상기 한 바 와 같이 본 발명 에 의하 면 , 복수 개 의 약액 조 내 에 투입 되 는 웨이퍼 가이드 에 탑재 된 다 수개 의 웨이퍼 에 인접 하 여 유동 되 는 세정액 을 흡입 / 배출 시키 는 세정액 흡입 홀 을 구비 하 여 상기 웨이퍼 가이드 에 탑재 된 웨이퍼 에 근접 하 여 상기 세정액 이 유동 되 도록 함 으로서 흐름 성 디 펙 을 방지 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 효과 가 있 다 .