도 7 에서 도시 된 통상 적 인 웨이퍼 캐리어 에서 , 포켓 은 언더컷 주변 벽 ( 142 ) , 및 원형 지지 표면 ( 156 ) 을 구비 한다 . 그 웨이퍼 가 캐리어 의 중심축 으로부터 가장 먼 주변 벽 의 외부 부분 ( 142 a ) 에 대하 여 기대 어 지 도록 된다 . 언더컷 주변 벽 은 지지 표면 ( 156 ) 에 대하 여 아래 로 웨이퍼 의 외부 부분 ( 101 ) 을 유지 한다 . 그러나 , 캐리어 의 중심 축 에 가장 가까운 , 웨이퍼 의 내부 부분 ( 103 ) 은 캐리어 에 상대 적 으로 상향 이동 을 방지 하 도록 제한 되 지 않 으며 , 그 로 인해 웨이퍼 의 곡 률 은 내부 부분 ( 103 ) 이 지지 표면 ( 156 ) 으로부터 먼 방향 으로 위 로 들어올려 지 도록 야기 한다 . 이것 은 웨이퍼 의 저부 표면 ( 172 ) 과 포켓 의 플로어 표면 ( 146 ) 사이 의 갭 ( 173 ) 의 높이 △ H ' 에서 의 큰 차이 를 야기 한다 . 통상 적 인 웨이퍼 캐리어 를 사용 하 여 :