본 발명 의 정전 척 은 , 정전기력 에 의해 워크 기판 을 고정 하 는 정전 척 이 고 , 상기 워크 기판 이 재치 되 는 유전체 플레이트 와 , 상기 유전체 플레이트 를 지지 하 는 베이스 플레이트 와 , 상기 유전체 플레이트 와 상기 베이스 플레이트 사이 에 배치 되 어 상기 워크 기판 을 흡착 하 는 정전기력 을 야기 시키 기 위한 흡착 전극 을 구비 하 며 , 상기 유전체 플레이트 는 사파이어 플레이트 이 고 , 상기 베이스 플레이트 는 알루미나 세라믹 이 며 , 상기 흡착 전극 은 - 200 ℃ 이상 400 ℃ 이하 의 범위 에서 저항 변화 율 이 20 % 이하 이 며 , 상기 유전체 플레이트 와 상기 베이스 플레이트 가 상기 흡착 전극 을 통해 일체 로 접합 되 어 있 다 .