기체 통로 집합 관 ( 315 ) 의 중앙부 에 는 복수 의 공정 기체 들 을 공급 하 는 복수 의 기체 유입 구 ( 311 , 312 , 313 ) 를 형성 하 는 기체 유입 관 ( 310 ) 이 형성 되 어 있 다 . 기체 유입 관 ( 310 ) 의 아래 에 는 미세 한 복수 의 배관 을 가지 는 도전 천공판 ( 321 ) 이 위치 한다 . 도전 천공판 ( 321 ) 의 아래쪽 에 는 도전 천공판 ( 321 ) 의 복수 의 구멍 과 마주 보 는 위치 에 미세 한 복수 의 배관 을 가지 는 절연 천공판 ( 320 ) 이 배치 되 어 있 으며 , 절연 천공판 ( 320 ) 의 아래쪽 에 는 절연 천공판 ( 320 ) 과 분리 되 어 있 는 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 이 구성 되 어 있 다 . 도전 천공판 ( 321 ) 과 절연 천공판 ( 320 ) 이 가지 는 미 세관 의 내경 은 0 . 1 ㎜ 내지 1 . 2 ㎜ 일 수 있 다 .