" 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 상 에 는 "" D "" 방향 ", 즉 반시 계 방향 으로 회전 가능 한 캐리어 중심축 ( 140 S ) 에 설치 된 웨이퍼 캐리어 ( 140 ) 와 , " 웨이퍼 캐리어 ( 140 ) 에 장착 된 웨이퍼 ( W ) 를 포함 할 수 있 다 . 웨이퍼 캐리어 ( 140 ) 에 장착 된 웨이퍼 ( W ) 는 "" D "" 방향 "" 으로 회전 하 고 "" E "" 방향 으로 압력 이 가해 지 면서 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 와 접촉 되 어 웨이퍼 평탄 화 공정 이 진행 될 수 있 다 . 웨이퍼 평탄 화 공정 시 플 래 튼 ( platen ) 중심축 ( 110 ) 은 "" A "" 방향 으로 회전 하 거나 회전 하 지 않 을 수 있 다 . "