또한 본 발명 에서 는 , 기판 의 양면 에 분리 용 의 홈 을 형성 하 는데 , 깊 은 제 1 홈 의 하방 에 얕 은 제 3 홈 을 형성 하 고 , 얕 은 제 2 홈 의 하방 에 깊 은 제 4 홈 을 형성 하 고 있 다 . 이것 에 의해 , 깊 은 홈 이 기판 의 동일 개소 에 형성 되 지 않 으므로 , 이 들 홈 이 형성 된 상태 에서 도 기판 전체 의 기계 적 강도 가 일정 이상 으로 유지 되 고 있 다 . 따라서 , 제조 공정 의 도중 단계 에 있 어서 의 기판 의 절곡 이 억제 된다 .