이어서 , 피마 킹 체 ( 71 a , 71 b ) 를 기준점 으로 하 여 , 미리 규정 된 형상 의 레지스 트 패턴 이 포토 리소그래피 에 의해 코어 층 ( 63 ') 상 에 형성 되 고 , 코어 층 ( 63 ') 이 에칭 되 어 코어 ( 63 ) 를 형성 한다 [ 도 17 의 ( e ) ] . 이때 , 코어 ( 63 ) 를 형성 하 기 위한 마스크 와 피마 킹 체 ( 71 a , 71 b ) 사이 에 발생 된 시프트 가 , 수동 정렬 에 의해 나중 에 장착 되 는 PD 칩 ( 80 ) 과 코어 ( 63 ) 사이 의 위치 시프트 가 된다 .