즉 , 제 어부 ( 300 ) 는 반입 센서 ( 520 ) 와 반출 센서 ( 510 ) 로부터 입력 된 신호 에 의해 복수 의 기판 ( S ) 들 간격 을 연산 하 여 측정 한 후 , 제 1 기판 이송 장치 ( 120 ) 와 제 2 기판 이송 장치 ( 220 ) 의 구동 속도 를 개별 적 으로 제어 함 으로써 , 제 2 기판 이송 장치 ( 220 ) 에 는 도 8 에 도시 된 바 와 같이 복수 의 기판 ( S ) 들 이 벌어진 간격 없이 서로 밀착 된 상태 로 위치 되 도록 할 수 있 다 .