ALD 방법 은 원소 성 및 화합물 성 박막 모두 성장 하 는 데 사용 될 수 있 다 . ALD 는 사이클 에서 반복 되 는 다른 2 개 이상 의 반응물 을 수반 할 수 있 으며 , 상이 한 사이클 은 상이 한 수 의 반응물 을 가질 수 있 다 . 순수 한 ALD 반응 은 사이클 당 단일 층 보다 작 게 생성 하 는 경향 이 있 지만 , ALD 의 변형 은 사이클 당 단일 층 보다 많이 증착 할 수 있 다 .