이어서 , 웨이퍼 를 반송 하 기 위한 반송 기구 에 대하 여 설명 한다 . 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 연마 유닛 ( 3 A ) 및 제 2 연마 유닛 ( 3 B ) 에 인접 하 여 , 제 1 리니어 트랜스포터 ( 6 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 제 1 리니어 트랜스포터 ( 6 ) 는 , 연마 유닛 ( 3 A , 3 B ) 이 배열 되 는 방향 을 따른 4 개 의 반송 위치 ( 로드 / 언 로드 부측 에서 차례 로 제 1 반송 위치 TP 1 , 제 2 반송 위치 TP 2 , 제 3 반송 위치 TP 3 , 제 4 반송 위치 TP 4 로 함 ) 사이 에서 웨이퍼 를 반송 하 는 기구 이 다 .