또한 , 이 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 에 는 돌기 부 ( 81 b ) 를 관통 한 반응 가스 노즐 ( 33 ) 이 연장 되 어 있 다 . 반응 가스 노즐 ( 33 ) 에 는 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 염소 가스 가 충전 되 는 염소 가스 공급원 ( 132 ) 이 , 유량 제어기 ( 122 ) 를 통해 배관 ( 112 ) 에 의해 접속 되 어 있 다 . 유량 제어기 ( 122 ) 에 의해 유량 제어 된 염소 가스 가 , 플라스마 발생기 ( 80 ) 에서 활성 화 되 고 , 소정 의 유량 으로 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 에 공급 된다 .