소수 화제 는 기판 ( W ) 에 의 수용성 용제 및 제 1 용제 의 공급 이 행하 여진 후 에 기판 ( W ) 에 공급 된다 . 따라서 , 소수 화제 는 린스 액 이 기판 ( W ) 에 남 아 있 지 않 은 상태 , 또는 물 의 잔 류량 이 극히 적 은 상태 로 , 기판 ( W ) 에 공급 된다 . 그 때문 에 , 물 과 의 접촉 에 의해 , 소수 화제 의 능력 ( 기판 ( W ) 을 소수 화 시키 는 능력 ) 이 저하 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 소수 화제 는 수산기 를 포함 하 지 않 는 제 1 용제 가 보유 되 어 있 는 기판 ( W ) 에 공급 되 므로 , 제 1 용제 와 의 접촉 에 의해 소수 화제 의 능력 이 저하 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 수산기 를 포함 하 지 않 는 제 2 용제 가 소수 화제 에 포함 되 어 있 으므로 , 소수 화제 를 안정 시킬 수 있 음 과 함께 , 소수 화제 의 능력 이 저하 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 따라서 , 소수 화제 를 기판 ( W ) 에 공급 함 으로써 , 기판 ( W ) 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 즉 , 기판 ( W ) 에 대한 처리 액 의 접촉각 을 90 도 에 가깝 게 하 여 , 패턴 ( P ) 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 . 또한 , 전술 한 처리 예 에서 는 , 소수 화제 에 포함 되 어 있 는 제 2 용제 가 제 1 용제 와 동종 의 용제 이 므로 , 양자 의 친화성 이 높 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 제 1 용제 는 소수 화제 로 원활 하 게 치환 된다 . 이 에 의해 , 제 1 용제 로부터 소수 화제 로 의 치환 에 필요 한 시간 을 단축 할 수 있 다 .