상기 도전 성 패턴 들 ( 570 ) 과 상기 층간 절연 막 들 ( 510 ) 을 관통 하 는 수직 구 조체 ( 540 ) 가 제공 될 수 있 다 . 상기 수직 구 조체 ( 540 ) 는 코어 패턴 ( 525 ) , 패드 패턴 ( 530 ) , 상기 코어 패턴 ( 525 ) 의 측면 을 둘러싸 며 상기 패드 패턴 ( 530 ) 의 측면 상 으로 연장 된 외측 패턴 ( 520 ) 을 포함 할 수 있 다 .