도 4 i 를 참조 하 면 , 제 2 도 전막 ( 304 ) 의 금속 실리사이드 화 를 위해 제 2 도 전막 ( 304 ) 상부 에 금속 막 ( 308 ) 을 형성 한다 . 금속 막 ( 308 ) 은 코발트 ( Co ) 또는 니켈 ( Ni ) 등 의 금속 으로 이루어질 수 있 다 . 본 발명 에서 는 전술 한 바 와 같 은 이유 로 유전체 막 ( 303 ) 등 이 손상 되 어 제 1 도 전막 ( 302 ) 이 노출 되 는 현상 이 방지 되 므로 , 제 1 도 전막 ( 302 ) 상부 에 는 금속 막 ( 308 ) 이 형성 되 지 않 게 된다 .