상부 챔버 부 ( 31 ) 와 하부 챔버 부 ( 32 ) 내부 에 는 본 접 을 위한 히터 플레이트 를 갖 는 상 부척 ( 34 ) 및 하 부척 ( 35 ) 이 각각 구비 되 며 , 진공 챔버 ( 30 ) 내 에 진공 분위기 형성 되 면 상 부척 ( 34 ) 및 하 부척 ( 35 ) 이 척 대척 ( Chuck to Chuck ) 방식 으로 서로 가압 밀착 됨 으로써 히터 플레이트 에 의해 본 접이 이루어지 게 된다 .