여기 서 초음파 발생 부 ( 221 ) 은 설정 된 초음파 를 진동자 인 초음파 발생 판 으로 전달 한다 . 이 에 초음파 발생 판 은 상기 진동 을 용액 인 세정액 내 에 전달 한다 . 이어 상기 세정액 에 는 미세 한 기포 들 이 발생 된다 . 그리고 상기 기포 들 은 성장 , 파괴 되 면서 일정 이상 의 강력 한 에너지 ( 충격파 ) 를 발생 한다 .