도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 제 1 기판 반송 장치 ( 700 ) 를 포함 한다 . 제 1 기판 반송 장치 ( 700 ) 는 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 에서 기판 에 대해 노광 처리 를 수행 하 는 시간 을 고려 하 여 , 선행 공정 으로부터 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로 기판 을 반송 하 는 과정 , 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로 기판 을 반입 하 는 과정 , 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로부터 기판 을 반출 하 는 과정 , 후행 공정 으로 기판 을 반송 하 는 과정 을 최소 의 시간 으로 효율 적 으로 수행 할 수 있 다 .