안착 부재 ( 20 ) 는 챔버 의 식각 공간 부 ( 101 ) 에 배치 된다 . 안착 부재 ( 20 ) 에 는 식각 공정 의 대상물 인 웨이퍼 가 안착 된다 . 안착 부재 ( 20 ) 로 는 일반 적 으로 정전 척이 사용 된다 . 그리고 , 안착 부재 ( 20 ) 에 는 종래 기술 에서 설명 한 바 와 마찬가지 로 캐소드 ( 21 ) 가 결합 되 어 있 다 . 캐소드 ( 21 ) 에 도 고주파 전원 이 인가 되 어 , 전자 또는 라디칼 이 안착 부재 ( 20 ) 에 안착 된 웨이퍼 쪽 으로 가속 된다 .