한편 , 본 발명 은 전술 한 플럭스 핀 ( 100 ) 이 사용 되 는 플럭스 카트리지 를 제공 한다 . 다시 말 하 면 , 도 2 에 도시 된 플럭스 카트리지 ( 10 ) 에 실시 형태 로 예시 된 플럭스 핀 ( 100 ) 이 적용 될 수 도 있 고 , 패턴 ( 21 ) 의 유닛 ( 22 ) 이나 블럭 ( 23 ) 별로 구분 하 여 별도 의 가압 부재 를 이용 하 여 스프링 의 탄성력 을 플럭스 핀 ( 100 ) 에 전달 하 는 형태 의 플럭스 카트리지 ( 미 도시 ) 에 도 플럭스 파지 효과 가 우수 한 상기 플럭스 핀 ( 100 ) 이 적용 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 웨이퍼 나 기판 의 패턴 이 보다 작 은 직경 으로 보다 촘촘 하 게 형성 됨 에 따라 플럭스 핀 의 직경 도 미세 하 게 작 게 형성 할 수 밖 에 없 는 경우 에 도 높 은 휨 강성 을 확보 할 수 있 으며 , 보다 간단 한 공정 으로 플럭스 핀 을 제조 할 수 있 고 , 상대 적 으로 거친 표면 거칠 기 로 가공 됨 에 따라 플럭스 의 표면 장력 에 따른 응집 효과 를 극대 화 하 여 플럭스 핀 의 끝단 에 묻혀 지 는 플럭스 의 양 을 극대 화 시킬 수 있 는 플럭스 카트리지 를 구현 한다 .