상기 한 바 와 같이 이루어진 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 를 위한 이재 로봇 시스템 은 , 기판 이재시 카세트 가 일정 한 위치 에 배치 되 지 않 고 이탈 되 는 경우 나 , 이 재 로봇 의 열화 및 로봇 암 의 떨림 등 으로 인해 발생 될 수 있 는 기판 의 충돌 을 방지 하 여 기판 이 파손 되 는 우려 를 획기적으로 방지 할 수 가 있 다 .