조작 조건 은 흡착 압력 0 . 6 MPa , 흡착 온도 25 ℃, 재생 온도 200 ℃ 로 하 였 다 . 5 ppm 의 일산 화 탄소 를 포함 한 질소 를 20 L / min 로 유통 시켜 흡착 탑 의 가스 출구 측 의 라인 에 설치 된 Trace Analytical 회사 제품 Process Gas Analyzer ( RGA 5 ) 로 정제 질소 중 의 일산 화 탄소 농도 를 측정 하 였 다 .