다음 으로 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 도 4 에 형성 된 절 연막 ( 202 ) 의 상부 전체 에 감광막 ( PR : photoresist ) ( 218 ) 을 스핀 코팅 을 통해 도포 하 고 , 패턴 마스크 를 사용 하 여 노광 공정 을 수행 하 여 일부분 을 제거 하 여 상기 감광막 ( 218 ) 을 미세 선 폭부 ( 219 ) 로 패 터닝 한다 . 여기 서 , 본 발명 의 마이크 로 가스 센서 는 전체 제조 공정 에서 한 번 의 패 터닝 과정 을 통해 모든 필요 한 패턴 이 형성 된다 .