예시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 제 1 컨트롤 게이트 는 상기 제 1 유전 막 패턴 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 1 하부 도전 패턴 및 제 1 상부 도전 패턴 을 구비 할 수 있 고 , 상기 제 2 컨트롤 게이트 는 상기 제 2 유전 막 패턴 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 2 하부 도전 패턴 및 제 2 상부 도전 패턴 을 구비 할 수 있 으며 , 상기 제 1 및 제 2 하부 도전 패턴 들 은 폴리 실리콘 을 포함 할 수 있 고 , 상기 제 1 및 제 2 상부 도전 패턴 들 은 상기 금속 실리사이드 를 포함 할 수 있 다 .