도 17 및 도 18 은 본 발명 의 일 실시 예 들 에 따른 반도체 메모리 소자 의 제조 방법 을 단계 적 으로 나타내 는 단면도 들 이 다 . 도 17 은 도 8 이후 의 단계 를 나타내 는 단면도 로 , 17 및 도 18 에 대한 설명 중 도 2 내지 도 12 와 중복 되 는 내용 은 생략 될 수 있 으며 , 동일 한 부재 번호 는 동일 한 구성 요소 를 나타낸다 .