여기 서 , 상기 버퍼 층 은 SiCAlN 막 및 SiCN : H 막 중 적어도 어느 하나 의 막 을 포함 한다 . 상기 버퍼 층 의 Si 소스 로 테트라 에 속 실란 ( Tetraethoxysilane ) 을 사용 하 고 , C 소스 로 는 카본 테트라 브로마이드 ( Carbon Tetrabromide ) 를 사용 하 고 , Al 소스 로 는 트리 메틸 알루미늄 ( Trimethyl aluminum ) 또는 트리 에틸 알루미늄 ( Triethyl aluminum ) 을 사용 하 고 , N 소스 로 는 디 메틸 하 이 드라이진 ( Dimethylhydrizine ) 또는 티 부틸 알 미네 ( T - buthylamine ) 를 사용 한다 .