도 5 에서 , 우선 아래 글래스 ( 50 ) 위 에 버퍼 층 ( 52 ) 이 아래 글래스 전체 면 에 형성 되 고 ( S 10 ) , 그 위 에 아몰 퍼스 실리콘 ( a - Si ) 막 이 성막 된다 ( S 12 ) . 여기 서 , 버퍼 층 ( 52 ) 은 SiO 2 / SiN 의 적층 막 이 며 , 두께 는 100 ∼ 200 ㎚, a - Si 막 은 두께 30 ∼ 50 ㎚ 정도 로 한다 . 또한 , 이 들 막 은 플 라즈 마 CVD 로 형성 된다 . 이 에 의해 , 아래 글래스 ( 50 ) 위 에 는 a - Si / SiO 2 / SiN / glass ( 글래스 기판 ) 라고 하 는 막 이 적층 된다 .