상기 제 1 질화 공정 에 있 어서 , 도 20 에 화살표 로 도시 한 바 와 같이 상기 제 2 반응 가스 에 포함 된 질소 원자 들 이 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 의 하부 에 축적 되 어 대 상체 ( 250 ) 와 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 사이 에 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 을 형성 한다 . 보다 상세 하 게 는 , 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 의 하부 에 상기 질소 원자 들 이 축적 됨 에 따라 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 의 하부 가 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 으로 변화 되 는 한편 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 이 제 2 예비 산화 막 ( 260 ) 으로 변화 된다 . 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 의 하부 가 변화 되 어 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 이 형성 되 기 때문 에 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 의 상면 은 대 상체 ( 250 ) 의 최초 의 표면 ( S 4 ) 아래 에 위치 한다 . 제 2 예비 산화 막 ( 260 ) 의 두께 는 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 의 두께 에 비하 여 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 의 두께 만큼 감소 된다 .