본 발명 의 미세 구조 제작 방법 에 이용 되 는 마이크 로 플 루 이 딕 채널 ( 240 ) 은 , 집적회로 공정 과 같이 웨이퍼 위 에 박막층 을 형성 하 고 포 토리 소그라 피 에 의해 패턴 을 전사 한 다음 식각 을 통해 형성 할 수 있 고 , PDMS ( polydimethylsiloxane ) 와 같 은 탄성체 를 사용 하 여 Soft lithography 기술 에 의해 형성 할 수 도 있 으며 , 삼 차원 레이저 를 이용 하 여 유리 기판 에 형성 할 수 도 있 다 .