다음 에 도 2 e 를 참조 하 면 , 감광막 패턴 ( 208 ) 또는 감광막 패턴 ( 208 ) 및 하드 마스크 용 산화 막 패턴 ( 209 ) 이 적층 된 구조 의 마스크 막 패턴 ( 210 ) 을 배리 어 막 으로 이용 하 여 패드 질화 막 ( 204 ) 을 식각 해 패드 산화 막 ( 202 ) 의 소정 영역 을 노출 하 는 패드 질화 막 패턴 ( 212 ) 을 형성 한다 .