마이크로파 를 투과 하 는 투과 판 ( 28 ) 은 지지 부 ( 13 ) 상 에 배치 되 어 있 다 . 투 과판 ( 28 ) 은 유전체 , 예컨대 석영 으로 구성 되 어 있 다 . 이 투 과판 ( 28 ) 과 지지 부 ( 13 ) 사이 는 밀봉 부재 ( 29 ) 를 통해 기밀 하 게 밀봉 되 어 있 다 . 따라서 , 챔버 ( 1 ) 내 는 기밀 하 게 유지 된다 .