도 1 및 도 4 를 참조 하 면 , 상기 제 1 및 제 2 채널 부 ( 121 , 122 ) 이 형성 된 베이스 기판 ( 101 ) 위 에 소스 금속 층 을 증착 및 패 터닝 하 여 소스 금속 패턴 들 을 형성 한다 . 상기 소스 금속 층 은 예 를 들 면 , 몰리브덴 ( Mo ) , 구리 ( Cu ) , 은 ( Ag ) , 알루미늄 ( Al ) , 크롬 ( Cr ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 티타늄 ( Ti ) 등 의 금속 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 하 는 합금 을 포함 하 는 도전 층 으로 스퍼터링 공정 으로 증착 한 후 , 패 터닝 하 여 상기 소스 금속 패턴 들 을 형성 한다 .