도 1 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 오버레이 계측 설비 를 개략 적 으로 나타내 는 다이아 그램 이 고 , 도 2 는 오버레이 패턴 의 평면도 이 고 , 도 3 은 도 2 의 Ⅰ ∼ Ⅰ ' 선상 을 절취 하 여 나타낸 단면도 이 고 , 도 4 a 내지 도 4 c 는 도 1 의 오버레이 계측 설비 를 이용 한 오버레이 패턴 영상 의 복원 을 단계 적 으로 나타내 는 도면 이 다 .