상기 처리 실 내 의 상기 기판 탑재 영역 의 중심 은 , 2 개 의 반 송실 에서 반송 아암 의 선회 축 을 2 개 의 반 송실 에 대한 상기 게이트 밸브 의 중심 과 각각 연결 하 는 선 보다 상기 기판 탑재 영역 의 중심 을 상기 처리 실 에 인접 한 2 개 의 반 송실 에서 반송 아암 의 선회 축 과 연결 하 는 선 이 상기 반송 실열 측 에 가깝 도록 , 상기 반송 실열 에 가깝 게 위치 되 며 ,