상기 c ) 단계 는 상기 b ) 단계 에서 소프트 베 이크 된 감광성 수지 조성물 에 광 을 조사 하 는 일명 노광 단계 로서 , 구체 적 으로 상기 b ) 단계 에서 소프트 베 이크 된 감광성 수지 조성물 에 목적 으로 하 는 패턴 을 형성 하 기 위한 마스크 를 통해 광 을 조사 하 여 원 하 는 패턴 대로 감광성 수지 조성물 을 경화 시키 는 단계 이 다 . 이 때 상기 감광성 수지 조성물 의 노광 부 전체 에 균일 하 게 평행 광선 이 조사 되 고 , 또한 마스크 와 기판 의 정확 한 위치 맞춤 이 실시 될 수 있 도록 마스크 얼라 이너 나 스 테퍼 등 의 장치 를 사용 할 수 도 있 다 .