제 2 챔버 ( 14 ) 는 제 2 챔버 몸체 ( 14 a ) , 수용 공간 ( 14 b ) 및 개방 영역 ( 14 c ) 을 포함 한다 . 제 2 챔버 몸체 ( 14 a ) 는 내부 에 안테나 ( 110 ) 를 수용 하 는 수용 공간 ( 14 b ) 을 형성 하 고 , 안테나 ( 110 ) 가 인입 및 인출 될 수 있 는 개방 영역 ( 14 c ) 을 형성 한다 . 제 2 챔버 몸체 ( 14 a ) 에 의해 형성 된 수용 공간 ( 14 b ) 은 제 1 챔버 ( 12 ) 의 공정 공간 ( 12 b ) 과 달리 대기압 분위기 로 유지 된다 . 여기 서 , 제 2 챔버 ( 14 ) 의 개방 영역 ( 14 c ) 은 후술 할 리드 ( 90 ) 에 의해 커버 된다 .