상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 APC 시스템 에서 배선 형성 을 위한 포토 공정 의 오버레이 제어 방법 으로서 , ( a ) APC 방법 을 통한 포토 공정 의 스텝 퍼 입력 값 예측 시 일정 수 의 이전 웨이퍼 롯 트 에서 수행 된 커런트 레이어 에 대한 스텝 퍼 입 / 출력 값 을 읽 어 들이 는 단계 와 , ( b ) 상기 이전 웨이퍼 각 롯 트 의 서브 레이어 에 대한 스텝 퍼 입력 값 을 읽 어 들여 상기 커런트 레이어 에 대한 스텝 퍼 입 / 출력 값 과 함께 평균 값 으로 산출 하 는 단계 와 , ( c ) 상기 서브 레이어 에 대한 스텝 퍼 입력 값 이 반영 된 평균 값 을 상기 스텝 퍼 에서 새로이 포토 공정 수행 될 다음 롯 트 의 스텝 퍼 입력 값 으로 생성 하 는 단계 와 , ( d ) 상기 스텝 퍼 입력 값 을 상기 스텝 퍼 장비 로 제공 하 여 새로이 포토 공정 수행 할 상기 롯 트 에 적용 되 도록 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .