주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 평면 에서 보 아 반송 스페이스 ( Ａ ２ ) 의 거의 중앙 에 설치 되 어 있 다 . 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 와 마찬가지 로 구성 되 어 있 다 . 그리고 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ ) 와 각종 열처리 유닛 ( 42 ) 과 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ) 과 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ ) 사이 에서 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 가 기판 ( Ｗ ) 을 반송 한다 .