또한 , 이렇게 RF 전원 을 온 ( on ) 과 오프 ( off ) 즉 , 펄스 화 하 여 인가 하 여 , 플 라즈 마의 온 ( On ) 과 오프 ( Off ) 를 펄스 로 생성 시켜 활성 층 ( 140 ) 을 형성 함 에 따라 , 활성 층 ( 140 ) 의 밀도 ( density ) 가 향상 되 며 , 표면 거칠 기 ( 또는 표면 조도 ) 가 감소 한다 .