여기 서 V 는 EFEM 의 볼륨 을 나타내 고 , Q 는 오염 을 제거 하 기 위한 N 2 퍼지 레이트 를 나타내 고 , Cinit 는 초기 O 2 PPM 농도 를 나타내 고 , Cfinal 은 결과 적 인 타 겟 O 2 PPM 농도 를 나타낸다 . 이러 한 관계 로부터 , 트래핑 된 공기 의 볼륨 을 퍼 징하 기 위해 ( O 2 가 EFEM 내 로 허용 되 기 전 에 ) 비교 적 적 은 양 의 N 2 를 사용 하 는 것 의 이점 이 명백 하 다 . 위 의 수학식 으로부터 , 일단 O 2 가 EFEM 의 훨씬 더 큰 볼륨 에 희석 되 면 동일 한 볼륨 의 O 2 를 제거 하 기 위해 비교 적 많 은 양 들 의 N 2 유동 및 시간 이 소비 될 것 이 다 .