도 10 을 참조 하 면 , 레티 클 ( R ) 을 제조 하 는 단계 ( S 100 ) 는 반사 층 ( 4 ) 을 형성 하 는 단계 ( S 110 ) , 반사 층 ( 4 ) 을 검사 하 는 단계 ( S 120 ) , 반사 층 ( 4 ) 내 에 결함 이 없 는지 를 판별 하 는 단계 ( S 130 ) , 반사 층 ( 4 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 140 ) , 흡수 층 을 형성 하 는 단계 ( S 150 ) , 포토레지스트 를 형성 하 는 단계 ( S 160 ) , 포토레지스트 를 검사 하 는 단계 ( S 170 ) , 포토레지스트 내 에 결함 이 없 는지 를 판별 하 는 단계 ( S 180 ) , 포토레지스트 를 제거 하 는 단계 ( S 190 ) , 포토레지스트 를 패 터닝 하 는 단계 ( S 192 ) , 및 흡수 패턴 ( 6 ) 을 형성 하 는 단계 ( S 194 ) 를 포함 할 수 있 다 .