연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 에 의한 연마 공정 이 종료 된 후 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 은 웨이퍼 ( W ) 로부터 멀 어 지 게 이동 하 고 , 연마 헤드 모듈 ( 70 B ) 은 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 을 향해 이동 한다 . 그 후 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 연마 테이프 ( 75 ) 가 동일 한 방식 으로 노치 부분 과 활주 접촉 하 도록 진동 운동 을 수행 하 여 , 노치 부분 을 연마 한다 . 연마 중 , 스윙 기구 는 웨이퍼 ( W ) 가 수평 평면 에서 노치 부분 에 중심 을 갖 는 스윙 운동 을 수행 하 게 하 며 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 노치 부분 에 중심 을 갖 는 기울 임 운동 을 수행 한다 . 연마 후 , 헹굼 액 또는 화학 액 의 공급 이 중지 된다 . 그 후 , 보유 스테이지 ( 4 ) 는 상승 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 는 전달 기구 에 의해 제거 되 고 전달 개구 ( 71 a ) 를 통해 이송 된다 .