증착 원 개구 ( 61 ) 의 X 축 방향 피치 P , 개구 형상 , 개구 직경 Dn , 증착 입자 의 최대 출사 각도 φ ( 도 8 참조 ) 는 실시 예 1 과 동일 하 게 하 였 다 . 실시 예 1 과 달리 , 증착 원 개구 ( 61 ) 와 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 위치 를 동일 하 게 하 였 다 . 증착 원 개구 ( 61 ) 의 상단 부 로부터 제어판 ( 80 ) 의 하단 부 까지 의 Z 축 방향 간격 Lz 는 20 ㎜ 로 하 였 다 .