공정 처리 과정 에서 , 제어기 는 인덕 터 ( 4210 ) 와 가변 커패시터 ( 4220 ) 가 공진 조건 ( 이하 , 제 1 공진 ) 이 되 도록 가변 커패시터 ( 4220 ) 의 크기 를 제어 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 서 셉 터 ( 200 ) 는 접지 상태 또는 접지 상태 에 근접 한 전압 ( 즉 , 0 V 또는 0 V 에 근접 한 전압 ) 이 인가 되 는 상태 가 된다 . 도 4 내지 도 5 에 는 가변 커패시터 ( 4220 ) 가 62 pF 일 때 , 제 1 공진 상태 가 되 는 경우 가 도시 되 었 다 . 제 1 공진 상태 가 되 어 , 전 극판 ( 300 ) 과 서 셉 터 ( 200 ) 사이 의 전기장 이 변화 되 면 , 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 여기 되 는 플 라즈 마의 밀도 가 증가 됨 이 확인 되 었 다 .