또한 , 증착 대상물 인 기판 에 대한 증착 공정 시 챔버 는 급격 한 열변 화 에 의해 열팽창 하 게 되 며 , 이 에 따라 상부 챔버 와 일체 로 결합 되 어 있 는 지지 플레이트 또한 열팽창 하 게 된다 . 이러 한 열팽창 으로 인해 상부 챔버 와 지지 플레이트 간 의 결합 부분 이 파손 될 수 있 으며 , 반복 적 인 열팽창 에 의해 지 지 플레이트 의 형상 이 영구 적 으로 변형 되 어 가스 공급 부 , 고주파 전원 부 등 과 의 결합 부위 가 파손 될 우려 가 있 으며 이 로 인해 이 들 을 견고히 지지 하 지 못하 는 경우 가 발생 될 수 있 는 문제점 이 있 다 .