이때 , 상기 부피 측정 센서 ( 40 ) 는 상기 증발 장치 ( 50 ) 의 상부 에 배치 되 어 증발 장치 로부터 공급 되 는 증발 가스 의 양 을 측정 한다 . 상기 부피 측정 센서 ( 40 ) 는 상기 증발 장치 ( 50 ) 의 상부 에 배치 되 어 상기 개구 ( 52 ) 로부터 분출 하 는 증발 가스 의 유량 을 측정 하 는 측정 유닛 ( 44 ) 및 상기 측정 유닛 ( 44 ) 을 상기 공정 챔버 ( 60 ) 의 하부 몸체 ( 62 ) 에 고정 하 는 고정 유닛 ( 42 ) 을 구비 한다 . 상기 증발 장치 의 개구 ( 52 ) 와 대향 하 는 상기 측정 유닛 ( 44 ) 의 하부 면 ( 44 b ) 은 다수 의 측정 용 개구 ( 46 ) , 상기 측정 용 개구 ( 46 ) 의 내부 에 배치 된 센서 ( 48 ) 및 상기 측정 용 개구 ( 46 ) 를 개폐 할 수 있 는 셔터 ( 49 ) 를 구비 한다 .