본원 에서 기술 하 는 임의 의 실시 양태 에서 , 기상 공정 은 응축 모드 에서 수행 할 수 도 있 는데 , 불활성 응축 성 유체 를 공정 에 도입 하 여 반응기 시스템 의 냉각 용량 을 증가 시킨다 . 이 들 불활성 응축 성 유체 는 유도 응축 제 또는 ICA 로서 칭한다 . 응축 모드 공정 의 더욱 상세 한 사항 은 미국 특허 번호 5 , 342 , 749 및 5 , 436 , 304 를 참조 한다 .