이 와 같 은 시약 류 로 는 용액 의 표면장력 을 저감 시켜서 반도체 표면 에 대한 젖 음성 ( wettability ) 을 개선 하 는 목적 으로 사용 되 는 비 이온 성 계면 활성제 , 음 이온 성 계면 활성제 , 양 이온 성 계면 활성제 , 양성 계면 활성제 등 의 계면 활성제 등 을 예 로 들 수 있 고 , 그 중 에서 NCW 1002 ( 폴리 옥시 에틸렌 · 폴리 옥시 프로필렌 알킬 에 테르 , 와코 순 약 공업 ( 주 ) 사 ( Wako Pure Chemical Industries Ltd . ) 제 ) 등 의 비 이온 성 계면 활성제 가 특히 바람직 하 다 . 이 들 계면 활성제 는 통상 적 으로 이 분야 에서 사용 되 는 농도 범위 에서 사용 하 면 좋 고 , 본 발명 < 1 > 에 관한 에칭 제 중 의 농도 로 통상 0 . 001 ~ 1 중량 %, 바람직 하 게 는 0 . 01 ~ 0 . 5 중량 % 이 다 .