상기 큐어 링 공정 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 을 포함 하 는 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 에 대해 수행 될 수 있 으며 , 이전 의 상기 제 1 및 제 2 질화 공정 들 에 의해 손상 된 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 의 막 질 을 큐어 링 할 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 큐어 링 공정 은 습식 산화 공정 을 포함 할 수 있 다 .