본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 1 양태 에 의하 면 , 측정 조 에 있 어서 , 제 2 경로 로부터 유입 되 는 처리 액 을 상부 로부터 오버 플로 시킴 으로써 , 당해 처리 액 의 액면 의 변동 을 억제 할 수 있 다 . 따라서 , 측정 조 에 있 어서 액면 이 안정 적 인 상태 인 처리 액 의 압력 을 압력 측 정부 에 의해 측정 하 게 되 기 때문 에 , 처리 액 의 압력 을 높 은 정밀도 로 측정 할 수 있 다 .