이론 에 의해 구속 되 는 것 을 바라지 는 않 으나 , 상기 알 킬 아미노 테트라 졸 이 상기 식각 액 조성물 내 에 포함 될 경우 금속 막 의 식각 시 식각 속도 를 조절 하 고 프로 파일 을 형성 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 금속 막 , 구체 적 으로 구리 막 및 / 또는 티타늄 막 의 과 식각 을 억제 하 여 금속 배선 이 유실 되 는 것 을 방지 할 수 있 는 이점 이 있 다 .