카메라 들 ( 114 ) 이 기판 ( W ) 을 촬영 한 촬영 영역 ( 114 a ) 에 는 도 4 에 도시 된 바 와 같이 좌표계 ( 114 b ) 및 기준 위치 ( 114 c ) 가 설정 된다 . 좌표계 ( 114 b ) 는 기판 ( W ) 의 위치 를 판단 하 기 위한 값 을 계산 하 기 위해 제공 된다 . 좌표계 ( 114 b ) 는 서로 균등 한 간격 으로 평행 하 게 배치 되 는 복수 의 X 축들 및 Y 축 들 로 이루어진다 . 기준 위치 ( 114 c ) 는 기판 ( W ) 이 카메라 들 ( 114 ) 이 기판 ( W ) 을 촬영 하 기 위한 기판 ( W ) 의 위치 ( 이하 , ' 촬영 위치 ' 라 함 ) 에 정상 적 으로 위치 하 였을 때 , 좌표계 ( 114 b ) 상 에 위치 되 는 기판 ( W ) 의 위치 이 다 . 여기 서 , 촬영 위치 는 공정 시 로봇 암 ( 42 ) 에 의해 기판 ( W ) 이 공정 챔버 ( 52 ) 로 반입 되 기 바로 전 에 공정 챔버 ( 52 ) 의 기판 출입구 ( 54 ) 전방 에서 대기 할 때 의 기판 ( W ) 의 위치 인 것 이 바람직 하 다 .