반도체 막 ( 42 ) 은 실리콘 , 게르마늄 등 을 포함 하 는 비정질 반도체 막 혹은 미결정 반도체 막 을 형성 한다 . 미결정 반도체 막 으로서 는 결정 입경 이 0 . 5 nm 내지 100 nm , 바람직 하 게 는 1 nm 내지 20 nm 의 미결정 반도체 막 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 반도체 막 ( 42 ) 이 미결정 반도체 막인 경우 , 미결정 반도체 막 에 비정질 반도체 성분 이 포함 되 어도 좋 다 . 반도체 막 ( 42 ) 의 막 두께 는 1 nm 내지 100 nm , 바람직 하 게 는 2 nm 내지 20 nm , 바람직 하 게 는 5 nm 내지 10 nm 로 한다 .