이것 을 실현 하 기 위해서 는 , 대 유량 의 청 정도 가 높 은 공기 를 공급 하 기 위한 공조 설비 가 필요 해 지 기 때문 에 , 비용 의 증가 를 초래 함 과 아울러 , 정류판 을 배치 하 는 스페이스 나 공기 의 분출구 및 덕트 를 둘러치 기 위한 스페이스 를 장치 내 에 확보 해야 만 한다 . 단 , 플랫 패널 디스플레이 용 의 노광 장치 에 는 , 고선명 화 나 각종 광학 성능 을 보정 하 기 위한 다수 의 광학 부품 이 설치 되 어 있 기 때문 에 , 특히 , 스테이지 ( 물체 면 또는 결상 면 ) 와 스테이지 에 가장 근접 한 광학 부품 과 의 간격 이 좁 아 져 있 다 . 그 때문 에 , 정류판 을 배치 하 는 스페이스 나 공기 의 분출구 및 덕트 를 둘러치 기 위한 스페이스 를 확보 하 는 것 이 어렵 고 , 현실 적 이 지 는 않 다 .