이 방법 에 의하 면 , 금속 막 이 형성 된 기판 에 물 을 포함 하 는 린스 액 이 공급 된다 . 그 후 , 수산기 를 포함 하 지 않 는 제 1 용제 가 기판 에 공급 되 어 , 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 ( 린스 액 또는 린스 액 을 포함 하 는 액체 ) 가 제 1 용제 로 치환 된다 . 이 에 의해 , 기판 으로부터 린스 액 이 제거 된다 . 그리고 , 제 1 용제 의 공급 이 행하 여진 후 에 , 수산기 를 포함 하 지 않 는 제 2 용제 를 포함 하 여 금속 을 소수 화 하 는 소수 화제 가 기판 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 ( 제 1 용제 의 액체 ) 가 소수 화제 로 치환 된다 . 소수 화제 가 기판 에 공급 될 때 에 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 는 제 1 용제 의 액체 이 다 . 제 1 용제 는 수산기 를 포함 하 지 않 으므로 , 소수 화제 와 제 1 용제 가 혼합 됨 으로써 , 소수 화제 의 능력 ( 기판 을 소수 화 시키 는 능력 ) 이 저하 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 수산기 를 포함 하 지 않 는 제 2 용제 가 소수 화제 에 포함 되 어 있 으므로 , 소수 화제 를 안정 시킬 수 있 음 과 함께 , 소수 화제 의 능력 이 저하 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 소수 화제 가 기판 에 공급 되 기 전 에 , 제 1 용제 의 공급 에 의해 기판 으로부터 린스 액 이 제거 되 어 있 으므로 , 소수 화제 는 물 이 기판 에 남 아 있 지 않 은 상태 , 또는 물 의 잔 류량 이 극히 적 은 상태 로 , 기판 에 공급 된다 . 따라서 , 기판 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 기판 을 건조 시켰 을 때 에 패턴 이 도괴 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .