하층 레지스 트 층 의 막 두께 는 바람직 하 게 는 0 . 1 ~ 4 . 0 ㎛ 이 고 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 2 ~ 2 . 0 ㎛ 이 고 , 특히 바람직 하 게 는 0 . 25 ~ 1 . 5 ㎛ 이 다 . 막 두께 는 반사 방지 성 또는 드라이 에칭 내성 의 관점 에서 0 . 1 ㎛ 이상 이 바람직 하 고 , 형성 된 미세 패턴 의 종횡비 또는 패턴 붕괴 의 관점 에서 4 . 0 ㎛ 이하 가 바람직 하 다 .