첫째 , 본 발명 에 의하 면 , 핀 마스크 와 별도 로 더미 마스크 를 사용 하 여 워드 라인 과 중첩 되 는 장축 방향 의 활성 영역 의 양 끝단 이 식각 되 는 것 을 방지 함 으로써 워드 라인 사이 에서 정전 용량 이 증가 하 는 것 을 방지 할 수 있 으며 , 이 를 통해 GIDL 전류 를 감소 시키 고 , 워드 라인 과 캐 패 시터 의 스토리지 노드 사이 의 커플링 비 가 증가 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .