혼합 탱크 ( 200 , 210 ) 는 적어도 두 개 이상 의 탱크 ( tank ) 로 형성 될 수 있 다 . 도 2 에서 는 혼합 탱크 로 제 1 혼합 탱크 ( 200 ) 와 제 2 혼합 탱크 ( 210 ) 를 예시 하 고 있 으나 이 에 제한 되 지 않 고 3 이상 의 혼합 탱크 가 사용 될 수 있 음 은 물론 이 다 . 혼합 탱크 ( 200 , 210 ) 는 불 산 공급 부 ( 100 ) 와 순수 공급 부 ( 110 ) 로부터 공급 되 는 불 산 과 순수 가 혼합 되 는 공간 일 수 있 다 . 혼합 탱크 ( 200 , 210 ) 는 액체 를 담 을 수 있 는 수조 ( 미 도시 ) , 수조 에 담긴 액체 의 온도 를 조절 할 수 있 는 장치 ( 미 도시 ) 등 을 포함 할 수 있 다 . 수조 는 액체 를 보관 , 저장 할 수 있 고 , 온도 조절 장치 는 기판 처리 장치 ( 300 ) 에서 사용 되 는 오존 화 된 희석 불 산 의 온도 를 조절 할 수 있 다 .