렌즈 어셈블리 ( 576 ) 는 제 2 집속 렌즈 ( 570 ) 로부터 CPB 를 수신 하 도록 위치 되 되 , 렌즈 요소 ( 576 A ) 와 같 은 하나 이상 의 렌즈 요소 와 , 애퍼처 플레이트 ( 576 B ) ( 렌즈 요소 로서 의 역할 을 할 수 도 있 음 ) 와 , 애퍼처 플레이트 ( 576 B ) 내 에 정의 된 기준 애퍼처 ( 577 ) 로부터 CPB 의 일부 를 수신 하 도록 위치 된 검출기 ( 576 C ) 를 포함 할 수 있 다 . 다른 예 들 에서 , CPB 검출기 들 및 애퍼처 들 은 상이 한 위치 들 에서 제공 되 며 , 반드시 렌즈 어셈블리 의 일부 로서 제공 되 는 것 은 아니 다 . 4 중극 빔 편 향기 ( 568 ) 는 CPB 를 기준 애퍼처 ( 577 ) 로 지향 하 도록 에너지 공급 될 수 있 다 . 의도 된 CPB 광학 축 ( 579 ) 에 대한 기준 애퍼처 ( 577 ) 의 미리 결정 된 오프셋 에 기초 하 여 , 4 중극 빔 편 향기 ( 568 ) 에 의해 제공 되 는 빔 편향 은 CPB 전파 에서 의 에러 를 결정 하 고 적절 한 교정 또는 보상 편향 을 적용 하 여 CPB 를 의도 된 CPB 광학 축 ( 579 ) 에 정렬 시키 는 데 에 사용 될 수 있 다 . 도 5 c 에 도시 된 바 와 같이 , CPB ( 585 ) 는 4 중극 빔 편 향기 ( 568 ) 에 의해 편향 되 어 , CPB ( 585 ) 가 기준 애퍼처 ( 577 ) 에 입사 하 도록 의도 된 광학 축 ( 579 ) 으로부터 변위 되 는 교차 ( cross - over ) ( 587 ) 를 형성 한다 . 의도 된 CPB 광학 축 으로부터 의 기준 애퍼처 ( 577 ) 의 미리 결정 된 변위 를 이용 하 여 , 4 중극 빔 편 향기 ( 568 ) 에 의해 인가 되 는 편향 은 CPB 를 의도 된 CPB 광학 축 과 정렬 시키 기 위해 선택 될 수 있 다 . 그러 한 보상 은 이하 도 5 a 내지 도 5 b 에서 보다 상세히 설명 된다 .