웨이퍼 를 고정 시키 는 지지대 가 연결 된 구동 수단 과 ; 상기 구동 수단 을 고정 시키 기 위해 설치 되 며 , 중심부 를 통해 상기 지지대 가 관통 결합 되 는 보호 부재 와 ; 상기 보호 부재 의 중심부 에 장착 되 되 상기 지지대 의 하부 에 설치 되 며 , 냉각 가스 를 분사 하 여 지지대 를 냉각 시키 는 차단 블럭 과 ; 상기 차단 블 럭 에 냉각 가스 를 공급 하 는 냉각 가스 공급 부 를 포함 하 여 이루어진 것 을 특징 으로 하 는 웨이퍼 처리 장치 에 의해 달성 될 수 있 다 .