또한 , 잉곳 ( 2 ) 의 고유 진동수 와 근사 하 는 주파수 란 , 잉곳 ( 2 ) 을 액체 ( 26 ) 중 에 침지 하 고 액체 ( 26 ) 를 통하 여 잉곳 ( 2 ) 에 초음파 를 부여 함 으로써 박리 층 ( 22 ) 을 계면 으로 하 여 잉곳 ( 2 ) 의 일부 를 박리 할 때 에 , 잉곳 ( 2 ) 의 고유 진동수 보다 소 정량 낮 은 주파수 로부터 서서히 초음파 의 주파수 를 상승 시켰 을 때 에 , 박리 층 ( 22 ) 을 계면 으로 하 는 잉곳 ( 2 ) 의 일부 박리 가 개시 되 는 주파수 이 며 , 잉곳 ( 2 ) 의 고유 진동수 보다 작 은 주파수 이 다 . 구체 적 으로 는 , 잉곳 ( 2 ) 의 고유 진동수 와 근사 하 는 주파수 는 잉곳 ( 2 ) 의 고유 진동수 의 0 . 8 배 정도 이 다 . 또 , 웨이퍼 생성 공정 을 실시 할 때 의 액 층 ( 28 ) 내 의 액체 ( 26 ) 는 물 이 며 , 물 의 온도 는 , 초음파 진동 부여 수단 ( 32 ) 으로부터 초음파 진동판 ( 30 ) 에 초음파 진동 이 부여 되 었 을 때 에 캐비테이션 의 발생 이 억제 되 는 온도 로 설정 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 는 , 물 의 온도 가 0 ∼ 25 ℃ 로 설정 되 어 있 는 것 이 바람직 하 고 , 이 로 인해 초음파 의 에너지 가 캐비테이션 으로 변환 되 지 않 아 , 효과 적 으로 잉곳 ( 2 ) 에 초음파 의 에너지 를 부여 할 수 있 다 .