도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 특히 접촉 센서 ( 611 ) 는 정상 흡착 패드 의 저면 과 평행 하 게 플레이트 형상 으로 이루어질 수 있 으며 , 이 경우 , 플레이트 의 상면 , 즉 , 플레이트 의 표면 에 하중 이 가해 지 면 , 제 어부 ( 730 ) 에 전기 적 신호 를 보내 게 된다 . 다시 말 해 , 플레이트 형상 으로 이루어진 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 에 흡착 패드 ( 521 ) 의 하면 이 접촉 되 어 하중 이 가해 지 면 , 접촉 센서 ( 611 ) 는 제 어부 ( 730 ) 에 전기 적 신호 를 보내 게 되 는 것 이 다 .