인식 될 바 와 같이 , 이 변수 모두 는 아니 더라도 많 은 변수 는 패 터닝 공정 의 매개변수 및 종종 관심 대상 매개변수 에 영향 을 미칠 것 이 다 . 패 터닝 공정 의 매개변수 의 비 제한 적 인 예 는 임계 치수 ( CD ) , 임계 치수 균일성 ( CDU ) , 초점 , 오버레이 , 에지 위치 또는 배치 , 측벽 각도 , 패턴 시프트 등 을 포함 할 수 있 다 . 흔히 이 매개변수 는 공칭 값 ( 예 를 들 어 , 설계 값 , 평균값 등 ) 으로부터 오차 를 나타낸다 . 매개변수 값 은 개별 패턴 의 특성 의 값 또는 패턴 그룹 의 특성 의 통계 자료 ( 예 를 들 어 , 평균 , 변화 등 ) 일 수 있 다 .