이후 , 도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 트렌치 ( 201 ) 가 형성 된 기판 ( 200 ) 의 전면 에 막 ( 211 ) ( 산화 막 ) 을 증착 한다 . 그리고 , 상기 산화 막 에 N 2 , NO , 및 NO 2 가스 중 하나 를 상기 막 ( 211 ) 의 내부 로 주입 시킨다 . 그러면 , 상기 막 은 상기 가스 에 의해 질화 막 ( 211 ) 으로 형성 된다 .