PACMO 대신 에 , Mw 6 × 104 의 폴리 - N - 이소프로필 아크릴아미드 ( 이하 「 PNIPAM 」 이 라고 표기 함 ) 를 사용 하 였 다 . 연마 용 조성물 에 있 어서 의 PNIPAM 의 함유량 은 0 . 024 ％ 로 하 였 다 . 그 밖 의 점 은 실시 예 1 과 마찬가지 로 하 여 , 본 예 에 관한 연마 용 조성물 을 조제 하 였 다 .