이 와 달리 , 유도 결합 플라스마 소스 방식 을 사용 하 여 소스 가스 를 방전 시킬 수 있 다 . 코일 ( 522 ) 을 이용 하 여 처리 실 ( 100 ) 의 내부 에 에너지 를 인가 하 면 에너지 는 처리 실 ( 100 ) 의 측벽 을 통하 여 웨이퍼 ( W ) 의 상부 로 전달 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 상부 에 공급 된 소스 가스 를 방전 시켜 소스 가스 로부터 플라스마 를 생성 한다 .