상기 잔류물 ( 22 a ) 을 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 제거 하 기 위해 , 종래 에 는 고온 의 열처리 가 요구 되 었 다 . 종래 에 는 , 챔버 ( 10 ) 에서 기판 지지 부 ( 100 ) 에 전 사막 ( 30 ) 이 분리 된 봉 지재 ( 20 ) 가 안착 된 상태 에서 약 500 ℃ 의 고온 의 수소 플 라즈 마 를 상기 제 1 박막 ( 22 ) 에 가하 여 잔류물 ( 22 a ) 을 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 제거 하 였 다 .