도 7 은 도 6 의 ( B ) 에 도시 된 D - D ' 선 에 따른 단면도 이 다 . 도 7 을 참조 하 면 , 반도체 기판 ( 10 ) 상 에 분리 된 다수 의 패턴 영역 을 갖 도록 그라운드 실드 패턴 ( PGS ; 501 ) 들 이 형성 된다 . 그라운드 실드 패턴 ( PGS ) 들 은 도핑 된 폴리 실리콘 을 이루어지 는 것 으로서 , 그 각각 은 상부 금속 선 ( 301 ) 이 감긴 방향 과 직각 을 이루 도록 미리 형성 된다 . 이어서 , 그라운드 실드 패턴 ( 501 ) 들 을 덮 도록 최 하부 절연체 층 ( 510 ) 이 형성 되 며 , 그라운드 실드 패턴 ( 501 ) 들 을 서로 연결 하 기 위해 최 하부 절연체 층 ( 510 ) 의 상 에 하부 비아 콘 택 ( 505 ) 과 연결 금속 선 ( 502 ) 이 마련 된다 . 그 상부 에 제 1 절연체 층 ( 20 ) 이 마련 되 는데 , 그 위 의 구조 는 도 2 b 에 도시 된 것 과 동일 하 므로 이 에 대한 중복 적 인 설명 은 생략 한다 .