그 다음 , 제 3 내지 제 5 도핑 영역 ( d 3 ∼ d 5 ) 이 활성 화 되 도록 그 들 에 대한 어닐링 공정 을 수행 한다 . 상기 어닐링 에 의해 제 3 내지 제 5 도핑 영역 ( d 3 ∼ d 5 ) 의 불순물 들 이 확산 된다 . 이때 , 제 3 및 제 5 도핑 영역 ( d 3 , d 5 ) 의 불순물 들 은 제 1 및 제 2 돌출부 ( 210 a , 210 b ) 아래 의 기판 ( 200 ) 까지 확산 되 어 합쳐 진다 . 이 와 같이 활성 화 되 고 합쳐진 제 3 및 제 5 도핑 영역 ( d 3 , d 5 ) 은 소오 스 ( S 1 ) 일 수 있 고 , 활성 화 된 제 4 도핑 영역 ( d 4 ) 은 드레 인 일 수 있 다 . 제 1 돌출부 ( 210 a ) 상부 에 형성 된 드레 인 을 제 1 드레 인 ( D 1 ) 이 라 하 고 , 제 2 돌출부 ( 210 b ) 상부 에 형성 된 드레 인 을 제 2 드레 인 ( D 2 ) 이 라 한다 . 상기 어닐링 공정 의 시점 은 달라질 수 있 다 . 상기 어닐링 공정 은 도 7 e 에서 제 3 내지 제 5 도핑 영역 ( d 3 ~ d 5 ) 을 형성 한 이후 어느 단계 에서 든 수행 될 수 있 다 .