웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 + X 측 의 - Y 단부 에 는 , 도 2 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 다른 부분 보다 돌출 된 판 모양 처마 부 ( eave section ) ( 23 a ) 가 설치 되 어 있 다 . 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 은 , 웨이퍼 ( W 1 ) 및 처마 부 ( 23 a ) 를 포함 하 여 , 전체 면 이 실질 적 으로 동일 면 으로 되 어 있 다 .