또한 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 에지 링 ( 25 ) 은 제 2 정전 척 ( 22 ) 을 안쪽 에서부터 덮 도록 형성 되 어 있 다 . 그리하여 , 시일 부재 ( 26 ) 는 제 1 정전 척 ( 21 ) 및 에지 링 ( 25 ) 에 맞닿 아 밀봉 한다 . 이 로써 에지 링 ( 25 ) 의 뒷면 으로 공급 된 전열 가스 가 기판 ( W ) 쪽 으로 새 어 나오 는 것 을 억제 하 여 직경 방향 바깥쪽 으로 흐르 게 할 수 있 다 . 그리하여 , 에지 링 ( 25 ) 의 뒷면 등 에서 발생 된 파티클 이 전열 가스 와 함께 기판 ( W ) 쪽 으로 유입 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .