제어 장치 ( 5 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 마모 량 에 상당 하 는 거리 를 흡인 개시 위치 에 반영 한다 . 예 를 들 어 , 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 이 거리 만큼 흡인 개시 위치 를 하강 시킨다 . 이 와 같 은 구성 에 의해 , 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 마모 에 의한 영향 을 받 는 일 없이 , 항상 안정 된 타이밍 으로 , 진공 화 를 실행 할 수 있 다 .