또한 , 종래 기술 이 오 정렬 문제 를 다루 기 위해 프로세싱 모듈 의 안 과 밖 에서 웨이퍼 의 셔플 링 을 요구 하 는 경우 에 , 과도 한 시간 량 이 정렬 문제 만 에 대해 낭비 될 수 도 있 다 . 낭비 된 시간 은 시간 단위 당 완성 된 디바이스 의 더 낮 은 생산 및 / 또는 단위 당 더 높 은 디바이스 비용 으로 해석 하 는 경향 이 있 는 플 라즈 마 프로세싱 툴 의 오퍼레이터 에 대한 더 높 은 소유 비용 에 기여 한다 .