[ 0054 ] 도 6 a 내지 도 6 b 에서 도시 하 는 기판 의 중심 가까이 에서 의 낮 은 투 여량 들 은 유동 분포 에 기인 하 며 중심 가까이 에서 의 낮 은 투 여량 들 의 정정 은 기판 의 상이 한 지역 들 로 독립 적 으로 제어 가능 한 유동 을 제공 함 으로써 다루 어 질 수 ( address ) 있 다 . 중심 가까이 에서 의 낮 은 투 여량 들 의 정정 에 대한 상세 한 설명 은 본 발명 에 참조 로 통합 되 며 , " 발명 의 명칭 이 "" 듀얼 존 가스 주입 노즐 ( Duel Zone Gas Injection Nozzle ) "" 이 며 2007 년 12 월 19 일 에 제출 된 미국 특허 출원 일련 번호 11 / 960 ", 166 호 ( 대리인 도켓 번호 12088 ) 에서 발견 될 수 있 다 .