또한 , 가스 공급 헤드 ( 236 ) , 산소 함유 가스 공급 관 ( 232 a ) , MFC ( 252 a ) , 밸브 ( 253 a , 243 a ) 에 의해 , 본 실시 형태 에 따른 산소 함유 가스 공급계 가 구성 되 어 있 다 . 또한 , 가스 공급 헤드 ( 236 ) , 수소 함유 가스 공급 관 ( 232 b ) , MFC ( 252 b ) , 밸브 ( 253 b , 243 a ) 에 의해 , 본 실시 형태 에 따른 수소 가스 공급계 가 구성 되 어 있 다 . 또한 , 가스 공급 헤드 ( 236 ) , 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) , MFC ( 252 c ) , 밸브 ( 253 c , 243 a ) 에 의해 , 본 실시 형태 에 따른 불활성 가스 공급계 가 구성 되 어 있 다 .