도 4 a 내지 도 4 d 를 참조 할 때 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 기판 을 보유 하 기 위한 기기 의 단면도 들 이 있 으며 , 이 는 이 의 접촉 표면 구조 의 다른 양태 들 을 도시 한다 . 접촉 표면 구조 는 커버 ( 10 ) 의 하향 프레임 - 형 지지 표면 ( 132 ) 및 베이스 ( 30 ) 의 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 33 ) 을 포함 하 며 , 이 들 은 서로 접촉 하 고 서로 결합 한다 . 도 4 a 및 4 b 를 참조 할 때 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 33 ) 은 상향 상부 수평 표면 ( 31 ) 으로부터 베이스 ( 30 ) 의 주변 부 까지 ( 도 4 a 에 도시 된 것 처럼 ) 아래쪽 으로 기울어지 거나 , 또는 ( 도 4 b 에 도시 된 것 처럼 ) 위쪽 으로 기울어지 며 , 이 는 하향 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 132 , 33 ) 은 상향 상부 수평 표면 ( 31 ) 과 동일 한 레벨 에 있 지 않 는 것 을 가능 하 게 한다 . 상향 프레임 지지 표면 ( 33 ) 과 접촉 및 결합 하 는 , 하향 프레임 - 형 지지 표면 ( 132 ) 은 상향 상부 수평 표면 ( 31 ) 및 내부 측면 ( 131 ) 의 하부 에지 의 결합 으로부터 ( 도 4 a 에 도시 된 것 처럼 ) 아래쪽 으로 또는 ( 도 4 b 에 도시 된 것 처럼 ) 위쪽 으로 기울어져 , 결과 적 으로 플랜지 ( 13 ) 는 다른 거리 만큼 하부 표면 ( 12 ) 으로부터 아래 로 연장 된다 . 따라서 , 하향 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 132 , 33 ) 이 상향 상부 수평 표면 ( 31 ) 으로부터 베이스 ( 30 ) 의 주변 으로 향하 는 경로 는 , 입자 들 이 하향 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 132 , 33 ) 의 외부 모서리 ( 베이스 ( 30 ) 의 주변 ) 를 통하 여 기판 ( 20 ) 을 보유 하 는 공동 으로 침입 하 는 것 을 효과 적 으로 방지 하 기 위해 , 도 3 에서 보다 도 4 a , 4 b 에서 더 길 다 .