일반 적 으로 , 화학 기계 연마 는 기계 적 연마 외 에 도 화학 적 연마 를 함께 활용 하 는 개념 이 다 . 따라서 , 기계 적 연마 률 이 작 을 뿐 만 아니 라 화학 적 연마 에 내 구성 을 갖 는 연마 보호 층 을 추가 함 으로서 기계 적 연마 뿐 만 아니 라 화학 적 연마 에 대해서 도 동시 에 연마 균일 도 의 개선 을 기할 수 가 있 다 .