제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 투영 되 는 가변 의 패턴 을 생성 하 는 전자 마스크 ( 가변 성형 마스크 ) 를 가진다 . 본 실시 형태 에서 는 이 가변 성형 마스크 로서 예 를 들 면 비 발광 형 화상 표시 소자 ( 공간 광 변조기 : Spatial Light Modulator ( SLM ) 라고 도 불린다 ) 의 일종 인 DMD ( Deformable Micro - mirror Device 또는 Digital Micro - mirror Device ) 를 이용 한다 . DMD 는 소정 의 전자 데이터 에 의거 하 여 구동 하 는 복수 의 반사 소자 ( 미소 ( 微小 ) 미러 ) ( 2 ) 를 가진다 . 이 복수 의 반사 소자 ( 2 ) 는 DMD 의 표면 에 2 차원 매트릭스 모양 으로 배열 되 고 , 또한 소자 단위 로 구동 되 어 노광 광 ( EL ) 을 반사 , 편향 한다 . 각 반사 소자 ( 2 ) 는 그 반사면 의 각도 가 조정 되 어 본 실시 형태 에서 는 , 예 를 들 면 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 의 물 체면 에 대해서 비스듬 하 게 반사면 이 설정 되 는 제 1 상태 ( ON 상태 ) 에서 는 그 반사 되 는 노광 광 ( EL ) 이 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 에 입사 하 고 , 그 물 체면 과 거의 평행 으로 반사면 이 설정 되 는 제 2 상태 ( OFF 상태 ) 에서 는 그 반사 되 는 노광 광 ( EL ) 이 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 에 입사 하 지 않 도록 되 어 있 다 .