이 와 같 은 플 라즈 마 를 이용 한 식각 과정 중 발생 하 는 미립자 또는 식각 가스 에 의해 폴리머 ( polymer ) 가 발생 하 게 된다 . 이러 한 폴리머 는 챔버 ( 1 ) 내부 는 물론 챔버 윈도우 ( 2 ) 에 부착 되 는 문제 가 발생 한다 . 물론 식각 공정 완료 후 에 이러 한 폴리머 를 제거 할 수 있 다 . 하지만 식각 공정 중 에 폴리머 가 챔버 윈도우 ( 2 ) 에 쌓이 게 되 면 챔버 내 에서 발생 된 플 라즈 마 를 제대로 모니터링 할 수 없 게 되 는 문제 가 발생 한다 . 즉 , 챔버 윈도우 ( 2 ) 에 폴리머 가 쌓이 게 되 면 챔버 내부 의 플 라즈 마의 빛 이 챔버 윈도우 를 통해 투과 되 지 못하 여 원활 한 식각 이 이루 어 졌 는지 에 관한 모니터링 을 하 지 못하 게 된다 .