마스터 레이저 헤드 ( 30 ) 및 슬레이브 레이저 헤드 ( 40 ) 로 진입 된 각 레이저 빔 은 각각 갈바 노 스캐너 ( 31 , 41 ) 에 의해서 광 의 방향 이 제어 된 후 스캔 렌즈 ( f - 쎄 타 렌즈 ) ( 35 , 45 ) 를 거쳐서 PCB 기판 ( 50 ) 에 비 아홀 을 형성 한다 . 갈바 노 스캐너 ( 31 , 41 ) 는 x 미러 ( 32 , 42 ) 및 y 미러 ( 33 , 43 ) 로 구성 되 어 있 으며 , 각 미러 는 제 어부 ( 70 ) 에 의해 그 각도 ( 즉 , 위치 ) 가 조절 된다 . 참조 번호 60 은 XY - 테이블 로서 기판 ( 50 ) 을 평면 상 에서 이동 시키 는 장치 다 .