이상 과 같이 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 을 사용 하 여 주사 함 으로써 , 싱글 빔 으로 주사 하 는 경우 보다 고속 으로 스캔 동작 ( 측정 ) 이 가능 하 다 . 또한 , 스텝 앤 리피트 동작 으로 각 마스크 다이 ( 33 ) 의 스캔 을 행해도 되 고 , XY 스테이지 ( 105 ) 를 연속 이동 시키 면서 각 마스크 다이 ( 33 ) 의 스캔 을 행하 는 경우 여도 된다 . 조사 영역 ( 34 ) 이 마스크 다이 ( 33 ) 보다 작 은 경우 에 는 , 당해 마스크 다이 ( 33 ) 중 에서 조사 영역 ( 34 ) 을 이동 시키 면서 스캔 동작 을 행하 면 된다 .