플라 즈 마 생 성 을 위한 엘리먼트 들 은 윈도우 ( 411 ) 위 에 위치 된 코일 ( 433 ) 을 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 코일 은 개시 된 실시 예 들 에 사용 되 지 않 는다 . 코일 ( 433 ) 은 전기 적 으로 도전 성 재료 로 제조 되 고 , 적어도 1 회 의 완전 한 턴 ( turn ) 을 포함 한다 . 도 5 에 도시 된 코일 ( 433 ) 의 예 는 3 회 의 턴 들 을 포함 한다 . 코일 ( 433 ) 의 단면도 들 은 심볼 들 로 도시 되 고 , " "" X "" 를 갖 는 코일 들 은 페이지 내 로 회전 하 여 연장 하 는 한편 "," ""●"" 을 갖 는 코일 들 은 페이지 로부터 회전 하 여 연장 한다 . 플라 즈 마 생 성 을 위한 엘리먼트 들 은 또한 코일 ( 433 ) 에 RF 전력 을 공급 하 도록 구성 된 RF 전력 공급 부 ( 441 ) 를 포함 한다 . 일반 적 으로 ", RF 전력 공급 부 ( 441 ) 는 연결부 ( 445 ) 를 통해 매칭 회로 ( 439 ) 에 연결 된다 . 매칭 회로 ( 439 ) 는 연결부 ( 443 ) 를 통해 코일 ( 433 ) 에 연결 된다 . 이러 한 방식 으로 , RF 전력 공급 부 ( 441 ) 는 코일 ( 433 ) 에 연결 된다 . 선택 가능 한 Faraday 차 폐부 ( 449 a ) 는 코일 ( 433 ) 과 윈도우 ( 411 ) 사이 에 위치 된다 . Faraday 차 폐부 ( 449 a ) 는 코일 ( 433 ) 에 대해 이격 된 관계 로 유지 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , Faraday 차 폐부 ( 449 a ) 는 윈도우 ( 411 ) 바로 위 에 배치 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , Faraday 차 폐부 ( 449 b ) 와 윈도우 ( 411 ) 사이 에 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , Faraday 차 폐부 ( 449 b ) 는 코일 ( 433 ) 에 대해 이격 된 관계 로 유지 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , Faraday 차 폐부 ( 449 b ) 는 갭 없이 윈도우 ( 411 ) 바로 아래 에 있 을 수 도 있 다 . 코일 ( 433 ) , Faraday 차 폐부 ( 449 a ) , 및 윈도우 ( 411 ) 는 각각 서로 실질 적 으로 평행 하 도록 구성 된다 . Faraday 차 폐부 ( 449 a ) 는 금속 또는 다른 종이 프로세스 챔버 ( 424 ) 의 윈도우 ( 411 ) 상 에 증착 되 는 것 을 방지 할 수 도 있 다 .