본 개시 의 다양 한 구 현예 는 기판 의 표면 내 에서 트렌치 와 같 은 오목 부를 충 진하 는 방법 에 관한 것 이 다 . 본 개시 의 다양 한 구 현예 가 이전 방법 의 문제점 을 해결 하 는 방식 은 이하 에서 보다 상세히 논의 되 면서 , 일반 적 으로 본 개시 의 다양 한 구 현예 는 기판 표면 내 에 오목 부를 충 진하 기에 적절 한 개선 방법 과 장치 를 제공 한다 . 예 를 들 어 , 예시 적 인 방법 및 장치 는 원 하 는 재료 , 예컨대 유전체 재료 로 고 종횡비 오 목부 를 이음매 없이 충 진하 는 데 사용 될 수 있 다 .