먼저 , 실시 형태 6 과 마찬가지 로 다 계조 마스크 를 사용 하 여 기판 ( 350 ) 위 에 게이트 전극 을 형성 한다 . 여기 에서 는 , 600 mm× 720 mm 의 사이즈 의 무 알칼리 유리 기판 을 사용 한다 . 또한 , 여기 에서 는 , 대 면적 의 기판 을 사용 하 여 표시 화면 이 큰 표시 장치 를 제작 하 는 예 이 므로 , 전기 저항 이 낮 은 알루미늄 으로 이루어지 는 제 1 도전 층 ( 351 a ) 과 , 제 1 도전 층 ( 351 a ) 보다 내열성 이 높 은 몰리브덴 으로 이루어지 는 제 2 도전 층 ( 351 b ) 을 적층 시킨 게이트 전극 으로 한다 . 에칭 장치 는 , 도 14 에 나타내 는 ECCP 모드 의 에칭 장치 를 사용 한다 .