또한 , 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 의 한 번 의 도포 로 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 상면 ( L 1 a ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 전체 면 에 미리 정해진 두께 의 감광성 열 경화 수지 막 ( J 1 ) 을 형성 하 는 것 이 아니 라 , 소량 의 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 의 도포 와 건조 를 복수 회 반복 하 여 원 하 는 두께 의 감광성 열 경화 수지 막 ( J 1 ) 을 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 상면 ( L 1 a ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 전체 면 에 형성 하 여도 좋 다 .