실시 예 로 처음 에 준비 한 롱 핑거 보트 본체 , 즉 , 종래 와 같 은 4 점 지지 의 보트 를 준비 하 고 , 어느 지지 부 에 대해서 도 두께 1 . 00 mm 의 같 은 지지 보조 부재 를 장착 하 고 , 직경 300 mm 의 실리콘 웨이퍼 를 상기 지지 보조 부재 상 에 재치 하 고 , 실시 예 와 마찬가지 로 1200 ℃ 로 1 시간 의 어 닐 닝 을 실시 하 였 다 .