이 에 이어서 , 데이터 기록부 ( 110 ) 는 , 척 테이블 ( 14 ) 과 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 을 상대 적 으로 이동 시켜 , 척 테이블 ( 14 ) 의 유지 면 ( 16 ) 의 상방 으로 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 을 이동 시킨다 . 계속 해서 , 데이터 기록부 ( 110 ) 는 , 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 으로부터 조사 하 는 측정 용 의 레이저 빔 ( L 1 ) 이 , 유지 면 ( 16 ) 에 미리 설정 되 는 측정 라인 ( 16 - 1 ) ( 도 5 ) 에 조사 할 수 있 는 위치 에 , 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 을 위치 시킨다 . 그리고 , 데이터 기록부 ( 110 ) 는 , 척 테이블 ( 14 ) 과 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 을 상대 적 으로 이동 시켜 , 측정 용 의 레이저 빔 ( L 1 ) 을 복수 의 측정 라인 ( 16 - 1 ) ( 도 5 ) 을 따라 순서 대로 조사 함 으로써 , 높이 측정 처리 를 실행 한다 . 이 에 의해 , 데이터 기록부 ( 110 ) 는 , 척 테이블 ( 14 ) 의 유지 면 ( 16 ) 의 복수 의 좌표 ( X , Y ) 에 있 어서 의 높이 ( Z ) 를 측정 할 수 있 다 . 데이터 기록부 ( 110 ) 는 , 측정 의 결과 취득 한 복수 의 좌표 ( X , Y ) 와 복수 의 좌표 ( X , Y ) 에 있 어서 의 높이 ( Z ) 의 상관 관계 를 나타내 는 데이터 를 높이 데이터 로서 기록 할 수 있 다 . 또한 , 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) 은 , 레이저 조사 형 의 센서 에 한정 되 지 않 고 , 배압 센서 나 접촉 식 센서 등 을 이용 한 다른 측정 유닛 이 어도 실장 가능 하 다 .