도 46 및 도 49 를 참조 하 면 , 기판 ( 111 ) 상 에 제 1 서브 필라 ( 113 a ) 가 제공 된다 . 예 시 적 으로 , 제 1 서브 필라 ( 113 a ) 의 채널 막 ( 114 a ) 은 p 타입 을 갖 는 실리콘 물질 을 포함 한다 . 제 1 서브 필라 ( 113 a ) 의 채널 막 ( 114 a ) 은 제 2 방향 의 바디 로 동작 한다 . 제 1 서브 필라 ( 113 a ) 의 내부 물질 ( 115 a ) 은 절연 물질 로 구성 된다 .