도 11 은 , 도 1 의 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 에 대한 예시 적 인 대안 적 인 챔버 설계 의 일부분 을 도시 한다 . 도 11 은 아래 에 설명 되 는 바 와 같 은 측 부 배기 챔버 설계 로서 고려 될 수 있 다 . 도 11 은 , 이러 한 실시 예 에서 , 마스터 측 ( 1110 ) 및 슬레이브 측 ( 1120 ) ( 도 12 참조 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 된다 . 도 1 과 관련 하 여 위 에 설명 된 바 와 같이 , 일 실시 예 에서 , 챔버 ( 1100 ) 의 슬레이브 측 ( 1120 ) 이 챔버 ( 1100 ) 의 고정 된 마스터 측 ( 1110 ) 으로부터 멀 어 지 게 이동하 여 , 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 들 상 으로 의 기판 장착 및 제거 를 용이 하 게 한다 . 많 은 유체 기계 적 개념 들 이 도 1 의 챔버 와 유사 할 수 있 지만 , 대안 적 인 챔버 설계 ( 1100 ) 는 좌측 핀 ( 1101 ) 및 우측 핀 ( 1103 ) 을 갖 는 것 을 필요 로 하 며 , 이러 한 핀 들 각각 은 도 1 의 챔버 의 회전 가능 차 폐부 들 과 비교 하 여 역경 사 를 갖 는다 .