본 발명 의 바람직 한 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 LM 가이드 의 LM 블록 ( LMB ) 은 제 1 이송 블록 ( 340 a , 340 b ) 및 제 2 이송 블록 ( 350 a , 350 b ) 에 결합 되 고 , LM 레일 ( LMR ) 은 제 1 고정 블록 ( 380 a , 380 b ) 및 제 2 고정 블록 ( 390 a , 390 b ) 에 각각 고정 결합 된다 . 상기 제 1 고정 블록 ( 380 a , 380 b ) 은 상부 플레이트 ( 200 ) 상부 면 에 안치 되 되 , X 축 방향 에 배열 된 제 1 이송 홈 ( 320 a , 320 b ) 외측 에 위치 되 고 , 상기 제 2 고정 블록 ( 390 a , 390 b ) 은 상부 플레이트 ( 200 ) 상부 면 에 안치 되 되 , Y 축 방향 에 배열 된 제 2 이송 홈 ( 330 a , 330 b ) 외측 에 위치 되 어 LM 레일 ( LMR ) 을 지지 고정 함 에 따라 , 상기 이송 블록 들 의 안정 적 인 수평 이 동이 보장 되 도록 한다 .