제 2 가스 분사 모듈 ( 330 b ) 은 전술 한 제 2 가스 분사 영역 에 중첩 되 는 제 2 모듈 설치 부 ( 115 a ) 에 삽입 설치 되 어 가스 공급 수단 으로부터 공급 되 는 제 3 가스 를 플 라즈 마 화 하 지 않 고 그대로 상기 제 2 가스 분사 영역 에 하향 분사 한다 . 이 를 위해 , 제 2 가스 분사 모듈 ( 330 b ) 은 , 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 접지 프레임 ( 410 ) , 접지 격벽 부재 ( 420 ) , 및 복수 의 가스 공급 홀 ( 430 ) 을 포함 하 여 구성 되 는 것 으로 , 이 에 대한 설명 은 도 9 에 대한 설명 으로 대신 하 기 로 한다 .