플라 즈 마 처리 장치 를 위한 샤워 헤드 전극 은 열 팽창 계수 의 불 일치 로 인해 온도 사이클링 동안 생성 된 응력 을 수용 하 기 위해 전극 과 백 킹 부재 의 메이팅 표면 들 사이 에 결합 된 탄성 중합체 시트 접착제 를 포함 한다 . 탄성 중합체 시트 는 , 필러 와 함께 열 경화 성 고 분자량 디 메틸 실리콘 과 같이 실온 내지 3000 C 의 온도 범위 에서 300 % 의 높 은 전단 변형 을 견딜 수 있 는 열 전도성 실리콘 을 포함 한다 . 시트 형성 접착제 는 넓 은 영역 에 걸쳐 결합 된 표면 의 유사 성 에 대한 결합 두께 제어 를 갖 는다 . 시트 접착제 는 , 불 규칙 하 게 정형 된 피쳐 와 일치 시킬 수 있 고 메이팅 전극 표면 과 표면 접촉 영역 을 최대 화 할 수 있 는 모재 형상 으로 캐스트 또는 다 이 컷 될 수 도 있 고 , 메이팅 어셈블리 의 캐비 티 로 설치 될 수 도 있 다 . 설치 는 수동 으로 , 설치 도구 를 이용 하 여 수동 으로 , 또는 자동 화 된 기계 로 할 수 있 다 . 상이 한 물리 적 특성 을 갖 는 시트 접착제 의 복합 층 은 적층 되 거나 동일 평면 일 수 있 다 .