감쇠기 ( 41 ) 의 리액턴스 값 은 바람직 하 게 는 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 불 균일 성 또는 워크 피스 상 에서 수행 중 인 플 라즈 마 제조 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 하 도록 설정 되 거나 조정 된다 . 최적 리액턴스 값 은 플 라즈 마 제조 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 이 감쇠기 ( 41 ) 의 리액턴스 의 다양 한 값 들 에 대하 여 측정 되 는 루틴 한 실험 에 의하 여 결정 될 수 있 다 .