다음 으로 , 도 20 g 를 참조 하 면 , 제 1 층간 절 연막 ( 120 ) 에 콘 택 홀 들 ( CH ) 을 형성 한 후 에 는 , 애 싱 및 / 또는 스 트리핑 공정 을 수행 하 여 제 1 및 제 2 희생 패턴 들 ( 132 , 164 ) 을 제거 한다 . 이어서 , 콘 택 홀 들 ( CH ) 내 에 소오 스 및 드레 인 영역 들 ( 101 ) 과 접속 되 는 콘 택 플러그 들 ( BC ) 을 형성 한다 .