구체 적 으로 는 , 본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 은 , ( 1 ) 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 산 발생 제 성분 ( B ) ( 이하 「 ( B ) 성분 」 이 라고 한다 ) 를 함유 하 는 것 이 어도 되 고 ; ( 2 ) ( A ) 성분 이 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 성분 이 어도 되 고 ; ( 3 ) ( A ) 성분 이 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 성분 이 고 , 또한 , 추가 로 ( B ) 성분 을 함유 하 는 것 이 어도 된다 .