본 발명 은 , 액 처리 장치 의 처리 액 공급 기구 의 부품 개수 를 삭감 한다 . 액 처리 장치 는 , 탱크 와 , 순환 통로 와 , 펌프 와 , 복수 의 액 처 리부 와 , 복수 의 공급 통로 를 구비 하 고 , 순환 통로 는 , 펌프 가 마련 된 주 통로 부분 과 , 주 통로 부분 으로부터 분기 한 제 1 분기 통로 부분 및 제 2 분기 통로 부분 을 갖 고 , 탱크 로부터 유출 된 처리 액 은 , 주 통로 부분 을 통과 한 후 에 , 각 분기 통로 부분 에 유입 되 어 , 각 분기 통로 부분 을 통해서 탱크 에 되돌아가 도록 구성 되 어 있 고 , 복수 의 액 처 리부 는 , 제 1 처 리부 군 과 제 2 처 리부 군 으로 분할 되 고 , 복수 의 공급 통로 는 , 제 1 통로 군 과 제 2 통로 군 으로 분할 되 고 , 제 1 처 리부 군 에 속하 는 액 처 리부 는 각각 제 1 통로 군 에 속하 는 공급 통로 를 통해서 제 1 분기 통로 부분 에 접속 되 고 , 제 2 처 리부 군 에 속하 는 액 처 리부 는 각각 제 2 통로 군 에 속하 는 공급 통로 를 통해서 제 2 분기 통로 부분 에 접속 되 어 있 다 .