( A ) 의 알칼리 가용성 수지 에 사용 되 는 ( a ) 테트라 카르복실 산 또는 그 산 2 무수물 과 ( b ) 디카르복실산 또는 트리 카르복실 산 또는 그 산무수물 의 몰 비 ( b ) / ( a ) 는 , 0 . 01 ∼ 0 . 5 이고 , 바람직 하 게 는 0 . 02 이상 0 . 1 미만 인 것 이 좋 다 . 몰 비 ( b ) / ( a ) 가 상기 범위 를 일탈 하 면 , 본 발명 의 고차 광 그리고 고 저항 이 며 , 또한 양호 한 광 패 터닝 성 을 갖 는 감광성 수지 조성물 로 하 기 위한 최적 분자량 이 얻 어 지 지 않 기 때문 에 바람직 하 지 않 다 . 또한 , 몰 비 ( b ) / ( a ) 가 작 을수록 알칼리 용해 성 이 커지 고 , 분자량 이 커지 는 경향 이 있 다 .