또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 기판 처리 장치 는 , 이 동부 ( 190 ) 와 이면 차 단판 ( 170 ) 사이 의 연결 거리 를 조정 하 기 위한 조정 부를 구비 한다 . 여기 서 , 조정부 는 , 예 를 들 어 , 조정 나사 ( 1701 B ) 또는 조정 나사 ( 1701 C ) 에 대응 하 는 것 이 다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 조정 나사 ( 1701 B ) 의 밀 어 넣 음 정도 와 조정 나사 ( 1701 C ) 의 조임 정도 를 조정 함 으로써 , 자중 또는 풍압 에 의한 간극 영역 ( 180 ) 의 변화 를 고려 하 면서 , 이면 차 단판 ( 170 ) 과 기판 ( W ) 사이 의 거리 ( 즉 , 간극 영역 ( 180 ) 의 폭 ) 를 제어 할 수 있 다 .