도 8 및 도 9 에 나타내 는 건 조 유닛 ( 51 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 를 스핀 회전 시켜 건조 시킨다 . 도 8 및 도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 건조 유닛 ( 51 ) 은 , 용기 ( 52 ) 내 에 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 유지 하 는 유지 테이블 ( 53 ) , 및 , 유지 테이블 ( 53 ) 을 회전 시키 는 회 전부 ( 57 ) 를 구비 하 고 있 다 .