단계 S 03 에서 는 , 승강 핀 ( 23 ) 의 단부 가 열 판 ( 21 ) 내 에 몰입 할 때 까지 , 기판 승강 제 어부 ( 113 ) 가 승강 구동 부 ( 24 ) 에 의해 승강 핀 ( 23 ) 을 하강 시킨다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 열 판 ( 21 ) 상 에 설치 된다 [ 도 5 의 ( c ) 참조 ] . 단계 S 04 에서 는 , 배기 제 어부 ( 112 ) 가 , 미리 정해진 가열 시간 의 경과 를 대기 한다 .