위 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 고순 도 정전 척 제조 방법 은 a ) 제 1 소 결체 의 일면 에 제 2 소 결체 의 일면 을 포개 는 단계 , 여기 서 제 2 소 결체 는 제 1 소 결체 보다 순도 가 낮 으며 , 1400 ~ 1580 ℃ 에서 용융 되 는 소결 보조제 를 0 . 5 질량 % 이상 포함 하 고 , 제 1 소 결체 와 제 2 소 결체 중 적어도 어느 하나 에 전극 이 마련 됨 ; 및 b ) 포개진 소 결체 들 을 가압 하 고 1400 ~ 1580 ℃ 에서 열처리 하 여 소 결체 들 의 계면 에서 제 2 소 결체 에 함유 된 소결 보조제 에 의한 액상 접합 이 이루어지 도록 하 는 단계 ; 를 포함 할 수 있 다 .