본 발명 은 자기 변형 작 동기 의 거동 예측 을 위한 2 차원 비선형 유한 요소 해석 코드 개발 에 관한 것 이 다 . 자기 변형 재료 는 선형 탄성 거동 및 비 선형 자기 거동 을 하 는 것 으로 가정 하 였으며 , 자기장 의 해석 에서 는 자기 포 텐 셜 ( magnetic potential ) 을 이용 한 수식 화 기법 이 적용 되 었 다 . MEMS 작 동기 의 자기 변형 현상 을 전산 모사 하 기 위해서 는 정확 한 자기 변형 계수 ( magnetostrictive coefficient ) 측정 이 필수 적 이 다 . 따라서 자기 변형 박막 에 대해 자기 변형 박막 의 탄성 에너지 가 고려 된 이론식 을 적용 하 여 자기 변형 계수 를 계산 하 였 고 , 이 를 탄성 에너지 가 무시 된 경우 의 자기 변형 계수 와 비교 함 으로써 자기 변형 계수 의 정확 한 측정 을 실시 하 였 다 . 자기 변형 현상 을 이용 하 는 대부분 의 미소 작 동기 는 기판 위 에 증착 된 자기 변형 박막 의 신장 변형 에 따른 굽 힘 현상 을 이용 하 기 때문 에 , 변형 에 따른 변위 를 측정 하 기 위해 일차원 보 요소 와 이차원 판 요소 를 제안 하 여 자기 변형 작 동기 의 거동 을 해석 하 는 프로그램 을 개발 하 였 다 .