즉 , 마스크 버퍼 챔버 와 같 은 곳 에 적재 된 기판 은 열처리 및 세정 등 전처리 되 고 , 얼라인 챔버 1 에서 기판 / 마스크 정렬 이 완료 된 기판 이 다 . 미리 증착 전 공정 을 거쳐 준비 해 놓 은 기판 / 마스크 의 초기 투입 이 끝나 면 , 앞선 운용 방식 1 과 마찬가지 로 리턴 라인 을 통해 되돌아온 3 스택 증착 이 완료 된 1 순환 기판 사이 마다 2 T 1 간격 으로 새 기판 투입 하 여 6 스택 증착 을 실시 한다 . 따라서 운용 방식 1 이 전처리 챔버 들 의 공정 시간 을 T 1 에서 2 T 1 으로 챔버 가동 중 전환 해야 하 는 불편 이 있 는 반면 운용 방식 2 는 전처리 챔버 들 의 공정 시간 을 2 T 1 의 택 타임 으로 고정 된 상태 로 운용 하 므로 편리 하 고 안정 적 이 다 .