제 1 , 제 2 조명계 ( IL 1 , IL 2 ) 의 각각 은 제 1 , 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 A , 3 B ) 를 노광 광 ( EL ) 으로 조명 하 는 것 이 다 . 제 1 , 제 2 조명계 ( IL 1 , IL 2 ) 로부터 사출 되 는 노광 광 ( EL ) 으로서 는 , 예 를 들 면 수은 ( 水銀 ) 램프 로부터 사출 되 는 휘선 ( 輝線 ) ( g 선 , h 선 , i 선 ) 및 KrF 엑 시머 레이저 광 ( 파장 248 ㎚) 등 의 원자 외광 ( DUV 광 ) , ArF 엑 시머 레이저 , 광 ( 파장 193 ㎚) 및 F 2 레이저 광 ( 파장 157 ㎚) 등 의 진공 자 외광 ( VUV 광 ) 등 이 이용 된다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 노광 광 ( EL ) 으로서 ArF 엑 시머 레이저 광이 이용 된다 .