" 본 발명 의 구체 예 는 "" 롤링 마스크 "" 리소그래피 를 위한 근 접장 광학 리소그래피 마스크 의 제작 에 유용 한 방법 에 관한 것 이 다 . 실린더 형 마스크 는 위상 반전 리소그래피 또는 플라스몬 프린팅 을 위한 마스크 를 얻 는 데 바람직 한 피쳐 로 패턴 화 된 중합체 로 코팅 된다 . 중합체 ( 예 ", 엘라스토머 ) 는 실린더 표면 상 에 배치 되 기 이전 에 또는 이후 에 패턴 화 될 수 있 다 .