또 , 가공 장치 ( 1 ) 는 , 절삭 전후 의 피 가 공물 ( 200 ) 을 수용 하 는 도시 되 지 않 은 카세트 가 재치 되 고 또 한 카세트 를 Z 축 방향 으로 이동 시키 는 카세트 엘리베이터 ( 40 ) 와 , 절삭 후 의 피 가 공물 ( 200 ) 을 세정 하 는 세정 유닛 ( 50 ) 과 , 카세트 에 피 가 공물 ( 200 ) 을 넣 고 꺼 냄 과 함께 피 가 공물 ( 200 ) 을 카세트 , 척 테이블 ( 10 ) 및 세정 유닛 ( 50 ) 사이 에서 반송 하 는 도시 되 지 않 은 반송 유닛 을 구비 한다 .