계층 ( Ｋ ３ ) 에 관해 설명 한다 . 한편 , 계층 ( Ｋ １ ) 과 동일 한 구성 에 대해서 는 동일 한 부호 를 붙임 으로써 상세 한 설명 을 생략 한다 . 계층 ( Ｋ ３ ) 의 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 및 처리 유닛 의 평면 에서 본 레이아웃 ( 배치 ) 은 계층 ( Ｋ １ ) 의 그것 들 과 거의 동일 하 다 . 이 때문 에 , 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 로부터 본 계층 ( Ｋ ３ ) 의 각종 처리 유닛 의 배치 는 , 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 로부터 본 계층 ( Ｋ １ ) 의 각종 처리 유닛 의 배치 와 거의 동일 하 다 . 계층 ( Ｋ ３ ) 의 도포 처리 유닛 ( 31 ) 과 열처리 유닛 ( 41 ) 은 , 각각 계층 ( Ｋ １ ) 의 도포 처리 유닛 ( 31 ) 과 열처리 유닛 ( 41 ) 의 하측 에 각각 적층 되 어 있 다 .