제 1 이 송부 ( 410 ) 는 저장 용기 ( 500 ) 를 수평 방향 즉 , X 축 방향 으로 이동 시켜 저장 용기 ( 500 ) 를 공급 챔버 ( 200 ) 내 에서 증착 챔버 ( 100 ) 를 향하 여 이 동시 킨다 . 제 2 이 송부 ( 420 ) 는 공급 챔버 ( 200 ) 로부터 공급 된 저장 용기 ( 500 ) 를 수평 방향 즉 , X 축 방향 으로 이동 시켜 노즐 ( 720 ) 의 중심부 에 위치 시키 고 , 원료 물질 이 충 진 된 저장 용기 ( 500 ) 를 수직 방향 즉 , Y 축 방향 으로 상부 로 이동 시켜 노즐 ( 720 ) 에 부착 시킨다 . 또한 , 제 2 이 송부 ( 420 ) 는 증착 공정 이 진행 되 어 원료 물질 이 소진 된 저장 용기 ( 500 ) 를 수직 방향 즉 , Y 축 방향 으로 하부 로 이동 시켜 노즐 ( 720 ) 로부터 탈착 시키 고 , 배출 챔버 ( 300 ) 를 향하 여 수평 방향 즉 , X 축 방향 으로 이동 시킨다 . 제 3 이 송부 ( 430 ) 는 저장 용기 ( 500 ) 를 수평 방향 즉 , X 축 방향 으로 이동 시켜 배출 챔버 ( 300 ) 내 에서 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 이 동시 킨다 . 결국 , 저장 용기 ( 500 ) 는 제 1 이 송부 ( 410 ) 및 제 2 이 송부 ( 420 ) 에 의하 여 공급 챔버 ( 200 ) 로부터 증착 챔버 ( 100 ) 로 공급 될 수 있 으며 , 제 2 이 송부 ( 420 ) 에 의하 여 노즐 ( 720 ) 에 탈 부착 되 며 , 제 2 이 송부 ( 420 ) 및 제 3 이 송부 ( 430 ) 에 의하 여 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 챔버 ( 300 ) 로 배출 될 수 있 게 된다 . 각 이 송부 는 X 축 방향 으로 의 이동 을 위하 여 LM 가이드 또는 롤러 로 구성 될 수 있 으며 , Y 축 방향 으로 의 이동 을 위하 여 LM 가이드 또는 실린더 로 구성 될 수 있 다 .