또한 , 분산 판 ( 244 a ) 을 제 1 전극 ( 244 b ) 으로서 구성 한 경우 에 는 , 제 1 전극 ( 244 b ) 은 도전 성 의 금속 으로 구성 되 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 가스 를 여기 하 기 위한 활성 화부 ( 여기 부 ) 의 일부 로서 구성 된다 . 제 1 전극 ( 244 b ) 에 는 , 전자파 ( 고주파 전력 이나 마이크로파 ) 가 공급 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 , 덮개 ( 231 ) 를 도전 성 부재 로 구성 할 때 는 , 덮개 ( 231 ) 와 제 1 전극 ( 244 b ) 의 사이 에 절연 블록 ( 233 ) 이 마련 되 어 , 덮개 ( 231 ) 와 제 1 전극 부 ( 244 b ) 의 사이 를 절연 하 는 구성 으로 된다 .