도시 된 실시 형태 의 흡인 유지 부 ( 8 ) 는 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 다공질 세라믹스 등 의 다공질 부재 로부터 원호 형상 으로 형성 된 복수 ( 도시 된 실시 형태 에서 는 6 개 ) 세그먼트 ( 12 ) 로 구성 되 어 있 고 , 복수 의 세그먼트 ( 12 ) 은 환형 에 배치 되 어 있 다 . 세그먼트 ( 12 ) 은 지지 부재 ( 14 ) 에 지지 되 어 있 고 , 이 지지 부재 ( 14 ) 은 , 원형 벽 ( 16 ) 과 , 원형 벽 ( 16 ) 의 주연 부 로부터 하방 으로 연장 되 는 환형 벽 ( 18 ) 을 포함 한다 . 복수 의 세그먼트 ( 12 ) 은 , 서로 원주 방향 으로 간격 을 두 고 원형 벽 ( 16 ) 의 하면 에 고정 되 고 , 환형 벽 ( 18 ) 에 둘러싸여 있 다 . 복수 의 세그먼트 ( 12 ) 의 외주 면 ( 12 a ) 에 의해 규정 되 는 원주 의 외직 경은 , 유지 해야 할 원판 형 의 웨이퍼 ( W ) ( 도 3 참조 ) 의 직경 이하 이 다 . 또한 , 각 세그먼트 ( 12 ) 의 외주 면 ( 12 a ) , 내 주면 ( 12 b ) 및 원주 방향 단면 ( 12 c ) 의 각각 에 는 수지 가 피복 되 어 있 는 한편 , 각 세그먼트 ( 12 ) 의 하면 에 는 수지 가 피복 되 지 않 고 , 각 세그먼트 ( 12 ) 의 하 면 이 다공성 면 ( P ) 로 되 어 있 다 . 각 세그먼트 ( 12 ) 의 다공성 면 ( P ) 의 상하 방향 위치 는 동일 하 다 .