이 에 따라 , 약액 공급 장치 ( 100 ) 는 공정 챔버 로부터 순환 된 제 1 약액 을 제 1 탱크 ( 300 ) 에서 일차 적 으로 가열 한다 . 따라서 , 제 2 탱크 ( 400 ) 에서 제 1 약액 과 제 2 약액 의 혼합 약액 을 이 차 적 으로 가열 함 으로써 전체 적 인 약액 의 온도 를 일정 하 게 유지 시킬 수 있 다 . 또한 , 전술 한 바 와 같이 , 제 1 탱크 ( 300 ) 에 배치 된 제 어부 에 의하 여 제 2 탱크 에 전달 되 는 제 1 약액 의 양 을 조절 함 으로서 , 전체 적 인 약액 의 농도 를 일정 하 게 유지 시킬 수 있 다 . 그러므로 , 약액 공급 장치 ( 100 ) 는 약액 의 온도 및 농도 를 기 설정 된 값 에 따라 일정 하 게 유지 시킴 으로써 전체 적 인 공정 의 균일성 및 효율 성 이 크 게 향상 된다 .