도 10 및 도 13 을 참조 하 면 , 제 2 질화 공정 을 이용 하 여 대 상체 ( 150 ) 상 에 하부 질화 막 ( 165 ) , 산화 막 ( 170 ) 및 상부 질화 막 ( 175 ) 을 포함 하 는 절연 구조물 ( 180 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 170 ) . 상기 제 2 질화 공정 은 플 라즈 마 질화 ( plasma nitration ) 공정 을 포함 할 수 있 다 .