도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 진공 용기 ( 1 ) 내 에 는 2 개 의 볼록 상부 ( 4 ) 가 설치 되 어 있 다 . 볼록 상부 ( 4 ) 는 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 과 함께 분리 영역 ( D ) 을 구성 하 기 위해 , 후술 하 는 바 와 같이 , 회전 테이블 ( 2 ) 을 향해 돌출 되 도록 천 장판 ( 11 ) 의 이면 에 설치 되 어 있 다 . 또한 , 볼록 상부 ( 4 ) 는 정상부 가 원호 상 으로 절단 된 부채형 의 평면 형상 을 갖 고 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 내 원호 가 돌출부 ( 5 ) ( 후 술 ) 에 연결 되 고 , 외 원호 가 , 진공 용기 ( 1 ) 의 용기 본체 ( 12 ) 의 내 주면 을 따르 도록 배치 되 어 있 다 .