또한 , 고주파 전원 ( 273 ) 에 부설 된 정합 기 ( 274 ) 가 공진 코일 ( 212 ) 에서 발생 하 는 임피던스 의 부정합 에 의한 반사파 전력 을 고주파 전원 ( 273 ) 측 에서 보상 하 여 , 실효 부하 전력 의 저하 를 보완 하 기 때문 에 , 공진 코일 ( 212 ) 에 대하 여 항상 초기 의 레벨 의 고주파 전력 을 확실 하 게 공급 할 수 있 어 , 플라스마 를 안정 시킬 수 있 다 . 따라서 , 기판 처리 공간 ( 201 b ) 에서 보유 지지 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 일정 레이트 이 면서 또한 균일 하 게 처리 할 수 있 다 .