공정 진행시 합성 기판 ( 10 ) 은 케이스 ( 510 ) 의 일 측 에 형성 된 출구 ( 512 ) 를 통해 스테이지 ( 590 ) 상 에 놓여진다 . 스테이지 ( 590 ) 는 사이 에 합성 기판 ( 10 ) 이 위치 되 도록 일정 간격 이격 되 어 서로 대향 되 도록 배치 되 는 2 개 의 측판 들 ( 592 ) 과 각각 의 측판 ( 592 ) 에 안쪽 으로 돌출 되 도록 설치 되 어 합성 기판 ( 10 ) 의 가장자리 영역 을 지지 하 는 복수 의 지지 돌기 들 ( 594 ) 을 가진다 . 각각 의 측판 ( 592 ) 에 지지 돌기 ( 594 ) 는 복수 개 가 설치 될 수 있 다 .