게다가 , 측벽 으로 의 얕 은 입사각 으로 인하 여 , 홀 에서 반사 된 빛 이 부분 적 으로 또는 전체 적 으로 편광 될 수 있 다 . 입사 광선 을 의도 적 으로 편광 시킴 으로써 측벽 반사 의 타원 편광 분석 적 ( ellipsometric ) 효과 를 추출 할 수 있 다 . 타원 편광 분석 적 효과 는 투명 하 고 얇 은 금속 코팅 을 포함 하 여 측벽 에 대한 코팅 의 측정 에 이용 될 수 있 다 . 기판 또는 코팅 물질 에 의한 측벽 상 의 여러 의 반사 의 흡수 가 , 광선 이 겪 는 반사 의 개수 에 따라 , 일부 반사 된 빛 패턴 의 세기 의 단계 적 감소 를 야기 한다 . 이러 한 세기 의 단계 적 감소 는 홀 프로파일 에 대한 정보 를 획득 하 기 위하 여 모델링 되 고 사용 될 수 있 는 추가 적 인 파라미터 이 다 .