리소그래피 장치 제어 유닛 ( lithographic apparatus control unit ; LACU ) 은 다양 한 액추에이터 및 센서 의 모든 움직임 및 측정 을 제어 하 여 , 장치 로 하여금 기판 ( W ) 및 레티 클 ( MA ) 을 수용 하 게 하 고 그리고 패턴 화 동작 을 구현 하 게 한다 . LACU 는 또한 , 장치 의 동작 에 관련 되 는 소망 되 는 계산 을 구현 하 기 위한 신호 프로세싱 및 데이터 프로세싱 능력 을 포함 한다 . 실제로 , 제 어 유닛 ( LACU ) 은 , 실시간 데이터 획득 , 장치 내 의 서브시스템 또는 컴포넌트 의 프로세싱 및 제어 를 각각 핸들링 하 는 많 은 서브 유닛 의 시스템 으로서 실현 될 것 이 다 .