본 실시 예 에 의하 면 , 드라이클리닝 기술 을 베이스 로 , 박막 형성 공정 중 또는 박막 형성 공정 후 에 LTP 공정 을 더함 으로써 , 드라이클리닝 후 의 누적 막 두께 의 증대 에 수반 되 는 파티클 의 발생 을 억제 할 수 있 고 , 드라이클리닝 주기 를 연장 시킬 수 있 기 때문 에 , 높 은 장치 가동 률 을 유지 할 수 있 어 생산 성 의 향상 에 크 게 기여 한다 .