이후 , 열처리 를 하 여 미량 의 금속 을 씨드 로 하 여 결정화 를 진행 한다 . 상기 SGS 결정 화 방법 은 캡 핑 층 이 있 어 소자 내 에 금속 잔 류량 을 줄여 주 어 소자 내 에 잔류 하 는 금속 촉매 량 은 109 내지 1013 atoms / ㎠ 이 다 . 또한 , SGS 결정 화 방법 에 의한 결정립 은 균 일도 가 우수 하 여 소자 도 사용 시 특성 이 우수 한 장점 이 있 다 .