제 1 이 동부 ( 42 ) 와 제 2 이 동부 ( 43 ) 는 회 전부 ( 41 ) 를 중심 으로 하 는 방사 방향 과 나란 하 게 정렬 된다 . 제 1 이 동부 ( 42 ) 와 제 1 증착 원 ( 44 ) 은 어느 한 기판 ( 60 ) 의 하측 에 위치 하 고 , 제 2 이 동부 ( 43 ) 와 제 2 증착 원 ( 45 ) 은 다른 한 기판 ( 60 ) 의 하측 에 위치 한다 .