상기 목적 은 , 본 발명 에 따라 , 평면 디스플레이 용 유리 기판 에 대한 증착 공정 이 진행 되 며 , 상부 챔버 및 하부 챔버 를 구비 하 는 챔버 ; 상기 상부 챔버 의 상판 부 의 중앙 영역 에 결합 되 어 상기 챔버 내 로 공정 가스 를 제공 하 는 가스 공급 부 를 지지 하 는 지지 플레이트 ; 및 상기 가스 공급 부 에 대한 접근 이 가능 하 도록 상기 상부 챔버 의 상판 부 의 상부 에서 상기 지지 플레이트 와 이격 배치 되 되 상기 상판 부와 의 사이 에 에어갭 ( Air Gap ) 이 형성 되 도록 상기 상판 부 에 결합 되 는 작업 플레이트 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 평면 디스플레이 용 화학 기상 증착 장치 에 의해서 달성 된다 .