구체 적 으로 , 성막 방법 으로서 는 , 스프레이 법 , 딥 법 , CVD 법 등 의 화학 적 성막 방법 , 또는 스퍼터 법 , 진공 증착 법 , 이온 플 레이팅 법 , 펄스 레이저 디 포지션 법 등 의 물리 적 성막 방법 을 이용 할 수 있 다 . 캐리어 밀도 를 제어 하 기 쉽 고 , 막 질 향상 이 용이 하 기 때문 에 , 바람직 하 게 는 물리 적 성막 방법 을 이용 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 생산 성 이 높 기 때문 에 스퍼터 법 을 이용 한다 .