이상 과 같이 제 1 본 실시 형태 에서 는 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로부터 의 약액 의 토출 실행 및 토출 정지 는 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 을 개폐 밸브 로 개폐 함 으로써 전환 되 는 것 이 아니 라 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에서 의 압력 손실 과 제 1 리턴 배관 ( 32 A ) 에서 의 압력 손실 의 대소 관계 를 변경 함 으로써 전환 된다 . 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 은 , 개폐 밸브 로 닫히 는 것 이 아니 라 , 이상시 이외 에 는 항상 열려 있 다 . 따라서 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 을 개폐 밸브 로 개폐 하 는 경우 에 비해 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 에 공급 된 약액 에 포함 되 는 이물 의 양 이 적 다 . 이것 에 의해 , 약액 에 포함 되 는 이물 로 기판 ( W ) 이 오염 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 어 , 기판 ( W ) 의 청 정도 를 높일 수 있 다 .