도 5 c 를 참조 하 면 , 제 2 소스 물질 ( SM 2 ) 을 기판 ( 100 ) 상 에 제공 하 는 단계 의 이후 , 그리고 상기 산화제 를 제공 하 는 단계 의 이전 에 상기 전자 공여 화합물 ( ED ) 을 공급 하 는 단계 를 더 포함 하 는 점 을 제외 하 면 도 5 a 에 예시 한 공급 사이클 과 실질 적 으로 동일 하 다 . 따라서 이하 에서 는 이러 한 차이점 을 중심 으로 설명 하 고 중복 되 는 설명 은 생략 한다 .