예시 적 인 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 카세트 취급 부분 ( 2 ) 을 포함 할 수 있 고 , 그 위 에 복수 의 기판 ( 15 ) 을 갖 는 카세트 ( 3 ) 가 배치 될 수 있 다 . 카세트 취급 부분 ( 2 ) 은 , 기판 처리 장치 와 카세트 ( 3 ) 내 의 나머지 팹 사이 에서 기판 ( 15 ) 을 이송 하 기 위한 팹 입력 / 출력 포트 로서 기능 할 수 있 다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 도 1 의 기판 처리 방법 에 적합 할 수 있 다 .