반사 다층막 ( 12 ) 은 내부 응력 ( 막 응력 ) 을 갖 고 있 으므로 , 투명 기판 ( 10 ) 에 반사 다층막 ( 12 ) 이 형성 되 면 볼록 방향 ( 반사 다층막 ( 12 ) 측 으로 볼록해 지 는 방향 ) 으로 만곡 되 는 힘 이 투명 기판 ( 10 ) 에 작용 한다 . 그러나 , 반사 다층막 ( 12 ) 이 형성 되 어 있 는 면 의 반대 의 면 ( 피 슬라이딩 면 ( 10 R ) ) 에 는 슬라이딩 면 ( 13 ) 이 형성 되 어 있 다 .