도 6 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 를 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 7 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 를 도시 하 는 종단 면도 이 며 , 도 6 에서 의 B - B 선 을 따른 종단 면도 이 다 . 제 2 실시 형태 는 , 확산 부 가 기부 ( 21 ) 의 내부 에 마련 된 점 이 , 제 1 실시 형태 에서 의 확산 부 ( 28 ) 와 다르 다 .