또한 , 본 발명 은 , 연마 공정 중 에 압력 챔버 ( Cs , C 2 , C 3 , C 4 ) 에 공급 하 는 공 압 공급 로 ( 155 ) 와 별개 인 제 1 통로 ( 129 ) 내 의 제 1 압력 센서 ( 129 S ) 와 그 개구 ( 130 x ) 의 제 1 접촉 센서 ( 128 ) 중 어느 하나 이상 을 이용 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 척 킹 파지 상태 를 감지 하 므로 , 다른 구성 요소 와 의 간섭 에 의한 오작동 및 신호 오류 의 문제 가 발생 되 지 않 으며 , 감지 정확 성 을 보다 향상 시키 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .