도면 부호 150 으로 나타낸 평가 서브시스템 은 통합 적 광학 디지털 프로파일링 ( iODP : integrated Optical Digital Profiling ) 시스템 ( 도시 생략 ) 을 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 계측 시스템 을 이용 할 수 도 있 다 . iODP 툴 은 Timbre Technologies Inc ( TEL 사 ) 에서 시판 중 이 다 . 예컨대 , ODP 기술 은 임계 치수 ( CD ) 정보 , 구조물 프로파일 정보 , 또는 비아 프로파일 정보 를 획득 하 는 데 이용 될 수 있 고 , iODP 시스템 에 대한 파장 범위 는 약 200 nm 보다 짧 고 약 900 nm 보다 길 수 있 다 . 예 시 적 인 iODP 시스템 은 ODP 프로파일러 라이브러리 , 프로파일러 애플리케이션 서버 ( PAS ) 및 ODP 프로파일러 소프트웨어 를 포함 할 수 있 다 . ODP 프로파일러 라이브러리 는 광학 스펙트럼 의 애플리케이션 에 따른 데이터베이스 와 , 그것 의 대응 하 는 반도체 프로파일 , CD 및 막 두께 를 포함 할 수 있 다 . PAS 는 광학 적 하드웨어 및 컴퓨터 네트워크 와 접속 하 는 적어도 하나 의 컴퓨터 를 포함 할 수 있 다 . PAS 는 데이터 통신 , DOP 라이브러리 조작 , 측정 프로세스 , 결과 생성 , 결과 분석 , 및 결과 출력 을 취급 한다 . ODP 프로파일러 소프트웨어 는 측정 레시피 , ODP 프로파일러 라이브러리 , ODP 프로파일러 결과 검색 / 매칭 , DOP 프로파일러 결과 계산 / 분석 , 데이터 통신 , 및 다양 한 계측 툴 과 컴퓨터 네트 워 트 에 대한 PAS 인터페이스 를 관리 하 기 위하 여 PAS 상 에 인 스톨 된 소프트웨어 를 포함 한다 .