이러 한 요철 형태 의 구조물 은 고온 에서 장시간 동안 작동 할 경우 , 마이크 로 히터 ( 130 ) 주변 의 열팽창 특성 이 다른 재료 로 이루어진 요철 형상 을 갖 는 구조물 에 있 어서 , 그 경계 위치 에서 열 에 의한 내부 응력 들 이 발생 하 여 절 연막 ( 140 ) 파괴 에 따른 감지 전극 과 마이크 로 히터 의 통전 문제 등 의 장시간 내구 성 유지 가 어렵 다는 단점 이 있 다 .