첫째 , 웨이퍼 지지대 의 지 지구 를 통해 삽입 되 는 리프트 핀 에 웨이퍼 의 중량 감지 를 위해 부착 된 중량 센서 , 상기 중량 센서 에 의해 감지 된 신호 를 처리 하 여 웨이퍼 의 중량 을 판단 하 는 제 어부 및 , 상기 제 어부 의 판단 결과 에 따라 경고 음 을 발생 하 는 알람 부 로 구성 된 웨이퍼 위치 감지 장치 를 이용 하 여 공정 수행 전 웨이퍼 의 위치 오류 를 미리 감지 교정 함 으로써 제조 효율 향상 및 웨이퍼 파손 을 방지 할 수 있 다 .