또한 , 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 피 공급 장치 ( M ) 와 상기 필 터부 ( 520 ) 사이 에 위치 되 어 상기 피 공급 장치 ( M ) 로 공급 되 는 연마 액 의 이온 농도 를 측정 하 는 제 1 이온 농도 측 정부 ( 531 ) 와 , 연마 액 의 압력 을 측정 하 는 제 1 압력 측 정부 ( 532 ) 와 , 연마 액 에 혼합 되 어 있 는 슬러리 밀도 를 측정 하 는 제 2 밀도 측 정부 ( 533 ) 와 , 연마 액 의 첨가제 농도 를 측정 하 는 농도 측 정부 ( 534 ) 와 , 연마 액 의 유량 을 측정 하 는 제 1 유량계 ( 535 ) 로 구성 되 는 제 1 센싱 부 ( 530 ) 를 더 포함 할 수 있 으며 , 상기 제 1 이온 농도 측 정부 ( 531 ) 와 , 상기 제 1 압력 측 정부 ( 532 ) 와 , 상기 제 2 밀도 측 정부 ( 533 ) 와 , 상기 농도 측 정부 ( 534 ) 와 , 상기 제 1 유량계 ( 535 ) 는 연마 액 이 상기 피 공급 장치 ( M ) 로 주입 되 기 전 에 위치 되 어 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 하 는 연마 액 의 이온 농도 ( PH ) 와 , 압력 과 , 연마 입자 밀도 와 , 과산화수소 와 같 은 첨가제 농도 와 , 유량 을 확인 하 여 , 연마 액 이 제조 후 이송 되 는 과정 에서 상태 가 변화 될 경우 발생 하 는 문제 를 방지 할 수 있 다 .