지지 테이블 ( 2 ) 의 표면 상 에 는 웨이퍼 W 를 정전 흡착 하 여 유지 하 기 위한 정전 척 ( 6 ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 정전 척 ( 6 ) 은 절연체 ( 6 b ) 의 사이 에 전극 ( 6 a ) 이 개재 되 어 구성 되 어 있 고 , 전극 ( 6 a ) 에 는 직류 전원 ( 16 ) 이 접속 되 어 있 다 . 그리고 전극 ( 6 a ) 에 전원 ( 16 ) 으로부터 전압 이 인가 되 는 것 에 의해 , 정전 력 예 를 들 면 쿨롱력 에 의해서 웨이퍼 W 가 흡착 된다 .