실리콘 을 증착 하 기 위하 여 상기 챔버 내부 에 실리콘 전구체 를 주입 하 여 , 상기 기판 상 에 실리콘 이 증착 되 도록 할 수 있 다 ( S 210 ) . 상기 기판 상 에 실리콘 을 증착 한 후 , 미 반응 실리콘 전구체 및 반응 부산물 을 제거 하 는 제 1 퍼지 단계 를 수행 한다 ( S 220 ) . 이후 , 실리콘 을 증착 하 는 단계 ( S 210 ) 및 제 1 퍼지 단계 ( S 220 ) 를 반복 하 여 ( S 230 ) , 상기 기판 상 에 실리콘 박막 을 형성 한다 .