스테이션 부 ( 200 ) 는 외부 와 격리 된 챔버 ( 200 a ) 을 포함 한다 . 스테이션 부 ( 200 ) 와 반응 챔버 ( 100 ) 사이 에 는 이 들 간 에 합성 기판 ( 10 ) 이 이동 되 는 통로 를 개폐 하 는 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 가 설치 되 고 , 스테이션 부 ( 200 ) 와 제 2 이송 장치 ( 700 ) 사이 에 는 이 들 간 에 합성 기판 ( 10 ) 이 이동 되 는 통로 를 개폐 하 는 제 2 게이트 밸브 ( 224 ) 가 설치 된다 .