토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 토출 하 기 위한 준비 를 행하 도록 구성 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 노즐 ( 31 ) 로부터 의 처리 액 의 토출 을 개시 하 기 전 에 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 처리 액 의 압력 ( 이하 , 「 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 」 이 라고 함 ) 을 조절 한다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 토출 밸브 ( 72 ) 가 닫힌 상태 에서 , 송액 부 ( 60 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 을 변경 한다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 예 를 들 어 압력 측 정부 ( 69 ) 로부터 얻 어 지 는 측정값 에 기초 하 여 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 이 설정 값 에 접근 하 도록 , 펌프 구동 부 ( 77 ) 를 제어 한다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 과 상기 설정 값 의 편차 에 따라 , 당해 편차 가 제로 에 접근 하 도록 펌프 구동 부 ( 77 ) 로부터 펌프 ( 76 ) 에 의 구 동압 을 조절 해도 된다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 송액 부 ( 60 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 상태 에서 토출 밸브 ( 72 ) 를 개방 한다 .