가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 에 유체 적 으로 연결 된 내부 가스 공급 채널 들 을 포함 한다 . 이 내부 가스 공급 채널 들 은 하나 이상 의 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 A / B ) 에 유체 적 으로 연결 된다 . 도 1 a , 도 1 b , 및 도 2 의 실시 형태 들 이 설명 의 용이 를 위해 2 개 의 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 A / B ) 을 나타내 고 있 지만 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 및 챔버 ( 100 ) 의 특정 구성 에 의존 하 여 , 본질 적 으로 임의 의 개수 의 플 라즈 마 프로세스 가스 공급 소스 들 ( 118 A / B / C / D 등 ) 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 플라 즈 마 프로세스 가스 를 공급 하 도록 접속 될 수 있 음 을 이해 해야 한다 . 또한 , 내부 가스 공급 채널 들 및 연관 된 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 은 , 플라 즈 마 프로세스 가스 가 쓰루 홀 들 ( 117 ) 을 통해 진입 하 기 전 에 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 분배 되 도록 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 배열 사이 에 정의 됨 을 알 아야 한다 .