본 발명 에 있 어서 , 증착 챔버 는 원통형 의 모양 을 가진 스테인 레스 재질 의 챔버 이 다 . 증착 챔버 의 직경 과 높이 는 각각 30 cm 와 28 cm 이 다 . 싸이클 로 핵산 단량체 는 50 도 로 가열 된 거품기 ( bubbler ) 에서 넣 어 사용 하 였 다 . 싸이클 로 핵산 분자 는 불활성 아르곤 기체 를 운반 가스 로 사용 하 여 증기 화 시켜 증착 챔버 내 로 유입 시켰 다 . 유도 결합 형 플 라즈 마 ( ICP ) 는 원형 의 코일 이 결합 된 고주 파수 를 갖 는 발생기 를 통하 여 샤워 링 주위 에 발생 시켰 다 . 슬라이드 전압 파워 ( SB power ) 는 고주 파수 를 갖 는 발생기 를 기판 받침대 에 부착 하 여 슬라이드 주위 에 또한 플 라즈 마 를 생 성 시켰 다 . 증착 챔버 벽면 은 접 지 시켰 다 .