압전체 기판 ( 2 ) 과 지지 기판 ( 20 ) 을 감압 챔버 에 넣 고 각각 의 표면 ( 2 a , 10 a ) 에 Ar 이온 을 빔 ( beam ) 조사 해서 표면 ( 2 a , 10 a ) 에 부착 된 친수기 , 수소 , 산화 피막 등 의 불순물 을 제거 한다 . 불순물 이 제거 된 표면 ( 2 a , 10 a ) 은 기판 ( 2 , 10 ) 을 구성 하 는 원자 가 직접 노출 되 어서 활성 화 된다 . 이렇게 청정 활성 화 한 표면 ( 2 a , 10 a ) 끼리 를 진공 중 에서 접촉 시키 면 , 원소 끼리 직접 본드 를 맺 어 강고 한 접합 이 얻 어 진다 . 접합 계면 에 불순물 이 존재 하 지 않 기 때문 에 접합 후 에 불순물 을 제거 할 필요 가 없 어 , 접합 계면 부근 의 결정 의 파손 도 억제 된다 .