또한 , 전술 한 제 2 처리 예 에서 는 , 제 1 소수 화 처리 가 행하 여진 후 로서 제 2 소수 화 처리 가 행하 여 지 기 전 에 , 용제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 2 용제 린스 처리 가 행하 여 지 는 경우 에 대하 여 설명 하 였 다 . 그러나 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 가 용이 하 게 혼합 되 는 경우 에 는 , 제 2 용제 린스 처리 를 행하 지 않 고 , 제 1 소수 화제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 1 소수 화 처리 가 행하 여진 후 에 , 제 2 소수 화제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 2 소수 화 처리 가 행하 여져 도 좋 다 .