제 1 도전 패턴 ( 170 ) 및 제 2 도전 패턴 ( 270 ) 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 도전 패턴 ( 170 ) 및 제 2 도전 패턴 ( 270 ) 은 도핑 된 반도체 물질 , 도전 성 금속 질화물 , 금속 , 금속 - 반도체 화합물 및 이 들 의 조합 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 으나 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 몇몇 실시 예 에서 , 제 1 도전 패턴 ( 170 ) 및 제 2 도전 패턴 ( 270 ) 은 동일 레벨 에서 형성 될 수 있 다 .