도 1 을 참조 하 면 , 종래 에 는 기판 을 고정 하 여 회전 시키 는 스핀 헤드 ( 10 ) 를 중심 으로 보울 ( 20 ) 이 구비 되 었 다 . 보울 ( 20 ) 은 공정 시 사용 된 약액 을 모아 약액 이 재 사용 되 도록 하 였 다 . 대부분 의 공정 시 필요 한 약액 은 여러 종류 이 므로 각각 의 약액 을 따로 모아 재 사용 하 기 위하 여 , 보울 ( 20 ) 은 복수 의 단 으로 이루어져 배치 되 었 다 .