봉지 구조 로 할 수 있 는 SiC 막 구 조체 를 제공 한다 . 기상 성장 형 성막 법 에 의해서 기재 ( 50 ) 의 외주 에 SiC 막 을 형성 하 고 , 기재 ( 50 ) 를 제거 함 으로써 SiC 막 에 의한 입체 형상 을 얻 는 SiC 막 구 조체 ( 10 ) 로 , SiC 막 으로 구성 된 입체 형상 을 가짐 과 동시 에 , 기재 ( 50 ) 를 제거 하 기 위한 개구부 ( 12 a ) 를 구비 한 본체 ( 12 ) 와 , 개구부 ( 12 a ) 를 덮 는 덮개 체 ( 14 ) 를 구비 한 것 을 특징 으로 한다 .