그리고 좌우 측 프레임 ( 13 ) ( 14 ) 의 바깥쪽 세로대 ( 13 a ) ( 14 a ) 와 안쪽 세로대 ( 13 b ) ( 14 b ) 의 양단 은 상하부 프레임 ( 11 ) ( 12 ) 의 바깥쪽 가로대 ( 11 a ) ( 12 a ) 의 내 측면 에 결합 하 고 , 상하부 프레임 ( 11 ) ( 12 ) 의 안쪽 가로대 ( 11 b ) ( 12 b ) 의 양단 은 좌우 측 프레임 ( 130 ( 14 ) 의 안쪽 세로대 ( ( 13 b ) ( 14 b ) 의 내 측면 에 결합 한다 . 따라서 상하부 프레임 ( 11 ) ( 12 ) 의 안쪽 가로대 ( 11 b ) ( 12 b ) 와 좌우 측 프레임 ( 13 ) ( 14 ) 의 안쪽 세로대 ( 13 b ) ( 14 b ) 에 의해 한정 되 는 내부 중심 영역 에 는 기판 ( 2 ) 을 수용 하 는 수용 공간 ( 2 a ) 이 형성 된다 . 또한 , 바깥쪽 세로대 ( 13 a ) ( 14 a ) 와 안쪽 세로대 ( 13 b ) ( 14 b ) 및 바깥쪽 가로대 ( 11 a ) ( 11 b ) 와 안쪽 가로대 ( 11 b ) ( 12 b ) 사이 에 형성 되 는 내부 영역 에 는 가동 플레이트 ( 20 a ) ( 20 b ) 가 설치 되 는 설치 공간 ( 20 c ) 이 형성 된다 .