상기 배출 배관 ( 114 ) 은 커 스터 머 장비 ( 100 ) 의 구성 인 컷오프 밸브 ( 113 ) 의 하단 부 에 연결 되 고 , 다 수개 의 배출 배관 ( 114 ) 을 플랜지 이음 사이 에 오링 ( 미 도시 ) 등 을 밀착 한 상태 에서 볼트 결합 등 으로 체결 함 으로써 , 배기가스 나 세정액 등 이 대기 로 배출 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 이러 한 배출 배관 ( 114 ) 은 반도체 장비 , LCD 장비 , 화학 공장 등 의 산업 현장 에서 다양 하 게 사용 되 고 있 는 실정 이 다 .