유리 기판 배출 실 ( 109 ) 에서 유리 기판 ( G ) 을 배출 하 여 빈 상태 가 된 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 과 함께 , 도면 에서 보 면 반시 계 방향 으로 90 도 회전 된다 . 그 때문 에 유리 기판 배출 실 ( 109 ) 은 , 반송 모듈 ( 301 ) 을 평면 방향 으로 회전 시키 는 방향 전환 기구 를 구비 한다 . 계속 해서 , 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 로부터 캐리어 시프 터 ( 100 d ) 로 전달 되 며 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 시점 인 캐리어 전달 위치 ( P 5 ) 로 반송 된다 . 한편 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 캐리어 시프 터 ( 100 d ) 로 전달 한 후 의 반송 모듈 ( 301 ) 은 , 시계 방향 으로 90 도 회전 되 어 원래 의 방향 으로 돌아간다 . 이 에 의해 반송 모듈 ( 301 ) 은 , 다음 에 반 전실 ( 108 ) 로부터 반출 되 는 반송 캐리어 ( 302 ) 를 받아들일 수 있 는 상태 로 복귀 한다 .