우선 , 본 실시 예의 탑재 대 를 구비 한 검사 장치 에 대하 여 도 1 을 참조 하 면서 설명 한다 . 검사 장치 는 , 예컨대 , 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 반도체 웨이퍼 W 의 전기 적 특성 검사 를 행하 는 프로 버 실 ( 10 ) 과 , 프로 버 실 ( 10 ) 에 반도체 웨이퍼 W 를 반송 하 는 로더 실 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 구비 하 고 있 다 .