[ 0055 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 증착 장치 ( 100 ) 는 , 도 3 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 를 이동 시키 기 위한 구동 유닛 ( 320 ) 을 포함 할 수 있 다 . 구동 유닛 ( 320 ) 은 , 이동 가능 한 증착 소스 를 , 소스 운반 경로 를 따라 , 특히 , 제 1 방향 ( 150 ) 에 대응 하 는 선형 방향 으로 이동 시키 도록 구성 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 구동 유닛 ( 320 ) 은 공급 어 레인지 먼 트 에 또는 그 일부 에 연결 된다 . 특히 , 구동 유닛 ( 320 ) 은 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 의 부분 에 커플링 될 수 있 다 . 그런 다음 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 및 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 는 구동 유닛 ( 320 ) 에 의해 함께 이동 되 거나 병진 될 수 있 다 .