EFEM ( 106 ) 내 의 하나 이상 의 로봇 아암 ( 보여 지 고 있 지 않 음 ) 은 웨이퍼 를 로드 / 록 챔버 ( 102 ) 로 이송 한다 . 로드 / 로크 챔버 ( 102 ) 는 로드 / 로크 챔버 ( 102 ) 내 의 가스 분자 를 제거 하 여 대기압 보다 낮 은 제 1 압력 에 도달 하 게 하 는 로드 / 로크 진공 펌프 시스템 ( 보여 지 고 있 지 않 음 ) 에 연결 되 어 있 다 . 제 1 압력 에 도달 한 후 , 하나 이상 의 로봇 아암 ( 보여 지 고 있 지 않 음 ) 은 웨이퍼 를 로드 / 로크 챔버 ( 102 ) 로부터 메인 챔버 ( 101 ) 로 이송 한다 . 메인 챔버 ( 101 ) 는 메인 챔버 ( 101 ) 내 의 가스 분자 를 제거 하 여 제 1 압력 보다 낮 은 제 2 압력 에 도달 하 게 하 는 메인 챔버 진공 펌프 시스템 ( 나타나 있 지 않 음 ) 에 연결 되 어 있 다 . 제 2 압력 에 도달 한 후 , 웨이퍼 는 전자 빔 툴 ( 104 ) 에 의하 여 검사 를 받 는다 .