상기 제 2 저유 전막 을 형성 하 는 단계 후 , 그리고 , 상기 콘 택 홀 을 형성 하 는 단계 전 , 상기 제 2 저유 전막 을 열처리 하 는 단계 ; 상기 열처리 된 제 2 저유 전막 을 상기 제 2 베리 어막 의 상면 이 노출 될 때 까지 평탄 화 시키 는 단계 ; 및 상기 평탄 화 된 제 2 저유 전막 의 표면 및 상기 노출 된 제 2 베리 어막 의 상면 에 BARC 막 을 형성 하 는 단계 ; 를 더 포함 한다 .