이 와 같이 , 본 실시 형태 에 있 어서 도 , 1 회 의 스캔 동작 으로 , 하나 의 쇼트 영 역 ( SH ) 을 제 1 패턴 의 상 과 제 2 패턴 의 상 으로 다중 ( 이중 ) 노광 할 수 있 다 . 또 , 기판 ( P ) 의 - Y 방향 으로 의 스캔 동작 과 + Y 방향 으로 의 스캔 동작 을 반복 하 는 것 에 의해서 , 기판 ( P ) 위 의 복수 의 쇼트 영역 을 효율 적 으로 다중 노광 할 수 있 다 .