이하 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 에서 , 제 1 기판 반송 장치 ( 700 ) 에 의해 , 선행 공정 으로부터 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로 기판 을 반송 하 는 과정 및 제 1 노광 장치 ( 181 ) 및 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로부터 후행 공정 으로 기판 을 반송 하 는 과정 에 대하 여 설명 한다 .