도 24 를 참조 하 면 , 적층 구 조체 ( ST ) 상 에 제 3 마스크 패턴 들 ( MP 3 ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 3 마스크 패턴 들 ( MP 3 ) 각각 은 제 1 라인 부들 ( MP 3 a ) 및 연결 영역 ( CTR ) 상 의 제 2 라인 부 ( MP 3 b ) 를 포함 할 수 있 다 . 평면 적 관점 에서 , 제 1 라인 부들 ( MP 3 a ) 은 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 연장 되 며 , 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 서로 이격 될 수 있 다 . 제 2 라인 부 ( MP 3 b ) 는 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 연장 되 어 제 1 라인 부들 ( MP 3 a ) 을 연결 할 수 있 다 .