또한 하부 지 지체 ( 161 ) 의 상부 에 는 상부 지 지체 ( 162 ) 가 위치 할 수 있 다 . 하부 및 상부 지 지체 ( 161 , 162 ) 는 웨이퍼 척 ( 140 ) 의 외주 면 을 따라 복수 개 가 일정 거리 이격 되 어 설치 될 수 있 다 . 자세 하 게 는 , 제 1 및 제 2 지 지체 ( 161 , 162 ) 는 5 쌍 으로 형성 되 어 웨이퍼 척 ( 140 ) 의 외주 면 에 설치 될 수 있 다 .