본 발명 은 각 층 별 로 패드 를 연결 하 여 배선 을 한층 씩 올리 면서 적층 된 비아 체인 을 연속 하 여 측정 할 수 있 는 방법 으로 공정 진행시 불량 을 분석 할 수 있 는 적층 형 비아 체인 테스트 패턴 및 그 를 이용 한 불량 분석 방법 을 제공 하 기 위한 것 으로 , 본 발명 의 적층 형 비아 체인 테스트 패턴 은 각 층 마다 제 1 패드 가 구비 된 제 1 패드 비아 체인 , 각 층 마다 제 4 패드 가 구비 된 제 4 패드 비아 체인 , 및 상기 제 1 패드 비아 체인 및 제 4 패드 비아 체인 과 전기 적 으로 연결 되 며 , 각 층 마다 제 2 패드 가 일 단부 에 구비 되 고 각 층 마다 제 3 패드 가 다른 단부 에 구비 된 중앙 비아 체인 을 포함 한다 .