카세트 스테이지 ( 16 ) 와 척 테이블 ( 20 ) 사이 에 는 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 반송 하 는 푸시풀 수단 ( 17 ) 이 마련 된다 . 푸시풀 수단 ( 17 ) 은 , 카세트 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 출납 하 는 푸시풀 아암 ( 171 ) 과 , 푸시풀 아암 ( 171 ) 을 Y 축 방향 으로 왕복 이동 시키 는 푸시풀 아암 이동 기구 ( 172 ) 를 구비 한다 .