도 5 a 를 참조 하 면 , 이동판 부 ( 150 ) 는 소정 높이 의 양측 부 와 연결 된 지 지부 ( 112 ) 및 중앙부 의 지지 돌출부 ( 141 ) 에 의해 지 지 되 고 소정 간격 으로 기판 ( 100 ) 과 이격 되 어 있 다 . 또한 , 이동판 부 ( 150 ) 는 트렌치 ( 120 ) 에 삽입 될 수 있 는 깊 은 주름 ( 160 ) 이 형성 되 어 있 는데 , 깊 은 주름 ( 160 ) 은 이동판 부 ( 150 ) 를 구성 하 는 전 극판 ( 152 ) 및 절 연막 ( 151 ) 전체 에 걸쳐 형성 된다 . 한편 , 접촉 수단 ( 130 ) 은 절 연막 ( 151 ) 을 관통 하 여 하부 로 돌출 되 어 있 고 상부 의 스위칭 전극 라인 ( 153 ) 에 연결 되 어 있 다 .