도면 을 참조 하 면 , 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치 는 본체 를 형성 하 는 챔버 ( 11 ) 와 , 이 챔버 ( 11 ) 내부 의 핫 존 ( H / Z ) 에 구비 되 어 실리콘 용융물 ( SM ) 을 담 고 있 는 석영 도가니 ( 12 ) 와 , 이 를 감싸 고 있 는 흑연 도가니 ( 13 ) 와 , 이 흑연 도가니 ( 13 ) 를 하측 에서 지지 하 는 지 지판 ( 14 ) 과 , 이 지지 판 ( 14 ) 을 챔버 ( 11 ) 외부 에 구비 되 는 회전 구동 장치 ( 미 도시 ) 에 연결 하 여 이 지지 판 ( 14 ) 을 회전 시키 는 회전축 ( 17 ) 과 , 상기 흑연 도가니 ( 13 ) 의 주변 을 에워싸 는 구조 로 설치 되 어 도가니 ( 13 ) 에 열 을 방사 하 는 히터 ( 15 ) 와 , 이 히터 ( 15 ) 에서 발생 된 열 이 외부 로 방사 되 는 것 과 실리콘 용융물 ( SM ) 의 온도 가 저하 되 는 것 을 방지 하 는 열차 폐 부재 ( 16 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .