또한 , 쉬스 의 형상 을 보다 세밀 하 게 제어 하 기 위해 전원 이 인가 되 는 챔버 ( 4 ) 의 면적 을 필요 에 따라 증감 할 수 있 도록 구성 할 수 도 있 는데 , 이 는 챔버 ( 4 ) 의 상 부면 ( 4 a ) 과 측면 ( 4 b ) 을 복수 의 영역 으로 구분 하 여 각각 에 RF 전원 을 공급 하 는 제 2 전원 공급 부 ( 7 ) 를 구비 함 으로써 바람직 하 게 구현 될 수 있 다 .