레지스 트 막 ( 13 ) 을 도포 하 는 다른 한 가지 방법 은 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 11 ) 을 플레이트 ( 62 ) 에 고정 시키 고 , 기판 ( 11 ) 의 한 변의 길 이 방향 으로 연장 되 는 긴 노즐 ( 61 ) 을 통해 레지스 트 용액 ( 13 a ) 을 공급 하 고 , 노즐 ( 61 ) 의 끝 을 기판 ( 11 ) 의 한 쪽 끝 에 맞추 어 노즐 ( 61 ) 의 끝 을 통해 배출 되 는 레지스 트 용액 ( 13 a ) 을 박막 ( 12 ) 의 표면 에 접 액 시키 고 , 노즐 ( 61 ) 과 기판 ( 11 ) 을 상대 적 으로 이 동시 켜 서 반대 쪽 끝 까지 스캔 함 으로써 , 박막 ( 12 ) 의 전체 표면 상 에 레지스 트 막 ( 13 ) 을 형성 하 는 방법 이 다 . 이 와 같 은 방법 을 스캔 코팅 방법 이 라 부른다 . 도 6 은 기판 ( 11 ) 이 상방 을 향하 도록 하 여 도포 하 는 장치 를 예 를 들 었 지만 , 기판 ( 11 ) 이 하방 을 향하 도록 되 어 있 는 장치 도 이용 할 수 있 다 .