또한 , 기판 보유 지지 기구 ( 30 ) 가 구비 하 는 보유 지지 부 ( 31 ) 의 상면 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 측면 으로부터 보유 지지 하 는 보유 지지 부재 ( 311 ) 가 마련 된다 . 웨이퍼 ( W ) 는 , 이러 한 보유 지지 부재 ( 311 ) 에 의해 보유 지지 부 ( 31 ) 의 상면 으로부터 약간 이격 된 상태 에서 수평 보유 지지 된다 . 이 와 같이 하 여 기판 보유 지지 기구 ( 30 ) 는 , 기판 반송 장치 ( 17 ) 로부터 수취 한 웨이퍼 ( W ) 를 회전 가능 하 게 보유 지지 한다 .