또한 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 및 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 의 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 , MHU 4 ) ( 후 술 ) 는 각각 , 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 의 모든 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대하 여 기판 ( W ) 을 두 거나 , 기판 ( W ) 을 들 거나 할 수 있 다 . 그것 에 의하 여 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 및 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 , MHU 4 ) 는 , 기판 버퍼 ( BF ) ( 또는 소정 의 기판 재 치부 ( 31 ) ) 에 재치 된 기판 ( W ) 을 맞잡 을 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .