도 1 내지 도 13 은 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 의 일 실시 형태 및 그 변형 예 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 이 중 도 1 은 기판 처리 장치 의 내부 구성 을 도시 하 는 상면 도 이 고 , 도 2 는 기판 처리 장치 의 내부 구성 을 도시 하 는 측면도 이 며 , 도 3 은 기판 처리 장치 의 처 리조 를 도시 하 는 종단 면도 이 고 , 도 4 는 기판 처리 장치 의 린스 장치 를 도시 하 는 종단 면도 이 며 , 도 5 는 처 리조 및 린스 장치 를 가 동식 셔터 와 함께 도시 하 는 상면 도 이 고 , 도 6 은 처리 유닛 의 개략 구성 을 도시 하 는 모식도 이 며 , 도 7 은 처리 유닛 에 편입 된 공급 액량 이상 검출기 의 구성 을 설명 하 기 위한 모식도 이 다 .