또한 , 제 1 반 송실 ( 21 ) 에 는 , 제 1 반송 아암 ( 26 ) 이 형성 되 어 있 다 . 제 1 반송 아암 ( 26 ) 은 , 캐리어 ( C ) 와 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 과 의 사이 및 , 제 1 반 송실 ( 21 ) 과 얼라인먼트 실 ( 25 ) 과 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반입 · 반출 하 기 위해 , 예 를 들 면 캐리어 ( C ) 의 배열 방향 ( 도 2 중 X 방향 ) 으로 이동 이 자유 롭 게 , 승강 이 자유 롭 게 , 연직 축 둘레 로 회전 이 자유 롭 게 , X 방향 및 Y 방향 으로 진퇴 가 자유 롭 게 구성 되 어 있 다 .