상기 교환 부 ( 15 ) 는 테스트 될 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 및 테스트 된 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 를 상기 챔버 부 ( 16 ) 와 교환 한다 . 테스트 될 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 는 상기 교환 부 ( 15 ) 에서 상기 챔버 부 ( 16 ) 로 이송 되 고 , 테스트 된 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 는 상기 챔버 부 ( 16 ) 에서 상기 교환 부 ( 15 ) 로 이송 된다 .