도 3 은 분할 벽 ( 20 ) 을 도시 한 사시도 이 다 . 분할 벽 ( 20 ) 은 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 와 보유 스테이지 ( 4 ) 가 수납 된 상자 형 케이싱 이 다 . 분할 벽 ( 20 ) 은 각각 의 연마 테이프 ( 23 ) 가 통과 하 는 복수 의 개구 ( 20 a ) 와 , 웨이퍼 ( W ) 가 연 마실 ( 21 ) 로 전달 되 고 연 마실 로부터 제거 되 는 전달 개구 ( 20 b ) 를 구비 한다 . 전달 개구 ( 20 b ) 는 분할 벽 ( 20 ) 의 3 개 의 전면 에 형성 되 고 수평 으로 연장 하 는 노치 의 형상 을 갖 는다 . 따라서 , 전달 기구 에 의해 보유 된 웨이퍼 ( W ) 는 전달 개구 ( 20 b ) 를 통해 연 마실 ( 21 ) 을 수평 으로 가로지르 도록 이동 될 수 있 다 . 도시 되 지 않 은 셔터 가 전달 개구 ( 20 B ) 를 덮 도록 제공 될 수 있 다 . 이 셔터 는 통상 폐쇄 되 어 있 으며 웨이퍼 ( W ) 가 전달 될 때 에 만 개방 된다 . 분할 벽 ( 20 ) 의 상부 표면 은 루버 ( 40 , louver ) 에 의해 덮인 개구 ( 20 c ) 를 가지 며 , 분할 벽 ( 20 ) 의 하부 표면 은 회전식 보유 기구 ( 3 ) 가 통과 하 는 개구 ( 20 d ) 와 가스 배출 개구 ( 20 e ) 를 갖 는다 .