본 발명 에 의하 면 , 웨이퍼 트랜스퍼 장치 에 있 어서 , 스테이지 본체 ( 10 ) 상 에 회동 가능 하 게 결합 되 는 제 1 암 ( 20 ) , 상기 제 1 암 ( 20 ) 에 대하 여 회동 가능 하 게 결합 되 는 제 2 암 ( 30 ) , 상기 제 2 암 ( 30 ) 에 대하 여 회동 가능 하 게 결합 되 며 동일 축 상 에서 서로 높이 를 달리 하 여 결합 되 는 제 3 암 ( 40 ) 과 제 4 암 ( 50 ) , 및 상기 제 3 암 ( 40 ) 과 제 4 암 ( 50 ) 에 각각 결합 되 어 웨이퍼 를 로딩 과 언로 딩 하 는 제 1 핸드 ( 60 ) 와 제 2 핸드 ( 70 ) 를 포함 하 는 웨이퍼 트랜스퍼 로봇 의 무한 회전 이 가능 한 듀얼 리스트 구조 및 신호선 처리 장치 가 제공 된다 .