클러스터 시스템 이나 인라인 시스템 과 같 은 연속 된 기판 처리 를 위한 기판 처리 시스템 은 공정 효율 이나 설비 효율 이 높 아 생산 성 을 향상 시키 고 있 다 . 그러나 피 처리 기판 의 대형 화 와 새로운 처리 공정 의 개발 등 과 같 은 여러 요인 에 의해 기존 설비 에 대한 개선 요구 가 발생 되 고 있 다 . 복수 개 의 공정 챔버 를 구성 하 기 위해 공정 설비 를 효율 적 으로 구성 하 여 설비비 를 감축 하 는 것 도 매우 중요 한 요구 사항 이 다 .