상기 실시 형태 에 있 어서 의 마이크로파 플 라즈 마 에칭 장치 는 , 무 자장 에서 마이크로파 플 라즈 마 를 생성 하 기 때문 에 , 챔버 ( 10 ) 의 둘레 에 영구 자석 이나 전자 코일 등 의 자계 형성 기구 를 설치 할 필요 가 없 어 , 그만큼 간이 한 장치 구성 으로 되 어 있 다 . 그렇지만 , 본 발명 은 전자 사이클로트론 공명 ( ECR : Electron Cyclotron Resonance ) 을 이용 하 는 플 라즈 마 처리 장치 에 도 적용 할 수 있 다 .