반송 로봇 ( 33 ) 은 , 반송 기구 ( 31 ) 에 유지 된 1 장 의 미처리 의 기판 ( W ) 을 , 예 를 들 어 핸드 ( 33 C ) 를 사용 하 여 반출 한다 . 그리고 , 반송 로봇 ( 33 ) 은 , 예 를 들 어 , X 축 부 방향 으로부터 기판 처리 장치 ( 100 A ) 에 있 어서 의 스핀 베이스 ( 51 A ) ( 후 술 ) 의 상면 에 당해 기판 ( W ) 을 배치 한다 .