즉 , 하나 의 챔버 로 이루어진 기화 부 ( 10 ) 가 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 로 이루어진 분 해부 ( 20 ) 에 연결 되 고 상기 기화 부 ( 10 ) 에서 기화 된 다이 머 페럴 린 의 흐름 을 제어 가능 하 므로 , 고가 의 기화 부 ( 10 ) 를 하나 의 챔버 로 구성 하 여 장비 제작 단가 를 절감 하 면서 하나 의 재료 를 통해 2 종 의 조건 으로 성막 할 수 있 고 공정 이 단순 화 되 는 효과 가 있 다 .