또한 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 에 고정 의 계측 부 및 FD 바 등 의 테이블 본체 ( 34 ) 에 대한 돌출부 가 형성 되 는 경우 에 대하 여 설명 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 돌출부 가 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 사이 에서 의 액침 영역 의 수수 를 주목적 으로 하 는 경우 에 는 , 이 돌출부 는 가동 이 어도 된다 . 이 경우 , 예 를 들 어 돌출부 는 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 스크럼 시 에 만 대략 수평 상태 로 하 고 , 스크럼 시 이외 에 , 즉 비 사용 시 에 는 , 접 어 두 는 것 으로 해도 된다 . 또한 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 계측 부 및 FD 바 가 돌출부 를 겸용 하 는 것 으로 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 전용 의 고정 돌출부 를 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 에 형성 해도 된다 .