EFEM ( 110 ) 과 로드 락 모듈 ( 120 ) 간 의 웨이퍼 이송 은 대기압 상태 에서 이루어지 고 , 로드 락 ( 120 ) 모듈 과 상기 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 간 의 웨이퍼 이송 및 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 과 프로세스 모듈 ( 140 ) 간 의 웨이퍼 이송 은 진공 상태 에서 이루어진다 . 여기 서 , 로드 락 모듈 ( 120 ) 은 진공 상태 및 대기압 상태 를 반복 하 게 된다 . 이 를 위하 여 , EFEM ( 110 ) 은 로드 락 모듈 ( 120 ) 을 진공 상태 및 대기 상태 로 만들 기 위한 펌핑 장치 ( 미 도시 ) 를 구비 한다 .