실시 예 에서 , 하나 이상 의 처리 변수 의 기여 도 는 기판 특정 적 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기여 도 는 각 기판 또는 특정 그룹 의 기판 에 대해 결정 될 수 있 다 . 이러 한 변수 의 예 는 기판 기하학 적 구조 ( 높이 맵 , 변형 맵 ) , 기판 처리 조건 , 조명 의 변수 , 투영 시스템 의 변수 , 초점 , 선량 , 대역폭 , 노광 지속 시간 , 고주파 스테이지 이동 의 특성 ( 예 를 들 어 , 기판 스테이지 의 이동의 이동 표준 편차 ( MSD ) , 기판 스테이지 의 이동의 이동 평균 , 등 ) , 고주파 레이저 대역폭 변화 ( 예 를 들 어 , 주파수 , 진폭 등 ) , 고주파 레이저 파장 변화 , 및 / 또는 기판 의 평탄 성 을 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 지 않 는다 .