에 어 베어링 ( 15 ) 은 연마 패드 ( 12 ) 의 내측 , 즉 , 연마 패드 ( 12 ) 의 내 주면 에 접촉 되 도록 구비 되 며 , 연마 패드 ( 12 ) 의 내 주면 을 지지 한다 . 에 어 베어링 ( 15 ) 의 일 측 에 는 에어 베어링 ( 15 ) 내부 에 공기 를 공급 하 는 공기 공급 부 ( 미 도시 ) 와 , 공기 공급 부 ( 미 도시 ) 를 통해 에어 베어링 ( 15 ) 내부 의 압력 을 조절 하 는 제 어부 ( 미 도시 ) 가 구비 될 수 있 다 .