그래서 , 본 발명자 들 이 예의 검토 한 결과 , 제 1 화합물 에 제 2 화합물 을 적량 혼합 함 으로써 폐색 현상 이 억제 되 는 것 을 알아냈 다 . 제 2 화합물 을 적량 제 1 화합물 에 혼합 함 으로써 , 제 1 화합물 단체 를 성막 할 때 에 일어나 기 쉬운 결정 성장 이 억제 되 어 , 부피 가 큰 부착물 의 발생 을 억제 할 수 있 었 다고 생각 된다 . 제 2 화합물 이 높 은 비정질 성 의 화합물 이 면 , 제 1 화합물 에 소량 의 제 2 화합물 을 혼합 함 으로써 , 부피 가 큰 부착물 의 발생 을 억제 할 수 있 다고 생각 된다 .