이러 한 실시 예 에서 , 유속 변동 은 유량계 ( F 1 ) 에 의하 여 측정 되 고 , 저항 조절 초 순수 의 저항 은 상업 적 으로 이용 가능 한 저항 측정 기구 에 의하 여 측정 된다 . 정상류 또 는 유속 이 급격 하 게 변동 하 는 비 정상류 에 관계없이 초 순수 의 저항 은 본 발명 의 저항 조절 시스템 ( 100 ) 에 의하 여 요구 되 는 범위 내 에서 조절 될 수 있 다 . 특히 , 저항 조절 시스템 ( 100 ) 에 의하 여 조절 된 저항 의 범위 는 후방 습식 세정 설비 들 을 위해 요구 되 는 허용 가능 범위 보다 훨씬 좁 다 .