트랩 질화 막 ( 24 B ) 은 600 내지 700 ℃ 의 온도 에서 질화 막 을 50 내지 70 Å 의 두께 로 증착 하 여 형성 할 수 있 고 , 블록 산화 막 ( 24 C ) 은 원자 증착 법 ( Atomic Layer Deposition ) 으로 Al 2 O 3 을 120 내지 180 Å 의 두께 로 증착 한 후 에 500 내지 700 ℃ 의 온도 에서 20 내지 40 분 간 어닐링 하 여 형성 할 수 있 다 .