실링 부 ( 30 ) 는 하부 하우징 ( 20 ) 과 상부 하우징 ( 10 ) 의 결합 면 에 구비 되 어 있 으며 , 하부 하우징 ( 20 ) 과 상부 하우징 ( 10 ) 의 결합 면 의 기밀 을 유지 하 여 챔버 내부 영역 을 외부 와 차단 시킨다 . 예 를 들 어 , 실링 부 ( 30 ) 는 고분자 재질 을 가질 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 .