연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 은 기부 플레이트 ( 65 ) 상 에 제공 된 X - 축 이동 기구 와 Y - 축 이동 기구 에 설치 된다 . X - 축 이동 기구 는 보유 스테이지 ( 4 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 중심 과 노치 부분 을 연결 하 는 선 에 수직 인 방향 으로 연장 하 는 X - 축 레일 ( 106 ) 과 , X - 축 레일 ( 106 ) 에 활주 가능 하 게 부착 된 X - 축 안 내부 ( 108 ) 를 포함 한다 . Y - 축 이동 기구 는 X - 축 레일 ( 106 ) 에 수직 인 방향 으로 연장 하 는 Y - 축 레일 ( 107 ) 과 , Y - 축 레일 ( 107 ) 에 활주 가능 하 게 부착 된 y - 축 안 내부 ( 109 ) 를 포함 한다 . X - 축 레일 ( 106 ) 은 기부 플레이트 ( 65 ) 에 고정 되 고 , X - 축 안 내부 ( 108 ) 는 커플링 플레이트 ( 110 ) 를 거쳐 Y - 축 레일 ( 107 ) 에 커플링 된다 . Y - 축 안 내부 ( 109 ) 는 연마 헤드 ( 70 A ) 에 고정 된다 . X 축 및 Y 축 은 수평 평면 에서 직각 으로 교차 하 는 가상 이동 축 이 다 .