도 3 을 참조 하 면 , 기판 지지 부재 ( 240 ) 의 내측 에 는 냉각 유체 가 순환 하 는 복수 의 냉각 라인 ( 241 ', 243 ') 들 이 형성 된다 . 냉각 라인 ( 241 ', 243 ') 들 의 입력단 은 공급 관 ( 도 1 의 참조 번호 262 a , 262 b ) 들 과 연결 되 고 , 출력 단 은 배출관 ( 도 1 의 참조 번호 264 a , 264 b ) 들 과 연결 된다 . 공급 관 ( 262 a , 262 b ) 들 및 배출관 ( 264 a , 264 b ) 들 의 타단 은 냉각 장치 ( 도 1 의 참조 번호 260 ) 에 연결 된다 .