전원극 ( 320 ) 과 접지 극 ( 310 ) 사이 로 밀폐 된 기판 이 송경 로 ( 340 ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 기판 이 송경 로 ( 340 ) 의 적어도 일 측 에 는 방전 간극 ( 350 ) 이 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 이 방전 간극 ( 350 ) 을 통과 하 면서 높 은 에너지 상태 로 활성 화 된 가스 가 외부 로 누설 됨 이 없이 전량 기판 이 송경 로 ( 340 ) 로 공급 되 어 대 면적 의 글 로우 플 라즈 마 를 형성 하 게 된다 . 따라서 , 기판 을 보다 안정 적 이 고 신속 하 게 처리 함 은 물론 , 에너지 효율 을 높일 수 있 게 된다 .