또한 예 를 들 어 , 의사 촉매 로서 는 , 베어 웨이퍼 , Si 플레이트 , Si 칩 , Si 피스 , Si 블록 , Si 함유 프리 코팅 막 , Si 함유 의사 촉매 막 등 의 고체상 의 의사 촉매 뿐 만 아니 라 , 가스 상태 의 의사 촉매 를 사용 할 수 도 있 다 . 가스 상태 의 의사 촉매 , 즉 , 의사 촉매 가스 로서 는 , F 함유 가스 와 접촉 함 으로써 , F 함유 가스 의 분해 를 촉진 시켜 , F 함유 가스 로부터 F 함유 라디칼 을 발생 시키 는 가스 를 사용 할 수 있 다 . 의사 촉매 가스 로서 는 , 구체 적 으로 는 , 예 를 들 어 O 2 가스 , N 2 O 가스 , NO 2 가스 , NO 가스 , HF 가스 , NH 3 가스 및 수소 ( H 2 ) 가스 중 적어도 어느 하나 의 가스 를 사용 할 수 있 다 . 이 들 가스 의 공급 은 , 예 를 들 어 노즐 ( 249 a , 249 c ) 등 을 사용 하 여 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 의 F 함유 가스 의 공급 과 동시 에 행하 는 것 이 가능 하 다 .