미세 패턴 이 형성 된 상태 에서 의 약액 특성 을 정확 하 게 예측 하 기 위한 시뮬레이션 장치 및 방법 을 제공 된다 . 상기 시뮬레이션 방법 은 컴퓨팅 장치 에 의해 수행 되 고 , 미세 패턴 내 에 제 1 약액 이 채워져 있 는 모델 을 준비 하 는 단계 ; 상기 미세 패턴 의 입구 에서 상기 제 1 약액 이 증발 하 는 것 을 모사 하 여 , 상기 제 1 약액 의 제 1 증발 속도 를 계산 하 는 단계 ; 상기 미세 패턴 내 에서 상기 제 1 약액 이 증발 하 는 것 을 모사 하 여 , 상기 제 1 약액 의 제 2 증발 속도 를 계산 하 는 단계 ; 상기 미세 패턴 의 벽 에 붙 어 있 던 상기 제 1 약액 이 증발 하 는 것 을 모사 하 여 , 상기 제 1 약액 의 제 3 증발 속도 를 계산 하 는 단계 ; 및 상기 제 1 증발 속도 , 상기 제 2 증발 속도 및 상기 제 3 증발 속도 를 기초 로 , 상기 제 1 약액 이 증발 하 는 데 소요 되 는 총 증발 시간 을 계산 하 는 단계 를 포함 한다 .