도면 에 나타내 지 않 은 진공 흡인 장치 에 접속 된 흡인 파이프 35 를 경유 하 여 에어 가 흡인 되 면 , 에어 는 무진 지 26 의 상면 으로부터 대략 균일 하 게 흡인 되 고 또 한 도 1 에서 화살표 로 나타나 있 는 바 와 같이 , 진동 흡수 장치 24 내 의 다수 의 소공 을 통과 하 여 흡인 파이프 35 로 흡인 된다 . 그 때문 에 , 도 1 에 있 어서 , 검사 기판 28 을 무진 지 26 상 에 싣 고 흡인 을 시작 하 면 , 검사 기판 28 이 균등 한 압력 으로 무진 지 26 상 에 흡착 되 어서 흡착 테이블 22 에 위치 적 으로 고정 된다 .