여기 서 , 식각 정지 막 ( 102 ) 은 후속 금속 배 선간 콘택트 형성 시 식각 정지 기능 으로 사용 되 며 , 구체 적 으로 , 콘택트 형성 을 위한 식각 시 하부금 속 으로 의 어택 ( attack ) 을 방지 하 여 금속 배선 의 홀 매립 및 금속 배선 의 보이드 ( void ) 를 방지 하 는 역할 을 한다 . 또한 , 이 식각 정지 막 ( 102 ) 은 구리 금속 배선 ( 100 또는 112 ) 의 상층 방향 으로 의 구리 확산 을 방지 하 기 위한 확산 방지 막 혹은 캡 핑 막 으로 도 사용 된다 .