여기 서 , 상기 서브 세정 가스 밸브 ( 52 a , 52 b ) 의 리크 가 발생 되 지 않 을 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 진공도 를 갖 도록 펌핑 될 수 있 으나 , 상기 서브 세정 가스 밸브 ( 52 a , 52 b ) 의 리크 가 발생 될 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 값 이하 의 진공도 로 유지 될 수 있 다 .