단계 ( S 30 ) 에서 는 , 제 1 실시 예 내지 제 3 실시 예 중 하나 의 실시 예 에 의한 레이저 장치 를 사용 하 여 가공 대상물 ( 12 ) 인 실리콘 블록 보 어 표면 에 미세 패턴 가공 을 수행 한다 . 레이저 가공 장치 가 실린더 블록 보 어 표면 에 미세 한 기름 홈 을 가공 하 여 , 일정 한 기름 홈 패턴 을 형성 할 수 있 다 .