다음 으로 , 반사 방지 막 을 구비 하 는 직경 약 30 cm ( 12 인치 ) 의 실리콘 웨이퍼 를 별도 로 준비 하 고 , 각 약액 을 적하 했 다 . 그 후 , 대조 와 동일 한 양 의 레지스 트 조성물 을 도포 하 여 90 ℃ 에서 베 이크 했 다 . 얻 어 진 레지스 트 막 에 대하 여 , 상기 와 동일 한 방법 으로 관찰 하 여 , 도포 불 균일 이 발생 하 고 있 지 않 는 것 을 확인 했 다 . 다음 으로 , 사용 하 는 레지스 트 조성물 을 대조 의 50 질량 %, 및 30 질량 % 로 감량 하 고 상기 와 동일 한 시험 을 행하 여 , 도포 불 균일 의 발생 여부 를 조사 했 다 .