또한 , 암 구동 기구 ( 7 ) 는 , 모터 ( 26 ) 의 회전 을 감속 하 여 암부 ( 20 ) 로 전달 하 는 감속기 ( 28 ) 와 , 감속기 ( 28 ) 의 출력축 에 고정 되 는 중공 회전축 ( 29 ) 을 구비 하 고 있 다 . 감속기 ( 28 ) 는 , 중공 감속기 이 다 . 감속기 ( 28 ) 의 입력축 에 는 , 풀리 및 벨트 를 통하 여 모터 ( 26 ) 가 연결 되 어 있 다 . 감속기 ( 28 ) 의 출력축 에 는 , 중공 회전축 ( 29 ) 의 하단 이 고정 되 고 , 중공 회전축 ( 29 ) 의 상단 에 는 , 암부 ( 20 ) 의 기단 측 의 하면 이 고정 되 어 있 다 . 본 체부 ( 5 ) 는 , 중공 회전축 ( 29 ) 을 회전 가능 하 게 지지 하 는 보유 지지 부재 ( 30 ) 를 구비 하 고 있 다 . 보유 지지 부재 ( 30 ) 에 는 , 감속기 ( 28 ) 의 케이스 본체 가 고정 되 어 있 다 . 암부 ( 20 ) 와 본 체부 ( 5 ) 의 연결부 에 는 , 진공 영역 VR 에 대한 공기 의 유입 을 방지 하 는 자성 유체 시일 및 벨로우즈 가 배치 되 어 있 다 .