상기 개구부 들 ( 105 ) 을 형성 하 는 단계 는 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 상 에 상기 개구부 들 ( 105 ) 의 위치 를 정의 하 는 소정 의 마스크 패턴 을 형성 하 는 단계 및 이 를 식각 마스크 로 사용 하 여 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 를 이방성 식각 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 한편 , 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 는 적어도 두 종류 의 서로 다른 막 들 을 포함 하 기 때문 에 , 상기 개구부 들 ( 105 ) 의 측벽 은 상기 기판 ( 10 ) 의 상부 면 에 완전 하 게 수직 하 기 않 을 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 기판 ( 10 ) 에 가까울수록 , 상기 개구부 들 ( 105 ) 의 폭 은 감소 될 수 있 다 .