도 10 에 도시 된 마스크 ( 850 ) 에서 제 1 간격 ( x ) 이 제 2 간격 ( y ) 보다 작 게 형성 되 면 , 도 8 의 ( a ) 에서 포토레지스트 층 ( 830 ) 에 형성 되 는 복수 의 공동 ( 835 ) 의 형상 이 포토레지스트 층 ( 830 ) 의 가로 방향 과 세로 방향 에 따라 달라진다 . 예 를 들 어 , 제 1 간격 ( x ) 는 제 2 간격 ( y ) 보다 상대 적 으로 작 기 때문 에 , 세로 방향 으로 인접 한 2 개 의 공동 ( 835 ) 의 형상 은 도 11 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같 게 되 고 , 가로 방향 으로 인접 한 2 개 의 공동 ( 835 ) 의 형상 은 도 11 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같 게 된다 .