도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 현상 장치 ( 2 ) 는 , 세 정수 ( 24 ) 를 하방 으로 분사 가능 한 세 정수 분사 노즐 ( 25 ) 을 구비 하 고 있 다 . 세 정수 ( 24 ) ( 예컨대 , 순수 ) 를 송출 하 는 세 정수 공급원 ( 28 ) 에 연통 하 는 세 정수 분사 노즐 ( 25 ) 은 , 선단 부분 에 형성 된 분사구 ( 250 ) 가 유지 테이블 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 a ) 을 향하 여 개구 하 고 있 다 . 세 정수 분사 노즐 ( 25 ) 은 , 예컨대 , 유지 테이블 ( 20 ) 의 상방 으로부터 유지 테이블 ( 20 ) 보다 외측 의 후퇴 위치 까지 이동 가능 하 게 되 어 있 다 .