전극 은 절연물 을 사이 에 두 고 베이스 플레이트 를 관통 하 여 있 고 , 별도 의 전극 에 접속 되 거나 , 또는 반응 로 외 에 배치 된 전원 에 접속 된다 . 다 결정 실리콘 의 석출 공정 중 에 , 이 전극 부 에 다결정 실리콘 이 석출 해 버리 는 것 의 방지 나 , 전극 부 의 온도 의 상승 에 의해 석출 중 의 다결정 실리콘 을 금속 오염 시켜 버리 는 것 의 방지 등 을 목적 으로 하 여 , 전극 과 베이스 플레이트 와 벨 자 ( bell jar ) 는 물 등 의 냉매 에 의해 냉각 된다 .