상기 복수 의 흡착 홀 ( 327 a , 327 b ) 은 기판 의 중심 으로부터 상기 리프트 핀홀 ( 323 ) 의 안쪽 영역 인 중심 영역 ( CA ) 에 형성 되 는 중심 흡착 홀 ( 327 a ) 과 중심 영역 ( CA ) 을 둘러싸 는 가장자리 영역 ( EA ) 에 형성 되 는 가장자리 흡착 홀 ( 327 b ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 상기 복수 의 진공 유로 ( 328 a , 328 b ) 는 상기 중심 흡착 홀 ( 327 a ) 에 연통 되 는 중심 진공 유로 ( 328 a ) 와 상기 가장자리 흡착 홀 ( 327 b ) 에 연통 되 는 가장자리 진공 유로 ( 328 b ) 를 포함 할 수 있 다 .