한편 , 로드 락 ( 32 ) 에서 이송 챔버 ( 33 ) 로 기판 ( 1 ) 이 이송 되 면 , 이송 챔버 ( 33 ) 의 출입문 이 폐쇄 된 후 동시 에 로드 락 ( 32 ) 이 배기 되 어 대 기 상태 로 됨 과 동시 에 상기 로드 락 ( 32 ) 의 출입문 ( 37 ) 이 다시 개방 되 어 로보트 ( 40 ) 에 의해 다시 기판 ( 1 ) 이 공급 된다 . 또한 , 공정 챔버 ( 35 a , 35 b , 35 c ) 에서 공정 이 종료 된 기판 ( 1 ) 은 기판 공급 의 역순 , 즉 제 3 공정 챔버 ( 35 c ) 에서 이송 챔버 ( 33 ) 로 이송 된 후 다시 진공 상태 ( 32 ) 의 로드 락 ( 32 ) 에 이송 된다 . 로드 락 ( 32 ) 은 공정 이 종료 된 기판 ( 1 ) 이 위치 하 면 배기 되 어 대 기 상태 가 되 며 , 출입문 ( 37 ) 이 개방 된 후 로보트 ( 40 ) 에 의해 로드 락 ( 32 ) 에 위치 한 기판 ( 1 ) 이 취 출 된 후 다음 의 공정 으로 이송 되 는 것 이 다 .