도 3 e 에 도시 된 바 와 같이 , 전면 에 식각 배리 어막 ( 25 ) 을 증착 한 후 , 식각 배리 어막 ( 25 ) 상 에 분리 절 연막 ( 26 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 식각 배리 어막 ( 25 ) 은 질화 막 이 고 , 분리 절 연막 ( 26 ) 은 산화 막 물질 이 다 . 그리고 , 분리 절 연막 ( 26 ) 은 후속 오픈 영역 에 형성 되 는 캐 패 시터 의 하부 전극 간 분리 막 이 다 .