주사 전자 현미경 의 초점 조절 방법 으로 , 전자 빔 을 집 광부 에 통과 시켜 피사체 의 표면 상 으로 주사 시킨다 . 상기 집 광부 에 포함 된 어느 하나 의 집광 부재 에 대하 여 제 1 범위 내 의 복수 의 단계 로 설정 조건 들 을 가변 시킨다 . 상기 가변 되 는 조건 에 따라 상기 피사체 를 통해 흘러나오 는 2 차 전자 를 통해 화상 평가 치 를 측정 한다 . 상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치가 아닌 경우 , 상기 제 1 범위 와 이웃 하 는 범위 로써 제 2 범위 를 재 설정 한다 . 상기 제 2 범위 내 에서 복수 의 단계 로 설정 조건 들 을 가변 시킨다 . 상기 제 2 범위 내 에서 상기 각 설정 조건 들 에 따라 상기 피사체 을 통해 흘러나오 는 2 차 전자 를 통해 화상 평가 치 를 측정 한다 . 다음 에 , 상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치 인 경우 , 상기 피크 치 의 화상 평가 치 값 에 대응 하 는 설정 조건 으로 상기 집광 부재 를 세팅 한다 . 상기 방법 에 의하 면 , 단 시간 내 에 최적 의 초점 위치 를 찾아낼 수 있 다 .