웨이퍼 이동 을 제어 하 는 컴퓨터 는 클러스터 아키텍처 에 국부 적 일 수 있 고 또는 제작 현장 의 클러스터 아키텍처 외부 에 위치 될 수 있 고 , 또는 리모트 위치 에 있 고 네트워크 를 통해 클러스터 아키텍처 에 연결 될 수 있 다는 것 을 주의 해야 한다 . 도 5 를 참조 하 여 기술 된 바 와 같 은 제어기 는 도 6 의 툴 을 사용 하 여 구현 될 수 도 있 다 . 본 발명 에 따른 프로세스 동작 들 을 제어 하 기 위한 인스트 럭 션 들 을 포함 하 는 머신 판독 가능 한 매체 는 시스템 제어기 에 커플링 될 수 도 있 다 .