즉 , 최종 적 으로 형성 되 는 1 쌍 의 IDE 전극 부위 는 3 개 의 감지 전극 ( 207 , 208 , 209 ) 들 이 가지 는 부양 되 어 허공 에 떠 있 는 미세 전극 가지 ( 210 ) 들 로 구성 되 어 센서 소자 의 중앙 부위 에 위치 하 게 ehl 며 자동 적 으로 상호 간 에 전기 적 으로 절연 된다 . 본 발명 에서 각 감지 전극 ( 207 , 208 , 209 ) 의 외관 모양 은 전체 적 으로 사각형 이나 특정 한 형태 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .