희생 층 들 ( 120 ) 은 예 를 들 어 , 습식 식각 공정 에 의해 채널 구조물 들 ( 140 ) 에 대하 여 선택 적 으로 식각 되 어 , x 방향 을 따른 측면 으로부터 소정 깊이 로 제거 될 수 있 다 . 희생 층 들 ( 120 ) 은 상기 와 같 은 측면 식각 에 의해 내측 으로 오목 한 측면 들 을 가질 수 있 다 . 다만 , 희생 층 들 ( 120 ) 의 측면 의 형상 은 도시 된 것 에 한정 되 지 않 는다 .