" 본 명세서 에서 사용 되 는 "" 투영 시스템 "" 이 라는 용어 는 ", 사용 되 는 노광 방사선 에 대하 여 , 또는 침지 액체 의 사용 또는 진공 의 사용 과 같 은 다른 인자 들 에 대하 여 적절 하 다면 , 굴절 , 반사 , 카타 디옵 트릭 ( catadioptric ) , 자기 , 전자기 및 정전기 광학 시스템 , " 또는 여 하한 의 그 조합 을 포함 하 는 여하 한 타입 의 투영 시스템 을 내포 하 는 것 으로서 폭넓 게 해석 되 어야 한다 . 본 명세서 의 "" 투영 렌즈 "" 라는 용어 의 어떠 한 사용 도 "" 투영 시스템 "" 이 라는 좀 더 일반 적 인 용어 와 동의어 로 간주 될 수 있 다 . "