본 발명 의 다른 양태 에 있 어서 , 시스템 ( 1100 ) 의 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명원 ( 1102 ) 으로부터 방사 된 광 빔 을 , 조리개 를 통과 한 후 에 , 2 개 의 경로 , 즉 목표 경로 ( object path ) ( 1112 ) 와 기준 경로 ( reference path ) ( 1113 ) 로 분할 할 수 있 다 . 이 점 에서 , 시스템 ( 1100 ) 의 목표 경로 ( 1112 ) 와 기준 경로 ( 1113 ) 는 2 - 빔 간섭 광학계 의 일부 를 형성 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명 경로 ( 1115 ) 로부터 의 광 빔 의 제 1 부분 을 목표 경로 ( 1112 ) 를 따라 지향 시키 고 , 조명 경로 ( 1115 ) 로부터 의 광 빔 의 제 2 부분 을 기준 경로 ( 1113 ) 를 따라 투과 되 도록 할 수 있 다 . 더 구체 적 으로 , 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명원 ( 1102 ) 에서 방사 된 광 의 일부 를 , 조리개 ( 1104 ) 를 통과 한 후 에 , 시료 대 ( 1118 ) 위 에 놓여진 시료 ( 1114 ) 의 표면 에 ( 예 를 들 면 , 목표 경로 ( 1112 ) 를 통해 ) 지향 시킬 수 있 다 . 또한 , 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명원 ( 1102 ) 에서 방사 된 광 의 제 2 부분 을 기준 경로 ( 1113 ) 의 컴포넌트 로 투과 시킬 수 있 다 . 예 를 들 면 , 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명 경로 ( 1115 ) 로부터 의 광 의 일부 를 기준 경로 ( 1113 ) 를 따라 기준 거울 ( 도시 생략 됨 ) 에 투과 시킬 수 있 다 . 이 기술 에 숙련 된 사람 이 라면 이 기술 분야 에서 공지 된 임의 의 빔 스플리터 가 본 발명 의 빔 스플리터 ( 1108 ) 로서 구현 될 수 있 다는 것 을 이해 할 것 이 다 .