한 쌍 의 변환 구동 유닛 ( 515 ) 은 각각 그 일 측 이 제 1 전극 흡착 유닛 ( 512 ) 과 연결 되 고 , 타 측 이 한 쌍 의 수평 구동 유닛 ( 514 ) 과 연결 되 어 있 다 . 그 에 따라 , 한 쌍 의 변환 구동 유닛 ( 515 ) 은 한 쌍 의 수평 구동 유닛 ( 514 ) 의 수평 왕복 이동과 연동 하 여 수직 왕복 이동 하 면서 , 제 1 전극 흡착 유닛 ( 512 ) 을 회동 왕복 이동 하 도록 변환 시킨다 .