예 84 : 예 79 내지 예 83 중 어느 한 예의 방법 에서 , 기판 의 적어도 제 1 면 상 에 적어도 하나 의 액체 를 분무 하 는 단계 는 , 기판 을 건조 시키 기 시작 하 기 위해 제 1 차 폐부 회전 속도 를 증가 시키 는 단계 또는 기판 을 건조 시키 기 시작 하 기 위해 제 2 차 폐부 회전 속도 를 증가 시키 는 단계 전 에 중단 된다 .