제 2 개질 처리 를 행함 으로써 , 제 1 막 에 포함 되 어 있 던 불순물 을 제 1 막 으로부터 탈리 시켜 , 제 1 막 을 , 불순물 이 더 적 고 , 보다 치밀 한 막 으로 변화 ( 개질 ) 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 제 2 개질 처리 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 온도 를 제 1 온도 보다 도 높 은 제 2 온도 로 가열 한 상태 에서 행하 므로 , 제 1 개질 처리 를 행하 는 것 으로 는 전부 제거 할 수 없 었 던 불순물 ( 제 2 불순물 ) 을 제 1 막 으로부터 제거 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .