1 . 스텝 모드 에서 , 마스크 테이블 ( MT ) 및 기판 테이블 ( WT ) 은 기본 적 으로 정지 상태 로 유지 되 는 한편 , 방사선 빔 에 부여 되 는 전체 패턴 은 한 번 에 타 겟 부 ( C ) 상 에 투영 된다 [ 즉 , 단일 정적 노광 ( single static exposure ) ] . 그 후 , 기판 테이블 ( WT ) 은 상이 한 타 겟 부 ( C ) 가 노광 될 수 있 도록 X 및 / 또는 Y 방향 으로 시프트 된다 . 스텝 모드 에서 , 노광 필드 의 최대 크기 는 단일 정적 노광 시 에 이미 징 되 는 타 겟 부 ( C ) 의 크기 를 제한 한다 .