이 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 코팅 장비 는 기판 ( 300 ) 에 포토 레지스 트 ( 500 ) 의 코팅 작업 을 하 기 전 에 프라이밍 롤러 부 ( 200 ) 의 쳐 짐 현상 을 발견 할 수 있 으므로 대부분 의 코팅 을 균일 하 게 할 수 있 다 . 코팅 을 한 후 에 나 코팅 된 기판 ( 300 ) 의 두께 측정 , 분광 측정 등 의 검사 과정 을 거쳐 코팅 의 불량 여부 를 판독 하 였 던 것 이 비하 여 , 코팅 불량 이 발생 할 수 있 는 여지 를 미리 차단 하 여 장비 의 가동 률 및 코팅 작업 의 수율 을 향상 시킬 수 있 는 것 이 다 .