제 2 실시 형태 에 따른 장치 구성 을 도 4 에 나타낸다 . 챔버 ( 37 ) 에 투수 광창 ( 39 ) 을 설치 하 고 , 대기 중 에 배치 한 투광 부 ( 11 ) 와 수 광부 ( 12 ) 로 전파 광 ( 50 ) 의 전송 을 행한다 . 제 1 실시 형태 의 장치 구성 은 , 투 광부 ( 11 ) 와 수 광부 ( 12 ) 가 챔버 내 에 설치 된 것 에 대해서 , 본 실시 예 에서 는 , 흡광 도 측정 법 에 관련 된 광학계 가 대기 중 에 배치 되 어 있 다 . 제 1 실시 형태 와 비교 하 면 , 제 2 실시 형태 의 장치 구성 에 는 , 진공 대응 부품 의 고려 나 착 막 에 의한 오물 이 투수 광창 ( 39 ) 에 한정 된다고 하 는 이점 이 있 다 . 그 의 한편 , ( 4 ) 식 에 있 어서 의 전파 거리 L 의 정의 가 애매모호 해 지 기 쉬운 단점 이 있 다 . 전파 거리 L 이 투수 광창 ( 39 ) 의 사이 가 되 면 , 특성 파 장광 의 감쇠 는 스퍼터 입자 X 가 존재 하 는 전역 에서 발생 하 기 때문 에 , 어느 지점 의 흡수 를 측정 하 고 있 는 것 인지 의 정보 가 평균 화 되 어 , 성막 속도 의 추정 값 의 분해능 이 악화 한다 .