또한 , 스캔 타입 의 노광 장비 의 경우 에 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 와 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 를 정렬 시키 기 위한 동기 마진 ( synchronization margin ) 을 향상 시키 기 위하 여 상기 주 포토 마스크 에 비해 상기 보조 포토 마스크 를 확대 ( magnified ) 해서 제작 하 거나 배치 할 수 도 있 다 .