그러나 , 연마 헤드 ( 1 ) 의 압력 챔버 들 중 에 어느 하나 의 압력 챔버 ( C 3 ) 에 부압 이 인가 되 면서 웨이퍼 ( W ) 와 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 사이 에 진공 상태 의 공간 ( Cx ) 이 형성 된 것 을 확인 하 지 못하 므로 , 압력 챔버 ( C 3 ) 에 부압 을 인가 한 상태 에서 웨이퍼 ( W ) 가 올바로 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 에 척 킹 ( chucking , 파지 ) 되 었 는지 확인 하 지 않 고 이송 함 에 따라 웨이퍼 의 이송 공정 에 오류 가 생기 는 문제 가 야기 되 었 다 .