MOVPE 방법 에서 는 , 기판 이 반응기 에 유지 되 어 , 기판 에 캐리어 기체 및 각 반응물 의 금속 유기 기체 ( 예컨대 , III 족 원소 를 함유 하 는 금속 유기 전구체 및 V 족 원소 를 함유 하 는 금속 유기 전구체 ) 가 제공 된다 . 전형 적 인 캐리어 기체 는 수소 , 질소 또는 이 둘 의 혼합물 이 다 . 흑연 질 기판 상의 NW 의 핵 화 및 성장 의 더 높 은 수준 의 제어 는 펄스 화 된 층 성장 기술 ( 여기 서 III 족 및 V 족 원소 는 교대 로 공급 될 수 있 다 ) 을 사용 함 으로써 MOVPE 기술 에 의해 달성 될 수 있 다 .