도 4 e 를 참조 하 면 , 상기 미세 마스크 패턴 들 ( 140 D _ 1 , 140 D _ 2 ) 을 식각 마스크 로 하 여 상기 기판 ( 115 ) 을 식각 하 여 제 1 영역 및 제 2 영역 상 에 제 1 미세 패턴 ( 110 A ) 및 제 2 미세 패턴 ( 110 B ) 을 형성 한다 . 이 경우 에 , 상기 이미지 패턴 층 ( 124 C ) 의 일부 및 상기 베이스 층 ( 120 ) 의 일부 또한 식각 될 수 있 다 . 상기 기판 ( 115 ) 이 피식 각막 ( 110 ) 을 구비 하 는 경우 에 는 상기 미세 패턴 들 ( 110 A , 110 B ) 은 상기 피식 각막 ( 110 ) 내 에 형성 된다 .