이상 설명 한 바 와 같이 본 발명 의 멀티 핑거 로봇 에 의하 면 , 웨이퍼 의 수납 정보 에 따라 이송 프레임 에 의해 이송 되 는 핑거 들 을 선택 하 여 개별 이송 제어 함 으로써 , 이송 프레임 에 불 필요 하 게 걸리 는 이송 부하 를 감소 시킬 수 있 도록 하 는 효과 를 갖 는다 . 또한 , 이송 프레임 의 부 하량 을 감소 시킴 에 따라 핑 거의 이송 속도 를 향상 시킬 수 있 는 효과 를 갖 는다 .