가스 유입 구 매니폴드 는 외부 가스 소스 ( 미 도시 ) 로부터 가스 유입 구 플레 넘 ( 27 ) 으로 의 가스 흐름 을 위한 통로 들 을 제공 하 는 하나 이상 의 가스 유입 구들 ( 28 ) 을 포함 한다 . 도 1 의 실시 예 에서 , 가스 유입 구들 ( 28 ) 은 가스 유입 구 매니폴드 후 방벽 ( 20 ) 을 통해 연장 되 는 개구 들 이 다 . 가스 소스 ( 미 도시 ) 는 가스 유입 구들 ( 28 ) 에 프로세스 가스 를 공급 하 며 , 가스 유입 구들 로부터 의 가스 는 가스 유입 구 플레 넘 ( 27 ) 으로 흐르 며 , 그 후 , 가스 유입 구 플 레 넘 으로부터 샤워 헤드 ( 22 ) 의 다수 의 가스 배출구 통로 들 을 통해 챔버 의 내부 로 흐른다 . ( 도면 들 을 간략 화 하 기 위해 , 가스 유입 구들 ( 28 ) 은 도 2 - 8 로부터 생략 된다 . )