또한 , WCl 6 가스 공급 기구 ( 51 ) 는 , 성막 원료 탱크 ( 91 ) 내 에 상방 으로부터 삽입 된 캐리어 가스 배관 ( 92 ) 과 , 캐리어 가스 배관 ( 92 ) 에 캐리어 가스 인 N 2 가스 를 공급 하 기 위한 캐리어 N 2 가스 공급원 ( 93 ) 과 , 캐리어 가스 배관 ( 92 ) 에 접속 된 , 유량 제어기 로서 의 매스 플로 컨트롤러 ( 94 ) 및 매스 플로 컨트롤러 ( 94 ) 의 하류 측 의 개폐 밸브 ( 95 a 및 95 b ) 와 , WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 의 성막 원료 탱크 ( 91 ) 의 근방 에 설치 된 , 개폐 밸브 ( 96 a 및 96 b ) , 및 유량계 ( 97 ) 를 갖 고 있 다 . 캐리어 가스 배관 ( 92 ) 에 있 어서 , 개폐 밸브 ( 95 a ) 는 매스 플로 컨트롤러 ( 94 ) 의 바로 아래 위치 에 설치 되 고 , 개폐 밸브 ( 95 b ) 는 캐리어 가스 배관 ( 92 ) 의 삽입 단의 측 에 설치 되 어 있 다 . 또한 , 개폐 밸브 ( 96 a 및 96 b ) , 및 유량계 ( 97 ) 는 , WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 의 삽입 단 에서부터 개폐 밸브 ( 96 a ) , 개폐 밸브 ( 96 b ) , 유량계 ( 97 ) 의 순서 대로 배치 되 어 있 다 .