상기 캐리어 가스 는 화학 적 으로 불활성 이 면 되 므로 , Ar 이나 He 이외 의 희가스 ( 예컨대 Ne , Kr , Xe 등 ) 를 이용 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 사용 완료 된 가스 ( 배기 된 가스 ) 로부터 희가스 분리 생성 장치 를 이용 하 여 희가스 를 분리 함 으로써 , 희가스 를 리 사이클 하 여 사용 하 는 것 도 가능 하 다 .