시뮬레이션 , 수학 적 모델 링 및 / 또는 측정 / 실험 에 의하 여 다양 한 함수 가 획득 될 수 있 다 . 더욱이 , 여기 에 보여 지 지 않 은 ( FE 곱하 기 MSD 의 함수 로서 의 초점 등 과 같 은 ) 교차 항 ( cross term ) 이 있 을 수 있 다 . 초점 의 절대 값 을 획득 하 기 위해 초점 의 공칭 값 또는 시뮬레이션 값 이 기여 도 와 조합 될 수 있 다 . a 1 , b 1 , c 1 와 같 은 계수 는 각 처리 변수 또는 그 의 함수 와 관련 하 여 초점 의 민감 도 이 다 . 이 예 에서 , 기여 도 는 기판 전체 에 걸친 것 이 지만 , 실시 예 에서 , 다 이 / 필드 당 하나 이상 의 기여 도 일 수 있 다 ( 이 는 이후 , 예 를 들 어 인 스턴스 들 각각 에서 적용 가능 한 조건 에 따라 기판 에 전체 에 걸쳐 반복 될 수 있 다 ) . 위 에서 언급 된 바 와 같이 , 기여 도 ( 470 ) 는 기판 / 다 이 / 필드 에 걸쳐 공간 적 으로 한정 될 수 있 기 때문 에 핑거 프린트 로 특징지 어 질 수 있 다 . 또한 , 절대 값 으로 의 기여 도 의 변환 ( translation ) 은 기여 도 가 기판 / 다 이 / 필드 에 걸쳐 공간 적 으로 한정 될 수 있 기 때문 에 핑거 프린트 로 특징지 어 질 수 있 다 . 인식 될 바 와 같이 , 패 터닝 공정 을 이용 한 다수 의 기판 의 처리 로부터 의 데이터 는 각각 의 기여 도 를 유도 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 이 데이터 는 기판 을 처리 하 는 공정 의 부산물 일 수 있 기 때문 에 이미 이용 가능 할 수 있 다 .