그래서 , 특허 문헌 1 에 나타내 듯이 질량 유량 을 측정 하 여 비율 제어 하 는 것 도 발안 되 어 있 다 . 도 5 는 이런 종류 의 유량 비율 제어 장치 에 있 어서 의 특히 2 분류 타입 ( type ) 의 일례 를 나타내 고 있 다 . 이 도 5 에 있 어서 부호 RXM 은 가스 가 유입 되 는 메인 ( main ) 유로 이 다 . 이 메인 유로 RXM 에 는 압력 센서 ( 4 X ) 가 설치 되 어 있 고 , 그 종단 은 2 개 로 분기 ( 分岐 ) 되 어 있 다 . 분기 된 각 분기 유로 ( RX 1 , RX 2 ) 상 에 는 유량계 ( 21 X , 22 X ) 와 제어 밸브 ( 31 X , 32 X ) 가 각각 직렬 로 설치 되 어 있 다 . 그리고 밸브 제 어부 ( 5 X ) 가 각 유량계 ( 21 X , 22 X ) 로부터 출력 되 는 유량 데이터 및 압력 센서 로부터 출력 되 는 압력 데이터 를 모니터 함 과 아울러 , 이 들 각 데이터 의 값 에 기초 하 여 제어 밸브 ( 31 X , 32 X ) 를 컨트롤 ( control ) 하 고 , 각 분기 유로 ( RX 1 , RX 2 ) 를 흐르 는 가스 의 질량 유량 의 총 유량 에 대한 비율 ( 유량 비율 이 라 함 ) 이 부여 된 설정 비율 로 되 도록 제어 한다 . 구체 적 으로 이 밸브 제 어부 ( 5 X ) 는 , 먼저 상기 압력 데이터 의 값 ( 실측 압력 이 라고 도 함 ) 이 미리 정해진 일정 한 목표 압력 으로 되 도록 일방 의 분기 유로 ( RX 1 ) 의 제어 밸브 ( 31 X ) 를 피드백 제어 한다 . 그리고 실측 압력 이 목표 압력 의 근방 혹은 그 이상 으로 제어 되 어 있 는 조건 하 에 있 어서 , 유량 데이터 의 값 ( 실측 유량 이 라고 도 함 ) 의 총 유량 에 대한 비율 이 상기 설정 비율 로 되 도록 타방 의 제어 밸브 ( 32 X ) 를 피드백 ( feedback ) 제어 한다 .