도 23 및 도 27 을 참조 하 면 , 제 2 질화 공정 을 통하 여 대 상체 ( 300 ) 상 에 하부 질화 막 ( 315 ) , 하부 산화 막 ( 320 ) , 상부 산화 막 ( 330 ) 및 상부 질화 막 ( 335 ) 을 포함 하 는 절연 구조물 ( 340 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 320 ) . 상기 제 2 질화 공정 은 플 라즈 마 질화 공정 을 포함 할 수 있 다 .