압력 은 자신 에게 영향 을 미치 는 다수 의 인자 들 에 의존 하 고 개별 적 사례 별 로 최적 화 되 어야 하 거나 실험 적 으로 정해져야 하 므로 동압 의 크기 의 명세 는 이루어지 기 가 어렵 다 . 가벼운 기체 , 예 를 들 어 수소 는 무거운 기체 , 예 를 들 어 크세논 보다 낮 은 압력 을 발생 시킨다 . 또한 , 홀 들 의 수 및 이 들 의 단면 은 압력 을 결정 한다 . 기체 처리 량 이 그러 하 듯이 , 플 러딩 봉 ( flooding bar ) 들 과 기판 사이 의 거리 도 영향 인자 를 나타낸다 .