또한 , 상기 에서 설명 한 바 와 같이 , 메탈 함유 레지스 트 를 이용 하 는 경우 , 피막 으로부터 의 승화 물 이 금속 성분 을 함유 하 기 때문 에 , 장치 내 의 각부 에 부착 되 는 것 에 의한 영향 이 커질 수 있 다 . 이러 한 경우 에 상기 한 구성 을 채용 함 으로써 , 기판 상 의 피막 으로부터 의 금속 성분 을 함유 하 는 승화 물 의 비산 을 억제 하 는 것 이 가능 해진다 . 따라서 , 장치 에 의 승화 물 의 부착 에 의한 영향 을 효과 적 으로 작 게 할 수 있 다 .