이어서 , 상기 표면 평탄 화 가 수행 된 폴리 실리콘 막 ( 616 ) 상 에 금속 계 막 ( 618 ) 및 하드 마스크 막 ( 620 ) 을 차례 로 형성 한 다음 , 상기 하드 마스크 막 ( 620 ) , 금속 계 막 ( 618 ) , 폴리 실리콘 막 ( 616 ) 및 게이트 절 연막 ( 614 ) 을 식각 하 여 상기 핀 패턴 을 감싸 며 돌출 된 형상 을 갖 는 돌기 형 게이트 ( 628 ) 를 형성 한다 .