여기 서 , 노광 광 의 전파 지연 에 관한 연산 은 , 노광 장치 의 설계 치 에 근거 해 실행 될 수 있 다 . 최저 한 필요 한 설계 치 는 , 레티 클 과 웨이퍼 간 의 물체 - 상 간 거리 L , 투영 렌즈 의 광축 상 의 공기 간극 La , 공기 굴절 률 na , 유리 굴절 률 ng 이 다 ( S 210 ) . 물론 투영 광학계 의 내부 가 , 특정 의 기체 환경 에 있 는 경우 에 는 , 그 환경 에 해당 하 는 굴절 률 을 이용 하 면 좋 다 . 또 , EUV 노광 장치 와 같 은 , 반사 광학계 를 이용 했 을 경우 , 마찬가지 로 물체 - 상 간 거리 의 지연 시간 을 연산 할 수 있 다 . 이러 한 물리량 으로부터 , 빛 이 레티 클 의 패턴 면 을 투과 하 고 나 서 웨이퍼 에 도달 할 때 까지 걸리 는 시간 이 직접 결정 될 수 있 다 ( S 211 ) . 이 결정 된 값 은 정수 이 므로 , 매회 이 값 을 연산 할 필요 는 없 고 , 사전 에 이 값 을 설정 해도 괜찮 다 .