또한 , 상기 하부 지그 ( 10 ) 와 상부 지그 ( 20 ) 는 그 재질 에 있 어서 , 내열성 이 우수 한 세라믹 소 결체 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 어 탄화규소 ( SiC ) , 질화규소 ( SiN ) , 코디 에 라이트 , 탄화규소 - 코디 에 라이트 , 실리카 , 알루미나 , 실리카 - 알루미나 , 알루미늄 실리케이트 및 티탄산 알루미늄 등 으로 이루어진 군중 에서 선택 된 1 종 또는 2 종 이상 의 세라믹 을 주성분 으로 하 여 소결 시켜 얻 은 소 결체 로 이루어질 수 있 다 . 바람직 하 게 는 탄화규소 ( SiC ) 를 주성분 으로 하 되 , 상기 탄화규소 ( SiC ) 입자 를 결집 시키 는 성분 으로서 탄화규소 ( SiC ) 에 규소 ( Si ) , 실리카 ( SiO 2 ) , 알루미나 ( Al 2 O 3 ) , 실리카 - 알루미나 ( SiO 2 - Al 2 O 3 ) , 및 알루미늄 실리케이트 등 으로부터 선택 된 하나 이상 을 혼합 한 것 을 소결 시켜 얻 은 탄화규소 소 결체 를 사용 할 수 있 다 .