절연 층 ( 208 ) 은 처리 동안 적절 하 고 안정 적 인 지지 를 제공 하 면서 도 전기 절연 을 제공 하 기 에 적합 한 임의 의 전기 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , 절연 층 ( 208 ) 은 유전체 물질 , 예컨대 , 세라믹 , 알루미늄 질화물 ( AlN ) , 실리콘 질화물 ( SiN ) 등 을 포함 할 수 있 다 . 절연 층 ( 208 ) 은 지지 하우징 ( 210 ) 의 내부 에 배치 된다 . 지지 하우징 ( 210 ) 은 절연 층 ( 208 ) 에 대해 기계 적 인 지지 를 제공 하 며 , 금속 으로 , 예컨대 , 알루미늄 으로 제조 될 수 있 다 . 지지 하우징 ( 210 ) 이 전기 전도성 금속 으로 제조 된 실시 예 들 에서 , 지지 하우징 ( 210 ) 은 , 예컨대 , 전도성 접속 부 를 통해 , ( 전술 된 ) 챔버 ( 100 ) 의 접지 된 부분 에 접지 될 수 있 다 .