광학 이미 징 장치 는 이제 제 1 빔 변환 요소 들 이 조명 평면 에 놓인 이미지 평면 에 광학 적 으로 이미 징 되 도록 , 설계 되 고 광학 시스템 의 빔 경로 에 배치 된다 . 특히 , 광학 이미 징 장치 는 , 특히 제 1 빔 변환 요소 들 및 조명 평면 의 소정 위치 와 관련 하 여 , 조명 된 제 1 빔 변환 요소 들 이 조명 평면 에 형성 된 이미지 평면 에서 이미지 로서 광학 적 으로 이미 징 되 는 물체 로서 사용 되 도록 , 설계 되 고 광학 시스템 의 빔 경로 내 에 공간 적 으로 배치 된다 . 조명 평면 은 광학 시스템 에 의해 형성 된 조명 라인 이 반도체 재료 층 의 조명 및 처리 를 위해 놓 여야 하 는 평면 이 다 . 조명 평면 은 이상 적 으로 는 처리 될 반도체 재료 의 표면 에 의해 형성 된다 .