기타 의 성막 실 로부터 증착 용 기판 ( 807 ) 을 성막 실 ( 801 ) 에 반송 하 고 , 증착 용 기판 지지 기구 ( 804 ) 에 세트 한다 . 또한 증착 용 기판 ( 807 ) 에 있 어서 의 재료 층 ( 808 ) 이 형성 되 어 있 는 면 과 , 피 성막 기판 ( 809 ) 의 피 성 막 면 이 , 대향 하 도록 피 성막 기판 ( 809 ) 을 피 성막 기판 지지 기구 ( 805 ) 에 고정 한다 . 또한 도 8 a 에 나타낸 바 와 같이 이 구성 은 , 기판 의 성막 면 이 위쪽 이 되 기 때문 에 페이스 업 방식 의 예 를 게시 하 고 있 다 . 페이스 업 방식 의 경우 , 휘기 쉬운 대 면적 의 유리 기판 을 평평 한 대 에 얹 거나 , 복수 의 핀 으로 지지 함 으로써 기판 의 처짐 을 없애 고 , 기판 전체 면 에 있 어서 균일 한 막 두께 를 얻 을 수 있 는 성막 장치 로 할 수 있 다 .