기판 ( 101 ) 의 상면 ( 묘 화면 ) 의 높이 위치 분포 를 측정 한다 ( 스텝 S 4 ) . 예 를 들 면 , 스트라이프 영역 ( 34 ) 마다 , XY 스테이지 ( 105 ) 를 이동 시키 면서 , 투광기 ( 212 ) 로부터 레이저 를 기판 표면 의 광 축 위치 에 조사 하 여 , 반사광 을 수 광기 ( 214 ) 로 수광 한다 . 수광 기 ( 14 ) 의 출력 은 , 앰프 ( 138 ) 로 증폭 하 고 , 디지털 데이터 로 변환 되 어 , 제 어 계산기 ( 110 ) 로 출력 된다 . 높이 측정 부 ( 113 ) 가 , 앰프 ( 138 ) 의 출력 에 기초 하 여 , 기판 ( 101 ) 의 높이 위치 분포 ( Z 맵 ) 를 취득 하 고 , 기억 부 ( 146 ) 에 저장 한다 .