고집 적 반도체 소자 를 구현 함 에 있 어서 , 패턴 의 임계 치수 를 낮추 는 것 이 무엇 보다 우선 적 으로 이루어져야 하 지만 , 이 에 수반 해서 하부 패턴 과 상부 패턴 간 의 안정 적 인 콘 택 도 확보 되 어야 만 한다 . 이것 은 패턴 의 미세화 가 달성 되 더라도 , 하부 패턴 과 상부 패턴 간 의 안정 적 인 콘 택 이 이루어지 지 않 거나 , 또는 , 그 들 간 의 콘 택 저항 이 증가 되 면 , 소자 의 신뢰 성 및 고속 구동 을 얻 지 못하 기 때문 이 다 .