확산 기 표면 ( 120 ) 은 0 ㎚ 초과 의 물리 적 두께 를 가질 수 있 고 , 즉 , 확산 기 표면 은 단지 기판 ( 140 ) 의 평면 의 표면 이 아니 다 . 예 를 들 어 , 확산 기 표면 ( 120 ) 은 미세 구조 체의 깊이 를 포함 하 는데 충분 한 물리 적 두께 를 가질 수 있 다 . 확산 기 표면 ( 120 ) 은 약 1 ㎚ 내지 약 300 ㎚, 예 를 들 어 , from 약 3 ㎚ 내지 약 250 ㎚, 그리고 추가 의 실시 예 로서 약 10 ㎚ 내지 약 200 ㎚ 의 물리 적 두께 를 가질 수 있 고 , 모든 범위 및 이 들 사이 의 하위 - 범위 를 포함 한다 .