상기 제 1 클린 부 ( 18 ) 는 전술 된 통과 부 ( 13 ) 상단 에서 승 , 하강 이 가능 하 게 설치 되 어 , 클린 대상 패널 ( P ) 의 상면 을 향해 하강 하 여 , 세 척 시트 ( S ) 를 클린 대상 패널 ( P ) 상면 에 눌러 접촉 시키 는 것 이 다 . ( 이때 의 압력 은 정밀 레 귤 레이터 로 조절 이 가능 하 며 , 이 는 후술 될 제 2 클린 장치 ( 30 ) 에 도 동일 하 게 적용 된다 . )