챔버 ( 30 ) 는 , 천 장판 ( 32 ) 을 가 열부 ( 20 ) 상 의 미리 정해진 높이 ( 이하 , 「 개폐 용 높이 」 라고 함 ) 에 지지 하 는 천장 판 지 지부 ( 33 ) 를 더 갖 는다 . 천 장판 ( 32 ) 은 상기 미리 정해진 높이 보다 아래 로 는 하강 하 지 않 기 때문 에 , 상기 미리 정해진 높이 의 천 장판 ( 32 ) 으로부터 떨어질 때 까지 둘레 벽 ( 31 ) 을 하강 시키 면 둘레 벽 ( 31 ) 과 천장 판 ( 32 ) 사이 를 개방 하 는 것 이 가능 하 다 . 이 에 의해 , 둘레 벽 ( 31 ) 과 천장 판 ( 32 ) 사이 를 지나 , 처리 공간 ( 34 ) 내 에 의 웨이퍼 ( W ) 의 반입 및 처리 공간 ( 34 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 반출 을 행할 수 있 다 .