스테이지 ( 16 ) 는 , 스테이지 구동 기구 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 스테이지 구동 기구 ( 18 ) 는 , 지지 축 ( 18 a ) 과 구동 장치 ( 18 b ) 를 갖 고 있 다 . 지지 축 ( 18 a ) 은 , 대략 기둥 형상 의 부재 이 다 . 지지 축 ( 18 a ) 의 상단 은 , 스테이지 ( 16 ) 와 결합 되 어 있 다 . 지지 축 ( 18 a ) 의 중심 축선 은 , 연직 방향 을 따라 연장 되 는 축선 ( AX 1 ) 에 대략 일치 하 고 있 다 . 축선 ( AX 1 ) 은 , 배치 영역 ( PR ) 의 중심 , 즉 스테이지 ( 16 ) 의 중심 을 연직 방향 으로 지나 는 축선 이 다 . 지지 축 ( 18 a ) 은 , 스테이지 ( 16 ) 의 바로 아래 에서부터 처리 용기 ( 12 ) 의 바닥 부 를 지나 처리 용기 ( 12 ) 의 외부 까지 연장 되 어 있 다 . 처리 용기 ( 12 ) 의 외부 에 있 어서 , 지지 축 ( 18 a ) 의 하단 은 , 구동 장치 ( 18 b ) 와 접속 되 어 있 다 . 구동 장치 ( 18 b ) 는 , 지지 축 ( 18 a ) 을 회전 및 상하 이동 시키 기 위한 동력 을 발생 한다 . 이 동력 에 의해 지 지 축 ( 18 a ) 이 회전 함 에 따라 스테이지 ( 16 ) 는 축선 ( AX 1 ) 중심 으로 회전 하 고 , 지지 축 ( 18 a ) 이 상하 이동 함 에 따라 스테이지 ( 16 ) 는 상하 이동 한다 . 지지 축 ( 18 a ) 과 처리 용기 ( 12 ) 의 바닥 부 사이 에 는 , 밀봉 부재 ( SL 1 ) 가 마련 되 어 있 다 . 밀봉 부재 ( SL 1 ) 는 , 지지 축 ( 18 a ) 이 회전 및 상하 이동 가능 하 도록 , 처리 용기 ( 12 ) 의 바닥 부 와 지지 축 ( 18 a ) 사이 의 간극 을 밀봉 한다 . 이러 한 밀봉 부재 ( SL 1 ) 는 , 예컨대 자성 유체 시일 일 수 있 다 .