상기 수 냉 순환 관 ( 210 a , 210 b ) 은 저온 의 물 이 공급 및 순환 되 어 상기 보조 챔버 ( 200 ) 내부 의 온도 를 일정 하 게 유지 시키 는 것 이 다 . 그러나 , 상기 수 냉 순환 관 ( 210 a , 210 b ) 은 그 높이 크기 로 인해서 상단 과 하단 이 라운드 , 또는 절곡 되 어 지그재그 형태 의 관 으로 배치 된다 .