세정 챔버 들 ( 500 ) 은 기판 이송 유닛 ( 400 ) 의 통로 ( 410 ) 양측 에 복수 개 가 나란히 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 세정 챔버 들 ( 500 ) 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 이송 유닛 ( 400 ) 의 통로 ( 410 ) 양측 에 2 개 씩 4 개 가 한 층 을 이루 도록 배치 될 수 있 다 . 그리고 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 동일 한 구조 로 배치 된 세정 챔버 들 ( 500 ) 이 다른 하나 의 층 을 이루 며 복 층 구조 로 배치 될 수 있 다 .