즉 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 의 제 1 로봇 ( 110 ) 은 기판 ( W ) 을 제 1 챔버 ( 32 a ) 로부터 제 1 공정 챔버 ( 42 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 그리고 , 제 1 로봇 ( 110 ) 은 제 1 챔버 ( 32 a ) 로 이송 되 어 진 다른 기판 ( W ) 을 제 1 챔버 ( 32 a ) 로부터 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 중 다른 하나 의 공정 챔버 로 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 이송 받 은 기판 ( W ) 상 에 기판 처리 공정 을 수행 한다 . 기판 처리 공정 이 완료 되 면 , 제 1 로 봇 ( 110 ) 은 제 1 공정 챔버 ( 42 ) 로부터 기판 ( W ) 을 반출 시켜 반출 챔버 ( 34 ) 의 제 1 챔버 ( 34 a ) 로 기판 ( W ) 을 이송 한다 .