이 에 따라 , 유량 제 어부 ( 250 ) 로부터 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 을 인가 하 고자 하 면 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 부압 을 도입 하 는 데 필요 한 기체 의 배출 유량 을 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 에 설치 된 유량 센서 ( 129 S ) 에 의해 측정 하 고 , 유량 센서 ( 129 S ) 의 측정값 은 감지 부 ( 즉 , 제 어부 ) 에 전송 된다 . 제 어부 의 메모리 에 는 정상 적 인 척 킹 파지 시 에 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 을 인가 하 는 데 필요 한 배출 유량 이 저장 되 어 있 으므로 , 감지 부 로 전송 된 측정값 이 메모리 에 저장 되 어 있 는 미리 예정 된 배출 기준 유량 에 비하 여 제 1 유량 편차 이하 로 감지 되 면 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 체적 이 웨이퍼 를 정상 적 으로 척 킹 하 여 파지 하 는 경우 의 체적 에 비하 여 더 작아진 것 이 므로 , 웨이퍼 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 정상 적 으로 척 킹 되 지 아니한 것 으로 감 지부 에 의해 감지 된다 .