종래 부터 , 기판 에 형성 된 오 목부 의 내면 에 원하 는 분포 로 수산기 를 흡착 시켜 , 계속 해서 유기 아미노 실란 가스 를 수산기 가 흡착 한 기판 에 공급 하 여 흡착 시키 고 , 계속 해서 산화 가스 를 유기 아미노 실란 가스 가 흡착 한 기판 에 공급 하 고 , 실리콘 산화 막 을 오 목부 내 에 성막 하 는 성막 방법 이 알려져 있 다 ( 예 를 들 어 , 특허 문헌 1 참조 ) .