상기 PVD 방법 을 좀 더 상세히 살펴보 면 , 먼저 증발 은 도금 할 물질 을 기화 하 는데 있 어서 열에너지 를 이용 하 는 방법 인 반면 , 스퍼터링 은 플 라즈 마 를 형성 한 다른 기체 의 운동 에너지 를 이용 해서 도금 물질 을 기화 하 는 방법 이 다 . 증발 은 열에너지 를 공급 하 는 방법 에 따라서 세부 적 으로 분류 하 는 데 필라멘트 , 저 항가 열 보트 , 전자 빔 , 아크 등 을 용도 에 따라 이용 한다 . 이온 플 레이팅 은 증발 에서 얻 을 수 있 는 빠른 증착 속도 와 스퍼터링 에서 얻 어 지 는 치밀 한 박막 미세 조직 과 화합물 형성 능력 을 조합 한 혼 성 ( Hybrid ) 기술 이 라고 할 수 있 다 . 즉 , 증발 에서 사용 하 는 증발원 을 그대로 이용 하 되 스퍼터링 에서 이용 하 는 플 라즈 마 를 도입 하 여 증발원 자 를 부분 적 으로 이온 화 하 여 운도 에너지 와 반응 성 을 높이 는 방법 이 다 .