또한 , 본원 의 제 2 발명 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 의 전력 모니터링 방법 은 , 플라 즈 마 발생 장치 와 플라 즈 마 부하 간 의 진행파 전력 과 반사파 전력 을 모니터링 하 기 위한 모니터링 방법 에 있 어서 , 모니터 용 컨트롤러 로부터 출력 되 는 감쇠 제어 신호 에 제어 되 어 상기 플 라즈 마 발생 장치 내 RF 센서 로부터 출력 되 는 전기 적 검출 신호 의 크기 를 소정 크기 로 감쇠 시키 는 단계 ; 감쇠 된 상기 전기 적 검출 신호 에 대하 여 감지 최대 주파수 범위 까지 통과 시키 는 저역 통과 필터링 단계 ; 상기 모니터 용 컨트롤러 로부터 출력 되 는 주파수 합성 제어 신호 에 제어 되 어 상기 플 라즈 마 발생 장치 내 고주파 증폭기 가 생성 하 는 고주파 신호 의 기본파 , 및 고조파 에 옵 셋 주파수 를 더 한 주파수 를 가진 국부 발진 신호 를 동시 적 으로 출력 하 는 단계 ; 상기 저역 통과 필터링 단계 에 따라 필터링 된 전기 적 검출 신호 와 상기 국부 발진 신호 를 혼합 하 여 합성 신호 와 편차 신호 를 출력 하 는 주파수 믹 싱 단계 ; 상기 주파수 믹 싱 단계 에 따라 출력 되 는 신호 들 중 상기 편차 신호 를 통과 시키 는 측정 대역 선택 단계 ; 상기 측정 대역 선택 단계 후 편차 신호 를 증폭 하 여 증폭 신호 를 출력 하 는 증폭 단계 ; 및 상기 모니터 용 컨트롤러 로부터 출력 되 는 샘플링 제어 신호 에 제어 되 어 상기 증폭 신호 를 직류 성분 으로 변환 하 여 출력 하 는 레벨 검출 단계 를 포함 한다 .