상기 아졸 화합물 은 조성물 총 중량 에 대하 여 , 0 . 1 내지 6 . 0 중량 % 로 포함 되 고 , 바람직 하 게 는 0 . 4 내지 4 . 0 중량 % 로 포함 된다 . 상술 한 범위 미만 으로 포함 되 면 , 구리 배선 식각 속도 가 증가 하 여 어택 방지 효과 가 떨어지 게 된다 . 상술 한 범위 를 초과 하 여 포함 되 면 , 몰리브덴 계 금속 막 및 금속 산화 물막 의 식각 속도 가 감소 하 게 되 므로 공정 시간 손실 이 있 을 수 있 다 .