또 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 의 적어도 한쪽 에서 는 , 노광 광 ( EL ) 에 대한 종단 광학 소자 의 굴절 률 n 1 을 , 노광 광 ( EL ) 에 대한 액체 ( LQ ) 의 굴절 률 n 2 보다 작 게 해도 된다 . 예 를 들 면 , 종단 광학 소자 를 석영 ( 굴절 률 은 약 1 . 5 ) 으로 형성 하 고 , 액체 ( LQ ) 는 그 굴절 률 n 2 가 석영 의 굴절률 보다 높 은 ( 예 를 들 면 1 . 6 ~ 1 . 8 정도 ) 것 이 사용 된다 . 혹은 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 의 적어도 한쪽 에서 는 , 종단 광학 소자 의 굴절 률 n 1 을 , 액체 ( LQ ) 의 굴절 률 n 2 보다 크 게 해도 된다 . 예 를 들 면 , 굴절 률 이 1 . 6 이상 의 재료 로 종단 광학 소자 를 형성 하 고 , 액체 ( LQ ) 는 그 굴절 률 n 2 가 순수 보다 크 고 또 한 종단 광학 소자 보다 작 은 것 이 사용 된다 . 이 경우 , 종단 광학 소자 의 굴절 률 n 1 보다 작 은 액체 ( LQ ) 의 굴절 률 n 2 를 , 투영 계 의 개구수 NA 보다 크 게 하 는 것 이 바람직 하 다 .