다음 으로 전술 한 기판 처리 시스템 ( 2000 ) 에서 이용 되 는 기판 처리 장치 [ 100 ( 100 a , 100 b , 100 c , 100 d ) ] 에 대해서 설명 한다 . 또한 기판 처리 장치 ( 100 a ) 내지 기판 처리 장치 ( 100 d ) 는 마찬가지 의 구성 이 므로 , 이하 의 설명 에서 는 이것 들 을 기판 처리 장치 ( 100 ) 라고 총칭 한다 .