제어 장치 ( 6 ) 는 , 금속 막 성막 장치 ( 200 ) 의 각 부 의 동작 을 제어 한다 . 제 어 장치 ( 6 ) 는 , CPU ( Central Processing Unit ) , ROM ( Read Only Memory ) 및 RAM ( Random Access Memory ) 을 갖 는다 . CPU 는 , RAM 등 의 기억 영역 에 저장 된 레시피 에 따라 , 원 하 는 처리 를 실행 한다 . 레시피 에 는 , 프로세스 조건 에 대한 장치 의 제어 정보 가 설정 되 어 있 다 . 제 어 정보 는 , 예 를 들 어 가스 유량 , 압력 , 온도 , 프로세스 시간 이 면 된다 . 또한 , 레시피 및 제 어 장치 ( 6 ) 가 사용 하 는 프로그램 은 , 예 를 들 어 하드 디스크 , 반도체 메모리 에 기억 되 어도 된다 . 또한 , 레시피 등 은 , CD - ROM , DVD 등 의 가반 성 의 컴퓨터 에 의해 판독 가능 한 기억 매체 에 수용 된 상태 에서 미리 결정 된 위치 에 세트 되 어 , 판독 되 도록 해도 된다 .