부가 적 으로 , 첨가 가스 공급 장치 는 도면 에 별 도로 도시 되 지 않 았 지만 첨가 가스 를 저장 하 는 봄베 와 , 이 봄베 로부터 공급 되 는 첨가 가스 의 흐름 , 유량 , 압력 등 을 제어 할 수 있 도록 첨가 가스 유입 관 ( 12 ) 과 파이프라인 에 장착 되 는 각종 밸브 장치 와 게이지 로 구성 될 수 있 다 . 이 첨가 가스 공급 장치 는 이미 널리 공지 된 기술 이 므로 , 여기 서 는 그 상세 한 설명 을 생략 한다 .