그리고 상기 제 1 챔버 ( 100 ) 는 진공 처리 장치 를 이루 는 로드 락 챔버 및 반송 챔버 중 어느 하나 이 고 , 제 2 챔버 ( 200 ) 는 나머지 하나 로 구성 될 수 있 다 . 또한 상기 제 1 챔버 ( 100 ) 는 진공 처리 장치 를 이루 는 반송 챔버 및 진공 챔버 중 어느 하나 이 고 , 제 2 챔버 ( 200 ) 는 나머지 하나 로 구성 될 수 있 다 . 여기 서 상기 제 1 챔버 ( 100 ) 및 제 2 챔버 ( 200 ) 는 기판 이 입출 되 는 게이트 ( 110 , 210 ) 가 각각 형성 되 고 각 게이트 ( 110 , 210 ) 들 이 서로 마주 보 도록 배치 된다 .