상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치 인 경우 , 상기 피크 치 의 화상 평가 치 에 대응 하 는 대물 렌즈 전압 값 을 찾아낸다 . 다음 에 , 상기 피크 치 의 화상 평가 치 에 대응 하 는 대물 렌즈 전압 을 상기 대물 렌즈 에 인가 함 으로써 상기 전자 빔 과 기판 사이 의 초점 을 정확 하 게 맞출 수 있 다 . ( S 22 )