노광 장치 ( 10 ) 는 광원 을 입사 받 아 X 방향 의 광원 만 통과 시키 는 다이폴 X 조 명계 ( 11 ) , 다이폴 X 조명계 ( 11 ) 를 통과 한 광원 의 초점 을 맞추 는 렌즈 ( 12 ) , 레티 클 이 장착 되 어 있 는 레티 클 스테이지 ( 13 ) , 레티 클 을 통과 한 광원 을 웨이퍼 에 조사 하 기 위한 노광 렌즈 ( 14 ) , 및 웨이퍼 가 장착 된 웨이퍼 스테이지 ( 15 ) 를 포함 한다 .