스캔 전극 ( 2 Y ) 과 서 스테인 전극 ( 2 Z ) 이 나란히 형성 된 상부 기판 ( 1 ) 에 는 상부 유전체 층 ( 4 ) 과 보호막 ( 5 ) 이 적층 된다 . 보호막 ( 5 ) 은 플 라즈 마 방 전시 발생 된 스퍼터링 에 의한 상부 유전체 층 ( 4 ) 의 손상 을 방지 함 과 동시 에 2 차 전자 의 방출 효율 을 높이 기 위하 여 통상 산화 마그네슘 ( MgO ) 으로 이루어진다 .