상기 레이저 증 폭부 ( 220 ) 는 제 1 빔 스플리터 ( 223 a ) , 제 1 증폭 매질 ( 221 a ) , 제 1 미러 ( 222 a ) , 제 1 웨이브 플레이트 ( 224 a ) , 제 2 미러 ( 222 b ) , 제 2 웨이브 플레이트 ( 224 b ) , 제 2 증폭 매질 ( 221 b ) , 제 1 펌핑 램프 ( 226 ) , 제 3 미러 ( 222 c ) , 제 2 빔 스플리터 ( 223 b ) , 제 3 웨이브 플레이트 ( 224 c ) , 제 1 렌즈 ( 225 a ) , 제 2 렌즈 ( 225 b ) 및 제 4 미러 ( 222 d ) 를 포함 한다 . 도면 에 도시 되 지 는 않 았 지만 도 1 에서 와 같 은 2 차 조화 파 발생 장치 ( 미 도시 ) 가 더 포함 될 수 도 있 다 . 상기 제 1 빔 스플리터 ( 223 a ) 는 P 편광 은 투과 하 고 S 편광 은 반사 시킨다 . 따라서 상기 레이저 생 성부 ( 210 ) 에서 공급 받 은 레이저 펄스 는 도 3 에 따른 레이저 생 성부 ( 110 ) 에서 와 같이 P 파 이 므로 상기 제 1 빔 스플리터 ( 223 a ) 를 그대로 투과 한다 . 또한 상기 제 1 빔 스플리터 ( 223 a ) 는 상기 레이저 생 성부 ( 210 ) 에서 공급 받 은 레이저 펄스 의 진행 방향 과 동일 축 상 에 배치 된다 . 물론 상기 제 1 빔 스플리터 ( 223 a ) 의 배치 는 변경 될 수 있 다 .