상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따른 처리 챔버 의 커버 는 , 기판 처리 공정 이 수행 되 는 처리 챔버 의 상부 의 개구 를 커버 하 며 , 상기 처리 챔버 의 상부 에 힌지 결합 된 커버 플레이트 와 , 상기 커버 플레이트 의 회전축 ( rotational axis ) 과 평행 한 회전축 을 갖 도록 상기 커버 플레이트 의 상부 면 부위 에 힌지 결합 된 적어도 하나 의 로드 와 , 상기 로드 의 자유단 에 결합 되 어 상기 커버 플레이트 의 힌지 부 와 인접 하 는 지점 에 놓여 지 는 고정 바 ( bar ) 를 포함 하 는 고정 부재 와 , 상기 커버 플레이트 의 힌지 부 와 인접 하 도록 상기 처리 챔버 의 상부 에 배치 되 며 , 상기 커버 플레이트 가 개방 된 경우 상기 커버 플레이트 가 개방 된 상태 로 유지 되 도록 하 기 위하 여 상기 고정 바 가 걸리 는 고정 홈 을 갖 는 걸 림 턱 과 , 상기 커버 플레이트 의 힌지 부 와 대향 하 여 상기 처리 챔버 의 상부 에 힌지 결합 되 는 안내 플레이트 및 상기 커버 플레이트 가 상기 개방 된 상태 보다 더 개방 된 상태 에서 자기력 을 이용 하 여 상기 고정 바를 구속 하 기 위하 여 상기 안내 플레이트 의 상부 면 부위 에 장착 된 영구 자석 을 포함 하 며 , 상기 더 개방 된 상태 에서 상기 커버 플레이트 를 닫 는 동안 상기 구속 된 상태 를 유지 하 여 상기 고정 바 가 상기 걸림 턱 을 넘어가 도록 상기 고정 바를 안내 하 는 안내 부재 를 포함 할 수 있 다 .