상기 제 2 실시 형태 에 있 어서 , 수직 광 발생 장치 ( 39 ) 는 텔레 센 트릭 플랫 필드 렌즈 로서 , 제 1 실시 형태 의 도광기 ( 13 ) 가 이용 한 종래 의 플랫 필드 렌즈 ( 19 ) ( 즉 , f / θ 렌즈 ) 와 비교 하 여 , 상기 제 2 실시 형태 에 이용 된 수직 광 발생 장치 ( 39 ) 는 레이저 광선 의 입사 각도 가 기울어져 발생 한 왜곡 의 문제 를 효과 적 으로 해결 할 수 있 다 . 도 4 는 일반 적 인 f / θ 렌즈 ( 19 ) 가 발생 시킨 광선 과 상기 제 2 실시 형태 에 이용 된 텔레 센 트릭 플랫 필드 렌즈 ( 39 ) 가 발생 시킨 광선 을 비교 한 결과 를 나타낸 도면 이 다 . 도 4 에 도시 된 바 와 같이 일반 적 인 렌즈 ( 19 ) 는 광선 의 입사 각도 로 인해 시각 왜곡 이 라는 결점 이 있 으나 , 텔레 센 트릭 플랫 필드 렌즈 를 이용 한 수직 광 발생 장치 ( 39 ) 는 왜곡 의 문제 를 해결 할 수 있 어 고 정도 를 갖 는 제품 을 레이저 로 에칭 할 때 의 수요 를 충족 시킬 수 있 다 .