상기 수 처리 관로 ( 113 ) 는 상기 자외선 램프 ( 112 ) 로부터 이격 될 뿐 만 아니 라 , 상기 챔버 ( 111 ) 의 내벽 과 도 이격 되 어 위치 된다 . 또한 , 상기 수 처리 관로 ( 113 ) 는 상기 챔버 ( 111 ) 내 에 복수 개 구비 되 며 일 실시 예 로 , 4 개 의 수 처리 관로 ( 113 ) 가 상기 자외선 램프 ( 112 ) 의 상하좌우 방향 으로 배치 될 수 있 다 .