스핀들 ( 20 ) 은 , 스핀 들 의 중심축 ( 22 ) 이 위쪽 방향 으로 및 아래쪽 방향 으로 연장 되 도록 챔버 내 에 배열 된다 . 스핀 들 은 기체 분배 요소 ( 12 ) 에 , 그 최 상부 단부 , 즉 가장 최근 접한 스핀 들 의 단부 에서 , 피팅 ( fitting ) ( 24 ) 을 구비 한다 . 도시 된 특정 실시 예 에서 , 피팅 ( 24 ) 은 일반 적 으로 원뿔형 요소 이 다 . 스핀들 ( 20 ) 은 축 ( 22 ) 에 대하 여 스핀들 을 회전 시키 도록 배열 된 전기 모터 드라이브 와 같 은 회전 드라이브 메커니즘 ( 26 ) 에 연결 된다 . 가열 요소 ( 28 ) 가 챔버 내 에 장착 되 며 피팅 ( 24 ) 아래 에서 스핀들 ( 20 ) 을 둘러싼다 . 그 챔버 는 또한 , 웨이퍼 캐리어 들 의 삽입 및 제거 를 위한 개방 가능 한 포트 ( 30 ) 가 제공 된다 . 이상 의 요소 들 은 통상 적 인 구성 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 본 출원 의 양수인 인 , 미국 뉴욕 플레인뷰 의 베코 인스트 루 먼 트 사 ( Veeco Instruments , Inc . ) 에 의해 등록 된 상표 , TURBODISC 하 에서 적절 한 반응 챔버 들 이 상업 적 으로 판매 된다 .