기판 버퍼 ( BF ) 는 , 복수 의 기판 ( W ) 을 재치 한다 . 기판 버퍼 ( BF ) 는 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 과 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 중간 ( 중앙 ) 에 배치 되 어 있 다 . 이것 에 의하 여 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 모두 , 기판 버퍼 ( BF ) 에 대하 여 기판 ( W ) 을 출납 할 수 있 다 . 기판 버퍼 ( BF ) 는 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) 는 , 상하 방향 으로 1 열 로 배치 되 어 있 다 .