양 하우징 ( 11 A , 11 B ) 에 는 , 도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 유로 ( 94 ) 를 통해 진공 장치 ( 95 ) 와 연통 접속 되 어 있 다 . 또한 , 상부 하우징 ( 11 B ) 측 의 유로 ( 94 ) 에 는 , 전자 밸브 ( 96 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 양 하우징 ( 11 A , 11 B ) 에 는 , 대기 개방 용 전자 밸브 ( 97 , 98 ) 를 구비 한 유로 ( 99 ) 가 각각 연통 접속 되 어 있 다 . 또한 , 상부 하우징 ( 11 B ) 에 는 , 일단 감압 된 내압 을 누설 에 의해 조정 하 는 전자 밸브 ( 100 ) 를 구비 한 유로 ( 101 ) 가 연통 접속 되 어 있 다 . 또한 , 이 들 전자 밸브 ( 96 , 97 , 98 , 100 ) 의 개폐 조작 및 진공 장치 ( 95 ) 의 작동 은 , 제 어부 ( 102 ) 에 의해 행해 지 고 있 다 .