도 6 b 에서 , 상기 유전체 재료 ( 604 ) 는 CNT 재료 ( 600 ) 상부 에 증착 된다 . 유전체 재료 ( 604 ) 는 인접 한 튜브 들 또는 튜브 응 집체 들 사이 의 영역 을 부분 적 또는 완전 하 게 채운다 . 유전체 재료 ( 604 ) 는 화학 증기 증착 법 ( CVD ) , 고밀도 플라 즈 마 증착 법 ( HDP ) , 아크 플라 즈 마 보조 증착 법 , 스핀 - 코팅 증착 법 등 을 사용 하 여 증착 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 약 200 ~ 7000 옹스트롬 , 및 몇몇 실시 예 에서 는 1 마이크 론 또는 그 이상 의 실리콘 이 산화물 을 유전체 재료 ( 604 ) 로서 증착 할 수 있 다 .