에 1 ~ 26 에 대하 여 , 평가 1 에서 스퍼터 성막 한 열처리 전 에 비저항 이 최소 로 된 것 에 대하 여 , 대기 분위기 하 , 550 ℃ 에서 1 시간 의 열처리 를 행하 였 다 . 평가 1 과 같이 시트 저항 을 측정 하 고 , 평가 1 에서 측정 한 막 두께 를 곱하 여 비저항 을 산출 하 였 다 . 또 , 열처리 전후 의 비저항 의 변화 율 을 이하 의 식 을 기초 로 하 여 산출 하 였 다 .