고 내열성 , 고 투명 성 의 재료 로서 폴리 실록 산 , 특히 실세 스 퀴옥산이 알려져 있 다 . 실세 스 퀴옥산은 3 관능 성 의 실록 산 구조 단위 RSi ( O 1 . 5 ) 로 이루어지 는 중합체 로 , 화학 구조 적 으로 는 무기 실리카 ( SiO 2 ) 와 유기 실리콘 ( R 2 SiO ) 의 중간 적 존재 이 지만 , 유기 용제 에 가용 ( 可 溶 ) 이 면서 경화물 은 무기 실리카 에 특징 적 인 높 은 내열 성 을 나타내 는 특이 적 인 화합물 이 다 . 감광성 조성물 의 성분 으로서 는 , 폴리 실록 산 이 테트라메틸 암모늄 하이드 록 사이드 ( TMAH ) 수용액 과 같 은 현상액 에 가용성 일 필요 가 있 다 . 이 로 인해 , 특정 의 농형 ( 籠 型 ) 실세 스 퀴옥산에 아크릴 기 를 부여 시킨 실세 스 퀴옥산 화합물 과 불포화 카복실산 , 에 폭 시기 함유 불포화 화합물 , 올레핀 계 불포화 화합물 을 공중합 시킨 아크릴 계 공중 합체 와 퀴논 디 아지드 화합물 로 이루어진 감광성 조성물 ( 특허 문헌 5 참조 ) 등 이 제안 되 어 있 다 . 그러나 , 이 들 복잡 한 계 에 의한 감광성 조성물 은 , 유기 화합물 의 함유량 이 높 기 때문 에 , 폴리 실록 산 이외 의 유기 화합물 의 열 열화 에 의해 경화물 의 내열 성 은 충분 하 지 않 으며 , 변색 이나 분해 가스 의 발생 에 의한 문제 는 무시 할 수 없 다 .