도 4 및 도 5 를 참조 하 면 , 처리 모듈 ( 40 ) 은 처리 실 ( 400 ) 과 , 기판 지지 부재 ( 410 ) , 처리 액 공급 유닛 ( 430 ) , 대기 포트 ( 480 , 480 '), 그리고 보관 포트 ( 490 , 490 ') 를 포함 한다 . 처리 실 ( 400 ) 은 기판 처리 공정 이 진행 되 는 공간 을 제공 한다 . 처리 실 ( 400 ) 의 측벽 ( 402 ) 에 는 처리 실 ( 400 ) 로 기판 을 반 출입 하 기 위한 개구 ( 402 a ) 가 형성 된다 .