본 발명 은 소스 가스 배기 라인 및 반응 가스 배기 라인 을 포함 하 는 분리 배기 부를 반응 실 의 상부 에 형성 함 으로써 , 소스 가스 와 반응 가스 가 서로 반응 하 여 파티클 등 의 불순물 이 생기 더라도 이 를 신속 하 게 제거 할 수 있 고 파티클 등 에 의해 기판 의 표면 이 손상 되 는 것 을 줄일 수 있 는 박막 증착 장치 및 증착 방법 을 제공 한다 .