및 위 의 상관 함수 에서 추출 된 상관 길 이 ξ 를 나타낸다 [ LER 특성 에 대한 더 자세 한 내용 은 예 를 들 어 , Chris A . Mack , “ 임계 치수 균일성 에 대한 라인 폭 거칠 기 의 영향 에 대한 분 석식 ” , Micro / Nanolithography 의 저널 , MEMS 및 MOEMS , 13 ( 2 ) , 020501 ( 2014 ) 를 참조 함 ]