복수 개 의 리세 스 ( H 1 ) 는 제 2 반사 적층 체 ( 40 ) , 산화층 ( 51 ) , 레이저 캐비 티 ( 30 ) 및 제 1 반사 적층 체 ( 20 ) 를 관통 할 수 있 다 . 따라서 , 복수 개 의 리세 스 ( H 1 ) 에 의해 노출 된 산화층 ( 51 ) 은 측면 부터 점차 산화 되 어 비산 화 영역 ( 53 ) 이 형성 될 수 있 다 .