그리고 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 은 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 를 부분 적 으로 만 밀폐 시키 거나 개구 ( 150 x ) 에 0 . 5 mm ~ 1 . 0 mm 이내 로 근접 한 경우 에 는 , 도 13 b 에 도시 된 압력 측정값 의 하강 기울기 에 비하 여 완만 하 지만 , 정상 적 으로 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 는 경우 에 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 이 설정 압력 ( Po ) 에 도달 하 는 데 까지 소요 되 는 시간 ( t 1 ) 에 비해서 는 여전히 더 짧 은 시간 ( Te ) 내 에 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 이 설정 압력 ( Po ) 에 도달 하 게 된다 .