또한 , 처리 용기 ( 10 ) 의 측벽 에서 의 상부 에 는 , 환상 으로 형성 된 배기 로 로서 의 배기 덕트 ( 60 ) 가 , 적재 대 ( 20 ) 에 대하 여 동심 이 되 도록 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 60 ) 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 중심 측 에 개구 되 는 개구 ( 60 a ) 가 내주 전체 둘레 에 걸쳐서 형성 되 도록 , 예 를 들 어 단면 으로 보 아 U 자 형상 으로 형성 된 부재 를 원환 상 으로 만곡 시켜 구성 되 어 있 다 . 또한 , 배기 덕트 ( 60 ) 에 있 어서 상기 U 자상 을 이루 는 홈 의 깊이 는 예 를 들 어 45 mm 정도 이 고 , 개구 ( 60 a ) 로부터 샤워 헤드 ( 42 ) 까지 의 최단 거리 는 예 를 들 어 50 mm 정도 이 다 .