폴리 이미드 용액 이 주입 되 면 , 도 6 d 에 도시 된 바 와 같이 , 복수 의 패드 각각 의 일부 영역 이 드러나 도록 하부 기판 층 ( 620 ) 에 복수 의 홀 ( hole ) 을 생성 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 에칭 또는 레이저 등 을 이용 하 여 하부 기판 층 ( 620 ) 에 복수 의 홀 ( hole ) 을 생성 할 수 있 다 . 그리고 , 생성 된 복수 의 홀 각각 에 전도성 물질 ( 95 ) 을 채울 수 있 다 .