안테나 부 ( 410 ) 에 상기 의 플 라즈 마용 전원 ( 고주파 전원 ) 이 인가 되 면 실드 부 ( 200 ) 내측 의 반응 공간 에서 플 라즈 마가 발생 하 게 된다 . 이러 한 안테나 부 ( 410 ) 에 의해 실드 부 ( 200 ) 내측 영역 에 고밀도 의 플 라즈 마가 발생 하 게 된다 . 실드 부 ( 200 ) 의 내측 영역 에 는 차 폐부 ( 300 ) 가 마련 되 어 있 기 때문 에 차 폐부 ( 300 ) 와 실드 부 ( 200 ) 사이 영역 , 실드 부 ( 200 ) 와 상승 한 기판 지지 수단 ( 500 ) 의 사이 영역 에 플 라즈 마가 집중 발생 하 게 된다 .