노즐 ( 410 , 420 ) 은 , 처리 실 ( 201 ) 의 하부 영역 부터 처리 실 ( 201 ) 의 상부 영역 까지 연장 되 도록 마련 되 어 있 고 , 웨이퍼 ( 200 ) 와 대향 하 는 위치 에 각각 복수 의 가스 공급 구멍 ( 410 a , 420 a ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 노즐 ( 410 , 420 ) 의 가스 공급 구멍 ( 개구부 ) ( 410 a , 420 a ) 으로부터 각각 웨이퍼 ( 200 ) 에 처리 가스 를 공급 한다 .