무 알칼리 유리 기판 을 25 ℃ 로 조정 한 유리 세정 제액 을 샤워 에 의해 20 초간 뿜 으면서 나일론 모 를 갖 는 회전 브러시 로 세정 하 고 , 순수 샤워 세정 후 실란 커플링 액 ( N - β ( 아미노 에틸 ) γ - 아미노 프로필 트리 메 톡 시실 란 0 . 3 질량 % 수용액 , 상품명 : KBM 603 , 신 에 츠 가가 쿠코 교 ( 주 ) 제 ) 을 샤워 에 의해 20 초간 뿜 어 순수 샤워 세정 했 다 . 이 기판 을 기판 예비 가열 장치 에서 100 ℃ 로 2 분 가열 했 다 .