또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 기판 처리 장치 는 , 이 동부 ( 190 ) 와 , 제 어부 ( 7 ) 를 구비 한다 . 이 동부 ( 190 ) 는 , 이면 차 단판 ( 170 ) 에 연결 되 며 , 또한 , 이면 차 단판 ( 170 ) 을 기판 ( W ) 에 대하 여 접근 또는 이 간 시킨다 . 제 어부 ( 7 ) 는 , 이 동부 ( 190 ) 의 동작 을 제어 한다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 기판 처리 의 내용 에 따라 기판 ( W ) 과 이 면 차 단판 ( 170 ) 사이 의 거리 를 변경 할 수 있 기 때문 에 , 각각 의 처리 에 있 어서 효과 적 인 간극 영역 ( 180 ) 의 폭 을 실현 할 수 있 다 .