도 13 b 를 참조 하 면 , 도 13 a 에 도시 된 희생 막 들 ( 303 ) 은 도 12 를 참조 하 여 상술 한 슬릿 을 통해 제거 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 층간 절 연막 들 ( 301 ) 사이 의 공간 이 개구 되 어 층간 공간 들 ( 340 ) 이 정의 될 수 있 다 . 지지 구조 들 ( 331 A ) 을 통한 지지 에 의해 개구 된 층간 공간 들 ( 340 ) 의 변형 을 줄일 수 있 다 .