유전체 재료 층 들 은 반도체 디바이스 들 위 에 형성 되 는데 , 이 들 은 본 명세서 에서 하부 레벨 유전체 재료 층 들 ( 760 ) 로 지칭 된다 . 하부 레벨 유전체 재료 층 들 ( 760 ) 은 , 예 를 들 어 , 유전체 라이너 ( 762 ) ( 예컨대 , 이동 이온 들 의 확산 을 차단 하 고 / 하 거나 아래 에 놓인 구조물 들 에 적절 한 응력 을 인가 하 는 실리콘 질화물 라이너 ) , 유전체 라이너 ( 762 ) 위 에 놓인 제 1 유전체 재료 층 들 ( 764 ) , 제 1 유전체 재료 층 들 ( 764 ) 위 에 놓인 실리콘 질화물 층 ( 예컨대 , 수소 확산 배리어 ) ( 766 ) , 및 적어도 하나 의 제 2 유전체 층 ( 768 ) 을 포함 할 수 있 다 .