이 와 같이 검출 되 는 신호 ( 300 ) 의 그래프 를 각각 의 벽면 에지 ( 231 , 233 ) 에 연관 된 부분 , 즉 , 제 1 신호 부분 ( 301 ) 및 제 2 신호 부분 ( 303 ) 으로 , 도 12 에 제시 된 바 와 같이 , 분할 할 수 있 다 . 이러 한 분할 은 신호 ( 300 ) 의 기 저점 인 베이스 상태 와 기고 점인 포화 상태 를 기준 으로 분할 함 으로써 가능 하 다 . 즉 , 1 차 및 2 차 미분 을 적용 하 여 제 1 신호 ( 301 ) 및 제 2 신호 ( 303 ) 로 분할 하 고 , 각각 의 제 1 및 제 2 신호 ( 301 , 303 ) 의 변이 부분 의 폭 인 제 1 폭 ( 도 11 의 401 ) 및 제 2 폭 ( 403 ) 을 계산 한다 . 이러 한 제 1 및 제 2 폭 ( 401 , 403 ) 을 중첩 하 여 평균 하 여 전자 빔 ( 109 ) 의 폭 ( 400 ) 으로 측정 한다 .