특히 , 세리아 를 연마 입자 로 이용 하 는 세리아 슬러리 는 STI 공정 에서 실리콘 산화물 층 을 연마 하 기 위해 널리 사용 되 고 있 으며 , 이 때 연마 스토퍼 층 으로서 실리콘 질화물 층 이 주로 사용 되 고 있 다 . 일반 적 으로 질화물 층 에 대한 산화물 층 의 연마 속도 선택 비 를 향상 시키 기 위해 첨가제 가 세리아 슬러리 에 첨가 되 기 도 하 지만 , 이 경우 에 는 질화물 층 제거 속도 뿐 만 아니 라 산화물 층 제거 속도 도 감소 하 여 실질 적 으로 는 선택 비 가 향상 되 지 않 으며 , 세리아 슬러리 의 연마 입자 는 통상 적 으로 실리카 슬러리 의 연마 입자 보다 도 크 기 때문 에 웨이퍼 표면 에 스크래치 를 유발 시키 는 문제 가 있 다 .