또한 , 도 6 ( a ) , ( b ) 에서 도시 한 방법 에서 는 , 필름 ( 3 ) 이 상하 에 존재 하 기 때문 에 , 도포 시 에 는 , 상하 의 필름 사이 에 도포 수단 을 삽입 할 필요 가 있 고 , 상하 의 필름 의 간격 을 좁 게 할 수 없 다 . 그 때문 에 , 고배 율 의 대물 렌즈 ( 6 ) 를 이용 하 여 , 결함 부 ( 2 a ) 와 구멍 ( 3 a ) 의 위치 맞춤 을 하 는 것 이 어렵 다 .