처리 챔버 ( 11 ) 의 구성 에 대해서 설명 을 되돌리 면 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 처리 챔버 ( 11 ) 의 측벽 에 는 , 외부 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반 출입 하 기 위한 반입 출구 ( 112 ) 가 , 게이트 밸브 ( 113 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 형성 되 어 있 다 . 또한 , 처리 챔버 ( 11 ) 는 , 배기 배관 ( 114 ) 에 의해 , 처리 챔버 ( 11 ) 내 의 압력 제어 를 행하 는 압력 조 절부 ( 115 ) 를 통해서 , 진공 펌프 등 에 의해 구성 된 배기 부 ( 116 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 이 배기 부 ( 116 ) 는 , 압력 조 절부 ( 118 ) 를 구비 한 배기 배관 ( 117 ) 에 의해 , 벨 자 ( 2 ) 의 내부 공간 에 접속 된다 . 이렇게 해서 , 처리 챔버 ( 11 ) 의 프로세스 공간 ( 10 ) 을 배기 부 ( 116 ) 에 의해 감압 할 때 , 프로세스 공간 ( 10 ) 과 의 압력 차 가 작아지 도록 , 벨 자 ( 2 ) 의 내부 공간 도 감압 된다 .