또한 , 종형 열처리 장치 ( 1 ) 에 는 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 의 압력 과 , 캐리어 ( C ) 와 개폐 도어 ( 5 ) 에 둘러싸인 폐색 공간 ( 54 ) 의 압력 을 대략 동일 한 압력 으로 하 는 동압 화 수단 ( 80 A ) 이 설치 되 어 있 다 . 동압 화 수단 ( 80 A ) 은 , 접속 배관 ( 81 ) 과 , 개폐 밸브 ( 82 ) 를 포함 한다 .