S - D 이송 시퀀스 는 , 수율 을 최대 화 하 고 , 오퍼레이터 의 개입 을 허용 하 며 , 호스트 시스템 의 개입 을 허용 하 고 , 스캐너 서브시스템 으로 인한 지연 을 최소 화 하 거나 이 들 의 임의 의 조합 을 위해 웨이퍼 와 그 위 에 있 는 적어도 하나 의 피 검증 디바이스 가 계속 해서 처리 를 통과 하 도록 확립 될 수 있 다 . 현재 의 공장 시스템 은 웨이퍼 를 이송 하 기 위한 S - D 이송 서브시스템 및 / 또는 웨이퍼 를 처리 하 기 위한 S - D 처리 서브시스템 을 포함 하 지 않 는다 . 또한 , 현재 의 공장 시스템 은 , 웨이퍼 가 처리 된 후 에 하나 의 서브시스템 에서 다른 서브시스템 으로 S - D 웨이퍼 데이터 를 전송 하 고 및 / 또는 웨이퍼 를 처리 하 기 위한 S - D 프로시저 를 포함 하 지 않 는다 . 웨이퍼 프로세스 로 인한 S - D 변동 은 웨이퍼 전체 에 걸쳐 균일 하 지 않 을 수 있 고 , S - D 변동 은 챔버 간 편차 , 처리 시간 , 처리 화학 반응 , 및 시간 에 따른 챔버 드리프트 를 포함 할 수 있 다 .