여기 서 , 크라이 오 펌프 ( 50 ) 의 진공 용기 ( 54 ) 내부 에 는 배 플 어레이 ( 51 ) , 콜드 헤드 어레이 ( 52 ) 및 챠 콜 실린더 ( 53 ) 가 형성 되 는데 , 이때 , 배 플 어레이 ( 51 ) 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따라 배기관 ( 60 ) 을 통해 전달 되 는 가스 에 대응 하 도록 12 인치 의 직경 을 갖 는다 .