본 발명 을 따르 는 제 1 공정 의 제 7 공정 단계 ( 106 ) 에 의하 면 , 두 기판 들 을 포함 한 기판 스택 이 제공 되 고 상기 기판 들 은 양쪽 기판 의 외측 부 에 정렬 마크 를 갖 는다 . 이 상태 에서 , 특히 2 개 의 기판 들 은 직접 결합 , 특히 예비 결합 ( prebond ) 또는 융합 결합 ( fusion bond ) 에 의해 , 또는 일시 적 인 결합 ( temporary bond ) 에 의해 분리 될 수 없 게 , 바람직 하 게 쉽 게 분리 될 수 없 도록 연결 된다 . 일시 적 인 결합 에 있 어서 , 특히 접착제 는 바람직 하 게 열 적 으로 , 보다 바람직 하 게 노출 에 의해 , 바람직 하 게 UV 노출 에 의해 이미 경화 된다 . 2 개 의 기판 들 의 서로 에 대한 정렬 이 최적 상태 가 아니 고 상기 연결 이 단지 쉽 게 분리 될 수 없 는 연결 , 특히 예비 결합 일 수 있 다는 것 이 후속 메트 롤 로지 ( metrology ) 단계 에 의해 결정 되 면 , 공개 문헌 제 WO 2013091714 A 1 호 에 공개 된 방법 이 이용 되 어 2 개 의 기판 들 을 서로 분리 하 고 2 개 의 기판 들 을 새로운 공정 으로 공급 한다 . 특히 , 기판 스택 을 통해 볼 때 하부 기판 의 외부 정렬 마크 는 상부 기판 의 외부 정렬 마크 와 일치 한다 . 형성 된 기판 스택 은 z 방향 으로 다시 하강 한다 . 이 경우 , 형성 된 기판 스택 이 하강 하 지 않 지만 공정 영역 으로부터 벗어나 이동 하 여 후속 공정 단계 로 다시 귀환 할 수 있 다 . 공정 영역 으로부터 벗어나 이동 하 는 것 은 특히 렌즈 위 로 기판 홀더 를 들어올리 는 과정 을 동반 하 여 충돌 을 피할 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 다른 시스템 에서 추가 공정 단계 를 수행 하 기 위해 심지어 이렇게 형성 된 기판 스택 을 다른 시스템 , 회사 또는 다른 국가 로 이송 하 는 것 이 필요 할 수 도 있 다 .