요약 하 면 , 전체 임피던스 가 앞서 개시 된 바 와 같이 유도 성일 때 , 자신 의 개별 적 RF 구동 포인트 ( 51 , 53 ) 에서 부하 임피던스 와 직렬 인 각각 의 감쇠기 ( 41 , 43 ) 의 전체 임피던스 가 감소 하 고 개별 적 감쇠기 의 용량 성 리액턴스 는 증가 한다 . 따라서 , 제 1 감쇠기 ( 41 ) 가 제 2 감쇠기 ( 43 ) 보다 큰 용량 성 리액턴스 ( 즉 , 더 작 은 커패시턴스 ) 를 갖 는다면 , " 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 의 RF 구동 포인트 ( 51 ) 에 공급 되 는 RF 전류 는 제 2 절반 부 ( 62 ) 의 RF 구동 포인트 ( 53 ) 에 공급 되 는 RF 전류 보다 클 것 이 다 . 이것 은 상기 섹션 "" 4 . 불 공평 한 전력 분배 "" 의 시작 부 부근 에 정의 되 는 발명 의 "" 제 2 양상 "" 의 요건 들 을 만족 한다 . "