도 4 의 실시 예 에서 , RF 전력 은 전극 의 직사각 형 후 방벽 ( 20 ) 의 4 개 사분면 들 에 각각 위치 되 는 4 개 RF 구동 포인트 들 ( 51 - 54 ) 에서 직사각 형 전극 ( 20 - 28 ) 에 결합 된다 . RF 구동 포인트 들 중 2 개 ( 51 , 52 ) 는 워크 피스 통로 ( 12 ) 에 더 가까운 후 방벽 ( 20 ) 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 에 존재 하 고 , 따라서 , 워크 피스 통로 에 가까운 전극 의 제 1 절반 부 에 존재 한다 . RF 구동 포인트 들 중 다른 2 개 는 후 방벽 의 대향 절반 부 ( 62 ) 에 존재 하 고 , 따라서 , 워크 피스 통로 로부터 더 먼 전극 의 제 2 절반 부 에 존재 한다 .