그러나 , 이 들 배기가스 에 는 반응 생성물 의 분해 에 의해 생성 되 는 미립자 가 다량 함유 되 어 있 어 , 배기가스 나 진공 펌프 또는 배기가스 처리 장치 로 이동 되 는 과정 에서 배관 의 내부 에 침적 되 거나 고착 되게 된다 . 특히 , 프로세스 가스 에 사용 되 는 화합물 중 일부 는 배기 되 는 과정 에서 온도 의 저하 등 과 같 은 외부 변화 에 의해 빠르 게 파우더 화 되 면서 배관 의 내부 둘레 에 침적 되 거나 고착 되게 된다 .