도시 한 바 와 같이 , 도 11 의 ( a ) 와 같이 , 종래 의 이 물질 제거 장치 ( 800 ) 는 제거 날개 ( 630 ) 를 이용 하 여 관통 슬릿 ( 511 ) 내 의 이 물질 을 제거 하 기 위해 진자 운동 하 는 회 동축 ( 610 ) 이 처 리조 ( 100 ) 의 상부 에 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 상기 회 동축 ( 610 ) 을 중심 으로 제거 날개 ( 630 ) 는 하부 로 진자 운동 하 게 된다 .