상기 제 1 챔버 ( 161 ) 는 내부 에서 테스트 트레이 ( T ) 를 이동 시키 고 , 테스트 트레이 ( T ) 에 수납 된 테스트 될 반도체 소자 들 을 가열 또는 냉각 한다 . 테스트 될 반도체 소자 들 은 테스트 장비 에 의해 테스트 될 온도 ( 이하 , ' 테스트 온도 ' 라 함 ) 로 조절 된다 . 테스트 될 반도체 소자 들 이 테스트 온도 로 조절 되 면 , 테스트 트레이 ( T ) 는 상기 제 1 챔버 ( 161 ) 에서 상기 테스트 챔버 ( 162 ) 로 이송 된다 .