실리콘 기판 위 에 질화 금속 실리케이트 를 포함 한 절 연막 을 형성 하 는 방법 은 , 상기 실리콘 기판 위 에 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 을 , 비산 화 분위기 중 에서 스퍼터링 법 을 이용 해서 퇴적 하 는 제 1 의 공정 과 , 상기 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 을 질화 해서 질소 , 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 을 형성 하 는 제 2 의 공정 과 , 상기 질소 , 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 을 산화 해서 질화 금속 실리케이트 막 을 형성 하 는 제 3 의 공정 을 포함 한다 .