지 지체 ( 미 도시 ) 는 바디 ( 520 ) 의 처리 공간 ( 502 ) 내 에서 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 지 지체 ( 미 도시 ) 는 고정 로드 ( 미 도시 ) 와 거치대 ( 미 도시 ) 를 가진다 . 고정 로드 ( 미 도시 ) 는 상체 ( 522 ) 의 저면 으로부터 아래 로 돌출 되 도록 상체 ( 522 ) 에 고정 설치 된다 . 고정 로드 ( 미 도시 ) 는 그 길 이 방향 이 상하 방향 으로 제공 된다 . 고정 로드 ( 미 도시 ) 는 복수 개 제공 되 며 서로 이격 되게 위치 된다 . 고정 로드 ( 미 도시 ) 들 은 이 들 에 의해 둘러싸인 공간 으로 기판 ( W ) 이 반입 또는 반출 될 때 , 기판 ( W ) 이 고정 로드 ( 미 도시 ) 들 과 간섭 하 지 않 도록 배치 된다 . 각각 의 고정 로드 ( 미 도시 ) 에 는 거치대 ( 미 도시 ) 가 결합 된다 . 거치대 ( 미 도시 ) 는 고정 로드 ( 미 도시 ) 의 하단 으로부터 고정 로드 ( 미 도시 ) 들 에 의해 둘러싸인 공간 을 향하 는 방향 으로 연장 된다 . 상술 한 구조 로 인해 , 바디 ( 520 ) 의 처리 공간 ( 502 ) 으로 반입 된 기판 ( W ) 은 그 가장자리 영역 이 거치대 ( 미 도시 ) 상 에 놓이 고 , 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 , 기판 ( W ) 의 저면 중 중앙 영역 , 그리고 기판 ( W ) 의 저면 중 가장 자리 영역 의 일부 는 처리 공간 ( 502 ) 으로 공급 된 세정 유체 에 노출 된다 .