한편 , 알루미늄 박막 ( 140 ) 이 아 노다 이징 처리 됨 으로써 , 알루미늄 박막 ( 140 ) 에 는 다수 의 세공 ( 143 ) 이 형성 된다 . 발열체 ( 120 ) 에서 발생 된 주 울열 에 의해 유체 가 열대류 되 면서 상기 세공 ( 143 ) 들 의 내부 로 유체 가 진입 하 기 도 하 고 세공 ( 143 ) 들 의 내부 에 있 던 유체 가 외부 로 빠져 나오 기 도 한다 . 이러 한 과정 을 통해 열 이 발생 하 는 부위 와 유체 가 접촉 하 는 면적 이 넓 어 지 고 , 발열체 ( 120 ) 로부터 유체 로 의 열전달 이 활발 하 게 이루어진다 . 발열체 전극 ( 126 ) ( 127 ) 에 종래 의 가속 도 센서 에 가하 던 전류 와 동일 한 전류 를 인가 하 여도 , 발열체 상측 공간 ( x > 0 , z > 0 ) 의 유체 는 보다 높 은 온도 로 가열 되 고 가속도 가 없 는 상태 의 기준 온도 와 의 차이 가 더욱 커 지 게 된다 . 결국 , 기준 온도 와 측정 온도 의 차이 에 의해 가속도 를 측정 하 는 본 실시 예의 MEMS 가속 도 센서 ( 100 ) 에 있 어서 , 상기 나노 구 조체 ( 141 ) 는 일종 의 증폭기 역할 을 하 게 된다 .