적 재부 ( 10 a ) 에 는 , 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 캐리어 ( 11 ) 가 적재 된다 . 전달 부 ( 10 b ) 에 는 , 적 재부 ( 10 a ) 및 처 리부 ( 10 c ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 는 전달 장치 ( 13 ) 가 설치 되 어 있 다 . 전달 장치 ( 13 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 기 위한 1 이상 의 포크 ( 13 a ) 를 갖 고 있 다 . 전달 장치 ( 13 ) 는 , 도 1 및 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 포크 ( 13 a ) 를 상하 , 좌우 및 전후 로 이동 시킬 수 있 으며 , 또한 수직 축 을 중심 으로 해서 포크 ( 13 a ) 의 방향 을 변경 시킬 수 도 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 전달 장치 ( 13 ) 는 적 재부 ( 10 a ) 및 처 리부 ( 10 c ) 중 어느 한쪽 으로부터 수취 한 웨이퍼 ( W ) 를 적 재부 ( 10 a ) 및 처 리부 ( 10 c ) 중 어느 다른 쪽 으로 인도 할 수 있 도록 되 어 있 다 .