온도 차 에 의한 홀더 의 변형 을 방지 하 기 위해 , 기판 홀더 및 특히 홀더 의 열 팽창 계수 는 가능 한 한 작 아야 한다 . 선형 열팽창 계수 는 10 - 4 K - 1 미 만 , 바람직 하 게 는 5 * 10 - 5 K - 1 미 만 , 보다 바람직 하 게 는 10 - 5 K - 1 미 만 , 가장 바람직 하 게 는 5 * 10 - 6 K - 1 미 만 , 가장 바람직 하 게 는 5 * 10 - 6 K - 1 , 가장 바람직 하 게 는 10 - 6 K - 1 미 만 , 가장 바람직 하 게 는 10 - 7 K - 1 미만 이 다 .