하방 기재 ( 72 ) 에 는 , 직사각 형 평면 의 전체 영역 을 커버 하 도록 사행 한 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 가 마련 되 어 있 으며 , 스테인리스강 이나 알루미늄 , 알루미늄 합금 등 으로 형성 된다 . 한편 , 상방 기재 ( 71 ) 도 스테인리스강 이나 알루미늄 , 알루미늄 합금 등 에 의해 형성 된다 . 또한 , 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 는 , 예 를 들 면 상방 기재 ( 71 ) 나 정전 척 ( 76 ) 에 마련 되 어도 좋 다 . 또한 , 기재 ( 73 ) 가 도시 예 와 같이 2 개 의 부재 의 적층 체 가 아니 라 , 알루미늄 혹은 알루미늄 합금 등 에 의한 1 개 의 부재 로 형성 되 어도 좋 다 .