로봇 아암 ( 110 ) 은 아 암부 ( 111 ) 를 상승 시켜서 , 탑재 대 ( 31 ) 로부터 포커스 링 ( 35 ) 을 분리 한다 . 그 후 , 로봇 아암 ( 110 ) 및 승강대 ( 114 ) 는 , 분리 유닛 ( 120 ) 을 지지대 ( 102 ) 로부터 탑재 대 ( 31 ) 의 상부 로 운반 했 을 때 와 반대 의 순서 로 동작 하 여 , 포커스 링 ( 35 ) 을 흡착 한 분리 유닛 ( 120 ) 을 원래 의 지지대 ( 102 ) 에 격납 한다 .