또한 , 상기 복수 개 의 반사판 은 상기 스토퍼 프레임 의 내 측면 에 상기 백 선반 프레임 을 기준 으로 상측 에 배치 되 어 , 상기 기판 을 로딩 ( loading ) 시 상기 로봇 암 의 이재 위치 를 지정 하 기 위한 복수 개 의 제 1 반사판 , 및 상기 스토퍼 프레임 의 내 측면 에 상기 백 선반 프레임 을 기준 으로 하측 에 배치 되 어 , 상기 기판 을 언 로딩 ( unloading ) 시 상기 로봇 암 의 이재 위치 를 지정 하 기 위한 제 2 반사판 을 포함 하 는 것 을 한다 .