도 4 의 실시 예 에서 와 같이 , 전력 분배 기 ( 70 ) ( 감쇠기 들 ( 41 , 43 ) 을 포함 하 는 ) 는 , 존재 한다면 , 전극 의 제 2 절반 부 ( 62 ) 상 에 RF 구동 포인트 들 ( 도 5 의 실시 예 에서 , 제 2 RF 구동 포인트 ( 53 ) ) 에 결합 되 는 RF 전력 레벨 을 초과 하 는 , 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 상 의 하나 이상 의 RF 구동 포인트 들 ( 도 5 의 실시 예 에서 , 제 1 RF 구동 포인트 ( 51 ) ) 에 RF 전력 레벨 을 공급 한다 . 도 4 의 실시 예 에서 와 같이 , 제 1 및 제 2 절반 부들 ( 61 , 62 ) 은 각각 워크 피스 통로 ( 12 ) 에 가까운 전극 및 먼 전극 ( 20 - 28 ) 의 절반 부들 을 나타낸다 .