하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 506 ) 는 O - 링 ( 508 ) 의 분위기 측 부 ( atmospheric side ) 에 배치 될 수 있 다 . 스 페이서 ( 506 ) 가 O - 링 ( 508 ) 의 분위기 측 부 상 에 있 기 때문 에 , 스 페이서 ( 506 ) 가 이송 챔버 ( 520 ) 의 측 부 ( 520 ) 를 따라 슬라이딩 될 때 이송 챔버 ( 502 ) 의 측 부 ( 520 ) 및 / 또는 스 페이서 ( 506 ) 에 의해 발생 되 는 소정 의 입자 는 이송 챔버 ( 502 ) 및 처리 챔버 내 에 포함 되 는 처리 공간 내 로 유입 되 지 않 을 수 있 어 공정 을 오염 시키 지 않 을 수 있 다 . 스 페이서 ( 506 ) 는 이송 챔버 ( 502 ) 와 슬릿 밸브 ( 504 ) 사이 의 거리 ( T ) 를 유지 하 도록 할 수 있 다 . 이송 챔버 ( 502 ) 와 슬릿 밸브 ( 504 ) 사이 의 거리 ( T ) 의 유지 는 슬릿 밸브 ( 504 ) 가 열 적 으로 팽창 / 수축 하 고 및 / 또는 진공 변형 될 때 슬릿 밸브 ( 504 ) 와 이송 챔버 ( 502 ) 가 서로 접촉 할 수 있 는 가능 성 을 감소 시킨다 . 슬릿 밸브 ( 504 ) 및 이송 챔버 ( 502 ) 가 서로 접촉 하 는 경우 , 입자 가 슬릿 밸브 ( 504 ) , 이송 챔버 ( 502 ) 또는 둘 다로 부터 벗겨질 수 있 다 . 입 자는 기판 을 오염 시킬 수 있 다 . 거리 ( T ) 는 슬릿 밸브 ( 504 ) 의 기대 되 는 열 팽창 / 수축 및 / 또는 진공 변형 을 기초 로 하 여 설정 될 수 있 다 . 거리 ( T ) 는 이송 챔버 ( 502 ) 와 슬릿 밸브 ( 504 ) 가 서로 접촉 할 가능 성 을 감소 시키 는 동안 슬릿 밸브 ( 504 ) 와 이송 챔버 ( 502 ) 사이 의 효과 적 인 진공 밀봉 을 허용 하 기 에 충분 한 거리 일 수 있 다 .