도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 세 정기 ( 10 ) 는 세 정실 ( 19 ) , 테이블 ( 세정 테이블 , 31 ) , 클램프 장치 ( 제 1 클램프 장치 , 51 ) , 클램프 장치 ( 제 2 클램프 장치 , 151 ) , 리프터 ( 71 ) , 이동 장치 ( 14 ) , 노즐 ( 세정 노즐 , 15 ) 및 제 어 장치 ( 25 ) 를 가진다 . 세 정기 ( 10 ) 는 터릿 ( 13 ) , 펌프 ( 18 ) , 공기 원 ( 83 ) , 에 어 블로어 장치 ( 85 ) 를 가질 수 있 다 .