다음 으로 , 도 4 를 참조 하 여 , 정 전척 ( 308 ) 및 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 형상 에 대해 설명 한다 . 척 프레임 ( 309 ) 은 , 캐리어 본체 ( 302 A ) 보다 한층 작 은 사각 형상 의 부재 이 며 , 정 전척 ( 308 ) 의 외주 가장자리 를 보유 지지 하 고 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 격자 형상 의 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 을 지지 하 는 사각 형상 의 프레임 ( 307 x 1 ) 의 4 변 을 가이드 하 는 가이드 벽 ( 309 a ) 을 구성 하 고 있 다 .