게이트 피치 스케일링 에 의해 야기 된 하나 의 문제 가 되 는 이슈 는 콘 택 대 게이트 단락 의 가능 성 이 다 . 이러 한 콘 택 이 발생 할 때 , MOS 트랜지스터 를 효과 상 파괴 시키 는 단락 이 생성 된다 . 단락 을 감소 시키 는 현재 방법 은 더 작 은 임계 치수 를 갖 는 콘 택 의 레지스트레이션 및 패 터닝 을 제어 하 는 것 을 포함 한다 . 하지만 , 게이트 피치 가 스케일 다운 됨 에 따라 , 레지스트레이션 요건 은 기존 기술 로 충족 하 기 가 매우 어렵 게 되 고 있 다 .