밀착력 향상 층 의 형성 은 해당 업계 범용 적 으로 사용 하 는 증착 방법 을 사용 하 며 , 바람직 하 게 는 건식 증착 방법 을 사용 할 수 있 다 . 좀 더 구체 적 으로 설명 하 면 , 진공도 1 . 0 ~ 1 . 4 × 10 - 5 Torr , 바람직 하 게 는 1 . 1 ~ 1 . 3 × 10 - 6 Torr 하 에서 아르곤 과 산소 를 각각 38 ~ 42 sccm 및 24 ~ 28 sccm , 바람직 하 게 는 39 ~ 41 sccm 및 25 ~ 27 sccm 으로 주입 하 고 파워 2 . 86 ~ 2 . 90 kW , 바람직 하 게 는 2 . 87 ~ 2 . 89 kW 로 공정 조건 하 에서 건식 증착 을 수행 할 수 있 다 .