상기 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 은 상기 전자 공여 화합물 ( ED ) 과 반데르발스 결합 을 하 고 있 으므로 후속 적 으로 공급 되 는 제 2 소스 물질 ( SM 2 ) 과 결합 하 는 것 이 방지 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 과 제 2 소스 물질 ( SM 2 ) 이 접촉 하 면 리간드 들 끼리 반응 하 여 의도 되 지 않 은 반응 생성물 이 생성 될 수 있 고 , 이러 한 의도 되 지 않 은 반응 생성물 은 균일 한 산화 막 을 형성 하 는 데 방해 될 수 있 다 . 그러나 제 1 소스 물질 ( SM 1 ) 이 상기 전자 공여 화합물 ( ED ) 과 결합 하 고 있 으면 , 제 2 소스 물질 ( SM 2 ) 과 접촉 하 더라도 반응 하 지 않 고 제 2 소스 물질 ( SM 2 ) 은 하부 전극 ( 220 ) 상 에 흡착 될 수 있 다 . 이 에 대해서 는 뒤 에서 추가 적 으로 설명 한다 .