또 , 수도 로봇 ( 120 ) 은 , 도 1 의 화살표 120 S 로 나타내 는 바 와 같 은 슬라이드 이동 , 화살표 120 R 로 나타내 는 바 와 같 은 선회 동작 및 승강 동작 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 이것 에 의해 , 수도 로봇 ( 120 ) 은 , 2 개 의 캐리어 ( C ) 에 대해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 출납 을 행함 과 함께 , 얼라인먼트 부 ( 130 ) 및 냉 각부 ( 140 ) 에 대해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 수도 를 행한다 . 수도 로봇 ( 120 ) 에 의한 캐리어 ( C ) 에 대한 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 출납 은 , 핸드 ( 121 ) 의 슬라이드 이동 , 및 , 캐리어 ( C ) 의 승강 이동 에 의해 행해진다 . 또 , 수도 로봇 ( 120 ) 과 얼라인먼트 부 ( 130 ) 또는 냉 각부 ( 140 ) 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 수도 는 , 핸드 ( 121 ) 의 슬라이드 이동 , 및 , 수도 로봇 ( 120 ) 의 승강 동작 에 의해 행해진다 .