한편 , 스테이지 ( 82 ) 는 , 가열 램프 ( 84 ) 에 의해 , 미리 설정 된 설정 온도 에 기초 하 여 , 예 를 들 어 상온 에서부터 성막 처리 ( 열처리 ) 시 의 온도 , 예 를 들 어 300 ℃ 내지 400 ℃ 까지 점차 승 온 하 도록 가열 된다 . 그리고 , 열전쌍 ( 91 ) 및 파이로미터 ( 92 ) 를 사용 해서 온도 를 측정 하 여 , 기준 온도 인 열전쌍 ( 91 ) 의 측정 온도 ( TL ) 가 제 1 온도 보다 낮 은 온도 범위 에서 는 , 열전쌍 ( 91 ) 의 측정 온도 ( TL ) 에 기초 하 여 , 가열 램프 ( 84 ) 의 출력 을 제어 한다 . 또한 , 열전쌍 ( 91 ) 의 측정 온도 ( TL ) 가 제 2 온도 보다 높 은 온도 범위 에서 는 , 파이로미터 ( 92 ) 의 측정 온도 ( TH ) 에 기초 하 여 , 가열 램프 ( 84 ) 의 출력 을 제어 한다 . 이 예 에서 는 , 2 개 의 파이로미터 ( 921 , 922 ) 를 사용 해서 온도 가 측정 되 고 있 으므로 , 예 를 들 어 각각 의 측정 온도 의 평균값 에 기초 하 여 가열 제어 를 행해도 된다 . 또한 , 스테이지 ( 82 ) 의 내측 , 외측 에서 존 분할 되 어 , 내측 의 존 은 파이로미터 ( 922 ) 의 측정 온도 에 기초 하 고 , 외측 의 존 은 파이로미터 ( 921 ) 의 측정 온도 에 기초 하 여 , 존 별 로 가열 제어 를 행해도 된다 .