도면 을 참조 하 면 , 상기 ICP 방식 의 플 라즈 마 발생 부 ( 150 ) 는 상기 제 2 소스 가스 ( S 2 ) 의 공급 유로 상 에 제공 되 어 플 라즈 마 ( P ) 의 발생 공간 을 제공 하 는 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 와 , 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 에 구비 되 어 고주파 전원 이 인가 되 면 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 에 전기장 을 형성 하 는 플 라즈 마 안테나 ( 152 ) 를 포함 한다 . 또한 , 상기 플 라즈 마 안테나 ( 152 ) 에 고주파 전원 을 인가 하 는 전원 공급 부 ( 155 ) 가 구비 된다 .