이 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 모세 관력 리소그래피 를 통한 폴리스타이렌 ( PS ) 의 패턴 형성 , 상기 단계 후 부가 가스 ( O 2 ) 를 첨가 한 플 루 오로 카본 ( fluorocarbon ) RIE 를 통한 PS 잔존물 의 제거 , 상기 단계 후 O 2 플 라즈 마 를 이용 한 표면 의 개질 , 상기 단계 후 기화 된 톨루엔 ( toluene ) 을 이용 한 산화 된 PS 영역 의 표면 성질 의 재생 , 상기 단계 후 유리 영역 에 단백질 을 선택 적 으로 고정 화 하 는 단계 로 이루어진 것 이 특징 이 다 .