정보 접수부 ( 260 f ) 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 하 는 기능 이 다 . 메인 터 넌 스 예약 정보 는 각 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 처리 용기 ( 202 ) 내 , 특히 처리 용기 ( 202 ) 내 에 형성 되 는 처리 실 ( 201 ) 에 대해서 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 것 을 예약 하 는 정보 이 며 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 마다 개별 로 주어지 는 정보 다 . 메인 터 넌 스 예약 정보 는 예컨대 소정 의 메인 터 넌 스 시기 에 호스트 장치 ( 500 ) 로부터 주어진다 . 메인 터 넌 스 시기 가 되 었 는지 의 여부 는 각 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 처리 매수 , 누계 막 두께 , 누적 처리 시간 등 중 적어도 어느 하나 에 기초 하 여 호스트 장치 ( 500 ) 에서 판단 된다 . 단 , 메인 터 넌 스 예약 정보 는 호스트 장치 ( 500 ) 로부터 주어지 는 것 에 한정 되 지 않 고 , 예컨대 각 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 부설 된 터치 패널 등 의 입출력 장치 ( 261 ) 로부터 보수 작업자 등 의 조작 에 의해 주 어 지 는 것 이 어도 좋 다 .