다음 으로 , 제 1 용제 의 일례 인 PGMEA 에 진동 을 부여 하 고 , 이 진동 이 부여 된 PGMEA 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 3 용제 린스 처리 ( 제 1 용제 공급 공정 , 물리 적 치환 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 305 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 차 단판 승강 기구 ( 308 ) 를 제어 하 여 , 차 단판 ( 303 ) 을 처리 위치 로부터 퇴피 위치 로 이동 시킨다 . 그 후 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 용제 노즐 ( 312 ) 을 퇴피 위치 로부터 처리 위치 로 이동 시킨다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 스핀 척 ( 302 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 , 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 를 열 어 , 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 PGMEA 를 토출 시킨다 . 이 에 의해 , 초음파 진동자 ( 315 ) 로부터 의 진동 이 부여 된 PGMEA 가 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 되 어 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 PGMEA 가 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 토출 된 PGMEA 에 의해 치환 된다 ( 제 3 용제 린스 처리 ) . 기판 ( W ) 에 공급 된 PGMEA 에 진동 이 부여 되 어 있 기 때문 에 , 기판 ( W ) ( 예 를 들 면 , 실린더 ( S ) 의 저부 ( 底部 ) . 도 26 참조 ) 에 순수 가 남 아 있 더라도 , 이 순수 는 PGMEA 의 진동 에 의해 교반 되 어 , PGMEA 와 함께 기판 ( W ) 으로부터 제거 된다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 으로부터 순수 가 제거 된다 . 그리고 , 제 3 용제 린스 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 를 닫 아서 PGMEA 의 토출 을 정지 시킨다 . 이 와 같이 , 제 3 용제 린스 처리 가 행하 여짐 으로써 , 기판 ( W ) 에 대한 물 의 잔 류량 이 더욱 저감 된다 .