도 2 는 본 실시 형태 에 있 어서 의 셔터 기구 의 단면 의 일 예 를 도시 하 는 부분 확대도 이 다 . 도 3 은 본 실시 형태 에 있 어서 의 셔터 기구 의 외관 의 일 예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 2 및 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 셔터 기구 ( 80 ) 는 , 챔버 ( 10 ) 의 내주 중 , 반분 이상 의 길이 를 갖 는 밸브 체 ( 81 ) 와 , 밸브 체 ( 81 ) 를 승강 시키 는 2 개 이상 의 승강 기구 ( 82 ) 를 갖 는다 . 밸브 체 ( 81 ) 는 예 를 들 면 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 의 내주 를 따르 는 원환 상 의 밸브 체 를 이용 할 수 있 다 . 밸브 체 ( 81 ) 는 개구부 ( 51 ) 를 폐쇄 했 을 때 에 제 1 데포 실드 ( 71 ) 와 접촉 하 는 도전 성 부재 ( 83 ) 와 , 제 2 데포 실드 ( 72 ) 와 접촉 하 는 도전 성 부재 ( 84 ) 를 갖 는다 .