실시 예 에 따라 , 제 1 전극 들 ( 120 ) 각각 의 내측 에 는 이 에 대응 하 는 제 3 전극 ( 160 ) 의 전극 부 ( 162 ) 가 위치 될 수 있 다 . 예컨대 , 전극 부 ( 162 ) 는 제 1 감지 셀 들 ( 122 ) 각각 의 개구부 내측 에 , 상기 제 1 감지 셀 들 ( 122 ) 로부터 이격 되 도록 제공 될 수 있 다 . 일례 로 , 각각 의 전극 부 ( 162 ) 는 제 1 전극 들 ( 120 ) 각각 의 내측 에 제공 된 개구부 에 각각 의 제 1 더미 패턴 ( 126 ) 과 중첩 되 도록 위치 될 수 있 다 .