연산 처 리부 ( 61 ) 는 , 예 를 들 면 메모리 , CPU ( Central Processing Unit ) 를 갖 는 데이터 처리 부인 컴퓨터 이 다 . 연산 처 리부 ( 61 ) 는 , 기억 부 ( 62 ) 에 기록 된 프로그램 을 읽 어 내 어 , 그 프로그램 에 포함 되 는 명령 ( 커맨드 ) 에 따라서 , 레지스 트 패턴 형성 장치 의 각 부 에 제어 신호 를 보내 어 , 레지스 트 패턴 형성 처리 에 포함 되 는 각종 기판 처리 를 실행 한다 . 또한 , 연산 처 리부 ( 61 ) 는 , 기억 부 ( 62 ) 에 기록 된 프로그램 을 읽 어 내 어 , 그 프로그램 에 포함 되 는 명령 ( 커맨드 ) 에 따라서 , 반송 아암 ( A 3 ) 의 각 모터 ( M 1 ∼ M 5 ) 에 제어 신호 를 보내 어 , 웨이퍼 ( W ) 의 전달 및 반송 을 실행 한다 .