클러스터 시스템 은 반 송실 ( transfer chamber ) 과 반송 실내 에 회동 이 자유 롭 게 마련 된 반송 로봇 을 구비 한다 . 반 송실 의 각 변 에 는 기판 의 처리 공정 을 수행 하 기 위한 공정 챔버 가 장착 된다 . 이 와 같 은 클러스터 시스템 은 복수 개 의 기판 을 동시 에 처리 하 거나 또는 여러 공정 을 연속 해서 진행 할 수 있 도록 함 으로 기판 처리 량 을 높이 고 있 다 . 기판 처리 량 을 높이 기 위한 또 다른 노력 으로 는 하나 의 공정 챔버 에서 복수 매 의 기판 을 동시 에 처리 하 도록 하 여 시간 당 기판 처리 량 을 높이 도록 하 고 있 다 .