또한 , 처리 공간 ( 101 A ) 은 , 처리 용기 ( 101 ) 에 접속 된 배기 라인 ( 105 ) 에서 진공 배기 되 어 , 감압 상태 로 유지 된다 . 배기 라인 ( 105 ) 은 , 압력 조정 밸브 ( 105 A ) 를 거쳐서 배기펌프 ( 106 ) 에 접속 되 어 , 처리 공간 ( 101 A ) 을 원하 는 압력 의 감압 상태 로 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .