In , Sn , Zn 을 주성분 으로 하 는 산화물 반도체 에 산소 이온 을 주입 하 고 , 열처리 에 의해 상기 산화물 반도체 에 포함 되 는 수소 나 수산기 혹은 수분 을 방출 시켜 , 그 열처리 와 동시 에 또는 그 후 의 열처리 에 의해 산화물 반도체 를 결정 화 시켜 도 좋 다 . 이러 한 결정 화 혹은 재결정 화 의 처리 에 의해 결정 성 이 좋 은 비단 결정 산화물 반도체 를 얻 을 수 있 다 .