이어서 , 트렌치 ( 103 ) 가 매립 되 도록 소자 분리 막 용 절 연막 ( 104 ) 을 증착 한다 . 이때 , 소자 분리 막 용 절 연막 ( 104 ) 은 매립 특성 이 우수 한 HDP ( High Density Plasma ) USG ( Undoped Silicate Glass ) , SOD ( Spin On Dielectric ) 또는 이 들 의 적층 막 으로 형성 할 수 있 다 .