[ 0016 ] 본 개시 내용 에서 , " "" 포지셔닝 어 레인지 먼 트 "" 는 ", 캐리어 , 특히 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 의 포지셔닝 을 위해 구성 된 어 레인지 먼 트 로서 이해 되 어야 한다 . 특히 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 포지셔닝 어 레인지 먼 트 는 , 이송 트랙 을 따라 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 를 이동 시키 도록 구성 된 어 레인지 먼 트 로서 이해 될 수 있 다 . 더 구체 적 으로 , 포지셔닝 어 레인 지먼 트 는 제 1 트랙 을 따라 기판 캐리어 를 이동 시킴 으로써 기판 캐리어 를 제 1 포지션 에 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 부가 적 으로 , 포지셔닝 어 레인 지먼 트 는 제 2 트랙 을 따라 마스크 캐리어 를 이동 시킴 으로써 마스크 캐리어 를 제 2 포지션 에 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 트랙 및 제 2 트랙 은 비접 촉식 이송 을 위해 구성 될 수 있 다 . 따라서 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 포지셔닝 어 레인지 먼 트 는 , 예컨대 , 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 와 정렬 하 기 위해 , 기판 캐리어 와 마스크 캐리어 가 서로 에 대해 상대 적 으로 포지셔닝 될 수 있 도록 , 기판 캐리어 와 마스크 캐리어 를 서로 독립 적 으로 이동 시키 도록 구성 된다는 것 이 이해 되 어야 한다 .