클린업 동작 ( 1050 ) 에서 , 자기 조립 물질 이 필러 물질 의 표면 에서 제거 된다 . 이제 , 6 각 형 패턴 내 의 복수 의 하드 마스크 디스크 가 필러 물질 의 상부 위 에 남 는다 . 필러 에칭 동작 ( 1060 ) 에서 , 필러 물질 이 하드 마스크 디스크 를 사용 하 여 에칭 되 고 그 에 의해 필러 형상 장치 를 형성 한다 . 하드 마스크 디스크 는 에칭 단계 후 제거 되 거나 최종 장치 안 에 남겨질 수 있 다 .