프레임 유닛 유지 단계 ( ST 4 ) 에서 는 , 도 7 에 도시 한 바 와 같이 , 커버 부재 ( 5 ) 를 정전 척 테이블 ( 6 ) 에 대해 상승 시켜 외주 측 개구 ( 57 ) 를 개방 한 상태 에서 , 이 외주 측 개구 ( 57 ) 로부터 프레임 유닛 ( 1 ) 을 삽입 하 면 , 환형 프레임 ( 12 ) 및 점착 테이프 ( 13 ) 의 환형 영역 ( 131 ) ( 도 5 및 도 7 참조 ) 이 , 커버 부재 ( 5 ) 의 외주 벽부 ( 51 ) 와 내주 벽부 ( 52 ) 와 상벽 부 ( 53 ) 로 둘러싸이 는 영역 에 배치 된다 .