패 시베이 션 ( passivation ) 이 란 반도체 소자 의 표면 이나 접합부 에 적당 한 처리 를 하 고 유해 한 환경 을 차단 하 여 소자 특성 의 안정 화 를 도모 하 는 처리 과정 을 말 한다 . 예 를 들 면 , SiO 2 막 에 Na + 와 같 은 알칼리 이온 이 부착 하 면 , 이것 이 내부 에 확산 하 여 Si / SiO 2 계면 상황 을 변화 시켜서 반전 층 을 만들 기 때문 에 접합부 누설 전류 의 증가 , 전류 증폭률 의 변동 , MOS 임계 값 전압 변화 등 을 초래 하 게 된다 . 이러 한 유해 환경 을 차단 하 기 위해 Si 3 N 4 막 에 의한 알칼리 이온 이나 금속 을 불 로킹 하 는 방법 이 사용 되 고 있 다 .