대기압 반송 모듈 ( 21 ) 은 , 웨이퍼 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 대기압 상태 로 반송 한다 . 웨이퍼 반송 기구 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 대략 수평 으로 보 지 하 는 반송 아암 을 가지 며 , 이 반송 아암 은 , 선회 가능 하 며 또한 신축 가능 하 게 구성 되 며 , 또한 , 연직 방향 으로 승강 가능 하 며 또 한 수평 방향 으로 이동 가능 하 게 마련 되 어 있 다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 는 , 이 반송 아암 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 보 지 하 면서 반송 하 는 구성 으로 되 어 있 다 .