이때 , 제 1 차 식각 공정 에 는 레이저 ( laser ) 식각 방법 , 플 라즈 마 ( plasma ) 식각 방법 , 이방성 건식 식각 방법 또는 마스크 ( 또는 스 페이서 , spacer ) 를 이용 하 여 식각 하 는 방법 등 이 이용 될 수 있 다 . 또한 , 제 1 차 식각 공정 이 완료 되 면 산화 막 ( 430 ) 이 도 4 b 에 도시 된 바 와 같이 제거 될 수 있 다 .