제 1 및 제 2 폐액 탱크 ( 50 / 60 ) 는 회수 부 ( 40 ) 를 통해 회수 된 유체 를 제 2 , 3 밸브 ( V 2 / V 3 ) 및 제 4 , 5 밸브 ( V 4 / V 5 ) 에 의해 각각 선택 적 으로 저장 하 는 것 으로 , 일 측 이 회수 부 ( 40 ) 와 제 3 이 송라 인 ( L 3 ) 을 통해 각각 연결 되 어 있 고 , 타 측 이 유체 를 재순환 시킬 수 있 도록 제 1 이 송라 인 ( L 1 ) 상 에 각각 연결 되 어 있 다 .