한 양태 에서 , 전술 한 바 와 같이 , 측면 기판 이송 개구 ( 270 A 1 - 270 A 6 , 270 B 1 - 270 B 6 ) 를 통한 기판 홀더 운동 의 축 ( 270 A 1 X - 270 A 6 X , 270 B 1 X - 270 B 6 X ) 은 적어도 하나 의 단부 벽 ( 250 E 1 , 250 E 2 ) 의 단부 기판 이송 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 통한 기판 홀더 운동 의 다른 축 ( 260 AX , 260 BX ) 에 실질 적 으로 직교 한다 . 또한 전술 한 바 와 같이 , 270 A 1 X , 270 A 6 X , 270 B 1 X , 270 B 6 X 와 같 은 운동 의 축 의 일부 는 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 에 인접 한다 . 구동 섹션 ( 300 A ) 에 의한 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 관절 식 연결 은 기판 이송 아암 ( 250 ) 에 운동 의 축 ( 260 AX , 260 BX ) 과 운동 의 축 ( 270 A 1 X , 270 A 6 X , 270 B 1 X , 270 B 6 X ) 에 의해 한정 되 는 실질 적 으로 직교 하 는 모서리 주위 에서 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 를 회전 시키 도록 이동성 을 제공 하 도록 한다 .