캐리어 가스 배관 ( 92 ) 의 개폐 밸브 ( 95 a ) 와 개폐 밸브 ( 95 b ) 의 사이 의 위치 , 및 WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 의 개폐 밸브 ( 96 a ) 와 개폐 밸브 ( 96 b ) 의 사이 의 위치 를 연결 하 도록 바이패스 배관 ( 98 ) 이 설치 되 고 , 바이패스 배관 ( 98 ) 에 는 개폐 밸브 ( 99 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . 개폐 밸브 ( 95 b , 96 a ) 를 폐쇄 하 고 개폐 밸브 ( 99 , 95 a , 96 b ) 를 개방 함 으로써 , 캐리어 N 2 가스 공급원 ( 93 ) 으로부터 공급 되 는 N 2 가스 가 캐리어 가스 배관 ( 92 ) , 바이패스 배관 ( 98 ) 을 거쳐 , WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 에 공급 된다 . 이 에 의해 , WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 을 퍼지 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .