더욱이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 3 성막 레이트 측 정부 ( 271 b ) 는 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 와 의 사이 의 제 1 거리 ( A ) 가 , 제 3 성막 레이트 측 정부 ( 271 b ) 와 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 와 의 사이 의 제 3 거리 ( C ) 보다 크 도록 설치 된다 . 즉 , 평면 상 에서 볼 때 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 3 성막 레이트 측 정부 ( 271 b ) 와 의 사이 에 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 가 있 게 되 며 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 사이 의 경로 와 , 제 3 성막 레이트 측 정부 ( 271 b ) 와 제 2 증발원 ( 23 b ) 의 제 2 증착 위치 ( 232 b ) 사이 의 경로 가 서로 교차 하 게 된다 .