이때 , 상기 식각 공정 은 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 와 제 1 절연 층 ( 106 ) 의 식각 선택 비 가 동일 한 조건 으로 실시 하 여 , 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 와 제 1 절연 층 ( 106 ) 이 제거 되 는 양 을 동일 하 게 한다 . 이 로써 , 랜딩 콘 택 플러그 ( 108 a , 108 b ) 와 제 1 절연 층 ( 106 ) 에 형성 되 는 트렌치 는 동일 한 크기 로 형성 된다 . 이후 에 , 포토 레지스 트 패턴 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 제거 한다 .