도 9 를 참조 하 면 , p 형 폴리 실리콘 막 ( 310 ) 및 n 형 폴리 실리콘 막 ( 312 ) 위 에 게이트 금속 막 ( 314 ) 을 형성 한다 . 게이트 금속 막 ( 314 ) 은 금속 실리사이드 막 또는 금속 막 으로 증착 한다 . 또는 금속 실리사이드 막 및 금속 막 의 2 중층 구조 로 형성 할 수 있 다 . 이 경우 , 금속 실리사이드 막 은 텅스텐 실리사이드 ( WSix ) 막 으로 형성 할 수 있 고 , 금속 막 은 텅스텐 ( W ) 막 으로 형성 할 수 있 다 . 계속 해서 게이트 금속 막 ( 314 ) 위 에 하드 마스크 막 ( 316 ) 을 형성 한다 . 하드 마스크 막 ( 316 ) 은 질화 막 으로 형성 할 수 있 다 .