도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 스테이지 장치 ( 31 ) 에 있 어서 는 , 베이스 프레임 ( 2 ) 은 분할 면 ( 22 ) 뿐 만 아니 라 , X 축 방향 과 직교 하 는 분 할 면 ( 32 ) 에 의하 여서도 분할 된다 . 이 분 할 면 ( 32 ) 은 , 중 공재 ( 2 d ) 와 중 공재 ( 2 b ) 및 중 공재 ( 2 a ) 의 경계선 에 맞추 어 형성 된다 . 이 에 의하 여 , 스테이지 장치 ( 31 ) 는 , 본 체부 ( 31 a ) 와 , 제 2 실시 예 와 같 은 분 할 부 ( 3 lb ) 와 , 갠트리 부 ( 9 ) 를 가지 는 분 할 부 ( 31 c ) 로 분할 가능 하 게 구성 되 는 것 이 된다 . 다만 , 도시 하 지 않 았 지만 , 베이스 프레임 ( 2 ) 의 중 공재 ( 2 c ) 측 의 단부 에 있 어서 도 마찬가지 로 분할 가능 하 게 구성 된다 . 이 에 의하 여 , 제 2 실시 예의 본 체부 ( 21 a ) 를 더욱 분할 할 수 있 다 .