복수 의 온도 측정 수단 ( 200 ) 을 챔버 ( 100 ) 의 외측 면 및 내 측면 에 균일 하 게 배치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 를 통해 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 더욱 정밀 하 게 측정 할 수 있 다 . 온도 측정 은 챔버 ( 100 ) 내부 혹은 외부 외주 에서 측정 가능 하 다 . 이때 , 외부 에서 측정 후 내부 온도 로 환산 할 수 도 있 다 .