한편 본 발명 의 진공 열처리 방법 은 , 열처리 장치 의 진공 챔버 내 에 자석 을 배치 하 고 , 자석 의 주위 에 열전대 를 설치 하 며 가스퍼 지부 의 배관 과 자석 의 헬륨 피드 쓰루 를 연결 하 는 초전 도 자석 설치 단계 ; 와 열처리 챔버 내부 의 진공 이 일정 수준 의 진공도 에 도달 하 게 되 면 메인 밸브 를 열 어서 진공 배기 하 는 진공 배기 단계 ; 와 열처리 챔버 내부 의 진공도 가 5 × 10 - 5 torr 이하 로 유지 되 면 , 열처리 를 시작 하 되 온도 상승 속도 는 6 ℃/ hr 이 며 , 460 ℃ 에서 1 차 가 열하 고 , 570 ℃ 에서 2 차 가 열하 고 , 660 ℃ 에서 3 차 가 열 하 는 열선 가동 단계 ; 와 가열 상황 을 모니터링 하 는 진행 상황 모니터링 단계 를 포함 한다 .