또한 , 상기 챔버 ( 100 ) 의 양측 에 각각 구비 된 상기 냉각 파이프 ( 150 a , 150 b ) 는 그 유입 구 ( 150 a - 1 , 150 b - 1 ) 와 유출 구 ( 150 a - 2 , 150 b - 2 ) 가 각각 상기 저장 탱크 에 연결 될 수 도 있 으며 , 하나 의 냉각 파이프 ( 150 a ) 에 구비 된 유입 구 ( 150 a - 1 ) 와 타 측 의 유출 구 ( 150 b - 2 ) 에 만 연결 되 고 , 상기 냉각 파이프 ( 150 a ) 의 유출 구 ( 150 a - 2 ) 와 타 측 의 유입 구 ( 150 b - 1 ) 가 연결 될 수 도 있 다 . 이 경우 하나 의 냉각 파이프 ( 150 a ) 로 물 이 공급 되 어 타 측 의 냉각 파이프 ( 150 b ) 로 순환 된 후 다시 저장 탱크 로 유입 된다 .