S - D 반도체 처리 시스템 에서 는 복수 의 처리 및 / 또는 측정 툴 이 존재 할 수 있 으므로 툴 매칭 이 중요 한 문제 일 수 있 다 . 어떤 경우 에 는 내부 툴 로부터 의 데이터 가 외부 및 / 또는 기준 툴 로부터 의 데이터 와 매칭 되 어야 한다 . S - D 프로시저 는 툴 간 의 데이터 매칭 에 이용 될 수 있 고 서브시스템 이 필요 로 한 캘 리브레 이 션 조정 을 작성 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 이 들 조정 은 R 2 R 계산 으로서 이루어질 수 있 다 .