바람직 하 게 , 세정 파트 ( 300 ) 는 기판 ( 10 ) 의 표면 에 잔류 하 는 유기물 및 여타 다른 이물질 을 제거 하 기 위한 세정 을 효과 적 으로 수행 할 수 있 도록 , 기판 ( 10 ) 의 표면 에 물리 적 으로 접촉 되 며 세정 을 수행 하 는 접촉 식 세정 유닛 ( 400 ) , 및 기판 ( 10 ) 의 표면 에 물리 적 으로 비 접촉 되 며 세정 을 수행 하 는 비접 촉식 세정 유닛 ( 500 ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 경우 에 따라서 는 세정 파트 가 접촉 식 세정 유닛 및 비접 촉식 세정 유닛 중 어느 하나 만 을 포함 하 여 구성 되 는 것 도 가능 하 다 .