가스 공급 로 ( 38 ) 는 가스 유입 패스 ( 44 ) 와 연결 된다 . 가스 유입 패스 ( 44 ) 는 열전달 가스 공급원 ( 50 ) 으로부터 제공 되 는 열전달 가스 를 가스 공급 로 ( 38 ) 로 제공 하 도록 히팅 플레이트 ( 31 ) 와 지지 부 ( 32 ) 에 형성 된다 . 가스 유입 패스 ( 44 ) 와 가스 공급원 ( 50 ) 사이 에 연결 되 는 가스 공급 관 ( 52 ) 상 에 는 가스 조절 밸브 ( 51 ) 가 구비 된다 .