도 21 a 내지 도 21 c 를 참조 하 면 , 아르곤 ( Ar ) 가스 와 암모니아 ( NH 3 ) 가스 의 혼합 가스 를 사용 하 여 일반 적 인 급속 열처리 를 실시 한 경우 가 아르곤 ( Ar ) 가스 와 산소 ( O 2 ) 가스 의 혼합 가스 를 사용 하 여 일반 적 인 급속 열처리 를 실시 한 경우 보다 헤이즈 가 발생 한 영역 에서 산소 석출 물 제어 능력 이 좋 다는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 2 단계 급속 열처리 를 실시 한 경우 가 일반 적 인 급속 열처리 를 실시 한 경우 보다 헤이즈 가 발생 한 영역 의 산소 석출 물 이 확실히 감소 함 을 볼 수 있 다 .