도 5 a 를 참조 하 면 , 캐 패 시터 는 , 하부 전극 ( 101 ) , 하부 전극 ( 101 ) 상의 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 가 나노 스케일 단위 로 혼합 되 어 있 는 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) ( 102 ) , [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) ( 102 ) 상 의 상부 전극 ( 103 ) 으로 구성 된다 .