우선 , 5 × 10 - 4 ㎩ 까지 진공 화 한 후 , 열음 극원 에 아르곤 을 도입 하 여 방전 을 발생 시켰 다 . 이 Ar 플 라즈 마로 부터 전자 빔 을 끌어내 어 소 결체 에 조사 하 였 다 . 이때 의 전류 는 20 A 였 다 . 이 와 같이 하 여 , 유리 기판 상 에 , 막 두께 가 약 120 ㎚ 인 투명 도전 성 산화물 이 형성 된 투명 도전 유리 를 얻 었 다 .