도 7 b 를 참조 하 면 , 상기 식각 대상 막 ( 102 ) , 스 페이서 패턴 ( 106 ) 및 희생 마스크 패턴 들 ( 204 a , 204 b ) 상 에 마스크 막 ( 도시 안함 ) 을 형성 한다 . 상기 마스크 막 은 스핀 코팅 에 의해 형성 될 수 있 는 막 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 마스크 막 은 스핀 온 하드 마스크 막 ( SOH ) 또는 포토레지스트 막 일 수 있 다 .