이 에 따라 , 상기 서로 마주 하 는 상 , 하부 서 셉 터 사이 ( 221 , 222 ) 사이 를 통과 하 는 반응 가스 는 웨이퍼 ( 2 , 2 ) 의 증착 면 인 상부 면 에서 화학 적 증착 반응 을 하 면서 상기 웨이퍼 ( 2 ) 의 표면 에 성장 층 을 균일 하 게 형성 하 고 , 반응 이 종료 된 폐 반응 가스 는 부산물 과 더불 어 상기 반응 챔버 의 중심부 에 구비 된 상 , 하부 중공축 ( 225 , 226 ) 및 이 에 연결 된 배기 라인 ( 251 , 252 ) 을 통하 여 배출 된다 .