본 실시 예 에서 , 상기 공간 구획 부재 들 ( 440 ) 의 외측 공간 으로 압력 조절 용 가스 를 공급 하 기 위한 제 3 가스 공급 배관 ( 470 ) 은 상기 커버 ( 420 ) 를 통해 상기 용기 ( 410 ) 내 에 수용 된 액상 소스 에 침지 되 도록 배치 될 수 있 다 . 여기 서 , 상기 압력 조절 용 가스 로 는 상기 캐리어 가스 와 동일 한 가스 가 사용 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 압력 조절 용 가스 의 버블 링 에 의해 소스 가스 가 발생 될 수 있 으며 , 상기 압력 조절 용 가스 에 의해 형성 된 소스 가스 는 상기 공간 구획 부재 들 ( 440 ) 의 외측 공간 에 연결 된 제 4 가스 공급 배관 ( 480 ) 을 통해 공정 챔버 들 중 하나 로 공급 될 수 있 다 . 따라서 , 본 실시 예의 가스 공급 장치 ( 400 ) 는 상기 제 2 실시 예의 가스 공급 장치 ( 300 ) 와 비교 하 여 높 은 사용 효율 을 가질 수 있 다 .