상기 제 2 전자 코일 ( 7 ) 및 제 3 전자 코일 ( 8 ) 의 권선 에 전류 를 흘림 으로써 만들 어 지 는 코일 자계 ( 예 를 들 면 10 G ~ 300 G 정도 ) 에 의하 면 , 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 의 폭 방향 ( X 방향 ) 에 대하 여 시트 플 라즈 마 ( 50 ) 는 진공 성막 실 ( 3 ) 의 성막 공간 ( 51 ) 을 넘 도록 Z 방향 으로 이동 하 는 동안 에 미러 자계 로서 , 그 폭 방향 확산 을 적절 하 게 억제 하 도록 형상 을 정형 ( 整形 ) 받 는다 .