따라서 후속 열처리 공정 이 진행 될 때 , 하부 티타늄 막 ( 11 ) 의 티타늄 과 알루미늄 구리 막 ( 12 ) 의 알루미늄 구리 가 상호 확산 하 면서 고상 ( solid state ) 화학 반응 에 의해 티타늄 알루미늄 화합물 을 형성 하 게 된다 . 이 에 따라 하부 티타늄 막 ( 11 ) 과 알루미늄 구리 막 ( 12 ) 이 소모 되 면서 , 도 1 b 에 도시 된 바 와 같이 티타늄 알루미늄 막 ( 15 ) 이 생성 된다 . 생성 된 티타늄 알루미늄 막 ( 15 ) 은 알루미늄 구리 막 ( 12 ) 의 두께 를 감소 시키 고 배선 저항 을 증가 시킨다 . 한편 , 티타늄 알루미늄 막 ( 15 ) 이 생성 될 때 전체 배선 이 수축 하 게 되 며 , 이때 의 수축 은 강한 인장 응력 을 유도 하 여 배선 내 보이드 ( 16 ) 발생 의 원인 이 된다 .