도 9 는 해상도 조절 방향 과 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ) 으로 제 1 라인 패턴 이 끊 어 져 있 고 , 참조 부호 b 로 표시 한 끊어진 부분 의 거리 ( 이격 거리 ) 가 3 F 1 ( 제 1 라인 패턴 의 피쳐 사이즈 의 3 배 ) 인 경우 이 다 . 물론 , 제 1 라인 패턴 의 피쳐 사이즈 ( F 1 ) 가 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 을 덮 는 캡 핑 막 ( 20 ) 의 두께 와 동일 할 경우 3 F 1 은 3 X 가 된다 . 끊어진 부분 의 거리 가 2 F 1 초과 ( 예컨대 도 9 와 같이 3 F 1 ) 하 는 경우 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 이 끊어진 부분 에 는 제 2 패턴 막 ( 도 4 의 22 ) 이 증착 된다 . 이렇게 되 면 , 최종 적 으로 도 11 a 및 도 11 b 에 도시 한 바 와 같이 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 들 의 양측 에 인접 하 여 위치 하 는 제 2 라인 패턴 들 ( 22 a ) 이 접속 패턴 ( 22 b , 브릿지 패턴 ) 으로 서로 연결 ( 단락 , short ) 된다 . 이렇게 되 면 , 제 2 라인 패턴 ( 22 a ) 은 접속 패턴 ( 22 b ) 을 별도 의 트리밍 공정 으로 제거 하 지 않 고 는 독립 적 인 개별 라인 패턴 이 될 수 없 다 .