상기 장치 는 상기 기판 지지 유닛 에 지지 된 기판 상 에 액 을 공급 하 는 액 공급 유닛 을 더 포함 하 되 , 상기 액 공급 유닛 은 액 을 토출 하 는 노즐 과 상기 노즐 을 공정 위치 와 대기 위치 간 에 이동 시키 는 이동 부재 를 포함 하 되 , 상기 촬영 대상물 은 상기 노즐 일 수 있 다 . 상기 공정 위치 는 상기 노즐 이 기판 으로 액 을 공급 하 는 위치 를 포함 하 되 , 상기 제어기 는 상기 카메라 가 상기 공정 위치 에 위치 된 상기 노즐 의 액 토출 상태 를 촬영 하 도록 상기 구 동기 를 제어 할 수 있 다 . 상기 제어기 는 상기 카메라 가 상기 액 토출 상태 와 함께 기판 상 에 공급 된 액 막 상태 를 촬영 하 도록 상기 구 동기 를 더 제어 할 수 있 다 .