상대 적 으로 좁 은 제 1 홀 들 ( 203 A ) 각각 을 제 1 도전 물 로 채우 되 , 상대 적 으로 넓 은 제 2 홀 들 ( 203 B ) 각각 의 중심 영역 은 제 1 도전 물 에 의해 개구 될 수 있 다 . 다시 말 해 , 제 1 도전 물 은 제 2 홀 들 ( 203 B ) 각각 의 표면 을 따라 형성 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 도전 물 의 평탄 화 에 의해 제 2 홀 들 ( 203 B ) 내부 에 제 1 도전 물 로 형성 된 도전 성 라이너 패턴 들 ( 211 Ba , 211 Bb ) 이 각각 잔류 될 수 있 다 .