또 다른 실시 예 에 있 어서 는 도 9 에 도시 된 바 와 같이 빔 분포 조정부 ( 125 ) 를 빔 시준 부 ( 110 ) 이후 에 직접 배치 하 고 , 빔 분포 조정부 ( 125 ) 를 도 5 d 에 도시 된 바 와 같 은 빔 분포 를 형성 할 수 있 는 패턴 이 그 표면 에 형성 되 어 있 는 렌즈 로 구현 함 으로써 빔 균질 화부 ( 120 ) 를 생략 할 수 도 있 다 .