콘 택 플러그 ( 180 ) 는 상부 절연 층 ( 195 ) 및 하부 절연 층 ( 190 ) 을 관통 하 여 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 과 연결 될 수 있 으며 , 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 에 전기 적 인 신호 를 인가 할 수 있 다 . 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 도 1 에 도시 된 것 과 같이 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 상 에 배치 될 수 있 으며 , 실시 예 들 에 따라 , 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 보다 y 방향 을 따라 긴 길이 를 갖 도록 배치 될 수 도 있 다 . 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 종횡비 에 따라 하부 의 폭 이 상부 의 폭 보다 좁 아 지 는 경사진 측면 을 가질 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 . 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 상부 로부터 예 를 들 어 , 제 3 채널 층 ( 143 ) 보다 아래 로 연장 될 수 있 다 . 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 예 를 들 어 , 제 2 채널 층 ( 142 ) 의 상면 에 대응 되 는 높이 까지 리세 스 될 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에서 , 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 을 리세 스 하 지 않 고 , 소스 / 드레 인 영역 ( 150 ) 의 상면 을 따라 접촉 되 도록 배치 될 수 도 있 다 . 콘 택 플러그 ( 180 ) 는 예 를 들 어 , 티타늄 질화 막 ( TiN ) , 탄 탈륨 질화 막 ( TaN ) , 또는 텅스텐 질화 막 ( WN ) 과 같 은 금속 질화물 , 및 / 또는 알루미늄 ( Al ) , 텅스텐 ( W ) , 또는 몰리브덴 ( Mo ) 등 의 금속 물질 을 포함 할 수 있 다 .