본 발명 의 선호 되 는 추가 적 인 개발 에 따르 면 , 인터 포저 기판 의 일부 를 제거 할 때 제 3 컨 택 들 은 공정 중지부 ( process stop ) 로서 사용 된다 . 이 를 위해 , 화학 - 기계 적 연마 방법 이 이용 될 수 있 으며 , 예 를 들 어 , 이 는 선택 적 으로 인터 포저 기판 을 제거 하 지만 제 3 컨 택 들 을 제거 하 지 않 는다 . 이것 은 본 발명 을 추가 적 으로 단순 화 시킨다 .