다음 으로 , 비트 라인 ( BL ) 을 포함 한 전면 에 제 3 층간 절 연막 ( 39 ) 을 증착 하 고 , 셀 영역 에서 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 40 ) 공정 을 진행 한다 . 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 40 ) 는 제 3 층간 절 연막 ( 39 ) 을 선택 적 으로 식각 하 여 스토리지 노드 콘 택 홀 을 형성 한 후 , 플러그 용 도전 물질 을 매립 하 여 형성 한다 .