일 실시 예 에 따르 면 , 상기 충전 마스크 패턴 과 상기 마스크 막 은 서로 동일 한 물질 로 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 가이드 패턴 들 은 나란히 배열 된 라인 형태 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 방법 은 상기 마스크 패턴 들 을 식각 마스크 로 사용 하 여 상기 식각 대상 막 을 식각 하 여 실제 패턴 들 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 가이드 패턴 들 은 서로 동일 한 물질 로 형성 할 수 있 다 .