상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 평판 표시 소자 제조 공정 용 식각 장비 는 , 기판 을 로딩 하 거나 언 로딩 하 는 로더 부 ( loader ) ; 상기 로딩 된 기판 을 제공 받 아 원 하 는 형상 으로 식각 하 는 식 각부 ; 상기 식각 된 기판 을 제공 받 아 식각 과정 에서 발생 된 미세 입자 를 세정 하 는 세 정부 ; 상기 세정 된 기판 을 제공 받 아 건조 하 는 건 조부 ( air knife ) ; 그리고 , 상기 각 구성 간 의 사이 중 적어도 어느 한 부위 에 구비 되 며 , 기판 의 반송 방향 을 반전 하 는 반 전부 : 를 포함 하 여 구성 됨 을 특징 으로 한다 .