예 를 들 어 , 절 연막 으로 는 산화 막 계열 로 , BPSG ( Boron Phosphorus Silicate Glass ) , PSG ( Phosphorus Silicate Glass ) , USG ( Un - doped Silicate Glass ) , SOG ( Spin On Glass ) , SOD ( Spin On Dielectric ) , TEOS ( Tetra Ethyle Ortho Silicate ) , HDP ( High Density Plasma ) 또는 이 들 의 적층 막 을 사용 할 수 있 다 . 또한 식각 마스크 로 사용 되 는 유기 계열 의 감광막 또는 반사 방지 막 물질 , 그리고 비정질 카본 막 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 상기 표 1 에서 언급 된 막 들 이 적절 한 비율 로 혼합 된 혼합 막 , 예컨대 HfOxAlyOz , ZrOxAlyOz 및 LaOxAlyOz 와 같 은 혼합 막 을 사용 할 수 도 있 다 . 여기 서 , x , y , z 는 자연수 로서 , 혼합 막 을 구성 하 는 각 물질 의 조성 비 를 의미 한다 .