도 6 ( b ) ∼( d ) 는 , 염소 함유 가스 , 브로민 함유 가스 , 아이오딘 함유 가스 의 각각 의 플 라즈 마 에 의해 군 A 의 각 원소 를 염화 , 브로민화 , 아이오딘 화 시켰 을 때 의 군 A 의 염화물 , 브로민화물 , 아이오딘화물 의 비점 을 나타낸다 . 도 6 ( b ) ∼( d ) 의 실선 의 틀 내 에 나타내 는 군 A 의 염화물 , 브로민화물 , 아이오딘화물 은 , 도 6 ( a ) 에 나타내 는 군 A 의 불화물 보다 도 비점 이 높 다 . 따라서 , 할로젠 함유 가스 중 , 군 A 의 잔사 를 가장 제거 하 기 쉬운 가스 는 , F 함유 가스 라고 생각 된다 . 그렇지만 , 군 A 의 염화물 , 브로민화물 , 아이오딘화물 은 , 군 B 및 군 C 의 염화물 , 브로민화물 , 아이오딘화물 보다 도 대체로 비점 이 낮 아 , 플 라즈 마 를 생성 하 는 환경 인 소정 의 진공 하 로 제어 한 챔버 ( 11 ) 내 에서 클리닝 을 행함 으로써 제거 가능 하 다고 생각 된다 . 또는 , 챔버 ( 11 ) 내벽 을 상온 보다 도 높 은 온도 로 제어 한 챔버 ( 11 ) 내 에서 클리닝 을 행함 으로써 제거 가능 하 다고 생각 된다 . 이상 으로부터 , 불소 함유 가스 , 염소 함유 가스 , 브로민 함유 가스 , 아이오딘 함유 가스 중 적어도 어느 하나 의 할로젠 함유 가스 에 의해 군 A 의 잔사 를 유효 하 게 제거 할 수 있 음 을 알 수 있 다 .