도 12 및 13 을 다시 참조 하 면 , 도 12 및 13 에 도시 된 처리 후 에 , 처리 에서 의 선택 이 다양 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 에서 , 도 14 및 15 를 참조 하 면 , 산화물 층 ( 38 ) 은 실리사이드 층 ( 32 , 34 , 36 ) 위 에 놓이 도록 형성 된다 . 질화물 층 ( 40 ) 은 산화물 층 ( 38 ) 위 에 놓이 도록 피착 된다 .