본 발명 의 연마 액 은 , 회합 도 1 ~ 3 의 콜로 이달 실리카 와 , 유기산 과 , 아졸 계 화합물 과 , 과산화 수소 를 함유 하 고 , 코발트 함유층 을 화학 적 기계 적 연마 하 기 위하 여 이용 되 는 연마 액 으로서 , 상기 연마 액 과 코발트 기판 을 24 시간 접촉 시켰 을 때 에 , 상기 코발트 기판 상 에 , " 코발트 원자 를 함유 하 는 두께 0 . 5 ~ 20 nm 의 반응 층 ( 이하 "" 반응 층 1 "" 이라고 도 함 ) 이 형성 되 는 연마 액 이 다 . "