이상 에서 , 데포 실드 ( 100 ) 의 구조 에 대해서 설명 하 였으나 , 데포 실드 ( 100 ) 의 개구 ( 100 p ) 를 개폐 하 는 밸브 체 ( 76 v ) 에 상기 구성 을 적용 할 수 도 있 다 . 도 3 을 이용 하 여 , 데포 실드 ( 100 ) 의 구조 에 대해 추가 로 설명 한다 . 도 3 은 제 1 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 의 일 예 에서 의 부분 확대 단면 모식도 이 다 . 한편 , 도 3 에서 는 , 밸브 체 ( 76 v ) 와 데포 실드 ( 100 ) 의 일부 를 도시 하고 , 그 밖 의 구성 에 대해서 는 도시 를 생략 하 였 다 .