MEMS 스위치 의 구조 적 인 문제점 으로 인해 발생 되 는 열 적 변형 과 스틱 션 문제 를 해결 할 수 있 는 정전기력 으로 구동 되 는 MEMS 스위치 및 그 스위치 제조 방법 을 제공 한다 . 그 MEMS 스위치 는 트렌치 , 접지 라인 및 일정 부분 의 개방 부 를 갖 는 신호 라인 이 형성 된 기판 ; 전 극판 및 개방 부 를 연결 할 수 있 는 접촉 수단 을 구비 하 고 기판 과 일정 간격 이격 되 어 있 으며 트렌치 에 삽입 될 수 있 는 깊 은 주름 이 형성 된 이동판 부 ; 및 이동판 부를 지지 하 는 지 지부 ; 를 포함 한다 .