이러 한 해결 방 안 에 기초 하 여 , 상기 기술 적 과제 는 제 1 말 단부 와 제 2 말 단부 사이 에서 종축 을 따라 연장 된 복수 의 콘 택 요소 들 을 수용 하 는 테스트 헤드 , 상기 제 1 말 단부 가 접할 수 있 도록 구성 된 지지 플레이트 ( support plate ) , 및 제 1 면 과 그 반대편 의 제 2 면 을 갖 는 유연 막 을 포함 하 는 , 전자 소자 테스트 장치 용 프로브 카드 에 의해 해결 되 는데 , 상기 유연 막 의 제 1 부분 은 적어도 하나 의 지지 부 상 에 배치 됨 과 아울러 근위 말단 ( proximal end ) 과 원위 말단 ( distal end ) 사이 에서 연장 되 는 복수 의 스트립 들 을 포함 하 고 , 상기 프로브 카드 는 , 제 1 말 단부 와 제 2 말 단부 사이 에서 상기 종축 을 따라 연장 된 바디 를 포함 하 는 복수 의 마이크 로 콘 택 프로브 들 을 더 포함 하 고 , 각각 의 콘 택 요소 의 상기 제 2 말 단부 는 각 스트립 의 상기 원위 말단 에서 상기 유연 막 의 상기 제 1 면 에 접하 고 , 각각 의 마이크 로 콘 택 프로브 의 상기 제 1 말 단부 는 각 콘 택 요소 에서 상기 유연 막 의 상기 제 2 면 에 접하 고 , 상기 유연 막 은 상기 유연 막 의 제 2 부분 을 통하 여 상기 지지 플레이트 에 전기 적 으로 연결 되 고 , 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 의 상기 제 2 말 단부 는 피검 소자 의 콘 택 패드 들 에 콘 택할 수 있 도록 구성 되 고 , 적어도 하나 의 상기 지지 부 는 상기 복수 의 마이크 로 콘 택 프로브 들 을 수용 하 는 복수 의 가이드 홀 들 을 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .