한편 , 상부 유전체 ( 50 ) 의 상부 에 는 내부 에 냉각수 가 흐르 는 상부 지지 판 ( 70 ) 이 위치 하 고 , 하부 유전체 ( 53 ) 의 하부 에 는 내부 에 냉각수 가 흐르 는 하부 지지 판 ( 71 ) 이 위치 한다 . 이러 한 상부 지지 판 ( 70 ) 과 하부 지지 판 ( 71 ) 은 산소 가 오존 으로 변환 될 때 발생 되 는 열 을 냉각 시키 고 , 또한 , 상부 와 하부 유전체 ( 50 , 53 ) , 고전압 전극 ( 56 ) , 상부 와 하부 밀 폐부 ( 60 , 65 ) 및 철망 ( 63 , 66 ) 을 지지 시 킨다 .