여기 서 , 2 차 이온 질량 분석법 ( SIMS : Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 으로 행하 는 수소 농도 의 분석 에 대하 여 언급 해 두 겠 다 . SIMS 분석 은 그 의 원리 상 , 시료 표면 근방 이나 , 재질 이 다른 막 과 의 적층 계면 근방 의 데이터 를 정확 하 게 얻 는 것 이 곤란 한 것 으로 알려져 있 다 . 따라서 , 막 중 에 있 어서 의 수소 농도 의 두께 방향 의 분포 를 SIMS 로 분석 할 경우 , 대상 이 되 는 막 이 존재 하 는 범위 에 있 어서 , 값 에 극단 적 인 변동 이 없 고 , 거의 일정 한 값 이 얻 어 지 는 영역 에 있 어서 의 평균값 을 수소 농도 로서 채용 한다 . 또한 , 측정 의 대상 이 되 는 막 의 두께 가 작 은 경우 , 인접 하 는 막 내 의 수소 농도 의 영향 을 받 아서 , 거의 일정 한 값 이 얻 어 지 는 영역 을 찾아낼 수 없 는 경우 가 있 다 . 이 경우 , 당해 막 이 존재 하 는 영역 에 있 어서 의 수소 농도 의 최대 값 또는 최소 값 을 당해 막 내 의 수소 농도 로서 채용 한다 . 또한 , 당해 막 이 존재 하 는 영역 에 있 어서 , 최대 값 을 갖 는 산형 의 피크 , 최소 값 을 갖 는 골짜기 형 의 피크 가 존재 하 지 않 는 경우 , 변곡점 의 값 을 수소 농도 로서 채용 한다 .