상기 목적 을 달성 하 기 위한 기술 적 수단 으로 본 발명 의 제 1 측면 은 기판 에 소정 의 공정 이 진행 될 영역 의 크기 에 대응 하 여 형성 된 관통 홀 , 상기 관통 홀 의 외곽 에 , 상기 기판 의 크기 에 대응 하 여 형성 된 제 1 지지 홈 , 상기 제 1 지지 홈 의 외곽 에 , 상기 제 1 지지 홈 보다 높 게 형성 된 제 2 지지 홈 및 상기 제 2 지지 홈 에 고정 되 어 , 상기 기판 의 전면 을 덮 는 커버 를 포함 하 는 기판 지지대 를 제공 하 는 것 이 다 .