인덱스 모듈 ( 10 ) 내 의 카세트 ( 18 ) 가 놓이 는 하나 또는 복수 의 로드 포트 ( 120 ) 와 , 로드 포트 ( 120 ) 에 놓인 카세트 ( 18 ) 와 처리 모듈 간 에 기판 을 반송 하 는 인덱스 로봇 이 제공 되 는 반송 프레임 ( 140 ) 에 있 어서 , 로드 포트 ( 120 ) 와 반송 프레임 ( 140 ) 은 제 1 방향 으로 배열 되 고 , 로드 포트 ( 120 ) 와 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 은 상부 에서 바라볼 때 제 1 방향 과 동일 한 방향 으로 배열 될 수 있 다 .