본 발명 의 다른 특징 에 따르 면 , 유전 막 내 의 크랙 을 감소 시키 는 방법 이 제공 된다 . 상기 방법 은 상기 유전 막 과 접하 는 금속 구조물 을 증착 시키 는 단계 를 포함 한다 . 상기 금속 구조물 은 제 1 금속 층 , 상기 제 1 금속 층 과 접하 고 상기 제 1 금속 층 상 에 배치 된 내화 금속 층 ( 제 2 금속 층 ) 및 상기 제 2 금속 층 과 접하 고 상기 제 2 금속 층 상 에 배치 된 제 3 금속 층 을 포함 한다 .