또한 , 상술 한 발명 에서 , 상기 제 어부 는 , 각 계층 에서 각각 , 일련 의 처리 의 전부 또는 일련 의 처리 의 일부 를 기판 에 행하 는 것 이 가능 한 것 이 바람직 하 다 . 각 계층 에서 각각 일련 의 처리 의 전부 를 기판 에 행할 수 있 다 . 또한 , 각 계층 에서 각각 일련 의 처리 의 일부 를 기판 에 행할 수 있 다 . 제 어부 는 , 각 계층 의 처리 를 계층 사이 에서 서로 독립 해서 제어 한다 . 이 에 의해 , 각 계층 에서 는 각각 기판 에 소망 의 처리 를 행할 수 있 다 .