구체 적 으로 , 기판 컨테이너 ( 100 ) 는 로드 포트 ( 200 ) 상 에 위치 할 수 있 다 . 도 11 에서 는 기판 컨테이너 ( 100 ) 에 도어 ( 140 ) 가 위치 한 것 을 도시 한다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 에 는 제 1 퍼지 가스 공급 부 ( 124 ) 에 의해 기판 컨테이너 ( 100 ) 내부 로 퍼지 가스 를 공급 할 수 있 다 .