또한 바람직 하 게 는 , 상방 필름 과 하방 필름 사이 에 상하 이동 가능 하 게 마련 된 2 개 의 롤러 와 , 레이저 조사 수단 에 의해 상방 필름 에 마스크 패턴 을 형성 하 는 경우 에 는 , 2 개 의 롤러 를 상방 필름 에 꽉 눌러서 상방 필름 을 기판 과 개략 평행 하 게 배치 하 고 , 위치 결정 수단 에 의해 마스크 패턴 을 결함 부 에 대치 시키 는 경우 에 는 , 2 개 의 롤러 를 하방 필름 에 꽉 눌러서 하방 필름 을 기판 과 개략 평행 하 게 배치 하 는 제 1 의 구동 수단 을 구비 한다 .