구체 적 으로 는 , 계측 관찰 검사 화상 ( 121 ) 의 시야 가 얻 어 져 있 는 상태 ( 도 2 참조 ) 의 전자 빔 에 대한 정전 편향 벡터 ( E 101 과 E 111 ) 와 비교 해서 , 정전 편향 벡터 ( E 201 과 E 211 ) 를 크 게 하 는 편향 신호 ( 131 ) 를 정전 편 향기 ( 1030 과 1032 ) 에 부여 한다 . 그리고 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 계측 관찰 검사 화상 ( 1210 ) 의 시야 가 적정 하 게 되 도록 전자 빔 ( 102 ) 의 편향 량 을 보정 한다 .