이어서 , 유기 절 연막 ( 28 ) 에 대해 , 제 4 포토 마스크 를 이용 한 포 토리 소 그래피 에 의한 레지스 트 의 패 터닝 , 노광 ( 露 光 ) 및 현상 , 그리고 레지스 트 의 박리 세척 을 행함 으로써 , 도 11 ( c ) , 도 13 ( c ) 에 나타내 듯이 , 층간 절 연막 ( 17 ) 의 표면 상 에 평탄 화 막 ( 18 ) 을 형성 한다 .