도 7 은 , 본 발명 에 있 어서 의 그 밖 의 승 온 패턴 을 나타낸 제 3 실시 예 이 고 , ( Ⅰ ) ～( Ⅵ ) 은 , 도 5 와 동일 하 게 , 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 의 극 최 표면 의 온도 와 시간 의 관계 , IGBT 소자 에 입력 되 는 게이트 신호 , 트리거 신호 의 입력 타이밍 , 충전 용 콘덴서 로 의 충전 개시 신호 , 램프 전압 , 램프 전류 를 나타내 고 있 다 .