게이트 절 연막 ( 17 ) 은 산화 실리콘 ( SiOx ) 또는 질화 실리콘 ( SiNx ) 등 의 무기 절연 물질 이 이용 된다 . 소스 / 드레 인 금속 층 은 몰리브덴 ( Mo ) , 알루미늄 ( Al ) , 알루미늄 - 네 오디 미 늄 ( Al - Nd ) , 구리 ( Cu ) , 크롬 ( Cr ) , 티타늄 ( Ti ) 등 의 금속 과 이 들 의 합금 이 단일 층 또는 복수 층 구조 로 형성 된다 .