바람직 하 게 는 , 그 제어 유닛 은 , 그 반 출입 기구 가 그 카세트 로부터 웨이퍼 를 반출 하 여 , 그 촬상 유닛 에 의해 촬상한 웨이퍼 의 결정 방위 를 나타내 는 마크 가 제 1 방향 을 향하 고 있 는 경우 에 는 , 미 가공 의 웨이퍼 라고 판단 하 고 , 그 마크 가 제 2 방향 을 향하 고 있 는 경우 에 는 , 가공 이 완료 된 웨이퍼 라고 판단 하 는 판 단부 를 구비 한다 . 바람직 하 게 는 , 그 판 단부 가 가공 이 완료 된 웨이퍼 로 판단 했 을 때 에 경고 를 발한다 .