도 16 에 도시 된 것 과 같이 , 제 1 폴링 전극 ( 27 ) 및 제 2 폴링 전극 ( 31 ) 에 전압 을 인가 하 게 되 는데 , 제 1 폴링 전극 ( 27 ) 이 제 2 폴링 전극 ( 31 ) 과 동일면 에 배치 되 어 있 어 폴링 전압 인가 가 용이 하 게 할 수 있 다 . 폴링 전압 인 가시 실리콘 오일 ( 32 ) 에 기판 을 담궈 폴링 공정 을 진행할 수 있 다 .