또한 , 상술 한 바 와 같이 활성 층 ( 140 ) 은 산화 물막 즉 , 금속 산화 물막 으로 형성 되 고 , 게이트 절 연막 ( 130 ) 및 보호막 ( 160 ) 은 산화 물막 및 질화 막 중 적어도 하나 로 형성 되 므로 , 반응 원료 는 산소 를 포함 하 는 원료 이 거나 , 질소 를 포함 하 는 원료 일 수 있 다 . 즉 , 실시 예 에서 는 플 라즈 마 에 의해 해리 되 고 , 플 라즈 마가 존재 하 지 않 을 때 해리 되 지 않 으며 , 산소 또는 질소 를 포함 하 는 원료 를 반응 원료 로 사용 할 수 있 다 .