제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 는 공기 실린더 ( 승강 기구 ) ( 15 ) 에 커플링 되 어 , 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 와 스테이지 조립 체 는 공기 실린더 ( 15 ) 에 의해 승강 된다 . 이 공기 실린더 ( 15 ) 는 기부 플레이트 ( 65 ) 에 고정 된 프레임 ( 81 ) 상 에 장착 된다 . 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 보유 스테이지 ( 4 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 는 전달 위치 와 연마 위치 사이 에서 수직 으로 이동 된다 . 특히 , 웨이퍼 ( W ) 가 전달 될 때 , 웨이퍼 ( W ) 는 공기 실린더 ( 15 ) 에 의해 전달 위치 로 상승 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 가 연마 될 때 , 웨이퍼 ( W ) 는 공기 실린더 ( 15 ) 에 의해 연마 위치 로 하강 된다 . 하우징 ( 71 ) 의 전달 개구 ( 71 a ) 는 전달 위치 와 동일 한 높이 에 제공 된다 .