촉매 도포 단계 ( S 110 ) 는 촉매 저장 탱크 ( 521 ) 에서 1 회 도포 량 에 해당 되 는 촉매 ( 20 ) 가 합성 기판 ( 10 ) 상면 으로 공급 되 면 , 브러시 유닛 ( 580 ) 의 도포 용 브러시 ( 587 ) 가 이동 하 면서 합성 기판 ( 10 ) 상면 에 촉매 ( 20 ) 를 고르 게 분포 시킨다 . 이렇게 촉매 ( 20 ) 도포 가 완료 된 합성 기판 ( 10 ) 은 제 2 이송 장치 ( 700 ) 에 의해 스테이션 부 ( 200 ) 에 설치 된 기판 보관 부 ( 400 ) 의 카세트 ( 420 ) 에 수납 된다 . 카세트 ( 420 ) 의 제 1 지지 부 ( 422 a ) 에 수납 된 합성 기판 ( 10 ) 은 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 공정 을 마친 합성 기판 ( 10 ) 이 언 로딩 된 직후 제 1 이송 장치 ( 300 ) 에 의해 반응 챔버 ( 100 ) 의 보트 ( 160 ) 로 로딩 된다 . 합성 기판 ( 10 ) 의 로딩 이 완료 되 면 반응 챔버 ( 100 ) 에서 탄소 나노 튜브 ( 30 ) 생 성 을 위한 공정 이 진행 된다 ( S 120 ) .