마지막 으로 , 상기 도어 및 상기 벤트 밸브 가 계속 닫혀진 상태 에서 상기 웨이퍼 의 이송이 완료 되 면 , 상기 슬릿 밸브 가 닫혀 지 고 상기 펌핑 밸브 가 열려진다 . 따라서 , 상기 로드 락 챔버 와 상기 공정 챔버 사이 에 웨이퍼 를 이송 하 기 위해서 는 상기 슬릿 밸브 가 개폐 동작 되 고 , 상기 펌핑 밸브 가 상기 슬릿 밸브 와 서로 상반 되 도록 개폐 동작 되 어야 만 한다 .