Z 주사 스테이지 ( 7 ) 에 의해 대물 렌즈 ( 5 ) 와 피검 물 ( 3 ) 의 상대 거리 를 바꾸 면서 ( 이하 에서 는 이 동작 을 ' Z 주사 ' 라 함 ) CF 화상 을 취득 하 면 , 피검 물 ( 3 ) 의 어떤 1 점 에서 는 도 3 과 같 은 휘도 변화 곡선 으로 된다 ( 이하 에서 는 이 휘도 변화 곡선 을 ' IZ 곡선 ' 이 라 함 ) .