다음 으로 , 도면 에 도시 하 지 는 않 았 지만 , 열처리 가 완료 된 이후 에 경우 에 따라 후속 공정 을 진행 하 기 에 앞서 확산 방지 막 ( 46 ) 을 제거 할 수 있 다 . 확산 방지 막 ( 46 ) 은 기형성 된 구조물 에 손상 이 발생 하 는 것 을 최소 화 시키 기 위하 여 습식 식각법 을 사용 하 여 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 . 일례 로 , 확산 방지 막 ( 46 ) 을 산화 막 으로 형성 한 경우 에 는 BOE ( Boffered Oxide Etchant ) 를 사용 하 여 제거 할 수 있 고 , 질화 막 으로 형성 하 는 경우 에 는 인산 용액 을 사용 하 여 제거 할 수 있 다 .