다음 에 , 도면 을 참조 해서 , 본 발명 의 제 2 실시 형태 에 따른 드라이 클리너 에 대해서 설명 한다 . 이 드라이 클리너 는 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 하 여 드라이 클리너 시스템 에 이용 된다 . 도 4 는 드라이 클리너 ( 30 ) 의 구성 을 설명 하 기 위한 단면도 ( 드라이 클리너 의 폭 방향 의 대략 중앙부 에 있 어서 의 슬릿 형상 의 토출구 와 직교 하 는 방향 의 단면도 ) 이 다 . 또한 , 드라이 클리너 의 단면 형상 은 드라이 클리너 의 폭 방향 의 어느 위치 에 있 어서 도 같 은 형상 을 갖 는다 . 또한 , 도면 중 의 화살표 는 기판 의 이동 방향 을 도시 하고 있 다 .