[ 0025 ] 다수 의 지지 핀 들 ( 116 ) 은 기판 지지 페데 스탈 ( 115 ) 상 에 이동 가능 하 게 배치 되 어 기판 이송 을 용이 하 게 하 도록 구성 된다 . 진공 펌프 ( 120 ) 는 리액터 챔버 ( 101 ) 의 진공 포트 ( 121 ) 와 함께 작동 한다 . 슬릿 밸브 포트 ( 104 ) 는 실린더 측벽 ( 105 ) 상 에 형성 되 어 프로세스 체적 ( 103 ) 의 안팎 으로 기판 들 의 이송 을 허용 한다 .