스퀴즈 이펙트 는 기판 과 핫플레이트 ( 20 ) 사이 의 간격 이 작 을수록 커지 므로 , 프록시 미티 핀 ( 22 ) 의 높이 를 증가 시키 면 스퀴즈 이펙트 를 감소 시킬 수 있 으나 , 프록시 미티 핀 ( 22 ) 의 높이 를 증가 시킬 경우 핫플레이트 ( 20 ) 로부터 기판 으로 의 열전달 효과 가 감소 되 어 공정 효율 이 저하 될 수 있 다 .