상기 마스크 패턴 ( 250 ) 은 4 F 의 폭 을 가질 수 있 다 . 또한 , 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 이 정 얼라인 되 어 있 는 경우 , 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 의 좌 , 우측 벽 은 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 244 a ) 의 각 라인 의 중심 부위 에 위치 한다 . 그러나 , 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 은 정 얼라인 되 었 을 때 를 기준 으로 좌 , 우 1 . 5 F 까지 미스 얼라인 이 발생 하 더라도 최종 적 으로 형성 되 는 제 1 라인 패턴 은 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 의 형성 영역 에서 서로 끊어진 형상 을 가질 수 있 다 . 즉 , 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 은 좌 , 우 1 . 5 F 의 미스 얼라 인 마진 을 갖 는다 .