수평 방향 이동 탑재기 ( 14 ) 에 핸드 유닛 설치 지그 ( 85 ) 및 상하 슬라이드 테이블 ( 60 ) 을 통하 여 승강 식 핸드 유닛 ( 15 ) 이 설치 된다 . 상하 슬라이드 테이블 ( 60 ) 은 수직 이동 방향 V 15 ( ± Z 방향 ) 로 이동 가능 하 게 핸드 유닛 설치 지그 ( 85 ) 에 설치 되 고 , 승강 식 핸드 유닛 ( 15 ) 은 상하 슬라이드 테이블 ( 60 ) 과 일체 적 으로 마련 된다 .