노광 에 있 어서 , 광원 부 ( 212 ) 로부터 발생 한 광속 은 , 조명 광학계 ( 214 ) 에 의해 레티 클 ( 220 ) 을 조명 한다 . 레티 클 ( 220 ) 의 패턴 은 , 투영 광학계 ( 100 ) 에 의해 , 액체 LW 을 거쳐서 웨이퍼 ( 240 ) 에 결상 된다 . 노광 장치 ( 200 ) 에 사용 하 는 투영 광학계 ( 100 ) 는 , 스루풋 이 높 고 , 품질 이 좋 으며 , 경제 성 이 좋 은 디바이스 ( 반도체 소자 , LCD 소자 , 촬영 소자 ( CCD 등 ) , 박막 자기 헤드 등 ) 을 제공 할 수 있 다 .