도 13 의 ( a ) 에 도시 되 는 제 5 변형 예 와 같이 , 상기 실시 형태 에 있 어서 , MEMS 미러 ( 1 ) 는 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) 을 구비 하 지 않 아도 된다 . 환언 하 면 , 제 5 변형 예 에서 는 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 에 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) 이 마련 되 지 않 고 , 제 2 가동 부 ( 4 ) 에 만 구동 코일 ( 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) ) 이 마련 되 어 있 다 . 제 5 변형 예 에서 는 , 공진 주파수 로 의 제 1 가동 부 ( 3 ) 의 공진 을 이용 함 으로써 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 생기 는 로렌츠 력 에 의해 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 를 공진 주파수 레벨 로 제 1 축선 X 1 둘레 에서 요동 시킨다 . 구체 적 으로 는 , 제 1 축선 X 1 축 둘레 에 있 어서 의 제 1 가동 부 ( 3 ) 의 공진 주파수 와 동일 한 주파수 의 구동 신호 가 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 입력 되 면 , 제 2 가동 부 ( 4 ) 가 제 1 축선 X 1 둘레 로 당해 주파수 로 근소 하 게 진동 한다 . 이 진동 이 제 1 연결부 ( 5 ) 를 통해서 제 1 가동 부 ( 3 ) 에 전해짐 으로써 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 를 제 1 축선 X 1 둘레 로 당해 주파수 로 요동 시킬 수 있 다 . 제 2 가동 부 ( 4 ) 는 상기 실시 형태 의 경우 와 마찬가지 로 , 제 2 축선 X 2 둘레 에서 요동 ( 회동 ) 된다 . 즉 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 는 , 제 2 가동 부 ( 4 ) 를 진동 시킴 으로써 제 1 축선 X 1 둘레 로 제 1 가동 부 ( 3 ) 를 요동 시키 기 위한 신호 , 및 제 2 축선 X 2 둘레 로 제 2 가동 부 ( 4 ) 를 요동 시키 기 위한 신호 의 2 개 의 신호 가 입력 된다 . 이러 한 제 5 변형 예 에 의해서 도 , 상기 실시 형태 와 마찬가지 로 , 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 의 저항 값 , 및 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 에 발생 하 는 기전력 에 기초 하 여 , 자석 ( 30 ) 의 온도 에 따라 변화 하 는 자석 ( 30 ) 의 자속 밀도 를 고려 하 고 , 그것 을 근거 로 , 미러 ( 7 ) 의 편 향각 에 관한 정보 를 정밀 도 좋 게 취득 할 수 있 다 . 제 5 변형 예 에서 는 , 한 쌍 의 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 이 제 2 가동 부 ( 4 ) 에 마련 되 어도 된다 . 이 경우 , 한쪽 의 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 는 , 제 2 가동 부 ( 4 ) 를 진동 시킴 으로써 제 1 축선 X 1 둘레 로 제 1 가동 부 ( 3 ) 를 요동 시키 기 위한 신호 가 입력 되 고 , 다른 쪽 의 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 는 , 제 2 축선 X 2 둘레 로 제 2 가동 부 ( 4 ) 를 요동 시키 기 위한 신호 가 입력 된다 .