이 후 , 도 18 a 내지 도 18 c 를 참조 로 설명 한 것 과 동일 한 공정 을 수행 하 여 제 1 라인 패턴 , 제 2 라인 패턴 및 페리 용 라인 을 포함 하 는 패턴 구조물 ( 540 ) 을 형성 한다 . 이 때 , 상기 제 1 라인 패턴 , 제 2 라인 패턴 및 페리 용 라인 은 도전 물질 로 형성 한다 . 즉 , 상기 식각 대상 막 에 생성 된 개구부 에 매립 되 는 물질 은 도전 물질 이 며 , 상기 매립 막 은 금속 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 매립 막 은 구리 를 포함 할 수 있 다 .