도 5 에 도시 하 는 제 5 실시 형태 에서 는 , 주 통로 부분 ( 22 ) 에 펌프 ( 30 ) 에 더 하 여 여 과부 ( 40 ) 및 온도 조 절부 ( 50 ) 가 마련 되 어 있 고 , 온도 조 절부 ( 50 ) 가 1 개 의 온도 조절 모듈 을 갖 고 있 다 . 이 구성 은 , 온도 조 절부 ( 50 ) 에 높 은 온도 조절 능력 이 필요 없 을 경우 에 사용 된다 . 이 구성 에 의하 면 , 도 4 에 도시 하 는 제 4 실시 형태 와 비교 하 여 , 온도 조절 모듈 의 수 를 저감 시킬 수 있 어 , 액 처리 장치 의 장치 비용 을 저감 시킬 수 있 다 .