상기 기판 가열 유닛 ( 100 ) 은 상기 제 2 지지 부재 ( 150 ) 와 상기 축 ( 160 ) 을 이용 하 여 상기 가열 플레이트 ( 110 ) 의 흔들림 을 방지 한다 . 상기 가열 플레이트 의 흔들림 으로 인해 상기 기판 가열 유닛 ( 100 ) 의 작동 이 중단 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 기판 가열 유닛 ( 100 ) 을 이용 하 여 상기 기판 을 신속 하 게 가열 할 수 있 다 . 또한 , 상기 기판 을 상기 가열 플레이트 ( 110 ) 에 정확 하 게 안착 할 수 있 으므로 , 상기 기판 을 균일 하 게 가열 하 여 평탄 화 할 수 있 다 . 상기 기판 을 이용 하 여 형성 된 반도체 소자 의 품질 을 향상 시킬 수 있 다 .