하나 이상 의 컨트롤러 ( 414 , 424 , 434 , 444 및 454 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 410 , 420 , 430 , 440 및 450 ) 를 이용 하 여 하나 이상 의 웨이퍼 를 처리 할 시기 와 방법 을 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 컨트롤러 는 S - D 서브시스템 내 의 S - D 처리 요소 를 이용 할 수 있 을 때 및 / 또는 S - D 서브시스템 내 의 S - D 처리 요소 를 이용 할 수 없 을 때 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 메시지 및 / 또는 데이터 는 타이밍 문제 때문 에 이용 불 가능 할 수 있 으며 , 컨트롤러 는 S - D 메시지 및 / 또는 데이터 를 이용 할 수 있 을 때 까지 대기 할 수 있 다 . 또한 , 신규 ( 업데이트 된 ) S - D 데이터 를 이용 할 수 없 을 경우 , 웨이퍼 는 업데이트 되 지 않 은 S - D 데이터 를 이용 하 여 처리 될 수 있 다 .