이어서 , 포토 리소그래피 에 의해 코어 층 ( 63 a ) 상 에 미리 규정 된 - 형상 의 레지스 트 패턴 이 형성 되 고 , 코어 층 ( 63 a ) 이 에칭 되 어 코어 ( 63 ) 및 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 를 형성 한다 [ 도 8 의 ( c ) ] . 이때 , 코어 ( 63 ) 및 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 는 포토 리소그래피 의 동일 마스크 내 의 패턴 에 의해 동시 에 형성 된다 . 그러므로 , 공동 으로 형성 되 는 피마 킹 체 ( 11 a , 11 b ) 및 코어 ( 63 ) 가 포토 그래피 를 일회 실시 함 으로써 동시 에 형성 될 수 있 고 , 따라서 공동 , 즉 피마 킹 체 ( 11 a , 11 b ) 가 코어 ( 63 ) 에 대해 극히 정확 하 게 위치 될 수 있 다 . 피마 킹 체 ( 11 a , 11 b ) 와 같 은 공동 이 형성 되 는 위 에 기술 한 코어 ( 63 ) 와 동일 한 층 은 코어 층 ( 63 a ) 에 상당 한다 .