( b ) 성막 처리 의 후 에 제 2 개질 처리 를 행함 으로써 , 제 1 개질 처리 를 행하 는 것 으로 는 전부 제거 할 수 없 었 던 제 2 불순물 을 제 1 막 으로부터 탈리 시켜 , 제 1 막 을 더욱 치밀 화 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 즉 , 제 1 온도 에서 의 제 1 개질 처리 와 , 제 1 온도 보다 도 높 은 제 2 온도 에서 의 제 2 개질 처리 를 순서 대로 행하 는 2 단계 개질 ( 2 단계 어 닐 ) 처리 에 의해 , 최종 적 으로 형성 되 는 제 1 막 을 , 유전 율 이 더 낮 고 , 가공 내성 이 더욱 양호 한 막 으로 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .