[ 0098 ] 도 7 을 예시 적 으로 참조 하 여 , 본원 에서 설명 되 는 임의 의 다른 실시 예 와 결합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따르 면 , 2 개 의 기판 들 , 예컨대 , 제 1 기판 ( 10 A ) 및 제 2 기판 ( 10 B ) 은 각각 의 운송 트랙 들 , 예컨대 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 각각 의 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 들 ( 110 ) 상 에서 지지 될 수 있 다 . 또한 , 상부 에 마스크 캐리어 들 ( 140 ) 을 제공 하 기 위한 2 개 의 트랙 들 , 예컨대 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 2 개 의 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 들 ( 120 ) 이 제공 될 수 있 다 . 특히 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 / 또는 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 운송 을 위한 트랙 들 은 도 1 내지 6 에 관하 여 설명 되 는 바 와 같이 구성 될 수 있 다 .