특히 , 제 3 양태 에 의하 면 , 제 2 경로 로부터 처리 액 이 유입 되 는 제 1 영역 과 는 다른 , 제 1 영역 으로부터 오버플로 한 처리 액 이 저류 되 는 제 2 영역 에 있 어서 , 압력 측 정부 에 의한 처리 액 의 압력 측정 이 실시 된다 . 여기 서 , 제 2 영역 에 있 어서 의 처리 액 의 액면 은 , 제 2 경로 로부터 유입 되 는 처리 액 이 측정 조 의 바닥 부 에서 튀 어 오르 는 흐름 에 의한 변동 이 없 기 때문 에 , 제 1 영역 에 있 어서 의 처리 액 의 액면 에 비하 여 변동 이 작 다 . 따라서 , 압력 측 정부 에 의해 처리 액 의 압력 을 높 은 정밀도 로 측정 할 수 있 다 .