이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 의하 면 , EFH 조절 을 위한 식각 공정 이 완료 된 기판 상부 표면 을 따라 완충 막 을 형성 한 후 그 상부 에 상기 완충 막 과 높 은 식각 선택 비 를 갖 는 물질 을 이용 하 여 윙 스 페이서 를 형성 함 으로써 윙 스 페이서 제 거공 정시 소자 분리 막 의 손실 을 최소 화 하 고 , 이 를 통해 셀 영역 내 에서 의 EFH 변동 을 최소 화 하 여 EFH 에 의한 셀 기입 문턱 전압 의 분포 를 안정 적 으로 확보 할 수 있 다 .