추가 로 예 를 들 어 , 대형 기판 , 이를 테 면 건축 용 글 래스 용 코팅 기 는 각각 코팅 및 펌프 격실 들 의 동일 한 또는 상이 한 구성 으로 , 이러 한 프로세스 모듈 이 연속 하 게 ( after another ) 구성 될 수 있 어 , 모든 코팅 기 는 인접 한 프로세스 모듈 들 의 세트 구성 ( 예 를 들 어 , PCCPCC / PCPPCP / PCCPCP , 등 ) 을 갖 는다 . 하나 의 펌프 격실 이 인접 한 코팅 격실 들 과 접하 고 , 하나 는 상류 측 에 있 고 다른 하나 는 하류 측 에 있 을 때 , 펌프 격실 은 앞서 개시 된 것 처럼 허용 가능 한 또는 원 하 는 가스 격리 를 제공 하 기 에 는 충분 치 않 다 . 그러나 , 2 개 의 인접 한 펌프 격실 들 이 인접 한 코팅 격실 들 과 접하 고 , 하나 는 상류 측 에 있 고 다른 하나 는 하류 측 에 있 을 때 , 도 5 B 및 5 C 에 도시 된 것 처럼 , 2 개 의 펌프 격실 들 은 하 기 개시 되 는 것 처럼 허용 가능 한 가스 격리 를 제공 할 수 있 다 .