본 실시 예 에서 는 , 2 개 의 끊어진 제 1 라인 패턴 및 제 1 라인 패턴 과 이웃 하 는 제 2 라인 패턴 을 형성 한다 . 이 를 위하 여 2 개 의 서로 다른 형상 을 갖 는 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 a , 104 b ) 을 형성 한다 . 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 은 상기 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 c ) 과 동일 하 게 끊 어 지 는 부분 없이 연장 되 는 라인 형상 을 갖 는다 . 그러나 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 은 끊어진 연장 라인 ( L 1 ) 을 포함 하 고 , 상기 연장 라인 ( L 1 ) 이 끊 어 지 는 부위 는 형성 하 고자 하 는 제 1 라인 패턴 이 끊 어 지 는 부위 에 해당 된다 . 또한 , 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 은 상기 연장 라인 ( L 1 ) 의 끊어진 부위 로부터 이웃 하 는 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 으로 수평 연결 되 는 연결 라인 ( L 2 ) 을 포함 한다 . 즉 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 및 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 과 연결 된 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 은 연결 부위 에서 π 자 형상 을 갖 는다 . 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 은 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ) 의 우측 에 구비 된다 .