전도성 필라 ( 122 ) 를 형성 하 는 단계 는 , 배리어 층 및 시드 층 ( 미 도시 ) 을 형성 하 는 단계 , 시드 층 상 에 마스크 패턴 ( 120 ) 을 형성 하 는 단계 , 상기 마스크 패턴 ( 120 ) 에 의해 노출 된 부분 에 전도성 물질 을 채우 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 그 후 마스크 패턴 ( 120 ) 및 상기 마스크 패턴 ( 120 ) 에 의해 덮이 는 배리어 층 및 시드 층 의 부분 이 제거 될 수 있 다 .