일 예시 적 인 실시 예 에 따라서 , 기판 이송 장치 가 제공 된다 . 상기 기판 이송 장치 는 , 선형 으로 분포 되 는 제 1 고정자 , 및 제 1 암 에 결합 되 는 제 1 회전자 를 포함 하 는 제 1 무축 회전 모터 ; 선형 으로 분포 되 는 제 2 고정자 , 및 상기 제 1 암 에 연결 되 는 제 2 암 에 결합 되 는 제 2 회전자 를 포함 하 는 제 2 무축 회전 모터 ; 및 상기 제 1 및 제 2 암 들 중 적어도 하나 에 결합 되 는 제 1 기판 지지 부를 포함 하 며 , 상기 제 1 및 제 2 고정자 는 상기 제 1 및 제 2 암 들 과 상기 제 1 기판 지지 부가 상기 고정자 들 의 안쪽 에 위치 하 고 상기 제 1 및 제 2 무축 회전 모터 들 과 상기 제 1 및 제 2 암 들 의 각각 사이 의 연결부 에서 의 모터 출력 이 상기 제 1 및 제 2 암 들 의 주변 에 배치 되 는 합력 이 도록 구성 된다 .