단 관능 단량체 의 구체 예 로 는 노닐 페닐 카르 비 톨 아크릴 레이트 , 2 - 히드록시 - 3 - 페녹 시프 로 필 아크릴 레이트 , 2 - 에틸 헥 실카 르비 톨 아크릴 레이트 , 2 - 히드록시 에틸 아크릴 레이트 , N - 비닐 피 롤리 돈 등 을 들 수 있 다 . 2 관능 단량체 의 구체 예 로 는 1 , 6 - 헥 산디 올 디 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 에틸렌글리콜 디 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 네오 펜틸 글리콜 디 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 트리 에틸렌글리콜 디 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 비스 페놀 A 의 비스 ( 아크릴 로일 옥시 에틸 ) 에 테르 , 3 - 메틸 펜탄 디 올 디 ( 메타 ) 아크릴 레이트 등 을 들 수 있 다 . 그 밖 의 다 관능 단량체 의 구체 예 로서 는 트리 메틸 올 프로판 트리 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 펜타에리트리톨 트리 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 펜타에리트리톨 테트라 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 디 펜타에리트리톨 펜 타 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 디 펜타에리트리톨 헥사 ( 메타 ) 아크릴 레이트 등 을 들 수 있 다 . 이 들 중 에서 2 관능 이상 의 다 관능 단량체 가 바람직 하 게 사용 된다 . 상기 광중합 성 화합물 은 청색 감광성 수지 중 의 고형분 총 중량 에 대하 여 5 내지 50 중량 % 를 사용 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 5 내지 30 중량 % 로 사용 할 수 있 다 . 광중합 성 화합물 이 상기 범위 이 면 광 감도 의 저감 이 없 어 , 필름 의 강도 가 충분 하 고 , 현 상시 패턴 의 소실 이 없 어 , 미세 패턴 부 에서 도 패턴 의 구축 이 양호 하 며 , 레지스 트 의 평활 성 이 양호 하 게 되 는 경향 이 있 기 때문 에 바람직 하 다 .