본 발명 은 박막 증착 장치 , 플라 즈 마 발생 장치 , 및 박막 증착 방법 을 제공 한다 . 이 박막 증착 장치 는 진공 용기 를 포함 한다 . 이 박막 증착 장치 는 복수 의 접지 전극 , 접지 전극 사이 에 배치 되 고 접 지 전극 에 대향 하 게 배치 된 전원 전극 , 제 1 가스 공급 라인 을 통하 여 접 지 전극 과 전원 전극 사이 에 공급 된 제 1 가스 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 는 플 라즈 마 영역 , 제 2 가스 공급 라인 을 통하 고 접 지 전극 을 관통 하 여 공급 된 제 2 가스 를 이용 하 여 플 라즈 마 와 상호 작용 하 는 반응 영역 , 및 반응 영역 에 배치 된 기판 홀더 를 포함 하 고 , 기판 홀더 상 에 배치 된 기판 에 박막 이 형성 된다 .