2 개 의 기판 반송 기구 ( HU 5 , HU 6 ) 는 각각 , 버퍼 부 ( PSBU 4 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( HU 5 , HU 6 ) 는 각각 , 수취 한 기판 ( W ) 을 , 노광 전 세정 유닛 ( 161 ) , 재치 겸 냉 각부 ( P - CP ) 의 순서 대로 반송 한다 . 기판 반송 기구 ( HU 7 ) 는 , 재치 겸 냉 각부 ( P - CP ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 노광 장치 ( EXP ) 에 반출 한다 . 반출 된 기판 ( W ) 에 대해서 , 노광 장치 ( EXP ) 는 , 노광 처리 를 행한다 . IF 블록 ( 6 ) 의 기판 반송 기구 ( HU 7 ) 는 , 노광 장치 ( EXP ) 에서 처리 된 기판 ( W ) 을 IF 블록 ( 6 ) 에 반입 하 고 , 반입 한 기판 ( W ) 을 기판 재 치부 ( PS 9 ) 에 반송 한다 . 그 후 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( HU 5 , HU 6 ) 는 각각 , 기판 재 치부 ( PS 9 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( HU 5 , HU 6 ) 는 각각 , 수취 한 기판 ( W ) 을 , 노광 후 세정 유닛 ( SOAK ) , 노광 후 베 이크 처 리부 ( PEB ) , 버퍼 부 ( PSBU 4 ) 의 순서 대로 반송 한다 .