상기 와 같 은 종래 기술 에 따르 면 , 지지 로드 의 양측 단부 에 안착 된 최 외곽 웨이퍼 들 과 고정 로드 들 사이 의 간격 이 상대 적 으로 넓 게 유지 됨 으로서 , 해당 구간 에서 세정액 의 흐름 이 정체 되 어 세정 성능 이 떨어지 고 , 지지 로드 에 구비 된 슬롯 의 위치 별로 웨이퍼 들 의 세정 성능 편차 가 크 게 나타날 수 있 다 .