상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 상변화 메모리 의 피로 측정 방법 은 펄스 발생기 ( pulse generator ) 에서 제 어부 에 의해 설정 된 셋 ( set ) / 리셋 ( reset ) 반복 펄스 의 인가 전압 및 펄스폭 에 따른 펄스 가 발생 되 는 단계 와 , 메모리 소자 의 상변화 물질 과 접촉 된 원자 힘 현미경 의 히터 팁 에서 상기 펄스 에 의한 열 이 발생 되 어 상기 상변화 물질 의 상 을 변화 시키 는 단계 와 , 매개변수 분석기 ( parameter analyzer ) 에서 상기 상변 화 된 물질 의 해당 전압 , 전류 및 상기 전류 - 전압 곡선 에 의해 계산 된 저항 값 이 분석 되 는 단계 및 상기 제 어부 에서 설정 된 측정 시간 또는 측정 사이클 횟수 만큼 상기 세 단계 들 을 반복 하 는 단계 를 포함 한다 .