시스템 ( 1 ) 은 다양 한 에칭 모드 에서 작동 할 수 있 다 . 도 1 에서 , 중간 챔버 ( 4 ) 는 , 원 하 는 반응물 부분 압력 과 상관 될 수 있 는 희망 또는 설정 포인트 압력 까지 기화 된 반응물 과 캐리어 가스 로 충 진 될 수 있 다 . 반응물 증기 는 공급원 ( 3 ) 에서 기화 될 수 있 다 . 밸브 ( V 1 ) 가 개방 되 는 경우 , 기화 된 반응물 과 캐리어 가스 의 혼합물 은 반응물 공급 라인 ( 6 ) 을 따라 운반 되 고 중간 챔버 ( 4 ) 에 전달 될 수 있 다 . 중간 챔버 ( 4 ) 는 P 1 의 압력 까지 충 진 될 수 있 고 , 그 다음 밸브 ( V 1 ) 는 도 2 및 도 3 에 나타낸 바 와 같이 폐쇄 될 수 있 다 . 중간 챔버 ( 4 ) 내 의 기화 된 반응물 의 주 입량 은 식 nR = P 1 V / T 에 의해 결정 될 수 있 다 .