도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1000 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 고 , 도 2 는 도 1 의 기판 처리 장치 ( 1000 ) 의 기판 지지대 ( 100 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 사시도 이 다 . 그리고 , 도 3 은 도 2 의 Ⅲ - Ⅲ 선 을 따라 취한 단면 을 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 고 , 도 4 는 도 2 의 Ⅳ - Ⅳ 선 을 따라 취한 단면 을 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 5 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 200 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 사시도 이 다 .