도 7 에 는 자외선 발생 원 ( generating source ) 인 크세논 ( Xe ) 의 에너지 준위 ( energy level ) 가 개략 적 으로 도시 되 어 있 다 . 도 7 을 참조 하 면 , 크세논 ( Xe ) 을 이온 화 시키 기 위해서 는 12 . 13 eV 의 에너지 가 필요 하 며 , 크세논 ( Xe ) 을 여기 시키 기 위해서 는 8 . 28 eV 이상 의 에너지 가 필요 함 을 알 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 크세논 ( Xe ) 을 1 S 5 , 1 S 4 , 1 S 2 상태 로 각각 여기 시키 기 위해서 는 8 . 28 eV , 8 . 45 eV , 9 . 57 eV 의 에너지 가 필요 하 게 된다 . 이렇게 여기 된 크세논 ( Xe *) 은 안정 화 되 면서 대략 147 nm 의 자외선 이 발 생하 게 된다 . 그리고 , 여기 상태 ( excited state ) 크세논 ( Xe *) 과 기저 상태 ( ground state ) 크세논 ( Xe ) 이 충돌 하 게 되 면 엑 시머 ( eximer ) 크세논 ( Xe 2 *) 이 생성 되 는데 , 이러 한 엑 시머 크세논 ( Xe 2 *) 이 안정 화 되 면 대략 173 nm 의 자외선 이 발생 하 게 된다 . 이 에 따라 , 본 실시 예 에서 여기 가스 의 자외선 발생 원 으로 크세논 ( Xe ) 를 사용 하 는 경우 , 전자 방출 수단 ( 330 ) 으로부터 셀 ( 314 ) 내부 로 방출 되 는 전자 들 은 크세논 ( Xe ) 를 여기 시키 는 에너지 , 구체 적 으로 대략 8 . 28 eV ~ 12 . 13 eV 의 에너지 를 가지 는 것 이 바람직 하 다 .