이 슬립 전위 는 , 웨이퍼 가 대구경 화 하 면 , 보다 한층 그 발생 의 억제 가 어려워 지 는 것 이 알려져 있 다 . 대구 경화 에 의해 웨이퍼 하중 이 늘어나 고 , 또한 , 예 를 들 면 웨이퍼 를 지지 하 는 지지 부를 3 개 로 하 는 3 점 지지 의 경우 에서 는 , 웨이퍼 하중 이 3 개 의 지지 부 중 하나 에 집중 하 기 쉬워 져서 , 슬립 전위 가 발생 하 기 쉽 다 . 따라서 , 슬립 전위 발생 의 억제 를 위해서 , 웨이퍼 하중 을 분산 시킬 필요 가 있 기 때문 에 , 3 점 지지 보다 도 , 도 8 및 9 와 같이 4 개 혹은 그 이상 의 지지 부 를 마련 하 여 , 4 점 이상 으로 지지 하 는 것 이 가능 한 종형 열처리 용 보트 가 이용 되 고 있 다 .