또한 , 본 제 6 발명 의 반도체 제조 장치 는 , 제 1 발명 에 대하 여 , 상기 처 리부 는 상기 서비스 파라미터 격납 부 로부터 서비스 파라미터 를 판독 하 고 , 당해 서비스 파라미터 에 정의 되 어 있 지 않 은 파라미터 에 대하 여 , 대응 되 는 고객 운용 파라미터 를 상기 고객 운용 파라미터 격납 부 로부터 판독 하 여 , 당해 판독 한 복수 의 파라미터 에 따라서 반도체 제조 프로세스 를 실행 하 기 위한 동작 을 행하 는 반도체 제조 장치 이 다 .