즉 , 제 2 갭 ( 350 ) 을 통해 예비 전하 저장 구조물 ( 250 ) 에 제 1 산화 공정 을 수행 할 수 있 으며 , 이 에 따라 절연 패턴 ( 175 ) 에 상기 수평 방향 으로 대향 하 는 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 부분 이 산화 되 어 분리 패턴 ( 234 ) 이 형성 될 수 있 다 . 다만 , 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 이 상대 적 으로 큰 두께 를 가짐 에 따라서 , 절연 패턴 ( 175 ) 에 인접 한 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 부분 만 이 산화 되 어 분리 패턴 ( 234 ) 을 형성 할 수 있 으며 , 이 에 따라 상기 제 1 산화 공정 으로 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 이 상기 제 1 방향 으로 서로 이격 되 도록 복수 개 로 분리 되 지 는 않 을 수 있 다 .