도 2 a 는 본 개시 내용 의 양태 에 따른 검출기 를 예시 한 단면도 이 고 , 도 2 b 는 도 2 a 의 검출기 의 저 면도 이 다 . 도 1 a - 1 c 및 도 2 a - 2 b 에서 동일 한 요소 는 동일 한 참조 번호 로 지시 되 고 , 도 1 a - 1 c 및 도 2 a - 2 b 에 예시 된 동일 한 요소 의 상세 는 간결 성 을 위해 도 2 a - 2 b 의 설명 에서 생략 됨 을 알 아야 한다 . 일부 실시 예 에서 , 검출기 ( 100 b ) 가 제공 된다 . 검출기 ( 100 b ) 는 기판 ( 110 ) , 도전 층 ( 120 ) , 그리고 기판 ( 110 ) 과 도전 층 ( 120 ) 사이 의 절연 층 ( 130 ) 을 포함 한다 . 기판 ( 110 ) 은 제 1 표면 ( 112 a ) 및 제 1 표면 ( 112 a ) 의 반대편 의 제 2 표면 ( 112 b ) 을 포함 하 며 , 절연 층 ( 130 ) 은 제 1 표면 ( 112 a ) 과 접촉 한다 . 전술 한 바 와 같이 , 도전 층 ( 120 ) 은 패턴 을 가지 며 , 절연 층 ( 130 ) 은 도전 층 ( 120 ) 의 패턴 을 통해 노출 된다 . 검출기 ( 100 b ) 는 제 2 표면 ( 112 b ) 으로부터 제 1 표면 ( 112 a ) 으로 연장 되 는 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 를 더 포함 한다 . 전술 한 바 와 같이 , 깔때기 형 리세 스 ( 140 ) 는 제 2 표면 ( 112 b ) 에 상부 개구 ( 142 a ) 를 그리고 제 1 표면 ( 112 a ) 에 하부 개구 ( 142 b ) 를 가지 며 , 상부 개구 ( 142 a ) 의 폭 은 하부 개구 ( 142 b ) 의 폭 보다 크 다 .