도 7 을 참조 하 면 , 제어기 ( 300 ) 는 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 이 제 2 챔버 ( 34 ) 로부터 제 1 버퍼 부 ( 100 ) 의 제 1 지지 부재 ( 110 ) 에 기판 ( W ) 을 안 착하 도록 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 을 제어 한다 . 이때 , 제 1 지지 부재 ( 110 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 은 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 방향 이 상 방향 ( Y 1 ) 을 향한다 . 그리고 , 제어기 ( 300 ) 는 제 2 로봇 암 ( 54 a ) 이 제 1 지지 부재 ( 110 ) 로부터 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 어느 하나 로 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 제 2 로봇 암 ( 54 a ) 을 제어 한다 . 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 로 이송 되 어 진 기판 ( W ) 은 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 의 척 ( 52 b ) 에 안착 된다 . 이때 , 척 에 안착 된 기판 ( W ) 은 노치 ( W 1 ) 가 기판 출입구 ( 52 a ) 를 향한다 . 즉 , 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 트랜스퍼 챔버 ( 54 ) 를 기준 으로 좌측 에 위치 되 는 챔버 에 안착 된 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 는 우측 방향 ( X 1 ) 을 향한다 . 이 에 반해 , 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 트랜스퍼 챔버 ( 54 ) 를 기준 으로 우측 에 위치 되 는 챔버 에 안착 된 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 는 좌측 방향 ( X 2 ) 을 향한다 .