제 1 데이터 금속 선 ( 171 , 174 , 176 , 177 ) 및 제 2 데이터 금속 선 ( 181 , 182 , 183 ) 을 포함 하 는 데이터 금속 선 ( 171 , 174 , 176 , 177 , 181 , 182 , 183 ) 은 구리 ( Cu ) , 구리 합금 , 알루미늄 ( Al ) , 알루미늄 합금 , 몰리브덴 ( Mo ) , 및 몰리브덴 합금 중 어느 하나 를 포함 하 는 금속 막 이 적층 된 다 중막 으로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 데이터 금속 선 ( 171 , 174 , 176 , 177 , 181 , 182 , 183 ) 은 티타늄 / 알루미늄 / 티타늄 ( Ti / Al / Ti ) , 몰리브덴 / 알루미늄 / 몰리브덴 ( Mo / Al / Mo ) 또는 몰리브덴 / 구리 / 몰리브덴 ( Mo / Cu / Mo ) 의 3 중막 등 으로 형성 될 수 있 다 .