본 발명 에 따른 웨이퍼 육안 검사 장치 에 따르 면 , 틸팅 구 동부 에 의해 카세트 안착 부 를 기울이 고 , 웨이퍼 들 이 수납 된 카세트 를 수직면 에 대해 비스듬 하 게 기울어진 상태 로 카세트 안착 부 에 안착 시킨 다음 , 웨이퍼 들 의 에지 가 웨이퍼 안착 부 에 지지 되 면 , 회전 구 동부 에 의해 일정 한 속도 로 웨이퍼 안착 부 를 회전 시키 는 동안 , 웨이퍼 에지 의 육안 검사 가 이뤄질 수 있 다 .