이 처럼 본 발명 은 노광 스테이지 의 하부 에 촬영 부를 구비 하 여 구비 된 촬영 부를 이용 하 여 하나 의 마이크 로 미러 가 온 된 상태 에서 촬영 된 다수 의 이미지 를 기반 으로 촬영 부 의 정렬 상태 를 판단 하 고 , 적어도 두 개 의 마이크 로 미러 가 온 된 상태 에서 촬영 된 다수 의 이미지 를 기반 으로 DMD 의 정렬 상태 를 판단 하 도록 함 으로써 , DMD 노광 광학계 의 정렬 오차 를 줄일 수 있 고 이 로 인해 노광 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 .