커버 ( 240 ) 는 기판 ( 215 ) 의 소정 의 공정 이 진행 될 영역 ( 215 a ) 에 대응 하 는 크기 의 제 2 관통 홀 ( 250 ) 을 구비 하 여 제 2 지지 홈 ( 230 ) 에 배치 된다 . 커버 ( 240 ) 는 제 2 지지 홈 ( 230 ) 에 기판 ( 215 ) 의 소정 의 공정 이 진행 될 영역 ( 215 a ) 을 제외 한 나머지 영역 과 중첩 되 도록 배치 된 후 기판 ( 115 ) 이 움직이 지 않 도록 고정 한다 . 이때 , 커버 ( 240 ) 의 기판 ( 215 ) 과 중첩 되 지 않 는 부분 에 는 복수 의 고정 핀 ( 250 ) 을 꽂 아 , 커버 ( 240 ) 가 제 2 지지 홈 ( 230 ) 에 더욱 단단히 고정 될 수 있 도록 한다 .