일반 적 인 서 셉 터 의 설계 에 는 웨이퍼 를 수용 하 기 위해 서 셉 터 의 상부 면 ( upper face ) 에 오 목부 ( recess ) 를 갖 는 흑연 디스크 를 포함 한다 . 디스크 는 실리콘 카바이드 ( silicon carbide ) 로 코팅 되 어 있 다 . 그리고 , 3 개 의 동등 한 간격 의 레이스 트랙 모양 의 개구 는 증착 챔버 내 에 배치 된 지 지체 ( supports ) 의 상단 끝 ( upper ends ) 을 수용 하 기 위해 하부 표면 ( lower surface ) 으로부터 서 셉 터 내부 로 연장 되 어 있 는 형태 로 존재 한다 . 처리 공정 중 에 회전 할 때 서 셉 터 가 지 지체 에서 미끌어지 는 것 을 방지 하 기 위해 이러 한 지지 개구 들 은 지 지체 와 맞물려 있 다 . 서 셉 터 는 레이스 트랙 모양 의 개구 들 에서 크래킹 되 는 경향 이 있 다 . 이러 한 크래킹 문제 를 개선 하 기 위한 종래 의 기술 들 에 는 카바이드 코팅 의 두께 를 증가 시키 는 기술 , 카바이드 코팅 의 두께 를 감소 시키 고 오 목부 들 의 내부 모서리 에 필렛 ( fillets ) 을 사용 하 는 기술 이 포함 된다 .