상기 연마 액 이 , 상기 금속 입자 를 함유 하 는 경우 에 는 , 상기 금속 입자 가 함유 하 는 특정 금속 원자 가 2 종 이상 인 경우 , 각각 의 함유량 은 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 0 . 01 ~ 50 질량 ppb 가 바람직 하 고 , 0 . 01 ~ 8 질량 ppb 가 보다 바람직 하 다 . 즉 , 예 를 들 면 Fe 원자 를 함유 하 는 금속 입자 및 Cu 원자 를 함유 하 는 금속 입자 가 연마 액 에 포함 되 는 경우 , Fe 원자 의 함유량 및 Cu 원자 의 함유량 의 양자 가 0 . 01 ~ 50 질량 ppb 의 범위 내 인 것 이 바람직 하 다 .