상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 이 상기 이송 테이블 ( 210 ) 상 에 로드 된 후 , 상기 이송 테이블 ( 210 ) 은 상기 테이블 이송 유닛 ( 242 ) 에 의해 상기 제 2 수평 방향 , 즉 Y 축 방향 으로 이동 될 수 있 다 . 이때 , 상기 상부 적외선 조명 유닛 ( 260 ) 은 상기 Y 축 방향 으로 이동 되 는 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 상부 면 상 으로 적외선 광 을 조사 할 수 있 으며 , 이 를 통해 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 상부 면 이 건조 될 수 있 다 .