도 8 에 도시 된 본 발명 의 일 실시 예 에서 , 테스트 헤드 ( 21 ) 의 메인 바디 ( 21 ') 는 상부 플레이트 또는 가이드 ( 21 A ) 와 하부 플레이트 또는 가이드 ( 21 B ) 를 포함 하 는데 , 상부 플레이트 와 하부 플레이트 는 콘 택 부재 들 ( 22 ) 이 내부 에 슬라이딩 되 어 수용 되 는 가이드 홀 들 을 각각 가지 며 , 상부 가이드 ( 21 A ) 와 하부 가이드 ( 21 B ) 는 에어 갭 ( 32 ) 에 의해 서로 분리 된다 . 테스트 헤드 ( 21 ) 의 메인 바디 ( 21 ') 가 한 쌍 의 나란 한 가이드 들 의 형상 일 때 , 에 어 갭 ( 32 ) 은 서포트 플레이트 ( 23 ) 및 플렉시블 멤 브레인 ( 25 ) 에 접촉 시 콘 택 부재 들 ( 22 ) 의 변형 을 가능 하 게 한다 .