상기 플 라즈 마 영역 ( 107 ) 은 상기 접지 전극 ( 120 ) 과 상기 전원 전극 ( 110 ) 사이 의 서로 마주 보 는 공간 일 수 있 다 . 상기 제 1 가스 가 상기 플 라즈 마 영역 에 공급 되 고 , 플 라즈 마 에 의하 여 상기 제 1 가스 는 이온 화 되 고 , 여기 종 및 활성 종 을 생성 할 수 있 다 . 상기 플 라즈 마 영역 ( 107 ) 은 제 1 방향 을 따라 연장 될 수 있 다 .