도 3 a 및 도 3 b 를 참조 하 면 , 관통 전극 ( 30 ) 이 기판 ( 31 ) 을 관통 한다 . 기판 ( 31 ) 은 실리콘 ( Si ) , 저마늄 ( Ge ) 등 을 포함 하 는 반도체 기판 일 수 있 고 , 반도체 다이 의 일부 일 수 있 다 . 관통 전극 ( 30 ) 은 절연체 ( 32 ) , 수소 화 된 그래핀 전극 ( 33 ) 및 추가 전극 ( 34 ) 을 포함 할 수 있 다 .