도 3 a 는 도 2 d 의 단계 를 마친 후 의 제 1 ( 140 a ) 및 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 의 형태 를 개략 적 으로 나타낸 평면도 이 다 . 도시 한 바 와 같이 , 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 은 복수 개 의 서로 일정 간격 으로 이격 되 어 있 는 단위 시드 패턴 으로 이루어지 며 , 이 들 단위 시드 패턴 을 전기 적 으로 연결 하 여 주 는 배선 ( 142 a ) 과 전기 도금 공정 시 접지 와 연결 되 는 전극 ( 144 a ) 이 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 과 결합 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 역시 배선 ( 142 b ) 과 전극 ( 144 b ) 이 연결 되 어 있 다 . 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 상 의 점선 의 원 은 개구 ( 120 ) 를 나타낸다 .