도 1 은 종래 기술 에 따른 반 도 체식 가스 센서 의 단면도 로서 , 종래 의 반 도 체식 가스 센서 는 중앙 영역 에 관통 홀 ( 21 ) 이 형성 된 실리콘 기판 ( 20 ) 과 ; 상기 실리콘 기판 ( 20 ) 상부 에 형성 된 멤 브레인 ( Membrane ) 막 ( 30 ) 과 ; 상기 관통 홀 ( 21 ) 이 존재 하 는 멤 브레인 막 ( 30 ) 상부 에 형성 된 가열 전극 패턴 ( 40 ) 과 ; 상기 가열 전극 패턴 ( 40 ) 을 감싸 며 , 상기 멤 브레인 막 ( 30 ) 상부 에 형성 된 절 연막 ( 50 ) 과 ; 상기 가열 전극 패턴 ( 40 ) 이 존재 하 는 절 연막 ( 50 ) 상부 에 형성 된 감지 전극 패턴 ( 60 ) 과 ; 상기 감지 전극 패턴 ( 60 ) 을 감싸 며 , 상기 절 연막 ( 50 ) 상부 에 형성 된 감지 막 ( 70 ) 으로 구성 된다 .