이 와 같이 , 와이어 를 미리 설정 되 어 있 던 2 m / min 이하 의 주행 속도 로 주행 시키 도록 구동 용 모터 ( 10 ) 를 제어 장치 ( 25 ) 에 의해 제어 함 으로써 , 본 발명 의 와이어 쏘 에 의해 절단 된 웨이퍼 에 생기 는 Warp 량 및 쏘 마크 를 종래 의 와이어 쏘 에 의해 절단 된 웨이퍼 의 것 과 비해 저감 할 수 있 다 .