여기 서 , 식각 정지 막 으로써 사용 된 제 1 식각 정지 막 ( 102 ) , 제 2 식각 정지 막 ( 102 '), 제 3 식각 정지 막 ( 102 ''), 제 4 식각 정지 막 ( 102 ''') 은 도면 에서 나타난 것 처럼 , 동시 에 금속 배선 상측 방향 으로 의 구리 확산 을 방지 하 기 위해 각 금속 배선 층 마다 사용 되 고 있 음 을 알 수 있 다 .