본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 제 1 라디칼 산화 공정 에 있 어서 , 대 상체 ( 100 ) 를 공정 챔버 ( 도시 되 지 않 음 ) 내 에 로딩 시킨 다음 , 수소 ( H 2 ) 가스 및 산소 ( O 2 ) 가스 를 포함 하 는 제 1 반응 가스 를 상기 공정 챔버 내 로 공급 한다 . 상기 공정 챔버 는 상대 적 으로 높 은 제 1 온도 및 상대 적 으로 낮 은 제 1 압력 으로 유지 된다 . 예 를 들 면 , 상기 공정 챔버 내 의 제 1 온도 는 약 800 ∼ 1 , 000 ℃ 정도 가 될 수 있 고 , 상기 제 1 압력 은 약 0 . 1 ∼ 0 . 5 Torr 정도 가 될 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 1 라디칼 산화 공정 은 약 900 ℃ 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 1 온도 및 약 0 . 3 Torr 정도 의 상대 적 으로 낮 은 제 1 압력 하 에서 수행 될 수 있 다 .