반도체 기판 ( 500 ) 은 , 그 표면 을 미리 세정 해 두 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 는 , 베이스 기판 ( 500 ) 에 대해서 염산 과산화수소수 혼합 용액 ( HPM ) , 황산 과산화수소수 혼합 용액 ( SPM ) , 암모니아 과산화수소수 혼합 용액 ( APM ) , 희 불 산 ( DHF ) 등 을 사용 하 여 세정 하 는 것 이 바람직 하 다 .