IZ 곡선 의 피크 를 부여 하 는 Z 위치 Z 0 를 각 측정 포인트 마다 구함 으로써 , 피검 물 ( 3 ) 의 높이 를 측정 할 수 있 다 . IZ 곡선 의 Z 좌표 ( Z ) 는 , 제 1 변위 계 ( 24 ) 로부터 의 좌표 값 이 , 휘도 값 ( I ) 은 제 1 광 디텍터 ( 14 ) 에 의해 얻 어 진 값 이 이용 되 고 , 이 들 은 모두 제 어부 ( 16 ) 를 경유 하 여 컴퓨터 ( 17 ) 에 전송 되 며 , 연산 처 리부 ( 19 ) 에 의해 피크 위치 의 검출 이 행해진다 .