이러 한 문제점 을 해결 하 기 위하 여 일반 적 으로 채용 되 는 해결 안 에 따르 면 , 반응기 로부터 반응 챔버 를 주기 적 으로 분해 하 여 그 반응 챔버 를 기계 적 으로 및 / 또는 화학 적 으로 클리닝 한다 . 이러 한 작업 은 오래 걸리 므로 반응기 는 오랜 시간 동안 정지 된 상태 로 있 어야 하 며 , 일정 횟수 의 그러 한 클리닝 작업 후 에 는 챔버 를 폐기 하 거나 수리 하 여야 한다 .