이 어 , 상기 도전 성 이물 방지 막 을 패 터닝 하 여 게이트 패드 부 , 데이터 패드 부 및 제 2 콘 택 홀 ( 118 H 2 ) 을 포함 한 화소 부 를 덮 는 도전 성 이물 방지 예비 패턴 ( 141 ) 을 형성 한다 . 이때 , 상기 도전 성 이물 방지 예비 패턴 ( 141 ) 은 상기 게이트 패드 부 및 데이터 패드 부 의 두께 가 제 2 콘 택 홀 ( 118 H 2 ) 을 포함 한 화소 부 보다 상대 적 으로 더 얇 게 형성 되 도록 한다 . 여기 서 , 상기 도전 성 이물 방지 예비 패턴 ( 141 ) 은 하프톤 기술 을 이용 하 여 선택 노광 하 여 형성 할 수 있 다 .