릴레이 렌즈 ( 14 ) 는 볼록 렌즈 로서 , 입사 된 광 을 시야 조리개 판 ( 15 ) 의 시야 조리개 ( 151 ) 에 집광 시킨다 . 시야 조리개 ( 151 ) 는 시야 조리개 판 ( 15 ) 을 그 두께 방향 으로 관통 하 고 있 다 . 시야 조리개 ( 151 ) 와 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 면은 릴레이 렌즈 ( 14 ) 와 결상 관계 에 있 는 위치 에 배치 되 어 있 다 . 시야 조리개 ( 151 ) 를 통과 한 광은 , 반사판 ( 16 ) 의 반사면 에 입사 된다 . 반사판 ( 16 ) 은 광 의 진행 방향 을 변경 하 기 위해서 형성 되 어 있 고 , 당해 광 을 콘덴서 렌즈 ( 17 ) 에 입사 시킨다 . 콘덴서 렌즈 ( 17 ) 는 볼록 렌즈 로서 , 입사 된 광 을 적당 한 NA ( 개구수 ) 로 포토 마스크 ( 80 ) 에 결상 시킨다 . 개구 조리개 ( 171 ) 는 , 이 조명 의 광의 NA ( 개구수 ) 는 적당 한 크기 로 조정 한다 . 조사 부 ( 10 ) 는 이 광 을 Z 축 방향 을 따라 포토 마스크 ( 80 ) 의 일부 에 조사 한다 .