이 송부 ( 130 ) 는 도 3 과 같이 기판 ( 110 ) 의 저면 에 배치 된 다수 의 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 과 , 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 각각 에 기판 ( 110 ) 의 저면 과 소정 의 경사진 방향 으로 다 수개 연결 되 어 기판 ( 110 ) 의 저면 에 공기 를 분사 하 는 다수 의 하부 경 사 노즐 들 ( 134 ) 과 , 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 에 공통 으로 공기 를 공급 하 는 제 2 하부 분배 관 ( 136 ) 을 구비 한다 . 이러 한 이 송부 ( 130 ) 는 후술 할 제 2 하부 밸브 들 ( 152 ) 의 개구 동작 에 따라 제 2 하부 분배 관 ( 136 ) 으로부터 하부 경사 노즐 관 들 ( 132 ) 로 유입 되 는 공기 를 다수 의 하부 경사 노즐 들 ( 134 ) 을 통해 기판 ( 110 ) 의 저면 에 대해 소정 의 경사진 방향 으로 분사 함 으로써 , 기판 ( 110 ) 을 소정 방향 으로 이송 시키 는 역할 을 한다 . 한편 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 이송 장치 는 하부 경사 노즐 관 들 각각 을 피스톤 로드 의 진퇴 운동 에 연동 시켜 소정 의 제 1 경사각 으로부터 기판 ( 110 ) 의 저면 에 수직 한 방향 을 기준 으로 제 1 경사각 과 동위각 을 이루 는 소정 의 제 2 경사각 까지 회전 시킬 수 도 있 다 . 이 에 대해서 는 도 9 및 도 10 을 참조 하 여 후술 하 기 로 한다 .