본 발명 의 일실 시예 에 따른 스펙트럼 모니터 ( 155 ) 는 RF 센서 ( 135 ) 로부터 출력 되 는 전기 적 검출 신호 를 고주파 신호 의 기본파 및 고조파 에 대응 하 는 발진 주파수 와 혼합 하 여 RF 전력 의 주파수 대역 및 크기 를 검출 한다 . 여기 서 , 동기 신호 ( Sync ) 는 전력 증폭기 ( 130 ) 및 스펙트럼 모니터 ( 155 ) 에 각각 제공 되 어 전력 증폭기 ( 130 ) 의 출력 과 스펙트럼 모니터 ( 155 ) 의 출력 을 동기 시킨다 . 또한 본 발명 의 일실 시예 에 따르 면 , RF 센서 ( 135 ) 는 커플러 로 대체 될 수 있 다 .