특히 구동 부 ( 515 ) 를 X 축 방향 으로 왕복 운동 하 도록 하 여 모듈 ( A , B , C ) 의 순서 대로 또는 그 역순 으로 공정 을 용이 하 게 진행 할 수 있 다 . 즉 모듈 ( A ) , 모듈 ( B ) , 모듈 ( C ) , 모듈 ( B ) , 모듈 ( A ) , 모듈 ( B ) , 모듈 ( C ) 등 의 순서 대로 공정 을 진행할 수 있 다 . 이 때 각 모듈 의 상측 부재 및 측면 부재 사이 의 공간 을 향하 도록 기체 가 주입 되 어 기판 ( 101 ) 의 이동 방향 에 상관없이 원 하 는 기상 증착 공정 을 용이 하 게 진행 할 수 있 다 .