주로 , 가스 공급 헤드 ( 236 ) ( 덮개 ( 233 ) , 가스 도입 구 ( 234 ) , 버퍼 실 ( 237 ) , 개구 ( 238 ) , 차폐 플레이트 ( 240 ) , 가스 취 출구 ( 239 ) ) , 산소 함유 가스 공급 관 ( 232 a ) , 수소 함유 가스 공급 관 ( 232 b ) , 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) , MFC ( 252 a , 252 b , 252 c ) , 밸브 ( 253 a , 253 b , 253 c , 243 a ) 에 의해 , 본 실시 형태 에 따른 가스 공급 부 ( 가스 공급계 ) 가 구성 되 어 있 다 .