추가 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 추가 필수 사이트 가 이용 될 경우 , 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 또한 다음 의 단계 들 을 수행 하 도록 구성 될 수 있 으며 , 그 단계 들 은 , a 2 ) 추가 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 수 로부터 신규 사이트 를 선택 하 는 단계 로서 , 이 신규 사이트 는 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 이용 하 여 작성 되 었 던 그 와 연관 된 제 1 검증 특징 부 를 갖 는 것 인 선택 단계 와 , b 2 ) 추가 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 신규 사이트 로부터 추가 의 신규 미 검증 데이터 를 획득 하 는 단계 로서 , 이 신규 사이트 는 그 와 연관 된 신규 미 검증 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 갖 는 것 인 획득 단계 와 , c 2 ) 추가 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 신규 사이트 를 이용 하 여 추가 피 처리 S - D 웨이퍼 에 대한 신규 의 추가 검증 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 이 신규 검증 데이터 는 신규 피 검증 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 확립 단계 와 , d 2 ) 신규 의 추가 미 검증 데이터 와 신규 의 추가 검증 데이터 간 의 신규 추가 차이 를 이용 하 여 추가 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 신규 사이트 를 이용 한 신규 의 추가 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , e 2 ) 신규 추가 신뢰 도 값 , 신규 추가 차이 , 추가 신뢰 도 값 , 추가 차이 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 미 검증 S - D 프로시저 에 대한 신규 의 추가 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , f 2 ) 신규 의 추 가 리스크 인자 , 신규 의 추가 신뢰 도 값 , 신규 의 추가 차이 , 추가 리스크 인자 , 추가 신뢰 도 값 , 추가 차이 , 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 미 검증 S - D 프로시저 에 대한 신규 의 추가 합계 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , g 2 ) 신규 의 추가 합계 리스크 인자 가 신규 의 추가 임계 한도 이하일 경우 , 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 그 와 연관 된 신규 의 추가 합계 리스크 인자 를 갖 는 검증 프로 시저 로서 식별 하 며 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 고 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 와 , h 2 ) 신규 의 추가 합계 리스크 인자 가 신규 의 추가 임계 한도 보다 클 경우 , 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 그 와 연관 된 추가 의 제 2 리스크 인자 를 갖 는 추가 미검 증 프로시저 로서 식별 하 고 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 와 , i 2 ) 필요 한 추가 S - D 웨이퍼 의 개수 가 0 보다 많 을 경우 단계 a 2 ) 내지 h 2 ) 를 반복 하 는 단계 와 , j 2 ) 필요 한 추가 S - D 웨이퍼 의 수 가 0 일 때 제 1 웨이퍼 의 검증 을 정지 하 는 단계 를 포함 한다 .