[ 0061 ] 일부 실시 예 들 에서 , 진공 챔버 는 , 이동 가능 한 증착 소스 에 액세스 하 고 그 를 서비스 하 기 위해 진공 챔버 를 개방 및 폐쇄 하 기 위한 , 선택 적 으로 밸브 를 갖 는 통로 , 예컨대 서비스 도어 ( door ) 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 증착 소스 의 일부 를 교환 하 는 것 , 매체 공급 라인 들 을 통해 공급 이 이루어지 는 증착 소스 의 디바이스 들 중 임의 의 디바이스 의 서비스 또는 유지 보수 , 증착 소스 를 수리 하 는 것 , 및 / 또는 진공 배기 ( evacuate ) 된 챔버 의 외부 로부터 공급 통로 를 통해 용이 하 게 액세스 가능 하 지 않 은 매체 공급 라인 들 의 일부 에 액세스 하 는 것 중 적어도 하나 를 위해 서비스 도어 가 사용 될 수 있 다 .