초고압 수은 등 을 갖 는 프록시 미티 형 노광기 ( 히타치 하이테크 덴 시 엔지니어링 가부 시 키가 이샤 제 ) 로 기판 과 마스크 ( 화상 패턴 을 갖 는 석영 노광 마스크 ) 를 수직 으로 세운 상태 에서 마스크 면 과 감광성 수지 조성물 층 K 1 사이 의 거리 를 200 ㎛ 으로 설정 하 고 , 질소 분위기 하 , 노광량 300 mJ / ㎠ 로 패턴 노광 했 다 .