내부 공간 ( 10 s ) 안 에 는 지지대 ( 16 ) 가 설치 되 어 있 다 . 지지대 ( 16 ) 는 그 위 에 거치 되 는 기판 ( W ) 을 지지 하 도록 구성 되 어 있 다 . 지지대 ( 16 ) 의 아랫 쪽 에 는 바닥 판 ( 17 ) 이 구비 되 어 있 다 . 바닥 판 ( 17 ) 은 챔버 ( 10 ) 의 저부 에 의해 지 지 되 고 있 다 . 바닥 판 ( 17 ) 으로부터 는 지 지체 ( 18 ) 가 윗 쪽 으로 연장 되 어 있 다 . 지 지체 ( 18 ) 는 대략 원통 형상 으로 되 어 있 다 . 지 지체 ( 18 ) 는 , 예 를 들 어 , 석영 등 으로 된 절연체 로 형성 되 어 있 다 . 지지대 ( 16 ) 는 지 지체 ( 18 ) 상 에 탑재 되 어 지 지체 ( 18 ) 에 의해 지 지 되 고 있 다 .