도 4 는 도 1 의 제 1 - 3 단계 ( S 13 ) 를 나타내 는 도면 이 다 . 제 1 니켈 기판 ( 30 ) 은 마이크 로 패턴 을 갖 는 금형 으로서 , 제 1 감광제 패턴 ( 20 ) 위 에 금속 층 을 성장 시켜 금속 기판 을 제작 한다 . 여기 서 사용 되 는 금속 은 니켈 또는 니켈 합금 으로 이루어질 수 있 으며 , 전 주도 금 공정 을 이용 하 여 제작 되 는 금속 기판 은 제 1 감광제 패턴 ( 20 ) 과 음압 이 서로 반대 로 구현 된 제 1 니켈 기판 ( 30 ) 이 된다 .