또한 , Y 간섭계 ( 18 Y ) 는 , 측장 빔 ( B 41 , B 42 ) 사이 에 Z 축 방향 으로 소정 간격 을 두 고 Y 축 방향 의 측장 축 을 따라 측장 빔 ( B 3 ) 을 이동경 ( 43 ) 의 XZ 평면 에 평행 한 중앙 반사면 을 향하 여 조사 하 고 , 그 중앙 반사면 에서 반사 된 측장 빔 ( B 3 ) 을 수 광 함 으로써 , 이동경 ( 43 ) 의 중앙 반사면 ( 즉 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ) 의 Y 축 방향 의 위치 를 검출 하 고 있 다 .