상술 한 바 와 같이 , 프로브 유닛 ( 150 ) 의 프로브 구동 부 ( 153 ) 는 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 ) 의 공정 단계 에 따라 동작 될 수 있 다 . 도 7 및 도 8 을 참조 하 면 , 전계 형성 유닛 ( 100 ) 에 전계 를 형성 하 지 않 는 제 1 상태 에서 는 프로브 유닛 ( 150 ) 은 프로브 지지대 ( 130 ) 상 에 배치 되 어 대상 기판 ( SUB ) 과 이격 될 수 있 다 . 프로브 유닛 ( 150 ) 의 프로브 구동 부 ( 153 ) 는 수평 방향 인 제 2 방향 ( DR 2 ) 과 수직 방향 인 제 3 방향 ( DR 3 ) 으로 구동 하 여 프로브 패드 ( 158 ) 를 대상 기판 ( SUB ) 과 이격 시킬 수 있 다 .