제 7 공정 단계 ( 206 ) 를 도시 하 는 도 3 g 를 참고 할 때 , 두 개 의 기판 ( 4 u , " 4 o ) 들 이 결합 되 어 형성 된 기판 스택 ( 9 "") 이 음의 z 방향 으로 이동 하 여 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 를 위한 공정 영역 을 비운다 . 기판 홀더 ( 1 u ) 는 공정 영역 을 떠나 고 다음 에 결합 공정 이전 에 귀환 할 수 있 다 . 공정 단계 ( 204 내지 206 ) 들 이 여러 번 수행 될 수 있 다 . "