다른 예 로서 , 예측 된 윤곽 은 리 소 - 에칭 리 소 - 에칭 ( LELE ) 공정 에서 잠재 적 인 결함 을 결정 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 이것 의 예 가 도 17 a 내지 도 17 c 에 제시 되 어 있 다 . 도 17 a 는 라인 ( 2100 ) 이 제 1 리 소 - 에칭 공정 에서 생성 되 고 패턴 ( 2110 ) 은 제 2 리 소 - 에칭 공정 을 통해 라인 ( 2100 ) 과 인터 리브 되 는 ( interleaved ) 예시 적 인 리 소 - 에칭 및 리 소 - 에칭 공정 을 도시 하고 있 다 . 도 17 a 는 라인 ( 2100 ) 과 패턴 ( 2110 ) 이 바람직 한 정렬 , 크기 등 에 있 는 공칭 공정 을 도시 하고 있 다 . 이러 한 공정 의 결과 는 패턴 ( 2110 ) 과 라인 ( 2100 ) 사이 의 설계 된 분리 일 것 이 다 . 이제 , 도 17 에 개략 적 으로 보여 지 는 맵 ( 1800 및 1900 ) 을 이용 하 여 도 13 의 공정 이 적용 되 어 라인 ( 2100 ) 과 패턴 ( 2110 ) 의 예측 된 윤곽 의 결정 에 이를 수 있 다 . 도 17 b 에서 보여 지 는 예 에서 , 패턴 ( 2110 ) 의 윤곽 은 크기 가 증가 하 고 형상 이 변화 할 것 으로 예측 된 반면 에 라인 ( 2100 ) 의 예측 된 윤곽 은 예상 대로 인 것 으로 결정 된다 . 이제 , 도 17 c 는 패턴 ( 2110 ) 의 예측 된 윤곽 이 리 소 - 에칭 및 리 소 - 에칭 공정 에 사용 된 경우 의 결과 를 보여 주 고 있 다 . 2120 에서 보여 지 는 바 와 같이 , 패턴 ( 2110 ) 은 바람직 하 지 않 게 하부 라인 ( 2100 ) 에 너무 가까울 것 이 다 ( 예 를 들 어 , 피처 들 사이 의 공간 이 어떤 임계 치 미만 이 다 ) ; 즉 , 이 는 이것 이 중첩 영역 이 거나 최소 거리 요구 조건 을 위반 하 는 것 이 다 . 이 는 브리 징 결함 을 야기 할 수 있 다 . 또한 , 패턴 ( 2110 ) 은 형상 이 너무 좁 아 지 도록 피처 가 형상 이 변화 된 네 킹 결함 ( 2130 ) 을 가질 수 있 다 ( 예 를 들 어 , 폭 이 임계 치 미만 으로 떨어진다 ) . 따라서 , 실시 예 에서 , 리 소 - 에칭 및 리 소 - 에칭 공정 의 예측 된 작동 은 패턴 ( 2110 ) 이 라인 ( 2100 ) 과 함께 생성 될 때 하나 이상 의 잠재 적 인 결함 을 생성 하 는 것 으로서 표시 될 수 있 다 . 따라서 실시 예 에서 , 다중 노광 LELE 유형 적용 에서 의 결함 예측 을 위하 여 , 예측 된 윤곽 은 결함 지시기 / 절단 - 라인 만 을 사용 하 는 것 과 비교 하 여 네 킹 및 / 또는 브리 징 결함 의 예측 능력 을 개선 할 수 있 어야 한다 .