상기 배출 파이프 ( 130 ) 를 통해 배출 되 는 유기 금속 전구체 기체 를 포함 하 는 물질 을 분석 하 기 위해 배출 파이프 ( 130 ) 의 타 측 에 질량 분석 장치 ( 230 ) , 포집 장치 ( 210 ) 또는 GC - MS ( 미 도시 ) 등 의 분석 장비 를 더 포함 하 여 구비 될 수 있 는데 , 상기 와 같 은 분석 장비 들 과 배출 파이프 ( 130 ) 를 연결 하 기 위해 도 3 에 도시 한 바 와 같이 상기 배출 파이프 ( 130 ) 는 두 개 이상 의 파이프 ( 131 , 133 , 135 ) 로 분기 되 며 , 상기 배출 파이프 와 상기 분기 된 파이프 들 사이 의 배출 통로 를 선택 하 는 선택 밸브 ( 132 , 134 , 136 ) 를 더 포함 하 여 구비 되 는 특징 을 갖 는다 .