연마 입자 에서 의 평균 입 도 분포 의 표준편차 는 , 10 nm 이하 가 바람직 하 고 , 5 nm 이하 가 보다 바람직 하 다 . 평균 입 도 분포 의 표준편차 의 측정 에서 는 , 예 를 들 면 , 연마제 중 의 연마 입자 를 COULTER Electronics 사 에서 제조 한 COULTER N 4 SD 에 투입 하 고 , 입 도 분포 의 차트 에 의해 표준편차 의 값 을 얻 을 수 있 다 .