본 발명 의 증착 장치 는 , 기판 상 에 소정 패턴 의 피막 을 형성 하 는 증착 장치 로서 , 상기 피막 을 형성 하 기 위한 증착 입자 를 방출 하 는 증착 원 개구 를 구비 한 증착 원 , 상기 증착 원 개구 와 상기 기판 사이 에 배치 된 증착 마스크 및 상기 증착 원 개구 와 상기 증착 마스크 사이 에 , 상기 기판 의 법선 방향 과 직교 하 는 제 1 방향 을 따라서 배치 된 복수 의 제어판 을 구비 한 증착 유닛 과 , 상기 기판 과 상기 증착 마스크 를 일정 간격 만큼 이격 시킨 상태 에서 , 상기 기판 의 법선 방향 및 상기 제 1 방향 과 직교 하 는 제 2 방향 을 따라서 , 상기 기판 및 상기 증착 유닛 중 한 쪽 을 다른 쪽 에 대하 여 상대 적 으로 이동 시키 는 이동 기구 를 구비 한다 . 상기 피막 의 적어도 일부 를 , 서로 상이 한 2 개 이상 의 제어판 간 공간 을 통과 한 증착 입자 에 의해 형성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .