또한 , 제 어 장치 ( 150 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 에서 실행 되 는 각종 처리 를 제어 장치 ( 150 ) 의 제어 로 실현 하 기 위한 프로그램 이나 , 프로그램 을 실행 하 기 위해 필요 한 처리 조건 ( 레시피 ) 등 이 기억 된 기억 부 를 갖 는다 . 처리 조건 은 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 각 부 를 제어 하 는 제어 파라미터 , 설정 파라미터 등 의 복수 의 파라미터 값 을 정리 한 것 이 다 . 각 처리 조건 은 , 예컨대 처리 가스 의 유량 비 ( 각 MFC 에 설정 하 는 유량 등 ) , 처리 실 내 압력 , 고주파 전력 등 의 파라미터 값 을 갖 는다 .