여기 서 , 기판 ( 20 ) 이 기판 외관 검사 장치 ( 10 ) 에 투입 되 면 , 기판 ( 20 ) 은 테이블 ( 11 ) 상 의 고정 바 ( 13 ) 에 밀착 되 고 유동 바 ( 14 ) 가 이동 하 여 기판 ( 20 ) 에 밀착 됨 으로써 , 기판 ( 20 ) 은 테이블 ( 11 ) 상 에서 고정 된다 . 또한 , 외관 검사 를 진행 하 는 동안 , 기판 ( 20 ) 을 더욱 안정 적 으로 고정 하 기 위하 여 테이블 ( 11 ) 에 형성 된 진공 홀 ( 18 ) 로써 , 기판 ( 20 ) 을 테이블 ( 11 ) 에 강하 게 고정 한다 .