이후 , 상기 금속 플러그 ( 14 a ) 상부 에 잔존 하 는 보호막 ( 16 ) 을 제거 한다 . 상기 보호막 ( 16 ) 제거 단계 는 상기 2 차 식각 공정 에서 식각 되 지 않 은 보호막 ( 16 ) 부분 을 층간 절 연막 의 제 2 절 연막 ( 12 ) 과 평평 하 게 만드 는 것 으로서 , 버 핑 ( buffing ) CMP 공정 을 통해 이루어진다 .