표 1 로부터 명백 한 바 와 같이 , COT 가 23 ± 4 ℃ 의 범위 내 에 있 고 , Δ T 가 5 ℃ 이상 인 실시 예 1 , 2 및 6 에서 , EUVL 실시 시 노광 장치 내 의 온도 조건 하 ( 22 ± 2 ℃) 에서 열 팽창 계수 가 거의 0 이 어서 , 이 실시 예 1 , 2 , 6 의 유리 는 EUVL 용 노광 장치 의 광학 부재 에 적합 하 다 .