이 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 지지 픽 ( 119 ) 의 픽 베이스 ( 117 ) 측 으로부터 선단 측 을 향하 여 기판 ( S ) 을 지지 하 는 지 지점 이 서서히 높 아 지 도록 지 지 돌기 ( 200 ) 및 지지 돌기 ( 143 ) 의 높이 를 설정 할 수 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 기판 ( S ) 의 무게 나 지지 픽 ( 119 ) 의 자중 에 의한 휘어짐 에 의해 포크 ( 101 ) 의 선단 측 이 하강 한 경우 에 도 , 하강 폭 을 지지 돌기 ( 200 ) 및 지지 돌기 ( 143 ) 의 높이 에 의해 어느 정도 까지 상쇄 할 수 있 다 . 따라서 , 포크 ( 101 ) 에 의해 기판 ( S ) 을 최대한 수평 에 가까운 상태 로 안정 적 으로 보 지 하 면서 반송 동작 을 실행 할 수 있 다 .