증착 된 막 은 컴퓨터 칩 , 광학 장치 , 자기 정보 저장 장치 , 지지 물질 또는 기판 상 의 코팅 , 마이크 로 전자 기계 시스템 ( MEMS ) , 나노 전자 기계 시스템 , 박막 트랜지스터 ( TFT ) , 발광 다이오드 ( LED ) , 유기 발광 다이오드 ( OLED ) , IGZO , 및 액정 디스플레이 ( LCD ) 를 포함 하 지만 이 로 제한 되 지 않 는 적용 을 갖 는다 . 얻 어 진 고체 산화 규소 또는 탄소 도핑 된 산화 규소 의 가능 한 용도 는 얕 은 트랜 치 절연재 , 층간 유전체 , 패 시베이 션 층 , 에치 스톱 층 , 이 중 스 페이서 의 부분 , 및 패턴 화 를 위한 희생 층 을 포함 하 지만 , 이 로 제한 되 지 않 는다 .