제 1 가이드 플레이트 ( 110 ) 는 양극 산화 막 으로 제공 되 는 복수 의 제 1 바디 ( 111 ) 를 포함 한다 . 이때 , 제 1 바디 ( 111 ) 는 양극 산화 막 으로 제공 됨 에 따라 , 투명 하 게 구비 될 수 있 다 . 또한 , 제 1 바디 ( 111 ) 는 2 ~ 3 ppm / ℃ 의 열팽창 계수 를 갖 는 양극 산화 막 재질 로 제공 됨 에 따라 , 웨이퍼 ( 2 ) 가 고온 으로 제공 될 때 에 도 제 1 바디 ( 111 ) 의 열 변형 이 방지 될 수 있 다 .