상기 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 기판 처리 시스템 의 일 면 은 , 기판 이 수납 된 캐리어 가 안착 되 는 로드 포트 ; 상기 기판 이 일시 저장 되 는 공간 을 제공 하 는 버퍼 유닛 ; 상기 로드 포트 와 상기 버퍼 유닛 사이 에서 상기 기판 을 반송 하 는 이송 프레임 ; 상기 기판 을 처리 하 는 공정 이 수행 되 는 공정 챔버 ; 상기 버퍼 유닛 과 상기 공정 챔버 사이 에서 , 또는 서로 다른 두 공정 챔버 사이 에서 상기 기판 을 반송 하 는 이송 챔버 ; 및 상기 이송 프레임 및 / 또는 상기 이송 챔버 에서 상기 기판 을 반송 하 는 기판 반송 장치 를 포함 하 며 , 상기 기판 반송 장치 는 , 기판 을 반송 하 는 반송 유닛 ; 상기 반송 유닛 이 이동 하 는 경로 를 제공 하 는 가이드 레일 ; 및 상기 반송 유닛 이 상기 가이드 레일 상 에서 슬라이딩 이동 가능 하 게 제공 되 는 지지 블록 을 포함 하 고 , 상기 가이드 레일 에 구비 되 는 도체 와 상기 지지 블록 에 구비 되 는 도체 를 이용 한 전력 공급 으로 상기 반송 유닛 을 작동 시킨다 .