( 9 ) 상술 한 각 실시 예 및 각 변형 예 에 있 어서 , 도 3 , 도 23 에 나타내 는 바 와 같이 , 조작자 가 옮겨 온 캐리어 ( C ) 를 처리 하 기 위하 여 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) ( 또는 캐리어 버퍼 장치 ( 8 ) ) 에 인도 하 기 위한 승강 기구 ( 98 ) 가 설치 되 어 있 어도 된다 . 승강 기구 ( 98 ) 는 , 예 를 들 면 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 측면 에 설치 되 어 있 다 . 승강 기구 ( 98 ) 는 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 을 사이 에 두 고 ID 블록 ( 2 ) 의 반대 측 에 배치 되 어 있 다 . 승강 기구 ( 98 ) 는 , 재 치대 ( 98 A ) 와 , 재 치대 ( 98 A ) 를 승강 시키 기 위한 전동 모터 를 구비 하 고 있 다 . 재 치대 ( 98 A ) 는 , Y 방향 으로 수평축 둘레 로 회전 가능 하 게 승강 기구 ( 98 ) 에 지지 되 어 있 고 , 캐리어 ( C ) 의 재치 면 이 , 승강 기구 ( 98 ) 가 설치 된 측면 과 평행 이 되 도록 접 을 수 있 다 .