상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 404 ) 이 정 위치 에 위치 하 지 않 더라도 상기 스 페이서 패턴 ( 408 ) 을 형성 한 후 에 하부 의 예비 하드 마스크 패턴 이 일부 식각 되 므로 , 상기 스 페이서 패턴 ( 408 ) 에 의해 자기 정렬 된 하드 마스크 패턴 ( 404 a ) 을 형성 할 수 있 다 . 그러므로 , 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 404 ) 과 상기 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 406 a , 406 b ) 간 의 미스 얼라 인 마진 을 증가 시킬 수 있 다 .