제 5 절연 층 ( IL 5 ) 은 제 2 도전 층 ( 140 ) 을 덮 는다 . 제 5 절연 층 ( IL 5 ) 은 비아 층 일 수 있 다 . 제 5 절연 층 ( IL 5 ) 은 상술 한 제 4 절연 층 ( IL 4 ) 과 동일 한 물질 을 포함 하 거나 , 제 4 절연 층 ( IL 4 ) 의 구성 물질 로 예시 된 물질 에서 선택 된 하나 이상 의 물질 을 포함 할 수 있 다 .