원가 절감 을 위해 , 분리 된 도너 기판 을 화학 기계 적 연마 하 여 도너 기판 으로 재 사용 할 수 있 다 . 도너 기판 의 베벨 ( bevel ) 영역 을 포함 하 는 모서리 부 는 층간 절 연막 과 붙 지 않 을 수 있 어 , 도너 기판 의 일부 를 분리 한 후 분리 된 도너 기판 의 베벨 ( bevel ) 영역 을 포함 하 는 모서리 부 는 다른 부분 에 비해 높 은 단차 를 가진다 . 상기 모서리 부를 포함 한 다른 부분 을 동시 에 화학 기계 적 연마 하 는 경우 , 상기 높 은 단차 로 인해 도너 기판 의 연 마량 은 클 수 있 다 . 이 에 따라 , 분리 된 도너 기판 의 두께 가 감소 하 고 , 도너 기판 의 재생 횟수 도 감소 하 는 단점 이 있 다 .