도 6 은 본 고안 의 흡착 패드 ( 70 ) 의 다른 실시 예의 배면도 를 나타낸 것 이 고 , 도 7 은 도 6 의 실시 예의 흡착 패드 ( 70 ) 가 구비 된 기판 흡착 장치 의 측 단면도 를 나타낸 것 이 며 , 도 8 은 본 고안 의 흡착 패드 ( 80 ) 의 또 다른 실시 예의 배면도 를 나타낸 것 이 고 , 도 9 는 도 8 의 실시 예의 흡착 패드 ( 80 ) 가 구비 된 기판 흡착 장치 의 측 단면도 를 나타낸 것 이 다 .