그런데 , 상기 승 온 공정 및 시즈 닝 공정 은 클리닝 가스 로서 제공 된 Cl 계 가스 나 챔버 내 에 형성 된 AlF 물질 들 이 잔류 된 상태 로 진행 될 수 있 다 . 승 온 공정 시 , 클리닝 가스 잔류물 들 이 활성 화 되 어 , 챔버 내벽 , 샤워 헤드 및 히터 에 흡착 될 수 있 고 , 시즈 닝 공정 에 의해 생성 되 는 시즈 닝 층 의 막 질 에 도 영향 을 미치 게 된다 .