접촉 식 세정 유닛 ( 400 ) 은 기판 ( 10 ) 의 표면 에 물리 적 으로 접촉 되 며 세정 을 수행 가능 한 다양 한 구조 로 제공 될 수 있 다 . 이하 에서 는 접촉 식 세정 유닛 ( 400 ) 이 제 1 접 촉식 세정 유닛 ( 402 ) 및 제 2 접 촉식 세정 유닛 ( 404 ) 을 포함 하 여 구성 된 예 를 들 어 설명 하 기 로 한다 .