다음 으로 , 도 6 및 도 7 은 각각 x - z 및 y - z 평면 에서 의 온도 분포 를 기준 형상 및 최적 형상 에 대해 비교 하 고 있 다 . 이러 한 온도 분포 들 은 일정 가압 동력 과 열 유속 에서 계산 되 었 다 . 열 저항 을 최소 화 함 으로써 최적 형상 은 기준 형상 에 비하 여 미 세유 로 기판 바닥 의 온도 가 상대 적 으로 낮 은 값 을 보이 고 있 음 을 알 수 있 다 .