여기 서 패드 , 비아 , 트레이스 , 랜드 , 본드 패드 층 , 도전 성 층 , 트레이스 층 등 으로 도 언급 될 수 있 는 패드 ( 또는 비아 ) 층 ( 183 ) 은 다양 한 물질 ( 예 를 들 어 , 구리 , 알루미늄 , 니켈 , 철 , 은 , 금 , 티타늄 , 크롬 , 텅스텐 , 팔라듐 , 그 조합 , 그 합금 , 그 등가물 등 ) 의 어느 것 을 포함 할 수 있 으나 , 본 개시 의 범위 는 그 에 제한 되 지 않 는다 . )