이하 에서 , 본 발명 의 바람직 한 제 2 실시 예 에 따른 저항 조절 시스템 의 동작 이 더욱 상세 하 게 기술 될 것 이 다 . 우선 , 미처리 초 순수 가 입구 ( 211 ) 를 통해 흐름 안내 장치 ( 20 ) 로 도입 된다 . 흐름 안내 장치 ( 20 ) 의 내부 는 50 % 직경 변화 를 갖 는 벤투리관 구조 를 포함 한다 . 이후 , 이산화 탄소 가 이산화 탄소 가스관 ( 24 ) 으로 도입 된다 . 이산화 탄소 는 미소 화 장치 ( 28 ) , 압력 저항 소자 ( 25 ) , 개구부 ( 23 ) , 그리고 채널 라이징 장치 ( 27 ) 를 연속 적 으로 통과 하 여 , 흐름 안내 장치 ( 20 ) 로 주입 된다 . 이산화 탄소 는 흐름 안내 장치 ( 20 ) 내 에서 미처리 초 순수 와 혼합 되 어 저항 조절 초 순수 가 된다 . 저 항조 절 초 순수 는 출구 ( 212 ) 를 통해 배출 된다 .