도 9 로부터 , 문형 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 은 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 평행 하 게 연장 하 는 Y 축 가이드 ( 63 ) , 및 수직 방향 ( Z 방향 ) 으로 연장 하 는 Z 축 가이드 ( 64 ) 를 구비 한다 . 이 들 Y 축 가이드 ( 63 ) 및 Z 축 가이드 ( 64 ) 에 의해 , 기판 ( W ) 은 대기 반 송실 ( 25 ) 을 길 이 방향 ( Y 방향 ) 및 상하 방향 ( Z 방향 ) 으로 자유 롭 게 이동 시킬 수 있 다 . Z 축 가이드 ( 64 ) 에 는 , 스칼라 형 로봇 과 같 은 역할 을 실행 하 는 슬라이드 받침대 ( 65 ) 가 부착 된다 . 슬라이드 받침대 에 는 , 기판 ( W ) 을 유지 하 는 도시 하 지 않 는 아암 이 부착 되 어 있 다 . 아암 이 슬라이드 받침대 를 슬라이드 함 으로써 , 기판 ( W ) 을 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 나 제 1 및 제 2 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 , 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 수수 할 수 있 다 .