정부 , OLED 장비 용 핵심 부품 국산화 시동 
 정부 가 유기 발광 다이오드 ( OLED ) 공정 장비 에 쓰이 는 핵심 부품 을 국산 화 하 기 위한 기술 개발 에 나선다 . 주요 장비 중 성능 에 핵심 영향 을 미치 면서 수입 의존도 가 높 은 부품 을 선별 해 자 립도 를 높이 려는 취지 다 . 국내 부품 생태 계 경쟁력 을 한 단계 높이 는 발판 이 될지 관심 이 집중 된다 . 
 산업 통상 자원 부 는 주요 OLED 장비 에 쓰이 는 부품 중 해외 의존도 가 높 은 품목 을 선정 하 고 자 립도 를 높이 는 ' OLED 공정 장비 용 핵심 부품 기술 개발 ' 사업 을 조만간 시작 한다 . 
 지난 5 월 기업 참여 접수 를 마감 했으며 이달 중 정식 협약 을 체결 할 계획 이 다 . 패널 - 장비 - 부품 기업 이 기술 개발 에 공동 참여 하 는 형태 다 . 
 이번 사업 은 올해 부터 2022 년 까지 4 년 간 총 222 억 원 을 투입 한다 . 수입 의존도 가 높 은 핵심 부품 중 디스플레이 외 에 반도체 , 태양광 , 발광 다이오드 ( LED ) 등 다양 한 분야 로 확대 적용 할 수 있 는 등 파급 효과 가 큰 품목 을 중심 으로 선정 했 다 . 
 부품 기업 이 연구 개발 을 하 면 장비 기업 이 1 차 신뢰 성 평가 를 하 고 패널 제조사 가 국산 부품 을 채용 한 장비 성능 을 최종 평가 하 는 형태 로 수행 한다 . 공용 부품 2 종 , 화학 기상 증착 ( PECVD ) 과 원자 층 증착 ( AD ) 용 2 종 , 증착 기 3 종 , 건식 식각 용 1 종 , 세 정용 1 종 등 의 부품 을 선정 했 다 . 
 산업 부 는 우선 올해 △ OLED 용 PECVD · 식각 장비 용 90 kW 이상 RF 전원 시스템 △ 박막 증착 장비 원료 공급 을 위한 대용량 고온 용 캐니 스터 기술 개발 △ LTPS ( 저온 다결정 실리콘 ) , 필름 탈착 등 제조 장비 에서 자외선 레이저 용 빔 ( Beam ) 광학계 개발 △ OLED 공정 장비 핵심 부분품 성능 평가 지원 및 평가 법 개발 등 총 4 개 사업 으로 닻 을 올린다 . 
 이 중 90 kW 이상 대용량 RF 전원 시스템 은 아직 일본 장비 사 를 제외 하 면 상품 화 되 지 않 았 다 . 현재 30 kW 급 이 주력 이 지만 선제 투자 해 원천 기술 을 확보 하 고 세계 디스플레이 시장 에서 기술 격차 를 두 겠 다는 전략 이 다 . 미국 AE 와 MKS , 일본 교산 , 독일 휴 팅 거 등 이 이 분야 에서 상당 한 수준 의 기술 을 보유 했 다 . 
 CVD 장비 에서 사용 하 는 캐니 스터 기술력 강화 도 추진 한다 . 캐니 스터 는 원료 를 기화 해 박막 을 형성 할 때 기화 상태 가 된 원료 를 고온 상태 로 유지 하 는 용기 다 . 적정 한 분량 의 원료 를 공급 하 기 위해 적정 수준 증기압 을 유지 하 는 기술 이 필요 하 다 . OLED 장비 에서 대용량 가스 를 사용 하 지만 이 에 최적 화 된 캐니 스터 를 공급 하 는 국내 기업 이 없 다 . 
 균 일도 가 높 은 레이저 빔 을 형성 하 기 위해 광학계 설계 를 내재 화 하 고 제작 하 기 위한 기술 개발 도 시작 한다 . 광학계 는 곡률 과 모양 이 다른 여러 렌즈 를 설계 하 고 렌즈 간 거리 등 을 조정 해 최적 화 함 으로써 빔 품질 을 확보 하 는 게 핵심 이 다 . 장비 가격 의 30 ~ 40 % 를 차지 할 정도 로 광학계 중요도 가 높 다 . 
 현재 레이저 리프트 오프 ( LLO ) 장비 용 광학계 는 독일 에서 , 레이저 어닐링 ( ELA ) 용 광학계 는 미국 에서 전량 수입 하 고 있 다 . 
 업계 에서 는 외산 의존도 가 높 은 장비 부품 을 체계 적 으로 전수 조사 해 중 장기 로드맵 을 갖춰야 한다는 지적 도 나온다 . 최근 일본 정부 의 수출 규제 로 공급 선 다변 화 와 국산화 필요 성 이 커지 면서 핵심 장비 부품 자립 도 를 제대로 살펴봐야 할 필요 성 도 제기 되 고 있 다 . 
 이 에 대해 산업 부 관계자 는 “ 장비 핵심 부품 에 대한 기업 수요 가 각기 다르 고 종류 도 워낙 많 고 복잡 하 다 ” 며 “ 우선 국산화 필요 성 이 공통 적 으로 큰 분야 부터 시작 했으며 추후 사업 을 확대 하 는 방안 도 검토 하 게 될 것 ” 이 라고 설명 했 다 .