이것 는 도 1 의 C 영역 에 해당 하 는 폭 이 큰 트렌치 에서 는 B 영역 에 해당 하 는 폭 이 좁 은 트렌치 에서 와 달리 상하좌우 네 방향 으로부터 증착 되 는 매립 절 연막 이 맞닿 게 되 므로 , C 영역 에서 유발 되 는 심 ( seam ) 의 크기 가 B 영역 에서 유발 되 는 심 ( seam ) 의 크기 보다 기본 적 으로 큰데 , 고집 적 화 에 따라 트렌치 의 측벽 경사각 이 커지 게 되 면 , HARP 막 증착 시 유발 되 는 심 ( seam ) 의 크기 가 더욱 커 지 게 되 고 어닐링 에 의한 심 ( seam ) 제거 가 어려워 지 기 때문 이 다 .