이상 , 본 발명 에 관한 흡착 테이블 실시 예 에 관하 여 설명 하 였 지만 , 이 들 은 단시 예시 이 며 , 본 발명 은 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 또한 상기 한 실시 예 에서 는 , 흡착 테이블 을 광학 검사 장치 에 사용 하 는 예 를 나타냈 지만 , 광학 검사 장치 이외 의 , 예 를 들 면 프로브 를 사용 하 는 기판 검사 장치 등 에 사용 할 수 있 다 . 또한 본 발명 에 관한 흡착 테이블 은 , 판상 부재 가공 장치 에 도 사용 할 수 있 다 .