베리 어막 ( 108 ) 은 자기 정렬 콘 택 식각 시 , 각 게이트 패턴 ( 107 A , 107 B , 107 C ) 과 기판 ( 101 ) 을 보호 하 기 위한 박막 으로서 , 바람직 하 게 층간 절 연막 ( 109 ) 과 식각 선택 비 가 높 아야 한다 . 예 를 들 면 , 층간 절 연막 ( 109 ) 이 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 이 면 베리 어막 ( 108 ) 은 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) 일 수 있 다 .