도 16 은 , 도 1 에 도시 하 는 편심 검 출부 ( 60 ) 의 변형 예 를 모식 적 으로 도시 하 는 측면도 다 . 도 16 에 도시 하 는 편심 검 출부 ( 60 ) 는 , 투 광부 ( 61 ) 와 수 광부 ( 62 ) 가 배치 되 는 편심 검 출부 ( 60 ) 의 내부 공간 을 격리 하 기 위한 셔터 ( 72 ) 를 구비 한다 . 도시 한 예 에서 는 , 셔터 ( 72 ) 는 , 편심 검 출부 ( 60 ) 의 상면 및 하면 에 힌지 를 통하 여 각각 장착 된 2 매 의 도어 ( 72 A , 72 B ) 에 의해 구성 된다 . 편심 검 출부 ( 60 ) 가 웨이퍼 W 에 접근 할 때 에 는 , 도어 ( 72 A , 72 B ) 는 도시 하 지 않 은 액추에이터 에 의해 개방 되 고 ( 도 16 의 점선 참조 ) , 편심 검 출부 ( 60 ) 가 웨이퍼 W 로부터 이격 될 때 에 는 , 도어 ( 72 A , 72 B ) 는 액추에이터 에 의해 폐쇄 된다 . 셔터 ( 72 ) 에 의해 , 웨이퍼 W 의 연마 에 사용 되 는 연마 액 이 비산 되 어 , 투 광부 ( 61 ) 와 수 광부 ( 62 ) 에 부착 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .