기판 ( 700 ) 은 벌크 실리콘 기판 , ( 도핑 되 거나 도핑 되 지 않 은 ) 단결정 실리콘 ( single crystal silicon ) 기판 , 반도체 온 절연체 ( semiconductor - on - insulator ; SOI ) 기판 , 또는 예 를 들 어 Si , SiC , SiGe , SiGeC , Ge , GaAs , InAs , InP 를 함유 하 는 임의 의 다른 반도체 기판 뿐 만 아니 라 다른 III / V 또는 II / VI [ 그룹 들 II , III , V , VI 는 원소 들 의 주기율표 내 의 고전 또는 오래 된 IUPAC 표기 를 지칭 함 ; 개정 되 거나 새로운 IUPAC 표기 에 따름 ; 이 그룹 들 은 각각 그룹 들 ( 2 , 13 , 15 , 16 ) 을 지칭 할 수 있 음 ] 화합물 반도체 들 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( 700 ) 은 임의 의 사이즈 를 가질 수 있 는데 , 예 를 들 어 200 mm ( 밀리 미터 ) 기판 , 300 mm 기판 , 450 mm 기판 , 또는 심지어 더 큰 기판 일 수 있 다 . 디바이스 층 들 은 패턴 이 전사 될 수 있 는 임의 의 막 또는 디바이스 구조물 을 포함 할 수 있 다 .