상기 상변화 물질 막 패턴 ( 150 ) 은 상기 하부 콘 택 전극 ( 140 ) 및 제 2 절 연막 ( 130 ) 구비 되 고 , 칼코겐 화합물 을 포함 한다 . 상기 칼코겐 화합물 의 예 로서 는 게르마늄 - 안티몬 - 텔루륨 ( GST ) , 비소 - 안티몬 - 텔루륨 , 주석 - 안티몬 - 텔루륨 , 주석 - 인듐 - 안티몬 - 텔루륨 , 비소 - 게르마늄 - 안티몬 - 텔루륨 , 탄 탈륨 , 니오브 내지 바나듐 등 과 같 은 5 A 족 원소 - 안티몬 - 텔루륨 , 텅스텐 , 몰리브덴 내지 크롬 등 과 같 은 6 A 족 원소 - 안티몬 - 텔루륨 , 5 A 족 원소 - 안티몬 - 셀렌 , 또는 6 A 족 원소 - 안티몬 - 셀렌 등 을 들 수 있 다 .