상기 습식 세정 공정 에 이용 되 는 화학 물질 로서 는 삼산화 보론 ( B 2 O 3 ) , 브롬 ( Br 2 ) , 아세트산 ( CH 3 COOH ) , 사산화황 세륨 ( Ce ( SO 4 ) 2 ) , 삼산화황 세륨 ( Ce ( SO 3 ) 3 ) , 삼산화 크롬 ( CrO 3 ) , 수산화 세슘 ( CsOH ) , 삼산화질소 구리 ( Cu ( NO 3 ) 2 ) , 황화철 ( FeSO 4 ) , 염화철 ( FeCl 3 ) , 질산철 ( Fe ( NO 3 ) 3 ) , 물 , 과산화수소 ( H 2 O 2 ) , 질화 수소 ( H 2 N 4 ) , 황산 ( H 2 SO 4 ) , 인산 ( H 3 PO 4 ) , 질산 ( HNO 3 ) , 불 산 ( HF ) , 황화수소 ( HS ) , 염산 ( HCl ) , 과염소산 ( HClO 4 ) , 요오드화수소 ( HI ) , 브롬 수소 ( HBr ) , 요오드 ( I 2 ) , 요오드화칼륨 ( KI ) , 수산화 칼륨 ( KOH ) , 인산칼륨 ( KHPO 4 ) , 과망간산 칼륨 ( KMnO 4 ) , 질산칼륨 ( KNO 3 ) , 시안화칼륨 제 2 철 ( K 2 Fe ( CN ) 6 ) , 산화 크롬 칼륨 ( K 2 Cr 2 O 7 ) , 시안화칼륨 제 3 철 ( K 3 Fe ( CN ) 6 ) , 시안화칼륨 제 4 철 ( K 4 Fe ( CN ) 6 ) , 수산화 나트륨 , 차 염소산나트륨 ( NaOCl ) , 인산나트륨 ( Na 2 HPO 4 ) , 산화나트륨 ( Na 2 O ) , 이 산화나트륨 ( Na 2 O 2 ) , 질산나트륨 ( NaNO 2 ) , 암모니아 , 불화 암모늄 ( NH 4 F ) , 수산화 암모늄 ( NH 4 OH ) , 메틸렌 디아민 ( NH 2 ( CH 2 ) NH 2 ) , 탄화수소 아 질소 ( N 2 H 8 C 2 ) , 불화 수소 질소 ( NHF ) , 수화 질소 ( N 2 H 4 ) , 황산암모늄 ( ( NH 4 ) 2 S 2 O 4 ) , 오존 , 비닐 아세테이트 ( Vinylacetate ) , 디 프로필렌 그 리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( D i p r o p y l e n e g l y colmonomethyletheracetate ) , 에틸렌디아민 ( Ethylene - diamine ) , 에틸렌 디브 로 마이드 ( Ethylenedibromide ) , 암모늄 시 트래 이트 ( Ammoniumcitrate ) , 테트라메틸 암모늄 히 드 록 사이드 ( T e t ramethylammoniumhydroxide ) , 그 리세 롤 ( Glycerol ) , 에틸 렌크 리콜 ( Ethyleneglycol ) , 옥살 릭 산디 하이드 레이트 ( Oxalic acid digydrate ) , 무 수옥 살릭 산 ( Anhydrous oxalic acid ) , 시트 릭 산 ( Citric acid ) , 벤조 트리아졸 ( Benzotriazole ) , 프로 파놀 ( Propanol ) , 파이 로 카테콜 ( Pyrocatechol ) , 폴리프로필렌 그 리콜 ( Polypropyleneglycol ) , 파라 벤조퀴논 ( Parabenzoquinon ) , 타타 릭 산 ( Tartaric acid ) , 에탄올 ( Ethanol ) , 메탄올 ( Methanol ) , 및 이소 프로 파놀 ( Isopropanol ) 을 포함 하 는 그룹 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 화학 물질 을 포함 한다 .