표 5 ∼ 7 에서 , 본 발명 의 방법 에 의하 면 , 노광 시 의 부분 적 인 차광 에 의해 형성 하 는 오 목부 의 효과 에 의해서 , 종래 방법 에 비하 여 Tg 를 작 게 할 수 있 는 것 을 알 수 있 었 다 . 이 Tg 를 작 게 할 수 있 다는 것 은 , 전극 폭 방향 중앙부 로부터 전극 폭 방향 단부 까지 의 전극 높이 를 균일 하 게 할 수 있 다는 것 으로 된다 . 돌출부 가 커서 전극 폭 방향 중앙부 로부터 전극 폭 방향 단부 를 향해서 의 전극 높이 의 증가 가 큰 비 교예 샘플 에 대하 여 , 본 발명 의 방법 에 의하 면 , 노광 시 의 부분 적 인 차광 에 의해 형성 하 는 오 목부 의 효과 에 의해서 , 전극 폭 방향 단부 에 더욱 가까운 부분 의 전극 높이 를 , 전극 폭 방향 중앙부 의 전극 높이 에 더욱 가깝 게 하 는 것 이 가능 해진다 . 이 와 같이 전극 폭 방향 에서 의 전극 높이 가 더욱 일정 한 전극 을 형성 함 으로써 , 방 전면 이 균일화 되게 되 어 , 더욱 안정 된 방전 특성 을 실현 할 수 있 게 된다 .