매니폴드 ( 209 ) 에 는 , 가스 도입부 로서 의 노즐 ( 230 a , 230 b ) 이 처리 실 ( 201 ) 내 에 연통 하 도록 접속 되 어 있 다 . 노즐 ( 230 a , 230 b ) 에 는 , 박막 을 형성 하 는 처리 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 하 는 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 이 각각 접속 된다 . 처리 가스 공급 관 ( 232 a ) 의 노즐 ( 230 a ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( 매스 플로우 컨트롤러 , 241 a ) 를 개재 하 여 제 1 처리 가스 공급원 으로서 의 SiH 2 Cl 2 ( DCS ) 가스 공급원 ( 271 ) 이 접속 된다 . 처리 가스 공급 관 ( 232 a ) 의 MFC ( 241 a ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 a , 261 a ) 가 설치 된다 . 처리 가스 공급 관 ( 232 b ) 의 노즐 ( 230 b ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( 매스 플로우 컨트롤러 , 241 b ) 를 개재 하 여 제 2 처리 가스 공급원 으로서 의 NH 3 가스 공급원 ( 272 ) 이 접속 된다 . 처리 가스 공급 관 ( 232 b ) 의 MFC ( 241 b ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 b , 261 b ) 가 설치 된다 . 주로 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) , MFC ( 241 a , 241 b ) , 밸브 ( 262 a , 261 a , 262 b , 261 b ) , SiH 2 Cl 2 가스 공급원 ( 271 ) , NH 3 가스 공급원 ( 272 ) 에 의해 처리 가스 공급계 가 구성 된다 .