온도계 , 냉각관 및 교반 장치 를 구비 한 가지 플라스크 에 HPS - H 10 K ( 마루 젠 석유 화 학제 , Mw = 10 , 000 , 파라 하이드 록 시스타 이렌 호모 폴리머 , 30 질량 % PGMEA 용액 ) 266 부 , 10 질량 % 트라이 플 루 오로 아세트산 ( PGMEA 용액 ) 을 1 . 9 부 , PGMEA 42 부 를 첨가 하 고 , 40 ℃ 로 승 온 했 다 . 계속 해서 , 당해 가지 플라스크 에 , 에틸 바이닐 에 터 19 . 5 부 , PGMEA 18 . 6 부 를 혼합 한 용액 을 30 분 에 걸쳐 적하 했 다 . 적하 종료 후 , 40 ℃ 에서 4 시간 숙성 하 여 , 반응 을 실시 했 다 . 반응 종료 후 , PGMEA 42 부 를 반응 용액 에 투입 하 고 , 희석 을 실시 했 다 . 그 후 , 앰버 리스트 B 20 - HG · DRY ( 오가노 사제 ) 3 . 7 부 로 약 6 시간 에 걸쳐 이온 교환 을 실시 하 여 , 산 촉매 ( 트라이 플 루 오로 아세트산 ) 의 제거 를 실시 했 다 . 얻 어 진 수지 용액 으로부터 산분 해성 수지 를 샘플링 하 여 , 중량 평균 분자량 ( Mw ) , 아세 탈기 의 보호 율 , 및 금속 이온 농도 를 측정 했 다 .