본 발명 이 해결 하 고자 하 는 과제 는 공정 챔버 내 에서 상부 전극 과 하부 전극 의 온도 와 , 그 온도 차이 값 , 전극 간거리 또는 전극 의 저항 값 이 사용 자 의 설정 범위 를 초과 하 는 경우 인터 락 신호 를 생성 시켜 기판 처리 장치 내 로 RF 전원 이 인가 되 는 것 을 차단 함 으로써 RF 전원 에 의한 데미지 를 방지 하 여 장비 를 보호 하 고 기판 에 증착 되 는 박막 의 균 일도 를 유지 할 수 있 도록 한 기판 처리 장치 및 그 의 인터 락 방법 을 제공 하 는데 있 다 .