자세 하 게 는 , 상기 제 1 지지 장치 ( 600 ) 는 , 상기 챔버 부 ( 691 e ) 에 고정 되 는 탄성 고정부 ( 6012 ) 및 상기 탄성 고정부 ( 6012 ) 에 일 단 이 끼워 지 는 탄성 부재 ( 6002 ) 가 포함 된다 . 상기 탄성 부재 ( 6002 ) 는 코일 스프링 을 포함 하 며 , 반경 방향 으로 인장 및 압축 되 도록 설치 될 수 있 다 .