상기 제 1 챔버 부 ( 111 ) 는 상기 유입 공간 ( S 111 a ) 을 형성 하 는 유입 면 ( A 111 a ) , 상기 배출 공간 ( S 111 b ) 을 형성 하 는 배 출면 ( A 111 b ) , 상기 수용 공간 ( S 111 c ) 을 형성 하 는 수 용면 ( A 111 c ) 및 상기 진동 공간 ( S 111 d ) 을 형성 하 는 진동면 ( A 111 d ) 을 구비 할 수 있 다 .