클 로부 ( 62 ) 는 , 대략 コ 자 형상 을 갖 고 있 고 , 수평 방향 으로 연장 되 는 기부 ( 62 b ) , 및 , 기부 ( 62 b ) 의 양단 으로부터 하방 으로 연장 되 는 2 개 의 클로 ( 62 a ) 를 갖 고 있 다 . 클 로부 ( 62 ) 는 , 클로 ( 62 a ) 에 의해 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 다리 ( 8 ) ( 도 2 참조 ) 를 걸 어 유지 한다 .