이어서 , S 120 단계 에서 상기 제 1 진공 영역 ( 126 ) 에 진공 을 제공 하 여 상기 다이 ( 12 ) 의 상부 면 가장 자리 부위 를 진공 흡착 할 수 있 으며 , S 130 단계 에서 도 8 에 도시 된 바 와 같이 상기 피커 ( 120 ) 를 기 설정 된 높이 로 상승 시켜 상기 다이 ( 12 ) 의 가장자리 부위 를 상기 다 이싱 테이프 ( 14 ) 로부터 분리 시킬 수 있 다 . 이때 , 상기 다 이싱 테이프 ( 14 ) 는 상기 진공 척 ( 110 ) 에 의해 진공 흡착 된 상태 이 므로 상기 다이 ( 12 ) 의 가장자리 부위 가 상기 다 이싱 테이프 ( 14 ) 로부터 분리 될 수 있 다 .