상기 에어 갭 ( 210 a ) 의 상부 는 유전 막 패턴 아래 로부터 플로팅 게이트 전극 ( 204 b ) 하 부면 과 동일 평면 의 사이 에 위치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 에 어 갭 의 ( 210 a ) 하부 는 상기 플로팅 게이트 전극 ( 204 b ) 의 하 부면 과 동일 평면 으로부터 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) 저면 사이 에 위치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 에 어 갭 은 ( 210 a ) 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) 를 따라 형성 된 플로팅 게이트 전극 ( 214 a ) 들 사이 에 각각 구비 된다 . 그러므로 , 도 1 및 2 에 도시 된 것 과 동일 하 게 , 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) 내부 에 는 복수 개 의 에어 갭 ( 210 a ) 이 구비 된다 . 상기 에 어 갭 ( 210 a ) 의 단면 은 상 , 하로 긴 형상 을 갖 는 타원 형상 또는 상부 는 평탄 하 고 하부 는 타원 형상 을 가질 수 있 다 .