층간 절 연막 ( 67 ) 에 는 , 층간 절 연막 ( 67 ) 과 함께 층간 절 연막 ( 66 ) 을 관통 하 는 접속 부 ( 68 A 내지 68 C ) 가 마련 되 어 있 다 . 드레 인 영역 이 되 는 확산 층 ( 62 D ) 의 실리사이드 영역 ( 65 D ) 및 소스 영역 이 되 는 확산 층 ( 62 S ) 의 실리사이드 영역 ( 65 S ) 은 , 각각 , 접속 부 ( 68 B ) 및 접속 부 ( 68 C ) 를 경유 하 며 , 후술 하 는 배선 ( 70 A ) 의 금속 막 M 1 ' 에 접속 되 어 있 다 . 콘택트 플러그 P 2 는 , 층간 절 연막 ( 66 , 67 ) 을 관통 하 고 , 그 하단 에 있 어서 , 예 를 들 어 선택 선 SL 을 구성 하 는 금속 막 M 1 ' 와 접하 고 있 다 . 따라서 , 콘택트 플러그 P 2 는 , 절연 층 ( 52 ) , 소자 분리 막 ( 51 ) , 층간 절 연막 ( 66 ) , 층간 절 연막 ( 67 ) 을 모두 관통 하 도록 연신 되 어 있 다 .