표면 노즐 ( 71 ~ 73 ) 중 적어도 약액 노즐 ( 71 ) 은 , 당해 약액 노즐 ( 71 ) 로부터 토출 되 는 에칭 액 ( 약액 ) 의 토출 방향 을 변경 할 수 있 도록 마련 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 예 를 들 면 , 도 4 의 ( a ) 에 개략 적 으로 나타내 는 바 와 같이 , 노즐 홀더 ( 74 ) 를 수평 축선 둘레 로 회전 시키 는 노즐 홀더 회전 기구 ( 노즐 방향 조절 기구 ) ( 90 ) 를 마련 할 수 있 다 . 노즐 홀더 회전 기구 ( 90 ) 는 , 예 를 들 면 로드 ( 751 ) 와 노즐 홀더 ( 74 ) 사이 에 개재 시킬 수 있 다 . 노즐 홀더 회전 기구 는 로드 ( 751 ) 를 수평 축선 둘레 로 회전 시키 는 기구 여도 된다 . 실린더 모터 ( 75 ) 전체 를 요동 시키 는 기구 에 의해 , 약액 노즐 ( 71 ) 의 방향 을 변경 할 수 도 있 다 . 또한 도 4 의 ( a ) 에 개략 적 으로 나타내 는 바 와 같이 , 노즐 홀더 ( 74 ) 에 , 적어도 약액 노즐 ( 71 ) 을 연직 축선 둘레 로 회전 시키 는 노즐 회전 기구 ( 노즐 방향 조절 기구 ) ( 91 ) 를 마련 해도 된다 . 약액 노즐 ( 71 ) 로부터 의 약액 의 토출 방향 을 변화 시킬 수 있 다면 , 예시 한 노즐 방향 조절 기구 ( 90 , 91 ) 이외 의 노즐 방향 조절 기구 를 마련 해도 된다 . 노즐 방향 조절 기구 를 마련 함 으로써 , 후술 하 는 각도 ( φ ) 및 각도 ( θ ) 중 적어도 일방 을 변경 할 수 있 다 .