일 실시 예 에서 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 볼록 한 거울 ( 310 A ) 은 제 1 빔 폭 조정 시스템 을 형성 하 고 , 오목 한 거울 ( 308 B ) 및 볼록 한 거울 ( 310 B ) 은 제 2 빔 폭 조정 시스템 을 형성 하 며 , 이 들 은 도 2 를 참조 하 여 설명 된 빔 폭 조정 시스템 들 ( 218 A 및 218 B ) 과 각각 유사 하 다 . 하지만 , 렌즈 기반 시스템 들 인 빔 폭 조정 시스템 들 ( 218 A 및 218 B ) 과 는 대조 적 으로 , 거울 들 ( 308 A , 308 B , 310 A , 310 B ) 에 의해 형성 된 빔 폭 조정 시스템 들 은 이 들 이 EUV 방사선 을 수용 할 수 있 도록 거울 기반 시스템 이 다 . 따라서 , 간섭계 ( 300 ) 는 제 1 및 제 2 빔 폭 조정 시스템 들 을 각각 포함 하 고 , 평탄 한 거울 들 ( 312 A 및 312 B ) 을 각각 포함 하 는 제 1 및 제 2 노광 시스템 을 포함 한다 .