플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 챔버 ( 10 ) 를 구비 한다 . 챔버 ( 10 ) 는 , 그 속 에 내부 공간 ( 10 s ) 을 제공 한다 . 챔버 ( 10 ) 는 챔버 본체 ( 12 ) 를 포함 한다 . 챔버 본체 ( 12 ) 는 , 대략 원통 형상 을 갖 는다 . 챔버 본체 ( 12 ) 는 , 예컨대 알루미늄 으로 형성 된다 . 챔버 본체 ( 12 ) 의 내 벽면 상 에 는 , 내부 식성 을 갖 는 막 이 설치 되 어 있 다 . 상기 막 은 , 산화알루미늄 , 산화 이트륨 등 의 세라믹스 여도 좋 다 .