시일 캡 ( 219 ) 의 하방 에 는 , 후술 하 는 보트 ( 217 ) 를 회전 시키 는 회전 기구 ( 267 ) 가 설치 되 어 있 다 . 회전 기구 ( 267 ) 의 회전축 ( 255 ) 은 , 예 를 들 어 SUS 등 의 금속 재료 에 의해 구성 되 고 , 시일 캡 ( 219 ) 을 관통 해서 보트 ( 217 ) 에 접속 되 어 있 다 . 회전 기구 ( 267 ) 는 , 보트 ( 217 ) 를 회전 시킴 으로써 웨이퍼 ( 200 ) 를 회전 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 시일 캡 ( 219 ) 은 , 반응 관 ( 203 ) 의 외부 에 설치 된 승강 기구 로서 의 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 수직 방향 으로 승강 되 도록 구성 되 어 있 다 . 보트 엘리베이터 ( 115 ) 는 , 시일 캡 ( 219 ) 을 승강 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 실 ( 201 ) 내외 로 반입 및 반출 ( 반송 ) 하 는 반송 장치 ( 반송 기구 ) 로서 구성 되 어 있 다 .