상기 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 는 상기 지지 프레임 ( 431 ) 의 하부 면 ( 431 c ) 에 마련 된 개구부 에 중첩 되 도록 상기 지지 프레임 ( 431 ) 의 하부 면 ( 431 c ) 에 지지 된다 . 이 에 따라 , 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 의 상부 면은 퍼지 가스 분사 공간 ( S 3 ) 을 사이 에 두 고 커버 플레이트 ( 432 ) 의 하부 면 에 대향 된다 . 그리고 , 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 의 하부 면은 상기 제 2 분 할 공간 ( DS 2 ) 의 일 측 영역 에 대응 되 는 기판 지지 부 ( 120 ) 의 상면 소정 영역 에 국부 적 으로 대향 된다 .