각 마이크 로 요동 소자 X 2 에서 는 , 상술 한 바 와 같이 소자 구동 시 에 구동 전극 ( 23 ) 으로부터 발 하 는 전계 의 소자 외 에 의 누출 은 억제 된다 . 따라서 , 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 에서 는 , 하나 의 마이크 로 요동 소자 X 2 의 구동 기구 ( 구동 전극 ( 12 , 23 ) ) 로부터 의 누출 전계 가 , 인접 하 는 다른 마이크 로 요동 소자 X 2 의 구동 특성 에 부당 한 영향 을 주 는 것 이 억제 된다 . 부가 적 으로 , 각 마이크 로 요동 소자 X 2 에서 는 , 상술 한 바 와 같이 소자 구동 시 에 구동 전극 ( 34 ) 으로부터 발 하 는 전계 의 소자 외 에 의 누출 은 억제 된다 . 따라서 , 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 에서 는 , 하나 의 마이크 로 요동 소자 X 2 의 구동 기구 ( 구동 전극 ( 33 , 34 ) ) 로부터 의 누출 전계 가 , 인접 하 는 다른 마이크 로 요동 소자 X 2 의 구동 특성 에 부당 한 영향 을 주 는 것 이 억제 된다 . 이 와 같 은 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 는 , 복수 의 2 축 형 의 마이크 로 요동 소자 X 2 에 대해 , 따라서 복수 의 미러 면 ( 11 a ) 에 대해 , 짧 은 배설 피치 를 실현 하 는 데 에 적합 하 다 . 즉 , 마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 는 마이크 로 요동 소자 X 2 또는 미러 면 ( 11 a ) 의 고 밀도 화 를 도모 하 는 데 에 적합 한 것 이 다 .