본 실시 형태 의 노광 시스템 ( SS ) 에서 는 , 도 15 에 나타내 는 바 와 같이 , 주제 어부 ( 6 ) 가 전술 한 바 와 같 은 제 1 제어 모드 ∼ 제 3 제어 모드 를 전환 할 수 있 도록 갖 고 있 다 . 주제 어부 ( 6 ) 는 , 종제 어부 ( 8 ) 또는 입력 부 로부터 의 정보 를 받 아 , 그 들 의 모드 를 선택 적 으로 전환 할 수 있 다 . 이 와 같이 주제 어부 ( 6 ) 가 제 1 제어 모드 ∼ 제 3 제어 모드 를 전환 할 수 있 도록 갖 고 있 음 으로써 , 디바이스 제조 라인 에 있 어서 의 디바이스 의 종류 나 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 가동 상황 에 따라 적절 한 모드 로 전환 하 여 , 디바이스 제조 라인 을 정지 시키 지 않 고 가동 할 수 있 다 .