제 1 노광 장치 ( EX 3 ) 및 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 는 , 반송 장치 ( 90 ) 에 의해 반송 된 외경 이 500 ㎜ 를 초과 하 는 크기 의 플랫 패널 표시 소자 용 의 기판 상 에 , 조명계 로부터 의 노광 용 조명 광 에 의해 조명 되 는 마스크 의 패턴 을 , 투영 광학계 를 통하 여 전사 노광 한다 . 제 1 노광 장치 ( EX 3 ) 또는 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 의해 노광 된 기판 은 , 반송 장치 ( 90 ) 에 의해 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD 2 ) 가 구비 하 는 현상 부 ( D ) 로 반송 된다 .