그러나 , 상기 와 같 은 종래 의 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 에 의하 면 , 바닥 체 에 결합 된 슬리브 체 와 진공 배관 이 연결 된 덮개판 사이 를 밀폐 시키 기 위하 여 , 볼트 등 을 이용 하 여 상기 슬리브 체 와 상기 덮개판 을 결합 시켜 주 어야 하 였 고 , 그 에 따라 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 의 설치 작업 이 많 은 시간 이 소요 됨 은 물론 , 그 설치 작업 이 불편 한 문제 가 있 었 다 .