다음 으로 , 도 3 의 ( b ) 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 의 소자 분리 홈 에 소자 분리 절 연막 ( 50 ) 을 매립 하 여 , 소자 분리 영역 을 형성 한다 . 이 때 , 인접 하 는 부유 게이트 전극 ( 100 a ) 간 의 거리 ( 소자 분리 영역 의 폭 ) t 1 에 대한 , 부유 게이트 전극 ( 100 a ) 표면 과 소자 분리 절 연막 ( 50 ) 표면 의 단차 치수 t 2 의 비율 은 , 소자 의 미세화 에 의해 예 를 들 면 약 1 로 된다 .