반응 원료 공급 부 ( 240 ) 는 분사기 ( 220 ) 와 연결 되 어 , 반응 원료 를 분사기 로 공급 한다 . 반응 원료 공급 부 ( 240 ) 로부터 제공 되 는 반응 원료 는 기판 ( 110 ) 상 에 증착 하 고자 하 는 박막 의 종류 에 따라 달라질 수 있 다 . 이러 한 반응 원료 공급 부 ( 240 ) 는 반응 원료 가 저장 되 는 반응 원료 저 장부 ( 241 ) 일단 이 반응 원료 저 장부 ( 241 ) 에 연결 되 고 타단 이 분사기 ( 220 ) 에 연결 된 반응 원료 이 송부 ( 242 ) 를 포함 한다 . 여기 서 , 반응 원료 이 송부 ( 242 ) 는 원료 의 이송 또는 통과 가 가능 하 도록 내부 공간 을 가지 는 파이프 ( pipe ) 형상 일 수 있 다 .