소스 구조 ( SL ) 는 제 1 내지 제 3 소스 막 들 ( SL 1 내지 SL 3 ) , 및 더미 소스 적층 체 ( DS ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 및 제 3 소스 막 들 ( SL 1 및 SL 3 ) 각각 은 셀 적층 체 ( STc ) 및 더미 적층 체 ( STd ) 에 의해 중첩 되 도록 연장 된다 . 제 2 소스 막 ( SL 2 ) 은 제 1 소스 막 ( SL 1 ) 과 셀 적층 체 ( STc ) 사이 에 배치 되 고 , 더미 소스 적층 체 ( DS ) 는 제 1 소스 막 ( SL 1 ) 과 더미 적층 체 ( STd ) 사이 에 배치 된다 . 더미 소스 적층 체 ( DS ) 와 제 2 소스 막 ( SL 2 ) 은 서로 동일 한 높이 에 배치 될 수 있 다 . 제 3 소스 막 ( SL 3 ) 은 경우 에 따라 생략 될 수 있 다 .