연마 입자 의 제타 전위 의 하한 은 , TEOS 막 의 더욱 높 은 연마 속도 가 얻 어 지 는 관점 에서 , 1 mV 이상 이 바람직 하 고 , 5 mV 이상 이 보다 바람직 하 고 , 10 mV 이상 이 더욱 바람직 하 고 , 13 mV 이상 이 특히 바람직 하 다 . 연마 입자 의 제타 전위 의 상한 은 , 특별히 제한 은 없 지만 , 100 mV 이하라 도 되 고 , 50 mV 이하라 도 되 고 , 30 mV 이하라 도 되 고 , 20 mV 이하라 도 된다 . 이러 한 관점 에서 , 연마 입자 의 제타 전위 는 , 1 ∼ 50 mV 가 바람직 하 다 .