현재 개발 되 고 상용 화 가 빠르 게 이루 어 지 고 있 는 반 도 체식 가스 센서 의 히터 는 휴대폰 및 IOT 대응 을 위해서 MEMS 형태 로 구현 되 고 있 다 . MEMS 타입 의 히터 는 저 전력 구현 에 핵심 이 되 고 있 으며 소형 화 에 기반 이 되 고 있 다 . 이러 한 MEMS 타입 의 히터 의 구동 에 따라 같 은 감 지재 의 센서 에 라도 측정 할 수 있 는 가스 가 달라지 기 도 한다 . 감 지재 가 원 하 는 온도 에 빠르 고 안 전하 게 도달 하 게 된다며 가스 센서 는 정확 하 고 빠른 반응 을 할 수 있 다 . 히터 는 구동 은 가스 센서 의 성능 의 주요 지표 가 되 며 그러 한 연고 로 히터 구동 및 활용 은 가스 센서 의 중요 한 요소 가 된다 . 구동 에 따라 히터 의 수명 에 영향 을 주 게 되 며 센서 장기 신뢰 성 및 수명 에 대한 주요 한 인자 이 기 도 하 다 .