예시 적 인 방법 100 의 어느 다양 한 단계 에서 , 캐리어 ( 105 ) 의 적어도 일부 ( 및 일부 예시 적 인 구 현예 에서 , 캐리어 전체 ) 는 제거 될 수 있 다 . 이러 한 제거 는 다양 한 방법 ( 예 를 들 어 , 캐리어 ( 105 ) 의 후면 또는 그 일부 를 기계 적 으로 그라인딩 하 는 것 에 의해 , 캐리어 ( 105 ) 의 후면 또는 그 일부 를 화학 적 에칭 하 는 것 에 의해 , 화학 적 / 기계 적 평탄 화 ( CMP ) 를 수행 하 는 것 에 의해 등 ) 의 어느 것 으로 수행 될 수 있 다 . 다른 예시 적 인 구 현예 에서 , 캐리어 ( 105 ) 또는 그 일부 는 필링 ( peeling ) , 풀 링 ( pulling ) , 전단 가공 ( shearing ) 등 에 의해 제거 될 수 있 다 . 따라서 , 본 개시 의 범위 는 캐리어 ( 105 ) 의 전체 또는 일부 를 제거 하 는 어떠 한 특정 방법 에 의해 제한 되 어서 는 안 된다 . 비록 캐리어 ( 105 ) 가 도면 에서 얇 은 층 으로서 전반 적 으로 도시 되 어 있 으나 , 캐리어 ( 105 ) 는 그것 이 박화 및 / 또는 제거 될 때 까지 상대 적 으로 두 꺼 울 ( 예 를 들 어 , 패 키 징 공정 의 다양 한 스테이지 동안 구조 적 서포트 를 제공 ) 수 있 음 을 주지 하 여야 한다 .