이러 한 구성 에 의해 , 절연 층 ( 60 ) 의 표면 으로부터 노출 된 위치 정합 마크 ( 20 ) 의 상면 부 ( 20 c ) 의 표면 형상 을 화상 처리 등 에 의해 인식 시킴 으로써 돌기 부 ( 32 ) 에 대해 배선 패턴 ( 40 ) 이 어느 위치 에 형성 되 는가 를 알 수 있 다 . 즉 , 배선 패턴 ( 40 ) 이 돌기 부 ( 32 ) 에 대해 소정 위치 로부터 수평 방향 및 수직 방향 으로 어느 정도 편향 되 는가 를 알 수 있 다 . 도 6 은 배선 패턴 ( 40 ) ( 및 위치 정합 마크 ( 20 ) ) 이 α 방향 으로 편향 하 는 경우 를 도시 하 는 도면 이 다 .