또한 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 특정 량 의 프로세스 가스 ( Q ) 가 펌프 의 내부 내 로 도입 되 고 펌프 의 내부 를 통해 유동 하 는 경우 에 , P 1 = Q / S 1 , P 2 = Q / S 2 , P 3 = Q / S 3 , P 4 = Q / S 4 및 P 5 = 대기압 의 관계 가 존재 하 는데 , 여기 서 P 1 은 제 1 단 루트 부 ( 14 ) 의 내부 압력 이 고 , P 2 는 제 2 단 루트 부 ( 15 ) 의 내부 압력 이 고 , P 3 은 제 1 단 스 크류 부 ( 25 ) 의 내부 압력 이 고 , P 4 는 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 의 내부 압력 이 고 , P 5 는 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 의 출구 압력 이 다 . 전술 된 바 와 같이 , 각각 의 압 축단 에서 배기 속도 는 동력 소비 의 감소 의 관점 으로부터 S 1 > S 2 > S 3 > S 4 로 설정 되 므로 , 프로세스 가스 ( Q ) 가 펌프 의 내부 를 통해 유동 할 때 압력 값 의 변화 량 은 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 의 내부 압력 ( P 4 ) 에서 최대 가 된다 . 따라서 , 펌프 내부 의 압력 값 의 변화 량 이 최대 가 될 때 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 의 내부 압력 ( P 4 ) , 즉 제 1 단 스 크류 부 ( 25 ) 와 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 사이 의 단간 부 ( 27 ) 에서 의 압력 을 측정 함 으로써 , 프로세스 가스 가 펌프 흡기 부 ( 11 ) 로부터 펌프 내부 로 도입 되 는지 여부 가 판단 될 수 있 다 .