또한 , 웨이퍼 ( W 1 ) 의 노광 동작 중 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 XY 평면 내 의 위치 ( θ z 방향 의 회전 을 포함 한다 ) 는 , 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 각각 대향 하 는 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 에 속하 는 2 D 헤드 ( 165 j , 164 i ) ( 즉 2 차원 인코더 ( 170 A , 170 B ) ) 의 계측 값 에 기초 하 여 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 또한 , 노광 중 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 Z 축 방향 의 위치 및 θ y 회전 ( 롤링 ) 은 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 표면 의 X 축 방향 일 측 과 타 측 의 단부 ( 이동 스케일 ( 39 B , 39 A ) ) 에 각각 대향 하 는 1 쌍 의 Z 헤드 ( 74 i , 76 j ) 의 계측 값 에 기초 하 여 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 또한 , 노광 중 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 θ x 방향 의 회전 ( 피칭 ) 은 , Y 간섭계 ( 207 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 이 노광 중 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 Z 축 방향 의 위치 , θ y 회전 및 θ x 회전 의 제어 ( 웨이퍼 ( W ) 의 포커스 · 레벨 링 제어 ) 는 , 전술 한 포커스 매핑 의 결과 에 기초 하 여 실시 된다 . 또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 Z 축 방향 을 제외 한 5 자유 도 방향 의 위치 는 , 간섭계 ( 207 , 217 ) 에 의해서 도 계측 되 고 있 다 .