도 12 A 및 도 12 B 는 , 단계 60 이 수행 된 이후 에 부분 적 으로 형성 된 집 적 회로 ( 200 ) 를 예시 한다 . 선택 적 으로 디 파인 가능 한 층 ( 120 ) 에 형성 된 기둥 의 밀도 의 약 2 배 보다 크 거나 같 은 밀도 로 플러그 ( 150 ) 패턴 이 기판 ( 100 ) 에 형성 되 었 다 . 더 나아가 , 플러그 ( 150 ) 는 선택 적 으로 디 파인 가능 한 층 ( 120 ) 에 처음 형성 된 기둥 ( 121 ) 보다 작 은 피처 크기 를 갖 고 , 플러그 ( 150 ) 는 선택 적 으로 디 파인 가능 한 층 ( 120 ) 에서 의 기둥 패턴 ( 121 ) 과 정렬 되 는 패턴 으로 생성 된다 .