[ 0008 ] 본 개시 내용 의 추가 적 인 양상 에 따르 면 , 진공 챔버 에서 의 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 운송 을 위한 방법 이 제공 된다 . 방법 은 , 기판 캐리어 를 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 그리고 마스크 캐리어 를 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 비접 촉식 으로 ( contactlessly ) 운송 하 는 단계 , 및 기판 캐리어 를 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 그리고 마스크 캐리어 를 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 비접 촉식 으로 운송 하 는 단계 를 포함 한다 .