CPB 소스 ( 106 ) 로부터 의 CPB 는 , 집속 되 고 , 스캔 되 며 , 수차 교정 되 고 , 크롭 핑 되 며 , 확장 되 고 , 에너지 또는 전하 필터링 되 거나 , 또는 하나 이상 의 CPB 광학 요소 에 의해 다르 게 처리 될 수 있 는 , CPB 를 생성 한다 . 작업 모드 동안 , CPB 소스 ( 106 ) 로부터 의 CPB 빔 의 전파 방향 은 샘플 홀더 ( 114 ) 상 에 샘플 ( S ) 을 처리 하 거나 이미지 화 하 기 위해 주축 ( 110 ) 을 따라 전파 하 도록 편 향기 ( 122 ) 에 의해 조정 된다 . 전파 방향 은 빔 편 향기 ( 122 ) 에 작업 편향 구동 을 제공 함 으로써 조정 될 수 있 다 . 작업 편향 은 일정 한 신호 일 수 있 다 . 작업 편향 구동 은 빔 편 향기 ( 122 ) 를 이용 하 여 기준 위치 에 대해 CPB 를 스캐닝 함 으로써 정렬 모드 동안 결정 될 수 있 다 . 기준 위치 는 주축 ( 110 ) 으로부터 의 오프셋 을 갖 는다 . 빔 편 향기 ( 122 ) 는 X 축 및 Y 축 을 따른 CPB 편향 을 제공 하 도록 위치 된 4 중극 ( quadrupole ) 빔 편 향기 일 수 있 다 . 일부 예 들 에서 , 이동 가능 한 기판 홀더 ( 114 ) 에서 또는 그 부근 에서 의 빔 측정 에 의해 추가 적 인 빔 정렬 이 수행 될 수 있 다 .