도 8 은 종래 의 일반 적 인 종형 열처리 용 보트 ( 210 ) 의 개략 을 도시 하고 있 다 . 4 개 의 지주 ( 로드 ) ( 214 ) 의 양 단부 에 한 쌍 의 판상 부재 ( 연결 부재 , 혹은 천판 과 저판 이 라고 도 부름 ) ( 216 ) 가 연결 되 어 있 다 . 각 지주 ( 214 ) 에 는 다수 의 홈 ( 211 ) 이 형성 되 고 , 각 홈 ( 211 ) 간 의 볼록 부가 웨이퍼 의 지지 부 ( 212 ) 로서 작용 한다 . 웨이퍼 를 열처리 할 때 에 는 , 도 9 ( A ) 의 평면도 , 도 9 ( B ) 의 정면도 에 도시 한 바 와 같이 , 각 지주 ( 214 ) 의 동일 한 높이 로 형성 되 어 있 는 지 지부 ( 212 ) 에 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부를 재치 함 으로써 웨이퍼 ( W ) 가 수평 으로 지지 를 받 게 된다 .