본 발명 의 일 실시 예 에 따른 압 전 어레이 소자 제조 방법 은 , 확산 방지 막 을 형성 하 여 압 전 물질 의 압 전 물질 원소 가 실리콘 으로 확산 하 는 것 을 효과 적 으로 막 을 수 있 고 , 압 전 물질 과 는 반응 하 지 않 고 실리콘 제거 가 가능 한 에칭 가스 에 의해 압 전 물질 과 실리콘 몰드 간 의 반응 을 최대한 억제 할 수 있 다 . 또한 , 본 발명 의 이러 한 압 전 물질 과 실리콘 간 의 반응 을 억제 하 는 공정 을 이용 하 여 대면 적 소자 제조 가 가능 하 여 공정 비용 을 크 게 절감 할 수 있 다 .