다음 에 , 도 3 내지 도 5 를 사용 하 여 , 본 실시 형태 에 관한 클러스터 시스템 ( 300 ) 에 의한 성막 방법 에 대해 설명 한다 . 도 3 은 , 본 실시 형태 에 관한 클러스터 시스템 ( 300 ) 에 의한 성막 방법 의 일례 를 도시 하 는 흐름 도 이 다 . 도 4 는 , 각 공정 에서 의 기판 W 의 상태 를 도시 하 는 단면 모식도 이 다 .