도 11 a 및 도 11 b 는 본 발명 에 따른 제 5 공정 단계 ( 104 ) 의 개략 적 평면 도 및 각각 의 측면도 를 도시 하 며 , 여기 서 샘플 홀더 ( 12 o , 12 u ) 의 교체 가 이루어진다 . 하부 샘플 홀더 ( 12 u ) 는 특히 제 2 공정 단계 ( 101 ) 로부터 의 위치 에러 정정 으로부터 의 데이터 의 도움 으로 원래 위치 로 다시 이동 된다 . 대기 위치 로 의 상부 샘플 홀더 ( 12 o ) 의 변위 는 특히 동시 에 발생 한다 .