열 및 복사 가 결합 된 예 에서 , 템플 릿 패턴 이 전사 되 고 도 1 에서 ( 3 ) 에 해당 하 는 폴리머 호일 은 , 자외선 - 투과성 일 필요 가 있 다 . 자외선 - 가교 - 결합 가능 한 폴 리머 , 예 를 들 어 미국 마이크 로 켐 ( MicroChem ) 사 의 SU 8 과 같 은 음감 광제 ( negative photoresist ) 는 , 폴리머 호일 위 에서 스핀 - 코팅 ( spin - coated ) 된다 . 템플 릿 ( 1 ) 및 코팅 된 폴리머 호일 은 , 한 군데 로 모이 고 폴리머 호일 위 로 임프 린트 멤 브레인 에 의해 덮인다 . 임프 린트 온도 로 가열 한 후 , 그 이후 에 는 열팽창 효과 를 제거 하 기 위해 , 온도 는 남 은 전체 임프 린트 공정 동안 일정 하 게 유지 된다 . 샌드위치 는 압축 되 고 , 전형 적 인 체류 시간 ( typical flow time ) , 예 를 들 어 30 초 후 에 폴리머 는 자외선 - 복사 에 의해 가 교 - 처럼 되 고 , 그 후 예 들 들 어 30 초 정도 의 노광 후 열처리 ( post exposure bake ) 된다 . 냉각 은 필요 없 고 , 압력 은 바로 방출 될 수 있 으며 , 그 후 임프 린트 멤 브레인 의 제거 및 탈 형 이 일어난다 . 또한 , 좋 은 음감 광제 는 노광 후 자외선 흡수 성질 을 잃 는다 .