도 7 을 참조 하 면 , 상기 제 1 상변화 층 스 페이서 ( 212 a ) 및 제 2 상변화 층 스 페이서 ( 212 b ) 를 식각 마스크 로 상기 제 1 절연 층 패턴 ( 208 a ) , 발열 전극 용 제 2 도 전막 ( 206 ) 및 하부 전극 용 제 1 도 전막 ( 204 ) 을 식각 하 여 패 터닝 한다 . 상기 식각 과정 으로 인해 상기 제 1 절연 층 패턴 ( 208 a ) 은 제거 된다 .