또한 , 상기 한 실시 형태 에서 는 , 상기 반 본체 ( 1 ) 의 전반부 에 , 밀폐 커버 ( 3 ) 에 의하 여 고압 기기실 ( 4 ) 을 상하 2 단 으로 배치 하 여 구성 하 였으나 , 1 단 또는 3 단 으로 하 는 것 도 가능 하 다 . 또 , 저압 제어 실 ( 5 ) 을 고압 기기실 ( 4 ) 의 위쪽 측 에 설치 하 는 것 도 가능 하 다 . 또 , 상기 한 실시 형태 에서 는 , 제 3 흡배기 구 ( 13 ) , 제 3 필터 ( 14 ) 및 제 4 흡배기 구 ( 15 ) , 제 4 필터 ( 16 ) 를 , 고압 기기실 ( 4 ) 내 의 상부 에 설치 하 였으나 , 그 아래쪽 에 설치 하 는 것 도 가능 하 다 .