종래 , 편심 은 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 에 배치 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 위치 를 작업자 가 경험 과 감 으로 조정 함 으로써 개선 했 다 . 그러나 , 편심 은 어디 까지 개선 해야 할지 의 지표 도 없 고 , 작업자 가 시행착오 하 면서 최적 의 위치 라고 판단 할 때 까지 조정 이 행해졌 다 . 이 와 같이 편심 의 개선 은 , 작업자 의 스킬 에 의존 하 는 작업 이 되 기 때문 에 , 작업자 에 따라 개선 까지 필요 한 시간 이 달라졌 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 후술 하 는 바 와 같 은 편심 을 없애 는 프로그램 을 이용 함 으로써 , 작업자 에 상관없이 , 단시간 에 간단히 편심 을 없앨 수 있 도록 하 였 다 .