제 1 워드 라인 ( 310 ) 내지 제 3 워드 라인 ( 330 ) 은 층간 절 연막 ( ILD ) 에 의해 서로 분리 될 수 있 다 . 일례 로서 , 제 1 층 의 제 1 워드 라인 ( 310 - 1 ) 은 제 1 층간 절 연막 ( IDL 1 ) 에 의해 서로 분리 되 면서 제 1 층 의 제 2 워드 라인 ( 320 - 1 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 1 층 의 제 2 워드 라인 ( 320 - 1 ) 은 제 2 층간 절 연막 ( ILD 2 ) 에 의해 서로 분리 되 면서 제 1 층 의 제 3 워드 라인 ( 330 - 1 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 1 층 의 제 3 워드 라인 ( 330 - 1 ) 은 제 3 층간 절 연막 ( ILD 3 ) 에 의해 서로 분리 되 면서 제 2 층 의 제 1 워드 라인 ( 310 - 2 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 2 층 의 제 1 워드 라인 ( 310 - 2 ) 은 제 4 층간 절 연막 ( ILD 4 ) 에 의해 서로 분리 되 면서 제 2 층 의 제 2 워드 라인 ( 320 - 2 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 2 층 의 제 2 워드 라인 ( 320 - 2 ) 은 제 5 층간 절 연막 ( ILD 5 ) 에 의해 서로 분리 되 면서 제 2 층 의 제 3 워드 라인 ( 330 - 2 ) 과 분리 될 수 있 고 , 제 2 층 의 제 3 워드 라인 ( 330 - 2 ) 은 제 6 층간 절 연막 ( ILD 6 ) 에 의해 서로 분리 될 수 있 다 .