다음 에 , 도 2 a 를 참조 하 여 , 검출 장치 ( 100 ) 의 구성 예 를 설명 한다 . 검출 장치 ( 100 ) 는 , 웨이퍼 ( 3 ) 에 배치 된 복수 의 마크 중 서로 다른 마크 를 검출 하 도록 서로 이격 되 어서 배치 된 복수 의 검출기 를 가진다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 복수 의 검출기 는 , 제 1 검출기 ( 21 a ) 와 , 제 2 검출기 ( 21 b ) 와 , 제 3 검출기 ( 21 c ) 의 3 개 의 검출기 를 가진다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 는 , X 방향 을 따라 다른 위치 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 검출 장치 ( 100 ) 는 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 를 유지 해서 프레임 ( 23 ) 에 대하 여 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 를 X 방향 으로 소정 의 스트로크 로 구동 가능 한 복수 의 구동 기구 22 a , 22 b , 22 c 를 가진다 . 검출 장치 ( 100 ) 는 , 복수 의 구동 기구 22 a , 22 b , 22 c 를 개별 적 으로 제어 함 으로써 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 각각 의 검출 영역 의 X 위치 를 개별 적 으로 조정 하 는 것 이 가능 하 다 . 이때 , 여기 에서 는 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 의 검출 영역 의 상대 위치 를 복수 의 구동 기구 22 a , 22 b , 22 c 에 의해 적어도 X 방향 을 따라 조정 가능 하 면 충분 하 다 . 물론 , 구동 기구 는 X 방향 뿐 만 아니 라 , Y 방향 이나 Z 방향 으로 도 구동 가능 한 구성 으로 해도 된다 . 더구나 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 중 중앙 에 위치 하 는 검출기 21 b 는 구동 기구 를 구비 하 지 않 고 , 구동 기구 22 a 와 구동 기구 22 c 를 사용 해서 검출기 21 b 의 검출 영역 의 상대 위치 를 조정 해도 된다 . 이때 , 이하 에서 는 , 복수 의 검출기 21 a , 21 b , 21 c 중 어느 것 을 특정 할 필요 가 없 는 경우 에 는 , 간단히 검출기 ( 21 ) 로 부른다 .