본 발명 의 레지스 트 의 박리 방법 은 이온 임 플란테 이 션 ( 이온 주입 ) 된 레지스 트 의 박리 방법 에 바람직 하 게 사용 된다 . 이온 임 플란테 이 션 에 의해 박리 가 곤란 해진 레지스 트 에 대해서 입자 를 함유 하 는 레지스 트 박리 액 에 의해 효과 적 으로 박리 를 하 는 것 이 가능 해 지 는 것 이 다 . 또한 , 레지스 트 박리 액 을 처리 층 에 침지 하 고 , 기판 의 이면 으로부터 초음파 를 조사 해서 상기 기판 의 표면 의 세정 을 행함 으로써 확실 하 게 레지스 트 를 박리 할 수 있 다 .