본 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 로드 락 챔버 ( 10 ) 에 따르 면 , 블록 체 ( 10 B , 10 D ) 의 측면 에 창 ( 12 a , 14 a ) 이 형성 되 므로 , 창 ( 12 a , 14 a ) 을 통해 기판 지지 핀 ( 30 ) 이 고정 된 베이스 부재 ( 20 ) 의 교환 작업 이나 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) ( 하측 내부 공간 ( 11 L ) ) 의 클리닝 등 의 메인 터 넌 스 작업 을 수행 할 수 있 다 .