본 발명 은 미세 한 가스 농도 를 측정 하 기 위한 마이크 로 가스 센서 및 그 제작 방법 에 관한 것 으로 , 상기 마이크 로 가스 센서 는 기판 ; 상기 기판 상 에 형성 되 는 열린 공동 , 전극 패드 분리 홈 ; 상기 기판 상부 에 형성 되 고 , 상기 전극 패드 분리 홈 에 의해 전기 적 으로 상호 절연 되 는 복수 의 전극 패드 ; 상기 복수 의 전극 패드 에 브리지 ( bridge ) 구조 로 연결 되 어 상기 열린 공동 위 에 부양 되 는 마이크 로 히터 ; 상기 마이크 로 히터 와 상기 복수 의 전극 패드 사이 에 외팔보 ( cantilever ) 형태 로 동일 한 평면 에 형성 되 어 상기 열린 공동 위 에 부양 되 는 복수 의 감지 전극 ; 및 상기 마이크 로 히터 및 상기 복수 의 감지 전극 의 표면 과 접촉 하 여 가스 농도 에 따른 특성 변화 를 나타내 기 위해 상기 복수 의 감지 전극 의 미세 간극 사이 에 걸치 도록 형성 되 는 가스 감응 막 ; 을 포함 으로써 , 저 전력 , 빠른 가열 및 냉각 속도 , 강한 내구 성 및 높 은 센서 의 감도 특성 을 가지 며 , 다양 한 물질 을 가스 감응 막 으로 용이 하 게 형성 할 수 있 으며 , 또한 , 한 장 의 패턴 마스크 만 을 사용 하 는 간단 한 구조 로 초 소형 , 저 가격 의 대량 생산 이 가능 한 효과 를 가진다 .