상기 제 1 절 연막 은 적어도 1 , 000 Å 의 두께 를 가지 며 , 상기 제 1 절연 막 은 FSG ( fluoride - doped silicate glass ) , PSG ( phosphorous - doped silicate glass ) , USG ( undoped silicate glass ) , BPSG ( boron phosphorous doped silicate glass ) 및 산화 규소 물질 로 구성 할 수 있 다 .