가스 분사 부 ( 130 ) 는 제 1 내지 제 4 모듈 설치 부 ( 115 a , 115 b , 115 c , 115 d ) 각각 에 삽입 설치 되 어 기판 지지 부 ( 120 ) 상 에 공간 적 으로 분리 되 도록 정의 된 제 1 내지 제 4 가스 분사 영역 에 제 1 및 제 2 가스 를 공간 적 으로 분리 하 여 분사 하 는 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 을 포함 하 여 구성 된다 .