상기 하드 마스크 패턴 ( 464 a ) 이 정 얼라인 되 었 을 경우 에 는 서로 마주 하 는 제 2 라인 패턴 ( 472 b ) 이 좌우 대칭 된 형상 을 갖 는다 . 그러나 , 상기 하드 마스크 패턴 ( 464 a ) 이 좌 , 우 1 . 5 F 범위 내 에서 미스 얼라인 되 었 을 경우 에 는 서로 마주 하 는 제 2 라인 패턴 ( 472 b ) 의 돌출 패턴 의 너비 가 서로 다르 게 된다 .