도 2 b 를 참조 하 면 , 상기 트렌치 ( 30 ) 표면 상 에 측벽 산화 ( wall oxidation ) 공정 을 통해 측벽 산화 막 ( 40 ) 을 형성 한 후 , 상기 측벽 산화 막 ( 40 ) 을 포함 한 결과물 상 에 라이너 질화 막 ( liner nitride : 미 도시 ) 과 라이너 산화 막 ( liner oxide : 미 도시 ) 을 차례 로 증착 한다