방법 은 또한 , 기판 의 표면 으로부터 세정 재료 내 에 포집 된 세정 재료 및 오염물 을 제거 하 기 위해 제어 된 속도 로 기판 의 표면 에 린스 유체 를 도포 하 는 동작 303 을 포함 한다 . 린스 유체 의 제어 된 속도 는 린스 유체 에 의해 충격 을 받 을 때 세정 재료 로 하여금 탄성 방식 으로 작용 하 게 하 도록 설정 된다 . 일 실시 형태 에서 , 린스 유체 속도 는 약 0 . 1 m / s 에서 약 100 m / s 까지 의 범위 내 에서 제어 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 린스 유체 속도 는 약 1 m / s 로 제어 된다 . 세정 효율 성 에 대한 린스 유체 운동량 의 상당 한 영향 으로 인해 , 린스 유체 는 기판 의 표면 에 세정 재료 를 도포 한 직후 에 기판 의 표면 에 도포 될 수 있 다 .