한편 , Kr 가스 의 이온 화 에너지 는 1350 . 8 kJ / mol 이 며 , Xe 가스 의 이온 화 에너지 는 1170 . 4 kJ / mol 이 어서 , Ar 가스 의 이온 화 에너지 인 1520 . 6 kJ / mol 보다 작 다 . 또한 , Kr 가스 의 준안정 준위 에너지 는 9 . 92 eV 이 며 , Xe 가스 의 준안정 준위 에너지 는 8 . 32 eV 이 어서 , Ar 가스 의 준안정 준위 에너지 인 11 . 55 eV 보다 작 다 . 그러므로 , 희가스 의 가스 종류 로서 Ar 가스 대신 에 Kr 가스 , Xe 가스 를 사용 하 면 , Ar 가스 를 사용 했 을 때 와 마찬가지 로 , 적 게 해리 되 어 흡착 계수 가 큰 전구체 가 생성 되 며 , 마스크 층 ( 100 ) 표면 에 두껍 게 퇴적 된 폴리머 ( 105 ) 가 보호막 으로서 작용 하 여 마스크 층 ( 100 ) 에 대한 산화 실리콘 층 ( 140 ) 의 선택 비 가 향상 됨 을 기대 할 수 있 다 .