기판 캐리어 ( 11 ) 는 기판 ( 1 ) 의 피연 마면 이 상부 를 향하 도록 기판 ( 1 ) 이 안착 된다 . 기판 캐리어 ( 11 ) 는 연마 패드 ( 12 ) 의 하부 로 수평 으로 이동하 여서 , 기판 ( 1 ) 의 피연 마면 이 연마 패드 ( 12 ) 의 외주 면 에 접촉 하 면서 연마 가 수행 된다 . 그러나 본 발명 이 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 기판 캐리어 ( 11 ) 는 고정 된 상태 에서 연마 패드 ( 12 ) 를 포함 하 는 연마 모듈 이 이동 하 면서 연마 가 수행 되 는 것 도 가능 하 다 .