다음 으로 , 도 16 에 도시 하 는 바 와 같이 , 폴리 실리콘 막 ( 9 ) 의 표면 에 , 예컨대 스핀코팅 에 의해 , 반사 방지 막 ( 10 ) 과 포토레지스트 막 ( 11 ) 을 순서 대로 도포 한다 . 계속 해서 , 포토 리소그래피 법 에 의해 , 포토레지스트 막 ( 11 ) 을 패 터닝 하 여 , 반사 방지 막 ( 10 ) 의 표면 에 , 레지스 트 패턴 ( 11 a ) 을 형성 한다 .