도 14 에 나타내 는 바 와 같이 , 카세트 유지 대 ( 318 ) ( 카세트 ( 20 ) ) 에 대면 하 는 제 1 위치 에 는 , 프레임 ( 15 ) 을 파지 하 여 이동 시키 는 제 1 피 가 공물 이동 유닛 ( 320 ) 이 배치 되 어 있 다 . 제 1 피 가 공물 이동 유닛 ( 320 ) 은 , 프레임 ( 15 ) 을 상하 로 파지 하 는 파지 부 ( 322 ) 와 , 파지 부 ( 322 ) 를 대체로 수평 인 방향 으로 이동 시키 는 구동 부 ( 324 ) 를 포함 한다 .