종종 사용 되 는 , 상대 적 으로 무해 하 고 경제 적 인 화합물 인 테트라 에 톡 시 실란 ( TEOS ) 이 본원 에서 출발 물질 로서 사용 된다 . 그러나 , 원칙 적 으로 모든 규소 - 함유 화합물 은 처음 에 는 적합 하 다 . TEOS 는 기상 공정 에서 700 ℃ 초과 에서 만 현저 한 층 을 형성 하 기 시작 한다 [ 5 ] . 그러나 , 졸 - 겔 공정 에서 는 , 층 의 형성 이 실온 과 같 은 낮 은 온도 에서 수행 된다 .