일 실시 예 에 있 어서 , 표면 ( 289 ) 은 약 80 마이크 로 인치 ( μ - inch ) 내지 약 120 μ - inch 의 평균 표면 거칠 기 ( Ra ) 를 갖 는 거친 표면 을 제공 하 도록 비드 블라스 팅 된다 . 표면 ( 289 ) 의 거칠 기 는 거칠 지 않 은 표면 들 에 비해 표면 ( 289 ) 의 초기 복사율 을 증가 시키 며 , 부식 또는 산화 에 의해 유발 되 는 복사율 변화 를 감소 시키 며 , 이 는 프로세스 드리프트 를 감소 시킨다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 거친 표면 을 제공 하 기 위해 # 80 그릿 ( grit ) 크기 가 사용 된다 . 비드 블라 스팅 은 희망 하 는 그릿 크기 를 사용 하 여 희망 하 는 Ra 를 생성 하 는 것 으로 알려진 압력 으로 적용 될 수 있 다 . 일 양태 에 있 어서 , 비드 들 은 표면 ( 289 ) 의 임의 의 개구 들 로 들어가 는 것 이 허용 된다 . 일 양태 에 있 어서 , 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 임의 의 개구 들 의 직경 들 은 그릿 크기 보다 더 크 며 , 특히 # 80 그릿 크기 의 치수 보다 더 크 다 . 개구 들 은 진공 펌프 에 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 를 커플링 함 으로써 또는 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 개구 들 로 들어갈 수 있 는 임의 의 그릿 을 제거 및 배출 하 기 위해 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 를 진공 환경 에 배치 함 으로써 세척 될 수 있 다 . 다른 양태 에 있 어서 , 퍼지 가스 는 임의 의 비 드 들 또는 그릿 이 개구 들 로 들어가 는 것 을 방지 또는 최소 화 하 기 위해 약 80 psi 의 압력 으로 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 개구 들 을 통해 전달 될 수 있 다 .