도 3 d 를 참조 하 면 , 게이트 절연 패턴 ( 123 ) 및 게이트 도전 패턴 ( 125 ) 이 게이트 도전 막 ( 124 ) 및 게이트 절 연막 ( 122 ) 을 패 터닝 하 여 형성 될 수 있 다 . 게이트 절연 패턴 ( 123 ) 및 게이트 도전 패턴 ( 125 ) 은 활성 패턴 ( 110 ) 의 측벽 상 에 차례 로 형성 될 수 있 다 . 게이트 절연 패턴 ( 123 ) 및 게이트 도전 패턴 ( 125 ) 은 절 연막 ( 120 ) 의 상면 일부 를 덮 을 수 있 다 . 게이트 절연 패턴 ( 123 ) 및 게이트 도전 패턴 ( 125 ) 은 절 연막 ( 120 ) 의 상면 일부 , 제 1 소오 스 / 드레 인 영역 ( SD 1 ) 이 도핑 된 활성 패턴 ( 110 ) 의 상부 측벽 , 오 믹 콘 택 패턴 ( 112 ) 의 측벽 , 및 마스크 패턴 ( 114 ) 의 측벽 을 노출 시킬 수 있 다 .