MEMS 는 기계 적 부품 들 을 증착 과 식각 등 의 과정 을 반복 하 는 반도체 미세 공정 기술 을 이용 하 여 저렴 한 비용 으로 대량 생산 을 가능 하 게 하 고 , 자 성력 , 압전성 , 열팽창 차이 , 음향 파 확산 등 을 구동력 으로 하 는 전기 적 소자 를 구현 하 는 기술 로서 , 전자 , 기계 , 의료 등 산업 분야 에 그 중요 성 이 날로 부각 되 고 있 다 . 특히 최근 물리 적 인 현상 이나 또는 화학 적 인 반응 의 감지 를 위하 여 MEMS 기술 로 제조 된 캔틸레버 스위치 소자 들 의 개발 에 많 은 연구 들 이 활발 하 게 진행 되 고 있 다 . 마이크 로 캔틸레버 는 AFM ( atomic force microscope ) 과 같 은 전자 현미경 의 탐침 , 초미세 질량 의 검출기 , 차세대 저장 매체 등 다양 한 분야 에서 핵심 소자 로서 활용 되 고 있 다 .