상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 노광 장비 의 보조 포토 마스크 는 상기 주 포토 마스크 와 콘주게이트 관계 를 유지 하 는 위치 에 다양 하 게 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 보조 포토 마스크 는 상기 주 포토 마스크 ( 50 ) 와 상기 투영 광학계 ( 58 ) 사이 에서 상기 주 포토 마스크 ( 50 ) 와 콘주게이트 관계 를 유지 하 도록 배치 될 수 도 있 다 . 도 4 및 5 는 본 발명 에 따른 노광 장비 의 보조 포토 마스크 의 배치 예 들 을 나타낸다 .