수직 회전 원판 ( 152 ) 에 는 측면 돌출부 가 형성 되 어 있 으며 , 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 가이드 ( 132 , 134 ) 는 수직 회전 원판 ( 152 ) 의 측면 돌출부 에 올려 놓 여진다 . 수평 회전대 ( 151 ) 각각 에 는 수평 회전 원판 ( 152 ) 이 두 개 이상 설치 되 는 것 이 바람직 한데 , 도 3 에서 는 최소 로 두 개 가 설치 되 는 경우 가 도시 되 었 다 . 챔버 커버 ( 130 ) 의 흔들림 을 방지 하 기 위하 여 수평 회전 원판 ( 152 ) 사이 에 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 가이드 ( 132 , 134 ) 의 바깥쪽 부분 이 삽입 될 수 있 도록 안쪽 방향 으로 수평 가이드 홈 이 형성 되 어 있 는 상하 이동 고정 척 ( 155 ) 이 설치 된다 . 커버 지지 장치 ( 150 ) 에서 수평 회전판 이 아닌 수직 회전판 을 사용 하 는 이유 는 수평 회전대 ( 151 ) 가 접혔 을 때 챔버 ( 100 ) 의 외벽 에 좀 더 가까이 접할 수 있 도록 하 기 위함 이 다 .