또 , 상기 의 스테이지 장치 에 있 어서 는 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 위치 를 검출 하 기 위한 X 방향 레이저 간섭계 ( 11 ) 와 Y 방향 레이저 간섭계 ( 12 ) 가 설치 되 어 있 다 . X 방향 레이저 간섭계 ( 11 ) 에 의해 평면 플레이트 ( 6 ) 의 X 방향 이동 거리 를 검출 하 고 , Y 방향 레이저 간섭계 ( 12 ) 에 의해 평면 스테이지 ( 5 ) 의 Y 방향 이동 거리 를 검출 하 고 있 다 . 즉 , X 방향 레이저 간섭계 ( 11 ) 와 Y 방향 레이저 간섭계 ( 12 ) 에 의해 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 원점 위치 로부터 의 이동 거리 를 검출 하 여 , 그 검출 신호 를 제 어부 ( 13 ) 에 출력 하 고 있 다 . 제 어부 ( 13 ) 에서 는 검출 신호 에 의거 하 여 평면 플레이트 ( 6 ) 의 위치 좌표 를 연산 한다 . 제 어부 ( 13 ) 에 는 , 미리 평면 플레이트 ( 6 ) 의 위치 좌표 에 대해서 , 복수 의 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 4 ) 과 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 5 ) 중 , 어느 추력 발생 수단 을 동작 시킬 지 의 정보 가 기억 되 어 있 다 . 제 어부 ( 13 ) 는 이 정보 에 의거 해 동작 시켜야 할 추력 발생 수단 을 선택 하 여 동작 시킨다 .