웨이퍼 ( W ) 상 에 형성 된 노치 부분 을 검지 하 기 위한 노치 조사 유닛 ( 82 ) 이 웨이퍼 ( W ) 의 전달 부분 에 제공 된다 . 도시 생략 된 액추에이터 는 도 14 에 도시 된 바 와 같이 , 노치 조사 위치 와 대기 위치 사이 에서 노치 조사 유닛 ( 82 ) 을 이동 시키 도록 제공 된다 . 노치 조사 유닛 ( 82 ) 이 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 을 검지 하 면 , 노치 부분 이 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 과 대면 하 도록 보유 스테이지 ( 4 ) 가 모터 ( M 5 ) 에 의해 회전 된다 . 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 노치 조사 유닛 ( 82 ) 은 웨이퍼 ( W ) 가 전달 위치 에 있 을 때 노치 부분 을 검지 한다 .