백 킹 플레이트 ( 150 ) 는 , 타 겟 구 조체 ( 100 ) 를 지지 하 는 부재 로서 , 냉각 재킷 ( 130 ) 보다 높 은 강성 을 갖 는 금속 ( 예컨대 , 스테인리스강 ) 으로 구성 된다 . 또한 , 백 킹 플레이트 ( 150 ) 는 , 타 겟 ( 110 ) 보다 높 은 강성 을 갖 고 있 어도 좋 다 . 또한 , 백 킹 플레이트 ( 150 ) 에 는 , 전원 ( 24 ) ( 도 1 참조 ) 으로부터 음 의 전압 이 인가 된다 .