한편 , 반도체 소자 의 제조 과정 에서 는 식각 공정 또는 증착 공정 등 의 단위 공정 을 수차례 수행 하 는데 , 이때 레지스 트 패턴 을 정확 하 게 정렬 시키 기 위해 오 버레 이 ( overlay ) 및 얼라 인 키 ( align key ) 를 형성 하 고 있 다 . 특히 , 얼라인 키 는 패 터닝 을 수행 하 기 이전 에 , 식각 대상 층 상 에 얕 은 트렌치 를 형성 하 여 얼라 인 키 역할 을 수행 하 게 한다 .