버너 ( 41 ) 를 통해 연소 챔버 ( 42 ) 내 로 도입 된 배기 가스 는 선회 화염 에 의해 연소 된다 . 따라서 , 배기 가스 내 에 함유 된 실란 , 디 실란 등 과 같 은 가연 성 가스 가 산화 분해 된다 . 이 때 , 가연 성 가스 의 연소 에 의해 , 실리카 ( SiO 2 ) 가 부산물 로서 생성 된다 . 이 실리카 는 미세 먼지 로서 배기 가스 내 에 존재 한다 .