본 발명 의 고온 에서 베이 크시 에 산화 적 방향족화 반응 을 진행할 수 있 는 C 6 ~ 20 의 환식 탄화수소기 펜던트 를 갖 는 중합체 는 베 이크 ( bake ) 전 에 는 중합체 간 의 파이 파이 - 상호 작용 의 억제 에 의한 결정 성 저하 로 인하 여 유기 용제 에 대한 용해도 가 높 은 장점 이 있 다 . 이러 한 용해도 향상 에 의하 여 , 상기 중합체 를 포함 하 는 하드 마스크 용 조성물 은 코팅 성 및 평탄 성 이 향상 된다 . 한편 하드 마스크 용 조성물 을 코팅 하 고 건조 한 후 , 고온 에서 베 이크 할 때 상기 중합체 는 산소 에 의한 산화 적 방향족화 반응 이 진행 되 어 , 결정 성 이 향상 되 고 , 따라서 패킹 밀도 ( packing density ) 가 상승 한다 . 그 결과 탄소 함량 이 상승 하 여 하드 마스크 막 의 내 에칭 성 이 향상 되 는 효과 가 있 다 .