이 를 위하 여 본 실시 예 에서 는 상기 이 동척 ( 130 ) 을 구체 적 으로 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 고정 부재 ( 131 ) , 이동판 넬 ( 132 ) , 안내 레일 ( 133 ) 및 제 2 자력 발생 부 ( 도면 에 미 도시 ) 를 포함 하 여 구성 할 수 있 다 . 먼저 상기 고정 부재 ( 131 ) 는 상기 로딩 스테이지 ( 110 ) 의 타 측 말단 에 상기 고정 척 본체 ( 121 ) 와 대향 되 도록 고정 되 어 설치 되 는 구성 요소 이 다 . 따라서 상기 고정 부재 ( 131 ) 도 상기 고정 척 본체 ( 121 ) 와 마찬가지 로 상기 로딩 스테이지 ( 110 ) 에 고정 된 상태 로 상기 로딩 스테이지 ( 110 ) 의 상면 보다 높 게 기립 되 어 설치 된다 .