지금 까지 는 탱크 ( 102 ) 에 저장 되 는 제 1 유체 로서 액상 의 IPA 를 혼합기 ( 107 ) 에 제공 되 는 제 2 유체 로서 기상 의 질소 를 예 를 들 어 설명 하 였 다 . 그러나 , 제 1 및 제 2 유체 는 이 에 한정 되 지 아니하 고 제 1 및 제 2 유체 각각 이 액상 이 거나 , 또는 어느 하나 는 액상 이 고 다른 하나 는 기상 일 수 있 는 등 공정 에 따라 임의 적 으로 또는 필요 에 따라 적절 하 게 선택 할 수 있 다 . 또한 , 공정 모듈 ( 200 ) 은 웨이퍼 에 대한 에칭 이나 세정 및 건조 처리 장비 등 웨이퍼 처리 장비 이외 에 액정 표시 소자 의 유리 기판 과 같 은 평판 표시 소자 의 기판 에 대한 에칭 이나 세정 및 건조 처리 장비 등 도 이 에 포함 된다 .