이하 , 본 발명 의 실시 형태 에 대해서 도면 을 참조 하 여 상세 하 게 설명 한다 . 여기 에서 는 , 본 발명 의 제 1 실시 형태 의 기판 보 지구 를 구비 한 기판 반송 장치 및 상기 기판 반송 장치 를 구비 한 기판 처리 시스템 을 예 로 들 어서 설명 을 실시 한다 . 도 1 은 기판 처리 시스템 으로서 의 진공 처리 시스템 ( 100 ) 을 개략 적 으로 도시 하 는 사시도 이 며 , 도 2 는 각 챔버 의 내부 를 개략 적 으로 도시 하 는 평면도 이 다 . 이 진공 처리 시스템 ( 100 ) 은 복수 의 프로세스 챔버 ( 1 a , 1 b , 1 c ) 를 갖 는 멀티 챔버 구조 를 하 고 있 다 . 진공 처리 시스템 ( 100 ) 은 , 예 를 들 면 FPD 용 의 유리 기판 ( 이하 , 간단히 「 기판 」 이 라고 적 는다 ) ( S ) 에 대하 여 플 라즈 마 처리 를 실행 하 기 위한 처리 시스템 으로서 구성 되 어 있 다 . 또한 , FPD 로서 는 , 액정 모니터 ( LCD ) , 전자 발광 ( Electro Luminescence ; EL ) 디스플레이 , 플라 즈 마 디스플레이 패널 ( PDP ) 등 이 예시 된다 .