건식 디 스미 어 처리 로서 는 , 예 를 들 어 , 플 라즈 마 를 사용 한 디 스미 어 처리 등 을 들 수 있 다 . 플 라즈 마 를 사용 한 디 스미 어 처리 는 , 시판 의 플 라즈 마 디스 미어 처리 장치 를 사용 하 여 실시 할 수 있 다 . 시판 의 디 스미 어 처리 장치 중 에서 도 , 프린트 배 선판 의 제조 용도 에 적합 한 예 로서 , 닛신 사 제조 의 마이크로파 플 라즈 마 장치 , 세 키스 이 카 가 쿠코 교사 제조 의 상압 플 라즈 마 에칭 장치 등 을 들 수 있 다 .