이 와 같이 상승류 ( F 2 ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 단부 근처 에서 형성 되 어 있 는 결과 , 도 8 에 도시 된 예 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 근처 에서 의 승화 물 의 비산 이 더욱 억제 된다 . 이것 은 , 도 8 의 ( b ) 와 도 7 의 ( c ) 의 비교 로부터 확인 할 수 있 다 . 또한 , 도 8 의 ( b ) 에 도시 된 예 에서 는 , 도 7 의 ( c ) 와 비교 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 단 가장자리 로부터 웨이퍼 ( W ) 의 외주 벽 을 따라 하측 으로 이동 하 는 승화 물 이 저감 하 고 있 는 것 이 확인 된다 . 이 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 단부 근처 에서 어느 정도 강한 상승류 ( F 2 ) 를 형성 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 단 가장자리 로부터 의 승화 물 의 낙하 등 도 방지 할 수 있 다 .