원통형 격벽 ( 410 ) 은 공정 챔버 ( 200 ) 의 일면 에 형성 된 오프닝 ( 206 ) 에 관통 되 어 설치 된다 . 원통형 격벽 ( 410 ) 은 상단 이 공정 챔버 ( 200 ) 의 내부 에 위치 되 고 , 하단 이 공정 챔버 의 바닥 면 바깥쪽 에 위치 된다 . 원통형 격벽 ( 410 ) 은 기판 지지 부 ( 210 ) 와 플라 즈 마 소스 부 ( 500 ) 가 수용 될 수 있 는 충분 한 내부 공간 을 제공 한다 . 원통형 격벽 은 금속 또는 비금속 ( 세라믹 등 ) 소재 로 제작 될 수 있 으나 , 금속 소재 로 만들 경우 에 는 반 듯 히 전기 적 으로 접지 하 는 것 이 바람직 하 다 . 지지 구조물 ( 290 ) 에 의해 지 지 되 어 있 는 기판 지지 부 ( 210 ) 는 플 라즈 마 소스 부 ( 500 ) 와 소정 간격 이격 된 높이 에서 원통형 격벽 ( 410 ) 안쪽 에 위치 된다 . 기판 지지 부 ( 210 ) 와 원통형 격벽 ( 410 ) 사이 는 수평 플레이트 ( 490 ) 가 설치 되 며 , 수평 플레이트 ( 490 ) 는 공정 챔버 ( 200 ) 의 바닥 면 ( 204 ) 과 동일 선상 에 위치 된다 . 원통형 격벽 ( 410 ) 은 하단 에 개방 된 통로 ( 416 ) 를 갖 으며 , 이 통로 ( 416 ) 를 통해 지 지 구조물 ( 290 ) 이 기판 지지 부 ( 210 ) 를 지지 하 고 , 기판 지지 부 ( 210 ) 로 제공 되 는 다양 한 라인 ( 진공 라인 , 전원 라인 , 냉각 라인 등 ) ( 미도 시 됨 ) 들 이 기판 지지 부 ( 210 ) 와 연결 된다 .