상기 현 상부 ( 1 ) 는 , 상기 기판 ( G 1 , G 2 ) 들 을 처리 하 는 공간 을 구비 한 쳄버 ( 11 ) , 상기 쳄버 ( 11 ) 의 내부 에 배치 되 는 지 지부 ( 15 ) , 상기 지지 부 ( 15 ) 의 상 , 하 위치 에 힌지 결합 되 는 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 및 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) , 상기 지지 부 ( 15 ) 가 상 , 하 방향 으로 이동 하 도록 상기 지지 부 ( 15 ) 를 안내 하 는 가이드 ( 21 ) , 상기 지지 부 ( 15 ) 를 이동 시키 는 구동 부 ( 23 ) , 그리고 상기 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 및 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 가 힌지 결합 부 ( 18 , 20 ) 를 중심 으로 회전 하 여 일정 한 각도 로 경사진 상태 를 유도 하 는 경사 유도 수단 ( 25 ) 을 포함 한다 .