바람직 하 게 , 상기 금속 입자 가 화학 적 식각 에서 촉진제 로써 의 역할 을 하 는 경우 , 두 가지 또는 그 이상 의 화학 물질 이 이용 될 수 있 으며 , 이 들 중 일부 는 반도체 물질 을 산화 시키 고 , 다른 물질 은 산화 된 반도체 물질 을 제거 함 으로써 , 각기 다른 역할 을 통해 반도체 물질 을 식각 하 는 물질 의 조합 이 바람직 하 다 .