또한 본 발명 의 초음파 장치 모니터링 방법 은 , 초음파 장치 를 모니터링 하 는 방법 에 있 어서 , 상기 진동자 에 일정 주파수 의 전기 신호 를 인가 하 는 단계 와 , 상기 인가 된 전기 신호 에 따른 전류 및 주파수 를 측정 하 는 단계 와 , 상기 측정 된 전류 및 주파수 를 통해 세정 장치 의 이상 작동 및 고장 여부 를 판별 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 이상 작동 여부 판별 은 측정 된 전류 및 주파수 를 기준 값 과 비교 하 여 적어도 하나 이상 의 오 차 가 검출 될 경우 이상 작동 또는 고장 상태 로 판정 하 되 , 상기 이상 작동 및 고장 여부 를 판별 하 는 단계 에서 주파수 와 전류 값 이 동시 에 변화 된 경우 진동자 의 특성 변화 나 압 전소 자 가 진동자 로부터 탈착 된 것 으로 판정 하 며 , 전류 값 이 측정 되 지 않 을 경우 는 전선 이 단락 된 것 으로 판정 한다 .