또한 본 실시 형태 에 의하 면 , 상기 서술 한 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) , 나아가 서 는 웨이퍼 ( W ) 의 면 위치 를 고정 밀도 로 제어 할 수 있 기 때문 에 , 면 위치 제어 오차 에서 기인 되 는 노광 불량 이 거의 없 는 고 정밀 한 노광 이 가능 해 지 고 , 이 로써 패턴 의 이미지 를 디 포커스 에 의한 이미지 의 흐림 을 수반 하 지 않 고 웨이퍼 ( W ) 상 에 형성 할 수 있 게 된다 .