그리고 , 도 2 에 있 어서 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 도달 했 을 때 에 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 패턴 의 투영 이 개시 된다 . 또한 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 의 + Y 방향 으로 의 이동과 기판 스테이지 ( 4 ) 의 - Y 방향 으로 의 이동 을 계속 하 는 것 에 의해서 , 마스크 ( M 1 ) 의 패턴 의 상 의 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 으로 의 투영 이 연속 적 으로 행해 지 고 , 마스크 ( M 1 ) 의 제 1 패턴 이 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 에 대해서 상대 이동 됨 과 동시 에 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 대해 상대 이동 된다 . 그리고 도 2 에 있 어서 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 + Y 측 의 엣지 ( G 2 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 - Y 측 엣지 에 도달 한 시점 에서 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 패턴 의 투영 이 종료 된다 . 이것 에 의해 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 노광 ( 제 1 주사 노광 ) 이 완료 된다 . 쇼트 영역 ( SH ) 위 에 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 이 존재 하 고 있 는 동안 ( 제 1 주사 노광 중 ) 에 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 한다 . 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 1 ) 에 도 달했 을 때 에 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 패턴 의 투영 이 개시 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 의 상대 적 위치 관계 ( Y 축 방향 의 거리 ) 에 의거 하 여 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 에 대한 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 위치 및 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 위치 , 즉 제 1 스테이지 ( 61 ) 위 에 있 어서 의 제 1 마스크 ( M 1 ) 와 제 2 마스크 ( M 2 ) 와 의 상대 적 위치 관계 가 미리 조정 되 고 있 으므로 , 기판 스테이지 ( 4 ) 와 제 1 스테이지 ( 61 ) 를 동기 하 여 이동 함 으로써 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 1 ) 에 도달 했 을 때 에 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 패턴 의 투영 을 개시 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 마스크 스테이지 ( 61 ) 의 + Y 방향 으로 의 이동과 기판 스테이지 ( 4 ) 의 - Y 방향 으로 의 이동 을 계속 함 으로써 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 패턴 의 상 의 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 으로 의 투영 이 연속 적 으로 행해 지 고 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 제 2 패턴 이 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 에 대해서 상대 이동 됨 과 동시 에 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대해 상대 이동 된다 . 그리고 도 2 에 있 어서 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 + Y 측 의 엣지 ( G 2 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 Y 측 엣지 에 도달 한 시점 에서 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 패턴 의 투영 이 종료 한다 . 이것 에 의해 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 제 1 주사 노광 완료 후 에 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 노광 ( 제 2 주사 노광 ) 도 완료 된다 . 즉 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 제 1 패턴 의 상 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 제 2 패턴 의 상 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 다중 노광 도 완료 된다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 도 , 상술 의 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 각 조명계 내 에 배치 되 는 가변 시야 조리개 ( 마스크 블라인드 계 ) 에 의해서 , 각 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 하 여도 좋 다 .