도 27 은 소수 화제 에 의해 소수 화 된 기판 ( W ) 에 순수 가 공급 되 는 전후 에서 의 기판 ( W ) 에 대한 처리 액 의 접촉각 을 나타내 는 그래프 이 다 . 도 28 은 소수 화제 에 의해 소수 화 된 기판 ( W ) 에 순수 또는 IPA 를 공급 한 후 에 그 기판 ( W ) 을 건조 시켰 을 때 의 패턴 ( P ) 의 도괴 율 을 나타내 는 그래프 이 다 . 도 28 에서 의 비 교예 의 도괴 율 은 도 25 의 처리 예 의 제 4 용제 린스 처리 에 있 어서 , 건조제 대신 에 순수 를 사용 하 였을 때 의 값 이 다 . 한편 , 도 28 에서 의 실시 예의 도괴 율 은 도 25 의 처리 예 의 제 4 용제 린스 처리 에 있 어서 , 건조제 의 일례 인 IPA 를 상용 하 였을 때 의 값 이 다 .