본 실시 예 3 에서 는 , 본 발명 의 증착 용 기판 을 사용 한 성막 방법 에 관하 여 설명 한다 . 이 때 , 본 실시 예 3 에서 는 , 실시 예 1 에서 설명 한 증착 용 기판 을 사용 해서 발광 소자 의 ＥＬ 층 을 형성 할 경우 에 관하 여 설명 한다 . 또한 본 실시 예 에서 설명 하 는 성막 방법 에 는 , 실시 예 2 에서 나타낸 증착 용 기판 을 사용 할 수 도 있 다 .