구체 적 으로 , 도 2 의 반도체 제조 장치 ( 3 ) 는 도 1 의 반도체 제조 장치 ( 1 ) 와 비교 할 때 로드 모듈 ( 10 ) 과 로드 락 모듈 ( 30 ) 사이 에 아이 솔 레 이 션 모듈 ( isolation module ) 을 더 포함 하 는 것 을 제외 하 고 는 동일 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 모듈 ( 25 ) 은 분리 모듈 , 분리 부 , 또는 아이 솔 레 이 션 부 등 으로 칭할 수 있 다 . 도 2 에서 , 도 1 과 동일 한 참조 번호 는 동일 한 부재 를 나타낸다 . 도 2 에서 도 1 과 동일 한 내용 은 간단히 설명 하 거나 생략 한다 .