[ 4 ] DE 19708808 에 추가 적 인 방법 들 을 분석 하 고 있 는데 , 이 들 중 몇몇 은 심각 하 고 중대 한 문제점 을 가져 제외 되 고 , 결국 실리콘 테트라 아세테이트 ( Silicon tetraacetate ) 가 전구체 로서 사용 되 는데 , 원칙 적 인 적합 성 이 [ 7 ] : 문헌 [ MARUYAMA et al . , Japanese Journal of Applied Physics , vol . 28 , 1989 , L 2253 ] 에 이미 기재 되 어 있 다 . 여기 서 , 전 구체 는 휘발 성 물질 로서 기상 으로 전환 될 수 있 는 물질 , 즉 잔기 없이 기화 할 수 있 어야 만 하 고 , 화학 증착 ( CVD ) 코팅 법 에서 원 하 는 코팅 을 하 기 위한 운반 물질 로서 가능 한 물질 을 의미 하 는 것 으로 이해 된다 .