[ 0002 ] 반도체 마이크 로 전자 회로 들 을 제조 하 는 데 사용 되 는 플 라즈 마 리액터 들 은 프로세싱 가스 로부터 형성 되 는 플 라즈 마 를 유지 하 기 위해 RF ( 무선 주파수 ) 유도 결합 필드 ( inductively coupled field ) 들 을 사용 할 수 있 다 . 종래 의 유도 결합 플 라즈 마 리액터 들 은 측벽 및 천정 을 구비 하 는 진공 챔버 , 일반 적 으로 천정 과 대면 하 고 챔버 내 에 있 는 워크 피스 지지 페데 스탈 ( workpiece support pedestal ) , 챔버 내 로 프로세스 가스 를 공급 할 수 있 는 가스 유입 구 , 및 천정 위 에 놓이 는 ( overlying ) 하나 이상 의 코일 안테나 들 을 일반 적 으로 포함 한다 . 하나 이상 의 안테나 들 은 일반 적 으로 천정 에 대체 적 으로 수직 한 대칭 축선 을 중심 으로 감긴다 . RF 플 라즈 마 소스 전원 공급 장치 는 코일 안테나 들 각각 에 걸쳐 연결 된다 . 때때로 , 리액터 는 천정 위 에 놓이 며 외측 코일 안테나 에 의해 둘러싸인 내측 코일 안테나 를 포함 할 수 있 다 .