본 실시 예 에서 , 유전체 플레이트 ( 21 ) 에 는 돌출부 ( 26 ) 를 포함 하 는 높이 가 0 . 3 mm 이 다 . 또한 , 돌출부 ( 26 ) 를 포함 하 지 않 는 높이 , 즉 유전체 플레이트 ( 21 ) 의 하 면 ( 21 b ) 에서 윗면 ( 21 a ) 까지 의 높이 를 0 . 3 mm 로 할 수 있 다 . 돌출부 ( 26 ) 의 직경 은 0 . 3 mm 이상 , 3 mm 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 돌출부 ( 26 ) 의 높이 가 0 . 03 mm 이상 , 0 . 05 mm 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 상부 주변 의 원호 의 반경 은 0 . 01 mm 이상 0 . 03 mm 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 유전체 플레이트 ( 21 ) 의 표면 거칠 기에 있 어서 , 표면 거칠 기 ( Ra ) 가 0 . 05 μ m 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 유전체 플레이트 ( 21 ) 의 상면 ( 21 a ) 의 표면 거칠 기에 있 어서 , 표면 거칠 기 ( Ra ) 가 0 . 3 μ m 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다 . 본 실시 예 에 있 어서 , 돌출부 ( 26 ) 의 크기 는 , 직경 0 . 5 mm , 높이 0 . 03 mm , 주변 의 원호 의 반경 0 . 01 mm 이 다 .