본 발명 의 ( 메트 ) 아크릴 계 중합체 는 종래 각각 의 모노머 로부터 도입 하 던 아 다만 탄 골격 과 락톤 골격 을 , 이 들 을 동시 에 갖 는 모노머 로부터 도입 하 기 때문 에 , ( 메트 ) 아크릴 계 중합체 ( 포토레지스트 수지 ) 중 에서 의 이 들 골격 의 분산 이 보다 균일 해 지 고 , 러프 니스 저감 으로 이어지 는 것 으로 생각 된다 .