전술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 는 상부 에 기판 이 안착 되 는 스테이지 , 상기 스테이지 의 상방 에 배치 되 어 기판 에 형성 된 정렬 마크 를 촬상 하 는 카메라 , 상기 스테이지 의 하방 에 배치 되 어 특정 한 지점 에 가상 마크 를 생성 하 는 가상 마크 생성 장치 , 상기 카메라 는 상기 가상 마크 를 촬상 하 고 , 상기 촬상된 가상 마크 를 기초 로 카메라 의 정렬 여부 를 판단 하 는 제어 장치 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 을 제공 한다 .