유지 테이블 ( 20 ) 의 상방 에 는 약액 ( 23 ) 을 적하 하 는 약액 공급 노즐 ( 22 ) 이 배치 되 어 있 다 . 알칼리 성 의 약액 ( 23 ) 을 송출 하 는 약액 공급원 ( 29 ) 에 연통 하 는 약액 공급 노즐 ( 22 ) 은 , 선단 부분 에 형성 된 공 급구 ( 220 ) 가 유지 테이블 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 a ) 을 향하 여 개구 하 고 있 다 . 약액 공급 노즐 ( 22 ) 은 , 예컨대 , 유지 테이블 ( 20 ) 의 상방 으로부터 유지 테이블 ( 20 ) 보다 외측 의 후퇴 위치 까지 이동 한다 .