이상 설명 한 제 2 실시 형태 에 따른 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 및 액 처리 수순 에 있 어서 도 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 후 에 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 된다 . 이 때문 에 , 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 했 을 때 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 하 기 위한 유로 내 에서 의 처리 액 의 헌팅 의 발생 이 억제 된다 . 상술 한 제 2 실시 형태 에서 는 , 송액 부 ( 60 ) 내 에 필터 ( 63 ) 가 마련 되 어 , 송액 부 ( 60 ) 내 에서 처리 액 의 헌팅 의 발생 이 억제 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 에 토출 되 는 처리 액 중 의 파티클 저감 에 유용 하 다 .