또한 , 본 발명 의 다른 측면 에서 제공 되 는 반도체 제조 용 플 라즈 마 식각 장치 부품 제조 방법 에 의하 여 제조 되 는 플 라즈 마 식각 장치 부품 은 상기 복합 소 결체 가 다른 소재 에 코팅 되 어 형성 된 것 일 수 있 다 . 상기 다른 소재 는 예 를 들 어 금속 , 세라믹 , 고분자 등 일 수 있 으나 , 특정 소재 로 제한 되 지 는 않 는다 .