단계 ( S 4 ) 및 단계 ( S 6 ) 는 중단 없이 ( 진공 파괴 없이 ) 연속 적 으로 수행 된다 . 단계 ( S 4 ) 가 주기 적 증착 인 경우 , 단계 ( S 6 ) 는 주기 적 인 증착 의 매 사이클 ( 단층 증착 ) 이후 또는 주기 적 증착 의 매 2 회 이상 의 사이클 ( 단일 층 의 적층 체 증착 ) 이후 에 수행 될 수 있 다 . 단계 ( S 4 및 S 6 ) 의 세트 는 , 막 의 원 하 는 두께 가 얻 어 질 때 까지 여러 번 반복 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 상부 표면 상 의 증착 된 막 두께 는 , 증착 된 막 의 의도 된 목적 이나 용도 에 따라 약 3 nm 내지 약 50 nm , 전형 적 으로 는 약 10 nm 내지 약 20 nm 이 다 .