제 2 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 에 있 어서 의 결정 구조 기인 의 복굴절 에 의해 형성 되 는 동공 내 리타 단스 분포 를 도 9 a 및 9 b 에 나타낸다 . 도 9 a 는 , 도 8 에 나타낸 제 2 물체 면 ( IMG ) 위 의 Y = 6 . 0 mm , X = 0 . 0 ( 슬릿 중심 에 대응 ) 의 상고 에서 의 동공 내 리타 단스 분포 를 나타낸다 . 도 9 b 는 , 도 5 에 나타낸 제 2 물체 면 ( IMG ) 위 의 Y = 6 . 0 mm , X = 13 mm ( 슬릿 에지 에 해당 ) 의 상고 에서 의 동공 내 리타 단스 분포 를 나타낸다 . 도 9 a 및 9 b 을 참조 하 면 , 동공 내 리타 단스 의 평균치 에 대한 RMS 는 , 슬릿 중심 에서 40 . 6 m λ , 슬릿 에지 에서 43 . 4 m λ 로 보정 되 어 있 다 .