도 4 a 및 도 4 b 는 각각 270 메 쉬 값 의 제 1 그라인더 로 만 평탄 화 를 수행 한 질화 갈륨 기판 표면 의 단면 에 대한 SEM 사진 과 , 270 메 쉬 값 의 제 1 그라인더 로 그라인딩 한 후 800 메 쉬 값 의 제 2 그라인더 로 평탄 화 를 수행 한 질화 갈륨 기판 표면 의 단면 에 대한 SEM 사진 이 다 . 또한 , 도 5 a 및 도 5 b 는 각각 도 4 a 및 도 4 b 의 SEM 사진 에 대응 하 여 보다 확대 된 SEM 사진 이 다 .