도 1 에 나타내 는 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 는 보트 로서 의 기능 , 즉 웨이퍼 ( 50 ) 를 지지 하 기 위한 슬릿 ( 16 ) 을 구비 한 한쪽 주면 ( 主 面 ) 을 기능 면 ( 12 ) 으로 하 고 있 다 . 도 1 중 에 동그라미 로 둘러싸 서 부분 확대 한 이미 지도 를 나타내 는 바 와 같이 , 실시 형태 와 관련 되 는 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 의 기능 면 ( 12 ) 에 는 , 기계 가공 에서 는 얻 기 어려운 미소 돌기 ( 12 b ) 가 복수 마련 되 어 있 다 . 기능 면 ( 12 ) 에 이러 한 미소 돌기 ( 12 b ) 를 구비 함 으로써 , 지지 소재 ( 예 를 들 면 , 웨이퍼 ( 50 ) ) 와 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 와 의 접촉 면적 을 작 게 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 가열 이나 냉각 처리 를 할 때 , 웨이퍼 ( 50 ) 가 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 에 붙 어 버리 는 등 의 사태 를 일으킬 수 없 다 . 또한 , 기체 분위기 중 에 노출 되 는 부분 과 접촉 부분 에서 의 온도 차 발생 을 억제 할 수 있 다 .