실리콘 함유 가스 는 , 공정 S 11 에서 사용 되 는 가스 와 동일 해도 되 고 , 예 를 들 어 SiH 4 가스 , Si 2 H 6 가스 등 의 수소 화 실리콘 가스 , 모노 메틸 실란 , 디 메틸 실란 , 트리 메틸 실란 등 이 다 . 소정 온도 는 , 오 목부 에 형성 된 Ru 막 과 반응 해서 RuSi 막 을 형성 가능 한 온도 이 면 되 고 , 실리콘 함유 가스 의 종류 에 따라 설정 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 실리콘 함유 가스 로서 SiH 4 가스 를 사용 하 는 경우 의 적합 한 온도 범위 는 300 ℃ 내지 500 ℃ 이 고 , 예 를 들 어 400 ℃ 이 다 .