산화 질화 실리콘 막 의 성막 에 사용 하 는 성막 가스 에 는 예 를 들 어 실레인 , 다 이 실레인 등 의 실리콘 을 포함 한 퇴적 성 가스 와 , 산소 , 오존 , 일산 화 이질소 , 이산화 질소 등 의 산화 성 가스 를 포함 한 원료 가스 를 사용 할 수 있 다 . 또한 원료 가스 에 더 하 여 아르곤 , 헬륨 , 또는 질소 등 의 희석 가스 를 포함 하 여도 좋 다 .