본 발명 은 이재 로봇 을 이용 하 여 기판 을 카세트 에 로딩 및 언로 딩 하 는 경우 기판 의 파손 을 방지 하 기 위한 것 으로 , 양 측벽 에 기판 을 수납 할 수 있 는 복수 개 의 슬롯 ( slot ) 이 구비 된 카세트 와 , 카세트 로 이재 하 고자 하 는 교시 위치 ( teaching position ) 로 진입 하 여 기판 을 로딩 ( loading ) 또는 언로 딩 ( unloading ) 하 는 이재 로봇 , 기판 을 이재 하 고자 카세트 내 로 진입 하 는 경우 이재 로봇 의 움직임 을 감지 하 도록 카세트 의 슬롯 에 설치 된 복수 개 의 변위 센서 들 , 및 변위 센서 들 을 통해 카세트 의 각 슬롯 위치 를 검출 함 과 동시 에 카세트 로 의 교시 위치 를 검출 한 후 , 교시 위치 에 따라 이 재 로봇 의 동작 을 제어 하 여 기판 의 파손 을 방지 하 는 이재 로봇 제어기 를 포함 하 는 기판 파손 방지 이재 로봇 시스템 및 이 의 제어 방법 을 제공 한다 .