GaN 기판 의 표면 평탄 성 개선 에 는 KOH 등 의 알칼리 를 가열 해 표면 의 GaN 층 을 화학 적 으로 식각 하 는 방법 도 있 다 . 그러나 식각 률 이 낮 은 데 다가 표면 에 다수 의 결함 이 발생 하 기 때문 에 실용 적 이 지 않 은 문제점 이 있 었 다 . 그래서 GaN 기판 을 연마 함 으로써 표면 평탄 성 을 개선 하 는 시도 가 있 었 다 .