한편 , 도 19 는 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 의 제어 방법 을 설명 하 기 위한 블록 도 이 고 , 도 20 은 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 제어 방법 을 설명 하 기 위한 블록 도 이 다 . 아울러 , 전술 한 구성 과 동일 및 동일 상당 부분 에 대해서 는 동일 또는 동일 상당 한 참조 부호 를 부여 하 고 , 그 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .