도 5 에서 보 듯이 제 5 실시 예 에 의한 고순 도 정전 척 은 제 4 실시 예 의 제 2 소 결체 ( 20 ) 하면 에 함께 가압 접합 된 제 3 소 결체 ( 30 ) 를 구비 할 수 있 다 . 제 2 실시 예 에서 와 마찬가지 로 제 3 소 결체 ( 30 ) 는 제 1 및 제 2 소 결체 ( 10 , 20 ) 간 의 열팽창 계수 의 차이 로 인한 휨 변형 을 최소 화 할 수 있 도록 하 기 위해 마련 되 며 , 제 1 소 결체 ( 10 ) 와 비슷 한 순도 로 제작 될 수 있 다 . 제 3 소 결체 ( 30 ) 의 알루미나 함량 은 99 . 9 % 이하 , 바람직 하 게 는 90 ~ 99 . 9 질량 % 일 수 있 다 .