상기 폴리 글리세린 또는 그 의 유도체 의 중량 평균 분자량 은 , 예 를 들 어 200 내지 20000 , 바람직 하 게 는 600 내지 15000 , 보다 바람직 하 게 는 1000 내지 10000 , 특히 바람직 하 게 는 1500 내지 5000 , 가장 바람직 하 게 는 2000 내지 4500 이 다 . 상기 범위 의 중량 평균 분자량 을 갖 는 폴리 글리세린 또는 그 의 유도체 는 , 레지스 트 도막 의 표면 에 대한 밀착 성 이 특히 우수 하 여 , 레지스 트 도막 표면 에 물 을 공급 해도 박리 되 는 일 이 없 기 때문 에 , 레지스 트 도막 표면 에 대한 친수성 부여 효과 를 경시 안정 적 으로 유지 할 수 있 다 . 또한 , 본 명세서 중 의 중량 평균 분자량 은 , 겔 투과 크로마토그래피 ( GPC ) 에 의해 측정 되 는 표준 폴리스티렌 환산 의 분자량 이 다 .