차단 가스 공급 부재 ( 500 ) 는 커버 ( 120 ) 와 냉각 영역 ( 186 ) 사이 로 차단 가스 를 공급 하 여 차 단막 을 형성 한다 . 차단 가스 공급 부재 ( 500 ) 는 노즐 들 ( 520 ) 과 차단 가스 공급 관 ( 540 ) 을 가진다 . 일 예 에 의하 면 , 노즐 ( 520 ) 은 하우징 ( 110 ) 의 상단 에 서로 대향 되 도록 2 개 가 제공 된다 . 각각 의 노즐 ( 520 ) 은 로드 형상 을 가지 며 , 슬릿 형상 의 분사구 또는 일정 간격 이격 된 원형 의 분사 공 들 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 형성 된다 . 각각 의 노즐 ( 520 ) 은 차단 가스 공급 관 ( 540 ) 으로부터 차단 가스 를 공급 받 으며 , 차단 가스 공급 관 ( 540 ) 에 는 내부 통로 를 개폐 하 거나 그 내부 를 흐르 는 차단 가스 의 유량 을 조절 하 는 밸브 ( 542 ) 가 설치 된다 . 각각 의 노즐 ( 542 ) 은 서로 마주 바라 보 면서 차단 가스 를 분출 하 여 차단 영역 ( 도 5 의 188 ) 을 형성 한다 . 차단 영역 ( 188 ) 은 배스 ( 130 ) 내 건조 영역 ( 184 ) 의 건조 가스 가 처리 실 ( 100 ) 밖 으로 유출 되 는 것 을 방지 한다 . 차단 가스 로 는 아르곤 혹은 헬륨 과 같 은 불활성 가스 가 사용 될 수 있 다 . 차단 영역 ( 184 ) 은 기판 ( W ) 의 수직 이 동시 , 즉 기판 ( W ) 이 처 리조 ( 100 ) 로 / 로부터 로딩 / 언로 딩 되 는 동안 , 형성 되 며 , 선택 적 으로 처 리조 ( 100 ) 내 에서 기판 ( W ) 의 건조 가 이루어지 는 동안 에 도 형성 될 수 있 다 .