본 발명 은 기판 처리 장치 에 관한 것 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 공정 챔버 내 에서 상부 전극 과 하부 전극 의 온도 와 , 그 온도 차이 값 , 전극 간거리 또는 전극 의 저항 값 이 사용 자 의 설정 범위 를 초과 하 는 경우 인터 락 신호 를 생성 시켜 기판 처리 장치 내 로 RF 전원 이 공급 되 는 것 을 차단 할 수 있 도록 한 기판 처리 장치 및 그 의 인터 락 방법 에 관한 것 이 다 .