부연 하 여 , 비례 공 압제 어 시스템 ( EPC ) 의 성능 은 ① accuracy error ( 정확 도 오차율 ) , ② linearity error ( 선형 성 오 차 율 ) , ③ repeatability error ( 반복 성 오 차 율 ) , ④ hysteresis error ( 이력 성 오 차 율 ) , ⑤ response time ( 반응 시간 ) 의 5 가지 항목 으로 평가 되 는데 , 상기 한 성능 치가 좋 을수록 연 마면 의 평탄 도 및 두께 균 일도 가 높 아 진다 .