그 다음 , 제 2 레이저 ( 414 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 포토레지스트 ( PR ) 에 조사 한다 ( S 176 ) . 일 예 로 , 포토레지스트 ( PR ) 를 검사 하 는 단계 ( S 170 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 냉각 하 는 단계 ( S 174 ) 를 이용 하 여 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 의 파워 를 증가 시킬 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 의 파워 는 약 0 . 49 W / cm 2 의 최대 값 이상 일 수 있 다 . 제 2 레이저 ( 414 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 약 0 . 87 W / cm 2 의 파워 로 제공 할 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 약 193 nm 의 파장 을 갖 는 ArF 자외선 광 을 포함 할 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 약 12 . 3 mm / s 의 속도 로 스캐닝 될 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 포토레지스트 ( PR ) 의 화학 적 변형 및 물리 적 변형 없이 제공 될 수 있 다 . 포토레지스트 ( PR ) 는 EUV 또는 자외선 영역 의 파장 의 광 에 감광 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 가시 광 영역 의 파장 을 가지 며 , 포토레지스트 ( PR ) 의 감광 은 최소 화 될 수 있 다 .