커버 플레이트 ( 432 ) 는 평판 형태 로 형성 되 어 전술 한 지지 프레임 ( 431 ) 의 상면 을 덮 는다 . 이때 , 커버 플레이트 ( 432 ) 는 나사 또는 볼트 등 의 체결 부재 에 의해 지 지 프레임 ( 431 ) 의 상부 면 ( 431 a ) 에 결합 된다 . 이러 한 커버 플레이트 ( 432 ) 는 챔버 리드 ( 115 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 전기 적 으로 접지 되 거나 , 별도 의 접지 스 트랩 ( 미 도시 ) 을 통해 전기 적 으로 접지 됨 으로써 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 에 대향 되 는 접지 전극 의 역할 을 한다 .