먼저 , 스퍼터링 체임버 내 에 불활성 가스 ( 대표 적 으로 는 Ar 가스 ) 와 산소 가스 의 혼합 가스 를 도입 한다 . 이어서 , 스퍼터링 체임버 에 제공 된 알루미늄 타깃 에 전압 을 인가 함 으로써 , 산화 알루미늄 막 을 퇴적 할 수 있 다 . 알루미늄 타깃 에 전압 을 인가 하 기 위하 여 사용 되 는 전원 은 , DC 전원 , AC 전원 , 또는 RF 전원 으로부터 공급 된다 . DC 전원 을 사용 하 면 생산 성 이 향상 되 므로 특히 바람직 하 다 .