상기 제 2 이송 모듈 은 상기 프로세스 모듈 에 인접 하 게 배치 되 며 , 기판 을 이송 하 는 인터페이스 로봇 이 제공 되 는 이송 유닛 과 ; 상기 제 1 이송 모듈 및 상기 프로세스 모듈 의 배열 방향 에 수직 하 게 배열 되 도록 상기 이송 유닛 의 측면 에 설치 되 며 , 기판 이 수용 된 용기 가 놓이 는 로드 포트 ; 를 포함 할 수 있 다 .