진공 척 테이블 ( 240 ) 의 거치 부 ( 241 ) 에 지지 링 ( 250 ) 을 안착 시키 고 상기 진공 척 테이블 ( 240 ) 을 상승 시켜 준다 ( S 220 ) . 상기 진공 척 테이블 ( 240 ) 은 상기 확장 링 ( 230 ) 과 일정 간격 을 두 고 상기 확장 링 ( 230 ) 의 하측 방향 으로 배치 된다 . 상기 진 공 척 테이블 ( 240 ) 은 샤프트 ( 245 ) 에 의해 상기 캐리어 테이프 ( 230 ) 를 향해 상측 으로 상승 된다 . 상기 진공 척 테이블 ( 240 ) 은 평평 한 플랫 폼 부 ( 243 ) 와 상기 플랫폼 부 ( 243 ) 를 둘러싸 도록 배열 된 거 치부 ( 241 ) 를 구비 한다 . 상기 확장 링 ( 230 ) 은 상기 플랫 폼 부 ( 243 ) 에 의해 상기 캐리어 테이프 ( 220 ) 로 힘 이 작용 할 때 상기 캐리어 테이프 ( 220 ) 를 확장 시켜 주 는 역할 을 한다 .