플라 즈 마 세 정부 ( 300 ) 는 기판 이 송부 ( 700 ) 를 통해 기판 로딩 부 ( 100 ) 로부터 이송 된 기판 ( S ) 을 플 라즈 마로 세정 처리 한다 . 플라 즈 마 세 정부 ( 300 ) 는 통상 적 인 고주파 방식 의 대기압 플 라즈 마 세정 장치 로 개시 될 수 도 있 지만 , 본 실시 예 는 대 면적 의 글 로우 플 라즈 마 ( glow plasma ) 를 안정 적 으로 유지 하 여 세정 속도 와 에너지 효율 의 향상 을 꾀할 수 있 는 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 로 구현 하 고 있 다 . 이 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 는 도 3 및 도 4 에 예시 된 바 와 같이 , 접지 극 ( 310 ) 과 전원극 ( 320 ) , 유전체 ( 330 ) , 기판 이 송경 로 ( 340 ) , 방전 간극 ( 350 ) , 그리고 가스 유입 경로 ( 360 ) 로 구성 되 어 있 다 . 즉 , 접지 된 접지 극 ( 310 ) 과 고주파 전원 ( 370 ) 에 연결 된 전원극 ( 320 ) 의 사이 에 유전체 ( 330 ) 가 설치 되 고 , 이 유전체 ( 330 ) 와 접지 극 ( 310 ) 사이 에 기판 이 송경 로 ( 340 ) 가 오목 한 구조 의 좌우 밀폐 된 통로 로 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 기판 이 송경 로 ( 340 ) 의 일 측 또는 양측 에 는 기판 이 송경 로 ( 340 ) 보다 좁 은 간격 으로 유전체 ( 330 ) 와 이격 된 상태 로 방전 간극 ( 350 ) 이 형성 되 어 있 고 , 이 방전 간극 ( 350 ) 에 연통 되 도록 가스 유입 경로 ( 360 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 에 따라 , 플라 즈 마 형성 가스 가 가스 유입 경로 ( 360 ) 로부터 방전 간극 ( 350 ) 으로 공급 되 어 높 은 에너지 상태 의 글 로우 플 라즈 마 를 형성 한 상태 에서 , 기판 이 송경 로 ( 340 ) 를 통해 기판 ( S ) 이 공급 되 면 기판 ( S ) 의 세정 이 이루어지 게 된다 . 이러 한 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 에 대한 보다 상세 한 구성 에 대해서 는 뒤 에서 다시 설명 하 기 로 한다 .