한편 , 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 및 상기 제 2 카세트 ( 32 ) 를 작업자 가 수작업 으로 상기 로딩 부 ( 410 ) 및 상기 언 로딩 부 ( 420 ) 로 로딩 및 언로 딩 할 수 도 있 다 . 이 경우 , 상기 로딩 부 ( 410 ) 및 상기 언 로딩 부 ( 420 ) 에 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 및 상기 제 2 카세트 ( 32 ) 를 다단 으로 적층 할 수 있 다 . 상기 지지 부 ( 210 ) 로 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 안정 적 으로 공급 및 배출 할 수 있 다 .