2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 복귀 부 ( RT 4 ) 로부터 중간막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 수취 하 여 , 버퍼 부 ( BU 2 ) 와 같 은 계층 ( 2 층 ) 에 있 어서 , 수취 한 기판 ( W ) 을 냉 각부 ( CP ) , 검사 부 ( LSCM ) 의 순서 로 반송 한다 . 이 검사 후 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 기판 ( W ) 을 복귀 부 ( RT 8 ) 에 반송 한다 . 또한 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 버퍼 부 ( BU 3 ) 의 복귀 부 ( RT 5 ) 로부터 포토레지스트 막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 수취 하 여 , 버퍼 부 ( BU 3 ) 와 같 은 계층 ( 3 층 ) 에 있 어서 , 수취 한 기판 ( W ) 을 냉 각부 ( CP ) , 검사 부 ( LSCM ) 의 순서 로 반송 한다 . 이 검사 후 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 중 한쪽 은 , 기판 ( W ) 을 복귀 부 ( RT 9 ) 에 반송 한다 .