수지 ( C ) 의 폴리스티렌 환산 의 중량 평균 분자량 은 , 바람직 하 게 는 3000 이상 100000 이하 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 5000 이상 50000 이하 이 며 , 더 바람직 하 게 는 5000 이상 30000 이하 이 다 . 분자량 이 상기 범위 에 있 으면 , 미노 광부 의 현상액 에 대한 용해 성 이 높 아 , 얻 어 지 는 패턴 의 잔 막 율 이나 경도 도 높 은 경향 이 있 다 . 수지 ( C ) 의 분자량 분포 〔 중량 평균 분자량 ( Mw ) / 수 평균 분자량 ( Mn ) 〕 는 , 바람직 하 게 는 1 . 1 이상 6 이하 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 1 . 2 이상 4 이하 이 다 .