전극 부 는 , 카본 등 으로 형성 되 어 있 다 . 웨이퍼 ( W ) 에 전극 을 가까이 했 을 때 , 전해액 ( 17 ) 의 수막 에 의한 하이드로 플랜 상태 가 되 면 , 전 극간 갭 을 매우 작 게 하 는 것 이 가능 하 게 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 상 의 볼록 부분 이 전해 집중 하 게 되 어 , 볼록 부 만 을 선택 적 으로 가공 제거 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .