본 발명 에 따른 프로그램 은 하나 의 기판 을 유지 할 수 있 는 처리 유닛 과 , 처리 액 을 저류 하 는 처 리조 로서 복수 의 기판 을 동시 에 수용 할 수 있 는 처 리조 를 구비 한 기판 처리 장치 를 제어 하 는 제어 장치 에 의해 실행 되 는 프로그램 으로서 , 상기 제어 장치 에 의해 실행 됨 으로써 , 기판 처리 장치 에 반입 된 미처리 기판 을 상기 처리 유닛 과 상기 처 리조 중 어느 곳 에 먼저 반송 할지 를 판단 하 는 공정 과 , 상기 처리 유닛 을 사용 하 여 기판 을 처리 하 는 공정 과 상기 처 리조 내 에 저류 된 처리 액 에 기판 을 침지 하 여 처리 하 는 공정 중 적어도 어느 하나 의 공정 을 포함 하 고 , 상기 처 리조 내 에서 처리 하 는 공정 은 , 상기 처리 액 이 저류 된 상기 처 리조 에 , 상기 처 리조 의 기판 수용 가능 수 미만 의 수 이 며 1 이상 의 기판 을 동시 에 반송 하 는 공정 과 , 넘쳐 흐른 처리 액 을 상기 처 리조 에 순환 공급 하 면서 , 상기 동시 에 반송 된 1 이상 의 기판 을 상기 처 리조 내 의 처리 액 에 침지 하 여 처리 하 는 공정 을 포함 하 는 피 처리 기판 의 처리 방법 을 기판 처리 장치 에 실시 시키 는 것 을 특징 으로 한다 .