또한 , 산화물 반도체 막 은 , 화학식 InMO 3 ( ZnO ) m ( m > 0 ) 로 표기 되 는 박막 을 사용 할 수 있 다 . 여기 서 , M 은 Zn , Ga , Al , Mn 및 Co 로부터 선택 된 하나 또는 복수 의 금속 원소 를 나타낸다 . 예 를 들 어 , M 으로서 , Ga , Ga 및 Al , Ga 및 Mn , 또는 Ga 및 Co 등 이 있 다 .