또 , 건조 처리 에 있 어서 는 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) ( 도 3 및 도 4 를 참조 ) 으로부터 간극 영역 ( 180 ) 내 에 질소 ( N 2 ) 등 의 불활성 가스 가 , 예 를 들 어 100 L ∼ 500 L / min 로 공급 된다 . 또한 , 가스 공급 공 ( 1700 D ) 으 로부터 도 , 간극 영역 ( 180 ) 내 ( 특히 , 기판 ( W ) 의 이면 단부 ) 에 질소 ( N 2 ) 등 의 불활성 가스 가 , 예 를 들 어 100 L ∼ 500 L / min 로 공급 된다 .