본 발명 은 반도체 장치 제조 용 포토 설비 에서 웨이퍼 에 포토레지스트 를 공급 하 는 포토레지스트 공급 장치 의 필터링 부 에서 의 필터 장착 여부 를 확인 할 수 있 도록 하 는 필터 장착 알림 장치 및 방법 에 관한 것 으로서 , 이 를 위하 여 본 발명 은 포토레지스트 내부 의 기포 및 파티클 을 필터 링 하 는 필터 ( 10 ) 와 ; 상기 필터 ( 10 ) 를 수용 하 는 하우징 ( 20 ) 과 ; 상기 하우징 ( 20 ) 을 고정 하 는 하우징 고정부 ( 30 ) 와 ; 상기 하우징 고정부 ( 30 ) 에 고정 되 는 상기 하우징 ( 20 ) 의 내부 에 상기 필터 ( 10 ) 가 장착 되 어 있 는지 를 감지 하 는 필터 장착 감지 부 ( 40 ) 와 ; 상기 필터 장착 감지 부 ( 40 ) 에서 감지 된 신호 에 의해 상기 필터 ( 10 ) 의 장착 상태 를 표시 하 는 인디케이터 ( 50 ) 를 포함 하 는 구성 으로 구비 하 여 필터 ( 10 ) 가 하우징 ( 20 ) 에 장착 되 었 는지 를 하우징 고정부 ( 30 ) 에 하우징 ( 20 ) 을 결합 하 는 시점 에서 인디케이터 ( 50 ) 를 통해 확인 할 수 있 도록 하 여 항상 정확 하 게 필터 ( 10 ) 가 장착 되 어 있 는 상태 에서 안전 한 필터링 이 이루어질 수 있 도록 하 는데 있 다 .