오늘날 메모리 소자 를 장착 한 개인 휴대 장비 와 개인 용 컴퓨터 등 의 사용 이 급격히 증가 하 고 , 날로 고급 화 되 었 다 . 이 에 따라 , 제조 원자 는 낮 으면서 데이터 를 액세스 ( access ) 하 는 전기 적 특성 은 향상 된 대용량 의 고집 적 반도체 소자 를 제조 하 기 위한 공정 설비 나 공정 기술 의 개발 이 절실히 요구 된다 .