도 2 및 도 3 을 참조 하 면 본 발명인 슬러리 공급 장치 는 케 비 넷 ( 700 ) 상 에 슬러리 공급 장치 를 구성 하 는 각 구성 요소 들 이 수납 되 는 수납공간 이 형성 되 며 , 수납 공간 상 에 슬러리 공급 장치 를 구성 하 는 각 구성 요소 들 이 구비 되 어 하나 의 슬러리 공급 모듈 을 형성 할 수 있 다 . 상세히 설명 하 면 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 수납 공간 이 제 1 수납공간 ( S 1 ) 과 , 제 2 수납공간 ( S 2 ) 과 , 제 3 수납공간 ( S 3 ) 과 , 제 4 수납공간 ( S ) 으로 구분 되 고 , 각각 의 수납 공간 상 에 슬러리 공급 장치 를 구성 하 는 연마 액 탱크 ( 100 ) , 공급 부 ( 200 ) , 순환 펌프 ( 300 ) , 제 1 순환 부 ( 500 ) , 제 2 순 화부 ( 500 ) , 제 1 밀도 측 정부 ( 600 ) 가 구비 되 어 슬러리 공급 장치 ( 1000 ) 가 외부 와 격리 된 형태 를 가질 수 있 게 한 것 이 다 .