본 실시 예 에 의하 면 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 은 , 겹쳐 쌓 도록 배치 된 2 개 의 처리 층 ( A 1 , A 2 ( 또는 B 1 , B 2 ) ) 을 갖 는다 . 기판 버퍼 ( BF ) 는 , 2 개 의 예 를 들 면 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 의 계층 에 대응 하 여 설치 된 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 는 각각 , ID 블록 ( 2 ) 에 대하 여 착 탈 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 즉 , 기판 버퍼 ( BF ) 는 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 각 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 는 , 개개 에 , 착 탈 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 개개 에 , 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 반송 할 수 있 으므로 , 기판 버퍼 ( BF ) 의 반송 이 용이 하 다 .