웨이퍼 에 대해 , 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 에 의해 레이저 가공 이 실시 되 었 다면 , 척 테이블 ( 35 ) 은 , 다시 도 1 에 나타내 는 반 출입 위치 에 위치 시켜 져 , 반 출입 기구 ( 50 ) 의 로봇 핸드 ( 55 ) 에 의해 가공 이 완료 된 웨이퍼 가 흡착 되 고 , 아암 기구 ( 54 ) 의 작동 에 의해 , 웨이퍼 가 가공 전 에 수용 되 어 있 던 제 1 카세트 ( 42 ) 또는 제 2 카세트 ( 43 ) 중 어느 위치 로 되돌려진다 .