스퍼터 가스 로서 , 아르곤 및 산소 의 혼합 가스 를 사용 할 수 있 다 . 혼합 가스 중 의 산소 농도 를 조정 하 는 방법 으로 는 , 예 를 들 어 , 아르곤 100 ％ 의 가스 봄베 와 , 아르곤 중 의 산소 가 2 ％ 인 가스 봄베 를 이용 하 여 , 각각 의 가스 봄베 로부터 챔버 로 의 공급 유량 을 매스 플로우 로 적절히 설정 함 으로써 실시 할 수 있 다 . 여기 에서 , 혼합 가스 중 의 산소 농도 란 , 산소 분압 / ( 산소 분압 ＋ 아르곤 분압 ) 을 의미 하 는 것 으로서 , 산소 의 유량 을 산소 와 아르곤 유량 의 합계 로 나눈 것 과 도 동일 하 다 . 산소 농도 는 원 하 는 캐리어 농도 에 따라 적절히 변경 하 면 되 는데 , 전형 적 으로 는 1 ∼ 3 ％ 로 할 수 있 고 , 보다 전형 적 으로 는 1 ∼ 2 ％ 로 할 수 있 다 .