챔버 의 상부 덮개 를 이루 되 그 내측 에 블럭 플레이트 와 샤워 헤드 를 구비 한 챔버 리드 와 ; 상기 챔버 의 하방 을 이루 는 챔버 바디 와 ; 상기 챔버 바다 와 리드 사이 에 형성 된 가스 입 출구 와 ; 히터 플레이트 와 결합 되 는 세라믹 디스크 와 , 상부 플랜지 와 , 하부 플랜지 와 , 상기 상 , 하부 플랜지 의 사이 에 연결 되 는 중심관 체 와 , 상기 하부 플랜 지로 부터 상기 상부 플랜지 로 인출 됨 과 아울러 상기 히터 플레이트 에 접속 되 는 전원 라인 들 과 , 상기 중심관 체 내부 에서 상기 세라믹 디스크 에 연결 되 는 제 1 T . C 라인 과 , 상기 중심관 체 외측 에서 세라믹 으로 커버 되 어 설치 되 는 제 2 T . C 라인 으로 이루어지 는 T . C 라인 들 로 이루어지 되 세라믹 으로 커버 되 는 히터 써 포트 ; 및 상기 챔버 바디 와 하부 플랜지 사이 에 연결 되 는 벨로우즈 를 포함 하 여서 달성 된다 .