구리 또는 구리 합금 의 에칭 속도 의 관점 에서 , 과산화수소 ( B ) 의 중량 에 대한 분자 내 산 기 를 갖 는 킬레이트 화제 ( A ) 의 중량 의 비 ( A ) / ( B ) 는 바람직 하 게 는 1 내지 30 이 고 , 더 바람직 하 게 는 2 내지 20 이 며 , 특히 바람직 하 게 는 3 내지 10 이 다 . 나아가 , 계면 활성제 ( C ) 의 중량 에 대한 분자 내 산 기 를 갖 는 킬레이트 화제 ( A ) 의 중량 의 비 ( A ) / ( C ) 는 바람직 하 게 는 1 내지 100 이 고 , 더 바람직 하 게 는 2 내지 50 이 며 , 특히 바람직 하 게 는 5 내지 30 이 다 .