단결정 반도체 의 잉곳 을 얇 게 슬라이스 해서 제조 되 는 실리콘 웨이퍼 대신 에 , 절연 표면 위 에 얇 은 단결정 반도체 층 을 갖 는 소위 실리콘 · 온 · 인 슐레이터 ( 이하 , SOI 라고 도 한다 ) 로 불리 는 반도체 기판 을 사용 하 는 집적회로 가 개발 되 어 왔 다 . SOI 기판 의 사용 은 트랜지스터 의 드레 인과 기판 사이 에 있 어서 의 기생 용량 을 저감 할 수 있 어 , 반도체 집적회로 의 성능 향상 에 기여 하 기 때문 에 , SOI 기판 을 사용 한 집적회로 는 많 은 주목 을 모으 고 있 다 .