본 발명 은 세정 챔버 ( cleaning chamber ) 및 이 의 도어 실링 ( door sealing ) 방법 에 관한 것 으로 , 보다 구체 적 으로 는 DI ( De - Ionized ) 등 의 액체 를 사용 해서 카세트 ( cassette ) 와 같 은 대형 대상물 에 대한 세정 공정 을 수행 하 는 세정 챔버 로서 , 특히 이 의 입구 를 개폐 하 는 도어 의 실링 구조 및 실링 방법 에 관한 것 이 다 .