이 들 덮개 체 ( 7 ) 와 지지 부재 ( 71 ) 는 , 지지 부재 ( 71 ) 의 저판 ( 72 ) 의 하면 에 형성 된 공통 의 승강 기구 ( 75 ) 에 의해 일체 가 되 어 승강 이 자유 롭 게 구성 된다 . 이 에 의해 , 덮개 체 ( 7 ) 와 지지 부재 ( 71 ) 는 , 덮개 체 ( 7 ) 가 제 2 오 목부 ( 41 ) 를 기밀 하 게 막 는 위치 와 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 로 상승 하 여 제 2 반송 아암 ( 32 ) 이 지지 부재 ( 71 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 반입 · 반출 하 는 반송 위치 에 위치 할 수 있 다 . 도 10 중 「 75 a 」 는 승강 가이드 , 「 76 」 은 덮개 체 ( 7 ) 에 의해 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 기밀 하 게 막 기 위한 시일 부재 로서 의 O 링 이 다 . 또한 , 덮개 체 ( 7 ) 가 제 2 오 목부 ( 41 ) 를 막 는 위치 에 있 을 때 에 는 , 덮개 체 ( 7 ) 의 상면 이 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 의 기대 ( 34 ) 의 이동 을 저해 하 는 일 은 없 어 , 기대 ( 34 ) 는 덮개 체 ( 7 ) 의 상방 을 이동 할 수 있 다 .