그런데 , 이 와 같이 연속 적 인 증착 공정 도중 에 화학 전구체 가 고갈 될 경우 , 생산 되 는 반도체 의 품질 이 극도 로 불량 해 지 게 되 는 문제점 이 있 을 뿐 만 아니 라 , 특히 최근 전구체 로 많이 사용 되 는 유기 금속 화합물 과 같 은 경우 분해 가 매우 쉽 게 일어나 기 때문 에 더욱 심각 한 문제점 을 발생 시킨다 . 여기 에서 분해 란 , 전 구체 가 불순물 의 침투 또는 반응 기체 의 누출 등 과 같 은 외부 요인 에 의해서 반응 을 일으켜 분해 되 거나 또는 자체 적 으로 안정 성 이 낮 아 외부 요인 없이 도 에너지 준위 가 낮 은 상태 로 전이 하 면서 분해 되 는 것 을 통틀어 일컫 는다 .