본 발명 에 따른 진공 밸브 의 형성 은 폐쇄 된 밸브 하우징 없이 도 또는 밸브 개구부 ( 6 ) 를 구비 한 벽 ( 1 ) 과 마주 하 고 있 는 벽 ( 2 ) 없 이 도 가능 하 다 . 밸브 개구부 ( 6 ) 를 구비 한 벽 은 진공 챔버 의 부품 일 수 도 있 다 . 이때 , 밸브 플레이트 ( 7 ) 는 챔버 의 내부 에 또는 챔버 의 외부 에 배치 될 수 있 다 . 챔버 의 벽 안 의 개구부 가 차단 될 수 있 는 이러 한 진공 밸브 는 도어 ( door ) 라고 도 불리운다 .