상기 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 구동 콤 전극 ( 17 ) 이 겹치 는 면적 이 클수록 커패시턴스 도 증가 하 기 때문 에 , 구 동판 ( 15 ) 이 수직 평행 운동 을 할 경우 , 커패시턴스 의 크기 는 도 3 a 의 그래프 와 같이 변화 한다 . 즉 , 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 구동 콤 전극 ( 17 ) 이 겹치 는 순간 부터 커패시턴스 는 선형 적 으로 증가 하 기 시작 한다 . 또한 , 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 구동 콤 전극 ( 17 ) 사이 에 작용 하 는 정전기력 Fe 는 , 인가 전압 이 일정 할 경우 커패시턴스 의 변화 율 에 비례 하 므로 , 도 3 b 의 그래프 와 같이 , 고정 콤 전극 ( 12 ) 과 구동 콤 전극 ( 17 ) 이 겹치 는 순간 ( z = - TBOX ) 급격 하 게 변화 한 후 일정 한 값 을 유지 한다 . 한편 , 정전기력 Fe 는 인가 전압 ( V ) 의 제곱 에 도 비례 하 므로 , 인가 전압 을 조절 하 여 구 동판 ( 15 ) 의 변위 를 조절 할 수 있 다 . 그런데 , 정전기력 Fe 가 z = - TBOX 에서 불 연속 성 을 갖 기 때문 에 , 도 3 c 의 그래프 와 같이 , 구 동판 ( 15 ) 의 변위 는 인가 전압 이 문턱 값 이상 이 될 때 까지 변화 하 지 않 는다 . 인가 전압 이 문턱 값 이상 이 되 면 , 상기 구 동판 ( 15 ) 은 z = - TBOX 의 위치 까지 급격 하 게 이동한 후 에 선형 적 인 운동 을 하 게 된다 . 따라서 , 도 2 a 에 도시 된 2 층 수직 콤 전극 구조 는 비교 적 큰 변위 는 얻 을 수 있 지만 , 문턱 값 이하 의 인가 전압 에서 선형 거동 이 불 가능 하 다 .