상기 CMP 공정 결과 , 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 의 상면 의 레벨 및 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 ) 의 상면 의 레벨 은 동일 할 수 있 으며 , 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 의 상면 의 레벨 및 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 ) 의 상면 의 레벨 은 그 주위 의 게이트 절연 캡 핑 층 ( 128 ) 의 상면 의 레벨 과 동일 할 수 있 다 .