다수 의 채널 열 들 이 상기 제 2 방향 으로 서로 이웃 하 는 CSL 들 ( 310 ) 사이 에 형성 됨 으로써 , SSL 역할 을 수행 하 는 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 을 분리 시키 는 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 이 이 들 사이 에 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 하지만 후술 하 는 바 와 같이 , 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 이 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 을 형성 하 기 이전 이 아니 라 그 이후 에 형성 됨 으로써 , 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 에 의해 갭 ( 270 ) 이 부분 적 으로 차단 됨 으로써 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 이 갭 ( 270 ) 을 모두 채우 지 못하 고 보이드 가 발생 하 는 현상 이 방지 될 수 있 다 .