컬렉터 챔버 ( 212 ) 는 소위 스침 입사 컬렉터 ( grazing incidence collector ) 일 수 있 는 방사선 컬렉터 ( CO ) 를 포함 할 수 있 다 . 방사선 컬렉터 ( CO ) 는 방사선 컬렉터 상류 측 ( upstream radiation collector side : 251 ) 및 방사선 컬렉터 하류 측 ( downstream radiation collector side : 252 ) 을 갖 는다 . 컬렉터 ( CO ) 를 가로지르 는 방사선 은 격자 스펙트럼 필터 ( grating spectral filter : 240 ) 로부터 반사 되 어 , 점선 ' O ' 로 나타낸 광학 축선 을 따라 가상 소스 점 ( virtual source point : IF ) 에 포커스 될 수 있 다 . 가상 소스 점 ( IF ) 은 통상 적 으로 중간 포커스 라고 칭해 지 며 , 소스 컬렉터 모듈 은 중간 포커스 ( IF ) 가 포 위 구 조체 ( 220 ) 에서 의 개구부 ( 221 ) 에 , 또는 그 부근 에 위치 되 도록 배치 된다 . 가상 소스 점 ( IF ) 은 방사선 방출 플 라즈 마 ( 210 ) 의 이미지 이 다 .