이어서 , 센터 링 스테이지 회전 기구 는 , 최대 편심 점 과 센터 링 스테이지 의 축심 을 연결 하 는 직선 이 이동 기구 의 소정 의 오프셋 축 과 일치 할 때 까지 센터 링 스테이지 와 웨이퍼 W 를 회전 시킨다 . 이어서 , 이동 기구 는 , 편심 검 출부 에 의해 측정 된 편 심량 에 대응 하 는 거리 만큼 센터 링 스테이지 및 해당 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 를 오프셋 축 을 따라 이 동시 킨다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 의 중심 에 맞출 수 있 다 . 마지막 으로 , 센터 링 스테이지 를 연직 방향 으로 하강 시켜서 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 로부터 프로세스 스테이지 로 전달 하 고 , 프로세스 스테이지 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 주연 부 를 연마 한다 .