또한 , 상부 전극 ( 4 ) 은 , 그 위쪽 이나 측방 에 배치 되 어 석영 이나 테 프론 ( 등록 상표 ) 등 의 유전체 로 구성 되 고 링 형상 의 상부 전극 절연체 ( 12 ) 에 의해 , 진공 용기 ( 10 ) 로부터 전기 적 으로 절연 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 샤워 플레이트 ( 5 ) 의 주위 에 는 , 석영 등 의 유전체 로 구성 되 는 절연 링 ( 13 ) 이 배치 되 어 있 으며 , 샤워 플레이트 ( 5 ) 는 , 진공 용기 ( 10 ) 로부터 절연 되 어 있 다 . 이 들 상부 전극 절연체 ( 12 ) 와 절연 링 ( 13 ) 과 상부 전극 ( 4 ) , 샤워 플레이트 ( 5 ) 는 , 진공 용기 ( 10 ) 의 상부 를 구성 하 는 덮개 부재 ( 도시 생략 ) 에 고정 되 어 있 으며 , 덮개 부재 의 개폐 동작 시 에 덮개 부재 와 일체 적 으로 회동 한다 .