처리 용기 ( 1 ) 는 , 알루미늄 등 의 금속 에 의해 구성 되 고 , 대략 원통 형상 을 갖 고 있 다 . 처리 용기 ( 1 ) 의 측벽 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 반입 또는 반출 하 기 위한 반입 출구 ( 11 ) 가 형성 되 고 , 반입 출구 ( 11 ) 는 게이트 밸브 ( 12 ) 로 개폐 가능 하 게 되 어 있 다 . 처리 용기 ( 1 ) 의 본체 상 에 는 , 단면 이 직사각 형상 을 이루 는 원환 형 의 배기 덕트 ( 13 ) 가 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 에 는 , 내 주면 을 따라서 슬릿 ( 13 a ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 배기 덕트 ( 13 ) 의 외벽 에 는 배기구 ( 13 b ) 가 형성 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 의 상면 에 는 처리 용기 ( 1 ) 의 상부 개구 를 막 도록 천장 벽 ( 14 ) 이 마련 되 어 있 다 . 천 장벽 ( 14 ) 과 배기 덕트 ( 13 ) 의 사이 는 시일 링 ( 15 ) 으로 기밀 하 게 시일 되 어 있 다 .