세정 동작 의 종료 시 , 분무 제트 들 로부터 나오 는 액체 가 중단 된다 . 건조 공정 을 더 용이 하 게 하 기 위해 , 회전 가능 차 폐부 들 의 회전 속력 , 및 결과 적 으로 기판 의 속력 이 더 높 은 속력 으로 가속 된다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 기판 이 이소프로필 알코올 ( IPA ) 건조 를 요구 하 거나 그 에 의해 보조 될 수 있 는 응용 들 에 대해 , IPA 증기 와 같 은 용매 가 또한 고순 도 가스 와 함께 도입 될 수 있 다 .