원자 힘 현미경 ( Atomic Force Microscope : AFM ) 은 시료 의 손상 없이 시료 의 표면 구조 를 관찰 하 는데 주로 활용 된다 . 원자 힘 현미경 은 잘 휘어지 는 판형 스프 링 ( cantilever ) 끝 에 달려 있 는 뾰족 한 탐침 과 시료 표면 사이 에 작용 하 는 원자 반발 력 , 즉 인력 및 척력 인 반데르발스 의 힘 ( van der Waals forces ) 을 이용 한다 . 이러 한 상호 작용 때문 에 지렛대 가 휘 게 되 고 그 휘 는 정도 를 레이저 광 을 이용 하 여 측정 함 으로써 시료 표면 의 삼차원 정보 를 얻 을 수 있 다 . 이때 , 원자 힘 현미경 은 원자 단위 로 측정 이 가능 하 므로 높 은 해상력 을 갖 고 있 으며 수 nm 내지 수십 nm 이하 의 크기 를 제어 할 수 있 다 . 따라서 이러 한 원자 힘 현미경 은 미세 패턴 을 형성 하 는 리소그래피 공정 에 도 응용 될 수 있 다 .