도 8 은 기판 반송 장치 ( 100 ) 의 제 어부 ( 300 ) 의 구성 을 도시 하 는 블록 도 이 다 . 제 어부 ( 300 ) 는 , 기판 반송 장치 ( 100 ) 전체 의 제어 를 담당 하 는 CPU ( 301 ) , CPU ( 301 ) 의 워크 영역 을 제공 함 과 동시 에 가변 데이터 등 이 기억 되 는 RAM ( 302 ) , 제 어 프로그램 , 제 어 데이터 등 의 고정 적 인 데이터 가 기억 되 는 ROM ( 303 ) 을 구비 한다 . RAM ( 302 ) , ROM ( 303 ) 은 다른 기억 수단 을 채용 가능 하 다 .