도 2 를 참고 하 면 , 절연 층 ( 20 ) 내 에 복수 의 트렌치 ( 20 a ) 를 형성 한다 . 트렌치 ( 20 a ) 는 약 20 nm 이하 , 약 15 nm 이하 또는 약 10 nm 이하 의 미세 선폭 을 가질 수 있 다 . 트렌치 ( 20 a ) 는 예컨대 포토 리소그래피 에 의해 형성 될 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .