제 2 수용성 고분자 의 중량 평균 분자량 은 , 바람직 하 게 는 3 , 000 이상 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 5 , 000 이상 이 다 . 또한 , 제 2 수용성 고분자 의 중량 평균 분자량 은 , 바람직 하 게 는 2 , 000 , 000 이하 이 고 , 보다 바람직 하 게 는 1 , 500 , 000 이하 이 다 . 그 중 에서 도 , 웨이퍼 전체 의 평탄 성 을 더욱 높인다는 관점 에서 , 제 2 수용성 고분자 의 중량 평균 분자량 은 , 바람직 하 게 는 200 , 000 미만 이 고 , 보다 바람직 하 게 는 100 , 000 미만 이 며 , 더욱 보다 바람직 하 게 는 50 , 000 미만 이 고 , 특히 바람직 하 게 는 15 , 000 미만 이 다 . 당해 중량 평균 분자량 은 , 폴리 에틸렌옥시드 를 표준 물질 로 하 여 , 겔 투과 크로마토그래피 ( GPC ) 를 사용 하 여 측정 하 는 것 이 가능 하 다 .