또한 , 원료 가스 는 노 내 에 공급 하 는 시점 에서 , 고압 의 봄베 로부터 감압 의 노 내 로 공급 되 므로 급격 하 게 열 을 빼앗 아 팽창 하 여 노 내 를 냉각 하 는 작용 이 있 다 . 이 때문 에 , 원료 가스 의 공급 을 급격 하 게 정지 하 면 , 냉각 능력 이 저하 되 고 , 감압 하 에서 열용량 이 작 은 노 내 분위기 는 , 일시 적 으로 가열 되 어 돌기 를 형성 하 는 클러스터 가 발생 하 기 쉬운 환경 으로 된다 . 일시 적 으로 생긴 클러스터 가 열분해 탄소 층 상 에 침적 된다 .