그러나 , 소자 가 고집 적 화 되 어 감 에 따라 셀 사이즈 가 줄어들 게 되 어 유전체 막 의 캐 패 시 턴 스 ( capacitance ) 값 이 감소 하 게 된다 . 이 로 인하 여 커플링 비 ( coupling ratio ) 가 감소 하 여 프로그램 속도 의 저하 를 유발 하 게 된다 . 또한 , 소자 가 고집 적 화 될수록 커플링 비 를 확보 하 기 위해 유전체 막 의 두께 도 함께 감소 되 어야 한다 . 그러나 , 유전체 막 의 두께 가 감소 하 면 , 전하 누설 증가 및 보존 ( retention ) 특성 감소 를 가져와 소자 의 특성 을 저하 시킨다 .