표 4 에 있 어서 , PB 는 노광 전 의 베 이킹 을 의미 하 고 , " PEB 는 노광 후 의 베 이킹 을 의미 한다 . "" PB """," "" PEB "" 및 "" 탑 코트 베이 킹 "" 의 란 에 있 어서 "," 예 를 들 면 “ 100 ℃ 60 초 "" 는 100 ℃ 에서 60 초 동안 의 베 이킹 을 의미 한다 . 현상액 및 린스 액 란 에 나타내 는 비중 은 실온 에서 측정 플라스크 를 사용 하 여 일정 부피 ( 100 ㎖) 만큼 측정 된 각 화학 적 질량 으로부터 계산 된 것 이 다 . EEP 및 PGMEA 는 각각 에틸 3 - 에 톡 시프 로 피오 네이트 및 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 를 나타낸다 . "