본 발명 은 E×B 힘 을 이용 한 역자 기장 플 라즈 마 발생 RF 안테나 및 이 를 이용 한 역자 기장 플 라즈 마 발생 장치 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 안정 적 인 역자 기장 플 라즈 마 를 생성 하 기 위한 E×B 힘 을 이용 한 역자 기장 플 라즈 마 발생 RF 안테나 및 이 를 이용 한 역자 기장 플 라즈 마 발생 장치 에 관한 것 이 다 .