지지 플레이트 ( 110 ) 는 기판 지지 유닛 ( 100 ) 의 상부 에 위치 할 수 있 다 . 지지 플레이트 ( 110 ) 는 내부 에 정전 전극 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 정전 전극 은 온 - 오프 ( ON - OFF ) 되 는 스위치 를 거쳐 직류 전원 ( 도시 되 지 않 음 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 상기 스위치 가 온 ( ON ) 되 면 , 상기 정전 전극 은 지지 플레이트 ( 110 ) 상 의 기판 ( S ) 에 정전기력 을 인가 하 고 , 이 에 따라 , 정전기력 에 의해 기판 ( S ) 는 지지 플레이트 ( 110 ) 에 흡착 될 수 있 다 .