본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 전극 ( 116 ) 및 접속 전극 이 무기 절연 층 ( 122 e ) 위 에 형성 된다 . 따라서 , 예 를 들 어 개구 를 덮 도록 상기 금속 의 층 을 형성 하 고 , 그 후 가시 광 을 투과 하 는 도전 산화물 을 포함 하 는 층 을 형성 하 고 , 에칭 에 의한 가공 을 행하 여 제 1 전극 ( 116 ) 및 접속 전극 을 형성 할 수 있 다 .