도 1 은 종래 의 일례 에 따른 플 라즈 마 식각 장치 의 개략 적 인 단면도 이 다 . 도 1 을 참조 하 면 , 플라 즈 마 식각 장치 ( 100 ') 는 식각 공정 이 이루어지 는 식 각공 간부 ( 101 ') 가 내부 에 형성 된 챔버 ( 10 ') 와 , 챔버 의 식각 공간 부 ( 101 ') 에 설치 되 며 웨이퍼 가 안착 되 는 정전 척 ( 20 ') 과 , 정 전척 ( 20 ') 에 결합 된 캐소드 ( 21 ') 와 , 챔버 의 상면 에 배치 되 며 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 코일 부재 ( 30 ') 를 구비 한다 . 코일 부재 ( 30 ') 는 도 2 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 나선 형 으로 이루어지 며 , 코일 부재 의 일단 은 접지 되 며 , 코일 부재 의 타단 은 고주파 전원 을 인가 하 는 고주파 전원 인가 장치 ( 50 ') 와 연결 되 어 있 다 . 또한 , 캐소드 ( 21 ') 도 고주파 전원 을 인가 하 는 고주파 전원 인가 장치 ( 51 ') 와 연결 되 어 있 다 . 그리고 , 고주파 전원 인가 장치 ( 50 ') 와 코일 부재 ( 20 ') 및 고주파 전원 인가 장치 ( 51 ') 와 캐소드 ( 21 ') 사이 에 는 각각 매칭 네트워크 ( 60 ', 61 ') 가 전기 적 으로 연결 되 도록 배치 되 어 있 다 . 매칭 네트워크 ( 60 ', 61 ') 는 고주파 전원 을 임피던스 매칭 하 여 코일 부재 ( 30 ') 및 캐소드 ( 21 ') 에 전달 하 기 위한 것 이 다 . 또한 , 챔버 ( 10 ') 는 리액터 ( 11 ') 와 , 리액터 에 결합 되 는 커버 부재 ( 12 ') 를 포함 한다 . 커버 부재 ( 12 ') 에 는 식각 가스 가 유입 되 는 유입 로 ( 121 ') 가 관통 형성 되 어 있 으며 , 윈도우 ( 122 ') 가 결합 되 어 있 다 .