제 1 공 급부 ( 40 a ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 약액 의 일종 인 DHF ( Diluted Hydrofluoric acid ) 를 노즐 ( 41 a ) 로부터 공급 한다 . 제 1 공 급부 ( 40 a ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 린스 액 의 일종 인 DIW ( Deionized Water ) 를 노즐 ( 41 b ) 로부터 공급 한다 . 제 1 공 급부 ( 40 a ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 유기 용제 의 일종 인 IPA ( Iso - Propyl Alcohol ) 를 노즐 ( 41 c ) 로부터 공급 한다 . 제 1 공 급부 ( 40 a ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 불활성 가스 의 일종 인 N 2 를 노즐 ( 41 d ) 로부터 공급 한다 .