도 41 에 도시 된 바 와 같이 , 광 조사 장치 ( 500 _ 11 ) 는 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 를 포함 하 여 대상 기판 ( SUB ) 상 에서 제 1 방향 ( DR 1 ) 및 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이동 할 수 있 다 . 몇몇 실시 예 에서 , 대상 기판 ( SUB ) 의 크기 가 광 조사 장치 ( 500 _ 11 ) 의 광 조사 유닛 ( 530 _ 11 ) 보다 크 거나 전계 형성 유닛 ( 100 ) 상 에 복수 개 의 대상 기판 ( SUB ) 들 이 배치 되 면 , 광 조사 장치 ( 500 _ 11 ) 는 제 2 이 동부 ( 520 _ 11 ) 가 이동 하 며 대상 기판 ( SUB ) 의 전면 에 균일 하 게 광 ( hv ) 을 조사 할 수 있 다 .