상기 스테이지 중 , 특히 종래 의 상하 축 을 이동 시키 는 기구 는 도 2 에 도시 된 구조 를 갖 는다 . 종래 의 쐐기 형 구조 의 상하 이동 기구 는 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 구동 모터 ( 101 ) 의 구동 에 따라 수평 방향 으로 직선 이동 을 하 는 하부 쐐기 형 부재 ( 107 ) 의 직선 이동 에 상응 하 여 수직 방향 으로 상하 이동 을 하 는 상부 쐐기 형 부재 ( 109 ) 로 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 상부 쐐기 형 부재 위 에 는 쎄 타 ( 112 ) 가 배치 된다 .