통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 는 전용 컴퓨터 또는 범용 컴퓨터 를 포함 할 수 있 다 . 통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 는 컴퓨터 프로그램 들 ( 1116 ) 을 실행 하 여 플 라즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 320 ) 을 위한 데이터 ( 1118 ) ( 예 를 들 면 , 성능 히스토리 , 성능 또는 결함 의 분석 , 오퍼레이터 로그 , 및 히스토리 등 ) 을 모니터링 , 제 어 및 수집 및 저장 할 수 있 다 . 예 로서 , 통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 는 , 플라 즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 320 ) 및 / 또는 거기 의 컴포넌트 들 ( 예 를 들 면 , 동심 링 플라 즈 마 챔버 들 ( 310 A - E ) 또는 페라이트 들 ( 204 , 204 A - E ) 중 하나 등 ) 의 동작 들 을 , 수집 된 데이터 가 그 의 동작 의 조정 을 지시 하 면 , 조정 할 수 있 다 .