또한 , 본 실시 예의 흡수 계수 k 는 , 엘리프 소 미터 ( 루돌프 사 제조 , 상품명 : Auto EL - 462 P 17 ) 를 사용 하 여 다음 과 같이 하 여 구하 였 다 . 엘리프 소 미터 에 의해 타원 편광 의 위상각 Δ 과 타원 의 진폭 강도 비 로부터 구해 지 는 탄젠트 Ψ 를 측정 하 고 , 단차 계 ( Tencor 사 제조 , 상품명 : P 15 ) 로 구한 막 두께 로부터 , 복소 굴절 률 N 과 흡수 계수 k 를 구하 였 다 . 그리고 , 흡수 계수 k 는 파장 410 nm 에 있 어서 의 것 이 다 .