상기 제 2 처 리수 공급 부 ( 140 ) 는 물 이 수용 된 제 2 수조 ( 141 ) 와 , 상기 제 2 수조 ( 141 ) 에 설치 되 어 물 을 냉각 하 는 냉각기 ( 142 ) 와 , 상기 세정 챔버 ( 120 ) 내부 의 제 2 공 간부 ( 124 b ) 및 제 3 공 간부 ( 124 c ) 중 적어도 어느 하나 의 공간 부 상단 에 배치 되 어 상기 제 2 수조 ( 141 ) 에서 공급 되 는 제 2 처 리수 ( 143 a ) 를 분사 하 는 다수 의 분사 노즐 ( 143 ) 로 이루어지 는 것 을 예시 할 수 있 다 .