도 1 은 종래 기술 에 따른 유체 공급 장치 의 일례 를 도시 한 구성도 이 다 . 도 1 을 참조 하 면 , 종래 의 유체 공급 장치 ( 10 ) 는 웨이퍼 공정 모듈 ( 20 ) 에 약액 ( 예 ; IPA ) 을 제공 하 기 위해서 약액 을 배관 ( 12 ) 을 통해 탱크 ( 11 ) 에 제공 하 여 저장 하 고 배관 ( 13 ) 을 통해 질소 ( N 2 ) 를 탱크 ( 11 ) 내 로 불어넣 어 약액 을 기포 로 만든 다 . 기포 화 된 약액 은 배관 ( 14 ) 을 통해 공정 모듈 ( 20 ) 에 공급 된다 . 공정 모듈 ( 20 ) 은 약액 을 이용 한 웨이퍼 가공 장비 , 가령 약액 이 에 천 트인 경우 에 는 에칭 장비 일 수 있 고 약액 이 이소프로필알코올 ( IPA ) 인 경우 에 는 건조 장비 일 수 있 다 . 탱크 ( 11 ) 내 의 약액 ( IPA ) 의 레벨 은 레벨 센서 ( 16 ) 에 의해 압력 은 압력 센서 ( 15 ) 에 의해 측정 된다 . 약액 의 배출 은 탱크 ( 11 ) 의 하부 에 구비 된 배관 ( 17 ) 을 통해 이루어진다 . 각 배관 들 ( 12 , 13 , 14 , 17 ) 에 는 약액 이나 질소 의 흐름 을 단속 하 는 밸브 들 ( 12 a , 13 a , 14 a , 17 a ) 이 구비 되 어 있 다 .