스핀 헤드 ( 10 ) 는 원통 또는 반 추형 의 지지 판 을 가지 고 있 고 상부 면 에 기판 ( S ) 이 놓여져 고정 척 ( chuck ) ( 미 도시 ) 등 을 이용 해서 기판 ( S ) 을 고정 시킨다 . 구동 부 ( 20 ) 와 연결 되 어 스핀 헤드 ( 10 ) 는 회전 을 하 게 되 는데 , 따라서 스핀 헤드 ( 10 ) 에 고정 된 기판 ( S ) 도 회전 하 게 된다 . 또한 , 스핀 헤드 ( 10 ) 는 상하 운동 이 가능 하 도록 제작 될 수 도 있 다 .