프로세스 챔버 프레임 ( 262 ) 의 외벽 중 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 와 대향 되 는 영역 에 는 기판 ( W ) 이 반입 또는 반출 되 는 개구 ( 266 ) 가 형성 된다 . 개구 ( 266 ) 는 도어 유닛 ( 400 ) 에 의해 개폐 될 수 있 다 . 개구 ( 266 ) 는 두 개 의 기판 ( W ) 이 동시 에 출입 될 수 있 는 폭 으로 제공 된다 . 선택 적 으로 개구 ( 266 ) 는 프로세스 챔버 프레임 ( 262 ) 내 지지 부재 ( 264 ) 와 동일 한 수 로 제공 되 고 , 각각 의 개구 ( 266 ) 는 하나 의 기판 ( W ) 이 출입 될 수 있 는 폭 으로 제공 될 수 있 다 . 프로세스 챔버 프레임 ( 262 ) 에 제공 되 는 지지 부재 ( 264 ) 들 의 수 는 더 증가 될 수 있 다 .