도 11 및 도 12 는 , 제 4 실시 형태 에 관한 처리 장치 ( 1 D ) 를 각각 단면도 로 나타내 고 있 고 , 도 13 은 , 이 처리 장치 ( 1 D ) 에 적용 되 는 분출 노즐 ( 50 ) 의 구체 적 인 구성 을 단면도 로 나타내 고 있 다 . 제 4 실시 형태 에 관한 처리 장치 ( 1 D ) 는 , 내부 배관 ( 31 ) 을 경유 하 는 일 없이 에어 공급 배관 ( 30 ) 이 직접 분출 노즐 ( 50 ) 에 접속 되 어 있 는 점 , 분출 노즐 ( 50 ) 이 이하 와 같 은 구성 을 갖 고 있 는 점 에서 , 주로 제 1 실시 형태 의 처리 장치 ( 1 A ) 와 구성 이 상위 하 다 .