그리고 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 이 거리 와 , 거리 산 출부 ( 63 ) 에 의해 산출 된 중심 간 거리 ( r ) 에 기초 하 여 , X 축 이동 기구 ( 51 ) 에 의해 , 마이크 로 카메라 ( 33 ) 를 , X 축 방향 을 따라 이동 시켜 , 유지 테이블 ( 11 ) 의 회전 각도 에 따른 촬상 위치 에 배치 한다 . 이 촬상 위치 는 , 마이크 로 카메라 ( 33 ) 의 촬상 범위 를 웨이퍼 ( W ) 의 외주 상 에 배치 하 기 위한 , 마이크 로 카메라 ( 33 ) 의 X 축 방향 에서 의 위치 이 다 .