이 때 , 제 1 통로 ( 129 ) 내 의 제 1 압력 센서 ( 129 S ) 의 측정값 이 소정 의 경과 시간 ( Tx ) 동안 일정 하 게 유지 되 는 것 을 확인 하 는 것 에 의하 여 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 가 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 에 의하 여 폐쇄 되 지 않 고 개방 된 상태 를 유지 하 는 것 을 보다 확실 하 게 확인 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 경과 시간 ( Tx ) 은 0 . 2 초 내지 3 초 의 범위 로 정해 지 면 , 웨이퍼 의 척 킹 에 의한 흡착 파지 상태 를 확인 할 수 있 었 다 .