본 실시 형태 에 있 어서 는 , 개구부 ( 35 ') 의 수평 사이즈 Kh 및 수직 사이즈 Kv 는 , 각각 수평 화소 피치 Lh 및 수직 화소 피치 Lv 의 정수 분 의 1 ( 도 8 의 예 는 1 / 2 ) 보다 약간 작 다 . 예 를 들 어 , 수평 및 수직 화소 피치 가 20 . 5 ㎛ 인 경우 에 , 개구부 ( 35 ') 의 수평 및 수직 사이즈 Kh = Kv 로서 8 ㎛ 를 채용 한다 . 또한 , 이 수치 는 광학계 의 영향 을 고려 한 것 으로서 , 광학계 가 다르 면 상이 한 수치 를 채용 할 필요 가 있 다 .