본 실시 예 에서 는 기판 ( W ) 이 우측 ( 제 1 방향 ( X 1 ) ) 으로 벗어난 경우 에 로봇 암 ( 42 ) 의 이동 경로 를 변경 하 는 경우 를 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 본 실시 예 에서 는 기판 ( W ) 의 전후좌우 정렬 이 모두 흐트러진 경우 에 도 제어기 ( 120 ) 가 로봇 암 ( 42 ) 의 이동 경로 를 변경 시켜 기판 ( W ) 을 지지 부재 ( 56 ) 의 기 설정 된 위치 ( 56 a ) 에 안착 시킬 수 있 다 .