인터페이스 아암 ( F ) 에 전달 된 웨이퍼 ( W ) 는 , 노광 장치 ( S 4 ) 에 반송 되 어 , 소정 의 노광 처리 가 이루어진다 . 소정 의 노광 처리 가 이루어진 웨이퍼 ( W ) 는 , 인터페이스 아암 ( F ) 을 통하 여 선반 유닛 ( U 2 ) 의 전달 모듈 ( TRS 6 ) 에 적재 되 어 , 처리 블록 ( S 2 ) 으로 되돌려진다 . 처리 블록 ( S 2 ) 으로 되돌려진 웨이퍼 ( W ) 는 , 제 1 블록 ( DEV 층 ) ( B 1 ) 에 있 어서 현상 처리 가 이루어진다 . 현상 처리 가 이루어진 웨이퍼 ( W ) 는 , 반송 아암 ( A 1 ) , 선반 유닛 ( U 1 ) 의 전달 모듈 ( TRS 1 ) , 전달 수단 ( C ) 을 통하 여 캐리어 ( 20 ) 에 되돌려진다 .