최근 , 반도체 제조 업계 에서 는 반도체 칩 의 동작 속도 를 증대 시키 고 단위 면적 당 정보 저장 능력 을 증가 시키 기 위하 여 반도체 집 적 회로 공정 에 적용 되 는 최소 선폭 이 꾸준히 줄어드 는 추세 에 있 다 . 또한 , 반도체 웨이퍼 상 에 집적화 되 는 트랜지스터 와 같 은 반도체 소자 의 크기 가 서브 하프 마이크 론 이하 로 축소 되 고 있 다 .