그런데 , 특히 산화물 반도체 에 있 어서 는 , 수소 가 캐리어 원 이 되 는 것 이 지적 을 받 고 있 다 . 그래서 , 산화물 반도체 를 형성 할 때 수소 가 혼입 되 지 않 도록 하 는 조치 를 취하 는 것 이 요구 된다 . 또한 , 산화물 반도체 뿐 만 이 아니 라 , 산화물 반도체 에 접하 는 게이트 절 연막 의 수소 를 저감 시킴 으로써 , 임계 값 전압 의 변동 을 저감 한다 ( 특허 문헌 3 참조 ) .