둘째 , 소자 의 패턴 에 미세 화 됨 에 따라 식각 패턴 의 종횡비 가 지속 적 으로 증가 하 여 최근 에 는 거의 한계 치 에 다 다르 고 있 다 . 이러 한 종횡비 에 대응 하 는 식각 을 위해서 는 플 라즈 마 파워 를 상승 시켜야 한다 . 플 라즈 마 식각 에 는 화학 반응 에 의한 화학 적 식각 과 물리 적 이온 충돌 에 의한 물리 적 식각 이 혼재 되 어 있 다 . 그런데 , 플라 즈 마 파워 가 커질수록 물리 적 식각 의 강도 가 화학 적 식각 보다 상대 적 으로 커지 며 소정 파워 이상 에서 는 압도 적 이 된다 . 따라서 내 식판 ( 61 ) 의 내식 성 을 유지 하 기 더욱 어려워진다 .