도 3 a - c 는 내부 인 젝 터 ( 81 ) 의 바람직 한 실시 예 를 도시 하 는데 , 상기 내부 인 젝 터 ( 81 ) 는 비교 적 얇 은 , 평면 모양 의 단일 도관 층 으로 구성 되 며 상기 도관 층 은 인 젝 터 평면 에 놓이 며 3 개 의 선형 의 평행 한 도관 포트 어레이 로 안내 한다 . 내부 인 젝 터 ( 81 ) 는 도 1 a 에 간략 도시 된 내부 인 젝 터 의 비 - 제한 실시 예의 하나 로 간주 될 수 있 다 . 도 3 a 는 이 실시 예의 평면도 를 보여준다 . 내부 인 젝 터 ( 81 ) 는 3 개 의 도관 ( 83 a , 83 b , 및 83 c ) 를 갖 는데 , 이 3 개 의 도관 은 평면 물질 에 밀봉 된 채널 로 형성 되 며 도관 인 렛 으로부터 3 개 의 선형 배열 된 도관 포트 까지 구불구불 한 코스 로 이어진다 . 특히 , 채널 83 a ( 83 b 및 83 c ) 는 도관 인 렛 ( 85 a ) ( 각각 85 b 및 85 c ) 에서 도관 포트 87 a ( 각각 87 b 및 87 ) 까지 선형 배열 로 개스 를 운반 한다 . 상기 도관 의 구불구불 한 코스 는 도관 을 통한 개스 전달 시간 을 늘리 는데 , 이것 은 실질 적 으로 도 5 와 관련 하 여 기술 된 이 발명 의 바람직 한 실시 예 와 관련 하 여 유용 한 특징 이 다 .