무기 하드 마스크 를 형성 하 는 경우 는 , 규소 함유 레지스 트 중간막 ( 4 ) 을 무기 하드 마스크 로 변경 하 면 되 고 , BARC 를 형성 하 는 경우 는 , 규소 함유 레지스 트 중간막 ( 4 ) 과 레지스 트 상 층막 ( 5 ) 사이 에 BARC 를 형성 하 면 된다 . BARC 의 에칭 은 , 규소 함유 레지스 트 중간막 ( 4 ) 의 에칭 에 앞서 서 연속 하 여 행하 여도 좋 고 , BARC 만 의 에칭 을 행하 고 나 서 에칭 장치 를 바꾸 거나 하 여 규소 함유 레지스 트 중간막 ( 4 ) 의 에칭 을 행하 여도 좋 다 .