이어서 , 선회 용 모터 ( 53 a ) ( 도 4 참조 ) 가 제어 되 어 , 반송 아암 ( 521 ) 이 선회 된다 . 구체 적 으로 는 , 도 6 의 ( B ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 반송 아암 ( 521 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 의 중심 이 선 ( L 11 ) 과 일치 하 는 위치 까지 , 상기 반송 아암 ( 521 ) 은 선회 된다 .