여기 서 , 에칭 가공 으로 는 , 상술 한 드라이 에칭 또는 ? 에칭 중 어느 쪽 을 사용 하 여도 되 나 , 대면 적 기판 을 처리 할 경우 는 , 드라이 에칭 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 에칭 가스 로 는 , CF 4 , NF 3 , SF 6 , CHF 3 등 의 불 소계 가스 , Cl 2 , BCl 3 , SiCl 4 , CCl 4 등 의 염소 계 가스 , 산소 가스 등 을 사용 할 수 있 고 , 헬륨 이나 아르곤 등 의 불활성 가스 를 첨가 하 는 구성 으로 하 여도 된다 .