상기 유체 공급 하우징 ( 350 ) 은 내측 에 소정 의 유체 공간 ( 309 ) 이 형성 되 어 제 2 관로 ( 231 ) 에서 공급 되 는 유체 가 이 에 투입 토록 유체 투 입공 ( 350 a ) 이 연결 되 고 , 상기 유체 공간 ( 309 ) 은 압력 조절 공 ( 311 ) 이 형성 되 어 하부 의 압력 조절 관로 ( 233 ) 와 관통 연결 되 며 , 상부 가 개구 되 어 다이어프램 ( 355 ) 의 중앙 부분 인 요부 ( 308 ) 를 승 하강 시키 도록 설치 되 고 , 상단 부 가장자리 에 다이어프램 ( 355 ) 의 저부 를 지지 하 는 고정 턱 ( 356 ) 이 돌출 설치 된다 .