본 발명 은 복수 개 의 노즐 들 을 구비 하 는 기판 처리 장치 및 그 의 노즐 제어 방법 에 관한 것 이 다 . 기판 처리 장치 는 다양 한 약액 들 을 공급 하 는 복수 개 의 노즐 들 이 하나 의 회전축 에 체결 되 고 , 각각 의 노즐 들 은 에어 척이 설치 된다 . 또 기판 처리 장치 는 회전축 을 회전 시키 는 구동 부를 포함 한다 . 기판 처리 장치 는 하나 의 노즐 을 선택 하 기 위하 여 해당 에어 척 을 선택 하 고 , 선택 된 에어 척 에 의해 하나 의 노즐 이 척 킹 된다 . 선택 된 노즐 은 회전축 에 의해 기판 과 의 수직 위치 에서 기판 중앙 방향 으로 회전 이동 된다 . 따라서 기판 처리 장치 는 수직 위치 로부터 기판 중앙 방향 으로 회전각 을 조절 하 여 기판 의 가장자리 영역 , 중간 영역 및 중앙 영역 으로 약액 을 균일 하 게 공급 한다 . 본 발명 에 의하 면 , 복수 개 의 노즐 들 을 하나 의 구동 부 를 통하 여 동작 시킴 으로써 , 설비 제조 원가 를 줄일 수 있 으며 , 노즐 구동 을 위한 제어 가 용이 하 다 .