즉 , 도시 된 도 2 에서 처럼 , 본 발명 의 기체 는 상부 에 는 상부 챔버 ( 10 ) 가 하부 에 는 하부 챔버 ( 20 ) 가 비치 된다 . 그리고 상기 상부 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 는 도시 된 비소 투입 용기 ( 11 ) 가 마련 되 고 , 이 비소 투입 용기 ( 11 ) 의 내부 에 비소 ( 1 ) 가 투입 되 어 셋 팅 된다 . 그리고 상기 하부 챔버 ( 20 ) 의 내부 에 는 도시 된 것 처럼 , 상하부 로 구분 되 는 다중 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 가 있 고 , 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 의 사이 에 는 도시 된 완 충관 ( 50 ) 을 형성 하 고 있 다 . 그리고 이러 한 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 의 외부 에 는 단열층 ( 30 ) 을 형성 하 고 , 히터 의 내부 에 는 도가니 ( 70 ) 를 형성 하 고 있 다 . 따라서 만일 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 에서 고온 의 열 을 발생 시키 면 , 그 고온 의 열 이 하부 챔버 ( 20 ) 의 외부 로 빠져나가 지 않 도록 , 상기 단열층 ( 30 ) 이 보호 를 하 고 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 의 사이 에 끼인 완 충관 ( 50 ) 은 상기 상부 와 하부 간 에 층 으로 이루어진 히터 가 그 구조 적 인 결함 에 의해 온도 차이 의 발생 을 최소 화 시킨다 . 즉 , 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 에서 발생 되 는 온도 가 서로 잘 전도 되 고 , 축 열 될 수 있 는 재질 로서 제작 이 되 어야 한다 .