방식제 로서 는 , 동계 금속 , 코발트 계 금속 등 의 배선 금속 에 대하 여 보호막 을 형성 함 으로써 배선 금속 의 에칭 을 억제 하 여 피연 마면 의 거칠 음 을 저감 하 기 쉽 게 하 는 효과 를 바람직 하 게 얻 는 관점 에서 , 트리아졸 화합물 , 피리딘 화합물 , 이미다졸 화합물 , 테트라 졸 화합물 , 트리아진 화합물 및 헥사메틸렌테트라민 으로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종이 바람직 하 고 , 3 H - 1 , 2 , 3 - 트리아졸 로 [ 4 , 5 - b ] 피리딘 - 3 - 올 , 1 - 하이드 록 시 벤조 트리아졸 , 1 H - 1 , 2 , 3 - 트리아졸 로 [ 4 , 5 - b ] 피리딘 , 벤조 트리아졸 , 3 - 하이드 록 시 피리딘 , 벤즈 이미다졸 , 5 - 아미노 - 1 H - 테트라 졸 , 3 , 4 - 디 하이드로 - 3 - 하이드 록 시 - 4 - 옥소 - 1 , 2 , 4 - 트리아진 및 헥사메틸렌테트라민 으로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종이 보다 바람직 하 다 .