이 와 같이 외부 몸체 ( 186 ) 에 하부 락킹 부 ( 220 ) 를 결합 시킨 이유 는 하부 락 커 ( 224 ) 가 상부 락 커 ( 182 ) 와 락킹 ( 체결 ) 이나 분리 ( 해제 ) 가 용이 하 도록 하 는 높이 조절 용 개념 이 며 , 부가 적 으로 외부 몸체 ( 186 ) 의 강성 보강 의미 와 도전 성 부재 ( 미 도시 ) 및 접지 부재 ( 미 도시 ) 가 웨이퍼 척 ( 140 ) 하부 에서 외부 로부터 보호 될 수 있 는 의미 가 더해진다 .