부분 세정 단계 ( S 203 ) 는 개방 된 유로 공간 의 방전 극 에 는 전압 을 인가 하 여 집진 을 수행 하 고 , 폐쇄 된 유로 공간 에 는 집진 극 에 세 정수 를 공급 하 여 세정 한다 . 부분 세정 단계 ( S 203 ) 는 집진 모듈 에 세 정수 를 분사 하 는 세 정수 분사 단계 와 세정 을 실시 하 면서 분사 된 세 정수 를 집진 모듈 의 하부 에 배치 된 집 수조 에 포집 하 는 세 정수 포집 단계 를 포함 할 수 있 다 .