도 8 을 참조 하 면 , 단계 S 150 에서 스핀 헤드 ( 120 ) 에 기판 ( W ) 이 로딩 되 면 , 공정 처리 에 필요 한 약액 을 공급 받 기 위한 위치 로 상하 이동 한다 . 단계 S 152 에서 복수 개 의 노즐 들 ( 112 ) 중 해당 노즐 의 에어 척 ( 118 a , 118 b 또는 118 c ) 을 선택 하 여 해당 약액 을 공급 하 는 노즐 을 척 킹 한다 .