이 어 , 도 2 d 에서 와 같이 , 구리 배선 막 ( 208 ) 과 의 프로 빙 을 위해 알루미늄 패드 막 을 증착 시키 게 된다 . 이때 종래 구리 배선 막 상부 의 알루미늄 패드 막 증착 에 있 어서 는 TiSiN ( 100 Å ) / Al / Ti ( 50 Å ) / TiN ( 360 Å ) 의 적층 구조 로 하 고 있 으나 , 이 와 같 은 구조 에서 는 구리 배선 막 의 확산 을 제대로 방지 시키 지 못해 상기 도 1 에서 와 같이 알루미늄 패드 막 으로 구리 가 확산 되 거나 구리 보이드 가 발생 하 였음은 전술 한 바 와 같 다 .