더욱이 , 분액 세정 일 때 에 계내 의 금속 불순물 또는 염기 성분 을 제거 하 기 위해서 산 성 수용액 으로 세정 을 행하 여도 좋 다 . 산 으로서 는 , 구체 적 으로 는 염산 , 브롬화수소산 , 황산 , 질산 , 인산 , 헤테로 폴리 산 등 의 무기 산류 , 옥살산 , 푸마르산 , 말레산 , 트리플 루 오로 아세트산 , 메탄 술폰산 , 벤젠술폰산 , p - 톨루엔 술폰산 , 트리플 루 오로 메탄 술폰산 등 의 유기 산류 등 을 들 수 있 다 .