상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 나머지 가스 분사 모듈 은 상기 제 1 및 제 2 가스 분사 공간 중 적어도 하나 의 가스 분사 공간 을 가지 는 것 을 특징 으로 한다 . 그리고 , 상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 나머지 가스 분사 모듈 은 상기 기판 지지 부 의 국부 적 으로 대향 되 도록 상기 가스 분사 공간 에 설치 된 플 라즈 마 전극 에 인가 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 상기 가스 분사 공간 내부 에 플 라즈 마 를 형성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .