기판 지지 유닛 ( 20 ) 은 기판 ( S ) 을 하측 에서 지지 하 여 위 에 기판 ( S ) 이 놓이 는 스테이지 ( 21 ) 를 포함 한다 . 스테이지 ( 21 ) 의 하측 에 는 스테이지 ( 21 ) 를 Z 축 방향 의 축 을 중심 으로 회전 시키 는 스테이지 회전 모듈 ( 22 ) 이 연결 되 고 , 스테이지 회전 모듈 ( 22 ) 의 하측 에 는 스테이지 회전 모듈 ( 22 ) 을 Y 축 방향 으로 이동 시키 는 스테이지 이동 모듈 ( 23 ) 이 연결 된다 .