도 5 는 하전 입자 시스템 ( 500 ) 의 예 를 예시 한다 . 하전 입자 시스템 은 , 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 및 프로세서 ( 550 ) 를 포함 한다 . 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 는 , ( a ) 기판 의 구역 의 전자 이미지 를 취득 하 고 ― 구역 은 구조 를 포함 할 수 있 음 ―; ( b ) ( 적어도 ) 구조 의 x - 선 이미지 를 취득 하 도록 구성 된다 .