계속 해서 , 실시 예 및 비 교예 에서 형성 한 각각 의 Ru 막 에 대해서 , 주사 형 전자 현미경 ( SEM : Scanning Electron Microscope ) 에 의해 막 표면 의 상태 를 관찰 하 였 다 . 도 6 은 , SiO 2 막 의 표면 에 실리콘 을 흡착 시킴 으로 인한 작용 을 설명 하 기 위한 도면 이 며 , 실시 예 및 비 교예 에서 형성 한 Ru 막 의 표면 을 관찰 한 SEM 상 이 다 . 도 6 의 ( a ) 는 실시 예 중 공정 S 12 에서 의 Ru 함유 전구체 의 공급 시간 을 10 초 로 설정 했 을 때 의 평가 결과 를 도시 하고 , 도 6 의 ( b ) 는 비 교예 중 공정 S 12 에서 의 Ru 함유 전구체 의 공급 시간 을 10 초 로 설정 했 을 때 의 평가 결과 를 도시 한다 . 도 6 의 ( a ) 및 도 6 의 ( b ) 중 , 백색 영역 이 Ru 를 나타내 고 , 흑색 영역 이 SiO 2 막 을 나타낸다 . 또한 , SEM 상 을 공지 된 화상 처리 기술 에 의해 화상 처리 함 으로써 , SiO 2 막 이 Ru 막 에 의해 덮여 있 는 비율 ( 이하 , 「 피복 률 」 이 라고 함 ) 을 산출 하 였 다 .