상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 반송 장치 는 , 기판 의 진행 방향 과 교차 되 게 배열 된 복수 개 의 회전축 ; 상기 복수 개 의 회전축 각각 에 구비 되 고 , 기판 을 반송 시키 는 복수 개 의 반송 롤러 ; 및 상기 반송 롤러 측면 과 인접 된 위치 에 배치 되 고 , 상기 기판 의 측면 과 접촉 되 는 얼라 인 롤러 ; 를 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 한다 .