구체 적 으로 는 , 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 기판 ( W ) 의 상면 의 외주 부 를 향해 제 1 액체 노즐 ( 101 ) 에서 제 1 액체 를 토출 함 으로써 , 기판 ( W ) 의 상면 의 외주 부 로 제 1 액체 가 공급 된다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 상면 의 외주 부 에 링 형상 의 제 1 액 막 ( F 1 ) 이 형성 된다 . 또한 , 제 1 액체 노즐 ( 101 ) 과 는 상이 한 제 2 액체 노즐 ( 102 ) 에서 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향해 제 2 액체 를 토출 함 으로써 , 기판 ( W ) 의 상면 으로 제 2 액체 가 공급 된다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 원형 의 제 2 액 막 ( F 2 ) 이 형성 된다 . 즉 , 제 1 액 막 ( F 1 ) 의 형성 을 위한 제 1 액체 의 공급 과 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 형성 을 위한 제 2 액체 의 공급 을 서로 상이 한 노즐 ( 제 1 액체 노즐 ( 101 ) 및 제 2 액체 노즐 ( 102 ) ) 에서 의 액 토출 에 의해 실현 될 수 있 다 . 제 1 액체 노즐 ( 101 ) 에서 의 제 1 액체 의 공급 과 , 제 2 액체 노즐 ( 102 ) 에서부터 의 제 2 액체 의 공급 은 서로 동시 에 수행 하 는 것 이 고려 되 나 , 이 들 공급 이 서로 전후 로 이루어져 도 좋 다 .