상기 챔버 내 로 반입 된 기판 이 성막 대상 기판 인 경우 에 는 , 상기 제 2 공정 과 제 3 공정 의 사이 에 , 상기 성막 원 에 의해 상기 성막 대상 기판 에 성막 을 행하 는 제 4 공정 을 포함 하 고 , 상기 챔버 내 로 반입 된 기판 이 클리닝 용 기판 인 경우 에 는 , 상기 제 2 공정 후 에 성막 을 행하 지 않 고 제 3 공정 으로 이행 하 는 것 을 특징 으로 한다 .