상기 한 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 는 기판 이 투입 되 어 공정 이 진행 되 는 복수 의 공정 챔버 ; 상기 공정 챔버 사이 에 설치 되 어 기판 을 공정 챔버 로 공급 하 는 이송 챔버 ; 상기 이송 챔버 의 전단 에 설치 되 어 외부 로부터 로딩 된 기판 을 진공 상태 에서 이송 챔버 로 공급 하 는 로드 락 ; 로드 락 에 설치 된 로드 락 컨베이어 ; 및 상기 로드 락 의 입구 및 출구 에 각각 설치 되 어 상기 로드 락 컨베이어 와 연결 되 는 제 1 컨베이어 및 제 2 컨베이어 로 구성 되 며 , 상기 로드 락 컨베이어 는 복수 의 층 으로 이루어지 고 복수 의 로드 락 컨베이어 각각 에 는 가이드 바 가 설치 되 어 해당 로드 락 컨베이어 를 상승 및 하강 시키 는 것 을 특징 으로 한다 .