특히 불화 탄소 화합물 ( 탄소 와 불소 로 구성 됨 ) 만 이 부동태화 가스 로서 적용 되 는 경우 에 는 , 수소 - 제공 가스 를 가스 혼합물 에 함유 시키 는 것 이 바람직 할 수 있 다 . 이렇게 함 으로써 식각 단계 동안 에 가스 혼합물 의 이방성 효과 를 향상 시킬 수 있 게 된다 . 어떤 이론 으로 구속 되 고자 함 은 아니 지만 , 수소 가 불소 라디 탈 을 제거 ( scavenge ) 함 으로써 반응 혼합물 에 불화 탄소 라디칼 을 남긴다는 것 이 가능 하 다고 여겨진다 . 불화 탄소 라디칼 은 양호 한 식각 제 이 며 , 부동태화 가스 의 이방성 효과 를 여전히 향상 시킴 으로써 , 수소 는 불소 라디칼 과 불화 탄소 라디칼 사이 의 비율 의 균형 을 맞출 수 있 게 해 주 는 것 으로 보인다 . 불소 라디칼 에 비해 불화 탄소 라디칼 의 함량 이 더 높 으면 , 트렌치 벽 상 의 보호 층 과 의 반응 을 감소 시키 는 것 으로 여겨진다 . 수소 원자 또는 수소 를 제공 하 는 화합물 ( 예컨대 , 수소 - 함유 불화 탄소 , 특히 C 1 또는 C 2 수소 불화 탄소 , 가장 바람직 하 게 는 디 플 루 오로 메탄 및 트리플 루 오로 메탄 ) 이 매우 적합 하 다 . 부동태화 가스 는 심지어 더 높 은 함량 으로 존재 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 가스 혼합물 은 부동태화 화합물 의 최대 45 vol % 까지 함유 될 수 있 다 . 이렇게 되 면 , 나머지 구성 성분 중 의 1 종 또는 모두 의 함량 은 앞서 주 어 진 것 보다 낮 다 .