도 33 에 있 어서 , " "" XIV "" 는 라디칼 산화 공정 ", 질소 어닐링 공정 및 산소 가스 만 을 사용 하 는 산화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 수소 농도 를 나타내 며 , " "" XV "" 는 라디칼 산화 공정 ", 질소 어닐링 공정 및 산소 가스 와 염화수소 가스 를 사용 하 는 산화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 수소 농도 를 의미 한다 . 또한 , 도 34 에 있 어서 , " "" XVI "" 은 라디칼 산화 공정 ", 질소 어닐링 공정 및 산소 가스 와 염화수소 가스 를 사용 하 는 산화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 염소 농도 를 나타내 고 , " "" XVII "" 은 라디칼 산화 공정 ", 질소 어닐링 공정 및 산소 가스 만 을 사용 하 는 산화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 염소 농도 를 의미 한다 .