도 2 a 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 플 라즈 마 소스 ( 200 ) 의 투시도 이 다 . 플 라즈 마 소스 ( 200 ) 는 프로세스 가스 유입 부 ( 206 ) , 다수 의 페라이트 ( 204 ) , 플라 즈 마 소스 상부 ( 208 ) , 및 챔버 상부 ( 202 ) 를 포함 한다 . 플 라즈 마 소스 ( 200 ) 의 엘리먼트 들 ( 202 - 208 ) 의 특정 배열 은 도시 된 것 으로부터 수정 될 수 도 있 다는 것 이 이해 되 야 한다 . 예 를 들 면 , 챔버 상부 ( 202 ) 및 플 라즈 마 소스 상부 ( 208 ) 는 프로세스 챔버 ( 230 ) 의 단일 커버 로 결합 될 수 있 다 .