광중합 개시제 는 단독 으로 사용 해도 되 고 , 2 개 이상 을 혼합 하 여 사용 해도 된다 . 광중합 개시제 중 에서 도 , α - 아미노 알 킬 페논계 , 아실 포스핀 옥사이드 계 , 옥심 에스테르 계 광중합 개시제 인 것 이 , 노광 시 의 도막 의 감도 및 경화 막 의 투명 성 의 관점 에서 바람직 하 다 . 한편 , 본 명세서 에서 는 기판 상 에 스핀 코트 , 인쇄 그 외 의 방법 으로 형성 된 감광성 조성물 의 박막 을 예비 건조 ( 프리 베 이크 ) 하 여 얻 어 진 박막 을 「 도막 」 이 라고 칭한다 . 이 도막 은 그 후 의 노광 - 현상 - 세정 - 건조 등 의 공정 을 거친 후 , 본 소성 ( 포스트 베 이크 ) 에 의해 경화 막 이 된다 . 본 명세서 에서 는 상기 예비 건조 부터 건조 까지 의 공정 에 있 어서 의 박막 을 모두 「 도막 」 으로 하 고 , 예 를 들 면 , 「 노광 시 의 도막 」 , 「 현상 후 의 도막 」 이 라는 표기 에 의해 , 성막 공정 의 어느 단계 의 도막 인지 를 나타내 도록 한다 .