그리고 , 급전 용 도전 부 ( 23 ) 중 , 단자 측 비아 ( 25 c ) 가 내부 배선 층 ( 27 ) 에 전기 적 으로 접속 되 고 , 내부 배선 층 ( 27 ) 이 급전 용 비아 ( 25 a , 25 b ) 에 전기 적 으로 접속 되 고 , 급전 용 비아 ( 25 a , 25 b ) 가 , 제 1 발열체 ( H 1 ) 의 각 단부 ( H 1 a , H 1 b ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 또 , 급전 용 도전 부 ( 23 ) 는 , 예 를 들 어 텅스텐 으로 이루어진다 .