한편 , 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 XY 평면 내 에서 구동 하 는 평면 모터 ( 151 ) 가 제어 됨 과 함께 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W 1 ) 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 노광 위치 의 X 축 방향 의 일 측 ( - X 측 ) 에 위치 하 는 제 1 귀환 경로 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 의 교환 이 실시 되 는 좌측 로딩 포지션 으로 이동 되 고 , 또한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W 2 ) 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 노광 위치 의 X 축 방향 의 타 측 ( + X 측 ) 에 위치 하 는 제 2 귀환 경로 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 의 웨이퍼 ( W 2 ) 의 교환 이 실시 되 는 우측 로딩 포지션 으로 이동 되 는 것 만 이어도 된다 . 즉 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 중 일방 에 유지 된 웨이퍼 ( W 1 또는 W 2 ) 에 대한 노광 이 실시 되 는 것 과 병행 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 중 타방 에 유지 된 웨이퍼 의 주변 노광 은 물론 , 그 웨이퍼 상 의 상이 한 복수 의 얼라이먼트 마크 의 위치 정보 의 계측 이 실시 되 지 않 아도 된다 . 또한 , 평면 모터 는 , 무빙 코일 형 이 어도 된다 .