제 1 채널 홀 들 ( CH 1 ) 을 채우 는 희생 절연 패턴 들 ( SIP ) 이 형성 될 수 있 다 . 희생 절연 패턴 들 ( SIP ) 을 형성 하 는 것 은 , 하부 구 조체 ( SS 1 ) 상 에 제 1 채널 홀 들 ( CH 1 ) 을 채우 는 희생 절 연막 을 형성 하 는 것 , 및 식각 정지 막 ( ESL ) 의 상면 이 노출 될 때 까지 상기 희생 절 연막 을 평탄 화 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .