임피던스 설 정부 ( 30 b ) 는 가상 챔버 ( 10 ) 의 임피던스 를 설정 한다 . 임피던스 설 정부 ( 30 b ) 는 사용 자 입력 , 시스템 설정 또는 공정 챔버 의 임피던스 시뮬레이션 결과 에 따라 가상 챔버 ( 10 ) 의 임피던스 를 설정 할 수 있 다 . 또는 , 공정 챔버 에 대한 임피던스 분석 결과 가 저장 되 어 있 는 경우 , 임피던스 설 정부 ( 30 b ) 는 공정 챔버 의 임피던스 분석 결과 에 따라 가상 챔버 ( 10 ) 의 임피던스 를 설정 할 수 있 다 .