하프톤 부 ( 26 a ) 는 , 직선 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 하프톤 부 ( 26 a ) 는 , 상호 연장 되 는 방향 이 평행 하 게 되 도록 형성 되 어 있 다 . 레지스 트 ( 27 ) 의 노광 영역 ( 27 a ) 은 , 각각 선 형상 으로 된다 . 이러 한 기준 패턴 에서 , 하프톤 부 ( 26 a ) 끼리 의 거리 를 스페이스 사이즈 ( S ) 로 한다 . 또한 , 하프톤 부 ( 26 a ) 의 폭 을 W 로 한다 . 노광 영역 ( 27 a ) 의 폭 을 CD ( Critical Dimension ) 값 으로 한다 . 본 실시 예 에서 는 , 스캐너 타입 의 노광 장치 를 이용 하 고 있 고 , CD 값 이 패턴 부 ( 26 a ) 의 폭 ( W ) 의 거의 1 / 4 로 된다 .