또한 , 상기 소수 화제 공급 공정 은 기판 에 공급 되 는 소수 화제 의 원액 이 저류 되 어 있 는 소수 화 제 탱크 로부터 그 기판 에 이르 는 소수 화제 의 유통 경로 에서 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 을 혼합 하 고 , 이 혼합 된 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 을 그 기판 에 공급 하 는 공정 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 「 소수 화제 의 원액 」 이 란 , 제 2 용제 와 혼합 되 기 전 의 액체 를 의미 한다 . 즉 , 「 소수 화제 의 원액 」 이 란 , 미리 희석 액 ( 예 를 들 면 , 제 2 용제 ) 으로 희석 된 액 이 어도 좋 고 , 복수 의 액체 의 혼합물 이 어도 좋 다 .