RF 구동 포인트 들 의 가중 평균 위치 - 특히 , 가중 평균 위치 가 워크 피스 통로 쪽 으로 의 전극 의 중앙 으로부터 오프셋 되 는 거리 - 는 , 바람직 하 게 는 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 불 균일 성 또는 워크 피스 상 에서 수행 중 인 플 라즈 마 제작 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 도록 설정 된다 . 그러 한 불 균일 성 은 RF 전력 분배 기 의 출력 부들 ( 71 - 73 ) 의 상대 적 전력 레벨 들 을 조정 함 으로써 , RF 구동 포인트 들 ( 51 - 56 ) 의 위치 들 을 조정 함 으로써 , 또는 두 단계 모두 에 의하 여 최소 화 될 수 있 다 . 전력 레벨 및 위치 를 조정 하 는 능력 은 둘 중 어느 하나 만 을 조정 함 으로써 달성 될 수 있 는 것 보다 더 나 은 공간 적 균일성 의 달성 을 가능 하 게 해야 한다 .