다음 에 , 노광 후 의 도막 을 현상액 에 의해 현상 함 으로써 소망 의 형상 으로 패 터닝 ( patterning ) 한다 . 현상 방법 은 특히 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 침지 법 , 스프레이 법 ( spray method ) 등 을 이용 할 수 가 있 다 . 현상액 으로서 는 모노 에탄올아민 , 디 에탄올아민 , 및 트리 에탄올아민 등 의 유기계 의 것 이 나 , 수산화 나트륨 , 수산화 칼륨 , 탄산 나트륨 , 암모니아 , 및 4 급 암모늄염 등 의 수용액 을 들 수 있 다 .