상기 저장 전극 형성 방법 은 , 상기 저장 전극 콘 택 홀 영역 이 정의 된 감광막 을 마스크 로 상기 하부 절연 층 을 식각 하 여 저장 전극 콘 택 홀 을 형성 한 다음 , 후속 공정 으로 이 를 매립 하 는 저장 전극 콘 택 플러그 를 형성 하 는 공정 과 , 상기 저장 전극 콘 택 플러그 에 접속 되 는 저장 전극 을 형성 하 는 공정 을 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .