건식 식각 을 하 는 경우 , 고가 의 진공 장비 에서 식각 공정 을 거친 후 식각 공정 중 표면 의 일부 경화 된 포토레지스트 를 제거 하 기 위해 산소 플 라즈 마 에 의한 애 싱 ( Ashing ) 공정 을 수행 하 고 그 후 에 잔류 포토레지스트 제거 를 위한 스트립 핑 ( Stripping ) 공정 과 별도 의 클리닝 공정 을 수행 하 는 등 공정 단계 가 복잡 하 므로 실제로 는 습식 식각 을 거친 후 원 하 는 패턴 이 안 된 부분 만 건식 식각 하 는 건 식식 각이 일부 혼용 된 습식 식각 공정 을 적용 하 는 경우 가 대부분 이 다 .