도 1 c 를 참조 하 면 , 상기 이미지 층 ( 124 ) 상 에 포토레지스트 층 을 형성 하 고 , 상기 포토레지스트 층 을 노광 하 여 , 상기 이미지 층 ( 124 ) 의 상면 중 일부 를 노출 시키 는 복수 개 의 개구부 들 ( 130 h ) 을 포함 하 는 포토레지스트 패턴 ( 130 ) 을 형성 한다 . 상기 포토레지스트 층 은 KrF 용 또는 ArF 용 레지스 트 층 일 수 있 다 .