도 1 을 참조 하 면 , 투명 기판 ( 100 ) 위 에 미러 층 ( mirror layer , 105 ) 및 광차 단막 ( 110 ) 을 증착 한다 . 투명 기판 ( 100 ) 은 석영 ( Quartz ) 을 포함 하 는 투명 한 재질 로 이루어진다 . 투명 기판 ( 100 ) 위 에 증착 된 미러 층 ( 105 ) 은 몰 리브 데 늄 ( Mo ; Molybdenum ) 막 및 실리콘 ( Si ; Silicon ) 막 이 교번 적 으로 복수 층 이 적층 된 구조 로 형성 한다 . 여기 서 몰 리브 데 늄 막 및 실리콘 막 은 20 - 40 층 이상 으로 적층 하 는 것 이 바람직 하 다 . 미러 층 ( 105 ) 위 에 증착 된 흡수 층 ( Absorber layer , 110 ) 은 크롬 막 ( Cr ) 으로 이루어진다 . 이때 , 흡수 층 ( 110 ) 의 증착 두께 를 조절 하 여 이후 형성 될 흡수 층 패턴 의 깊이 를 조절 할 수 있 다 .