상기 포스 페이트 계 화합물 은 , 예컨대 , 트리스 ( 트리 메틸 실릴 ) 포스 페이트 , 트리스 ( 트리 에틸 실릴 ) 포스 페이트 , 트리스 ( 트리 프로필 실릴 ) 포스 페이트 , 비스 ( 트리 메틸 실릴 ) ( 트리 에틸 실릴 ) 포스 페이트 , 비스 ( 트리 에틸 실릴 ) ( 트리 메틸 실릴 ) 포스 페이트 , 비스 ( 트리 프로필 실릴 ) ( 트리 메틸 실릴 ) 포스 페이트 , 비스 ( 트리 디 메틸 실릴 ) ( 트리 프로필 실릴 ) 포스 페이트 등 일 수 있 다 .