본 실시 형태 에서 는 , 임프 린트 헤드 ( 4 ) 를 구동 함 으로써 몰드 ( 1 ) 와 기판 ( 2 ) 상 의 임프 린트 재 를 서로 접촉 시키 고 있 지만 , 이 는 예시 이 며 한정 되 는 것 이 아니 다 . 예 를 들 어 , 기판 스테이지 ( 3 ) 는 Z 방향 으로 구동 될 수 있 거나 , 또는 임프 린트 헤드 ( 4 ) 및 기판 스테이지 ( 3 ) 의 양자 모두 가 동시 에 또는 순차 적 으로 구동 될 수 있 다 .