이하 , 상기 구성 의 장치 를 사용 한 유리 기판 의 연삭 방법 에 대하 여 도 7 및 도 8 을 참조 해서 설명 한다 . 또한 , 도 7 은 차폐 판 ( 6 ) 의 작용 에 초점 을 맞춰 상기 작용 을 설명 하 기 위한 주요부 평면도 이 며 , 도 8 은 퍼지 노즐 ( 7 ) 의 작용 에 초점 을 맞춰 상기 작용 을 설명 하 기 위한 주요부 평면도 를 나타내 고 있 다 .