한편 , CMP 슬러리 조성물 은 실리콘 재료 , 즉 실리콘 단결정 , 비정질 실리콘 , 폴리 실리콘 등 의 단체 실리콘 과 실리콘 질화물 , 실리콘 산화물 과 같 은 실리콘 화합물 을 연마 하 는 용도 로 사용 된다 . 구체 적 으로 , 단결정 실리콘 기판 등 의 실리콘 기판 을 연마 하 는 용도 또는 실리콘 기판 위 에 형성 된 비정질 실리콘 막 또는 다결정 실리콘 막 등 의 단체 실리콘 막 이나 실리콘 질화 막 , 실리콘 산화 막 등 의 실리콘 화합물 막 을 연마 하 는 용도 로 사용 되 고 있 다 .