제 2 제 어부 ( 44 ) 는 , 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 기판 이 반입 되 어 있 지 않 은 경우 에 는 , 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 기판 을 반입 하 도록 반송 장치 ( 90 ) ( 제 3 제 어부 ( 46 ) ) 를 제어 한다 . 즉 , 제 2 제 어부 ( 44 ) 는 , 제 3 제 어부 ( 46 ) 에 대하 여 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD 2 ) 에 의해 포토레지스트 가 도포 된 기판 을 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 반입 하 도록 지시 한다 . 또한 , 제 2 제 어부 ( 44 ) 는 , 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 있 어서 의 기판 의 노광 이 종료 된 경우 에 는 , 제 3 제 어부 ( 46 ) 에 대하 여 , 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 의해 노광 된 기판 을 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD 2 ) 에 반입 하 도록 지시 한다 .