도 45 중 에서 는 , 각각 검출 빔 이 조사 되 는 복수 의 검 출점 이 개별 적 으로 도 시 되 지 않 고 , 조사 계 ( 90 a ) 및 수광 계 ( 90 b ) 사이 에서 X 축 방향 으로 연장 되 는 가늘 고 긴 검출 영역 ( 빔 영역 ) ( AF ) 으로서 도시 되 어 있 다 . 이 검출 영역 ( AF ) 은 , X 축 방향 의 길이 가 웨이퍼 ( W 1 , W 2 ) 의 직경 보다 약간 길 게 설정 되 어 있 기 때문 에 , 웨이퍼 를 Y 축 방향 으로 1 회 스캔 하 는 것 만 으로 , 웨이퍼 의 거의 전체 면 에서 Z 축 방향 의 위치 정보 ( 면 위치 정보 ) 를 계측 할 수 있 다 . 또한 , 검출 영역 ( AF ) 은 , Y 축 방향 에 관하 여 , 액침 영역 ( 14 ) ( 노광 영역 ( IA ) ) 과 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 , AL 22 , AL 23 , AL 24 ) 의 검출 영역 사이 에 배치 되 어 있 기 때문 에 , 다점 AF 계 와 얼라이먼트 계 에서 그 검출 동작 을 병행 하 여 실시 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 다점 AF 계 는 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 등 에 형성 되 어 있 다 .