기판 ( 10 ) 을 기판 지지 부 ( 500 ) 의 몸 체부 ( 510 ) 상 에 위치 시킨 후 게이트 밸브 ( 130 ) 가 닫히 고 , 챔버 ( 100 ) 내부 의 반응 공간 ( A ) 의 압력 을 목표 로 하 는 압력 으로 조절 한다 . 이때 , 몸 체부 ( 510 ) 내 의 제 1 전극 ( 520 ) 에 고정 전원 인 직류 전압 을 인가 하 여 기판 ( 10 ) 을 파지 한다 . 그리고 , 반응 공간 ( A ) 의 압력 은 1 × 10 - 3 torr 이하 가 되 도록 한다 .