예 를 들 어 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 측정 물 전체 표면 에 대한 2 차원 정보 를 획득 하 고 , 여기 서 3 차원 검사 가 필요 한 영역 , " "" A "" 영역 과 같이 3 차원 검사 가 필요 한 영역 을 추출 하 고 ", 해당 영역 에 대해서 만 기준 광과 측 정광 간섭무늬 를 생성 하 여 3 차원 형상 검사 를 수행 함 으로써 , 검사 속도 를 향상 시킨다 .