또한 , 도 8 을 참조 하 면 , 로딩 단계 ( S 30 ) 는 , 복수 개 의 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 기판 ( 10 ) 의 그립 을 순차 적 으로 해제 ( OFF ) 하 여 행해 지 는 것 도 가능 하 다 . 즉 , 복수 개 의 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 기판 ( 10 ) 의 그립 은 , 기판 ( 10 ) 의 일변 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 ( 10 ) 의 좌 측변 ) 을 마주 하 는 기판 ( 10 ) 의 다른 일변 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 ( 10 ) 의 우 측변 ) 을 향하 는 방향 을 따라 순차 적 으로 해제 ( OFF ) 되 고 , 복수 개 의 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 그립 이 순차 적 으로 해제 됨 에 따라 기판 ( 10 ) 은 일변 에서 다른 일변 을 향하 는 방향 을 따라 스테이지 ( 100 ) 에 점진 적 으로 로딩 된다 .