이 에 따르 면 , 본 비전 테이블 모듈 ( 1 ) 의 패키지 ( P ) 에 대한 흡착 해제 시 , 흡 착력 ( 음압 ) 이 단계 적 으로 줄어들 며 0 이 될 수 있 는 바 , 흡착 이 완전 해제 되 었 을 때 , 패키지 가 안착 부 ( 113 ) 의 재질 특성 ( 러버 탄성력 ) , 진공 해제 에 의한 반력 등 에 의해 튀 거나 유동 되 는 것 이 방지 될 수 있 다 .