도면 부호 710 에서 , 하나 이상 의 웨이퍼 가 S - D 이송 서브시스템 에 의해 수납 될 수 있 고 , 하나 이상 의 웨이퍼 에 대한 웨이퍼 데이터 가 수신 될 수 있 다 . 대안 으로 , 웨이퍼 는 상이 한 서브시스템 에 의해 수납 될 수 있 다 . 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 웨이퍼 상태 데이터 는 하나 이상 의 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 고 , 웨이퍼 상태 데이터 는 S - D 데이터 , 칩 종속 적 데이터 , 및 / 또는 다 이 종속 적 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 처리 시퀀스 가 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 고 , S - D 처리 시퀀스 는 S - D 웨이퍼 상태 데이터 , 칩 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 , 및 / 또는 다 이 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 확립 될 수 있 다 .