도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 평면 디스플레이 용 화학 기상 증착 장치 의 구조도 이 고 , 도 2 는 도 1 에 도시 된 구조도 를 상부 챔버 와 하부 챔버 로 분해 한 분해 구조도 이 고 , 도 3 은 도 2 에 도시 된 상부 챔버 에 작업 플레이트 가 결합 된 상태 를 설명 하 기 위한 사시도 이 며 , 도 4 는 도 3 의 분해 사시도 이 고 , 도 5 는 도 2 의 정면도 로서 단위 체크 플레이트 와 상부 챔버 간 의 부분 적 인 스크루 결합 을 설명 하 기 위한 도면 이 다 .