연마 테이프 ( 23 ) 는 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 와 테이프 보유 롤러 ( 42 b ) 사이 를 통과 하 고 , 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 와 테이프 보유 롤러 ( 42 b ) 에 의해 보유 된다 . 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 는 연마 테이프 ( 23 ) 와 접촉 하 는 접촉 표면 을 갖 는다 . 접촉 표면 전체 는 우레탄 수지 로 덮인다 . 이러 한 구성 으로 인해 연마 테이프 ( 23 ) 와 의 마찰 이 증가 하 여 , 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 는 미끄러짐 없이 연마 테이프 ( 23 ) 를 송출 할 수 있 다 . 테이프 송출 기구 ( 42 ) 는 연마 테이프 ( 23 ) 의 이송 방향 에 대해 연마 지점 [ 즉 , 연마 테이프 ( 23 ) 와 웨이퍼 ( W ) 간 의 접촉 지점 ] 의 하류 에 위치 된다 .