일반 적 으로 도어 ( 8 ) 는 공 압 에 의해 동작 하 기 때문 에 도어 ( 8 ) 가 상승 하 는 도중 그 구동 을 중단 시킬 수 없 다 . 또한 , 도어 ( 8 ) 의 구동 을 중단 시키 기 위해 도어 ( 8 ) 를 구동 시키 는 실린더 에 긴급 차단 기능 을 수행 하 는 밸브 를 연결 하 는 것 을 고려 할 수 있 다 . 이러 한 장치 는 사용 자 가 직접 밸브 를 개폐 해야 한다 . 이 에 , 사용 자 가 장치 를 제어 할 수 없 는 경우 에 는 도어 ( 8 ) 와 반송 로봇 ( 6 ) 이 충돌 하 여 기판 ( W ) 등 이 파손 되 는 것 을 막 을 수 없 다 . 또한 , 사용 자 가 장치 를 제어 할 수 있 는 경우 라고 하 더라도 도어 ( 8 ) 와 반송 로봇 ( 6 ) 의 충돌 은 매우 짧 은 시간 내 에 이루어지 기 때문 에 사용 자 가 이 를 인지 하 여 기판 ( W ) 이나 반송 로봇 ( 6 ) 이 파손 되 기 전 도어 ( 8 ) 의 구동 을 중단 시키 는 것 은 어렵 다 .