암모니아 , 질소 , 트리 메틸 갈륨 의 챔버 내부 로 의 공급 을 중단 하 고 2 ~ 8 분 동안 , 챔버 내부 의 압력 이 400 ~ 600 torr 이 고 , 챔버 내부 온도 는 1050 ~ 1250 ℃ 이 며 , 기판 ( 100 ) 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 700 ~ 800 RPM 인 상태 에서 기판 ( 100 ) 을 어닐링 한다 .