도 23 을 참조 하 여 , 본 실시 예의 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 을 설명 한다 . 본 실시 예의 단계 S 31 ~ S 33 은 , 도 15 에 나타내 는 단계 S 01 ~ S 03 의 항목 과 같이 동작 된다 . 또한 , 오프너 ( 11 ) 는 , 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 취 출하 기 위하 여 이용 되 고 , 오프너 ( 13 ) 는 , 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 되돌리 기 위하 여 이용 된다 . 5 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 , B 1 , B 2 ) 은 각각 , 예 를 들 면 포토레지스트 액 의 도포 처리 를 행한다 .