일반 적 으로 폴리 실리콘 을 포함 하 는 단일 한 희생 게이트 를 형성 하 는 경우 , 후속 의 공정 들 을 통해 상기 희생 게이트 의 두께 가 감소 되 므로 상기 희생 게이트 의 초기 두께 를 충분히 크 게 형성 할 필요 가 있 다 . 더욱이 , 자기 정렬 콘 택 을 형성 하 는 공정 에서 의 공정 마진 확보 를 위하 여 상기 희생 게이트 의 초기 두께 는 더욱 커질 필요 가 있 다 . 따라서 상기 희생 게이트 제거 공정 에서 개구부 의 종횡비 가 현저히 증가 되 고 , 이 를 통한 에 천트 및 소스 물질 의 공급 이 원활 하 게 이루어지 지 않 는 로딩 효과 가 발생 할 수 있 다 . 즉 상기 희생 게이트 의 초기 두께 가 클수록 제조 공정 의 정밀 한 조절 이 어려울 수 있 다 .