상기 표 1 을 참조 하 면 , 과산화물 ( Peroxide ) 보조제 첨가 로 인해 , 실란 계열 조절 제 의 실리콘 산화 막 passivation 성능 이 극대 화 되 며 , 이 를 통해 실리콘 질화 막 과 산화 막 의 선택 비 를 2 , 000 : 1 이상 까지 구현 가능 한 것 을 알 수 있 으며 , 선택 비 조절 제 인 실란 계열 조절 제 의 첨가량 을 1 % 이하 로 감소 시킬 수 있 음 을 알 수 있 다 .