스토퍼 절 연막 ( 160 ) 은 제 2 절 연막 ( 180 ) 과 는 다른 식각 선택 비 를 가지 는 물질 로 이루어질 수 있 다 . 스토퍼 절 연막 ( 160 ) 은 제 3 도전 성 플러그 ( CP 3 ) 가 위치 될 제 3 컨 택 홀 ( H 3 , H 3 ’) 을 형성 하 기 위하 여 제 2 절 연막 ( 180 ) 에 대한 식각 공정 을 수행 하 는 동안 , 식각 정지 막 으로 이용 될 수 있 다 . 스토퍼 절 연막 ( 160 ) 은 실리콘 막 , 질화 막 , 탄화 막 , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 . 예컨대 , 스토퍼 절 연막 ( 160 ) 은 SiN , SiCN , SiC , SiCO , AlN 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 .