합착 장치 는 상부 기판 과 하부 기판 이 반입 되 며 상부 기판 과 하부 기판 이 합착 되 는 공간 을 형성 하 는 챔버 , 챔버 내 의 상 , 하측 에 상호 대향 하 도록 각각 배치 되 어 상 , 하부 기판 을 지지 하 며 적어도 어느 하나 가 상 , 하부 기판 이 합착 되 는 합착 위치 로 이동 되 는 상부 정반 및 하부 정반 , 상 , 하부 정반 중 어느 하나 에 배치 되 고 상 , 하부 기판 중 인접 한 어느 하나 에 가 압력 을 제공 하 는 가압 유닛 을 구비 한다 .