하지만 , 상기 의 장점 이 있 는 반면 이온 충돌 에 의한 식각 효과 의 발생 과 플 라즈 마의 물리 적 인 반응 성 에 의해 막 질 의 불 균일 성 으로 이어져 좋 지 않 은 영향 을 주 는 문제점 등 이 발생 하 므로 이러 한 영향 을 최소 화 시키 기 위해 본 발명 에서 는 이온 충돌 에 의한 영향 을 줄이 고 반응 성 라디칼 만 유입 시키 는 원거리 플 라즈 마 원자 층 증착 법 을 이용 하 고자 한다 .