먼저 ITO 타 겟 스크랩 을 해머 ( hammer ) 를 이용 해 조분쇄 한다 . 조분쇄 된 타 겟 스크랩 을 Fe 볼 을 이용 유성 밀 을 이용 해 분쇄 를 실시 한다 . 이때 Fe 볼 과 밀링 의 에너지 에 의해 ITO 타 겟 표면 은 마모 가 일어나 면서 미분 쇄 한다 . 이 분쇄 품 은 체 ( sieve ) 를 이용 해 100 mesh 이하 의 분말 ( powder ) 을 사용 한다 . 100 mesh 이하 의 분말 은 35 % 묽 은 질산 을 사용 하 여 6 시간 가량 교반 하 면서 산 처리 를 실시 한 후 세척 건조 한다 . 표 1 은 인듐 과 철 의 산 처리 후 용액 의 순도 를 평가 한 결과 를 나타낸다 .