도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 워드 라인 , 비트 라인 및 층간 절 연막 ( 이상 도시 생략 ) 이 구비 된 기판 ( 21 ) 을 형성 한다 . 이때 , 층간 절연 막 은 다층 구조 이 며 , 그 재질 은 산화 막 일 수 있 다 . 기판 ( 21 ) 은 셀 지역 ( Cell ) 과 주변 회로 지역 ( Peri . ) 으로 구분 되 고 셀 지역 은 A - A ' 지역 과 B - B ' 지역 으로 구분 된다 . 여기 서 , A - A ' 지역 과 B - B ' 지역 은 캐 패 시터 의 하부 전극 이 지그재그 ( Zig - zag ) 형태 로 배치 되 는 것 을 고려 하 여 구분 한 것 으로서 , A - A ' 지역 은 이웃 한 하부 전극 간 간격 ( S 1 ) 이 넓 은 부분 이 고 , B - B ' 지역 은 이웃 한 하부 전극 간 간격 ( S 2 ) 이 좁 은 부분 이 다 .