이때 , 상기 슬롯 부 ( 128 ) 에 세정 하 고자 하 는 웨이퍼 ( W ) 가 수납 되 어 있 다 . 여기 서 , 상기 도 8 에 는 다 수개 의 슬롯 부 ( 128 ) 에 하나 의 웨이퍼 가 수납 되 어 있 는 상태 가 도시 되 어 있 으나 , 이 는 본 발명 의 용이 한 설명 을 위한 것 으로서 , 실질 적 으로 는 상기 다 수개 의 슬롯 부 ( 128 ) 마다 웨이퍼 가 수납 된다 .