사용 하 는 현상액 으로서 는 특별히 제약 은 없 고 , 일본 특허 공개 평 5 - 72724 호 공보 에 기재 된 것 등 공지 의 현상액 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 현상액 은 수지 층 이 용해 형 의 현상 거동 을 하 는 것 이 바람직 하 고 , 예 를 들 면 , pKa = 7 ~ 13 의 화합물 을 0 . 05 ~ 5 몰 / L 의 농도 로 함유 하 는 것 이 바람직 하 지만 , 또한 물 과 혼화성 을 갖 는 유기 용제 를 소량 첨가 해도 좋 다 .