상기 반도체 디스플레이 제조 설비 가 설치 된 작업장 은 다층 구조 로 형성 되 고 , 그 다층 구조 를 형성 하 는 바닥 체 에 진공 배관 관통 홀 이 형성 됨 으로써 , 상기 진공 배관 관통 홀 에 상기 진공 배관 이 관통 되 고 , 그 에 따라 상기 바닥 체 상측 에 설치 된 상기 반도체 디스플레이 제조 설비 의 반응 챔버 등 의 설비 와 상기 바닥 체 하측 공간 에 설치 된 진공 펌프 가 상기 진공 배관 에 의해 연결 될 수 있 게 된다 .