현상 공정 에서 는 , 상기 가열 공정 후 의 레지스 트 막 을 현상 한다 . 상기 가열 공정 에서 의 레지스 트 막 내 의 반응 에 의해 , 일부 조 사 부 에서 선택 적 으로 현상액 에 대한 용해 성 이 바뀌 는 것 을 이용 해서 현상 하 고 , 레지스 트 패턴 이 형성 된다 . 현상액 은 포지티브 형 현상액 과 네 가 티 브 형 현상액 으로 나눌 수 있 다 .