도 6 은 , 도 4 의 플 라즈 마 처리 시스템 ( 400 ) 의 특징 들 중 대부분 을 포함 하 는 플 라즈 마 처리 시스템 ( 470 ) 의 일부 를 예시 하 는 개략 적 인 단면도 이 다 . 그러나 , 시스템 ( 470 ) 은 공동 ( 467 ) 의 바닥 에 전도성 플레이트 를 포함 하 지 않 는다 . 시스템 ( 470 ) 에 사용 되 는 구성 요소 들 이 , 시스템 ( 400 ) 에 사용 되 는 구성 요소 들 과 동일 하 기 때문 에 , 그러 한 구성 요소 들 에 대해 동일 한 참조 번호 들 이 사용 되 지만 , 전기 적 거동 이 상이 하 기 때문 에 , 치수 들 중 일부 는 상이 하 게 표시 된다 . 이제 , d 21 은 공동 ( 467 ) 의 공기 갭 높이 를 나타내 고 , d 22 는 유전체 플레이트 ( 469 ) 의 두께 를 나타낸다 .