하부 층간 절연 층 ( 231 ) 상 에 하부 금속 층 ( 210 ) 을 가리 는 광 경로 차단 플레이트 ( 240 ) 를 형성 한다 . 광 경로 차단 플레이트 ( 240 ) 는 불 투명 금속 층 의 기능 을 할 수 있 게 , 티타늄 질화물 층 을 적어도 600 Å 정도 두께 이상 으로 증착 하 여 형성 된다 . 이후 에 , 티타늄 질화물 층 을 하부 금속 층 ( 210 ) 을 가리 되 상부 금속 층 ( 250 ) 으로 연장 되 지 않 게 패 터닝 한다 .