실시 예 에 따라 , 가스 는 본 발명 에서 개시 된 또는 고려 되 는 장치 , 및 기판 코 팅 프로세스 와 관련 하 여 장치 의 펌프 들 을 경유 하 여 펌프 격실 과 접하 는 프로세스 격실 들 각각 및 통로 로부터 의 펌핑 가스 를 제공 함 으로써 기판 이 통과 하 는 기판 코팅 장치 로부터 펌핑 될 수 있 다 . 이러 한 방법 에 따라 , 앞서 개시 된 것 처럼 , 적절 한 가스 격리 레벨 이 달성 될 수 있 다 .