본 발명 에 의하 면 , 팽창 단계 를 반복 할 때 마다 , 탑재 되 는 기판 이 교환 된다 . 기판 은 , 열팽창 할 때 에 , 해당 기판 에 박힌 미세 한 볼록 부를 탑 재면 으로부터 분리 하 여 제거 한다 . 기판 을 교환 함 으로써 , 제거 되 는 미세 한 볼록 부 의 양 을 늘릴 수 있 어 , 탑 재면 을 확실히 미시 적 으로 평활 하 게 할 수 있 다 .