우선 , 대기 측 게이트 밸브 ( AG 1 ) 및 진공 측 게이트 밸브 ( VG ) 에 의해 상측 내부 공간 ( 11 U ) 이 밀폐 되 고 , 또한 진공 밸브 ( 50 U ) 를 닫힌 상태 로 한다 . 이 상태 에서 , 가스 공급 부 ( 13 c ) 에서 벤트 필터 ( 13 b ) 를 통해 상측 내부 공간 ( 11 U ) 으로 벤트 가스 가 공급 되 고 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 압력 이 대기압 과 대략 동일 하 게 제어 된다 . 그 후 , 진공 측 게이트 밸브 ( VG 1 ) 가 닫힌 상태 에서 , 대기 측 게이트 밸브 ( AG 1 ) 가 열린다 .