도 8 a 를 참조 하 건대 , 실선 은 상기 제 1 산화 이리듐 막 ( 16 ) 의 성막 직후 의 상태 를 , 또한 파선 은 상기 도 5 e 의 열처리 공정 을 실시 한 후 의 상태 에 대응 하 고 있 지 만 , 이 들 을 비교 하 면 , 도 5 g 의 열처리 에 의해서 는 , X 선 회절 패턴 에 피크 위치 및 2 θ 각 ( 角 ) 의 어느 쪽 에서 도 약간 의 변화 밖에 생기 지 않 고 , 회절 피크 도 화학량론 조성 의 IrO 2 막 의 회절 피크 에 거의 일치 한다는 것 을 알 수 있 다 . 이 는 상기 산화 이리듐 막 ( 16 ) 이 이미 도 5 e 의 열처리 공정 에 의해 완전히 결정 화 하 고 있 는 것 을 나타내 고 있 다 .