구체 적 으로 , 도 33 에 도시 된 바 와 같이 , 증착 공법 을 통해 , 상기 제 1 전도성 홀 ( 311 ) , 제 2 전도성 홀 ( 331 ) , 제 2 서브 전도성 홀 ( 332 ) 및 제 1 서브 전도성 홀 ( 352 ) 에 전도성 재료 ( 375 ) 를 충전 하 고 , 상기 전도성 재료 ( 375 ) 는 또한 격리 층 ( 310 ) 을 커버 한다 . 도 34 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 격리 층 ( 110 ) 의 전도성 재료 ( 175 ) 에 대해 패 터닝 처리 하 여 , 상기 격리 층 ( 310 ) 으로부터 돌출 되 고 상기 제 1 전극 ( 320 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 1 전도성 플러그 ( 372 ) , 상기 압 전 층 ( 330 ) 으로부터 돌출 되 고 상기 제 2 전극 ( 340 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 2 전도성 플러그 ( 371 ) , 및 상기 압 전 층 ( 330 ) 으로부터 돌출 되 고 상기 연결 단 ( 365 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 3 전도성 플러그 ( 373 ) 를 형성 한다 .