챔버 측벽 ( 14 ) 의 한쪽 측면 은 워크 피스 가 프로세싱 이전 에 챔버 내 로 전달 되 고 , 워크 피스 를 프로세싱 한 이후 에 챔버 로부터 제거 될 수 있 는 워크 피스 통로 ( 12 ) 를 포함 한다 . 도어 ( 13 ) , 통상 적 으로 슬릿 밸브 는 워크 피스 의 진입 ( ingress ) 및 배출 ( egress ) 동안 에 개방 되 고 , 워크 피스 의 플 라즈 마 프로세싱 동안 에 플 라즈 마 챔버 내 에 진공 밀봉 부 ( seal ) 를 제공 하 기 위하 여 폐쇄 된다 .