단계 S 1002 에 있 어서 , 평가 부 ( 413 ) 는 , 압력 데이터 가 이상 이 라고 판정 하 고 , 표시 제 어부 ( 421 ) 에 통지 한다 . 표시 제 어부 ( 421 ) 는 , 상기 사이클 단계 에 있 어서 , 압력 데이터 의 이상 이 검지 된 것 을 나타내 는 정보 를 표시 함 으로써 , 작업자 에게 통지 한다 . 또한 , 평가 부 ( 413 ) 는 , 정특성 구간 평가 값 중 , 차분 의 평균값 이 상하 한 값 을 초과 하 고 있 었 던 경우 에 있 어서 는 , 막 두께 에 의 영향 이 있 다고 판단 하 고 , 막 두께 측정 결과 를 확인 하 도록 작업자 에게 촉구 한다 .