이것 에 의하 면 , 패 터닝 장치 로부터 물체 에 조사 되 는 에너지 빔 과 상기 물체 의 상대 이동 을 위해서 , 본 발명 의 제 1 , 제 2 이 동체 구동 시스템 중 어느 하나 에 의해 상기 물체 를 탑재 하 는 이 동체 가 양호 한 정밀도 로 구동 된다 . 따라서 , 주사 노광 에 의해 물체 상 에 양호 한 정밀도 로 패턴 을 형성 할 수 있 게 된다 .