본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 의하 면 , 상기 ( c ) 단계 는 750 ∼ 850 ℃ 의 온도 및 1 ∼ 2 torr 의 압력 에서 , H 2 와 SiH 4 의 유량 비율 이 35 ∼ 45 : 1 이 되 도록 유량 을 조절 하 며 1 ∼ 5 분 동안 수행 될 수 있 고 , 상기 ( d ) 단계 는 850 ∼ 950 ℃ 의 온도 및 2 ∼ 3 torr 의 압력 에서 , H 2 와 SiH 4 의 유량 비율 이 10 ∼ 20 : 1 이 되 도록 유량 을 조절 하 며 30 ∼ 90 분 동안 수행 될 수 있 다 .