다음 , 상기 제 1 , 2 두께 를 갖 는 제 2 및 제 3 포토레지스트 패턴 ( 181 a , 181 b ) 외부 로 노출 된 보호 층 ( 140 ) 과 그 하부 의 게이트 절 연막 ( 120 ) 을 식각 함 으로써 게이트 패드 부 ( GPA ) 및 데이터 패드 부 ( 미 도시 ) 에 있 어서 각각 게이트 패드 전극 ( 118 ) 과 데이터 패드 전극 ( 미 도시 ) 을 노출 시키 는 게이트 및 데이터 패드 콘 택 홀 ( 143 , 미 도시 ) 을 형성 한다 . 이때 , 상기 데이터 패드 전극 ( 미 도시 ) 은 상기 게이트 절 연막 ( 120 ) 상부 에 형성 되 는 바 , 상기 제 2 및 제 3 포토레지스트 패턴 ( 181 a , 181 b ) 외부 로 보호 층 ( 140 ) 만 을 식각 함 으로써 외부 노출 되 게 된다 .