건조 동작 동안 , 회전 운동 에 의해 야기 되 는 기판 ( 119 ) 상 의 원심력 들 은 , 제 1 측 가스 유입 구 ( 111 ) 및 제 2 측 가스 유입 구 ( 113 ) 를 통해 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 내 로 도입 되 는 가스 들 과 조합 되 어 , 기판 ( 119 ) 의 수직 위치 결정 으로 인한 중력 들 과 함께 , 종래 기술 의 다양 한 기판 건조 메커니즘 들 에 의해 현재 알려져 있 는 것 보다 훨씬 더 신속 하 게 기판 ( 119 ) 을 건조 시키 는 것 을 돕 는다 . 선행 세정 사이클 동안 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 내 로 도입 된 액체 들 은 , 동작 위치 ( 120 ) 에서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 와 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 사이 에 형성 된 개구 들 ( 125 ) 을 통해 챔버 로부터 진공 배기 된다 .