티오피 란 유도체 , 중합체 , 및 레지스 트 조성물 , 및 , 상기 레지스 트 조성물 을 이용 한 반도체 장치 의 제조 방법 { THIOPYRAN DERIVATIVE , POLYMER , RESIST COMPOSITION AND PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH THE USE OF THE RESIST COMPOSITION }