그런데 , 상술 한 열 처리 에 는 수소 나 물 등 을 제거 하 는 효과 가 있 기 때문 에 , 상기 열 처리 를 , 탈수 화 처리 나 , 탈수소 화 처리 등 이 라고 칭할 수 도 있 다 . 상기 열 처리 는 , 예 를 들 어 산화물 반도체 층 을 섬 형상 으로 가공 하 기 전 , 게이트 절 연막 의 형성 후 등 의 타이밍 에 있 어서 행하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 이 와 같 은 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 , 1 회 에 한정 되 지 않 고 복수 회 행하 여도 된다 .