( 10 ) 상기 구리 계 입자 함유층 이 , 환원제 에 대해서 촉매 활성 을 가지 는 금속 을 성분 으로 하 는 입자 가 퇴적 하 여 이루어지 는 층상 에 , 상기 층 에 접하 여 구리 산화물 로 이루어지 는 입자 를 포함 하 는 층 을 1 층 이상 퇴적 하 여 이루어지 는 층 인 것 을 특징 으로 하 는 ( 1 ) 부터 ( 6 ) 의 어느 하나 에 기재 된 구리 도체 막 .