( 1 ) 플래시 램프 와 직렬 로 접속 된 반도체 스위치 를 적어도 1 회 , 온 , 오프 시키 는 제 1 구동 신호 와 , 이 제 1 구동 신호 가 출력 된 후 , 상기 반도체 스위치 를 1 회 만 온 으로 하 는 제 2 구동 신호 를 출력 하 고 , 상기 제 2 구동 신호 가 상기 반도체 스위치 를 온 으로 하 는 기간 을 , 상기 제 1 구동 신호 중 1 개 의 구동 신호 에 의해 상기 반도체 스위치 가 온이 되 는 기간 보다 길 어 지 도록 하 고 , 제 1 구동 신호 에 의해 상기 반도체 스위치 를 온 , 오프 하 여 플래시 램프 를 점등 시키 며 , 기판 의 온도 를 , 목표 가 되 는 원 하 는 온도 보다 낮 은 상기 제 2 온도 까지 상승 시키 거나 , 승 온 레이트 를 억제 하 면서 온도 를 상승 시키 고 , 그 후 , 제 2 구동 신호 에 의해 상기 반도체 스위치 를 온 으로 하 여 , 기판 의 표면 온도 를 목표 가 되 는 원 하 는 온도 까지 상승 시키 도록 하 였으므로 , 승 온 되 는 기판 의 두께 방향 의 온도 차 에 의해 발생 하 는 왜곡 을 작 게 할 수 있 고 , 이 기판 의 변형 이나 깨 짐 을 억제 할 수 있 다 .