본 발명 의 실시 예 들 은 일반 적 으로 도 펀트 들 을 함유 하 는 기판 을 처리 하 는 방법 을 제공 하 고 , 상기 방법 은 하나 이상 의 챔버 들 에 기판 을 배치 하 는 단계 ; 하나 이상 의 챔버 들 에 도 펀트 제거 혼합물 을 제공 하 는 단계 ; 기판 에 도 펀트 제거 혼합물 을 가함 으로써 챔버 들 중 적어도 하나 에서 하나 이상 의 휘발 성 화합물 들 을 생성 하 는 단계 ; 및 하나 이상 의 챔버 들 로부터 하나 이상 의 휘발 성 화합물 들 을 제거 하 는 단계 를 포함 한다 .