상기 프로브 카드 ( 20 ) 는 상기 콘 택 요소 들 ( 22 ) 의 상기 제 2 말 단부 ( 24 B ) 에 접할 수 있 도록 구성 된 제 1 면 ( F 1 ) 및 상기 제 1 면 ( F 2 ) 의 반대편 의 제 2 면 ( F 2 ) 을 갖 는 유연 막 ( flexible membrane ) ( 25 ) 을 더 포함 하 는데 , 상기 제 2 면 ( F 2 ) 은 도 2 a 의 국지 기준계 ( local reference system ) 에 따라 하부 면 , 즉 피검 소자 를 향하 는 면 에 해당 하 며 , 상기 제 1 면 ( F 1 ) 은 도 2 a 의 국지 기준 계 에 따라 상부 면 , 즉 상기 테스트 헤드 ( 21 ) 를 향하 는 면 에 해당 한다 .