도 2 는 도 1 의 중간 실 ( 322 ) 및 그 주위 의 종단 면도 이 다 . 도 3 은 온도 조절 실 ( 332 ) 및 그 주위 의 종단 면도 이 다 . 도 4 는 도 2 의 Ⅳ - Ⅳ 단면 , 도 3 의 Ⅳ - Ⅳ 단면 을 포함 하 는 중간 실 ( 322 ) , 온도 조절 실 ( 332 ) 및 그 주위 의 횡단면 도 이 다 . 도 5 는 도 2 의 Ⅴ - Ⅴ 단면 , 도 3 의 Ⅴ - Ⅴ 단면 을 포함 하 는 중간 실 ( 322 ) , 온도 조절 실 ( 332 ) 및 그 주위 의 횡단면 도 이 다 .