노광 장치 ( 500 ) 에서 는 , 도 30 에 도시 된 바 와 같이 , 노즐 유닛 ( 32 ) 의 + X 측 , - X 측 에 , 1 쌍 의 헤드 유닛 ( 62 A ', 62 B ') 이 배치 되 어 있 다 . 이 들 헤드 유닛 ( 62 A ', 62 B ') 은 , 지지 부재 를 통해 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 ( 도시 생략 ) 에 매달린 상태 로 고정 되 어 있 다 .