도 4 a 를 참고 하 면 , 증착 공정 시작 직전 에 반응 실 을 규정 하 기 위하 여 , 기판 지지대 ( 360 ) 및 가열 판 ( 365 ) 이 위쪽 으로 이동 하 여 반응 실 외부 벽 ( 361 ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 위 가장 자리 에 배치 되 어 있 는 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 의 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 의 상단 이 밀착 되 어 반응 실 을 규정 한다 . 즉 , 기판 지지대 ( 360 ) 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 의 하 부면 이 접촉 하 여 반응 공간 ( 354 ) 를 정의 한다 . 이때 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 의 하 부면 의 일부 는 기판 지지대 ( 360 ) 로부터 이격 되 어 있 고 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 의 하 부면 의 나머지 부분 은 기판 지지대 ( 360 ) 위 에 놓여진 기판 ( 370 ) 의 가장자리 와 접촉 하 여 이 부분 을 덮 고 있 다 .