종래 에 는 도 1 및 도 2 와 같이 일체 로 된 프레임 내부 에 저장 탱크 ( 미 도시 ) 를 형성 하 는 방법 으로 약액 공급 장치 ( 10 ) 가 제작 되 었 다 . 전술 한 바 와 같이 각 공정 별 또는 만들 어 지 는 웨이퍼 의 특성 에 따라서 다양 한 종류 의 약액 을 사용 하 게 되 는데 , 이때 일체 로 된 프레임 내부 에 약액 의 종류 에 맞 게 약액 저장 탱크 ( 미 도시 ) 를 형성 하 는 방법 으로 약액 공급 장치 를 제작 하 였 다 . 즉 , 3 가지 종류 의 약액 을 사 용 하 는 경우 에 는 도 1 과 같이 제작 을 하 고 , 4 가지 종류 의 약액 을 사용 하 는 경우 에 는 도 2 와 같이 도 1 의 프레임 보다 더 큰 프레임 에 저장 탱크 ( 미 도시 ) 를 형성 하 는 방법 으로 제작 하 였 다 .