예 를 들 면 , 메인 컨트롤러 ( 91 ) 는 , 반송 하 는 처리 유닛 의 종류 와 그 순번 에 관한 정보 에 의거 해서 , 각 기판 ( Ｗ ) 을 반송 시키 는 처리 유닛 과 그 순번 을 결정 하 고 , 또한 , 그 들 을 잇 는 반송 경로 를 결정 한다 . 혹은 , 시운전 을 행하 는 처리 유닛 을 특정 하 는 정보 에 의거 해서 , 특정 된 처리 유닛 에 만 반송 하 는 반송 경로 를 결정 한다 .