도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 금속 화합물 전구체 로서 TiCl 4 가 적용 된 것 을 예 로 들 어 설명 하 면 , 상기 플라 즈 마 영역 에서 TiCl 4 가 반응 가스 인 H 2 와 플라 즈 마 반응 을 하 게 되 면 , 수소 ( H 2 ) 2 개 분자 가 4 H 가 되 며 TiCl 4 도 해리 되 어 Ti 와 4 Cl 로 되 고 , 각 H 들 이 염소 ( Cl ) 과 반응 하 여 염화수소 ( 4 HCl ) 가 되 며 , Ti 는 금속 파우더 형태 로 석출 될 수 있 다 .