먼저 , 열처리 단계 는 규소 ( Si ) 분말 을 800 내지 950 ℃ 에서 1000 내지 2000 mL / min 의 속도 로 공기 를 주입 시켜 열처리 하 는 과정 으로서 , 공기 의 산소 와 규소 가 반응 하 여 산화 규소 를 생성 하 는 단계 이 다 . 이때 온도 를 800 내지 950 ℃ 로 설정 함 으로써 산화 규소 를 소성 처리 하 는 과정 까지 동시 에 진행 할 수 있 다 . 이렇게 열처리 된 규소 분말 은 결국 산화 반응 및 소성 처리 로 인해 다공성 입자 를 가지 는 산화 규소 라고 할 수 있 다 .