공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 기 위한 지지 부재 ( 200 ) 가 설치 된다 . 지지 부재 ( 200 ) 는 정전기력 을 이용 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 고정 할 수 있 는 정전 척 ( ESC ) 이 사용 될 수 있 으며 , 선택 적 으로 기계 적 인 구조 를 통하 여 클램 핑 이 가능 한 기계 척 또는 진공 으로 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 하 는 진공 척이 사용 될 수 있 다 . 한편 , 지지 부재 ( 200 ) 에 는 플 라즈 마 상태 의 소스 가스 를 웨이퍼 ( W ) 로 유도 할 수 있 도록 바이어스 전원 이 인가 될 수 있 다 .