우선 , CMP 연마 처리 가 된 유리 기판 을 준비 한다 . 다음 에 유리 기판 에 평탄 화 처리 를 행하 고 , 평탄 화 처리 전후 에 있 어서 의 유리 기판 의 표면 상태 를 원자간력 현 미경 ( AFM : Atomic Force Microscopy ) 을 사용 하 여 측정 을 행했 다 . 또한 평탄 화 처리 전후 에 있 어서 , 유리 에 포함 되 는 연마 잔류물 인 Ce 농도 를 측정 하 여 비교 를 행했 다 . 또한 유리 에 포함 되 는 Ce 농도 의 측정 은 , 2 차 이온 질량 분석법 ( SIMS : Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 을 사용 하 여 측정 했 다 .