처 리조 ( 100 ) 내 에 는 웨이퍼 를 장착 하 기 위한 지지대 ( 110 ) 가 배치 되 는데 , 이러 한 지지대 ( 110 ) 는 처 리조 ( 100 ) 측벽 에 부착 되 어 고정 되 어 있 다 . 그러데 , 처 리조 ( 100 ) 내부 로 세정액 이 공급 되 면 , 고정 된 지지대 ( 100 ) 로 인해 웨이퍼 일부 가 가려져 세정액 이 웨이퍼 ( 140 ) 표면 에 골고루 분사 되 지 않 을 수 있 다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 표면 에 세정 되 지 않 은 부분 ( 115 ) 이 발생 되 어 웨이퍼 ( 140 ) 상 에 잔류 된 오염 물질 을 완전히 제거 할 수 없 게 된다 .