상기 열처리 공정 에 있 어서 , 상기 정제 공정 에 의해 얻 어 진 CNT 를 , Ar 등 의 불활성 분위기 하 에서 , 1000 ∼ 2200 ℃, 바람직 하 게 는 1500 ∼ 2200 ℃, 보다 바람직 하 게 는 1800 ∼ 2200 ℃ 에서 , 30 분 ∼ 5 시간 동안 어 닐 하 는 것 이 바람직 하 다 . 2200 ℃ 를 초과 하 면 인접 하 는 CNT 끼리 가 접촉 하 여 , CNT 의 직경 을 유지 하 는 것 이 곤란 해진다 . 이 로써 , 보다 결함 이 적 은 CNT 를 제조 할 수 있 다 .