상술 한 각종 공급계 중 어느 하나 , 또는 , 모든 공급계 는 , 밸브 ( 243 a 내지 243 f ) 나 MFC ( 241 a 내지 241 f ) 등 이 집적 되 어 이루어지 는 집적 형 공급 시스템 ( 248 ) 으로서 구성 되 어 있 어도 된다 . 집 적 형 공급 시스템 ( 248 ) 은 , 가스 공급 관 ( 232 a 내지 232 f ) 각각 에 대하 여 접속 되 어 , 가스 공급 관 ( 232 a 내지 232 f ) 내로 의 각종 가스 의 공급 동작 , 즉 , 밸브 ( 243 a 내지 243 f ) 의 개폐 동작 이나 MFC ( 241 a 내지 241 f ) 에 의한 유량 조정 동작 등 이 , 후술 하 는 컨트롤러 ( 121 ) 에 의해 제어 되 도록 구성 되 어 있 다 . 집 적 형 공급 시스템 ( 248 ) 은 , 일체 형 , 또는 , 분할 형 의 집 적 유닛 으로서 구성 되 어 있 고 , 가스 공급 관 ( 232 a 내지 232 f ) 등 에 대하 여 집 적 유닛 단위 로 착 탈 을 행할 수 있 어 , 집적 형 공급 시스템 ( 248 ) 의 메인 터 넌 스 , 교환 , 증설 등 을 , 집 적 유닛 단위 로 행하 는 것 이 가능 하 도록 구성 되 어 있 다 .