스케일 부재 ( 46 A ∼ 46 D ) 는 동일 소재 ( 예 를 들 어 세라믹스 , 또는 저 열팽창 유리 등 ) 로 이루어지 고 , 그 표면 ( 도 1 에 있 어서 의 하 면 , 즉 - Z 측 의 면 ) 에 길 이 방향 에 수직 인 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 동일 한 반사 형 회절 격자 가 형성 되 어 있 다 . 이 회절 격자 는 , 예 를 들 어 138 ㎚ ∼ 4 ㎛ 사이 의 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 피치 간격 으로 제조 되 어 있 다 . 또한 도 3 에서 는 , 도시 의 편의 상 , 격자 의 피치 는 실제 의 피치 에 비해 현격히 넓 게 도시 되 어 있 다 . 또한 , 스케일 부재 ( 46 A ∼ 46 D ) 의 표면 ( 격자 면 ) 에 , 상기 헤드 로부터 의 계측 빔 에 대하 여 실질 적 으로 투명 한 커버 부재 ( 예 를 들 어 유리 플레이트 등 ) 를 형성 해도 된다 .