6 축 로봇 ( 270 ) 은 카세트 ( 210 ) 에 내장 된 웨이퍼 ( 220 ) 를 언 로딩 한 후 , 매크로 검사 부 ( 250 ) 또는 미크 로 검사 부 ( 280 ) 로 이동 시키 거나 매크로 검사 부 ( 250 ) 또는 미크 로 검사 부 ( 280 ) 에 위치 한 웨이퍼 ( 221 , 222 ) 를 카세트 ( 210 ) 로 로딩 ( loading ) 시킨다 .