이러 한 점 에서 , 제 2 RF 전력 의 듀티 비 는 50 % 이하 이 고 , 나아가 10 % 내지 50 % 범위 로 설정 될 수 있 다 . 한편 , 펄스 파 의 주파수 가 낮 은 경우 에 는 제 2 RF 전력 의 듀티 비 를 50 % 보다 작 게 설정 할 수 있 고 , 나아가 10 % 내외 로 설정 할 수 도 있 다 . 펄스 파 의 듀티 비 가 0 에 가까우 면 실질 적 인 전력 이 인가 되 지 않 으므로 듀티 비 가 0 % 인 경우 는 배제 한다 . 제 2 RF 전력 의 듀티 비 는 수소 함유량 측면 에서 는 작 을수록 좋 은 경향 을 보이 지만 , 증착 속도 가 낮 아 진다는 점 에서 소정 크기 이상 으로 유지 할 필요 가 있 다 .