상기 바이패스 부 ( 60 ) 는 , 상기 기화 부 ( 10 ) 에서 기화 된 다이 머 페럴 린 을 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 에 선택 적 으로 공급 하 도록 상기 제 1 배출관 ( P 1 ) 및 상기 제 2 배출관 ( P 2 ) 에 설치 된 한 쌍 의 제 3 바이패스 부 ( 63 ) 를 더 포함 하 여 구성 된다 .