집광 렌즈 ( 206 ) 는 일차 전자 빔 ( 210 ) 을 집속 할 수 있 다 . 소스 변환 유닛 ( 212 ) 의 하류 의 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 의 전류 는 집광 렌즈 ( 206 ) 의 초 점력 ( focusing power ) 을 조정 함 으로써 또는 빔 - 제한 개구 의 어레이 내 의 대응 하 는 빔 - 제한 개구 의 반경 방향 크기 를 변화 시킴 으로써 변화 될 수 있 다 . 대물렌즈 ( 228 ) 는 검사 를 위하 여 빔 렛 ( 214 , 216 및 218 ) 을 웨이퍼 ( 230 ) 상 으로 집속 할 수 있 으며 , 복수 의 프로브 스폿 ( 270 , 272 및 274 ) 을 웨이퍼 ( 230 ) 의 표면 에 형성 할 수 있 다 .