상기 서술 한 바 와 같이 하 여 구성 된 본 제 2 실시 형태 의 노광 장치 에 의하 면 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 미동 영향 을 받 지 않 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 를 양호 한 정밀도 로 계측 할 수 있 는 것 외 에 , 전술 한 제 1 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 와 동등 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .