도 6 을 참조 하 면 , 부상 스테이지 ( 100 ) 로 기판 ( S ) 이 진입 할 수 있 다 . 이전 단계 에서 공정 이 완료 된 기판 ( S ) 은 별도 의 이송 수단 ( 미 도시 ) 에 의해 부상 스테이지 ( 100 ) 로 이송 될 수 있 다 . 기판 ( S ) 은 안 착면 에 평행 한 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( S ) 은 제 1 방향 으로 이동 할 수 있 다 .