도 2 o 를 참조 하 면 , 프로브 ( 200 ) 로부터 희생 기판 의 역할 을 하 는 기판 ( 100 ) 을 용이 하 게 분리 시키 기 위하 여 개구 ( 120 ) 부근 의 영역 을 식각 하 여 프로브 ( 200 ) 를 플로팅 시킨다 . 식각 방법 은 SF 6 가스 플 라즈 마 를 이용 하 는 건식 식각법 을 포함 할 수 있 다 . 이때 , 제 3 패턴 ( 130 ) 은 상기 식각 과정 에서 일어날 수 있 는 지 지부 ( 180 ) 의 손상 을 방지 하 는 역할 을 한다 .