· 상기 실시 형태 의 연마 용 조성물 이 수용성 고분자 를 함유 하 는 경우 , 연마 용 조성물 중 의 수용성 고분자 의 함유량 은 10 g / L 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 5 g / L 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 g / L 이하 이 다 . 수용성 고분자 의 함유량 이 적어짐 에 따라서 , 연마 용 조성물 에 의한 다결정 실리콘 의 연마 속도 가 향상 된다는 이점 이 있 다 .