따라서 , 공정 챔버 내 의 기판 온도 의 정밀 도 및 재현 성 을 증진 시키 기 위해서 는 기판 의 온도 조절 시스템 이 반드시 필요 하 게 되 며 , 이러 한 기판 의 온도 조절 시스템 으로 는 기판 을 지지 하 여 고정 하 는 정전 척 ( Electro - Static Chuck , ESC ) 과 정 전척 ( ESC ) 내부 에 형성 된 냉각 라인 에 냉각 유체 를 순환 시키 는 칠러 ( Chiller ) 를 이용 하 여 기판 의 배면 을 냉각 시키 는 시스템 이 도입 되 어 활용 되 고 있 다 . 기판 처리 공정 의 진행시 기판 을 척 킹 ( Chucking ) 해 주 는 정전 척 ( ESC ) 의 온도 가 플 라즈 마 에 의한 히팅 으로 계속 적 으로 변화 하 게 되 는데 , 이때 칠러 를 통해 일정 온도 로 조절 된 냉각 유체 를 냉각 라인 을 통해 정전 척 에 공급 함 으로써 , 정전 척 상 에 척 킹 된 기판 의 온도 를 적절 하 게 제어 하 게 된다 .