이어서 , 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 108 ) 이 트렌치 에 형성 된다 . 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 108 ) 은 하나 이상 의 에피 텍 셜 형성 된 반도체 층 을 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 베이스 반도체 에피 텍 셜 층 ( 108 ) 은 버퍼 반도체 층 ( 101 ) 및 채널 반도체 층 ( 102 ) 과 접촉 한다 . 일부 실시 예 에서 , 제 2 아이 솔 레 이 션 절연 층 ( 106 ) 은 베이스 반도체 에피 텍 셜 층 ( 108 ) 과 접촉 한다 . 일부 실시 예 에서 , 제 1 아이 솔 레 이 션 절연 층 ( 104 ) 은 베이스 반도체 에피 텍 셜 층 ( 108 ) 과 접촉 하 지 않 는다 .