다음 에 , i 선 스텝 퍼 FPA - 5510 iZ ( Canon Inc . 제 ) 를 이용 하 여 1 . 1 μ m 스퀘어 의 정방 형 픽셀 패턴 의 마스크 를 통해 , 초점 거리 를 - 0 . 3 μ m 로 해서 노광 을 행했 다 . 노광량 을 1000 J 에서 1000 J 씩 올리 면서 노광 을 행했 다 . 노광 후 의 도막 을 유기 알칼리 현상액 OD 210 ( ADEKA 사 제 ) 에서 1 분 현상 하 고 , 패들 수세 1 분 하 고 , 스핀 건조로 기판 을 건조 시켰 다 . 현상 , 수세 후 , 녹색 패턴 을 얻 었 다 .