또한 , 본 실시 예의 미세 접촉 인쇄 장치 ( 100 ) 는 감쇠 장치 를 더 구비 한다 . 즉 , 감쇄 장치 는 외부 변동 에 의해서 균일 한 접촉 이 어려워 지 거나 , 진동 및 변형 이 발생 되 는 것 을 방지 하 기 위해 설치 된다 . 감쇄 장치 는 미세 접촉 인쇄 장치 ( 100 ) 의 아랫 쪽 에 해당 하 는 구성 요소 인 프레임 ( 130 ) 또는 변위 이 동부 ( 140 ) 에 연계 되 어 설치 된다 . 감쇄 장치 는 석정 반 과 공 압 베어링 이 결합 된 방식 으로 구성 된다 .