과량 의 제 2 공급원 화학 물질 및 반응 부산물 은 , 존재 하 는 경우 , 예 를 들 면 가스 펄스 ( gas pulse ) 및 / 또는 펌핑 시스템 에 의해 생성 된 진공 을 퍼 징 함 으로써 기판 표면 으로부터 제거 될 수 있 다 . 퍼지 가스 는 제한 없이 임의 의 불활성 가스 , 예 를 들 어 아르곤 ( Ar ) , 질소 ( N 2 ) 또는 헬륨 ( He ) 인 것 이 바람직 하 다 . 퍼지 ( 즉 , 퍼징 가스 펄스 ) 또는 다른 반응물 제 가 단계 가 개입 하 는 경우 , 하나 의 단계 는 일반 적 으로 또 다른 단계 를 곧바로 뒤따르 는 것 으로 간주 된다 .