파장 치수 의 범위 에서 작 은 홀 - 개구부 에 있 어서 , 반사 된 빛 패턴 은 회절 효과 를 가지 고 있 다 . 따라서 이러 한 이론 적 모델 은 , 단일 홀 - 개구부 의 모양 으로부터 회절 된 빛 과 홀 외부 의 샘플 표면 으로부터 의 기하학 적 반사 의 회선 ( convolution ) 에 기초 한다 . 홀 의 직경 에 비해 큰 측면 가 간섭 성 을 갖 는 광선 이 사용 될 수 있 고 , 홀 - 개구부 의 영역 으로부터 의 반사 의 원계 패턴 이 분석 되 어 절대 적 인 크기 를 획득 할 수 있 다 . 홀 이 조밀 한 주기 적 어레이 에 배열 되 는 경우 , 유효 한 측면 가 간섭 성 길이 에 따라 추가 적 인 회절 효과 가 나타날 수 있 다 . 회절 상 ( diffraction image ) 이 분석 될 수 있 고 , 홀 - 개구부 의 절대 적 인 크기 가 시스템 의 기하학 적 구조 와 광선 의 파장 에 대한 정보 에 근거 하 여 획득 될 수 있 다 .