상기 제 2 실리콘 절 연막 ( 40 ) 의 두께 는 10 ÅA 내지 100 ÅA 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 제 2 실리콘 절 연막 ( 40 ) 의 두께 가 10 ÅA 이하 인 경우 실리콘 절 연막 의 유전 율 이 커질 수 있 고 , 상기 제 2 실리콘 절 연막 ( 40 ) 의 두께 가 10 ÅA 이상 인 경우 반도체 디자인 룰 에서 벗어나 기 때문 에 반도체 소자 의 전기 적 특성 이 저하 될 수 있 다 .