보다 구체 적 으로 , 도 4 를 참조 하 면 , 공 초점 센서 ( 321 ) 는 색 수차 렌즈 ( cromatic lens ) 를 이용 하 여 색 을 분산 시키 고 , ' 보 남 파초 노주 빨 ' 로 보이 는 색 의 파장 에 따른 배열 을 거리 로 환산 하 는 센서 로서 , 측정 대상물 ( 측정 지점 ) 로 조사 된 광 ( 예 를 들 어 , 백색광 ) 이 색 ( 파장 ) 마다 다른 위치 에서 초점 을 맺 고 , 측정 대상물 의 높이 에 따라 초점 이 일치 한 색 의 빛 이 되돌아오 기 때문 에 반사광 ( λ 1 , λ m , λ n ) 의 색 정보 로부터 기준 측정 위치 ( 센서 가 배치 된 위치 ) 와 측정 대상물 의 거리 를 측정 할 수 있 다 . 특히 , 공 초점 센서 ( 321 ) 는 반사광 의 파장 정보 를 통해 높이 ( 거리 ) 를 검지 하 기 때문 에 , 물 과 같 은 투명체 의 두께 ( 높이 또는 단차 ) 측정 이 가능 한 이점 을 갖 는다 . 더욱이 , 공 초점 센서 ( 321 ) 는 반사광 의 파장 정보 를 통해 높이 ( 깊이 ) 를 검지 하 기 때문 에 , 공 초점 센서 ( 321 ) 가 기판 ( 10 ) 의 상면 에 대해 경사지 게 틸팅 되 더라도 반점 의 두께 ( 반점 까지 의 거리 ) 를 정확 하 게 측정 할 수 있 으므로 , 반점 의 형성 여부 를 정확 하 게 검출 할 수 있 다 .