제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 대해 기판 ( P ) 위 의 쇼트 영역 ( SH ) 이 이동 하 고 있 는 사이 , 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 에 의해 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 투영 되 는 패턴 의 상 이 순서 대로 변경 되 어 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 을 통과 한 쇼트 영역 ( SH ) 에 는 제 1 패턴 의 상 이 형성 된다 . 마찬가지 로 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대해서 쇼트 영역 ( SH ) 이 이동 하 고 있 는 사이 , 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 B ) 에 의해 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 투영 되 는 패턴 의 상 이 순서 대로 변경 되 어 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 을 통과 한 쇼트 영역 ( SH ) 에 는 제 2 패턴 의 상도 형성 된다 . 즉 , 기판 ( P ) 위 의 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 1 패턴 의 상과 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 2 패턴 의 상 으로 다중 노광 ( 이중 노광 ) 된다 .