그러나 상기 인용 발명 은 슬릿 을 그리드 전체 지름 으로 하 여 관통 하 는 구조 를 가지 고 있 어 그리드 의 기계 적 강도 가 약하 여 쉽 게 파손 될 수 있 으며 , 중성 빔 을 형성 하 기 위한 반사체 가 이온 소스 와 동일 한 각도 로 웨이퍼 에 평행 하 게 설치 되 어 있 기 때문 에 중성 빔 의 직진 성 이 좋 지 않 아 미세 패턴 가공 이 어려워 지 는 문제점 이 있 었 다 .