본 발명 의 또 다른 실시 예 는 챔버 바디 , 챔버 바디 에 배치 되 며 그 상부 에 기판 을 수용 하 도록 구성 된 지지 페데 스탈 , 지지 페데 스탈 부근 에 배치 되 며 기판 을 둘러싸 도록 구성 된 실리콘 칼라 ( collar ) , 및 챔버 내 에 플 라즈 마 를 형성 하 는 전력 원 을 포함 하 는 플 라즈 마 프로세스 챔버 를 제공 한다 . 실리콘 칼라 는 ( a ) 기계 가공 된 실리콘 칼라 를 제공 하 는 단계 , 및 ( b ) 제 1 시간 기간 동안 질소 가스 에 , 제 2 시간 기간 동안 비활성 가스 에 , 그리고 제 3 시간 기간 동안 환원 가스 에 부품 을 순차 적 으로 노출 시킴 으로써 기계 가공 된 칼라 를 어닐링 하 는 단계 를 포함 하 는 방법 을 이용 하 여 제조 된다 .