상기 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 은 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 과 유사 한 식각 특성 을 가지 는 물질 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 은 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 구성 물질 과 동일 한 물질 로 이루어질 수 있 다 . 또는 , 상기 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 은 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 과 식각 특성 은 유사 하나 상호 다른 물질 로 이루어질 수 도 있 다 . 일 예 로서 , 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 및 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 층 은 각각 산화 막 으로 이루어질 수 있 다 .