또한 , 열분해 탄소 의 파티클 을 생성 하 여 기공 ( 4 ) 을 형성 하 는 열분해 탄소 층 ( 3 ) 과 , 열분해 탄소 의 파티클 을 생성 하 지 않 고 기공 ( 4 ) 을 형성 하 지 않 는 열분해 탄소 층 ( 3 ) 을 연속 해서 성막 하 기 때문 에 , 층간 의 박리 가 생기 기 어려운 열분해 탄소 층 ( 3 ) 을 형성 할 수 있 다 . 또한 , 파티클 과 기공 ( 4 ) 을 동시 에 형성 한 후 의 열분해 탄소 층 ( 3 ) 은 , 파티클 이 생기 지 않 도록 , CVD 로 내 의 압력 이나 온도 를 바꾸 지 않 고 일정 한 조건 하 에서 성막 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 파티클 이 발생 하 지 않 도록 하 여 성막 하 고 , 소정 의 두께 의 열분해 탄소 층 ( 3 ) 을 형성 시켜 , 원 하 는 탄소 복합 부재 ( 1 ) 를 얻 는다 .