세정액 의 준위 을 측정 하 기 위해 세 정조 로 공급 되 는 가스 의 정상 공급 여부 를 신속 하 고 정확 하 게 판단 할 수 있 으며 , 가스 의 공급 및 세정액 의 준위 를 교정 할 수 있 도록 한 습식 세정 장치 및 습식 세정 장치 의 세정액 준위 교정 방법 이 개시 된다 . 습식 세정 장치 는 세정액 이 수용 되 는 세 정조 , 세정액 내부 에서 분출 되 도록 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 , 공급 되 는 가스 의 공급 특성 을 감지 하 여 특성 신호 를 생성 하 는 제 어부 , 생성 된 특성 신호 를 출력 하 는 디스플레이 부 를 포함 한다 . 따라서 , 세 정조 로 공급 되 는 가스 의 정상 공급 여부 를 디스플레이 부 를 통해 출력 되 는 특성 신호 를 통해 신속 하 고 정확 하 게 판단 할 수 있 다 .