바람직 하 게 는 , 예컨대 수소 - 산소 화염 또는 아니면 일산 화 탄소 - 산소 화염 내 특정 된 바 의 유기 규소 화합물 과 탄화수소 의 임의 의 소정 의 휘발 성 또는 분무 성 혼합물 또는 탄화수소 와 의 혼합물 에 포함 되 는 , 규소 - 할로겐 화합물 또는 유기 규소 화합물 로부터 , 예컨대 사염화규소 또는 메틸 디 클로로 실란 , 또는 히 드로 트리 클로 로 실란 또는 히 드로 메틸 디 클로로 실란 , 또는 다른 메틸 클로로 실란 또는 알킬 클로로 실란 으로부터 의 화염 반응 으로 제조 된 흄 드 실리카 가 특히 바람직 하 다 . 실리카 는 예컨대 정제 단계 에서 물 을 첨가 하 여 또는 물 의 첨가 없이 제조 할 수 있 으며 ; 물 을 첨가 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .