따라서 본 실시 예 에 따른 상기 2 D 물질 증착 부 ( 130 ) 는 , 화학 적 증착 장치 또는 물리 적 증착 장치 중 에서 선택 될 수 있 다 . 이때 상기 2 D 물질 을 증착 할 수 있 는 열 적 화학 증착 ( Thermal CVD ) , 플라 즈 마 화학 증착 장치 ( PECVD ) , TPCVD , RTCVD , ICPCVD , LPCVD , APCVD , MOCVD , ALD 장치 중 에서 선택 되 는 어느 하나 인 것 이 바람직 하 다 .