또한 , 상술 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 이 Y 축 방향 으로 떨어져 있 지만 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 는 그 일부 가 Y 축 방향 에 있 어서 중복 하 고 있 어도 좋 다 . 또 , 본 실시 형태 의 노광 장치 ( EX ) 는 상술 의 DMD 의 위치 및 / 또는 회전 ( 경사 ) 을 조정 하 는 액 츄 에 이터 를 구비 하 고 있 어도 좋 다 .