또한 , 통상 적 인 클러스터 시스템 은 6 각 형 의 반 송실 을 구성 하 는 데 있 어서 ( 기본 적 으로 4 개 의 공정 챔버 와 2 개 의 로드 락 챔버 로 구성 되 는 경우 ) , 반 송실 이 차지 하 는 면적 때문 에 시스템 전체 의 면적 은 물론 , 제조 라인 내 의 시스템 배치 에 있 어서 중시 되 는 시스템 폭 이 필요 이상 으로 증가 되 고 , 반 송실 을 진공 상태 로 유지 시키 는 데 필요 한 진공 시스템 의 규모 가 증가 되 어 장치 비 및 설치 비 가 증가 하 게 된다 . 또한 , 이러 한 반 송실 의 면적 은 , 설치 되 는 공정 챔버 의 개수 가 증가 함 에 따라서 더욱 가중 된다 .