도 13 에 는 예시 적 이온 전류 보상 부 ( 1360 ) 가 도시 되 고 , 상기 이온 전류 보상 부 는 , 스위칭 모드 파워 서플라이 의 출력 ( 1336 ) 에 결합 된 전류 원 ( 1364 ) 및 상기 전류 원 ( 1364 ) 과 출력 ( 1336 ) 모두 에 결합 된 전류 제 어부 ( 1362 ) 를 포함 한다 . 또한 , 도 13 에 는 플 라즈 마 챔버 ( 1304 ) 가 도시 되 고 상기 플 라즈 마 챔버 내 에 는 용량 소자 들 ( C 1 , C 2 ) 및 이온 전류 ( II ) 가 있 다 . 도시 된 바 와 같이 , C 1 은 챔버 ( 1304 ) 와 관련 된 부재 들 의 고유 커패시턴스 를 나타내 며 , 상기 챔버 는 절연체 , 기판 , 기판 지지 부 및 e - 척 을 포함 할 수 있 고 C 2 는 시즈 ( sheath ) 커패시턴스 및 포유 ( stray ) 커패시턴스 를 나타낸다 .