본 발명 의 다른 측면 은 , 비 선형 능동소자 를 포함 한 고주파 집적회로 가 형성 된 영역 을 갖 는 반도체 기판 과 , 상기 반도체 기판 상면 중 적어도 상기 비 선형 능동소자 에 인접 한 적어도 일 영역 에 형성 된 유전체 박막 과 , 상기 유전체 박막 상 에 형성 되 며 , 양단 이 각각 입출력 부 로서 제공 되 는 공면 신호 선로 와 , 상기 공면 전송선 로 양측 의 상기 유전체 박막 상 에 각각 형성 제 1 및 제 2 공면 접지 선로 를 포함 하 는 고주파 집적회로 소자 를 제공 한다 .