또한 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 와 제 1 부 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 가 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 내 에 다수 로 분포 함 에 따라 , 개구 ( 130 x , 150 x ) 들 중 에 일부 의 개구 에서 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 개구 ( 130 x , 150 x ) 와 접촉 하 거나 정해진 범위 ( 예 를 들 어 , 0 . 5 ~ 1 . 0 mm 이하 ) 로 근접 한 경우 에 는 , 웨이퍼 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 의 일부 에 는 밀착 되 어 있 지만 다른 일부 에 는 들떠서 불 완전 한 척 킹 상태 라는 것 도 감지 할 수 있 다 .