또한 , EFEM ( 20 ) 의 웨이퍼 이 송실 의 타 측 에 는 관 통구 ( 22 ) 를 통해 반도체 공정 장치 ( 30 ) 가 접속 되 고 , 풉 ( 11 ) 내부 에 저장 된 웨이퍼 는 로봇 암 ( 21 ) 의 엔드 이펙터 ( 21 a ) 를 이용 하 여 반도체 공정 장치 ( 30 ) 로 이송 되 거나 또는 상기 반도체 공정 장치 ( 30 ) 에서 가공 처리 를 마친 웨이퍼 는 풉 ( 11 ) 내부 로 이송 된다 .