정리 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 컨트롤러 ( 600 ) 는 제 1 유량계 ( 223 ) 및 제 2 유량계 ( 510 ) 에 의해서 측정 되 는 유량 ( 즉 , Q 220 , QTotal ) 에 기초 하 여 제 1 유량계 ( 223 ) 에 의해 측정 되 는 유량 이 입경 분리 장치 ( 221 ) 에 필요 한 정속 유량 ( 예 를 들 어 , 16 . 67 ℓ/ min ) 에 대응 하 도록 제 1 제어 밸브 ( 231 ) 의 개폐 를 제어 할 수 있 다 .