이 종류 의 압력 센서 에서 는 , 프로세스 가스 등 의 장치 에 이용 되 는 가스 에 대한 내부 식성 과 함께 , 성막 등 의 프로세스 중 에서 발생 하 는 부생 성 물 에 대해서 도 내성 이 요구 된다 . 또한 , 성막 프로세스 에서 는 , 성 막 실 내벽 , 배관 내벽 , 진공 펌프 내부 및 압력 센서 의 수압 부인 다이어프램 등 , 프로세스 가스 가 통과 하 는 부위 에 는 퇴적 이 발생 하 여 , 여러 가지 문제 를 일으킨다 .