박리 계기 형성 공정 을 실시 한 후 , 박리 층 ( 22 ) 을 계면 으로 하 여 잉곳 ( 2 ) 의 일부 를 박리 하 고 웨이퍼 를 생성 하 는 웨이퍼 생성 공정 을 실시 한다 . 웨이퍼 생성 공정 은 , 예 를 들 어 도 8 에 나타내 는 박리 장치 ( 24 ) 를 사용 하 여 실시 할 수 있 다 . 박리 장치 ( 24 ) 는 , 액체 ( 26 ) 를 수용 하 는 액 조 ( 28 ) 와 , 액 조 ( 28 ) 내 에 배치 된 초음파 진동판 ( 30 ) 과 , 초음파 진동판 ( 30 ) 에 초음파 진동 을 부여 하 는 초음파 진동 부여 수단 ( 32 ) 을 구비 한다 .