본 실시 예 에서 수행 되 는 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 는 평균 입자 크기 가 대략 500 nm ~ 2 ㎛ 정도 의 비교 적 큰 연마 입자 들 이 포함 된 슬러리 ( slurry , 미 도시 ) 가 사용 된다 . 이러 한 연마 입자 들 은 실리카 또는 알루미나 로 이루어질 수 있 으며 , 대략 pH 2 . 5 ~ 11 을 가질 수 있 다 . 그리고 , 상기 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 사용 되 는 연마 패드 ( 151 ) 는 상기 희생 층 ( 125 ) 의 표면 에 대략 5 kPa ~ 45 kPa 정도 의 압력 을 가하 면서 회전 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 연마 패드 ( 151 ) 의 표면 경도 는 예 를 들 면 쇼어 D 경도 ( shore D hardness ) 로 대략 70 이하 가 될 수 있 다 . 이러 한 연마 패드 ( 151 ) 는 예 를 들 면 , 직물 ( textile ) 또는 고무 ( rubber ) 로 이루어질 수 있 다 .