도 5 는 계측 시스템 ( 300 ) 의 부분 들 의 상 부도 이 다 . 베이스 ( 303 ) 는 스테이지 ( 304 ) 가 이동 하 는 스테이지 가이드 ( 302 ) 를 지지 한다 . 고정 물 ( 334 ) 은 컴 플리 언스 ( compliancy ) 경계 ( 506 ) 내 에 위치 된 링 으로 도시 된다 . 컴 플리 언스 경계 ( 506 ) 는 , 제품 ( 332 ) 과 각각 접촉 됨 에 따라 제 1 구면 ( 308 ) 또는 제 2 구면 ( 310 ) 에 의해 제품 ( 332 ) ( 고정 물 ( 334 ) 에 의해 보유 됨 , 도 3 A - 3 C ) 상 에 힘 이 가해 지 는 상태 에서 고정 물 ( 334 ) 이 이동 할 수 있 는 표면 으로 정의 된다 . 상기 표면 은 강철 일 수 있 으며 비교 적 평탄 하 게 더욱더 마무리 처리 될 수 있 다 . 제시 되 는 예 에서 , 제품 ( 332 ) 은 원추형 캐비 티 를 포함 한다 . 스테이지 ( 304 ) 는 각각 의 제 1 구면 ( 308 ) 및 제 2 구면 ( 310 ) 하 에서 원추형 캐비 티 의 바닥 부 와 대략 정렬 될 수 있 지만 , 또한 일부 는 오 정렬 될 수 있 으며 , 제 1 구면 ( 308 ) 과 제 2 구면 ( 310 ) 은 각각 의 구면 이 도달 됨 에 따라 원추형 캐비 티 에서 처럼 낮 지 않 은 포인트 에서 각각 제품 ( 332 ) 과 초기 에 접촉 할 수 있 다 .