도 14 ( b ) 를 참조 하 면 , 반사 층 ( 450 ) 및 에칭 스탑 층 ( 500 ) 을 포함 한 전체 상부 에 커버 층 ( 600 ) 을 형성 한 후 커버 층 ( 600 ) 상부 에 제 1 지지층 ( 710 ) 및 제 2 지지 층 ( 720 ) 을 형성 한다 . 소정 의 사진 및 식각 공정 으로 제 2 지지층 ( 720 ) 의 소정 영역 을 식각 한다 .