< 6 > 상기 ( C ) 수지 는 일반식 ( 1 - 1 ) , ( 1 - 2 ) 및 ( 1 - 3 ) 으로 표시 되 는 불소 함유 반복 단위 에서 선택 되 는 적어도 1 개 의 반복 단위 를 갖 고 , 산 에 대해 안정 하 고 , 또한 알칼리 현상액 에 대해 불용 인 것 을 특징 으로 하 는 상기 < 1 >~< 5 > 중 어느 하나 에 기재 된 포지티브 레지스 트 조성물 .