이러 한 반응 가스 는 상기 서 셉 터 ( 12 ) 에 로딩 된 웨이퍼 ( 2 ) 의 상부 면 과 접촉 함 과 동시 에 상기 웨이퍼 ( 2 ) 는 히터 ( 13 ) 에서 제공 되 는 복사열 에 의해서 가열 되 는 서 셉 터 ( 12 ) 를 통해 고온 으로 가열 된다 . 이 에 따라 , 상기 반응 가스 는 높 은 온도 의 웨이퍼 ( 2 ) 의 증착 면 인 상부 면 에서 화학 적 증착 반응 을 하 면서 상기 웨이퍼 ( 2 ) 의 표면 에 질화물 성장 층 을 형성 하 고 , 반응 이 종료 된 폐 반응 가스 는 부산물 과 더불 어 배기구 ( 15 ) 를 통하 여 외부 배출 되 는 것 이 다 .