본 제조 방법 은 상기 과열 증기 반 탄화 단계 ( S 20 ) 에서 반탄 화 공정 중 에 상기 우드 칩 의 연소 가 방지 되 도록 상기 반 탄화 설비 의 내부 에 무산소 분위기 를 형성 하 는 무산소 분위기 형성 과정 과 , 상기 반탄 화 칩 의 생 성 이 완료 되 면 상기 반 탄화 칩 과 과열 증기 를 분리 시키 는 과열 증기 분리 과정 과 , 상기 분리 된 과열 증기 를 상기 반 탄화 설비 로 재순환 시켜 열 원 으로 사용 하 는 과열 증기 재순환 과정 과 , 상기 과열 증기 의 재순환 중 에 상기 과열 증기 에 포함 된 타르 와 수액 을 제거 하 는 불순물 제거 과정 을 더 포함 한다 .