도 1 을 참조 하 면 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 플 라즈 마 를 이용 하 여 기판 ( W ) 을 처리 한다 . 예 를 들 어 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 기판 ( W ) 에 대하 여 식각 공정 을 수행 할 수 있 다 . 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 챔버 ( 100 ) , 기판 지지 유닛 ( 200 ) , 샤워 헤드 ( 300 ) , 가스 공급 유닛 ( 400 ) , 플라 즈 마 소스 , 그리고 배 플 유닛 ( 500 ) 을 포함 할 수 있 다 .