도 15 는 반복 되 는 레이아웃 패턴 사이 에 더미 패턴 이 삽입 된 패턴 을 도시 한 평면도 이 다 . 도 15 를 참조 하 면 , 제 1 레이아웃 ( A 1 ) 과 제 2 레이아웃 ( A 2 ) 사이 에 더미 패턴 ( D ) 을 삽입 하 여 제 1 레이아웃 ( A 1 ) 의 제 2 라인 패턴 ( 22 a _ 8 ) 과 제 2 레이아웃 ( A 2 ) 의 제 2 라인 패턴 ( 22 a _ 2 ) 이 직접 연결 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 더미 패턴 ( D ) 은 제 1 라인 패턴 ( 14 c ) 과 제 2 라인 패턴 ( 22 c _ 1 및 22 c _ 2 ) 으로 구성 될 수 있 다 . 더미 패턴 ( D ) 의 형성 으로 접속 패턴 ( 22 b ) 은 제 2 레이아웃 ( A 2 ) 의 제 2 라인 패턴 ( 22 a _ 2 ) 과 더미 패턴 ( D ) 의 제 2 라인 패턴 ( 22 c _ 1 ) 을 연결 할 수 있 다 . 이렇게 반복 되 는 주기 마다 더미 패턴 ( D ) 을 삽입 하 여 전체 적 인 어레이 를 독립 적 으로 컨트롤 할 수 있 게 된다 . 이 경우 면적 증가 요인 으로 작용 하 겠 지만 근본 적 으로 조밀 한 패턴 들 내 에서 트리밍 공정 을 사용 하 지 않 을 수 있 기 때문 에 제품 성숙도 측면 에서 는 바람직 할 수 있 다 .