상기 에서 얻 어 진 각 감광성 수지 조성물 을 , 두께 1 . 2 ㎜ 의 유리 기판 상 에 스핀 코터 를 사용 하 여 열 경화 처리 후 의 막 두께 가 3 . 0 ㎛ ( 실시 예 1 , 2 , 4 및 비 교예 3 ) 또는 1 . 5 ㎛ ( 실시 예 3 , 5 및 비 교예 1 , 2 ) 가 되 도록 도포 하 고 , 90 ℃ 에서 1 분 간 프리 베 이크 하 였 다 . 그 후 , 도트 패턴 을 갖 는 포토 마스크 를 밀착 시키 고 , 파장 365 ㎚ 의 조도 30 mW / ㎠ 의 초고압 수은 램프 로 5 mJ / ㎠ 또는 100 mJ / ㎠ 의 자외선 을 조사 하 여 , 감광 부분 의 광경 화 반응 을 행하 였 다 .