또한 , 제 1 처리 예 및 제 2 처리 예 에서 는 , 건조 전 린스 처리 에 있 어서 기판 ( W ) 에 용제 가 공급 된다 . 그리고 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 용제 가 제거 되 어 , 기판 ( W ) 이 건조 된다 . 건조 전 린스 처리 에 있 어서 기판 ( W ) 에 공급 되 는 용제 는 물 보다 표면장력 이 작 다 . 따라서 , 건조 전 린스 처리 에 있 어서 순수 가 기판 ( W ) 에 공급 되 는 경우 보다 도 패턴 ( P ) 의 도괴 를 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 건조 전 린스 처리 에 있 어서 기판 ( W ) 에 공급 되 는 용제 는 물 보다 비점 이 낮 다 . 따라서 , 건조 전 린스 처리 에 있 어서 순수 가 기판 ( W ) 에 공급 되 는 경우 보다 도 기판 ( W ) 을 신속 하 게 건조 시킬 수 있 다 .