한편 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 리프트 핀 구조 체 는 , 기판 을 지지 하 는 리프트 핀 , 상기 리프트 핀 의 하부 에 제공 되 는 탄성 부재 , 상기 탄성 부재 에 연결 되 어 상기 리프트 핀 에 가해 지 는 압력 을 측정 하 는 압력 측정 부재 및 상기 압력 측정 부재 에서 측정 된 압력 을 이용 하 여 상기 기판 의 디 척 킹 동작 의 실패 여부 를 판단 하 는 제어 부재 를 포함 한다 .