또한 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 는 , 연삭 장치 혹은 연마 장치 에 설치 되 어 , 연삭 혹은 연마 된 웨이퍼 ( W ) 를 촬상 및 검사 하 도록 구성 되 어 있 어도 좋 다 . 이 경우 , 연삭 장치 혹은 연마 장치 는 , 가공 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 기 위한 복수 의 카세트 를 갖 고 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 에 의한 검사 의 결과 에 따라 , 가공 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 는 카세트 를 나누 어도 좋 다 .