전술 한 세정 방법 에서 는 , 세 정구 가 상승 위치 로부터 하강 위치 까지 하강 할 때 의 속도 는 서서히 낮 아 지 는데 , 세 정구 의 하강 속도 의 변화 는 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 어 , 세 정구 는 , 상승 위치 로부터 하강 위치 의 직전 까지 일정 한 제 1 속도 로 하강 하 고 , 그 후 , 웨이퍼 에 맞닿 을 때 까지 제 1 속도 보다 낮 은 제 2 속도 로 하강 해도 된다 .