상기 센서 ( 46 ) 에 증착 가스 가 과도 하 게 증착 되 어 더 이상 의 유량 측정 이 불 가능 하 게 되 면 , 상기 제어 유닛 ( CU ) 은 개방 된 상기 측정 용 개구 ( 46 ) 를 셔터 를 전진 시켜 폐쇄 하 고 인접 하 는 개구 의 셔터 를 후진 시켜 개방 한다 . 따라서 , 인접 하 는 개구 에 위치 하 는 센서 를 이용 하 여 증착 가스 의 유량 을 측정 한다 .