빔 분리기 ( 222 ) 는 정전기 이중극 필드 ( dipole field ) 와 자기 이중극 필드 를 생성 하 는 정전 편 향기 를 포함 하 는 빈 필터 ( Wien filter ) 유형 의 빔 분리기 일 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 이 들 이 인가 되 면 , 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 의 전자 상 에 정전기 이중극 필드 에 의해 가해 지 는 힘 은 자기 이중극 필드 에 의해 전자 에 가해 지 는 힘 과 는 크기 가 동일 하 고 방향 은 반대 일 수 있 다 . 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 은 따라서 제로 ( 0 ) 편 향각 으로 빔 분리기 ( 222 ) 를 일직선 으로 통과 할 수 있 다 . 그러나 , 빔 분리기 ( 222 ) 에 의해 생성 된 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 의 총 분산 은 0 이 아닐 수 있 다 . 빔 분리기 ( 222 ) 의 분산 평면 ( 224 ) 에 대해 , 도 2 는 에너지 Vo 에 대응 하 는 빔 렛 부분 ( 262 ) , 에너지 Vo + AV / 2 에 대응 하 는 빔 렛 부분 ( 264 ) 그리고 에너지 Vo - AV / 2 에 대응 하 는 빔 렛 부분 ( 264 ) 으로 의 , 공칭 에너지 ( Vo ) 와 에너지 확산 ( AV ) 을 갖 는 빔 렛 ( 214 ) 의 분산 을 보여 주 고 있 다 . 빔 분리기 ( 222 ) 에 의해 이 차 전자 빔 ( 236 , 238 및 240 ) 의 전자 에 가해 지 는 전체 힘 은 0 이 아닐 수 있 다 . 따라서 빔 분리기 ( 222 ) 는 이 차 전자 빔 ( 236 , 238 및 240 ) 을 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 으로부터 분리 할 수 있 으며 이 차 전자 전자 빔 ( 236 , 238 및 240 ) 을 이 차 광학 시스템 ( 242 ) 쪽 으로 향하 게 할 수 있 다 .