상기 제 3 영역 에 포함 된 샷 영역 들 과 상기 제 1 기준 이미지 를 비교 한다 . 상기 제 3 영역 에 포함 된 샷 영역 들 의 제 1 결함 들 중 에서 상기 제 1 기준 이미지 의 제 2 결함 과 일치 하 는 상기 제 3 결함 을 구한다 . 상기 제 3 영역 에 포함 된 샷 영역 들 에서 상기 제 3 결함 들 의 위치 를 상기 취약 지점 들 로 설정 한다 . 상기 취약 지점 들 은 상기 패턴 을 전사 할 때 상기 패턴 의 시닝 ( thinning ) , 브리지 ( bridge ) 및 끊김 등 의 결함 이 주로 발생 하 는 지점 이 다 . 각 샷 영역 ( 110 ) 들 의 노광 조건 이 다르 므로 , 각 노광 조건 에 따라 상기 패턴 의 취약 지점 을 확인 할 수 있 다 .