부호 C 1 은 기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 의 중심축 이 다 . 중심축 C 1 은 높이 방향 을 따른다 . 기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심축 을 중심축 C 1 에 일치 시켜 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 한다 . 기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 수평 한 상태 에서 보유 지지 할 수 있 는 것 이 바람직 하 다 .