또한 , 게이트 하드 마스크 막 ( 83 A ) 을 식각 장벽 으로 사용 하 였 기 때문 에 필라 패턴 ( 88 ) 은 50 nm 이하 , 즉 5 ~ 50 nm 의 폭 을 갖 는다 . 즉 , 포토레지스트 패턴 의 무너짐 현상 으로 인해 50 nm 이하 를 갖 지 못했 던 필라 패턴 ( 88 ) 의 폭 을 , 트림 공정 을 통해 50 nm 이 하로 형성 한 것 이 다 .