이어서 , 상기 트렌치 표면 에 측벽 산화 막 을 형성 하 고 , 상기 측벽 산화 막 상 에 선형 질 화 막 및 선형 산화 막 을 형성 한 후 , 상기 트랜 치가 매립 되 도록 HDP ( High Density Plasma ) 를 이용 한 소자 분리 막 용 산화 막 을 증착 한다 . 그리고 나 서 , 소자 분리 용 산화 막 을 CMP 한 후 , 상기 패드 질 화 막 및 패드 산화 막 을 제거 하 여 소자 분리 막 을 형성 한다 .