" 시험 쿠폰 을 4 "" 길이 의 플라스틱 잠금 핀셋 ( locking tweezer ) 을 사용 하 여 고정 함 으로써 약 200 밀리리터 의 본 개시 내용 의 세정 조성물 을 함유 하 는 500 ml 부피 의 유리 비이 커 에 쿠폰 을 매 달 수 있 었 다 . 쿠폰 을 세정 조성물 에 침지 하 기 전 에 ", 조성물 을 제어 교반 하 면서 소정 의 시험 조건 온도 ( 전형 적 으로 , 언급 한 바 와 같이 40 ℃ 또는 65 ℃) 로 예열 하 였 다 . 그 다음 에 , PER 층 을 포함 하 는 쿠폰 면 이 교반 막대 와 마주 하 도록 플라스틱 핀셋 에 의해 고정 된 쿠폰 을 가열 된 조성물 에 넣 어 세정 실험 을 수행 하 였 다 . 조성물 을 제어 교반 하 에 시험 온도 에 유지 하 면서 , 쿠폰 을 일정 시간 ( 전형 적 으로 , 5 내지 15 분 ) 동안 세정 조성물 에 정치 하 였 다 . 소정 의 세정 시간 이 완료 되 면 , 쿠폰 을 세정 조성물 로부터 신속 하 게 제거 하 고 , 가볍 게 교반 하 면서 주위 온도 ( ~ 17 ℃) 에서 약 400 ml 의 탈 이온 수 로 채워진 500 ml 의 파이렉스 ( pyrex ) 비이 커 에 넣 었 다 . 쿠폰 을 약 6 초 동안 탈 이온 ( DI ) 수 의 비이 커 에 방치 한 다음 신속 하 게 제거 하 고 , 약 30 초 동안 가볍 게 교반 한 유사 한 양 의 IPA 를 함유 하 는 유리 비이 커 로 옮겼 다 . 쿠폰 을 핸드헬드 질소 발포 건 ( hand held blowing gun ) 으로부터 의 질소 기체 스트림 ( gas stream ) 에 즉각 노출 시켰으며 , 이 는 쿠폰 표면 상 의 임의 의 액적 ( droplet ) 이 쿠폰 으로부터 날아가 도록 하 여 나아가 쿠폰 장치 표면 을 완전히 건조 시켰 다 . 이러 한 마지막 질소 건조 단계 후 , 쿠폰 을 플라스틱 핀셋 홀더 에서 제거 하 고 , 장치 의 옆면 을 위 로 하 여 덮여 진 플라스틱 캐리어 내 에 약 2 시간 이하 의 짧 은 기간 동안 보관 하 였 다 . 그 다음 , 세정 된 시험 쿠폰 장치 표면 상 에서 주요 특징 에 대한 주사 전자 현미경 ( SEM ) 이미지 를 수집 하 였 다 .