상기 제 1 모니터링 부 ( 310 ) 는 상기 검사 모듈 ( 100 ) 과 인접 하 게 배치 되 어 상기 검사 영역 ( A ) 을 통과 하 는 상기 검사 대상물 ( T ) 의 위치 를 측정 한다 . 구체 적 으로 상기 제 1 모니터링 부 ( 310 ) 는 상기 검사 모듈 ( 100 ) 과 독립 적 으로 구성 되 며 , 상기 검사 대상물 ( T ) 에 형성 된 기준 마커 ( R ) 의 위치 를 기록 한다 .