또한 본 발명 의 액정 표시 소자 를 구성 하 는 박막 트랜지스터 어레이 기판 은 반도체 패턴 과 소스 / 드레 인 전극 을 1 개 의 회절 마스크 를 사용 하 여 동시 에 형성 한다 . 따라서 , 본 발명 에서 는 게이트 전극 및 컨 택트 홀 형성 단계 , 반도체 패턴 및 소스 / 드레 인 전극 형성 단계 그리고 화소 전극 형성 단계 에서 각각 서로 다른 포토 마스크 가 사용 되 어 총 3 개 의 포토 마스크 를 사용 하 여 박막 트랜지스터 어레이 기판 을 제작 할 수 있 는 유리 한 효과 를 가진다 .