상기 서술 한 바 와 같이 하 여 구성 된 노광 장치 ( 100 ) 에서 는 , 예 를 들 어 미국 특허 제 4 , 780 , 617 호 명세서 등 에 개시 되 어 있 는 주지 된 EGA ( 인 핸 스 드 · 글로벌 · 얼라이먼트 ) 방식 등 으로 실시 되 는 웨이퍼 얼라이먼트 동작 시 에 는 , 상기 서술 한 바 와 같이 , 간섭계 시스템 ( 18 ) 의 웨이퍼 Y 간섭계 ( 18 Y ) 및 웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 2 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 가 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 관리 되 고 , 웨이퍼 얼라이먼트 동작 시 이외 의 예 를 들 어 노광 동작 시 등 에 는 , 인코더 ( 50 A ∼ 50 D ) 의 계측 값 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 가 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 관리 되 도록 되 어 있 다 .