상기 제 1 콘덴서 렌즈 ( 74 a ) 로부터 소정 거리 이격 되 도록 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 가 배치 될 수 있 다 . 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 의 구체 적 인 구성 요소 들 은 상술 한 보조 포토 마스크 의 구성 요소 들 과 같 다 . 이 에 따라 , 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 의 구체 적 인 구성 요소 들 및 그 역할 에 대한 설명 은 생략 하 기 로 한다 . 상기 제 1 콘덴서 렌즈 ( 74 a ) 를 통과 한 광 은 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 로 입사 하 여 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 를 통과 할 수 있 다 .