한편 , 본 실시 예 에 있 어서 , 마이크로파 를 이용 하 여 금속 막 표면 을 선택 적 으로 열처리 하 는 단계 ( S 123 ) 는 레이저 빔 으로 금속 막 표면 을 선택 적 으로 열처리 하 는 단계 ( S 124 ) 이전 에 수행 되 는 것 으로 한정 되 지 않 고 , 레이저 빔 을 이용 한 열처리 단계 이후 에 수행 될 수 있 다 . 그 경우 , 마이크로파 모듈 과 레이저 모듈 의 배치 관계 에 따라 마이크로파 에 의한 금속 막 표면 의 온도 ( 제 1 온도 ) 를 기준 으로 하 는 레이저 빔 에 의한 금속 막 표면 의 온도 ( 제 2 온도 ) 는 제 1 온도 보다 높 은 것 이 바람직 하 다 . 다만 , 모듈 들 의 배치 나 , 금속 막 의 재료 , 두께 등 의 공정 조건 에 따라 레이저 모듈 에 의한 금속 막 표면 의 온도 는 제 1 온도 보다 낮 을 수 있 다 . 일례 로 , 복수 의 레이저 모듈 들 이 마이크로파 모듈 의 전후 에 각각 설치 될 수 있 으며 , 그 경우 , 복수 의 레이저 모듈 들 은 서로 다른 금속 막 표면 온도 에서 동작 하 도록 제어 될 수 있 다 .