도 10 을 참조 하 여 , 개구부 ( 70 ) 의 측벽 및 바닥 을 따라 제 1 도 전체 를 위한 도전 물질 ( 90 ) 을 형성 한다 . 제 1 도 전체 를 위한 도전 물질 ( 90 ) 은 개구부 ( 70 ) 의 바닥 에 형성 된 제 1 부분 ( 90 b ) 과 개구부 ( 70 ) 의 측벽 에 형성 된 제 2 부분 ( 90 s ) 을 포함 할 수 있 다 . 개구부 ( 70 ) 를 채우 도록 제 1 도 전체 를 위한 도전 물질 ( 90 ) 상 에 제 2 절연 물질 ( 100 ) 을 형성 한다 . 제 1 도 전체 를 위한 도전 물질 ( 90 ) 은 제 1 도 전체 ( 95 ) 는 예 를 들 어 질화 티타늄 으로 형성 될 수 있 다 .