도 9 ( B ) 에 있 어서 , 도 9 ( A ) 와 동일 한 부분 은 동일 한 부호 를 이용 하 여 나타내 고 , 설명 은 생략 한다 . 도 9 ( B ) 에 있 어서 용량 소자 ( 164 ) 는 , 요철 을 갖 는 절연체 ( 621 ) 위 에 형성 되 어 있 다 . 절연체 ( 621 ) 위 에 형성 된 전극 ( 631 ) 및 유전체 층 ( 632 ) 은 , 절연체 ( 621 ) 의 표면 의 요철 을 반영 한 표면 을 갖 는다 . 이렇게 하 여 , 용량 소자 ( 164 ) 의 실질 적 인 표면적 을 증대 시켜 , 용량 소자 ( 164 ) 의 용량 치 를 크 게 할 수 가 있 다 . 전극 ( 631 ) 은 , 트랜지스터 ( 160 ) 의 소스 또는 드레 인 이 되 는 금속 화합물 영역 ( 124 b ) 과 접속 되 어 있 다 . 전극 ( 633 ) 은 유전체 층 ( 632 ) 을 통하 여 전극 ( 631 ) 과 겹쳐져 있 다 . 전극 ( 633 ) 은 용량 선 ( CS ) 으로서 기능 한다 .