도 7 은 , Ru 함유 전구체 의 공급 시간 과 Ru 막 의 막 두께 의 관계 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 7 중 , 횡축 은 공정 S 12 에서 의 Ru 함유 전구체 의 공급 시간 [ 초 ] 을 나타내 고 , 종축 은 XRF 법 에 의해 측정 한 Ru 막 의 막 두께 [ nm ] 를 나타낸다 . 또한 , 도 7 에서 는 , 실시 예의 결과 를 삼각 표시 로 나타내 고 , 비교 예의 결과 를 원 표시 로 나타낸다 .