한편 , 소스 원료 및 반응 원료 가 계속 공급 되 더라도 , RF 전원 의 공급 이 중단 ( off ) 되 어 플 라즈 마가 발생 되 지 않 는 구간 에서 는 반응 원료 가 해리 되 지 않 을 수 있 다 . 이 에 , 반응 원료 와 소스 원료 가 상호 반응 하 지 않 으며 , 이 에 박막 즉 IGZO 막 즉 , 활성 층 ( 140 ) 이 형성 되 지 않 을 수 있 다 .