MEMS 트랜스 듀 서 는 제 1 및 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 를 포함 한다 . 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 는 제 1 차동 출력 신호 를 제공 하 기 위한 제 1 및 제 2 전극 구조 체 , 및 제 1 및 제 2 전극 구조 체 사이 의 제 3 전극 구 조체 를 포함 한다 . 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 는 제 2 차동 출력 신호 를 제공 하 기 위한 제 1 및 제 2 전극 구조 체 , 및 제 1 및 제 2 전극 구조 체 사이 의 제 3 전극 구 조체 를 포함 한다 . 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 의 제 3 전극 구 조체 에 제 1 바이어 싱 전압 을 제공 하 고 , 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 의 제 3 전극 구 조체 에 제 2 바이어 싱 전압 을 제공 하 기 위한 바이어 싱 회로 가 제공 된다 . 제 1 및 제 2 바이어 싱 전압 들 은 기준 전압 에 대해 대칭 적 으로 오프셋 된다 . 판독 회로 는 제 1 및 제 2 차동 출력 신호 를 역 평행 방식 으로 결합 하 도록 구성 된다 .