도 11 A 는 경사 부분 의 상부 슬로프 가 연마 되 는 상태 를 도시 한 도면 이 며 , 도 11 B 는 경사 부분 의 하부 슬로프 가 연마 되 는 상태 를 도시 한 도면 이 다 . 도 11 A 및 도 11 B 에서 , 연마 테이프 ( 23 ) 의 이동 방향 은 서로 동일 하 다 . 이 경우 , 연마 테이프 ( 23 ) 는 위치 ( Ta ) 에서 웨이퍼 ( W ) 와 접촉 하 며 , 위치 ( Tb ) 에서 웨이퍼 ( W ) 로부터 분리 된다 . 따라서 , 상부 슬로프 의 연마 중 의 테이프 접촉 시작 부분 ( Ta ) 및 테이프 접촉 종단 위치 ( Tb ) 와 하부 슬로프 의 연마 중 의 테이프 접촉 시작 부분 ( Ta ) 및 테이프 접촉 종단 위치 ( Tb ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 수평 중심선 에 대해 대칭 적 이 지 않 는다 . 파편 이 연마 중 에 연마 테이프 ( 23 ) 에 적층 되 기 때문 에 , 이러 한 연마 방법 은 상부 슬로프 와 하부 슬로프 내 에서 상이 한 연마 형상 을 갖 는 비대칭 연마 프로 파일 을 초래 할 수 있 다 .