현상 의 종료 시 에 는 린스 를 행한다 . 린스 액 으로서 는 , 현상액 과 혼화성 이 어서 레지스 트 막 을 용해 시키 지 않 는 용제 가 바람직 하 다 . 적합 한 용제 는 탄 소수 3 ∼ 10 의 알코올 , 탄 소수 8 ∼ 12 의 에테르 화합물 , 탄 소수 6 ∼ 12 의 알칸 , 알켄 , 알킨 , 및 방향 족계 용제 를 포함 한다 . 구체 적 으로 탄 소수 3 ∼ 10 의 적합 한 알코올 은 , n - 프로필알코올 , 이소프로필알코올 , 1 - 부틸알코올 , 2 - 부틸알코올 , 이소 부틸알코올 , tert - 부틸알코올 , 1 - 펜탄올 , 2 - 펜탄올 , 3 - 펜탄올 , tert - 펜틸 알코올 , 네오 펜틸 알코올 , 2 - 메틸 - 1 - 부탄올 , 3 - 메틸 - 1 - 부탄올 , 3 - 메틸 - 3 - 펜탄올 , 시클로펜탄 올 , 1 - 헥산 올 , 2 - 헥산 올 , 3 - 헥산 올 , 2 , 3 - 디 메틸 - 2 - 부탄올 , 3 , 3 - 디 메틸 - 1 - 부탄올 , 3 , 3 - 디 메틸 - 2 - 부탄올 , 2 - 에틸 - 1 - 부탄올 , 2 - 메틸 - 1 - 펜탄올 , 2 - 메틸 - 2 - 펜탄올 , 2 - 메틸 - 3 - 펜탄올 , 3 - 메틸 - 1 - 펜탄올 , 3 - 메틸 - 2 - 펜탄올 , 3 - 메틸 - 3 - 펜탄올 , 4 - 메틸 - 1 - 펜탄올 , 4 - 메틸 - 2 - 펜탄올 , 4 - 메틸 - 3 - 펜탄올 , 시클로헥산 올 , 및 1 - 옥탄 올 을 포함 한다 . 탄 소수 8 ∼ 12 의 적합 한 에테르 화합물 은 디 - n - 부틸 에 테르 , 디 이소 부틸 에 테르 , 디 - sec - 부틸 에 테르 , 디 - n - 펜틸 에 테르 , 디 이소 펜틸 에 테르 , 디 - sec - 펜틸 에 테르 , 디 - tert - 펜틸 에 테르 , 및 디 - n - 헥 실에 테르 를 포함 한다 . 탄 소수 6 ∼ 12 의 적합 한 알칸 은 헥산 , 헵탄 , 옥탄 , 노난 , 데칸 , 운 데칸 , 도데 칸 , 메틸 시클로펜탄 , 디 메틸 시클로펜탄 , 시클로헥산 , 메틸 시클로헥산 , 디 메틸 시클로헥산 , 시클 로 헵탄 , 시클 로 옥탄 , 및 시클 로 노난 을 포함 한다 . 탄 소수 6 ∼ 12 의 적합 한 알켄 은 헥 센 , 헵텐 , 옥 텐 , 시클 로 헥 센 , 메틸 시클 로 헥 센 , 디 메틸 시클 로 헥 센 , 시클 로 헵텐 , 및 시클 로 옥 텐 을 포함 한다 . 탄 소수 6 ∼ 12 의 적합 한 알킨 은 헥 신 , 헵틴 , 및 옥 틴 을 포함 한다 . 적합 한 방향 족계 용제 는 톨루엔 , 크실렌 , 에틸벤젠 , 이소프로필 벤젠 , tert - 부틸 벤젠 및 메시틸렌 을 포함 한다 .