친수성 부여 효과 를 지속 시키 는 방법 으로서 , 알칼리 용액 을 사용 하 여 레지스 트 도막 표면 을 조금 용해 시킴 으로써 , 친수성 을 부여 하 는 방법 을 들 수 있 다 . 이 방법 에 사용 되 는 알칼리 용액 으로서 , 특허 문헌 2 에 는 , TMAH ( = 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ) 용액 등 이 개시 되 어 있 다 . 또한 , 특허 문헌 3 에 는 , 2 - 히드록시 에틸 ( N , N - 디 메틸 - N - 라 우릴 ) 암모늄 히드록시 드 등 의 수산 화 제 4 급 암모늄 을 함유 하 는 수용액 이 기재 되 어 있 다 . 그러나 , 이 들 알칼리 용액 을 사용 하 여 친수 화 처리 를 행하 면 , 레지스 트 도막 이 박 화 하 여 , 마스크 특성 이 저하 됨 으로써 , 수율 이 저하 되 는 것 이 문제 였 다 .