이때 , 광원 부 , 반 사 부 , 집 광부 , 산란 부 는 모두 그 각도 를 조정 할 수 있 는 구조 로 구비 된다 . 즉 , 상방 조명 부 의 하부 에 위치 된 기판 표면 의 결함 유무 를 가장 용이 하 게 검사 할 수 있 는 상방 조명 부 의 각도 를 선정 할 수 있 도록 상방 조명 부 의 각 구성 요소 의 각도 를 개별 적 으로 조정 할 수 있 는 구조 로 구비 시키 는 것 이 다 .