PSi 와 CNT 시편 외 에 ROS 를 감지 하 는 데 사용 될 Fe 박막 은 r . f . 마그네 트 런 스퍼터링 법 으로 제작 하 였 다 . 1 μ m 두께 의 Fe 박막 을 2 . 5 cm × 2 . 5 cm × 0 . 05 cm 의 P 형 Si ( 100 ) 조각 위 에 증착 하 였 다 . 이어서 진공 포장 에 앞서 Fe 가 증착 된 Si 시편 을 묽 은 HF 용액 ( 탈 이 온수 : HF = 50 : 1 , v / v ) 에 5 분 간 담궈 Fe 표면 의 자연 산화 막 을 제거 하 였 다 . 한편 , PSi 및 CNT 층 의 표면 에 체세포 대용 으로 바셀린 ( 1 . 5 mg ) 을 사용 하 여 유기물 박막 을 코팅 하 였 다 .