버퍼 층 ( 121 ) 은 기판 ( 110 ) 상 에 배치 되 어 오염 물질 들 이 침투 하 는 것 을 차단 하 거나 감소 시킬 수 있 다 . 버퍼 층 ( 121 ) 은 예 를 들 면 플 라즈 마 강화 화학 증기 증착 ( plasma - enhanced chemical vapor deposition ) , 대기압 화학 증기 증착 ( atmospheric pressure CVD ) , 저기압 증착 ( low pressure CVD ) 등 과 같 은 임의 의 적합 한 기술 을 통해 증착 될 수 있 다 . 버퍼 층 ( 121 ) 은 SiNx , SiOx , SiOxNy 등 과 같 은 무기물 로 형성 될 수 있 다 .