도 8 은 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 에서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 에 재치 된 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대해 , 스텝 - 앤드 - 스캔 방식 의 노광 이 수행 되 고 , 이 와 동시 에 , 제 2 대기 영역 ( AW 2 ) 내 의 제 2 로딩 포지션 에서 , 웨이퍼 반송 기구 ( 미 도시 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 사이 에서 웨이퍼 교환 이 수행 되 는 상태 를 도시 한다 .