본 발명 에 의한 반도체 제조 용 금형 장치 의 바람직 한 실시 예 에 있 어서 , 상기 공기 순환 블럭 은 상기 공기 의 배출 경로 에 위치 되 며 미세 공기 통로 가 형성 되 어 있 는 머리 부 , 상기 머리 부를 지지 하 며 상기 머리 부를 상기 공기 순환 블럭 고정 홀 에 위치 시키 는 몸 체부 , 및 상기 몸 체부 의 하단 에 돌출 되 어 형성 된 돌기 부를 포함 하 는 것 이 특징 이 다 .