본 실시 형태 에 따른 연마 액 은 , 슬러리 ( slurry ) ( 제 1 액 ) 와 첨 가액 ( 제 2 액 ) 을 혼합 하 여 상기 연마 액 이 되 도록 상기 연마 액 의 구성 성분 을 슬러리 와 첨 가액 으로 나눈 복수 액 식 ( 예 를 들 면 , 2 액 식 ) 의 연마 액 세트 로서 보존 해도 된다 . 예 를 들 면 , 본 실시 형태 에 따른 연마 액 은 , 적어도 연마 입자 를 포함 하 는 슬러리 , 및 적어도 폴리 카르복시산 계 폴리머 를 포함 하 는 첨 가액 의 2 액 으로 나눌 수 도 있 다 . 이 로써 , 폴리 카르복시산 계 폴리머 를 대량 으로 첨가 했 을 때 생기 는 연마 입자 의 안정 성 의 문제 를 쉽 게 회피 할 수 있 다 . 슬러리 는 , 예 를 들 면 , 연마 입자 와 , 물 을 적어도 포함 한다 . 첨 가액 은 , 예 를 들 면 , 폴리 카르복시산 계 폴리머 와 , 산화제 와 , 산화 금속 용해제 와 , 물 을 적어도 포함 한다 . 2 액 으로 나누 는 경우 , 슬러리 측 에 폴리 카르복시산 계 폴리머 가 포함 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 에 , 슬러리 중 의 폴리 카르복시산 계 폴리머 의 함유량 은 , 연마 입자 의 분산 성 을 손상 시키 지 않 는 범위 로 할 수 있 다 . 연마 액 세트 에 있 어서 는 , 연마 직전 또는 연마 시 에 , 슬러리 및 첨 가액 이 혼합 되 어 연마 액 이 제작 된다 . 복수 액 식 의 연마 액 세트 는 , 물 의 함유량 을 감한 슬러리 용 저장액 및 첨 가액 용 저장액 으로서 보존 되 고 , 또한 연마 시 에 물 로 희석 하 여 사용 되 어도 된다 .