다음 으로 , 본 발명 의 노광 장치 및 노광 방법 의 제 4 실시 형태 에 대해 설명 한다 . 도 5 는 제 4 실시 형태 를 나타내 는 개략 구성도 이 다 . 또한 , 상술 의 제 1 ~ 제 3 실시 형태 와 동일 또는 동등 한 구성 부분 에 대해서 는 동일 부호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 간략 혹은 생략 한다 . 또 , 본 실시 형태 의 노광 장치 ( EX ) 도 , 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 에 대한 기판 ( P ) 의 소정 의 주사 방향 ( Y 축 방향 ) 으로 의 이동과 , 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 에 대한 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 소정 의 주사 방향 으로 의 이동과 , 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 에 대한 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 소정 의 주사 방향 으로 의 이동 을 동기 하 여 실시 하 는 것 에 의해서 , 패턴 화 된 노광 광 ( EL ) 을 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 의 각각 에 조사 하 는 주사 형 의 노광 장치 이 다 .