도 11 을 참조 하 여 , 상기 리세 스 영역 들 ( 205 , 210 ) 을 채우 는 수평 구 조체 ( HS ) 가 형성 될 수 있 다 . 상기 수평 구 조체 ( HS ) 는 상기 리세 스 영역 들 ( 205 , 210 ) 의 내벽 을 덮 는 수평 패턴 ( 220 ) 및 상기 리세 스 영역 들 ( 205 , 210 ) 의 나머지 공간 을 채우 는 도전 패턴 ( 230 ) 을 포함 할 수 있 다 .