이 때 , 컵 체 ( 2 ) 의 내부 공간 은 배기 로 ( 245 ) 를 거쳐 흡인 되 어 부압 으로 되 어 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 의 상방 에 있 는 기체 ( 청정 공기 도입 유닛 ( 14 ) 으로부터 하우징 ( 11 ) 에 도입 된 청정 공기 ) 가 , 제 1 간극 ( G 1 ) 및 제 2 간극 ( G 2 ) 을 거쳐 컵 체 ( 2 ) 내 의 배기 유로 ( 27 ) 에 인입 된다 . 또한 , 가스 토출구 ( 212 , 213 ) 로부터 토출 된 N 2 가스 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 회전 의 영향 에 의해 컵 체 ( 2 ) 의 내주 측 부분 ( 21 ) 의 상면 ( 211 ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 이면 과 의 사이 의 공간 으로부터 외방 으로 유출 되 고 , 배기 유로 ( 27 ) 로 유입 된다 . 상술 한 가스 ( 청정 공기 및 N 2 가스 ) 의 흐름 이 형성 되 어 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 비산 ( 이탈 ) 한 약액 의 액적 혹은 미스트 는 가스 의 흐름 을 타 고 배기 유로 ( 27 ) 를 유하 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 근방 으로부터 멀 어 진다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 이탈 한 약액 이 웨이퍼 ( W ) 에 재 부착 하 는 것 이 방지 된다 .