가스 배기 플랜지 ( 209 b ) 에 는 배기관 으로서 의 배기 라인 ( 231 ) 이 접속 되 어 있 다 . 또한 , 배기 라인 ( 231 ) 에 는 , 반응 관 ( 203 ) 내 를 배기 하 는 진공 배기 장치 ( 배기 수단 ) 로서 의 진공 펌프 ( 250 ) 가 접속 되 어 있 고 , 그 도중 에 는 반응 관 ( 203 ) 내 의 압력 을 제어 하 는 압력 제 어부 ( 압력 제어 수단 ) 로서 의 압력 컨트롤러 ( 248 ) 가 설치 되 어 있 다 .