유량 설 정부 ( 97 ) 는 , 상기 한 바 와 같이 수조 내 온도 의 실제 의 연직 방향 분포 와 그 목표 분포 와 의 편차 에 기초 하 여 송액 기구 ( 62 ) 의 유량 의 목표 값 ( FSV ) 을 설정 하 므로 , 수조 내 온도 의 실제 의 연직 방향 분포 를 목표 분포 에 일치 시킬 수 있 어 , 기판 ( 2 ) 의 처리 불량 을 저감 시킬 수 있 다 .