5 ) 처리 챔버 하베스트 라인 또는 라인 들 및 처리 챔버 부가 라인 또는 라인 들 로서 , 이 하베스트 및 부 가 라인 은 처리 챔버 의 탑 플레이트 ( 바람직 함 ) , 외벽 , 또는 베이스 를 관통 하 여 유체 가 처리 챔버 로부터 하 베스트 되 거나 제거 되 거나 이 에 부착 되 도록 하 는 , 처리 챔버 하베스트 라인 또는 라인 들 및 처리 챔버 부가 라인 또는 라인 들 ;