도 1 의 ( b ) 는 배선 기판 ( 30 ) 의 표면 에 돌기 부 ( 32 ) 와 마크 용 대좌 ( 12 ) 를 형성 하 는 단계 를 도시 한다 . 돌기 부 ( 32 ) 는 층 사이 의 배선 패턴 을 전기 적 으로 접속 하 는 평면 위치 정합 위치 에 위치 정합 된다 . 돌기 부 ( 32 ) 는 배선 기판 ( 30 ) 의 표면 에 형 성 된 배선 패턴 의 두께 보다 높 도록 절연체 에 의해 형성 된다 . 또한 , 마크 용 대좌 ( 12 ) 는 일례 로서 절연체 에 의해 , 돌기 부 ( 32 ) 와 동일 한 높이 로 형성 된다 . 또한 , 돌기 부 ( 32 ) 와 마크 용 대좌 ( 12 ) 양쪽 은 본 실시 예 에서 단면 사다리꼴 형상 을 갖 는다 .