가스 배기구 ( 20 ) 는 , 예컨대 배기구 ( 11 ) 로부터 연장 되 어 직각 으로 L 자형 으로 굴곡 된 석영관 으로 구성 된다 . 가스 배기구 ( 20 ) 에 는 , 열처리로 ( 10 ) 내 의 분위기 를 배기 하 는 진공 배 기계 ( 30 ) 가 접속 된다 . 구체 적 으로 는 , 진공 배 기계 ( 30 ) 는 , 가스 배기구 ( 20 ) 에 연결 되 는 예컨대 스테인 레스강 에 의해 형성 되 는 금속제 의 가스 배기관 ( 31 ) 을 갖 고 있 다 . 또한 , 가스 배기관 ( 31 ) 의 도중 에 는 , 개폐 밸브 ( 32 ) , 버터플라이 밸브 등 의 압력 조정 밸브 ( 33 ) 및 진공 펌프 ( 34 ) 가 순차 적 으로 개설 되 어 있 고 , 열처리로 ( 10 ) 내 의 압력 을 조정 하 면서 진공 상태 로 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 또 , 가스 배기구 ( 20 ) 의 내경 은 가스 배기관 ( 31 ) 의 내경 과 동일 하 게 설정 되 어 있 다 .