고려 할 만 한 또 다른 요인 은 상대 적 으로 고 반복 률 에서 펄스 레이저 빔 으로 일련 의 상대 적 으로 작 고 , 빠르 게 움직이 는 액적 을 일관 적 으로 그리고 정확 하 게 맞추 는 것 에 연관 된 어려움 이 다 . 예 를 들 면 , 일부 고 - 볼륨 EUV 광원 은 약 20 - 50 ㎛ 의 직경 을 가지 고 30 kHz 를 초과 하 는 반복 률 에서 , 약 50 - 100 m / s 의 속도 로 이동하 는 액적 의 조사 를 요구 한다 .