또한 , 액 막 형성 공정 에서 , 2 종류 의 액체 ( 제 1 액체 및 제 2 액체 ) 로 이루어지 는 액 막 이 아니 고 , 3 종류 이상 의 액체 로 이루어지 는 액 막 을 형성 하 도록 해도 좋 다 . 예 를 들 어 , 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( W ) 의 상면 에 제 2 액 막 ( 예 를 들 어 HFE 의 액 막 ) ( F 2 ) 과 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 측방 을 감싸 는 링 형상 의 제 1 액 막 ( 예 를 들 어 IPA 의 액 막 ) ( F 1 ) 과 , 제 1 액 막 ( F 1 ) 의 측방 을 감싸 는 링 형상 의 제 3 액 막 ( 제 3 액체 ( 예 를 들 면 , 물 ( 순수 ) ) 의 액 막 ) ( F 3 ) 이 형성 되 어도 좋 다 . 제 3 액체 는 제 2 액체 보다 표면장력 이 높 다 . 표면장력 의 높이 에 관해서 말 하 면 , 제 2 액체 ＜ 제 1 액체 ＜ 제 3 액체 이 다 .