빗살 무늬 전극 ( 22 ) 은 압전기 판 ( 21 ) 위 에 증착 되 고 교류 신호 를 인가 받 아 표면 탄성파 ( SAW ) 를 발생 시키 는 것 으로서 , 알루미늄 ( Al ) , 백금 ( Pt ) , 금 ( Au ) , 로듐 ( Rh ) , 이리듐 ( Ir ) , 구리 ( Cu ) , 티타늄 ( Ti ) , 텅스텐 ( W ) , 크롬 ( Cr ) , 니켈 ( Ni ) 또는 이 들 을 포함 하 는 금속 화합물 들 중 에서 선택 된 하나 이상 으로 이루어질 수 있 다 .