도 4 와 도 5 를 참조 하 면 , 본 실시 예 에 따른 정전 척 ( 200 ) 은 , 절연 플레이트 ( 110 ) , 전도성 부재 ( 120 ) 및 커넥터 ( 230 ) 를 포함 한다 . 본 실시 예 에 따른 정전 척 ( 200 ) 은 커넥터 ( 230 ) 및 전원 공급 유닛 ( 250 ) 을 제외 하 고 는 도 2 및 도 3 에 도시 한 정전 척 ( 100 ) 과 실질 적 으로 동일 하 다 . 따라서 본 실시 예 에서 는 중복 된 설명 을 생략 하 기 위하 여 도 2 및 도 3 에서 와 동일 한 참조 번호 에 대한 설명 은 생략 하 지만 당업자 라면 용이 하 게 이해 할 수 있 을 것 이 다 .