또한 , 상기 실시 형태 에 있 어서 는 , 1 초 이상 연속 하 여 발광 하 는 연속 점 등 램프 로서 필라멘트 방식 의 할로겐 램프 ( HL ) 를 이용 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 예비 가열 을 행하 고 있 었 지만 , 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 할로겐 램프 ( HL ) 를 대신 하 여 방전 형 의 아크 램프 ( 예 를 들 면 , 크세논 아크 램프 ) 를 연속 점 등 램프 로서 이용 하 여 예비 가열 을 행하 도록 해도 된다 .