또한 , 기존 의 MEMS 스위치 는 이동판 이 양쪽 으로 고정 되 기 때문 에 이동판 이 쉽 게 열 적 으로 변형 되 고 , 이동판 과 접지 라인 간 의 간격 이 작 아 상부 전극 으로 이용 되 는 이동판 이 다른 고정 요소 에 들러붙 는 스틱 션 문제 가 쉽 게 발생 된다 . 이러 한 스틱 션 문제 는 수 마이크로미터 의 간격 으로 유지 되 는 이동판 과 기판 사이 에 습기 나 제조 공정 시 발생 된 이 물질 등 이 존재 함 으로써 발생 하 고 , 그 에 따라 스위치 의 동작 특성 을 불 안정 하 게 만드 는 요인 으로 작용 한다 . 따라서 , 본 발명 은 지지 돌출부 ( 141 ) 를 이동판 부 ( 150 ) 에 형성 함 으로써 동작 전압 을 일정 하 게 유지 하 면서 스틱 션 을 방지 하 고 안정 하 게 동작 할 수 있 도록 한다 .