도 76 에 는 , 좌측 로딩 포지션 에 있 어서 , Pit 작업 의 일부 로서 웨이퍼 반송 기구 ( 도시 생략 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 사이 에서 웨이퍼 교환 이 실시 되 고 , 이것 과 병행 하 여 , 투영 유닛 ( PU ) 의 하방 에 있 어서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 에 유지 된 웨이퍼 ( W 2 ) 에 대하 여 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 노광 이 실시 되 고 있 는 상태 가 도시 되 어 있 다 .