처리 분포 정보 를 얻 은 후 에 는 , 플라스마 처리 공정 ( S 140 ) 을 개시 한다 . 플라스마 처리 공정 ( S 140 ) 에서 는 , 처리 분포 정보 에 따라 , 처리 대상 이 되 는 웨이퍼 ( 200 ) ( 즉 , 서 셉 터 ( 217 ) 상 에 보유 지지 되 어 있 는 웨이퍼 ( 200 ) ) 와 플라스마 생성 을 행하 는 공진 코일 ( 212 ) 의 단부 ( 구체 적 으로 는 하단 ) 사이 의 거리 를 가변 시키 도록 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 에 의한 서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 동작 을 제어 한다 .