전기 검사 헤드 ( 11 ) 는 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 보유 지지 하 는 보유 지지 부 ( 11 b ) 를 갖 는다 . 보유 지지 부 ( 11 b ) 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 에 대향 하 는 저면 을 갖 고 있 다 . 복수 의 프로브 ( 11 a ) 는 , 이 저면 으로부터 검사 대상 기판 ( P ) 측 으로 돌출 되 어 있 다 . 복수 의 프로브 ( 11 a ) 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 도전 패턴 에 접촉 가능 하 게 배치 되 어 있 다 . 복수 의 프로브 ( 11 a ) 는 , 예 를 들 어 0 . 1 ㎜ 전후 로부터 2 ㎜ 이하 정도 의 피치 로 배치 되 어 있 다 . 복수 의 프로브 ( 11 a ) 의 합계 개수 로서 는 , 예 를 들 어 2000 개 이상 으로 할 수 있 다 .