이러 한 구조 에서 , 구 동판 ( 15 ) 의 이동 에 따른 커패시턴스 의 변화 는 도 5 a 의 그래프 와 같 다 . 즉 , 구동 콤 전극 ( 17 ) 이 TD 만큼 이동 하 여 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 완전 하 게 겹치 게 될 때 , 커패시턴스 가 최대 가 된다 . 도 2 a 에 도시 된 수직 콤 전극 구조 와 는 달리 , 도 4 a 에 도시 된 수직 콤 전극 구조 의 경우 에 는 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 구동 콤 전극 ( 17 ) 사이 에 초기 간극 이 없 기 때문 에 , 비 선형 거동 이 발생 하 지 않 는다 . 그러나 , 도 5 b 의 그래프 와 같이 , 구 동판 ( 15 ) 이 TD 이상 으로 이동 하 면 정전기력 Fe 의 방향 이 반전 되 므로 , 도 5 c 의 그래프 와 같이 구 동판 ( 15 ) 은 TD 이상 으로 이동 할 수 없 다 . 따라서 , 도 4 a 에 도시 된 수직 콤 전극 구조 의 경우 , 큰 변위 를 얻 을 수 없 다는 문제 가 있 다 .