본 발명 의 기판 보 지 구 에 의하 면 , 지지 부재 의 선단 에 보호 부재 를 마련 한 것 에 의해 , 지지 부재 가 챔버 벽 등 에 접촉 한 경우 에 도 지지 부재 를 보호 하 고 , 지지 부재 의 손상 을 막 을 수 있 다 . 따라서 , 지지 부재 의 수명 을 장기 화 할 수 있 는 동시 에 , 지지 부재 의 손상 에 기인 하 는 파티클 의 발생 을 방지 할 수 있 다는 효과 를 가져온다 .