기판 처리 장치 ( 1 ) 는 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 를 가지 고 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 의 각각 이 가열 기구 ( 63 ) 를 포함 한다 . 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 마다 가열 기구 ( 63 ) 의 출력 을 조정 할 수 있 으므로 , 내조 ( 51 ) 의 수조 내 온도 의 분포 를 용이 하 게 조정 할 수 있 다 . 내조 ( 51 ) 의 수조 내 온도 를 , 이하 , 단순히 「 수조 내 온도 」 라고 도 부른다 .