도 3 을 참조 하 면 , 상기 신호 를 전송 받 은 제 어부 ( 530 ) 는 상기 제 1 모터 ( 511 ) 로 구동 신호 를 전송 한다 . 구동 신호 를 전송 받 은 상기 제 1 모터 ( 511 ) 는 제 1 회전축 ( 513 ) 을 회전 되 는 방향 ( 화살표 방향 ) 을 따라 회전 시킬 수 있 다 . 즉 , 제 1 회전축 ( 513 ) 에 연결 된 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 는 상기 광원 ( 200 ) 과 평행 인 상태 에서 소정 의 각도 로 기울 어 질 수 있 다 .