도 1 로부터 , 다 결정 실리콘 의 막 두께 에 의해 실리콘 결정 의 입경 이 상이 하 고 , 결과 적 으로 불순물 의 활성 화 율 이 상이 한 것 을 알 수 있 다 . 즉 , 막 두께 를 두껍 게 하 여 입경 을 크 게 할수록 , 활성 화 율 을 크 게 할 수 있 는 것 이 며 , 다 결정 실리콘 의 입경 제어 ( 입경 대형 화 ) 가 활성 화 율 의 증가 에 유효 한 것 을 알 수 있 다 . 소자 의 미세화 가 진행 되 면 , 다 결정 실리콘 의 막 두께 도 얇 아 지 고 , 이 에 의해 실리콘 결정 의 입경 이 작아져 , 다 결정 실리콘 중 의 활성 화 율 이 저하 되 어 캐리어 가 감소 된다 . 그러나 , 이 를 해결 하 기 위해 , 간단히 다결정 실리콘 의 막 두께 를 두껍 게 한 것 으로 는 , 소자 의 미세화 의 장해 로 된다 .