도 4 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 노광 장치 를 도시 한다 . 위상 지 연기 ( 430 ) 는 노광 마스크 ( 440 ) 의 배면 의 일부 에 만 위치 하 는 것 을 볼 수 있 다 . 조명계 가 지면 에 나란 한 편광 방향 을 갖 는 편광 을 노광 광원 으로 사용 하 고 , λ / 2 두께 를 갖 는 플레이트 를 위상 지 연기 ( 430 ) 를 사용 할 경우 , 위상 지 연기 ( 430 ) 를 통과 한 부분 의 패턴 ( 444 ) 은 지면 을 통과 하 는 편광 방향 을 갖 는 편광 이 입사 되 나 , 위상 지 연기 ( 430 ) 가 없 는 패턴 ( 444 ) 에 지면 에 나란 한 편광 방향 을 갖 는 편광 이 입사 된다 . 따라서 , 노광 마스크 ( 440 ) 의 영역 별 로 다른 편광 방향 을 갖 는 편광 광원 을 이용 하 여 노광 이 가능 해 패턴 별 로 노광 공정 마진 을 극대 화 할 수 있 다 .