지금 까지 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 원자 층 증착 설비 및 이 를 이용 한 원자 층 증착 방법 에 따르 면 , 챔버 내 에 질량 분석 계 를 사용 하 여 기체 를 검출 함 으로써 박막 증착 과정 에서 반응 메커니즘 을 모니터링 할 수 있 으며 , 모니터링 결과 를 피드백 하 여 공정 제어 를 용이 하 게 수행 할 수 있 다는 이점 이 제공 된다 .