그 다음 도 3 에 도시 된 바 와 같이 상기 제 1 도전 형 전도 층 ( 201 ) 의 n 형 불순물 을 활성 화 를 시키 기 위해 어닐링 공정 을 진행 한다 . 예 를 들 어 , 상기 어닐링 공정 은 레이 져 어닐링 ( Laser anneal ) 공정 을 진행 함 으로써 제 1 도전 형 전도 층 ( 201 ) 만 국부 적 으로 활성 화 시킬 수 있 게 된다 .