한편 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 ( W 2 ) 의 노광 이 종료 되 면 , 전술 과 동일 하 게 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 계측 부 ( 138 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 FD 바 ( 46 ) 를 근접 또는 접촉 시킨 스크럼 상태 를 유지 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 + Y 방향 으로 구동 함 과 동시 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 + Y 방향 또한 + X 방향 으로 구동 하 여 , 액침 영역 ( 14 ) 을 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 으로부터 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 으로 건네 준다 . 액침 영역 ( 14 ) 을 건네 준 직후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 투영 광학계 ( PL ) 의 바로 아래 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 계측 플레이트 ( 30 ) 가 위치 하 는 위치 에서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 + Y 방향 에 관한 구동력 을 제로 로 한다 . 이 로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 는 정지 되 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 는 , 도 58 중 의 흰색 큰 화살표 로 도시 된 바 와 같이 , + X 방향 으로 의 이동 을 개시 하 여 , 상기 서술 한 제 2 귀환 경로 를 따라 우측 로딩 포지션 을 향해 이동 한다 . 이 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 제 2 귀환 경로 를 따른 이동 을 효율 적 으로 개시 할 수 있 도록 , 제 1 스크럼 개시 위치 에서 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 센터 라인 이 기준 축 ( LV 0 ) 과 거의 일치 하 고 , 또한 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 센터 라인 이 기준 축 ( LV 0 ) 로부터 소정 거리 ( 제 1 오프셋 량 ) + X 측 으로 어긋난 상태 에서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 스크럼 상태 가 개시 되 도록 되 어 있 다 .