이상 의 설명 에서 살펴본 바 와 같이 , 전원극 ( 320 ) 과 접지 극 ( 310 ) 사이 에서 밀폐 된 구조 로 기판 이 송경 로 ( 340 ) 가 형성 되 고 , 이 기판 이 송경 로 ( 340 ) 의 양측 에 는 방전 간극 ( 350 ) 이 형성 되 어 있 다 . 따라서 , 방전 간극 ( 350 ) 을 통과 하 면서 높 은 에너지 상태 로 활성 화 된 가스 가 외부 로 누설 됨 이 없이 전량 전원극 ( 320 ) 과 접지 극 ( 310 ) 사이 의 기판 이 송경 로 ( 340 ) 로 공급 됨 으로써 , 대 면적 의 글 로우 플 라즈 마가 안정 적 으로 유지 된다 . 따라서 , 기판 의 처리 속도 를 높일 수 있 음 은 물론 , 에너지 효율 의 향상 을 기할 수 가 있 다 . 특히 , 기판 이 송경 로 ( 340 ) 의 글 로우 플 라즈 마가 외부 가스 와 의 매칭 상태 불 안정 등 으로 혹시 꺼지 게 되 더라도 방전 간극 ( 350 ) 으로부터 발생 된 플 라즈 마 에 의해 자동 적 으로 글 로우 플 라즈 마 가 다시 켜 지 게 되 어 안정 적 인 글 로우 플 라즈 마 를 유지 할 수 가 있 다 . 또한 , 기판 이 전원극 ( 320 ) 과 접지 극 ( 310 ) 사이 로 통과 되 면서 처리 되 기 때문 에 , 기판 을 별도 로 접지 시키 지 않 더라도 전원극 ( 320 ) 과 접지 극 ( 310 ) 사이 에서 발생 되 는 글 로우 플 라즈 마 에 자동 으로 노출 되 어서 표면 처리 나 , 세정 , 살균 작업 등 이 안정 적 으로 균일 하 게 이루어지 게 된다 .