도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 , 게이트 패턴 ( 22 ) 의 측벽 에 측벽 보호막 ( 23 ) 을 형성 한다 . 측벽 보호막 ( 23 ) 은 게이트 패턴 ( 22 ) 의 측벽 을 보호 하 기 위한 것 으로 , 게이트 패턴 ( 22 ) 을 포함 하 는 전면 에 절 연막 을 형성 하 고 에치 백 ( Etch Back ) 또는 전면 식각 하 여 형성 할 수 있 다 . 여기 서 , 절연 막 은 질화 막 또는 질화 막 과 산화 막 의 적층 구조 일 수 있 다 .