이어서 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , X 축 과 Y 축 방향 으로 서로 교차 하 는 십자형 ( +) 개구부 를 갖 는 식각 마스크 ( 미 도시 ) 를 이용 한 STI 식각 공정 을 실시 하 여 하드 마스크 ( 102 A ) , 완충 막 ( 101 A ) 및 기판 ( 100 A ) 의 일부 를 식각 한다 . 이 로써 , X 축 과 Y 축 방향 으로 서로 교차 하 는 트렌치 ( 103 ) 가 형성 된다 .