또한 본 제 2 실시 형태 에서 는 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 의 베이스 라인 계 측시 등 에 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 , AL 24 ) 에 X 축 방향 에서 인접 하 는 헤드 ( 1673 , 1682 ) 가 FD 바 ( 46 ) 의 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 각각 대향 하 고 , 그 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 대향 하 는 헤드 ( 1673 , 1682 ) 에 의해 FD 바 ( 46 ) 의 Y 위치 가 각각 의 기준 격자 ( 52 ) 의 위치 에서 계측 된다 . 이하 에서 는 , 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 에 각각 대향 하 는 헤드 ( 1673 , 1682 ) 에 의해 구성 되 는 인코더 를 Y 리니어 인코더 ( 적절히 「 Y 인코더 」 또는 「 인코더 」 라고 도 약기 한다 ) ( 170 G , 170 H ) ( 도 32 참조 ) 라고 한다 . 또한 Y 인코더 ( 170 G , 170 H ) 는 , 인코더 ( 170 C , 170 D ) 를 구성 하 는 일부 의 헤드 ( 1673 , 1682 ) 가 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 에 대향 함 으로써 , 2 D 헤드 가 아니 라 Y 헤드 로서 기능 하 는 것 에 주목 하 여 이 와 같이 칭하 는 것 이 다 . 이하 에서 도 편의 상 , XY 인코더 ( 170 C , 170 D ) 외 에 Y 인코더 ( 170 G , 170 H ) 가 존재 하 는 것 으로 하 여 설명 한다 .