그러나 , LTO 막 ( 13 ) 은 막 질 특성 상 부서지 기 쉽 기 ( brittle ) 때문 에 후속 절단 공정 ( Sawing ) 시 LTO 막 ( 13 ) 내 에 크랙 ( crack , ' C ' 부위 참조 ) 이 발생 하 기 쉬울 뿐 만 아니 라 발생 된 크랙 이 쉽 게 확대 된다는 문제점 이 있 다 . 이 는 LTO 막 ( 13 ) 이 절 단공 정시 가해 지 는 물리 적 압력 ( 예컨대 , 웨이퍼 벤딩 ) 과 절단 공정 전후 에 실시 하 는 순수 ( DI Water ) 를 이용 한 세정 공정 시 가해 지 는 분사 압력 을 견뎌 내 지 못하 기 때문 이 다 .