액정 디스플레이 ( Liquid Crystal Dislay ; LCD ) 로 대표 되 는 FPD 의 제조 과정 에 있 어서 는 , 진공 하 에서 유리 기판 등 의 기판 에 에칭 , 성막 등 의 각종 처리 가 실시 된다 . FPD 의 제조 에 는 , 기판 처리 실 을 복수 구비 한 이른바 멀티 챔버 타입 의 기판 처리 시스템 이 사용 되 고 있 다 . 이러 한 기판 처리 시스템 은 기판 을 반송 하 는 기판 반송 장치 가 배치 되 어 구비 된 반 송실 과 , 이 반 송실 의 주위 에 마련 된 복수 의 프로세스 챔버 를 갖 고 있 다 . 그리고 , 반 송실 내 의 기판 반송 장치 에 의해 , 기판 이 각 프로세스 챔버 내 에 반입 되 거나 , 또는 처리 완료 된 기판 이 각 프로세스 챔버 로부터 반출 된다 . 기판 의 반송 에 는 통상 적 으로 포크 라 불리 는 기판 보 지구 가 사용 된 다 . 포크 는 진출 ? 퇴피 가 가능 한 반송 아 암부 에 장착 된 공통 의 기부 에 복수 의 지지 픽 이 빗살 형상 으로 형성 된 구조 를 갖 고 있 다 .