이 경화 막 을 , 3 ㎜ 폭 으로 커트 하 고 , 희 불화 수소산 수용액 에 하룻밤 침지 하 여 필름 편 을 박리 하 고 , 건조 시킨 것 을 , TMA 장치 ( 시마즈 제작소 제조 TMA - 50 ) 를 사용 하 여 , 질소 유량 50 ㎖/ min , 승 온 속도 10 ℃/ min 의 조건 에 의해 유리 전이 온도 를 측정 하 였 다 . 그 결과 를 표 2 에 나타낸다 . 또한 , 후술 하 는 포지티브 형 감광성 수지 조성물 의 평가 로 , 감도 의 관측 불가 인 비 교예 에 대해서 는 , Tg 의 측정 을 실시 하 지 않 았 다 .