제 1 방향 성분 의 입사광 ( B 2 ) 의 직진 성 을 확인 하 기 위해 제 1 편 광부 ( 20 ) 와 플라 즈 마 챔버 ( 40 ) 사이 에 제공 되 는 적어도 하나 의 조리개 ( I 2 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 플라 즈 마 챔버 ( 40 ) 로 입사 하 는 제 1 방향 성분 의 입사광 ( B 2 ) 은 직진 성 을 가질 수 있 다 .