레티 클 에 L / S 패턴 을 형성 할 경우 에 는 , 도 14 에 나타낸 바 와 같이 , 1 칩 영역 내 에 복수 개 의 라인 패턴 ( 10 ) 을 세로 로 소정 의 스페이스 를 두 어 평행 하 게 나란히 배치 하 면 된다 . 물론 , 이 들 라인 패턴 ( 10 ) 을 가로 로 소정 의 스페이스 를 두 어 평행 하 게 나란히 배치 하 거나 , 또는 종횡 으로 격자 형상 으로 배치 하 여도 상관없 다 . 세로 , 가로 또는 격자 형상 이외 에 도 , 라인 패턴 ( 10 ) 을 비스듬히 배치 하 는 것 도 가능 하 지만 , 패턴 형성 의 용이성 을 고려 하 면 , 라인 패턴 ( 10 ) 을 세로 , 가로 또는 격자 형상 으로 배치 하 는 것 이 바람직 하 다 .