질소 , 산소 , 오존 가스 , TEOS 가스 등 모든 공정 가스 는 가스 유량 제어기 ( MFC ) 에 의해 공급량 이 제어 되 고 , 각각 의 가스 라인 의 히터 는 온도 제어 시스템 에 항상 일정 온도 를 유지 하 고 , N 개 의 분배 링 ( 도면 미 표시 ) 은 공정 가스 를 분배 헤드 에 균일 하 게 전달 하 기 위해 사용 되 며 , N 개 의 분배 링 에서 질소 , 오존 , 케미 칼 가스 등 이 흐르 게 되 고 , 니 들 밸브 로 각각 의 분배 헤드 의 가스 압력 의 균형 을 유지 할 수 있 다 .