상기 리 쏘 그래픽 공정 중 대부분 은 이미지 화 층 , 예컨대 방사선 민감 성 레지스 트 재료 층 과 이면 층 간 의 반사 성 을 최소 화 시키 는 데 반사 방지 코팅 ( ARC ) 을 사용 하 여 해상도 를 증가 시킨다 . 　 그러나 , 패 터닝 후 ARC 의 에칭 중 에 많 은 이미지 화 층 도 소모 되 어 , 후속 에칭 단계 중 에 추가 의 패 터닝 이 필요 하 게 될 수 있 다 .