또한 상기 ⑬ 제 2 물분 사부 재 는 상기 기판 의 이송 을 위해서 수평 방향 및 상기 기판 이송 방향 각각 에 대하 여 소 정각 도 경사지 게 물 을 분사 하 는 복수 의 ⑫ 제 1 분사 노즐 과 상기 복수 의 ⑫ 제 1 분사 노즐 중 소정 개수 의 노즐 단위 와 교번 되게 배치 되 어 상기 기판 의 이송 속도 를 감속 하 는 방향 으로 물 을 분사 하 는 ⑬ 제 2 분사 노즐 을 포함 하 는 것 이 좋 다 .