위 와 같이 이루어지 는 ' RuOx 단위 사이클 ' 과 ' WOx 단위 사이클 ' 을 각각 m 회 및 n 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 므로써 , 일정 두께 의 RuOx 와 WOx 를 각각 증착 하 고 , ' RuOx 단위 사이클 ' 과 ' WOx 단위 사이클 ' 을 합친 ( Ru 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( W 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 단위 사이클 을 Q 회 반복 진행 하 여 ' W 가 도핑 된 RuOx ' 의 총 두께 를 결정 한다 .