본 발명 의 제 1 처리 장치 는 , 링 프레임 과 상기 링 프레임 의 개구 에 배치 되 는 피 가 공물 과 다 이싱 테이프 를 접착 하 여 일체 화 한 워크 셋 트 를 , 상기 다 이싱 테이프 를 통해 유지 하 는 유지 면 을 갖 는 유지 수단 과 , 상기 유지 면 에 유지 된 상기 워크 셋 트 의 피 가 공물 을 , 상기 피 가 공물 에 물 을 공급 하 면서 처리 하 는 처리 수단 과 , 상기 유지 면 에 유지 된 상기 워크 셋 트 의 상기 링 프레임 을 유지 하 는 적어도 3 개 의 유지 부를 구비 하 는 프레임 유지 부 를 , 상기 유지 면 에 수직 인 방향 으로 이동 시키 는 승강 수단 과 , 상기 다 이싱 테이프 의 하면 으로 이온 화 에어 를 내뿜 어 , 상기 다 이싱 테이프 에 대전 되 는 정전기 를 제거 하 는 이오나 이 저 를 구비 하 는 , 처리 장치 로서 , 상기 승강 수단 은 , 상기 워크 셋 트 의 상기 다 이싱 테이프 의 하면 이 , 외주 부분 으로부터 중앙 을 향하 여 상기 유지 면 으로부터 서서히 이격 되 도록 , 상기 워크 셋 트 의 상기 링 프레임 을 유지 하 는 상기 프레임 유지 부 를 상승 시키 도록 구성 되 고 , 상기 이오나 이 저 는 , 상기 다 이싱 테이프 의 하면 에 있 어서 의 상기 유지 면 으로부터 이격 되 는 부분 으로 , 상기 유지 면 으로부터 상기 다 이싱 테이프 의 하면 이 전부 이격 되 고 , 또한 , 상기 유지 면 으로부터 상기 다 이싱 테이프 의 하면 이 미리 정해진 거리 이격 될 때 까지 , 이온 화 에어 를 계속 해서 내뿜 도록 구성 되 며 , 상기 다 이싱 테이프 에 대전 된 정전기 를 제거 하 면서 , 상기 유지 면 으로부터 피 가 공물 을 반출 한다 .