다음 으로 도 11 을 참조 하 면 , 상기 제 6 절 연막 ( 166 ) 의 전체 구조 상 에 절연 층 ( 168 ) 을 형성 하 고 , 제 4 하부 도전 성 플러그 ( 174 ) 와 제 1 내지 제 4 상부 도전 성 플러그 ( 181 , 191 , 201 , 211 ) 가 형성 된 영역 상 에 제 1 내지 제 5 외부 단자 ( 170 , 180 , 190 , 200 , 210 ) 를 형성 한다 .