S - D 웨이퍼 상태 데이터 는 필수 사이트 의 개수 , 시 찰한 ( 평가 / 완료 된 ) 사이트 의 개수 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 종속 될 수 있 다 . S - D 프로세스 상태 는 필수 프로시저 의 수 , 완료 된 프로시저 의 수 , 남 아 있 는 프로시저 의 수 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 종속 될 수 있 다 . 일부 의 경우 , 실제로 수행 된 평가 의 수 는 이미 측정 된 사이트 에서 우수 한 결과 가 얻 어 질 때 원래 수 보다 적 을 수 있 다 .