상기 성분 ( A ) 의 수지 는 지환 족 탄화수소 구조 를 갖 고 산분 해성 을 나타내 지 않 는 반복 단위 를 더 가져도 좋 다 . 이러 한 반복 단위 를 갖 는 상기 수지 를 사용 함 으로써 , 침지 노광 동안 에 , 레지스 트 막 으로부터 침지액 으로 저 분자 성분 의 방출 이 감소 될 수 있 다 . 이러 한 반복 단위 의 예 로 는 1 - 아 다만 틸 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 디아 만 틸 ( 메타 ) 아크릴 레이트 , 트리시 클로 데카 닐 ( 메타 ) 아크릴 레이트 및 시클 로 헥 실 ( 메타 ) 아크릴 레이트 가 포함 된다 .