( 1 ) 기판 을 처리 하 는 순서 가 기재 된 복수 의 레시피 를 포함 하 는 복수 의 파일 과 해당 복수 의 레시피 에 대응 하 는 유저 의 조작 권한 을 기억 하 는 기억 수단 과 , 기판 처리 장치 의 가동 상태 가 온라인 시 또는 오프라인 시 각각 의 경우 에 있 어서 , 상기 각 레시피 에 대한 상기 유저 의 조작 권한 을 설정 하 는 권한 설정 화면 과 , 상기 기억 수단 에 기억 되 어 있 는 레시피 를 편집 하 기 위한 편집 화면 을 표시 하 는 표시 수단 을 갖 는 기판 처리 시스템 .