본 제 2 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ')) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 ( θ z 방향 의 회전 정보 를 포함 한다 ) 는 , 주로 후술 하 는 인 코더 시스템 ( 150 ) ( 도 32 참조 ) 을 사용 하 여 계측 된다 . 간섭계 시스템 ( 118 ) 은 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 인코더 시스템 의 계측 영역 밖 ( 예 를 들 어 도 30 에 도시 된 언로 딩 포지션 ( UP ) 또는 로딩 포지션 ( LP ) 부근 ) 에 위치 할 때 에 사용 된다 . 또한 , 인코더 시스템 의 계측 결과 의 장기 적 변동 ( 예 를 들 어 스케일 의 시간 경과 적 인 변형 등 에 의함 ) 을 보정 ( 교정 ) 하 는 경우 , 혹은 인코더 시스템 의 출력 이상시 의 백업 용 등 으로서 보조 적 으로 사용 된다 . 물론 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 과 인코더 시스템 을 병용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ')) 의 위치 를 제어 하 는 것 으로 해도 된다 .