또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 전술 한 제 5 위치 정보 로부터 얻 어 진 계측 빔 ( B 1261 ) 의 광로 길이 와 계측 빔 ( B 1262 ) 의 광로 길 이 사이 의 차이 로부터 , 계측 빔 ( B 1262 ) 의 반사 미러 ( 27 f ) 의 반사면 상 의 조사 점 의 Z 위치 ( Zf 로 표기 한다 ) 를 산출 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 개 의 Z 위치 ( Ze 및 Zf ) 의 평균값 과 차이 로부터 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 Z 위치 와 θ y 방향 의 회전 정보 ( 롤링 ( rolling ) 량 ) 을 산출 한다 .