보다 바람직 하 게 , 공 초점 센서 는 미리 결정 된 피치 간격 만큼 이격 된 지점 에서 반복 적 으로 기판 의 표면 을 스캔 한다 . 이 와 같이 , 공 초점 센서 는 일정 한 피치 간격 만큼 이격 된 지점 에서 반복 적 으로 기판 의 표면 을 스캔 하 는 것 에 의하 여 , 스캔 정확도 를 높이 고 반점 의 형성 여부 를 보다 정확 하 게 검출 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 특히 , 공 초점 센서 는 1 ~ 9 ㎛ 의 피치 간격 만큼 이격 된 지점 에서 반복 적 으로 기판 의 표면 을 스캔 하 도록 구성 된다 .