성막 공정 이 종료 되 면 , 처리 용기 ( 1 ) 밖 으로 웨이퍼 ( W ) 를 반출 한다 ( 반출 공정 ) . 반출 공정 은 , 반입 공정 의 수순 을 반대 로 행하 면 되 며 , 설명 을 생략 한다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 반입 공정 , 감압 공정 , 조정 공정 , 성막 공정 및 반출 공정 을 이 순번 으로 행하 는 경우 를 예 로 들 어 설명 했 지만 , 반입 공정 과 감압 공정 을 동시 에 행해도 된다 .