또한 , 노광 장치 ( 100 ) 에서 는 , 레티 클 스테이지 ( RST ) 의 상방 에 , 노광 파장 의 광 을 이용 한 한 쌍 의 TTR ( Through The Reticle ) 얼라인먼트 계 로 이루어진 레티 클 얼라인먼트 검출 계 ( 13 ) ( 도 1 에서 는 미 도시 , 도 7 참조 ) 가 설치 되 어 있 다 . 레티 클 얼라인먼트 검출 계 ( 13 ) 의 검출 신호 는 , 얼라인먼트 신호 처리 계 ( 미 도시 ) 를 통해 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 된다 ( 도 7 참조 ) .