도 11 및 도 12 를 참조 하 면 , 세 정조 ( 210 ) 에 는 히팅 열선 들 ( 280 ) 이 설치 된다 . 상기 히팅 열선 들 ( 280 ) 은 초음파 발생 판 ( 220 ) 을 경계 로 쌍 을 이루 어 배치 된다 . 상기 히팅 열선 ( 280 ) 은 외부 의 전류 제 공기 로부터 전류 를 제공 받 아 일정 온도 로 가열 되 어 세정액 ( 1 ) 을 가열 한다 . 즉 상기 히팅 열선 ( 280 ) 은 가열 정도 에 따라 세정액 ( 1 ) 의 온도 를 가변 적 으로 제어 할 수 있 다 .