웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 의 중앙 에 는 , 웨이퍼 를 진공 흡착 등 에 의해 유지 하 는 웨이퍼 홀더 ( 미 도시 ) 가 설치 되 어 있 다 . 웨이퍼 홀더 ( 웨이퍼 의 재치 영역 ) 의 외측 에 는 , 도 2 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 홀더 보다 한 사이즈 더 큰 원형 의 개구 가 중앙 에 형성 되 고 , 또한 , 직사각 형 의 외형 ( 윤곽 ) 을 갖 는 플레이트 ( 28 ) 가 설치 되 어 있 다 . 플레이트 ( 28 ) 의 표면 은 , 액체 ( Lq ) 에 대해 발 액화 처리 된 발 액면 을 형성 하 고 있 다 . 또한 , 플레이트 ( 28 ) 는 , 그 표면 의 전부 ( 또는 그 표면 의 일부 ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 표면 과 실질 적 으로 동일 면 이 되 도록 설치 되 어 있 다 .