볼 스크루 지지 부 ( 120 ) 가 커플링 샤프트 ( 111 ) 에 고정 된다 . 볼 스크루 ( 121 ) 는 볼 스크루 지지 부 ( 120 ) 를 통해 나사 결합 된다 . 볼 스크루 ( 121 ) 의 일단 부 는 커플링 ( 122 ) 을 거쳐 X - 축 구동 모터 ( M 9 ) 에 커플링 된다 . 이러 한 배열 에서 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B , 70 C , 70 D ) 은 X - 축 구동 모터 ( M 9 ) 에 의해 X - 축 방향 으로 동기 적 으로 이동 한다 . 반면 에 , 4 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B , 70 C , 70 D ) 은 Y - 축 레일 ( 107 ) , Y - 축 안 내부 ( 109 ) 및 Y - 축 공기 실린더 ( 114 ) 를 각각 포함 하 는 Y - 축 이동 기구 에 의해 Y - 축 방향 으로 서로 에 대해 독립 적 으로 이동 할 수 있 다 .