반도체 막 ( 42 ) 형성 공정 에 있 어서 , 글 로우 방전 플라 즈 마는 1 MHz 내지 20 MHz , 대표 적 으로 는 , 13 . 56 MHz 의 고주파 전력 , 혹은 20 MHz 보다 크 고 120 MHz 정도 까지 의 VHF 대역 의 고주파 전력 , 대표 적 으로 는 , 27 . 12 MHz 혹은 60 MHz 를 인가 함 으로써 생성 된다 .