본 발명 에 따르 면 , 첫째 로 , 제 1 고분자 블록 을 함유 하 는 제 1 도메인 , 제 2 고분자 블록 을 함유 하 는 제 2 도메인 및 제 3 고분자 블록 을 함유 하 는 제 3 도메인 을 형성 한 후 , 상기 제 1 내지 제 3 도메인 들 중 적어도 한 도메인 을 선택 적 으로 제거 하 여 미세 마스크 패턴 을 형성 함 으로써 , 선택 적 으로 제거 되 는 도메인 의 종류 에 따라 다양 한 피치 를 갖 는 미세 패턴 을 형성 할 수 있 다 .