한편 , 상기 결함 검사 는 상기 검사 영역 ( 15 ) 으로부터 셀 이미지 들 을 순차 적 으로 모두 획득 한 후 연산 유닛 ( 163 ) 에 의해 수행 될 수 있 다 . 이 와 는 다르 게 , 상기 검사 영역 으로부터 이미지 를 획득 하 는 과정 과 결함 을 검사 하 는 과정 을 병행 하 여 수행 할 수 도 있 다 . 여기 서 , 상기 획득 된 셀 이미지 들 은 연산 유닛 ( 163 ) 에 포함 된 버퍼 메모리 ( 미 도시 ) 에 저장 될 수 있 으며 , 상기 결함 검사 결과 는 상기 연산 유닛 ( 163 ) 의 데이터 저장 유닛 ( 미 도시 ) 에 저장 될 수 있 다 .