단계 S 33 에서 , 각 샷 영역 마다 미리 설정 된 압인 프로파일 에 따라 임프 린트 처리 를 행한다 . 기판 ( 2 ) 상 에 형성 된 복수 의 샷 영역 각각 마다 미리 설정 된 압인 프로파일 은 도 8 에 도시 되 는 바 와 같 은 임프 린트 장치 의 콘솔 화면 ( 표시 장치 ) 상 에서 지정 될 수 있 다 . 도 8 은 기판 ( 2 ) 상 의 각각 의 샷 영역 마다 지정 된 압인 프로 파일 을 도시 한다 . 미리 결정 된 압인 프로 파일 이 설정 화면 상 에서 샷 영역 마다 설정 될 수 있 다 . 본 예 에서 는 , 제 1 샷 영역 ( # Shot 1 ) 에 대한 임프 린트 처리 는 위치 압인 프로파일 ( Z ( 1 ) ) 에 따라서 행해진다 .