또한 상기 와 같 은 종래 의 다른 예 에 따른 진공 처리 장치 의 개폐 장치 는 챔버 본체 ( 11 ) 로부터 상부 하우징 ( 13 ) 을 상승 시킨 후 에 수평 이 동하 게 되 어 그 개폐 과정 이 복잡 할 뿐 만 아니 라 개폐 에 소요 되 는 시간 이 오래 걸려 진공 처리 장치 의 유지 보수 를 위한 작업 시간 이 상대 적 으로 오래 걸리 는 문제점 이 있 다 .