본 발명 에 따른 초음 파수 분사 장치 ( 2 ) 는 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 척 테이블 ( 40 ) 에 유지 된 피 가 공물 ( W 1 ) 에 대하 여 절삭 유닛 ( 42 ) 에 의해 절삭 가공 을 실시 하 는 절삭 장치 ( 4 ) 에 배치 되 어 있 어도 좋 다 . 절삭 장치 ( 4 ) 의 척 테이블 ( 40 ) 은 , 예컨대 , 그 외형 이 원형 판형 이 고 , 포 러스 부재 등 을 포함 하 며 도시 하 지 않 는 흡 인원 에 연통 하 는 평탄 한 유지 면 ( 40 a ) 상 에서 피 가 공물 ( W 1 ) 을 흡인 유지 할 수 있 다 . 척 테이블 ( 40 ) 은 , X 축 방향 으로 왕복 이동 가능 하 며 , 축 방향 이 Z 축 방향 인 도시 하 지 않 는 회전축 을 축 으로 회전 가능 하 다 .