이때 , 상기 제 2 하프 - 톤 마스크 ( 280 ) 에 는 조사 된 광 을 모두 투과 시키 는 제 1 투과 영역 ( I ) 과 광 의 일부 만 투과 시키 고 일부 는 차단 하 는 제 2 투과 영역 ( II ) 및 조사 된 모든 광 을 차단 하 는 차단 영역 ( III ) 이 마련 되 어 있 으며 , 상기 제 2 하프 - 톤 마스크 ( 280 ) 를 투과 한 광 만 이 상기 제 2 감광막 ( 270 ) 에 조사 되게 된다 .