그 다음 에 , 도 3 h 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 보호막 ( 107 ) 상 에 , 상기 Al 본딩 패드 ( 105 b ) 내측 일부분 과 대응 하 는 부분 을 노출 시키 는 제 1 감광막 패턴 ( 108 ) 을 형성 한다 . 그런 후 에 , 상기 제 1 감광막 패턴 ( 108 ) 을 식각 마스크 로 이용하 여 , 상기 보호막 ( 107 ) 및 제 1 하드 마스크 막 ( 101 ) 을 식각 한다 .