게이트 밸브 ( GV ) ( 149 ) 는 , 도 2 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 마다 마련 된다 . 구체 적 으로 는 , 기판 처리 장치 ( 100 a ) 와 TM ( 1006 ) 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 149 a ) 가 , 기판 처리 장치 ( 100 b ) 와 의 사이 에 는 GV ( 149 b ) 가 마련 된다 . 기판 처리 장치 ( 100 c ) 와 의 사이 에 는 GV ( 149 c ) 가 , 기판 처리 장치 ( 100 d ) 와 의 사이 에 는 GV ( 149 d ) 가 마련 된다 .