제 3 제조 방법 도 , 전술 한 제 2 제조 방법 과 마찬가지 로 , 제 1 제조 방법 을 특징짓 는 열처리 공정 ( 공정 A ) 을 행하 지 않 는다 . 또한 , 제 3 제조 방법 에서 는 , 제 2 제조 방법 과 달리 , Al －( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 의 형성 ( 공정 I ) 후 이 고 투명 화소 전극 의 형성 ( 공정 Ⅱ ) 전 에 , 형성 한 ( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 을 역 스 패 터 ( 공정 B ) 한 것 에 특징 이 있 다 .