본 발명 은 기판 의 표면 에 부착 한 부착물 을 양호 하 게 제거 할 수 있 는 드라이 클리너 를 제공 한다 . 피 토출 물체 ( 10 ) 상 의 부착물 을 제거 하 기 위한 드라이 클리너 에 있 어서 , 피 토출 물체 와 소정 의 간격 을 갖 고 배치 되 고 , 내부 에 압축 공기 를 저류 하 는 저류 부 ( 16 a ) 를 갖 고 , 해당 저류 부 와 연통 한 슬릿 형상 의 토출구 ( 16 b ) 를 구비 하 며 , 토출구 가 형성 되 어 있 는 위치 에 있 어서 토출구 가 연장 하 는 방향 과 직교 하 는 단면 형상 으로서 소정 의 곡률 의 볼록 형상 ( 16 c ) 을 갖 고 , 토출구 가 피 토출 물체 에 가장 근접 하 는 위치 에 마련 되 는 노즐 ( 16 ) 과 , 내부 에 상기 노즐 을 수용 하 고 , 노즐 의 토출구 로부터 피 토출 물체 에 대해 대략 직교 하 는 방향 으로 토출 한 압축 공기 와 피 토출 물체 표면 을 쓸 어 낸 압축 공기 가 통과 하 는 개구부 ( 18 a ) 를 갖 고 , 노즐 의 소정 의 곡 률 을 갖 는 볼록 형상 을 따라 진행 하 는 압축 공기 가 진행 하 는 통로 ( 18 b ) 를 형성 하 는 하우징 ( 18 ) 과 , 소정 의 곡 률 을 갖 는 볼록 형상 을 따라 진행 한 압축 공기 를 배출 하 기 위한 배 출부 ( 18 c ) 를 구비 한다 .