또 , 정전 척 장치 를 이용 하 는 반도체 제조 장치 에 있 어서 는 , ( ii ) 심굴 가공 기술 을 확실히 실시 하 기 위하 여 , 가공 시의 인가 전압 이 증가 하 는 경향 이 있 다 . 이 로 인하 여 , 정전 척 장치 에 는 , 높 은 내전압 이 요구 된다 . 심굴 가공 시 의 가공 조건 에 있 어서 정전 척 장치 의 기체 가 파손 되 지 않 기 위해서 는 , 기체 의 내전압 은 , 16 kV 이상 인 것 이 바람직 하 다 .