그러나 본 실시 예 가 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 플라 즈 마 생 성 유닛 ( 130 ) 은 유도 결합 형 플 라즈 마 ( ICP ; Inductively Coupled Plasma ) 소스 를 이용 하 여 하우징 ( 110 ) 내부 의 방전 공간 에 플 라즈 마 를 발생 시키 는 것 도 가능 하 다 . 이 경우 , 플라 즈 마 생 성 유닛 ( 130 ) 은 도 8 에 도시 된 바 와 같이 하우징 ( 110 ) 의 상부 에 설치 되 는 안테나 ( antenna ; 510 ) 를 상부 전극 으로 이용 하 고 , 정전 척 ( 122 ) 을 하부 전극 으로 이용 할 수 있 다 .