또한 , 대기 접속 부 ( 53 ) 의 내주 에 제 1 시 일 홈 ( 32 ) 에 끼워진 제 1 시 일 부재 ( 35 ) 가 존재 하 고 , 제 1 시 일 부재 ( 35 ) 와 샤워 플레이트 ( 40 ) 의 접촉면 사이 에 시일 구조 가 형성 되 어 있 다 . 이 구성 에 의해 , 대기 접속 부 ( 53 ) 에 존재 하 는 대기 가 가스 확산 홈 ( 34 ) 에 누설 되 는 것 을 억제 하 고 , 또한 , 가스 확산 홈 ( 34 ) 에 존재 하 는 처리 가스 가 대기 접속 부 ( 53 ) 에 누설 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .