칼럼 형 봉입 벽 ( 405 ) 은 액체 수집 기 ( 404 ) 를 둘러싼다 . 봉입 벽 ( 405 ) 은 , 봉입 벽 ( 405 ) 을 상하 이동 하 도록 구동 하 는 적어도 하나 의 구동 메커니즘 ( 406 ) 에 연결 한다 . 상기 실시 예 에 도시 된 바 와 같이 , 봉입 벽 ( 405 ) 을 상하 이동 하 도록 구동 하 기 위해 봉입 벽 ( 405 ) 에 연결 하 도록 제공 된 2 개 의 구동 메커니즘 ( 406 ) 이 있 다 . 봉입 벽 ( 405 ) 이 구동 메커니즘 ( 406 ) 에 의해 위 로 이동 하 도록 구동 될 때 , 봉입 벽 ( 405 ) 의 상단 부 는 밀봉 에 도달 하 기 위해 챔버 ( 401 ) 의 상부 벽 ( 4011 ) 과 접촉 하 고 , 봉입 벽 ( 405 ) 의 하단 부 는 밀봉 에 도달 하 기 위해 액체 수집 기 ( 104 ) 의 상단 부 와 접촉 한다 . 밀봉 을 개선 하 기 위해 , 봉입 벽 ( 405 ) 의 상단 부 와 챔버 ( 401 ) 의 상부 벽 ( 4011 ) 사이 에 는 시일 링 이 배치 되 고 , 봉입 벽 ( 405 ) 의 하단 부 와 액체 수집 기 ( 404 ) 의 상단 부 사이 에 는 제 2 시 일 링 ( 409 ) 이 배치 된다 . 따라서 , 구동 메커니즘 ( 406 ) 이 봉입 벽 ( 405 ) 을 위 로 이동 하 도록 구동 할 때 , 도 4 c 에 도시 된 바 와 같이 , 밀 봉실 ( 410 ) 은 액체 수집 기 ( 404 ) , 봉입 벽 ( 405 ) , 챔버 ( 401 ) 의 상부 벽 ( 4011 ) , 및 챔버 ( 401 ) 의 하부 벽 ( 4013 ) 에 의해 형성 된다 .