한편 본 발명 에 따른 알루미나 소 결체 들 대신 에 알루미나 하 소체 들 을 이용 하 여 정 전척 을 제조 하 는 방안 이 고려 될 수 있 다 . 그러나 하 소체 는 열팽창 수축 이 크 기 때문 에 하 소체 들 을 포개 고 직접 접합 하 려는 경우 고온 열처리 과정 에 휘 거나 위치 별 로 가 압력 에 차이 가 발생 하 고 전극 의 평탄 도 가 열악 해질 수 있 다 . 하 소체 들 을 이용 하 여 99 . 9 % 이상 고 순도 의 정 전척 을 제조 하 기 위해서 는 중간 에 접합 재 를 사용 해야 하 는데 , 이러 한 접합 재 는 이질 적 인 접합 층 의 발생 과 모재 오염 의 문제 가 있 다 .