본 발명 은 플 라즈 마 식각 장치 용 전극 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 가스 홀 패턴 이 형성 된 마스크 를 전극 용 모재 의 상부 에 위치 시키 고 플 라즈 마 식각 공정 에 의해 마스크 에 형성 된 가스 홀 패턴 에 따라 전극 용 모재 를 식각 함 으로써 단시간 에 다수 개 의 가스 홀 이 형성 가능 하 고 , 가스 홀 이 보다 정밀 하 게 형성 되 는 플 라즈 마 식각 장치 용 전극 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 .