제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 의 동작 에 대해 이하 에 설명 한다 . 도 2 는 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 시트 재치 동작 의 주요부 를 나타내 는 단면도 이 다 . 도 3 은 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 웨이퍼 유지 동작 의 주요부 를 나타내 는 단면도 이 다 . 도 4 는 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 수지 공급 동작 의 주요부 를 나타내 는 단면도 이 다 . 도 5 는 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 이 동량 ( 27 ) 을 설명 하 는 단면도 이 다 . 도 6 은 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 미리 정해진 이 동량 ( 27 ) 에 있 어서 의 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 와 피복 되 는 수지 ( 302 ) 의 수지 두께 ( 312 ) 와 의 상관 관계 를 나타내 는 그래프 이 다 . 도 7 은 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 미리 정해진 수지 두께 ( 312 ) 의 수지 ( 302 ) 가 피복 되 는 경우 의 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 와 이 동량 ( 27 ) 과 의 상관 관계 를 나타내 는 그래프 이 다 . 도 8 ( A ) 및 도 8 ( B ) 는 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 수지 피복 동작 의 주요부 를 설명 하 는 단면도 이 다 . 도 8 ( A ) 는 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 과 의 접근 전 을 나타내 고 , 도 8 ( B ) 는 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 과 의 접근 후 를 나타내 고 있 다 . 도 9 는 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 경화 동작 의 주요부 를 설명 하 는 단면도 이 다 . 도 10 은 , 도 1 의 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 의 잉여 부분 제거 동작 의 주요부 를 설명 하 는 단면도 이 다 .