( c ) 감방 사선 성 산 발생 제 는 , 제 1 방사선 의 조사 에 의해 , 산 을 발생 하 고 , 또한 상기 일부 조사 공정 에서 제 1 방사선 이 조사 되 지 않 는 비조 사 부 에서 는 , 제 2 방사선 의 조사 에 의해 상기 산 이 실질 적 으로 발생 하 지 않 는 성분 이 며 , 상기 ( a ) 감방 사선 성 산 - 증 감체 발생 제 와 는 다른 것 이 다 . ( c ) 감방 사선 성 산 발생 제 는 상기 성질 을 가지 므로 , 전체 면 조사 시 에 방사선 증감 반응 에 의해 레지스 트 막 의 일부 조 사 부 만 으로 산 을 발생 시킬 수 있 다 .