또한 , 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 으로부터 에어 가 분사 되 어 흡입 블럭 ( 100 ) 으로 흡입 되 는 과정 에서 스테이지 ( S ) 상 의 기판 ( C ) 과 흡입 블럭 ( 100 ) / 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 사이 에 는 와류 가 발생 되 지 않 은 상태 로 높 은 압력 을 가짐 으로써 효율 적 인 집진 과정 이 이루어질 수 있 다 .