이 에 따라 , 상기 제 2 산화 공정 을 통해 분리 패턴 ( 234 ) 이 확장 되 어 , 상기 제 1 방향 으로 연장 되 면서 전하 트래핑 패턴 ( 232 ) 으로 변환 되 지 않 은 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 의 외측 벽 및 상하 면 을 커버 할 수 있 다 . 이때 , 확장 되 기 이전 의 분리 패턴 ( 234 ) 은 확장 된 이후 의 분리 패턴 ( 234 ) 과 대비 하 여 예비 분리 패턴 으로 지칭 될 수 도 있 다 . 상기 제 2 산화 공정 을 통해 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 이 상기 제 1 방향 으로 서로 이격 되 도록 복수 개 로 분리 될 수 있 다 .