각 약액 중 의 불순물 금속 의 함유량 은 , Agilent 8800 트리 풀 사 중극 ICP - MS ( 반도체 분석 용 , 옵션 # 200 ) 를 이용 하 여 측정 했 다 . 상기 측정 방법 에 의하 면 , 각 약액 중 에 있 어서 의 Fe , Cr , Ni , 및 Pb 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 1 종 을 함유 하 는 입자 와 , 그 이외 의 불순물 금속 ( 예 를 들 면 , 이온 등 ) 을 분류 하 여 , 각각 의 함유량 을 측정 할 수 있 다 .