본 발명 에 따른 막 증착 장치 ( 110 ) 에 포함 되 는 전기장 인가 부 ( 190 ) 는 기판 ( 140 ) 위 또는 아래 에서 전기장 을 인가 하 는 것 으로 , 본 실시 예 에서 는 기판 ( 140 ) 의 상부 에 설치 된 제 1 플레이트 ( 170 ) , 기판 ( 140 ) 의 하부 에 제 1 플레이트 ( 170 ) 에 대향 하 여 설치 된 제 2 플레이트 ( 175 ) , 제 1 플레이트 ( 170 ) 에 라인 ( 171 ) 연결 된 접지 장치 ( 180 ) 및 제 2 플레이트 ( 175 ) 에 라인 ( 176 ) 연결 된 전원 ( 185 ) 을 포함 한다 .