플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에서 는 , 챔버 본체 ( 12 ) 의 내 벽면 및 지지 부 ( 13 ) 의 외주 를 따라 , 실드 ( 46 ) 가 착 탈 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . 실드 ( 46 ) 는 , 챔버 본체 ( 12 ) 에 반응 부생 성물 이 부착 되 는 것 을 방지 한다 . 실드 ( 46 ) 는 , 예컨대 , 알루미늄 으로 형성 된 모재 의 표면 에 내부 식성 을 갖 는 막 을 형성 함 으로써 구성 된다 . 내 부식 성 을 갖 는 막 은 , 산화 이트륨 등 의 세라믹스 로 형성 될 수 있 다 .