도 4 를 참조 하 면 , 디자인 룰 에 따른 제 1 패턴 ( 202 ) , 제 2 패턴 ( 204 ) 및 제 3 패턴 ( 206 ) 을 포함 하 는 마스크 의 설계 도면 ( 200 ) 에서 스몰 패턴 인 제 2 패턴 ( 204 ) 과 제 1 패턴 ( 202 ) 및 스몰 패턴 인 제 2 패턴 ( 204 ) 과 제 3 패턴 ( 206 ) 각각 의 선폭 ( L 1 , L 2 ) , 즉 최소 선폭 을 측정 한다 ( 단계 402 ) .