일 실시 형태 에 있 어서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 전기 및 열 전도성 재료 로 형성 되 고 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 사이 에서 적절 한 전기 및 열 전달 을 보장 하 기 위해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 된다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 다수 의 패스 너 들 에 의해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 된다 . 또한 , 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 관하 여 상기 논의 된 바 와 같 은 플라 즈 마 내성 코팅 에 의해 피복 되 고 보호 될 수 있 다 .