이어서 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 에 대해 도 3 을 이용 하 여 설명 한다 . 도 3 은 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 의 지지대 ( 14 A ) 의 일 예 를 나타내 는 부분 확대 단면도 이 다 . 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 , 도 1 참조 ) 와 비교 할 때 지지대 ( 14 A ) 의 구조 가 다르 다 . 그 밖 의 구성 은 마찬가지 이 며 중복 되 는 설명 은 생략 하 기 로 한다 .