이후 , 제 2 블로킹 막 ( 280 ) 상 에 제 2 스 페이서 막 을 형성 한 후 , 상기 제 2 스 페이서 막 을 이방성 식각 함 으로써 , 제 1 개 구 ( 260 ) 의 측벽 상 에 제 2 스 페이서 ( 300 ) 를 형성 할 수 있 으며 , 이 에 따라 제 2 불순물 영역 ( 104 ) 상부 의 제 2 블로킹 막 ( 280 ) 부분 이 노출 될 수 있 다 .