바람직 하 게 , 보호막 ( 26 ) 은 감광막 으로 형성 하 는데 , 스토리지 노드 콘 택 홀 ( 25 ) 의 내부 를 매립 하 기 위해 다음 과 같 은 방법 으로 보호막 ( 26 ) 을 형성 한다 . 먼저 , 스토리지 노드 콘 택 홀 ( 25 ) 내부 를 매립 할 때 까지 전면 에 감광막 을 도포 한 후 , 전면 노광 을 통해 하드 마스크 ( 23 A ) 상부 에 위치 한 감광막 은 제거 하 고 , 스토리지 노드 콘 택 홀 ( 25 ) 내부 만 감광막 을 잔류 시킨다 .