도 1 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 는 , 연마 헤드 ( 500 ) 를 구비 한다 . 연마 헤드 ( 500 ) 는 , 연마 패드 ( 502 ) 를 보유 지지 한다 . 도 2 는 , 연마 헤드 ( 500 ) 의 연마 패드 ( 502 ) 를 보유 지지 하 는 기구 를 나타내 는 개략 도 이 다 . 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 500 ) 는 , 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 를 구비 한다 . 연마 패드 ( 502 ) 는 , 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 와 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 의 사이 에 보유 지지 된다 . 도시 한 바 와 같이 , 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) , 연마 패드 ( 502 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 는 , 모두 원판 형상 이 다 . 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 의 직경 은 , 연마 패드 ( 502 ) 의 직경 보다 도 작 다 . 그 로 인해 , 연마 패드 ( 502 ) 가 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 에 보유 지지 된 상태 에서 , 연마 패드 ( 502 ) 가 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 의 테두리 부 로부터 노출 된다 . 또한 , 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) , 연마 패드 ( 502 ) , 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 는 , 모두 중심 에 개구부 를 구비 하 고 , 이러 한 개구부 에 회전 샤프트 ( 510 ) 가 삽입 된다 . 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 의 연마 패드 ( 502 ) 측 의 면 에 는 , 연마 패드 ( 502 ) 측 에 돌출 되 는 1 개 또는 복수 개 의 가이드 핀 ( 508 ) 이 설치 되 어 있 다 . 한편 , 연마 패드 ( 502 ) 에 있 어서 의 가이드 핀 ( 508 ) 에 대응 하 는 위치 에 는 관통 구멍 이 설치 되 고 , 또한 , 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 의 연마 패드 ( 502 ) 측 의 면 에 는 , 가이드 핀 ( 508 ) 을 받아들이 는 오 목부 가 형성 되 어 있 다 . 그 로 인해 , 회전 샤프트 ( 510 ) 에 의해 제 1 보유 지지 부재 ( 504 ) 및 제 2 보유 지지 부재 ( 506 ) 를 회전 시켰 을 때 , 연마 패드 ( 502 ) 가 미끄러지 지 않 고 보유 지지 부재 ( 504 , 506 ) 와 일체 적 으로 회전 할 수 있 다 .