제 12 실시 예 에서 , 본 발명 은 위 의 임의 의 실시 예 들 에서 와 같 은 현미경 검사 방법 을 제공 하 며 , 제 3 위치 에 기준 마크 를 배치 하 기 위해 이미지 센서 를 회전 시키 는 단계 이후 , ( i ) 제 1 위치 에 기준 마크 를 배치 시키 는 단계 , ( ii ) x - 방향 만 을 따라 표본 척 을 이동 시키 는 단계 , 및 ( iii ) 제 3 위치 에 마크 를 배치 시키 기 위해 이미지 센서 를 회전 시키 는 단계 는 픽셀 로우 가 XY 병진 스테이지 의 x - 방향 에 실질 적 으로 평행 할 때 까지 반복 된다 .