본 레지스 트 재료 에 는 다른 켄 처 를 배합 하 여도 좋 다 . 다른 켄 처 는 통상 적 으로 종래 의 염기 성 화합물 로부터 선택 된다 . 종래 의 염기 성 화합물 은 제 1 급 , 제 2 급 , 및 제 3 급 의 지방족 아민 , 혼 성 아민 , 방향 족 아민 , 복소 환 아민 , 카르복실기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 술포닐기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 히드록실기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 히드록시 페닐기 를 갖 는 함 질소 화합물 , 알코올 성 함 질소 화합물 , 아미드 유도체 , 이미드 유도체 , 및 카바 메이트 유도체 를 포함 한다 . 또한 , JP - A 2008 - 111103 , 단락 [ 0146 ] -[ 0164 ] 에 기재 된 제 1 급 , 제 2 급 , 및 제 3 급 의 아민 화합물 , 특히 는 히드록실 , 에테르 결합 , 에스테르 결합 , 락톤 환 , 시아노 , 또는 술폰산 에스테르 결합 을 갖 는 아민 화합물 및 JP 3790649 에 기재 된 카바 메이 트기 를 갖 는 화합물 이 포함 된다 . 염기 성 화합물 을 첨가 함 으로써 , 레지스 트 막 중 에서 의 산 의 확산 속도 를 더욱 억제 하 거나 형상 을 보정 하 거나 할 수 있 다 .