본 고안 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위하 여 안출 한 것 으로서 , 첫째 , 기판 이 흡착 되 는 흡착 패드 에 완충 부재 를 설치 하 여 기판 에 가해 지 는 흡착 충격 이 제거 될 수 있 게 하 고 , 둘째 , 완충 부재 로서 브러시 를 사용 함 과 동시 에 브러시 에 일정 각도 를 부여 하 여 기판 의 흡 착시 기판 의 회동 방지 를 통해 기판 이 안정 적 으로 정확 하 게 고정 될 수 있 게 하 고 , 셋째 , 흡착 패드 에 정전기 제 거선 을 구비 하 여 기판 의 정전기 를 제거 시킴 으로써 기판 의 적재 나 운반 이 용이 하 도록 하 는 것 이 다 .