웨이퍼 ( 9 ) 에 는 , 도 15 및 도 16 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 ( 9 ) 의 원주 방향 에 있 어서 의 정규 인 위치 를 나타내 는 표적 , 위치 결정 부위 로서 V 자 모양 또는 U 자 모양 으로 노치 된 노치 ( 91 ) 가 외주 부 에 형성 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( 9 ) 에 형성 된 노치 ( 91 ) 를 검출 하 는 노치 센서 ( 73 ) 는 도 15 에 있 어서 , 턴테이블 ( 71 ) 의 좌측 의 위치 에 마련 되 어 있 다 ( 도 16 에서 는 좌상 측 ) . 이 노치 센서 ( 73 ) 는 발광 소자 와 수광 소자 로 이루어지 는 포토 센서 로서 , 구체 적 으로 는 검 출광 을 조사 하 는 LED 와 그 조사 광 의 반사광 을 검지 하 는 포토 다이오드 와 , 이 들 LED 및 포토 다이오드 에 출입 하 는 광선 을 웨이퍼 ( 9 ) 에 대해서 안내 하 는 광로 통 을 구비 하 고 있 다 . 이 때문 에 , 핸드 ( 66 ) 가 유지 한 웨이퍼 ( 9 ) 의 연부 ( 緣 部 ) 에 대해 LED 의 검 출광 이 조사 되 고 , 연부 에 의해 반사 한 경우 는 반사광 이 포토 다이오드 에 입사 되 고 , 노치 ( 91 ) 를 통과 해 반사 하 지 않 는 경우 는 포토 다이오드 로 의 입사 가 되 지 않 는다 . 이것 에 의해 , 노치 ( 91 ) 의 위치 를 검출 한다 .