제 1 로드 락 챔버 ( 130 a ) 는 이 와 같이 12 장 의 기판 ( s ) 을 수용 하 고 있 다가 이송 챔버 ( 12 ) 를 통해 세미 배치 타입 의 제 1 또는 제 2 공정 챔버 ( 120 a , 120 b ) 로 6 장 씩 의 기판 을 전달 하 고 , 반대 로 제 1 또는 제 2 공정 챔버 ( 120 a , 120 b ) 에서 공정 을 마친 기판 ( s ) 을 6 장 씩 전달 받 는다 .