도 2 d 는 제 4 공정 단계 ( 103 ) 를 도시 한다 . 하부 기판 ( 1 u ) 은 ( 화살표 로 제안 된 ) 음의 z 방향 으로 이동하 여 , ( 도시 되 지 않 은 ) 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 를 위한 공정 영역 을 비운다 . 따라서 , 하부 기판 홀더 ( 1 u ) 를 가능 한 한 정확 하 게 이동 해야 한다 . 상기 가능 한 정확 하 게 라는 표현 은 , z 방향 으로 이동 함 에 따라 x 및 / 또는 y 방향 으로 하부 기판 홀더 ( 1 u ) 의 편차 가 최소 화 되 어야 하 는 것 을 의미 한다 . 본 발명 을 따르 는 선택 적 인 실시 예 에서 , 기판 홀더 ( 1 u ) 는 또한 공정 영역 밖 으로 이동 될 수 있 다 . 이어서 , 기판 홀더 ( 1 u ) 는 도 2 f 의 공정 단계 ( 105 ) 를 수행 하 기 전 에 공정 영역 으로 다시 이동 되 어야 한다 .