복수 의 소스 원료 공급 부 ( 230 a , 230 b , 230 c ) 는 각각 이 분사기 ( 220 ) 와 연결 되 어 , 소스 원료 를 분사기 ( 220 ) 로 공급 한다 . 복수 의 소스 원료 공급 부 ( 230 a , 230 b , 230 c ) 각각 으로부터 제공 되 는 소스 원료 는 기판 ( 110 ) 상 에 증착 하 고자 하 는 박막 의 종류 에 따라 달라질 수 있 다 .