응력 경감 부 ( 9 ) 를 형성 하 는 탄성체 로 는 , 폴리 이미드 또는 솔 더 레지스 트 등 을 들 수 있 다 . 응력 경감 부 ( 9 ) 의 재료 로서 , 폴리 이미드 또는 솔 더 레지스 트 등 을 사용 하 는 경우 , 종래 의 웨이퍼 프로세스 에 응력 경감 부 ( 9 ) 를 형성 하 는 공정 을 짜 넣 는 것 이 용이 하 다 . 이 때문 에 , 간단 한 방법 및 설비 를 준비 하 고 , 염가 의 재료 를 사용 하 여 응력 경감 부 ( 9 ) 를 형성 할 수 있 다 .