전기 전도성 층 ( 146 , 246 ) , ( 포함 되 는 경우 에 ) 선택 적 차단 유전체 층 의 인접 부분 , 및 각자 의 유전체 분리 영역 ( 150 , 250 ) 에 위치 된 적어도 하나 의 유전체 재료 플레이트 ( 142 ', 242 ') 의 각각 의 인접 조합 이 이웃 쌍 의 후면 트렌치 들 ( 79 ) 사이 에 위치 되 는 멀티 파트 층 {( 146 , 142 ') 또는 ( 246 , 242 ')} 을 구성 한다 . 복수 의 교번 스택 들 ( 132 , 142 , 232 , 242 ) 내 의 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 은 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 을 전기 전도성 층 들 ( 146 , 246 ) 로 부분 적 으로 대체 함 으로써 멀티 파트 층 들 {( 146 , 142 ') 또는 ( 246 , 242 ')} 로 대체 된다 . 각각 의 유전체 재료 플레이트 ( 142 ', 242 ') 는 각자 의 희생 재료 층 ( 142 , 242 ) 의 나머지 부분 이 다 . 각각 의 멀티 파트 층 은 , 각자 의 전기 전도성 층 ( 146 , 246 ) 에 의해 측 방향 으로 둘러싸이 고 균일 한 측 방향 오프셋 거리 ( lateral offset distance , LOD ) 만큼 후면 트렌치 들 ( 79 ) 중 가장 근위 의 후면 트렌치 로부터 측 방향 으로 이격 되 는 적어도 하나 의 유전체 재료 플레이트 ( 142 ', 242 ') 를 포함 한다 .