전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 11 , G 21 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 201 ) 를 제어 하 여 , 로드 로크 실 ( 301 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 처리 장치 ( 101 ) 에 반송 시킨다 . 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 11 , G 21 ) 를 닫 고 , 처리 장치 ( 101 ) 를 동작 시킴 으로써 , 처리 장치 ( 101 ) 에서 웨이퍼 ( W ) 를 실리콘 함유 가스 에 폭로 하 는 공정 S 11 을 행한다 .