그러나 , 플래시 램프 어 닐 장치 에 있 어서 는 , 극히 높 은 에너지 를 가지 는 플래시 광 을 순간 적 으로 반도체 웨이퍼 의 표면 에 조사 하 기 때문 에 , 일순간 에 반도체 웨이퍼 의 표면 온도 가 급속히 상승 되 고 , 웨이퍼 표면 에 급격 한 열팽창 이 생겨 반도체 웨이퍼 가 휘어지 듯이 변형 되 는 것 이 판명 되 어 있 다 . 이러 한 플래시 광 조사 시 의 반도체 웨이퍼 의 휨 에 의해 방사 온도계 에 의한 온도 측정 에 오 차 가 생긴다는 문제 가 발생 하 고 있 었 다 .