또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 상면 에 는 , 전술 한 도 8 에 있 어서 의 헤드 군 ( 641 ∼ 645 ) 과 동일 한 배치 로 , 5 개 의 2 차원 헤드 ( 2 D 헤드 ) ( 681 ∼ 685 ) 가 Y 축 방향 으로 소정 간격 으로 배치 되 어 있 다 . 각 2 차원 헤드 로 는 , 예 를 들 어 계측 빔 을 + Z 방향 으로 사출 하 고 , 이 계측 빔 의 2 차원 회절 격자 로부터 의 소정 차수 의 회절 광 을 집광 시키 는 1 쌍 의 X 회절 격자 및 1 쌍 의 Y 회절 격자 ( 고정 스케일 ) 와 , 이 들 1 쌍 의 X 회절 격자 , 및 1 쌍 의 Y 회절 격자 에서 각각 집광 된 회절 광 을 간섭 시키 는 , 투과 형 2 차원 회절 격자 로 이루어지 는 인덱스 스케일 과 , 인덱스 스케일 에서 간섭 된 광 을 검출 하 는 검출기 를 포함 하 여 구성 할 수 있 다 . 즉 , 이른바 3 격자 회절 간섭 방식 의 2 차원 인코더 헤드 를 2 D 헤드 ( 681 ∼ 685 ) 로서 사용 할 수 있 다 . 또한 , 2 D 헤드 대신 에 , X 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 1 차원 헤드 ( X 헤드 ) 와 , Y 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 1 차원 헤드 ( Y 헤드 ) 를 조합 하 여 사용 해도 된다 . 이 경우 , 계측 빔 의 조사 위치 는 , X 헤드 와 Y 헤드 에서 동일 하 지 않 아도 된다 . 또한 본 명세서 중 에서 는 , 상기 X 헤드 와 Y 헤드 의 조합 과 같 은 2 개 의 1 차원 헤드 의 조합 도 포함 하 는 개념 으로서 「 2 차원 헤드 」 라는 용어 를 사용 하 고 있 다 .