다음 으로 , 단계 ( S 4 ) 에 있 어서 , 도 6 의 ( D ) 와 같이 , 얼라인먼트 카메라 ( 1310 ) 에 의해 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 의 각각 의 얼라인먼트 마크 가 동시 에 계측 된다 . 또한 , 반송 캐리어 ( 302 ) 에 는 , 얼라인먼트 카메라 의 광축 방향 을 따라 관통 구멍 이 마련 되 어 있 다 . 얼라인먼트 카메라 는 , 이 관통 구멍 을 통하 여 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 에 마련 된 얼라인먼트 마크 를 계측 할 수 있 다 . 또한 , 얼라인먼트 마크 계측 을 가능 하 게 하 는 구성 이 라면 , 관통 구멍 이 아니 라 , 예 를 들 면 노치 등 을 이용 해도 된다 .