표 2 에 나타난 바 와 같이 , 연마제 의 함량 이 1 중량 % 인 경우 에 는 실리콘 산화 막 의 연마 속도 가 250 Å / min 이하 로 느리 지만 , 연마제 의 함량 이 3 . 5 중량 % 인 경우 에 는 실리콘 산화 막 의 연마 속도 가 300 Å / min 이상 으로 빠른 것 으로 나타났 다 . 특히 , 연마제 의 함량 이 3 . 5 중량 % 인 경우 에 는 실리콘 산화 막 의 연마 속도 가 연마제 의 함량 이 1 중량 % 인 경우 에 비하 여 약 2 배 이상 증가 하 는 것 으로 나타났 다 .