도 4 a 내지 도 4 d 는 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 반도체 기판 을 세정 하 는 장치 를 도시 한다 . 상기 장치 는 챔버 ( 401 ) 를 갖 는다 . 챔버 ( 401 ) 는 상부 벽 ( 4011 ) , 측벽 ( 4012 ) 및 하 부벽 ( 4013 ) 을 갖 는다 . 일반 적 으로 , 챔버 ( 401 ) 의 측벽 ( 4012 ) 은 반도체 기판 ( 403 ) 을 이송 하 기 위한 개구부 를 갖 는다 . 상기 개구 는 개방 또는 폐쇄 하 도록 제어 되 는 도어 에 의해 통상 적 으로 밀봉 된다 . 척 ( 402 ) 은 반도체 기판 ( 403 ) 을 보유 하 기 위해 챔버 ( 401 ) 내 에 위치 된다 . 척 ( 402 ) 은 회전 구동 장치 에 의해 회전 하 도록 구동 된다 . 반도체 기판 ( 403 ) 은 척 ( 402 ) 과 함께 회전 한다 . 액체 수집 기 ( 404 ) 는 척 ( 402 ) 을 둘러싼다 . 액체 수집 기 ( 404 ) 는 , 그 내 에 수집 된 액체 를 분리 한 적어도 하나 의 환형 의 경사진 트로프 를 갖 는다 . 일례 로서 , 액체 수집 기 ( 404 ) 는 2 개 의 환형 의 경사진 트로프 ( 4041 , 4042 ) 를 갖 는다 . 모든 환형 의 경사진 트로프 ( 4041 , 4042 ) 는 수집 된 액체 가 드레 인되 는 파이프 ( 미 도시 ) 에 연결 된다 . 모든 환형 의 경사진 트로프 ( 4041 , 4042 ) 는 상이 한 액체 를 수집 하 는 데 이용 된다 . 액체 수집 기 ( 404 ) 는 적어도 하나 의 수직 액추에이터 에 의해 척 ( 402 ) 에 대해 상대 적 으로 상하 이동 하 도록 구동 되 어 , 척 ( 402 ) 이 하나 의 환형 의 경사진 트로프 에 대응 한다 . 대안 적 으로 , 척 ( 402 ) 은 수직 액추에이터 에 의해 액체 수집 기 ( 404 ) 에 대해 상대 적 으로 상하 이동 하 도록 구동 될 수 있 어 , 척 ( 402 ) 이 하나 의 환형 의 경사진 트로프 에 대응 한다 .