본 발명 의 하나 의 과제 를 해결 하 기 위한 보론 카바이드 를 포함 하 는 플 라즈 마 처리 장치 는 플 라즈 마 처리 를 위한 반응 공간 을 형성 하 는 챔버 및 상기 챔버 의 내부 에 위치 하 고 상기 플 라즈 마 와 접촉 하 는 부품 을 포함 한다 . 이때 , 상기 부품 은 플라 즈 마 내 식성 이 있 는 공유 결합성 을 갖 는 보론 카바이드 를 포함 하 며 , 보론 카바이드 로 이루어질 수 있 다 . 상기 보론 카바이드 는 부피 비저항 105 ~ 10 - 5 Ω ㆍ cm 을 갖 는다 .