제어 모듈 ( 600 ) 은 전구체 전달 시스템 및 증착 장치 의 액티비티 들 을 제어 할 수 도 있 다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 프로세스 타이밍 , 전달 시스템 온도 , 필터 들 에 걸친 압력 차 들 , 밸브 위치 들 , 가스 들 의 혼합물 , 챔버 압력 , ( 프로세싱 영역 내 표면 온도 를 포함 하 는 ) 챔버 온도 , 웨이퍼 온도 , RF 전력 레벨 들 , 웨이퍼 척 또는 페데 스탈 위치 , 코일 로 의 전력 , 가열 엘리먼트 로 의 전력 , 및 특정 한 프로세스 의 다른 파라미터 들 을 제어 하 기 위한 인스트 럭 션 들 의 세트 들 을 포함 하 는 컴퓨터 프로그램 들 을 실행 한다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 은 또한 압력 차 를 모니터링 할 수 도 있 고 하나 이상 의 경로 들 로부터 하나 이상 의 경로 들 로 증기 전구체 전달 을 자동 으로 스위칭 할 수 도 있 다 . 제 어 모듈 ( 600 ) 과 연관 된 메모리 디바이스 들 상 에 저장 된 다른 컴퓨터 프로그램 들 은 일부 실시 예 들 에 채용 될 수 도 있 다 .