또한 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 의 어댑터 ( 96 ) 를 분리 하 는 분리 유닛 이 마련 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 케이스 ( 101 ) 내 의 상부 에 볼 나사 ( 105 ) 와 샤프트 ( 106 ) 가 평행 하 게 배치 되 어 있 다 . 볼 나사 ( 105 ) 는 , 예 를 들 어 O 링 등 에 의해 기밀 성 을 유지 한 채 , 케이스 ( 101 ) 외부 에 마련 한 핸들 ( H 1 ) 에 의해 회전 시키 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 볼 나사 ( 105 ) 와 샤프트 ( 106 ) 에 는 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 가 장착 되 어 있 다 . 또한 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 에 는 , 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 이 장착 되 어 있 다 . 리니어 스테이지 ( 150 ) 는 , 볼 나사 ( 105 ) 측 의 장착 부분 에 , 볼 나사 ( 105 ) 에 대응 하 여 홈 이 형성 되 어 있 다 . 리니어 스테이지 ( 150 ) 및 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 은 볼 나사 ( 105 ) 의 회전 에 의해 볼 나사 ( 105 ) 및 샤프트 ( 106 ) 를 따라 이동 한다 .