또 , 광 모듈 ( 10 ) 에서 는 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 및 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 이 , 동일 평면 을 따르 도록 배치 되 어 있 다 . 이것 에 의해 , MEMS 미러 ( 1 ) 를 반도체 제조 프로세스 로 제조 하 는 경우 에 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 및 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 을 용이 하 게 형성 할 수 있 다 .