본 발명 은 종래 방법 들 보다 상당히 많 은 장점 들 을 제공 한다 . 가장 중요 하 게 는 , 본 발명 은 계산 에 관한 효율 적 인 시뮬레이션 공정 에 공정 윈도우 의 변동 들 ( 예 를 들 어 , 포커스 변동 들 및 노광 도즈 변동 들 ) 에 대한 고려 들 을 제공 하 고 , 일반 적 으로 알려진 종래 방법 들 에 의해 시행 되 는 다양 한 조건 들 에서 의 반복 된 시뮬레이션 의 ' 억지 ' 접근 법 을 수행 할 필요 성 을 제거 한다 . 실로 , 아래 에서 더 유의 되 는 바 와 같이 , 시뮬레이션 을 위해 N 개 의 공정 윈도우 조건 들 을 고려 하 는 경우 , 본 방법 의 계산 시간 은 약 2 T 인 반면 , 종래 방법 은 약 NT 를 필요 로 할 것 이 며 , 이때 T 는 하나 의 공정 윈도우 조건 을 시뮬레이션 하 는 데 필요 한 계산 시간 을 나타낸다 .