제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 에서 공정 이 완료 된 기판 들 ( W ) 은 이 송로 봇 ( 210 ) 에 의해 버퍼 부 ( 54 ) 로 이송 된 후 제 2 로봇 ( 120 ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 34 b ) 로 반출 된다 . 그리고 , 제 3 공정 챔버 들 ( 62 ) 에서 공정 이 완료 된 기판 들 ( W ) 은 이 송로 봇 ( 310 ) 에 의해 버퍼 부 ( 64 ) 로 이송 된 후 다시 이 송로 봇 ( 210 ) 에 의해 버퍼 부 ( 54 ) 로 이송 된다 . 그리고 , 제 2 로봇 ( 120 ) 은 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 34 b ) 로 기판 들 ( W ) 을 반출 한다 . 이때 , 제 2 로봇 ( 120 ) 은 두 장 의 기판 들 ( W ) 을 동시 에 반출 시킨다 .