배선 층 ( 200 ) 이 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 배선 층 ( 200 ) 은 층간 절 연막 ( 210 ) 및 배선 구조 체 ( 220 ) 를 포함 할 수 있 다 . 층간 절 연막 ( 210 ) 은 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 을 덮 을 수 있 다 . 층간 절 연막 ( 210 ) 은 단일 층 또는 다 중층 으로 형성 될 수 있 다 . 층간 절 연막 ( 210 ) 은 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산 화질 화 막 , 및 다공성 저유 전막 중 선택 되 는 적어도 하나 의 막 을 포함 할 수 있 다 . 배선 구조 체 ( 220 ) 는 층간 절 연막 ( 210 ) 내 에 제공 될 수 있 다 . 배선 구조 체 ( 220 ) 는 배선 패턴 들 및 비아 패턴 들 을 포함 할 수 있 다 . 배선 구조 체 ( 220 ) 는 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 상 의 트랜지스터 들 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 .