광중합 성 단량체 의 혼합물 을 포함 할 경우 , 상기 감광성 조성물 은 보다 향상 된 패턴 성 ( 예컨대 브레이크 포인트 및 임계 치수 균일성 ) 을 나타낼 수 있 다 . 여기 서 , 여기 서 , 브레이크 포인트 ( BP ) 라 함 은 , 감광성 조성물 이 코팅 된 필름 에 대해 UV 노광 후 , 현상 과정 에서 현상액 이 노광 부 에 분사 되 는 동안 기판 의 중심부 로부터 특정 영역 내 에서 패턴 이 육안 으로 완전히 드러나 는 데 에 소요 된 시간 을 말 한다 . 여기 서 , CDUF ( Critical Dimension Uniformity ) 라 함 은 , 특정 해상도 ( resolution ) 를 갖 는 패턴 의 폭 에 대한 오차 범위 를 말 한다 . 패턴 의 직진 성 에 대한 평가 지표 이 며 , 아래 의 식 에 의해 구해질 수 있 다 :