다음 으로 , 제 어 장치 ( 20 ) 에 대하 여 설명 한다 . 제 어 장치 ( 20 ) 는 기록 매체 ( 21 ) 를 판독 할 수 있 는 CPU 를 가지 며 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 각 구성 요소 의 동작 을 제어 하 도록 되 어 있 다 . 기록 매체 ( 21 ) 에 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 에 의한 처리 를 실행 하 기 위한 프로그램 이 기록 되 어 있 다 . 제 어 장치 ( 20 ) 는 기록 매체 ( 21 ) 에 미리 기록 된 프로그램 에 기초 하 여 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 각 구성 요소 를 동작 시켜서 웨이퍼 ( W ) 를 처리 한다 . 또한 기록 매체 ( 21 ) 는 ROM 이나 RAM 등 의 메모리 , 하드 디스크 , CD - ROM 과 같 은 디스크 형상 기록 매체 , 그 외 의 공지 된 기록 매체 로 구성 되 어도 좋 다 .