반도체 디바이스 나 LCD ( Liquid Crystal Display ) 기판 의 제조 프로세스 에서 는 , 장치 내 에 기판 ( 이하 , 「 웨이퍼 」 라고 도 함 ) 에 대하 여 처리 를 행하 는 처리 모듈 을 복수 개 설치 하 여 , 이 들 처리 모듈 에 기판 반송 장치 에 의해 기판 을 순차 반송 함 으로써 , 소정 의 처리 가 이루어지 고 있 다 . 기판 반송 장치 는 , 예컨대 기판 을 유지 하 는 포크 가 베이스 를 따라서 진퇴 가 자유 롭 게 설치 되 고 , 기판 이 수직 축 둘레 로 회전 이 자유 롭 고 , 승강 이 자유 롭 게 구성 되 어 있 다 .