암 ( 4 ) 은 , 제 1 암부 ( 10 ) 와 제 2 암부 ( 11 ) 로 구성 되 어 있 다 . 제 1 암부 ( 10 ) 의 기단 부측 은 , 암 지지 부 ( 5 ) 에 회동 가능 하 게 연결 되 어 있 다 . 제 2 암부 ( 11 ) 의 기단 부측 은 , 제 1 암부 ( 10 ) 의 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 되 어 있 다 . 제 2 암부 ( 11 ) 의 선단 측 에 는 , 핸드 ( 3 ) 가 회동 가능 하 게 연결 되 어 있 다 . 핸드 ( 3 ) 는 , 웨이퍼 ( 2 ) 가 탑재 되 는 핸드 포크 부 ( 12 ) 와 , 암 ( 4 ) 에 연결 되 는 핸드 기부 ( 13 ) 로 구성 되 어 있 다 .