시트 플라 즈 마 변형 실 ( 2 ) 로 인도 된 원주 플 라즈 마 ( 49 ) 는 1 쌍 의 영구 자석 ( 9 ) 과 성형 전자 코일 ( 6 ) 에서 발생 하 는 자장 에 의해 시트 형상 으로 확대 되 어 ( ZY 평면 으로 연장 하 도록 ) 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 가 성형 된다 . 이 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 는 슬릿 공 ( 43 ) , 보틀넥 부 ( 26 ) 및 슬릿 공 ( 44 ) 을 통과 하 여 진공 성막 실 ( 3 ) 로 인도 된다 .