본 발명 은 기체 상태 의 미세 한 가스 농도 를 측정 하 는 마이크 로 가스 센서 및 그 제작 방법 에 관한 것 으로 , 특히 , 저 전력 , 빠른 가열 및 냉각 속도 , 강한 내구 성 및 높 은 센서 의 감도 특성 을 가지 며 , 다양 한 물질 을 가스 감응 막 으로 용이 하 게 형성 할 수 있 으며 , 또한 , 한 장 의 패턴 마스크 만 을 사용 하 는 간단 한 제조 과정 을 통해 초 소형 , 저 가격 으로 대량 생산 할 수 있 는 부양 된 복수 의 감지 전극 을 가지 는 마이크 로 가스 센서 및 그 제작 방법 에 관한 것 이 다 .