또 다른 예 에 따르 면 , 첫 번 째 스테이지 ( SR 1 ) 와 첫 번 째 화 소행 ( PXr 1 ) 이 행 방향 으로 정렬 되 어 있 지 않 고 어긋나 있 으면서 마지막 스테이지 ( SRn ) 와 마지막 화 소행 ( PXrn ) 은 행 방향 으로 정렬 되 어 있 을 수 있 다 . 즉 , 첫 번 째 스테이지 ( SR 1 ) 가 첫 번 째 화 소행 ( PXr 1 ) 보다 아래쪽 에 위치 하 고 마지막 스테이지 ( SRn ) 는 마지막 화 소행 ( PXrn ) 과 제 1 방향 ( Dir 1 ) 에 평행 한 선 상 에 정렬 되 어 있 을 수 있 다 . 이 경우 마지막 게이트 선 ( Gn ) 은 제 1 방향 ( Dir 1 ) 에 평행 할 수 있 다 . 이 에 따르 면 복수 의 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 위쪽 에 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 적어도 일부 와 이웃 하 는 공간 이 확보 되 어 검사 용 패드 , 정전 다이오드 등 의 다양 한 소자 또는 마스크 의 정렬 을 위한 정렬 키 등 과 같 은 패턴 을 형성 할 수 있 다 .