이러 한 광축 을 확인 하 기 위한 종래 의 노광 장치 용 광축 확인 기 는 크 게 고가 형 과 저 가 형 으로 구별 될 수 있 다 . 종래 의 고가 형 노광 장치 용 광축 확인 기 의 경우 , 광원 의 발광 점 에서 빛 을 직접 보 면서 정확히 광축 을 확인 하 기 위해 다수 의 렌즈 의 조합 으로 구성 되 고 , 자외선 을 차단 하 는 고가 의 코팅 면 등 이 구비 되 었 다 . 또한 광축 의 확인 을 위해 빛 이 복잡 한 경로 를 거치 는 동안 , 발생 하 는 광축 의 왜곡 을 줄이 기 위해 , 고가 의 반사경 과 렌즈 가 추가 적 으로 구비 되 었 다 . 따라서 종래 의 고가 형 노광 장치 용 광축 확인 기 는 매우 고가 이 고 , 구성 이 복잡 하 다는 문제점 이 있 다 .