사용 할 수 있 는 기판 으로서 는 , 기술 한 본 발명 의 구리 도체 막 의 설명 에 있 어서 나타낸 기판 과 동일 하 다 . 또한 , 본 발명 의 구리 도체 막 과 동일 하 게 , 본 발명 의 제조 방법 은 , 그 이상 의 고온 을 필요 로 하 는 소결 의 공정 이 없 기 때문 에 , 내열 성 은 그다지 고려 하 지 않 고 기판 을 선정 할 수 있 다 .