근접 헤드 ( 100 ) 는 또한 부가 적 인 기구 또는 히터 또는 다른 모니터 ( 118 ) 를 포함 할 수 있 다 . 부가 적 인 기구 또는 히터 또는 다른 모니터 ( 118 ) 는 메니스커스 ( 102 ) 에 의해 기판 표면 ( 108 A ) 에 적용 되 는 액체 ( 112 ) 또는 처리 를 모니터 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 예 로서 , 부가 적 인 기구 또는 히터 또는 다른 모니터 ( 118 ) 는 액체 ( 112 ) 를 가열 또는 냉각 하 며 표면 ( 예 를 들 어 , 표면 ( 108 ) 상 의 층 의 두께 또는 기판 ( 108 ) 의 두께 또는 표면 피쳐 의 깊이 ) 또는 액체 ( 112 ) 의 농도 또는 다른 화학 적 양태 ( 예 를 들 어 , ph 레벨 , 전도성 등 ) 또는 임의 의 다른 원 하 는 양태 를 측정 할 수 있 다 . 이 들 실시 형태 들 은 하나 이상 의 상기 참조 된 공동 계류 중 인 출원 에 더욱 상세히 설명 되 어 있 다 .