이 에 더 하 여 , 레티 클 과 콘주게이트 관계 를 유지 하 는 회절 그 레이팅 패턴 플레이트 ( diffraction grating pattern plate ) 가 미국 특허 제 6 , 704 , 092 호 에 의해 소개 되 어 있 다 . 그러나 , 이러 한 그 레이팅 패턴 플레이트 를 노광 공정 의 광 투 과량 조 절 마스크 로 사용 하 는 경우 에 , 그 레이팅 패턴 이 웨이퍼 상 에 전사 되 는 문제점 이 발생 한다 .