본 발명 의 실시 형태 는 다양 한 Ti 함유 전구체 를 사용 할 수 있 다 . 예 는 , Ti ( NEt 2 ) 4 ( TDEAT ) , Ti ( NMeEt ) 4 ( TEMAT ) , " 및 Ti ( NMe 2 ) 4 ( TDMAT ) 를 포함 하 는 "" Ti - C "" 분자 내부 결합 을 갖 는 Ti 함유 전구체 를 포함 한다 . 다른 예 는 Ti ( COCH 3 ) ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 Cl ", Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) Cl 2 , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) Cl 3 , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 Cl 2 , Ti ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) Cl 3 , Ti ( CH 3 ) ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 Cl , Ti ( η 5 - C 9 H 7 ) 2 Cl 2 , Ti ( ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) 2 Cl , Ti ( ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) 2 Cl 2 , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 ( μ - Cl ) 2 , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 ( CO ) 2 , Ti ( CH 3 ) 3 ( η 5 - C 5 H 5 ) , Ti ( CH 3 ) 2 ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 , Ti ( CH 3 ) 4 , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) ( η 7 - C 7 H 7 ) , Ti ( η 5 - C 5 H 5 ) ( η 8 - C 8 H 8 ) , Ti ( C 5 H 5 ) 2 ( η 5 - C 5 H 5 ) 2 , Ti ( ( C 5 H 5 ) 2 ) 2 ( η - H ) 2 , Ti ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) 2 , Ti ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) 2 ( H ) 2 , " 및 Ti ( CH 3 ) 2 ( η 5 - C 5 ( CH 3 ) 5 ) 2 를 포함 하 는 "" Ti - C "" 분자 내부 결합 을 함유 한 Ti 함유 전구체 를 포함 한다 . TiCl 4 는 "" Ti - 할로겐 "" 결합 을 함유 한 티탄 할로겐화물 전구체 의 예 이 다 . "