실시 예 에 따라 , 도 6 A 및 도 6 B 에 도시 된 멀티 - 모듈 코 팅기 ( 90 ) 는 프로세스 또는 코팅 격실 ( 92 ) , 펌프 격실 ( 94 ) 및 또 다른 코팅 격실 ( 96 ) 의 상류 단부 에서 하 류 단부 로 3 개 의 격실 들 또는 베 이 들 ( 예 를 들 어 , CPC , C / PC 또는 CP / C ) 의 구성 을 포함 할 수 있 다 . 기판 은 펌프 격실 ( 94 ) 의 측면 들 에서 갭 또는 슬롯 ( 114 ) 을 경유 하 여 코 팅기 ( 90 ) 및 펌프 격실 ( 94 ) 을 통과 할 수 있 다 . 코팅 될 기판 이 예 를 들 어 글 래 tm 의 얇 은 시트 와 같이 얇 은 경우 , 슬롯 ( 114 ) 은 글래스 의 두께 보다 단지 약간 커 , 코팅 프로세스 에 이용 되 는 작업 압력 에서 , 좁 은 슬롯 이 가스 흐름 을 효과 적 으로 방해 할 수 있 다 .