[ 형태 28 ] 형태 28 에 의하 면 , 기판 처리 시스템 이 제공 되 고 , 이러 한 기판 처리 시스템 은 , 형태 1 내지 형태 27 중 어느 하나 의 형태 의 연마 장치 와 , 상기 연마 장치 에 의해 연마 한 기판 을 세정 하 기 위한 세정 장치 와 , 상기 세정 장치 에 의해 세정 한 기판 을 건조 시키 기 위한 건 조 장치 와 , 상기 연마 장치 , 상기 세정 장치 , 및 상기 건조 장치 의 사이 에 기판 을 반송 하 기 위한 반송 장치 를 갖 는다 .