그리고 , 실리사이드 어닐링 을 수행 하 여 실리사이드 막 을 안정 시키 고 ( 208 ) , PMD 라이너 막 으로 F - TEOS 막 을 증착 한다 . 본 실시 예 에서 는 PMD 라이너 막 은 증착 공정 시 불소 포함 환경 에서 형성 된 PE - TEOS 막 이 며 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 구조 안 에 이온 형태 의 불소 불순물 을 함유 시킨 것 이 다 .