전 원부 ( 300 ) 는 챔버 ( 200 ) 내부 에 플 라즈 마 를 생성 시키 는 전원 을 인가 하 는 수단 으로 RF 전원 을 인가 하 는 수단 일 수 있 으며 , 분사기 ( 220 ) 와 연결 될 수 있 다 . 이러 한 전원 부 ( 300 ) 에 의해 RF 전원 이 인가 되 면 , 서 셉 터 ( 210 ) 와 분사기 ( 220 ) 의 전위차 에 따라 서 셉 터 ( 210 ) 와 분사기 ( 220 ) 사이 에 전기장 이 형성 되 고 , 이 로 인해 챔버 ( 200 ) 내부 에 플 라즈 마가 형성 된다 . 그리고 플 라즈 마가 형성 되 면 , 소스 원료 와 반응 원료 가 반응 하 여 박막 이 형성 된다 .