본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 10 양태 는 , 제 7 내지 제 9 중 어느 하나 의 양태 에 관련 하 고 , 상기 기판 에 대하 여 , 약액 을 공급 하 기 위한 약액 공급 부 와 , 상기 기판 에 대하 여 , 세정액 을 공급 하 기 위한 세정액 공급 부 를 추가 로 구비 하 고 , 상기 제 어부 는 , 상기 약액 공급 부 에 의해 상기 약액 이 공급 되 고 있 는 동안 의 상기 대 향판 과 상기 기판 사이 의 거리 보다 , 상기 세정액 공급 부 에 의해 상기 세정액 이 공급 되 고 있 는 동안 의 상기 대 향판 과 상기 기판 사이 의 거리 가 길 어 지 도록 , 상기 이 동부 의 동작 을 제어 한다 .