도 5 a 내지 5 e 를 참조 하 여 , 스퍼터링 법 을 적용 한 종래 의 High － k 절 연막 의 제조 방법 에 대해 설명 한다 . 여기 서 , 참조 번호 201 은 단결정 실리콘 을 함유 하 는 기판 이 고 , 참조 번호 202 는 실리콘 산화 막 이 며 , 참조 번호 203 은 금속 및 실리콘 을 함유 하 는 막 이 고 , 참조 번호 204 는 금속 실리케이트 막 이 며 , 참조 번호 205 는 질화 금속 실리케이트 막 이 다 .