또한 , 냉각 재킷 ( 130 ) 의 유로 ( 133 ) 의 상판 부 ( 134 ) 에 있 어서 , 타 겟 ( 110 ) 보다 외력 에 대하 여 변형 되 기 쉬운지 아닌지 로 하 여도 좋 다 . 이것 에 의해 , 보다 미소 한 영역 에서 의 박리 를 억제 함 으로써 , 타 겟 ( 110 ) 및 냉각 재킷 ( 130 ) 전체 의 박리 를 억제 할 수 있 다 .