상기 구동 부 식각 저지 막 과 상기 구동 출력 전극 은 각각 서로 분리 되 어 있 으며 반전 대칭 을 이루 는 제 1 부분 과 제 2 부분 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 며 , 상기 구동 부 식각 저지 막 의 제 1 부분 과 제 2 부분 은 편자 모양 이 며 , 상기 구동 출력 전극 의 제 1 부분 과 제 2 부분 은 상기 구동 부 식각 저지 막 의 제 1 부분 과 제 2 부분 의 안쪽 부분 과 각각 중첩 하 며 , 상기 구동 입력 전극 의 제 1 부분 과 제 2 부분 은 상기 구동 부 식각 저지 막 의 제 1 부분 과 제 2 부분 의 바깥 부분 과 각각 중첩 하 는 것 이 바람직 하 다 .