그러나 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 가 , 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 에 있 는 경우 , 평탄면 ( MF ) 의 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 가 마련 된 부분 에 수지 부 ( R ) 의 일부 가 튀어나오 면 , 촬상부 ( 2041 ) 에 의해 촬상한 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 의 화상 이 희미 해져 버리 는 경우 가 있 다 . 이 에 대해 , 본 실시 예 에 따른 몰드 ( M ) 에서 는 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 가 단 차부 ( MS ) 에 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 촬상부 ( 2041 ) 는 , 기판 ( WT ) 과 몰드 ( M ) 사이 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 개재 하 지 않 는 영역 을 통해 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 의 화상 을 촬상 할 수 있 기 때문 에 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 를 양호 하 게 인식 할 수 있 다 .