도 9 내지 11 은 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 반도체 에 피층 패턴 들 의 평탄 화 방법 을 보여준다 . 이하 에서 는 도 9 의 순서도 의 순서 에 따라 , 도 10 및 도 11 의 단면도 를 참조 하 여 다른 실시 예 를 설명 한다 . 다른 실시 예 에서 일부 단계 는 일 실시 예 를 참조 할 수 있 다 . 두 실시 예 에서 , 동일 한 참조 부호 는 동일 또는 유사 한 구성 요소 를 나타낸다 .