이후 , 검증 유닛 ( 30 ) 은 공정 챔버 에서 의 기판 처리 를 위한 공정 레시피 에 관련 되 는 제어 신호 들 을 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로 출력 한다 . 검증 유닛 ( 30 ) 으로부터 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로 전달 되 는 제어 신호 들 은 실제 공정 레시피 에 따라 시계열 적 으로 변화 할 수 있 다 .