PHT 처리 장치 ( 4 ) 는 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 진공 화 가능 한 챔버 ( 20 ) 와 , 그 안 에 웨이퍼 ( W ) 를 탑재 하 는 탑재 대 ( 23 ) 를 갖 고 , 탑재 대 ( 23 ) 에는 히터 ( 24 ) 가 매립 되 어 있 고 , 이 히터 ( 24 ) 에 의해 COR 처리 가 실시 된 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 여 COR 처리 에 의해 생성 된 반응 생성물 을 기화 ( 승화 ) 시키 는 PHT 처리 를 행한다 . 챔버 ( 20 ) 의 로드 로크 실 ( 3 ) 측 에 는 , 로드 로크 실 ( 3 ) 과 의 사이 에서 웨이퍼 를 반송 하 는 반입 출구 ( 20 a ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 반입 출구 ( 20 a ) 는 게이트 밸브 ( 22 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 챔버 ( 20 ) 의 COR 처리 장치 ( 5 ) 측 에 는 COR 처리 장치 ( 5 ) 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 는 반입 출구 ( 20 b ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 반입 출구 ( 20 b ) 는 게이트 밸브 ( 54 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 챔버 ( 20 ) 에는 , 예 를 들 어 질소 가스 ( N 2 ) 등 의 불활성 가스 를 공급 하 는 가스 공급 로 ( 25 ) 를 구비 한 불활성 가스 공급 기구 ( 26 ) 와 , 예 를 들 어 불소 ( F ) 와 반응 하 는 가스 , 예 를 들 어 암모니아 가스 ( NH 3 ) 를 공급 하 는 가스 공급 로 ( 27 ) 를 구비 한 반응 가스 공급 기구 ( 28 ) 와 , 챔버 ( 20 ) 내 를 배기 하 는 배기 로 ( 29 ) 를 구비 한 배기 기구 ( 30 ) 가 구비 되 어 있 다 . 불활성 가스 공급 로 ( 25 ) 는 질소 가스 공급원 ( 31 ) 에 접속 되 어 있 다 . 그리고 , 불활성 가스 공급 로 ( 25 ) 에는 , 유로 의 개폐 동작 및 질소 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조정 밸브 ( 32 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . 반응 가스 공급 로 ( 27 ) 는 , 암모니아 가스 공급원 ( 34 ) 에 접속 되 어 있 다 . 반응 가스 공급 로 ( 27 ) 에는 , 유로 의 개폐 동작 및 NH 3 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조정 밸브 ( 33 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . 배기 기구 ( 30 ) 의 배기 로 ( 29 ) 에는 개폐 밸브 ( 35 ) 및 진공 펌프 ( 36 ) 가 형성 되 어 있 다 .