도 10 a 및 도 22 를 참조 하 면 , 기판 ( 100 ) 상 에 제 3 절 연막 ( 230 ) 을 형성 하 여 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a , 228 a ) 및 제 1 및 제 2 절 연막 패턴 들 ( 172 , 174 ) 을 덮 는다 . 이때 , 제 3 절 연막 ( 230 ) 은 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a , 228 a ) 사이 의 공간 을 모두 충전 하 지 는 않 도록 형성 된다 . 이 에 따라 , 제 1 내지 제 3 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a ) 사이 에 는 제 1 에어 갭 ( air gap ) ( 240 a ) 이 형성 된다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 제 1 에어 갭 ( 240 a ) 은 상기 제 2 방향 으로 연장 되 는 형상 을 가질 수 있 으며 , 이 에 따라 각각 제 1 에어 터널 ( tunnel ) ( 240 a ) 로 호칭 될 수 있 다 .