도 4 는 도 1 에 도시 된 급 기관 의 사시도 이 다 . 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 급 기관 ( 30 ) 에 는 복수 의 급 기구 ( 31 ) 들 이 형성 된다 . 급 기구 ( 31 ) 들 은 타원 형 , 원형 , 사각형 관통 구멍 등 일 수 있 다 . 급 기관 ( 31 ) 은 다중 관 일 수 도 있 다 . 분위기 가스 는 급 기구 ( 31 ) 들 을 통해서 급 기관 ( 30 ) 의 반경 방향 외측 으로 분사 된다 . 급 기구 ( 31 ) 에 분사 되 는 분위기 가스 의 유속 은 세터 에 적재 되 어 있 는 그린 칩 들 이 날리 지 않 도록 조절 되 어야 한다 . 급 기구 ( 31 ) 들 의 급 기관 ( 30 ) 의 길 이 방향 으로 의 간격 은 급 기구 ( 31 ) 에서 분사 된 분위기 가스 가 세터 들 의 사이 로 직접 공급 되 도록 조절 될 수 있 다 .