액체 공급 관 ( 31 A ) 은 액체 공급 장치 ( 5 ) ( 도 1 에서 는 도시 생략 , 도 10 참조 ) 에 , 액체 회수 관 ( 31 B ) 은 액체 회수 장치 ( 6 ) ( 도 1 에서 는 도시 생략 , 도 10 참조 ) 에 접속 되 어 있 다 . 여기 서 , 액체 공급 장치 ( 5 ) 에는 , 액체 를 저장 하 는 탱크 , 가압 펌프 , 온도 제어 장치 , 액체 의 유량 을 제어 하 기 위한 밸브 등 이 구비 되 어 있 다 . 액체 회수 장치 ( 6 ) 에는 , 회수 한 액체 를 저장 하 는 탱크 , 흡인 펌프 , 액체 의 유량 을 제어 하 기 위한 밸브 등 이 구비 되 어 있 다 .