또한 , 상술 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 캐리어 재 치대 는 , 상기 인 덱 서 블록 , 상기 제 1 처리 블록 및 상기 제 2 처리 블록 중 적어도 어느 하나 의 상면 의 위 혹은 상방 에 배치 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , 인 덱 서 블록 의 측면 에 캐리어 재 치대 가 배치 되 어 있 으면 , 캐리어 재 치대 가 배치 된 만큼 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 가 커진다 . 이러 한 점 에서 , 본 발명 에 의하 면 , 캐리어 재 치대 가 , 인 덱 서 블록 , 제 1 처리 블록 및 제 2 처리 블록 중 적어도 어느 하나 와 , 평면 에서 보 았 을 때 에 겹친다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 의 증가 를 억제 할 수 있 다 .