도 7 은 실리사이드 공정 을 수행 한 도 6 의 결과물 에 스핀 코터 에서 HSQ ( 10 ) 를 코팅 한 후 , 열처리 하 여 형성 된 구조 를 도시 하고 있 다 . 스핀 코터 의 회전 에 의한 원심력 및 HSQ ( 10 ) 의 표면장력 에 의해 , HQS ( 10 ) 는 상기 결과물 상 에 균등 한 높이 를 가지 도록 코팅 되 나 , 타 부분 에 비해 돌 출도 가 심한 더미 게이트 ( 1 ) 부분 은 매우 얇 은 두께 로 코팅 된다 .