본 발명 은 모스 펫 소자 의 제조 방법 을 개시 한다 . 개시 된 본 발명 의 방법 은 , 활성 영역 을 한정 하 는 소자 분리 막 이 구비 된 실리콘 기판 상 에 절 연막 과 하드 마스크 막 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 하드 마스크 막 과 절 연막 을 식각 하 여 게이트 형성 영역 을 노출 시키 는 마스크 패턴 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 노출 된 실리콘 기판 을 식각 하 여 제 1 홈 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 홈 양측 벽 에 희생 스 페이서 를 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 홈 저면 아래 의 실리콘 기판 부분 을 등방성 식각 하 여 상기 제 1 홈 을 포함 해서 하 단부 가 벌브 형상 을 갖 는 제 2 홈 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 홈 을 포함 한 실리콘 기판 에 SEG 공정 을 수행 하 여 상기 벌브 형상 의 제 2 홈 하단 부 상 에 실리콘 에 피층 을 형성 하 는 단계 및 상기 실리콘 에 피층 이 형성 된 제 2 홈 상 에 리세 스 게이트 를 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .