ZrO 층 이 형성 된 후 , 밸브 ( 324 ) 를 닫 아 , O 3 가스 의 공급 을 정지 한다 . 그리고 , O 3 가스 공급 스텝 전 의 잔류 가스 제거 스텝 과 마찬가지 의 처리 수순 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 미반 응 또는 ZrO 층 형성 에 기여 한 후 의 O 3 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 배제 한다 .