얻 어 진 시료 의 상 층 및 중간층 의 두께 측정 , 상층 의 조성 결정 은 , STEM ( 주사 형 전자 현미경 ) 분석 에 의한 선 분석 으로 행하 였 다 . 분석 한 원소 는 , 상층 , 중간 층 및 하층 의 조성 과 , C , S 및 O 이 다 . 이 원소 들 을 지정 원소 로 한다 . 또한 , 지정 원소 의 합계 를 100 ％ 로 하 여 , 각 원소 의 농도 ( at ％) 를 분석 하 였 다 . 두께 는 , 선 분석 ( 또는 면 분석 ) 으로부터 구한 거리 에 대응 한다 . STEM 장치 는 , 니혼 덴 시 가부 시 키가 이샤 제조 JEM - 2100 F 를 사용 하 였 다 . 본 장치 의 가속 전압 은 200 ㎸ 이 다 .