도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 의 출입구 ( 11 ) 에 는 가스 배출 유닛 ( 60 ) 이 구비 된다 . 가스 배출 유닛 ( 60 ) 은 출입구 ( 11 ) 가 개방 될 때 , 출입구 ( 11 ) 주위 의 유해 가스 를 흡입 하 여 배출 하 도록 구성 된다 . 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 잔존 하 는 시너 , 포토레지스트 흄 등 의 유해 가스 가 가스 배출 유닛 ( 60 ) 에 의해 배출 될 수 있 다 . 따라서 , 유해 가스 가 출입구 ( 11 ) 를 통하 여 챔버 ( 10 ) 의 외부 로 누출 되 는 것 이 방지 될 수 있 다 .