여기 에서 , 갠트리 부 를 이동 방향 으로 안내 하 기 위한 부재 이 며 이동 방향 으로 뻗 은 가이드 레일 은 , 베이스 대 에 대한 조립 정밀도 가 특히 요구 되 는 부분 이 기 때문 에 , 가이드 레일 이 스테이지 장치 의 본 체부 측 과 분할 부 측 중 분할 부 측 에 설치 되 어 있 었 을 경우 에 는 , 조립 시 의 위치 결정 정밀도 달성 작업 이 극히 손 이 가 는 것 이 된다 . 따라서 , 베이스 대의 분할 면은 , 한 쌍 의 가이드 레일 보다 외측 영역 에 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같 은 구성 을 채용 하 였을 경우 , 가이드 레일 이 스테이지 장치 의 본 체부 측 에 설치 되 어 있 기 때문 에 , 조립 시 , 스테이지 장치 의 분할 부 를 본 체부 에 연결 시킬 때 의 위치 결정 정밀도 달성 작업 을 용이 하 게 행할 수 있 다 .