상기 제 1 슬러리 조성물 은 절 연막 ( 105 ) 에 대한 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 연마 선택 비 가 높 은 슬러리 조성물 로서 , 절 연막 ( 105 ) 을 연마 정지 막 으로 사용 하 여 상변화 물질 층 ( 115 ) 을 빠른 속도 로 연마 하 는 데 사용 된다 . 상기 제 1 연마 공정 에서 는 절 연막 ( 105 ) 의 상면 위쪽 에 형성 되 어 있 는 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 벌크 부분 이 제거 되 며 , 절 연막 ( 105 ) 의 상면 이 부분 적 으로 노출 될 때 까지 혹은 절 연막 ( 105 ) 의 상면 이 노출 되 지 않 고 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 일부 가 남 아 있 을 때 까지 수행 할 수 있 다 .