주사 형 X 선원 ( 10 ) 에서 는 , 전자 빔 ( 16 ) 은 , 전자선 수속 코일 ( 13 ) 에 의해 수속 된 후 , 편향 요크 ( 12 ) 에 의해 전자 빔 ( 16 ) 을 편향 함 에 의해 , 전자 빔 ( 16 ) 이 타 겟 ( 11 ) 에 충돌 하 는 장소 를 임의 로 변경 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 편향 요크 ( 12 ) 에 의해 편향 된 전자 빔 ( 16 a ) 은 타 겟 ( 11 ) 에 충돌 하 고 , X 선 초점 위치 ( 17 a ) 로부터 X 선 ( 18 a ) 가 출력 된다 . 또한 , 마찬가지 로 , 편향 요크 ( 12 ) 에 의해 편향 된 전자 빔 ( 16 b ) 은 타 겟 ( 11 ) 에 충돌 하 고 , X 선 초점 위치 ( 17 b ) 로부터 X 선 ( 18 b ) 이 출력 된다 . 또한 , 특히 양해 를 구하 지 않 는 경우 는 , 본원 발명 에 있 어서 , 주사 형 X 선원 ( 10 ) 은 투과 형 이 다 . 또한 , 후 에 설명 하 는 바 와 같이 , 검사 대상물 의 검사 대상 부분 에 응하 여 설정 되 는 X 선 의 방사 의 기점 이 되 어야 할 위치 ( 이하 , 「 X 선 의 방사 의 기점 위치 」 라고 부른다 ) 로부터 X 선 을 발생 시킴 에 있 어서 , 그 위치 의 설정 의 자유도 를 높일 수 있 도록 , 링 형상 이 아니 라 , 연속 면 의 타 겟 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 이하 의 설명 에서 는 , 특히 위치 를 구별 하 고 기재 하 지 않 는 경우 는 , 총칭 으로서 , 단지 X 선 초점 위치 ( 17 ) 로 나타낸다 .