제 1 처리 블록 ( 3 ) 에 있 어서 , 처리 층 ( A 1 ) 의 제 3 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 이 송부 ( SN 5 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 그 후 , 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 수취 한 기판 ( W ) 을 , 냉 각부 ( CP ) , 도포 유닛 ( BARC ) , 가열 냉 각부 ( PHP ) 의 순서 로 반송 한다 . 그 후 , 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 도포 유닛 ( BARC ) 에서 반사 방지 막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 인도부 ( PS 5 ) 에 반송 한다 .