상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 로부터 소정 거리 이격 되 도록 제 1 광학 렌즈 ( first optical lens ; 80 a ) 가 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 를 통과 한 광 은 상기 제 1 광학 렌즈 ( 80 a ) 로 입사 하 여 상기 제 1 광학 렌즈 ( 80 a ) 를 통과 할 수 있 다 . 상기 제 1 광학 렌즈 ( 80 a ) 는 상기 제 1 보조 포토 마스크 ( 44 a ) 를 통과 한 광 을 집광 하 여 평행 광선 으로 변경 시킬 수 있 다 .