고주파 발생 부 ( 150 ) 는 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 내 의 가스 를 플 라즈 마 상태 로 만들 기 위한 고주파 전원 을 생성 하 여 공급 한다 . 그리고 공급 되 는 고주파 전원 의 상태 를 측정 하 기 위해 고주파 발생 부 ( 150 ) 의 일단 에 고주파 프로브 ( RF probe ) ( 110 ) 가 설치 되 어 있 다 . 즉 고주파 프로브 ( 110 ) 는 챔버 ( 20 ) 에 공급 되 는 고주파 ( RF ) 의 전압 , 전류 의 상태 를 모니터 하 여 챔버 ( 20 ) 내부 의 상태 를 실시간 으로 모니터링 한다 . 고주파 프로브 ( 110 ) 는 V - I 프로브 라고 도 하 는데 전압 의 RMS ( Root Mean Square ) 값 , 전류 의 RMS 값 , 전압 과 전류 의 위상 관계 또는 주파수 등 을 측정 한다 .