본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 은 하부 전극 ( 미 도시 ) 에 고주파 파워 를 인가 하 여 제 2 공정 챔버 ( 27 ) 의 내부 로 유입 된 공정 가스 를 플 라즈 마 상태 로 여기 시 킨다 . 플라 즈 마 상태 로 여기 된 공정 가스 를 이용 하 여 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 은 기판 의 제 2 면 을 식각 한다 . 따라서 , 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 은 기판 의 제 2 면 에 잔류 하 는 이 물질 을 제거 한다 .