가스 공급 기구 ( 18 ) 는 , 예컨대 질소 함유 가스 ( N 함유 가스 ) 공급원 ( 19 a ) , 실리콘 함유 가스 ( Si 함유 가스 ) 공급원 ( 19 b ) 및 불활성 가스 공급원 ( 19 c ) 을 갖 고 있 다 . 질소 함유 가스 공급원 ( 19 a ) 은 상단 의 가스 도입부 ( 14 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 실리콘 함유 가스 공급원 ( 19 b ) 및 불활성 가스 공급원 ( 19 c ) 은 하단 의 가스 도입부 ( 15 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또 , 가스 공급 기구 ( 18 ) 는 , 상기 이외 의 도시 하 지 않 은 가스 공급원 으로서 , 예컨대 챔버 내 분위기 를 치환 할 때 에 이용 하 는 퍼지 가스 공급원 , 챔버 ( 1 ) 내 를 클리닝 할 때 에 이용 하 는 클리닝 가스 공급원 등 을 갖 고 있 어도 좋 다 .