현상 후 에 , 추가 로 가열 ( 포스트 베 이크 ) 및 노광 중 적어도 한 쪽 을 행해도 된다 . 이 양태 에 의하 면 , 막 의 경화 를 더 진행 시켜 , 보다 강고 하 게 경화 된 막 을 제조 할 수 있 다 . 포스트 베 이크 를 행하 는 경우 , 가열 온도 는 , 100 ~ 260 ℃ 가 바람직 하 다 . 하한 은 120 ℃ 이상 이 보다 바람직 하 며 , 160 ℃ 이상 이 특히 바람직 하 다 . 상한 은 240 ℃ 이하 가 보다 바람직 하 며 , 220 ℃ 이하 가 특히 바람직 하 다 . 가열 온도 가 상기 범위 이 면 , 강도 가 우수 한 막 이 얻 어 지 기 쉽 다 . 가열 시간 은 , 1 ~ 180 분 간 이 바람직 하 다 . 하한 은 3 분 간 이상 이 보다 바람직 하 다 . 상한 은 120 분 간 이하 가 보다 바람직 하 다 . 가열 장치 로서 는 , 특별히 제한 은 없 으며 , 공지 의 장치 중 에서 , 목적 에 따라 적절히 선택 할 수 있 고 , 예 를 들 면 드라이 오븐 , 핫플레이트 , 적외선 히터 등 을 들 수 있 다 .