표 2 에서 보 는 바 와 같이 본 발명 의 실시 예 에 따른 코발트 화합물 을 이용 하 여 코발트 금속 층 을 형성 하 면 코발트 금속 층 을 97 원자 % 가 넘 는 높 은 순도 로 형성 할 수 있 음 을 확인 하 였 다 . 특히 탄소 나 산소 와 같 은 불순물 의 함량 이 매우 낮 기 때문 에 어닐링 이나 플라스마 처리 와 같 은 후처리 가 불 필요 함 이 확인 되 었 다 .