보다 구체 적 으로 , 그립 유닛 ( 340 ) 은 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 와 제 2 신축 부 ( 330 ) 에 의해 각도 조절 가능 한 지지 프레임 ( 342 ) 과 , 지지 프레임 ( 342 ) 에 장착 되 며 기판 ( 10 ) 을 그립 하 는 그립 퍼 ( 344 ) 를 포함 한다 . 일 예 로 , 그립 퍼 ( 344 ) 는 기판 ( 10 ) 에 진공 흡착 되 도록 구성 될 수 있 다 .