그 후 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 스테이지 ( 2031 ) 를 이동 시켜 Z 축 방향 에 있 어서 헤드 ( 2033 H ) 와 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 는 위치 가 겹치 는 상태 로 한다 . 그리고 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 헤드 ( 2033 H ) 가 유지 하 는 몰드 ( M ) 의 프리 얼라인먼트 를 실행 한다 ( 스텝 S 204 ) . 즉 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 몰드 ( M ) 를 가압 하 기 전 의 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 와 얼라인먼트 마크 ( MM 2 a , MM 2 b ) 사이 의 거리 가 비교 적 긴 상태 에서 , 촬상부 ( 2041 ) 를 포커스 방향 의 축 에 직교 하 는 방향 으로 이동 시키 면서 프리 얼라인먼트 한다 . 이 때 , 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 과 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 사이 의 거리 는 , 수 mm 정도 로 설정 된다 .