필터 ( 140 ) 는 미세 기공 의 크기 및 분포 가 1 ∼ 1000 Å 정도 로 조절 되 고 , 표면 에 관능기 를 도입 된 알루미노 실리 게이트 세라믹 필터 들 과 첨 착 활성탄 필터 층 의 두께 와 간격 이 조절 되 어 유량 과 차압 이 송풍기 ( 13 ) 의 차압 과 배출 유량 에 적합 하 도록 설계 되 어 있 다 . 구체 적 으로 필터 실 ( 14 ) 은 시약 보관 실 ( 12 ) 위쪽 에 장치 되 어 있 는 송풍기 ( 13 ) 의 허용차 압 과 유량 이 연동 되 도록 다 단계 의 필터 층 들 의 간격 과 두께 를 조절 하 여 시약 보관 실 ( 12 ) 내 의 순환 최저 유속 이 0 . 53 m / sec 이상 이 되 도록 설계 되 는 것 이 바람직 하 다 .