본 발명 은 코팅 장비 및 그 작동 방법 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 코팅 장비 는 포토 레지스 트 를 방출 하 는 노즐 부 , 노즐 부 와 일정 간격 을 두 고 형성 되 는 프라이밍 롤러 부 , 노즐 부 의 일 측면 에 위치 하 며 노즐 부 및 프라이밍 롤러 부 사이 의 일정 간격 을 향해 빛 을 조사 하 는 발광 부 , 발광 부 와 대응 되 는 노즐 부 의 타 측면 에 위치 하 며 , 발광 부 에서 조사 한 빛 을 수 광 하 여 노즐 부 와 프라이밍 롤러 부 의 간격 의 변화 를 감지 하 는 수 광부 를 포함 한다 .