[ 0041 ] 다른 선택 적 인 동작 에서 , 제 1 유체 의 추가 적 인 전달 은 선택 적 으로 헤드 가 제 1 포지션 으로 상승 되 거나 이동 될 수 있 는 동작 ( 310 ) 동안 에 일어날 수 있 다 . 예 를 들 어 , 헤드 가 욕 으로부터 제 1 포지션 으로 상승 하 는 동안 , 기판 이 클램 핑 될 수 있 는 시일 에 충돌 하 도록 소 정량 의 제 1 유체 가 전달 될 수 있 어 , 시일 로부터 , 예컨대 시일 의 외측 또는 외부 표면 상 의 욕 유체 를 헹굴 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 기판 이 제 1 포지션 에 도달 하 기 전 에 전달 이 정지 될 수 있 다 . 헤드 는 이러 한 시일 헹굼 동작 동안 에 회전 될 수 있 고 , 이 방법 동안 언급 된 임의 의 회전 들 과 유사 하 거나 , 더 느리 거나 , 더 빠른 속도 로 회전 될 수 있 다 . 제 1 포지션 에서 , 예 를 들 어 회전 이 증가 될 수 있 고 , 욕 유체 의 슬링 - 오프 가 수행 될 수 있 다 .