에너지 퓨리티 모듈 은 빔 라인 에 위치 하 고 있 으며 , 이온 빔 에서 원 하 는 전위 보다 낮 은 전위 를 가지 는 불순물 이온 을 걸러 내 는 전기 적 필터 역할 을 수행 한다 . 이러 한 에너지 퓨리티 모듈 은 전기 적 필터 역할 을 수행 하 도록 그래 파이트 ( graphite ) 재질 의 전극 로드 ( electrode rod ) 가 내부 에 구비 될 수 있 다 .