종래 의 가스 노즐 ( 141 ) 은 통상 스테인 레스 재질 로 이루어지 는데 , 이러 한 스테인 레스 재질 의 가스 노즐 ( 141 ) 은 플라 즈 마 생 성부 ( 100 ) 에서 빔 전압 ( beam voltage ) 과 RF 파워 를 높여 높 은 빔 전류 ( beam current ) 를 달성 할 때 , 플라 즈 마 밀도 ( plasma density ) 가 높 아 짐 에 따라 가스 노즐 ( 141 ) 의 끝 단부 가 가열 되 어 붉 게 발열 하 면서 열전자 등 을 발생 시킨다 . 플라 즈 마 생 성 공간 ( 131 ) 에서 발생 한 열전자 는 플 라즈 마 를 불 안정 하 게 하 고 아크 방전 을 유발 하 여 플 라즈 마 가 꺼지 는 원인 이 된다 .