일 실시 예 에 따르 면 , 상기 인듐 전구체 는 [ 1 , 1 , 1 - trimethyl - N -( trimethylsilyl ) silanaminato ] indium ( InCA - 1 ) 이 고 , 상기 산소 전구체 는 hydrogen peroxide ( H 2 O 2 ) 일 수 있 다 . 이 에 따라 , 원자 층 증착 공정 에 의해 상기 제 1 박막 ( 10 ) 이 형성 되 는 경우 , 상기 제 1 박막 ( 10 ) 은 탄소 ( C ) 를 포함 할 수 있 다 .