다만 , 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 의 두께 가 터널 절연 패턴 ( 240 ) 혹은 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 의 두께 보다 클 수 있 으며 , 이 에 따라 제 2 갭 ( 350 ) 을 통해 예비 전하 저장 구조물 ( 250 ) 에 제 1 질화 공정 을 수행 함 에 따라서 , 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 에 인접 한 예비 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) 부분 만 이 질화 되 어 전하 트래핑 패턴 ( 232 ) 이 형성 될 수 있 다 .