제 어부 ( 제어 수단 ) 인 컨트롤러 ( 121 ) 는 , 제 1 ~ 제 3 매스 플로우 컨트롤러 ( mass flow controller , 241 a , 241 b , 241 c ) , 제 1 ~ 제 4 밸브 ( 243 a , 243 b , 243 c , 243 d ) , 압력 센서 ( 245 ) , 히터 ( 207 ) , 온도 센서 ( 263 ) , 진공 펌프 ( 246 ) , 보트 회전 기구 ( 267 ) , 보트 엘리베이터 ( 115 ) , 고주파 전원 ( 273 ) , 정 합기 ( 272 ) 등 에 접속 된다 . 컨트롤러 ( 121 ) 에 의해 , 제 1 ~ 제 3 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 a , 241 b , 241 c ) 의 유량 조정 , 제 1 ~ 제 3 밸브 ( 243 a , 243 b , 243 c ) 의 개폐 동작 , 제 4 밸브 ( APC 밸브 , 243 d ) 의 개폐 및 압력 센서 ( 245 ) 에 의거 한 압력 조정 동작 , 온도 센서 ( 263 ) 에 의거 한 히터 ( 207 ) 의 온도 조정 , 진공 펌프 ( 246 ) 의 기동 ㆍ정지 , 보트 회전 기구 ( 267 ) 의 회전 속도 조절 , 보트 엘리베이터 ( 115 ) 의 승강 동작 등 의 제어 나 고주파 전원 ( 273 ) 의 전력 공급 제어 , 정 합기 ( 272 ) 에 의한 임피던스 ( impedance ) 제어 를 수행 한다 .