장치 데이터 는 , 이하 의 데이터 종별 의 데이터 중 , 적어도 어느 것 을 포함 한다 . 예 를 들 어 , 기판 처리 장치 의 동작 을 제어 하 는 제어 프로그램 이나 , 후술 하 는 기판 처리 의 수순 이나 조건 등 이 기재 된 프로세스 레시피 , 기판 ( 200 ) 에 의 처리 에 사용 하 는 프로세스 레시피 를 설정 할 때 까지 의 과정 에서 생기 는 연산 데이터 나 처리 데이터 , 스케줄 데이터 , 프로세스 데이터 , 부하 데이터 ( 가동 데이터 ) , 정기 점검 데이터 , 장치 접속 데이터 , 내부 접속 데이터 , 웨이퍼 ( 200 ) 데이터 , 알람 데이터 , 데이터 종별 ( 종류 ) 마다 의 중요 도 테이블 데이터 , 데이터 종별 마다 의 인터럽트 가부 테이블 데이터 , 송신 간격 테이블 데이터 , 송신 처 설정 테이블 데이터 등 이 다 .