본 발명 의 제 6 양태 에 따르 면 , 에너지 빔 으로 물체 를 노광 하 는 제 3 노광 방법 이 제공 되 며 , 이 방법 은 : 적어도 재치 된 물체 에 대한 노광 이 수행 되 는 노광 위치 를 포함 하 는 제 1 영역 과 , 제 1 영역 의 제 1 방향 의 일 측 에 위치 하 고 , 적어도 물체 의 교환 이 수행 되 는 제 2 영역 과 , 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 의 제 3 영역 을 포함 하 는 제 1 범위 내 에서 , 물체 를 유지 하 여 소정 평면 에 실질 적 으로 따라서 이동 가능 한 제 1 이 동체 , 및 제 1 영역 과 , 제 1 영역 의 제 1 방향 의 일 측 에 위치 하 고 , 적어도 물체 의 교환 이 수행 되 는 제 4 영역 과 , 제 1 영역 과 제 4 영역 사이 의 제 5 영역 을 포함 하 는 제 2 범위 내 에서 물체 를 유지 하 여 소정 평면 에 실질 적 으로 따라서 이동 가능 한 제 2 이 동체 의 제 3 및 제 5 영역 에서 의 소정 평면 내 의 위치 정보 를 , 제 1 및 제 2 이 동체 각각 의 소정 평면 에 실질 적 으로 평행 한 일면 에 대향 하 는 , 소정 평면 에 평행 한 면 상의 , 제 3 및 제 5 영역 에 대응 하 는 위치 에 각각 배치 된 제 1 및 제 2 격자 부 에 각각 대향 하 는 , 제 1 이 동체 의 일면 상 및 제 2 이 동체 의 일면 상 에 각각 설치 된 제 1 및 제 2 인코더 헤드 의 출력 에 기초 하 여 각각 계측 하 는 계측 공정 을 포함 한다 .