도 13 을 참조 하 면 , 도 12 에 제시 된 OPC 된 레이아웃 ( 556 ) 에 대한 시뮬레이션 영상 ( image : 도 13 의 557 ) 이 도 13 에 제시 된 바 와 같이 얻 어 질 수 있 다 . 노광 과정 으로 도 1 에 제시 된 바 와 같 은 다이폴 조명계 를 채용 하 는 경우 를 고려 하 여 , OPC 된 레이아웃 ( 556 ) 에 대한 시뮬레이션 영상 을 얻 고 있 다 . 도 13 의 시뮬레이션 영상 ( 557 ) 의 결과 는 보조 패턴 ( 도 11 의 915 ) 의 도입 에 의해 스컴 이 매우 효과 적 으로 억제 됨 을 입증 하 고 있 다 .