가열 재생 단계 가 종료 되 면 냉각 단계 로 들어간다 . 냉각 목적 은 흡착제 의 온도 를 피정 제 가스 온도 와 동일 하 게 하 고 흡착 능력 을 높이 는데 있 다 . 정제 가스 의 일부 를 가열 하 지 않 고 라인 ( 13 ) 으로부터 밸브 ( 4 b ) 를 통하 여 흡착 탑 ( 10 b ) 으로 도입 하 여 밸브 ( 2 b ) 로부터 라인 ( 14 ) 을 통하 여 장치 외 로 배출 한다 . 배출 된 가스 가 피정 제 가스 의 온도 와 거의 동일 하 게 된 시점 에서 냉각 단계 를 종료 한다 .