또한 , 온도 센서 ( 82 ) , 액면 높이 센서 ( 83 ) , 가열 전원 ( 81 ) , 기체 유량 조정 밸브 ( 78 a ) 및 온도 조 절부 ( 76 a ) 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 온도 센서 ( 82 ) 와 액면 높이 센서 ( 83 ) 에 의해 검출 된 검출 신호 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 에 전달 되 고 , 컨트롤러 ( 100 ) 로부터 의 제어 신호 가 가열 전원 ( 81 ) , 기체 유량 조정 밸브 ( 78 a ) , 유량 제 어부 ( 79 c ) 및 온도 조 절부 ( 76 a ) 에 전달 되 어 , 가열 전원 ( 81 ) , 기체 유량 조정 밸브 ( 78 a ) , 유량 제 어부 ( 79 c ) 및 온도 조 절부 ( 76 a ) 가 제어 되 도록 되 어 있 다 .