본원 에 개시 된 전구체 는 당해 분야 에 공지 된 것 과 는 상이 한 구조 를 가지 고 , 이 에 따라 , 통상 적 인 규소 - 함유 전구체 에 비해 더욱 양호 한 성능 을 발휘 할 수 있 고 , 비교 적 높 은 GPC 를 제공 하 여 , 보다 높 은 품질 의 막 을 산출 하 거나 바람직 한 습식 에칭 률 을 가지 거나 보다 적 은 원소 오염 을 갖 는다 .