본 실시 예 에 의하 면 , 반송 캐리어 ( 302 ) 에 의해 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 를 보유 지지 한 상태 로 , 증착 실 에서 증착 되 기 전 에 , 얼라인먼트 실 에서 자기 에 의해 부상 한 상태 에서 , 자기 의 힘 에 의해 얼라인먼트 된다 . 이 에 의해 , 고정 밀도 의 위치 결정 이 가능 해진다 . 또한 , 반송 캐리어 의 반송 수단 인 코일 에 대한 전류 또는 전압 에 의해 제어 하 기 위해 , 얼라인먼트 용 으로 다른 수단 을 마련 할 필요 가 없 고 , 장치 를 단순 하 고 또한 저 비용 으로 실현 하 는 것 이 가능 하 다 .