반사 방지 막 은 400 ℃ 의 온도 에서 1 ~ 10 Torr 의 압력 으로 파워 를 100 ~ 1 , 000 W , TMS ( Si ( CH 3 ) 3 H : trimethylsilane ) 를 10 ~ 1 , 000 sccm , He 를 10 ~ 1 , 000 sccm , NH 3 을 10 ~ 1 , 000 sccm 주입 하 여 형성 할 수 있 다 .