계속 해서 , 열처리 장치 ( 8 ) 의 제 2 실시 형태 에 대해서 , 도 9 및 도 10 을 참조 하 여 설명 한다 . 이 실시 형태 는 , 가 열부 로서 , 카본 와이어 히터 대신 에 예 를 들 어 가열 램프 ( 84 ) 를 마련 한 구성 이 다 . 기밀 하 게 구성 된 처리 챔버 ( 81 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 배치 되 는 스테이지 ( 82 ) 가 마련 되 고 , 이 스테이지 ( 82 ) 는 , 처리 챔버 ( 81 ) 에 마련 된 지지 부재 ( 821 ) 로 지지 되 어 있 다 .