이하 , 제작 공정 의 개략 을 설명 한다 . 단 , 실시 형태 1 과 동일 한 부호 로 나타내 는 구조물 에 대해서 는 , 사용 하 는 재료 나 사용 하 는 수단 , 조건 등 은 특별 한 언급 이 없 는 한 , 실시 형태 1 에서 나타낸 것 을 사용 하 면 좋 다 . 도 2 a 에 도시 한 바 와 같이 , 절연 표면 을 갖 는 기판 ( 101 ) 상 에 게이트 전극 ( 102 ) , 제 1 게이트 절연물 ( 103 ) 및 산화 물막 ( 104 ) 을 형성 한다 .