벤트 제 어부 ( 114 ) 는 , 송액 부 ( 60 ) 로부터 보충 부 ( 50 ) 로 처리 액 을 되돌리 는 벤트 를 실행 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 벤트 제 어부 ( 114 ) 는 , 벤트 준비 부 ( 113 ) 에 의해 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 상태 에서 , 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 ( 76 ) ) 로부터 압송 부 ( 53 ) ( 펌프 ( 56 ) ) 에 처리 액 을 보내 는 벤트 를 개시 시킨다 . 벤트 제 어부 ( 114 ) 는 , 예 를 들 어 압송 부 ( 64 ) 로부터 압송 부 ( 53 ) 에 보내 지 는 처리 액 의 압력 ( 이하 , 「 벤트 압력 」 이 라고 함 ) 이 대략 일정 하 게 유지 되 어 , 당해 처리 액 의 단위 시간 당 유량 ( 이하 , 「 벤트 유량 」 이 라고 함 ) 이 대략 일정 하 게 유지 되 도록 , 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 구동 부 ( 77 ) ) 및 압송 부 ( 53 ) ( 펌프 구동 부 ( 57 ) ) 를 제어 해도 된다 .