계속 해서 , 열분해 탄소 층 ( 3 ) 이 매우 얇 은 소정 의 두께 가 된 단계 에서 , 해당 열분해 탄소 층 ( 3 ) 의 표면 에 열분해 탄소 의 클러스터 를 생성 시킨다 . 열분해 탄소 의 클러스터 는 , 공중 에서 생성 된 열분해 탄소 의 파티클 ( 미세 덩어리 ) 이 매우 얇 은 열분해 탄소 층 ( 3 ) 의 표면 에 침강 하 여 퇴적 됨 으로써 ( 즉 , 침적 ) 생성 된다 .