[ 0057 ] 몇몇 구현 들 에서 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 는 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 상 의 미리 결정 된 마스크 포지션 내 로 이동 될 수 있 다 . 그런 후 에 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 기 위해 전방 으로 이동 할 수 있 다 . 마스크 캐리어 ( 140 ) 가 포지셔닝 된 이후 에 , 기판 캐리어 ( 120 ) 가 , 미리 결정 된 기판 포지션 내 로 이동 될 수 있 다 . 이어서 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 , 예컨대 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 정렬 시스템 에 의해 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 에 대해 정렬 될 수 있 다 .