비 교예 2 에서 패턴 화 된 시편 을 CHF 3 / CF 4 　 혼합 가스 를 사용 하 여 드라이 에칭 을 진행 하 고 이어서 BCl 3 / Cl 2 　 혼합 가스 를 사용 하 여 드라이 에칭 을 다시 진행 하 였 다 . 마지막 으로 O 2 가스 를 사용 하 여 남 아 있 는 유기물 을 모두 제거 한 다음 , FE SEM 으로 단면 을 고찰 하 여 표 3 에 결과 를 수록 하 였 다 .