본 발명 의 제 1 실시 형태 에서 , 평면 시점 에서 포스 프로브 ( 2 ) 의 종단 부 ( 21 ) 가 전극 패드 ( 41 ) 와 실질 적 으로 동일 한 형상 이 되 도록 형성 된다 하 더라도 , 종단 부 ( 21 ) 의 형상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 포스 프로브 ( 2 ) 의 종단 부 ( 21 ) 의 형상 은 , 종단 부가 전극 패드 ( 41 ) 와 실질 적 으로 동일 한 사이즈 를 갖 는 평탄 한 형상 으로 형성 되 는 한 어떤 형상 도 될 수 있 다 .