스핀 척 ( 302 ) 은 예 를 들 면 , 기판 ( W ) 을 협지 하 여 유지 하 는 협 지식 의 척이 다 . 스핀 척 ( 302 ) 은 예 를 들 면 , 수평 으로 배치 된 원반 형상 의 스핀 베이스 ( 304 ) 와 , 스핀 베이스 ( 304 ) 위 에 배치 된 복수 개 의 협지 부재 ( 305 ) 와 , 스핀 베이스 ( 304 ) 에 연결 된 스핀 모터 ( 306 ) ( 건조 유닛 ) 를 포함 한다 . 스핀 척 ( 302 ) 은 각 협지 부재 ( 305 ) 를 기판 ( W ) 의 둘레 단면 에 접촉 시킴 으로써 , 기판 ( W ) 을 주위 로부터 끼울 수 있 다 . 또한 , 스핀 척 ( 302 ) 은 기판 ( W ) 을 유지 한 상태 에서 스핀 모터 ( 306 ) 의 구동력 을 스핀 베이스 ( 304 ) 에 입력 함 으로써 , 기판 ( W ) 의 중심 을 지나가 는 연직 의 회전축 선 둘레 로 기판 ( W ) 을 회전 시킬 수 있 다 . 스핀 척 ( 302 ) 은 협 지식 의 척 에 한정 되 지 않 으며 , 기판 ( W ) 의 하 면 ( 이면 ) 을 흡착 하 여 유지 하 는 배큐엄 식 의 척 이 어도 좋 다 .