무인 자동차 및 사물 인터넷 과 같 은 최근 의 기술 분야 발전 으로 인해 MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems : 마이크 로 전자 기계 시스템 ) 및 MOEMS ( Micro Opto Electrical Mechanical Systems : 마이크 로 광전기 기계 시스템 ) 센서 및 액추에이터 에 대한 새로운 기회 가 폭발 적 으로 증가 했 다 . MEMS 디바이스 에 대한 이러 한 수요 증가 로 인해 제조 업체 는 생산 비용 을 줄이 고 수율 과 신뢰 성 을 높이 라는 압력 을 받 고 있 다 . 그러나 일부 MEMS 디바이스 의 제조 공정 동안 막 응력 의 빌드 업 은 수율 에 결과 적 으로 영향 을 주 는 문제 를 야기 할 수 있 다 .