일 실시 형태 에 있 어서 , 홀 들 의 복수 의 패턴 들 은 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 를 통해 정의 된다 . 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 내 의 홀 들 의 복수 의 패턴 들 의 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 상이 한 세트 와 정렬 한다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 에 관하 여 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 의 특정 회전 위치 에서 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 상 의 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 의 배치 는 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 내 의 홀 들 의 복수 의 패턴 들 중 특정 하나 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 그 대응 세트 와 의 정렬 에 대응 한다 . 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 를 통해 연장 하 는 홀 들 의 복수 의 패턴 들 의 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에서 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 상이 한 개수 또는 상이 한 공간 패턴 을 노출 시키 도록 정의 된다 . 이 에 따라 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통한 유체 배출 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 에 관하 여 특정 회전 위치 에서 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 를 설정 함 으로써 제어 될 수 있 다 .