이 와 같 은 하부 패턴 ( 22 ) 을 형성 하 기 위해 , 도 1 내지 도 9 에서 , 평면 적 으로 제 1 마스크 패턴 ( 42 ) 에 대해 소정 각도 를 갖 는 제 2 마스크 패턴 ( 72 ) 이 형성 될 수 있 다 . 즉 , 제 2 마스크 패턴 ( 72 ) 은 평면 적 으로 제 1 마스크 패턴 ( 42 ) 에 대해 0 도 이상 90 도 이하 또는 90 도 이상 180 이하 의 각도 를 가질 수 있 다 .