실시 예 1 은 웨이퍼 ( 10 ) 의 강도 저하 를 방지 하 기 위한 방법 으로 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 가공 할 때 발생 하 는 열에너지 를 상쇄 하 는 방법 을 제안 하 고 있 다 . 즉 , 초 고속 레이저 를 이용 하 여 웨이퍼 ( 10 ) 를 가공 하 는 방법 에 있 어서 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 가공 할 때 발생 한 열에너지 를 상쇄 하 기 위해 , 단 열 팽창 ( adiabatic expansion ) 에 의해 냉각 된 가스 를 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 표면 에 분사 하 는 웨이퍼 가공 방법 이 다 . 이 때 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 표면 에 분사 되 는 가스 는 질소 가스 , 산소 가스 , 아르곤 가스 등 이 있 을 수 있 으나 , 열전도 율 이 높 아 방열 효율 이 뛰어난 질소 가스 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .