도 14 , 도 15 및 도 16 을 참조 하 면 , 제 1 산화 공정 및 질화 공정 을 동시 에 수행 하 여 대 상체 ( 200 ) 상 에 예비 질화 막 ( 210 ) 및 예비 산화 막 ( 205 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 200 ) . 대 상체 ( 200 ) 에 산소 를 포함 하 는 제 1 반응 가스 와 질소 를 포함 하 는 제 2 반응 가스 를 동시 에 제공 하 여 상기 제 1 산화 공정 및 질화 공정 을 동시 에 수행 한다 .