한편 , " "" 가동 률 "" 이 란 ", 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 를 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 비율 을 나타내 는 하나 의 지표 ( 제 2 지표 ) 이 다 . 해석 장치 ( 140 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 로부터 취득 한 축 적 데이터 ( 130 ) 로부터 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 를 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 는지 의 여부 를 나타내 는 데이터 항목 에 대응 하 는 데이터 내용 으로서 , 미리 지정 된 대상 구간 의 데이터 내용 을 추출 함 으로써 가동 률 을 산출 한다 .