상기 연마 입자 중 에서 도 , 연마 액 중 에서 의 분산 안정 성 이 양호 하 며 , CMP 에 의해 발생 하 는 스크래치 ( 연 마흔 ) 의 발생 수 가 적 은 관점 에서 , 평균 입경 이 200 nm 이하 인 콜로 이달 실리카 , 및 평균 입경 이 200 nm 이하 인 콜로 이달 알루미나 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종이 바람직 하 고 , 평균 입경 이 100 nm 이하 인 콜로 이달 실리카 , 및 평균 입경 이 100 nm 이하 인 콜로 이달 알루미나 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종이 보다 바람직 하 다 .