이어서 , 전술 한 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 각각 을 통해 제 1 가스 ( G 1 ) 와 활성 화 된 제 2 가스 ( PG 2 ) 를 공간 적 으로 분리 하 여 각 분 할 공간 ( DS 1 , DS 2 , DS 3 , DS 4 ) 에 하향 분사 한다 . 이때 , 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 은 , 도 4 b , 도 5 a , 도 5 b 및 도 5 c 중 어느 하나 에 도시 된 파형 도 에 따라 동작 하 거나 , 도 9 에 도시 된 제어 모드 1 내지 6 중 어느 하나 의 제어 모드 에 따라 동작 할 수 있 다 .