이 실시 형태 에서 의 유량 제어 장치 인 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 , MFC 2 는 도 4 에 나타내 듯이 , 내부 유로 L 1 ( L 2 ) 상 에 초단 압력 센서 P 01 ( P 02 ) , 당해 내부 유로 L 1 ( L 2 ) 를 흐르 는 유체 유량 을 제어 하 는 유량 제어 밸브 V 1 ( V 2 ) , 제 1 압력 센서 P 11 ( P 12 ) , 유체 저항 R 1 ( R 2 ) 및 제 2 압력선 을 이 순 으로 직렬 로 배열 한 것 이 다 .