도 6 은 , 일 실시 형태 에 따른 군 A , 군 B 및 군 C 의 할로젠화물 의 비점 을 나타내 는 도면 이 다 . 도 6 ( a ) 의 실선 의 틀 내 에 나타내 는 군 A 의 불화물 은 모두 0 ℃ 보다 낮 은 비점 을 가진다 . 즉 , 이 들 불화물 은 , 실온 ( 15 ∼ 25 ℃) 및 상압 ( 약 100 kPa : 대기압 ) 의 환경 에 있 어서 항상 기체 상태 이 며 , 용이 하 게 제거 할 수 있 다 . 따라서 , 군 A 의 잔사 는 , F 함유 가스 의 플 라즈 마 에 의해 불화 시켜 클리닝 할 수 있 다 . 단 , 제 2 클리닝 공정 에 있 어서 사용 하 는 가스 는 , 불소 함유 가스 에 한정 되 지 않 고 , 염소 ( Cl ) 함유 가스 , 브로민 ( Br ) 함유 가스 , 아이오딘 ( I ) 함유 가스 여도 된다 . 환언 하 면 , F 함유 가스 , 염소 함유 가스 , 브로민 함유 가스 , 아이오딘 함유 가스 중 적어도 어느 하나 의 가스 에 의해 군 A 의 할로젠화물 을 생성 함 으로써 제거 할 수 있 다 .