도 2 는 본 개시 의 일부 실시 예 에 따른 기판 컨테이너 시스템 용 후방 커버 의 사시도 를 보여준다 . 도시 된 실시 예 에서 , 후방 커버 ( 220 ) 는 한 쌍 의 유입 구 구조 를 포함 한다 . 일 예 로서 , 예시 적 인 후방 커버 ( 220 ) 에 , 각각 하향 가스 흡입 포트 ( 221 a / 222 a ) 를 갖 는 , 제 1 가스 유입 구 구조 ( 221 ) 및 제 2 가스 유입 구 구조 ( 222 ) 가 마련 된다 . 제 1 및 제 2 가스 유입 구 구조 ( 221 , 222 ) 는 후방 커버 ( 220 ) 의 폭 방향 ( 예 를 들 어 , 도 2 에 도시 된 x - 축 방향 ) 을 따라 실질 적 으로 대칭형 으로 배치 된다 .