밸브 ( 52 e , 56 e ) 를 개방 하 고 나 서 미리 정해진 시간 ( 예컨대 0 . 05 초 ∼ 5 초 ) 이 경과 한 후 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 4 에 있 어서 , 밸브 ( 52 e , 56 e ) 를 폐쇄 하 고 밸브 ( 55 e ) 를 개방 한다 . 이 에 의해 , 성막 시스템 ( 100 ) 에서 는 , 처리 용기 ( 1 ) 내 에 의 퍼지 가스 의 공급 을 정지 하 고 , 저류 탱크 ( 55 d ) 에 저류 된 환원 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 흡착 된 프리 커서 를 환원 한다 . 이때 , 밸브 ( 52 e , 56 e ) 가 폐쇄 됨 으로써 , N 2 가스 공급원 ( 52 a , 56 a ) 으로부터 가스 공급 라인 ( 52 b , 56 b ) 에 각각 공급 되 는 퍼지 가스 가 저류 탱크 ( 52 d , 56 d ) 에 저류 되 고 , 저류 탱크 ( 52 d , 56 d ) 내 가 승압 된다 .