카보닐 플 루오 라이드 와 질소 만 을 함유 하 는 혼합물 을 적용 하 는 경우 에 , 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 다 . 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 75 vol % 이하 이 다 . 질소 의 함량 은 바람직 하 게 25 vol % 이상 이 며 ; 바람직 하 게 99 vol % 이하 이 다 . 일 구 현예 에서 , 혼합물 은 카보닐 플 루오 라이드 및 질소 로 구성 된다 .