기판 ( 100 ) 이 주 몸 체부 ( 210 ) 의 내부 로 들어오 면 , 적외선 방사 히터 ( 220 ) 로부터 적외선 이 방사 되 어 기판 ( 100 ) 으로 조사 된다 . 여기 서 , 적외선 방사 히터 ( 220 ) 는 가열 특성 이 우수 한 원적외선 을 고출력 , 예 를 들 면 , 소모전 력 기준 1 ~ 50 kW / ㎡, 표면 온도 기준 50 ∼ 500 ℃) 으로 약 5 분 ( 3 분 ∼ 7 분 ) 정도 방사 하 여 주 몸 체부 ( 210 ) 의 내 부 에서 일정 방향 으로 이동 하 는 기판 ( 100 ) 을 비접 촉식 으로 균일 하 게 가열 하 게 된다 .