도 31 을 참조 하 면 , 상기 지지 베이스 ( 300 ) 를 제거 하 는 단계 ( 도 28 에 도시 된 바 와 같 음 ) 이후 에 , 상기 전기 전도 층 ( 325 ) ( 도 30 에 도시 된 바 와 같 음 ) 을 패 터닝 하 여 , 상기 복수 개 의 제 1 전도성 홀 ( 311 ) 과 대응 되 도록 하 는 복수 개 의 제 1 전극 ( 320 ) 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 한다 .