도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 기판 지지 부 ( 210 ) 는 기판 ( W ) 이 놓여 지 는 서 셉 터 이 다 . 도시 하 지 않 았 지만 , 기판 지지 부 ( 210 ) 는 기판 을 고정 하 는 정전 척 , 정전 척 아래 에 배치 되 는 하부 전극 , 기판 을 정전 척 위 에 안착 시키 거나 정 전척 으로부터 기판 을 이격 시키 는 3 개 의 리프트 핀 부재 , 기판 을 가열 시키 기 위한 가열 부재 등 이 구비 될 수 있 다 . 이 처럼 기판 을 고정 하 고 , 기판 을 가열 하 고 , 기판 에 고전압 을 인가 하 고 , 기판 을 업 다운 시키 는 구성 및 방법 은 통상 적 인 것 으로써 당업자 수준 에서 이해 될 수 있 기 때문 에 그 에 대한 구성 들 은 생략 하 였 다 .