분광 분석기 ( spectrometer ) ( 120 ) 는 셀프 플라 즈 마 챔버 ( 20 ) 에서 플라 즈 마 상태 의 가스 에서 나오 는 빛 을 광 파이버 를 통해 입력 받 아 시간 과 파장 에 따른 분광 분포 를 측정 한다 . 즉 분광 분석기 ( spectrometer ) ( 120 ) 는 플 라즈 마 구성 성분 에 의한 분광 분포 를 측정 하 는 것 으로 , 빛 의 파장 에 따른 분포도 를 측정 한다 . 다시 말 하 면 , 분광 분석기 ( 120 ) 를 사용 하 여 플 라즈 마 에서 방출 되 는 빛 의 파장 별 분포 값 을 측정 함 으로써 챔버 내부 의 물리 적 , 화학 적 상태 를 실시간 으로 모니터링 한다 .