그러나 상술 한 종래 구성 의 초음파 세정 장치 에 의하 면 첨부 된 도 5 에서 초록색 과 청색 으로 구별 되 어 있 는 것 처럼 압 전소 자 가 장착 되 어 있 는 세 정조 바닥 에서 부 터 의 위치 에 따라 세정액 속 의 웨이퍼 표면 에 가해 지 는 음압 ( 音壓 ) 의 세기 가 달라지 고 음압 의 분포 도 고르 지 못해 웨이퍼 의 세정 효율 이 저하 되 는 문제 가 있 었 다 .