자세히 살펴보 면 , 2 차 알루미늄 패턴 ( 22 b ) 의 라인 ( LAl 2 ) 선폭 은 30 ∼ 50 nm 이 되 고 , 스페이스 ( SAl 2 ) 선폭 은 50 ∼ 70 nm 이 된다 . 이러 한 2 차 알루미늄 패턴 ( 22 b ) 의 라인 선폭 은 1 차 알루미늄 패턴 ( 22 a ) 의 라인 선폭 에 비해 20 nm 만큼 감소 된 것 이 고 , 2 차 알루미늄 패턴 ( 22 b ) 의 스페이스 선폭 은 1 차 알루미늄 패턴 ( 22 a ) 의 스페이스 선폭 에 비해 20 nm 만큼 증가 된 것 이 다 .