상기 에서 설명 한 것 과 같이 , 더블 패 터닝 공정 을 통해 끊겨 진 부위 를 포함 하 는 미세 라인 패턴 을 형성 하 는데 있 어서 , 상기 끊겨 진 부위 를 형성 하 기 위한 마스크 패턴 의 미스 얼라 인 마진 이 1 . 5 F 로 증가 된다 . 그러므로 , 상기 마스크 패턴 의 미스 얼라인 에 의해 상기 미세 라인 패턴 이 끊 어 지 지 않 거나 또는 연장 되 어야 하 는 라인 이 끊 어 지 는 등 의 불량 이 감소 된다 .