웨이퍼 홀더 ( 276 ) 는 웨이퍼 ( 244 ) 를 안 전하 게 안착 시키 고 , 6 축 로봇 ( 270 ) 의 각 아암 ( 273 , 274 , 275 ) 의 동작 에 의하 여 웨이퍼 ( 244 ) 를 상하 , 좌우 , 전후 로 이동 시킬 수 있 다 . 웨이퍼 ( 244 ) 가 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 에 안착 될 때 , 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 의 제 1 공기 분사구 ( 276 a ) 를 통하 여 분사 된 공기 ( air ) 에 의해 웨이퍼 ( 244 ) 와 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 가 접촉 되 지 않 도록 한다 . 이때 , 제 1 공기 분사구 ( 276 a ) 는 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 의 웨이퍼 측 표면 에 다수 개 가 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 .