상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 일실 시예 에 따른 엔드 이펙터 측정 모듈 은 엔드 이펙터 를 구비 한 EFEM ( Equipment Front End Module ) 과 웨이퍼 를 가공 처리 하 는 반도체 공정 장치 사이 에 형성 된 관 통구 에 설치 되 고 , 상기 관 통구 를 통과 하 는 상기 엔드 이펙터 의 이동 경로 에 대응 하 여 전기 신호 를 출력 한다 .