실시 예 11 과 동일 하 게 , 몰드 1 ∼ 3 을 이용 하 여 기판 상 에 패턴 형상 의 구조 체 를 형성 하 였 다 . 이어서 , 진공 UV 하드 닝 장치 ( 제 품명 : TVC - 5002 , 토쿄 오카 공업 사 제조 ) 를 이용 하 여 감압 을 실시 하 지 않 고 , 이 구 조체 에 대해 50 ℃, 60 초간 의 조건 으로 자외선 을 조사 하 였 다 . 그 후 , 질소 분위기 하 , 400 ℃, 30 분 간 의 조건 으로 가열 처리 를 실시 하 였 다 .