제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 에 조사 된 검 출광 ( Ls ) 은 , 제 1 광학계 ( 31 ) 에 입사 한다 . 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 으로부터 의 빛 ( 노광 광 ( EL ) ) 과 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 으로부터 의 빛 ( 검 출광 ( Ls ) ) 은 제 1 광학계 ( 31 ) 에 있 어서 , 서로 다른 광로 를 진행 한다 . 상술 한 바 와 같이 , 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 으로부터 의 빛 ( 노광 광 ( EL ) ) 은 제 1 광학계 ( 31 ) 를 통하 여 , 중간 광학계 ( 30 ) 의 제 1 반사면 ( 30 A ) 에 입사 한다 . 한편 , 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 으로부터 의 빛 ( 검 출광 ( Ls ) ) 은 제 1 광학계 ( 31 ) 를 통하 여 , 중간 광학계 ( 30 ) 를 통하 지 않 고 , 제 2 광학계 ( 32 ) 에 입사 한다 . 즉 , 제 1 광학계 ( 31 ) 는 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 으로부터 의 빛 ( 검 출광 ( Ls ) ) 을 제 2 광학계 ( 32 ) 에 공급 가능 하 다 . 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 의 위치 는 , 그 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 에 조사 된 빛 ( 검 출광 ( Ls ) ) 이 제 1 광학계 ( 31 ) 를 통과 한 후 , 중간 광학계 ( 30 ) 를 통하 지 않 고 제 2 광학계 ( 32 ) 에 공급 되 도록 투영 계 ( PL ) 의 각 광학 소자 의 배치 등 에 따라 최적 의 위치 로 설정 되 어 있 다 .