로봇 ( 1 ) 은 , 웨이퍼 ( 2 ) 가 탑재 되 는 핸드 ( 3 ) 와 , 핸드 ( 3 ) 가 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 됨 과 함께 수평 방향 으로 신축 하 는 암 ( 4 ) 과 , 암 ( 4 ) 의 기단 부측 이 회동 가능 하 게 연결 되 는 암 지지 부 ( 5 ) 와 , 암 지지 부 ( 5 ) 를 승강 가능 하 게 보유 지지 하 는 문형 의 문형 프레임 ( 6 ) 과 , 상하 방향 ( 도 1 등 의 Z 방향 ) 을 회동 의 축 방향 으로 하 는 문형 프레임 ( 6 ) 의 회동 이 가능 하 게 되 도록 문형 프레임 ( 6 ) 이 적재 되 는 베이스 부재 ( 7 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 로봇 ( 1 ) 은 , 암 지지 부 ( 5 ) 에 대하 여 암 ( 4 ) 을 신축 시킴 과 함께 암 ( 4 ) 에 대하 여 핸드 ( 3 ) 를 회동 시키 는 구동 기구 ( 도시 생략 ) 와 , 문형 프레임 ( 6 ) 에 대하 여 암 지지 부 ( 5 ) 를 승강 시키 는 승강 기구 ( 도시 생략 ) 와 , 베이스 부재 ( 7 ) 에 대하 여 문형 프레임 ( 6 ) 을 회동 시키 는 회동 기구 ( 도시 생략 ) 를 구비 하 고 있 다 .