액침 노광 장치 ( 410 ) 와 스핀 드라이 장치 ( 430 ) 는 이송 장치 ( 420 ) 에 의해 연결 된다 . 이송 장치 ( 420 ) 의 예 로서 는 컨베이어 벨트 를 들 수 있 다 . 이 외 에 도 웨이퍼 를 이송 할 수 있 는 다양 한 방법 이 존재 할 수 있 으며 , 해당 기술 분야 의 숙련 된 당업자 라면 하 기 의 특허 청구 범위 에 기재 된 본 발명 의 사상 을 충족 하 는 것 임 을 쉽 게 알 수 있 다 .