본 발명 은 본딩 되 는 2 개 의 기판 의 정렬 을 위해 제안 되 며 , 여기 서 제 1 기판 은 제 1 기판 표면 측면 ( 이하 , 좌측 기판 표면 측면 이 라고 도 함 ) 및 상기 제 1 기판 표면 측면 에 대향 된 제 2 기판 표면 측면 ( 이하 , 우측 기판 표면 측면 이 라고 도 함 ) 을 포함 하 고 , 제 2 기판 은 제 1 기판 표면 과 본딩 되 는 제 2 기판 표면 을 포함 하 며 , 제 2 기판 표면 은 제 3 기판 표면 측면 ( 이하 , 좌측 기판 표면 측면 이 라고 도 함 ) 및 상기 제 3 기판 표면 측면 에 대향 된 제 4 기판 표면 측면 ( 이하 , 우측 기판 표면 측면 으로 도 지칭 됨 ) 을 포함 하 고 , 상기 방법 은 적어도 다음 단계 를 포함 한다 :