그리고 , 연마 패드 ( 130 ') 의 연마 경로 는 요구 되 는 조건 및 설계 사양 에 따라 다양 하 게 변경 될 수 있 으며 , 연마 패드 ( 130 ') 의 연마 경로 에 의해 본 발명 이 제한 되 거나 한정 되 는 것 은 아니 다 . 일 예 로 , 연마 패드 ( 130 ') 는 경사진 제 1 사선 경로 와 , 제 1 사선 경로 의 반대 방향 으로 경사진 제 2 사선 경로 를 따라 연속 적 으로 이동 하 면서 기판 ( 10 ) 의 표면 을 연마 하 도록 구성 될 수 있 다 . 경우 에 따라서 는 연마 패드 가 원형 궤적 의 연마 경로 를 따라 이동 하 며 기판 을 연마 하 는 것 도 가능 하 다 .