상기 기판 ( 106 ) 은 실리콘 일 수 있 다 . 상기 반사 층 ( 108 ) 은 몰 리브 데 늄 층 및 실리콘 층 이 번갈 아 가 면서 반복 적 으로 ( alternately and repeatedly ) 적층 된 다층 구조 이 거나 몰 리브 데 늄 층 및 베릴 리 움 층 ( beryllium ) 이 번갈 아 가 면서 반복 적 으로 적층 된 다층 구조 일 수 있 다 .