예 를 들 어 절연 층 ( 118 ) 의 성막 온도 로서 는 예 를 들 어 150 ℃ 이상 400 ℃ 이하 , 바람직 하 게 는 180 ℃ 이상 360 ℃ 이하 , 더 바람직 하 게 는 200 ℃ 이상 250 ℃ 이하 로 한다 . 절연 층 ( 118 ) 을 저온 으로 성막 함 으로써 , 채널 길이 가 짧 은 트랜지스터 의 경우 에 도 양호 한 전기 특성 을 가질 수 있 다 .