실시 예 에서 , 작 동기 는 외부 압력 용기 ( 5 b 3 b ) 의 기 저부 에 있 는 것 과 같 은 오목 한 챔버 에 장착 되 는 서보 모터 와 같 은 구동 메커니즘 을 포함 할 수 있 다 . 서보 모터 또는 기어 모터 는 스 크류 , 피스톤 , 또는 랙 과 피니언 과 같 은 기계 적 운동 장치 를 구동 할 수 있 다 . 유도 결합 히터 를 위한 코일 ( 5 f ) 및 커패시터 중 적어도 하나 는 이동 장치 에 의해 이동 될 수 있 으며 , 이동은 이동 구성 요소 가 부착 된 안내 마운트 를 이동 시킴 으로써 달성 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 작 동기 는 외부 압력 용기 ( 5 b 3 a ) 의 외부 에 적어도 부분 적 으로 위치 될 수 있 다 . 작 동기 는 외부 압력 용기 ( 5 b 3 b ) 의 기 저부 의 외부 에 적어도 부분 적 으로 위치 될 수 있 다 . 리프팅 메커니즘 은 공 압 , 유압 , 전자기 , 기계 또는 서보 모터 구동 메커니즘 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 코일 은 스 크류 , 랙 과 피니언 및 피스톤 과 같 은 당업자 에게 공지 된 기계 적 장치 로 이동 될 수 있 다 . 작 동기 는 벨로우즈 내 에 밀봉 될 수 있 는 피스톤 관 통부 를 갖 는 적어도 하나 의 리프트 피스톤 을 포함 할 수 있 으며 , 피스톤 을 수직 으로 이동 시키 는 메커니즘 은 외부 압력 용기 ( 5 b 3 b ) 의 기 저부 외부 와 같 은 압력 용기 ( 5 b 3 a ) 의 외부 에 있 을 수 있 다 . 이러 한 유형 의 예시 적 인 작 동기 는 예시 적 인 셔터 블레이드 벨로우즈 를 포함 하 는 Veeco 시스템 과 같 은 MBE / MOCVD 시스템 의 작 동기 를 포함 한다 . 실시 예 에서 , 작 동기 는 외부 자기장 이 외부 압력 용기 ( 5 b 3 a ) 내부 에서 기계 적 운동 을 야기 할 수 있 는 자기 결합 메커니즘 을 포함 할 수 있 다 . 자기 결합 메커니즘 은 외부 모터 , 외부 영구 자석 또는 전자석 , 내부 영구 자석 또는 전자석 및 기계 적 운동 장치 를 포함 할 수 있 다 . 외부 모터 로 인해 외부 자석 이 회전 할 수 있 다 . 회전 하 는 외부 자석 은 내부 자석 에 결합 되 어 자석 을 회전 시킬 수 있 다 . 내부 자석 은 랙 과 피니언 또는 스 크류 와 같 은 기계 적 이동 장치 에 연결 될 수 있 으며 , 이러 한 회전 으로 인해 장치 는 코일 ( 5 f ) 및 커패시터 중 적어도 하나 를 이동 시킨다 . 작 동기 는 회전 자기장 의 전자 외부 소스 및 내부 자기 커플러 를 포함 할 수 있 다 . 실시 예 에서 , 내부 자석 에 결합 되 는 외부 회전 자기장 은 전자 적 으로 달성 될 수 있 다 . 회전 외부 장 은 고정자 에 의해 생성 될 수 있 으며 , 커플링 은 전기 모터 의 것 과 같 은 내부 회전자 에 연결 될 수 있 다 . 고정자 는 전자 정류 유형 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 기어 톱니 또는 활주 부품 과 같이 서로 기계 적 으로 이동 하 는 작 동기 부품 은 MoS 2 또는 흑연 과 같 은 고온 윤활제 로 윤활 될 수 있 다 .