구체 적 으로 도면 에 가스 제 공부 ( 130 ) 는 공정 챔버 ( 110 ) 의 상부 와 연결 되 며 다양 한 종류 의 반응 가스 를 공급 하 기 위한 배관 들 ( 미 도시 ) 과 , 상기 배관 들 과 각각 연결 되 며 다양 한 종류 의 가스 들 을 저장 하 기 위한 저장 용기 ( 미 도시 ) 들 과 , 상기 배관 들 에 각각 설치 된 다수 의 밸브 들 및 상기 반응 가스 들 의 공급 유량 을 각각 조절 하 기 위한 유량 제 어부 ( 미 도시 ) 들 을 포함 하 는 구성 을 갖 는다 . 특히 , 상기 가스 제 공부 ( 130 ) 는 상기 기판 의 중심 부위 에 증착 가스 를 균일 하 게 공급 하 기 위해서 상기 챔버 의 상부 중심부 에 구비 된다 .