상기 돌출 패턴 들 ( 65 a ) 을 갖 는 보조 기판 ( 50 ) 상 에 증착 방지 막 을 콘 포말 하 게 형성 하 고 , 상기 증착 방지 막 상 에 상기 통기 영역 ( 70 ) 을 채우 는 희생 막 을 형성 한다 . 상기 희생 막 은 상기 증착 방지 막 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 한다 . 상기 희생 막 을 리세 스 하 여 상기 통기 영역 ( 70 ) 의 아랫부분 을 채우 는 희생 패턴 ( 80 ) 을 형성 한다 . 이때 , 상기 희생 패턴 ( 80 ) 은 상기 분리 패턴 ( 55 a ) 의 하부 면 에 비하 여 낮 게 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 따라서 , 상기 단결정 패턴 ( 60 a ) 및 게터 링 패턴 ( 365 a ) 을 덮 는 상기 증착 방지 막 의 일부 가 노출 된다 .