상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 , 교환 챔버 상 에 설치 되 며 , 웨이퍼 의 하 측면 을 감지 하 여 이 물질 및 오염 상태 를 감지 하 는 감지 부 ; 및 상기 감 지부 에서 감지 된 신호 를 입력 받 아 오염 된 웨이퍼 의 메인 챔버 로 의 진입 을 제어 하 는 제 어부 를 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 하 는 웨이퍼 의 오염 을 감지 하 는 셈 장치 를 제공 하 는 것 을 특징 으로 한다 .