도 11 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 실시 형태 에서 는 , 도 6 에 나타내 는 유량 조정 밸브 ( 41 B ) 가 제 1 조임 장치 ( 36 A ) 대신 에 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에 설치 되 어 있 다 . 전동 밸브 의 일례 인 유량 조정 밸브 ( 41 B ) 는 , 그 개도 를 임의 의 크기 로 변경 할 수 있 으므로 , 복수 의 처리 유닛 ( 2 ) 사이 에서 의 압력 손실 의 차 를 저감 할 수 있 다 .