퍼지 라인 ( 도면 미 표시 ) 은 일정 온도 로 가열 되 어 지 고 , 또한 엘리베이터 서 셉 터 ( 152 ) 와 N 개 의 분배 헤드 ( 140 ) 의 불순물 의 형성 을 방지 하 기 위해 퍼지 링 을 통해 질 소 퍼지 가스 가 각각 의 분배 헤드 에 항상 흐르 게 된다 . 또한 벤트 링 을 통해 오존 및 질소 가스 와 혼합 된 케미 칼 소스 가스 는 항상 흐르 게 되 며 증착 시 밸브 동작 을 통하 여 분배 헤드 로 흐르 게 된다 .