이때 , 각각 의 장비 ( 2 ) 들 에서 행해 지 는 공정 의 시간 은 다르 기 때문 에 , 기판 이 수납 된 카세트 ( 4 ) 를 임시 로 저장 하 기 위한 공간 인 스토커 ( 6 ) 가 배치 된다 . 그리고 , 스토커 ( 6 ) 내부 를 이동 하 는 락 마스터 ( 8 ) 를 이용 해서 카세트 ( 4 ) 를 자동 반송 장치 ( 12 ) 로 반출 한다 .