일부 실시 예 들 에 있 어서 , 박막 형성 부 ( 250 ) 의 유입 라인 ( 266 ) 에 는 기화기 ( vaporizer ) ( 258 ) 가 설치 될 수 있 다 . 상기 기화기 ( 258 ) 는 유체 전달 부 ( 210 ) 로부터 액체 상태 로 공급 되 는 유체 를 기화 시키 고 기화 된 원료 화합물 을 반응 챔버 ( 254 ) 내 로 공급 할 수 있 도록 한다 . 상기 기화기 ( 258 ) 의 내부 유체 를 기화 시키 기 위한 온도 는 약 - 10 ℃ 내지 약 200 ℃, 약 20 ℃ 내지 약 150 ℃, 약 50 ℃ 내지 약 120 ℃ 일 수 있 다 . 상기 기화기 ( 258 ) 에서 기화 된 원료 화합물 은 상기 유입 라인 ( 268 ) 을 통해 공급 되 는 캐리어 가스 와 함께 반응 챔버 ( 254 ) 내 로 공급 될 수 있 다 . 상기 기화기 ( 258 ) 를 통해 반응 챔버 ( 254 ) 로 공급 되 는 원료 화합물 의 유입 은 밸브 ( V 9 ) 에 의해 제어 될 수 있 다 .