또한 트윈 스테이지 형 노광 장치 에서 는 , 주변 노광 동작 을 왕로 ( 즉 , 계측 스테이션 으로부터 노광 스테이션 으로 의 웨이퍼 스테이지 의 이동 경로 ) 에서 실시 해도 되 고 , 복로 ( 즉 , 노광 스테이션 으로부터 계측 스테이션 ( 언로 딩 포지션 ) 으로 의 웨이퍼 스테이지 의 이동 경로 ) 에서 실시 해도 되 고 , 1 장 의 웨이퍼 의 주변 노광 동작 을 왕로 와 복로 로 나누 어 실시 해도 된다 .