상기 유기 금속 산화물 층 을 형성 하 는 단계 는 , 습식 코팅 법 , 스퍼터링 법 또는 증착 법 을 이용 하 여 유기 금속 산화물 막 을 형성 할 수 있 다 . 일 예 로서 , 상기 유기 금속 산화물 막 은 페로 센 막 일 수 있 다 . 바람직 하 게 는 ALD ( atomic layer deposition ) , CVD ( temperature - regulated chemical vapor deposition ) 등 의 증착 법 을 이용 하 고 , 더 바람직 하 게 는 TR - CVD ( 온도 조절 식 화학 증착 법 , temperature - regulated chemical vapor deposition ) 를 이용 하 여 페로 센 층 을 형성 할 수 있 다 . 일 예 로서 , TR - CVD 의 적용 시 페로 센 양 의 조절 을 통하 여 무기 산화물 상 에 증착 되 는 철 산화물 의 양 을 용이 하 게 조절 할 수 있 고 , 광촉매 의 제조 공정 을 단순 화 시키 고 효율 적 으로 광촉매 를 제공 할 수 있 다 .