기판 처리 장치 ( 100 ) 와 제 2 제 어부 ( 조 작부 ) ( 274 ) 의 사이 에서 송수신 되 는 각종 데이터 의 중계 를 실행 가능 하 게 구성 된다 . 중계 부 ( 275 ) 는 , 제 1 제 어부 ( 260 ) 나 , 기타 접속 된 기기 로부터 , 장치 데이터 를 소정 의 간격 으로 수신 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 중계 부 ( 275 ) 는 , 제 2 제 어부 ( 274 ) 나 기타 접속 된 기기 에 대하 여 데이터 를 소정 의 간격 으로 송신 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 중계 부 ( 275 ) 는 , 부하 레벨 의 판정 , 각종 테이블 데이터 로 설정 된 내용 에 따라 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 로부터 제 2 제 어부 ( 조 작부 ) ( 274 ) 에 보내 지 는 각종 데이터 의 송신 간격 의 제어 나 , 각종 데이터 의 축적 ( 기록 ) 을 실행 한다 . 즉 , 중계 부 ( 275 ) 는 , 수신 하 는 데이터 의 수신 간격 과 , 송신 하 는 데이터 의 송신 간격 을 다르 게 하 도록 구성 된다 . 여기 서 송신 간격 은 , 송신 속도 ( 사용 대역 ) 로서 설정 해도 된다 . 송신 속도 로서 설정 한 경우 , 시스템 내 네트워크 ( 268 ) 의 대역 을 항상 사용 하 게 되 기 때문 에 , 바람직 하 게 는 , 송신 간격 으로 설정 한다 . 또한 , 중계 부 ( 275 ) 는 , 기억 장치 를 가져 , 수신 한 데이터 를 축적 ( 기록 ) 가능 하 게 구성 된다 .