임피던스 타입 의 와전류 센서 에서 는 , 신호 출력 X , Y , 위상 , 합성 임피던스 Z 가 후술 하 는 바 와 같이 추출 된다 . 주파수 F , 또는 임피던스 X , Y 등 으로부터 , 금속 막 ( 또는 도전 성 막 ) Cu , Al , Au , W 의 측정 정보 가 얻 어 진다 . 와전류 센서 ( 50 ) 는 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 연마 테이블 ( 100 ) 의 내부 의 표면 부근 의 위치 에 내장 할 수 있 고 , 연마 대상 인 반도체 웨이퍼 에 대해 연마 패드 를 사이 에 두 고 대 면 하 도록 위치 하 여 , 반도체 웨이퍼 상 의 금속 막 ( 또는 도전 성 막 ) 에 흐르 는 와전류 로부터 금속 막 ( 또는 도전 성 막 ) 의 변화 를 검출 할 수 있 다 .