예시 적 인 실시 양태 에서 , 상기 복수 의 다중 층 마스크 패턴 을 형성 하 기 위하 여 , 상기 기판 상 의 피식 각막 위 에 제 1 마스크 층 을 형성 한다 . 상기 제 1 마스크 층 위 에 상기 제 1 마스크 층 구성 물질 과 는 다른 성분 의 물질 을 증착 하 여 버퍼 마스크 층 을 형성 한다 . 포 토리 소래 피 공정 을 이용 하 여 상기 버퍼 마스크 층 및 제 1 마스크 층 을 패 터닝 하 여 상기 제 1 마스크 패턴 및 버퍼 마스크 패턴 을 형성 한다 .