상기 ( 1 ) 에 의하 면 , 기판 반송 장치 의 진공 반 송실 의 연결 방향 의 풋 프린트 를 작 게 할 수 있 어서 , 기판 반송 장치 를 소형 화 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 기판 반입 · 반 출구 와 제 2 기판 반입 · 반 출구 에서 높이 방향 의 위치 가 상이 하 기 때문 에 , 기판 반송 장치 의 풋 프린트 를 더욱 작 게 하 는 것 이 가능 한 구조 를 채용 할 수 있 다 .