일 실시 예 에서 , 슬릿 밸브 는 이 를 통한 개구 를 가지 는 슬릿 밸브 바디 를 포함 한다 . 개구 는 개구 를 통한 기판 의 통과 를 허용 하 는 크기 를 가질 수 있 다 . 바디 는 또한 바디 의 표면 내 로 형성 되 어 개구 주변 을 둘러싸 는 제 1 그루브 를 가질 수 있 다 . 바디 는 또한 제 1 그루브 와 바디 의 동일 한 표면 내 로 형성 ( carve ) 되 고 제 1 그루브 의 방사상 외부 로 배치 되 는 복수 의 제 2 그루브 를 가질 수 있 다 . o - 링 은 제 1 그루브 내 에 부분 적 으로 배치 될 수 있 다 . 복수 의 제 2 그루브 는 실질 적 인 선형 경로 를 따라 연장 할 수 있 다 . 슬릿 밸브 는 또한 복수 의 제 2 그루브 들 중 하나 이상 에 배치 되 는 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 요소 를 포함 할 수 있 다 .