또한 , 상기 각 실시 형태 및 변형 예 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 에 고정 된 처마 부 등 의 돌출부 가 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 상 에 설치 되 는 경우 에 대해 설명 하 였 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 아니하 고 , 돌출부 는 가동 일 수 있 다 . 이 경우 에 , 예 를 들 어 , 돌출부 들 은 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 스크럼 상태 일 때 에 만 실질 적 으로 수평 상태 로 할 수 있 고 , 스크럼 시 이외 , 또는 더욱 구체 적 으로 , 돌출부 가 사용 되 지 않 을 때 에 는 , 돌출부 들 은 접힐 수 있 다 .