본 발명 의 또 다른 목적 은 환경 가스 와 의 접촉 으로 인해 산화물 표면 에서 일어나 는 가스 흡착 및 산화 / 환원 반응 에 의해 정전 용량 이 변하 는 특성 을 갖 는 나노 결정 복합 산화물 박막 을 이용 하 여 고민 감 도 , 고 선택 성 , 빠른 응답 속도 , 장기 안정 성 등 의 우수 한 가스 반응 특성 을 갖 는 정전 용량 형 가스 센서 를 제조 하 는 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .