또한 , 본 실시 형태 에 따른 필터 장치 ( 1 ) 에 있 어서 는 정압 측 유로 ( 50 ) 에 있 어서 의 상기 정압 측 필터 엘리먼트 ( 51 ) 보다 제 2 포트 ( 30 ) 측 의 유로 부분 에 스로틀 부 ( 50 a ) 가 설치 되 어 있 다 . 이러 한 스로틀 부 ( 50 a ) 를 정압 측 유로 ( 50 ) 에 설치 함 으로써 , 특히 필터 장치 ( 1 ) 의 제 1 포트 ( 20 ) 에 공급 하 는 기체 의 압력 을 부압 으로 스위칭 했 을 때 에 , 제 1 포트 ( 20 ) 와 의 연통 을 부압 측 유로 ( 40 ) 로 스위칭 하 는 셔틀 밸브 ( 7 ) 의 응답 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 스로틀 부 ( 50 a ) 를 정압 측 필터 엘리먼트 ( 51 ) 보다 제 2 포트 ( 30 ) 측 에 설치 함 으로써 , 제 1 포트 ( 20 ) 에 정압 을 공급 했 을 때 에 상기 필터 엘리먼트 ( 51 ) 로 포착 된 이물 이 , 다시 제 1 포트 ( 20 ) 측 으로 되돌려 보내 지 는 것 을 가급적 으로 억제 할 수 있 다 .