상술 된 바 와 같이 이러 한 연마 장치 에서 , 연마 헤드 ( 30 ) 가 기울임 기구 에 의해 기울어지 면 , 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 및 테이프 보유 롤러 ( 42 b ) 에 의해 보유 되 는 연마 테이프 ( 23 ) 의 부분 도 역시 기울어진다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 와 접촉 하 는 연마 테이프 ( 23 ) 의 부분 은 연마 헤드 ( 30 ) 의 기울임 동작 중 연마 헤드 ( 30 ) 에 대해 위치 를 변경 하 지 않 으며 , 동시 에 위치 가 고정 된 공급 릴 ( 24 ) 과 회수 릴 ( 25 ) 이 연마 테이프 ( 23 ) 를 권 취 또는 공급 한다 . 유사 하 게 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 반경 방향 으로 이동 기구 에 의해 이동 될 때 , 테이프 송출 롤러 ( 42 a ) 및 테이프 보유 롤러 ( 42 b ) 에 의해 보유 된 연마 테이프 ( 23 ) 도 함께 이동 된다 . 그 결과 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 가 이동 할 때 , 공급 릴 ( 24 ) 과 회수 릴 ( 25 ) 은 연마 테이프 ( 23 ) 를 권 취 또는 공급 하 기 만 한다 .