각각 의 제 2 로봇 ( 131 ) 에 아 암 이 2 개 가 구비 되 어 있 을 경우 , 하나 의 제 2 로봇 ( 131 ) 에 구비 된 하나 의 아암 이 로드 락 모듈 ( 120 ) 의 공용 로더 ( 121 ) 에 구비 된 복수 개 의 슬롯 중 미리 정해진 하나 의 슬롯 에 안착 된 웨이퍼 를 로딩 하 여 , 회전 을 통해 미리 정해진 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 웨이퍼 를 이송 하 고 , 다른 아암 이 프로세스 모듈 ( 140 ) 로부터 웨이퍼 를 로딩 하 여 , 회전 을 통해 복수 개 의 슬롯 중 미리 정해진 다른 하나 의 슬롯 에 웨이퍼 를 안착 시킨다 . 이 경우 , 2 개 의 아암 중 하나 의 아암 은 프로세스 모듈 로 로딩 만 을 수행 하 며 , 다른 하나 의 아암 은 프로세스 모듈 로부터 언 로딩 만 을 수행 하 게 할 수 있 다 .