일 실시 예 에 따르 면 , 각각 의 MEMS 스위치 는 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 를 더 포함 한다 . 전술 된 바 와 같이 , 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 는 기판 ( 102 ) 상 에 , 가동 액추에이터 ( 93 ) 상 에 , 또는 일부 는 기판 ( 102 ) 상 에 그리고 일부 는 가동 액추에이터 ( 93 ) 상 에 제조 될 수 있 다 . 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 가 적어도 부분 적 으로 기판 ( 102 ) 상 에 제조 되 는 실시 예 에서 , 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 는 도전 성 트레이스 ( 91 ) 및 소스 접점 ( 100 ) 및 / 또는 고정부 ( 98 ) 를 경유 하 여 가동 액추에이터 ( 93 ) 에 전기 적 으로 결합 될 수 있 다 . 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 가 적어도 부분 적 으로 가동 액추에이터 상 에 제조 되 는 실시 예 에서 , 도전 성 스토퍼 ( 99 ) 는 오직 스위치 의 작 동시 에 도전 성 트레이스 ( 91 ) 에 전기 적 으로 도통 될 수 있 다 . 부가 적 으로 , 각각 의 MEMS 스위치 는 가동 액추에이터 ( 93 ) 의 하부 측 에 포함 된 하나 이상 의 도전 성 접점 범프 ( 109 ) 를 더 포함 할 수 있 다 .