또한 , 기판 ( 13 ) 과 광 디바이스 ( 17 ) 사이 에 는 , 버퍼 층 ( 21 ) 이 에칭 에 의해 개편 화 된 버퍼 층 ( 21 a ) 이 배치 되 어 있 다 . 즉 , 광 디바이스 ( 17 ) 는 각각 버퍼 층 ( 21 a ) 을 통해 기판 ( 13 ) 상 에 배치 되 어 있 다 . 이 버퍼 층 ( 21 a ) 은 , 후술 하 는 버퍼 층 파괴 단계 에서 레이저 빔 의 조사 에 의해 파괴 되 는 층 에 상당 하 고 , 기판 ( 13 ) 과 광 디바이스 ( 17 ) 를 분리 하 기 위한 분리 층 으로서 기능 한다 .