바람직 하 게 , 복수 개 의 그립 퍼 는 지지 프레임 에 대해 탄성 적 으로 이동 가능 하 게 구비 된다 . 이 와 같이 , 복수 개 의 그립 퍼 가 지지 프레임 에 대해 탄성 적 으로 이동 하 도록 하 는 것 에 의하 여 , 복수 개 의 그립 퍼 중 일부 에 의한 그립 이 해제 되 어 기판 의 처짐 ( 기판 의 일 부분 만 이 부분 적 으로 스테이지 에 접촉 되 는 상태 ) 이 발생 하 더라도 , 기판 의 처짐 부위 ( 꺽이 는 부위 ) 에 인접 한 부위 에서 기판 에 대한 그립 을 유지 ( ON ) 하 고 있 는 그립 퍼 의 그립 상태 가 안정 적 으로 유지 하 고 , 기판 의 꺽 임 을 보다 완화 시키 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .