상기 처리 가 실시 된 피 처리 기판 ( W ) 은 , 반송 아암 ( 302 ) 에 의해 로드 록 실 ( 304 ) 에 반송 되 고 , 또한 반송 아암 ( 306 ) 에 의해 로드 록 실 ( 304 ) 로부터 소정 의 캐리어 ( C ) 에 반송 된다 . 이러 한 일련 의 처리 를 , 캐리어 ( C ) 에 수용 되 어 있 는 매수 의 피 처리 기판 ( W ) 에 대하 여 연속 적 으로 실행 함 으로써 , 복수 의 피 처리 기판 을 연속 적 으로 처리 하 는 것 이 가능 해진다 .