제품 처리 공정 을 완료 한 후 , 도 3 의 스텝 S 2 에 있 어서 기판 을 반출 한다 . 다음 에 , 소정 매수 의 기판 에 대해서 제품 처리 공정 을 행했 는지 를 판정 한다 ( 스텝 S 3 ) . 소정 매수 의 기판 에 대해서 제품 처리 공정 을 행하 고 있 지 않 다고 판정 하 면 , 스텝 S 1 로 돌아와 , 다음 의 기판 에 대해서 제품 처리 공정 을 실행 한다 . 한편 , 스텝 S 3 에 있 어서 , 소정 매수 의 기판 에 대해서 제품 처리 공정 을 행했 다고 판정 되 면 , 본 처리 를 종료 한다 . 한편 , 소정 매수 는 , 스루풋 을 고려 하 면 복수 매인 것 이 바람직 하 지만 , 1 매여 도 된다 . 본 처리 의 종료 후 , 일 실시 형태 에 따른 드라이 클리닝 ( 이하 , 간단히 「 클리닝 」 이 라고 한다 . ) 을 실행 한다 .