우선 투영 광학계 의 구면 수차 와 베스트 포커스 위치 의 관계 의 일례 에 대해서 , 각 조명 조건 마다 설명 한다 . 도 3 은 2 개 의 다른 조명조 건하 에서 투영 광학계 의 구면 수차 에 대한 베스트 포커스 위치 의 변화 를 나타낸 것 이 다 . 도 3 의 점선 ( 20 ) 은 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 조명 조리개 가 원형 형상 이 고 조명 조리개 값 σ = 0 . 3 일 때 의 데이터 를 플롯 한 그래프 이 다 . 상기 그래프 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 구면 수차 의 양 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 일차 적 으로 변화 한다 . 여기 서 , 조명 조리개 값 σ 는 투영 광학계 ( 6 ) 의 동공 크기 와 조명 광학계 ( 5 ) 의 동공 크기 의 비 이 며 , σ = ( 조명 광학계 의 동공 ／ 투영 광학계 의 동공 ) 로 정의 된다 .