구체 적 으로 , 본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 타원 계측기 의 데이터 분석 방법 은 , 회전 ( n = 0 , 1 , ..., N - 1 ) 과 수평 방향 ( i = 0 , 1 , ..., X - 1 ) 데이터 에 대한 오차 함수 를 각각 정의 하 고 , 최소 제곱법 에 따라 회전각 과 퓨리 에 계수 ( α , β ) 를 번갈 아 가 면서 반복 계산 한다 . 여기 서 , 회전각 ( θ n ) 은 일정 한 값 으로 수렴 하 게 되 고 퓨리 에 계수 ( α , β ) 는 최적 화 될 수 있 다 .