제 3 가스 공급 라인 ( 130 ) 으로부터 제 3 가스 공급 부 ( 430 ) 를 통하 여 공급 된 제 3 가스 는 도파관 본체 ( 420 ) 에서 3 개 의 배 출부 ( 410 ) 각각 으로 고르 게 분배 되 어 3 개 의 배 출부 ( 410 ) 각각 과 연결 된 반응 챔버 ( 160 ) 하 단부 에 마련 된 3 개 의 제 3 가스 분사구 ( 161 ) 각각 을 통하 여 반응 챔버 ( 160 ) 내부 에서 3 방향 으로 배출 된다 .