12 인치 의 실리콘 웨이퍼 상 에 , 유기계 반사 방지 막 조성물 ( 상품명 : ARC 95 , 브루워 사이언스 사 제조 ) 을 , 스피너 를 사용 하 여 도포 하 고 , 막 두께 89 ㎚ 의 유기계 반사 방지 막 을 형성 하 였 다 . 이어서 , 그 유기계 반사 방지 막 상 에 , 각 예의 레지스 트 조성물 을 각각 , 스피너 를 사용 하 여 도포 하 고 , 핫 플레이트 상 에서 , 온도 110 ℃ 에서 60 초간 의 프리 베 이크 ( PAB ) 처리 를 실시 하 고 , 건조 시킴 으로써 , 막 두께 110 ㎚ 의 레지스 트 막 을 형성 하 였 다 .