처음 으로 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 를 실행 하 는 성막 시스템 의 구성 예 에 대해 설명 한다 . 도 1 은 성막 시스템 의 일 구 성예 를 도시 한 도면 이 다 . 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 처리 용기 ( 1 ) 와 , 배치 대 ( 2 ) 와 , 샤워 헤드 ( 3 ) 와 , 배기 부 ( 4 ) 와 , 가스 공급 기구 ( 5 ) 와 , 제 어부 ( 6 ) 를 갖 는다 .