일부 의 경우 , 전체 웨이퍼 에 대한 데이터 는 S - D 프로시저 시 에 계산 될 수 있 다 . 대안 으로 , 데이터 는 웨이퍼 의 일부 에 대해 계산 및 / 또는 예측 될 수 있 다 . 예컨대 , 그 일부 는 하나 이상 의 반경 영역 및 / 또는 사분면 을 포함 할 수 있 다 . 에러 상태 는 하나 이상 의 피 측정 값 및 / 또는 피 계산 / 피 예측 값 이 웨이퍼 에 대해 확립 된 정 확 도 한계 외부 에 있 는 경우 에 선언 될 수 있 다 . 일부 에러 는 S - D 정확 도 향상 프로시저 를 이용 하 여 제거 될 수 있 다 . 다른 에러 는 서브시스템 및 / 또는 컨트롤러 에 의해 해결 될 수 있 다 .