다양 한 액 적 분사기 구성 및 그 의 상대 적 인 이점 에 관한 보다 상세 한 사항 들 은 그 각각 의 내용 이 본문 에 참조 에 의해 통합 된 , Attorney Docket 번호 2007 - 0030 - 01 , " "" 변조 된 교란 파 를 이용 하 여 산출 된 액적 스트림 을 구비 한 레이저 산출 플 라즈 마 EUV 광원 "" 이 라는 제하 의 ", 2007 년 7 월 13 일 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 번호 제 11 / 827 , 803 , Attorney Docket 번호 2005 - 0085 - 01 , " "" 프리 - 펄스 를 가진 레이저 산출 플 라즈 마 EUV 광원 "" 이 라는 제하 의 ", 2006 년 2 월 21 일 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 번호 제 11 / 358 , 988 , Attorney Docket 번호 2004 - 0008 - 01 , " "" EUV 플 라즈 마 소스 타 겟 전달 용 방법 및 장치 "" 이 라는 제하 의 ", 2005 년 2 월 25 일 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 번호 제 11 / 067 , 124 , 및 Attorney Docket 번호 2005 - 0003 - 01 , " "" LLP EUV 플 라즈 마 소스 재료 타 겟 전달 시스템 "" 이 라는 제하 의 ", 2005 년 6 월 29 일 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 번호 제 11 / 174 , 443 에서 찾 을 수 있 다 .