기판 착 탈 부 ( 20 ) 는 , 레일 ( 50 ) 을 따라 수평 방향 으로 슬라이드 가능 한 평판 형 의 적재 플레이트 ( 52 ) 를 구비 하 고 있 다 . 기판 반송 장치 ( 22 ) 는 , 2 개 의 기판 홀더 ( 18 ) 가 수평 상태 로 병렬 로 적재 플레이트 ( 52 ) 에 적재 된 상태 에서 , 한쪽 의 기판 홀더 ( 18 ) 와 기판 의 전달 을 행한다 . 그 후 , 기판 반송 장치 ( 22 ) 는 , 적재 플레이트 ( 52 ) 를 수평 방향 으로 슬라이드 시켜 , 다른 쪽 기판 홀더 ( 18 ) 와 기판 의 전달 을 행한다 .