제 1 실시 예 에서 는 , 도 7 ( c ) 에 나타내 는 전극 의 폭 W 를 120 ㎛ 로 하 였 다 . 차광 부재 의 전극 패턴 폭 방향 단부 로부터 의 거리 L 과 차광 부재 의 전극 폭 방향 의 폭 T 를 , L 에 대해서 는 0 . 5 ㎛∼ 18 ㎛, T 에 대해서 는 1 ㎛∼ 14 ㎛ 의 범위 에서 변화 시켜서 노광 하 여 , 현상 한 후 , 600 ℃ 에서 소성 해서 , 버스 전극 ( 14 b , 15 b ) 을 형성 하 였 다 . 샘플 은 T 및 L 의 1 쌍 의 조합 마다 100 장 씩 으로 하 였 다 .