본 실시 형태 의 폐액 처리 장치 ( 1 ) 에는 , 추가 로 , 폐액 여과 유닛 ( 4 ) 에서 발생 한 거품 을 흡인 하 기 위해 구성 된 거품 용 수봉 식 펌프 ( 9 ) 를 구비 할 수 있 다 . 가공 수 를 사용 하 는 가공 장치 ( N ) 를 포함 하 는 가공 수 의 순환 시스템 을 구성 하 는 경우 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 절삭 부스러기 등 을 피 가 공물 에 잘 부착 되 지 않 게 하 기 위해서 , 가공 장치 ( N ) 에 대해 가공 수 를 공급 하 는 가공 수 공급 로 ( 105 ) 위 에 , 계면 활성제 저류 탱크 ( L 1 ) 및 조량 ( 調 量 ) 밸브 ( L 2 ) 를 구비 한 계면 활성제 공급 유닛 ( L ) 을 배치 형성 하 고 , 가공 수 에 대해 미량 의 계면 활성제 를 도입 한다 .