결합 수단 ( 446 ) 은 동축 케이블 구조 를 가지 고 최종 분기점 에서 전원 전극 ( 110 ) 을 전기 적 으로 연결 할 수 있 다 . 상기 결합 수단 ( 446 ) 은 상기 진공 용기 및 / 또는 가스 분배 부 를 관통 하 여 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 상기 결합 수단 ( 446 ) 의 개수 는 최종 분기점 의 개수 와 동일 할 수 있 다 .