또한 , 레이저 어닐링 공정 시 고려 되 어야 할 중요 한 파라미터 로 는 파장 ( wavelength ) , 평균 출력 ( average power ) , PRF ( pulse repetition frequency ) , 펄스폭 ( pulse width ) 등 이 있 다 . 이 중 에서 펄스폭 은 레이저 의 피크 출력 을 결정짓 는 요소 로서 , 레이저 의 한 펄스 가 얼마나 오랫동안 지속 되 는 가 를 나타내 는 값 이 다 . 특히 , 레이저 어닐링 공정 에서 펄스폭 은 실리콘 의 결정 화 정도 를 좌우 하 는 요소 로 매우 중요 한 파라미터 이 다 . 즉 , 레이저 의 펄스폭 이 적합 하 지 않 은 경우 에 어닐링 공정 에서 효율 적 으로 다결정 실리콘 박막 을 형성 하 지 못하 여 전자 이동도 ( electron mobility ) 및 리 프레시 속도 ( refresh rate ) 향상 등 이 떨어지 게 된다 . 따라서 , 테스트 타입 , 공정 타입 또는 샘플 타입 등 에 따라 펄스폭 의 가변 필요 성 이 제기 된다 .