단계 S 05 에 있 어서 둘레 벽 ( 31 ) 의 높이 가 상승 완료 높이 에 달하 였 다고 판정 한 경우 , 제 어부 ( 100 ) 는 단계 S 07 , S 08 을 실행 한다 . 단계 S 07 에서 는 , 승강 핀 ( 23 ) 의 단부 가 열 판 ( 21 ) 상 에 돌출 할 때 까지 , 기판 승강 제 어부 ( 113 ) 가 승강 구동 부 ( 24 ) 에 의해 승강 핀 ( 23 ) 을 상승 시킨다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 열 판 ( 21 ) 으로부터 떨어져 상승 한다 .