다른 실시 예 들 은 기판 표면 영역 으로부터 고 - 농도 도 펀트 들 을 제거 하 는 방법 을 제공 하 고 , 상기 방법 은 반응 성 가스 혼합물 에 기판 영역 을 노출 시키 는 단계 , 기판 영역 내 에서 또는 기판 영역 상 에서 도 펀트 들 과 가스 혼합물 을 반응 시킴 으로써 하나 이상 의 휘발 성 화합물 들 을 형성 하 는 단계 , 및 기판 으로부터 하나 이상 의 휘발 성 화합물 들 을 제거 하 는 단계 를 포함 한다 .