이어서 , 게이트 전극 ( 334 ) , 배선 ( 314 및 315 ) , 단자 전극 ( 350 ) 으로서 , 상기 이외 에 도 티타늄 ( Ti ) , 텅스텐 ( W ) , 탄탈 ( Ta ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 네오 듐 ( Nd ) , 코발트 ( Co ) , 지르코늄 ( Zr ) , 아연 ( Zn ) , 루테늄 ( Ru ) , 로듐 ( Rh ) , 팔라듐 ( Pd ) , 오스뮴 ( Os ) , 이리듐 ( Ir ) , 백금 ( Pt ) , 알루미늄 ( Al ) , 금 ( Au ) , 은 ( Ag ) , 구리 ( Cu ) 로부터 선택 된 원소 , 또는 상기 원소 를 주성분 으로 하 는 합금 재료 또는 화합물 재료 로 이루어지 는 단층 막 , 또는 이 들 의 질화물 , 예 를 들 면 , 질화 티타늄 , 질화 텅스텐 , 질화 탄탈 , 질화 몰리브덴 으로 이루어지 는 단층 막 을 사용 할 수 있 다 .