먼저 , 상기 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 반입 한다 . 구체 적 으로 는 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 가 웨이퍼 ( 200 ) 의 반송 위치 까지 서 셉 터 ( 217 ) 를 하강 시켜 , 서 셉 터 ( 217 ) 의 관통 구멍 ( 217 a ) 에 웨이퍼 밀 어 올림 핀 ( 266 ) 을 관통 시킨다 . 그 결과 , 웨이퍼 밀 어 올림 핀 ( 266 ) 이 서 셉 터 ( 217 ) 표면 보다 도 소정 의 높이 분 만큼 돌출 된 상태 가 된다 .