연마 용 조성물 중 의 콜로 이달 실리카 의 평균 회합 도 는 또한 4 . 0 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 3 . 0 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 2 . 5 이하 이 다 . 콜로 이달 실리카 의 평균 회합 도 가 작 아 짐 에 따라서 , 연마 용 조성물 을 이용 하 여 연마 한 후 의 연마 대상물 의 표면 에 결함 이 생기 거나 표면 조도 가 증대 하 는 것 을 억제 할 수 있 는 이점 이 있 다 .