본 실시 예 에 따른 상술 한 기판 지지 부 ( 500 ) 는 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 몸체 부 ( 510 ) 와 , 상기 몸 체부 ( 510 ) 의 중심 영역 에 마련 된 제 1 전극 ( 520 ) 과 , 상기 제 1 전극 ( 520 ) 과 이격 되 어 몸 체부 ( 510 ) 의 가장자리 영역 에 마련 된 제 2 전극 ( 530 ) 과 , 제 1 전극 ( 520 ) 에 기판 ( 10 ) 을 고정 하 기 위한 기판 고정 전압 을 공급 하 는 고정 전원 공급 부 ( 540 ) 와 , 제 2 전극 ( 530 ) 에 바이어스 전원 을 공급 하 기 위한 바이어스 전원 공급 부 ( 550 ) 를 포함 한다 .