도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 과 제 2 처리 블록 ( 5 ) 이 배치 되 는 전후 방향 ( X 방향 ) 과 직교 하 는 방향 ( Y 방향 ) 으로 , 기판 버퍼 ( BF ) 를 사이 에 끼 도록 배치 되 어 있 다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 는 각각 , 기판 버퍼 ( BF ) 에 대해서 기판 ( W ) 을 출납 한다 . 또 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 와 , 기판 버퍼 ( BF ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 와 , 기판 버퍼 ( BF ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 .