이때 , 제 1 절 연막 패턴 ( 172 ) 은 제 1 내지 제 3 터널 절 연막 패턴 들 ( 112 , 114 , 116 ) , 제 1 내지 제 3 플로팅 게이트 들 ( 122 , 124 , 126 ) , 제 1 내지 제 3 유전 막 패턴 들 ( 132 , 134 , 136 ) 및 제 5 내지 제 7 하부 도전 패턴 들 ( 212 b , 214 b , 216 b ) 의 측벽 및 제 5 내지 제 7 상부 도전 패턴 들 ( 202 b , 204 b , 206 b ) 의 측벽 일부 에 형성 될 수 있 으며 , 제 2 절 연막 패턴 ( 174 ) 은 제 4 터널 절 연막 패턴 ( 118 ) , 제 4 플로팅 게이트 ( 128 ) , 제 4 유전 막 패턴 ( 138 ) , 제 4 하부 도전 패턴 ( 218 a ) 의 측벽 및 제 4 게이트 마스크 패턴 ( 159 ) 의 상면 과 일 측벽 상 에 형성 될 수 있 다 .