플레이트 ( 10 ) 는 그 사이 에 기판 ( w ) 을 탑재 하 기 위한 것 으로 , 흑연 과 같 은 도전 성 소재 로 이루어진다 . 플레이트 ( 10 ) 는 평판 형상 으로 형성 되 는데 , 본 실시 예의 경우 일 방향 으로 길 게 형성 된 직사각 형 의 평판 형상 으로 형성 된다 . 이 플레이트 ( 10 ) 는 복수 로 구비 되 며 , 서로 마주 보 도록 이격 되게 배치 된다 . 한편 , 플레이트 에 는 관 통공 이 형성 되 는데 , 본 실시 예의 경우 4 개 의 관 통공 ( 11 ) 이 플레이트 ( 10 ) 의 길 이 방향 으로 이격 되게 형성 된다 . 그리고 , 각 관 통공 은 기판 의 형상 에 대응 되 는 형상 으로 형성 되 되 기판 보다 작 은 크기 로 형성 되 며 , 기판 의 삽 입시 관통 공과 기판 은 마주 보 게 배치 된다 .