바람직 하 게 , 상기 열처리 는 서브 스트레이트 상 에 성장 한 희토류 영구 자석 박막 을 진공 또는 불 활성 가스 에 놓 고 , 서브 스트레이트 의 역 마텐자이트 계 변상 시작 온도 이상 및 300 ℃ 이하 온도 범위 ( 예 를 들 어 , 서브 스트레이트 의 역 마텐자이트 계 변상 시작 온도 이상 20 ℃, 60 ℃, 90 ℃, 120 ℃, 150 ℃, 190 ℃, 220 ℃, 270 ℃ 등 ) 에서 0 . 1 내지 5 시간 동안 유지 하 는 단계 를 포함 한다 .