일반 적 으로 , 일반 적 으로 반도체 소자 를 제조 하 기 위한 반도체 공정 장치 들 은 연속 적 으로 배치 되 어 반도체 기판 에 대해 다양 한 공정 을 수행 한다 . 상기 반도체 소자 제조 공정 을 수행 하 기 위한 대상물 을 카세트 에 수납 된 상태 로 각 반도체 공정 장치 로 제공 되 거나 상기 카세트 를 이용 하 여 상기 각 반도체 공정 장치 로부터 회수 될 수 있 다 .