연삭 장치 는 , 복수 의 웨이퍼 를 수용 한 카세트 가 재치 되 는 카세트 재 치부 와 , 카세트 재 치부 에 재치 된 카세트 로부터 웨이퍼 를 반출 및 반입 하 는 웨이퍼 반 출입 수단 과 , 웨이퍼 반 출입 수단 에 의해 반출 된 웨이퍼 가 임시 배치 되 는 임시 배치 수단 과 , 임시 배치 수단 에 임시 배치 된 웨이퍼 를 척 테이블 까지 반송 하 는 제 1 반송 수단 과 , 척 테이블 에 유지 된 웨이퍼 의 상면 을 연삭 하 는 연삭 수단 과 , 연삭 완료 된 웨이퍼 를 척 테이블 로부터 반출 하 여 세정 수단 까지 반송 하 는 제 2 반송 수단 으로 적어도 구성 되 어 있 고 , 웨이퍼 를 적정 하 게 연삭 할 수 있 다 ( 예컨대 특허 문헌 1 참조 ) . 제 1 반송 수단 및 제 2 반송 수단 은 웨이퍼 를 흡인 유지 하 는 흡착 패드 를 포함 한다 .