본 발명 의 일 관점 에 따르 면 , 상기 유지 수단 은 상기 콘 택 요소 들 을 수용 하 기 위한 복수 의 추가 가이드 홀 들 을 구비 하 는 추가 지지 부를 포함 하 고 , 상기 유연 막 은 상기 지지 부 와 상기 추가 지지 부 사이 에 배치 되 며 , 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 의 상기 제 2 말 단부 가 상기 피검 소자 의 상기 콘 택 패드 들 에 콘 택하 는 동안 , 상기 지지 부 와 상기 추가 지지 부 사이 로 정의 되 는 갭 ( gap ) 을 통해 상기 스트립 들 의 상기 원위 말단 의 움직임 이 허용 된다 .