도 1 을 참조 하 면 , SOI 기판 ( 10 ) 은 실리콘 의 지지 기판 ( 10 a ) 상 에 매몰 절 연막 ( 10 b ) 및 실리콘 의 반도체 층 ( 10 c ) 이 순차 적 으로 적층 된 구조 로 이루어진다 . 여기 서 , SOI 기판 ( 10 ) 의 반도체 층 ( 10 c ) 에 는 매몰 절 연막 ( 10 b ) 과 연결 된 소자 분리 막 ( 11 ) 이 형성 된다 .