이 와 같이 , 프레임 부재 ( 81 ) 는 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 을 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 으로부터 분리 하 기 위한 역할 을 담당 하 고 있 다 . 따라서 , 본 발명 의 실시 형태 에 관한 성막 장치 는 플라스마 발생기 ( 80 ) 의 전체 를 반드시 구비 하 고 있 지 않 아도 되 지만 , 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 을 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 으로부터 구획 하 고 , 제 2 반응 가스 의 혼입 을 방지 하 기 위해 , 프레임 부재 ( 81 ) 를 구비 하 고 있 는 것 으로 한다 .