제 1 게이트 금속 선 ( 151 , 155 a , 155 f ) 과 제 2 게이트 금속 선 ( 156 ) 을 포함 하 는 게이트 금속 선 ( 151 , 155 a , 155 f , 156 ) 은 구리 ( Cu ) , 구리 합금 , 알루미늄 ( Al ) , 알루미늄 합금 , 몰리브덴 ( Mo ) , 및 몰리브덴 합금 중 어느 하나 를 포함 하 는 금속 막 이 적층 된 다 중막 으로 형성 될 수 있 다 .