도 1 을 참조 하 여 , 이상 과 같이 구성 된 플 라즈 마 처리 장치 ( 2 ) 의 전체 적 인 동작 은 예 를 들 면 컴퓨터 등 으로 이루어지 는 제어 수단 ( 72 ) 에 의해서 제어 되 도록 되 어 있 다 . 이 동작 ( 제어 ) 을 위한 컴퓨터 의 프로그램 은 플렉시블 디스크 ( flexible disk ) 나 하드 디스크 ( hard disk ) 나 CD ( Compact Disc ) 나 플래시 메모리 ( flash memory ) 등 의 기억 매체 ( 74 ) 에 기억 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 제어 수단 ( 72 ) 으로부터 의 지령 에 의거 하 여 , 각 가스 의 공급 내지 유량 제어 , 마이크로파 의 공급 내지 전력 제어 , 프로세스 온도 의 제 어 , 프로세스 압력 의 제어 등 이 실행 되 도록 되 어 있 다 .