그 다음 에 , 턴 테이블 ( 78 ) 을 120 도 회전 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 고 있 는 척 테이블 ( 60 ) 을 마무리 연삭 위치 ( C ) 에 위치 시킨다 . 그 다음 에 , 거친 연삭 가공 과 마찬가지 로 , 상방 에서 보 았 을 때 반시 계 방향 으로 미리 정해진 회전 속도 로 척 테이블 ( 60 ) 을 회전 시키 고 , 아울러 상방 에서 보 았 을 때 반시 계 방향 으로 미리 정해진 회전 속도 로 스핀들 ( 110 ) 을 회전 시킨다 . 그 다음 에 , 제 2 승강 기구 ( 98 ) 로 스핀들 ( 110 ) 을 하강 시켜 , 연삭 영역 에 연삭 수 를 공급 하 면서 마무리 연삭 용 연삭 지석 ( 118 ) 을 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 접촉 시킨다 . 그 후 , 미리 정해진 연삭 이송 속도 로 스핀들 ( 110 ) 을 하강 시킨다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 마무리 연삭 가공 을 실시 할 수 있 다 . 마무리 연삭 가공 을 실시 한 후 , 턴 테이블 ( 78 ) 을 120 도 회전 시켜 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 고 있 는 척 테이블 ( 60 ) 을 착 탈 위치 ( A ) 에 위치 시킨다 . 그 다음 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( 연삭 면 ) 을 향해 세 정수 노즐 ( 120 ) 로부터 세 정수 를 분사 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 을 세정 한다 .