환상 부재 ( 514 ) 는 , 스테이지 ( 505 ) 의 상방 에 배치 되 어 있 다 . 스테이지 ( 505 ) 를 웨이퍼 ( W ) 의 처리 위치 ( 도 5 참조 ) 까지 이동 시킨 상태 에서 , 환상 부재 ( 514 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 외 주부 와 접촉 하 여 , 환상 부재 ( 514 ) 의 자중 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 에 압박 한다 . 한편 , 스테이지 ( 505 ) 를 웨이퍼 ( W ) 의 전달 위치 ( 도시 하 지 않 음 ) 까지 이동 시킨 상태 에서 , 환상 부재 ( 514 ) 는 , 반입 출구 ( 501 a ) 보다 도 상방 에서 도시 하 지 않 은 걸 림 지지 부 에 의해 걸림 지지 된다 . 이 에 의해 , 반송 기구 ( 201 ) ( 도 3 참조 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 전달 을 저해 하 지 않 게 되 어 있 다 .