상기 에어 분사 장치 는 , 상기 수용 입구 ( 400 a ) 가 개방 되 었 을 때 , 수용 입구 ( 400 a ) 에 고온 또는 저 온 상태 의 공기 벽 을 형성 하 여 소크 챔버 ( 400 A ) 의 내부 를 외기 로부터 보호 하 기 위한 것 으로 노즐 부재 ( 581 ) 와 에어 공급 장치 를 포함 하 여 구성 된다 . 상기 노즐 부재 ( 581 ) 는 상기 개폐 부재 ( 510 ) 를 향해 개방 되 도록 상기 입 구 프레임 ( 410 ) 에 형성 된 안착 공간 ( 412 ) 에 안착 되 며 , 상면 은 대략 개폐 부재 ( 510 ) 를 향하 도록 테이퍼 면 으로 되 어 있 고 , 내부 에 는 상면 으로 는 다수 의 분사구 ( 581 a - 1 ) 를 가지 며 하 면 으로 는 두 개 의 입 력구 ( 581 a - 2 ) 를 가지 는 분 사유 로 ( 581 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 그리고 상기 에 어 공급 장치 는 상기 두 개 의 입 력구 ( 581 a - 2 ) 와 각각 결합 되 는 두 개 의 노즐 ( 582 ) 과 에어 를 공급 하 는 에어 펌프 ( 583 ) 및 에 어 펌프 ( 583 ) 에서 공급 되 는 에어 를 상기 두 개 의 노즐 ( 582 ) 측 으로 안내 하 는 안 내관 ( 584 ) 등 을 포함 하 여 구성 된다 . 물론 , 이러 한 에어 분사 장치 에서 공급 되 는 에어 도 상기 공기 공급 장치 에서 공급 되 는 공기 와 동일 하나 구성 의 혼돈 을 피하 여 설명 을 명확히 하 기 위해 편의 상 ' 공기 ' 및 ' 에어 ' 로 정의 하 였을 뿐 이 다 . 또 , 상기 한 공 압 펌프 ( 572 ) 와 에어 펌프 ( 583 ) 는 하나 의 구성 으로 마련 되 고 , 이러 한 경우 제어 에 의해 선택 적 으로 유로 를 전환 시키 는 밸브 를 구비 시키 도록 구현 될 수 도 있 을 것 이 다 .