포드 반입 반 출구 ( 112 ) 의 정면 전방 측 에 는 로드 포트 ( load port , 기판 수용기 수 수대 ) ( 114 ) 가 설치 되 어 있 고 , 로드 포트 ( 114 ) 는 포드 ( pod ) ( 110 ) 를 재치 ( 載 置 ) 되 어 위치 를 맞추 도록 구성 되 어 있 다 . 포드 ( 110 ) 는 로드 포트 ( 114 ) 상 에 공정 내 반송 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의하 여 반입 되 고 , 로드 포트 ( 114 ) 상 으로부터 반출 되 도록 되 어 있 다 .