상기 제조 예 1 의 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 을 스핀 코팅 법 으로 유리 기판 위 에 도포 한 다음 , 가열 판 위 에 놓 고 100 ℃ 의 온도 에서 2 분 간 유지 하 여 박막 을 형성 시켰 다 . 이어서 , 상기 감광성 수지 조성물 상 에 투과율 을 1 내지 100 % 의 범위 에서 계단상 으로 변화 시키 는 패턴 과 1 내지 50 ㎛ 의 라인 / 스페이스 패턴 을 갖 는 시험 포토 마스크 를 올려 놓 았 다 . 이 때 , 감광성 수지 조성물 이 포함 된 기판 주변 에 돔 형태 의 차 단막 을 장치 하 고 , 상기 차 단막 내부 로 질소 가스 를 추가 로 도입 함 으로써 질소 의 함량 을 증가 시켜 산소 의 함량 을 감소 시켰 다 . 상기 산소 의 함량 은 산소 농도 측정기 ( XPO - 318 , COSMO 사 ) 를 사용 하 여 측정 하 였으며 , 차 단막 내부 의 기체 중 산소 의 농도 가 10 부피 % 될 때 까지 질소 가스 를 도입 하 였 다 .