또 , " 본 발명 에 있 어서 의 "" 방사선 "" 이 란 ", 예 를 들 면 원자외선 , 극자외선 ( EUV ; Extreme ultraviolet ) , X 선 , 또는 전자선 등 을 의미 한다 . 또 , 본 발명 에 있 어서 광 이란 , " 활성 광선 또는 방사선 을 의미 한다 . 본 발명 중 에 있 어서 의 "" 노광 "" 이 란 ", 특별히 설명 하 지 않 는 한 , 원자외선 , X 선 또는 EUV 등 에 의한 노광 뿐 만 아니 라 , 전자선 또는 이온 빔 등 의 입자선 에 의한 묘화 도 노광 에 포함 시킨다 .