또한 , 도 5 와 같이 , 기판 의 영역 별 온도 제어 를 위하 여 서로 상이 한 위치 에 제공 되 는 가열 부재 ( 225 ) 에 복수 의 히터 전원 ( 225 a , 225 b ) 이 연결 될 수 있 으며 , 복수 의 히터 전원 ( 225 a , 225 b ) 에 각각 연결 되 는 복수 의 필터 유닛 ( 225 c , 225 d ) 이 제공 될 수 있 다 .