상기 인입 스테이지 ( 120 a ) 와 인출 스테이지 ( 120 d ) 의 하부 에 는 각각 웨이퍼 를 승 하강 시킬 수 있 는 웨이퍼 리프터 ( 130 , 140 ) 가 설치 된다 . 이 는 후술 하 는 도 2 의 트랜스퍼 암 ( 232 , 332 ) 상 에 안착 된 웨이퍼 를 인입 스테이지 ( 120 a ) 상 에 로딩 하 거나 , 인출 스테이지 ( 120 d ) 상 의 웨이퍼 를 트랜스퍼 암 ( 232 , 332 ) 으로 언 로딩 하 는 데 사용 된다 .