상기 유전 막 패턴 ( 212 a ) 은 유전 율 이 적어도 10 이상 인 고유 전 율 을 갖 는 금속 산화물 을 포함 할 수 있 다 . 상기 유전 막 패턴 ( 212 a ) 은 탄 탈륨 산화물 ( Ta 2 O 5 ) , 티타늄 산화물 ( TiO 2 ) , 하프늄 산화물 ( HfO 2 ) , 지르코늄 산화물 ( ZrO 2 ) , 하프늄 실리케이트 ( HfSixOy ) , 지르코늄 실리케이트 ( ZrSixOy ) , 질화 하프늄 실리케이트 ( HfSixOyNz ) , 질화 지르코늄 실리케이트 ( ZrSixOyNz ) , 알루미늄 산화물 ( Al 2 O 3 ) , 질화 알루미늄 산화물 ( AlxOyNz ) , 하프늄 알 루미 네이트 ( HfAlxOy ) , 이트륨 산화물 ( Y 2 O 3 ) , 니오븀 산화물 ( Nb 2 O 5 ) , 세슘 산화물 ( CeO 2 ) , 인듐 산화물 ( InO 3 ) , 란 탈륨 산화물 ( LaO 2 ) , 스트론튬 티타늄 산화물 ( SrTiO 3 ) , 납 티타늄 산화물 ( PbTiO 3 ) , 스트론튬 루테늄 산화물 ( SrRuO 3 ) , 칼슘 루테늄 산화물 ( CaRuO 3 ) 물 등 으로 이루어질 수 있 다 . 이 들 은 단독 또는 혼합 하 여 형성 할 수 있 다 .