S - D 처리 요소 및 / 또는 N - S - D 처리 요소 는 하나 이상 의 코팅 처리 요소 , 하나 이상 의 에칭 처리 요소 , 하나 이상 의 열처리 요소 , 하나 이상 의 노광 처리 요 소 , 하나 이상 의 산화 처리 요소 , 하나 이상 의 질화 처리 요소 , 하나 이상 의 현상 처리 요소 , 하나 이상 의 리소그래피 처리 요소 , 하나 이상 의 스캐너 관련 처리 요소 , 하나 이상 의 측정 처리 요소 , 하나 이상 의 검사 처리 요소 , 하나 이상 의 평가 처리 요소 , 하나 이상 의 시뮬레이션 처리 요소 , 하나 이상 의 예측 처리 요소 , 하나 이상 의 재 공정 처리 요소 , 하나 이상 의 보관 처리 요소 , 하나 이상 의 이송 처리 요소 , 하나 이상 의 로드 락 처리 요소 , 하나 이상 의 세정 처리 요소 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .