실시 예 1 에서 , 공 정압 을 30 mTorr 로 적용 한 것 을 제외 하 고 , 실시 예 1 과 동일 한 방법 으로 Mo - Ti 합금 의 확산 방지 층 을 증착 하 였 다 . 이 때 , Mo - Ti 합금 의 확산 방지 층 의 두께 는 340 nm 이 고 , 밀도 는 5 . 0 ± 0 . 5 g / cm 3 이 다 . 도 4 에 비 교예 1 의 확산 방지 층 의 단면 사진 을 나타내 었 다 .