일 실시 예 에서 , 제 1 재료 층 들 및 제 2 재료 층 들 은 각각 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 및 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 일 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 각각 의 제 1 절연 층 ( 132 ) 은 제 1 절연 재료 를 포함 할 수 있 고 , 각각 의 제 1 희생 재료 층 ( 142 ) 은 제 1 희생 재료 를 포함 할 수 있 다 . 교번 하 는 복수 의 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 및 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 이 인 - 프로세스 소스 레벨 재료 층 들 ( 10 ') 위 에 형성 된다 . 본 명세서 에서 사용 되 는 바 와 같이 , " "" 희생 재료 "" 는 후속 프로세싱 단계 동안 제거 되 는 재료 를 지칭 한다 . "