트렌치 ( 103 ) 를 형성 하 기 위한 또 다른 예 를 설명 하 면 , 먼저 X 축 방향 으로 신장 된 라인 형태 의 개구부 를 갖 는 식각 마스크 ( 이하 , 제 1 식각 마스크 라 함 ) 를 이용 하 여 하드 마스크 ( 102 A ) , 완충 막 ( 101 A ) 및 기판 ( 100 A ) 을 식각 한 후 제 1 식각 마스크 를 제거 한다 . 그런 다음 , Y 축 방향 으로 신장 된 라인 형태 의 개구부 를 갖 는 식각 마스크 ( 이하 , 제 2 식각 마스크 라 함 ) 를 이용 하 여 Y 축 방향 으로 하드 마스크 ( 102 A ) , 완충 막 ( 101 A ) 및 기판 ( 100 A ) 을 식각 한 후 제 2 식각 마스크 를 제거 하 는 방식 으로 진행 된다 .