또한 , 상술 한 실시 형태 에 있 어서 , 처리 유닛 ( 60 ) 을 사용 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 처 리 하 는 공정 과 , 처 리조 ( 40 ) 내 에서 웨이퍼 ( W ) 를 처리 하 는 공정 모두 가 실시 되 는 예 를 나타내 었 으나 , 이것 에 한정 되 지 않 으며 , 예컨대 , 처리 유닛 ( 60 ) 만 을 사용 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 처리 하 는 것 도 가능 하 다 .