본 실시 형태 에서 는 조명계 본체 ( 1 ) 와 핀홀 부재 ( 2 ) 로 이루어지 는 조명계 가 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면 에서 공간 적 으로 분리 된 측 정광 과 배 경광 을 결상 광학계 ( 10 ) 에 공급 한다 . 결상 광학계 ( 10 ) 를 통과 한 측 정광 과 배 경광 은 분리 부재 ( 3 ) 에 의해 공간 적 으로 분리 되 고 , 측 정광 만 이 측 정부 ( 4 ) 로 안내 된다 . 측 정부 ( 4 ) 에서 는 분리 부재 ( 3 ) 에 의해 분리 된 측 정광 에 기초 해서 주 지의 Shack - Hartmann 법 에 의해 결상 광학계 ( 10 ) 의 파면 수차 의 시간 적 변화 를 측정 한다 . 이 와 같이 , 본 실시 형태 의 수차 측정 장치 에서 는 결상 광학계 ( 10 ) 로 입사 되 는 배 경광 의 광량 등 을 조정 함 으로써 예 를 들 면 레이저 프로세스 장치 에서 의 결상 광학계 ( 10 ) 의 실제 의 사용 조건 에 가까운 광 입사 상태 에서 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 수차 의 시간 적 변화 를 측정 할 수 있 다 .