도 1 내지 도 8 을 참조 하 여 형성 된 기판 상 에 제 1 마스크 구조 체가 형성 될 수 있 다 . 이 때 , 제 1 마스크 구조 체 는 도 23 을 참조 하 여 설명 한 것 처럼 , 평면 적 으로 바 형상 의 상부 개구부 들 가질 수 있 다 . 이어서 , 제 1 마스크 구 조체 를 이용 하 여 기판 ( 100 ) 의 일부분 을 식각 한다 . 이 에 따라 , 상부 개구부 들 에 의해 노출 된 기판 ( 100 ) 의 상면 이 리세 스 되 어 , 기판 ( 100 ) 에 제 1 하부 개구부 들 ( LH 1 ) 이 형성 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 마스크 구 조체 에 의해 기판 ( 100 ) 에 는 도 23 에 도시 된 것 처럼 , 바 형상 의 활성 패턴 들 ( AP ) 이 형성 될 수 있 다 . 여기 서 , 제 1 하부 개구부 들 ( LH 1 ) 은 활성 패턴 ( AP ) 에서 마주 하 는 한 쌍 의 제 1 측벽 들 을 정의 할 수 있 다 .