도 3 에 있 어서 , 빔 부 ( 5 b ) 의 하부 에 서포트 ( 30 ; support ) 가 고정 되 어 있 다 . 서포트 ( 30 ) 의 하 면 ( 30 c ) 과 테이블 ( 1 ) 의 상면 ( 1 a ) 과 의 사이 에 는 틈새 ( 20 ㎛ 정도 의 틈새 ) ( G ) 가 형성 되 어 있 다 . 서포트 ( 30 ) 의 하부 에 는 다수 의 구멍 ( 30 b ) 이 형성 되 어 있 다 . 구멍 ( 30 b ) 은 서포트 ( 30 ) 의 내부 에 형성 된 공간 ( 30 a ) 에 연통 되 어 있 으며 , 공간 ( 30 a ) 은 이음매 ( 31 ) 를 통해 도시 하 지 않 은 압축 공기 원 에 접속 되 어 있 다 .