다음 으로 도 4 c 에 도시 된 바 와 같이 패 터닝 된 임 프린팅 레지스 트 ( 250 b ) 를 이용 하 여 절연 기판 ( 210 ) 을 패 터닝 한다 . 패 터닝 된 임 프린팅 레지스 트 ( 250 b ) 는 마스크 로 사용 되 며 , 식각 방식 으로 는 건식 식각 방식 이 이용 된다 . 건식 식각 방식 이 이용 됨 으로써 , 절연 기판 ( 210 ) 은 균일 한 폭 및 깊이 로 패 터닝 되 고 , 이후 단계 에서 형성 될 금속 라인 의 폭 및 깊이 를 조절 하 기 가 비교 적 용이 하 다 . 따라서 , 건식 식각 방식 에 의해 패 터닝 된 절연 기판 ( 210 ) 은 우수 한 편광 효율 을 얻 을 수 있 다 .