본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 접합 장치 는 , 진공 펌프 에 연결 되 어 설 정압 의 진공 을 형성 하 는 진공 챔버 , 상기 진공 챔버 내 에서 제 1 기판 을 지지 및 위치 를 설정 하 는 스테이지 , 상기 스테이지 상 의 외곽 에 구비 되 어 제 2 기판 을 지지 한 후 상기 제 2 기판 을 지지 해제 하 는 작동 을 반복 하 는 로딩 부 , 및 상기 스테이지 상 에서 하강 작동 으로 상기 로딩 부 의 일부 를 외곽 으로 밀 어서 상기 제 2 기판 을 상기 제 1 기판 상 에 로딩 한 후 , 더 하강 작동 으로 가압 하 여 상기 제 2 기판 을 상기 제 1 기판 상 에 접합 하 는 가압 플레이트 를 포함 한다 .