도 7 은 본 발명 의 일 실시 예의 스테이지 장치 또는 리소그래피 장치 에서 적용 될 수 있 는 측정 시스템 을 나타낸다 . 이 실시 예 에서 는 , 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에 대한 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 위치 를 보상 하 기 위해 보 상기 로서 피드백 위치 제어 시스템 또는 제어기 ( 15 ) 가 제공 된다 . 피드백 위치 제어 시스템 ( 15 ) 은 1 이상 의 센서 ( 16 ) , 제어기 ( 17 ) , 및 1 이상 의 액추에이터 ( 18 ) 를 포함 한다 . 피드백 위치 제어 시스템 은 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에 대해 실질 적 으로 동일 한 위치 에 그리드 플레이트 ( 6 ) 를 유지 하 도록 제공 된다 . 또한 , 위치 제어 시스템 ( 15 ) 은 본 발명 의 분야 에 알려진 여 하한 의 제어 시스템 에 따라 설계 될 수 있 다 .