또한 , 본 발명 은 , 한 장 의 웨이퍼 가 복수 의 모듈 을 거쳐 복수 공정 을 처리 하 는 경우 에 , 하나 의 메인 터 넌 스 작업 이 장치 내 를 흐르 는 모든 웨이퍼 를 일단 정지 시키 는 것 에 따른 장치 가동 률 의 저하 를 없애 기 위해 해결 해야 할 기술 적 과제 가 생기 고 , 본 발명 은 이 과제 를 해결 하 는 것 을 목적 으로 한다 .