아래 표 1 은 종래 핫 프레스 방식 에 의해 제조 된 고순 도 및 고밀도 의 세라믹 정전 척 을 X - 선 형광분 석기 ( XRF ) 를 이용 하 여 성분 분석 한 결과 를 보인 것 이 다 . 표 1 에서 보 듯이 정전 척 에 탄소 가 약 2 . 8 질량 % 잔류 하 며 , 이 잔류 탄소 로 인해 정전 척 의 알루미나 순도 는 97 % 에 도 미치 지 못한다 . 이 정전 척 은 높 아 지 는 내전압 요구 에 부합 하 지 못한다 . 최근 99 . 9 % 이상 의 고순 도 정전 척이 요구 되 고 있 다 .