그러나 , 채널 구멍 이 라이너 ( 160 ) 와 플러그 충 진체 ( 170 ) 로 충 진 된 후 , 라이너 ( 160 ) 와 플러그 충 진체 ( 170 ) 는 희생 재료 로서 역할 하 여 제거 될 수 있 어야 한다 . 플러그 충 진체 ( 170 ) 는 , 수산화 암모늄 ( NH 4 OH ) , 과산화수소 ( H 2 O 2 ) , 물 ( H 2 O ) , HNO 3 , TDMH , 또는 상기 한 것 들 의 조합 중 적어도 하나 를 사용 하 여 습식 식각 공정 으로 제거 될 수 있 다 . 플러그 충 진체 ( 170 ) 는 , 예 를 들 어 불 산 ( HF ) , 염산 ( HCl ) , 또는 브롬산 ( HBr ) 과 같 은 할 라이드 화학 물질 을 사용 하 는 건식 식각 에 의해 제거 될 수 있 다 . HF 혼합물 을 이용해 라이너 ( 160 ) 를 제거 하 는 습식 세정 공정 이 따를 수 있 다 .