본 발명 에서 는 , 좌우 로 돌출 시킨 지지 암 6 L , 6 R 의 하측 의 공간 을 이용 하 여 케이블 10 을 배치 하 고 있 다 . 즉 종래 에 있 어서 의 케이블 20 의 설치 스페이스 를 이용 하 여 좌우 의 지지 암 6 L , 6 R 을 설치 하 고 있 다 . 따라서 좌우 로 돌출 시킨 지지 암 6 L , 6 R 에 의하 여 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 1 의 폭 치수 가 증가 하 는 것 을 억제 혹은 회피 할 수 있 다 . 다시 말 하 면 본 발명 의 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 에서 는 당해 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 의 X 축 방향 에 있 어서 의 최 대 폭 치수 가 , 갠트리 부 의 X 축 방향 의 폭 치수 에 의하 여 규정 된다 . 종래 에 비하 여 , 폭 치수 의 증가 를 억제 할 수 있 고 또 한 종래 보다 폭 치수 를 축소 하 는 것 도 가능 하 게 된다 .