일반 적 으로 , 코팅 과정 은 플라 즈 마 및 적어도 하나 의 성분 을 함유 하 는 적어도 하나 의 증발 된 유기 재료 를 사용 하 며 , 여기 에서 , 증발 된 유기 재료 는 약 130 Pa ( 1 Torr ) 미만 의 진공 에서 응축 될 수 있 다 . 이 들 증기 는 진공 에서 ( 외부 공간 또는 통상 의 진공 챔버 내 에서 ) 기판 을 향해 배향 된다 . 이 기판 은 고주파 바이어스 전극 에 근접 하 여 존재 하 며 , 바람직 하 게 는 고주파 바이어스 전압 에 노출 된 결과 로 음성 으로 하전 된다 . 유의 적 으로 , 이 들 코팅 은 용매 의 필요 없이 제조 된다 .