[ 0028 ] 일부 실시 예 들 에서 , 도어 오프너 ( 114 ) 와 캐리어 도어 ( 302 ) 사이 의 퍼징 될 총 볼륨 은 대략 0 . 1 L 내지 대략 0 . 2 L 의 범위 이 다 . 퍼지 가스 ( 예컨대 , N 2 ) 가 퍼지 가스 유입 포트 ( 602 ) 를 통해 볼륨 내 로 주입 되 는 레이트 는 대략 1 . 0 LPM 내지 대략 10 . 0 LPM 의 범위 이 다 . 배기 가스 배출 포트 들 ( 604 , 606 , 608 ) 각각 으로부터 의 유량 은 대략 0 . 1 LPM 내지 대략 10 . 0 LPM 의 범위 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 13 내지 25 개 의 기판 들 을 홀딩 할 수 있 는 기판 캐리어 들 을 수용 하 도록 설계 된 로드 포트 에 대한 볼륨 을 퍼 징하 는 데 걸리 는 시간 은 대략 5 초 내지 대략 1 . 5 분 의 범위 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 퍼지 가스 유입 포트 ( 602 ) 의 직경 은 대략 0 . 125 인치 내지 대략 0 . 5 인치 의 범위 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 리지 벽 의 개구 들 의 사이즈 는 대략 0 . 15 인치 내지 대략 2 . 0 인치 의 범위 이 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 둘레 채널 의 폭 및 깊이 는 대략 0 . 1 인치 내지 대략 1 . 5 인치 의 범위 이 다 . 다른 레이트 들 , 사이즈 들 , 치수 들 , 시간 들 , 및 값 들 이 가능 하 다 .