이어서 , 상기 캡 웨이퍼 ( 120 ) 의 하부 면 에 캐 비티 ( C ) 를 형성 하 기 위해서 , 도 4 ( c ) 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 캡 웨이퍼 ( 120 ) 의 하부 면 에 형성 된 접합 용 상부 패턴 ( 122 ) 을 보호 하 도록 감싸 는 보호 마스크 ( 123 ) 를 형성 한 다음 , 도 4 ( d ) 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 캡 웨이퍼 ( 120 ) 의 하 부면 을 샌드 블라 스팅 과 같 은 건 식식 각 방식 또는 습식 식각 방식 에 의해서 식각 처리 함 으로서 하부 로 개방 된 캐비 티 ( C ) 를 형성 하 게 된다 .