도 12 a 내지 도 12 c 는 스 페이서 막 들 ( 241 A 내지 241 C ) 형성 공정 을 나타내 는 도면 들 이 다 . 도 12 a 는 스 페이서 막 들 ( 241 A 내지 241 C ) 의 레이아웃 을 나타내 고 , 도 12 b 는 도 12 a 에 도시 된 선 A - A ' 를 따라 절취 한 단면 을 나타내 고 , 도 12 c 는 도 12 a 에 도시 된 선 B - B ' 를 따라 절취 한 단면 을 나타낸다 .