예 를 들 면 , 실시 예 6 의 약액 은 , 주약 으로서 PGME 와 PGMEA 를 , 각각 30 질량 %, 70 질량 % 함유 하 고 , 계면 활성제 로서 A ( 100 질량 ppm ) 를 함유 하 며 , 불순물 금속 의 합계 함유량 이 0 . 056 질량 ppt , 중 입자 의 함유량 ( 합계 ) 이 0 . 022 질량 ppt , 유기 불순물 의 함유량 이 204 질량 ppm , 중 고비 점 성분 의 함유량 이 0 . 8 질량 ppm , 물 의 함유량 이 0 . 1 %, 조대 입자 수 가 4 개 / mL 이 고 , " 결함 억제 성능 은 "" AA """," p - CMP 의 결함 억제 성능 평가 는 "" A """, 애 싱 잔사 의 제거 성능 평가 는 , " "" A "" 인 ", 약액 을 나타내 고 있 다 .