도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 제 2 실시 형태 에 따른 건 조 처리 실 ( 23 ) 에서 는 , 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 ( 예컨대 , 연직 이격 거리 ) 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 서서히 짧아지 고 , 반송로 ( H 1 ) 의 도중 에서 기판 ( W ) 의 두께 이하 의 기판 반송 가능 한 소정 거리 로 일정 하 게 된다 . 한편 , 건조 처리 실 ( 23 ) 내 에 있 어서 , 반송 방향 ( A 1 ) 의 최상류 ( 상류 단 ) 에 위치 하 는 1 세트 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 는 , 기판 ( W ) 의 휘어짐 량 보다 길 어 진다 .