검사 툴 은 일반 적 으로 검출 된 광 을 강도 값 에 대응 하 는 검출 된 신호 로 변환 하 도록 동작 가능 할 수 있 다 . 검출 된 신호 는 레티 클 의 상이 한 위치 에서 상이 한 강도 값 에 대응 하 는 진폭 값 을 갖 는 전자기 파형 의 형태 를 취할 수 있 다 . 검출 된 신호 는 또한 간단 한 강도 값 리스트 및 관련 된 레티 클 포인트 좌표 의 형태 를 취할 수 있 다 . 검출 된 신호 는 또한 레티 클 상 의 상이 한 위치 또는 스캔 포인트 에 대응 하 는 상이 한 강도 값 을 갖 는 이미지 의 형태 를 취할 수 있 다 . 검출 된 신호 는 또한 주사 전자 현미경 ( scanning electron microscope ) 이미지 또는 임의 의 다른 적절 한 유형 의 이미지 의 형태 를 취할 수 있 다 . 레티 클 의 모든 위치 가 스캔 되 고 검출 된 신호 로 변환 된 후 에 레티 클 이미지 가 또한 생성 될 수 있 거나 , 각 레티 클 부분 이 스캔 됨 에 따라 레티 클 이미지 의 부분 들 이 생성 되 어 전체 레티 클 이 스캔 된 후 최종 레티 클 이미지 가 완성 될 수 있 다 .