제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) 의 밸브 ( 243 d ) 보다 하류 측 에 는 제 1 불활성 가스 공급 관 ( 246 a ) 의 하 류단 이 접속 된다 . 제 1 불활성 가스 공급 관 ( 246 a ) 에 는 상류 방향 부터 순서 대로 불활성 가스 공급원 ( 246 b ) , MFC ( 246 c ) 및 밸브 ( 246 d ) 가 설치 된다 . 그리고 불활성 가스 공급원 ( 246 b ) 으로부터 불활성 가스 가 MFC ( 246 c ) 및 밸브 ( 246 d ) 를 개재 하 여 제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) 에 공급 된다 . 불활성 가스 는 예컨대 질소 ( N 2 ) 가스 다 . 또한 불활성 가스 로서 N 2 가스 외 에 예컨대 아르곤 ( Ar ) 가스 , 헬륨 ( He ) 가스 , 네온 ( Ne ) 가스 , 크세논 ( Xe ) 가스 등 의 희가스 를 이용 할 수 있 다 .