다음 으로 , MTJ 소자 ( 52 ) 및 콘택트 플러그 ( 58 ) 가 매립 된 층간 절 연막 ( 54 ) 상 에 , 예 를 들 어 스퍼터링 법 에 의해 Ta 막 을 퇴적 하 여 패 터닝 한다 . 이 에 따라 , Ta 막 으로 이루어지 고 , 콘택트 플러그 ( 58 ) 를 통하 여 소스 / 드레 인 영역 ( 18 ) 에 전기 적 으로 접속 되 며 , 콘택트 플러그 ( 58 ) 에 인접 하 는 2 개 의 MTJ 소자 ( 52 ) 를 병렬 로 접속 하 는 상부 전극 층 ( 60 ) 을 형성 한다 ( 도 17 의 ( b ) ) . 여기 서 , 상부 전극 층 ( 60 ) 의 패 터닝 에 는 , 예 를 들 어 Cl 2 / Ar 계 의 에칭 가스 를 사용 한다 .