[ 0022 ] 플라 즈 마 챔버 ( 102 ) 는 , 플 라즈 마 ( 101 ) 에 워크 피스 , 이를테면 웨이퍼 ( 105 ) 를 노출 시킴 으로써 , 워크 피스 , 이를테면 웨이퍼 ( 105 ) 에 대해 다양 한 동작 들 및 프로세스 들 을 수행 한다 . 웨이퍼 ( 105 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 102 ) 내부 에 배치 되 고 , 반응물 가스 들 이 챔버 내 로 도입 되 며 , 가스 들 이 전자기 에너지 로 조사 되 어 , 플 라즈 마 ( 101 ) 가 점 화 되 고 유지 된다 .