본 발명 에 따르 면 , CMP 공정 수행 을 위한 CMP 장비 의 진동 발생 원 ( 연마 헤드 , 진공 펌프 , 밸브 부 , 에 어 컴 프레 셔 등 ) 에 자이로 센서 를 부착 하 고 이러 한 고체 매개체 를 통해 진 동발 생원 으로부터 진동 의 진폭 과 주파수 를 직접 측정 하 여 지연 시간 ( delay time ) 없이 신속 하 게 압력 진동 에 대한 위상차 제어 를 수행 할 수 있 도록 구성 함 으로써 제어 압력 의 평탄 화 에 기여 할 수 있 으며 비례 공 압제 어계 의 제 어효 율 및 성능 을 향상 시킬 수 있 는 유용 함 을 달성 할 수 있 다 .