첫째 , 기판 이 상방 으로 이동 하 여 흡착 판 하측 면 에 밀착 고정 되 는 과정 에서 기판 과 흡착 판 의 충돌 로 인한 흡착 충격 으로 인해 기판 이 손상 되 거나 파손 되 는 문제점 이 있 었 고 , 둘째 , 베르누이 기술 을 이용 한 흡착 유닛 의 경우 에 는 흡착 판 이 기판 의 둘레 를 지지 해야 하 는 특성 상 기판 의 중앙부 가 압력 에 의해 상방 으로 휘어지 게 되 어 기판 변형 을 야기 하 는 문제점 이 있 었 으며 , 셋째 , 기판 에 발생 되 는 정전기 를 제거 할 수 있 는 정전기 제거 수단 이 없 기 때문 에 태양 전지 와 같 은 기판 의 경우 에 적 재 또는 운반 이 용이 하 지 않 게 되 는 문제점 이 있 었 다 .