예 를 들 어 , 특허 문헌 1 에 는 , 진동체 로 고정자 에 X , Y , Z 3 방향 의 진동 을 여기 시킴 으로써 고정자 에 접촉 하 는 회전자 를 3 방향 으로 이동 시키 는 진동 액추에이터 가 개시 되 어 있 다 . 진동체 는 , Z 방향 의 세로 진동 을 여기 시키 는 제 1 압 전 소자 와 , X - Z 평면 에 있 어서 의 비틀림 진동 을 여기 시키 는 제 2 압 전 소자 와 , Y - Z 평면 에 있 어서 의 비틀림 진동 을 여기 시키 는 제 3 압 전 소자 를 가지 고 있 고 , 이 들 제 1 ∼ 제 3 압 전 소자 에 진동체 의 공진 주파수 에 가까운 단일 주파수 의 교류 전압 을 인가 하 여 각각 의 진동 을 여기 시키 고 있 다 .