도 1 을 참조 하 면 , 광원 모듈 ( 105 ) 은 조명 광 ( 110 ) 을 빔 분할기 ( beam splitter ) ( 115 ) 에 제공 하 고 , 빔 분할기 는 조명 광 ( 110 ) 을 미 라우 타입 의 간섭계 대물렌즈 어셈블리 ( 120 ) 로 향하 게 한다 . 이 미 라우 타입 의 간섭계 대물렌즈 어셈블리 ( 120 ) 는 대물렌즈 ( 125 ) , 기준 미러 ( 135 ) 를 규정 하 는 작 은 중심 부분 에 반사 코팅 을 갖 는 기준 플랫 ( reference flat ) ( 130 ) , 및 빔 분할기 ( 140 ) 를 포함 한다 . 동작 중 에 , 대물렌즈 ( 125 ) 는 기준 플랫 ( 130 ) 을 통해 대 상체 ( 145 ) 에 조명 광 을 집광 한다 . 대 상체 ( 145 ) 는 표면 에서 변화 하 는 표면 높이 프로파일 h ( x , y ) 와 복잡 한 표면 구조 를 갖 는다 .