도 2 b 를 참조 하 면 , 드레 인 콘 택 플러그 ( 210 ) 를 포함 하 는 식각 정지 막 ( 208 ) 상부 에 트렌치 절 연막 ( 212 ) 을 형성 한다 . 트렌치 절 연막 ( 212 ) 은 후속 하 는 공정 에서 다 마신 ( damascene ) 공정 을 이용 한 금속 배선 을 형성 하 기 위하 여 단차 를 제공 하 는 역할 을 하 며 , 산화 막 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .