분리 패턴 ( 234 ) 의 상기 제 1 방향 으로 의 길이 는 이 에 대응 하 는 절연 패턴 ( 175 ) 의 상기 제 1 방향 으로 의 길이 보다 작 을 수 있 으며 , 터널 절연 패턴 ( 240 ) 으로부터 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 에 이르 기 까지 점차 감소 할 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 기판 ( 100 ) 상면 에 대한 분리 패턴 ( 234 ) 의 상면 혹은 하면 의 기울기 의 절대값 은 터널 절연 패턴 ( 240 ) 으로부터 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 을 향해 점차 감소 할 수 있 다 .