기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 오프너 ( 13 ) 의 캐리어 ( C ) 에 모든 기판 ( W ) 을 수납 한 후 , 오프너 ( 14 ) 의 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 수납 한다 . 그리고 , 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 오프너 ( 14 ) 의 캐리어 ( C ) 에 모든 기판 ( W ) 을 수납 한 후 , 다시 , 오프너 ( 13 ) 의 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 수납 한다 . 즉 , 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 원칙 적 으로 , 캐리어 ( C ) 단위 로 , 오프너 ( 13 , 14 ) 의 각 캐리어 ( C ) 에 교대 로 기판 ( W ) 을 수납 한다 .