근년 , 극히 얇 은 압전체 ( 극 박 ( 極 薄 ) 압 전막 ) 를 이용 한 필터 등 의 개발 이 활발 하 게 행해 지 고 있 다 . 이 들 의 필터 등 의 극 박 압 전막 에 는 일반 적 으로 는 스퍼터 법 이나 CVD 법 등 의 퇴적 법 으로 형성 된 AlN 박막 이나 ZnO 박막 이 사용 되 고 있 으나 , 모두 C 축 이 기판 의 상하 로 정렬 된 C 축 배향 막 이 다 .