제어 장치 ( 5 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 교환 후 , 최초 에 웨이퍼 W 를 반송 할 때 에 , 상술 한 설치 이상 의 판단 동작 을 , 자동 적 으로 실행 해도 된다 . 이 와 같 은 구성 에 의해 , 기판 처리 장치 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 설치 가 이상 한 상태 인 채 로 , 웨이퍼 W 의 생산 을 행하 는 리스크 를 감소 시킬 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 교환 후 , 작업자 는 수동 으로 상술 한 설치 이상 의 판단 동작 을 실행 해도 된다 .