여기 서 상기 메인 셔틀 플레이트 ( 210 ) 에 설치 되 는 소자 안착 부 ( 211 ) 는 , 가압 툴 ( 120 ) 의 CCU 유닛 ( 121 ) 에 픽업 된 소자 ( 1 ) 를 전달 받 고 그 직후 검사 될 소자 ( 1 ) 를 전달 할 수 있 도록 행 방향 ( X 축 방향 ) 및 열 방향 ( Y 축 방향 ) 중 적어도 하나 의 방향 으로 2 배 로 배치 됨 이 바람직 하 다 .