삼성전자 는 EUV 기술 이 반도체 미세 공정 의 핵심 이 될 것 으로 판단 하 고 있 다 . 반도체 는 제한 된 크기 안 에 얼마나 미세 하 게 회로 를 새겨 넣 는지 가 성능 · 전력 효율 을 좌우 한다 . '○○ 나노 ' 공정 에서 ○○ 의 숫자 가 낮 아 질수록 미세화 가 진행 된 것 . 5 나노 , 3 나노 등 으로 지속 적 으로 미세화 를 하 기 위해서 는 기존 의 불화 아르곤 ( ArF ) 을 이용 하 는 방법 으로 는 한계 가 있 고 EUV 를 활용 해야 한다는 게 업계 의견 이 다 .