그리고 , 본 명세서 에 있 어서 의 흡수 계수 k 는 파장 410 nm 에 있 어서 의 것 이 다 . 이 흡수 계수 k 는 , 엘리프 소 미터 ( 루돌프 사 제조 , 상품명 : Auto EL - 462 P 17 ) 를 사용 하 여 다음 과 같이 하 여 구할 수 있 다 . 엘리프 소 미터 에 의해 타원 편광 의 위상각 Δ 과 타원 의 진폭 강도 비 로부터 구해 지 는 탄젠트 Ψ 를 측정 하 고 , 단차 계 ( Tencor 사 제조 , 상품명 : P 15 ) 로 구한 막 두께 로부터 , 복소 굴절 률 N 과 흡수 계수 k 를 구한다 . 그리고 , 시판 중 인 엘리프 소 미터 의 부속 해석 소프트 에서 는 이 작업 을 최소 2 승법 ( 乘法 ) 등 을 이용 하 여 행하 고 있 다 .