기판 지지 유닛 ( 320 ) 은 기판 ( S ) 이 놓이 는 지 지판 ( 321 ) 을 가진다 . 지지 판 ( 321 ) 은 사각형 형상 의 판 일 수 있 다 . 지지 판 ( 321 ) 의 하면 에 는 회전 구동 부재 ( 322 ) 가 연결 된다 . 회전 구동 부재 ( 322 ) 는 회전 모터 일 수 있 다 . 회전 구동 부재 ( 322 ) 는 지지 판 ( 321 ) 에 수직 한 회전 중심축 을 중심 으로 지지 판 ( 321 ) 을 회전 시킨다 .