텅스텐 - 풍부 필름 이 낮 은 저항률 의 텅스텐 플러그 와 라인 적용 예 를 제공 하 는 맥락 에서 설명 되 었 지만 , 상기 텅스텐 - 풍부 필름 은 또한 그 밖 의 다른 적용 예 , 특히 , 텅스텐 필름 스택 의 적용 예 를 가질 수 있 다 . 하나 의 실시 예 에서 , 텅스텐 - 풍부 필름 은 앞서 설명 된 바 와 같이 , 노출 된 전도성 영역 상 에 증착 될 수 있 으며 , 그 후 , 텅스텐 나이트 라이드 가 그 위 에 텅스텐 플러그 충전 , 또는 비트 라인 적용 예 에서 의 장벽 필름 으로서 증착 된다 . 이러 한 적용 예 에서 , WF 6 텅스텐 나이트 라이드 증착 동안 텅스텐 나이트 라이드 는 장벽 필름 역할 을 수행 하 고 , OMW 텅스텐 - 풍부 층 은 불소 공격 으로부터 아래 위치 하 는 영역 을 보호 하 고 , 접착성 을 향상 시킨다 .