초격자 구조 내 의 각 층 들 은 일반 적 으로 30 Å 이하 의 두께 를 갖 는다 . 본 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 장벽층 내 의 InyGa ( 1 - y ) N , GaN 및 InzGa ( 1 - z ) N 는 각각 2 . 5 Å 내지 20 Å 범위 의 두께 를 가질 수 있 다 . 또한 , 상기 장벽층 내 의 각 층 들 은 거의 동일 한 두께 를 갖 도록 형성 될 수 있 다 .