상술 한 바 와 같이 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 이 톱 링 본체 ( 38 ) 에 확실 하 게 설치 되 어 있 지 않 은 경우 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 이 정상 적 으로 상승 하 지 않 을 우려 가 있 다 . 이 상태 에서 , 웨이퍼 W 가 릴리스 되 면 , 웨이퍼 W 가 리 테 이너 링 ( 40 ) 에 접촉 하 여 , 웨이퍼 W 가 파손 될 우려 가 있 다 .