앞 에서 설명 한 FOSB ( 100 ) 에서 소터 홀더 들 ( 110 a 및 110 b ) 이 FOSB ( 100 ) 의 상면 및 하면 에 형성 되 어 있 으며 , 하나 이상 의 웨이퍼 ( W ) 가 FOSB ( 100 ) 에 적재 되 어 있 다 . 이 때 , 웨이퍼 ( W ) 의 후면 은 지면 을 향하 도록 적재 되 는 것 이 바람직 하 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 후면 을 검사 하 기 위해서 우선 , 상기 설명 된 웨이퍼 ( W ) 가 적재 된 FOSB ( 100 ) 를 상하 로 뒤집 는 단계 가 필요 하 다 . FOSB ( 100 ) 를 상하 로 뒤집 게 되 면 제 1 소터 홀 더 ( 110 a ) 가 위 로 향하 게 되 고 , 제 2 소터 홀더 ( 110 b ) 가 아래 로 향하 게 된다 . 그리고 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( frontside ) 이 지면 ( 地面 ) 을 향하 게 된다 . 계속 하 여 , 아래 로 향한 제 2 소터 홀더 ( 110 b ) 를 소터 에 도킹 ( docking ) 한다 . 그리고 소터 를 구성 하 는 로봇 암 ( robot arm ) 이 지면 ( 地面 ) 을 향하 고 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 상면 과 접촉 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 인출 하 고 웨이퍼 ( W ) 의 후면 을 검사 한다 . FOSB ( 100 ) 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 는 직경 이 300 mm 인 것 이 바람직 하 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 않 고 웨이퍼 ( W ) 의 직경 이 300 mm 가 아닌 경우 에 도 적용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 웨이퍼 ( W ) 의 직경 이 200 mm 인 경우 에 도 적용 될 수 있 다 .