아 나모 픽 균일화 광학계 ( 56 ) 와 관련 하 여 전술 한 바 와 같이 , 부분 광 빔 ( 46 ) 으로 이루어진 광 빔 은 y - 축 을 따라 균일 한 강도 를 얻 기 위해 아 나모 픽 균일화 광학계 ( 56 ) 를 사용 하 여 장축 ( y - 축 ) 을 따라 공간 적 으로 중첩 된다 . 단축 을 따른 광 빔 의 중첩 도 나타난다 . 특히 , 이미지 평면 에서 제 1 계단 미러 요소 들 ( 40 ) 을 이미 징하 는 부분 광 빔 들 ( 46 ) 이 중첩 된다 .