일반 적 으로 , 반도체 , 디스플레이 제조 공장 에서 는 세정 등 의 공정 에서 인체 및 환경 에 해로운 화학 물질 을 사용 하 고 있 다 . 구체 적 으로 , 산 / 알칼리 약액 등 의 화학 물질 을 사용 하 는 설비 ( 가공 장비 ) 들 은 액세스 플 루어 ( Access Floor ) 위 에 설치 되 고 설비 내 공정 에 사용 한 약액 은 하부 배출 라인 을 통해서 약액 처 리조 로 배출 된다 . 그러나 , 가공 장비 와 약액 배관 연결부 에서 누설 발생 시 에 는 , 약액 이 가공 장비 외부 로 유출 되게 된다 . 이 는 중대 한 인명 사고 / 환경 오염 의 원인 이 되 어 왔 다 .