위 단위 사이클 2 는 ' Zr - Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ' 로 이루어진 단위 사이클 을 Q 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 한다 . Zr - Nb 소스 는 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 를 증착 하 기 위한 Zr - Nb 소스 를 주입 하 는 단계 이 고 , ' 퍼지 ' 는 퍼지 가스 를 주입 하 는 단계 이 며 , ' 산소 공급원 ' 은 산소 공급원 을 주입 하 는 단계 이 다 .