본 발명 은 , 기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 에 관한 것 이 다 . 처리 대상 의 기판 에 는 , 예 를 들 어 , 반도체 웨이퍼 , 액정 표시 장치 용 기판 , 플라 즈 마 디스플레이 용 기판 , FED ( Field Emission Display ) 용 기판 , 광디스크 용 기판 , 자기 디스크 용 기판 , 광자기 디스크 용 기판 , 포토 마스크 용 기판 , 세라믹 기판 , 태양 전지용 기판 등 이 포함 된다 .