본 실시 예 에서 는 상기 제 1 소스 로 TiCl 4 가스 를 , 제 2 소스 로 NH 3 가스 를 사용 하 며 , 상기 TiCl 4 가스 및 NH 3 가스 는 약 1 : 8 내지 9 의 유량 비 로 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , TiCl 4 가스 50 sccm 와 NH 3 가스 425 sccm 을 약 0 . 2 내지 2 초 동안 제공 할 수 있 다 . 이 경우 , 상기 제 1 소스 및 제 2 소스 사이 의 유량 비 를 시간 으로 조절 할 수 있 다 .