본 발명 에 실시 예 의 제 5 변형 예 로서 , 도 1 에서 설명 한 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 에 있 어서 , 미들 코일 ( 83 ) 과 ㄷ 자형 미들 요크 ( 84 ) 를 조합 한 변형 예 를 도 9 에 나타낸다 . 이 경우 , 외주 코일 ( 81 ) 과 외주 요크 ( 82 ) 는 , 도 1 에서 설명 한 실시 예의 구성 과 같 으므로 , 설명 을 생략 한다 .