상기 인덱스 모듈 은 , 상기 카세트 가 놓이 는 하나 또는 복수 의 로드 포트 와 ; 상기 로드 포트 에 놓인 상기 카세트 와 상기 처리 모듈 간 에 기판 을 반송 하 는 상기 인덱스 로봇 이 제공 된 반송 프레임 을 더 포함 하 되 , 상기 로드 포트 와 상기 반송 프레임 은 제 1 방향 으로 배열 되 고 , 상기 로드 포트 와 상기 캐리어 보관 유닛 은 상부 에서 바라볼 때 상기 제 1 방향 에 수직 한 제 2 방향 으로 배열 될 수 있 다 .