도 1 a 및 1 b 는 2 개 의 캐 패 시터 패턴 용 노광 마스크 의 레이아웃 을 도시 한다 . 도 1 a 는 풀 - 필드 샷 을 적용 하 기 위한 캐 패 시터 패턴 용 노광 마스크 의 레이아웃 을 도시 한다 . 이때 , 캐 패 시터 패턴 용 노광 마스크 는 한 필드 가 2 x 4 다이 ( Die ) 로 정의 되 어 있 어 총 8 개 다이 를 포함 한다 . 도 1 b 는 다 이 샷 을 적용 하 기 위한 캐 패 시터 패턴 용 노광 마스크 의 레이아웃 을 도시 한다 . 이때 , 캐 패 시터 패턴 용 노광 마스크 는 하나 의 다이나 2 개 의 다이 를 포함 한다 .