한편 , 제 3 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 에 대해 , 도 14 를 참조 하 여 설명 한다 . 도 14 는 , 제 3 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 을 나타내 는 플로 차트 이 다 . 제 3 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 은 , 클리닝 대상 의 잔사 에 군 A 의 원소 를 포함 하 지 않 는 경우 에 효율 적 인 클리닝 수법 이 다 . 도 14 의 제 3 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 은 , 도 4 의 제 1 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 과 동일 처리 에 동일 스텝 번호 를 붙이 고 있 다 . 즉 , 도 14 의 제 3 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 에서 는 , 도 4 의 제 1 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 중 제 2 ∼ 제 4 클리닝 공정 ( 스텝 S 12 ∼ S 14 ) 을 실행 하 지 않 는다 . 즉 , 제 1 클리닝 공정 ( 스텝 S 11 ) 을 실행 하 고 , 그 후 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 을 , 이 순서 로 소정 횟수 Y 행한다 ( 스텝 S 18 ) . 한편 , 본 변형 예 에서 는 , 제 2 ∼ 제 4 클리닝 공정 ( 스텝 S 12 ∼ S 14 ) 을 실행 하 지 않 기 때문 에 , 스텝 S 17 및 대 루프 처리 는 생략 된다 .