한편 , 테스터 챔버 내 에 는 기 설정 된 테스트 환경 을 조성 하 기 위해 챔버 내부 의 온도 를 조절 하 는 복수 의 온도 조 절부 를 포함 한다 . 종래 의 테스트 챔버 는 모든 디바이스 를 개별 적 으로 가압 하 도록 설계 됨 에 따라 챔버 내부 에 여유 의 공간 이 부족 하 였으나 , 본 실시 예 에 의할 경우 푸싱 유닛 ( 1423 ) 등 을 컴팩트 하 게 구성 함 으로써 상대 적 으로 내부 공간 에 여유 가 존재 한다 . 따라서 , 복수 의 온도 조절 장치 ( 1424 , 1425 ) 를 구비 하 여 , 정밀 하 게 테스트 온도 를 조절 하 는 것 이 가능 하 다 .