반송 성막 장치 ( 10 ) 는 , 반송 장치 ( 11 ) 와 , 스퍼터 장치 ( 성막 장치 의 일례 ) ( 12 ) 와 , 냉각 장치 ( 13 ) 를 구비 한다 . 또한 , 반송 장치 ( 11 ) 는 , 조출 부 ( 14 ) 와 , 제 전부 ( 15 ) 와 , 권 취부 ( 16 ) 를 구비 한다 . 또한 , 제 전부 ( 15 ) 는 , 제 1 제 전부 ( 17 ) 와 , 제 2 제 전부 ( 18 ) 를 구비 한다 . 반송 성막 장치 ( 10 ) 는 , 조출 부 ( 14 ) 와 , 제 1 제 전부 ( 17 ) 와 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 와 , 냉각 장치 ( 13 ) 와 , 제 2 제 전부 ( 18 ) 와 , 권 취부 ( 16 ) 를 반송 방향 상류 측 ( 이하 , 「 상류 측 」 으로 생략 한다 ) 으로부터 반송 방향 하류 측 ( 이하 , 「 하류 측 」 으로 생략 한다 ) 을 향하 여 이 순서 로 구비 한다 . 이하 , 이것 들 을 상세 하 게 서술 한다 .