기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 오프너 ( 11 ) 의 캐리어 ( C ) 로부터 모든 기판 ( W ) 을 취 출한 후 , 오프너 ( 12 ) 의 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 취 출한 다 . 그리고 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 오프너 ( 12 ) 의 캐리어 ( C ) 로부터 모든 기판 ( W ) 을 취 출한 후 , 다시 오프너 ( 11 ) 의 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 취 출한 다 . 즉 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 원칙 적 으로 , 캐리어 ( C ) 단위 이 고 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 의 각 캐리어 ( C ) 로부터 교대 로 기판 ( W ) 을 취 출한 다 .