단계 ( 418 ) 에서 , 제 2 수직 합성 반강자성 층 ( 526 ) 이 제조 된다 . 제 2 수직 합성 반강자성 층 ( 526 ) 의 제조 ( 단계 ( 418 ) ) 는 논의 될 바 와 같이 다수 의 단계 들 을 포함 하 고 , 자기 터널 접합 ( 530 ) 의 기준 층 ( 532 ) 의 제조 를 포함 한다 . 단계 ( 420 ) 에서 , Co 층 ( 514 ) 이 증착 된다 . 일 실시 예 에서 , Co 층 ( 514 ) 은 0 . 3 나노미터 의 두께 를 갖 는 박막 이 고 , 다른 실시 예 들 에서 , 0 . 1 내지 1 . 0 나노미터 의 두께 를 가질 수 있 다 . 그 후 , 단계 ( 420 ) 에서 , Co / Pt 다층 ( 516 ) 이 증착 된다 . 일 실시 예 에서 , Co / Pt 다층 ( 516 ) 은 0 . 6 나노미터 의 두께 를 갖 는 Co 의 박막 및 0 . 4 나노미터 의 두께 를 갖 는 Pt 의 박막 을 포함 한다 . 다른 실시 예 들 에서 , Co 의 박막 은 0 . 1 내지 1 . 0 나노미터 의 두께 를 가질 수 있 는 반면 , Pt 의 박막 은 0 . 1 내지 1 . 0 나노미터 의 두께 를 가질 수 있 다 . 또한 , Co / Pt 다층 ( 516 ) 은 본원 에서 설명 된 바 와 같이 다수 의 Co / Pt 층 들 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , Co / Pt 다층 ( 516 ) 은 위 에서 설명 된 두께 성질 들 을 갖 는 2 개 의 Co / Pt 다층 들 을 갖 는다 . 단계 ( 422 ) 에서 Co / Pt 다층 ( 516 ) 을 증착 한 후 , 본원 에서 설명 된 방법 은 단계 ( 424 ) 에서 코발트 층 ( 518 ) 을 증착 한다 . 일 실시 예 에서 , Co 층 ( 518 ) 은 0 . 6 나노미터 의 두께 를 갖 는 박막 이 고 , 다른 실시 예 들 에서 , Co 층 ( 518 ) 은 0 . 1 내지 1 . 0 나노미터 범위 의 두께 를 가질 수 있 다 . 함께 , Co 층 ( 514 ) , Co / Pt 층 ( 516 ) 및 Co 층 ( 518 ) 은 자기 구조 를 형성 한다 . Co 층 ( 514 ) , Co / Pt 층 ( 516 ) 및 Co 층 ( 518 ) 의 결합 의 자기 방향 은 각각 의 층 의 평면 에 수직 으로 그리고 제 1 수직 합성 반강자성 층 ( 522 ) 의 자기 방향 에 대해 반평행 으로 고정 된다 .