본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 복수 의 척 들 ( 210 ) 의 내부 에 는 가열 부재 ( 217 ) 가 형성 된다 . 가열 부재 ( 217 ) 는 , 예 를 들 면 사행 구조 를 갖 도록 배치 될 수 있 다 . 가열 부재 ( 217 ) 에 는 소정 의 전압 이 인가 되 어 열 을 발생 한다 . 따라서 , 복수 의 척 들 ( 210 ) 의 상부 에 배치 되 는 복수 의 기판 들 ( W ) 이 가열 되 어 , 가열 부재 ( 217 ) 는 기판 들 ( W ) 에 일정 한 공정 온도 를 유지 시킨다 .