도 14 는 대체 가스 유닛 의 다른 실시 예 를 도시 한다 . 도 14 에 따른 대체 가스 유닛 ( 52 ) 은 포트 ( 36 ) 의 영역 에서 간격 개구 로서 구현 된다 . 이 를 위해 , 분리 컨테이너 ( 35 ) 는 단부 측 포트 ( 42 ) 의 상단 에 배치 된 슬리브 ( 41 ) 를 갖 는다 . 슬리브 ( 41 ) 와 단부 측 포트 ( 42 ) 사이 에 배치 된 간격 개구 는 대체 가스 유닛 ( 52 ) 을 형성 한다 . 퍼지 공기 를 위한 미 로 흐름 ( labyrinth flow ) 을 가능 하 게 하 는 특히 슬롯 형 인 복수 의 간격 개구 ( 43 ) 는 수용 컨테이너 ( 16 ) 및 분리 컨테이너 ( 35 ) 의 길 이 방향 축 둘레 의 원주 를 따라 제공 된다 . 간격 개구 ( 43 ) 의 타깃 화 된 배치 로 인해 , 수용 컨테이너 ( 16 ) 자체 는 폐쇄 되 도록 구현 될 수 있 다 . 신선 한 공기 필터 ( 39 ) 가 간격 개구 ( 43 ) 의 전방 에 제공 되 는 것 이 고려 될 수 있 다 . 분리 된 습윤 캐리어 가스 는 방출 공기 라인 ( 14 ) 에 의해서 멀리 수송 된다 .