제 3 실시 형태 에서 는 , 제 1 실시 형태 에 관련 된 작용 효과 에 더 하 여 , 다음 의 작용 효과 를 나타낼 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 제 3 실시 형태 에서 는 , 복수 의 약액 노즐 ( 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 및 제 2 약액 노즐 ( 21 B ) ) 이 설치 되 어 있 으므로 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 및 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 에서 의 압력 손실 을 더 증가 시켰 다고 해도 , 기판 ( W ) 에 공급 되 는 약액 의 유량 의 감소 를 억제 할 수 있 다 . 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 및 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 에서 의 압력 손실 을 더 증가 시키 면 , 공통 배관 ( 29 ) 으로부터 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 및 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 에 약액 이 흐르 기 어려워 지 므로 , 약액 이 의도 하 지 않 게 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 및 제 2 약액 노즐 ( 21 B ) 에 공급 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 .