이 동부 ( 200 ) 를 통하 여 기판 ( S ) 이 이송 되 는 도중 에 부상 스테이지 ( 100 ) 는 기판 ( S ) 을 부상 시키 기 위한 에어 를 분사 할 수 있 다 . 기판 ( S ) 은 부상 스테이지 ( 100 ) 에서 일정 거리 만큼 이격 된 상태 로 이송 될 수 있 다 . 즉 , 이 동부 ( 200 ) 에 접촉 하 지 않 은 기판 ( S ) 의 다른 부분 이 함몰 되 지 않 은 상태 로 기판 ( S ) 이 이송 될 수 있 는 것 이 다 . 부상 스테이지 ( 100 ) 에 접촉 하 지 않 은 상태 로 기판 ( S ) 이 이송 됨 에 따라 기판 ( S ) 과 부상 스테이지 ( 100 ) 간 의 마찰 이 방지 되 고 , 마찰 로 인한 파티클 의 발생 이 방지 될 수 있 다 .