도 38 및 도 39 에 도시 된 바 와 같이 , 서로 대향 되게 배치 된 로드 챔버 ( 100 ) 와 언로 드 챔버 ( 110 ) 사이 에 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 가 연속 적 으로 배열 된다 . 로드 챔버 ( 100 ) 에 는 처리 전 피 처리 기판 ( 102 ) 이 로드 되 고 연속 된 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 를 진행 하 면서 단계 별 기판 처리 공정 이 수행 되 고 최종 적 으로 는 언 로드 챔버 ( 110 ) 에 처리 된 피처 기 기판 ( 112 ) 이 언 로드 된다 . 로드 챔버 ( 100 ) 와 언로 드 챔버 ( 110 ) 에 는 각기 피 처리 기판 을 핸들 링 하 기 위한 엑 츄 에 이터 ( 104 , 114 ) 가 구비 된다 .