제 2 측정 에서 , 복합 격자 ( 110 , 120 ) 는 도 3 a 에 도시 된 바 와 같이 제 1 측정 동안 이용 되 는 것 처럼 제 1 수평 방향 ( D 1 ) 과 대향 되 는 제 2 수평 방향 ( 화살표 D 2 로 표시 됨 ) 으로 제 2 조명 빔 ( IB 2 ) 에 의하 여 비대칭 으로 조명 된다 . 예 를 들 어 , 제 2 조명 빔 은 기판 의 표면 을 따르 는 제 1 수평 방향 을 따른 구성 요소 를 갖 는 방향 을 따라 전파 된다 . 복합 격자 는 제 1 측정 동안 과 같 은 사전 설정 된 위치 ( Q ) 에서 유지 된다 .