본 발명 의 일 실시 예 에 따른 충돌 플레이트 ( 440 ) 는 런 너 ( 420 ) 를 통하 여 플 라즈 마 반 응부 ( 200 ) 로 이동하 는 파우더 ( P ) 의 충돌 을 유도 하 여 파우더 ( P ) 를 분쇄 하 고 , 이 로 인하 여 파우더 ( P ) 들 이 분산 되 어 균일 하 게 전극 이 형성 되 는 다공성 처 리부 ( 210 ) 에 흡착 될 수 있 도록 한다 .