제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 에 는 , 제 1 프로세스 챔버 유닛 ( 112 ) 이 연결 된다 . 각 제 1 프로세스 챔버 유닛 ( 112 ) 은 , 제 1 대기 반송 로봇 ( 121 ) 에 의해 기판 ( W ) 이 반송 되 는 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) , 및 기판 ( W ) 에 처리 를 실행 하 기 위한 제 1 프로세스 챔버 ( 111 ) 를 구비 한다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 는 , 진공 배기 와 대기압 복귀 가 반복 해 실행 되 는 작 은 방 으로 이루어진다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 와 제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 은 게이트 밸브 ( 123 ) 를 거쳐서 연결 된다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 에 는 , 제 1 진공 반송 로봇 ( 124 ) 이 마련 된다 .