상술 한 공정 을 수행 하 는 과정 에서 , 로봇 암 ( 44 a , 54 a , 64 a ) 이 기판 ( W ) 을 공정 챔버 ( 42 , 52 , 62 ) 의 척 ( chuck ) 에 안착 시키 는 경우 , 로봇 암 ( 44 a , 54 a , 64 a ) 은 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 가 기 설정 된 방향 을 향하 도록 기판 ( W ) 을 안착 시켜야 한다 . 일반 적 으로 각각 의 공정 챔버 에 놓여진 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 은 동일 하 다 . 특히 , 각각 의 공정 챔버 들 이 모두 동일 한 공정 을 수행 하 는 경우 에 는 각각 의 공정 챔버 들 에 설정 된 기판 의 오리엔트 각 은 동일 하 여야 한다 . 보통 기판 ( W ) 은 기판 ( W ) 이 공정 챔버 의 척 ( chuck ) 에 놓여졌 을 때 , 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 가 기판 출입구 를 향하 는 방향 으로 놓여 지 도록 설정 된다 . 공정 시 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 를 기 설정 된 방향 을 향하 도록 기판 ( W ) 을 정렬 시키 는 것 을 오리엔트 각 정렬 ( orient angle align ) 이 라고 한다 . 따라서 , 각각 의 처리 유닛 들 ( 40 , 50 , 60 ) 은 공정 시 상술 한 기판 ( W ) 의 공정 위치 가 만족 하 도록 기판 들 ( W ) 을 이송 시켜야 한다 .