상면 형상 은 , 주사 방향 외 에 , 노광 장치 의 레티 클 의 조명 조건 으로서 의 조명 모드 및 레티 클 에 의존 할 수 있 다 . 도 15 a 내지 도 15 d 는 조명 모드 및 레티 클 에 의존 하 는 상면 형상 의 4 개 의 예 를 나타내 고 있 다 . 조명 모드 는 , 예 를 들 어 쌍극자 조명 , 사중 극자 조명 , 환상 조명 등 을 포함 한다 . 주사 방향 , 조명 모드 , 레티 클 등 의 조합 에 따라서 상면 형상 이 결정 될 수 있 다 . 따라서 , 이 들 을 고려 해서 초점 보상 막 ( 3 ) 의 상부 표면 형상 이 결정 될 수 있 다 .