성막 시 의 기판 온도 를 100 ℃ 이상 600 ℃ 이하 , 바람직 하 게 는 200 ℃ 이상 400 ℃ 이하 로 함 으로써 도 , 상기 한 불순물 의 혼입 을 방지 할 수 있 다 . 추가 로 , 배기 수단 으로서 , 저 온 펌프 , 이온 펌프 , 티타늄 사브리 메이 션 펌프 등 의 흡착 형 진공 펌프 , 혹은 터보 분자 펌프 에 콜드 트랩 을 가한 것 을 사용 하 면 좋 다 .