더불 어 , 상기 초음파 진동자 ( 130 ) 를 통해 상기 제 2 공간 ( S 2 ) 에서 생성 된 제 1 미스트 는 상기 제 2 공간 ( S 2 ) 과 연통 되 도록 상기 제 2 공간 ( S 2 ) 의 상부 에 배치 된 제 3 공간 ( S 3 ) 측 으로 곧바로 이동 할 수 있 고 상기 히터 ( 140 ) 를 통해 상기 기화 공간 ( S 4 ) 에서 생성 된 제 2 미스트 는 상기 제 3 연통 로 ( 125 c ) 를 통해 상기 제 2 공간 ( S 2 ) 으로 이동한 후 상기 제 1 미스트 와 마찬가지 로 상기 제 3 공간 ( S 3 ) 측 으로 이동 할 수 있 다 .