상부 전원 ( 131 ) 은 상부 전극 , 즉 안테나 유닛 ( 193 ) 에 전력 을 인가 하 는 것 이 다 . 이러 한 상부 전원 ( 131 ) 은 플 라즈 마의 특성 을 제어 하 도록 제공 될 수 있 다 . 상부 전원 ( 131 ) 은 예 를 들 어 , 이온 충격 에너지 ( ion bombardment energy ) 를 조절 하 도록 제공 될 수 있 다 .