도 9 은 제 1 이 송장 치 의 사시도 이 다 . 도 9 을 참조 하 면 , 제 1 이송 장치 ( 300 ) 는 합성 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 아암 ( 320 ) , 블레이드 ( 340 ) , 수직 레일 들 ( 362 ) , 수평 레일 ( 364 ) , 이동 프레임 들 ( 366 ) , 그리고 이동 블럭 ( 368 ) 을 가진다 . 수직 레일 들 ( 362 ) 은 제 2 영역 ( 260 ) 의 모서리 부분 에 각각 배치 된다 . 수직 레일 들 ( 362 ) 은 상하 방향 으로 긴 로드 형상 을 가지 며 , 이동 프레임 ( 366 ) 의 상하 이동 을 안내 한다 . 각각 의 수직 레일 ( 362 ) 에 는 수직 레일 ( 362 ) 을 따라 수직 구동 부 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 상하 로 이동 되 는 브라 켓 ( 365 ) 이 결합 된다 . 각각 의 이동 프레임 ( 366 ) 은 제 2 방향 ( 44 ) 을 따라 길 게 제공 되 며 , 서로 대향 되 도록 배치 된다 . 이동 프레임 ( 366 ) 은 브라 켓 ( 365 ) 에 고정 결합 되 어 브라 켓 ( 365 ) 과 함께 수직 레일 ( 362 ) 을 따라 상하 로 직선 이동 된다 . 각각 의 이동 프레임 ( 366 ) 의 양단 은 각각 제 2 방향 ( 44 ) 으로 서로 대향 되 는 브 라켓 들 ( 365 ) 에 고정 설치 되 며 , 이동 프레임 들 ( 366 ) 은 브라 켓 ( 365 ) 과 함께 상하 로 이동 된다 . 이동 프레임 ( 366 ) 들 상 에 는 수평 레일 ( 364 ) 이 고정 설치 된다 . 각각 의 수평 레일 ( 364 ) 은 제 1 방향 ( 42 ) 으로 길 게 제공 된다 . 수평 레일 ( 364 ) 은 제 2 영역 ( 260 ) 전체 영역 에 걸쳐 제공 되 며 , 수평 레일 ( 364 ) 상 에 는 수평 레일 ( 364 ) 을 따라 제 2 방향 ( 44 ) 으로 이동 가능 하 도록 이동 블럭 ( 368 ) 이 장착 된다 . 이동 블럭 ( 368 ) 에 는 제 1 방향 ( 42 ) 을 따라 길 게 설치 된 아암 ( 320 ) 이 고정 설치 되 고 , 아암 ( 320 ) 에 는 합성 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 블레이드 ( 340 ) 가 장착 된다 .