그 후 , 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 다시 재 치부 ( ＰＡＳＳ ３ ) 에 액세스 해서 상술 한 동작 을 반복 하 여 행한다 . 이 동작 은 제 4 컨트롤러 ( 96 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 이 에 의해 , 카세트 ( Ｃ ) 로부터 재 치부 ( ＰＡＳＳ ３ ) 에 반송 된 기판 ( Ｗ ) 은 모두 , 계층 ( Ｋ ２ ) 에서 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 에 만 반송 하 는 반송 경로 로 반송 된다 . 그리고 , 반송 된 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 에서 레지스 트 막 재료 도포 처리 만 이 행해진다 .