그 다음 에 는 , 노즐 이송 암 ( 140 ) 은 웨이퍼 ( 100 ) 상부 에 웨이퍼 ( 100 ) 와 평행 하 게 구비 되 는 레일 ( 150 ) 에 장착 된다 . 이때 , 레일 ( 150 ) 은 노즐 이송 암 ( 140 ) 에 웨이퍼 ( 100 ) 의 중심부 와 외곽 사이 를 자유 롭 게 왕복 할 수 있 는 경로 를 제공 한다 . 또한 , 레일 ( 150 ) 은 웨이퍼 스테이지 ( 120 ) 와 소정 거리 이격 된 지지대 ( 160 ) 에 의해서 고정 된다 .