다수 의 EUV 특정 설계 특징 들 은 소정 레티 클 높이 경사 프로파일 , 즉 레티 클 이 반사 되 는 사실 로 인해 , 두 번 째 로 는 광학 축선 의 비 - 텔레 센트리 시티 ( non - telecentricity ) 및 EUV 광 번들 ( light bundle ) 의 발산 형상 ( diverge shape ) 으로 인해 왜곡 에 영향 을 준다 . 마지막 으로 , 반사 레티 클 에 투영 된다고 여겨 지 는 광 빔 의 일부분 이 곡선 화 되 는 것 도 왜곡 에 영향 을 준다 . 또한 , 상기 광 빔 의 일부분 은 노광 슬릿 이 라고 도 칭해진다 . 도 3 은 배 율 및 y - 병진 ( translation ) 을 유도 하 는 대상물 의 높이 오프셋 ( z - 오프셋 ) 의 영향 및 노광 슬릿 의 개략 적 인 도면 이 다 .