상기 압력 조정 수단 ( 100 ) 은 일 측 이 막 음판 ( 112 ) 에 의해 폐쇄 되 고 중 공부 ( 106 ) 를 지닌 실린더 ( 114 ) 및 피스톤 ( 108 ) 을 구비 하 며 ; 상기 피스톤 ( 108 ) 과 연결 된 구동축 및 상기 구동축 에 연결 되 어 피스톤 의 위치 를 조절 하 는 구동 수단 ( 60 ) 을 포함 하 며 , 상기 막 음판 ( 112 ) 에 는 기체 유입 구 ( 102 ) 및 기체 유출 구 ( 104 ) 가 구비 되 어 상기 기체 유입 구 ( 102 ) 는 상기 버퍼 챔버 ( 30 ) 에 연통 되 고 상기 기체 유출 구 ( 104 ) 는 대기 에 노출 되 며 , 상기 막 음판 ( 112 ) 내측 에 는 상기 기체 유입 구 ( 102 ) 및 기체 유출 구 ( 104 ) 를 상기 피스톤 중 공부 로부터 격리 하 는 다이 아프 램 ( 110 ) 이 설치 된 것 이 바람직 하 다 .