일루 미네 이터 ( IL ) 는 방사선 소스 ( SO ) 로부터 방사선 빔 을 받아들인다 . 예 를 들 어 , 소스 가 엑 시머 레이저 인 경우 , 소스 와 리소그래피 장치 는 별개 의 개체 일 수 있 다 . 이러 한 경우 , 소스 는 리소그래피 장치 의 일부 를 형성 하 는 것 으로 간주 되 지 않 으며 , 방사선 빔 은 예 를 들 어 적합 한 지향 미러 및 / 또는 빔 익스팬더 ( beam expander ) 를 포함 하 는 빔 전달 시스템 ( BD ) 의 도움 으로 소스 ( SO ) 에서 일루 미네 이터 ( IL ) 로 나아간다 . 다른 경우 에 , 예 를 들 어 소스 가 수은 램프 인 경우 , 소스 는 장치 의 필수 부분 일 수 있 다 . 필요 에 따라 , 빔 전달 시스템 ( BD ) 과 함께 소스 ( SO ) 와 일루 미네 이터 ( IL ) 는 방사선 시스템 으로 지칭 될 수 있 다 .