상기 투영 광학계 ( 58 ) 로부터 소정 거리 이격 되 도록 웨이퍼 척 ( 60 ) 이 배치 될 수 있 다 . 상기 웨이퍼 척 ( 60 ) 상 에 웨이퍼 ( 62 ) 가 배치 될 수 있 다 . 상기 웨이퍼 ( 62 ) 와 상기 주 포토 마스크 ( 50 ) 는 콘주게이트 관계 를 유지 할 수 있 다 . 그 결과 , 상기 보조 포토 마스크 ( 44 ) , 상기 주 포토 마스크 ( 50 ) 및 상기 웨이퍼 ( 62 ) 는 서로 콘주게이트 관계 를 유지 할 수 있 다 . 상기 웨이퍼 척 ( 60 ) 은 웨이퍼 스테이지 ( 64 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 상기 웨이퍼 스테이지 ( 64 ) 는 이동 가능 하 도록 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 웨이퍼 스테이지 ( 64 ) 를 이동 함 으로써 상기 주 포토 마스크 ( 50 ) 와 상기 웨이퍼 가 콘주게이트 관계 를 유지 하 도록 상기 웨이퍼 를 로딩 할 수 있 다 .