상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 처리 방법 은 서로 상하 로 적층 되 는 제 1 챔버 및 제 2 챔버 , 그리고 서로 상하 로 마주 보 도록 대향 되 어 설치 되 는 제 1 로봇 과 제 2 로봇 을 사용 하 여 상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버 로 기판 을 이송 하 되 , 상기 제 1 챔버 와 상기 제 2 챔버 중 상부 에 위치 되 는 챔버 와 의 기판 이송 은 상기 제 1 로봇 과 상기 제 2 로봇 중 상부 에 위치 되 는 로봇 에 의해 이루어지 고 , 상기 제 1 챔버 와 상기 제 2 챔버 중 하부 에 위치 되 는 챔버 와 의 기판 이송 은 상기 제 1 로봇 과 상기 제 2 로봇 중 하부 에 위치 되 는 로봇 에 의해 이루어진다 .