상기 제 어부 는 , 상기 처리 분포 정보 가 볼록 형 의 처리 분포 라면 , 상기 기판 과 상기 코일 전극 의 단부 사이 의 거리 를 소정 거리 로 설정 하 고 , 상기 처리 분포 정보 가 오목 형 의 처리 분포 라면 , 상기 기판 과 상기 코일 전극 의 단부 사이 의 거리 를 상기 소정 거리 보다 도 긴 거리 로 설정 하 는 , 부기 1 또는 2 에 기재 된 기판 처리 장치 가 제공 된다 .