이것 에 의하 면 , 제 어 장치 에 의해 , 제 1 이 동체 및 제 2 이 동체 중 일방 에 유지 된 물체 에 대한 노광 이 실시 되 는 것 과 병행 하 여 , 제 1 이 동체 및 제 2 이 동체 중 타방 이 제 1 축 과 평행 한 방향 으로 이동 되 면서 , 그 타방 의 이 동체 에 유지 된 물체 상 의 상이 한 복수 의 마크 가 마크 검출 계 에 의해 검출 되 어 그 위치 정보 가 계측 된다 . 따라서 , 일방 의 이 동체 에 유지 된 물체 의 노광 이 실시 되 는 것 과 병행 하 여 , 타방 의 이 동체 가 마크 검출 계 의 복수 의 검출 영역 근방 의 위치 ( 예 를 들 어 이 동체 에 유지 된 물체 의 교환 이 실시 되 는 위치 의 근방 ) 로부터 노광 위치 를 향해 제 1 축 방향 에 관하 여 이동하 는 동안 에 , 그 타방 의 이 동체 에 유지 된 물체 상 의 복수 의 마크 , 예 를 들 어 모든 마크 의 위치 정보 를 검출 할 수 있 게 된다 . 이 결과 , 스루풋 의 향상 과 중첩 정밀도 의 향상 을 실현 할 수 있 게 된다 .