박막 두께 측정 장치 ( 100 ) 는 도 1 과 도 2 a 내지 도 2 d 에 도시 된 바 와 같이 뷰 포트 ( V ) 와 , 측정 용 기판 ( g ) 을 지그 할 수 있 는 홀더 ( 110 ) 와 , 홀더 ( 110 ) 를 이동 시킬 수 있 는 홀더 이동 수단 ( 120 ) 과 , 뷰 포트 ( V ) 를 통하 여 특정 파장 의 광 을 측정 용 기판 ( g ) 의 일면 에 입사 및 반사 시키 는 광센서 ( 130 ) 와 , 증착 물질 ( A ) 에 의한 뷰 포트 ( V ) 의 오염 을 방지 하 는 뷰 포트 방 착 판 ( 140 ) 과 , 증착 물질 ( A ) 에 의한 측정 용 기판 ( g ) 의 오염 을 방지 하 는 측정 용 기판 방 착 판 ( 150 ) 과 , 광센서 ( 130 ) 에서 제공 된 광 의 편광 상태 에 따라 증착 막 ( a ) 의 두께 를 산출 하 는 제 어부 ( 160 ) 를 포함 할 수 있 다 .