또한 , 에지 영역 ( 158 ) 이 란 , 센서 전체 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 바로 아래 에 실질 적 으로 들어갔 을 때 ( 「 센서 의 출력 이 실질 적 으로 최대 로 되 어 있 는 상태 」 ) 부터 , 센서 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 로부터 실질 적 으로 완전히 나왔 을 때 ( 「 센서 출력 이 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 실질 적 으로 검지 하 지 않 는 상태 」 ) 까지 의 기간 ( 혹은 그 기간 에 있 어서 의 센서 의 이동 거리 ) 을 말 한다 .