제 2 고주파 전원 ( 52 ) 은 , 이온 을 기판 ( W ) 으로 끌어당기 기 위한 제 2 고주파 전력 을 발생 시키 는 전원 이 다 . 제 2 고주파 전력 의 주파수 는 , 예 를 들 어 , 13 . 56 MHZ 이하 이 다 . 제 2 고주파 전원 ( 52 ) 은 정합 기 ( 54 ) 를 사이 에 두 고 하부 전극 ( 20 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 54 ) 는 , 부하 측 ( 하부 전극 ( 20 ) 쪽 ) 임피던스 를 제 2 고주파 전원 ( 52 ) 의 출력 임피던스 에 정합 시키 기 위한 매칭 회로 를 갖 는다 .