도 5 를 참조 하 면 , 하드 마스크 막 패턴 ( 155 ) 및 하드 마스크 스 페이서 ( 171 ) 를 식각 마스크 로 컨트롤 게이트 전극 층 , 전하 차단 층 , 전하 트랩 층 및 터널 링 층 을 순차 적 으로 식각 하 여 컨트롤 게이트 전극 ( 140 ) 패턴 , 전하 차단 층 ( 130 ) 패턴 , 전하 트랩 층 ( 120 ) 패턴 및 터널 링 층 ( 110 ) 패턴 으로 이루어진 게이트 라인 을 형성 한다 .