상기 화학식 1 로 표시 되 는 실란 화합물 의 구체 예 로 는 , 예 를 들 면 , 메틸 트리 메 톡 시실 란 , 메틸 트리 에 톡 시실 란 , 메틸 트리 이소 프로 폭시 실란 , 메틸 트리 n - 부 톡 시실 란 , 에틸 트리 메 톡 시실 란 , 에틸 트리 에 톡 시실 란 , 에틸 트리 이소 프로 폭시 실란 , 에틸 트리 n - 부 톡 시실 란 , n - 프로필 트리 메 톡 시실 란 , n - 프로필 트리 에 톡 시실 란 , n - 부틸 트리 메 톡 시실 란 , n - 부틸 트리 에 톡 시실 란 , n - 헥 실트 리메 톡 시실 란 , n - 헥 실 트리 에 톡 시실 란 , 데 실트 리메 톡 시실 란 , 페닐 트리 메 톡 시실 란 , 페닐 트리 에 톡 시실 란 , 트리플 루 오로 메틸 트리 메 톡 시실 란 , 트리플 루 오로 메틸 트리 에 톡 시실 란 , 3 , 3 , 3 - 트리플 루 오로 프로필 트리 메 톡 시 실란 등 을 들 수 있 다 . 이 들 중 에서 , 메틸 트리 메 톡 시실 란 , 메틸 트리 에 톡 시실 란 , 페닐 트리 메 톡 시실 란 , 페닐 트리 에 톡 시 실란 은 , 입수 하 기 용이 하 여 바람직 한 화합물 이 다 .