보조 전극 ( 72 A ) 각각 은 , 본체 ( 71 ) 내 의 배선 ( 74 A ) 및 다른 배선 을 통해 , 보조 전극 용 전원 ( 81 A ) 의 부극 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 보조 전극 ( 72 B ) 각각 은 , 본체 ( 71 ) 내 의 배선 ( 74 B ) 및 다른 배선 을 통해 , 보조 전극 용 전원 ( 81 B ) 의 부극 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 보조 전극 ( 72 C ) 각각 은 , 본체 ( 71 ) 내 의 배선 ( 74 C ) 및 다른 배선 을 통해 , 보조 전극 용 전원 ( 81 C ) 의 부극 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 각 전원 ( 81 A 내지 C ) 의 정극 은 , 애노드 홀더 ( 63 ) 내 의 배선 을 통해 , 애노드 ( 62 ) 에 전기 적 으로 접속 된다 . 이 에 의해 , 각 보조 전극 ( 72 A 내지 C ) 각각 에 , 애노드 ( 62 ) 를 기준 으로 하 여 기판 ( W ) 측 의 전위 가 인가 된다 . 또한 , 보조 전극 ( 72 A ) , 보조 전극 ( 72 B ) , 보조 전극 ( 72 C ) 에 인가 되 는 전압 은 , 각각 전원 ( 81 A ) , 전원 ( 81 B ) , 전원 ( 81 C ) 에 의해 독립 적 으로 제어 할 수 있 다 . 즉 , 하나 또는 복수 의 보조 전극 과 , 다른 하나 또는 복수 의 보조 전극 에 인가 하 는 전압 은 , 각각 독립 적 으로 제어 할 수 있 다 . 일례 에서 는 , 각 보조 전극 ( 보조 전극 ( 72 A ) 각각 , 보조 전극 ( 72 B ) 각각 , 보조 전극 ( 72 C ) 각각 ) 을 각각 제각기 의 배선 으로 제각기 의 전원 에 접속 함 으로써 , 하나 하나 의 보조 전극 에 인가 하 는 전압 을 , 각각 독립 적 으로 제어 해도 된다 . 또한 , 도 3 의 구성 예 이외 의 조합 으로 보조 전극 을 조합 해도 된다 .