이 와 같이 클리닝 된 실리콘 기판 ( 200 ') 의 표면 에 소정 두께 의 패럴 린 막 ( parylene layer , 251 ) 을 형성 한다 . 상기 패럴 린 은 반도체 산업 분야 에서 코팅 물질 로 널리 사용 되 는 화학 물질 이 며 , 상온 ( room temperature ) 에서 실리콘 기판 ( 200 ') 의 표면 에 용이 하 게 증착 되 는 장점 이 있 다 .