본 발명 의 실시 양태 에 따르 면 , 단계 ( 101 ) 에서 스퍼터 표적 은 단일 화합물 , 다중 구성 성분 복합 재 , 또는 유의 적 으로 상이 한 조성 을 지닌 표적 의 범위 에 속하 는 표적 타일 의 집합 으로 제조 될 수 있 다 . 모든 경우 에서 , 개별 타일 세그먼트 는 300 cm 2 보다 큰 것 이 바람직 하 다 . 1 이상 의 상이 한 유형 의 표적 이 소정 의 막 을 형성 시키 는 데 필요 하 다면 , 스퍼터링 된 종 들 이 기판 상 의 성장 하 는 막 을 향해 동시 적 으로 유도 되 는 복수 개 스퍼터 캐소드 로부터 의 증착 및 / 또는 임의 의 표적 변환 ( switching ) 과 함께 기판 이동 ( translation ) 을 이용 할 수 있 다 . 본 발명 의 추가 이점 은 전기 전도성 표적 이 전형 적 인 전기 절연성 표적 보다 더 열 적 전도 성 을 기본 적 으로 갖 는다는 점 이 다 . 이러 한 열 적 전도도 의 증가 는 종래 의 보다 얇 은 것 ( 0 . 6 cm ) 과 비교 하 여 보다 두꺼운 표적 ( 5 cm 이하 ) 의 수행 을 허용 함 으로써 , 표적 교체 의 빈도 를 감소 시키 게 된다 ( 이 는 전체 적 인 제조 비용 을 감소 시키 게 된다 ) .