샤워 헤드 ( 3 ) 는 금속제 이 며 , 서 셉 터 ( 2 ) 에 대향 하 도록 마련 되 어 있 고 , 서 셉 터 ( 2 ) 와 거의 동일 한 직경 을 갖 고 있 다 . 샤워 헤드 ( 3 ) 는 , 처리 용기 ( 1 ) 의 천장 벽 ( 14 ) 에 고정 된 본 체부 ( 31 ) 와 , 본 체부 ( 31 ) 아래 에 접속 된 샤워 플레이트 ( 32 ) 를 갖 고 있 다 . 본 체부 ( 31 ) 와 샤워 플레이트 ( 32 ) 의 사이 에 는 가스 확산 공간 ( 33 ) 이 형성 되 어 있 고 , 가스 확산 공간 ( 33 ) 에 는 , 본 체부 ( 31 ) 및 처리 용기 ( 1 ) 의 천장 벽 ( 14 ) 의 중앙 을 관통 하 도록 가스 도입 구멍 ( 36 ) 이 마련 되 어 있 다 . 샤워 플레이트 ( 32 ) 의 주연 부 에 는 하방 으로 돌출 되 는 환형 돌기 부 ( 34 ) 가 형성 되 고 , 샤워 플레이트 ( 32 ) 의 환형 돌기 부 ( 34 ) 의 내측 평탄면 에 는 가스 토출 구멍 ( 35 ) 이 형성 되 어 있 다 .