본 발명 은 통상 적 인 방법 으로 제조 된 포토 마스크 상부 에 순차 적 으로 투명 전도성 층 , 밀착력 향상 층 , 방오 기능성 층 을 형성 하 여 접촉 식 또는 근접 식 포토 리소그래피 공정 에서 반복 적 인 탈 부착 에 의해 발생 하 는 정전기 전하 를 효과 적 으로 분산 시키 고 , 포토레지스트 및 부유 성 이물 의 흡착 을 방지 할 뿐 만 아니 라 이러 한 기능 성 코팅 의 수명 을 향상 시킴 으로써 접촉 식 또는 근접 식 포토 리소그래피 공정 에서 발생 하 는 다양 한 문제 를 한 번 에 해결 할 수 있 는 다기능 성 투명 포토 마스크 에 대한 발명 에 관한 것 이 다 .