도 2 는 성막 장치 의 구성 을 단면 적 으로 나타내 는 모식도 이 다 . 이하 의 설명 에서 는 , 연직 방향 을 Z 방향 으로 하 는 XYZ 직교 좌표계 를 사용 한다 . 성막 시 에 기판 은 수평면 ( XY 평면 ) 과 평행 이 되 도록 고정 되 는 것 으로 하 고 , 이 때 의 기판 의 단변 방향 ( 단변 에 평행 한 방향 ) 을 X 방향 , 길 이 방향 ( 장변 에 평행 한 방향 ) 을 Y 방향 으로 한다 . 또한 , Z 축 주위 로 의 회전각 을 θ 로 나타낸다 . 한편 , " 여기 서 말 하 는 "" 평행 "" 이 란 ", 수학 적 으로 엄밀 한 평행 만 을 의미 하 는 것 이 아니 고 , 수평면 과 기판 이 이루 는 각 이 작 을 경우 , 예 를 들 면 0 ° 이상 5 ° 이하 가 되 는 경우 도 포함 한다 . 또한 , 실제로 는 기판 은 중력 에 의해 처진 상태 로 기판 보유 지지 유닛 에 의해 보유 지지 되 는 경우 가 있 지만 , 그 경우 에 도 , 처짐 이 없 는 상태 의 기판 이 수평면 과 평행 이 되 도록 고정 되 면 된다 .