상기 와 같이 구성 된 처리 장치 ( 400 ) 는 , 제 어 장치 ( 460 ) 에 의해 , 동작 이 통괄 적 으로 제어 된다 . 제 어 장치 ( 460 ) 는 , 예 를 들 어 컴퓨터 이 며 , CPU ( Central Processing Unit ) , RAM ( Random Access Memory ) , ROM ( Read Only Memory ) , 보조 기억 장치 등 을 구비 한다 . CPU 는 , ROM 또는 보조 기억 장치 에 저장 된 프로그램 이나 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 의 프로세스 조건 에 기초 해서 동작 하 여 , 장치 전체 의 동작 을 제어 한다 . 예 를 들 어 , 제 어 장치 ( 460 ) 는 , 가스 공급 기구 ( 450 ) 로부터 의 각종 가스 의 공급 동작 , 승강 기구 ( 424 ) 의 승강 동작 , 배기 기구 ( 442 ) 에 의한 처리 용기 ( 410 ) 내 의 배기 동작 , 제 1 고주파 전원 ( 444 ) 및 제 2 고주파 전원 ( 446 ) 으로부터 의 공급 전력 을 제어 한다 . 또한 , 제어 에 필요 한 컴퓨터 에 판독 가능 한 프로그램 은 , 기억 매체 에 기억 되 어 있 어도 된다 . 기억 매체 는 , 예 를 들 어 플렉시블 디스크 , CD ( Compact Disc ) , CD - ROM , 하드 디스크 , 플래시 메모리 또는 DVD 등 으로 이루어진다 . 또한 , 제 어 장치 ( 460 ) 는 , 제 어 장치 ( 70 ) ( 도 3 참조 ) 와 독립 적 으로 마련 되 어 있 어도 되 고 , 제 어 장치 ( 70 ) 가 제어 장치 ( 460 ) 를 겸해 도 된다 .