본 발명 의 웨이퍼 이송 장치 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 크 게 진공 상태 에서 웨이퍼 에 대하 여 필요 한 공정 을 수행 하 는 공정 챔버 ( 100 ) , 공정 챔버 ( 100 ) 로 웨이퍼 를 인입 하 는 인입 용 로드 락 챔버 ( 200 ) , 공정 챔버 ( 200 ) 로부터 웨이퍼 를 인출 하 는 인출 용 로드 락 챔버 ( 300 ) , 대기압 상태 에서 각각 의 로드 락 챔버 ( 200 , 300 ) 에 대하 여 웨이퍼 를 인입 또는 인출 시키 는 로봇 ( 400 ) , 및 대기압 상태 에서 로봇 ( 400 ) 에 신규 웨이퍼 를 공급 하 거나 , 로봇 ( 400 ) 에 의하 여 공정 이 완료 된 웨이퍼 를 수납 하 는 로드 포트 ( 500 ) 로 구성 된다 .