웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 + X 측 의 면 ( + X 단면 ) 및 - X 측 의 면 ( - X 단면 ) 에는 각각 경면 가공 이 실시 되 고 , 도 43 ( B ) 에 도시 된 반사면 ( 27 a , 27 c ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 + Y 측 의 면 ( + Y 단면 ) , 즉 FD 바 ( 46 ) 의 + Y 단면 , 및 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 - Y 측 의 면 ( - Y 단면 ) , 즉 계측 부 ( 138 ) 의 - Y 단면 에 는 , 각각 반사면 ( 27 b , 27 d ) 이 형성 되 어 있 다 .