다음 , 상기 도어 를 통해 상기 로봇 이 상기 웨이퍼 를 상기 로드 락 챔버 의 내부 로 유입 시키 고 나 면 , 상기 슬릿 밸브 가 계속 닫혀진 상태 에서 상기 벤트 밸브 및 상기 도어 가 닫혀 지 고 상기 펌핑 밸브 가 열려 지 면서 상기 로드 락 챔버 내부 의 공기 가 펌핑 된다 . 따라서 , 상기 로드 락 챔버 내부 에 웨이퍼 를 장입 하 거나 상기 로드 락 챔버 의 외부 에 웨이퍼 를 배출 하 기 위해서 는 상기 펌핑 밸브 가 상기 도어 및 상기 벤트 밸브 의 개폐 동작 과 서로 상반 되 도록 개폐 동작 되 어야 만 한다 .