또한 , 메 쉬 와 패턴 의 상대 위치 를 시프트 하 지 않 고 면적 밀도 맵 을 제작 한 후 , 위치 보정 량 에 기초 하 여 면적 밀도 맵 을 시프트 하 여 , 조사량 맵 을 작성 해도 된다 . 혹은 , 면적 밀도 맵 으로부터 조사량 맵 을 작성 한 후 , 위치 보정 량 에 기초 하 여 조사량 맵 을 시프트 해도 된다 . 혹은 , 묘화 데이터 가 면적 밀도 맵 으로 정의 되 어 있 는 경우 , 면적 밀도 맵 으로부터 조사량 맵 을 작성 한 후 , 위치 보정 량 에 기초 하 여 조사량 맵 을 시프트 해도 된다 . 혹은 , 패턴 위치 , 면적 밀도 맵 , 조사량 맵 의 2 개 이상 의 시프트 의 조합 으로 위치 보정 을 행해도 된다 . 이 때 , 묘화 데이터 에 정의 된 패턴 의 패턴 면적 밀도 ( ρ ) 를 이용 하 여 면적 밀도 맵 을 작성 해도 된다 .