웨이퍼 가 적절 하 게 프로세싱 되 는 것 을 보장 하 기 위해 ( 이 에 의해 , 제 어 가능 하 고 반복 가능 한 프로세스 결과 를 보장 함 ) , 웨이퍼 는 플 라즈 마 프로세싱 동안 척상 에 중심 을 맞출 필요 가 있 다 . 단부 이펙터 가 척 에 대하 여 정확 하 게 중심 을 맞추 고 웨이퍼 가 단부 이펙터 에 대해 정확 하 게 중심 을 맞추 면 , 웨이퍼 는 로봇 팔 이 척상 에 웨이퍼 를 배치 할 때 척 에 대해 정확 하 게 중심 을 맞추 게 된다 . 그러나 , 일부 가 이하 에 논의 되 는 많 은 이유 로 , 이러 한 이상 적 인 시나리오 는 드문 경우 이 다 .