검사 대상물 의 소정 의 검사 에어리어 를 고속 으로 검사 할 수 있 는 X 선 검사 장치 를 제공 한다 . X 선 검사 장치 ( 100 ) 는 , X 선 을 출력 하 는 주사 형 X 선원 ( 10 ) 과 , 복수 의 X 선 검출기 ( 23 ) 가 부착 되 고 , 복수 의 X 선 검출기 ( 23 ) 를 독립 적 으로 구동 가능 한 X 선 검출기 구동 부 ( 22 ) 와 , X 선 검출기 구동 부 ( 22 ) 나 X 선 검출기 ( 23 ) 로부터 의 화상 데이터 의 취득 을 제어 하 기 위한 화상 취득 제어 기구 ( 30 ) 를 구비 한다 . 주사 형 X 선원 ( 10 ) 은 , 각 X 선 검출기 ( 23 ) 에 관해 , X 선 이 검사 대상 ( 20 ) 의 소정 의 검사 에어리어 를 투과 하 여 각 X 선 검출기 ( 23 ) 에 대해 입사 하 도록 설정 된 X 선 의 방사 의 기점 위치 의 각각 에 , X 선원 의 X 선 초점 위치 를 이 동시 켜 서 X 선 을 방사 한다 .