상기 연료전지 용 분리 판 원재료 분말 제조 장치 를 이용 하 여 연료전지 용 원재료 분말 을 제조 하 기 위해서 는 , 먼저 상기 유동 화 가스 를 상기 가스 주 입관 ( 132 ) 에 연결 된 상기 가열 장치 ( 134 ) 를 통해 적절 한 공정 온도 로 가열 시킨다 . 이 경우 상기 가열 된 유동 화 가스 의 온도 는 상기 온도 제어 장치 ( 136 ) 를 통해 조절 된다 . 이후 상기 가열 된 유동 화 가스 를 상기 가스 주 입관 ( 132 ) 를 통해 제 1 챔버 영역 ( 100 ) 으로 유입 시킨다 .