또한 , 본 실시 예의 코일 부재 ( 30 ) 는 평판 형상 의 고주파 인가 부 ( 31 ) 와 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 및 원형 의 코 일부 ( 33 ) 를 포함 하 도록 구성 되 어 있 어서 , 코일 부재 ( 30 ) 가 용량 성 결합 플 라즈 마 및 유도 결합 플 라즈 마 특성 을 함께 가지 게 된다 . 그리고 , 코일 부재 ( 30 ) 는 도 4 를 참조 하 면서 설명 한 바 와 같이 복수 의 코 일부 ( 33 ) 의 단면 적 및 길이 가 일정 한 경향 성 을 가지 며 변화 하 도록 형성 되 므로 , 일 방향 ( a ) 으로 균일 한 전계 가 형성 된다 . 또한 , 코 일부 ( 33 ) 간 의 거리 가 일정 한 경향 성 을 가지 며 변화 하 도록 형성 되 어 있 어서 , 일 방향 과 교차 하 는 방향 ( b ) 으로 도 균일 한 전계 가 형성 된다 .