먼저 , 상기 저온 플 라즈 마가 대기압 저온 플 라즈 마인 경우 , 기체 의 압력 을 100 Torr 부터 760 Torr ( 대기압 ) 이상 까지 유지 하 면서 저온 플 라즈 마 를 발생 하 는 기술 로서 , 별도 의 진공 시스템 이 필요 없 어 장치 에 투자 비용 이 절감 될 수 있 으며 , 별도 의 펌핑 시간 이 없 으며 , 인라인 형태 로 공정 이 가능 하 므로 생산 성 을 극대 화 할 수 있 고 , 통상 물질 의 표면 개질 에 적절 하 게 이용 될 수 있 다 .