상기 ( 1 ) 에 관해서 , 구체 적 으로 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 계측 값 Aa 와 Ab 의 차분 Δ A , 계측 값 Bb 과 Bc 의 차분 Δ B , 계측 값 Ca 와 Cc 의 차분 Δ C , 계측 값 Da 와 Db 의 차분 Δ D 1 , 계측 값 Db 과 Dc 의 차분 Δ D 2 를 각각 구한다 . 이 에 따라 , 복수 의 검출기 를 사용 해서 웨이퍼 상 의 복수 의 마크 를 동시 에 검출 할 경우 에 , 1 차 근사식 25 A 내지 25 D 의 기울기 에 따른 보정 정보 Δ A 내지 Δ D 2 를 산출 할 수 있 다 .