상기 일단 을 상기 계단 형태 로 형성 하 는 것 은 , 하 기 의 단계 들 을 하나 의 사이클 로 하 여 , 상기 사이클 을 반복 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 하부 패턴 을 마스크 로 , 상기 제 1 하부 패턴 에 의해 노출 된 적어도 하나 의 상기 절 연막 들 을 식각 하 는 것 ; 상기 적어도 하나 의 절 연막 들 아래 의 적어도 하나 의 상기 희생 막 들 을 식각 하 는 것 ; 및 상기 제 1 하부 패턴 을 트리밍 하 여 , 그 의 폭 및 높이 를 줄이 는 것 .