상기 하부 전극 ( 10 ) 과 상기 상부 전극 ( 30 ) 은 각각 결정질 상태 에서 티타늄 질화물 ( TiN ) 로 형성 될 수 있 다 . 특정 전극 의 재료 는 특정 결정 방위 에 제한 되 지 않 으나 , 하부 전극 ( 10 ) 과 상부 전극 ( 30 ) 은 각각 상이 한 결정 방위 를 가져야 하 며 , 이 는 특정 범위 의 온도 처리 시 하부 전극 ( 10 ) 과 상부 전극 ( 30 ) 사이 에 위치 하 는 하프늄 산화 막 전구체 에 상전이 를 위한 에너지 를 전가 하 기 위함 이 다 .