X 축 이동 유닛 및 각 가공 유닛 이동 기구 ( 22 ) 는 , 척 테이블 ( 14 ) 과 가공 유닛 ( 18 ) 을 유지 면 ( 16 ) 에 대하 여 평행 한 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 상대 적 으로 이동 시킨다 . 즉 , X 축 이동 유닛 에 의해 , 척 테이블 ( 14 ) 을 가공 이송 방향 인 X 축 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 척 테이블 ( 14 ) 및 가공 유닛 ( 18 ) 은 상대 적 으로 X 축 방향 을 따라 가공 이송 된다 . 또한 , 각 가공 유닛 이동 기구 ( 22 ) 에 의해 , Y 축 이동 플레이트 ( 26 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 가공 유닛 ( 18 ) 및 복합 측정 유닛 ( 44 ) 은 , Y 축 방향 으로 인덱싱 이송 된다 . 또한 , 각 가공 유닛 이동 기구 ( 22 ) 에 의해 , Z 축 이동 플레이트 ( 34 ) 를 Z 축 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 가공 유닛 ( 18 ) 및 복합 측정 유닛 ( 44 ) 은 , Z 축 방향 으로 절 입 이송 된다 .