주입 공정 에 있 어서 , 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 사이드 컵 ( 42 L , 42 R ) 에 의하 여 측정 되 는 빔 전 륫 값 을 취득 하 고 , 취득 한 빔 전 륫값에 근거 하 여 플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 의 동작 을 제어 한다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 사이드 컵 ( 42 L , 42 R ) 으로부터 취득 한 빔 전 륫값에 비례 하 는 속도 로 웨이퍼 ( W ) 가 왕복 운동 되 도록 플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 의 속도 지령 을 생성 하 여 , 플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 의 동작 을 제어 한다 .