이 와 같 은 구성 을 갖 는 프로브 카드 스테이지 ( 7 ) 에서 는 서보 모터 ( 711 ) 를 구 동 함 으로써 , X 베이스 ( 72 ) , 나아가 서 는 프로브 카드 ( 8 ) 를 X 축 방향 으로 이동 시킬 수 있 으며 , 서보 모터 ( 722 ) 를 구동 함 으로써 Y 베이스 ( 73 ) , 나아가 서 는 프로브 카드 ( 8 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 시킬 수 있 다 . 또한 서보 모터 ( 732 ) 를 구동 하 여 볼 나사 ( 733 ) 를 회전 시켜 나사 결합 부 ( 736 ) 를 이동 시킴 으로써 , 카드 링 ( 735 ) 및 프로브 카드 ( 8 ) 를 그 수직 축 둘레 로 회전 시킬 수 있 다 . 또한 TCP 핸들러 ( 2 ) 는 서보 모터 ( 711 ) , ( 722 ) , ( 732 ) 의 구동 을 자동 으로 제어 할 수 있 는 제어 장치 를 구비 하 고 있 고 , 이 에 따라 프로브 카드 ( 8 ) 를 X 축 방향 , Y 축 방향 및 수직 축 둘레 로 자동 으로 이동 시킬 수 있 다 .