이어서 , 도 3 b 내지 도 3 d 를 참조 하 여 , 보정 정보 를 계측 오프셋 으로서 부가 함 으로써 계측 대상 으로 설정 된 웨이퍼 상 의 복수 의 마크 의 계측 값 을 보정 하 는 방법 에 대해 설명 한다 . 예 를 들 면 , 도 3 b 에 나타낸 것 과 같이 , 제 1 검출기 ( 21 a ) 와 제 2 검출기 ( 21 b ) 를 사용 해서 계측 대상 으로 설정 된 마크 32 F 와 32 G 를 동시 에 검출 했 을 때 의 계측 값 에 대해 차분 Δ A 를 계측 오프셋 으로서 부가 한다 . 또한 , 도 3 c 에 나타낸 것 과 같이 , 검출기 21 b 와 21 c 를 사용 해서 계측 대상 으로 설정 된 마크 32 L 과 32 M 을 동시 에 검출 했 을 때 의 계측 값 에 대해 , 차분 Δ B 를 계측 오프셋 으로서 부가 한다 . 더구나 , 마크 32 G 와 32 L 의 계측 값 에 대해서 , 계측 값 의 차분 Δ b 1 을 계측 오프셋 으로서 부가 한다 . 이 에 따라 , 마크 32 F , 32 G , 32 L , 32 M 의 계측 값 에 대해서 , 검출기 의 차이 및 웨이퍼 ( 3 ) 의 자세 변화 에 기인 한 계측 값 의 시프트 를 보정 할 수 있 다 .