도 3 은 이상 적 인 정렬 마크 ( 6 i ) 와 비 이상 적 인 정렬 마크 ( 6 ) 의 중첩 의 실제 크기 가 아닌 개략 도 이 다 . 소프트웨어 에 의해 계산 된 정렬 마크 ( 6 , 6 i ) 의 중심 위치 ( 7 , 7 i ) 는 각각 의 정렬 마크 ( 6 , 6 ') 의 중심 에 나타난다 . 비 이상 적 인 중심 위치 ( 7 ) 는 이 원 하 는 이상 적 인 중심 위치 ( 7 i ) 에서 벗어난다 . 상기 에러 는 비 이상 적 인 정렬 마크 ( 6 ) , 특히 비 이상 적 이 고 비 직선 에지 ( 8 ) 의 비 이상 적 인 특징 에 기인 하 고 , 본 발명 에 따른 공정 에 의해 가능 한 한 보상 되 어야 하 는 에러 를 생성 한다 . 도 1 b 와 1 c 에 대한 유사 한 고려 사항 도 여기 에 적용 된다 .