본 발명 에 따른 전자 빔 검사 방법 은 기판 이 지지 되 며 엔드 이펙터 를 가진 지지 트레이 가 구비 된 로드 락 챔버 에서 상기 엔드 이펙터 가 동작 하 여 상기 기판 을 기판 스테이지 를 가진 검사 챔버 로 이송 시키 는 단계 , 상기 엔드 이펙터 가 하강 하 여 상기 기판 을 상기 기판 스테이지 에 안착 하 는 단계 , 상기 기판 스테이지 에 상기 기판 이 안착 되 면 상기 엔드 이펙터 가 상기 로드 락 챔버 로 복귀 하 는 단계 , 상기 기판 스테이지 가 동작 하 여 검사 를 위한 위치 로 상기 기판 을 정렬 하 고 , 프로브 가 상기 기판 의 접속 부분 과 컨 택 하 는 단계 , 상기 기판 상 으로 전자 빔 을 입사 하 여 기판 을 검사 하 며 상기 기판 의 복수 의 위치 에 대한 검사 가 가능 하 도록 상기 기판 스테이지 를 동작 시켜 검사 하 는 단계 를 구비 한다 .