따라서 상기 제 1 기판 안 치부 ( 124 ) 의 단부 에 해당 하 는 리니어 가이드 ( 110 ) 의 제 1 위치 와 제 2 기판 안 치부 ( 134 ) 의 단부 에 해당 하 는 리니어 가이드 ( 110 ) 의 제 2 위치 사이 에 제 1 기판 감지 센서 ( 150 ) 를 설치 하 면 제 1 , 2 로봇 암 ( 120 , 130 ) 이 홈 포지션 에 있 는 경우 에 는 상부 기판 ( S 1 ) 의 유무 를 정확 하 게 감지 할 수 있 다 .