적어도 하나 의 C - H 결합 을 갖 는 실례 의 유기 실란 에 는 하 기 가 포함 된다 : 알킬 실란 예컨대 , 예 를 들 어 , 테트라메틸 실란 , 메틸 실란 , 다이메틸 실란 , 다이에틸 실란 , 다이에틸 메틸 실란 , 프로필 실란 , 트라이 메틸 실란 , 및 에틸 실란 ; 알 콕 시실 란 및 실록 산 예컨대 , 예 를 들 어 , 테트라에틸 오르토 실리케이트 ( TEOS ) , 및 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 ( TMCTS ) ; 알킬렌 폴리 실란 예컨대 , 예 를 들 어 , 다 이 실라노 메탄 , 비스 ( 메틸 실라노 ) 메탄 , 1 , 2 - 다이 실라노 에탄 , 1 , 2 - 비스 ( 메틸 실라노 ) 에 탄 , 2 , 2 - 다이 실라노 프로판 , 다이메틸 다이 실라노 에탄 , 다이메틸 다이 실라노 프로판 , 테트라메틸 다 이 실라노 에탄 , 및 테트라메틸 다 이 실라노 프로판 ; 알케 닐 실란 예컨대 , 예 를 들 어 , 비닐 메틸 실란 , 및 다 이 비닐 다이메틸 실란 ; 아릴 실란 예컨대 , 예 를 들 어 , 페닐 실란 , 페닐 다이메틸 실란 , 및 페닐 트라이 메틸 실란 ; 알킬 폴리 실란 예컨대 , 예 를 들 어 , 1 , 1 , 2 , 2 - 테트라메틸 다 이 실란 , 헥사 메틸 다 이 실란 , 1 , 1 , 2 , 2 , 3 , 3 - 헥사 메틸 트라이 실란 , 및 1 , 1 , 2 , 3 , 3 - 펜 타 메틸 트라이 실란 . 유기 실란 의 조합 이 또한 사용 될 수 있 다 . 유기 실란 은 예 를 들 어 , 아미노기 , 하이드록실기 , 및 / 또는 할로 ( 예 를 들 어 , 플 루 오 로 , 브로모 , 클로로 ) 기 와 같 은 치환기 를 가질 수 있 지만 , 이 들 치환기 는 제 1 플 라즈 마 처리 의 효능 을 감소 시키 는 경향 이 있 을 수 있 다 . 또한 , 제 1 플 라즈 마는 예 를 들 어 , 하 기 로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 기체 성분 ( 들 ) 을 추가 로 포함 할 수 있 다 : 산소 , 질소 , 이산화질소 , 아산화질소 , 암모니아 , 및 이산화 황 , 그렇지만 이 들 은 제 1 플 라즈 마 처리 의 효능 을 감소 시킬 수 있 다 .