결국 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 페러 데이 시스템 ( 110 ) 은 스캐닝 시스템 에서 X 축 방향 으로 스캐닝 되 는 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 량 을 검출 하 는 페러 데이 컵 ( 112 ) 및 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 을 커버링 하 는 하우징 ( 116 ) 을 X 축 방향 에 중심축 을 두 고 소정 의 방위각 으로 회전 시키 는 구동 부 ( 118 ) 를 구비 하 여 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 및 상기 하우징 ( 116 ) 이 Y 축 방향 으로 이동 되 면서 이온 빔 ( 100 ) 의 선폭 변화 에 따른 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 량 을 모니터링 하 고 , 상기 Y 축 방향 으로 가변 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 선폭 변화 에 유연 하 게 대처 하 여 이온 주입 불량 을 방지 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 다 .