상기 서술 한 인코더 ( 170 A ∼ 170 H ) 는 , 예 를 들 어 0 . 1 ㎚ 정도 의 분해능 으로 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) ( 또는 WST 2 ) 의 위치 좌표 를 계측 하 고 , 그 계측 값 을 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 한다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 인코더 ( 170 A 및 170 B , 또는 170 C 및 170 D , 또는 170 E 및 170 F ) 의 계측 값 에 기초 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) ( 또는 WST 2 ) 의 XY 평면 내 의 위치 ( θ z 회전 을 포함 한다 ) 를 제 어함 과 함께 , Y 인코더 ( 170 G , 170 H ) 의 계측 값 에 기초 하 여 FD 바 ( 46 ) ( 웨이퍼 스테이지 ) 의 θ z 회전 을 제어 한다 .