상기 세척 챔버 ( 210 ) 는 작업 공간 내 상기 필터 카트리지 모듈 ( 100 ) 을 수용 하 며 , 상기 세 척 챔버 ( 210 ) 에 는 상기 이송 컨베이어 ( 50 ) 에 대응 된 측면 에 상기 필터 카트리지 모듈 ( 100 ) 이 출입 할 수 있 는 출입구 를 형성 하 되 상기 출입구 는 개폐 가능 한 구조 를 이루 게 도어 개폐 수단 ( 211 ) 을 형성 한다 .