또한 , 가스 토출 노즐 ( 71 ) 은 , 기판 ( W ) 보다 상방 을 향해 가스 를 토출 한다 . 구체 적 으로 는 , 가스 토출 노즐 ( 71 ) 은 , 처리 액 토출 노즐 ( 52 ) 에 의해 토출 된 처리 액 이 기판 ( W ) 에 접촉 하 는 위치 의 상방 을 향해 가스 를 토출 한다 . 한편 , 가스 토출 노즐 ( 71 ) 은 , 처리 액 토출 노즐 ( 52 ) 에 의해 토출 된 처리 액 이 기판 ( W ) 에 접촉 하 는 위치 보다 , 기판 ( W ) 의 회전 방향 에 있 어서 약간 하류 측 의 상방 을 향해 가스 를 토출 해도 좋 다 .