미국 특허 출원 공개 US 2005 / 0029221 에 는 2 단계 공정 에 걸친 딥 트렌치 식각 공정 이 개시 되 어 있 다 . 제 1 단계 는 경사 프로파일 ( tapered profile ) 을 갖 는 경사 형 트렌치 를 식각 하 는 것 을 포함 한다 . 이러 한 제 1 단계 에서 는 바람직 한 식각 제 로서 HBr / CF 4 가 사용 되 었 다 . 그런 후 , SF 6 / HBr / O 2 를 적용 시켜 직선 - 프로파일 딥 트렌치 를 제공 하 기 위해 , 등방성 식각 단계 에서 경사 형 트렌치 를 고밀 도 플 라즈 마 에 의해 트리밍 하 였 다 .