스텝 S 3 은 , H 2 가스 를 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 하 는 환원 가스 공급 스텝 이 다 . 스텝 S 3 에서 는 , 개폐 밸브 ( 77 , 79 ) 를 닫 아 제 1 플 러쉬 퍼지 라인 ( 67 ) 및 제 2 플 러쉬 퍼지 라인 ( 69 ) 으로부터 의 N 2 가스 를 정지 한다 . 또한 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) 및 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 을 통한 N 2 가스 의 공급 을 계속 한 상태 에서 , 개폐 밸브 ( 74 ) 를 개방 한다 . 이 에 의해 , 제 1 H 2 가스 공급원 ( 52 ) 으로부터 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) 을 거쳐서 환원 가스 로서 의 H 2 가스 를 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 한다 . 이때 , H 2 가스 는 , 버퍼 탱크 ( 81 ) 에 일단 저류 된 후 에 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 된다 . 스텝 S 3 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 상 에 흡착 된 WCl 6 이 환원 된다 . 이때 의 H 2 가스 의 유량 은 , 충분히 환원 반응 이 생기 는 양 으로 할 수 있 다 .