가 열부 ( 140 ) 는 반응 로 ( 120 ) 를 공정 온도 로 가열 하 기 위한 것 으로 , 가 열부 ( 140 ) 는 반응 로 ( 120 ) 의 외벽 을 감싸 도록 설치 되 는 두꺼운 단 열 벽 ( 142 ) 과 , 이 단열 벽 ( 142 ) 안쪽 에 코일 형상 의 열선 ( 144 ) 을 포함 한다 . 공정 진행 중 반응 로 ( 120 ) 는 대략 섭씨 500 - 1100 도 ( ℃)( 공정 온도 ) 로 유지 될 수 있 다 .