본 발명 에 관한 액티브 매트릭스 기판 은 일반식 RnSi ( OR ') 4 - n [ 식 에서 R , R ' 는 탄 소수 1 ∼ 8 의 알킬기 , 아릴기 또는 페닐기 를 나타내 고 , n 은 0 ∼ 3 의 정수 이 다 ] 으로 표시 되 는 알 콕 시 실란 을 가 수분 해 중축합 시켜 수득 한 실리 카졸 과 상기 알 콕 시 실란 의 부분 가수 분해 물 의 반응물 과 폴리 실리콘 수지 로 이루어진 층간 절 연막 을 지닌다 . 상기 층간 절연 막 은 상기 층간 절 연막 형성 용 도포 액 을 기판 위 에 도포 하 고 , 이어서 가열 처리 함 으로써 형성 된 것 이 다 .