단계 314 에서 는 , 도 4 의 ( 4 ) 에 도시 된 것 처럼 , 몰드 베이스 ( 40 ) 를 에칭 함 으로써 , 마이크 로 기둥 주형 부 를 형성 하 기 위한 초기 홈 을 형성 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 초기 홈 은 몰드 베이스 ( 40 ) 의 면 에 대하 여 직각 을 이루 는 형상 을 갖 도록 적절 한 공지 의 에칭 방식 을 선택 할 수 있 다 . 단계 314 에서 수행 하 는 에칭 방식 으로 는 , 예 를 들 어 , RIE ( Reactive Ion Etching ) 방식 등 의 드라이 에칭 ( dry etching ) 을 이용 할 수 있 다 .