또한 , 일단 소자 가 완료 되 면 , 즉 모든 증착 이 수행 되 면 , 소자 의 외부 표면 에 보호 층 을 증착 하 는 것 이 유용 하 다 . 그러므로 , " 일실 시예 에서 의 방법 은 소자 의 상부 층 에 소자 를 보호 하 기 위한 목적 으로 패 시베이 션 층 을 증착 하 는 최종 단계 를 포함 한다 . "" 배리어 층 "" 으로 불리 는 이러 한 층 은 절연체 상 의 실리콘 및 / 또는 게르마늄 소자 의 품질 에 영향 을 줄 수 있 는 불순물 의 통과 를 방지 하 는 것 을 가능 하 게 한다 . 상부 층 은 예 를 들 어 ", 단결정 실리콘 또는 게르마늄 층 이 다 .