전술 한 바 와 같이 , 네거티브 톤 현상 ( NTD ) 에서 의 패턴 붕괴 마진 ( PCM ) 은 하단 반사 방지 코팅 ( BARC ) 막 의 특성 에 크 게 의존 한다 . 특히 , 산 성 BARC 표면 은 포토레지스트 의 탈 보호 반응 에 의해 패턴 붕괴 를 크 게 높일 수 있 다 . 산 성 촉매 용 전구체 로서 광산 발생 제 는 노광 된 영역 에서 발생 된 산 에 의해 패턴 붕괴 를 개선 시킬 수 있 으므로 , BARC 제제 의 우수 한 산도 제어 단위 중 하나 일 수 있 다 . 그러나 , PAG 의 일부 가 공정 용매 에 의해 씻겨 나갈 수 있 기 때문 에 포토레지스트 스핀 코팅 시 BARC 표면 에서 의 PAG 농도 는 감소 된다 .