한편 , 상술 한 에어 베어링 ( 15 ) 에 대한 실시 예 들 은 제 1 및 제 2 베어링 ( 151 , 152 ) 에 동일 하 게 적용 될 수 있 다 . 또는 , 연마 패드 ( 12 ) 의 컨 디셔 닝 시 와 기판 ( 1 ) 의 연마 시 에 는 연마 패드 ( 12 ) 에 압력 을 인가 하 는 구조 가 다를 수 있 다 . 예 를 들 어 , 패드 컨 디셔 닝 시에 인가 되 는 압력 의 크기 와 , 압력 을 인가 하 는 위치 등 이 기판 ( 1 ) 의 연마 시 와 다를 수 있 다 . 이 에 , 패드 컨 디셔 닝 시 에 필요 한 제 2 베어링 ( 152 ) 의 구조 를 제 1 베어링 ( 151 ) 과 다르 게 형성 할 수 있 다 . 즉 , 제 2 베어링 ( 152 ) 은 제 1 베어링 ( 151 ) 과 압력 챔버 ( 510 ) 의 수 와 크기 를 다르 게 형성 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 베어링 ( 152 ) 은 제 1 베어링 ( 151 ) 과 멤 브레인 ( 513 ) 의 압력 홀 ( 514 ) 의 크기 와 배치 형태 가 다를 수 있 다 .