다른 실시 예 에 의하 면 , 주기 적 전압 기능 을 기판 에 인가 하 기 위해 기판 에 대한 파워 를 제어 가능 하 게 스위칭 하고 , 주기 적 전압 기능 의 다중 사이클 에 걸쳐 , 시간 평균 베이스 로 소망 이온 에너지 분포 를 야기 하 도록 기판 의 표면 에서 의 소망 이온 에너지 분포 에 응답 하 여 주기 적 전압 기능 을 변조 하 는 것 을 포함 하 는 플 라즈 마 기반 처리 를 위한 방법 으로 특정 될 수 있 다 .