즉 , 상기 단부 에 결합재 수지 와 반응 성 이 높 은 관능기 ( 폴리 설파이드 ) 를 갖 는 긴 직쇄 사슬 이 , 결합제 수지 에 도입 된 곁사슬 들 의 입체 장애 나 다른 치환기 들 의 방해 를 통과 하 여 기재 표면 의 극성기 와 반응 하 여 결합 을 형성 함 으로써 , 결합제 수지 와 기재 표면 의 밀착력 을 현저 하 게 향상 시킨다 . 따라서 , 본 발명 에 따른 실란 화합물 은 낮 은 노광량 에 도 결합제 수지 와 기재 표면 의 밀착력 을 현저 하 게 향상 시켜 , 고노 광량 의 패턴 높이 와 의 차이 를 줄일 수 있 다 .