그 다음 , 연결 영역 ( CNR ) 의 적층 체 ( ML ) 상 에 하드 마스크 패턴 ( HM ) 이 형성 될 수 있 다 . 하드 마스크 패턴 ( HM ) 에 는 복수 의 개구 홀 들 ( OP ) 및 슬릿 ( SLT ) 이 마련 될 수 있 다 . 하드 마스크 패턴 ( HM ) 은 슬릿 ( SLT ) 에 의해서 복수 의 세그먼트 들 ( SEG ) 로 분리 될 수 있 다 . 슬릿 ( SLT ) 은 제 2 방향 ( SD ) 으로 신장 되 는 라인 형태 를 가질 수 있 다 . 슬릿 ( SLT ) 에 의해 분리 되 는 하드 마스크 패턴 ( HM ) 의 세그먼트 들 ( SEG ) 은 제 1 방향 ( FD ) 을 따라서 배치 될 수 있 다 .