한편 , 퓨즈 박스 ( FUSE BOX ) 식각 시 슬로프 ( slope ) 가 발생 하 기 때문 에 식각 높이 증가 에 따라 퓨즈 박스 ( FUSE BOX ) 오픈 부가 감소 되 어 , 후속 SWP 물질 을 증착 하 고 에치 백 하 여 퓨즈 박스 ( FUSE BOX ) 측벽 에 사이드 월 ( side wall ) 을 형성 하 는 공정 시 퓨즈 ( FUSE ) 상 에 SWP 잔류물 이 남 게 되 며 , SWP 잔류물 로 인해 퓨즈 프로그래밍 을 위한 레이저 빔 스폿 팅 시 간섭 이 발생 되 어 , FTA 가 저하 된다 .