휜 반송 자세 의 기판 ( 7 ) 이 반송 롤러 ( 23 ) 상 을 주행 하 여 , 진공 조 ( 21 ) 내 에서 기판 ( 7 ) 의 이동 방향 선단 부분 이 가압 롤러 ( 38 ) 와 충돌 할 때 , 기판 ( 7 ) 이 가압 롤러 ( 38 ) 를 밀어내 면서 하부 롤러 와 가압 롤러 사이 로 진입 하 고 , 기판 ( 7 ) 의 휨 에 의해 , 선단 부분 은 하부 롤러 ( 33 ) 와 는 접촉 하 지 않 고 , 가압 롤러 ( 38 ) 가 기판 ( 7 ) 의 선단 부분 의 윗 표면 ( 48 ) 과 접촉 하 여 , 가압 롤러 ( 38 ) 가 되 밀릴 때 에 가압 롤러 ( 38 ) 에 탄성 지지력 이 부여 되 고 , 가압 롤러 ( 38 ) 에 의해 기판 ( 7 ) 의 선단 부분 이 하부 롤러 ( 33 ) 방향 으로 가압 되 어 , 휨 이 해소 되 어 하부 롤러 ( 33 ) 와 접촉 하 도록 되 어 있 다 .