가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 는 그 양단 부가 지지 판재 ( 82 ) 에 의해 지 지 되 어 있 다 . 각 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 는 처 리조 ( 40 ) 및 린스 조 ( 51 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 배열 방향 을 따라 , 지지 부재 ( 82 ) 상 에서 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 한 쌍 의 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 는 별개 의 제 1 구동 수단 ( 81 a , 81 b ) , 예컨대 실린더 에 연결 되 어 있 으며 , 서로 에 대하 여 상대 이동 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 한 쌍 의 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 사이 에 형성 되 는 간극 ( 개구 ) ( 88 ) 의 폭 을 변화 시킬 수 있 다 .