슬러리 는 금속 층 ( 40 ) 과 접촉 하 여 금속 층 ( 40 ) 의 표면 을 화학 적 기계 적 으로 연마 시킬 수 있 으며 , 예컨대 화학 적 연마 가 우세 할 수 있 다 . 슬러리 는 금속 층 ( 40 ) 의 금속 을 화학 적 으로 흡착 또는 용해 하 여 연마 할 수 있 으며 금속 층 ( 40 ) 에 포함 된 연마제 에 의해 금속 층 ( 40 ) 의 표면 을 효과 적 으로 제거 할 수 있 다 .