또한 , 각 분 할 금속 창 ( 57 ) 이 갖 는 가스 도입 관 ( 55 ) 이 하나 로 모이 는 일 이 없이 , 각각 이 단독 으로 처리 가스 공급 부 ( 60 ) 에 연통 하 며 , 분할 금속 창 ( 57 ) 마다 처리 가스 의 공급 제어 가 실행 되 어도 좋 다 . 또한 , 금속 창 ( 50 ) 의 외측 에 위치 하 는 복수 의 분할 금속 창 ( 57 ) 이 갖 는 가스 도입 관 ( 55 ) 이 하나 로 모이 고 , 금속 창 ( 50 ) 의 내측 에 위치 하 는 복수 의 분할 금속 창 ( 57 ) 이 갖 는 가스 도입 관 ( 55 ) 이 별도 로 하나 로 모여 , 각각 의 가스 도입 관 ( 55 ) 이 개별 적 으로 처리 가스 공급 부 ( 60 ) 에 연통 하 며 처리 가스 의 공급 제어 가 실행 되 어도 좋 다 . 즉 , 전자 의 형태 는 분할 금속 창 ( 57 ) 마다 처리 가스 의 공급 제어 가 실행 되 는 형태 이 며 , 후자 의 형태 는 금속 창 ( 50 ) 의 외부 영역 과 내부 영역 으로 나누 어 처리 가스 의 공급 제어 가 실행 되 는 형태 이 다 .