이상 과 같이 Ⅲ 족 및 Ⅵ 족 원소 를 포함 하 는 단일 전구체 와 , I 족 금속 을 포함 하 는 전구체 와 , Ⅵ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 또는 Ⅵ 족 원소 를 함유 하 는 가스 , 및 상기 한 Ⅵ 족 원소 와 다른 Ⅵ ′ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 또는 Ⅵ ′ 족 원소 를 함유 하 는 가스 를 기판 상 에 함께 공급 하 여 유기 금속 화학 기상 증착 법 으로 증착 하 게 되 면 I - Ⅲ - Ⅵ2 화합물 박막 에서 Ⅵ 족 원소 의 일부 가 다른 Ⅵ ′ 족 원소 로 치환 되게 되 어 I - Ⅲ -( Ⅵ1 - y Ⅵ ′ y ) 2 화합물 박막 이 형성 되 게 된다 . 여기 서 y 는 0 ≤ y ≤ 1 이 다 .