일 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 마이크로파 발생기 ( 16 ) 로부터 출력 되 는 마이크로파 의 주파수 , 파워 , 및 대역폭 을 가변 으로 조정 하 도록 구성 되 어 있 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 예 를 들 면 마이크로파 의 대역폭 을 대략 0 으로 설정 함 으로써 , 단일 주파수 의 마이크로파 를 발생 시킬 수 있 다 . 또 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 그 중 에 복수 의 주파수 성분 을 갖 는 대역폭 을 가진 마이크로파 를 발생 시킬 수 있 다 . 이 들 복수 의 주파수 성분 의 파워 는 동일 한 파워 여도 되 고 , 대역 내 의 중앙 주파수 성분 만 이 다른 주파수 성분 의 파워 보다 큰 파워 를 갖 고 있 어도 된다 . 일례 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 마이크로파 의 파워 를 0 W ~ 5000 W 의 범위 내 에서 조정 할 수 있 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 마이크로파 의 주파수 또는 중앙 주파수 를 2400 MHz ~ 2500 MHz 의 범위 내 에서 조정 할 수 있 다 . 또 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 마이크로파 의 대역폭 을 0 MHz ~ 400 MHz 의 범위 에서 조정 할 수 있 다 . 또 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 대역 내 에 있 어서 의 마이크로파 의 복수 의 주파수 성분 의 주파수 의 피치 ( 캐리어 피치 ) 를 0 ~ 25 kHz 의 범위 내 에서 조정 할 수 있 다 .