플라 즈 마 제조 프로세스 들 의 공간 균일성 을 개선 하 기 위한 다수 의 설계 들 이 개발 되 었 다 . 다수 의 종래 의 설계 들 은 플 라즈 마의 밀도 의 공간 적 균일성 을 최대 화 함 으로써 제조 프로세스 의 공간 적 균일성 을 개선 하 도록 시도 한다 . 다른 종래 의 설계 들 은 워크 피스 의 중앙 으로부터 방사상 거리 의 함수 로써 변화 하 는 플 라즈 마 밀도 를 생성 함 으로써 반응 성 종 들 의 농도 에서 워크 피스 의 둘레 와 중앙 사이 의 차 들 을 보정 하 도록 시도 한다 .