킬레이트제 의 함유량 은 , 배선 금속 및 배리어 금속 의 더욱 양호 한 연마 속도 를 얻 을 수 있 는 관점 에서 , 연마제 의 전체 질량 기준 으로 , 0 . 001 질량 % 이상 이 바람직 하 고 , 0 . 002 질량 % 이상 이 보다 바람직 하 고 , 0 . 005 질량 % 이상 이 더욱 바람직 하 고 , 0 . 01 질량 % 이상 이 특히 바람직 하 고 , 0 . 05 질량 % 이상 이 극히 바람직 하 고 , 0 . 1 질량 % 이상 이 가장 바람직 하 다 . 킬레이트제 의 함유량 은 , 에칭 을 억제 하 여 피연 마면 의 거칠 음 을 저감 하 기 쉬운 관점 에서 , 연마제 의 전체 질량 기준 으로 , 20 질량 % 이하 가 바람직 하 고 , 10 질량 % 이하 가 보다 바람직 하 고 , 5 질량 % 이하 가 더욱 바람직 하 다 .