세라믹스 판 ( 1010 ) 의 형성 재료 로 는 , 여러 가지 세라믹스 가 사용 될 수 있 지만 , 강도 나 내마모성 , 내 플 라즈 마성 , 후술 하 는 베이스 판 ( 1020 ) 의 형성 재료 와 의 관계 등 의 관점 에서 , 예 를 들 어 , 산화알루미늄 ( 알루미나 , Al 2 O 3 ) 또는 질화알루미늄 ( AlN ) 을 주성분 으로 하 는 세라믹스 가 사용 되 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 여기 서 말 하 는 주성분 이란 , 함유 비율 ( 중량 비율 ) 이 가장 많 은 성분 을 의미 한다 .