한편 , 상기 에이치 브이 스퍼터링 장치 ( 300 ) 의 챔버 ( 310 ) 내부 에 는 카본 타 겟 ( 320 ) 이 장착 되 고 , 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 에 는 블레이드 ( 100 ) 가 수용 된다 . 상기 블레이드 가 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 에 수용 된 후 에 는 상기 챔버 ( 310 ) 를 차폐 하 여 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 가 되 도록 한다 . [ 준비 단계 ]