직사각 형부 ( A ) 의 우측 에 웨이퍼 반송 기구 ( 1 ) 가 배치 되 어 있 다 . 직사각 형부 ( A ) 의 하측 의 우측 근방 에 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 2 개 의 용기 ( 2 ) 가 병렬 로 적재 되 어 있 다 . 직사각 형부 ( A ) 의 좌측 단 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 마운트 를 완료 한 도 15 에 도시 하 는 마운트 프레임 ( MF ) 을 회수 하 는 프레임 회수 부 ( 3 ) 가 배치 되 어 있 다 .