본 발명 에 따른 연마 방법 은 , 본 발명 에 따른 연마제 , 또는 , 본 발명 에 따른 연마제 용 저장액 을 물 로 희석 하 여 얻 어 지 는 연마제 를 사용 하 여 , 산화 규소 막 중 적어도 일부 를 연마 하 여 제거 하 는 공정 을 포함 한다 . 본 발명 에 따른 연마 방법 에 의하 면 , 높 은 연마 속도 로 산화 규소 막 을 제거 할 수 있 다 . 상기 산화 규소 막 은 , TEOS 막 및 SiH 4 막 으로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 해도 된다 .