본 발명 은 기판 처리 장치 를 개시 한 것 으로서 , 기판 지지 부재 의 내측 에 영역 별 로 분리 형성 된 복수 의 냉각 라인 들 또는 냉각 라인 들 에 냉각 유체 를 공급 하 는 공급 관 들 이 각각 상이 한 크기 의 유동 단면적 을 가지 고 , 각각 의 냉각 유체 공급 관 들 이 냉각 장치 의 공 급단 으로부터 분기 되 어 설치 되 도록 한 구성 을 가진다 .