본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 방법 은 , 반응기 내부 를 제 1 온도 에서 클리닝 하 는 단계 , 상기 반응기 내부 를 제 1 온도 보다 높 은 제 2 온도 까지 승 온 하 는 승 온 단계 , 상기 제 2 온도 에서 상기 반응기 내부 에 시즈 닝 박막 을 증착 하 는 시즈 닝 단계 , 및 상기 반응기 내부 에서 메인 공정 을 진행 하 는 단계 를 포함 한다 . 이때 , 상기 승 온 단계 중 상기 반응기 내부 의 불순물 을 제거 하 기 위해 , 상기 반응기 내부 에 플 라즈 마 를 인가 하 여 처리 하 는 플 라즈 마 트리트 먼 트 단계 를 포함 한다 .