반면 , 마이크로파 유도가열 은 더 높 은 주파수 ( 예 , 300 MHz 내지 300 GHz ) 를 사용 하 기 때문 에 , 전류 가 흐르 는 코일 대신 에 유전체 공진기 를 이용 하 여 유도가열 에 필요 한 자기장 을 형성 시킬 수 있 다 . 보통 가열 용 으로 사용 하 는 2 . 45 GHz 의 마이크로파 에 의해 금속 에 유도 되 는 전류 의 침투 깊이 는 약 1 μ m ( 마이크로미터 ) 수준 이 기 때문 에 나노미터 수준 의 두께 를 가지 는 박막 을 선택 적 으로 가열 할 수 있 다 . 전기 로부터 마이크로파 를 만들 어서 열 을 발생 시킬 수 있 는 에너지 전환 효율 은 70 % 에 이를 뿐 만 아니 라 , 고온 이 필요 한 나노 박막 만 을 선택 적 으로 가열 할 수 있 기 때문 에 에너지 효율 성 아주 뛰어나 다 .