반도체 소자 제조 용 애 싱 장비 는 복수 의 로드 포트 ( Load port , 100 ) 와 , 프런트 엔드 모듈 ( EFEM , Equipment front end module , 200 ) 과 , 제 1 이송용 로봇 ( 210 ) 과 , 로드 락 챔버 ( 300 ) 와 , 전달 챔버 ( 400 ) 와 , 제 2 이송용 로봇 ( 410 ) 및 복수 의 공 정 챔버 ( 500 ) 를 포함 한다 .