또한 , 현상 후 는 기판 에 에어 를 가볍 게 블로 잉 하 여 여분 의 액 을 대략 제거 한 후 에 샤워 수세 를 실시 하 면 , 보다 균일 한 현상 결과 가 된다 . 또한 , 수세 전 에 초 순수 를 초고압 세정 노즐 에서 3 ~ 10 MPa 의 압력 으로 분사 하 여 잔사 제거 를 하 면 , 잔사 가 없 는 고품질 의 상 이 얻 어 진다 . 기판 에 물방울 이 부착 된 채 후 공정 으로 반송 하 면 , 공정 을 오염 시키 거나 , 기판 에 얼룩 이 남 거나 하 므로 에어 나이프 로 수분 제거 하 여 여분 의 물 이나 물방울 을 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 .