또 다른 실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 들 은 펌프 격실 의 상부 를 통해 펌프 격실 과 동작 가능 하 게 결합 되 는 적어도 하나 의 펌프 를 포함 할 수 있 다 . 이러 한 펌프 는 단지 일례 로 펌프 격실 과 접하 는 프로세스 격실 들 중 적어도 하나 로부터 가스 를 펌핑 하 는데 이용 될 수 있 다 . 또한 , 단지 일례 로 , 이러 한 펌프 는 임의 의 적절 한 펌프 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 확산 펌프 또는 터보 분자 형 펌프 를 포함 할 수 있 다 . 하나 이상 의 이러 한 펌프 가 사용 될 경우 , 펌프 들 은 임의 의 적절 한 펌프 들 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 확산 펌프 , 터보 분자 형 펌프 , 밀 / 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 단지 일례 로 , 적어도 2 개 의 이러 한 펌프 들 이 사용 될 수 있 다