이 구성 에 따르 면 , 발신 용 안테나 와 수신 용 안테나 의 사이 에 형성 된 고주파 전송로 는 , 도전 성막 의 연마 가 진행 되 어 , 표피 깊이 로 정의 되 는 극히 얇 은 막 두께 에 달한 이후 의 막 두께 의 변화 에 따라 그 특성 임피던스 가 변화 한다 . 이 변화 를 이용 함 으로써 , 도전 성막 의 연마 제거 의 종료 점 및 연마 제거 의 종료 시점 에 대응 한 시점 이 검출 된다 .