개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 상기 기판 이송 챔버 의 상기 적어도 하나 의 선형 으로 연장 된 측면 반대편 의 상기 선형 으로 연장 된 측면 중 다른 하나 는 적어도 하나 의 다른 측면 기판 이송 개구 를 가지 며 , 상기 방법 은 , 상기 기판 이송 챔버 의 상기 단부 벽 , 상기 선형 으로 연장 된 측면 및 상기 선형 으로 연장 된 반대편 측면 에 각각 배치 된 단부 , 측면 및 다른 기판 이송 개구 의 각각 에 상기 엔드 이펙터 가 공통 되 도록 , 상기 단부 , 측면 , 및 다른 측면 기판 이송 개구 를 통해 상기 기판 이송 챔버 의 안 팍 으로 상기 적어도 하나 의 기판 홀더 에 의해 홀딩 된 기판 을 상기 기판 이송 아암 을 이용 하 여 이송 하 는 단계 를 더 포함 한다 .