상기 정렬 된 기판 과 몰드 를 압착 하 기 위한 압착 유닛 ( 36 , 37 ) 이 구성 되 는데 , 여기 서 압착 유닛 ( 36 , 37 ) 은 진공 상태 에서 상기 기판 과 몰드 를 일 측변 의 가장자리 로부터 순차 적 으로 압착 하 기 위한 제 1 압착 유닛 ( 36 ) 과 , 제 1 압착 유닛 ( 36 ) 에 의한 압착 후 상기 기판 과 몰드 를 정밀 하 고 균일 하 게 압착 하 기 위한 제 2 압착 유닛 ( 37 ) 으로 구성 된다 .