본 실시 예의 기상 증착 장치 ( 100 ) 는 본 체부 ( 130 ) 가 상측 부재 ( 132 ) 및 측면 부재 ( 131 ) 를 구비 하 여 , 측면 부재 ( 131 ) 및 상측 부재 ( 132 ) 를 통하 여 기체 를 주입 한다 . 즉 상측 부재 ( 132 ) 와 측면 부재 ( 131 ) 사이 에 정의 되 는 공간 에 기체 를 주입 하 고 , 이 와 동시 에 이러 한 공간 내 에 플 라즈 마가 발생 하 도록 하 여 기상 증착 장치 ( 100 ) 의 공간 을 효율 적 으로 이용 하 면서 기판 ( 101 ) 에 박막 을 형성 하 기 위한 기상 증착 공정 을 진행할 수 있 다 .