계속 해서 , 도 1 의 ( d ) 및 도 1 의 ( e ) 에 도시 된 바 와 같이 , 오 목부 ( 103 ) 에 Ru 함유 전구체 를 계속 해서 공급 함 으로써 , 오 목부 ( 103 ) 에 루테늄 막 ( 105 ) 을 매립 한다 . 이때 , 성막 초기 의 단계 에서 오 목부 ( 103 ) 에 V 자상 으로 루테늄 막 ( 105 ) 이 형성 되 어 있 으므로 , 오 목부 ( 103 ) 의 저면 ( 103 c ) 으로부터 점차 상방 으로 성막 이 진행 되 는 보텀 업 성막 이 된다 . 그 결과 , 도 1 의 ( f ) 에 도시 된 바 와 같이 , 오 목부 ( 103 ) 에 보이 드 , 심 등 의 발생 이 억제 된 루테늄 막 ( 105 ) 을 형성 할 수 있 다 . 즉 , 오 목부 ( 103 ) 에 매립 특성 이 양호 한 루테늄 막 ( 105 ) 을 형성 할 수 있 다 .