공정 챔버 ( 112 ) 는 상부 에 위치 하 는 상부 리드 ( 138 ) , 상부 리드 ( 138 ) 의 주변 부 에서 연결 되 는 측면 리드 ( 140 ) , 및 측면 리드 ( 140 ) 와 연결 되 는 챔버 바디 ( 142 ) 로 구성 되 며 , O - 링 과 같 은 밀폐 수단 을 개재 하 여 연결 시킨다 . 그리고 후방 플레이트 ( 114 ) 는 RF 전원 ( 130 ) 과 연결 되 고 , 후방 플레이트 ( 114 ) 와 RF 전원 ( 130 ) 사이 에 는 임피던스 정합 을 위한 매 처 ( 132 ) 가 설치 된다 . 가스 분배 판 ( 118 ) 은 후방 플레이트 ( 114 ) 와 버퍼 공간 ( 126 ) 을 가지 고 , 후방 플레이트 ( 114 ) 로부터 연장 되 어 연결 되 는 지지대 ( 128 ) 에 거치 되 거나 고정 된다 . 버퍼 공간 ( 126 ) 을 형성 하 기 위하 여 , 가스 분배 판 ( 118 ) 과 후방 플레이트 ( 114 ) 의 주변 부 는 서로 연결 되 어 있 고 , 주변 부 를 제외 한 부분 은 이격 된다 .