다른 예 로 , 실시 예 에 따른 사이 클릭 화학 기상 증착 ( Cyclic CVD ) 방법 으로 , 게이트 절 연막 ( 130 ) 및 보호막 ( 160 ) 중 적어도 하나 를 산화 물막 으로 형성 할 수 있 다 . 이때 , 반응 원료 는 마찬가지 로 플 라즈 마 에 의해 해리 되 고 , 플 라즈 마 가 없 을 때 해리 되 지 않 으며 , 산소 를 포함 하 는 원료 를 사용 하 는데 , 앞 에서 설명 한 활성 층 ( 140 ) 형성 을 위한 반응 원료 와 동일 할 수 있 다 . 즉 , 게이트 절 연막 ( 130 ) 및 보호막 ( 160 ) 중 적어도 하나 의 형성 을 위한 산화 물막 을 형성 하 는 반응 원료 로서 , 산소 ( O 2 ) 및 아산화질소 ( N 2 O ) 중 어느 하나 를 사용 하 거나 , 이 들 의 혼합물 을 사용 할 수 있 다 .