본 발명 에서 감광성 화합물 로서 디 아지드 계 화합물 은 조성물 총량 에 대하 여 1 ~ 10 중량 % 로 포함 되 는 것 이 바람직 하 다 . 디 아지드 계 화합물 이 1 중량 % 미만 으로 포함 되 면 패턴 이 형성 되 지 못하 고 , 레지스 트 가 대부분 용해 되 어 버리 는 문제 가 발생 하 고 , 10 중량 % 를 초과 하 여 포함 되 면 패턴 사이 에 스컴 등 이 존재 할 수 있 는 문제 가 있 다 .