본 발명 의 일 양태 는 방법 을 제공 하 며 , 이 방법 은 , CDSEM ( 임계 치수 주사 전자 현미경 ) 타 겟 으로부터 SEM ( 주사 전자 현미경 ) 에 의해 유도 된 CDSEM 계측 메트 릭 값 의 LER 관련 불 확실 성 오차 를 추정 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 LER 관련 불 확실 성 오차 를 추정 하 는 단계 는 , LER 을 특징짓 는 적어도 하나 의 확률 파라미터 의 변동 범위 를 추정 하 는 동작 과 , 상기 계측 메트 릭 값 에 대한 주어진 측정 모델 에 따라 추정 범위 에서 발생 하 는 오차 를 , 분석 적 으로 및 시뮬레이션 을 사용 하 는 것 중 어느 하나 로 , 유도 하 는 동작 과 , 상기 LER 관련 불 확실 성 오차 를 추정 하 기 위해 상기 유도 된 오차 를 사용 하 는 동작 에 의해 행해 지 며 , 상기 추정 하 는 동작 , 상기 유도 하 는 동작 및 상기 사용 하 는 동작 중 적어도 하나 는 , 적어도 하나 의 컴퓨터 프로세서 에 의해 수행 된다 .