몇몇 실시 예 들 에 따른 반도체 장치 에서 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 제 8 폭 ( W 31 ) 은 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 제 9 폭 ( W 32 ) 과 같 을 수 있 다 . 제 5 하부 패턴 ( 510 ) 의 상면 및 제 5 더미 패턴 적층 체 ( 515 _ 1 ) 의 최상면 사이 에서 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 제 2 부분 의 폭 ( W 33 ) 은 제 5 하부 패턴 ( 510 ) 의 상면 에서 멀 어 짐 에 따라 증가 하 다가 감소 할 수 있 다 .