슬리브 체 ( 100 ) 는 상 · 하부 가 개방 되 고 내부 가 중공 인 슬리브 몸체 ( 110 ) 와 상기 슬리브 몸체 ( 110 ) 의 하부 에 구비 되 어 반도체 생산 공장 의 바닥 면 에 고정 되 는 바닥 고정부 ( 113 ) 와 상기 슬리브 몸체 ( 110 ) 의 상부 에 구비 되 어 상기 연결 배관 유닛 ( 130 ) 이 결합 되 는 결합 부 ( 115 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .