도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 면 , 제 1 마스크 막 ( ML 1 ) 상 에 제 2 절 연막 ( IDL 2 ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 2 절 연막 ( IDL 2 ) 은 제 1 개 구부 ( OP 1 ) 를 채울 수 있 다 . 제 2 절 연막 ( IDL 2 ) 상 에 제 2 마스크 막 ( ML 2 ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 2 마스크 막 ( ML 2 ) 에 제 2 개 구부 ( OP 2 ) 가 형성 될 수 있 다 . 제 2 개 구부 ( OP 2 ) 는 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 제 2 폭 ( W 2 ) 을 가질 수 있 다 . 제 2 폭 ( W 2 ) 은 제 1 폭 ( W 1 ) 보다 작 거나 , 제 1 폭 ( W 1 ) 보다 크 거나 , 또는 제 1 폭 ( W 1 ) 과 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 제 2 개 구부 ( OP 2 ) 의 평면 적 크기 는 , 제 1 개 구부 ( OP 1 ) 개구부 의 평면 적 크기 보다 작 거나 크 거나 또는 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 .