제 2 계측 유닛 ( 10 ) 은 기판 ( 2 ) 상 의 복수 의 위치 의 높이 를 계측 한다 . 제 2 계측 유닛 ( 10 ) 은 , 예 를 들 어 기판 ( 2 ) 에 광 을 조사 하 고 , 광이 조사 된 기판 ( 2 ) 상 의 조사 영역 으로부터 의 반사광 을 검출 함 으로써 당해 조사 영역 의 높이 ( 제 2 계측 유닛 ( 10 ) 과 기판 ( 2 ) 사이 의 거리 ) 를 계측 하 는 레이저 간섭계 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 계측 유닛 ( 10 ) 은 , 기판 ( 2 ) 을 기판 스테이지 ( 3 ) 에 의해 XY 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 기판 ( 2 ) 상 의 조사 영역 을 주사 함 으로써 기판 ( 2 ) 상 의 복수 의 위치 의 높이 를 계측 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 ( 2 ) 의 형상 및 기울기 를 결정 할 수 있 다 .