연마 테이블 ( 100 ) 내 의 코어 ( 154 ) 의 설치 방향 은 , 코어 ( 154 ) 의 자장 이 강해 지 는 방향 ( 즉 , 자속 의 확산 이 적 은 방향 ) 과 , 코어 ( 154 ) 의 회전 방향 이 일치 하 도록 배치 된다 . 코어 ( 154 ) 의 자장 이 강해 지 는 방향 과 , 코어 ( 154 ) 의 회전 방향 이 일치 하 도록 배치 하 는 이유 는 , 웨이퍼 ( WH ) 의 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 의 센서 출력 의 상승 을 빠르 게 하 기 위해서 이 다 . 여기 서 , 에지 영역 ( 158 ) 이 란 , 센서 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 바로 아래 에 실질 적 으로 들어가 기 시작 하 였을 때 ( 「 센서 출력 이 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 실질 적 으로 검지 하 기 시작 한 상태 」 ) 부터 , 센서 전체 가 실질 적 으로 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 바로 아래 에 들어갔 을 때 ( 「 센서 의 출력 이 실질 적 으로 최대 가 된 상태 」 ) 까지 의 기간 ( 혹은 그 기간 에 있 어서 의 센서 의 이동 거리 ) 을 말 한다 .