도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 실시 형태 와 관련 되 는 웨이퍼 의 가공 방법 은 , 프레임 유닛 준비 단계 ( ST 1 ) 와 , 마스크 층 피복 단계 ( ST 2 ) 와 , 분할 예정 라인 가공 단계 ( ST 3 ) 와 , 프레임 유닛 유지 단계 ( ST 4 ) 와 , 차폐 단계 ( ST 5 ) 와 , 드라이 에칭 단계 ( ST 6 ) 를 구비 한다 .