어댑터 ( 96 ) 를 분리 할 경우 , 작업자 는 핸들 ( H 1 ) 을 회전 시켜서 리니어 스테이지 ( 150 ) 및 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 을 , 도 11 a 및 도 11 b 의 파선 으로 도시 한 것 같이 , 어댑터 ( 96 ) 측 으로 이동 시킨다 . 그리고 , 작업자 는 핸들 ( H 2 L , H 2 R ) 을 회전 시켜서 , 분리 기구 ( 170 ) 에 의해 처리 용기 ( 30 ) 로부터 어댑터 ( 96 ) 를 분리 한다 .