여기 서 는 , 공정 I 에 의해 얻 어 진 Al －( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 ( 제 1 층 ) 을 역 스 패 터 한다 . 본 발명 에 있 어서 역 스 패 터 라 함 은 , 통상 의 스 패 터 증착 에 있 어서 의 타깃 측 전극 및 기판 측 전극 에 인가 하 는 전압 을 반대 로 하 여 , 이온 화 된 불활성 가스 ( 예 를 들 어 , Ar 이온 ) 를 , 타깃 에 충돌 시키 는 것 이 아니 라 , 기판 상의 Al －( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 에 충돌 시키 는 것 을 의미 한다 . 이 와 같 은 역 스 패터에 의해 Al －( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 상 에 형성 된 Al 산화물 층 이 제거 되 어 , 청정 한 Al － Ni － La 합금 층 이 형성 된다 . 그리고 , 청정 한 Al － Ni － La 합금 층 상 에 투명 화소 전극 을 스 패 터 증착 에 의해 성막 함 으로써 , Al 산화물 층 ( 제 2 층 ) 중 의 산소량 을 저하 시킬 수 있 다 . 이 에 의해 , 계면 에서 의 Al 과 O ( 산소 ) 의 상호 확산 을 방지 할 수 있 는 것 외 에 , 합금 층 표면 의 오염 도 제거 할 수 있 다 .