건식 에칭 에 사용 하 는 에칭 가스 로 는 , 예 를 들 어 염소 를 포함 하 는 가스 ( 염소 계 가스 , 예 를 들 어 염소 ( Cl 2 ) , 3 염화 붕소 ( BCl 3 ) , 사염화규소 ( SiCl 4 ) , 사염화탄소 ( CCl 4 ) 등 ) 등 이 있 다 . 또한 , 불소 를 포함 하 는 가스 ( 불소 계 가스 , 예 를 들 어 4 불화 탄소 ( CF 4 ) , 6 불화 황 ( SF 6 ) , 3 불화 질소 ( NF 3 ) , 트리플 루 오로 메탄 ( CHF 3 ) 등 ) , 브롬화수소 ( HBr ) , 산소 ( O 2 ) , 이 들 가스 에 헬륨 ( He ) 이나 아르곤 ( Ar ) 등 의 희가스 를 첨가 한 가스 등 을 사용 할 수 있 다 .