여기 서 , 상기 감지 부 는 상기 감지 부 는 상기 제 1 바닥 면 이 상기 제 1 통로 의 개구 에 접촉 하 였 는지 를 감지 하 는 제 1 접촉 센서 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 제 1 바닥 면 이 제 1 접촉 센서 와 접촉 하 면 제 1 바닥 면 이 기준치 이상 만큼 상방 으로 볼록 하 게 변형 된 것 을 감지 하 여 , 이 로부터 웨이퍼 가 멤 브레인 바닥 판 에 정상 적 으로 척 킹 파지 되 었 는지 를 알 수 있 다 .