일부 구 현예 에서 , 불순물 의 영역 선택 적 포함 에 의해 측벽 이 두꺼운 TS - SiO 에서 비 실리콘 가스 는 불순물 을 막 에 도입 하 기 위해 사용 되 기 때문 에 , 전 구체 자체 는 불순물 을 함유 할 필요 가 없 고 통상 사용 된 것 들 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이러 한 전구체 는 NxHy ( x 와 y 는 제로 이외 의 정수 ) , NxCyHz ( x , y , 및 z 는 제로 이외 의 정수 ) , 및 / 또는 N 2 를 포함 하나 이 에 제한 되 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 전 구체 는 탄소 또는 할로겐 을 함유 하 지 않 는다 .