에칭 액 회수 부 ( 26 ) 에 의해 다 회수 하 지 못한 에칭 액 은 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 흘러넘치 고 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 간극 을 개재 하 여 , 화살표 A 에 의해 나타내 는 바 와 같이 , 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 내 에 흘러 떨어져 축적 및 회수 된다 . 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 간극 은 예 를 들 어 , 복수 의 기둥 부 ( 6 ) 의 사이 , 및 베이스 부 ( 5 ) 의 구멍 부 ( 5 b ) 를 포함 한다 ( 도 2 참조 ) .