본 실시 예 에서 는 사각뿔 ( 320 B ) 의 모서리 부분 ( 324 B ) 이 공정 가스 의 흐름 을 저해 하 는 저항 으로서 의 기능 을 할 수 있 게 되 어 , 도 11 에 도시 된 바 와 같이 , 상대 적 으로 공정 가스 의 흐름 이 원활 한 사각뿔 의 측면 ( 322 B ) 이 공정 챔버 ( 100 ) 의 모서리 ( 102 ) 를 향하 도록 함 으로써 , 공정 챔버 ( 100 ) 의 모서리 부분 ( 102 ) 에 대한 공정 가스 의 보상 이 이루어질 수 있 게 되 는 것 이 다 .