이렇게 구속 된 플 라즈 마 가 타 겟 ( 270 ) 을 스퍼터링 하 여 플렉시블 기판 상 에 박막 을 성막 시키 게 된다 . 이때 , 성막 공정 시 플렉시블 기판 이 플 라즈 마 노출 에 의한 영향 을 직접 적 으로 받 지 않 기 때문 에 플 라즈 마 데미지 가 없 으며 , 따라서 저온 공정 이 가능 하 게 된다 . 저 온 공정 을 통해 플렉시블 기판 의 변형 을 최소 화 할 수 있 다 .