상기 한 바 와 같이 , 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 된 복수 의 웨이퍼 ( 10 ) 모두 에 대해 레이저 가공 을 실시 한 경우 , 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 된 모든 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 는 , 도 3 의 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 카세트 ( 42 ) 의 개구 ( 42 a ) 의 중앙 을 지나 Y 축 방향 으로 연장 되 는 중앙선 ( C ) 상 에 대해 시계 방향 으로 45 ° 회전 한 상태 로 위치 시켜 져 있 게 된다 . 즉 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 제 어 유닛 ( 100 ) 은 , 반 출입 기구 ( 50 ) 에 의해 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 카세트 ( 제 1 카세트 ( 42 ) , 제 2 카세트 ( 43 ) ) 에 수용 할 때 , 웨이퍼 ( 10 ) 에 형성 된 결정 방위 를 나타내 는 마크 ( 노치 ( 16 ) ) 를 , 미 가공 의 웨이퍼 ( 10 ) 가 카세트 ( 제 1 카세트 ( 42 ) , 제 2 카세트 ( 43 ) ) 에 수용 되 어 있 을 때 의 방향 과 는 상이 한 소정 의 방향 으로 위치 시켜 카세트 에 수용 한다 . 이 로써 , 예 를 들 어 , 도 1 에 나타내 는 레이저 가공 장치 ( 1 ) 에 있 어서 , 제 1 카세트 ( 42 ) 또는 제 2 카세트 ( 43 ) 중 어느 것 에 수용 된 웨이퍼 ( 10 ) 가 가공 완료 인 것 인지 를 , 순간 적 으로 판단 하 는 것 이 가능 하 고 , 확실히 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 가 수용 된 카세트 를 선택 할 수 있 어 , 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 다시 레이저 가공 장치 ( 1 ) 에 의해 가공 해 버린다는 문제 가 해소 된다 .