유체 공급 유닛 ( 600 ) 은 바디 ( 520 ) 의 처리 공간 ( 502 ) 으로 세정 유체 를 공급 한다 . 일 예 에 의하 면 , 세정 유체 는 초임계 상태 로 처리 공간 ( 502 ) 으로 공급 될 수 있 다 . 이 와 달리 세정 유체 는 가스 상태 로 처리 공간 ( 502 ) 으로 공급 되 고 , 처리 공간 ( 502 ) 내 에서 초임계 상태 로 상변 화 될 수 있 다 .