도 3 을 참조 하 면 , 제 1 절 연막 ( 120 ) 상 에 데이터 저 장막 ( 130 ) 및 도전 막 ( 140 ) 이 형성 된다 . 데이터 저 장막 ( 130 ) 은 상변화 물질 , 예컨대 칼코겐 화합물 로 형성 될 수 있 다 . 상기 칼코겐 화합물 은 Ge , Sb , Te , Se , Bi , Pb , Sn , Ag , As , S , Si , P , O 또는 C 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 의 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 칼코겐 화합물 은 예컨대 , Ge - Sb - Te , As - Sb - Te , As - Ge - Sb - Te , Sn - Sb - Te , Ge - Sb - Te - Si , As - Sb - Te - Si , As - Ge - Sb - Te - Si , Sn - Sb - Te - Si 등 을 포함 할 수 있 다 . 도전 막 ( 140 ) 은 W , TiN , TaN , WN , MoN , NbN , TiSiN , TiAlN , TiBN , ZrSiN , WSiN , WBN , ZrAlN , MoSiN , MoAlN , TaSiN , TaAlN , Ti , W , Mo , Ta , TiSi , TaSi , TiW , TiON , TiAlON , WON , TaON , 탄소 원소 ( C ) 를 함유 하 는 도전 성 물질 또는 구리 원소 ( Cu ) 를 함유 하 는 도전 성 물질 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 의 물질 로 형성 될 수 있 다 .