판 정부 ( 59 ) 는 , 촬상 수단 ( 42 ) 에 의해 얻 은 전자 부품 ( 2 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 2 a ) 의 촬상 결과 와 기판 ( 3 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 3 a ) 의 촬상 결과 로부터 , 각 얼라인먼트 마크 ( 2 a , 3 a ) 의 위치 어긋남 을 판정 한다 . 도 7 은 전자 부품 ( 2 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 2 a ) 와 기판 ( 3 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 3 a ) 의 위치 가 맞 은 , 즉 정상 으로 위치 결정 이 이루어진 상태 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 8 은 전자 부품 ( 2 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 2 a ) 와 기판 ( 3 ) 의 얼라인먼트 마크 ( 3 a ) 의 위치 가 어긋난 상태 를 나타내 는 도면 이 다 .