본 발명 은 진공 밸브 에 관한 것 으로 , 상기 진공 밸브 는 밸브 개구부 ( valve opening ) 를 갖 는 벽 과 밸브 개구부 를 둘러싸 는 밸브 시트 ( valve seat ) 와 , 밸브 플레이트 를 구비 하 고 , 상기 밸브 시트 는 평면 에 놓여 있 는 실링 면 ( sealing surface ) 또는 평면 에 놓여 있 는 실링 링 ( sealing ring ) 을 구비 하 며 , 상기 밸브 플레이트 는 상기 밸브 플레이트 가 상기 밸브 개구부 를 개방 하 는 개방 위치 로부터 상기 밸브 플레이트 가 상기 밸브 개구부 를 폐쇄 하 는 폐쇄 위치 로 폐쇄 경로 에 걸쳐 이동 가능 하 고 , 상기 밸브 플레이트 는 , 상기 폐쇄 위치 에서 밸브 시트 의 실링 면 에 내리 눌려 지 는 실링 링 , 또는 상기 폐쇄 위치 에서 밸브 시트 의 실링 링 이 내리누르 는 실링 면 을 구비 하 며 , 상기 밸브 플레이트 는 , 진공 밸브 의 폐쇄 시 , 상기 밸브 플레이트 의 개방 위치 에서 시작 하 여 폐쇄 경로 의 메인 섹션 ( main section ) 에 걸쳐 , 밸브 플레이트 에 대해 평행 이 고 또 한 밸브 시트 의 실링 면의 또는 실링 링 의 평면 에 대해 평행 인 메인 폐쇄 방향 ( main closing direction ) 으로 이동 되 고 , 그리고 폐쇄 경로 의 상기 메인 섹션 에 뒤이 어 밸브 플레이트 를 밸브 시트 를 향해 안내 하 기 위해 , 상기 밸브 플레이트 에 대해 비스듬히 , 또한 밸브 시트 의 실링 면의 또는 실링 링 의 평면 에 대해 비스듬히 뻗 어 있 는 폐쇄 경로 의 파이널 섹션 에 걸쳐 이동 된다 .