상부 하우징 ( 10 ) 과 하부 하우징 ( 20 ) 은 후술 하 는 상부 강 화처 리부 ( 11 ) 와 하부 강 화처 리부 ( 21 ) 를 매개 로 서로 개폐 가능 하 게 결합 되 며 , 건조 공정 이 수행 되 는 공간 을 제공 한다 . 예 를 들 어 , 상부 하우징 ( 10 ) 과 하부 하우징 ( 20 ) 은 원통 형상 을 갖 도록 구성 될 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 . 후술 하 겠 지만 , 상부 하우징 ( 10 ) 에 는 상부 공급 포트 ( 60 ) 가 형성 되 어 있 고 , 하부 하우징 ( 20 ) 에 는 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) 가 형성 되 어 있 다 .