이하 , 도 4 를 참조 한다 . 도 4 는 , 하나 의 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 에 있 어서 의 하나 이상 의 동축 관 의 단면도 이 다 . 상술 한 바 와 같이 , 동축 도파 로 ( 21 ) 는 , 하나 이상 의 동축 관 ( 200 ) 을 갖 고 있 다 . 일 실시 형태 에서 는 , 동축 도파 로 ( 21 ) 는 , 하나 이상 의 동축 관 ( 200 ) 으로서 , 동축 관 ( 21 a ~ 21 d ) 을 갖 고 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 또 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 하나 이상 의 동축 관 ( 200 ) 의 각각 은 , 내 도체 ( 201 ) 및 외 도체 ( 202 ) 를 포함 하 고 있 다 . 하나 이상 의 동축 관 ( 200 ) 각각 의 내 도체 ( 201 ) 의 외주 면 의 직경 d 및 외 도체 ( 202 ) 의 내 주면 의 직경 D 는 , 상기 의 식 ( 1 ) , 식 ( 2 ) , 및 식 ( 3 ) 을 충족 시킨다 .