이 물품 반송 설비 는 , 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 복수 의 물품 처 리부 ( 1 ) 를 경유 하 는 상태 로 주행 레일 ( 2 ) 이 천정 측 에 설치 되 어 주행 경로 S 가 형성 되 어 있 고 , 주행 경로 S 를 따라 일 방향 으로 이동 가능 한 천정 반송 식 의 물품 반송 차 ( 3 ) 가 복수 설치 되 어 있 다 . 이 물품 반송 설비 에서 는 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 반도체 기판 이나 레티 클 ( reticle ) 등 의 반송 물 을 수납 한 용기 를 물품 ( 4 ) 으로서 , 물품 반송 차 ( 3 ) 가 복수 의 물품 처 리부 ( 1 ) 의 사이 에서 물품 ( 4 ) 을 반송 하 도록 구성 되 어 있 다 . 주행 레일 ( 2 ) 은 , 주행 레일 용 브래킷 ( 5 ) 에 의해 천 정부 에 고정 상태 로 설치 되 어 있 다 .