또한 , 본 발명 의 에칭 제 조 제액 을 사용 하 면 , 이것 과 과산화수소 를 포함 하 여 이루어지 는 용액 을 사용 시 에 적절히 혼합 하 여 에칭 제 로 사용 할 수 가 있 기 때문 에 , 예 를 들 면 , 과산화수소 의 분해 에 의한 에칭 제 성능 의 저하 를 억제 할 수 있 는 , 염기 성 화합물 ( 알칼리 화합물 ) 과 공존 시키 는 것 에 의한 과산화수소 의 불 안정 성 을 회피 할 수 있 는 , 과산화수소 와 상기 에칭 조 제액 을 임의 의 비율 로 혼합 할 수 있 기 때문 에 , 예 를 들 면 , Ti 계 금속 막 또는 W 계 금속 막 의 에칭 속도 를 적절히 조정 가능 하 다는 등 의 이점 을 가진다 .