본 발명 의 목적 은 상기 와 같 은 종래 반도체 메모리 소자 의 피로 측정 기구 의 문제점 을 해결 하 기 위하 여 1 개 의 전극 만 으로 도 여러 위치 에서 셋 / 리셋 테스트 가 가능 하 고 , 실제 상변화 가 일어난 위치 를 찾 아서 그 정보 를 저장 하 여 후 에 TEM 과 같 은 2 차 샘플링 이 용이 하 도록 하 는 피로 측정 장치 시스템 을 제공 하 는 데 있 다 .