태양 전지 의 제조 공정 중 , texturing 공정 및 확산 공정 후 에 는 태양광 의 반사 를 억제 하 고 표면 의 결함 밀도 를 감소 시킬 수 있 는 실리콘 질화 막 을 증착 하 는 공정 이 포함 되 어 있 다 . 이 실리콘 질화 막 증착 공정 에 는 주로 PECVD 가 이용 되 는데 , 이 PECVD 는 크 게 inline type 증착 장치 와 batch type 증착 장치 로 구분 된다 .