또한 상기 홀더 ( 12 ) 내 의 가장자리 에 는 웨이퍼 ( 10 ) 가 홀더 ( 12 ) 내 에서 회전 이나 파손 되 는 것 을 특히 웨이퍼 ( 10 ) 의 외주 부 의 손상 을 방지 하 기 위한 고무 패드 ( 12 a ) ( Rubber Pad ) 가 부착 설치 되 고 , 이 고무 패드 ( 12 a ) 의 내면 은 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 라운드 형태 를 이루 며 형성 된다 . 동시 에 상기 홀더 ( 12 ) 와 같이 그 내 주면 도 U 자 형태 로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .