챔버 ( 100 ) 는 외부 의 배출 펌프 ( 137 ) 로 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 의 유체 연결 을 제공 하 는 배출 포트 ( 135 ) 를 포함 하 여 , 부압 이 배출 포트 ( 135 ) 를 통하 여 인가 되 어 내부 캐 버티 ( 100 D ) 내부 로부터 의 가스 들 및 / 또는 미립자 들 을 제거 할 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 챔버 ( 100 ) 는 또한 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 의 웨이퍼 ( 113 ) 의 삽입 및 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로부터 의 웨이퍼 ( 113 ) 의 대응 제거 를 가능 하 기 위해 챔버 벽 ( 100 C ) 의 섹션 내 에 형성 된 게이트 밸브 ( 102 ) 를 포함 한다 . 게이트 밸브 의 폐쇄 위치 에서 , 게이트 밸브 ( 102 ) 는 외부 환경 으로부터 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 의 분리 를 유지 시키 도록 정의 된다 . 여러 실시 형태 들 에서 , 배출 펌프 ( 137 ) 가 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로부터 의 유체 플로우 를 인출 하 는 흡입 을 배출 포트 ( 135 ) 에서 제공 할 수 있 는 한 배출 펌프 ( 137 ) 는 여러 방식 으로 구현 될 수 있 다 .