도 23 은 복수 의 반응 실 을 구비 한 멀티 챔버 플 라즈 마 CVD 장치 의 일례 를 도시 한다 . 이 장치 는 공 통실 ( 423 ) 과 , 로드 / 언로 드실 ( 422 ) , 제 1 반응 실 ( 400 a ) , 제 2 반응 실 ( 400 b ) , 제 3 반응 실 ( 400 c ) , 제 4 반응 실 ( 400 d ) 을 구비 한 구성 으로 되 어 있 다 . 로드 / 언로 드실 ( 422 ) 의 카세트 에 장전 되 는 기판 은 , 공 통실 ( 423 ) 의 반송 기구 ( 426 ) 에 의해서 각 반응 실에 반 출입 되 는 매 엽 식 의 구성 이 다 . 공 통실 ( 423 ) 과 각 실 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 425 ) 가 구비 되 고 , 각 반응 실 에서 행하 여 지 는 처리 가 , 서로 간섭 하 지 않 도록 구성 되 어 있 다 .