레티 클 스테이지 ( RST ) 의 XY 평면 ( 이동면 ) 내 의 위치 정보 ( θ z 방향 의 회전 정보 를 포함 한다 ) 는 , 도 1 에 나타낸 , 이동경 ( 15 ; 실제로 는 , Y 축 방향 에 직교 하 는 반사면 을 갖 는 Y 이동경 ( 혹은 , 레트 로 리플렉터 ) 과 X 축 방향 에 직교 하 는 반사면 을 갖 는 X 이동경 이 형성 되 어 있 다 ) 에 측장 ( 測長 ) 빔 을 조사 하 는 레티 클 레이저 간섭계 ( 이하 , 「 레티 클 간섭계 」 라고 한다 ; 16 ) 에 의해 예 를 들 어 0 . 25 ㎚ 정도 의 분해능 으로 항상 검출 된다 .