이 와 같이 , 상기 제 2 도전 성 산화 막 중 에 대 규모 의 보이드 발생 이 생기 면 , 상기 금속 막 ( Ir ) 형성 후 에 행해 지 는 다층 배선 구조 의 형성 공정 등 에서 , 수소 가 이러 한 보이드 에 침입 하 여 , 산화 이리듐 을 환원 하 거나 , 또는 그 아래 의 강유전체 막 ( PZT ) 에 까지 더 침입 하 여 , 강유전체 커패시터 의 전기 특성 을 열화 시키 는 문제 가 생긴다 .