또한 , 이 때 , 우측 스크럼 포지션 을 향하 여 이동하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 의해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 조사 되 고 있 던 XZ 간섭계 ( 126 ) 의 3 개 의 계측 빔 이 차단 되 고 , XZ 간섭계 ( 126 ) 를 이용한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 를 더 이상 계측 할 수 없 게 된다 . 따라서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , XZ 간섭계 ( 116 ) 만 을 이용 하 여 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 X , Z , 및 θ y 위치 를 계측 한다 . 여기 서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , θ y 위치 및 Z 위치 를 계측 하 기 위해 , 전술 한 대체 방법 을 이용 한다 .