도 5 a 에 도시 된 것 처럼 , 전기 결함 여부 의 검사 를 위하 여 패널 ( P ) 은 워크 테이블 ( W ) 로 이송 되 어 예 를 들 어 진공 흡착 장치 와 같 은 장치 위 에 위치 하 게 된다 . 패널 ( P ) 의 검사 를 위한 프로브 유닛 ( 50 ) 은 패널 푸 셔 ( 52 ) 를 가지 고 그리고 패널 ( P ) 의 접촉 패드 ( P 1 ) 는 프로브 유닛 ( 50 ) 의 아래쪽 위치 에서 한 쌍 의 패널 푸 셔 ( 52 ) 의 사이 에 위치 하 게 된다 . 패널 ( P ) 이 검사 를 위하 여 워크 테이블 ( W ) 에 고정 되 는 경우 특히 대형 패널 ( P ) 은 자체 하중 으로 인하 여 중앙 부분 의 아래쪽 휨 ( B ) 이 발생 하 고 그리고 이 와 동시 에 패널 ( P ) 의 가장 자리 부분 이 워크 테이블 ( W ) 과 밀착 하 지 못하 여 갭 ( G ) 이 형성 될 수 있 다 . 이 와 같 은 상태 에서 도 5 b 에 도시 된 것 처럼 패널 ( P ) 의 접촉 패드 ( P 1 ) 를 프로브 ( 21 ) 에 접촉 시키 기 위하 여 워크 테이블 ( W ) 이 위 로 상승 하 면서 패널 ( P ) 을 프로브 유닛 ( 50 ) 에 접근 시킨다 . 그리고 패널 ( P ) 의 가장 자리 가 먼저 패널 푸 셔 ( 52 ) 에 접촉 하 게 된다 . 이 와 같 은 접촉 과 함께 도 5 b 에 도시 된 것 처럼 패널 푸 셔 ( 52 ) 의 탄성체 ( 521 ) 또는 가압 수단 ( 도 4 참조 ) 에 의한 탄성력 으로 인하 여 패널 ( P ) 은 아래쪽 방향 의 압력 을 받 기 시작 한다 . 프로브 ( 21 ) 보다 먼저 패널 ( P ) 의 가장 자리 에 접촉 하 는 패널 푸 셔 ( 52 ) 의 몸체 가 상하 로 이동 가능 하 도록 가이드 플레이트 에 의하 여 프로브 블록 에 결합 되 거나 ( 도 3 참조 ) 또는 가압 수단 이 탄성 소재 로 이루 어 지진다 ( 도 4 참조 ) . 이 로 인하 여 패널 ( P ) 이 최초 로 패널 푸 셔 ( 52 ) 에 접촉 한 이후 에 도 워크 테이블 ( W ) 은 탄성체 ( 521 ) 또는 가압 소재 가 가진 탄성력 으로 인하 여 일정 거리 만큼 상승 이 가능 하 다 . 패널 ( P ) 의 접촉 패드 ( P 1 ) 를 프로브 ( 21 ) 에 접촉 시키 기 위하 여 패널 ( P ) 이 패널 푸 셔 ( 52 ) 에 접촉 한 상태 에서 워크 테이블 ( W ) 이 계속 상승 하 고 그리고 이 에 따라 패널 푸 셔 ( 52 ) 에 의하 여 패널 ( P ) 에 가해 지 는 압력 은 점차 로 증가 한다 . 그리고 도 5 c 에 도시 된 것 처럼 워크 테이블 ( W ) 의 계속 적 인 상승 으로 인하 여 패널 푸 셔 ( 52 ) 의 패널 ( P ) 에 대한 압력 이 증가 하 고 갭 이 작아지 면서 패널 ( P ) 의 가장 자리 가 워크 테이블 ( W ) 에 밀착 된다 . 그리고 이 와 동시 에 패널 푸 셔 ( 52 ) 에 의하 여 패널 ( P ) 의 가장자리 부근 에 충분 한 압력 을 가하 여 패널 ( P ) 의 중앙부 에 형성 되 었 던 아래쪽 휨 ( 도 5 a 참조 ) 이 사라지 면서 패널 ( P ) 은 수평 방향 으로 평평 한 상태 로 워크 테이블 ( W ) 에 유지 된다 . 이후 워크 테이블 ( W ) 이 계속 상승 하 여 도 5 d 에 도시 된 것 처럼 패널 ( P ) 이 워크 테이블 ( W ) 에 완전히 밀착 된 상태 에서 프로브 ( 21 ) 가 접촉 패드 ( P 1 ) 에 접촉 하 게 된다 . 그리고 접촉 패드 ( P 1 ) 에 프로브 ( 21 ) 가 접촉 하 여 패널 ( P ) 의 전기 검사 의 신뢰 성 을 가지 게 된다 .