이어서 , 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 각각 을 통해 제 1 및 제 2 가스 ( G 1 , G 2 ) 를 공간 적 으로 분리 하 여 소정 구간 마다 교대 로 분사 함 과 아울러 제 2 및 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 b , 130 d ) 을 통해 플 라즈 마 화 된 제 3 가스 ( PG 3 ) 를 지속 적 으로 분사 한다 .