전술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 의 웨이퍼 ( W 2 ) 에 대한 노광 동작 과 병행 하 여 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 1 로딩 포지션 에서 , 웨이퍼 반송 기구 ( 미 도시 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 사이 에 웨이퍼 교환 을 수행 하 고 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 에 새로운 웨이퍼 ( W 1 ) 를 재치 한다 . 그 다음 , 얼라인먼트 계 ( ALG ) 를 이용 하 여 기준 마크 판 ( FM 1 ) 상 의 제 2 기준 마크 를 검출 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 얼라인먼트 영역 ( AA ) 으로 이동 시키 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 를 제어 하 면서 , 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대하 여 , 전술 한 바 와 같이 얼라인먼트 계 ( ALG ) 를 이용한 웨이퍼 얼라인먼트 ( EGA ) 를 수행 한다 .