상기 과제 의 해결 수단 은 , 본 발명 에 따라 적어도 하나 의 윈도우 와 , 적어도 하나 의 상기 윈도우 를 지지 하 는 윈도우 프레임 과 , 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임 을 수용 하 고 상기 윈도우 프레임 을 기준 으로 상호 구획 되 어 진공 분위기 로 기판 이 공정 처리 되 는 공정 공간 을 형성 하 는 제 1 챔버 및 대기압 분위기 로 안테나 를 수용 하 는 수용 공간 을 형성 하 는 제 2 챔버 를 갖 는 챔버 와 , 상기 안테나 가 상기 수용 공간 으로 인입 및 상기 수용 공간 으로부터 인출 되 는 상기 제 2 챔버 의 개방 영역 을 커버 하 는 리드 ( lid ) 와 , 일 측 은 상기 윈도우 프레임 에 연결 되 고 타 측 은 상기 리드 와 결합 및 분리 가능 하 게 연결 되 며 상기 윈도우 및 상기 윈도우 프레임 의 자중 에 의한 처짐 을 제한 하 는 복수 개 의 서포터 ( supporter ) 와 , 상기 리드 의 외부 로부터 상기 리드 를 관통 하 여 복수 개 의 상기 서포터 에 각각 체결 및 체결 해제 되 는 복수 개 의 체결 부재 를 포함 하 며 , 복수 개 의 상기 체결 부재 의 체결 해제 에 의해 상기 리드 와 복수 개 의 상기 서포터 가 분리 될 때 상기 리드 는 복수 개 의 상기 서포터 로부터 분리 및 상기 제 2 챔버 로부터 이탈 되 어 상기 개방 영역 을 통해 상기 수용 공간 을 노출 시키 는 것 을 특징 으로 하 는 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 에 의해 이루어진다 .