이어서 , 반송 성막 장치 ( 10 ) 를 작동 시킨다 . 구체 적 으로 는 , 케이싱 의 전부 ( 조출 케이싱 ( 24 ) , 제 1 제전 케이싱 ( 27 ) , 스퍼터 케이싱 ( 32 ) , 냉각 케이싱 ( 36 ) , 제 2 제전 케이싱 ( 39 ) , 권 취 케이싱 ( 45 ) ) 를 진공 으로 함 과 함께 , 구동 롤 의 전부 ( 조출 롤 ( 21 ) , 제 1 ∼ 제 2 구동 롤 ( 22 , 40 ) , 보호 재 권 취 롤 ( 23 ) , 제 1 ∼ 제 2 냉각 롤 ( 34 , 35 ) , 권 취 롤 ( 41 ) , 보호 재 조출 롤 ( 42 ) ) 를 회전 구동 시킨다 . 또 , 제 전부 ( 15 ) ( 제 1 제 전기 ( 25 ) 및 제 2 제 전기 ( 37 ) ) , 냉각 장치 ( 13 ) , 스퍼터 장치 ( 12 ) 등 도 작동 시킨다 . 이 로써 , 반송 기재 ( 4 ) 가 하류 측 에 반송 됨 ( 반송 공정 ) 과 함께 , 박리 공정 , 성막 공정 , 냉각 공정 , 및 권 취 공정 이 순서 대로 실시 된다 . 또 , 가이드 롤 의 전부 ( 제 1 가이드 롤 ( 26 ) , 제 2 가이드 롤 ( 28 ) , 제 3 가이드 롤 ( 31 ) , 제 4 가이드 롤 ( 38 ) ) , 보호 재 권 취 롤 ( 23 ) , 보호 재 조출 롤 ( 42 ) , 보호 재 가이드 롤 ( 43 ) , 닙 롤 ( 44 ) 의 회전 에 의해 , 안내 공정 이 실시 된다 .