다양 한 실시 예 들 에서 , 가스 ( 예컨대 , 질소 , N 2 ) 는 복수 의 상이 한 디바이스 들 을 통해 분배 된다 . 일 예 에서 , 버섯 형 설계 는 저압 의 높 은 가스 유동 을 허용 한다 . 다른 예 에서 , 가스 유입 구 튜브 내 의 가스 유출 구들 의 어레이 는 내측 챔버 에서 가스 의 칼날 형 샤워 를 생성 한다 . 다른 실시 예 들 에서 , 두 디바이스 가 결합 된다 .