기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 유지 부 ( 3 ) 와 , 외측 컵 ( 4 ) ( 컵 부 의 일례 ) 을 구비 한다 . 유지 부 ( 3 ) 는 , 기판 처리 가 행해 지 는 경우 에 , 기판 ( W ) 을 유지 한다 . 외측 컵 ( 4 ) 은 , 유지 부 ( 3 ) 에 유지 된 기판 ( W ) 의 외측 을 둘러싸 도록 설치 된다 . 제 2 도 통부 ( 91 ) 는 , 외측 컵 ( 4 ) 에 설치 된다 .