일부 예 에 있 어서 , S - D 이송 서브시스템 은 로딩 데이터 를 이용 하 여 웨이퍼 를 이송 해야 하 는 위치 를 결정 할 수 있 다 . 다른 예 에서 는 S - D 이송 서브시스템 이 처리 시퀀스 데이터 를 이용 하 여 웨이퍼 를 이송 해야 하 는 위치 를 결정 할 수 있 다 . 또 다른 예 에서 는 S - D 이송 서브시스템 이 신뢰 도 데이터 를 이용 하 여 웨이퍼 를 이송 해야 하 는 위치 를 결정 할 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 프로시저 를 이용 할 수 도 있 다 .