본 발명 에 있 어서 , 「 실릴 」 은 , 식 R 3 Si - 로 나타내 는 기 를 포함 하 고 , R 은 , 독립 적 으로 , 상기 알 킬 , 아릴 및 시클 로 알킬 에서 선택 할 수 있 으며 , 예컨대 , 트리 메틸 실릴 기 , tert - 부틸 디 메틸 실릴 기 등 을 들 수 있 고 , 「 실릴 옥시 」 는 , 예컨대 , 트리 메틸 실릴 옥 시기 등 을 들 수 있 으며 , 「 실릴 옥시 알킬 」 은 , 예컨대 , 트리 메틸 실릴 옥시 메틸 등 을 들 수 있 다 .