상기 온도 조절 시스템 은 일반 적 으로 일정 한 온도 의 냉각수 ( PCW : process cooling water ) 를 공급 받 는 수냉식 열 교환 장치 가 내부 에 구성 되 며 , 온도 제어 장치 를 통하 여 냉각 또는 가열 하 여 열매체 ( coolant ) 의 온도 를 조절 하 고 순환 펌프 에 의하 여 상기 열매체 를 챔버 내부 의 척 과 월 에 공급 및 회수 하 여 챔버 내부 의 온도 를 일정 하 게 유지 시키 는 장치 이 다 .