주사 전자 현미경 이란 , 10 - 3 Pa 이상 의 진공 중 에 놓인 시편 표면 을 1 ~ 100 nm 정도 의 미세 한 전자선 으로 x - y 의 이차원 방향 으로 주사 하 여 , 시편 표면 에서 발생 하 는 2 차 전자 , 반사 전자 , 투과 전자 , 가시광선 , 적외선 , X 선 , 내부 기전력 등 의 신호 를 검출 하 여 음극선관 ( 브라운관 ) 화면 상 에 확대 화상 을 표시 하 거나 기록 하 여 시편 의 형태 , 미세 구조 의 관찰 이나 구성 원소 의 분포 , 정성 , 정량 등 의 분석 을 행하 는 장치 이 다 .