또한 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 에 접하 는 절연 층 ( 예 를 들 어 도 6 및 도 7 에 도시 한 구성 에서 는 , 당해 절연 층 은 , 게이트 절연 층 ( 646 ) 과 , 절연 층 ( 628 ) 이 며 , 도 8 및 도 9 에 도시 한 구성 에서 는 , 게이트 절연 층 ( 646 ) 과 , 절연 층 ( 650 ) 이 다 ) 은 , 제 13 족 원소 및 산소 를 포함 하 는 절연 재료 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 산화물 반도체 재료 에 는 제 13 족 원소 를 포함 하 는 것 이 많 고 , 제 13 족 원소 를 포함 하 는 절연 재료 는 산화물 반도체 와 의 상성 이 좋 아 , 이것 을 산화물 반도체 에 접하 는 절연 층 으로 사용 함 으로써 , 산화물 반도체 의 계면 의 상태 를 양호 하 게 유지 할 수 있 다 .