텅스텐 재료 의 배선 을 연마 에 의해 형성 하 는 방법 ( 다 마신 프로세스 ) 의 일례 를 도 1 에 나타낸다 . 피 연마 체 ( 기판 ) ( 10 ) 는 , 도 1 의 ( a ) 에 나타낸 바 와 같이 , 표면 에 홈 을 가지 는 절연 재료 ( 산화 규소 등 ) ( 1 ) 와 , 절연 재료 의 표면 에 추종 하 는 형상 의 배리어 재료 ( 질화 티탄 등 ) ( 2 ) 와 , 홈 을 매립 하 도록 배리 어 재료 ( 2 ) 의 전체 를 덮 는 텅스텐 재료 ( 배선 금속 ) ( 3 ) 를 가지 고 있 다 . 피 연마 체 ( 10 ) 의 연마 방법 은 , 배리어 재료 ( 2 ) 가 노출 될 때 까지 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 높 은 연마 속도 로 연마 하 는 거친 연마 공정 ( 도 1 의 ( a ) ∼ 도 1 의 ( b ) ) 과 , 거친 연마 공정 에 있 어서 생긴 단차 ( 段 差 ) 를 해소 하 기 위한 공정 ( 도 1 의 ( b ) ∼ 도 1 의 ( c ) ) 으로서 , 절연 재료 ( 1 ) 가 노출 될 때 까지 배리 어 재료 ( 2 ) 및 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 연마 하 는 중 연마 공정 과 , 절연 재료 ( 1 ) , 배리어 재료 ( 2 ) 및 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 충분 한 연마 속도 로 연마 하 여 피연 마면 을 평탄 하 게 마무리 하 는 마무리 연마 공정 을 전술 한 순서 로 가지 고 있 다 .