다음 으로 상기 분리 챔버 ( 300 ) 는 상기 증착 챔버 ( 100 ) 및 반응 챔버 ( 200 ) 를 열 적 으로 , 진공 적 으로 증착 환경 을 상호 분리 시키 기 위한 것 으로 , 상기 증착 챔버 ( 100 ) 및 반응 챔버 ( 200 ) 의 서로 연통 되 는 부분 은 제외 하 고 , 양측 으로 증착 챔버 ( 100 ) 및 반응 챔버 ( 200 ) 를 가로질러 형성 된다 . 여기 에서 사실 상 증착 챔버 ( 100 ) 및 반응 챔버 ( 200 ) 그리고 분리 챔버 ( 300 ) 는 분리 챔버 ( 300 ) 와 드럼 ( 210 ) 과 의 사이 로 상호 연통 되 기 는 하나 반응 챔버 ( 200 ) 가 고압 인 상태 이 고 증착 챔버 ( 100 ) 가 저압 인 상태 에서 항상 분리 챔버 ( 300 ) 에서 펌핑 이 이루어지 게 되 어 , 고압 상태 인 반응 챔버 ( 200 ) 내부 의 기체 가 분리 챔버 ( 300 ) 를 통해 증착 챔버 ( 100 ) 로 유입 되 지 는 않 는다 . 이 에 의해 증착 챔버 ( 100 ) 및 반응 챔버 ( 200 ) 는 열 적 으로 , 진공 적 으로 어느 정도 분리 가 되 는 것 이 다 .