단계 ( 104 ) 중 에 , 제 1 반응물 은 반응 챔버 내 에 도입 된다 . 제 1 반응물 은 , 제 1 펄스 시간 동안 기판 의 표면 에 공급 되 는 제 1 활성 종 을 형성 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 제 1 활성 종 은 오목 부 표면 의 제 1 부분 을 개질 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 활성 종 은 , 오 목부 표면 의 제 2 부분 ( 예 , 하부 영역 ) 상 에 더 적 은 양 의 활성 부위 를 패 시베이 션 하 거나 패 시베이 션 하 지 않 으면서 , 오 목부 표면 의 제 1 부분 ( 예 , 상부 영역 ) 상 에 활성 / 반응 부위 를 달리 패 시베이 션 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 그 결과 , 오 목부 표면 의 제 1 부분 상 에 증착 된 재료 의 사이클 당 성장 은 , 오 목부 표면 의 제 2 부분 상 에 증착 된 재료 의 사이클 당 성장 에 비해 감소 될 수 있 다 .