액정 디스플레이 소자 또는 플 라즈 마 디스플레이 소자 의 패널 로 쓰이 는 평판 형 유리 기판 과 같 은 기판 을 가공 하 기 위해선 기판 상 에 회로 패턴 등 을 형성 하 는 것 이 일반 적 이 다 . 기판 상 에 회로 패턴 과 같 은 것 을 형성 하 기 위해선 도포 처리 , 에칭 처리 , 수세 처리 , 건조 처리 및 기타 복수 의 단위 처리 공정 들 을 진행 하 고 , 이 들 처리 공정 들 을 수행 하 기 위해선 기판 이송 기구 를 사용 하 는 것 이 거의 필수 적 이 라 할 수 있 다 . 이 들 처리 공정 들 의 진행시 기판 의 전면 에 균일 한 처리 공정 이 이루어지 도록 기판 을 일정 각도 로 기울어진 상태 로 놓여 질 수 있 다 .