본 발명 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 는 3 상 교류 전원 ( 110 ) , 차단기 ( 115 ) , 노이즈 필터 ( 120 ) , 정류기 및 DC 링크 ( 125 ) , 전력 증폭기 ( 130 ) , RF 센서 ( 135 ) , 보조 정류기 ( 140 ) , 메인 컨트롤러 ( 145 ) , 동기 신호 발생기 ( 150 ) , 및 스펙트럼 모니터 ( 155 ) 를 포함 한다 .