배기 홀 ( 111 ) 은 펌프 ( 112 ) 가 장착 된 배기 라인 ( 113 ) 과 연결 될 수 있 다 . 이러 한 배기 홀 ( 111 ) 은 배기 라인 ( 113 ) 을 통해 플 라즈 마 공정 과정 에서 발생 된 반응 부산물 과 하우징 ( 110 ) 의 내부 에 잔여 하 는 가스 를 하우징 ( 110 ) 의 외부 로 배출 할 수 있 다 . 이 경우 , 하우징 ( 110 ) 의 내부 공간 은 소정 의 압력 으로 감압 될 수 있 다 .