이상 에서 논의 된 구성 은 변화 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이상 에서 논의 된 로크 들 은 이상 에서 논의 된 사소 한 부분 들 없이 단일 보디 를 구비 한 웨이퍼 캐리어 로 사용 될 수 있 다 . 또한 , 로크 들 , 지지 표면 들 및 교대 요소 들 의 구성 은 이상 에서 논의 된 것 으로 부 터 변형 될 수 있 다 . 도 8 - 10 에서 도시 된 웨이퍼 캐리어 는 포켓 들 ( 240 ) 을 정의 하 는 단일 보디 를 구비 한다 . 각 포켓 내 의 위 로 향한 지지 표면 은 , 포켓 의 플로어 표면 상 에 기대 어 진 디스크 형 버튼 들 의 형태 로 복수 의 작 은 지지 요소 들 ( 254 ) 에 의해 정의 된다 . 이러 한 지지 요소 들 은 포켓 의 주변 부 둘레 에 분배 된다 .