본 실시 형태 에 있 어서 는 , 조사 장치 ( 81 ) 는 그 적어도 일부 가 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 위쪽 에 배치 되 며 , 수광 장치 ( 82 ) 는 그 적어도 일부 가 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 위쪽 에 배치 되 어 있 다 . 조사 장치 ( 81 ) 는 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 하 면 ( K 1 ) 의 , 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 과 는 다른 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 에 , 반사 미러 ( 81 M ) 를 통하 여 검 출광 ( ls ) 을 조사 한다 .