즉 본 발명 에 관계 된 블레이드 교환 기구 는 , 블레이드 를 흡착 하 는 제 1 흡착 부 와 , 상기 제 1 흡착 부 와 는 따로 마련 되 고 , 상기 블레이드 가 장착 되 는 블레이드 장착 부 를 가지 는 플랜지 를 흡착 하 는 제 2 흡착 부 와 , 상기 제 2 흡착 부 의 내측 에 위치 하 고 , 상기 블레이드 를 스핀들 에 대해서 탈착 가능 하 게 하 는 탈착 부재 를 회전 시키 는 탈착 부재 회 전부 와 , 상기 블레이드 의 상기 제 1 흡착 부 에 의한 흡 착면 과 는 반대 측 의 면 을 흡착 해서 , 상기 제 2 흡착 부 에 의해 흡착 된 상기 플랜지 에 대해서 상기 블레이드 를 반송 하 는 블레이드 반송 부를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .