또한 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 에 는 그 상면 측 으로부터 도입 된 불활성 가스 가 흐르 는 불활성 가스 도입 로 ( 77 ) 가 , 상기 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 를 상하 방향 으로 관통 하 도록 마련 되 어 있 다 . 불활성 가스 도입 로 ( 77 ) 에 는 , 불활성 가스 공급원 ( 49 ) 으로부터 공급 되 는 불활성 가스 를 공급 하 는 불활성 가스 공급 관 ( 48 ) 이 접속 되 고 , 불활성 가스 분배 공간 을 향하 여 불활성 가스 를 공급 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 . 또한 도 8 중 의 도면 부호 ( V 48 ) 는 밸브 이 며 , 도면 부호 ( M 48 ) 는 유량 조 절부 이 다 .