MFC ( 241 a , 241 b , 241 c , 241 d , 241 e , 241 f ) , 밸브 ( 261 a , 261 b , 261 c , 261 d , 261 e , 261 f , 262 a , 262 b , 262 c , 262 d , 262 e , 262 f ) 에 는 , 가스 공급 ㆍ유량 제 어부 ( 235 ) 가 전기 적 으로 접속 된다 . 가스 공급 ㆍ유량 제 어부 ( 235 ) 는 , 후술 하 는 각 단계 에서 처리 실 ( 201 ) 내 로 공급 하 는 가스 의 종류 가 원 하 는 가스 종이 되 도록 , 그리고 , 공급 하 는 가스 의 유량 이 원 하 는 유량 이 되 도록 , 또한 , 공급 하 는 가스 의 농도 가 원 하 는 농도 가 되 도록 , MFC ( 241 a , 241 b , 241 c , 241 d , 241 e , 241 f ) , 밸브 ( 261 a , 261 b , 261 c , 261 d , 261 e , 261 f , 262 a , 262 b , 262 c , 262 d , 262 e , 262 f ) 를 원하 는 타이밍 으로 제어 하 도록 구성 된다 .