다음 , 측정 된 세정액 의 준위 변화 신호 에 따라 세정액 의 일부 를 세 정조 ( 10 ) 의 외부 로 배출 한다 . 이 단계 에서 약액 이 공급 됨 에 따른 세정액 의 준위 가 미리 설정 된 기준 준위 보다 높 을 경우 에 는 세정액 의 일부 가 세 정조 ( 10 ) 의 외부 로 자동 적 으로 배출 될 수 있 고 , 세정액 의 준위 가 미리 설정 된 기준 준위 보다 낮 을 경우 에 는 세정액 의 배출 없이 세정 공정 이 연속 적 으로 진행 될 수 있 다 .