우선 , 단결정 반도체 기판 ( 401 ) 을 준비 한다 ( 도 15 a - 1 참조 ) . 단결정 반도체 기판 ( 401 ) 은 , 시판 하 는 단결정 반도체 기판 을 사용 할 수 있 으며 , 예 를 들 면 단결정 의 실리콘 기판 이나 게르마늄 기판 등 이 다 . 시판 하 는 단결정 실리콘 기판 으로서 는 , 직경 5 인치 ( 125 mm ) , 직경 6 인치 ( 150 mm ) , 직경 8 인치 ( 200 mm ) , 직경 12 인치 ( 300 mm ) 사이즈 , 직경 18 인치 ( 450 mm ) 의 원형 의 웨이퍼 가 알려져 있 다 . 또한 , 단결정 반도체 기판 ( 401 ) 의 형상 은 원형 에 한정 되 지 않 고 사각형 등 으로 가공 한 단결정 반도체 기판 을 사용 하 는 것 도 가능 하 다 .