가열 플레이트 ( 31 ) 의 상면 에 는 기판 ( S ) 이 탑재 된다 . 가열 플레이트 ( 31 ) 의 내부 에 는 기판 ( S ) 을 가열 하 도록 구성 되 는 가열 부재 가 구비 된다 . 일 예 로서 , 가열 부재 는 전열 코일 로 구성 될 수 있 다 . 다른 예 로서 , 가열 플레이트 ( 31 ) 는 열 을 발생 시키 는 발열 패턴 으로 구성 될 수 있 다 . 가열 플레이트 ( 31 ) 에 는 리프트 핀 ( 32 ) 이 관통 하 는 핀 홀 ( 311 ) 이 형성 된다 . 핀 홀 ( 311 ) 은 리프트 핀 ( 32 ) 이 기판 ( S ) 을 상하 로 이동 시킬 때 리프트 핀 ( 32 ) 의 이동 경로 를 제공 한다 . 복수 의 핀 홀 ( 311 ) 이 가열 플레이트 ( 31 ) 의 상하 방향 으로 관통 되 게 형성 될 수 있 다 .