생성 된 플라스마 206 은 반응 길 이 L 2 을 갖 는 FEWG 205 의 반응 구역 201 내 공정 재료 208 b 에서 반응 이 일어나 도록 에너지 를 제공 한다 . 일부 구 현예 에서 , 반응 구역 L 2 은 공정 재료 208 a 가 FEWG 205 에 진입 하 는 위치 로부터 FEWG 205 의 말단 으로 또는 공정 재료 의 진입 과 FEWG 205 의 말단 사이 의 위치 로 연장 한다 . 올바른 조건 이 주어지 면 , 플라스마 206 내 에너지 는 공정 재료 분자 로부터 별개 의 성분 들 을 형성 하 기 에 충분 하 다 . 하나 이상 의 배출구 203 은 반응 이 공정 재료 208 b 에서 일어나 는 FEWG 의 반응 구역 부분 201 의 다운 스트림 에 있 는 FEWG 205 로부터 의 별개 의 생 셩 물 을 수집 하 도록 구성 된다 . 도 2 a 에 나타낸 예 에서 , 마이크로파 에너지 209 의 전파 방향 은 다수 의 공급 가스 및 / 또는 공정 재료 흐름 208 b 와 평행 하 고 , 마이크로파 에너지 209 는 별개 의 성분 들 이 생성 되 는 FEWG 의 반응 구역 201 의 업 스트림 에 있 는 FEWG 205 에 진입 한다 .