로드 포트 ( 14 ) 에 는 , 공급 노즐 ( 19 a ) 과 , 배기 노즐 ( 19 b ) 이 설치 되 어도 된다 . 캐리어 ( C ) 의 저면 에 는 , 흡 기구 및 배기구 가 설치 되 어 있 는 것 이 일반 적 이 다 . 그래서 , 로드 포트 ( 14 ) 에 는 , 캐리어 ( C ) 가 적재 되 었 을 때 , 캐리어 ( C ) 의 흡 기구 와 감합 하 는 위치 에 공급 노즐 ( 19 a ) 을 설치 하 고 , 캐리어 ( C ) 의 배기구 와 감합 하 는 위치 에 배기 노즐 ( 19 b ) 을 설치 할 수 도 있 다 . 공급 노즐 ( 19 a ) 및 배기 노즐 ( 19 b ) 을 설치 함 으로써 , 캐리어 ( C ) 가 로드 포트 ( 14 ) 상 에 적재 되 었 을 때 , 캐리어 ( C ) 의 내부 에 N 2 가스 등 의 불활성 가스 를 공급 하 여 , 캐리어 ( C ) 내부 의 불활성 가스 치환 을 행할 수 있 다 . 이 에 의해 , 공간 내 가 불활성 가스 로 채워져 있 지만 , 불활성 가스 의 공급 이 없 는 상태 에서 반송 되 어 있 던 캐리어 ( C ) 가 , 종형 열처리 장치 ( 1 ) 내 의 로드 포트 ( 14 ) 에 반입 된 단계 에서 바로 불활성 가스 의 공급 을 재개 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 캐리어 ( C ) 내 를 계속 적 으로 청정 한 상태 로 유지 할 수 있 다 .