이러 한 배치 관계 로 되 는 주가 열 코일 ( 30 ) 과 종속 가열 코일 ( 32 , 34 ) 은 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 서 셉 터 ( 52 ) 의 재치 면 에 대해 수직 방향 으로 교차 하 도록 방사 되 는 자속 의 방향 이 서로 역방향 이 되 어 상쇄 된다 . 이 때문 에 , 서 셉 터 ( 52 ) 에 올려 지 는 웨이퍼 ( 54 ) 의 표면 에 금속 막 등 이 형성 되 어 있 던 경우 에 도 수직 방향 자속 의 영향 에 의해 웨이퍼 ( 54 ) 가 직접 가열 될 우려 가 없 어 , 웨이퍼 ( 54 ) 의 온도 분포 가 불 균일 해질 우려 가 없 다 .