분사 부 ( 300 ) 는 예 를 들 어 용량 결합 플 라즈 마 ( CCP ; Capacitively Coupled Plasma ) 방식 , 유도 결합 플 라즈 마 ( ICP ; Inductively Coupled Plasma ) 방식 또는 마이크로웨이브 플 라즈 마 ( Microwave Plasma ) 방식 으로 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 있 다 . 도 1 은 유도 결합 플 라즈 마 방식 으로 플 라즈 마 를 발생 시키 는 샤워 헤드 가 분사 부 ( 300 ) 의 역할 을 수행 하 는 것 으로 도시 하고 있 는데 , 이하 이 를 위주 로 설명 하 기 로 한다 .