반도체 검사 장치 는 , 반도체 디바이스 에 전압 을 인가 하 는 포스 프로브 , 및 반도체 디바이스 의 전압 을 검출 하 는 센스 프로브 를 포함 하 고 , 여기 서 포스 프로브 는 반도체 디바이스 의 전극 패드 와 접촉 되 고 , 반도체 디바이스 의 전기 적 특성 을 측정 하 기 위해 포스 프로브 와 센스 프로브 가 서로 접촉 되 며 , 포스 프로브 및 센스 프로브 는 , 반도체 디바이스 의 전 극면 ( 주면 ) 에 대하 여 수직 인 방향 으로부터 봤 을 때 실질 적 으로 동일 한 선상 에 배열 된다 .