도 2 및 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 지지 플레이트 ( 110 ) 의 상부 면 ( 114 ) 에 는 포토 마스크 기판 ( S ) 을 수용 하 기 위한 수용 홈 ( 112 ) 이 형성 될 수 있 다 . 수용 홈 ( 112 ) 은 포토 마스크 기판 ( S ) 의 형상 에 대응 하 도록 정사각형 형상 을 가질 수 있 다 . 수용 홈 ( 112 ) 은 기판 ( S ) 을 지지 하 기 위한 지지 면 ( 113 ) 을 가질 수 있 다 . 지지 면 ( 113 ) 은 지지 플레이트 ( 110 ) 의 상부 면 ( 114 ) 보다 낮 게 위치 할 수 있 다 .