표 3 에 는 처리 횟수 등 의 조건 에 따른 접착성 의 실험 결과 가 제시 되 어 있 다 . CCVD 처리 횟수 가 늘 어 갈수록 산화 실리콘 도막 이 두꺼워 지 고 수산 화기 가 증대 할수록 접착력 이 우수 해 진다 . 표 3 에서 처리 횟수 가 3 회 에서 15 회 까지 는 테이프 박리 력 테스트 결과 에서 알 수 있 듯이 , 접착력 이 증대 하나 17 회 이상 에서 는 접착력 이 오히려 떨어진다 . 전 구체 ( HMDSO ) 의 투 입량 은 공기 투 입량 210 L / min 대비 0 . 8 L / min 에서 3 . 8 L / min 까지 접착력 에 증대 를 가져 왔 다 . 0 . 8 L / min 이하 에서 는 증착 속도 가 느려서 충분 한 도막 을 얻 기 가 힘들 어 접착력 이 상대 적 으로 약했 다 . 3 . 2 L / min 이상 에서 는 너무 거대 한 입자 가 형성 되 어 고체 표면 에 밀착 하 지 못하 고 쌓여 만 있 다가 오히려 접착 에 유해 요소 로 작용 할 수 있 어 접착력 증대 가 약화 되 었 다 .