정 전척 장치 ( 23 ) 의 급전 단자 부 ( 32 ) 를 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 의 상면 에 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 의 외측 에 , 즉 , 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 을 관통 하 지 않 도록 설치 하 면서 도 , 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 의 X 방향 또는 Y 방향 으로 의 길이 가 길 어 지 는 것 을 방지 하 기 위해 , 도 4 ( c ) 에 도시 한 바 와 같이 , 급전 단자 부 ( 32 ) 의 형상 을 구부러진 형상 으로 할 수 도 있 다 ( 제 4 실시 형태 ) . 다만 , 이 경우 , 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 의 상면 중 자력 인가 수단 ( 24 ) 에 의해 덮이 는 영역 내 에 급전 단자 부 ( 32 ) 가 배치 되 므로 , 자력 인가 수단 ( 24 ) 이 정 전척 플레이트 부 ( 31 ) 에 충분히 근접 할 수 있 도록 급전 단자 부 ( 32 ) 의 두께 를 조절 하 여도 되 고 , 급전 단자 부 ( 32 ) 의 두께 감소 로 인한 저항 증가 를 방지 하 기 위해 , 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 의 상면 의 일부 를 깎 아 내 고 그 위 에 급전 단자 부 ( 32 ) 를 설치 할 수 도 있 다 .