이 정보 를 , 2 이상 의 화상 취득 조건 에 의해 얻 어 진 적어도 2 이상 의 화상 데이터 로부터 추출 되 는 2 이상 의 특징 으로부터 생성 되 는 정보 와 , 시료 위 에 형성 된 소자 의 결함 의 종류 및 당해 결함 의 특징 의 적어도 한쪽 ( 전기 특성 ) 과 의 관련 정보 에 참조 함 으로써 , 결함 의 종류 나 특징 을 도출 하 는 것 이 가능 해진다 .