이 중 , 완전 차 광부 ( 21 ) 는 , 투명 기판 상 에 , 적어도 차광막 이 형성 되 어 이루어진다 . 차광막 의 광학 농도 OD ( Optical Density ) 는 2 이상 , 보다 바람직 하 게 는 3 이상 이 다 . 완전 차 광부 ( 21 ) 는 , 차광막 과 다른 막 이 적층 되 어 있 어도 된다 . 예 를 들 어 , 차광막 의 하층 측 또는 상층 측 에 , 림 형성 막 ( 후 술 ) 이 적층 되 어 있 어도 된다 . 바람직 하 게 는 , 림 형성 막 과 차광막 이 이 순서 대로 적층 되 어 있 다 .