상기 콘트롤 게이트 전극 ( 214 a ) 사이 에 는 제 2 방향 으로 연장 되 는 제 2 절 연막 패턴 ( 222 ) 이 구비 된다 . 상기 제 2 절 연막 패턴 ( 222 ) 은 상기 콘트롤 게이트 전극 ( 214 a ) 이 대향 하 고 있 는 부위 에 형성 되 며 내부 에 제 2 에어 갭 ( 224 ) 을 갖 는다 . 상기 제 2 에어 갭 ( 224 ) 은 갭 형상 또는 에 어 터널 형상 을 가질 수 있 다 .