컵 ( 14 ) 은 , 회전축 선 ( A 1 ) 을 향해 비스듬 하 게 위 로 연장 되 는 통 형상 의 경사부 ( 14 a ) 와 , 경사부 ( 14 a ) 의 하단 부 ( 밖 단부 ) 로부터 하방 으로 연장 되 는 원통 형상 의 안 내부 ( 14 b ) 와 , 상 방향 으로 열린 환상 의 홈 을 형성 하 는 액 받 이 부 ( 14 c ) 를 포함 한다 . 경사부 ( 14 a ) 는 , 기판 ( W ) 및 스핀 베이스 ( 12 ) 보다 큰 내경 을 가지 는 원환 형상 의 상단 을 포함 한다 . 경사부 ( 14 a ) 의 상단 은 , 컵 ( 14 ) 의 상단 에 상당 한다 . 컵 ( 14 ) 의 상단 은 , 평면 으로부터 봐서 기판 ( W ) 및 스핀 베이스 ( 12 ) 를 둘러싸 고 있 다 .