제 1 증착 원 과 제 2 증착 원 중 어느 하나 는 컬러 보조 층 증착 을 위한 물질 을 방사 할 수 있 고 , 다른 하나 는 컬러 층 증착 을 위한 물질 을 방사 할 수 있 다 . 복수 의 기판 지지대 중심 의 제 1 위치 에 이송 로봇 이 위치 할 수 있 고 , 회 전부 는 이송 로봇 과 거리 를 두 고 이송 로봇 의 바로 아래 에 위치 할 수 있 다 .