이것 은 , 도 4 의 설명 으로부터 명백 한 바 와 같이 , 샷 사이즈 에 의존 하 여 포커 스 렌즈 ( 12 ) 의 초점 위치 가 변동 됨 으로써 발생 되 는 것 이 다 . 따라서 , 샷 사이즈 를 각 샷 사이 에서 동일 하 게 하 면 포커스 렌즈 ( 12 ) 의 초점 위치 가 변동 되 는 일 도 없 으므로 , 이상 과 같 은 문제 도 발생 되 지 않 는다 . 또한 , 전자 빔 이 조사 될 때 의 샷 ( 54 ) 영역 의 면적 이 일정 하 면 샷 사이즈 가 일정 한 것 도 경험 상 알 고 있 다 .