도 3 및 도 4 g 를 함께 참조 하 면 , 블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 내부 에 제 1 에어갭 ( 125 AG ) 을 가질 수 있 다 . 제 1 에어갭 ( 125 AG ) 은 , 블로킹 유전 막 ( 125 ) 이 워드 라인 구조물 ( WS ) 의 저면 및 상면 과 , 절 연막 ( 110 ) 의 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 이 한정 하 는 공간 을 채우 는 과정 에서 형성 될 수 있 다 .