도전 막 ( 201 ) 은 단 일 막 , 연속 막 , 또는 다층막 의 형태 로 구성 될 수 있 다 . 도전 막 ( 201 ) 은 , 예 를 들 어 , Cr 을 주성분 으로 하 여 형성 될 수 있 고 , 2 층 의 다층막 으로 구성 되 는 경우 하부 층 은 Cr 및 N 을 포함 하 고 , 상부 층 은 Cr , N , 및 O 를 포함 하 여 형성 될 수 있 다 .