도 9 a 내지 도 9 c , 도 10 a 및 도 10 b , 도 11 a 내지 도 11 c , 도 12 a 내지 도 12 c , 도 13 , 도 14 a 및 도 14 b , 도 15 a 및 도 15 b , 및 도 16 a 내지 도 16 c 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 메모리 소자 의 제조 방법 을 나타내 는 도면 들 이 다 . 이하 의 도면 들 은 도 2 , 도 3 , 도 4 a 및 도 4 b 를 참조 하 여 설명 한 제 2 도전 라인 들 ( CL 1 내지 CL 20 ) 과 이 들 에 연결 되 는 콘 택 플러그 들 ( CT 1 a , CT 1 b , CT 2 a , CT 2 b ) 을 제공 할 수 있 는 제조 방법 들 을 나타낸다 .