도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 제 1 하드 마스크 를 식각 하 고 난 다음 에 275 ℃ 의 온도 에서 애 싱 공정 을 수행 한 경우 에 는 강유 전 층 에 열화 가 발생 하 여 분극 특성 이 저하 되 는 것 을 알 수 있 다 . 이 에 비하 여 , 제 1 하드 마스크 를 식각 하 기 전 에 40 ℃ 의 온도 에서 애 싱 공정 을 수행 한 경우 에 는 강유 전 층 의 손상 이 발생 하 지 않 아 향상 된 분극 특성 을 가지 는 것 을 알 수 있 다 .