원료 물질 이 충 진 된 제 2 저장 용기 를 상기 공급 챔버 에 공급 하 는 과정 ; 및 상기 제 2 저장 용기 가 공급 된 공급 챔버 의 내부 압력 을 조절 하 는 과정 ; 을 더 포함 하 고 , 상기 제 2 저장 용기 를 상기 공급 챔버 에 공급 하 는 과정 및 상기 제 2 저장 용기 가 공급 된 공급 챔버 의 내부 압력 을 조절 하 는 과정 은 , 상기 제 1 저장 용기 를 가열 하 여 원료 물질 을 기판 에 제공 하 는 과정 과 동시 에 수행 될 수 있 다 .