다양 한 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 임의 의 다양 한 가스 조합 을 사용 할 수 있 다 . 붕소 , 탄소 및 불소 이온 을 기판 에 주입 해야 할 다른 특정 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 삼염화붕소 ( BCl 3 ) 와 같 은 붕소 함유 가스 와 탄화 불소 ( 예컨대 , CxFy , 1 ≤ x ≤ 6 이 고 4 ≤ y ≤ 14 ) 가 컨테이너 에서 혼합 될 수 있 다 . 붕소 도 펀트 종 을 제공 하 는 데 사용 가능 한 다른 가능 한 소스 가스 는 보란 ( 예컨대 , BxHy , 2 ≤ x ≤ 18 이 고 6 ≤ y ≤ 22 ) 및 그 유도체 와 , 보로 하이드로 플 루오 라이드 ( borohydrofluoride ) ( 예컨대 , BxHyFz , 1 ≤ x ≤ 18 , l ≤ y ≤ 22 , 및 1 ≤ z ≤ 26 ) 와 , 보로 카르보 하이드 로 플 루오 라이드 ( borocarbohydrofluoride ) ( 예컨대 , BwCxHyFz , 1 ≤ w ≤ 18 , 0 ≤ x ≤ 12 , 0 ≤ y ≤ 36 , 및 0 ≤ z ≤ 14 ) 및 그 유도체 와 , 불화 붕소 및 그 유도체 와 , B 2 F 4 , 그리고 ( BF 2 ) 3 BR ( R 은 PH 3 , CF 3 및 CO 로부터 선택 됨 ) 을 포함 한다 . 다른 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 예컨대 미국 특허 출원 제 11 / 041 , 558 호 ( 공보 제 2005 / 0163693 호 ) - 개 시물 이 참고 에 의해 본 명세서 에 포함 됨 - 에 설명 되 어 있 는 바 와 같 은 , 화학식 이 BxHy ( 5 ≤ x ≤ 96 , y ≤ x + 8 ) 인 대형 수소 화 붕소 클러스터 도 사용 할 수 있 다 .