본 발명 의 또 다른 측면 에 따르 면 , 그 내부 에 길 이 방향 으로 중 공부 가 형성 되 고 , 가스 가 이동 되 는 튜브 가 상기 중 공부 에 삽입 되 며 , 회전 가능 하 게 설치 된 샤프트 ; 상기 샤프트 의 외각 에 장착 되 고 , 그 내부 에 자성 유체 실 을 구비 하 며 , 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 와 연결 되 어 고정 된 하우징 ; 및 상기 샤프트 와 상기 하우징 의 사이 에 설치 되 어 분진 을 차단 하 는 분 진막 이 수단 ; 을 포함 한다 .