제 1 이송 유닛 ( 105 ) 은 평판 형 기판 ( 10 ) 을 이송 한다 . 제 1 이송 유닛 ( 110 ) 은 평판 형 기판 ( 10 ) 을 기울어진 상태 로 평판 형 기판 ( 10 ) 의 하면 을 지지 한다 . 예 를 들 면 , 제 1 이송 유닛 ( 110 ) 은 예 를 들 면 , 간격 조절 유닛 ( 170 ) 에 인접 하 는 부분 이 다른 부분 에 비하 여 상대 적 으로 낮 은 위치 를 갖 도록 기울어진 상태 로 평판 형 기판 ( 10 ) 을 지지 할 수 있 다 .