도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 종래 의 스핀들 어셈블리 는 , 복수 개 의 웨이퍼 ( 10 ) 를 지지 하 도록 형성 된 복수 개 의 스핀들 포크 ( 20 ) 와 , 상기 복수 개 의 스핀들 포크 ( 20 ) 가 결합 되 는 스핀들 원판 ( 30 ) 과 , 상기 스핀들 원판 ( 30 ) 의 중심 에 결합 되 어 상기 스핀들 원판 ( 30 ) 을 회전 시키 도록 형성 된 주축 ( 40 ) 과 , 상기 주축 ( 40 ) 또는 상기 주축 ( 40 ) 둘레 에 형성 된 제 1 풀리 ( 42 ) 의 외주 면 을 따라 무한궤도 를 갖 고 회전 되 면서 상기 주축 ( 40 ) 을 회전 시키 는 회전 동력 을 전달 하 는 벨트 ( 50 ) 와 , 상기 주축 ( 40 ) 또는 상기 제 1 풀리 ( 42 ) 에 대응 되 는 상기 벨트 ( 50 ) 의 내측 에서 상기 벨트 ( 50 ) 를 회전 시키 는 제 2 풀리 ( 60 ) 와 , 상기 제 2 풀리 ( 60 ) 의 중심 에서 상기 제 2 풀리 ( 60 ) 를 회전 시키 는 풀리 축 ( 62 ) 과 , 상기 풀리 축 ( 62 ) 을 회전 시키 는 회전 동력 을 생성 하 는 모터 ( 70 ) 와 , 상기 모터 ( 70 ) 에서 생성 된 회전 동력 에 의해 일 방향 으로 회전 되 는 모터 축 ( 72 ) 과 , 상기 모터 축 ( 72 ) 및 상기 풀리 축 ( 62 ) 을 결합 시키 는 스프 로 킷 축이음 ( sprocket shaft coupling ) 장치 를 포함 하 여 구성 된다 .