따라서 , 증착 공정 동안 , 기판 ( 370 ) 가장자리 에 불활성 기체 가 유입 됨 으로써 , 기판 ( 370 ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 사이 로 공정 기체 가 유입 되 지 않 아 , 불 필요 한 박막 이나 오염물 생성 이 억제 됨 과 동시 에 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 가 기판 ( 370 ) 가장자리 로부터 이격 되 어 있 어 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 를 통한 기판 의 열 손실 이 없 어 지 고 , 기판 ( 370 ) 위 에서 증착 온도 의 불 균일 성 에 의한 불 균일 한 박막 증착 이 일어나 지 않 게 된다 .