전극 의 중앙 으로부터 의 RF 구동 포인트 의 오프셋 거리 는 바람직 하 게 는 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 도록 또는 워크 피스 상 에 수행 중 인 플 라즈 마 제작 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 도록 설정 된다 . RF 구동 포인트 의 최적 오프셋 거리 는 플 라즈 마 제작 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 이 오프셋 거리 의 다양 한 값 들 에 대하 여 측정 되 는 루틴 한 실험 에 의하 여 설정 될 수 있 다 .