여기 서 , 기존 의 소자 분리 막 은 로코스 ( LOCOS ) 공정 에 의해 형성 되 어 져 왔 는데 , 상기 로코스 공정 에 의한 소자 분리 막 은 , 주지 된 바 와 같이 , 그 가장자리 부분 에서 새부리 형상 의 버즈 - 빅 ( bird ' s - beak ) 이 발생 되 기 때문 에 소자 분리 막 의 면적 을 증대 시키 면서 누설 전류 를 발생 시키 는 단점 이 있 다 .