또한 , 검 출부 ( 5 ) 를 4 개 ( 5 A ∼ 5 D ) 설치 함 으로써 , 후술 하 는 바 와 같이 , 주 연부 에 노치 ( 절 결부 ) ( WN ) 를 갖 는 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 여 반송 하 는 경우 에 도 , 웨이퍼 ( W ) 의 위치 어긋남 량 을 정밀 도 좋 게 검출 할 수 있 어 , 그 어긋남 량 을 용이 하 게 보정 할 수 있 다 . 한편 , 검 출부 ( 5 ) 는 4 개 이상 설치 되 더라도 좋 다 .