본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 선택 적 증착 장치 ( 11 ) 는 , 상기 전구체 분배 및 제거 시스템 에 작동 가능 하 게 연결 되 고 , 작동 되 는 경우 에 상기 복사선 개질 및 비 개질 층 중 하나 에 또는 그 안 에 선택 적 증착 을 실행 하 는 프로그램 을 구비 한 메모리 ( 144 ) 를 포함 하 는 순차 제어기 ( 142 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 다 .