감지 결과 , 광 이 수광 됨 을 감지 하 게 되 면 로봇 암 ( 34 ) 과 제 1 반사판 ( 17 a ) 간 수평 위치 가 동일 한 것 으로 인식 하 여 , 다음 S 66 단계 에서 로봇 암 ( 34 ) 을 카세트 ( 10 ) 로 진입 시킨 후 해당 백 선반 프레임 ( 16 ) 에 기판 ( 40 ) 을 로딩 시키 는 이재 동작 을 수행 하 고 완료 한다 .