한편 , 비 아홀 을 채운 채 움막 은 절 연막 의 식각 선택 비 보다 낮 다 . 즉 , 임의 로 지정 한 시간 동안 절 연막 과 감광막 을 동시 에 식각 할 경우 , 감광막 의 식각 량 은 절 연막 의 식각 량 보다 더 적 다 . 이 에 따라 , 트렌치 밑면 에 는 절 연막 과 감광막 의 식각 선택 비 차 로 인한 담 ( fence ) 이 발생 한다 . 이렇게 만들 어 진 담 ( fence ) 은 비 아홀 내부 의 감광막 을 제거 하 는 공정 과 같 은 후속 공정 에 의해 그 높이 가 낮 아 질 수 있 으나 완전히 제거 되 지 않 는다 .