한편 , 본 발명 의 목적 을 달성 하 기 위한 케미컬 용액 의 파티클 모니터링 방법 은 드레 인 밸브 를 닫 고 , 제 어 밸브 를 개방 한 상태 로 상기 케미컬 용액 공급 부 로부터 케미컬 용액 을 공급 하 는 제 1 단계 , 상기 파티클 감 시기 로부터 측정 된 측정값 과 기 설정 된 기준 값 을 비교 하 는 제 2 단계 , 상기 측정값 이 기준 값 을 초과 하 는 경우 드레 인 밸브 를 개방 하 고 제어 밸브 를 닫 으며 노즐 을 홈 포지션 으로 이동 시키 는 제 3 단계 , 상기 드레 인 밸브 를 통해 소정 시간 케미컬 용액 을 드레 인 시키 는 제 4 단계 , 상기 소정 시간 이후 상기 드레 인 밸브 를 닫 고 상기 제어 밸브 를 개방 하 는 제 5 단계 , 상기 노즐 을 홈 포지션 에 유지 시키 는 제 6 단계 , 상기 노즐 을 통해 소정 시간 동안 상기 케미컬 용액 을 드레 인 시키 는 제 7 단계 및 상기 제 7 단계 가 수행 되 는 동안 상기 파티클 감 시기 의 측정값 이 기준 값 이하 로 유지 되 는 경우 상기 노즐 을 작동 포지션 으로 이동 시켜 공정 을 수행 하 는 제 8 단계 를 포함 하 되 , 상기 제 7 단계 또는 상기 제 8 단계 에서 상기 파티클 감 시기 의 측정값 이 기준 값 을 초과 하 는 경우 다시 제 1 단계 부터 다음 단계 를 순차 적 으로 수행 하 도록 구성 될 수 있 다 .