활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 은 제 2 전극 튜브 ( 234 ) 와 노즐 ( 220 ) 의 제 2 유로 ( 225 ) 를 연결 하 며 , 활성 화 가스 를 제 2 유로 ( 225 ) 에 공급 한다 . 활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 은 일 단부 가 활성 화 가스 유입 구 ( 229 ) 에 결합 된다 . 활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 은 유전 성 재질 로 제공 될 수 있 다 . 실시 예 에 의하 면 , 활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 은 폴리테트라플루오로에틸렌 재질 로 제공 될 수 있 다 . 활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 의 상기 재질 은 활성 화 가스 를 라디칼 상태 로 안정 적 으로 유지 시킨다 .