그리고 , 제 1 메탈 배선 내지 제 4 메탈 배선 ( M 1 ∼ M 4 ) 은 Ti / TiN / AlCu / Ti / TiN , TiN / AlCu / TiN , Ti / Al / Ti / TiN , Ti / TiN / AlCu / Ti 및 Ti / AlCu / Ti 로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 를 사용 한다 . 여기 서 , Ti , TiN 은 배리어 메탈 이 다 .