도 8 은 본 발명 의 하나 의 예시 적 인 구현 에 따라 검사 툴 에 대하 여 범위 ( extent ) , 오프셋 및 어레이 크기 가 정의 되 는 다이 어레이 ( 예 를 들 어 , 802 a ~ h ) 를 갖 는 레티 클 ( 800 ) 을 도시 한다 . 특정 구현 에서 , 검사 툴 을 위한 셋 업 공정 은 먼저 툴 에서 각각 의 레티 클 을 정렬 하 기 위한 메커니즘 을 포함 할 수 있 다 . 각각 의 레티 클 은 레티 클 을 정렬 하 고 스캔 을 위한 특정 좌표계 를 정의 하 기 위하 여 각각 의 레티 클 상 에 임의 의 적절 한 수 및 유형 의 정렬 마크 , 예컨대 806 a ~ 806 c 에 대하 여 사용자 에 의해 위치 될 수 있 다 . 정렬 마크 는 각각 의 레티 클 상 의 다이 패턴 과 함께 인쇄 되 기 때문 에 , 정렬 마크 는 각 레티 클 의 다이 에 대하 여 동일 한 위치 를 가질 것 이 다 .