점차 적 으로 하우징 ( 1 ) 내부 에 진공 이 형성 됨 과 함께 흡착 패드 ( 4 ) 내부 에 부압 이 발생 되 고 , 발생 된 부압 으로 작업 대상물 ( P ) 을 파지 할 수 있 게 되 는 것 이 다 . 이 때 관통 홀 ( 2 ) 이 너무 크 면 진공도 및 부압 레벨 에 문제 가 생길 수 있 고 , 반대 로 너무 작 으면 진공 속도 에 문제 가 생길 수 있 다 . 이 에 , 상기 관통 홀 ( 2 ) 에 간섭 하 는 밸브 요소 가 필요 하 게 되 는 것 이 다 .