또한 , 상기 유로 층 ( 10 ) 의 하 부면 이 그루브 형상 인 유로 ( 11 ) 를 형성 하 는데 , 상기 유로 ( 11 ) 는 양측 에 상기 유로 ( 11 ) 를 감싸 도록 형성 되 는 유로 층 ( 10 ) 의 격벽 에 의하 여 관통 되 는 공간 으로 형성 되 고 , 상기 유로 ( 11 ) 의 형상 은 상기 다종 의 입자 가 통과 할 수 있 음 과 동시 에 상기 미소 전극 ( 20 ) 과 맞닿 도록 통과 할 수 있 는 형상 으로 대체 할 수 있 다 .