마이크 로 요동 소자 X 1 의 구동 전극 ( 12 ) 의 일부 를 구성 하 는 아암 ( 12 A , 12 B ) 은 , 구동 전극 ( 12 , 23 ) 으로 이루어지 는 구동 기구 의 구조 에서 , 요 동부 ( 10 ) 에 관한 축심 A 1 의 연장 방향 에서 의 가장 외측 의 부위 를 이루 고 , 또한 소자 구동 시 에 는 , 아암 ( 12 A , 12 B ) 을 포함 하 는 구동 전극 ( 12 ) 에 대해 기준 전위 ( 예 를 들 면 그라운드 전위 ) 가 부여 되 어 있 다 . 이 와 같 은 아암 ( 12 A , 12 B ) 간 의 이격 거리 L 2 이내 에 , 구동 전극 ( 23 ) 은 설치 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 기준 전위 보다 도 높 은 소정 의 구동 전위 에 기인 하 여 , 소자 구동 시 에 구동 전극 ( 23 ) 으로부터 발 하 는 전계 는 , 구동 전극 ( 12 ) 의 아암 ( 12 A , 12 B ) 에 의해 흡수 되 기 쉽 다 ( 즉 , 구동 전극 ( 23 ) 으로부터 발 하 는 전계 는 , 아암 ( 12 A , 12 B ) 을 초과 하 여 구동 기구 외 로 누출 되 기 어렵 다 ) . 따라서 , 마이크 로 요동 소자 X 1 은 , 그 구동 시 에 소자 외 에 의 전계 누출 을 억제 하 는 데 에 적합 하 다 . 이 와 같 은 마이크 로 요동 소자 X 1 은 소자 밀도 가 높 은 마이크 로 요동 소자 어레이 를 구성 하 는 점 에서 바람직 하 다 . 그 마이크 로 요동 소자 어레이 에서 는 , 복수 의 마이크 로 요동 소자 X 1 을 일차원 적 으로 배치 하 여도 되 고 , 이 차원 적 으로 배치 하 여도 된다 .