기판 가열 유닛 은 가열 플레이트 , 제 1 지지 부재 , 구동 부 , 베이스 플레이트 , 제 2 지지 부재 및 축 을 포함 한다 . 가열 플레이트 는 기판 을 지지 하 며 가열 한다 . 제 1 지지 부재 는 가열 플레이트 의 하 부면 을 지지 한다 . 구동 부 는 제 1 지지 부재 와 연결 되 며 , 제 1 지지 부재 를 승강 시킨다 . 베이스 플레이트 는 구동 부 의 하 부면 을 지지 한다 . 제 2 지지 부재 는 제 1 지지 부재 로부터 베이스 플레이트 와 평행 한 방향 으로 연장 되 며 관통 홀 을 갖 는다 . 축 은 베이스 플레이트 의 상부 면 에 베이스 플레이트 의 수직 상방 으로 관통 홀 을 지나 도록 구비 되 며 , 구동 부 의 구동 에 따라 승강 하 는 제 2 지지 부재 를 가이드 한다 .