여기 서 , 상기 유량 조절 명령 신호 는 , 상기 압력 비 교부 에서 비교 한 결과 , 상기 절대 압력 이 상기 목표 압력 보다 높 을 경우 , 상기 바이패스 라인 을 통해 배출 되 는 가스 의 유량 을 감소 시키 도록 하 는 제 1 유량 조절 명령 신호 , 상기 절대 압력 이 상기 목표 압력 과 같 을 경우 , 상기 바이패스 라인 을 통해 배출 되 는 가스 의 유량 을 유지 시키 도록 하 는 제 2 유량 조절 명령 신호 및 상기 절대 압력 이 상기 목표 압력 보다 작 을 경우 , 상기 바이패스 라인 을 통해 배출 되 는 가스 의 유량 을 증가 시키 도록 하 는 제 3 유량 조절 명령 신호 를 포함 한다 .