에칭 액 회수 부 ( 26 ) 에서 는 , 에칭 후 에 , 에칭 액 회수 노즐 승강 수단 ( 28 ) 에 의해 , 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 이 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 형성 된 에칭 액 층 ( EL ) 에 접하 는 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 이 , 흡 인원 ( EV ) 에 연통 되 어 , 에칭 액 층 ( EL ) 을 형성 하 고 있 는 에칭 액 을 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 빨 아 올린다 . 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 에 의해 빨 아 올려진 에칭 액 은 , 도시 되 지 않 은 에칭 액 회수 보 틀 내 에 축적 되 어 회수 된다 .