처리 실 ( 201 ) 내 에 는 , 제 1 내지 제 3 공 급부 로서 의 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 이 , 매니폴드 ( 209 ) 의 측벽 을 관통 하 도록 각각 마련 되 어 있 다 . 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 을 각각 제 1 내지 제 3 노즐 이 라고 도 칭한다 . 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 은 , 예 를 들 어 석영 또는 SiC 등 의 내열성 재료 에 의해 구성 되 어 있 다 . 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 에 는 , 가스 공급 관 ( 232 a 내지 232 c ) 이 각각 접속 되 어 있 다 . 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 은 각각 다른 노즐 이 며 , 노즐 ( 249 a , 249 c ) 각각 은 , 노즐 ( 249 b ) 에 인접 해서 마련 되 어 있 다 .