상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 는 제 1 프레임 ( 210 ) 으로 돌출 된 형상 을 갖 는 복수 의 핀 들 로 이루어진다 . 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 는 평면 방향 ( x , y ) 에 수직 한 상하 방향 ( z ) 을 따라 이동 할 수 있 다 . 이 와 달리 , 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 는 서로 길 이 조정 이 가 능한 적어도 두 개 의 로드 결합 으로 이루어져 상기 상하 방향 ( z ) 을 따라 이동 할 수 있 다 . 또한 , 상기 제 1 지지 부 ( 300 ) 는 이하 에서 설명 할 상기 제 1 얼라 인부 ( 500 ) 의 제 1 회 전척 ( 520 ) 주위 에 배치 될 수 있 다 .