본 발명 은 갭 필 물질 의 응력 ( stress ) 을 수직 방향 으로 압축 응력 ( compression stress ) 을 줌 으로써 이동도 ( mobility ) 를 증가 시킨다 . 보통 SOD 산화 막 을 형성 하 는 경우 바닥 ( bottom ) 채널 의 채널 방향 ( Sxx ) 에 인장 응력 ( tensile stress ) 이 형성 되 어 이동도 가 개선 되 지만 , 수직 채널 의 경우 채널 방향 ( Syy ) 으로 압착 응력 이 형성 되 어 이동도 감소 가 발생 하 게 되 어 , 결과 적 으로 는 이동도 가 상쇄 되 어 전류 의 변화 는 크 지 않 다 . 수직 채널 의 이동도 를 개선 하 기 위해서 는 ISO 구조 를 압축력 있 게 하 는 것 이 유리 하 다 .