마지막 으로 , 상기 단계 ( S 302 및 S 303 ) 를 반복 수행 하 여 , 인출 용 로드 락 챔버 ( 300 ) 내 의 슬롯 카세트 ( 310 ) 에 웨이퍼 를 모두 수납 하 고 , 인입 용 로드 락 챔버 ( 200 ) 내 의 슬롯 카세트 ( 210 ) 에 수납 된 웨이퍼 를 모두 공정 챔버 ( 100 ) 로 인출 하 여 공정 챔버 ( 100 ) 에 대한 웨이퍼 의 인출 및 인입 을 완료 한다 .