또한 , 본 실시 예 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 에서 는 , 헤드 구동 부 ( 36 ) 가 , 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 는 위치 와 대향 하 는 가압 위치 에 있 어서 헤드 ( 2033 H ) 를 연직 상방 으로 이동 시키 는 것 에 의해 헤드 ( 2033 H ) 를 스테이지 ( 31 ) 에 접근 시켜 수지 부 ( R ) 의 연직 하방 으로부터 몰드 ( M ) 를 가압 한다 . 또한 , 몰드 ( M ) 는 , 그 연직 상방 으로부터 디 스펜서 ( 52 ) 에 의해 수지 가 충전 되 기 때문 에 , 수지 부 ( R ) 내 의 공기 의 혼입 을 방지 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 의 내면 과 수지 부 ( R ) 의 계면 에 공기 가 혼입 되 기 어려워 지 므로 , 요부 ( MT ) 의 내면 과 수지 부 ( R ) 의 계면 으로 의 공기 의 혼입 에 기인 한 수지 부 ( R ) 의 형성 불량 의 발생 이 억제 된다 .