도 6 에 , 본 실시 형태 의 구조 를 채용 한 격막 진공계 의 계측 결과 를 예시 한다 . 계측 개시 시 , 풀 스케일 의 압력 을 인가 한 후 , 진공 화 한다 . 도 6 에 는 , 이때 의 복귀 상황 을 종래 의 것 과 비교 하 여 도시 하고 있 다 . 도 6 에 있 어서 , 점선 으로 나타낸 특성 I 는 본 실시 형태 의 구조 를 채용 한 격막 진공계 의 센서 출력 의 변화 를 나타내 고 , 실선 으로 나타낸 특성 II 는 종래 의 구조 를 채용 한 격막 진공계 의 센서 출력 의 변화 를 나타낸다 .