도 3 및 도 4 b 를 함께 참조 하 면 , 집적회로 소자 ( 100 ) 는 제 1 홈 ( GR 1 ) 내 에서 블로킹 유전 막 ( 125 ) 과 터널 링 유전 막 ( 140 ) 사이 에 배치 되 는 잔류 층 ( 130 R ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 잔류 층 ( 130 R ) 은 전하 저 장막 ( 130 ) 과 동일 한 물질 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 잔류 층 ( 130 R ) 은 실리콘 질화 막 , 폴리 실리콘 , 또는 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 으로 이루어질 수 있 다 .