또한 , 진공 챔버 ( 10 ) 의 측면 에 는 , 도시 하 지 않 은 반송 실과 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 반입 · 반출 을 실행 하 기 위한 반 송구 ( 14 ) 가 형성 되 며 , 이 반 송구 ( 14 ) 는 게이트 밸브 ( 15 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 , 진공 챔버 ( 10 ) 의 벽부 내 에 는 진공 챔버 ( 10 ) 를 가열 하 는 가열 부 ( 16 ) 가 매설 되 어 있 다 . 진공 챔버 ( 10 ) 내 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 대략 수평 으로 보 지 하 기 위한 탑재 대 ( 2 ) 가 마련 되 어 있 다 . 탑 재 대 ( 2 ) 는 배 기실 ( 11 ) 의 저부 로부터 상방 을 향하 여 신장 되 는 지 지부 ( 21 ) 에 의해 지 지 되 어 있 다 . 탑 재 대 ( 2 ) 에 는 가 열부 ( 20 ) 가 매설 되 어 , 웨이퍼 ( W ) 가 설정 온도 로 가열 되 도록 되 어 있 다 .