이 와 다르 게 , 와류 형성 부 ( 120 ) 의 바닥 으로부터 측벽 ( 114 ) 의 외측 면 까지 측정 한 와류 형성 부 ( 120 ) 의 깊이 가 와류 형성 부 ( 120 ) 를 따라 주기 적 으로 변경 되 도록 하 여 와류 형성 부 ( 120 ) 를 통과 하 는 세정액 의 유속 을 순간 적 으로 가변 시킴 으로써 세정액 에 의한 질 벽 의 세정 효과 를 보다 향상 시킬 수 있 다 .