상기 반사 방지 막 ( 8 ) 위 에 AZ - 1500 을 스핀 코팅 방식 을 이용 하 여 1000 ~ 20000 Å 두께 , 더욱 바람직 하 게 는 3000 ~ 15000 Å 두께 의 레지스 트 막 ( 10 ) 을 형성 한다 . 그런 다음 , 핫플레이트 에서 소프트 베 이크 를 실시 한다 ( P 16 ) . 상기 에서 소프트 베 이크 를 실시 하 는 온도 는 200 ℃ 이 며 , 시간 은 15 분 으로 실시 하 여 하프톤 블랭크 마스크 를 제조 한다 .