DC - 마그네트론 스퍼터링 을 이용 하 여 1 kW 의 DC Power 로 ITO ( In 2 O 3 - 90 %, SnO 2 - 10 %) 타 겟 으로부터 유리기 판상 에 박막 을 증착 시킨다 . 유리 기판 의 온도 는 상온 ( 25 ℃) 이 고 아르곤 가스 는 0 . 54 Pa 의 공 정압 에서 100 sccm 이 주입 된다 . 증착 두께 는 70 nm 로 제어 되 어 결정 화 핵 성장 을 억제 함 과 동시 에 박막 표면 조도 를 제어 하 기 위한 제 1 층 이 형성 된다 .