그런데 , 습식 세정 후 에 마스크 기판 ( 100 ) 및 광차 단막 패턴 ( 111 ) 표면 에 황산 또는 암모니아 등 과 같 은 이온 성 분자 들 이 흡착 된 상태 로 잔류 될 수 있 다 . 이러 한 이온 성 분자 들 은 후속 펠리 클 부착 시 , 에 어 홀 을 통해 흘러들어온 공기 와 상호 결합 하 여 펠리 클 내부 에서 성장 성 헤이즈 결함 을 유발 시키 는 요인 으로 작용 하 고 있 다 .