상기 승강 캡 ( 570 ) 은 두 개 의 연결 플레이트 ( 570 a ) 가 결합 되 며 , 상기 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 하방 으로 밀 어 압 압 할 때 피 도금 웨이퍼 에 전달 되 는 충격 이 완화 되 도록 하부 에 완충 스프링 ( 574 a ) 을 가진 완충 푸 셔 ( 574 ) 가 돌출 설치 되 고 , 상부 에 는 도금 웨이퍼 ( 1 b ) 에 묻 은 도금액 을 제거 하 는 질소 가스 가 분사 되 는 질소 가스 분사 노즐 ( 576 ) 이 설치 된다 .