최근 에 DRAM 의 캐 패 시터 공정 에서 스토리지 노드 콘 택 홀 ( Storage Node Contact holde ) 식각 공정 시 하드 마스크 로 는 주로 폴리 실리콘 ( Polysilicon ) 을 사용 하 고 있 다 . 여기 서 , 스토리지 노드 콘 택 홀 은 하부 의 랜딩 플러그 와 캐 패 시터 의 스토리지 노드 간 연결 을 위한 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( Storage Node Contact Plug ) 이 매립 되 는 콘 택 홀 이 다 .