도 16 의 단면도 ( 1600 ) 에서 도시 된 바 와 같이 , 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 이 보호 층 ( 124 ) 위 에 형성 된다 . 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 은 제 1 FeRAM 디바이스 ( 208 a ) 와 제 2 FeRAM 디바이스 ( 208 b ) 를 덮 도록 형성 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 은 퇴적 공정 ( 예 를 들 어 , PVD , CVD , PE - CVD , ALD 등 ) 에 의해 형성 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 은 실리콘 이 산화물 , 탄소 도핑 된 실리콘 이 산화물 , 실리콘 산질 화물 , BSG ( borosilicate glass ) , PSG ( phosphoric silicate glass ) , BPSG ( borophosphosilicate glass ) , FSG ( fluorinated silicate glass ) , 다공성 유전체 물질 등 을 포함 할 수 있 다 .