이러 한 문제점 을 해결 하 기 위한 대안 의 하나 로 산화 막 이나 질화 막 에 비해 상 대 적 으로 유전 율 이 높 은 금속 산화물 들 이 차세대 소자 의 대체 물질 로 연구 가 진행 되 고 있 다 . 즉 , 유전 율 이 크 면 동일 한 전기 용량 을 내 는데 필요 한 물리 적 인 두께 를 늘릴 수 있 기 때문 에 같 은 유효 산화 두께 ( EOT ) 에서 산화 막 보다 누설 전류 ( leakage current ) 특성 및 전하 유지 ( charge retention ) 특성 을 향상 시킬 수 있 게 된다 .