본 발명 의 양호 한 양태 에 있 어서 , 연마 장치 는 회전식 보유 기구 에 의해 보유 된 기판 상 에 액체 를 공급 하 도록 구성 된 공급 노즐 과 , 복수 의 연마 헤드 조립 체 의 작동 을 제어 하 기 위한 작동 제어기 를 더 포함 한다 . 작동 제어기 는 회전 하 는 기판 상 에 액체 를 공급 하 는 동안 , 액체 가 기판 으로 다시 튀 지 않 도록 상기 연마 헤드 중 연마 를 수행 하 지 않 는 적어도 하나 의 연마 헤드 를 기판 으로부터 이격 되게 유지 하 도록 작동 가능 하 다 .