이상 과 같이 , 베이스 프레임 ( 2 ) , 지지 부 ( 9 a ) , 리니어 모 터부 ( 9 b ) 및 연결판 ( 11 ) 은 X 축 방향 으로 분할 가능 하 게 구성 되 어 있 기 때문 에 , 스테이지 장치 ( 1 ) 는 X 축 방향 중앙 의 본 체부 ( 1 a ) 와 , X 축 방향 일단 측 ( 一端側 ) 의 분할 부 ( 1 b ) 와 , X 축 방향 타단 측 ( 他端 側 ) 의 분할 부 ( 1 c ) 로 분할 가능 하 게 구성 되 는 것 이 된다 .