[ 0031 ] 캐리어 가스 는 수소 , 질소 , 아르곤 , 헬륨 , 및 이 들 의 임의 의 조합 들 을 포함 할 수 있 다 . 캐리어 가스 는 특정 에 천트 ( 들 ) 에 기초 하 여 선택 될 수 있 다 . 하나 의 예시 적 인 구현 에서 , 에 천트 는 HCl 및 GeH 4 를 포함 한다 . 다른 구현 에서 , 에 천트 는 Cl 2 및 GeH 4 를 포함 한다 . 에칭 동안 HCl 및 GeH 4 가 사용 되 는 경우 들 에서 , HCl 및 GeH 4 의 유동 은 , 약 1 : 3 내지 약 1 : 7 , 예컨대 약 1 : 5 의 GeH 4 / HCl 비율 로 , 에피택시 챔버 내 로 도입 될 수 있 다 . 하나 의 예시 적 인 예 에서 , GeH 4 는 약 60 sccm 의 유량 으로 도입 되 고 , HCl 은 300 sccm 으로 도입 되 며 , 캐리어 가스 ( N 2 ) 는 약 3 SLM 의 유량 으로 도입 된다 .