하지만 , 상기 챔버 ( 220 ) 의 내부 에 수용 된 블레이드 ( 100 ) 는 비교 적 열 에 약한 고무 또는 실리콘 과 같 은 합성수 지재 로서 , 상기 블레이드 ( 100 ) 가 열 에 의해 손상 되 지 않 도록 챔버 ( 220 ) 의 내부 온도 는 200 ℃ 이하 가 되 어야 만 한다 . 이 를 위해서 는 상기 챔버 ( 220 ) 의 온도 를 결정 하 는 공급 전력 이 조절 되 어야 하 고 , 챔버 ( 220 ) 의 내부 압력 이 일정 하 도록 공급 되 는 메탄가스 의 유량 이 제어 되 어야 한다 .