그러나 , 종래 의 플 라즈 마 소스 는 플 라즈 마 와 접하 는 물체 면 ( 기판 , 전극 또는 챔버 측 벽면 등 ) 에 형성 되 는 쉬스 ( sheath ) 영역 의 형상 이 상기 물 체면 의 형상 과 일치 하 지 아니하 므로 기판 에 조사 되 는 이온 의 방향 성 이 떨어지 는 문제점 이 있 고 , 이러 한 쉬 스 영역 의 간격 이 큰 경우 쉬스 영역 에서 의 전압 ( 이하 , 쉬 스 전압 ) 과 플 라즈 마 내부 전압 의 차이 가 증가 하 여 쉬스 영역 을 통과 하 는 이온 의 에너지 가 증가 하 게 되 고 그 결과 전원 이 인가 되 는 전극 방향 으로 의 이온 충돌 이 증가 하 여 플 라즈 마의 밀도 가 낮 아 지 는 문제점 이 있 다 .