그러나 , 상기 슬롯 부 ( 128 ) 측벽 에 세정액 흡입 을 위한 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 을 형성 할 경우 , 웨이퍼 ( W ) 표면 을 흐르 는 세정액 이 슬롯 부 ( 128 ) 하부 에 정체 되 어 있 지 않 고 신속 하 게 상기 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 에 의해 흡입 된 후 , 세정액 배수 라인 ( 132 ) 을 통해 배출 된다 . 이때 , 상기 웨이퍼 ( W ) 를 세정 하 는 세정액 속 에 는 리프트 오프 된 패턴 들 이 포함 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 세정액 이 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 및 세정액 배수 라인 ( 132 ) 을 통해 흡입 및 배출 되 는 과정 에서 세정액 에 포함 된 파티클 ( 134 ) 또한 흡입 및 배출 되 는 효과 를 얻 을 수 있 게 된다 . 그 결과 , 상기 세정액 에 포함 되 어 있 는 파티클 에 의해 웨이퍼 전면 에 흐름 성 디 펙 이 발생 되 는 종래 의 문제점 을 최소 화 할 수 있 다 .