또한 , 가압 롤러 ( 31 B ) 에 벨트 를 걸 어 , 롤러 컨베이어 와 같이 해도 좋 다 . 이러 한 구성 을 채용 함 으로써 , 가압 롤러 ( 31 B ) 만 을 사용 하 는 경우 와 비교 하 여 기판 ( W ) 의 휘어짐 에 대해 접촉 하 는 면적 이 증가 하 기 때문 에 , 보다 기판 ( W ) 에 손상 을 주 는 것 을 억제 하 면서 기판 ( W ) 의 휘어짐 을 교정 하 는 것 이 가능 해진다 .