도 5 a 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 의 로드 락 ( 232 ) 구조 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 5 a 에 도시 된 바 와 같이 , 로드 락 ( 232 ) 의 입구 및 출구 ( 도면 표시 하 지 않 음 ) 외부 에 는 이전 의 공정 으로부터 기판 이 이송 되 어 오 는 제 1 컨베이어 ( 253 ) 및 이후 의 공정 으로 기판 을 이송 하 는 제 2 컨베이어 ( 254 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 로드 락 ( 232 ) 의 내부 에 는 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 및 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 가 2 층 으로 설치 되 어 있 다 . 상기 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 와 제 2 로드 락 ( 250 b ) 에 는 각각 제 1 가이드 바 ( 260 ) 제 2 가이드 바 ( 262 ) 가 설치 되 어 상기 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 및 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 를 상승 및 하강 시킨다 .