본 실시 예 에서 의 오 목부 ( 24 ) 는 , 치수 정밀도 를 향상 시키 기 위해서 형성 된 언더컷 부 ( 24 a ) 를 가진다 . 언더컷 부 ( 24 a ) 는 , 차광막 ( 1 ) 의 반전 위상 개구부 ( 1 b ) 에서 의 단부 에서 , 단부 의 내측 까지 연장 되 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 차광막 ( 1 ) 은 , 반전 위상 개구부 ( 1 b ) 에서 차양 으로 되 는 부분 을 가진다 .