상기 의 문제점 을 해결 하 기 위하 여 상기 연결 배관 을 가열 하 는 동안 부득이 하 게 제조 공정 장치 의 가동 을 일정 시간 ( 대략 6 시간 ) 중지 시킨 상태 에서 상기 공급 탱크 를 교체 하 게 되 는데 , 이 또한 작업 도중 에 반도체 칩 제조 공정 장치 를 중지 시킴 으로써 반도체 칩 의 생산량 이 줄어들 고 작업 효율 이 떨어져 막대 한 금전 적 피해 가 발생 한다는 문제점 이 있 어 왔 다 .