막 이 플 라즈 마로 처리 되 는 구체 예 에서 , 패 시베이 션 층 , 예 를 들 어 , SiO 2 또는 탄소 도핑 된 SiO 2 는 후속 플 라즈 마 처리 에서 막 에 염소 및 질소 오염 물질 이 침투 하 는 것 을 방지 하 기 위해 증착 된다 . 패 시베이 션 층 은 원자 층 증착 또는 사이 클릭 화학 적 증기 증착 을 이용 하 여 증착 될 수 있 다 .