또한 , 한쪽 측 에 만 라인 폭 0 . 5 ㎛, 스페이스 폭 0 . 5 ㎛ 를 3 회 반복 하 여 배치 한 그 레이톤 마스크 를 사용 하 여 노광 한 경우 , 측면 에 하나 의 단차 를 가지 는 배선 형상 이 얻 어 졌 다 . 이 와 같이 라인 폭 과 스페이스 폭 이 바뀌 면 , 얻 어 지 는 배선 형상 이 크 게 바뀌 게 된다 . 따라서 , 실시 자 는 최적 의 라인 폭 과 스페이스 폭 을 선정 하 여 , 에칭 조건 의 최적화 를 도모 하 는 것 이 중요 하 다 .