이후 로봇 팔 등 에 연결 되 어 자동 제어 되 는 상기 세 정판 ( 80 ) 을 기동 한 후 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 을 세정 하 는데 , 도 6 a 와 같이 , 먼저 상기 세 정판 ( 80 ) 의 합성수 지판 ( 82 ) 이 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 의 표면 에 실질 적 으로 접촉 되 게끔 로봇 팔 ( 또는 지그 ) ( 100 ) 을 기동 시킨 후 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 을 회전 시킨다 . 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 이 회전 됨 에 따라 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 의 표면 에 잔류 하 는 배향 막 물질 및 NMP 는 상기 합성수 지판 ( 82 ) 에 의해 제거 된다 . 이후 도 6 b 와 같이 , 상기 세 정판 ( 80 ) 을 회전 시키 고 로봇 팔 ( 또는 지그 ) ( 100 ) 을 이용 하 여 상기 와이퍼 ( 84 ) 가 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 표면 에 실직 적 으로 접촉 되 게끔 기동 시킨 후 다시 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 을 회전 시키 면서 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 의 표면 을 닦 는다 . ( st 13 ) 이 로써 상기 아닐 록스 롤 ( 64 ) 의 1 차 세정 이 자동 으로 수행 된다 .