계속 해서 , 게이트 밸브 ( 244 ) 를 개방 하 여 , 처리 실 ( 201 ) 에 인접 하 는 진공 반 송실 로부터 , 웨이퍼 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 사용 해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 반입 한다 . 반입 된 웨이퍼 ( 200 ) 는 , 서 셉 터 ( 217 ) 의 표면 으로부터 돌출 된 웨이퍼 밀 어 올림 핀 ( 266 ) 상 에 수평 자세 로 지지 된다 . 처리 실 ( 201 ) 내 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 반입 하 면 , 웨이퍼 반송 기구 를 처리 실 ( 201 ) 밖 으로 퇴피 시키 고 , 게이트 밸브 ( 244 ) 를 닫 아서 처리 실 ( 201 ) 내 를 밀폐 한다 . 그리고 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 가 서 셉 터 ( 217 ) 를 상승 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 는 서 셉 터 ( 217 ) 의 상면 에 지지 된다 .