주사 간섭계 ( scanning interferometers ) 는 간섭계 신호 를 모델 신호 ( model signal ) 와 비교 해서 대 상체 의 표면 구조 를 분석 하 는 데 에 사용 될 수 있 다 . 표면 구조 의 예 에 는 , 표면 높이 , 재료 조성 , 막 의 두께 , 및 광학 적 으로 분해 ( 해상 ) 되 지 않 는 표면 구조 가 포함 된다 . 주사 간섭계 의 애플리케이션 에 는 , 반도체 웨이퍼 검사 , 평판 디스플레이 공정 제어 , 및 일반 실험실 용도 가 포함 된다 . 구체 적 인 예 로서 , 평판 디스플레이 용 으로 사용 된 박막 트랜지스터 의 하프톤 영역 ( halftone region ) 에서 의 포토레지스트 두께 의 측정 이 있 다 .