도 2 a 에 도시 된 형태 로 웨이퍼 ( W ) 의 연마 공정 이 종료 되 면 , 도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 , 압력 조 절부 ( 50 ) 는 공 압 공급 관 ( 55 ) 을 통해 압력 챔버 들 ( C 1 , C 2 , C 3 , C 4 ) 중 어느 하나 이상 ( 도면 에 는 제 3 압력 챔버 ( C 3 ) ) 에 부압 을 인가 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 와 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 의 사이 에 대기압 보다 낮 은 진공 상태 의 공간 ( Cx ) 을 형성 하 면서 , 제 3 압력 챔버 ( C 3 ) 하측 의 진공 공간 ( Cx ) 에서 웨이퍼 ( W ) 를 파지 하 게 된다 . 여기 서 , 웨이퍼 ( W ) 와 멤 브레인 바닥 판 의 표면 장력 에 의하 여 실제로 진공 공간 ( Cx ) 은 발생 되 지 않 을 수 있 으며 , 도 10 a 및 도 12 a 에 도시 된 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 와 멤 브레인 바닥 판 이 밀착 된 상태 로 유지 될 수 도 있 다 .