이 같이 구성 된 본 발명 의 웨이퍼 위치 감지 장치 는 웨이퍼 지지대 ( 20 ) 를 통해 리프트 핀 ( 30 ) 상 에 재치 된 웨이퍼 ( 10 ) 의 중량 이 중량 센서 ( 70 ) 에 의해 감지 되 면 이 를 제 어부 ( 80 ) 에서 입력 받 아 웨이퍼 ( 10 ) 의 중량 을 판단 하 여 웨이퍼 지지대 ( 20 ) 상 에서 의 웨이퍼 ( 10 ) 의 위치 를 상대 측정 한다 .