한편 , 종래 슬릿 코터 는 슬릿 노즐 ( 20 ) 이 감광액 도포 한 후 상기 슬릿 및 상기 슬릿 주변 의 양측 립 ( lip ) 에 유기 절연물 질 또는 감광액 의 일부 가 잔류 된다 . 이 처럼 슬릿 노즐 ( 20 ) 은 잔류 된 감광액 이 도포 작업 과 도포 작업 사이 의 대기 시간 에 외기 와 의 접촉 에 의해 그 속성 이 변화 되 거나 , 대기 후 도포 작업 을 수행 할 시 서지 ( surge ) 현상 이 발생 되 어 기판 에 균질 한 도포 막 을 생성 하 는 데 악영향 을 끼칠 수 있 다 .