액침 노광 공정 에 있 어서 , 주사 형 액침 노광 장치 를 사용 하 는 노광 은 렌즈 의 이동 에 따라 추종 하 는 액 침액 의 이동 이 필요 하 다 . 그렇 지 않 으면 노광 스피드 가 저하 하 여 생산 성 에 악영향 을 미칠 수 있 다 . 액 침액 이 물 인 경우 에 는 , 레지스 트 막 이 소수성 이 고 , 추수 성 이 양호 한 것 이 소망 된다 .