이 와 같이 , 탐침 ( 14 ) 및 이 에 의해 지시 될 수 있 게 수평 방향 으로 마련 된 눈금 패턴 ( 24 ) 은 베이스 기판 ( 100 ) 과 정렬 대상 시트 ( 110 ) 와 의 정렬 오차 의 발생 여부 는 물론 그 오차 량 까지 도 쉽 게 드러나 게 한다 . 이러 한 본 발명 의 실시 예 에 따른 정렬 마크 는 시각 에 만 의존 하 는 경우 에 정렬 작업자 의 편의 를 도모 할 수 있 음 은 물론 현미경 과 같 은 확대 장비 에 의존 하 는 경우 에 는 정렬 작업자 의 편의 를 더 증진 시킬 수 있 다 .