절연 층 ( 14 ) 이 , 에피 택 셜 층 ( 4 ) 상면 에 형성 되 어 있 다 . 절연 층 ( 14 ) 은 , NSG ( Nondoped Silicate Glass ) 막 및 BPSG ( Boron Phospho Silicate Glass ) 막 등 에 의해 , 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 공지 의 포토 리소그래피 기술 을 이용 하 여 , 예 를 들 면 , CHF 3 또는 CF 4 계 의 가스 를 이용한 드라이 에칭 에 의해 , 절연 층 ( 14 ) 에 컨 택트 홀 ( 15 , 16 , 17 ) 이 형성 되 어 있 다 .