그리고 나 서 , 도 6 의 ( d ) 에서 와 같이 비아 홀 ( 51 ) 내 에 충전물 질 ( 36 ) 을 주입 한다 ( S 24 ) . 충전물 질 ( 36 ) 이 주입 된 영역 은 충전물 질 층 을 이루 게 된다 . 충전물 질 ( 36 ) 은 Al , Ag , Pt , Ru , Cu , W 의 금속 물질 및 절연체 ( 예컨대 , Al 2 O 3 , SiO 2 ) 를 주원료 로 하 고 에폭시 , 실리콘 , 유리 등 을 결합제 로 하 여 혼합 된 것 이 다 . 물론 , 서지 흡수 를 위해 기여 할 수 있 는 금속 물질 이 라면 앞서 언급 한 금속 물질 이외 의 금속 물질 을 충전물 질 ( 36 ) 의 금속 물질 로 할 수 있 다 .