연마 입자 의 함유량 은 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 충분 한 연마 속도 가 얻 기 쉬운 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 01 질량 % 이상 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 02 질량 % 이상 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 05 질량 % 이상 , 특히 바람직 하 게 는 0 . 1 질량 % 이상 , 극히 바람직 하 게 는 0 . 5 질량 % 이상 , 매우 바람직 하 게 는 1 질량 % 이상 이 다 . 연마 입자 의 함유량 은 , 스크래치 의 발생 을 억제 하 기 쉬운 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 50 질량 % 이하 , 보다 바람직 하 게 는 30 질량 % 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 20 질량 % 이하 , 특히 바람직 하 게 는 10 질량 % 이하 , 극히 바람직 하 게 는 5 질량 % 이하 이 다 . 이러 한 관점 에서 , 연마 입자 의 함유량 은 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 01 ∼ 50 질량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 02 ∼ 30 질량 %, 더욱 바람직 하 게 는 0 . 05 ∼ 20 질량 %, 특히 바람직 하 게 는 0 . 1 ∼ 20 질량 %, 극히 바람직 하 게 는 0 . 5 ∼ 10 질량 %, 매우 바람직 하 게 는 1 ∼ 5 질량 % 이 다 .