계속 해서 , 교정 공정 의 실행 타이밍 에 대하 여 설명 한다 . 교정 공정 은 , 미 사용 이온 주입 장치 ( 10 ) 의 운용 개시 시 및 제 1 프로파일러 컵 ( 44 a ) 의 클리닝 이나 교환 과 같 은 메인 터 넌 스 시 에 실행 된다 . 이온 주입 장치 ( 10 ) 의 운용 개시 시 에 있 어서 는 , 교정 파라미터 k 가 미정 이 기 때문 에 , 이온 주입 장치 ( 10 ) 의 운용 개시 시 에 교정 공정 을 실행 함 으로써 , 교정 파라미터 의 초깃값 kA , 0 이 결정 된다 . 또 , 제 1 프로파일러 컵 ( 44 a ) 의 메인 터 넌 스 시 에 는 , 메인 터 넌 스 후 의 제 1 프로파일러 컵 ( 44 a ) 에 대한 교정 파라미터 k 가 미정 이 기 때문 에 , 메인 터 넌 스 후 에 교정 공정 을 실행 함 으로써 , 메인 터 넌 스 후 에 있 어서 의 교정 파라미터 의 초깃값 kA , i ( i = 1 , 2 , 3 … ) 가 결정 된다 . 여기 서 , 첨자 의 i 는 , 메인 터 넌 스 를 식별 하 기 위한 번호 이 며 , 예 를 들 면 메인 터 넌 스 를 실행 한 횟수 i 이 다 . 예 를 들 면 , 1 회 째 의 메인 터 넌 스 후 에 는 초깃값 kA , 1 이 결정 되 고 , 2 회 째 의 메인 터 넌 스 후 에 는 초깃값 kA , 2 가 결정 되 며 , 3 회 째 의 메인 터 넌 스 후 에 는 초깃값 kA , 3 이 결정 된다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 이 와 같이 하 여 결정 된 교정 파라미터 의 초깃값 kA , i ( i = 0 , 1 , 2 , 3 … ) 를 각각 기억 한다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 교정 파라미터 의 초깃값 kA , i 와 함께 , 초깃값 kA , i 의 결정 일시 나 교정 공정 의 전 에 실시 한 메인 터 넌 스 의 내용 을 나타내 는 정보 를 기억 해도 된다 .