여기 서 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 제 1 수평 격자 ( 111 ) 와 제 2 수평 격자 ( 121 ) 는 각각 10 ㎛ 의 폭 과 배열 간격 을 가지 도록 구비 되 며 , 더욱 세밀 한 해상력 ( resolution ) 으로 렌즈 의 위치 검출 을 위해 제 1 수평 격자 ( 111 ) 와 제 2 수평 격자 ( 121 ) 는 10 ㎛ 보다 더 작 은 폭 과 배열 간격 으로 구비 될 수 있 다 .