도 9 및 도 10 은 종래 의 페이즈 마스크 장치 를 사용 하 여 노광 면 을 패 터닝 하 는 개념 도 이 다 . 이 경우 노광 면 이 평면 인 평판 ( 1 ) 을 패 터닝 하 며 , 이때 마스크 장치 ( 3 ) 도 평면 을 가진다 . 도 9 의 경우 빛 ( a ) 이 페이즈 마스크 장치 ( 3 ) 를 통과 하 여 평판 ( 1 ) 을 패 터닝 하 며 , 도 10 의 경우 페이즈 마스크 장치 ( 3 ) 에 차단 영역 ( 5 ) 이 있 는 경우 이 다 .