이 에 의해 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 접촉 위치 에 있 어서 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 를 접촉 시킴 으로써 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 의 대전 을 억제 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 의 처리 액 의 부착 을 억제 할 수 있 다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로부터 토출 된 처리 액 이 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로 끌 어 당겨 지 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 파티클 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .