예 를 들 면 , " 도포 된 조성물 층 의 건조 는 핫플레이트 ( 소위 "" 예비 소성 "") 와 같 은 가열 장치 ", 감압 장치 또는 이 들 의 조합 을 이용 하 여 행할 수 있 다 . 따라서 , 용매 를 레지스 트 조성물 로부터 증발 시켜 , 용매 가 제거 된 조성물 층 을 형성 한다 . 가열 장치 및 감압 장치 의 조건 은 사용 된 용매 의 종류 에 따라서 조건 을 조정 할 수 있 다 . 이 경우 의 온도 는 일반 적 으로 50 내지 200 ℃ 의 범위 내 에 있 다 . 또한 , 압력 은 통상 1 내지 1 . 0 × 105 Pa 의 범위 내 에 있 다 .