TM ( 2400 ) 은 부압 하 에서 웨이퍼 ( 200 ) 가 반송 되 는 반송 공간 이 되 는 반 송실 로서 기능 한다 . TM ( 2400 ) 을 구성 하 는 광체 ( 筐 體 ) ( 2410 ) 는 평면 시 가 오각형 으로 형성 되 고 , 오각형 의 각 변 ( 邊 ) 중 , 로드 록 실 ( 2300 ) 이 연결 되 는 변 을 제외 한 각 변 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 하 는 기판 처리 장치 ( 100 ) 가 복수 대 ( 예컨대 4 대 ) 연결 된다 . TM ( 2400 ) 의 대략 중앙부 에 는 부압 하 에서 웨이퍼 ( 200 ) 를 이재 ( 반송 ) 하 는 제 2 반송 로봇 으로서 의 진공 반송 로봇 ( 2700 ) 이 설치 된다 . 또한 여기 서 는 진공 반 송실 ( 2400 ) 을 오각형 의 예 를 제시 했 지만 , 사각형 이나 육각형 등 의 다각형 이 어도 좋 다 .