도 7 a , 도 7 b 및 도 11 을 참조 하 면 , 상기 제 1 홀 들 ( S 1 ) , 상기 제 2 홀 들 ( S 2 ) , 및 상기 제 3 홀 들 ( S 3 ) 은 동일 한 식각 공정 에 의하 여 동시 에 형성 될 수 있 다 . 도 7 a , 도 7 b 및 도 12 를 참조 하 면 , 상기 제 1 홀 들 ( S 1 ) , 상기 제 2 홀 들 ( S 2 ) , 및 상기 제 3 홀 들 ( S 3 ) 을 차례 로 채우 는 배리어 층 ( 73 ) 및 금속 층 ( 74 ) 이 형성 될 수 있 다 . 본 실시 예 에서 , 도 8 내지 도 10 을 참조 하 여 설명 된 스 페이서 패턴 들 ( SP ) 의 형성 은 생략 될 수 있 다 .