상기 박막 은 플 라즈 마 표면 처리 된 부분 에 형성 되 며 , 상기 기판 은 O 2 , N 2 , NH 3 , Ar , H 2 로 부터 선택 되 는 플 라즈 마 를 이용 하 여 표면 처리 한다 . 상기 박막 은 플 라즈 마 표면 처리 되 지 않 은 부분 에 형성 될 수 도 있 다 . 상기 플라 즈 마는 수 ㎛ 이하 의 구경 을 갖 는 개구부 를 구비 하 는 플 라즈 마 발생기 를 이용 하 여 발생 한다 .