따라서 , 정상 적 으로 웨이퍼 가 척 킹 파지 되 는 데 소요 되 는 시간 ( t 1 , 도 12 b ) 에 비하 여 보다 짧 은 정해진 시간 ( Te , 도 13 b ) 내 에 0 . 8 * Po ~ Po 의 범위 에 도달 하 는 것 을 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 가 감지 하 면 , 웨이퍼 가 정상 적 으로 척 킹 파지 되 지 않 은 상태 라는 것 을 감지 할 수 있 다 . 여기 서 , 정해진 시간 ( Te ) 은 정상 적 인 척 킹 공정 인 경우 의 소요 시간 ( t 1 ) 에 비하 여 70 % 이하 로 정해질 수 있 다 . 이 를 통해 , 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 상태 를 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 로 감시 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 의 흡착 파지 상태 를 감지 할 수 있 다 .