언급 된 바 와 같이 , 수행 된 프로세스 는 두 개 의 주요 단계 들 인 , 이미지 센서 의 픽셀 로우 가 표본 의 원 하 는 x '- 방향 ( 즉 , 원 하 는 스캐닝 방향 ) 과 실질 적 으로 평행 하 도록 이미지 센서 를 회전 시키 는 단계 , 및 XY 병진 스테이지 와 비교 하 여 원 하 는 x '- 방향 의 오프셋 의 각도 를 결정 하 는 단계 를 포함 한다 . 본 명세서 의 다른 실시 예 들 에서 , 때로 는 이러 한 단계 들 이 분리 및 구분 되 고 , 때로 는 그 들 이 오버랩 된다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 표본 의 x '- 방향 에 정렬 된 픽셀 로우 를 갖 도록 이미지 센서 를 회전 시키 기 전 에 상기 이미지 센서 의 정확 한 기준 위치 를 제공 하 기 위해 XY 병진 스테이지 의 X - 방향 에 이미지 센서 의 픽셀 로우 를 정렬 시키 는 프로세스 가 먼저 실행 된다 .