이 때 , 웨이퍼 에 결함 이 있 다면 웨이퍼 는 재 공정 될 수 있 고 , 재 공정 될 수 없 다면 폐기 될 수 있 으며 , " 2 중 또는 3 중 패 터닝 을 위해 오버헤드 핸들 링 또는 단일 웨이퍼 "" 사이드 트랙 "" 을 통해 다시 이송 될 수 있 다 . 또한 ", 포토 리소그래피 시스템 PAB , PEB , 스캐너 또는 현상 프로세스 에 대한 APC 조정 은 이 시점 에서 의 계측 결과 에 기초 하 여 이루어질 수 있 다 . 그러나 , APC 조정 및 사이트 종속 APC 조정 은 그 처리 의 임의 의 시점 에서 이루어질 수 도 있 다 . 예 를 들 면 , 본 예 에서 는 IM 모듈 7 이 웨이퍼 에 관한 웨이퍼 정보 를 촬상 하 는 제 1 모듈 이 며 , 웨이퍼 상 의 특정 사이트 는 프로세스 의 임의 의 단계 로부터 수집 될 수 있 다 . 예컨대 , 모듈 4 에 있 는 스캐너 는 웨이퍼 에서 수행 된 프로세스 에 관한 정보 , 또는 웨이퍼 의 소정 사이트 에서 수행 된 프로세스 에 관한 정보 를 제공 할 수 있 다 . 이 에 , APC 조정 은 웨이퍼 상 의 소정 의 사이트 에 따라 이루어질 수 있 으며 , 그 프로세스 의 다양 한 소스 로부터 의 정보 를 이용 하 여 이루어질 수 있 다 .