본 발명 의 일 양태 는 , 방법 을 제공 하 며 , 이 방법 은 지정 된 계측 모델 을 적용 하 여 유도 된 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 확률 적 노이즈 의 영향 을 결정 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 확률 적 노이즈 의 영향 을 결정 하 는 단계 는 , 랜덤 합성 노이즈 의 복수 의 노이즈 실현 을 생성 하 는 동작 과 , 수정 된 데이터 세트 를 산출 하 도록 상기 생성 된 노이즈 실현 을 상기 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 추가 하 는 동작 과 , 적어도 하나 의 계측 메트 릭 을 사용 하 여 , 상기 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 및 상기 수정 된 데이터 세트 에 대한 메트 릭 값 을 비교 하 는 동작 에 의해 수행 되 며 , 상기 비교 는 상기 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 추정 된 노이즈 영향 을 제공 하 고 , 상기 생성 하 는 동작 , 상기 추가 하 는 동작 및 상기 비교 하 는 동작 중 적어도 하나 는 , 적어도 하나 의 컴퓨터 프로세서 에 의해 수행 된다 .