웨이퍼 가 습식 세정 된 후 , 웨이퍼 는 물 또는 세정 유체 잔존물 이 웨이퍼 상 에 잔류물 을 남기 지 않 도록 하 기 위해 효과 적 으로 건조 되 어야 한다 . 웨이퍼 표면 상 의 세정 유체 가 증발 하 는 것 이 허용 된다면 , 물방울 이 형성 될 때 보통 발생 하 는 바 와 같이 , 세정 유체 내 에 이전 에 용해 된 잔류물 또는 오염물 은 증발 후 에 웨이퍼 표면 상 에 남 을 ( 그리고 , 예 를 들 어 얼룩 을 형성 할 ) 것 이 다 . 증발 이 발생 하 는 것 을 방지 하 기 위해 , 세정 유체 는 웨이퍼 표면 상 의 물방울 의 형성 없이 가능 한 한 빨리 제거 되 어야 한다 .