상기 고주파 유닛 은 , 고주파 전원 신호 를 생성 하 는 고주파 생 성부 와 , 상기 고주파 생 성부 로부터 상기 고주파 전원 신호 를 입력 받 고 상기 고주파 전원 신호 가 상기 고주파 전원 으로 변환 되 어 상기 공정 챔버 로 인가 되 도록 임피던스 를 정합 하 는 임피던스 정합 부 와 , 상기 고주파 생 성부 에 연결 되 고 상기 검증 유닛 으로부터 펄스 입력 값 을 전달 받 아 상기 고주파 전원 신호 의 펄스 를 제어 하 는 펄스 제어기 와 , 상기 고주파 생 성부 로부터 상기 임피던스 정합 부 로 입력 되 는 전력 을 측정 하 여 상기 검증 유닛 으로 송신 하 는 센서 를 포함 할 수 있 다 .