또한 , 권한 설 정부 ( 86 ) 는 , 레시피 기억 부 ( 90 ) 에 기억 된 레시피 와 , 권한 기억 부 ( 92 ) 에 기억 되 어 있 는 해당 유저 ( 유저 가 속하 는 그룹 ) 의 조작 권한 정보 와 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 가동 상태 를 토대 로 , 해당 유저 의 조작 권한 을 설정 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 권한 설 정부 ( 92 ) 는 , 화면 표시 부 ( 84 ) 에 의하 여 표시 된 권한 설정 화면 ( 400 ) 을 개재 하 여 입력 된 조작 권한 정보 와 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 가동 상태 가 온라인 또는 오프라인 인 경우 를 토대 로 , 해당 유저 의 조작 권한 을 설정 하 고 , 권한 설정 정보 로서 표시 제 어부 ( 88 ) 에 출력 한다 . 즉 , 권한 설 정부 ( 86 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 가동 상태 가 온라인 또는 오프라인 인 경우 , 화면 표시 부 ( 84 ) 에 의하 여 표시 된 권한 설정 화면 ( 400 ) 을 개재 하 여 , 각각 의 조작 권한 을 설정 가능 하 도록 하 고 있 다 . 이 와 같이 하 여 , 권한 설 정부 ( 86 ) 는 , 레시피 에 대한 유저 ( 작업자 ) 의 조작 권한 을 설정 하 는 조작 권한 설정 수단 을 구성 한다 .