전극 구 조체 들 ( 101 , 102 , 103 ) 은 멤 브레인 요소 또는 대향 전극 ( 백 플레이트 ) 일 수 있 다 . 멤 브레인 요소 는 대향 전극 보다 더 유연 할 수 있 다 . 멤 브레인 요소 가 대향 전극 ( 들 ) 에 대해 진동 할 수 있 도록 , 멤 브레인 요소 는 여기 신호 에 의해 여기 될 수 있 다 . 멤 브레인 요소 는 전극 세그먼트 들 ( 111 , 112 , 211 , 212 ) 에 대해 및 / 또는 전극 세그먼트 들 의 서브 세트 들 ( 11 , 12 , 21 , 22 ) 에 대해 진동 할 수 있 다 . 멤 브레인 요소 의 진동 주파수 에 따라 , MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 ( 100 ) 는 사람 가청 사운드 주파수 범위 및 초음파 주파수 범위 둘 다 에서 사운드 방출 기 로서 동작 될 수 있 다 . 멤 브레인 요소 는 수신 된 오디오 파 들 에 반응 하 여 진동 할 수 있 다 . 멤 브레인 요소 는 사람 가청 사운드 주파수 범위 및 초음파 주파수 범위 둘 다 에서 오디오 파 들 을 수신 할 수 있 다 . 따라서 , MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 ( 100 ) 는 사람 가청 사운드 주파수 범위 및 초음파 주파수 범위 둘 다 에서 사운드 수신기 로서 동작 될 수 있 다 . 즉 , 분할 된 전극 구 조체 ( 101 , 102 , 103 ) 의 하나 의 부분 ( 예 를 들 어 , 하나 의 서브 세트 ) 은 신호 들 을 수신 하 기 위해 이용 될 수 있 고 , 분할 된 전극 구 조체 ( 101 , 102 , 103 ) 의 다른 부분 ( 예 를 들 어 , 다른 서브 세트 ) 은 신호 들 을 전송 / 방출 하 기 위해 이용 될 수 있 다 .