단계 S 24 에서 , 단계 S 23 에서 얻 어 진 압인 프로 파일 을 제어 유닛 ( 11 ) 에 미리 저장 되 는 기준 위치 압인 프로파일 에 부여 함 으로써 , 임의 의 주어진 샷 영역 이 적절 한 높이 에 있 도록 제어 를 행하 고 , 임프 린트 단계 를 행한다 . 이 와 같이 , 설정 된 위치 압인 프로파일 에 따라 , 미리 결정 된 샷 영역 에서 패턴 을 형성 할 수 있 다 .