도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 형성 된 저유 전막 과 비 교예 들 에 따른 저유 전막 들 상 에 파티클 수 를 보여 주 는 그래프 이 다 . 도 4 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 저유 전막 형성 방법 과 비 교예 들 에 따른 저유 전막 형성 방법 에 있 어서 생산 속도 를 보여 주 는 그래프 이 다 . 그래프 들 에서 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 샘플 들 은 ' New ITEM ' 으로 표시 되 고 , 매 기판 처리 시 마다 사후 세정 이 부가 되 는 샘플 들 은 ' 1 x CLN ' 으로 표시 되 고 , 인터 퍼징 이나 프리 코팅 막 형성 없이 매 2 개 의 기판 처리 시 마다 사후 세정 이 부가 되 는 샘플 들 은 ' 2 x CLN ' 으로 표시 하 였 다 .