도 21 을 참조 하 면 , 지지 베이스 ( 500 ) 를 제공 하 며 , 상기 지지 베이스 ( 500 ) 에 압 전 변환기 ( 600 ) 를 형성 하 고 , 상기 압 전 변환기 ( 600 ) 는 제 1 전극 ( 520 ) , 상기 제 1 전극 ( 520 ) 에 위치 한 압 전 층 ( 530 ) , 및 상기 압 전 층 ( 530 ) 에 위치 한 제 2 전극 ( 540 ) 을 포함 한다 .