상기 펜 타 플 루오 로 에탄 의 제조 공정 의 ( ⅲ ) 단계 에서 , 디 클로로 트리플 루 오로 에탄 을 포함 하 는 ( ⅱ ) 단계 로부터 얻 어 진 조성물 은 플루오르화 촉매 의 존재 하 에서 기상 에서 불화 수소 와 반응 하 여 펜 타 플 루오 로 에탄 과 조성물 내 의 유기 화합물 의 총 중량 을 기준 으로 0 . 5 중량 % 미만 의 클로로 펜 타 플 루오 로 에탄 을 포함 하 는 생성물 스트림 을 생성 한다 .