[ 0048 ] 도 3 에 도시 된 구현 에서 , 제 1 자석 ( 352 ) 및 제 2 자석 ( 354 ) 이 통로 ( 360 ) 근방 에 배치 된다 . 자석 들 ( 352 , 354 ) 은 통로 ( 360 ) 에 걸쳐 서로 대향 하 도록 배치 될 수 있 다 . 예컨대 , 자석 들 ( 352 , 354 ) 은 통로 ( 360 ) 의 외측 주변 부 의 대향 측면 들 상 에 접착 또는 고정 될 수 있 다 . 자석 들 ( 352 , 354 ) 이 챔버 덮개 ( 340 ) , 또는 챔버 바디 ( 310 ) 의 다른 컴포넌트 들 에 고정 될 수 있 다는 것 이 또한 고려 된다 . 통로 ( 360 ) 내 에 형성 된 도관 ( 356 ) 과 대향 자석 사이 의 상대 거리 는 도관 ( 356 ) 을 통과 하 는 자기장 의 세기 에 영향 을 미치 고 , 그 에 의해 , 필터링 효율 에 영향 을 미친다 . 자기장 은 또한 , 상이 한 자석 들 을 사용 함 으로써 , 즉 , 자석 들 ( 352 , 354 ) 을 상이 한 세기 로 대체 함 으로써 , 조정 될 수 있 다 . 통과 하 는 하전 입자 들 은 통로 ( 360 ) 의 내측 표면 ( 370 ) 과 접촉 하 도록 끌어당겨 지 고 , 전기 적 으로 중성 인 비 - 이온 성 종이 된다 . 따라서 , 필터링 된 전기 적 으로 중성 인 라디칼 들 은 기판 의 표면 으로 전달 되 어 , 그 기판 의 표면 상 의 산화물 들 및 / 또는 오염물 들 과 반응 하 고 그 산화물 들 및 / 또는 오염물 들 을 세정 한다 .