도 26 은 기판 반송 방법 에 있 어서 의 각 공정 의 순서 를 도시 하 는 흐름 도 이 다 . 한편 , 본 변형 예 에 따른 기판 반송 방법 에 관해서 도 , 반송 아암 ( A 3 ) 의 포크 ( 3 A ) 가 가열 모듈 ( 7 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 할 때 의 공정 을 예시 할 수 있 다 . 그리고 , 웨이퍼 ( W ) 를 전달 할 때 의 가열 모듈 ( 7 ) 과 반송 아암 ( A 3 ) 의 상태 는 도 11 에 도시 된 것 과 동일 하 다 .