다음 에 , 웨이퍼 ( W ) 가 수용 되 고 밀폐 되 어 챔버 내 가 무산소 가 된 챔버 ( 4 ) 는 , 예컨대 , 도 8 에 나타내 는 히터 ( 360 ) 를 내장 하 는 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 에 배치 된다 . 전원 ( 462 ) 이 접속 된 히터 ( 360 ) 는 , 예컨대 , 전열선 등 으로 구성 되 는 전열 히터 이 지만 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 챔버 ( 4 ) 를 단시간 에 균등 하 게 가열 할 수 있 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 가열 되 기 전 의 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 상 에 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 챔버 ( 4 ) 를 배치 하 여 , 가열 되 기 전 의 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 상 에서 챔버 ( 4 ) 의 진공 처리 를 행하 여도 좋 다 . 또한 , 챔버 ( 4 ) 는 , - 85 ㎪ 내지 - 100 ㎪ 로 감압 한다 .