상기 제 3 단계 에서 는 , 상기 플 라즈 마 식각 장비 내부 의 압력 을 약 50 내지 94 mT 로 유지 시키 고 , 이 압력 하 에서 80 내지 240 sccm 으로 70 초 동안 상기 HBr 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 한다 . 이 와 동시 에 , 약 10 sccm 으로 HeO 2 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 하 고 , 그리고 약 70 내지 650 sccm 으로 He 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 한다 .