제 1 철부 형 미세 구조물 ( 106 ) 의 상부 에 형성 된 전기 배선 ( 107 ) 은 어느 정도 의 두께 를 갖 는다 . 따라서 광전 배 선부 ( 300 ) 와 광학 벤치 ( 103 ) 가 결합 할 때 광도 파로 와 광전 소자 간 의 높이 가 변화 될 수 있 다 . 이 를 방지 하 기 위하 여 제 1 요부 형 미세 구조물 ( 303 ) 에 는 제 1 철부 형 미세 구조물 ( 106 ) 의 전기 배선 ( 107 ) 이 삽입 되 는 공간 ( 306 ) 을 구비 한다 .