도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 은 노광 공정 전 에 기판 ( W ) 상 에 포토 레지스 트 를 도포 하 는 공정 및 노광 공정 후 에 기판 ( W ) 을 현상 하 는 공정 을 수행 한다 . 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 은 대체로 직육면체 의 형상 을 가진다 . 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 은 도포 모듈 ( 401 ) 과 현상 모듈 ( 402 ) 을 가진다 . 도포 모듈 ( 401 ) 과 현상 모듈 ( 402 ) 은 서로 간 에 층 으로 구획 되 도록 배치 된다 . 일 예 에 의하 면 , 도포 모듈 ( 401 ) 은 현상 모듈 ( 402 ) 의 상부 에 위치 된다 .