실시 예 에서 , 패 터닝 된 기판 초점 계측 데이터 는 위 에서 설명 된 바 와 같이 모니터 기판 의 측정 된 초점 핑거 프린트 일 수 있 다 . 따라서 이미 캡 처 되 고 있 는 데이터 가 사용 될 수 있 다 . 따라서 , 측정 된 초점 핑거 프린트 는 , 투영 시스템 이미지 평면 편차 ( IPD ) 의 초점 기여 도 , 기판 높이 잔차 또는 오 차 맵 의 초점 기여 도 , 및 / 또는 패 터닝 디바이스 및 / 또는 기판 서보 제어 의 초점 기여 도와 같 은 , 리소그래피 장치 센서 정보 로부터 유도 된 것 과 같 은 리소그래피 장치 영향 에 대해 보정 되 어 리소그래피 장치 의 기본 적 인 초점 기여 도 에 이를 수 있 다 .