기판 ( 100 ) 은 벌크 실리콘 또는 SOI ( silicon - on - insulator ) 일 수 있 다 . 이 와 달리 , 기판 ( 100 ) 은 실리콘 기판 일 수 도 있 고 , 또는 다른 물질 , 예 를 들 어 , 실리콘 게르마늄 , SGOI ( silicon germanium on insulator ) , 안티몬 화 인듐 , 납 텔루르 화합물 , 인듐 비소 , 인듐 인화물 , 갈륨 비소 또는 안티몬 화 갈륨 을 포함 할 수 있 지만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .