처리 용기 내 에 실리콘 함유 가스 를 공급 하 는 방법 으로서 는 , 예 를 들 어 저류 탱크 에 저류 된 실리콘 함유 가스 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 방법 을 이용 할 수 있 다 . 이렇게 저류 탱크 에 저류 된 실리콘 함유 가스 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 경우 , 밸브 의 개폐 시간 · 횟수 에 따라 실리콘 함유 가스 의 유량 및 유속 을 제어 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 실리콘 함유 가스 의 유량 및 유속 의 제 어성 이 향상 된다 . 또한 , 실리콘 함유 가스 를 저류 탱크 에 일단 저류 해서 승압 한 상태 에서 처리 용기 내 에 공급 함 으로써 , 애 스펙 트 비 가 높 은 오 목부 ( T ) 의 바닥 까지 SiH 4 가스 가 도달 하 기 때문 에 , 오 목부 ( T ) 에 컨 포 멀 하 게 실리콘 ( F 3 ) 이 흡착 되 기 쉽 다 .