따라서 , 프로브 침 ( 13 ) 이 접속 된 전극 단자 ( 15 ) 는 회로 기판 ( 14 ) 의 표층 또는 내 층 에 형성 된 배선 을 통하 여 전극 단자 ( 16 ) 에 접속 되 고 , 해당 전극 단자 ( 16 ) 는 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 전극 단자 ( 17 ) 에 접속 되 고 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 표층 또는 내 층 에 형성 된 배선 을 통하 여 , 후술 하 는 핀 접속 단자 부 ( 18 ) ( 도 1 참조 ) 와 전기 적 으로 접속 된다 .