여기 서 , 상기 오버레이 버니어 는 박스 인 박스 , 박스 인 바 , 바 인 박스 또는 바 인 바 형태 로 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 자 버니어 는 감광막 패턴 으로 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 자 버니어 의 선폭 은 1 ~ 3 ㎛ 의 크기 로 형 성 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 톱니 의 피치 는 상기 자 버니어 를 형성 하 기 위하 여 사용 하 는 광원 의 파장 에 대한 1 ~ 2 배 의 길이 로 형성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .