일 측 에 따르 면 , 상기 복수 의 압력 챔버 는 상기 연마 패드 의 폭 방향 을 따라 평행 하 게 형성 될 수 있 다 . 상기 복수 의 압력 챔버 는 상기 중앙 챔버 에 대해서 양측 으로 대칭 되게 형성 될 수 있 다 . 상기 복수 의 압력 챔버 는 상기 연마 패드 의 가장자리 외측 에 대응 되 는 위치 에 적어도 하나 이상 의 압력 챔버 가 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 복수 의 압력 챔버 중 상기 제 1 외측 챔버 또는 상기 제 1 외측 챔버 에 인접 하 는 제 2 외측 챔버 가 상기 연마 패드 의 가장자리 가 걸쳐 지 도록 형성 될 수 있 다 .