하우징 ( 810 ) 은 내부 에 공간 ( 812 ) 을 가지 는 직사각 의 통 형상 으로 제공 된다 . 하우징 ( 810 ) 의 일 측 에 는 개구 ( 미 도시 ) 가 형성 된다 . 개구 는 기판 ( W ) 이 반 출입 되 는 입구 로 기능 한다 . 개구 에 는 도어 가 설치 되 며 , 도어 는 개구 를 개폐 한다 . 도어 는 기판 처리 공정 이 진행 되 면 , 개구 를 차단 하 여 하우징 ( 810 ) 의 내부 공간 ( 812 ) 을 밀폐 한다 . 하우징 ( 810 ) 의 하부 면 에 는 내측 배기구 ( 814 ) 및 외측 배기구 ( 816 ) 가 형성 된다 . 하우징 ( 810 ) 내 에 형성 된 기류 는 내측 배기구 ( 814 ) 및 외측 배기구 ( 816 ) 를 통해 외부 로 배기 된다 . 일 예 에 의하 면 , 처리 용기 ( 850 ) 내 에 제공 된 기류 는 내측 배기구 ( 814 ) 를 통해 배기 되 고 , 처리 용기 ( 850 ) 의 외측 에 제공 된 기류 는 외측 배기구 ( 816 ) 를 통해 배기 될 수 있 다 .