또 다른 실시 예 는 실리콘 부품 제조 방법 을 제공 하 며 , 상기 방법 은 ( a ) 실리콘 샘플 을 성장 시키 는 단계 , ( b ) 부품 이 형성 되 도록 실리콘 샘플 을 기계 가공 하 는 단계 , 및 ( c ) 부품 을 적어도 제 1 시간 기간 동안 비활성 가스 및 제 2 시간 기간 동안 환원 가스 에 노출 시킴 으로써 부품 을 어닐링 하 는 단계 를 포함 한다 .