글로벌 장비 1 위 업체 도 ' EUV 용 블랭크 마스크 ' 개발 나 서 … 국내 는 ' 지지부진 ' 
 세계 최대 반도체 장비 업체 어 플라이 드 머 티어리 얼즈 ( AMAT ) 가 극자외선 ( EUV ) 용 블랭크 마스크 개발 에 속도 를 올리 고 있 다 . EUV 블랭크 마스크 는 차세대 반도체 공정 으로 부상 한 EUV 노광 공정 이 기존 공정 과 달라지 면서 새롭 게 떠오르 는 사업 분야 다 . 글로벌 장비 1 위 업체 도 새로운 먹거리 소재 를 찾 아서 도전 하 는 반면 에 국내 에서 는 관련 소재 개발 이 지지부진 한 상황 이 다 . 
 14 일 업계 에 따르 면 글로벌 반도체 장비 시장 을 20 % 이상 점유 한 어 플 라이드 머티 리얼 즈 가 EUV 용 블랭크 마스크 를 개발 하 고 있 다 . 
 블랭크 마스크 는 반도체 노광 공정 에 쓰이 는 마스크 에 회로 모양 을 새기 기 전 평평 한 상태 의 마스크 를 말 한다 . 
 노광 공정 은 반도체 회로 를 마스크 에 미리 새긴 뒤 , 빛 을 반사 시키 거나 통과 시켜서 웨이퍼 에 반복 적 으로 찍 어 내 는 과정 을 말 한다 . 마치 밑그림 을 그리 는 작업 과 같 은데 , 빛 이 회로 를 머금 기 위해서 마스크 는 반드시 필요 하 다 . 
 아무런 회로 가 없 는 블랭크 마스크 를 먼저 만들 면 ' 마스크 샵 ' 이 라는 곳 에서 회로 를 새겨 넣 어 공정 에서 쓰일 수 있 는 마스크 가 완성 된다 . 
 차세대 반도체 공정 인 EUV 공정 에서 는 블랭크 마스크 구조 도 달라진다 . EUV 는 기체 , 액체 , 고체 등 모든 물질 상태 에서 흡수 되 는 성질 이 있 기 때문 에 특수 하 게 만들 어 져야 한다 . 
 기존 ArF 광원 을 이용 한 노광 과정 에서 쓰이 는 마스크 는 빛 이 통과 하 도록 만들 어 졌 지만 , EUV 용 마스크 는 몰리브덴 ( Mo ) , 실리콘 ( Si ) 을 80 겹 가량 겹겹이 쌓 아 EUV 를 반사 하 는 역할 을 해야 한다 . 따라서 새로운 사업 분야 로 분류 된다 . 
 업계 에서 는 어 플라이 드 머 티어리 얼즈 처럼 장비 로 잘 알려진 업체 가 새로운 사업 군 으로 EUV 블랭크 마스크 를 점찍 었 다는 게 의외 라는 반응 이 다 . 기술 은 상당히 진전 된 상태 로 알려졌 다 . 
 업계 관계자 는 “ 개발 을 시작 한 지 3 년 정도 됐 고 , 싱가포르 에서 제품 을 주도 적 으로 개발 하 고 있 는 것 으로 안다 ” 며 “ 기존 회사 장비 로 도 개발 이 용이 하 다고 판단 해 새로운 사업 군 으로 택한 것 으로 알려져 있 다 ” 고 전했 다 . 또 회사 는 기술 구현 을 앞당기 기 위해 국내 마스크 장비 업체 와 협력 도 추진 하 고 있 다 . 
 그러나 상용 화 는 아직 시간 이 걸릴 것 이 라는 전망 이 다 . 업계 전문가 는 “ 통상 제품 상용 화 가 10 ~ 20 년 걸리 는 것 을 고려 하 면 아직 연구 개발 시간 이 필요 할 것 ” 이 라고 전했 다 . 
 상용 화 에 성공 해도 거래처 확보 가 쉽 지 않 다는 과제 도 있 다 . 이미 블랭크 마스크 시장 은 일본 호야 , 아사히 글라스 등 이 삼성 , 인텔 등 에 독점 하 다시피 공급 하 고 있 고 , EUV 생태 계 에서 도 호야 가 관련 시장 을 주도 하 고 있 다 . 
 업계 관계자 는 “ 기술 이 발전 해도 기존 일본 업체 의 벽 을 넘 는 것 이 쉽 지 않 을 것 ” 이 라면 서도 “ 본격 적 인 EUV 시대 가 개 화 하 면 호야 , 아사히 글라스 외 에 더 많 은 EUV 블랭크 마스크 가 필요 해질 것 이 기 때문 에 어 플라이 드 머 티어리 얼즈 도 승산 이 있 을 것 ” 고 전했 다 . 
 어 플라이 드 머 티어리 얼즈 측 은 “ 연구 에 착수 한 건 맞 지만 구체 정보 는 알려 줄 수 없 다 ” 고 밝혔 다 . 
 이 처럼 세계 1 위 장비 업체 도 EUV 시대 를 대비 하 는 분위기 지만 국내 에서 는 관련 소재 국산화 가 지지부진 한 상황 이 다 . 국내 중소기업 들 이 EUV 검사 장비 , 펠리 클 , 마스크 등 을 개발 하 고 있 지만 일본 업체 에 비해 낮 은 수준 이 다 . 일본 이 3 대 수출 품목 에 이 어 EUV 블랭크 마스크 에 도 수출 제동 을 걸 경우 문제 가 생길 수 있 다는 지적 도 나오 고 있 다 . 
 한 업계 전문가 는 “ 지금 부터 라도 국내 업체 기술 이 부족 해도 소자 기업 이 적극 협력 하 면서 국내 기술 을 확보 하 는 것 이 중요 하 다 ” 고 전했 다 .