상기 제 1 및 제 2 소스 물질 공급 장치 ( 30 a , 30 b ) 는 소스 물질 저장 용기 ( 40 , 41 ) 및 기화기 ( 50 , 51 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상기 소스 물질 저장 용기 ( 40 , 41 ) 및 상기 기화기 ( 50 , 51 ) 는 배관 ( 42 , 43 ) 에 의하 여 연결 될 수 있 고 , 상기 배관 ( 42 , 43 ) 에 유량 제어 장치 ( 44 , 45 ) 가 구비 될 수 있 다 . 상기 기화기 ( 50 , 51 ) 와 상기 공정 챔버 ( 10 ) 는 배관 ( 52 , 53 ) 에 의하 여 연결 될 수 있 고 , 상기 배관 ( 52 , 53 ) 에 유량 제어 장치 ( 54 , 55 ) 가 구비 될 수 있 다 .