또한 , 상기 기판 ( 1 ) 이 상기 제 1 반출 롤러 부 ( 620 ) 의 구름 에 의해 반출 측 반 전부 ( 700 ) 로 반송 되 는 도중 에 는 그 유동 에 의해 제 1 스토퍼 ( 640 ) 와 의 접촉 이 발생 될 수 있 다 . 하지만 , 상기 제 1 스토퍼 ( 640 ) 가 상기 기판 ( 1 ) 의 반송 방향 을 따라 회전 가능 하 게 결합 되 어 있 기 때문 에 상기 제 1 기판 ( 1 ) 과 상기 제 1 스토퍼 ( 640 ) 간 의 마찰 은 극히 적 다 .