기판 반송 장치 , 기판 반송 방법 및 그 기판 반송 방법 을 실행 시키 기 위한 프로그램 을 기록 한 기록 매체 { SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS , SUBSTRATE TRANSFER METHOD , AND RECORDING MEDIUM HAVING RECORDED PROGRAM FOR EXECUTING THE SUBSTRATE TRANSFER METHOD }