S - D 측정 , 검사 , 및 / 또는 평가 프로시저 는 시간 소모적 일 수 있 으며 , 처리 시스템 의 처리 량 에 영향 을 미칠 수 있 다 . 프로세스 실행 중 에 , 제조 업자 는 웨이퍼 를 측정 , 검사 , 검증 및 / 또는 평가 하 는 데 사용 된 시간 량 을 최소 화 하 기 를 원할 수 있 다 . S - D 프로시저 는 시간 종속 적 일 수 있 으므로 , 상이 한 S - D 프로 시저 들 이 그 실행 시간 에 기초 하 여 선택 될 수 있 다 . 실행 시간 이 매우 길 경우 적 은 수 의 사이트 들 을 이용 할 수 있 다 .