일 예 로 , 비접 촉식 세정 유닛 ( 500 ) 은 , 기판 ( 10 ) 의 표면 에 적어도 한 종류 이상 의 케미컬 ( chemical ) 을 분사 하 는 케미컬 분사 부 와 , 기판 ( 10 ) 의 표면 에 스팀 을 분사 하 는 스팀 분사 부 와 , 기판 ( 10 ) 의 표면 에 세정액 을 분사 하 는 세정액 분사 부 와 , 기판 ( 10 ) 의 표면 에 서로 다른 이종 ( heterogeneity ) 유체 를 분사 하 는 이종 유체 분사 부 중 적어도 어느 하나 를 포함 할 수 있 다 .