적절 한 플 라즈 마 - 기반 전 - 처리 단계 ( 단계 110 ) 가 에칭 될 제 1 층 의 표면 에 있 는 결함 들 을 없애 는데 사용 될 수 도 있 다 . 에칭 되 는 층 에서 의 표면 결함 들 을 없애 기 위한 전 - 처리 프로세스 의 예 는 , 200 내지 700 볼트 의 바이어스 전압 및 800 내지 2500 와트 의 적용 된 TCP 전력 으로 8 내지 40 mTorr 의 압력 에서 , 50 내지 300 sccm 의 Cl 2 , 100 내지 400 sccm 의 BCl 3 , 0 내지 100 sccm 의 N 2 이 다 .