그리고 , 상기 퍼지 가스 ( PG ) 는 미 반응 소스 가스 ( S 1 , S 2 ) 와 증착 공정 에서 발 생하 는 부산물 을 퍼지 시키 기 위한 가스 로서 , 상기 소스 가스 ( S 1 , S 2 ) 및 상기 웨이퍼 ( W ) 와 화학 적 으로 반응 이 발생 하 지 않 는 가스 를 사용 한다 . 예 를 들 어 , 상기 퍼지 가스 ( PG ) 로 는 아르곤 ( Ar ) 또는 질소 가스 ( N 2 ) 와 같 은 불활성 가스 를 사용 할 수 있 다 .