따라서 , 상기 와 같이 하드 마스크 용 텅스텐 막 의 스트레스 를 용이 하 게 조절 함 으로써 , 비트 라인 용 텅스텐 막 , 하드 마스크 질화 막 및 하드 마스크 텅스텐 막 간 의 스트레스 차이 를 최소 화 시킬 수 있 어 , 그 에 따른 상기 비트 라 인용 텅스텐 막 의 강한 인 장력 의 스트레스 에 의해 발생 하 는 하드 마스크 텅스텐 막 의 필링 ( peeling ) 을 방지 할 수 있 다 .