다음 으로 , 약액 처리 가 실시 된다 ( 도 11 에 있 어서 의 스텝 ST 2 ) . 약액 처리 에서 는 , 제 어부 ( 7 ) 의 제어 로 약액 노즐 ( 52 ) 로부터 약액 이 토출 됨 으로써 , 회전 하 는 기판 ( W ) 의 에칭 처리 등 이 실시 된다 . 예 를 들 어 , 불화 수소산 ( HF ) 과 질산 ( HNO 3 ) 의 혼합액 인 불 질산 을 사용 하 여 , 기판 ( W ) 의 에칭 처리 가 실시 된다 .