기판 ( 10 ) 의 투입 을 위하 여 도 7 e 에 도시 된 바 와 같이 엔드 이펙터 ( 132 ) 가 엔드 이펙터 승강 리프트 ( 134 ) 에 의하 여 상승 한다 . 이 에 따라 기판 ( 10 ) 은 지지 트레이 ( 130 ) ( 140 ) 의 표면 으로부터 이격 된다 . 설정 된 높이 까지 기판 ( 10 ) 이 엔드 이펙터 ( 132 ) 에 지지 된 상태 로 상승 하 면 엔드 이펙터 ( 132 ) 는 제 2 출입구 ( 112 ) 를 통하 여 검사 챔버 ( 200 ) 로 이동 한다 ( 도 7 f ) . 엔드 이펙터 ( 132 ) 의 이동 으로 기판 ( 10 ) 이 검사 챔버 ( 200 ) 측 으로 이송 된다 .