마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 에 는 증착 챔버 ( 46 ) 내 의 기판 ( S 1 , S 2 ) 상 에 마스크 를 탈 부착 하 는 마스크 탈 부착 유닛 ( 300 ) 이 설치 된다 . 마스크 탈 부착 유닛 ( 300 ) 은 직선 구동 부재 ( 310 ) 및 회전 구동 부재 ( 320 ) 를 가진다 . 직선 구동 부재 ( 310 ) 는 증착 챔버 ( 46 ) 로 이송 된 기판 과 마주 보 도록 마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 에 제공 되 는 마스크 를 마스크 와 기판 이 마주 보 는 방향 으로 직선 왕복 운동 시킨다 . 회전 구동 부재 ( 320 ) 는 기판 상 에 부착 되 는 마스크 를 기판 과 정렬 시키 기 위해 마스크 면 의 중심 에 수직 한 축 을 기준 으로 마스크 를 회전 시킨다 .