먼저 , 도 2 와 도 3 에 나타난 바 와 같이 , 이 류체 공급 모듈 ( 130 ) 에 는 그 하측 에 제 1 에어 유입 구 ( 131 ) 와 제 2 에어 유입 구 ( 131 '), 제 2 세정액 유입 구 ( 132 ') 및 제 1 세정액 유입 구 ( 132 ) 가 일렬 로 형성 되 어 있 다 . 이 들 유입 구 ( 131 , 131 ', 132 , 132 ') 들 은 각각 외부 의 에어 공급원 ( 도시 되 지 않 음 ) 및 세정액 공급원 ( 도시 되 지 않 음 ) 과 연결 됨 으로써 에어 와 세정액 을 공급 받 게 된다 .