기억 장치 ( 260 c ) 는 예컨대 플래시 메모리 , HDD ( Hard Disk Drive ) 등 으로 구성 된다 . 기억 장치 ( 260 c ) 내 에 는 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 동작 을 제어 하 는 제어 프로그램 , 기판 처리 의 순서 나 조건 등 이 기재 된 프로세스 레시피 , 다양 한 처리 의 과정 에서 발생 하 는 연산 데이터 나 처리 데이터 등 이 판독 가능 하 도록 격납 된다 . 또한 프로세스 레시피 는 기판 처리 의 각 순서 를 컨트롤러 ( 260 ) 에 실행 시켜 소정 의 결과 를 얻 을 수 있 도록 조합 된 것 이 며 , 프로그램 으로서 기능 한다 .