합성 기판 ( 10 ) 은 반응 챔버 ( 160 ) 로 로딩 되 기 전 에 , 촉매 도포 부 ( 500 ) 에서 반응 챔버 ( 160 ) 상면 에 촉매 ( 20 ) ( 금속 막 ) 가 도포 된다 . 도 2 는 도 1 에 도시 된 촉매 도포 부 ( 500 ) 의 구성도 이 고 , 도 3 은 도 2 의 선 A - A ′ 를 따라 절단 후 상부 에서 바라본 촉매 도포 부 ( 500 ) 의 평면도 이 다 .