전술 된 바 와 같이 , 기판 상 의 오염물 입자 는 세정 재료 의 폴리머 스트링 / 폴리머 네트워크 내 에 포집 된다 . 세정 재료 내 에 포집 된 오염물 입자 는 세정 재료 가 기판 으로부터 제거 될 때 기판 으로부터 제거 된다 . 예 를 들 어 , 일 실시 형태 에서 , 오염물 입자 와 기판 사이 의 결합 은 세정 재료 만 에 의해서 는 깨 질 수 없 다 . 본 실시 형태 에서 , 린스 유체 로부터 세정 재료 로 전달 된 운동량 은 오염물 입자 와 기판 사이 의 결합 을 깨뜨리 기에 충분 한 에너지 를 제공 한다 . 따라서 , 기판 으로부터 의 오염물 입자 제거 의 효율 성 은 기판 으로부터 세정 재료 를 제거 하 기 위해 도포 된 린스 유체 의 운동량 에 의존 한다 .