그리고 , 상기 세정액 을 배출 하 는 단계 에서 는 세정액 의 준위 변화 신호 가 미리 설정 된 시간 이상 지속 될 경우 세정액 의 배출 이 이루어지 도록 구성 됨 이 바람직 하 다 . 물론 세정액 의 준위 변화 가 측정 될 시 바로 세정액 의 배출 이 이루어지 도록 구성 할 수 도 있 으나 , 세정액 의 준위 는 세정 공정 중 에 일시 적 으로 변화 될 수 있 으므로 불 필요 한 세정액 의 배출 을 방지 하 고 안정 적 으로 세정액 의 준위 가 유지 될 수 있 도록 세정액 을 배출 하 는 단계 에서 는 세정액 의 준위 변화 신호 가 미리 설정 된 시 간 이상 지속 될 경우 세정액 의 배출 이 이루어지 도록 구성 될 수 있 다 .