일부 예 에서 는 , S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 가용 평가 요소 의 제 1 개수 이하일 경우 이송 시퀀스 는 제 1 개 수의 S - D 평가 웨이퍼 를 제 1 개수 의 가용 평가 요소 로 이송 할 방법 및 시기 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 가 가용 평가 요소 의 제 1 개수 보다 많 을 경우 하나 이상 의 보정 조치 가 적용 될 수 있 는데 , 제 1 개수 의 가용 평가 요소 는 제 1 작동 상태 를 이용 하 여 결정 된다 .