다음 으로 , 에피 탁 셜 층 적층 구조 중 에서 에피 탁 셜 실리콘 층 ( 28 ) 은 에피 탁 셜 실 리 콘 저마늄 층 ( 29 ) 성장 을 위한 시드 층 역할 을 하 는 것 으로서 , 100 Å 이내 ( 20 ∼ 100 Å ) 로 증착 한다 . 이 처럼 에피 탁 셜 실리콘 층 ( 28 ) 은 에피 탁 셜 실리콘 저마늄 층 ( 29 ) 과 기판 ( 21 ) 간 접착성 을 증대 시켜 에피 탁 셜 실리콘 저마늄 층 ( 29 ) 을 균일 하 게 성장 시키 도록 한다 .