따라서 , 본 발명 의 목적 은 기존 전구체 의 불 안정 한 물 성 에 기인 하 여 발생 하 는 제반 문제 , 즉 원료 물질 의 저장 수단 으로부터 박막 증착 챔버 에 이르 는 라인 상 에서 전구체 가 열분해 되 거나 원치 않 는 분말 을 생성 시키 는 문제 를 일으키 지 않 으면서 원 하 는 금속 또는 금속 산화물 박막 을 안정 하 게 증착 할 수 있 는 화학 적 으로 새롭 고 도 진보 된 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .