이어서 , 상술 한 기판 처리 공정 에서 컨트롤러 ( 221 ) 가 행하 는 제어 처리 의 수순 에 대해서 , 구체 예 를 들 어 설명 한다 . 여기 에서 는 , 특히 플라스마 처리 공정 ( S 140 ) 에서 , 플라스마 생성 공간 ( 201 a ) 내 에 생성 된 플라스마 를 이용 해서 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 기판 처리 를 행할 때 의 제어 처리 를 , 구체 예 로서 든다 .