본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 과 같이 링 부재 만 을 저장 하 는 풉 ( FOUP ) 을 따로 제작 하 여 사용 할 수 있 다 . 전술 한 바 와 같이 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 이 인덱스 모듈 ( 10 ) 에 위치 하 는 경우 , OHT 에 의해 반송 될 염려 가 있 으나 , 반송 되 지 않 도록 설비 에서 통신 변경 을 수행 하 여 반송 대상 으로 선정 하 지 않 을 수 있 다 . 추가 적 으로 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 의 외부 에 HMER Ring Foup 이 라고 각인 을 하 여 에러 의 발생 가능 성 을 방지 할 수 있 다 . 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 의 경우 , 링 부재 및 캐리어 를 저장 할 수 있 는 것 으로 별도 로 제작 할 수 있 다 . 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 은 밀폐 된 구조 로 제공 될 수 있 다 .