기판 안 치대 ( 12 ) 는 리프트 핀 ( 15 ) 이 관통 하 는 리프트 핀 홀 ( 12 a ) 을 구비 하 며 , 리프트 핀 홀 ( 12 a ) 의 내부 에 는 리프트 핀 헤드 ( 15 a ) 가 거치 되 는 걸 림 턱 ( 12 b ) 이 형성 된다 . 또한 리프트 핀 홀 ( 12 a ) 에 는 리프트 핀 ( 15 ) 이 알루미늄 재질 의 기판 안 치대 ( 12 ) 와 접촉 하 는 것 을 방지 하 고 리프트 핀 ( 15 ) 의 승강 운동 을 가이드 하 기 위해 리프트 핀 홀더 ( 16 ) 가 삽입 된다 .