상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 또 다른 측면 에 따른 프로브 스테이션 은 , 프로브 카드 를 이용 하 여 웨이퍼 상 에 형성 된 반도체 소자 들 에 대한 전기 적 인 검사 를 수행 하 는 본체 와 , 상기 본체 의 상부 에 배치 되 며 상기 프로브 카드 와 전기 적 으로 연결 되 는 테스트 헤드 와 , 상기 프로브 카드 의 교체 작업 을 수행 하 기 위한 로봇 암 을 구비 하 는 카드 교체 유닛 과 , 상기 본체 주변 의 기 설정 된 영역 내 의 장애물 을 검출 하 기 위한 장애물 검출 센서 와 , 상기 장애물 검출 센서 에 의해 상기 장애물 이 검출 되 는 경우 상기 카드 교체 유닛 의 동작 을 중지 시키 는 제 어부 를 포함 할 수 있 다 .