웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 공급 된 제 1 액 및 제 2 액 , 그리고 , 용해 된 수지 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 흘러넘쳐 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 간극 을 통해서 , 화살표 ( C ) 에 의해 나타내 는 바 와 같이 , 마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 내 에 흘러 떨어져 축적 및 회수 된다 . 이 와 같이 하 여 , 마스크 층 제거 유닛 ( 41 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 간극 으로부터 흘러 떨어지 는 제 1 액 , 제 2 액 및 용해 된 수지 를 회수 한다 .