도 3 c 를 참조 하 면 , 식각 된 제 2 도 전막 ( 308 ) 및 고유 전체 막 ( 306 ) 패턴 을 포함 한 제 1 도 전막 ( 304 ) 상부 에 제 1 절 연막 ( 310 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 절 연막 ( 310 ) 은 후속 식각 공정 시 식각 방지 막 의 역할 을 하 며 질화 막 으로 형성 한다 . 제 1 절 연막 ( 310 ) 은 제 1 도 전막 ( 304 ) 상부 보다 제 2 도 전막 ( 308 ) 상부 에 더 두껍 게 형성 된다 . 식각 공정 으로 제 1 도 전막 ( 304 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 을 제거 하 여 제 2 도 전막 ( 308 ) 및 고유 전체 막 ( 306 ) 표면 에 만 제 1 절 연막 ( 310 ) 을 잔류 시킨다 . 이때 , 제 1 절 연막 ( 310 ) 은 건식 식각 공정 을 통한 이방성 식각 공정 으로 제거 한다 . 제 1 도전 막 ( 304 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 이 제 2 도 전막 ( 308 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 보다 상대 적 으로 얇 기 때문 에 제 1 도 전막 ( 304 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 이 제거 되 는 동안 제 1 도 전막 ( 304 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 의 두께 만큼 제 2 도 전막 ( 308 ) 상부 에 형성 된 제 1 절 연막 ( 310 ) 이 제거 된다 .