서 셉 터 ( 30 ) 는 챔버 ( 10 ) 내 의 증착 공간 ( S ) 에서 횡 방향 으로 배치 되 어 로딩 되 는 유리 기판 ( G ) 을 지지 하 는 기판 로딩 부 ( 31 ) 와 , 상단 은 기판 로딩 부 ( 31 ) 의 중앙 에 고정 되 고 하단 은 관통 홀 ( 10 b ) 을 통과 하 여 챔버 ( 10 ) 의 외부 에 배치 되 는 컬럼 ( 32 ) 을 포함 한다 .