본 발명 의 실시 예 에 따른 전 극막 제조 방법 은 , 기판 상 에 주석 전구체 및 산소 소스 를 순차 적 으로 제공 하 는 제 1 서브 사이클 ( first sub - cycle ) 을 수행 하 는 단계 ; 상기 제 1 서브 사이클 을 수행 한 상기 기판 상 으로 주석 전구체 , 탄 탈륨 전구체 , 및 산소 소스 를 순차 적 으로 제공 하 는 제 2 서브 사이클 을 수행 하 는 단계 ; 및 상기 제 1 서브 사이클 및 상기 제 2 서브 사이클 이 하나 의 사이클 ( cycle ) 을 구성 하 며 , 상기 사이클 을 반복 수행 하 여 , 상기 기판 상 에 탄 탈륨 이 도핑 된 주석 산화 막 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 되 , 상기 탄 탈륨 이 도핑 된 주석 산화 막 내 탄 탈륨 농도 는 상기 제 2 서브 사이클 에서 제공 되 는 상기 주석 전구체 에 의해 결정 된다