도 5 a 는 도 3 c 의 A - A ' 선 을 따라 절개 한 단면도 이 다 . 도 3 c 의 A - A ' 부분 은 PR 층 ( 24 ) 을 형성 시켜 제 1 절연 층 ( 22 ) 이 식각 되 지 않 고 잔존 하 고 있 음 을 알 수 있 다 . 도 5 b 는 도 3 c 의 B - B ' 선 을 따라 절개 한 단면도 이 다 . 도 5 b 를 참조 하 면 , 도 3 b 의 PR 층 ( 24 ) 사이 의 제 1 절연 층 ( 22 ) 이 식각 되 어 제거 됨 으로써 , 홀 ( h 1 ) 이 핀 들 ( 21 a , 21 b ) 사이 영역 에 형성 되 어 있 음 을 알 수 있 다 . 도 5 c 는 도 3 c 의 C - C ' 선 을 따라 절개 한 단면도 이 다 . 도 5 c 를 참조 하 면 , 식각 되 지 않 고 잔존 한 제 1 절연 층 ( 22 ) 사이 영역 에 홀 ( h 1 ) 이 형성 된 것 을 확인 할 수 있 다 .