리소그래피 공정 의 미세 화 는 , 노광 장치 의 렌즈 의 해상력 을 증가 시키 는 것 과 거의 등가 이 다 . 레일리 ( Rayleigh ) 의 식 에 의하 면 , 해상력 은 k 1 · λ / NA 로 표현 될 수 있 다 . 이 경우 , λ 는 광원 의 파장 이 고 , NA 는 투영 렌즈 의 개구수 이 며 , k 1 은 , 프로세스 에 의해 정해 지 는 계수 이 다 . 노광 장치 는 , NA 를 최대한 으로 크 게 이용 하 기 위해 , 정방 화각 ( square field angle ) 의 일괄 노광 방식 ( 이른바 , 스텝 퍼 ) 으로부터 주사 형 노광 방식 ( 스캐너 ) 으로 변천 해 왔 다 . 이 주사 형 노광 방식 은 , 렌즈 의 제작 가능 한 최대 직경 까지 렌즈 를 이용 하 는 단 책형 ( strip - shaped ) 노광 영역 을 적용 해서 화각 의 폭 을 증가 시킨다 . 이 주사 형 노광 방식 에 있 어서 는 , 수직 방향 으로 주사 하 면서 노광 한다 . 주사 형 노광 방식 은 단 책 형 노광 영역 에 의해 렌즈 의 최대 직경 을 이용 함 으로써 보다 큰 화각 을 달성 하 는 이점 뿐 아니 라 , 주사 노광 공정 중 에 포커스 를 맞춘 상태 를 계속 유지 하 는 것 과 , 주사 방향 의 화각 을 크 게 취하 는 것 등 의 미세화 의 관점 에서 이 점 이 많 다 .