상기 와 같 은 방법 으로 형성 된 티타늄 알루미늄 질화 막 은 제 1 반응물 과 제 2 반응물 사이 의 결합 사이트 에 의해 보다 빠르 고 균일 하 게 형성 될 수 있 다 . 그리고 , 종래 의 원자 층 적층 공정 보다 한 사이클 내 에서 진행 되 는 공정 횟수 도 적 어 공정 시간 을 단축 할 수 있 어 쓰루 풋 이 향상 될 수 있 다 . 또한 , 알루미늄 의 양 을 조절 하 여 목적 하 는 비저항 을 갖 는 티타늄 알루미늄 질화 막 을 형성 할 수 있 다 .