반도체 도구 ( 380 ) 는 반도체 들 을 프로세싱 하 도록 구성 된 종래 의 반도체 도구 일 수 있 다 . 반도체 도구 ( 380 ) 는 하우징 ( 382 ) , 하단 ( 384 ) , 뚜껑 ( 386 ) , 및 뷰 포트 ( 388 ) 를 포함 한다 . 반도체 도구 ( 380 ) 의 크기 는 하우징 ( 382 ) 및 뚜껑 ( 386 ) 에 의해 정의 된다 . 뷰 포트 ( 388 ) 는 반도체 도구 ( 380 ) 내 에서 의 프로세싱 동안 웨이퍼 ( 390 ) 를 모니터링 하 기 위한 시각 적 인 개구 를 제공 한다 . 시준기 ( 320 ) 는 섬광등 ( 310 ) 으로부터 의 광 을 웨이퍼 ( 390 ) 상 에 제공 하 고 웨이퍼 ( 390 ) 로부터 분광계 ( 330 ) 로 의 반사 된 광 을 수신 하 기 위해 뷰 포트 ( 388 ) 에 관련 하 여 위치 된다 . 시준기 ( 320 ) 를 반도체 도구 ( 380 ) 에 정밀 하 게 위치 시키 고 단단히 고정 시키 기 위해 , 시준기 ( 320 ) 는 마운 팅 하드웨어 ( mounting hardware ) ( 도시 되 지 않 음 ) 를 통해 뚜껑 ( 386 ) 에 부착 될 수 있 다 . 바람직 한 측정 정확 도 및 일관 성 을 확실히 달성 하 도록 돕 기 위해 , 마운 팅 하드웨어 는 유사 한 반도체 도구 들 내 에서 시준기 ( 320 ) 의 일정 한 위치 를 제공 하 도록 구조 될 수 있 다 .