최근 에 는 고주파 전력 을 이용 하 여 공정 가스 를 이온 화 시켜 플 라즈 마 상태 로 활성 화 시킨 다음 , 이 를 이용 하 여 증착 , 식각 , 세정 공정 을 수행 하 는 플 라즈 마 를 이용 한 공정 장치 가 많이 이용 되 고 있 는데 , 이러 한 플 라즈 마 를 이용 한 공정 장비 는 고주파 전원 을 이용 하 여 2 개 의 전극 사이 에 강력 한 전계 를 형성 하 고 이 전계 에 의해 가속 된 전자 와 중성 기체 의 충돌 을 이용 하 여 플 라즈 마 를 발생 시키 는 용량 결합 식과 , 챔버 의 외부 에 설치 된 안테나 코일 에 의해 챔버 내부 에 유도 되 는 유도 자기장 과 이 에 결합 하 는 유도 전계 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 발생 시키 는 유도 결합 식 으로 나누 어 지 며 , 이 중 에서 용량 결합 식 이 많이 사용 되 고 있 다 .