연마 패드 ( 130 ') 는 기판 ( 10 ) 에 대한 기계 적 연마 에 적합 한 재질 로 형성 된다 . 예 를 들 어 , 연마 패드 ( 130 ') 는 폴리우레탄 , 폴리 유레아 ( polyurea ) , 폴리에스테르 , 폴리에테르 , 에폭시 , 폴리아미드 , 폴리카보네이트 , 폴리에틸렌 , 폴리프로필렌 , 플루오르 중합체 , 비닐 중합체 , 아크릴 및 메타 아크릴 릭 중합체 , 실리콘 , 라텍스 , 질화 고무 , 이소프렌 고무 , 부타디엔 고무 , 및 스티렌 , 부타디엔 및 아크릴로니트릴 의 다양 한 공중 합체 를 이용 하 여 형성 될 수 있 으며 , 연마 패드 ( 130 ') 의 재질 및 특성 은 요구 되 는 조건 및 설계 사양 에 따라 다양 하 게 변경 될 수 있 다 .