본 발명 의 세정제 조성물 에 있 어서 , 상기 성분 ( A ) 및 ( B ) 에 더 하 여 , 추가 로 성분 ( E ) 로서 계면 활성제 를 함유 해도 된다 . 층간 절 연막 표면 은 소수성 이 기 때문 에 , 물 을 베이스 조성 으로 하 는 세정제 조성물 로 는 세정 이 곤란 한 경우 가 있 다 . 계면 활성제 는 , 소수성 기판 표면 의 친수성 을 향상 시키 는 작용 을 갖 는 것 이 다 . 계면 활성제 를 배합 하 여 기판 표면 과 의 친화성 을 향상 시킴 으로써 , 기판 상 에 존재 하 는 파티클 등 과 의 사이 에 도 세정제 조성물 의 작용 을 미칠 수 있 어 , 잔류물 의 제거 에 공헌 할 수 있 다 .