상기 테스트 챔버 ( 52 ) 에 는 테스트 될 반도체 소자 들 을 테스트 온도 로 유지 시킬 수 있 도록 , 전열 히터 또는 액화 질소 분사 시스템 중 적어도 하나 가 설치 될 수 있 다 . 상기 핸들러 ( 1 ) 는 복수 개 의 테스트 챔버 ( 52 ) 를 포함 할 수 있 고 , 복수 개 의 테스트 챔버 ( 52 ) 각각 에 하이 픽스 보드 ( H ) 가 설치 될 수 있 다 .