도 7 의 실시 예 에서 , 피드백 위치 제어 시스템 ( 15 ) 은 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 주 평면 에 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 도면 내 에 있 는 수직 방향 으로 의 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 변위 들 을 억제 하 도록 적용 된다 . 또한 , 위치 제어 시스템 ( 15 ) 은 1 이상 의 다른 방향 들 로 의 변위 들 을 억제 하 는 데 적용 될 수 도 있 다 .