또한 , 본 발명 에 따른 전기 광학 장치 는 중앙부 에 배치 되 는 화소 부 와 , 주변 부 에 별도 의 반도체 회로 또는 별도 의 배선 기판 을 실장 하 기 위한 단자 부를 구비 하 고 , 단자 부 는 티탄 을 함유 하 는 최상층 을 갖 는 단자 용 접속 배선 과 , 단자 용 보호 절 연막 과 , 상기 단자 용 보호 절 연막 에 형성 된 단자 용 개구부 에 노출 되 는 상기 단자 용 접속 배선 을 덮 는 막 으로서 , 웨트 에칭 가능 한 도전 재료 로 구성 되 는 단자 용 중간막 과 , 단자 용 투명 도전 막 이 , 이 순 으로 하층 측 으로부터 상층 측 을 향하 여 적층 된 적층 구조 를 갖 는 것 을 특징 으로 한다 .