이상 과 같이 구성 된 도포 유닛 ( U 1 ) 은 , 제 어부 ( 100 ) 에 의해 제어 된다 . 제 어부 ( 100 ) 는 , 적어도 , 가 열부 ( 20 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 가열 시간 이 경과 함 에 따라 외주 배기 부 ( 40 ) 에 의한 가스 의 배출 량 을 늘리 는 것 을 실행 하 도록 구성 되 어 있 다 . 예컨대 제 어부 ( 100 ) 는 , 기능 상 의 구성 ( 이하 , 「 기능 블록 」 이 라고 함 ) 으로서 , 개폐 제 어부 ( 111 ) 와 , 배기 제 어부 ( 112 ) 와 , 기판 승강 제 어부 ( 113 ) 를 갖 는다 .