이러 한 형태학 적 특성 은 또한 공정 익스 커 션 ( process excursion ) 을 인식 하 기 위해서 도 이용 될 수 있 는데 , 가령 , 상 에서 의 감소 된 빛 패턴 의 세기 가 , 가령 , 보쉬 - 유형 식각 공정 에 의해 형성 되 는 개선 된 가리비 형 의 지표 일 수 있 다 . 블록 ( 314 ) 에 도시 되 는 공정 경보 가 이러 한 파라미터 에 울릴 수 있 다 .