도 3 에 예시 된 바 와 같이 . 더미 구 조체 ( 230 ) 위 에 2 개 의 구성 부 ( 330 a - 330 b ) 를 포함 하 는 레지스 트 보호 산화물 ( RPO ) 층 이 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 도 3 의 실시 예 에서 의 더미 구 조체 ( 230 ) 및 레지스 트 보호 산화물 ( RPO ) 층 의 구성 부 ( 330 a - 330 b ) 는 예컨대 , 도 1 의 특징 부 ( 130 ) 에 대해 구성 된다 . 구성 부 ( 330 a ) 는 y - 방향 으로 거리 ( S 2 ) 만큼 MOS ( 120 ) 로부터 이격 된다 . 구성 부 ( 330 b ) 는 x - 방향 으로 거리 ( S 3 ) 만큼 MOS ( 120 ) 로부터 이격 된다 . 일부 실시 예 에서 , 거리 ( S 2 - S 3 ) 는 동일 하 다 . 일부 대안 적 인 실시 예 에서 , 거리 ( S 2 - S 3 ) 는 상이 하 다 . 또 다른 대안 적 인 실시 예 에서 , 거리 ( S 2 - S 3 ) 는 약 1 내지 약 100 마이크로미터 의 범위 이 다 .