도 4 는 슬릿 밸브 가 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 열 팽창 되 고 및 / 또는 진공 변형 되 는 도 3 의 이송 챔버 와 슬릿 밸브 사이 의 인터페이스 ( 300 ) 의 정면도 이 다 . 체결 기구 ( 304 ) 는 슬릿 밸브 의 열 팽창 및 / 또는 진공 변형 에 의해 이송 챔버 에 대해 운동 한다 . 이송 챔버 에 대한 체결 기구 ( 304 ) 의 운동 은 체결 기구 ( 304 ) 가 이송 챔버 의 슬롯 ( 310 , 312 , 314 , 316 , 318 ) 내 에서 이동하 는 거리 로 도시 된다 . 슬롯 ( 308 ) 내 의 체결 기구 ( 304 ) 는 인터페이스 ( 300 ) 의 중앙 ( 320 ) 에 대한 근접 성 때문 에 이송 챔버 에 대해 적절히 이동 될 수 없 다 . 여기 서 , 슬롯 ( 308 ) 내 의 체결 기구 ( 304 ) 는 인터페이스 ( 300 ) 의 중앙 ( 320 ) 으로부터 거리 ( G ) 에 실질 적 으로 남 아 있 다 . 그러나 , 다른 슬롯 ( 310 , 312 , 314 , 316 , 318 ) 각각 내 의 체결 기구 ( 304 ) 는 슬릿 밸브 의 열 팽창 에 의해 이송 챔버 에 대해 이동 될 수 있 다 .