제 1 내지 제 3 히터 ( 41 내지 43 ) 는 , 제 1 열 반사 부재 ( 24 ) 의 상방 에 배치 되 고 , 각 히터 ( 41 내지 43 ) 의 열 은 , 스테이지 ( 3 ) 에 방사 됨 과 함께 , 제 1 및 제 2 열 반사 부재 ( 24 , 25 ) 에서 반사 된 열도 스테이지 ( 3 ) 에 방사 된다 . 이렇게 해서 , 스테이지 ( 3 ) 가 제 1 내지 제 3 히터 ( 41 내지 43 ) 에 의해 가열 되 어 , 당해 스테이지 ( 3 ) 를 통해서 , 스테이지 ( 3 ) 의 상방 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 가 가열 된다 .