가스 공급 부 ( 21 , 22 , 23 ) 는 레이 저실 ( 10 ) 에 레이저 가스 를 공급 하 는데 , Ne 을 공급 하 는 제 1 가스 공급 부 ( 21 ) , Xe 를 공급 하 는 제 2 가스 공급 부 ( 22 ) 및 HCl 을 공급 하 는 제 3 가스 공급 부 ( 23 ) 로 구성 된다 . Ne 가스 는 버퍼 가스 로서 의 역할 을 하 고 , Xe 와 HCl 가스 는 레이저 빔 을 발생 시킨다 .