도 1 은 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 의 평면도 이 고 , 도 2 는 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 의 주요 구성 들 을 보여 주 는 사시도 이 며 , 도 3 은 도 2 에 도시 된 A - A ' 선 을 따라 절단 한 단면 을 보여 주 는 도면 이 다 . 그리고 , 도 4 는 도 2 에 도시 된 제 1 이송 유닛 의 사시도 이 고 , 도 5 는 도 2 에 도시 된 제 2 이송 유닛 의 사시도 이 다 .