상기 광도 파로 를 형성 하 는 단계 는 , 석영 으로 이루어진 기판 상면 에 산화 막 을 증착 하 고 , 상기 기판 과 산화 막 에 광도 파로 형성 을 위한 트렌치 가 형성 될 부분 이외 부분 의 상면 에 포토레지스트 를 도포 하 는 단계 ; 상기 포토레지스트 를 식각 정지 막 으로 하 여 상기 트렌치 를 형성 하 는 단계 ; 상기 트렌치 내부 바닥 면 에 하부 클래드 층 을 증착 하 는 단계 ; 상기 하부 클래드 층 상면 에 고 굴절 률 의 코어 를 증착 하 는 단계 ; 상기 코어 의 양측 단 에 트렌치 를 형성 하 는 단계 ; 상기 코어 의 양측 단의 트렌치 내부 와 상기 코어 의 상면 에 상부 클래드 층 을 증착 하 는 단계 ; 및 상기 산화 막 과 상부 클래드 층 의 일부분 을 제거 하 여 평탄 화 시키 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .