진동체 상판 ( 10 ) 및 하판 ( 20 ) 은 가공 의 편의 성 과 높 은 압력 에 견딜 수 있 어야 하 는데 그 재질 은 세락 믹 , PEEK ( Polyetheretherketone ) 및 PTFE ( Polytetrafluoroethylene ) 중 적어도 하나 일 수 있 으며 , 특히 세라믹 인 경우 실리카 옥사이드 재질 인 쿼츠 ( Quartz ) 또는 알루미늄 옥사이드 재질 인 사파이어 ( sapphire ) 를 사용 하 여 제작 될 수 있 다 . 이러 한 진동체 상판 ( 10 ) 및 하판 ( 20 ) 은 1 차 파이어 폴리 싱 ( fire polishing ) 의 표면 용융 과 2 차 어닐링 ( annealing ) 의 열처리 를 통해 토출 홀 ( 30 ) 을 막 을 수 있 는 파티클 발생 을 미연 에 방지 할 수 있 다 .