본 발명 상 에서 마이크 로 진공 부착 을 시행 하 는 마이크 로 진공 모듈 은 외부 펌프 모듈 과 연결 되 는 제 1 연결 공 및 진공 조 절부 와 연결 되 는 제 2 연결 공 이 형성 된 공정 기판 , 공정 기판 의 하부 에 이격 배치 된 상태 에서 흡착 홀 들 이 형성 된 베이스 기판 및 상기 공정 기판 과 베이스 기판 사이 에 배치 된 상태 에서 흡착 홀 들 에 대응 하 도록 단일 내지 복수 의 진공 유로 가 형성 된 중간층 을 갖 는다 . 즉 , 공정 기판 과 베이스 기판 사이 에 진공 유로 가 형성 된 중간층 이 지지층 역할 을 하 는 상태 에서 복수 의 채널 공 의 하단 상 에 흡착 홀 들 이 각각 연통 한 상태 로 배치 된 것 을 보인다 .