제 어부 ( 18 ) 의 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 기판 반송 장치 ( 13 ) , 전달 부 ( 14 ) 및 기판 반송 장치 ( 17 ) ( 반송 부 ( 15 ) ) 를 제어 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 캐리어 ( C ) 로부터 취 출하 고 , 할당 된 처리 유닛 ( 16 ) 에 수용 한다 . 그리고 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 처리 레시피 정보 에 따라서 기판 반송 장치 ( 17 ) 및 각 처리 유닛 ( 16 ) 의 기판 보유 지지 기구 ( 30 ) 및 처리 유체 공급 부 ( 40 ) 를 제어 하 여 , 각 처리 유닛 ( 16 ) 에서 기판 처리 프로세스 를 실행 한다 ( 도 5 의 S 11 ) . 기판 처리 프로세스 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 약액 을 공급 하 는 기판 약액 처리 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 린스 액 을 공급 해서 약액 을 씻 어 내 는 기판 린스 처리 , 및 기판 린스 처리 후 에 웨이퍼 ( W ) 를 건조 시키 는 기판 건조 처리 를 포함 한다 .