우선 , 기판 처리 의 준비 로서 , 원료 공급 수단 ( 110 ) 에 , 원료 ( 110 a ) 로서 포름산 을 봉입 해 두 었 다 . 또한 , 원료 공급 수단 ( 110 ) 부 의 주위 의 히터 ( 110 A ) 에 의해 , 원료 ( 110 a ) 가 298 ～ 333 K ( 25 ～ 60 ℃) 가 되 도록 가열 하 여 , 원료 의 증기압 을 충분히 높 게 얻 을 수 있 도록 했 다 . 본 실시 예의 경우 , 298 K ( 25 ℃) 로 설정 하 여 사용 했 다 . 이 상태 에서 6 kPa 정도 의 증기압 을 얻 을 수 있 고 , 충분 한 가스 유량 을 확보 할 수 있 었 다 .