생 성 챔버 ( 200 ) 은 내부 에 물 을 수용 할 수 있 는 공간 을 가진 것 으로 마이크 로 버블 이 생성 되 는 공간 이 다 . 생 성 챔버 ( 200 ) 은 펌프 ( 100 ) 에서 연장 된 펌프 관 ( 120 ) 과 생성 된 마이크 로 버블 을 외부 로 배출 하 는 배 출부 와 연결 되 어 있 다 . 즉 , 생성 챔버 ( 200 ) 은 펌프 ( 100 ) 에서 압축 된 고압 의 물 을 펌프 관 ( 120 ) 을 통하 여 유입 받 고 , 생성 챔버 ( 200 ) 내부 에서 생성 된 마이크 로 버블 을 배 출부 ( 300 ) 를 통하 여 세정 대상 으로 공급 한다 .