압 전 층 ( 160 ) 은 적어도 캐 비티 ( C ) 의 상부 에 배치 되 는 하부 전극 ( 150 ) 을 덮 도록 형성 된다 . 한편 , 압 전 층 ( 160 ) 은 전기 적 에너지 를 탄성파 형태 의 기계 적 에너지 로 변환 하 는 압 전 효과 를 일으키 는 부분 으로 , 질화 알루미늄 ( AlN ) , 산화아연 ( ZnO ) , 납 지르코늄 티타늄 산화물 ( PZT ; PbZrTiO ) 중 하나 로 형성 될 수 있 다 . 특히 , 압 전 층 ( 160 ) 이 질화 알루미늄 ( AlN ) 로 구성 되 는 경우 압 전 층 ( 160 ) 은 희토류 금속 ( Rare earth metal ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 희토류 금속 은 스칸듐 ( Sc ) , 에르븀 ( Er ) , 이트륨 ( Y ) , 및 란탄 ( La ) 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 일 예 로 , 전이 금속 은 티타늄 ( Ti ) , 지르코늄 ( Zr ) , 하프늄 ( Hf ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 니 오비 윰 ( Nb ) 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 2 가 금속 인 마그네슘 ( Mg ) 도 포함 될 수 있 다 .