성막 장치 는 , 제 어부 ( 270 ) 를 가진다 . 제 어부 ( 270 ) 는 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) , 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) , 냉 각판 Z 액 츄 에 이터 ( 252 ) , XY θ 액 츄 에 이터 및 카메라 ( 260 , 261 ) 의 제어 를 행하 는 것 이외 에 , 기판 ( 10 ) 의 반송 및 얼라인먼트 의 제 어 및 증발원 ( 240 ) 을 제어 하 는 기능 을 가진다 . 제 어부 ( 270 ) 는 , 예 를 들 면 , 프로세서 , 메모리 , 스토리지 , I / O 등 을 갖 는 컴퓨터 에 의해 구성 가능 하 다 . 이 경우 , 제 어부 ( 270 ) 의 기능 은 , 메모리 또는 스토리지 에 기억 된 프로그램 을 프로세서 가 실행 함 으로써 실현 된다 . 컴퓨터 로서 는 , 범용 의 퍼스널 컴퓨터 를 이용 해도 좋 고 , 임베디드 형 의 컴퓨터 또는 PLC ( programmable logic controller ) 을 이용 해도 된다 . 또는 , 제 어부 ( 270 ) 의 기능 일부 또는 모두 를 ASIC 이나 FPGA 와 같 은 회로 로 구성 하 여도 된다 . 한편 , 성막 장치 별 로 제 어부 ( 270 ) 가 설치 되 어 있 어도 되 고 , 하나 의 제 어부 ( 270 ) 가 복수 의 성막 장치 를 제어 하 여도 된다 .