탄소 및 / 또는 불소 도 펀트 종 을 제공 하 는 데 사용 가능 한 다른 가능 한 소스 가스 는 탄화수소 ( 예컨대 , CxHy , 1 ≤ x ≤ 10 , 4 ≤ y ≤ 30 ) 및 그 유도체 와 , 플 루 오로 하이드로 카본 ( 예컨대 , CxHyFz , 1 ≤ x ≤ 5 , l ≤ y ≤ 20 , 및 1 ≤ z ≤ 20 ) 및 그 유도체 와 , 할로겐 간 화합 물종 ( 예컨대 , RyFz , 여기 서 R 은 염소 , 브롬 또는 요오드 이 고 , 1 ≤ x ≤ 4 , 1 ≤ y ≤ 10 ) 및 NF 3 를 포함 한다 . 본 발명 의 다른 예시 적 인 실시 예 에 따라 다른 도 펀트 종 ( 예컨대 , 비소 , 인 , 인듐 및 안티몬 ) 을 제공 하 기 위해 본 명세서 에서 설명 한 것 이외 의 소스 가스 를 사용 할 수 있 다는 것 역시 이해 해야 한다 . 특정 도 펀트 와 소스 가스 는 컨테이너 에 있 는 가스 혼합물 의 화학 적 안정 성 및 이온 소스 성능 및 수명 에 대한 그 영향 을 포함 하 는 다양 한 요인 중 임의 의 것 에 기초 하 여 선택 할 수 있 다 .