노즐 구 조체 ( 400 ) 는 지지 플레이트 ( 200 ) 의 상부 에 위치 된다 . 노즐 구 조체 ( 400 ) 는 그 길 이 방향 이 제 2 방향 ( D 2 ) 을 향하 도록 제공 된다 . 노즐 구 조체 ( 400 ) 의 하단 에 는 분사구 가 형성 된다 . 분사구 는 노즐 구 조체 ( 400 ) 의 길 이 방향 과 평행 한 방향 을 따라 슬릿 형상 을 가지 도록 제공 된다 . 노즐 구 조체 ( 400 ) 의 분사구 는 대체로 기판 ( S ) 의 폭 에 대응 되 거나 이 보다 긴 길이 를 가진다 . 노즐 구 조체 ( 400 ) 는 처리 액 제 공부 ( 도 1 의 412 참조 ) 로부터 처리 액 을 제공 받 아 기판 ( S ) 으로 처리 액 을 공급 한다 . 예컨대 , 처리 액 은 포토레지스트 와 같 은 감광액 일 수 있 다 .