본 발명 의 제 2 국면 의 연삭 장치 는 , 복수 의 웨이퍼 를 수용 한 카세트 가 재치 되 는 카세트 재 치부 와 , 상기 카세트 재 치부 에 재치 된 카세트 로부터 웨이퍼 를 반출 및 반입 하 는 웨이퍼 반 출입 수단 과 , 상기 웨이퍼 반 출입 수단 에 의해 반출 된 웨이퍼 가 임시 배치 되 는 임시 배치 수단 과 , 상기 임시 배치 수단 에 임시 배치 된 웨이퍼 를 척 테이블 까지 반송 하 는 제 1 반송 수단 과 , 상기 척 테이블 에 유지 된 웨이퍼 의 상면 을 연삭 하 는 연삭 수단 과 , 연삭 완료 된 웨이퍼 를 상기 척 테이블 로부터 반출 하 여 세정 수단 까지 반송 하 는 제 2 반송 수단 으로 적어도 구성 된 연삭 장치 에 있 어서 , 상기 제 2 반송 수단 은 , 상기 와 같 은 웨이퍼 반송 기구 로부터 구성 되 어 있 으므로 , 웨이퍼 를 흡인 유지 하 는 면적 을 작 게 할 수 있 음 과 동시 에 , 흡인 유지 부 에서 흡인 유지 한 웨이퍼 에 물 을 공급 하 는 것 에 의해 웨이퍼 에 부착 한 연삭 부스러기 가 건조 되 지 않 아 고체 화 하 지 않 는다 . 또한 , 본 발명 의 제 2 국면 의 연삭 장치 에 있 어서 는 , 흡인 유지 부 에서 웨이퍼 를 흡인 유지 하 는 면적 이 작 기 때문 에 , 흡인 유지 부 의 다공성 면 과 웨이퍼 의 상면 의 사이 에 연삭 부스러기 가 낄 우려 가 저감 한다 . 따라서 , 본 발명 의 제 2 국면 의 연삭 장치 에 의하 면 , 웨이퍼 에 부착 한 연삭 부스러기 에 기인 하 여 웨이퍼 가 손상 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .