이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 노광 유닛 ( 노광 장치 ) 은 주 주사 방향 으로 마이크 로 미러 가 8 OO 개 배열 된 마이크 로 미러 열 이 부 주사 방향 으로 600 조 배열 된 DMD 를 구비 하 고 있 지만 , 컨트롤러 에 의해 일부 의 마이크 로 미러 열 만 이 구동 되 도록 제어 되 므로 , 전부 의 마이크 로 미러 열 을 구동 할 경우 에 비하 여 1 라인 당 의 변조 속도 가 빨라진다 . 이 에 따라 고속 으로 노광 이 가능 하 게 된다 .