또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 상하 방향 에 관해서 적재 대 ( 20 ) 와 핀 이동 기구 ( 110 ) 사이 에 마련 된 핀 지지 부재 ( 100 ) 에 의해 리프트 핀 ( 30 ) 을 지지 하 도록 하 고 있 다 . 따라서 , 핀 지지 부재 ( 100 ) 를 생략 하 고 핀 이동 기구 ( 110 ) 로 리프트 핀 ( 30 ) 을 지지 하 는 구성 에 비하 여 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 제 2 부재 ( 32 ) 의 길이 를 짧 게 할 수 있 다 . 따라서 , 상술 한 바 와 마찬가지 로 , 상기 응력 에 의한 제 2 부재 ( 32 ) 의 파손 이 생기 기 어려우므로 , 제 2 부재 ( 32 ) 의 직경 을 가늘 게 할 수 있 고 , 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 의 내경 을 가늘 게 할 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 의 면내 균일성 을 더욱 개선 할 수 있 다 .