일 실시 예 에서 , 제 2 비아 홀 ( H 2 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 208 ) 는 전술 한 플 라즈 마 식각 공정 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 비아 홀 ( H 2 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 208 ) 는 전술 한 초음파 세정 공정 을 선택 적 으로 포함 할 수 도 있 다 . 상기 플 라즈 마 식각 공정 및 상기 초음파 세정 공정 에 대한 기술 적 사상 은 전술 한 기술 적 사상 과 실질 적 으로 동일 하 므로 , 자세 한 내용 은 생략 한다 .