증기 생성 장치 ( 60 ) 의 증기 생 성실 ( 68 ) 에 충전 되 는 원료 ( 90 ) 는 , 제 1 고체 재료 ( 91 ) 와 , 제 2 고체 재료 ( 92 ) 를 포함 한다 . 제 1 고체 재료 ( 91 ) 는 , 불순물 원소 의 단체 며 , 예 를 들 면 순 알루미늄 이 다 . 제 2 고체 재료 ( 92 ) 는 , 불순물 원소 의 화합물 이 며 , 예 를 들 면 알루미늄 의 할로젠 화합물 ( AlF 3 , AlCl 3 , AlBr 3 , AlI 3 ) 이 다 . 제 2 고체 재료 ( 92 ) 는 , 취급 하 기 용이 함 등 을 고려 하 면 , 알루미늄 의 불소 화합물 ( AlF 3 ) 인 것 이 바람직 하 다 .