본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 결함 들 을 검출 은 상기 기준 노광 조건 에서 패턴 이 전사 된 기준 샷 영역 및 상기 기준 노광 조건 을 여러 노광 조건 에서 상기 패턴 이 전사 된 주변 샷 영역 들 을 갖 는 웨이퍼 시료 를 마련 하 고 , 상기 웨이퍼 시료 를 이용 하 여 기준 검사 감도 를 설정 한 후 , 상기 제 1 결함 들 의 검출 을 위해 상기 기준 검사 감도 로 상기 웨이퍼 시료 를 검사 하 여 이루어진다 .