또한 , 도 1 및 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 전달 부 ( 10 b ) 는 격벽 ( 15 ) 에 의해 외부 로부터 차단 되 어 있 다 . 전달 부 ( 10 b ) 와 적 재부 ( 10 a ) 사이 에서 의 웨이퍼 ( W ) 전달 , 및 전달 부 ( 10 b ) 와 처 리부 ( 10 c ) 사이 에서 의 웨이퍼 ( W ) 전달 은 , 전달 시 이외 는 폐쇄 되 어 있 는 개구 를 통하 여 실시 된다 .