또 , 본 실시 형태 에서 는 , 세정 유닛 ( 31 ) 은 , 개구 ( 32 a ) 를 상부 에 갖 는 세정액 용 보 틀 ( 32 ) 을 구비 하 고 있 다 . 또한 , 세정 유닛 ( 31 ) 은 , 세정액 용 보 틀 ( 32 ) 의 개구 ( 32 a ) 에 걸 어 맞춰진 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 세 정수 를 공급 하 는 세 정수 공급 부 ( 33 ) 를 구비 하 고 있 다 .