아울러 , 30 내지 32 원자 % 의 Ti 조성 의 경우 , 금속 간 화합물 이 석출 되 는 경계선 에 해당 하 여 , 약간 의 조성 흔들림 이 발생 할 경우 , 금속 간 화합물 이 석출 될 우려 가 있 다 . 따라서 , 본 실시 예서 의 실리콘 계 용융 액 ( 200 ) 은 , Ti 조성 이 32 원자 % 이하 인 것 이 바람직 하 나 , 30 원자 % 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다 .