상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 진공 클리닝 장치 는 , 프로세스 챔버 의 하부 에 구비 된 터보 펌프 와 , 상기 터보 펌프 의 양측 에 형성 된 컷오프 밸브 와 , 상기 컷오프 밸브 의 양측 하단 부 에 구비 되 며 다 수개 의 플랜지 이음 으로 체결 되 는 배출 배관 을 포함 하 는 커스 터 머 장비 와 , 상기 배출 배관 에 연결 되 는 집합 배관 과 , 상기 집합 배관 의 하단 에 연결 되 는 벨로우즈 와 , 상기 벨로우즈 의 하단 에 연결 되 는 배기 배관 이 구비 된 진공 펌프 로 구성 된 진공 클리닝 장치 에 있 어서 , 상기 집합 배관 의 하단 둘레 에 연결 가능 하 며 포집 기에 연결 되 는 집진 공 ; 및 상기 집진 공 에 대응 되 게 구비 되 고 세정 수단 이 삽입 가능 하 며 세 관기 에 연결 되 는 세관공 이 형성 되 어 있 는 지그 로 구성 됨 을 특징 으로 한다 .