하부 전극 ( 200 ) 을 노드 분리 한 후 , 홀 ( HL ) 을 매립 하 는 절 연막 ( IL ) 을 제거 할 수 있 다 . 동일 하 게 , 절 연막 ( IL ) 이 하부 전극 ( 200 ) 및 몰드 막 ( MD ) 과 일 에 천 트 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 물질 을 포함 하 기 때문 에 , 절 연막 ( IL ) 이 제거 되 는 동안 하부 전극 ( 200 ) 및 몰드 막 ( MD ) 은 제거 되 지 않 을 수 있 다 . 절 연막 ( IL ) 을 제거 하 여 하부 전극 ( 200 ) 의 내 측벽 을 노출 시킬 수 있 다 .