또한 , 전술 한 설명 에 있 어서 는 , 기판 ( W ) 을 수평 상태 에서 반송 하 는 것 을 예시 하 였으나 , 이것 에 한하 는 것 은 아니 며 , 기판 ( W ) 을 기울여 경사 상태 에서 반송 하 도록 해도 좋 고 , 예컨대 , 기판 ( W ) 의 폭 방향 의 일단 을 그 타단 보다 높 게 하 여 기판 ( W ) 을 기울여 반송 하 도록 해도 좋 다 .