본 발명 에서 는 트렌치 바닥 으로부터 HARP → SOD → HDP 의 3 중 갭 필 을 도입 함 으로써 질화 막 의 손실 을 감소 할 수 있 도록 하 는 것 이 가장 큰 특징 이 다 . 특히 첫 번 째 HARP 방법 은 갭 필 능력 이 우수 할 뿐 만 아니 라 플 라즈 마 를 사용 하 지 않 기 때문 에 플 라즈 마 를 이용 한 증착 에서 발생 하 는 질화 막 의 손실 을 크 게 감소 하 여 GOI 페일 및 리 프레시 를 개선 할 수 있 다 .