도 17 a 내지 도 17 c 에서 , 소스 / 드레 인 콘 택 개구 ( 93 ) 가 제 2 ILD ( 108 ) , 에칭 정지 부 ( 150 ) , 제 1 ILD ( 88 ) 및 CESL ( 87 ) 을 통해 형성 된다 . 일 실시 예 에서 , 소스 / 드레 인 콘 택 개구 ( 93 ) 는 하나 이상 의 에칭 공정 을 사용 하 여 형성 되 어 제 2 ILD ( 108 ) , 에칭 정지 부 ( 150 ) , 제 1 ILD ( 88 ) 및 CESL ( 87 ) 각각 을 순차 적 으로 에칭 할 수 있 다 . 그러나 소스 / 드레 인 콘 택 개구 ( 93 ) 를 형성 하 고 소스 / 드레 인 영역 ( 82 ) 을 노출 시키 기 위해 임의 의 적합 한 공정 또는 공정 들 이 사용 될 수 있 다 .