이하 , 본 발명 의 다양 한 실시 예 들 에 따른 정전 척 및 히터 에 대하 여 상세 하 게 설명 하 지만 , 본 발명 이 하 기 의 실시 예 들 에 한정 되 지 않 고 다른 형태 로 구현 될 수 도 있 다 . 여기 서 소개 되 는 실시 예 들 은 개시 된 내용 이 보다 완전 해질 수 있 도록 그리고 당업자 에게 본 발명 의 사상 과 특징 이 충분히 전달 될 수 있 도록 하 기 위해 제공 된다 . 도면 들 에 있 어서 , 각 장치 또는 막 ( 층 ) 및 영역 들 의 두께 는 본 발명 의 명확 성 을 기하 기 위하 여 과장 되게 도시 되 었 으며 , 또한 각 장치 는 본 명세서 에서 설명 되 지 아니한 다양 한 부 가 장치 들 을 구비 할 수 있 다 .