Ti 입자 ( TC - 200 , 도호 테크 사제 ) 를 Ar 가스 중 에 있 어서 플 라즈 마 처리 하 여 , Ti 나노 입자 를 얻 었 다 . 상기 의 Ti 나노 입자 를 , Ar 가스 분위기 하 에서 O 2 농도 50 ppm 이하 , 30 ℃ 의 조건 에서 24 시간 정치 한 후 , O 2 농도 가 100 ppm 이 되 도록 Ar 가스 분위기 에 O 2 가스 를 도입 한 상태 에서 , Ti 나노 입자 를 , 30 ℃ 에서 , 24 시간 정치 했 다 ( 이상 을 , " "" Ti 입자 의 전처리 "" 로 한다 ) . 그 후 ", 얻 어 진 Ti 나노 입자 를 호소카와 미 클론 제 TTSP 세 퍼 레이터 를 이용 하 여 수율 10 % 가 되 는 조건 에서 분급 을 행하 여 , Ti 나노 입자 의 분말 을 얻 었 다 . 얻 어 진 분말 의 1 차 입경 은 , TEM ( Transmission Electron Microscope ) 관찰 에 의하 여 100 개 의 입자 의 입자경 을 구하 고 , 또한 이 들 의 산술 평균 에 의하 여 구한 바 , 120 nm 였 다 .