이상 , 상기 에서 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 웨이퍼 가이드 구조 를 설명 하 였 다 . 그러나 , 이 는 본 발명 의 목적 달성 을 위해 제시 된 하나 의 바람직 한 실시 예 에 불과 한 것 으로서 , 그 구조 는 본 발명 의 취지 를 벗어나 지 않 는 범위 내 에서 얼마 든지 변경 가능 할 것 이 다 . 예 를 들 면 , 본 실시 예 에서 는 하부 판넬 부 ( 1247 ) 의 일 측면 에 4 개 의 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 126 ) 가 구비 된 웨이퍼 가이드 ( 10 ) 를 제시 하 고 있 으나 , 이러 한 웨이퍼 지지 판넬 ( 126 ) 부 의 개수 는 웨이퍼 ( W ) 에 대한 안정 적 인 홀딩 이 보장 되 면서 도 파티클 발생 을 최소 화 할 수 있 는 범위 내 라면 4 개 이상 또는 그 이하 로 형성 하 는 것 도 가능 할 것 이 다 .