또한 , 제 1 실시 형태 내지 제 3 실시 형태 에서 는 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 의 제 2 게이트 ( 95 ) 가 어댑터 ( 96 ) 에 의해 기밀 성 을 유지 해서 폐쇄 되 어 있 을 경우 를 예 로 설명 했 지만 , 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 의 제 2 게이트 ( 95 ) 에 게이트 밸브 ( G ) 를 마련 하 여 개폐 가능 하 게 해도 좋 다 . 이러 한 경우 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 어댑터 ( 96 ) 를 분리 하 는 유닛 이 불 필요 하 게 된다 .