제 2 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 에 따르 면 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 를 , 연결 챔버 ( 96 ) 를 거쳐서 연결 하 므로 , 종래 의 평면 적 으로 전개 한 멀티 챔버 식 의 기판 처리 시스템 에 비해서 , 풋 프린트 가 저감 된다 . 또한 , 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 와 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에서 기판 을 이동 하 게 하 는 것 ( 진공 중 에서 의 연속 적 인 처리 ) 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 연결 챔버 ( 96 ) 는 제 2 로드 록 챔버 에 연결 하 도록 마련 되 어 있 어도 좋 고 , 이런 경우 , 반송 의 자유도 가 향상 된다고 하 는 효과 를 기대 할 수 있 다 . 연결 챔버 ( 96 ) 와 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 사이 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 와 의 사이 , 또는 제 2 로드 록 챔버 와 의 사이 에 는 , 각각 게이트 밸브 를 구비 해도 좋 다 . 그 경우 , 각 챔버 간 의 독립성 이 담보 되 어 , 유지 보수 의 자유도 가 향상 된다 .