( D 2 ) 성분 은 , 1 종 을 단독 으로 사용 해도 되 고 , 2 종 이상 을 조합 하 여 사용 해도 된다 . 레지스 트 조성물 이 ( D 2 ) 성분 을 함유 하 는 경우 , 레지스 트 조성물 중 , ( D 2 ) 성분 의 함유량 은 , ( A ) 성분 100 질 량부 에 대하 여 , 통상 적 으로 , 0 . 01 ∼ 5 질 량부 의 범위 에서 사용 된다 . 상기 범위 로 함 으로써 , 레지스 트 패턴 형상 , 노광 후 시간 경과 적 안정 성 등 이 향상 된다 .