본 개시 내용 은 오디오 및 초음파 범위 에서 동작 가능 한 MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 ( 100 ) 에 관한 것 이 다 . MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 ( 100 ) 는 , 특히 , 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 및 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 로부터 이격 된 제 2 전극 구 조체 ( 102 ) 를 포함 하 고 , 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 의 도전 성 재료 는 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 ( 111 , 112 ) 을 포함 하 고 , 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 및 제 2 전극 구 조체 ( 102 ) 는 오디오 사운드 트랜스 듀 서 로서 동작 가능 하 다 . 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 의 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 ( 111 , 112 ) 의 제 1 서브 세트 ( 11 ) 는 , 제 2 전극 구 조체 ( 102 ) 와 함께 , 초음파 또는 오디오 방출 기 로서 동작 가능 하 고 , 제 1 전극 구 조체 ( 101 ) 의 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 ( 111 , 112 ) 의 제 2 서브 세트 ( 12 ) 는 , 제 2 전극 구 조체 ( 102 ) 와 함께 , 초음파 또는 오디오 수신기 로서 동작 가능 하 다 .