본 발명 에 따른 유기 EL 소자 의 각 층 의 형성 은 , 진공 증착 , 스퍼터링 , 플라 즈 마 , 이온 플 레이팅 등 의 건식 성막 법 이나 스핀 코팅 , 디 핑 , 플로우 코팅 등 의 습식 성막 법 의 어느 방법 을 적용 할 수 있 다 . 막 두께 는 특별히 한정 되 는 것 이 아니 지만 , 적절 한 막 두께 로 설정 해야 한다 . 막 두께 가 지나치 게 두꺼우 면 , 일정 한 광 출력 을 얻 기 위해서 큰 인가 전압 이 필요 하 게 되 어 효율 이 나빠진다 . 막 두께 가 지나치 게 얇 으면 핀홀 등 이 발생 하 여 , 전계 를 인가 하 더라도 충분 한 발광 휘도 가 얻 어 지 지 않 는다 . 통상 의 막 두께 는 5 nm 내지 10 μ m 의 범위 가 적당 하 지만 , 10 nm 내지 0 . 2 μ m 의 범위 가 더 바람직 하 다 .