스퍼터링 법 으로 는 본 발명 에서 는 DC 스퍼터링 법 을 사용 한다 . 막 의 캐리어 농도 의 제 어성 이 현격히 향상 되 기 때문 이 다 . 즉 , 고주파 ( RF ) 스퍼터 의 경우 에 는 성막 시 의 분위기 중 약간 의 산소 농도 의 변화 에 따라 캐리어 농도 가 크 게 변화 하 지만 , 직류 스퍼터 에서 는 산소 농도 의 변화 에 따라 천천히 캐리어 농도 가 변화 하 기 때문 에 , 엄밀 한 산소 농도 의 제어 가 불 필요 해진다 .