각 연마 액 의 조제 에 사용 한 초 순수 는 , 일본 공개 특허 공보 2007 - 254168 호 에 기재 되 어 있 는 방법 에 의하 여 정제 를 행했 다 . 그 후 , Na , Ca 및 Fe 의 각각 의 원소 의 함유량 이 , 각 약액 의 전체 질량 에 대하 여 , 10 질량 ppt 미만 인 것 을 후술 하 는 SNP - ICP - MS 법 에 의한 측정 으로 확인 한 후 , 사용 했 다 .