기판 컨테이너 ( 100 ) 가 위치 하 는 로드 모듈 ( 10 ) 의 일 측 에 로드 락 모듈 ( 30 ) 이 직접 적 으로 연결 되 어 있 다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 가 위치 하 는 로드 모듈 ( 10 ) 은 로드 락 모듈 ( 30 ) 과 밀폐 성 이 좋 게 연결 될 수 있 다 . 반도체 제조 장치 ( 1 ) 는 로드 모듈 ( 10 ) 의 일 측 에 로드 락 모듈 ( 30 ) 이 직접 적 으로 연결 하 여 반도체 제조 공장 내 에서 차지 하 는 공간 , 즉 풋 프린트 를 크 게 감소 시킬 수 있 다 .