도 2 a 에 는 층간 절 연막 ( 20 a ) 에 비아 ( 12 ) 및 트렌치 ( 14 ) 로 이루어진 다마 신 패턴 내부 에 전기 화학 도금 법 을 이용 하 여 구리 도금 층 ( 18 ) 을 형성 한 상태 를 도시 하 였 다 . 층간 절 연막 ( 20 a ) 에 다 마신 패턴 을 형성 하 는 공정 과 , Ta 막 또는 Ta / TaN 이 중막 으로 된 장벽 금속 층 ( 16 ) 및 구리 시드 층 ( 미 도시 ) 을 형성 하 는 공정 은 종래 의 방법 과 유사 하 므로 여기 서 는 자세 한 설명 을 생략 하 기 로 한다 .