본 실시 예 에서 , 결합 을 수행 하 는 단계 에서 , 상기 제 2 서브 전도성 홀 ( 531 ) ( 도 21 에 도시 된 바 와 같 음 ) 및 제 1 서브 전도성 홀 ( 552 ) ( 도 20 에 도시 된 바 와 같 음 ) 이 일 대 일 로 대향 되게 설치 되 도록 하 여 , 서로 연통 되 는 제 3 전도성 홀 ( 표시 되 지 않 음 ) 을 구성 한다 .