도 13 에서 , 비아 ( 1305 및 1307 ) 는 소스 폴리 실리콘 층 과 의 접촉 이 가능 하 도록 에칭 된다 . 이 는 제 1 마스크 를 사용 하 여 수행 될 수 있 으며 , 이 는 폴리 - 비아 마스크 ( poly - via mask ) 로 불리울 수 있 다 . 플 라즈 마 에칭 또는 그 밖 의 에칭 기술 이 옥사이드 윈도우 를 형성 하 여 폴리 실리콘 소스 층 을 노출 시키 는 데 사용 된다 . 이 공정 단계 는 소스 상 의 팔라듐 전기 증착 및 궁극 적 으로 소스 패드 접촉 을 가능 하 게 한다 .