또한 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 200 ) 의 배기 통로 ( 40 ) 는 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 및 상기 입 구 부 사이 에 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 로부터 상기 입 구부 로 깊이 가 선형 적 으로 깊 어 지 는 경사부 ( 41 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 깊이 가 변하 는 여유 공간 ( V ) 과 배기 통로 ( 40 ) 의 경 계부 에 단 턱 형상 이 형성 되 는 것 을 방지 하 여 , 포켓 홈 부 ( 30 ) 내부 의 여유 공간 ( V ) 에서 배기 통로 ( 40 ) 를 통해 배기 되 는 공기 의 흐름 을 더욱 원활 하 게 유도 할 수 있 다 .