도 5 는 하부 벽 ( 3 ) 의 함몰 부 내 에 삽입 된 ( 회전 가능 한 ) 기판 지지 부 ( 9 ) 를 나타내 는데 , 지지 부 ( 9 ) 의 상면 은 하부 벽 ( 3 ) 의 상면 과 실질 적 으로 일직선 으로 정렬 된다 . 지지 부 ( 9 ) 는 디스크 와 같 은 형상 이 며 , 기판 을 수용 하 도록 포켓 부 ( 미 도시 ) 를 포함 한다 . 지지 부 ( 9 ) 는 흑연 으로 제작 되 며 ( 일반 적 으로 SiC 또는 TaC 층 으로 코팅 됨 ) 또한 기판 서 셉 터로 이용 된다 .