상측 내부 공간 ( 11 U ) 에 형성 된 4 개 의 배기 부 ( 11 b , 11 c , 15 b , 15 c ) 각각 은 블록 체 에 형성 된 구멍 부 를 통해서 4 개 의 분기 배관 ( 50 B ) 에 접속 된다 . 4 개 의 분기 배관 ( 50 B ) 은 집합 배관 ( 50 M ) 에 접속 되 고 , 집합 배관 ( 50 M ) 은 진공 밸브 ( 50 U ) 를 통해 진공 펌프 ( 50 P ) 에 접속 된다 .