또한 , 기판 ( 10 ) 의 두께 방향 을 따른 공 초점 센서 ( 321 ) 의 분해능 ( R ) 은 20 ㎚ 이하 로 구성 된다 . 즉 , 기판 ( 10 ) 의 두께 방향 ( Z 축 방향 ) 을 따른 공 초점 센서 ( 321 ) 의 분해능 ( R ) 을 0 . 1 ~ 20 ㎚ 로 구성 하 는 것 에 의하 여 , 미세 한 높이 의 반점 까지 도 정확 하 게 검출 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 그리고 , 공 초점 센서 ( 321 ) 의 광 스팟 직경 은 0 . 1 ~ 2 ㎛ 로 정해진다 .