또한 , 에어백 등 의 내부 에 공기 를 주입 시키 는 종래 의 연마 헤드 는 그 내부 에 웨이퍼 의 가공 면적 보다 넓 은 면적 을 가지 는 에어백 을 구비 하 거나 , 작 은 면적 을 가압 하 는 다 수개 의 에어백 을 구비 하 여 웨이퍼 에 가해 지 는 압력 을 전면 에 골고루 분산 시켜 웨이퍼 의 전면 에 균일 하 게 압력 을 가해 주 는 것 은 가능 하 지만 , 다 수개 의 에어백 에 모두 공기 를 주입 하 기 때문 에 구조 가 복잡 하 고 , 에어백 내부 에 주입 되 는 공기 가 가해 지 는 압력 에 따라 부피 수축 의 폭 이 큰 반면 에 변형 에 저항 하 는 정도 를 나타내 는 강성 ( rigidity ) 이 부족 하 여 웨이퍼 의 연마 가공 시 큰 폭 의 유동 으로 인하 여 불 안정 한 운동 을 야기 할 수 있 으며 , 이 때문 에 가공 정밀도 가 저하 되 는 문제점 을 가진다 .