도 4 는 , 본 실시 형태 에 있 어서 의 멀티 빔 의 조사 영역 과 측정 용 화소 의 일례 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 4 에 있 어서 , 각 마스크 다이 ( 33 ) 는 , 예 를 들 어 멀티 빔 의 빔 직경 으로 메 쉬 형 의 복수 의 메 쉬 영역 으로 분할 된다 . 이러 한 각 메 쉬 영역 이 , 측정 용 화소 ( 36 ) ( 단위 조사 영역 ) 로 된다 . 도 4 의 예 에서 는 , 8 × 8 열 의 멀티 빔 의 경우 를 도시 하고 있 다 . 1 회 의 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 조사 로 조사 가능 한 조사 영역 ( 34 ) 은 , ( 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 x 방향 의 빔 간 피치 에 x 방향 의 빔 수 를 곱한 x 방향 사이즈 ) × ( 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 y 방향 의 빔 간 피치 에 y 방향 의 빔 수 를 곱한 y 방향 사이즈 ) 로 정의 된다 . 도 4 의 예 에서 는 , 조사 영역 ( 34 ) 이 마스크 다이 ( 33 ) 와 동일 한 사이즈 인 경우 를 도시 하고 있 다 . 단 , 이것 에 한하 는 것 은 아니 다 . 조사 영역 ( 34 ) 이 마스크 다이 ( 33 ) 보다 작 아도 된다 . 혹은 커 도 상관없 다 . 그리고 , 조사 영역 ( 34 ) 내 에 , 1 회 의 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 조사 로 조사 가능 한 복수 의 측정 용 화소 ( 28 ) ( 1 샷 시 의 빔 의 조사 위치 ) 가 나타나 있 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 인접 하 는 측정 용 화소 ( 28 ) 간 의 피치 가 멀티 빔 의 각 빔 간 의 피치 로 된다 . 도 4 의 예 에서 는 , 인접 하 는 4 개 의 측정 용 화소 ( 28 ) 로 둘러싸 임 과 함께 , 4 개 의 측정 용 화소 ( 28 ) 중 1 개 의 측정 용 화소 ( 28 ) 를 포함 하 는 정사각형 의 영역 으로 1 개 의 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 구성 한다 . 도 4 의 예 에서 는 , 각 서브 조사 영역 ( 29 ) 은 , 4 × 4 화소 ( 36 ) 로 구성 되 는 경우 를 도시 하고 있 다 .