도 3 은 본 실시 형태 의 클리닝 실 의 일례 로 , 그 구성 을 나타내 는 모식 적 인 단면도 이 다 . 이 클리닝 실은 , SiC 막 의 재생 처리 를 실시 하 는 재 생실 을 겸하 고 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 클리닝 실과 는 별도 로 재 생실 을 설치 해도 되 고 , 또 성막 실 이 재 생실 을 겸하 고 있 어도 된다 . 단 , 클리닝 실 이 재 생실 을 겸하 는 구성 쪽 이 범용 성 이 있 고 , 또 성막 실 에 대한 더스트 의 반입 을 저감 시킬 수 있 다는 이점 도 있 다 .