마찬가지 방법 으로 제 3 기판 ( 163 ) 에 제 3 마커 ( 194 c ) 의 제 1 점 ( P 31 ) 이 형성 되 고 , 이어서 제 4 기판 ( 164 ) 에 제 4 마커 ( 194 d ) 의 제 1 점 ( P 31 ) 이 형성 된다 . 그리고 , 제 1 스캐너 ( 151 ) 에 제 1 음향 광학 변조기 ( 131 ) 에 의해 다시 제 1 가지 레이저 빔 ( BL ) 이 일시 적 으로 공급 된다 . 이 에 따라 제 1 기판 ( 161 ) 에 는 제 1 마커 ( 194 a ) 의 제 2 점 ( P 12 ) 이 형성 된다 . 이후 , 제 2 내지 제 4 기판 ( 162 , 163 , 164 ) 에 각 마커 ( 194 b , 194 c , 194 d ) 의 제 2 점 ( P 22 , P 32 , P 42 ) 이 형성 된다 . 즉 , P 11 - P 21 - P 31 - P 41 - P 12 - P 22 - P 32 - P 42 - P 13 - P 23 - P 33 - P 43 의 순 으로 마커 ( 194 ) 를 형성 하 는 것 이 가능 하 다 . 이 와 같 은 방법 으로 , 한 번 에 한 점 ( P ) 을 마킹 하 여 원 하 는 마커 를 형성 하 게 된다 .