인접 한 상기 단위 면적 의 밝기 값 을 서로 비교 하 여 결함 검사 를 실시 할 수 있 다 . 상기 단위 면적 의 밝기 값 을 정규 화 한 값 을 기준 값 으로 설정 하 고 , 상기 기준 값 과 상기 각각 의 단위 면적 의 밝기 값 을 비교 하 여 결함 검사 를 실시 할 수 있 다 . 상기 웨이퍼 의 에지 부분 에 대한 결함 검사 를 상기 웨이퍼 의 다이 영역 에 대한 결함 검사 와 비교 하 는 단계 를 더욱 포함 할 수 있 다 .