구동력 변환 부 ( 16 ) 는 구동 모터 ( 14 ) 와 연결 되 어 같이 회전 되 는 스 크류 바 ( 30 ) 와 , 스 크류 바 ( 30 ) 에 나사 결합 되 어 스 크류 바 ( 30 ) 가 회전 되 면 직선 왕복 이동 되 는 너트 블록 ( 32 ) 과 , 이동 스테이지 ( 12 ) 의 하면 에 장착 되 는 가압 캠 팔 로워 ( 36 , 38 ) 와 , 너트 블록 ( 32 ) 의 상면 에 장착 되 고 가압 캠 팔 로워 ( 36 , 38 ) 를 가압 하 여 이동 스테이지 ( 12 ) 가 제 1 방향 과 제 2 방향 으로 이동 되 도록 하 는 예 압 블록 ( 40 , 42 ) 을 포함 한다 .