제어기 ( 420 ) 는 각 링 ( 310 A - 310 E ) 에 대해 대응 하 는 제어 들 ( 422 A - 422 E ) ( 예 를 들 면 , 소프트웨어 , 로직 , 세트 포인트 , 레시피 등 ) 을 포함 한다 . 프로세스 모니터링 센서 들 ( 424 , 426 ) 은 또한 프로세스 피드백 을 제공 하 기 위하 여 제어기 ( 420 ) 에 연결 될 수 있 다 . 제어 들 ( 422 A - 422 E ) 은 각 링 ( 310 A - 310 E ) 이를테면 바이어스 신호 , 전력 , 주파수 , 프로세스 가스 ( 110 ) 압력 , 플로우 레이트 ( flow rate ) 및 농도 를 개별 적 으로 제어 할 수 있 다 . 따라서 , 프로세스 챔버 ( 230 ) 에서 기판 ( 102 ) 의 직경 에 걸쳐 해리 된 가스 의 반지름 방향 프로파일 제어 를 제공 한다 .