구체 적 으로 , XPS 는 K - Alpha ( Thermo Scientific Inc . , 미국 ) 를 이용 하 여 , 단색 의 ( monochromatic ) A 1 K α 방사선원 ( radiation source ) ( 1486 . 6 eV ) 으로 분석 하 였 다 . 이때 , 에너지 스케일 은 284 . 8 eV 의 C 1 s 스펙트럼 에서 흑연 피크 ( graphite peak ) 에 기초 하 여 조절 되 었 고 , 분석 범위 는 직경 400 ㎛, 전달 에너지 는 40 eV 였 다 . 또한 , O 1 s , C 1 s 및 Si 2 p 피크 는 0 . 1 eV 에너지 스텝 을 사용 하 여 비 - 스캐닝 모드 ( non - scaning mode ) 로 측정 되 었 다 . 측정 결과 는 하 기 표 1 에 나타내 었 다 .