이 와 같이 , 적 게 해리 된 전구체 는 흡착 계수 가 커서 , " 도 7 의 시스 영역 ( S ) 에 있 어 C 3 F 4 의 거동 인 왼쪽 에서 오른쪽 으로 의 화살표 ""→"" 로 나타내 는 바 와 같이 ", 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 홀 개구 의 상부 ( 측면 ) 에 부착 되 기 쉽 다 . 따라서 , 적 게 해리 된 전구체 는 , 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 측면 에서 소비 되 므로 , 폴리머 ( 105 ) 를 형성 하 여 산화 실리콘 층 ( 140 ) 에 형성 된 홀 ( H ) 의 저면 이나 측면 에 까지 도달 하 기 가 어렵 다 . 한편 , 마스크 층 ( 100 ) 은 , 도 8 a 및 도 8 b 에 나타내 는 바 와 같이 , 산화 실리콘 층 ( 140 ) 상 에 존재 하 는데 , 유기 막 일 수 도 있 으며 다른 재질 일 수 도 있 다 .