상기 과제 를 해결 하 기 위해서 , 일 양태 에 의하 면 , 원료 용기 내 의 원료 를 기화 시켜서 , 캐리어 가스 와 함께 원료 가스 를 공급 하 는 가스 공급 기구 를 포함 하 는 기판 처리 장치 의 기판 처리 방법 이 며 , 상기 캐리어 가스 의 유량 과 상기 원료 가스 의 유량 의 관계식 을 교정 하 는 공정 과 , 상기 관계식 에 기초 하 여 상기 캐리어 가스 의 유량 을 제어 하 고 , 처리 용기 내 에 상기 원료 가스 를 공급 하 여 , 상기 처리 용기 내 의 기판 에 처리 를 실시 하 는 공정 을 포함 하 고 , 상기 관계식 을 교정 하 는 공정 은 , 상기 캐리어 가스 를 연속 적 으로 흘려서 상기 관계식 을 도출 하 는 , 기판 처리 방법 이 제공 된다 .