본 발명 을 따르 는 제 2 공정 의 제 5 공정 단계 ( 204 ) 에 의하 면 , 상부 기판 홀더 는 공정 영역 속 으로 이동 한다 . 상부 기판 홀더 는 바람직 하 게 x 및 y 방향 으로 만 이동 할 수 있 도록 설계 된다 . 그러나 , 특히 z 방향 으로 매우 정확 한 위치 설정 이 가능 한 추가 모터 유닛 이 제공 될 수 있 다 . 상부 기판 이 상부 기판 홀더 상 에 고정 된 후 에 상부 정렬 마크 가 상부 렌즈 에 의해 중심 이 맞춰질 때 까지 상부 기판 홀더 가 이동 된다 . 추가 로 , 상기 중심 맞추 기 ( centering ) 는 정렬 마크 를 통해 하부 기판 에 대한 상부 기판 의 정렬 을 형성 한다 . 상기 정렬 은 , 상부 기판 및 하부 기판 의 정렬 마크 들 에 의해 하부 기판 에 대한 상부 기판 의 정렬 에 대응 한다 . 감지 유닛 은 더 이상 이동 하 지 말 아야 한다 .