이어서 , 게이트 밸브 ( G 17 ) 가 개방 되 고 , 진공 반 송실 ( 313 ) 과 진공 처리 실 ( 405 ) 이 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 503 ) 의 반송 아암 ( 513 ) 이나 진공 처리 실 ( 405 ) 내 의 웨이퍼 승강 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 등 을 이용 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 진공 처리 실 ( 405 ) 내 의 미리 극저온 이 된 탑재 대 ( 41 ) 에 탑재 된다 .