[ 0066 ] 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 가 제 1 방향 ( 150 ) 으로 선형 으로 이동 될 때 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 가 또한 제 1 방향 으로 선형 으로 이동 될 수 있 는데 , 그 이유 는 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 가 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 에 연결 되 기 때문 이 다 . 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 의 선형 이동은 , 제 1 방향 으로 연장 될 수 있 는 운반 트랙 ( 430 ) 에 의해 인도 될 수 있 다 . 따라서 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 의 공급 통로 ( 124 ) 에 배치 되 는 매체 공급 라인 들 ( 140 ) 은 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 가 이동 할 때 그 에 공급 을 행할 수 있 다 . 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 는 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 의 이동 동안 편향 될 수 있 다 . 추가 로 , 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 는 , 진공 챔버 의 주 볼륨 과 진공 챔버 ( 130 ) 의 환경 간 에 밀봉 을 제공 할 수 있 다 .