[ 0021 ] 시스템 ( 100 ) 은 , 플라 즈 마 챔버 ( 102 ) , 정전 척 ( 104 ) , 냉각 베이스 ( 106 ) , 척 킹 메시 ( chucking mesh ) ( 108 ) , 펄스 형 DC 소스 ( 120 ) ( 또는 펄 싱 소스 ) , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) , 에지 링 ( 150 ) , 및 애노드 ( 160 ) 를 포함 한다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 척 킹 메시 ( 108 ) 는 정전 척 ( 104 ) 에 매립 된다 . 정전 척 ( 104 ) 은 워크 피스 를 지지 하 는 한편 , 냉각 베이스 ( 106 ) 는 정전 척 ( 104 ) 을 지지 한다 . 플 라즈 마 챔버 ( 102 ) 는 복수 의 핀 들 ( 122 ) 을 더 포함 하 며 , 그 복수 의 핀 들 ( 122 ) 은 하나 의 단부 에서 냉각 베이스 ( 106 ) 상 에 배치 되 고 , 정전 척 ( 104 ) 을 통해 연장 되 어 다른 단부 에서 웨이퍼 ( 105 ) 와 접촉 한다 .