상기 반상체 ( 42 ) 의 표면 에 는 장착 링 ( 45 ) 이 상기 통공 ( 43 ) 의 대 경부 ( 43 a ) 로부터 삽입 된 나사 ( 46 ) 에 의해 착 탈 가능 하 게 장착 되 어 고정 되 어 있 다 . 상기 장착 링 ( 45 ) 의 외주 면 에 는 초고 분자량 폴리에틸렌 이나 EPDM ( 고 무재 의 일종 ) 등 의 탄성 재료 에 의해 형성 된 탄성 링 ( 47 ) 이 착 탈 가능 하 게 장착 되 어 있 다 . 그리고 , 상기 탄성 링 ( 47 ) 에 의해 도 3 에 나타낸 바 와 같이 기판 W 의 하단 이 지지 되 어 있 다 .