상기 목적 을 달성 하 기 위해서 , 본 발명 은 유리 기판 을 바로 위 에 탑재 해서 반송 하 는 복수 의 반송 롤러 를 내부 에 갖 는 열처리 실 이 상기 유리 기판 의 반송 방향 을 따라서 복수 연결 되 어 있 고 , 반송 되 는 유리 기판 의 상면 에 형성 되 어 있 는 열처리 대상물 을 열처리 하 는 열처리 장치 에 있 어서 , 상기 반송 롤러 로서 상기 열처리 온도 범위 내 에서 온도 상승 에 따라 비커스 경도 가 커지 는 제 1 반송 롤러 와 온도 상승 에 따라 비커스 경도 가 작아지 는 제 2 반송 롤러 가 사용 되 고 , 상기 유리 기판 을 열처리 하 는 온도 설정 이 되 는 각 열처리 실 에 그 설정 온도 에서 의 상기 유리 기판 의 비커스 경도 와 의 경도차 가 보다 작아지 도록 , 상기 제 1 반송 롤러 또는 상기 제 2 반송 롤러 중 어느 하나 가 선택 되 어 배열 되 어 있 는 것 을 특징 으로 한다 . 이것 에 의하 면 , 각 열처리 실 의 설정 온도 ( 분위기 온도 ) 와 유리 기판 에 대한 경도차 의 관계 을 이용 하 여 롤러 를 선정 하 므로 , 유리 기판 에 발생 하 는 스크래치 등 의 기계 적 손상 의 억제 가 가능 해진다 .