제 4 수단 은 , 제 1 수단 내지 제 3 수단 중 어느 하나 의 수단 에 있 어서 , 상기 복수 의 추력 발생 수단 은 , X 방향 으로 추력 을 발생 하 는 추력 발생 수단 과 Y 방향 으로 추력 을 발생 하 는 추력 발생 수단 이 나열 되 어 배치 되 고 , 상기 플레이트 의 이동 위치 에 관계없이 , 상기 플레이트 하 에 있 는 추력 발생 수단 중 , 적어도 3 개 의 추력 발생 수단 이 동작 하 는 것 을 특징 으로 하 는 스테이지 장치 이 다 .