이러 한 종래 의 방법 들 은 플라 즈 마를 발생 시키 기 위하 여 파워 를 높 게 설정 하 면 반응 챔버 내부 벽면 이나 히터 블록 등 의 반응 챔버 내부 에 위치 하 는 장비 들 이 플 라즈 마 에 의해 손상 을 입 을 우려 가 있 기 때문 에 파워 를 낮 게 설정 하 여 이루어져 왔 다 . 그러나 , 이 경우 세정 가스 의 플 라즈 마 화 에 충분 한 에너지 를 줄 수 없 기 때문 에 세정 후 에 도 반응 챔버 내부 벽면 에 유기 분순 물 의 일부 가 잔류 하 는 특성 을 보인 다 . 따라서 , 이 를 해결 하 기 위해서 는 많 은 양 의 세정 가스 를 반응 챔버 내부 로 공급 하 여야 하 기 때문 에 전체 공정 비용 이 상승 하 는 단점 이 있 다 .