세정액 에 의해 웨이퍼 세정 이 이루어지 는 처 리조 와 , 회전 팬 을 구비 하 여 처 리조 내 에서 회전 할 수 있 도록 배치 되 며 , 웨이퍼 를 장착 할 수 있 는 지지대 와 , 지지대 를 장착 하 도록 처 리조 내 에 설치 된 고정 로드 와 , 그리고 처 리조 내 에 세정액 을 공급 하 기 위한 공급 관 을 포함 하 여 구성 되 는 웨이퍼 세정 장치 를 제시 한다 .