상기 실시 예 에 따르 면 , 플라스마 처리 장치 에 있 어서 , 예 를 들 면 장치 기동 시 나 신규 공정 에 의 적용 시 나 출하 전 의 조정 시 에 , 진단 대상 장치 의 센서 값 이 다량 으로 취득 되 어 있 지 않 을 경우 에 있 어서 도 , 기존 의 장치 군 에서 공통 되 는 사전 분포 정보 를 추출 한 다음 에 , 진단 대상 의 장치 에서 신규 로 취득 한 센서 값 과 함께 비 정규 분포 를 포함 한 확률 분포 를 추정 함 으로서 장치 진단 을 가능 하 게 한다 .