본 발명 은 정교 한 플 라즈 마 박스 대신 에 , 과잉 의 프로세스 가스 를 흡입 하 기 위한 구멍 들 을 구비 한 프레임 및 / 또는 흡입 채널 을 갖 는 소위 흡입 프레임 ( 이후 흡입 장치 로 호칭 ) 에 의해 , 진공 코팅 챔버 또는 플 라즈 마 챔버 내 의 가스 흐름 이 충분히 향상 되 는 것 이 가능 하 다는 인식 으로부터 시작 한다 . 여기 서 프레임 은 바람직 하 게 는 흡입 채널 을 포함 하 는 판 , 그리드 또는 박스 형 구조 를 의미 한다 . 그러나 , 프레임 은 입방 형 또는 다른 공동 들 ( cavities ) 과 같 은 채널 형 구조 와 는 상이 한 흡입 볼륨 ( 공동 ) 을 포함 할 수 있 다 . 또는 , 추가 적 인 구조 컴포넌트 들 이 생략 될 수 있 도록 , 순수 채널 구조 가 충분히 견고 한 흡입 채널 로 구현 될 수 있 다 .