전술 한 본 발명 의 일 실시 예 에서 는 제 1 전극 들 ( 120 ) 각각 의 내부 에 개구부 ( OP ) 를 형성 하 고 , 상기 개구부 ( OP ) 내 에 상기 제 1 전극 들 ( 120 ) 과 이격 되 도록 제 3 전극 들 ( 160 ) 의 전극 부들 ( 162 ) 을 배치 한다 . 일례 로 , 본 발명 의 일 실시 예 에서 는 제 1 감지 셀 들 ( 122 ) 각각 의 내부 에 개구부 ( OP ) 를 형성 하 고 상기 개구부 ( OP ) 내 에 플로우 팅 된 제 1 더미 패턴 들 ( 126 ) 을 배치 함 과 아울러 , 상기 제 1 더미 패턴 들 ( 126 ) 과 중첩 되 도록 제 3 전극 들 ( 160 ) 의 전극 부들 ( 162 ) 을 배치 한다 . 예컨대 , 제 3 전극 들 ( 160 ) 의 전극 부들 ( 162 ) 은 제 1 더미 패턴 들 ( 126 ) 의 면적 이하 의 면적 을 가지 며 제 1 더미 패턴 들 ( 126 ) 의 하부 ( 즉 , 기판 ( 110 ) 과 제 1 더미 패턴 들 ( 126 ) 의 사이 ) 에 제공 될 수 있 다 . 이 에 의해 , 제 3 전극 들 ( 160 ) 과 제 1 및 / 또는 제 2 전극 들 ( 120 , 130 ) 사이 에 형성 될 수 있 는 기생 커패시턴스 를 저감 함 으로써 , 노이즈 신호 ( Sno ) 를 보다 효과 적 으로 검출 할 수 있 다 .