본 발명 에 있 어서 , 「 절 연막 과 접촉 된 , 이 접촉 시 의 이 절 연막 보다 소수성 이 큰 표면 소수 화 막 으로서 , 그 반대 측 의 면 에서 배선 과 도 접촉 하 는 표면 소수 화 막 」 은 절 연막 / 표면 소수 화 막 / 배선 의 순 으로 구성 되 는 층 구조 이 면 , 어떠 한 공간 배치 의 것 도 포함 된다 . 예컨대 반도체 장치 내 에 설치 된 경우 , 반도체 장치 의 기판 면 에 대하 여 , 표면 소수 화 막 의 면 방향 이 평행 이 어도 , 수직 이 어도 , 그 이외 의 방향 을 향하 고 있 어도 좋 다 .