도 19 를 참조 하 면 , 게이트 구조물 들 ( 160 ) 및 하부 절연 층 ( 190 ) 의 상부 에 제 1 마스크 패턴 층 ( 191 ) 을 형성 하 고 , 제 1 마스크 패턴 층 ( 191 ) , 더미 게이트 구조물 ( 160 '), 및 더미 채널 구조물 ( 140 ') 을 관통 하 여 활성 영역 ( 105 ) 의 하단 보다 아래 까지 연장 되 는 트랜 치 ( T ) 를 형성 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 더미 게이트 구조물 ( 160 ') 의 일부 및 더미 채널 구조물 ( 140 ') 의 일부 가 제거 될 수 있 다 .