오퍼레이터 가 가공 장치 ( N ) 의 제어 유닛 ( 도시 는 생략 ) , 및 폐액 처리 장치 ( 1 ) 의 제어 유닛 ( 10 ) 에 대해 작동 개시 를 지시 함 으로써 가공 장치 ( N ) , 및 폐액 처리 장치 ( 1 ) 의 작동 이 개시 된다 . 가공 장치 ( N ) 의 작동 이 개시 되 고 , 웨이퍼 에 대한 절삭 가공 이 개시 되 면 , 상기 한 바 와 같이 가공 영역 ( N 2 ) 에서 절삭 유닛 ( N 1 ) 으로부터 가공 부위 에 가공 수 가 공급 되 고 , 그 가공 수 는 , 절삭 부스러기 등 을 포함 하 는 폐액 으로 되 어 폐액 배출구 ( N 4 ) 로부터 배출 된다 . 폐액 배출구 ( N 4 ) 로부터 배출 된 폐액 은 , 일단 폐액 조 ( 20 ) 에 저류 된다 .