구체 적 인 예 로 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 를 300 ~ 600 ℃ 로 설정 하 여 가시성 페럴 린 성막 용 유닛 으로 사용 하 고 , 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 를 600 ~ 800 ℃ 로 설정 하 여 투명 페럴 린 성막 용 유닛 으로 사용 하 여 다층 공정 으로 구성 할 수 있 으며 , 이 를 통해 가시성 과 절연 성 을 동시 에 갖 는 필름 으로 성막 할 수 있 게 된다 .