실시 예 1 에서 는 , 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 조명 조리개 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 절환 함 으로써 , 다른 2 개 의 조명조 건하 에서 의 베스트 포커스 위치 의 차분 으로부터 구면 수차 를 구하 는 방법 을 설명 했 다 . 그러나 , 본 발명 은 도 3 의 점선 ( 20 ) 과 실선 ( 21 ) 에 의해 도시 된 바 와 같이 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 간 의 차이 를 형성 하 는 한 계측 조건 은 조명 조건 의 절환 에 만 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 동일 한 조명 조건 ( 즉 , 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 동일 한 조명 조리개 ( 도시 하 지 않 음 ) ) , 레티 클 ( 1 ) 상 또는 레티 클 기준 플레이트 ( 13 ) 상 에 형성 된 레티 클 마크 ( 도시 하 지 않 음 ) 의 피치 를 변경 하 여도 된다 . 이 경우 , 2 개 의 측정 조건 ( 즉 , 2 개 의 다른 피치 ) 하 에서 구면 수차 에 대한 베스트 포커스 위치 의 차이 에 의해 구면 수차 를 구한다 .