또한 , 온도 조절 실 ( 332 ) 에 대하 여 마련 된 게이트 밸브 ( G 32 ) 는 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 에 대한 웨이퍼 ( W ) 의 반송 레벨 에 는 존재 하 지 않 도록 마련 되 어 있 다 . 환언 하 면 , 게이트 밸브 ( G 32 ) 는 도 3 및 도 4 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 와 동일 수평면 상 에 는 존재 하 지 않 도록 마련 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 게이트 밸브 ( G 32 ) 는 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 와 동일 수평면 상 에 는 존재 하 지 않 도록 진공 반송 장치 ( 30 ) 에 있 어서 의 상측 에 배설 되 어 있 다 . 따라서 , 도 5 에 도시 하 는 바 와 같이 , 평면 에서 본 장치 폭 방향 인 X 방향 에 관하 여 , 게이트 밸브 ( G 32 ) 와 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 가 서로 의 일부 가 중첩 되 도록 배설 되 어 있 어도 , 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 를 거친 웨이퍼 ( W ) 의 반입 · 반출 이 방해 받 는 일 이 없 다 .