특허 문헌 1 또는 2 에 기재 된 종래 기술 은 볼 또는 스 터드 범프 를 부드럽 게 하 여 , 볼 또는 스 터드 범프 가 전 극면 에 가압 되 었 을 때 에 표면 의 산화 막 이나 부착물 의 껍질 이 깨지 도록 하 여 금속 의 신생면 이 전 극면 에 접촉 할 수 있 도록 함 으로써 양호 한 본딩 을 행하 고자 하 는 방법 이 며 , 표면 의 산화 막 또는 부착물 을 제거 하 는 것 이 아니 다 . 이 때문 에 , 특허 문헌 1 또는 2 에 기재 된 종래 기술 에서 는 볼 또는 스 터드 범프 표면 의 산화 막 이나 부착물 의 껍질 은 본딩 시 에 금속 표면 과 볼 또는 스 터드 범프 사이 에 끼 어 버려 , 양호 한 접합 을 행할 수 없 는 경우 가 있 다 .