이 들 가열 램프 ( 84 ) 의 각 단자 는 , 예 를 들 어 도 4 에 도시 하 는 제 어계 와 마찬가지 로 , 사이리스터 및 변류기 를 통해서 전 원부 ( 교류 전원 ) 에 접속 되 어 있 다 . 이렇게 해서 , 예 를 들 어 사이리스터 에 의해 , 가열 램프 ( 84 ) 에 공급 하 는 전력 이 제어 되 고 , 가열 램프 ( 84 ) 는 , 스테이지 ( 82 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 는 출력 을 변화 시킬 수 있 도록 구성 된다 .