상기 제 2 가이드 패턴 들 ( 130 , 130 a ) 은 상기 마스크 막 ( 120 ) 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 한다 . 즉 , 상기 마스크 막 ( 120 ) 은 상기 제 1 및 제 2 가이드 패턴 들 ( 115 , 130 , 130 a ) 과 , 상기 식각 대상 막 ( 110 ) 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 한다 . 상기 제 2 가이드 패턴 들 ( 130 , 130 a ) 도 상기 식각 대상 막 ( 110 ) 에 대하 여 식각 선택 비 를 가질 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 가이드 패턴 들 ( 115 , 130 , 130 a ) 은 서로 동일 한 물질 로 형성 할 수 있 다 .