도 38 은 채널 ( 트렌치 ) 과 마이크 로 - 센서 어레이 를 구비 한 본 발명 의 장치 를 도시 하고 있 다 . 도 38 ( a ) 에서 , 3810 은 마이크 로 전자 기술 에 의해 제조 된 디바이스 이 고 ; 3810 은 마이크 로 - 센서 어레이 ( 3801 ) 와 어 드레싱 및 판독 회로 ( 3802 ) 를 포함 한다 . 마이크 로 - 센서 어레이 는 열 센서 , 압 전 센서 , 압 - 광자 센서 , 압 - 광학 - 전자 센서 , 이미지 센서 , 광 센서 , 방사선 센서 , 기계 센서 , 자기 센서 , 바이오 센서 , 화학 센서 , 생화학 센서 , 음향 센서 , 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 열 센서 의 예 는 저항성 온도 마이크 로 - 센서 , 마이크 로 - 열전대 , 열 - 다이오드 및 열 - 트랜지스터 , 및 표면 탄성파 ( SAW ) 온도 센서 를 포함 한다 . 이미지 센서 의 예 는 전하 결합 소자 ( CCD ) 및 CMOS 이미지 센서 ( CIS ) 를 포함 한다 . 방사선 센서 의 예 는 광전 도 소자 , 광전지 소자 , 초전 소자 및 마이크 로 - 안테나 를 포함 한다 . 기계 센서 의 예 는 압력 마이크 로 - 센서 , 마이크 로 - 가속도계 , 마이크 로 - 자이로 미터 , 및 마이크 로 유량 센서 를 포함 한다 . 자기 센서 의 예 는 자기 - 갈바니 마이크로 - 센서 , 자기 저항 센서 , 마그네토 다이오드 및 마그네토 - 트랜지스터 를 포함 한다 . 생화학 센서 의 예 는 전도 도 측정 장치 , 전위차 측정 장치 를 포함 한다 . 도 38 ( b ) 는 마이크 로 - 트렌치 ( 3821 ) 를 포함 하 는 마이크 로 - 디바이스 ( 3820 ) 를 도시 하고 있 다 . 도 38 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 3810 및 3820 은 함께 결합 되 어 , 트렌치 또는 채널 ( 3831 ) 을 포함 하 는 새로운 마이크 로 - 디바이스 ( 3830 ) 를 형성 한다 . 마이크 로 - 센서 어레이 ( 3801 ) 는 채널 ( 3831 ) 에서 노출 된다 .