이번 에 개시 된 일 실시 형태 에 따른 에칭 처리 방법 및 기판 처리 장치 는 , 모든 점 에서 예시 이 며 제한 적 인 것 이 아니 다 . 상기 실시 형태 는 , 청구 범위 및 그 요지 를 일탈 하 지 않 으면서 다양 한 형태 로 변형 및 개량 가능 하 다 . 상기 복수 개 의 실시 형태 에 기재 된 사항 은 , 모순 되 지 않 는 범위 에서 다른 구성 도 취할 수 있 으며 , 또한 모순 되 지 않 는 범위 에서 조합 할 수 도 있 다 .