가스 소스 군 ( 41 ) 은 복수 개 의 가스 소스 를 포함 하 고 있 다 . 밸브 군 ( 42 , 44 ) 의 각각 은 복수 개 의 밸브 를 포함 하 고 있 다 . 유량 제어기 군 ( 43 ) 은 복수 개 의 유량 제어기 를 포함 하 고 있 다 . 복수 개 의 유량 제어기 의 각각 은 매스 플로우 컨트롤러 또는 압력 제 어식 유량 제어기 이 다 . 가스 소스 군 ( 41 ) 의 복수 개 의 가스 소스 의 각각 은 , 밸브 군 ( 44 ) 중 의 대응 하 는 밸브 , 유량 제어기 군 ( 43 ) 중 의 대응 하 는 유량 제어기 , 밸브 군 ( 42 ) 중 의 대응 하 는 밸브 를 사이 에 두 고 , 포트 ( 38 p ) 에 접속 되 어 있 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에서 는 , 가스 소스 군 ( 41 ) 의 복수 개 의 가스 소스 중 선택 된 하나 이상 의 가스 소스 의 각각 으로부터 의 가스 가 가스 확산 실 ( 38 d ) 로 공급 된다 . 가스 확산 실 ( 38 d ) 로 공급 된 가스 는 복수 개 의 가스 토출 구멍 ( 36 h ) 으로부터 내부 공간 ( 10 s ) 으로 공급 된다 .