지지대 ( 210 ) 는 처 리조 ( 200 ) 내 에서 회전 할 수 있 도록 배치 된다 . 지지대 ( 210 ) 에 는 웨이퍼 ( 240 ) 를 장착 할 수 있 는 홈 ( 213 ) 들 이 일정 간격 으로 형성 되 어 있 어 다 수개 의 웨이퍼 ( 240 ) 들 을 동시 에 세정 할 수 있 다 . 다 수개 의 웨이퍼 ( 240 ) 들 은 지지대 의 홈 ( 213 ) 들 에 끼워져 상호 이격 되게 세워진 상태 로 나란히 놓여진다 .