도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 플 라즈 마 화학 기상 증착 설비 는 , 외부 로부터 밀폐 된 공간 을 제공 하 는 반응 챔버 ( 110 ) 와 , 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내부 의 공기 를 소정 의 진공 압 으로 펌핑 하 는 진공 펌프 ( 120 ) 와 , 상기 진공 펌프 ( 120 ) 의 펌핑 에 의해 소정 의 진공 압 을 갖 는 상기 반응 챔버 ( 110 ) 의 하단 에서 웨이퍼 를 지지 하 면서 소정 의 온도 로 가열 시키 는 히터 블록 ( 130 ) 과 , 상기 히터 블록 ( 130 ) 에 대향 되 는 상기 반응 챔버 ( 110 ) 의 상단 에 형성 된 샤워 헤드 ( 140 ) 와 , 상기 샤워 헤드 ( 140 ) 를 통해 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내 에 소정 유량 의 이소프렌 가스 와 질소 가스 를 혼합 하 여 공급 하 는 반응 가스 공급 부 ( 150 ) 와 , 상기 반응 가스 공급 부 ( 150 ) 에서 공급 되 는 상기 이소프렌 가스 와 상기 질소 가스 를 플 라즈 마 상태 로 여기 시키 고 일정 혼합비 이상 으로 혼합 시키 기 위해 고주파 파워 및 저 주파 파워 ( Low Frequency power ) 가 동시 에 인가 되 도록 상기 샤워 헤드 ( 140 ) 의 상부 에 형성 된 플 라즈 마 전극 ( 160 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .