또한 , 상술 한 방법 에 의해 형성 된 플로팅 게이트 어레이 를 포함 하 는 플래시 메모리 소자 는 , 실리콘 기판 의 산화 공정 으로 형성 된 복수 의 소자 분리 막 ; 및 상기 복수 의 소자 분리 막 에 의해 분리 된 활성 소자 영역 에 형성 되 고 , 각각 의 플로팅 게이트 의 양 측벽 이 상기 복수 의 소자 분리 막 과 자기 정렬 된 플로팅 게이트 어레이 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .