희생 산화 막 은 게이트 절 연막 을 형성 하 기 전 에 , 예컨대 불화 수소산 ( HF ) 등 의 약액 에 의해 제거 된다 . 그러나 , 불화 수소산 등 의 약액 은 소자 영역 을 획정 하 기 위한 산화 막 ( 이하 , 매립 산화 막 이 라 한다 ) 을 에칭 하 기 때문 에 , 희생 산화 막 을 제거 하 기 전 및 후 에 있 어서 , 매립 산화 막 각각 의 높이 에 변화 가 발생 한다 .