헤드 유닛 ( 162 B , 162 A ) 은 , X 축 방향 에 관하 여 간격 ( WD ) 으로 배치 된 복수 ( 여기 서 는 5 개 ) 의 2 차원 인코더 헤드 ( 이하 , 2 D 헤드 라고 약기 한다 ) ( 164 i , 165 j ; i , j = 1 ∼ 5 ) 를 각각 구비 하 고 있 다 . 보다 상세 하 게 는 , 헤드 유닛 ( 162 B 및 162 A ) 은 각각 , 투영 유닛 ( PU ) 의 주변 을 제외 하 고 , 전술 한 기준 축 ( LH ) 상 에 간격 ( WD ) 으로 배치 된 복수 ( 여기 서 는 4 개 ) 의 2 D 헤드 ( 1641 ∼ 1644 또는 1652 ∼ 1655 ) 와 , 투영 유닛 ( PU ) 의 주변 에 있 어서 , 기준 축 ( LH ) 으로부터 - Y 방향 으로 소정 거리 떨어진 위치 , 즉 노즐 유닛 ( 32 ) 의 - Y 측 위치 에 배치 된 1 개 의 2 D 헤드 ( 1645 또는 1651 ) 를 구비 하 고 있 다 . 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 은 , 후술 하 는 5 개 의 Z 헤드 도 각각 구비 하 고 있 다 . 여기 서 2 D 헤드 란 , 서로 직교 하 는 2 축 방향 , 여기 서 는 X 축 방향 및 Y 축 방향 에 감도 를 갖 는 , 즉 직교 2 축 방향 ( X 축 방향 및 Y 축 방향 ) 을 계측 방향 으로 하 는 인코더 헤드 이 다 . 2 D 헤드 로 는 , 예 를 들 어 전술 한 제 2 , 제 3 실시 형태 중 에서 채용 한 2 D 헤드 와 동일 한 구성 의 2 D 헤드 ( 예 를 들 어 도 34 에 도시 된 것 ) 를 사용 할 수 있 다 .