즉 , 대면 적 유리 기판 ( 예 를 들 어 , 1500 ㎜* 1850 ㎜ 의 6 세대 기판 ) 은 매우 큰 사이즈 를 가지 기 때문 에 , 대면 적 유리 기판 을 평평 한 스테이지 ( 예 를 들 어 , 정반 ) 위 에 평평 하 게 내려 놓 을 시 ( 로 딩시 ) , 대면 적 유리 기판 과 스테이지 사이 에 존재 하 는 공기 또는 액상 유체 ( 예 를 들 어 , 세정액 ) 에 의해 대면 적 유리 기판 이 스테이지 의 상면 에서 일시 적 으로 부유 되 며 , 정 위치 ( 로딩 위치 ) 에서 벗어나 는 ( 틀어지 는 ) 현상 이 발생 하 는 문제점 이 있 다 .