단계 S 602 에 있 어서 , 제 어부 ( 6 ) 가 , 처리 가스 를 배기 하 는 사이클 단계 를 처리 중 이 아니 라고 판정 한 경우 에 는 ( 단계 S 602 에 있 어서 No 의 경우 에 는 ) , 단계 S 601 로 되돌아간다 . 한편 , 단계 S 602 에 있 어서 , 처리 가스 를 배기 하 는 사이클 단계 ( 예컨대 , 사이클 단계 cs 3 , cs 5 ) 를 처리 중 이 라고 판정 한 경우 에 는 ( 단계 S 602 에 있 어서 Yes 의 경우 에 는 ) , 단계 S 603 으로 진행 한다 .