개구 의 바닥 면 형상 이 정사각형 인 경우 에 는 , 개구 의 바닥 면 형상 이 직교 하 는 2 개 의 변 중 한쪽 이 Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 < 010 > 방향 과 평행 해 지 고 , 다른 쪽 이 Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 < 001 > 방향 과 평행 해 지 도록 개구 를 형성 하 였 다 . 개구 의 바닥 면 형상 이 직사각 형 인 경우 에 는 , 개구 의 바닥 면 형상 의 긴 변이 Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 < 010 > 방향 과 평행 해 지 고 , 짧 은 변이 Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 < 001 > 방향 과 평행 해 지 도록 개구 를 형성 하 였 다 . 피복 영역 의 평면 형상 은 주로 1 변이 300 ㎛ 인 정사각형 의 경우 에 대해서 실험 하 였 다 .