마스크 ( M ) 로부터 의 패 터닝 된 이미지 는 센서 ( 1254 a ) 상 으로 패 터닝 된 이미지 를 투영 하 는 광학 요소 들 의 집합 ( 1253 a ) 을 통과 하 여 지향 된다 . 반사 시스템 에서 , 광학 요소 들 ( 예 를 들 어 , 빔 스플리터 ( 1276 ) 및 검출 렌즈 ( 1278 ) ) 은 반사 된 광 을 센서 ( 1254 b ) 상 으로 지향 및 포착 한다 . 적합 한 센서 는 CCD ( charged coupled device ) , CCD 어레이 , TDI ( time delay integration ) 센서 , TDI 센서 어레이 , PMT ( photomultiplier tube ) 및 기타 센서 를 포함 한다 .