얼라인먼트 부 ( 130 ) 에서 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 어느 하나 의 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 도록 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 방향 을 조정 해도 된다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 어느 하나 의 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 고 있 었 다고 해도 , 플래시 광조 사 시 에 는 당해 2 개 의 직경 중 서 셉 터 ( 74 ) 상 의 특정 의 방향 을 따른 직경 을 축 으로 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어지 기 때문 에 , 그 서 셉 터 ( 74 ) 상 의 특정 의 방향 을 따른 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 고 있 으면 된다 . 단 , 플래시 광조 사 시 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어지 는 축 을 따른 서 셉 터 ( 74 ) 상 의 특정 의 방향 과 광축 이 일치 하 도록 상부 방사 온도계 ( 25 ) 를 프로세스 챔버 ( 6 ) 밖 에 설치 해 둘 필요 는 있 다 .