본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 기판 ; 기판 상 에 위치 하 는 절연 층 ; 중앙 부분 이 절연 층 과 소정 의 간격 만큼 이격 되 어 위치 하 는 구조물 층 ; 구조물 층 상 에 위치 하 고 , 구조물 층 의 중앙 부분 을 상하 로 움직이 게 하 는 압 전 구 동체 ; 및 압 전 구 동체 상 에 위치 하 고 , 압 전 구 동체 를 보호 하 는 제 1 보호 층 을 포함 하 는 보호 층 을 가지 는 광변조기 소자 가 제공 된다 .