도 10 을 참조 하 면 , 반도체 소자 의 제조 를 위해서 먼저 기본 소자 가 준비 된다 ( 201 ) . 상술 한 바 와 같이 기본 소자 는 트랜지스터 , 일례 로 전계 효과 트랜지스터 를 포함 할 수 있 으며 , 보다 구체 적 으로 금속 산화 막 반도체 전계 효과 트랜지스터 , 핀 펫 , 고 전자 이동성 트랜지스터 및 / 또는 구조 접합 전계 효과 트랜지스터 등 을 포함 할 수 있 다 .