환화 반응 의 진행 이 빠르 고 , 또한 경시 에서 의 보존 안정 성 이 우수 한 감광성 수지 조성물 과 , 상기 감광성 수지 조성물 을 이용한 , 복소 환 함유 폴리머 전구체 , 경화 막 , 적층 체 , 경화 막 의 제조 방법 , 및 반도체 디바이스 를 제공 한다 . 폴리 이미드 전구체 및 폴리 벤즈 옥 사졸 전구체 로부터 선택 되 는 복소 환 함유 폴리머 전구체 와 용제 를 포함 하 는 감광성 수지 조성물 로서 , 상기 감광성 수지 조성물 의 고형분 의 아민 가 가 0 . 0002 ~ 0 . 0200 mmol / g 인 , 감광성 수지 조성물 이 다 .