캐리어 보관 선반 ( 63 ) 및 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 가 , ID 블록 ( 2 ) 및 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 에 대하 여 수평 방향 으로 설치 되 면 , 그 만큼 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 풋 프린트 가 커진다 . 이러 한 점 에서 , 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 및 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 가 , ID 블록 ( 2 ) 및 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 중 적어도 어느 하나 와 평면 에서 보 았 을 때 에 겹치 도록 배치 된다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 풋 프린트 의 증가 를 억제 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 를 한정 된 풋 프린트 로 할 수 있 다 .