도 33 a 내지 도 33 d 에서 , CNT ( 100 ) 가 지지 층 ( 20 ) 상 에 배치 되 고 , 그 후 에 도 33 a 에 도시 된 바 와 같이 유전체 층 ( 200 ) 이 형성 되 어 CNT ( 100 ) 를 커버 한다 . 도 33 b 에 도시 된 바 와 같이 , 에치 - 백 작업 및 CMP 작업 과 같 은 평탄 화 작업 이 수행 되 고 , 유전체 층 ( 200 ) 이 부분 적 으로 제거 되 어 CNT ( 100 ) 의 상부 부분 을 노출 시킨다 . 도 33 c 에 도시 된 바 와 같이 , 추가 지지 층 ( 20 ) 이 유전체 층 ( 200 ) 및 CNT ( 100 ) 위 에 그 후 에 형성 된다 . 도 33 d 는 소스 / 드레 인 접촉 부 ( 70 ) 가 형성 된 이후 의 구조물 을 도시 한다 . CNT ( 100 ) 의 바닥 은 일부 실시 예 에서 소스 / 드레 인 접촉 부 ( 70 ) 와 접촉 한다 .