통과 되 는 기판 을 코팅 하 는 장치 가 제공 된다 . 장치 는 경로 를 경유 하 는 기판 의 통과 시키 고 가스 를 통해 기판 을 코팅 하 기 에 충분 한 프로세스 격실 , 유사 한 특성 들 의 또 다른 프로세스 격실 및 2 개 의 프로세스 격실 들 사이 에 배치 되 는 펌프 격실 을 포함 할 수 있 다 . 각각 의 프로세스 격실 에 대해 , 경로 의 길이 는 프로세스 격실 의 입구 에서 출구 로 연장 될 수 있 다 . 2 개 의 프로세스 격실 들 에서 이용 되 는 가스 는 동일 하 거나 상이 할 수 있 다 . 펌프 격실 은 펌프 격실 의 입구 에서 출구 로 연장 되 는 길이 의 통로 를 경유 하 여 기판 을 통과 시키 기 에 충분 하 다 . 통로 는 2 개 의 펌프 격실 들 과 관련 된 경로 와 동작 가능 하 게 연통 된다 .