상부 주 기둥 ( 41 ) 의 상단 은 , 진공 조 ( 21 ) 에 고정 되 어 있 다 . 따라서 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 반송 롤러 ( 23 ) 상 에 반송 자세 로 얹혀져 , 상부 롤러 ( 45 ) 의 측면 과 접촉 하 는 기판 ( 7 ) 은 상부 롤러 ( 45 ) 에 의지 하 여 , 상부 롤러 ( 45 ) 에 의해 전도 ( 顚倒 ) 되 지 않 도록 지 지 되 어 있 다 .