본원 의 워크 처리 장치 ( S ) 는 공급 되 는 소정 의 가스 를 플 라즈 마 화 하 는 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 를 가지 며 , 이 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 로부터 플 라즈 마 화 된 가스 를 방출 하 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 와 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 하방 에서 처리 대상 인 워크 ( W ) 를 지지 하 는 반송 장치 ( 2 ) 를 구비 하 고 , 워크 ( W ) 에 대하 여 플 라즈 마 화 된 가스 를 조사 함 으로써 소정 의 처리 를 시여 하 는 것 으로서 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 가 워크 ( W ) 상 에 위치 하 도록 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 를 설치 하 기 위한 설치 틀 ( 4 ) 을 구비 하 고 있 다 . 그리고 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 6 ) 는 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 가 워크 ( W ) 상 에 배치 되 는 설치 위치 로부터 수평 방향 으로 인출 가능 하 게 설치 틀 ( 4 ) 에 대하 여 부착 되 어 있 다 .