빔 조종기 집 적 외부 공진기 형 파장 가변 광원 소자 ( 500 ) 는 반도체 광 증폭기 ( Semiconductor optical amplifier , 510 ) , 빔 조종기 ( beam steering unit , 520 ) , 오목 회절격자 ( Concave grating , 530 ) 가 단일 기판 ( 인듐 인 , InP ) 내 에 모두 집적 되 어 , 빔 조종기 내 두 전극 에 주입 되 는 전 류량 의 차 에 따른 도파 빔 의 위치 조종 으로 회절격자 에 입사 되 는 각 이 바뀌 어 파장 가변 이 이루어지 는 구조 를 가지 고 있 다 .