본 발명 은 높 은 편광 소광 특성 을 지니 는 집 적 광학 소자 및 이 에 사용 되 는 공간 필터 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 본 발명 은 기판 의 상면 에 길 이 방향 으로 도파 로 가 형성 되 고 , 상기 기판 의 하면 에 그루브 가 형성 되 며 , 이 그루브 를 이루 는 적어도 일부 의 표면 에 비정질 영역 및 마이크 로 크랙 이 형성 된 것 을 특징 으로 하 는 집 적 광학 소자 를 제공 한다 . 또한 , 본 발명 은 집 적 광학 소자 기판 의 일 면 에 그루브 를 형성 하 는 단계 와 , 상기 그루브 를 이루 는 적어도 일부 의 표면 을 레이저 조사 에 의해 비정질 화 시키 고 이 비정질 화 된 표면 에 마이크 로 크랙 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 여 이루어진 것 을 특징 으로 하 는 집 적 광학 소자 용 공간 필터 의 제조 방법 을 제공 한다 .