슈라우드 커버 ( 175 ) 는 연마 위치 에 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 표면 보다 약 10 ㎜ 높 은 위치 에 상부 에지 를 갖 는다 . 이러 한 슈라우드 커버 ( 175 ) 를 제공 하 는 목적 은 연마 중 회전 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 상부 표면 과 하부 표면 상 에 제공 된 연마 액 ( 통상 , 순수 한 물 ) 이 확산 되 는 것 을 방지 하 고 , 연마 액 이 웨이퍼 ( W ) 로 다시 튀 는 것 도 방지 하 는 것 이 다 .