이하 , 첨부 한 도면 들 을 참조 하 여 본 발명 의 바람직 한 실시 예 를 상세히 설명 하 기 로 한다 . 그러나 , 본 발명 은 여기 서 설명 되 어 지 는 실시 예 에 한정 되 지 않 고 다른 형태 로 구체 화 될 수 도 있 다 . 오히려 , 여기 서 소개 되 는 실시 예 는 개시 된 내용 이 철저 하 고 완전 해질 수 있 도록 그리고 당업자 에게 본 발명 의 사상 이 충분히 전달 될 수 있 도록 하 기 위해 제공 되 어 지 는 것 이 다 . 아울러 , 도면 들 에 있 어서 , 공정 챔버 , 척 , 서포터 , 공간 분할 부재 등 은 그 명확 성 을 기하 기 위하 여 다소 과장 되 어 진 것 이 다 . 제 1 , 제 2 등 의 용어 는 다양 한 구성 요소 들 을 설명 하 는 데 사용 될 수 있 지만 , 상기 구성 요소 들 은 상기 용어 들 에 의해 한정 되 어서 는 안 된다 . 상기 용어 들 은 하나 의 구성 요소 를 다른 구성 요소 로부터 구별 하 는 목적 으로 만 사용 된다 . 예 를 들 어 , 본 발명 의 권리 범위 로부터 이탈 되 지 않 은 채 제 1 구성 요소 는 제 2 구성 요소 로 명명 될 수 있 고 , " 유사 하 게 제 2 구성 요소 도 제 1 구성 요소 로 명명 될 수 있 다 . 어떤 구성 요소 가 다른 구성 요소 에 "" 연결 되 어 "" 있 다거나 "" 접속 되 어 "" 있 다고 언급 된 때 에 는 ", 그 다른 구성 요소 에 직접 적 으로 연결 되 어 있 거나 또는 접속 되 어 있 을 수 도 있 지만 , 중간 에 다른 구성 요소 가 존재 할 수 도 있 다고 이해 되 어야 할 것 이 다 . 반면 에 , " 어떤 구성 요소 가 다른 구성 요소 에 "" 직접 연결 되 어 "" 있 다거나 "" 직접 접속 되 어 "" 있 다고 언급 된 때 에 는 ", 중간 에 다른 구성 요소 가 존재 하 지 않 는 것 으로 이해 되 어야 할 것 이 다 . 구성 요소 들 간 의 관계 를 설명 하 는 다른 표현 들 , " 즉 ""~ 사이 에 "" 와 "" 바로 ~ 사이 에 "" 또는 ""~ 에 이웃 하 는 "" 과 ""~ 에 직접 이웃 하 는 "" 등 도 마찬가지 로 해석 되 어야 한다 . 또한 ", 본 발명 의 실시 예 에서 는 반도체 기판 을 대상 으로 한정 하 고 있 지만 , 유리 기판 등 에 도 본 발명 의 실시 예 를 확장 시킬 수 도 있 다 .