본 명세서 에 있 어서 , 실릴 기 는 Si 를 포함 하 고 상기 Si 원자 가 라디칼 로서 직접 연결 되 는 치환기 이 며 , - SiR 104 R 105 R 106 로 표시 되 고 , R 104 내지 R 106 은 서로 동일 하 거나 상이 하 며 , 각각 독립 적 으로 수소 ; 중수소 ; 할로겐 기 ; 알킬기 ; 알케 닐 기 ; 알 콕 시기 ; 시클 로 알킬기 ; 아릴기 ; 및 헤테로 고리 기 중 적어도 하나 로 이루어진 치환기 일 수 있 다 . 실릴 기 의 구체 적 인 예 로 는 트리 메틸 실릴 기 , 트리 에틸 실릴 기 , t - 부틸 디 메틸 실릴 기 , 비닐 디 메틸 실릴 기 , 프로 필디 메틸 실릴 기 , 트리 페닐 실릴 기 , 디페닐 실릴 기 , 페닐 실릴 기 등 이 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .