[ 0034 ] 펄스 형 DC 사이클 의 제 2 부분 동안 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 예컨대 전압 프로브 ( 또는 어떤 다른 동등 한 수단 ) 를 통해 , 웨이퍼 ( 105 ) 로부터 수신 된 전압 을 평가 하 고 , 그리고 전압 이 이전 의 판독 들 로부터 변화 된 경우 , 및 / 또는 전압 이 미리 결정 된 전압 레벨 의 허용 오차 내 에 있 지 않 은 경우 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 웨이퍼 ( 105 ) 에서 의 전압 이 일정 하 게 유지 되게 하 고 그리고 / 또는 미리 결정 된 전압 레벨 의 허용 오차 내 에 유지 되게 하 도록 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 의해 척 킹 메시 ( 108 ) 에 제공 되 는 전압 을 조절 하 기 위해 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 통신 될 제어 신호 를 결정 한다 .