지금 까지 설명 한 박막 증착 장치 는 원자 층 증착 장치 의 관점 에서 설명 하 였으나 이 뿐 만 아니 라 화학 기상 증착 장치 등 에 도 적용 될 수 있 음 은 물론 이 고 , 다양 한 관점 에서 파악 될 수 있 는 본 발명 의 기술 사상 또는 본 발명 에 대한 최소한 의 기술 로서 이해 되 어야 하 고 , 본 발명 을 제한 하 는 경계 로서 이해 되 어서 는 아니 된다 .