도 4 는 도 3 의 반송 로봇 의 핸드 의 일 예 를 보여 주 는 도면 이 다 . 도 4 를 참조 하 면 , 핸드 ( 3420 ) 는 베이스 ( 3428 ) 및 지지 돌기 ( 3429 ) 를 가진다 . 베이스 ( 3428 ) 는 원주 의 일부 가 절곡 된 환형 의 링 형상 을 가질 수 있 다 . 베이스 ( 3428 ) 는 기판 ( W ) 의 직경 보다 큰 내경 을 가진다 . 지지 돌기 ( 3429 ) 는 베이스 ( 3428 ) 로부터 그 내측 으로 연장 된다 . 지지 돌기 ( 3429 ) 는 복수 개 가 제공 되 며 , 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 을 지지 한다 . 일 예 에 의하 며 , 지지 돌기 ( 3429 ) 는 등 간격 으로 4 개 가 제공 될 수 있 다 .