상기 기둥 구조물 은 기판 ( 100 ) 의 제 1 불순물 영역 ( 102 ) 상 에서 상기 제 1 방향 으로 연장 되 어 상기 게이트 전극 구조물 , 연결 패턴 ( 145 ) , 및 상기 절연 패턴 구조물 을 관통 할 수 있 으며 , 패드 ( 240 ) 는 상기 기둥 구조물 상 에 형성 될 수 있 다 . 상기 기둥 구조물 은 제 1 불순물 영역 ( 102 ) 상면 으로부터 상기 제 1 방향 으로 연장 된 채널 ( 225 ) , 이 의 외측 벽 을 감싸 는 전하 저장 구조물 ( 210 ) , 및 채널 ( 225 ) 이 형성 하 는 내부 공간 을 채우 는 충전 패턴 ( 230 ) 을 포함 할 수 있 다 .