플라 즈 마 챔버 는 , 반도체 디바이스 들 , 디스플레이 , 또는 태양 전지 들 과 같 은 전자 디바이스 들 을 워크 피스 상 에 제조 하 기 위한 플 라즈 마 프로세스 단계 로 워크 피스 ( 10 ) 를 처리 하 도록 의도 된다 . 워크 피스 는 , 척 ( chuck ) 또는 서 셉 터로 도 불리 는 워크 피스 지지 부 ( 11 ) 에 의하 여 챔버 내 에서 지지 된다 . 플 라즈 마 챔버 내 에서 프로세싱 될 워크 피스 ( 10 ) 의 예 들 은 평판 디스플레이 들 이 제조 되 는 직사각 형 유리 기판 또는 집 적 회로 들 이 제조 되 는 원형 반도체 웨이퍼 를 포함 한다