또한 , 도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 회전축 체 ( 7 a ) 의 돌출부 의 선단 외 주부 위 에 설치 된 급전 ( 給電 ) 링 ( ring ) ( 7 t ) 에 , 후술 하 는 고주파 전력 및 직류 전력 을 인가 하 기 위해 , 상기 급전 링 ( 7 t ) 에 직접 접촉 하 도록 하 여 전력 전달 구조 인 카본 브러시 ( carbon brush ) ( 11 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 카본 브러시 ( 11 ) 는 하우징 ( 10 ) 상 의 소정 위치 에 소정 고정 수단 에 의해 고정 되 어 있 다 . 즉 , 이 에 의해 카본 브러시 ( 11 ) 와 회전축 체 ( 7 a ) 가 전기 적 으로 도통 하 는 상태 로 유지 되 어 있 다 . 그리고 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 카본 브러시 ( 11 ) 는 케이블 ( cable ) ( 12 ) 을 통하 여 직류 블로킹 콘덴서 ( Co ) 및 고주파 블로킹 용 쵸 크 코일 ( Lo ) 에 접속 되 어 있 다 . 그리고 , 직류 블로킹 콘덴서 ( Co ) 는 매칭 ( matching ) 회로 ( 13 ) 를 통하 여 고주파 전원 ( 14 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 고주파 블로킹 쵸 크 코일 ( Lo ) 은 직류 전원 ( 15 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 고주파 전원 ( 14 ) 의 일 측 단자 , 직류 전원 ( 15 ) 의 양극 단자 및 진공 챔버 ( 1 ) 는 각각 접지 되 어 있 다 .