도 2 를 참조 하 면 , 십자 형상 ( 도 1 의 100 ) 으로 설계 된 콘 택 홀 패턴 의 레이아웃 을 전자 빔 노광 하 기 위해서 , 다수 의 다각형 폴리곤 들 로 프 랙 처 분할 ( fracturing ) 한다 . 예컨대 , 십자 형상 ( 100 ) 의 레이아웃 을 하나 의 일 방향 으로 긴 장방형 형상 의 제 1 사각형 ( 230 ) 과 양측 부 의 두 개 의 작 은 제 2 및 제 3 사각형 들 ( 210 , 250 ) 로 프 랙 처 분할 하 여 프래 처 분할 된 레이아웃 ( 201 ) 을 얻 는다 . 제 1 사각형 ( 230 ) 및 제 2 및 제 3 사각형 들 ( 210 , 250 ) 의 다각형 폴리곤 들 로 구성 된 프 랙 처 분할 레이아웃 ( 201 ) 을 이용 하 여 , 도 4 에 제시 된 바 와 같이 전자 빔 노광 을 수행 한다 .