일부 실시 예 들 에서 , 주석 옥사이드 층 들 이 스 페이서 들 로서 사용 된다 . 주석 옥사이드 스 페이서 들 의 사용 이 프로세싱 의 상이 한 스테이지 들 에서 반도체 기판 의 개략 적 인 단면도 들 을 제공 하 는 , 도 1 a 내지 도 1 f 를 참조 하 여 예시 된다 . 도 2 는 이 들 방법 들 의 실시 예 를 위한 프로세스 흐름 도 를 제공 한다 .