도포 장치 ( 1 ) 는 , 또 , 기판 ( 9 ) 상 에 배치 된 2 개 의 촬상부인 CCD 카메라 ( 13 ) , 2 개 의 CCD 카메라 ( 13 ) 를 부 주사 방향 으로 각각 개별 적 으로 이동하 는 2 개 의 촬상부 이동 기구 ( 13 a ) , 기판 유지 부 ( 11 ) 상 의 기판 ( 9 ) 의 ( ＋ Z ) 측 의 주면 ( 이하 , 「 상면 」 이 라고 한다 . ) ( 91 ) 을 향해 복수 의 노즐 ( 17 ) 로부터 유기 EL 액 을 연속 적 으로 토출 하 는 토출 기구 인 도포 헤드 ( 14 ) , 도포 헤드 ( 14 ) 를 기판 ( 9 ) 의 주면 에 평행 또 한 부 주사 방향 에 수직 인 방향 ( 즉 , 도 1 중의 X 방향 이 며 , 이하 , 「 주 주사 방향 」 이 라고 한다 . ) 으로 수평 이동 하 는 헤드 이동 기구 ( 15 ) , 도포 헤드 ( 14 ) 의 이동 방향 ( 즉 , X 방향 ) 에 관해 기판 유지 부 ( 11 ) 의 양측 으로 설치 됨 과 더불 어 도포 헤드 ( 14 ) 로부터 의 유기 EL 액 을 받 는 2 개 의 액 받 이 부 ( 16 ) , 및 , 복수 의 노즐 ( 17 ) 의 부 주사 방향 에 있 어서 의 피치 를 조정 하 는 피치 조정 기구 ( 3 ) 를 구비 하 고 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 도포 헤드 ( 14 ) 로부터 의 유기 EL 액 이 시험 도포 되 는 시험 도포 유닛 ( 2 ) 을 구비 한다 . 또 , 도포 장치 ( 1 ) 는 , 이러 한 구성 을 제어 하 는 제 어부 ( 10 ) 를 구비 한다 .