또 , 쇼트 영역 ( SH ) 위 에 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 이 존재 하 고 있 는 동안 ( 제 1 주사 노광 중 ) 에 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 한다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 했 을 때 에 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 노광 ( 제 2 주사 노광 ) 을 개시 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 으로 의 노광 광 ( EL ) 의 조사 가 개시 된 후 에 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 위치 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 위치 및 기판 ( P ) 의 - Y 방향 으로 의 이동 속도 에 의거 하 여 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 B ) 등 을 제어 하 고 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 했 을 때 에 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 으로 의 노광 광 ( EL ) 의 조사 를 개시 한다 . 본 실시 형태 에서 는 제 2 조명계 ( IL 2 ) 의 마스크 블라인드 계 에 의해서 , 제 2 주사 노광 의 개시 시점 , 즉 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 + Y 측 의 엣지 에 도달 한 시점 으로부터 그 폭 이 서서히 넓 어 져 가 고 , 소정 의 설정 치 에 이른 시점 에서 그 폭 은 일정 하 게 유지 된다 . 이것 에 의해 , 제 2 주사 노광 의 개시 전후 에 기판 ( P ) 위 에서 쇼트 영역 ( SH ) 에 대해서 - Y 방향 의 쇼트 영역 의 불 필요 한 노광 을 방지 할 수 있 다 . 또 , 이 제 2 주사 노광 은 그 동작 의 일부 가 상술 의 제 1 주사 노광 과 병행 하 여 행해진다 . 또한 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 으로 상술 의 설정 치가 동일 하 게 되 어 있 다 .