한편 , 상기 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 은 가스 공급 부 ( 130 ) 의 외부 에 형성 되 어 있 는 토출 라인 ( 161 , 162 ) 에 연결 된다 . 토출 라인 ( 161 , 162 ) 은 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 과 연결 된 제 1 토출 라인 ( 161 ) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 과 연결 된 제 2 토출 라인 ( 162 ) 을 포함 할 수 있 다 .