광원 ( 31 ) 으로부터 조사 된 광 빔 은 , 미러 ( 32 ) 에서 반사 되 어 , 조명 광학계 ( 33 ) 에 입사 해 , 조명 광학계 ( 33 ) 를 통해서 레티 클 스테이지 상 의 레티 클 R 에 조사 된다 . 그리고 , 레티 클 R 를 투과 한 빛 은 투영 광학계 ( 34 ) 를 통해서 웨이퍼 스테이지 상 의 웨이퍼 W 에 조사 된다 . 이 와 같이 함 으로써 , 레티 클 R 에 형성 된 패턴 이 웨이퍼 W 에 전사 된다 .