진공 챔버 ( 200 ) 의 위 ( 외측 ) 에 는 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) , 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) , 냉 각판 Z 액 츄 에 이터 ( 252 ) , X 액 츄 에 이터 ( 미 도시 ) , Y 액 츄 에 이터 ( 미 도시 ) , θ 액 츄 에 이터 ( 미 도시 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 들 액 츄 에 이터 는 , 예 를 들 면 , 모터 와 볼나사 , 모터 와 리니어 가이드 등 으로 구성 된다 . 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 는 , 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 의 전체 를 승강 ( Z 방향 이동 ) 시키 기 위한 구동 수단 이 다 . 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 는 , 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 에 구비 되 는 협지 기구 ( 211 ) 을 승강 ( Z 방향 이동 ) 시키 기 위한 구동 수단 이 다 . 냉 각판 Z 액 츄 에 이터 ( 252 ) 는 , 냉 각판 ( 230 ) 을 승강 ( Z 방향 이동 ) 시키 기 위한 구동 수단 이 다 . X 액 츄 에 이터 , Y 액 츄 에 이터 , θ 액 츄 에 이터 ( 이하 , " 통칭 하 여 "" XY θ 액 츄 에 이터 "" 라고 함 ) 는 ", 기판 ( 10 ) 의 얼라인먼트 를 행하 기 위한 구동 수단 이 다 . XY θ 액 츄 에 이터 는 , 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 및 냉 각판 ( 230 ) 의 전체 를 , X 방향 이동 , Y 방향 이동 , θ 회전 시킨다 . 한편 , 본 실시 형태 에서 는 , 마스크 ( 220 ) 를 고정 한 상태 로 기판 ( 10 ) 의 X , Y , θ 를 조정 하 는 구성 으로 하 였으나 , 마스크 ( 220 ) 의 위치 를 조정 하 거나 , 또는 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 의 양자 위치 를 조정 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 의 얼라인먼트 를 행해도 된다 .