카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 는 , 도 3 의 화살표 AR 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 를 Z 축 방향 으로 구동 한다 . 여기 서 , 카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 는 , 통상 , Z 축 방향 이동 부재 ( 331 ) 의 Z 축 방향 의 이 동량 과 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 의 Z 축 방향 의 이 동량 이 동일 해 지 도록 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 를 이동 시킨다 . 이 와 같이 하 여 , 헤드 ( 33 H ) 의 Z 축 방향 으로 의 이 동시 에 있 어서 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 의 촬영 대상 부분 이 이동 전후 에 변함없 도록 하 고 있 다 . 다만 , 카메라 Z 방향 구동 부 ( 363 ) 는 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 의 Z 축 방향 의 이 동량 이 Z 축 방향 이동 부재 ( 331 ) 의 Z 축 방향 의 이 동량 과 상이 하 도록 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 를 이동 시키 는 경우 가 있 다 . 이 경우 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 와 미러 ( 337 ) 의 Z 방향 에 있 어서 의 상대 위치 가 각각 변화 되 기 때문 에 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 에 의한 칩 ( CP ) 및 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 촬영 대상 부분 이 변경 된다 .