본 체부 ( 7 ) 는 , 암 ( 6 ) 을 승강 시키 는 승강 기구 및 후술 하 는 모터 ( 36 ) 등 이 수용 되 는 , 바닥 이 있 는 원통형 케이스 체 ( 16 ) 와 , 케이스 체 ( 16 ) 의 상단 의 개구 를 덮 는 덮개 ( 17 ) 를 구비 하 고 있 다 . 덮개 ( 17 ) 에 는 , 케이스 체 ( 16 ) 의 직경 방향 의 외측 으로 연장 되 는 플랜 지부 ( 17 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 로봇 ( 1 ) 은 , 진공 중 에서 기판 ( 2 ) 을 반송 한다 . 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 로봇 ( 1 ) 의 , 플랜 지부 ( 17 a ) 의 하면 보다 상측 의 부분 은 , 진공 챔버 ( 18 ) 내 에 배치 되 어 있 다 . 즉 , 로봇 ( 1 ) 의 , 플랜 지부 ( 17 a ) 의 하면 보다 상측 의 부분 은 , 진공 영역 VR 중 ( 진공 중 ) 에 배치 되 어 있 다 . 한편 , 로봇 ( 1 ) 의 , 플랜 지부 ( 17 a ) 의 하면 보다 하측 의 부분 은 , 대기 영역 AR 중 ( 대기 중 ) 에 배치 되 어 있 다 .