이때 , 디스크 ( 10 ) 의 외주 면 ( 11 ) 으로부터 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 의 적어도 일부분 을 연결 하 도록 형성 되 고 , 디스크 ( 10 ) 의 외주 면 ( 11 ) 에 접하 는 적어도 일부분 에 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 의 바닥 면 ( 21 ) 보다 더 깊 게 형성 된 입 구부 를 포함 하 는 배기 통로 ( 40 ) 가 형성 되 어 , 배기 통로 ( 40 ) 를 통해 여유 공간 ( V ) 내부 의 공기 가 원활 하 게 배기 되 어 진공 압 이 형성 될 수 있 다 . 예컨대 , 배기 통로 ( 40 ) 의 상기 입 구부 는 , 그 바닥 면 이 디스크 ( 10 ) 의 상면 ( 10 a ) 으로부터 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 바닥 면 ( 21 ) 의 제 1 깊이 ( D 1 ) 보다 깊 은 제 3 깊이 ( D 3 ) 로 형성 될 수 있 다 .