본 발명 의 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 이송 로봇 은 , 상기 스테이지 를 수직 방향 으로 이동 시키 기 위한 수직 구동 부 와 , 상기 스테이지 를 회전 시키 기 위한 회전 구동 부 를 더 포함 할 수 있 으며 , 상기 제 2 이송 로봇 은 , 상기 제 2 스테이지 를 수직 방향 으로 이동 시키 기 위한 제 2 수직 구동 부 를 더 포함 할 수 있 다 .