도 2 j 를 참조 하 면 , 영역 ( 176 ) 에 노출 되 어 있 는 제 1 시드 ( 140 a ) 패턴 을 식각 한다 . 이 과정 에서 제 4 패턴 ( 150 ) 이 보호막 의 역할 을 하 여 개구 ( 120 ) 상 의 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 은 식각 되 지 않 는다 . 그 후 , 영역 ( 174 ) 에 노출 되 어 있 는 제 4 패턴 ( 150 ) 을 식각 하 여 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 을 노출 시킨다 .