상기 제 1 및 제 2 블록 킹 절 연막 들 ( BIL 1 및 BIL 2 ) 은 서로 다른 물질 로 형성 될 수 있 으며 , 상기 제 1 및 제 2 블록 킹 절 연막 들 ( BIL 1 및 BIL 2 ) 중 의 하나 는 상기 터널 절 연막 ( TIL ) 보다 작 고 상기 전 하저 장막 ( CL ) 보다 큰 밴드 갭 을 갖 는 물질 들 중 의 하나 일 수 이 었 다 . 또한 , 상기 제 1 및 제 2 블록 킹 절 연막 들 ( BIL 1 및 BIL 2 ) 은 화학 기상 증착 또는 원자 층 증착 기술 들 중 의 한 가지 를 사용 하 여 형성 될 수 있 으며 , 이 들 중 의 적어도 하나 는 습식 산화 공정 을 통해 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 블록 킹 절 연막 ( BIL 1 ) 은 알루미늄 산화 막 및 하프늄 산화 막 등 과 같 은 고유 전막 들 중 의 하나 이 고 , 상기 제 2 블록 킹 절 연막 ( BIL 2 ) 은 상기 제 1 블록 킹 절 연막 ( BIL 1 ) 보다 작 은 유전 상수 를 갖 는 물질 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 블록 킹 절 연막 ( BIL 2 ) 은 고유 전막 들 중 의 하나 이 고 , 상기 제 1 블록 킹 절 연막 ( BIL 1 ) 은 상기 제 2 블록 킹 절 연막 ( BIL 2 ) 보다 작 은 유전 상수 를 갖 는 물질 일 수 있 다 . 변형 된 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 및 제 2 블록 킹 절 연막 들 ( BIL 1 및 BIL 2 ) 에 더 하 여 , 상기 전 하저 장막 ( CL ) 과 상기 도전 패턴 ( 230 ) 사이 에 개재 되 는 적어도 하나 의 추가 적 인 블록 킹 절 연막 ( 미 도시 ) 이 더 형성 될 수 있 다 .