다양 한 제조 및 생산 환경 에 있 어서 , 주어진 샘플 의 각종 층 들 사이 에서 또는 특정 층 들 내 에서 정렬 ( alignment ) 을 제어 할 필요 가 있 다 . 예 를 들 면 , 반도체 처리 와 관련 해서 , 반도체 기반 소자 들 은 각종 의 구조물 을 내포 할 수 있 는 일련 의 층 들 을 기판 위 에 제조 함 으로써 생산 될 수 있 다 . 단일 층 내 에서 및 다른 층 들 내 의 구조물 과 관련 한 상기 구조물 들 의 상대 적 인 위치 는 소자 의 성능 에 중요 하 다 . 각종 구조물 들 간 의 정렬 불량 ( misalignment ) 은 오버레이 오차 ( overlay error ) 라고 알려져 있 다 .