이 에 의하 여 , 압력 조 절부 ( 150 ) 로부터 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 된 상태 에서 , 웨이퍼 ( W ) 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 정상 적 으로 척 킹 되 지 아니하 면 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 상방 으로 볼록 하 게 휘 는 변형 량 을 보다 크 게 유도 하 여 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 나 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 에 접촉 하 거나 적어도 1 mm 이내 로 근접 하 는 상태 를 용이 하 게 구현 할 수 있 으며 , 나아가 상방 으로 볼록 하 게 휜 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 나 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 를 완전히 밀폐 시키 는 작용 이 보다 쉽 게 이루어진다 .