인덱스 프레임 ( 14 ) 에 는 인덱스 로봇 ( 120 ) 이 제공 된다 . 인덱스 프레임 ( 14 ) 내 에 는 길 이 방향 이 제 2 방향 ( 94 ) 으로 제공 된 가이드 레일 ( 140 ) 이 제공 되 고 , 인덱스 로봇 ( 120 ) 은 가이드 레일 ( 140 ) 상 에서 이동 가능 하 게 제공 될 수 있 다 . 인덱스 로봇 ( 120 ) 은 기판 ( W ) 이 놓이 는 핸드 ( 122 ) 를 포함 하 며 , 핸드 ( 122 ) 는 전진 및 후진 이동 , 제 3 방향 ( 96 ) 을 축 으로 한 회전 , 그리고 제 3 방향 ( 96 ) 을 따라 이동 가능 하 게 제공 될 수 있 다 . 핸드 ( 122 ) 는 복수 개 가 상하 방향 으로 이격 되게 제공 되 고 , 핸드 ( 122 ) 들 은 서로 독립 적 으로 전진 및 후진 이 동할 수 있 다 .