도 11 및 도 12 를 참조 하 면 , 부상 스테이지 ( 100 ) 로 기판 ( S ) 이 진입 하 는 도중 에 사이드 공 급부 ( 400 ) 가 사이드 에어 홀 ( 120 ) 로 에어 를 공급 하 고 , 부상 스테이지 ( 100 ) 로 기판 ( S ) 의 진입 이 완료 된 경우 에 사이드 흡 입부 ( 500 ) 가 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 를 흡입 할 수 있 다 .