본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 후술 하 는 플레이트 ( 240 ) 가 상승 할 경우 상기 지지 부 는 기판 ( W ) 을 상승 시켜 , 기판 ( W ) 을 척 ( 210 ) 으로부터 이격 시킨다 . 따라서 , 기판 ( W ) 및 척 ( 210 ) 사이 의 이격 공간 에 이송 유닛 ( 미 도시 ) 이 삽입 되 어 기판 ( W ) 을 이송 하 게 된다 .