상기 제 1 영역 ( R 1 ) 과 상기 제 2 영역 ( R 2 ) 의 경계 근처 에서 상기 마스크 패턴 ( 190 ) 은 도 10 e 에 도시 된 바 와 같이 높이 가 비교 적 급격 하 게 변화 하 는 상부 표면 을 가질 수 있 다 . 하지만 , 경우 에 따라 상기 제 1 영역 ( R 1 ) 과 상기 제 2 영역 ( R 2 ) 사이 에서 로딩 효과 가 더 점진 적 으로 일어나 는 경우 에 는 상기 마스크 패턴 ( 190 ) 의 상부 표면 은 더 긴 수평 방향 의 거리 에 걸쳐 더 완만 한 기울기 로 변화 할 수 있 다 .