프로세스 키트 는 상단 표면 ( 254 ) 및 바닥 표면 ( 256 ) 을 갖 는 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 을 더 포함 한다 . 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 알루미늄 과 같 은 전도성 재료 로 형성 될 수 있 다 . 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 에지 링 ( 210 ) 아래 에 배치 된다 . 예컨대 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 제 2 에지 링 컴포넌트 ( 216 ) 아래 에 배치 된다 . 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 에지 링 ( 210 ) 의 바닥 표면 ( 238 ) 과 접촉 한다 . 예컨대 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 제 2 에지 링 컴포넌트 ( 216 ) 의 바닥 표면 ( 230 ) 과 접촉 한다 . 일 실시 예 에서 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 이 정전 척 ( 202 ) 과 냉각 플레이트 ( 204 ) 의 조합 된 높이 와 실질 적 으로 동일 한 높이 를 갖 도록 , 정전 척 ( 202 ) 과 냉각 플레이트 ( 204 ) 의 길이 만큼 아래 로 연장 된다 . 그 에 따라 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 냉각 플레이트 ( 204 ) 로부터 에지 링 ( 210 ) 으로 전력 을 커플링 시킬 수 있 다 .