프로세스 튜브 ( 203 ) 내 에 는 , 온도 검출기 로서 의 온도 센서 ( 263 ) 가 설치 된다 . 히터 ( 206 ) 와 온도 센서 ( 263 ) 에 는 , 온도 제 어부 ( 238 ) 가 전기 적 으로 접속 된다 . 온도 제 어부 ( 238 ) 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 가 원 하 는 온도 분포 가 되 도록 , 온도 센서 ( 263 ) 에 의해 검출 된 온도 정보 에 기초 하 여 히터 ( 206 ) 에 대한 통전 상태 를 원하 는 타이밍 으로 제어 하 도록 구성 된다 .