프로세스 제 어부 ( 204 ) 는 , DB ( 203 ) 에 저장 된 레시피 에 기초 하 여 , 본체 ( 100 ) 의 각 부 를 제어 함 으로써 , 본체 ( 100 ) 에 레시피 에 규정 된 플 라즈 마 처리 를 실행 시킨다 . 또한 , 프로세스 제 어부 ( 204 ) 는 , 판 정부 ( 202 ) 로부터 플 라즈 마 처리 A , B , 또는 C 의 실행 이 지시 된 경우 , 대응 하 는 레시피 를 DB ( 203 ) 로부터 독 출하 고 , 독 출 된 레시피 에 따라 본체 ( 100 ) 의 각 부 를 제어 한다 .