또한 , 상술 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 제 1 처리 블록 은 , 제 1 반송 기구 를 갖 고 , 상기 제 2 처리 블록 은 , 제 2 반송 기구 를 가지 며 , 상기 제 1 처리 블록 은 , 상기 제 1 반송 기구 에 의하 여 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 에 대하 여 제 1 처리 를 행하 고 , 상기 제 1 반송 기구 에 의하 여 상기 제 1 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 하 고 , 상기 제 2 처리 블록 은 , 상기 제 2 반송 기구 에 의하 여 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 에 대하 여 제 2 처리 를 행하 고 , 상기 제 2 반송 기구 에 의하 여 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 하 는 것 이 바람직 하 다 .