이동경 ( 43 ) 에 대향 하 여 , 그 이동경 ( 43 ) 에 측장 빔 을 조사 하 는 1 쌍 의 Z 간섭계 ( 18 Z 1 , 18 Z 2 ) 가 배치 되 어 있 다 ( 도 3 참조 ) . 상세히 서술 하 면 , 이동경 ( 43 ) 은 , 도 2 및 도 3 을 종합 하 면 알 수 있 듯이 , X 축 방향 의 길이 가 반사면 ( 17 Y ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ) ) 보다 긴 , 직사각 형 과 등각 사다리꼴 을 일체 화 시킨 육각형 의 단면 ( 斷面 ) 형상 을 갖 는 부재 로 이루어진다 . 이 이동경 ( 43 ) 의 + Y 측 의 면 에 경면 가공 이 실시 되 어 , 도 2 에 도시 된 3 개 의 반사면 이 형성 되 어 있 다 .