따라서 , ' D 3 ' 의 두께 를 가지 는 게이트 산화 막 ( 220 ) 이 구비 된 결과물 의 캐 패 시 턴 스와 ' D 4 ' 의 두께 를 가지 는 게이트 산화 막 ( 225 ) 이 구비 된 결과물 의 캐 패 시턴 스 를 각각 측정 한 후 상기 캐 패 시 턴 스 의 변화 량 을 비교 하 면 , 게이트 산화 막 ( 220 , 225 ) 의 두께 를 알 수 있 다 .