수지 변형 단계 에 있 어서 액상 수지 ( 301 ) 를 변형 시키 고 있 을 때 에 , 도 8 에 점선 으로 도시 한 바 와 같이 , 범프 ( 204 ) 가 액상 수지 ( 301 ) 에 매립 되 는 것 을 고려 하 면 , 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 과 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 의 사이 에 는 , 두께 ( 210 ) 의 웨이퍼 ( 200 ) 와 , 소망 의 수지 두께 ( 311 ) 를 목표 로 하 는 액상 수지 ( 301 ) 와 , 이미 알려진 두께 ( 97 ) 를 갖 는 시트 ( 92 ) 가 , 연직 방향 으로 적층 한 상태 가 된다 . 이 를 감안 하 여 , 거리 결정 단계 에서 는 , 구체 적 으로 는 , 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 제 어부 ( 70 ) 가 , 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 과 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 의 사이 의 초기 간격 으로부터 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 에서 측정 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 와 , 작업자 ( 오퍼레이터 ) 에 의해 입출력 인터페이스 장치 를 통해 제 어부 ( 70 ) 에 입력 가능 한 수지 두께 ( 312 ) ( 경화 후 의 수지 ( 302 ) ) 에 기초 하 여 산출 가능 한 수지 두께 ( 311 ) ( 경화 전 의 액상 수지 ( 301 ) ) 와 , 미리 제 어부 ( 70 ) 의 기억 장치 에 기억 된 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 를 차감 하 는 처리 를 하 고 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 산출 하 고 , 결정 한다 . 또한 , 거리 결정 단계 에서 는 , 시트 재치 단계 ( ST 12 ) 를 생략 하 고 있 는 경우 에 는 , 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 을 고려 하 여 차감 할 필요 가 없 다 .