1 차 전류 Ip 가 전력 공급 부 ( 702 ) 로부터 1 차 권선 ( 240 ) 에 인가 된다 . 전력 은 RF ( 예 를 들 면 , 약 10 kHz 내지 약 1 MHz 이상 또는 약 10 kHz 내지 약 5 MHz 또는 약 10 kHz 내지 약 13 MHz 미만 사이 의 ) 일 수 있 다 . 1 차 권선 ( 240 ) 을 통한 1 차 전류 Ip 의 흐름 은 자계 ( 622 ) 를 페라이트 ( 204 ) 에 생성 한다 . 자계 ( 622 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 내부 의 프로세스 가스 ( 110 ) 에서 2 차 전류 Is 를 유도 한다 . 결과 적 으로 , 프로세스 가스 는 플 라즈 마 ( 410 ) 를 형성 하 기 에 충분히 여기 된다 .