검사 보고 는 임의 의 적절 한 결함 검토 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 결함 검토 데이터 는 반사 ( R ) 및 투과 ( T ) 채널 이미지 모두 , R 과 T 이미지 사이 의 차이 이미지 , ( 단일 - 다이 공정 으로부터 생성 된 ) 기준 R 과 T 이미지 , 썸 네 일 이미지 , 후보 결함 등 을 찾 기 위한 중간 계산 을 포함 할 수 있 다 .