성막 조건 의 일례 로서 , 기판 과 타 겟 사이 의 거리 를 60 mm , 압력 을 0 . 4 Pa , 직류 ( DC ) 전원 을 0 . 5 kW , 기판 온도 를 400 ℃, 성막 분위기 를 산소 ( 산소 유량 비율 ( 100 ) %) 분위기 로 한다 . 펄스 직류 전원 을 이용 하 면 , 성막 시 에 발생 하 는 분말 형 물질 ( 파티클 ( particle ) 또는 먼지 라고 도 한다 ) 을 경감 할 수 있 고 , 막 두께 분포 도 균일 하 게 되 기 때문 에 바람직 하 다는 점 에 주목 한다 .