최종 렌즈 L 110 은 , < 1 0 0 > 의 결정축 을 광축 AX 를 따라 배향 시키 는 1 개 의 유리 재로 이루어진다고 했 을 경우 , 다시 말 해 , 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 의 각각 의 < 1 0 0 > 의 결정축 을 광축 AX 을 따라 배향 시키 고 , 광축 주변 에 그 들 의 조립 각도 를 모두 같 게 설정 했 을 경우 를 생각 한다 . 도 6 a 에 나타나 있 는 바 와 같이 , 동공 내 리타 단스 의 평균치 에 대한 RMS 로 0 . 26 λ 만큼 큰 리타 단스 분포 가 발생 한다 . 이렇게 큰 리타 단스 를 보정 하 기 위해서 는 , 최종 렌즈 L 110 이외 의 광학 부재 에 도 LuAG 을 많이 사용 해야 한다 . 그러나 , LuAG 은 , 파장 193 nm 의 빛 에 대한 투과 율 이 낮 고 , 또한 연마 에 의해 원 하 는 면 정밀도 를 얻 는 것 이 어렵 기 때문 에 , LuAG 을 많이 이용 하 는 것 은 피하 고 싶 다 .