상기 기판 지지 부 는 , 상기 기판 이 안착 되 는 몸 체부 와 , 상기 몸 체부 내측 중심 영역 에 마련 된 상기 제 1 전극 과 , 상기 몸 체부 내측 가장자리 영역 에 마련 된 상기 제 2 전극 과 , 상기 제 1 전극 에 상기 기판 고정 을 위한 전원 을 공급 하 는 고정 전원 공급 부 와 , 상기 제 2 전극 에 바이어스 전원 을 공급 하 는 바이어스 전원 공급 부 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .