도 12 에 나타낸 바 와 같이 , 예시 적 시스템 ( 1200 ) 은 계측 데이터 소스 ( 1222 ) 를 포함 할 수 있 다 . 한 예시 적 실시 예 에서 , 계측 데이터 소스 ( 1222 ) 는 반사계 , 타원 계 , 전자 주사 현미경 ( SEMs ) , 광학 나노 젯 계측 시스템 , 등 과 같 은 계측 도구 의 오프라인 클러스터 를 포함 할 수 있 다 . 계측 데이터 소스 ( 1222 ) 는 또한 원격 데이터 서버 , 원격 프로세서 , 또는 계측 데이터 를 제공 하 는 웹 사이트 를 또한 포함 할 수 있 고 , 후방 산란 시 그 너 처 의 라이브러리 를 포함 할 수 있 다 .