이어서 , 제 3 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에 대해 , 도 5 를 이용 하 여 설명 한다 . 제 3 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( ) 와 비교 하 여 , 데포 실드 ( 100 ) 의 구조 가 다르 다 . 그 밖 의 구성 은 마찬가지 이 며 , 중복 되 는 설명 을 생략 한다 .