본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 메모리 ( 144 ) 내 의 프로그램 은 , 순차 제어기 ( 142 ) 상 에서 실행 되 는 경우 , 전 구체 분배 시스템 및 제거 시스템 을 활성 화 시켜 제 1 전구체 를 제공 하 고 , 이어서 반응물 을 제공 하 고 , 이어서 제 2 전구체 를 제공 함 으로써 , 층 ( 106 ) 위 또는 그 안 에 선택 적 증착 을 실행 하 도록 프로그래밍 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 제 1 전구체 를 제공 하 는 단계 , 이어서 반응물 을 제공 하 는 단계 , 및 이어서 제 2 전구체 를 제공 하 는 단계 의 프로그램 순서 는 1 회 이상 반복 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 프로그램 순서 의 각 단계 는 , 진공 펌프 ( 138 ) 를 활용 하 여 반응 챔버 ( 12 ) 를 배기 하 고 선택 적 으로 공급원 용기 ( 116 ) 로부터 퍼지 가스 를 흐르 게 함 으로써 과량 의 전구체 및 부산물 을 반응 챔버 로부터 제거 하 는 퍼지 사이클 이 따를 수 있 다 .