본 발명 에 있 어서 염소 가스 및 불소 가스 를 희석 하 는 희석 가스 로서 는 , 질소 가스 , 헬륨 가스 , 아르곤 가스 및 네온 가스 와 같이 , 원료 , 염소 가스 , 불소 가스 , 반응 생성물 에 대해 불활성 인 가스 를 사용 할 수 있 다 . 이 들 은 단독 으로 혹은 조합 하 여 사용 할 수 있 다 . 이 들 의 희석 가스 중 가장 저렴 한 질소 가스 가 바람직 하 다 .