결상 렌즈 ( 110 ) 는 마스킹 에 의해 부분 적 으로 차광 된 빛 을 레티 클 ( 116 ) 위 에 결상 해 , 상 을 형성 한다 . 투영 렌즈 ( 투영 광학계 ; 113 ) 는 , 레티 클 ( 116 ) 위 에 형성 된 상 을 웨이퍼 ( 118 ) 위 에 투영 한다 . 레티 클 ( 116 ) 은 레티 클 스테이지 ( 115 ) 위 에 설정 되 어 위치 결정 되 고 , 웨이퍼 ( 118 ) 는 웨이퍼 스테이지 ( 117 ) 위 에 놓여 있 다 . 이 들 스테이지 는 에어 패드 등 을 이용 해 , 부상 한 상태 로 구동 되 어 , 2 차원 으로 자유 롭 게 구동 될 수 가 있 다 .