본 발명 에 있 어서 의 함 불소 화합물 은 , 또한 ( b ) 폴리에테르 구조 를 측쇄 에 갖 는 반복 단위 를 함유 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 반복 단위 를 포함 함 으로써 함 불소화 합 물 을 함유 하 는 감광성 수지 조성물 에 의해 형성 되 는 경화 막 과 기판 사이 의 밀착 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 폴리에테르 구조 로서 는 , 폴리 에틸렌옥사이드 , 폴리프로필렌 옥사이드 , 폴리 테트라 히 드로 푸란 등 을 들 수 있 고 , 이 들 은 복수 로 조합 되 어 있 어도 좋 다 .