본 발명 의 스퍼터 막 은 기판 을 가열 하 지 않 고 성막 할 수 있 다 . 성막 시 기판 의 온도 는 25 ∼ 50 ℃ 정도 이 다 ( 스퍼터 에 의한 온도 상승 분 정도 ) . 이것 은 기판 가열 에 필요 로 하 는 에너지 나 시간 을 필요 로 하 는 것 이 없 는 점 에서 우수 하나 , 가장 유용 한 것 은 기판 으로서 유리 이외 의 것 도 사용 할 수 있 는 점 에 있 다 . 예 를 들 어 , 고온 으로 할 수 없 는 수지 재료 를 기판 으로서 사용 할 수 있 다 . 기판 은 투명 한 것 이 바람직 하 다 . 그 중 에서 는 , 폴리에틸렌 테레프탈 레이트 ( PET ) , 폴리에테르 술폰 ( PES ) , 폴리에틸렌 나 프탈 레이트 ( PEN ) , 폴리카보네이트 ( PC ) , 폴리 아릴 레이트 ( PAR ) 또는 , 이 들 에 밀착 성 향상 이나 탈 가스 방지 등 을 목적 으로 한 막 을 성막 한 것 도 포함 할 수 있 다 .