본 발명 은 이송 테이블 의 미세 조정 장치 에 관한 것 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 , 베이스 의 레일 위 에서 볼 스크루 에 의해 이송 테이블 이 소정 위치 까지 이동 된 후 , 이송 테이블 에 설치 된 볼 스크루 와 이 를 지지 하 고 있 는 유정 압 스러스트 베어링 에서 축 방향 의 스러스트 압력 을 조정 하 여 이송 테이블 의 미소 이송 을 가능 하 게 하 는 이송 테이블 의 미세 조정 장치 에 관한 것 이 다 .