예시 되 는 플 라즈 마 챔버 가 직사각 형 워크 피스 를 프로세싱 하 기 위하 여 구성 되 기 ( adapted ) 때문 에 , 도 1 - 8 에 개시 되 는 전극 ( 20 - 28 ) 은 직사각 형 이 다 . 그러나 , " 상기 섹션 "" 1 . 플 라즈 마 챔버 개요 "" 에서 설명 된 바 와 같이 ", 발명 은 원형 워크 피스 를 프로세싱 하 기 위하 여 구성 되 는 원형 전극 을 갖 는 플 라즈 마 챔버 에 동일 하 게 적용 가능 하 다 . 예 를 들 어 , 기하학 적 중앙선 ( 60 ) 은 직경 선 의 대향 측 들 상 에 제 1 절반 부 및 제 2 절반 부 ( 61 , 62 ) 를 갖 는 원형 전극 의 직경 일 수 있 다 .