둘째 , 본 발명 에 따른 반도체 가스 센서 ( 100 ) 는 , 감지 물질 은 금속 산화물 반도체 로서 , SnO 2 를 주물 질 로 하 고 , TiO 2 를 표 1 에 도시 된 바 와 같이 1 ~ 20 중량 % 범위 에서 첨가 하 며 , 감도 와 다른 가스 와 의 선택 성 을 주 기 위하 여 촉매 금속 이 첨가 될 수 있 다 . 이때 , 첨가 되 는 촉매 금속 으로 는 Pd , Pt , In , Ru , Rh 등 이 사용 될 수 있 으며 , 촉매 금속 의 양 은 전체 중량 에서 0 . 5 ~ 2 중량 % 의 범위 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 .