첨부 된 도 1 및 도 2 는 본 발명 에 따른 패드 컨디 셔 너 용 에러 검출 장치 를 나타내 는 개략 블럭 도 및 개략 사시도 이 고 , 도 3 은 에러 검출 장치 의 각종 센서 부가 패드 컨디 셔 너 에 설치 된 상태 를 나타내 는 개략 도 이 고 , 도 4 는 본 발명 에 따른 패드 컨디 셔 너 가 클린 컵 으로 다운 된 상태 를 나타낸 개략 도 이 다 .