따라서 , 픽커 흡착 패드 의 불량 여부 를 검사 하 기 위해 본 발명 의 픽커 흡착 패드 의 검사 장치 는 반도체 패키지 를 공 압 에 의해 개별 적 으로 픽업 하 며 , 교체 가능 하 게 장착 되 는 흡착 패드 가 하부 에 결합 되 고 Z 축 방향 으로 승 하강 가능 하 며 이동 가능 하 게 구비 되 는 픽커 와 픽커 의 이동경 로 상 에 구비 되 며 픽커 가 하강 할 때 흡착 패드 의 접촉 여부 를 감지 하 는 접촉 센서 를 포함 할 수 있 다 .