분산매 및 산화 분위기 가스 로 는 공기 ( VMC 공급 에어 ) 를 채용 하 고 있 지만 , 습도 를 조절 함 으로써 수분 함유량 을 2 단계 로 조절 하 였 다 ( 수분 량 제 어 공정 ) . 얻 어 진 금속 산화물 입자 재료 로서 의 실리카 입자 에 대해 , 200 ℃ 까지 가열 한 경우 , 500 ℃ 까지 가열 한 경우 의 각각 에 대해 수분 량 을 칼 피셔법 으로 측정 하 였 다 . 결과 를 표 1 에 나타낸다 .