기판 의 주면 은 , ( 100 ) 면 , ( 110 ) 면 혹은 ( 111 ) 면 , 또는 , 이 들 과 등가 인 면 이 어도 좋 다 . 또한 , 기판 의 주면 은 , 상기 결정학 적 면방 위 로부터 약간 기울 어 있 어도 좋 다 . 즉 , 상기 기판 은 오프 각 을 가져도 좋 다 . 상기 기울 기 의 크기 는 10 ° 이 하 여도 좋 다 . 상기 기울 기 의 크기 는 , 바람직 하 게 는 0 . 05 ° 이상 6 ° 이 하 여도 좋 고 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 3 ° 이상 6 ° 이 하 여도 좋 다 . 개구 의 내부 에 사각형 결정 을 성장 시키 는 경우 에 는 , 기판 의 주면 은 ( 100 ) 면 혹은 ( 110 ) 면 또는 이 들 과 등가 인 면 이 어도 좋 다 . 이 에 따라 , 상기 결정 에 4 회 대칭 인 측면 이 드러나 기 쉽 게 된다 .