도 11 은 , 모델 의 설계 선폭 과 , 상기 서술 한 바 와 같이 산출 한 선폭 의 관계 를 나타내 는 그래프 이 다 . 시뮬레이션 조건 은 도 10 의 시뮬레이션 조건 과 동일 하 다 . 도 11 은 , 도 10 과 동일 한 시뮬레이션 조건 에서 , 도 6 의 모델 강도 분포 를 사용 하 여 산출 한 선폭 ( W 1 ) 이 나타나 있 다 . 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 함 으로써 , 높 은 정밀도 로 선폭 ( W 1 ) 을 산출 할 수 있 는 것 을 알 수 있 다 . 도 11 의 예 에서 는 , 산출 정밀도 의 지표 가 되 는 편차 는 1 . 2 [ ㎚] 이 다 . 이 편차 는 비 교예 에 관련 된 편차 의 약 6 분 의 1 이 다 . 요컨대 , 본 실시 형태 의 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 하 여 시뮬레이션 강도 분포 를 산출 하 면 , 그 시뮬레이션 강도 분포 는 , 설계 선폭 의 패턴 을 투과 한 실제 의 광 강도 분포 ( 촬상 화상 ( IM 1 ) ) 에 가깝 다 . 요컨대 , 본 실시 형태 의 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 채용 함 으로써 , 실제 의 광 강도 분포 에 가까운 시뮬레이션 강도 분포 를 산출 할 수 있 다 .