제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 을 형성 하 는 것 은 , 일 예 로 , 제 1 절연 층 ( 210 ) 내 에 트렌치 들 을 형성 하 여 기판 ( 100 ) 의 상면 의 일부 를 노출 시키 는 것 , 상기 제 1 절연 층 ( 210 ) 및 기판 ( 100 ) 을 덮 는 배리어 물질 을 컨 포 멀 하 게 형성 하 는 것 , 상기 배리 어 물질 상 에 금속 물질 을 형성 하 는 것 , 평탄 화 공정 을 통해 상기 배리 어 물질 및 상기 금속 물질 의 일부 를 제거 하 여 상기 제 1 절연 층 ( 210 ) 의 상면 을 노출 시키 는 것 , 및 상기 트렌치 들 내 의 상기 금속 물질 및 상기 배리 어 물질 의 일부 를 제거 하 여 제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 상기 트렌치 들 내 의 상기 금속 물질 및 상기 배리 어 물질 의 일부 를 제거 함 에 따라 , 제 1 절연 층 ( 210 ) 의 상부 에 절연 패턴 들 ( 211 ) 이 정의 될 수 있 다 .