활성 화부 로서 의 제 1 전극 ( 244 b ) 이 마련 되 어 있 을 경우 의 구성 에 대해서 설명 한다 . 활성 화부 로서 의 제 1 전극 ( 244 b ) 에 는 , 정 합기 ( 251 ) 와 고주파 전원 부 ( 252 ) 가 접속 되 어 , 전자파 ( 고주파 전력 이나 마이크로파 ) 가 공급 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된 가스 를 활성 화 시킬 수 있 다 . 또한 , 제 1 전극 ( 244 b ) 은 , 용량 결합 형 플라스마 를 생 성 가능 하 게 구성 된다 . 구체 적 으로 는 , 제 1 전극 ( 244 b ) 은 도전 성 의 판형 으로 형성 되 어 , 상부 용기 ( 202 a ) 에 지지 되 도록 구성 된다 . 활성 화부 는 , 적어도 제 1 전극 ( 244 b ) , 정 합기 ( 251 ) , 고주파 전원 부 ( 252 ) 로 구성 된다 . 또한 , 제 1 전극 ( 244 b ) 과 고주파 전원 ( 252 ) 의 사이 에 , 임피던스 계 ( 254 ) 를 마련 해도 된다 . 임피던스 계 ( 254 ) 를 마련 함 으로써 , 측정 된 임피던스 에 기초 하 여 , 정 합기 ( 251 ) , 고주파 전원 ( 252 ) 을 피드백 제어 할 수 있 다 . 또한 , 고주파 전원 ( 252 ) 은 , 전력 데이터 를 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 되 고 , 정 합기 ( 251 ) 는 , 정합 데이터 ( 진행파 데이터 , 반사파 데이터 ) 를 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 되 고 , 임피던스 계 ( 254 ) 는 , 임피던스 데이터 를 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 된다 .