본 발명 의 제 11 형태 는 , 로더 모듈 내 의 대기 반송 로봇 이 , 포트 에 배치 된 카세트 내 의 기판 을 제 1 로드 록 챔버 및 제 2 로드 록 챔버 에 반송 하 는 대기 반송 공정 과 , 상기 제 1 로드 록 챔버 에 연결 되 는 제 1 트랜스퍼 챔버 내 의 제 1 진공 반송 로봇 이 , 상기 제 1 로드 록 챔버 에 반송 되 는 기판 을 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 1 진공 반송 공정 과 , 상기 제 1 진공 반송 공정 과 병행 되 어 실행 되 고 , 상기 제 2 로드 록 챔버 에 연결 되 는 제 2 트랜스퍼 챔버 내 의 제 2 진공 반송 로봇 이 , 상기 제 2 로드 록 챔버 에 반송 되 는 기판 을 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 2 진공 반송 공정 을 구비 하 고 , 상기 제 1 진공 반송 로봇 이 기판 을 반송 하 는 제 1 반송 루트 및 상기 제 2 진공 반송 로봇 이 기판 을 반송 하 는 제 2 반송 루트 가 서로 높이 가 다른 위치 에 마련 되 고 , 상기 제 1 반송 루트 의 적어도 일부 와 상기 제 2 반송 루트 의 적어도 일부 가 상하 방향 으로 겹치 고 , 상기 제 2 진공 반송 로봇 은 상기 제 1 진공 반송 로봇 보다 도 상기 로더 모듈 로부터 분리 된 위치 까지 기판 을 반송 하 는 기판 처리 방법 이 다 .