본 발명 의 진공 라인 연결부 구조 에 따르 면 , 오링 이 진공 라인 의 외경 으로 더욱 밀착 적 으로 실링 되 기 때문 에 진공 라인 의 연결 이 보다 기밀 성 있 게 되 는 효과 가 있 다 . 따라서 , 오링 을 크 리닝 하 거나 교환 을 하 여 주 는 주 기 도 최대 로 연장 되 므로 공정 장비 의 무 정지 운전 및 제조 공정 의 안정 화 도 아울러 도모 할 수 있 게 된다 .