일 형태 에서 는 , 상기 얼라 이 너 는 , 상기 센터 링 스테이지 상 의 상기 기판 의 중심 이 , 상기 프로세스 스테이지 의 축심 을 지나 상기 소정 의 오프셋 축 과 평행 으로 연장 되 는 직선 상 에 위치 할 때 까지 상기 센터 링 스테이지 를 회전 시키 는 센터 링 스테이지 회전 기구 와 , 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 이 , 상기 프로세스 스테이지 의 축심 상 에 위치 할 때 까지 상기 센터 링 스테이지 를 소정 의 오프셋 축 을 따라 이동 시키 는 이동 기구 를 구비 한다 .