본 발명 의 제 3 관점 에서 의 플 라즈 마 처리 장치 는 , 적어도 일부 에 유전체 창 을 갖춘 진공 배기 가능 한 처리 용기 와 , 상기 처리 용기 내 에서 피 처리 기판 을 유지 하 는 기판 유지 부 와 , 상기 기판 에 원하 는 플 라즈 마 처리 를 실시 하 기 위해서 , 상기 처리 용기 내 에 원하 는 처리 가스 를 공급 하 는 처리 가스 공급 부 와 , 상기 처리 용기 내 에 마이크로파 를 방사 하 기 위한 하나 또는 복수 의 슬롯 을 갖 고 , 상기 유전체 창 위 에 설치 되 는 도체 의 슬롯 판과 , 마이크로파 방전 에 의한 상기 처리 가스 의 플 라즈 마 를 생성 하 기 위해서 , 상기 슬롯 판 및 상기 유전체 창 을 통해 상기 처리 용기 내 에 마이크로파 를 공급 하 는 마이크로파 공급 부 와 , 상기 슬롯 판 에 형성 된 메 쉬 형 투과 구멍 과 상기 유전체 창 을 통해 상기 처리 용기 내 의 상기 기판 의 표면 을 광학 적 으로 감시 또는 계측 하 는 광학 모니 터부 를 갖 고 , 상기 유전체 창 에 있 어서 , 상기 슬롯 판 의 상기 메 쉬 형 투과 구멍 이 분포 하 는 영역 과 겹치 는 부분 은 , 적어도 합성 석영 으로 이루어진다 .