제 1 반도체 칩 ( 400 ) 은 제 2 관통 전극 ( 410 ) 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 관통 전극 ( 410 ) 은 제 4 하부 베이스 기판 ( 401 ) 내 에 형성 될 수 있 지만 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 즉 , 제 2 관통 전극 ( 410 ) 은 제 4 상부 베이스 기판 ( 402 ) 내 에 도 형성 될 수 있 다 . 제 2 관통 전극 ( 410 ) 은 제 4 상부 소자 영역 ( 405 ) 및 제 4 하부 소자 영역 ( 415 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 .