본 발명 의 일 실시 예 에 따른 비휘발성 디램 소자 의 제조 방법 은 ( a ) 기판 에 홀 을 축적 할 수 있 는 부유 바디 셀 을 형성 하 는 단계 , ( b ) 상기 부유 바디 셀 의 표면 에 전자 를 주입 할 수 있 는 비휘발성 게이트 구 조체 를 형성 하 는 단계 및 ( c ) 상기 부유 바디 셀 내 에 소오 스 와 드레 인 을 형성 하 는 단계 를 포함 한다 . 이하 에서 는 첨부 된 도면 를 참조 하 여 상세히 설명 한다 .