자세히 레시피 ( Recipe ) 로 예 를 들 면 , 반사 방지 층 ( 110 ) 은 12 mT 의 압력 , 600 Ｗ 의 탑 파워 , 100 Ｗ 의 바텀 파워 의 조건 에서 50 sccm 의 Cl 2 , 35 sccm 의 Ar 및 15 sccm 의 CHF 3 의 혼합 가스 를 이용 하 여 식각 할 수 있 고 , 금속 층 ( 105 ) 의 일부 두께 식각 은 12 mT 의 압력 , 600 Ｗ 의 탑 파워 , 130 Ｗ 의 바텀 파워 의 조건 에서 120 sccm 의 Cl 2 , 100 sccm 의 BCl 3 및 5 sccm 의 N 2 의 혼합 가스 를 이용 하 여 식각 할 수 있 다 .