본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 은 , ( A ) 성분 에 더 하 여 , 추가 로 , 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 산 발생 제 성분 ( B ) ( 이하 「 ( B ) 성분 」 이 라고 한다 . ) 를 함유 한다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , ( B ) 성분 은 , 하 기 일반식 ( b 1 ) 로 나타내 는 화합물 ( B 1 ) ( 이하 , 「 ( B 1 ) 성분 」 이 라고 하 는 경우 가 있 다 . ) 을 포함 한다 .