피검 광학계 ( TOS ) 의 상면 에 투영 되 는 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 의 투영 상 은 , 피검 광학계 ( TOS ) 의 축소 배 율 이 β , 상기 투영 상 의 폭 방향 의 길이 가 2 a ', 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 상기 투영 상 의 길이 가 L 1 ' 이 면 , 2 a ' = 2 β a , L 1 '= β L 1 의 관계 를 만족 시킨다 .