상기 기준 노광 조건 이 상기 노광 마진 에 포함 되 지 않 는 경우 , 상기 기준 노광 조건 에서 상기 패턴 이 전사 된 상기 기준 샷 영역 에 상기 취약 지점 이 존재 한다 . 상기 기준 샷 영역 에 는 상기 취약 지점 이 존재 하 지 않 아야 하 므로 , 상기 기준 노광 조건 이 잘못 설정 된 것 으로 판단 한다 . 따라서 , 상기 노광 마진 을 이용 하 여 상기 기준 노광 조건 을 재 설정 한다 . 상기 노광 마진 이 범위 로 나타나 는 경우 , 상기 범위 의 중심 값 을 상기 기준 노광 조건 으로 재 설정 한다 . 상기 노광 마진 이 하나 의 노광 조건 인 경우 , 상기 노광 조건 을 상기 기준 노광 조건 으로 재 설정 한다 . 이후 , 재 설정 된 기준 노광 조건 을 이용 하 여 새로운 웨이퍼 시료 를 마련 하 여 재 분석 한다 .