도 9 및 도 10 을 참조 하 여 실험 예 3 에 대하 여 설명 한다 . 실험 예 3 에 대하 여 설명 하 기 전 에 , 실험 예 3 의 비 교예 에 대하 여 설명 한다 . 도 10 의 ( A ) 에 나타낸 것 과 같 은 형태 의 막 이 형성 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 착 액 점 을 라운드 부 보다 약간 반경 방향 내측 의 위치 ( 도 9 의 그래프 중 의 영역 ( A 2 ) 내 ) 에 고정 한 상태 로 확산 조건 으로 에칭 을 행하 면 , 도 9 에 나타내 는 것 과 같 은 에 칭량 의 분포 가 생긴다 . 도 9 에서 영역 ( A 1 , A 2 , A 3 ) 은 피 에칭 영역 이 다 . 영역 ( A 1 ) 은 라운드 부 , 영역 ( A 2 ) 은 라운드 부 보다 약간 반경 방향 내측 에 있 는 플랫 부 , 영역 ( A 3 ) 은 영역 ( A 2 ) 보다 약간 반경 방향 내측 에 있 는 플랫 부이 다 .