일반 적 으로 , SPM ( H 2 SO 4 + H 2 O 2 + H 2 O ) 세정액 은 기판 의 표면 으로부터 유기 오염 물질 을 제거 하 는 데 이용 된다 . SPM 세정액 은 강한 산화 능력 을 가지 며 , 이 는 유기 오염 물질 및 일부 금속 오염 물질 을 제거 할 수 있 다 . SPM 세정 은 H 2 SO 4 용액 의 높 은 농도 를 필요 로 하 고 , 고온 ( 120 ℃- 150 ℃) 에서 수행 된다 . 이러 한 높 은 농도 및 높 은 온도 는 황산 흄 을 발생 시킬 것 이 다 . 황산 흄 의 효과 적 인 처리 가 결여 됨 으로 인해 , SPM 의 사용 이 제한 되 고 , SPM 세정 이 널리 보급 될 수 없 다 . 종래 의 기판 세정 장치 에서 , 고온 황산 흄 은 기판 세정 장치 의 세정 챔버 를 채울 수 있 어 , 세정 챔버 내 의 부품 에 황산 흄 의 부식 을 야기 한다 . 또한 , IPA ( 이소프로필 알콜 ) 가 기판 세정 공정 에 통상 적 으로 이용 된다 . IPA 는 인화 성 액체 라고 알려져 있 다 . 개방 된 화염 또는 높 은 열 은 IPA 연소 폭발 을 유도 할 것 이 다 . 따라서 , 종래 의 기판 세정 장치 에서 고온 SPM 의 사용 은 생산 안전 성 에 심각 한 위협 을 제공 한다 .