도 100 은 도 99 의 일부 확대도 를 보이 는 것 으로서 , 마이크 로 LED 어 레이 들 이 직접 부착 되 는 흡착 홀 의 직경 및 흡착 홀 간 의 이격 거리 를 보인다 . 또한 , 각 채널 들 간 의 이격 간격 및 채널 폭 을 보인다 . 본 실시 예 에서 는 흡착 홀 의 직경 및 흡착 홀 간 의 이격 거리 를 각각 50 ㎛ 및 250 ㎛ 로 한다 .