흡착 암 ( 71 ) 은 , 도 4 ∼ 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 블레이드 ( 61 ) 를 흡착 하 는 제 1 흡착 부 ( 711 ) 와 , 바깥쪽 플랜지 ( 64 ) 를 흡착 하 는 제 2 흡착 부 ( 712 ) 와 , 탈착 부재 ( 65 ) 를 회전 시키 는 탈착 부재 회 전부 ( 713 ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 흡착 암 ( 71 ) 은 이동 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해서 스핀들 ( 62 ) 에 대해서 상대 적 으로 이동 하 도록 구성 되 어 있 다 ( 도 3 참조 ) .