도 1 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 상기 절연성 보호막 ( 6 ) 은 , 예컨대 , 실란 커플링 제 의 피막 혹은 파라크실렌 ( paraxylene ) 계 폴리머 인 파 릴 렌 ( parylene , 상품명 , 유니온 카바이드 케미컬 앤드 플라스틱 사 제품 ) 의 피막 으로 소자 가 부착 된 망형 직조 기재 ( 1 ) 의 상하 양면 을 예컨대 , 두께 25 ㎛ 정도 로 피복 하 는 것 이 다 . 상기 절연성 보호막 ( 6 ) 은 , 가요 성 과 광 투과성 을 갖 는다 . 실란 커플링 제 로 이루어지 는 절연성 보호막 ( 6 ) 은 , 소자 가 부착 된 망형 직조 기재 ( 1 ) 를 제작 한 후 에 , 후술 하 는 보호막 피복 기구 ( 62 ) 에 의해 스프레이 법 으로 막 형성 할 수 있 다 . 한편 , 파 릴 렌 으로 이루어지 는 절연성 보호막 ( 6 ) 은 , 소자 가 부착 된 망형 직조 기재 ( 1 ) 를 제작 한 후 에 , 도시 되 지 않 은 파 릴 렌 용 보호막 피복 기구 에 의해 상온 에서 화학 증착 법 에 의해 막 형성 한다 .