본 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 에는 , 액침 방식 의 노광 을 실시 하 기 위해서 국소 액침 장치 ( 8 ) 가 형성 되 어 있 다 . 국소 액침 장치 ( 8 ) 는 , 예 를 들 어 액체 공급 장치 ( 5 ) , 액체 회수 장치 ( 6 ) ( 모두 도 1 에서 는 도시 생략 , 도 10 참조 ) , 액체 공급 관 ( 31 A ) , 액체 회수 관 ( 31 B ) 및 노즐 유닛 ( 32 ) 등 을 포함 한다 . 노즐 유닛 ( 32 ) 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 투영 광학계 ( PL ) 를 구성 하 는 가 장 이미 지면 측 ( 웨이퍼 ( W ) 측 ) 에 가까운 광학 소자 , 여기 서 는 렌즈 ( 이하 「 선단 렌즈 」 라고 도 한다 ) ( 191 ) 를 유지 하 는 경통 ( 40 ) 의 하단 부 주위 를 둘러싸 도록 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 도시 가 생략 된 메인 프레임 에 매달려 지 지 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 노즐 유닛 ( 32 ) 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 그 하 단면 이 선단 ( 先端 ) 렌즈 ( 191 ) 의 하 단면 과 거의 동일 한 면 으로 설정 되 어 있 다 . 또한 , 노즐 유닛 ( 32 ) 은 , 액체 ( Lq ) 의 공 급구 및 회수 구와 , 웨이퍼 ( W ) 가 대향 하 여 배치 되 고 , 또 한 회 수구 가 형성 되 는 하면 과 , 액체 공급 관 ( 31 A ) 및 액체 회수 관 ( 31 B ) 과 각각 접속 되 는 공급 유로 및 회수 유로 를 구비 하 고 있 다 . 액체 공급 관 ( 31 A ) 과 액체 회수 관 ( 31 B ) 은 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 평면 에서 볼 때 ( 상방 에서 볼 때 ) X 축 방향 및 Y 축 방향 에 대하 여 대략 45 ° 경사지 고 , 투영 유닛 ( PU ) 의 중심 ( 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) , 본 실시 형태 에서 는 전술 한 노광 영역 ( IA ) 의 중심 과 도 일치 ) 을 통과 하 고 또한 Y 축 과 평행 한 직선 ( 기준 축 ) ( LV 0 ) 에 관하 여 대칭 인 배치 로 되 어 있 다 .