전자 광학 장비 의 초점 조절 시스템 은 1350 단계 에서 상기 최대 값 의 CTF 가 계산 될 때 까지 상기 리니어 스테이지 를 이동 시키 고 , 1355 단계 에서 상기 계산 된 CTF 값 중 최대 값 의 CTF 가 측정 된 상기 리니어 스테이지 의 위치 를 확인 하 고 , 1360 단계 에서 , 상기 확인 된 리니어 스테이지 눈금 크기 에 해당 하 는 초점 조절 용 심 ( Shim ) 을 선택 한 후 , 1365 단계 에서 상기 선택 된 심 을 이용 하 여 상기 광학계 와 상기 검 출부 를 조립 하 고 , 1370 단계 에서 상기 상기 광학계 와 상기 검 출부 의 조립 후 상기 조립 된 상기 광학계 와 상기 검 출부 의 MTF 를 측정 하 고 , 상기 측정 된 MTF 와 상기 최대 값 의 CTF 의 MTF 변환 값 을 비교 하 여 1375 단계 에서 유사 도 를 검사 한 후 , 유사 하 다면 , 1380 단계 에서 전원 을 OFF 시킨다 .