상기 기밀 접합 단계 는 , ( i ) 0 ~ 50 분 구간 에서 상기 진공로 내부 를 420 ~ 450 도 의 온도 및 15 ~ 50 torr 의 압력 으로 가열 시키 는 단계 ; ( ii ) 50 ~ 80 분 구간 에서 상기 진공로 내부 를 500 도 의 온도 및 300 ~ 400 torr 의 압력 으로 가열 시키 는 단계 ; ( iii ) 80 ~ 130 분 구간 에서 상기 진공로 내부 를 950 ~ 980 도 의 온도 및 300 ~ 400 torr 의 압력 으로 가열 시키 는 단계 ; ( iv ) 130 ~ 145 분 구간 에서 상기 진공로 내부 를 460 도로 급 냉시 키는 단계 ; 및 ( v ) 145 ~ 150 분 구간 에서 상기 진공로 내부 를 50 도로 급 냉시 키는 단계 를 포함 할 수 있 다 .