제 1 정비 영역 ( 60 A ) 또는 제 2 정비 영역 ( 60 B ) 에서 는 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 에 대한 정비 가 이루어진다 . 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 의 정비 작업 중 에 이 물질 이 발생 할 수 있 다 . 일례 로 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 의 토출 검사 작업 중 에 정비 영역 ( 60 ) 에서 토출 된 토출 물질 이나 , 시린지 교체 로봇 ( 50 ) 의 이동 이나 작동 중 에 이 물질 이 발생 할 수 있 다 . 디스 펜싱 헤드 유닛 ( 40 ) 에 대한 정비 작업 중 발생 한 물질 이 스테이지 ( 20 ) 측 으로 이동 하 는 경우 기판 처리 불량 을 야기 할 수 있 다 .