또한 , 2 개 의 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 각각 , 처리 층 ( A 1 ) 의 4 개 의 도포 유닛 ( BARC ) 과 같이 , 4 개 의 도포 유닛 ( RESIST ) 을 구비 하 고 있 어도 된다 . 또한 , 2 개 의 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 은 각각 , 예 를 들 면 6 개 의 도포 유닛 ( BARC ) 을 구비 하 고 , 2 개 의 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 도포 유닛 ( RESIST ) 을 구비 하 고 있 어도 된다 . 즉 , 각 처리 블록 ( 3 , 5 ) 에 있 어서 , 도포 유닛 ( BARC ) 및 도포 유닛 ( RESIST ) 의 개수 는 , 임의 로 설정 된다 .