또한 , 롤러 ( 106 ) 의 일 측면 에 는 롤러 ( 106 ) 를 회전 시키 는 구동력 을 제공 하 는 구동 부 ( 108 ) 가 설치 된다 . 구동 부 ( 108 ) 는 모터 등 으로 설치 할 수 있 으며 , 롤러 ( 108 ) 의 중심축 에 설치 되 어 최소한 의 구동력 으로 롤러 ( 106 ) 를 회전 시킬 수 있 다 . 한편 , 배스 ( 110 ) , 웨이퍼 척 ( 104 ) , 롤러 ( 106 ) 및 구동 부 ( 108 ) 는 배스 ( 110 ) 내부 에 저장 되 는 케미컬 ( 도시 하 지 않 음 ) 과 화학 반응 을 하 지 않 는 물질 로 형성 하 거나 이러 한 물질 로 외부 를 코팅 하 는 것 이 바람직 하 다 .