광 입력 부 ( 300 ) 는 반도체 기판 ( 100 ) 전면 의 전방 에서 제 1 광 ( L 1 ) 이 입사 되 는 부분 으로 , 도 5 및 도 6 에서 는 반사 방지 막 ( 310 ) 이 형성 된 반도체 기판 ( 100 ) 의 전면 중 일부분 일 수 있 다 . 반사 방지 막 ( 310 ) 은 반도체 기판 ( 100 ) 의 전면 일부분 이 단수 또는 복수 의 유전체 박막 으로 코팅 된 것 으로 , 표면 이 반사 방지 막 ( 310 ) 으로 코팅 된 광 입력 부 ( 300 ) 는 반도체 기판 ( 100 ) 전면 에 형성 된 광 검출기 ( 200 ) 와 수평 방향 으로 일정 간격 이격 된 위치 에 배치 될 수 있 다 . 반사 방지 막 ( 310 ) 은 실리콘 산화 막 또는 실리콘 질화 막 으로 이루어질 수 있 다 .