또한 , 상기 탄소 화 단계 는 예비 탄소 화 단계 및 본 탄소 화 단계 를 포함 하 여 수행 될 수 있 으며 , 예비 탄소 화 단계 는 600 ℃ 이상 1000 ℃ 이하 의 온도 에서 30 분 이상 120 분 이하 의 시간 동안 열처리 하 고 , 본 탄소 화 단계 는 1000 ℃ 이상 1400 ℃ 이하 의 온도 에서 30 분 이상 120 분 이하 의 시간 동안 열처리 하 여 수행 될 수 있 다 . 또한 , 예비 탄소 화 단계 및 본 탄소 화 단계 는 순차 적 으로 진행 되 는 것 이 좋 을 수 있 다 .