이때 , 상기 제 1 세정 챔버 ( S 1 ) 의 바닥 에 는 제 3 컨베이어 ( r 3 ) 가 배치 되 며 , 제 2 세정 챔버 ( S 2 ) 의 바닥 에 는 제 4 컨베이어 ( r 4 ) 가 배치 된다 . 그리고 , 상기 제 3 및 제 4 컨베이어 ( r 3 , r 4 ) 의 외부 면 에 는 적절 한 마찰력 을 갖 는 부재 가 구비 됨 으로써 기판 ( G ) 이 이송 중 미끄러지 는 것 을 방지 할 수 있 다 .