이 에 대해 자세히 살펴보 면 , 상기 서브 마운트 기판 ( 100 ) 전체 에 확산 마스크 를 증착 하 고 , 확산 이 필요 한 영역 ( C 1 , C 2 ) 의 확산 마스크 를 패 터닝 하 여 제거 한 후 , 확산 공정 또는 이온 주입 공정 을 수행 하 여 상기 영역 ( C 1 , C 2 ) 에 상기 서브 마운트 기판 ( 100 ) 과 반대 극성 을 가지 는 불순물 을 주입 한다 .