이제 , 본 발명 의 실시 예 와 일치 하 는 예시 적 인 전자 빔 검사 ( EBI ) 시스템 ( 100 ) 을 도시 하 고 있 는 도 1 에 대한 참조 가 이루어진다 . 도 1 에 나타나 있 는 바 와 같이 , EBI 시스템 ( 100 ) 은 메인 챔버 ( 101 ) , 로드 ( load ) / 로크 ( lock ) 챔버 ( 102 ) , 전자 빔 툴 ( 104 ) 및 장비 프런트 엔드 모듈 ( equipment front end module ; EFEM ) ( 106 ) 을 포함 하 고 있 다 . 전자 빔 툴 ( 104 ) 은 메인 챔버 ( 101 ) 내 에 위치 되 어 있 다 . EFEM ( 106 ) 은 제 1 로딩 포트 ( 106 a ) 및 제 2 로딩 포트 ( 106 b ) 를 포함 하 고 있 다 . EFEM ( 106 ) 은 부가 적 인 로딩 포트 ( 들 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 로딩 포트 ( 106 a ) 와 제 2 로딩 포트 ( 106 b ) 는 검사 될 웨이퍼 ( 예 를 들 어 , 반도체 웨이퍼 또는 다른 물질 ( 들 ) 로 제조 된 웨이퍼 ) 또는 샘플 ( 이하 , " 웨이퍼 와 샘플 이 총괄적으로 "" 웨이퍼 "" 로 지칭 된다 ) 이 들 어 있 는 웨이퍼 정면 개구 통합 형 포드 ( FOUP ) 를 받아들인다 . "