상기 챔버 ( 10 ) 는 상부 챔버 ( 11 ) 와 , 상부 챔버 ( 11 ) 의 상부 에 결합 되 는 마개 부재 ( 12 ) 와 , 상기 상부 챔버 ( 11 ) 의 하부 에 결합 되 는 하부 챔버 ( 13 ) 를 구비 한다 . 이 챔버 ( 10 ) 의 내측 에 형성 되 는 밀폐 된 공간 부 ( 112 ) 에서 박막 증착 공정 이 이루어지 며 , 이 공간 부 ( 112 ) 를 진공 분위기 로 형성 할 수 있 도록 펌핑 라인 ( 미 도시 ) 가 마련 된다 . 또한 , 상기 상부 챔버 ( 11 ) 에 는 , 웨이퍼 가 챔버 로 유입 및 유출 될 수 있 도록 게이트 ( 111 ) 가 형성 되 어 있 다 .