광학 나노 젯 계측 시스템 ( 1208 , 1218 ) 은 웨이퍼 상 검사 영역 내 구조 의 존재 를 결정 하 도록 구성 될 수 있 다 . 상기 에서 기술 된 바 와 같이 , 검사 영역 내 구조 의 존재 의 결정 에 부가 하 여 , 광학 나노 젯 계측 시스템 ( 1208 및 1218 ) 은 구조 의 높이 및 폭 을 결정 하 도록 또 한 구성 될 수 있 다 . 광학 나노 젯 계측 시스템 ( 1208 및 1218 ) 은 도 1 에 나타낸 광학 나노 젯 계측 시스템 ( 200 ) 과 동일 하 거나 유사 할 수 있 다 .