는 것 과 같 은 압축 된 MoS 2 , WS 2 , Celmet ™, Cotronics Corporation Ultra Temp 391 과 같 은 고 알루미나 및 내화 산화물 을 포함 하 는 세라믹 섬유 를 포함 하 는 것 과 같 은 천 또는 테이프 , 및 본 개시 의 다른 재료 를 포함 할 수 있 다 . 슬립 너트 를 조이 면 개스킷 에 압축 이 가해질 수 있 다 .