본 발명 에 관한 연마 용 조성물 은 일액 형 이 어도 되 고 , 이액 형 을 비롯 한 다액 형 이 어도 된다 . 다 액 형 은 , 연마 용 조성물 의 일부 또는 전부 를 임의 의 혼합 비율 로 혼합 한 액 의 조합 이 다 . 또한 , 연마 용 조성물 의 공급 경로 를 복수 갖 는 연마 장치 를 사용 한 경우 , 연마 장치 상 에서 연마 용 조성물 이 혼합 되 도록 , 미리 조정 된 2 개 이상 의 연마 용 조성물 을 사용 해도 된다 .