도 7 은 액 처리 장치 의 제 7 실시 형태 를 도시 하고 있 다 . 제 7 실시 형태 에서 는 , 주 통로 부분 ( 22 ) 에 펌프 ( 30 ) 및 온도 조 절부 ( 50 ) 가 마련 되 어 있 고 , 각 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 에 각각 여과 부 ( 40 A , 40 B ) 가 마련 되 어 있 다 . 제 7 실시 형태 의 다른 구성 요소 는 , 도 1 및 도 2 에 도시 한 제 1 및 제 2 실시 형태 의 구성 요소 와 동일 해서 , 중복 설명 은 생략 한다 .