제어 유닛 ( 100 ) 은 , 컴퓨터 에 의해 구성 되 고 , 제 어 프로그램 에 따라서 연산 처리 하 는 중앙 연산 처리 장치 ( CPU ) 와 , 제 어 프로그램 등 을 격납 하 는 리드 온리 메모리 ( ROM ) 와 , 촬상 유닛 ( 6 ) 이 촬상한 화상 , 검출 한 검출 값 , 및 연산 결과 등 을 일시 적 으로 격납 하 기 위한 읽 고 쓰 기 가능 한 랜덤 액세스 메모리 ( RAM ) 와 , 입력 인터페이스 및 출력 인터페이스 를 구비 하 고 있 다 ( 상세 에 대한 도시 는 생략 ) . 제 어 유닛 ( 100 ) 은 , 레이저 가공 장치 ( 1 ) 의 각 작동 부 를 제 어함 과 함께 , 촬상 유닛 ( 6 ) 에 의해 촬상된 화상 을 포함 하 는 적절 한 정보 를 기록 함 과 함께 , 촬상 유닛 ( 6 ) 에 의해 촬상된 화상 을 해석 하 여 , 예 를 들 어 , 웨이퍼 가 미 가공 인지 , 가공 완료 인지 의 여부 를 판단 하 는 판 단부 ( 110 ) ( 추후 상세히 서술 한다 ) 를 구비 한다 . 또한 , 도 1 에서 는 , 설명 의 형편 상 제 어 유닛 ( 100 ) 을 레이저 가공 장치 ( 1 ) 의 외부 에 나타내 고 있 지만 , 실제로 는 레이저 가공 장치 ( 1 ) 의 내부 에 수용 되 어 있 다 .