그래서 , 출원인 은 , 전술 한 요철 { LWR ( Line Width Roughness ) , LER ( Line Edge Roughness ) } 을 개선 하 는 방법 으로서 , 레지스 트 의 용제 분위기 를 사용 하 여 , 레지스 트 패턴 의 최 외측 표면 을 용해 시켜 평활 화 하 는 수법 ( 스무 딩 처리 ) 을 이미 제안 하 고 있 다 ( 예컨대 , 특허 문헌 1 참조 ) .