본 실시 예 에서 , 광변조 층 ( 1 ) 은 두께 가 200 nm ~ 500 nm 인 질화규소 플래트 로 제조 된다 . 광변조 층 ( 1 ) 에 는 총 1000 ~ 250000 개 의 변조 유닛 ( 5 ) 이 설치 되 고 , 각 변조 유닛 ( 5 ) 의 면적 범위 는 200 μ m 2 ~ 40000 μ m 2 이 다 . 각 변조 유닛 ( 5 ) 내부 는 여러 가지 기하 적 형상 을 선택 하 여 변조 홀 ( 6 ) 의 특정 된 단면 형상 으로 사용 하 고 , 각 변조 유닛 ( 5 ) 내 에 는 동일 형상 으로 주기 적 으로 배치 되 며 , 그 듀티 사이클 은 10 %~ 90 % 이 다 . 기타 구조 는 모두 실시 예 1 혹은 실시 예 2 와 동일 하 다 .