상기 과산화수소 는 조성물 총 중량 에 대하 여 , 15 내지 25 . 0 중량 %, 바람직 하 게 는 18 . 0 내지 23 . 0 중량 % 로 포함 된다 . 상술 한 범위 미만 으로 포함 되 면 , 몰리브덴 계 금속 막 및 금속 산화 물막 의 식각 속도 가 느려 충분 한 식각 이 이루어지 기 어려우 며 , 25 . 0 중량 % 를 초과 하 여 포함 될 경우 , 과산화수소 농도 가 너무 높 아 짐 에 따라 식각 액 의 안정 성 이 감소 된다 .