또 , 내열성 감광성 수지 조성물 을 사용 하 여 , 패턴 을 형성 할 때 에 사용 되 는 희박 알칼리 현상액 으로 는 , 2 . 38 중량 % 테트라메틸 암모늄 하이드 록 사이드 수용액 ( 이하 , 「 2 . 38 % TMAH 수용액 」 이 라고 도 한다 ) 이 , 통상 , 반도체 제조 공정 에 사용 되 기 때문 에 , 2 . 38 % TMAH 수용액 으로 현상 이 가능 하 다는 것 이 강하 게 요구 되 고 있 다 .