여기 에서 , 일관 공정 에 의한 초전 도 테이프 제조 방법 은 , 상기 증착 챔버 측 으로 일부 노출 된 기판 이 감긴 드럼 이 회전 되 면서 상기 기판 상 에 상기 증착 챔버 로부터 공급 된 초전 도 테이프 의 완충 층 을 이루 는 성분 을 증착 시키 는 완충 층 증착 단계 와 ; 상기 완충 층 증착 단계 후 에 상기 증착 챔버 로부터 공급 된 초전 도 테이프 의 초전도 층 을 이루 는 성분 을 증착 시키 는 초전도 층 증착 단계 와 ; 상기 초전도 층 증착 단계 후 에 상기 반응 챔버 내부 로 산소 를 공급 하 여 초전도 까지 증착 된 초전 도 테이프 를 열처리 시키 는 산소 열처리 단계 와 ; 상기 산소 열처리 단계 중 상기 반응 챔버 로부터 분리 챔버 를 통해 기체 를 펌핑 하 여 상기 초전도 층 상면 에 상기 증착 챔버 로부터 공급 된 초전 도 테이프 의 접촉 저항 저감 층 을 이루 는 성분 을 증착 시키 는 접촉 저항 저감 층 증착 단계 와 ; 상기 접촉 저항 저감 층 증착 단계 후 에 상기 증착 챔버 로부터 공급 된 초전 도 테이프 의 보호 층 을 이루 는 성분 을 증착 시키 는 보호 층 증착 단계 ; 를 포함 하 여 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .