위 의 ' 단위 사이클 2 ' 에서 ( Ru 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m 은 ' RuOx 단위 사이클 ' 을 m 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 하 고 , ( Ru 소스 / 퍼지 / W 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 은 ' RuxWyOz ( x , y , z = 자연수 , 이하 ' x , y , z = 자연수 ' 는 생 락 함 ) 단위 사이클 ' 을 n 회의 사이 클수록 반복 진행 하 는 것 을 의미 하 며 , [ ( Ru 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( Ru 소스 / 퍼지 / W 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n ] Q 은 ' W 이 도핑 된 RuOx 단위 사이클 ' 을 Q 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 한다 .