상기 웨이퍼 의 하 측면 이 오염 되 지 않 은 정상 상태 로 교환 챔버 ( 4 ) 내부 로 이송 되 었 다면 , 제 어부 ( 10 ) 에 전송 된 감지 신호 가 일정 한 파형 을 갖 기 때문 에 제 어부 ( 10 ) 는 셈 장치 ( 100 ) 의 작동 을 중지 시키 도록 명령 을 수행 하 지 않 으며 , 경고 부 ( 30 ) 를 작동 시키 지 않 는다 .