검출기 는 제 1 표면 과 해당 제 1 표면 의 반대편 의 제 2 표면 을 포함 하 는 기판 , 상기 기판 의 상기 제 2 표면 으로부터 상기 기판 의 상기 제 1 표면 까지 연장 되 는 깔때기 형 리세 스 , 상기 기판 의 상기 제 1 표면 아래 에 배치 된 도전 층 , 상기 기판 과 상기 도전 층 사이 에 배치 된 절연 층 및 상기 도전 층 및 상기 절연 층 을 통해 연장 되 고 , 상기 깔때기 형 리세 스 에 결합 된 제 1 관통 비아 를 포함 한다 .