상기 구성 에 의한 본 고안 에 의하 면 , 반도체 웨이퍼 를 기밀 이 되 도록 수조 상단 에 장착 되 도록 구성 하 고 , 상기 반도체 웨이퍼 하방 에서 흡입 하 도록 진공 흡입 펌프 를 배수관 에 연결 함 으로써 , 상기 반도체 웨이퍼 의 통공 을 효율 적 으로 세척 할 수 있 고 , 상기 진공 흡입 펌프 에 연결 된 배수관 에 필터 를 구성 하 여 수질 오염 을 예방 하 는 효과 가 있 다 .