또한 본 발명 에 따른 배선 형성 을 위한 포토 공정 의 오버레이 제어 시 에 는 이전 포토 공정 진행 된 롯 트 들 의 커런트 레이어 에 대한 스텝 퍼 입 / 출력 값 뿐 만 아니 라 서브 레이어 에 대한 스텝 퍼 입력 값 을 반영 한 가중 평균 산출 을 통해 스텝 퍼 에서 새로이 포토 공정 이 진행 되 는 다음 롯 트 의 스텝 퍼 입력 값 을 예측 생성 하 도록 함 으로써 , 포토 공정 에서 보다 정확 한 오버레이 공정 제어 를 수행 할 수 있 게 된다 .