본 발명 의 다른 바람직 한 일 형태 는 , 상기 표면 처리 조성물 을 사용 하 여 연마 완료 연마 대상물 을 표면 처리 하 는 것 을 포함 하 는 , 표면 처리 방법 이 다 . 본 명세서 에 있 어서 , 표면 처리 방법 이란 , 연마 완료 연마 대상물 의 표면 에 있 어서 의 잔사 를 저감 하 는 방법 을 말 하 며 , 광의 의 세정 을 행하 는 방법 이 다 .