즉 , 종래 는 1 장 의 SAW 디바이스 용 웨이퍼 에 는 1 장 의 고가 인 압전체 기판 이 사용 되 고 있 었 다 . 이 에 반해서 본 발명 의 복합 압 전 기판 은 1 장 의 SAW 디바이스 용 웨이퍼 를 제조 하 기 위해서 1 장 의 저렴 한 Si 기판 과 압전체 박막 만 을 재료 로 하 고 , 이 압 전 박막 은 1 장 의 압전체 기판 으로부터 수십 장 ~ 수백 장 얻 을 수 있 으므로 , 재료 의 사용량 으로서 는 무시 할 수 있 을 정도 의 양 으로 억제 할 수 있 다 . 이 때문 에 희소 하 며 고가 인 Li 나 Ta 등 의 사용량 을 억제 할 수 있 어 , 환경 부하 가 작 고 저렴 한 압 전 기판 을 얻 을 수 있 다 .