본 발명 에 따르 면 , 진공 펌프 장치 또는 배기 가스 처리 장치 에 유지 보수 가 요구 될 때 , 제어기 는 제조 장치 에 유지 보수 요구 의 정보 를 출력 한다 . 따라서 , 진공 펌프 장치 또는 배기 가스 처리 장치 는 적절 한 시간 에 유지 보수 될 수 있 다 . 따라서 , 배기 시스템 내 의 기기 고장 이 방지 될 수 있 고 , 제조 장치 의 안정 한 작동 이 보장 될 수 있 다 .