상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 양태 ( aspect ) 에 따른 오버레이 계측 설비 는 , 웨이퍼 에 형성 된 복수 개 의 인접 하 는 오버레이 패턴 을 투영 하 는 광학 모듈 ; 상기 광학 모듈 에서 투영 된 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 에 대응 되 는 영상 신호 를 획득 하 는 촬상부 ; 상기 촬 상부 에서 획득 된 상기 영상 신호 에서 복수 개 의 오버레이 패턴 을 포함 하 는 영상 을 생성 하 고 , 상기 영상 에서 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 중 어느 하나 에 대응 되 는 오버레이 패턴 영상 을 미리 입력 된 오버레이 패턴 영상 과 비교 하 여 서로 동일 또는 유사 한 부분 의 상기 오버레이 패턴 영상 을 취 출하 는 비 교부 ; 상기 비 교부 에서 부분 적 으로 취 출 된 상기 오버레이 패턴 영상 을 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 중 에서 어느 하나 의 오버레이 패턴 에 대응 되 도록 복원 시키 는 복 원부 ; 및 상기 복 원부 에서 복원 된 상기 오버레이 패턴 영상 의 위치 와 , 상기 비 교부 에서 비교 되 지 않 은 오버레이 패턴 영상 의 위치 를 서로 비교 산출 하 여 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 의 어긋난 정도 를 판독 하 는 판 독부 를 포함 함 을 특징 으로 한다 .