도 10 및 도 14 에 나타내 는 예 에 있 어서 도 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 천 정부 ( 39 ) 에 형성 된 오 목부 ( 50 ) 의 하 면 개구 를 덮개 체 ( 7 , 8 ) 에 의해 기밀 하 게 막 고 , 지지 부재 ( 71 ) 를 오목 부 ( 50 ) 내 에 있 어서 의 위치 와 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 에 있 어서 의 반송 위치 와 의 사이 에서 승강 이 자유 롭 게 구성 하 고 , 오 목부 ( 50 ) 와 덮개 체 ( 7 , 8 ) 에 의해 형성 된 구획 공간 ( S ) 에서 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 소정 의 처리 를 행하 도록 해도 좋 다 . 또한 , 지지 부재 ( 71 ) 와 덮개 체 ( 7 ) 를 별개 로 승강 시키 도록 해도 좋 다 .