역사 적 으로 , 리소그래피 툴 에서 레티 클 의 패 터닝 슬라이드 및 마운 팅 슬라이드 는 동일 하 며 , 레티 클 스테이지 플레이트 의 평면 에서 레티 클 중심 평면 을 형성 한다 . 따라서 , 6 자유도 ( DOF ) 로 의 스테이지 위치 정보 ( knowledge ) 는 6 DOF 로 의 레티 클 패 터닝 된 표면 위치 정보 를 유도 한다 . 6 DOF 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , X , Y , Z , Rx , Ry 및 Rz 이 다 . 하지만 , 극자 외 ( EUV ) 레티 클 의 마운 팅 ( 또는 클램 핑 ) 은 거의 확실 하 게 ( 예 를 들 어 , 패 터닝 된 표면 과 반 대인 ) 레티 클 의 후 방면 에서 이루어질 것 이 다 . 후 방면 클램 핑 은 경사 프로파일 ( tilt profile ) 과 레티 클 높이 의 함수 인 레티 클 스테이지 에 대해 레티 클 초점 평면 위치 를 유도 한다 . 따라서 , DUV ( deep ultra violet ) 시스템 들 과 반대 로 , 레티 클 스테이지 위치 정보 는 레티 클 의 패턴 이 모든 6 DOF 로 어디 에 위치 되 는지 결정 하 지 않 는다 . 아웃 - 오브 - 플레인 ( out - of - plane ) DOF ( Z , Rx 및 Ry ) 는 레티 클 의 두께 변동 으로 인해 쉽 게 결정 될 수 없 다 . ( 클램 핑 된 측면 과 반 대인 ) 레티 클 의 패 터닝 된 측면 의 위치 는 모든 6 자유도 로 정확히 알려져야 할 필요 가 있 다 .