표 2 의 데이터 는 놀랍 게 도 , 제형 FE - 4 와 FE - 5 ( 식 ( I ) 의 고리 형 아민 을 함유 함 ) 가 패턴 화 된 규소 기판 상 의 에칭 후 잔류물 을 세정 하 기 위해 사용 되 었 을 때 , 매우 낮 은 코발트 부식 효과 를 나타내 거나 또는 코발트 부식 효과 를 나타내 지 않 았 음 을 보여준다 . 제형 FE - 1 ( 아민 을 함유 하 지 않 음 ) , FE - 2 ( 3 차 아민 을 함유 함 ) 및 FE - 3 ( 식 ( I ) 의 것 과 상이 한 고리 형 아민 을 함유 함 ) 은 제형 FE - 1 보다 더 높 은 수준 의 코발트 부식 효과 를 나타내 었 다 .