현상액 에 기초 한 유기 용제 를 사용 하 는 패턴 형성 방법 에 대해서 임의 의 현상 결함 을 억제 하 기 위한 개선 에 대한 요구 가 있 는 것 이 현 실정 이 다 . 본 발명 은 현 실정 의 관점 에서 이루어져 왔 다 . 따라서 , 본 발명 의 목적 은 이 물 결함 의 저감 이 실현 된 패턴 을 형성 할 수 있 는 현상액 에 기초 한 유기 용제 를 사용 하 는 패턴 형성 방법 을 제공 하 는 것 이 다 . 본 발명 의 다른 목적 은 상기 방법 에 사용 되 는 린스 액 을 제공 하 는 것 이 다 .