도시 된 바 와 같이 , 콜렛 ( 130 ) 중 스 페이서 를 픽업 하 는 바닥 면 에 는 관 통공 ( 134 ) 과 연결 된 복수 개 의 진공 홀 ( 138 ) 들 이 형성 되 는데 , 예 를 들 어 진공 홀 ( 138 ) 들 은 콜렛 ( 130 ) 바닥 면 의 네 모서리 각각 과 중앙 부분 에 형성 된다 . 상술 한 위치 에 형성 된 진공 홀 ( 138 ) 들 은 관 통공 ( 134 ) 과 진공 홀 ( 138 ) 들 을 상호 연결 시키 는 연결 공 ( 136 ) 에 의해 모두 연결 된다 . 바람직 하 게 , 연결 공 ( 136 ) 은 평면 상 에서 보 았 을 때 , X 형상 을 갖 는다 .