그리고 , 상술 한 처리 위치 에 위치 하 는 적 재 대 ( 20 ) 의 상면 과 캡 부재 ( 40 ) 의 오 목부 ( 41 ) 에 의해 , 처리 공간 ( S ) 이 형성 된다 . 처리 공간 ( S ) 이 형성 되 었 을 때 의 적재 대 ( 20 ) 의 높이 는 , 캡 부재 ( 40 ) 의 림 ( 42 ) 의 하면 과 , 커버 부재 ( 22 ) 의 상면 사이 에 간극 ( 43 ) 이 형성 되 도록 설정 된다 . 오 목부 ( 41 ) 는 , 예 를 들 어 처리 공간 ( S ) 의 용적 이 최대한 작 아 짐 과 함께 , 처리 가스 를 퍼지 가스 로 치환 할 때 의 가스 치환 성 이 양호 해 지 도록 형성 된다 .