제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 는 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ ) 에 액세스 하 여 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ａ ) 에 재치 되 는 기판 ( Ｗ ) 을 받아들인다 ( 스텝 Ｓ １１ ａ ) . 제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 는 받아들인 기판 ( Ｗ ) 을 지지 해서 재 치부 ( ＰＡＳＳ - ＣＰ ) 로 이동하 여 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ - ＣＰ ) 내 에 반입 한다 ( 스텝 Ｓ １２ ) .