본 제 2 실시 형태 의 노광 장치 ( 500 ) 에서 는 , 후술 하 는 노광 동작 시 등 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ')) 의 XY 평면 내 의 위치 ( θ z 방향 의 회전 을 포함 한다 ) 는 , 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 의 각각 에 대향 하 는 2 개 의 헤드 ( 165 , 164 ) 에 의해 구성 되 는 2 개 의 인코더 ( 170 A , 170 B ) 의 계측 값 과 , 각종 보정 정보 ( 이 보정 정보 는 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 에 의해 계측 되 는 , 인코더 의 비 계측 방향 에 관한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 정보 ( 경사 정보 를 포함 한다 ) 에 따른 각 인코더 의 스테이지 위치 기인 오 차 보정 정보 , 이동 스케일 의 특성 정보 ( 예 를 들 어 격자 면 의 평면도 ( 平面 度 ) 및 / 또는 격자 형성 오차 등 ) , 및 이동 스케일 의 아베 벗 어 남량 ( 아베 오차 보정 정보 ) 등 을 포함 한다 ) 에 기초 하 여 제어 된다 .