본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 캡 핑 막 은 비결정성 탄소 ( amorphous carbon ) , 폴리 하이드로 카본 ( poly hydrocarbon ) , 플루오르 하이드로 카본 ( fluoro hydrocarbon ) , 폴리 아릴 렌 ( poly arylene ) 또는 폴리 아릴 렌 에테르 ( poly arylene ether ) 로 이루어질 수 있 다 .