제 1 개 구부 들 ( 105 ) 을 형성 하 는 단계 는 서로 교대 로 적층 된 층간 절 연막 들 ( 120 ) 및 희생 막 들 ( 110 ) 상 에 제 1 개 구부 들 ( 105 ) 의 위치 를 정의 하 는 소정 의 마스크 패턴 을 형성 하 는 단계 , 및 이 를 식각 마스크 로 사용 하 여 층간 절 연막 들 ( 120 ) 및 희생 막 들 ( 110 ) 을 교대 로 이방성 식각 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 두 종류 의 서로 다른 막 들 을 포함 한 구조 를 식각 하 기 때문 에 , 상기 복수 의 제 1 개 구부 들 ( 105 ) 의 측벽 은 상기 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 완전 하 게 수직 하 지 않 을 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 가까울수록 , 상기 제 1 개 구부 들 ( 105 ) 의 폭 은 감소 될 수 있 다 .