한편 , 카세트 ( 420 ) 의 제 2 지지 부 ( 422 b ) 들 에서 일정 시간 동안 대기 한 합성 기판 ( 10 ) 들 은 제 2 게이트 밸브 ( 224 ) 를 통해 제 2 이송 장치 ( 700 ) 에 의해 회수 부 ( 600 ) 로 옮겨진다 . 그리고 , 회수 부 ( 600 ) 에서 탄소 나노 튜브 ( 30 ) 의 회수 를 마친 합성 기판 ( 10 ) 은 촉매 도포 부 ( 500 ) 에서 촉매 ( 20 ) 를 도포 한 후 다시 카세트 ( 420 ) 의 제 1 지지 부 ( 422 a ) 에 수납 된다 .