한편 , CD ( Critical Dimension ) 가 작 고 깊이 가 깊 은 딥 콘 택 홀 ( deep contact hole ) 의 경우 , 콘 택 홀 식각 시 패턴 왜곡 이 발생 되 어 슬로프 ( slope ) 를 갖 고 식각 되게 되 면 , 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 콘 택 홀 을 식각 한 이후 에 콘 택 홀 의 바텀 ( bottom ) 부 가 보이 지 않 으며 , 이 로 인해 하부 패턴 과 콘 택 홀 간 오버레이 정도 및 콘 택 홀 낫 오픈 여부 를 확인 하 기 어렵 다 .