이때 , 상기 레이저 결정 화법 은 엑 시머 레이저 결정 화법 으로 결정 화 하 여도 무방 하 나 , SLS ( Sequential Lateral Solidification ) 결정 화법 을 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 는 상기 SLS 결정 화법 을 이용 하 여 결정 화 된 다결정 실리콘 층 이 결정립 의 크기 가 크 기 때문 에 전기 적 특성 이 우수 하 기 때문 이 다 . 다만 , 상기 SLS 결정 화법 은 대 면적 을 결정 화 하 기 는 어렵 다는 단점 이 있 다 . 따라서 , 본원 발명 에서 는 상기 SLS 결정 화법 으로 기판 전체 를 걸쳐 결정 화 하 지 않 고 , 전자 이동도 와 같 은 전기 적 특성 이 요구 되 는 영역 에 만 부분 적 으로 결정 화 하 였 다 .