한편 , 웨이퍼 척 ( 140 ) 의 외부 측 에 는 텐션 스토퍼 ( 160 ) 가 설치 될 수 있 다 . 이때 텐션 스토퍼 ( 160 ) 는 복수 개 로 형성 될 수 있 고 복수 개 의 텐션 스토퍼 ( 160 ) 는 웨이퍼 척 ( 140 ) 의 원주 방향 을 따라 일정 간격 이격 되 어 설치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 프로브 카드 구 조체 ( 120 ) 및 척 구조 체 ( 100 ) 가 결합 시 텐션 스토퍼 ( 160 ) 에 의해 충격 이 완화 될 수 있 다 . 텐션 스토퍼 ( 160 ) 의 구체 적 인 내용 은 후술 한다 .