상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 은 끊 어 지 는 부분 없이 연장 되 는 라인 형상 을 갖 는다 . 그러나 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ') 은 끊어진 연장 라인 ( L 1 ') 을 포함 하 고 , 상기 연장 라인 ( L 1 ') 이 끊 어 지 는 부위 는 형성 하 고자 하 는 제 1 라인 패턴 이 끊 어 지 는 부위 에 해당 된다 . 또한 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ') 은 상기 연장 라인 ( L 1 ') 의 끊어진 부위 로부터 이웃 하 는 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 으로 수평 연결 되 는 연결 라인 ( L 2 ) 을 포함 한다 . 즉 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 및 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 과 연결 된 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ') 은 연결 부위 에서 π 자 형상 을 갖 는다 . 도 6 a 에서 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 은 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 의 좌측 에 구비 된다 .