이어서 , 제 2 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에 대해 , 도 4 를 이용 하 여 설명 한다 . 제 2 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 와 비교 하 여 , 틈 새부 ( 130 ) 에 충전 되 는 열전 도 매체 가 다르 다 . 그 밖 의 구성 은 마찬가지 이 며 , 중복 되 는 설명 을 생략 한다 .