즉 , 본 실시 예의 정전 척 장치 ( 10 ) 은 정전 척 ( 20 ) 에 접합제 가 사용 되 고 있 지 않 기 때문 에 , 발진 이나 방전 의 발생 이 억제 된다 . 또한 , 본 실시 예의 정전 척 장치 ( 10 ) 은 정전 척 ( 20 ) 과 지지대 ( 40 ) 와 의 접합 에 접합제 ( 30 ) 를 이용 하 고 있 다 . 그러나 이 접합제 ( 30 ) 는 정전 척 ( 20 ) 의 표면 , 즉 유전체 플레이트 ( 21 ) 에서 이격 되 어 있 기 때문 에 플 라즈 마의 영향 을 받 기 어렵 고 , 발진 이 발생 하 기 어렵 다 .