상술 한 본 발명 의 목적 들 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따르 면 , 습식 세정 장치 는 세정액 이 수용 되 는 세 정조 , 세정액 의 농도 변화 에 따라 세 정조 에 선택 적 으로 약액 을 공급 하 는 약액 공급 수단 , 세정액 의 준위 를 측정 하 는 준위 측정 수단 , 세정액 을 세 정조 의 외부 로 배출 하 는 배출 수단 , 약액 공급 수단 에 의해 약액 이 공급 될 시 준위 측정 수단 의 측정 신호 에 따라 배출 수단 을 제어 하 는 제 어부 를 포함 한다 .