스텝 S 104 에서 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 텅스텐 막 ( 406 ) 을 성막 하 는 성막 처리 를 실행 한다 . 여기 서 , 자연 산화 막 이 제거 된 트렌치 ( 403 ) 저부 의 실리콘 층 위 에서 , 이하 의 반응식 에 나타내 는 바 와 같이 , Si 의 환원 반응 에 의한 원료 WClx 의 분해 반응 이 일어난다 . 또한 , 원료 WClx 에 있 어서 , x = 3 내지 6 으로 한다 . 예 를 들 어 , x = 6 의 경우 반응식 은 , 이하 와 같이 된다 .