그 후 , 재차 검출 공정 ( 단계 S 32 ) 으로부터 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 34 ) 을 행하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 어긋남 량 을 보정 할 수 있 다 . 재차 검출 공정 ( 단계 S 32 ) , 재차 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 33 ) 및 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 34 ) 은 , 검출 공정 ( 단계 S 23 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 24 ) 및 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 26 ) 의 각각 과 같 은 식 으로 행할 수 있 다 .