이때 , 상기 장비 내부 에 공급 되 는 소스 전압 의 파워 는 약 121 내지 670 W 이 고 , 바이어스 전압 의 파워 는 약 58 내지 130 W 이 고 , 직류 전압 은 약 45 V 임 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 기판 ( 100 ) 의 배면 중 심부 의 온도 는 약 4 T 로 유지 하 고 , 상기 기판 ( 100 ) 의 배면 가장자리 의 온도 는 약 16 T 로 유지 하 는 것 이 바람직 하 다 .