따라서 본 발명 의 인라인 타입 의 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 인덱스 ( 102 ) 에 글래스 기판 이 탑재 되 면 , 컨베이어 장치 및 / 또는 적어도 하나 의 이송 로봇 을 이용 하 여 기판 을 공정 처 리부 ( 104 ) 로 이송 한다 . 그리고 공정 처 리부 ( 104 ) 는 글래스 기판 의 포 토리 소그라 피 공정 수순 으로 프로세스 유닛 ( 106 ) 들 로 기판 을 이송 한다 . 이 때 , 공정 처 리부 ( 104 ) 와 노광 시스템 ( 130 ) 사이 의 모서리 부분 에 배치 된 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 의 경우 , 이전 프로세스 유닛 ( 106 d ) 또는 노광 시스템 ( 130 ) 으로부터 기판 을 받 아서 해당 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 으로 기판 을 인입 하 고 , 베이 킹 공정 이 완료 되 면 , 기판 이 인입 된 방향 과 수직 하 는 방향 으로 기판 을 인출 한다 . 이어서 공정 처 리부 ( 104 ) 의 각 프로세스 유닛 ( 106 ) 들 에서 순차 적 으로 공정 이 처리 되 면 , 역순 으로 기판 을 회수 하 여 인덱스 ( 102 ) 로 제공 된다 .