플래시 광 의 조사 시간 은 0 . 1 밀리 세컨드 이상 100 밀리 세컨드 이하 의 극히 짧 은 것 이 며 , 플래시 광 의 조사 가 개시 된 시각 ( t 2 ) 으로부터 그 조사 시간 이 경과 한 시각 ( t 3 ) 에 는 플래시 램프 ( FL ) 가 소등 하 게 된다 . 플래시 램프 ( FL ) 의 발광 이 종료 된 후 에 도 할로겐 램프 ( HL ) 는 잠시 계속 하 여 점등 되 어 있 다 . 할로겐 램프 ( HL ) 는 시각 ( t 3 ) 보다 후 의 시각 ( t 4 ) 에 소등 한다 . 따라서 , 시각 ( t 4 ) 에 할로겐 램프 ( HL ) 에 의한 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 예비 가열 이 종료 되 게 된다 . 또한 , 플래시 램프 ( FL ) 의 조사 개시 시각 ( t 2 ) 으로부터 조사 종료 시각 ( t 3 ) 까지 의 시간 은 극히 짧 기 때문 에 , 도 10 에서 는 도시 의 형편 상 , 시각 ( t 2 ) 과 시각 ( t 3 ) 을 겹쳐서 기재 하 고 있 다 .