계속 해서 , 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 11 , G 12 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 201 ) 를 제어 하 여 , 처리 장치 ( 101 ) 에서 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 처리 장치 ( 102 ) 에 반송 시킨다 . 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 11 , G 12 ) 를 닫 고 , 처리 장치 ( 102 ) 를 동작 시킴 으로써 , 처리 장치 ( 102 ) 에서 웨이퍼 ( W ) 상 에 Ru 막 을 형성 하 는 공정 S 12 를 행한다 .