또한 , 상기 데이터 처 리부 는 , 상기 CTF 와 상기 MTF 를 계산 하 는 계산부 , 상기 CTF 가 계산 된 리니어 스테이지 의 위치 를 저장 하 는 저 장부 , 상기 계산부 에서 계산 한 CTF 값 중 최대 값 을 갖 는 CTF 를 선택 하 고 , 상기 저 장부 에서 상기 최대 값 의 CTF 에 해당 하 는 리니어 스테이지 의 위치 를 독 출하 고 , 그 에 해당 하 는 상기 초점 조절 용 심 ( Shim ) 을 선택 하 는 제 어부 를 포함 함 을 특징 으로 한다 .