성막 시 가스 압 은 , 막 의 응력 , 내약품성 , 내 세정 내성 등 을 고려 하 여 적절 하 게 설정 할 수 있 고 , 통상 0 . 01 내지 1 Pa , 특히 0 . 03 내지 0 . 3 Pa 로 함 으로써 , 내약품성 이 향상 된다 . 또한 , 스퍼터 타 겟 에 투입 하 는 전력 은 타 겟 의 크기 , 냉각 효율 , 성막 의 컨트롤 용이성 등 에 의해서 적절 하 게 설정 할 수 있 으며 , 통상 0 . 1 내지 5 W / ㎠ 로 할 수 있 다 .