또한 흡인 파이프 35 내 의 압력 의 변동 이 진동 적 ( 振動 的 ) 이 기 때문 에 그 진동 적 인 압력 의 변동 이 진동 흡수 장치 24 a 의 소공 내 에 도 전달 된다 . 그 때 에 , 소공 의 크기 가 다르 게 되 어 있 기 때문 에 , 그 소공 내 의 공간 을 전파 하 는 압력 의 진동 상호 간 이 간섭 하 여 서로 상쇄 ( 相 殺 ) 되게 된다 . 그 결과 , 진동 흡수 장치 24 a 에 재치 되 는 검사 기판 등 에 는 , 그러 한 진동 적 인 압력 의 변동 이 전달 되 지 않 게 된다 . 이러 한 소공 의 기능 은 , 이하 에 상세 하 게 설명 하 는 도 3 B 및 도 3 C 의 구조 의 진동 흡수 장치 24 b , 24 c 에 있 어서 도 발휘 된다 .