도 12 는 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 좌측면 도 이 다 . 2 개 의 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 은 각각 , 15 개 의 열처리 부 ( 37 ) 를 구비 하 고 있 다 . 15 개 의 열처리 부 ( 37 ) 는 , 5 단 × 3 열 로 배치 되 어 있 다 . 또한 , 2 개 의 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 각각 , 20 개 의 열처리 부 ( 37 ) 를 구비 하 고 있 다 . 20 개 의 열처리 부 ( 37 ) 는 , 5 단 × 4 열 로 배치 되 어 있 다 .