본 출원 의 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 주변 회로 의 복합 구조 체 층 은 정렬 없이 에칭 프로세스 에서 형성 될 수 있 으며 , 따라서 정렬 단계 에서 의 오류 들 이 회피 될 수 있 어서 프로세스 수율 을 개선 할 수 있 고 ; 한편 , 이 는 예약 된 정렬 오류 공간 을 감소 시킬 수 있 으며 , 그럼 으로써 주변 영역 의 폭 을 효과 적 으로 감소 시키 고 좁 은 / 극도 로 - 좁 은 프레임 들 을 형성 할 수 있 다 .