외측 상부 전극 ( 23 ) 과 내측 상부 전극 ( 24 ) 사이 에 는 , 예 를 들 면 0 . 25 ㎜ 내지 2 . 0 ㎜ 의 환상 갭 ( 간극 ) 이 형성 되 며 , 갭 에 , 예 를 들 면 석영 으로 이루어지 는 유전체 ( 25 ) 가 배치 된다 . 또한 , 이 갭 에 는 석영 으로 이루어지 는 유전체 ( 25 ) 대신 에 세라믹 체 를 배치 하 여도 좋 다 . 외측 상부 전극 ( 23 ) 과 내측 상부 전극 ( 24 ) 이 유전체 ( 25 ) 를 사이 에 두 는 것 에 의해 콘덴서 가 형성 된다 . 콘덴서 의 캐 패 시 턴 스 ( C 1 ) 는 , 갭 의 크기 와 유전체 ( 25 ) 의 유전 율 에 따라서 소망 의 값 으로 선정 또는 조정 된다 . 또한 , 외측 상부 전극 ( 23 ) 과 챔버 ( 10 ) 의 측벽 사이 에 는 , 예 를 들 면 알루미나 ( Al 2 O 3 ) 혹은 이트리아 ( Y 2 O 3 ) 로 이루어지 는 환상 의 절연성 차폐 부재 ( 26 ) 가 기밀 하 게 배치 되 어 있 다 .