또한 , 상기 에서 는 , 외측 공간 ( S 1 ) 이 형성 되 어 있 는 경우 에 대해 설명 하 였으나 , 외측 공간 ( S 1 ) 은 형성 되 어 있 지 않 아도 좋 다 . 그 경우 , 상부 챔버 ( 43 ) 의 형상 을 외측 공간 ( S 1 ) 이 존재 하 지 않 는 것 과 같 은 형상 으로 변경 하 고 , 또한 서포트 링 ( 44 ) 의 정류부 로서 의 기능 도 상부 챔버 ( 43 ) 가 갖 는 것 과 같 은 구성 으로 해도 좋 다 .