도 1 a 를 참조 하 면 , 예시 적 인 제조 방법 ( 100 ) 은 단계 110 에서 시작 되 며 , 이 단계 에서 는 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 보호 층 ( 210 ) 이 위 에 있 는 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 이 제공 된다 . 일부 실시 형태 에서 , 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 은 방법 ( 100 ) 의 후속 단계 에서 부착 또는 제조 되 는 구조 적 엘리먼트 에 기계 적 지지 를 제공 한다 . 제한 이 아닌 예 를 들 면 , 보호 층 ( 210 ) 은 폴리 이미드 ( PI ) , 폴리 벤 족 사졸 ( PBO ) , 또는 다른 적절 한 폴리머 재료 를 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 형태 에서 , " 보호 층 ( 210 ) ( "" 폴리머 층 ( 210 ) "" 이 라도 칭함 ) 은 재 분배 층 ( RDL "," redistribution layer ) 을 형성 하 기 전 에 "" 버퍼 코팅 "" 또는 보호 층 으로서 사용 되 는 응력 완화 코팅 이 다 . 일부 실시 형태 에서 ", 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 과 폴리머 층 ( 210 ) 사이 에 LTHC ( light to heat convention layer ) ( 220 ) 이 개재 되 어 있 다 . LTHC ( 220 ) 는 자 외 ( UV ) 선 으로 경화 되 어 보호 층 ( 210 ) 과 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 사이 의 임시 결합 을 형성 할 수 있 는 접착 층 이 다 . 이 임시 결합 은 InFO 패 키 징 이 완료 되 면 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 으로부터 폴리머 층 ( 210 ) 을 해 체하 도록 해제 될 수 있 다 . 제한 이 아닌 예 를 들 면 , 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 의 후면 을 통과 한 포 커싱 된 레이저 빔 에 의한 LTHC ( 200 ) 의 조사 가 LTHC ( 200 ) 를 분해 하 여 글래스 캐리어 기판 ( 200 ) 을 폴리머 층 ( 210 ) 으로부터 해체 시키 기 에 충분 한 열 을 생성 할 수 있 다 . 성공 적 인 해체 를 위해 , 캐리어 기판 ( 200 ) 은 LTHC ( 200 ) 을 조사 하 여 분해 시킬 수 있 는 광원 ( 예컨대 , 레이저 ) 에 대해 투명 한 것 이 요구 된다 .