유의 되 는 바 와 같이 , 마이크 로 리소그래피 는 반도체 집 적 회로 들 의 제조 에 있 어서 핵심 단계 이 며 , 이 때 반도체 웨이퍼 기판 들 상 에 형성 된 패턴 들 은 마이크로프로세서 , 메모리 칩 등 과 같 은 반도체 디바이스 들 의 기능 요소 들 을 정의 한다 . 또한 , 유사 한 리소그래피 기술 들 이 평판 디스플레이 , MEMS ( micro - electro mechanical systems ) 및 다른 디바이스 들 의 형성 시 사용 된다 .