본 발명 의 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 에 사용 되 는 [ B ] 가교제 는 , 열 이나 산 의 작용 에 의해 수지 등 의 배합 조성물 이나 다른 가교 성 분자 와 결합 을 형성 하 는 화합물 이 다 . [ B ] 가교제 로서 는 , 예 를 들 면 다 관능 ( 메트 ) 아크릴 레이트 화합물 , 에폭시 화합물 , 히드록시 메틸기 치환 페놀 화합물 , 알 콕 시 알킬 화 된 아미노기 를 갖 는 화합물 등 을 들 수 있 다 .