이어서 , 브리지 결함 에 대해서 설명 한다 . 본 발명 에 있 어서 , 브리지 결함 은 현상 공정 의 단계 에서 패턴 표면 의 용해도 또는 패턴 표면 상 에 용해 된 레지스 트 의 감소 에 기인 한 결함 을 나타낸다 . 브리지 결함 의 형태 를 도 1 및 도 2 에 나타낸다 . 반대 로 , 예 를 들 면 도 3 및 도 4 에 나타낸 결함 은 레지스 트 패턴 을 사용 한 경계 가 명확 하 다 . 이 들 결함 은 현상 공정 의 과정 에서 이 물 부착 에 기인 한 것 으로서 생각 되 고 , 본 발명 에서 나타낸 브리지 결함 과 는 구별 된다 .