본 실시 예의 레이저 노광기 ( 20 ) 에서 는 , 광원 ( 21 ) 으로부터 출사 된 발산 성 의 4 개 의 레이저 광은 , 각 콜리메이터 렌즈 ( 22 ) 에 의해 평행 광 으로 변환 되 어 , 부 주사 방향 으로 만 굴절력 을 갖 는 실린더 렌즈 ( 23 ) 에 의해 , 폴리곤 미러 ( 24 ) 의 편향 반사면 ( 24 a ) 근방 에서 주 주사 방향 으로 긴 선상 ( 線 像 ) 으로서 결상 ( 結像 ) 된다 . 그리고 , 각 레이저 광 은 고속 으로 정속 ( 定 速 ) 회전 하 는 폴리곤 미러 ( 24 ) 의 편향 반사면 ( 24 a ) 에 의해 반사 되 어 , 등각 속도 적 으로 주사 된다 .