필라 구조물 ( 101 ) 의 바디 필라 ( 34 C ) 와 기판 ( 31 A ) 표면 상 에 게이트 절 연막 ( 36 ) 이 형성 되 고 , 게이트 절 연막 ( 36 ) 상 에서 바디 필라 ( 34 C ) 를 에워싸 는 게이트 전극 ( 37 ) 이 형성 된다 . 따라서 , 게이트 전극 ( 37 ) 은 필라 구조물 ( 101 ) 의 하부 측 인 바디 필라 ( 34 C ) 의 외벽 을 에워싸 는 환형 형태 일 수 있 다 .