상기 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 는 상기 지지 프레임 ( 131 ) 의 하부 면 ( 131 c ) 에 마련 된 제 2 개 구부 에 중첩 되 도록 상기 지지 프레임 ( 131 ) 의 하부 면 ( 131 c ) 에 지지 된다 . 이 에 따라 , 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 의 상부 면은 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 을 사이 에 두 고 커버 플레이트 ( 132 ) 의 하부 면 에 대향 된다 . 그리고 , 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 의 하부 면은 상기 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 의 타 측 영역 에 대응 되 는 기판 지지 부 ( 120 ) 의 상면 에 국부 적 으로 대향 된다 .