다음 으로 , 5 단계 는 방오 코팅 층 형성 전 밀착력 향상 층 표면 을 플 라즈 마 처리 하 여 표면 개질 시키 는 단계 이 다 . 상기 표면 개질 은 방오 코팅 제 도포 시 보다 균일 하 게 도포 될 수 있 도록 함 과 동시 에 포토 마스크 의 표면 에 결합 에 사용 되 는 수산화 ( - OH ) 기 를 형성 시켜줌 으로써 상기 밀착력 향상 층 과 방오 코팅 제 간 의 밀착력 을 향상 시키 기 위한 것 이 다 .