도 13 에 도시 된 것 과 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 노치 ( 절 결부 ) ( WN ) 가 , 평면 에서 보 아 , a ' 점 , b ' 점 , c ' 점 , d ' 점 중 어느 하나 의 근방 에 도 없 을 때 에 는 , a ' 점 , b ' 점 , c ' 점 , d ' 점 중 , 어느 3 점 의 조합 에 대응 하 여 산출 한 반경 R ' 도 반경 R 과 대략 같 게 된다 . 이 때 에 는 , 4 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 것 도 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 하 고 있 지 않 다고 판정 된다 .