본 발명 의 일 실시 예 에서 는 공정 챔버 의 공정 레시피 에 따른 임피던스 를 분석 하 여 , 가상 챔버 의 임피던스 를 공정 레시피 에 따라 설정 함 으로써 , 가상 챔버 의 임피던스 를 보다 정확 하 게 설정 할 수 있 다 . 따라서 , 새로운 고주파 유닛 을 교체 하 거나 기존 고주파 유닛 을 유지 보수 하 는 등 의 처리 후 에 , 고주파 유닛 을 공정 챔버 에 연결 하 기 전 에 수행 되 는 사전 검증 의 신뢰 성 을 보다 높일 수 있 다 .