플 라즈 마 를 통해 구리 기판 에 주름 없 는 그래핀 을 성장 시키 는 것 은 구체 적 으로 , 평활 한 구리 필름 ( 사파이어 상 에 도금 ) 을 관상 로 ( tube furnace ) 에 넣 고 1000 ℃ 로 가열 하 며 40 분 동안 유지 하 여 비교 적 평활 한 구리 표면 을 획득 하 는 것 이 다 . 구리 기판 을 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 시스템 에 넣 고 수소 와 메탄 을 20 : 1 의 비율 ( 총 가스 유량 은 200 sccm ) 로 붓 는다 . 반응 챔버 의 압력 은 압력 조절 밸브 를 통해 10 Pa 로 안정 화 시키 며 , 500 내지 800 ℃ 까지 가열 하 고 1 내지 10 분 간 유지 한다 . 유도 결합 플 라즈 마 발생기 를 가동 하 고 전력 을 10 내지 50 W 로 조절 하 며 플 라즈 마 전력 과 시간 을 변경 하 여 그래핀 필름 의 입 도 및 성장 속도 를 조절 한다 . 일반 적 으로 2 내지 5 분 성장 하 면 단층 의 주름 없 는 그래핀 필름 을 획득 할 수 있 다 . 성장 이 완료 된 후 온도 를 자연 적 으로 냉각 하 며 , 온도 가 실온 에 가까워 지 면 가스 를 차단 한다 .