위 에 언급 된 바 와 같이 , 그리고 도 1 및 도 2 를 동시 에 참조 하 면 , 제 1 모터 ( 105 ) 는 , 동작 ( 705 ) ( 아래 에 설명 됨 ) 에서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 와 결합 되 는 , 미리 정의 된 프로그래밍 가능 한 속력 으로 회전 ( 스 피닝 ) 운동 을 제공 한다 . 후속 하 여 , 회전 운동 은 기판 ( 119 ) 에 결합 된다 . 따라서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 가 회전 함 에 따라 , 회전 가능 차 폐부 에 결합 된 기판 ( 119 ) 이 또한 동일 한 속력 으로 회전 한다 . 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) ( 이제 세정 및 건조 동작 을 위해 제 1 위치 에 있 음 ) 는 자신 고유 의 모터 ( 즉 , 제 2 모터 ( 107 ) ) 에 결합 되 고 또 한 회전 한다 . 그러나 , 위 에 설명 된 바 와 같이 , 제 2 회전 가능 차 폐부 의 속력 은 미리 선택 된 속력 으로 회전 하 고 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 와 독립 적 이 며 , 결과 적 으로 , 제 2 차 폐부 는 또한 기판 ( 119 ) 의 회전 속력 의 속력 과 독립 적 이 다 .