한편 , 지지 다이어프램 ( 50 ) 의 두께 는 , 예컨대 본 실시 형태 의 경우 수십 미크론 이 며 , 제 1 및 제 2 대좌 플레이트 ( 21 , 22 ) 각각 보다 충분히 얇 은 두께 로 되 어 있 다 . 또한 , 지지 다이어프램 ( 50 ) 의 중앙부 에 는 , 제 1 대좌 플레이트 ( 21 ) 와 제 2 대좌 플레이트 ( 22 ) 사이 에 슬릿 형 의 공간 ( 캐비 티 ) ( 20 A ) 을 만드 는 대 직경 의 구멍 ( 50 a ) 이 형성 되 어 있 다 .