또한 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 는 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 의 각 부재 를 제어 하 는 제어 유닛 ( 61 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 중심 산 출부 ( 62 ) 및 거리 산 출부 ( 63 ) 를 갖 고 있 고 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 의 각 부재 를 제어 하 여 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 검사 를 실시 한다 .