기판 지지대 ( 21 ) 의 지지 부 ( 211 , 212 ) 의 상방 에 는 기판 을 정전 인력 에 의해 보유 지지 하 여 고정 시키 기 위한 정전 척 장치 ( 23 ) 가 설치 된다 . 정전 척 장치 ( 23 ) 는 예컨대 , 유전체 ( 예컨대 , 세라믹 재질 ) 매트릭스 내 에 금속 전극 등 의 전기 회로 가 매설 된 구조 를 가진다 . 금속 전극 에 플러스 ( +) 및 마이너스 ( -) 의 전압 이 인가 되 면 , 유전체 매트릭스 를 통해 기판 에 금속 전극 과 반 대극 성 의 분극 전하 가 유도 되 며 , 이 들 간 의 정전기 적 인력 에 의해 기판 이 정 전척 장치 ( 23 ) 에 보유 지지 및 고정 된다 . 정전 척 장치 ( 23 ) 는 하나 의 플레이트 로 형성 될 수 도 있 고 , 복수 의 서브 플레이트 를 가지 도록 형성 될 수 도 있 다 . 또한 , 하나 의 플레이트 로 형성 되 는 경우 에 도 그 내부 에 전기 회로 를 복수 포함 하 여 , 하나 의 플레이트 내 에서 위치 에 따라 정전 인력 을 다르 게 제어 할 수 있 다 .