프로세스 가스 ( 예 를 들 어 , H 2 및 He , 등 ) 는 상부 서브 - 챔버 ( 402 ) 내 에 위치 된 하나 이상 의 주 가스 플로우 유입 구들 ( 460 ) 을 통해 그리고 / 또는 하나 이상 의 측면 가스 플로우 유입 구들 ( 470 ) 을 통해 프로세스 챔버 내 로 흐를 수 도 있 다 . 유사 하 게 , 명시 적 으로 도시 되 지 않 지만 , 프로세스 가스 들 을 용량 커플링 플 라즈 마 프로세싱 챔버 로 공급 하 도록 유사 한 가스 플로우 유입 구들 이 사용 될 수 도 있 다 . 진공 펌프 , 예 를 들 어 , 1 또는 2 단계 기계 적 드라이 펌프 및 / 또는 터보 분자 펌프 ( 440 ) 가 프로세스 챔버 ( 424 ) 로부터 프로세스 가스 들 을 유출 하 도록 그리고 프로세스 챔버 ( 424 ) 내 에서 압력 을 유지 하 도록 사용 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 진공 펌프 는 퍼지 동작 동안 하부 서브 - 챔버 ( 403 ) 를 배기 하 도록 사용 될 수 도 있 다 . 진공 펌프 에 의해 제공 된 진공 분위기 의 적용 을 선택 적 으로 제어 하 도록 프로세스 챔버 ( 424 ) 로 진공 펌프 를 유체 적 으로 연결 하 도록 밸브 - 제어 된 도관 이 사용 될 수 도 있 다 . 이 는 동작 중 인 플 라즈 마 프로세싱 동안 , 쓰 로 틀 밸브 ( 미 도시 ) 또는 펜 둘 럼 밸브 ( 미 도시 ) 와 같 은 폐 루프 제어 된 플로우 제한 디바이스 를 채용 함 으로써 이루어질 수 도 있 다 . 유사 하 게 , 용량 커플링 플 라즈 마 프로세싱 챔버 로 의 진공 펌프 및 밸브 제어 된 유체 연결 이 또한 채용 될 수 도 있 다 .