웨이퍼 ( W ) 가 반입 되 는 처 리조 ( 40 ) 내 에 는 제 1 약액 ( 예컨대 , 황산 수용액 ) 이 저류 되 어 있 다 . 또한 , 액체 토출 기구 ( 46 ) 및 히터 ( 48 ) 가 가동 하 고 있 다 . 따라서 , 제 1 약액 은 처 리조 ( 40 ) 및 외조 ( 42 ) 와 순환 라인 ( 45 ) 에 의해 형성 되 는 순환로 를 순환 하 면서 가열 된다 . 이 결과 , 처 리조 ( 40 ) 내 의 제 1 약액 의 온도 는 실온 보다 도 높 은 미리 설정 된 범위 내 에 유지 되 어 있 다 .