한편 , 생산 성 을 향상 시키 기 위해 복수 의 기판 들 을 공정 챔버 내 에 한꺼번에 공급 하 여 , 복수 의 기판 을 한 번 에 처리 할 수 있 는 기판 처리 장치 가 제안 되 고 있 다 . 이러 한 , 기판 처리 장치 는 , 복수 의 기판 들 을 기판 지지대 의 상면 에 기판 지지대 의 회전축 을 중심 으로 방사상 으로 등각 배치 할 수 있 도록 복수 개 의 포켓 홈 들 을 구비 하 고 있 다 . 이때 , 포켓 홈 에 안착 되 는 기판 들 은 자중 에 의해 포켓 홈 에 각각 놓이 는 것 이 일반 적 이 다 .