상기 언 도프 트 폴리 실리콘 막 을 다층 으로 형성 하 는 단계 는 상기 터널 산화 막 상부 에 제 1 그레인 사이즈 를 갖 는 제 1 언 도프 트 폴리 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 언 도프 트 폴리 실리콘 막 상부 에 제 1 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 절 연막 상부 에 제 1 그레인 사이즈 를 갖 는 제 2 언 도프 트 폴리 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 언 도프 트 폴리 실리콘 막 상부 에 제 2 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 제 2 절 연막 상부 에 제 1 그레인 사이즈 를 갖 는 제 3 언 도프 트 폴리 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .