폴리 이미드 층 의 두께 는 주사 - 투과 전자 현미경 을 사용 해 측정 하 였 다 . 폴리 이미드 층 의 제 1 배치 는 , 성장 속도 가 4 ~ 6 Å / 사이클 일 때 25 증착 사이클 을 갖 는 단계 의 경우 5 nm 와 100 증착 사이클 을 갖 는 단계 의 경우 40 nm 사이 의 두께 를 갖 는 것 으로 밝혀졌 다 . 기판 의 W 표면 상 에 증착 된 폴리 이미드 의 양 은 실리콘 산화물 표면 상 에 증착 된 폴리 이미드 의 양 과 실질 적 으로 동일 하 였 다 . 따라서 , 이 방법 의 경우 160 ℃ 의 반응 온도 에서 의 증착 은 선택 적 이 지 않 았 다 .