인산 유도체 화합물 ( d 1 ) P - 1 M 대신 에 2 - 아크릴 로 일 옥시 에 틸 애시드 포스 페이트 ( P - 1 A ( 상품명 ) , Kyoeisha Chemical Co . , Ltd . 제 ) 를 사용 한 것 이외 에 는 , 실시 예 1 과 마 찬 자기 로 행하 여 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 7 ) 을 얻 었 다 . 얻 어 진 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 7 ) 을 사용 하 여 실시 예 1 과 마찬가지 로 평가 를 행했 다 .