유기 용매 의 함유량 은 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 1 ∼ 95 질량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 2 ∼ 50 질량 %, 더욱 바람직 하 게 는 0 . 5 ∼ 10 질량 % 이 다 . 유기 용매 의 함유량 이 0 . 1 질량 % 이상 인 것 에 의해 , 연마 액 의 기판 에 대한 젖 음성 이 양호 하 게 된다 . 유기 용매 의 함유량 이 95 질량 % 이하 인 것 에 의해 , 용매 의 휘발 을 저감 하 고 제조 프로세스 의 안전 성 을 확보 하 기 쉽 다 .