" 스텝 11 에서 얻 어 진 N 이 반복수 NA 에 도달 하 지 않 은 경우 ( 도 3 의 스텝 12 에서 의 "" 아니 오 "" 참조 ) ", 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 다시 , 상술 한 센터 링 동작 을 실행 한다 . 즉 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 이 웨이퍼 W 의 하면 에 접촉 할 때 까지 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 상승 시켜 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 시킨다 ( 도 2 의 스텝 4 참조 ) . 이어서 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검 출부 ( 60 ) 를 사용 하 여 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 ( 도 2 의 스텝 5 참조 ) , 센터 링 회전 기구 ( 36 ) 및 이동 기구 ( 41 ) 를 사용 하 여 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞추 는 센터 링 동작 을 실행 한다 ( 도 2 의 스텝 6 참조 ) . 또한 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 전달 하 고 ( 도 2 의 스텝 7 참조 ) , 다시 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 과 편심 방향 을 취득 한다 ( 도 2 의 스텝 8 참조 ) . 이어서 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 내 에 있 는지 여부 를 확인 한다 ( 도 2 의 스텝 9 참조 ) . 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 내이 면 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 웨이퍼 W 의 주연 부 를 연마 한다 ( 도 2 의 스텝 10 참조 ) .