[ E ] 계면 활성제 를 사용 하 는 경우 에 , 그 양은 [ A ] 중합체 100 질 량부 에 대하 여 0 . 001 질 량부 이상 10 질량 부 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 0 . 005 질 량부 이상 5 질량 부 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다 . [ E ] 계면 활성제 의 사용량 을 0 . 001 질 량부 이상 10 질량 부 이하 로 함 으로써 , 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 의 도포 성 을 최적 화 시킬 수 있 다 .