이 실시 형태 의 글래스 기판 에 있 어서 도 , 제 1 실시 형태 에 관해서 설명 한 이유 와 같 은 이유 로 , 80 ℃ 의 10 % HCl 수용액 에 3 시간 침지 했 을 때 목시 에 의한 표면 관찰 로 백탁 , 거칠 기 가 인지 되 지 않 는 것 이 바람직 하 고 , 또한 , 20 ℃ 의 63 BHF 용액 ( HF : 6 질량 %, NH 4 F : 30 질량 %) 에 15 분 간 침지 했 을 때 목시 에 의한 표면 관찰 로 백탁 , 거칠 기 가 인지 되 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .