본 발명 에 따른 유체 혼합 탱크 에 의하 면 , 공 용매 가 기화기 를 통과 하 여 기체 상태 로 상변 화 된 후 에 유체 혼합 탱크 로 유입 되 도록 구성 함 으로써 , 기체 상태 의 공 용매 가 유체 혼합 탱크 의 내부 공간 전체 에 단시간 내 에 확산 되 어 초임계 유체 와 균일 하 게 혼합 될 수 있 으므로 , 공 용매 와 초임계 유체 의 혼합 이 신속 하 게 이루어져 기판 처리 시간 을 단축 할 수 있 다 .