용기 본체 ( 12 ) 의 내 주벽 은 , 분리 영역 ( D ) 이외 의 부위 에서 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 예 를 들 어 회전 테이블 ( 2 ) 의 외측 단부 면 과 대향 하 는 부위 에서부터 저부 ( 14 ) 에 걸쳐 종단면 형상 이 직사각 형 으로 외측 에 움푹 들어가 고 , 이것 에 의한 공간 이 형성 되 어 있 다 . 이하 , 제 1 처리 영역 ( P 1 ) 에 연통 하 는 공간 을 제 1 배기 영역 ( E 1 ) 이 라고 부르 고 , 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 에 연통 하 는 공간 을 제 2 배기 영역 ( E 2 ) 이 라고 부른다 . 도 1 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 배기 영역 ( E 1 ) 의 저부 에 는 제 1 배기구 ( 61 ) 가 형성 되 고 , 제 2 배기 영역 ( E 2 ) 의 저부 에 는 제 2 배기구 ( 62 ) 가 형성 되 어 있 다 . 제 1 배기구 ( 61 ) 및 제 2 배기구 ( 62 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 각각 배기관 ( 63 ) 을 통해 진공 배기 기구 인 예 를 들 어 진공 펌프 ( 64 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 배기관 ( 63 ) 에 는 , 진공 용기 ( 1 ) 내 의 압력 을 조정 하 는 압력 조정부 ( 65 ) 가 설치 되 어 있 다 .