이러 한 조사량 변조 처리 에서 는 , 시료 상 에 규칙 적 으로 배치 한 화소 의 하나 로부터 그 주위 에 위치 이탈 을 가지 고 배치 하 고 있 는 복수 의 빔 에 어느 정도 의 가중치 로 조사량 을 분배 할지 를 나타내 는 계수 데이터 ( 계수 의 조 ) 를 참조 하 여 , 계수 와 , 각 화소 의 조사량 과 의 곱 에 의하 여 , 각 빔 의 보정 조사량 을 산출 한다 .