프로세스 챔버 ( 6 ) 의 상방 에 설치 된 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 는 , 하우징 ( 51 ) 의 내측 에 , 복수 개 ( 본 실시 형태 에서 는 30 개 ) 의 크세논 플래시 램프 ( FL ) 로 이루어지 는 광원 과 , 그 광원 의 상방 을 덮 도록 설치 된 리플렉터 ( 52 ) 를 구비 하 여 구성 된다 . 또 , 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 의 하우징 ( 51 ) 의 저부 에 는 램프 광 방 사창 ( 53 ) 이 장착 되 어 있 다 . 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 의 바닥 부를 구성 하 는 램프 광 방 사창 ( 53 ) 은 , 석영 에 의해 형성 된 판형 상 의 석영 창 이 다 . 플래시 램프 하우스 ( 5 ) 가 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 상방 에 설치 됨 으로써 , 램프 광 방 사창 ( 53 ) 이 상측 챔버 창 ( 63 ) 과 서로 대향 하 게 된다 . 플래시 램프 ( FL ) 는 프로세스 챔버 ( 6 ) 의 상방 으로부터 램프 광 방 사창 ( 53 ) 및 상측 챔버 창 ( 63 ) 을 통하 여 열처리 공간 ( 65 ) 에 플래시 광 을 조사 한다 .