그런데 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 - X 방향 에 대한 구동 개시 에 앞서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 b ) 에 Y 간섭계 ( 207 ) 로부터 의 측장 빔 이 닿 아 있 는 단계 에서 , Y 간섭계 ( 208 ) 로부터 의 측장 빔 도 반사면 ( 27 b ) 에 닿 기 시작 한다 . 그래서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 간섭계 ( 208 ) 로부터 의 측장 빔 이 반사면 ( 27 b ) 에 닿 기 시작 한 직후 에 , Y 간섭계 ( 207 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 Y 간섭계 ( 208 ) 를 프리 셋 하 고 있 다 . 이 프리 셋 이 실시 된 시점 이후 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 위치 는 , 도 72 에 도시 된 바 와 같이 , 간섭계 ( 208 , 226 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 된다 .