또한 도전 층 ( 112 ) , 도전 층 ( 106 ) , 도전 층 ( 120 a ) , 도전 층 ( 120 b ) 에 는 상술 한 금속 원소 중 에서 도 특히 타이타늄 , 텅스텐 , 탄탈럼 , 및 몰리브데넘 중 에서 선택 되 는 어느 하나 또는 복수 를 가지 면 바람직 하 다 . 특히 , 질화 탄탈럼 막 을 사용 하 는 것 이 적합 하 다 . 상기 질화 탄탈럼 막 은 도전 성 을 가지 고 , 구리 , 산소 또는 수소 에 대한 배리 어성 이 높 고 , 그 자체 로부터 의 수소 방출 이 적 기 때문 에 , 반도체 층 ( 108 ) 과 접하 는 도전 막 또는 반도체 층 ( 108 ) 근방 의 도전 막 으로서 적합 하 게 사용 할 수 있 다 .