제 2 탱크 는 반 - 농축 된 ( semi - concentrated ) HF 용액 의 희석 된 수용액 을 포함 한다 . 프로세스 온도 는 25 ℃( 실내 온도 ) 이 고 , 프로세스 시간 은 10 - 15 초 이 다 . 탱크 를 나온 후 에 , 모듈 3 에서 웨이퍼 에 3 - 3 ½ 분 동안 초 순수 ( DI water ) 로 스프레이 프로세스 를 진행 한다 .