그런데 , 바닥 면 에 는 , 실제로 기판 의 생산 에 직접 기여 하 는 처리 장치 등 다른 장치 의 설치 스페이스 를 확보 할 필요 가 있 으므로 , 처리 장치 의 근처 에 복수 개 의 보관 선반 을 설치 하 는 것 이 어렵 다 . 그러므로 , 용기 내 에 불활성 가스 를 공급 하 는 개소 를 고정 상태 의 용기 보관 부 만 으로 하 면 , 처리 장치 에 있 어서 의 처리 가 완료 하 고 나 서 반송 수단 이 보관 을 위해 용기 보관 부 까지 용기 를 반송 하 는 거리 가 길 어 져 , 반송 수단 의 반송 능력 을 소비 해 버려 , 반송 수단 의 반송 능력 을 유효 하 게 활용 할 수 없 는 문제 가 있 다 .