면방 위가 ( 100 ) 면 인 단결정 실리콘 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 플래시 광 을 조사 했 을 때 에 는 , ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 직경 을 축 으로 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어진다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 하 도록 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 방향 을 조정 하 여 서 셉 터 ( 74 ) 에 재치 함 으로써 , 플래시 광조 사 시 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 휨 이 최소 가 되 는 방향 을 따른 직경 이 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 과 일치 한다 . 그 결과 , 플래시 광조 사 시 에 도 , 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 방향 에서 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 거의 휨 이 생기 지 않 기 때문 에 , 방사 율 도 거의 변화 되 지 않 고 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 온도 를 정확 하 게 측정 할 수 있 다 .