도 4 c 를 참조 하 면 , 상기 기판 의 제 2 영역 상 에 선택 적 으로 제 2 고분자 분해 수단 ( 146 ) 을 제공 한다 . 상기 제 2 고분자 분해 수단 ( 146 ) 은 복사선 또는 산소 플 라즈 마일 수 있 다 . 상기 복사선 은 산소 분위기 에서 조사 될 수 있 으며 , 상기 복사선 은 DUV ( deep UV ) , 소프트 X - 선 , 또는 E - 빔 일 수 있 다 . 상기 제 2 고분자 분해 수단 ( 146 ) 은 상기 제 1 고분자 분해 수단 ( 145 ) 과 종류 또는 에너지 가 다를 수 있 다 . 그 결과 , 상기 제 2 영역 의 제 1 내지 제 3 도메인 들 ( 140 A , 140 B , 140 C ) 중 적어도 하나 가 분해 되 되 , 상기 제 1 영역 에서 분해 된 부분 과 는 다른 부분 이 분해 될 있 다 . 일 예 로서 , 제 1 도메인 ( 140 A ) 및 제 3 도메인 ( 140 C ) 이 선택 적 으로 분해 될 수 있 다 .