즉 , 아르곤 빔 의 경우 조사 되 는 입자 의 에너지 가 최소 27 eV 정도 인데 , 이러 한 정도 의 입자 에너지 를 사용 할 경우 게이트 리 세스 식각 공정 중 식각 되 어야 할 부분 인 InP 의 결합 세기 ( bond strength ) 가 너무 낮 아 쉽 게 스퍼터링 되 는 문제점 이 있 기 때문 에 본 실시 예 에서 는 아르곤 보다 질량 이 작 은 네온 을 사용 함 으로써 운동량 전달 을 감소 시켜 InP 의 스퍼터링 을 감소 시키 게 된다 .