본 예시 적 인 실시 예 에서 , 광 나노 젯 계측 시스템 ( 200 ) 은 유전체 마이크 로 스피어 ( 216 ) 에 인접 한 레인지 파인더 ( range finder ) ( 230 ) 를 포함 할 수 있 다 . 레인지 파인더 ( 230 ) 는 광 나노 젯 ( 228 ) 과 웨이퍼 ( 218 ) 사이 의 거리 를 측정 하 도록 구성 된다 . 변형 적 으로 , 검출기 ( 208 ) 에 의해 측정 된 후방 산란 시 그 너 처 는 광 나노 젯 ( 216 ) 과 웨이퍼 ( 218 ) 사이 의 거리 를 측정 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 특히 , 후방 산란 시 그 너 처 의 변경 은 광 나노 젯 ( 216 ) 과 웨이퍼 ( 218 ) 사이 의 거리 와 상관 될 수 있 다 . 광 나노 젯 ( 228 ) 과 웨이퍼 ( 218 ) 사이 의 거리 를 결정 한 후 , 적절 한 거리 는 스테이지 위치 결정 시스템 ( 224 ) 에 의해 유지 될 수 있 다 .