제 2 실시 형태 에 있 어서 는 , 적산 부 ( 31 ) 는 , 플래시 광 의 조사 가 개시 된 시각 ( t 2 ) 으로부터 플래시 램프 ( FL ) 에 의한 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 플래시 가열 이 종료 되 는 시각 ( t 3 ) 까지 의 기간 에 방사 온도계 ( 140 ) 에 의해 측정 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 표면 온도 를 적산 하 여 표면 온도 적 산치 ( FS ) 를 산정 한다 . 마찬가지 로 , 적산 부 ( 31 ) 는 , 시각 ( t 2 ) 으로부터 시각 ( t 3 ) 까지 의 기간 에 방사 온도계 ( 120 ) 에 의해 측정 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 이면 온도 를 적산 하 여 이면 온도 적 산치 ( BS ) 를 산정 한다 .