동작 114 에서 , 막 의 목표 된 두께 의 막 이 증착 되 었 는지 여부 가 결정 된다 . 그렇 지 않 다면 , 동작 들 106 내지 112 가 실리콘 나이트 라이드 에 상대 적 으로 실리콘 옥사이드 상 에 목표 된 두께 의 실리콘 옥사이드 막 을 증착 하 기 충분 한 사이클 들 로 반복 된다 . 임의 의 적합 한 수 의 증착 사이클 들 이 목표 된 막 두께 의 실리콘 옥사이드 를 증착 하 기 위해 ALD 프로세스 에 포함 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 개시 된 실시 예 들 을 사용 하 여 기판 상 에 막 을 증착 하 기 위해 약 50 번 의 증착 사이클 들 이 수행 될 수 도 있 다 .