이상 으로부터 , 매립 도전 막 ( 114 ) 의 도전 성 을 확보 하 기 위해서 는 막 두께 50 ㎚ 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 매립 도전 막 ( 114 ) 과 워드 라인 ( 116 ) 의 절연 성 을 확보 하 기 위해서 는 막 두께 100 ㎚ 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 그 결과 , 본 실시 예의 구조 에서 는 매립 도전 막 ( 114 ) 의 막 두께 는 50 ㎚ 이상 100 ㎚ 이하 인 것 이 바람직 하 다 .