상기 이 에프 이 엠 은 로드 포트 가 설치 되 어 , 상기 로드 포트 를 통해 웨이퍼 를 상기 웨이퍼 가공 설비 내 로 투입 하 거나 공정 이 끝난 웨이퍼 를 회수 하 여 외부 로 반출 할 수 있 는 것 이 고 , 상기 로드 락 챔버 유닛 은 상기 이 에프 이 엠 과 상기 트랜스퍼 챔버 유닛 사이 에서 웨이퍼 가 통과 되 는 것 이 고 , 상기 트랜스퍼 챔버 유닛 은 로봇 팔 등 이 내장 되 어 있 어서 상기 로드 락 챔버 유닛 을 통해 투입 된 웨이퍼 를 상기 프로세스 챔버 유닛 으로 투입 하 거나 공정 이 끝난 웨이퍼 를 다시 상기 로드 락 챔버 유닛 을 통해 상기 이 에프 이 엠 으로 되돌려 주 는 것 이 고 , 상기 프로세스 챔버 유닛 은 상기 트랜스퍼 챔버 유닛 을 통해 들어온 웨이퍼 에 대한 에칭 공정 등 의 가공 을 수행 하 는 것 이 다 .