상기 제 어부 ( 25 ) 는 조명계 ( 24 ) 로부터 의 광 의 공급 타이밍 을 제어 함 과 동시 에 액 츄 에 이터 ( 24 d ) 를 통해서 패턴 광 생 성 부재 ( 24 c ) 를 광로 에 끼우 고 빼 는 타이밍 을 제어 한다 . 분리 부재 ( 26 ) 는 예 를 들 면 , 화살표 방향 으로 이동 가능 하 게 설치 되 고 , 아래쪽 으로 이동 되 어 광로 에 삽입 되 었 을 때 에 결상 광학계 ( 10 ) 의 상면 상 의 유효 영역 전체 를 덮 을 수 있 는 차광 부재 ( 26 a ) 와 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 상면 을 따라서 차광 부재 ( 26 a ) 를 광로 에 대해서 자유자재 로 끼우 고 뺄 수 있 도록 화살표 로 나타내 는 것 과 같이 이동 시키 는 액 츄 에 이터 ( 26 b ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 어부 ( 25 ) 는 액 츄 에 이터 ( 26 b ) 를 통해서 차광 부재 ( 26 a ) 를 광로 에 끼우 고 뺄 수 있 는 타이밍 을 제어 한다 .