애노드 는 코닝 ( corning ) 15 Ω / cm 2 ( 1200 Å ) ITO 유리 기판 을 50 mm x 50 mm x 0 . 7 mm 크기 로 잘라서 이소프로필 알코올 과 순수 를 이용 하 여 각 5 분 동안 초음파 세정 한 후 , 30 분 동안 자외선 을 조사 하 고 오존 에 노출 시켜 세정 하 고 진공 증착 장치 에 이 유리 기판 을 설치 하 였 다 .