상하 2 개 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 할 수 있 도록 , 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 은 기판 ( W ) 을 Z 축 방향 으로 승강 하 게 하 는 Z 축 이동 기구 를 구비 한다 . 상측 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 ) 에 는 , 기판 ( W ) 을 지지 하 는 고정 리프터 가 마련 된다 . 하측 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 2 ) 에 는 , 기판 ( W ) 을 지지 하 는 리프터 ( 75 ) 및 이 리프터 ( 75 ) 를 승강 하 게 하 는 리프터 드라이브 ( 76 ) 가 마련 된다 . 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 또는 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 이 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 내 에 기판 ( W ) 을 반입 할 때 는 , 리프터 ( 75 ) 는 비 어 있 으며 하강 상태 이 다 . 기판 ( W ) 의 반입 이 완료 되 었 다면 , 리프터 가 상승 하 여 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 또는 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 으로부터 기판 을 수취 한다 .