특히 , 도 15 에 도시 하 는 바 와 같이 , 실리콘 계 소수 화제 Ⅰ 을 SiN 에 공급 한 후 에 , 반응 성 이 높 은 실리콘 계 소수 화제 Ⅱ 를 SiN 에 공급 함 으로써 , 실리콘 계 소수 화제 Ⅰ 의 소수기 를 SiN 의 관능기 에 반응 시킬 수 있 음 과 함께 , 실리콘 계 소수 화제 Ⅰ 의 소수기 와 반응 하 지 않 고 남 은 SiN 의 관능기 에 , 실리콘 계 소수 화제 Ⅱ 의 소수기 를 반응 시킬 수 있 다 . 이 에 의해 , SiN 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 따라서 , SiN 막 에 대하 여 는 , 소수기 가 긴 실리콘 계 소수 화제 Ⅰ 을 공급 한 후 에 , 소수기 가 짧 은 실리콘 계 소수 화제 Ⅱ 를 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 .