댐 ( 81 ) 은 돌출부 ( 83 ) 와 돌출부 ( 84 ) 가 설치 되 는 것 을 제외 하 고 , 댐 ( 71 ) ( 도 8 참조 ) 과 유사 하 다 . 돌출부 ( 83 ) 는 모서리 ( 12 B ) 근방 에 위치 하 는 반도체 소자 ( 12 ) 의 측면 과 대향 하 는 부분 에 설치 된다 . 돌출부 ( 84 ) 는 모서리 ( 12 D ) 근방 에 위치 하 는 반도체 소자 ( 12 ) 의 측면 과 대향 하 는 부분 에 설치 된다 .