특히 , 제 2 양태 에 의하 면 , 제 1 경로 를 통과 하 여 상기 제 1 조 에 귀환 하 는 처리 액 보다 유량 이 적 은 제 2 경로 에 있 어서 의 처리 액 을 사용 하 여 압력 측정 을 실시 함 으로써 , 압력 측 정부 에 의한 처리 액 의 압력 측정 의 정밀도 를 높일 수 있 다 . 즉 , 측정 조 에서 는 , 제 2 경로 로부터 유입 되 는 처리 액 을 상부 로부터 오버 플로 시킴 으로써 , 당해 처리 액 의 액면 의 변동 을 억제 하 고 있 지만 , 제 2 경로 로부터 유입 되 는 처리 액 의 유량 이 적 은 경우 에 는 측정 조 의 상부 로부터 오버플로 하 는 처리 액 의 유량 도 감소 하 기 때문 에 , 액면 의 변동 은 보다 적어진다 . 따라서 , 압력 측 정부 에 의한 처리 액 의 압력 측정 의 정밀도 를 높일 수 있 다 .