돌출부 ( 83 ) 는 제 1 돌출부 ( 86 ) 와 , 제 2 돌출부 ( 87 ) 를 가진다 . 제 1 돌출부 ( 86 ) 는 제 2 돌출부 ( 87 ) 보다 반도체 소자 ( 12 ) 의 모서리 ( 12 A ) 측 에 더욱 가깝 게 설치 된다 . 제 1 돌출부 ( 86 ) 의 측면 ( 86 A ) 과 , 개구부 ( 43 ) 의 측면 에 대응 하 는 솔 더 레지스 트 ( 35 ) 의 부분 의 측벽 사이 의 거리 ( D 9 ) ( 제 2 거리 ) 는 거리 ( D 1 ) ( 제 1 거리 ) 보 다 작 게 세팅 된다 . 구체 적 으로 , 거리 ( D 1 ) 가 1 ㎜ 일 경우 , 거리 ( D 9 ) 는 예 를 들 면 , 0 . 5 ㎜ 로 세팅 될 수 있 다 .