단계 ( 106 ) 중 에 , 제 2 반응물 은 반응 챔버 내 에 도입 된다 . 제 2 반응물 은 , 오 목부 표면 의 제 2 부분 과 반응 하 여 오 목부 표면 의 제 2 부분 상 에 화학 흡착 된 재료 를 형성 할 수 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 제 2 반응물 의 화학 흡착 은 단계 ( 104 ) 를 사용 하 여 오 목부 표면 의 제 1 부분 상 에서 억제 될 수 있 다 .