도 4 는 또한 10 mm 의 차폐 개구 ( 405 ) ( 2 개 의 회전 가능 차 폐부 사이 의 수직 거리 ) 를 도시 한다 . 이러 한 갭 은 , 세정 동작 들 동안 사용 된 액체 의 용량 및 액체 들 , 액체 증기 들 및 가스 들 이 수직 기판 세정 및 건조 챔버 로부터 진공 배기 되 는 진공 배기 율 과 같 은 인자 들 에 따라 주 어 진 응용 에 대해 용이 하 게 조정 될 수 있 다 .