여기 서 , 게이트 절 연막 ( 130 ) 은 질화 실리콘 ( SiNx ) 또는 산화 실리콘 ( SiOx ) 등 을 사용 한다 . 그리고 데이터 금속 층 은 몰리브덴 ( Mo ) , 알루미늄 ( Al ) , 크롬 ( Cr ) , 구리 ( Cu ) 등 의 단일 금속 또는 이 들 의 합금 을 사용 한다 . 이때 , 데이터 금속 층 은 단일 층 또는 복 층 구조 로 형성 할 수 있 다 .