배선 ( 154 ) 은 , PVD 법 이나 CVD 법 을 사용 하 여 상기 도전 층 을 형성 한 후 , 상기 도전 층 을 패 터닝 함 으로써 형성 된다 . 또한 , 도전 층 의 재료 로서 는 , 알루미늄 , 크롬 , 구리 , 탄탈 , 티타늄 , 몰리브덴 , 텅스텐 중 에서 선택 된 원소 나 , 상술 한 원소 를 성분 으로 하 는 합금 등 을 사용 할 수 있 다 . 망간 , 마그네슘 , 지르코늄 , 베릴륨 , 네오디뮴 , 스칸듐 중 어느 것 또는 이 들 을 복수 조합 한 재료 를 사용 하 여도 좋 다 .