처리 블록 ( 5 ) 내 에 있 어서 의 캐리어 블록 ( 4 ) 측 에 는 선반 유닛 ( U 10 ) 이 설치 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 10 ) 은 , 상하 방향 으로 늘어서 는 복수 의 셀 로 구획 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 10 ) 의 근방 에 는 승강 아암 을 포함 하 는 반송 장치 ( A 7 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반송 장치 ( A 7 ) 는 , 선반 유닛 ( U 10 ) 의 셀 끼리 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 승강 시킨다 .