다음 에 도 5 C 및 도 6 C 를 참조 하 면 , 제 1 트렌치 ( 114 ) 에서 제 1 불순물 영역 ( 130 N ) 과 중첩 되 지 않 는 영역 이 일정 깊이 로 식각 되 어 제 2 트렌치 ( 116 ) 가 형성 됨 으로써 광전 변환 소자 ( 130 ) 의 제 2 불순물 영역 ( 130 P 1 ) 및 제 3 불순물 영역 ( 130 P 2 ) 이 형성 된다 .