여기 서 , EFEM 은 2 개 의 대기 반송 로봇 을 구비 하 여 2 개 의 대기 반송 로봇 이 동시 에 또는 시간 차 를 두 고 로드 락 모듈 로 또는 로드 락 모듈 로부터 웨이퍼 를 이송 하 며 , 로드 락 모듈 은 한 번 에 2 매 의 웨이퍼 의 이송이 가능 한 진공 로봇 을 구비 하 여 프로세스 모듈 과 EFEM 간 에 웨이퍼 를 이송 하 는 역할 을 수행 한다 . 종래 의 웨이퍼 이송 장치 에서 는 , 각각 1 매 의 웨이퍼 를 처리 할 수 있 는 최대 6 개 의 프로세스 모듈 ( 또는 3 개 의 트윈 모듈 ) 이 마련 되 고 , 로드 락 모듈 에서 동시 에 2 매 의 웨이퍼 를 이송 함 으로써 , 6 매 의 웨이퍼 를 처리 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 이 는 1998 년 8 월 17 일 공개 된 대한민국 공개 특허 공보 제 10 - 1998 - 0042482 ( 웨이퍼 처리 장치 및 방법 ) 에 상세히 기재 되 어 있 으므로 , 그 설명 을 생략 하 기 로 한다 .