플라 즈 마 디스플레이 패널 의 각 구성 부분 을 형성 할 때 의 방법 으로서 , 기판 상 에 형성 된 감광성 재료 층 에 패턴 을 형성 할 때 에 , 소정 패턴 을 묘화 한 포토 마스크 를 사이 에 두 고 기판 상 의 감광성 재료 층 을 노광 하 는 노광 프로세스 를 이용 한다 . 또한 , 대화 면화 의 진전 에 따라 , 노광 프로세스 에서 노광 장치 의 노광 영역 에 들어가 지 않 는 넓 은 영역 을 노광 할 필요 가 있 다 . 그래서 , 이러 한 대 면적 의 노광 을 실현 하 는 방법 으로서 , 노광 영역 을 복수 의 소 영역 으로 분할 하 여 노광 하 는 노광 방법 을 이용 한다 .