보유 지지 테이블 ( 5 ) 은 , 도 10 내지 도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 와 동일 형상 이상 의 크기 를 갖 는 금속제 의 척 테이블 이 며 , 유로 ( 94 ) 를 통해 외부 의 진공 장치 ( 95 ) 와 연통 접속 되 어 있 다 . 또한 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 은 , 복수 개 의 지지 용 핀 ( 50 ) 을 장비 하 고 있 다 . 실시 예 1 에 있 어서 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 은 외주 부 에 환상 의 돌기 부 ( 5 a ) 를 구비 하 고 있 고 전체 적 으로 중공 으로 되 어 있 다 . 돌기 부 ( 5 a ) 는 평면 으로 보 아 웨이퍼 ( W ) 의 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 배치 와 대략 일치 하 는 위치 로 구성 되 어 있 고 , 돌기 부 ( 5 a ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 환상 볼록 부 ( Ka ) 를 지지 함 으로써 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 은 얇 은 편평 오 목부 ( He ) 에 접촉 하 는 일 없이 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 할 수 있 다 .