또한 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 θ z 방향 의 회전 정보 를 계측 할 필요 가 없 는 경우 , 혹은 간섭계 시스템 ( 18 ) 에 의해 계측 한 θ z 방향 의 회전 정보 를 사용 하 는 경우 등 에 는 , " 2 D 헤드 ( 681 ∼ 685 ) 중 적어도 1 개 가 스케일 부재 ( 46 B "") 에 대향 하 는 구성 을 채용 할 수 도 있 다 . 이 경우 에서 "," 스케일 부재 ( 46 B "") 를 대신 하 여 ", 2 차원 회절 격자 가 형성 된 스케일 부재 를 2 개 형성 해도 된다 . 이 와 같이 하 면 , 1 개 의 스케일 부재 의 크기 를 억제 하 면서 , 적어도 노광 동작 시 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 범위 전역 을 커버 할 수 있 다 . 이 경우 , 2 개 의 스케일 부재 는 , 각각 의 길 이 방향 이 서로 직교 하 도록 배치 해도 되 고 , 길 이 방향 을 동일 방향 으로 하 여 배치 해도 된다 .