상부 산화 막 ( 125 ) 은 제 2 예비 산화 막 ( 110 ) 의 표면 상 에 형성 되 는 동시 에 제 2 예비 산화 막 ( 110 ) 의 표면 아래 까지 형성 된다 . 즉 , 제 2 예비 산화 막 ( 110 ) 의 상부 가 부분 적 으로 상부 산화 막 ( 125 ) 의 하부 로 변화 된다 . 따라서 제 2 예비 산화 막 ( 110 ) 은 하부 산화 막 ( 118 ) 으로 변화 되 며 , 하부 산화 막 ( 118 ) 은 제 2 예비 산화 막 ( 110 ) 의 두께 에 비하 여 실질 적 으로 약간 감소 된 두께 를 가진다 . 그러나 , 상부 산화 막 ( 125 ) 은 산화물 로 이루어진 제 2 예비 산화 막 ( 118 ) 으로부터 유래 되 기 때문 에 상부 산화 막 ( 125 ) 은 하부 산화 막 ( 118 ) 의 두께 에 비하 여 실질 적 으로 약간 얇 은 두께 로 형성 된다 .