도 3 을 참조 하 면 , 제 3 전극 ( 153 ) 및 제 4 전극 ( 154 ) 사이 에 는 복수 의 보정 스 페이서 ( 156 ') 가 형성 된다 . 보정 스 페이서 ( 156 ') 는 나노 와이어 ( 156 ) 와 동일 한 혹은 다른 재질 로 형성 될 수 있 으며 , 다만 , 나노 갭 ( G ) 없이 형성 된다 . 보정 스 페이서 ( 156 ') 의 적어도 일단 에 는 절 연부 ( 158 ) 가 형성 되 어서 제 3 전극 ( 153 ) 및 제 4 전극 ( 154 ) 사이 를 절연 한다 .