먼저 , 도시 된 도 1 내지 도 5 에서 보 는 바 와 같이 , 상기 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 는 챔버 ( 100 ) 와 보조 챔버 ( 200 ) 및 본체 ( 300 ) 로 크 게 구성 된다 . 상기 챔버 ( 100 ) 는 램프 ( 110 ) 와 반사판 ( 120 ) 이 설치 되 고 , 상기 본체 ( 300 ) 는 제 1 ㆍ제 2 반사 미러 ( 320 a , 320 b ) 및 렌즈 ( 330 a , 330 b ) 와 광원 조 절부 ( 340 ) 가 구비 된다 . 또한 , 상기 보조 챔버 ( 200 ) 는 상기 챔버 ( 100 ) 의 하측 과 상기 본체 ( 300 ) 의 상측 을 연결 하 며 , 상기 챔버 ( 100 ) 로부터 상기 본체 ( 300 ) 로 빛 을 전달 한다 .