상기 검사 부 ( 130 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 의 검사 영역 ( 15 ) 에 존재 하 는 결함 을 검출 한다 . 예 를 들 어 , 상기 검사 부 ( 130 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 으로 광 을 조사 하 여 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 의 검사 영역 ( 15 ) 에 대한 이미지 를 획득 하 는 전자 현미경 또는 CCD 카메라 등 의 광학 검사 장치 일 수 있 다 . 즉 , 상기 검사 부 ( 130 ) 는 광 을 이용 하 여 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 에 형성 된 패턴 에 대한 다수 의 이미지 를 획득 하 고 , 상기 이미지 들 을 비교 함 으로써 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 의 결함 을 검사 할 수 있 다 .