inline type 의 증착 장치 는 넓 은 평판 형상 으로 형성 된 트레이 에 수평 방향 으로 기판 을 장착 하 고 , 이 를 로딩 챔버 를 통해 공정 챔버 로 이송 하 고 , 공정 챔버 에서 공정 이 완료 된 후 언로 딩 챔버 를 통해 반출 하 는 형태 이 다 . 이 inline type 증착 장치 는 넓 은 평판 의 트레이 에 많 은 기판 을 올려 한 번 에 처리 함 으로써 생산량 을 증가 시킬 수 있 다는 장점 이 있 으나 , 트레이 의 면적 이 넓 은 만큼 그 위 에 올려진 기판 에 증착 되 는 박막 의 균 일도 가 저하 된다는 문제점 이 있 다 .