이 와 같 은 구성 으로 하 면 , 예 를 들 면 , 기재 홀더 를 인라인 ( in - line ) 식 진공 성막 장치 에 사용 할 때 에 , 이동하 는 기재 홀더 에 센서 와 일체 화 된 변환기 를 부착 할 수 있 고 , 또한 변환기 를 냉각 하 기 위한 냉각 유체 를 공급 하 는 냉각 용 배관 등 을 별도 로 설치 할 필요 가 없 어 지 기 때문 에 , 장치 구성 이 간단 해진다 .