여기 서 , 기판 ( 7 ) 은 유리제 로서 , 휘 거나 이동 방향 이 어긋나 거나 하 면 , 기판 ( 7 ) 은 반송 롤러 ( 23 ) 상 으로부터 탈락 되 어 낙하 해 버린다 . 본 발명 의 진공 장치 ( 20 ) 에서 는 , 반송 롤러 ( 23 ) 와 반송 롤러 ( 23 ) 사이 에 탈락 방지 장치 ( 30 ) 가 배치 되 어 , 반송 롤러 ( 23 ) 상 의 기판 ( 7 ) 은 , 탈락 방지 장치 ( 30 ) 에 의해 반송 롤러 ( 23 ) 로부터 탈락 되 지 않 도록 구성 되 어 있 다 .