도 4 에 제시 된 바 와 같이 , 석영 ( quartz ) 기판 과 같이 투명 한 기판 ( 도 4 의 410 ) 상 에 도포 된 레지스 트 층 ( 430 ) 에 , 전자 빔 노광 장비 ( 450 ) 를 이용 하 여 전자 빔 ( 451 ) 을 노광 조사 한다 . 이때 , 좌측 의 제 2 사각형 ( 210 ) 의 형상 을 가지 게 빔 형상 을 조절 하 여 제 1 노광 하 고 , 중간 의 제 1 사각형 ( 230 ) 의 형상 을 가지 게 빔 형상 을 조절 하 여 제 2 노광 하 고 , 우측 의 제 3 사각형 ( 250 ) 의 형상 을 가지 게 빔 형상 을 조절 하 여 제 3 노광 한다 .