구체 적 으로 , 2 - 메 톡 시 에 탄 올 150 mL 에 리튬 아세테이트 0 . 85235 g , 염화알루미늄 육 수화물 0 . 45665 g , 티타늄 부 톡 사이드 3 . 75692 mL , 인산 2 . 58568 mL 및 분산제 로서 폴리에틸렌글리콜 15 mL 을 첨가 하 여 0 . 5 시간 교반 시킨 후 , 증류수 300 μ l 를 첨가 하 여 , 1 시간 교반 시킨 후 , 증류수 300 μ l 를 첨가 하 여 , 1 시간 교반 시킨 후 , 상기 용액 은 용매 열 합성법 을 진행 하 기 위하 여 마이크로웨이브 반응기 용 테플론 용기 에 옮겨 담 고 , 마이크로웨이브 주사 조건 을 200 ℃, 10 분 으로 설정 하 여 결정 화 반응 을 진행 하 였 다 . 그 후 , 상기 용액 을 원심 분리 및 진공 오븐 을 이용 하 여 용매 를 제거 하 고 , 알루미나 보트 에 넣 고 전기로 를 사용 하 여 분당 5 ℃ 의 승 온 속도 로 525 ℃, 5 % 수소 / 95 % 질소 분위기 에서 5 시간 열처리 를 하 였 다 .