또한 , 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 1 , 2 ) 의 팁 들 및 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 3 , 7 ) 의 팁 들 은 각각 도 3 의 직선 a , b 에 의해 도시 된 바 와 같이 , 상기 장치 에 평행 하 게 연장 된 직선 들 과 접촉 하 는 배열 의 경우 , 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 1 , 2 ) 사이 또는 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 3 , 7 ) 사이 의 각 ( A 3 ) 는 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 정칠 각 형상 의 이송 챔버 상 에 설치 된 2 개 의 인접 처리 첨 버들 에 의해 형성 되 는 각 ( A 2 ) ( 360 / 7 = 51 . 4 °) 보다 6 ° 이상 인 58 ° 가 된다 . 여기 서 , 2 개 의 인접 하 는 웨이퍼 처리 챔버 들 사이 의 더 큰 각도 란 이 들 웨이퍼 처리 챔버 들 사이 의 더 큰 간격 을 의미 하 며 , 이것 은 유지 보수성 의 관점 에서 유리 하 다 .