하드 마스크 로서 주석 옥사이드 의 사용 은 패 터닝 될 공통 층 인 실리콘 옥사이드 에 대해 매우 높 은 선택도 로 에칭 될 수 있 기 때문 에 매우 유리 하 다 . 건식 플 라즈 마 에칭 화학 물질 ( 예 를 들 어 , 수소 - 기반 또는 염소 - 기반 화학 물질 ) 을 사용 하 여 탄소 , 포토레지스트 , 금속 들 , 금속 나이트 라이드 들 , 및 금속 옥사이드 들 을 포함 하 는 , 넓 고 다양 한 다른 재료 들 로 선택 적 으로 에칭 될 수 있 다 . 주석 옥사이드 하드 마스크 들 은 또한 주석 옥사이드 가 습식 에칭 을 필요 로 하 지 않 고 수소 플 라즈 마 를 사용 하 여 에칭 될 수 있 는 한편 , 티타늄 나이트 라이드 는 통상 적 으로 습식 에칭 방법 들 에 의해 제거 되 기 때문 에 티타늄 나이트 라이드 하드 마스크 들 과 비교 하 여 양호 하 다 .