편심 검 출부 ( 60 ) 의 처 리부 ( 65 ) 는 , 로터리 인코더 ( 38 ) ( 도 1 참조 ) 에 접속 되 어 있 고 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 각도 ( 즉 웨이퍼 W 의 회전 각도 ) 를 나타내 는 신호 가 로터리 인코더 ( 38 ) 로부터 처 리부 ( 65 ) 에 보내 진다 . 처 리부 ( 65 ) 는 , 광량 이 최소 가 되 는 웨이퍼 W 의 각도 인 최대 편심 각도 를 결정 한다 . 이 최대 편심 각도 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 편심 방향 을 나타내 고 , 최대 편심 각도 에 의해 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 가장 이격 된 웨이퍼 W 상 의 최대 편심 점 이 특정 된다 . 또한 , 처 리부 ( 65 ) 는 , 기준 광량 RD 와 , 최대 편심 점 의 광량 ( 또는 최소 편심 점 의 광량 ) 의 차 에 기초 하 여 편 심량 을 산출 한다 . 이 와 같이 , 편심 검 출부 ( 60 ) 의 처 리부 ( 65 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 편심 량 과 편심 방향 을 취득 한다 . 또한 , 처 리부 ( 65 ) 는 , 결정 된 편 심량 과 편심 방향 을 동작 제 어부 ( 75 ) ( 도 1 참조 ) 에 보내 고 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 수신 된 편 심량 과 편심 방향 을 기억 한다 .