세 정구 ( 63 ) ( 상세 하 게 는 세정 부재 ( 63 c ) ) 는 , 제 6 단계 ( S 6 ) 에 있 어서 하강 위치 P 2 에 도달 하 여 웨이퍼 ( W ) 에 맞닿 는다 . 세정 위치 P 1 로부터 하강 위치 P 2 에 이르 는 과정 에 있 어서 , 세 정구 ( 63 ) 의 하강 속도 는 하강 위치 P 2 에서 가장 낮 아 진다 . 하강 위치 P 2 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 와 의 맞닿 음 에 의한 세정 부재 ( 63 c ) 의 탄성 압축 에 의해 , 세 정구 ( 63 ) 에 , 상측 방향 으로 의 반발 력 이 가해진다 . 세 정구 ( 63 ) 에 는 , 가압 체 ( 64 c ) 에 의해 상측 방향 으로 의 탄성 반발 력 도 가해진다 .