도 9 a 의 경우 전술 한 도 7 에서 와 같이 두 단계 의 열처리 단계 를 모두 수행 한 경우 의 벽개면 의 결함 상태 를 나타내 는 도면 이 며 , 도 9 b 의 경우 는 도 7 에서 제 1 열처리 단계 ( C 단계 ) 를 수행 하 지 않 고 직접 제 2 열처리 단계 ( E 단계 ) 만 을 수행 한 결과 이 다 . 도 9 a 의 경우 웨이퍼 벽개면 의 가장 자리 를 약간 의 결함 이 분포 되 지만 , 도 9 b 의 경우 에 는 웨이퍼 벽개면 의 가장 자리 뿐 만 아니 라 벽개면 의 전체 에 걸쳐 결함 이 매우 많이 존재 함 을 알 수 있 다 .