도 16 및 도 17 을 참조 하 여 설명 한 바 와 같 은 통기 보어 를 갖 는 웨이퍼 를 채용 하 는 방법 은 , 도 9 내지 도 13 을 참조 하 여 설명 한 것 과 같 은 희생 재료 를 채용 할 수 도 있 다 . 이러 한 방법 에서 , 희생 재료 는 다 이싱 테이프 또는 뒷면 에서 통기 보어 를 메우 는 다른 구조 부 의 제거 후 에 통기 보어 를 통해 희생 재료 를 배출 함 으로써 제거 된다 .