상기 임피던스 ( impedance ) 조절 수단 ( 122 a , 122 b , 126 ) 은 가변 콘덴서 로 상기 상부 챔버 ( 110 ) 내벽 그리고 상부 전극 ( 114 ) 과 의 공간 에 수평선 상 으로 구비 되 는 배 플 ( 120 a ) 과 , 상기 하부 챔버 ( 112 ) 내벽 그리고 하부 전극 ( 116 ) 과 의 공간 에 수평선 상 으로 구비 되 는 배 플 ( 120 b ) 및 상기 하부 챔버 ( 112 ) 의 내벽 둘레 즉 , 상하 배 플 ( 120 a , 120 b ) 과 소정 거리 이격 되 며 서로 연결 된 상태 로 사방 에 구비 되 는 월 라이너 ( Wall liner : 124 ) 에 각각 연결 된다 .