따라서 자동 반송 장치 는 기판 을 틀 어 짐 이 없 도록 안정 적 으로 정확 하 게 고정 하 여 이송 시키 는 것 이 중요 하 며 , 이때 기판 을 물리 적 으로 고정 ( clamping ) 하 는 방법 이 있 으나 이 는 기판 에 손상 을 주 게 되 어 사용 하 지 않 고 있 으며 , 주로 기판 의 손상 을 최소 화 하 기 위하 여 베르누이 기술 을 이용 한 흡착 방법 이나 진공 흡착 방법 이 사용 되 고 있 다 .