본 발명 의 광 위치 결정 유닛 의 제어 방법 은 , 갈바 노 스캐너 의 관성 에 의해 발생 하 는 이동 지연 시간 을 허비 하 지 않 도록 , 레이저 오프 신호 인가 시점 이전 에 갈바 노 스캐너 의 이동신 호 를 인가 함 으로써 , 기판 당 다수 의 비 아홀 을 가공 해야 하 는 레이저 드릴링 가공 에서 단위 기판 당 소요 되 는 가공 시간 을 단축 할 수 있 는 효과 가 있 다 .