도 3 g 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 포토레지스트 패턴 ( 40 ) 을 제거 한 후 에 제 1 트렌치 ( 41 ) 를 갭 필하 도록 전면 에 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 을 증착 한다 . 여기 서 , 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 은 갭 필 특성 이 우수 한 BPSG 막 일 수 있 으며 , 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 은 이웃 한 필라 ( 34 C ) 사이 및 이웃 한 비트 라인 ( 38 A , 38 B ) 간 절 연막 역할 을 한다 .