또한 , 상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 따른 액정 표시 장치 의 제조 방법 은 , 기판 상 에 버퍼 층 을 형성 하 는 단계 , 상기 버퍼 층 상 에 비정질 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 비정질 실리콘 막 을 동일 한 프로세스 챔버 에서 동시 에 탈수소 화 및 결정 화 하 는 단계 , 상기 결정 화 된 폴리 실리콘 막 을 마스크 를 이용 하 여 패 터닝 하 여 액티브 층 을 형성 하 는 단계 , 상기 액티브 층 을 포함 한 상기 기판 전면 에 게이트 절 연막 을 증착 하 는 단계 , 상기 게이트 절 연막 상 에 게이트 전극 을 패 터닝 하 여 형성 하 는 단계 , 상기 액티브 층 에 상기 게이트 전극 을 마스크 로 이용 하 여 불순물 을 주입 하 여 소스 영역 , 드레 인 영역 및 채널 영역 을 형성 하 는 단계 , 상기 기판 을 열처리 를 통해 활성 화 하 는 단계 , 상기 게이트 전극 상 에 상기 소스 영역 및 드레 인 영역 의 표면 일부 를 노출 시키 는 콘 택 홀 을 포함 하 는 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 , 상기 층간 절 연막 상 에 콘 택 홀 을 통해 상기 소스 영역 에 드레 인 영역 과 전기 적 으로 연결 되 는 소스 전극 및 드레 인 전극 을 형성 하 는 단계 , 상기 소스 전극 및 드레 인 전극 상 에 상기 드레 인 전극 의 표면 일부 를 노출 시키 는 비 아홀 을 포함 하 는 보호 층 을 형성 하 는 단계 , 및 상기 보호 층 상 에 비 아홀 을 통해 상기 드레 인 전극 과 전기 적 으로 연결 되 는 화소 전극 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .