이하 , 도 5 a 및 도 5 b 를 참조 하 여 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 를 설명 한다 . 이때 , 이 실시 예 와 도 4 a 및 도 4 b 에 도시 된 실시 예의 구성 은 거의 유사 하 고 단지 로드 락 ( 232 ) 에 설치 되 는 로드 락 컨베이어 ( 250 ) 의 구성 에 만 차이 가 있 으므로 , 전체 적 인 도면 과 설명 은 생략 하 고 주로 로드 락 ( 232 ) 의 구조 에 대해서 만 설명 한다 .