이후 , 일정 시간 이 경과 되 면 , 상기 제 4 밸브 ( 254 ) 가 닫혀진 상태 에서 , 제 3 밸 브 ( 253 ) 의 작동 을 제어 하 여 , 캡 ( 200 a ) 내부 의 정압 이 제 3 밸브 ( 253 ) 를 통해서 외부 로 배출 되 도록 한다 . 본 실시 예의 경우 , 상기 제 3 밸브 ( 253 ) 는 캡 ( 200 a ) 을 배압 공급원 ( 240 ) 과 연결 하 거나 , 외부 대기 중 으로 연결 하 는 3 웨이 밸브 를 적용 하 였 다 .