상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위해 본 발명 에 따른 본 발명 에 따른 메사 구조 의 제작 방법 은 , ( a ) 베이스 기판 위 에 절 연막 을 증착 및 패 터닝 하 여 제 1 식각 마스크 층 을 형성 하 는 단계 ; ( b ) 상기 제 1 식각 마스크 층 위 에 절 연막 을 증착 및 패 터닝 하 여 상기 제 1 식각 마스크 층 에 비해 큰 폭 을 갖 는 제 2 식각 마스크 층 을 형성 하 는 단계 ; ( c ) 상기 제 2 식각 마스크 층 을 이용 해 상기 베이스 기판 을 1 차 식각 하 되 , 상기 제 2 식각 마스크 층 아래 에 언더 컷 이 발생 하 도록 식각 하 는 단계 ; ( d ) 상기 제 2 식각 마스크 층 을 제거 하 는 단계 ; 및 ( e ) 상기 제 1 식각 마스크 층 을 이용 해 상기 베이스 기판 을 2 차 식각 하 되 , 상기 제 1 식각 마스크 층 아래 에 언더 컷 이 발생 하 도록 식각 하 여 메사 구조 를 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .