* 내 화학 성 평가 : 두께 1 ㎜ 의 유리기 판상 에 1 ~ 2 ㎛ 의 두께 로 감광성 수지 조성물 을 도포 하 고 , 열풍 순환 식 건조로 안 에서 80 ℃, 1 분 동안 건조 시켜 도막 을 수득 하 였 다 . 계속 해서 365 ㎚ 의 파장 을 가진 초고압 수은 램프 로 조사 하 고 , 1 % KOH 수용액 을 사용 하 여 30 ℃, 상압 하 에서 80 초 동안 현상 을 행하 고 , 다시 열풍 순환 식 건조로 안 에서 230 ℃, 30 분 동안 건조 하 여 패턴 을 수득 하 였 다 . 이 패턴 을 5 % HC 1 , NaOH 수용액 과 크실렌 , NMP , IPA , 아세톤 용액 에 30 분 간 침지 한 후 원 샘플 과 의 색차 를 측정 하 여 아래 의 3 점 검정 법 에 따라서 내 화학 성 을 평가 하 였 다 .