소형 화 , 다 기능 화 및 / 또는 낮 은 제조 단가 등 의 특성 들 로 인하 여 반도체 소자 는 전자 산업 에서 중요 한 요소 로 각광 받 고 있 다 . 반도체 소자 들 은 논리 데이터 를 저장 하 는 반도체 기억 소자 , 논리 데이터 를 연산 처리 하 는 반도체 논리 소자 , 및 기억 요소 와 논리 요소 를 포함 하 는 하이브리드 ( hybrid ) 반도체 소자 등 으로 구분 될 수 있 다 . 전자 산업 이 고도 로 발전함 에 따라 , 반도체 소자 의 특성 들 에 대한 요구 가 점점 증가 되 고 있 다 . 예컨대 , 반도체 소자 에 대한 고 신뢰 성 , 고속 화 및 / 또는 다 기능 화 등 에 대하 여 요구 가 점점 증가 되 고 있 다 . 이러 한 요구 특성 들 을 충족 시키 기 위하 여 반도체 소자 내 구조 들 은 점점 복잡 해 지 고 있 으며 , 또한 , 반도체 소자 는 점점 고집 적 화 되 고 있 다 .