본 발명 의 목적 을 달성 하 기 위해 , 에어로졸 증착 을 통한 니어 제로 TCR 및 고 접합 강도 를 갖 는 TiO 2 / Cu 복합 합성 필름 의 제조 방법 은 , ( a ) AD 시스템 에서 , TiO 2 파우더 와 Cu 파우더 는 AD 프로세스 에 전 에 5 , 10 , 30 , 및 50 wt % 다른 중량 비로 TiO 2 파우더 가 사전 - 혼합 되 는 단계 ; ( b ) 실온 에서 상기 AD 시스템 에 의해 각각 다른 평균 입자 직경 을 갖 는 두 종류 의 TiO 2 파우더 를 사용 하 여 에어로졸 증착 에 의해 , 기판 상 에 니어 제로 TCR 및 고 접합 강도 를 갖 는 밀 한 TiO 2 / Cu 합성 필름 을 형성 하 는 단계 ; 및 ( c ) 상기 기판 에 증착 된 TiO 2 / Cu 합성 필름 의 표면 모 폴로 지와 RMS 거칠 기 , 전기 저항 도 , 접합 강도 와 저 항온 도 계수 ( TCR ) 을 측정 하 여 분석 되 는 단계 를 포함 하 며 ,