먼저 , 그 조성물 을 층 또는 필름 의 형태 로 기판 상 에 형성 하 는 도포 공정 을 실시 한다 . 그 기판 으로 는 , 예 를 들 어 실리콘 웨이퍼 , 세라믹 기판 , 알루미늄 기판 등 에 도포 한다 . 이 때 , 형성 되 는 릴리프 패턴 과 기판 의 접착성 을 향상 시키 기 위해 , 미리 그 기판 에 실란 커플링 제 등 의 접착 보조제 를 도포 해 두 어도 된다 . 그 조성물 의 도포 방법 은 스피너 를 사용 한 회전 도포 , 스프레이 코터 를 사용 한 분 무 도포 , 침지 , 인쇄 , 롤 코팅 등 으로 실시 한다 .