본 발명 에 의한 본딩 장치 에 있 어서 , 챔버 는 가대 에 부착 되 고 , 본딩 처 리부 는 본딩 대상 의 본딩 면 을 따른 방향 으로 본딩 대상 을 이동 시키 는 스테이지 와 , 본딩 대상 에 접 리 하 는 방향 으로 본딩 툴 을 이동 시키 는 본딩 헤드 를 포함 하 는 것 으로 해도 적합 하 고 , 플 라즈 마 화 한 가스 는 희가스 와 수소 의 혼합 가스 를 플 라즈 마 화 한 것 으로 해도 적합 하 며 , 플 라즈 마 화 한 희가스 에 수소 를 혼입 하 는 혼입 노즐 을 구비 하 는 것 으로 해도 적합 하 다 .