상기 패키지 웨이퍼 ( 110 ) 와 캡 웨이퍼 ( 120 ) 간 의 접합 은 도 5 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 수정 편 ( 130 ) 을 탑재 한 패키지 웨이퍼 ( 110 ) 를 하부 부품 으로 하 여 하측 에 배치 하 고 , 상기 캐 비티 ( C ) 를 형성 한 캡 웨이퍼 ( 120 ) 를 상부 부품 으로 하 여 상측 에 배치 한 상태 에서 이루어진다 .