일부 예 들 에서 , 기준 위치 는 주축 ( 110 ) 으로부터 의 고정 된 변위 에 위치 된 기준 애퍼처 ( 132 ) 에 의해 정의 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기준 위치 는 기준 애퍼처 의 중심 과 같 은 , 기준 애퍼처 상 의 지점 일 수 있 다 . CPB 검출기 ( 136 ) 는 기준 애퍼처 ( 132 ) 를 통해 전송 되 는 CPB 빔 부분 들 을 수용 하 도록 위치 되 고 , CPB 검출기 ( 136 ) 는 기준 애퍼처 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 에서 , 기준 애퍼처 는 CPB 검출기 ( 136 ) 의 검출 영역 에 의해 정의 된 가상 애퍼처 일 수 있 다 . CPB 검출기 ( 136 ) 는 편향 된 CPB 빔 의 적어도 일부 를 수용 하 기 위해 주축 ( 110 ) 으로부터 의 오프셋 을 이용 하 여 위치 될 수 있 다 . CPB 검출기 는 빔 전류 를 검출 하 거나 빔 의 일부 를 이미 징 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , CPB 검출기 는 패러데이 컵 ( Faraday cup ) 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , CPB 검출기 ( 136 ) 는 2 차원 검출기 , 또는 다른 위치 감지 검출기 일 수 있 다 . CPB 검출기 는 고체 - 상태 검출기 , 광다이오드 를 갖 는 신 틸레 이터 , 광전자 증배 관 , 또는 마이크 로 채널 플레이 트일 수 있 다 . 다른 예 들 에서 , 별도 의 애퍼처 플레이트 가 사용 될 수 있 다 . CPB 검출기 ( 136 ) 는 정렬 모드 에서 만 사용 되 지만 , 현미경 의 작업 모드 에서 는 사용 되 지 않 는다 . 제 2 CPB 검출기 ( 137 ) 는 현미경 의 작업 모드 에서 샘플 ( S ) 에 입사 하 는 CPB 에 응답 하 여 , 산란 된 하전 된 입자 또는 2 차 방출 과 같 은 플럭스 를 수신 하 기 위해 제 2 부피 ( 112 B ) 내 또는 다른 곳 에 위치 될 수 있 다 . 제 2 CPB 검출기 ( 137 ) 는 샘플 이미 징 또는 샘플 프로세싱 을 위한 작업 모드 에서 만 사용 되 지만 , 정렬 모드 에서 는 사용 되 지 않 는다 .