상기 복수 개 의 노즐 들 은 감광액 을 토출 하 는 감광액 노즐 들 을 포함 하 고 , 상기 처리 액 배관 들 은 상기 감광액 노즐 들 로 감광액 을 공급 하 는 감광액 배관 들 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 복수 개 의 노즐 들 은 프리 웨트 ( Pre - wet ) 공정 을 위한 유기 용제 를 토출 하 는 유기 용제 노즐 을 더 포함 하 고 , 상기 처리 액 배관 들 은 상기 유기 용제 노즐 로 유기 용제 를 공급 하 는 유기 용제 배관 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 처리 액 공급 유닛 은 유기 용제 공급원 과 상기 유기 용제 배관 을 연결 하 는 유기 용제 공급 라인 과 상기 유기 용제 공급 라인 상 에 설치 되 며 상기 유기 용제 노즐 에 음압 을 작용 시키 는 흡입 부재 를 더 포함 할 수 있 다 .