이러 한 목적 을 가지 는 본 발명 의 고주파 용 디바이스 의 모델링 방법 에 따르 면 , 모델링 할 고주파 용 디바이스 의 기본 단위 의 셀 ( partial element ) 을 정의 하 고 , 정의 한 기본 단위 셀 이 포함 된 테스트 구조 를 제작 하 는 단계 ; 상기 제작 한 테스트 구조 를 측정 하 는 단계 ; 상기 제작 한 테스트 구조 의 전기 적 등 가 회로 를 정의 하 는 단 계 ; 상기 측정 한 테스트 구조 의 데이터 를 상기 정의 한 등 가 회로 의 인덕턴스 , 커패시턴스 및 저항 의 값 에 피팅 시켜 등 가 회로 를 구성 하 는 인덕턴스 , 커패시턴스 및 저항 의 값 을 추출 하 는 단계 ; 및 상기 추출 결과 로 설계 규칙 라이브러리 를 생성 하 고 , 그 설계 규칙 라이브러리 에 따라 고주파 용 디바이스 를 모델링 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .