이어서 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 도 21 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 몰드 ( M ) 에 탑재 된 수지 ( R 1 ) 가 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 에 접촉 한 상태 에서 , " 다시 얼라인먼트 ( "" 액침 얼라인먼트 "" 라고도 한다 . ) 를 실행 한다 ( 스텝 S 206 ) . 이 경우 ", 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 2 a ) 의 세트 와 , 얼라인먼트 마크 ( MM 1 b , MM 2 b ) 의 세트 를 , 각각 포커스 축 을 움직이 지 않 고 1 회 의 화상 페칭 으로 동시 에 인식 한다 . 이 에 의해 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 촬상부 ( 2041 ) 의 포커스 축 의 정밀도 나 진동 의 영향 을 받 지 않 고 고정 밀도 로 몰드 ( M ) 의 기판 ( WT ) 에 대한 상대 위치 를 얼라인먼트 할 수 있 다 . 또한 , 이 와 같이 , 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 에 충전 된 수지 를 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 에 접촉 시킨 후 , 수지 를 경화 시키 는 직전 에 있 어서 , 수지 를 기판 ( WT ) 에 접촉 시킨 상태 에서 의 위치 어긋남 을 수정 하 는 얼라인먼트 를 실행 하 는 것 에 의해 , 고정 밀도 의 얼라인먼트 를 실현 할 수 있 다 .