도 9 에서 는 , 투영 유닛 ( PU ) 최하 단부 의 + Y 측 에 , " 가늘 고 긴 직사각 형판 형상 의 스케일 부재 ( 46 B "") 가 배치 되 어 있 다 . 이 스케일 부재 ( 46 B "") 는 ", 전술 한 스케일 부재 ( 46 B ') 와 동일 한 크기 ( 길 이 및 폭 ) 를 갖 고 있 다 . 단 , " 이 스케일 부재 ( 46 B "") 의 표면 ( - Z 측 의 면 ) 에는 ", Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 소정 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 의 격자 와 , X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 소정 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 의 격자 로 이루어지 는 반사 형 2 차원 회절 격자 가 형성 되 어 있 다 .