상기 처리 후 , 수산기 전구체 X ' 를 탈 보호 처리 함 으로써 , 수산기 를 고정화 를 위한 관능기 로서 갖 는 산화 규소 쇄 를 갖 는 단분자막 으로 피막 된 마이크 로 어레이 제작 용 기판 이 얻 어 진다 . 상기 탈 보호 는 사용 된 보호기 의 일반 적 인 탈 보호 방법 을 사용 할 수 있 지만 , 예 를 들 면 옥 실라 닐 기 나 아세 탈기 는 물 을 포함 하 는 산 성 분위기 에서 처리 함 으로써 수산기 로 할 수 있 다 .