일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 의 일단 이 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 에 연결 되 고 , 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 를 개재 하 여 상기 연접 점 ( 37 ) 에 연결 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 의 타단 이 상기 중공 공간 ( 31 ) 내 의 압력 보다 낮 은 압력 의 공간 에 연통 된다 . 예 를 들 어 , 외부 환경 또는 부압 ( 負壓 ) 의 공간 으로 할 수 있 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 않 는다 . 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 가 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 에 연결 되 는 위치 는 특별히 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 이 들 2 개 는 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 가 상기 연 접점 ( 37 ) 에 연결 되 어 있 는 단부 에 인접 하 는 일단 에서 연결 되 어도 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 제 1 밸브 ( 364 ) 와 상기 제 2 밸브 ( 365 ) 는 동시 에 개방 되 지 않 는다 .