만약 , 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 이 제 1 챔버 ( 32 ) 로부터 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 할 때 , 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 모두 에서 기판 상 에 공정 이 수행 되 고 있 으면 , 제어기 ( 300 ) 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 로부터 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 으로 기판 ( W ) 이 이송 되 도록 한다 . 즉 , 도 6 을 참조 하 면 , 제어기 ( 300 ) 는 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 이 제 1 챔버 ( 32 ) 에 놓여진 기판 ( W ) 을 제 1 버퍼 부 ( 100 ) 의 제 1 지지 부재 ( 110 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 을 제어 한다 . 제 1 지지 부재 ( 110 ) 에 놓여진 기판 ( W ) 은 노치 ( W 1 ) 가 아래 방향 ( Y 2 ) 을 향한다 . 그리고 , 제어기 ( 300 ) 는 제 2 로봇 암 ( 54 a ) 이 제 1 지지 부재 ( 110 ) 에 놓여진 기판 ( W ) 을 제 2 버퍼 부 ( 200 ) 의 제 1 지지 부재 ( 210 ) 에 안착 하 도록 제 2 로봇 암 ( 54 a ) 을 제어 한다 . 이때 , 제 1 지지 부재 ( 210 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 은 노치 가 ( W 1 ) 가 상 방향 ( Y 1 ) 을 향한다 . 그리고 , 제어기 ( 300 ) 는 제 3 로봇 암 ( 64 a ) 이 제 1 지지 부재 ( 210 ) 로부터 제 3 공정 챔버 ( 62 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 제 3 로봇 암 ( 64 a ) 을 제어 한다 . 이때 , 제 3 공정 챔버 ( 62 ) 의 척 ( 62 b ) 에 안착 되 는 기판 ( W ) 은 노치 ( W 1 ) 가 기판 출입구 ( 62 a ) 를 향한다 .