그리고 , 상기 본체 의 외부 에 구비 되 어 나노 입자 현탁액 을 수용 하 는 보조 탱크 와 ; 상기 수용 용기 의 상단 에 관통 되 어 상기 보조 탱크 에 연결 되 는 배출관 과 ; 상기 수용 용기 의 하단 에 관통 되 어 상기 보조 탱크 에 연결 되 는 공급 관로 구성 되 어 나노 입자 현탁액 을 순환 시키 는 현탁액 순환 부를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .