다음 에 , RF 전원 주파수 를 13 . 56 MHz , 처리 온도 를 280 ℃, 수소 유량 과 실란 가스 유량 과 불화 실란 의 유량 비율 을 200 : 1 : 10 , 압력 을 280 Pa , RF 전원 의 전력 을 200 W 로 한 플 라즈 마 CVD 법 에 의하 여 , 두께 50 nm 의 미결정 실리콘 막 을 형성 하 였 다 . 이 때 의 미결정 실리콘 막 의 라만 산란 스펙트럼 을 도 33 에 제시 한다 .