종래 의 코어 ( 154 ) 에 있 어서 의 문제 , 즉 , 웨이퍼 에지 에 있 어서 의 센서 출력 의 상승 이 느려 진다고 하 는 문제 를 , 본 실시 형태 의 와전류 센서 ( 50 ) 가 개선 할 수 있 는 것 에 대해 도 7 에 의해 설명 한다 . 도 7 은 , 본 실시 형태 의 와전류 센서 ( 50 ) ( 설명 의 명료 화 를 위해 코어 ( 136 ) 만 을 나타냄 ) 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 에지 영역 ( 158 ) 으로 들어갈 때 와 , 에지 영역 ( 158 ) 으로부터 나올 때 의 코어 ( 136 ) 와 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 위치 관계 를 나타낸다 . 코어 ( 136 ) 는 , 연마 테이블 ( 100 ) 내 에 배치 되 어 있 으므로 , 연마 테이블 ( 100 ) 의 회전 중심 ( 160 ) 의 주위 를 회전 한다 .