도 6 에 따른 기판 반 송시 속도 는 V 1 으로 반송 된다 . 도 5 에 따른 포커스 링 의 반 송시 속도 는 V 2 로 반송 된다 . 기판 반 송시 의 속도 V 1 은 포커스 링 의 반 송시 의 속도 V 2 보다 빠를 수 있 다 . 기판 반 송시 의 경우 상대 적 으로 안정 적 이 어서 속도 를 빠르 게 하 더라도 에러 가 날 가능 성 이 적 으나 , 포커스 링 의 경우 기판 보다 큰 직경 을 가지 며 , 별도 의 캐리어 및 미끄럼 방지 부재 에 의해 반송 되 므로 기판 반송 과 같 은 속도 로 반송 될 경우 반송 도중 포커스 링 이 추락 할 염려 가 있 기 때문 에 , 포커스 링 의 반송 속도 V 2 는 기판 의 반송 속도 V 1 보다 느린 속도 로 반송 될 수 있 다 .