표 7 의 데이터 는 세정 제형 의 pH 값 이 9 내지 12 였을 때 , 세정 제형 FE - 13 내지 FE - 15 가 일반 적 으로 규소 기판 상 의 블랭킷 필름 으로서 하나 이상 의 금속 또는 유전체 ( 예컨대 , W 합금 , Co , AlOx , TiOx 및 TiN ) 의 부식 또는 에칭 의 감소 를 나타냄 을 보여준다 . 제형 FE - 16 은 적어도 부분 적 으로 더 높 은 pH ( 즉 , > 12 ) 로 인해 FE - 13 내지 FE - 15 보다 금속 또는 유전체 의 더 높 은 부식 수준 을 나타내 었 다 .