제 1 실시 형태 에서 는 , 본딩 헤드 ( 2 ) 는 , 에이징 작동 으로서 , 실장 의 본작 동 을 모의 한 작동 타이밍 에 , 본딩 스테이지 ( 3 ) 에 의 접촉 또는 근접 과 , 본딩 스테이지 ( 3 ) 로부터 의 이격 을 교대 로 소정 횟수 반복 하 도록 했 다 . 단 , 본딩 헤드 ( 2 ) 와 본딩 스테이지 ( 3 ) 의 가열 방법 은 이것 에 한하 지 않 는다 .