라디칼 / 중성 입자 종 들 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 과 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 을 분리 시키 는 가스 분배 유닛 을 통하 여 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 으로부터 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 으로 진행 되 도록 허용 된다 . 그러나 , 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 에서 생성 된 이온 들 은 가스 분배 유닛 에 의해 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 으로 진행 하 는 것 이 방지 된다 . 따라서 , 가스 분배 유닛 은 이온 필터 로서 기능 한다 . 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 으로부터 부여 되 는 라디칼 / 중성 입자 종 들 은 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 에서 의 웨이퍼 프로세싱 에 이용 된다 . 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 에서 생성 된 이온 들 은 웨이퍼 프로세싱 에 이용 된 하전 된 종 들 을 나타낸다 .