· 연마 용 조성물 에 의한 다결정 실리콘 의 연마 속도 에 대한 질화 규소 의 연마 속도 의 비 가 2 이상 인 경우 , 덧붙여 말 하 자면 4 이상 , 6 이상 또는 8 이상 인 경우 에 는 , 질화 규소 및 다결정 실리콘 을 포함 한 연마 대상물 의 표면 을 연마 하 는 용도 로 연마 용 조성물 을 사용 했 을 때 , 다 결정 실리콘 에 대하 여 질화 규소 를 더욱 우선 적 으로 연마 할 수 있 다 .