따라서 플로팅 게이트 ( 104 b ) 들 , 제 1 도 전막 패턴 ( 106 b ) 들 , 유전 막 패턴 ( 114 a ) , 제 2 도 전막 패턴 ( 215 a ) 및 컨트롤 게이트 ( 116 a ) 를 포함 하 는 게이트 구조물 ( 217 ) 이 형성 된다 . 도 11 에 도시 된 바 와 같이 게이트 구조물 ( 217 ) 은 제 2 방향 으로 연장 한다 . 그리고 게이트 구조물 ( 217 ) 들 은 제 2 방향 으로 서로 이격 한다 .