이 에 비하 여 본 발명 에 의하 면 , 도 3 에 나타낸 바 와 같 은 서브 빔 회절 격자 에 의해 , 도 4 ( a ) 내지 도 4 ( c ) 에 나타낸 바 와 같 은 형상 의 서브 빔 으로서 , 0 차 광 과 , ± 1 차 광 이 서로 중첩 되 는 영역 을 포함 하 지 않 는 서브 빔 이 생성 되 기 때문 에 메인 빔 과 2 개 의 서브 빔 의 간격 을 각각 충분히 넓힐 수 있 다 .