상기 임계점 보다 고온 및 고압 의 상태 에서 는 기체 상태 와 액체 상태 사이 의 구별 이 없 어 지 고 , 물질 은 단일 상 인 초임계 유체 가 된다 . 초임계 유체 는 임계 온도 이상 에서 고밀도 로 압축 된 유체 이 다 . 초임계 유체 는 용매 분자 의 확산 력 이 지배 적 이 라는 점 에서 기체 와 유사 하 고 , 분자 의 응집력 의 영향 을 무시 할 수 없 는 점 에서 액체 와 유사 한 성질 을 가지 며 , 이 에 따라 초임계 유체 는 여러 가지 물질 을 용해 하 는 특성 이 있 다 . 또한 , 초임계 유체 는 액체 보다 매우 높 은 침윤성 을 갖 고 , 미세 구 조체 를 용이 하 게 침투 할 수 있 는 특성 이 있 다 . 또한 , 초임계 유체 는 초임계 상태 로부터 직접 기체 상태 로 전이 하 고 표면장력 이 없 으므로 , 기판 의 미세 패턴 을 파괴 시키 기 않 고 미세 패턴 사이 의 약액 등 이 물질 을 세정 및 건조 시킬 수 있 는 특성 이 있 다 .