중공 샤프트 ( 5 ) 를 수직 이동 가능 하 게 하 는 볼 스플라인 베어링 ( 선형 운동 베어링 ) ( 6 ) 에 의해 중공 샤프트 ( 5 ) 가 지지 된다 . 보유 스테이지 ( 4 ) 는 홈 ( 4 a ) 을 갖 는 상부 표면 을 구비 한다 . 홈 ( 4 a ) 은 중공 샤프트 ( 5 ) 를 통해 연장 하 는 소 통선 ( 7 ) 과 연결 된다 . 소 통선 ( 7 ) 은 중공 샤프트 ( 5 ) 의 하부 단부 에 제공 된 회전 조인트 ( 8 ) 를 거쳐 진 공선 ( 9 ) 에 커플링 된다 . 소 통선 ( 7 ) 은 또한 보유 스테이지 ( 4 ) 로부터 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 방출 하 는 데 사용 되 는 질소 가스 공급 선 ( 10 ) 에 연결 된다 . 선택 적 으로 진 공선 ( 9 ) 또는 질소 가스 공급 선 ( 10 ) 을 소 통선 ( 7 ) 에 커플링 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 는 진공 흡입 에 의해 보유 스테이지 ( 4 ) 의 상부 표면 으로 흡입 되 거나 또는 보유 스테이지 ( 4 ) 의 상부 표면 으로부터 방출 된다 .