기판 처리 장치 ( 10 ) 에 있 어서 , 입출력 장치 ( 16 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 와 일체 로 , 또는 네트워크 ( 12 ) 를 개재 하 여 설치 되 어 있 고 , 조작 표시 화면 ( 18 ) 을 갖 는다 . 조작 표시 화면 ( 18 ) 에 는 , 유저 ( 작업자 ) 에 의하 여 소정 의 데이터 가 입력 되 는 입력 화면 및 장치 의 상황 등 을 나타내 는 표시 화면 이 표시 된다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 내 에 는 , 프로세스 계 컨트롤러 ( 14 ) 가 설치 되 고 , 프로세스 계 컨트롤러 ( 14 ) 에 의하 여 기판 처리 장치 ( 10 ) 내 의 각 장치 가 제어 된다 .