바람직 하 게 , RF 구동 포인트 들 의 가중 된 평균 위치 는 플 라즈 마 밀도 의 공간 적 불 균일 성 또는 워크 피스 상 에서 수행 중 인 플 라즈 마 프로세스 의 공간 적 불 균일 성 을 최소 화 시키 도록 조정 된다 . 다시 말 해 , 가중 된 평균 위치 는 , 워크 피스 통로 ( 12 ) 근처 에서 플라 즈 마 밀도 의 결과 적 감소 가 그 영역 에서 의 플 라즈 마 밀도 의 증가 를 오프셋 시키 도록 조정 되 며 , 이렇게 하 지 않 았 다면 RF 전력 분배 는 종래 의 플 라즈 마 챔버 들 에서 와 같이 대칭 적 인 경우 가 존재 할 것 이 다 .