가열 처리 에서 는 , 질소 , 또는 헬륨 , 네온 , 아르곤 등 의 희 가스 에 , 수분 또는 수소 등 이 포함 되 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 또는 , 가열 처리 장치 에 도입 한 질소 , 또는 헬륨 , 네온 , 아르곤 등 의 희 가스 의 순도 를 , 6 N ( 99 . 9999 ％) 이상 , 바람직 하 게 는 7 N ( 99 . 99999 ％) 이상 , ( 즉 불순물 농도 를 1 ppm 이하 , 바람직 하 게 는 0 . 1 ppm 이하 ) 으로 하 는 것 이 바람직 하 다 .