평탄 화 된 기판 ( 200 ) 의 추가 의 공정 이 도 2 e 에 도시 되 고 , 리세 스 된 특징 부 ( 142 ) 내 에 배리 어 층 ( 164 ) 을 퇴적 하 는 단계 , 및 리세 스 된 특징 부 ( 140 ) 를 금속 ( 162 ) 으로 충 진하 는 단계 를 포함 한다 . 금속 ( 162 ) 은 예 를 들 어 텅스텐 ( W ) , 코발트 ( Co ) , 루테늄 ( Ru ) , 또는 알루미늄 ( Al ) 을 포함 할 수 있 다 .