챔버 ( 40 ) 는 챔버 본체 ( 51 ) 와 덮개 체 ( 52 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 . 챔버 본체 ( 51 ) 는 저부 ( 51 a ) 및 대략 원통 형상 의 측벽 부 ( 51 b ) 를 구비 하 고 있 다 . 측 벽부 ( 51 b ) 의 하부 는 , 저부 ( 51 a ) 에 의해 폐색 되 어 있 고 , 측벽 부 ( 51 b ) 의 상부 는 개구 로 되 어 있 다 . 이 상부 의 개구 에 덮개 체 ( 52 ) 가 장착 되 어 폐색 된다 . 측 벽부 ( 51 b ) 와 덮개 체 ( 52 ) 는 , 도시 되 지 않 은 시일 부재 에 의해 밀봉 되 어 , 챔버 ( 40 ) 내 의 기밀 성 이 확보 되 어 있 다 .