상기 제 4 단계 에서 상기 금속 의 플 라즈 마 를 이용 한 표면 처리 는 베 큠싸이언스 사 의 패러 럴 일렉트로 드 타입 ( parallel electrode type ) 플 라즈 마장 치 를 사용 하 였 다 . 캐리어 가스 로 는 순도 99 . 999 % 의 초 고순 도 산소 와 산소 / 아르곤가스 를 50 : 50 의 비율 로 혼합 하 여 사용 하 였 다 . 상기 파일 원사 를 표면 처리 시 , 챔버 내 의 초기 진공도 는 10 - 3 torr 이 고 , 캐리어 가스 를 주입 한 후 에 는 10 - 2 torr 가 되 도록 유지 하 였 다 . 플 라즈 마 처리 의 파워 와 처리 시간 은 각각 100 W 에서 1 분 동안 수행 하 였 다 .