기판 ( 102 ) 의 재질 등 에 큰 제한 은 없 지만 적어도 추후 의 열 처리 에 견딜 수 있 을 정도 의 내열 성 을 가질 필요 가 있 다 . 예 를 들 어 실리콘 이나 탄소 화 실리콘 을 재료 로 한 단결정 반도체 기판 및 다결정 반도체 기판 , 실리콘 저마늄 등 의 화합물 반도체 기판 , SOI 기판 , 유리 기판 , 세라믹 기판 , 석영 기판 , 사파이어 기판 등 을 기판 ( 102 ) 으로서 사용 하 여도 좋 다 . 또한 이 들 기판 위 에 반도체 소자 가 제공 된 것 을 기판 ( 102 ) 으로서 사용 하 여도 좋 다 .