다음 으로 S 3 단계 에서 , 기판 ( 400 ) 을 이재 하 고자 하 는 경우 로봇 암 ( 230 ) 을 동작 시켜 일차 적 으로 기준 위치 까지 이동 시킨다 . 이때 , 기준 위치 는 전 S 2 단계 에서 미리 저장 되 어 있 는 첫 번 째 슬롯 ( 110 - 1 ) , 더욱 자세 하 게 는 기판 을 수납 할 수 있 는 첫 번 째 의 교시 위치 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .