가스 생산 기 ( 150 ) 는 가스 생산 공정 을 위한 압축 된 공기 를 제공 하 기 위한 분리 되 거나 통합 된 압축기 ( 170 ) 를 포함 할 수 있 다 . 압축기 ( 170 ) 에 의해 제공 되 는 공기 는 바람직 하 게 는 오일 이 없 다 . 바람직 한 구체 예 에서 , 가스 생산 기 ( 150 ) 는 질소 가스 생산 기 , 예 를 들 어 막 타입 질소 생산 기이 며 , 이 는 당업자 에 알려져 있 을 것 이 다 . 질소 가스 생산 기 ( 150 ) 는 레이저 공급원 ( 145 ) 으로부터 레이저 출력 부 ( 160 ) 로 레이저 빔 광학 경로 를 봉합 하 는 레이저 광학 경로 봉합 물 ( 140 ) 내 에 봉합 된 볼륨 의 , 몇몇 의 경우 에 모든 또는 부분 또는 전체 를 정화 하 는 순도 가 높 은 질소 가스 를 생산 하 고 제공 할 수 있 다 . 질소 정화 가스 공급 시스템 의 부분 은 가스 공급 경로 ( 180 ) 에 의해 나타내 어 지 고 , 이 는 밸브 및 파이프 를 포함 할 수 있 고 , 가스 생성기 ( 150 ) 로부터 레이저 광학 경로 봉합 물 ( 140 ) 로 레이저 빔 광학 경로 를 정화 시키 기 위해 질소 가스 의 흐름 ( 공급 ) 을 규정 하 기 위한 조절 시스템 을 포함 할 수 있 다 .