또한 , ID 블록 ( 2 ) 은 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 과 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 중간 에 배치 된 기판 버퍼 ( BF ) 이 며 , 복수 의 기판 ( W ) 을 재치 하 는 기판 버퍼 ( BF ) 와 , 예 를 들 면 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 를 내부 에 구비 하 고 있 다 . 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 와 , 기판 버퍼 ( BF ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 하 고 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 에 의하 여 기판 버퍼 ( BF ) 에 재치 된 기판 ( W ) 을 맞잡 을 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .