상기 레지스 트 막 은 , 공지 의 방법 , 예컨대 도포 등 에 의해 형성 할 수 있 다 . 상기 도포 의 방법 으로서 는 , 특별히 제한 은 없 고 , 목적 에 따라 공지 의 도포 방법 중 에서 적절 하 게 선택 할 수 있 고 , 예컨대 , 스핀 코트 법 등 을 적합 하 게 들 수 있 다 . 상기 스핀 코트 법 의 경우 , 그 조건 으로서 는 , 예컨대 , 회전수 가 100 ∼ 10 , 000 rpm 정도 이 며 , 800 ∼ 5 , 000 rpm 이 바람직 하 고 , 시간 이 1 초 ∼ 10 분 간 정도 이 며 , 1 초 ∼ 90 초간 이 바람직 하 다 .