계측 시스템 ( MET ) 내 에서 , 계측 장치 는 기판 의 하나 이상 의 특성 , 및 특히 상이 한 기판 들 또는 동일 기판 의 상이 한 층 들 의 특성 이 층 마다 어떻게 달라지 는지 를 결정 하 기 위해 사용 된다 . 위 에서 언급 된 바 와 같이 , 계측 장치 는 리소그래피 장치 ( LA ) 또는 리 소 셀 ( LC ) 에 통합 될 수 있 거나 독립 형 디바이스 일 수 있 다 .