본 발명 에 따르 면 복수 의 열전 소자 로부터 열 을 전달 받 는 열 전달 부재 를 이용 하 여 복수 의 대 상체 에 대해 동시 에 동일 온도 로 검사 를 수행 할 수 있 는 복수 대 상체 검사 장치 를 제공 하 는 것 이 다 . 구체 적 으로 는 복수 의 열전 소자 간 의 연결 부위 에 반도체 가 배치 되 지 않 는 점 을 감안 하 여 , 열 전달 부재 에 구비 된 복수 의 검사 블록 의 형상 을 위치 별로 다르 게 조정 하 여 복수 의 대 상체 에 대해 동시 에 동일 온도 로 검사 할 수 있 다 .