이후 제 3 도전 물질 층 ( 43 c ) 상 에 감광성 유기 막 을 형성 하 고 이 를 노광 하 고 현상 하 여 유기 막 패턴 ( PRb ) 을 형성 한다 . 유기 막 패턴 ( PRb ) 을 형성 하 기 위한 상기 감광성 유기 막 의 노광 / 현상 공정 은 차 광부 , 반투 과부 및 투 과부 를 포함 하 는 멀티 톤 마스크 , 예컨대 하프톤 마스크 ( half tone mask ) 를 이용 하 여 진행 될 수 있 다 .