분사 부재 ( 40 ) 는 분사 노즐 ( 42 ) , 공급 라인 ( 44 ) , 그리고 공급 탱크 ( 46 ) 를 포함 한다 . 분사 노즐 ( 42 ) 은 공정 챔버 ( 10 ) 의 통로 ( 122 ) 에 인접 하 도록 설치 되 며 , 연직 하방 을 향하 여 차단 가스 를 분사 한다 . 분사 된 차단 가스 는 통로 ( 122 ) 근처 에 차 단막 을 제공 하 며 , 차 단막 은 공정 챔버 ( 10 ) 의 내부 로 이 물질 이 유입 되 는 것 을 방지 한다 . 공급 라인 ( 44 ) 은 공급 탱크 ( 46 ) 과 분사 노즐 ( 42 ) 을 연결 하 며 , 공급 탱크 ( 46 ) 에 저장 된 차단 가스 를 분사 노즐 ( 42 ) 에 공급 한다 . 차단 가스 는 질소 ( N 2 ) 를 포함 하 는 비활성 가스 인 것 이 바람직 하 다 .