승강 기구 ( 60 ) 는 유지 부 ( 90 ) 를 Z 축 방향 으로 승강 시킨다 . 이 로써 , 유지 부 ( 90 ) 에 유지 된 포토 마스크 ( 80 ) 도 승강 한다 . 승강 기구 ( 60 ) 는 예 를 들 어 볼 나사 기구 를 갖 고 있 고 , 제 어부 ( 50 ) 에 의해 제어 된다 . 승강 기구 ( 60 ) 가 포토 마스크 ( 80 ) 를 승강 시킴 으로써 , 포토 마스크 ( 80 ) 를 대물 렌즈 ( 21 ) 의 초점 에 이동 시킬 수 있 다 . 또한 승강 기구 ( 60 ) 는 , 검 출부 ( 20 ) 에 대해 포토 마스크 ( 80 ) 를 상대 적 으로 승강 시키 는 기능 및 구조 를 갖 고 있 으면 되 고 , 예 를 들 어 검 출부 ( 20 ) 를 승강 시켜도 된다 .