본 발명 에 따르 면 , 광원 의 시간 적 및 / 또는 공간 적 변동 에 대한 고리 모양 의 세팅 의 시간 적 안정 화 가 다중 미러 어레이 ( MMA ) 의 조명 의 시간 적 안정 화 의 형태 로 제공 될 때 , 다중 미러 어레이 ( MMA ) 를 갖 는 투사 노광 장치 에 의해 , 외측 및 / 또는 내측 σ 에서 약간 만 차이 가 나 는 고리 모양 의 세팅 사이 의 급격 한 변화 가 특히 잘 생성 된다 .