다 ) 경화 공정 마진 - 상기 가 ) 의 감도 측정 시 와 동일 한 방법 으로 패턴 ( Pattern ) 막 을 형성 하 되 10 ㎛ Contact Hole CD 기준 으로 경화 전 , 후 의 CD 변화 율 을 측정 하 였 다 . 이때 , 변화 율 이 0 ~ 10 % 인 경우 를 ○, 10 ~ 20 % 인 경우 를 △, 20 % 를 넘 는 경우 를 × 로 표시 하 였 다 .