예컨대 , 기판 ( S ) 의 처리 공정 시 , 공정 챔버 ( 600 ) 의 하측 에 설치 된 배기 포트 ( E ) 로 공정 챔버 ( 600 ) 내부 의 공기 를 흡입 하 여 진공 분위기 가 형성 되 면 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 에 의해 형성 된 포켓 홈 부 ( 30 ) 의 여유 공간 ( V ) 에 진공 압 이 형성 됨 으로써 , 기판 ( S ) 을 포켓 홈 부 ( 30 ) 에 고정 하 는 흡착 력 을 발생 시킬 수 있 다 .