또한 , 본 실시 예 에서 는 앞서 도 2 에서 설명 한 상부 전극 구조 의 일부 를 구성 하 는 도전 성 산화 막 중 에서 의 보이드 형성 을 억제 하 기 위하 여 , 도 5 e 의 공정 에서 도 4 의 스텝 S 14 에 대응 하 여 , 상기 도 5 d 의 구조 를 제어 된 산화 분위기 중 에서 열처리 하 고 , 상기 산화 이리듐 막 ( 16 ) 을 결정 화 시킨다 .