본 발명 에 따르 면 , 반도체 제조 장치 등 에서 발생 한 유해 한 배출 가스 를 연소 시키 는 버너 부 에 산소 농도 가 높 은 산소 농후 기체 를 공급 해 준다 . 이 에 의해 , 유해 배출 가스 의 완전 연소 율 이 향상 되 어 상기 버너 부 에서 연소 된 후 외부 로 배출 되 는 처리 가스 에 잔존 하 는 SOx 및 NOx 등 의 유해 가스 의 함량 이 현저히 감소 하 는 효과 가 있 다 .