이 와 같이 , 상기 SOD 절 연막 ( 250 ) 의 큐어 링 공정 을 O 2 분위기 에서 1 차 로 진행 하 고 , H 2 O 및 O 2 분위기 에서 2 차 로 진행 함 에 따라 상기 SOD 절 연막 ( 250 ) 의 치밀 화 가 균일 함 을 갖 게 되 면서 후속 의 SOD 절 연막 에치 - 백 ( etch - back ) 진행시 SOD 절 연막 ( 250 ) 의 모트 ( moat ) 현상 을 억제 시킬 수 있 게 된다 .