높이 측정 센서 ( 230 ) 의 측정값 은 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 마모 량 에 따라 변화 한다 . 따라서 , 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 변위 의 변화 에 기초 하 여 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 마모 량 을 측정 한다 . 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 소정 매수 의 웨이퍼 W 가 처리 될 때 마다 , 이 마모 량 의 측정 을 실행 해도 된다 .