따라서 , 적외선 가열기 들 의 가열 장치 는 단일 가열기 에 의해 필요 한 기판 온도 를 얻 는 데 충분 하 도록 구성 되 며 이 에 따라 가열기 들 중 하나 가 꺼지 는 경우 나머지 가열기 들 이 버퍼 로서 사용 될 수 있 다 . 이것 은 , 코팅 장치 및 이 에 따른 진공 이 하나 의 가열기 의 고장 시 셧다운 될 필요 가 없 다는 점 에서 유익 하 다 .