증기 발생 부 ( 23 ) 는 , 증기 발생 공간 인 내부 공간 을 소정 온도 로 하 거나 , 가열 하 여 용제 의 증기 를 압제 ( 壓制 ) 시키 거나 하 기 위한 히터 ( 도시 안함 ) 를 내장 하 고 있 어 , 내부 공간 에 용제 를 공급 함 으로써 용제 가 증기 화 된다 . 이 예 에 있 어서 의 용제 로서 는 , 예 를 들 면 , 이소프로필 알콜 ( IPA ) 을 들 수 있 다 . 또한 , 증기 발생 부 ( 23 ) 에 는 , 그 내부 공간 을 감압 하 기 위한 진공 펌프 ( 도시 안함 ) 가 접속 되 어 있 다 .