또한 , 반사 플레이트 ( 25 B ) 의 반사면 의 X 스케일 ( SX 1 ) 의 + X 측 에 인접 하 여 , Y 스케일 ( SY 1 ) 이 형성 된다 . Y 스케일 ( SY 1 ) 은 , Y 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 는 좁 은 직사각 형 형상 의 주 영역 과 , 그 주 영역 의 ± Y 측 의 양단 으로부터 + X 방향 으로 연장 되 는 직사각 형 형상 의 영역 으로 이루어지 는 한 쌍 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 을 갖 는다 . Y 스케일 ( SY 1 ) 은 , X 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 는 격자 선 이 Y 축 방향 으로 소정 의 피치 ( 예 를 들 어 , 1 μ m ) 로 배열 된 회절 격자 로 구성 된다 .