상기 의 자기 정렬 콘 택 공정 은 콘 택 형성 이 요구 되 는 부분 의 게이트 들 및 이 들 사이 의 소오 스 / 드레 인 영역 을 동시 에 노출 시키 는 콘 택 홀 을 형성 한 후 , 상기 콘 택 홀 이 매립 되 도록 플러그 용 도전 막 을 증착 하 고 , 연이 어 , 플러그 용 도전 막 에 대한 CMP ( Chemical Mechanical Polishing ) 공정 을 수행 하 여 랜딩 플러그 ( Landing Plug ) 를 형성 하 고 , 그런 다음 , 상기 랜딩 플러그 들 과 콘 택 되 도록 비트 라인 및 캐 패시 터 를 형성 하 는 방식 으로 진행 된다 .