본 발명 의 또 다른 목적 은 , 지르코늄 - 니오브 성분 이 물 에서 산세 및 세척 되 어 플루오르화물 을 제거 하 고 산세 작용 을 중지 시킨 후에 라도 , SPP 증착 물 이 쉽 게 제거 될 수 있 는 방법 을 제공 함 으로 , 제 2 미네랄 산 과 옥살 레이트 를 혼합 하 여 하이드 럭스 ( hydrous ) 지르코늄 에 대해 옥살 레이트 의 용해도 성능 의 이점 을 가진다 .