본 발명 은 기판 얼라 인 장치 ( substrate aligner ) 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 컨베이어 ( conveyor ) 와 로봇 ( robot ) 으로 구성 된 인라인 ( In - line ) 장비 에서 기판 의 회전 이 요구 되 는 경우 에 사용 되 는 회전 수단 ( Turn unit ) 에 기판 얼라 인 장치 를 직접 장착 하 여 얼라 인 공정 에 소요 되 는 공정 시간 을 단축 시킬 수 있 는 기판 얼라 인 장치 및 얼라 인 방법 에 관한 것 이 다 .