하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 통한 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 의 유체 플로우 는 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 향하 게 및 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 로부터 멀 어 지 게 하 는 압력 제어 링 ( 131 ) 의 수직 방향 이동 을 통해 스로틀 링 , 즉 제어 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 압력 제어 링 ( 131 ) 은 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 통한 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 내로 의 플로우 의 완벽 한 차단 을 가능 하 게 하 도록 정의 된다 . 또한 , 일 실시 형태 에서 , 압력계 가 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 내 의 압력 을 측정 하 도록 배치 된다 . 이 실시 형태 에서 , 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 내 에서 의 이 측정 압력 을 이용 하 여 압력 제어 링 ( 131 ) 의 위치 를 제어 하 기 위한 피드백 신호 들 을 생성 하 며 이 는 이어서 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 내 의 압력 의 능동 제어 를 제공 한다 .