또한 , 고주파 안테나 ( 54 ) 에 는 , 상부 챔버 ( 13 ) 의 상방 에 연장 설치 되 는 급전 부재 ( 57 a ) 가 접속 되 어 있 으며 , 급전 부재 ( 57 a ) 의 상단 에 는 급전선 ( 57 b ) 이 접속 되 며 , 급전선 ( 57 b ) 은 임피던스 정합 을 실행 하 는 정합 기 ( 58 ) 를 거쳐서 고주파 전원 ( 59 ) 에 접속 되 어 있 다 . 고주파 안테나 ( 54 ) 에 대하 여 고주파 전원 ( 59 ) 으로부터 예 를 들 면 13 . 56 ㎒ 의 고주파 전력 이 인가 되 는 것 에 의해 , 하부 챔버 ( 17 ) 내 에 유도 전계 가 형성 된다 . 이 유도 전계 에 의해 , 샤워 플레이트 ( 40 ) 로부터 처리 영역 ( S ) 에 공급 된 처리 가스 가 플 라즈 마 화 되 어 유도 결합 형 플 라즈 마가 생성 되 고 , 플 라즈 마 중 의 이온 이 기판 ( G ) 에 제공 된다 .