상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 이송 모듈 은 기판 이 놓여 지 는 제 1 블레이드 및 상기 제 1 블레이드 를 구동 시키 는 제 1 구동축 을 가지 는 제 1 로봇 과 기판 이 놓여 지 는 제 2 블레이드 및 상기 제 2 블레이드 를 구동 시키 는 제 2 구동축 을 가지 는 제 2 로봇 을 포함 하 되 , 상기 제 1 구동축 은 상기 제 1 블레이드 의 상부 에 배치 되 고 , 상기 제 2 구동축 은 상기 제 2 블레이드 의 하부 에 배치 된다 .