송액 관 ( 61 ) 은 , 처리 액 을 토출 부 ( 30 ) 까지 유도 한다 . 구체 적 으로 는 , 송액 관 ( 61 ) 은 , 토출 부 ( 30 ) 의 송액 관 ( 32 ) 의 상류 측 에서 의 단부 에 접속 되 어 있 다 . 필터 ( 63 ) 는 , 송액 관 ( 61 ) 에 마련 되 어 있 어 , 처리 액 에 포함 되 는 이물 을 제거 한다 . 필터 ( 63 ) 는 , 송액 관 ( 61 ) 내 를 통과 하 는 처리 액 에 포함 되 는 이물 을 포집 한다 .