[ 0041 ] 본 개시 내용 의 장치 는 , 캐리어 , 특히 , 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 의 포지셔닝 을 위해 구성 될 수 있 다 . 특히 , 장치 는 , 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 를 트랙 어 레인지 먼 트 를 따라 이동 시키 도록 구성 될 수 있 다 . 더 특히 , 장치 는 , 기판 캐리어 를 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 를 따라 이동 시킴 으로써 , 기판 캐리어 를 제 1 포지션 에 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 부가 적 으로 , 장치 는 , 마스크 캐리어 를 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 를 따라 이동 시킴 으로써 , 마스크 캐리어 를 제 2 포지션 에 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 및 제 2 트랙 어 레인 지먼 트 는 비접 촉식 운송 을 위해 구성 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 장치 는 , 예컨대 , 기판 캐리어 와 마스크 캐리어 를 정렬 시키 기 위해 , 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 서로 독립 적 으로 이동 시키 고 , 이 로써 , 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 가 서로 에 대해 상대 적 으로 포지셔닝 될 수 있 도록 구성 될 수 있 다 .