일반 적 으로 , 박막 형성 공정 ( 150 ) 을 진행할 때 에 는 온도 가 변화 함 에 따라 가요 성 기판 ( 130 ) 이 비교 적 큰 팽창 계수 를 구비 하 고 , 온도 상승 과정 에서 현저 한 체적 변화 가 나타나 게 된다 . 박막 형성 공정 ( 150 ) 을 진행할 때 에 는 경질 기판 ( 110 ) 위 에 접착 된 가요 성 기판 ( 130 ) 이 팽창 하 거나 수축 하 면서 가요 성 기판 ( 130 ) 을 제 2 밴 딩 방향 B 2 로 밴 딩 시키 거나 변형 시켜 노출 이나 초점 불량 등 의 문제 를 야기 한다 . 따라서 본 발명 에서 는 버퍼 층 ( 120 ) 의 배치 를 통해 가요 성 기판 ( 130 ) 이 박막 형 성공 정 ( 150 ) 중 에 밴 딩 되 는 정도 를 감소 시킨다 . 구체 적 으로 는 , 버퍼 층 ( 120 ) 의 열팽창 계수 가 가요 성 기판 ( 130 ) 과 경질 기판 ( 110 ) 사이 에 있 을 때 에 는 , 버퍼 층 ( 120 ) 의 열팽창 과 수축 으로 인해 가요 성 기판 ( 130 ) 이 박막 형성 공정 ( 150 ) 중 야기 하 는 밴 딩 현상 을 감소 시킬 수 있 다 . 그러나 버퍼 층 ( 120 ) 의 열팽창 계수 가 경질 기판 ( 110 ) 의 열팽창 계수 보다 작 거나 동일 하 면 , 버퍼 층 ( 120 ) 을 형성 할 때 생성 된 응력 으로 박막 형성 공정 ( 150 ) 중 가요 성 기판 ( 130 ) 에 생성 된 열팽창 수축 의 응력 을 상쇄 시킬 수 있 다 . 본 실시 예 에서 는 버퍼 층 ( 120 ) 을 형성 할 때 , 공정 조건 을 통제 함 으로써 버퍼 층 ( 120 ) 과 경질 기판 ( 110 ) 에 생성 된 밴 딩 의 제 1 밴 딩 방향 B 1 과 가요 성 기판 ( 130 ) 에 생성 된 밴 딩 의 제 2 밴 딩 방향 B 2 를 대략 상반 되게 만들 수 있 다 . 이렇게 할 경우 , 가요 성 기판 ( 130 ) 이 온도 변화 에 따라 체적 에 변화 가 생겨 제 2 밴 딩 방향 B 2 로 밴 딩 되 는 양 을 크 게 감소 시킬 수 있 으며 , 이 로 인해 가요성 어레이 기판 의 공정 수율 도 효과 적 으로 제고 할 수 있 다 .