또한 , 실리콘 기판 에 형성 된 산화물 층 내 실리콘 ( Si ) 의 결합 에너지 에 대한 XPS ( X - ray photoelectronic spectroscopy ) 그래프 를 도 3 에 도시 하 였 다 . 도 3 을 참고 하 면 , 산화물 층 의 내부 에 Si 의 함량 이 높 은 경우 를 나타내 는 두 개 의 피크 ( 99 . 5 eV 및 103 . 7 eV ) 를 확인 할 수 있 다 .