제 2 웨이퍼 반송 기구 ( 17 ) 는 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 다 관절 구조 를 갖 고 있 으며 , 웨이퍼 ( W ) 를 대략 수평 으로 유지 하 는 반송 아암 ( 17 a ) 을 갖 고 있 다 . 이 웨이퍼 반송 기구 ( 17 ) 에 있 어서 는 , 다 관절 구조 를 축소 시킨 상태 에서 반송 아암 ( 17 a ) 이 로드 로크 실 ( 3 ) 내 에 위치 하 고 , 다 관절 구조 를 신장 시킴 으로써 , 반송 아암 ( 17 a ) 이 PHT 처리 장치 ( 4 ) 에 위치 하 고 , 더욱 신장 시킴 으로써 COR 처리 장치 ( 5 ) 에 위치 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 고 , 반송 아암 ( 17 a ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 탑재 한 상태 에서 제 2 웨이퍼 반송 기구 ( 17 ) 의 다 관절 구조 를 신축 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 를 로드 로크 실 ( 3 ) , PHT 처리 장치 ( 4 ) , 및 COR 처리 장치 ( 5 ) 사이 에서 의 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .