지지대 ( 40 ) 는 취 출 전극 ( 42 ) 을 갖 고 있 다 . 취 출 전극 ( 42 ) 은 정전 척 ( 20 ) 의 급전 전극 ( 25 ) 에 연결 된다 . 취 출 전극 ( 42 ) 은 전원 ( 70 ) 에 연결 된다 . 전원 ( 70 ) 은 , 워크 기판 ( W ) 를 흡착 하 는 데 필요 한 전압 을 취 출 전극 ( 42 ) 및 급전 전극 ( 25 ) 을 통해 흡착 전극 ( 22 ) 에 공급 한다 .