도 6 a 및 도 6 b 는 본 개시 에 따라 다수 의 중첩 위치 에 센서 ( 430 ) 를 형성 할 수 있 는 전극 어레이 ( 400 ) 의 구성 예 를 도시 한다 . 도 6 a 에서 , " 가상 센서 ( 430 A ) 는 "" 1 "" 로 나타낸 단일 전극 ( 410 ) 에 의해 형성 된 중심 전극 ( 432 ) 및 "" 2 "" 로 나타낸 복수 의 전극 ( 410 ) 에 의해 형성 된 링 전극 ( 434 ) 으로 형성 되 어 있 다 . 이 동일 한 어레이 ( 400 ) 는 도 6 b 에 도시 되 어 있 으며 "," 여기 서 새로운 가상 센서 ( 430 B ) 는 "" 3 "" 으로 나타낸 중심 전극 ( 436 ) 및 "" 4 "" 로 나타낸 링 전극 ( 438 ) 으로 형성 되 어 있 다 . 가상 센서 ( 430 A ) 의 위치 는 어두운 윤곽선 으로 도시 된다 . 가상 센서 ( 430 B ) 가 가상 센서 ( 430 A ) 의 위치 와 중첩 됨 으로써 ", 센서 ( 430 ) 의 직경 보다 미세 한 해상도 로 측정 이 수행 될 수 있 음 을 알 수 있 다 .