본 발명 에서 , 셋 / 리셋 반복 펄스 에 따라 발생 된 열 에 의해 상변 화 된 물질 로부터 분석 된 상기 저항 값 이 미리 설정 된 셋 / 리셋 저항 의 기준 값 에 대한 허용 오차 범위 를 벗어나 는 경우 상변 화 된 위치 정보 를 저장 하 며 , 분석 된 상변화 영역 의 피로 측정치 는 TEM 분석 이나 SPM 을 이용 한 상변화 영역 단면 분석 등 2 차 분석 의 자료 로 이용 될 수 있 다 .