액 처 리부 ( 60 ) 에 공급 되 는 처리 액 중 에 포함 되 는 파티클 의 양 을 감소 시키 는 것 이 특히 중시 되 는 경우 에 는 , 가장 하류 측 에 여 과부 ( 40 ) 를 배치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 온도 조 절부 ( 50 ) 에서 발진 이 생길 가능 성 이 있 기 때문 이 다 . 이 경우 , 예 를 들 어 상류 측 부터 순서 대로 펌프 ( 30 ) , 온도 조 절부 ( 50 ) 및 여 과부 ( 40 ) 를 배치 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 처리 액 이 건조 용 용제 로서 사용 되 는 IPA ( 이소프로필알코올 ) 일 경우 에 는 , 이 배치 가 바람직 하 다 . 도 2 및 도 7 의 실시 형태 가 이 배치 에 해당 한다 .