중간층 ( 141 ) 은 , 여러 가지 방법 에 의해 형성 할 수 있 지만 , 증착 법 또는 공 증착 법 에 의해 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 공 증착 법 이란 , 하나 의 처리 실내 에서 복수 의 증발원 으로부터 동시 에 증착 하 는 증착 법 이 다 . 성막 은 감압 분위기 에서 행하 여 지 는 것 이 바람직 하 다 . 감압 분위기 는 , 성 막 실 내 를 진공 배기 수단 에 의해 진공도 가 5 × 10 - 3 Pa 이하 , 바람직 하 게 는 10 - 4 Pa 내지 10 - 6 Pa 정도 의 범위 가 되 도록 진 공배 기함 으로써 얻 어 진다 .