성분 ( A ) 와 성분 ( C ) 의 질량비 ( 성분 ( C ) 의 질량 / 성분 ( A ) 의 질량 ) 는 , 반도체 디바이스 용 기판 의 오염 의 제거 성 과 Co 계 배선 또는 Co 계 전극 의 부식 의 억제 의 관점 에서 , 바람직 하 게 는 0 ∼ 10 이고 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 01 ∼ 5 이 며 , 특히 바람직 하 게 는 0 . 1 ∼ 3 이 다 .