도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 윈도우 ( 100 ) , 윈도우 프레임 ( 105 ) , 안테나 ( 110 ) , 챔버 ( 10 ) , 리드 ( lid ) ( 90 ) , 서포터 ( supporter ) ( 130 ) 및 서 스펜 딩 부 ( suspending ) ( 160 ) 를 포함 한다 . 또한 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 게이트 ( 20 ) , 베이스 부 ( 30 ) , 정전 척 ( 40 ) , 절 연부 ( 50 ) , 냉 각부 ( 60 ) , 전극 부 ( 70 ) , 전극 부용 전원 공급 부 ( 80 ) , 고주파 전원 공급 부 ( 110 ) , 체결 부재 ( 140 ) 및 안테나 플레이트 를 더 포함 한다 .