도 5 는 데카 메 실 사이클 로 펜 타실 옥제 인과 사이클 로 헥산 전구체 를 사용 하 여 플 라즈 마 보강 CVD 방법 으로 중합 된 PPDMCPSO : CHex 박막 을 열처리 한 박막 에 대한 나노 인 덴 터 ( nano - indentor ) 를 통한 강도 ( hardness ) ( 도 5 a ) 와 탄성 률 ( elastic modulus ) ( 도 5 b ) 을 나타낸 것 이 다 . 산소 가스 를 이용 하 여 열처리 한 박막 ( RTO ) 의 경우 , 열처리 온도 400 ℃ 까지 강도 가 0 . 12 GPa 까지 감소 하 고 , 450 ℃ 이후 에 는 강도 가 급격히 0 . 44 GPa 증가 하 였 다 . 하지만 , 질소 가스 를 이용 하 여 열처리 한 박막 ( RTN ) 의 경우 , 열처리 온도 450 ℃ 이후 에 0 . 3 GPa 까지 약간 증가 하 였 다 . 그리고 탄성 률 은 열처리 온도 가 증가 할수록 RTN 박막 과 RTO 박막 모두 감소 하 는 경향 을 보이 고 있 으며 , 열처리 온도 가 550 ℃ 일 때 , RTO 인 박막 에서 4 . 4 GPa 로 약간 증가 하 였 다 .