일 실시 형태 에 있 어서 , 방호벽 ( 52 ) 의 하단 ( 523 ) 의 외 주연 ( 523 e ) 의 반경 방향 위치 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 ( Wp ) 의 내 주연 ( Wi ) 의 반경 방향 위치 와 대략 일치 시킬 수 있 다 . 또한 , ' 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 ( Wp ) ( 도 3 을 참조 ) ' 란 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 을 중심 으로 하 는 디바이스 형성 영역 의 외접원 ( 즉 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 을 중심 으로 하 는 원 으로서 , 당해 원 보다 외측 에 디바이스 형성 영역 이 전혀 포함 되 지 않 도록 결정 된 최소 반경 을 가지 는 원 ) 으로부터 , 웨이퍼 ( W ) 의 엣지 ( APEX 라고 도 함 ) ( We ) 까지 의 원환 형상 의 영역 을 의미 한다 . 또한 , ' 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 ( Wp ) 의 내 주연 ( Wi ) ' 은 상기 외접원 과 일치 한다 .