취득 부 ( 201 ) 는 , 프로세스 가 실행 되 기 전 에 , 하중 센서 ( 84 ) 에 의해 측정 된 하중 값 ( L ) 을 취득 하 고 , 취득 한 하중 값 ( L ) 을 , 초기 하중 값 ( L 0 ) 으로서 DB ( 203 ) 에 저장 한다 . 또한 , 취득 부 ( 201 ) 는 , 프로세스 가 실행 되 기 전 에 , 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된 대전량 ( Q ) 을 취득 하 고 , 취득 한 대전량 ( Q ) 을 , 초기 대전량 ( Q 0 ) 으로서 DB ( 203 ) 에 저장 한다 . 또한 , 취득 부 ( 201 ) 는 , 플라 즈 마 처리 의 실행 후 에 하중 센서 ( 84 ) 에 의해 측정 된 하중 값 ( L ) 을 취득 하 고 , 취득 한 하중 값 ( L ) 을 판 정부 ( 202 ) 에 출력 한다 . 또한 , 취득 부 ( 201 ) 는 , 플라 즈 마 처리 의 실행 후 에 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된 대전량 ( Q ) 을 취득 하 고 , 취득 한 대전량 ( Q ) 을 판 정부 ( 202 ) 에 출력 한다 .