유기 금속 화합물 을 포함 하 는 상기 액체 원료 ( L ) 는 일반 적 으로 높 은 비등점 과 낮 은 증기압 으로 인하 여 기화 가 어려우므로 기화 온도 를 높이 는 것 이 필요 한데 , 이때 유기 금속 화합물 은 고온 에서 불 안정 하 여 고온 반응 성 이 높 으며 , 이러 한 높 은 기화 온도 에 의하 여 열분해 반응 이나 열 중합 반응 이 촉진 된다면 박막 형성 재료 로서 의 성질 을 상실 하 게 될 것 이 다 . 따라서 , 기화 챔버 ( 155 ) 의 동작 온도 를 일정 범위 내 에서 유지 하 되 액체 원료 ( L ) 의 기화 효율 성 을 증가 시키 는 본 발명 의 기화 촉진 수단 이 마련 되 는 것 이 다 .