본 발명 의 기판 처리 장치 는 , 기판 으로 적어도 하나 의 약액 을 공급 하 는 노즐 부 와 ; 기판 이 안착 되 고 , 회전 가능 하 며 상기 노즐 부 로부터 공급 되 는 상기 약액 들 에 대응 하 여 적어도 하나 의 공정 위치 로 상하 이동 하 는 스핀 헤드 와 ; 상기 스핀 헤드 와 동일 한 방향 으로 회전 하 여 상기 노즐 부 로부터 공급 된 약액 들 을 회수 하 는 적어도 하나 의 약액 포집 장치 및 ; 상기 약액 들 에 대응 하 여 상기 스핀 헤드 를 상하 로 이동 시키 고 , 상기 스핀 헤드 와 상기 적어도 하나 의 약액 포집 장치 를 동시 에 회전 시키 는 구동 부를 포함 한다 .