서브 워드 라인 드라이버 의 배치 구조 및 형성 방법 이 개시 된다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 서브 워드 라인 드라이버 의 배치 구조 는 제 1 내지 제 4 모스 트랜지스터 들 을 구비 하 는 서브 워드 라인 드라이버 의 배치 구조 에 있 어서 , 제 1 영역 및 제 2 영역 을 구비 한다 . 제 1 영역 에 는 제 1 모스 트랜지스터 의 활성 화 영역 이 구비 되 며 , 제 1 모스 트랜지스터 의 게이트 폴리 가 일 방향 으로 배치 된다 . 제 2 영역 에 는 제 1 영역 의 일 측 에 위치 하 며 , 제 2 내지 상기 제 4 모스 트랜지스터 들 의 활성 화 영역 이 구비 되 며 , 제 2 내지 상기 제 4 모스 트랜지스터 들 각각 의 게이트 폴리 들 이 서로 평행 하 게 배치 된다 . 제 1 모스 트랜지스터 의 게이트 폴리 는 제 2 내지 제 4 모스 트랜지스터 들 각각 의 게이트 폴리 에 수직 하 여 형성 된다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 서브 워드 라인 드라이버 의 배치 구조 는 드라이빙 트랜지스터 의 게이트 폴리 를 수직 방향 으로 배치 시키 고 상기 게이트 폴리 의 수직 방향 일 측 에 제 2 내지 제 4 트랜지스터 들 을 구비 시킴 으로써 , 면적 을 증가 시키 지 않 고 도 드라이빙 능력 을 향상 시킬 수 있 는 장점 이 있 다 .