또한 , 상기 가스 킷 으로서 는 , 예컨대 , 폴리테트라플루오로에틸렌 에 첨가물 을 가한 도전 성 을 갖 는 재료 로 형성 되 고 , 상기 유지 부재 가 , 금속 으로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 폴리테트라플루오로에틸렌 ( PTFE ) 은 내약품성 이나 비 오염 성 이 우수 하 여 , 반도체 산업 에서 도 일반 적 으로 이용 되 고 있 다 . 이 폴리테트라플루오로에틸렌 ( PTFE ) 에 , 예컨대 , 카본 블랙 혹은 카본 나노 튜브 를 함유 하 는 PTFE 는 , 도전 성 을 갖 기 때문 에 , 대전 하 기 어려워 , 본 발명 의 가스 킷 으로서 바람직 하 다 .