노광 장치 는 자외선 ( 51 ) 을 마스크 ( 22 ) 로 방사 하 여 인쇄 회로 기판 ( 20 ) 에 회로 패턴 을 형성 시키 기 때문 에 마스크 ( 22 ) 를 인쇄 회로 기판 ( 20 ) 에 밀착 시키 는 것 이 중요 하 다 . 상기 마스크 ( 22 ) 를 인쇄 회로 기판 ( 20 ) 에 밀착 시키 기 위하 여 종래 의 노광 장치 는 마일러 필림 ( 30 ) 으로 마스크 ( 22 ) 를 덮 은 후 상기 마일러 필림 ( 30 ) 의 내부 를 진공 으로 유지 시키 면서 동시 에 마스크 ( 22 ) 가 인쇄 회로 기판 ( 20 ) 에 밀착 되 도록 막대 로 마일러 필림 ( 30 ) 을 평평 하 게 쓸어내렸 다 .