또한 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 내 에 는 , 질량 유량 제어기 ( MFC 5 ) 가 희석 용 N 2 파이프 내 에 제공 된다 . 또한 , 차단 밸브 ( V 15 ) 가 희석 용 N 2 파이프 내 에 제공 되 고 , 희석 용 N 2 의 공급 은 N 2 의 희석 을 필요 로 하 지 않 는 제조 장치 의 프로세스 에서 정지 될 수 있 다 . 제조 장치 의 작동 프로세스 , 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 에 대응 하 는 희석 용 N 2 의 유량 은 제어기 ( 6 ) 내 에 미리 저장 되 고 , 제어기 ( 6 ) 는 피드포워드 제어 와 PID 제어 의 조합 에 의해 질량 유량 제어기 ( MFC 5 ) 를 자동 으로 제어 한다 . 희석 용 N 2 가 상이 한 유량 에서 유동 하 게 하 는 복수 의 희석 용 N 2 파이프 가 준비 될 수 도 있 고 , 희석 용 N 2 파이프 는 희석 용 N 2 의 유량 을 제어 하 기 위해 밸브 에 의해 자동 으로 절환 될 수 도 있 다 . 도 5 에 도시 된 구조 에 의해 , 희석 용 N 2 의 공급량 이 감소 될 수 있 고 , 에너지 절약 이 성취 될 수 있 다 . 또한 , 희석 용 적절 한 양 의 N 2 가 진공 펌프 장치 ( 3 ) 및 접속 파이프 ( 7 ) 에 공급 될 수 있 기 때문 에 , 진공 펌프 는 안정 적 으로 작동 될 수 있 고 , 가연 성 가스 의 폭발 및 점 화 가 방지 될 수 있 다 . 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 으로부터 공급 된 희석 용 N 2 는 HOT N 2 일 수 도 있 다 . 제어기 ( 6 ) 대신 에 , 제조 장치 ( 1 ) 로부터 의 정보 는 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 을 제어 하 기 위해 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 을 개별 적 으로 제어 하 기 위한 제어기 내 에 입력 될 수 도 있 다 .