다시 도 2 a 및 도 2 e 를 참조 하 여 , 한 양태 에서 , 적어도 하나 의 기판 이송 장치 ( 245 ) 는 이송 챔버 ( 210 ) 내 에 적어도 부분 적 으로 배치 된다 . 한 양태 에서 , 각각 의 기판 이송 장치 ( 245 ) 는 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 선회 축 ( 예 를 들 어 , 어깨 부 축 ) ( SX ) 이 이송 챔버 ( 210 ) 에 대해 고정 장착 되 어서 선회 축 ( SX ) 이 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 길이 ( L ) 또는 폭 ( W ) 을 가로지르 지 않 도록 , 이송 챔버 ( 210 ) 내 에서 선회 가능 하 게 장착 되 는 기판 이송 아암 ( 250 ) 을 포함 한다 . 한 양태 에서 , 선회 축 ( SX ) 의 고정 장착 은 이송 아암 ( 250 ) 을 선형 변환기 에 장착 하 는 것 과 비교 하 여 , 선회 축 ( SX ) 의 고정 장착 이 이송 챔버 ( 210 ) 내 에서 입자 발생 을 최소 화 하 고 선회 관절 ( SX ) 의 위치 찾 기 를 수행 하 도록 슬라이딩 특징 부 를 격리 하 는 어떠 한 밀봉 경 계면 도 제한 하 거나 제거 한다는 점 에서 유익 하 다 . 또한 , 선회 링크 ( 이송 아암 이 장착 되 는 ) 로 구성 된 종래 의 관절 식 연결 아암 과 는 대조 적 으로 , 본 명세서 에 기술 된 관절 식 연결 이송 아암 ( 250 ) 은 콤팩트 한 풋 프린트 를 위해 , 하나 의 단부 벽 ( 210 E 1 ) ( 예 를 들 어 , 로드 락 ( LL 1 , LL 2 ) 들 이 연결 된 ) , 다른 단부 벽 ( 210 E 1 ) ( 예 를 들 어 , 로드 락 또는 프로세스 모듈 이 연결 된 ) 과 처짐 효과 ( droop effect ) ( 종래 의 아암 에 의해 나타나 는 것 과 같 은 ) 를 해결 하 는 높 은 종횡비 이송 챔버 ( 210 ) 의 측면 ( 210 S 1 , 210 S 2 ) 을 따라서 그 사이 에 배치 된 프로세스 모듈 ( PM ) 사이 의 이송 을 가능 하 게 하 도록 긴 도달 범위 를 제공 하 고 ; 후술 하 는 바 와 같이 , 대응 하 는 긴 도달 범위 에 대해 실질 적 으로 제한 되 지 않 은 아암 이동성 을 기판 이송 아암 ( 250 ) 에 제공 하 고 ; 긴 도달 범위 에서 ( 측면 개구 ( 270 A 1 , 270 A 6 , 270 B 1 , 270 B 6 ) 들 및 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 에서 와 같이 ) 고 정밀 의 기판 위치 설정 을 위한 선회 강성 을 제공 한다 .