또한 , 본 발명 은 , 패드 컨디 셔 너 가 컨디 셔 너 패드 의 세 척 을 위해 클린 컵 으로 이동 하 여 클린 컵 속 으로 하강 한 컨 디셔 닝 헤드 의 압력 을 검출 하 기 위해 상기 클린 컵 에 설치 된 로드 셀 을 더 포함 하 며 , 상기 제 어부 는 상기 로드 셀 로부터 검출 된 아날로그 압력 신호 를 인가 받 아 디지털 압력 신호 로 변환 한 후 이 디지털 압력 신호 를 디스플레이 하 고 , 메인 장비 로 인가 한다 .