또한 , 피막 ( 90 ) 의 적어도 일부 는 , 서로 상이 한 2 개 이상 의 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 한 증착 입자 에 의해 형성 된다 . 이 에 의해 , 피막 ( 90 ) 의 두께 균일성 이 향상 된다 . 그 결과 , 이러 한 증착 장치 를 사용 해서 발광 층 을 형성 하 면 , 발광 불 균일 이 억제 되 어 , 고품위 의 유기 EL 표시 장치 를 실현 할 수 있 다 .