또한 , 처리 유닛 은 처리 액 을 공급 하 는 공급 라인 및 상술 한 회수 라인 에 더 하 여 , 처리 유닛 내 에서 처리 액 을 폐기 하 기 위한 폐기 라인 과 , 처리 유닛 내 의 분위기 를 배기 하 기 위한 배기 라인 을 더 갖 고 있 다 . 이 들 공급 라인 , 회수 라인 , 폐기 라인 및 배기 라인 중 몇 가지 는 사용 되 는 처리 액 의 종류 에 따라 , 처리 액 의 종류 마다 따로따로 설치 하 지 않 으면 안 된다 . 또한 , 복수 의 처리 유닛 사이 에서 , 이 들 각 라인 이 연결 되 어 있 다 . 이 결과 , 복수 의 매 엽 식 의 처리 유닛 을 포함 하 는 기판 처리 장치 에 있 어서 는 , 배관 류 의 구성 이 매우 복잡 해져서 , 이 에 따라 , 기판 처리 장치 의 제어 도 매우 복잡 해진다 .