본 발명 의 실리콘 웨이퍼 제조 방법 은 베이스 기판 의 일면 에 실리콘 및 이종 물질 을 코팅 하 는 코팅 단계 ; 상기 베이스 기판 의 상기 일면 의 국부 면적 에 코팅 된 상기 실리콘 및 상기 이종 물질 이 용융 되 도록 열 원 으로 가열 하 여 상기 실리콘 및 상기 이종 물질 이 혼합 된 혼합 용 융액 상태 로 존재 하 는 용융 영역 을 형성 하 는 용융 단계 ; 및 상기 베이스 기판 또는 상기 열 원 을 이동 시켜 상기 베이스 기판 상 에서 상기 융 융 영역 이 이동 되 며 , 이동 된 상기 용융 영역 의 궤적 에 실리콘 결정 층 을 형성 하 는 실리콘 결정 화 단계 를 포함 하 고 , 상기 이종 물질 과 실리콘 은 공정점 을 갖 는 것 일 수 있 다 .