제 1 아암 ( 710 ) 및 제 2 아암 ( 720 ) 중 에서 하나 의 아암 은 로드 락 모듈 ( 120 ) 로부터 하나 의 웨이퍼 를 로딩 하 여 정해진 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 이송 하 고 , 다른 하나 의 아암 은 정해진 프로세스 모듈 ( 140 ) 로부터 웨이퍼 를 로딩 하 여 로드 락 모듈 ( 120 ) 로 웨이퍼 를 이송 할 수 있 다 .