본 발명 은 상기 와 같 은 종래 의 제반 문제점 을 해결 하 기 위해 연구 개발 한 것 으로서 , 그 목적 은 베이스 와 이송 테이블 이 직선형 유정 압 베어링 으로 이송 테이블 이 부상 된 상태 에서 볼 스크루 와 너트 에 의해 이송 테이블 이 소정 위치 까지 이동 된 후 , 가변 모세관 기구 를 이용 하 여 회전 형 유정 압 베어링 의 축 방향 으로 가해 지 는 스러스트 압력 을 조정 하 여 볼 스크루 의 축 방향 에 대한 미소 이송 조정 이 가능 하 고 이 로 인하 여 위치 결정 정밀도 의 향상 시킨 정밀 제어 가 가능 하 도록 한 이송 테이블 의 미세 조정 장치 를 제공 하 는데 있 다 .