또 , 도 2 에 예 를 나타내 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 100 A ) 는 , 스핀 척 ( 51 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 향하 여 린스 액 을 토출 하 는 린스 액 노즐 ( 60 ) 과 , 린스 액 노즐 ( 60 ) 이 선단 에 장착 되 어 있 는 린스 액 아암 ( 160 ) 과 , 린스 액 공급원 ( 여기 서 는 , 도시 생략 ) 으 로부터 의 린스 액 을 린스 액 노즐 ( 60 ) 에 공급 하 는 린스 액 배관 ( 61 ) 과 , 린스 액 배관 ( 61 ) 으로부터 린스 액 노즐 ( 60 ) 에 대한 린스 액 의 공급 및 공급 정지 를 전환 하 는 린스 액 밸브 ( 62 ) 를 구비 한다 . 린스 액 으로 는 , DIW ( 탈 이 온수 ) 등 이 사용 된다 .