멤 스 ( Micro - Electro Mechanical System ; 이하 ' MEMS ' 라 함 ) 은 마이크 로 시스템 , 마이크 로 머신 , 마이크 로 메 카트 로 닉스 로 혼용 되 어 사용 되 고 있 으며 , 초 소형 시스템 이나 초 소형 기계 를 의미 한다 . MEMS 는 반도체 제작 공정 을 이용 하 므로 수 ㎛ 내지 수백 ㎛ 크기 로 제작 이 가능 하 며 , 일괄 공정 에 의하 여 대량 생산 이 가능 하 며 , 낮 은 소비 전력 을 가질 뿐 만 아니 라 , 기계 부품 , 센서 , 전자 회로 등 을 하나 의 칩 에 집적 하 여 높 은 신뢰도 를 가지 는 등 의 이유 로 , 현재 이 에 대한 활발 한 연구 및 산업 상 적용 이 진행 되 고 있 다 .