일부 실시 예 들 에서 , 수소 - 기반 에칭 의 에칭 선택도 는 10 보다 크 고 , 예컨대 30 보다 크 고 , 예 를 들 어 , 50 보다 크 거나 80 보다 크 다 . 에칭 선택도 는 선택 된 프로세스 조건 들 에 대해 다른 재료 의 에칭 레이트 에 대한 주석 옥사이드 의 에칭 레이트 의 비 를 지칭 한다 . 일부 예 들 에서 , 100 의 에칭 선택도 는 H 2 플 라즈 마의 사용 으로 SiO 2 에 상대 적 인 주석 옥사이드 의 에칭 을 달성 한다 .