이 때 , 상기 마스크 의 차 광층 ( 32 ) 사이 에 더미 패턴 ( 33 ) 이 형성 되 어 있 으므로 , 상기 차 광층 ( 32 ) 의 모서리 부분 에서 광학 근접 효과 ( Optical proximity effect ) , 빛 의 간섭 효과 또는 해상도 ( resolution ) 등 에 의한 상기 감광막 패턴 의 모서리 라운 딩 을 방지 할 수 있 다 .