또한 , 한 쌍 의 이재 아암 ( 11 ) 은 , 승강 기구 ( 14 ) 에 의해 수평 이동 기구 ( 13 ) 와 함께 승강 이동 된다 . 승강 기구 ( 14 ) 가 한 쌍 의 이재 아암 ( 11 ) 을 이재 동작 위치 에서 상승 시키 면 , 합계 4 개 의 리프트 핀 ( 12 ) 이 서 셉 터 ( 74 ) 에 뚫린 관통 구멍 ( 79 ) ( 도 2 , 3 참조 ) 을 통과 하 여 , 리프트 핀 ( 12 ) 의 상단 이 서 셉 터 ( 74 ) 의 상면 으로부터 돌출 된다 . 한편 , 승강 기구 ( 14 ) 가 한 쌍 의 이재 아암 ( 11 ) 을 이재 동작 위치 에서 하강 시켜 리프트 핀 ( 12 ) 을 관통 구멍 ( 79 ) 으로부터 빼내 고 , 수평 이동 기구 ( 13 ) 가 한 쌍 의 이재 아암 ( 11 ) 을 열 도록 이동 시키 면 각 이재 아암 ( 11 ) 이 퇴피 위치 로 이동 한다 . 한 쌍 의 이재 아암 ( 11 ) 의 퇴피 위치 는 , 유지 부 ( 7 ) 의 기대 링 ( 71 ) 의 바로 위쪽 이 다 . 기대 링 ( 71 ) 은 오목 부 ( 62 ) 의 바닥 면 에 재치 되 어 있 기 때문 에 , 이 재 아암 ( 11 ) 의 퇴피 위치 는 오목 부 ( 62 ) 의 내측 이 된다 . 또한 , 이 재 기구 ( 10 ) 의 구동 부 ( 수평 이동 기구 ( 13 ) 및 승강 기구 ( 14 ) ) 가 설치 되 어 있 는 부위 의 근방 에 도 도시 생략 된 배기 기구 가 설치 되 어 있 어 , 이 재 기구 ( 10 ) 의 구 동부 주변 의 분위기 가 챔버 ( 6 ) 의 외부 에 배출 되 도록 구성 되 어 있 다 .