주석 옥사이드 는 주석 옥사이드 를 휘발 성 주석 하이드라이드 생성물 들 ( 예 를 들 어 , " 주석 테트라 하이드라이드 ) 로 변환 하 는 수소 - 기반 에칭 들 을 사용 하 는 넓 고 다양 한 재료 들 에 대해 선택 적 으로 에칭 될 수 있 다 . 본 명세서 에 사용 된 바 와 같이 용어 "" 주석 하이드라이드 "" 는 복수 의 주석 하이드라이드 들 ( 주석 - 수소 결합 을 갖 는 화합물 들 ) 을 포함 하 고 주석 테트라 하이드라이드 ( SnH 4 ) 로만 제한 되 지 않 는다 . "" 주석 클로라이드 "" 및 "" 실리콘 플 루오 라이드 "" 와 같 은 용어 들 은 유사 하 게 복수 의 클로라이드 들 및 플 루 오 라 이드 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 많 은 다른 금속 들 의 하이드라이드 들 과 달리 ", 주석 테트라 하이드라이드 는 낮 은 끓는점 을 갖 고 , 따라서 퍼징 및 / 또는 배기 에 의해 프로세스 챔버 들 로부터 용이 하 게 제거 될 수 있 어서 , 수소 - 기반 에칭 으로 하여금 선택 적 인 주석 옥사이드 에칭 에 대해 특히 매력 적 인 프로세스 가 되게 한다 .