또 , 펄스 조사 제 어부 ( 23 ) 는 , 빔 을 시료 위 에서 주사 하 는 주사 편 향기 와 , 빔 의 시료 에 의 조사 를 차단 하 는 블 랭킹 편 향기 를 제어 함 으로써 , 펄스 빔 을 발생 시킨다 . 주사 편 향기 에 의한 빔 주사 가 행해 지 고 있 는 동안 에 , 블 랭킹 전극 은 , 설정 된 조사 조건 에 따라서 간헐 적 으로 빔 을 차단 함 으로써 , 펄스 빔 을 발생 시킨다 .