도전 성 부산물 의 발생 을 보다 효과 적 으로 방지 하 기 위해 제 1 도 전막 ( 22 ) 에서 제 2 원소 의 함량 은 30 % 내지 90 % 범위 를 가질 수 있 다 . 참고 로 , 제 2 원소 의 함량 이 30 % 미만 일 경우 에 는 식각 공정 시 제 1 원소 의 탈리 를 효과 적 으로 방지 하 기 어려우 며 , 90 % 이상일 경우 에 는 후속 열처리 공정 시 형성 될 전극 의 저항 이 증가 할 우려 가 있 다 .