예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 리프트 핀 ( 210 ) 은 챔버 ( 20 ) 내 의 처리 공간 내 로 반송 된 기판 ( S ) 을 반송 메커니즘 으로부터 전달 받 아 지 지 플레이트 ( 110 ) 로 이동 시킬 수 있 다 . 리프트 핀 ( 210 ) 은 지지 플레이트 ( 110 ) 상 으로 기판 ( S ) 을 안착 시키 거나 지 지 플레이트 ( 110 ) 로부터 기판 ( S ) 을 들 어 올리 도록 제공 된다 . 예 를 들 면 , 복수 개 의 리프트 핀 들 ( 210 ) 이 제공 될 수 있 다 . 리프트 핀 ( 210 ) 은 지지 플레이트 ( 110 ) 를 관통 하 여 형성 된 핀 홀 ( 111 ) 내 에서 상하 방향 으로 이동 가능 하 도록 제공 될 수 있 다 .