그러나 , 다 원계 재료 는 , 진공 증착 법 을 사용 한 경우 , 각 성분 의 증기압 이 상이 한 것 에 기인 하 여 , 재료 의 조성 ( 각 성분 의 비 ) 대로 는 증발 하 지 않 는 것 이 일반 적 이 다 . 즉 증발 한 증기 의 조성 은 , 재료 의 조성 과 는 반드시 일치 하 지 않 는다 . 따라서 , 증발 시간 이나 증발 횟수 와 함께 그 재료 조성 이 변화 하 고 , 그 에 따라 형성 된 막 조성 도 변화 하 기 때문 에 , 목적 하 는 특성 을 갖 는 막 을 다 수회 연속 해서 제작 하 는 것 이 곤란 한 경우 가 많 다 . 이것 은 , 광 필터 등 의 막 층수 가 많 은 성막 조작 과 같이 , 용기 에 한 번 장전 한 증착 재료 를 가능 한 다 쓸 수 있 도록 , 재료 의 보급 횟수 를 최대한 적 게 하 는 것 이 필요 로 해 지 는 경우 에 특히 말 할 수 있 는 것 이 다 . 또한 , 본 명세서 에서 는 , 한번 용기 에 증착 재료 를 장전 한 후 , 다음 에 보급 할 때 까지 이루어지 는 복수 회 에 걸친 증착 을 「 연속 증착 」 이 라 부른다 . 또한 , 용융 성 재료 이 더라도 , 증착 시간 이나 증착 횟수 와 함께 그 재료 조성 이 변화 하 는 다원 계 재료 의 경우 는 , 연속 증착 에 적합 하 지 않 다 .