챔버 ( 30 ) 는 , 가 열부 ( 20 ) 상 [ 예컨대 열 판 ( 21 ) 상 ] 의 처리 공간 ( 34 ) 과 외부 공간 ( 35 ) 을 이격 한다 . 예컨대 챔버 ( 30 ) 는 , 둘레 벽 ( 31 ) 과 , 천 장판 ( 32 ) 을 갖 는다 . 둘레 벽 ( 31 ) 은 , 가 열부 ( 20 ) [ 열 판 ( 21 ) ] 와 처리 공간 ( 34 ) 을 포위 한다 . 천 장판 ( 32 ) 은 둘레 벽 ( 31 ) 의 상부 를 폐쇄 한다 .