본 발명 은 평평 한 통합 형 포 토닉 ( photonic ) 바이오센서 의 저렴 한 대량 생산 을 위한 디바이스 에 관한 것 으로 , 보다 구체 적 으로 는 , 센서 의 감도 ( sensitivity ) 를 전례 없 는 수준 으로 또한 낮 은 제조 비용 으로 증가 시키 기 위한 수단 으로 CMOS 포 토닉 요소 와 플 라즈 몬 ( plasmonic ) 요소 를 최적 으로 바이어스 된 ( biased ) MZI 간섭계 에 단 일체 로 함께 통합 하 는 것 에 관한 것 이 다 .