그리고 제 어부 ( 30 ) 는 기판 처리 장치 ( 2 ) 의 세정 및 건조 공정 을 처리 하 는 제반 동작 을 제어 한다 . 즉 , 제 어부 ( 30 ) 는 제 1 구 동부 ( 8 ) 를 제어 하 여 공정 시 스핀 헤드 ( 6 ) 의 위치 및 회전 속도 를 제어 한다 . 그리고 , 제 어부 ( 30 ) 는 제 2 구 동부 ( 40 ) 를 제어 하 여 노즐 부 ( 60 ) 를 동작 시킨다 . 또한 , 제 어부 ( 30 ) 는 약액 공급 부 ( 50 ) 를 제어 하 여 공정 시 제 1 내지 제 3 약액 의 공급 하 도록 제어 한다 .