[ 0065 ] 전력 은 공통 RF 소스 로부터 공급 될 수 있 거나 , 또는 상이 한 RF 소스 들 , 이를테면 RF 정합 부들 ( RF 임피던스 정합 네트워크 들 ) ( 542 및 544 ) 로부터 공급 될 수 있 다 . 제 1 RF 생성기 를 이용 하 여 코일 안테나 들 중 2 개 를 구동 시키 기 위해 듀얼 출력 들 을 갖 는 RF 임피던스 정합 네트워크 가 이용 될 수 있 는 한편 , 제 2 RF 생성기 및 제 2 RF 임피던스 정합 네트워크 는 제 3 코일 안테나 를 구동 시킨다 . 일 구 현 에서 , 3 개 의 출력 들 을 갖 는 RF 임피던스 정합 네트워크 를 통해 , 단일 RF 전력 생성기 가 모든 3 개 의 코일 안테나 들 을 구동 시킬 수 있 다 . 대안 적 으로 , 3 개 의 RF 생 성기 들 이 3 개 의 각각 의 RF 임피던스 정합 네트워크 들 을 통해 3 개 의 코일 안테나 들 을 개별 적 으로 구동 시킬 수 있 다 . 상이 한 코일 안테나 들 에 인가 되 는 RF 전력 레벨 은 플 라즈 마 이온 밀도 의 방사상 분배 를 제어 하 기 위해 개별 적 으로 조정 될 수 있 다 . 설명 된 구현 들 이 3 개 의 코일 안테나 들 ( 540 , 550 , 및 560 ) 을 포함 하 지만 , 다른 구현 들 은 3 개 의 설명 된 코일 안테나 들 ( 540 , 550 , 및 560 ) 중 1 개 또는 2 개 만 을 포함 할 수 있 다 .