[ 0070 ] 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 제 1 방향 ( x 방향 ) 으로 의 기판 캐리어 ( 120 ) 의 연장 ( 예컨대 , 길이 ) 과 , 제 1 방향 ( x 방향 ) 으로 의 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 연장 ( 예컨대 , 길이 ) 은 상이 하 다 . 특히 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 는 동일 한 높이 들 을 갖 지만 상이 한 길이 들 을 가질 수 있 다 . 특히 , 기판 캐리어 ( 120 ) 의 길이 는 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 길이 의 미만 일 수 있 다 .