본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위하 여 창출 된 것 으로서 , 웨이퍼 유지 구멍 을 확대 하 여 , 유지 구멍 내부 에 웨이퍼 를 고정 하 는 홀더 ( Holder ) 를 이용 하 여 웨이퍼 외 주부 ( Edge ) 의 표면 거칠 기 ( Roughness ) 변형 을 방지 하 도록 한 양면 연마장 치 의 캐리어 플레이트 구조 를 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .