본 발명 은 상기 제 1 바디 에 고정 되 며 , 상기 제 1 바디 공 급구 및 상기 챔버 공 급구 가 수용 되 는 공간 을 제공 하 는 유로 바디 ; 상기 유로 바디 에 구비 되 어 상기 제 1 바디 공 급구 와 상기 챔버 공 급구 사이 에 위치 하 며 , 상기 제 1 유로 와 상기 제 2 유로 를 구분 하 는 격벽 ; 상기 유로 바디 를 관통 하 도록 구비 되 어 상기 제 1 유로 와 상기 제 2 급수 유로 를 연결 하 는 유로 바디 관통 홀 ; 을 더 포함 할 수 있 다 .