이어서 , 증착 공정 을 진행 하 기 위해 , 승강 모듈 ( 70 ) 을 동작 시켜 서 셉 터 ( 30 ) 를 부상 시킨다 . 그러면 리프트 핀 ( 31 ) 은 자중 에 의해 하강 되 고 , 이 를 통해 유리 기판 ( G ) 은 서 셉 터 ( 30 ) 의 상면 에 밀착 되 어 로딩 된다 . 정해진 거리 만큼 서 셉 터 ( 30 ) 가 부상 하 면 승강 모듈 ( 70 ) 이 동작 이 정지 되 고 유리 기판 ( G ) 은 가스 분배 판 ( 42 ) 의 직하 방 에 위치 하 게 된다 .