본 제 4 실시 형태 의 노광 장치 ( 1000 ) 에서 는 , 도 45 에 도시 된 바 와 같이 , 전술 한 액침 영역 ( 14 ) ( 노즐 유닛 ( 32 ) ) 의 + X 측 , - X 측 에 , X 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 여 인코더 시스템 ( 150 ) 의 2 개 의 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 이 배치 되 어 있 다 . 이 들 헤드 유닛 ( 162 A , 162 B ) 은 , 도 45 등 에서 는 도면 의 착종 을 피하 는 관점 에서 도시 가 생략 되 어 있 지만 , 실제로 는 , 지지 부재 를 통해 , 전술 한 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 에 매달린 상태 로 고정 되 어 있 다 .