전계 효과 트랜지스터 의 피쳐 사이즈 ( feature size ) 가 감소 함 에 따라 , 게이트 길이 와 그 아래 에 형성 되 는 채널 의 길이 도 작아지 게 된다 . 이 에 따라 , 집 적 회로 들 의 성능 을 결정 하 는 중요 한 인자 인 트랜지스터 들 의 동작 안정 도 및 신뢰 성 을 향상 시키 기 위하 여 집적회로 소자 의 제조 공정 및 구조 를 개선 하 기 위한 다양 한 노력 이 이루어지 고 있 다 .