( 5 ) 또한 , 상기 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 비아 ( V 1 ) 및 제 2 비아 ( V 2 ) 는 , 각각 단수 의 비아 에 의해 구성 해도 되 고 , 도 8 에 예시 된 바 와 같이 , 복수 의 비아 의 그룹 에 의해 구성 해도 된다 . 복수 의 비아 로 함 으로써 , 접속 신뢰 성 이 높 아 진다 . 또 , 도 8 에서 는 , 실선 의 원형 으로 흡 착면 측 의 제 2 비아 ( V 2 ) 의 위치 를 나타내 고 , 파선 의 원형 으로 금속 베이스 측 의 제 1 비아 ( V 1 ) 의 위치 를 나타내 고 있 다 .