도 10 b 를 참조 하 면 , 블랙 포토레지스트 ( 80 ) 를 도포 한 후 , 부분 노광 마스크 를 사용 하 여 블랙 포토레지스트 ( 80 ) 를 노광 한다 . 여기 서 , 부분 노광 마스크 는 반투 과 마스크 이 거나 슬릿 마스크 ( 90 ) 일 수 있 으나 이하 에서 는 슬릿 마스크 ( 90 ) 를 사용 하 여 블랙 포토레지스트 ( 80 ) 를 노광 하 는 것 에 대해 설명 한다 .