상기 제 2 전압 범위 에서 상기 대물 렌즈 에 가해 지 는 각 전압 들 별로 측정 된 화상 평가 치 의 최대 값 이 피크 치가 아닌 경우 , 측정 된 화상 평가 치 의 최대 값 이 위치 하 는 전압 을 포함 하 면서 이 와 이웃 하 는 전압 범위 로써 제 n 전압 범위 ( n 은 3 이상 의 정수 ) 를 재 설정 하 는 단계 와 , 상기 대물 렌즈 에 , 제 n 전압 범위 내 에서 복수 의 단계 로 전압 조건 들 을 가변 시켜 인가 하 는 단계 와 , 상기 제 n 전압 범위 내 에서 복수 의 단계 로 가변 된 전압 조건 들 에 따라 상기 피사체 을 통해 흘러나오 는 2 차 전자 의 양 에 따른 화상 평가 치 를 측정 하 는 단계 와 , 상기 측정 된 화상 평가 치 들 로부터 최대 값 을 수득 하 는 단계 와 , 상기 화상 평가 치 의 최대 값 이 전압 값 의 피크 치 인지 확인 하 는 단계 와 , 상기 화상 평가 치 의 최대 값 이 전압 값 의 피크 치가 아닌 경우 , 상기 설명 한 단계 들 을 반복 수행 하 는 단계 를 더 수행 한다 .