이어서 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 편집 된 데이터 를 주 노광 장치 ( EX 1 ) 용 의 제 1 노광 데이터 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 용 의 제 2 노광 데이터 로 분할 한다 ( S 4 ) . 사용자 의 지시 또는 주제 어부 ( 6 ) 에 의한 선정 에 의해 , 기판 ( P ) 상 의 디바이스 를 형성 하 는 쇼트 영역 ( SH 1 ∼ SH 3 ) 의 노광 처리 는 주 노광 장치 ( EX 1 ) ( 또는 종 노광 장치 ( EX 2 ) ) 에 할당 되 고 , 쇼트 영역 ( SH 4 및 SH 5 ) 의 노광 처리 는 종 노광 장치 ( EX 2 ) ( 또는 주 노광 장치 ( EX 1 ) ) 에 할당 되 어 있 다 . 따라서 , 제 1 노광 데이터 는 쇼트 영역 ( SH 1 ∼ SH 3 ) 을 노광 하 기 위해 주 노광 장치 ( EX 1 ) 를 제어 하 는 데이터 가 되 고 , 제 2 노광 데이터 는 쇼트 영역 ( SH 4 및 SH 5 ) 을 노광 하 기 위해 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 하 는 데이터 가 된다 . 즉 , 제 1 노광 데이터 는 전술 한 데이터 편집 공정 ( S 2 ) 에서 편집 된 화면 ( R 1 ∼ R 3 ) 의 위치 정보 ( 쇼트 영역 ( SH 1 ∼ SH 3 ) 의 위치 정보 ) 를 포함 하 고 , 제 2 노광 데이터 는 화면 ( R 4 및 R 5 ) 의 위치 정보 ( 쇼트 영역 ( SH 4 및 SH 5 ) 의 위치 정보 ) 를 포함 한다 . 이렇게 하 여 분할 된 제 1 노광 데이터 는 주제 어부 ( 6 ) 에 남 아 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 제어 에 사용 된다 . 제 2 노광 데이터 는 , 출력 부 ( 68 ) 를 통하 여 종제 어부 ( 8 ) 로 출력 된다 ( S 5 ) . 또한 , 데이터 분할 공정 ( S 4 ) ( 또는 데이터 편집 공정 ( S 2 ) ) 에서 는 , 분할 된 데이터 에 기초 하 여 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에서 의 노광 처리 시간 을 포함 하 는 노광 시스템 ( SS ) 의 노광 스케줄 이 결정 되 고 , 그러 한 노광 스케줄 을 포함 하 는 정보 는 출력 부 ( 68 ) 로부터 반송 장치 ( 90 ) 로 출력 된다 .