패턴 상 으로 조사 하 기 위해서 는 일반 적 인 포토 마스크 를 사용 하 면 좋 고 , 그러 한 포토 마스크 에 관해서 는 당업자 라면 주 지 이 다 . 조사 시 의 환경 은 , 일반 적 으로 주위 분위기 ( 대기 중 ) 나 질소 분위기 로 하 면 좋 다 . 또한 , 전면 ( 全面 ) 에 막 을 형성 하 는 경우 에 는 , 전면 노광 하 면 좋 다 . 본 발명 에 있 어서 는 , 패턴 막 이란 , 이러 한 전면 에 막 이 형성 된 경우 도 포함 하 는 것 이 다 .