드라이 클리너 ( 4 ) 에 는 컴프레서 ( 5 ) 로부터 공급 관 ( 6 ) 을 거쳐서 압축 공기 가 공급 된다 . 공급 된 압축 공기 는 노즐 ( 16 ) ( 도 2 참조 ) 의 슬릿 형상 의 토출구 ( 16 b ) 로부터 토출 되 고 , 기판 탑 재부 ( 8 ) 에 탑재 되 어 있 는 액정 표시 장치 용 패널 의 기 판 ( 10 ) 의 표면 에 뿜 어 져서 , 기판 ( 10 ) 상 에 산포 된 부착물 인 스 페이서 ( 및 소입 경 의 먼지 류 , 이하 동일 ) 가 제거 된다 . 즉 , 압축 공기 를 노즐 ( 16 ) 의 슬릿 형상 의 토출구 ( 16 b ) 로부터 토출 해서 기판 ( 10 ) 의 표면 에 뿜어내 고 , 기판 ( 10 ) 상 에 산포 된 부착물 인 스 페이서 를 기판 ( 10 ) 으로부터 박리 시켜서 , 박리 된 스 페이서 를 포함 하 는 압축 공기 를 배출관 ( 12 ) 을 거쳐서 블로어 ( blower ) 를 구비 하 는 배기 장치 ( 14 ) 에 의해 배기 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 상 의 스 페이서 를 제거 한다 . 이 때 에 기판 탑 재부 ( 8 ) 가 도 1 에 도시 하 는 화살표 방향 ( Y 방향 ) , 즉 토출구 ( 16 b ) 의 길 이 방향 과 직교 하 는 방향 으로 컨베이어 등 으로 반송 되 어서 , 토출구 ( 16 b ) 와 기판 ( 10 ) 이 서로 일정 한 간격 을 유지 해서 상대 적 으로 이동 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 의 전면 에 걸쳐서 스 페이서 를 제거 한다 .