또한 , 롤 브러시 를 이용 한 세정 공정 에서 는 상부 및 하부 롤 브러시 간 의 간격 이 너무 큰 경우 에 는 기판 과 의 가압 정도 가 약하 여 기판 표면 의 파티클 이 잘 제거 되 지 않 으며 , 간격 이 너무 작 은 경우 에 는 기판 과 의 가압 정도 가 심하 여 기판 표면 에 손상 을 줄 수 있 으므로 , 공정 조건 에 따라 상부 및 하부 롤 브러시 의 간격 을 적절히 조절 할 수 있 는 롤 브러시 간격 조절 장치 가 제시 된 바 있 다 .