가스 전달 시스템 ( 633 ) 은 , 가스 전달 라인 ( 638 ) ( 일부 만 도시 됨 ) 을 통해 기판 을 가공 하 기 위해 여러 공급원 인 634 A - 634 E 챔버 로부터 가스 를 제공 한다 . 당업자 에 의해 이해 되 는 바 와 같이 , 공급원 634 A - 634 E 을 위해 사용 된 실제 공급원 및 운반 라인 ( 638 ) 의 챔버 ( 613 ) 로 의 실제 연결 은 챔버 ( 613 ) 내 에 실행 된 세척 공정 및 증착 에 의존 하 여 다양 하 다 . 가스 고리 ( 637 ) 및 / 또는 탑 노즐 ( 645 ) 을 통해 챔버 ( 613 ) 로 가스 는 도입 된다 . 도 5 B 은 챔버 ( 613 ) 의 단순 화 된 , 부분 적 단면도 로서 가스 고리 ( 637 ) 의 추가 상세 한 설명 을 보여준다 .