당업자 는 프로세싱 파라 미 더 들 은 상이 한 프로세싱 챔버 및 상이 한 프로세싱 컨디션 으로 다양 할 수 있 고 , 상이 한 전구체 들 은 본 발명 의 취지 를 벗어남 없이 사용 될 수 있 음 을 깨달 을 것 이 다 . 다른 변형 들 은 또한 당업자 에 명백 할 것 이 다 . 이 등가물 및 대안 물 은 본 발명 의 범위 내 에 포함 됨 이 의도 된다 . 그래서 , 본 발명 의 범위 는 기재 된 구체 예 에 제한 되 어서 는 안 되 고 대신 에 하 기 청구 범위 에 의해 정의 되 어야 한다 .