연마 공정 에서 는 , 예 를 들 면 , 기판 의 피연 마면 을 연마 정반 ( 定盤 ) 의 연마포 에 눌러서 대 고 , 기판 에서 의 피연 마면 과 는 반대 측 의 면 ( 기판 의 이면 ( 裏面 ) ) 으로부터 기판 에 소정 의 압력 을 가한 상태 에서 , 본 실시 형태 에 따른 연마 액 을 기판 의 피연 마면 과 연마포 사이 에 공급 하 고 , 기판 을 연마 정반 에 대하 여 상대 적 으로 움직이 게 함 으로써 피연 마면 을 연마 할 수 있 다 . 연마 공정 에서 는 , 텅스텐 재료 를 포함 하 는 피 연마 재료 를 연마 할 수 있 다 . 피 연마 재료 는 , 막 형 ( 膜 形 ) ( 피연 마막 ) 이 라도 되 고 , 텅스텐 재료 를 포함 하 는 막이 라도 된다 . 성막 방법 으로서 는 , 공지 의 스퍼터링 법 ( sputtering method ) , 도금 법 등 을 예 로 들 수 있 다 .