스테이지 ( WST 2 ) 상 에 , 2 개 의 X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 와 하나 의 Y 헤드 ( EY ) 를 탑재 하 고 , 이 들 헤드 에 대응 하 는 X 스케일 ( SX 2 ) 과 Y 스케일 ( SY 2 ) 을 , 그 스케일 들 이 노광 영역 과 얼라인먼트 영역 을 연결 하 도록 , 스테이지 ( WST 2 ) 에 대향 하 여 설치 한다 . 3 개 의 인코더 헤드 ( EX 1 , EX 2 , EY ) 를 이용 하 여 위치 계측 을 수행 하 면서 , 스테이지 ( WST 2 ) 를 , 스케일 ( SX 2 , SY 2 ) 의 설치 경로 에 따라 , 노광 영역 과 얼라인먼트 영역 사이 를 왕래 시킨다 . 따라서 , XZ 간섭계 ( 116 , 117 ) 사이 , 및 XZ 간섭계 ( 126 , 127 ) 사이 의 전환 처리 가 불 필요 하 게 되 고 , 또한 , XY 평면 내 에서 이동하 는 스테이지 의 위치 를 , 계측 영역 의 상이 한 2 개 의 위치 계측 시스템 을 이용 하 여 안정 적 인 방식 으로 고정 밀도 로 계측 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .