또한 , 위 에서 설명 된 바 와 같이 , CD 에 대한 적용 가능 한 전체 공정 기여 도 가 획득 된다 . 그 후 , CD 에 대한 적용 가능 한 전체 공정 기여 도 는 , 도 9 에 관하 여 위 에서 설명 된 것 과 유사 하 게 , 관심 대상 기판 의 하나 이상 의 특정 CD 기여 도 와 조합 되 어 관심 대상 기판 에 대한 추정 된 CD 핑거 프린트 를 획득 한다 . 따라서 , CD 오차 의 추정 이 임의 의 기판 상 의 임의 의 또는 거의 임의 의 위치 에서 결정 될 수 있 다 .