도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 연삭 장치 ( 2 ) 는 , 피 가 공물 을 유지 하 기 위한 유지 수단 으로서 의 척 테이블 ( 60 ) , 피 가 공물 을 연삭 처리 하 는 처리 수단 ( 55 ) , 척 테이블 ( 60 ) 에 대하 여 피 가 공물 을 반송 ( 반입 및 반출 ) 하 기 위한 반송 기구 ( 71 ) , 도 3 에 나타낸 이오 나이저 ( 51 ) 및 연삭 장치 ( 2 ) 의 각 부재 를 제어 하 는 제 어부 ( 57 ) 를 갖 는다 .