그런 다음 , 상기 하드 마스크 막 ( 236 ) 과 게이트 도 전막 ( 234 ) 및 게이트 절 연막 ( 232 ) 를 식각 하 여 상기 게이트 용 홈 ( H ) 상 에 게이트 ( 240 ) 를 형성 한다 . 그리고 나 서 , 상기 게이트 ( 240 ) 상부 의 하드 마스크 막 ( 236 ) 에 대해 CMP ( Chemical Mechanical Polishing ) 공정 을 수행 하 여 게이트 ( 240 ) 의 상부 를 평탄 화 시킨다 .