도 6 a , 도 6 c , 도 7 a 내지 도 7 i , 도 8 a 내지 도 8 c , 도 9 a , 도 10 a 내지 도 10 c , 도 12 a 내지 도 12 c , 도 14 a , 및 도 16 a 는 본 발명 의 다른 기술 적 사상 에 의한 실시 예 들 에 따른 집적회로 소자 의 제조 방법 을 도시 한 확대 단면도 들 이 고 , 도 6 b , 도 6 d , 도 7 j , 도 8 d , 도 9 b , 도 10 d , 도 11 , 도 12 d , 도 13 , 도 14 b , 도 15 , 도 16 b , 도 17 , 도 18 , 도 19 , 및 도 20 은 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 다른 실시 예 들 에 따른 집적회로 소자 를 도시 한 확대 단면도 들 이 다 .