또한 , 각 진공 반 송실 ( 31 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 는 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 가 마련 되 어 있 다 . 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 대략 수평 으로 보 지 하 는 반송 아암 ( 51 ) 을 갖 고 있 다 . 반송 아암 ( 51 ) 은 수평 방향 으로 신축 및 선회 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 는 반송 아암 ( 51 ) 의 하방 에 마련 된 승강 부 ( 52 ) 를 갖 고 있 다 . 승강 부 ( 52 ) 에 의해 , 반송 아암 ( 51 ) 은 연직 방향 으로 승강 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 는 반송 아암 ( 51 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 보 지 하 면서 반송 하 는 구성 으로 되 어 있 다 . 또한 , 이하 에서 는 , 웨이퍼 반송 기구 ( 50 n ) , 반송 아암 ( 51 n ) ( n = 1 ~ 3 ) 은 진공 반 송실 ( 31 n ) 에 마련 된 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) , 상기 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 가 갖 는 반송 아암 ( 51 ) 을 의미 한다 .