도 6 b 는 종래 의 샤워 플레이트 및 도 6 a 에 도시 된 세 개 의 조건 들 하의 개선 된 샤워 플레이트 를 이용 하 여 달성 한 300 mm 웨이퍼 들 상 의 결과 적 인 세정 속도 및 증착 된 막 두께 균 일도 를 도시 하 는 표 이 다 . 세 개 의 모든 조건 들 하 에서 , 상기 개선 된 샤워 플레이트 는 종래 의 샤워 플레이트 에 비하 여 더 빠른 증착 속도 및 더 높 은 반응기 세정 속도 를 나타내 었 다 . 또한 , 감소 된 홀 가공 영역 의 직경 을 가지 는 개선 된 샤워 플레이트 는 종래 의 샤워 플레이트 에 비하 여 개선 된 막 두께 균 일도 를 나타내 며 , 예 를 들 어 각각 은 1 . 5 % 미만 이 거나 또는 동일 하 다 .