도 1 은 , 본 발명 의 일 측면 으로서 의 노광 장치 ( 100 ) 의 구성 을 도시 한 개략 도 다 . 노광 장치 ( 100 ) 는 , 원판 ( 마스크 ) 을 통해 기판 ( 유리 플레이트 ) 을 노광 하 고 , 기판 에 원판 패턴 을 전사 하 는 리소그래피 장치 다 . 노광 장치 ( 100 ) 는 , 플랫 패널 디스플레이 , 액정 표시 소자 , 반도체 소자 , ＭＥＭＳ 등 의 제조 에 사용 되 고 , 특히 , 플랫 패널 디스플레이 노광 장치 로서 적합 하 다 .