먼저 , 진동자 에 밸브 메탈 전극 을 박막 으로 형성 하 는 제 1 공정 은 통상 적 인 박막 증착 법 에 의해 수행 될 수 있 다 . 이때 450 ∼ 600 ℃ 의 온도 조건 에서 수행 되 는 것 이 바람직 하 다 . 만일 450 ℃ 미만 의 온도 조건 에서 밸브 메탈 ( 예컨대 , Ti ) 을 증착 하 는 경우 에 는 박막 내 의 입자 패킹 밀도 ( packing density ) 가 낮 아 진다 . 이 에 따라 , 후 공정 인 아노 다 이징 처리 를 하 였을 때 나노 기공 의 다공성 표면 이 형성 되 지 않 는다 . 또 , 600 ℃ 를 초과 하 는 온도 조건 에서 는 밸브 메탈 을 증착 했 을 때 진동자 ( 예컨대 , 수정 진동자 ) 와 의 반응 성 이 높 아 진다 . 따라서 , 원 하 지 않 는 산화물 과 계면 층 이 생성 되 어 균질 한 밸브 메탈 박막 을 얻 기 가 어려워진다 .