상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 전자 광학 장비 의 초점 조절 시험 방법 은 , 표적 생 성부 가 표적 을 생성 하 는 단계 , 시준기 가 상기 표적 을 모사 하 는 단계 , 광학계 가 상기 모사 된 표적 의 신호 를 집광 하 는 단계 , 검 출부 가 상기 집광 된 신호 를 아 날로 그 전기 신호 로 변환 하 는 단계 , 디지털 영상 획득 부가 상기 변환 된 아날로그 전기 신호 를 디지털 영상 신호 로 변환 하 는 단계 , 데이터 처 리부 가 상기 디지털 영상 신호 로부터 대 조비 전달 함수 ( Contrast Transfer Function ) ( CTF ) 를 계산 하 는 단계 , 상기 데이터 처 리부 가 상기 CTF 가 계산 된 리니어 스테이지 의 위치 를 저장 하 는 단계 , 상기 데이터 처 리부 가 상기 계산 된 CTF 값 중 최대 값 의 CTF 가 측정 된 상기 리니어 스테이지 의 위치 를 확인 하 는 단계 , 상기 데이터 처 리부 가 상기 확인 된 리니어 스테이지 눈금 크기 에 해당 하 는 초점 조절 용 심 ( Shim ) 을 선택 하 는 단계 , 상기 선택 된 심 을 이용 하 여 상기 광학계 와 상기 검 출부 를 조립 하 는 단계 , 상기 광학계 와 상기 검 출부 의 조립 후 상기 조립 된 상기 광학계 와 상기 검 출부 의 MTF 를 측정 하 는 단계 , 상기 측정 된 MTF 와 상기 최대 값 의 CTF 의 MTF 변환 값 을 비교 하 여 유사 도 를 검사 하 는 단계 를 포함 한다 .