상부 측 벽부 ( 5 ) 의 상면 에 는 , 상기 기판 W 의 하 면 주변 부 를 지지 하 는 지지 면 ( 24 ) 및 이 지지 면 ( 24 ) 보다 외측 으로 지지 면 ( 24 ) 보다 낮 게 형성 되 고 , 상기 기판 W 의 하 면 주변 부 와 비 접촉 상태 로 대향 하 는 비 접촉면 ( 25 ) 이 형성 되 어 있 다 . 이 에 따라 비 접촉면 ( 25 ) 과 상기 기판 W 의 하 면 주변 부 사이 에 는 , 예 를 들 면 , 높이 치수 가 1 mm 인 간극 G 가 주위 방향 전체 길이 에 걸쳐서 형성 된다 .