도 22 ( a ) 내지 도 22 ( c ) 는 , 실시 형태 4 에서 의 편향 전압 과 시간 과 의 관계 의 일예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 22 ( a ) 에서 는 , 세로 축 에 트랙 킹 용의 DAC 앰프 ( 유닛 ) ( 134 ) 로부터 출력 되 는 편향 전압 ( Vtr ) 을 나타내 고 , 가로 축 에 시간 ( t ) 을 나타낸다 . 도 22 ( b ) 에서 는 , 세로 축 에 x 방향 의 부편 향기 ( 209 ) 용 의 DAC 앰프 ( 유닛 ) ( 132 ) 로부터 출력 되 는 편향 전압 ( Vx ) 을 나타내 고 , 가로 축 에 시간 ( t ) 을 나타낸다 . 도 22 ( c ) 에서 는 , 세로 축 에 y 방향 의 부편 향기 ( 209 ) 용 의 DAC 앰프 ( 유닛 ) ( 132 ) 로부터 출력 되 는 편향 전압 ( Vy ) 을 나타내 고 , 가로 축 에 시간 ( t ) 을 나타낸다 . 도 22 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 k 회 째 의 트랙 킹 제어 후 , k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 시 , 주편 향 X 방향 으로 1 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 을 가산 하 여 인가 한다 . 그리고 , k + 2 회 째 의 트랙 킹 제어 시 , 주편 향 X 방향 으로 2 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 을 가산 하 여 인가 한다 . 그리고 , k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 시 , 주편 향 X 방향 으로 3 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 을 가산 하 여 인가 한다 . 이 에 의하 여 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 트랙 킹 제어 용 의 빔 편향 에 의하 여 , 조사 빔 을 이탈 시킬 수 있 다 . 또한 , k 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 중 에서 , 2 샷 째 의 묘화 위치 로부터 3 샷 째 의 묘화 위치 로 시프트 하 는 경우 에 , 도 22 ( c ) 에 도시 한 바 와 같이 , 부 편향 y 방향 으로 1 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 이 가산 된다 . 마찬가지 로 , k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 중 에서 , 2 샷 째 의 묘화 위치 로부터 3 샷 째 의 묘화 위치 로 시프트 하 는 경우 에 , 부 편향 y 방향 으로 1 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 이 가산 된다 . 마찬가지 로 , k + 2 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 중 에서 , 2 샷 째 의 묘화 위치 로부터 3 샷 째 의 묘화 위치 로 시프트 하 는 경우 에 , 부 편향 y 방향 으로 1 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 이 가산 된다 . 마찬가지 로 , k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 중 에서 , 2 샷 째 의 묘화 위치 로부터 3 샷 째 의 묘화 위치 로 시프트 하 는 경우 에 , 부 편향 y 방향 으로 1 빔 간 피치 의 오프셋 분 의 전압 이 가산 된다 . 이 에 의하 여 , 부편 향기 ( 209 ) 에 의한 빔 편향 에 의하 여 , 조사 빔 을 이탈 시킬 수 있 다 . 이 와 같이 , 실시 형태 4 에서 는 , 트랙 킹 제어 마다 의 전환 타이밍 에서 의 , 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 오프셋 에 의한 빔 이탈 과 , 트랙 킹 제어 기간 중 의 타이밍 에서 의 , 부편 향기 ( 209 ) 에 의한 오프셋 에 의한 빔 이탈 의 양쪽 모두 를 실시 한다 .