평행 판형 축전 결합 플 라즈 마 에서 , 상부 의 활성 전극 이 가스 분사 구조 체의 역활 을 한다 . 가스 분사 구조 체 는 동시 에 반응 성 가스 ( H 2 ) 와 증착 소스 가스 ( SiH 4 ) 를 공급 한다 . 반응 성 가스 를 충분히 해리 하 기 위하 여 플 라즈 마 밀도 를 증가 시키 는 경우 , 증착 소스 가스 는 과도 하 게 해리 된다 . 따라서 , 증착 속도 및 증착 균 일 도 에 한계 가 있 다 .