이하 , 본 발명 의 실시 예 를 첨부 된 도면 도 1 내지 도 15 를 참조 하 면서 보다 상세히 설명 한다 . 본 발명 은 안정 하 게 공정 을 진행할 수 있 으면서 자동 화 및 대량 생산 이 가능 한 탄소 나노 튜브 합성 장치 를 제공 하 며 , 또한 그러 한 합성 장치 를 갖 는 자동 화 및 대량 생산 이 가능 한 탄소 나노 튜브 생산 시스템 ( 1 ) 을 제공 한다 . 도 1 은 본 발명 의 탄소 나노 튜브 생산 시스템 의 일 예 를 개략 적 으로 보여 주 는 구성도 이 다 . 도 1 을 참조 하 면 , 시스템 ( 1 ) 은 합성 기판 ( 10 ) , 탄소 나노 튜브 합성 장치 ( 이하 반응 챔버 라 함 ) ( 100 ) , 그리고 전 후처리 실 을 갖 는다 .