상기 상부 전극 과 상기 하부 전극 의 간격 을 조절 하 는 단계 는 다양 한 공정 조건 에 따라 상기 간격 을 달리 하 여 공정 률 을 측정 하 는 단계 , 측정 된 상기 공정 률 로부터 주어진 공정 조건 에 따른 최적 의 간격 을 결정 하 는 단계 , 그리고 상기 상부 전극 과 상기 하부 전극 의 간격 을 상기 최적 의 간격 으로 조절 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .