트랜스퍼 챔버 의 로봇 암 은 로드 락 챔버 와 공정 챔버 들 상호 간 에 낱장 의 웨이퍼 들 을 순차 적 으로 이송 한다 . 기판 의 처리 량 을 향상 시키 기 위해 로봇 암 은 기판 들 의 이송 을 신속 하 게 진행 시켜야 한다 . 그러나 , 공정 챔버 들 의 수 가 증가 할수록 로봇 암 의 기판 처리 량 의 한계 로 인해 로드 락 챔버 등 에서 기판 이 처리 되 지 못하 고 대기 하 는 기판 의 수 가 증가 한다 .