도 1 은 종래 의 액체 주입 시스템 의 시스템 개략 도 이 다 . 용기 ( 18 ) 로 연결 되 는 배관 의 일 측 에 설치 된 질량 유량계 ( 10 ) 는 용기 로 주입 되 는 액체 의 량 을 측정 하 는 장치 이 다 . 배관 의 끝단 에 설치 된 소켓 커플러 ( socket coupler , 15 ) 는 용기 측 에 설치 된 플러그 커플러 ( plug coupler , 16 ) 과 결합 되 어 용기 ( 18 ) 와 배관 이 연통 되 어 배관 을 통해 액체 의 주입 이 이루어질 수 있 다 . 제 어부 ( 12 ) 는 질량 유량계 ( 10 ) 과 전기 적 으로 연결 되 어 , 용기 로 주입 된 액체 의 량 이 목표치 에 도달 하 면 질량 유량계 ( 10 ) 의 전기 적 신호 를 받 아 제 어부 는 배관 의 일 측 에 형성 된 전 자식 밸브 ( 14 ) 를 닫 게 한다 . 이러 한 방식 의 액체 주입 방식 은 액체 의 주입 속도 가 빠른 경우 에 전 자식 밸브 의 응답 속도 가 정확 하 게 맞출 수 없 음 으로 , 정확 한 량 의 액체 주입 에 애 로 점 이 있 었 다 .