사이즈 200 ㎜ × 200 ㎜, 두께 25 ㎛ 의 폴리 이미드 필름 B ( PI ( B ) ) 를 직접 5 매 의 끝 을 고르 게 하 여 적층 하 고 , 사이즈 220 ㎜ × 220 ㎜ 의 흑연 시트 로 끼워 ( 폴리 이미드 필름 5 매 와 흑연 시트 를 교호 로 적층 ) , 유효 가열 체적 이 70 L 의 전기로 를 사용 하 여 질소 분위기 하 에서 , 2 ℃/ min 의 승 온 속도 로 1000 ℃ 까지 승 온 한 후 , 1000 ℃ 에서 1 시간 열처리 하 여 탄화 했 다 .