이상 에서 와 같이 , 본 발명 은 벌브 형 으로 리세 스 된 상 / 하부 홈 을 형성 한 후 , 넥 형태 의 상부 홈 이 막히 지 않 도록 상기 상 / 하부 홈 의 측벽 에 제 1 폴리 실리콘 막 을 형성 하 고 , 벌브 형태 의 하부 홈 내부 가 매립 되 도록 절 연막 을 형성 한다 . 그런 다음 , 게이트 의 저항 을 개선 하 기 위하 여 , 상기 절 연막 상 에 텅스텐 막 을 상부 홈 내 에 매립 한 후 , 상기 텅스텐 막 상 에 제 2 폴리 실리콘 막 을 포함 하 는 게이트 를 형성 한다 .