상기 의 제 2 내지 제 5 콘 택 홀 이 형성 된 상기 제 6 절 연막 ( 166 ) 상 에 제 2 내지 제 5 콘 택 홀 을 매립 하 는 도전 성 금속 막 을 형성 하 여 제 2 내지 제 5 콘 택 홀 을 매립 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 상기 제 6 절 연막 ( 166 ) 상 에 전술 한 하부 도전 성 플러그 ( 170 ) 또는 상부 및 하부 도전 막 ( 130 , 150 ) 과 동일 한 금속 또는 도전 성 금속 으로 도전 성 금속 막 을 형성 하 되 , 상기 제 2 내지 제 5 콘 택 홀 내부 가 도전 성 금속 막 으로 매립 되 도록 한다 .