상기 질화알루미늄 ( AlN ) 으로 이루어진 보강 층 은 상기 질소 ( N 2 ) 기체 가 채워진 환경 에서 순수 알루미늄 을 물리 적 기상 증착 하 는 단계 를 복수 회 반복 하 여 적층 형성 되 고 , 상기 질소 기체 가 채워진 환경 에서 순수 알루미늄 을 물리 적 기상 증착 하 는 단계 를 1 회 수행 할 때 상기 보강 층 의 두께 가 0 . 7 내지 1 . 5 ㎛ 씩 성장 할 수 있 다 .