따라서 , 상기 다수 의 부품 ( 세라믹 부품 ) 은 소모 성 을 갖 고 있 어 일정 기간 사용 후 에 는 부식 등 과 같 은 기타 요인 으로 인해 교체 를 하 여야 함 으로 기계 적 물 성 을 향상 시키 며 내 플 라즈 마성 이 향상 된 부품 들 이 필요 한 실정 이 다 . 또한 , 최근 에 는 반도체 의 선폭 미세화 경쟁 이 격심 해 지 는 가운데 생산 수율 을 향상 시키 기 위해 오염 입자 의 저감 이 강력 하 게 요구 되 고 있 다 . 즉 , 종래 에 추구 해 오 던 식각 률 을 낮추 는 기술 은 필요 조건 이 며 미세 구조 혹은 조성 을 제어 하 여 오염 입자 의 발생 을 저감 시키 는 충분조건 도 만족 하 는 소재 의 개발 이 중요 하 다 .