도 1 을 참조 하 여 위 에 언급 된 바 와 같이 , 회전 가능 차 폐부 들 ( 101 , 103 ) 중 적어도 하나 는 차 폐부 들 사이 에 기판 을 배치 하 도록 이동 되 게 구성 된다 . 차 폐부 들 ( 도 5 에 도시 되 지 않 음 ) 은 챔버 ( 500 ) 내 에 위치 된다 . 결과 적 으로 , 제 1 부분 ( 510 ) 또는 제 2 부분 ( 530 ) 중 어느 하나 또는 둘 모두 는 , 예컨대 , ( 위 에 설명 된 ) 로봇 으로부터 의 엔드 이펙터 가 세정 및 건조 될 기판 을 챔버 ( 500 ) 내 에 배치 할 수 있 도록 선형 트랙 들 ( 505 ) 을 따라 이동 되 도록 구성 된다 . 기판 ( 119 ) 은 후속 하 여 , 위 에 설명 된 바 와 같이 , 회전 가능 차 폐부 들 ( 세정 또는 건조 동작 을 겪 지 않 는 한 정지 상태 임 ) 내 에 그리고 3 개 이상 의 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 상 에 장착 된다 . 기판 - 존재 센서 ( 509 ) 는 기판 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 존재 하 고 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 들 에 의해 적절 하 게 장착 및 파지 됨 을 보장 하 는 것 을 돕 는다 . 기판 - 존재 센서 ( 509 ) 는 , 예컨대 , 레이저 기반 또는 다른 광학 기반 센서 와 같 은 관련 기술 분야 에 알려져 있 는 다양 한 센서 들 중 임의 의 센서 일 수 있 다 .