일부 구체 적 인 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마는 고 주파수 ( 예 를 들 어 , 13 . 56 ㎒ 또는 27 ㎒) 생 성 을 사용 하 여 생성 되 고 , 0 . 07 및 0 . 18 W / ㎠ 의 전력 밀도 에 대응 하 는 약 200 내지 500 W 의 플 라즈 마 전력 을 사용 하 여 제공 된다 . 기판 에서 바이어스 를 위한 전력 은 약 0 내지 200 W 이 다 . ( 일 300 ㎜ 웨이퍼 를 프로세싱 하 기 위해 ) 샤워 헤드 당 적합 한 가스 플로우 레이트 들 은 :