이 와 같이 , 실시 형태 2 의 열 경화 공정 은 , 챔버 ( 4 A ) 가 적외선 ( 43 ) 을 투과 시키 는 석영 유리 로 형성 되 고 , 챔버 ( 4 A ) 의 밖 에서 챔버 ( 4 A ) 내 의 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 적외선 ( 43 ) 을 조사 하 여 , 적외선 ( 43 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 가열 되 고 , 또한 가열 된 웨이퍼 ( W ) 의 열 로 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 를 열 경화 시켜 절연 층 을 형성 하 기 때문 에 , 챔버 ( 4 A ) 를 가열 하 지 않 음 으로써 , 챔버 ( 4 A ) 에 수용 되 며 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 가 열 경화 하 여 절연 층 이 형성 된 웨이퍼 ( W ) 를 , 챔버 ( 4 A ) 를 냉각 하 지 않 고 도 챔버 ( 4 A ) 마다 이동 시킬 수 있 어 , 작업 의 효율 화 를 도모 하 는 것 이 가능 해진다 .