절 연막 ( 103 c ) 은 화학량론 적 조성 보다 과잉 으로 산소 를 포함 한 영역 을 가지 는 것 이 더 바람직 하 다 . 바꿔 말 하 면 , 절 연막 ( 103 c ) 은 가열 에 의하 여 산소 를 방출 할 수 있 는 절 연막 으로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 산소 분위기 하 에서 절 연막 ( 103 c ) 을 형성 하 거나 , 성막 후 의 절 연막 ( 103 c ) 에 대하 여 산소 분위기 하 에서 의 열 처리 , 플라스마 처리 등 을 수행 하 거나 , 또는 절 연막 ( 103 c ) 위 에 산소 분위기 하 에서 산화 물막 을 형성 함 으로써 절 연막 ( 103 c ) 내 에 산소 를 공급 할 수 도 있 다 . 또는 , 절 연막 ( 103 c ) 위 에 가열 에 의하 여 산소 를 방출 할 수 있 는 절 연막 을 형성 한 후 에 가열 처리 를 수행 함 으로써 , 상기 절 연막 으로부터 절 연막 ( 103 c ) 내 에 산소 를 공급 하 여도 좋 다 .