하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 은 상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 의 하부 면 에 삽입 되 도록 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 의 하 부면 과 상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 의 하부 면은 일치 할 수 있 다 . 상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 과 상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 이 결합 하 여 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 의 크기 는 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 의 크기 보다 클 수 있 다 .