스핀 척 ( 130 ) 에 는 기판 지지 부 ( 132 ) 가 마련 되 어 있 어서 스핀 척 ( 130 ) 의 회전 에 의해 기판 지지 부 ( 132 ) 가 기판 ( W ) 의 에지 ( Wc ) 와 접촉 하 므로써 기판 ( W ) 을 척 킹 한다 . 스핀 척 ( 130 ) 은 회전 가능 하 게 캐리어 ( 110 ) 에 조립 되 는데 , 스핀 척 ( 130 ) 의 상부 는 기판 지지 부 ( 132 ) 가 마련 되 며 하부 에 는 수평 방향 으로 회전 하 는 제 1 베벨 기어 ( 134 ) 가 마련 되 어 있 다 . 기판 지지 부 ( 132 ) 는 캐리어 ( 110 ) 의 상면 으로 돌출 되 며 제 1 베벨 기어 ( 134 ) 는 캐리어 ( 110 ) 의 하부 에 위치 한다 . 캐리어 ( 110 ) 의 내부 에 는 스핀 척 ( 130 ) 의 제 1 베벨 기어 ( 134 ) 와 조합 되 는 수직 방향 으로 회전 하 는 제 2 베벨 기어 ( 172 ) 가 일단 에 마련 된 수평 방향 으로 연장 된 회전축 ( 170 ) 이 배치 된다 . 회전축 ( 170 ) 의 타단 에 는 수직 방향 으로 회전 하 는 평 기어 ( 174 ) 가 마련 되 고 , 평 기어 ( 174 ) 는 수직 방향 으로 직선 이동 가능 한 렉 기어 ( 180 ) 와 조합 된다 . 렉 기어 ( 180 ) 의 하부 에 는 제 1 자성체 ( 184 ) 가 연결 되 고 , 렉 기어 ( 180 ) 와 제 1 자성체 ( 184 ) 사이 에 스프링 과 같 은 탄성체 ( 182 ) 가 배치 된다 . 렉 기어 ( 180 ) 의 하부 에 는 제 1 자성체 ( 184 ) 를 마주 보 는 제 2 자성체 ( 192 ) 가 포함 된다 . 제 2 자성체 ( 192 ) 는 상하 이동 가능 하 도록 하 는 예 를 들 어 실린더 ( 190 ) 와 연결 된다 . 제 2 자성체 ( 192 ) 을 승강 시키 는데 적합 한 모터 및 기타 장비 를 실린더 ( 190 ) 를 대체 하 여 채택 할 수 있 다 . 실린더 ( 190 ) 의 동작 에 의해 제 2 자성체 ( 192 ) 가 상하 이동 하 고 , 이 에 따라 제 2 자성체 ( 192 ) 와 제 1 자성체 ( 184 ) 와 의 간격 이 변동 된다 . 제 1 자성체 ( 184 ) 와 제 2 자성체 ( 192 ) 와 의 사이 에 척력 이 작용 하 도록 하 여 제 2 자성체 ( 192 ) 의 상하 이동 에 따라 제 1 자성체 ( 184 ) 가 상하 이동 하 고 이 에 따라 탄성체 ( 180 ) 가 수축 또는 팽창 하 도록 한다 . 이 와 같 은 스핀 척 ( 130 ) 을 구동 시키 는 구동 기구 ( 200 ) 는 스핀 척 ( 130 ) 의 수 와 같 게 , 예 를 들 어 스핀 척 ( 130 ) 이 총 6 개 이 면 구동 기구 ( 200 ) 또한 6 개 설계 한다 . 이상 의 예 처럼 6 개 의 구동 기구 ( 200 ) 가 설계 되 는 경우 총 6 개 의 탄성체 ( 182 ) 은 탄성 계수 가 동일 하 거나 또는 각각 상이 할 수 있 다 .