도 5 및 6 은 본 발명 의 실시 예 에 사용 된 전극 부 의 차원 을 나타낸 도면 이 다 . 도 5 를 참조 하 면 , 금 판 을 금속 패드 에 연결 하 는 금속 선 의 폭 은 5 ㎛ 이 고 , 동일 한 금 판 의 열 내 의 금 판 과 금 판 사이 의 거리 는 P ( pitch ) 로 , 금속 선 으로부터 금 판 의 폭 은 W ( width ) 로 , 금 판 의 열과 열 사이 의 금 기둥 의 거리 는 D 로 나타내 었 다 . 화살표 는 유체 의 흐름 방향 을 나타낸다 . 본 실시 예 에서 제조 된 전극 부 의 차원 은 , ( W , P , D ) : ( 15 , 15 , 15 ) 이 었 다 ( 도 6 참조 ) .