광체 ( 111 ) 의 정면 벽 ( 111 a ) 에 는 포드 반입 반 출구 ( 기판 수용기 반입 반 출구 ) ( 112 ) 가 광체 ( 111 ) 의 내외 를 연통 ( 連通 ) 하 도록 개설 되 어 있 고 , 포드 반입 반 출구 ( 112 ) 는 프론트 셔터 ( 기판 수용기 반입 반 출구 개폐 기구 ) ( 113 ) 에 의하 여 개폐 되 도록 되 어 있 다 .