그 다음 도 5 a 에 도시 된 바 와 같이 상기 제 2 도전 형 전도 층 ( 501 ) 을 형성 하 고 있 는 p 형 불순물 을 활성 화 시키 기 어닐링 공정 을 진행 한다 . 예 를 들 어 , 상기 어닐링 공정 은 레이 져 어닐링 ( Laser anneal ) 공정 을 진행 함 으로써 상기 진성 층 ( 401 ) 의 상부 영역 에 형성 된 p 형 불순물 을 활성 화 시켜 제 2 도전 형 전도 층 ( 501 ) 을 형성 할 수 있 다 .