위 의 어느 경우 이 든 , 상기 차광막 ( 2 ) , 반사 방지 막 ( 3 ) 및 하드 마스크 막 ( 4 ) 은 코발트 ( Co ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 텅스텐 ( W ) , 몰리 브 데 늄 ( Mo ) , 바나듐 ( V ) , 팔라듐 ( Pd ) , 티타늄 ( Ti ) , 니오븀 ( Nb ) , 아연 ( Zn ) , 하프늄 ( Hf ) , 게르마늄 ( Ge ) , 크롬 ( Cr ) , 알루미늄 ( Al ) , 플 래 티 늄 ( Pt ) , 망간 ( Mn ) , 철 ( Fe ) , 실리콘 ( Si ) , 몰리 브 데 늄 실리사이드 ( MoSi ) , 니켈 ( Ni ) , 카드뮴 ( Cd ) , 지르코늄 ( Zr ) , 마그네슘 Mg ) , 리튬 ( Li ) , 셀렌 ( Se ) , 구리 ( Cu ) , 이트륨 ( Y ) , 인듐 ( In ) , 주석 ( Sn ) 루 쎄 늄 ( Ru ) , 루비듐 ( Rh ) , 타크 늄 ( Tc ) , 오스뮴 ( Os ) 으로 이루어진 군 으로부터 선택 된 적어도 1 종 이상 의 금속 이 거나 , 상기 선택 된 적어도 1 종 이상 의 금속 에 산소 ( O ) , 질소 ( N ) , 탄소 ( C ) , 불소 ( F ) , 염소 ( Cl ) , 수소 ( H ) , 보론 ( B ) 중 1 종 이상 이 포함 된 금속 화합물 인 것 이 바람직 하 다 . 특히 , 차광막 ( 2 ) 이 크롬 ( Cr ) 을 주성분 으로 하 는 물질 이 고 하드 마스크 막 ( 4 ) 이 탄 탈륨 ( Ta ) 계열 의 물질 이 거나 또는 , 차광막 ( 2 ) 이 탄 탈륨 ( Ta ) 계열 의 물질 이 고 하 드 마 스 크 막 ( 4 ) 이 크롬 ( Cr ) 계열 의 물질 인 것 이 더욱 바람직 하 다 .