도 20 을 참조 하 면 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 300 a ) 을 제거 하 고 , 상기 기판 ( 110 ) 상 에 복수 의 제 2 개 구부 들 ( 302 b ) 을 갖 는 제 2 마스크 패턴 ( 300 b ) 를 형성 한다 . 상기 제 2 개 구부 들 ( 302 b ) 은 상기 제 1 개 구부 들 ( 302 a ) 이 형성 된 지점 들 에서 상기 일 방향 으로 제 1 거리 만큼 이동 된 지점 들 에 각각 형성 된다 . 상기 제 2 개 구부 들 ( 302 b ) 은 제 2 폭 들 을 갖 는다 . 상기 제 2 폭 은 상기 제 1 폭 과 동일 할 수 있 다 .