In , Zn 및 Ga 의 각 원소 를 포함 하 는 산화물 에 추가 로 Cu , Co , Ni , Mn , Fe , Mg , Ca , Sr , Ba , Ag , Au 로부터 선택 되 는 1 종 이상 의 원소 를 가한 비정질 산화 물막 의 경우 는 , In 조성 비 가 반도체 층 보다 도 적 은 것 이 바람직 하 다 . 또한 , Ga 조성 비 가 반도체 층 보다 도 많 은 것 이 바람직 하 다 .