도 2 a 내지 도 2 c 를 참고 하 여 설명 하 면 , 반도체 소자 는 금속 전극 ( 20 ) 을 형성 하 는 단계 , 상기 금속 전극 ( 20 ) 상 에 산소 를 포함 하 지 않 는 제 1 실리콘 절 연막 ( 30 ) 을 형성 하 는 단계 , 상기 제 1 실리콘 절 연막 ( 30 ) 상 에 산소 를 포함 하 는 제 2 실리콘 절 연막 ( 40 ) 을 형성 하 는 단계 , 및 상기 제 2 실리콘 절 연막 ( 40 ) 상 에 산소 를 포함 하 지 않 는 제 3 실리콘 절 연막 ( 50 ) 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 여 형성 될 수 있 다 .