유기 전계 발광 소자 를 제작 하 기 위하 여 우선 유리 기판 상 에 ITO ( indium - tin oxide ) 로 코팅 한 투명 전극 기판 을 깨끗이 세정 한 후 , 상기 ITO 로 코팅 된 투명 전극 기판 을 감광성 수지 ( photoresist resin ) 와 식각 액 ( etchant ) 을 이용 하 여 미세 가공 공정 을 이용 하 여 애노드 를 형성 한 후 다시 깨끗이 세정 하 였 다 .