예시 적 으로 , 도 60 내지 도 71 을 참조 하 여 설명 된 메모리 블록 들 ( BLKg ~ BLKl ) 에서 , 필라 들 ( 113 ', 또는 113 a ' 및 113 b ') 은 제 1 도전 물질 들 ( 211 p ~ 281 p 및 291 '~ 293 ', 또는 211 '~ 213 ' 및 221 p ~ 281 및 291 '~ 293 ') 이 생성 된 후 에 생성 된다 . 즉 , 제 1 도전 물질 들 ( 211 p ~ 281 p 및 291 '~ 293 ', 또는 211 '~ 213 ' 및 221 p ~ 281 및 291 '~ 293 ') 은 식각 이 가능 한 도전 물질 로 구성 될 것 이 다 .