구체 적 으로 는 , 가스 공급계 ( 200 ) 는 , C 4 F 8 가스 , C 4 F 6 가스 , O 2 가스 , Ar 가스 의 각 가스 공급원 ( 210 A ~ 210 D ) 을 구비 한다 . 이 들 가스 공급원 ( 210 A ~ 210 D ) 은 , 각각 가스 공급 로 ( 배관 ) ( 212 A ~ 212 D ) 를 거쳐서 , 공통 가스 공급 로 ( 배관 ) ( 214 ) 에 합류 하 도록 접속 되 어 있 다 . 공통 가스 공급 로 ( 214 ) 에 는 , 개폐 밸브 ( 216 ) 가 개재 되 어 있 고 , 그 하류 측 은 상부 전극 ( 120 ) 에 접속 된다 . 또 , 공통 가스 공급 로 ( 214 ) 에 는 , 그 안 을 흐르 는 가스 로부터 파티클 을 제거 하 는 필터 를 개재 시키 도록 하 더라도 좋 다 .