본 형태 의 산업 용 로봇 ( 1 ) ( 이하 , 「 로봇 ( 1 ) 」 이 라고 함 ) 은 , 액정 디스플레이 용 유리 기판 ( 2 ) ( 이하 , 「 기판 ( 2 ) 」 이 라고 함 ) 을 반송 하 기 위한 수평 다 관절 형 의 로봇 이 다 . 로봇 ( 1 ) 은 , 진공 중 에서 기판 ( 2 ) 을 반송 한다 . 로봇 ( 1 ) 은 , 기판 ( 2 ) 이 탑재 되 는 2 개 의 핸드 ( 4 , 5 ) 와 , 핸드 ( 4 , 5 ) 가 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 되 는 암 ( 6 ) 과 , 암 ( 6 ) 의 기단 측 이 회동 가능 하 게 연결 되 는 본 체부 ( 7 ) 와 , 로봇 ( 1 ) 을 제어 하 는 제 어부 ( 8 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 로봇 ( 1 ) 은 , 본 체부 ( 7 ) 에 대하 여 암 ( 6 ) 을 수평 방향 으로 신축 시키 는 암 구동 기구 ( 9 ) 와 , 본 체부 ( 7 ) 에 대하 여 핸드 ( 4 , 5 ) 및 암 ( 6 ) 을 승강 시키 는 승강 기구 ( 도시 생략 ) 를 구비 하 고 있 다 .