상기 그리드 전극 ( 160 ) 은 이온 통과 를 위한 다수 의 관통 홀 ( H ) 이 종횡 으로 배치 된 복수 의 전극 을 포함 한다 . 그리드 전극 ( 160 ) 은 플라 즈 마 생 성 공간 ( 131 ) 으로부터 기판 처리 공간 ( 12 ) 을 향해 차례 로 배치 되 는 제 1 전극 ( 161 ) , 제 2 전극 ( 162 ) 및 제 3 전극 ( 163 ) 을 포함 하 며 , 제 1 전극 ( 161 ) 과 제 2 전극 ( 162 ) 및 제 3 전극 ( 163 ) 은 각각 전기 적 으로 절연 된다 .