방법 은 기판 의 표면 에 린스 유체 를 도포 하 는 동안 기판 을 회전 시키 는 동작 305 를 더 포함 할 수 도 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 기판 은 약 100 rpm ( revolutions per minute ) 에서 약 10000 rpm 까지 의 범위 내 의 속도 로 회전 된다 . 몇몇 실시 형태 에서 기판 의 회전 이 이용 될 수 도 있 으나 , 모든 실시 형태 에서 요구 되 지 는 않 는 것 으로 이해 되 어야 한다 .