사이리스터 ( 431 내지 433 ) 는 , 예 를 들 어 교류 전원 ( 45 ) 으로부터 공급 되 는 교류 전력 의 위상 제어 를 행하 여 , 각 히터 ( 41 내지 43 ) 에 공급 할 전력 을 제어 하 는 것 이 다 . 예 를 들 어 교류 전류 의 주기 별 온 ( ON ) 시간 의 비율 을 사이리스터 ( 431 내지 433 ) 를 사용 해서 변화 시킴 으로써 , 공급 할 전력 이 제어 된다 . 사이리스터 출력 의 전류 값 은 변류기 ( 441 내지 443 ) 에 의해 모니터 된다 . 이렇게 해서 , 가열 부인 히터 ( 4 ) 는 , 스테이지 ( 3 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 는 출력 을 변화 시킬 수 있 도록 구성 된다 .