다시 도 4 를 참조 하 면 , 상술 한 바 와 같 은 구성 을 가지 는 노즐 암 들 ( 440 , 440 ') 은 대기 포트 ( 480 , 480 ') 에 제공 된 대기 위치 와 기판 지지 부재 ( 410 ) 상 의 공정 위치 간 을 이동 하 면서 공정 진행 에 사용 되 고 , 공정 진행 에 사용 되 지 않 을 때 에 는 보관 포트 ( 490 , 490 ') 에 제공 된 보관 위치 에 위치 한다 . 노즐 암 들 ( 440 , 440 ') 중 제 1 노즐 암 ( 440 ) 이 공정 진행 에 사용 되 는 경우 , 제 2 노즐 암 ( 440 ') 은 보관 위치 에 위치 하 고 , 제 2 노즐 암 ( 440 ') 에 장착 된 노즐 들 ( 442 ) 은 보관 포트 ( 490 ') 에 보관 된다 . 그리고 , 제 2 노즐 암 ( 440 ') 이 공정 진행 에 사용 되 는 경우 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 은 보관 위치 에 위치 하 고 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 에 장착 된 노즐 들 ( 442 ) 은 보관 포트 ( 490 ) 에 보관 된다 .