그리고 , 네트워크 애널라이저 ( 12 ) 로부터 동축 케이블 ( 11 a ) 및 제 1 결 합부 ( 17 a ) 를 통하 여 공동 공진기 ( 14 ) 내 에 전자파 를 입사 시킨다 . 입사 한 전자파 는 공동 공진기 ( 14 ) 내 에 일단 저장 되 어 증폭 되 고 , 그 후 웨이퍼 ( W ) 상 의 도전 성막 ( 8 ) 에 작용 한다 . 이때 연마 패드 ( 6 ) 에 적절히 구멍 을 뚫 어 두 거나 석영 등 의 부도체 ( 16 ) 를 웨이퍼 ( W ) 에 근접 시킨 구성 으로 해 두 면 감도 가 좋 아 진다 .