이하 , 제 어 장치 ( 5 ) 가 실행 가능 한 스텝 에 대해서 , 도면 을 참조 하 여 , 구체 적 으로 설명 한다 . 도 6 은 , 제 어 장치 ( 5 ) 의 동작 일 실시 형태 를 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 7 의 ( a ) 내지 도 7 의 ( d ) 는 , 기판 처리 시스템 ( 200 ) 의 구성 요소 의 동작 을 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 또한 , 도 7 의 ( a ) 내지 도 7 의 ( d ) 에 있 어서 , 부호 VSP 는 흡인 개시 위치 를 나타내 고 있 고 , 부호 TLP 는 톱 링 하강 위치 를 나타내 고 있 다 .