원자 층 증착 법 은 나노 급 반도체 소자 제조 의 필수 적 인 증착 기술 로서 , 기존 의 박막 증착 기술 인 화학 기상 증착 법 또는 물리 기상 증착 법 에 비해 매우 얇 은 막 을 정밀 하 게 제어 할 수 있 으며 , 불순물 함량 이 낮 고 핀홀 이 거의 없 다는 장점 이 있 다 . 또한 단차 피복성 ( Step Coverage , 높이 차이 가 나 는 부분 들 을 균일 하 게 증착 하 는 특성 ) 이 우수 하 여 복잡 한 3 차원 구조 에 도 균일 한 증착 이 가능 한 이점 이 있 다 .