제 3 반송 챔버 ( 31 ) 의 로봇 ( 60 ) 을 이용 하 여 로딩 챔버 ( 34 ) 에 있 는 캡 부재 를 플 라즈 마 챔버 ( 32 ) 로 이송 하 여 캡 부재 를 플 라즈 마 처리 하 여 수분 또는 유기물 을 제거 한다 . 다음 으로 상기 반송 로봇 ( 60 ) 을 이용 하 여 플 라즈 마 처리 된 캡 부재 를 흡습제 부착 모듈 ( 33 ) 로 이송 하 여 흡습제 를 부착 한다 .