제 1 층간 절 연막 ( 140 ) 을 관통 하 여 관통 전극 들 ( 120 ) 에 각각 연결 되 는 제 1 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 ) 이 제공 될 수 있 다 . 단면 적 관점 에서 , 제 1 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 ) 의 각각 의 폭 은 관통 전극 들 ( 120 ) 의 각각 의 폭 보다 작 을 수 있 다 . 단면 적 관점 에서 , 제 1 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 ) 의 각각 의 폭 은 그 와 연결 되 는 관통 전극 ( 120 ) 에 인접 할수록 작아질 수 있 다 .