이 들 측판 ( 11 , 12 ) 은 다수 의 지지 홈 ( 17 ) 이 형성 된 3 개 의 걸대 ( 15 , 16 ) 에 의해 일정 간격 을 두 고 고정 되 어 있 는데 본 실시 예의 경우 2 개 의 걸대 ( 15 ) 가 측판 의 하반부 에 설치 되 고 1 개 의 걸대 ( 16 ) 가 상반부 에 설치 되 어 있 다 . 따라서 본 실시 예의 캐리어 에 의하 면 다수 의 웨이퍼 ( 50 ) 가 상기 걸대 ( 15 , 16 ) 에 의해 3 점 지지 방식 으로 고정 된다 . 또한 , 본 실시 예 에서 는 상기 걸대 중 상반부 쪽 에 설치 되 는 걸대 ( 16 ) 를 탈 부착 이 가능 한 형태 로 설치 함 으로써 세정 할 웨이퍼 를 캐리어 에 고정 하 거나 세정 이 완료 된 웨이퍼 를 캐리어 로부터 쉽 게 꺼낼 수 있 게 하 였 다 .