상술 한 바 와 같이 , 불소 플 라즈 마 를 이용 한 표면 처리 ( 111 ) 에 의해 오프닝 ( 103 ) 의 상부 코너 에서 제 1 라이너 층 ( 104 A ) 이 식각 될 수 있 다 . 아울러 , 오프닝 ( 103 ) 의 중간부 및 저면 에서 도 제 1 라이너 층 ( 104 A ) 이 식각 될 수 도 있 다 . 이 때 , 제 1 라이너 층 ( 104 A ) 의 식각 은 오프닝 ( 103 ) 의 상부 코너 에서 주로 발생 할 수 있 고 , 이 에 따라 오버행 형상 ( 104 M ) 이 제거 될 수 있 다 .