도 12 a 내지 도 12 e 는 , 본 실시 형태 의 작용 효과 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 12 a 는 , 제 1 검사 화상 의 일례 이 다 . 도 12 b 는 , 도 12 a 에 도시 된 제 1 검사 화상 의 일례 에 대하 여 , 반값 전체 폭 이 약 4 nm 인 가우스 필터 를 사용 한 평활 화 처리 를 행함 으로써 얻 어 진 , 제 1 비교 형태 로 되 는 화상 이 다 . 도 12 c 는 , 도 12 a 에 도시 된 제 1 검사 화상 의 일례 에 대하 여 , 반값 전체 폭 이 약 24 nm 인 가우스 필터 를 사용 한 평활 화 처리 를 행함 으로써 얻 어 진 , 제 2 비교 형태 로 되 는 화상 이 다 . 도 12 d 는 , 도 12 a 에 도시 된 제 1 검사 화상 의 일례 에 대하 여 , 제 1 윤곽 에 수직 인 방향 으로 반값 전체 폭 이 4 nm , 제 1 윤곽 에 평행 인 방향 으로 반값 전체 폭 이 24 nm 로 된 조인트 양방향 필터 를 사용 한 평활 화 처리 를 행함 으로써 얻 어 진 , 제 2 검사 화상 의 일례 이 다 . 도 12 e 는 , 도 12 a 내지 도 12 d 에 도시 한 화상 을 비교 하 기 위한 그래프 이 다 . 또한 , 횡축 은 화상 상 의 좌표 , 종축 은 화소 값 이 다 . 도 12 d 에 도시 한 조인트 양방향 필터 를 사용 한 화상 의 경우 에 는 , 가장 노이즈 가 제거 되 고 , 또한 급 준하 게 화소 값 이 변화 하 고 있 는 부분 에 있 어서 의 화소 값 의 변화 정도 가 가장 잘 유지 되 어 있 다 .