복수 의 기판 지지 부 ( 20 ) 는 제 1 위치 ( P 1 ) 를 중심 으로 서로 간 제 1 각도 ( α 1 ) 를 두 고 방사형 으로 배치 된다 . 복수 의 기판 ( 60 ) 또한 제 1 위치 ( P 1 ) 를 중심 으로 서로 간 제 1 각도 ( α 1 ) 를 두 고 방사형 으로 배치 된다 . 여기 서 , 제 1 위치 ( P 1 ) 는 증착 챔버 ( 10 ) 의 평면 상 에 설정 되 는 위치 로서 이송 로봇 ( 70 ) 이 위치 하 는 증착 챔버 ( 10 ) 의 중앙 일 수 있 다 .