상기 진공 력 및 상기 에어 가 상기 제 1 관통 홀 들 ( 112 ) 과 상기 제 2 관통 홀 들 ( 113 ) 로 구분 되 어 공급 되 지 않 으며 , 상기 제 1 관통 홀 들 ( 112 ) 및 상기 제 2 관통 홀 들 ( 113 ) , 즉 , 상기 관통 홀 들 ( 111 ) 에 동시 에 공급 될 수 있 다 . 상기 진 공력 의 크기 가 증가 하 므로 상기 척 ( 110 ) 상 에 상기 기판 ( 10 ) 을 보다 안정 적 으로 고정 할 수 있 다 . 또한 , 상기 에어 의 분사 량 이 커지 므로 , 상기 기판 ( 10 ) 을 안정 적 이 면서 높 게 부상 시킬 수 있 다 .