상기 장치 는 상기 챔버 내 에 기판 을 반 출입 하 는 반송 로봇 을 더 포함 하 되 , 상기 촬영 대상물 은 상기 반송 로봇 일 수 있 다 . 상기 제어기 는 상기 챔버 내 에 기판 을 반입 되 거나 기판 을 반출 하 도록 반송 중 인 상기 반송 로봇 을 촬영 하 도록 상기 구 동기 를 제어 할 수 있 다 . 상기 제어기 는 상기 카메라 가 상기 챔버 내 에 기판 이 반입 되 는 중 에 기판 을 지지 하 는 상기 반송 로봇 을 촬영 하 고 , 상기 기판 지지 유닛 에 기판 이 놓여 지 면 상기 기판 지지 유닛 에 놓여진 기판 을 촬영 하 도록 상기 구 동기 를 제어 할 수 있 다 . 상기 제어기 는 상기 카메라 가 상기 챔버 내 에서 상기 기판 지지 유닛 에 놓여진 기판 을 인수 하 여 상기 챔버 밖 으로 이동 되 는 상기 반송 로봇 을 촬영 하 도록 상기 구 동기 를 제어 할 수 있 다 .