또한 , 제 1 그리드 전극 ( 210 ) 와 제 2 그리드 전극 ( 220 ) 은 챔버 ( C ) 내부 에 구비 된 지지 수단 ( 미 도시 ) 에 의해 챔버 ( C ) 내부 에 고정 되 어 물리 적 으로 일정 이격 거리 를 형성 하 여 전기 적 으로 서로 절연 되게 배치 되 거나 , 제 1 및 제 2 그리드 전극 ( 210 , 220 ) 사이 의 테두리 부분 이나 테두리 부분 을 포함 한 일정 단위 로 이격 거리 에 대응 되 는 높이 를 갖 는 스 페이서 ( 미 도시 ) 를 추가 로 구비 하 여 이격 거리 를 형성 함 으로써 , 전기 적 으로 서로 절연 되게 배치 된다 .