도 3 은 제 어부 ( 100 ) 의 하드웨어 구성 을 나타내 는 블록 도 이 다 . 제 어부 ( 100 ) 는 , 하나 또는 복수 의 제어 용 컴퓨터 에 의해 구성 된다 . 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 100 ) 는 , 회로 ( 120 ) 를 갖 는다 . 회로 ( 120 ) 는 , 적어도 하나 의 프로세서 ( 121 ) 와 , 메모리 ( 122 ) 와 , 스토리지 ( 123 ) 와 , 입출력 포트 ( 124 ) 를 포함 한다 . 스토리지 ( 123 ) 는 , 예컨대 하드 디스크 등 , 컴퓨터 에 의해 판독 가능 한 기억 매체 를 갖 는다 . 스토리지 ( 123 ) 는 , 가 열부 ( 20 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 지지 되 고 , 처리 공간 ( 34 ) 과 외부 공간 ( 35 ) 이 챔버 ( 30 ) 에 의해 이격 된 상태 에서 , 웨이퍼 ( W ) 의 둘레 가장자리 보다 밖 에서 처리 공간 ( 34 ) 내 의 가스 를 외주 배기 부 ( 40 ) 에 의해 배출 하 는 것 과 , 가 열부 ( 20 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 가열 시간 이 경과 함 에 따라 외주 배기 부 ( 40 ) 에 의한 가스 의 배출 량 을 늘리 는 것 을 열처리 유닛 ( U 2 ) 에 실행 시키 기 위한 프로그램 을 기억 하 고 있 다 . 예컨대 스토리지 ( 123 ) 는 , 가 열부 ( 20 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 가열 시간 이 경과 함 에 따라 외주 배기 부 ( 40 ) 에 의한 가스 의 배출 량 을 늘리 는 것 을 제 어부 ( 100 ) 에 실행 시키 기 위한 프로그램 을 기억 하 고 있 다 .