단계 ( 108 ) 는 퍼지 서브 단계 를 포함 할 수 있 다 . 퍼지 서브 단계 중 에 퍼지 가스 의 유량 은 약 500 sccm 내지 약 4500 sccm , 또는 약 2000 sccm 내지 약 4000 sccm 범위 일 수 있 다 . 퍼지 서브 단계 중 에 가스 흐름 의 시간 은 약 0 . 1 초 내지 약 2 초 , 또는 약 0 . 2 초 내지 약 1 초 일 수 있 다 .