또 , P 1 이 측쇄 에 광경 화 성기 를 포함 하 는 반복 단위 를 갖 는 폴리머 쇄 인 경우 에 있 어서 , P 1 은 측쇄 에 광경 화 성기 를 포함 하 는 반복 단위 외 에 , 다른 반복 단위 를 포함 하 는 것 도 바람직 하 다 . 다른 반복 단위 로서 는 , 측쇄 에 산기 를 포함 하 는 반복 단위 등 을 들 수 있 다 . P 1 이 측쇄 에 광경 화 성기 를 포함 하 는 반복 단위 외 에 , 측쇄 에 산기 를 포함 하 는 반복 단위 를 더 포함 함 으로써 , 포토 리소그래피 법 으로 패턴 형성 했 을 때 에 있 어서 , 현상 잔사 의 발생 을 효과 적 으로 억제 할 수 있 다 . P 1 이 측쇄 에 산기 를 포함 하 는 반복 단위 를 포함 하 는 경우 , P 1 을 구성 하 는 전체 반복 단위 중 에 있 어서 의 , 산기 를 측쇄 에 포함 하 는 반복 단위 의 비율 은 , 50 % 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 2 ~ 48 % 인 것 이 보다 바람직 하 며 , 4 ~ 46 % 인 것 이 더 바람직 하 다 .