이때 , 포토레지스트 패턴 에 의해 노출 된 제 2 절 연막 ( 122 ) , 제 1 절 연막 ( 118 ) 및 보호막 ( 116 ) 을 순차 애칭 한 후 잔류 하 는 포토레지스트 패턴 을 애 싱 함 으 로써 , 제 2 절 연막 ( 122 ) , 제 1 절 연막 ( 118 ) 및 보호막 ( 116 ) 을 관통 하 여 박막 트랜지스터 ( TR ) 의 드레 인 전극 ( 112 ) 을 노출 시키 는 접촉 홀 ( 124 ) 을 형성 한다 .