본 발명 의 일 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 지지 유닛 은 , 상기 관통 홀 들 로 에어 를 공급 하 여 상기 기판 이 상기 척 의 상부 면 이나 상기 리프트 핀 들 로부터 부상 시키 는 에어 제 공부 와 , 상기 척 의 외측 상방 에 배치 되 며 , 상기 부상 된 상기 기판 을 상기 X 축 방향 및 상기 Y 축 방향 으로 밀 어 상기 기판 을 정렬 하 기 위한 얼라 이너 들 및 상기 척 의 상방 에 배치 되 며 , 상기 기판 의 정렬 상태 를 확인 하 기 위한 기판 카메라 를 더 포함 할 수 있 다 .