도너 기판 내 의 이러 한 종 들 에 의해서 야기 되 는 결함 이 상기 도너 기판 의 잔 여부 가 이후 분리 되 도록 하 지만 , 사전 접합 준비 열처리 동안 후속 적 인 접합 을 방지 하 거나 또는 상기 도너 기판 의 앞면 을 변형 하 기 에 충분 할 정도 로 발달 되 지 는 않 도록 상기 원자 및 / 또는 이온 종 의 특성 , 주 입량 및 주입 에너지 를 선택 한다 .