상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 이송 챔버 ( 200 ) 의 중심 영역 ( CA ) 에 배치 된다 . 이 는 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 상기 로딩 챔버 ( 10 ) 로부터 상기 이송 챔버 ( 200 ) 이송 된 후 , 상기 중심 영역 ( CA ) 에서 회전 또는 일시 정지 한 다음 , 다른 상기 공정 챔버 ( 20 ) 로 이동 하 기 때문 이 다 . 즉 , 상기 중심 영역 ( CA ) 은 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 회전 또는 일시 정지 한 위치 를 의미 한다 . 다시 말 해 , 상기 중심 영역 ( CA ) 은 상기 이 송부 의 회전 반경 이 이루 는 영역 과 실질 적 으로 동일 하 다 .