처리 용기 ( 10 ) 내 에서 의 적재 대 ( 20 ) 의 하방 에 는 , 복수 , 예 를 들 어 3 개 ( 2 개 만 도시 ) 의 지지 핀 ( 26 a ) 을 갖 는 웨이퍼 승강 부재 ( 26 ) 가 배치 되 어 있 다 . 웨이퍼 승강 부재 ( 26 ) 의 하 면 측 에 는 지지 기둥 ( 27 ) 이 마련 되 어 있 고 , 지지 기둥 ( 27 ) 은 , 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 을 관통 하 여 , 처리 용기 ( 10 ) 의 외측 에 마련 된 승강 기구 ( 28 ) 에 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 승강 부재 ( 26 ) 는 , 승강 기구 ( 28 ) 의 구동 에 의해 상하 이동 가능 하 며 또 한 상하 이동 함 으로써 , 지지 핀 ( 26 a ) 이 적재 대 ( 20 ) 에 형성 된 관통 구멍 ( 20 a ) 을 통해서 적재 대 ( 20 ) 의 상면 으로부터 돌출 함몰 한다 .