[ 0060 ] 본 개시 내용 의 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 마스크 캐리어 및 / 또는 기판 캐리어 를 홀딩 하 도록 구성 될 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 는 , 적어도 하나 의 홀딩 디바이스 를 포함 할 수 있 고 , 적어도 2 개 의 홀딩 디바이스 들 , 예컨대 , 3 개 의 홀딩 디바이스 들 , 4 개 의 홀딩 디바이스 들 , 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 을 포함 할 수 있 다 . 홀딩 디바이스 는 , 마스크 캐리어 또는 기판 캐리어 상 에 제공 되 는 적어도 하나 의 짝 맞춤 ( mating ) 연결 엘리먼트 에 연결 되 도록 구성 될 수 있 는 수 용부 ( reception ) 를 가질 수 있 다 . 예컨대 , 적어도 하나 의 짝 맞춤 연결 엘리먼트 는 록 킹 ( locking ) 볼트 로서 구성 될 수 있 다 . 마스크 캐리어 및 / 또는 기판 캐리어 가 , 미리 결정 된 포지션 에 있 을 때 , 올바른 포지션 을 홀딩 하 기 위해 , 홀딩 어 레인지 먼 트 및 록 킹 볼트 들 이 유리 하 게 채용 될 수 있 다 . 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 는 또한 , 홀딩 디바이스 들 을 포함 할 수 있 고 , 홀딩 디바이스 들 은 자기력 들 을 이용 하 여 마스크 캐리어 및 / 또는 기판 캐리어 에 연결 된다 . 예컨대 , 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 은 , 홀딩 디바이스 를 마스크 캐리어 또는 기판 캐리어 에 맞물리 게 하 기 위해 스위칭 온 ( switched on ) 될 수 있 는 전자석 을 포함 할 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인 지먼 트 는 2 개 의 홀딩 디바이스 들 , 즉 , 마스크 캐리어 를 홀딩 하 기 위한 하나 의 홀딩 디바이스 , 및 기판 캐리어 를 홀딩 하 기 위한 하나 의 홀딩 디바이스 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 2 개 의 자기 홀딩 디바이스 들 이 홀딩 어 레인지 먼 트 에 제공 될 수 있 다 .