이 후 , 플라 즈 마 질화 열처리 공정 을 실시 하 여 터널 절 연막 ( 201 ) 의 계면 및 측벽 에 트랩 차지 및 디 그레데 이 션 을 방지 한다 . 플 라즈 마 질화 열처리 공정 은 Ar 가스 와 N 2 가스 를 이용 하 여 400 내지 500 ℃ 의 온도 범위 에서 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 플 라즈 마 질화 열처리 공정 은 1 . 8 ~ 3 . 3 kW 의 바이어스 파워 를 사용 하 여 200 내지 500 mT 의 압력 범위 에서 5 ~ 30 sec 동안 실시 한다 . 이때 , Ar 가스 와 N 2 가스 는 1000 sccm : 200 ~ 500 sccm 조건 으로 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .