상기 산화 막 ( 108 ) 은 이 미터 영역 ( 104 ) , 베이스 영역 ( 103 ) 을 포함 한 에피 택 셜 층 ( 115 ) 과 폴리 실리콘 층 ( 110 ) 을 전기 적 으로 격리 시키 기 위하 여 형성 되 며 , 상기 질화 막 ( 106 ) 은 상기 트랜 치 ( A ) 내부 에 산화 막 ( 108 ) 을 형성 하 는 과정 에서 상기 에티 택 셜 층 ( 115 ) 상 의 산화 막 ( 105 ) 두께 가 증가 되 는 것 을 방지 한다 .