바람직 하 게 는 , 상기 처리 실 내 에 상기 기판 이 없 는 상태 에서 , 상기 처리 실 내 의 온도 를 상기 처리 온도 보다 낮 은 온도 까지 강하 시키 고 상기 처리 실 내 에 퇴적 한 상기 박막 에 열 충격 을 주 어 강제 적 으로 크랙 을 발생 시키 며 , 상기 처리 실 내 에 부착 한 부착력 이 약한 부착물 을 강제 적 으로 박리 시켜 , 상기 처리 실 내 를 가스 퍼지 하 는 공정 을 더 포함 한다 .