이것 은 상세 를 후술 하 는 바 와 같이 , SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 의 기능 면 ( 12 ) 이 기재 ( 30 ) ( 도 2 참조 ) 에 접하 여 구성 되 며 , 그 소면 ( 素面 ) 형상 에 따른 형상 을 얻 는 것 에 의한 것 이 다 . 이 때문 에 , 기능 면 ( 12 ) 의 형상 을 기재 ( 30 ) 의 형상 에 정밀 도 좋 게 맞출 수 있 다 .