다음 에 , 도 6 을 참조 하 면 , 스 페이서 재료 층 ( 170 ) 은 하드 마스크 층 ( 150 ) 및 임시 층 ( 140 ) 의 상부 와 측벽 을 포함 하 는 노출 된 표면 위 에 등각 으로 퇴적 된 블랭킷 ( blanket ) 이 다 . 스 페이서 재료 는 하부 하드 마스크 층 ( 130 ) 에 패턴 을 전사 하 는 마스크 로서 작용 할 수 있 는 임의 의 재료 일 수 있 다 . 스 페이서 재료 는 실리콘 , 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 일 수 있 는데 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 도시 된 실시 예 에서 , 스 페이서 재료 는 마스킹 스택 의 기타 선택 된 재료 와 조합 하 여 특정 장점 을 제공 하 는 실리콘 산화물 이 다 .