이상 과 같이 본 실시 형태 의 액추에이터 ( 18 ) 및 그것 을 구비 한 밸브 ( 1 ) 는 , 로드 ( 30 ) , 다시 말 해 스템 ( 14 ) 에 대한 피스톤 ( 38 ) 의 경사 를 방지 하 는 조심 기능 과 , 압력 실 ( 36 ) 의 실링 기능 양쪽 모두 를 실현 할 수 있 다 . 특히 , 밸브 ( 1 ) 를 ALD ( Atomic Layer Deposition ) 법 의 성막 기술 을 이용 한 반도체 제조 장치 에 이용 하 는 경우 , 막 두께 가 극소 가 되 는 것 에 따라 성막 회수 가 증가 한다 .