다음 으로 , 본 실시 형태 의 로봇 이 , 로드 로크 실 혹은 카세트 등 에 수납 되 어 있 는 워크 ( 50 ) 를 취 출하 여 핸드 ( 13 B ) 상 에 보유 지지 하 는 동작 에 대하 여 설명 한다 . 이때 이미 핸드 ( 13 A ) 는 후퇴 상태 에 있 어서 다른 워크 를 보유 지지 하 고 있 는 것 으로 하 자 . 핸드 ( 13 B ) 는 워크 ( 50 ) 를 보유 지지 하 지 않 고 후퇴 상태 있 는 것 으로 하 자 . 로봇 은 레일 ( 21 ) 을 따라 대상 인 로드 로크 실 앞 까지 이동하 여 , 승강 기구 ( 24 ) 에 의하 여 핸드 ( 13 B ) 의 높이 를 로드 로크 실 의 높이 에 맞춘다 . 그리고 암 ( 11 B , 12 B ) 이 구동 되 어 핸드 ( 13 B ) 는 전진 하 여 , 로드 로크 실에 수납 되 어 있 는 워크 ( 50 ) 의 하방 의 위치 까지 로드 로크 실 의 내부 에 진입 한다 . 이 상태 에서 승강 기구 ( 24 ) 에 의하 여 핸드 ( 13 B ) 를 상승 시키 면 워크 ( 50 ) 가 핸드 ( 13 B ) 상 에 적재 되 게 된다 . 이때 , 핸드 ( 13 B ) 에 마련 된 1 쌍 의 센서 ( 27 ) 에 의하 여 워크 ( 50 ) 의 횡 방향 변 을 검출 하 고 , 횡 방향 변의 위치 가 핸드 ( 13 B ) 에서 의 기준 위치 에 일치 하 도록 핸드 ( 13 B ) 의 전 진량 을 제어 한다 . 1 쌍 의 센서 ( 27 ) 의 검출 결과 로부터 경사각 을 구할 수 있 다 . 이상 적 으로 는 경사각 은 0 이 어야 하 므로 , 1 쌍 의 센서 ( 27 ) 에 의하 여 검출 되 는 경사각 이 0 으로 되 도록 손 목축 ( 34 B ) 의 둘레 로 핸드 ( 13 B ) 를 회전 시킴 으로써 워크 ( 50 ) 는 , 그 횡 방향 변 과 핸드 ( 13 B ) 의 좌우 방향 이 일치 하 도록 핸드 ( 13 B ) 상 에 적재 되 게 된다 . 핸드 ( 13 B ) 상 에 워크 ( 50 ) 를 적재 할 때 경사각 을 보정 하 면 , 워크 ( 50 ) 의 종 방향 변의 배향 과 핸드 ( 13 B ) 의 전후 방향 이 일치 하 고 있 으므로 , 후술 하 는 바 와 같이 좌우 방향 에서 의 워크 ( 50 ) 의 위치 의 보상 을 행할 때 의 계산 이 간단 한 것 으로 된다 .