본 발명 에 따른 집적회로 소자 는 , 기판 상 에서 기판 의 주면 에 평행 한 수평 방향 으로 연장 되 고 주 면 에 수직 인 수직 방향 을 따라 상호 중첩 되 어 있 는 복수 의 워드 라인 구조물 , 복수 의 워드 라인 구조물 각각 의 사이 에 개재 되 고 수평 방향 으로 연장 되 는 복수 의 절 연막 , 복수 의 워드 라인 구조물 및 복수 의 절 연막 을 관통 하 는 채널 홀 내 에서 복수 의 워드 라인 구조물 및 복수 의 절 연막 을 덮 으며 연장 되 는 블로킹 유전 막 , 및 채널 홀 내 에 블로킹 유전 막 상 에서 복수 의 워드 라인 구조물 각각 에 대응 하 여 서로 이격 되 어 배치 되 며 블록 킹 유전 막 상 의 제 1 전하 저 장막 및 제 1 전하 저 장막 을 덮 는 제 2 전하 저 장막 으로 각각 이루어지 는 복수 의 전하 저 장막 을 포함 하 며 , 블로킹 유전 막 에 반대 되 는 제 2 전하 저 장막 의 표면 은 중간 부분 이 상측 부분 및 하측 부분 보다 오목 한 형상 이 다 .