즉 , 상기 기판 ( S ) 과 하부 전극 ( 14 ) 과 의 사이 는 접촉 되 나 리프트 핀 ( 20 ) 이 삽입 된 핀 하우징 ( 22 ) 과 삽입 홀 ( 14 a ) 의 사이 에서 틈 이 발생 되 며 이 틈 이 발생 되 지 않 더라도 파형 형상 으로 흡착 된 기판 ( S ) 의 들떠 있 는 내부 공간 압력 이 기판 ( S ) 외부 압력 보다 작 으므로 상기 기판 ( S ) 이 하부 전극 ( 14 ) 에서 분리 되 지 않 아 기판 ( S ) 파손 을 초래 하 는 문제점 이 있 었 다 .