상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 에서 는 플 라즈 마 중합 된 에틸렌다이아민 ( PPEDA ) 과 비 특이 성 흡착 이 없 는 플 라즈 마 중합 된 싸이클 로 핵산 ( PPCHex ) 을 유도 결합 형 플 라즈 마 화학 기상법 을 사용 하 여 증착 하 였 다 . 각각 의 전구체 로 는 에틸 렌 다 이 아민 ( EDA ) 과 싸이클 로 핵산 ( CHex ) 을 사용 하 였 다 .