이러 한 한계 를 극복 하 기 위한 , 3 차원 적 으로 배열 되 는 메모리 셀 들 을 구비 하 는 3 차원 반도체 메모리 장치 들 이 제안 되 고 있 다 . 그러나 , 3 차원 반도체 메모리 장치 의 대량 생산 을 위해서 는 , 비트 당 제조 비용 을 2 차원 반도체 메모리 장치 의 그것 보다 줄일 수 있 으면서 신뢰 성 있 는 제품 특성 을 구현 할 수 있 는 공정 기술 이 요구 되 고 있 다 .