9 , 9 - 비스 ( 4 - 글 리시 딜 옥시 페닐 ) 플 루 오렌 75 . 0 g , 아크릴산 23 . 8 g , 2 , 6 - 디 - t - 부틸 - p - 크레졸 0 . 273 g , 테트라 부틸 암모늄 클로라이드 0 . 585 g , 및 PGMEA 65 . 9 g 을 투입 하 고 90 ℃ 에서 1 시간 , 100 ℃ 에서 1 시간 , 110 ℃ 에서 1 시간 및 120 ℃ 에서 14 시간 교반 하 였 다 . 실온 까지 냉각 하 고 , 무수 석신산 25 . 9 g , 테트라 부틸 암모늄 클로라이드 0 . 427 g , 및 PGMEA 1 . 37 g 을 첨가 하 여 , 100 ℃ 에서 5 시간 교반 하 였 다 . 또한 , 9 , 9 - 비스 ( 4 - 글 리시 딜 옥시 페닐 ) 플 루 오렌 30 . 0 g , 2 , 6 - 디 - t - 부틸 - p - 크레졸 0 . 269 g , 및 PGMEA 1 . 50 g 을 첨가 하 여 , 90 ℃ 에서 90 분 , 120 ℃ 에서 4 시간 교반 후 , PGMEA 122 . 2 g 을 첨가 하 여 , PGMEA 용액 으로서 목적물 인 알칼리 현상 성 화합물 ( C - 2 ) 을 얻 었 다 ( Mw = 4190 , Mn = 2170 , 산가 ( 고형분 ) 52 ㎎· KOH / g ) . 알칼리 현상 성 화합물 PGMEA 용액 ( C - 2 ) 에서 의 알칼리 현상 성 화합물 의 함유율 은 45 질량 % 이 었 다 .