O 를 포함 하 는 활성 화 된 가스 로서 는 , NO 를 플 라즈 마 여기 한 가스 이외 에 , O 2 , N 2 O , N 2 O 4 등 을 플 라즈 마로 여기 한 가스 를 사용 해도 되 고 , 이 들 가스 를 Ar , He , Ne , Xe 등 의 희 ( 稀 ) 가스 로 희석 한 가스 를 플 라즈 마 여기 하 여 사용 해도 된다 . 또한 O 를 포함 하 는 활성 화 된 가스 로서 O 3 를 사용 해도 되 고 , O 3 를 Ar , He , Ne , Xe 등 의 희가스 로 희석 한 가스 를 플 라즈 마 여기 하 여 사용 해도 된다 .