이어서 , 도 1 c 에 도시 한 바 와 같이 , 콘 택 홀 패턴 ( 6 ) 을 제거 한 후 , 배선 절 연막 ( 5 ) 상부 에 금속 배선 이 형성 되 는 트렌치 를 형성 하 기 위한 트렌치 ( trench ) 패턴 ( 8 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 트렌치 패턴 ( 8 ) 을 마스크 로 플 라즈 마 를 이용 한 건식 식각 에 의해 드러난 배선 절 연막 ( 5 ) 을 식각 하 여 제거 함 으로써 배선 절 연막 ( 5 ) 에 금속 배선 이 형성 되 는 트렌치 를 형성 시킨다 . 이때 , 제 2 식각 정지 막 ( 4 ) 은 층간 절 연막 ( 3 ) 의 상부 표면 에서 정확히 식각 이 끝나 고 , 층간 절 연막 ( 3 ) 의 상부 표면 부위 가 식각 되 는 것 을 방지 하 는 역할 을 한다 . 이 와 같이 , 층간 절 연막 ( 3 ) 의 상부 에 제 2 식각 정지 막 ( 4 ) 을 증착 함 으로써 배선 절 연막 ( 5 ) 의 식각 시 층간 절 연막 ( 3 ) 의 표면 으로부터 추가 식각 되 는 현상 을 방지 할 수 있 다 .