도 6 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플라 즈 마 반 응부 ( 200 ) 는 내부 에 가 열부 ( 220 ) 를 매입 한 내장 형 으로 설치 될 수 있 고 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 처 리부 ( 210 ) 와 챔버 부 ( 100 ) 사이 에 가 열부 ( 220 ) 를 배치 하 여 처 리부 ( 210 ) 또는 그 주변 부 에 열 을 공급 할 수 있 도록 함 으로써 파우더 ( P ) 미 세입자 에 대한 표면 처리 및 코팅 과정 에서 파우더 ( P ) 미 세입자 를 가열 할 수 있 다 .