플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 또한 , 데포 실드 ( 100 ) 를 가열 하 는 히터 유닛 ( 62 ) 을 구비 하 고 있 다 . 히터 유닛 ( 62 ) 은 상면 에서 보 았 을 때 에 대략 원환 형상 이 며 , 히터 유닛 ( 62 ) 의 단면 은 대략 직사각 형상 으로 되 어 있 다 . 또한 , 히터 유닛 ( 62 ) 은 상부 전극 ( 30 ) 을 둘러싸 도록 둘레 방향 으로 연장 되 어 있 다 . 히터 유닛 ( 62 ) 은 , 직경 방향 으로 는 부재 ( 34 ) 보다 는 바깥쪽 에 그리고 부재 ( 64 ) 보다 는 안쪽 에 배치 되 며 , 상하 방향 으로 는 부재 ( 32 ) 보다 는 아랫 쪽 에 그리고 후술 하 는 부재 ( 66 ) 보다 는 윗 쪽 에 배치 된다 . 또한 , 히터 유닛 ( 62 ) 은 부재 ( 64 ) 및 데포 실드 ( 100 ) 와 열전 도 가능 하 도록 접촉 하 고 있 다 . 도 1 의 예 에서 는 , 히터 유닛 ( 62 ) 의 외주 면 과 부재 ( 64 ) 의 내주 면 윗 쪽 이 열 적 으로 접촉 하 며 , 히터 유닛 ( 62 ) 의 하면 과 데포 실드 ( 100 ) 의 상면 이 열 적 으로 접촉 하 고 있 다 . 히터 유닛 ( 62 ) 은 본체 ( 62 m ) 및 히터 ( 62 h ) 를 포함 하 고 있 다 . 본체 ( 62 m ) 는 , 예 를 들 어 , 알루미늄 으로 형성 되 어 있 다 . 히터 ( 62 h ) 는 , 예 를 들 어 , 저항 가열 소자 이 다 .