상기 제 1 가스 확산 공간 ( 151 ) 에 저장 된 제 1 가스 는 제 1 노즐 ( 153 ) 을 통하 여 상기 전원 전극 과 접지 전극 사이 에 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 노즐 ( 153 ) 은 상기 접지 전극 ( 120 ) 과 전원 전극 ( 110 ) 사이 에 배치 된 절연체 ( 112 ) 를 관통 하 고 , 상기 제 1 가스 확산 공간 ( 151 ) 까지 연장 될 수 있 다 . 상기 제 1 노즐 들 ( 153 ) 은 제 1 방향 또는 전원 전극 들 이 연장 되 는 방향 으로 정렬 될 수 있 다 .