게다가 탄소 밀도 가 높 은 부분 구조 로서 인데 노 플 루 오렌 구조 를 갖 는 유기 막 재료 의 화합물 또는 중합체 로서 특허 문헌 7 에 기재 된 단 분자 형 의 나프톨 구조 를 갖 는 단 분자 화합물 이나 그것 을 이용 한 노볼락 수지 등 이 예시 되 지만 , 산소 원자 를 복수 포함 하 는 구조 를 반복 단위 에 이용 하 고 있 기 때문 에 에칭 내성 의 개선 여지 를 남기 는 것 이 었 다 .