도 2 i 를 참조 하 면 , 상기 제 1 층간 유전 막 ( 157 ) 을 상기 제 1 및 제 2 더미 게이트 패턴 들 ( 130 a , 130 b ) 이 노출 될 때 까지 평탄 화 시킨다 . 이때 , 상기 수동 소자 영역 ( 70 ) 내 의 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 상부 면은 상기 더미 게이트 패턴 들 ( 130 a , 130 b ) 의 상부 면 들 보다 낮 다 . 이 에 따라 , 상기 수동 소자 영역 ( 70 ) 내 의 평탄 화 된 제 1 층간 유전 막 ( 157 a ) 은 상기 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 상부 면 을 덮 는다 . 다시 말 해서 , 상기 더미 게이트 패턴 들 ( 130 a , 130 b ) 의 상부 면 들 은 노출 되 는 반면 에 , 상기 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 상부 면은 노출 되 지 않 는다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 측벽 상 의 절연 스 페이서 ( 138 ) 의 상단 은 상기 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 상부 면 보다 높 을 수 있 다 . 이때 , 상기 수동 소자 영역 ( 70 ) 내 의 평탄 화 된 제 1 층간 유전 막 ( 157 a ) 은 상기 수동 소자 패턴 ( 125 r ) 의 측벽 상 의 절연 스 페이서 ( 138 ) 도 덮 을 수 있 다 .