한편 , 미국 특허 제 7 , 119 , 418 호 는 유기 금속 전구체 및 초임계 유체 ( supercritical fluid ) 를 포함 하 는 증착 용 조성물 을 개시 하 고 있 으며 , 상기 초임계 유체 의 대표 적 인 예 로서 이산화 탄소 를 제시 하 고 있 다 . 그러나 , 상기 증착 용 조성물 에 사용 되 는 이산화 탄소 와 같 은 초임계 유체 는 함께 사용 되 는 대부분 의 유기 금속 전구체 와 쉽 게 반응 하 여 원치 않 는 카보 네이트 화합물 을 형성 하 기 때문 에 , 상기 조성물 은 실제 증착 공정 에 적용 하 기 어렵 다는 단점 을 갖 는다 .