정 전척 ( 20 ) 은 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 원형 평판 체 로서 , 그 상면 상 에 웨이퍼 ( W ) 를 안 착하 여 고정 하 며 , 그 상면 측 에 는 안착 된 웨이퍼 ( W ) 가 열 에 의해 손상 되 는 것 을 방지 하 도록 웨이퍼 ( W ) 의 배면 ( back side ) 측 으로 냉각 용 가스 인 헬륨 ( He ) 가스 를 분사 하 기 위한 냉각 가스 공급 홈 ( 22 ) 이 방사상 으로 형성 되 어 있 다 .