본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 제 1 이송 롤러 ( 120 ) 의 외주 면 에 는 제 1 오링 ( 151 ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 1 오링 ( 151 ) 이 직접 평판 형 기판 ( 10 ) 의 제 1 면 과 접촉 한다 . 한편 , 제 1 오링 ( 151 ) 은 충격 을 흡수 할 수 있 는 재질 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 오링 ( 151 ) 은 내열 성 및 내 화학 성 을 갖 는 고분자 수지 를 포함 할 수 있 다 .