본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 4 양태 는 , 제 1 양태 내지 제 3 양태 중 어느 하나 에 관련 하 여 , 상기 제 1 조 의 상부 로부터 넘쳐 나온 상기 처리 액 이 유입 되 는 제 2 조 를 추가 로 구비 하 고 , 상기 제 1 경로 는 , 상기 제 2 조 에 유입 된 상기 처리 액 을 , 상기 제 1 조 의 하부 로 귀환 시키 고 , 상기 측 정조 는 , 상기 제 2 조 내 에 배치 되 고 , 상기 측 정조 의 상부 로부터 넘쳐 나온 상기 처리 액 은 , 상기 제 2 조 에 유입 된다 .