전자 빔 검사 시스템 은 공정 중 에 LCD 기판 을 효과 적 으로 모니터링 하 고 , 발견 된 결함 을 신속히 해결 할 수 있 도록 함 으로써 , LCD 기판 의 양산 효율 을 증가 시키 는 데 효과 적 이 다 . 이러 한 전자 빔 검사 시스템 은 TFT 응답 이 모니터링 되 어 결함 정보 를 제공 한다 . 하지만 전자 빔 검사 시스템 도 기판 의 크기 가 커짐 에 따라 시스템 의 규모 가 함께 커져야 한다 . 따라서 규모 가 커진 전자 빔 검사 시스템 을 보다 효율 적 으로 배치 하 고 운용 할 필요 성 이 있 다 .