상기 반송 아 암부 ( 20 ) 는 굴신 가능 하 게 이루어진 다관 절 형상 의 반송 아암 본체 ( 46 ) 와 , 아암 본체 ( 46 ) 의 선단 에 부착 된 포크 ( 48 ) 를 갖 고 , 이 포크 ( 48 ) 상 에서 웨이퍼 ( W ) 가 직접 적 으로 지지 된다 . 오리 엔터 ( 36 ) 는 구동 모터 에 의해 회전 되 는 회전 기준 대 ( 60 ) 를 갖 고 있 으며 , 이 위 에 웨이퍼 ( W ) 를 올려놓 은 상태 에서 회전 한다 . 회전 기준 대 ( 60 ) 의 외주 ( 外周 ) 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 를 검출 하 기 위한 광학 적 센서 ( 62 ) 가 형성 된다 . 또한 , 오리 엔터 ( 36 ) 의 입구 측 에 는 수평 방향 레벨 검출 레이 저광 ( 66 ) 을 출력 하 는 레이저 소자 ( 68 ) 와 이 레이 저광 ( 66 ) 을 받 는 수광 소자 ( 70 ) 로 이루어지 는 레벨 검출기 가 형성 된다 .