한편 , 상부 챔버 ( 20 ) 에 는 이 송부 ( 400 ) , 가열 부재 ( 500 ) , 지지 플레이트 ( 600 ) 그리고 조절 부재 ( 700 ) 가 설치 된다 . 이 송부 ( 400 ) 는 테이프 타입 의 긴 금속 선재 ( 1 ) 에 연속 적 으로 2 축 배향 박막 을 증착 하 도록 금속 선재 ( 1 ) 를 증착 영역 인 오프닝 ( 42 ) 선상 에서 멀티 턴 ( multi turn ) 시키 기 위한 것 이 고 , 가열 부재 ( 500 ) 는 이 송부 ( 400 ) 에 의해 멀티 턴 되 는 금속 선재 ( 1 ) 를 가열 하 기 위한 것 이 며 , 지지 플레이트 ( 600 ) 는 멀티 턴 되 는 금속 선재 ( 1 ) 의 진동 및 뒤틀 어 짐 을 방지 하 기 위한 것 이 며 , 조절 부재 ( 700 ) 는 증착 영역 인 오프닝 ( 42 ) 의 크기 를 조절 하 기 위한 것 이 다 .