워크 의 온도 변화 에 의한 Warp 의 형상 은 , 실리콘 의 열팽창 계수 , 본 시험 으로 의 워크 의 고정 방법 , 및 본 시험 에 사용 한 와이어 쏘 로 의 , 홈 롤러 와 워크 의 위치 관계 로부터 , 워크 의 양단 방향 의 면 에 대해 오 목면 이 며 , 워크 의 양단 으로 5 μ m 정도 의 Warp 가 생성 되 어 있 다고 추측 되 었 다 .