일부 구 현예 들 에서 , 상기 실리콘 화합물 은 , " 상기 실리콘 화합물 이 결합 하 는 동안 히드록시기 및 선택 적 으로 성장 기판 의 옥사이드 기 에 차례 로 결합 할 수 있 는 새로운 기상 실리콘 화합물 이 형성 되 도록 하 는 ALD 공정 동안 형성 될 수 있 다 . 이러 한 현상 은 실리콘 화합물 의 "" 인 시투 ( in situ ) "" 형성 이 라고 불린다 . "