또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 5 a 내지 7 b 를 참조 하 여 , 복수 의 검출기 각각 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 1 개 의 마크 를 정렬 해서 보정 정보 를 구하 는 방법 에 대해 설명 했 지만 , 본 발명 의 검출 장치 는 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 면 , 기울기 정보 에 따라 , 복수 의 검출기 각각 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 , 물체 위 의 복수 의 마크 를 정렬 하 여 보정 정보 를 구해도 된다 . 이 와 같 은 동작 에 따라 , 예 를 들 면 , 복수 의 마크 에 대해서 취득 한 보정 정보 를 평균 화 하 고 , 마크 의 형상 에 기인 하 는 오차 를 저감 함 으로써 , 물체 위 의 복수 의 마크 를 고속 이 면서 고정 밀도 로 검출 하 는 것 이 가능 해 진다 . 또한 , 예 를 들 면 , 복수 의 마크 에 대해서 취득 한 보정 정보 중 에서 , 신호 파형 의 대칭 성 이나 계측 오 차 가 작 은 마크 를 사용 해서 취득 한 보정 정보 를 선택 하 여 마크 의 계측 값 을 보정 해도 된다 .