컨트롤러 ( 160 ) 는 로딩 지그 ( 110 ) 에 업 / 다운 지그 ( 120 ) 가 닫혀 내부 가 진공 으로 유지 되 고 , 유닛 가 압부 ( 150 ) 의 작용 으로 지그 일체 형 실링 홀 차폐 유닛 ( 130 ) 이 동작 하 여 실링 홀 차폐 핀 ( 131 ) 이 실링 홀 ( 20 ) 을 차폐 하 도록 한 상태 에서 케이스 ( 10 ) 에 대한 리크 공정 이 자동 으로 진행 되 도록 업 / 다운 지그 ( 120 ) 및 유닛 가 압부 ( 150 ) 의 동작 을 자동 으로 컨트롤 한다 .