이 설치 는 일례 에 불과 하 며 , 더 적 게 3 장 의 웨이퍼 ( W ) 를 모니터 웨이퍼 로서 설정 해도 좋 고 , 그 매수 설정 은 용도 에 따라서 정할 수 있 다 . 또한 , 티칭 포지션 ( TP 1 ∼ TP 5 ) 을 지시 한 설정 개소 와 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 7 ) 는 , 일치 해도 좋 고 일치 하 지 않 아도 좋 다 . 또 , 도 4 에서 는 , 티칭 포지션 ( TP 1 ∼ TP 5 ) 을 지시 한 설정 개소 의 웨이퍼 ( W ) 와 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 7 ) 의 전부 가 상이 한 예 를 나타내 고 있 다 .