여기 서 상기 도전 성 산소 확산 배리 어막 ( 13 ) 은 TiAlN 에 한정 되 는 것 은 아니 고 , Ir 또는 Ru 막 을 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 상기 배향 제 어막 ( 12 ) 은 Ti 또는 TiN 에 한정 되 는 것 은 아니 고 , 그 외 에 Pt , Ir , Re , Ru , Pd , Os , 또는 이 들 의 합금 을 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 상기 배향 제 어막 ( 12 ) 을 Ti , Al , Ir , Pt , Ru , Pd , Os , Rh , PtOx , IrOx , RuOx , PdOx 등 의 단층 막 또는 적층 막 으로서 형성 하 는 것 도 가능 하 다 .