개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 상기 밸러스트 웨이트 부재 가 상기 기판 이송 아암 의 연장 및 후퇴 와 상보 적 으로 상기 선회 축 으로부터 멀 어 지 고 상기 선회 축 을 향하 여 상기 프레임 에 대해 이동 하 도록 , 상기 기판 이송 아암 의 프레임 에 대해 상기 밸러스트 웨이트 부재 를 이동 시키 는 단계 를 더 포함 한다 .