본 발명 에 따른 반도체 제조 용 가열로 의 개폐 장치 는 , 반도체 제조 용 가열로 의 개폐 장치 로서 , 가열로 를 개폐 하 기 위한 개폐 부재 와 , 상기 개폐 부재 를 가압 하 기 위한 벨로우즈 와 , 본 벨로우즈 에 기체 를 공급 및 배출 하 기 위한 기체 공급 배출 부재 와 , 상기 개폐 부재 의 개방 또는 밀폐 여부 를 감지 하 기 위한 센서 를 포함 한다 .