또한 , 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 의 하단 부 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 중심 측 으로 연장 되 도록 형성 되 어 , 당해 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 에 접합 된다 . 구체 적 으로 는 , 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 는 , 동체 부 ( 71 ) 의 하단 으로부터 처리 용기 ( 10 ) 의 중심 측 으로 연장 되 도록 형성 된 고정부 ( 72 ) 를 갖 는다 . 그리고 , 고정부 ( 72 ) 와 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 이 나사 결합 등 에 의해 접합 됨 으로써 , 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 는 처리 용기 ( 10 ) 내 에서 고정 된다 .