도 1 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 광 근접 보정 ( OPC ) 방법 을 설명 하 기 위해서 개략 적 으로 도시 한 흐름 도 이 다 . 도 2 및 도 3 을 본 발명 의 실시 예 에 따른 리플 로우 공정 ( reflow process ) 을 설명 하 기 위해서 개략 적 으로 도시 한 단면도 들 이 다 . 도 4 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 측정 된 선폭 ( CD ) 캘 리브레 이 션 데이터 ( calibration data ) 를 제시 한 그래프 ( graph ) 이 다 . 도 5 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 광 근접 보정 레이아웃 ( layout ) 에 따른 시뮬레이션 ( simulation ) 결과 도면 이 다 .