[ 0099 ] 몇몇 실시 예 들 에서 , 기판 들 의 코팅 은 , 각각 의 마스크 들 에 의해 , 예컨대 , 에지 배제 마스크 에 의해 또는 새 도우 마스크 에 의해 , 기판 들 을 마스킹 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 마스크 들 , 예컨대 , 제 1 기판 ( 10 A ) 에 대응 하 는 제 1 마스크 ( 20 A ) , 및 제 2 기판 ( 10 B ) 에 대응 하 는 제 2 마스크 ( 20 B ) 는 , 도 7 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 마스크 를 미리 결정 된 포지션 에 홀딩 하 기 위해 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 에 제공 된다 .