따라서 , 제 1 식각 공정 은 NH 3 가스 및 HF 가스 의 혼합 가스 ( 또는 , NH 3 가스 와 NF 3 가스 의 혼합 가스 ) 를 이용 한 건식 식각 공정 ( DE ) 을 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그리고 , 제 2 식각 공정 을 더 실시 하 여 제 2 절 연막 ( 212 ) 의 표면 을 제거 하 면서 플루오린 ( F ) 의 양 을 감소 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 제 2 식각 공정 을 구체 적 으로 설 명 하 면 다음 과 같 다 .