또한 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 을 마스크 ( 220 ) 에 대해 어느 정도 가까이 한 후 , 각각 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 를 독립 적 으로 제어 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 을 X 방향 의 일단 측 에서 타단 측 을 향해 점차 로 마스크 ( 220 ) 에 대해 접촉 시킬 수 도 있 다 . 즉 , X 방향 의 일단 측 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 일단 측 을 먼저 강하 시키 고 , 그 후 , 타단 측 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 기판 ( 10 ) 의 타단 측 을 강하 시킴 으로써 , 기판 ( 10 ) 을 X 방향 의 일단 측 에서 타단 측 을 향해 점차 로 마스크 ( 220 ) 에 대해 접촉 시킬 수 있 다 . 마찬가지 로 , 각각 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 을 독립 적 으로 제어 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 을 X 방향 의 일단 측 에서 타단 측 을 향해 점차 로 마스크 ( 220 ) 로부터 이격 시킬 수 도 있 다 . 즉 , X 방향 의 일단 측 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 일단 측 을 먼저 상승 시키 고 , 그 후 , 타단 측 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 에 의해 기판 ( 10 ) 의 타단 측 을 상승 시킴 으로써 , 기판 ( 10 ) 을 X 방향 의 일단 측 에서 타단 측 을 향해 점차 로 마스크 ( 220 ) 로부터 이격 시킬 수 있 다 . 물론 , X 방향 의 타단 측 에서부터 일단 측 을 향해 , 기판 ( 10 ) 을 마스크 ( 220 ) 에 대하 여 접촉 시키 거나 이격 시킬 수 도 있 다 .