본 발명 의 관통 비 아홀 공정 을 이용 한 실리콘 이미지 센서 의 웨이퍼 레벨 패키지 는 실리콘 웨이퍼 기판 전면 에 형성 되 어 외부 로부터 입사 된 빛 을 전기 적 신호 로 변환 하 기 위한 이미지 센서 ; 상기 이미지 센서 에서 변환 된 전기 신호 를 출력 하 기 위하 여 실리콘 웨이퍼 기판 상 에 형성 된 전극 패드 ; 상기 전극 패드 와 인접 한 영역 의 다 이싱 스트리트 근처 에 상기 전극 패드 의 면적 보다 넓 은 면적 으로 형성 된 관통 을 위한 비 아홀 ; 및 상기 전극 패드 로부터 출력 된 상기 전기 신호 를 기판 후면 으로 전달 하 기 위하 여 , 전도성 물질 을 상기 관통 을 위한 비 아홀 내부 와 상기 전극 패드 위 표면 까지 도금 공정 을 이용 하 여 충 진함 으로써 , 상기 기판 전면 에서 후면 까지 전기 적 접속 을 형성 한 관통 전극 을 포함 한다 .