일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 구 현예 들 중 일부 에 따라 증착 된 금속 막 을 포함 하 는 박막 은 약 100 nm 미만 의 두께 에서 약 20 μΩ cm 미만 의 전기 비저항 을 가질 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 구 현예 들 중 일부 에 따라 증착 된 금속 막 을 포함 하 는 박막 은 약 60 nm 미만 , 약 50 nm 미만 , 약 40 nm 미만 , 약 30 nm 미만 , 약 25 nm 미만 , 또는 약 20 nm 미만 또는 그 이하 의 두께 에서 약 20 μΩ cm 미만 의 전기 비저항 을 가질 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 구 현예 들 중 일부 에 따라 증착 된 금속 막 을 포함 하 는 박막 은 약 60 nm 미만 , 약 50 nm 미만 , 약 40 nm 미만 , 약 30 nm 미만 , 약 25 nm 미만 , 또는 약 20 nm 미만 또는 그 이하 의 두께 에서 약 15 μΩ cm 미만 의 전기 비저항 을 가질 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 본원 에 기재 된 구 현예 들 중 일부 에 따라 증착 된 금속 막 을 포함 하 는 박막 은 약 60 nm 미만 , 약 50 nm 미만 , 약 40 nm 미만 , 약 30 nm 미만 , 약 25 nm 미만 , 또는 약 20 nm 미만 또는 그 이하 의 두께 에서 약 10 μΩ cm 미만 의 전기 비저항 을 가질 수 있 다 .