그리고 , 본 실시 형태 의 투영 계 ( PL ) 는 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 에 대응 한 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 에 대응 한 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 을 구비 하 고 있 고 , 이 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 은 소정 의 주사 방향 ( Y 축 방향 ) 을 가로지르 는 방향 ( X 축 방향 ) 으로 길 이 방향 을 가지 는 슬릿 형상 이 다 . 따라서 , 제 1 , 제 2 공역 위치 ( CP 1 , CP 2 ) 의 근방 에서 의 노광 광 ( EL ) 의 단면 형상 은 X 축 방향 으로 길 이 방향 을 가지 는 형상 으로 되 어 있 기 때문 에 , 제 1 , 제 2 광학계 ( 31 , 32 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 중간 광학계 ( 30 ) 를 이용 하 여 제 3 광학계 ( 33 ) 에 용이 하 게 도입 할 수 있 다 .