예 를 들 면 , 상기 세 척 챔버 ( 210 ) 의 작업 공간 내 상기 필터 카트리지 모듈 ( 100 ) 이 진입 전 에 는 상기 세척 노즐 ( 231 ) 이 상향 이동 된 대기 상태 를 유지 하 고 , 상기 세 척 챔버 ( 210 ) 의 작업 공간 내 상기 필터 카트리지 모듈 ( 100 ) 이 진입 하 면 상기 세척 노즐 ( 231 ) 이 하향 이동 하 여 세 척 가능 한 상태 를 유지 하 도록 구동 한다 .