허용 가능 한 임피던스 정합 을 달성 하 기 위해 요구 되 는 조정 의 부분 으로서 , 조정기 들 ( 250 ) 은 도파 로 ( 210 ) 쪽 으로 전달 되 는 신호 들 의 위상 을 변화 시킬 수 있 어서 , 신호 들 이 , 도파 로 ( 210 ) 의 둘레 주위 에 기계 적 위상 오프셋 을 갖 는 위치 들 에 공급 되 더라도 , 신호 들 자체 는 더 이상 동일 한 전기 위상 오프셋 을 갖 지 않 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , P 및 Q 가 90 도 만큼 기계 적 으로 오프셋 된다면 , 조정기 들 은 P 및 Q 에서 의 마이크로파 들 간 의 위상 오프셋 을 π / 2 이외 의 값 으로 변경 할 수 있 다 . 따라서 , 도파 로 ( 210 ) 에서 대칭 의 원형 회전 모드 를 여기 시키 는 대신 에 , 비대칭 의 타원 형 또는 선형 회전 모드 가 여기 될 수 있 다 . 마이크로파 구성 에서 이러 한 비대칭 은 , 차례 로 , 인접 한 프로세스 챔버 ( 예 를 들 어 , 플 라즈 마가 도파 로 ( 210 ) 의 마이크로파 들 에 의해 전력 공급 되 는 , 도 1 , 2 a 의 프로세스 챔버 ( 130 ) ) 에서 프로세스 수차 들 로 이어질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 비대칭 의 마이크로파 구성 은 대응 적 으로 비대칭 의 플 라즈 마로 그리고 따라서 플 라즈 마 식각 의 깊이 에서 의 국부 적 왜곡 으로 이어질 수 있 다 .