또한 상기 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Y 축 방향 위치 의 계측 에 사용 되 는 1 쌍 의 Y 스케일 ( 39 Y 1 , 39 Y 2 ) 과 , X 축 방향 위치 의 계측 에 사용 되 는 1 쌍 의 X 스케일 ( 39 X 1 , 39 X 2 ) 이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 에 형성 되 고 , 이것 에 대응 하 여 , 1 쌍 의 헤드 유닛 ( 62 A , 62 C ) 이 투영 광학계 ( PL ) 를 사이 에 두 고 X 축 방향 의 일 측 과 타 측 에 배치 되 고 , 2 개 의 헤드 유닛 ( 62 B , 62 D ) 이 투영 광학계 ( PL ) 를 사이 에 두 고 Y 축 방향 의 일 측 과 타 측 에 배치 되 는 경우 에 대하 여 예시 했 다 . 그러나 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , Y 축 방향 위치 의 계측 용 Y 스케일 ( 39 Y 1 , 39 Y 2 ) 및 X 축 방향 위치 의 계측 용 X 스케일 ( 39 X 1 , 39 X 2 ) 중 적어도 일방 이 1 쌍 이 아니 라 1 개 만 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 에 형성 되 어 있 어도 되 고 , 혹은 , 1 쌍 의 헤드 유닛 ( 62 A , 62 C ) 및 2 개 의 헤드 유닛 ( 62 B , 62 D ) 중 적어도 일방 이 1 개 만 형성 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 스케일 의 연장 방향 및 헤드 유닛 의 연장 방향 은 , 상기 실시 형태 의 X 축 방향 , Y 축 방향 과 같 은 직교 방향 에 한정 되 지 않 고 , 서로 교차 하 는 방향 이 면 된다 .