도 1 a - 5 를 다시 참고 하 면 , 원 하 는 분리 선 ( 165 ) 을 따른 결함 ( 172 ) 을 포함 하 는 윤곽선 ( 170 ) 을 형성 하 는 방법 은 빔 경로 ( 111 ) 를 따라 지향 되 고 투명 워크 피스 ( 160 ) 로 빔 소스 ( 110 ) 에 의해 출력 된 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 을 지향 시키 는 단계 ( 예컨대 , 국한 시키 는 것 ) 를 포함 하 여 , 투명 워크 피스 ( 160 ) 로 지향 된 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 의 일부 는 투명 워크 피스 내 의 유도 흡수 를 생성 하 며 및 유도 흡수 는 투명 워크 피스 ( 160 ) 내 의 결함 ( 172 ) 을 생성 한다 . 예 를 들 어 , 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 은 투명 워크 피스 ( 160 ) 의 손상 한계 를 초과 하 기 충분 한 펄스 에너지 및 펄스 기간 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 투명 워크 피스 ( 160 ) 로 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 을 지향 시키 는 단계 는 빔 소스 ( 110 ) 에 의해 출력 된 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 을 빔 전파 방향 ( 예컨대 , Z 축 ) 을 따라 지향 된 위상 변위 된 초점 라인 ( 113 ) 으로 초점 을 맞추 는 단계 를 포함 한다 . 투명 워크 피스 ( 160 ) 는 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 의 위상 변위 된 초점 라인 ( 113 ) 과 적어도 부분 적 으로 겹쳐지 도록 빔 경로 ( 111 ) 에 위치 된다 . 따라서 , 위상 변위 된 초점 라인 ( 113 ) 은 투명 워크 피스 ( 160 ) 로 지향 된다 . 펄스 레이저 빔 ( 112 ) , 예컨대 , 위상 변위 된 초점 라인 ( 113 ) 은 투명 워크 피스 ( 160 ) 에 결함 ( 172 ) 을 생성 하 기 위해 투명 워크 피스 ( 160 ) 내 에 유도 흡수 를 생성 한다 . 일부 실시 예 에서 , 개별 결함 ( 172 ) 은 수백 kHz 의 속도 ( 즉 , 초당 수십만 개 의 결함 ) 로 생성 될 수 있 다 .