그런데 , 도 3 및 도 4 에 잘 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 제 1 가동 식 셔터 ( 80 a ) 의 제 2 가동 식 셔터 ( 80 b ) 측 의 가장자리 부 에 , 상방 으로 돌출 한 제 1 정류판 ( 86 a ) 이 설치 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 제 2 가동 식 셔터 ( 80 b ) 의 제 1 가동 식 셔터 ( 80 a ) 측 의 가장자리 부 에 , 상방 으로 돌출 한 제 2 정류판 ( 86 b ) 이 설치 되 어 있 다 . 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 각 정류판 ( 86 a , 86 b ) 의 상방 으로 의 돌출 량 은 대략 원판 형상 으로 이루어지 는 웨이퍼 ( W ) 의 판면 의 직경 과 대략 동일 하 게 되 어 있 다 .