이러 한 하나 의 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) 를 통하 여 초기 가압 용 초임계 유체 의 공급 경로 및 건조 후 기판 ( W ) 에 형성 된 유기 용제 가 용해 된 초임계 유체 의 배출 경로 를 제공 함 으로써 , 초임계 유체 의 공급 및 배출 시 대칭 적 인 흐름 을 유도 하 여 초임계 유체 를 챔버 내부 에 균일 하 게 분산 시켜 공급 및 배출 함 으로써 기판 건조 효율 을 증대 시킬 수 있 는 효과 가 있 다 .