제 2 가스 공급원 ( 161 ) 은 기판 ( W ) 을 처리 하 는 데 에 이용 되 는 에칭 가스 ( etching gas ) 를 공정 가스 로 공급 하 는 것 이 다 . 이러 한 제 2 가스 공급원 ( 161 ) 은 에칭 가스 로 불소 ( fluorine ) 성분 을 포함 하 는 가스 를 공급 할 수 있 다 . 일례 로 , 제 2 가스 공급원 ( 161 ) 은 SF 6 , CF 4 등 의 가스 를 에칭 가스 로 공급 할 수 있 다 .