그러나 도 2 에 도시 된 바 와 같이 본 발명 의 제 1 실시 예 에서 는 플 라즈 마 불꽃 ( 18 ) 이 중력 과 수직 인 수평면 과 실질 적 으로 평행 하 게 기판 ( 1 ) 에 분사 된다 . 그리고 기판 ( 1 ) 역시 중력 의 방향 으로 배열 된다 . 따라서 기판 ( 1 ) 에 의해서 반사 된 산란 입자 ( 18 a ) 들 은 기판 ( 1 ) 에 재 흡착 됨 없이 자유 낙하 하 게 된다 . 결과 적 으로 산란 입자 ( 18 a ) 들 이 기판 ( 1 ) 에 재 흡착 되 지 않 기 때문 에 코팅 층 ( 19 ) 의 코팅 밀도 를 증가 시킬 수 있 으며 누설 전류 의 발생 이라든지 코팅 층 ( 19 ) 이 기판 ( 1 ) 으로부터 벗겨지 는 현상 등 이 발생 하 지 않 게 되 거나 그러 한 현상 들 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 다 .