그래서 진공 챔버 내 의 정보 를 계측 하 기 위한 센서 를 배치 하 고 , 이 센서 에 의해 계측 한 정보 를 센서 정보 처리 장치 ( 변환기 ) 에 의해 무선 정보 로 변환 하 여 진공 챔버 밖 으로 송신 하 고 , 진공 챔버 밖 에 설치 한 수신기 에서 수신 함 으로써 진공 챔버 내 의 정보 를 진공 챔버 밖 으로 전달 하 는 정보 계측 방법 이 알려져 있 다 . ( 특허 문헌 1 참조 ) . 또 피 처리 기판 표면 의 상태 , 또는 피 처리 기판 주위 의 환경 을 나타내 는 정보 의 계측 수단 에 있 어서 , 피 처리 기판 정보 계측 수단 의 센서 부 와 , 정보 계측 처리 회로 ( 변환기 ) 의 일부 혹은 전부 를 상기 피 처리 기판 상 에 배치 하 는 , 정보 계측 수단 을 구비 한 피 처리 기판 이 알려져 있 다 ( 특허 문헌 2 참조 ) . 이 와 같 은 정보 계측 방법 및 피 처리 기판 에 의하 면 , 피 처리 기판 이 진공 성막 장치 내 에서 이동하 는 경우 에 도 , 진공 성막 장치 의 내부 정보 , 예 를 들 면 , 피 처리 기판 의 온도 등 의 정보 를 취득 하 는 것 이 가능 해진다 .