본 발명 의 일 예 에 있 어 , 상기 금속 노즐 에 연결 되 어 초음파 를 가하 는 초음파 부 는 금속 노즐 을 통과 하 는 유체 에 초음파 를 가하 여 나노 버블 을 생성 시키 기 위한 것 으로 , 초음파 부 는 전압 이 인가 되 면 진동 하 여 초음파 를 발생 시키 는 압 전소 자 및 상기 압 전 소자 에 전압 을 인가 하 는 전원 을 포함 할 수 있 다 .