도 97 내지 도 104 에 도시 된 실시 예 에서 , EM 펌프 조립 체 ( 5 kk ) , EM 펌프 ( 5 ka ) , EM 펌프 튜브 ( 5 k 6 ) , 입 구 라이저 ( 5 qa ) 및 주입 EM 펌프 튜브 ( 5 k 61 ) 중 적어도 하나 는 산화 에 저항성 을 갖 는 세라믹 을 포함 할 수 있 다 . 세라믹 은 O 2 와 비 - 반응 성 일 수 있 다 . 세라믹 은 산소 와 의 승 온 반응 에 안정 한 전기 전도체 를 포함 할 수 있 다 . 예 시 적 인 세라믹 은 ZrC , ZrB 2 , ZrC - ZrB 2 , ZrC - ZrB 2 - SiC 및 20 % SiC 복합 물 을 갖 는 ZrB 2 이 며 , 전도성 세라믹 은 산화 로부터 보호 하 기 위해 SiC 로 도핑 될 수 있 다 .