기판 ( SUB ) 은 단결정 반도체 막 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( SUB ) 은 벌크 ( bulk ) 실리콘 기판 , 실리콘 - 온 - 인 슐레이터 ( silicon on insulator ) 기판 , 게르마늄 기판 , 게르마늄 - 온 - 인 슐레이터 ( germanium on insulator ) 기판 , 실리콘 - 게르마늄 기판 , 또는 선택 적 에피택시 얼 성장 ( selective epitaxial growth ) 방식 을 통해 형성 된 에피택시 얼 박막 일 수 있 다 .