촉매 층 ( 842 ) 은 트렌치 의 저부 에 위치 하 고 , 트렌치 의 측벽 을 따라 성장 하 는 탄소 나노 튜브 를 응집 시키 는 역할 을 한다 . 일 실행 예 에서 , 나노 튜브 가 형성 되 기 전 에 , 촉매 스택 이 드레 인 또는 기판 , 또는 이 둘 모두 에 증착 되 며 , 촉매 스택 은 ( a ) 촉매 단독 ; ( b ) 확산 배리어 가 드레 인 만 을 피복 하 는 확산 배리어 의 상부 상 의 촉매 ; 또는 ( c ) 확산 배리어 가 드레 인 및 트렌치 의 다른 영영 만 을 피복 하 는 확산 배리어 의 상부 상 의 촉매 이 다 . 대안 적 인 실행 예 에서 , 트렌치 의 저부 대신 에 , 촉매 는 트렌치 의 상부 , 측면 또는 다른 부분 에 위치 한다 .