상기 서술 한 바 와 같이 , 제 어부 ( 50 ) 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 함 으로써 , 높 은 산출 정밀도 로 시뮬레이션 강도 분포 를 산출 할 수 있 다 . 그런데 , 패턴 위치 측정 또는 선폭 측정 의 알고리즘 으로 는 , 여러 가지 의 알고리즘 이 사용 되 고 있 다 . 알고리즘 이 상이 하 면 , 측정 정밀도 도 상이 할 수 있 다 . 그래서 , 이 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 하 여 패턴 위치 측정 또는 선폭 측정 의 산출 정밀도 를 계측 해도 된다 . 예 를 들 어 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 한 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 의 산출 결과 에 기초 하 여 , 그 산출 정밀도 의 지표 가 되 는 편차 를 , 알고리즘 마다 산출 하 면 된다 . 이 로써 , 예 를 들 어 패턴 위치 측정 또는 선폭 측정 의 알고리즘 의 성능 을 검증 할 수 있 다 .