상기 2 개 또는 그 초과 의 전극 ( 406 , 408 ) 들 중 어느 하나 또는 모두 는 가열 전극 및 / 또는 척 킹 전극 으로서 선택 적 으로 기능 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , DC 전력 이 제 1 전극 ( 406 ) 에 인가 될 수 있 으며 , 이 에 따라 , 기판 - 대향 면 ( 220 ) 에 전하 를 생성 하 고 , 반대 로 하전 된 기판 ( S ) 에 대해 인력 을 생성 함 으로써 , 디스크 ( 202 ) 에 대한 기판 ( S ) 의 정전기 적 척 킹 을 용이 하 게 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , AC 전력 이 제 2 전극 ( 408 ) 에 인가 될 수 있 으며 , 이 에 따라 , 제 2 전극 ( 408 ) 의 저항 으로 인한 열 을 생성 함 으로써 , 디스크 ( 202 ) 의 가열 을 용이 하 게 한다 . AC 전력 은 최대 약 600 ℃ 로 정전 척 을 가열 하 기 에 충분 할 수 있 다 . 예컨대 , AC 전력 공급원 은 제 2 전극 ( 408 ) 에 약 110 내지 약 208 VAC 를 제공 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 저항 가열 요소 들 의 저항 을 모니터링 하 고 , 요소 의 온도 에 비례 하 여 저항 이 변한다는 저항 요소 의 물리 적 특성 들 의 이유 로 결과 적 인 온도 를 계산 함 으로써 , 사용 중 에 정전 척 온도 가 모니터링 될 수 있 다 .