이 어 , 도 14 에 도시 된 바 와 같이 운송 유닛 ( 700 ) 의 제 1 이 동부 ( 710 ) 가 회전 하 여 전계 형성 유닛 ( 100 ) 이 열처리 부 ( HA ) 를 향하 도록 위치 시킨다 . 운송 유닛 ( 700 ) 은 제 1 방향 ( DR 1 ) 또는 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이동 하 는 동작 과 일 방향 으로 회전 하 는 동작 이 가능 하 여 전계 형성 유닛 ( 100 ) 및 대상 기판 ( SUB ) 을 원하 는 영역 으로 이동 시킬 수 있 다 .