제 1 카세트 ( 42 ) 및 제 2 카세트 ( 43 ) 를 카세트 재치 영역 ( 41 , 41 ) 에 재치 하 였 다면 , 오퍼레이터 는 , 레이저 가공 장치 ( 1 ) 에 대해 , 레이저 가공 의 가공 조건 등 을 설정 한 후 , 레이저 가공 의 개시 를 지시 한다 . 레이저 가공 의 개시 가 지시 되 었 다면 , 상기 한 반 출입 기구 ( 50 ) 의 구동 기구 ( 52 ) , 아암 기구 ( 54 ) , 로봇 핸드 ( 55 ) 가 작동 하 여 , 예 를 들 어 , 제 1 카세트 ( 42 ) 로부터 소정 의 웨이퍼 ( 10 ) 를 흡착 하 여 반출 한다 . 제 1 카세트 ( 42 ) 로부터 반출 된 웨이퍼 ( 10 ) 는 , 도 1 에 나타내 는 위치 ( 반 출입 위치 ) 에 위치 시켜진 척 테이블 ( 35 ) 상 에 반송 되 어 재치 된다 . 이어서 , 도시 되 지 않 은 흡인 수단 이 작동 되 어 , 웨이퍼 ( 10 ) 가 척 테이블 ( 35 ) 에 흡인 유지 된다 . 여기 서 , 척 테이블 ( 35 ) 에 반 출입 기구 ( 50 ) 에 의해 반송 된 웨이퍼 ( 10 ) 가 재치 될 때 , 웨이퍼 ( 10 ) 는 , 항상 일정 한 방향 으로 위치 시켜 진다 . 보다 구체 적 으로 설명 하 면 , 본 실시 형태 의 레이저 가공 장치 ( 1 ) 에서 는 , 제 1 카세트 ( 42 ) 로부터 반송 된 웨이퍼 ( 10 ) 의 방향 이 , 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 되 어 있 던 상태 인 채 유지 되 어 척 테이블 ( 35 ) 상 에 재치 된다 . 따라서 , 척 테이블 ( 35 ) 상 에 재치 되 었 을 때 의 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 는 , 도 1 중 화살표 Y 로 나타내 는 수직 벽부 ( 261 ) 가 세워 형성 된 방향 으로 위치 시켜 진다 .