우선 , 제 1 진공 반송 로봇 이 PM 1 에 액세스 하 고 , 기판 을 넘겨 주 는 데 7 초 가 걸린다 . 기판 을 받 은 PM 1 에서 는 , 프로세스 를 시작 한다 . 다음 으로 , 제 1 진공 반송 로봇 은 PM 2 에 미처리 의 기판 ( W ) 을 넘겨 주 기 위해서 , 로드 록 챔버 를 향해서 선회 하 고 ( 2 초 ) , 로드 록 챔버 에 액세스 하 고 , 기판 ( W ) 을 수취 하 고 ( 7 초 ) , PM 2 를 향해서 선회 한다 ( 2 초 ) . 그리고 , 진공 반송 로봇 은 , PM 2 에 액세스 하 고 , 미처리 의 기판 ( W ) 을 넘겨준다 ( 7 초 ) . PM 2 에 미처리 의 기판 ( W ) 을 넘겨 주 면 , 진공 반송 로봇 은 로드 록 챔버 의 방향 을 향하 고 ( 2 초 ) , 로드 록 챔버 에 액세스 하 고 , 로드 록 챔버 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 수취 하 고 ( 7 초 ) , PM 1 을 향해서 선회 한다 ( 2 초 ) . 제 1 진공 반송 로봇 은 2 개 의 프로세스 챔버 밖에 담당 하 지 않 으므로 , 이것 으로 1 사이클 이 종료 한다 . 1 사이클 은 36 초 이 므로 , 프로세스 처리 시간 이 29 초 를 상회 하 는 프로세스 에서 는 PM 1 에서 의 대기 시간 은 발생 하 지 않 고 , 프로세스 처리 시간 이 29 초 를 하회 하 는 단시간 프로세스 를 실행 할 경우 에 는 , 도 22 에 나타내 는 종래 의 클러스터 형 의 기판 처리 시스템 에 비해서 스루풋 이 2 배 로 된다 .