주제 어 장치 ( 20 ) ( 도 10 참조 ) 는 , 액체 공급 장치 ( 5 ) 를 제어 하 여 , 액체 공급 관 ( 31 A ) 을 통해 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 에 액체 ( Lq ) 를 공급 함 과 함께 , 액체 회수 장치 ( 6 ) 를 제어 하 여 , 액체 회수 관 ( 31 B ) 을 통해 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 로부터 액체 ( Lq ) 를 회수 한다 . 이 때 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 공급 되 는 액체 ( Lq ) 의 양 과 회수 되 는 액체 ( Lq ) 의 양 이 항상 동일 해 지 도록 액체 공급 장치 ( 5 ) 와 액체 회수 장치 ( 6 ) 를 제어 한다 . 따라서 , 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 에 는 , 일정량 의 액체 ( Lq ) ( 도 1 참조 ) 가 항상 교체 되 어 유지 되 고 , 그것 에 의해 액침 영역 ( 14 ) ( 도 14 등 참조 ) 이 형성 된다 . 또한 , 투영 유닛 ( PU ) 의 하방 에 후술 하 는 계측 스테이지 ( MST ) 가 위치 하 는 경우 에 도 , 동일 하 게 선단 렌즈 ( 191 ) 와 계측 테이블 사이 에 액침 영역 ( 14 ) 을 형성 할 수 있 다 .