가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 는 , 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) ( 예 를 들 어 , 열 교환 시스템 ( 270 ) 과 커플링 된 온도 제어 채널 ( 204 C ) ) 의 온도 를 조절 하 는 것 을 돕 기 위해 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 를 통해 열 제 어 유체 를 흐르 게 하 기 위한 온도 제어 시스템 을 추가 로 포함 한다 . 제 2 프로세싱 가스 매니폴드 ( 204 B ) 는 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 제 2 매니폴드 벽 ( 277 ) 에 의해 온도 제어 채널 ( 204 C ) 로부터 분리 된다 . 온도 제어 채널 ( 204 C ) 은 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 제 3 매니폴드 벽 ( 278 ) 에 의해 프로세싱 체적 ( 208 ) 으로부터 분리 될 수 있 다 .