이러 한 경우 , 본 발명 에 따른 프로브 검사 장치 ( 190 ) 의 프로브 핀 ( 191 ) 을 패드 부 ( 131 a ) 내 에 선 접촉 시키 기 위해서 는 프로브 핀 ( 191 ) 간 간격 을 위 의 패드 부 ( 131 a ) 의 간격 과 동일 하 게 유지 하 고 , 그 프로브 핀 ( 191 ) 의 직경 또한 패드 부 ( 131 a ) 의 폭 과 동일 하 게 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .