제 1 세 정실 ( 190 ) 에 는 , 1 차 세정 모듈 ( 201 ) 이 마련 되 어 있 다 . 1 차 세정 모듈 ( 201 ) 은 , 제 1 세 정실 ( 190 ) 내 에 높이 위치 를 다르 게 하 여 2 개 마련 되 고 , 그 2 개 의 1 차 세정 모듈 이 전환 되 어 사용 되 어도 된다 . 제 1 반 송실 ( 191 ) 에 는 , 제 1 반송 로봇 ( 209 ) 이 마련 되 어 있 다 . 제 2 세 정실 ( 192 ) 에 는 , 2 차 세정 모듈 ( 202 ) 이 마련 되 어 있 다 . 2 차 세정 모듈 ( 202 ) 은 , 제 2 세 정실 ( 192 ) 내 에 높이 위치 를 다르 게 하 여 2 개 마련 되 고 , 그 2 개 의 2 차 세정 모듈 이 전환 되 어 사용 되 어도 된다 . 제 2 반 송실 ( 193 ) 에 는 , 제 2 반송 로봇 ( 210 ) 이 마련 되 어 있 다 . 건조실 ( 194 ) 에 는 , 건조 모듈 ( 205 ) 이 마련 되 어 있 다 . 건조 모듈 ( 205 ) 은 , 건조실 ( 194 ) 내 에 높이 위치 를 다르 게 하 여 2 개 마련 되 고 , 그 2 개 의 건조 모듈 이 전환 되 어 사용 되 어도 된다 .