상기 제 1 슬러리 조성물 에 사용 될 수 있 는 연마제 로 는 실리카 , 알루미나 , 세리아 , 지르 코니 아 , 티타니아 또는 이 들 의 혼합물 등 을 들 수 있 으나 , 이 들 에 특별히 한정 되 는 것 은 아니 다 . 또한 , 상기 연마제 는 평균 입자 크기 가 5 nm 내지 1 , 000 nm 의 범위 의 것 을 사용 할 수 있 고 , 바람직 하 게 는 10 nm 내지 500 nm 의 범위 의 것 을 사용 할 수 있 다 .