또한 , 본 발명 은 레이저 소스 에서 출력 된 레이저 빔 을 평행 빔 으로 변환 시키 는 빔 시준 부 , 상기 빔 시준 부 에 의해 평행 빔 으로 변환 된 레이저 빔 의 에너지 강도 가 기준 값 에서 제 1 타 겟 값 까지 증가 하 는 제 1 구간 , 상기 에너지 강도 가 상기 제 1 타 겟 값 에서 제 2 타 겟 값 까지 감소 되 는 제 2 구간 , 상기 에너지 강도 가 상기 제 2 타 겟 값 으로 유지 되 는 제 3 구간 , 상기 에너지 강도 가 제 2 타 겟 값 에서 상기 제 1 타 겟 값 까지 증가 하 는 제 4 구간 , 및 상기 에너지 강도 가 상기 제 1 타 겟 값 에서 상기 기준 값 까지 감소 하 는 제 5 구간 을 포함 하 는 빔 분포 를 갖 도록 상기 레이저 빔 의 빔 분포 를 변경 시키 는 빔 분포 조정부 , 및 상기 빔 분포 가 변경 된 레이저 빔 을 모재 의 타 겟 면 에 조사 하 는 빔 집 광부 를 포함 하 며 , 상기 빔 분포 조정부 는 사각 형상 의 마스크 로 구현 되 고 , 상기 마스크 는 상기 제 1 구간 내지 상기 제 5 구간 을 구현 하 기 위한 제 1 영역 과 제 2 영역 을 가지 며 , 상기 제 2 영역 은 , 상기 마스크 의 가장자리 를 따라 사각 띠 형상 으로 연장 된 테두리 영역 , 상기 마스크 의 중심 에 배치 된 원형 의 중심 영역 , 및 상기 중심 영역 으로부터 이격 되 고 상기 테두리 영역 의 내측 에 배치 된 중간 영역 을 포함 하 며 , 상기 제 1 영역 은 , 상기 테두리 영역 과 상기 중간 영역 의 사이 에 배치 되 며 , 상기 마스크 의 모서리 에 대응 하 여 서로 이격 되게 배치 된 복수 의 삼각 형상 영역 , 및 상기 중간 영역 과 상기 중심 영역 의 사이 에 배치 된 링 형상 영역 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .