따라서 본 발명 에 의하 면 , 스테이지 반 상 에 좌우 의 지지 샤프트 가 지지 되 어 있 는 종래 의 문 　 모양 의 갠트리 부 에 비하 여 , 당해 갠트리 부 를 따라 X 축 방향 으로 슬라이드 하 는 검사 유닛 등 의 유닛 의 이동범 위 를 넓 게 할 수 있 다 . 그 결과 , 동일 한 폭 의 스테이 지면 을 구비 하 는 스테이 지반 으로서 종래 보다 폭 이 좁 은 스테이 지반 을 사용 할 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 동일 한 폭 의 스테이지 반 을 사용 하 고 도 종래 보다 광폭 의 스테이 지면 을 형성 할 수 있 다 .