열 경화 공정 에서 는 , 챔버 가 적외선 을 투과 시키 는 석영 유리 로 형성 되 고 , 챔버 의 밖 에서 챔버 내 의 웨이퍼 에 대하 여 적외선 을 조사 하 고 , 적외선 에 의해 웨이퍼 가 가열 되 고 , 또한 가열 된 웨이퍼 의 열 로 감광성 열 경화 수지 를 열 경화 시켜 절연 층 을 형성 함 으로써 , 챔버 를 가열 하 지 않 기 때문 에 , 챔버 에 수용 되 며 감광성 열 경화 수지 가 열 경화 하 여 절연 층 이 형성 된 웨이퍼 를 , 챔버 를 냉각 하 지 않 고 도 챔버 마다 이동 시킬 수 있 어 , 작업 의 효율 화 를 도모 하 는 것 이 가능 해진다 .