먼저 , 다른 조건 은 모두 동일 한 상태 에서 , 증착 온도 를 변화 시켜 질화 규소 막 을 증착 하 였 는데 , 증착 온도 가 200 ℃ 인 경우 ( B - 1 ) 와 증착 온도 가 300 ℃ 인 경우 ( B - 2 ) 의 증착 률 을 아래 표 2 에 나타내 었 다 . 이때 , 플라 즈 마를 발생 하 기 위한 전력 은 600 W 이 었 고 , 암모니아 기체 의 유량 은 400 sccam 이 었 고 , 증착 압력 은 3 torr 였 다 .