위 와 같이 이루어지 는 ZrO 2 단위 사이클 과 Nb 2 O 5 단위 사이클 을 각각 m 회 및 n 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 므로써 일정 두께 의 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 를 각각 증착 하 고 , [ ZrO 2 단위 사이클 ] 과 [ Nb 2 O 5 단위 사이클 ] 을 합친 ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 단위 사이클 을 Q 회 반복 진행 하 여 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 의 총 두께 를 결정 한다 .