상기 열 원 ( 20 ) 은 석영 튜브 ( 10 ) 내 에 수트 의 생 성 및 소결 을 유발 하 는 제 1 온도 분포 영역 ( 60 ) 과 , 열 원 ( 20 ) 의 직 전방 에 퇴적 된 수트 내 의 수산기 ( OH ) 제거 를 위한 탈수 반응 을 유발 하 는 제 2 온도 분포 영역 ( 70 ) 을 제공 한다 . 상기 제 1 온도 분포 영역 ( 60 ) 은 수트 의 생 성 및 소결 조건 을 제공 하 여야 한다는 점 을 감안 하 여 전체 적 으로 1700 도 이상 인 온도 분포 영역 을 가진다 . 그리고 , 상기 제 2 온도 분포 영역 ( 70 ) 은 퇴적 된 수트 층 의 탈수 반응 이 활발 하 게 이루어지 는 온도 구간 인 700 도 내지 1200 도 인 것 이 바람직 하 다 .