연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 은 연마 테이프 ( 75 ) 를 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 과 활주 접촉 시키 는 연마 헤드 ( 90 ) 와 , 연마 테이프 ( 75 ) 를 연마 헤드 ( 90 ) 에 공급 하 기 위한 공급 릴 ( 24 ) 과 , 웨이퍼 ( W ) 의 연마 에 사용 된 연마 테이프 ( 75 ) 를 회수 하 기 위한 회수 릴 ( 25 ) 을 포함 한다 . 공급 릴 ( 24 ) 과 회수 릴 ( 25 ) 은 웨이퍼 ( W ) 의 반경 방향 에 대해 연마 헤드 ( 90 ) 의 외측 에 배열 된다 . 공급 릴 ( 24 ) 은 회수 릴 ( 25 ) 주위 에 배열 된다 . 모터 ( M 2 ) 는 커플링 ( 27 ) 을 거쳐 공급 릴 ( 24 ) 과 회수 릴 ( 25 ) 에 각각 커플링 된다 . 모터 ( M 2 ) 각각 은 연마 테이프 ( 75 ) 에 소정 의 인장 을 가하 기 위해 , 소정 의 회전 방향 으로 일정 한 토크 를 발생 시키 도록 구성 된다 . 이 실시 예 에서 도 , 테이프 공급 및 회수 기구 는 공급 릴 ( 24 ) , 회수 릴 ( 25 ) , 커플링 ( 27 ) , 모터 ( M 2 ) 및 다른 요소 로 구성 된다 .