상기 챔버 ( 12 ) 내 에 는 상기 슬릿 ( 13 ) 으로부터 기판 W 가 도 1 에 쇄선 으로 나타낸 제 1 자세 변환 부 ( 16 ) 에 의해 수평 상태 로부터 75 ° 의 각도 로 변환 되 어 반입 된다 . 챔버 ( 12 ) 내 에 반입 된 기판 W 는 상기 반 송축 ( 15 ) 에 설치 된 지지 롤러 ( 14 ) 에 의해 비 디바이스 면 인 배면 이 지지 된다 . 상기 기판 W 의 하단 은 구동 롤러 ( 17 ) 에 의해 지지 된다 . 상기 구동 롤러 ( 17 ) 는 구동 기구 ( 18 ) 에 의해 회전 구동 되 도록 되 어 있 다 . 이 에 따라 , 구동 롤러 ( 17 ) 에 하단 이 지지 되 고 , 배면 이 상기 지지 롤러 ( 14 ) 에 지지 된 상기 기판 W 는 상기 구동 롤러 ( 17 ) 의 회전 방향 으로 반송 된다 .