구체 적 으로 , 도 7 은 화학 기계 적 연마 패드 의 초기 상태 를 표시 한 것 이 다 . 도 8 은 화학 기계 적 연마 패드 의 말기 상태 를 표시 한 것 이 다 . 도 9 에 도시 한 바 와 같이 화학 기계 적 연마 패드 의 사용 시간 이 초기 상태 ( a 1 ) , 중기 상태 ( a 2 ) , 및 말기 상태 ( a 3 ) 로 진행 함 에 따라 , 화학 기계 적 연마 패드 의 표면 조도 가 낮 아 짐 을 알 수 있 다 . 화학 기계 적 연마 패드 의 표면 조도 가 중기 상태 ( a 2 ) 일 경우 적정 값 이 라 칭할 수 있 다 .