지지 부 ( 13 ) 와 챔버 본체 ( 12 ) 의 측벽 사이 에 는 , 배 플 플레이트 ( 48 ) 가 설치 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 는 , 예컨대 , 알루미늄 으로 형성 된 모재 의 표면 에 내부 식성 을 갖 는 막 ( 산화 이트륨 등 의 막 ) 을 형성 함 으로써 구성 된다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 에 는 , 복수 의 관통 구멍 이 형성 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 의 아래쪽 , 또한 , 챔버 본체 ( 12 ) 의 바닥 부 에 는 , 배기구 ( 12 e ) 가 설치 되 어 있 다 . 배기구 ( 12 e ) 에 는 , 배기관 ( 52 ) 을 통해 배기 장치 ( 50 ) 가 접속 되 어 있 다 . 배기 장치 ( 50 ) 는 , 압력 조정 밸브 및 터보 분자 펌프 등 의 진공 펌프 를 포함 한다 .