시료 3 과 시료 4 를 비교 하 면 , 본 발명 에 제시 하 는 바 와 같이 , 결정핵 으로부터 미결정 실리콘 막 을 형성 하 는 경우 , 실리콘 을 함유 하 는 퇴적 성 기체 , 여기 서 는 실란 과 수소 와 함께 플루오르화물 기체 , 여기 서 는 불화 실란 을 사용 함 으로써 , 결정 성 이 높 은 미결정 실리콘 막 을 형성 할 수 있 는 것 을 알 수 있 다 .