성막 원료 가스 인 질소 함유 가스 로서 는 , 예컨대 질소 가스 ( N 2 ) , 암모니아 ( NH 3 ) , MMH ( 모노 메틸 하이드라진 ) 등 의 하이드라진 유도체 등 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 다른 성막 원료 가스 인 실리콘 함유 가스 로서 는 , 예컨대 실란 ( SiH 4 ) , 디 실란 ( Si 2 H 6 ) , TSA ( 트라이 실릴 아민 ) 등 을 이용 할 수 있 다 . 이 중 에서 도 , 특히 디 실란 ( Si 2 H 6 ) 이 바람직 하 다 . 또한 , 불활성 가스 로서 는 , 예컨대 N 2 가스 나 희가스 등 을 이용 할 수 있 다 . 희가스 는 플 라즈 마 여기 용 가스 로서 , 예컨대 Ar 가스 , Kr 가스 , Xe 가스 , He 가스 등 을 이용 할 수 있 다 .