동작 동안 에 , 무선 주파수 ( RF ) 파워 가 RF 파워 소스 ( 105 ) 로부터 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 으로 전달 된다 . 일 실시 형태 에서 , RF 파워 소스 ( 105 ) 는 변조 주파수 에서 RF 파워 를 제공 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , RF 파워 소스 ( 105 ) 의 주파수 들 은 1 kHz 내지 100 MHz 에 걸친 범위 내 에서 설정 된다 . 다른 실시 형태 에서 , RF 파워 소스 ( 105 ) 의 주파수 들 은 400 kHz 내지 60 MHz 에 걸친 범위 내 에서 설정 된다 . 플 라즈 마 밀도 는 RF 파워 소스 ( 105 ) 에 의해 주로 제어 된다 .