본 실시 형태 에 의하 면 , 교정 용 제 2 패러데이 컵 이 주입 처리 실에 마련 되 기 때문 에 , 제 1 패러데이 컵 을 교정 하 기 위한 측정 을 주입 처리 실 내 에서 실시 할 수 있 다 . 그 때문 , 메인 터 넌 스 후 에 있 어서 의 제 1 패러데이 컵 의 장착 정밀도 와 같 은 제 1 패러데이 컵 의 손모 자체 와 는 다른 요인 에 의한 측정 감도 의 변화 에 대해서 도 적절히 교정 할 수 있 다 . 또 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 차폐 부재 를 마련 함 으로써 , 교정 공정 이외 에 있 어서 제 2 패러데이 컵 이 이온 빔 조사 에 의하 여 소모 되 거나 오염 되 거나 하 는 것 을 방지 할 수 있 고 , 장기간 에 걸쳐 제 2 패러데이 컵 의 측정 정밀도 를 유지 할 수 있 다 . 그 결과 , 제 1 패러데이 컵 의 메인 터 넌 스가 복수 회 발생 하 는 것 과 같 은 장기간 에 걸쳐 제 2 패러데이 컵 의 측정 정밀도 를 유지 할 수 있 고 , 통상 측정 용 제 1 패러데이 컵 의 교정 정밀도 가 높 은 상태 를 유지 할 수 있 다 .