[ 0071 ] 제 2 증착 장치 는 , 본원 에 설명 된 증착 장치 들 중 임의 의 장치 의 공급 어 레인지 먼 트 에 따라 구성 될 수 있 는 제 2 공급 어 레인지 먼 트 를 포함 할 수 있 다 . 특히 , 제 2 공급 어 레인지 먼 트 는 , 제 2 증착 장치 의 제 2 증착 소스 에 대한 매체 공급 라인 들 을 위한 공급 통로 를 형성 하 는 스티 프 튜브 엘리먼트 를 포함 할 수 있 다 . 추가 로 , 제 2 공급 어 레인지 먼 트 는 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 를 적어도 부분 적 으로 둘러쌀 수 있 고 그리고 스 티 프 튜브 엘리먼트 의 축 을 따라 압축 가능 하 고 수축 가능 할 수 있 는 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 공급 어 레인지 먼 트 의 스 티 프 튜브 엘리먼트 는 제 1 증착 소스 의 공급 어 레인지 먼 트 의 스 티 프 튜브 엘리먼트 와 , ( 스티 프 튜브 엘리먼트 들 이 개개 의 진공 챔버 밖 으로 돌출 될 때 서로 간섭 하 지 않 도록 ) 예컨대 , 그 들 사이 에 오프셋 ( offset ) 을 가지 면서 평행 하 게 배치 될 수 있 다 . 따라서 , 공급 어 레인지 먼 트 및 제 2 공급 어 레인지 먼 트 둘 모두 가 제 1 방향 ( 150 ) 으로 , 특히 서로 평행 하 게 이동 가능 할 수 있 다 .