또한 , 상기 티오피 란 유도체 를 구성 성분 으로 하 는 중합체 ( 포지티브 형 레지스 트 용 수지 ) 에 는 , 상기 한 것 이외 의 기능 을 갖 는 구성 성분 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 이러 한 구성 성분 으로서 는 , 예컨대 , 중합체 에 있 어서 측쇄 가 되 는 카르복실기 , 헥사 플 루 오로 카르비놀 기 등 의 알칼리 가용 성기 를 갖 는 것 , 2 - 히드록시 에틸기 나 3 - 히드록시 아 다만 틸 기 등 으로 대표 되 는 수산기 를 갖 는 것 을 들 수 있 지만 , 이 들 에 한정 되 는 것 이 아니 다 . 이 들 은 , 레지스 트 자체 의 기판 밀착 성 이나 , 노 광부 의 알칼리 용해 속도 등 이 종합 적 으로 판단 되 어 , 함유량 이 결정 된다 .