본 발명 의 반사 전극 은 이하 에 상세 하 게 서술 하 는 제 1 내지 제 3 방법 에 의해 제조 할 수 있 다 . 어떤 방법 도 , 기본 적 으로 , 스 패 터 증착 에 의해 Al －( Ni / Co ) － X 합금 층 을 형성 하 는 공정 ( 공정 I ) 과 , 스 패 터 증착 에 의해 투명 화소 전극 을 형성 하 는 공정 ( 공정 Ⅱ ) 을 포함 하 고 있 지만 , 제 1 제조 방법 은 Al － Ni － X 합금 층 의 형성 ( 공정 I ) 후 이 고 투명 화소 전극 의 형성 ( 공정 Ⅱ ) 전 에 , 형성 한 Al － Ni － X 합금 층 을 열처리 하 는 공정 을 별도 설치 한 ( 공정 A ) 것 에 특징 이 있 다 . 이 에 대해 , 제 2 및 제 3 제조 방법 은 전술 한 제 1 제조 방법 과 달리 상기 한 열처리 ( 공정 A ) 를 행하 지 않 는 것 으로 , 제 2 제조 방법 에서 는 투명 화소 전극 형성 시 의 증착 분위기 를 제 어한 ( 공정 Ⅱ a ) 것 에 특징 이 있 고 , 제 3 제조 방법 에서 는 Al － Ni － X 합금 층 의 형성 ( 공정 I ) 후 이 고 투명 화소 전극 의 형성 ( 공정 Ⅱ ) 전 에 , 형성 한 Al － Ni － X 합금 층 을 역 스 패 터 ( 공정 B ) 한 것 에 특징 이 있 다 . 또한 , 상기 한 Al －( Ni / Co ) － X 합금 층 은 전술 한 Al －( Ni / Co ) － X － Z 합금 층 이라도 좋 다 . 이하 의 제조 방법 의 설명 에서 는 , 본 발명 에 사용 되 는 이 들 Al 합금 층 을 , 통합 하 여 「 Al －( Ni / Co ) － X －( Z ) 합금 층 」 이 라고 약기 한다 .