일 실시 예 에서 , MEMS 스위치 는 기판 , 기판 에 결합 된 가동 액추에이터 , 기판 접점 , 기판 전극 및 도전 성 스토퍼 를 포함 하 는데 , 이 도전 성 스토퍼 는 가동 액추에이터 에 전기 적 으로 결합 되 고 , 가동 액추에이터 와 기판 접점 과 의 접촉 을 허용 하 면서 가동 액추에이터 와 기판 전극 과 의 접촉 을 방지 하 도록 구성 된다 .