그 후 , 클램프 ( 24 ) 에 의해 프레임 지지대 ( 26 ) 위 에 프레임 유닛 ( 11 ) 의 프레임 ( 7 ) 을 고정 한다 . 도 10 의 ( A ) 는 프레임 지지대 ( 26 ) 위 에 고정 된 프레임 유닛 ( 11 ) 을 모식 적 으로 나타낸 단면도 이 다 . 웨이퍼 ( 1 ) 의 내부 에 는 , 분할 예정 라인 ( 3 ) 을 따라 개질 층 ( 3 a ) 이 형성 되 어 있 다 .