본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 포함 하 여 여러 문제점 들 을 해결 하 기 위한 것 으로서 , 투과도 와 기계 적 강도 를 동시 에 효과 적 으로 확보 할 수 있 는 EUV 리소그래피 펠리 클 박막 의 제조 방법 및 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 . 그러나 이러 한 과제 는 예시 적 인 것 으로 , 이 에 의해 본 발명 의 범위 가 한정 되 는 것 은 아니 다 .