또한 , 도전 성 탄소 피막 을 형성 한 저급 산화 규소 분말 에 진공 처리 를 실시 하 고 , 리튬 이온 2 차 전지 음극 재용 분말 로 했 다 . 진공 처리 조건 ( 유지 온도 및 유지 시간 ) 은 , 표 4 에 나타내 는 조건 으로 하 고 , 진공 조 의 내압 은 기름 확산 펌프 를 이용 하 여 1 Pa 이하 로 유지 했 다 . 도전 성 탄소 피막 을 형성 하 고 , 진공 처리 를 실시 한 저급 산화 규소 분말 은 , BET 법 으로 측정 한 비표 면적 이 3 ㎡/ g 이 며 , 상술 의 XRD 로 측정 한 P 2 / P 1 의 값 이 P 2 / P 1 ＝ 0 . 009 였 다 .