본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 암모니아 가스 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 약 0 . 5 ∼ 1 . 5 slm 정도 의 유량 으로 약 5 ∼ 20 분 동안 산화 막 ( 385 ) 상 으로 공급 될 수 있 다 . 본 발명 의 다른 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 2 반응 가스 는 일산화이질소 가스 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 2 반응 가스 는 일산화질소 가스 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 또 다른 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 일산화질소 가스 , 일산화이질소 가스 , 질소 가스 또는 암모니아 가스 가운데 두 가지 이상 의 가스 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 2 반응 가스 는 일산화질소 가스 및 질소 가스 를 포함 하 거나 , 일산화질소 가스 및 암모니아 가스 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 제 2 반응 가스 는 일산화질소 가스 , 질소 가스 및 일산화이질소 가스 를 모두 포함 할 수 있 다 . 상기 제 2 반응 가스 가 일산화질소 가스 및 질소 가스 를 포함 할 경우 , 상기 일산화질소 가스 및 질소 가스 는 각기 약 0 . 3 ∼ 1 . 0 slm 정도 의 유량 및 약 0 . 5 slm ∼ 4 . 0 slm 정도 의 유량 으로 상기 대 상체 ( 380 ) 상 으로 공급 될 수 있 다 . 즉 , 상기 질소 가스 및 일산화질소 가스 사이 의 유량 비 는 약 1 . 0 : 0 . 5 ∼ 13 . 5 정도 가 될 수 있 다 .