제 1 가스 공급 유닛 ( 150 ) 은 링 어셈블리 ( 123 ) 의 상부 나 정전 척 ( 122 ) 의 테두리 부분 에 잔류 하 는 이 물질 을 제거 하 기 위해 가스 를 공급 하 는 것 이 다 . 이러 한 제 1 가스 공급 유닛 ( 150 ) 은 제 1 가스 공급원 ( 151 ) 및 제 1 가스 공급 라인 ( 152 ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .