도 24 를 참조 하 면 , 제 2 절연 층 ( 122 ) 및 채널 구조물 ( C 140 ) 상 에 마스크 패턴 ( 도시 생략 ) 을 형성 하 고 , 상기 마스크 패턴 을 식각 마스크 로 사용 하 여 희생 층 ( 310 ) 과 제 1 절연 층 ( 120 ) 을 제거 하 여 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 를 형성 할 수 있 다 . 워드 라인 컷 개구부 ( 180 H ) 의 바닥 부 에 기판 ( 110 ) 의 상면 이 노출 될 수 있 다 .