본 발명 의 하이드 리노 화합물 은 바람직 하 게 는 0 . 1 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 . 더 바람직 하 게 , 화합물 은 1 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 . 훨씬 더 바람직 하 게 , 화합물 은 10 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 . 가장 바람직 하 게 , 화합물 은 50 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 . 다른 실시 예 에서 , 화합물 은 90 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 . 다른 실시 예 에서 , 화합물 은 95 원자 % 초과 의 순도 를 가진다 .