또한 , 함 질소 형 중합체 를 함유 하 는 재료 의 예 로서 복소 환 을 포함 하 는 공중합 수지 ( 특허 문헌 11 , 12 ) , 카르바졸 형 수지 ( 특허 문헌 13 , 14 ) , 제 2 아미노기 를 갖 는 노볼락 ( 특허 문헌 15 ) , 디 아릴 아민 노볼락 ( 특허 문헌 16 ) , 인돌 로 카르바졸 노볼락 ( 특허 문헌 17 ) 등 이 알려져 있 다 . 그러나 , 이 들 재료 에 관해서 , 질소 원자 상 의 삼중 결합 을 갖 는 치환기 에 관한 예 는 없 으며 , 불활성 가스 중 에서 의 경화 막 의 형성 , 고온 조건 하의 열분해 에 의한 막 두께 변동 , 매립 특성 이나 평탄 화 특성 등 에 관해서 는 알려져 있 지 않 다 .