그러나 특허 문헌 1 에 개시 되 어 있 는 시트 플 라즈 마 성막 장치 에서 는 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 을 글라스 등 의 절연 재료 로 형성 한 경우 , 영구 자석 ( 54 b ) 의 자장 에 의해 , 성형 된 시트 플 라즈 마의 일부 가 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 의 내벽 방향 으로 흡인 되 어 확대 되 고 ( 이 부분 을 모서리 ( 71 ) 이 라고 함 ) , 플라 즈 마 밀도 가 감소 하 고 스퍼터 효율 이 악화 되 는 문제 가 있 었 다 . 또한 모서리 ( 71 ) 근처 의 플 라즈 마가 시트 플라 즈 마 성형 실 ( 52 ) 의 내벽 에 충돌 하 면 플 라즈 마 가 갖 는 에너지 의 열 ( 熱 ) 영향 에 의해 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 의 손상 이 발생 하 는 문제 가 있 었 다 .