이 Al ( 알루미늄 ) - Ni ( 니켈 ) - B ( 붕소 ) 계 합금 스퍼터링 타 겟 은 , 종래 로부터 알려져 있 는 주조법 에 의해 제조 하 는 것 은 가능 하 다 . 그러나 , 어떠 한 타 겟 조직 구조 가 아 킹 의 발생 을 충분히 억제 할 수 있 는가 , 또한 , 그 와 같 은 Al - Ni - B 계 합금 스퍼터링 타 겟 을 어떤 제조 조건 에 의해 실현 할 수 있 는가 에 대하 여 는 , 구체 적 인 제안 을 한 선행 기술 은 없 다 .