본 발명 에 관한 연마 용 조성물 은 , 염기 성 화합물 을 포함 한다 . 여기 서 염기 성 화합물 이란 , 연마 용 조성물 에 첨가 됨 으로써 해당 조성물 의 pH 를 상승 시키 는 기능 을 갖 는 화합물 을 가리킨다 . 염기 성 화합물 은 , 연마 대상 이 되 는 면 을 화학 적 으로 연마 하 는 작용 을 하 여 , 연마 속도 의 향상 에 기여 할 수 있 다 . 또한 , 염기 성 화합물 은 , 연마 용 조성물 의 분산 안정 성 의 향상 에 도움 이 될 수 있 다 .