이후 , 빔 성형 용 애 퍼 쳐 ( 17 ) 에 입사 된 전자 빔 은 , 빔 성형 용 애 퍼 쳐 ( 17 ) 에 있 어서 의 개구부 를 통과 하 여 , 빔 성형기 드라이버 ( 26 ) 에 의해 제어 된 빔 치수 가변 용 편 향기 ( 14 ) 에 의해 편향 되 고 , 빔 성형 용 애 퍼 쳐 ( 18 ) 에 마련 된 개구부 를 통과 함 으로써 , 최종 적 으로 원 하 는 빔 형상 인 스폿 패턴 으로 된다 . 이 스폿 패턴 이 라 함 은 , 시료 ( 2 ) 에 조사 되 는 전자 빔 의 묘화 단위 이 며 , 복수 의 스폿 패턴 에 의해 하나 의 묘화 패턴 이 형성 된다 .