상술 한 바 와 같이 이루어진 본 발명 의 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 는 , 선광원 램프 로 인해 챔버 의 내부 온도 가 상승 되 는 것 을 냉각 파이프 로 인해서 저감 시키 거나 일정 하 게 유지 시켜 줄 수 있 다 . 즉 , 상기 챔버 의 양측 에 설치 된 냉각 파이프 에 저온 의 물 이 공급 및 순환 되 어 상기 챔버 의 내부 온도 를 조절 시킬 수 있 는 것 이 다 .