본 발명 의 세정 방법 에 있 어서 의 세정제 조성물 의 기판 에 대한 접촉 방법 에 는 , 세 정조 에 세정제 조성물 을 채워 기판 을 침지 시키 는 딥 식 , 노즐 로부터 기판 상 에 세정제 조성물 을 흘리 면서 기판 을 고속 회전 시키 는 스핀 식 , 기판 에 액 을 분무 하 여 세정 하 는 스프레이 식 등 을 들 수 있 다 . 이 와 같 은 세정 을 실시 하 기 위한 장치 로 는 , 카세트 에 수용 된 복수 장 의 기판 을 동시 에 세정 하 는 배 치식 세정 장치 , 1 장 의 기판 을 홀더 에 장착 하 여 세정 하 는 매 엽 식 세정 장치 등 이 있 다 .