프레임 고정부 ( 31 ) 는 , 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 의 환형 프레임 ( 4 ) 을 고정 하 는 것 이 다 . 프레임 고정부 ( 31 ) 는 , 프레임 재치 플레이트 ( 33 ) 와 , 프레임 압박 플레이트 ( 34 ) 를 구비 한다 . 프레임 재치 플레이트 ( 33 ) 는 , 평면 형상 이 원형 의 개구부 ( 331 ) 가 설치 되 고 , 또한 상면 ( 332 ) 이 수평 방향 과 평행 으로 평탄 하 게 형성 된 판형 으로 형성 되 어 있 다 . 프레임 재치 플레이트 ( 33 ) 의 개구부 ( 331 ) 의 내 직경 은 , 환형 프레임 ( 4 ) 의 내 직경 과 동일 하 게 형성 되 어 있 다 . 프레임 재치 플레이트 ( 33 ) 는 , 개구부 ( 331 ) 내 에 유지 테이블 ( 32 ) 을 배치 하 고 , 개구부 ( 331 ) 가 유지 테이블 ( 32 ) 과 동축 에 배치 되 어 있 다 . 프레임 재치 플레이트 ( 33 ) 는 , 상면 ( 332 ) 의 네 모퉁이 에 수평 방향 으로 이동 가능 하 게 설치 되 고 , 또한 수평 방향 으로 이동 하 는 것 에 의해 환형 프레임 ( 4 ) 의 위치 를 조정 하 고 , 피 가 공물 ( 2 ) 을 유지 테이블 ( 32 ) 의 유지 면 ( 321 ) 의 흡착 부 와 동축 이 되 는 위치 로 위치 결정 하 는 센터 링 가이드 ( 333 ) 이 설치 되 어 있 다 .