일 실시 예 에 따르 면 , 상기 반사체 는 상기 반도체 기판 의 상부 면 과 비 평행 ( non - parallel ) 한 반사면 을 포함 할 수 있 다 . 상기 반사체 는 상기 반도체 기 판 의 상부 면 에 대하 여 경사진 반사면 을 포함 할 수 있 다 . 이 경우 에 , 상기 각 반사체 들 은 균일 한 두께 를 가질 수 있 다 . 이 와 는 달리 , 상기 반사체 의 두께 는 옆 으로 갈수록 증가 될 수 있 다 . 이 와 는 다르 게 , 상기 반사체 는 격자 형태 ( grating - shaped ) 일 수 도 있 다 .