도 5 는 , 도포 침 ( 9 ) 을 상방 으로 퇴피 시킨 상태 를 도시 하고 , 필름 ( 3 ) 은 기판 ( 1 ) 에서 떨어진 상태 로 복귀 하 고 있 고 , 결함 부 ( 2 a ) 에 는 , 구멍 ( 3 a ) 의 형상 과 대략 동형 상 의 수정 층 ( 10 A ) 이 남 는다 . 또한 , 여분 으로 도포 된 수정 페이스트 ( 10 ) 는 필름 ( 3 ) 의 표면 에 남 는다 . 이 와 같이 , 필름 ( 3 ) 을 마스크 로 하 여 수정 을 행하 기 때문 에 , 도포 침 ( 9 ) 에 의한 도포 형상 보다 도 미세 한 수정 층 ( 10 A ) ( 패턴 ) 을 얻 는 것 이 가능 해진다 .