하부 챔버 ( 42 ) 는 , 열 판 ( 21 ) 주위 에 설치 된다 . 하부 챔버 ( 42 ) 는 , 열 판 ( 21 ) 의 둘레 가장자리 부 를 둘러싸 도록 원통 형상 을 나타내 고 있 어도 좋 다 . 하부 챔버 ( 42 ) 와 열 판 ( 21 ) 사이 에 는 , 내부 의 처리 공간 ( S ) 과 연통 ( 連通 ) 되 는 공간 이 형성 되 어 있 어도 좋 다 . 이 공간 은 , 처리 공간 ( S ) 내외 를 접속 하 는 기체 유로 ( 81 ) 로서 기능 한다 . 기체 유로 ( 81 ) 는 , 환형 으로 형성 되 어 있 어도 좋 다 . 또한 , 하부 챔버 ( 42 ) 가 열 판 ( 21 ) 을 유지 하 는 구성 으로 한 다음 , 하부 챔버 ( 42 ) 와 열 판 ( 21 ) 사이 에 환형 으로 나란히 복수 의 기체 유로 ( 81 ) 가 형성 되 도록 , 복수 의 관통 구멍 이 하부 챔버 ( 42 ) 에 형성 되 는 구성 이 어도 좋 다 . 하부 챔버 ( 42 ) 는 , 열처리 유닛 ( U 8 ) 에 있 어서 소정 의 위치 에 고정 되 어 있 어도 좋 다 .