인 덱 서부 ( 101 ) 는 , 복수 의 캐리어 ( C ) ( 본 실시 형태 에서 는 2 개 ) 를 늘어놓 아 재치 하 는 로드 포트 ( 110 ) 와 , 각 캐리어 ( C ) 로부터 미처리 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 취 출 함 과 함께 , 각 캐리어 ( C ) 에 처리 가 완료 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수납 하 는 수도 ( 受渡 ) 로봇 ( 120 ) 을 구비 하 고 있 다 . 미처리 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 캐리어 ( C ) 는 무인 반송 차 ( AGV , OHT ) 등 에 의해 반송 되 어 로드 포트 ( 110 ) 에 재치 됨 과 함께 , 처리 가 완료 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 캐리어 ( C ) 는 무인 반송 차 에 의해 로드 포트 ( 110 ) 로부터 운반 된다 . 또 , 로드 포트 ( 110 ) 에 있 어서 는 , 수도 로봇 ( 120 ) 이 캐리어 ( C ) 에 대해 임의 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 출납 을 행할 수 있 도록 , 캐리어 ( C ) 가 도 2 의 화살표 CU 로 나타내 는 바 와 같이 승강 이동 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 , 캐리어 ( C ) 의 형태 로서 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 밀폐 공간 에 수납 하 는 FOUP ( front opening unified pod ) 외 에 , SMIF ( Standard Mechanical Inter Face ) 포드 나 수납 한 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 바깥 공기 에 노출 시키 는 OC ( open cassette ) 여도 된다 .