그리고 , 본 실시 예 에서 는 코일 부재 ( 30 ) 가 고주파 에 안정 적 인 세라믹 소재 로 이루어진 매립 부재 ( 40 ) 내부 에 배치 되 어 있 어서 , 고주파 전원 의 인가 에 의한 코일 부재 ( 30 ) 의 변화 및 외부 의 물리 적 인 충격 에 의한 코일 부재 ( 30 ) 의 변형 을 방지 할 수 있 게 된다 . 이 와 같이 , 코일 부재 ( 30 ) 의 변화 및 변형 이 방지 되 면 , 코일 부재 ( 30 ) 의 유도 성 리액턴스 변화 에 의한 플라 즈 마 생 성 오차 를 방지 할 수 있 게 되 어 , 궁극 적 으로 식각 공정 을 원활 하 게 진행 할 수 있 게 된다 .