도 4 를 참고 하 여 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 로부터 공정 챔버 ( 10 ) 내 에 웨이퍼 ( W ) 를 이송 하 는 방법 을 설명 한다 . 앞서 설명 한 프레임 로봇 ( 70 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 복수 의 트 랜 스퍼 챔버 들 ( 30 ) 중 어느 하나 로 이송 하 며 , 통로 ( 32 ) 를 통하 여 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 내부 에 설치 된 블레이드 부재 ( 36 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 는다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 내부 는 상압 상태 이 다 .