또한 , 제 1 내지 제 4 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 제 1 방향 X 에 있 어서 의 양 단부 는 , 평면 으로 보 아 둥그스름 한 형상 으로 되 어 있 다 . 즉 , 각 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 는 대국 적 으로 보 면 직사각 형상 으로 형성 되 어 있 지만 , 그 코너 부 에 는 둥그스름 한 만곡부 ( 45 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 각 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 코너 부 가 매끄럽 게 만곡 형 으로 형성 되 어 , 액상 의 작 동액 ( 2 ) 의 유로 저항 의 저감 이 도모 되 어 있 다 . 또한 , 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 도 19 에 있 어서 의 우측 의 단부 및 좌측 의 단부 에서 는 각각 , 두 만곡부 ( 45 ) 가 마련 되 어 있 고 , 이 들 두 만곡부 ( 45 ) 사이 에 직선형 부분 ( 46 ) 이 마련 되 어 있 는 예 가 도시 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 제 1 내지 제 4 연락 홈 ( 51 내지 54 ) 의 폭 w 3 ' 은 제 1 방향 X 에 서로 인접 하 는 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 직선형 부분 ( 46 ) 사이 의 거리 로 한다 . 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 각 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 에 만곡부 ( 45 ) 가 형성 되 어 있 지 않 은 경우 도 마찬가지 이 다 . 그러나 , 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 의 단부 형상 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 우측 의 단부 및 좌측 의 단부 의 각각 에 , 직선형 부분 ( 46 ) 이 마련 되 는 일 없이 , 단부 의 전체 가 만곡 되 도록 ( 예 를 들 어 , 반원형 과 같이 ) 형성 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 의 각 연락 홈 ( 51 내지 54 ) 의 폭 w 3 ' 은 제 1 방향 X 에 있 어서 서로 인접 하 는 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 사이 의 최소 거리 로 한다 . 또한 , 도면 을 명료 하 게 하 기 위해 , 도 19 에 있 어서 는 , 가장 아래 에 도시 한 제 4 볼록 부 ( 44 a ) 에 만곡부 ( 45 ) 및 직선형 부분 ( 46 ) 을 대표 적 으로 도시 하고 있 다 .