상기 금속 또는 반금속 ( 예 를 들 면 , 저 매 늄 ) 을 위한 소스 물질 로서 , 해당 금속 의 안정 하 고 증기 화 가 가능 한 화합물 은 무엇 이 든 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 다음 금속 소스 물질 들 이 사용 될 수 있 다 : 알루미늄 소스 물질 로서 알루미늄 클로라이드 ( aluminium chloride ) , 티타늄 소스 물질 로서 티타늄 테트라 클로라이드 ( TiCl 4 ) , 탄 탈륨 소스 물질 로서 탄 탈륨 펜 타 클로라이드 ( TaCl 5 ) , 하프늄 소스 물질 로서 하프늄 테트라 클로라이드 ( HfCl 4 ) , 지르코늄 소스 물질 로서 지르코늄 테트라 클로라이드 ( ZrCl 4 ) , 이트륨 소스 물질 로서 이트륨 베타 디 케토 네이트 ( Y ( thd ) 3 ) , 및 란탄 소스 물질 로서 란탄 베타 디 케토 네이트 ( La ( thd ) 3 ) . 사용 될 수 있 는 다른 금속 소스 물질 들 은 당 기술 분야 에서 통상 의 지식 을 가진 자 에게 자명 할 것 이 다 .