일부 다른 실시 형태 에서 , 장치 는 챔버 의 내부 표면 의 하나 의 측면 , 두 개 의 대향 측면 , 또는 네 개 의 측면 상 에 배치 된 적어도 네 개 의 센서 를 포함 한다 . 예 를 들 어 , 마이크 로 - 실린더 내 의 두 개 의 센서 는 0 . 1 미크론 내지 500 미크론 , 0 . 1 미크론 내지 50 미크론 , 1 미크론 내지 100 미크론 , 2 . 5 미크론 내지 100 미크론 , 또는 5 미크론 내지 250 미크론 범위 의 거리 만큼 떨어져 있 을 수 있 고 ; 패널 중 적어도 하나 는 실린더 내 의 적어도 하나 의 마이크 로 센서 에 의해 각각 분리 된 적어도 두 개 의 어레이 내 에 배열 된 적어도 두 개 의 센서 를 포함 하 고 ; 또는 패널 내 의 적어도 하나 의 센서 어레이 는 두 개 이상 의 센서 를 포함 한다 .