이러 한 조성 으로 는 , 구체 적 으로 는 , 예컨대 CVD - SiOC ( CVD 에 의한 카본 도핑 의 SiO 2 : 비 유전 률 은 약 3 . 3 ～ 3 . 5 정도 ) , 나노 클러스터 링 실리카 ( NCS : Nanoclustering Silica : 비 유전 률 은 2 . 25 ) 등 이 알려져 있 다 . 이 들 절 연막 의 밀도 는 일반 적 으로 1 . 0 ～ 3 . 0 정도 이 다 .