도면 부호 645 에서 , S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 가용 평가 요소 의 제 1 개수 이하 인 경우 , 제 1 개 수의 S - D 평가 웨이퍼 들 은 제 2 S - D 이송 시퀀스 를 이용 하 여 하나 이상 의 평가 서브시스템 내 의 제 1 개수 의 가용 평가 요소 들 에 이송 될 수 있 다 . S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 가용 평가 요소 의 제 1 개수 보다 많 을 경우 , 제 2 보정 조치 가 적용 될 수 있 다 .