그리고 하부 트렌치 ( 131 , 133 , 137 ) 내벽 에 만 하부 트렌치 배리 어막 ( 141 , 143 , 147 ) 과 하부 트렌치 씨드 막 ( 241 , 243 , 247 ) 이 존재 한다 . 여기 서 , 하부 트렌치 금속 배선 ( 151 , 153 ) 과 하부 비아 금속 배선 ( 125 , 127 ) 은 전기 적 으로 연결 되 어 하부 금속 배선 ( 300 , 303 ) 을 이룬다 .