이러 한 경우 , 레이저 는 리소그래피 장치 의 일부분 을 형성 하 는 것 으로 간주 되 지 않 으며 , 방사선 빔 은 예 를 들 어 적절 한 지향 거울 들 및 / 또는 빔 익스팬더 를 포함 하 는 빔 전달 시스템 의 도움 으로 , 레이저 로부터 소스 컬렉터 모듈 로 통과 된다 . 다른 경우 , 예 를 들 어 소스 가 흔히 DPP 소스 라고 칭하 는 방전 생성 플 라즈 마 EUV 발생 기인 경우 , 소스 는 소스 컬렉터 모듈 의 통 합부 일 수 있 다 .