[ 0068 ] 도 9 에 도시 된 흐름 도 를 예시 적 으로 참조 하 여 , 기판 캐리어 ( 150 ) 를 마스크 캐리어 ( 160 ) 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 방법 ( 400 ) 의 실시 예 들 이 설명 된다 . 본원 에서 설명 되 는 임의 의 다른 실시 예 들 과 조합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따르 면 , 방법 ( 400 ) 은 , 기판 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 을 사용 함 으로써 기판 캐리어 를 제 1 포지션 에 포지셔닝 하 는 단계 ( 블록 ( 410 ) ) 를 포함 한다 . 또한 , 방법 ( 400 ) 은 , 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 을 사용 함 으로써 마스크 캐리어 를 제 2 포지션 에 포지셔닝 하 는 단계 ( 블록 ( 420 ) ) 를 포함 한다 . 부가 적 으로 , 방법 ( 400 ) 은 , 제 1 이송 트랙 과 제 2 이송 트랙 간 에 배열 된 홀딩 어 레인지 먼 트 를 사용 함 으로써 마스크 캐리어 를 홀딩 하 는 단계 ( 블록 ( 430 ) ) 및 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 에 대해 정렬 하 는 단계 ( 블록 ( 440 ) ) 를 포함 한다 . 특히 , 기판 캐리어 ( 150 ) 를 마스크 캐리어 ( 160 ) 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 방법 ( 400 ) 의 실시 예 들 은 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 포지셔닝 어 레인지 먼 트 ( 100 ) 를 사용 하 는 단계 를 포함 한다 . 따라서 , 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 개선 된 방법 이 제공 된다 .