그러나 , 플 라즈 마질 화 ( Plasma nitridation ) 공정 을 적용 할 경우 낮 은 압력 ( low pressure ) 에서 쉐 이 딩 효과 ( shading effect ) 에 의한 플 라즈 마손 상 ( plasma damage ) 으로 인하 여 게이트 누설 전류 ( gate leakage current ) 가 증가 하 는 현상 이 발생 하 고 있 다 .