헤드 유닛 ( 62 E ) 은 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ) 의 - X 측 에 배치 되 고 , 전술 한 기준 축 ( LA ) 상 에 간격 ( WD ) 과 거의 동일 한 간격 으로 배치 된 3 개 의 Y 헤드 ( 671 ∼ 673 ) 와 , 기준 축 ( LA ) 으로부터 + Y 방향 으로 소정 거리 떨어진 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ) 의 + Y 측 에 배치 된 Y 헤드 ( 674 ) 를 구비 하 고 있 다 . 여기 서 , Y 헤드 ( 673 , 674 ) 사이 의 X 축 방향 의 간격 도 WD 로 설정 되 어 있 다 . 이하 에서 는 , Y 헤드 ( 671 ∼ 674 ) 를 적절히 Y 헤드 ( 67 ) 라고 도 기술 한다 .