개구 의 바닥 면 형상 의 1 변의 길이 가 80 ㎛ 이하 인 경우 에 는 , 개구 의 내부 에 형성 된 기능 층 을 이용 하 여 고 성능 의 디바이스 를 형성 할 수 있 다 . 상기 바닥 면 형상 의 1 변의 길이 가 40 ㎛ 이하 인 경우 에 는 , 상기 디바이스 를 높 은 수 율 로 제조 할 수 있 다 . 여기 서 , 개구 의 바닥 면 형상 이 직사각 형 인 경우 에 는 , 상기 1 변의 길이 는 긴 변의 길 이 여도 좋 다 .