다수 의 예시 에 대하 여 , 회절 기반 오버레이 오 차 메트 롤 로지 에 의하 여 측정 되 는 것 과 같 은 바이어스 복합 격자 들 의 시프트 ( d ) 또한 이미지 기반 오버레이 오 차 메트 롤 로지 에 의하 여 측정 된다 . 도 5 에 는 , ( 수직 방향 축 을 따르 는 ) 회절 에 의하 여 측정 되 는 오버레이 와 ( 수평 방향 축 을 따르 는 ) 이미지 기반 의 방법 에 의하 여 측정 되 는 오버레이 의 상관 관계 가 도시 되 어 있 다 . 데이터 의 선형 핏 ( linear fit ) 은 실선 으로 예시 되 어 있 다 . 상기 방법 들 의 오차 내 에서 , 실선 의 계수 는 1 ( unity ) 이 다 . 상관 관계 계수 는 0 . 99 보다 크 다 .