지지대 ( 14 ) 는 , 하부 전극 ( 18 ) 및 정전 척 ( 20 ) 을 갖 는다 . 지지대 ( 14 ) 는 , 전극 플레이트 ( 16 ) 를 더 가질 수 있 다 . 전극 플레이트 ( 16 ) 는 , 알루미늄 등 의 도체 로 형성 되 며 , 대략 원반 형상 을 갖 는다 . 하부 전극 ( 18 ) 은 , 전극 플레이트 ( 16 ) 상 에 설치 되 어 있 다 . 하부 전극 ( 18 ) 은 , 알루미늄 등 의 도체 로 형성 되 며 , 대략 원반 형상 을 갖 는다 . 하부 전극 ( 18 ) 은 , 전극 플레이트 ( 16 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .