따라서 , 챔버 의 내벽 에 식각 부산물 이 퇴적 되 는 것 을 방지 하 기 위하 여 , 알루미늄 의 표면 을 양극 산화 , 소위 에 노다 이징 ( anodizing ) 처리 한 식각 부산물 증착 방지 커버 , 일 명 라이너 를 부착 한다 . 그리고 , 챔버 내 에 노출 되 어 있 는 제 2 전극 의 하부 에 형성 된 절연체 는 Al 2 O 3 또는 석영 ( Quartz ) 과 같 은 세라믹 재로 형성 되 어 있 다 .