마찬가지 로 , 제 2 조명계 ( IL 2 ) 로부터 사출 되 고 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 및 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 를 통한 노광 광 ( EL ) 을 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 된 기판 ( P ) 위 에 조사 함 으로써 , 제 2 패턴 의 상 이 기판 ( P ) 위 의 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 투영 되 어 기판 ( P ) 이 노광 된다 .