도 4 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 분진 차단 기능 을 가진 에이치 빔 인출 용 이형제 도포 장치 를 구성 하 는 분진 차단 커버 의 사시도 이 고 , 도 5 는 도 4 의 분해 사시도 이 며 , 도 6 은 도 4 의 정단 면도 로서 , 도시 된 바 와 같이 , 본 실시 예 에 따른 분진 차단 커버 ( 300 a ) 는 슬라이딩 중첩 이 가능 하 도록 좌우 로 분할 형성 되 어 에이치 빔 ( H ) 의 규격 에 따라 좌우 폭 을 가변 시킬 수 있 도록 구성 된다 .