또한 , 상기 한 제 1 반출 롤러 부 ( 620 ) 가 상향 이동 되 는 과정 에서 , 상기 제 1 스토퍼 ( 640 ) 는 상부 로 갈수록 직경 이 작아지 는 사다리꼴 형상 으로 형성 되 어 있 기 때문 에 상기 기판 ( 1 ) 이 그 상승 도중 상기 제 1 스토퍼 ( 640 ) 와 접촉 됨 은 방지 된다 . 이 로 인해 상기 기판 ( 1 ) 의 파손 역시 방지 된다 .