히터 ( 12 ) 에 더 하 여 , 헤드 측 의 히터 ( 21 ) 와 스테이지 측 의 히터 ( 31 ) 도 온 으로 하 여 , 본딩 헤드 ( 2 ) 와 본딩 스테이지 ( 3 ) 에 보다 많 은 열 을 부여 하 여 , 에이징 작동 에 드 는 시간 을 단축 하 여도 좋 다 . 히터 ( 12 ) 는 본딩 스테이지 ( 3 ) 에 배치 하 지 않 고 , 헤드 측 의 히터 ( 21 ) 와 스테이지 측 의 히터 ( 31 ) 를 온 으로 하 여 , 본딩 헤드 ( 2 ) 와 본딩 스테이지 ( 3 ) 를 소정 시간 접촉 또는 계속 해서 이격 시켜 , 헤드 측 의 히터 ( 21 ) 와 스테이지 측 의 히터 ( 31 ) 에 의해서 만 가열 을 행하 는 에이징 작동 을 행하 도록 하 여도 좋 다 .