도 1 에 나타낸 동작 에 있 어서 , 보정 값 의 설정 은 , 레티 클 스테이지 및 웨이퍼 스테이지 중 의 한 개 의 목표치 에 대해서 행해져 도 되 고 , 혹은 양쪽 스테이지 의 목표치 에 대하 여 배분 해 행해도 된다 . 도 1 에 는 도시 하 지 않 았 지만 , 대표 적 인 디스토션 보정 공정 을 , 스텝 S 201 ~ S 204 의 사이 에 추가 도 포함 시켜 도 괜찮 다 .