예 를 들 어 , 본원 에 컴포넌트 로 지칭 되 는 건식 에칭 챔버 상부 전극 및 정전 척 하부 전극 , 광학 튜브 , 가스 인 젝 터 , " 및 다른 진공 챔버 관련 부품 과 같 은 비교 적 짧 은 수명 을 가진 리액터 부품 은 흔히 "" 소모품 "" 으로 지칭 된다 . 소모품 의 수명 이 짧 다면 ", 소유 비용 은 높 다 . 유전체 에칭 툴 에서 이용 된 컴포넌트 는 소정 의 수의 RF 시간 ( 무선 주파수 전력 이 플 라즈 마 를 생성 하 는 데 이용 되 는 시간 ( hours 단위 ) ) 후 에 저하 된다 . 소모품 및 다른 부품 의 마모 ( erosion ) 가 플 라즈 마 프로세싱 챔버 내 에 미립자 오염 물질 을 생성 시킨다 .