도 1 로 되돌아와 , 탑재 대 ( 3 ) 를 둘러싸 도록 처리 용기 ( 21 ) 의 바닥 판 ( 23 ) 에 는 배기구 ( 51 ) 가 개구 되 어 있 고 , 배기구 ( 51 ) 는 배기 로 ( 52 ) 를 거쳐서 , 예 를 들 면 진공 펌프 로 이루어진 진공 배기 수단 ( 53 ) 이 접속 되 어 있 다 . 이 진공 배기 수단 ( 53 ) 에 의해 처리 공간 ( S ) 이 진공 배기 되 어 , 해당 처리 공간 ( S ) 이 원 하 는 진공도 로 유지 되 도록 구성 되 어 있 다 .