이하 , 도 1 , 도 2 에 나타내 는 실시 예 에 근거 하 여 본 발명 을 설명 한다 . 또 , 각 도면 중 , 도 1 은 본 발명 의 탑재 대 의 일실 시예 를 적용 한 검사 장치 의 구조 의 일례 를 부분 적 으로 파단 하 여 나타내 는 정면도 , 도 2 ( a ) ~( c ) 는 모두 도 1 에 나타내 는 검사 장치 에 적용 된 탑재 대 를 나타내 는 도면 으로 , ( a ) 는 그 단면도 , ( b ) 는 탑재 대 의 절연 피막 의 일부 를 확대 하 여 나타내 는 단면도 , ( c ) 는 탑재 대 의 일부 를 확대 하 여 나타내 는 단면도 이 다 .