검사 동안 , 검사 툴 을 사용 하 여 다이 를 포함 하 는 각각 의 레티 클 의 패치 의 복수 의 패치 이미지 가 획득 될 수 있 다 . 이미지 획득 동안 , 각각 의 다이 에 대하 여 다수 의 패치 이미지 가 획득 된다 . 예 를 들 어 , 이미지 패치 는 다이 ( 502 a ) 의 패치 ( 504 a 및 504 g ) 에 대하 여 획득 된다 . 본 발명 의 특정 실시 예 에서 , 이미지 패치 는 각각 의 레티 클 ( 또는 적어도 하나 의 레티 클 ) 의 다이 에 걸쳐 다이 - 등 가 패치 를 생성 하 도록 얻 어 지 고 , 다이 - 등 가 패치 는 CD 결함 또는 CD 변동 과 같 은 결함 을 검출 하 기 위하 여 처리 된다 .