도 2 에 나타낸 매칭 동작 ( 단계 250 ) 을 보 면 , 대 상체 ( 145 ) 는 픽셀 단위 로 2 D 로 분석 된다 . 따라서 , 대 상체 의 데이터 포인트 ( 픽셀 ) 에 대한 푸리에 ( Fourier ) 데이터 를 선택 한다 . 이어서 , 라이브러리 의 엔트리 , 예 를 들 어 모델 신호 또는 스펙트럼 을 선택 한다 ( 단계 270 ) . 모델 신호 및 간섭계 의 상관 함수 를 사용 해서 , 간섭계 신호 와 모델 신호 의 상대 적 위치 , 즉 표면 높이 오프셋 ( surface - height offset ) 을 판정 한다 ( 단계 280 ) . 표면 높이 오프셋 은 , 예 를 들 어 주파수 영역 에서 간섭계 신호 , 모델 스펙트럼 또는 이 들 모두 를 보상 하 는 것 에 기초 해서 위상 항 ( phase term ) 에 대응 한다 ( 단계 290 ) . 이어서 , 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 주파수 영역 편차 를 계산 함 으로써 높이 오프셋 보상 된 가치 값 ( merit value ) 을 계산 한다 ( 단계 300 ) .