수직 기판 세정 챔버 내 에서 의 세정 동작 들 동안 , 하나 의 난제 는 , 과잉 유체 들 , 배 출물 들 , 및 수분 을 신속 하 게 제거 하 여 물 또는 다른 화학 적 스폿 들 없이 수직 기판 의 건조 를 가능 하 게 하 는 것 이 다 . 개시 된 주제 의 수직 기판 세정 및 건조 챔버 는 수직 기판 의 양면 들 ( 양측 들 ) 뿐 만 아니 라 기판 의 가장자리 ( 들 ) 를 동시 에 세정 한다 .