또한 , 상기 식각 가스 는 O 2 가스 와 적당 한 혼합비 로 섞 어 사용 할 수 있 다 . O 2 가스 를 함께 쓰 는 이유 는 이산화 규소 가 식각 이 되 면서 불소 ( F ) 를 포함 하 는 불소 계 유기물 이 형성 되 는데 , 이 불소 계 유기물 과 O 2 플 라즈 마가 반응 하 여 식각 후 의 잔류물 ( residue ) 을 제거 해 주 기 때문 이 다 .