제 1 및 제 2 공급 라인 ( 71 , 72 ) 은 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 로부터 공급 된 정화 물질 이 매니폴드 ( 60 ) 로 최초 공급 되 는 부분 이 다 . 따라서 제 1 및 제 2 공급 라인 ( 71 , 72 ) 은 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 와 , 매니폴드 ( 60 ) 사이 에 각각 횡 방향 으로 형성 되 어 있 다 .