종래 , 진공 중 에서 , 액정 디스플레이 용 유리 기판 을 반송 하 는 산업 용 로봇 이 알려져 있 다 ( 예 를 들 어 , 특허 문헌 1 참조 ) . 특허 문헌 1 에 기재 된 산업 용 로봇 은 , 유리 기판 이 탑재 되 는 2 개 의 핸드 와 , 2 개 의 핸드 가 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 되 는 암 과 , 암 의 기단 측 이 회동 가능 하 게 연결 되 는 본 체부 를 구비 하 고 있 다 . 암 은 , 2 개 의 핸드 의 각각 이 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 되 는 2 개 의 암부 와 , 2 개 의 암부 의 기단 측 이 회동 가능 하 게 연결 됨 과 함께 본 체부 에 회동 가능 하 게 연결 되 는 공통 암부 로 구성 되 어 있 다 . 또한 , 이 산업 용 로봇 은 , 본 체부 에 대하 여 공통 암부 를 회동 시키 기 위한 공통 암부 구동 모터 를 갖 는 회동 기구 와 , 암부 에 대하 여 핸드 를 회동 시킴 과 함께 공통 암부 에 대하 여 암부 를 회동 시키 기 위한 암부 구동 모터 를 갖 는 구동 기구 를 구비 하 고 있 다 .