상술 한 바 와 같이 , 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따르 면 , 액체 조성물 의 수소 결합력 이 약해져 상기 액체 조성물 과 포토레지스트 막 또는 TARC 와 의 계면 장력 이 줄어들 게 되 고 따라서 기포 ( bubble ) 가 적 게 발생 하 게 된다 . 결과 적 으로 , 노광 시 에 기포 ( bubble ) 와 액체 조성물 ( immersion 매질 ) 의 굴절 율 차이 로 인한 결함 ( defect ) 을 방지 할 수 있 다 .