X 선 검출기 ( 23 ) 는 , 주사 형 X 선원 ( 10 ) 으로부터 출력 되 고 , 검사 대상 ( 20 ) 을 투과 한 X 선 을 검출 하 여 화상 화 하 는 2 차원 X 선 검출기 이 다 . 예 를 들 면 , CCD ( Charge Coupled Device ) 카메라 , I . I . ( Image Intensifier ) 관 등 이 다 . 본원 발명 에서 는 , X 선 검출기 구동 부 ( 22 ) 에 복수 의 X 선 검출기 를 배치 하 기 때문 에 , 스페이스 효율 이 좋 은 FPD ( 플랫 패널 디텍터 ) 가 바람직 하 다 . 또한 , 인라인 검사 에서 사용 할 수 있 도록 고감도 인 것 이 바람직 하 고 , CdTe 를 사용 한 직접 변환 방식 의 FPD 인 것 이 특히 바람직 하 다 .