도 4 에 , 본 실시 예 에서 의 하프톤 형 마스크 의 개략 평면도 를 도시 한다 . 하프톤 형 마스크 는 , 투 광판 ( 19 ) 의 표면 에 차 광부 ( 5 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 5 a ) 는 , 광 을 완전 하 게 차단 하 도록 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 5 a ) 는 , 예 를 들 면 , Cr 막 으로 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 5 a ) 는 , 레벤 손 형 마스크 에서 노광 되 는 부분 에 노광 이 행해 지 지 않 도록 형성 되 어 있 다 . 차 광부 ( 5 a ) 는 , 레벤 손 형 마스크 의 개구부 에 대응 해서 형성 되 어 있 다 . 투 광판 ( 19 ) 의 표면 에 는 , 레지스 트 패턴 ( 10 ) 의 제 2 패턴 부 ( 10 b ) ( 도 1 참조 ) 를 형성 하 기 위한 하프톤 부 ( 5 b ) 가 배치 되 어 있 다 . 하프톤 부 ( 5 b ) 는 , 레지스 트 패턴 의 제 2 패턴 부 ( 10 b ) 의 형상 에 대응 해서 형성 되 어 있 다 .