한편 , 발명 의 다른 분야 에 따르 면 , 본 발명 은 , 제 1 압력 챔버 를 포함 하 는 압력 챔버 가 구비 되 고 , 상기 제 1 압력 챔버 와 연통 되 는 제 1 통로 가 마련 된 베이스 와 , 상기 제 1 압력 챔버 에 공 압 을 공급 하 는 제 1 공 압 공 급로 를 포함 하 는 공 압 공 급로 를 통해 상기 압력 챔버 의 각각 에 공 압 을 공급 하 는 압력 조 절부 와 , 상기 베이스 에 일부 이상 이 고정 되 어 상기 베이스 와 의 사이 에 상기 압력 챔버 를 형성 하 여 상기 연마 공정 중 에 멤 브레인 바닥 판 의 하측 에 위치 한 웨이퍼 를 가압 하 는 가요 성 재질 의 멤 브레인 을 구비 한 연마 헤드 의 제어 방법 으로서 , 상기 압력 챔버 에 정압 이 인가 된 상태 로 상기 멤 브레인 의 하측 에 위치 한 웨이퍼 를 연마 하 는 웨이퍼 연마 단계 와 ; 상기 압력 조 절부 에 의하 여 상기 제 1 압력 챔버 에 정해진 설정 부압 이 인가 하 는 설정 부압 인가 단계 와 ; 상기 제 1 압력 챔버 의 제 1 바닥 면 이 상방 으로 들뜬 휨 변형 되 는 것 으로부터 상기 웨이퍼 가 상기 멤 브레인 의 바닥 판 에 정상 적 으로 척 킹 파지 되 는지 여부 를 감지 하 는 감지 단계 를 ; 포함 하 여 구성 된 것 을 특징 으로 하 는 연마 헤드 의 제어 방법 을 제공 한다 .