아르곤 이외 에 , 질소 혹은 인 등 과 같 은 도 펀트 를 함유 하 는 가스 가 진공로 속 으로 공급 되 면 , SiC 물질 의 성장 은 n 형 으로 수행 될 것 이 다 . 아르곤 이외 에 , 붕소 혹은 알루미늄 등 와 같 은 도 펀트 를 함유 하 는 가스 가 진공로 속 으로 공급 되 면 , SiC 물질 의 성장 은 p 형 으로 수행 될 것 이 다 . 도 펀트 는 진공로 압력 이 대기압 에서 목표 압력 으로 감압 되 는 시기 에 추가 된다 .