상기 질량 분해 슬릿 ( 223 ) 은 선택 된 질량 / 전하 비율 을 갖 는 이온 만 이 상기 질량 분석 장치 를 통과 할 수 있 도록 한다 . 상기 이온 소스 ( 210 ) 에서 생성 되 어 상기 제 1 전력 공급원 ( 211 ) 에 의해 가속 된 이온 빔 ( 300 ) 은 질량 분석 자석 ( 222 ) 에 의해 구부러져 이동 한다 . 질량 분해 슬릿 ( 223 ) 을 통과 하 는 이온 은 상기 비행 튜브 ( 221 ) 에 전기 적 으로 연결 되 고 비행 튜브 ( 221 ) 와 일체 형 인 튜브 ( 224 ) 로 진입 한다 . 기 설정 된 질량 / 전하 비율 에 의해 선택 된 이온 들 은 이온 빔 ( 300 ) 으로서 튜브 ( 224 ) 를 빠져나가 고 대상물 홀더 ( 233 ) 에 장착 된 반도체 대상물 ( 100 ) 을 가격 한다 .