도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 컨 택트 플러그 들 ( 28 ) 은 패드 개구부 ( 30 ) 를 제외 한 소자 표면 전극 ( 27 ) 의 영역 과 내부 전극 ( 26 ) 사이 에 형성 된다 . 다시 말 하 면 , 컨 택트 플러그 들 ( 28 ) 은 소자 표면 전극 ( 27 ) 과 내부 전극 ( 26 ) 사이 의 일부 에 형성 되 며 , 이 일부 는 실리콘 반도체 기판 ( 10 ) 의 표면 에 수직 하 는 방향 에서 볼 때 패드 개구부 ( 30 ) 와 겹치 지 않 는다 . 또한 , 컨 택트 플러그 들 ( 28 ) 은 소자 표면 전극 ( 27 ) 과 내부 전극 ( 26 ) 사이 의 일부 에 형성 되 며 , 이 일부 는 실리콘 반도체 기판 ( 10 ) 의 표면 에 수직 하 는 방향 에서 볼 때 스루홀 ( 스루홀 전극 ; 40 ) 과 겹치 지 않 는다 .