또한 , 본 명세서 에 있 어서 , " "" 금속 원자 를 함유 하 는 금속 불순물 "" 이 란 ", 금속 이온 , 및 고체 ( 금속 단체 ( 單體 ) , 및 입자 상 의 금속 함유 화합물 등 . 이하 , " 이 들 을 "" 금속 입자 "" 라고 총칭 함 ) 로서 연마 액 중 에 함유 되 는 금속 불순물 을 의도 한다 . 예 를 들 면 ", 금속 원자가 Fe 원자 인 경우 , Fe 이온 , 및 Fe 원자 를 함유 하 는 고체 가 해당 한다 .