주 몸 체부 ( 210 ) 의 상면 에 는 기판 ( 100 ) 의 가 열 시 배출 되 는 가스 를 외부 로 배출 시키 기 위한 배기 부 ( 240 ) 가 설치 된다 . 또한 , 주 몸 체부 ( 210 ) 의 내부 양 측면 에 는 적외선 방사 히터 ( 220 ) 로부터 방사 되 는 적외선 을 집속 시키 기 위한 적외선 반사체 ( 230 ) 가 설치 된다 . 이러 한 적외선 반사체 ( 230 ) 는 주 몸 체부 ( 210 ) 의 내벽 에 곡면 형 으로 설치 되 는 것 이 효율 적 이 다 .