묘화 실 ( 103 ) 내 에 는 , XY 스테이지 ( 105 ) 가 배치 된다 . 묘화 실 ( 103 ) 에 는 , Z 센서 의 투광기 ( 212 ) , 및 Z 센서 의 수 광기 ( 214 ) 가 배치 되 어 있 다 . XY 스테이지 ( 105 ) 상 에 는 , 묘화 대상 의 기판 ( 101 ) 이 배치 된다 . 기판 ( 101 ) 은 , 예 를 들 면 , 마스크 블랭크스 또는 반도체 기판 ( 실리콘 웨이퍼 ) 이 다 .