상기 와 같 은 구성 을 갖 는 비접 촉식 기판 반송 용 척 ( 1 ) 은 그 상부 즉 상부 플레이트 ( 2 ) 의 상부 를 이동 장치 ( 도시 생략 ) 에 연결 , 설치 함 으로써 , 상기 이동 장치 를 구동 시켜 상기 노즐 부 ( 4 ) 에 기판 을 부상 , 고정 시킨 다음 재차 상기 이동 장치 의 구동 에 의해 그 기판 을 원하 는 위치 에 이동 시킬 수 있 게 된다 . 또한 , 상기 상부 플레이 트 ( 2 ) 의 공기 주입구 ( 21 ) 에 는 외부 의 압축 공기 가 상기 노즐 부 에 전달 되 도록 호스 ( 도시 생략 ) 가 장 , 탈착 가능 하 게 연결 된다 .