여기 서 , 본원 발명자 가 행한 실험 에 대해 설명 한다 . 이 실험 에서 는 , 5 개 의 시료 ( 시료 No . 1 ～ No . 5 ) 를 제작 하 였 다 . 시료 No . 1 은 도 8 a 내지 도 8 l 에 나타낸 종래 의 방법 으로 제작 한 강유전체 메모리 이 다 . 시료 No . 2 는 시료 No . 1 에 대해 , 콘택트 홀 ( 127 t ) 의 크기 를 50 % 까지 감 ( 減 ) 하 여 제작 한 강유전체 메모리 이 다 . 시료 No . 3 은 시료 No . 1 에 대해 , 콘택트 홀 ( 127 t ) 을 형성 한 후 의 회복 어닐링 시간 을 10 % 증가 시켜서 제작 한 강유전체 메모리 이 다 . 시료 No . 4 및 5 는 도 1 a 내지 도 1 o 에 나타낸 제 1 실시 예 에 따른 방법 으로 제작 한 강유전체 메모리 이 다 . 또한 , 시료 No . 1 에서 는 콘택트 홀 ( 127 t ) 의 평균 지름 을 600 nm 로 하 고 , 시료 No . 4 및 5 에서 는 콘택트 홀 ( 27 t ) 의 평균 지름 을 800 nm 로 하 였 다 .