상기 압력 조 절부 ( 150 ) 는 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 과 베이스 ( 121 ) 의 사이 에 형성 되 는 다수 의 압력 챔버 ( Cs , C 2 , ...., C 4 ) 에 공 압 공급 관 ( 155 ) 을 통해 공 압 을 독립 적 으로 공급 하 여 , 압력 챔버 ( Cs , C 2 , ... C 4 ) 의 압력 을 정해진 값 에 도달 하 도록 조절 한다 . 웨이퍼 ( W ) 의 연마 공정 중 에 는 각 압력 챔버 ( Cs , C 2 , ... , C 4 ) 에 정압 을 공급 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 가압 하 는 가압 력 을 조절 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 연마 공정 이 종료 되 면 웨이퍼 ( W ) 를 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 밀착 한 상태 로 척 킹 파지 시키 기 위하 여 , 제 1 공 압공 급 관 ( 1551 ) 을 통해 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 절대 값 이 충분히 높 은 ( 즉 , 충분히 낮 은 ) 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 고 , 나머지 압력 챔버 ( C 2 , C 3 , C 4 ) 에 는 연마 공정 중 에 공급 되 었 던 정압 이 대기압 상태 에 근접 하 도록 압력 을 조절 한다 .