게이트 배선 ( 121 , 124 , 128 ) 은 Al , Ag , Cr , Ti , Ta , Mo , Cu 등 의 금속 또는 이 들 을 포함 하 는 합금 따위 로 만들 어 진다 . 도 2 에서 게이트 배선 ( 121 , 124 , 128 ) 은 단일 층 으로 도시 되 었 지만 , 게이트 배선 ( 121 , 124 , 128 ) 은 물리 화학 적 특성 이 우수 한 Cr , Mo , Ti , Ta 또는 이 들 을 포함 하 는 합금 의 금속 층 과 비저항 이 작 은 Al 계열 또는 Ag 계열 의 금속 층 을 포함 하 는 다중 층 으로 형성 될 수 도 있 다 . 이외 에 도 여러 다양 한 금속 또는 도전체 로 게이트 배선 ( 121 , 124 , 128 ) 을 만들 수 있 으며 , 동일 한 식각 조건 에 패 터닝 이 가능 한 다층막 이 면 바람직 하 다 .