또한 , 약액 을 사용 한 처리 를 1 회 만 으로 하 는 경우 에 는 , 도 11 에 도시 하 는 바 와 같이 , 처리 유닛 ( 60 ) 내 에 있 어서 , 처 리조 ( 40 ) 내 에서 처리 가 행해진 하나 의 기판 ( W ) 을 처리 유닛 ( 60 ) 에 의해 유지 하 는 공정 과 , 처리 유닛 ( 60 ) 에 의해 유지 된 하나 의 기판 ( W ) 에 순수 를 공급 하 여 린스 처리 하 는 공정 과 , 처리 유닛 ( 60 ) 에 의해 유지 되 어 린스 처리 가 실시 된 하나 의 기판 ( W ) 을 건조 시키 는 공정 이 실시 되 게 된다 .