레지스 트 도포 챔버 들 ( 410 ) 은 모두 동일 한 구조 를 가진다 . 다만 , 각각 의 레지스 트 도포 챔버 ( 410 ) 에서 사용 되 는 포토 레지스 트 의 종류 는 서로 상이 할 수 있 다 . 일 예 로서 포토 레지 스트로 는 화학 증폭 형 레지스 트 ( chemical amplification resist ) 가 사용 될 수 있 다 . 레지스 트 도포 챔버 ( 410 ) 는 기판 ( W ) 상 에 포토 레지스 트 를 도포 한다 .