[ 0010 ] 본 개시 내용 의 또 다른 양상 에 따르 면 , 프로세싱 시스템 을 통해 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 이송 하 기 위한 방법 이 제공 된다 . 방법 은 , 기판 표면 을 갖 는 기판 을 홀딩 하 도록 구성 된 기판 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 상 에서 기판 캐리어 를 이송 하 는 단계 ; 및 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 상 에서 마스크 캐리어 를 이송 하 는 단계 를 포함 하 고 , 제 1 트랙 및 제 2 트랙 은 기판 표면 과 동일 평면 상 의 평면 에서 오프셋 거리 만큼 오프셋 된다 .