도 3 b 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상 면도 를 나타낸다 . 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 을 통해 개방 유체 연통 으로 정의 된다 . 그러나 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상면 을 통해 유체 적 으로 노출 되 지 않 는다 . 이 에 따라 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 단지 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 내부 로 만 플 라즈 마 프로세스 가스 를 플로우 하 도록 정의 된다 . 반대 로 , 쓰루 홀 들 ( 117 ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 으로부터 배출 매니폴드 ( 103 ) 로 의 ( 또는 도 2 의 실시 형태 에서 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 로 의 ) 유체 연통 을 가능 하 게 하 도록 정의 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 쓰루 홀 들 ( 117 ) 을 통한 유체 플로우 는 주로 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 과 배출 매니폴드 ( 103 ) ( 또는 도 2 의 실시 형태 에서 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) ) 사이 의 압력 차분 에 의해 제어 된다 .