그리고 , 상기 감지 단계 는 , 상기 제 1 통로 의 내부 에 설치 된 제 1 압력 센서 의 측정값 이 정해진 제 1 부압 ( n * Po ) 보다 더 높 은 압력 ( Pe ) 으로 미리 정해진 경과 시간 ( Tx ) 동안 일정 하 게 유지 되 면 , 상기 제 1 바닥 면 이 상기 제 1 통로 의 개구 에 접촉 한 것 으로 감지 함 으로써 , 보다 정확 하 고 짧 은 시간 내 에 웨이퍼 의 척 킹 상태 를 감지 하 여 공정 의 대기 시간 을 단축 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 경과 시간 ( Tx ) 은 0 . 2 초 내지 3 초 로 정해질 수 있 다 .