한편 , 상기 실시 형태 에서 는 , 제 1 순서 및 제 2 순서 에 있 어서 , O 를 포함 하 는 활성 화 된 가스 로서 NO 를 플 라즈 마로 여기 한 가스 를 사용 하 는 예 에 대해 설명 했 다 . 또한 , O 를 포함 하 는 활성 화 된 가스 로서 는 , NO 를 플 라즈 마로 여기 한 가스 이외 에 , O 2 , N 2 O , N 2 O 4 등 을 플 라즈 마로 여기 한 가스 를 사용 해도 되 고 , O 3 를 사용 해도 되 는 것 등 에 대해서 도 설명 했 다 . 또한 , O 를 포함 하 는 활성 화 된 가스 로서 는 , 가열 된 감압 의 처리 실 내 에 산소 함유 가스 와 수소 함유 가스 를 공급 하 여 이 들 가스 를 논 플 라즈 마로 활성 화 한 가스 를 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 이 경우 , 처리 실 내 에 공급 된 산소 함유 가스 와 수소 함유 가스 는 , 가열 된 감압 의 분위기 하 에 있 는 처리 실 내 에 있 어서 활성 화 되 어 반응 하 고 , 그것 에 의해 원자 형상 산소 등 의 O 를 포함 하 는 산화 종이 형성 되 어 이 산 화종 에 의해 산화 처리 를 수행 하 게 된다 . 이 산화 처리 에 의하 면 , 산소 함유 가스 를 단독 으로 공급 하 는 경우 에 비해 , 산화력 을 큰 폭 으로 향상 시킬 수 있 다 . 즉 , 감압 분위기 하 에 있 어서 산소 함유 가스 에 수소 함유 가스 를 첨가 함 으로써 , 산소 함유 가스 단독 공급 의 경우 에 비해 대폭 적 인 산화력 향상 효과 를 얻 을 수 있 다 . 도 12 , 13 에 , 이 경우 의 제 1 순서 , 제 2 순서 에 있 어서 의 가스 공급 및 플 라즈 마 파워 공급 의 타이밍 도 를 각각 나타낸다 .