본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 기판 을 로딩 하 는 단계 , 검사 유닛 을 소정 의 검사 위치 에 배치 하 고 , 상기 검사 유닛 을 상기 기판 에 접속 시켜 검사 하 는 단계 , 상기 기판 에 대한 불량 판정 이 발생 하 면 , 상기 기판 에 대한 상기 검사 유닛 의 위치 를 오프셋 ( offset ) 또는 회전 시켜 재검사 하 는 단계 를 포함 하 는 기판 검사 방법 이 제공 된다 .