제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 부분 은 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 제 3 폭 ( W 13 ) 을 가질 수 있 다 . 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 부분 의 폭 ( W 13 ) 은 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 2 폭 ( W 12 ) 보다 작 다 . 기판 ( 100 ) 에서 멀 어 짐 에 따라 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 부분 의 폭 ( W 13 ) 은 증가 한다 . 다르 게 설명 하 면 , 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 의 상면 에서 기판 ( 100 ) 으로 이동 함 에 따라 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 부분 의 폭 ( W 13 ) 은 감소 한다 .