도 1 및 도 2 에 도시 한 바 와 같이 챔버 ( 12 ) 의 본딩 스테이지 ( 13 ) 측 의 상면 판 ( 12 a ) 에 는 캐 필러 리용 구멍 ( 55 ) 의 양측 에 대향 하 도록 2 개 의 제 2 플 라즈 마 토치 ( 30 ) 가 설치 되 어 있 다 . 각 제 2 플 라즈 마 토치 ( 30 ) 는 챔버 ( 12 ) 의 내부 에 본딩 스테이지 ( 13 ) 의 본딩 면 에 대략 평행 하 며 , 플 라즈 마 화 한 가스 가 분출 되 는 선 단부 ( 31 ) 는 캐 필러 리 ( 17 ) 선단 에 성형 된 이니셜 볼 ( 19 ) 을 향하 여 부착 되 어 있 다 . 또 제 2 플 라즈 마 토치 ( 30 ) 는 플 라즈 마 가스 발생 용 의 고주파 전력 이 공급 되 는 외부 전극 ( 32 ) 과 , 플 라즈 마용 가스 가 도입 되 는 가스 도입 관 ( 33 ) 을 구비 하 고 있 다 . 가스 도입 관 ( 33 ) 은 챔버 ( 12 ) 의 내부 에서 굴곡 되 어 상면 판 ( 12 a ) 을 관통 하 여 챔버 ( 12 ) 의 외부 로 돌출 되 고 , 가스 도입 관 ( 33 ) 에 접속 된 가스 배관 ( 34 ) 에 의해 플 라즈 마용 가스 공급 부 ( 60 ) 에 접속 되 며 , 외부 전극 ( 32 ) 은 상면 판 ( 12 b ) 을 관통 하 는 전선 ( 35 ) 에 의해 고주파 전력 공급 부 ( 70 ) 에 접속 되 어 있 다 .