커버 부재 ( 5 ) 의 저 벽부 ( 54 ) 를 대직 경부 ( 662 ) 에 감합 시킨 상태 에서 는 , 커버 부재 ( 5 ) 와 , 정전 척 테이블 ( 6 ) 에 의해 밀폐 공간 ( 7 ) 이 설치 된다 . 여기 서 , 밀폐 공간 ( 7 ) 의 내부 에 는 , 환형 프레임 ( 12 ) 과 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) 이 수납 된다 . 이 와 같이 , 차폐 단계 ( ST 5 ) 에서 는 , 환형 프레임 ( 12 ) 과 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) 을 커버 부재 ( 5 ) 로 덮 는 것 에 의해 , 외부 공간 으로부터 차폐 할 수 있 다 . 또한 , 지지 배관 ( 42 ) 으로부터 불활성 가스 ( 40 ) 를 밀폐 공간 ( 7 ) 의 내부 에 유입 시키 는 것 에 의해 , 밀폐 공간 ( 7 ) 의 내부 를 양 압 으로 할 수 있 다 .