상기 제 1 챔버 ( 100 ) 및 제 2 챔버 ( 200 ) 는 각각 기판 이 입출 될 수 있 는 게이트 ( 110 , 210 ) 가 형성 되 며 게이트 밸브 의 개폐 에 의하 여 밀폐 된 상태 에서 각 챔버 ( 100 , 200 ) 의 내부 공간 에 대하 여 진공 압 등 소정 의 압력 으로 강 하 또는 상승 되 도록 구성 된다 . 이때 상기 제 1 챔버 ( 100 ) 및 제 2 챔버 ( 200 ) 는 각각 내부 의 압력 조절 및 배기 및 가스 공급 을 위한 배기 및 가스 공급 시스템 ( 미 도시 ) 이 설치 될 수 있 다 .