베이 킹 공정 조건 이 미치 는 영향 을 측정 하 기 위하 여 , 대기 분위기 에서 베이 킹 온도 및 베이 킹 시간 을 조절 하 면서 생성 된 산화 막 을 광학 현미경 으로 관찰 하 였으며 , 도 11 내 ( a ) 는 300 ℃ 에서 1 시간 30 분 , ( b ) 는 500 ℃ 에서 3 시간 , ( c ) 는 650 ℃ 에서 1 시간 동안 베 이킹 처리 하 였을 때 의 산화 막 을 각각 나타내 었 다 .