반응 관 ( 203 ) 의 하부 에 는 , 반응 관 ( 203 ) 의 하단 개구 를 기밀 ( 氣密 ) 하 게 폐색 가능 한 노구 ( 爐 口 ) 개체 ( 蓋 體 ) 로서 의 씰 캡 ( seal cap , 219 ) 이 설치 된다 . 씰 캡 ( 219 ) 은 반응 관 ( 203 ) 의 하단 에 수직 방향 하측 으로부터 당 접 ( 當 接 ) 되 도록 되 어 있 다 . 씰 캡 ( 219 ) 은 예 를 들 면 스테인리스 등 의 금속 으로 이루어지 고 , 원반 형상 으로 형성 된다 . 씰 캡 ( 219 ) 의 상면 에 는 반응 관 ( 203 ) 의 하단 과 당 접하 는 씰 부재 로서 의 O 링 ( 220 ) 이 설치 된다 . 씰 캡 ( 219 ) 의 처리 실 ( 201 ) 과 반대 측 에 는 , 보트 를 회전 시키 는 회전 기구 ( 267 ) 가 설치 된다 . 회전 기구 ( 267 ) 의 회전축 ( 255 ) 은 씰 캡 ( 219 ) 을 관통 하 여 후술 하 는 보트 ( 217 ) 에 접속 되 고 , 보트 ( 217 ) 를 회전 시킴 으로써 웨이퍼 ( 200 ) 를 회전 시키 도록 구성 된다 . 씰 캡 ( 219 ) 은 반응 관 ( 203 ) 의 외부 에 수직 으로 설치 된 승강 기구 로서 의 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 수직 방향 으로 승강 되 도록 구성 되 고 , 이 에 따라 보트 ( 217 ) 를 처리 실 ( 201 ) 에 대해 반입 반출 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .