상기 이온 의 조사 처리 는 이온 도핑 장치 나 이온 주입 장치 를 이용 해서 행할 수 있 다 . 이온 도핑 장치 의 대표 예 로서 는 , 프로세스 가스 를 플 라즈 마 여기 해서 생성 된 모든 이온 종 을 피 처리 체 에 조사 하 는 비 질량 분리 형 의 장치 가 있 다 . 이 장치 로 는 , 플 라즈 마 중 의 이온 종 을 질량 분리 하 지 않 고 피 처리 체 에 조사 하 게 된다 . 이것 과 대조 적 으로 , 이온 주입 장치 는 질량 분리 형 의 장치 이 다 . 이온 주입 장치 로 는 , 플 라즈 마 중 의 이온 종 을 질량 분리 하 고 , 어떤 특정 한 질량 의 이온 종 을 피 처리 체 에 조사 한다 .