큐어 링 공정 은 저온 스팀 어 닐 ( steam anneal ) 방식 과 고온 N 2 어 닐 방식 의 혼합 방식 을 이용 하 여 터널 절 연막 ( 102 ) 의 추가 스마일 링 을 억제 하 는 수준 에서 진 행한다 . 이때 , 큐어 링 공정 완료 후 , Si , H 및 N 으로 이루어진 PSZ 물질 에서 N 이 탈착 되 고 , H 가 치환 되 어 SiO 2 막 으로 이루어지 는 고형 화 된 PSZ 막 이 형성 된다 .