스케일 부재 ( 46 A , 46 C ) 는 , 회절 격자 가 Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 기 때문 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Y 축 방향 의 위치 계측 에 사용 된다 . 또한 , 스케일 부재 ( 46 B 및 46 D ) 는 , 회절 격자 가 X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 기 때문 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 축 방향 의 위치 계측 에 사용 된다 .