범프 가 부착 된 웨이퍼 의 범프 의 면 을 수지 로 피복 하 여 요철 을 흡수 하 고 , 반대 의 면 에서 절삭 이나 연삭 을 실시 하 는 경우 , 수지 의 두께 가 일정 하 지 않 으면 절 입 깊이 나 연삭 후 의 두께 에 편차 가 생겨 버린다는 문제 가 있 었 다 . 또한 , 유지 부 와 테이블 을 어느 정도 접근 시켜 웨이퍼 에 수지 를 피복 할지 는 고정 치 로 정해져 있 기 때문 에 , 웨이퍼 의 두께 편차 가 있 으면 수지 를 균등 한 두께 로 피복 할 수 없 다는 문제 가 있 었 다 .