촉매 저장 탱크 ( 521 ) 는 내부 에 저장 된 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 ( 10 ) 상 으로 공급 한다 . 촉매 저장 탱크 ( 521 ) 는 덮개 방식 의 상부 면 ( 522 ) , 측면 ( 524 ) , 그리고 토출구 ( 526 a ) 가 형성 된 하부 면 ( 526 ) 을 가진다 . 측면 ( 524 ) 은 대체로 수직 한 상측 부 ( 524 a ) , 이 로부터 아래 로 연장 되 며 아래 로 갈수록 안쪽 으로 경사진 중간 측 부 ( 524 b ) , 그리고 이 로부터 아래 로 대체로 수직 하 게 연장 되 며 좁 은 통로 를 제공 하 는 하측 부 ( 524 c ) 를 가진다 . 상술 한 구조 로 인해 상측 부 ( 524 a ) 에 의해 제공 된 공간 에 는 하측 부 ( 524 c ) 에 의해 제공 된 공간 에 비해 동일 높이 에 해당 되 는 영역 에 많 은 량 의 촉매 ( 20 ) 가 저장 된다 . 상술 한 중간 측 부 ( 524 b ) 의 형상 에 의해 상측 부 ( 524 a ) 에 의해 제공 된 공간 내 촉매 ( 20 ) 는 원활 하 게 하측 부 ( 524 c ) 에 의해 제공 된 공간 으로 공급 된다 .