이 와 같이 , 축 적 데이터 로부터 가동 률 을 산출 하 여 표시 함 으로써 , 작업자 는 , 기판 처리 장치 의 과거 의 상태 를 용이 하 게 파악 할 수 있 다 . 또한 , 작업자 는 , 가동 률 이 저하 된 경우 에 ( 이상 이 검지 되 기 전 에 ) , 저하 의 원인 에 따른 처치 를 실시 할 수 있 다 . 이 결과 , 작업자 는 , 기판 처리 장치 에서 의 이상 의 발생 을 미연 에 막 을 수 있 다 .