도 5 를 참조 하 면 , 방법 ( 800 ) 은 바텀 업 퇴적 을 사용 하 여 트렌치 ( 402 ) 에 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 를 형성 하 는 동작 834 를 포함 한다 . 바텀 업 퇴적 은 하부 표면 상 에 선택 적 으로 퇴적 한다 . 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 는 배리어 층 없이 형성 되 고 따라서 ILD 층 ( 220 ) ( 및 ESL ( 222 ) ) 의 측벽 과 같 은 유전체 표면 에 직접 접촉 한다는 것 을 유의 하 여야 한다 . 본 경우 에 , 바텀 업 퇴적 은 전도성 표면 상 에 금속 재료 를 선택 적 으로 퇴적 하 지만 유전체 표면 상 에 는 그렇 지 않 다 . 보다 구체 적 으로 , 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 의 금속 은 본 실시 예 에 따라 Ru 막 이 고 , 이 는 100 ℃ 와 200 ℃ 사이 범위 의 퇴적 온도 로 Ru 3 CO 12 를 포함 하 는 전구체 를 사용 하 여 CVD 프로세스 를 포함 하 는 바텀 업 퇴적 에 의해 형성 된다 . 다른 실시 예 에서 , 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 는 Co , W , Ru , 또는 이 들 의 조합 , 예컨대 Co - W - Ru 기반 의 합금 을 포함 할 수 있 다 . 실시 예 에서 , 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 는 향상 된 높 은 종횡비 충전 및 감소 된 접촉 저항 을 위해 조성 이 아래 의 금속 특징 부 ( 214 ) 와 는 상이 하 다 .