임프 린트 처리 정밀도 를 증가 시키 기 위해서 , 샷 영역 그룹 의 수 를 증가 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 14 에 도시 된 바 와 같이 , 샷 영역 은 4 개 의 Group A , B , C 및 D 로 분할 될 수 있 다 . 더 구체 적 으로 는 , 도 14 에 도시 된 예 에서 , 샷 영역 은 기판 ( 2 ) 의 중심 으로부터 의 거리 에 따라 4 개 의 샷 영역 그룹 으로 분할 된다 .