일 실시 예 에서 , NO 생성 시스템 에 는 다음 기능 중 하나 이상 을 포함 하 는 하나 이상 의 이동식 카트리지 가 제공 된다 : 하우징 , 유입 플 라즈 마 에어 필터 , 송풍기 유량 유입 구 , 송풍기 유량 도관 , 송풍기 유량 배출구 , 유입 공기 스캐빈저 재료 , 인클로저 에어 필터 , 플라 즈 마 챔버 , 전극 조립 체 , 공기 펌프 , 송풍기 유량 측정 , 수동 환기 장치 유량 입 구 , 수동 환기 장치 유량 출구 , 수동 환기 회로 유량 측정 , 수동 / 백업 선택기 , 샘플 라인 연결 , 워터 트랩 , 워터 트랩 드레 인 , 이 중 NO 2 스캐빈저 경로 , 출구 체크 밸브 , 출구 필터 및 메모리 장치 .