여기 서 본 발명자 들 은 표면 특성 들 을 수정 하 는 것 과 및 / 또는 챔버 부품 들 , 특히 램프 가열 된 CVD 챔버 들 에 사용 된 금속 챔버 부품 들 을 코팅 하 는 것 은 다수 의 프로세싱 및 / 또는 세 척 사이클 들 에 대해 그 복사 율 특성 들 의 안정 화 를 가능 하 게 한다는 것 을 발견 하 였 다 . 복사율 이 라는 용어 는 동일 한 온도 에서 흑체 ( blackbody ) 에 의해 방출 된 복사선 에 대한 , 표면 에 의해 방출 된 복사선 의 비율 을 지칭 한다 .