본 발명 은 카세트 내부 에 기판 의 존재 여부 를 판단 할 수 있 는 카세트 세정 장치 에 관한 것 으로 , 기판 을 수납 하 기 위한 카세트 가 안착 되 는 스테이지 와 상기 스테이지 에 안착 된 카세트 의 무게 를 측정 하 기 위한 적어도 하나 의 무게 측 정부 와 , 그리고 , 상기 무게 측 정부 로부터 측정 된 무게 에 따라 기판 의 존재 여부 를 판단 하 는 제 어부 를 포함 하 여 구성 되 는 것 이 다 .