본 발명 의 특징 은 , 기판 을 처리 하 는 순서 가 기재 된 복수 의 레시피 를 포함 하 는 여러 가지 파일 에 대해서 , 상기 복수 의 레시피 에 대응 하 는 조작 권한 을 설정 하 는 권한 설정 화면 을 포함 하 는 기판 처리 장치 로서 , 상기 권한 설정 화면 은 , 상기 기판 처리 장치 의 가동 상태 가 온라인 시 또는 오프라인 시 각각 의 경우 에 있 어서 , 상기 조작 권한 을 설정 할 수 있 도록 구성 되 어 있 는 기판 처리 장치 에 있 다 .