본 발명 은 비 - 파괴 기법 에 의해 비아 - 홀 의 횡단면 프로파일 , 깊이 , 폭 , 기울기 , 언더컷 , 및 그 밖 의 다른 파라미터 들 중 하나 이상 을 획득 하 기 위한 새로운 시스템 및 방법 을 제공 한다 . 광학 시스템 은 , 하나 이상 의 광선 을 생성 하 여 이 를 하나 이상 의 비아 - 홀 을 포함 하 고 있 는 구조 의 영역 내 의 샘플 로 향하 도록 하 는 조명 시스템 을 포함 하 고 ; 조명 된 영역 에서 반사 되 는 빛 의 패턴 을 수집 하 도록 기능 하 고 구성 되 는 검출 시스템 을 포함 하 고 , 빛 패턴 은 상기 비아 - 홀 의 하나 이상 의 파라미터 를 나타내 며 ; 검출 시스템 에 연결 되 는 제어 시스템 을 포함 하 고 , 상기 제어 시스템 은 , 패턴 이 반사 된 비아 - 홀 을 설명 하 는 파라미터 들 의 세트 를 나타내 는 데이터 를 포함 하 는 미리 지정 된 이론 적 모델 을 저장 하 기 위한 메모리 유틸리티 와 , 검출 된 빛 패턴 을 나타내 는 상 데이터 를 수신 및 분석 하 고 상기 비아 - 홀 의 하나 이상 의 파라미터 를 결정 하 도록 기능 하 고 구성 되 는 데이터 처리 및 분석 유틸리티 를 포함 한다 .