사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 를 흡입 하 는 역할 을 수행 한다 . 사이드 흡 입부 ( 500 ) 와 사이드 에어 홀 ( 120 ) 은 사이드 배관 ( 450 ) 으로 연결 될 수 있 다 . 사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 사이드 배관 ( 450 ) 에서 분기 된 사이드 흡입 배관 ( 510 ) 에 연결 될 수 있 다 . 사이드 에어 홀 ( 120 ) 은 사이드 흡 입부 ( 500 ) 에 의해 안 착면 의 에어 를 흡입 할 수 있 다 . 사이드 에어 홀 ( 120 ) 로 흡입 된 에어 의 압력 에 의해 기판 에 는 안 착면 으로 향하 는 힘 이 작용 하 게 된다 . 구체 적 으로 , 사이드 흡 입부 ( 500 ) 의 압력 으로 인해 이 동부 ( 200 ) 에 인접 한 기판 의 해당 부분 에 안 착면 으로 향하 는 힘 이 작용 할 수 있 다 .