본 발명 의 일실 시예 에 따른 마이크로파 센서 가 개시 된다 . 상기 마이크로파 센서 는 금속 그라운드 플레인 , 상기 금속 그라운드 플레인 위 에 위치 하 는 기판 , 및 상기 기판 위 에 위치 하 는 마이크 로 스트립 라인 을 포함 하 며 , 상기 금속 그라운드 플레인 은 임의 의 거리 로 떨어진 2 개 의 세로 선 들 과 상기 2 개 의 세로 선 들 을 서로 연결 시키 는 가로 선 을 포함 하 는 H 모양 의 구조 와 , 상기 가로 선 은 인터 디지털 ( interdigital ) 슬롯 으로 에칭 ( etching ) 된 디 펙 ( defect ) 을 포함 하 며 , 상기 2 개 의 세로 선 들 각각 의 양 끝 들 은 꺾 여진다 .