바람직 하 게 는 상기 산화 하 는 단계 에서 상기 SOG 층 을 함께 산화 할 수 있 다 . 또한 바람직 하 게 는 상기 산화 하 는 단계 후 에 , 평탄 화 를 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 더욱 바람직 하 게 는 상기 평탄 화 를 하 는 단계 후 에 , 상기 산화 방지 막 을 식각 정지 막 으로 하 여 콘 택 홀 식각 을 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .