그리고 , 주변 영역 에서 게이트 스 페이서 를 이루 고 있 던 비정질 카본 층 ( 37 a ) 도 주변 영역 오픈 마스크 층 ( 38 ) 을 제거 할 때 동시 에 제거 되 는데 , 이러 한 비정질 카본 층 ( 37 a ) 은 이미 이온 주입 배리어 로 사용 했 기 때문 에 후속 공정 에 의해 제거 가 되 어도 소자 의 동작 에 전혀 문제 가 되 지 않 는다 . 필요 하 다면 , 추후 제거 된 비정질 카본 층 부분 에 절연 층 을 추가 로 형성 하 여도 무방 하 다 .