본 발명 의 다른 양태 는 회전식 연마 기구 에 의해 기판 을 회전 하 는 단계 와 , 회전 하 는 기판 상 으로 액체 를 공급 하 는 단계 와 , 회전 하 는 기판 상 으로 액체 를 공급 하 는 단계 중 에 , 제 1 연마 헤드 에 의해 기판 의 주연 부 를 연마 하 도록 연마 테이프 를 기판 의 주연 부 에 대해 가압 하 는 단계 와 , 회전 하 는 기판 상 으로 액체 를 공급 하 는 단계 중 에 , 액체 가 기판 으로 다시 튀 지 않 도록 연마 를 수행 하 지 않 는 제 2 연마 헤드 를 기판 으로부터 이격 되게 유지 하 는 단계 를 포함 하 는 연마 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .