이 경우 에 있 어서 , 절연성 , 내열 성 및 내 구성 이 우수 한 절 연막 재료 로서 오르 가노 폴리 실록 산 을 사용 하 고 , 고 비점 용매 또는 열분해 성 화합물 을 첨가 하 여 세공 을 형성 함 으로써 감소 된 유전율 을 갖 는 막 을 형성 하 는 공정 이 알려져 있 다 . 이 와 같이 형성 된 세공 을 갖 는 막 이 감소 된 유전율 을 가질 수 는 있 지만 , 흡습 성 으로 인하 여 유전 율 이 증가 되 고 , 기계 적 강도 가 열악 하 게 되 는 등 의 결점 이 있 다 . 서로 연결 된 세공 으로부터 상기 절 연막 에 배선 재료 로서 사용 되 는 동이 분산 되 는 또 다른 결점 을 가지 고 있 다 .