지지 유닛 ( 120 ) 은 하우징 ( 110 ) 의 내부 하측 영역 에 설치 되 는 것 이 다 . 이러 한 지지 유닛 ( 120 ) 은 정전기력 을 이용 하 여 기판 ( W ) 을 지지 할 수 있 다 . 그러나 본 실시 예 가 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 지지 유닛 ( 120 ) 은 기계 적 클램 핑 ( mechanical clamping ) , 진공 ( vacuum ) 등 과 같 은 다양 한 방식 으로 기판 ( W ) 을 지지 하 는 것 도 가능 하 다 .