마지막 으로 , 확률 분포 기억 부 ( 28 ) 에 저장 한 데이터 를 이용 하 여 장치 진단 값 을 산출 한다 ( S 206 ) . 예 를 들 면 , 장치 간 차 를 장치 진단 값 으로서 산출 할 경우 에 는 , 우선 , 기준 이 되 는 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 와 진단 대상 의 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 의 확률 분포 정보 를 확률 분포 기억 부 ( 28 ) 로부터 취득 한다 . 취득 한 확률 분포 간 의 거리 를 장치 간 차 진단 값 으로서 장치 상태 진단 값 기억 부 ( 29 ) 에 저장 한다 . 확률 분포 간 의 거리 지표 로서 는 , Kullback - Leibler 다이버 전 스나 Jensen - Shannon 다이버 전 스 등 을 이용 한다 .