도 1 을 참조 하 면 , 종래 의 마스크 - 검사 장치 는 광원 ( L ) 및 CCD ( charge - coupled device ) 또는 CMOS ( complementary metal - oxide semiconductor ) 와 같 은 , 광 센서 ( C ) 를 포함 한다 . 광원 ( L ) 은 투명판 ( P ) 의 면 ( P 1 ) 상 에 광 ( 입사광 ) ( Lo ) 을 보낸다 . 면 ( P 1 ) 은 입사광 ( Lo ) 을 반사 하 고 반사광 ( Lr ) ( 1 차 반사광 ( Lr 1 ) ) 을 광 센서 ( C ) 로 전달 한다 . 입사광 ( lo ) 과 면 ( P 1 ) 의 법선 사이 에 는 입사각 ( θ 1 ) 이 있 고 1 차 반사광 ( Lr 1 ) 과 면 ( P 1 ) 의 법선 사이 에 는 반사각 ( θ 2 ) 가 있 다 . 입사각 ( θ 1 ) 은 반사각 ( θ 2 ) 과 동일 하 다 . 광 센서 ( C ) 는 면 ( P 1 ) 상 의 오염 을 검출 하 기 위해 면 ( P 1 ) 으로부터 1 차 반사광 ( Lr 1 ) 을 수신 하 여 처리 한다 .