일 실시 형태 에서 는 , 예 를 들 어 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 보급 부 ( 80 ) 는 , 공장 유틸리티 측 으로부터 의 보급 라인 ( 85 ) , 보급 라인 ( 85 ) 에 형성 된 밸브 ( 88 ) 와 , 밸브 ( 88 ) 의 개폐 를 제어 하 기 위한 제 어부 ( 83 ) 를 구비 하 고 있 다 . 액 위 센서 ( 82 ) 에 의한 액 위 의 계측 결과 는 , 제 어부 ( 83 ) 에 보내 지 게 되 어 있 고 ( 도 3 참조 ) , 제 어부 ( 83 ) 는 , 수취 한 계측 결과 에 기초 하 여 , 밸브 ( 88 ) 의 개폐 를 제어 하 여 , 시 일액 을 시일 장치 ( 30 ) 에 보급 하 도록 구성 되 어 있 다 . 또 보급 부 ( 80 ) 는 , 보급 용 의 시 일액 이 저류 되 는 보급 액 탱크 로부터 시 일액 을 시일 장치 ( 30 ) 에 공급 하 도록 구성 해도 된다 .