상부 플 라즈 마 챔버 는 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 내 의 가스 들 이 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 배출 되 는 배출 채널 ( 125 ) 을 포함 하 도록 정의 된다 . 배출 채널 ( 125 ) 은 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 의 방사상 주변 부 외부 및 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 방사상 주변 부 외부 에 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 을 둘러싸 도록 정의 된다 . 이 구성 에서 , 배출 채널 ( 125 ) 은 상부 플 라즈 마 챔버 의 아 우터 구조 부재 ( 104 ) 의 하 부면 과 하부 플 라즈 마 챔버 의 가스 분배 유닛 ( 115 ) 및 아 우터 구조 부재 ( 106 ) 양쪽 모두 의 상부 면 들 사이 에 방사상 방향 으로 연장 한다 .