상기 중간 층간 절연 층 ( 115 ) , 상기 제 1 몰드 구조물 ( 101 ) , 상기 제 2 수평 연결 패턴 ( 34 ) , 상기 제 2 수평 절연 층 ( 26 ) , 상기 제 1 예비 수평 연결 패턴 ( 24 ) , 및 상기 제 1 수평 절연 층 ( 22 ) 를 관통 하 고 , 상기 기판 ( 10 ) 의 상면 ( 10 s ) 아래 로 연장 되 는 제 1 수직 홀 을 형성 할 수 있 다 .