폴리 카르복시산 계 폴리머 의 함유량 은 , 텅스텐 재료 의 에칭 이 효과 적 으로 억제 되 기 용이 한 관점 , 및 함유량 의 제어 가 용이 한 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 0 . 001 질량 % 이상 이 바람직 하 고 , 0 . 01 질량 % 이상 이 보다 바람직 하 고 , 0 . 03 질량 % 이상 이 더욱 바람직 하 고 , 0 . 05 질량 % 이상 이 특히 바람직 하 고 , 0 . 1 질량 % 이상 이 극히 바람직 하 다 . 폴리 카르복시산 계 폴리머 의 함유량 은 , 연마 액 중 의 연마 입자 의 응집 발생 을 억제 하 기 쉬운 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 20 질량 % 이하 가 바람직 하 고 , 15 질량 % 이하 가 보다 바람직 하 고 , 10 질량 % 이하 가 더욱 바람직 하 고 , 5 질량 % 이하 가 특히 바람직 하 고 , 1 질량 % 이하 가 극히 바람직 하 고 , 0 . 5 질량 % 이하 가 매우 바람직 하 다 . 이러 한 관점 에서 , 폴리 카르복시산 계 폴리머 의 함유량 은 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 0 . 001 ∼ 20 질량 % 가 바람직 하 고 , 0 . 001 ∼ 15 질량 % 가 보다 바람직 하 고 , 0 . 001 ∼ 10 질량 % 가 더욱 바람직 하 고 , 0 . 01 ∼ 10 질량 % 가 특히 바람직 하 고 , 0 . 01 ∼ 5 질량 % 가 극히 바람직 하 고 , 0 . 03 ∼ 5 질량 % 가 매우 바람직 하 고 , 0 . 05 ∼ 1 질량 % 가 더 한층 바람직 하 고 , 0 . 1 ∼ 0 . 5 질량 % 이 더욱 바람직 하 다 .