한편 , 깨 짐 판 정부 ( 32 ) 가 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 깨져 있 다고 판정 했 을 때 에 는 , 단계 S 6 으로부터 단계 S 9 로 진행 되 어 , 제 어부 ( 3 ) 가 열처리 장치 ( 1 ) 에 있 어서 의 처리 를 중단 한다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 깨졌 다고 판정 되 어 처리 가 중단 되 었 을 경우 에 는 , 냉각 처리 도 행해 지 지 않 으며 , 챔버 ( 6 ) 내로 의 가스 공급 도 정지 된다 . 또한 , 챔버 ( 6 ) 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 반 출입 하 는 반송 계 의 동작 도 정지 한다 . 또한 , 제 어부 ( 3 ) 가 표시 부 ( 33 ) 에 웨이퍼 깨 짐 발생 의 경고 를 발보 ( 發 報 ) 하 도록 해도 된다 . 이것 에 의해 , 깨진 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 파편 은 , 깨 짐 에 의해 발생 한 파티클 과 함께 , 밀폐 공간 인 챔버 ( 6 ) 내 에 갇히 게 된다 . 그리고 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 깨 짐 이 발생 했 을 때 에 는 , 챔버 ( 6 ) 내 에 파티클 이 발생 하 고 있 기 때문 에 , 챔버 ( 6 ) 를 개방 하 여 청소 작업 을 행한다 .