소자 분리 막 ( 201 ) 은 STI 공정 이나 열 산화 공정 등 과 같 은 소자 분리 공정 을 이용 하 여 형성 될 수 있 다 . 또한 , 소자 분리 막 ( 201 ) 은 산화물 을 사용 하 여 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 소자 분리 막 ( 201 ) 은 PSG , TEOS , USG , FOX , BPSG , HDP - CVD 산화물 , SOG 등 을 사용 하 여 형성 될 수 있 다 .