도 10 은 다양 한 변형 실시 예 들 을 도시 하고 있 다 . 도 10 ( a ) 에서 는 공극 부 ( 500 ) 가 회로 부 ( 400 ) 의 위 에 설치 된 상태 에서 , 광 스캐너 소자 ( 100 ) 와 회로 부 ( 400 ) 의 전기 적 연결 이 와이어 ( 610 ) 에 의해서 이루어진다 . 공극 부 ( 500 ) 자체 를 전도성 물질 로 형성 하 고 , 광 스캐너 소자 ( 100 ) 와 공극 부 ( 500 ) , 그리고 회로 부 ( 400 ) 와 공극 부 ( 500 ) 를 각각 전도성 본딩 ( 620 , 630 ) 에 의하 여 연결 하 여 광 스캐너 소자 ( 100 ) 와 회로 부 ( 400 ) 의 전기 적 연결 을 형성 하 는 것 도 가능 하 다 .