플라 즈 마 처리 정지 전 까지 는 , 반송 용 가스 는 질량 유량 제어기 ( 210 ) 로 유량 제어 되 어 밸브 ( 212 , 217 ) 를 개방 한 상태 , 밸브 ( 213 ) 를 폐쇄 한 상태 로 하 여 배기가스 시스템 ( 218 ) 에 흘리 면서 안정 된 설정 유량 으로 제어 한다 . 프로세스 가스 에 의한 플 라즈 마 처리 의 종료 후 에 는 플 라즈 마 를 유지 한 상태 에서 밸브 ( 216 , 217 ) 를 폐쇄 한 상태 , 밸브 ( 213 , 214 ) 를 개방 한 상태 로 함 으로써 , 프로세스 가스 로부터 반송 용 가스 의 처리 실 내 가스 도입 을 안정 된 설정 유량 으로 프로세스 가스 로부터 반송 용 가스 로 변환 하 여 처리 실 내 의 연속 된 플 라즈 마의 유지 를 가능 하 게 한다 . 그 후 , 플 라즈 마 를 정지 시킨 후 , 처리 실 내 에 의 반송 용 가스 도입 을 유지 한 상태 에서 시료 를 반 송실 로 반출 한다 .