아르곤 및 / 또는 다른 가스 의 흐름 은 전구체 펄 싱 동안 반응 챔버 로 적어도 하나 의 규소 전구체 의 증기 를 전달 하 는 데 도움 을 주 기 위한 운반 가스 로서 사용 될 수 있 다 . 특정 구체 예 에서 , 반응 챔버 공정 압력 은 약 50 mTorr 내지 10 Torr 이 다 . 다른 구체 예 에서 , 반응 챔버 공정 압력 은 최대 760 Torr ( 예 를 들 어 , 약 50 mtorr 내지 약 100 Torr ) 일 수 있 다 .