도 4 는 이 기판 처리 시스템 의 배면 측 의 구성 을 나타낸다 . 도 4 에 있 어서 는 , 제 1 및 제 2 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 을 쉽 게 나타내 기 위해서 , 전방 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 ) 및 전방 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 ) 가 도시 생략 되 어 있 다 . 로더 모듈 ( 22 ) 과 2 개 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 는 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 와 , 이 들 의 로드 록 챔버 에 접속 되 어 있 는 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 를 거쳐서 연결 된다 . 여기 에서 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 와 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 를 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 이 라 부른다 . 로더 모듈 ( 22 ) 과 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 는 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 , 이 들 의 로드 록 챔버 에 접속 되 어 있 는 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 를 거쳐서 연결 된다 . 여기 에서 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 를 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 이 라 부른다 .