플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 또한 제 어부 ( 80 ) 를 구비 할 수 있 다 . 제 어부 ( 80 ) 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 의 각 부 를 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 . 제 어부 ( 80 ) 는 , 예 를 들 어 , 컴퓨터 장치 이 다 . 제 어부 ( 80 ) 는 프로세서 , 기억 부 , 키보드 등 과 같 은 입력 장치 , 표시 장치 및 신호 입출력 인터페이스 를 구비 한다 . 기억 부 에 는 제어 프로그램 및 레시피 데이터 가 기억 되 어 있 다 . 프로세서 는 제어 프로그램 을 실행 하 여 , 레시피 데이터 에 따라 입출력 인터페이스 를 통해 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 의 각 부 로 제어 신호 를 송출 한다 .