예 를 들 어 , 제 1 비아 오프닝 ( VO 1 ) 을 형성 하 기 위해 , 플라 즈 마를 이용 한 RIE ( reactive ion etching ) 공정 , 레이저 드릴링 등 을 수행 할 수 있 다 . 제 1 비아 오프닝 ( VO 1 ) 은 하방 으로 갈수록 ( 또는 , 외부 전극 패드 ( 150 ) 에 인접 할수록 ) 점차 수평 방향 의 폭 이 좁 아 지 는 형상 을 가질 수 있 다 .