즉 본 발명 은 , 플라스마 생 성역 의 직경 방향 의 자속 밀도 ( Br ) 가 외주 만큼 커지 도록 하 는 가변 의 발산 자장 을 형성 하 고 , 게다가 웨이퍼 의 미들 영역 ( R ＝ 50 ∼ 100 [ ㎜]) 플라스마 생 성역 만 의 Br 을 가변 으로 한다 . 단면 이 L 자형 인 요크 A 를 플라스마 생성 영역 위쪽 에 배치 하 여 자속 이 중앙 으로부터 외주 측 으로 돌아가 는 경로 를 만들 고 , 웨이퍼 미들 영역 바로 위 에 아래쪽 이 개방 된 ㄷ 자형 요크 B 를 설치 함 과 함께 내부 에 코일 C 를 배치 한다 . 요크 A 의 인 측 단부 로부터 나오 는 자속 을 요크 B 경유 로 요크 A 의 아웃 측 단부 로 되돌리 고 , 요크 B 의 단부 로부터 나오 는 자속 을 요크 B 로 되돌리 기 위해 , 요크 A 를 요크 B 의 위쪽 이 며 또 한 외주 에 배치 한 것 이 다 .