이어서 , 기판 위치 조정부 ( 103 ) 에 의해 2 개 의 CCD 카메라 ( 13 ) 가 제어 되 고 , 기판 ( 9 ) 상의 2 개 의 위치 결정 용 표지 ( 93 ) 가 촬상된다 ( 스텝 ( S 19 ) ) . 다음 으로 , 2 개 의 위치 결정 용 표지 ( 93 ) 의 화상 에 의거 하 여 위치 결정 용 표지 ( 93 ) 의 중심 간 의 부 주사 방향 에 관한 거리 가 구해 지 고 , 미리 기억 되 어 있 는 위치 결정 용 표지 ( 93 ) 의 중심 간 의 주 주사 방향 에 관한 거리 에 의거 하 여 기판 ( 9 ) 의 회전 방향 의 편 차량 ( 즉 , 기울기 ) 이 구해진다 . 그리고 기판 위치 조정부 ( 103 ) 에 의해 기판 회전 기구 ( 12 a ) 가 기판 ( 9 ) 의 회전 방향 의 편 차량 에 의거 하 여 제어 되 어 기판 ( 9 ) 이 회전 함 으로써 , 2 개 의 위치 결정 용 표지 ( 93 ) 의 CCD 카메라 ( 13 ) 에 대한 부 주사 방향 에 있 어서 의 상대 위치 가 동일 하 게 된다 ( 스텝 ( S 20 ) ) .