제 1 펌핑 라인 ( 360 a ) 은 챔버 ( 310 ) 내부 를 진공 상태 로 형성 하 기 위해 진공 펌프 ( 361 ) 에 연결 된다 . 바람직 하 게 는 , 진공 펌프 ( 361 ) 로서 드라이 펌프 를 사용 할 수 있 다 . 드라이 펌프 는 주로 화학 기상 증착 ( CVD , Chemical Vapor Deposition ) 장치 나 식각 ( Eching ) 장치 등 에서 활성 가스 의 배기 및 고 온 진공 배기 에 사용 되 며 , 불활성 가스 의 배기 펌프 로 사용 되 기 도 한다 .