더욱이 , 핫 스폿 과 같 은 , 기판 상 의 하나 이상 의 특정 패턴 피처 에 대해 추정 이 획득 될 수 있 다 . 위 에서 언급 된 바 와 같이 , CD 에 대한 전체 공정 기여 도 는 특정 앵커 피처 에 대해 결정 되 었 지만 , 하나 이상 의 관심 대상 특정 피처 에 대해 스케일링 될 수 있 다 . 또한 , ( 초점 , 포커스 블러 및 / 또는 선량 과 같 은 ) 하나 이상 의 유형 의 리소그래피 장치 처리 변수 의 CD 기여 도 는 CD 변동 과 하나 이상 의 유형 의 리소그래피 장치 처리 변수 간 의 하나 이상 의 측정 피처 에 대한 적절 한 민감 도 에 기초 하 여 계산 될 수 있 다 . 이러 한 민감 도 는 예 를 들 어 시뮬레이션 및 / 또는 실험 에 의해 획득 될 수 있 다 . 따라서 , 각각 상이 한 핫 스폿 또는 패턴 의 다른 관심 대상 피처 에 대해 다수 의 CD 기판 핑거 프린트 가 획득 될 수 있 다 .