그런데 , 이 와 같 은 종래 기술 은 선회 모터 ( 130 ) 의 구동력 은 신축 가능 한 벨로우즈 ( 104 ) 를 통해 제 1 및 제 2 슬라이드 기구 ( 3 , 3 ') 를 포함 한 로봇 기구 ( 1 ) 및 승 강 기구 ( 11 ) 를 함께 회전 시키 는 구조 로 되 어 있 기 때문 에 , 선회 모터 ( 130 ) 의 회전력 을 제 1 및 제 2 슬라이드 기구 ( 3 , 3 ') 를 포함 한 로봇 기구 ( 1 ) 및 승강 기구 ( 11 ) 를 함께 회전 시키 기 위해 벨로우즈 ( 104 ) 가 받 는 부하 가 크 다는 문제점 이 있 다 . 이러 한 벨로우즈 ( 104 ) 가 받 는 부하 가 어느 한도 를 넘어서 게 되 면 , 자성체 샤프트 ( 124 ) 의 상방 과 승 라이드 기구 기부 ( 2 ) 의 하 면 간 의 벨로우즈 ( 104 ) 와 의 연결 부분 끊 어 지 거나 또는 벨로우즈 ( 104 ) 자체 가 파단 되 어 자성체 샤프트 ( 124 ) 의 내부 로 외부 공기 가 챔버 ( V ) 내 로 유입 됨 으로 인해 챔버 ( V ) 내부 를 진공 상태 로 유지 하 지 못하 는 문제점 이 있 었 다 .