다음 으로 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 에 대하 여 설명 한다 . 또한 , 도 5 에 있 어서 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 는 , 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 취 출하 기 위하 여 이용 되 고 , 나머지 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 는 , 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 수납 하 기 위하 여 이용 된다 . 또한 , 도 15 는 , 실시 예 1 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 을 설명 하 기 위한 플로 차트 이 다 .