이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 고안 은 흡착 과정 에서 기판 이 받 을 수 있 는 흡착 충격 을 제거 함 으로써 , 기판 의 손상 이나 파손 을 방지 하 여 기판 의 불량 률 저하 에 따른 생산 성 향상 의 효과 가 있 고 , 둘째 , 기판 의 회동 방지 를 통해 기판 을 정확 하 게 흡착 이동 시킬 수 있 어 공정 불량 률 을 최소 화 시킬 수 있 으며 , 셋째 , 기판 의 정전기 제거 를 통해 기판 의 적재 나 운반 등 기판 의 취급 이 용이 해 지 는 효과 가 있 다 .