서 셉 터 ( 30 ) 는 하부 챔버 ( 20 ) 내 의 증착 공간 ( S ) 에서 상하 로 승강 한다 . 즉 , 유리 기판 ( G ) 이 로딩 될 때 는 하부 챔버 ( 20 ) 내 의 바닥 면 영역 에 배치 되 어 있 다가 유리 기판 ( G ) 이 서 셉 터 ( 30 ) 의 상면 에 밀착 되 고 증착 공정 이 진행 될 때 에 는 유리 기판 ( G ) 이 후술 할 가스 분배 판 ( 42 ) 에 인접 할 수 있 도록 부상 한다 . 이 를 위해 , 서 셉 터 ( 30 ) 에 결합 된 컬럼 ( 32 ) 에 는 서 셉 터 ( 30 ) 를 승강 시키 는 승강 모듈 ( 70 ) 이 더 마련 되 어 있 다 .