블랭크 마스크 는 합성 석영 유리 등 으로 이루어지 는 투광 성 기판 의 주 표면 상 에 금속 재료 를 포함 하 는 박막 이 형성 되 고 , 박막 위 에 레지스 트 막 이 형성 된 것 으로서 , 포토 마스크 는 이러 한 블랭크 마스크 로부터 박막 이 패 터닝 된 형태 를 갖 는다 . 여기 서 , 상기 박막 은 광학 적 특징 에 따라 차광막 , 반사 방지 막 , 위상 반 전막 , 반투 광막 , 하드 필름 등 으로 구분 할 수 있 고 , 이러 한 박막 들 중 둘 이상 의 특성 을 포함 하 는 박막 이 혼용 되 어 사용 되 기 도 한다 .