그리고 , 인산 , 질산 , 초산 의 화합물 로 구성 된 종래 의 식각 액 의 경우 인산 의 함량 이 높 아 점도 가 크 고 , 이 로 인해 식각 액 의 유동 성 이 현저 하 게 떨어지 는 문제점 이 있 어 기판 의 크기 가 크 면 기판 상부 에 식각 액 이 고르 게 퍼지 지 못하 여 일부분 에 모여 있 는 현상 이 발생 할 수 있 는 것 과 는 달리 , 본 발명 에 따른 금속 막 식각 용액 은 인산 이 포함 되 지 않 고 점도 가 낮 아 식각 용액 의 유동 성 이 좋 으며 , 이 에 따라 기판 전체 에 고르 게 퍼질 수 있 는 장점 이 있 고 , 따라서 식각 균일성 을 유지 할 수 있 으며 , 식각 불 균일 에 의한 얼룩 발생 을 방지 할 수 있 다 .