또한 , 플레이트 ( 28 ) 의 + Y 측 단부 근방 의 X 축 방향 의 거의 중앙 에 는 , 직사각 형 의 개구 가 형성 되 고 , 이 개구 의 내부 에 계측 플레이트 ( 30 ) 가 매립 되 어 있 다 . 그리고 , 계측 플레이트 ( 30 ) 의 1 쌍 의 공간 이미지 계측 슬릿 패턴 ( SL ) 각각 의 하방 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 내부 에 는 , 대물 렌즈 등 을 포함 하 는 광학계 와 수광 소자 ( 예 를 들 어 포토 멀티플라이어 튜브 등 ) 를 포함 하 는 공간 이미지 계측 장치 ( 45 A ) ( 도 47 참조 ) 가 상기 1 쌍 의 공간 이미지 계측 슬릿 패턴 ( SL ) 에 대응 하 여 1 쌍 형성 되 어 있 다 . 공간 이미지 계측 장치 ( 45 A ) 로 는 , 예 를 들 어 미국 특허 출원 공개 제 2002 / 0041377 호 명세서 등 에 개시 된 것 과 동일 한 구성 의 것 이 사용 되 고 있 다 . 계측 플레이트 ( 30 ) 는 , 그 표면 이 플레이트 ( 28 ) 와 거의 동일 한 면 으로 되 어 있 다 .