일부 실시 예 들 에서 , 시스템 제어기 ( 550 ) 는 프로세스 툴 ( 500 ) 의 모든 액티비티 들 을 제어 한다 . 시스템 제어기 ( 550 ) 는 대용량 저장 디바이스 ( 554 ) 에 저장 되 고 메모리 디바이스 ( 556 ) 내 로 로딩 되 어 프로세서 ( 552 ) 상 에서 실행 되 는 시스템 제어 소프트웨어 ( 558 ) 를 실행 한다 . 대안 적 으로 , 제 어 로직 은 제어기 ( 550 ) 내 에서 하드 코딩 될 수 있 다 . ASIC ( Applications Specific Integrated Circuits ) , PLD ( Programmable Logic Devices ) ( 예 를 들 어 , FPGA ( field - programmable gate arrays ) ) 등 이 이 들 목적 들 을 위해서 사용 될 수 도 있 다 . 이하 의 논의 에서 , " "" 소프트웨어 "" 또는 "" 코드 "" 가 사용 될 때 마다 ", 기능 적 으로 필적 할 만 한 하드 코딩 된 로직 이 대신 에 사용 될 수 도 있 다 . 시스템 제어 소프트웨어 ( 558 ) 는 타이밍 , 가스 의 혼합물 , 가스 플로우 레이트 , 챔버 및 / 또는 스테이션 압력 , 챔버 및 / 또는 스테이션 온도 , 웨이퍼 온도 , 타깃 전력 레벨 들 , RF 전력 레벨 들 , 기판 페데 스탈 , 척 및 / 또는 서 셉 터 ( susceptor ) 위치 , 및 프로세스 툴 ( 500 ) 에 의해서 수행 되 는 특정 한 프로세스 의 다른 파라미터 들 을 포함 할 수 있 다 . 시스템 제어 소프트웨어 ( 558 ) 는 임의 의 적합 한 방식 으로 구성 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 다양 한 프로세스 툴 프로세스 들 을 실행 하 는 데 사용 된 프로세스 툴 컴포넌트 들 의 동작 을 제어 하 도록 다양 한 프로세스 툴 컴포넌트 서브루틴 들 또는 제 어 객체 들 이 작성 될 수 도 있 다 . 시스템 제어 소프트웨어 ( 558 ) 는 임의 의 적합 한 컴퓨터 판독 가능 프로그래밍 언어 로 코딩 될 수 도 있 다 .