상기 보조 챔버 ( 200 ) 는 상기 챔버 ( 100 ) 의 하측 에 설치 되 는 것 으로 , 상기 챔버 ( 100 ) 의 하면 과 연통 된다 . 상기 보조 챔버 ( 200 ) 는 다 수개 의 프레임 을 조합 하 여 체결 부재 로 결합 되 고 , 수직 방향 으로 높이 를 갖 도록 구비 된다 . 상기 보조 챔버 ( 200 ) 의 높이 는 기판 의 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 전체 높이 에서 대략 절반 의 높이 를 갖 는다 . 이 보조 챔버 ( 200 ) 는 램프 ( 110 ) 에서 발생 되 어 집광 미러 ( 121 a , 121 b ) 를 통해 하측 방향 으로 전달 되 는 빛 의 경로 를 확보 해 주 는 역할 을 한다 . 뿐 만 아니 라 , 상기 보조 챔버 ( 200 ) 의 양측 에 는 각각 수 냉 순환 관 ( 210 a , 210 b ) 이 설치 된다 .