CPU ( 221 a ) 는 , 기억 장치 ( 221 c ) 로부터 제어 프로그램 을 판독 해서 실행 함 과 함께 , 입출력 장치 ( 222 ) 로부터 의 조작 커맨드 의 입력 등 에 따라서 기억 장치 ( 221 c ) 로부터 프로세스 레시피 를 판독 하 도록 구성 되 어 있 다 . 그리고 , CPU ( 221 a ) 는 , 판독 된 프로세스 레시피 의 내용 을 따르 도록 , I / O 포트 ( 221 d ) 및 신호선 ( A ) 을 통해서 APC 밸브 ( 242 ) 의 개방 도 조정 동작 , 밸브 ( 243 b ) 의 개폐 동작 및 진공 펌프 ( 246 ) 의 기동 · 정지 를 , 신호선 ( B ) 을 통해서 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 의 승강 동작 을 , 신호선 ( C ) 을 통해서 히터 전력 조정 기구 ( 276 ) 에 의한 히터 ( 217 b ) 에 의 공급 전력량 조정 동작 ( 온도 조정 동작 ) 이나 , 임피던스 가변 기구 ( 275 ) 에 의한 임피던스 값 조정 동작 을 , 신호선 ( D ) 을 통해서 게이트 밸브 ( 244 ) 의 개폐 동작 을 , 신호선 ( E ) 을 통해서 RF 센서 ( 272 ) , 정 합기 ( 274 ) 및 고주파 전원 ( 273 ) 의 동작 을 , 신호선 ( F ) 을 통해서 MFC ( 252 a 내지 252 c ) 에 의한 각종 가스 의 유량 조정 동작 , 및 밸브 ( 253 a 내지 253 c , 243 a ) 의 개폐 동작 등 을 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 .