실시 예 1 의 포토 마스크 에 의한 전사 상 에서 는 , 참고 예 1 과 마찬가지 로 약 2 . 4 ㎛ 정도 의 극히 미세 한 TFT 채널 을 형성 할 수 있 음 과 함께 , 레지스 트 패턴 단면 의 각도 θ 가 비 교예 1 에 비하 여 충분히 크다 ( 수직 에 가깝 다 ) 는 점 에서 , CD 의 변동 이 작 고 , 면 내 에 있 어서 의 CD 분포 를 작 게 할 수 있 다 ( 도 3 의 ( d - 4 ) 참조 ) .