도 12 의 제 2 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 은 , 도 11 의 제 2 실시 형태 에 따른 클리닝 공정 과 동일 처리 에 동일 스텝 번호 를 붙이 고 있 다 . 즉 , 도 12 의 제 2 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 에서 는 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 을 , 제 2 클리닝 공정 ( 스텝 S 12 ) 전 에 행한다 . 즉 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) , 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 및 제 2 클리닝 공정 ( 스텝 S 12 ) 의 순서 로 각 공정 을 소정 횟수 X 행한다 ( 스텝 S 17 ) . 또한 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 을 , 소 루프 처리 로서 이 순서 로 소정 횟수 Y 행한다 ( 스텝 S 18 ) . 달리 말 하 면 , 예 를 들 어 , 횟수 Y 의 스텝 S 15 ∼ S 16 , 및 스텝 S 12 를 이 순서 로 횟수 X 행한다 .