반응 챔버 ( 12 ) 내부 로부터 전 구체 가스 , 즉 반응 성 증기 의 제거 에 더 도움 을 주 기 위해 , 제거 시스템 은 가스 라인 ( 128 ) 을 통해 가스 분배 기 ( 132 ) 에 유체 연결 되 는 공급원 용기 ( 116 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 공급원 용기 ( 116 ) 는 , 예 를 들 어 아르곤 ( Ar ) , 질소 ( N 2 ) , 또는 헬륨 ( He ) 과 같 은 퍼지 가스 를 함유 하 고 저장 할 수 있 다 . 공급원 용기 ( 116 ) 와 연관 된 흐름 제어기 ( 120 C ) 및 밸브 ( 122 C ) 는 흐름 및 특히 가스 라인 ( 128 ) 을 통해 가스 분배 기 ( 132 ) 및 반응 챔버 ( 12 ) 내 로 전달 되 는 퍼지 가스 의 질량 흐름 을 제어 할 수 있 되 , 퍼지 가스 는 반응 챔버 ( 12 ) 로부터 의 기상 전구체 가스 , 불활성 가스 및 부산물 그리고 특히 개질 가능 층 ( 106 ) 의 노광 표면 으로부터 의 퍼지 전구체 가스 및 미 반응 부산물 을 제거 하 는 데 도움 을 줄 수 있 다 . 퍼지 가스 ( 및 임의 의 연관 된 전구체 및 부산물 ) 는 진공 펌프 ( 138 ) 의 활용 을 통해 배기 포트 ( 134 ) 를 통해 반응 챔버 ( 12 ) 를 빠져 나갈 수 있 다 .