위 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 고안 은 , 기판 세정 용 상부 노즐 모듈 과 하부 노즐 모듈 을 지지 하 면서 상기 상부 노즐 모듈 과 하부 노즐 모듈 측 으로 각각 이 류체 버블 형성 을 위한 세정액 과 에어 를 공급 할 수 있 도록 , 외부 로부터 세정액 이 유입 되 는 세정액 유입 구와 , 외부 로부터 에어 가 유입 되 는 에어 유입 구와 , 상기 세정액 유입 구로 유입 된 세정액 을 상기 상부 노즐 모듈 과 하부 노즐 모듈 측 으로 유출 하 는 세정액 유출 구와 , 상기 에 어 유입 구로 유입 된 에어 를 상기 상부 노즐 모듈 과 하부 노즐 모듈 측 으로 유출 하 는 에어 유출 구와 , 상기 세정액 유입 구와 세정액 유출 구 를 연통 시키 는 세정액 유로 및 , 상기 에 어 유입 구와 에어 유출 구 를 연통 시키 는 에어 유로 를 각각 구비 한 기판 세 정용 이 류체 공급 모듈 을 개시 한다 .