상술 한 제 1 실시 예 와 제 2 실시 예 에 따른 듀얼 파장 디지털 홀로그래피 를 이용 한 3 D 측정 장치 ( 1 ) ( 1 a ) 는 Z 스캔 에 의한 위상 천 이 간섭법 ( PSI : Phase shifting Interferometry ) 에 따른 표면 형상 측정 이 가능 하 도록 Z - 스캔 을 수행 하 는 Z - 스캔 구동 부 ( 60 ) 를 포함 할 수 있 다 .