또 , 기판 열처리 장치 에서 는 , 분출 노즐 에 배관 을 통해서 가열 에어 가 도입 되 지만 , 노즐 내 를 유동 하 는 가열 에어 에 는 , 방열 등 에 의해서 온도 저하 가 생긴다 . 그 때문 에 , 원 하 는 온도 의 에어 를 균일 하 게 분출 시키 려면 , 노즐 길 이 방향 이 상당히 접근 한 복수 의 위치 에서 분출 노즐 에 대해서 가열 에어 를 도입 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 , 제반 의 사정 에 의해 , 예 를 들 면 , 분출 노즐 에 대한 가열 에어 의 도입 위치 가 노즐 길 이 방향 의 일단 이나 , 중앙 한 개소 로 한정 되 는 하우징 이 적 지 않 다 . 이 경우 에 는 , 도입 위치 로부터 이 간 될수록 노즐 내 의 가열 에어 의 온도 가 낮 아 지 고 , 분출 에어 의 온도 에 , 에 어 도입 위치 를 피크 로 하 는 온도 구배 가 생기 게 된다 . 이 온도 구배 에 있 어서 의 분출 에어 의 최대 온도 차 는 , 노즐 길이 가 길 어 짐 에 따라 커진다 . 그 때문 에 , 노즐 길이 가 긴 대형 기판 을 대상 으로 하 는 장치 에서 는 , 상기 온도 차 가 , 기판 에 균일 한 열처리 를 실시 하 는 데 에 있 어서 무시 할 수 없 을 정도 로 커지 는 하우징 이 있 다 . 따라서 , 이 점 을 개선 하 는 것 이 요구 된다 .