면방 위가 ( 100 ) 면 인 단결정 실리콘 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 플래시 광 을 조사 했 을 때 에 는 , ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 어느 1 개 의 직경 을 축 으로 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어진다 . ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 휨 의 축 이 되 는 직경 은 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 휨 이 최소 가 되 는 방향 을 따른 직경 이 며 , 다른 쪽 의 직경 은 휨 이 최대 가 되 는 방향 을 따른 직경 이 다 . 따라서 , ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 휨 의 축 이 되 는 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 고 있 으면 , 그 광축 방향 에서 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 거의 휘어지 지 않 기 ( 도 11 에서 의 Δθ 가 거의 0 이 된다 ) 때문 에 , 온도 측정 에 오 차 가 생기 는 것 을 막 을 수 있 다 . 그 반면 , ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 휨 의 축 과 직교 하 는 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 고 있 으면 , 그 광축 방향 에서 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 크 게 휘어지 기 ( 도 11 에서 의 Δθ 가 최대 가 된다 ) 때문 에 , 온도 측정 에 큰 오차 가 생기 게 된다 .