RLSA ( 등록 상표 ) 마이크로파 플라스마 처리 장치 는 , 챔버 의 상부 에 소정 의 패턴 으로 복수 의 슬롯 이 형성 된 평면 형상 의 슬롯 안테나 를 설치 하 고 , 마이크로파 발생기 로부터 유도 된 마이크로파 를 , 유전체 로 이루어지 는 지 파재 를 통해서 슬롯 안테나 에 유도 하 여 , 마이크로파 를 슬롯 안테나 의 슬롯 으로부터 방사 시킴 과 함께 , 유전체 로 이루어지 는 챔버 의 천장 벽 을 통해서 진공 으로 유지 된 챔버 내 에 투과 시켜 , 챔버 내 에 표면파 플라스마 를 생성 시키 는 것 이 다 . 그리고 , 이 플라스마 에 의해 , 챔버 내 에 도입 된 가스 를 플라스마 화 하 여 , 반도체 웨이퍼 등 의 피 처리 체 를 처리 한다 .