제 1 동작 모드 에 있 어서 는 , 제 2 공정 과 제 3 공정 의 사이 에 , 증발원 ( 240 ) 에 의해 , " 성막 대상 기판 인 제 1 기판 ( 10 X ) 에 성막 을 행하 는 "" 제 4 공정 "" 이 포함 된다 . 그리고 ", 제 2 동작 모드 에 있 어서 는 , 제 어부 ( 270 ) 에 의해 , 제 2 공정 후 에 , 제 2 기판 ( 10 Y ) 에 대해 , 성막 을 행하 지 않 고 제 3 공정 으로 이행 하 도록 제어 된다 .