( A ) 성분 의 수지 의 중량 평균 분자량 은 GPC 법 에 의한 폴리스티렌 환산 치 로서 바람직 하 게 는 1 , 000 ~ 200 , 000 이 고 , 더욱 바람직 하 게 는 3 , 000 ~ 20 , 000 , 가장 바람직 하 게 는 5 , 000 ~ 15 , 000 이 다 . 중량 평균 분자량 을 1 , 000 ~ 200 , 000 로 조정 함 으로써 , 내열 성 이나 드라이 에 칭 내성 의 열화 를 억제 할 수 있 고 , 동시 에 현상 성 의 열화 및 농축 에 의해 발생 하 는 제막 성 의 열화 를 억제 할 수 있 다 .