도 3 a 내지 도 3 f 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 바텀 게이트 유기 박막 트랜지스터 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 단면도 를 도시 한 것 이 다 . 도 3 a 를 참조 하 면 , 기판 ( 300 ) 상부 에 상기 기판 ( 300 ) 과 인접 하 게 플 라즈 마 발생기 ( 30 ) 를 배치 하 고 , 상기 기판 ( 300 ) 의 소정 부분 ( 300 a ) 으로 플 라즈 마 발생기 ( 30 ) 의 개구부 ( 31 ) 를 통해 플 라즈 마 를 발생 하 여 대기압 상태 에서 플라 즈 마 처리 한다 . 상기 기판 ( 300 ) 은 O 2 , N 2 , NH 3 , Ar , H 2 로 부터 선택 되 는 플 라즈 마 를 이용 하 여 표면 처리 한다 . 상기 기판 ( 300 ) 은 상기 플 라즈 마 표면 처리 된 부분 ( 300 a ) 이 표면 처리 되 지 않 은 부분 ( 300 b ) 에 비하 여 친수성 을 띠 게 된다 .