보다 구체 적 으로 설명 하 면 , 외부 에 설치 된 가스 공급 장치 와 연결 되 는 연결 관 의 설치 위치 를 중심 으로 가스 가 확산 되 어 처리 공간 으로 분사 되 는 데 연결 관 으로부터 상대 적 으로 거리 가 먼 주변 부분 에서 는 가스 분 사량 이 상대 적 으로 작 아 기판 표면 에 의 균일 한 기판 처리 가 이루어지 지 않 는 문제점 이 있 다 .