그 다음 도 2 b 와 같이 , 패 터닝 된 절 연막 ( 101 ) 상 에 베리 어 메탈 ( 203 ) 을 증착 하 고 , 증착 된 베리어 메탈 ( 203 ) 상부 에 배선 을 위한 금속 ( 205 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 베리어 메탈 ( 203 ) 은 Ti 와 Ta 의 금속 , 그리고 TiN 과 TaN 의 금속 질화물 중 어느 하나 를 선택 하 여 증착 하 며 , 금속 ( 205 ) 은 구리 ( Cu ) 와 , 알루미늄 ( Al ) 과 , 텅스텐 ( W ) 중 어느 하나 를 선택 하 여 형성 할 수 있 다 .