도 4 는 , 도 1 및 도 3 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 이용 할 수 있 는 연마 패드 ( 502 ) 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 단 , 도 4 는 , 도시 의 명료 화 를 위해 연마 패드 ( 502 ) 와 기판 Wf 만 을 간략 적 으로 나타내 고 있 으며 , 다른 구성 은 생략 하 여 도시 하고 있 다 . 도 4 의 연마 패드 ( 502 ) 는 원판 형상 이 다 . 도 4 의 원판 형상 의 연마 패드 ( 502 ) 의 중심축 은 기판 Wf 의 표면 에 평행 하 다 . 도 4 의 연마 패드 ( 502 ) 의 회전축 ( 502 A ) 은 중심축 과 일치 하 고 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 연마 패드 ( 502 ) 는 , 회전 운동 에 의해 기판 Wf 에 대하 여 제 1 운동 방향 으로 운동 하 고 , 또한 , 제 1 운동 방향 으로 수직 이 며 또 한 기판 Wf 의 표면 에 평행 한 제 2 운동 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 된다 .