트리밍 공정 을 통해 , 서로 마주 보 는 제 1 트림 기판 ( 100 tw ) 의 제 1 면 ( 100 a ) 및 제 1 트림 기판 ( 100 tw ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 과 , 제 1 트림 기판 ( 100 tw ) 의 제 1 면 ( 100 a ) 에 형성 된 제 1 트림 소자 영역 ( 105 td ) 을 포함 하 는 제 1 트림 기판 ( 100 tw ) 이 제공 될 수 있 다 .