바람직 하 게 상기 게이트 절연 막 은 SiO 2 , SiON , Al 2 O 3 , Al 2 O 3 : N , ZrO 2 , HfO 2 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , V 2 O 5 , Y 2 O 3 , La 2 O 3 , CeO 2 층 중 의 어느 하나 이상 을 포함 하 는 다층 구조 로 이루어지 거나 상기 게이트 절 연막 중 의 어느 하나 이상 과 원자 층 단위 로 혼합 하 여 증착 한 막 인 것 을 특징 으로 한다 .