상기 캐 핑 막 및 상기 게이트 도전 막 을 패 터닝 하 여 캐 핑 절 연막 패턴 ( 109 ) 및 게이트 도전 막 패턴 ( 107 ) 을 형성 한다 . 결과 적 으로 , 상기 캐 핑 절 연막 패턴 ( 109 ) 및 상기 게이트 도전 막 패턴 ( 107 ) 은 상기 활성 영역 을 가로지르 는 게이트 패턴 ( 110 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 경우 , 상기 게이트 절연 막 은 상기 게이트 패턴 ( 110 ) 을 형성 하 면서 같이 패 터닝 되 어 게이트 절 연막 패턴 ( 105 ) 으로 형성 될 수 있 다 .