도 8 및 도 9 는 , 마이크 로 요동 소자 X 1 의 제조 방법 의 일례 를 도시 한다 . 이 방법 은 벌크 마이크 로 머 싱 기술 에 의해 마이크 로 요동 소자 X 1 을 제조 하 기 위한 독 점법 이 다 . 도 8 및 도 9 에서 는 , 도 9 의 ( d ) 에 도시 한 랜드 부 L , 들보 부 B , 프레임 F 1 , F 2 , 연결부 C 1 , C 2 및 1 조 의 전극 E 1 , E 2 의 형성 과정 을 , 하나 의 단면 의 변화 로서 나타낸다 . 그 하나 의 단면 은 , 가공 이 실시 되 는 재료 기판 ( 다층 구조 를 갖 는 웨이퍼 ) 에서 의 단일 의 마이크 로 요동 소자 형성 구획 에 포함 되 는 복수 의 소정 개소 의 단면 을 , 모델 화 하 여 연속 단면 으로서 나타낸 것 이 다 . 랜드 부 L 은 랜드 부 ( 11 ) 의 일부 에 상당 한다 . 들 보부 B 는 들보 부 ( 13 ) 에 상당 하 고 , 들보 부 ( 13 ) 의 횡단면 을 나타낸다 . 프레임 F 1 , F 2 는 , 각각 프레임 ( 21 ) 에 상당 하 고 , 프레임 ( 21 ) 의 횡단면 을 나타낸다 . 연결부 C 1 은 연결부 ( 22 ) 에 상당 하 고 , 토션 바 ( 22 a ) 의 연장 방향 의 단면 을 나타낸다 . 연결부 C 2 는 연결부 ( 22 ) 에 상당 하 고 , 토션 바 ( 22 a ) 의 횡단면 을 나타낸다 . 전극 E 1 은 구동 전극 ( 12 ) 의 일부 에 상당 하 고 , 전 극치 ( 12 a , 12 b ) 의 횡단면 을 나타낸다 . 전극 E 2 는 구동 전극 ( 23 ) 의 일부 에 상당 하 고 , 전 극치 ( 23 a , 23 b ) 의 횡단면 을 나타낸다 .