이 후 , 광 감도 의 향상 등 의 목적 에서 , 필요 에 따라 임의 의 온도 및 시간 의 조합 에 의한 노광 후 베 이크 ( PEB ) 및 / 또는 현상 전 베 이크 를 실시 해도 된다 . 베 이크 조건 의 범위 는 , 온도 는 40 ∼ 120 ℃ 이 고 , 그리고 시간 은 10 초 ∼ 240 초 인 것 이 바람직 하 지만 , 본 발명 의 감광성 수지 조성물 의 여러 특성 을 저해 하 는 것 이 아닌 한 이 범위 에 한정 되 지 않 는다 .