도 1 f 를 참조 하 면 , 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 을 미세 상 분리 ( microphase separate ) 시켜 상 분리 된 블록 공중 합체 층 ( 140 ′) 을 형성 한다 . 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 을 미세 상 분리 시키 는 것 은 , 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 내 의 블록 공중 합체 의 유리 전이 온도 ( Tg ) 보다 더 높 은 온도 에서 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 을 어닐링 하 여 수행 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 을 약 130 ∼ 190 ℃ 의 범위 내 에서 선택 되 는 온도 에서 약 1 ∼ 24 시간 동안 어닐링 할 수 있 다 . 또는 , 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 을 미세 상 분리 시키 는 것 은 상기 블록 공중 합체 층 ( 140 ) 이 형성 된 기판 을 톨루엔 증기 ( toluene vapor ) 로 포화 된 분위기 로 유지 되 는 챔버 내 에서 소정 시간 동안 유지 시키 는 공정 을 이용 할 수 도 있 다 .