약액 공급 부재 ( 200 ) 는 기판 ( W ) 의 상면 에 약액 을 공급 하 는 제 1 약액 공급 부재 ( 220 ) 와 , 기판 의 배면 에 약액 을 공급 하 는 제 2 약액 공급 부재 ( 240 ) 를 가진다 . 여기 서 , 기판 을 처리 하 기 위해 약액 공급 부재 ( 200 ) 로부터 공급 되 는 약액 으로 는 식각 액 또는 세정액 등 기판 처리 공정 에 따라 다양 한 약액 이 사용 될 수 있 다 . 식각 공정 에서 는 제거 하 고자 하 는 막 질 의 종류 에 따라 불 산 ( HF ) 이나 황산 ( H 2 SO 4 ) 과 같 은 약액 이 사용 될 수 있 으며 , 세정 공정 에서 는 암모니아 또는 염산 과 이 들 에 과산화수소 와 물 을 혼합 한 혼합 약액 이 사용 될 수 있 다 .