도 12 는 샤워 헤드 부 ( 93 ) 의 하면 의 일례 를 도시 한 평면도 이 다 . 도 12 에 도시 된 바 와 같이 , 하방 돌 출면 ( 93 c ) 은 부채형 의 샤워 헤드 부 ( 93 ) 의 하 면 ( 93 b ) 의 외주 를 따르 도록 , 띠 상 으로 설치 되 어도 된다 . 이 에 의해 , 주위 방향 으로 균일 하 게 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 의 외주 측 의 압력 의 저하 를 방지 할 수 있 다 . 또한 , 가스 토출 구멍 ( 93 a ) 은 샤워 헤드 부 ( 93 ) 의 하 면 ( 93 b ) 의 주위 방향 의 중앙 에 , 반경 방향 으로 연장 되 도록 형성 되 어도 된다 . 이 에 의해 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 중심 측 으로부터 외주 측 으로 분산 시켜 염소 가스 를 공급 할 수 있 다 .