이 와 같이 , 규소 함유 레지스 트 하층 막 ( 3 ) 에 포함 되 는 열경화성 규소 함유 재료 의 보호기 의 유무 에 의해 규소 함유 레지스 트 하층 막 ( 3 ) 의 변화 부분 ( 3 ’) 의 접촉각 을 조절 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 사용 가능 한 규소 함유 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 의 조성 의 자유도 가 높 아 지 는 데 다가 , 현상 수단 의 자유도 를 높일 수 도 있 다 .