도 9 c 는 , 슬롯 형 평면 안테나 와 하단 플레이트 전극 ( LEL ) 사이 의 기판 근방 에 플 라즈 마가 형성 되 고 , 하단 전극 이 기판 을 지지 하 고 유지 하 기 위한 정전 척 ( ESC ) 으로서 또 한 역할 하 는 표면파 플 라즈 마 ( surface wave plasma ; SWP ) 시스템 을 예시 한다 . 마이크로파 주파수 들 의 무선 주파수 ( RF ) 전력 을 도파관 및 동축 선 을 통해 슬롯 형 평면 안테나 에 결합 함 으로써 플 라즈 마가 형성 된다 . 도 9 c 에 도시 된 바 와 같이 , RF 전력 은 슬롯 형 평면 안테나 및 하단 전극 둘 다 에 결합 되 고 , 전력 결합 은 상이 한 RF 주파수 들 을 포함 할 수 있 다 .