여기 서 , 상기 제 1 하드 마스크 층 ( 115 ) , 제 2 하드 마스크 층 ( 117 ) 및 제 3 하드 마스크 층 ( 119 ) 은 초 박막 감광제 ( Ultra Thin Resist ) 를 적용 하 기 위해 형성 하 는 것 으로 , 상기 제 1 하드 마스크 층 ( 115 ) 는 비정질 카본 ( amorphous Carbon ) 층 으로 1500 ~ 2000 Å 의 두께 로 형성 하 고 , 상기 제 2 하드 마스크 층 ( 117 ) 는 SiON 막 으로 300 ~ 400 Å 의 두께 로 형성 하 며 , 상기 제 3 하드 마스크 층 ( 119 ) 은 폴리 실리콘 층 으로 200 ~ 300 Å 의 두께 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .