FOUP 를 개방 할 때 , 개폐 도어 와 FOUP 와 의 사이 의 공간 에 불활성 가스 가 공급 되 어 , FOUP 의 내부 가 불활성 가스 로 치환 된다 ( 예 를 들 어 , 특허 문헌 1 참조 ) . 이 와 같이 , FOUP 로부터 반출 되 는 웨이퍼 가 산소 에 노출 되 지 않 고 , 또한 처리 장치 내 에 산소 가 들어가 지 않 는 상태 에서 웨이퍼 의 처리 장치 내 에 의 반입 이 행하 여진다 .