따라서 , 본 발명 은 상기 와 같 은 종래 기술 의 문제점 을 개선 시키 고자 안출 한 것 으로 , 외기 공 조기 ( 챔버 ) 에 삽입 하 기 위해 필요 한 송풍 팬 의 저 동력화 를 도모 하 기 위해 , 상기 걸 름판을 수평 또는 수직 으로 교호 하 여 경사지 게 적층 배열 한 엘리미 네 이터 구조 를 안출 하 여 , 엘리미 네 이터 의 조립 시 필요 한 절차 를 간소 화 시켜 비용 을 절약 하 는 효과 와 설치 완료시 걸 름판의 깊이 축소 를 통한 가스 및 불순물 충돌 제거 는 물론 이 고 , 가스 의 유동 성 을 획기적으로 개선 하 여 송풍 팬 의 소비 전력 을 대폭 적 으로 저감 할 수 있 음 과 동시 에 , 일 방향 으로 직선형 으로 경사진 가스 유동 채널 을 내부 에 갖 는 엘리미 네 이터 를 채용 함 으로써 , 자연 스럽 게 수 비산 방지 도 도모 할 수 있 는 엘리미 네 이터 및 이 를 채용 한 가스 불순물 제거 장치 를 제공 함 에 주된 목적 이 있 는 것 이 다 .