본 발명 은 광학 적 근접 보정 의 검증 방법 에 관한 것 으로서 , 특히 광학 적 근접 보정 의 수정 여부 를 판단 할 때 에러 의 위치 를 구분 하 여 , 새로운 에러 , 및 에러 의 수정 여부 등 을 쉽 게 파악 할 수 있 게 하 여 , 광학 적 근접 보정 을 행한 후 결과 의 검증 작업 을 단순 화 하 고 에러 결과 를 효율 적 으로 분석 할 수 있 게 함 으로써 , 검증 시 소요 되 는 시간 을 단축 시키 고 , 에러 의 능률 적 인 분석 이 가능 하 게 하 는 효과 가 있 다 .