기판 ( S ) 의 이송 방향 에 대한 상면 의 양측 부 모서리 가 경사면 으로 이루어져 있 기 때문 에 , 기판 ( S ) 이 복수 개 의 부상 패드 ( 10 ) 간 의 불 연속 부 를 지날 때 기판 ( S ) 의 모서리 부분 이 아래 로 처짐 으로써 부상 패드 ( 10 ) 와 기판 ( S ) 의 모서리 부분 이 충돌 하 여 파손 되 는 것 을 방지 해 준다 . 또한 부상 패드 ( 10 ) 의 경사면 에서 공기 가 분사 되 어 진입 하 는 기판 ( S ) 의 처진 모서리 부분 을 들 어 올림 으로써 기판 ( S ) 의 진입 을 원활 하 게 해준다 . 그리고 상기 기판 ( S ) 은 부상 패드 ( 10 ) 의 상면 에 위치 하 며 , 상기 부상 패드 ( 10 ) 의 상면 에서 분사 된 공기 가 기판 ( S ) 의 저 면부 를 가압 함 으로써 기판 ( S ) 이 부상 하 게 된다 .