도 2 는 이러 한 코팅 기 의 일부 에 대한 보다 상세 한 개략 도 를 제공 한다 . 본 도면 은 도 1 과 관련 된 코팅 기 의 동일 측면 , 코팅 기 의 상부 및 도 1 과 관련 하 여 언급 된 하류 단부 를 마주 하 는 코팅 기 의 상류 단부 에 근접 한 코팅 기 의 일부 의 입면도 로부터 의 코 팅기 ( 2 ) 를 나타낸다 . 본 도면 에서 , 코 팅기 ( 2 ) 는 슬릿 밸브 챔버 ( 6 ) , 격실 들 ( A 5 , A 6 ) 을 포함 하 여 6 개 의 격실 들 ( compartments ) ( 14 ) 또는 베 이 들 로 구성 된 프로세스 모듈 ( A ) , 슬릿 밸브 챔버 ( 8 ) , 및 격실 들 ( B 1 , B 2 ) 을 포함 하 여 몇 개 의 격실 들 ( 14 ) 로 구성 되 는 프로세스 모듈 ( B ) 을 가지 는 것 으로 상류 에서 하 류로 의 투시도 를 나타낸다 . 코 팅기 ( 2 ) 는 기판 통과 선 ( 12 ) 을 따라 기판 또는 기판 들 ( 미 도시 ) 을 이동 시키 기 위해 몇 개 의 롤러 들 ( 10 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 경로 를 따라 기판 또는 기판 들 은 상류 - 대 - 하류 방향 ( 기판 통과 선 과 관련 하 여 화살표 로 개략 적 으로 도시 됨 ) 에서 코팅 기 를 통해 이동 한다 . 본 도면 에서 , 롤러 들 ( 10 ) 은 격실 들 각각 에 위치 된 다 . 롤러 들 ( 10 ) 은 기판 또는 기판 들 의 전체 폭 을 지지 하 기 에 적절 한 폭 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 약 1000 mm 에서 약 4210 mm 의 격실 폭 ( CW ) ( 도 1 ) 에 이르 는 약 1000 mm 에서 약 3300 mm 의 기판 폭 ( SW ) ( 도 1 ) 에 따라 보다 큰 또는 보다 작 은 폭 , 및 기판 또는 기판 들 을 지지 하 기 에 적합 한 기판 통과 선 에 평행 한 분리 간격 ( SD ) ( 도 2 ) , 이를 테 면 , 예 를 들 어 약 300 mm 이하 ( not more than ) 의 분리 간격 을 가질 수 있 다 . 일반 적 으로 , 코 팅기 ( 2 ) 에서 모든 롤러 들 ( 10 ) 은 거의 동일 한 속도 로 회전 할 수 있 으며 코팅 기 를 통한 기판 또는 기판 들 의 이동 은 거의 일정 한 속도 일 수 있 다 .