바람직 한 실시 예 에서 , 기판 표면 측면 의 정렬 마크 가 반경 100 mm 이하 , 바람직 하 게 는 50 mm 이하 , 더욱 더 바람직 하 게 는 25 mm 이하 , 가장 바람직 하 게 는 10 mm 이하 , 궁극 적 으로 는 1 mm 이하 의 반경 을 갖 는 원 ( K ) 내 에 배치 되 도록 제공 된다 . 따라서 , 정렬 마크 를 검출 하 기 위한 렌즈 시스템 의 이동 경로 가 최소 화 될 수 있 어 , 렌즈 시스템 의 이동 으로 인한 최소 의 오 차 만 이 발생 한다 . 검출 용 렌즈 시스템 은 이동 될 필요 가 없 는 것 이 바람직 하 다 .