여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 은 , 전형 적 으로 는 해당 연마 용 조성물 을 포함 하 는 연마 액 의 형태 로 연마 대상물 에 공급 된다 . 그리고 , 연마 액 의 형태 로 연마 대상물 의 연마 에 사용 된다 . 상기 연마 액 은 , 예 를 들 어 여기 에 개시 되 는 어느 연마 용 조성물 을 희석 하 여 조제 된 것 일 수 있 다 . 여기 서 희석 이란 , 전형 적 으로 는 , 물 에 의한 희석 이 다 . 혹은 , 해당 연마 용 조성물 을 그대로 연마 액 으로서 사용 해도 된다 . 즉 , 여기 에 개시 되 는 기술 에 있 어서 의 연마 용 조성물 의 개념 에 는 , 연마 대상물 에 공급 되 어 해당 연마 대상물 의 연마 에 사용 되 는 연마 액 ( 워킹 슬러리 ) 과 , 희석 하 여 연마 액 으로서 사용 되 는 농축 액 ( 연마 액 의 원액 ) 의 양쪽 이 포함 된다 . 여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 을 포함 하 는 연마 액 의 다른 예 로서 , 해당 조성물 의 pH 를 조정 하 여 이루어지 는 연마 액 을 들 수 있 다 .