주행 레일 ( 100 ) 은 천정 에 설치 될 수 있 다 . 주행 레일 ( 100 ) 은 반도체 제조 라인 의 천정 에 설치 될 수 있 다 . 주행 레일 ( 100 ) 의 형상 은 다양 하 게 변형 될 수 있 다 . 주행 레일 ( 100 ) 은 이하 에서 설명 하 는 구동 유닛 ( 300 ) 이 이동하 는 이동 경로 를 제공 할 수 있 다 . 주행 레일 ( 100 ) 은 공지 된 주행 레일 로 다양 하 게 변형 될 수 있 다 .