도 14 에 도시 하 는 바 와 같이 , 내부 전극 ( 32 ) 의 두께 ( DS 3 ) 가 1 . 1 ㎛ 로 얇 은 경우 , 정전 용량 이 비교 적 높 고 , 거리 ( DS 1 ) 의 값 에 대하 여 유전율 의 변화 가 크 다 . 이 로부터 , 인덕 터 적층 부 ( 7 ) 에 있 어서 , 적층 체 ( 2 ) 의 표면 으로부터 인덕 터 확산 층 ( 6 D ) 으로 의 Li 의 확산 이 적 고 , 인덕 터 확산 층 ( 6 D ) 에서 의 Li 의 함유량 이 적 기 때문 에 , 인덕 터 층 의 기능 이 실질 적 으로 저해 되 었 다고 예상 된다 . 이 경우 , 정전 용량 의 값 을 비교 적 낮 고 , 거리 ( DS 1 ) 의 값 에 대하 여 안정 시키 기 위해서 는 거리 ( DS 1 ) 를 88 ㎛, 더욱 바람직 하 게 는 97 ㎛ 까지 크 게 할 필요 가 있 다 . 즉 , 인덕 터 적층 부 ( 7 ) 에서 , 계 면 ( P ) 으로부터 의 거리 를 100 ㎛ 이상 으로 할 필요 가 있 다 .