2 차 퍼지 단계 ( S 540 ) 에서 는 2 차 세정 단계 ( S 530 ) 종료 후 , 퍼지 를 실시 하 여 반응 챔버 ( 160 ) 내부 에 잔류 하 는 물질 을 제거 한다 . 퍼지 가스 는 도파관 ( 170 ) 이나 , 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 를 통하 여 반응 챔버 ( 160 ) 내부 로 공급 될 수 있 다 . 이때 , 2 차 퍼지 단계 ( S 540 ) 에서 퍼지 가스 는 1 차 퍼지 단계 ( S 540 ) 에서 와 마찬가지 로 질소 ( N 2 ) 산소 ( O 2 ) , 헬륨 ( He ) , 아르곤 ( Ar ) 이 될 수 있 다 .