일부 구 현예 에서 , " "" 막 "" 은 실질 적 으로 핀홀 없이 두께 방향 에 수직 한 방향 으로 연속 적 으로 연장 되 어 전체 타켓 또는 관심 표면 을 커버 하 는 층 ", 또는 단순히 타켓 또는 관심 표면 을 커버 하 는 층 을 지칭 한다 . 일부 구 현예 에서 , " "" 층 "" 은 표면 에 형성 된 특정 두께 를 갖 는 구조물 을 지칭 하 거나 ", 막 또는 막 이 아닌 구조물 의 동의어 를 지칭 한다 . 막 또는 층 은 특정 특성 을 갖 는 별개 의 단일 막 또는 층 , 또는 다수 의 막 들 또는 층 들 로 구성 될 수 있 고 , 인접 하 는 막 들 또는 층 들 사이 의 경계 는 명확 하 거나 그렇 지 않 을 수 있 으며 , 물리 적 , 화학 적 , 및 / 또는 임의 의 특성 , 형성 공정 및 시퀀스 , 및 / 또는 인접 하 는 막 들 또는 층 들 의 기능 또는 목적 에 기반 하 여 구축 될 수 있 다 . 또한 , 본 개시 에서 , 실행 가능 한 범위 는 일상 적 인 작업 에 기초 하 여 결정 될 수 있 으므로 변수 의 임의 의 두 수치 가 변수 들 의 실행 가능 한 범위 를 구성 할 수 있 고 , 지시 된 임의 의 범위 는 끝점 을 포함 하 거나 배제 할 수 있 다 . 추가 적 으로 , " 지시 된 변수 의 임의 의 값 은 ( "" 약 "" 으로 표시 되 는지 의 여부 에 관계없이 ) 정확 한 값 또는 대략 적 인 값 을 지칭 할 수 있 고 등가 를 포함 할 수 있 으며 ", 일부 구 현예 에서 는 평균 , 중간 , 대표 , 다수 등 을 지칭 할 수 있 다 . 또한 , 본 개시 에서 , " 용어 "" 의해 구성 되 는 "" 및 "" 갖 는 "" 은 일부 구 현예 에서 "" 통상 적 으로 또는 대략 적 으로 포함 하 는 """," "" 포함 하 는 """," "" 본질 적 으로 이루어지 는 """," 또는 "" 이루어지 는 "" 을 독립 적 으로 지칭 한다 . 본 개시 에서 ", 임의 의 정의 된 의미 들 은 일부 구 현예 에서 반드시 보통 의 그리고 관습 적 인 의미 들 을 배제 하 는 것 은 아니 다 .