윈도우 ( 100 ) 및 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 챔버 ( 10 ) 내부 에 배치 된다 . 윈도우 ( 100 ) 및 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 챔버 ( 10 ) 내부 를 진공 분위기 로 유지 되 는 제 1 챔버 ( 12 ) 와 대기압 분위기 로 유지 되 는 제 2 챔버 ( 14 ) 로 상호 구획 한다 . 윈도우 ( 100 ) 는 적어도 하나 가 배치 되 고 , 본 발명 의 일 실시 예 로서 복수 개 로 분할 되 어 배치 된다 . 윈도우 ( 100 ) 의 크기 가 대형 화 되 는 기판 ( S ) 의 크기 에 대응 되 면 자중 에 의해 처짐 현상 이 발생 할 수 있 으므로 , 윈도우 ( 100 ) 는 복수 개 로 분할 되 어 배치 된다 . 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 복수 개 로 분할 된 윈도우 ( 100 ) 를 지지 하 도록 마련 된다 . 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 공정 공간 ( 12 b ) 과 수용 공간 ( 14 b ) 사이 에 배치 된다 . 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 본 발명 의 일 실시 예 로서 9 개 로 분할 된 윈도우 ( 100 ) 를 지지 하나 , 윈도우 ( 100 ) 의 개수 변경 에 따라 다양 하 게 설계 변경 될 수 있 다 . 그리고 , 윈도우 프레임 ( 105 ) 은 윈도우 ( 100 ) 의 자중 에 의한 처짐 현상 을 제한 하 기 위해 복수 개 의 서포터 ( 130 ) 에 연결 된다 .