단계 ( 110 ) 는 , 하전 입자 들 로 구역 을 조명 하 는 것 및 조명 의 결과 로서 구역 으로부터 방출 된 전자 들 을 검출 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 검출 된 전자 들 은 , 이 차 전자 들 , 후방 산란 된 전자 들 , 또는 이 차 전자 들 과 후방 산란 된 전자 들 둘 모두 를 포함 할 수 있 다 . 구역 은 , 하나 이상 의 하전 입자 빔 으로 조명 될 수 있 다 . 조명 하 는 것 은 , 임의 의 스캔 패턴 으로 구역 을 스캐닝 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .