본 발명 의 Al - Ni - B 계 합금 스퍼터링 타 겟 은 , Ni 및 B 를 함유 하 고 , Al 3 Ni 화합물 이 석출 되 어 있 고 , 타 겟 중 의 Al 3 Ni 화합물 의 전 석출 량 에 대하 여 , B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 의 비율 이 2 % 이상 이 며 , 상기 Al 3 Ni 화합물 의 평균 입경 이 20 ㎛ 이하 인 것 을 특징 으로 한다 . Al - Ni - B 계 합금 에 있 어서 는 , Al 상 중 에 금속 간 화합물 인 Al 3 Ni 가 석출 되 는 성질 이 있 는데 , 이 Al 상 중 에 석출 되 는 Al 3 Ni 화합물 중 에서 , B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 가 소 정량 존재 하 고 있 으면 , 아 킹 의 발생 이 억 제 되 는 것 을 알아낸 것 이 다 .