계속 해서 , 진공 처리 장치 ( 2 ) 에 있 어서 의 웨이퍼 ( W ) 의 흐름 에 대하 여 설명 한다 . 우선 , 다 수매 의 웨이퍼 ( W ) 가 수용 된 밀폐 형 캐리어 ( C ) 가 로드 포트 ( 24 ) 에 올려 놓여 지 고 , 제 1 반송 아암 ( 26 ) 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 캐리어 ( C ) 로부터 제 1 반 송실 ( 21 ) 로 반입 된다 . 이어서 , 상압 분위기 의 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 의 게이트 밸브 ( G ) 가 열리 고 , 제 1 반송 아암 ( 26 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 내 로 반입 된다 . 다음 으로 , 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 이 소정 의 감압 까지 배기 된 후 , 게이트 밸브 ( G ) 가 열리 고 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 제 2 반 송실 ( 3 ) 로 반송 된다 . 이 후 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 중 어느 하나 로 반송 되 어 , 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 에 소정 의 진공 처리 가 행해진다 .