따라서 , 상기 가스 공급 라인 ( 160 ) 을 통해 불활성 가스 , 질소 또는 공기 가 상기 팽창 부재 ( 158 ) 에 주입 되 면 , 상기 팽창 부재 ( 158 ) 는 일정 체적 및 높이 를 갖 도록 팽창 되 어 , 상기 팽창 부재 ( 158 ) 의 상부 에 마련 된 기판 정렬 부재 ( 158 ) 의 타단 을 부상 시켜 지지대 ( 140 ) 와 수평 상태 에서 수직 상태 로 소정 각도 회전 되 고 , 이때 , 상기 회전축 ( 154 ) 에 형성 된 돌출부 ( 156 ) 에 의해 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 회동 반경 이 제한 된다 . 또한 , 상기 불활성 가스 , 질소 또는 공기 의 주입 이 멈추 면 , 상기 팽창 부재 ( 158 ) 는 수축 하 여 원래 의 모양 으로 돌아와 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 타단 을 하강 시켜 원래 상태 즉 , 지지대 ( 140 ) 와 수평 상태 로 유지 된다 .