한편 , 다른 변형 예 를 도시 한 도 5 를 참조 하 면 , 서 셉 터 ( 120 ) 의 상부 에 위치 하 도록 대략 방사상 의 소스 가스 배기 라인 ( 141 ″) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ″) 이 가스 공급 부 ( 130 ″) 에 형성 되 어 있 다 . 소스 가스 배기 라인 ( 141 ″) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ″) 은 적어도 2 개 가 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .