또한 , 외측 유로 ( 26 ) 는 , 적 재면 ( 21 a ) 에 적재 되 는 기판 ( 3 ) 의 직경 방향 에 있 어서 , 외측 확산 부 ( 38 a ) 의 외주 측 으로부터 적 재면 ( 21 a ) 까지 연장 되 는 외측 분기 유로 ( 26 b ) 와 , 외측 확산 부 ( 38 a ) 의 내주 측 으로부터 적 재면 ( 21 a ) 까지 연장 되 는 내측 분기 유로 ( 26 c ) 를 갖 는다 . 외측 유로 ( 26 ) 의 내측 분기 유로 ( 26 c ) 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 외주 면 에 인접 해서 마련 되 어 있 고 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 상단 면 ( 23 a ) 측 으로부터 외측 영역 ( F 1 ) 내 에 유입 된 전열 가스 를 , 내측 분기 유로 ( 26 c ) 를 통해서 외측 확산 부 ( 38 a ) 내 에 원활 하 게 유도 한다 . 이 때문 에 , 내측 분기 유로 ( 26 c ) 로부터 외측 확산 부 ( 38 a ) 에 유입 된 전열 가스 는 , 외측 확산 부 ( 38 a ) 내 를 통과 해서 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 을 따라 원활 하 게 흐른다 .