차광막 의 표면 측 ( 기판 으로부터 가장 이격 한 측 ) 을 구성 하 는 표면 측 조성 경사 층 은 , 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 , 단일 조성 의 층만 의 2 층 이상 의 조합 , 단일 조성 의 층 과 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 과 의 조합 , 또는 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 의 조합 으로 구성 되 고 , 층 두께 방향 으로 조성 이 변화 하 는 층 이 며 , 노광 광 에 대하 여 기판 측 의 면 에서 흡수 계수 가 높 고 , 기판 으로부터 이격 하 는 측 의 면 에서 흡수 계수 가 낮 은 층 이 다 .