D - SIMS ( Dynamics - Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 는 고속 의 1 차 이온 ( Primary ion ) 을 고체 시료 의 표면 에 충돌 시켜 , 발생 된 충돌 에너지 가 시료 내부 의 입자 들 에 전파 하 게 되 어 , 일부 입자 들 이 결합 을 끊 고 시료 에서 방출 되 는 것 을 측정 하 는데 , 고체 시료 를 초당 수 나노미터 이상 파 고 들어갈 수 있 어서 웨이퍼 의 벌크 방향 의 오염 농도 측정 에 사용 될 수 있 다 . 그러나 , 강한 1 차 이온 으로 인하 여 웨이퍼 의 표면 만을 정확히 분석 하 기 어려울 수 있 는데 , 여기 서 의 웨이퍼 의 표면 은 두께 가 10 옴 스트롱 ( Å ) 이하 인 자연 산화 막 을 가리킬 수 있 다 .