다음 으로 , 처 리부 ( 108 ) 는 상기 에서 판독 해 내 지 못한 모든 파라미터 를 디폴트 파라미터 격납 부 ( 102 ) 의 파라미터 중 으로부터 판독 한다 . 그리고 , 도 21 의 장치 동작 파라미터 를 얻 는다 . 다음 으로 , 처 리부 ( 108 ) 는 도 21 의 장치 동작 파라미터 에 따라서 반도체 제조 프로세스 를 실행 한다 . 이상 에서 , 모드 2 의 서비스 모드 로 의 처리 를 실현 할 수 있 다 . 그리고 , 사용자 ( B ) 는 그 제조 결과 를 검사 함 으로써 , 설정 한 서비스 파라미터 의 좋 고 나쁨 을 판단 할 수 있 다 . 또한 , 여기 에서 , 사용자 ( B ) 가 설정 한 서비스 파라미터 가 아주 매우 적합 하 며 , 보다 훌륭히 제조 가 완료 되 었 다고 한다 .