노광 장치 ( 100 ) 는 , 조명 광학계 ( 101 ) 와 , 마스크 ( 102 ) 를 보유 해서 이동하 는 마스크 스테이지 ( 103 ) 와 , 투영 광학계 ( 104 ) 와 , 기판 ( 105 ) 을 보유 해서 이동하 는 기판 스테이지 ( 106 ) 와 , 경통 ( 107 ) 과 , 챔버 ( 110 ) 를 가진다 . 또한 , 노광 장치 ( 100 ) 는 , 챔버 용 의 제 1 급기 부 ( 111 ) 와 , 챔버 용 의 제 1 배기 부 ( 112 ) 와 , 투영 광학계 용 의 제 2 급기 부 ( 108 ) 와 , 투영 광학계 용 의 제 2 배기 부 ( 109 ) 와 , 제 어부 ( 130 ) 를 가진다 .