상기 와 같 은 식각 부산물 은 증착 방지 커버 ( 17 ) 및 보호 커버 ( 16 ) 에 퇴적 되 며 일정 시간 이 경과 되 면 박리 된다 . 퇴적 된 식각 부산물 이 박리 되 면 , 상기 식각 부산물 이 기판 ( 14 ) 상 에 불순물 로 작용 하 여 불량 을 초래 하 므로 , 식각 부산물 이 박리 되 기 이전 에 제거 해야 한다 . 그러나 , 증착 방지 커버 ( 17 ) 및 보호 커버 ( 16 ) 의 재질 이 다를 경우 에 는 상호 표면 에 퇴적 된 식각 부산물 의 상태 가 달라서 어느 한쪽 이 먼저 박리 된다 . 따라서 , 증착 방지 커버 ( 17 ) 및 보호 커버 ( 16 ) 를 동일 한 재질 로 형성 하 여 , 챔버 ( 10 ) 의 청정 화 시기 를 일정 한 주기 로 조절 함 으로써 , 불순물 로 작용 하 는 미립자 의 발생 을 최소 화 한다 . 보호 커버 ( 16 ) 와 증착 방지 커버 ( 17 ) 는 세라믹 재질 , 그 중 에서 도 특히 산화물 계 세라믹 으로 형성 되 는 것 이 바람직 하 며 , 더 바람직 하 게 는 , 석영 , 알루미나 및 유리 로 구성 되 는 군 에서 선택 되 는 어느 하나 로 형성 된다 .