교정 공정 은 , 운용 개시 시 나 메인 터 넌 스 시 이외 의 임의 의 타이밍 에 실행 되 어도 되 고 , 예 를 들 면 이온 주입 장치 ( 10 ) 의 운용 시 에 정기 적 으로 교정 공정 을 실행 해도 된다 . 구체 적 으로 는 , 전회 의 교정 공정 으로부터 소정 시간 경과 했 을 경우 나 , 전회 의 교정 공정 의 후 에 제 1 프로파일러 컵 ( 44 a ) 에 의하 여 측정 되 는 빔 전류 측정값 의 적산 값 이 소정 의 임 곗값을 초과 한 경우 에 교정 공정 을 실행 해도 된다 . 이 와 같 은 교정 공정 에 있 어서 는 , 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j ( j = 1 , 2 , 3 … ) 가 결정 된다 . 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j 는 , 교정 파라미터 의 초깃값 kA , i 와 는 구별 하 여 기억 된다 . 여기 서 , 첨자 의 j 는 , 교정 공정 을 식별 하 기 위한 번호 이 며 , 예 를 들 면 교정 공정 을 실행 한 횟수 j 이 다 . 예 를 들 면 , 교정 파라미터 의 초깃값 kA , i 의 결정 후 에 있 어서 의 1 회 째 의 교정 공정 에 있 어서 제 1 갱신 값 kB , 1 이 결정 되 고 , 2 회 째 의 교정 공정 에 있 어서 제 2 갱신 값 kB , 2 가 결정 되 며 , 3 회 째 의 교정 공정 에 있 어서 제 3 갱신 값 kB , 3 이 결정 된다 . 교정 파라미터 의 갱신 후 의 주입 공정 에 있 어서 는 , 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j 를 이용 하 여 교정 된 빔 전 륫값 kB , jI 1 을 기준 으로 하 여 웨이퍼 처리 면 ( WS ) 에 있 어서 의 도스 양 이 제어 된다 . 구체 적 으로 는 , 최신 의 교정 공정 에 있 어서 결정 된 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j 를 이용 한다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 이 와 같이 하 여 결정 된 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j ( j = 1 , 2 , 3 … ) 를 각각 기억 한다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 교정 파라미터 의 갱신 값 kB , j 와 함께 , 교정 공정 의 실행 일시 나 교정 공정 을 실행 하 는 계기 가 된 사상 ( 事象 ) 을 나타내 는 정보 를 기억 해도 된다 .