구체 적 으로 , 제 1 기판 ( 10 ) 상 에 게이트 금속 층 을 스퍼터링 등 과 같 은 증착 방법 으로 형성 한다 . 이어서 , 제 1 마스크 를 이용 한 포 토리 쏘 그래피 공정 및 식각 공정 으로 게이트 금속 층 이 패 터닝 되 어 게이트 하부 패드 ( 14 a ) , 게이트 전극 ( 12 ) 및 게이트 라인 ( GL ) 을 포함 하 는 게이트 패턴 이 형성 된다 .