상기 상부 기판 ( 100 ) 위 에 는 압 전 액 츄 에 이터 ( 190 ) 가 형성 된다 . 그리고 , 상부 기판 ( 100 ) 과 압 전 액 츄 에 이터 ( 190 ) 사이 에 는 절 연막 으로서 실리콘 산화 막 ( 180 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 압 전 액 츄 에 이터 ( 190 ) 는 공통 전극 의 역할 을 하 는 하부 전극 ( 191 ) 과 , 전압 의 인가 에 따라 변형 되 는 압 전막 ( 192 ) 과 , 구동 전극 의 역할 을 하 는 상부 전극 ( 193 ) 을 구비 한다 .