또 , 본 발명 의 일 양태 는 , 상기 의 정전 척 부재 와 , 상기 재치 면 에 재치 된 상기 판상 시료 를 냉각 하 는 냉각 수단 을 구비 하 고 , 상기 재치 면 에 는 , 상기 판상 시료 를 지지 하 는 복수 의 돌기 부 가 마련 되 며 , 상기 냉각 수단 은 , 상기 복수 의 돌기 부 의 사이 에 전열 가스 를 공급 하 는 정전 척 장치 를 제공 한다 .