이상 설명 한 바 와 같이 제 6 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 에 포함 되 는 파라미터 정보 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 을 임의 로 지정 하 는 것 이 가능 해진다 . 따라서 제 6 제어 형태 에 따르 면 , 보수 작업자 나 시스템 관리자 등 이 원 하 는 타이밍 에서 의 메인 터 넌 스 처리 의 실시 가 가능 해 지 고 , 보수 작업자 나 시스템 관리자 등 의 입장 에서 매우 편리 성 이 뛰어난 것 이 된다 . 또한 메인 터 넌 스 처리 의 실시 시기 의 적절 화 를 도모 하 는 것 도 가능 해 지 고 , 적절 한 시스템 운용 을 도모 하 는 데 상당히 바람직 한 것 이 된다 .