도 6 은 펌프 냉각 시스템 ( 12 ) 을 위한 변형 된 냉각 제어 기구 를 도시 한다 . 도 6 에 도시 된 냉각 제어 기구 와 도 5 에 도시 된 냉각 제어 기구 의 차이점 은 가스 소스 ( 60 ) 및 진공 소스 ( 64 ) 가 공통 도관 보다 는 각자 의 개별 도관 ( 52 ) 을 거쳐서 압력 챔버 ( 50 ) 와 연결 된다는 것 이 다 . 또한 , 도 6 에 도시 된 예의 탄성 편향 부재 ( 58 ) 는 도 5 에 도시 된 압축 형 탄성 부재 보다 는 상부 커버 ( 80 ) 와 냉 각체 ( 24 ) 사이 에 배치 된 인장 스프링 이 다 .