에너지 소스 ( 110 ) 는 코일 ( 108 ) 을 에 너자 이징 하 고 전기장 이 코일 ( 108 ) 에 의해 캡슐 화 된 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 내 에 형성 된다 . 전기장 은 플 라즈 마 를 형성 하 기 위해 콘 형 섹션 ( 104 b ) 을 통해 흐르 는 가스 화학 물질 을 에 너자 이징 한다 . 플라 즈 마는 , 이 로 제한 되 는 것 은 아니 지만 , 이온 들 , 전자 들 , 중성 종 들 , 여기 된 종 들 , 반응 성 라디칼 들 , 해리 된 라디칼 들 , 및 가스 화학 물질 이 전기장 을 통해 흐를 때 생성 될 수 도 있 는 임의 의 다른 종 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 이어서 이온 화 된 가스 는 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 과 통합 되 는 , 샤워 헤드 ( 112 ) 의 노즐 들 ( 112 a ) 을 통해 챔버 의 프로세싱 영역 ( 234 ) 으로 분배 된다 .