도 3 은 본 발명 의 제 2 실시 예 에 의한 기판 처리 장치 의 평단 면도 로 , 도 3 ( a ) 는 상기 챔버 ( 100 ) 가 개방 되 는 경우 결합 부재 ( 200 ) 가 상기 챔버 ( 100 ) 의 반경 방향 외측 ( 520 ) 으로 이동 하 며 삽입 홀 ( 111 , 121 ) 로부터 분리 되 는 것 을 나타낸 평단 면도 이 고 , 도 3 ( b ) 는 상기 챔버 ( 100 ) 가 밀폐 되 는 경우 상기 결합 부재 ( 200 ) 가 상기 챔버 ( 100 ) 의 반경 방향 내측 ( 510 ) 으로 이동 하 며 상기 삽입 홀 ( 111 , 121 ) 에 삽입 되 는 것 을 나타낸 평단 면도 이 다 .