반도체 소자 를 형성 하 는 방법 이 개시 된다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 이 방법 은 대향 하 는 제 1 및 제 2 표면 을 갖 는 반도체 기판 및 기본 주파수 에서 동작 하 도록 구성 된 증폭기 소자 를 제공 하 는 단계 를 포함 한다 . 증폭기 소자 는 제어 단자 , 출력 단자 및 기준 전위 단자 를 포함 한다 . 라인 금속 배선 층 의 후단 이 반도체 기판 상 에 형성 된다 . 제 1 패턴 형상 이 라인 금속 배선 층 의 후단 에 형성 된다 . 제 1 패턴 형상 은 기본 주파수 의 고조파 성분 을 필터 링 하 는 기하학 적 구조 를 가지 고 있 다 .