로드 모듈 ( 10 ) 및 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 반도체 제조 공장 의 내부 에서 평면 적 으로 동일 열 , 예컨대 제 1 열 ( 1 R ) 에 위치 할 수 있 다 . 이송 모듈 ( 50 ) 및 공정 모듈 ( 70 ) 은 반도체 제조 공장 의 내부 에서 평면 적 으로 로드 모듈 ( 10 ) 및 로드 락 모듈 ( 30 ) 이 위치 하 는 열과 는 다른 열 , 예컨대 제 2 열 ( 2 R ) 내지 4 열 에 위치 할 수 있 다 .