TiO 2 - SiO 2 유리 ( 2 ) 의 제조 에 는 상기 한 ( a ) 내지 ( e ) 단계 를 포함 하 는 제조 방법 을 채용 할 수 있 다 . 그러나 , ( b ) 단계 에서 , 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 치밀 화 온도 이하 의 온도 에서 불소 함유 분위기 하 에서 유지 함 으로써 불소 함유 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 얻 는다 . 이 불소 함유 분위기 는 불소 함유 가스 ( 예 를 들 어 , SiF 4 , SF 6 , CHF 3 , CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , F 2 등 ) 를 0 . 1 내지 100 부피 ％ 함유 하 는 불활성 가스 분위기 가 바람직 하 다 . 이러 한 분위기 하 에서 압력 10 , 000 내지 200 , 000 Pa 로 수십 분 내지 수 시간 동안 후술 하 는 치밀 화 온도 이하 의 고온 에서 처리 를 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 동일 한 불소 도핑 량 을 얻 기 위해 처리 온도 를 낮추 고자 하 는 경우 , 처리 시간 을 연장 시켜 , 구체 적 으로 5 내지 수십 시간 동안 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 를 유지 함 으로써 달성 될 수 있 다 . 얻 어 진 유리 의 투과율 을 올리 기 위해서 는 , 열처리 분위기 에 산소 가스 를 혼합 하 는 것 이 바람직 하 다 .