상술 된 바 와 같이 , 1 차 회절 빔 ( B +) 의 세기 ( I +) 와 - 1 차 회절 빔 ( B -) 의 세기 ( I -) 의 차이 는 수학식 4 에 따른 오버레이 오차 ( ε ) 에 비례 한다 . 비례 인자 ( K ) 는 프로세싱 조건 들 , 조명 빔 의 파장 , 회절 각 및 편광 에 영향 을 받 는다 . 당업자 라면 이해 할 수 있 듯이 , 프로세스 , 파장 , 회절 각 및 편광 의 주어진 조합 에 대하 여 , 비례 인자 의 캘리 브레이 션 ( calibration ) 을 수행 하 는 것 이 바람직 하 다 .