본 발명 은 압축 공기 에 의해 기판 을 부상 시켜 이송 시키 는 기판 이송용 척 에 있 어서 중앙 에 공기 주입구 가 형성 된 상부 플레이트 와 상기 상부 플레이트 의 하부 에 설치 되 며 , 다 수개 의 체결 공 이 구비 되 고 상면 중앙 에 는 상기 공기 주입구 와 대응 되 게 분기 홀 이 형성 되 며 , 상기 체결 공과 상기 분기 홀 은 공기 유로 를 매개 로 연결 된 하부 플레이트 와 상기 체결 공 에 삽입 , 고정 되 고 상기 공기 유로 와 연통 되 도록 연결 홈 이 형성 된 끼움 관부 와 그 끼움 관부 의 하부 에 구비 되 는 플랜 지부 를 포함 하 는 노즐 부 로 구성 된 것 을 특징 으로 한다 .