그러나 디자인 룰 감소 에 따라 희생 게이트 의 폭 은 감소 하 고 그 높이 는 증가 하 기 때문 에 , 희생 게이트 제거 공정 및 게이트 전극 형성 공정 에서 의 개구부 의 종횡비 가 현저히 증가 하 는 문제 가 있 다 . 상기 개구부 의 종횡비 가 현저히 증가 하 는 경우 에 천트 또는 소스 물질 의 공급 이 충분히 이루어지 지 못하 여 희생 게이트 의 제거 공정 , 소스 / 드레 인 영역 형성 공정 , 및 / 또는 게이트 전극 의 형성 공정 이 정밀 하 게 조절 되 지 못한다 . 이러 한 경우 에 각각 의 트랜지스터 소자 들 의 전기 적 특성 편차 가 커질 수 있 다 .