이러 한 반도체 사진 공정 을 수행 하 는 반도체 제조 설비 는 도포 공정 및 현상 공정 이 진행 되 는 스피너 ( Spinner ) 설비 와 , 도포 공정 을 마친 웨이퍼 상 에 패턴 을 전사 하 는 노광 공정 이 진행 되 는 스캐너 ( Scanner ) 설비 와 , 그리고 스피너 설비 와 스캐너 설비 의 사이 에 배치 되 어 스피너 설비 와 스캐너 설비 간 에 웨이퍼 를 이송 하 는 인터페이스 부를 포함 한다 .