또한 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 일정 기간 경과 후 의 실측치 에 근거 하 는 , 일정 기간 더 경과 후 의 제 2 예측 치 를 예측 하 고 , 예측 한 제 2 예측 치 와 제 2 성능 치 에 근거 하 여 , 제 3 차 분 을 예측 한다 . 또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 예측 한 제 2 예측 치 와 제 3 차분 에 근거 하 여 , 제 4 성능 치 를 예측 한다 . 그 결과 , 장래 의 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 예측 할 수 있 다 .