프레임 유닛 유지 단계 ( ST 4 ) 는 , 도 5 에 도시 한 플 라즈 마 에칭 장치 ( 4 ) 내 의 정전 척 테이블 ( 6 ) ( 척 테이블 ) 에 프레임 유닛 ( 1 ) 의 웨이퍼 ( 11 ) 를 점착 테이프 ( 13 ) 를 통해 흡인 유지 하 는 단계 이 다 . 또한 , 차폐 단계 ( ST 5 ) 는 , 환형 프레임 ( 12 ) 및 / 또는 환형 프레임 ( 12 ) 과 웨이퍼 ( 11 ) 의 사이 에 노출 되 는 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) 을 커버 부재 ( 5 ) 로 덮 어 , 외부 공간 으로부터 차폐 하 는 단계 이 다 . 또한 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) 은 , 도 5 에서 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 부위 중 에서 , 환형 프레임 ( 12 ) 과 웨이퍼 ( 11 ) 의 사이 에 노출 되 는 링 형상 의 영역 이 다 .