상기 한 바 와 같이 , 본 발명 에서 는 상기 고온 으로 N 2 가스 의 온도 를 제어 한 후 상기 가스 탱크 ( 110 ) 에서 셋 팅 된 N 2 유량 으로 상기 가스 방출 부 ( 115 ) 를 통해 N 2 가스 를 분출 하 여 고온 의 N 2 가스 에 의해 상기 기판 ( 190 ) 이 가열 됨 으로써 온도 제어 시간 을 매우 빠르 게 제어 할 수 있 고 , 동시 에 레이저 를 조사 함 으로써 탈수소 화 및 결정화 를 동시 에 진행 할 수 있 다 .