진공 챔버 내 에 가로 가 20 cm , 세로 가 15 cm 이 며 두께 가 0 . 8 mm 인 스텐 레스 기판 ) 을 기판 홀더 에 설치 하 고 , 이어 , 알루미늄 분말 과 마그네슘 분말 을 각각 알루미나 도가니 와 탄 탈륨 보트 에 장입 한 후 , 진공 배기 를 실시 하 였 다 . 그리고 상기 진공 챔버 의 진공도 가 10 - 5 토르 이하 가 된 후 , 상기 기판 의 청정 을 위해 챔버 내 에 아르곤 가스 를 주입 하 고 그 기판 에 음 의 전압 을 인가 하 였 다 . 구체 적 으로 , 6 x 10 - 2 토르 의 아르곤 가스 분위기 에서 상기 기판 에 700 V 의 음 의 전압 을 인가 하 여 글 로 방전 을 유도 한 후 30 분 동안 청정 시켰 다 .