일 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 처리 장치 에서 플 라즈 마 를 생성 하 는 복합 샤워 헤드 전극 어셈블리 가 제공 된다 . 복합 샤워 헤드 전극 어셈블리 는 , 제 1 가스 통로 를 사이 에 갖 는 상부 표면 과 하부 표면 을 포함 하 는 백 킹 플레이트 로서 , 하부 표면 은 결합 된 영역 과 결합 되 지 않 은 영역 을 갖 고 , 제 1 가스 통로 는 처리 가스 를 플 라즈 마 처리 장치 의 내부 로 공급 하 기 위해 결합 되 지 않 은 영역 에서 출구 를 갖 는 , 상기 백 킹 플레이트 ; 상부 표면 , 플라 즈 마 노출 된 하부 표면 , 및 상부 표면 과 하부 표면 사이 로 연장 되 어 제 1 가스 통로 와 유체 소통 하 는 제 2 가스 통로 를 갖 는 전극 플레이트 로서 , 제 2 가스 통로 는 전극 플레이트 의 상부 표면 의 결합 되 지 않 은 영역 들 에서 입구 를 갖 는 , 상기 전극 플레이트 ; 및 전극 플레이트 및 백 킹 플레이트 의 열 팽창 계수 들 의 불 일치 로 인하 여 온도 사이클링 동안 백 킹 플레이트 에 대하 여 전극 플레이트 의 측면 방향 으로 의 움직임 을 허용 하 는 결합 된 영역 들 각각 에서 메이팅 표면 들 사이 에 배치 된 탄성 중합체 시트 접착제 조인트 를 포함 한다 .