도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 의 일단 은 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 에 연결 되 며 , 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 의 타단 은 냉각 유체 회수 라인 ( 236 ) 에 연결 된다 . 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 은 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 상 에 설치 된 밸브 ( 234 a ) 에 의하 여 개폐 된다 . 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 내 에 는 냉각 유체 가 흐르 며 , 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 에 냉각 유체 를 공급 한다 . 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 을 통하 여 공급 된 냉각 유체 는 제 2 냉각 라인 ( 232 ) 을 따라 냉각 유체 회수 라인 ( 236 ) 이 연결 된 끝단 까지 이동 하 면서 지 지 플레이트 ( 220 ) 를 기 설정 된 온도 로 냉각 한다 . 이후 , 냉각 유체 는 냉각 유체 회수 라인 ( 236 ) 을 통해 회수 되 며 , 회수 된 냉각 유체 는 칠러 ( chiller ) ( 도시 안 됨 ) 를 통하 여 일정 온도 로 냉각 된 이후 에 냉각 유체 공급 라인 ( 234 ) 으로 재 공급 될 수 있 다 .