금속 유기 화학 증착 ( MOCVD ) 이 라고 도 불리 는 금속 유기 기상 에피택시 ( MOVPE ) 는 결정 성 기판 상 에 침착 을 형성 하 기 위한 MBE 의 대안 적 방법 이 다 . MOVPE 의 경우 , 침착 물질 은 금속 유기 전구체 의 형태 로 공급 되 며 , 이 는 고온 기판 에 도달 하 면 기판 표면 상 에 원자 를 남기 면서 분해 된다 . 또한 , 이 방법 은 기판 표면 을 가로질러 침착 물질 ( 원자 / 분자 ) 을 운반 하 기 위해 캐리어 기체 ( 일반 적 으로 H 2 및 / 또는 N 2 ) 를 필요 로 한다 . 다른 원자 와 반응 하 는 이 들 원자 는 기판 표면 상 에 에피 택 셜 층 을 형성 한다 . 침착 변수 를 신중 하 게 선택 함 으로써 NW 를 형성 한다 .