사용 되 는 상기 펄스 시간 및 퍼지 시간 은 반응기 의 유형 에 따라 달라질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 펄스 / 퍼지 시간 은 대개 단일 웨이퍼 반응기 들 을 사용 하 는 구 현예 들 에서 더 짧 다 . 펄스 / 퍼지 시간 은 대개 매 엽 식 반응기 들 을 사용 하 는 구 현예 들 에서 더 길 며 , 이 는 여러 장 의 기판 들 이 처리 되 기 때문 이 다 .