탄소 나노 튜브 의 합성 공정 ( S 120 ) 은 다음 과 같이 진행 된다 . 먼저 , 가열 부재 ( 130 ) 에 전원 이 공급 되 고 , 반응 로 ( 110 ) 는 가열 부재 ( 130 ) 에 의해 공정 온도 로 가열 된다 . 가열 부재 ( 130 ) 에 의해 반응 로 ( 110 ) 가 가열 되 고 있 는 상태 에서 기판 ( 10 ) 이 반응 로 ( 110 ) 내 로 반입 된다 . 기판 ( 10 ) 들 이 반응 로 ( 110 ) 에 반입 되 면 , 반응 로 ( 110 ) 내 의 산소 를 제거 한다 . 산소 를 제거 하 는 과정 은 진공 배기 라인 ( 157 ) 을 개방 하 여 반응 로 ( 110 ) 내부 를 진공 상태 로 만들 어 일정 시간 유지 한 다음 진공 배기 라인 ( 157 ) 을 차단 하 는 단계 와 , 반응 로 ( 110 ) 내부 로 불활성 가스 를 공급 하 여 반응 로 내부 를 상압 상태 로 만들 고 , 송풍 배기 라인 ( 156 ) 을 개방 하 여 불활성 가스 를 배기 하 는 단계 로 이루어진다 . 산소 를 제거 하 는 과정 은 송풍 배기 라인 ( 156 ) 을 개방 한 상태 에서 반응 로 ( 110 ) 내부 로 불활성 가스 를 계속 공급 하 여 반응 로 ( 110 ) 내부 의 산소 를 송풍 배기 라인 ( 156 ) 으로 배기 하 는 단일 단계 만 으로 도 이루어질 수 있 다 .