유량 측 정부 ( 65 ) 는 , 펌프 ( 76 ) 에 대한 처리 액 의 입출 량 에 관한 정보 를 취득 한다 . 펌프 ( 76 ) 를 구동 하 기 위한 기체 의 유량 은 , 펌프 ( 76 ) 에 대한 처리 액 의 입출 량 에 상관 하 므로 , 펌프 ( 76 ) 에 대한 처리 액 의 입출 량 에 관한 정보 이 다 . 예 를 들 어 , 유량 측 정부 ( 65 ) 는 , 펌프 ( 76 ) 와 펌프 구동 부 ( 77 ) 사이 의 접속 관 내 를 흐르 는 기체 의 유량 을 측정 한다 . 유량 측 정부 ( 65 ) 는 , 측정값 을 제어 장치 ( 100 ) 에 출력 한다 . 압력 측 정부 ( 66 ) 는 , 펌프 ( 76 ) 내 의 압력 에 관한 정보 를 취득 한다 . 예 를 들 어 , 압력 측 정부 ( 66 ) 는 , 펌프 ( 76 ) 와 펌프 구동 부 ( 77 ) 사이 의 접 속관 내 의 압력 을 측정 한다 . 압력 측 정부 ( 66 ) 는 , 측정값 을 제어 장치 ( 100 ) 에 출력 한다 .