필름 ( 3 ) 은 , 도시 하 지 않 은 필름 공급 릴 로부터 공급 되 고 , 고정 롤러 ( 7 ) 를 경유 하 여 도시 하 지 않 은 필름 권 취 릴 로 회수 된다 . 필름 ( 3 ) 은 , 도시 하 지 않 은 XYZ 스테이지 에 의해 , XYZ 방향 으로 이동 가능 하 게 된다 . XYZ 스테이지 는 , 결함 부 ( 2 a ) 와 구멍 ( 3 a ) 의 위치 조정 에 사용 된다 .