기판 이동 유 니트 ( 80 ) 는 기판 흡 인부 ( 82 ) 와 기판 이 동부 ( 84 ) 를 갖 고 있 다 . 기판 흡 인부 ( 82 ) 는 헤드 장치 ( 41 ) 의 상방 에서 컬러 필터 ( 100 ) 를 정전기 나 감압 등 에 의해 흡인 하 여 컬러 필터 ( 100 ) 를 지지 한다 . 여기 에서 는 , 컬러 필터 ( 100 ) 의 상 막 ( 160 ) ( 상세 하 게 는 후술 ) 의 오 목부 ( 160 a ) 가 하향 으로 개구 ( 37 ) 의 배열 방향 과 평행 해 지 도록 기판 흡 인부 ( 82 ) 가 컬러 필터 ( 100 ) 를 지지 한다 .