단계 S 43 에서 , 압인 프로 파일 이 패턴 영역 ( 1 a ) 및 기판 ( 2 ) 의 샷 영역 상 의 임프 린트 재 가 서로 접촉 하 는 상태 에서 의 목표 높이 위치 및 목표 기울기 를 나타내 도록 , 단계 S 40 , S 41 , 및 S 42 에서 결정 된 높이 정보 및 기울기 정보 에 기초 하 여 압인 프로 파일 을 생성 한다 . 제 어 유닛 ( 11 ) 은 , 위치 압인 프로 파일 로서 미리 저장 되 어 있 는 몰드 ( 1 ) 및 샷 영역 의 높이 정보 및 기울기 정보 로부터 적절 한 위치 압인 프로 파일 을 생성 하 고 , 생성 된 위치 압인 프로 파일 을 저장 한다 . 여기 서 , 목표 기울기 는 특정 한 샷 영역 과 패턴 영역 ( 1 a ) 사이 의 상대 기울기 를 나타낸다 . 목표 기울기 는 임프 린트 처리 에서 몰드 ( 1 ) 의 기울기 를 제어 하 는 데 필요 한 기울기 정보 이 다 . 단계 S 43 에서 생성 된 압인 프로 파일 로서 는 , 캐비 티 ( 1 b ) 에 압력 이 부여 되 지 않 는 상태 ( 0 상태 ) 에서 의 패턴 영역 ( 1 a ) 의 목표 높이 위치 를 나타내 는 압인 프로파일 ( Z ( 1 ) ) 이 생성 될 수 있 다 .