가능 한 한 최단 시간 내 에 필요 한 양 의 기체 를 락 챔버 속 에 도입 하 기 위해 , 다수 의 홀 ( 14 , 15 ) 들 또는 큰 크기 의 홀 들 이 제공 될 수 있 을 것 이 다 . 그러나 , 기판 ( 11 ) 을 향해 지향 되 지 않 는 기체 방출 방향 을 갖 는 추가 적 기체 랜스 ( gas lance ) 들 또는 플 러딩 장치 들 이 제공 될 수 있 다 . 여기 에서 필요 한 조건 은 그러 한 추가 적 기체 공급 부들 에 의해 기판 을 제 위치 로부터 이동 시키 거나 불 어 낼 수 있 는 소용돌이 가 유동 에 생성 되 지 않 아야 한다는 것 이 다 .