도 7 a 에 도시 하 는 바 와 같이 , 그 레이톤 마스크 ( 159 a ) 는 , 투광 성 을 갖 는 기판 ( 163 ) 및 그 위 에 형성 되 는 차 광부 ( 164 ) 및 회절격자 ( 165 ) 로 구성 된다 . 차 광부 ( 164 ) 에 있 어서 는 , 광 의 투광 율 이 0 % 이 다 . 한편 , 회절격자 ( 165 ) 는 슬릿 , 도트 , 메시 등 의 광 투 과부 의 간격 을 , 노광 에 사용 하 는 광 의 해상도 한계 이하 의 간격 으로 함 으로써 , 광 의 투광 율 을 제어 할 수 있 다 . 또 , 회절격자 ( 165 ) 는 , 주기 적 인 슬릿 , 도트 , 메시 , 또는 비 주기 적 인 슬릿 , 도트 , 메시 어느 쪽 이나 사용 할 수 있 다 .