참고 문헌 3 에 개시 된 기술 과 같이 , 노광 에 의해 형성 된 라인 패턴 의 선폭 의 변화 에 의거 하 여 로컬 플레어 를 측정 하 는 것 을 상정 한다 . 이 경우 에 , 로컬 플레어 가 감소 됨 에 따라 , 노광 에 의해 형성 된 라인 패턴 의 선폭 의 변화 도 비례 해서 감소 된다 . 레지스 트 패턴 의 선폭 은 , 로컬 플레어 의 존재 뿐 만 아니 라 , 선폭 측정 정밀도 에 관련 된 오차 나 프로세스 및 장치 에 기인 한 포커스 오차 등 의 여러 가지 오 차 에 의해서 도 변화 한다 . 따라서 , 로컬 플레어 의 존재 에 의한 , 노광 에 의해 형성 된 라인 패턴 의 선폭 의 극히 미세 한 변화 만 을 , 여러 가지 요인 에 의한 선폭 의 변화 로부터 추출 해서 , 로컬 플레어 를 정밀 하 게 측정 하 는 것 에 는 한계 가 있 다 .