본 발명 의 또 다른 실시 형태 는 , 기판 을 유지 하 는 기판 유지 유닛 과 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 을 향해 처리 액 을 토출 하 는 제 1 노즐 과 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 되 는 처리 액 을 보내 는 송액 장치 와 , 상기 송액 장치 에 의해 보내 진 처리 액 을 제 1 분기 부 에 안내 하 는 공통 배관 과 , 상기 제 1 분기 부 로부터 상기 제 1 노즐 에 처리 액 이 흐르 도록 항상 열려 있 으며 , 상기 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 상기 제 1 분기 부 로부터 상기 제 1 노즐 에 안내 하 는 제 1 공급 배관 과 , 상기 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 상기 제 1 공급 배관 과 는 상이 한 경로 를 따라 상기 제 1 분기 부 로부터 안내 하 는 제 1 리턴 배관 과 , 상기 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 이 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 보다 커 지 도록 압력 손실 을 규정 하 는 제 1 압력 손실 규정 유닛 과 , 상기 제 1 리턴 배관 의 유로 면적 을 감소 시킴 으로써 , 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 크 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 1 공급 배관 에 흐르 게 하 는 제 1 토출 실행 상태 와 , 상기 제 1 토출 실행 상태 일 때 보다 상기 제 1 리턴 배관 의 유로 면적 을 증가 시킴 으로써 , 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 작 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 1 리턴 배관 에 흐르 게 하 는 제 1 토출 정지 상태 로 전환 되 는 제 1 토출 밸브 를 구비 하 고 , 상기 제 1 압력 손실 규정 유닛 은 , 처리 액 이 흐르 는 내부 유로 를 형성 하 는 밸브 바디 와 상기 내부 유로 내 에 배치 된 밸브 체 와 상기 밸브 체 를 임의 의 위치 에 정지 시키 는 전동 액추에이터 가 설치 된 전동 밸브 를 포함 하 는 , 기판 처리 장치 를 제공 한다 .