각도 에너지 필터 ( AEF ) ( 36 ) 는 , 이온 빔 의 에너지 를 분석 하 고 필요 한 에너지 의 이온 을 하방 으로 편향 하 여 주입 처리 실 ( 16 ) 로 유도 하 도록 구성 되 어 있 다 . 각도 에너지 필터 ( 36 ) 는 , 전계 편향 용 의 AEF 전극 쌍 을 갖 는다 . AEF 전극 쌍 은 , 고압 전원 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 된다 . 도 2 에 있 어서 , 상측 의 AEF 전극 에 정 ( 正 ) 전압 , 하측 의 AEF 전극 에 부 전압 을 인가 시킴 으로써 , 이온 빔 을 하방 으로 편향 시킨다 . 다만 , 각도 에너지 필터 ( 36 ) 는 , 자계 편향 용 의 자석 장치 로 구성 되 어도 되 고 , 전계 편향 용 의 AEF 전극 쌍 과 자석 장치 의 조합 으로 구성 되 어도 된다 .