본 발명 의 몇몇 다른 실시 예 에 따른 가스 공급 자동 화 시스템 은 , 제 3 방향 ( D 3 ) 으로 적어도 하나 의 층 을 포함 할 수 있 다 . 적어도 하나 의 층 은 제 1 층 ( 301 ) 과 제 2 층 ( 302 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 2 층 ( 302 ) 은 예 를 들 어 , 제 3 방향 ( D 3 ) 으로 최상 위층 에 해당 할 수 있 다 . 제 1 층 ( 301 ) 은 가연 성 가스 외 의 가스 가 저장 된 제 1 가스 실린더 ( 20 ) 가 저장 될 수 있 다 . 제 2 층 ( 302 ) 은 가연 성 가스 가 저장 된 제 2 가스 실린더 ( 22 ) 가 저장 될 수 있 다 . 제 2 층 ( 302 ) 은 제 2 이 송부 ( 115 ) , 제 2 이송 로봇 ( 142 ) , 제 2 스토리지 큐 ( 330 ) 및 제 4 이송 로봇 ( 502 ) 이 배치 될 수 있 다 .