상기 한 바 와 같이 이루어진 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 지지대 및 기판 처리 장치 에 따르 면 , 복수 개 의 기판 들 에 대한 처리 공정 수행 중 기판 이 기판 지지대 의 포켓 홈 으로부터 이탈 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 기판 의 처리 공정 중 기판 이 포켓 홈 으로부터 이탈 되 는 문제 로 인해 기판 의 공정 불량 이 발생 하 는 것 을 방지 하 는 효과 를 가지 는 기판 지지대 및 기판 처리 장치 를 구현 할 수 있 다 . 물론 이러 한 효과 에 의해 본 발명 의 범위 가 한정 되 는 것 은 아니 다 .