도 9 b 는 , 검출 장치 ( 100 ) 에 있 어서 행해 지 는 보정 정보 의 취득 처리 를 나타낸 흐름 도 다 . 본 실시 형태 의 검출 장치 ( 100 ) 에 있 어서 는 , 제 1 실시 형태 와 는 다르 게 , 도 8 a 의 스텝 S 107 에서 웨이퍼 얼라인먼트 를 실시 하 는 타이밍 에서 보정 정보 가 취득 된다 . 스텝 S 253 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 웨이퍼 얼라인먼트 의 동작 중 에 , 복수 의 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 , 웨이퍼 상 의 동일 한 마크 를 기울 기 정보 에 따라 정렬 한다 . 스텝 S 254 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 검출기 를 사용 해서 정렬 된 마크 의 위치 를 계측 한다 . 보정 정보 의 산출 에 사용 하 는 마크 는 , 예 를 들 면 , " 미리 유저 가 노광 장치 에 등록 한 "" 계측 대상 의 마크 의 배치 정보 "" 및 "" 계측 대상 의 마크 의 수 "" 에 근거 해서 설정 된다 . 그리고 ", 제 어부 ( 1100 ) 는 , 웨이퍼 얼라인먼트 의 동작 과 , 복수 의 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 웨이퍼 상 의 동일 한 마크 를 기울 기 정보 에 따라 정렬 하 는 동작 을 함께 실행 한다 . 이때 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 웨이퍼 얼라인먼트 동작 에 있 어서 검출 하 는 마크 의 계측 값 중 적어도 1 개 의 계측 값 을 사용 해서 검출 장치 ( 100 ) 의 보정 정보 를 산출 하 도록 , 계측 대상 의 마크 와 보정 정보 의 연산 처리 방법 을 설정 한다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 얼라인먼트 동작 과 보정 정보 를 취득 하 기 위한 마크 의 위치 를 검출 하 는 동작 을 함께 실행 하 여 , 마크 의 계측 시간 을 단축 하 는 것 이 가능 해 진다 . 스텝 S 255 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 기울기 정보 에 따라 계측 해야 할 다른 마크 가 있 는지 아닌지 를 판단 하 여 , 계측 해야 할 마크 가 없 어 질 때 까지 , 스텝 S 253 과 스텝 S 254 의 동작 을 반복 한다 . 스텝 S 256 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 스텝 S 254 에서 취득 된 계측 값 들 의 차분 에 근거 하 여 , 웨이퍼 의 자세 변화 에 따른 검출 장치 ( 100 ) 의 보정 정보 를 산출 한다 .