중간 실 ( 32 ) 은 예 를 들 면 인접 하 는 진공 반 송실 ( 31 ) 사이 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 주고받 음 시 에 중계 부 로서 이용 되 는 모듈 이 다 . 중간 실 ( 32 ) 의 내부 공간 을 거쳐서 , 인접 하 는 진공 반 송실 ( 31 ) 의 내부 공간 끼리 가 연통 되 어 있 으며 , 이 에 의해 상기 주고받 음 을 가능 하 게 하 고 있 다 .