성막 전 에 , 챔버 를 충분히 베 이 킹 하 여 도달 압력 을 충분히 낮추 고 , 로드 록 을 이용 하 여 기판 을 투입 함 으로써 성막 시 의 물 분압 을 저감 시켰 다 . 4 중극 질량 분석기 ( Q - mass ) 로 스퍼터링 챔버 중 의 H 2 O ( 물 ) 를 분석 하 여 성막 시 의 물 분압 을 측정 한 바 1 × 10 - 6 Pa 이하 였 다 .