린스 장치 ( 50 ) 의 수 용부 ( 50 a ) 에 는 적절히 순수 가 보급 된다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 어 장치 ( 20 ) 로부터 의 신호 에 기초 하 여 , 린스 장치 ( 50 ) 의 각 수 용부 ( 50 a ) 내 에 보급 되 는 순수 의 단위 시간 당 보급량 이 수 용부 ( 50 a ) 마다 설정 된다 . 그리고 , 약액 을 사용 하 여 처리 된 웨이퍼 ( W ) 가 수용 된 수 용부 ( 50 a ) 에 는 다량 의 보급량 으로 순수 가 보급 된다 . 한편 , 웨이퍼 ( W ) 가 수용 되 어 있 지 않 은 수 용부 ( 50 ) 에 는 , 미량 의 보급량 으로 순수 가 보급 되 거나 , 혹은 순수 가 보급 되 지 않 는다 .