기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 에 대해 , 보다 상세히 설명 한다 . 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 에 는 , 기판 ( 10 ) 을 협지 함 으로써 보유 지지 하 면서 , 기판 ( 10 ) 을 반송 하 기 위한 협지 기구 ( 211 ) 가 복수 설치 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 양단 에 , 협지 기구 ( 211 ) 가 각각 설치 되 어 있 다 . 한편 , 협지 기구 ( 211 ) 는 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 양단 에 , 각각 복수 설치 하 여도 된다 . 이 들 협지 기구 ( 211 ) 는 , 각각 에 대응 하 여 설치 된 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 , 각각 독립 적 으로 승강 하 도록 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 각 협지 기구 ( 211 ) 는 , 기판 ( 10 ) 을 아래 에서 지지 하 는 지 지구 ( 211 a ) 와 , 지지 구 ( 211 a ) 와 의 사이 에서 기판 ( 10 ) 을 끼우 는 압 압 구 ( 211 b ) 를 각각 가지 고 있 다 . 또한 , 각 협지 기구 ( 211 ) 는 , 압 압 구 ( 211 b ) 를 승강 ( Z 방향 이동 ) 시키 기 위한 압 압 구 Z 액 츄 에 이터 ( 211 c ) 를 각각 가지 고 있 다 .