상기 챔버 내 에 는 , 상기 정류부 보다 상방 이 며 또 한 상기 배기 부 보다 상기 기판 의 직경 방향 외측 에 , 외측 공간 을 갖 고 , 상기 외측 공간 에 접속 되 어 상기 챔버 내 에 기체 를 공급 하 는 상기 기체 공급 부 와 는 상이 한 제 2 기체 공급 부 를 가지 며 , 상기 제 2 기체 공급 부 는 , 상기 정류부 측 에 있 어서 상기 외측 공간 에 대해 접속 되 는 양태 로 할 수 있 다 .