상기 연마 헤드 ( 1 ) 는 도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 외부 의 구 동부 에 의하 여 회전 구동 되 는 본 체부 ( 20 ) 와 , 본 체부 ( 20 ) 의 베이스 ( 21 ) 에 고정 되 어 베이스 ( 21 ) 와 의 사이 에 다수 의 분할 된 압력 챔버 ( C 1 , C 2 , C 3 , C 4 ) 를 형성 하 는 멤 브레인 ( 10 ) 을 포함 하 여 , 압력 챔버 ( C 1 , C 2 , C 3 ) 에 공 압 공급 로 ( 55 ) 를 통해 공 압 을 독립 적 으로 인가 하 거나 배출 시키 는 압력 조 절부 ( 50 ) 로 이루어진다 .