일반 적 으로 , 진공 작업 용 반송 로봇 은 , 진공 작업실 또는 진공 챔버 을 오염 시키 지 않 기 위한 시일 구조 를 채용 하 고 있 고 , 이 시일 구조 로서 아암 의 상하 방향 으로 의 이동 ( 승강 동작 ) 에 대해서 는 벨로우즈 에 의해 시일 성 의 확보 를 도모 하 고 , 또 아암 의 회전 에 대해서 는 자성 유체 시일 에 의해 시일 성 의 확보 를 도모 하 도록 한 시 일 구조 가 알려져 있 다 .