이어서 , 상기 측정 패턴 ( 60 ) 의 영상 자료 ( 50 ) 를 생성 한다 ( 120 ) . 상기 영상 자료 ( 50 ) 는 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면 에 각각 대응 하 는 제 1 변 ( 61 ) 및 제 2 변 ( 62 ) 을 구비 할 수 있 다 . 상기 영상 자료 ( 50 ) 를 생성 하 기 전 에 , 상기 기판 을 정렬 하 여 상기 측정 패턴 ( 60 ) 의 위치 를 지정 할 수 있 다 . 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 측정 패턴 ( 60 ) 의 상기 제 1 변 ( 61 ) 및 상기 제 2 변 ( 62 ) 이 상기 영상 자료 ( 50 ) 의 열 ( column ) 방향 에 오 도록 정렬 할 수 있 다 . 상기 제 1 변 ( 61 ) 및 상기 제 2 변 ( 62 ) 은 서로 평행 하 고 부분 적 으로 중첩 될 수 있 다 .