티어 간 유전체 층 ( 180 ) 이 제 1 티어 구조물 ( 132 , 142 , 170 , 165 ) 위 에 선택 적 으로 침착 될 수 있 다 . 티어 간 유전체 층 ( 180 ) 은 실리콘 산화물 과 같 은 유전체 재료 를 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , 티어 간 유전체 층 ( 180 ) 은 ( 도핑 되 지 않 은 실리케이트 유리 를 포함 할 수 있 는 ) 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 의 재료 보다 더 큰 에칭 속도 를 갖 는 도핑 된 실리케이트 유리 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 티어 간 유전체 층 ( 180 ) 은 포스 포 실리케이트 유리 를 포함 할 수 있 다 . 티어 간 유전체 층 ( 180 ) 의 두께 는 30 nm 내지 300 nm 범위 내 에 있 을 수 있 지만 , 더 작 은 두께 및 더 큰 두께 도 사용 될 수 있 다 .