도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 기판 ( 도 2 의 W ) 이 안착 되 는 스핀 척 ( 104 ) 상부 에 기판 ( W ) 의 이탈 을 방지 하 기 위해 기판 ( W ) 가장자리 부위 를 척 킹 하 는 복수 개 의 척 킹 핀 ( chucking pin ) ( 120 ) 들 을 구비 한다 . 본 발명 에 의하 면 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 일부 를 교차 하 거나 또는 전부 에 의해 기판 ( W ) 을 척 킹 한다 .