플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 는 , 아크 챔버 ( 72 ) 와 , 캐소드 ( 74 ) 와 , 리 펠러 ( 76 ) 를 구비 한다 . 아크 챔버 ( 72 ) 는 , 대략 직육면체 의 상자 형상 을 갖 는다 . 아크 챔버 ( 72 ) 는 , 플라 즈 마 P 가 생성 되 는 플라 즈 마 생 성실 ( 78 ) 을 구획 한다 . 아크 챔버 ( 72 ) 의 전면 에 는 이온 빔 ( IB ) 을 인출 하 기 위한 슬릿 ( 80 ) 이 마련 된다 . 슬릿 ( 80 ) 은 , 캐소드 ( 74 ) 로부터 리 펠러 ( 76 ) 를 향하 는 방향 으로 뻗 는 가늘 고 긴 형상 을 갖 고 있 다 .