상기 제 2 가스 는 상기 전원 전극 ( 120 ) 에 직접 분사 되 지 않 을 수 있 다 . 만약 , 상기 제 2 가스 가 상기 전원 전극 ( 110 ) 을 통하 여 공급 되 거나 , 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 직접 분사 되 는 경우 , 상기 전원 전극 ( 110 ) 의 표면 에 박막 또는 폴리머 가 증착 될 수 있 다 . 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 형성 된 박막 또는 폴리머 는 오염물 로 작용 할 수 있 다 . 따라서 , 이 를 방지 하 기 위하 여 상기 전원 전극 에 상기 제 2 가스 ( 증착 소스 가스 ) 는 직접 분사 되 지 않 는 것 이 바람직 할 수 있 다 .