5 . 실시 예 1 의 방법 에서 , 제 1 분포 및 / 또는 제 2 분포 는 각각 의 제 1 및 / 또는 제 2 매개변수 에 대한 서보 오차 의 기여 도 , 각각 의 제 1 및 / 또는 제 2 매개변수 에 대한 정렬 모델 잔차 의 기여 도 , 각각 의 제 1 및 / 또는 제 2 매개변수 에 대한 투영 시스템 수차 또는 이미지 평면 편차 의 기여 도 , 각각 의 제 1 및 / 또는 제 2 매개변수 에 대한 투영 시스템 모델 잔차 의 기여 도 , 및 / 또는 각각 의 제 1 및 / 또는 제 2 매개변수 에 대한 기판 표면 높이 의 기여 도 에서 선택 된 하나 이상 을 포함 하 고 있 다 .