도 24 를 또 참조 하 면 , 일 실시 예 에서 , 트렌치 스 페이서 들 ( 45 ) 은 알려진 처리 기술 을 이용 하 여 형성 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 은 트렌치 스 페이서 들 ( 45 ) 을 사용 하 지 않 아도 된다 . 이후 필드 산화물 ( 47 ) 은 트렌치 영역 ( 47 ) 에 피착 된다 . 필드 산화물 ( 47 ) 은 이후 종래 기술 ( 예컨대 , 화학 적 기계 적 연마 또는 CMP ) 을 이용 하 여 평면 화 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 는 다른 방식 으로 평면 화 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 부가 적 인 산화물 층 ( 도시 되 지 않 음 ) 은 평면 화 후 에 전체 상부 면 위 에 놓이 도록 피착 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 이 부가 적 인 산화물 층 ( 도시 되 지 않 음 ) 의 목적 은 다 마신 ( damascene ) 층 이 형성 될 수 있 는 유전체 를 제공 하 는 것 이 다 . 이 다마 신 층 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 형성 하 는 에칭 은 게이트 ( 20 ) 위 에 놓이 는 질화물 층 ( 40 ) 에 선택 적 일 수 있 다 . 짧 은 산화물 에칭 은 게이트 ( 20 , 36 ) 로 의 개구 를 완성 하 는 데 사용 될 수 있 다 .