이때 , 위상 반 전막 패턴 ( 104 a ) 의 상부 가장자리 와 하부 가장자리 의 수평 거리 ( Tail Size : d ) 는 100 nm 이하 이 며 , 바람직 하 게 , 60 nm 이하 이 다 . 또한 , 위상 반 전막 패턴 ( 104 a ) 의 상면 과 패턴 가장자리 부분 의 단면 은 70 °∼ 110 ° 의 각 도 ( θ ) 를 가지 며 , 바람직 하 게 , 80 °∼ 100 ° 의 각도 ( θ ) 를 갖 는다 .