도 46 의 ( B ) 는 , 상술 한 국소 적 인 레이저 조사 단계 에 사용 할 수 있 는 레이저 결정 화 장치 의 주요 구조 를 도시 한 사시도 이 다 . 레이저 결정 화 장치 는 X - Y 스테이지 의 구성 요소 인 이동 기구 ( 812 ) , 이동 기구 ( 813 ) , 및 스테이지 ( 815 ) 를 포함 한다 . 상기 결정 화 장치 는 레이저 빔 ( 827 ) 을 성형 하 기 위하 여 레이저 ( 820 ) , 광학계 유닛 ( 821 ) , 미러 ( 822 ) , 및 마이크 로렌즈 어레이 ( 823 ) 를 더 포함 한다 .