본 발명 의 제 1 측면 에 따르 면 마이크 로 요동 소자 가 제공 된다 . 이 마이크 로 요동 소자 는 프레임 과 , 기준 전위 가 부여 되 기 위한 제 1 구동 전극 을 갖 는 요 동부 와 , 프레임 및 요 동부 를 연결 하 여 그 요동 부 의 요동 동작 의 축심 을 규정 하 는 연결부 와 , 제 1 구동 전극 과 협동 하 여 요동 동작 의 구동력 을 발생 시키 기 위한 , 프레임 에 고정 된 제 2 구동 전극 을 구비 한다 . 제 1 구동 전극 은 축심 과 교차 하 는 방향 으로 연장 되 는 , 이격 한 제 1 단 연장 부 및 제 2 단 연장 부 를 갖 는다 . 제 2 구동 전극 은 , 제 1 및 제 2 단 연장 부 간 의 이격 거리 이내 에 설치 되 어 있 다 . 제 1 및 제 2 단 연장 부 는 , 제 1 및 제 2 구동 전극 으로 이루어지 는 구동 기구 의 구조 에서 , 요 동부 에 관한 축심 의 연장 방향 에서 의 가장 외측 의 부위 를 이룬다 .