구체 적 으로 , 제 1 기판 ( 10 ) 은 마이크 로 프로브 헤드 ( micro probe head : MPH ) , 스페이스 트랜스포머 ( space transformer : 공간 변 헝 기 ) 등 으로 통칭 할 수 있 는 것 으로써 , 회로 패턴 이 형성 된 반도체 기판 등 과 같 은 피검 사체 와 접촉 가능 한 제 1 표면 ( 10 a ) 그리고 제 1 표면 ( 10 a ) 에 대향 하 는 제 2 표면 ( 10 b ) 을 갖 는다 . 또한 , 제 1 기판 ( 10 ) 의 제 1 표면 ( 10 a ) 에 는 피검 사체 와 전기 적 으로 접촉 하 는 프로브 팁 ( 12 ) 들 이 구비 되 고 , 제 1 기판 ( 10 ) 의 제 2 표면 ( 10 b ) 에 는 프로브 팁 ( 12 ) 들 과 전기 적 으로 연결 되 는 패드 ( 14 ) 들 이 구비 된다 . 그러므로 , 제 1 기판 ( 10 ) 은 피검 사체 와 접촉 가능 한 프로브 팁 ( 12 ) 들 이 구비 된 제 1 표면 ( 10 a ) 그리고 제 1 표면 ( 10 a ) 에 대향 하 고 , 피검 사체 와 접촉 하 여 프로브 팁 ( 12 ) 들 로부터 인가 되 는 전기 신호 를 전달 받 는 패드 ( 14 ) 들 이 형성 된 제 2 표면 ( 10 b ) 을 갖 는다 .