본 발명 의 또 다른 특징 에 따르 면 , 발열체 용 지그 의 내부 일부분 과 노즐 수단 의 내부 일부분 및 도전 성 물질 증착 챔버 의 외측 일부분 에 발열체 위치 감지 부가 위치 하 되 , 발열체 위치 감지 부 는 발열체 용 지그 의 내부 일부분 에 설치 된 제 1 센싱 수단 과 노즐 수단 의 내부 일부분 에 위치 되 어 제 1 센싱 수단 의 센싱 신호 에 의해 발 열 체용 지그 의 위치 값 을 감지 하 여 저장 하 고 , 이미 설정 된 발열체 용 지그 의 위치 값 과 비교 하 여 판독 하 는 발열체 위치 값 판독 수단 및 도전 성 물질 증착 챔버 의 외측 일부분 에 위치 되 고 발열체 위치 값 판독 수단 과 전기 적 으로 연결 되 어 비교 하 여 판독 된 발열체 용 지그 의 위치 값 이 오 차 범위 를 벗어날 경우 에 , 점 등 을 표시 하 거나 경고 음 을 울리 는 식 별수단 을 포함 한다 .