도 9 c 를 참조 하 면 , 지지대 메탈 ( 112 ) 및 접지 라인 ( 111 ) 을 노출 시킨 후 기판 전면 에 걸쳐 절 연막 ( 151 ) 을 형성 한다 . 절 연막 ( 151 ) 은 차후 에 형성 되 는 전 극막 이 접 지 라인 ( 111 ) 또는 신호 라인 ( 110 ) 과 단락 되 는 것 을 방지 하 는 역할 을 한다 . 한편 , 절 연막 ( 151 ) 전면 에 는 차후 의 희생 막 ( 121 ) 제거 를 위한 다수 의 홀 들 ( 미 도시 ) 이 형성 된다 .