예 를 들 어 , 신호 배선 구조 ( 450 a ) 는 예 를 들 어 , 도 1 의 예시 적 인 방법 100 의 블록 S 5 및 S 6 의 사이 에 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 블록 S 5 의 이후 , 신호 배선 구조 ( 450 a ) 은 제 1 인 캡슐 레이팅 물질 ( 140 ) , 제 2 금속 필러 ( 120 ) 및 / 또는 제 1 반도체 다이 ( 130 ) 의 상 에 ( 또는 상부 에 ) 형성 될 수 있 다 . 신호 배선 구조 ( 450 a ) 는 또한 필러 재배 선 층 , 재 배선 층 , 필러 재배 선 구조 , 트레이스 등 으로서 언급 될 수 있 다 .