절연 층 ( 103 ) 을 형성 한 후 에 , 절연 층 ( 103 ) 에 대하 여 산소 를 공급 하 는 처리 를 수행 하 여도 좋 다 . 예 를 들 어 , 산소 분위기 하 에서 의 플라스마 처리 또는 가열 처리 등 을 수행 할 수 있 다 . 또는 , 플라스마 이온 도핑 법 이나 이온 주 입법 에 의하 여 절연 층 ( 103 ) 에 산소 를 공급 하 여도 좋 다 .