그러므로 , 한편 으로 는 분쇄 를 위해 작용 하 는 이온 들 의 생 성 과 다른 한편 으로 는 타 겟 의 분극화 사이 에 분리 적 인 공정 이 존재 하 며 , 이러 한 분극화 ( polarization ) 가 분쇄 출력 을 결정 한다 . 이러 한 분리 적 인 공정 은 분극 화 된 이온 들 을 산화물 층 으로 보냄 으로써 이러 한 층 에 충돌 할 때 그 들 의 활동력 ( kinetic force ) 을 상실 하 도록 하 여 균질 화 속도 를 변화 시키 는 것 이 가능 하 며 , 따라서 증착 되 는 원자 들 의 이동도 ( mobility ) 를 증가 시키 는 것 이 가능 하 다 .