계속 해서 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 을 홈 위치 에 위치 시킨 후 , 도 11 B 에 나타내 는 바 와 같이 , 덮개 체 ( 7 ) 및 지지 부재 ( 71 ) 를 반송 위치 까지 상승 시켜 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 지 지 부재 ( 71 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 반입 한다 . 이어서 , 덮개 체 ( 7 ) 및 지지 부재 ( 71 ) 를 하강 시켜서 , 덮개 체 ( 7 ) 에 의해 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 막 아 구획 공간 ( S ) 을 형성 한다 . 이때 , 구획 공간 ( S ) 은 배기 로 ( 79 a ) 를 통하 여 진공 배기 유닛 ( 79 ) ( 도 10 ) 에 의해 배기 되 며 , 유로 ( 41 b ) 에 소정 온도 로 조정 된 온도 조정 유체 가 공급 되 어 있 다 .