구동축 ( 240 ) 의 중심 에 형성 된 냉각 가스유 로 ( 242 ) 의 하단 은 냉각 가스 라인 ( 244 ) 에 연결 되 며 , 냉각 가스 라인 ( 244 ) 내 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 배면 에 공급 되 는 냉각 가스 가 흐른다 . 냉각 가스 는 불활성 기체 ( inert gas ) 를 포함 하 며 , 불활성 기체 는 헬륨 ( He ) 을 포함 한다 .