도 25 는 , 실시 형태 4 에서 의 빔 의 되돌림 양 과 , 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 가 일치 되 어 버리 는 경우 의 서브 조사 영역 의 묘화 상황 의 다른 일예 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 도 25 의 예 에서 는 , 트랙 킹 제어 마다 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의해 오프셋 양 으로서 + x 방향 으로 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 씩 만큼 여분 으로 되돌림 과 동시 에 , 각 트랙 킹 제어 기간 중 에 , 부편 향기 ( 209 ) 에 의해 오프셋 양 으로서 + x 방향 , 혹은 / 및 + y 방향 으로 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 시프트 하 는 묘화 시퀀스 로 묘화 처리 를 진행 시킨다 .