노광 유닛 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 감광 재료 ( 150 ) 를 표면 에 흡착 하 여 유지 하 는 평판 상 의 스테이지 ( 152 ) 를 구비 하 고 있 다 . 4 개 의 다리 부 ( 154 ) 로 지지 된 두꺼운 판상 의 설치대 ( 156 ) 의 상면 에 는 스테이지 이동 방향 을 따라 연장 된 2 개 의 가이드 ( 158 ) 가 설치 된다 . 스테이지 ( 152 ) 는 그 길 이 방향 이 스테이지 이동 방향 을 향하 도록 배치 됨 과 아울러 , 가이드 ( 158 ) 에 의해 왕복 이동 이 가능 하 게 지 지 되 어 있 다 . 또한 , 이 노광 장치 에 는 스테이지 ( 152 ) 를 가이드 ( 158 ) 에 따라 구동 하 기 위한 도시 되 지 않 은 구동 장치 가 설치 되 어 있 다 .