본 발명 은 슬러리 와 귀금속 의 혼합물 을 회수 하 는 단계 , 회수 된 상기 슬러리 및 상기 귀금속 의 혼합물 을 여과 하 는 단계 , 상기 여과 된 용액 을 염산 과 반응 시켜 염화백금 용액 을 형성 하 는 단계 , 상기 염화백금 용액 을 중화 시키 고 중화 된 나머지 불용성 화합물 을 폐기 하 는 단계 , 중화 된 상기 염화백금 용액 에 염화암모늄 용액 을 첨가 시켜 염화백금산 암모늄 용액 을 형성 하 는 단계 및 상기 염화백금산 암모늄 용액 을 가열 하 여 상기 귀금속 을 회수 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 반도체 용 슬러리 폐기 및 재생 방법 을 제공 한다 .