이렇게 , 도 1 내지 도 3 에 도시 하 는 예 에서 는 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 에 형성 된 개구부 ( 12 ) 의 각 변 의 근방 에서 , 프로브 침 ( 13 ) 이 접속 된 회로 기판 ( 14 ) 이 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 주면 에 대하 여 대략 수직 으로 고정 되 어 있 다 . 따라서 , 프로브 침 ( 13 ) 이 접속 된 영역 ( 침원 영역 ) 의 면적 은 상기 회로 기판 ( 14 ) 의 작 은 점유 영역 의 면적 이 며 , 따라서 , 1 개 의 반도체 소자 를 측정 ( 시험 ) 하 기 위한 유닛 인 시험 유닛 ( TU 1 내지 TU 4 ) 을 서로 크 게 이 간 해서 배치 하 지 않 고 , 효율 적 으로 1 개 의 프로브 카드 기판 ( 11 ) 위 에 복수 설치 하 는 것 이 가능 하 다 .