상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 탐침 현미경 의 리소그래피 장치 및 방법 에 따르 면 , 샘플 에 나노 구조물 을 제조 하 기 위한 정보 및 디지털 또는 아 날로 그 샘플 의 위치 정보 를 입력 받 고 , 상기 샘플 에 나노 구조물 을 제조 하 기 위한 정보 에 포함 된 샘플 의 위치 정보 입력 방법 에 따라 선택 된 디지털 또는 아 날로 그 샘플 의 위치 정보 를 설정 된 리소그래피 알고리즘 에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아 날로 그 리소그래피 신호 를 생성 하 여 출력 함 으로써 , 사용 자 가 원 하 는 위치 에서 나노 구조물 제조 를 위한 신호 를 생성 할 수 있 다 .