연마 용 조성물 이 그대로 연마 액 으로서 사용 되 는 경우 , 비 이온 성 계면 활성제 의 함유량 은 , 연마 용 조성물 에 대하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 00001 중량 ％ 이상 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 00002 중량 ％ 이상 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 00003 중량 ％ 이상 이 다 . 이러 한 범위 이 면 , 연마 용 조성물 의 분산 안정 성 이 향상 되 기 때문 에 , 조 연마 공정 에 있 어서 적합 하 게 사용 할 수 있 다 . 연마 용 조성물 이 그대로 연마 액 으로서 사용 되 는 경우 , 비 이온 성 계면 활성제 의 함유량 의 상한 은 , 0 . 0002 중량 ％ 이하 로 하 는 것 이 적당 하 고 , 높 은 연마 레이트 를 유지 한다는 관점 에서 , 바람직 하 게 는 0 . 0001 중량 ％ 이하 이 다 . 또한 , 2 종 이상 을 조합 하 여 사용 하 는 경우 에 는 , 상기 함유량 은 2 종 이상 의 비 이온 성 계면 활성제 의 합계 함유량 을 가리킨다 .