광체 ( 111 ) 내 의 전후 방향 의 중앙부 에 있 어서 의 하부 에 는 , 서브 광체 ( 119 ) 가 후단 에 걸쳐서 구축 되 어 있 다 . 서브 광체 ( 119 ) 의 정면 벽 ( 119 a ) 에 는 웨이퍼 ( 200 ) 를 서브 광체 ( 119 ) 내 에 대하 여 반입 반출 하 기 위한 웨이퍼 반입 반 출구 ( 기판 반입 반 출구 ) ( 120 ) 가 한 쌍 , 수직 방향 으로 상하 2 단 으로 정렬 되 어 개설 되 어 있 고 , 상하 단의 웨이퍼 반입 반 출구 ( 120 ) , ( 120 ) 에 는 한 쌍 의 포드 오프너 ( 121 ) , ( 121 ) 가 각각 설치 되 어 있 다 . 포드 오프너 ( 121 ) 는 포드 ( 110 ) 를 재치 하 는 재 치대 ( 122 ) , ( 122 ) 와 포드 ( 110 ) 의 캡 [ cap , 개체 ( 蓋 體 ) ] 을 착 탈 하 는 캡 착 탈 기구 ( 개체 착 탈 기구 ) ( 123 ) , ( 123 ) 를 구비 하 고 있 다 . 포드 오프너 ( 121 ) 는 재 치대 ( 122 ) 에 재치 된 포드 ( 110 ) 의 캡 을 캡 착 탈 기구 ( 123 ) 에 의하 여 착 탈함 으로써 , 포드 ( 110 ) 의 웨이퍼 출입구 를 개폐 하 도록 구성 되 어 있 다 .