상기 챔버 본체 ( 201 , 301 ) 는 , 공정 챔버 ( 100 ) 와 의 웨이퍼 인입 및 인출 통로 이 자 진공 압력 제어 를 위한 진공 도어 ( 203 , 303 ) 와 , 로봇 에 의한 웨이퍼 의 인입 및 인출 통로 이 자 대 기 와 의 압력 제어 를 위한 대기 도어 ( 204 , 304 ) 가 구비 된다 . 챔버 본체 ( 201 , 301 ) 상부 에 는 상부 도어 ( 206 , 306 ) 가 힌지 ( 207 , 307 ) 에 의하 여 접철 되 는 상부 플레이트 ( 205 , 305 ) 가 설치 되 며 , 측면 에 는 투 시창 ( 202 , 302 ) 이 설치 된다 .