진공 반송 모듈 ( 30 ) 은 반송 실열 ( 31 ) 을 갖 는다 . 반송 실열 ( 31 ) 은 , 복수 ( 본 예 에서 는 3 개 ) 의 반 송실 ( 321 내지 323 ) ( 이하 , " 통합 하 여 "" 반 송실 ( 32 ) "" 이 라 하 는 경우 가 있 다 ) 을 가지 며 ", 이 들 반 송실 ( 321 내지 323 ) 이 도면 의 Y 방향 을 따라서 직선형 상 으로 배열 되 도록 배설 되 어 있 다 . 또한 , 반송 실열 ( 31 ) 은 , 서로 인접 하 는 반 송실 ( 32 ) 사이 에 , 기능 실 로서 의 중계 실 ( 331 내지 332 ) ( 이하 , " 통합 하 여 "" 중계 실 ( 33 ) "" 이 라 하 는 경우 가 있 다 ) 을 가지 며 ", 구체 적 으로 는 , 반 송실 ( 321 ) 과 반 송실 ( 322 ) 사이 에 중계 실 ( 331 ) 을 가지 며 , 반 송실 ( 322 ) 과 반 송실 ( 323 ) 사이 에 중계 실 ( 332 ) 을 갖 는다 .