도 1 에 도시 되 는 바 와 같이 , 인 젝 터 ( 110 ) 에 는 , 인 젝 터 ( 110 ) 에 가스 를 공급 하 기 위한 가스 공급계 ( 120 ) 가 접속 되 어 있 다 . 가스 공급계 ( 120 ) 는 , 인 젝 터 ( 110 ) 에 연통 되 는 금속 , 예 를 들 어 스테인리스강 에 의해 형성 되 는 가스 배관 ( 121 ) 및 가스 배관 ( 121 ) 에 접속 된 가스 봄베 ( 126 ) 를 갖 고 있 다 . 또한 , 가스 배관 ( 121 ) 도중 에 는 , 매스 플로우 컨트롤러 등 의 유량 제어기 ( 123 ) 및 개폐 밸브 ( 122 ) 가 순차 마련 되 어 있 어 , 가스 봄베 ( 126 ) 로부터 공급 된 처리 가스 의 유량 을 제어 하 면서 공급 할 수 있 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 처리 에 필요 한 다른 처리 가스 도 , 마찬가지 로 구성 된 가스 공급계 ( 120 ) 및 매니폴드 ( 90 ) 를 통해서 공급 된다 .