본 발명 은 In 함유 우물 층 을 포함 하 는 활성 층 성장 시 In 분리 현상 을 억제 할 수 있 는 방안 을 제공 한다 . In 함유 우물 층 성장 시 성장 시간 경과 에 따라 In 소스 유량 을 인위 적 으로 변화 시킴 으로써 In 분리 현상 을 보상 시키 게 된다 . 이 에 따라 , 균일 한 In 조성 을 갖 는 양자 우물 층 과 양질 의 활성 층 을 얻 을 수 있 게 된다 .