도 16 에서 , OA 4 는 샷 영역 이 도 14 에 도시 된 바 와 같이 그룹 화 되 는 경우 에 대한 대표 샷 영역 을 지정 하 는 방식 의 일례 를 도시 한다 . 도 16 의 OA 4 에 도시 된 이 예 에서 는 , 도 15 의 OA 3 에 도시 된 예 와 달리 , 등록 에서 사용 하 기 위한 샷 영역 으로서 충분히 큰 거리 로 떨어져 위치 된 샷 영역 을 선택 함 으로써 기판 ( 2 ) 의 회전 오 차 를 정밀 하 게 보정 하 도록 대표 샷 영역 이 설정 된다 . 더 구체 적 으로 는 , 도 16 의 OA 4 에 도시 된 16 의 ID 번호 를 갖 는 샷 영역 이 도 14 에 도시 된 Group C 의 대표 샷 영역 으로서 선택 된다 .