상부 모듈 온도 제어 장치 ( 300 ) 는 이 와 같이 설치 되 는 경우 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 저온 의 유체 ( 330 ) 가 냉각 장치 ( 200 ) 로부터 베이스 ( 121 ) 내부 의 냉각 라인 으로 공급 될 때 그 일부 를 상부 모듈 ( 190 ) 의 내부 로 공급 할 수 있 다 . 도 5 는 도 4 에 도시 된 상부 모듈 온도 제어 장치 의 작동 방법 을 설명 하 기 위한 참고 도 이 다 .