또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 액체 로서 순수 ( 물 ) 를 이용 하 는 것 으로 하 였 지만 , 본 발명 이 이 에 한정 되 지 아니하 는 것 은 물론 이 다 . 액체 로서 는 , 화학 적 으로 안정 적 이 고 조명 광 ( IL ) 의 투과 율 이 높 고 안전 한 액체 , 예 를 들 어 , 불소 함유 불활성 액체 를 사용 할 수 있 다 . 이 불소 함유 불활성 액체 로서 는 , 예 를 들 어 , 플 루 오리 너트 ( Fluorinert ) ( 미국 3 M 사 의 상품명 ) 가 사용 될 수 있 다 . 불소 함유 불활성 액체 는 또한 냉각 효과 의 면 에서 우수 하 다 . 또한 , 액체 로서 는 , 순수 ( 굴절 률 은 대략 1 . 44 ) 보다 높 은 굴절 률 을 갖 는 액체 , 예 를 들 어 , 1 . 5 이상 의 굴절 률 을 갖 는 액체 가 사용 될 수 있 다 . 이러 한 타입 의 액체 로서 는 , 예 를 들 어 , 약 1 . 50 의 굴절 률 을 갖 는 이소프로판올 , 약 1 . 61 의 굴절 률 을 갖 는 글리세롤 ( 글리세린 ) 등 의 C - H 결합 또는 O - H 결합 을 갖 는 소정 액체 , 헥산 , 헵탄 또는 데칸 등 의 소정 액체 ( 유기 용제 ) , 또는 약 1 . 60 의 굴절 률 을 갖 는 데칼린 ( 데카 하이드로 나프탈렌 ) 등 을 들 수 있 다 . 대안 으로 , 이 들 액체 중 임의 의 2 개 이상 을 혼합 함 으로써 얻 어 지 는 액체 가 사용 될 수 도 있 고 , 또는 이 들 액체 중 적어도 하나 를 순수 에 ( 와 ) 첨가 ( 혼합 ) 함 으로써 얻 어 지 는 액체 가 사용 될 수 도 있 다 . 대안 으로 , 액체 로서 는 , H +, Cs +, K +, Cl -, SO 4 2 -, 또는 PO 4 2 - 등 의 염기 또는 산 을 순수 에 ( 와 ) 첨가 ( 혼합 ) 함 으로서 얻 어 지 는 액체 가 사용 될 수 있 다 . 또한 , Al 산화물 의 입자 등 을 순수 에 ( 와 ) 첨가 ( 혼합 ) 함 으로써 얻 어 지 는 액체 가 사용 될 수 있 다 . 이 들 액체 는 ArF 엑 시머 레이저 광 을 투과 시킬 수 있 다 . 또한 , 액체 로서 는 , 작 은 광 흡수 계수 를 갖 고 , 덜 온도 종속 적 이 며 , 투영 광학계 ( 선단 광학 부재 ) 및 / 또는 웨이퍼 의 표면 상 에 코팅 된 감광제 ( 또는 보호막 ( 상부 코팅 막 ) , 반사 방지 막 등 ) 에 안정 한 액체 가 바람직 하 다 . 또한 , F 2 레이저 가 광원 으로서 사용 되 는 경우 , 폼 블린 오일 ( fomblin oil ) 이 선택 될 수 있 다 . 또한 , 액체 로서 는 , 조명 광 ( IL ) 에 대해 순수 의 굴절률 보다 더 높 은 굴절 률 을 갖 는 액체 , 예 를 들 어 대략 1 . 6 내지 1 . 8 의 굴절 률 의 것 이 사용 될 수 도 있 다 . 액체 로서 는 , 초임계 유체 가 또한 사용 될 수 있 다 . 또한 , 투영 광학계 ( PL ) 의 선단 광학 소자 는 석영 ( 실리카 ) , 또는 불화 칼슘 ( 형석 ) , 불화 바륨 , 불화 스트론튬 , 불화 리튬 , 및 불화 나트륨 등 의 불화물 화합물 의 단결정 재료 로 형성 될 수 도 있 고 , 또는 ( 예 를 들 어 , 1 . 6 이상인 ) 석영 또는 형석 의 굴절률 보다 더 높 은 굴절 률 을 갖 는 재료 로 형성 될 수 도 있 다 . 1 . 6 이상 의 굴절 률 을 갖 는 재료 로서 는 , 예 를 들 어 , 국제 공개 공보 제 2005 / 059617 호 팜플렛 에 개시 된 사파이어 , 이산화 게르마늄 등 , 또는 국제 공개 공보 제 2005 / 059618 호 팜플렛 에 개시 된 ( 약 1 . 75 의 굴절 률 을 갖 는 ) 염화칼륨 등 이 사용 될 수 있 다 .