노치 정렬 부 ( 161 , 162 , 163 ) 는 지지 로드 ( 141 ) 에 지지 된 웨이퍼 들 ( W ) 의 노치 를 일렬 로 정리 하 기 위한 것 으로서 , 정렬 바 ( 142 ) 에 구비 된 복수 개 의 노치 정렬 돌기 들 ( 161 ) 과 , 정렬 바 ( 142 ) 를 이동 시키 기 위한 동력 을 제공 하 는 에어 실린더 ( 162 ) 와 , 에 어 실린더 ( 162 ) 의 동력 을 정렬 바 ( 142 ) 로 전달 하 는 동력 전달 부 ( 163 ) 로 구성 될 수 있 다 .