실시 예 들 에서 , 도 7 및 8 의 설계 는 , d 21 을 0 으로 감소 시킴 으로써 더 수정 될 수 있 다 . 도 9 는 , 도 7 의 플 라즈 마 처리 시스템 ( 480 ) 과 유사 한 특징 들 을 포함 하 는 , d 21 이 0 으로 설정 된 , 즉 , 공동 ( 467 ) 을 제거 한 플 라즈 마 처리 시스템 ( 495 ) 의 일부 를 예시 하 는 개략 적 인 단면도 이 다 . 시스템 들 ( 480 및 490 ) 과 같이 , 시스템 ( 495 ) 은 소형 형태 로 제공 될 수 있 다 . 시스템 ( 495 ) 의 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 측 부 - 주입 마이크로파 입력 ( 466 ) 은 도 8 의 시스템 ( 490 ) 의 최 상부 - 주입 마이크로파 입력 ( 468 ) 으로 대체 될 수 있 다 .