계속 해서 , 성막 시스템 ( 100 ) 에서 는 , ALD 사이클 1 ( 부호 231 ) 을 실행 개시 한다 . 구체 적 으로 는 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 1 에 있 어서 , 밸브 ( 53 e , 57 e ) 를 개방 하 여 , N 2 가스 공급원 ( 53 a , 57 a ) 으로부터 각각 가스 공급 라인 ( 53 b , 57 b ) 에 미리 정해진 유량 ( 예컨대 100 sccm ∼ 3000 sccm ) 의 캐리어 가스 ( N 2 가스 ) 를 공급 한다 . 또한 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 1 에 있 어서 , 밸브 ( 54 e ) 를 개방 하 여 , 환원 가스 공급원 ( 54 a ) 으로부터 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 에 미리 정해진 유량 ( 예컨대 500 sccm ∼ 8000 sccm ) 의 환원 가스 를 공급 한다 . 또한 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 1 에 있 어서 , 저류 탱크 ( 52 d , 56 d ) 에 각각 저류 된 퍼지 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 , 미리 정해진 시간 ( 예컨대 0 . 05 초 ∼ 5 초 ) 공급 한다 . 또한 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 1 에 있 어서 , 프리 커서 공급원 ( 51 a ) 및 환원 가스 공급원 ( 55 a ) 으로부터 각각 프리 커서 및 환원 가스 를 가스 공급 라인 ( 51 b , 55 b ) 에 공급 한다 . 이때 , 밸브 ( 51 e , 55 e ) 가 폐쇄 되 어 있 기 때문 에 , 프리 커서 및 환원 가스 는 , 저류 탱크 ( 51 d , 55 d ) 에 각각 저류 되 고 , 저류 탱크 ( 51 d , 55 d ) 내 가 승압 된다 .