근접 효과 보정 계수 산출 공정 ( S 104 ) 으로서 , 면적 율 산 출부 ( 111 ) 는 , 우선 , 묘화 영역 ( 여기 에서 는 , 예 를 들 면 스트라이프 영역 ( 32 ) ) 을 소정 의 사이즈 로 메 쉬 형상 으로 복수 의 근접 메 쉬 영역 ( 근접 효과 보정 계산 용 메 쉬 영역 ) 으로 가상 분할 한다 . 근접 메 쉬 영역 의 사이즈 는 , 근접 효과 의 영향 범위 의 1 / 10 정도 , 예 를 들 면 , 1 μ m 정도 로 설정 하 면 바람직 하 다 . 면적 율 산 출부 ( 111 ) 는 , 기억 부 ( 140 ) 로부터 묘화 데이터 를 읽 어 내 고 , 근접 메 쉬 영역 마다 , 해당 근접 메 쉬 영역 내 에 배치 되 는 패턴 의 패턴 면적 밀도 ( ρ ´) 를 연산 한다 .