도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 9 ) 는 가열 온도 설 정부 ( 95 ) 와 , 가열 제 어부 ( 96 ) 를 가진다 . 가열 온도 설 정부 ( 95 ) 는 복수 의 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 의 측정값 ( BPV ) 에 기초 하 여 수조 내 온도 의 분포 를 구하 고 , 구한 분포 에 기초 하 여 가열 기구 ( 63 ) 에 의한 처리 액 ( 3 ) 의 가열 온도 의 목표 값 ( HSV ) 을 설정 한다 . 가열 제 어부 ( 96 ) 는 가열 온도 의 목표 값 ( HSV ) 에 기초 하 여 , 가열 기구 ( 63 ) 를 제어 한다 .