기판 처리 장치 ( 20 ) 는 약액 탱크 ( 10 ) 와 순환 배관 ( 33 ) 으로 연결 되 어 , 약액 탱크 ( 10 ) 로부터 액체 를 공급 받 을 수 있 다 . 순환 배관 ( 33 ) 에 는 액체 를 송출 시키 기 위한 순환 배관 용 펌프 ( 32 ) 및 / 또는 액체 의 유량 을 조절 하 는 순환 배관 용 밸브 ( 31 a , 31 b ) 가 설치 될 수 있 다 .