이 와 같이 제조 된 단량체 ( 1 , 1 - 3 , 3 - 5 , 5 - 7 - 헵타메틸 - 7 - 프로필 에틸에테르 - 시클 로 테트라 실록 산 ) 는 감압 하 에 ( P < 10 mbar ) 증류 되 었 다 . 대부분 의 예비 증류 물 은 미 반응 헵타메틸시클로테트라실록산인 것 으로 밝혀졌 다 . 증류 는 또한 단량체 ( 증류 물 ) 로부터 백금 을 제거 하 기 위해 수행 되 었 다 . 상기 단량체 의 순도 는 가스 크로마토그래피 ( Agilent Technologies 6890 N network GC System , FID 검출기 ) 에 의해 분석 되 었 으며 95 % 순도 ( 면적 %) 로 밝혀졌 다 .