한 세트 의 추가 처리 단계 들 은 , 피 처리 S - D 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰 도 맵 으로서 , 제 1 S - D 신뢰 도 맵 은 피 처리 S - D 웨이퍼 각각 의 위 에서 제 1 개수 의 평가 사이트 에 작성 된 하나 이상 의 라이브러리 관련 기준 특징 부 에 대한 신뢰 도 데이터 를 포함 하 는 것 인 S - D 신뢰 도 맵 을 계산 하 는 단계 와 , 피 처리 S - D 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰 도 맵 을 이용 하 여 제 1 평가 웨이퍼 세트 를 확립 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .