도 6 을 참조 하 면 , 투명 기판 ( 200 ) 위 에 미러 층 ( 205 ) 을 증착 한다 . 다음 에 미러 층 ( 205 ) 위 에 포토레지스트 막 ( 210 ) 을 형성 한다 . 투명 기판 ( 200 ) 은 석영 ( Quartz ) 을 포함 하 는 투명 한 재질 로 이루어진다 . 투명 기판 ( 200 ) 위 에 증착 된 미러 층 ( 205 ) 은 몰 리브 데 늄 ( Mo ; Molybdenum ) 막 및 실리콘 ( Si ; Silicon ) 막 이 교번 적 으로 복수 층 이 적층 된 구조 로 형성 한다 . 여기 서 몰 리브 데 늄 막 및 실리콘 막 은 20 - 40 층 이상 으로 적층 하 는 것 이 바람직 하 다 . 미러 층 ( 205 ) 위 에 형성 된 포토레지스트 막 ( 210 ) 은 네거티브 타입 ( negative type ) 의 감광성 물질 로 형성 하 며 , 스핀 코팅 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 .