[ 0020 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 에 따르 면 , 도 1 a 및 도 1 b 에 도시 된 바 와 같이 , 증착 장치 ( 100 ) 는 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 를 포함 한다 . 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 는 , 진공 챔버 ( 130 ) 의 환경 으로부터 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 로 진공 챔버 의 벽 을 통해 매체 공급 라인 들 ( 140 ) 을 인도 ( guide ) 하 기 위한 피드 - 스루 ( feed - through ) 로서 구성 될 수 있 다 . 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 는 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 에 대한 매체 공급 라인 들 ( 140 ) 을 위한 공급 통로 ( 124 ) 를 제공 한다 . 예컨대 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 는 , 전기 , 냉각 유체 들 , 및 / 또는 신호 들 과 같 은 공급 매체 를 증착 소스 에 공급 하 는 매체 공급 라인 들 ( 140 ) 을 위한 공급 통로 ( 124 ) 를 형성 한다 .