필름 의 저항률 은 낮 다 . 에틸 사이클 로 펜 타 디 에 닐 디 카보닐 니트로실 텅스텐 으로부터 증착 된 50 옹스트롬 필름 에 대한 저항률 은 100 - 400 μΩ -㎝ 의 수준 이 라고 발견 되 었 다 . 이 는 동일 한 두께 의 WN 과 TiN 필름 에 필적 하 거나 더 낮 은 것 이 다 . 도 5 는 열 성장 된 실리콘 다 이 옥사이드 상 에 증착 된 유기 금속 필름 에 대한 필름 저항률 데이터 를 도시 한다 .