상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 산란 장치 는 구조 를 분석 할 박막 시료 가 위치 하 는 시료 장착 부 와 , 상기 시료 장착 부 의 산란 현상 을 제어 하 기 위해 상기 시료 장착 부 를 제어 하 는 시료 제 어부 , 상기 시료 장착 부 의 승 온 및 강온 을 조절 하 는 온도 조 절부 , 상기 시료 제 어부 및 온 도조 절부 를 제어 하 기 위한 주제 어부 를 포함 할 수 있 다 .