이 와 같 은 문제 를 해결 하 기 위하 여 , 예 를 들 면 일본 특허 출원 공개 번호 2005 - 326887 호 공보 및 일본 특허 출원 공개 번호 2002 - 341354 호 공보 에 는 , 높이 가 상이 한 2 종류 의 기둥 형 스 페이서 를 배치 하 고 , 부하 하중 ( 부하 압력 ) 의 크기 에 따라 2 개 의 기판 을 지지 하 는 기둥 형 스 페이서 의 수 를 변화 시키 는 것 이 보 고 되 고 있 다 . 또한 , 일본 특허 출원 공개 번호 2002 - 341354 호 공보 에 는 , 기판 구성 재료 에 의한 적층 층 에 의해 볼록 형 의 단차 부 를 형성 하 고 , 이 단차 부 에 제 1 기둥 형 스 페이서 를 접촉 시킴 으로써 , 제 1 기둥 형 스 페이서 와 동일 재료 , 또한 동일 높이 로 형성 한 제 2 기둥 형 스 페이서 와 기판 사이 에 간극 을 개재 시킨 구성 이 개시 되 어 있 다 .