처리 액 공급 기구 는 소수 화제 공급 유닛 ( 318 ) 과 , 제 2 용제 밸브 ( 319 ) 가 개재 된 제 2 용제 공급 배관 ( 320 ) 과 , 수용성 용제 밸브 ( 321 ) 가 개재 된 수용성 용제 공급 배관 ( 322 ) 과 , 건조제 밸브 ( 323 ) 가 개재 된 건조제 공급 배관 ( 324 ) 과 , 린스 액 밸브 ( 325 ) 가 개재 된 린스 액 공급 배관 ( 326 ) 을 포함 한다 . 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 은 소수 화제 공급 유닛 ( 318 ) , 제 2 용제 공급 배관 ( 320 ) , 린스 액 공급 배관 ( 326 ) , 및 건조제 공급 배관 ( 324 ) 에 접속 되 어 있 다 . 소수 화제 공급 유닛 ( 318 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 에 는 , 소수 화제 ( 액체 ) 가 공급 된다 . 또한 , 제 2 용제 밸브 ( 319 ) 가 열리 면 , 제 1 용제 ( 액체 ) 가 제 2 용제 공급 배관 ( 320 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 에 공급 된다 . 또한 , 수용성 용제 밸브 ( 321 ) 가 열리 면 , 수용성 용제 ( 액체 ) 가 수용성 용제 공급 배관 ( 322 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 에 공급 된다 . 또한 , 건조제 밸브 ( 323 ) 가 열리 면 , 건조제 ( 액체 ) 가 건조제 공급 배관 ( 324 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 으로 공급 된다 . 또한 , 린스 액 밸브 ( 325 ) 가 열리 면 , 린스 액 ( 도 21 및 도 22 에서 는 , 순수 ) 이 린스 액 공급 배관 ( 326 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 317 ) 으로 공급 된다 .