한편 , 챔버 ( 55 ) 는 배스 ( 50 ) 내부 로 에 천 트 를 주입 하 고 배출 하 기 위한 에 천 트 주입 용 배관 및 에 천 트 배출 용 배관 을 구비 하 며 , 에 천 트 주입 용 배관 에 는 식각 용 에 천트 ( 10 ) 를 챔버 ( 55 ) 내부 에 구비 된 배스 ( 50 ) 로 공급 하 는 공급 탱크 가 연결 되 어 있 으며 , 에 천 트 배출 용 배관 은 배관 밸브 를 통해 챔버 ( 55 ) 내부 에 구비 된 배스 ( 50 ) 에 채워져 있 는 식각 용 에 천트 ( 30 ) 를 챔버 ( 55 ) 외부 로 배출 한다 .