상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 는 , 램프 로부터 발생 된 빛 을 하부 로 반사 시키 는 반사판 이 구비 된 챔버 ; 상기 반사판 으로부터 전달 된 빛 을 양측 방향 으로 각각 반사 시키 는 한 쌍 의 제 1 ㆍ제 2 반사 미러 ; 상기 제 2 반사 미러 를 통해 분산 된 상태 로 전달 된 빛 을 응집 시켜 기판 의 엣지 에 전달 하 는 한 쌍 의 렌즈 ; 및 상기 챔버 의 양 측면 에 각각 설치 되 어 상기 램프 로 인해 상승 되 는 상기 챔버 의 내부 온도 를 일정 하 게 유지 시키 는 냉각 파이프 ; 가 구비 된 것 이 특징 이 다 .