여기 에서 , " "" 실온 ( 24 ℃) 으로부터 300 ℃ 까지 의 범위 "" 는 ", 정전 척 장치 의 사용 환경 의 온도 조건 을 고려 하 여 정한 것 이 다 . 즉 , 본 실시 형태 의 복합 소 결체 를 구성 재료 로서 갖 는 정전 척 장치 는 , 실온 ( 24 ℃) 으로부터 , 플라 즈 마 처리 공정 에 있 어서 의 온도 조건 으로서 상정 되 는 온도 를 상회 하 는 온도 ( 300 ℃) 까지 의 범위 에 있 어서 , 체적 고유 저항 률 이 높 게 유지 된다 . 이 로 인하 여 , 고 온역 에 있 어서 웨이퍼 의 분리 가 곤란 해 지 는 일 이 없 고 , 또 웨이퍼 에 과도 한 전류 가 흐르 는 것 이 억제 되 어 , 생산 성 이 향상 된다 .