일반 적 으로 , 전극 은 처리 장치 의 내부 상 , 하면 에 각각 설치 되 며 , 플라 즈 마 공정 처리 의 수행 대상물 인 기판 이 적재 되 는 하부 전극 의 측면 또는 상면 의 가장자리 를 감싸 고 절연체 가 설치 된다 . 상술 한 전극 은 통상 적 으로 주성분 이 알루미늄 재질 을 사용 하 고 , 반도체 를 공정 처리 하 는 데 비교 적 저렴 한 재질 로 가장 폭넓 게 사용 되 며 , 상 , 하부 전극 간 에 가해 지 는 고전압 에 따라 전극 으로 유입 된 가스 의 방전 으로 형성 되 는 플 라즈 마의 화학 적 인 반응 과 고전압 으로부터 전극 을 보호 한다 .