( c ) 본 실시 형태 에서 설명 한 일 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 시점 에서 의 처리 중 로트 의 미처리 매수 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 계속 해서 수행 하 는 기판 처리 의 처리 매수 를 가변 시킨다 . 따라서 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 을 임기 응변 으로 가변 시키 는 것 이 가능 해 지 고 , 그 결과 적 으로 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 에 대해서 한층 더 적정 화 를 도모 할 수 있 다 .