포지티브 형 현상액 으로서 는 알칼리 현상액 이 바람직 하 다 . 알칼리 현상액 은 , 방사선 조사 후 의 레지스 트 재료 막 의 극성 이 높 은 부분 을 선택 적 으로 녹인다 . 알칼리 현상액 으로서 는 , 예 를 들 어 수산화 칼륨 , 수산화 나트륨 , 탄산 나트륨 , 탄산칼륨 , 인산나트륨 , 규산나트륨 , 암모니아 , 아민류 ( 에탄올아민 등 ) , 수산화 테트라 알킬 암모늄 ( TAAH ) 등 의 알칼리 성 화합물 중 적어도 1 종 을 용해 한 알칼리 성 수용액 등 을 들 수 있 다 . 알칼리 현상액 으로서 는 TAAH 의 수용액 이 바람직 하 다 . TAAH 로서 는 , 예 를 들 어 수산화 테트라메틸 암모늄 ( TMAH ) , 수산화 테트라에틸 암모늄 , 수산화 테트라 프로필 암모늄 , 수산화 테트라 부틸 암모늄 등 을 들 수 있 다 .