그리고 상술 한 미세 입자 제거 효율 달성 판단 단계 ( S 80 ) 의 판단 결과 , 미세 입자 제거 효율 이 목표 치 에 도달 한 경우 에 , 상기 제 어부 ( 120 ) 가 미세 입자 제거 작업 의 종료 여부 를 판단 하 는 미세 입자 응집 정화 종료 판단 단계 ( S 100 ) 를 수행 하 여 , 작업 이 종료 되 지 않 은 경우 에 는 미세 입자 응집 단계 ( S 50 ) 로 복귀 하 여 처리 과정 을 다시 수행 하 고 , 작업 이 종료 된 경우 에 는 미세 입자 응집 정화 작업 을 종료 한다 .