제 1 편 광부 ( 20 ) 에 의해 편광 된 제 1 방향 성분 의 입사광 ( B 2 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 40 ) 로 조사 될 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 ( 40 ) 로 조사 된 제 1 방향 성분 의 입사광 ( B 2 ) 은 플라 즈 마 내 의 입자 들 ( 45 ) 과 충돌 하 여 산란광 ( B 4 ) 을 생성 시킬 수 있 다 . 산란광 ( B 4 ) 은 모든 방향 으로 퍼져 나갈 수 있 다 . 이 중 에서 특정 산란각 을 갖 는 산란광 ( B 4 ) 만 을 광 검 출부 ( 60 ) 에서 검출 함 으로써 , 플라 즈 마 내 의 특정 한 부위 ( 0 차원 의 한 점 ) 에 존재 하 는 입자 ( 45 ) 의 크기 를 측정 할 수 있 다 .