다시 도 2 를 참조 하 면 , 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 의 측면 에 는 로드 락 챔버 ( 220 ) 또는 프로세스 챔버 ( 260 ) 가 위치 된다 . 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 및 프로세스 챔버 ( 260 ) 내부 는 진공 으로 유지 되 고 , 로드 락 챔버 ( 220 ) 내부 는 진공 및 대기압 으로 전환 된다 . 로드 락 챔버 ( 220 ) 는 외부 오염 물질 이 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 및 프로세스 챔버 ( 260 ) 로 유입 되 는 것 을 방지 한다 . 로드 락 챔버 ( 220 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 사이 , 그리고 로드 락 챔버 ( 220 ) 와 인덱스 모듈 ( 100 ) 사이 에 는 게이트 밸브 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 설치 된다 . 인덱스 모듈 ( 100 ) 과 로드 락 챔버 ( 220 ) 간 에 기판 ( W ) 이 이동 되 는 경우 로드 락 챔버 ( 220 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 사이 에 제공 되 는 게이트 밸브 가 닫히 고 , 로드 락 챔버 ( 220 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 간 에 기판 ( W ) 이 이동 되 는 경우 , 로드 락 챔버 ( 220 ) 와 인덱스 모듈 ( 100 ) 사이 에 제공 되 는 게이트 밸브 가 닫힌다 .