상기 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 분할 예정 라인 ( 14 ) 을 따라 웨이퍼 ( 10 ) 의 내부 에 개질 층 ( 18 ) 을 형성 하 였 다면 , 웨이퍼 ( 10 ) 를 흡인 유지 하 고 있 는 척 테이블 ( 35 ) 을 , 도 1 에 나타내 는 반 출입 위치 에 위치 시키 고 , 척 테이블 ( 35 ) 을 도시 되 지 않 은 회전 구동 수단 의 작동 에 의해 회전 시킴 으로써 , 가공 전 에 웨이퍼 ( 10 ) 를 척 테이블 ( 35 ) 상 에 재치 했 을 때 의 방향 으로 위치 시킨다 . 이어서 , 반 출입 기구 ( 50 ) 를 작동 하 고 , 구동 기구 ( 52 ) , 아암 기대 ( 53 ) , 아암 기구 ( 54 ) , 로봇 핸드 ( 55 ) 등 을 작동 하 여 , 척 테이블 ( 35 ) 상 에 유지 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 흡착 하 여 , 제 1 카세트 ( 42 ) 의 소정 의 위치 에 수용 한다 .