도 10 을 참조 하 면 , 제 1 연결부 ( 21 ) 는 제 1 기판 ( 10 ) 과 일체 로 형성 하 여 제 1 연결부 ( 21 ) 를 제 1 기판 ( 10 ) 의 패드 ( 14 ) 들 각각 에 고정 되 도록 연결 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 제 1 연결부 ( 21 ) 를 제 1 기판 ( 10 ) 과 일체 로 형성 할 경우 에 는 멤 스 ( MEMS ) 공정 에 의해 이루어지 는 것 이 일반 적 이 다 . 그리고 , 제 1 연결부 ( 21 ) 의 형성 을 위한 멤 스 공정 은 일반 적 이 기 때문 에 그 구체 적 인 설명 은 생략 하 기 로 한다 .