다음 으로 , 코팅 제 가 코팅 된 포토 마스크 를 150 ℃ 하 에서 15 분 동안 열풍 방식 으로 열에너지 를 공급 하 는 조건 으로 열처리 및 경화 시켜서 투명 유리 기판 상 에 두께 약 30 nm 의 방오 코팅 층 을 형성 시켜서 , 도 8 에 개략 적 인 단면도 를 나타낸 형태 와 같 은 방오 코팅 층 이 형성 된 포토 마스크 를 제조 하 였 다 .