광 변조 소자 ( 1 ) 에 의한 위상 변조 에 따른 레이저 빔 은 결상 광학계 ( 3 ) 를 통해 프로세싱 대상 기판 ( 4 ) 으로 입사 된다 . 여기 서 , 결상 광학계 ( 3 ) 는 광 변조 소자 ( 1 ) 의 위상 패턴 표면 과 프로세싱 대상 기판 ( 4 ) 을 광학 적 으로 결합 한다 . 즉 , 프로세싱 대상 기판 ( 4 ) ( 엄밀 하 게 는 프로세싱 대상 기판 ( 4 ) 의 피조 사면 ) 이 광 변조 소자 ( 1 ) 의 위상 패턴 표면 ( 결상 광학계 ( 3 ) 의 상 표면 ) 과 광학 적 으로 결합 되 는 표면 으로 설정 된다 .