이때 , 내부 필터 ( 50 ) 를 통과 하 는 기체 에 함유 되 는 화학 오염 물질 은 제 1 내부 필터 ( 50 a ) 및 제 2 내부 필터 ( 50 b ) 에 의해서 제거 되 고 , 또한 , 해당 기체 에 포함 되 는 미립자 는 제 3 내부 필터 ( 50 c ) 에 의해서 제거 된다 . 이 때문 에 , 수 납실 ( 13 ) 에 는 입 구 필터 ( 40 ) 및 내부 필터 ( 50 ) 에 의해서 고도 로 정화 된 기체 가 유입 한다 .