다른 양태 에 있 어서 , 타 겟 ( 300 ) 의 각 구조물 의 각 패턴 요소 는 개별 적 인 대칭 중심 을 갖 는다 . 더욱이 , 타 겟 ( 300 ) 의 패턴 요소 는 각 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 302 a - 302 b , 304 a - 304 b 등 ) 가 개별 패턴 요소 의 대칭 중심 에 대한 90 ° 회전 에 대하 여 불 변체 로 되 도록 설계 된다 . 타 겟 ( 300 ) 의 각 구조물 의 각 패턴 요소 의 4 중 ( 4 - fold ) 회전 대칭 의 결과 로서 , X - 오버레이 및 Y - 오버레이 측정 은 동일 한 패턴 요소 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 .