베어링 ( 13 ) 은 , 동체 부 ( 14 a ) 의 외주 면 을 지지 하 고 있 다 . 베어링 ( 13 ) 은 , 동체 부 ( 14 a ) 의 외주 면 의 검사 대상 기판 ( P ) 측 의 단부 를 지지 하 고 있 고 , 더 상세 하 게 는 동체 부 ( 14 a ) 의 확 경부 ( 14 e ) 의 외주 면 을 지지 하 고 있 다 . 당해 전기 검사 장치 는 , 베어링 ( 13 ) 이 동체 부 ( 14 a ) 의 검사 대상 기판 ( P ) 측 의 단부 를 지지 하 고 있 으므로 , 베어링 ( 13 ) 과 검사 대상 기판 ( P ) 의 거리 를 작 게 하 기 쉽 다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 베어링 ( 13 ) 이 확 경부 ( 14 e ) 의 외주 면 을 지지 하 고 있 으므로 , 베어링 ( 13 ) 의 직경 을 크 게 하 여 , 축 ( A ) 주위 의 회전 각도 를 고정 밀도 로 조절 하 기 쉽 고 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 검사 대상 기판 ( P ) 에 대하 여 고정 밀도 로 위치 결정 하 기 쉽 다 .