상기 하드 마스크 막 ( 25 ) 상 에 제 1 개 구부 ( 27 H ) 를 갖 는 포토레지스트 패턴 들 ( 27 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 개 구부 ( 27 H ) 는 인접 한 상기 포토레지스트 패턴 들 ( 27 ) 사이 에 형성 된 갭 ( gap ) 영역 일 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 1 개 구부 ( 27 H ) 는 콘 택 홀 ( contact hole ) , 트렌치 ( trench ) , 및 / 또는 그루브 ( groove ) 일 수 있 다 . 상기 제 1 개 구부 ( 27 H ) 에 상기 하드 마스크 막 ( 25 ) 의 상부 표면 이 부분 적 으로 노출 될 수 있 다 .