차 폐부 ( 300 ) 와 기판 ( 10 ) 사이 의 거리 가 가까울 경우 , 차 폐부 ( 300 ) 하측 의 기판 영역 에 는 플 라즈 마가 발생 하 지 않 는다 . 즉 , 몸 체부 ( 510 ) 와 차 폐부 ( 300 ) 사이 의 거리 가 0 . 1 내지 10 mm 를 유지 하 도록 한다 . 상기 범위 를 유지 하 여 몸 체부 ( 510 ) 와 차 폐부 ( 300 ) 가 근접 위치 하 는 영역 에서 의 플 라즈 마 발생 을 방지 할 수 있 다 .