연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 에 사용 된 연마 테이프 는 연마 헤드 모듈 ( 70 B ) 에 사용 된 연마 테이프 와 다를 수 있 다 . 예컨대 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 은 거친 연마 를 수행 하 기 위해 거친 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 를 사용 할 수 있 으며 , 연마 헤드 모듈 ( 70 B ) 은 거친 연마 후 에 마무리 연마 를 수행 하 기 위해 고운 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 를 사용 할 수 있 다 . 다른 유형 의 연마 테이프 를 사용 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 가 보유 스테이지 ( 4 ) 에 보유 된 채 로 거친 연마 와 마무리 연마 가 수행 될 수 있 다 . 따라서 , 전체 연마 시간 이 단축 될 수 있 다 .