카트리지 히터 ( 40 ) 는 도 1 에서 와 같이 슬롯 밸브 본체 ( 10 ) 내부 에 삽입 장착 되 는데 , 전기 를 이용 하 여 작동 된다 . 전기 에 의해 카트리지 히터 ( 40 ) 가 작동 하 게 되 면 슬롯 밸브 를 가열 시키 고 , 슬롯 밸브 가 가열 됨 에 따라서 슬롯 밸브 에 증착 된 증착 물질 이 다시 증발 되 거나 , 또는 새로이 슬롯 밸브 에 증착 물질 이 증착 되 는 것 을 방지 하 게 된다 .