본 발명 에 따른 , 정전식 기능 과 기계식 기능 사이 의 분리 때문 에 , 정전식 성질 과 기계식 성질 의 절대 적 인 이중 기능 이 없 고 , 정전식 구성 요소 는 전하 수송 이나 절연 및 정전기력 과 같 은 정전식 기능 을 맡 고 , 기판 홀더 의 홀딩 표면 은 배타 적 으로 전하 분리 에 의해 정전기 적 으로 하전 된다 . 구동 부 도 는 가이드 또는 베어링 과 같 은 기계 적 으로 로딩 된 부분 은 실질 적 으로 연결 된 전기 전위 로부터 자유 로워질 수 있 다 . 기능 성 이 정전기력 에 의해 생성 되 므로 , 홀딩 표면 의 지지 기능 은 혼합 된 형태 를 형성 한다 .