프로세싱 시스템 ( 100 ) 에 있 어서 , 로봇 조립 체 ( 도시 되 지 않 음 ) 는 화학 적 기상 증착 을 수행 하 기 위해 기판 들 이 로딩 된 기판 캐리어 플레이트 ( 112 ) 를 슬릿 ( slit ) 밸브 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 통해 그리고 단일 의 프로세스 챔버 ( 102 ) 내 로 이송 한다 . 여기 에 서술 된 실시 예 에 있 어서 , 기판 캐리어 플레이트 ( 112 ) 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 복수 의 기판 들 을 이격 된 관계 로 수용 하 도록 구성 된다 . 일부 또는 모든 증착 단계 들 이 완료 된 후 , 그 위 에 기판 들 을 갖 는 기판 캐리어 플레이트 ( 112 ) 는 추가 적 인 프로세싱 을 위해 로봇 조립 체 를 통하 여 프로세스 챔버 ( 102 ) 로부터 이송 된다 .