이러 한 공정 은 , 상기 회 전부 ( 4 ) 또는 상기 챔버 부 ( 5 ) 에 설치 되 는 이송 수단 이 테스트 된 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 를 상기 제 2 챔버 ( 53 ) 에서 상기 회 전부 ( 4 ) 로 이송 한 후 에 , 상기 회 전부 ( 4 ) 가 테스트 된 반도체 소자 들 이 수납 된 테스트 트레이 ( T ) 를 수직 상태 에서 수평 상태 로 회전 시킴 으로써 이루어질 수 있 다 .