반송 로봇 ( 300 ) 은 블레이드 부재 ( 320 ) , 아암 부재 ( 340 ) , 회전체 ( 360 ) , 그리고 구동 부재 ( 미 도시 ) 를 가진다 . 기판 ( W ) 은 블레이드 부재 ( 320 ) 에 놓인다 . 블레이드 부재 ( 320 ) 는 아암 부재 ( 340 ) 와 함께 이동 되 고 , 아암 부재 ( 340 ) 에 대해 회전 가능 하 게 제공 된다 . 구동 부재 ( 미 도시 ) 는 아암 부재 ( 340 ) 또는 블레이드 부재 ( 320 ) 에 구동력 을 제공 한다 .