전술 한 바 와 같이 , 연마 대상물 인 금속 층 ( 40 ) 은 연마제 를 포함 하 므로 , 슬러리 는 소정 크기 이상 의 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 이 에 따라 슬러리 에 포함 된 거대 연마제 에 의한 스크래치 ( scratch ) , 패 임 ( dishing ) 및 / 또는 부식 ( erosion ) 과 같 은 금속 층 ( 40 ) 의 손상 을 줄이 거나 방지 할 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 10 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 10 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 5 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 5 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 3 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 3 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 2 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 2 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 1 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 1 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 약 0 . 7 nm 이상 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 고 , 예컨대 약 0 . 7 nm 내지 100 nm 의 평균 입경 을 가진 연마제 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 . 일 예 로 , 슬러리 는 금속 산화물 및 / 또는 준금속 산화물 을 포함 하 지 않 을 수 있 으며 , 예컨대 실리카 , 알루미나 , 게르마니아 , 티타니아 , 세리아 및 / 또는 지르코늄 옥사이드 를 포함 하 지 않 을 수 있 다 .