이어서 , 가스 공급 부 ( 700 ) 를 통해 반응 공간 ( A ) 에 공정 가스 를 공급 하 고 , 플라 즈 마 발생 부 ( 400 ) 를 통해 공정 가스 가 공급 되 는 반응 공간 ( A ) 에 플 라즈 마 를 발생 시킨다 . 이 를 통해 플 라즈 마 화 된 공정 가스 를 생성 한다 . 이때 , 공정 압력 은 5 내지 500 mTorr 인 것 이 바람직 하 다 .