적합 한 실시 예 로서 는 , 예 를 들 어 주파수 가 13 . 56 MHz 인 경우 , 1 파장 의 길이 는 약 22 미터 , 주파수 가 27 . 12 MHz 인 경우 , 1 파장 의 길이 는 약 11 미터 이 며 , 공진 코일 ( 212 ) 의 전기 적 길이 는 이 들 1 파장 의 길이 ( 1 배 ) 가 되 도록 마련 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 고주파 전력 의 주파수 를 27 . 12 MHz , 공진 코일 ( 212 ) 의 전기 적 길이 를 1 파장 의 길이 ( 약 11 미터 ) 로 설정 하 고 있 다 . 공진 코일 ( 212 ) 의 권회 피치 는 , 예 를 들 어 24 . 5 mm 간격 으로 등 간격 이 되 도록 마련 된다 . 또한 , 공진 코일 ( 212 ) 의 권 취 직경 ( 직경 ) 은 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 보다 도 커 지 도록 설정 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 을 300 mm 로 하 고 , 공진 코일 ( 212 ) 의 권 취 직경 은 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 보다 도 큰 500 mm 가 되 도록 마련 된다 .