그런데 , 종래 의 테스트 장치 는 대형 챔버 전체 를 가열 함 에 따라 검사 시간 이 길 어 지 는 것 은 물론 온도 를 정확 하 게 유지 하 는 것 이 힘든 문제점 이 있 으며 , 메모리 모듈 의 일부분 에 대한 국부 적 검사 만 필요 한 경우 에 도 대형 챔버 전체 를 가열 시켜야 하 므로 , 많 은 에너지 와 비용 이 소모 되 는 문제점 이 있 다 .