이제 도 10 으로 돌아와서 , 이온 화 게이지 ( 100 ) 는 클러스터 툴 ( 1100 ) 또는 프로세싱 작업 을 위한 다른 다중 - 챔버 툴 에 의해 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 클러스터 툴 ( 1100 ) 은 밸브 ( 1110 a ) 에 의해 이송 챔버 ( 1110 ) 에 연결 된 로드 록 챔버 ( 1105 ) 를 포함 할 수 있 다 . 로드 록 챔버 ( 1105 ) 는 밸브 ( 1110 b ) 에 의해 주위 환경 조건 들 로부터 밀봉 된다 . 단일 챔버 및 다중 - 챔버 클러스터 툴 들 ( 1100 ) 양쪽 이 고려 될 수 있 으며 , 이온 화 게이지 ( 100 ) 는 단일 챔버 또는 다중 - 챔버 툴 구성 한쪽 에서 사용 될 수 있 다 . 이온 화 게이지 ( 100 ) 가 진공 챔버 와 함께 사용 되 기 위해 제한 되 지 않 으며 , 종래 기술 에서 알려진 임의 의 제조 챔버 에서 사용 될 수 있 다는 것 이 이해 되 어 져야 한다 .