일 실시 형태 에서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 모든 스루홀 들 ( 117 ) 은 본질 적 으로 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 내 에서 생성 된 본질 적 으로 이온 들 어느 것 도 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통과 하 여 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로 진행 하 는 것 이 허용 되 지 않 도록 보장 하 기 위해 경사져 있 다 . 이 실시 형태 는 스루홀 들 ( 117 ) 에 의한 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로 의 본질 적 으로 순수 라디칼 / 중성 입자 플럭스 도입 을 제공 한다 . 일 실시 형태 에서 , 스루홀 들 ( 117 ) 의 일부분 이 경사져 있 고 스루홀 들 ( 117 ) 의 나머지 부분 은 기준 방향 ( 301 ) 과 일치 하 여 실질 적 으로 똑바른 방식 으로 연장 되 도록 정의 된다 . 이 실시 형태 는 몇몇 이온 들 이 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으로부터 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로 플로우 하 는 라디칼 / 중성 입자 플럭스 와 혼합 하 는 것 을 제공 한다 . 이 실시 형태 에서 , 경사진 스루홀 들 ( 117 ) 에 대한 일직선 스루홀 들 ( 117 ) 의 수 및 분포 는 라디칼 / 중성 입자 플럭스 내 에서 의 원 하 는 이온 농도 를 달성 하 도록 정의 될 수 있 다 .