도 4 에 있 어서 , 본 실시 형태 2 의 고체 촬상 소자 ( 20 A ) 의 전하 전송 장치 ( 20 ) 는 광 전변 환부 로서 의 수 광부 로부터 의 각 열 방향 의 신호 전하 를 수직 전하 전송 부 에서 수직 방향 으로 전하 전송 하 고 , 그 후 각 수직 전하 전송 부 에서 의 신호 전하 를 수평 방향 으로 전하 전송 하 기 위한 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 상 에 서로 다른 구동 펄스 ( φ H 1 , φ H 2 및 φ H 3 ) 가 인가 되 는 3 종류 의 전하 전송 전극 ( 전하 전송 게이트 ) ( 2 , 3 및 21 ) 이 전하 전송 방향 으로 반복 배치 되 고 , 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 의 길 이 방향 에 인접 해서 전하 전송 방향 과 평행 하 게 각 구동 펄스 ( φ H 1 , φ H 2 및 φ H 3 ) 를 각각 공급 하 기 위한 세 개 의 메탈 배선 ( 4 , 5 및 22 ) 이 형성 되 어서 각각 대응 하 는 전하 전송 게이트 ( 2 , 3 및 21 ) 에 각각 접속 되 고 , 메탈 배선 ( 4 , 5 및 22 ) 이 전하 전송 방향 의 도중 의 하나 또는 복수 개소 에서 인출 되 어서 각각 외부 접속 단자 로서 의 패드 ( 7 , 8 및 23 ) 가 각각 접속 되 어 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 로부터 가장 먼 측 의 메탈 배선 ( 22 ) 의 인 출부 ( 22 b ) 가 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 로부터 가까운 측 의 메탈 배선 ( 4 , 5 ) 의 인 출부 ( 4 b , 5 b ) 및 외부 접속 단자 로서 의 패드 ( 7 , 8 ) 보다 외측 을 지나 도록 우회 해서 배선 되 어 있 다 .