반응 관 ( 203 ) 의 측벽 하방 에 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 분위기 를 배기 하 는 배기관 ( 231 ) 이 접속 되 어 있 다 . 배기관 ( 231 ) 에 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 을 검출 하 는 압력 검출기 ( 압력 검 출부 ) 로서 의 압력 센서 ( 245 ) 및 압력 조정기 ( 압력 조정부 ) 로서 의 APC ( Auto Pressure Controller ) 밸브 ( 244 ) 를 통해서 , 진공 배기 장치 로서 의 진공 펌프 ( 246 ) 가 접속 되 어 있 다 . APC 밸브 ( 244 ) 는 , 진공 펌프 ( 246 ) 를 작동 시킨 상태 에서 밸브 를 개폐 함 으로써 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 진공 배기 및 진공 배기 정지 를 행할 수 있 고 , 또한 진공 펌프 ( 246 ) 를 작동 시킨 상태 에서 , 압력 센서 ( 245 ) 에 의해 검출 된 압력 정보 에 기초 하 여 밸브 개방 도 를 조절 함 으로써 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 을 조정 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 . 주로 , 배기관 ( 231 ) , APC 밸브 ( 244 ) , 압력 센서 ( 245 ) 에 의해 배 기계 가 구성 된다 . 진공 펌프 ( 246 ) 를 배 기계 에 포함 해서 생각 해도 된다 .