가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 과 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 사이 에 배치 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 을 분리 시키 도록 형성 된 플레이트 로서 정의 되 어 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 플레이트 의 상부 면 이 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 의 하부 경계 부 를 제공 하 고 가스 분배 유닛 ( 115 ) 플레이트 의 하부 면은 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 의 상부 경 계부 를 제공 하 도록 한다 .