평가 함수 J 의 「 현 Run 의 Edge 평균 과 의 잔차 」 는 도 15 에 나타내 는 바 와 같 은 현 Run 의 막 두께 의 평균 과 모니터 개소 ( MP 1 ∼ MP 24 ) 의 막 두께 의 잔차 이 다 . 평가 함수 J 의 「 모델 」 은 모델 기억 부 ( 224 ) 에 기억 되 어 있 는 모델 이 다 . 또한 , 평가 함수 J 의 「 이동 변화 량 」 은 다음 번 Run 에 설정 하 는 RT 의 이 동량 과 FB 의 이 동량 을 나타내 고 있 다 . 도 15 는 평가 함수 J 의 「 현 Run 의 Edge 평균 과 의 잔차 」 의 일례 를 나타낸 도면 이 다 .