여기 서 , 상기 공간 필터 는 상기 기판 ( 201 ) 의 하면 에 형성 된 그루브 로서 이 그루브 를 이루 는 적어도 일부 의 표면 에 비정질 영역 및 마이크 로 크랙 이 형성 된 것 을 특징 으로 한다 . 이 에 따라 , 출력 단 광섬유 로 진행 하 는 TM 모드 가 공간 필터 의 비정질 화 된 표면 과 마이크 로 크랙 에 의해 산란 및 흡수 되 어 TM 모드 진행 이 효과 적 으로 억제 된다 . 따라서 , 본 발명 에 의하 면 , 높 은 편광 소광 특성 을 가지 는 집 적 광학 소자 를 얻 을 수 있 다 .