제 1 및 제 2 상부 필라 들 ( UP 1 , UP 2 ) 각각 은 절 연막 ( 116 '') 및 채널 막 ( 114 '') 을 포함 한다 . 제 1 및 제 2 하부 필라 들 ( DP 1 , DP 2 ) 각각 은 절 연막 ( 116 '') 및 채널 막 ( 114 '') 을 포함 한다 . 도 63 및 도 64 를 참조 하 여 설명 된 바 와 마찬가지 로 , 제 1 및 제 2 상부 필라 들 ( UP 1 , UP 2 ) 과 제 1 및 제 2 하부 필라 들 ( DP 1 , DP 2 ) 의 절 연막 ( 116 '') 은 블로킹 절 연막 , 전하 저 장막 , 그리고 터널 링 절 연막 을 포함 할 것 이 다 .