다음 으로 , 단계 ( S 5 ) 에 있 어서 , 도 7 의 ( A ) 와 같이 , 얼라인먼트 실 제 어부 는 , S 4 에 있 어서 의 계측 결과 로부터 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 의 위치 어긋남 량 을 산출 하 고 , 위치 어긋남 의 값 이 소정 의 허용 범위 에 들어가 도록 , 유리 기판 ( G ) 을 보유 지지 한 반송 캐리어 ( 302 ) 의 위치 를 조정 한다 . 위치 조정 시 에 는 , 부호 331 로 나타내 는 바 와 같이 , 구동 용 코일 ( 306 a , 306 b ) ( 도 3 참조 ) 에 인가 되 는 전류 또는 전압 을 제어 하 고 , 구동 용 마그넷 ( 305 a , 305 b ) 과 의 사이 의 자력 을 조정 한다 . 이 와 같이 이 단계 의 얼라인먼트 동작 은 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 부상 시킨 상태 로 행해진다 . 다음 으로 , 단계 ( S 6 ) 에 있 어서 , 얼라인먼트 카메라 가 다시 계측 을 행하 고 , 얼라인먼트 실 제 어부 가 위치 어긋남 의 값 이 소정 의 범위 내 인지 아닌지 를 판정 한다 . 만약 범위 밖 이 라면 S 5 로 돌아가 고 , 위치 어긋남 값 이 범위 내 로 들어갈 때 까지 얼라인먼트 를 반복 한다 .