암모니아 플 라즈 마 발생 ( 130 ) 후 , 다시 퍼지 기체 를 공급 한다 . 퍼지 기체 는 아르곤 ( Ar ) 과 같 은 불활성 기체 일 수 있 다 . 퍼지 기체 는 0 . 5 초 내지 10 초 의 기체 공급 주기 동안 100 sccm 내지 1000 sccm 의 유량 으로 공급 될 수 있 다 . 퍼지 기체 는 초과 공급 된 암모니아 기체 와 부산물 을 제거 하 기 위한 것 이 다 . 이때 , 암모니아 플 라즈 마 발생 ( 130 ) 후 의 퍼지 기체 를 공급 하 는 단계 ( 140 ) 는 생략 될 수 도 있 다 .