또한 , 상기 한 각 실시 형태 에서 는 , 플 라즈 마원 의 일례 로서 , 용량 결합 형 플 라즈 마 ( CCP ) 를 이용 하 여 처리 를 행하 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 로서 설명 했 지만 , 플 라즈 마원 은 이 에 한정 되 지 않 는다 . 용량 결합 형 플 라즈 마 이외 의 플 라즈 마원 으로서 는 , 예 를 들 면 , 유도 결합 플 라즈 마 ( ICP ) , 마이크로파 여기 ( 勵 起 ) 표면파 플 라즈 마 ( SWP ) , 전자 사이클로트론 공명 플 라즈 마 ( ECP ) 및 헬리콘 파 여기 플 라즈 마 ( HWP ) 등 을 들 수 있 다 .