표면 처리 ( 16 ) 는 식 각종 ( 16 E ) 을 포함 할 수 있 다 . 식 각종 ( 16 E ) 은 블록 킹 층 ( 15 A ) 의 표면 을 부분 적 으로 식각 할 수 있 는 물질 을 포함 할 수 있 다 . 식 각종 ( 16 E ) 은 불소 ( Fluorine , F ) 를 포함 할 수 있 다 . 표면 처리 ( 16 ) 는 NF 3 플 라즈 마 처리 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 표면 처리 ( 16 ) 는 불소 플 라즈 마 처리 를 포함 할 수 있 다 .