한편 , 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 는 스테이션 부 ( 200 ) 와 반응 챔버 ( 100 ) 사이 에 설치 되 어 , 이 들 간 에 합성 기판 ( 10 ) 이 이동 되 는 통로 를 개폐 하 게 된다 . 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 는 반응 챔버 ( 100 ) 와 인접 하 여 배치 될 경우 반응 챔버 ( 100 ) 내 복사열 에 의해 게이트 밸브 의 오링 등 이 손상 될 수 있 다 . 이 를 방지 하 기 위해 반응 챔버 ( 100 ) 의 길이 를 충분히 길 게 하 여 가 열부 ( 140 ) 와 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 간 충분 한 거리 를 충분히 유지 하 도록 할 수 있 다 . 그러나 이 경우 반응 챔버 ( 100 ) 의 길 이 증가 로 인해 시스템 ( 1 ) 이 대형 화 된다 .