본 발명 의 에칭 제 에 관련 되 는 ( C ) 염기 성 화합물 은 ( c - 1 ) 무기 알칼리 및 ( c - 2 ) 유기 아민 으로부터 선택 되 는 것 을 의미 하나 , 본 발명 < 1 > 에 관한 에칭 제 에서 는 상기 염기 성 화합물 은 무기 알칼리 인 것 이 요구 된다 . 상기 무기 알칼리 는 용액 의 pH 를 소정 의 범위 로 유지 하 면서 과산화수소 로 산화 된 Ti 막 , W 막 이나 TiW 합금 막 등 의 산화물 을 용해 시키 는 목적 을 위하 여 사용 되 는 것 이 다 . 본 발명 < 1 > 에 관한 에칭 제 에서 의 ( c - 1 ) 무기 알칼리 의 구체 예 로 는 , 예 를 들 면 , 암모니아 , 예 를 들 면 , 수산화 칼륨 , 수산화 나트륨 등 의 알칼리 금속 수산화물 등 을 들 수 있 고 , 그 중 에서 도 알칼리 금속 수산화물 이 바람직 하 고 , 그 중 에서 도 산화칼륨 이 보다 바람직 하 다 .