본 발명 의 식별 마크 의 판독 장치 는 , 주면 측 을 밀봉 하 는 수지 층 을 구비 하 는 웨이퍼 에 형성 된 식별 마크 를 판독 하 기 위한 장치 이 며 , 적 외광선 을 출사 하 는 광원 을 구비 하 는 조명 유닛 과 , 상기 조명 유닛 으로부터 상기 웨이퍼 를 향해 출사 된 상기 적 외광선 의 반사광 을 수 광 하 여 이것 을 촬상 하 는 촬상 유닛 을 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .