웨이퍼 얼라인 장치 는 제 1 얼라 인부 및 제 2 얼라 인부 를 포함 한다 . 제 1 웨이퍼 의 제 1 노치 를 얼 라인 시킨다 . 상기 제 2 얼라 인부 는 상기 제 1 얼라 인부 와 서로 마주 보 도록 배치 되 며 , 상기 제 1 웨이퍼 의 상부 에서 상기 제 1 웨이퍼 의 제 2 노치 를 얼 라인 시킨다 . 상기 제 1 및 제 2 얼라 인부 는 각각 서로 마주 보 도록 배치 되 어 상기 제 1 및 제 2 웨이퍼 의 중심 과 결합 되 는 제 1 및 제 2 회 전척 , 및 각각 의 상기 제 1 및 제 2 회 전척 과 이격 되 어 상기 제 1 및 제 2 노치 를 감지 하 는 제 1 및 제 2 센서 를 각각 포함 한다 . 이 로써 , 웨이퍼 얼라인 장치 는 한 번 에 두 장 의 웨이퍼 를 얼 라인 시킬 수 있 다 .