연마제 를 세라믹 기판 ( 100 ) 상 에 연속 적 으로 공급 하 면서 , 복수 의 핀 ( 300 ) 을 세라믹 기판 ( 100 ) 에 접촉 시켜 복수 의 핀 ( 300 ) 으로 초음파 를 인가 할 수 있 다 . 초음파 부 ( 400 ) 에서 초음파 가 발생 되 면 초음파 부 ( 400 ) 와 연결 된 플레이트 ( 200 ) 는 이 에 연동 되 어 진동 되 고 , 플레이트 ( 200 ) 뿐 만 아니 라 플레이트 ( 200 ) 에 부착 된 복수 의 핀 ( 300 ) 들 도 같이 진동 된다 .