도 2 b 에 도시 되 어 있 는 것 같이 , 기판 얼라인먼트 광학계 ( 190 ) 는 , 촬상 소자 191 A 및 191 B , 결상 광학계 192 A 및 192 B 및 하프 미러 ( 193 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 기판 얼라인먼트 광학계 ( 190 ) 는 , 조명 광학계 ( 194 ) , 편광 빔 스플리터 ( 195 ) , 릴레이 렌즈 ( 196 ) , λ / 4 판 ( 197 ) 및 대물 렌즈 ( 198 ) 를 구비 하 고 있 다 .