또한 , 복수 의 공정 에 대하 여 복수 의 모듈 에서 처리 를 행하 게 되 면 , 그 모듈 간 을 연결 하 기 위한 웨이퍼 를 반송 하 는 수단 이 필요 하 게 된다 . 이러 한 반송 수단 도 매우 비용 이 드 는 것 과 동시 에 , 메인 터 넌 스 하 기 위해서 는 , 모든 웨이퍼 처리 를 일단 정지 하 여 행하 게 되 기 때문 에 , 장치 의 가동 률 에 다 대한 영향 을 주 게 된다 .