이 와 같이 , 본 실시 예 에 따르 면 , 복수 개 의 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 로부터 제공 되 는 정화 물질 이 한 데 합쳐 지 는 과정 에서 와류 를 일으키 지 않 도록 함 으로써 그 에 따른 온도 상승 의 문제 를 해소 하 고 , 나아가 정화 물질 상호 간 에 발생 가능 한 재결합 ( recombination ) 현상 을 줄여 챔버 ( 10 ) 내 에 도달 되 는 정화 물질 의 양 이 감소 되 지 않 도록 함 으로써 챔버 ( 10 ) 내 의 정화 효율 을 향상 시킬 수 있 게 된다 .