상부 카버 ( 13 ) 의 하부 로서 챔버 ( 11 ) 의 상부 내벽 에 는 , 한 쌍 의 용제 노즐 ( 17 ) 과 , 한 쌍 의 불활성 가스 노즐 ( 19 ) 가 배설 되 어 있 다 . 용제 노즐 ( 17 ) 에 는 , 공급 관 ( 21 ) 의 일단 측 이 연통 접속 되 어 있 다 . 그 타단 측 은 , 증기 발생 부 ( 23 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 . 이 공급 관 ( 21 ) 에 는 , 그 상류 측 으로부터 차례 로 , 용제 증기 의 유량 을 조정 하 기 위한 제어 밸브 로 이루어지 는 증기 밸브 ( 25 ) 와 , 용제 증기 의 유량 을 검출 하 는 유량계 ( 27 ) 와 , 용제 증기 를 가열 하 기 위한 인라인 히터 ( 29 ) 가 배설 되 어 있 다 . 또한 , 공급 관 ( 21 ) 은 , 종래 장치 보다 큰 직경 ( 9 . 52 mm 정도 ) 으로 구성 되 어 , 공급 관 ( 21 ) 중 에 있 어서 의 용제 증기 의 유로 저항 을 줄여 증기 발생 부 ( 23 ) 로부터 용제 노즐 ( 17 ) 로 의 공급 이 원활 하 게 행해진다 .