이 도면 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 및 제 2 공급 라인 ( 71 , 72 ) 중 에서 적어도 어느 한 경로 라인 에 는 , 해당 경로 라인 ( 71 , 72 ) 의 내부 를 선택 적 으로 개폐 하 는 격벽 ( 81 , 82 ) 이 더 마련 될 수 있 다 . 이러 한 경우 , 필요 에 따라 어느 한 쪽 의 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 를 사용 할 수 있 는 이점 이 있 다 .