본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 인덱스 로봇 ( 144 ) 또는 메인 반송 로봇 ( 250 ) 이 포커스 링 ( 1250 ) 을 반송 할 때 , 두 로봇 모두 캐리어 ( 1600 ) 를 이용 하 여 링 을 반송 할 수 있 다 . 그러나 , 다른 일 실시 예 에 따르 면 , 인덱스 로봇 ( 144 ) 을 통해 포커스 링 ( 1250 ) 을 반송 할 때 캐리어 ( 1600 ) 를 이용 하 고 , 메인 반송 로봇 ( 250 ) 을 통해 포커스 링 ( 1250 ) 을 반송 할 때 는 캐리어 를 이용 하 지 아니하 고 반송 할 수 도 있 다 . 해당 실시 예 에서 는 , 메인 반송 로봇 ( 250 ) 이 링 부재 와 기판 을 혼 용 가능 하 도록 로봇 아암 을 개조 하 여 캐리어 없이 링 부재 를 로봇 아암 위 의 패드 에 얹 어 반송 할 수 도 있 다 . 해당 실시 예 에 따르 면 , 캐리어 ( 1600 ) 는 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 으로부터 로드 락 모듈 ( 30 ) 까지 링 부재 를 반송 하 는 데 사용 되 고 , 로드 락 모듈 ( 30 ) 에서 공정 챔버 ( 260 ) 까지 반송 하 는 과정 에서 는 캐리어 가 사용 되 지 아니할 수 도 있 다 .