이어서 , 피식 각층 ( 21 ) 상 에 탄소 를 함유 하 는 폴리머 층 을 코팅 한 후 베 이크 를 실시 하 여 탄소 를 함유 하 는 제 1 하드 마스크 ( 22 ) 를 형성 한다 . 이 와 같이 코팅 방식 으로 제 1 하드 마스크 ( 22 ) 를 형성 하 면 증착 방식 에 비하 여 공정 비용 의 감소 가 가능 하 다 . 제 1 하드 마스크 ( 22 ) 의 두께 는 1000 ~ 10000 Å 정도 가 됨 이 바람직 하 다 .