도 2 를 참조 하 면 , 본 발명 의 또 다른 측면 에 따른 상기 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 ( 100 ) 을 이용 한 기판 세정 장치 의 제 1 실시 예 는 기판 ( S ) 을 이송 하 는 이 송부 ( 400 ) 와 이송 되 는 기판 ( S ) 의 상측 , 하측 또는 상하 양측 에 설치 되 는 상기 이 류체 분사 모듈 ( 100 ) 과 , 상기 이 류체 분사 모듈 ( 100 ) 에 세정액 을 공급 하 는 세정액 공급 부 ( 500 ) 와 , 상기 이 류체 분사 모듈 ( 100 ) 에 건조 공기 를 공급 하 는 에어 공급 부 ( 600 ) 를 포함 한다 .