도 14 는 , 본 발명 의 제 3 실시 형태 에 따른 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 의 부분 평면도 이 다 . 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 는 , 복수 의 마이크 로 요동 소자 X 2 를 포함 하 여 이루어진다 . 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 에서 , 복수 의 마이크 로 요동 소자 X 2 는 일렬 로 ( 즉 일차원 적 으로 ) 배치 되 어 있 다 .