도 4 a 는 기판 의 상부 표면 을 조사 하 기 위해 사용 될 수 있 는 나선 형태 로 형성 되 고 제 2 반응 챔버 ( 7 ) 에 제공 되 는 조명 시스템 ( 41 ) 을 나타낸다 . 나선 형 으로 형성 된 조명 시스템 은 , 기판 ( 13 ) 을 갖 는 기판 랙 ( 12 ) 을 둘러싸 도록 구성 될 수 있 다 . 조명 시스템 ( 41 ) 은 가스 방전 램프 일 수 있 다 .