상기 반도체 기판 ( 21 ) 은 통상 의 집적회로 소자 의 제조 에 사용 되 는 반도체 기판 일 수 있 으며 , 이 에 한정 되 지 는 않 으나 , 실리콘 ( Si ) 기판 또는 GaAs 기판 일 수 있 다 . 상기 반도체 기판 ( 21 ) 중 전자기 노이즈 필터 ( 20 ) 가 구현 된 영역 은 비가역 소자 를 포함 한 고주파 집적회로 가 구현 된 반도체 기판 의 일부 영역 으로 이해 될 수 있 다 .