복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 는 , 원기둥 상 으로 형성 되 어 있 고 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 상단 면 ( 23 a ) 상 에 마련 되 어 있 다 . 복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 상단 면 ( 23 a ) 으로부터 의 높이 가 3 [ ㎛] 으로 형성 되 어 있 다 . 복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 을 따라 소정 의 간격 을 두 고 배치 되 어 있 고 , 기판 ( 3 ) 의 중심 에 대하 여 동심원 상 으로 2 열 배치 되 어 있 다 . 각 열 의 제 1 돌기 ( 24 ) 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 에 대하 여 교대 로 위치 를 어긋나 게 하 여 , 지그재그 형상 으로 배치 되 어도 된다 .