그래서 , 본 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 에서 는 , 군 B 및 군 C 는 , CH 4 가스 등 의 탄화수소 가스 의 플 라즈 마 에 의해 , 군 B 및 군 C 의 메틸 화물 을 생성 함 으로써 제거 한다 . 제거 대상 의 잔사 성분 마다 사용 하 는 가스 를 교체 함 으로써 , 군 A , 군 B 및 군 C 의 원소 를 포함 하 는 혼합 막 을 효과 적 으로 제거 할 수 있 다 . 한편 , 제 1 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 에 의하 면 , 도 5 의 2 점 쇄선 으로 나타내 는 , O , F , Cl , Br , I , He , Ne , Ar , Kr , Xe 의 할로젠 이나 희가스 등 의 군 D 의 원소 도 잔사 와 함께 제거 할 수 있 다 .