제 2 검출기 ( 202 b ) 는 기판 ( 210 b ) , 도전 층 ( 220 b ) , 기판 ( 210 b ) 과 도전 층 ( 220 b ) 사이 의 절연 층 ( 230 b ) , 기판 ( 210 b ) 을 통해 연장 되 는 리 세스 ( 240 b ) 및 도전 층 ( 220 b ) 과 절연 층 ( 230 b ) 을 통해 연장 되 는 복수 의 관통 비아 ( 250 b - 1 , 250 b - 2 ) 를 포함 할 수 있 다 . 도전 층 ( 220 b ) 은 제 1 전극 으로 기능 하 는 제 1 부분 과 제 2 전극 으로 기능 하 는 제 2 부분 을 포함 하 는 패턴 을 가질 수 있 다 . 예시 되 지 는 않 았 지만 , 패턴 의 제 1 부분 및 제 2 부분 은 전술 한 것 과 유사 한 구성 을 가질 수 있 으므로 , 그러 한 상세 에 대한 반복 된 설명 은 생략 된다 . 전술 한 바 와 같이 , 패턴 의 제 1 부분 과 제 2 부분 은 관통 비아 ( 250 b - 1 , 250 b - 2 ) 에 의해 서로 분리 되 어 있 다 . 리세 스 ( 240 b ) 는 전술 한 바 와 같이 깔때기 형 리세 스 일 수 있 으며 , 전술 한 바 와 같이 상부 개구 및 하부 개구 를 포함 한다 . 리세 스 ( 240 b ) 의 하부 개구 를 통해 절연 층 ( 230 b ) 이 노출 된다 . 일부 실시 예 에서 , 절연 층 ( 230 b ) 은 리세 스 ( 240 b ) 의 바닥 을 통해 노출 된다 . 관통 비아 ( 250 a ) 는 리세 스 ( 240 a ) 에 결합 되 고 , 각각 의 관통 비아 ( 250 b - 1 , 250 b - 2 ) 의 폭 ( W 2 ) 은 리세 스 ( 240 b ) 의 폭 보다 작 다 . 또한 , 각각 의 관통 비아 ( 250 b - 1 , 250 b - 2 ) 의 폭 ( W 2 ) 은 도 9 에 예시 된 바 와 같이 관통 비아 ( 250 a ) 의 폭 ( W 1 ) 보다 작 다 .