도 13 은 보유 스테이지 ( 4 ) 가 상승 된 위치 에 있 는 연마 장치 를 도시 한 단면도 이 다 . 연마 후 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 A 1 B , 1 C , 1 D ) 는 이동 기구 에 의해 후방 으로 이동 된다 . 그 후 , 연마 헤드 ( 30 ) 는 기울임 기구 에 의해 수평 위치 로 복귀 되 고 , 보유 스테이지 ( 4 ) 는 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 공기 실린더 ( 15 ) 에 의해 전달 위치 로 상승 된다 . 이 전달 위치 에서 , 웨이퍼 ( W ) 는 전달 기구 의 핸드 ( 후술 됨 ) 에 의해 파지 되 고 웨이퍼 ( W ) 는 보유 스테이지 ( 4 ) 로부터 방출 된다 . 보유 스테이지 ( 4 ) 로부터 제거 된 웨이퍼 ( W ) 는 전달 기구 에 의해 인접 세척 유닛 ( 후술 됨 ) 으로 전달 된다 .