또한 , 개구 ( 202 ) ( 경통 107 ) , 내뿜 기 부 ( 203 ) 및 광학 부품 ( 201 ) 을 포함 하 는 광학 장치 는 , 도 2 a 에 도시 한 것 같 은 마스크 스테이지 ( 103 ) 와 투영 광학계 ( 104 ) 와 의 사이 에 한정 되 는 것 이 아니 고 , 높 은 청 정도 의 공간 과 낮 은 청 정도 의 공간 과 의 사이 ( 경계 ) 에 적용 가능 하 다 . 예 를 들 면 , 투영 광학계 ( 104 ) 와 기판 스테이지 ( 106 ) 와 의 사이 에 개구 ( 202 ) , 내뿜 기 부 ( 203 ) 및 광학 부품 ( 201 ) 을 포함 하 는 광학 장치 를 설치 해도 좋 다 . 이 경우 , 개구 ( 202 ) 는 , 투영 광학계 ( 104 ) 로부터 사출 되 어 기판 ( 105 ) 에 입사 하 는 광 을 통과 시킨다 . 또한 , 조명 광학계 ( 101 ) 와 마스크 스테이지 ( 103 ) 와 의 사이 에 개구 ( 202 ) , 내뿜 기 부 ( 203 ) 및 광학 부품 ( 201 ) 을 포함 하 는 광학 장치 를 설치 해도 좋 다 . 이 경우 , 개구 ( 202 ) 는 , 조명 광학계 ( 101 ) 로부터 사출 되 어 마스크 ( 102 ) 에 입사 하 는 광 을 통과 시킨다 .