따라서 , 상기 한 바 와 같이 구성 되 는 기판 이송 장치 는 리니어 모터 ( 120 ) 를 이용 하 여 캐리어 ( 110 ) 를 비접 촉식 으로 수평 이동 시킴 으로써 기판 ( 160 ) 을 수직 상태 로 이송 하 며 , 이 송시 캐리어 ( 110 ) 에 부착 된 바코드 ( 140 ) 를 이용 하 여 위치 를 제어 함 으로써 리니어 모터 ( 120 ) 의 변형 이 쉽 게 발생 할 수 있 는 진공 챔버 ( 170 ) 속 에서 도 오차 없이 캐리어 ( 110 ) 의 위치 결정 이 가능 하 다 .