이 에 , 주기 적 으로 챔버 ( 10 ) 의 내벽 이나 챔버 ( 10 ) 내 의 다른 구조물 들 의 표면 에 증착 되 어 형성 된 잔류물 을 정화 ( 제거 ) 할 필요 가 있 다 . 이 를 위해 , 앞서 기술 한 바 와 같이 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 및 매니폴드 ( 60 ) 가 구비 된다 . 이 에 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 에 정화 가스 를 흘려 플 라즈 마 및 라디컬 ( 이 를 정화 물질 이 라 함 ) 을 생성 하 고 , 생성 된 정화 물질 이 매니폴드 ( 60 ) 의 경로 라인 ( 70 ) 에서 한 데 합쳐 지 도록 한 후 , 이 를 가스 피드 스루 관 ( 53 ) 과 챔버 ( 10 ) 에 연결 된 알루미늄 관 ( 54 , 도 1 참조 ) 을 통해 챔버 ( 10 ) 에 주입 함 으로써 챔버 ( 10 ) 내 의 잔류물 과 반응 해 정화 작업 이 일어나 도록 하 는 것 이 다 .