절연 층 ( 20 ) 은 예컨대 테트라에틸 올 쏘 실리케이트 ( TEOS ) 와 같 은 실록 산계 절연 물질 , SiOF 계 , SiOC 계 와 같 은 무기물 ; 수소 함유 폴리 실록 산계 절연 물질 , 메틸 함유 폴리 실록 산계 와 같 은 유무 기물 ; 폴리 이미드 계 , 파 릴 렌 , 테 프론 과 같 은 폴리 테트라 플루오르 에틸렌 을 포함 한 유기물 ; 에어갭 ( air gap ) 등 일 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 절연 층 ( 20 ) 은 예컨대 화학 기상 증착 과 같 은 증착 또는 스핀 코팅 과 같 은 용액 공정 으로 형성 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .