금속 배선 및 패드 상 에 하부 절연 층 ( 1560 ) 이 배치 될 수 있 다 . 하부 절연 층 ( 1560 ) 은 산화 규소 및 / 또는 질화규소 와 같 은 무기 절연 물질 또는 SiC , SiCOH , SiCO 및 SiOF 와 같 은 저 유전율 ( low K ) 물질 로 만들 어 질 수 있 다 . 하부 절연 층 ( 1560 ) 은 전하 저 장소 ( 1555 ) 를 드러내 는 트렌치 를 가진다 . 트렌치 는 충전재 로 채워져 있 을 수 있 다 .