이 와 같 은 공정 을 통해 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 감지 한 후 , 상기 이 송암 ( 320 ) 을 통해 상기 공정 챔버 ( 20 ) 또는 상기 로딩 챔버 ( 10 ) 로 이송 시킨 다음 , 다시 상기 이 송암 ( 320 ) 을 상기 이송 챔버 ( 200 ) 로 복귀 시키 는 데 걸리 는 공정 시간 ( PT ) 은 별도 로 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 감지 하 는 공정 이 필요 한 종래 보다 약 8 초 단축 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 종래 의 경우 , 약 35 초 소요 되 는 반 해 , 본 발명 의 상기 웨이퍼 이송 장치 ( 100 ) 를 이용 하 면 약 27 초 정도 소요 될 수 있 다 .