도 3 은 제 2 무기 막 ( 302 ) 이 단일 층 인 경우 를 예시 하 지만 , 제 2 무기 막 ( 302 ) 의 구조 가 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 다른 실시 예 에서 제 2 무기 막 ( 302 ) 은 복수 의 기능 막 이 적층 된 적 층막 일 수 있 다 . 일 실시 예 에서 제 2 무기 막 ( 302 ) 은 실리콘 옥사이드 ( SiOx ) 로 이루어진 막 과 실리콘 나이트 라이드 ( SiNx ) 로 이루어진 막 이 교번 하 여 적층 된 적 층막 일 수 있 다 .