웨이퍼 는 , 제 1 리니어 트랜스포터 ( 6 ) 에 의해 연마 유닛 ( 3 A , 3 B ) 에 반송 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 제 1 연마 유닛 ( 3 A ) 의 톱 링 ( 31 A ) 은 , 연마 위치 와 제 2 반송 위치 ( TP 2 ) 사이 를 이동 한다 . 따라서 , 톱 링 ( 31 A ) 으로 의 웨이퍼 의 전달 은 제 2 반송 위치 ( TP 2 ) 에서 행해진다 . 마찬가지 로 , 제 2 연마 유닛 ( 3 B ) 의 톱 링 ( 31 B ) 은 연마 위치 와 제 3 반송 위치 ( TP 3 ) 사이 를 이동 한다 . 톱 링 ( 31 B ) 으로 의 웨이퍼 의 전달 은 제 3 반송 위치 ( TP 3 ) 에서 행해진다 . 제 3 연마 유닛 ( 3 C ) 의 톱 링 ( 31 C ) 은 연마 위치 와 제 6 반송 위치 ( TP 6 ) 사이 를 이동 한다 . 톱 링 ( 31 C ) 으로 의 웨이퍼 의 전달 은 제 6 반송 위치 ( TP 6 ) 에서 행해진다 . 제 4 연마 유닛 ( 3 D ) 의 톱 링 ( 31 D ) 은 연마 위치 와 제 7 반송 위치 ( TP 7 ) 사이 를 이동 한다 . 톱 링 ( 31 D ) 으로 의 웨이퍼 의 전달 은 제 7 반송 위치 ( TP 7 ) 에서 행해진다 .