복수 의 척 들 ( 210 ) 은 공정 챔버 ( 201 ) 의 내부 에 상호 평행 하 게 수직 으로 적층 되 어 상호 이격 되 도록 배치 된다 . 복수 의 척 들 ( 210 ) 은 디스크 형상 을 가질 수 있 다 . 복수 의 척 들 ( 210 ) 은 복수 의 기판 들 ( W ) 의 이면 과 각각 접촉 하 여 기판 처리 공정 이 진행 되 는 동안 기판 들 ( W ) 을 지지 한다 . 따라서 , 상기 기판 처리 공정 이 진행 되 는 동안 기판 들 ( W ) 의 이면 은 전체 적 으로 복수 의 척 들 ( 210 ) 과 각각 접촉 함 으로써 , 기판 의 이면 에 대한 예기 치 않 은 박막 형성 이 억제 될 수 있 다 .