상기 비트 라인 상부 에 형성 된 식각 정지 막 을 더욱 포함 할 수 있 다 . 상기 식각 정지 막 은 질화 막 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 비트 라인 측벽 에 형성 된 스 페이서 를 더욱 포함 할 수 있 다 . 상기 스 페이서 는 질화 막 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 비트 라인 은 상기 제 1 및 제 2 랜딩 콘 택 플러그 보다 낮 은 높이 에 형성 될 수 있 다 .