대기 반 송실 ( 25 ) 에 는 2 계통 의 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 및 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 이 연결 된다 . 대기 반송 로봇 ( 60 ) 이 1 대 뿐 이 면 , 대기 반송 로봇 ( 60 ) 의 반송 처리 가 중간 에 늦 어 질 경우 가 있 다 . 이 때문 에 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 중앙 으로부터 길 이 방향 ( Y 방향 ) 의 양측 에 2 대 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 을 마련 한다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 의 중앙 에 는 , 기판 ( W ) 의 노치 등 을 인식 해서 기판 ( W ) 의 얼라인먼트 ( 위치 결정 ) 를 실행 하 는 오리 엔터 ( 61 ) 가 마련 된다 . 오리 엔터 ( 61 ) 의 아래쪽 에 는 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 접속 되 는 연결구 ( 62 ) 가 마련 된다 . 2 대 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 은 모두 중앙 의 오리 엔터 ( 61 ) 및 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 액세스 할 수 있 다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 으로 분리 해서 마련 되 는 2 개 의 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 에 대하 여 는 , 각 로드 록 챔버 에 가까운 쪽 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 만 이 각각 액세스 한다 . 즉 , 로드 록 챔버 ( 26 - 1 ) 에 대하 여 는 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 만 이 액세스 하 고 , 로드 록 챔버 ( 26 - 2 ) 에 대하 여 는 대기 반송 로봇 ( 60 - 2 ) 만 이 액세스 한다 .