반투 광부 ( 30 ) 의 폭 α ( ㎛) 는 , 포토 마스크 를 , 표시 장치 제조 용 노광 장치 에 의해 노광 하 였을 때 , 반투 광부 ( 30 ) 의 노 광광 투과 율 이 , 상기 투 광부 ( 10 ) 보다 작아지 도록 설정 되 어 있 다 . 즉 , 반투 광부 ( 30 ) 는 , 구성 상 은 , 투 광부 ( 10 ) 와 마찬가지 로 투명 기판 표면 이 노출 되 어 이루어지 지만 , 그 투과광 이 피전 사체 상 에 형성 하 는 광 강도 분포 의 피크 는 , 투 광부 ( 10 ) 의 투과광 에 의한 광 강도 보다 낮 기 때문 에 , 반투 광부 ( 30 ) 로서 기능 한다 . 그래서 , 충분 한 넓이 가 있 는 투광 부 ( 10 ) 의 투과율 을 100 ％ 라고 하 고 , 반투 광부 ( 30 ) 에 대응 하 는 영역 의 피전 사체 상 에 형성 되 는 투과율 분포 의 피크 를 Ta ( ％) 라고 할 때 , Ta 는 30 내지 70 ％ 로 할 수 있 으며 , 40 내지 60 ％ 인 것 이 보다 바람직 하 다 .