가스 공급 수단 ( 130 ) 은 챔버 내부 에 공정 가스 를 분사 하 는 가스 분사 부 와 , 가스 분사 부 에 공정 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 를 구비 한다 . 가스 분 사 부 는 샤워 헤드 형태 로 제작 된다 . 물론 이 에 한정 되 지 않 고 , 가스 분 사 부 는 회전 하 는 인 젝 터 형태 로 제작 될 수 도 있 다 . 또한 , 가스 분 사 부 는 별도 로 돌출 되 지 않 고 , 챔버 의 외벽 에 분사구 형태 로 마련 될 수 도 있 다 .