단 , | Pv '| 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 참조 웨이퍼 RW 의 중심 RC 의 편심 량 을 나타내 고 , | Pv | 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 참조 웨이퍼 RW 의 중심 RC 의 편심 량 을 나타내 며 , α 는 편심 벡터 Pv ' 의 각도 기준선 RL 로부터 의 각도 를 나타내 고 , β 는 편심 벡터 Pv 의 각도 기준선 PL 로부터 의 각도 를 나타내 며 , iv 는 i 방향 의 벡터 를 나타내 고 , jv 는 j 방향 의 벡터 를 나타낸다 .