서 셉 터로 의 재치 시 웨이퍼 의 슬라이드 나 휨 은 , 웨이퍼 재치 면 의 홈 이 깊 을수록 개선 된다 . 따라서 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 에 있 어서 , 홈 이 깊 은 중앙부 의 면적 은 넓 은 것 이 좋 다 . 그러나 , 중앙부 의 면적 을 너무 넓 게 하 면 , 홈 이 얕 은 외주 부 면적 이 좁 아 져 , 상술 한 바 와 같이 외주 부 의 온도 저 하나 이면 외주 부로 의 실리콘 퇴적 량 의 증가 등 의 문제 가 있 다 . 따라서 , 외주 부 의 영역 은 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외 주단 으로부터 10 mm ~ 50 mm 의 범위 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 외주 부 와 중앙부 의 경계 를 동심원 상 으로 함 에 따라 , 면내 균일성 이 우수 한 에피 택 셜 웨이퍼 를 제조 할 수 있 다 .