유지 부 ( 20 ) 는 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 임시 배치 테이블 ( 11 ) 과 마찬가지 로 , 하면 에 평탄 한 유지 면 ( 20 - 1 ) 을 형성 하 는 흡착 부 ( 20 - 2 ) 와 , 흡착 부 ( 20 - 2 ) 를 상면 중앙부 의 오 목부 에 끼워 넣 어 고정 하 는 프레임 ( 20 - 3 ) 을 구비 한다 . 흡착 부 ( 20 - 2 ) 는 , 흡착 부 ( 11 - 2 ) 와 같 은 재료 로 구성 되 고 , 흡착 부 ( 11 - 2 ) 과 마찬가지 로 , 도시 하 지 않 은 진공 흡인 경로 를 통해 도시 하 지 않 은 진공 흡 인원 과 접속 되 어 , 유지 면 ( 20 - 1 ) 전체 에서 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 흡인 유지 한다 .