먼저 , 제 1 챔버 ( 32 ) 와 홀 수열 처리 유닛 ( 40 , 60 ) 의 상호 간 의 기판 ( W ) 이송 과정 은 다음 과 같 다 . 기판 처리 공정 이 개시 되 면 , 제어기 ( 300 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 의 로봇 암 ( 22 ) 이 로드 포트 ( 10 ) 에 안착 된 수납 부재 ( C ) 로부터 기판 정렬 기 ( 24 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 로봇 암 ( 22 ) 을 제어 한다 . 도 5 를 참조 하 면 , 기판 정렬 기 ( 24 ) 는 처음 에 이송 되 어 진 기판 ( W ) 을 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 가 우측 방향 ( X 1 ) 을 향하 도록 기판 ( W ) 을 정렬 한다 . 노치 ( W 1 ) 가 우측 방향 ( X 1 ) 을 향하 도록 정렬 된 기판 ( W ) 은 로봇 암 ( 22 ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 1 챔버 ( 32 ) 로 이송 된다 . 제 1 챔버 ( 32 ) 에 놓여 지 는 기판 ( W ) 은 노치 ( W 1 ) 가 제 1 방향 ( Z 1 ) 을 향한다 . 제 1 방향 ( Z 1 ) 은 제 1 챔버 ( 32 ) 에 기판 ( W ) 이 놓여졌 을 때 , 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 방향 이 기판 출입구 ( 32 a ) 를 통과 하 는 로봇 암 ( 44 a ) 의 블레이드 ( 44 a ') 를 향하 는 방향 이 다 .