압력 측정 부재 ( 930 ) 는 탄성 부재 ( 920 ) 에 연결 되 어 리프트 핀 ( 910 ) 에 가해 지 는 압력 을 측정 한다 . 압력 측정 부재 ( 930 ) 는 전극 및 다이어프램 을 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 압력 측정 부재 ( 930 ) 는 감압 센서 일 수 있 다 . 탄성 부재 ( 920 ) 및 압력 측정 부재 ( 930 ) 는 가이드 부재 ( 940 ) 에 의해 둘러싸여 제공 될 수 있 다 . 제 어 부재 는 압력 측정 부재 ( 930 ) 에서 측정 된 압력 을 이용 하 여 기판 의 디 척 킹 ( Dechucking ) 동작 의 실패 여부 를 판단 할 수 있 다 . 구체 적 으로 , 제 어 부재 는 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 가 상승 할 때 압력 측정 부재 ( 930 ) 에서 측정 된 압력 이 제 1 값 을 초과 하 는 경우 서 셉 터 ( 210 ) 에 정전기력 이 잔존 하 는 것 으로 판단 할 수 있 다 . 또한 , 제 어 부재 는 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 가 상승 할 때 압력 측정 부재 ( 930 ) 에서 측정 된 압력 이 제 1 값 보다 큰 제 2 값 을 초과 하 는 경우 기판 의 디 척 킹 동작 이 실패 한 것 으로 판단 할 수 있 다 . 일 예 로 , 서 셉 터 ( 210 ) 에 잔존 하 는 정전기력 이 없 는 경우 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 의 상 승시 리프트 핀 ( 910 ) 에 가해 지 는 압력 을 제 1 값 으로 설정 하 고 , 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 가 상승 할 때 압력 측정 부재 ( 930 ) 에서 측정 된 압력 이 제 1 값 을 초과 하 는 경우 서 셉 터 ( 210 ) 에 정전기력 이 잔존 하 는 것 으로 판단 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 값 은 서 셉 터 ( 210 ) 에 잔존 하 는 정전기력 이 없 는 경우 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 의 상 승시 리프트 핀 ( 910 ) 에 가해 지 는 압력 보다 큰 값 으로 설정 될 수 있 다 . 다른 예 로 , 기판 이 손상 되 거나 리프트 핀 ( 910 ) 이 손상 될 수 있 는 압력 을 제 2 값 으로 설정 하 고 , 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 가 상승 할 때 압력 측정 부재 ( 930 ) 에서 측정 된 압력 이 제 2 값 을 초과 하 는 경우 기판 의 디 척 킹 동작 이 실패 한 것 으로 판단 할 수 있 다 . 이 경우 , 제 어 부재 는 구 동기 ( 820 ) 를 제어 하 여 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 의 구동 을 정지 할 수 있 다 . 또한 , 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 는 제어 부재 에서 디 척 킹 동작 이 실패 한 것 으로 판단 하 는 경우 알람 을 발생 시키 는 알람 부재 ( 미 도시 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 즉 , 본 발명 은 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 가 리프트 핀 ( 910 ) 하부 에 제공 되 는 탄성 부재 ( 920 ) 를 포함 하 여 기판 및 리프트 핀 ( 910 ) 의 손상 을 방지 할 수 있 으며 , 리프트 핀 ( 910 ) 에 가해 지 는 압력 을 측정 하 여 리프트 핀 구조 체 ( 900 ) 의 구동 을 정지 하 고 기판 의 디 척 킹 동작 의 실패 를 작업자 에게 알릴 수 있 다 . 제 어 부재 는 압력 측정 부재 ( 930 ) 와 같이 하나 의 장치 로 제공 될 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 별개 의 장치 로 구현 되 어 리프트 핀 ( 910 ) , 압력 측정 부재 ( 930 ) 및 구 동기 ( 820 ) 와 연결 될 수 도 있 다 .