도 9 a 내지 9 d 는 본 발명 에 따른 가스 감지 용 마이크 로 스펙트로미터 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 개략 적 인 단면도 로서 , 먼저 , 기판 상부 에 적어도 한번 이상 절곡 되 어 진 홈 ( 710 ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 홈 ( 710 ) 의 양단 이 경사져 있 는 제 1 기판 ( 700 ) 을 준비 한다 . ( 도 9 a )