이 와 같이 , 집광기 ( 54 ) 를 0 . 2 mm 상승 시키 고 , 집광기 ( 54 ) 와 척 테이블 ( 32 ) 을 상대 적 으로 이동 시킨 다음 , 웨이퍼 ( 11 ) 에 레이저 빔 ( L ) 을 조사 하 는 것 을 순차 반복 한다 . 이 에 따라 , 제 1 높이 ( Z 1 ) 로부터 제 2 높이 ( Z 2 ) 까지 , 합계 21 ( = ( 2 . 0 mm + 2 . 0 mm ) / 0 . 2 mm + 1 ) 부분 이 상이 한 높이 에 집광기 ( 54 ) 를 위치 시켜서 , 웨이퍼 ( 11 ) 에 레이저 빔 ( L ) 을 조사 한다 .