상술 한 실드 부 ( 200 ) 는 하부 챔버 부 ( 110 ) 의 상측 벽 에서 상부 챔버 부 ( 120 ) 의 오목 홈 부 ( 123 ) 내측 을 거쳐 상부 챔버 부 ( 120 ) 의 상측 벽 으로 연장 된 링 형상 ( 또는 프레임 형상 ) 으로 제작 된다 . 실드 부 ( 200 ) 는 하부 챔버 부 ( 110 ) 의 관통 홀 ( 112 ) 의 가장 자리 둘레 영역 에 배치 되 어 상부 챔버 부 ( 120 ) 와 하부 챔버 부 ( 110 ) 를 포함 하 는 챔버 ( 100 ) 를 분리 공간 ( D ) 과 반응 공간 ( A ) 으로 분리 한다 . 상기 반응 공간 ( A ) 은 기판 ( 10 ) 이 위치 하 고 , 공간 내 에 플 라즈 마가 발생 되 어 기판 에지 영역 을 식각 하 는 공정 이 수행 되 는 공간 이 고 , 분리 공간 ( D ) 은 플라 즈 마 발생 을 위한 플라 즈 마 생 성부 ( 400 ) 의 일부 가 위치 하 는 공간 이 다 . 상기 분리 공간 ( D ) 과 반응 공간 ( A ) 은 실드 부 ( 200 ) 에 의해 서로 고립 되 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 분리 공간 ( D ) 은 대기압 상태 를 유지 하 고 , 반응 공간 ( A ) 은 진공 을 유지 할 수 있 다 .