한편 , 열처리 장치 ( 900 ) 의 구조 는 도 15 및 도 16 에 제한 되 지 않 는다 . 몇몇 실시 예 에서 , 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 ) 의 열처리 부 ( HA ) 는 열처리 장치 ( 900 ) 의 제 3 본 체부 ( 930 ) 가 밀폐 된 공간 을 형성 하 고 , 제 3 본 체부 ( 930 ) 가 형성 하 는 공간 내 에 열처리 유닛 ( 950 ) 이 배치 된 구조 를 가질 수 도 있 다 .