본 명세서 에 사용 되 는 의미 의 웨이퍼 또는 기판 은 임의 의 치수 안정 적 인 , 흔히 투명 한 재료 의 디스크 또는 직사각 형 플레이트 또는 임의 의 다른 형상 의 플레이트 이 다 . 웨이퍼 디스크 의 직경 은 전형 적 으로 5 ㎝ 내지 40 ㎝, 예 를 들 어 10 ㎝ 내지 31 ㎝ 이 다 . 흔히 , 그것 은 2 , 4 , 6 , 8 또는 12 인치 의 직경 을 갖 는 원통형 이 며 , 이때 1 인치 는 약 2 . 54 ㎝ 이 다 . 웨이퍼 두께 는 예 를 들 어 0 . 2 ㎜ 내지 10 ㎜, 전형 적 으로 0 . 4 ㎜ 내지 6 ㎜ 이 다 .