도 9 는 적어도 하나 의 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 를 각각 갖 는 2 개 의 MEMS 스위치 ( 98 ) 를 포함 하 는 MEMS 스위치 어레이 ( 90 ) 의 일 실시 예 를 도시 한다 . 설명 을 위해 , 단지 2 개 의 MEMS 스위치 만 이 MEMS 스위치 어레이 ( 90 ) 에 도시 된다 . 그러나 , 도시 되 지 는 않 았 지만 , MEMS 스위치 어레이 ( 90 ) 는 직렬 , 병렬 , " 또는 직렬 - 병렬 배열 로 결합 된 다수 의 MEMS 스위치 를 포함 할 수 도 있 다 . MEMS 스위치 어레이 ( 90 ) 내 의 각각 의 MEMS 스위치 는 기판 ( 102 ) 상 에 배치 된 "" 소스 "" 접점 ( 100 ) 에 고정 된 2 개 의 가동 액추에이터 ( 93 ) 를 포함 한다 . 가동 액추에이터 ( 93 ) 는 또한 기판 ( 102 ) 상 에 배치 된 기판 전극 ( 96 ) 과 기판 접점 ( 95 ) 상 으로 연장 되 거나 캔틸레버 비 임 형태 로 구성 된다 . 전술 된 바 와 같이 ", 기판 ( 102 ) 은 기판 전극 ( 96 ) , 기판 접점 ( 95 ) 및 소스 전극 ( 100 ) 또는 고정부 ( 98 ) 중 하나 이상 과 기판 ( 102 ) 과 의 사이 에 배치 된 전기 절연 층 ( 도시 생략 ) 을 더 포함 할 수 있 다 .