한편 , 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 언 로딩 된 합성 기판 ( 10 ) 들 은 카세트 ( 420 ) 의 제 2 지지 부 ( 422 b ) 에 수납 된 후 , 일정 시간 동안 냉각 과정 을 거친다 ( S 130 ) . 일정 시간 이 지나 면 합성 기판 ( 10 ) 들 은 스테이션 부 ( 400 ) 밖 으로 인출 되 어 회수 부 ( 600 ) 로 이동 된다 ( S 140 ) . 회수 부 ( 600 ) 에서 탄소 나노 튜브 ( 30 ) 회수 를 마친 합성 기판 ( 10 ) 은 다시 촉매 도포 부 ( 500 ) 로 이동 되 어 , 촉매 도포 후 카세트 ( 420 ) 의 제 1 지지 부 ( 422 a ) 에 수 납 된다 . 반응 챔버 ( 100 ) 에서 공정 을 마친 합성 기판 ( 10 ) 들 은 카세트 의 제 2 지지 부 ( 422 b ) 에 수납 된 후 앞 에서 서술 한 과정 을 반복 하 여 실시 하 게 된다 .