유입 구 ( 540 ) 및 배출구 ( 550 ) 는 , 모두 , 통형 인 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 에 형성 되 어 있 다 . 유입 구 ( 540 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 중 , 배출구 ( 550 ) 보다 레이 저광 의 광로 의 상류 측 에 마련 되 어 있 다 . 유입 구 ( 540 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 의 외부 로부터 내부 에 기체 를 유입 시킨다 . 배출구 ( 550 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 중 , 유입 구 ( 540 ) 보다 레이 저광 의 광로 의 하류 측 ( 즉 , 유입 구 ( 540 ) 보다 렌즈 ( L ) 에 가까운 측 ) 에 마련 되 어 있 다 . 또한 , 배출구 ( 550 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 중 , 서모 카메라 ( 530 ) 의 전자파 입사 부 ( 531 ) 보다 레이 저광 의 광로 의 하류 측 에 마련 되 어 있 다 . 또한 , 배출구 ( 550 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 중 , 정착 위치 ( 501 ) 에 배치 된 렌즈 ( L ) 의 위치 보다 레이 저광 의 광로 의 상류 측 에 마련 되 어 있 다 . 배출구 ( 550 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 의 내부 로부터 외부 로 기체 를 배출 한다 . 배출구 ( 550 ) 에 는 , 배출 되 는 기체 를 소정 의 위치 로 유도 하 는 배기관 ( 551 ) 이 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 기체 가 보다 적절 하 게 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 로부터 배출 된다 .