또한 , 종래 의 기판 열처리 장치 에서 는 , 상기 분출 노즐 은 기판 의 한 변 을 따른 길 고 중공 ( 中空 ) 인 노즐 형상 을 가지 며 , 길 이 방향 으로 나열 된 복수 의 개구 로부터 가열 에어 를 분출 하 는 구조 로 되 어 있 고 , 노즐 전체 가 , 단열성 을 높이 기 위해서 스테인리스 등 열전도 성 이 낮 은 재료 로 구성 되 어 있 다 .