이 와 같 은 목적 의 달성 을 위해서 는 전해질 의 기화 를 억제 함 으로써 전해조 로부터 배출 되 는 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 가스 에 포함 된 불 산 ( HF ) 의 함량 을 크 게 낮추 어 주 므로써 불 산 ( HF ) 을 안 전하 고 , 경제 적 으로 처리 할 수 있 는 , 종래 의 전해조 에 비해 개선 된 구조 의 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 제조 용 전해조 의 개발 이 필요 하 다 .