이상 과 같이 , 본 실시 형태 에 따른 배 치대 ( 2 ) 는 기재 ( 2 a ) 와 유로 ( 20 ) 를 가진다 . 유로 ( 20 ) 는 기재 ( 2 a ) 의 내부 에 , 상면 ( 2 b ) 을 따라 형성 되 어 , 일단 이 냉매 를 도입 하 는 도입 구 ( 20 a ) 가 되 고 , 타단 이 냉매 를 배출 하 는 배출구 ( 20 b ) 로 되 어 있 다 . 유로 ( 20 ) 는 상면 ( 2 b ) 과 의 사이 의 열 저항 이 배출구 ( 20 b ) 로부터 도입 구 ( 20 a ) 를 향해 증가 하 도록 형성 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 배치 대 ( 2 ) 는 상면 ( 2 b ) 의 면내 에서 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 다 . 그 결과 , 배치 대 ( 2 ) 는 배치 된 웨이퍼 ( 8 ) 의 온도 를 대략 균일 하 게 할 수 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( 8 ) 의 면내 에서 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 다 .