2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 X 축 을 따라 배열 되 고 서로 평행 하 다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 단일 커플링 샤프트 ( 111 ) 를 거쳐 X - 축 공기 실린더 ( X - 축 액추에이터 ) ( 113 ) 에 커플링 된다 . X - 축 공기 실린더 ( 113 ) 는 기부 플레이트 ( 65 ) 에 고정 된다 . X - 축 공기 실린더 ( 113 ) 는 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 이 X - 축 방향 으로 동기 적 으로 이동 하 도록 구성 된다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 커플링 플레이트 ( 110 ) 에 고정 된 Y - 축 공기 실린더 ( Y - 축 액추에이터 ) ( 114 ) 에 각각 커플링 된다 . Y - 축 공기 실린더 ( 114 ) 는 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 이 Y - 축 방향 으로 서로 독립 적 으로 이동 하 도록 구성 된다 .