다시 제 1 층간 절 연막 ( 16 ) 위 에 제 2 층간 절 연막 ( 17 ) 을 증착 시켜서 도 2 ( e ) 와 같 은 형상 이 되 도록 한다 . 여기 서 제 2 층간 절 연막 ( 17 ) 을 증착 시키 는 이유 는 제 1 층간 절 연막 ( 16 ) 의 상부 에 생성 된 스 크레 치 형상 ( 21 ) 을 제 2 층간 절 연막 ( 17 ) 으로 채워서 제 1 층간 절 연막 ( 16 ) 의 상부 면 ( A ) 의 스 크레 치 형상 ( 21 ) 을 제거 하 기 위함 이 다 . 여기 서 제 1 층간 절 연막 ( 16 ) 의 상부 면 ( A ) 이 라 함 은 스 크레 치 가 생기 지 않 았 을 경우 의 제 1 층간 절 연막 의 상부 면 을 의미 한다 .