일반 적 으로 , 로드 락 챔버 는 반송 대상 의 기판 보다 큰 면적 의 개구 를 가지 는 챔버 본체 와 , 챔버 본체 의 상부 개구 를 폐색 하 는 덮개 와 , 로드 락 챔버 의 출입구 에 배치 된 게이트 밸브 로 구성 된다 . 챔버 본체 와 덮개 사이 의 접촉면 , 및 챔버 본체 와 게이트 밸브 의 밸브 본체 사이 의 접촉면 에 는 O 링 등 의 씰 부재 가 설치 되 고 , 로드 락 챔버 의 밀폐 성 이 획득 된다 .