마지막 으로 , 도 10 의 ( C ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 영역 ( A 2 ) 내 ( 플랫 부 ) 에 착 액 점 ( PF ) 을 위치 시키 고 , 착 액 점 ( PF ) 을 영역 ( A 3 ) 의 최 내 주부 까지 이동 시키 면서 , 즉시 이탈 조건 으로 영역 ( A 3 ) 내 의 에칭 을 행한다 ( 제 3 에칭 공정 ) . 착 액 점 을 서서히 반경 방향 내측 으로 이동 시켜 두 고 , 목표 컷 영역 까지 의 에칭 이 종료 되 면 약액 노즐 ( 71 ) 로부터 의 에칭 액 의 토출 을 종료 된다 . 이 때 , 도 9 에 나타내 는 막 두께 차 ( D 2 ) 에 상당 하 는 에칭 이 이루어지 도록 , 약액 노즐 ( 71 ) 의 이동 속도 를 변화 시킬 수 있 다 . 이 때 , 막 두께 차 ( D 2 ) 가 큰 부분 에서 는 약액 노즐 ( 71 ) 의 이동 속도 를 저하 시킬 수 있 다 .