다른 실시 예 에 따라서 , 실리콘 원자 를 추가 하 기 위해 ( 실리콘 함유 공정 가스 를 사용 하 는 ) 열 소 킹 공정 또한 수행 되 고 , 도 13 의 플 라즈 마 처리 공정 ( 70 ) 이 뒤따른다 . 열 소 킹 공정 은 , 도 12 의 공정 ( 66 ) 과 근본 적 으로 동일 할 수 있 다 . ILD ( 48 ) 및 CESL ( 46 ) 이 그 안 에 실리콘 을 포함 하 지 않 을 때 , 또는 ILD ( 48 ) 및 CESL ( 46 ) 내 의 실리콘 원자 백 분 율 이 낮 을 때 , 열 소 킹 공정 이 수행 될 수 있 다 .