상기 과제 를 해결 하 는 본 발명 의 제 1 양태 는 , 노광 에 의해 산 을 발생 하 고 , 또한 , 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 레지스 트 조성물 로서 , 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 기재 성분 ( A ) 와 , 하 기 일반식 ( d 1 ) 로 나타내 는 화합물 ( D 1 ) 을 함유 하 는 것 을 특징 으로 하 는 레지스 트 조성물 이 다 .