이 어 , 본 발명 에서 상기 기판 증착 부 ( 30 ) 의 기판 가열 장치 ( 35 ) 를 이용 하 여 기판 홀더 ( 33 ) 에 부착 된 기판 ( 31 ) 을 소망 하 는 일정 한 온도 로 가열 한다 . 그리고 상기 저항 가열 증 발부 ( 20 ) 의 보트 ( 21 ) 상 에 적치 된 Mg 원료 분말 을 저항 가열 에 의해 가열 함 으로써 마그네슘 을 증발 시킨다 . 이때 , 본 발명 에서 는 상기 두께 측정기 ( 80 ) 을 이용 하 여 마그네슘 의 밀도 를 측정 하 고 , 목표 로 하 는 일정 한 밀도 값 이 얻 어 지 도록 상기 보트 ( 21 ) 를 일정 하 게 가열 함 으로써 마그네슘 증발 율 및 그 밀도 를 일정 하 게 유지 한다 .