금속 실리사이드 층 은 별도 의 마스크 를 사용 하 는 것 없이 원 하 는 영역 에 만 선택 적 으로 실리사이드 반응 이 이루어지 는 자기 정렬 실리사이드 ( self aligned silicide ; SALICIDE ) , 이른바 샐리 사이드 공정 에 의해 형성 하 며 , 실리사이드 층 형성 을 위한 금속 으로 는 티타늄 ( Ti ) , 코발트 ( Co ) , 텅스텐 ( W ) , 니켈 ( Ni ) 등 을 사용 한다 .