도 11 에서 , 스퍼터링 일 드 는 , 직경 이 60 mm 인 타 겟 에 각종 가스 를 충돌 시켰 을 때 의 타 겟 무게 감소 ( weight loss ) 로 나타내 어 진다 . 이 에 따르 면 , 13 × 10 - 3 ( mmHg ) 전후 의 압력 에서 , He 의 스퍼터링 일 드 는 Ar 의 스퍼터링 일 드 보다 낮 다 . 그리하여 , 이온 충돌 에 의한 탈리 ( 脫離 ) 는 , He 가스 를 사용 한 쪽 이 더 적 다 . 따라서 , 희가스 에 He 가스 를 사용 하 면 , Ar 가스 를 사용 하 는 경우 보다 스퍼터링 일 드 가 저하 되 는 경향 을 가진다 .