이하 의 상세 한 설명 은 본 발명 의 소정 의 특정 실시 형태 에 관한 것 이 다 . 그러나 , 본 발명 은 다수 의 다양 한 방법 으로 구현 될 수 있 다 . 이 설명 에서 는 , 유사 한 부분 이 유사 한 참조 부호 로 표기 된 도면 을 참조 한다 . 이하 의 설명 으로부터 명백 한 바 와 같이 , 각종 실시 형태 는 광기전력 재료 를 포함 하 는 어떠 한 장치 에서 도 실행 될 수 있 다 . MEMS 장치 는 이하 에 설명 된 바 와 같이 광기전력 장치 에 결합 될 수 있 다 .