도 1 은 , 실시 형태 에 따른 묘화 장치 의 개략 구성도 이 다 . 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 묘화 장치 ( 100 ) 는 , 묘화 부 ( 150 ) 와 제 어부 ( 160 ) 를 구비 하 고 있 다 . 묘화 장치 ( 100 ) 는 , 멀티 하전 입자 빔 묘화 장치 의 일예 이 다 . 묘화 부 ( 150 ) 는 , 전자 경통 ( 102 ) 과 묘화 실 ( 103 ) 을 구비 하 고 있 다 . 전자 경통 ( 102 ) 내 에 는 , 전자 총 ( 201 ) , 조명 렌즈 ( 202 ) , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) , 블 랭킹 플레이트 ( 204 ) , 축소 렌즈 ( 205 ) , 제한 애퍼처 부재 ( 206 ) , 대물 렌즈 ( 207 ) , 편 향기 ( 208 ) , 및 검출기 ( 211 ) 가 배치 되 어 있 다 .