가스 도입 구멍 ( 43 a ) 에 는 , 처리 가스 를 처리 용기 ( 10 ) 에 공급 하 는 가스 공급 기구 ( 50 ) 가 접속 되 어 있 다 . 도시 는 생략 하 지만 , 가스 공급 기구 ( 50 ) 에 는 , 각 처리 가스 의 공급원 이나 , 해당 공급원 으로부터 의 처리 가스 를 일시 적 으로 저류 하 는 저류 탱크 나 , 유량 제어 밸브 가 마련 되 어 있 다 .