상기 도 6 e 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 제 1 식각 가스 와 제 2 식각 가스 의 혼합 식각 가스 로 건식 식각 된 제 1 기판 ( 100 ) 의 요 홈 부 ( 111 a ) 는 상기 반사 부 ( RA ) 에 형성 되 며 , 상기 요 홈 부 ( 111 a ) 의 식각 깊이 ( a ) 는 기 형성 된 투 과부 ( TA ) 의 식각 홈 ( 148 ) 의 식각 깊이 ( b ) 보다 작 게 형성 된다 .