도 3 b 를 참조 하 면 , 제 2 실리콘 층 ( 303 ) 을 패 터닝 하 여 제 2 실리콘 층 ( 303 ) 에 형성 되 는 구조물 인 고정 콤 전극 ( 330 ) , 프레임 의 일부분 ( 341 ) 과 정렬 마크 ( A ) 를 함께 형성 한다 . 정렬 마크 ( A ) 는 식각 된 부분 이 며 , 정렬 마크 ( A ) 를 포함 하 는 부분 은 완성 된 구조물 로부터 제거 된다 .