클리닝 실 ( 5 ) 에는 , 도입 구 ( 20 ) 와 배기구 ( 21 ) 가 형성 되 어 있 다 . 도입 구 ( 20 ) 는 , 배관 ( 도시 생략 ) 을 통하 여 에칭 가스 가 들 어 있 는 봄베 에 접속 되 어 있 어 , 클리닝 처리 를 실시 할 때 에 클리닝 실 ( 5 ) 에 가스 가 적량 공급 되 도록 되 어 있 다 . 또 , 배기구 ( 21 ) 는 배관 ( 도시 생략 ) 을 통하 여 진공 펌프 ( 도시 생략 ) 에 접속 되 어 있 어 , 클리닝 실 ( 5 ) 내 의 가스 가 이곳 으로부터 배출 되 도록 되 어 있 다 .