상기 제 1 슬러리 조성물 이 연마제 를 약 0 . 1 중량 % 미만 포함 하 는 경우 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 연마 속도 가 저하 되 어 연마 공정 의 효율 이 저하 될 수 있 다 . 또한 , 상기 연마제 의 함량 이 약 2 중량 % 를 초과 하 는 경우 에 는 , 절 연막 ( 105 ) 의 연마 속도 가 크 게 증가 하 여 절 연막 ( 105 ) 을 연마 정지 막 을 사용 하 기 어려울 수 있 다 . 따라서 상기 제 1 슬러리 조성물 은 연마제 를 약 0 . 1 내지 약 2 중량 % 의 범위 로 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 약 0 . 1 내지 약 1 . 8 중량 % 의 범위 로 포함 할 수 있 다 .