도 5 c 를 참조 하 면 , 빔 ( 22 a ) 과 팁 ( 22 b ) 을 포함 하 는 프로브 ( 22 ) 가 형성 된 단일 의 희생 기판 ( 20 ) 과 범프 ( 42 ) 를 갖 는 프로브 기판 ( 40 ) 을 정렬 시킨다 . 즉 , 단일 의 희생 기판 ( 20 ) 에 형성 한 프로브 ( 22 ) 의 빔 ( 22 a ) 과 프로브 기판 ( 40 ) 에 형성 한 범프 ( 42 ) 각각 을 일 대 일 로 대응 시키 는 것 이 다 . 이때 , 언급 한 정렬 은 주로 마이크 로 스코프 를 사용 한 좌표 측정 에 의해 달성 된다 .