다른 실시 예 에서 , 검출 시스템 이 제공 된다 . 검출 시스템 은 빔 스폿 처리 모듈 을 포함 하 고 있 다 . 빔 스폿 처리 모듈 은 복수 의 전자 감지 요소 중 인접 한 전자 감지 요소 들 사이 의 세기 신호 의 구배 에 기초 하 여 생성 된 세기 구배 세트 를 획득 하 도록 구성 되 어 있 다 . 빔 스폿 처리 모듈 은 또한 세기 구배 세트 에 기초 하 여 빔 스폿 의 적어도 하나 의 경 계부 를 결정 하 도록 구성 되 어 있 다 . 빔 스폿 처리 모듈 은 적어도 하나 의 경계 부 기초 하 여 , 복수 의 전자 감지 요소 중 제 1 세트 의 전자 감지 요소 가 빔 스폿 내 에 있 다는 것 을 결정 하 도록 더 구성 되 어 있 다 .