본 발명 은 단백질 칩 기판 및 그 제조 방법 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 아민 기능 성 그룹 을 가진 플 라즈 마 중합 된 에틸렌다이아민 ( PPEDA ) 과 비 특이 성 흡착 이 없 는 플 라즈 마 중합 된 싸이클 로 핵산 ( PPCHex ) 을 유도 결합 형 플 라즈 마 화학 기상법 ( Inductively Coupled Plasma - Chemical Vapor Deposition ; ICP - CVD ) 을 사용 하 여 증착 함 으로써 슬라이드 표면 에 발생 하 는 비 특이 성 흡착 을 제거 하 는 단백질 칩 기판 의 제조 방법 및 상기 방법 으로 제조 된 단백질 칩 기판 에 관한 것 이 다 .