초 고속 레이저 기술 은 종래 긴 파장 의 레이저 펄스 를 이용 하 는 가공 공정 에 비하 여 가공 대상물 의 기계 적 - 열 적 손상 을 최소 화 할 수 있 어 최근 에 요구 되 는 정밀 가공 공정 에 뛰어나 다고 알려져 있 다 . 그러나 초고속 레이저 의 경우 각각 의 레이저 펄스 각각 에 의한 열에너지 는 그리 크 지 않 아 무시 할 수 있 으나 , 이 들 레이저 펄스 가 동일 공간 에 집약 되 는 경우 발생 하 는 열에너지 는 무시 할 수 없 을 정도 로 크 다 . 따라서 이러 한 열에너지 로 인해 가공 대상물 의 강도 저하 등 심각 한 문제 를 유발 할 수 있 다 . 이하 에서 는 도면 을 참조 하 여 초고속 레이저 펄스 를 이용 한 공정 조건 중 펄스 반복 율 과 공정 속도 또는 레이저 빔 의 크기 와 의 상관 관계 에 대해 실험 적 으로 고찰 한 후 , 본 발명인 웨이퍼 의 강도 를 향상 시킬 수 있 는 가공 방법 과 그 장치 에 대해 살펴보 기 로 한다 .