도 15 b 를 참조 하 면 , 대 상체 ( 30 ) 는 N 개 의 서브 세트 ( 40 i ) 를 포함 하 는 것 으로 도시 되 어 있 는데 , 각각 은 대 상체 가 결상 되 는 전체 영역 ( 41 ) 보다 작 다 . 각각 의 서브 세트 ( 40 i ) 내 에서 , 공간 적 속성 편차 , 예 를 들 어 , 웨이퍼 또는 포토 레지스터 의 높이 및 경사 편차 는 전체 영역 ( 41 ) 에서 취한 경우 보다 더 작 은 것 이 일반 적 이 다 . 그럼에도 , 상이 한 서브 세트 ( 40 i ) 를 갖 는 웨이퍼 또는 포토레지스트 는 통상 적 으로 상이 한 높이 와 경사 를 갖 는다 . 예 를 들 어 , 층 ( 34 ) 은 표면 ( 39 ) 의 높이 와 경사 를 변경 하 는 두께 Δ t 1 및 Δ t 2 를 나타낸다 . 따라서 , 대 상체 의 각각 의 서브 세트 트 는 포토 리소그래피 결상 장치 ( photolithography imager ) 와 상이 한 공간 적 관계 를 가질 수 있 다 . 초점 의 품질 은 공간 적 관계 , 예 를 들 어 대 상체 와 포토 리소그래피 결상 장치 사이 의 거리 에 관련 된다 . 상이 한 서브 세트 의 대 상체 의 적절 한 초점 을 맞추 는 것 은 , 대 상체 와 결상 장치 의 상대 적 인 위치 설정 을 필요 로 할 것 이 다 . 대 상체 높이 와 경사 의 편차 때문 에 , 적절 한 서브 세트 초점 은 대 상체 의 측면 ( 43 ) 과 같 은 결상 된 서브 세트 의 원격 에 위치 한 대 상체 의 일부 에 대한 대 상체 의 위치 와 배향 을 정하 는 것 만 으로 는 달성 할 수 없 다 .