도 3 은 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 의해 실행 되 는 기판 ( W ) 의 처리 의 일례 에 대해서 설명 하 기 위한 공정도 이 다 . 이하 의 각 공정 은 , 제 어 장치 ( 3 ) 가 기판 처리 장치 ( 1 ) 를 제어 함 으로써 실행 된다 . 바꾸 어 말 하 면 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 , 이하 의 각 공정 을 실행 하 도록 프로그램 되 어 있 다 . 이하 에서 는 , 도 1 ~ 도 3 을 참조 한다 .