도 18 은 웨이퍼 로부터 분리 된 단일 스 페이서 요소 ( 31 ) 를 도시 한다 . 스 페이서 요소 ( 31 ) 의 상부 표면 ( 33 ) 은 상부 표면 ( 33 ) 으로부터 돌출 되 는 마이크 로 - 스 페이서 ( 32 ) 를 포함 한다 . 그것 들 이 돌출 되 는 높이 는 바람직 하 게 는 약 20 마이크로미터 , 즉 10 또는 15 내지 25 또는 35 마이크로미터 이 다 . 이 실시 형태 의 깊 은 홈 ( 25 ) 이 상부 웨이퍼 ( 6 ) 에 대한 스 페이서 웨이퍼 ( 1 ) 의 접합 전 접착제 ( 17 ) 를 침착 시키 기 에 너무 깊 을 수 있 기 때문 에 , 접착제 ( 17 ) 는 바람직 하 게 는 상부 표면 ( 33 ) 에 도포 된다 . 마이크 로 - 스 페이서 ( 32 ) 는 상부 웨이퍼 ( 6 ) 가 스 페이서 웨이퍼 ( 1 ) 에 맞대 어 져 놓이 는 정확 한 거리 를 규정 한다 . 마이크 로 - 스 페이서 ( 32 ) 는 접착제 의 유동 이 관계 되 는 한 , 도 11 의 에지 ( 15 ) 에 대응 하 고 , 남 아 있 는 상부 표면 ( 33 ) 은 도 11 의 함입 부 ( 16 ) 에 대응 한다 . 이 들 상부 표면 ( 33 ) 은 또한 국부 적 유동 제어 캐 비티 ( 33 ) , 즉 하나 의 웨이퍼 스택 요소 ( 19 ) 에 대응 하 는 특정 메사 의 스 페이서 영역 에 국한 되 는 유동 제어 캐비 티 인 것 으로 간주 될 수 있 다 . 상부 표면 은 또한 도 12 에 도시 된 바 와 같 은 하나 이상 의 통기 채널 을 포함 할 수 있 다 .