이 예 에서 는 , 제 2 샷 영역 에 대해 힘 압인 프로파일 ( F ( 1 ) ) 이 미리 설정 되 며 , 따라서 이전 샷 영역 ( 제 1 샷 영역 ) 에 대해 임프 린트 가 실행 될 때 생성 된 힘 압인 프로파일 ( F ( 1 ) ) 에 따라 임프 린트 처리 가 실행 된다 . 임프 린트 장치 ( 100 ) 는 그 내부 에 미리 저장 된 기준 힘 압인 프로 파일 을 갖 는다 . 이 경우 , 제 2 샷 영역 의 높이 는 계측 되 지 않 았 다 . 그 때문 에 , 기판 ( 2 ) 이 임프 린트 장치 ( 100 ) 에 반입 될 때 에 , 기판 ( 2 ) 의 높이 를 실제 계측 함 으로써 취득 되 는 등록 된 높이 정보 에 기초 하 여 , 샷 영역 의 근사 평면 또는 곡면 에 의해 근사 되 는 높이 정보 가 예측 된다 . 예측 된 높이 정보 에 기초 하 여 임프 린트 헤드 ( 4 ) 에 목표 높이 지령 을 발행 함 으로써 임프 린트 헤드 ( 4 ) 의 높이 가 어느 정도 조정 되 며 , 패턴 영역 ( 1 a ) 이 제 2 샷 영역 에 대향 하 도록 배치 된다 . 그 후 , 힘 압인 프로파일 ( F ( 1 ) ) 에 따라 압인 동작 이 행해진다 . 상술 한 바 와 같이 , 단계 S 34 에서 임프 린트 처리 에 힘 압인 프로 파일 이 사용 된다고 판단 되 는 경우 에 , 단계 S 36 에서 단계 S 34 의 힘 압인 프로파일 에 따라 임프 린트 처리 가 행해질 때 제 2 샷 영역 에 대한 높이 정보 가 계측 되 며 , 위치 압인 프로파일 ( Z ( 2 ) ) 이 생성 되 어 등록 된다 .