흡수 층 ( 206 b ) 은 주로 13 . 5 nm 노 광광 을 흡수 하 는 역할 을 수행 한다 . 각각 의 흡수 층 ( 206 b ) 은 Pt 또는 Pt 에 경원 소 물질 이 포함 된 Pt 화합물 로 구성 된다 . Pt 는 소멸 계수 가 높 으므로 , 바람직 하 게 는 흡수 층 ( 206 b ) 은 경원 소 물질 이 함유 되 지 않 은 Pt 단독 으로 구성 한다 . Pt 단독 으로 구성 할 경우 소멸 계수 ( k ) 값 이 높 아 얇 은 두께 의 흡수 층 ( 206 b ) 으로 도 충분 한 차광 효과 를 얻 을 수 있 고 , 따라서 종국 적 으로 흡수 막 ( 206 ) 전체 의 두께 가 더욱 박막 화 될 수 있 다 . 흡수 층 ( 206 b ) 의 두께 를 충분히 얇 게 하 기 위하 여 , 흡수 층 ( 206 b ) 은 EUV 노광 광 에 대해 0 . 04 이상 의 소멸 계수 를 가지 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 각각 의 흡수 층 ( 206 b ) 은 5 ~ 15 nm 의 두께 를 갖 는다 .