예컨대 , 상기 이온 소스 ( 102 ) 는 상기 도전 성 불순물 을 소스 가스 의 형태 로 공급 하 는 소스 가스 공급 부 와 , 상기 도전 성 불순물 의 소스 가스 를 대전 시키 기 위해 열전자 ( thermal electron ) 를 방출 하 는 필라멘트 ( filament ) 와 , 상기 열전자 에 의해 대전 되 는 도전 성 불순물 이온 으로부터 방출 되 는 2 차 전자 를 포획 하 는 소스 억제 전극 ( source suppression electrode ) 과 , 상기 도전 성 불순물 이온 을 상기 질량 분석기 ( 104 ) 를 향해 가속 시키 는 소스 가속 전극 ( source acceleration electrode ) 으로 이루어진다 .