USP 7 , 598 , 016 호 ( JP - A 2008 - 239918 호 ) 에 기재 된 바 와 같 은 폴리머 형 의 켄 처 도 유용 하 다 . 폴리머 형 켄 처 는 , 코팅 후 의 레지스 트 표면 에 배향 함 으로써 패턴 후 의 레지스 트 의 구 형성 ( rectangularity ) 을 높인다 . 폴리머 형 켄 처 는 , 액침 리소그래피 용 의 보호막 을 적용 했 을 때 의 레지스 트 패턴 의 막 두께 감소 나 패턴 톱 의 라운 딩 을 방지 하 는 효과 도 있 다 .