여기 서 , 예 를 들 어 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 처리 대상 이 되 는 웨이퍼 ( 200 ) 에 대해서 수신 한 처리 분포 정보 가 , 볼록 형 의 처리 분포 ( 도면 중 의 분포 A 참조 ) 의 정보 인 경우 를 생각 한다 . 그 경우 에 는 , 먼저 , 볼록 형 의 처리 분포 의 구배 ( 즉 , 내주 측 과 외주 측 의 차 의 비율 ) 를 소정 역치 와 비교 한다 . 소정 역치 는 , 기억 장치 ( 221 c ) 의 테이블 ( 221 g ) 에 미리 기록 되 어 있 는 것 으로 한다 .