또한 , 제 1 접합 층 ( 23 ) 의 두께 는 외주 부 를 내 주부 보다 얇 게 할 수 있 다 . 이 로써 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 외주 부 에서 는 , 하부 전극 ( 18 ) 과 의 열 전도 를 내 주부 에서 보다 향상 시킬 수 있 다 . 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 에 거치 되 는 기판 ( W ) 의 외주 부 는 제 1 정전 척 ( 21 ) 에 접하 고 있 지 않 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 외주 부 에서 의 열 전도 를 향상 시킴 으로써 기판 ( W ) 의 온도 균일성 을 향상 시킬 수 있 다 .