도 15 로부터 , CHF 3 과 Ar 의 유량 비 CHF 3 / Ar 에 대해서 는 유량 비 가 커지 면 ( 즉 , CHF 3 유량 을 증가 시키 면 ) , 패턴 의 소밀 에 의한 측벽 경사 각도 차 가 확대 하 는 경향 이 있 고 , 유량 비 CHF 3 / Ar 에 의해 상기 측벽 경사 각도 차 를 해소 하 는 것 이 곤란 한 것 이 판명 되 었 다 .