일본 특허 공개 공보 특개평 제 2006 - 222295 호 에 는 초미세 배선 패턴 이 형성 되 는 초미세 배선 기판 의 제조 방법 으로서 , 기판 상 에 형성 된 감광성 수지 에 레이 저광 을 조사 하 고 간섭 노광 을 행하 여 현상 한 후 홈 부 바닥 에 도전 성 재료 를 포함 하 는 용액 을 유입 하 고 소결 하 여 초미세 배선 을 형성 하 는 방법 에 대하 여 공지 되 어 있 다 .