본 발명자 들 은 기판 의 증착 면적 을 증대 시키 기 위한 다양 한 시도 를 수행 하 였 다 . 이것 은 반응기 의 세로 길이 보다 가로길이 가 더 긴 반응기 를 요구 한다 . 그러나 , 종래 의 하부 가 개방 된 반응 용기 는 생성 된 플 라즈 마가 반응기 의 내벽 과 충돌 하 기 전 에 반응기 의 외부 로 배출 됨 에 따라 상기 한 목적 을 성취 할 수 없 다 .