상기 n 형 전극 패턴 ( 123 ) 은 n 형 오 믹 컨 택 패턴 ( 120 a ) 및 n 형 도전 패턴 ( 130 a ) 이 순차 적 으로 적층 된 구조 를 가질 수 있 다 . 상기 n 형 오 믹 컨 택 패턴 ( 120 a ) 은 n 형 GaAs 를 포함 할 수 있 다 . 상기 n 형 도전 패턴 ( 130 a ) 은 상기 n 형 오 믹 컨 택 패턴 ( 120 a ) 과 오 믹 접합 을 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예컨대 , 상기 n 형 도전 패턴 ( 130 a ) 은 베릴륨 ( Be ) 을 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 n 형 도전 패턴 ( 130 a ) 은 베릴륨 및 금 이 적층 된 구조 일 수 있 다 .