먼저 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 반송 기구 ( 308 ) 에 의해 대기 반 송실 ( 303 ) 에 접속 된 캐리어 C 로부터 기판 W 를 취 출하 여 , 대기 반 송실 ( 303 ) 에 반송 한다 . 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 어느 로드 로크 실 ( 302 ) 의 게이트 밸브 G 2 를 개방 하 여 , 반송 기구 ( 308 ) 로 보유 지지 된 기판 W 를 그 로드 로크 실 ( 302 ) 에 반입 한다 . 반송 기구 ( 308 ) 의 반송 암 이 대기 반 송실 ( 303 ) 로 퇴피 한 후 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 게이트 밸브 G 2 를 폐쇄 하 여 , 로드 로크 실 ( 302 ) 내 를 진공 배기 한다 . 또한 , 기판 W 를 캐리어 C 로부터 취 출한 후 , 로드 로크 실 ( 302 ) 에 반입 하 기 전 에 , 얼라인먼트 챔버 ( 304 ) 에서 기판 W 의 얼라인먼트 를 행한다 .