컴퓨터 시스템 ( 2001 ) 에 내장 되 는 학습 부 ( 2005 ) 는 , 입력 부 ( 2004 ) 로부터 입력 되 는 화상 데이터 , 및 도시 하 지 않 은 화상 처리 장치 등 에서 추출 된 화상 의 특징 의 적어도 한쪽 , 하전 입자선 장치 빔 의 조사 조건 , 시료 위 에 형성 된 소자 의 전기 특성 정보 의 세트 를 교사 데이터 로서 접수 한다 . 화상 의 특징 이란 , 예 를 들 면 , 특정 패턴 의 명도 나 콘트 라스트 등 이 며 , 패턴 매칭 등 으로 특정 된 패턴 이나 , 시맨틱 세그먼테이션 등 으로 세그먼트 화 된 특정 패턴 의 명도 정보 를 추출 함 으로써 취득 할 수 있 다 . 학습 기 로서 는 , 예 를 들 면 , 뉴 럴 네트워크 , 회 귀목 , 베이즈 식 별기 등 을 이용 할 수 있 다 .