제 1 가스 또는 제 2 가스 가 산소 가스 ( O 2 ) 일 경우 , 반응 챔버 ( 160 ) 내부 에서 플 라즈 마 화 된 산소 활성 종 에 의해 , 반응 챔버 내부 벽면 등 에 형성 된 알칸 계열 , 알켄 계열 , 알킨 계열 을 포함 하 는 탄화수소 의 탄소 - 탄소 간 결합 및 탄소 - 수소 간 결합 이 끊어진다 . 그 후 , 탄소 성분 ( C ) 과 수소 성분 ( H ) 은 자체 적 으로 결합 하 거나 산소 성분 ( O ) 과 결합 하 여 H 20 , CO 2 , CH 4 등 C , H , O 가 조합 된 형태 로 형성 되 어 유량 조절 밸브 ( T V / V ) 및 게이트 밸브 ( Gate V / V ) 의 오픈 과 배기 펌프 ( Pump ) 의 펌핑 에 의하 여 반응 챔버 ( 160 ) 외부 로 배출 된다 .