제 1 실시 예 에 비하 여 이러 한 위치 측정 장치 가 확장 된 사항 은 , 지 지체 ( 1 ) 의 표면 ( O 4 ) 에 스캐닝 유닛 들 ( A 14 , A 24 ) 이 배정 된다는 것 이 다 . 이러 한 유리 한 형성 방식 에서 , 피드 방향 ( X ) 으로 연장 되 는 지 지체 ( 1 ) 의 각 표면 ( O 1 , O 2 , O 3 , O 4 ) 에 는 동일 한 수 의 스캐닝 유닛 ( A 11 내지 A 14 , A 21 내지 A 24 ) 이 배정 된다 . 스캐닝 유닛 들 ( A 11 내지 A 14 , A 21 내지 A 24 ) 은 전기 적 소자 를 포함 하 므로 , 이 들 은 열 원 을 나타낸다 . 각각 의 표면 ( O 1 , O 2 , O 3 , O 4 ) 에 각각 동일 한 수 의 스캐닝 유닛 ( A 11 내지 A 14 , A 21 내지 A 24 ) 이 배정 됨 으로써 , 지 지체 ( 1 ) 상 에서 뿐 만 아니 라 홀더 ( 3 ) 상 에서 도 대칭 적 열 입력 이 보장 된다 .