그러 한 접합 을 형성 하 는 데 있 어서 붕소 이온 의 사용 과 관련 된 한 가지 문제점 은 이온 이 후속 하 는 어닐링 단계 에서 반도체 기판 에서 바람직 하 지 않 은 부위 로 확산 - 반도체 디바이스 의 성능 에 불리 할 수 있 음 - 될 수 있 다는 것 이 다 . 붕소 이온 의 주입 중 에 형성 되 는 결정 결함 은 적어도 부분 적 으로 이러 한 확산 현상 에 원인 이 있 다 .