최근 에 는 , 상기 커패시터 들 이 하부 의 소오 스 / 드레 인 의 위치 에 관계없이 이웃 하 는 커패시터 들 간 의 사이 가 넓 게 배치 될 수 있 도록 하 기 위한 공정 이 개발 되 고 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 커패시터 와 접속 하 는 콘 택 플러그 에 해당 하 는 스토리지 노드 콘 택 의 상부 면 을 상대 적 으로 넓 은 형상 을 갖 도록 형성 하 거나 또는 상기 스토리지 노드 콘 택 의 상부 면 에 랜딩 패드 를 형성 함 으로서 상기 커패시터 및 스토리지 노드 콘 택 의 접촉 마진 을 증가 시키 고 있 다 .