상기 한 실시 예 4 에서 는 , 제어판 ( 80 ) 의 왕복 운동 이 동량 을 ± 24 ㎜ 으로 했 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 고 , 이것 보다 커도 되 고 작 아도 된다 . 단 , 기판 ( 10 ) 상 에 형성 되 는 피막 ( 90 ) 의 두께 불 균일 을 적 게 하 기 위해서 는 , 제어판 ( 80 ) 의 왕복 운동 이 동량 은 , 증착 원 개구 ( 61 ) 의 X 축 방향 피치 및 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 피치 중 큰 쪽 보다 도 큰 것 이 바람직 하 고 , 상기 큰 쪽 의 정수 배인 것 이 더욱 바람직 한다 .