임프 린트 몰드 를 아크릴산 / 말레산 코 폴리머 또는 아크릴산 호모 폴리머 의 용액 과 접촉 시킨 후 에 , 임프 린트 몰드 는 바람직 하 게 주변 온도 이하 의 DI 수 로 린 싱 될 수 있 다 . 또한 , 임프 린트 몰드 의 주변 온도 이하 의 DI 수로 의 린 싱 은 최종 입자 총수 를 감소 시킬 것 이 다 . 임프 린트 몰드 를 건조 시키 기 위한 임의 의 공지 된 방법 으로 건조 가 이루어질 수 있 다 . 배치 모드 에서 , 가장 바람직 한 건 조 방법 은 바람직 하 게 IPA 의 증기 를 이용한 , 표면장력 구배 방법 이 다 . 그러나 , 스핀 건조 방법 이 또한 사용 될 수 있 다 . 단일 임프 린트 몰드 모드 에서 , 표면장력 구배 건조 방법 이 사용 될 수 있 거나 단순 한 스핀 건조 방법 이 사용 될 수 있 다 . 건조 공정 동안 에 실질 적 인 오염 을 추가 하 지 않 고 기판 을 건조 시키 는 임의 의 다른 방법 , 즉 임의 의 공지 된 세정 건조 방법 이 또한 사용 될 수 있 다 . 표면장력 구배 건조 방법 이 사용 되 는 경우 , 임프 린트 몰드 의 전면 이 아래쪽 을 향하 는 동안 IPA 의 증기 는 임프 린트 몰드 의 중심 에 불어넣 어 질 것 이 다 . 이러 한 IPA 노즐 은 도 1 에 도시 되 어 있 지 않 다 .