본 발명 의 일 측면 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 은 이 에프 이 엠 ( EFEM ) 에 연결 되 면서 , 상기 이 에프 이 엠 의 내부 에서 이동 되 는 웨이퍼 가 일정 시간 동안 수용 될 수 있 는 웨이퍼 수용 카세트 부재 와 , 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 의 하부 에서 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 를 지지 하 는 하부 케이스 부재 를 포함 하 는 사이드 스토리지 에 적용 되 고 , 상기 웨이퍼 가 수용 된 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 내부 에 퍼지 가스 가 분사 되 어 상기 웨이퍼 의 퓸 ( fume ) 이 제거 됨 으로써 상기 웨이퍼 를 경유 한 상기 퍼지 가스 와 상기 퓸이 혼합 되 고 , 상기 웨이퍼 를 경유 한 상기 퍼지 가스 와 상기 퓸이 혼합 되 어 형성 되 는 배기 대상 가스 를 외부 로 배출 시키 기 위한 것 으로서 , 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 중 상기 웨이퍼 가 출입 되 는 방향 인 전면 부 에 배치 되 고 , 그 상면 에 복수 개 의 배기 대상 가스 유입 홀 이 형성 되 어 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 로부터 상기 배기 대상 가스 가 유입 되 는 배기 용 패널 부재 ; 및 상기 배기 용 패널 부재 와 연통 되 어 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 된 상기 배기 대상 가스 를 외부 로 배기 시키 는 배기 용 덕트 부재 ; 를 포함 하 고 , 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 의 내부 에서 형성 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 배기 대상 가스 유입 홀 을 통해 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 되 고 , 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 배기 용 덕트 부재 를 통해 외부 로 배기 되 고 , 복수 개 의 상기 배기 대상 가스 유입 홀 의 길이 는 상기 웨이퍼 의 직경 과 대응 되 는 길이 로 서로 동일 하 게 형성 되 되 , 복수 개 의 상기 배기 대상 가스 유입 홀 의 각 폭 은 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 에 가까운 것 에 비해 상기 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 에서 먼 것 이 상대 적 으로 더 크 게 형성 된 것 을 특징 으로 한다 .