대 향판 ( 61 ) 의 내부 에 는 , 덮개 개폐 기구 ( 6 ) 를 구동 시키 는 메카 니 컬 부분 의 구동 기구 가 수용 되 는데 , 필요 에 따라 , 그 내부 공간 에 접속 되 는 배기 포트 ( 602 ) 가 설치 되 어도 된다 . 배기 포트 ( 602 ) 는 , 진공 펌프 ( 604 ) 에 접속 되 어 , 대 향판 ( 61 ) 의 내부 공간 이 배기 가능 하 게 구성 되 어도 된다 . 도 3 에서 , 배기 포트 ( 602 ) 는 , 대 향판 ( 61 ) 의 하부 에 접속 된 하부 배기 포트 ( 602 a ) 와 , 대 향판 ( 61 ) 의 중앙부 에 접속 된 중앙 배기 포트 ( 602 b ) 의 2 개 가 설치 되 고 , 최종 적 으로 합류 해서 배기 포트 ( 602 ) 가 진공 펌프 ( 604 ) 에 접속 된 구성 으로 되 어 있 다 . 그러나 , 대 향판 ( 61 ) 의 내부 공간 을 배기 할 수 있 으면 , 배기 포트 ( 602 ) 는 대 향판 ( 61 ) 의 내부 공간 과 연통 하 는 다양 한 장소 에 설치 할 수 있 다 . 또한 , 배기 포트 ( 602 ) 의 수도 , 용도 에 따라서 다양 하 게 변화 시켜도 된다 .