상기 커패시턴스 측정 장치 ( 44 ) 는 프로브 카드 ( 20 ) 를 통해 제 1 테스트 패드 에 일정 한 주파수 를 공급 하 고 , 프로브 카드 ( 20 ) 를 통해 제 2 테스트 패드 에 부극 성 ( -) 동작 전압 ( - Vg ) 에서 정극성 ( +) 동작 전압 ( + Vg ) 까지 의 전압 을 일정 한 전압 단위 로 가변 하 면서 측정 커패시턴스 를 측정 한다 .