웨이퍼 가공 설비 는 반도체 등 의 제조 를 위한 웨이퍼 를 증착 , 노광 , 식각 , 세정 등 가공 하 기 위한 것 으로 , 이러 한 웨이퍼 가공 설비 에 는 로드 락 챔버 유닛 ( load lock chamber unit ) , 트랜스퍼 챔버 유닛 ( transfer chamber unit ) , 프로세스 챔버 유닛 ( process chamber unit ) , 이 에프 이 엠 ( EFEM , Equipment front end module ) 등 과 함께 사이드 스토리지 ( side storage ) 가 적용 된다 .