본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 는 고상 , 액상 , 또는 기상 으로 반응물 을 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 는 반응물 기화기 를 포함 할 수 있 고 , 즉 하나 이상 의 가열 요소 는 반응물 공급원 용기 와 연관 될 수 있 어서 반응물 의 기화 를 가능 하 게 함 으로써 반응 챔버 ( 12 ) 에 산소 전구체 를 포함 하 는 , 기화 된 반응물 을 제공 할 수 있 다 .