가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 교환 가능 한 컴포넌트 로서 정의 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상이 한 버전 들 / 구성 들 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 과 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 상이 한 배열 들 을 갖 도록 정의 될 수 있 다 . 부가 적 으로 , 플 라즈 마가 가스 분배 유닛 ( 115 ) 또는 그 기능 성 을 저하 시키 는 경우 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 이 교체 될 수 있 다 .