스텝 S 22 에서 소정 시간 이 경과 했 다고 판단 된 경우 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 S 23 을 실행 한다 . 스텝 S 23 에서 는 , 토출 제 어부 ( 112 ) 가 , 전환 밸브 ( 71 ) 및 제 1 접속 밸브 ( 67 ) 를 폐쇄 한 상태 로 유지 한 채 , 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 및 토출 밸브 ( 72 ) 를 개방 상태 에서 폐쇄 상태 로 각각 전환 한다 . 스텝 S 23 에서 , 토출 제 어부 ( 112 ) 는 , 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 보다 도 작 은 개방 도 변화 율 ( 느린 동작 속도 ) 로 , 토출 밸브 ( 72 ) 를 개방 상태 에서 폐쇄 상태 로 전환 해도 된다 . 토출 밸브 ( 72 ) 가 폐쇄 된 후 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 은 설정 값 ( Pd ) 에 가까운 값 으로 유지 되 어 있 다 . 상기 소정 시간 은 , 동작 지령 보유 부 ( 102 ) 가 보유 하 는 동작 지령 에 정해져 있 어 , 예 를 들 어 1 회 당 액 처리 에 있 어서 사용 되 는 처리 액 의 양 에 따라서 미리 설정 되 어 있 다 . 제 어 장치 ( 100 ) 가 , 스텝 S 02 의 실행 중 에 , 웨이퍼 ( W ) 가 회전 하 도록 회전 보유 지지 부 ( 20 ) 를 제어 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 ( Wa ) 에 레지스 트 도포 막 이 형성 되 어도 된다 .