기판 ( 2 ) 또는 마이크 로 니들 ( 4 ) 의 제조 방법 으로 는 , 실리콘 기판 을 사용 한 웨트 에칭 가공 또는 드라이 에칭 가공 , 금속 혹은 수지 를 사용 한 정밀 기계 가공 ( 방전 가공 , 레이저 가공 , 다 이싱 가공 , 핫 엠보싱 가공 , 사출 성형 가공 등 ) , 기계 절삭 가공 등 을 들 수 있 다 . 이 들 가공법 에 의해 , 기판 ( 2 ) 과 마이크 로 니들 ( 4 ) 은 일체 로 성형 된다 . 마이크 로 니들 ( 4 ) 을 중공 으로 하 는 방법 으로 는 , 마이크 로 니들 ( 4 ) 을 제작 후 , 레이저 등 으로 2 차 가공 하 는 방법 을 들 수 있 다 .