그런데 , 특허 문헌 1 에서 는 기판 형상 수정 용 으로 박막 을 기판 ( 비 광학 기능 면 ) 에 형성 할 필요 가 있 지만 , 일반 적 으로 원 하 는 박막 을 얻 기 위해서 는 미세 한 컨트롤 이 필요 하 게 된다 . 한편 , 기판 은 박 형 으로 할 필요 가 있 고 , 얇 은 기판 에 대해서 는 광학 막 에 의한 막 응력 에 의한 변형 의 정도 가 크 지만 , 동시 에 수정 용 박막 의 막 응력 도 강력 하 게 작용 한다 . 그렇게 하 면 , 광학 막 에 의한 막 응력 을 정확 하 게 또한 고정 밀도 로 수정 하 도록 박막 의 형성 정밀도 는 매우 미세 하 게 컨트롤 되 어야 해서 매우 곤란 하 다 .