증착 입자 ( 991 ) 의 출사 각도 는 , 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 기판 ( 10 ) 의 이동 방향 ( 10 a ) 과 평행 한 방향 을 따라 보 았 을 때 , 증착 원 개구 ( 961 ) 로부터 방출 되 는 증착 입자 ( 991 ) 의 비상 방향 이 기판 ( 10 ) 의 법선 ( 10 n ) 에 대하 여 이루 는 각도 에 의해 정의 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 증착 입자 ( 991 ) 는 증착 원 개구 ( 961 ) 로부터 여러 방향 을 향해서 방출 된다 . 일반 적 으로 , 증착 원 개구 ( 961 ) 의 바로 위 를 향하 는 증착 입자 ( 출사 각도 가 0 도 인 증착 입자 ) 가 가장 많 고 , 출사 각도 가 커짐 에 따라서 증착 입자량 은 적어진다 . 증착 입자 ( 991 ) 의 출사 각도 의 최대 값 ( 최대 출사 각도 ) 을 φ 로 한다 .