실시 예 에서 , 리소그래피 장치 의 기본 적 인 오버레이 기여 도 는 한 번 효과 적 으로 결정 될 수 있 으며 다양 한 오버레이 추정 을 위하 여 사용 될 수 있 고 , 따라서 계측 량 은 각 기판 을 측정 하 는 것 과 비교 하 여 상당히 감소 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 패 터닝 된 기판 오버레이 계측 데이터 는 기판 상 의 위치 ( 예 를 들 어 , 기판 상의 500 개 이하 의 타 겟 ) 및 / 또는 하나 이상 의 로트 로부터 의 기판 의 수 ( 예 를 들 어 , 25 개 이상 의 기판 의 로트 로부터 10 개 이하 의 기판 ) 의 비교 적 간헐 적 인 샘플링 에 의해 획득 될 수 있 다 .