도 1 은 일 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 를 나타내 는 정면 단면도 이 다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 복수 매 의 기판 ( 2 ) 을 처리 액 ( 3 ) 에 침지 하 여 , 처리 하 는 배 치식 으로서 , 처 리조 ( 5 ) 를 가진다 . 처 리조 ( 5 ) 는 처리 액 ( 3 ) 을 저류 하 고 , 복수 매 의 기판 ( 2 ) 은 처 리조 ( 5 ) 의 수조 내 에서 처리 액 ( 3 ) 에 침지 되 어 , 처리 된다 .