도 24 는 , 각각 중간 공간 ( 203 , 303 ) 을 개방 하 도록 분리 된 상호 작용 하 는 주요부 의 각각 의 쌍 을 가진 , 제 1 및 제 2 임프 린트 기구 ( 200 , 300 ) 를 도시 한다 . 제 1 임프 린트 기구 ( 200 ) 는 , 도 20 내지 23 과 관련 하 여 설명 된 것 처럼 , 멤 브레인 공급 시스템 을 가질 수 있 다 . 도시 된 실시 예 에서 , 제 1 임프 린트 기구 ( 200 ) 는 고정 된 멤 브레인 ( 213 ) 을 갖 는다 . 바람직 하 게 , 멤 브레인 ( 213 ) 은 제 1 임프 린트 기구 ( 200 ) 가 배열 된 템플 릿 의 치수 에 상응 하 도록 선택 된 , 실질 적 으로 단단 한 중앙부 ( 241 ) 를 갖 는다 . 단단 한 중앙부 ( 241 ) 는 , 그 주위 에서 멤 브레인 ( 213 ) 에 연결 될 수 있 다 . 대안 적 으로 , 멤 브레인 ( 213 ) 은 전체 템플 릿 을 덮 고 , 반면 에 단단 한 중앙부 ( 241 ) 는 , 상부 또는 하부 위 의 멤 브레인 ( 213 ) 에 고정 된 플레이트 이 다 . 이 실시 예 에서 , 시일 ( 208 ) 은 멤 브레인 ( 213 ) 아래 에 위치 한다 . 템플 릿 이 기계 적 으로 , 및 진공 공급 소 스 ( 117 ) 에 연결 된 도관 ( 242 ) 을 통한 진공 흡입 에 의해 , 지지 되 는 것 이 바람직 한 경우 에 , 템플 릿 ( 1 ) 은 아래 지지 부재 의 지지 면 ( 205 ) 에 위치 한다 . 제 2 임프 린트 기구 는 , 도 8 과 관련 하 여 설명 된 것 처럼 기본 적 으로 고안 되 고 , 아래 주요부 ( 302 ) 위 에 위치 한 임프 린트 될 새로운 기판 ( 12 ) 을 갖 는다 . 또한 , 진공 공급 소스 ( 117 ) 또는 다른 소스 는 , 제 1 임프 린트 기구 ( 200 ) 에 대해 설명 된 배치 에 상응 하 는 , 도관 ( 242 ) 을 경유 하 여 아래 주요부 의 지지 면 에 연결 되 는 것 이 바람직 하 다 . 한 가지 차이점 은 , 여기 서 인터 미디어 트 스탬프 로서 동작 하 는 폴리머 호일 리본 은 멤 브레인 으로서 도 동작 한다는 점 이 다 . 한 실시 예 에서 , 제 2 임프 린트 기구 ( 300 ) 는 , 제 2 중간 공간 ( 303 ) 에 존재 하 는 기판 ( 12 ) 위 로 , 프리 폴리머 소스 ( 244 ) 로부터 열적 또는 자외선 경화 가능 한 프리 폴리머 를 가하 도록 작동 가능 한 , 재료 분배 기 ( 243 ) 를 또한 포함 한다 . 분배 는 프리 폴리머 상 에서 굴림 에 의해 얻 어 지 나 , 바람직 한 실시 예 에서 , 아래 주요부 ( 302 ) 의 지지 면은 , 분배 기 ( 243 ) 로부터 중앙 분배 및 스피너 ( spinner , 245 ) 에 의한 회전 이 기판 ( 12 ) 의 윗 타 겟 면 상 에 프리 폴리머 의 스핀 - 코팅 을 제공 하 는 , 스피너 ( 245 ) 를 포함 한다 . 선택 적 실시 예 에서 , 스핀 - 코팅 위치 ( station ) 는 제 2 임프 린트 기구 ( 300 ) 에 인접 하 여 제공 되 고 , 그 로부터 기판 충전기 는 , 코팅 된 기판 을 집 고 연속 적 으로 제 2 중간 공간 에 넣 는다 .