상기 의 히팅 제어 신호 와 쿨링 제어 신호 에 따라 온도 유지 수단 ( 500 ) 이 가동 하 여 챔버 ( 100 ) 내부 의 온도 를 상승 또는 하강 시킨다 . 온도 유지 수단 ( 500 ) 은 히팅 제어 신호 에 따라 플 라즈 마 발생 수단 ( 120 ) 의 동작 을 제어 하 는 히팅 제 어부 ( 510 ) 와 , 쿨링 제어 신호 에 따라 냉각 수단 ( 300 ) 의 동작 을 제어 하 는 쿨링 제 어부 ( 520 ) 를 포함 한다 . 히팅 제 어부 ( 510 ) 는 히팅 제어 신호 가 인가 되 는 경우 플 라즈 마 발생 수단 ( 120 ) 의 전원 공급 부 ( 122 ) 를 구동 시켜 챔버 ( 100 ) 내부 의 플 라즈 마 를 발생 시킨다 . 이 를 통해 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 상승 시킨다 . 쿨링 제 어부 ( 520 ) 는 쿨링 제어 신호 가 인가 되 면 이 에 따라 냉각 수단 ( 300 ) 의 냉각 팬 을 구동 시켜 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 하강 시킨다 .