도 10 및 도 12 를 참조 하 면 , 제 1 질화 공정 을 통하 여 대 상체 ( 150 ) 상 에 하부 질화 막 ( 165 ) 및 제 2 예비 산화 막 ( 160 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 160 ) . 상기 제 1 질화 공정 은 열 질화 공정 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 열 질화 공정 에 있 어서 , 약 800 ∼ 1 , 000 ℃ 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 2 온도 및 5 ∼ 15 Torr 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 2 압력 하 에서 질소 를 포함 하 는 제 2 반응 가스 가 약 5 분 ∼ 20 분 동안 제 1 예비 산화 막 ( 155 ) 이 형성 된 대 상체 ( 150 ) 상 으로 제공 될 수 있 다 .