한편 , 텅스텐 막 ( 28 ) 성 장전 에 텅스텐 막 ( 28 ) 과 폴리 실리콘 막 ( 23 ) 사이 의 확산 방지 막 역할 을 하 는 텅스텐 질화 막 ( 27 ) 을 미리 형성 할 수 도 있 다 . 이때 , 텅스텐 질화 막 ( 27 ) 도 선택 적 텅스텐 막 성장 공정 을 통해 형성 하 는데 , 텅스텐 소스 가스 와 질소 함유 가스 를 동시 에 흘려 주 므로써 성장 시킨다 . 텅스텐 질화 막 ( 27 ) 을 성장 후 에 는 텅스텐 소스 가스 만 흘려 주 어 텅스텐 막 ( 28 ) 을 성장 시킨다 . 예 를 들 어 , 질소 함유 가스 는 N 2 가스 를 사용 한다 .