상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따른 가스 공급 장치 는 , 액상 의 소스 를 수용 하 는 용기 와 , 상기 용기 의 상부 를 밀폐 하 는 커버 와 , 상기 커버 를 통하 여 하방 으로 연장 하 며 각각 의 하단 부 들 이 상기 용기 에 수용 된 액상 소스 내 에 침지 되 고 , 상기 액상 소스 를 기화 시키 기 위하 여 상기 액상 소스 내 에서 캐리어 가스 의 버블 링 이 발생 되 도록 상기 캐리어 가스 를 공급 하 는 다수 의 제 1 가스 공급 배관 들 과 , 각각 의 제 1 가스 공급 배관 들 로부터 공급 된 캐리어 가스 의 버블 링 에 의해 형성 된 소스 가스 들 이 서로 혼합 되 지 않 도록 상기 커버 로부터 하방 으로 연장 하 며 상기 용기 의 내부 공간 을 다수 의 공간 들 로 구획 하 는 적어도 하나 의 공간 구획 부재 와 , 상기 구획 된 공간 들 과 연통 하 며 상기 소스 가스 들 을 외부 로 공급 하 기 위한 제 2 가스 공급 배관 들 을 포함 할 수 있 다 .