도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 링 프레임 ( F ) 은 , 미리 정해진 금속 ( 예컨대 , SUS 등 ) 으로 구성 되 어 있 고 환형 평판 형 으로 되 어 있 으며 , 웨이퍼 ( W ) 의 외직 경 보다 큰 내경 의 원형 의 개구 ( Fc ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 링 프레임 ( F ) 은 , 예컨대 , 그 외주 의 일부 를 플랫 하 게 노치 함 으로써 , 서로 평행 한 2 개 의 제 1 평탄면 ( Fd ) 과 , 제 1 평탄면 ( Fd ) 에 대해서 직교 하 는 방향 으로 서로 평행 한 2 개 의 제 2 평탄면 ( Fe ) 이 형성 되 고 있 다 . 제 1 평탄면 ( Fd ) 및 제 2 평탄면 ( Fe ) 은 , 링 프레임 ( F ) 의 위치 결정 에 사용 된다 .