더우기 64 M 디램 이상 의 초 고집 적 소자 들 은 0 . 5 ㎛ 이하 의 미세 패턴 이 요구 되 며 , 이러 한 극 미세 패턴 은 고해상도 의 감광막 패턴 을 얻 기 위해서 는 위 와 같 은 광원 에 의한 미세화 에 도 한계 가 있 어 , 광원 과 해상력 증가 법 ( resolution enhancement technique ) 을 결합 시켜 미세화 를 진행 하 고 있 다 .