또한 , 리프팅 부 ( 300 ) 는 유체 분사 부 ( 400 ) 에서 유체 가 분사 되 는 동안 스테이지 ( 100 ) 에 대한 기판 의 리프팅 각도 를 점진 적 으로 증가 시키 도록 구성 된다 . 이 와 같이 , 리프팅 부 ( 300 ) 는 유체 분사 부 ( 400 ) 에서 유체 가 분사 되 는 동안 스테이지 ( 100 ) 에 대한 기판 ( 10 ) 의 리프팅 각도 를 점진 적 으로 증가 시키 는 것 에 의하 여 , 유체 에 의한 기판 ( 10 ) 의 분리 ( 스테이지 로부터 분리 ) 가 보다 효과 적 으로 이루어질 수 있 다 .