ID 블록 ( 2 ) 은 , 오프너 ( 11 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) ( 각 처리 층 ( A 1 , A 2 ) ) 이 기판 ( W ) 을 수취 할 수 있 는 상태 로 한다 . 이번 캐리어 ( C ) 로부터 취 출한 기판 ( W ) 은 처리 층 ( A 1 ) 에서 처리 된다 . 그 때문 에 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 캐리어 ( C ) 로부터 예 를 들 면 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 이 송부 ( SN 5 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 또한 , 처리 층 ( A 2 ) 이 기판 ( W ) 을 처리 하 는 경우 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 캐리어 ( C ) 로부터 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 6 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 .