상기 서술 한 바 와 같이 본 실시 형태 에서 는 , 퍼스트 얼라이먼트 쇼트 영역 의 얼라이먼트 마크 의 검출 을 실시 하 는 위치 에서 , 계측 스테이지 ( MST ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 접촉 상태 ( 또는 근접 상태 ) 로 의 이행 이 완료 되 고 , 그 위치 로부터 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 그 접촉 상태 ( 또는 근접 상태 ) 에서 의 양 스테이 지 ( WST , MST ) 의 + Y 방향 으로 의 이동 ( 5 개 의 세컨드 얼라이먼트 쇼트 영역 에 부설 된 얼라이먼트 마크 를 검출 하 는 위치 를 향한 스텝 이동 ) 이 개시 된다 . 이 양 스테이지 ( WST , MST ) 의 + Y 방향 으로 의 이동 개시 에 앞서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 도 18 에 도시 된 바 와 같이 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 검출 빔 의 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 에 대한 조사 를 개시 한다 . 이 로써 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 에 다점 AF 계 의 검출 영역 이 형성 된다 .