일 실시 예 에서 , 상기 가상 마크 생성 장치 는 상기 제 1 발 광부 로부터 이격 되 도록 배치 되 어 상기 정렬 마크 를 비추 는 제 2 발광 부를 포함 하 고 , 상기 제어 장치 는 상기 제 1 발 광부 및 상기 제 2 발 광부 를 온 오프 시켜서 상기 촬상된 가상 마크 를 기초 로 카메라 의 정렬 여부 를 판단 하 거나 상기 촬상된 정렬 마크 를 기초 로 기판 을 정렬 할 수 있 다 .