상술 한 바 와 같이 구성 된 본 실시 예 에 따른 MEMS 가속 도 센서 를 이용 하 면 , 미세 한 요철 형상 으로 이루어진 나노 구 조체 에 의해 발열체 로부터 유체 로 의 열전달 성능 이 향상 됨 으로써 , 가속도 가 없 는 상태 의 기준 온도 와 가속도 가 있 는 상태 의 측정 온도 의 차이 를 더욱 증폭 시킬 수 있 다 . 따라서 , 아주 작 은 크기 의 가속도 가 작용 하 는 경우 , 나노 구조 체 를 구비 하 지 않 은 MEMS 가속 도 센서 에서 는 기준 온도 와 측정 온도 의 차이 가 극히 작 아 열전쌍 의 분해능 이내 의 범위 를 갖 게 되 어 가속도 의 측정 이 불 가능 하 게 될 수 도 있 지만 , 나노 구조 체 를 구비 한 MEMS 가속 도 센서 에서 는 종래 와 동일 한 전 류량 을 인가 하 여도 기준 온도 와 측정 온도 의 차이 가 증폭 되 므로 , 가속도 의 측정 이 가능 해 지 고 , 보다 정확 하 게 가속도 를 측정 할 수 있 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .