또한 , 본 발명 에 따른 수지 성형 장치 에 의하 면 , 기판 유지 부 가 , 기판 에 있 어서 의 수지 부 가 형성 되 는 형성 면 이 연직 하방 을 향하 는 자세 로 기판 을 유지 한다 . 또한 , 헤드 구동 부 가 , 기판 에 있 어서 의 수지 부 가 형성 되 는 위치 와 대향 하 는 가압 위치 에 있 어서 헤드 를 연직 상방 으로 이동 시키 는 것 에 의해 헤드 를 기판 유지 부 에 접근 시켜 몰드 를 가압 한다 . 그리고 , 수지 경화 부 가 , 몰드 를 수지 부 에 가압 한 상태 에서 몰드 에 탑재 된 수지 를 경화 시킨다 . 이 에 의해 , 기판 의 수지 부 가 형성 되 는 형성 면 으로 의 파티클 의 퇴적 을 저감 할 수 있 기 때문 에 , 수지 부 와 기판 의 계면 으로 의 파티클 의 혼입 을 억제 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 상 에 수지 부 를 형성 하 여 이루어지 는 제품 에 관해 , 수지 부 와 기판 의 계면 으로 의 파티클 의 혼입 에 기인 한 성능 불량 제품 의 발생 이 억제 된다 . 특히 , 1 장 의 기판 상 에 복수 개 의 수지 부 를 성형 하 는 이른바 스텝 앤드 리피트 ( step and repeat ) 방식 으로 수지 성형 을 하 는 공정 에 바람직 하 다 .