본 발명 의 레지스 트 조성물 은 바람직 하 게 는 수지 및 산 발생 제 ( B ) 의 상승 효과 를 통해 레지스 트 패턴 을 형성 할 수 있 는 레지스 트 조성물 이 다 . 따라서 , 수지 ( A ) 는 바람직 하 게 는 알칼리 수용액 에 불용 성 또는 난용성 이 며 , " 산 의 작용 에 의해 알칼리 수용액 에 가용성 이 되 는 수지 로 변환 될 수 있 는 특성 을 갖 는다 . 상기 특성 을 갖 고 화합물 ( a ) 로부터 유도 되 는 구조 단위 를 갖 는 이러 한 수지 를 이하 "" 수지 ( AA ) "" 로 칭한다 . "