도 3 및 도 4 에서 가장 잘 알 수 있 듯이 , 웨이퍼 캐리어 ( 30 ) 는 , 웨이퍼 캐리어 가 스핀들 상 에 장착 될 때 스핀 들 의 축 ( 18 ) 과 일치 하 는 중 앙축 ( 42 ) 을 가진다 . 플레이트 ( 32 ) 는 , 하나 이상 의 내화 재료 , 바람직 하 게 하나 이상 의 비금속 내화 재료 로 된 플레이트 이 다 . 본 명세서 에서 사용 된 바 와 같이 , " "" 비 금속 "" 재료 라는 용어 는 ", 금속 의 산화물 , 질화물 및 탄화물 과 같이 비금속 과 금속 의 화합물 을 포함 하 며 , 또한 탄소 및 다른 비금속 원소 및 그 들 의 화합물 을 포함 한다 . 또한 , 본 명세서 에서 사용 된 바 와 같이 , " 하나 이상 의 재료 로 "" 이루어진 "" 플레이트 는 ", 상기 하나 이상 의 재료 가 플레이트 의 대부분 의 면적 에서 플레이트 의 대부분 의 두께 를 구성 하 며 플레이트 의 구조 강도 의 실질 적 인 부분 에 기여 하 는 플레이트 를 지칭 하 는 것 으로 이해 하 여야 한다 . 따라서 , 다르 게 규정 되 지 않 는 한 , 하나 이상 의 비금속 재료 로 이루어진 플레이트 는 , 다른 재료 로 형성 되 는 소수 의 층 또는 다른 소수 의 구성 을 포함 할 수 있 다 . 플레이트 의 재료 는 , 웨이퍼 프로세싱 작동 및 웨이퍼 캐리어 를 세정 하 는 작동 에서 만나 는 온도 및 화학 적 환경 에 견딘다 . 플레이트 의 재료 가 실질 적 구조 강도 를 가져야 하 지만 , 그것 은 국부 적 으로 집중 된 응력 에 대해 매우 민감 한 취성 재료 일 수 있 다 . 아래 에서 설명 되 듯이 , 웨이퍼 캐리어 의 구조 는 바람직 하 게 , 사용 시 에 스핀들 에 의해 부과 되 는 고도 로 국부 적 으로 집중 되 는 응력 으로부터 플레이트 를 보호 한다 . 탄화규소 , 질화붕소 , 탄화 붕소 , 질화알루미늄 , 알루미나 , 사파이어 , 석영 , 흑연 및 그 들 의 조합 물 로 구성 되 는 그룹 으로부터 선택 된 비금속 내화 재료 가 바람직 하 다 . 가장 바람직 하 게 는 , 플레이트 는 단일 의 비금속 내화 재료 로 이루어지 는 유니타리 슬 랩 ( unitary slab ) 이 다 . 탄화 규소 로 형성 되 는 유니타리 슬 랩 이 특히 바람직 하 다 . 어떤 경우 에 는 , 플레이트 는 코팅 을 포함 할 수 있 다 . 코팅 재료 는 바람직 하 게 , 웨이퍼 캐리어 의 사용 및 세정 시 , 및 탄화 티탄 , 탄화 탄탈 과 같 은 금속 탄화물 , 산화물 또는 질화물 의 코팅 시 에 만나 는 온도 및 화학 약품 에 견딘다 . 그러 한 코팅 은 플레이트 가 흑연 으로부터 형성 되 는 경우 에 특히 바람직 하 다 .