조명계 ( 10 ) 는 , 예 를 들 어 미국 특허 출원 공개 제 2003 / 0025890 호 명세서 등 에 개시 된 바 와 같이 , 광원 과 , 옵티컬 인터 그 레이터 를 갖 는 조도 균일화 광학계 , 및 레티 클 블라인드 ( 모두 도시 생략 ) 를 갖 는 조명 광학계 를 포함 한다 . 조명계 ( 10 ) 는 , 레티 클 블라인드 ( 마스킹 시스템 ) 에 의해 규정 된 레티 클 ( R ) 상 의 슬릿 형상 의 조명 영역 ( IAR ) 을 조명 광 ( 노 광광 ) ( IL ) 에 의해 거의 균일 한 조도 로 조명 한다 . 여기 서 , 조명 광 ( IL ) 으로서 , 예 를 들 어 ArF 엑 시머 레이저 광 ( 파장 193 ㎚) 이 사용 된다 .