실리콘 산화 막 ( 51 , 53 ) 은 , 예 를 들 어 실리콘 질화 막 ( SiN ) , 실리콘 산화 질화 막 ( SiON ) 등 의 실리콘 함 유막 이 어도 된다 . 실리콘 산화 막 ( 51 , 53 ) 대신 에 , 텅스텐 ( W ) , 타이타늄 ( Ti ) , 질화 타이타늄 ( TiN ) , 탄탈럼 ( Ta ) , 질화 탄탈럼 ( TaN ) 의 막 이 적층 되 어도 된다 . 실리콘 산화 막 ( 53 ) 은 하드 마스크 로서 기능 한다 . 실리콘 산화 막 ( 53 ) 은 없 어도 된다 .