" 상기 섹션 "" 1 . 플 라즈 마 챔버 개요 "" 에서 설명 한 바 와 같이 ", 샤워 헤드 ( 22 ) 는 챔버 내 의 플 라즈 마 에 면하 는 , 이 에 따라 플 라즈 마 에 용량 성 으로 결합 되 는 전극 ( 20 - 28 ) 의 컴포넌트 이 다 . 전극 의 후 방벽 ( 20 ) 상 에서 RF 구동 포인트 의 위치 의 시프팅 이 샤워 헤드 ( 22 ) 상 의 전기장 의 공간 적 분배 에 상당 하 게 영향 을 미쳐 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 분배 에 영향 을 미친다는 것 은 명백 하 지 않 다 . 발명자 들 은 , 마치 샤워 헤드 ( 22 ) 상 에 직접 적 으로 RF 구동 포인트 의 위치 를 동일 한 방향 으로 시프팅 한 것 처럼 , 후 방벽 ( 20 ) 상 에서 의 RF 구동 포인트 의 위치 의 시프팅 이 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 분배 를 실제로 변화 시킨다는 것 을 발견 하 였 다 .