이때 , 상기 실리콘 막 또는 산화 실리콘 막 이 형성 된 기판 에서 의 기판 은 통상 적 으로 사용 되 는 것 이 라면 특별히 한정 하 지 않 고 사용 할 수 있 으며 , 구체 적 으로 예 를 들 면 유리 기판 , 사파이어 기판 , 세라믹 기판 , 폴리 이미드 ( PI ) 기판 또는 폴리에틸렌 테레프탈 레이트 ( PET ) 기판 등 일 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 않 는다 .