그리고 , 지르코늄 산화 막 ( 33 ) 의 경우 등 축정 계 ( Cubic ) 의 결정상 일 때 에 유전 율 이 23 인데 비해 정방 정계 ( Tetragonal ) 결정상 에서 는 유전 율 이 30 ∼ 40 으로 증가 하 게 된다 . 즉 , 누설 전류 특성 이 더 좋 아 지 면서 매우 높 은 캐 패 시 턴 스 ( Cs ) 를 얻 을 수 있 게 된다 . 탄 탈륨 산화 막 ( 31 ) 의 경우 도 비정질 일 때 유전 율 이 20 이나 , 결정 화 됨 에 따라 25 ∼ 50 의 유전율 을 가지 게 되 어 캐 패 시 턴 스 ( Cs ) 를 향상 시킬 수 있 다 .