기판 을 유지 장치 에 의해 유지 하 여 처리 할 때 , 기판 의 하 면 측 에 처리 액 이 들어가 는 것 을 방지 하 는 종래 기술 은 특허 문헌 1 에 나타나 있 다 . 즉 , 특허 문헌 1 에 나타낸 흡착 스테이지 ( 유지 장치 ) 는 스테이지 본체 를 구비 한다 . 이 스테이지 본체 에 는 진공 흡착 홈 이 격자 형 으로 형성 되 어 있 으므로 , 이 진공 흡착 홈 보다 외측 의 상기 스테이지 본체 의 주변 부 에 는 에어 분출구 가 형성 되 어 있 다 .