또한 , 실드 부재 ( 68 ) 는 보호 층 ( 70 ) 에 의해서 덮여 있 다 . 이것 에 의해 , 실드 부재 ( 68 ) 가 플 라즈 마 ( 활성 종 을 포함 ) 에 의한 어택 ( attack ) 으로 변질 되 거나 , 소모 되 는 것 이 방지 된다 . 또한 , 실드 부재 ( 68 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 금속 오염 등 되 는 것 도 방지 된다 .