복수 의 열처리 실 ( 10 ) 은 유리 기판 ( 11 ) 을 소정 온도 까지 가열 하 는 가열 존 X , 서 냉 하 는 서 냉 존 Y , 또한 상온 정도 까지 냉각 하 는 냉 각존 Z 로 구분 되 어 있 고 , 유리 기판 ( 11 ) 은 이 들 가열 존 X , 서 냉 존 Y 및 냉 각존 Z 로 순차 로 반송 되 는 사이 ( 약 60 ~ 90 분 ) 에 소정 온도 프로 파일 로 열처리 된다 .