즉 , 대면 적 유리 기판 ( 10 ) ( 예 를 들 어 , 1500 ㎜* 1850 ㎜ 의 6 세대 기판 ) 은 매우 큰 사이즈 를 가지 기 때문 에 , 대면 적 유리 기판 ( 10 ) 을 평평 한 스테이지 ( 100 ) ( 예 를 들 어 , 정반 ) 로부터 들 어 올릴 시 ( 언로 딩시 ) 에 는 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 사이 에 존재 하 는 액상 유체 ( 예 를 들 어 , 세정액 ) 에 의한 표면장력 에 의해 기판 ( 10 ) 을 떼 어 내 기 가 매우 어려울 뿐 만 아니 라 , 불가피 하 게 매우 강한 힘 으로 기판 ( 10 ) 을 떼 어 내 야 하 는데 이 과정 중 에 기판 ( 10 ) 이 손상 될 우려 가 있 다 .