상기 프로브 시트 는 다음 의 공정 을 통해서 제조 될 수 있 다 . 먼저 , 희생 기판 상부 의 고정 틀 에 상기 도전 볼 을 정렬 하 고 , 상기 도전 볼 이 정렬 된 상기 고정 틀 내부 에 탄성 물질 유체 를 도포 한다 . 이후 , 상기 탄성 물질 유체 를 경화 시켜 상기 탄성체 베이스 를 형성 한 후 , 상기 탄성체 베이스 를 상기 고정 틀 및 희생 기판 으로부터 분리 한다 .