한편 , 에칭 가공 의 정밀도 를 높이 기 위한 목적 으로 , 에칭 단계 에 선행 하 여 에 칭전 열처리 단계 가 수행 될 수 있 다 . 에칭 마스크 로서 금속 피막 ( M ) 이 형성 된 원소 재 기판 ( S ) 을 고온 환경 에서 열처리 하 는 것 으로 , 금속 피막 ( M ) 과 접촉 하 는 원소 재 기판 ( S ) 의 하 지 부분 에 대해 금속 피막 ( M ) 성분 을 확산 시키 는 것 이 가능 하 다 . 금속 피막 ( M ) 의 부식 저항성 이 높 은 금속 원소 를 사전 에 원소 재 기판 ( S ) 내부 로 침투 시킴 으로써 , 에칭 시 금속 피막 ( M ) 에 의해 덮여 있 는 하지 부분 ( W 1 , W 2 , 부분 에 해당 ) 이 부식 되 지 않 도록 하 여 에칭 가공 의 정밀도 를 높이 기 위한 것 이 다 .