도 1 및 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 웨트 에칭 장치 ( 이하 , 단순히 ' 에칭 장치 ' 라고 함 ) ( 1 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 수평 자세 로 연직 축 둘레 로 회전 가능 하 게 유지 하 는 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 와 , 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W ) 의 주위 를 둘러싸 고 웨이퍼 ( W ) 로부터 비산 한 처리 액 을 받 는 컵 체 ( 2 ) 와 , 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 주연 부 의 상방 에 위치 하 는 링 형상 의 방호벽 ( 52 ) 을 가지 는 커버 부재 ( 5 ) 와 , 커버 부재 ( 5 ) 를 승강 시키 는 승강 기구 ( 이동 기구 ) ( 6 ) 와 , 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W ) 로 처리 유체 를 공급 하 는 처리 유체 공급 부 ( 7 ) 를 구비 하 고 있 다 .