단계 S 53 에서 는 , 그룹 의 지정 된 대표 샷 영역 이 그룹 에 속하 는 샷 영역 중 에서 최초 에 임프 린트 처리 를 받 도록 임프 린트 처리 순서 가 설정 된다 . 이 경우 , 스루풋 의 관점 에서 , 임프 린트 처리 순서 는 , 기판 스테이지 ( 3 ) 의 이동 거리 가 가능 한 최소 화 되 고 , 임프 린트 처리 가 효율 적 으로 수행 되 도록 설정 ( 재배열 ) 된다 . 예 를 들 어 , OA 1 에 도시 된 바 와 같이 대표 샷 영역 이 지정 되 는 경우 에 , 임프 린트 처리 순서 는 도 12 의 Imprint Order # 1 로서 설정 될 수 있 다 . 대표 샷 영역 이 OA 2 에 도시 된 바 와 같이 지정 되 는 경우 에 는 , 임프 린트 처리 순서 는 도 13 의 Imprint Order # 2 로서 설정 될 수 있 다 . 대표 샷 영역 이 OA 3 에 도시 된 바 와 같이 지정 되 는 경우 , 임프 린트 처리 순서 는 도 15 의 Imprint Order # 3 으로서 설정 될 수 있 다 . 대표 샷 영역 이 OA 4 에 도시 된 바 와 같이 지정 되 는 경우 , 임프 린트 처리 순서 는 도 16 의 Imprint Order # 4 로서 설정 될 수 있 다 .