한 양태 에서 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 은 , 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 가 단부 및 측면 기판 이송 개구 의 각각 ( 260 A , 260 B , 270 A 1 - 270 A 6 , 270 B 1 - 270 B 6 ) 에 공통 되 도록 , 단부 및 측면 기판 이송 개구 ( 260 A , 260 B , 270 A 1 - 270 A 6 , 270 B 1 - 270 B 6 ) 를 통해 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 안팎 으로 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 의 적어도 하나 의 기판 홀더 ( 250 EH ) 에 의해 홀딩 되 는 기판 을 이송 하 도록 관절 식 연결 된다 ( 도 17 , 블록 1730 ) . 한 양태 에서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 가 활동 성 인 경우 에 , 아암 의 관절 식 연결 은 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 연장 에 의존 하 여 방향 ( 296 ) 으로 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 를 이동 시키 는 것 을 포함 한다 .