이하 , 도 6 a 내지 도 6 f 를 참조 하 여 제 4 실시 형태 에 따른 물품 제조 방법 및 막 형성 방법 을 설명 한다 . 제 4 실시 형태 로서 언급 되 지 않 은 사항 은 제 1 내지 제 3 실시 형태 중 임의 의 것 을 따를 수 있 다 . 제 4 실시 형태 에서 는 , 제 1 및 제 2 실시 형태 에 있 어서 의 평탄 화 막 ( 5 ) 및 초점 보상 막 ( 3 ) 을 포함 하 는 구조 체 에 대응 하 는 막 이 초점 보상 막 ( 3 ) 으로서 1 회 의 막 형성 단계 에서 형성 된다 .