도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 펠리 클 ( 200 ) 은 펠리 클 멤 브레인 ( 210 ) 과 , 펠리 클 멤 브레인 ( 210 ) 을 지지 하 는 프레임 ( 220 ) 과 , 프레임 ( 220 ) 의 일 단부 에 부착 되 어 프레임 ( 220 ) 과 펠리 클 멤 브레인 ( 210 ) 을 부착 시키 는 막 접착제 ( 230 ) 와 , 그리고 프레임 ( 220 ) 의 다른 단부 에 부착 되 어 프레임 ( 210 ) 과 포토 마스크 를 부착 시키 는 흡착 패드 ( 280 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .