소자 분리 막 ( 116 ) 은 예 를 들 면 , 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산화 질화 막 중 적어도 하나 를 포함 하 는 물질 로 이루어질 수 있 다 . 소자 분리 막 ( 116 ) 은 1 종류 의 절 연막 으로 이루어지 는 단일 층 , 또는 2 종류 의 절 연막 으로 이루어지 는 이중층 , 또는 적어도 3 종류 의 절 연막 들 의 조합 으로 이루어지 는 다중 층 으로 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 소자 분리 막 ( 116 ) 은 산화 막 과 질화 막 으로 이루어지 는 이중 층 또는 다 중층 으로 구성 될 수 있 다 . 그러나 , 본 발명 의 기술 적 사상 에 따르 면 , 소자 분리 막 ( 116 ) 의 구성 은 상술 한 바 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .