실시 예 4 에서 는 , 5 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 , B 1 , B 2 ) 은 서로 같 은 도포 처리 를 행하 고 있 었 지만 , 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 실시 예 5 에서 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 3 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 , 예 를 들 면 3 중 의 막 ( 하 층막 , 중간막 , 포토레지스트 막 ) 을 형성 한다 . 또한 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 2 개 의 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 , 예 를 들 면 2 중 의 막 ( 하 층막 , 중간막 ) 을 형성 한다 .