본 반송 방법 에서 는 우선 , 제 어부 ( 60 ) 에 의해 신축 용 모터 ( 53 b ) ( 도 4 참조 ) 가 제어 되 어 , 반송 아암 ( 521 ) 이 신장 되 고 , 반송 아암 ( 521 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 가 , 상술 의 선 ( L 1 ) 을 따라서 직선 적 으로 반송 되 며 , 구체 적 으로 는 , 상기 웨이퍼 ( W ) 의 중심 이 상술 의 선 ( L 1 ) 을 따라서 움직이 도록 반송 된다 . 도 6 의 ( A ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 게이트 밸브 ( G 11 ) 를 통과 하 여 , 처리 실 ( 421 ) 내 의 미리 정해진 위치 까지 반송 된다 .