본 발명 은 , 제 9 관점 에서 보 면 , 에너지 빔 으로 물체 를 노광 하 는 노광 장치 로서 , 상기 물체 를 유지 할 수 있 고 또 한 실질 적 으로 소정 평면 을 따라 가동 ( 可動 ) 인 이 동체 와 ; 상기 소정 평면 내 에서 제 1 방향 에 관하 여 상기 에너지 빔 이 조사 되 는 노광 위치 와 떨어져 계측 빔 이 조사 되 는 계측 위치 가 배치 되 고 , 상기 물체 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 장치 와 ; 상기 소정 평면 내 에서 상기 제 1 방향 과 직교 하 는 제 2 방향 에 관하 여 상기 이 동체 의 양측 에 각각 상기 제 1 방향 을 길 이 방향 으로 하 고 또한 2 차원 격자 를 갖 는 스케일 이 배치 됨 과 함께 , 상기 2 개 의 스케일 에 각각 적어도 하나 의 헤드 가 대향 가능 하 고 또한 상기 제 2 방향 에 관하 여 위치 가 상이 한 복수 의 헤드 를 갖 는 1 쌍 의 헤드 유닛 이 상기 이 동체 와 대향 가능 하 게 배치 되 고 , 상기 1 쌍 의 스케일 과 동시 에 대향 하 는 2 개 의 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 상기 소정 평면 내 의 3 자유 도 방향 에 관한 상기 이 동체 의 위치 정보 를 계측 하 는 인코더 시스템 과 ; 상기 계측 장치 에 의해 계측 된 상기 물체 의 위치 정보 와 , 상기 인코더 시스템 에 의해 계측 된 상기 이 동체 의 위치 정보 에 기초 하 여 상기 이 동체 를 구동 하 는 구동 장치 를 구비 하 는 제 7 노광 장치 이 다 .