따라서 , 압력 조 절부 ( 153 ) 는 압력 조절 밸브 ( 146 ) 의 개방 정도 를 조절 하 여 공급 탱크 ( 110 ) 내부 로 유입 되 는 질소 가스 의 양 을 조절 하 여 공급 탱크 ( 110 ) 내부 의 압력 을 일정 하 게 유지 할 수 있 으면서 , 반도체 생산 장치 ( 10 ) 에 공급 되 는 약액 의 유량 도 일정 하 게 유지 할 수 있 다 .