또한 , 에 어 베어링 ( 15 ) 은 복수 의 압력 챔버 ( 510 ) 중 중앙 의 챔버 ( Z 1 ) 에 인가 되 는 압력 과 기판 ( 1 ) 의 가장자리 쪽 의 챔버 ( Z 4 및 / 또는 Z 5 ) 에 인가 되 는 압력 의 크기 가 서로 다르 도록 조절 한다 . 또는 , 에 어 베어링 ( 15 ) 은 기판 ( 1 ) 의 연마 프로 파일 에 따라서 , 복수 의 압력 챔버 ( 510 ) 에 형성 되 는 압력 의 크기 를 적절 하 게 조절 할 수 있 다 .