도 8 을 참조 하 면 , 전력 분배 부 ( 405 ) 는 진공 용기 ( 102 ) 의 외부 에 배치 되 고 , 동축 케이블 구조 를 가질 수 있 다 . RF 전원 ( 180 ) 에서 공급 된 전력 은 임피던스 매칭 네트워크 ( 170 ) 를 통하 여 전력 분배 부 ( 405 ) 에 제공 된다 . 전력 분배 배선 ( 442 ) 은 차례 로 2 개 의 가지 를 가지 는 트리 ( tree ) 구조 를 가질 수 있 다 . 전력 분배 배선 ( 442 ) 의 전력 공 급단 에서 최종 분기점 까지 의 거리 는 동일 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 최종 분기점 에서 RF 전원 방향 의 임피던스 는 분기점 마다 동일 할 수 있 다 .