계속 해서 도 1 을 참조 하 면 , 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 및 제 2 측 분무 제트 어레이 ( 117 ) 가 도시 되 며 , 제 1 측 액체 공급 라인 ( 127 ) 및 제 2 측 액체 공급 라인 ( 129 ) 에 각각 결합 된다 . 분무 제트 들 은 , 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 의 세정 동작 동안 , 기판 ( 119 ) 의 각각 의 면 뿐 만 아니 라 가장 자리 들 상 에 하나 이상 의 액체 를 분무 하 도록 구성 된다 . 분무 제트 들 은 기판 의 각각 의 면 상 에서 적어도 기판 의 전체 직경 에 유효 하 게 적용 ( cover ) 되 도록 배열 되 며 , 그 에 의해 , 일단 기판 이 회전 되 면 각각 의 전체 면 에 액체 가 제공 된다 . 액체 는 , 예컨대 , 탈 이온 수 ( DI water ) 또는 하나 이상 의 다양 한 유형 의 화학 적 세정 액체 를 포함 할 수 있 다 .