인라인 세정 은 웨이퍼 가 컨베이어 벨트 방식 의 롤러 시스템 에서 운반 되 는 더 엄격 하 게 시간 의 제약 을 받 는 코스 ( temporal course ) 를 보장 하 며 , 상기 웨이퍼 는 변하 기 쉬운 화학 적 및 물리 적 상태 에 , 서로 엄격히 제한 되 지 않 는 , 세정 뱅크 의 각종 부분 을 거친다 . 배치 세정 과 달리 , 인라인 세정 은 연속 프로세스 이 다 . 그것 은 프로세스 가 중지 되 지 않 고 향상 된 약품 제어 없이 세정 에 있 어 동시 에 세정제 를 연속 적 으로 교환 할 수 있 게 한다 . 화학 적 관점 에서 , 배치 세정 과 유사 한 세정제 가 이용 된다 .