ITO 막 ( 52 ) 은 , 금속 함 유막 의 일례 이 다 . ITO 막 ( 52 ) 은 , 인듐 의 산화물 에 한정 되 지 않 고 , 별개 의 원소 가 불순물 로서 도핑 되 어 있 는 것 이 나 , 다른 조성 을 갖 는 금속 함 유막 이 어도 된다 . 예 를 들 어 In - Ga - Zn - O 나 , In 을 포함 하 지 않 는 ZnO 등 이 어도 된다 . 또한 , 그 들 막 에 의한 적층 구조 여도 된다 . 유기 막 ( 54 ) 은 예 를 들 어 포토레지스트 이 며 , 리소그래피 공정 에 의해 회로 패턴 이 형성 된다 .