통상 적 인 평 행판 , 용량 성 플 라즈 마 반응기 ( 100 ) 는 둥근 평면형 기판 들 을 프로세싱 하 는 데 사용 된다 . 공통 적 인 프로세스 들 은 유전체 식각 및 다른 식각 프로세스 들 이 다 . 그러 한 플 라즈 마 반응기 들 은 통상 적 으로 내재 적 인 뉴트럴 종 의 중심 - 대 - 에 지간 ( center - to - edge ) 불 균일 성 을 겪 는다 .