본 실시 형태 에서 는 , ab 면 , 표면 또는 계면 의 방향 으로부터 보 아 삼각 형상 또는 6 각 형상 의 원자 배열 을 갖 는 c 축 배향 결정 ( CAAC : C - Axis Aligned Crystal 라고 도 한다 ) 을 포함 하 는 산화물 에 대해서 설명 한다 . 결정 에서 는 , c 축 을 따라 금속 원자 가 층 형상 또는 금속 원자 와 산소 원자 가 층 형상 으로 배열 하 고 있 고 , ab 면 에서 는 a 축 또는 b 축 의 방향 이 다르 다 ( 결정 이 c 축 을 중심 으로 회전 한다 ) .