흐름 안내 장치 ( 10 ) 는 초순 수관 ( 11 ) 과 연결 된다 . 이산화 탄소 를 포함 하 지 않 는 미처리 초 순수 는 흐름 안내 장치 ( 10 ) 의 제 1 측 으로 도입 된다 . 이산화 탄소 를 포함 하 는 초 순수 는 흐름 안내 장치 ( 10 ) 의 제 2 측 으로 배출 된다 . 본 실시 예 에서 , 흐름 안내 장치 ( 10 ) 는 청정 ( clean ) 염화비닐 수지 로 만들 어 진다 . 바람직 하 게 는 흐름 안내 장치 ( 10 ) 는 변하 는 내경 을 갖 는다 . 이산화 탄소 의 주입 을 위한 개구부 ( 13 ) 는 흐름 안내 장치 ( 10 ) 의 측벽 의 임의 의 위치 에 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 압력 저항 소자 ( 15 ) 는 다공성 무기질 유리 로 만들 어 지 고 , 개구부 ( 13 ) 에 연결 된다 . 결과 적 으로 , 이산화 탄소 는 압력 저항 소자 ( 15 ) 및 개구부 ( 13 ) 를 통과 하 여 흐름 안내 장치 ( 10 ) 로 주입 된다 . 흐름 안내 장치 ( 10 ) 에서 는 , 개구부 ( 13 ) 를 통해 주입 된 이산화 탄소 가 흐름 안내 장치 ( 10 ) 의 제 1 측 을 통해 도입 된 미처리 초 순수 와 혼합 된다 .