제 2 기판 감지 센서 ( 160 ) 는 제 1 , 2 기판 안 치부 ( 124 , 134 ) 가 기판 을 정확 하 게 안치 하 였을 때 상부 기판 ( S 1 ) 의 암 리스트 쪽 ( 도면 상 왼쪽 ) 단부 에 해당 하 는 리니어 가이드 ( 110 ) 의 제 3 위치 와 하부 기판 ( S 2 ) 의 암 리스트 쪽 ( 도면 상 왼쪽 ) 단부 에 해당 하 는 리니어 가이드 ( 110 ) 의 제 4 위치 사이 에 설치 된다 .