하나 이상 의 측정 된 매개변수 는 , 예 를 들 어 패 터닝 된 기판 내 에 또는 패 터닝 된 기판 상 에 형성 된 연속 층 들 간 의 오버레이 , 예 를 들 어 패 터닝 된 기판 내 에 또는 기판 상 에 형성 된 피처 의 임계 치수 ( CD ) ( 예 를 들 어 , 임계 선폭 ) , 광학 리소그래피 단계 의 초점 또는 초점 오 차 , 광학 리소그래피 단계 의 선량 또는 선량 오 차 , 광학 리소그래피 단계 의 광학 수차 등 을 포함 할 수 있 다 . 이 측정 은 제품 기판 자체 의 타 겟 상 에서 및 / 또는 기판 상 에 제공 된 전용 계측 타 겟 상 에서 수행 될 수 있 다 . 측정 은 레지스 트 의 현상 후 에 수행 될 수 있 지만 에칭 전 또는 에칭 후 에 수행 될 수 있 다 .