도 1 을 참조 하 여 설명 하 면 본 발명 의 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 1 은 , 상면 ( 上面 ) 에 스테이 지면 ( stage 面 ) 2 가 형성 되 어 있 는 스테이 지반 ( stage 盤 ) 3 과 , 스테이지 면 2 와 평행 한 X 축 방향 을 따라 당해 스테이지 면 2 를 넘 는 상태 로 가설 ( 架設 ) 된 갠트리 부 ( gantry 部 ) 4 와 , 갠트리 부 4 를 스테이지 면 2 와 평행 하 고 X 축 과 직교 하 는 Y 축 방향 으로 슬라이드 가능 한 상태 로 지지 하 고 있 는 Y 축 리니어 가이드 ( Y 軸 linear guide ) 5 를 구비 하 고 있 다 . 또 한 갠 트리 부 4 는 Y 축 리니어 가이드 5 에 의하 여 지 지 되 고 , 스테이지 반 3 에 있 어서 X 축 방향 의 양 측면 3 a , 3 b 로부터 외측 으로 돌출 하 는 좌우 의 지지 암 6 L , 6 R 과 , 이 들 좌우 의 지지 암 6 L , 6 R 에 의하 여 지 지 되 어 있 는 좌우 의 지지 샤프트 7 L , 7 R 과 , 좌우 의 지지 샤프트 7 L , 7 R 의 사이 에 가설 되 어 있 는 갠트리 빔 ( gantry beam ) 8 을 구비 하 는 것 을 특징 으로 하 고 있 다 . 여기 에서 좌우 의 지지 암 6 L , 6 R 은 일반 적 으로 는 X 축 방향 으로 돌출 시키 면 좋 다 .