도 4 를 참조 하 여 , 개구 ( 40 ) 가 스택 ( 60 ) 을 통과 하 여 연장 되 도록 형성 된다 . 개구 ( 40 ) 는 임의 의 적절 한 방법론 을 이용 하 여 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 패 터닝 된 마스크 ( 미 도시 ) 가 개구 ( 40 ) 의 위치 를 정의 하 도록 스택 ( 60 ) 위 에 형성 될 수 있 고 , 그런 다음 개구 ( 40 ) 는 하나 이상 의 적절 한 에칭 으로 스택 ( 60 ) 을 통과 하 여 연장 되 도록 형성 될 수 있 다 . 이어서 , 패 터닝 된 마스크 가 제거 될 수 있 다 .