한편 , 고주파 전원 ( 14 ) 및 직류 전원 ( 15 ) 을 동작 시킨다 . 그러면 , 고주파 전원 ( 14 ) 이 출력 하 는 고주파 전력 은 , 매칭 회로 ( 13 ) 및 직류 블로킹 콘덴서 ( Co ) 를 통과 하 여 케이블 ( 12 ) 에 공급 된다 . 또한 , 직류 전원 ( 15 ) 이 출력 하 는 직류 전력 은 , 고주파 블로킹 쵸 크 코일 ( Lo ) 을 통과 하 여 케이블 ( 12 ) 에 공급 된다 . 그리고 , 고주파 전력 및 직류 전력 은 케이블 ( 12 ) 을 통하 여 카본 브러시 ( 11 ) 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 카본 브러시 ( 11 ) 에 고주파 전력 및 직류 전력 이 공급 되 고 , 아울러 카본 브러시 ( 11 ) 에 접촉 되 어 있 는 급전 링 ( 7 t ) 에 고주파 전력 및 직류 전력 이 전달 된다 . 이 급전 링 ( 7 t ) 에 전달 된 고주파 전력 및 직류 전력 은 , 도전 성 회전축 체 ( 7 a ) 를 통하 여 기재 홀더 ( 6 a ) 에 전달 된다 . 이 에 의해 , 기재 홀더 ( 6 a ) 와 진공 챔버 ( 1 ) 사이 에 고주파 전력 및 직류 전력 이 공급 된다 .