다음 으로 스테이지 장치 ( 4 ) 를 X 방향 으로 움직여서 , 현미경 의 관찰 시야 를 A 2 의 영역 으로 이동 시킨다 . 그리고 A 1 영역 의 경우 와 마찬가지 로 , A 2 영역 의 면 의 휘도 화상 을 CCD 카메라 ( 55 ) 에 의해 촬상 하 고 , 그것 을 메모리 보존 한다 . 레이저 광 을 1 라인 만 의 X 주사 하 면서 Z 주사 를 행하 고 , A 2 내의 1 라인 의 높이 프로 파일 을 얻 는다 . A 3 영역 에 대해서 도 마찬가지 의 측정 을 행한다 .