한편 , 상기 커버 ( 320 ) 에 는 상기 용기 ( 310 ) 내부 의 공간 압력 을 조절 하 기 위하 여 압력 조절 용 가스 를 공급 하 는 제 3 가스 공급 배관 ( 370 ) 이 연결 될 수 있 다 . 특히 , 상기 압력 조절 용 가스 는 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 외측 공간 의 압력 을 조절 하 기 위하 여 공급 되 며 , 상기 캐리어 가스 와 동일 한 가스 가 사용 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 캐리어 가스 의 버블 링 에 의해 소스 가스 가 발생 되 고 상기 소스 가스 가 제 2 가스 공급 배관 들 ( 350 ) 을 통해 공정 챔버 들 로 각각 제공 되 면 , 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내측 에서 상기 액상 소스 의 수위 가 낮 아 질 수 있 으며 , 이 에 따라 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 외측 에서 도 액상 소스 의 수위 가 낮 아 질 수 있 다 . 따라서 , 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 외측 공간 의 압력 이 변화 될 수 있 으며 , 이 에 따라 소스 가스 의 공급 이 불 안정 해질 수 있 다 . 이러 한 문제점 은 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 외측 공간 으로 압력 조절 용 가스 를 공급 함 으로써 해결 될 수 있 다 .