여기 서 , 승 온 시간 은 40 ~ 80 분 으로 하 여 온도 를 점진 적 으로 상승 시킨다 . 내 부 온도 가 낮 게 유지 될수록 질화 처리 후 의 내부 경도 약화 현상 이 저감 되 는 효과 가 있 으나 , 후술 되 는 질화 단계 ( 30 ) 에서 질화 품질 에 영향 을 미칠 수 있 으므로 480 ~ 560 ℃, 바람직 하 게 는 515 ~ 535 ℃ 의 온도 범위 로 내부 온도 를 상승 및 유지 시키 는 것 이 좋 다 . 더욱 바람직 하 게 는 60 분 동안 525 ℃ 의 온도 가 되 도록 하 는 것 이 더욱 양호 한 효과 를 발휘 할 수 있 음 을 실험 적 으로 확인 할 수 있 었 다 . 또한 , 암모니아 ( NH 3 ) 가스 의 주 입량 은 질화 단계 ( 30 ) 에서 주입 되 는 암모니아 ( NH 3 ) 가스 의 주 입량 에 대해 40 ~ 60 부피 % 범위 가 적당 하 다 .