또한 본 발명 에 따른 고순 도 정전 척 은 상기 절연 층 에 액상 접합 된 또 하나 의 절연 층 을 구비 할 수 있 다 . 이 정전 척 은 상기 된 제 1 내지 제 3 소 결체 를 가압 접합 함 에 의해 제조 될 수 있 다 . 제 3 소 결체 에 함유 된 소결 보조제 의 함량 이 많 은 경우 , 제 2 및 제 3 소 결체 모두 에서 소결 보조제 의 용융 및 액상 접합 과정 이 진행 될 수 있 다 .