피조 사면 상 에서 레이저 빔 의 조사 영역 을 2 차원 적 으로 , 적절히 , 주사 시킴 으로써 기판 의 넓 은 면적 에 조사 를 행한다 . 주사 하 기 위해서 , 레이저 빔 의 조사 영역 과 기판 을 상대 적 으로 이동 시킨다 . 여기 에서 는 , 기판 을 지지 하 고 있 는 기판 스테이 지 ( 909 ) 를 ＸＹ 방향 으로 이동 시키 는 이동 수단 ( 도시 생략 ) 으로 주사 를 행한다 .