환상 볼록 부 에 의해 단차 가 형성 된 웨이퍼 에 점착 테이프 를 첩부 하 는 방법 의 일례 로서 는 , 다음 과 같 은 것 이 제안 되 어 있 다 . 즉 , 상하 한 쌍 의 하우징 으로 이루어지 는 챔버 의 접합 부분 에 점착 테이프 를 끼워 넣 는다 . 그리고 당해 점착 테이프 에 의해 구획 된 2 개 의 공간 에 차압 을 발생 시킴 과 함께 , 당해 점착 테이프 를 가열 하 면서 요입 만곡 시켜 웨이퍼 이면 에 점착 테이프 를 첩부 하 는 처리 를 행한다 . 또한 챔버 에 있 어서 의 차압 및 가열 을 해소 시킨 후 , 점착 테이프 를 재 가열 하 면서 점착 테이프 를 웨이퍼 이면 에 다시 첩부 하 는 처리 를 행한다 ( 특허 문헌 1 을 참조 ) .