제 1 필드 절 연막 패턴 ( 204 ) 및 제 2 필드 절 연막 패턴 ( 206 ) 의 측면 을 부분 적 으로 식각 하 여 제 1 개 구 ( 208 ) 및 제 2 개 구 ( 210 ) 의 폭 을 각각 확장 시킨다 . 제 1 개 구 ( 208 ) 및 제 2 개 구 ( 210 ) 의 폭 은 후속 되 는 공정 에 의해 형성 되 는 플로팅 게이트 전극 ( 230 ) ( 도 19 참조 ) 의 선폭 을 결정 한다 . 즉 , 제 1 개 구 ( 208 ) 및 제 2 개 구 ( 210 ) 의 폭 이 증가 할수록 후 속 에 형성 되 는 플로팅 게이트 전극 ( 230 ) 의 선폭 이 증가 하 게 된다 .