또한 컨트롤러 ( 260 ) 는 예컨대 터치 패널 등 으로서 구성 된 입출력 장치 ( 261 ) 나 , 외부 기억 장치 ( 262 ) 가 접속 가능 하 도록 구성 된다 . 또한 컨트롤러 ( 260 ) 는 송수 신부 ( 285 ) 및 네트워크 ( 263 ) ( 인터넷 이나 전 용 회선 등 ) 을 개재 하 여 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 상위 장치 가 되 는 호스트 장치 ( 호스트 컴퓨터 ) ( 500 ) 가 접속 가능 하 도록 구성 된다 . 또한 본 개시 에서 의 접속 이란 각 부 가 물리 적 인 케이블 ( 신호선 ) 로 연결 되 어 있 다는 의미 도 포함 하 지만 , 각 부 의 신호 ( 전자 데이터 ) 가 직접 또는 간접 적 으로 송수신 가능 하 도록 이루어져 있 다는 의미 도 포함 한다 .