처리 모듈 ( 13 ) 은 , 도포 유닛 ( U 1 ) 및 열처리 유닛 ( U 2 ) 에 의해 레지스 트 막 상 에 상 층막 을 형성 한다 . 처리 모듈 ( 13 ) 의 도포 유닛 ( U 1 ) 은 , 상 층막 형성 용 의 성막 액 을 레지스 트 막 위 에 도포 한다 . 처리 모듈 ( 13 ) 의 열처리 유닛 ( U 2 ) 은 , 상 층막 의 형성 에 따른 각종 열처리 를 행한다 .