미립자 의 CV 값 은 시마즈 레이저 회절 식 입 도 분포 측정 장치 SALD - 2300 ( 가부 시 키가 이샤 시마즈 세이사쿠 쇼 ) 과 사이클론 식 건식 측정 유닛 DS 5 ( 가부 시 키가 이샤 시마즈 세이사쿠 쇼 , 분산 압력 0 . 4 MPa , 테이블 상승 속도 6 ~ 10 mm / 초 ) 를 사용 하 여 , 분산 압력 0 . 4 MPa , 테이블 상승 속도 6 ~ 10 mm / 초의 조건 으로 측정 했 다 .