제 1 패턴 부 ( 11 a , 12 a ) 는 , 예 를 들 면 , 전계 효과 트랜지스터 의 게이트 전극 으로 되 는 부분 이 다 . 활성 영역 ( 50 ) 은 , 예 를 들 면 , 기판 ( 9 ) 의 표면 에 불순물 이 주입 되 고 , 전계 효과 트랜지스터 의 소스 영역 또는 드레 인 영역 으로 되 는 영역 이 다 . 레지스 트 패턴 ( 13 ) 의 부분 은 , 예 를 들 면 배선 이 형성 된다 .