도 4 및 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 공정 플레이트 ( 110 ) 와 , 공정 플레이트 ( 110 ) 를 관통 하 여 기판 ( 120 ) 의 배면 중앙부 를 지지 하 는 리프트 핀 ( 130 ) 과 , 공정 플레이트 ( 110 ) 를 관통 하 여 기판 ( 120 ) 의 가장자리 를 가이드 함 과 아울러 지지 하 는 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 과 , 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 의 기판 안착 부 ( 142 ) 에 설치 되 어 상기 기판 ( 120 ) 의 배면 가장자리 를 지지 하 는 패드 부 ( 145 ) 와 , 복수 의 리프트 핀 ( 130 ) 과 복수 의 가이드 핀 ( 140 ) 을 상승 및 하강 시키 기 위한 구동 장치 ( 150 ) 를 구비 한다 .