원소 규소 를 포함 하 는 막 의 제거율 을 향상 시키 기 위한 화합물 이 ( i ) 헤테로 원자 로서 황 또는 질소 또는 황과 질소 둘 모두 및 고리 구조 에 부착 된 카보닐 기 를 포함 하 는 헤테로 사이클 탄소 화합물 ; ( ii ) 헤테로 원자 로서 황 또는 질소 또는 황과 질소 둘 모두 를 포함 하 는 헤테로 사이클 탄소 화합물 ; ( iii ) 알데하이드 또는 케톤 화합물 ; 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 , 폴리 싱 조성물 을 제공 한다 .