한편 , 파 면 수차 를 측정 할 수 있 는 간섭계 를 사용 해서 투영 광학계 의 수차 를 구할 수 도 있 다 . 간섭계 는 일반 적 으로 제조 단계 에서 투영 광학계 를 검사 하 기 위해서 사용 된다 . 그러나 , 그것 은 일반 적 으로 노광 장치 에 탑재 되 는 것 은 아니 다 . 이것 은 간섭계 를 포함 하 고 있 는 노광 장치 가 대형 화 되 어 코스트 가 증가 되 기 때문 이 다 .