레이 저광 발생 부 ( 100 ) 의 하나 의 파장 은 광학 부재 ( 110 ) 를 통해 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 조사 하 여 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 위치 하 는 폴리머 사슬 을 끊 는 역할 을 수행 하 고 , 다른 하나 의 파장 은 챔버 윈도우 ( 20 ) 클리닝 을 수행 하 는 동작 을 감지 하 는 신호 로 사용 된다 . 물론 이 에 한정 되 지 않 고 , 챔버 윈도우 ( 20 ) 클리닝 을 위한 단일 파장 의 광 만 을 발생 할 수 도 있 다 .