평균 입자 지름 15 nm 의 실리카 계 미립자 를 포함 한 실리 카졸 ( 쇼 쿠바 이 가세 이 고교 ( 주 ) 제 , Catalaid S - 20 L , SiO 2 함유량 20 중량 %) 을 스프레이 드라이어 ( NIRO 사제 , NIRO ATMIZER ) 에 제공 하 고 , 입구 온도 240 ℃, 출구 온도 55 ℃, 분무 속도 2 리터 / 분 의 조건 하 에서 분무 건조 를 행하 여 , 평균 입자 지름 5 ㎛ 의 다공질 실리카 계 입자 의 건조 분체 1 A 를 얻 었 다 .