반송 기구 ( 500 ) 는 , 기판 ( 800 ) 의 폭 방향 ( x ) 에 수직 인 반송 방향 ( y ) 을 따라 기판 ( 800 ) 을 반송 하 기 위한 것 이 다 . 반송 기구 ( 500 ) 는 , 틀 부 ( 501 ) 와 구동 부 ( 502 ) 를 갖 고 있 다 . 틀 부 ( 501 ) 는 , 반송 되 는 기판 ( 800 ) 을 폭 방향 ( x ) 에 있 어서 사이 에 두 도록 배치 되 어 있 다 . 틀 부 ( 501 ) 의 상면 의 높이 는 , 패턴 ( 801 ) 이 설치 된 기판 ( 800 ) 의 상면 보다 높 다 . 구동 부 ( 502 ) 는 , 반송 방향 을 향하 는 힘 을 기판 ( 800 ) 에 가하 기 위한 것 이 며 , 예 를 들 면 , 회전 구동 되 는 롤러 이 다 .