동작 ( 705 ) 에서 , 차 폐부 들 둘 모두 및 기판 이 세정 동작 동안 회전 함 에 따라 , 수직 회전 하 는 기판 으로부터 나오 는 배 출물 은 원심 효과 로 인해 회전 가능 차 폐부 들 에서 의 개구 ( 125 ) ( 도 1 참조 ) 를 통해 진공 배기 된다 . 실시 예 들 에서 , 회전 가능 차 폐부 들 ( 101 , 103 ) 중 하나 또는 둘 모두 는 이제 기판 및 챔버 ( 100 ) 로부터 의 배 출물 의 진공 배기 및 제거 를 더 용이 하 게 하 기 위해 더 높 은 속력 으로 회전 될 수 있 다 . 실질 적 으로 동시 에 , 저압 의 고속 가스 유동 은 회전 하 는 기판 ( 119 ) 의 면 들 및 가장 자리 ( 들 ) 로부터 ( 예컨대 , 바로 근접 하 게 있 는 ) 액체 분자 들 을 실질 적 으로 또는 완전히 제거 한다 . 특정 예시 적 인 실시 예 들 에서 , 이소프로필 알코올 ( IPA ) 증기 와 같 은 용매 가 또한 , IPA 건조 를 요구 하 는 특정 응용 들 에 필요 할 때 캐리어 가스 로서 질소 와 함께 부가 적 으로 도입 될 수 있 다 . 기판 ( 119 ) 상 에 남 아 있 는 액체 들 의 표면 장력 을 감소 시키 기 위해 사용 될 수 있 는 다른 유형 들 의 계면 활성제 가 관련 기술 분야 에 알려져 있 다 .