도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 노광 개시 직후 , 보정 렌즈 의 목표 위치 게인 ( G 1 ) 을 일단 0 으로 하 고 , 서서히 게인 ( G 1 ) 을 회복 시킴 으로써 , 삼각 떨림 등 에서 기인 하 는 높 은 주파수 성분 의 떨림 에 대하 여 , 보정 렌즈 가 과도 하 게 응답 하 는 것 을 억제 하 는 것 이 가능 해진다 . 그 때문 에 본 실시 형태 에서 는 , 종래 발생 되 어 있 던 고속 초시 에서 의 보정 효과 의 역전 현상 을 막 는 것 이 가능 해진다 .