또한 , 예 를 들 면 , 도 18 에 도시 하 는 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 가 , 기준 위치 ( SP ) 에 없 고 , 깨져 있 을 때 를 생각 한다 . 그리고 , 원 으로 둘러싸인 영역 II 에 있 어서 , 깨어진 웨이퍼 ( W 1 ) 가 웨이퍼 ( W ) 와 포크 ( 3 A ) 사이 에 있 는 것 으로 한다 . 이 때 , 리니어 이미지 센서 ( 52 B ) 에서 는 , 도 19 에 도시 하 는 것 과 같이 , 각 화소 의 수광량 이 , 예 를 들 면 위치 ( E 1 ) 에서 제 1 값 ( n 1 ) 에서 제 2 값 ( n 2 ) 으로 변화 되 고 , 위치 ( E 2 ) 에서 도 제 1 값 ( n 1 ) 에서 제 2 값 ( n 2 ) 으로 변화 된다 . 따라서 , 리니어 이미지 센서 ( 52 B ) 는 , 서로 상이 한 2 개 의 위치 ( E 1 , E 2 ) 를 복수 의 주연 부 의 위치 ( 웨이퍼 엣지 ) 로서 검출 한다 . 그러면 , 각각 의 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 의 검출 값 에 기초 하 여 산출 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 반경 R 은 일치 하 지 않 거나 , 또는 참 의 값 에서 크 게 어긋나 는 경우 가 있 다 . 이러 한 때 에 , 제 어부 ( 6 ) 는 웨이퍼 ( W ) 가 깨져 있 다고 판정 할 수 있 다 .