상기 에서 기술 된 바 와 같이 본 발명 은 고농 도 오존 가스 와 수증기 혼합 가스 를 이용 하 여 대형 LCD 기판 상 의 감광막 을 고 효율 , 저 소비 형 으로 제거 하 기 위한 공정 기술 의 일환 으로서 LCD 기판 상 에 균일 하 게 고농 도 오존 가스 와 증기 를 분사 하 기 위하 여 고안 한 전용 분사 노즐 로서 , 길 이 방향 으로 일정 길이 를 가지 며 , 외곽 벽 에서 일정 간격 내측 으로 일정 깊이 의 홈 이 형성 되 고 , 상기 홈 의 중앙 에 길 이 방향 으로 일정 높이 의 요철 부 가 형성 되 어 지 고 중심 에 길 이 방향 으로 가스 가 분사 되 는 분사 홀 이 형성 되 어 지 고 , 상기 홈 과 외측 벽 간 에 가스 가 새 어 나가 지 않 도록 하 는 패킹 이 삽입 되 는 패킹 홈 이 형성 되 며 , 상기 홈 의 길 이 방향 양단 에 홈 까지 외측 벽 을 관통 하 는 배출구 가 형성 되 는 분사 노즐 과 ; 상기 분사 노즐 의 상측 에 결합 되 며 , 상기 분사 노즐 에 가스 를 주입 하 는 다 수개 의 주입 노즐 이 형성 되 어 진 노즐 덮개 를 포함 하 여 이루어져 오존 / 증기 가스 를 분사 할 때 온도 차이 로 발생 하 는 응축 수 가 직접 LCD 기판 위 에 에 떨어져 고농 도 오존 가스 가 가지 고 있 는 산화력 이 감광막 과 반응 하 는 데 지장 을 초래 하 는 문제점 이 사라지 며 , 대형 의 노즐 덮개 에 다 수개 의 분사 노즐 을 결합 하 여 대 면적 의 LCD 기판 도 빠르 고 균일 하 게 오존 가스 와 증기 막 을 형성 하 여 고 효율 로 감광막 을 제거 할 수 있 다 .