차동 펌핑 시스템 ( 40 ) ( 도 8 및 도 9 ) 은 , 적절 하 게 는 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 을 적어도 1 이상 의 스테이지 로 분리 하 는 감압 장벽 ( pressure reducing barrier : 42 ) 을 포함 한다 . 감압 장벽 ( 42 ) 들 은 적절 하 게 는 각각 얇 은 고체 판 또는 1 이상 의 길 고 좁 은 튜브 들 을 포함 하 며 , 상기 튜브 들 은 전형 적 으로 중심 에 작 은 홀 과 함께 1 cm 의 직경 , 적절 하 게 는 1 mm 내지 20 cm 의 직경 , 및 더 적절 하 게 는 1 mm 내지 약 6 cm 의 직경 을 갖 는다 . 각각 의 스테이지 는 진공 챔버 ( 44 ) , 연계 된 감압 장벽 들 ( 42 ) , 및 각각 진공 펌프 배출구 ( 41 ) 를 갖 는 진공 펌프 들 ( 17 ) 을 포함 한다 . 각각 의 진공 챔버 ( 44 ) 는 3 , 4 , 5 , 또는 6 포트 진공 챔버 ( 44 ) 인지 에 따라 1 이상 , 적절 하 게 는 1 내지 4 개 의 진공 펌프 들 ( 17 ) 을 가질 수 있 다 . 진공 챔버 ( 44 ) 의 포트 들 중 2 개 는 적절 하 게 는 빔 라인 ( beamline ) 상 에 방위 되 고 , 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 으로부터 의 이온 빔 입 구 및 출구 에 사용 된다 . 또한 , 각각 의 진공 챔버 ( 44 ) 의 포트 들 은 감압 장벽 들 ( 42 ) 과 동일 한 위치 에 있 을 수 있 다 . 각각 의 진공 챔버 ( 44 ) 의 남 은 포트 들 은 적절 하 게 는 콘 플랫 플랜지 ( conflat flange ) 들 에 의해 진공 펌프 들 ( 17 ) 에 연결 되 며 , 또는 다양 한 기기 또는 제 어 디바이스 들 에 연결 될 수 있 다 . 진공 펌프 들 ( 17 ) 로부터 의 배출 가스 는 진공 펌프 배출구 ( 41 ) 를 통해 추가 진공 펌프 또는 필요 에 따라 압축기 ( 도시 되 지 않 음 ) 로 공급 되 고 , 가스 여과 시스템 ( 50 ) 으로 공급 된다 . 대안 적 으로 , 필요 에 따라 이 추가 진공 펌프 는 가스 여과 시스템 ( 50 ) 과 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 사이 에 위치 될 수 있 다 . 추가 압축 단계 가 존재 하 는 경우 , 이 는 진공 펌프 들 ( 17 ) 과 여과 시스템 ( 50 ) 사이 에 있 을 수 있 다 . 차동 펌핑 부분 은 일 단부 에서 가속기 정합 플랜지 ( 45 ) 를 통해 가속기 ( 30 ) 에 연결 되 고 , 다른 단부 의 빔 출구 포트 ( 46 ) 에서 타 겟 챔버 정합 플랜지 ( 43 ) 를 통해 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 에 연결 된다 . 또한 , 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 은 층류 ( laminar flow ) 를 방해 하 기 위해 난류 발생 장치 ( turbulence generating apparatus : 도시 되 지 않 음 ) 를 포함 할 수 있 다 . 난류 발생 장치 는 유체 의 흐름 을 제한 할 수 있 으며 , 층류 를 방해 하 기 위해 표면 범프 ( surface bump ) 또는 다른 피처 들 또는 그 조합 을 포함 할 수 있 다 . 난류 는 전형 적 으로 층류 보다 느리 므로 , 타 겟 챔버 로부터 차동 펌핑 부분 으로 의 유체 누출 율 을 감소 시킬 수 있 다 .