조명 광학 기기 열 은 레티 클 의 패치 를 스캔 하 도록 임의 의 적절 한 메커니즘 에 의해 마스크 스테이지 에 대하 여 이동 될 수 있 고 / 있 거나 스테이지 가 검출기 또는 카메라 에 대하 여 이동 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 스테이지 를 이동 시키 기 위하 여 모터 메커니즘 이 이용 될 수 있 다 . 모터 메커니즘 은 예 로서 스 크류 드라이브 및 스 테퍼 모터 , 피드백 위치 를 갖 는 선형 드라이브 , 또는 밴드 액 츄 에 이터 및 스 테퍼 모터 로 형성 될 수 있 다 .