또한 , S - D 모델 링 프로시저 는 웨이퍼 모델 , 정확 도 모델 , 레시피 모델 , 광학 특성 모델 , 구조물 모델 , FDC 모델 , 예측 모델 , 신뢰 도 모델 , 측정 모델 , 에칭 모델 , 증착 모델 , 첫 번 째 웨이퍼 결과 모델 , 챔버 모델 , 툴 모델 , 드리프트 모델 , 지연 시간 모델 , 전기 적 성능 모델 , 디바이스 모델 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 작성 , 개선 및 / 또는 이용 할 수 있 다 .