타깃 의 조성 비 는 , 예 를 들 어 In : Ga : Zn = 1 : 1 : 1 [ 몰 비 ] 로 할 수 있 다 . 또한 , 타깃 의 재료 및 조성 을 이것 으로 한정 할 필요 는 없 다 . 예 를 들 어 , In : Ga : Zn = 1 : 1 : 0 . 5 [ 몰 비 ] , In : Ga : Zn = 2 : 1 : 3 [ 몰 비 ] , In : Ga : Zn = 3 : 1 : 2 [ 몰 비 ] 의 조성 비 의 산화물 타깃 을 사용 할 수 도 있 다 .