근래 , 집 적 회로 장치 들 의 제조 를 위해 많 은 장치 제조자 들 이 다 마신 인터 커넥트 ( Damascene interconnect ) 시스템 을 이용 하 고 있 다 . 알루미늄 베이스 합금 층 의 증착 및 이 의 플 라즈 마 에칭 ( 즉 , 반응 성 이온 에칭 , 건식 에칭 또는 페터 닝 에칭 ) 을 포함 하 는 알루미늄 합금 기반 ( Based ) 인터 커넥트 의 제조 방법 과 는 다르 게 , 대응 되 는 다마 신 인터 커넥트 의 제조 방법 에서 는 플 라즈 마 에칭 된 다마 신 개구 에 컨 덕 터 를 충 진 한다 . 통상 적 인 다마 신 공정 에서 , 다 마신 개구 를 충 진하 기 위해 구리 ( Cu ) 가 컨 덕 터 로서 이용 된다 .