이때 , 상기 제 1 게이트 구조물 은 순차 적 으로 적층 된 제 1 폴리 실리콘 패턴 ( 120 ) 및 제 1 금속 패턴 ( 130 ) 을 포함 하 는 상기 제 1 게이트 전극 을 포함 할 수 있 으며 , 상기 제 2 게이트 구조물 은 순차 적 으로 적층 된 제 2 폴리 실리콘 패턴 ( 125 ) 및 제 2 금속 패턴 ( 135 ) 을 포함 하 는 제 5 게이트 전극 을 포함 할 수 있 다 .