상기 화합물 은 증착 에 의하 여 박막 으로 형성 될 수 있 다 . 증착 법 은 균일 한 박막 형성 이 가능 하 고 불순물 혼입 가능 성 이 적 어 유리 한 점 이 있 으나 화합물 의 융점 이 증착 온도 보다 낮 은 경우 화합물 의 분해 물 이 증착 될 수 있 어 소자 의 성능 을 저해 할 수 있 다 . 따라서 증착 온도 보다 화합물 의 융점 이 더 높 은 것 이 바람직 하 다 . 이런 점 에서 상기 화합물 은 증착 온도 보다 높 은 , 예 를 들 어 약 10 ℃ 이상 , 예 를 들 어 15 ℃ 이상 , 20 ℃ 이상 , 25 ℃ 이상 또는 30 ℃ 이상 높 은 융점 을 가지 므로 증착 공정 에 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 .