스텝 104 에서 , 검사 영역 은 광 나노 젯 으로 스캐닝 된다 . 검사 영역 은 웨이퍼 에 대하 여 광 나노 젯 을 이동 시키 거나 , 나노 젯 에 대하 여 웨이퍼 를 이동 시키 거나 , 또는 서로 에 대하 여 웨이퍼 와 나노 젯 모두 를 이동 시킴 으로써 스캐닝 될 수 있 다 . 웨이퍼 는 이동 스테이지 를 사용 하 여 이동 될 수 있 다 . 나노 젯 은 액추에이터 를 사용 하 여 이동 될 수 있 다 . 웨이퍼 및 / 또는 나노 젯 의 미세 한 이동은 피에조 나노 위치 결정 시스템 또는 기타 유사 한 시스템 으로 달성 될 수 있 다 .