또한 , 마스크 가 흡착 되 는 마스크 척 의 하부 에 는 마스크 의 둘레 가 안착 되 도록 안착 부 가 형성 되 어 있 으며 , 마스크 의 둘레 가 안착 부 내 에 정확 하 게 삽입 되 어야 만 안착 부 내부 가 진공 처리 되 면서 마스크 가 마스크 척 에 제대로 흡착 된다 . 따라서 마스크 의 둘레 가 마스크 척 의 안착 부 에 안착 된 후 흡착 되 면 마스크 가 마스크 척 에 정확 하 게 세팅 된 상태 가 되 며 , 이 에 따라 마스크 의 패턴 이 웨이퍼 상 에 정확 하 게 스 탬핑 된다 .