Z 축 이동 수단 ( 78 ) 은 , X 축 Y 축 평면 과 직교 하 는 Z 축 방향 ( 연직 방향 ) 으로 연장 되 는 직 동축 ( 780 ) 과 , 직 동축 ( 780 ) 상 을 Z 축 방향 으로 자유 롭 게 슬라이드 이동 가능 한 Z 축 가동 부재 ( 781 ) 를 구비 하 고 있 다 . 그리고 , Z 축 가동 부재 ( 781 ) 에 는 초음파 진동 혼 ( 8 ) 이 부착 되 어 있 다 .