연마 패드 ( 12 ) 는 일정 폭 을 갖 는 벨트 형태 를 갖 고 원형 또는 폐 루프 형태 로 형성 되 며 , 외주 면 이 기판 ( 1 ) 을 연마 하 기 위한 연 마면 이 된다 . 연마 패드 ( 12 ) 는 한 쌍 의 롤러 ( 131 , 132 ) 의 외주 면 에 소정 의 장력 이 가해져서 인장 된 상태 로 감겨 지 고 , 구동 롤러 ( 13 ) 가 회전 함 에 따라 무한궤도 와 같이 연속 적 으로 회전 하 게 된다 . 연마 패드 ( 12 ) 의 회전 방향 은 , 연마 패드 ( 12 ) 에서 기판 ( 1 ) 과 접촉 되 는 부분 ( 즉 , 본 실시 예 에서 는 하부 ) 의 이동 방향 이 기판 ( 1 ) 이 이동 하 는 방향 과 동일 한 방향 이 되 도록 회전 하 게 된다 . 그리고 , 연마 패드 ( 12 ) 가 접촉 되 는 부분 에서 , 기판 ( 1 ) 과 연마 패드 ( 12 ) 는 동일 방향 으로 이동 하 되 , 기판 ( 1 ) 과 연마 패드 ( 12 ) 사이 의 상대 속도 에 의해서 기판 ( 1 ) 의 연마 가 이루어진다 .