( 4 ) 각각 의 실시 예 에 있 어서 , 시트 재 를 첩부 할 대상 이 되 는 워크 로서 , 평면 으로 보 아 원형 의 웨이퍼 ( W ) 를 예시 하 였 지만 , 워크 의 형상 및 재료 는 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 본 실시 예 에 관한 구성 은 , 기판 , 패널 , 웨이퍼 등 각종 반도체 용 부재 를 워크 로서 적용 할 수 있 다 . 또한 워크 의 형상 으로서 는 원 형상 외 에 , 직사각 형상 , 다각 형상 , 대략 원 형상 등 이 어도 된다 .