본 발명 의 일 실시 형태 는 소수 화제 를 기판 에 공급 하 여 상기 기판 의 표면 을 소수 화 시키 는 소수 화 공정 과 , 상기 소수 화 공정 이 행하 여진 후 에 상기 기판 을 건조 시키 는 건 조공 정과 , 상기 소수 화 공정 이 종료 되 고 나 서 상기 건조 공정 이 종료 될 때 까지 , 물 이 접촉 되 지 않 는 상태 에 상기 기판 을 유지 하 는 공정 을 포함 하 는 기판 처리 방법 을 제공 한다 .