샤워 헤드 ( shower head ) 를 통해 공정 챔버 ( process chamber ) 의 내부 로 공급 되 는 공정 가스 를 가열 하 기 위해 시즈 히터 ( sheath heater ) 를 사용 할 수 있 다 . 그러나 시즈 히터 의 경우 , 발열체 에 가까울수록 온도 가 높 고 발열체 에서 멀 어 질수록 온도 가 낮 아 지 는 등 센터 영역 ( center zone ) 과 에지 영역 ( edge zone ) 간 온도 제어 ( temp control ) 가 어려운 문제 가 있 다 .