지그 본체 ( 70 ) 는 본 실시 예 에 따른 상부 챔버 ( 10 ) 회전 지그 의 몸체 를 형성 하 는 부분 이 다 . 앞서 도 기술 한 바 와 같이 , 가스 분배 판 ( 31 ) 과 후방 플레이트 ( 32 ) 를 비롯 하 여 상부 챔버 ( 10 ) 내 에 조립 되 는 구조물 들 은 대략 수백 킬로그램 이상 의 중량 이 나가 는 거대 한 구조물 이 므로 , 이 들 을 지탱 하 기 위해 지그 본체 ( 70 ) 는 강성 을 보유 한 금속 재질 로 제작 된다 .