또한 , 파티클 발생 을 장기간 억제 하 고 , 장치 의 가동 률 을 향상 시키 는 , 긴 주기 에서 의 드라이클리닝 공정 실시 에 의한 장치 운용 을 달성 하 는 것 이 과제 로 되 어 있 다 . 거기 서 , 실시 예 3 에서 는 , 드라이클리닝 공정 실시 를 전제 로 한 장치 운용 에 있 어서 , LTP 의 병용 에 의해 , 높 은 장치 가동 률 을 유지 하 는 것 이 가능 한 드라이클리닝 기술 ( 장치 운용 ) 에 대하 여 설명 한다 .