또한 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 온도 측 정부 ( 15 ) 가 , 유지 부 ( 20 ) 와 , 테이블 ( 30 ) 과 의 온도 를 측정 하 고 , 그 평균 을 수지 점착 기 ( 1 ) 의 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 로 하 고 있 다 . 이 때문 에 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 로서 , 액상 수지 ( 301 ) 의 온도 를 보다 정확 하 게 파악 하 여 , 이 동부 ( 50 ) 에 설정 하 는 이 동량 ( 27 ) 을 최적 화 할 수 있 기 때문 에 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 의 변동 에 기인 하 여 생길 가능 성 이 있 던 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 의 두께 변동 을 보다 매우 적합 하 게 저감 할 수 있 다고 하 는 작용 효과 를 발휘 한다 .