이 와 같이 구성 함 으로써 , 유기 EL 패널 ( P ) 의 얼라인먼트 마크 ( PM ) 와 전자 부품 ( W ) 의 얼라인먼트 마크 ( WM ) 의 상대 위치 데이터 를 검출 할 때 에 , 유기 EL 패널 ( P ) 에 있 어서 의 전극 이 형성 된 가장자리 부 가 스테이지 ( 42 ) 의 지지 부 ( 42 b ) 에 의해서 지 지 되게 된다 . 이 에 따라 , 유기 EL 패널 ( P ) 의 가장자리 부 의 처짐 이 방지 되 어 , 가장 자리 부 에 마련 된 얼라인먼트 마크 ( PM ) 의 위치 인식 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 유기 EL 패널 ( P ) 의 얼라인먼트 마크 ( PM ) 를 상측 에서 촬상 하 고 , 전자 부품 ( W ) 의 얼라인먼트 마크 ( WM ) 를 하측 에서 촬상 한다 . 그 때문 에 , 유기 EL 패널 ( P ) 의 상면 에 형성 되 어 있 는 얼라인먼트 마크 ( PM ) 를 , 유기 EL 패널 ( P ) 을 구성 하 는 PI 나 PET 등 의 수지 를 통하 지 않 고서 촬상 할 수 있 으므로 , 얼라인먼트 마크 ( PM ) 를 안정 적 으로 선명 하 게 촬상 할 수 있 게 된다 .