웨이퍼 ( 1 ) 는 , 예컨대 Si ( 실리콘 ) , SiC ( 실리콘 카바이드 ) , GaN ( 갈륨 나이트 라이드 ) , GaAs ( 비소화갈륨 ) , 혹은 , 그 밖 의 반도체 등 의 재료 , 또는 사파이어 , 유리 , 석영 등 의 재료 를 포함 하 는 대략 원판 형 의 기판 등 이 다 . 상기 유리 는 , 예컨대 알칼리 유리 , 무 알칼리 유리 , 소다 석회 유리 , 납유리 , 붕 규산 유리 , 석영 유리 등 이 다 .