여기 서 접속 배선 층 으로서 몰리브덴 계 와 티탄 계 가 기술 되 어 있 지만 , 양자 에 는 각각 일 장 일단 이 있 다 . 즉 , 몰리브덴 계 는 웨트 에칭 이 용이 하 고 , 또한 분위기 에 의해 형성 되 는 표면 막 은 산화 막 또는 수산화 막 으로서 물 등 으로 용이 하 게 제거 할 수 있 는 반면 , 드라이 에칭 이 곤란 하 여 미세화 에 한도 가 있 다 . 한편 티탄 계 는 , 드라이 에칭 이 가능 하 여 미세화 에 적합 하 지만 , 산화 되 기 쉽 고 , 예 를 들 면 ITO 를 그 위 에 형성 하 면 , 그 형성 분위기 에서 산화 막 등 이 생겨 , 계면 저항 이 높 아 진다 .