상기 한 실시 형태 1 내지 5 에 나타낸 증착 장치 에서 는 , 증착 원 개구 ( 61 , 62 ) , 복수 의 제 한판 ( 80 ) , 복수 의 마스크 개구 ( 71 ) 가 각각 X 축 방향 으로 일렬 로 나열 해서 배치 되 어 있 었 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 증착 원 개 구 , 제 한판 , 마스크 개구 중 적어도 하나 의 X 축 방향 을 따른 열 이 Y 축 방향 으로 복수열 배치 되 어 있 어도 된다 . 그 경우 , 당해 복수열 간 에서 , 증착 원 개 구 , 제 한판 , 마스크 개구 중 적어도 하나 의 X 축 방향 위치 는 동일 해도 되 고 , 상이 해도 된다 .