구조물 의 물리 적 치수 가 저하 됨 에 따라 , 보다 정확 한 데이터 를 얻 기 위하 여 웨이퍼 의 많 은 비율 에 대해 실시간 S - D 처리 가 요구 될 수 있 다 . 또한 , 일부 웨이퍼 들 은 신규 S - D 프로세스 를 검증 하 고 및 / 또는 기존 의 S - D 프로세스 를 평가 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 신규 S - D 프로세스 가 개발 및 / 또는 검증 중 일 경우 , 프로세스 결과 가 변할 수 있 고 , 평가 또는 검증 프로시저 가 웨이퍼 의 더 많 은 비율 에 대해 수행 될 수 있 다 . 평가 또는 검증 프로시저 가 수행 될 경우 , S - D 프로시저 를 이용 할 수 있 다 .