이 경우 , 먼저 , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 에 , 도시 하 지 않 은 제 2 레지스 트 막 이 , 포토 리소그래피 기술 에 의해 , 액 유로 부 ( 30 ) 의 제 1 내지 제 4 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 에 대응 하 는 패턴 형 으로 형성 된다 . 계속 해서 , 제 2 하프 에칭 공정 으로서 , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 이 하프 에칭 된다 . 이것 에 의해 , 당해 상면 ( 13 a ) 중 제 2 레지스 트 막 의 레지스 트 개구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 대응 하 는 부분 이 하프 에칭 되 어 , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 에 액 유로 부 ( 30 ) 가 형성 된다 . 즉 , 당해 상면 ( 13 a ) 에 , 각 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 가 형성 된다 . 이 들 볼록 부 ( 41 a 내지 44 a ) 에 의해 , 제 1 내지 제 4 주류 홈 ( 31 내지 34 ) 및 제 1 내지 제 4 연락 홈 ( 51 내지 54 ) 이 획정 된다 . 제 2 하프 에칭 공정 후 , 제 2 레지스 트 막 이 제거 된다 .