산소 스트립 은 플루오르 화 된 폴리머 층 을 스트립 핑 하 도록 제공 된다 ( 단계 120 ) . 도 7 은 이러 한 예 에서 산소 스트립 의 보다 상세 한 흐름 도 이다 ( 단계 120 ) . 산소 를 포함 하 는 스 트리핑 가스 는 플 라즈 마 프로세싱 챔버 내 로 흐른다 ( 단계 704 ) . 이러 한 예 에서 스 트리핑 가스 는 200 내지 2000 sccm 의 O 2 이 다 . 스트립 은 CO 2 , CO 및 또는 비활성 가스 들 과 같 은 다른 가스 들 을 포함 한다 . 스 트리핑 가스 는 플 라즈 마로 형성 된다 ( 단계 708 ) . 이러 한 예 에서 , RF 전력 은 60 MHz 에서 200 와트 ( Watts ) 로 제공 된다 . 스 트리핑 가스 의 흐름 은 중단 된다 ( 단계 712 ) .