도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 제 2 전극 ( 27 ) 을 식각 장벽 으로 캡 핑 막 ( 26 ) , 자 유막 ( 25 ) 및 절 연막 ( 24 ) 을 순차 적 으로 식각 하 여 제 1 패턴 ( 30 ) 을 형성 한다 . 이하 , 식각 된 캡 핑 막 ( 26 ) 의 도면 부호 를 ' 26 A ' 로 , 식각 된 자유 막 ( 25 ) 의 도면 부호 를 ' 25 A ' 로 , 식각 된 절 연막 ( 24 ) 의 도면 부호 를 ' 24 A ' 로 표기 한다 .