또한 , 상기 벤치 반사 거울 은 상기 빔 흔들림 검출기 로부터 상기 복수 의 고출력 레이저 를 전달 받 고 , 빔 흔들림 으로 인한 상기 복수 의 고출력 레이저 의 광축 을 보상 하 는 제 1 거울 ; 상기 제 1 거울 에서 전달 된 상기 고출력 레이저 를 반사 하 는 제 2 거울 ; 상기 제 2 거울 에서 전달 된 상기 고출력 레이저 를 반사 하 고 , 상기 비콘 반사광 및 상기 표적 영상 을 투과 시켜 상기 영상 검출 모듈 에 전달 하 는 제 3 거울 ; 상기 광속 결합기 를 통해 결합 된 상기 비콘 레이저 및 상기 조명 레이저 를 상기 제 3 거울 에서 전달 된 상기 고출력 레이저 의 광축 에 결합 하 여 전달 하 는 제 4 거울 ; 상기 제 4 거울 에서 전달 된 상기 고출력 레이저 를 반사 하 는 제 5 거울 ; 및 상기 제 5 거울 에서 전달 된 상기 고출력 레이저 를 반사 하 고 , 상기 파 면 센서 에서 검출 된 고주파 외란 을 보상 하 는 제 6 거울 ; 을 포함 할 수 있 다 .