이하 , 도 3 을 참조 하 여 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 반도체 소자 제조 장치 를 설명 한다 . 도 3 은 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 반도체 소자 제조 장치 의 개략 적 인 정면도 이 다 . 도 1 및 도 2 와 실질 적 으로 동일 한 구성 요소 에 대해서 는 동일 한 참조 부호 를 사용 하 며 , 해당 구성 요소 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .