상기 질소 함유 구조 는 , 상기 주 쇄 구성 탄소 원자 에 직접 결합 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 질소 함유 구조 로서 는 , 질소 원자 를 하나 이상 갖 고 , 또한 해당 질소 원자가 N - H 결합 을 갖 지 않 는 것 이 면 특별히 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 상기 질소 함유 구조 는 , N - H 결합 을 갖 지 않 는 아미드 구조 , 이미드 구조 , 아지리딘 구조 , 아 제티 딘 구조 , 아 제트 구조 , 아 졸리 딘 구조 , 아졸 구조 , 아 지난 구조 , 피리딘 구조 , 아 제 판 구조 , 아 제 핀 구조 , 락탐 구조 , 모르 폴린 구조 , 퀴놀린 구조 , 인돌 구조 및 아미딘 구조 중 1 종 또는 2 종 이상 일 수 있 다 . 그 중 에서 도 , 아미드 구조 , 아졸 구조 , 락탐 구조 , 모르 폴린 구조 및 아미딘 구조 중 어느 것 을 갖 는 구성 단위 A 인 것 이 바람직 하 다 . 여기 서 아미드 구조 는 , 질소 원자 에 인접 하 는 탄소 원자 가 산소 원자 와 의 이중 결합 을 갖 는 구조 를 의미 하 며 , 전형 적 으로 는 - C ( = O ) - N - 로 표시 되 는 구조 를 말 한다 . 아졸 구조 는 , 질소 원자 를 하나 이상 포함 하 는 복소 5 원환 구조 를 말 하 며 , 질소 원자 이외 의 복소 원자로 치환 된 구조 를 포함 하 는 개념 이 다 . 질소 원자 이외 의 복소 원자 로서 는 , 예 를 들 어 산소 원자 ( O ) 나 황 원자 ( S ) 를 들 수 있 다 . 아졸 구조 는 , 예 를 들 어 피롤 구조 , 이미다졸 구조 , 피라졸 구조 , 이 소티 아졸 구조 , 이 소옥 사졸 구조 , 푸 라잔 구조 를 포함 할 수 있 다 . 락탐 구조 는 , 복소 환 의 일부 에 - C ( = O ) - NRa - 를 포함 하 는 구조 를 말 하 며 , α - 락탐 구조 , β - 락탐 구조 , γ - 락탐 구조 , δ - 락탐 구조 , ε - 카프로락탐 구조 등 을 포함 할 수 있 다 . 아미딘 구조 는 , - C ( = NRa ) - NRbRc 로 표시 되 는 구조 를 말 한다 . 상기 와 같 은 질소 함유 구조 를 포함 하 는 구성 단위 A 를 주 쇄 에 갖 는 질소 함유 수용성 고분자 를 사용 하 여 연마 를 행함 으로써 , 연마 후 표면 에 있 어서 의 에지 롤 오프 양 이 효과 적 으로 저감 될 수 있 다 .