스핀 척 ( 51 ) 은 , 기판 ( W ) 의 하면 을 진공 흡착 하 는 원판 상 의 스핀 베이스 ( 51 A ) 와 , 스핀 베이스 ( 51 A ) 의 중앙부 로부터 하방 으로 연장 되 는 회전축 ( 51 C ) 과 , 회전축 ( 51 C ) 을 회전 시킴 으로써 , 스핀 베이스 ( 51 A ) 에 흡착 된 기판 ( W ) 을 회전 시키 는 스핀 모터 ( 51 D ) 를 구비 한다 .