다음 에 , 적어도 수지 보호막 ( 109 ) 의 표면 을 무기 보호막 ( 110 ) 으로 덮 어서 유기 EL 소자 에 수분 이 침입 하 는 것 을 방지 한다 . 수지 보호막 ( 109 ) 의 표면 은 매끄럽 고 평탄 하 기 때문 에 , 무기 보호막 ( 110 ) 으로 0 . 5 내지 3 μ m 정도 의 막 두께 로 그 표면 을 덮 을 수 있 어 수분 의 침입 을 막 을 수 있 다 . 무기 보호막 ( 110 ) 으로 는 , 수분 투과 율 이 낮 은 질화규소 , 산화 규소 , 그 혼합물 등 을 사용 해도 된다 .