그런데 , 상기 특허 문헌 1 내지 3 에 기재 된 RLSA ( 등록 상표 ) 마이크로파 플라스마 처리 장치 에서 는 , 슬롯 안테나 의 슬롯 패턴 에 의해 마이크로파 의 방사 특성 이 결정 되 고 , 플라스마 밀도 분포 가 결정 된다 . 이 때문 에 , 슬롯 안테나 로서 원 하 는 플라스마 밀도 분포 가 얻 어 지 는 패턴 의 슬롯 을 갖 는 것 이 사용 된다 .