또한 , 노광 장치 를 구성 하 는 광학 부품 을 경통 에 수용 하 고 , 이러 한 경통 을 폐 공간 으로 하 고 , 환경 챔버 내 의 공기 보다 도 청 정도 가 높 은 공기 로 경통 내 를 퍼지 하 는 기술 이 일본 특허 공개 2001 - 028331 호 공보 에 제안 되 어 있 다 . 더욱 , 환경 챔버 에 노출 되 는 광학 부품 ( 의 표면 ) 및 그 부근 의 공간 에 대하 여 , 청 정도 가 높 은 공기 를 , 주변 의 오염 물질 을 말려들 게 하 지 않 는 소정 의 유속 으로 내뿜 는 것 으로 , 광학 부품 에 의 불순물 의 부착 을 방지 하 는 기술 도 일본 특허 공개 2006 - 245401 호 공보 에 제안 되 어 있 다 .