일반 적 으로 LCD ( Liquid Crystal Display : 액정 디스플레이 ) 나 PDP ( Plasma Display Panel : 플라 즈 마 디스플레이 패널 ) 와 같 은 평판 표시 장치 에 사용 되 는 기판 은 고정 밀도 가공 을 요구 하 는 부품 으로 그 제조 과정 에 있 어서 불량 방지 가 매우 중요 한 문제 이 다 . 따라서 기판 생산 라인 에서 기판 이송 시 에 도 엄격 한 관리 가 요구 되 는 데 기존 의 로울러 이송 방식 은 기판 과 로울러 의 직접 접촉 으로 인하 여 기판 에 스크래치 , 정전기 , 오염 입자 등 이 발생 하 여 기판 의 불량 을 야기 하 게 되 고 , 이 로 인한 기판 의 각종 물리 적 결함 은 제품 의 품질 및 생산 수율 저하 의 큰 원인 이 되 고 있 다 .