도 2 b 는 피식 각 물질 층 ( 100 ) 의 표면 에 식각 가스 ( 120 ) 가 단일 층 으로 흡착 되 고 흡착 되 지 않 은 과잉 의 식각 가스 ( 120 ) 들 을 제거 하 는 퍼지 단계 를 보여 주 는 도면 이 다 . 퍼지 단계 에서 는 퍼지 가스 로서 불활성 기체 , 예 를 들 어 질소 가스 를 사용 한다 . 식각 가스 공급 밸브 ( 74 ) 를 차단 하 여 식각 가스 의 공급 을 중단 한 후 퍼지 가스 를 퍼지 가스 공 급구 ( 80 ) 를 통해 공급 하 면 , 퍼지 가스 가 과잉 의 식각 가스 와 함께 퍼지 가스 배출구 ( 82 ) 를 통하 여 배출 된다 .