이어서 , 완충 막 ( 103 ) 상 에 하드 마스크 ( 104 ) ( 이하 , 제 1 하드 마스크 라 함 ) 를 형성 한다 . 이때 , 제 1 하드 마스크 ( 104 ) 는 질화 막 , 예컨대 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) 으로 형성 한다 . 이러 한 제 1 하드 마스크 ( 104 ) 는 300 ~ 700 Å 정도 의 두께 로 형성 할 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 하드 마스크 ( 104 ) 는 700 ~ 800 ℃, 바람직 하 게 는 760 ℃ 의 온도 , 0 . 3 ~ 0 . 4 Torr , 바람직 하 게 는 0 . 35 Torr 에서 , 질소 ( N 2 ) 유량 을 40 ~ 60 cc , 바람직 하 게 는 50 cc 로 하 고 , DCS ( Diclorosilane , SiCl 2 H 2 ) 유량 을 800 ~ 1000 cc , 바람직 하 게 는 900 cc 로 하 며 , 암모니아 ( NH 3 ) 유량 을 800 ~ 1000 cc , 바람직 하 게 는 900 cc 로 제어 하 여 형성 한다 .