웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 는 , 도 42 , 도 44 ( A ) 및 도 44 ( B ) 등 에 도시 된 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 91 B ) 와 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 을 포함 하 고 , 상기 서술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 와 동일 하 게 구성 되 어 있 다 . 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 는 , 가동 자 ( 56 ) 와 고정자 ( 152 ) 로 이루어지 는 평면 모터 ( 151 ) 에 의해 구동 된다 .