본 발명 의 일실 시예 에 따른 RF 센서 ( 135 ) 는 전력 증폭기 ( 130 ) 로부터 출력 되 는 전기 적 신호 를 검출 하 여 전기 적 신호 를 출력 한다 . 여기 서 , 전기 적 검출 신호 는 검출 전류 값 ( Is ) , 검출 전압 값 ( Vs ) , 전력 증폭기 ( 130 ) 로부터 RF 부하 ( 160 ) 로 공급 되 는 진행파 전력 ( PFWD ) , 및 RF 부하 ( 160 ) 로부터 전력 증폭기 ( 130 ) 로 반사 되 는 반사파 전력 ( PREF ) 중 적어도 어느 하나 이상 일 수 있 다 .