챔버 ( 20 ) 내부 의 하부 에 는 기판 지지대 ( 21 ) 가 배치 되 어 있 으며 , 기판 지지대 ( 21 ) 의 상부 에 는 증착 하 고자 하 는 기판 ( 1 ) 이 지지 된다 . 또한 , 기판 지지대 ( 21 ) 내부 에 는 전극 ( 미 도시 ) 가 구비 되 며 , 실온 ( room temperature ) 에서 비정질 탄소막 이 증착 될 수 있 기 때문 에 히터 를 구비 할 필요 가 없 다 . 그리고 , 기판 지지대 ( 21 ) 상부 로부터 챔버 ( 20 ) 의 바닥 면 으로 가드 링 ( guard ring ) ( 22 ) 이 구비 된다 . 가드 링 ( 22 ) 은 챔버 ( 20 ) 내 의 압력 , 즉 기판 ( 1 ) 주위 의 압력 과 진공 배기구 ( 13 ) 사이 의 압력 을 균일 하 게 하 여 균 일도 를 향상 시켜 막 을 증착 할 수 있 도록 한다 . 또한 , 증착 장치 는 챔버 ( 20 ) 내 의 압력 을 측정 하 기 위한 압력 측정기 ( 미 도시 ) 를 구비 할 수 있 다 . 압력 측정기 ( 미 도시 ) 로 측정 한 값 들 은 밸브 ( 12 ) 의 개방 여부 에 반영 되 며 , 이 에 따라 챔버 ( 20 ) 내 의 압력 을 적정 수준 으로 유지 한다 .