이하 첨부 된 도면 들 을 참조 하 면서 본 발명 에 의해 제조 하 고자 하 는 마이크 로 액 츄 에 이터 의 구조 및 그 제조 방법 에 대해 상세히 설명 하 기 로 한다 . 후술 되 는 용어 들 은 본 발명 에서 의 기능 을 고려 하 여 정의 된 용어 들 로서 이 는 사용 자 , 운용 자 의 의도 또는 관례 에 따라 달라질 수 있 다 . 그러므로 이러 한 용어 들 에 대한 정의 는 본 명세서 전반 에 걸친 내용 을 토대 로 내려져야 할 것 이 다 .