이제 도면 의 그림 을 참조 한다 . 본 발명 의 원리 들 을 구체 화 한 장치 가 일반 적 으로 참조 번호 10 또는 11 로서 표시 되 며 , 적절 하 게 는 2 개 의 구성 : 자기 구성 ( 10 ) 및 선형 구성 ( 11 ) 을 갖 는다 . 디바이스 의 6 개 의 주요 부분 들 또는 구성 요소 들 이 도 1 및 도 2 에 자기 디바이스 에 대해 , 또한 도 3 에 선형 구성 에 대해 나타낸 바 와 같이 연결 된다 . 본 발명 의 원리 들 을 이용 하 는 장치 ( 10 ) 는 일반 적 으로 20 으로 표시 된 이온 소스 , 가속기 ( 30 ) , 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) , 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 를 포함 하 는 타 겟 시스템 , 일반 적 으로 80 으로 표시 된 이온 한정 시스템 , 및 일반 적 으로 90 으로 표시 된 동위 원소 추출 시스템 을 포함 한다 . 본 발명 은 추가 적 으로 가스 여과 시스템 ( 50 ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 본 발명 에 따른 장치 는 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 대신 에 , 또는 이 에 추가 하 여 동기 화 된 고속 펌프 ( 100 ) 를 포함 할 수 있 다 . 펌프 ( 100 ) 는 특히 타 겟 챔버 의 선형 구성 과 작동 한다 .