한편 , 기타 첨가제 로서 , 0 . 02 ∼ 5 wt % ( 0 . 05 ∼ 3 wt % recommended ) 의 염소 계 화합물 은 Cl - 1 로 해리 될 수 있 는 화합물 이 다 . 이때 , 상기 염소 계 화합물 로 는 , KCl , HCl , LiCl , NH 4 Cl , NaCl , FeCl 3 , FeCl 2 , CaCl 2 , NiCl 2 , ZnCl 2 , AlCl 3 , BaCl 2 , BeCl 2 , BiCl 3 , CdCl 2 , CsCl 2 , H 2 PtCl 6 , CrCl 3 , 등 이 고 , 이 중 에서 KCl , HCl 이 바람직 하 다 . 이때 , 상기 염소 계 화합물 은 비정질 아이티오 ( ITO ) 의 식각 속도 를 조절 해 주 며 , Mo 단일 막 과 Mo / Al - Nd 이 중막 의 식각 속도 를 조절 해 준다 . 또한 , 상기 염소 계 화합물 함량 이 상기 범위 내일 경우 , Mo / AlNd 이중 막 에서 하 부막 인 AlNd 의 언더컷 ( undercut ) 현상 을 발생 시키 지 않 을 뿐 만 아니 라 , 비정질 ITO 와 Mo 단일 막 에서 도 우수 한 프로 파일 을 형성 하 고 , 식각 속도 를 조절 해 준다 .