본 발명자 는 상기 과제 의 해결 을 목적 으로 예의 검토 를 실시 했 다 . 그리고 , 본 발명자 는 폴리비닐 페놀 수지 를 소정 의 범위 내 의 비율 로 포함 하 는 알칼리 가용성 수지 를 사용 하 면서 , 현상 후 에 얻 어 지 는 패턴 에 소정 의 온도 이상 의 조건 으로 가열 처리 를 실시 함 으로써 , 잔류 수분 및 잔류 유기 분 의 쌍방 이 적 고 , 또한 단면 이 양호 한 역 테이퍼 형상 을 갖 는 레지스 트 패턴 을 형성 할 수 있 는 것 을 알아내 어 본 발명 을 완성 시켰 다 .