상기 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 성장 단계 ( S 620 ) 는 금속 유기 화학 기상 증착 공정 이 진행 되 는 챔버 내부 압력 이 200 ~ 400 torr 이 고 , 챔버 내부 온도 는 950 ~ 1150 ℃ 이 며 , 기판 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 700 ~ 800 RPM 으로 10 ~ 20 분 간 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 을 성장 시킨다 . 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 성장 단계 ( S 620 ) 는 챔버 에서 수행 되 는 금속 유기 화학 기상 증착 법 을 통해 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 을 성장 시킨다 .