도 9 b 는 , 유도성 요소 ( 예 를 들 어 , 평면형 , 또는 솔레노이드 형 / 헬리 칼 형 코일 ) 와 하단 플레이트 전극 ( LEL ) 사이 의 기판 근방 에 플 라즈 마가 형성 되 고 , 하단 전극 이 기판 을 지지 하 고 유지 하 기 위한 정전 척 ( ESC ) 으로서 또 한 역할 하 는 유도 성 결합 플 라즈 마 ( inductively coupled plasma ; ICP ) 시스템 을 예시 한다 . 무선 주파수 ( RF ) 전력 을 유도 성 결합 요소 에 결합 함 으로써 플 라즈 마가 형성 된다 . 도 9 b 에 도시 된 바 와 같이 , RF 전력 은 유도 성 요소 및 하단 전극 둘 다 에 결합 되 고 , 전력 결합 은 상이 한 RF 주파수 들 을 포함 할 수 있 다 .