최종 렌즈 L 110 는 , 상기 한 바 와 같이 , 2 개 의 평행 평판 L 111 및 L 112 과 , 포지티브 의 초점 거리 를 가지 는 평 볼록 렌즈 L 113 를 포함 하 고 , 전체 로서 포지티브 의 초점 거리 를 가지 는 렌즈 군 이 다 . 평행 평판 L 111 과 평행 평판 L 112 와 의 사이 , 및 평행 평판 L 112 과 평 볼록 렌즈 L 113 과 의 사이 에 는 , 렌즈 의 개구수 이상 의 굴절 률 을 가지 는 액 층 을 형성 해도 된다 . 그렇지만 , 다층 의 액 층 을 구성 했 을 경우 에 는 , 이러 한 다층 액 층 의 제어 가 곤란 하 다 . 또한 , 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 을 접착 재 를 사용 해서 접착 해도 된다 . 그렇지만 , 엑 시머 레이저 에 대한 접착 재의 내구 성 및 접착 재 기인 의 수차 변화 가 문제 가 된다 . 제 1 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 에서 는 , 옵티컬 콘 택 ( optical contact ) 에 의해 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 를 결합 ( 접착 ) 시킨다 . 이 에 따라 , 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 ( 즉 , 최종 렌즈 L 110 ) 을 유지 하 는 렌즈 유지 기구 의 구성 을 간소 하 게 할 수 있 다고 하 는 이점 도 있 다 . 여기 에서 , " "" 옵티컬 콘 택 "" 이 란 ", 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 의 각 면 을 고도 로 평활 화 하 고 , 반 데르 발스 ( Van der Waals ) 의 힘 을 이용 해서 평행 평판 L 111 , L 112 및 평 볼록 렌즈 L 113 을 결합 시키 는 기술 이 다 .