승강 기구 ( 510 ) 가 승강 판 ( 509 ) 을 승강 시키 면 , 스테이지 ( 505 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 처리 가 행하 여 지 는 처리 위치 ( 도 5 참조 ) 와 , 반입 출구 ( 501 a ) 를 통해서 외부 의 반송 기구 ( 21 ) ( 도 3 참조 ) 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 전달 을 행하 는 전달 위치 ( 도시 하 지 않 음 ) 사이 를 승강 한다 .