예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 채널 ( 225 ) 은 상기 제 1 방향 으로 순차 적 으로 적층 되 며 서로 접촉 하 며 , 각각 이 기판 ( 100 ) 상면 에 경사진 측벽 을 갖 는 제 3 , 제 2 및 제 1 부분 들 을 포함 할 수 있 다 . 이때 , 채널 ( 225 ) 의 상기 제 1 부분 은 채널 ( 225 ) 의 상부 에 형성 되 어 채널 ( 225 ) 의 상기 제 2 및 제 3 부분 들 에 비해 상기 제 1 방향 으로 짧 은 길이 를 가질 수 있 다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 채널 ( 225 ) 의 상기 각 제 1 내지 제 3 부분 들 은 하부 에서 상부 로 갈수록 점차 증가 하 는 폭 을 가질 수 있 다 .