일부 실시 예 에서 , 높이 오프셋 보상 된 가치 값 을 계산 하 는 단계 는 , 간섭계 신호 의 주파수 영역 표현 또는 모델 신호 의 주파수 영역 표현 을 , 식별 된 표면 높이 오프셋 에 대응 하 는 경사 ( slope ) 를 가진 선형 위상 항 ( linear phase term ) 으로 보상 ( compensate ) 하 는 보상 단계 와 , 위상 보상 에 이어서 , 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 유사 성 을 정량화 ( quantify ) 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .