그리고 상기 배기 홈 ( 23 ) 은 분사 된 공기 를 강제 배기 하 기 위한 흡입 홀 ( 24 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 부상 패드 ( 20 ) 에 의해 부상 되 어 이송 되 는 기판 의 면적 또는 기판 의 무게 에 따라 분사 되 는 공기 의 압력 을 적절히 조절 하 여 균일 한 높이 로 기판 을 부상 시켜야 한다 . 이러 한 분사 압력 을 제어 하 기 위해 상기 흡입 홀 ( 24 ) 은 상기 분사 홀 ( 21 ) 에서 분사 된 공기 에 의해 부상 되 는 기판 의 높이 가 일정 하 게 유지 될 수 있 도록 분사 된 공기 를 강제 흡입 하 여 배기 시 킨다 .