한편 , 도 3 의 실선 ( 21 ) 은 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 조명 조리개 가 중심 에 차 광부 가 있 는 윤대 조리개 를 가지 는 때 의 베스트 포커스 위치 를 플롯 한 그래프 이 다 . 상기 그래프 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 구면 수차 의 양 에 대해서 베스트 포커스 위치 는 일정 하 다 . 즉 2 개 의 조명 조건 이 존재 한다 . 하나 는 투영 광학계 의 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 구면 수차 에 대해서 민감 한 조명 조건 ( 도 3 의 점선 ( 20 ) ) 이 다 . 다른 하나 는 투영 광학계 의 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 일정 한 구면 수차 에 대해서 둔감 한 조명 조건 ( 도 3 의 실선 ( 21 ) ) 이 다 .