제 1 라이너 층 ( 104 ) 은 산화물 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 라이너 층 ( 105 ) 은 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 라이너 층 ( 104 ) 은 실리콘 산화물 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 라이너 층 ( 105 ) 은 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 흡착 층 ( 107 ) 은 불소 가 흡착 된 산화물 또는 불소 가 흡착 된 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 흡착 층 ( 107 ) 은 불소 흡착 실리콘 산화물 또는 불소 흡착 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 다 .