도 8 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 기판 을 로딩 할 경우 , 로봇 암 ( 230 ) 을 일차 로 , 카세트 ( 100 ) 의 상측 으로 이동 시켜 상측 전단 에 구비 된 변위 센서 ( 312 , 314 ) 를 통해 이 재 로봇 ( 200 ) 의 현 위치 가 첫 번 째 슬롯 ( 110 - 1 ) 의 위치 임 을 감지 하 고 , 로봇 암 ( 230 ) 을 카세트 ( 100 ) 내부 로 진입 하 여 상측 후단 에 구비 된 변위 센서 ( 342 , 344 ) 를 통해 로봇 암 ( 230 ) 의 직진 성 여부 를 감지 한다 .