이 와 같이 구성 된 진공 장치 에서 는 이전 의 공정 이 종료 되 어 이송 되 어 온 기판 ( 1 ) 이 로보트 ( 40 ) 에 상기 로드 락 ( 32 ) 의 출입구 ( 37 ) 를 통해 로딩 되 면 , 상기 출입문 ( 32 ) 이 폐쇄 됨 과 동시 에 진공 펌프 ( 도면 표시 하 지 않 음 ) 가 작동 하 여 상기 로드 락 ( 32 ) 이 진공 상태 로 된다 . 로드 락 ( 32 ) 의 진공 상태 가 공정 챔버 ( 35 a , 35 b , 35 c ) 와 같 아 지 면 , 이송 챔버 ( 33 ) 의 출입문 이 열리 고 로드 락 ( 32 ) 의 기판 ( 1 ) 이 상기 이송 챔버 ( 33 ) 로 공급 된다 . 이송 챔버 ( 33 ) 에서 는 기판 ( 1 ) 을 제 1 공정 챔버 ( 35 ) 로 투입 한다 . 또한 , 상기 이송 챔버 ( 33 ) 는 제 1 공정 챔버 ( 35 a ) 에서 공정 되 어 종료 되 어 출력 된 기판 ( 1 ) 을 제 2 공정 챔버 ( 35 b ) 로 투입 하 며 , 제 2 공정 챔버 ( 35 b ) 에서 공정 이 종료 된 기판 ( 1 ) 을 제 3 공정 챔버 ( 34 c ) 로 투입 한다 .