임시 고정 후 , 도 12 에 도시 한 바 와 같이 , 항구 접합 공정 으로서 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 와 상측 금속 시트 ( 20 ) 가 , 확산 접합 에 의해 항구 적 으로 접합 된다 . 확산 접합 이란 , 접합 하 는 하측 금속 시트 ( 10 ) 와 상측 금속 시트 ( 20 ) 를 밀착 시켜 , 진공 이나 불활성 가스 중 등 의 제어 된 분위기 중 에서 , 각 금속 시트 ( 10 , 20 ) 를 밀착 시키 는 방향 으로 가압 함 과 함께 가열 하 고 , 접합면 에 발생 하 는 원자 의 확산 을 이용 하 여 접합 하 는 방법 이 다 . 확산 접합 은 하측 금속 시트 ( 10 ) 및 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 재료 를 융점 에 가까운 온도 까지 가열 하 지만 , 융점 보다 는 낮 기 때문 에 , 각 금속 시트 ( 10 , 20 ) 가 용융 되 어 변형 되 는 것 을 회피 할 수 있 다 . 더 구체 적 으로 는 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 하측 주연 벽 ( 14 ) 의 상면 ( 14 a ) 과 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 상측 주연 벽 ( 23 ) 의 하 면 ( 23 a ) 이 접합면 으로 되 어 확산 접합 된다 . 이것 에 의해 , 하측 주연 벽 ( 14 ) 과 상측 주연 벽 ( 23 ) 에 의해 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 와 상측 금속 시트 ( 20 ) 사이 에 밀봉 공간 ( 3 ) 이 형성 된다 . 또한 , 하측 주입 유로 오 목부 ( 17 ) ( 도 2 및 도 4 참조 ) 와 상측 주입 유로 오 목부 ( 26 ) ( 도 2 및 도 5 참조 ) 에 의해 , 밀봉 공간 ( 3 ) 에 연통 되 는 작 동액 ( 2 ) 의 주입 유로 가 형성 된다 . 또한 , 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 과 , 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 상측 유로 벽부 ( 22 ) 의 하 면 ( 22 a ) 이 접합면 으로 되 어 확산 접합 되 어 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 기계 적 강도 가 향상 된다 . 하측 유로 벽부 ( 13 ) 의 상면 ( 13 a ) 에 형성 된 액 유로 부 ( 30 ) 는 액상 의 작 동액 ( 2 ) 의 유로 로서 잔존 한다 .