그러나 , 챔버 ( 11 ) 내벽 에 있 어서 석영 이나 세라믹스 등 의 유전체 재료 의 파츠 에 는 바이어스 파워 를 인가 할 수 없 다 . 만일 , 챔버 ( 11 ) 내벽 을 600 ℃ 정도 의 고온 으로 제어 했 을 경우 , 바이어스 파워 를 인가 하 지 않 고 도 클리닝 을 촉진 할 수 있 지만 , 공업 적 으로 실시 곤란 하 여 현실 적 이 지 않 다 . 따라서 , 바이어스 파워 를 인가 할 수 없 는 챔버 내벽 을 클리닝 하 는 것 은 어렵 다 .