마이크 로 요동 소자 X 1 에서 , 한 쌍 의 구동 전극 ( 12 , 23 ) 은 요 동부 ( 10 ) 에 관한 구동력 을 발생 시키 기 위한 구동 기구 내지 액 튜 에 이터 를 구성 한다 . 상기 구동 기구 에서 , 구동 전극 ( 12 ) 의 아암 ( 12 A , 12 B ) ( 제 1 및 제 2 단 연장 부 ) 은 이격 하 여 , 축심 A 1 과 직교 하 는 방향 으로 연장 된다 . 한 쌍 의 단 연장 부인 아암 ( 12 A , 12 B ) 은 구동 전극 ( 12 , 23 ) 으로 이루어지 는 구동 기구 의 구조 에서 , 요 동부 ( 10 ) 에 관한 축심 A 1 의 연장 방향 에서 의 가장 외측 의 부위 를 이룬다 . 구동 전극 ( 23 ) 은 , 도 1 및 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 이 와 같 은 아암 ( 12 A , 12 B ) 의 이격 거리 L 2 이내 에 설치 되 어 있 다 . 이격 거리 L 2 는 , 예 를 들 면 10 ∼ 300 ㎛ 이 다 .