표 1 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 상기 비 교예 1 에 비해 실시 예 3 ~ 5 의 경우 기화 되 는 불 산 ( HF ) 의 함량 이 약 5 - 15 % 정도 로 급격히 감소 되 어 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 생 성 효율 이 약 30 % 정도 크 게 향상 된 것 을 알 수 있 다 . 즉 , 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 전해조 의 내부 에서 발생 되 는 열 로 인해 기화 되 어 배출 되 는 불 산 ( HF ) 등 의 전해질 성분 을 전해조 상판 냉각 시스템 을 통해 보다 미세 하 게 제 어 또는 억제 함 으로서 반응 성 이 크 게 향상 됨 을 확인 할 수 있 다 .