더블 패 터닝 의 다른 접근 법 은 제 1 PR 마스크 에 대한 보호 층 을 사용 하 며 , 이 보호 층 은 제 1 PR 마스크 상 에 제 2 PR 재료 를 도포 하 기 이전 에 형성 된다 . 일반 적 으로 , 패 터닝 된 PR 마스크 를 갖 는 웨이퍼 상 에 액체 PR 재료 가 도포 되 는 경우 에 , 패 터닝 된 PR 마스크 의 폴리머 는 대부분 의 유기 용매 들 과 접촉 하 게 될 때 에 용해 될 것 이 다 . 따라서 , 패 터닝 된 PR 마스크 가 제 2 PR 재료 의 유기 용매 에 용해 되 는 것 을 방지 하 도록 제 1 PR 마스크 상 에 보호 층 을 형성 하 기 위해 , 수용성 의 산 가교 가능 한 ( cross - linkable ) 코팅 재료 와 같 은 형성 된 시스템 의 다른 타입 이 사용 될 수 있 다 . 코팅 이 제 1 패 터닝 된 PR 을 상당히 방해 하 지 않 도록 , 보호 코팅 재료 의 용매 가 제 1 PR 을 용해 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 적합 한 용매 들 은 물 , 불소 용매 ( fluorosolvent ) 들 , 실리콘 용매 들 , 또는 메탄올 , 에탄올 또는 다른 유사 한 알코올 들 과 같 은 극성 용매 들 일 수 도 있 다 . 제 1 PR 마스크 상 에 수용 성 의 산 가교 가능 한 보호 층 이 도포 되 고 베 이크 되 는 경우 에 , 제 1 PR 마스크 로부터 그 표면 으로 물 이 배출 되 고 산 의 잔 여량 이 나온다 . 코팅 재료 가 산 가교 가능 하 므로 , 제 1 PR 마스크 의 표면 상 에 가교 ( cross - link ) 된 폴리머 코팅 이 형성 된다 . 그 후 , 가교 되 지 않 은 코팅 재료 는 세척 되 어 가교 된 폴리머 코팅 을 갖 는 제 1 PR 패턴 을 남긴다 . 이 프로세스 는 , " 제 1 PR 마스크 의 형상 을 "" 프리징 ( freeze ) "" 하 므로 제 1 PR 마스크 패턴 의 "" 화학 적 프리징 "" 이 라 지칭 될 수 도 있 다 . "