서 셉 터 ( S ) 의 표면 에 도달 한 반응 가스 는 , 열분해 반응 또는 수소 환원 반응 을 일으킨다 . 이 로써 , 서 셉 터 ( S ) 의 표면 에 SiC 막 이 형성 된다 . 반응 가스 중 에서 기상 성장 반응 에 사용 된 것 이외 의 가스 는 변성 된 생 성 가스 로 되 어 , 챔버 ( 201 ) 의 하부 에 형성 된 배기구 ( 21 ) 로부터 배기 된다 .