또한 , 열전 도 매체 가 가스 공급원 ( 161 ) , 매스 플로우 컨트롤러 ( 162 ) , 밸브 ( 163 ) 를 통해 공급 관 ( 140 ) 으로 공급 된다 . 열전 도 매체 로서 의 헬륨 가스 가 가스 공급원 ( 161 ) 으로부터 매스 플로우 컨트롤러 ( 162 ) , 밸브 ( 163 ) , 공급 관 ( 140 ) 을 통해 틈 새부 ( 130 ) 로 공급 된다 . 압력 검 출부 ( 164 ) 에서 검출 하 는 틈 새부 ( 130 ) 의 압력 이 소정 압력 으로 되 면 밸브 ( 163 ) 를 닫 는다 . 이 로써 헬륨 가스 가 틈 새부 ( 130 ) 에 충전 된다 . 한편 , 제 어부 ( 80 ) 는 , 압력 검 출부 ( 164 ) 에서 틈 새부 ( 130 ) 의 압력 을 검출 함 으로써 , 제 1 데포 실드 ( 110 ) 로부터 제 2 데포 실드 ( 120 ) 로 의 열전 도 상태 를 감시 할 수 도 있 다 . 또한 , 제 어부 ( 80 ) 는 , 매스 플로우 컨트롤러 ( 162 ) 를 제어 하 여 틈 새부 ( 130 ) 의 압력 을 제어 함 으로써 , 제 1 데포 실드 ( 110 ) 로부터 제 2 데포 실드 ( 120 ) 로 의 열전 도 상태 를 제어 할 수 도 있 다 .