그 후 , 도 4 c 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 100 ) 의 상면 의 전도성 박막 ( 111 ) 및 제 2 범프 ( 108 ) 상부 에 감광액 을 도포 하 고 제 2 범프 ( 108 ) 를 포함 하 는 막대 모양 의 영역 이 노출 되 도록 패 터닝 하 여 제 5 포토레지스트 층 ( 112 ) 을 형성 한다 . 이러 한 막대 모양 의 영역 은 추후 프로브 의 몸 체부 또는 빔 부 를 위한 금형 으로 사용 된다 . 이러 한 제 5 포토레지스트 층 ( 112 ) 의 두께 는 후술 될 프로브 의 몸 체부 의 높이 내지 는 길이 에 대응 하 는 바 , 발명 의 목적 에 따라 적절 하 게 설정 할 수 있 다 . 본 실시 예 에서 는 프로브 의 몸 체부 를 막대 모양 으로 하 였으나 , 프로브 의 몸 체부 의 모양 은 이 에 제한 되 지 않 는다 .