상기 불소 라디칼 들 ( F *) 의 부분 압력 의 증가 는 , 상기 샤워 플레이트 를 통한 가스 전도 성 의 증가 에 의하 여 달성 될 수 있 다 . 도 2 a 에 도시 된 감소 된 직경 을 가지 는 홀 들 을 포함 하 는 종래 의 샤워 플레이트 들 에 있 어서 , 상기 전도 성 은 감소 된다 . 이 는 상기 벽 들 의 수축 된 직경 에 기인 하 는 상기 활성 불소 라디칼 들 및 상기 홀 들 의 내부 벽 들 사이 에서 발생 하 는 많 은 충돌 들 때문 이 며 , 이 에 따라 상기 활성 불소 라디칼 들 은 활성 불소 라디칼 들 ( F *) 로부터 비 활성 된 불소 ( F 2 ) 로 비활성 된다 . 상기 비활성 된 불소 들 은 원 하 지 않 는 막 증착 물 들 과 효과 적 으로 반응 하 지 않 으므로 , 세정 속도 는 감소 된다 . 따라서 , 상기 샤워 플레이트 가 홀 들 을 통하 여 균일 한 단면 을 가지 도록 개선 하 는 것 은 상기 활성 불소 라디칼 들 및 내부 홀 벽 들 사이 의 충돌 의 수 를 감소 시키 며 , 이 에 따라 종래 의 샤워 플레이트 들 에 비하 여 비활성 된 불소 라디칼 들 의 수 를 감소 시키 며 , 챔버 세정 속도 를 증가 시킨다 .