본 발명 의 다른 측면 에 의하 면 , 광원 으로부터 의 광 에 의해 레티 클 을 조명 하 는 조명 광학계 ; 상기 레티 클 의 패턴 을 기판 에 투영 하 는 투영 광학계 ; 및 상기 에 기재 된 측정 장치 를 구비 하 고 , 상기 측정 장치 는 피검 광학계 로서 의 상기 투영 광학계 에 의해 발생 된 플레어 를 측정 하 는 것 을 특징 으로 하 는 노광 장치 를 제공 한다 .