도 4 에 나타내 는 클리닝 용 기판 ( 제 2 기판 ( 10 Y ) ) 에 있 어서 는 , 마스크 ( 220 ) 와 접촉 하 는 쪽 의 면 ( 클리닝 면 ) 은 , 제 1 점 착면 ( 11 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 . 이 제 1 점 착면 ( 11 ) 은 , 적어도 , 성막 대상 기판 ( 제 1 기판 ( 10 X ) ) 에 있 어서 의 마스크 ( 220 ) 와 접촉 하 는 쪽 의 면 보다 점착력 이 높 게 되 도록 구성 되 어 있 다 . 점착력 을 높이 는 수법 으로서 는 , 성막 대상 이 되 는 기판 과 동일 한 기판 의 표면 에 , 점착 시트 를 붙이 거나 , 점착력 을 높이 는 가공 을 시행 하 거나 , 점착 성 을 갖 는 도료 를 도포 하 거나 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 성막 을 행한 기판 또는 성막 을 행하 기 전 의 기판 에 있 어서 , 불량품 이 발생 한 경우 에 , 불량품 이 된 기판 의 표면 에 점착 시트 를 붙인 것 을 제 2 기판 ( 10 Y ) 으로서 이용 할 수 도 있 다 . 물론 , 성막 대상 이 되 는 기판 과 는 다른 재료 로 구성 되 는 기판 을 이용 할 수 도 있 다 .