도 22 , 도 23 , 및 도 24 를 참조 하 면 , 제 2 ILD ( 92 ) 가 제 1 ILD ( 90 ) 위 에 형성 된다 . 일 실시 형태 에서 , 제 2 ILD ( 92 ) 은 유동 성 CVD 방법 에 의해 형성 되 는 유동 성 막 이 다 . 일부 실시 형태 에서 , 제 2 ILD ( 92 ) 은 PSG , BSG , BPSG , USG 등 의 유전체 재료 로 형성 될 수 있 고 , CVD 및 PECVD 등 의 임의 의 적절 한 방법 으로 퇴적 될 수 있 다 .