세정 처리 로 는 , 종래 공지 된 방법 을 이용 할 수 있 으며 , 예 를 들 어 산소 플 라즈 마 처리 , 수소 플 라즈 마 처리 , 오존 산화 처리 , 산 알칼리 처리 , 화학 수식 처리 등 을 들 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 을 황산 / 과산화수소수 용액 등 의 산 용액 에 침지 시킨 후 , 물 세정 하 고 , 건조 시킨다 . 그 후 , 당해 기판 의 표면 에 , BCP 층 ( 3 ) 또는 하지제 층 ( 2 ) 을 형성 한다 .