그러므로 , 챔버 ( 12 ) 내 의 미스트 ( mist ) 형 의 처리 액 을 포함 하 는 분위기 가 내부 외 통체 ( 32 ) 내 에 유입 되 어 챔버 ( 12 ) 의 외부 로 유출 되 는 것 을 방지 할 수 있 을 뿐 만 아니 라 , 외부 외 통체 ( 24 ) 에 설치 된 베어링 ( 23 ) 으로부터 찌꺼기 가 생겨도 , 그 찌 꺼 기 가 내부 외 통체 ( 32 ) 를 통하 여 챔버 ( 12 ) 내 에 유입 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .