리소그래피 장치 의 기본 적 인 초점 기여 도 는 그 후 제품 상 초점 추정 에 사용 하 기 위하 여 저장 된다 . 리소그래피 장치 의 기본 적 인 초점 기여 도 는 다수 의 리소그래피 장치 에 대해 결정 될 수 있 다 . 리소그래피 장치 의 기본 적 인 초점 기여 도 는 사용 된 리소그래피 장치 의 디바이스 들 의 특정 조합 에 대해 결정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 리소그래피 장치 는 기판 이 노광 될 수 있 는 하나 이상 의 기판 테이블 을 가질 수 있 으며 , 따라서 리소그래피 장치 의 기본 적 인 초점 기여 도 는 사용 된 디바이스 들 의 특정 조합 및 / 또는 다수 의 조합 에 대해 결정 될 수 있 다 .