상기 제 1 챔버 ( 4 ) 는 로딩 부 ( 2 ) 로부터 테스트 트레이 ( T ) 를 이송 받 아 테스트 트레이 ( T ) 에 장착 된 반도체 소자 를 테스트 조건 에 상응 하 는 온도 로 조절 하 는 구성 으로서 , 테스트 조건 에 따라 예열 챔버 또는 냉각 챔버 가 사용 될 수 있 고 , 그 내부 에서 테스트 트레이 ( T ) 를 수직 상태 로 1 스탭 씩 이동 시키 면서 테스트 조건 에 상응 하 는 온도 로 조절 한다 .