상기 피 연마 체 는 , 통상 , 2 단계 에 걸쳐 연마 가 실시 된다 . 구체 적 으로 는 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 배리어 층 ( 16 ) 이 노출 될 때 까지 코발트 함유층 ( 18 ) 을 연마 하 는 제 1 연마 와 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 절 연막 층 ( 14 ) 이 노출 될 때 까지 코발트 함유층 ( 18 ) 및 배리어 층 ( 16 ) 을 연마 하 는 제 2 연마 가 실시 된다 . 상기 연마 액 은 , 상기 제 1 연마 및 제 2 연마 중 어느 것 에 도 적합 하 게 적용 할 수 있 다 .