그리고 , 상기 제 2 다이어프램 ( 310 ) 의 내측 으로 는 중앙 에 원공 이 형성 된 판스프링 ( 320 ) 이 상기 판스프링 홀더 ( 321 ) 에 지지 되 어 있 어 , 이 판스프링 ( 320 ) 은 상기 제 2 다이어프램 ( 310 ) 을 도면 상 좌측 으로 탄성 지지 함 으로써 평상 시 제 2 다이어프램 ( 310 ) 이 상기 오리피스 ( 110 ) 를 폐쇄 시키 도록 한다 .