이러 한 효과 를 제공 할 수 있 는 본 실시 예 에 따른 광학 적 웨이퍼 엔드 포인트 이중 검사 장치 ( 100 ) 는 웨이퍼 ( w ) 가 흡착 되 고 회전 가능 하 게 헤드 ( 140 ) 가 구비 되 고 , 상기 헤드 ( 140 ) 의 하방 에 배치 되 며 구동축 ( 121 ) 에 의해 회동 가능 하 게 플 래 튼 ( 120 ) 이 구비 되 며 , 상기 플 래 튼 ( 120 ) 의 상면 에 결합 되 어 상기 헤드 ( 140 ) 에 흡착 된 웨이퍼 ( w ) 를 연마 하 는 연마 패드 ( 130 ) 가 구비 된 웨이퍼 엔드 포인트 이중 검사 장치 에 있 어서 , 제 1 광 모듈 ( 122 ) , 제 2 광 모듈 ( 123 ) 및 제 어부 ( 124 ) 를 포함 한다 .