도 2 는 기판 이송 장치 ( 105 ) 의 일 예시 적 인 실시 예의 측면도 를 도시 하 며 , 도 3 a 는 기판 이송 장치 ( 105 ) 의 일 예시 적 인 실시 예의 평면도 를 도시 한다 . 상기 예시 적 인 실시 예 들 이 특정 이송 조립 체 ( transfer assembly ) 들 을 참조 로 설명 될 것 이 지만 , 본원 에서 설명 되 는 자기 구동 시스템 ( magnetic drive system ) 은 임의 의 적절 한 이송 조립 체 에 적용 또는 적응 될 수 있 으며 도면 들 에 도시 된 상기 예시 적 인 이송 조립 체 들 과 함께 사용 되 는 것 으로 한정 되 지 않 음 을 이해 해야 한다 .