상기 기판 측 조성 경사 층 이 , 층 두께 가 10 내지 58 . 5 nm 이 며 질소 및 산소 의 합계 함유율 이 층 두께 방향 으로 투명 기판 측 을 향해서 증가 하 는 층 이 고 , 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 , 단일 조성 의 층만 의 3 층 이상 의 조합 , 단일 조성 의 층 과 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 과 의 조합 , 또는 조성 이 층 두께 방향 으로 연속 적 으로 변화 하 는 층 의 조합 으로 구성 되 고 , 상기 기판 측 조성 경사 층 을 구성 하 는 규소 계 재료 의 조성 이 , 전이 금속 과 규소 의 함 유비 ( 전이 금속 : 규소 ) 가 1 : 2 내지 1 : 9 ( 원 자비 ) 이 고 , 상기 기판 측 조성 경사 층 의 투명 기판 측 의 계면 의 질소 와 산소 의 합계 함유율 이 25 내지 40 원자 ％ 이 며 , 투명 기판 으로부터 이격 하 는 측 의 계면 의 질소 와 산소 의 합계 함유율 이 10 내지 23 원자 ％ 이 고 ,