( D ) 성분 으로 는 , 예 를 들 어 , 노광 에 의해 분해 되 어 산 확산 제어 성 을 잃 는 광 붕괴 성 염기 ( D 1 ) ( 이하 「 ( D 1 ) 성분 」 이 라고 한다 . ) , 그 ( D 1 ) 성분 에 해당 하 지 않 는 함 질소 유기 화합물 ( D 2 ) ( 이하 「 ( D 2 ) 성분 」 이 라고 한다 . ) 등 을 들 수 있 다 . 이 들 중 에서 도 , 고감도 화 , 러프 니스 저감 , 도포 결함 의 발생 억제 의 특성 이 모두 높 아 지 기 쉽 다는 점 에서 , 광 붕괴 성 염기 ( ( D 1 ) 성분 ) 가 바람직 하 다 .