본 발명 의 제 1 양태 에 따른 성막 장치 는 , 진공 용기 와 , 상기 진공 용 기내 에 설치 되 며 , 각각 이 복수 의 도가니 를 포함 하 는 복수 의 증발원 과 , 상기 복수 의 증발원 중 제 1 증발원 의 제 1 위치 를 향하 도록 설치 된 제 1 성막 레이트 측 정부 와 , 상기 제 1 증발원 의 제 2 위치 를 향하 도록 설치 된 제 2 성막 레이트 측 정부 와 , 상기 제 1 위치 에 대응 하 는 위치 에 설치 된 제 1 가동 식 개폐 수단 과 , 상기 제 2 위치 에 대응 하 는 위치 에 설치 되 며 , 상기 진공 용기 에 고정 되 도록 설치 되 는 제 1 커버 수단 을 포함 하 며 , 상기 제 1 위치 와 상기 제 1 성막 레이트 측 정부 와 의 사이 의 제 1 거리 가 , 상기 제 2 위치 와 상기 제 2 성막 레이트 측 정부 와 의 사이 의 제 2 거리 보다 큰 것 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .