제 1 분사 홀 ( 138 a ) 의 단면적 은 제 2 분사 홀 ( 138 b ) 의 단면적 보다 작 고 , 제 2 분사 홀 ( 138 b ) 의 단면적 은 제 3 분사 홀 ( 138 c ) 의 단면적 보다 작 게 제공 될 수 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 제 1 공정 가스 의 온도 가 제 2 공정 가스 의 온도 보다 높 고 , 제 2 공정 가스 의 온도 가 제 3 공정 가스 의 온도 보다 높 게 제어 되 므로 , 제 1 공정 가스 의 확산 속도 는 제 2 공정 가스 의 확산 속도 보다 작 고 제 2 공정 가스 의 확산 속도 는 제 3 공정 가스 의 확산 속도 보다 작 을 수 있 다 .