펌프 ( 30 ) 의 출구 부근 에 있 는 온도 센서 ( 21 P ) 는 , 피드 포워드 제어 를 행하 기 위해서 마련 된다 . 처리 액 공급 부 ( 70 ) 로부터 탱크 ( 10 ) 에 새로운 처리 액 이 보충 되 면 , 탱크 ( 10 ) 로부터 비교 적 온도 가 낮 은 처리 액 이 온도 조 절부 ( 50 A ( 50 B ) ) 에 유입 된다 . 피드백 제어 는 , 온도 조 절부 ( 50 A ( 50 B ) ) 의 출구 부근 에 있 는 온도 센서 ( 21 QA ( 21 QB ) ) 의 검출 온도 에 기초 해서 행하 여 지 고 있 기 때문 에 , 온도 센서 ( 21 QA ( 21 QB ) ) 의 검출 온도 가 저하 될 때 까지 의 동안 에 , 온도 조 절부 ( 50 A ( 50 B ) ) 의 발열량 은 증가 하 지 않 는다 . 이 때문 에 , 피드 포워드 제어 를 행하 지 않 는 경우 에 는 , 비교 적 온도 가 낮 은 처리 액 이 일시 적 으로 액 처 리부 ( 60 A ( 60 B ) ) 를 향해서 분기 통로 부분 ( 24 A ( 24 B ) ) 을 흐르 게 된다 . 또한 , 온도 센서 ( 21 QA ( 21 QB ) ) 의 검출 온도 의 저하 를 보상 하 려고 할 때 , 온도 조 절부 ( 50 A ( 50 B ) ) 로부터 유출 되 는 처리 액 의 온도 가 불 안정 한 현상 이 생길 수 있 다 .