웨이퍼 ( W ) 는 이송 로봇 ( 40 ) 에 의해 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 에 로딩 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 는 제 2 플레이트 ( 240 ) 의 온도 보다 낮 다 . 웨이퍼 ( W ) 가 제 2 플레이트 ( 240 ) 상 에 놓여진 후 , 웨이퍼 ( W ) 와 제 1 플레이트 ( 140 ) 사이 에 는 열전달 이 이루어지 며 , 웨이퍼 ( W ) 는 점차 가열 된다 .