상부 정렬 키 스택 ( 11 UK ) 의 일부 는 하부 정렬 키 패턴 ( 15 K ) 을 커버링 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상부 정렬 키 스택 ( 11 UK ) 의 일부 는 하부 단차 ( 15 G ) 를 채울 수 있 다 . 상부 정렬 키 스택 ( 11 UK ) 은 절연 층 ( 12 ) 과 희생 층 ( 13 ) 의 스택 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 상부 정렬 키 스택 ( 11 UK ) 이 5 층 의 절연 층 ( 12 ) 과 5 층 의 희생 층 ( 13 ) 이 교번 하 는 경우 , 3 층 의 절연 층 ( 12 ) 과 3 층 의 희생 층 ( 13 ) 이 하부 단차 ( 15 G ) 를 채울 수 있 고 , 나머지 2 층 의 절연 층 ( 12 ) 및 2 층 의 희생 층 ( 13 ) 은 하부 단차 ( 15 G ) 를 채우 지 않 을 수 있 다 . 하부 단차 ( 15 G ) 를 채우 는 절연 층 ( 12 ) 및 희생 층 ( 13 ) 의 갯 수 는 다양 하 게 변형 될 수 있 다 .