무기 층 부착 수지 시트 를 사용 하 여 절연 층 을 형성 하 는 본 발명 의 제조 방법 에서 는 , 표면 의 기복 이 작 고 양호 한 평탄 성 을 나타내 는 절연 층 을 형성 하 는 것 이 가능 하 다 . 절연 층 의 표면 의 기복 은 , 절연 층 표면 의 최대 단면 높이 Rt 에 의해 평가 할 수 있 다 . 본 발명 의 제조 방법 에 의하 면 , 공정 ( C ) 에서 얻 어 지 는 절연 층 의 표면 의 최대 단면 높이 Rt 를 바람직 하 게 는 1 . 2 ㎛ 미만 으로 작 게 하 는 것 이 가능 하 고 , 미세 배선 의 형성 에 현저 하 게 기여 하 는 것 이 다 .