앞서 설명 하 였 듯이 , 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 의 상부 표면 은 반응 기벽 ( 361 ) 에 접촉 되 어 있 다 . 도 3 a 및 도 3 b 에 도시 한 바 와 같이 , 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 은 반응 기벽 ( 361 ) 의 외벽 ( 361 b ) 과 유사 한 형태 를 가져서 , 반응 공간 ( 354 ) 를 둘러싸 는 링 형태 를 가진다 . 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 기판 지지대 ( 360 ) 의 가장자리 위 에 배치 되 어 , 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 에 의해 둘러싸여 있 다 . 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 반응 기벽 ( 361 ) 의 내벽 ( 361 a ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 사이 에 끼 어 져 있 다 . 도 3 b 를 참고 하 면 , 기체 차단 클램프 ( 389 ) 는 기판 ( 370 ) 의 가장자리 를 부분 적 으로 덮 는 링 형태 를 가진다 . 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 과 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 적어도 반응 실 내벽 과 외벽 ( 361 ) 사이 의 간격 만큼 서로 이격 되 어 있 다 .