감쇠기 들 ( 41 - 44 ) 의 개별 적 인 전기 적 임피던스 들 은 , 감쇠기 들 ( 41 및 42 ) 을 통해 전극 의 제 1 절반 부상 의 RF 구동 포인트 들 ( 51 및 52 ) 에 결합 되 는 RF 전력 의 전체 레벨 이 감쇠기 들 ( 43 ) 을 통해 전극 의 제 2 절반 부상 의 RF 구동 포인트 들 ( 53 및 54 ) 에 결합 되 는 RF 전력 의 전체 레벨 보다 크 도록 설정 되 거나 조정 되 어야 한다 .