또 , 미결정 반도체 막 의 소스 영역 또는 드레 인 영역 측 의 말 단부 는 , 비정질 반도체 막 , 불순물 반도체 막 과 겹쳐 있 어도 좋 다 . 또한 , 비정질 반도체 막 의 단부 의 일부 가 소스 전극 또는 드레 인 전극 에 덮여 있 어도 좋 다 . 또한 , 비정질 반도체 막 의 단부 는 , 소스 전극 및 드레 인 전극 의 외측 에 노출 되 어 있 어도 좋 다 .