상기 에서 얻 어 진 각 감광성 수지 조성물 을 , 두께 1 . 2 ㎜ 의 유리 기판 상 에 스핀 코터 를 사용 하 여 열 경화 처리 후 의 막 두께 가 1 . 2 ㎛ 가 되 도록 도포 하 고 , 90 ℃ 에서 1 분 간 프리 베 이크 하 였 다 . 그 후 , 포토 마스크 없이 , 파장 365 ㎚ 의 조도 30 mW / ㎠ 의 초고압 수은 램프 로 100 mJ / ㎠ 의 자외선 을 조사 하 여 , 광경 화 반응 을 행하 였 다 . 그 후 , 열풍 건조기 를 사용 하 여 230 ℃ 에서 30 분 간 가열 경화 처리 를 행하 여 , 광경 화 성분 의 경화 막 을 얻 었 다 .