다른 구체 예 에서 , 규소 - 함유 막 을 증착 시키 기 위한 용기 또는 콘테 이 너 는 본원 에 기술 된 하나 이상 의 규소 전구체 화합물 을 포함 한다 . 하나 의 특정 구체 예 에서 , 용기 는 적어도 하나 의 압축 가능 한 용기 ( 바람직 하 게 , 미국 특허 번호 US 7334595 호 ; US 6077356 호 ; US 5069244 호 ; 및 US 5465766 호 에 개시 된 것 과 같 은 디자인 을 갖 는 스테인 레스강 을 포함 하 며 , 이러 한 문헌 의 개시 내용 은 본원 에 참고 로 포함 된다 . 콘테 이 너 는 CVD 또는 ALD 공정 을 위한 반응기 에 하나 이상 의 전구체 의 전달 을 가능 하 게 하 게 위해 적절 한 밸브 및 부품 ( fitting ) 이 장착 된 유리 ( 보로 실리케이트 또는 석영 유리 ) 또는 타입 316 , 316 L , 304 또는 304 L 스테인 레 스강 합금 ( UNS 명칭 S 31600 , S 31603 , S 30400 S 30403 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 또는 다른 구체 예 에서 , 규소 전구체 는 스테인 레스강 으로 이루어진 가압 용기 에 제공 되 며 , 전 구체 의 순도 는 98 중량 % 이상 또는 99 . 5 % 이상 인데 , 이 는 대부분 의 반도체 적용 을 위해 적합 하 다 . 용기 또는 콘테 이너 의 헤드 - 공간 은 헬륨 , 아르곤 , 질소 , 및 이 들 의 조합 으로부터 선택 된 불활성 가스 로 채워진다 .