블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 복수 의 워드 라인 구조물 ( WS ) 및 복수 의 절 연막 ( 110 ) 을 덮 으며 제 3 방향 ( Z 방향 ) 을 따라 굴곡 을 가지 며 연장 되 며 , 복수 의 절 연막 ( 110 ) 의 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 에 향하 는 제 1 홈 ( groove ) ( GR 1 ) 을 가질 수 있 다 . 블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 복수 의 워드 라인 구조물 ( WS ) 의 측벽 ( WSS ) 과 복수 의 절 연막 ( 110 ) 의 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 을 대체 적 으로 컨 포 멀 ( conformal ) 하 게 덮 을 수 있 다 . 블로킹 유전 막 ( 125 ) 은 실리콘 산화 막 또는 실리콘 산질 화 막 으로 이루어질 수 있 다 .