본 실시 예 에서 수행 되 는 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 는 평균 입자 크기 가 대략 50 nm ~ 500 nm 정도 의 비교 적 작 은 연마 입자 들 이 포함 된 슬러리 가 사용 된다 . 이러 한 연마 입자 들 은 실리카 또는 알루미나 로 이루어질 수 있 으며 , 대략 pH 2 . 5 ~ 11 을 가질 수 있 다 . 그리고 , 전술 한 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에서 와 마찬가지 로 , 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 사용 되 는 연마 패드 ( 151 ) 는 상기 희생 층 ( 125 ) 의 표면 에 대략 5 kPa ~ 45 kPa 정도 의 압력 을 가하 면서 회전 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 연마 패드 ( 151 ) 의 표면 경도 는 쇼어 D 경도 ( shore D hardness ) 로 대략 70 이하 가 될 수 있 다 . 이러 한 연마 패드 ( 151 ) 는 예 를 들 면 직물 ( textile ) 또는 고무 ( rubber ) 로 이루어질 수 있 다 . 한편 , 슬러리 는 예 를 들 면 대략 분당 5 ~ 100 cc 정도 로 공급 될 수 있 으며 , 캐리어 ( 도 12 a 및 도 12 b 의 62 ) 및 플 래 튼 ( 52 ) 의 회전 속도 는 예 를 들 면 대략 10 ~ 200 rpm 이 될 수 있 다 . 그러나 , 상기 슬러리 의 공급 속도 와 캐리어 ( 62 ) 및 플 래 튼 ( 52 ) 의 회전 속도 는 다양 하 게 변화 시킬 수 있 다 .