또 , 상술 한 제 1 ~ 제 9 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 크기 와 형상 과 의 적어도 한쪽 이 달라져 있 어도 된다 . 예 를 들 면 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에서 X 축 방향 의 폭 및 / 또는 Y 축 방향 의 폭 이 달라져 있 어도 된다 . 또한 , X 축 방향 의 폭 이 다른 경우 에 는 , 쇼트 영역 ( SH ) 내 의 일부 의 영역 만 이 다중 ( 이중 ) 노광 된다 .