지지 구조 체 는 패 터닝 디바이스 를 지지 , 즉 그 무게 를 견딘다 . 이 는 패 터닝 디바이스 의 방위 , 리소그래피 장치 의 디자인 , 및 예 를 들 어 패 터닝 디바이스 가 진공 환경 에서 유지 되 는지 의 여부 와 같 은 다른 조건 들 에 의존 하 는 방식 으로 패 터닝 디바이스 를 유지 한다 . 지지 구조 체 는 패 터닝 디바이스 를 유지 하 기 위해 기계 적 , 진공 , 정전기 , 또는 다른 클램 핑 기술 들 을 이용 할 수 있 다 . 지지 구조 체 는 , 예 를 들 어 필요 에 따라 고정 되 거나 이동 가능 할 수 있 는 프레임 또는 테이블 일 수 있 다 . 지지 구조 체 는 , " 패 터닝 디바이스 가 예 를 들 어 투영 시스템 에 대해 원 하 는 위치 에 있 을 것 을 보장 할 수 있 다 . 본 명세서 의 "" 레티 클 "" 또는 "" 마스크 "" 라는 용어 의 어떠 한 사용 도 "" 패 터닝 디바이스 "" 라는 좀 더 일반 적 인 용어 와 동의어 로 간주 될 수 있 다 . "