파이프 ( 140 ) 내 에 마련 된 광학 부재 ( 110 ) 는 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 에서 생성 된 광 을 반사 할 뿐 만 아니 라 챔버 윈도우 ( 20 ) 의 플 라즈 마 빛 을 투과 시켜 광학 필터 ( 120 ) 로 조사 되 도록 할 수 있 다 . 또한 , 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 의 생 성광 을 클리닝 시작 신호 로 챔버 ( 10 ) 외측 의 검 출부 ( 130 ) 에 제공 할 수 도 있 다 . 이때 , 파이프 ( 140 ) 의 일 측 즉 , 광학 부재 ( 110 ) 가 위치 하 는 영역 하부 에 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 의 광이 유입 되 는 유입 구가 마련 될 수 있 다 .