단계 S 35 에서 의 판별 결과 , 고주파 전력 공급 의 적산 시간 이 소정 시간 을 넘 는 경우 ( 단계 S 35 에서 YES ) 에 는 , 본 처리 를 종료 한다 . 반면 에 , 고주파 전력 공급 의 적산 시간 이 소정 시간 을 넘 지 않 는 경우 ( 단계 S 35 에서 NO ) 에 는 , 단계 S 31 로 되돌아간다 . 즉 , 고주파 전력 공급 의 적산 시간 이 소정 시간 을 넘 지 않 는 경우 에 는 , 탑 재면 에 탑재 된 웨이퍼 ( W ) 의 열팽창 이 반복 실행 된다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 의 열팽창 의 전후 에 반드시 웨이퍼 ( W ) 의 반입 · 반출 이 행하 여 지 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 열팽창 이 반복 될 때 마다 , 탑 재면 에 탑재 되 는 웨이퍼 ( W ) 가 교환 된다 .