이것 에 의하 면 , 소정 평면 내 에서 제 1 방향 에 관하 여 노광 위치 와 떨어져 배치 되 는 , 계측 빔 이 조사 되 는 계측 위치 에서 , 이 동체 상 의 물체 의 위치 정보 를 계측 하 고 , 인코더 시스템 에 의해 소정 평면 내 의 3 자유 도 방향 에 관한 이 동체 의 위치 정보 를 계측 한다 . 그리고 , 계측 된 위치 정보 와 인코더 시스템 의 계측 정보 에 기초 하 여 이 동체 를 구동 하 고 , 물체 를 에너지 빔 으로 노광 한다 . 따라서 , 물체 를 고정 밀도 로 노광 할 수 있 게 된다 .