첫째 , 컨트롤러 ( 50 ) 를 조작 하 여서 진공 펌프 ( 40 ) 를 작동 시킨 후 마스크 척 ( 30 ) 의 안착 부 ( 32 ) 에 마스크 ( 20 ) 를 위치 시키 면 제 1 공기 유로 ( 34 ) , 제 2 공기 유로 ( 35 ) 및 안착 부 ( 32 ) 에 작용 하 는 진공 펌프 ( 40 ) 의 흡입력 에 의해 마스크 ( 20 ) 가 안착 부 ( 32 ) 에 흡착 되 므로 마스크 ( 20 ) 가 마스크 척 ( 30 ) 에 진공 흡착 된다 . 따라서 마스크 ( 20 ) 를 마스크 척 ( 30 ) 의 하부 에 위치 시키 는 비교 적 간단 한 작업 으로 마스크 ( 20 ) 를 마스크 척 ( 30 ) 에 장착 할 수 있 다 .