In , Sn , 및 Zn 을 주성분 으로 하 는 산화물 반도체 에 산소 이온 을 주입 하 고 , 가열 처리 에 의하 여 상기 산화물 반도체 에 함유 되 는 수소 나 수산기 또는 수분 을 방출 시키 고 , 그 가열 처리 또는 그 이후 의 가열 처리 에 의하 여 산화물 반도체 를 결정 화 시켜 도 좋 다 . 이 와 같 은 결정 화 처리 또는 재결정 화 처리 에 의하 여 결정 성 이 좋 은 비단 결정 산화물 반도체 를 얻 을 수 있 다 .