상기 의 같 은 제조 방법 에 의해 얻 어 진 산화물 소 결체 의 외주 의 원통 연삭 , 면 측 의 평면 연삭 을 함 으로써 두께 4 ∼ 6 ㎜ 정도 , 직경 은 예 를 들 어 , 6 인치 등 , 사용 하 는 스퍼터 장치 에 대응 한 사이즈 로 가공 하 여 , 구리 제 배 킹 플레이트 에 , 인듐 계 합금 등 을 본딩 메탈 로서 부착 시킴 으로써 스퍼터링 타깃 으로 할 수 있 다 .