시점 t 20 에서 에러 가 검출 되 면 , 펌프 ( 30 ) 의 회전수 가 한 쪽 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 에 만 처리 액 을 흘리 는데 적합 한 중회 전 ( RS ) 까지 저하 되 고 , 개폐 밸브 ( 26 A ) 가 폐쇄 된다 . 이 에 의해 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 는 처리 액 이 유입 되 지 않 게 되 어 , 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 만 처리 액 이 흐르 게 된다 . 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 을 흐르 는 처리 액 의 유량 은 , 시점 t 20 의 전후 로 실질 적 으로 변화 하 지 않 는다 . 따라서 , 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 접속 된 모든 액 처 리부 ( 60 ) 에서 는 계속 해서 액 처리 를 행할 수 있 다 .