또한 , 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 하 여 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 이송 되 는 연마 액 을 냉각 시키 는 열교 환부 ( 560 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 상세히 설명 하 면 연마 액 은 제 1 순환 부 ( 400 ) 와 제 2 순환 부 ( 500 ) 를 순환 하 는 과정 에서 순환 유로 를 형성 하 는 각 장치 들 과 의 마찰 , 연마 액 을 구성 하 는 각 용액 간 의 화학 작용 에 의해 온도 가 상승 하 게 되 며 , 이러 한 온도 상승 은 연마 액 성질 을 변화 시키 는 요인 으로 작용 할 수 있 으므로 , 본 발명 에서 는 상기 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 한 연마 액 이 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 이송 되 는 경로 상 에 열교 환부 ( 560 ) 를 형성 하 여 , 연마 액 이 일정 이하 의 온도 로 냉각 된 상태 로 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 주입 되 어 , 연마 액 탱크 ( 100 ) 에 저장 되 어 있 는 연마 액 의 온도 를 낮출 수 있 게 한 것 이 다 .