( 해결 수단 ) 테이프 마운 터 로서 , 링 프레임 을 유지 하 는 링 프레임 유지 테이블 과 , 링 프레임 의 개구 내 에서 웨이퍼 를 유지 하 는 웨이퍼 유지 테이블 과 , 링 프레임 의 상면 과 웨이퍼 의 상면 에 원형 의 테이프 를 점착 하 는 수단 과 , 링 프레임 상면 에서 테이프 가 점착 되 어 있 어야 할 영역 의 측정 점 에 측정 광 을 투광 하 는 투광 부 와 , 측 정점 에서 반사 한 반사광 을 수 광 하 는 수 광부 를 구비 한 센서 와 , 수 광부 가 수광 하 는 수광량 의 기준치 를 설정 하 는 설 정부 와 , 수 광부 가 수광 한 수광량 이 기준치 보다 작 은 경우 에 , 측 정점 에 테이프 가 점착 되 어 있 다고 판단 하 고 , 수 광부 가 수광 한 수광량 이 기준치 이상 인 경우 에 , 측 정점 에 테이프 가 점착 되 어 있 지 않 다고 판단 하 는 판 단부 를 포함 한다 .