도 19 는 제 1 급속 열처리 시간 을 5 초 로 고정 한 후 제 1 급속 열처리 온도 에 따 른 헤이즈 영역 의 산소 석출 물 변화 를 보여 주 는 도면 이 다 . 도 19 에서 ( a ) 및 ( b ) 는 1120 ℃ 에서 5 초 동안 제 1 급속 열처리 를 실시 한 웨이퍼 에 대한 NSMD 측정 결과 와 수명 맵 ( Life Time Map ) 을 나타낸 도면 이 고 , ( c ) 및 ( d ) 는 1135 ℃ 에서 5 초 동안 제 1 급속 열처리 를 실시 한 웨이퍼 에 대한 NSMD 측정 결과 와 수명 맵 ( Life Time Map ) 을 나타낸 도면 이 며 , ( e ) 및 ( f ) 는 1150 ℃ 에서 5 초 동안 제 1 급속 열처리 를 실시 한 웨이퍼 에 대한 NSMD 측정 결과 와 수명 맵 ( Life Time Map ) 을 나타낸 도면 이 다 . NSMD 는 일본 미츠이 - 마이닝 ( Mitsui - Mining ) 사 의 MO 6 장비 로 웨이퍼 를 5 ㎛ 깊이 로 연마 하 여 측정 한 결과 이 다 .