승강 기구 ( 64 ) 는 , 세 정구 ( 63 ) ( 상세 하 게 는 세정 부재 ( 63 c ) ) 를 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 이격 된 상승 위치 P 1 ( 도 3 참조 ) 과 , 웨이퍼 ( W ) 에 맞닿 는 하강 위치 P 2 ( 도 4 참조 ) 사이 에서 암 ( 62 ) 에 대해 승강 시킨다 . 변형 된 일 실시 양태 에 있 어서 는 , 승강 기구 ( 64 ) 는 , 제 어부 ( 67 ) 로부터 의 제어 신호 에 기초 하 여 , 암 ( 62 ) 전체 를 연직 방향 에 상하 이동 시키 고 , 이 에 의해 제 어부 ( 67 ) 가 , 세 정구 ( 63 ) 를 상하 로 이동 시킬 수 도 있 다 .