상기 본 발명 의 다른 과제 를 달성 하 기 위한 예시 적 인 실시 예 들 에 따른 기판 처리 장치 에서 리프트 핀 정렬 장치 는 , 기판 플레이트 로부터 상승 된 복수 개 의 리프트 핀 들 상 에 배치 되 어 상기 리프트 핀 들 이 이루 는 평면 의 지면 에 대한 기울기 를 검출 하 기 위한 레벨 링 센서 , 상기 레벨 링 센서 로부터 수신 된 센싱 값 들 에 기초 하 여 상기 리프트 핀 들 이 이루 는 평면 의 기울기 를 산출 하 고 상기 리프트 핀 들 을 수평 상태 로 정렬 하 기 위한 리프트 핀 제어 신호 를 출력 하 는 제 어부 , 및 상기 리프트 핀 제어 신호 에 따라 상기 리프트 핀 들 을 이동 시키 기 위한 리프트 핀 구동 부를 포함 한다 .