이 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 된 후 에 , 해당 웨이퍼 W 의 중심 이 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞 는지 여부 를 확인 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 된 후 에 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 ( 도 2 의 스텝 8 참조 ) , 이 편심 량 이 허용 범위 에 들 어 있 는지 여부 를 확인 한다 ( 도 2 의 스텝 9 참조 ) . 웨이퍼 W 의 중심 이 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 고정 밀도 로 맞 는 것 이 확인 된 후 에 , 웨이퍼 W 의 주연 부 는 연마 된다 . 그 결과 , 허용 되 는 연마 폭 을 초과 하 여 연마 되 는 불량 웨이퍼 W 의 발생 을 방지 할 수 있 다 .