도 3 a 내지 도 3 d 는 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 박막 패턴 제조 방법 을 단계 별 로 설명 하 는 단면도 들 이 다 . 도 3 a 내지 도 3 d 에 도시 된 제조 방법 은 도 2 a 내지 도 2 c 에 도시 된 방법 에 비하 여 요 홈 부 ( 12 A ) 의 형성 공정 을 더 포함 한다 . 따라서 , 도 2 a 내지 도 2 c 에 도시 된 것 과 동일 한 구성 , 역할 및 기능 을 가지 는 도 3 a 내지 도 3 d 에서 의 구성 요소 들 은 동일 한 번호 로 인용 될 것 이 다 .