피전 사체 상 에 형성 되 는 레지스 트 패턴 ( 도 4 참조 ) 은 , 채널 부 에 대응 하 는 「 골짜기 」 의 단면 형상 을 갖 는다 . 여기 서 , 미노 광부 의 초기 설정 레지스 트 두께 를 24000 Å 로 하 고 , 반투 광부 의 중앙 ( 채널 부 에 대응 하 는 영역 의 폭 의 중심 에 상당 , 도 4 에서 M 으로 표시 ) 위치 의 목표 레지스 트 잔 막 값 ( 도 4 의 Z ) 을 6800 Å 로 한다 .