다른 실시 예 에서 , 스테인리스 스틸 EM 펌프 조립 체 와 같 은 EM 펌프 조립 체 는 산화물 및 탄화물 중 적어도 하나 와 같 은 내화성 , 산화 방지 코팅 으로 코팅 될 수 있 다 . 코팅 은 하프늄 카바이드 / 실리콘 카바이드 ( HfC / SiC ) 와 같 은 카바이드 중 적어도 하나 및 HfO 2 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , Al 2 O 3 , SiO 2 , Ta 2 O 5 및 TiO 2 중 적어도 하나 와 같 은 산화물 을 포함 할 수 있 다 .