도 10 및 도 13 를 참조 하 면 , 음압 전달 플레이트 부 ( 121 ) 는 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 의 복수 개 의 진공 홀 ( 114 ) 이 형성 된 부분 과 대향 하 는 부분 이 Z 축 방향 일 측 으로 함몰 되 어 형성 된 함몰 부 ( 12111 ) 를 포함 한다 . 예 를 들 어 , 도 10 을 참조 하 면 , 음압 전달 플레이트 부 ( 121 ) 는 제 1 음압 전달 플레이트 ( 1211 ) 및 제 1 음압 전달 플레이트 ( 1211 ) 의 Z 축 방향 일 측 에 구비 되 는 제 2 음압 전달 플레이트 ( 1212 ) 를 포함 할 수 있 고 , 제 1 음압 전달 플레이트 ( 1211 ) 의 Z 축 방향 타 측 을 향하 는 타면 에 함몰 부 ( 12111 ) 가 형성 될 수 있 다 .