이 장치 에 따르 면 , 이 동체 가 제 1 영역 및 제 2 영역 내 를 이동 할 때 뿐 만 아니 라 , 이 동체 가 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 를 제 3 영역 을 통과 하 면서 이동 할 때 에 도 , 이 동체 의 소정 평면 내 의 위치 정보 가 , 계측 장치 에 포함 되 는 인코더 시스템 에 의해 계측 된다 . 따라서 , 소정 평면 에 평행 한 면 상 의 제 1 , 제 2 , 및 제 3 영역 에 대응 하 는 위치 에 제 1 , 제 2 , 및 제 3 격자 부 를 배치 함 으로써 , 계측 장치 에 포함 되 는 인코더 시스템 만 을 이용 하 여 , 이 동체 가 제 1 영역 및 제 2 영역 내 를 이동 할 때 뿐 만 아니 라 , 이 동체 가 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 를 제 3 영역 을 통과 하 면서 이동 할 때 에 도 , 이 동체 의 소정 평면 내 의 위치 를 제어 할 수 있 게 된다 .