상기 가스 분배 판 ( 160 ) 은 상기 제 1 배선 ( 140 ) 이 장착 되 는 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 및 상기 제 2 배선 ( 130 ) 이 장착 되 는 하부 가스 분배 판 ( 160 a ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 가스 분배 판 ( 160 ) 은 사각 판 형태 일 수 있 다 . 상기 상부 가스 분패 판 ( 160 a ) 과 상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 은 서로 결합 할 수 있 다 .