본 개시 의 일 측면 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 에 처리 액 을 토출 하 는 노즐 을 갖 는 토출 부 와 , 처리 액 을 토출 부 에 보내 는 송액 부 와 , 토출 부 에 보내 기 위한 처리 액 을 송액 부 에 보충 하 는 보충 부 와 , 보충 부 와 송액 부 사이 를 개폐 하 는 전환 밸브 를 갖 는 접속 부 와 , 보충 부 로부터 송액 부 에 보충 되 는 처리 액 에 포함 되 는 이물 을 제거 하 는 필터 와 , 상기 보충 부 내 와 상기 송액 부 내 의 압력 차 를 축소 시킨 후 에 상기 전환 밸브 를 개방 하 는 보충 준비 부 와 , 상기 보충 준비 부 에 의해 상기 전환 밸브 가 개방 된 상태 에서 , 보충 부 로부터 송액 부에 의 처리 액 의 보충 을 개시 시키 는 보충 제 어부 를 구비 한다 .