도 3 을 참조 하 면 , 회절 광학 소자 를 통과 한 광 을 평면 에 조사 하 는 경우 도시 된 것 과 유사 한 형태 의 광 패턴 ( 196 ) 을 얻 을 수 있 다 . 물론 , 회절 광학 소자 의 형태 와 배치 에 따라 다양 한 형태 의 광 패턴 ( 196 ) 을 얻 을 수 있 으며 , 도 3 에 도시 된 광 패턴 ( 196 ) 은 일례 로 제시 된 것 이 다 . 이러 한 광 패턴 ( 196 ) 은 광이 집중 되 어 광 밀도 가 높 고 균일 한 집중 점 ( 198 ) 과 집 중점 ( 198 ) 주변 에 형성 되 는 회절 무늬 패턴 ( 197 ) 로 구분 된다 . 회절 무늬 패턴 ( 197 ) 의 경우 회절 광학 소자 를 정교 하 게 가공 하 는 수준 에 따라 최소 화 할 수 있 으며 , 낮 은 차수 의 회절 광 ( 여기 서 광축 과 일치 하 는 광 의 차수 는 0 차 이 다 ) 은 집중 점 ( 198 ) 에 집중 된다 . 때문 에 , 집중 점 ( 198 ) 주변 의 회절 무늬 패턴 ( 197 ) 을 형성 하 는 회절 광 은 차수 가 높 고 에너지 밀도 도 낮 게 된다 . 이 로 인해 , 다소 의 회절 광이 존재 하 더라도 프로 젝 션 디스플레이 장치 의 영상 표시 나 노광 장치 의 노광 에 는 큰 영향 을 끼치 지 않 게 된다 . 또한 , 이후 의 실시 예 들 에서 설명 하 겠 지만 , 노광 장치 나 프로 젝 션 디스플레이 장치 에서 는 수회 에 걸쳐 집광 및 분광 을 반복 하 게 됨 으로 회절 광 의 영향 을 최소 화 하 는 것 이 가능 하 다 .