" 본 개시 내용 은 기존 방법 들 의 이러 한 및 다른 한계 들 을 다룬다 . 챔버 의 하나 이상 의 윈도우 를 통해 수집 된 광 산란 데이터 를 사용 함 으로써 오염 물질 들 의 농도 및 역학 에 대한 비 침습 적 실시간 챔버 - 내 모니터링 에 사용 될 수 있 는 시스템 들 및 방법 들 이 여기 에 개시 된다 . "" 오염 물질 "" 이 라는 용어 는 불순물 ", 예 를 들 어 잘못 된 화학 적 유형 의 입자 ( 또는 입자 들 의 클러스터 ) 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 실리콘 태양 전지 제조 동안 , 불순물 들 은 철 , 구리 , 몰리브덴 , " 또는 태양 전지 생산 을 경제 적 으로 불 가능 하 게 하 도록 태양 효율 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 는 다른 금속 들 을 포함 할 수 있 다 . "" 오염 물질 "" 이 라는 용어 는 또한 화학 적 유형 은 정확 하 지만 크기 또는 형태 가 잘못 된 입자 들 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 ", 원자 들 로 적절히 분해 되 지 않 은 실리콘 클러스터 는 결국 전체 로서 실리콘 칩 에 퇴적 되 어 , 칩 내 의 전하 캐리어 들 의 이동성 에 해로운 영향 을 미치 는 결함 을 구성 할 수 있 다 .