또한 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 200 ) 의 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 는 , 제 2 열 전달 부 ( 35 ) 대신 에 , 기판 ( S ) 이 단 턱 부 ( 31 ) 상 에 안착 될 시 디스크 ( 10 ) 로부터 기판 ( S ) 으로 열전달 을 돕 도록 배기 통로 ( 40 ) 에서 그 바닥 면 ( 21 ) 으로부터 기둥 형상 으로 적어도 한 개 가 단 턱 부 ( 31 ) 와 동일 한 높이 로 돌출 되게 형성 되 는 제 3 열 전달 부 ( 34 ) 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 제 3 열 전달 부 ( 34 ) 는 , 배기 통로 ( 40 ) 에 디스크 ( 10 ) 의 원주 방향 을 따라서 복수 개 로 배치 될 수 있 다 .