각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 에서 행하 는 것 이 가능 한 처리 로서 는 , 크 게 도포 처리 , 열처리 , 에지 노광 ( 露 光 ) , 및 , 현상 처리 로 나누 어 진다 . 도포 처리 는 , 반사 방지 막 재료 도포 처리 와 레지스 트 막 재료 도포 처리 가 있 다 . 열처리 는 , 냉각 처리 , 가열 처리 , 가열 / 냉각 처리 , 및 , ＰＥＢ ( ＰＥＢ : Post Exposure Bake ) 처리 가 있 다 . 한편 , ＰＥＢ 처리 는 노광 후 가 열처리 라고 말 해 지 는 처리 이 지만 , 본 명세서 에서 는 「 ＰＥＢ 처리 」 로 기재 한다 .