상기 화학식 2 로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 는 트리 메틸 실릴 클로라이드 ( Trimethylsilyl chloride ) 인 것 이 바람직 하 며 , 또한 상기 화학식 3 으로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 는 디 메틸 실릴 디 클로라이드 ( Dimethylsilyl dichloride ) 인 것 이 바람직 하 다 . 디 메틸 실릴 디 클로라이드 는 트리 메틸 실릴 클로라이드 에 비해 가격 이 저렴 하 고 트리 메틸 실릴 클로라이드 의 당량 에 비해 1 / 2 당량 만 을 사용 할 수 있 어 , 트리 메틸 실릴 클로라이드 와 디 메틸 실릴 디 클로라이드 를 혼합 하 여 사용 할 경우 경제 성 이 뛰어나 며 , 또한 안정 성 , 부식 성 및 분해 성 측면 에서 우수 하 다 .