2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에서 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 평행 하 게 연장 하 는 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 1 변 ( 30 c ) 에 는 , 아무것 도 연결 되 고 있 지 않 고 , 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에 는 극간 ( K ) 이 생긴다 . 이 극간 ( K ) 은 , 후술 하 는 제 3 반송 유닛 이나 검사 장치 등 을 확장 · 연결 하 기 위한 스페이스 로서 이용 되 고 , 또 유지 보수 를 위한 통로 로서 이용 된다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 과 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 54 ) 가 마련 되 고 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 55 ) 가 마련 된다 . 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 와 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 57 ) 가 마련 된다 . 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 에 는 , 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 이 마련 된다 . 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 은 , 감압 하 에서 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 .