또한 , 본 발명 의 진공 성막 장치 는 , 상기 한 어느 하나 에 기재 된 센서 부착 구조 와 , 상기 센서 부착 구조 를 그 내부 에 가지 는 감압 가능 한 챔버 와 , 상기 챔버 의 내부 에 배치 되 어 성막 재료 를 증발 시키 는 증발원 과 , 상기 기재 홀더 를 이동 시키 는 이동기 구 를 구비 하 며 , 상기 이동기 구 에 의해 상기 기재 홀더 를 이동 시키 면서 상기 기재 에 증발원 에 의해 증발 된 성막 재료 에 의한 막 을 형성 한다 .