웨이퍼 ( 9 ) 는 이재 ( 移 載 ) 된 카 셋 트 ( 8 ) 에 수납 되 어 있 는 상태 에서 는 , 랜덤 으로 배치 되 어 있 는 것 으로부터 , 로봇 ( 6 ) 에 의해서 카 셋 트 ( 8 ) 로부터 웨이퍼 ( 9 ) 를 취 출하 여 , 웨이퍼 ( 9 ) 에 각종 가공 을 실시 할 때 에 는 , 노치 ( notch ) ( 91 ) 의 위치 가 정규 의 위치 로 위치 결정 된 상태 로 행해 지 지 않 으면 안 된다 . 이 때문 에 , 카 셋 트 ( 8 ) 로부터 취 출 된 웨이퍼 ( 9 ) 를 웨이퍼 ( 9 ) 의 얼라 이너 ( 7 ) 에 반입 하 고 , 이 웨이퍼 ( 9 ) 의 얼라 이너 ( 7 ) 에 의해서 노치 의 위치 를 정규 의 위치 에 일치 시킨 후 , 웨이퍼 ( 9 ) 를 처리 스테이지 에 세트 하 는 방법 이 취해 지 고 있 다 .