또한 , 상기 지지대 ( 330 ) 는 보다 안정 적 으로 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 지지 하 기 위하 여 상기 웨이퍼 ( 30 ) 와 마주 보 는 면 에 진공 홀 이 형성 될 수 있 다 . 이 와 달리 , 상기 지지대 ( 330 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 와 의 마찰 지수 를 높이 기 위하 여 상기 웨이퍼 ( 30 ) 와 마주 보 는 면 에 고무 와 같이 , 마찰 계수 가 높 은 물질 을 도포 할 수 도 있 다 .