드 웰 타임 ( dwell time ) 이 약 6 . 5 분 인 다른 모듈 과 달리 , 모듈 2 의 웨이퍼 드 웰 타임 ( dwell time ) 은 약 3 배 더 길 다 . 연속 프로세스 흐름 을 유지 하 기 위하 여 , 적어도 세 개 의 웨이퍼 레일 ( 캐리어 ) 이 모듈 2 에서 동시 에 진행 되 고 챔버 로 약 6 내지 6 . 5 분 의 간격 으로 일시 적 으로 어긋나 게 ( offset ) 도입 되 거나 거기 서 제거 된다 .