후술 하 는 바 와 같이 , 측정 장치 ( 1 ) 는 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 에 의해 규정 된 범위 의 광량 ( 개구부 ( 322 ) 에 투영 된 측정 마스크 ( 20 ) 의 측정 패턴 의 투영 상 의 광량 ) 을 측 정부 ( 30 ) 를 사용 하 여 측정 한다 . 이 에 의해 , 측정 장치 ( 1 ) 는 어떠 한 레지스 트 노광 프로세스 및 현상 프로세스 도 거치 지 않 고 , 피검 광학계 ( TOS ) 에 의해 발생 된 로컬 플레어 를 단시간 에 고정 밀도 로 측정 할 수 있 다 .