그러나 이러 한 종래 의 플레이트 ( 120 ) 는 전체 면 이 동일 한 저항계 수 로 이루어져 있 으므로 , 가공 완료 된 웨이퍼 ( 50 ) 를 분리 시키 는 디 척 킹 작업 시 웨이퍼 ( 50 ) 와 플레이트 ( 120 ) 의 접촉면 에 잔존 하 는 정전기 에 의해서 웨이퍼 ( 50 ) 가 손상 되 거나 심할 경우 에 는 파손 되 는 등 의 문제점 이 있 었 다 .