또한 , 상기 양액 용기 는 양액 의 온도 를 측정 하 는 온도 센서 를 포함 하 고 , 상기 양액 용기 에 는 히터 및 냉각기 가 연결 되 어 , 상기 양액 용기 내 의 양액 을 가열 및 냉각 할 수 있 고 , 상기 제어기 는 상기 온도 센서 의 측정값 을 기초 로 상기 히터 및 냉각기 를 제어 하 고 , 상기 온도 센서 의 측정값 을 기초 로 상기 밸브 를 제어 하 여 상기 양액 용기 로부터 양액 을 상기 교반기 로 공급 한다 .