한편 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 이송 로봇 ( 100 ) 은 진공 상태 인 이송 챔버 의 내부 에 설치 되 는 것 뿐 만 아니 라 대기압 상태 에서 동작 하 는 ATM 로 봇 에 도 적용 될 수 있 고 , 사각형 의 기판 을 이송 하 는 경우 뿐 만 아니 라 원형 의 웨이퍼 를 이송 하 는 반도체 제조 장치 용 이송 로봇 에 도 적용 될 수 있 다 .