상기 중 에서 도 , 산 해리성 기 로 는 , 고리 형 의 탄화수소기 를 함유 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 산 해리성 기 는 , 직 사슬 형 또는 분기 사슬 형 의 알킬기 로 이루어지 는 것 임 이 바람직 하 다 . 그러 한 산 해리 성기 를 채용 함 으로써 , 유기 용제 현상 프로세스 에 있 어서 , 잔 막 률 을 더욱 향상 시키 고 , 패턴 붕괴 를 억제 하 여 , 양호 한 패턴 형상 을 얻 을 수 있 다 .