상술 된 모듈러 격실 코 팅기 에서 , 터보 분자 형 펌프 들 ( 82 ) 은 전반 적 으로 , 비교 적 낮 은 전력 요구 ( 예 를 들 어 , 펌프 당 1 kW 이하 ) 및 작 은 풋 프린트 와 관련 하 여 확산 펌프 들 에 비해 바람직 하 며 비교 적 낮 은 펌프 용량 또는 펌프 속도 및 높 은 비용 ( 예 를 들 어 , 2 . 5 배 이상 비 쌈 ) 과 관련 하 여 확산 펌프 들 에 비해 바람직 하 지 못하 다 . 단지 일례 로 , 터보 분자 형 펌프 들 은 격실 의 상부 에 장착 되 기 때문 에 , 이를 테 면 확산 펌프 들 과 관련 된 , 측면 - 장착 트 렌 칭 및 관련 풋 프린트 가 없 다 . 상술 된 모듈러 격실 코 팅기 에서 , 원 하 는 경우 또는 필요 한 경우 , 허용 가능 한 가스 격리 레벨 을 제공 하 기 위해 프로세스 또는 코팅 격실 들 사이 에서 적어도 2 개 의 풀 펌프 격실 들 이 이용 될 수 있 다 . 도 5 의 2 개 의 풀 펌프 격실 들 ( 72 , 74 ) 은 약 1400 내지 약 1800 millimeters 의 길 이 및 약 25 내지 약 35 대 1 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 약 25 내지 약 30 대 1 의 가스 격리 비율 에 상응 하 며 , 가스 격리 비율 은 인접 한 코팅 격실 ( 70 ) 에서 가스 압력 대 인접 한 코팅 격실 ( 76 ) 에서 가스 압력 의 비율 이 다 .