CCVD 에서 는 전구체 의 증기 상 을 캐리어 가스 에 의해 버너 로 이송 한다 . 이때 전구체 의 증기 상 을 포함 하 는 캐리어 가스 의 공급량 은 산화 가스 와 의 공 급비 로 조절 한다 . 즉 , 산화 가스 에 대한 HMDSO ( Hexamethyldisiloxane ) 를 포함 하 는 캐리어 가스 의 공 급비 를 210 : 0 . 8 - 210 : 3 . 2 로 하 는 것 이 다 . HMDSO 를 포함 하 는 캐리어 가스 의 공급량 이 적 으면 특성 을 가지 는 피막 두께 를 얻 기 가 힘들 다 . 또한 , HMDSO 를 포함 하 는 캐리어 가스 의 공급량 이 과다 할 경우 증착 입자 의 거대 화 를 가져와서 효율 적 이 고 치밀 한 피막 형성 이 어려움 과 동시 에 피 도체 표면 에 증착 층 을 이루 지 못하 고 소모 되 는 HMDSO 의 량 이 늘어나 경제 적 으로 도 좋 지 못하 다 .