다음 으로 , 스텝 S 2 의 발 액화 처리 공정 에 대해서 설명 한다 . 발 액화 처리 공정 에서 는 뱅크 막 ( 31 ) 에 대하 여 발 액화 처리 를 행하 고 , 그 표면 에 발 액 성 을 부여 한다 . 발 액화 처리 로서 는 , 사불 화 탄소 ( 테트라 플 루 오로 메탄 ) 를 처리 가스 로 하 는 플라스마 처리 법 ( CF 4 플라스마 처리 법 ) 을 채용 한다 . CF 4 플라스마 처리 의 조건 은 예 를 들 어 플라스마 파워 가 50 ∼ 1000 W , 사불 화 탄소 가스 유량 이 50 ∼ 100 mL / min , 플라스마 방전 전극 에 대한 기체 ( 基體 ) 반송 속도 가 0 . 5 ∼ 1020 ㎜/ sec , 기체 온도 가 70 ∼ 90 ℃ 로 된다 . 또한 , 처리 가스 로서 는 , 테트라 플 루 오로 메탄 에 한정 되 지 않 아 , 다른 플 루 오로 카본 계 의 가스 , 또는 SF 6 이나 SF 5 CF 3 등 의 가스 도 사용 할 수 있 다 .