다음 으로 , 유리 기판 을 알칼리 현상액 ( 2 . 38 wt % 의 테트라메틸 암모늄 하이드 록 사이드 수용액 ) 에 60 초간 침지 후 , 30 초간 수세 하 고 , 차광 부위 와 미차 광 부위 상태 를 관찰 하 였 다 . 이 결과 , 차 광부 ( 미노 광부 ) 는 , 폴리 실록 산계 막 은 생성 되 어 있 지 않 아 , 폴리 실록 산계 조성물 이 알칼리 현상액 의 침지 와 수세 에 의해 제거 할 수 있 는 것 을 확인 하 였 다 . 한편 으로 , 미차 광 부위 ( 노 광부 ) 는 , 폴리 실록 산계 막 이 적층 되 어 있 는 것 이 확인 되 었 다 . 막 두께 는 2 . 3 ㎛ 였 다 .