플라 즈 마 발생 수단 ( 810 , 820 ) 은 거치대 ( 710 ) 의 외측 영역 에 마련 되 는 플 라즈 마 전극 ( 810 ) 및 상기 플 라즈 마 전극 에 플 라즈 마 전원 을 공급 하 는 전원 공급 부 ( 820 ) 을 포함 한다 . 본 실시 예의 전원 공급 부 ( 820 ) 는 플 라즈 마 전극 ( 810 ) 에 고주파 전원 을 공급 하 며 , 임피던스 정합 부 ( 821 ) 를 통해 고주파 전원 의 최대 파워 와 플라 즈 마 전극 ( 810 ) 의 부하 사이 의 임피던스 를 정합 하 여 공급 한다 . 한편 , 상기 플 라즈 마 전극 ( 810 ) 은 기판 ( 10 ) 형상 에 대응 하 는 평판 형성 및 링 형상 으로 제작 되 어 , 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 에 보다 밀 한 분포 를 갖 는 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 있 으므로 , 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 에 대한 플 라즈 마 처리 를 보다 효과 적 으로 수행 할 수 있 다 .