또한 본 실시 예 에 따른 기판 세정 장치 에 는 , 상기 기판 척 ( 10 ) 및 상기 기판 ( S ) 의 측 부 및 하부 를 감싸 는 외함 ( 50 ) 이 더 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이 외함 ( 50 ) 은 도 1 , 2 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 척 ( 10 ) 과 이 기판 척 ( 10 ) 에 장착 되 어 있 는 기판 ( S ) 을 외측 에서 감싸 는 구조 를 가진다 . 따라서 기판 세정 과정 에서 기판 ( S ) 회전 에 의하 여 외측 으로 배출 되 는 세정액 을 이 외함 ( 50 ) 이 차단 하 고 회수 하 여 재 사용 할 수 있 도록 하 는 것 이 다 . 한편 이 외함 ( 50 ) 은 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 그 상부 는 개방 된 구조 를 가진다 . 이 상부 를 통해서 는 기판 ( S ) 을 반입 또는 반출 하 여야 하 므로 , 그 상부 가 개방 되 는 것 이 다 . 따라서 이 외함 의 상부 에 형성 되 는 개구 ( 52 ) 는 기판 ( S ) 이 충분히 통과 할 수 있 는 크기 를 가진다 .