상기 일 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 플 라즈 마 식각 장치 는 공정 챔버 , 상기 공정 챔버 내부 에 배치 되 며 , 플 라즈 마 를 생성 하 기 위한 고주파 에너지 가 인가 되 며 기판 을 지지 하 는 스테이지 , 상기 스테이지 를 감싸 며 , 상기 기판 의 주변 부 에 대응 되 는 제 1 전극 , 상기 스테이지 에 대향 하 여 전기 적 절연 성 을 갖 는 상부 절연체 , 유체 통로 를 형성 하 기 위하 여 상기 제 2 절연체 와 이격 된 상태 에서 상기 제 2 절연체 의 상부 에 배치 된 제 2 전극 및 상기 공정 챔버 내부 에 배치 되 며 , 상기 기판 을 냉각 시키 기 위한 냉각 유닛 을 포함 한다 . 여기 서 , 상기 냉각 유닛 은 , 상기 스테이지 의 내부 에 형성 되 며 , 냉각제 를 유동 시키 는 냉각제 유동관 및 상기 냉각제 를 상기 관 으로 공급 하 는 냉각제 공급 부 를 포함 한다 . 이 와 다르 게 , 상 기 냉각 유닛 은 상기 제 2 절연체 의 내부 에 형성 된 홀 을 통하 여 냉각 가스 를 상기 기판 에 공급 할 수 있 다 . 나아가 , 상기 냉각 유닛 은 상기 유체 통로 를 이용 하 여 상기 기판 에 냉각 가스 를 상기 기판 에 공급 할 수 있 다 .