여기 서 , 5 종류 의 도전 성막 ( 4 ) ( No . 1 내지 No . 5 ) 의 막 두께 는 , 각각 , 평균 15 nm 가 융기 되 도록 형성 하 였 다 . 또 , 5 종류 의 도전 성막 ( 4 ) 을 구성 하 는 제 1 입자 및 제 2 입자 의 평균 입자 크기 는 모두 15 nm 이 며 , 입자 크기 의 표준편차 는 2 nm 이 었 다 . 즉 , 입자 크기 의 표준편차 는 13 . 3 ％ 이 었 다 .