또한 , 산화 질화 실리콘 막 은 , 그 조성 으로서 , 질소 보다 도 산소 의 함유량 이 많 은 것 으로서 , 농도 범위 로서 산소 가 55 ∼ 65 원자 ％, 질소 가 1 ∼ 20 원자 ％, Si 가 25 ∼ 35 원자 ％, 수소 가 0 . 1 ∼ 10 원자 ％ 의 범위 로 포함 되 는 것 을 한다 . 또한 질화 산화 실리콘 막 은 , 그 조성 으로서 , 산소 보다 도 질소 의 함유량 이 많 은 것 으로서 , 농도 범위 로서 산소 가 15 ∼ 30 원자 ％, 질소 가 20 ∼ 35 원자 ％, Si 가 25 ∼ 35 원자 ％, 수소 가 15 ∼ 25 원자 ％ 의 범위 로 포함 되 는 것 을 한다 . 이하 의 설명 에서 는 , 제 1 절 연막 ( 102 ) 으로서 , 산화 실리콘 막 을 사용 할 경우 에 대해서 나타낸다 .