이 에 의해 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 은 , 기판 ( W ) 에 대한 처리 , 예컨대 , 기판 ( W ) 상 의 막 의 종류 나 , 기판 ( W ) 의 토출 하 는 처리 액 의 종류 에 따라 처리 액 의 토출 각도 를 변경 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 은 , 예컨대 , 기판 ( W ) 의 둘레 가장자리 를 에칭 하 기 위한 처리 액 이 , 기판 ( W ) 에 접촉 하 여 비산 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 따라서 , 에칭 을 행하 지 않 는 개소 에 , 비산 한 처리 액 이 부착 되 는 것 을 억제 할 수 있 고 , 파티클 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .