이 경우 , 물리 적 인 힘 이 가하 여진 제 1 용제 가 기판 에 공급 된다 . 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 ( 린스 액 또는 린스 액 을 포함 하 는 액체 ) 는 제 1 용제 가 기판 을 따라 흐르 는 힘 에 더 하 여 , 제 1 용제 에 가하 여진 물리 적 인 힘 에 의해 기판 으로부터 제거 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 대한 물 의 잔 류량 을 저감 할 수 있 다 . 따라서 , 물 이 기판 에 남 아 있 지 않 은 상태 , 또는 물 의 잔 류량 이 극히 적 은 상태 로 , 소수 화제 를 기판 에 공급 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 .