그리드 는 열 전도성 물질 을 포함 한다 . 그리드 는 스퍼터링 공정 의 결과 로서 가열 될 것 이 며 , 그리드 가 변형 되 는 것 을 방지 하 기 위해서 는 이 열 을 제거 해야 한다 . 예 를 들 어 , 그리드 가 챔버 의 벽 에 장착 되 면 , 그리드 로부터 챔버 벽 으로 열 이 전도 될 수 있 다 . 그리드 는 금속 , 특히 티타늄 , 스테인 레스 스틸 , 구리 , 알루미늄 또는 이 들 금속 의 임의 의 조합 으로 구성 될 수 있 다 .