우선 A 1 영역 을 관찰 하 고 있 는 상태 에서 피검 물 ( 3 ) 의 면 의 휘도 화상 을 CCD 카메라 ( 55 ) 에 의해 촬상 하 고 , 그것 을 메모리 에 보존 한다 . 다음 으로 2 차원 광 편 향기 ( 9 ) 의 θ y 방향 의 주사 는 행하 지 않 고 , θ x 방향 의 주사 ( 이하 , ' X 주사 ' 라 함 ) 만 을 행한다 . 이 때 피검 물 ( 3 ) 상 에서 는 , θ x 방향 에 대응 하 는 A 1 내의 1 라인 만 이 주사 한다 . X 주사 를 행하 면서 Z 주사 를 행함 으로써 , A 1 내의 1 라인 의 높이 프로파일 이 얻 어 진다 .