이러 한 구성 에 의하 면 , 송액 장치 에 의해 보내 진 처리 액 이 , 공통 배관 에 의해 제 1 분기 부 에 안내 되 어 , 제 1 공급 배관 또는 제 1 리턴 배관 에 공급 된다 . 제 1 공급 배관 에 공급 된 처리 액 은 , 제 1 노즐 로부터 토출 되 어 , 기판 에 공급 된다 . 이것 에 의해 , 기판 이 처리 된다 . 그 한편 , 제 1 리턴 배관 에 공급 된 처리 액 은 , 탱크 또는 배액 배관 에 안내 된다 .