상부 아암 ( 250 UA ) 의 제 1 단부 ( 250 UAE 1 ) 는 적어도 2 자유도 를 가지 는 기판 이송 아암 ( 250 ) 을 제공 하 기 위하 여 선회 관절 ( SX ) 에서 예 를 들 어 본 명세서 에 기술 된 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) ( 도 3 a 내지 도 3 d 참조 ) 과 같 은 임의 의 적절 한 구동 섹션 에 회전 가능 하 게 결합 된다 . 도 3 a , 도 3 b , 도 3 c 및 도 3 d 에서 알 수 있 는 바 와 같이 , 각각 의 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) ( 여기 에서 , 구동 샤프트 의 무리 는 구동 스핀들 을 형성 한다 ) 는 이 에 결합 된 기판 이송 아암 ( 250 , 250 A , 250 B ) 의 어깨 부 축 ( SX ) 과 동축 이 다 . 한 양태 에서 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 은 3 자유도 를 포함 하 는 반면 에 , 다른 양태 에서 , 기판 이송 아암 은 4 이상 의 자유도 를 가진다 . 팔뚝 ( 250 FA ) 의 제 1 단부 는 선회 관절 ( 예 를 들 어 , 팔꿈치 관절 ) ( EX ) 에서 상부 아암 ( 250 UA ) 의 제 2 단부 ( 250 UAE 2 ) 에 회전 가능 하 게 결합 된다 . 적어도 하나 의 엔드 이펙터 ( 250 E ) 의 제 1 단부 는 선회 관절 ( 예 를 들 어 손목 관절 ) ( WX ) 에서 팔뚝 ( 250 FA ) 의 제 2 단부 에 회전 가능 하 게 결합 되 며 , 여기 에서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 의 제 2 단부 는 기판 ( S ) 을 홀딩 하 기 위한 기판 홀더 ( 250 E ) 를 포함 한다 . 여기 에서 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 은 단부 및 측면 기판 이송 개구 ( 260 A , 260 B , 270 A 1 - 270 A 6 , 270 B 1 - 270 B 6 ) 를 통해 이송 챔버 ( 210 ) 안팎 으로 적어도 하나 의 기판 홀더 ( 250 EH ) 에 의해 홀딩 된 기판 ( S ) 을 이송 하 기 위해 관절 식 연결 되 어서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 는 단부 및 측면 기판 이송 개구 의 각각 ( 260 A , 260 B , 270 A 1 - 270 A 6 , 270 B 1 - 270 B 6 ) 에 공통 된다 .