프로세스 스테이지 ( 20 ) 는 , 환형 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 을 갖 는 확 경부 ( 20 b ) 와 , 확 경부 ( 20 b ) 를 지지 하 는 축경 부 ( 20 c ) 로 구성 된다 . 확 경부 ( 20 b ) 의 상면 은 , 환형 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 을 구성 하 고 , 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 은 , 웨이퍼 W 의 직경 보다 약간 작 은 외경 을 갖 는다 . 또한 , 확 경부 ( 20 b ) 의 외경 은 , 기판 지지 면 ( 20 a ) 인 상면 으로부터 하면 을 향하 여 점차 감소 하 고 , 확 경부 ( 20 b ) 의 하면 의 외경 은 , 축경 부 ( 20 c ) 의 상면 의 외경 과 동일 하 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 확 경부 ( 20 b ) 는 , 도시 하 지 않 은 고정구 에 의해 축경 부 ( 20 c ) 에 고정 되 어 있 지만 , 확 경부 ( 20 b ) 를 , 축경 부 ( 20 c ) 와 일체 로 구성 해도 된다 .