그러므로 , 상기 심스 , 티 엑스 알 에프 등 과 같 은 분석 장치 를 사용 하 여 상기 금속 오염원 의 분석 을 수행 할 때 언급 한 종래 의 방법 들 에 의해 제조 된 표준 시료 를 사용 하 면 상기 표준 시료 에 금속 오염원 이 불 균일 하 게 분포 하 고 , 일정 깊이 에 위치 하 지 않 기 때문 에 상기 금속 오염원 의 분석 에 따른 데이터 의 신뢰도 , 재현 성 등 이 저하 된다 . 또한 , 상기 표준 시료 를 제조 할 때 상기 금속 오염원 을 포함 하 는 박막 을 다양 하 게 마련 하 지 못하 기 때문 에 상기 금속 오염원 의 분석 에 따른 다양 한 데이터 의 확보 가 용이 하 지 못하 다 .