따라서 본 발명 의 몇몇 실시 예 들 에 따른 가스 공급 자동 화 시스템 은 , 공용 체결 장치 ( 440 ) 가 체결 부 ( 450 ) 와 정렬 된 후 체결 부 ( 450 ) 와 결합 되 고 , 가스 실린더 ( 20 ) 가 제 3 방향 ( D 3 ) 으로 정렬 될 후 가스 분사 노즐 ( 24 ) 과 체결 부 ( 450 ) 가 결합 되 기 때문 에 , 가스 실린더 ( 20 ) 와 반도체 공정 라인 과 연결 된 가스 배관 이 자동 으로 정렬 되 어 연결 될 수 있 다 .