또한 , 노광 장치 의 해상도 를 한층 더 향상 시키 기 위해 액침 노광 장치 가 개발 되 어 있 다 . 이 액침 노광 장치 에서 는 , 투영 광학계 와 웨이퍼 의 사이 의 공간 의 적어도 일부 에 굴절 률 이 1 보다 큰 액체 를 충전 해서 NA 를 증가 시킨다 . 한층 더 정밀 하 게 하 기 위해서 는 , 웨이퍼 와 투영 광학계 의 웨이퍼 측 첨단 면 사이 의 공간 에 , 포토레지스트 층 의 굴절률 에 가까운 굴절 률 을 가지 는 액체 가 충전 된다 . 이 와 같이 , 웨이퍼 측 에서 투영 광학계 의 유효 개구수 를 증가 시켜서 , 해상도 를 향상 시킬 수 있 다 .