도 1 을 참조 하 면 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 인덱스 모듈 ( 10 ) , 로드 락 모듈 ( 30 ) , 그리고 공정 모듈 ( 20 ) 을 가지 고 , 인덱스 모듈 ( 10 ) 은 로드 포트 ( 120 ) , 반송 프레임 ( 140 ) 을 가진다 . 로드 포트 ( 120 ) , 반송 프레임 ( 140 ) , 그리고 공정 모듈 ( 20 ) 은 순차 적 으로 일렬 로 배열 된다 . 이하 , 로드 포트 ( 120 ) , 반송 프레임 ( 140 ) , 로드 락 모듈 ( 30 ) , 그리고 공정 모듈 ( 20 ) 이 배열 된 방향 을 제 1 방향 ( 12 ) 이 라 하 고 , 상부 에서 바라볼 때 , 제 1 방향 ( 12 ) 과 수직 한 방향 을 제 2 방향 ( 14 ) 이 라 하 며 , 제 1 방향 ( 12 ) 과 제 2 방향 ( 14 ) 을 포함 한 평면 에 수직 인 방향 을 제 3 방향 ( 16 ) 이 라 칭한다 .