여기 서 , 플라 즈 마 발생 부 ( 130 ) 는 챔버 ( 100 ) 의 외측 에 마련 된 코일 ( 131 ) 과 , 상기 코일 ( 131 ) 에 플 라즈 마 전원 을 공급 하 는 제 1 전원 공급 부 ( 132 ) 를 포함 한다 . 제 1 전원 공급 부 ( 132 ) 는 고주파 전원 을 공급 한다 . 그리고 , 코로나 발생 부 ( 140 ) 는 챔버 ( 100 ) 내 에 마련 된 코로나 전극 부 ( 141 ) 와 , 상기 코로나 전극 부 ( 141 ) 에 코로나 발생 용 전원 을 공급 하 는 제 2 전원 공급 부 ( 142 ) 를 포함 한다 . 여기 서 , 제 2 전원 공급 부 ( 142 ) 는 교류 또는 직류 전원 을 공급 한다 . 제 2 전원 공급 부 ( 142 ) 에 공급 되 는 전압 으로 는 5 내지 100 KV 이 고 , 주파수 는 5 내지 100 KHz 인 것 이 바람직 하 다 . 그리고 , 상기 하부 전극 부 ( 110 ) 에 바이어스 전원 또는 접지 전원 을 공급 하 는 제 3 전원 공급 부 ( 150 ) 를 포함 한다 . 제 3 전원 공급 부 는 고주파 전원 또는 접지 전원 을 공급 한다 .