다음 으로 , S 12 에 있 어서 , 도 8 의 ( C ) 와 같이 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 을 하강 시켜 마스크 ( M ) 를 유리 기판 ( G ) 표면 에 자기 흡착 시킨다 . 즉 , 상 승단 에서 로크 되 어 있 었 던 로크 편 이 외부 의 액추에이터 에 의해 회전 구동 되 어 , 퇴피 위치 로 이동하 여 하강 방향 으로 의 로크 가 해제 되 고 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 이 유리 기판 ( G ) 을 보유 지지 하 는 정전 척 ( 308 ) 을 향하 여 하강 하 고 , 정 전척 ( 308 ) 및 유리 기판 ( G ) 을 사이 에 두 고 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 흡착 마그넷 ( 31 ) 과 마스크 ( M ) 가 자기 흡착 되 어 보유 지지 된다 . 이 에 의해 , 얼라인먼트 된 상태 의 마스크 ( M ) 가 유리 기판 ( G ) 의 성막 면 에 전면 적 으로 밀착 하 여 보유 지지 된다 . 또한 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 하방 으로 의 이동은 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 외부 로부터 의 구동력 에 의해 실현 하 고 있 다 . 이 때 의 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 하강 량 은 , 예 를 들 면 30 mm 이 다 .