본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 - X 측 단부 로부터 , 정반 ( 12 ) ( 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 이동 가이드 면 ) 의 - X 측 에 설치 된 Y 축 방향 으로 이동 가능 한 제 1 케이블 셔틀 ( cable shuttle ) ( 미 도시 ) 에 , 배선 / 배관 용 의 케이블 이 접속 된다 . 유사 하 게 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 + X 측 단부 로부터 , 정반 ( 12 ) 의 + X 측 에 설치 된 Y 축 방향 으로 이동 가능 한 제 2 케이블 셔틀 ( 미 도시 ) 에 , 배선 / 배관 용 의 케이블 이 접속 된다 . 이 들 케이블 에 의해 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 에 설치 된 Z 레벨 링 기구 및 계측 장치 로 의 전력 공급 및 에 어 슬라이더 에 대한 가압 공기 의 공급 이 수행 된다 .