다음 으로 , 설정 한 반전 위상 개구부 와 다른 반전 위상 개구부 의 거리 가 가까워 , 차광막 의 박리 가 발생 할 우려 가 있 는지 의 여부 를 판별 한다 . 차광막 의 박리 가 발생 할 우려 가 있 는 경우 에 는 , 설정 한 2 개 의 동 위상 개구부 중 , 한 쪽 을 반전 위상 개구부 로 변경 해서 쌍 으로 되 는 개구부 를 동 위상 개구부 로 변경 한다 . 즉 , 설정 한 반전 위상 개구부 와 다른 반전 위상 개구부 의 거리 가 매우 가깝 게 되 는 경우 에 는 , 상기 한 변경 을 원래 상태 로 되돌려서 다음 공정 으로 진행 한다 .