바닥 면 ( 2 ) 과 분리 판 ( 3 ) 은 불소 수지 재질 로 사용 하 여 부식 을 방지 하 고 , 전극 ( 5 , 6 ) 은 니켈 ( Ni ) 재질 을 사용 하 였 다 . 전해질 ( 4 ) 은 불화 암모늄 - 불 산계 ( NH 4 F - HF ) 를 사용 하 였으며 , 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 제조 용 전해조 내 의 전해질 의 조성 비 는 불화 암모늄 ( NH 4 F ) 에 대한 불 산 ( HF ) 중량 % 비율 을 2 . 0 으로 구성 하 였 고 , 반응 중 전해질 ( 4 ) 의 온도 는 100 ∼ 130 ℃ 에서 운전 이 가능 하 도록 전해조 및 전극 에 써 멀 커플 ( thermal couple ) 을 설치 하 여 조건 에 따른 온도 를 관측 할 수 있 게 하 였으며 , 본 실시 예 에서 는 125 ℃ 를 유지 하 였 다 .