각 필라 ( 113 ) 의 내부 물질 ( 115 ) 은 절연 물질 로 구성 된다 . 예 를 들 면 , 각 필라 ( 113 ) 의 내부 물질 ( 115 ) 은 실리콘 산화물 ( Silicon Oxide ) 과 같 은 절연 물질 을 포함 할 것 이 다 . 예 를 들 면 , 각 필라 ( 113 ) 의 내부 물질 ( 115 ) 은 에어 갭 ( air gap ) 을 포함 할 수 있 다 .