본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 는 반응물 공급 라인 ( 130 ) 및 가스 분배 기 ( 132 ) 를 통해 산소 기상 전구체 를 반응 챔버 ( 12 ) 에 저장 및 디스 펜싱 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 산소 기상 전구체 는 오존 ( O 3 ) , 또는 산소 분자 ( O 2 ) 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .