헤드 유닛 ( 62 A ') 은 , 전술 한 이동 스케일 ( 39 A ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ')) 의 X 축 방향 의 위치 ( X 위치 ) 및 Y 축 방향 의 위치 ( Y 위치 ) 를 계측 하 는 다안 ( 여기 서 는 5 안 ) 의 XY 리니어 인코더 ( 이하 , 적절히 「 XY 인코더 」 또는 「 인코더 」 라고 약기 한다 ) ( 170 A ) ( 도 32 참조 ) 를 구성 한다 . 동일 하 게 , 헤드 유닛 ( 62 B ') 은 , 전술 한 이동 스케일 ( 39 B ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ')) 의 X 위치 및 Y 위치 를 계측 하 는 다안 ( 여기 서 는 5 안 ) 의 XY 인코더 ( 170 B ) ( 도 32 참조 ) 를 구성 한다 . 여 기서 , 헤드 유닛 ( 62 A ', 62 B ') 이 각각 구비 하 는 5 개 의 헤드 ( 165 , 164 ) ( 보다 정확 하 게 는 , 헤드 ( 165 , 164 ) 가 발하 는 계측 빔 ( 인코더 빔 ) 의 이동 스케일 상 의 조사 점 ) 의 X 축 방향 의 간격 ( WD ) 은 , 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 의 X 축 방향 의 폭 보다 약간 좁 게 설정 되 어 있 다 . 여기 서 이동 스케일 의 폭 이란 , 회절 격자 ( 또는 그 형성 영역 ) 의 폭 , 보다 정확 하 게 는 헤드 에 의한 위치 계측 이 가능 한 범위 를 가리킨다 .