게이트 절 연막 ( 16 ) 의 재료 로 는 산화 실리콘 ( SiOx ) 또는 질화 실리콘 ( SiNx ) 등 의 무기 절연 물질 이 이용 된다 . 소스 / 드레 인 금속 층 ( 20 ) 의 재료 로 는 게이트 전극 ( 12 ) 과 같 은 몰리브덴 ( Mo ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 몰리브덴 합금 ( Mo alloy ) , 구리 ( Cu ) 등 이 이용 된다 .