플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 또한 제 1 고주파 전원 ( 51 ) 및 제 2 고주파 전원 ( 52 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 1 고주파 전원 ( 51 ) 은 플라 즈 마 생 성용 의 제 1 고주파 전력 을 발생 시키 는 전원 이 다 . 제 1 고주파 전력 의 주파수 는 , 예 를 들 어 , 27 MHz 이상 이 다 . 제 1 고주파 전원 ( 51 ) 은 정합 기 ( 53 ) 를 사이 에 두 고 하부 전극 ( 20 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 53 ) 는 , 부하 측 ( 하부 전극 ( 20 ) 쪽 ) 임피던스 를 제 1 고주파 전원 ( 51 ) 의 출력 임피던스 에 정합 시키 기 위한 매칭 회로 를 갖 는다 . 한편 , 제 1 고주파 전원 ( 51 ) 은 , 하부 전극 ( 20 ) 이 아니 라 정합 기 ( 53 ) 를 사이 에 두 고 상부 전극 ( 30 ) 에 접속 되 어 있 을 수 도 있 다 .