이어서 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 도 18 에 나타내 는 바 와 같이 , 임프 린트 처리 를 종료 할지 여부 를 판정 한다 ( 스텝 S 209 ) . 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 예 를 들 면 임프 린트 처리 를 종료 하 는 취지 의 지령 이 입력 된 경우 나 미리 설정 된 임프 린트 처리 의 프로그램 시퀀스 가 모두 완료 된 경우 에 임프 린트 처리 를 종료 하 는 것 으로 판정 한다 . 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 임프 린트 처리 를 속행 하 는 것 으로 판정 하 면 ( 스텝 S 209 : No ) , 헤드 ( 2033 H ) 가 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 다음 에 수지 부 ( R ) 를 형성 하 는 부분 에 대향 하 도록 스테이지 ( 2031 ) 를 이동 시킨다 ( 스텝 S 210 ) . 이어서 , 다시 스텝 S 201 의 처리 가 실행 된다 . 그리고 , 스텝 201 내지 S 209 의 일련 의 처리 가 반복 실행 되 는 것 에 의해 , 이른바 스텝 앤드 리피트 방식 으로 기판 ( WT ) 에 복수 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 어 간다 . 한편 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 가 임프 린트 처리 를 종료 하 는 것 으로 판정 하 면 ( 스텝 S 209 : Yes ) , 임프 린트 처리 가 종료 된다 .