한편 , 상기 실시 예 3 에서 는 , 클리닝 가스 로서 F 2 가스 를 단독 으로 , 또는 불활성 가스 로 희석 된 F 2 가스 를 단독 으로 이용 하 는 예 에 대하 여 설명 했 는데 , 실시 예 3 의 방법 , 즉 , LTP ＋ 드라이클리닝 사양 에 의한 성막 에 관해서 는 , 클리닝 가스 로서 F 2 대신 에 , ClF 3 나 NF 3 등 의 할로겐 계 가스 ( 불소 계 가스 ) 를 이용 하 는 일 도 가능 하 다 .