제작 한 막 을 , 패러 럴 라이트 마스크 얼라 이너 ( 상품명 PLA - 501 F , Canon Inc . 제 ) 를 사용 하 여 초고압 수은 등 을 광원 으로서 노광 하 고 , 오븐 ( 상품명 IHPS - 222 , ESPEC Corp . 제 ) 을 사용 하 여 공기 중 120 ℃ 에서 1 시간 큐어 하고 , 막 두께 1 . 5 ㎛ 의 경화 막 을 제작 했 다 .