기판 추출 메카 니즘 은 , 제 2 중간 공간 ( 303 ) 및 임프 린트 된 기판 들 을 위한 포트 ( 451 ) 사이 에서 유도 되 도록 작동 한다 . 포트 ( 451 ) 는 제 2 기판 FOUP 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 포트 ( 451 ) 는 , 인터 미디어 트 스탬프 로부터 임프 린트 된 기판 을 방출 하 도록 작동 가능 한 탈 형 장치 이 다 . 탈 형 장치 는 , 임프 린트 된 기판 으로부터 인터 미디어 트 스탬프 를 벗기 고 끌어내 도록 고안 된 기계 적 분리기 일 수 있 다 . 선택 적 실시 예 에서 탈 형 장치 는 , 기판 에 는 영향 을 미치 지 아니하 면서 인터 미디어 트 스탬프 를 녹이 는 것 이 가능 한 액체 용액 을 가진 베스 ( bath ) 를 포함 할 수 있 다 . 기판 추출 메카 니즘 은 , 제 2 중간 공간 ( 303 ) 에서 임프 린트 된 기판 또는 더욱 바람직 하 게 윗 인터 미디어 트 스탬프 또는 모두 를 붙잡 고 취급 하 고 , 레버 장치 ( 453 ) 를 사용 하 여 포트 ( 451 ) 로 사용 된 인터 미디어 트 스탬프 및 임프 린트 된 기판 모두 를 제거 하 도록 고안 된 파지 기 ( 452 ) 를 포함 한다 . 대안 적 으로 , 파 지기 ( 452 ) 는 , 제 2 중간 공간 ( 303 ) 에서 기판 으로부터 인터 미디어 트 스탬프 를 방출 하 고 , 탈 형 된 스탬프 및 인터 미디어 트 스탬프 를 제거 하 도록 작동 가능 한 , 탈 형 장치 를 포함 한다 . 파 지기 ( 452 ) 는 , 인터 미디어 트 스탬프 의 예 를 들 어 패턴 이 없 는 면 과 같 은 윗면 을 취급 하 도록 고안 된 진공 흡입 부재 를 포함 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 트레이 부재 는 , 기판 의 하부 로부터 샌드위치 된 기판 및 인터 미디어 트 스탬프 를 모으 는데 이용 될 수 있 다 .