블록 ( 45 ) 에서 , 공정 제어 챔버 내 의 압력 은 , 공정 제어 챔버 내 의 측정 된 압력 의 피드백 에 적어도 부분 적 으로 기초 하 여 조절 될 수 있 다 . 공정 제어 챔버 내 의 압력 은 , 반응물 증기 의 증기 상태 를 유지 하 기 위해 제 2 온도 에서 반응물 증기 ( 임의 의 용매 포함 ) 의 최대 압력 이하 로 유지 될 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 바 와 같이 , 다양 한 구 현예 에서 , 제 2 밸브 는 공정 제어 챔버 의 상류 에 배치 될 수 있 다 . 제 2 압력 변환기 는 공정 제어 챔버 와 유체 연통 할 수 있 다 . 제 2 피드백 제어 회로 는 , 제 2 압력 변환기 및 제 2 밸브 를 전기 적 으로 연결 할 수 있 다 . 제 2 피드백 제어 회로 는 , 응축 및 불 완전 한 기화 를 방지 하 기 위해 압력 이 압력 설정 지점 아래 에 있 도록 보장 할 수 있 다 . 또한 , 일부 구 현예 에서 , 공정 제어 챔버 의 상류 에 있 는 압력 설정 포인트 는 반응기 공정 의 공정 파라미터 를 조절 하 기 위해 기화기 로부터 낮 아 질 수 있 다 .