인 젝 터 유닛 ( 130 c ) 은 내부 에 배치 되 는 믹 싱 존 ( 133 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 믹 싱 존 ( 133 ) 의 일단 은 제 1 내지 제 3 가스 공급 라인 들 ( 230 a , 230 b , 230 c ) 과 연결 되 고 , 타단 은 분사 홀 들 ( 138 ) 과 연결 될 수 있 다 . 믹 싱 존 ( 133 ) 에서 제 1 내지 제 3 공정 가스 들 이 서로 혼합 되 고 , 혼합 된 공정 가스 가 분사 홀 들 ( 138 ) 을 통해 기판 ( W ) 으로 공급 될 수 있 다 . 공정 가스 들 이 믹 싱 존 ( 133 ) 에서 서로 혼합 되 어 , 기판 ( W ) 상 의 전 영역 으로 균일 하 게 공급 될 수 있 다 .