상기 평탄 화 물질 의 특성 에 따라 상기 평탄 화 층 ( 130 ) 은 상기 돌출부 ( 150 ) 의 상부 및 측 부 를 완전히 커버 할 수 있 다 . 상기 평탄 화 층 ( 130 ) 이 상기 돌출부 ( 150 ) 의 상부 및 측 부 를 완전히 커버 하 는 경우 , 상기 돌출부 ( 150 ) 를 제거 하 기 위해 , 상기 돌출부 ( 150 ) 를 감싸 는 상기 평탄 화 층 ( 130 ) 으로부터 상기 돌출부 ( 150 ) 를 노출 시킬 수 있 다 . 상기 돌출부 를 노출 시킨 후 에 는 , 도 4 e 를 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 스트립 용액 을 이용 하 거나 , 도 5 e 를 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 노광 및 현상 하 여 상기 돌출부 ( 150 ) 를 제거 할 수 있 다 . 이 와 는 달리 , 상기 돌출부 ( 150 ) 를 제거 하 기 위해 , 도 6 e 를 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 상기 돌출부 ( 150 ) 를 균열 시키 고 , 상기 균열 된 돌출부 ( 150 ) 를 상기 보호 층 ( 120 ) 으로부터 분리 시킬 수 있 다 .