여기 에서 의 산화 란탄 , 산화 니오브 나 니오브 및 란탄 의 복합 산화물 은 , 산화 란탄 ( III ) ( La 2 O 3 ) , 산화 니오브 ( V ) ( Nb 2 O 5 ) 나 La 3 NbO 7 , LaNbO 4 , LaNb 3 O 9 , LaNb 5 O 14 , LaNb 7 O 19 과 같 은 통상 의 분위기 에 있 어서 화학 적 으로 가장 안 정한 산화물 외 에 , LaO 와 같 은 아산화 란탄 , NbO 2 , Nb 2 O 3 , NbO 와 같 은 아산화 니오브 나 LaNb 7 O 12 와 같 은 아산화 상태 의 복합 산화물 이 라는 아산화물 이 어도 된다 . 이러 한 아산화물 , 또는 아산화물 을 포함 하 는 증착 재료 ( 이하 , 통틀어 「 아산화물 증착 재료 」 라고 한다 . ) 는 , 산소 함유율 이 보다 작 은 재료 이 기 때문 에 , 성 막 시 및 그 의 전처리 로서 의 용융 시 에 산소 가스 의 이탈 이 발생 하 기 어렵 다 . 이 때문 에 , 증착 중 에 있 어서 의 증착 장치 내 의 분위기 압력 을 제어 하 기 쉬워 , 목적 하 는 특성 을 갖 는 막 을 형성 시키 기 쉽 다 . 본 발명 에 있 어서 의 아산화물 증착 재료 로서 는 , 이미 기술 한 LaNb 7 O 12 외 에 , NbO + LaNbO 4 , NbO 2 + LaNbO 4 나 NbO 2 + La 3 NbO 7 + LaNbO 4 와 같 은 구성 의 이원계 산화물 을 예시 할 수 있 다 .