몇몇 실시 예 들 에 따른 반도체 장치 에서 , 제 5 하부 패턴 ( 510 ) 의 상면 에서 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 폭 ( W 32 ) 는 제 3 하부 패턴 ( 310 ) 의 상면 에서 , 제 2 소자 분리 막 ( 360 ) 의 폭 ( W 22 ) 과 같 을 수 있 다 . 제 5 더미 패턴 적층 체 ( 515 _ 1 ) 의 최상면 에서 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 폭 ( W 31 ) 은 제 3 더미 패턴 적층 체 ( 315 _ 1 ) 의 최상면 에서 , 제 2 소자 분리 막 ( 360 ) 의 폭 ( W 21 ) 과 같 을 수 있 다 .