또한 , 본 발명 은 상기 실린더 형 캐 패 시터 의 형성 시 스토리지 노드 의 형성 틀 로서 산화 막 재질 의 절 연막 대신 에 폴리 실리콘 막 을 적용 함 으로써 , 상기 절 연막 의 제 거시 유발 되 는 캐 패 시터 의 기울어짐 ( Leaning ) 현상 및 이 로 인한 인접 한 캐 패 시터 간 브리지 ( Bridge ) 를 방지 할 수 있 으며 , 이 를 통해 , 반도체 소자 특성 및 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 다 .