동작 104 가 수행 되 는 실시 예 들 에 대해 , 기판 은 약 1 초 내지 약 10 초 의 지속 기간 동안 암모니아 및 / 또는 질소 플 라즈 마 에 노출 될 수 도 있 다 . 동작 104 는 약 25 ℃ 내지 약 400 ℃, 또는 약 200 ℃ 내지 약 300 ℃ 의 기판 온도 에서 수행 될 수 도 있 다 . 본 명세서 에서 사용 될 때 기판 온도 는 기판 을 홀딩 하 는 페데 스탈 이 설정 되 는 온도 를 지칭 하 고 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세스 챔버 에 제공 될 때 페데 스탈 상 의 기판 은 기판 을 프로세싱 하 기 전 에 목표 된 기판 온도 로 가열 될 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 동작 104 동안 기판 온도 는 도 1 에 대해 본 명세서 에 기술 된 다른 동작 들 동안 동일 할 수 도 있 다 .