예컨대 , 사전 의 실험 에 의해 , 「 불화 수소산 등 의 약액 에 의해 산화 막 ( 7 ) 을 제거 하 면 , 제 1 영역 ( R 1 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 이 α 만큼 후퇴 하 고 , 제 2 영역 ( R 2 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 이 β ( ＜ α ) 만큼 후퇴 하 는 」 것 이 판명 되 고 있 는 경우 , 제 2 영역 ( R 2 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 을 α - β 만큼 후퇴 시킨다 . 이렇게 함 으로써 , 산화 막 ( 7 ) 의 제거 후 에 , 제 1 영역 ( R 1 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 의 높이 와 , 제 2 영역 ( R 2 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 의 높이 를 일치 시킬 수 있 다 . 즉 , 제 1 영역 ( R 1 ) 과 제 2 영역 ( R 2 ) 에서 , 산화 막 ( 5 ) 의 높이 의 편차 를 억제 할 수 있 다 . 또 , 산화 막 ( 7 ) 은 산화 막 ( 5 ) 보다 도 불화 수소산 등 의 약액 에 의한 에칭 률 이 낮 다 . 그 때문 에 , 불화 수소산 등 의 약액 을 공급 하 여 , 산화 막 ( 5 ) 을 후퇴 시켜도 , 산화 막 ( 7 ) 이 후퇴 하 는 일 은 없 다 .