표 2 로부터 , 본 실시 예 에 의해 처리 를 행한 시료 2 는 , 비 교예 2 , 3 에 의해 처리 를 행한 시료 와 비교 해서 , 그 표면 으로부터 의 가스 방출 속도 가 적 은 것 을 알 수 있 었 다 . 또한 , 비 교예 1 의 가스 방출 속도 는 , 재질 이 다른 실시 예 2 , 3 에 비하 면 가스 방출 속도 는 작 지만 잔류 가스 중 에 HF 가 물 의 1 / 3 정도 포함 되 어 있 었 다 . HF 는 부식 성 의 기체 이 기 때문 에 , 진공 용 기내 에 부유 하 고 있 는 것 은 바람직 하 지 않 고 , 진공 용기 의 표면 처리 로서 는 적절 하 지 않 은 것 을 알 수 있 었 다 .