본 발명 에 따른 가시성 페럴 린 필름 성막 공정 은 상기 분해 단계 ( S 30 ) 를 마치 고 , 상기 제 2 바이패스 부 ( 62 ) 를 통해 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 의 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 상기 제 2 배출관 ( P 2 ) 을 통해 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 로 선택 적 으로 공급 하 는 제 2 바이패스 단계 ( S 31 ) 를 더 포함 할 수 도 있 다 .