또한 , 하우징 체부 ( 20 ) 는 그 하류 단부 ( 즉 , 보관 장치 ( 1 ) 의 하류 단부 ) 를 가로막 도록 설치 된 문 ( 24 ) 을 가지 고 있 다 . 이 문 ( 24 ) 은 , 보관 장치 ( 1 ) 의 이용자 가 수납 실 ( 13 ) 에 수납 되 어 있 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 출납 을 행할 수 있 도록 개폐 가능 하 게 설치 되 어 있 다 .