MEMS 의 기술 개발 추이 를 살펴보 면 , 1960 년 대 에 는 , 실리콘 기판 상 에 밸브 , 모터 , 기어 등 의 미세 기계 요소 를 2 차원 평면 으로 제작 하 였 다 . 1970 년 대 에 는 , 이방성 에칭 을 이용 한 여러 가지 디바이스 및 이 를 이용 한 3 차원 구조 의 광학 디바이스 , 잉크젯 , 홀로 그래피 등 이 연구 되 었 다 . 1980 년 대 에 는 , 표면 마이크 로 머시닝 ( surface micromachining ) 기술 을 이용 하 여 기판 을 에칭 하 지 않 고 , 기판 상 에 증착 된 희생 박막 을 에칭 한 박막 형태 의 3 차원 구조물 에 대한 연구 가 진행 되 었 다 . 이 후 , 현재 까지 LIGA ( LIthography , Galvanoformung / electroplating , Abformung / plastic modeling ) , 레이저 , 전기 방전 등 의 여러 제작 기술 이 개발 되 며 , 이 에 따라 MEMS 기술 이 꾸준히 발전 되 고 있 다 .