그렇지만 , 검출 장치 를 구성 하 는 3 개 이상 의 검출기 의 초점면 과 기판 위 의 마크 의 Z 방향 에 있 어서 의 위치 가 상대 적 으로 어긋나 면 , 디 포커스 가 생겨 , 모든 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 마크 를 얼라인먼트 할 수 없 는 경우 가 있 다 . 이 에 따라 , 마크 의 계측 정밀도 가 저하 하 여 , 노광 광 에 대한 기판 의 얼라인먼트 정밀도 가 저하 할 가능 성 이 있 다 . 이 문제 를 해소 하 기 위해 , 적어도 2 개 검출기 에 대하 여 기판 을 기울여서 얼라인먼트 를 행함 으로써 , 복수 의 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 마크 를 정렬 하 는 방법 이 있 다 . 2 개 의 검출기 의 경우 에 는 , 기판 의 자세 를 변화 시킴 으로써 , 검출기 와 기판 위 의 마크 의 Z 위치 에 있 어서 의 상대 위치 시프트 를 조정 하 는 것 이 가능 해진다 . 그러나 , 기판 의 자세 를 변화 시키 는 경우 에 는 , 기판 의 자세 에 따라 계측 값 이 변화 된다고 하 는 새로운 과제 가 생긴다 .