이어서 , 온도 제어 장치 ( 140 ) 에서 는 척 ( 130 ) 의 온도 를 조절 한다 . 이 때 , 제 1 처 리조 ( 110 ) 내 에 공급 된 제 1 처리 액 ( 115 ) 의 온도 에 따라 척 ( 130 ) 의 온도 를 조절 한다 . 예 를 들 어 , 척 ( 130 ) 의 온도 는 제 1 처리 액 ( 115 ) 의 온도 가 약 145 ℃ 인 경우 에 는 약 100 내지 150 ℃, 제 1 처리 액 ( 115 ) 의 온도 가 약 150 내지 165 ℃ 인 경우 에 는 약 100 내지 170 ℃, 제 1 처리 액 ( 115 ) 의 온도 가 약 50 내지 80 ℃ 인 경우 에 는 약 30 내지 90 ℃ 일 수 있 고 , 바람직 하 게 는 각각 의 제 1 처리 액 ( 115 ) 온도 와 같 을 수 있 다 . 구체 적 으로 설명 하 면 , 온도 제 어부 ( 144 ) 에서 척 ( 130 ) 의 온도 를 설정 한다 . 이 때 , 설정 되 는 척 ( 130 ) 의 온도 는 상술 한 바 와 같 다 . 이어서 , 히터 부 ( 142 ) 를 통해 척 ( 130 ) 을 전기 적 으로 가열 하 여 , 척 ( 130 ) 의 온도 를 설정 온도 까지 높인다 .