본 발명 에 따른 고밀 도 플 라즈 마 소스 는 플 라즈 마 발생 공간 을 형성 하 고 내측 하부 에 처리 하 고자 하 는 기판 이 장착 되 는 전도성 챔버 , 상기 챔버 의 내부 또는 외부 에 마련 되 는 유도 코일 , 상기 챔버 와 유도 코일 중 적어도 어느 하나 에 고주파 전원 을 인가 하 여 상기 챔버 내부 에 플 라즈 마 를 발생 시키 는 전원 공급 부 및 상기 챔버 내부 에 형성 되 는 플라 즈 마 쉬스 ( sheath ) 의 간격 또는 프로파일 ( profile ) 중 적어도 어느 하나 를 제어 하 기 위해 상기 전원 공급 부 를 제어 하 는 제 어부 를 포함 한다 .