도시 되 지 는 않 았 지만 , 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 상기 공정 챔버 ( 200 ) 내부 의 진공도 를 감지 하 는 제 1 및 제 2 진공 센서 와 , 상기 제 1 및 제 2 진공 센서 에서 출력 되 는 감지 신호 를 이용 하 여 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 상기 공정 챔버 ( 200 ) 내부 의 진공 압 을 판단 하 고 , 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 상기 공정 챔버 ( 200 ) 의 진공 압 을 이용 하 여 상기 도어 ( 130 ) 및 상기 벤트 밸브 ( 140 ) 의 개폐 동작 과 연동 되 어 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 의 개폐 동작 을 제어 하 는 제어 신호 를 출력 하 고 , 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 의 공기 펌핑 시 에 상기 슬릿 밸브 ( 120 ) 의 개폐 동작 과 무관 하 게 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 를 항시 오픈 시키 는 제어 신호 를 출력 하 도록 형성 된 제 어부 를 더 포함 하 여 구성 된다 .