또한 , 증착 재료 는 , 그 재료 가 갖 는 융점 및 증기압 에 따라 , 재료 고체 가 용융 을 거치 지 않 고 직접 기화 되 는 ( 승화 성 ) 재료 , 용융 되 어 바로 기화 되 는 ( 반 용융 성 ) 재료 , 용융 상태 를 거친 후 기화 되 는 ( 용융 성 ) 재료 의 3 종류 로 분류 할 수 있 다 . 이 들 중 , 증착 과정 을 가장 안 정한 것 으로 할 수 있 는 것 은 용융 성 재료 이 다 . 용융 에 의해 용기 의 내벽 을 주형 으로 한 기둥 형상 의 용융 풀 이 형성 됨 으로써 평활 한 증발 면 이 얻 어 지 고 , 그 증발 면 에 의해 재료 증기 의 발생 속도 ( 증발 속도 ) 를 제어 하 기 쉬워져 , 균일 하 고 또 한 균질 한 막 을 형성 시키 기 쉬워 지 기 때문 이 다 .