또한 , 전열 가스 공급 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 로부터 전열 가스 , 예 를 들 면 헬륨 ( He ) 가스 를 가스 공급 라인 ( 21 ) 을 거쳐서 정전 척 ( 14 ) 의 상면 및 웨이퍼 ( W ) 의 이면 사이 에 공급 하 는 것 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 와 서 셉 터 ( 13 ) 의 열 이 동이 효율 적 으로 균일 하 게 제어 된다 .