이 경우 , 물 을 포함 하 는 린스 액 이 기판 에 공급 된 후 에 , 수용성 용제 및 제 1 용제 가 이 순번 대로 기판 에 순차 적 으로 공급 된다 . 린스 액 이 보유 되 어 있 는 기판 에 수용성 용제 가 공급 됨 으로써 , 기판 에 보유 되 어 있 는 린스 액 의 대부분 이 수용성 용제 에 의해 휩쓸려 제거 된다 . 또한 , 수용성 용제 는 물 에 대한 용해도 가 제 1 용제 보다 도 높 으므로 , 린스 액 이 수용성 용제 로 치환 되 는 과정 에서 , 기판 에 보유 되 어 있 는 린스 액 의 일부 는 수용성 용제 에 용해 되 고 , 이 수용성 용제 와 함께 기판 으로부터 제거 된다 . 그리고 , 수용성 용제 의 공급 후 에 제 1 용제 가 기판 에 공급 됨 으로써 , 기판 에 보유 되 어 있 는 수용성 용제 가 제 1 용제 로 치환 된다 . 기판 에 보유 되 어 있 는 수용성 용제 에 린스 액 이 포함 되 어 있 는 경우 라도 , 이 린스 액 은 수용성 용제 가 제 1 용제 로 치환 되 는 과정 에서 , 수용성 용제 와 함께 기판 으로부터 제거 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 대한 물 의 잔 류량 을 저감 할 수 있 다 . 따라서 , 물 이 기판 에 남 아 있 지 않 은 상태 , 또는 물 의 잔 류량 이 극히 적 은 상태 로 , 소수 화제 를 기판 에 공급 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 .