" 본 명세서 에서 "" 상부 "" 및 "" 하부 "" 라는 용어 는 다양 한 도면 에 도시 된 처리 챔버 ( 151 ) 의 수직 배향 에 따라 사용 되 고 ", 사용 시 의 챔버 의 필수 적 인 배향 을 설명 하 도록 의도 되 지 않 는다 . 즉 , 챔버 ( 151 ) 가 가장 적합 하 게 는 수직 으로 배향 되 며 , 챔버 의 출구 단부 ( 127 ) 가 다양 한 도면 에 도시 된 바 와 같이 입 구 단부 ( 125 ) 위 에 있 지만 , 챔버 는 입 구 단부 가 출구 단부 위 에 있 는 채 로 배향 될 수 있 거나 , 수직 배향 이외 로 배향 될 수 있 는 것 으로 이해 되 고 , 이 는 본 발명 의 범주 안 에 포함 된다 .