본 발명자 의 실험 에 의하 면 , 기판 ( 11 ) 의 측면 에 만 도포 방지 막 ( 14 ) 을 형성 하 면 , 기판 ( 11 ) 의 측면 과 이면 모두 에 레지스 트 막 ( 13 ) 이 도포 되 지 않 는다는 것 을 밝혀냈 다 . 이것 은 기판 ( 11 ) 의 이면 에 도포 방지 막 ( 13 ) 을 형성 하 지 않 더라도 , 레지스 트 용액 이 측면 에 점착 되 지 않 고 떨어져 나가 기 때문 에 , 레지스 트 용액 이 측면 을 타 고 이면 까지 도달 되 지 않 는 것 으로 생각 된다 .