반응 가스 란 , 실리콘 막 을 증착 하 는 경우 일반식 SinH 2 n + 2 ( 여기 서 n 은 자연수 ) 로 표시 되 는 실란 화합물 을 주체 로 하 는 가스 로서 , 구체 적 으로 는 , 모노 실란 , 디 실란 , 트리 실란 , 테트라 실란 등 이 다 . 취급 상 , 모노 실란 , 디 실란 , 트리 실란 , 혹은 이 들 의 혼합 가스 가 바람직 하 다 . 물론 반응 가스 가 이 들 로 한정 되 는 것 은 아니 고 , 일반식 SinH 2 n + 2 - mFm ( n , m 은 자연수 로 m 〈 2 n + 2 이 며 , m 은 0 도 포함 ) 으로 표시 되 는 불화 실란 , 예 를 들 면 , SiH 3 F , SiH 2 F 2 , SiHF 3 , SiF 4 , Si 2 F 6 , Si 2 HF 5 , Si 3 F 8 ; SinH 2 n + 2 - mClm ( n , m 은 자연수 로 m 〈 2 n + 2 이 며 , m 은 0 도 포함 ) 으로 표시 되 는 염화 실란 , 예 를 들 면 SiH 3 Cl , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 , SiCl 4 , Si 2 Cl 6 , Si 2 HCl 5 , Si 3 Cl 8 ; 일반식 SinR 2 n + 2 - mHm 으로 표시 되 는 유기 실란 , 예 를 들 면 , Si ( CH 3 ) H 3 , Si ( CH 3 ) 2 H 2 , Si ( CH 3 ) 3 H ; 저 매 늄 막 을 증착 하 는 경우 GenH 2 n + 2 로 표시 되 는 저 매 늄 , 예 를 들 면 GeH 4 , Ge 2 H 6 ; 일반식 GenH 2 n + 2 - mFm 으로 표시 되 는 불화 저 매 늄 , 예 를 들 면 GeF 4 ; 탄소 나노 튜브 및 나노 와이어 를 증착 하 는 경우 탄화수소 가스 , 예 를 들 면 , CH 4 ( 메탄 ) , C 2 H 6 ( 에탄 ) , C 3 H 8 ( 프로판 ) , C 2 H 4 ( 에틸렌 ) , C 2 H 2 ( 아세틸렌 ) 등 과 이외 에 도 모든 탄화수소 화합물 이 사용 가능 하 다 .