먼저 , 본 발명 에 따른 구리 배선 도금 장치 는 프리 웨 팅 탱크 ( 10 ) 와 도금 챔 버 ( 30 ) 로 이루어진다 . 상기 프리 웨 팅 탱크 ( 10 ) 는 , 패턴 형성 부가 저면 으로 향하 도록 위치 하 는 기판 ( 20 ) 을 그 하면 에 로딩 하 는 로딩 부 ( 11 ) 와 , 상기 로딩 부 ( 11 ) 와 마주 보 며 , 상기 패턴 형성 부 가 형성 된 기판 ( 20 ) 의 상면 으로 웨 팅 솔루션 을 가압 하 는 가압 기재 ( 13 ) 를 포함 한다 .