보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 스텝 S 162 의 실행 개시 부터 소정 시간 이 경과 할 때 까지 스텝 S 161 , S 162 의 처리 를 반복 한다 . 소정 시간 은 , 당해 시간 내 에 송액 부 ( 60 ) ( 펌프 ( 76 ) ) 에 의 처리 액 의 보충 이 완료 되 도록 미리 정해져 있 으며 , 동작 지령 보유 부 ( 102 ) 에 기억 되 어 있 다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 압력 을 목표 값 에 추종 시키 는 제어 에 있 어서 , 소정 시간 이 경과 할 때 까지 ( 처리 액 의 보충 이 완료 될 때 까지 ) , 보충 압력 의 목표 값 을 설정 값 ( Pr ) 으로 설정 해도 된다 . 예 를 들 어 , 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 과 설정 값 ( Pr ) 의 편차 가 제로 에 접근 하 여 , 당해 편차 가 제로 에 대략 일치 하 는 상태 가 유지 되 도록 , 보충 개시 부터 보충 완료 까지 , 펌프 구동 부 ( 57 ) 로부터 펌프 ( 56 ) 에 의 구 동압 을 조절 한다 .