또한 , 제 1 조명계 ( IL 1 ) 의 조명 광학계 는 , 예 를 들 면 , 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 의 조명 조건 을 가변 으로 하 는 성형 광학계 , 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 에서 의 노광 광 ( EL ) 의 조도 ( 照度 ) 분포 를 균일화 하 는 조도 균일화 부재 ( 내면 반사 형 인 테 그레 이터 혹은 플라이 아이 ( fly - eye ) 렌즈 등 ) , 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 위 의 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 을 규정 하 는 마스크 블라인드 계 ( 마스킹 · 시스템 또는 가변 시야 조리개 이 라고 도 불린다 ) 및 릴레이 광학계 등 을 가진다 .