그러나 공정 진행 중 에 제 1 전극 ( 131 ) 의 온도 와 제 2 전극 ( 132 ) 의 온도 가 상기 한 온도 범위 내 에 있 지 아니한 비상 상황 에서 는 제 1 전극 ( 131 ) 과 제 2 전극 ( 132 ) 간 에 쇼트 가 발생 하 게 된다 . 이 와 같이 제 1 전극 ( 131 ) 과 제 2 전극 ( 132 ) 간 에 쇼트 가 발생 된 비상 상황 에서 기판 처리 장치 에 RF 전원 이 인가 되 는 경우 기판 처리 장치 ( 10 ) 내부 의 장비 에 RF 에 의한 데미지 가 발생 하 는 문제 가 있 다 .