도 18 및 도 19 에 도시 하 는 편심 검출 기구 ( 54 ) 는 , 두 편심 검 출부 ( 60 A , 60 B ) 를 갖 는다 . 편심 검 출부 ( 60 A , 60 B ) 는 , 각각 도 1 에 도시 하 는 편심 검 출부 ( 60 ) 와 마찬가지 구성 을 갖 는다 . 한 쪽 편심 검 출부 ( 60 A ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 및 편심 방향 을 측정 하 기 위해 사용 되 고 , 다른 쪽 편심 검 출부 ( 60 B ) 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 및 편심 방향 을 측정 하 기 위해 사용 된다 . 구체 적 으로 는 , 한 쪽 편심 검 출부 ( 60 A ) 는 , 상술 한 편심 검지 위치 에 있 는 웨이퍼 W 의 편심 량 과 편심 방향 을 취득 하 기 위해 사용 되 고 , 다른 쪽 편심 검 출부 ( 60 B ) 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 허용 범위 내 에 있 는지 여부 를 확인 하 기 위해 사용 된다 . 편심 검 출부 ( 60 A , 60 B ) 는 , 각각 도 16 을 참조 하 여 설명 된 셔터 ( 72 ) 를 가져도 된다 . 또한 , 편심 검 출부 ( 60 A , 60 B ) 는 , 도 17 에 도시 하 는 촬상 장치 ( 85 ) 와 , 투광 장치 ( 86 ) 를 갖 는 편심 검 출부 ( 60 ) 여도 된다 .