위 와 같이 , 폴리 실리콘 막 ( 23 ) 을 식각 하 면 , 폴리 실리콘 막 패턴 ( 23 A ) , 텅스텐 질화 막 ( 27 ) , 텅스텐 막 ( 28 ) 및 게이트 하드 마스크 막 ( 29 ) 의 순서 로 적층 된 게이트 구조 가 완성 된다 . 여기 서 , 텅스텐 질화 막 ( 27 ) , 텅스텐 막 ( 28 ) 및 게이트 하드 마스크 막 ( 29 ) 의 양측 벽 에 는 여전히 산화 방지 패턴 ( 26 A ) 이 잔류 한다 .