상기 막 형성 공정 은 대상 기판 상 에 소스 물질 을 제공 하 여 이 들 을 물리 적 화학 적 으로 반응 시킴 으로써 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 화학 기상 증착 , 물리 기상 증착 , 원자 층 증착 , 등 과 같 은 다양 한 방법 들 이 적용 될 수 있 다 . 상기 패 터닝 공정 은 상기 막 형성 공정 에 의해 형성 된 막 을 목적 하 는 패턴 들 로 형성 하 기 위하 여 수행 되 며 , 포토 리소그래피 공정 , 식각 공정 , 세정 공정 등 과 같 은 단위 공정 들 을 포함 할 수 있 다 .