해당 중합체 는 , 본 발명 의 하층 막 형성 용 조성물 의 재료 로서 바람직 하 게 사용 된다 . 해당 중합체 는 수산기 또는 아미노기 를 갖 는 구조 단위 와 방향 환 을 갖 는 구조 단위 를 함유 한다 . 그 때문 에 , 해당 중합체 를 본 발명 의 하층 막 형성 용 조성물 의 재료 로서 사용 한 경우 , 얻 어 지 는 레지스 트 하층 막 은 경도 및 밀착 성 이 우수 함 과 동시 에 ArF 엑 시머 레이저 등 의 방사선 흡수 도 우수 하 다 .