도 2 에 도시 된 진공 펌프 장치 ( 3 ) 에서 , 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 는 루트 형 진공 펌프 를 포함 하 고 제 2 진공 펌프 ( 10 ) 는 스 크 류형 진공 펌프 를 포함 하 지만 , 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 모두 는 루트 형 진공 펌프 를 포함 할 수 도 있 다 . 루트 형 진공 펌프 는 예 를 들 어 3 개 의 회전자 의 로브 ( lobe ) 를 포함 하 는 한 쌍 의 펌프 회전자 를 포함 한다 . 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 가 다단 루트 형 진공 펌프 인 경우 에 , 희석 용 N 2 가스 는 최종 압 축단 의 흡기 측 으로부터 펌프 의 내부 로 도입 되 어야 한다 .