소스 전극 ( SE ) , 드레 인 전극 ( DE ) 및 층간 절 연막 ( ILD ) 상 에 는 패 시베이 션 막 ( 600 ) 이 배치 될 수 있 다 . 패 시베이 션 막 ( 600 ) 은 층간 절 연막 ( ILD ) 을 부분 적 으로 덮 을 수 있 다 . 또한 , 패 시베이 션 막 ( 600 ) 은 드레 인 전극 ( DE ) 을 부분 적 으로 노출 시키 도록 형성 될 수 있 다 .