비스듬 하 게 상방 으로 구부러져 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 으로부터 분리 된 멀티 2 차 전자 빔 ( 300 ) 은 , 편 향기 ( 218 ) 에 의해 , 더 구부러지 고 , 전자 렌즈 ( 224 , 226 ) 에 의해 , 굴절 되 면서 멀티 검출기 ( 222 ) 에 투영 된다 . 멀티 검출기 ( 222 ) 는 , 투영 된 멀티 2 차 전자 빔 ( 300 ) 을 검출 한다 . 멀티 검출기 ( 222 ) 에 는 , 반사 전자 및 2 차 전자 가 투영 되 어도 되 며 , 반사 전자 는 도중 에 발산 해 버리 고 남 은 2 차 전자 가 투영 되 어도 된다 . 멀티 검출기 ( 222 ) 는 , 예 를 들 어 도시 하 지 않 은 2 차원 센서 를 갖 는다 . 그리고 , 멀티 2 차 전자 빔 ( 300 ) 의 각 2 차 전자 가 2 차원 센서 의 각각 대응 하 는 영역 에 충돌 하 여 , 전자 를 발생 시키 고 , 2 차 전자 화상 데이터 를 화소 마다 생성 한다 . 멀티 검출기 ( 222 ) 에서 검출 된 강도 신호 는 , 검출 회로 ( 106 ) 에 출력 된다 .