본 발명 은 , 제 1 물 체면 의 상 을 제 2 물 체면 에 투영 하 는 투영 광학계 로서 , 상기 제 2 물 체면 의 한 측면 으로부터 순차 적 으로 삽입 된 복수 의 광학 부재 를 구비 하 고 , 상기 복수 의 광학 부재 는 , 등방 결정 으로 구성 되 고 , < 1 1 1 > 의 결정축 을 광축 방향 으로 배향 시킨 제 1 광학 부재 및 제 2 광학 부재 와 , < 1 0 0 > 의 결정축 을 광축 방향 으로 배향 시킨 제 3 광학 부재 를 포함 하 고 , 상기 제 1 광학 부재 , 상기 제 2 광학 부재 및 상기 제 3 광학 부재 의 각각 을 통과 하 는 광선 과 광축 이 이루 는 최대 각도 θ 1 , θ 2 , θ 3 이 │ θ i - θ j │ < 5 °( i , j = 1 , 2 , 3 ) 을 만족 하 는 것 을 특징 으로 하 는 투영 광학계 를 제공 한다 .