다시 도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 상기 제 1 얼라 인부 ( 500 ) 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 를 얼 라인 시키 는 역할 을 한다 . 구체 적 으로 , 상기 제 1 얼라 인부 ( 500 ) 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 의 제 1 정열 홈 ( 미 도시 ) 을 감지 하 는 제 1 센서 ( 510 ) 및 상기 제 1 센서 ( 510 ) 와 연결 되 며 , 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 의 중심 과 결합 하 여 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 를 회전 시키 는 제 1 회 전척 ( 520 ) 을 포함 한다 .