기판 지지 부 ( 100 ) 는 기판 을 지지 하 는 역할 을 수행 한다 . 본 발명 에서 기판 지지 부 ( 100 ) 에 지지 되 는 기판 은 반도체 제조 공정 에 이용 되 는 것 으로서 직사각 형 의 형태 일 수 있 으나 , 기판 의 형태 가 직사각 형 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 이하 , 직사각 형 의 기판 을 위주 로 설명 하 기 로 한다 .