상술 한 바 와 같이 , 본 실시 예 장치 에 의하 면 , 처 리조 ( 1 ) 를 둘러싸 는 챔 버 ( 11 ) 내 에 용제 노즐 ( 17 ) 을 통해 고농도 의 이소프로필 알콜 의 증기 가 공급 되 는 경우 라도 , 스 태 틱 믹서 ( 63 ) 에 의해 배기 가 순수 와 혼합 된다 . 따라서 , 배기 에 이소프로필 알콜 의 증기 가 포함 되 어 있 어도 , 순수 와 함께 기 액 분 리부 ( 53 ) 에 보내 지 므로 , 이소프로필 알콜 의 증기 는 순수 와 함께 배출 된다 . 그 결과 , 기 액 분 리부 ( 53 ) 로부터 의 배기 중 의 이소프로필 알콜 의 농도 를 저감 할 수 있 다 .