진공 반송 장치 ( 30 ) 는 이 온도 조절 실 ( 33 ) 을 Y 방향 ( 도면 의 상하 방향 ) 을 따라서 , 본 예 에서 는 3 개 ( Y 방향 부 방향 ( 도면 의 하 방향 ) 측 으로부터 순서 대로 , 온도 조절 실 ( 331 ) , 온도 조절 실 ( 332 ) , 온도 조절 실 ( 333 ) ) 갖 고 있 다 . 또한 , 이하 의 설명 에서 는 온도 조절 실 ( 331 내지 333 ) 중 , 온도 조절 실 ( 332 ) 및 온도 조절 실 ( 333 ) 이 상기 고온 가열 처리 를 실행 하 고 , 온도 조절 실 ( 331 ) 이 상기 저온 냉각 처리 를 실행 하 는 것 으로 한다 .