기판 처리 방법 ( 30 ) 은 , 단계 ( 32 ) 에서 , 예 를 들 어 개질 가능 층 증착 장치 에 기판 을 제공 하 는 단계 ; 단계 ( 34 ) 에서 , 상기 개질 가능 층 증착 장치 내 의 기판 상 에 복사선 개질 가능 층 을 증착 하 는 단계 ; 및 단계 ( 36 ) 에서 , 상기 복사선 개질 가능 층 을 갖 는 기판 을 국부 개질 , 예 를 들 어 패 터닝 용 리 쏘 그래피 투영 장치 로 이동 시키 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 개질 가능 층 을 갖 는 기판 을 다른 곳 에서 또한 얻 을 수 있 다 .