[ Zn ] / ( [ In ] ＋ [ Ga ] ＋ [ Zn ] ) 가 50 ％ 보다 크 면 , 막 의 안정 성 , 내습성 등 이 열화 된다 . 한편 , [ Zn ] / ( [ In ] ＋ [ Ga ] ＋ [ Zn ] ) 가 10 ％ 보다 작 으면 , 스퍼터 성막 된 막 의 비정질 성 이 약해져 , 결정 화 하 기 쉬워진다 . 결정 화 된 막 은 특성 의 면내 편차 가 커 , 소자 특성 의 편차 의 원인 이 된다 . 또한 , Zn 농도 가 감소 하 는 만큼 , In 또는 Ga 농도 가 증가 하 게 되 나 , 이 들 금속 은 비교 적 고가 이 기 때문 에 산화물 소 결체 자체 의 비용 이 상승 된다 .