또한 , 제 1 S - D 서브시스템 처리 데이터 는 , 제 1 S - D 웨이퍼 세트 를 이용 하 여 제 1 S - D 처리 시퀀스 가 수행 되 기 전 에 , 도중 에 , 및 / 또는 후 에 수집 될 수 있 고 , 제 1 S - D 신뢰 도 데이터 는 웨이퍼 데이터 및 / 또는 제 1 S - D 서브시스템 처리 데이터 를 이용 하 여 제 1 S - D 웨이퍼 세트 내 의 하나 이상 의 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 다 . 일부 예 들 에서 , 제 1 S - D 신뢰 도 값 은 제 1 S - D 서브시스템 처리 데이터 를 이용 하 여 제 1 S - D 웨이퍼 세트 내 의 제 1 S - D 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 다 . 제 1 S - D 웨이퍼 에 대한 제 1 S - D 신뢰 도 값 은 제 1 S - D 신뢰 도 한계 에 비교 될 수 있 다 . 제 1 S - D 신뢰 도 한계 가 충족 되 면 제 1 S - D 웨이퍼 세트 의 처리 가 계속 될 수 있 거나 , 제 1 S - D 신뢰 도 한계 가 충족 되 지 않 으면 제 1 S - D 보정 조치 가 적용 될 수 있 다 . 제 1 S - D 보정 조치 는 , 제 1 S - D 서브시스템 처리 데이터 를 이용 하 여 제 1 S - D 웨이퍼 세트 내 의 하나 이상 의 추가 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , 하나 이상 의 추가 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰 도 값 을 추가 의 제 1 S - D 신뢰 도 한계 에 비교 하 는 단계 와 , 추가 의 제 1 S - D 신뢰 도 한계 중 하나 이상 이 충족 되 면 제 1 S - D 웨이퍼 세트 를 계속 처리 하 거나 , 또는 추가 의 제 1 S - D 신뢰 도 한계 중 하나 이상 이 충족 되 지 않 으면 상기 확립 단계 와 비교 단계 를 정지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .