하나 의 마이크 로 요동 소자 의 정전 액 튜 에 이터 로부터 의 누출 전계 는 , 그 하나 의 마이크 로 요동 소자 에 인접 배치 되 어 있 는 마이크 로 요동 소자 가 존재 하 면 , 그 인접 마이크 로 요동 소자 의 구동 특성 에 부당 한 영향 을 주 는 경우 가 있 다 . 예 를 들 면 , 마이크 로 요동 소자 인 복수 의 마이크 로 미러 소자 가 일차원 적 또는 이 차원 적 으로 배치 되 어 이루어지 는 마이크 로 미러 소자 어레이 에서 는 , 하나 의 마이크 로 미러 소자 의 정전 액 튜 에 이터 로부터 의 누출 전계 는 , 인접 하 는 다른 마이크 로 미러 소자 의 구동 특성 에 부당 한 영향 을 주 는 경우 가 있 다 . 마이크 로 미러 소자 어레이 ( 마이크 로 요동 소자 어레이 ) 에서 , 누출 전계 에 의한 구동 특성 에 의 부당 한 영향 을 없애 기 위해서 는 , 마이크 로 미러 소자 ( 마이크 로 요동 소자 ) 의 배설 피치 를 충분히 크 게 할 필요 가 있 다 . 즉 , 전계 누출 은 마이크 로 요동 소자 어레이 에서 의 소자 의 고 밀도 화 의 장해 로 된다 .