전 구체 X - 4 용액 ( 323 . 34 g , 고형분 20 질량 %), 및 메타크릴산 메틸 ( 25 . 15 g ) , 메타크릴산 글 리시 딜 ( GMA ) ( 10 . 18 g ) 의 혼합 용액 을 , 질소 기류 하 , 80 ℃ 로 가열 했 다 . 이것 에 2 , 2 '- 아조 비스 ( 아이 소 뷰티 로 나이트릴 ) ( AIBN , 와코 준야 쿠 고교 ( 주 ) 제 ) ( 0 . 21 g ) 을 첨가 하 고 , 5 시간 교반 했 다 . 그 후 , 실온 까지 냉각 하 고 , 아세톤 으로 희석 했 다 . 다량 의 메탄올 을 이용 하 여 재침전 시킨 후 , 진공 건조 시킴 으로써 , 고분자 화합물 이 얻 어 졌 다 . 얻 어 진 고분자 화합물 을 PGMEA 로 희석 하 고 , 분산제 ( P - 20 ) 의 30 질량 % 용액 을 얻 었 다 .