제 5 블록 체 ( 10 E ) 의 내측 하 면 ( IL ) 에서 , 2 개 의 배기 부 ( 15 b , 15 c ) 의 위치 보다 내측 의 위치 에 는 위치 결정 기구 ( 43 , 44 ) 가 배치 한다 . 씰 면 ( 15 a ) 에 가까운 영역 에서 있 고 , 또한 , 기판 ( S ) 의 단부 영역 과 중첩 하 는 위치 에 는 내측 하 면 ( IL ) 에서 입 설 된 진공 측 기판 지지 핀 ( 30 b ) ( 진공 측 게이트 밸브 ( VG 1 ) 에 가까운 기판 지지 핀 ) 이 설치 된다 . 본 실시 형태 에서 , 진공 측 기판 지지 핀 ( 30 b ) 의 개수 는 2 개 이 지만 , 이 개수 는 한정 되 지 않 는다 .