광학 조립 체 의 필드 면 과 일치 하 는 , 강도 설정 면내 의 필드 강도 설정 디바이스 의 배열 은 , 필드 강도 설정 디바이스 의 조명 - 각도 - 독립 효과 를 다시금 보장 할 수 있 다 . 광학 조립 체 의 필드 면 은 , 조명 광 방사 다발 이 광학 조립 체 의 다발 - 가 이 딩 효과 ( bundle - guiding effect ) 로 인해 수축 되 고 , 조명 광 방사 다발 이 몇몇 의 방사 서브 다발 들 로 분할 되 면 방사 서브 다발 들 이 중첩 되 는 , 면 을 말 한다 . 광학 조립 체 의 필드 면 은 대개 , 광학 조립 체 의 오브젝트 - 필드 - 형성 부품 들 이 이미 징 되 는 면 이 다 . 이렇 더라도 , 광학 조립 체 의 필드 면 은 대체로 , 마이크 로 리소그래피 투영 노광 장치 의 하류 투영 광학 소자 에 의해 이미 징 되 고 대개 오브젝트 면 이 라고 칭해 지 는 , 면 과 는 위치 적 으로 독립 된다 . 모든 종래 기술 의 조명 광학 소자 에 있 어서 , 광학 조립 체 의 필드 면 은 오브젝트 면 과 일치 한다 . 이것 은 진보 적 인 조명 광학 소자 의 사례 가 아니 다 . 여기 서 , 그것 은 , 광학 조립 체 의 필드 면내 에 배열 된 필드 강도 설정 디바이스 이 고 , 이미 징 될 , 대개 레티 클 인 , 오브젝트 는 아니 다 . 종래 기술 의 필드 강도 설정 디바이스 는 대개 , 광학 조립 체 의 필드 면내 에 배열 되 는 레티 클 의 상류 에 배열 되 며 , 환언 하 면 , 그것 들 은 이러 한 필드 면내 에 배열 되 지 않 는다 . 따라서 , 종래 기술 의 강도 설정 디바이스 는 , 다른 조명 각도 들 에 할당 되 는 방사 서브 다발 들 보다 는 , 특정 조명 각도 들 에 할당 되 는 조명 광 방사 다발 의 방사 서브 다발 들 에 더 큰 영향 을 갖 는다 ; 종래 기술 의 필드 강도 설정 디바이스 는 따라서 오브젝트 필드 를 가로지르 는 바람직 하 지 않 은 조명 - 각도 - 종속 효과 를 갖 는다 . 이러 한 문제 는 , 발명자 들 에 의해 인식 되 었 고 광학 조립 체 의 필드 면내 에 필드 강도 설정 디바이스 를 배열 하 는 것 에 의해 제거 되 었 다 . 놀랍 게 도 , 이것 은 어떠 한 문제 도 없이 오브젝트 가 광학 조립 체 의 필드 면 밖 으로 이동 될 수 있 게 한다 . 이것 은 특히 , 조명 광학 소자 를 포함 하 는 , 투영 노광 장치 가 스캐닝 장치 로서 설계 되 면 , 적용 된다 . 게다가 , 이것 은 특히 , 오브젝트 필드 의 조명 이 , 0 . 1 이 하인 , 조명 광 방사 다발 의 개구수 를 사용 하 여 수행 되 면 , 적용 된다 .