또 , 실시 예 1 A , 8 A ~ 11 A , 30 A ~ 32 A 의 대비 로부터 , 연마 액 은 , 과산화 수소 와 금속 불순물 이 함유 하 는 Fe 원자 , Cu 원자 , Ag 원자 , 및 Zn 원자 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 특정 금속 원자 와 의 함유량 비 T 1 이 , 30000 ~ 500000 ( 바람직 하 게 는 30000 ~ 110000 , 보다 바람직 하 게 는 30000 ~ 80000 ) 인 경우 , 피연 마면 에서 의 디싱 이 보다 발생 하 기 어려운 것 이 확인 되 었 다 .