예컨대 하나 의 포드 ( 2001 ) 에 격납 된 복수 ( 예컨대 25 매 ) 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 하나 의 로트 로 하 는 경우 에 대해서 생각 한다 . 그 경우 에 미처리 웨이퍼 ( 200 ) 의 매수 가 로트 전체 의 매수 의 절반 이하 라면 , 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 그 로트 의 모든 웨이퍼 ( 200 ) 가 완료 될 때 까지 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 의 기판 처리 를 계속 한다 . 한편 , 미처리 웨이퍼 ( 200 ) 의 매수 가 로트 전체 의 매수 의 절반 을 초과 하 면 , 그 처리 에 많 은 시간 이 소요 되 는 것 이 예상 되 므로 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 그 로트 의 모든 웨이퍼 ( 200 ) 의 처리 완료 를 기다리 지 않 고 , 그 중 의 소정 매수 ( 예컨대 처리 중 인 적어도 1 장 ) 의 처리 가 완료 된 단계 에서 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 . 즉 예컨대 25 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 하나 의 로트 로 하 는 경우 라면 , 그 절반 에 가까운 10 매 내지 13 매 정도 를 판단 기준 이 되 는 임계 값 으로서 설정 하 고 , 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 시점 의 미처리 매수 가 임계 값 이하 인가 의 여부 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 계속 해서 수행 하 는 기판 처리 의 처리 매수 를 가변 시킨다 .