본 발명 에 의하 면 , 시편 을 제조 하 여 FIB 를 사용 하 여 이미지 를 취득 하 는 경우 에 , 전압 을 조절 하 여 시편 의 면 을 밀링 하 고 , 낮 은 스팟 에서 초점 을 설정 한 후 에 , 이미지 를 취득 할 때 다시 높 은 스팟 에서 수행 하 게 됨 으로써 , 투과 전자 현미경 을 사용 하 여 시편 을 안정 적 으로 제작 및 이미지 를 분석 할 수 있 게 되 는 효과 가 달성 될 수 있 다 .