이어서 , 채널 영역 을 형성 하 기 위해 채널 영역 이 형성 될 활성 영역 내 에 문턱 전압 조절 용 이온 주입 공정 을 실시 한다 . 예컨대 , 문턱 전압 조절 용 이온 주입 공정 은 불화 붕소 ( BF ) 를 이용 하 여 10 ~ 30 KeV 이온 주입 에너지 에서 1 . 0 E 13 ~ 5 . 0 E 13 ions / cm 2 의 도즈 ( dose ) 로 실시 한다 .