도 2 내지 도 4 를 참조 하 면 , 상기 웨이퍼 가이드 ( 20 ) 는 하부 판넬 부 ( 22 ) , 상 기 하부 판넬 부 ( 22 ) 의 일 측 상단 부 에 돌출 형성 되 어 상기 하부 판넬 부 ( 22 ) 와 수직 을 이루 고 있 으며 , 서로 평행 한 방향 으로 소정 간격 이격 되 어 있 는 4 개 의 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 24 ) , 그리고 상기 각 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 24 ) 의 상단 부를 구성 하 고 있 는 톱니 형태 의 슬롯 부 ( 26 ) 로 이루어져 있 다 . 이때 , 상기 슬롯 부 ( 26 ) 가 형성 되 어 있 는 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 24 ) 는 웨이퍼 의 손상 을 최소 화 할 수 있 는 재질 로서 , 예컨대 쿼 르 츠 , 코팅 된 쿼 르 츠 , 피크 , 또는 테 프론 계열 의 재질 로 형성 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 는 상기 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 24 ) 의 상단 부 에 형성 되 어 있 는 톱니 형태 의 슬롯 부 ( 26 ) 에 수납 된다 .