제 2 실시 형태 에 관련 된 처리 시스템 ( 1 b ) 에 의하 면 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 잔사 ( 313 ) 를 제거 할 수 있 는 이점 을 얻 을 수 있 다 . 또한 , PHT 처리 장치 ( 4 ) 의 챔버 ( 20 ) 에 불소 와 반응 하 는 가스 , 예 를 들 어 NH 3 가스 를 공급 하 는 공급 경로 를 형성 하 지 않 아도 되 므로 , 처리 시스템 ( 1 b ) 을 간 이 하 게 구성 할 수 있 다는 이점 을 얻 을 수 있 다 .