이 를 통해 알 수 있 듯이 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 평판 표시 소자 제조 공정 용 식각 장비 는 크 게 로더 부 ( loader ) ( 100 ) 와 , 식각 부 ( 200 ) 와 , 세 정부 ( DI rinse ) ( 300 ) 와 , 건 조부 ( air knife ) ( 400 ) 와 , 반 전부 ( turn stage ) ( 600 , 700 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .