상기 매니폴드 부 ( 110 ) 는 에어 컴 프레 셔 ( 30 ) 에 연결 되 어 공 압 을 공급 하 는 흡 기구 ( 111 ) 와 진공 펌프 ( 40 ) 에 연결 되 어 공 압 을 배기 하 는 배기구 ( 112 ) 를 매니폴드 의 상대 방향 에 형성 하 되 , 5 개 이상 으로 구비 될 수 있 는 각 채널 당 흡기 밸브 ( 121 ) 와 함께 1 세트 로 구비 되 는 배기 밸브 ( 122 ) 의 개도 상태 가 close 일 경우 배기 방향 이 대기 중 이 되 고 open 일 경우 배기 방향 이 연마 헤드 ( 10 ) 쪽 이 되 도록 배치 하 여 3 - way 방식 의 구조 를 갖 도록 구성 할 수 있 다 .