구체 적 으로 , 제 1 세정액 ( CL 11 , CL 12 ) 은 순수 로서 , 이 류체 형태 로 기판 ( W ) 에 제공 된다 . 즉 , 노즐 구 조체 ( 200 ) 에 는 제 1 저 장부 ( 210 ) 로부터 순수 가 , 제 2 저 장부 ( 220 ) 로부터 건조 공기 가 제공 된다 . 순수 와 건조 공기 가 혼합 되 어 미세 입자 형태 로 기판 ( W ) 에 제공 된다 .