마스크 스톡 장치 ( 12 ) 에 는 성막 장치 ( 11 ) 에서 의 성막 공정 에 사용 될 새로운 마스크 및 사용 이 끝난 마스크 가 두 개 의 카세트 에 나뉘 어 져 수납 된다 . 반송 로봇 ( 14 ) 은 , 사용 이 끝난 마스크 를 성막 장치 ( 11 ) 로부터 마스크 스톡 장치 ( 12 ) 의 카세트 로 반송 하 며 , 마스크 스톡 장치 ( 12 ) 의 다른 카세트 에 수납 된 새로운 마스크 를 성막 장치 ( 11 ) 로 반송 한다 .