( 7 ) 상기 서술 한 유지 장치 에서 는 , 발 열 부 는 , 두께 방향 에 있 어서 복수 의 제 1 발열체 및 제 2 발열체 와 는 상이 한 위치 에 배치 된 제 3 발열체 를 구비 하 고 , 제 2 발열체 와 제 3 발열체 는 , 두께 방향 으로 연신 되 어 있 는 제 2 비아 에 의해 전기 적 으로 직렬 로 접속 되 어 있 다 . 또한 , 평면 에서 볼 때 제 1 비아 와 제 3 발열체 가 , 적어도 일부 가 겹치 게 배치 되 고 , 또한 , 평면 에서 볼 때 제 2 비아 와 복수 의 제 1 발열체 중 어느 것 이 , 적어도 일부 가 겹치 게 배치 되 어 있 다 .