이 와 같이 소자 특성 이 열화 되 는 현상 은 플 라즈 마 증착 장치 나 식각 장치 내 의 플 라즈 마 가 균일 하 지 못하 기 때문 에 기판 표면 차징 이 발생 하 게 되 기 때문 인 것 으로 알려져 있 다 . 이러 한 표면 차징 으로 인해 소자 의 문턱 전압 이 변동 되 고 , 게이트 옥사이드 무결성 ( Gate Oxide Integrity : GOI ) 결함 등 의 소자 결함 이 발생 하 는 문제 가 있 다 .