도 3 c 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 멀티 존 플라 즈 마 소스 ( 320 ) 의 하부 투시도 이 다 . 챔버 상부 ( 202 ) 는 다수 의 프로세스 유출 부 포트 들 ( 304 A - 304 E ) 및 다수 의 플 라즈 마 유출 부 포트 들 ( 220 A - 220 D ) 을 가진다 . 다수 의 플 라즈 마 유출 부 포트 들 ( 220 A - 220 D ) 은 대응 하 는 플 라즈 마 챔버 들 ( 310 A - 310 D ) 에 연결 된다 .