상기 일 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 티타늄 알루미늄 질화 막 의 형성 방법 에 있 어서 , 기판 상 에 티타늄 을 포함 하 는 제 1 소스 및 질소 를 포함 하 는 제 2 소스 를 반응 시켜 제 1 반응물 을 형성 한다 . 상기 기판 상 에 알루미늄 을 포함 하 는 제 3 소스 및 질소 를 포함 하 는 제 4 소스 를 상기 제 1 반응물 과 반응 시켜 제 2 반응물 을 형성 한다 .