이러 한 기술 에 의하 면 , 도 2 에 도시 된 와 같이 , 레이저 가공 용 워크 테이블 에 안착 된 기판 의 상부 에 배치 되 어 파티클 을 흡입 하 는 레이저 가공 용 파티클 석 션 장치 에 있 어서 , 상기 기판 의 표면 상 에 평행 하 게 에어 를 분사 하 는 다 수개 의 에어 나이프 모듈 을 포함 하 고 , 다 수개 의 에어 나이프 모듈 이 상기 기판 의 표면 상 에서 각각 서로 다른 방향 으로 에어 를 분사 하 도록 배치 되 는 에어 나이프 유닛 ; 및 상기 에어 나이프 유닛 의 외곽 둘레 를 감싸 며 집진 챔버 가 형성 되 도록 배치 되 고 , 각각 의 에어 나이프 모듈 에 의해 분사 된 에어 흐름 을 집진 챔버 로 유도 하 도록 상기 집진 챔버 측 으로 향하 는 에어 흐름 을 발생 시키 는 플로우 가이드 유닛 을 포함 하 고 , 상기 집진 챔버 에 는 별도 의 흡입 수단 에 연결 될 수 있 도록 파티클 흡입 포트 가 연통 되게 형성 되 는 레이저 가공 용 파티클 석 션 장치 를 개시 하 고 있 다 .