본 발명 은 멀티 핑거 로봇 에 관한 것 으로서 , 복수 개 의 핑거 들 을 각각 개별 이송 제어 할 수 있 도록 핑거 인 출구 가 일 측 에 형성 되 는 바디 프레임 과 , 바디 프레임 내부 에서 핑거 인 출구 를 향해 연장 형성 되 는 이송 가이드 와 , 이송 가이드 와 수직 방향 으로 나란 하 게 형성 되 는 복수 의 핑거 가이드 와 , 이송 가이드 를 따라 이송 되 며 , 핑거 가이드 외측 으로 수직 연장 되 는 이송 프레임 과 , 이송 프레임 에 의해 각 핑거 가이드 를 따라 수평 이송 되 는 핑거 프레임 과 , 각 핑거 프레임 에 고정 되 어 연동 하 며 , 핑거 인 출구 를 통해 인 입출 되 며 , 웨이퍼 를 운반 하 는 핑거 와 , 각 핑거 프레임 에 대응 하 며 , 이송 프레임 의 수직 길 이 방향 을 따라 형성 되 는 이송 블록 과 , 각 이송 블록 에 대응 하 며 , 바디 프레임 의 핑거 인 출구 의 대향 측 에 형성 되 는 고정 블록 , 및 각 핑거 프레임 에 고정 되 며 , 대응 하 는 이송 블록 또는 고정 블 럭 에 선택 적 으로 체결 되 어 , 이송 프레임 과 연동 하 는 각 핑거 프레임 을 개별 제어 하 는 제어 블록 을 포함 한다 .