정보 처리 장치 ( 1200 ) 는 , 목표 토포 그래프 결정 유닛 ( 1204 ) 및 드롭 레시피 생성 유닛 ( 1205 ) 을 포함 할 수 있 다 . 정보 처리 장치 ( 1200 ) 가 제 1 또는 제 4 실시 형태 에 적용 되 는 경우 에 는 , 드롭 레시피 생성 유닛 ( 1205 ) 에 의해 생성 된 드롭 레시피 를 따라서 조성물 ( 3 ') 이 프로세스 웨이퍼 ( W ) 위 에 디 스펜서 ( 309 ) 에 의해 배치 될 수 있 다 . 정보 처리 장치 ( 1200 ) 가 제 2 또는 제 3 실시 형태 에 적용 되 는 경우 , 목표 토포 그래프 결정 유닛 ( 1204 ) 에 의해 결정 된 상부 표면 형상 을 갖 도록 슈퍼 스트레이트 ( M 2 ) 가 제조 될 수 있 다 .