언급 한 바 와 같이 , 본 실시 예 에서 는 약 630 내지 700 ℃ 의 온도 에서 약 20 내지 30 초 동안 약 70 내지 90 sccm 의 유량 으로 소스 가스 를 플로우 시키 는 제 1 선택 적 에피택시 얼 성장 을 수행 하 여 상기 제 1 박막 을 형성 한다 . 이때 , 상기 제 1 박막 ( 27 ) 의 두께 는 약 5 내지 95 Å 의 범위 에서 적절 하 게 조절 할 수 있 다 . 그 이유 는 , 상기 제 1 박막 ( 27 ) 의 두께 가 소스 / 드레 인 ( 26 a , 26 b ) 전체 의 두께 에 의존 하 기 때문 이 다 .