단계 S 46 에서 , 위치 압인 프로파일 에 따라서 행해 지 는 임프 린트 처리 동안 , 힘 명령 값 을 계측 함 으로써 상술 한 바 와 같이 생성 된 , 3 축 의 액추에이터 를 제어 하 기 위한 힘 압인 프로파일 ( F 1 ( 1 ) , F 2 ( 1 ) , F 3 ( 1 ) ) 이 저장 된다 . 단계 S 44 에서 , 힘 압인 프로 파일 이 기판 ( 2 ) 상 의 각각 의 샷 영역 에 대해 생성 될 수 있 으며 제어 유닛 ( 11 ) 의 저장 유닛 에 저장 될 수 있 다 .