컴프레서 ( 5 ) 로부터 공급 된 압축 공기 는 저류 부 ( 56 a ) 를 거쳐서 슬릿 형상 의 토출구 ( 56 b ) 로부터 기판 ( 10 ) 을 향해서 토출 되 어 , 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 도달 한다 . 여기 서 토출구 ( 56 b ) 와 기판 표면 ( 10 a ) 의 거리 는 , 0 . 01 ㎜ 내지 30 ㎜, 바람직 하 게 는 0 . 5 ㎜ 내지 5 ㎜ 로 하 는 것 이 좋 고 , 슬릿 형상 의 토출구 ( 56 b ) 로부터 토출 되 는 압축 공기 로서 는 , 예 를 들 면 분출 압력 을 0 . 01 ㎫ 내지 0 . 95 ㎫, 바람직 하 게 는 0 . 1 ㎫ 내지 0 . 5 ㎫ 로 하 는 것 이 좋 다 . 도 7 에 도시 하 는 바 와 같이 , 슬릿 형상 의 토출구 ( 56 b ) 로부터 토출 된 압축 공기 는 하우징 ( 58 ) 의 개구부 ( 58 a ) 를 통과 하 여 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 도달 한 후 , 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 부착 되 어 있 는 스 페이서 를 박리 한다 . 그리고 , 박리 된 스 페이서 를 포함 하 는 압축 공기 는 개구부 ( 58 a ) 를 통과 하 여 , 도면 중 의 화살표 로 도시 하 는 바 와 같이 , 노즐 ( 56 ) 의 소정 의 곡 률 을 갖 는 볼록 형상 ( 56 c ) 을 따라 통로 ( 58 b ) 를 진행 하 고 , 개구부 ( 58 a ) 와 원 형관 형상 부재 ( 60 ) 의 개구 ( 60 a ) 를 연통 하 는 대략 일정 한 높이 의 통로 를 진행 하 며 , 개구 ( 60 a ) 로부터 원 형관 형상 부재 ( 60 ) 내 에 흡입 되 어 , 배기관 ( 12 ) 을 거쳐서 배기 장치 ( 14 ) 에서 흡인 되 어 , 예 를 들 면 공장 의 외부 로 배출 된다 . 그 때 에 , 기판 이 탑재 되 어 있 는 기판 탑 재부 ( 8 ) 를 Y 방향 으로 이동 시킴 으로써 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 의 전체 에 걸쳐서 스 페이서 를 제거 할 수 있 다 .