도 1 f 를 참조 하 면 , 상기 복수 의 다중 층 마스크 패턴 ( 134 ) 의 측벽 및 상면 과 , 상기 다 중층 마스크 패턴 ( 134 ) 사이 에서 노출 되 는 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 위 에 버퍼 층 ( 140 ) 을 형성 한다 . 상기 버퍼 층 ( 140 ) 의 상부 에 는 상기 복수 의 다중 층 마스크 패턴 ( 134 ) 사이 의 공간 에 리세 스 ( 142 ) 가 형성 된다 .