반도체 검사 장치 ( 10 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 시키 는 웨이퍼 척 ( 20 ) 과 , 웨이퍼 척 ( 20 ) 의 상부 측 으로 위치 하 는 프로브 카드 보드 ( 40 ) 와 , 프로브 카드 보드 ( 40 ) 의 상측 으로 설치 되 는 퍼포먼스 보드 ( 50 ) 와 , 구동 수단 ( 70 ) 으로 승 , 하강 가능 하 게 설치 됨 과 아울러 그 하면 에 포고 블록 ( 62 ) 이 설치 된 테스트 헤드 ( 60 ) 로 구성 된다 .