단계 S 23 에서 X 축 방향 의 플러스 측 단부 에지 및 마이너스 측 단부 에지 의 검출 이 완료 되 고 있 는지 여부 가 판단 되 고 , 아니 오 이 므로 , 단계 S 24 가 실행 되 고 , 리니어 모터 ( 18 ) 가 구동 되 어 X 축 슬라이드 테이블 ( 16 ) 이 부 방향 으로 주사 속도 로 이동 되 고 , 프로브 ( 33 ) 는 선단 구 형부 에서 블록 ( 39 ) 의 단면 위 를 슬라이드 이동 한다 . 제 어 장치 ( 35 ) 는 , 미소 시간 ( △ t ) 간격 에서 , X 축 슬라이드 테이블 ( 16 ) 의 위치 ( Xs ) , 및 프로브 ( 33 ) 의 본체 ( 32 ) 에 대한 Z 축 방향 위치 ( Zp ) 를 , 리니어 스케일 ( 19 ) 및 변위 검출 장치 ( 34 ) 로부터 입력 되 는 신호 에 따라 산출 하 는 동시 에 , 프로브 ( 33 ) 의 본체 ( 32 ) 에 대한 Z 축 방향 위치 ( Zp ) 의 미소 시간 에서 의 변화 량 ( △ Zp ) 을 미소 시간 ( △ t ) 으로 나누 어 프로브 ( 33 ) 의 Z 축 방향 의 이동 속도 ( Vz ) 를 연산 한다 ( 단계 S 25 ) .