본 발명 의 제 2 증착 재료 는 , a ) 니오브 및 란탄 의 이원계 산화물 과 , b ) 금속 니오브 및 / 또는 금속 란탄 으로 되 는 증착 재료 로서 , 그 증착 재료 중 의 니오브 와 란탄 의 몰 비 가 25 : 75 ~ 90 : 10 인 것 을 특징 으로 하 고 있 다 . 여기 에서 의 「 니오브 및 란탄 의 이원계 산화물 」 의 정의 는 , 상기 한 바 와 같 다 . 이러 한 제 2 증착 재료 의 구성 으로서 는 , Nb + La 2 O 3 , La + Nb 2 O 5 , Nb + La + Nb 2 O 5 , Nb + LaO , Nb + LaNbO 4 , Nb + LaNb 7 O 12 , Nb + La 3 NbO 7 + LaNbO 4 , Nb + La 3 NbO 7 + LaNb 7 O 12 , Nb + NbO 2 + La 3 NbO 9 + LaNbO 4 나 Nb + NbO + NbO 2 + La 3 NbO 9 + LaNbO 4 를 예시 할 수 있 다 . 또한 , 이하 에 있 어서 , 이러 한 금속 니오브 및 / 또는 금속 란탄 을 함유 하 고 있 는 증착 재료 를 「 금속 함유 증착 재료 」 라 호칭 한다 . 금속 함유 증착 재료 도 , 아산화물 증착 재료 와 마찬가지 로 산소 함유율 이 보다 작 은 재료 이 기 때문 에 , 상기 한 이유 로부터 , 목적 하 는 특성 을 갖 는 막 을 형성 시키 기 쉽 다 .