방사 가열기 에 의해 방출 되 는 방사 를 효과 적 으로 흡수 하 기 위해서 는 , 1800 ℃ 내지 3000 ℃ 의 필라멘트 온도 로 동작 할 수 있 는 적외선 가열기 를 이용 할 수 있 다 . 이 필라멘트 온도 에서 , 적외선 가열기 에 의해 방출 되 는 방사 는 1 . 0 ㎛ 내지 1 . 4 ㎛ 범위 의 파장 을 가질 수 있 다 . 이러 한 적외선 방사 의 파장 은 실리콘 웨이퍼 에 의해 매우 효과 적 으로 흡수 된다 .