다층 반사막 ( 204 ) 상 에 IBD - LDD 장비 를 이용 하 고 Ru 타 겟 을 이용 하 여 질소 분위기 에서 2 . 5 ㎚ 두께 의 RuN 으로 이루어진 캡 핑 막 ( 205 ) 을 형성 하 였 다 . 캡 핑 막 ( 205 ) 의 형성 후 , 다층 반사막 ( 204 ) 과 동일 하 게 반사 율 을 측정 한 결과 13 . 5 ㎚ 의 파장 에서 66 . 8 % 의 반사 율 을 나타내 어 반사 율 손실 이 거의 없 음 을 확인 하 였 다 .