종래 초임계 유체 공급 장치 는 , 약액 이 저장 되 는 저장 탱크 ( 50 ) 와 , 상기 저장 탱크 ( 50 ) 에서 약액 을 일 정압 으로 인출 하 도록 설치 된 약액 펌프 ( 51 ) 와 , 이산화 탄소 봄베 ( 52 ) 에서 이산화 탄소 를 인출 하 는 이산화 탄소 펌프 ( 53 ) 와 , 상기 약액 펌프 ( 51 ) 및 이산화 탄소 펌프 ( 53 ) 에서 약액 과 이산화 탄소 를 일 정압 으로 공급 받 고 이 를 혼합 하 는 믹서 ( 54 ) 와 , 상기 믹서 ( 54 ) 에서 공급 된 이산화 탄소 와 약액 의 혼합물 이 공급 되 어 웨이퍼 ( W ) 를 세정 하 는 베젤 ( 55 ) 로 이루어져 있 다 .