도 9 e 를 참조 하 면 , 접촉 수단 ( 130 ) 형성 후 , 기판 전면 에 걸쳐 전 극막 ( 152 ) 을 형성 하 여 , 절 연막 ( 151 ) 및 전 극막 ( 152 ) 으로 구성 된 이동판 부 ( 150 ) 를 형성 한다 . 이 동판 부 ( 150 ) 는 트렌치 ( 120 ) 가 형성 되 었 던 부분 에 깊 은 주름 ( 160 ) 을 형성 하 게 된다 . 한편 , 접촉 수단 ( 130 ) 상 의 전 극막 주변 을 식각 하 여 전 극막 ( 152 ) 과 전기 적 으로 고립 된 스위칭 전극 라인 ( 153 ) 을 형성 한다 . 스위칭 전극 라인 ( 153 ) 형성 시 , 노출 된 접지 라인 ( 111 ) 부분 의 절 연막 ( 151 ) 상 의 전 극막 ( 152 ) 을 제거 하 여 지 지 돌출부 ( 141 ) 를 형성 한다 . 이 는 지지 돌출부 ( 141 ) 에 정전기력 에 의한 인력 을 최대한 줄이 기 위함 이 다 . 한편 , 전 극막 전면 에 걸쳐 절 연막 ( 151 ) 에 형성 된 다수 의 홀 들 ( 미 도시 ) 과 일치 하 는 홀 들 ( 미 도시 ) 이 역시 형성 된다 .