" 도전 성막 ( 4 ) 중 의 제 1 입자 의 비율 ( "" 면적 점유 율 "") 의 측정 방법 으로서 는 ", 예 를 들 면 , FE － AES ( 전계 방사형 오제이 전자 분광 분석 장치 ) , ESCA ( Electron Spectroscopy for Chemical Analysis ) 및 XPS ( X - ray 　 Photoelectron 　 Spectroscopy ) 로 이루어진 그룹 으로부터 선택 된 방법 이 포함 될 수 있 다 . 즉 , 도전 성막 ( 4 ) 표면 의 2 차원 적 인 표면 해석 을 실시 함 으로써 상기 조성 을 측정 할 수 있 다 . ESCA 나 XPS 는 , 도전 성막 ( 4 ) 표면 의 단위 면적 당 ( 전형 적 으로 는 1 ㎛ × 1 ㎛ 의 크기 를 가진 정방 형 의 영역 으로서 정의 할 수 있 음 ) 의 화학 결합 상태 를 맵 핑 함 으로써 측정 할 수 있 다 .