또한 , 평가 부 ( 33 ) 는 선별 신호 의 송신 과 함께 , 품질 정보 로서 해당 검사 로트 의 식별 정보 와 , 검사 대상물 K 의 식별 정보 와 , 불량 으로 판정 된 검사 면 의 식별 정보 와 , 불량 으로 판정 된 평가 항목 을 관련지 어 도 3 에 나타낸 데이터 테이블 로서 상기 품질 정보 기억 부 ( 34 ) 에 저장 하 는 처리 와 , 해당 검사 로트 의 식별 정보 와 , 검사 대상물 ( K ) 의 식별 정보 와 , 검사 면 에 대한 식별 정보 와 , 그 화상 데이터 를 관련지 어 도 4 에 나타내 는 바 와 같 은 데이터 구조 로 상기 화상 기억 부 ( 35 ) 에 저장 하 는 처리 를 실행 한다 . 또한 , 검사 대상물 ( K ) 의 검사 총수 를 카운트 하 여 검사 를 종료 한 시점 에서 해당 검사 로트 의 검사 총수 에 관한 데이터 를 상기 품질 정보 기억 부 ( 34 ) 에 저장 한다 .