또한 , 점선 ( 601 내지 605 ) 중 , 점선 ( 601 , 603 , 604 ) 은 , 각각 , 제조 공정 에서 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 가 목표 매수 의 기판 에 대해서 처리 를 완료 하 여 , 즉시 처리 해야 하 는 기판 이 없 는 상태 ( 대기 상태 ) 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 점선 ( 602 ) 은 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 에 대한 메인 터 넌 스 를 위해 , 기판 을 처리 하 고 있 지 않 은 상태 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 점선 ( 605 ) 은 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 의 계획 휴지 구간 에 해당 하 기 때문 에 , 기판 을 처리 하 고 있 지 않 은 상태 를 나타내 고 있 다 .