도 4 e 는 쉘로우 트렌치 ( 406 ) 안쪽 에서 라이너 산화물 층 ( 407 ) 위 에 형성 되 는 질화물 라이너 ( 408 ) 를 도시 하고 있 다 . 질화물 라이너 ( 408 ) 는 질소 또는 아르곤 과 같 은 캐리어 가스 내 에서 암모니아 및 실란 으로부터 플 라즈 마 강화 화학 기상 증착 ( PE - CVD ) 프로세스 에 의해 형성 될 수 있 다 . 질화물 라이너 ( 408 ) 의 목적 은 응력 이 가해진 산화물 들 에 의해 야기 되 는 기계 적 고장 들 을 방지 하 고 쉘로우 트렌치 ( 406 ) 내 에 응력 을 유도 하 는 것 이 다 .