공기 분리 설비 의 흡착 장치 가 개시 된다 . 본 발명 의 실시 예 에 따른 공기 중 의 산소 , 질소 , 아르곤 을 분리 하 는 공기 분리 설비 의 흡착 장치 는 원료 공기 의 수분 과 이산화 탄소 를 흡착 하 는 흡착제 가 내장 된 베드 와 , 베드 의 출구 와 연결 되 며 베드 를 통과 한 원료 공기 의 이 물질 을 거르 는 필터 부가 내장 된 필터 배관 과 , 필터 배관 내부 로 연결 되 며 필 터부 의 세 척 을 위한 유체 를 제공 하 는 역세 배관 및 필터 배관 에 연결 되 며 필 터부 에서 이탈 된 이 물질 을 필터 배관 외부 로 배출 하 는 배출 배관 을 포함 한다 .