일부 예 들 에서 는 하나 이상 의 처리 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 처리 요소 에 대해 실시간 작동 상태 가 확립 될 수 있 다 . 제 1 개수 의 제 1 S - D 처리 요소 들 을 이용 할 수 있 는 경우 에 제 1 개 수의 S - D 처리 웨이퍼 의 세트 는 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 제 1 개 수의 S - D 처리 요소 들 에 이송 될 수 있 다 . 그 S - D 처리 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 에 대해 S - D 처리 요소 를 이용 할 수 없 는 경우 에 그 S - D 처리 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 는 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 제 1 시간 동안 지연 될 수 있 다 . 웨이퍼 가 S - D 처리 요소 에 대해 이송 될 때 작동 상태 가 변할 수 있 다 . 리소그래피 관련 서브시스템 내 의 제 1 S - D 처리 요소 에 대해 웨이퍼 를 이송 하 기 위해 실시간 이송 시퀀스 가 확립 되 어 이용 될 수 있 다 . 업데이트 된 작동 상태 는 실시간 으로 하나 이상 의 처리 요소 및 / 또는 하나 이상 의 서브시스템 에 질의 함 으로써 취득 될 수 있 다 . 업데이트 된 로딩 데이터 는 실시간 으로 하나 이상 의 이송 요소 및 / 또는 하나 이상 의 이송 서브시스템 에 질의 함 으로써 취득 될 수 있 다 .