도 7 e 는 본 개시 의 일부 실시 예 에 따른 조립 구성 의 기판 컨테이너 시스템 ( 700 ) 의 사시도 를 보여준다 . 조립 시 에 , 후방 커버 ( 720 ) 의 제 1 / 제 2 가스 유입 구 구조 ( 721 / 722 ) 는 컨테이너 바디 ( 710 ) 의 바닥 면 ( 714 ) 아래 에서 굴곡 되게 연장 되 어 시일 링 부재 의 굴곡 섹션 ( 예 를 들 어 , 도면 부호 141 b ) 을 덮 으며 , 이 에 의해 , 굴곡 섹션 ( 141 b ) 이 바닥 면 ( 714 ) 과 가스 유입 구 구조 ( 721 ) 사이 에 배치 되 어 가스 흡입 포트 ( 들 ) 주위 의 기밀 성 이 보장 된다 . 더욱이 , 한 쌍 의 가스 흡입 포트 ( 721 a , 722 a ) 는 바닥 면 ( 714 ) 과 는 반대쪽 으로 하방 ( 예 를 들 어 , z - 축 방향 ) 을 향해 개방 되 어 있 다 .