DMD ( 50 ) 에 는 길 이 방향 으로 마이크 로 미러 가 다수 개 ( 예 를 들 면 , 800 개 ) 배열 된 마이크 로 미러 열 이 폭 방향 으로 다수 조 ( 예 를 들 면 , 600 조 ) 배열 되 어 있 다 . 도 8 b 에 도시 된 바 와 같이 , DMD ( 50 ) 를 경사지 게 함 으로써 각 마이크 로 미러 에 의한 노광 빔 ( 53 ) 의 주사 궤적 ( 주사선 ) 의 피치 P 2 가 DMD ( 50 ) 를 경사지 게 하 지 않 은 경우 의 주사선 의 피치 P 1 보다 좁 아 져 해상도 를 대폭 향상 시킬 수 있 다 . 한편 , DMD ( 50 ) 의 경사각 은 미소 하 므로 , DMD ( 50 ) 를 경사지 게 했 을 경우 의 주사 폭 W 2 와 DMD ( 50 ) 를 경사지 게 하 지 않 은 경우 의 주사 폭 W 1 은 대략 동일 하 다 .