절연재 층 ( 14 ) 은 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 을 위요 ( 圍繞 ) 하 여 부식성 가스 및 그 플 라즈 마로 부터 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 을 보호 한다 . 절연재 층 ( 14 ) 은 , 재치 판 ( 11 ) 과 지지 판 ( 12 ) 과 의 경 계부 , 즉 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 이외 의 외주 부 영역 을 접합 일체 화 한다 . 바꾸 어 말 하 면 , 절연재 층 ( 14 ) 은 , 재치 판 ( 11 ) 과 지지 판 ( 12 ) 에 끼워 지 고 , 또한 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 의 외주 를 둘러싸 는 영역 에 위치 하 여 , 재치 판 ( 11 ) 과 지지 판 ( 12 ) 과 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 을 서로 접착 하 도록 고정 하 고 있 다 . 재치 판 ( 11 ) 및 지지 판 ( 12 ) 을 구성 하 는 재료 와 동일 조성 또는 주성분 이 동일 한 절연 재료 에 의하 여 구성 되 어 있 다 .