이후 , 제 1 전극 ( 205 ) 및 제 2 전극 ( 220 ) 의 사이 로 플 라즈 마 가스 제공 유닛 ( 225 ) 으로부터 챔버 ( 210 ) 내부 로 플 라즈 마 가스 를 제공 및 제 1 및 제 2 전극 ( 205 , 220 ) 들 에 플 라즈 마 소스 가스 를 해리 하 기 에 적합 한 전원 을 인가 함 으로써 제 1 및 제 2 전극 ( 205 , 220 ) 들 사이 에서 플 라즈 마가 발생 된다 .