할로 잉 현상 은 , 공정 ( D ) 에서 얻 어 진 비 아홀 의 비아 탑 의 엣지 로부터 의 변 색부 ( 할로 잉부 ) 의 폭 에 의해 그 정도 를 평가 할 수 있 다 . 상세 하 게 는 , 비 아홀 의 비아 탑 의 반경 r 1 ( ㎛; 할로 잉부 의 내주 반경 에 상당 ) 과 , 할로 잉부 의 외주 반경 r 2 ( ㎛) 과 의 차 r 2 - r 1 가 , 비아 탑 의 엣지 로부터 의 할로 잉부 의 폭 ( 할로 잉 거리 Wt ) 에 상당 한다 . 여기 에서 , 할로 잉부 의 외주 반경 r 2 ( ㎛) 는 , 절연 층 의 주면 에 대하 여 수직 인 방향 에 있 어서 , 절연 층 의 표면 을 상부 에서 관찰 한 경우 에 측정 되 는 할로 잉부 의 외주 반경 이 다 . 이러 한 비아 탑 의 엣지 로부터 의 할로 잉 거리 Wt ( ㎛) 는 , 형성 하 는 비 아홀 의 탑 지름 이 클수록 커지 는 경향 이 있 다 . 본 발명 의 제조 방법 에 의하 면 , 탑 지름 이 60 ㎛ 이상 으로 비교 적 큰 비 아홀 을 형성 한 경우 라도 , 할로 잉 거리 Wt ( ㎛) 를 , 바람직 하 게 는 10 ㎛ 이하 , 8 ㎛ 이하 등 으로 작 게 억제 할 수 있 다 . 또한 , 탑 지름 이 30 ㎛ 정도 로 비교 적 작 은 비 아홀 을 형성 하 는 경우 에 는 , 할로 잉 거리 Wt ( ㎛) 를 , 실제로 5 ㎛ 이하 로 작 은 값 으로 억제 할 수 있 다 .