이러 한 연마 장치 로서 는 , 연마 완료 연마 대상물 을 보유 지지 하 는 홀더 , 회전수 를 변경 가능 한 모터 , 세정 브러시 등 을 갖 는 일반 적 인 연마 장치 를 사용 할 수 있 다 . 연마 장치 로서 는 , 편면 연마 장치 또는 양면 연마 장치 중 어느 것 을 사용 해도 된다 . 또한 , CMP 공정 후 , 린스 연마 공정 을 행하 는 경우 , 당해 세정 처리 는 , 린스 연마 공정 에서 사용 한 연마 장치 와 마찬가지 의 장치 를 사용 하 여 행하 는 것 이 , 보다 효율 적 이 며 바람직 하 다 .