기판 처리 장치 ( 120 _ 1 내지 120 _ n ) 는 , 네트워크 ( 150 ) 를 통해 호스트 장치 ( 110 ) 와 접속 되 고 , 호스트 장치 ( 110 ) 로부터 의 지시 에 기초 하 여 반도체 제조 프로세스 를 실행 한다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 내지 120 _ n ) 는 , 각각 이 관리 하 는 다방면 에 걸친 데이터 를 자기 장치 내 에 축적 하 고 있 는 것 으로 한다 .