본 개시 에서 기술 된 공정 시퀀스 에서 , 전 구체 는 연속 적 으로 공급 되 는 캐리어 가스 를 이용 하 여 펄스 로 공급 될 수 있 다 . 이 는 , 캐리어 가스 라인 이 전구체 저 장부 ( 용기 ) 를 갖 는 우회 라인 과 함께 제공 되 고 주 라인 과 우회 라인 이 스위칭 되 는 유동 - 경로 시스템 ( FPS ) 을 이용 하 여 달성 될 수 있 으며 , 여기 에서 캐리어 가스 만 을 반응 챔버 에 투입 하 고자 할 경우 에 는 우회 라인 이 닫히 는 반면 , 캐리어 가스 및 전 구체 가스 둘 모두 를 반응 챔버 에 투입 하 고자 할 경우 에 는 주 라인 이 닫히 고 , 캐리어 가스 는 우회 라인 을 통해 흐르 고 전구체 가스 와 함께 용기 로부터 유출 된다 . 이러 한 방식 으로 , 캐리어 가스 는 반응 챔버 내 로 연속 해서 흐를 수 있 고 , 주 라인 과 우회 라인 을 스위칭 함 으로써 전구체 가스 를 펄스 로 이송 할 수 있 다 . 도 1 b 는 본 발명 의 구 현예 에 따른 유동 통과 시스템 ( FPS ) 을 사용 하 는 전구체 공급 시스템 을 도시 한다 ( 검은색 밸브 는 밸브 가 닫혔 음 을 표시 함 ) . 도 1 b 의 ( a ) 에 나타난 바 와 같이 , 전 구체 를 반응 챔버 ( 미 도시 ) 에 공급 할 경우 , 우선 , Ar ( 또는 He ) 과 같 은 캐리어 가스 가 밸브 ( b ) 및 밸브 ( c ) 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른 후 , 용기 ( 저 장부 ) ( 30 ) 로 진입 한다 . 캐리어 가스 는 용기 ( 30 ) 내부 의 증기압 에 상응 하 는 양 으로 전구체 가스 를 이송 하 면서 용기 ( 30 ) 로부터 유출 되 고 , 밸브 ( f ) 및 밸브 ( e ) 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른 후 전구체 와 함께 반응 챔버 에 공급 된다 . 위 에서 , 밸브 ( a ) 및 밸브 ( d ) 는 닫힌다 . 캐리어 가스 ( 귀 가스 ) 만 을 반응 챔버 에 공급 할 경우 , 도 1 b 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 캐리어 가스 는 용기 ( 30 ) 를 우회 하 며 밸브 를 갖 는 가스 라인 을 통해 흐른다 . 위 에서 , 밸브 ( b , c , d , e , 및 f ) 는 닫힌다 .