제 2 반송 영역 ( 13 ) 에 는 , 캐리어 ( C ) 를 , 로드 포트 ( 14 ) 와 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 와 캐리어 보관 선반 ( 18 ) 과 의 사이 에서 반송 하 는 캐리어 반송 기구 ( 21 ) 가 설치 되 어 있 다 . 캐리어 반송 기구 ( 21 ) 는 , 좌우 로 신장 또한 승강 가능 한 가이드 부 ( 21 a ) 와 , 가이드 부 ( 21 a ) 에 가이드 되 면서 좌우 로 이동하 는 이 동부 ( 21 b ) 와 , 이 동부 ( 21 b ) 에 설치 되 어 , 캐리어 ( C ) 를 유지 해서 수평 방향 으로 반송 하 는 관절 아암 ( 21 c ) 을 구비 하 고 있 다 .