중간층 의 층 두께 는 , 차광막 전체 가 필요 로 하 는 광학 농도 에 맞춰 설계 되 고 , 기판 측 조성 경사 층 및 표면 측 조성 경사 층 의 조성 및 층 두께 에 따라서 설정 된다 . 특히 , 본 발명 의 차광막 에서 는 , 기판 측 조성 경사 층 의 층 두께 를 40 nm 이상 으로 하 는 경우 도 있 지만 , 이러 한 경우 에 는 반드시 중간층 을 설치 할 필요 는 없 으며 , 중간 층 을 설치 하 는 경우 에 도 , 그 의 층 두께 가 1 nm 정도 로 도 광학 농도 가 2 . 5 이상 인 차광막 을 , 60 nm 이하 의 막 두께 로 실현 할 수 있 다 . 중간층 의 층 두께 는 , 바람직 하 게 는 48 . 5 nm 이하 , 보다 바람직 하 게 는 1 내지 43 . 5 nm , 더욱 바람직 하 게 는 1 내지 38 . 5 nm 이 다 .