예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 제 2 개 구 ( 300 ) 는 상기 제 2 방향 으로 연장 될 수 있 으며 , 상기 제 3 방향 을 따라 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 제 2 개 구 ( 300 ) 가 형성 됨 에 따라서 , 절 연막 ( 170 ) 은 상기 제 2 방향 으로 연장 되 는 절연 패턴 ( 175 ) 으로 변환 될 수 있 으며 , 제 4 희생 막 ( 180 ) 은 상기 제 2 방향 으로 연장 되 는 제 4 희생 패턴 ( 185 ) 으로 변환 될 수 있 다 .