우선 서 셉 터 ( 120 ) 에 기판 ( W ) 을 안 착한 후 회전축 ( 121 , 도 1 참조 ) 에 연결 된 구동 부 ( 미 도시 ) 에 의해 서 셉 서 ( 120 ) 및 기판 ( W ) 이 회전 하 게 된다 . 이 때 , 상기 가스 공급 부 ( 130 ) 를 통해 소스 가스 , 반응 가스 및 퍼지 가스 가 동시 에 공급 된다 . 여기 서 , 기판 ( W ) 은 회전 하 면서 소스 가스 → 퍼지 가스 → 반응 가스 → 퍼지 가스 와 접촉 하 면서 하나 의 사이클 을 완성 하 게 된다 .