전계 방출 표시 장치 ( FED : field emission display ) 에 있 어서 대면 적 위 에 균일 한 박막 을 제조 하 는 막 증착 방법 들 이 필요 하 다 . 여기 에 개시 된 ALD 실리콘 이 산화물 공정 들 은 비교 적 낮 은 성장 온도 와 제조 된 실리콘 이 산화물 막 의 균일성 으로 인해 전계 방출 표시 장치 용 유전 층 을 제조 하 기 에 적합 하 다 .