상용 화 되 어 있 는 기술 의 전도성 물질 은 탄 탈륨 을 주요 성분 으로 하 고 있 는데 , 탄 탈륨 자체 는 투과도 를 갖 지 않 기 때문 에 수 nm 두께 로 전도 층 을 형성 시키 고 일부 산화 시킴 으로써 투과율 을 증가 시킨 형태 로 적용 되 고 있 다 . 문제 는 수 nm 박막 이 기 때문 에 포토 마스크 전체 면적 에 대해 산화 정도 를 조절 하 기 쉽 지 않 아 투과도 의 균 일도 가 떨어질 뿐 만 아니 라 산화 되 면서 저항 이 증가 하 여 정전기 전하 를 효과 적 으로 전도 시키 지 못하 는 것 이 다 .