경통 ( 40 ) 의 - Z 측 단부 ( 端部 ) 의 주위 에 는 , 경통 ( 40 ) 의 하 단면 과 거의 동일 면 이 되 는 높이 에서 , 스케일 판 ( 21 ) 이 XY 평면 에 평행 하 게 배치 되 어 있 다 . 이 스케일 판 ( 21 ) 은 , 본 실시 형태 에서 는 , 그 일부 에 경통 ( 40 ) 의 - Z 측 단부 가 삽입 되 는 원형 의 개구 , 및 후술 하 는 얼라이먼트 계 의 - Z 측 단부 가 삽입 되 는 원형 의 개구 를 갖 는 직사각 형 의 플레이트 로 이루어지 고 , 도시 생략 된 보디 로부터 매달려 지 지 되 어 있 다 . 스케일 판 ( 21 ) 의 하 면 ( - Z 측 의 면 ) 에는 , Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 소정 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 의 격자 와 , X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 소정 피치 , 예 를 들 어 1 ㎛ 의 격자 로 이루어지 는 반사 형 의 2 차원 회절 격자 ( RG ; 도 4 및 도 5 참조 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 2 차원 회절 격자 ( RG ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 범위 를 커버 하 고 있 다 .