예컨대 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 상면 ( 20 a ) 상 에서 센터링 된 상태 의 링 프레임 ( F ) 에 설정 되 어 있 는 제 1 측정 점 ( P 1 ) 및 제 2 측정 점 ( P 2 ) 은 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 X 축 방향 에 평행 한 중심 선상 에 위치 되 어 있 다 . 그리고 미러 등 의 회귀 반사판 ( 62 ) 은 , 예컨대 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 X 축 방향 에 평행 한 중심선 을 대칭축 으로서 , 케이스 ( 63 ) 의 - Y 방향 측 의 부위 에 배치 되 고 있 고 , 도 1 에 나타내 는 테이블 이동 수단 ( 13 ) 에 의해서 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 이 - X 방향 으로 이동 되 고 , 제 1 측정 점 ( P 1 ) 이 투광 부 ( 60 ) 의 광축 상 에 위치 하 면 , 제 1 측정 점 ( P 1 ) 에 대해 투광 부 ( 60 ) 와 Y 축 방향 에 있 어서 대칭 위치 에 배치 된 상태 가 된다 .