검사 부 ( 300 ) 는 제 1 스테이지 ( 100 ) 및 플 리퍼 ( 210 ) 의 상방 에 배치 될 수 있 다 . 예컨대 , 검사 부 ( 300 ) 는 제 1 스테이지 ( 100 ) 상방 에 마련 된 소정 의 위치 에서 검사 대상 ( S ) 의 제 1 면 ( F 1 ) 및 / 또는 제 2 면 ( F 2 ) 을 검사 하 고 , 플 리퍼 ( 210 ) 상방 에 마련 된 소정 의 위치 에서 검사 대상 ( S ) 의 측면 들 을 검사 할 수 있 다 . 검사 부 ( 300 ) 는 갠트리 ( gantry ) 에 설치 되 어 X 방향 및 / 또는 Y 방향 으로 이동 될 수 있 으며 , 나아가 Z 방향 으로 이동 될 수 있 다 .