상기 와 같 은 구조 를 가진 카세트 ( 10 ) 에 수납 된 기판 ( 1 , 2 ) 을 취 출하 기 위해 상기 로봇 암 ( 51 ) 은 포크 부 ( 52 ) 를 상기 기판 ( 1 , 2 ) 의 아래 로 밀 어 넣 고 약간 들 어 올린 후 상기 카세트 ( 10 ) 로부터 빼내 게 된다 . 그리고 , 상기 카세트 ( 10 ) 에 기판 ( 1 , 2 ) 을 수납 하 기 위해 상기 로봇 암 ( 51 ) 은 위 의 과정 을 역순 으로 수행 한다 .