돌기 ( 324 ) 는 슬라이딩 면 ( 323 ) 에 연결 되 는 제 1 경사면 ( 321 ) 과 의 높이 차이 로 형성 되 어 , 상면 플레이트 ( 35 ) 에 의하 여 로딩 부재 ( 32 ) 의 이동 이 제한 된다 . 로딩 부재 ( 32 ) 가 제 2 , 제 1 기판 ( S 2 , S 1 ) 및 스테이지 ( 20 ) 상 에서 직경 방향 으로 이동 될 때 , 돌기 ( 324 ) 는 상면 플레이트 ( 35 ) 에 걸리 면서 로딩 부재 ( 32 ) 의 이동 을 한정 한다 .