다층막 ( 도 2 d 의 228 참조 ) 은 제 1 및 제 2 수직 채널 층 들 ( 230 A , 230 B ) 과 파이프 채널 층 ( 230 C ) 을 둘러싸 도록 형성 된다 . 이 로써 , 수직 채널 층 들 ( 230 A , 230 B ) 및 워드 라인 들 ( WL 0 ~ WLn ) 의 계면 과 파이프 채널 층 ( 230 C ) 및 파이프 게이트 도전 층 ( 204 ) 의 계면 에 다층막 이 형성 된다 . 다층막 은 절 연막 / 전 하저 장막 / 절 연막 의 적층 구조 ( 도 2 d 의 228 참조 ) 로 이루어질 수 있 다 .