가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로 의 유체 플로우 압력 은 직접 제어 가능 하 기 때문 에 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 이 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 내로 의 플 라즈 마 침입 을 본질 적 으로 방지 하 기 에 충분히 작 은 사이즈 를 갖 도록 정의 하 는 것 이 가능 하 다 . 그러나 , 초음파 유체 플로우 가 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 을 관통 할 정도 로 작 게 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 을 정의 하 는 것 은 피하 는 것 이 적절 하 다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로부터 의 초음파 유체 플로우 를 방지 하 기 위하 여 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하 부면 으로부터 의 포트 들 의 출구 에서 확산 기 형상 을 갖 도록 정의 될 수 있 다 . 도 3 c 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 가스 공급 포트 ( 119 ) 횡단면 을 나타낸다 . 가스 공급 포트 ( 119 ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 으 로부터 의 출구 위치 에서 확산 기 형상 ( 307 ) 을 갖 는 것 으로 나타나 있 다 .