또 , 특허 문헌 3 에 는 알칼리 성 의 세정제 조성물 이 개시 되 어 있 으며 , 여러 가지 킬레이트제 를 함유 할 수 있 는 것 이 개시 되 어 있 지만 , 코발트 ( Co ) 의 부식 의 억제 ( ＝ Co 용출량 의 억제 ) 및 기판 표면 의 잔류물 저감 의 양립 이 라는 점 에서 충분 한 기능 을 갖 는 세정제 조성물 이 라고 는 생각 되 고 있 지 않 았 다 .