제 1 액 막 ( F 1 ) 및 제 2 액 막 ( F 2 ) 이 기판 ( W ) 의 상면 에 형성 된 후 는 , 핫 플레이트 ( 21 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 가열 함 으로써 , 제 1 액체 와 기판 ( W ) 의 상면 사이 에 제 1 증기 층 ( L 1 ) 을 형성 하 고 , 그리고 , 제 2 액체 와 기판 ( W ) 의 상면 사이 에 제 2 증기 층 ( L 2 ) 을 형성 하 는 증기 층 형성 공정 ( 도 6 의 S 8 ) 이 이루어진다 . 증기 층 형성 공정 ( S 8 ) 에서 는 제 1 액 막 ( F 1 ) 이 주로 제 1 증기 층 ( L 1 ) 상 에 유지 되 고 , 또한 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 이 주로 제 2 증기 층 ( L 2 ) 상 에 유지 된다 .