상세히 하 면 , 하부 기판 ( 60 ) 상 에 스퍼터링 방법 등 의 증착 방법 을 통해 게이트 금속 층 이 형성 된다 . 이어서 , 제 1 마스크 를 이용 한 포토 리 쏘 그래피 공정 과 식각 공정 으로 게이트 금속 층 이 패 터닝 됨 으로써 도시 되 지 않 은 게이트 라인 과 게이트 라인 에 접속 된 게이트 전극 ( 62 ) 등 을 구성 하 는 제 1 도전 패턴 군 이 형성 된다 . 게이트 금속 층 으로 는 알루미늄 ( Al ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 크롬 ( Cr ) 계 등 의 금속 이 단일 층 또는 다 중층 구조 로 이용 된다 .