도전 막 ( 601 ) , 제 1 방열 막 ( 602 ) , 제 2 방열 막 ( 603 ) , 및 절 연막 ( 606 ) 은 , 전술 한 제 2 변형 예 에 따른 도전 막 ( 301 ) , 제 1 방열 막 ( 302 ) , 제 2 방열 막 ( 303 ) , 및 절 연막 ( 306 ) 과 마찬가지 의 구성 및 재질 을 가질 수 있 다 . 또한 , 반도체 기판 ( 101 ) 및 제 2 전극 ( 616 ) 에 대해서 도 , 제 2 변형 예 에 따른 반도체 기판 ( 304 ) 및 제 2 전극 ( 316 ) 과 마찬가지 의 구성 및 재질 을 가질 수 있 다 .