1 . 본 발명 의 광변조 마이크 로 나노 구조 는 광전 검출 층 상 의 광변조 층 을 포함 하 고 , 광변조 층 은 입사광 을 변조 할 수 있 어 광전 검출 층 에서 차분 응답 을 형성 함 으로써 오리지널 스펙트럼 을 재 구성 하 여 획득 하 도록 한다 . 상기 광변조 마이크 로 나노 구조 를 이용 하 여 기존 의 스펙트로미터 의 각 유형 의 정밀 광학 부재 를 대체 할 수 있 어 마이크 로 나노 구조 분야 의 스펙트로미터 의 응용 성 을 실현 할 수 있 으므로 써 , 마이크 로 통합 스펙트로미터 가 래스터 , 프리즘 , 반사경 혹은 기타 유사 한 공간 적 분광 소자 없이 작동 할 수 있 게 되 며 , 따라서 기존 의 스펙트로미터 가 정밀 광학 부재 에 지나치 게 의존 하 여 스펙트로미터 의 체적 이 크 고 무거우 며 비싸 게 되 는 결함 을 해결 하 였 다 .