보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 준비 부 ( 115 ) 에 의해 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 된 상태 에서 ( 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 한 후 에 ) , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 의 처리 액 의 보충 을 개시 시킨다 . 일례 로서 , 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 준비 부 ( 115 ) 에 의해 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 되 어 , 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 조절 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 조절 , 및 전환 밸브 ( 71 ) 의 개방 상태 로 의 재 전환 이 이 순 으로 실행 된 후 에 , 송액 부 ( 60 ) 에 의 처리 액 의 보충 을 개시 시킨다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 준비 부 ( 115 ) 가 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 상태 에서 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 시킨다 .