리프트 핀 ( 38 ) 은 승강 모듈 ( 36 ) 에 의해 서 셉 터 ( 30 ) 가 하강 할 때 , 그 하단 이 챔버 ( 10 ) 의 바닥 면 ( 11 ) 에 가압 되 어 상단 이 기판 로딩 부 ( 31 ) 의 상면 으로 돌출 된다 . 이 에 , 유리 기판 ( G ) 을 기판 로딩 부 ( 31 ) 로부터 이격 시킨다 . 반대 로 , 서 셉 터 ( 30 ) 가 부상 하 면 , 하방 으로 이동 하 여 유리 기판 ( G ) 이 기판 로딩 부 ( 31 ) 의 상면 에 밀착 되 도록 한다 .