슈라우드 커버 ( 175 ) 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 에 대응 하 는 위치 에 개구 ( 또는 간극 ) 를 구비 하 여 , 연마 헤드 ( 30 ) 가 상기 개구 를 통해 웨이퍼 ( W ) 에 접근 할 수 있 다 . 슈라우드 커버 ( 175 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 인접 하 게 위치 되 고 슈라우드 커버 ( 175 ) 와 웨이퍼 ( W ) 사이 의 간극 은 수 밀리미터 이 다 .