본원 에 기술 된 방법 의 일 구체 예 에서 , 플 라즈 마 강화 사이 클릭 증착 공정 , 예 를 들 어 , PEALD - 유사 또는 PEALD 가 사용 될 수 있 으며 , 여기 서 , 증착 은 적어도 하나 의 규소 전구체 및 산소 플 라즈 마 공급원 을 사용 하 여 수행 된다 . PEALD - 유사 공정 은 플 라즈 마 강화 사이 클릭 CVD 공정 으로서 규정 되 지만 , 여전히 높 은 콘 포말 한 규소 및 산소 - 함유 막 을 제공 한다 .