계속 되 는 Ar 가스 에 의한 플라스마 처리 공정 에서 는 , Ar 가스 가 처리 용기 ( 10 ) 에 공급 된다 . 또한 , 고주파 전원 ( 34 ) 으로부터 샤워 헤드 ( 42 ) 에 60 MHz 의 고주파 전력 이 공급 되 고 , 적재 대 ( 20 ) 에 대해서 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 외부 에 마련 되 어 있 는 고주파 전원 ( 30 ) 으로부터 , 정 합기 ( 31 ) 를 통해서 , 바이어스 용 고주파 전력 , 13 . 56 MHz 의 고주파 전력 이 공급 된다 .