즉 , 본 발명 에 의하 면 타이밍 303 에서 처리 실 내 에 반송 가스 를 도입 한 후 , 시료 를 처리 실 내 에 반입 하 여 반송 용 가스 를 플 라즈 마 화 하 고 , 이 플 라즈 마 를 유지 한 상태 에서 처리 실 내 의 도입 하 는 가스 를 프로세스 가스 로 변환 하 여 플 라즈 마 처리 를 실행 하 고 , 플라 즈 마 처리 가 종료 된 후 , 타이밍 304 에서 플라 즈 마를 유지 한 상태 에서 프로세스 가스 로부터 반송 용 가스 로 변환 하 고 , 플라 즈 마 정지 후 시료 의 반출 동안 , 처리 실 내 의 압력 변동 차 를 저감 할 수 있 고 , 이 물 의 감 아 올림 에 의한 이물 의 부착 을 저감 할 수 있 었 다 .