도 3 a 내지 도 3 d 는 본 발명 의 일 구 현예 에 따른 인터페이스 패드 의 도면 들 이 다 . 인터페이스 패드 ( 300 ) 는 원호 형 개구 들 ( 304 ) 을 한정 하 는 지지 공구 지지 면 ( 302 ) 을 포함 한다 . 인터페이스 패드 ( 300 ) 는 또한 연마 용품 지지 면 ( 306 ) 과 중앙 홀 ( 308 ) 을 포함 한다 . 지지 공구 지지 면 ( 302 ) 과 연마 용품 지지 면 ( 306 ) 사이 에 는 통로 보유 층 ( 314 ) 이 있 다 . 통로 보유 층 ( 314 ) 은 , 지지 공구 지지 면 ( 302 ) 에 의해 한정 된 원호 형 개구 들 ( 304 ) 및 연마 용품 지지 면 ( 306 ) 에 의해 한정 된 개구 들 ( 312 ) 과 유체 소통 을 이루 는 통로 들 ( 310 ) 을 포함 한다 .