본 실험 예 에서 는 동일 한 조건 하 에서 , 기존 의 증착 장치 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 접촉 한 경우 와 , 본 발명 의 실시 예 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 이격 시키 고 그 사이 에 불활성 기체 를 흐르 게 한 경우 기판 위 에 동일 한 박막 을 증착 한 후 , 기판 표면 의 사진 을 찍 어 도시 하 였 다 . 도 6 a 는 기존 의 증착 장치 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 접촉 한 경우 를 도시 하고 , 도 6 b 는 본 발명 의 실시 예 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 이격 시키 고 그 사이 에 불활성 기체 를 흐르 게 한 경우 를 도시 한다 .