이웃 하 는 소자 층 ( 151 ) 의 사이 에서 , 대면 적 기판 ( 161 ) 은 분단 되 어 , 개개 의 소자 를 갖 는 기판 ( 164 ) 이 된다 ( 도 4 b 참조 ) . 또 , 여기 에서 는 기판 ( 164 ) 은 수지 층 ( 163 ) 에 덮이 는 제 1 영역 과 측면 이 노출 하 는 제 2 영역 을 갖 고 , 기판 단면 의 계단 형 의 사다리꼴 의 상단 의 두께 는 , 제 1 영역 의 두께 ( 1000 ) 로 하 고 , 기판 단면 의 계단 형 의 사다리꼴 의 하단 의 두께 는 제 2 영역 의 두께 ( 1001 ) 로 한다 .