또한 , 본 발명 은 피 처리 체 에 대해 소정 의 열 처리 를 실시 하 기 위한 처리 장치 에 있 어서 , 진공 배기 가능 하 게 이루어진 처리 용기 와 , 상기 처리 용 기내 에 배치 된 상기 특징 중 의 어느 하나 를 갖 는 탑재 대 구조 와 , 상기 처리 용 기내 에 가스 를 도입 하 는 가스 도입 수단 과 , 상기 처리 용 기내 에 마이크로파 를 도입 하 는 마이크로파 도입 수단 을 구비 한 것 을 특징 으로 하 는 피 처리 체 의 처리 장치 이 다 .