제어 모드 6 은 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 을 통해 제 1 가스 ( G 1 ) 를 비활성 화 상태 로 분사 함 과 아울러 제 2 가스 ( G 2 ) 를 활성 화 시켜 분사 하 고 , 제 2 가스 분사 모듈 ( 130 b ) 을 통해 제 1 가스 ( G 1 ) 만 을 비 활성 화 상태 로 분사 하 며 , 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 d ) 을 통해 제 2 가스 ( G 2 ) 만 을 활성 화 시켜 분사 한다 . 이때 , 제 2 가스 ( G 2 ) 는 전술 한 바 와 같이 플 라즈 마 에 의해 활성 화 된다 . 이러 한 제어 모드 6 의 경우 , 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 은 전술 한 도 3 또는 도 6 에 도시 된 바 와 같이 구성 되 되 , 제 2 가스 분사 모듈 ( 130 b ) 은 제어 모듈 의 제어 에 따라 제 1 가스 ( G 1 ) 만 을 비 활성 화 상태 로 분사 하 고 , 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 d ) 은 제어 모듈 의 제어 에 따라 제 2 가스 ( G 2 ) 만 을 활성 화 시켜 분사 한다 .