본 발명 은 , 증착 챔버 내 에 실리콘 웨이퍼 를 제공 하 는 단계 와 , 실리콘 웨이퍼 를 400 ℃ 를 초과 하 는 온도 로 예열 하 는 단계 와 , 스퍼터 프로세스 에 의해 수소 를 함유 하 는 반사 방지 또는 패 시베이 션 코팅 을 증착 하 는 단계 를 포함 하 는 , 태양 전지 를 위한 반사 방지 및 / 또는 패 시베이 션 코팅 을 제조 하 는 방법 에 관한 것 이 며 , 또한 , 태양 전지 를 제조 하 기 위한 , 특히 , 반사 방지 및 / 또는 패 시베이 션 코팅 을 제조 하 기 위한 , 특히 전술 한 방법 을 실행 하 기 위한 코팅 장치 에 관한 것 으로서 , 이 코팅 장치 는 , 제 1 진공 챔버 , 제 2 진공 챔버 ( 2 ) , 제 1 및 제 2 진공 챔버 를 기재 된 순서 대로 통과 하 여 기판 ( 5 ) 을 전달 하 기 위한 전달 수단 ( 4 ) 을 포함 하 고 , 여기 서 , 제 1 진공 챔버 는 , 가열기 필라멘트 가 1800 ℃ 내지 3000 ℃ 의 온도 범위 를 갖 도록 가열 될 수 있 는 적어도 하나 의 적외선 방사 가열기 ( 16 ) 를 포함 하 며 , 제 2 진공 챔버 는 , 수소 를 비롯 한 반응 성 가스 를 도입 하 기 위한 가스 입 구 뿐 만 아니 라 타 겟 을 기화 하 기 위한 스퍼터 수단 ( 12 ) 을 포함 한다 .