도 23 b 를 참조 하 면 , 채널 홀 ( CHH ) 을 통하 여 , 복수 의 희생 막 ( PL ) 각각 의 일부분 을 제거 하 여 , 복수 의 희생 막 ( PL ) 과 동일 레벨 에서 채널 홀 ( CHH ) 에 연통 되 는 복수 의 인 덴트 공간 ( PLSP ) 을 형성 한다 . 복수 의 인 덴트 공간 ( PLSP ) 에서 복수 의 희생 막 ( PL ) 은 , 복수 의 절 연막 ( 110 ) 의 채널 홀 ( CHH ) 을 향하 는 측벽 ( 110 S ) 보다 채널 홀 ( CHH ) 의 중심 으로부터 먼 리세 스 된 측벽 ( PLR ) 을 가질 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 복수 의 인 덴트 공간 ( PLSP ) 은 복수 의 희생 막 ( PL ) 각각 의 일부분 을 습식 식각 공정 에 의하 여 제거 하 여 형성 할 수 있 다 .