또한 , 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 아암 ( 5 ) 에 기판 위치 맞춤 기구 를 설치 해도 좋 다 . 기판 위치 맞춤 기구 는 , 좌측 아암 ( 5 L ) , 및 우측 아암 ( 5 R ) 에 각각 설치 된다 . 기판 위치 맞춤 기구 는 , 수평 방향 에 있 어서 기판 ( W ) 을 사이 에 끼워 , 유지 부 ( 3 ) 에 배치 되 는 기판 ( W ) 의 위치 를 맞춘다 . 구체 적 으로 는 , 기판 위치 맞춤 기구 는 , 기판 ( W ) 의 중심 과 , 유지 부 ( 3 ) 의 회전축 이 일치 하 도록 , 기판 ( W ) 의 위치 를 조정 한다 . 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 기판 위치 맞춤 기구 에 의해 위치 가 조정 된 기판 ( W ) 을 유지 부 ( 3 ) 에 유지 시킨다 .