이 구성 에 따르 면 , 제 2 액체 공급 공정 에서 , 제 2 액 막 과 , 제 2 액 막 의 측방 을 감싸 는 링 형상 의 제 1 액막이 기판 의 상면 에 형성 된다 . 그리고 , 증기 층 형성 공정 에서 , 기판 이 가열 됨 으로써 기판 의 상면 에 접하 는 제 2 액체 가 증발 하 여 생기 는 제 2 증기 층 이 형성 되 고 , 그 제 2 증기 층 상 에 제 2 액막이 유지 된다 . 즉 , 제 2 액 막 은 기판 의 상면 에서 부상 한 상태 로 유지 된다 . 제 2 액 막 에 포함 되 는 제 2 액체 의 증기압 이 높 으므로 , 제 2 증기 층 의 막 두께 가 크 다 . 이 때문 에 , 부상 하 고 있 는 제 2 액 막 의 하면 의 높이 위치 를 높 게 유지 할 수 있 다 . 따라서 , 제 2 액 막 의 하면 을 패턴 의 상단 보다 상방 에 배치 하 는 것 이 가능 하 다 .