그리고 , 성막 - 개질 처리 를 행하 고 있 는 동안 에 는 , 진공 용기 ( 1 ) 내 의 압력 등 의 파라미터 를 일정 값 으로 고정 하 는 동시 에 , 전극 ( 36 a , 36 b ) 에 공급 하 는 전력량 을 조정 함 으로써 , 플 라즈 마의 강도 를 조정 하 고 있 다 . 구체 적 으로 는 , 전극 ( 36 a , 36 b ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 사이 의 이격 거리 ( k ) 를 상술 한 바 와 같이 설정 하 는 동시 에 , 진공 용기 ( 1 ) 내 의 압력 을 266 Pa ( 2 Torr ) 이 라고 한 경우 에 는 , 직경 치수 가 300 mm 인 웨이퍼 ( W ) 에서 는 , " "" 산화 막 두께 ( j ) 가 10 Å ( 1 nm ) 에 상당 하 는 플 라즈 마의 강도 "" 란 ", 전극 ( 36 a , 36 b ) 에 공급 하 는 전력량 이 30 W 이 며 , " "" 산화 막 두께 ( j ) 가 20 Å ( 2 nm ) 에 상당 하 는 플 라즈 마의 강도 "" 란 ", 전극 ( 36 a , 36 b ) 에 공급 하 는 전력량 이 65 W 이 다 . 이 산화 막 두께 ( j ) 와 전력량 의 대응 관계 는 , 진공 용기 ( 1 ) 내 의 압력 등 의 처리 파라미터 등 에 의해 다양 하 게 변화 되 기 때문 에 , 예 를 들 어 미리 더미 웨이퍼 를 사용 해서 실험 을 행함 으로써 구할 수 있 다 .