도 2 를 참조 하 면 기상 증착 장치 ( 500 ) 는 복수 의 모듈 ( A , B , C ) , 수 용부 ( 520 ) , 스테이지 ( 505 ) , 마스크 ( 510 ) 및 구동 부 ( 515 ) 를 포함 한다 . 복수 의 모듈 ( A , B , C ) 각각 은 본 체부 ( 130 , 230 , 330 ) , 제 1 주 입부 ( 141 , 241 , 341 ) , 제 2 주 입부 ( 142 , 242 , 342 ) , 플라 즈 마 발생 부 ( 190 , 290 , 390 ) , 슬릿 부 ( 151 , 251 , 351 ) 및 배기 포트 ( 190 , 290 , 380 ) 를 포함 한다 .