이때 종래 APC 를 이용한 스텝 퍼 입력 값 예측 방법 에 있 어서 가장 중요 한 요소 ( factor ) 가 계산 에 쓰이 는 공정 조건 ( history ) 과 계산 알고리즘 으로 , 종래 APC 방법 에서 는 도 1 에서 보여 지 는 바 와 같이 이전 진행 된 롯 트 의 스텝 퍼 ( stepper ) 입력 ( input ) 값 과 오버레이 ( overlay ) 계측 값 및 가중 평균 을 이용 하 여 다음 에 진행 될 롯 트 의 스텝 퍼 입력 값 을 예측 하 게 된다 .