이어서 , 도 3 의 실험 장치 를 사용 하 여 , 상기 와 마찬가지 로 , 처리 가스 로서 NH 3 가스 , H 2 가스 , Ar 가스 로 이루어지 는 아르곤 혼합 가스 를 사용 하 고 , 챔버 내 의 압력 을 2 Torr 로 하 고 , 마이크로파 파워 를 2000 W ( 일부 1800 W ) 로 한 조건 에서 , 마이크로파 주파수 를 2400 내지 2500 MHz 의 범위 에서 변화 시켰 다 . 2400 MHz 에서 는 충분 한 출력 이 얻 어 지 지 않 았 지만 , 2410 내지 2500 MHz 의 범위 에서 는 플라스마 가 생성 되 었 다 . 그때 의 천 장판 하면 의 온도 분포 측정 결과 를 도 5 에 도시 한다 . 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 2410 내지 2430 MHz 에서 는 , 도 4 에서 코너 하이 이 었 던 2455 MHz 보다 도 더 강한 코너 하이 의 경향 이 얻 어 졌 다 . 2465 MHz 에서 는 센터 하이 의 경향 이 얻 어 졌 지만 , 센터 만 착화 하 는 분포 는 얻 어 지 지 않 았 다 .