" 예측 된 윤곽 이 잠재 적 인 결함 을 결정 하 기 위해 사용 될 수 있 는 예 는 스 페이서 ( spacer ) - 및 - 절단 ( cut ) 층 공정 에 있 다 . 이 의 예 가 도 16 a 내지 도 16 c 에 제시 되 어 있 다 . 도 16 a 는 라인 ( 2000 ) 이 패턴 ( 2010 ) 을 사용 하 여 "" 절단 "" 되 는 예시 적 인 스 페이서 - 및 - 절단 층 공정 을 도시 하고 있 다 . 도 16 a 는 라인 ( 2000 ) 및 패턴 ( 2010 ) 이 바람직 한 정렬 ", 크기 등 에 있 는 공칭 공정 을 도시 하고 있 다 . 그러 한 공정 의 결과 는 패턴 ( 2010 ) 에 의한 중간 라인 ( 2000 ) 의 깔끔 한 절단 일 것 이 다 . 이제 , 도 16 에 개략 적 으로 보여 지 고 있 는 맵 ( 1800 및 1900 ) 을 사용 하 여 도 13 의 공정 이 적용 되 어 라인 ( 2000 ) 및 패턴 ( 2010 ) 의 예측 된 윤곽 의 결정 에 이를 수 있 다 . 도 16 b 에 보여 지 고 있 는 이 예 에서 , 패턴 ( 2010 ) 의 윤곽 은 크기 가 증가 하 는 것 으로 예측 된 반면 에 ( 이 예 에서 는 형상 은 변하 지 않 았 지만 변할 수 있 다 ) 라인 ( 2000 ) 의 예측 된 윤곽 은 예상 대로 라는 것 이 결정 된다 . 이제 , 도 16 c 는 패턴 ( 2010 ) 의 예측 된 윤곽 이 스 페이서 - 및 - 절단 층 공정 에서 사용 된 경우 의 결과 를 보여 주 고 있 다 . 2020 에서 보여 지 는 바 와 같이 , 패턴 ( 2010 ) 은 바람직 하 지 않 게 상부 및 하부 라인 ( 2000 ) 의 일부분 을 절단 할 것 이 다 . 따라서 , 실시 예 에서 , 스 페이서 - 및 - 절단 층 공정 의 예측 된 작동 은 패턴 ( 2010 ) 이 라인 ( 2000 ) 을 절단 하 는 데 사용 될 때 잠재 적 인 결함 을 생성 하 는 것 으로서 표시 ( flagged ) 될 수 있 다 .