다음 에 다른 성막 실 로부터 증착 용 기판 ( 857 ) 을 성막 실 ( 851 ) 에 반송 하 고 , 증 착용 기판 지지 기구 ( 854 ) 에 세트 한다 . 또한 증착 용 기판 ( 857 ) 에 있 어서 의 재료 층 ( 858 ) 이 형성 되 어 있 는 면 과 , 피 성막 기판 ( 859 ) 의 피 성 막 면 이 , 대향 하 도록 피 성막 기판 지지 기구 ( 855 ) 에 피 성막 기판 ( 859 ) 을 고정 한다 .