증착 실 에서 는 , 반송 캐리어 를 소정 의 증착 속도 로 자기 부상 한 상태 에서 화살표 B 방향 으로 이동 하 면서 , 유기 EL 발광 재료 를 진공 증착 한다 . 이 에 의해 유리 기판 ( G ) 의 피 성막 면 에 대해 , 마스크 ( M ) 에 의한 원 하 는 성막 패턴 으로 의 성막 이 행해진다 . 이 와 같이 , 반송 캐리어 를 얼라인먼트 실 로부터 가속 실 및 증착 실로 반입 할 때 나 , 증착 실 내 를 이동 시킬 때 에 , 자기 부상 반송 모드 를 이용 함 으로써 , 먼지 의 발생 이나 마찰 에 의한 분체 의 발생 을 방지 할 수 있 으므로 , 고품질 의 성막 이 가능 해진다 .