도면 부호 725 에서 , 하나 이상 의 S - D 웨이퍼 는 하나 이상 의 처리 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 처리 요소 에서 처리 될 수 있 다 . 제 1 S - D 프로시저 는 제 1 미처리 S - D 웨이퍼 를 처리 하 는 데 이용 될 수 있 고 , 제 1 S - D 프로시저 는 하나 이상 의 프로세스 관련 프로시저 를 포함 할 수 있 다 . 대안 적 실시 예 들 에서 는 하나 이상 의 웨이퍼 가 N - S - D 서브시스템 에서 처리 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 처리 시퀀스 에서 의 제 1 프로시저 는 제 1 처리 서브시스템 에서 수행 될 수 있 고 , S - D 처리 시퀀스 에서 의 추가 프로시저 는 추가 서브시스템 에서 수행 될 수 있 다 .