또한 , 상기 의 기술 은 투영 광학계 의 상기 수차 측정 에 SEM 등 의 현미경 을 사용 할 필요 가 없 기 때문 에 , 상기 수차 측정 은 전담 오퍼레이터 를 필요 로 하 지 않 는다 . 또한 , 종래 의 SEM 등 의 현미경 을 사용 하 는 측정 과 비교 해서 측정 시간 이 현저 하 게 감소 된다 . 또한 , 노광 장치 상 에서 의 투영 광학계 의 자동 수차 측정 , 자동 조정 이 용이 하 게 실행 될 수 있 으므로 , 항상 미세 한 회로 패턴 을 가진 디바이스 를 생산 하 는 것 이 가능 해진다 .