도 1 b 는 본 발명 의 구 현예 에 사용 할 수 있 는 유동 통과 시스템 ( flow - pass system , FPS ) 을 사용 하 는 전구체 공급 시스템 의 개략 적 인 표시 를 도시 하고 , 여기 서 ( a ) 는 캐리어 가스 가 전구체 를 거기 로부터 반송 하 기 위해 병 을 통해 흐르 는 상태 를 표시 하 고 , ( b ) 는 캐리어 가스 가 병 을 우회 하 는 상태 를 표시 한다 .