더욱이 , 최종 스핀 - 온 탄소 필름 은 매우 평탄 하 고 , 바이어스 ( bias ) 가 낮 은 필름 을 수득 하 기 위하 여 사용 될 수 있 다 . 특히 , 층 은 약 80 nm 미만 , 바람직 하 게 는 약 65 nm 미만 , 더욱 바람직 하 게 는 약 50 nm 미만 , 더욱더 바람직 하 게 는 약 0 - 35 nm 의 바이어스 를 가질 것 이 다 . 더욱이 , 이 바이어스 는 약 100 nm 미만 , 바람직 하 게 는 약 80 nm 미만 , 더욱 바람직 하 게 는 약 70 nm 미만 의 평균 두께 를 가지 는 층 으로써 획득 될 것 이 다 .