도 2 a - 2 b , 도 3 , 도 4 a , 도 4 b , 및 도 6 에 도시 된 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 콘 택 요소 들 ( 22 ) 이 신호 를 전달 할 수 있 도록 구성 되 지 않 고 오직 상기 프로브 카드 ( 20 ) 의 감쇠 구성 으로 만 포함 됨 으로써 , 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( 30 ) 의 강성 문제 를 극복 하 고 , 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( 30 ) 이 상기 피검 소자 의 상기 콘 택 패드 들 ( 32 ) 에 콘 택하 는 동안 파손 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .