도 6 을 참조 하 면 , 제 2 프리 절 연막 ( 128 p ) 의 상면 , 제 1 트렌치 ( T 1 ) 의 측벽 , 비트 라인 컨 택 ( 121 ) 의 측벽 , 비트 라인 구 조체 ( 120 ) 의 측벽 및 상면 상 에 제 1 프리 스 페이서 막 ( 141 p ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 1 프리 스 페이서 막 ( 141 p ) 은 컨 포말 하 게 ( conformally ) 형성 될 수 있 다 .