발광 부 ( 50 ) 는 , 예 를 들 면 LED 이 며 , 소정 의 파장 대역 으로 조정 된 광 ( La ) 을 조사 한다 . 또한 , 발광 부 ( 50 ) 의 발광 타이밍 은 , 예 를 들 면 제 어부 ( 40 ) 에 의해서 제어 되 어 있 다 . 발광 부 ( 50 ) 는 , 도 9 및 도 10 에 나타낸 바 와 같이 , 예 를 들 면 발광 각도 나 발광 강도 등 의 조정 에 의해서 , 조명 영역 ( S ) 내 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 1 장 포함 되 도록 광 ( La ) 을 조사 한다 .