제 2 이 송부 ( 3200 ) 는 스테이지 ( 2000 ) 와 이송 테이블 ( 3120 ) 사이 에 위치 하 도록 설치 되 며 , 제 2 방향 으로 연장 형성 된 제 2 가이드 부재 ( 3210 ) 및 제 2 가이드 부재 ( 3210 ) 를 구동 시키 는 제 2 이송 구동 부 ( 3220 ) 를 포함 한다 . 실시 예 에 따른 제 2 가이드 부재 ( 3210 ) 는 볼스크 류 를 포함 하 는 수단 이나 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 스테이지 ( 2000 ) 를 제 2 방향 으로 수평 이동 시킬 수 있 는 수단 의 적용 이 가능 하 다 .