도 4 를 참조 하 면 , 단계 S 200 에서 기판 ( W ) 을 스핀 헤드 ( 130 ) 에 로딩 한다 . 단계 S 202 에서 노즐 부 ( 160 ) 로부터 공급 되 는 약액 에 대응 하 는 공정 위치 ( P 1 , P 2 등 ) 로 스핀 헤드 ( 130 ) 를 상하 이동 시킨다 . 예 를 들 어 , 스핀 헤드 ( 130 ) 는 공정 처리 시 , 복수 개 의 약액 공급 부 ( 170 ) 로부터 공급 되 는 제 1 내지 제 3 약액 각각 에 대응 하 여 , 제 1 내지 제 3 위 치 즉 , 공정 위치 P 1 , P 2 및 P 3 ( 미도 시 됨 ) 로 상하 이동 된다 . 단계 S 204 에서 스핀 헤드 ( 130 ) 와 공정 위치 에 대응 되 는 약액 포집 장치 ( 110 ) 를 동일 한 방향 으로 회전 시킨다 . 이 때 , 약액 포집 장치 ( 110 ) 는 스핀 헤드 ( 130 ) 와 동시 에 회전 시키 거나 따로 회전 시킨다 . 또 약액 포집 장치 ( 110 ) 와 스핀 헤드 ( 130 ) 의 회 전 속도 는 약액 의 리바운드 ( rebound ) 를 줄이 기 위해 동일 한 크기 로 회전 시킨다 . 단계 S 206 에서 기판 ( W ) 으로 약액 을 공급 하 기 위하 여 노즐 부 ( 160 ) 를 통해 해당 공정 위치 에 대응 되 는 약액 을 분사 한다 . 이어서 단계 S 208 에서 회전 되 는 약액 포집 장치 ( 110 ) 에 포집 된 약액 을 배출 배관 ( 150 ) 을 통해 회수 한다 .