몇몇 실시 예 들 에 따른 반도체 장치 에서 , 제 1 컨 택 ( 175 ) 의 상면 , 제 2 컨 택 ( 275 ) 의 상면 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 상면 및 제 2 층간 절 연막 ( 192 ) 의 상면 은 동일 평면 에 놓일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 의 상면 으로부터 제 1 컨 택 ( 175 ) 의 상면 까지 의 높이 는 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 의 상면 으로부터 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 상면 까지 의 높이 와 같 을 수 있 다 . 여기 에서 , " "" 높이 가 같 다 "" 는 의미 는 비교 되 는 2 개 의 위치 의 높이 가 완전히 동일 한 것 뿐 만 아니 라 ", 공정 과정 상 의 마진 등 으로 인해서 발생 할 수 있 는 미세 한 높이 의 차이 를 포함 하 는 의미 이 다 .