반응 관 ( 203 ) 에 는 처리 실 ( 201 ) 내 의 분위기 를 배기 하 는 배기관 ( 231 ) 이 설치 된다 . 배기관 ( 231 ) 의 반응 관 ( 203 ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 하류 측 에 는 압력 검출기 로서 압력 센서 ( 245 ) 및 압력 조정기 로서 의 APC ( Auto Pressure Controller ) 밸브 로 구성 되 는 제 4 밸브 ( 243 d ) 를 개재 하 여 진공 배기 장치 로서 진공 펌프 ( 246 ) 가 접속 되 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 이 소정 의 압력 ( 진공도 ) 이 되 도록 진공 배기 할 수 있 도록 구성 된다 . 한편 , APC 밸브 인 제 4 밸브 ( 243 d ) 는 밸브 를 개폐 하 여 처리 실 ( 201 ) 내 의 진공 배기 ㆍ진공 배기 정지 를 할 수 있 고 , 또한 밸브 의 개방 도 를 조절 하 여 압력 조정 을 할 수 있 도록 되 어 있 는 개폐 밸브 이 다 . 주로 , 배기관 ( 231 ) , 제 4 밸브 ( 243 d ) , 진공 펌프 ( 246 ) , 압력 센서 ( 245 ) 에 의해 배 기계 가 구성 된다 .