다른 실시 예 에 따르 면 , 도 펀트 각각 은 연속 하 여 각각 기판 에 주입 된다 . 소스 가스 모두 가 이미 동일 한 컨테이너 ( 52 ) 에 포함 되 어 있 기 때문 에 , 주입 단계 들 사이 에 이온 소스 를 정지 시키 고 , 컨테이너 를 퍼지 하 며 , 이온 소스 를 재가동 할 필요 가 없 다 . 대신 에 , 소스 플 라즈 마 로부터 의 이온 이 가속 되 고 자기 분광계 - 질량 과 극성 에 따라 이온 을 선택 하 는 특정 자기장 으로 조정 됨 - 에 진입 한다 . 자기 분광계 가 선택 하 는 이온 ( 예컨대 , C + 이온 ) 만 이 기판 으로 지향 될 것 이 다 . 제 1 주 입 이 완료 되 고 나 면 , 자기 분광계 는 플 라즈 마 에 포함 되 어 있 는 제 2 타입 의 이온 등 을 선택 하 도록 상이 한 자기장 강도 로 재 조정 될 것 이 다 .