HDAM 의 장점 은 기존 정렬 측정 공정 과 비교 하 여 더 높 은 밀도 를 갖 는 정렬 계측 이 며 , " 이 는 예 를 들 어 기존 측정 공정 보다 더 높 은 공간 주파수 에서 기판 핑거 프린트 를 캡 처할 수 있 다 . 부가 적 인 또는 대안 적 인 이점 은 다수 의 입력 ( 기여 도 ) 을 갖 는 이 전산 계측 이 오차 의 전 - 리소그래피 전사 클러스터 링 ( clustering ) 및 패 터닝 공정 에서 의 예 를 들 어 상이 한 우선 순위 를 갖 는 다수 의 자동 공정 제어 스레드 ( threads ) 를 포함 할 수 있 는 능력 을 가능 하 게 한다는 것 이 다 . 부가 적 인 또는 대안 적 인 이점 은 이 전산 계측 이 "" 인라인 "" 으로 ", 즉 기판 의 처리 중 에 수행 될 수 있 으며 , 따라서 ( 기판 이 재 작업 , 폐기 등 이 될 수 있 도록 ) 피드포워드 보정 에 및 / 또는 편 위 ( excursion ) 를 식별 하 기 위한 툴 로서 적합 할 수 있 다 . 부가 적 인 또는 대안 적 인 이점 은 이 전산 계측 이 높 은 샘플링 밀도 로 인하 여 정렬 의 기판 핑거 프린트 의 보다 정확 한 캡처 를 결정 을 가능 하 게 할 수 있 다는 것 이 다 . 부가 적 인 또는 대안 적 인 이점 은 이 전산 계측 이 더욱 정확 한 정렬 입력 으로 인하 여 기판 성능 에 대하 여 개선 된 오버레이 기판 을 가능 하 게 할 수 있 다는 것 이 다 .