도 3 및 도 4 에 도시 한 바 와 같이 본 발명 의 웨이퍼 이송용 실린더 조립 체 는 , 그 전후방 내 측면 에 나사골 ( 51 ) 이 형성 된 실린더 몸체 ( 50 ) 와 , 상기 실린더 몸체 ( 50 ) 의 전방 내 측면 에 형성 된 나사골 ( 51 ) 에 나사 결합 되 어 조립 되 도록 나사산 ( 61 ) 이 형성 된 상부 캡 ( 60 ) 과 , 상기 실린더 몸체 ( 50 ) 의 후방 내 측면 에 형성 된 나사골 ( 도시 생략 ) 에 나사 결합 되 어 조립 되 도록 나사산 ( 71 ) 이 형성 된 하부 캡 ( 70 ) 으로 구성 되 어 실린더 몸체 ( 50 ) , 상부 캡 ( 60 ) 및 하부 캡 ( 70 ) 이 결합 되 어 실린더 조립 체가 제조 된다 .