이어서 , 웨이퍼 반송 기구 ( 503 ) 의 반송 아암 ( 513 ) 이나 진공 반 송실 ( 313 ) 과 연통 되 어 있 는 중간 실 ( 323 ) 내 의 웨이퍼 승강 기구 ( 120 ) 등 을 이용 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 상기 중간 실 ( 323 ) 내 의 탑재 대 ( 110 ) 에 탑재 된다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 실온 으로 되돌려 지 기 때문 에 , 다음 공정 으로 진행 되 었 을 때 에 웨이퍼 ( W ) 의 급격 한 온도 변화 를 억제 할 수 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 나 탑 재 대 의 데미지 를 억제 할 수 있 다 .