또한 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 압 전 센서 제조 방법 에서 , 상기 홈 을 형성 하 는 단계 는 , 포토 리소그래피 공정 으로 베이스 기판 의 제 1 면 에 센서 에 레이 형태 의 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 베이스 기판 에 형성 된 포토 레지스 트 를 제거 하 고 절 연막 을 증착 하 는 단계 ; 및 상기 포토 레지스 트 가 제거 된 영역 을 식각 하 여 상기 베이스 기판 에 소정 간격 으로 홈 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 할 수 있 다 .