프로세스 모듈 ( 200 ) 은 제 1 방향 ( 12 ) 을 따라 제 1 이송 모듈 ( 100 ) 의 일 측 에 배치 되 며 , 도포 모듈 ( 220 ) 과 현상 모듈 ( 240 ) 을 가진다 . 도포 모듈 ( 220 ) 과 현상 모듈 ( 240 ) 은 제 1 방향 ( 12 ) 을 따라 일렬 로 인접 하 게 배치 된다 . 그리고 , 도포 모듈 ( 220 ) 과 현상 모듈 ( 240 ) 은 인라인 ( In - line ) 방식 에서 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 의 전환 이 가능 하 도록 분리 가능 하 게 설치 될 수 있 다 .