상기 열처리 로서 는 , 예 를 들 어 플래시 램프 의 조사 에 의한 열처리 를 사용 할 수 있 다 . 물론 , 그 밖 의 열처리 방법 을 사용 해도 좋 지만 , 금속 화합물 의 형성 에 관한 화학 반응 의 제 어성 을 향상 시키 기 위해서 는 , 매우 단시간 의 열처리 를 실현 할 수 있 는 방법 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 의 금속 화합물 영역 은 , 금속 재료 와 반도체 재료 의 반응 에 의해 형성 되 는 것 이 며 , 충분히 높 은 도전 성 을 가진 영역 이 다 . 그 금속 화합물 영역 을 형성 함 으로써 , 전기 저항 을 충분히 저감 하 여 , 소자 특성 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 금속 화합물 영역 ( 124 ) 을 형성 한 후 에 는 , 금속 층 ( 122 ) 은 제거 한다 .