표면 조도 측정 장치 ( 200 ) 를 구성 하 는 센서 어레이 ( 220 ) 의 센서 들 ( 222 , 224 , 226 ) 로부터 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 또는 그 변화 를 근거 로 출력 된 전기 신호 는 제 어부 ( 300 ) 의 신호 수 신부 ( 320 ) 로 수신 될 수 있 다 . 신호 수 신부 ( 320 ) 로 수신 된 전기 신호 는 신호 처 리부 ( 330 ) 에서 종합 적 으로 분석 및 처리 하 여 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 를 중앙 처리 장치 ( 또는 마이크 로 프로세서 , 340 ) 에 입력 될 수 있 다 .