구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 기체 밸브 ( 49 ) 를 열 어 기체 노즐 ( 42 ) 의 토출구 ( 42 a ) 로부터 의 기체 의 토출 을 개시 한다 . 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 되 는 기체 의 온도 는 실온 이라도 좋 고 , 실온 보다 높 아도 좋 다 . 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 된 기체 는 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에서 제 2 액 막 ( F 2 ) 과 충돌 한 후 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐른다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 상면 의 중앙부 에서 외방 으로 흐르 는 기류 가 형성 된다 .