그러나 , 장치 내 에 배치 되 는 배기 컵 만 으로 는 , 노즐 로부터 토출 된 용제 증기 를 확실 하 게 회수 하 는 것 이 어렵 고 , 장치 내 로 용제 증기 가 누설 될 우려 가 있 다 . 따라서 , 스무 딩 처리 유닛 을 도포 · 현상 처리 유닛 에 통합 하 면 , 스무 딩 처리 유닛 내 의 용제 분위기 가 외부 로 누설 되 어 , 도포 · 현상 처리 유닛 내부 및 노광 장치 가 오염 된다는 문제 가 있 다 . 또한 , 용제 분위기 가 외부 로 누설 되 면 , 인체 에 영향 을 줄 우려 도 있 다 .