특허 문헌 1 에 기재 된 반송 장치 와 같 은 반송 장치 에서 는 , 제 1 암부 및 제 2 암부 의 길이 를 길 게 하 면 , 반송 암 이 펴져 있 을 때 의 반송 암 의 전후 방향 의 길이 를 길 게 할 수 있 기 때문 에 , 핸드 에 탑재 되 는 반도체 웨이퍼 를 전후 방향 에 있 어서 문형 프레임 으로부터 보다 이격 되 어 있 는 위치 까지 반송 하 는 것 이 가능 하 게 된다 . 한편 , 이 반송 장치 의 경우 , 제 1 암부 및 제 2 암부 의 길이 를 길 게 하 면 , 펴져 있 는 반송 암 이 오그라들 때 , 제 1 암부 와 제 2 암부 의 연결 부분 이나 제 2 암부 와 핸드 의 연결 부분 이 문형 프레임 의 지주 에 간섭 할 우려 가 생긴다 .