도 2 는 , 진공 처리 장치 ( 2 ) 의 전체 구성 을 나타내 는 평면도 이 다 . 도시 하 는 바 와 같이 , 진공 처리 장치 ( 2 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 로드 , 언 로드 ( load , unload ) 를 행하 는 로더 모듈 ( loader module ) 인 제 1 반 송실 ( 21 ) 과 , 로드 록 실 ( 예비 진 공실 ) ( 22 , 23 ) 과 , 진공 반 송실 인 제 2 반 송실 ( 3 ) 과 , 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 을 구비 하 고 있 다 . 또한 , 진공 처리 장치 ( 2 ) 에 는 , 제 1 반 송실 ( 21 ) 의 바로 앞 ( 도 2 중 ― Y 방향 ) 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 가 수용 되 는 캐리어 ( C ) 가 올려 놓여 지 는 로드 포트 ( 24 ) 가 형성 되 어 있 다 . 제 1 반 송실 ( 21 ) 의 정면 벽 에 는 로드 포트 ( 24 ) 에 올려 놓여진 캐리어 ( C ) 가 접속 되 며 , 당해 캐리어 ( C ) 의 덮개 와 함께 개폐 되 는 게이트 도어 ( GT ) 가 형성 되 어 있 다 .