그리고 , 마스크 의 설계 도면 에 따라 도 2 에 도시 된 제 1 패턴 ( 202 ) , 제 2 패턴 ( 204 ) 및 제 3 패턴 ( 206 ) 에 각각 대응 되 는 제 1 ' 패턴 ( 302 ) , 제 2 ' 패턴 ( 304 ) 및 제 3 ' 패턴 ( 306 ) 을 포함 하 는 해당 마스크 ( 300 ) 를 제작 한 후 에 광학 시뮬레이션 장비 를 이용 하 여 그 광 강도 분포 를 측정 한다 ( 단계 404 ) . 이 때 , 도 5 에 도시 한 바 와 같 은 2 D 의 광 강도 분포 를 구하 여 제 1 ' 패턴 ( 302 ) , 제 2 ' 패턴 ( 304 ) 및 제 3 ' 패턴 ( 306 ) 과 그 사이 영역 에 대한 각각 의 광 강도 분포 를 확인 한다 .