도 5 d 는 신규 의 다마 신 - 개구 - 형성 공정 을 이용 하 여 제조 된 최종 적 인 이중 다 마신 개구 및 비아 바닥 컨 덕 터 의 오 목부 ( 511 ) 를 도시 한다 . 상기 다 마신 개구 는 희생 층 의 잔여 서브 층 ( 503 - 505 ) 으로 덮혀 진 최종 비아 홀 ( 117 ) 및 최종 트렌치 ( 119 ) 를 포함 한다 . 본 발명 을 이용 하 여 상기 다 마신 개구 를 형성 함 으로써 , 종래 기술 에 따른 다마 신 - 개구 - 형성 공정 의 1 내지 4 의 문제점 이 방지 될 수 있 다 .