[ 도면 3 ] 은 본 발명 에 따른 데이터 리페 어장비 의 구성 및 작동 예 를 나타낸 것 으로서 , 컨베이어 ⑩ 로부터 수평 으로 이송 된 유리 기판 ① 을 수직 으로 세워 로딩 하 기 위하 여 로더 ② 가 설치 되 고 , 상기 의 로더 ② 는 기판 을 진공 흡착 하 기 위한 진공 흡착 부 [ 미 도시 ] 와 기판 의 상 / 하부 에 기판 의 추락 을 방지 하 고 기판 에 가해질 수 있 는 응력 을 줄여 주 기 위한 그 리퍼 ( Gripper ) ⑪ 와 기판 을 세워 가공 위치 에 정열 하 기 위한 서보 시스템 [ 미 도시 ] 을 포함 하 고 있 다 .