도 6 에 도시 하 는 제 6 실시 형태 에서 는 , 주 통로 부분 ( 22 ) 에 펌프 ( 30 ) 및 여 과부 ( 40 ) 가 마련 되 고 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 온도 조 절부 ( 50 A ) 가 마련 되 고 , 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 온도 조 절부 ( 50 B ) 가 마련 되 어 있 다 . 제 6 실시 형태 는 , 각 온도 조 절부 ( 50 A , 50 B ) 가 2 개 씩 온도 조절 모듈 을 갖 고 있 는 점 이 제 4 실시 형태 와 다르 다 .