* 도 4 f 를 참조 하 면 , 상기 절연 층 ( 130 ) 의 상부 로부터 비 아홀 ( 130 a ) 을 형성 하 는 단계 가 이루어진다 . 상기 비 아홀 ( 130 a ) 을 레이저 드릴 ( laser drill ) 과 같 은 방법 으로 형성 될 수 있 다 . 또한 , 상기 비 아홀 ( 130 a ) 의 형성 이후 , 상기 비 아홀 ( 130 a ) 을 세정 하 는 공정 이 추가 적 으로 이루어질 수 있 다 .