타 겟 내 CD 균일성 [ CDU , 예 를 들 어 , Chris A . Mack , " "" 임계 치수 균일성 에 대한 라인 폭 거칠 기 의 영향 에 대한 분 석식 """, Micro / Nanolithography 의 저널 , MEMS 및 MOEMS , 13 ( 2 ) , 020501 ( 2014 ) 를 참조 함 ] 에 기초 한 주기 적 구조 타 겟 의 최소 크기 의 결정 은 CDU 를 측정 된 바 ( bar ) 의 두 에지 의 LER 에 관련 시킴 으로써 수행 될 수 있 다 .