먼저 , 희생 막 ( 23 ) 이 산화 막 물질 이 므로 , 희생 막 ( 23 ) 의 식각 은 CxFy ( 예 , C 4 F 6 , C 4 F 8 ) , Ar 및 O 2 가스 를 혼합 한 플 라즈 마 식각 으로 진행 한다 . 그리고 , 식각 배리 어막 ( 22 ) 이 실리콘 질화 막 이 므로 , 식각 배리 어막 ( 22 ) 의 식각 은 CHF 3 , Ar 및 O 2 가스 를 혼합 한 플 라즈 마 식각 으로 진행 한다 .