일부 구 현예 에서 , 반응 챔버 로 산소 전구체 를 포함 하 는 증기 반응물 의 흐름 의 제어 는 , 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 와 이 와 연관 된 밸브 ( 122 D ) 와 흐름 제어기 ( 120 D ) 의 사용 을 통해 달성 될 수 있 다 . 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 가 반응물 기화기 를 추가 로 포함 하 는 본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 반응물 기화기 는 산소 전구체 를 포함 하 는 반응물 로서 물 ( H 2 O ) , 또는 과산화수소 ( H 2 O 2 ) 중 적어도 하나 를 기화 시키 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 .