도 8 의 예 에서 는 , 최초 로 기판 ( W ) 과 접촉 하 는 열 을 포함 하 는 4 열 의 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 서서히 커지 고 , 4 열째 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 로부터 일정 한 간격 으로 되 어 있 다 . 적어도 2 열 에 있 어서 의 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 , 서서히 커지 면 되 지만 , 3 열 이상 의 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 서서히 커지 는 것 이 , 보다 바람직 하 다 . 또한 , 도 9 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 가장 좁 은 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 은 , 기판 ( W ) 이 휘어짐 으로써 반송 방향 ( A 1 ) 에 직교 하 는 방향 의 폭 이 짧 아 지 는 경우 에 도 , 기판 ( W ) 의 상면 의 양단 영역 에 접촉 하 는 간격 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 도 9 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 일정 해진 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 은 , 평탄 해진 기판 ( W ) 의 상면 의 양단 영역 에 접촉 하 는 간격 인 것 이 바람직 하 다 . 한편 , 본 실시 형태 에서 는 , 반송 롤러 ( 31 A ) 의 샤프트 ( 31 b ) 와 가압 롤러 ( 31 B ) 의 샤프트 ( 31 d ) 의 간격 은 , 제 1 실시 형태 , 제 2 실시 형태 와 같이 , 도 9 의 ( a ) 에 도시 된 위치 로부터 도 9 의 ( b ) 에 도시 된 위치 가 됨 에 따라 좁 아 진다 .