여기 서 , D 2 는 레이저 빔 의 단순 중첩 으로 레이저 빔 크기 와 유사 하 거나 , 또는 나선 ( spiral ) 형태 로 레이저 빔 을 이동 시키 면서 가공 함 으로써 레이저 빔 보다 더 크 게 형성 시킬 수 있 다 . 상기 레이저 펄스 는 2 ps 내지 100 ps 범위 일 수 있 으며 , 상기 레이저 펄스 간 중첩 율 은 80 % 내지 100 % 일 수 있 다 .