도 6 의 정전 척 은 실시 예 에 따라 하 면 에 전극 ( 1 ) 이 형성 된 제 1 소 결체 ( 10 ) 와 제 2 소 결체 ( 20 ) 를 가압 접합 한 것 이 다 . 도 6 에서 보 듯이 가압 접합 된 유전 층 ( 10 ') 과 절연 층 ( 20 ') 사이 의 전극 ( 1 ') 은 분리 없이 매우 잘 접합 되 어 있 다 . 유전 층 ( 10 ') 은 순도 99 . 9 % 이상 이 며 잔류 탄소 가 발견 되 지 않 았 다 . 액상 접합 에 사용 된 제 2 소 결체 ( 20 ) 는 1 질량 % 의 SiO 2 를 함유 한 것 이 었 으며 , 실험 결과 제 2 소 결체 ( 20 ) 에 SiO 2 가 0 . 5 질량 % 의 함유 한 경우 에 도 제 1 및 제 2 소 결체 ( 10 , 20 ) 간 의 가압 접합 이 가능 하 다는 것 이 확인 되 었 다 .