핸드 ( 13 A , 13 B ) 는 , 아래 로부터 보유 지지 함 으로써 판 형상 의 워크 ( 50 ) 를 수평 상태 로 유지 한 채 반송 할 수 있 도록 복수 의 봉 형상 부재 를 평행 으로 배치 한 포크 형 의 형상 으로 되 어 있 다 . 워크 ( 50 ) 를 보유 지지 하 는 상태 에서 핸드 ( 13 A , 13 B ) 는 , 제 2 암 ( 12 A , 12 B ) 과 의 접속 위치 인 밑동 측 을 제외 하 고 워크 ( 50 ) 의 전체 가 워크 ( 50 ) 에 의하 여 덮인다 . 핸드 ( 13 A , 13 B ) 는 , 로드 로크 실 등 에 수납 되 어 있 는 워크 ( 50 ) 를 취 출하 여 핸드 ( 13 A , 13 B ) 상 에 보유 지지 하 거나 , 보유 지지 하 고 있 는 워크 ( 50 ) 를 로드 로크 실 내 등 에 수납 할 때 워크 ( 50 ) 에 대하 여 전진 또는 후퇴 하 는데 , 이 핸드 ( 13 A , 13 B ) 의 전진 하 거나 후퇴 하 는 방향 은 , 봉 형상 부재 가 연장 되 는 방향 과 평행 인 방향 으로 한다 . 핸드 ( 13 A , 13 B ) 의 좌우 방향 , 즉 , 전후 방향 에 직교 하 는 방향 에서 의 폭 은 , 반송 대상 인 워크 ( 50 ) 의 좌우 방향 의 폭 보다 도 짧 게 되 어 있 다 .