서 셉 터 ( S ) 가 도 3 또는 도 4 에 나타내 는 바 와 같 은 형상 이 면 , 클리닝 실 ( 5 ) 에 있 어서 , 에칭 가스 가 공급 되 어 클리닝 처리 가 실시 되 는 영역 과 , 회 전부 ( 232 ) 내 의 하부 영역 이 실질 적 으로 구획 된다 . 이 로써 , 회 전부 ( 232 ) 내 에 배치 된 기계 나 전기 배선 이 에칭 가스 에 의해 부식 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .