본 발명 의 실시 예 에 따른 증착 장치 는 증착 챔버 ( 100 ) 로 원료 물질 이 충 진 된 저장 용기 ( 500 ) 를 공급 하 는 공급 챔버 ( 200 ) 와 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 원료 물질 이 소진 된 저장 용기 ( 500 ) 를 배출 하 는 배출 챔버 ( 300 ) 를 증착 챔버 ( 100 ) 의 양측 에 별도 로 구비 한다 . 즉 , 증착 챔버 ( 100 ) 의 양측 에 별도 로 구비 되 는 공급 챔버 ( 200 ) 와 배출 챔버 ( 300 ) 에 의하 여 저장 용기 ( 500 ) 의 공급 과 배출 을 별도 로 수행 하 여 , 원료 물질 이 충 진 된 저장 용기 ( 500 ) 의 공급 과 원료 물질 이 소진 된 저장 용기 ( 500 ) 의 배출 이 저장 용기 ( 500 ) 의 교체 과정 에서 연속 적 으로 또는 동시 에 이루어질 수 있 으며 , 이 에 의하 여 저장 용기 ( 500 ) 의 교체 시간 을 대폭 감소 시킬 수 있 게 된다 .