도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 는 , 상면 ( 10 a ) ( 제 1 면 ) 과 , 상면 ( 10 a ) 과 는 반대 측 에 마련 된 하 면 ( 10 b ) ( 제 2 면 ) 을 갖 는 하측 금속 시트 ( 10 ) ( 제 1 금속 시트 ) 와 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 상 에 마련 된 상측 금속 시트 ( 20 ) ( 제 2 금속 시트 ) 를 구비 하 고 있 다 . 하측 금속 시트 ( 10 ) 및 상측 금속 시트 ( 20 ) 는 , 모두 베이퍼 챔버 용 금속 시트 에 상당 한다 . 상측 금속 시트 ( 20 ) 는 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 상면 ( 10 a ) ( 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 측면 ) 에 중첩 된 하 면 ( 20 a ) ( 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 측 의 면 ) 과 , 하 면 ( 20 a ) 과 는 반대 측 에 마련 된 상면 ( 20 b ) 을 갖 고 있 다 . 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 하 면 ( 10 b ) ( 특히 , 후술 하 는 증 발부 ( 11 ) 의 하 면 ) 에 , 냉각 대상물 인 디바이스 D 가 설치 된다 .