여기 에서 , 종래 웨트 스테이션 설비 에서 는 로딩 된 다수 의 웨이퍼 를 각 공정 별 로 이송 시켜 주 며 , 약 50 여 매 씩 ( 또는 25 여 매 씩 ) 의 웨이퍼 를 일괄 적 으로 이송 시켜 주 는 방식 인 배치 방식 의 웨이퍼 이송 로봇 ( Robot ) 이 설치 된다 . 웨이퍼 이송 로봇 은 로딩 부 에 로딩 된 웨이퍼 를 약 50 여 매 씩 일괄 적 으로 홀딩 ( Holding ) 하 여 공정 진행 순서 에 따라 케미컬 배 쓰 와 , QDR 배 쓰 와 , 파이널 린스 배 쓰 및 , 드라이 공정 을 수행 하 는 드라이 장치 에 각각 순차 적 으로 이송 시켜줌 으로써 웨트 세정 공정 을 수행 한다 .