제 1 및 제 2 상부 필라 들 ( UP 1 , UP 2 ) , 및 제 1 및 제 2 하부 필라 들 ( DP 1 , DP 2 ) 의 내부 층 ( 114 '') 은 p - 타입 실리콘 이 다 . 제 1 및 제 2 상부 필라 들 ( UP 1 , UP 2 ) , 및 제 1 및 제 2 하부 필라 들 ( DP 1 , DP 2 ) 의 내부 층 ( 114 '') 은 바디 로 동작 한다 .