로드 락 모듈 ( 30 ) 의 일 측 에 는 이송 모듈 ( 50 ) 이 위치 할 수 있 다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 과 이송 모듈 ( 50 ) 사이 에 는 통로 를 개폐 하 여 기판 의 유출 입 을 제한 하 는 유출 입 도어 ( 308 ) 가 설치 될 수 있 다 . 이송 모듈 ( 50 ) 을 구성 하 는 이송 챔버 ( 500 ) 의 내부 공간 ( 302 ) 에 기판 얼라 이너 ( 506 ) 가 설치 될 수 있 다 . 기판 얼라 이너 ( 506 ) 는 회전축 ( 516 ) 및 기판 스테이션 ( 514 ) 을 포함 할 수 있 다 . 기판 얼라 이너 ( 506 ) 는 상하 , 즉 Z 축 방향 이나 , 회전 방향 , 즉 X 축 이나 Y 축 방향 으로 이동 될 수 있 다 .