기판 의 연마 를 위한 에어 베어링 및 이 를 구비 하 는 기판 연마 장치 가 개시 된다 . 기판 연마 장치 의 에어 베어링 은 , 일 면 이 개방 되 게 형성 되 고 , 내부 에 공간 이 형성 된 메인 프레임 , 상기 메인 프레임 내부 공간 을 복수 의 압력 챔버 ( zone ) 로 구획 하 는 복수 의 격벽 및 상기 메인 프레임 의 개방 된 면 에 구비 되 고 가요 성 재질 로 형성 되 고 복수 의 압력 홀 이 형성 된 멤 브레인 을 포함 하 고 , 상기 복수 의 압력 챔버 는 중앙 에 형성 되 는 중앙 챔버 와 가장 외측 에 형성 되 는 제 1 외측 챔버 를 포함 하 고 , 상기 중앙 챔버 에서 상기 제 1 외측 챔버 로 갈수록 크기 가 작아지 도록 형성 될 수 있 다 .