도 3 은 , 도파 로 를 활용 하 여 마이크로파 들 을 플 라즈 마 챔버 에 제공 하 기 위한 시스템 ( 300 ) 의 주요 구성 요소 들 을 예시 하 는 개략 도 이 다 . 시스템 ( 300 ) 의 도파 로 ( 210 ) 는 , 예 를 들 어 , 도 1 및 2 a 의 도파 로 공동 ( 167 ) 일 수 있 다 . 일반 적 으로 , 시스템 ( 300 ) 은 도 3 에서 P 및 Q 로 언급 된 2 개 의 위치 들 에서 도파 로 ( 210 ) 에 전력 을 공급 한다 . 위치 들 ( P 및 Q ) 은 전형 적 으로 , ( 아래 에서 설명 되 는 전자 장치 세트 들 ( 225 ( 1 ) , 225 ( 2 ) ) 에 의해 ) 도파 로 ( 210 ) 의 둘레 주위 의 P 와 Q 사이 의 각도 오프셋 에 대응 할 수 있 는 위상 오프셋 을 갖 는 공통 주파수 로 구동 된다 . 좌표 기준 계 가 도파 로 ( 210 ) 내 에 도시 된다 . 축 방향 ( z ) 은 도파 로 ( 210 ) 와 동심 인 원통형 축 을 따른 거리 를 나타내 는데 ; 즉 , 방향 ( z ) 은 도 3 의 평면 의 안 과 밖 이 다 . 방사상 방향 ( r ) 은 원통형 축 으로부터 의 거리 를 나타낸다 . 방위각 방향 ( θ ) 은 원통형 축 을 중심 으로 한 각도 위치 를 나타낸다 . 위치 ( P ) 는 도시 된 바 와 같이 θ 방향 의 원점 으로 간주 된다 .