도 1 a 내지 1 b 및 도 2 를 참조 하 면 , 웨이퍼 ( W ) 상 에 형성 된 다수 의 막 질 중 에서 특정 막 의 결함 여부 를 판단 하 는 분석 작업 을 진행 하 기 위해 특정 영역 ( 50 ) 에 결함 이 존재 하 는 반도체 기판 ( W ) 을 선택 한다 . 여기 서 특정 영역 ( 50 ) 에 포함 되 는 결함 을 분석 포인트 ( P ) 로 나타내 기 로 한다 .