일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 기준 방향 ( 301 ) 으로 똑바로 연장 된 스루홀 들 ( 117 ) 의 차 단부 ( shutoff ) 를 제공 하 는 홀 패턴 을 포함 하 도록 정의 되 며 이 에 의해 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 관통 하 는 이온 플로우 의 차단 이 가능 하 게 된다 . 도 4 b 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따라 , 내부 에 정의 된 홀 ( 405 ) 패턴 이 하부 에 있 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에 정의 된 모든 스루홀 들 ( 117 ) 을 관통 하 여 플로우 하 는 것 을 허용 하 도록 위치 결정 된 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 의 상 부도 를 나타낸다 . 도 4 c 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따라 , 내부 에 정의 된 홀 ( 405 ) 패턴 이 하부 에 있 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에 정의 된 경사진 스루홀 들 ( 117 ) 만 을 관통 하 여 플로우 하 는 것 을 허용 하 도록 위치 결정 된 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 의 상 부도 를 나타낸다 . 또한 , 다른 실시 형태 들 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 에서 의 복수 의 홀 패턴 들 ( 405 ) 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 관통 한 라디칼 / 중성 입자 플로우 의 상이 한 공간 적 패턴 들 을 제공 하 도록 정의 된다 .