또한 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 내 에 는 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 내 의 처리 유닛 밖 의 용제 분위기 를 검출 하 는 가스 농도 센서 ( 66 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 가스 농도 센서 ( 66 ) 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 가스 농도 센서 ( 66 ) 에 의해 검출 된 검지 신호 는 컨트롤러 ( 100 ) 에 전달 되 고 , 컨트롤러 ( 100 ) 로부터 의 제어 신호 에 기초 하 여 , 상기 용제 증기 공급원 ( 70 ) 의 가열 전원 ( 81 ) , 기체 유량 조정 밸브 ( 78 a ) , 유량 제 어부 ( 79 c ) 및 온도 조 절부 ( 76 a ) 가 제어 되 어 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 내 의 스무 딩 처리 유닛 ( 51 ) 에 공급 되 는 용제 증기 의 농도 가 소정 농도 로 조정 된다 .