제 3 배리어 패턴 ( BR 3 ) 및 제 4 배리어 패턴 ( BR 4 ) 은 제 1 배리어 패턴 ( BR 1 ) 과 동일 한 공정 을 통해 형성 될 수 있 다 . 즉 , 제 3 배리어 패턴 ( BR 3 ) 및 제 4 배리어 패턴 ( BR 4 ) 은 제 1 배리어 패턴 ( BR 1 ) 과 동일 한 물질 로 구성 될 수 있 다 . 제 3 배리어 패턴 ( BR 3 ) 및 제 4 배리어 패턴 ( BR 4 ) 은 갈륨 ( Ga ) 산화물 , 및 아연 ( Zn ) 산화물 로 구성 될 수 있 다 .