여기 서 , 본 발명 은 도포 성 이 우수 한 비 도핑 된 폴리 실리콘 막 을 사용 하 여 매립 특성 을 극대 화 시킨 후 , 상기 비 도핑 된 폴리 실리콘 막 을 어닐링 처리 하 여 산화 시켜 산화 막 ( 60 ) 으로 형성 하 게 되 면 미세 폭 을 갖 는 트렌치 ( 30 ) 내 에서 의 매립 불량 , 즉 , 트렌치 ( 30 ) 내 에서 의 보이드 ( void ) 발생 을 방지 할 수 있 다 .