다음 에 , 해석 장치 ( 140 ) 에 의한 건강 값 산출 처리 의 흐름 에 대해서 설명 한다 . 도 5 는 해석 장치 에 의한 건강 값 산출 처리 의 흐름 을 나타내 는 흐름 도 이 다 . 또한 , 건강 값 산출 처리 의 실행 중 , 데이터 취득 부 ( 301 ) 에서 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 로부터 계속 적 으로 축적 데이터 ( 130 ) 를 취득 하 여 , 데이터 저 장부 ( 310 ) 에 저장 하 는 것 으로 한다 .