도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 본 실시 예 에 따른 플 라즈 마 성막 장치 는 YZ 평면 에 있 어서 대략 십 ( +) 자형 을 이루 고 있 고 플 라즈 마 수송 방향 ( Z 방향 ) 에서부터 보 아서 차례 로 플 라즈 마 를 고밀도 로 생성 하 는 듀얼 타입 ( dual type ) 의 플 라즈 마 건 ( 1 ) 과 , Z 방향 축 을 중심 으로 한 원통 형상 의 비자 성 ( 예 를 들 면 , 스테인 레스 나 글래스 ) 시트 플 라즈 마 변형 실 ( 2 ) 과 , y 방향 축 을 중심 으로 한 원통 형상 의 비자 성 ( 예 를 들 면 , 스테인 레스 ) 진공 성막 실 ( 3 ) 을 구비 하 여 구성 되 어 있 다 . 또한 플 라즈 마 건 ( 1 ) , 시트 플 라즈 마 변형 실 ( 2 ) , 및 진공 성막 실 ( 3 ) 은 플 라즈 마 를 수송 하 는 통로 를 통하 여 서로 기밀 상태 를 유지 하 고 연통 되 어 있 다 .