데이터 도전 층 ( 140 ) 상 에 는 패 시베이 션 층 ( 164 ) 이 배치 된다 . 패 시베이 션 층 ( 164 ) 은 데이터 도전 층 ( 140 ) 을 덮 어 보호 하 는 역할 을 한다 . 패 시베이 션 층 ( 164 ) 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 하프늄 산화물 , 알루미늄 산화물 , 티타늄 산화물 , 탄 탈륨 산화물 , 아연 산화물 등 의 무기 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 패 시베이 션 층 ( 164 ) 은 표시 영역 ( DPA ) 에 형성 되 며 , 비 표시 영역 ( NDA ) 에 는 적어도 부분 적 으로 미 형성 될 수 있 다 . 패 시베이 션 층 ( 164 ) 은 적어도 패드 영역 ( PDA ) 의 제 1 게이트 도전 층 ( 130 ) 상 에 는 형성 되 지 않 아 그 와 비중 첩 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 패 시베이 션 층 ( 164 ) 은 패드 영역 ( PDA ) 에서 상대 적 으로 작 은 두께 를 갖 는 제 2 구간 ( 163 _ 2 ) 의 층간 절 연막 ( 163 ) 과 는 비 중첩 할 수 있 다 . 패 시베이 션 층 ( 164 ) 의 일 단부 ( 일 측면 ) 는 층간 절 연막 ( 163 ) 의 제 1 단차 부 ( STP 1 ) 에 정렬 될 수 있 다 .