도 3 에 도시 된 바 와 같이 플 라즈 마 발생 부 ( 130 ) 는 샤워 헤드 ( 120 ) 하측 에 마련 된 플 라즈 마 전극 ( 133 ) 과 , 플라 즈 마 전극 ( 133 ) 에 플 라즈 마 전원 을 공급 하 는 제 1 전원 공급 부 ( 132 ) 를 포함 한다 . 그리고 , 코로나 발생 부 ( 140 ) 는 샤워 헤드 ( 120 ) 외측 에 마련 된 코로나 전극 부 ( 141 ) 과 , 코로나 전극 부 ( 141 ) 에 전원 을 인가 하 는 제 2 전원 공급 부 ( 142 ) 를 포함 한다 . 본 실시 예 에서 는 샤워 헤드 ( 120 ) 와 플라 즈 마 전극 ( 133 ) 이 일체 로 제작 되 고 , 그 외측 에 링 형태 로 코로나 전극 부 ( 141 ) 이 마련 되 어 중심 에서 플라 즈 마를 발생 시켜 기판 처리 공정 을 수행 하 고 , 이후 에 코로나 전극 부 ( 141 ) 를 통해 코로나 를 발생 시켜 기판 표면 의 차지 를 제거 한다 . 이때 , 상기 플 라즈 마 전극 ( 133 ) 의 대향 전극 으로 하부 전극 부 ( 110 ) 가 사용 되 고 , 코로나 전극 부 ( 141 ) 의 대향 전극 으로 하부 전극 부 ( 110 ) 를 사용 한다 . 물론 이 에 한정 되 지 않 고 , 별도 의 전극 부 를 통해 플 라즈 마 전극 ( 133 ) 의 대향 전극 을 형성 하 거나 , 코로나 전극 부 ( 141 ) 의 대향 전극 을 형성 할 수 도 있 다 .