마이크 로 요동 소자 어레이 Y 1 은 , 복수 ( 본 실시 형태 에서 는 4 개 ) 의 마이크 로 요동 소자 X 1 을 포함 하 여 이루어진다 . 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 1 에서 , 복수 의 마이크 로 요동 소자 X 1 은 축심 A 1 의 방향 으로 일렬 로 ( 즉 일차원 적 으로 ) 배치 되 어 있 다 . 따라서 , 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 1 에서 는 , 복수 의 미러 면 ( 11 a ) 은 축심 A 1 의 방향 으로 일렬 로 배치 되 어 있 다 .