일 실시 형태 에서 , 스루홀 들 ( 117 ) 의 일부 또는 전부 는 가스 분배 유닛 을 관통 하 는 소정 의 각도 에서 연장 하 도록 정의 된다 . 도 3 d 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 관통 하 여 연장 되 도록 정의 된 스루홀 ( 117 ) 의 횡단면 과 각도 ( 303 ) 를 나타낸다 . 스루홀 ( 117 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 및 하 부면 들 ( 302 / 304 ) 사이 에서 수직 으로 연장 되 는 기준 방향 ( 301 ) 으로부터 오프셋 된 각도 ( 303 ) 에서 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 ( 302 ) 으로부터 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하부 면 ( 304 ) 으로 연장 되 도록 정의 된다 .