주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 의해 단위 시간 당 노광 할 수 있 는 기판 의 매수 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해 단위 시간 당 노광 할 수 있 는 기판 의 매수 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 에 의해 단위 시간 당 처리 할 수 있 는 기판 의 매수 , 및 반송 장치 ( 90 ) 에 의해 단위 시간 당 반송 할 수 있 는 기판 의 매수 에 기초 하 여 , 반송 장치 ( 90 ) , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 가동 상태 를 제어 할 수 도 있 다 . 구체 적 으로 는 , 노광 장치 ( EX 1 , EX 2 ) 의 단위 시간 당 노광 할 수 있 는 기판 의 매수 의 비 에 기초 하 여 , 각각 의 노광 장치 ( EX 1 , EX 2 ) 로 반송 되 는 기판 의 매수 의 비 가 노광 할 수 있 는 기판 의 매수 의 비 에 가까워 지 도록 , 반송 장치 ( 90 ) 를 제어 한다 . 또한 , 반송 장치 ( 90 ) 에 의해 반송 되 는 기판 에 대하 여 , 주로 주 노광 장치 ( EX 1 ) 로 기판 을 노광 하 도록 하 고 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 로 노광 할 수 있 는 기판 의 매수 를 초과 한 매수 에 대해서 는 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로 노광 하 도록 해도 된다 .