계속 해서 , 본 발명 의 다른 실시 형태 에 대해서 도 10 ~ 도 13 을 참조 하 면서 설명 한다 . 이 실시 형태 에 있 어서 의 부속 모듈 은 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 기밀 하 게 막 을 수 있 는 덮개 체 ( 7 ) 와 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 와 덮개 체 ( 7 ) 에 의해 형성 된 구획 공간 ( S ) 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 는 재 치부 를 구비 하 고 있 으며 , 구획 공간 ( S ) 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 에 처리 가 행해진다 . 도면 중 「 71 」 은 덮개 체 ( 7 ) 의 하면 에 형성 된 , 재 치부 로서 의 웨이퍼 ( W ) 의 지지 부재 이 다 . 이 지지 부재 ( 71 ) 는 , 예 를 들 면 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 덮개 체 ( 7 ) 와 대향 하 는 저판 ( 72 ) 과 , 덮개 체 ( 7 ) 와 저판 ( 72 ) 과 의 사이 에 복수 개 ( 예 를 들 면 3 개 ) 의 지주 ( pillar ; 73 a ~ 73 c ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 지주 ( 73 a ~ 73 c ) 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 상하 로 소정 의 간격 을 두 고 지지 하 기 위한 지 지부 ( 74 a ~ 74 c ) 가 각각 형성 되 어 , 이 들 지지 부 ( 74 a ~ 74 c ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 의 주연 이 지지 된다 .