본 발명 은 두 개 의 가속 도 센서 를 이용 한 각속도 측정 방법 및 장치 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 , 단결정 실리콘 MEMS ( Microelectromechanical Systems ) 기술 로 제작 된 2 개 의 x 축 가속 도 센서 와 y 축 가속 도 센서 를 이용 하 여 x 축 가속 도 및 y 축 가속 도 이외 에 z 축 각속도 를 산출 하 는 것 에 관한 것 이 다 . 본 발명 에서 는 관성 센싱 장치 의 x 축 가속도 와 y 축 가속도 를 측정 할 뿐 만 아니 라 z 축 각속도 센서 를 사용 하 지 않 고 가속 도 센서 만 으로 도 관성 센싱 장치 의 z 축 각속도 를 산출 할 수 있 다 . 이 는 기존 장치 에 비하 여 부피 가 작 고 생산 원가 가 낮 은 장치 를 구성 할 수 있 는 이점 이 있 다 .