제 3 재배 선 수단 ( 27 ) 으로부터 떨어져 면하 는 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 측면 ( 35 ) 상 에서 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 일부 를 제거 하 는 것 ( S 5 ) 은 단계 S 5 에서 수행 된다 . 이러 한 제거 는 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 이 제 3 재배 선 수단 ( 27 ) 으로부터 떨어져 면하 는 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 의 측면 ( 36 ) 상 에 노출 되 도록 수행 된다 .