첩부 지령 이 내려지 면 , 히터 ( 64 ) 및 히터 ( 107 ) 를 작동 시킨다 . 그리고 프레임 공급 부 ( 6 ) 로부터 프레임 보유 지지 부 ( 51 ) 로 링 프레임 ( f ) 을 반송 시킴 과 함께 , 용기 ( 2 ) 로부터 보유 지지 테이블 ( 5 ) 로 웨이퍼 ( W ) 를 반송 시킨다 . 보유 지지 테이블 ( 5 ) 이 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 하 고 , 프레임 보유 지지 부 ( 51 ) 가 링 프레임 ( f ) 을 흡착 유지 하 면 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 은 레일 ( 58 ) 을 따라 테이프 첩부 기구 ( 82 ) 측 으로 이동 한다 . 보유 지지 테이블 ( 5 ) 을 이동 시킨 후 의 테이프 첩 부부 ( 73 A ) 는 , 도 26 에 도시 하 는 바 와 같 다 .