또한 , 에 어 실린더 나 모터 등 을 사용 하 는 경우 에 는 , 매니폴드 의 바로 근처 에 에어 실린더 나 모터 를 설치 해야 하 는데 , 이 들 부재 는 , 웨이퍼 를 가열 할 때 의 열 에 의해 가열 되 면 , 열팽창 해서 파손 되 는 경우 가 있 다 . 이 에 반해 , 본 실시 형태 에서 는 , 에 어 실린더 등 이나 링크 부 등 을 사용 하 지 않 고 , 풍차 ( 167 ) 를 구동 용 가스 에 의해 회전 시키 는 기구 이 기 때문 에 , 풍차 ( 167 ) 등 을 제외 하 고 웨이퍼 를 가열 할 때 의 열 에 의해 가열 되 는 일 은 없 어 , 열팽창 해서 파손 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .