하부 전극 ( 135 ) 에 는 급전선 이 전기 적 으로 접속 되 어 있 고 , 이 급전선 에 는 , 제 1 정합 기 ( 140 a ) 와 고주파 전원 ( 132 ) 이 접속 되 어 있 다 . 고주파 전원 ( 132 ) 은 , 13 . 56 MHz 의 플 라즈 마 형성 용 의 고주파 전력 을 하부 전극 에 공급 한다 . 또한 , 이 급전선 에 는 , 제 2 정합 기 ( 140 b ) 와 저주파 전원 ( 131 ) 이 접속 되 어 있 다 . 저 주파 전원 ( 131 ) 은 , 예 를 들 면 , 3 . 2 MHz 의 고주파 전력 을 하부 전극 에 공급 하 여 , 플라 즈 마 형성 용 의 고주파 전력 에 중첩 되 게 되 어 있 다 .