따라서 , 본 발명 은 상기 의 문제점 을 해결 하 기 위하 여 정 전척 내 에 기판 지지 를 위한 전극 패턴 과 고주파 인가 를 위한 전극 패턴 을 별도 로 마련 하 고 , 이 들 각각 에 별도 의 기판 지지 를 위한 전원 과 고주파 전원 을 인가 하 여 기판 에지 영역 의 플 라즈 마 밀도 를 향상 시킬 수 있 고 , 기판 중심 영역 의 플 라즈 마 손상 을 방지 할 수 있 는 기판 지지 장치 및 이 를 구비 하 는 기판 에지 식각 장치 를 제공 하 는 것 을 그 목 적 으로 한다 .