하부 정렬 키 패턴 ( 15 K ) 이 형성 된 이후 , 하부 정렬 키 ( 14 K ) 내부 에 하부 단차 ( 15 G ) 가 제공 될 수 있 다 . 하부 단차 ( 15 G ) , 하부 정렬 키 ( 14 K ) 및 하부 정렬 키 패턴 ( 15 K ) 은 ' 하부 단차 ' 또는 ' 오버레이 측정 용 단차 ' 를 제공 할 수 있 다 . 하부 정렬 키 ( 14 K ) 는 하부 단차 형 정렬 키 라고 지칭 할 수 있 다 . 하부 정렬 키 스택 ( 11 LK ) 의 최상 부면 과 하부 정렬 키 패턴 ( 15 K ) 의 저면 사이 의 높이 차이 에 의해 하부 단차 ( 15 G ) 가 정의 될 수 있 다 . 따라서 , 하부 정렬 키 ( 14 K ) 는 하부 단차 ( 15 G ) 를 포함 하 는 하부 단차 형 정렬 키가 될 수 있 다 . 하부 단차 ( 15 G ) 및 하부 정렬 키 ( 14 K ) 는 트렌치 형상 일 수 있 다 .