기판 재 치대 ( 212 ) 는 샤프트 ( 217 ) 에 의해 지지 된다 . 샤프트 ( 217 ) 는 처리 용기 ( 202 ) 의 저부 ( 底部 ) 를 관통 하 고 , 또한 처리 용기 ( 202 ) 의 외부 에서 승강 기구 ( 218 ) 에 접속 된다 . 그리고 승강 기구 ( 218 ) 를 작동 시키 는 것 에 의해 기판 재 치대 ( 212 ) 를 승강 시키 는 것 이 가능 하 도록 구성 된다 . 샤프트 ( 217 ) 하 단부 의 주위 는 벨로즈 ( 219 ) 에 의해 피복 되 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 는 기밀 하 게 보 지 ( 保 持 ) 된다 .