스루홀 전극 의 도전 층 ( 23 ) 은 , 실리콘 반도체 기판 ( 10 ) 을 대면 하 는 내부 전극 ( 26 ) 의 표면 으로부터 절 연막 ( 13 ) 의 일부 , 절 연막 ( 22 ) 의 표면 , 실리콘 반도체 기판 ( 10 ) 의 제 2 주면 으로 연장 된다 . 솔 더 레지스 트 ( 24 ) 는 도전 층 ( 23 ) 상 에 존재 하 며 부분 적 으로 개방 되 고 , 솔 더 볼 ( 도시 하 지 않 음 ; 25 ) 은 도전 층 ( 23 ) 에 연결 되 도록 이러 한 개구부 내 에 형성 된다 .