따라서 본 발명 에 의하 면 , 플 래 튼 에 해당 되 는 스핀 베이스 와 연마 헤드 에 복수 종류 의 박막 두께 측정 을 위한 센서 들 이 설치 구성 되 어 상기 센서 들 로부터 전달 되 는 측정값 을 토대 로 박막 두께 측정 에 대한 정확도 를 높임 과 동시 에 센서 들 이 설치 된 구성 부들 에 대한 상태 정보 확인 을 통하 여 유지 보수 를 용이 하 게 할 수 있 다 .