도 9 내지 도 13 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 반도체 소자 를 제조 하 는 방법 을 설명 하 기 위한 것 으로 , 도 7 의 I - I ' 선 및 II - II ' 선 에 따른 단면도 들 이 다 . 본 실시 예 에서 는 , 앞서 도 6 내지 도 8 을 참조 하 여 설명 한 반도체 소자 와 중복 되 는 기술 적 특징 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 고 , 차이점 에 대하 여 보다 상세히 설명 한다 .