제 1 여 과부 ( 202 ) 에 는 제 1 필터 ( 204 ) 가 구비 되 어 액상 의 재료 물질 에 포함 된 불순물 을 제거 한다 . 제 1 필터 ( 204 ) 는 0 . 01 내지 0 . 1 ㎛ 의 크기 를 갖 는 여 과망 을 포 함 하 며 , 상기 여 과망 은 소수성 ( hydrophobic ) 을 가진 물질 , 예 를 들 면 UPE ( ultra - high molecular weight polyethylene ) 류 의 물질 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 제 1 필터 ( 204 ) 를 소수성 물질 로 형성 함 으로써 , 액상 물질 에 포함 된 겔 과 파티클 등 의 이 물질 을 효과 적 으로 제거 할 수 있 다 . 이 로써 , 미세 한 기포 나 겔 로 인하 여 발생 할 수 있 는 패턴 결함 을 방지 할 수 있 다 .