도 9 내지 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 삽 입체 는 , 도 4 에 도시 된 실시 예 와 유사 하 게 , 하류 방향 으로 향하 는 개방 단부 를 가진 테 이 퍼진 구멍 을 형성 할 수 있 다 . 그러 한 테 이 퍼진 삽 입체 과 관련 하 여 , 테 이 퍼진 단부 를 가진 스핀 들 이 사용 될 수 있 다 . 일실 시예 에서 , 스핀 들 의 테 이 퍼진 단부 의 포함 된 각도 는 삽 입체 내 의 구멍 의 포함 된 각도 보다 약간 작 을 수 있 어 , 스핀 들 은 스핀 들 의 말단 상류 단부 에서 만 삽 입체 과 맞물리 며 , 구멍 의 하류 단부 또는 개방 단부 근처 에서 스핀 들 의 나사산 이 형성 된 단부 둘레 에 약간 의 틈새 를 가지 고 들어맞 는다 . 또한 , 상술 한 실시 예의 어떤 것 도 또한 , 상술 한 바 와 같이 , 가스 흐름 을 용이 하 게 하 기 위해 다양 한 형상 중 하나 를 가지 는 상류 부재 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 특정 프로 파일 을 가지 는 상류 부재 가 회전 중 앙축 을 따라 허브 , 캡 또는 웨이퍼 캐리어 플레이트 의 상류 표면 에 부착 되 거나 상류 표면 에 일체 로 형성 될 수 있 다 . 상술 한 특징 의 이 들 및 다른 변경 예 및 조합 이 본 발명 으로부터 이탈 함 이 없이 사용 될 수 있 기 때문 에 , 바람직 한 실시 예의 상기 설명 은 , 청구 범위 에 의해 정의 되 는 본 발명 을 제한 하 는 것 이 아니 라 설명 을 위해 주 어 진 것 으로 이해 하 여야 한다 .