상기 처리 공정 의 예 로 는 기판 ( 10 ) 상 의 막 또는 불순물 을 제거 하 기 위한 식각 공정 , 기판 ( 10 ) 상 의 불순물 을 제거 하 기 위한 세정 공정 , 식각 또는 세정 후 기판 ( 10 ) 을 린스 처리 하 기 위한 린스 공정 , 기판 ( 10 ) 을 건조 시키 기 위한 건 조 공정 등 이 있 다 . 도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 와 같 은 처리 공정 을 수행 하 기 위하 여 , 상기 기판 이송 장치 ( 100 ) 의 상부 또는 하부 에 는 상기 기판 ( 10 ) 의 처리 를 위한 약액 또 는 처리 가스 등 을 제공 하 는 노즐 들 , 에 어 나이프 ( air knife ) 또는 샤워 나이프 ( shower knife ) 등 이 배치 될 수 있 다 .