우선 , 실시 예 와 마찬가지 로 , 탄소 도프 가 되 어 있 지 않 은 실리콘 단결정 웨이퍼 로서 , 직경 200 mm , 결정면 방위 ( 100 ) , P 형 , 통상 저항 , 산소 농도 12 ppma ( JEITA ) , 탄소 농도 2 . 5 × 1015 atoms / cm 3 미 만 , 결함 영역 이 Nv 영역 인 실리콘 단결정 웨이퍼 를 준비 하 였 다 .