또한 , 지금 까지 의 마이크 로 가스 센서 소자 는 단 열 구조 를 포함 한 기능 요소 들 을 형성 하 는 데 최소한 5 ~ 6 개 이상 , 많 게 는 10 개 이상 의 패턴 마스크 를 사용 하 여 기판 으로 시작 하 여 박막 증착 , 감광막 도포 , 미세 패 터닝 , 박막 식각 의 공정 을 반복 적 으로 수행 하 여 수직 방향 으로 상기 기능 요소 들 을 순차 적 으로 적층 하 여 제작 한다 . 따라서 특히 반도체 공정 에 의한 제작 시 생산 비용 이 많이 들 고 장기간 이 소요 되 며 , 수율 이 떨어지 는 문제점 이 있 다 .