진공 반송 장치 에 상술 하 는 바 와 같이 중간 실 을 마련 하 는 것 에 의해 , 진공 처리 실 을 거치 지 않 고 , 반 송실 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 주고받 음 을 실행 할 수 있 게 되 는 등 의 이점 도 있 지만 , 진공 반송 장치 의 풋 프린트 가 증대 하 여 , 상기 진공 반송 장치 를 구비 하 는 처리 시스템 의 풋 프린트 도 증대 되 어 버린다 .