이때 , 상기 한 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 는 진공 펌프 에 의해 , 예 를 들 어 , 0 . 1 mTorr 이하 의 압력 으로 유지 될 수 있 다 . 따라서 , 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 이탈 된 모노머 로 변환 된 잔류물 ( 22 a ) 은 챔버 ( 10 ) 에 구비 되 는 진공 펌프 에 의해 챔버 ( 10 ) 외부 로 배출 될 수 있 다 .