광중합 개시제 ( D ) 의 함유량 은 , 결합제 중합체 ( B ) 및 광중합 성 화합물 ( C ) 의 합계 량 에 대하 여 질량 분 율 로 , 바람직 하 게 는 0 . 1 내지 20 질량 부이 고 , 보다 바람직 하 게 는 1 내지 15 질량 ％ 이 다 . 광중합 개시제 의 함유량 이 상기 범위 에 있 으면 , 고감도 화 되 고 , 노광 시간 이 단축 되 어 생산 성 이 향상 되 고 , 한편 감도 가 너무 높 기 때문 에 라인 앤드 스페이스 의 패턴 이 해 상 되 는 최소 선폭 에 있 어서 선폭 이 지나치 게 굵 어 지 지 않 는 경향 이 있 어 바람직 하 다 .