본 발명 의 일 실시 예 에 따른 성막 장치 ( 11 ) 에 있 어서 , 복수 의 증발원 ( 23 ) 중 어느 하나 의 증발원 , 예컨대 , 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 증착 위치 ( 제 1 위치 , 232 a ) 에 있 는 도가니 ( 231 ) 로부터 의 증발 레이트 / 성막 레이트 를 측정 하 기 위해 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 를 향하 도록 설치 된 제 1 성막 레이트 측정 수단 ( 27 a ) 의 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 , 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 예열 위치 ( 제 2 위치 , 237 a ) 에 있 는 도가니 ( 231 ) 로부터 의 증발 레이트 / 성막 레이트 를 측정 하 기 위해 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 예열 위치 ( 237 a ) 를 향하 도록 설치 된 제 1 성막 레이트 측정 수단 ( 27 a ) 의 제 2 성막 레이트 측 정부 ( 272 a ) 는 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 또는 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 의 도가니 ( 231 ) 와 의 사이 의 거리 가 , 제 2 성막 레이트 측 정부 ( 272 a ) 와 제 1 예열 위치 ( 237 a ) 또는 제 1 예열 위치 ( 237 a ) 의 도가니 ( 231 ) 와 의 사이 의 거리 와 다르 도록 설치 된다 ,