비 교예 1 과 조건 1 의 측정 결과 를 비교 하 면 , 상기 압력 차 를 축소 시켜서 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 함 으로써 , 파티클 의 개수 가 감소 하 고 있 는 것 을 알 수 있 다 . 비 교예 2 와 조건 2 의 측정 결과 를 비교 하 면 , 상기 압력 차 를 축소 시켜서 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 함 으로써 , 파티클 의 개수 가 감소 하 고 있 는 것 을 알 수 있 다 . 도 23 의 ( a ) 에 는 , 조건 2 에서 의 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 ( 액 압 ) 의 시간 변동 이 도시 되 어 있 다 . 압력 차 를 축소 시키 지 않 고 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 할 경우 의 액 압 의 시간 변동 ( 예 를 들 어 , 도 14 의 ( a ) 에 도시 하 는 시간 변동 ) 과 비교 하 여 , 보충 준비 에서 의 처리 액 의 헌팅 ( 압력 변동 ) 이 작 은 것 을 알 수 있 다 . 이 헌팅 의 억제 가 파티클 감소 의 요인 이 라고 생각 할 수 있 다 . 또한 , 조건 2 에서 는 , 보충 중 의 처리 액 의 보충 압력 의 목표 값 은 , 설정 값 ( Pr ) 으로 유지 해서 측정 을 행하 였 다 .