상기 한 바 와 같이 본 발명 은 , 기계 적 인 구조 에 의해 기판 세정 장비 에서 배기 되 는 배기 공기 로부터 세 정수 와 파티클 을 제거 하 여 , 각각 다른 경로 를 통해 배출 할 수 있 도록 구성 함 으로써 , 필터 를 사용 하 지 않 음 에 따라 관리 비용 을 절감 함 과 아울러 필터 교환 에 따른 세정 공정 의 중단 을 방지 하 여 생산 성 을 향상 시키 는 효과 가 있 다 .