상기 스 페이서 막 을 에치 백 하 여 상기 제 1 내지 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 a ~ 104 c ) 의 측벽 에 는 각각 스 페이서 패턴 ( 106 ) 을 형성 한다 . 이 때 , 상기 스 페이서 패턴 들 ( 106 ) 사이 에 는 갭 ( 108 ) 들 이 생성 된다 . 이 때 , 상기 스 페이서 패턴 ( 106 ) 의 선폭 과 상기 갭 ( 108 ) 들 의 폭 은 F 일 수 있 다 . 여기 서 , 상기 갭 ( 108 ) 들 과 상기 제 1 내지 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 a ~ 104 c ) 이 형성 되 어 있 는 부위 는 상기 제 1 내지 제 3 라인 패턴 의 형성 영역 이 된다 .