예 를 들 면 , DRAM 메모리 소자 의 노광 은 DRAM 의 특성 상 반복 패턴 의 노광 에 주안점 을 두 어 왔 다 . 이런 패턴 을 노광 하 기 위해 패턴 크기 에 상관없이 전체 패턴 을 한 번 에 찍 은 스캔 너 ( scanner ) 나 스텝 퍼 ( stepper ) 가 사용 되 고 있 다 . 즉 , 다시 말 하 면 한 칩 ( chip ) 을 형성 하 는 패턴 이 한 번 에 형성 된다 . 이런 방법 은 패턴 의 사이즈 ( size ) 가 클 경우 에 는 별 무리 가 없이 사용 될 수 있 지만 , 패턴 이 복잡 한 경우 에 는 왜곡 이 발생 한다 .