상기 노광 동작 은 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 사전 에 실시 된 웨이퍼 얼라 이 먼 트 ( 예 를 들 어 EGA ) 의 결과 및 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 의 최신 베이스 라인 등 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( W 2 ) 상 의 각 쇼트 영역 의 노광 을 위한 주사 개시 위치 ( 가속 개시 위치 ) 로 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 이동 되 는 쇼트 간 이동 동작 과 , 레티 클 ( R ) 에 형성 된 패턴 을 주사 노광 방식 으로 각 쇼트 영역 에 전사 하 는 주사 노광 동작 을 반복 함 으로써 실시 된다 . 또한 , 웨이퍼 ( W 2 ) 상 의 노광 대상 쇼트 영역 의 행수 가 짝수 행 이 고 , 상기 노광 은 , 이른바 완전 교호 스캔 에 의해 , 도 48 에 있 어서 의 좌측 위 에 위치 하 는 쇼트 영역 으로부터 좌측 아래 에 위치 하 는 쇼트 영역 의 순서 로 실시 된다 .