상기 처리 용기 ( 12 ) 와 터보 분자 펌프 ( 11 A ) 사이 에 는 , 가변 컨덕턴스 밸브 ( 11 a ) 가 마련 되 어 , 상기 처리 용기 ( 12 ) 내 의 전압 을 일정 하 게 유지 한다 . 또한 도 1 의 성막 장치 ( 10 ) 에서 는 , 상기 처리 용기 ( 12 ) 를 드라이 펌프 ( 11 B ) 에 의해 러핑 하 기 위해 , 상기 터보 분자 펌프 ( 11 A ) 를 바이패스 하 는 배기 경로 ( 11 C ) 가 마련 되 어 있 고 , 배기 경로 ( 11 C ) 에 는 밸브 ( 11 c ) 가 , 터보 분자 펌프 ( 11 A ) 의 하류 측 에 는 다른 밸브 ( 11 d ) 가 마련 되 어 있 다 .