도시 된 바 에 의하 면 , 상기 공간 구획 부재 ( 240 ) 의 내측 및 외측 공간 들 에 는 제 1 가스 공급 배관 들 ( 230 ) 이 각각 배치 될 수 있 으며 , 상기 제 2 가스 공급 배관 들 ( 250 ) 은 상기 내측 및 외측 공간 들 과 각각 연통 하 며 상기 용기 ( 210 ) 와 공정 챔버 들 사이 를 연결 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 공간 구획 부재 ( 240 ) 의 내측 및 외측 공간 들 에서 발생 되 는 소스 가스 들 의 공급 상태 가 변화 되 는 것 이 방지 될 수 있 다 . 즉 , 상기 공간 구획 부재 ( 240 ) 의 내측 및 외측 공간 으로 개별 적 으로 캐리어 가스 가 공급 되 므로 상기 캐리어 가스 의 공급 에 따른 소스 가스 의 유량 변화 또는 흐름 특성 의 변화 가 방지 될 수 있 다 .