본 발명 의 바람직 한 태양 에 따르 면 , 상기 한 대로 준비 한 미 소결 의 성 형체 를 1500 ~ 1650 ℃ 에서 소결 한다 . 이 온도 범위 내 에서 소결 을 행하 는 것 에 의해 , 액상 소결 이 충분히 진행 하 여 소결 밀도 를 높 게 할 수 있 고 , 스퍼터 막 에 있 어서 비저항 값 최 소시 ( 最小 時 ) 의 투과율 을 높 게 할 수 있 고 , 또한 , SnO 2 의 용융 을 방지 하 여 원 하 는 형상 의 소 결체 의 제작 을 용이 하 게 할 수 있 다 . 바람직 한 소결 온도 는 1550 ~ 1600 ℃ 이 다 . 이 온도 범위 내 에 있 어서 는 , 소 결체 내부 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 기 때문 에 , 소 결체 의 휘어짐 을 효과 적 으로 방지 하 여 생산 성 을 더욱 향상 시킬 수 있 다 .