단계 ( 105 ) 중 에 , 기판 은 , 예 를 들 어 기판 히터 및 / 또는 복사 방식 또는 다른 히터 를 사용 해서 원 하 는 온도 로 가져다 놓 을 수 있 다 . 단계 ( 110 내지 130 또는 110 내지 140 ) 중 의 온도 는 약 100 ℃ 내지 약 550 ℃ 또는 약 250 ℃ 내지 약 450 ℃ 의 범위 일 수 있 다 . 이러 한 단계 중 의 반응 챔버 내 압력 은 약 1 토르 내지 약 9 토르 , 또는 약 3 토르 내지 약 7 토르 일 수 있 다 .