요약 하 면 , 하드 디스크 산업 에서 미세 패턴 을 손상 시키 지 않 고 표면 물질 의 실질 적 하부 에 칭 없이 하드 디스크 의 전면 또는 후면 및 임프 린트 몰드 로부터 작 은 입자 를 제거 할 수 있 는 용액 및 방법 및 장치 에 대한 필요 성 이 매우 크 다 . 패턴 이 없 는 기판 , 예 를 들 어 통상 적 인 하드 디스크 , 및 재생 / 기록 해 드 어셈블리 상 에서 도 작 은 입자 를 제거 하 기 위한 개선 된 화학 적 방법 이 일반 적 으로 필요 하 다 .