이 와 같이 , 산소 를 포함 한 분위기 하 에서 스퍼터링 법 으로 금속 산화 물막 ( 114 f ) 을 형성 함 으로써 , 금속 산화 물막 ( 114 f ) 의 성막 시 에 절연 층 ( 110 ) 에 산소 를 공급 하 면서 절연 층 ( 110 ) 으로부터 산소 가 이탈 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 결과 적 으로 절연 층 ( 110 ) 에 매우 많 은 산소 를 가둘 수 있 다 .