이러 한 구조 의 갠트리 부를 채 용 함 으로써 갠트리 빔 을 따라 X 축 방향 으로 이동 하 는 검사 유닛 등 의 유닛 의 이동범 위 를 넓 게 할 수 있 고 , 스테이지 반 의 상면 을 유효 하 게 이용 할 수 있 다 . 따라서 스테이지 반 의 상면 에 넓 은 스테이 지면 을 확보 할 수 있 으므로 , 전체 의 폭 치수 의 증가 를 초래 하 는 않 고 폭 이 넓 은 패널 의 검사 등 을 하 는 것 이 가능 한 폭 이 넓 은 스테이지 면 을 구비 한 갠 트리 형 ＸＹ 스테이지 를 구현 할 수 있 다 .