수지 변형 단계 에서 는 , 도 9 ( A ) 및 도 9 ( B ) 에 도시 한 바 와 같이 , 이 동부 ( 50 ) 가 , 거리 결정 단계 에서 결정 한 거리 ( 27 ) 의 거리 만큼 , 유지 부 ( 20 ) 를 하방 으로 이동 시켜 테이블 ( 30 ) 에 대해 접근 시키 는 것 에 의해 , 웨이퍼 ( 200 ) 및 시트 ( 92 ) 를 통해 , 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 과 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 에 의해 , 그 사이 에 있 는 액상 수지 ( 301 ) 를 수평 방향 으로 확장 한다 . 이 에 따라 , 수지 변형 단계 에서 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 과 시트 ( 92 ) 의 사이 에 있 어서 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 을 피복 하 는 액상 수지 ( 301 ) 가 성형 된다 . 수지 변형 단계 에서 는 , 시트 ( 92 ) 가 평탄 하 기 때문 에 , 시트 ( 92 ) 와 접촉 하 는 액상 수지 ( 301 ) 의 면 은 평탄 하 게 형성 된다 .