상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 특징 에 따르 면 , 본 발명 은 , 파우더 형태 의 다이 머 페럴 린 을 기화 시키 되 , 기화 된 다이 머 페럴 린이 배출 되 는 제 1 배출관 및 제 2 배출관 이 설치 된 기화 부 ; 상기 기화 부 로부터 유입 된 다이 머 페럴 린 기체 를 가열 하 여 모노머 페럴 린 으로 변환 시키 되 , 일 측 이 상기 제 1 배출관 과 연결 되 고 타 측 이 제 1 이 송관 과 연결 된 제 1 분 해 챔버 와 , 일 측 이 상기 제 2 배출관 과 연결 되 고 타 측 이 제 2 이 송관 과 연결 된 제 2 분 해 챔버 를 포함 하 는 분 해부 ; 상기 분 해부 로부터 공급 받 은 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 통해 폴리머 필름 막 을 형성 하 는 증착 챔버 ; 상기 분 해부 또는 증착 챔버 로부터 이송 된 페럴 린 부산물 을 응축 시키 는 콜드 트랩 ; 상기 콜드 트랩 과 연결 되 되 상기 기화 부 , 분 해부 , 증착 챔버 및 콜드 트랩 의 진공 을 유지 하 도록 제어 하 는 진공 펌프 ; 를 포함 하 여 이루어진다 .