상기 구동 장치 ( 150 ) 는 외부 로부터 공정 플레이트 ( 110 ) 상 에 기판 ( 120 ) 이 로딩 될 경우 상기 복수 의 리프트 핀 ( 130 ) 및 상기 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 을 상승 시켜 상기 기판 ( 120 ) 을 지지 하 고 , 지지 된 기판 ( 120 ) 을 공정 플레이트 ( 110 ) 상 에 안착 시키 기 위하 여 상기 복수 의 리프트 핀 ( 130 ) 및 상기 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 을 하강 시킨다 . 또한 , 상기 구동 장치 ( 150 ) 는 공정 플레이트 ( 110 ) 상 에 기판 ( 120 ) 이 언 로딩 될 경우 로딩 과 반 대로 상기 복수 의 리프트 핀 ( 130 ) 및 상기 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 을 구동 시킨다 .