이러 한 약액 공급 장치 에 있 어서 는 , 도포 되 는 약액 중 에 먼지 등 의 입자 즉 파티클 이 혼재 하 면 그것 이 피도 포물 에 부착 되 고 , 패턴 흠결 을 야기 시켜 제품 의 수 율 을 저하 시킨다 . 용기 내 의 약액 이 펌프 내 에 체류 하 면 변질 되 고 , 변질 된 약액 이 파티클 로 되 는 경우 가 있 기 때문 에 , 약액 을 토출 하 는 펌프 는 체류 가 없 을 것 이 요구 된다 .