또 , 상기 스퍼터 파워 의 적절 범위 는 , 통상 적 인 스퍼터 성막 조건 에서 는 성막 속도 가 약 2 . 5 Å / sec ∼ 5 . 5 Å / sec 인 것 에 상당 하 기 때문 에 , 성막 속도 로 제어 해도 된다 . 여기 에서 성막 속도 란 , 스퍼터 성막 에 있 어서 막 두께 를 성막 시간 으로 나눈 것 으로서 , 통상 적 인 성막 조건 범위 에서 는 스퍼터 파워 밀도 에 비례 하 는 것 이 다 . 성막 속도 가 상기 범위 로 되 어 있 는 것 은 , 스퍼터 파워 밀도 의 범위 를 규정 한 이유 와 동일 하 며 , 캐리어 농도 의 제 어성 과 막 두께 의 제 어성 의 양립 을 위해서 이 다 . 성막 속도 는 바람직 하 게 는 약 3 . 0 Å / sec ∼ 4 . 5 Å / sec 이 다 .