상기 플라 즈 마는 플 라즈 마 발생기 ( 10 ) 로부터 개구부 ( 11 ) 를 통해 제공 된다 . 상기 개구부 ( 11 ) 는 수 ㎛ 이하 의 구경 ( 口徑 , d ) 을 갖 는다 . 상기 플 라즈 마 발생기 ( 10 ) 는 상기 기판 ( 100 ) 으로부터 수 ㎛ 이하 의 거리 ( h ) 에서 가스 를 집중 적 으로 발생 시켜 플 라즈 마 를 발생 시켜 준다 . 따라서 , 기판 중 원 하 는 부분 에 만 미세 하 게 플 라즈 마 표면 처리 할 수 있 다 .