또한 , 도 11 v 의 공정 에서 상기 층간 절 연막 ( 83 ) 위 에 , 상기 비어 플러그 ( 84 A ) 에 대응 하 여 AlCu 합금 으로 이루어진 배선 패턴 ( 85 A ) 이 Ti / TiN 적층 구조 의 밀착 막 ( 85 a , 85 d ) 에 사이 에 삽입 된 형태 로 , 상기 비어 플러그 ( 84 B ) 에 대응 하 여 AlCu 합금 으로 이루어진 배선 패턴 ( 85 B ) 이 Ti / TiN 적층 구조 의 밀착 막 ( 85 b , 85 e ) 에 사이 에 삽입 된 형태 로 , 또한 상기 비어 플러그 ( 85 C ) 에 대응 하 여 AlCu 합금 으로 이루어진 배선 패턴 ( 85 C ) 이 Ti / TiN 적층 구조 의 밀착 막 ( 85 c , 85 f ) 에 사이 에 삽입 된 형태 로 형성 된다 .