다음 으로 , 제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 는 재 치부 ( ＰＡＳＳ ７ ) 로부터 기판 ( Ｗ ) 을 받아들여 ( 스텝 Ｓ １４ ) , 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ ) 에 대향 하 는 위치 로 이동 한다 . 그리고 , 제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ ) 으로부터 이미 노광 후 가열 ( ＰＥＢ ) 처리 가 끝난 기판 ( Ｗ ) 을 꺼내 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ７ ) 로부터 받아들인 기판 ( Ｗ ) 을 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ ) 에 반입 한다 . 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ ) 은 미처리 된 기판 ( Ｗ ) 을 열처리 한다 ( 스텝 Ｓ １５ - ＰＥＢ 처리 ( Ｔ １０ ｕ ) ) . 제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ ) 으로부터 꺼낸 기판 ( Ｗ ) 을 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ｂ ) 에 반송 한다 ( 스텝 Ｓ １６ ａ ) .