연마 액 을 상기 제 2 연마 에 적용 하 는 경우 , 연마 액 의 pH 는 , 8 . 0 ~ 10 . 5 가 보다 바람직 하 다 . pH 가 , 8 . 0 ~ 10 . 5 의 범위 에 있 으면 , 연마 액 을 CMP 에 적용 한 경우 에 , 소정 조건 에 있 어서 의 반응 층 의 두께 를 원하 는 범위 로 조정 하 기 쉽 기 때문 에 , 디싱 의 발생 이 보다 억제 된다 . 또 , 결함 의 하나 인 연마 상처 는 , 피연 마면 의 상태 , 및 연마 액 이 함유 하 는 유기산 의 종류 에 강하 게 영향 을 받 는다 . 연마 액 을 상기 제 2 연마 에 적용 하 는 경우 , 연마 액 은 , 후술 하 는 바 와 같이 유기산 으로서 말레산 , 푸마르산 , 2 - 하이드 록 시 벤조산 , 3 - 하이드 록 시 벤조산 , 4 - 하이드 록 시 벤조산 , 프탈산 , 아이 소 프탈산 , 테레프탈산 , 헤미 멜 리트 산 , 트라이 멜 리트 산 , 트라이 메스 산 , 멜 로 판산 , 프레 니트 산 , 파이 로 멜 리트 산 , 멜 리트 산 , 다 이 펜 산 , 시트르산 , 석신산 , 말산 , 말론산 , 및 안 트 라 닐산 으로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 함유 하 는 것 이 바람직 하 고 , 이 들 유기산 을 함유 하 는 연마 액 은 , pH 가 8 . 0 이상 인 경우 ( 바람직 하 게 는 8 . 2 이상 인 경우 ) 에 연마 상처 를 현저 하 게 억제 할 수 있 으며 , 결함 의 발생 이 보다 더 억제 되 는 것 이 확인 되 고 있 다 . 피연 마면 에서 의 디싱 및 결함 의 발생 이 보다 더 억제 되 는 점 에서 , pH 가 , 8 . 2 ~ 9 . 5 의 범위 에 있 는 것 이 바람직 하 고 , 8 . 7 ~ 9 . 5 의 범위 에 있 는 것 이 보다 바람직 하 다 .