임피던스 매칭 네트워크 ( 40 ) 는 일반 적 으로 RF 전력 공급 부와 RF - 전력 공급 된 전극 ( 20 - 28 ) 사이 에 접속 된다 . 임피던스 매칭 네트워크 는 상이 한 물리 적 위치 들 에 리액턴스 들 ( 즉 , 커패시터 들 및 인덕 터 들 ) 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 하나 이상 의 리액턴스 들 은 RF 전력 공급 부 에 물리 적 으로 인접 하 게 , 또는 RF 전력 공급 부 내 에 장착 될 수 있 으며 , 하나 이상 의 리액턴스 들 은 플 라즈 마 챔버 의 RF - 전력 공급 된 전극 에 물리 적 으로 인접 하 게 또는 RF - 전력 공급 된 전극 상 에 직접 적 으로 장착 될 수 있 다 .