이때 , 적어도 하나 이상 의 액체 커튼 형 성부 ( 600 ) 는 3 류 혼합 유체 및 3 류 혼합 유체 가 외부 로 분사 되 어 생성 된 오염물 중 적어도 하나 이상 이 비산 되 는 것 을 방지 하 는 액체 커튼 을 분사구 ( 131 ) 주변 에 형성 할 수 있 다 . 이 는 세정 공정 수행 시 3 류 혼합 유체 가 외부 로 분사 될 경우 , 세정 을 위한 기판 에 고압 으로 분사 되 어 오염물 이 압력 에 의해 비산 하 는 것 을 방지 하 게 된다 .