또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 처리 실 ( 42 ) 과 상기 처리 실 ( 42 ) 에 인접 하 는 반 송실 ( 32 ) 사이 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 반입 출시 , 상기 반 송실 ( 32 ) 의 반송 아암 ( 52 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 의 중심 이 , 상기 반송 아암 ( 52 ) 의 선회 축 과 상기 처리 실 ( 42 ) 내 의 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 을 연결 하 는 선 ( 예 를 들 면 반 송실 ( 321 ) 로부터 처리 실 ( 421 ) 로 의 반입 의 경우 는 상술 의 선 ( L 11 ) ) 의 외측 을 지나 도록 구동 기구 ( 53 ) 를 제어 하 도록 제 어부 ( 60 ) 가 구성 되 어 있 다 . 따라서 , 장치 의 대형 화 를 방지 하 거나 소형 화 하 기 위해서 상술 한 바 와 같이 기판 처리 장치 ( 1 ) 를 구성 했 다고 하 여도 , 웨이퍼 ( W ) 가 반송 중 에 반송 아암 ( 52 ) 으로부터 낙하 하 는 일 이 없 다 .