도 13 은 질 프로브 ( 10 ) 의 상면 단면도 이 고 , 도 14 는 측면 단면도 로서 , 이 들 은 상기 프로브 헤드 ( 106 ) 의 안쪽 꼭대기 를 덮 는 진공 개구 ( 112 ) 를 선택 적 으로 보여준다 . 상기 진공 개구 ( 112 ) 는 상기 진공 통로 ( 113 ) 를 경유 하 여 나사산 포트 ( 118 ) 로 연결 되 는 작 은 모세관 구멍 이 고 , 상기 나사산 포트 ( 118 ) 는 상기 몸체 ( 102 ) 의 후방 으로 개방 되 어 있 다 . 작동 에 있 어서 , 외부 진공 소스 에 의해서 음 의 진공 이 상기 나사산 포트 ( 118 ) 에 가해 지 면 상기 진공 개구 ( 112 ) 는 질 벽 조직 을 끌어당겨 보유 한다 . 음압 을 가함 에 따라 , 상기 질 조직 은 상기 프로브 헤드 ( 106 ) 에 대하 여 빨려 들어가 고 , 따라서 상기 프로브 ( 10 ) 의 슬라이딩 움직임 이 방지 된다 . 상기 음압 은 모니터링 되 어 일정 하 게 유지 되 는 것 이 바람직 하 며 , 이 는 상업 적 인 진공 소스 가 공급 되 는 압력 게이지 를 통해서 쉽 게 수행 될 수 있 다 . 이 와 같 은 방식 으로 상기 프로브 ( 10 ) 를 안정 화 시키 게 되 면 상기 프로브 ( 10 ) 에 대한 메시 안정 장치 ( 30 ) 의 도킹 동작 이 용이 하 게 된다 . 도 13 은 상기 스템 ( 115 ) 으로 안내 하 는 축 개구부 ( 160 ) 앞 에 즉시 위치 하 는 고정 기구 ( 170 ) 를 보여준다 .