또 다른 실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 들 은 펌프 격실 의 단부 를 통해 펌프 격실 과 동작 가능 하 게 연통 하 는 적어도 하나 의 펌프 를 포함 할 수 있 다 . 이러 한 펌프 는 단지 일례 로써 , 통로 부터 의 가스 를 펌핑 하 는데 이용 될 수 있 다 . 또한 단지 일 례 로써 , 이러 한 펌프 는 임의 의 적절 한 펌프 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 확산 펌프 , 터보 분자 형 펌프 , 또는 저 온 펌프 ( cryopump ) 를 포함 할 수 있 다 . 하나 이상 의 이러 한 펌프 가 사용 될 때 , 펌프 들 은 임의 의 적절 한 펌프 들 , 이를 테 면 예 를 들 어 확산 펌프 , 터보 분자 형 펌프 , 저 온 펌프 , 및 / 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .