도 5 를 참조 하 면 , 레티 클 검사 모듈 ( 410 ) 은 광학 스펙 트 로스 코피 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 레티 클 검사 모듈 ( 410 ) 은 제 2 레티 클 스테이지 ( 412 ) , 제 2 레이저 ( 414 ) , 하프 미러 ( 415 ) , 대물 렌즈 ( 416 ) , 접안 렌즈 ( 418 ) , 및 광 검출기 ( 419 ) 를 포함 할 수 있 다 .