하전 입자선 장치 , 예 를 들 면 주사 전자 현미경 ( SEM ) 은 , 집속 ( 集束 ) 한 전자선 ( 전자 빔 ) 에 의해 나노미터 오더 의 미세 패턴 의 화상 형성 , 측정 , 검사 등 을 가능 하 게 하 는 장치 이 다 . SEM 의 관찰 법 중 하나 로 전위 콘트 라스트 법 이 있 다 . 전위 콘트 라스트 는 , 전자선 조사 의 대전 에 기인 하 는 표면 전위 의 차 를 반영 한 콘트 라스트 이 며 , 주로 반도체 디바이스 의 전기 특성 불량 의 검사 등 에 이용 할 수 있 다 . 전기 특성 불량 을 검사 하 기 위해 , SEM 화상 패턴 의 명도 의 차 를 이용 하 여 불량 개소 를 특정 하 는 것 을 생각 할 수 있 다 . 명도 란 하전 입자선 장치 에서 취득 한 화상 또는 화소 의 밝기 의 정도 를 나타내 는 파라미터 이 다 . 전위 콘트 라스트 에 의한 결함 의 검출 감도 향상 에 는 , 전자선 조사 에 의한 대전 의 축적 과 완화 의 제어 가 중요 하 다 .