상기 제 1 상부 전극 ( 130 ) 은 상기 챔버 ( 110 ) 의 윈도우 ( 160 ) 상 에 상기 유전 플레이트 ( 136 ) 와 그 위 에 설치 한 나선형 의 RF 코일 ( radio frequency coil ; 134 ) 을 구비 한 코일 형 전극 이 다 . 상기 유전 플레이트 ( 136 ) 의 중심 에 인접 한 상기 RF 코일 ( 134 ) 의 일단 부 는 제 1 RF 전원 부 ( 132 ) 에 연결 되 고 나선 형 으로 확장 되 어 진 타단 부 는 접지 된다 .