웨이퍼 스테이지 ( WST ) 는 , 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 91 ) 와 , 그 스테이지 본체 ( 91 ) 의 상방 에 배치 되 고 , 도시 생략 된 Z · 틸 트 구동 기구 에 의해 , 스테이지 본체 ( 91 ) 에 대해 비 접촉 으로 지지 된 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 을 갖 고 있 다 . 이 경우 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 은 , Z · 틸 트 구동 기구 에 의해 , 전자력 등 의 상 방향 의 힘 ( 척력 ) 과 , 자중 을 포함 하 는 하 방향 의 힘 ( 인력 ) 의 균형 을 3 점 에서 조정 함 으로써 비접 촉 으로 지지 됨 과 함께 , Z 축 방향 , θ x 방향 , 및 θ y 방향 의 3 자유 도 방향 으로 미소 구동 된다 . 스테이지 본체 ( 91 ) 의 바닥 부 에 는 , 슬라이 더부 ( 91 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 슬라이더 부 ( 91 a ) 는 , XY 평면 내 에서 XY 2 차원 배열 된 복수 의 자석 으로 이루어지 는 자석 유닛 과 , 그 자석 유닛 을 수용 하 는 케이스 와 , 그 케이스 바닥 면 의 주위 에 형성 된 복수 의 에어 베어링 을 갖 고 있 다 . 자석 유닛 은 , 전술 한 코일 유닛 과 함께 , 예 를 들 어 미국 특허 제 5 , 196 , 745 호 명세서 등 에 개시 된 로렌츠 력 ( 전자력 ) 구동 방식 의 평면 모터 ( 30 ) 를 구성 하 고 있 다 . 또한 , 평면 모터 ( 30 ) 로 는 , 로렌츠 력 ( 전자력 ) 구동 방식 에 한정 되 지 않 고 , 가변 자기 저항 구동 방식 의 평면 모터 를 사용 할 수 도 있 다 .