한편 , 실제로 , 본 발명자 들 이 도파 로 의 길이 가 100 ㎛, 150 ㎛, 200 ㎛, 300 ㎛ 인 도파 로 형 p - i - n 포토다이오드 칩 을 제작 한 후 . 1 . 55 ㎛ 의 파장 광 에서 반응 계수 를 측정 한 결과 200 ㎛ 까지 는 반응 계수 가 증가 하 였으나 200 ㎛ 와 300 ㎛ 사이 에 는 차이 가 없 었 다 . 즉 100 ㎛ 의 반응 계수 는 0 . 85 A / W , 150 ㎛ 의 반응 계수 는 0 . 93 A / W , 200 ㎛ 와 300 ㎛ 는 0 . 97 A / W 의 값 을 나타내 었 다 .