한편 , 도시 하 지 는 않 았 지만 , 상기 스테이지 ( 200 ) 의 돌출부 에 는 기판 ( 10 ) 을 고정 하 기 위한 척 수단 예 를 들 어 , 기계력 , 정전 력 , 진공 흡입력 등 을 이용 하 는 척 부재 가 마련 될 수 있 고 , 상기 스테이지 ( 200 ) 의 몸 체부 에 는 챔버 ( 100 ) 내부 의 공정 온도 를 일정 하 게 유지 시키 기 위한 냉각 수단 예 를 들 어 , 냉각관 및 상기 냉각관 을 순환 하 는 냉매 재 가 마련 될 수 있 고 , 또는 가열 수단 예 를 들 어 , 전기 발열 히터 , 램프 히터 등 이 마련 될 수 있 다 .