소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 은 최 상부 의 워드 선 WLmn 의 상부 에 배치 된다 . 소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 은 로우 방향 과 평행 하 게 연장 되 는 형상 을 갖 는다 . 소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 은 칼럼 방향 으로 교대 로 제 1 간격 ( D 1 ) , 제 2 간격 ( D 2 ) 을 두 어 , 서로 절연 분리 됨 으로써 라인 상태 로 반복 적 으로 형성 된다 . 소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 은 드레 인 측 선택 게이트 선 ( SGDm ) 을 개재 하 여 제 2 간격 ( D 2 ) 을 두 고 형성 된다 . 또한 , 기둥 형 상부 CLmn 은 소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 의 칼럼 방향 의 중심 을 관통 해서 형성 된다 . 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 소스 측 선택 게이트 선 ( SGSm ) 과 기둥 형 상부 CLmn 사이 에 는 게이트 절연 층 SGI 가 형성 된다 .