도 3 에 있 어서 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 의 각각 의 2 개 의 핸드 ( 21 ) 및 진퇴 구동 부 ( 23 ) 를 방해 가 되 지 않 는 위치 로 상승 시킨다 . 이것 에 의하 여 , 조작자 는 , ID 블록 ( 2 ) 의 외벽 ( 97 ) ( 도 4 참조 ) 을 제거 한 후 에 , ID 블록 ( 2 ) 내 에 들어가 , 각 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 의 지주 부 ( 25 A ) 의 옆 으로부터 ID 블록 ( 2 ) 의 중앙 에 배치 된 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 에 접근 할 수 있 다 .