상술 한 바 와 같이 , 상기 챔버 내 에 노출 되 어 있 는 상기 절연체 와 상기 식각 부산물 증착 방지 커버 가 상이 한 재질 로 형성 되 는 경우 에 는 , 건식 식각 시 발생 하 는 식각 부산물 의 퇴적 상태 가 각각 달라지 게 되 어 , 어느 한 쪽 에 퇴적 된 식각 부산물 이 내부 응력 또는 자중 에 의해 우선 적 으로 박리 된다 . 이렇게 박리 된 식각 부산물 은 어느 정도 의 큰 미립자 ( particle ) 형태 로 방출 되 는데 , 이 미립자 가 기판 의 표면 에 부착 되 면 식각 형상 의 이상 또는 회로 의 단선 이나 단락 과 같 은 중대 한 결함 을 초래 하 여 제품 의 신뢰 성 이 하향 되 고 수율 이 저하 되 는 문제점 이 있 다 .