한편 , 상기 CMP 는 실리카 슬러리 와 세리아 슬리 러 의 혼합 슬러리 에 실리카 슬러리 와 세리아 슬리 러 를 합한 총 중량 의 0 . 01 wt % ∼ 5 . 0 wt % 로 , 바람직 하 게 , 0 . 05 wt % ∼ 1 . 5 wt % 로 폴리 아크릴산 이나 그 유도체 중 적어도 한 가지 또는 그 이상 의 고분자 화합물 을 더 첨가 하 여 진행 한다 .