반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 상 을 롤러 반송 모드 로 이동 한다 . 반 전실 ( 111 ) 에 있 어서 , 회전 지지 기구 가 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 반송 모듈 ( 301 ) 마다 진행 방향 으로 180 도 회전 한다 . 이 에 의해 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 정 전척 ( 308 ) 의 마스크 장 착면 이 하 면 측 이 된 상태 로 마스크 수취 위치 ( P 6 ) 로 반입 된다 . 계속 해서 , 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 마스크 전달 기구 ( 100 c ) 로부터 마스크 ( M ) 를 수취 하 여 자기 흡착 척 ( 307 ) 으로 흡착 하 고 , 마스크 척 ( 311 ) 으로 보유 지지 한다 . 계속 해서 , 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 마스크 ( M ) 를 마스크 척 ( 311 ) 으로 보유 지지 하 면서 , 계속 해서 롤러 반송 모드 에서 화살표 C 방향 으로 이동 한다 .