이 후 , 도 8 a 내지 도 8 i 와 같이 상기 모 더미 패턴 ( 121 ) 을 분할 하 여 상기 제 2 거리 ( B ) 보다 짧 은 제 1 거리 ( A ) 를 가진 복수 의 자 ( 子 ) 더미 패턴 ( 122 ) 을 형성 한다 . 구체 적 으로 , 도 8 a 및 8 b 와 같이 제 3 거리 ( C ) 의 폭 과 높이 를 가진 모 ( 母 ) 더미 패턴 ( 121 ) 을 상기 제 1 거리 ( A ) 와 같 은 폭 과 높이 의 제 3 패턴 ( 124 ) 으로 축소 한다 . 다음 으로 , 도 8 c 와 같이 상기 제 3 패턴 ( 124 ) 을 수평 방향 의 폭 은 고정 하 고 , 상기 모 더미 패턴 ( 121 ) 의 폭 ( C ) 인 제 3 거리 ( C ) 의 높이 로 수직 확장 하 여 제 4 패턴 ( 125 ) 을 형성 한다 .