덧붙여 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 및 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 은 , 그 들 일부 가 매립 배선 으로서 형성 되 고 , 나머지 가 통상 배선 으로서 형성 되 는 경우 에 도 , 동일 평면 ( 지지 부 ( 2 ) , 제 1 가동 부 ( 3 ) 및 제 2 가동 부 ( 4 ) 의 각각 에 있 어서 창재 ( 43 ) 측 의 표면 ) 을 따르 도록 배치 된다 . 따라서 , MEMS 미러 ( 1 ) 를 반도체 제조 프로세스 로 제조 하 는 경우 에 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 및 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 을 용이 하 게 형성 할 수 있 다 .