좀 더 자세히 설명 하 면 , 상기 가스 공급 부 ( 130 ) 의 대략 중앙 에 는 제 1 연결 공 ( 133 ) 및 제 2 연결 공 ( 134 ) 이 관통 형성 되 어 있 고 , 가스 공급 부 ( 130 ) 의 일 측 가장 자리 에 는 제 3 연결 공 ( 135 ) 및 제 4 연결 공 ( 136 ) 가 관통 형성 되 어 있 다 . 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 은 가스 공급 부 ( 130 ) 의 외부 를 통해 제 1 연결 공 ( 133 ) 및 제 3 연결 공 ( 135 ) 에 연결 되 고 , 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 은 제 2 연결 공 ( 134 ) 및 제 4 연결 공 ( 136 ) 에 연결 된다 .