희생 층 ( 130 ) 은 절연 층 ( 120 ) 상 에 적층 된 후 , 후술 할 공정 ( 도 7 의 ( f ) 참조 ) 을 통해 일부 또는 전부 가 식각 될 수 있 다 . 이러 한 식각 공정 에 의해 구조물 층 ( 140 ) 의 중앙 부분 이 절연 층 ( 120 ) 과 의 사이 에서 구동 공간 을 확보 하 며 소정 의 간격 만큼 이격 될 수 있 게 한다 . 여기 서 , 구동 공간 은 구조물 층 ( 140 ) 과 절연 층 ( 120 ) 사이 의 빈 공간 을 의미 하 며 , 확보 된 구동 공간 을 통해 구조물 층 ( 140 ) 의 중앙 부분 즉 , 리본 은 압 전 구 동체 ( 150 ) 의 구동력 에 상응 하 여 상하 로 움직일 수 있 게 된다 . 또한 , 식각 공정 을 통해 제거 되 지 않 은 희생 층 ( 130 ) 은 구조물 층 ( 140 ) 을 지지 하 는 역할 을 하 게 된다 .