이 때 , 최상층 의 티탄 의 산화 막 은 일부 제거 된다 . 그러나 , 보호 절 연막 ( 62 ) 을 구성 하 는 SixNy 와 에칭 가스 사이 의 반응 에 의해 생기 는 표면 생성물 이 최상층 의 티탄 ( 194 ) 의 표면 에 형성 된다 . 도 36 b 에서 계면 상태 ( 202 ) 로서 도시 되 어 있 는 것 은 , 이 표면 생성물 이 형성 된 상태 이 다 .