구체 적 으로 설명 한다 . 단계 S 02 에 있 어서 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 처리 층 ( A 1 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 인도부 ( PS 1 ) 의 소정 위치 ( 기판 재 치부 ( 31 A ) ) 에 기판 ( W ) 을 반송 했 다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 처리 층 ( B 1 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 가 인도부 ( PS 1 ) 의 소정 위치 ( 기판 재 치부 ( 31 A ) ) 에 반송 한 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 여기 서 , 처리 층 ( A 1 ) 으로부터 처리 층 ( B 1 ) 으로 의 기판 반송 은 , ID 블록 ( 2 ) 의 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 를 이용 하 지 않 고 행해진다 . 즉 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 , MHU 4 ) 중 양쪽 의 핸드 ( 21 , 41 ) 가 닿 는 위치 에 버퍼 부 ( BU 1 ) ( 기판 버퍼 ( BF ) ) 가 배치 되 어 있 다 . 환언 하 면 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 , MHU 4 ) 가 버퍼 부 ( BU 1 ) 에 재치 된 기판 ( W ) 을 맞잡 도록 구성 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , ID 블록 ( 2 ) 을 통과 하 여 제 1 처리 블록 ( 3 ) 으로부터 제 2 처리 블록 ( 5 ) 으로 기판 ( W ) 이 반송 되 는 경우 여도 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 에 부담 이 가 지 않 도록 할 수 있 다 .