도 8 은 본 발명 의 다른 실시 형태 에 따른 더미 필 ( dummy fill ) ( 801 ) 의 존재 하 의 오버레이 타 겟 ( 800 ) 의 상면 도 이 다 . X - 오버레이 및 Y - 오버레이 측정 이 다른 패턴 요소 를 이용 하 여 수행 될 때 , 오버레이 타 겟 ( 400 , 500 , 501 ) 은 더미 필 ( 801 ) 의 존재 하 에 오버레이 계측 측정 처리 가 가능 한 것 으로 인정 된다 . 예 를 들 면 , 도 8 은 더미 필 ( 801 ) 의 존재 하 에 구현 되 는 오버레이 타 겟 ( 800 ) 을 보인 것 이 다 . 예 를 들 면 , 오버레이 타 겟 ( 800 ) 은 6 개 의 타 겟 구조물 을 포함 하 고 각 타 겟 구조물 은 4 개 의 패턴 요소 를 포함 할 수 있 다 . 이 방식 으로 , 제 1 구조물 은 패턴 요소 ( 802 a . .. 802 d ) 를 포함 하 고 , 제 2 구조물 은 패턴 요소 ( 804 a . .. 804 d ) 를 포함 하 고 , 제 3 구조물 은 패턴 요소 ( 806 a . .. 806 d ) 를 포함 하 고 , 제 4 구조물 은 패턴 요소 ( 808 a . .. 808 d ) 를 포함 하 고 , 제 5 구조물 은 패턴 요소 ( 810 a . .. 810 d ) 를 포함 하 며 , 제 6 구조물 은 패턴 요소 ( 812 a . .. 812 d ) 를 포함 한다 . 더욱이 , 도 8 의 예 에서 각 타 겟 구조물 의 패턴 요소 중 2 개 는 X - 오버레이 측정 용 으로 지정 되 고 ( 예 를 들 면 , 802 a , 806 a 또는 810 a ) , 각 타 겟 구조물 의 나머지 2 개 의 패턴 요소 는 Y - 오버레이 측정 용 으로 지정 된다 ( 예 를 들 면 , 812 d , 808 d 또는 804 d ) .