본 발명 은 하이드록실기 를 포함 하 는 알칼리 화합물 ; 암모늄염 화합물 ; 유기산 ; 과산화수소 ; 및 물 을 포함 하 는 마스크 세정액 조성물 , 마스크 세정액 예비 - 조성물 , 및 마스크 세정액 조성물 의 제조 방법 을 제공 한다 . 상기 조성물 은 마스크 를 손상 시키 지 않 으면서 , 마스크 상 에 증착 된 금속 을 산화 및 용해 과정 에 의해 신속 하 게 제거 하 는 효과 를 제공 한다 .