과산화수소 는 산 성 용액 이 므로 과산화수소 에 대한 암모니아 의 혼합비 에 따라 pH 를 변화 시킨다 . 과산화수소 와 암모니아 의 혼합비 율 에 따라 , 즉 pH 변화 에 따라 Si 와 Ge 의 식각 량 이 다르 게 나타나 므로 Si 피팅 ( pitting ) 을 방지 하 면서 적절 한 식각 율 을 갖 는 혼합비 율 을 사용 한다 . 70 ℃ 와 같 은 고온 에서 사용 할 경우 NH 3 증기 의 증발 속도 가 증가 하 므로 암모니아 의 추가 공급 이 필요 하 다 .