상기 산화물 층 이 형성 된 실리콘 기판 을 반응 로 에 넣 고 나노 와이어 전구체 를 주입 하 면서 가열 하 여 상기 산화물 층 내부 에 형성 된 실리콘 핵 으로부터 실리콘 나노 와이어 를 성장 시키 므로 , 나노 와 이어 제조 시 금속 촉매 를 사용 하 지 않 음 으로써 촉매 정제 공정 이 불 필요 하 여 경제 성 이 향상 될 뿐 아니 라 , 금속 촉매 에 의한 불순물 함입 이 방지 되 어 개선 된 전기 및 광 특성 을 갖 는 나노 와이어 를 수득 할 수 있 다 .