본 실시 예 에서 는 , 상술 한 기판 처리 열 ( Ｌ ) 을 가지 는 처 리부 ( 3 ) 는 , 복수 ( 2 대 ) 의 처리 블록 ( Ｂａ , Ｂｂ ) 을 횡 방향 ( 반송 방향 과 거의 동일 ) 으로 나란히 구성 되 어 있 다 . ＩＤ 부 ( 1 ) 에 는 처리 블록 ( Ｂａ ) 이 인접 해 있 고 , ＩＦ 부 ( 5 ) 에 는 처리 블록 ( Ｂｂ ) 이 인접 해 있 다 . 각 처리 블록 ( Ｂａ , Ｂｂ ) 은 , 각각 상하 방향 으로 복수 ( 2 개 ) 의 계층 ( Ｋ ) 으로 나누 어 져 있 다 . 처리 블록 ( Ｂａ ) 의 상측 계층 ( Ｋ １ ) 에 는 상술 한 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 가 설치 되 며 , 하측 계층 ( Ｋ ３ ) 에 는 주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 가 설치 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 처리 블록 ( Ｂｂ ) 의 상측 계층 ( Ｋ ２ ) 에 는 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 가 설치 되 어 있 고 , 하측 계층 ( Ｋ ４ ) 에 는 주 반송 기구 ( Ｔ ４ ) 가 설치 되 어 있 다 .