상부 클래드 층 에 일정 한 패턴 을 가지 는 포토레지스트 패턴 을 형성 하 게 되 며 , 포토레지스트 패턴 이 형성 되 지 않 은 상부 클래드 층 상 에 습식 식각 공정 을 통해 오목 한 형상 의 오목 홈 ( 21 ) 을 형성 하 게 된다 ( S 40 ) . 예컨대 , 상부 클래드 층 에 원형 또는 사각형 포토레지스트 패턴 을 형성 하 게 될 경우 포토레지스트 패턴 이 형성 되 지 않 은 상부 클래드 층 상 에 습식 식각 공정 을 통해 반구형 또는 사각 단면 을 가지 는 오목 한 형상 의 오목 홈 ( 21 ) 을 형성 할 수 있 다 .