이 경우 , 모든 정렬 마크 ( 5 ul ', 5 ur ', 5 ol , 5 or ) 가 상부 측 부 로부터 관찰 될 수 있 고 , 정렬 마크 ( 5 ul ', 5 ur ') 가 하부 측 부 로부터 관찰 될 수 있 다 . 그러나 이것 은 본 발명 을 따르 는 공정 을 변화 시키 지 않 는 데 , 이 경우 각각 의 제 1 기판 에 대해 각각 의 기판 이 교정 ( calibration ) 되 기 때문 이 다 . 하부 렌즈 들 ( 7 ul , 7 or ) 이 여전히 다른 도면 들 에 도시 되 더라도 , 하부 렌즈 들 은 상세 하 게 설명 하 지 않 는다 .