또한 , 지지 축 부재 ( 23 ) 에서 의 처리 용기 ( 10 ) 의 외측 에 는 , 플랜지 ( 25 ) 가 마련 되 어 있 다 . 그리고 , 이 플랜지 ( 25 ) 와 , 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 에서 의 지지 축 부재 ( 23 ) 의 관 통부 사이 에 는 , 지지 축 부재 ( 23 ) 의 외주 부 를 둘러싸 도록 , 벨로우즈 ( 26 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 처리 용기 ( 10 ) 의 기밀 이 유지 된다 .