도 7 은 도 6 의 초음파 처리 장치 ( 600 ) 에 적용 된 초음파 발생 모듈 ( 604 ) 의 개념 도 이 다 . 초음파 발생 모듈 ( 604 ) 은 초음파 매질 ( 704 ) 이 채워진 카트리지 하우징 ( 702 ) 내 에 복수 의 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 를 구비 한다 . 복수 의 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 는 상이 한 높이 에 위치 되 거나 초음파 발 진체 의 곡률 반경 이 상이 하 여 카트리지 윈도우 ( 708 ) 로부터 의 초점 거리 가 상이 하 다 . 또한 , 복수 의 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 는 서로 다른 세기 로 초음파 를 발생 시킬 수 있 다 . 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 는 카트리지 하우징 ( 702 ) 내 에 위치 되 고 , 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 상부 측 으로 또는 하부 측 으로 초음파 를 조사 하 도록 설치 될 수 있 다 . 본 구 현예 에서 와 같이 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 가 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 하부 측 으로 초음파 를 조사 하 는 경우 카트리지 윈도우 ( 708 ) 는 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 하면 에 설치 된다 . 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 가 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 상부 측 으로 초음파 를 조사 하 는 경우 카트리지 윈도우 는 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 상면 에 설치 된다 . 초음파 발생 모듈 ( 604 ) 은 전원 라인 ( 708 ) 을 통해 복수 의 초음파 트랜스 듀 서 ( 706 ) 에 전원 을 공급 하 고 , 제 어 라인 ( 710 ) 을 통해 제 어부 ( 미도 시 됨 ) 로부터 의 제어 신호 를 공급 한다 . 카트리지 하우징 ( 702 ) 내부 의 초음파 매질 ( 703 ) 을 순환 시킬 수 있 는 매질 순환 라인 ( 714 ) 을 더 포함 하 고 , 매질 순환 라인 ( 714 ) 에 는 초음파 매질 의 온도 를 측정 하 는 온도 센서 ( 712 ) 가 설치 된다 . 매질 순환 라인 ( 714 ) 은 전원 라인 ( 708 ) 및 제 어 라인 ( 710 ) 과 하나 의 케이블 형태 로 묶여서 구성 될 수 있 다 . 매질 순환 라인 ( 714 ) 은 온도 센서 ( 712 ) 로부터 온도 정보 를 전달 받 고 , 카트리지 하우징 ( 702 ) 내부 의 매질 이 초음파 에 의해 미리 설정 된 온도 이상 으로 가열 되 는 경우 매질 을 외부 로 순환 시킴 으로써 매질 의 온도 를 적절 한 온도 로 유지 시킨다 . 초음파 발생 모듈 ( 604 ) 은 카트리지 하우징 ( 702 ) 에 위치 되 어 체크 밸브 ( 716 ) 를 더 구비 한다 . 체크 밸브 ( 716 ) 는 카트리지 하우징 ( 702 ) 의 내부 에서 발생 된 가스 를 방출 한다 . 초음파 매질 은 초음파 에 의해 가열 되 어 가스 를 생성 할 수 있 다 . 가스 는 카트리지 하우징 ( 702 ) 내부 에 기포 로 존재 하 게 되 므로 초음파 의 전달 을 방해 한다 .