제 1 게이트 절 연막 ( 122 ) 은 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 의 양 측벽 및 바닥 면 을 따라 배치 될 수 있 다 . 제 1 게이트 절 연막 ( 122 ) 은 제 1 영역 ( Ⅰ ) 의 기판 ( 100 ) 과 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 , 소자 분리 막 ( 105 ) 과 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 , 제 1 나노 와이어 ( 111 ) 와 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 , 제 2 나노 와이어 ( 112 ) 와 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 및 제 3 나노 와이어 ( 113 ) 와 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 제 1 게이트 절 연막 ( 122 ) 은 제 1 내부 스 페이서 ( 141 ) 와 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 및 제 1 외부 스 페이서 ( 124 ) 와 제 1 게이트 전극 ( 121 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 .