적어도 상기 목적 을 달성 하 기 위해서 , 본 발명 은 , 레티 클 과 같 은 , 기판 을 보유 하 기 위한 기기 를 제공 하 며 , 상기 기판 은 상부 표면 , 하부 표면 , 4 개 의 측면 및 4 개 의 코너 를 가지 며 , 상기 기기 는 : 주변 부 및 복수 의 접촉 요소 가 있 는 상향 상부 수평 표면 을 가지 는 베이스 ; 및 하향 프레임 - 형 지지 요소 를 가지 는 커버 ; 를 포함 하 며 , 접촉 요소 는 상향 상부 수평 표면 상 에 기판 을 고정 하 기 위해서 기판 과 결합 되 게 사용 되 며 , 상향 상부 수평 표면 은 상향 프레임 - 형 지지 표면 을 형성 하 도록 연장 하 며 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 은 베이스 의 주변 부 에 근접 한 위치 에서 접촉 요소 를 둘러싸 며 , 베이스 및 커버 사이 에 기판 을 보유 하 기 위한 공동 을 정의 할 뿐 만 아니 라 베이스 의 상향 상부 수평 표면 과 동일 한 레벨 에 있 지 않 기 위해서 , 하향 프레임 - 형 지지 요소 및 상향 프레임 - 형 지지 요소 는 서로 큰 영역 에서 접촉 하 는 기판 을 보유 하 기 위한 기기 이 다 .