열팽창 계수 측정 간섭계 가 개시 된다 . 측정 대상 계 는 측정 대상물 과 측정 대상물 을 안착 하 는 기준 판 을 포함 한다 . 광학계 는 입사 된 광 을 분리 하 여 분리 된 광 의 주파수 를 각각 변조 시키 고 , 변조 된 광 을 측정 대상물 과 기준 판 에 각각 투사 시켜서 측정 대상물 과 기준 판 으로부터 각각 반사 된 광 을 결합 시키 고 , 광 결합 시 발생 되 는 간섭 현상 으로 생성 된 맥놀이 신호 를 검출 한다 . 진공 챔버 는 측정 대상 계 및 광학계 가 내설 되 며 진공 상태 를 유지 한다 . 본 발명 에 따른 열팽창 계수 측정 간섭계 에 의하 면 오차 없이 측정 대상물 의 길 이 변화 를 감지 하 여 정밀 하 게 열팽창 계수 를 측정 할 수 있 다 .