본 발명 은 반도체 제조 장비 에 관한 것 으로 , 보다 상세 하 게 는 저온 및 고온 잠 열재 ( PCM ; Phase Change Material ) 를 별도 의 에너지 공급원 으로 구성 하 여 축 냉 , 축 열 에너지 를 저장 및 변환 하 여 반도체 제조 공정 에 이용 함 으로써 에너지 이용 효율 을 극대 화 할 수 있 는 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 에 관한 것 이 다 .