본 실시 예 에서 는 , 단결정 실리콘 기판 위 에 형성 된 산화 실리콘 막 과 , 베이스 기판 이 되 는 유리 기판 위 에 형성 된 산화알루미늄 막 을 사용 하 여 단결정 실리콘 기판 과 베이스 기판 을 접합 했 을 때 의 밀착 성 에 관해 설명 한다 . 또한 , 본 발명 은 이하 의 실시 예 에 의해 전혀 한정 되 는 것 은 아니 고 , 특허 청구 범위 에 의해 특정 되 는 것 은 물론 이 다 .