상기 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 중합체 로서 는 , 예 를 들 어 극성기 ( 예 를 들 어 산 성 관능기 ) 를 포함 하 는 구조 단위 를 갖 는 중합체 , 산 해리 성기 를 포함 하 는 구조 단위 를 갖 는 중합체 등 을 들 수 있 다 . 극성기 를 포함 하 는 구조 단위 를 갖 는 중합체 는 알칼리 현상액 에 가용 이 지만 , 가열 공정 에서 후술 하 는 가교제 와 산 의 작용 에 의해 반응 함 으로써 , 알칼리 현상액 에 불용 이 된다 . 이 경우 , 현상 공정 에서 는 비 일부 조사 부 의 레지스 트 막 은 알칼리 현상액 에 의해 제거 가능 하 게 된다 . 따라서 , 상기 중합체 를 사용 해서 형성 된 레지스 트 막 을 알칼리 현상액 으로 현상 하 는 경우 , 상기 레지스 트 재료 는 네 가티 브 형 레지스 트 재료 로서 작용 한다 .