제 2 측정 시스템 부분 ( MS 2 ) 의 변위 또는 변형 은 다양 한 형태 의 센서 들 에 의해 , 그리고 상이 한 자유도 에서 관찰 될 수 있 다는 것 을 이해 할 것 이 다 . 일 예시 로서 , 제 2 측정 시스템 부분 ( MS 2 ) 이 직사각 형 격자 플레이트 를 포함 한다고 가정 하 면 , 메트 롤 로지 프레임 에 대해 제 2 측정 시스템 부분 ( MS 2 ) 의 코너 들 의 Z - 위치 를 모니터링 하 기 위해 , 4 개 의 용량 성 센서 또는 가속도계 ( accelerometer ) 가 적용 될 수 있 다 .