특정 예시 적 인 실시 예의 경우 , 통상 의 기술자 는 , 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 가 동일 한 속력 으로 그러나 반대 방향 으로 회전 한다고 가정 할 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 는 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 와 동일 한 방향 으로 회전 한다 . 또 다른 실시 예 들 에서 , 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 는 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 와 동일 한 방향 또는 반대 방향 으로 그리고 더 높 거나 더 낮 은 속력 으로 회전 한다 . 부가 적 으로 , 제 1 차 폐부 ( 101 ) 또는 제 2 차 폐부 ( 103 ) 는 연속 적 으로 또는 간헐 적 으로 가변 적 인 프로그래밍 가능 한 속력 들 및 방향 들 로 회전 할 수 있 다 . 속력 들 ( 고정 또는 가변 ) 및 방향 들 ( 두 차 폐부 들 모두 에 대해 동일 한 방향 또는 동일 하 거나 상이 한 시간 들 에서 역회전 들 을 가짐 ) 은 각각 맞춤 화 될 수 있 고 , 기판 유형 및 형상 , 이용 되 는 세정 화학 물질 들 , 주어진 기판 유형 에 대해 요구 되 는 청 정도 수준 , 및 통상 의 기술자 에게 식별 가능 한 다른 인자 들 에 의존 할 수 있 다 .