상기 각종 현상 방법 에 있 어서 현상 장치 의 현상 노즐 을 통해서 레지스 트 막 을 향해서 현상액 을 토출 하 는 공정 이 포함 될 경우 , 토출 되 는 현상액 의 토출 압 ( 토출 되 는 현상액 의 면적 당 유속 ) 은 바람직 하 게 는 2 ㎖/ sec / ㎟ 이하 , 보다 바람직 하 게 는 1 . 5 ㎖/ sec / ㎟ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 ㎖/ sec / ㎟ 이하 이 다 . 유속 의 하한 은 특별히 없 다 . 그러나 , 스루풋 의 관점 에서 유속 은 0 . 2 ㎖/ sec / ㎟ 이상 인 것 이 바람직 하 다 .