도 2 는 본 발명 의 장치 를 구성 하 는 증발 챔버 와 산화 반응 챔버 의 구성 을 상세히 설명 하 기 위한 도면 이 고 , 도 3 은 본 발명 의 산화 반응 챔버 내 에 구성 되 어 반응 물질 의 산화 가 이루어지 도록 하 기 우한 산소 공급 수단 을 도시 한 도면 이 고 , 도 4 는 본 발명 의 증발 챔버 내 에 구성 되 는 가열 수단 을 도시 한 도면 이 다 .