청구 항 8 에 기재 된 발명 은 , 청구 항 1 에 기재 된 발명 과 동일 한 효과 , 즉 , 웨이퍼 반송 계 의 기구 의 생략 화 를 도모 할 수 있 고 , 웨이퍼 의 산화 열화 나 부식 을 방지 하 며 , 또한 , 복잡 한 프로그램 의 작성 을 불 필요 하 게 하 는 효과 를 얻 을 수 있 고 , 또한 , 전극 가공 에서 사용 한 오래 된 전해액 이 전극 부 에 잔존 하 지 않 기 때문 에 , 새 로운 전해액 으로 전해 가공 할 때 , 새로운 전해액 이 오래 된 전해액 과 반응 하 여 전해 가공 에 악영향 을 줄 우려 가 없 다 .