한편 , 상기 제 1 반응물 을 형성 하 는 공정 과 , 제 1 퍼지 가스 로 퍼지 하 는 공정 과 , 제 2 반응물 을 형성 하 는 공정 과 , 제 2 퍼지 가스 로 퍼지 하 는 공정 이 하나 의 사이클 ( cycle ) 이 된다 . 따라서 , 상기 티타늄 알루미늄 질화 막 의 두께 는 상기 사이클 을 반복 수행 함 으로써 조절 할 수 있 다 . 즉 , 상기 사이클 의 반복 횟수 가 증가 할수록 티타늄 알루미늄 질화 막 의 두께 가 증가 하 게 된다 .