또한 도 5 에서 는 , 계측 스테이지 ( MST ) 의 도시 가 생략 됨 과 함께 , 그 계측 스테이지 ( MST ) 와 선단 렌즈 ( 191 ) 사이 에 유지 되 는 물 ( Lq ) 로 형성 되 는 액침 영역 이 부호 14 로 도시 되 어 있 다 . 또한 도 5 에 있 어서 , 부호 UP , LP 는 , 기준 축 ( LV 0 ) 에 관하 여 대칭 으로 설정 된 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 의 웨이퍼 의 언 로드 가 실시 되 는 언로 딩 포지션 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 에 대한 웨이퍼 의 로딩 이 실시 되 는 로딩 포지션 을 각각 나타낸다 . 또한 , 언로 딩 포지션 ( UP ) 과 로딩 포지션 ( LP ) 을 동일 위치 로 해도 된다 .