또한 , CPU ( 221 a ) 는 , 기억 장치 ( 221 c ) 로부터 판독 한 제어 프로그램 을 실행 함 으로써 , 처리 분포 정보 판 단부 ( 221 f ) 로서 기능 한다 . 처리 분포 정보 판 단부 ( 221 f ) 는 , 상세 를 후술 하 는 처리 분포 정보 에 따라 , 처리 대상 이 되 는 웨이퍼 ( 200 ) 의 높이 위치 를 설정 하 고 , 그 설정 결과 를 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 에 대하 여 지시 하 도록 구성 되 어 있 다 . 이러 한 높이 위치 의 설정 을 , 처리 분포 정보 판 단부 ( 221 f ) 는 , 기억 장치 ( 221 c ) 에서 의 테이블 ( 221 g ) 을 이용 해서 행한다 . 즉 , 기억 장치 ( 221 c ) 에 는 , 처리 분포 정보 와 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 의 제어 값 의 관계 가 기록 되 어 있 는 테이블 ( 221 g ) 이 등록 되 어 있 는 것 으로 한다 .