도 5 에서 는 , 빔 피치 폭 의 영역 에서 화소 의 그룹 이 구분 되 어 있 으나 , 빔 이 별도 의 열 로 이동 할 때 , 별도 의 피치 폭 의 영역 으로 빔 이 이동 하 고 있 다 . 이 이동은 , 편 향기 ( 209 ) 가 x 방향 으로 추가 하 는 편향 량 을 제어 함 으로써 행해진다 . 즉 , 편 향기 ( 208 ) 가 트랙 킹 편향 을 행하 고 , 편 향기 ( 209 ) 가 서브 조사 영역 ( 29 ) 내 의 편향 을 행함 으로써 래스터 스캔 동작 을 행한다 . 또한 , 도 5 에 도시 한 노광 공정 에서 는 , 왼쪽 으로부터 3 번 째 까지 의 피치 폭 의 영역 은 일부 의 화소 밖 에 노광 되 지 않 지만 , 그 보다 오른쪽 의 피치 폭 의 영역 은 , 상기 공정 을 더 반복 함 으로써 모든 화소 가 노광 된다 . 즉 , 노광 개시 직후 , 빔 피치 영역 3 개 분 은 불 완전 한 노광 이 되 므로 , 실제 의 묘화 영역 이 이 부분 에 들어가 지 않 도록 , 미리 묘화 영역 보다 좌측 의 영역 으로부터 묘화 동작 을 개시 한다 .