또한 , 산화 막 ( 512 ) 에 함유 시키 는 할로겐 원자 는 염소 원자 에 한정 되 지 않 는다 . 산화 막 ( 512 ) 에 는 불소 원자 를 함유 시켜 도 좋 다 . 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 표면 을 불소 산화 하 는 방법 으로서 는 , HF 용액 에 침지 ( 浸漬 ) 시킨 후 에 산화 성 분위기 중 에서 열 산화 처리 를 행하 는 방법 이나 , NF 3 을 산화 성 분위기 에 첨가 하 여 열 산화 처리 를 행하 는 방법 등 이 있 다 .