그리고 , 압력 조 절부 ( 50 ) 는 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 의 상측 에 구획 형성 된 다수 의 압력 챔버 ( C 1 , C 2 , C 3 , C 4 ) 에 공 압 공급 관 ( 55 ) 을 통해 독립 적 으로 각 압력 챔버 ( C 1 , C 2 , C 3 , C 4 ) 의 압력 ( P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ) 를 조절 하 여 , 연마 공정 중 에 웨이퍼 ( W ) 를 가압 하 는 가압 력 을 압력 챔버 별로 제어 한다 .