정렬 의 하위 - 단계 는 기판 및 / 또는 도구 의 정렬 마크 를 사용 하 여 마크 정렬 기 ( 또는 유사 한 도구 ) 에 의해 정렬 시키 는 것 을 비롯 한 , 예 를 들 어 당업 계 에 공지 된 임의 의 적합 한 방식 으로 수행 될 수 있 다 . 또한 , 기계 적 수단 ( 자체 정렬 구조 체 ) 에 의한 정렬 , 또는 이미지 처리 기술 을 이용 한 정렬 등 이 가능 하 다 .