스테이지 ( 20 ) 는 제 1 기판 ( S 1 ) 의 외곽 측면 을 지지 하 여 스테이지 ( 20 ) 상 에서 제 1 기판 ( S 1 ) 의 공정 위치 를 설정 하 는 가이드 핀 들 ( 21 ) 을 구비 한다 . 일례 를 들 면 , 가이드 핀 들 ( 21 ) 은 스테이지 ( 20 ) 상 에 4 개 로 구비 되 어 스테이지 ( 20 ) 의 직경 방향 양측 에 각각 2 개 씩 배치 된다 .