피검 사체 의 전기 적 특성 을 검사 하 기 위한 검사 장치 가 개시 된다 . 검사 장치 는 , 상기 피검 사체 에 검사 신호 를 전달 하 는 프로브 를 가진 검사 소켓 과 , 상기 피검 사체 를 상기 프로브 에 대해 접근 및 후퇴 이동 하 도록 누르 는 푸 셔 유닛 을 포함 하 며 , 상기 푸 셔 유닛 은 , 상기 피검 사체 를 가압 하 는 누름 돌기 와 , 일면 에 상기 누름 돌기 가 마련 되 고 , 타면 에 다수 의 방열 컬럼 삽입부 가 마련 된 푸 셔 베이스 와 , 일단 부 가 상기 방열 컬럼 삽입부 에 삽입 되 고 , 외주 면 에 다수 의 방열 윙 을 가진 막대 형상 의 방열 컬럼 을 포함 한다 .