또한 , 반도체 막 , 미결정 반도체 막 을 형성 하 는 제 2 반응 실 ( 400 b ) 은 초고진공 까지 진공 배기 하 는 크라이 오 펌프 ( 421 ) 가 연결 되 어도 좋 다 . 크라이 오 펌프 ( 421 ) 를 사용 함 으로써 반응 실 의 압력 을 10 - 5 Pa 보다 낮 은 압력 인 초고진공 상태 로 할 수 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 반응 실 내 를 10 - 5 Pa 보다 낮 은 압력 인 초고진공 상태 로 함 으로써 미결정 반도체 막 중 의 산소 농도 및 질소 농도 의 저감 에 효과 적 이 다 . 결과 적 으로 , 특히 , 미결정 반도체 막 ( 45 ) 에 함유 되 는 산소 농도 를 1 × 1016 atoms / cm 3 이하 로 할 수 있 다 . 미결정 반도체 막 중 의 산소 농도 및 질소 농도 를 저감 함 으로써 막 중 의 결함 을 저감 하 고 결정 성 을 높일 수 있 기 때문 에 , 캐리어 의 이동도 를 향상 시킬 수 있 다 .