이 경우 알터 네 이터 - 다이오드 의 주성분 이 Si 인 것 을 고려 하 면 실리콘 에 잘 반응 하 는 불 산 을 주재료 로 하 여 기타 황산 , 질산 등 과 의 적절 한 혼합비 가 중요 하 게 된다 . 특히 알터 네 이터 웨이퍼 에 는 인 및 붕소 가 확산 되 어 있 기 때문 에 인 및 붕소 에 잘 반응 하 는 에칭 물질 인 젖산 , 염산 등 의 용액 도 적절히 첨가 하 여 실리콘 웨이퍼 와 이후 공정 에서 의 도금 층 간 의 최적 에칭 표면 을 만들 어야 한다 .