이 어 , 본 발명 에서 는 도 10 ( h ) 와 같이 , 상기 보호 층 패턴 ( 390 ) 이 형성 된 기판 을 벌크 습식 에칭 함 으로써 상기 기판 상부 에 요 홈 ( H ) 을 형성 한다 . 상기 습식 에 칭제 로 는 KOH 가 바람직 하 나 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 상기 요 홈 ( H ) 은 그 상부 에 형성 된 적외선 흡수 소자 에 대하 여 열 적 고립 구조 를 형성 함 으로써 보다 우수 한 이산화 탄소 가스 감지 용 적외선 감지 소자 를 얻 을 수 있 도록 하 여 준다 .