본 출원 에 개시 된 마이크 로 - 디바이스 와 통합 된 검출 장치 는 단일 세포 , 단일 DNA , 단일 RNA 또는 각각 의 작 은 생물학 적 물질 수준 에 대해 미리 선택 된 특성 을 충분히 검출 할 수 있 다 . 또 다른 양태 에서 , 본 발명 은 신호 가 매우 약하 고 배경 잡음 이 비교 적 높 은 복잡 한 환경 하 에서 질병 검출 을 위한 생물 시스템 에서 매우 약한 신호 에 대해 매우 민감 하 고 개선 된 측정 을 수행 할 수 있 는 마이크 로 - 디바이스 의 설계 , 통합 및 제조 공정 흐름 을 제공 한다 . 본 발명 에 개시 된 질병 검출 을 위한 마이크 로 - 디바이스 를 사용 하 는 이러 한 새로운 능력 은 동적 측정 , 실시간 측정 ( 예 를 들 어 , 비행 시간 측정 , 및 프로브 신호 이용 과 반응 신호 검출 의 조합 ) , 배경 잡음 을 줄이 기 위한 위상 고정 기술 , 매우 약한 신호 를 측정 하 기 위한 4 - 포인트 프로브 기술 , 단일 세포 ( 예 를 들 어 , DNA 또는 염색체 의 텔로미어 ) , 단일 분자 ( 예 를 들 어 , DNA , RNA 또는 단백질 ) , 단일 생물학 적 대상 ( 예 를 들 어 , 바이러스 ) 수준 에서 생물학 적 샘플 의 다양 한 전자 , 전자기 및 자기 특성 을 측정 하 기 위한 특별 하 고 새로운 프로브 를 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는다 .