" 상기 용어 "" 라인 에지 러프 니스 "" 는 레지스 트 의 라인 패턴 및 기판 경 계면 의 에지 가 상기 레지스 트 의 특성 으로 인하 여 상기 라인 방향 에 대하 여 수직 방향 으로 불 규칙 하 게 형성 되 는 것 을 나타낸다 . 우측 상부 에서 보여 지 는 이러 한 패턴 은 요철 ( 대략 ± 수 nm ~± 수십 nm ) 을 갖 는 에지 를 갖 는 것 처럼 보인다 . 이 들 요철 이 에칭 단계 에서 상기 기판 으로 전이 되 므로 ", 큰 요철 은 전기 적 특성 을 열화 시켜 수율 의 감소 를 초래 할 수 도 있 다 .