제작 한 막 을 , 패러 럴 라이트 마스크 얼라 이너 ( 상품명 PLA - 501 F , Canon Inc . 제품 ) 를 사용 하 고 , 초고압 수은 등 을 광원 으로 해서 100 ㎛, 50 ㎛, 40 ㎛, 30 ㎛, 20 ㎛, 15 ㎛, 10 ㎛ 의 각 폭 의 라인 & 스페이스 패턴 을 갖 는 그레이 스케일 마스크 를 통해서 100 ㎛ 의 갭 으로 노광 했 다 . 그 후 , 자동 현상 장치 ( Takizawa Co . , Ltd . 제 「 AD - 2000 ( 상품명 ) 」 ) 를 사용 하 여 0 . 045 중량 % 수산화 칼륨 수용액 으로 60 초간 샤워 현상 하 고 , 이어서 물 로 30 초간 린스 했 다 .