상기 방법 은 트렌치 내 제 1 탄소 나노 튜브 및 제 2 탄소 나노 튜브 상 에 게이트 절연체 를 형성 시키 고 , 게이트 절연체 상 에 제 1 탄소 나노 튜브 및 제 2 탄소 나노 튜브 에 대한 제 1 게이트 전극 을 형성 시키 는 것 을 포함 한다 . 게이트 전극 은 제 1 탄소 나노 튜브 및 제 2 탄소 나노 튜브 를 피복 하 고 , 트렌치 의 제 1 측면 에서 제 2 측면 으로 연속 적 으로 연장 되 어 있 다 . 특정 실행 예 에 있 어서 , 기판 의 표면 에 대한 , 트렌치 의 제 1 측면 의 경사 는 약 38 도 내지 약 60 도 이 다 .