이 와 같이 , 다단 이송기 ( 720 ) 는 총 4 개 의 동작 ( 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 로부터 기판 을 전달 받 는 동작 , 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 로 기판 을 전달 하 는 동작 , 제 3 트랜스퍼 ( 713 ) 로 기판 을 전달 하 는 동작 , 제 1 트랜스퍼 ( 711 ) 로부터 기판 을 전달 받 는 동작 ) 을 수행 할 수 있 다 .