폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 는 , 점착 성 을 갖 지 않 기 때문 에 실온 에서 는 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 접착 할 수 없 다 . 그러나 , 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 는 열가소성 을 갖 기 때문 에 , 소정 압력 을 인가 하 면서 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 과 접합 시킨 상태 로 융점 근방 의 온도 까지 가열 하 면 , 부분 적 으로 용융 하 여 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 접착 될 수 있 다 . 그래서 , 본 실시 형태 에 따른 웨이퍼 ( 1 ) 의 가공 방법 에서 는 이상 과 같 은 열 압착 에 의해 , 웨이퍼 ( 1 ) 와 프레임 ( 7 ) 과 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 일체 화 하 여 프레임 유닛 을 형성 한다 .