도 32 에 도시 한 바 와 같이 , 열 질화 공정 이나 플 라즈 마 질화 공정 을 이용 하 여 절연 구조물 들 ( XI , XIII ) 을 형성 할 경우 , 질소 가 절연 구조물 들 ( XI , XIII ) 의 하부 까지 균일 하 게 확산 되 지 못하 게 된다 . 즉 , 열 질화 공정 또는 플 라즈 마 질화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 들 ( XI , XIII ) 의 경우 에 는 균일 한 질소 농도 프로 파일 을 얻 기 어렵 다 . 이 에 비하 여 , 라디칼 산화 공정 과 질소 어닐링 공정 을 적용 하 여 형성 된 절연 구조물 ( XII ) 의 경우 에 는 대 상체 와 의 계면 으로부터 상부 까지 전체 적 으 로 균일 하 게 질소 원자 들 이 분포 됨 을 확인 할 수 있 다 .