청구 항 22 에 기재 된 발명 은 , 상기 고주파 전송로 는 발신기 에 접속 된 발신 용 안테나 와 수신기 에 접속 된 수신 용 안테나 의 사이 에 형성 하 여 이루어지 는 웨이퍼 연마 모니터 장치 로 하 였으므로 , 도전 성막 의 연마 가 진행 되 어 , 표피 깊이 로 정의 되 는 극히 얇 은 막 두께 에 달한 이후 의 막 두께 의 변화 에 따른 고주파 전송로 의 특성 임피던스 의 변화 에 기인 하 여 전자파 의 투과 계수 , 반사 계수 등 이 변화 하 는 것 으로부터 , 이 들 계수 의 변화 를 기초 로 도전 성막 의 연마 제거 의 종료 점 을 확실히 검출 할 수 있 다는 이점 이 있 다 .