그리고 , 간섭계 ( 18 X 2 ) 로부터 의 측장 빔 과 간섭계 ( 18 X 1 ) 로부터 의 측장 빔 이 동시 에 반사면 ( 17 X ) 에 조사 되 는 위치 에 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 도달 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 간섭계 시스템 ( 18 ) ( 간섭계 ( 18 Y , 18 X 2 , 18 Z 1 , 18 Z 2 ) ) 의 계측 값 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 θ z 회전 ( 요 잉 ) 오차 ( 및 θ x 회전 ( 피칭 ) 오차 , 그리고 θ y 회전 ( 롤링 ) 오차 ) 가 0 이 되 도록 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 자세 를 조정 한 후 , 간섭계 ( 18 X 1 ) 의 계측 값 을 그 때 의 간섭계 ( 18 X 2 ) 의 계측 값 과 동일 한 값 으로 프리 세트 한다 .