리소그래피 장치 는 2 개 ( 이중 스테이지 ) 이상 의 테이블 ( 예 를 들 어 , 2 이상 의 기판 테이블 ( WTa , WTb ) , 2 개 이상 의 패 터닝 디바이스 테이블 , 기판 테이블 ( WTa ) 과 , " 예 를 들 어 측정 및 / 또는 세정 등 을 가능 하 게 하 는데 전용 되 는 기판 이 없 는 투영 시스템 아래 의 테이블 ( WTb ) ) 을 갖 는 형태 로 구성 될 수 있 다 . 이러 한 "" 다중 스테이지 "" 기계 에서 는 부가 적 인 테이블 이 동시 에 사용 될 수 있 으며 ", 또는 하나 이상 의 다른 테이블 이 노광 을 위하 여 사용 되 고 있 는 동안 하나 이상 의 테이블 상 에서 는 준비 단계 가 수행 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 정렬 센서 ( AS ) 를 이용 한 정렬 측정 및 / 또는 레벨 센서 ( LS ) 를 이용 한 레벨 ( 높이 , 기울기 등 ) 측정 이 이루어질 수 있 다 .