음 의 직류 전압 또는 펄스 직류 전압 전원 ( 500 ) 에 의해 디스크 전극 ( 100 ) 으로 인가 되 는 음 의 전압 은 - 100 V ~ - 5 kV 의 범위 이 다 . - 100 V 이하 의 전압 에서 발생 한 플 라즈 마 이온 은 충분 한 에너지 를 갖 지 못한다 . 따라서 , 원자 의 스퍼터링 효율 을 저하 시킨다 . - 5 kV 이상 의 전압 에서 는 이온 이 전극 을 스퍼터링 하 기 보 다는 임 플란트 가 되 어 이온 이 전극 내 에 심 어 지 는 단점 이 발생 한다 . 바람직 하 게 는 - 500 V ~ - 2 V 이 다 . 전압 의 파형 은 연속 형 으로 또는 펄스 형태 일 수 있 다 .