도 28 및 도 29 는 상기 제 4 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 의 변형 예 를 나타낸다 . 이 변형 예 에서 는 , 제 4 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 과 마찬가지 로 , 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 적어도 일부 , 및 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 일부 가 로더 모듈 ( 22 ) 에 상하 방향 으로 겹쳐 있 다 . 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 에 는 , 2 개 의 연결 챔버 ( 141 , 142 ) 가 직렬 적 으로 접속 된다 . 각 연결 챔버 ( 141 , 142 ) 에 는 , 진공 반송 로봇 ( 153 , 154 ) 이 마련 된다 . 각 연결 챔버 ( 141 , 142 ) 에 는 , 적어도 하나 의 , 예 를 들 면 , 2 개 의 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 또는 80 - 1 , 80 - 2 ) 가 연결 된다 . 각 연결 챔버 ( 141 , 142 ) 에 접속 되 는 2 개 의 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 또는 80 - 1 , 80 - 2 ) 는 , 도 5 의 ( a ) 에 표시 되 는 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 과 마찬가지 로 , V 자 형상 으로 레이아웃 된다 . 즉 , 양쪽 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 각각 의 중심 과 연결 챔버 ( 141 ) 의 중심 을 연결 하 는 선 에 의해 V 자형 형상 으로 형성 되 고 , 또한 이 Ｖ 자 라인 을 따라 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 에 대한 기판 ( W ) 의 반송 ( 출납 ) 이 실행 된다 . 또한 , 양쪽 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 의 각각 의 중심 과 연결 챔버 ( 142 ) 의 중심 을 연결 하 는 선 에 의해 V 자형 형상 이 형성 되 고 , 또한 이 Ｖ 자 라인 을 따라 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 에 대한 기판 ( W ) 의 반송 ( 출납 ) 이 실행 된다 .