또한 , 프로 버 및 웨이퍼 척이 결합 된 상태 에서 전기 적 테스트 를 수행 하 기 위해 이송 되 는 경우 , 외력 에 의해 프로 버 및 웨이퍼 척 의 변형 이 발생 하 거나 결합 이 해제 될 수 있 는데 , 이 에 따라 탐침 및 웨이퍼 간 의 접촉 상태 가 변화 되 어 테스트 정밀도 가 낮 아 지 거나 , 웨이퍼 가 파손 되 는 등 의 문제점 이 있 었 다 .