상기 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 은 제 2 기판 ( 30 ) 의 열팽창 계수 보다 α 만큼 크 고 , 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 은 제 2 기판 ( 30 ) 의 열팽창 계수 보다 α 만큼 작 다 . 따라서 제 2 기판 ( 30 ) 과 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 사이 의 열팽창 계수 의 차이 로 인한 응력 을 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 에 의해 완화 하 여 줄 수 있 다 . 상기 하부 유전체 층 은 제 2 기판 ( 30 ) 에 제 2 하부 유전체 층 ( 52 ) 및 제 1 하부 유전체 층 ( 50 ) 의 순서 로 형성 될 수 도 있 다 .