또한 , 상기 제 2 영역 의 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 들 사이 의 갭 부위 를 채우 는 제 2 더미 패턴 ( 228 ) 들 이 구비 된다 . 상기 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 과 상기 제 2 더미 패턴 ( 228 ) 은 거의 동일 한 높이 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 2 더미 패턴 ( 228 ) 은 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 226 ) 과 동일 한 물질 로 이루어진다 .