상기 기판 ( 100 ) 은 상기 기판 ( 100 ) 상 에 반도체 물질 을 성장 시킬 수 있 는 물질 을 포함 하 거나 캐리어 웨이퍼 일 수 있 다 . 상기 기판 ( 100 ) 은 사파이어 ( Al 2 O 3 ) , GaN , GaAs , SiC , ZnO , Si , GaP , Ga 2 O 3 , InP , AlN 및 Ge 중 선택 적 으로 포함 할 수 있 다 .