나아가 , 정공 주입 층 을 형성 하 는 과정 에서 , 어닐링 을 수행 하 는 단계 를 더 포함 하 되 , 해당 어닐링 은 순차 적 으로 수행 되 는 고온 어닐링 및 저 온 어닐링 을 포함 하 고 , 여기 서 고온 어닐링 의 온도 는 850 ~ 950 ℃ 이 고 , 시간 은 10 s ~ 20 min , 바람직 하 게 는 30 s ~ 10 min , 나아가 30 s ~ 5 min 이 고 ; 저온 어닐링 의 온도 는 650 ~ 750 ℃ 이 고 , 시간 은 1 ～ 60 min , 바람직 하 게 는 2 ~ 30 min 이 다 .