또한 , 도 12 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 는 공급 유로 ( 330 ) 는 크리 닝 몸체 ( 310 ) 의 복수 위치 에 형성 될 수 있 다 . 따라서 , 질소 가스 는 복수 의 공급 유로 ( 330 ) 를 통하 여 안내 되 는 챔버 ( 311 ) 로 안내 되 기 때문 에 , 질소 가스 의 공급 되 는 시간 에 따라 상기 챔버 ( 311 ) 로 균일 하 게 공급 될 수 있 다 .