샤워 헤드 가스 분배 시스템 과 같 은 플 라즈 마 리액터 컴포넌트 와 관련 하 여 , 샤워 헤드 의 재료 에 관하 여 다양 한 제안 이 행해 지 고 있 다 . 예 를 들 어 , 본원 에 참조 에 의해 완전히 포함 되 는 공동 소유 의 미국 특허 제 5 , 569 , 356 호 및 미국 특허 제 5 , 074 , 356 호 는 실리콘 , 그래 파이트 또는 실리콘 탄화물 의 샤워 헤드 를 개시 하 고 있 다 .