상기 제 1 반응물 은 염소 결합 을 갖 는 티타늄 질화물 을 포함 한다 . 이 는 TiCl 4 가스 와 NH 3 가스 를 함께 주입 하 여 티타늄 질화 막 을 형성 하 기 위해서 는 통상 적 으로 약 700 내지 1 , 200 ℃ 고온 상태 에서 공정 이 진행 되 어야 하 는데 , 본 실시 예 에서 는 400 내지 600 ℃ 에서 공정 이 진행 되 기 때문 에 상기 기판 상 에 염소 결합 이 있 는 티타늄 질화물 을 포함 하 는 제 1 반응물 이 형성 된다 .