본 발명 에 따르 면 , 전체 PMD 막 을 형성 할 때 , 불순물 농도 가 높 아 후속 공정 에서 문제 의 소지 를 가지 는 주 된 PMD 막 의 상하 층 이나 , 상하 계면 을 산소 가 풍부 한 분위기 에서 의 처리 를 통해 불순물 확산 을 방지 할 수 있 는 막 질 로 개질 시키 고 , 표면 의 불순물 을 제거 함으써 이후 공정 에서 주된 PMD 막 에서 나온 불순물 이 콘 택 주변 에서 미세 갭 이나 디 펙 을 형성 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .