또한 , 상기 세정액 배수 라인 ( 132 ) 을 통해 배출 된 세정액 은 필 터부 ( 136 ) 측 으 로 수집 된다 . 상기 필 터부 ( 136 ) 에서 는 상기 세정액 배수 라인 ( 132 ) 을 통해 배출 된 상기 세정액 을 정화 하 여 그 내부 에 포함 되 어 있 는 파티클 ( 134 ) 을 걸러 내 게 된다 . 그리고 , 상기 필 터부 ( 136 ) 를 통해 정화 된 세정액 은 펌프 부 ( 138 ) 를 통해 다시금 약액 조 ( 116 - 1 , 116 - 2 . .. 116 - n ) 내부 로 공급 된다 .