도 7 을 참조 하 면 , 방법 ( 800 ) 은 ALD , PVD , CVD , 도금 , 다른 적합 한 퇴적 또는 이 들 의 조합 과 같 은 적합 한 퇴적 을 사용 하 여 트렌치 ( 402 ) 를 채우 도록 배리 어 층 ( 234 ) 상 에 상부 금속 특징 부 ( 236 ) 를 형성 하 는 동작 838 을 포함 한다 . 예 를 들 어 , 시드 층 ( 236 A ) 이 ALD 또는 PVD 에 의해 트렌치 ( 402 ) 에 퇴적 될 수 있 으며 , 그 다음 시드 층 상 에 상부 금속 특징 부를 퇴적 하 여 트렌치 ( 402 ) 를 채우 도록 도금 프로세스 가 적용 된다 . 과도 한 금속 을 제거 하 고 상부 표면 을 평탄 화 하 도록 CMP 프로세스 가 더 적용 될 수 있 다 .