도 7 은 , 도 1 내지 6 의 수직 기판 세정 및 건조 메커니즘 ( 100 ) 에 대한 공정 처리 법 ( 700 ) 의 예 를 도시 한다 . 기판 은 로봇 ( 도시 되 지 않 음 ) 상 의 엔드 이펙터 에 의해 클램 핑 메커니즘 내 에 배치 된다 . 일단 기판 이 공정 챔버 내 에 적재 되 면 , 챔버 는 제어기 또는 마이크로프로세서 ( 도시 되 진 않 지만 통상 의 기술자 에게 이해 가능 함 ) 로부터 공정 을 시작 하 라는 명령 을 수신 한다 .