구동 부 ( 8 , 40 ) 는 제 1 및 제 2 구동 부를 포함 하 며 , 제 어부 ( 30 ) 의 제어 를 받 아서 스핀 헤드 ( 6 ) 및 노즐 부 ( 60 ) 를 구동 한다 . 즉 , 제 1 구 동부 ( 8 ) 는 공정 진행 중 에 분사 되 는 약액 에 대응 하 여 공정 챔버 ( 4 ) 내부 에서 스핀 헤드 ( 6 ) 의 위치 를 상하 로 이동 시키 고 , 스핀 헤드 ( 6 ) 를 회전 시킨다 . 제 2 구 동부 ( 40 ) 는 노즐 부 ( 60 ) 를 회전 및 상하 이동 시켜서 공정 위치 및 대기 위치 상호 간 에 노즐 부 ( 60 ) 를 구동 시킨다 .