도 6 은 도 4 의 챔버 에서 사용 하 기 에 적합 한 예시 적 인 실리콘 칼라 ( 600 ) 의 또 다른 실시 예의 부분 단면도 이 다 . 일반 적 으로 칼라 ( 600 ) 는 상기 개시 된 본 발명 의 실시 예 들 에 따라 실리콘 으로 제조 되 며 외부 주변 부 ( 602 ) , 내부 주변 부 ( 604 ) 및 리세 스 형 부분 ( 606 ) 을 포함 한다 . 일반 적 으로 리세 스 형 부분 ( 606 ) 은 커버 링 ( 612 ) 을 지지 하 도록 구성 된다 . 커버 링 ( 612 ) 은 프로세싱 동안 기판 ( 414 ) 이 위치 되 는 기판 지지 표면 ( 618 ) 아래 로 바깥쪽 을 향해 연장 되 는 페데 스탈 ( 614 ) 의 레지 ( ledge ) ( 616 ) 상 에 부가 적 으로 지지 된다 . 커버 링 ( 612 ) 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따라 실리콘 , 또는 석영 과 같 은 다른 적절 한 물질 로 제조 될 수 있 다 . 지지 표면 ( 618 ) 은 기판 ( 414 ) 의 외부 에지 가 커버 링 ( 612 ) 의 내부 부분 을 오버행 하 도록 구성 된다 .