도 16 은 , 본 실시 예 에서 의 레지스 트 패턴 의 개략 평면도 이 다 . 기판 ( 9 ) 의 표면 에 , 레지스 트 패턴 ( 11 ∼ 13 ) 을 형성 한다 . 레지스 트 패턴 ( 13 ) 은 , 레지스 트 패턴 ( 11 ) 과 레지스 트 패턴 ( 12 ) 에 끼워 지 는 위치 에 배치 되 어 있 다 . 레지스 트 패턴 ( 13 ) 은 , 하프톤 형 마스크 에 의해 형성 된다 .