에칭 성 유체 는 염소 ( Cl 2 ) , 염화 브롬 ( BCl 3 ) , 염화수소 ( HCl ) , 테트라 플 루 오로 메탄 ( CF 4 ) , 니트 로젠 트리플 루오 라이드 ( NF 3 ) , 브롬화수소 ( HBr ) , 황 헥사 플 루오 라이드 ( SF 6 ) , 불소 ( F 2 ) , 클로 린트 리플 루오 라이드 ( ClF 3 ) , 또는 수소 나 산소 와 같 은 가스 를 포함 하 는 수소 나 산소 와 조합 하 여 자외선 에 의해 생성 된 애 싱 성분 일 수 있 다 .