상기 식각 액 조성물 은 ( A ) 불 산 ( HF ) 을 포함 하 지 않 는 불소 계 화합물 , ( B ) 유기산 , ( C ) 고리 내 질소 를 포함 하 는 3 차 아민 화합물 및 ( D ) 물 을 포함 하 는 식각 액 조성물 제조 용 예비 - 조성물 ( pre - composition ) 에 ( E ) 과 산화수소 를 첨가 하 여 제조 되 는 것 일 수 있 다 .