상기 수용성 폴리머 인 poly ( hydroxyl ) acrylate 및 상기 첨가제 ( additive ) 인 tetramethylenediamine 을 혼합 하 여 포토레지스트 패턴 피복제 를 조제 하 였 다 . 상기 첨가제 ( additive ) 인 tetramethylenediamine 의 함유량 은 상기 포토레지스트 패턴 피복제 의 전량 에 대하 여 0 . 3 중량 % 인 제 1 피복제 , 0 . 2 중량 % 인 제 2 피복제 , 0 . 1 중량 % 인 제 3 피복제 , 및 0 중량 % 인 제 4 피복제 로 서로 다르 게 형성 하 였 다 . 즉 , 상기 제 4 피복제 는 상기 수용성 폴리머 인 poly ( hydroxyl ) acrylate 만 으로 형성 하 였 다 .