반도체 , 디스플레이 산업 에서 클린 룸 조성 기술 이 중요 한 이유 는 아주 작 은 오염 물질 ( 파티클 ) 이 라도 제품 에 붙 으면 불량품 이 되 기 때문 이 다 . 클린 룸 에서 는 파티클 제거 뿐 만 아니 라 온도 와 습도 를 최적 의 조건 으로 유지 하 는 것 도 필수 적 이 다 . 청 정도 등급 은 공정 마다 천차만별 이 지만 최소 요구 조건 은 ‘ 1000 클래스 ’ 다 . 1 세제곱 피트 ( 약 30 ㎝ 길 이 정육면체 부피 ) 공간 에 0 . 1 ㎛( 마이크로미터 ) 크기 의 미세먼지 가 1000 개 이하 여야 한다는 의미 다 . 노광 공정 은 100 클래스 정도 로 조건 이 더 엄격 하 다 .