제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 의 아래쪽 에 는 , 로더 모듈 ( 102 ) 로부터 , 처리 를 실행 하 기 위한 적어도 하나 , 예 를 들 면 , 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 에 이르 는 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 이 마련 된다 . 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 은 로더 모듈 ( 102 ) 에 연결 되 어 , 로더 모듈 ( 102 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 대하 여 직교 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 연장 된다 . 제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 과 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 은 상하 방향 으로 일부 가 겹친다 . 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 의 길이 는 제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 의 길이 보다 도 길 다 . 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 에 는 , 대기 반송 로봇 ( 106 ) 로부터 수취 한 기판 ( W ) 을 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 에 반송 하 고 , 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 로부터 반출 한 기판 ( W ) 을 대기 반송 로봇 ( 106 ) 에 수수 하 는 제 2 대기 반송 로봇 ( 131 ) 이 마련 된다 . 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 및 로더 모듈 ( 102 ) 은 모두 기판 ( W ) 을 대기 반송 하 기 때문 에 , 이 들 의 연결부 에 는 게이트 밸브 가 마련 되 지 않 는다 .