또한 , 상기 진공 펌프 ( 200 ) 는 상기 공정 챔버 ( 100 ) 가 소정 의 진공도 를 갖 도록 상기 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 공기 또는 가스 를 펌핑 한다 . 이때 , 상기 공정 챔버 ( 100 ) 는 상기 진공 펌프 ( 200 ) 에 의해 상압 또는 대기압 에서 저 진공 을 거쳐 고진공 으로 펌핑 될 수 있 다 . 예컨대 , 상기 진공 펌프 ( 200 ) 는 저 진공 펌프 ( 220 ) 와 , 고진공 펌프 ( 210 ) 로 나누 어 질 수 있 고 , 상기 저 진공 펌프 ( 220 ) 와 상기 고진공 펌프 ( 210 ) 가 직렬 로 연결 되 어 펌핑 동작 될 수 있 다 . 상기 저 진공 펌프 ( 220 ) 는 약 10 - 3 Torr 정도 의 저 진공 을 만들 수 있 는 러핑 펌프 ( roughing pump ) 라 칭하 며 , 피스톤 의 왕복 운동 에 의해 공기 가 펌핑 되 는 로터리 피스톤 펌프 ( rotary piston mechanical pump ) 와 , 비대칭 회전자 가 회전 되 는 공간 내 에 삽입 된 오일 의 실링 ( sealing ) 에 의해 공기 가 펌핑 되 는 로터리 오일 펌프 ( rotary oil - sealed mechanical pump ) 로 나뉘 어 진다 .