EFEM ( 110 ) 에 는 복수 개 의 웨이퍼 를 격납 하 는 적어도 하나 의 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 이 장착 된다 . 제 1 로봇 ( 111 ) 은 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 에 있 는 복수 개 의 웨이퍼 중 일부 의 웨이퍼 들 을 한 번 에 로딩 하 여 로드 락 모듈 ( 120 ) 로 이송 한다 . 또한 , 제 1 로봇 ( 111 ) 은 반대 로 , 로드 락 모듈 ( 120 ) 에서 웨이퍼 들 을 한 번 에 로딩 하 여 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 으로 이송 한다 .