즉 , 초기 화 박막 공정 이 완료 된 기판 ( 1 ) 을 챔버 ( C ) 로부터 인출 하 여 기판 ( C ) 상 에 형성 된 박막 의 균일 도 상태 를 분석 하 게 되 는데 , 박막 의 균일 도 상태 는 외부 의 다른 분석 기기 를 이용 할 수 도 있 고 , 박막 공정 이 완료 된 기판 촬영 이미지 를 그리드 제 어부 ( 330 ) 로 제공 하 여 그리드 제 어부 ( 330 ) 에서 판단 할 수 있 다 .