[ 0020 ] 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 , 기판 ( 10 ) 및 선택 적 으로 마스크 를 기판 캐리어 ( 120 ) 에 , 그리고 특히 , 지지 표면 ( 122 ) 에 홀딩 하 기 위한 정전기력 을 제공 하 는 정전 척 ( electrostatic chuck ) ( E - 척 ) 일 수 있 다 . 예 로서 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 , 기판 ( 10 ) 및 마스크 ( 20 ) 중 적어도 하나 에 대해 작용 하 는 인력 ( attracting force ) 을 제공 하 도록 구성 된 전극 어 레인지 먼 트 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 포함 한다 .