PDMS ( Sylgard 184 , Dow Corning ) 는 10 : 1 의 질량비 ( 가교 결합제 대비 ) 로 제조 하 였 고 30 분 동안 진공 챔버 에서 탈기 하 였 다 . 그 다음 PDMS 프리 폴리머 ( prepolymer ) 를 SU 8 몰드 위 에 약 2 mm 두께 로 붓 고 완전히 건조 되 도록 80 ℃ 의 건조 오븐 에 6 시간 이상 두 었 다 . 마스터 몰드 는 경화 된 PDMS 복제물 로부터 조심 스럽 게 벗겨져 조각 으로 절단 되 어 스탬프 로 사용 되 었 다 . 미세 가공 된 PDMS 스탬프 는 주사 전자 현미경 ( FE - SEM 7800 F Prime , JEOL Ltd , Japan ) 으로 검사 하 였 다 .