이상 과 같이 제 2 실시 형태 에서 는 , 제 3 처리 예 및 제 4 처리 예 중 어느 쪽 의 처리 예 에 있 어서 도 , 소수 화제 의 증기 가 기판 ( W ) 에 공급 된다 ( 제 1 소수 화 처리 및 제 2 소수 화 처리 ) . 기판 ( W ) 에 공급 된 소수 화제 의 증기 의 일부 는 액 적 으로 변화 되 고 , 기판 ( W ) 에 부착 된다 . 그러나 , 이 소수 화제 의 액적 은 단시간 에 증발 되 어 , 기판 ( W ) 으로부터 제거 된다 . 그 때문 에 , 제 1 처리 예 및 제 2 처리 예 처럼 , 용제 에 의해 소수 화제 를 씻 어 내 지 않 아도 좋 다 . 즉 , 건조 전 린스 처리 를 행하 지 않 아도 좋 다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 처리 시간 을 단축 할 수 있 다 .