이 때 , 도 21 에 도시 된 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 로 차단 되 지 않 고 , 또한 , 광원 ( 51 ) 에 의해 발광 한 광이 포크 ( 3 A ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 로 차단 되 지 않 는 위치 에 배치 되 어 있 는 화소 의 수광량 이 , 원래 검출 될 제 2 값 ( n 2 ) 으로 되 지 않 고 , 변화 되 는 경우 가 있 다 . 예 를 들 어 , 이상 이 발생 한 CCD 가 전혀 광 을 검출 할 수 없 을 때 , 이상 이 발생 한 CCD 로 이루어지 는 화소 는 , 예 를 들 면 제 1 값 ( n 1 ) 등 의 , 제 2 값 ( n 2 ) 과 상이 한 값 을 검출 한다 . 따라서 , 포크 ( 3 A ) 가 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 고 있 지 않 을 때 에 , 제 2 값 ( n 2 ) 이 아닌 검출 값 을 갖 는 화소 가 있 을 때 , 제 어부 ( 6 ) 는 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 이상 이 발생 하 고 있 다고 판정 할 수 있 다 .