따라서 , 제 1 얼라인 키부 ( 110 ) 및 제 2 얼라인 키부 ( 120 ) 에 형성 된 얼라 인 키 들 ( 111 , 112 , 121 ) 을 통해 얼라 인 마크 ( Alignment Mark ) 를 노광 하 기 전 에 웨이퍼 를 정렬 하 여 노광 을 함 으로써 얼라 인 마크 ( Alignment Mark ) 의 노광 불량 을 방지 할 수 있 다 .