상기 무기 산화물 을 준비 하 는 단계 는 , 무기 산화물 분산 액 을 준비 하 거나 또는 무기 산화물 을 기판 상 에 도포 하 는 단계 이 며 , 상기 분 산액 은 수성 용매 , 유성 용매 또는 이 둘 의 혼합물 을 적용 하 고 , 상기 기판 은 , 실리콘 기판 , 웨이퍼 , 유리 기판 , 반도체 기판 , 금속 기판 등 일 수 있 다 . 상기 무기 산화물 은 스핀 코팅 , 롤 코팅 , 스프레이 코팅 , 딥 코팅 , 플로 코팅 , 닥터 블레이드 법 등 으로 도포 될 수 있 다 .