한편 , 상기 제 2 도 전체 ( 150 ) 로부터 상기 유전체 층 ( 130 ) 으로 의 구리 확산 을 효과 적 으로 방지 하 기 위해 , 상기 확산 방지 층 ( 140 ) 은 약 0 . 5 nm 이상 3 nm 이하 의 두께 를 가질 수 있 다 . 상기 확산 방지 층 ( 140 ) 의 두께 가 0 . 5 nm 미만 인 경우 너무 얇 은 두께 로 인해 구리 확산 을 막 을 수 없 는 문제점 이 발생 할 수 있 고 , 3 nm 를 초과 하 는 경우 에 는 상기 확산 방지 층 ( 140 ) 내부 에서 탄탈럼 과 망가니즈 이 상 분리 되 어 구리 의 확산 방지 성능 이 오히려 저하 될 뿐 만 아니 라 두께 의 증가 로 인하 여 상기 제 2 도 전체 ( 150 ) 내부 에 있 는 구리 영역 이 감소 됨 에 따라 전기 저항 이 증가 하 는 문제점 이 발생 될 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 확산 방지 층 ( 140 ) 은 약 1 nm 이상 2 . 5 nm 이하 의 두께 를 가질 수 있 다 .