스핀 타입 의 방식 은 스핀 헤드 의 상면 에 기판 을 지지 하 는 지지 핀 들 이 설치 되 고 , 스핀 헤드 가 회전 함 에 따라 지 지 핀 들 에 지지 된 기판 이 회전 하 는 구성 을 가지 며 , 기판 상부 에 제공 되 는 프론트 싸이드 노즐 ( Front Side Nozzle ) 과 스핀 헤드 에 설치 된 백 싸이드 노즐 ( Back Side Nozzle ) 을 통해 기판 의 상면 또는 하 면 으로 화학 약액 ( 식각 액 또는 세정액 ) 을 공급 하 고 , 이 를 통해 기판 을 처리 한다 .