본원 에 기술 된 화학식 A 내지 화학식 E 를 갖 는 규소 전구체 로 증착 된 막 은 , 동일 한 조건 하 에서 이전 에 개시 된 규소 전구체 로 증착 된 막 과 비교 할 때 , 개선 된 성질 , 예 를 들 어 , 비 제한 적 으로 , 처리 단계 전 에 막 의 습식 에칭 률 보다 낮 은 습식 에칭 률 또는 처리 단계 이전 의 밀도 보다 높 은 밀도 를 갖 는다 . 하나 의 특정 구체 예 에서 , 증착 공정 동안 , 증착 시 막 은 간헐 적 으로 처리 된다 . 이러 한 간헐 적 또는 중간 - 증착 처리 는 예 를 들 어 , 각 ALD 사이클 후 , 매 특정 수의 ALD 사이클 , 예 를 들 어 , 비 제한 적 으로 , 1 회 의 ALD 사이클 , 2 회 의 ALD 사이클 , 5 회 의 ALD 사이클 후 에 , 또는 매 10 회 이상 의 ALD 사이클 후 에 , 수행 될 수 있 다 .