이러 한 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 는 동일 한 구조 를 가지 는 것 으로 , 제 1 클린 장치 ( 10 ) 및 제 2 클린 장치 ( 30 ) 에 는 세 척 용액 공급 부 ( 11 ) , 공급 휠 ( 14 ) , 시트 공급량 감지 센서 ( 15 ) , 제 1 시트 텐션 부 ( 16 ) , 제 1 분 사부 ( 17 ) , 제 1 클린 부 ( 18 ) , 제 1 시트 그립 퍼 ( 19 ) , 측면 롤러 부 ( 20 ) , 제 2 클린 부 ( 21 ) , 제 2 분 사부 ( 22 ) , 제 2 시트 텐션 부 ( 23 ) , 제 2 시트 그립 퍼 ( 24 ) , 시트 회수 피딩 부 ( 26 ) , 감지 센서 ( 25 ) , 회수 휠 ( 27 ) 이 각각 설치 되 어 있 다 . 세 척 시트 ( S ) 는 상기 의 구성 들 을 공급 휠 ( 14 ) 에서 회수 휠 ( 27 ) 까지 순차 적 으로 거치 며 이동 되 어 전면 의 빈공 간인 통과 부 ( 13 ) 상 , 하단 에 세 척 시트 ( S ) 가 위치 되 면서 세 척 공정 을 진행 한 후 회수 되 는 형태 를 가진다 . 상기 의 구성 들 은 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 의 내부 또는 후면 에 설치 되 어 질 수 있 음 이 다 .