특히 대면 적 기판 에 대한 성막 등 의 양산 성 을 고려 하 면 AC 스퍼터링 법 이나 DC 스퍼터링 법 을 채용 하 면 좋 다 . 정 전압 을 인가 하 는 통상 의 DC 스퍼터링 법 에서 는 , 이상 아크 방전 이 발생 하 는 경우 가 있 다 . 이 현상 은 도전 성 산화물 의 성막 에서 는 현저 하 다 . 이상 아크 방전 을 방지 하 기 위해서 는 , 펄스 식 으로 전압 을 인가 하 면 좋 다 . 이 방법 은 펄스 DC 스퍼터링 법 이 라 불린다 . AC 스퍼터링 법 에서 는 , 이상 아크 방전 을 방지 할 필요 가 없 기 때문 에 , 펄스 DC 스퍼터링 법 에 비하 면 , 플라 즈 마 발생 시간 의 비율 이 2 배 이상 높 고 , 게다가 양산 성 이 좋 다 .