또한 제 1 챔버 ( 10 ) 에 는 챔버 내부 의 진공도 를 측정 하 기 위한 진공도 측 정부 ( 60 ) 가 구비 되 며 , 수소 가스 공급 부 ( 50 ) 는 외부 누설 에 의해 외부 공기 가 챔버 ( 10 ) 로 유입 되 어 진공도 측 정부 ( 60 ) 에서 진공도 저하 가 측정 되 는 경우 에 만 제 1 챔버 ( 10 ) 에 수소 가스 를 공급 하 도록 작동 된다 .