예컨대 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 상면 ( 20 a ) 의 높이 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 웨이퍼 유지 테이블 ( 21 ) 의 유지 면 ( 210 a ) 으로 유지 하 고 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 상면 ( 20 a ) 으로 링 프레임 ( F ) 을 유지 했 을 경우 에 , 링 프레임 ( F ) 의 상면 ( Fa ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( Wb ) 이 대략 동일 의 높이 가 되 도록 설정 되 어 있 다 .