이러 한 기술 적 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 건조 챔버 는 , 상부 하우징 , 상기 상부 하우징 에 개폐 가능 하 게 결합 되 는 하부 하우징 , 상기 하부 하우징 과 상기 상부 하우징 의 결합 면 에 구비 된 실링 부 , 상기 하부 하우징 의 바닥 면 에 결합 되 어 있 으며 유기 용제 로 습윤 된 ( wetted ) 패턴 이 형성 되 어 있 는 기판 이 배치 되 는 기판 배치 판 , 상기 상부 하우징 의 중앙 영역 에서 상기 기판 배치 판 을 향하 도록 형성 되 어 건조 용 초임계 유체 의 공급 경로 를 제공 하 는 상부 공급 포트 , 상기 하부 하우징 에 형성 되 어 있 으며 초기 가압 용 초임계 유체 의 공급 경로 및 상기 건조 용 초임계 유체 의 공급 에 따른 건 조 후 상기 건조 용 초임계 유체 에 상기 유기 용제 가 용해 된 혼합 유체 의 배출 경로 를 제공 하 는 일체 형 공급 / 배출 포트 및 상기 하부 하우징 에 형성 되 어 있 으며 상기 실링 부 에 함침 ( impregnation ) 되 거나 상기 실링 부 주변 에 존재 하 는 이 물질 이 유입 되 어 외부 로 배출 되 는 경로 를 제공 하 는 이 물질 배 출부 를 포함 한다 .