본 발명 은 반도체 , 웨이퍼 및 LCD 용 글라스 ( Glass ) 이송 에 사용 되 는 로봇 암 ( Robot Arm ) 의 안쪽 에 장착 되 어 반도체 , 웨이퍼 및 LCD 용 글라스 ( Glass ) 의 미끄러짐 을 방지 하 고 , 받침대 및 완충 역할 을 하 는 기존 의 고무 진공 패드 ( Rubber Vaccum Pad ) 를 개선 하 여 , 과불 소고무 ( FFKM : Perfluoro - elastomer ) 로 이루어져 , 반도체 , 웨이퍼 및 LCD 용 글라스 ( Glass ) 가 안착 되 기 전 의 표면 이 엠보싱 처리 밀도 가 높 고 골 이 깊 게 폐인 '